2023-700644

特許第７１９２５１３号発明「管理装置」の特許異議申立事件について、次のとおり決定する。

結 論 特許第７１９２５１３号の特許請求の範囲を訂正請求書に添付された訂正特許請求の範囲のとおり、訂正後の請求項〔１～４〕について訂正することを認める。 特許第７１９２５１３号の請求項１～４に係る特許を維持する。

理 由 第１ 手続の経緯 特許第７１９２５１３号の請求項１～４に係る特許についての出願は、平成３１年 １月１７日を出願日とする出願であり、令和 ４年１２月１２日にその特許権の設定登録がされ、同年同月２０日に特許掲載公報が発行され、その後、令和 ５年 ６月１９日に、その請求項１～４に係る特許を対象として、特許異議申立人黒崎惇子（以下、「申立人」という。）により、特許異議の申立てがなされ、同年 ９月 ５日付けで取消理由が通知され、その指定期間内である令和 ５年１１月 ９日に特許権者より意見書の提出及び訂正の請求があり、これに対し、同年１２月２１日に申立人より意見書の提出があったものである。 第２ 訂正の適否 １ 訂正の内容 上記令和 ５年１１月 ９日に請求された訂正の請求（以下、この訂正を「本件訂正」という。）の趣旨は、本件特許請求の範囲を、訂正請求書に添付した訂正特許請求の範囲のとおり、訂正後の請求項１～４について訂正することを求めるものであって、その具体的な訂正事項である訂正事項１は次のとおりである。（下線は訂正箇所を示す。） 特許請求の範囲の請求項１の 「排水装置から排出される排水に係る排水データを取得する排水データ取得部と、 前記排水を処理する排水処理装置の処理に係る処理データを取得する処理データ取得部と、 前記排水データ及び前記処理データの少なくとも一方に基づいて、前記排水装置を制御する第１制御処理及び前記排水処理装置を制御する第２制御処理の一方又は両方を実行する制御部と、を備え、 前記排水装置は、複数設けられ、 前記排水処理装置は、複数の前記排水装置から排出された前記排水を処理し、 前記排水データ取得部は、複数の前記排水装置から前記排水データを取得する、 管理装置。」 との記載を 「排水装置から排出される排水に係る排水データを取得する排水データ取得部と、 前記排水を処理する排水処理装置の処理に係る処理データを取得する処理データ取得部と、 前記排水データ及び前記処理データの少なくとも一方に基づいて、前記排水装置を制御する第１制御処理及び前記排水処理装置を制御する第２制御処理の一方又は両方を実行する制御部と、を備え、 前記排水装置は、複数設けられ、 前記排水処理装置は、複数の前記排水装置から排出された前記排水を処理し、 前記排水データ取得部は、複数の前記排水装置から前記排水データを取得し、 前記制御部は、 少なくとも複数の前記排水装置の少なくとも一部の前記排水データに基づいて、複数の前記排水装置の少なくとも一部の排水量及び排水タイミングの一方又は両方、 少なくとも前記処理データに基づいて、複数の前記排水装置の少なくとも一部の排水量及び排水タイミングの一方又は両方、 少なくとも複数の前記排水装置の少なくとも一部の前記排水データに基づいて、前記排水処理装置の処理能力及び処理タイミングの一方又は両方 の少なくとも一つを制御する 管理装置。」 に訂正する。 （請求項１を直接又は間接的に引用する請求項２～４についても同様に訂正する。） ２ 訂正の目的の適否、新規事項の有無及び特許請求の範囲の拡張・変更の在否 （１）目的の適否、特許請求の範囲の拡張・変更の在否 訂正事項１は、制御部が実行する処理の組み合わせについて、「少なくとも複数の前記排水装置の少なくとも一部の前記排水データに基づいて、複数の前記排水装置の少なくとも一部の排水量及び排水タイミングの一方又は両方、少なくとも前記処理データに基づいて、複数の前記排水装置の少なくとも一部の排水量及び排水タイミングの一方又は両方、少なくとも複数の前記排水装置の少なくとも一部の前記排水データに基づいて、前記排水処理装置の処理能力及び処理タイミングの一方又は両方の少なくとも一つ」に限定する訂正であるから、特許法第１２０条の５第２項ただし書第１号に掲げる「特許請求の範囲の減縮」を目的とするものである。 そして、上記訂正は特許請求の範囲の減縮を行う訂正であるので、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではない。 （２）新規事項の有無 願書に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面（以下「本件特許明細書等」という。）の明細書【００６８】～【００７０】に「制御部１０３は、排水データ取得部１０１により取得された排水データＤＡ１及び処理データ取得部１０２により取得された処理データＤＡ２の少なくとも一方に基づいて、ボイラ２を制御する第１制御処理及び排水処理装置３を制御する第２制御処理の一方又は両方を実行する。制御部１０３は、第１制御処理において、ボイラ２の運転状態を制御させる管理指令ＭＤ１を出力する。制御部１０３は、第２制御処理において、排水処理装置３の運転状態を制御させる管理指令ＭＤ２を出力する。・・・制御部１０３は、第１制御処理において、排水量Ｆｄ、排水タイミングＰｄ、及び排水温度Ｔｄの少なくとも一つを制御する管理指令ＭＤ１を出力する。・・・制御部１０３は、第２制御処理において、処理能力Ａｐ、及び処理タイミングＰｐの少なくとも一つを制御する管理指令ＭＤ２を出力する。」との記載が、【０１４６】に「管理装置１０の排水データ取得部１０１は、複数のボイラ２から排水データＤＡ１を取得する。制御部１０３は、複数のボイラ２のそれぞれの排水量Ｆｄ及び排水タイミングＰｄの一方又は両方を制御する。なお、制御部１０３は、複数のボイラ２のうち一部のボイラ２の排水量Ｆｄ及び排水タイミングＰｄの一方又は両方を制御してもよい。」との記載があることから、訂正事項１は、本件特許明細書等に記載した事項の範囲内においてしたものである。 ３ 小括 本件訂正は、特許法第１２０条の５第４項の規定に従い、一群の請求項を構成する請求項〔１～４〕について訂正することを求めるものであるところ、上記２に記載のとおり、本件訂正は、特許法第１２０条の５第２項ただし書第１号に掲げる事項を目的とするものに該当し、且つ、同条第９項において読み替えて準用する同法第１２６条第５項及び第６項の規定に適合するものであるから、訂正後の請求項〔１～４〕について訂正することを認める。 第３ 本件発明 上記第２のとおり、本件訂正は容認し得るものであるから、異議申立ての対象である本件訂正後の請求項１～４に係る発明（以下、各請求項に係る発明及び特許を項番に対応させて「本件発明１」、「本件特許１」などといい、併せて「本件発明」、「本件特許」ということがある。）は、それぞれ、その特許請求の範囲の請求項１～４に記載された事項により特定される次のとおりのものである。 「【請求項１】 排水装置から排出される排水に係る排水データを取得する排水データ取得部と、 前記排水を処理する排水処理装置の処理に係る処理データを取得する処理データ取得部と、 前記排水データ及び前記処理データの少なくとも一方に基づいて、前記排水装置を制御する第１制御処理及び前記排水処理装置を制御する第２制御処理の一方又は両方を実行する制御部と、を備え、 前記排水装置は、複数設けられ、 前記排水処理装置は、複数の前記排水装置から排出された前記排水を処理し、 前記排水データ取得部は、複数の前記排水装置から前記排水データを取得し、 前記制御部は、 少なくとも複数の前記排水装置の少なくとも一部の前記排水データに基づいて、複数の前記排水装置の少なくとも一部の排水量及び排水タイミングの一方又は両方、 少なくとも前記処理データに基づいて、複数の前記排水装置の少なくとも一部の排水量及び排水タイミングの一方又は両方、 少なくとも複数の前記排水装置の少なくとも一部の前記排水データに基づいて、前記排水処理装置の処理能力及び処理タイミングの一方又は両方 の少なくとも一つを制御する 管理装置。 【請求項２】 前記制御部は、前記第１制御処理において、前記排水装置の排水量、排水タイミング、及び排水温度の少なくとも一つを制御する、 請求項１に記載の管理装置。 【請求項３】 前記制御部は、前記第２制御処理において、前記排水処理装置の処理能力、及び処理タイミングの少なくとも一つを制御する、 請求項１又は請求項２に記載の管理装置。 【請求項４】 前記制御部は、複数の前記排水装置の少なくとも一部の排水量及び排水タイミングの一方又は両方を制御する、 請求項１から請求項３のいずれか一項に記載の管理装置。」 第４ 特許異議の申立て理由の概要、及び、令和 ５年 ９月 ５日付けで通知した取消理由 １ 特許異議の申立理由の概要 （１）特許法第２９条第１項第３号所定の規定違反（新規性欠如）（申立理由１） ア 訂正前の請求項１～４に係る発明は、下記に記載の甲第１号証に記載された発明であって、特許法第２９条第１項第３号に該当するから、その特許は、特許法第２９条第１項第３号の規定に違反してされたものである。 イ 訂正前の請求項１～４に係る発明は、下記に記載の甲第２号証に記載された発明であって、特許法第２９条第１項第３号に該当するから、その特許は、特許法第２９条第１項第３号の規定に違反してされたものである。 （２）特許法第２９条第２項所定の規定違反（進歩性欠如）（申立理由２） ア 訂正前の請求項１～４に係る発明は、下記に記載の甲第１号証に記載された発明に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、その特許は、特許法第２９条第２項の規定に違反してされたものである。 イ 訂正前の請求項１～４に係る発明は、下記に記載の甲第２号証に記載された発明に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、その特許は、特許法第２９条第２項の規定に違反してされたものである。 ウ 訂正前の請求項１～４に係る発明は、下記に記載の甲第３号証に記載された発明及び甲第４号証に記載される技術的事項に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、その特許は、特許法第２９条第２項の規定に違反してされたものである。 （３）特許法第３６条第４項第１号所定の規定違反（実施可能要件違反）（申立理由３） 訂正前の請求項１～４に係る発明は、後記第５の２（１）の点で発明の詳細な説明の記載が不備のため、その特許は、特許法第３６条第４項第１号に規定する要件を満たしていない特許出願に対してされたものである。 （４）特許法第３６条第６項第１号所定の規定違反（サポート要件違反）（申立理由４） 訂正前の請求項１～４に係る発明は、後記第５の３（１）アの点で特許請求の範囲の記載が不備のため、その特許は、特許法第３６条第６項第１号に規定する要件を満たしていない特許出願に対してされたものである。 ２ 令和 ５年 ９月 ５日付けで通知した取消理由 （１）特許法第３６条第６項第１号所定の規定違反（サポート要件違反）（取消理由１） 訂正前の請求項１～４に係る発明は、後記第５の３（１）イの点で特許請求の範囲の記載が不備のため、その特許は、特許法第３６条第６項第１号に規定する要件を満たしていない特許出願に対してされたものである。 記 甲第１号証：特開２００１－２６９８６８号公報 甲第２号証：特開平１０－５０６５５号公報 甲第３号証：特開２００６－１９２３８６号公報 甲第４号証：特開２０１８－３５９６２号公報 （以下、甲第１号証を略して、「甲１」などという。） 第５ 当審の判断 当審は、申立理由１～４及び取消理由１のいずれにも理由がないと判断する。 以下、その理由について詳述する。 １ 申立理由１（新規性欠如）及び申立理由２（進歩性欠如）について （１）甲１～４に記載の事項（「・・・」は省略を表す。下線は当審にて付与した。） ア 甲１に記載の事項 （ア）「【請求項１】 純水を使用する純水使用装置から排出される純水を回収・再生し、再生した純水を純水使用装置に供給する純水回収・再生・供給装置であって、 純水再生装置を具備し、同一の工程で使用する純水使用装置から排出される純水を回収し、該回収した純水を前記純水再生装置で不純物を除去して再生し、該再生した純水を再生純水供給ラインを通して前記同一の工程で使用する純水使用装置に供給するように構成したことを特徴とする純水回収・再生・供給装置。 ・・・ 【請求項４】 請求項１に記載の純水回収・再生・供給装置において、 前記純水使用装置から排出される純水を回収する回収ラインと排水する排水ラインに切り替えて流す切替バルブを具備し、該純水使用装置から排出される純水の状態により、該純水を前記回収ラインと排水ラインに振り分けるように構成したことを特徴とする純水回収・再生・供給装置。」 （イ）「【０００１】 【発明の属する技術分野】本発明は半導体ウエハ等の基板を研磨する研磨装置等、純水を使用する純水使用装置から排出される純水を回収再生し、再生した純水を純水使用装置に供給する純水回収・再生・供給装置に関するものである。 