2025-700723

特許第７６１４４７０号発明「多結晶シリコンの搬送装置および多結晶シリコンの搬送方法」の特許異議申立事件について、次のとおり決定する。

結 論 特許第７６１４４７０号の請求項１～５及び７に係る特許を維持する。

理 由 １ 手続の経緯 特許第７６１４４７０号（以下「本件特許」という。）の請求項１～７に係る特許についての出願は、２０２４年（令和６年）８月１６日（優先権主張 令和５年９月２８日）を国際出願日とする出願であって、令和７年１月６日にその特許権の設定登録がされ、令和７年１月１５日に特許掲載公報が発行された。その後、本件特許の請求項１～５及び７に係る特許に対し、令和７年７月１４日に特許異議申立人中川賢治（以下「申立人」という。）は、特許異議の申立てを行った。 ２ 本件特許に係る発明 本件特許の請求項１～５及び７の特許に係る発明は、それぞれ、その特許請求の範囲の請求項１～５及び７に記載された事項により特定される次のとおりのものである。 「【請求項１】 多結晶シリコンが搬出される搬出端部を有し、前記多結晶シリコンを搬送して前記搬出端部から前記多結晶シリコンを外部に搬出する搬送部と、 前記搬送部の上において前記多結晶シリコンを複数の方向から検知する第１センサと、 前記第１センサによる前記多結晶シリコンの検知結果に基づき、前記搬送部の駆動を制御する制御部と、を備えることを特徴とする多結晶シリコンの搬送装置。 【請求項２】 前記第１センサは、前記多結晶シリコンを互いに異なる方向から検知するように設けられた複数のレーザーセンサであり、 前記制御部は、前記複数のレーザーセンサのうち少なくとも１つのレーザーセンサが前記多結晶シリコンを検知したことに基づき、前記搬送部の駆動を制御することを特徴とする請求項１に記載の多結晶シリコンの搬送装置。 【請求項３】 前記搬送部は、振動することにより前記多結晶シリコンを搬送する振動フィーダを含むことを特徴とする請求項２に記載の多結晶シリコンの搬送装置。 【請求項４】 前記制御部は、 前記第１センサによって前記多結晶シリコンが検知された場合、前記搬送部の駆動を一時停止させることを特徴とする請求項１から３のいずれか１項に記載の多結晶シリコンの搬送装置。 【請求項５】 前記第１センサは、前記搬出端部の近傍において前記多結晶シリコンを複数の方向から検知することを特徴とする請求項１から３のいずれか１項に記載の多結晶シリコンの搬送装置。」 「【請求項７】 多結晶シリコンが搬出される搬出端部を有する搬送部により、前記多結晶シリコンを搬送して前記搬出端部から前記多結晶シリコンを外部に搬出する搬送工程と、 前記搬送部の上において前記多結晶シリコンを複数の方向から検知する検知工程と、 前記検知工程による前記多結晶シリコンの検知結果に基づき、前記搬送部の駆動を制御する制御工程と、を含むことを特徴とする多結晶シリコンの搬送方法。」 ３ 申立理由の概要 特許異議申立人中川賢治は、主たる証拠として特表２００９－５３２３１９号公報（甲第１号証、以下「甲１」という。）及び従たる証拠として特開２０２１－１５５３２３号公報（甲第２号証、以下「甲２」という。）、特開２００４－１９８２９７号公報（甲第３号証、以下「甲３」という。）、特開平１０－２３６６３０号公報（甲第４号証、以下「甲４」という。）、特開２０２１－８００４９号公報（甲第５号証、以下「甲５」という。）、及び特表２０１８－５２４１６３号公報（甲第６号証、以下「甲６」という。）を提出し、請求項１～５及び７に係る特許は特許法第２９条第２項の規定に違反してされたものであるから、請求項１～５及び７に係る特許を取り消すべきである旨主張する。 ４ 甲各号証の記載 （１）甲１について ア 甲１には、以下の事項が記載されている（下線は当審で付したものである。以下同様。）。 「【技術分野】 【０００１】 本発明は、多結晶シリコンの破片(Bruchstuecke)を柔軟に分級するための装置および方法に関する。」 「【０００５】 本発明の課題は、破砕された多結晶シリコン（ポリシリコン）の、有利にはそのポリ破片の長さおよび／または面積に従った柔軟な分級を可能にする装置を提供することであった。その際、破片の長さは、破片の表面上の２点間の最も長い直線として定義される。その際、破片の面積は、破片の平面に投影された最も大きい陰影面として定義される。」 「【００１４】 ポリシリコンの残留成分の選別は、画像技術およびセンサー技術における従来技術である全ての基準に従って行われうる。有利には光電子式選別が使用される。該選別は、ポリシリコンの破片の長さ、面積、形、形態、色および質量からの群から選択された１つ以上の基準、とりわけ有利には１～３つの基準に従って行われる。とりわけ有利には、該選別はポリシリコンの破片の長さおよび面積に従って行われる。 有利には、シリコンの残留成分は、１つ以上の光電子式選別装置によってさらなる画分に分離される。有利には、ツリー構造の形で配置されている２つ、３つのまたはそれより多い光電子式選別装置が使用される。光電子式選別装置の光学的な画像認識は、"実際の"長さまたは面積が測定されるという利点を有する。これにより従来の機械的な篩別法と比べて、そのつど所望されたパラメータに従った破片のより正確な分離が可能になる。有利には、光電子式選別装置として、ＵＳ６，２６５，６８３Ｂ１にかまたはＵＳ６，０４０，５４４Ａに記載されているような装置が用いられる。それゆえこれらの文献が光電子式選別装置の詳細に関して指摘される。この光電子式選別装置は、ポリ破片を個別化するための装置およびポリ破片のためのすべり面（その際、該すべり面の角度は水平に位置調節が可能である）ならびに放射線源（該放射線源の放射線経路を通ってポリ破片が落下する）および形状検出装置（該装置は分級物の形状を、偏向装置を制御するコントロールユニットに伝送する）を包含する。 【００１５】 有利には、全ての光電子式選別段において生成物流は、組み込まれた振動コンベヤーの溝を介して個別化され、かつシュートを介して自由落下し、長さ、面積、体積（質量）、形、形態および色の群から選択された１つ以上の選別パラメータに従って分級を行う１つ以上のＣＣＤ色配列型カメラ(Farbzeilenkamera)を通過する。該破片のパラメータ認識のために、代替的に従来技術に公知の全ての電子センサー技術が使用されうる。測定値は上位に置かれた(uebergeordnete)制御装置および調節装置に伝達され、かつ例えばマイクロプロセッサーによって評価される。その際、生成物流からの破片を排出させるかまたは通過させるかどうかは、解決策(Rezept)において規定された選別基準との比較によって決められる。有利には、排出はノズルを介して圧縮空気パルスによって行われ、その際、圧力は、この解決策により、上位に置かれた制御部において調整可能である。その際、例えば画像認識装置下に配置されたバルブブロックを介して分離チャネル（圧縮空気ブロック）が制御され、かつ粒度に応じて配分された圧縮空気パルスがかけられる。 【００１６】 それゆえ有利には、本発明による装置には上位に置かれた制御部が備え付けられており、該制御部により、ポリ破片がそれに従って選別される選別パラメータおよび／またはポリ破片の運搬に影響を与える装置パラメータ（例えば運搬速度）を装置の個々の部分において柔軟に調整することが可能となる。有利には、ポリ破片がそれに従って選別される選別パラメータは、とりわけ有利には破片の長さ、面積、形態、色または形の群から選択された上記のパラメータを有する。 【００１７】 有利には、上位に置かれた制御部は、以下で挙げられた装置の部分： ―コンベヤーの溝の流量（例えば、アンバランスモーターの周波数の変化を介して） ―機械的な篩の振動周波数 ―選別のパラメータ（破片の面積、長さ、色または形態、有利には長さおよび／または面積の限界） ―吐出ユニット(Ausblaseeinheiten)におけるフィード圧力 の１つ以上を変える。」 「【００２０】 該装置の有利な一実施態様は、機械的な篩別装置および／または光電子式選別装置に、分級されたポリシリコンの破片の定義されたパラメータのための測定装置が備え付けられており、かつこの測定装置は上位に置かれた制御装置および調節装置と結び付けられており、該装置は測定されたパラメータを統計学的に評価し、かつ所定のパラメータと比較し、かつ測定されたパラメータと所定のパラメータとの偏差が生じた際に、光電子式選別装置もしくは選別装置全体の選別パラメータの調整（例えば、機械的な篩別装置の周波数またはポリ破片の運搬速度）または解決策の選択を、その時に測定されたパラメータが所定のパラメータに合うように変化させることができることを特徴とする。」 「【００３９】 有利には、本発明による装置の上位に置かれた制御部での前調整された解決策が選択される。該解決策においては、選別装置の全てのパラメータおよび調節の調整値が定められている。有利には、生成物パラメータの測定ならびにポリシリコン破片の分級は以下で記載されているように行われる： 第一の機械的な篩別段の大きい粒子は、多段階の光電子式分離装置に供給される。全ての光電子式選別段において生成物流は、組み込まれた振動コンベヤーの溝を介して個別化され、かつシュートを介して自由落下し、長さ、面積、体積、形、形態および色の任意の組み合わせにおける１つ以上のパラメータに従って分級を行う１つ（以上）のＣＣＤ色配列型カメラを通過する。破片のパラメータ認識のために、代替的に従来技術に公知の全ての電子センサー技術が使用されうる。測定値は上位に置かれた制御装置および調節装置に伝達され、かつ例えばマイクロプロセッサーによって評価される。その際、生成物流からの破片を排出させるかまたは通過させるかどうかは、解決策において規定された選別基準との比較によって決定される。有利には、排出は圧縮空気パルスによって行われ、その際、圧力は、この解決策により、上位に置かれた制御部において調整可能である。その際、例えば画像認識装置下に配置されたバルブブロックを介して分離チャネル（圧縮空気ブロック）が制御され、かつ粒度に依存する、配分された圧縮空気パルスがかけられる。通過流および放出流(Abweisstrom)はその後、別々に連行され、次の光電子式選別段に供給される。代替的に、排出は水圧的または機械的に行ってもよい。意想外にも、長さに関してそのつどより小さい画分が吐出される場合、この画分はより高い粒子数を有するにも関わらず、より高い選別精度が達成されることが確かめられた。つまり従来技術からは、選別精度は放出成分の増大とともに低下すること、すなわち粒子数に関して“より小さい”画分における吐出（水力／機械的な除去）が、破片のより正確な分離をもたらすことが予想されうる。しかし意想外にも、長さ、または破片の面積分離に関して逆の運転方式により破片のより正確な分離が得られる。」 ここで、「生成物流は、組み込まれた振動コンベヤーの溝を介して個別化され、かつシュートを介して自由落下し、」との記載（【００３９】）に照らせば、多結晶シリコンは、振動コンベヤーの次にシュートによって運搬されるのであるから、振動コンベヤーは当然に、そのどこかに多結晶シリコンを振動コンベヤーからシュートへと移行させる部分（以下「移行部」という。）を有するといえる。 したがって、甲１には、次の発明（以下、「甲１発明１」、「甲１発明２」という。）が記載されていると認められる。 （甲１発明１） 「多結晶シリコンをシュートへ移行させる移行部を有する振動コンベヤーであって、前記多結晶シリコンを運搬して前記移行部から前記多結晶シリコンをシュートへ移行させる前記振動コンベヤーと、 シュートを介して自由落下して通過する多結晶シリコンのパラメータを測定する１つ以上のＣＣＤ色配列型カメラと、 前記ＣＣＤ色配列型カメラによる前記多結晶シリコンの測定されたパラメータに基づき、前記振動コンベヤーの運搬速度を調整する制御部と、を備える多結晶シリコンを運搬する装置。」 （甲１発明２） 「多結晶シリコンをシュートへ移行させる移行部を有する振動コンベヤーにより、前記多結晶シリコンを運搬して前記移行部から前記多結晶シリコンをシュートへ移行させる行程と、 シュートを介して自由落下して通過する多結晶シリコンのパラメータを測定する行程と、 前記多結晶シリコンのパラメータを測定する行程で測定されたパラメータに基づき、前記振動コンベヤーの運搬速度を調整する行程と、を含む多結晶シリコンを運搬する方法。」 （２）甲２について 甲２には、以下の事項が記載されている。 「【請求項１】 容器内又は台上に置かれた１以上の多結晶シリコン塊の表面にレーザ光を照射するとともに、前記多結晶シリコン塊が置かれた容器又は台を移動させるか、又はレーザ光を移動させることにより、前記多結晶シリコン塊の表面に付着又は吸着した異物を除去する多結晶シリコン塊のクリーニング方法。」 「【技術分野】 【０００１】 本発明は、半導体の原料として使用される多結晶シリコン塊をクリーニングする方法に関する。更に詳しくは、レーザ光を用いて多結晶シリコン塊の表面をクリーニングする方法に関するものである。」 「【００２２】 ＜第１の実施形態＞ 図１に示すように、本実施形態のレーザクリーニング装置１０は、加工ヘッド１１と本体制御部１２を備える。本体制御部１２は、レーザ発振器１３と、加工ヘッド１１及びレーザ発振器１３を制御する制御部１４を備える。加工ヘッド１１には、レーザ発振器１３からパルス発振されたレーザ光を反射する反射ミラーが取付けられた軸を回転制御するガルバノスキャナー（図示せず）が内蔵されている。 【００２３】 レーザクリーニング装置１０の下方には、上部が開口した容器１が置かれ、その容器１内に被クリーニング物として、複数個（図１では６個）の多結晶シリコン塊２が重ならないように置かれている。これらの多結晶シリコン塊２の表面には、図２に示すように、異物４が付着している。