【０００２】 【従来の技術】半導体デバイス製造工場では大量の純水を使用している。純水の製造には費用がかかり、使用済みの純水を排水として捨てたのではコストが嵩むので、コスト削減のため、従来から純水を使用する装置から排出された純水を回収し、再生し、再利用するための純水回収・再生設備がある。この従来の純水回収・再生設備は、全工場の全製造工程で使用される装置から排出される純水を集約して一括処理し、再生しているため下記のような問題があった。 【０００３】・異なる製造工程からの排水と混合する結果、排水に含まれている不純物が影響して副生成物が発生することがある。 ・酸やアルカリ等の種々の排液が混入するため、回収した純水の処理、再生に多くの工程を必要とする。 ・回収と再生を別装置で行うなど、処理設備の規模が大きくなる。 【０００４】また、従来の回収・再生設備では、再生した再生純水は共通の供給ラインを通して各装置に供給している。そのため、回収・再生設備から各装置毎に圧力をコントロールして再生純水を供給できないという問題があった。 【０００５】 【発明が解決しようとする課題】本発明は上述の点に鑑みてなされたもので、純水を使用する純水使用装置から回収した純水の再生処理工程が簡単で、且つ再生純水供給ライン毎に独立して圧力をコントロールして再生純水を純水使用装置に供給できる純水回収・再生・供給装置を提供することを目的とする。」 （ウ）「【００１５】図１は本発明に係る純水回収・再生・供給装置の構成例を示す図である。本純水回収・再生・供給装置は半導体ウエハ等の基板に形成されたＣｕ、Ｗ、ＳｉＯ2等の膜を研磨する半導体製造工程に関するものであり同一の膜種を研磨する工程の研磨装置から排出される純水を回収し、再生して、純水を回収した装置と同一の膜種を研磨する研磨装置に供給するものである。図１において、１０、２０はそれぞれ半導体ウエハ等の基板を研磨する研磨装置（ＣＭＰ装置）である。研磨装置１０は２つの基板研磨機構１１、１４と、２つの基板洗浄機構１２、１５、２つの基板洗浄乾燥機構１３、１６を具備し、研磨装置２０は２つの基板研磨機構２１、２４と、２つの基板洗浄機構２２、２５、２つの基板洗浄乾燥機構２３、２６を具備する。 【００１６】研磨装置１０の基板研磨機構１１、基板洗浄機構１２及び基板洗浄乾燥機構１３と、研磨装置２０の基板研磨機構２１、基板洗浄機構２２及び基板洗浄乾燥機構２３とは同一の同じ膜種を処理する製造工程Ｐｒ１に属し、該同一の製造工程Ｐｒ１に属する基板研磨機構１１、２１、基板洗浄機構１２、２２及び基板洗浄乾燥機構１３、２３から排出される純水は回収ライン３０を通して、純水回収再生装置３４に回収される。研磨装置１０、２０から排出される純水を回収ライン３０と排水ライン３１に振り分ける切替バルブＶａが設けられている。 【００１７】研磨する膜種によって再生に適さない固形物や酸・アルカリを含む研磨薬液等の異物の混入した純水が排出される場合は、その排出された純水を切替バルブＶａで排水ライン３１に導き系外へ排出する。再生に適さない回収水が回収された場合は回収装置内で酸とアルカリで中和反応が起き塩が生成されたり、固形物によって装置のメンテナンス頻度が増したりする。また、添加剤等の薬液の混入によっては研磨レートに影響をおよぼすものもある。 【００１８】再生に適した純水は、切替バルブＶａから純水回収再生装置３４に導かれる。再生に適した純水は回収ライン３０中に設けられたセンサＳ１、Ｓ２、Ｓ３で検知される。センサＳ１、Ｓ２、Ｓ３は光学式の濁度計、ｐＨ計、粒子カウンタ等を用いている。該純水回収再生装置３４では回収した純水から不純物を除去する等の再生処理を行い、再生した純水を独立した再生純水供給ライン３２、再生純水供給ライン３３を介して研磨装置１０の基板研磨機構１１、研磨装置２０の基板研磨機構２１にそれぞれ供給している。」 （エ）「【００２５】図４は純水回収再生装置３４の構成例を示す図である。純水回収再生装置３４は１次タンク４０を有し、該１次タンク４０には回収ライン３０を介して研磨装置１０及び２０から排出された純水が自然流下により回収されるようになっている。１次タンク４０にはｐＨ値を検出するｐＨセンサ４１、水位センサ４２（低水位検出用）、水位センサ４３（高水位検出用）、水位センサ４４（超高水位検出用）及び排水ライン４５が設けられている。 【００２６】５０は循環用ポンプ、５１はフィルタ、５２は紫外線照射機、５３は不純物センサ、５４は背圧弁であり、これら循環用ポンプ５０、フィルタ５１、紫外線照射機５２、不純物センサ５３及び背圧弁５４は循環ライン５５で接続され、１次タンク４０の回収純水Ｗ２が循環する循環濾過系を構成する。フィルタ５１の上流側と下流側の循環ライン５５には圧力計５６、５７が接続され、フィルタ５１の流入側と流出側の圧力差を検出することができるようになっている。 【００２７】上記フィルタ５１で不純物が除去された純水は再生純水ライン５８を通って再生純水タンク５９に送られるようになっている。再生純水ライン５８には圧力計６０及び逆洗ライン６２が接続され、流量計６１が挿入接続されている。 ・・・ 【００３０】また、この循環する回収純水Ｗ２中の不純物濃度を不純物センサ５３で監視し、該不純物濃度が所定値を越えた場合、弁Ｖ１を開き弁Ｖ２を閉じて排水ライン４６を通して排水する。なお、不純物センサ５３は純水の比抵抗を測定する比抵抗計や純水中のパーティクルをカウントするパーティクルカウンタで構成する。」 （オ）「【図１】 ［図：0001411312000001.jpg］ 」 （カ）「【図４】 ［図：0001411312000002.jpg］ 」 イ 甲２に記載の事項 （ア）「【請求項１】 複数の半導体装置の製造装置より排出される排水を流す複数の枝配管と、これらの枝配管からの排水を集めて回収水槽に導入する主配管と、最下流の前記枝配管の接続部より下流側の前記主配管に接続され排水を排水処理装置へ送る転送配管と、前記主配管と前記転送配管との接続部の上流側に設けられ排水の汚染度を検出するセンサと、前記転送配管の接続部に設けられ前記センサからの信号により排水の流れを切り替える切替弁とを含むことを特徴とする回収排水の転送装置。」 （イ）「【０００１】 【発明の属する技術分野】本発明は、半導体装置の製造工場、特に超純水（以下単に純水という）を大量に使用する半導体装置の製造装置にて使用された水を、再度純水に精製する超純水再生工程か、又は処理後放流する排水処理工程へ転送する為の回収排水の転送装置および転送方法に関するものである。 ・・・ 【０００３】 【発明が解決しようとする課題】・・・従って、複数の製造装置のうち１台でも（この場合装置１Ｂが該当する）不純物を多く含む排水を排出すると、回収水槽全体の水質を悪化させ、他の装置（この場合装置１Ａ，１Ｃ…が該当する）からの排水も含めて排水処理工程へ転送されてしまい、再利用率が低下してしまうという問題点がある。 ・・・ 【０００６】本発明の目的は、半導体装置の製造工程で用いられる純水の再利用率を高めることのできる回収排水の転送装置及び転送方法を提供することにある。」 （ウ）「【００２２】図４を参照すると、複数の製造装置ａ，ｂ，ｃは下流側にセンサ６ａと連動して作動する切替弁７ａを有する枝配管２Ａに接続されており、この切替弁７ａには転送配管５Ｂが接続され排水を排水処理工程へ送るように構成されている。製造装置ｄ，ｅ，ｆ及びｇ，ｈ，ｉも同様にセンサ６ｂ，６ｃと連動する切替弁７ｂ，７ｃ及び転送配管５Ｂが接続された枝配管２Ｂ及び２Ｃにそれぞれ接続されている。そしてこれらの枝配管２Ａ～２Ｃは第２の実施の形態と同様に、複数のセンサ６Ａ～６Ｃと切替弁７を有する主配管３に接続されている。 【００２３】このように構成された第３の実施の形態によれば、汚染水を排出する多くの製造装置ａ～ｉの接続された枝配管、２Ａ～２Ｃにおいて、各センサ６ａ～６ｃで排水の回収が不可と判断された場合は切替弁７ａ～７ｃにより流路を転送配管５Ｂに切替え、排水を排水処理工程へ流すようできる。従って汚染水が主配管３に流出される割合が少なくなる為、回収水槽４に送られる排水の再利用率を高めることができる。尚、回収水槽４中の回収水８の水質が基準値より低い場合は、従来例と同様に、切替弁７Ａにより排水処理工程へ送くことができるように構成されている。 【００２４】 【発明の効果】以上説明したように本発明は、枝配管より排水を集める主配管の下流部にセンサと切替弁を設け、センサにより排水の汚染度を検出してその信号により切替弁を制御することにより、汚染度の高い排水を直接転送配管により排水処理工程へ送り、汚染度の低い排水のみを回収水槽に集めることができる為、排水の回収率を大幅に向上させることができる。 【００２５】更に各枝配管の接続部近傍にセンサを設けることにより、汚染された排水を流す製造装置を特定できる為、排水の回収率を向上させることができると共に、製造装置のトラブル等の対応も迅速に実施できる。」 （エ）「【図４】 ［図：0001411312000003.jpg］ 」 ウ 甲３に記載の事項 （ア）「【請求項１】 複数台のボイラから供給されるボイラ排ガスのボイラ排水への吸引混合手段を備えた中和装置であって、 前記各ボイラから前記吸引混合手段へのボイラ排ガスの排ガス供給経路ごとに、それぞれ排ガス安定供給バルブを設けたことを特徴とする中和装置。 【請求項２】 前記各排ガス安定供給バルブは、対応する前記各ボイラのボイラ燃料供給バルブの作動信号に基づいてそれぞれ作動することを特徴とする請求項１に記載の中和装置。 【発明の詳細な説明】 【技術分野】 【０００１】 この発明は、アルカリ性のボイラ排水をボイラ排ガスにより中和する装置に関するものである。 【背景技術】 【０００２】 給水を加熱して蒸気を発生させる蒸気ボイラ缶体内の缶水は、給水中に含まれている炭酸水素イオンや炭酸イオンが熱分解して水酸化物イオンが生成し、この水酸化物イオンの濃縮により次第にアルカリ性が強くなる。また、前記蒸気ボイラの運転を続けると、缶水が過度に濃縮してキャリーオーバーなどの不都合が生じるため、適正な缶水濃度を維持するように、定期的に所定割合の缶水を前記蒸気ボイラから排出する必要がある。この操作は、通常、濃縮ブローと呼ばれている。さらに、前記蒸気ボイラを所定時間稼働させた後には、前記缶体の底部に沈殿したいわゆる釜泥（スラッジ）を除去するため、缶水を全て排出しながら洗い流す必要がある。この操作は、通常、全ブローと呼ばれている。 【０００３】 前記のような濃縮ブローや全ブローによるボイラ排水を放流する際には、条例などで定められた排水基準に適合するように、冷却や中和といった排水処理を行う必要がある。ボイラ排水の中和方法としては、たとえば塩酸等の酸性薬品をボイラ排水へ添加する方法があるが、この方法は、薬品の取扱いが危険である。一方、薬品を用いない中和方法としては、炭酸ガスをボイラ排水へ混合する方法があるが、この方法は、一般に炭酸ガスをボンベから供給するため、ボンベの残量確認や交換など管理が煩雑になりやすい。 【０００４】 そこで、炭酸ガスをボンベから供給する代わりに、ボイラ排ガスに含まれる炭酸ガスを利用し、中和を行う中和装置が特許文献１に開示されている。この中和装置では、前記蒸気ボイラからのボイラ排ガスをポンプで吸引してボイラ排水へ混合している。 ・・・ 【０００５】 ここで、前記蒸気ボイラが複数台設置されている場合においては、常に全てが運転状態にあるとは限らない。前記各蒸気ボイラのうち、燃焼中と停止中のものが存在する場合、前記ポンプは、燃焼中の蒸気ボイラからは、ボイラ排ガスを吸引するものの、停止中の蒸気ボイラからは、ボイラ排ガスの代わりにエアを吸引する。このため、前記各蒸気ボイラの運転状態により、前記ポンプによって吸引されるボイラ排ガス中の炭酸ガス濃度が変動し、ボイラ排水の中和を安定して行うことが困難であった。 【０００６】 この発明が解決しようとする課題は、安定したボイラ排水の中和を行うことができる中和装置を実現することにある。」 （イ）「【００２０】 以下、この発明の具体的実施例を図面に基づいて詳細に説明する。 図１は、この発明を実施する中和装置の構成を示す概略的な説明図である。 図１において、中和装置１は、３台の蒸気ボイラ２，３，４からのアルカリ性のブロー排水（以下、「ボイラ排水」と云う。）をボイラ排ガスに含まれる炭酸ガスにより中和し、排水基準に適合した処理水として排出するものである。 【００２１】 前記中和装置１は、前記各蒸気ボイラ２，３，４からそれぞれボイラ排水を供給する排水経路５と、ボイラ排水の貯留槽６とを備えている。さらに、前記中和装置１は、前記各蒸気ボイラ２，３，４からそれぞれ中和に使用するボイラ排ガスを供給する排ガス供給経路７，８，９を備えている。すなわち、前記排ガス供給経路７は、前記蒸気ボイラ２からボイラ排ガスを供給し、また前記排ガス供給経路８は、前記蒸気ボイラ３からボイラ排ガスを供給し、さらに前記排ガス供給経路９は、前記蒸気ボイラ４からボイラ排ガスを供給するものである。 【００２２】 前記各蒸気ボイラ２，３，４は、それぞれ燃料を燃焼させた排ガスを屋外へ排出する排気筒１０を備えている。そして、これらの各排気筒１０には、排ガスの一部を取り出すように、前記各排ガス供給経路７，８，９がそれぞれ接続されている。また、前記各排ガス供給経路７，８，９は、下流側で合流経路（符号省略）を形成し、この合流経路が後述するエゼクタに接続されている。 【００２３】 前記各排ガス供給経路７，８，９には、それぞれ排ガス安定供給バルブ１１，１２，１３が設けられている。これらの排ガス安定供給バルブ１１，１２，１３は、前記各蒸気ボイラ２，３，４の運転状態に応じて開閉制御される。具体的には、前記各排ガス安定供給バルブ１１，１２，１３は、対応する前記各蒸気ボイラ２，３，４が燃焼中のとき、開状態となり、また停止中のとき、閉状態となる。ここにおいて、前記各蒸気ボイラ２，３，４の燃焼と停止は、これらに備えられたボイラ燃料供給バルブ（図示省略）の作動信号に基づいて判別される。すなわち、前記各ボイラ燃料供給バルブのいずれかを開状態とする作動信号のとき、前記各排ガス安定供給バルブ１１，１２，１３のうち、対応するいずれかが開状態となるように制御する。一方、前記各ボイラ燃料供給バルブのいずれかを閉状態とする作動信号のとき、前記各排ガス安定供給バルブ１１，１２，１３のうち、対応するいずれかが閉状態となるように制御する。 【００２４】 前記貯留槽６には、貯留されたボイラ排水を循環させる循環経路１４の両端部がそれぞれ接続されており、この循環経路１４には、上流側から順に循環ポンプ１５，冷却手段１６，エゼクタ１７がそれぞれ直列配置されている。 ・・・ 【００２８】 前記貯留槽６には、貯留されたボイラ排水の水温およびｐＨを検出するための温度センサ２９とｐＨセンサ３０とがそれぞれ設けられている。また、前記貯留槽６の底部には、中和および冷却されたボイラ排水，すなわち処理水を系外へ排出する処理水排出経路３１が接続されており、この処理水排出経路３１には排出バルブ３２が設けられている。 ・・・ 【００３０】 つぎに、前記中和装置１の作用について説明する。前記各蒸気ボイラ２，３，４からのボイラ排水は、前記排水経路５を介して前記貯留槽６内に貯留される。この貯留されたボイラ排水は、前記制御部の指令に基づく前記循環ポンプ１５の駆動により、前記循環経路１４を循環する。そして、ボイラ排水は、前記循環経路１４において、冷却されるとともに中和される。 ・・・ 【００３３】 ところで、この実施例では、前記温度センサ２９で検出されたボイラ排水の水温に基づき、前記冷却手段１６による冷却を前記制御部で制御している。また、前記ｐＨセンサ３０で検出されたボイラ排水のｐＨに基づき、前記エゼクタ１７（すなわち、前記吸引混合手段）による中和を前記制御部で制御している。 【００３４】 まず、前記冷却手段１６による冷却の制御について具体的に説明する。前記温度センサ２９で検出されるボイラ排水の水温が、排水基準で定められた所定値を超えているとき、前記制御部は、前記冷却水供給バルブ２３を開状態とする。この結果、前記冷却手段１６へは、前記冷却水供給経路２２を介して冷却水が供給され、ボイラ排水が継続的に冷却される。一方、前記温度センサ２９で検出されるボイラ排水の水温が、排水基準で定められた所定値以下になったとき、前記制御部は、前記冷却水供給バルブ２３を閉状態とする。この結果、前記冷却手段１６に対する冷却水の供給が遮断され、ボイラ排水の冷却が停止される。 【００３５】 つぎに、前記エゼクタ１７による中和の制御について具体的に説明する。前記ｐＨセンサ３０で検出されるボイラ排水のｐＨが、排水基準で定められた所定値を超えているとき、前記制御部は、前記排ガス供給バルブ２７を開状態とするとともに、前記エアバルブ２８を閉状態とする。この結果、前記エゼクタ１７が前記各排ガス供給経路７，８，９を介してボイラ排ガスを吸引可能となり、ボイラ排水が継続的に中和される。一方、前記ｐＨセンサ３０で検出されるボイラ排水のｐＨが、排水基準で定められた所定値以下になったとき、前記制御部は、前記排ガス供給バルブ２７を閉状態とするとともに、前記エアバルブ２８を開状態とする。この結果、前記エゼクタ１７へは外気が吸引され、ボイラ排水の中和が停止される。このように、ボイラ排ガスを供給しないときに、外気を吸入させると、前記エゼクタ１７内で発生する圧力変動に起因する振動が抑制される。 【００３６】 以上のように、前記貯留槽６内のボイラ排水が前記循環経路１４を循環しながら、排水基準で定められた水温とｐＨになるまで、冷却の制御と中和の制御がそれぞれ個別に行われる。そして、前記貯留槽６内のボイラ排水が排水基準に適合した水温とｐＨになったとき、前記制御部は、前記排出バルブ３２を開状態にし、前記処理水排出経路３１を介してボイラ排水を系外へ排出する。」 （ウ）「【図１】 ［図：0001411312000004.jpg］ 」 エ 甲４に記載の事項 （ア）「【０００１】 本発明は、ボイラの水管内に発生するスラッジなどを排出するため、定期的にボイラ底部からボイラ水を全て排出する全ブローを実施しており、ボイラ内から排出したブロー水は中和装置にて中和処理後に系外へ排出するようにしている全ブロー実施ボイラに関するものである。 ・・・ 【０００７】 本発明が解決しようとする課題は、ブロー水タンクの大型化を防ぎつつ中和装置に高温の全ブロー水が送られることを防止することのできる全ブロー実施ボイラを提供することにある。」 （イ）「【００１６】 このボイラは、一方から水を供給し、他方からは蒸気のみを取り出すものであるため、ボイラ給水中に含まれていた不純物はボイラ内部で濃縮する。そのため、ボイラ水が過濃縮することを防止するための濃縮ブローを行っており、さらにボイラ水中に含まれている溶解固形物が濃縮することで缶底部に堆積するスラッジを排出するための全ブローを行う。 【００１７】 最も濃縮しているボイラ水は、気水分離器で分離したボイラ水であるため、気水分離器８に濃縮ブロー配管９を接続し、濃縮ブロー配管９には濃縮水ブロー弁３を設置しておく。ボイラ水の水質を検出するセンサーによってのボイラ水の濃縮度算出や、ボイラ給水の水質と給水量から演算することによってのボイラ水の濃縮度算出を行い、一定度の濃縮を維持するように濃縮ブローを実施する。濃縮ブローを実施する場合には濃縮水ブロー弁３を開き、濃縮ブロー水は濃縮ブロー配管９を通じて排出する。 【００１８】 全ブローはボイラの缶底部から排出する。缶底部からのスラッジを排出する全ブロー配管１０は、ボイラ１の底部に接続しておき、全ブロー配管１０の途中に全ブロー弁２を設置しておく。全ブロー弁２を開くと全ブロー配管１０を通してボイラ水が排出される。 【００１９】 ボイラ水は薬品を注入して高いアルカリ性に調節しているため、排水規制に対応する必要がある場合には中和することが必要であり、その場合には中和装置５を設置しておく。中和装置５としては、炭酸ガスボンベから供給する炭酸ガスとアルカリ性のブロー水をミキサーによって混合することによって中和するものが知られている。濃縮ブロー配管９と全ブロー配管１０は中和装置５に接続しておき、濃縮ブロー配管９からの濃縮ブロー水と、全ブロー配管１０からの全ブロー水は、中和装置５に送るようにしておく。 【００２０】 ボイラの運転制御は運転制御装置１１によって行う。運転制御装置１１は水位検出装置１２、給水ポンプ１３、薬注ポンプ４、濃縮水ブロー弁３、全ブロー弁２、燃焼装置７などと接続しており、全ブロー弁２など各機器の作動を制御する。濃縮ブローはボイラでの燃焼を行いながら実施するが、ボイラ水を全て排出する全ブローの場合はボイラの燃焼運転を停止しなければ行えないため、一般的には１日の操業が終わった後など、運転の必要が無くなってから行う。 【００２１】 また、図３に記載しているように複数台のボイラを並列に設置している多缶設置としておいて、燃焼の必要がない予備缶を設置している場合には、全ブロー時期となったボイラを台数制御の対象から外すことで、すぐに全ブローを実施させるようにしてもよい。図３の場合、３台のボイラ１と、各ボイラに対して燃焼指令の出力を行う台数制御装置１４を設置しておき、台数制御装置１４は各ボイラで発生した蒸気を集合させる蒸気ヘッダにおける蒸気圧力値に基づいて各ボイラの燃焼量を決定し、各ボイラに対して必要な燃焼量の燃焼指令を出力するようにしている。この場合、燃焼を行う台数制御対象ボイラは２台とし、１台は予備缶として台数制御対象ボイラから外しておくとしていれば、全ブロー時期になったボイラは台数制御対象から外して予備缶とし、それまで予備缶としていたボイラを台数制御対象ボイラとして燃焼運転をさせる。このようにすることで全ブロー時期となったボイラはすぐに全ブローを行うことができる。」 （ウ）「【図３】 ［図：0001411312000005.jpg］ 」 （２）甲１～３に記載された発明 ア 甲１に記載された発明 （ア）甲１には、請求項１を引用する請求項４として、以下の純水回収・再生・供給装置が記載されている。 「純水を使用する純水使用装置から排出される純水を回収・再生し、再生した純水を純水使用装置に供給する純水回収・再生・供給装置であって、 純水再生装置を具備し、同一の工程で使用する純水使用装置から排出される純水を回収し、該回収した純水を前記純水再生装置で不純物を除去して再生し、該再生した純水を再生純水供給ラインを通して前記同一の工程で使用する純水使用装置に供給するように構成し、 前記純水使用装置から排出される純水を回収する回収ラインと排水する排水ラインに切り替えて流す切替バルブを具備し、該純水使用装置から排出される純水の状態により、該純水を前記回収ラインと排水ラインに振り分けるように構成したことを特徴とする純水回収・再生・供給装置」 （イ）上記（１）ア（ウ）に摘記した【００１８】には「再生に適した純水は、切替バルブＶａから純水回収再生装置３４に導かれる。再生に適した純水は回収ライン３０中に設けられたセンサＳ１、Ｓ２、Ｓ３で検知される。センサＳ１、Ｓ２、Ｓ３は光学式の濁度計、ｐＨ計、粒子カウンタ等を用いている。」との記載があることから、上記（ア）の「純水の状態」は、具体的には、「光学式の濁度計、ｐＨ計、粒子カウンタ等」からなる「センサＳ１、Ｓ２、Ｓ３」で計測していることがわかる。 （ウ）上記（１）ア（エ）で摘記した【００２５】の「図４は純水回収再生装置３４の構成例を示す図である。純水回収再生装置３４は１次タンク４０を有し、該１次タンク４０には回収ライン３０を介して研磨装置１０及び２０から排出された純水が自然流下により回収されるようになっている。１次タンク４０にはｐＨ値を検出するｐＨセンサ４１、水位センサ４２（低水位検出用）、水位センサ４３（高水位検出用）、水位センサ４４（超高水位検出用）及び排水ライン４５が設けられている。」との記載、【００２６】の「５０は循環用ポンプ、５１はフィルタ、５２は紫外線照射機、５３は不純物センサ、５４は背圧弁であり、これら循環用ポンプ５０、フィルタ５１、紫外線照射機５２、不純物センサ５３及び背圧弁５４は循環ライン５５で接続され、１次タンク４０の回収純水Ｗ２が循環する循環濾過系を構成する。」との記載、【００２７】の「上記フィルタ５１で不純物が除去された純水は再生純水ライン５８を通って再生純水タンク５９に送られるようになっている。」との記載、【００３０】の「この循環する回収純水Ｗ２中の不純物濃度を不純物センサ５３で監視し、該不純物濃度が所定値を越えた場合、弁Ｖ１を開き弁Ｖ２を閉じて排水ライン４６を通して排水する。」との記載からは、上記（ア）の「純水再生装置」が、「回収ライン３０を介して研磨装置１０及び２０から排出された純水が自然流下により回収される」「１次タンク４０」と、「１次タンク４０に」設けられる「ｐＨ値を検出するｐＨセンサ４１、水位センサ４２（低水位検出用）、水位センサ４３（高水位検出用）、水位センサ４４（超高水位検出用）及び排水ライン４５」と、「循環用ポンプ」と、「フィルタ」と、「紫外線照射機」と、「不純物センサ」と、「背圧弁」と、を備え、「１次タンク４０の回収純水Ｗ２」が「循環用ポンプ」、「フィルタ」、「紫外線照射機」、「不純物センサ」、「背圧弁」を「循環」し、「フィルタ５１で不純物が除去された純水は再生純水ライン５８を通って再生純水タンク５９に送られ」、「この循環する回収純水Ｗ２中の不純物濃度を不純物センサ５３で監視し、該不純物濃度が所定値を越えた場合、弁Ｖ１を開き弁Ｖ２を閉じて排水ライン４６を通して排水する」構成を備えることがわかる。 （エ）上記（１）ア（ウ）で摘記した【００１５】の「本純水回収・再生・供給装置は半導体ウエハ等の基板に形成されたＣｕ、Ｗ、ＳｉＯ2等の膜を研磨する半導体製造工程に関するものであり同一の膜種を研磨する工程の研磨装置から排出される純水を回収し、再生して、純水を回収した装置と同一の膜種を研磨する研磨装置に供給するものである。図１において、１０、２０はそれぞれ半導体ウエハ等の基板を研磨する研磨装置（ＣＭＰ装置）である。研磨装置１０は２つの基板研磨機構１１、１４と、２つの基板洗浄機構１２、１５、２つの基板洗浄乾燥機構１３、１６を具備し、研磨装置２０は２つの基板研磨機構２１、２４と、２つの基板洗浄機構２２、２５、２つの基板洗浄乾燥機構２３、２６を具備する。」