異物としては、有機物等の肉眼で見えない不純物が例示される。図２において、図１と同じ要素には同じ符号を付している。なお、多結晶シリコン塊が置かれる容器１の代わりに、図３及び図４に示すように、表面が平坦な台５でもよい。容器１又は台５の材質は、石英又はシリコンの他に、樹脂や紙等であってもよい。」 「【００２５】 レーザクリーニング装置１０のレーザ光の強度は、５００ｋJ／ｍ２以下が好ましい。レーザ光の照射によるシリコン塊の表面温度が瞬間的に３００℃～６００℃に上昇することによって不純物の揮発が生じていると考えられ、パルス幅の短いレーザ光を使用すれば、加熱領域が限定されるため、このレーザ光の強度は１ｋJ／ｍ２程度であっても不純物除去の効果を期待することができる。 シリコン塊は不定形の破砕物であり、レーザ光をシリコン塊の全表面に均一かつ完全に照射することは事実上困難である。シリコン塊表面の不純物を除去するため、このレーザ光をシリコン塊に照射する面積は、シリコン塊の表面積の少なくとも８０％以上であることが好ましい。９５％以上であることが更に好ましい。このためには、例えば、石英ガラスのようなレーザ光を透過する台上にシリコン塊を重なりがないように並べて上下両面からレーザ光を照射する方法などが挙げられる。 【００２６】 このような構成のレーザクリーニング装置１０では、加工ヘッド１１内のガルバノスキャナーで反射されたレーザ光３を、ガルバノスキャナー内の軸を回転制御することにより、図１のＹ軸方向に走査し、走査直線６を形成することが好ましい。本実施形態のクリーニング方法では、図１に示すように複数個（図１では２個）の多結晶シリコン塊２のＹ軸方向全体に、この走査直線６が及ぶように、レーザ光３が照射される。この走査直線６を形成しながら、加工ヘッド１１を走査直線６に直交する図１のＸ軸方向に移動させて、複数個すべて（図１では６個）の多結晶シリコン塊２の表面をレーザクリーニングする。加工ヘッド１１をＸ軸方向に往復移動させたり、また容器内の多結晶シリコン塊２を引っ繰り返して、レーザ光３の走査直線６による照射を繰り返し行ってもよい。 【００２７】 レーザ光３の走査直線６のＸ軸方向の移動により、図２に示すように、多結晶シリコン塊２の表面に付着又は吸着している異物４がレーザ光３を吸収して蒸発するか、又はプラズマ７による衝撃圧力を受けて、多結晶シリコン塊２の表面から除去される。」 「【図１】 ［図：0001433106000001.jpg］ 」 ここで、甲２の［００２３］には、「レーザクリーニング装置１０の下方には、上部が開口した容器１が置かれ」と記載されていることから、容器の上方にレーザークリーニング装置１０があると認められる。 したがって、甲２には、次の技術的事項が記載されていると認められる。 「容器内又は台上に置かれた１以上の多結晶シリコン塊の表面にレーザ光を照射するとともに、前記多結晶シリコン塊が置かれた容器又は台を移動させるか、又はレーザ光を移動させることにより、前記多結晶シリコン塊の表面に付着又は吸着した異物を除去する多結晶シリコン塊のクリーニング方法。」 （３）甲３について 甲３には、以下の事項が記載されている。 「【０００１】 【発明の属する技術分野】 本発明は、搬送トレイに載置された苺等の果実等の立体状の被検査体を複数方向から同時に撮像できる画像認識装置の構成に関するものである。」 「【０００４】 【発明が解決しようとする課題】 しかしながら、各先行技術では、１台のカラービデオカメラで被検査体を一度に一方向からのみ撮像できるだけであるから、例えば、被検査体の上面の画像データのほか、被検査体の下面の画像データを得るには、被検査体を反転装置で１８０度反転させてから再度撮像する必要があるため、一つの被検査体を判定するために時間が掛かり、作業能率が悪いという問題と、反転装置を必要とするから装置が高価になると共に、例えば苺等のように熟した被検査体の表面が柔らかくデリケートであるものを反転させていると、そのこと自体で被検査体の表面が崩れる等、品質の劣化を招くという問題もあった。 【０００５】 本発明は、これらの従来技術の問題点を解決すべくなされたものであって、透明な搬送トレイに載置したままで被検査体を複数の方向から同時に撮像できて、被検査体を傷つけないようにすると共に判定作業を迅速にできる画像認識装置を提供することを目的とするものである。」 「【００１２】 図１に示すように、画像認識装置５は、先端にレンズ部７を備えた複数本の光ファイバ６とこの複数の光ファイバ６の基端部を束ねた接続部６ａを介して接続される単一のカラービデオカメラ等のカメラ部８とを有する撮像手段９と、この撮像手段９により得られた撮像画面データを処理するコンピュータ等の画像処理装置１０と、カラーＣＲＴディスプレイ又はＴＦＴ液晶、ＥＬ液晶、ＦＥＤ液晶等のカラー液晶ディスプレイ等のカラー表示装置１１と、判別結果の出力装置１２とを備える。 【００１３】 また、判定部Ａには、ここで一旦停止させたフリーパン３のＩＤチップから識別信号を読取るための読取り部１５と、前記搬送トレイ２を移送ライン４の上面から適宜寸法だけ浮揚させるための浮揚手段２０とが配置されている。」 「【００１６】 この構成により、苺１は搬送トレイ２に１個ずつ載置され、その搬送トレイ２はフリーパン３上に載せられて移送ライン４によって移送される。判定部Ａでフリーパン３が一旦停止するまでは、前記第１アクチュエータ２３を作動させて前記一対の半円弧状の先端部２２ａ，２２ａの間隔が搬送トレイ２の外周より広い間隔に拡げられ、且つ第２アクチュエータ２７の作動により、一対の先端部２２ａ，２２ａが前記搬送トレイ２上の苺１よりも上の位置に保持されている。これにより、フリーパン３と搬送トレイ２並びに被検査体である苺１はアーム２２及び先端部２２ａ，２２ａと干渉しない。 【００１７】 フリーパン３が停止した後、前記第２アクチュエータ２７を作動させて、前記一対の先端部２２ａ，２２ａがフリーパン３の上面と搬送トレイ２の空気溜め部２ａとの上下隙間に位置するように下降させた後、第１アクチュエータ２３を作動させて、一対の先端部２２ａ，２２ａの間隔を狭めて、当該一対の先端部２２ａ，２２ａを搬送トレイ２の空気溜め部２ａの下方に位置させる。この状態で、前記供給部２５から圧縮空気を一対の筒状のアーム２２、２２に送り、両先端部２２ａ，２２ａのノズル２４から圧縮空気を噴射させると、その空気が空気溜め部２ａで受けられ、苺１を載せた搬送トレイ２が適宜高さまで浮揚する。 【００１８】 この浮揚状態の搬送トレイ２の上面及び下面に対して撮像手段９を接近させて、当該搬送トレイ２に載置された苺１の複数の箇所を同時に撮像して、被検査体である苺の大きさ、や品質（等級）を判定するのである。 【００１９】 この場合、撮像手段９の実施形態としての前記各光ファイバ６は可撓性を有するものであるので、少なくとも各光ファイバ６の先端部から中途部までをワイヤ状の支持体１３にてらせん状に巻回して支持させ、被検査体である苺１の表面の複数の箇所を例えば左右、前後、斜め上下（もしくは真上と真下）の箇所から撮像できるように配置する（図２、図４及び図５参照）。」 