との記載、及び、【００１６】の「研磨装置１０の基板研磨機構１１、基板洗浄機構１２及び基板洗浄乾燥機構１３と、研磨装置２０の基板研磨機構２１、基板洗浄機構２２及び基板洗浄乾燥機構２３とは同一の同じ膜種を処理する製造工程Ｐｒ１に属し、該同一の製造工程Ｐｒ１に属する基板研磨機構１１、２１、基板洗浄機構１２、２２及び基板洗浄乾燥機構１３、２３から排出される純水は回収ライン３０を通して、純水回収再生装置３４に回収される。」との記載からは、上記（ア）の「純水を使用する純水使用装置」が、複数設けられ（基板研磨機構１１、１４と、基板洗浄機構１２、１５、基板洗浄乾燥機構１３、１６）、複数の「純水使用装置」から「排出される純水」が「回収ライン３０を通して、純水回収再生装置３４に回収される」ことがわかる。ここでいう「純水回収再生装置３４」は、請求項４の「純水再生装置」に対応するものである。 （オ）上記（ア）～（エ）を踏まえると、甲１には、次の発明（以下、「甲１発明」という。）が記載されているといえる。 「純水を使用する純水使用装置から排出される純水を回収・再生し、再生した純水を純水使用装置に供給する純水回収・再生・供給装置であって、 純水再生装置を具備し、同一の工程で使用する純水使用装置から排出される純水を回収し、該回収した純水を前記純水再生装置で不純物を除去して再生し、該再生した純水を再生純水供給ラインを通して前記同一の工程で使用する純水使用装置に供給するように構成し、 前記純水使用装置から排出される純水を回収する回収ラインと排水する排水ラインに切り替えて流す切替バルブを具備し、該純水使用装置から排出される純水の状態により、該純水を前記回収ラインと排水ラインに振り分け、 前記純水の状態は、光学式の濁度計、ｐＨ計、粒子カウンタ等からなるセンサＳ１、Ｓ２、Ｓ３で計測し、 前記純水再生装置は、回収ラインを介して研磨装置から排出された純水が自然流下により回収される１次タンクと、１次タンクに設けられるｐＨ値を検出するｐＨセンサ、水位センサ（低水位検出用）、水位センサ（高水位検出用）、水位センサ（超高水位検出用）及び排水ラインと、循環用ポンプと、フィルタと、紫外線照射機と、不純物センサと、背圧弁と、を備え、前記１次タンクの回収純水が循環用ポンプ、フィルタ、紫外線照射機、不純物センサ、背圧弁を循環し、フィルタで不純物が除去された純水は再生純水ラインを通って再生純水タンクに送られ、この循環する回収純水中の不純物濃度を不純物センサで監視し、該不純物濃度が所定値を越えた場合、弁Ｖ１を開き弁Ｖ２を閉じて排水ラインを通して排水し、 前記純水使用装置が複数設けられ、複数の純水使用装置から排出される純水が回収ラインを通して、純水再生装置に回収される、 純水回収・再生・供給装置。」 イ 甲２に記載された発明 （ア）甲２には、請求項１として、以下の回収排水の転送装置が記載されている。 「複数の半導体装置の製造装置より排出される排水を流す複数の枝配管と、これらの枝配管からの排水を集めて回収水槽に導入する主配管と、最下流の前記枝配管の接続部より下流側の前記主配管に接続され排水を排水処理装置へ送る転送配管と、前記主配管と前記転送配管との接続部の上流側に設けられ排水の汚染度を検出するセンサと、前記転送配管の接続部に設けられ前記センサからの信号により排水の流れを切り替える切替弁とを含むことを特徴とする回収排水の転送装置。」 （イ）上記（ア）の「回収水槽」に関し、甲２の【図４】からは、回収水槽４内の回収水８が再生工程へと送水されることが看取できる。 【図４】 ［図：0001411312000006.jpg］ （ウ）上記（ア）の「枝配管」に関し、上記（１）イ（ウ）で摘記した【００２２】には「図４を参照すると、複数の製造装置ａ，ｂ，ｃは下流側にセンサ６ａと連動して作動する切替弁７ａを有する枝配管２Ａに接続されており、この切替弁７ａには転送配管５Ｂが接続され排水を排水処理工程へ送るように構成されている。製造装置ｄ，ｅ，ｆ及びｇ，ｈ，ｉも同様にセンサ６ｂ，６ｃと連動する切替弁７ｂ，７ｃ及び転送配管５Ｂが接続された枝配管２Ｂ及び２Ｃにそれぞれ接続されている。」との記載が、続く【００２３】には「汚染水を排出する多くの製造装置ａ～ｉの接続された枝配管、２Ａ～２Ｃにおいて、各センサ６ａ～６ｃで排水の回収が不可と判断された場合は切替弁７ａ～７ｃにより流路を転送配管５Ｂに切替え、排水を排水処理工程へ流すようできる。従って汚染水が主配管３に流出される割合が少なくなる為、回収水槽４に送られる排水の再利用率を高めることができる。」との記載があることから、「複数の枝配管」２Ａ～２Ｃには、「排水」の「汚染」を検出する「センサ６ａ～６ｃ」が設けられ、「各センサ６ａ～６ｃで排水の回収が不可と判断された場合は切替弁７ａ～７ｃにより流路を転送配管５Ｂに切替え、排水を排水処理工程へ流す」制御が行なわれていることがわかる。 （エ）上記（ア）～（ウ）を踏まえると、甲２には、次の発明（以下、「甲２発明」という。）が記載されているといえる。 「複数の半導体装置の製造装置より排出される排水を流す複数の枝配管と、これらの枝配管からの排水を集めて回収水槽に導入する主配管と、最下流の前記枝配管の接続部より下流側の前記主配管に接続され排水を排水処理装置へ送る転送配管と、前記主配管と前記転送配管との接続部の上流側に設けられ排水の汚染度を検出するセンサと、前記転送配管の接続部に設けられ前記センサからの信号により排水の流れを切り替える切替弁とを含み、 前記回収水槽内の回収水が再生工程へと送水され 複数の前記枝配管には、排水の汚染を検出するセンサ６ａ～６ｃが設けられ、各センサ６ａ～６ｃで排水の回収が不可と判断された場合は切替弁により流路を転送配管に切替え、排水を排水処理工程へ流す、 回収排水の転送装置。」 ウ 甲３に記載された発明 （ア）上記（１）ウ（イ）で摘記した【００２０】には、実施例として、「中和装置１」及び「３台の蒸気ボイラ２，３，４」が記載されている。 （イ）上記（ア）の「中和装置１」に関し、上記（１）ウ（イ）で摘記した【００２１】には「各蒸気ボイラ２，３，４からそれぞれボイラ排水を供給する排水経路５と、ボイラ排水の貯留槽６とを備え」、「各蒸気ボイラ２，３，４からそれぞれ中和に使用するボイラ排ガスを供給する排ガス供給経路７，８，９を備え」る点が記載されている。 （ウ）上記（イ）の「貯留槽６」に関し、上記（１）ウ（イ）で摘記した【００２４】には「貯留槽６には、貯留されたボイラ排水を循環させる循環経路１４の両端部がそれぞれ接続されており、この循環経路１４には、上流側から順に循環ポンプ１５，冷却手段１６，エゼクタ１７がそれぞれ直列配置され」る点が、【００２８】には「貯留槽６には、貯留されたボイラ排水の水温およびｐＨを検出するための温度センサ２９とｐＨセンサ３０とがそれぞれ設けられ」、「貯留槽６の底部には、中和および冷却されたボイラ排水，すなわち処理水を系外へ排出する処理水排出経路３１が接続されており、この処理水排出経路３１には排出バルブ３２が設けられ」る点が記載されている。 （エ）さらに、上記（ア）の「中和装置１」における制御として、上記（１）ウ（イ）で摘記した【００３３】には「温度センサ２９で検出されたボイラ排水の水温に基づき、前記冷却手段１６による冷却を前記制御部で制御し」、「ｐＨセンサ３０で検出されたボイラ排水のｐＨに基づき、前記エゼクタ１７（すなわち、前記吸引混合手段）による中和を前記制御部で制御」する点が記載されている。 （オ）上記（ア）～（エ）を踏まえると、甲３には、次の発明（以下、「甲３発明」という。）が記載されているといえる。 「中和装置１及び３台の蒸気ボイラ２，３，４であって、 前記中和装置１は、各蒸気ボイラ２，３，４からそれぞれボイラ排水を供給する排水経路５と、ボイラ排水の貯留槽６を備え、 前記中和装置１は、各蒸気ボイラ２，３，４からそれぞれ中和に使用するボイラ排ガスを供給する排ガス供給経路７，８，９を備え、 前記貯留槽６には、貯留されたボイラ排水を循環させる循環経路１４の両端部がそれぞれ接続されており、この循環経路１４には、上流側から順に循環ポンプ１５，冷却手段１６，エゼクタ１７がそれぞれ直列配置され、 前記貯留槽６には、貯留されたボイラ排水の水温およびｐＨを検出するための温度センサ２９とｐＨセンサ３０とがそれぞれ設けられ、 前記貯留槽６の底部には、中和および冷却されたボイラ排水，すなわち処理水を系外へ排出する処理水排出経路３１が接続されており、この処理水排出経路３１には排出バルブ３２が設けられ、 前記温度センサ２９で検出されたボイラ排水の水温に基づき、前記冷却手段１６による冷却を前記制御部で制御し、 前記ｐＨセンサ３０で検出されたボイラ排水のｐＨに基づき、前記エゼクタ１７（すなわち、前記吸引混合手段）による中和を前記制御部で制御する、 中和装置１及び３台の蒸気ボイラ２，３，４」 （３）甲１を主引用文献とする場合 ア 本件発明１について （ア）対比 ａ 甲１発明の「純水使用装置」は、使用済みの純水を「排出」する装置であるので、本件発明１の「排水装置」に相当する。また、甲１発明の「純水使用装置から排出される純水」は、本件発明１の「排水」に相当する。 ｂ 本件明細書【００１３】の「実施形態においては、排水装置２がボイラであることとする。以下の説明においては、排水装置２を適宜、ボイラ２、と称する。」との記載、【００１４】の「ボイラ２は、・・・排水ライン２２を流通する排水ＤＷの温度を検出する排水温度センサ２７と、排水ライン２２を流通する排水ＤＷの流量を検出する流量センサ２８と有する。」との記載、及び、【００５５】の「排水データ取得部１０１は、ボイラ本体２０から排出される排水ＤＷに係る排水データＤＡ１を取得する。排水データＤＡ１は、ボイラ本体２０の排水量Ｆｄ、ボイラ本体２０の排水タイミングＰｄ、及びボイラ本体２０の排水温度Ｔｄの少なくとも一つを含む。排水データ取得部１０１は、第１制御装置１１から排水データＤＡ１を取得する。」との記載からは、センサは排水装置に含まれるものであり、排水データ取得部は（センサそのものではなく）、センサからデータを受け取る（取得する）ものであることがわかる。 ここで、甲１発明の「光学式の濁度計、ｐＨ計、粒子カウンタ等からなるセンサＳ１、Ｓ２、Ｓ３」は、純水の状態、具体的には、濁度、ｐＨ、粒子数といった純水に係るデータを計測しているものであり（センサから計測データを受け取る機構ではないので）、甲１発明の、「濁度」、「ｐＨ」、「粒子数」を計測する「光学式の濁度計、ｐＨ計、粒子カウンタ等からなるセンサＳ１、Ｓ２、Ｓ３」は、本件発明１の「排水装置」（の一部分）に相当する（本件発明１の「排水に係るデータを取得する排水データ取得部」に相当するものではない）。 ｃ 甲１発明の「純水再生装置」は、「フィルタ」による「濾過」処理により、「純水使用装置」から排出されてきた「回収純水」を「純水」へと再生処理する装置である。そのため、甲１発明の「純水再生装置」は、本件発明１の「排水を処理する排水処理装置」に相当する。 ｄ 本件明細書【００４７】の「排水処理装置３は、貯留槽４に貯留されている排水ＤＷの量を検出する保有水量センサ１３と、貯留槽４に貯留されている排水ＤＷの温度を検出する貯留温度センサ１４と、排水ＤＷのｐＨを検出する第１ｐＨセンサ１５及び第２ｐＨセンサ１６と、循環ライン６７を流通する排水ＤＷの流量を検出する流量センサ１７とを備える。」との記載、及び、【００５９】の「処理データ取得部１０２は、排水処理装置３の処理に係る処理データＤＡ２を取得する。」との記載からは、センサは排水処理装置に含まれるものであり、処理データ取得部は（センサそのものではなく）、センサからデータを受け取る（取得する）ものであることがわかる。 ここで、甲１発明の「不純物センサ」は、「純水再生装置」の内部において処理対象の水である「回収純水」の「不純物濃度」を計測しているものであり（センサから計測データを受け取る機構ではないので）、甲１発明の「不純物センサ」は、本件発明１の「排水処理装置」（の一部）に相当する（本件発明１の「廃水処理装置の処理に係る処理データを取得する処理データ取得部」に相当するものではない。）。 ｅ 甲１発明の「純水使用装置が複数設けられ」る点は、本件発明１の「前記排水装置は、複数設けられ」に相当する。 ｆ 甲１発明の、「純水再生装置」が、「複数」の「純水使用装置から排出される純水を回収」し、「フィルタで不純物」を「除去」する点は、本件発明１の「前記排水処理装置は、複数の前記排水装置から排出された前記排水を処理し」に相当する。 ｇ 甲１発明の「純水回収・再生・供給装置」と、本件発明１の「管理装置」は、「装置」である点で共通している。 ｈ 上記ａ～ｇを踏まえると、本件発明１と甲１発明は 「前記排水装置は、複数設けられ、 前記排水処理装置は、複数の前記排水装置から排出された前記排水を処理する 装置。」 の点で一致し、以下の点で一応相違する。 ＜相違点１＞ 本件発明１は、「排水装置から排出される排水に係る排水データを取得する排水データ取得部」「を備え」「前記排水データ取得部は、複数の前記排水装置から前記排水データを取得」するのに対し、甲１発明はそのような構成を備えていない点。 ＜相違点２＞ 本件発明１は、「排水を処理する排水処理装置の処理に係る処理データを取得する処理データ取得部」を備えるのに対し、甲１発明はそのような構成を備えていない点。 ＜相違点３＞ 本件発明１は、「排水データ及び処理データの少なくとも一方に基づいて、排水装置を制御する第１制御処理及び排水処理装置を制御する第２制御処理の一方又は両方を実行する制御部と」「を備え、」「前記制御部は、少なくとも複数の前記排水装置の少なくとも一部の前記排水データに基づいて、複数の前記排水装置の少なくとも一部の排水量及び排水タイミングの一方又は両方、少なくとも前記処理データに基づいて、複数の前記排水装置の少なくとも一部の排水量及び排水タイミングの一方又は両方、少なくとも複数の前記排水装置の少なくとも一部の前記排水データに基づいて、前記排水処理装置の処理能力及び処理タイミングの一方又は両方、の少なくとも一つを制御する」のに対し、甲１発明はそのような構成を備えていない点。 ＜相違点４＞ 装置が、本件発明１では「管理装置」であるのに対し、甲１発明では「純水回収・再生・供給装置」である点。 （イ）判断 前記（ア）の相違点１から検討する。 本件発明１は、「排水装置から排出される排水に係る排水データを取得する排水データ取得部」「を備え」「前記排水データ取得部は、複数の前記排水装置から前記排水データを取得」するという構成を有することにより、複数の排水装置からのデータに基づき適切な制御を行うことが可能となり、「排水処理装置３による複数のボイラ２のそれぞれから供給される排水ＤＷの処理が平準化される。そのため、排水処理装置３を大型化又は高額化しなくても、排水処理装置３は、複数のボイラ２のそれぞれから供給される排水ＤＷを効率良く処理することができる」（本件明細書【０１５３】）、「複数のボイラ２から排水処理装置３に排水ＤＷが同時に供給される場合において・・・排水処理装置３は、排水ＤＷを効率良く処理することができる」（本件明細書【０１５４】）といった効果を得ることを可能たらしめているものである。 これに対し、甲１発明は、純水の状態を、光学式の濁度計、ｐＨ計、粒子カウンタ等からなるセンサＳ１、Ｓ２、Ｓ３で計測し、純水の状態により、バルブＶａにより、該純水を前記回収ラインと排水ラインに振り分けている構成ではあるものの、センサＳ１、Ｓ２、Ｓ３で計測したデータを集約取得する排水データ取得部については何ら記載されていない。 むしろ、甲１発明の純水回収・再生・再生装置は、センサＳ１の計測結果に応じてセンサＳ１に対応したバルブＶａを、センサＳ２の計測結果に応じてセンサＳ２に対応したバルブＶａを、センサＳ３の計測結果に応じてセンサＳ３に対応したバルブＶａをそれぞれ個別制御（回収ラインと排水ラインに振り分け）すれば足りるものであるから、センサＳ１、Ｓ２、Ｓ３で計測したデータを集約取得する必要性を欠いている。 そのため、甲１発明に接した当業者が、「排水装置から排出される排水に係る排水データを取得する排水データ取得部」「を備え」「前記排水データ取得部は、複数の前記排水装置から前記排水データを取得」するという構成を追加で設けようとする動機があるとはいえない。 してみれば、相違点２～４について検討するまでもなく、本件発明１は甲１発明ではないし、本件発明１は甲１発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものではない。 （ウ）小括 本件発明１は、甲１発明ではないし、甲１発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものではない。 イ 本件発明２～４について 本件発明２～４はいずれも本件発明１を直接又は間接的に引用し、本件発明１の構成をすべて具備するものであるから、本件発明１と同様に、本件発明２～４は、甲１発明ではないし、本件発明２～４は、甲１発明に基づいて当業者が容易に発明できたものでもない。 （４）甲２を主引用文献とする場合 ア 本件発明１について （ア）対比 ａ 甲２発明の「半導体製造の製造装置」は、「排水を」「排出」する装置であるので、本件発明１の「排水装置」に相当する。また、甲２発明の「複数の半導体装置の製造装置」は、本件発明１の「前記排水装置は、複数設けられ」に相当する。 ｂ 本件明細書【００１３】の「実施形態においては、排水装置２がボイラであることとする。以下の説明においては、排水装置２を適宜、ボイラ２、と称する。」との記載、【００１４】の「ボイラ２は、・・・排水ライン２２を流通する排水ＤＷの温度を検出する排水温度センサ２７と、排水ライン２２を流通する排水ＤＷの流量を検出する流量センサ２８と有する。」との記載、及び、【００５５】の「排水データ取得部１０１は、ボイラ本体２０から排出される排水ＤＷに係る排水データＤＡ１を取得する。排水データＤＡ１は、ボイラ本体２０の排水量Ｆｄ、ボイラ本体２０の排水タイミングＰｄ、及びボイラ本体２０の排水温度Ｔｄの少なくとも一つを含む。排水データ取得部１０１は、第１制御装置１１から排水データＤＡ１を取得する。」との記載からは、センサは排水装置に含まれるものであり、排水データ取得部は（センサそのものではなく）、センサからデータを受け取る（取得する）ものであることがわかる。 ここで、甲２発明の「センサ６ａ～６ｃ」は、「排水」の「汚染」を検出しているセンサであるので（センサ６ａ～６ｃが他のセンサから計測データを受け取っているわけではないので）、甲２発明の「センサ６ａ～６ｃ」は、本件発明１の「排水装置」（の一部分）に相当する（本件発明１の「排水に係るデータを取得する排水データ取得部」に相当するものではない）。 ｃ 甲２発明の「回収排水の転送装置」と、本件発明１の「管理装置」は、「装置」である点で共通している。 ｄ 補足として述べると、甲２の【００２２】及び【図４】には、センサ６ａ～６ｃ以外にも、センサ６Ａ～６Ｃと、センサ６Ａ～６Ｃと信号線で接続された切替弁制御部１２とが記載されている。しかしながら、センサ６Ａ～６Ｂは、各半導体装置の製造装置ａ～ｃ、ｄ～ｆ、ｇ～ｉに対応した枝配管２Ａ～２Ｃに設けられているのではなく、枝配管が合流した後の主配管３に設けられているものであるため、個別の半導体装置の製造装置ａ～ｃ、ｄ～ｆ、ｇ～ｉの排水に係る情報の取得はできない。 そのため、甲２における「切替弁制御部１２」が「センサ６Ａ～６Ｃ」からデータを取得する点は、本件発明１の「前記排水データ取得部は、複数の排水装置から前記排水データを取得し」という発明特定事項に相当するものではない。 ｅ 上記ａ～ｄを踏まえると、本件発明１と甲２発明は 「排水装置は、複数設けられる、 装置」 の点で一致し、以下の点で一応相違する。 ＜相違点５＞ 本件発明１は、「排水装置から排出される排水に係る排水データを取得する排水データ取得部」「を備え、」「前記排水データ取得部は、複数の前記排水装置から前記排水データを取得」するのに対し、甲２発明はそのような構成を備えていない点。 ＜相違点６＞ 本件発明１は、「前記排水を処理する排水処理装置の処理に係る処理データを取得する処理データ取得部」「を備え」るのに対し、甲２発明は、そのような構成を備えていない点。 ＜相違点７＞ 本件発明１は、「前記排水データ及び前記処理データの少なくとも一方に基づいて、前記排水装置を制御する第１制御処理及び前記排水処理装置を制御する第２制御処理の一方又は両方を実行する制御部」「を備え、」「前記制御部は、少なくとも複数の前記排水装置の少なくとも一部の前記排水データに基づいて、複数の前記排水装置の少なくとも一部の排水量及び排水タイミングの一方又は両方、少なくとも前記処理データに基づいて、複数の前記排水装置の少なくとも一部の排水量及び排水タイミングの一方又は両方、少なくとも複数の前記排水装置の少なくとも一部の前記排水データに基づいて、前記排水処理装置の処理能力及び処理タイミングの一方又は両方の少なくとも一つを制御する」のに対し、甲２発明はそのような構成を備えていない点。 ＜相違点８＞ 本件発明１は、「排水処理装置は、複数の前記排水装置から排出された前記排水を処理」しているのに対し、甲２発明は、「複数の半導体装置の製造装置」から排出された排水が送水される「再生工程」を備えるものの、「再生工程」に排水処理装置が設けられているか否か特定されていない点。 ＜相違点９＞ 装置が、本件発明１では「管理装置」であるのに対し、甲２発明では「回収排水の転送装置」である点。 （イ）判断 前記（ア）の相違点５から検討する。 上記（３）ア（イ）で記載したように、本件発明１は、「排水装置から排出される排水に係る排水データを取得する排水データ取得部」「を備え」「前記排水データ取得部は、複数の前記排水装置から前記排水データを取得」するという構成を有することにより、複数の排水装置からのデータに基づき適切な制御を行うことが可能となり、「排水処理装置３による複数のボイラ２のそれぞれから供給される排水ＤＷの処理が平準化される。そのため、排水処理装置３を大型化又は高額化しなくても、排水処理装置３は、複数のボイラ２のそれぞれから供給される排水ＤＷを効率良く処理することができる」（本件明細書【０１５３】）、「複数のボイラ２から排水処理装置３に排水ＤＷが同時に供給される場合において・・・排水処理装置３は、排水ＤＷを効率良く処理することができる」（本件明細書【０１５４】）といった効果を得ることを可能たらしめているものである。 これに対し、甲２発明には、枝配管２Ａ～２Ｃを流れる排水をセンサ６ａ～６ｃで検出し、排水の回収が不可と判断された場合には、切替弁７ａ～７ｂを切り替える点は記載されているものの、センサセンサ６ａ～６ｃで計測したデータを集約取得する排水データ取得部については何ら記載されていない。 むしろ、甲２発明の転送装置は、センサ６ａの計測結果に応じて切替弁７ａを、センサ６ｂの計測結果に応じて切替弁７ｂを、センサ６ｃの計測結果に応じて切替弁７ｃをそれぞれ個別制御すれば足りるものであるから、センサ６ａ～６ｃで計測したデータを集約取得する必要性を欠いている。 そのため、甲２発明に接した当業者が、「排水装置から排出される排水に係る排水データを取得する排水データ取得部」「を備え」「前記排水データ取得部は、複数の前記排水装置から前記排水データを取得」するという構成を追加で設けようとする動機があるとはいえない。 してみれば、相違点６～９について検討するまでもなく、本件発明１は甲２発明ではないし、本件発明１は甲２発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものではない。 （ウ）小括 本件発明１は、甲２発明ではないし、甲２発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものではない。 イ 本件発明２～４について 本件発明２～４はいずれも本件発明１を直接又は間接的に引用し、本件発明１の構成をすべて具備するものであるから、本件発明１と同様に、本件発明２～４は、甲２発明ではないし、本件発明２～４は、甲２発明に基づいて当業者が容易に発明できたものでもない （５）甲３を主引用文献とする場合 ア 本件発明１について （ア）対比 ａ 甲３発明の「蒸気ボイラ２，３，４」は、「ボイラ排水」を排水する装置である。そのため、甲３発明の「蒸気ボイラ」は、本件発明１の「排水装置」に相当する。また、甲３発明の「３台の蒸気ボイラ２，３，４」は、本件発明１の「排水装置は、複数設けられ」に相当する。 ｂ 上記（３）ア（ア）ｄで記載したように、本件明細書【００４７】の「排水処理装置３は、貯留槽４に貯留されている排水ＤＷの量を検出する保有水量センサ１３と、貯留槽４に貯留されている排水ＤＷの温度を検出する貯留温度センサ１４と、排水ＤＷのｐＨを検出する第１ｐＨセンサ１５及び第２ｐＨセンサ１６と、循環ライン６７を流通する排水ＤＷの流量を検出する流量センサ１７とを備える。」との記載、及び、【００５９】の「処理データ取得部１０２は、排水処理装置３の処理に係る処理データＤＡ２を取得する。」との記載からは、センサは排水処理装置に含まれるものであり、処理データ取得部は（センサそのものではなく）、センサからデータを受け取る（取得する）ものであることがわかる。 ここで、甲３発明の「温度センサ２９」及び「ｐＨセンサ３０」は、「中和装置１」の内部において「ボイラ排水」の「温度」又は「ｐＨ」を計測しているものであり（センサから計測データを受け取る機構ではないので）、甲３発明の「温度センサ２９」及び「ｐＨセンサ３０」は、本件発明１の「排水処理装置」（の一部）に相当する（本件発明１の「廃水処理装置の処理に係る処理データを取得する処理データ取得部」に相当するものではない。）。 ｃ 甲３発明の「中和装置１」は、「ボイラ排水」に対し、「冷却」及び「中和」という処理を行なっている装置であるので、本件発明１の「排水処理装置」に相当する。 ｄ 甲３発明の「３台の蒸気ボイラ２，３，４」から排出される「ボイラ排水」を「中和」する「中和装置１」は、本件発明１の「前記排水処理装置は、複数の前記排水装置から排出された前記排水を処理し」に相当する。 ｅ 甲３発明の「温度センサ２９」及び「ｐＨセンサ３０」で測定される「温度」又は「ｐＨ」は、「中和装置１」の「冷却手段１６」又は「エゼクタ１７」を制御する際に用いられる値であるので、本件発明１の「排水装置の処理に係る処理データ」に相当する。 