「【００２１】 前記複数の光ファイバ６により撮像した撮像画面データを一つの表示装置１１の画面に一度に表示するように構成する。図示実施形態では、６本の光ファイバが配置されているので、表示装置１１には６画面が一度（同時）に表示される。 【００２２】 被検査体としての立体状の苺１の品質（等級）を判定するには、その被検査体の大きさと、表面の熟した色（赤み）の度合いと、その色の分布面積の大小等を判別するために、前記６本の光ファイバ６により得られた６つの撮像画面データから判定するものであり、前記画像処理装置１０に予めインストールされた判定基準のためのソフト（アプリケーションプログラム）により、判定を実行する。また、前記表示装置１１を観察する作業者の目視によって判定を実行しても良い。 【００２３】 前記撮像手段９による被検査体の撮像作業が終了すると、前記作動装置１４を作動させて、光ファイバ６が搬送トレイ２の下面側から離れたのち上昇させると共に搬送トレイ２の上面側で苺１の表面に接近していた光ファイバ６も離れて上昇させて、全ての光ファイバ６が搬送トレイ２及びフリーパン３の移動に邪魔ならない位置に保持される。この後、ノズル２４からの圧縮空気の噴射を停止させて、搬送トレイ２の浮揚を解除し、当該搬送トレイ２がフリーパン３に載置された後に、前記第１アクチュエータ２３を作動させて、前記一対の筒状のアーム２２、２２の間隔を拡げ、両先端部２２ａ，２２ａを搬送トレイ２の空気溜め部２ａより外周に位置させる。その後第２アクチュエータ２７を作動させて、搬送トレイ２上の苺１よりも上方まで両先端部２２ａ，２２ａが来るように両アーム２２、２２を上昇させて位置保持する。この後、移送ライン４を作動させてフリーパン３を移送させる。 【００２４】 これらの、アーム２２、２２の作動、圧縮空気の噴射、光ファイバ６の移動、撮像手段９による撮像等の動作を、移送ライン４でのフリーパン３の移動、停止に同期させて一連のシーケンス制御で実行して良い。 【００２５】 なお、判定結果は、フリーパン３のＩＤチップの識別番号ごとに記憶され、搬送ラインの搬送下流側に設けた図示しない選別装置に前記出力装置１２に信号を送り、選別装置ではフリーパンのＩＤチップを読み取って、級別の選別ラインに所定のフリーパンが搬送されるようして選別できるのである。」 「【図２】 ［図：0001433106000002.jpg］ 」 また、図２より撮像手段９として用いられる光ファイバ６は複数方向から撮像することが看取される。 したがって、甲３には、次の技術的事項が記載されていると認められる。 「苺１を搬送して前記苺１を選別ラインに搬送する移送ライン４と、前記移送ライン４上において前記苺１を左右、前後、斜め上下から撮像する先端にレンズ部７を備えた複数本の光ファイバ６とこの複数の光ファイバ６の基端部を束ねた接続部６ａを介して接続される単一のカラービデオカメラ等のカメラ部８とを有する撮像手段９を備え、判定部Ａでフリーパン３を停止させ、前記苺１を載せた搬送トレイ２を適宜高さまで浮揚させ、前記搬送トレイ２の上面及び下面に対して前記撮像手段９を接近させて、被検査体である前記苺１の表面の複数の箇所を例えば左右、前後、斜め上下の箇所から撮像させて、前記苺１の品質（等級）を判定し、前記撮像手段９による被検査体の撮像作業が終了すると前記移送ライン４を作動させて前記フリーパン３を移送させるシーケンス制御を実行する前記苺１を搬送する装置。」 （４）甲４について 甲４には、以下の事項が記載されている。 「【請求項１】 リング部を下側に袋部を上側にした姿勢でスキン状のゴム製品を振動によって移送するゴム製品供給装置において、 前記ゴム製品供給装置の移送路の下流側に僅かの間隙をあけて前記移送路と直交する搬送プレートが設けられており、前記移送路の下流端部にはゴム製品の移送を一時的に停止させるための昇降可能な第１ストッパーピンが上流側に、同じく昇降可能な第２ストッパーピンが下流側に設けられ、前記搬送プレートには前記移送路に整合する位置にある時に前記移送路から送り込まれるゴム製品を保持して前記搬送プレート上を往動し、ゴム製品を排出した後に復動する搬送枠が設けられると共に、前記第２ストッパーピンによるゴム製品の停止箇所におけるゴム製品の有無を検知するための第１光センサと、前記搬送枠が前記移送路に整合する位置にある時にゴム製品の有無を検知するための第２光センサとが設けられており、 前記第２光センサによって前記移送路に整合する位置にある前記搬送枠内にゴム製品の存在しないことが確認されると、前記第２ストッパーピンが上昇され停止されていたゴム製品が前記搬送枠内へ送り込まれた後、前記第２ストッパーピンは下降され、次いで第１光センサによって前記第２ストッパーピンによる停止位置にゴム製品の存在しないことが確認されると、前記第１ストッパーピンが上昇され停止されていたゴム製品が移送されて前記第２ストッパーピンに停止され、続いて前記第１ストッパーピンが下降されて後続するゴム製品が停止され、一方、前記搬送枠内へ送り込まれたゴム製品は前記搬送プレート上を往動する前記搬送枠と共に搬送されて所定位置へ落下され、次いで前記搬送枠は前記移送路に整合する位置へ復動するサイクルが繰り返されることにより、ゴム製品が１個ずつ供給されることを特徴とするゴム製品供給装置。」 「【０００１】 【発明の属する技術分野】 本発明はゴム製品の供給装置に関するものであり、更に詳しくはスキン状のゴム製品を個送する供給装置に関するものである。」 「【０００５】 【発明が解決しようとする課題】 本発明は上述の問題に鑑みてなされ、スキン状の薄くて柔軟なゴム製品が重ならずに相接して単列に並ぶプールされた状態から１個ずつ取り出して的確に所定の位置へ排出し得るゴム製品供給装置を提供することを課題とする。」 「【０００７】 図１０を参照して、ゴム製品Ｓは移送路としての、移送方向へ向かって下向き７度の傾斜角度とされた直線振動パーツフィーダ７０のトラフ８４を移送されてくるが、トラフ８４の下流端部にはゴム製品Ｓを一時的に停止させるために昇降可能とされた第１ストッパピン１１１が上流側に、移送方向と直交して並列する２本の第２ストッパピン１２１が下流側に設けられている。また図１０、図１１も参照して、トラフ８４の下流端には僅かの間隙Ｇをあけて直交する方向に搬送プレート１０１が搬送方向に向かって下向き２０度の傾斜角度に固定されており、下に開いたコ字形状でトラフ８４の移送幅と同一の内法幅を有し、搬送プレート１０１上での搬送方向への摺動を可能とされた搬送枠１３１が設置されている。なお、トラフ８４も搬送プレート１０１と整合されて側方へ傾斜されている。 【０００８】 また、図１１に示すように、トラフ８４には第２ストッパピン１２１による停止位置におけるゴム製品Ｓの有無を検知するための第１光センサ８８が設置され、図８に示すように、搬送プレート１０１には搬送枠１３１がトラフ８４と整合する位置にある場合に搬送枠１３１内におけるゴム製品Ｓの有無を検知するための第２光センサ１３８が設置されている。」 「【００２３】 また、図１１を参照して、第２ストッパーピン１２１によるゴム製品Ｓの停止位置におけるゴム製品Ｓの有無を光線の遮断の有無によって検知するための第１光センサ８８の発光素子８８ａと受光素子８８ｂとが、トラフ８４の両側壁８３を貫通する孔８９を光路とし、トラフ８４を挟んで取り付けられている。更には、第２ストッパーピン１１２による停止位置からゴム製品Ｓを取出し部１００の取出し枠１３１内へ送り込むための空気を噴出させる空気噴出孔８６が両側壁８３に設けられている。空気噴出孔８６は両側壁８３の外側から内側へトラフ８４と２５度の傾斜角度で設けられており、ゴム製品Ｓのリング部Ｒが両側壁８３と接触する部分に向けて空気を噴出させる。それぞれの空気噴出孔８６には圧縮空気配管８７が挿入されている。 【００２４】 直線振動フィーダ７０のトラフ８４の下流端には取出し部１００が設置されている。図２を参照して、架台８に対し支柱７と共に固定されているアーム６に吊り部材５を介して取出し部１００が固定されている。すなわち、吊り部材５に搬送プレート１０１が固定され、この搬送プレート１０１上に取出し部１００の各構成要素が取り付けられている。図８、図１０、図１１を参照して、搬送プレート１０１はトラフ８４の下流端と僅かの間隙Ｇをあけて直交する方向に、かつ下流側へ向かって下向き２０度の傾斜角度で設置されている。」 「【００２７】 また、図１１を参照して、搬送プレート１０１のトラフ８４と反対側には搬送枠１３１のガイド板１０８が取り付けられており、ガイド板１０８と対向して、トラフ８４の下流端部にはガイドブロック１０９が取り付けられているが、何れもポリアセタール樹脂で作製されている。更には、図８に示すように、搬送枠１３１とガイド板１０８との間において、ゴム製品Ｓが搬送枠１３１からはみ出す部分の存在によって光線が遮断されることを利用する第２光センサ１３８の発光素子１３８ａと受光素子１３８ｂとがベースプレート１０１を貫通するに孔１３９を光路とし、発光素子１３８ａは搬送プレート１０１の底面の取付け部材１２９に、受光素子１３８ｂは取付け部材１３７の上端部に取り付けられている。 【００２８】 そして、図９は図８と同様な正面図であるが、図８、図９を参照して、搬送枠１３１は空圧シリンダ１３３と空圧シリンダ１３５とによって、トラフ８４からのゴム製品Ｓが送り込まれる位置、すなわち、トラフ８４と整合する位置ａ（一点鎖線）、搬送プレート１０１上を摺動してその下流端をほぼ越えて移動され、ゴム製品Ｓを直下のチェイン・コンベヤ２上のバケット３へ落下させる位置ｂ（実線）、位置ｂから上昇される位置ｃ（一点鎖線）、位置ｃから同じ高さで復動される位置ｄ（実線）、そして位置ｄから位置ａ（一点鎖線）へ戻される経路を移動するサイクルを繰り返すようになっている。なお、搬送枠１３１を位置ｂから直上方のｃ位置へ上昇させているが、この上昇によってゴム製品Ｓが搬送枠１３１から容易に、かつ確実に脱落する。そして、後述する作用の項で説明するようにこの搬送枠１３１と、上述の第１ストッパーピン１１１、第２ストッパーピン１２１とは、第１光センサ８８、第２光センサ１３８からのゴム製品Ｓの有無の信号が入力される図示しないコントローラによって制御されており、それらは連動されシーケンス的に作動する。」 「【００３５】 一方、第２光センサ１３８によって位置ａにある取出し枠１３１内にゴム製品Ｓ１が送り込まれたことの信号が入力されると、コントローラは空圧シリンダ１３３を作動させてゴム製品Ｓ１が内在する状態の搬送枠１３１を位置ａから位置ｂまで搬送プレート１０１上を摺動させる。位置ｂにおいて搬送プレート１０１は欠落されているのでゴム製品Ｓ１は下方へ落下する。位置ｂにおいて空圧シリンダ１３５が作動されて搬送枠１３１をｃ位置まで上昇させる。この上昇によってゴム製品Ｓ１がひっかかり気味であっても容易に確実に脱落する。次いで空圧シリンダ１３５は停止され、空圧シリンダ１３３が作動されて搬送枠１３１はｄ位置まで戻されて最初の状態となる。このようなサイクルが繰り返されることにより、ゴム製品Ｓは直線振動フィーダ７０のトラフ８４の下流端から取出し部１００を経てチェイン・コンベヤ２上のバケット３へ１個ずつ供給される。そして、そのゴム製品Ｓの供給速度は１分間当り６０個となっている。従って３台のゴム製品供給装置によって１８０個／分の供給が行なわれる。」 したがって、甲４には、次の技術的事項が記載されていると認められる。 「移送路の下流側に僅かの間隙をあけて前記移送路と直交する搬送プレート１０１が設けられており、前記移送路の下流端部にはゴム製品の移送を一時的に停止させるための昇降可能な第１ストッパーピン１１１が上流側に、同じく昇降可能な第２ストッパーピン１２１が下流側に設けられ、前記搬送プレート１０１には前記移送路に整合する位置にある時に前記移送路から送り込まれるゴム製品Ｓ１を保持して前記搬送プレート１０１上を往動し、ゴム製品Ｓ１を排出した後に復動する搬送枠１３１が設けられると共に、前記第２ストッパーピン１２１によるゴム製品Ｓ１の停止箇所におけるゴム製品Ｓ１の有無を検知するための第１光センサ８８と、前記搬送枠１３１が前記移送路に整合する位置にある時にゴム製品Ｓ１の有無を検知するための第２光センサ１３８とが設けられ、搬送枠１３１と、上述の第１ストッパーピン１１１、第２ストッパーピン１２１とは、第１光センサ８８、第２光センサ１３８からのゴム製品Ｓの有無の信号が入力される図示しないコントローラによって制御されており、それらは連動されシーケンス的に作動するゴム製品供給装置」 （５）甲５について 甲５には、以下の事項が記載されている。 「【技術分野】 【０００１】 本発明は、物品を供給先に供給する物品供給装置及びそれを備える計量システムに関し、更に詳しくは、物品の供給が人手によって行われる半自動式の組合せ秤への物品の供給に好適な物品供給装置及びそれを備えた計量システムに関する。」 「【０００９】 高速な計量処理を行うためには、半自動式の組合せ秤から物品の供給要求があった場合に、その要求から半自動式の組合せ秤の物品投入口へ物品を供給するまでに要する時間を短縮する必要がある。 【００１０】 そのためには、物品をベルトコンベヤによって搬送する場合には、その速度を高速にすることが考えられるが、ベルトコンベヤの速度を高速にするだけでは、物品を、半自動式の組合せ秤の物品投入口に確実に投入できない場合がある。 【００１１】 本発明は、このような点に着目してなされたものであって、供給先に、物品を確実に供給できると共に、供給に要する時間を可及的に短縮することを目的とする。」 