ｆ 甲３発明の、「制御部」が、「温度センサ２９で検出されたボイラ排水の水温に基づき」「中和装置１」の「冷却手段１６による冷却を」「制御し、「ｐＨセンサ３０で検出されたボイラ排水のｐＨに基づき」「中和装置１」の「エゼクタ１７」「による中和を」「制御」する点は、本件発明１の「前記排水データ及び前記処理データの少なくとも一方に基づいて、前記排水装置を制御する第１制御処理及び前記排水処理装置を制御する第２制御処理の一方又は両方を実行する制御部」に相当する。 ｇ 甲３発明の「蒸気ボイラ２，３，４」は装置の一種である。そのため、本件発明１の「管理装置」と、甲３発明の「中和装置１及び３台の蒸気ボイラ２，３，４」とは、「装置」である点で共通している。 ｈ 上記ａ～ｇを踏まえると、本件発明１と甲３発明は 「排水データ及び前記処理データの少なくとも一方に基づいて、排水装置を制御する第１制御処理及び前記排水処理装置を制御する第２制御処理の一方又は両方を実行する制御部、を備え、 前記排水装置は、複数設けられ、 前記排水処理装置は、複数の前記排水装置から排出された前記排水を処理する、 装置。」 の点で一致し、以下の点で一応相違する。 ＜相違点１０＞ 本件発明１は、「排水装置から排出される排水に係る排水データを取得する排水データ取得部」「を備え、」「前記排水データ取得部は、複数の前記排水装置から前記排水データを取得」するのに対し、甲３発明はそのような構成を備えていない点。 ＜相違点１１＞ 本件発明１は、「前記排水を処理する排水処理装置の処理に係る処理データを取得する処理データ取得部」「を備え」るのに対し、甲３発明は、そのような構成を備えていない点。 ＜相違点１２＞ 制御部が、本件発明１では、「少なくとも複数の前記排水装置の少なくとも一部の前記排水データに基づいて、複数の前記排水装置の少なくとも一部の排水量及び排水タイミングの一方又は両方、少なくとも前記処理データに基づいて、複数の前記排水装置の少なくとも一部の排水量及び排水タイミングの一方又は両方、少なくとも複数の前記排水装置の少なくとも一部の前記排水データに基づいて、前記排水処理装置の処理能力及び処理タイミングの一方又は両方の少なくとも一つを制御する」という制御を行うのに対し、甲３発明では、そのような制御を行っていない点。 ＜相違点１３＞ 装置が、本件発明１では「管理装置」であるのに対し、甲３発明では「中和装置１及び３台の蒸気ボイラ２，３，４」である点。 （イ）判断 前記（ア）の相違点１０から検討する。 ａ 甲３発明の中和装置１は、「ボイラ排ガスに含まれる炭酸ガスを利用し、中和を行う」（上記（１）ウ（ア）の【０００４】）という技術を前提としつつ、「蒸気ボイラのうち、燃焼中と停止中のものが存在する場合」「各蒸気ボイラの運転状態により、前記ポンプによって吸引されるボイラ排ガス中の炭酸ガス濃度が変動し、ボイラ排水の中和を安定して行うことが困難であった」（【０００５】）という課題を解決するため、「各ボイラから前記吸引混合手段へのボイラ排ガスの排ガス供給経路ごとに、それぞれ排ガス安定供給バルブを設け」（【請求項１】）、「各排ガス安定供給バルブは、対応する前記各ボイラのボイラ燃料供給バルブの作動信号に基づいてそれぞれ作動する」（【請求項２】）という構成を採用している。 ｂ このような中和装置において、排水装置（蒸気ボイラ）から排出される排水（ボイラ排水）に係る排水データを取得する排水データ取得部を備え、前記排水データ取得部は、複数の前記排水装置（蒸気ボイラ）から前記排水データを取得する、という構成を追加採用することについて検討すると、ボイラ燃料供給バルブの作動信号とは異なり、ボイラ排水のデータは、ボイラの燃焼中、停止中を正確に識別できるパラメータではないため、排水装置（蒸気ボイラ）から排出される排水（ボイラ排水）に係る排水データを取得する排水データ取得部を備え、前記排水データ取得部は、複数の前記排水装置（蒸気ボイラ）から前記排水データを取得する、という構成を追加採用しようとする動機がない。 そうすると、甲４の記載事項にかかわらず、上記相違点１０に係る本件発明１の事項は、当業者が容易に想到し得るものであるとはいえない。 ｃ 念のため、甲４について検討すると、全ブロー時期となったボイラを台数制御から外す制御を台数制御装置１４が行なう点が記載されているものの、「排水装置から排出される排水に係る排水データを取得する排水データ取得部」「を備え、」「前記排水データ取得部は、複数の前記排水装置から前記排水データを取得」するという点については、記載も示唆もされていない。 そのため、甲３発明に、甲４に記載された事項を適用したとしても、相違点１０に係る本件発明１の発明特定事項を有するものには至らない。 してみれば、その他の相違点について検討するまでもなく、本件発明１は甲３発明及び甲４に記載された事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものではない。 （ウ）小括 本件発明１は、甲３発明及び甲４に記載された事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものではない。 イ 本件発明２～４について 本件発明２～４はいずれも本件発明１を直接又は間接的に引用し、本件発明１の構成をすべて具備するものであるから、本件発明１と同様に、本件発明２～４は、甲３発明及び甲４に記載される技術的事項に基づいて当業者が容易に発明できたものでもない ２ 申立理由３（実施可能要件違反）について （１）第４の１（３）の理由の概要 「請求項１に記載の「前記排水データ及び前記処理データの少なくとも一方に基づいて、前記排水装置を制御する第１制御処理及び前記排水処理装置を制御する第２制御処理の一方又は両方を実行する」ことから導かられる全ての態様のうちの一部しか、明細書に具体的に記載されていないから、いわゆる当業者がその発明を実施できる程度に明確かつ十分に記載されているとはいえない。」（特許異議申立書７頁２７行～８頁４行） （２）第４の１（３）の理由に関する当審の判断 ア 本件発明における実施可能要件の判断手法 発明の詳細な説明の記載が特許法第３６条第４項第１号に係る規定（実施可能要件）に適合するというためには、明細書の発明の詳細な説明に、当業者が、明細書の発明の詳細な説明及び出願時の技術常識に基づいて、過度の試行錯誤を要することなく、その発明を実施することができる程度に発明の構成等の記載があることを要すると解される。そして、この規定のいう「実施」とは、物の発明においては、当該発明にかかる物の生産、使用等をいうものであるから、実施可能要件を満たすといえるためには、明細書の発明の詳細な説明の記載は、当業者が当該発明に係るものを生産し、使用することができる程度のものでなければならない。 そして、本件発明は訂正がなされたので、「前記排水データ及び前記処理データの少なくとも一方に基づいて、前記排水装置を制御する第１制御処理及び前記排水処理装置を制御する第２制御処理の一方又は両方を実行する制御部と、を備え、・・・前記制御部は、少なくとも複数の前記排水装置の少なくとも一部の前記排水データに基づいて、複数の前記排水装置の少なくとも一部の排水量及び排水タイミングの一方又は両方、少なくとも前記処理データに基づいて、複数の前記排水装置の少なくとも一部の排水量及び排水タイミングの一方又は両方、少なくとも複数の前記排水装置の少なくとも一部の前記排水データに基づいて、前記排水処理装置の処理能力及び処理タイミングの一方又は両方の少なくとも一つを制御する」という制御を、当業者が、明細書の発明の詳細な説明及び出願時の技術常識に基づいて、過度の試行錯誤を要することなく、実施（当該制御を行う管理装置を使用）することができる程度の記載があるか否かで判断する。 イ 本件明細書の発明の詳細な説明の記載 本件明細書には次の記載がある。 「【００５５】 排水データ取得部１０１は、ボイラ本体２０から排出される排水ＤＷに係る排水データＤＡ１を取得する。排水データＤＡ１は、ボイラ本体２０の排水量Ｆｄ、ボイラ本体２０の排水タイミングＰｄ、及びボイラ本体２０の排水温度Ｔｄの少なくとも一つを含む。排水データ取得部１０１は、第１制御装置１１から排水データＤＡ１を取得する。 【００５６】 排水量Ｆｄとは、ボイラ本体２０に保有されているボイラ水ＢＷにおける溶解物質の濃度を基準値以下にするために必要なボイラ本体２０から排出する排水ＤＷの量をいう。排水ＤＷの排出を連続的に行う連続ブローが実行される場合、排水量Ｆｄは、ボイラ本体２０から排出される単位時間当たりの排水ＤＷの流量［Ｌｉｔｅｒ／Ｈｏｕｒ］である。排水ＤＷの排出を間欠的に行う間欠ブローが実行される場合、排水量Ｆｄは、ボイラ本体２０から排出される排水ＤＷの量［Ｌｉｔｅｒ］である。排水量Ｆｄは、例えば排水バルブ２６の作動状態によって決定される。 【００５７】 排水タイミングＰｄは、排水開始タイミングＰｄｓ、排水終了タイミングＰｄｅ、及び排水時間Ｐｄｔの少なくとも一つを含む。排水開始タイミングＰｄｓとは、ボイラ本体２０からの排水ＤＷの排出が開始される時点をいう。排水終了タイミングＰｄｅとは、ボイラ本体２０からの排水ＤＷの排出が終了する時点をいう。排水時間Ｐｄｔとは、ボイラ本体２０からの排水ＤＷの排出が実行される時間をいい、排水開始タイミングＰｄｓと排水終了タイミングＰｄｅとの間の時間をいう。排水タイミングＰｄは、例えば排水バルブ２６の作動状態によって決定される。 【００５８】 排水温度Ｔｄとは、ボイラ本体２０から排出される排水ＤＷの温度をいう。実施形態において、排水温度Ｔｄとは、排水ライン２２の少なくとも一部を介してボイラ本体２０から貯留槽４に供給される排水ＤＷの温度をいう。排水温度Ｔｄは、例えばボイラ本体２０における燃料ＦＵの燃焼状態によって決定される。なお、排水温度Ｔｄは、ブロー熱交換器（不図示）の作動状態によって決定されてもよい。ブロー熱交換器は、ボイラ水ＢＷと排水ＤＷとを熱交換する。ブロー熱交換器は、例えば排水ライン２２の少なくとも一部と並列に配置される。貯留槽４に供給される排水ＤＷの温度を低下させる場合、ボイラ本体２０から排出された排水ＤＷの少なくとも一部は、ブロー熱交換器に供給され、ボイラ水ＢＷと熱交換される。ブロー熱交換器において冷却された排水ＤＷは、排水ライン２２の少なくとも一部を介して、貯留槽４に供給される。貯留槽４に供給される排水ＤＷの温度を上昇させる場合、ボイラ本体２０から排出された排水ＤＷは、ブロー熱交換器に供給されることなく、貯留槽４に供給される。このように、ブロー熱交換器により、ボイラ本体２０から貯留槽４に供給される排水ＤＷの温度が調整されてもよい。 【００５９】 処理データ取得部１０２は、排水処理装置３の処理に係る処理データＤＡ２を取得する。処理データＤＡ２は、排水処理装置３の処理能力Ａｐ、及び処理タイミングＰｐの少なくとも一つを含む。処理データ取得部１０２は、第２制御装置１２から処理データＤＡ２を取得する。 【００６０】 排水処理装置３の処理能力Ａｐは、処理量Ｆｐ、保有水量Ｆｈ、処理内容、及び処理レベルの少なくとも一つを含む。 ・・・ 【００６６】 処理レベルとは、排水処理装置３が実行する処理の度合いをいう。処理レベルは、冷却器６０に供給される冷媒ＲＥの流量、エゼクタ５４に供給される中和剤ＮＴの流量、及びエゼクタ５４に供給される中和剤ＮＴの組成の少なくとも一つによって決定される。中和剤ＮＴの組成は、主中和剤ＮＴｍと副中和剤ＮＴｓとの混合比を含む。処理レベルは、例えば冷媒バルブ６６の作動状態、主中和剤バルブ５５の作動状態、及び副中和剤バルブ５７の作動状態の少なくとも一つによって決定される。 ・・・ 【０１０１】 また、制御部１０３は、排水開始タイミングＰｄｓを決定する。例えば、制御部１０３は、処理データ取得部１０２により取得された処理開始タイミングＰｐｓに基づいて、排水処理装置３が起動していると判定した場合、排水開始タイミングＰｄｓを任意のタイミングに決定する。また、制御部１０３は、処理開始タイミングＰｐｓと同じタイミングになるように排水開始タイミングＰｄｓを決定してもよい。なお、ボイラ本体２０から排水ＤＷが排出してから、排水ライン２２を流通して、排水処理装置３に到達するまでの間にタイムラグが発生する。タイムラグが発生する場合、制御部１０３は、タイムラグ又は排水ライン２２の長さを考慮して、処理開始タイミングＰｐｓよりも早いタイミングになるように排水開始タイミングＰｄｓを決定してもよい。 ・・・ 【０１２０】 また、制御部１０３は、排水データＤＡ１及び処理データＤＡ２に基づいて、処理レベルを決定する。例えば、制御部１０３は、排水温度Ｔｄ及び貯留温度Ｔｒの少なくとも一方に基づいて、冷却器６０に供給する冷媒ＲＥの流量を決定する。例えば排水温度Ｔｄと排水基準で規定される基準温度との差が大きい場合、制御部１０３は、冷媒ＲＥの流量が多くなるように、冷媒ＲＥの流量を決定する。排水温度Ｔｄと基準温度との差が小さい場合、制御部１０３は、冷媒ＲＥの流量が少なくなるように、冷媒ＲＥの流量を決定する。