「【００３５】 図１は、本発明の一実施形態に係る計量システムの全体構成を示す斜視図、図２はその平面図、図３はその側面図である。この実施形態の計量システムは、物品供給を行う物品供給装置１と、従来では、物品の供給が人手によって行われていた半自動式の組合せ秤２とを備えている。 【００３６】 この計量システムは、半自動式の組合せ秤２に対して、物品供給装置１によって物品を、自動で供給するものであり、全体として、物品の供給及び排出を自動で行う、自動式の組合せ秤と称することもできる。 【００３７】 この実施形態では、単体重量が比較的大きく不定形で、機械によるハンドリングが難しい粘着性を有する物品、例えば、ブロイラー（肉用鶏）を解体したモモ肉あるいはムネ肉といったブロック状の肉片を計量対象としている。 【００３８】 この実施形態の計量システムは、ブロイラーの解体ラインの計量工程に好適なシステムである。 【００３９】 物品供給装置１は、水平に配備した前段搬送機構３と、その搬送径路の複数箇所、この例では３箇所に配備した物品排出機構４と、各物品排出機構４にそれぞれ対応する３台の分配搬送機構５と、各分配搬送機構５に対応して複数台ずつ、この例では３台ずつ並列配備した搬送コンベヤとしての投入コンベヤ６とを備えている。」 「【００５６】 図５は、半自動式の組合せ秤２の概略側面図である。」 「【００６１】 計量ホッパ４１の下方には、計量ホッパ４１から排出された物品を受けて搬送する集合コンベヤ４３が配設されている。この集合コンベヤ４３によって搬送された物品は、図示しない包装機へ供給される。包装機では、所定重量範囲となる物品を真空包装する。 【００６２】 組合せ秤２の制御部は、物品を保持している計量ホッパ４１の各収納室４１－１、４１－２内の物品の重量を種々組合せた合計重量である組合せ重量が、所定重量範囲内となる収納室４１－１、４１－２の組合せを１つ選択する組合せ演算を行い、選択された収納室４１－１、４１－２の物品を、集合コンベヤ４３へ排出する。 【００６３】 上記のような構成を有する本実施形態の計量システムでは、前段搬送機構３の搬送方向の上手側である始端部に供給された物品ｗは、物品排出機構４によって搬送方向の３箇所から排出されて夫々の分配搬送機構５に送り込まれる。各分配搬送機構５に送り込まれた物品ｗは、更に３箇所に分配されて投入コンベヤ６に送り込まれ、都合、９台の投入コンベヤ６によって分配搬送された物品ｗが、組合せ秤２の各物品投入口２５に供給される。なお、３台の物品排出機構４を通過して前段搬送機構３の終端に至った物品ｗは、搬出されて回収容器などに回収され、適時、人手によって再び前段搬送機構３の始端部に供給される。 【００６４】 上記のような物品の供給においては、各箇所における物品ｗの有無、及び、組合せ秤２の各物品投入口２５、各投入コンベヤ６、各分配搬送機構５、物品排出機構４での物品の要求状況に応じて、各物品排出機構４、各分配搬送機構５、及び、各投入コンベヤ６が制御されることになる。 【００６５】 図６は、物品ｗを検知する物品検知センサの設置状態の一例を示す図２に対応する概略平面図である。 【００６６】 この実施形態の各物品検知センサＳａ（１）～Ｓａ（３），Ｓｂ（１）～Ｓｂ（３），Ｓｃ（１）～Ｓｃ（３），Ｓｄ（１）～Ｓｄ（３），Ｓｅ（１）～Ｓｅ（９），Ｓｆ（１）～Ｓｆ（９）は、例えば、投光器と受光器を備える透過形の光電センサであり、対向配置された投光器と受光器の間の検知領域を通過する物品ｗを検知して検知出力を与える。」 「【００７２】 この実施形態の計量システムは、全体を制御する制御装置として、プログラマブルコントローラ（以下、「ＰＬＣ」と略記する）２７を備えている。 【００７３】 このＰＬＣ２７には、操作表示端末であるプログラマブル表示器２９が接続されており、このプログラマブル表示器２９では、前段搬送機構３や旋回コンベヤ１４の搬送の速度及び投入コンベヤ６の搬送の速度等の各種の設定操作及び各種の表示が行われる。 【００７４】 また、ＰＬＣ２７には、半自動式の組合せ秤２の制御部２８から９個の各物品投入口２５への物品の供給をそれぞれ要求するときに、物品の供給要求としての投入要求信号（１）～（９）がそれぞれ入力されると共に、上記の各物品検知センサＳａ（１）～Ｓａ（３），Ｓｂ（１）～Ｓｂ（３），Ｓｃ（１）～Ｓｃ（３），Ｓｄ（１）～Ｓｄ（３），Ｓｅ（１）～Ｓｅ（９），Ｓｆ（１）～Ｓｆ（９）の検知出力が入力される。 【００７５】 ＰＬＣ２７は、前段搬送機構３を、前段搬送機構駆動制御回路３０を介して制御し、物品排出機構４の各ガイド部材８を、ガイド部材駆動回路３１を介して制御する。また、ＰＬＣ２７は、各分配搬送機構５の各旋回コンベヤ１４を、旋回コンベヤ駆動制御回路３２及び旋回コンベヤ旋回駆動制御回路３３を介して制御し、各投入コンベヤ６を、投入コンベヤ駆動制御回路３４を介して制御する。 【００７６】 ＰＬＣ２７及び投入コンベヤ駆動制御回路３４は、各投入コンベヤの駆動を制御する制御部を構成する。」 「【００８５】 後段終端物品検知センサＳｆ（１）～Ｓｆ（９）で物品が検知され、投入コンベヤ６の終端部に物品がある待機状態で、半自動式の組合せ秤２から物品の投入要求信号の入力があると、投入コンベヤ６を一定時間駆動して、投入コンベヤ６の終端部にある物品を、基本的には１個ずつ半自動式の組合せ秤２の物品投入口２５へ供給する。なお、一定時間の駆動に代えて、後段終端物品検知センサＳｆ（１）～Ｓｆ（９）で物品が検知されなくなるまで、駆動してもよい。 【００８６】 上記ステップＳ４の分配搬送機構の制御では、投入コンベヤ６の始端部に物品が無くなれば、すなわち、後段始端物品検知センサＳｅ（１）～Ｓｅ（９）で物品が検知されなくなると、投入コンベヤ６の始端部に物品を直ちに供給できるように、分配搬送機構５の旋回コンベヤ１４の終端部に物品を搬送しておくものである。」 したがって、甲５には、次の技術的事項が記載されていると認められる。 「ブロイラーが搬出される分配搬送機構５を有し、ブロイラーを搬送して前記ブロイラーを組合せ秤２に搬出する投入コンベヤ６と、 前記分配搬送機構５の検知領域において前記ブロイラーを検知する後段終端物品検知センサＳｆと、 前記後段終端物品検知センサＳｆ（１）～Ｓｆ（９）で物品が検知され、投入コンベヤ６の終端部に物品がある待機状態で、半自動式の組合せ秤２から物品の投入要求信号の入力があると、投入コンベヤ６を一定時間駆動を制御する制御部と、を備えるブロイラーを搬送する装置。」 （６）甲６について 甲６には、以下の事項が記載されている。 「【請求項１】 ポリシリコンを機械的に分級するためのスクリーンプラント用のスクリーン板（１）であって、 ポリシリコンの供給領域（２）と、山部（３２）と谷部（３１）とを有する凹凸領域（３）と、前記谷部（３１）から続くスロット（４１）を有する領域（４）と、引取り領域（５）とを備え、前記スロット（４１）は、前記引取り領域（５）に向かう方向に大きくなる、スクリーン板。」 「【請求項９】 スクリーンプラントを用いてポリシリコンを機械的に分級する方法であって、前記ポリシリコンは、請求項１に記載のスクリーン板（１）の上に供給され、前記スクリーン板（１）は、前記ポリシリコンが前記引取り領域（５）に向かう方向に移動するような振動に設定されており、小粒径のポリシリコンは、前記スクリーン板（１）の前記谷部（３１）に集まって前記スクリーン板（１）の前記スロット（４１）から落ち、このように前記ポリシリコン・フィードから分離される、方法。」 「【技術分野】 【０００１】 本発明は、ポリシリコンを機械的に分級するためのスクリーンプラント用のスクリーン板を提供する。 【背景技術】 【０００２】 多結晶シリコン（略して、ポリシリコン）は、半導体用の単結晶シリコンをチョクラルスキー（ＣＺ）法またはゾーンメルト（ＦＺ）法によって製造するための出発材料になり、太陽光発電セクター用に太陽電池を製造するための単結晶または多結晶シリコンを各種引き上げ法および鋳造法によって製造するための出発材料にもなる。」 「【０００４】 ほとんどの用途の場合、このように製造された多結晶シリコンロッドは、小さい塊に破砕されて、通常は、その後、大きさに従って分級される。粉砕した後、通常、スクリーニング機を用いて多結晶シリコンを異なる大きさの部類に選別／分級する。」 「【発明を実施するための形態】 【００５９】 スクリーン板１は、ポリシリコンの供給が実施される供給領域２を含む。ポリシリコンは、たとえば、搬送路によって、スクリーンプラントに搬送されてスクリーン板１の供給領域２に送られ得る。 【００６０】 スクリーン板１は、さらに、凹凸領域３を含む。この凹凸領域３は、凹凸領域３が谷部３１と山部３２とを有するように、フルート溝もしくは溝、または別の種類のくぼみを設ける。 【００６１】 ポリシリコンに存在する微粉分級物は、凹凸領域３上でポリシリコンが移動する間に、凹凸領域３の谷部３１に集まる。 【００６２】 スクリーン板１は、凹凸領域３から続くスロット４１を有する領域４を含む。スロット４１は、凹凸領域３の谷部３１の（搬送方向の）すぐ下流側に配置されている。その結果、凹凸領域３の谷部３１に存在するポリシリコンの微粉分級物は、領域４のスロット４１に選択的に渡される。 【００６３】 スクリーン板１の全体が凹凸になるように凹凸領域３の山部３２も領域４に続いているが領域４は谷部３１ではなくスロット４１を有していることが好ましい。 【００６４】 微粉分級物の除去は、スクリーン板１のスロット４１によってこのように実施される。除去された微粉分級物は、たとえば、スクリーン板１のスロット４１の下に配置された収容容器に受けられ得る。 【００６５】 より大きな塊は、凹凸領域の山部３２を超え、引取り領域５に渡される。 スロット４１は、搬送方向に広がっている。これによって、開口部／スロットの目詰まりを効果的に回避できるようになることが分かっている。」 ここで、スロット４１に渡されたポリシリコン（多結晶シリコン）は収容容器に受けられるので、スロット４１から収容容器に受ける部分を有するものと認められる。 ５ 当審における判断 （１）請求項１に係る発明について 請求項１に係る発明（以下「本件発明１」という。）と甲１発明１とを対比する。 甲１発明１の「多結晶シリコン」は、本件発明１の「多結晶シリコン」に相当するから、甲１発明１の「多結晶シリコンをシュートへ移行させる」こと及び「移行部」は、それぞれ、本件発明１の「多結晶シリコンが搬出される」こと及び「搬出端部」に相当する。 甲１発明１の「運搬」、「多結晶シリコンをシュートへ移行させる」こと及び「振動コンベヤー」は、それぞれ、本件発明１の「搬送」、「前記多結晶シリコンを外部に搬出する」こと及び「搬送部」に相当する。 甲１発明１の「多結晶シリコンのパラメータを測定」することは、本件発明１の「前記多結晶シリコン」を「検知する」ことに相当するから、甲１発明１の「シュートを介して自由落下して通過する多結晶シリコンのパラメータを測定する１つ以上のＣＣＤ色配列型カメラ」と本件発明１の「前記搬送部の上において前記多結晶シリコンを複数の方向から検知する第１センサ」とは、「前記多結晶シリコンを検知する第１センサ」の点で共通する。 甲１発明１の「ＣＣＤ色配列型カメラ」は本件発明１の「第１センサ」に相当し、以下同様に、「測定されたパラメータ」は「検知結果」に、「振動コンベヤーの運搬速度を調整する」ことは「搬送部の駆動を制御する」ことに、「多結晶シリコンを運搬する装置」は「多結晶シリコンの搬送装置」に相当する。 したがって、本件発明１と甲１発明１は、以下の点で一致し、以下の点で相違する。 ［一致点］ 「多結晶シリコンが搬出される搬出端部を有し、前記多結晶シリコンを搬送して前記搬出端部から前記多結晶シリコンを外部に搬出する搬送部と、 前記多結晶シリコンを検知する第１センサと、 前記第１センサによる前記多結晶シリコンの検知結果に基づき、前記搬送部の駆動を制御する制御部と、を備えることを特徴とする多結晶シリコンの搬送装置」 ［相違点１］ 「前記多結晶シリコンを検知する第１センサ」について、本件発明１は、「前記搬送部の上において」「複数の方向から」検知するものであるのに対し、甲１発明１は「シュートを介して自由落下して通過する多結晶シリコンのパラメータを測定する１つ以上のＣＣＤ色配列型カメラ」である点。 上記相違点１について検討する。 上記４（２）に示した甲２に記載された技術的事項は、「多結晶シリコン塊の表面にレーザ光を照射」しているが、このレーザ光の照射は「前記多結晶シリコン塊の表面に付着又は吸着した異物を除去する」ことを目的として行われるものであり、そもそも、甲１発明１の「ＣＣＤ色配列型カメラ」のように「多結晶シリコンのパラメータを測定する」ことを目的としていない。このような目的の違いに鑑みれば、甲１発明１の「ＣＣＤ色配列型カメラ」による「多結晶シリコンのパラメータの測定」に対して、甲２に記載された技術的事項のレーザー光照射に係る事項を適用する動機付けがあるといえない。また、甲２に記載された技術的事項は、「前記多結晶シリコン塊の表面に付着又は吸着した異物を除去する」ものなのであって、多結晶シリコンのパラメータを測定するという課題を解決するための均等物にはなり得ないから、甲１発明１に甲２に記載された技術的事項を適用することが当業者の通常の創作能力の発揮であるともいえない。 上記４（３）に示した上記甲３に記載された技術的事項は、「前記苺１を載せた搬送トレイ２を適宜高さまで浮揚させ、前記搬送トレイ２の上面及び下面に対して前記撮像手段９を接近させて、被検査体である前記苺１の表面の複数の箇所を例えば左右、前後、斜め上下の箇所から撮像させて、前記苺１の品質（等級）を判定」するものであって、そもそも、甲１発明１とは、被検知物の品目、被検知物の搬送態様及び検知項目が異なるから、甲１発明１に甲３に記載された技術的事項を適用する動機付けがあるといえない。また、甲３に記載された技術的事項は、「苺１の品質（等級）を判定」するものなのであって、多結晶シリコンのパラメータを測定するという課題を解決するための均等物にはなり得ないから、甲１発明１に甲３に記載された技術的事項を適用することが当業者の通常の創作能力の発揮であるともいえない。 上記４（４）に示した上記甲４に記載された技術的事項は、「前記第２ストッパーピン１２１によるゴム製品Ｓ１の停止箇所におけるゴム製品Ｓ１の有無を検知するための第１光センサ８８と、前記搬送枠１３１が前記移送路に整合する位置にある時にゴム製品Ｓ１の有無を検知するための第２光センサ１３８とが設けられて」いるものであって、そもそも、甲１発明１とは、被検知物の品目、被検知物の搬送態様及び検知項目が異なるから、甲１発明１に甲４に記載された技術的事項を適用する動機付けがあるといえない。また、甲４に記載された技術的事項は、「ゴム製品の有無を検知する」するものなのであって、多結晶シリコンのパラメータを測定するという課題を解決するための均等物にはなり得ないから、甲１発明１に甲４に記載された技術的事項を適用することが当業者の通常の創作能力の発揮であるともいえない。 上記４（５）に示した上記甲５に記載された技術的事項は、「前記分配搬送機構５の検知領域において前記ブロイラーを検知する後段終端物品検知センサＳｆ」であって、そもそも、甲１発明１とは、被検知物の品目、被検知物の搬送態様及び検知項目が異なるから、甲１発明１に甲５に記載された技術的事項を適用する動機付けがあるといえない。また、甲５に記載された技術的事項は、「ブロイラーを検知する」するものなのであって、多結晶シリコンのパラメータを測定するという課題を解決するための均等物にはなり得ないから、甲１発明１に甲５に記載された技術的事項を適用することが当業者の通常の創作能力の発揮であるともいえない。 上記４（６）に示したとおり、甲６には、そもそもセンサに関する記載がないから、甲１発明１に甲６に記載された技術的事項を適用したとしても、相違点１に係る本件発明１の構成になり得ない。 以上のとおりであるから、本件発明１は、甲１発明１及び甲２～甲６に記載された技術的事項に基いて当業者が容易に発明することができたものではない。 （２）請求項２～５に係る発明について 本件発明２～５は、本件発明１を引用し、本件発明１の発明特定事項を全て含むところ、上記（１）に示すとおり、本件発明１は、甲１発明１及び甲２～甲６に記載された技術的事項に基いて当業者が容易に発明することができたものでない以上、請求項２～５に係る発明も、甲１発明１及び甲２～６に記載された技術的事項に基いて当業者が容易に発明することができたものではない。 （３）請求項７に係る発明について 請求項７に係る発明（以下「本件発明７」という。）と甲１発明２とを対比すると、 甲１発明２の「多結晶シリコン」は、本件発明７の「多結晶シリコン」に相当するから、甲１発明２の「多結晶シリコンをシュートへ移行させる移行部」は、本件発明７の「多結晶シリコンが搬出される搬出端部」に相当する。 甲１発明２の「運搬」は本件発明７の「搬送」に相当するから、甲１発明２の「前記多結晶シリコンを搬送して前記搬出端部から前記多結晶シリコンを外部に搬出する搬送工程」は、本件発明７の「前記多結晶シリコンを運搬して前記移行部から前記／多結晶シリコンをシュートへ移行させる行程」に相当する。 甲１発明２の「測定」は本件発明７の「検知」に相当するから、甲１発明２の「シュートを介して自由落下して通過する多結晶シリコンのパラメータを測定する行程」と本件発明７の「前記搬送部の上において前記多結晶シリコンを複数の方向から検知する検知工程」とは、「前記多結晶シリコンを検知する検知工程」の点で共通する。 甲１発明２の「前記振動コンベヤーの運搬速度を調整する」ことは本件発明７の「前記搬送部の駆動を制御する」ことに相当するから、甲１発明２の「多結晶シリコンのパラメータを測定する行程で測定されたパラメータに基づき、前記振動コンベヤーの運搬速度を調整する行程」と本件発明７の「前記検知工程による前記多結晶シリコンの検知結果に基づき、前記搬送部の駆動を制御する制御工程」とは、前記共通点である「前記多結晶シリコンを検知する検知工程」「による前記多結晶シリコンの検知結果に基づき、前記搬送部の駆動を制御する制御工程」の点で共通する。 甲１発明２の「多結晶シリコンを運搬する方法」は本件発明７の「多結晶シリコンの搬送方法」に相当する。 したがって、本件発明１と甲１発明２は、以下の点で一致し、以下の点で相違する。 ［一致点］ 「多結晶シリコンが搬出される搬出端部を有する搬送部により、前記多結晶シリコンを搬送して前記搬出端部から前記多結晶シリコンを外部に搬出する搬送工程と、 前記多結晶シリコンを検知する検知工程と、 前記検知工程による前記多結晶シリコンの検知結果に基づき、前記搬送部の駆動を制御する制御工程と、を含むことを特徴とする多結晶シリコンの搬送方法。」 ［相違点２］ 「前記多結晶シリコンを検知する検知工程」について、本件発明１は、「前記搬送部の上において前記多結晶シリコンを複数の方向から検知する検知工程」であるのに対し、甲１発明２は「シュートを介して自由落下して通過する多結晶シリコンのパラメータを測定する工程」であるため、「前記搬送部の駆動を制御する制御工程」で参照する「検知結果」も相違する点。 上記相違点２について検討する。 相違点２に係る「前記搬送部の上において前記多結晶シリコンを複数の方向から検知する」に係る点については、上記（１）で検討したとおりであるから、甲１発明２を相違点２に係る本件発明７の工程とすることは、当業者が容易に想到し得たことではない。 したがって、本件発明７は、甲１発明２及び甲２～甲６に記載された技術的事項に基いて当業者が容易に発明することができたものではない。 （４）申立人の主張について 申立人は、「甲第１号証には、検知する方向についての記載はないが、不定形の破砕物である多結晶シリコン（甲第２号証の［００２５］の記載参照。）のようなものをセンサで検知する際に複数の方向から撮像（検知）することは甲第３号証に記載されているように公知、あるいは周知ともいえる事項である。 したがって、センサが多結晶シリコンを複数の方向から検知することは当業者が容易になし得ることにすぎない。」と主張している（特許異議申立書第１４ページ）。 しかしながら、甲２～６については、上記（１）で検討したとおりであり、また、甲１発明１及び甲１発明２に適用可能な態様であるものとして、搬送部の上で複数の方向から検知するセンサが周知であることを示す証拠は提示されていない。 よって、申立人の主張は採用できない。 ６ むすび したがって、特許異議の申立ての理由及び証拠によっては、請求項１～５及び７に係る特許を取り消すことはできない。 また、他に請求項１～５及び７に係る特許を取り消すべき理由を発見しない。 よって、結論のとおり決定する。