また、制御部１０３は、排水量Ｆｄに基づいて、エゼクタ５４に供給する中和剤ＮＴの流量を決定する。排水量Ｆｄが多い場合、制御部１０３は、中和剤ＮＴの流量が多くなるように、中和剤ＮＴの流量を決定する。排水量Ｆｄが少ない場合、制御部１０３は、中和剤ＮＴの流量が少なくなるように、中和剤ＮＴの流量を決定する。 【０１２１】 また、制御部１０３は、排水データＤＡ１及び処理データＤＡ２に基づいて、処理開始タイミングＰｐｓを決定する。例えば、制御部１０３は、排水データ取得部１０１により取得された排水開始タイミングＰｄｓに基づいて、排水ＤＷの排出が開始されていると判定した場合、処理開始タイミングＰｐｓを任意のタイミングに決定する。また、制御部１０３は、排水開始タイミングＰｄｓと同じタイミングになるように処理開始タイミングＰｐｓを決定してもよい。なお、ボイラ本体２０から排水ＤＷが排出してから、排水ライン２２を流通して、排水処理装置３に到達するまでの間にタイムラグが発生する。タイムラグが発生する場合、制御部１０３は、タイムラグ又は排水ライン２２の長さを考慮して、排水開始タイミングＰｄｓよりも遅いタイミングになるように処理開始タイミングＰｐｓを決定してもよい。 ・・・ 【０１４６】 管理装置１０の排水データ取得部１０１は、複数のボイラ２から排水データＤＡ１を取得する。制御部１０３は、複数のボイラ２のそれぞれの排水量Ｆｄ及び排水タイミングＰｄの一方又は両方を制御する。なお、制御部１０３は、複数のボイラ２のうち一部のボイラ２の排水量Ｆｄ及び排水タイミングＰｄの一方又は両方を制御してもよい。 【０１４７】 制御部１０３は、複数のボイラ２の排水量Ｆｄの差が小さくなるように、管理指令ＭＤ１を出力する。また、制御部１０３は、複数のボイラ２の排水タイミングＰｄが異なるように、管理指令ＭＤ１を出力する。 【０１４８】 図６は、実施形態に係る第１制御処理を説明するための図である。制御部１０３は、複数のボイラ２の運転状態を制御する管理指令ＭＤ１を出力する。ボイラ２の運転状態の制御は、ボイラ２から排出される排水ＤＷの制限を含む。排水ＤＷの制限は、ボイラ本体２０から排水ＤＷを排出させないこと及びボイラ本体２０の排水量Ｆｄを少なくすることの少なくとも一方を含む。また、ボイラ２から排出される排水ＤＷの制限は、排水タイミングＰｄの制限及び排水量Ｆｄの制限の一方又は両方を含む。 【０１４９】 図６に示すように、制御部１０３は、第１ボイラ２Ａの排水タイミングＰｄと、第２ボイラ２Ｂの排水タイミングＰｄと、第３ボイラ２Ｃの排水タイミングＰｄとが異なるように、第１ボイラ２Ａの第１制御装置１１、第２ボイラ２Ｂの第１制御装置１１、及び第３ボイラ２Ｃの第１制御装置１１のそれぞれに管理指令ＭＤ１を出力する。 【０１５０】 実施形態においては、第１ボイラ２Ａから排水ＤＷが排出されているとき、第２ボイラ２Ｂ及び第３ボイラ２Ｃからの排水ＤＷの排出が制限される。第２ボイラ２Ｂから排水ＤＷが排出されているとき、第３ボイラ２Ｃ及び第１ボイラ２Ａからの排水ＤＷの排出が制限される。第３ボイラ２Ｃから排水ＤＷが排出されているとき、第１ボイラ２Ａ及び第２ボイラ２Ｂからの排水ＤＷの排出が制限される。 【０１５１】 実施形態において、制御部１０３は、第１ボイラ２Ａの排水終了タイミングＰｄｅと第２ボイラ２Ｂの排水開始タイミングＰｄｓとが一致し、第２ボイラ２Ｂの排水終了タイミングＰｄｅと第３ボイラ２Ｃの排水開始タイミングＰｄｓとが一致するように、管理指令ＭＤ１を出力する。すなわち、制御部１０３は、第１ボイラ２Ａの排水時間Ｐｄｔと、第２ボイラ２Ｂの排水時間Ｐｄｔと、第３ボイラ２Ｃの排水時間Ｐｄｔとが重複しないよう、管理指令ＭＤ１を出力する。 【０１５２】 また、制御部１０３は、第１ボイラ２Ａの排水量Ｆｄと、第２ボイラ２Ｂの排水量Ｆｄと、第３ボイラ２Ｃの排水量Ｆｄとが一致するように、第１ボイラ２Ａの第１制御装置１１、第２ボイラ２Ｂの第１制御装置１１、及び第３ボイラ２Ｃの第１制御装置１１のそれぞれに管理指令ＭＤ１を出力する。 【０１５３】 以上説明したように、実施形態によれば、複数のボイラ２の排水タイミングＰｄが異なるように、管理指令ＭＤ１が出力される。これにより、複数のボイラ２から排水処理装置３に排水ＤＷが一度に多量に供給されることが抑制される。すなわち、排水処理装置３による複数のボイラ２のそれぞれから供給される排水ＤＷの処理が平準化される。そのため、排水処理装置３を大型化又は高額化しなくても、排水処理装置３は、複数のボイラ２のそれぞれから供給される排水ＤＷを効率良く処理することができる。 【０１５４】 なお、制御部１０３は、例えば第１ボイラ２Ａの排水時間Ｐｄｔと、第２ボイラ２Ｂの排水時間Ｐｄｔの少なくとも一部とが重複するように管理指令ＭＤ１を出力してもよい。すなわち、制御部１０３は、第１ボイラ２Ａから排出される排水ＤＷと第２ボイラ２Ｂから排出される排水ＤＷとが同時に排水処理装置３に供給されるように管理指令ＭＤ１を出力してもよい。制御部１０３は、処理データＤＡ２に基づいて、第１ボイラ２Ａの排水量Ｆｄと第２ボイラ２Ｂの排水量Ｆｄとの和が、排水処理装置３の処理能力Ａｐ（処理量Ｆｐ）を超えないように、第１ボイラ２Ａの排水量Ｆｄ及び第２ボイラ２Ｂの排水量Ｆｄの少なくとも一方を制限（減少）する管理指令ＭＤ１を出力する。複数のボイラ２から排水処理装置３に排水ＤＷが同時に供給される場合において、排水処理装置３の処理能力Ａｐを超えないようにボイラ２の排水量Ｆｄが制限されることにより、排水処理装置３は、排水ＤＷを効率良く処理することができる。」 ウ 上記イを踏まえた実施可能要件の判断 （ア）上記イで摘記した【０１４７】には「複数のボイラ２の排水量Ｆｄの差が小さくなるように、管理指令ＭＤ１を出力する」という制御が記載されている。排水量Ｆｄの差が小さくなるように制御するためには、事前に複数のボイラの排水量Ｆｄのデータを得る必要があるので、排水データとして、【００５５】に複数例示された候補（排水量、排水タイミング、排水温度）の中から「排水量」を取得しているであろうことは当業者であれば当然把握可能な事項である。 また、「排水量Ｆｄの差が小さくなるように、管理指令ＭＤ１を出力する」のであるから、管理指令は具体的には（差が小さくなるように調整した）排水量であることも、当然把握可能な事項である。 してみると、【０１４７】に記載された制御とは、排水データとして排水量を取得し、取得した排水量に基づき、複数のボイラの排水量の差が小さくなるような排水量を管理指令として出力する制御であるといえ、これは、本件発明１～４の「少なくとも複数の前記排水装置の少なくとも一部の前記排水データに基づいて、複数の前記排水装置の少なくとも一部の排水量及び排水タイミングの一方又は両方・・・の少なくとも一つを制御する」点に対応するものである。 そして、排水データとして排水量を取得し、取得した排水量に基づき、複数のボイラの排水量の差が小さくなるような排水量を管理指令として出力する制御を実施することは、当業者にとって過度な試行錯誤を要するとはいえない。 （イ）上記イで摘記した【０１４６】には「管理装置１０の排水データ取得部１０１は、複数のボイラ２から排水データＤＡ１を取得する。制御部１０３は、複数のボイラ２のそれぞれの排水量Ｆｄ及び排水タイミングＰｄの一方又は両方を制御する。」との記載が、【０１５１】には「実施形態において、制御部１０３は、第１ボイラ２Ａの排水終了タイミングＰｄｅと第２ボイラ２Ｂの排水開始タイミングＰｄｓとが一致し、第２ボイラ２Ｂの排水終了タイミングＰｄｅと第３ボイラ２Ｃの排水開始タイミングＰｄｓとが一致するように、管理指令ＭＤ１を出力する。すなわち、制御部１０３は、第１ボイラ２Ａの排水時間Ｐｄｔと、第２ボイラ２Ｂの排水時間Ｐｄｔと、第３ボイラ２Ｃの排水時間Ｐｄｔとが重複しないよう、管理指令ＭＤ１を出力する。」との記載がある。要すれば、複数のボイラ２から排水データＤＡ１を取得し、排水データＤＡ１に基づいて複数の排水装置（ボイラ）の排水時間が重複しないような排水タイミングを設定し、排水処理装置を制御するということであり、これは、本件発明１～４の「少なくとも複数の前記排水装置の少なくとも一部の前記排水データに基づいて、複数の前記排水装置の少なくとも一部の排水量及び排水タイミングの一方又は両方・・・の少なくとも一つを制御する」点に対応するものである。 そして、複数のボイラ２から排水データＤＡ１を取得し、排水データＤＡ１に基づいて複数の排水装置（ボイラ）の排水時間が重複しないような排水タイミングを設定し、排水処理装置を制御することを実施することは、当業者にとって過度な試行錯誤を要するとはいえない。 （ウ）上記イで摘記した【０１５４】には「処理データＤＡ２に基づいて、第１ボイラ２Ａの排水量Ｆｄと第２ボイラ２Ｂの排水量Ｆｄとの和が、排水処理装置３の処理能力Ａｐ（処理量Ｆｐ）を超えないように、第１ボイラ２Ａの排水量Ｆｄ及び第２ボイラ２Ｂの排水量Ｆｄの少なくとも一方を制限（減少）する管理指令ＭＤ１を出力する」ことが記載されている。要すれば、処理データＤＡ２として、排水処理装置３の処理能力Ａｐを取得し、処理能力Ａｐに基づいて、排水量Ｆｄと排水量Ｆｄとの和が処理能力Ａｐを超えないような排水量Ｆｄ及び排水量Ｆｄを設定し、管理指令ＭＤ１として設定した排水量Ｆｄ及び排水量Ｆｄを設定しているということであり、これは、本件発明１～４の「少なくとも前記処理データに基づいて、複数の前記排水装置の少なくとも一部の排水量及び排水タイミングの一方又は両方、・・・の少なくとも一つを制御する」点に対応するものである。 そして、処理データＤＡ２として、排水処理装置３の処理能力Ａｐを取得し、処理能力Ａｐに基づいて、排水量Ｆｄと排水量Ｆｄとの和が処理能力Ａｐを超えないような排水量Ｆｄ及び排水量Ｆｄを設定し、管理指令ＭＤ１として設定した排水量Ｆｄ及び排水量Ｆｄを設定するという制御を実施することは、当業者にとって過度な試行錯誤を要するとはいえない。 （エ）上記イで摘記した【０１０１】には「処理データ取得部１０２により取得された処理開始タイミングＰｐｓに基づいて、排水処理装置３が起動していると判定した場合、排水開始タイミングＰｄｓを任意のタイミングに決定する。また、制御部１０３は、処理開始タイミングＰｐｓと同じタイミングになるように排水開始タイミングＰｄｓを決定してもよい。なお、ボイラ本体２０から排水ＤＷが排出してから、排水ライン２２を流通して、排水処理装置３に到達するまでの間にタイムラグが発生する。タイムラグが発生する場合、制御部１０３は、タイムラグ又は排水ライン２２の長さを考慮して、処理開始タイミングＰｐｓよりも早いタイミングになるように排水開始タイミングＰｄｓを決定してもよい」と記載されている。要すれば、排水処理装置の処理開始タイミングＰｐｓを取得し、処理開始タイミングＰｐｓと同じタイミング、あるいは、早いタイミングとなるように排水開始タイミングＰｄｓを決定し、排水装置を決定した排水開始タイミングＰｄｓにより制御するというものであり、本件発明１～４の「少なくとも前記処理データに基づいて、複数の前記排水装置の少なくとも一部の排水量及び排水タイミングの一方又は両方、・・・の少なくとも一つを制御する」点に対応するものである。 そして、排水処理装置の処理開始タイミングＰｐｓを取得し、処理開始タイミングＰｐｓと同じタイミング、あるいは、早いタイミングとなるように排水開始タイミングＰｄｓを決定し、排水装置を決定した排水開始タイミングＰｄｓにより制御するという制御を実施することは、当業者にとって過度な試行錯誤を要するとはいえない。 （オ）上記イで摘記した【００６０】には「排水処理装置３の処理能力Ａｐは、処理量Ｆｐ、保有水量Ｆｈ、処理内容、及び処理レベルの少なくとも一つを含む」との記載が、【００６６】には「処理レベルとは、排水処理装置３が実行する処理の度合いをいう。処理レベルは、冷却器６０に供給される冷媒ＲＥの流量、エゼクタ５４に供給される中和剤ＮＴの流量、及びエゼクタ５４に供給される中和剤ＮＴの組成の少なくとも一つによって決定される」との記載が、【０１２０】には「例えば排水温度Ｔｄと排水基準で規定される基準温度との差が大きい場合、制御部１０３は、冷媒ＲＥの流量が多くなるように、冷媒ＲＥの流量を決定する。排水温度Ｔｄと基準温度との差が小さい場合、制御部１０３は、冷媒ＲＥの流量が少なくなるように、冷媒ＲＥの流量を決定する。」との記載がある。これら記載からは、排水装置から排水温度Ｔｄを取得し、排水温度Ｔｄと基準温度とに基づき、排水処理装置の処理能力を増減する（冷媒流量を変更する）という制御を行うことがわかる。この制御は、本件発明１～４の「少なくとも複数の前記排水装置の少なくとも一部の前記排水データに基づいて、前記排水処理装置の処理能力及び処理タイミングの一方又は両方の少なくとも一つを制御する」点に対応するものである。 そして、排水装置から排水温度Ｔｄを取得し、排水温度Ｔｄと基準温度とに基づき、排水処理装置の処理能力を増減する（冷媒流量を変更する）という制御を実施することは、当業者にとって過度な試行錯誤を要するとはいえない。 （カ）上記イで摘記した【０１２１】には「制御部１０３は、排水データ取得部１０１により取得された排水開始タイミングＰｄｓに基づいて、排水ＤＷの排出が開始されていると判定した場合、処理開始タイミングＰｐｓを任意のタイミングに決定する。また、制御部１０３は、排水開始タイミングＰｄｓと同じタイミングになるように処理開始タイミングＰｐｓを決定してもよい。なお、ボイラ本体２０から排水ＤＷが排出してから、排水ライン２２を流通して、排水処理装置３に到達するまでの間にタイムラグが発生する。タイムラグが発生する場合、制御部１０３は、タイムラグ又は排水ライン２２の長さを考慮して、排水開始タイミングＰｄｓよりも遅いタイミングになるように処理開始タイミングＰｐｓを決定してもよい」との記載がある。要すれば、排水装置の排水データとして排水開始タイミングを取得し、排水開始タイミングに基づいて、排水開始タイミングと同じタイミング、あるいは、排水開始タイミングよりもタイムラグ分だけ遅いタイミングとして処理開始タイミングを設定し、排水処理装置を制御するというものであり、これは本件発明１～４の「少なくとも複数の前記排水装置の少なくとも一部の前記排水データに基づいて、前記排水処理装置の処理能力及び処理タイミングの一方又は両方の少なくとも一つを制御する」点に対応するものである。 そして、排水装置の排水データとして排水開始タイミングを取得し、排水開始タイミングに基づいて、排水開始タイミングと同じタイミング、あるいは、排水開始タイミングよりもタイムラグ分だけ遅いタイミングとして処理開始タイミングを設定し、排水処理装置を制御するという制御を実施することは、当業者にとって過度な試行錯誤を要するとはいえない。 （キ）上記（ア）～（カ）を踏まえると、本件発明１～４の「前記排水データ及び前記処理データの少なくとも一方に基づいて、前記排水装置を制御する第１制御処理及び前記排水処理装置を制御する第２制御処理の一方又は両方を実行する制御部と、を備え、・・・前記制御部は、少なくとも複数の前記排水装置の少なくとも一部の前記排水データに基づいて、複数の前記排水装置の少なくとも一部の排水量及び排水タイミングの一方又は両方、少なくとも前記処理データに基づいて、複数の前記排水装置の少なくとも一部の排水量及び排水タイミングの一方又は両方、少なくとも複数の前記排水装置の少なくとも一部の前記排水データに基づいて、前記排水処理装置の処理能力及び処理タイミングの一方又は両方の少なくとも一つを制御する」という制御を実施（当該制御を行う管理装置を使用）するのに、当業者に期待し得る程度を超える試行錯誤等をする必要があるとはいえず、当業者であれば、本件明細書の発明の詳細な説明の記載により、本件発明１～４を実施することができるというべきであるから、本件明細書の詳細な説明の記載は、本件発明１～４について実施可能要件を満たしているといえる。 ３ 申立理由４（サポート要件違反）及び取消理由１（サポート要件違反）について 事案に鑑み、申立理由４及び取消理由１を併せて検討する。 （１）第４の１（４）及び第４の２（１）の理由について ア 第４の１（４）の理由の概要 「請求項１に記載の「前記排水データ及び前記処理データの少なくとも一方に基づいて、前記排水装置を制御する第１制御処理及び前記排水処理装置を制御する第２制御処理の一方又は両方を実行する」ことから導かられる全ての態様のうちの一部しか、明細書に具体的に記載されていないから、請求項１及びそれを引用する請求項２－４に係る発明は、発明の詳細な説明に記載されたものとはいえない。」（特許異議申立書８頁６～１１行） イ 第４の２（１）の理由の概要 第４の２（１）の理由の概要は以下のとおりである。 本件特許に係る発明の課題を解決するためには、「管理装置１０」が、「排水データ取得部１０１と」、「制御部１０３」とを備え、前記「排水データ取得部１０１」が「排水データＤＡ１を取得」し、「制御部１０３」が、「排水データＤＡ１」に基づいて、複数の排水装置（ボイラ）を制御する「管理指令ＭＤ１を出力」し、「管理指令ＭＤ１」が「排水量Ｆｄ」、「排水タイミングＰｄ」を制御する必要があるが、訂正前の本件発明１～４の記載はこの点を充足しない。 そのため、訂正前の本件発明１～４は、発明の詳細な説明の記載又はその示唆により当業者が本件発明の課題を解決できる範囲のものであるということはできないし、また、その記載や示唆がなくとも当業者が出願時の技術常識に照らし本件発明の課題を解決できると認識できる範囲のものであるということはできない。 （２）（１）ア及びイの理由に関する当審の判断 ア サポート要件の判断手法 特許請求の範囲の記載が明細書のサポート要件に適合するか否かは、特許請求の範囲の記載と発明の詳細な説明の記載とを対比し、特許請求の範囲に記載された発明が、発明の詳細な説明に記載された発明で、発明の詳細な説明の記載又はその示唆により当業者が当該発明の課題を解決できると認識できる範囲のものであるか否か、また、その記載や示唆がなくとも当業者が出願時の技術常識に照らし当該発明の課題を解決できると認識できる範囲のものであるか否かを検討して判断すべきものである。 イ 本件発明１の課題について 本件発明１の課題は、明細書【０００５】に記載されているように「排水を効率良く処理すること」である。 ウ 本件発明１の課題を解決することができることに関する発明の詳細な説明の記載について （ア）本件明細書【００１３】には「実施形態においては、排水装置２がボイラであることとする。以下の説明においては、排水装置２を適宜、ボイラ２、と称する。」との記載が、【００８５】には「＜管理方法＞次に、管理装置１０による管理方法について説明する。制御部１０３は、排水データＤＡ１及び処理データＤＡ２の少なくとも一方に基づいて、ボイラ２を制御する第１制御処理及び排水処理装置３を制御する第２制御処理の一方又は両方を実行する。」との記載が、【０１４１】には「実施形態においては、排水データＤＡ１及び処理データＤＡ２がボイラ２と排水処理装置３とで共有され、ボイラ２と排水処理装置３とは連携して作動可能である。これにより、ボイラ２は、排水処理装置３の処理能力Ａｐに応じて適量な排水ＤＷを適切なタイミングで排水処理装置３に供給することができる。したがって、排水ＤＷを効率良く処理することができる。」との記載が、【０１４２】には「なお、上述の実施形態においては、排水データＤＡ１及び処理データＤＡ２の両方に基づいて第１制御処理が実行される例と、排水データＤＡ１及び処理データＤＡ２の両方に基づいて第２制御処理が実行される例とについて説明した。排水データＤＡ１及び処理データＤＡ２の一方に基づいて第１制御処理及実行されてもよい。排水データＤＡ１及び処理データＤＡ２の一方に基づいて第２制御処理及実行されてもよい。」との記載が、【０１４３】には「なお、上述の実施形態において、排水データＤＡ１及び処理データＤＡ２の少なくとも一方のデータに基づいて、第１制御処理及び第２制御処理の両方が並行して実行されてもよい。例えば、ボイラ２の運転状態及び排水処理装置３の運転状態のそれぞれが最適化されるように、制御部１０３は、第１制御処理と第２制御処理とを組み合わせて実行してもよい。」との記載があることから、「排水を効率良く処理する」という課題を解決するためには、「排水データＤＡ１及び処理データＤＡ２の少なくとも一方に基づいて、排水装置（ボイラ２）を制御する第１制御処理及び排水処理装置３を制御する第２制御処理の一方又は両方を実行」することが必要であるとわかる。 （イ）ここで「排水装置（ボイラ２）を制御する第１制御処理」及び「排水処理装置３を制御する第２制御処理」について検討してみると、単に「制御処理」と記載しただけでは、例えば、排水装置や排水処理装置の表示部での表示制御も文言上含まれるところ、このような制御が「排水を効率良く処理する」ことに寄与しないことは明らかである。したがって、制御部が実施する制御（第１制御処理、第２制御処理）は、あらゆる制御が含まれてもよいものではなく、「排水を効率良く処理する」ことに寄与する制御である必要がある。 この点について、明細書【００６９】には「制御部１０３は、第１制御処理において、排水量Ｆｄ、排水タイミングＰｄ、及び排水温度Ｔｄの少なくとも一つを制御する管理指令ＭＤ１を出力する。」との記載が、【００７０】には「制御部１０３は、第２制御処理において、処理能力Ａｐ、及び処理タイミングＰｐの少なくとも一つを制御する管理指令ＭＤ２を出力する。」との記載がある。 このことから、「排水を効率良く処理する」という課題を解決するためには、上記（ア）に記載した「排水データＤＡ１及び処理データＤＡ２の少なくとも一方に基づいて、排水装置（ボイラ２）を制御する第１制御処理及び排水処理装置３を制御する第２制御処理の一方又は両方を実行」する点に加え、「第１制御処理」の制御対象が「排水量Ｆｄ、排水タイミングＰｄ、及び排水温度Ｔｄの少なくとも一つ」であるか、「第２制御処理」の制御対象が「処理能力Ａｐ、及び処理タイミングＰｐの少なくとも一つ」である点が少なくとも必要である。 エ 本件明細書の発明の詳細な説明に記載される本件発明の課題を解決することができると認識できる範囲と本件発明１の対比 （ア）上記ウ（イ）で述べたように、「排水データＤＡ１及び処理データＤＡ２の少なくとも一方に基づいて、排水装置（ボイラ２）を制御する第１制御処理及び排水処理装置３を制御する第２制御処理の一方又は両方を実行」し、「第１制御処理」の制御対象が「排水量Ｆｄ、排水タイミングＰｄ、及び排水温度Ｔｄの少なくとも一つ」であるか、「第２制御処理」の制御対象が「処理能力Ａｐ、及び処理タイミングＰｐの少なくとも一つ」であれば、上記イの本件発明１の課題を解決することができる。 （イ）一方、本件発明１には「前記排水データ及び前記処理データの少なくとも一方に基づいて、前記排水装置を制御する第１制御処理及び前記排水処理装置を制御する第２制御処理の一方又は両方を実行する制御部と、を備え」ることが特定されているので、上記（ア）の「排水データＤＡ１及び処理データＤＡ２の少なくとも一方に基づいて、排水装置（ボイラ２）を制御する第１制御処理及び排水処理装置３を制御する第２制御処理の一方又は両方を実行」する点を充足している。 （ウ）また、本件発明１には 「少なくとも複数の前記排水装置の少なくとも一部の前記排水データに基づいて、複数の前記排水装置の少なくとも一部の排水量及び排水タイミングの一方又は両方、 少なくとも前記処理データに基づいて、複数の前記排水装置の少なくとも一部の排水量及び排水タイミングの一方又は両方、 少なくとも複数の前記排水装置の少なくとも一部の前記排水データに基づいて、前記排水処理装置の処理能力及び処理タイミングの一方又は両方 の少なくとも一つを制御する」 ことが特定されており、「排水装置の少なくとも一部の排水量及び排水タイミングの一方又は両方・・・の少なくとも一つを制御する」点は、上記（ア）の「第１制御処理」の制御対象が「排水量Ｆｄ、排水タイミングＰｄ、及び排水温度Ｔｄの少なくとも一つ」である点に対応し、「排水処理装置の処理能力及び処理タイミングの一方又は両方の少なくとも一つを制御する」点は、上記（ア）の「第２制御処理」の制御対象が「処理能力Ａｐ、及び処理タイミングＰｐの少なくとも一つ」である点に対応しているから、上記（ア）の「第１制御処理」の制御対象が「排水量Ｆｄ、排水タイミングＰｄ、及び排水温度Ｔｄの少なくとも一つ」であるか、「第２制御処理」の制御対象が「処理能力Ａｐ、及び処理タイミングＰｐの少なくとも一つ」である点が少なくとも必要であることも属している。 （エ）そうすると、本件発明は、上記イの発明の課題を解決するために必要な手段を全て含んでいるといえ、発明の詳細な説明の記載又はその示唆により当業者が当該発明の課題を解決できると認識できる範囲のものであって、本件明細書の発明の詳細な説明に記載されたものであるといえるから、特許請求の範囲の記載はサポート要件に適合するものということができる。 ４ 申立人の主張について （１）申立人は、令和 ５年１２月２１日提出の意見書で、おおむね以下の主張をしている。 ア 新規性及び進歩性について 「訂正後の請求項１の「排水装置」に相当する基板研磨機構１１、基盤洗浄機構１２、基板洗浄乾燥機構１３からの排水は、センサＳ１，Ｓ２，Ｓ３の検知データに基づき切替バルブＶａが制御されることが示されているので、訂正後の請求項１の「排水装置の排水データに基づいて排水量及び排水タイミングの一方又は両方を制御する」に相当する。」（意見書１１頁３～７行） 「１次タンク内の回収純水（基板研磨機構、基盤洗浄機構、基板洗浄乾燥機構から排出された排水）を、不純物センサの検知データに基づいて、フィルタで処理されるかフィルタ処理せずに排水されるかを制御していることが示されているので、「処理データに基づいて、処理タイミングを制御する」に相当する。 したがって、訂正後の請求項１は、甲第１号証に記載の発明と同一であるか又は当業者容易に想到し得たものである。訂正後の請求項２～４についても、異議申立書で述べた通り、甲第１号証に記載の発明と同一であるか又は当業者容易に想到し得たものである。」（意見書１１頁１４～２２行） イ サポート要件について （ア）「「排水装置から排水処理装置に適量な排水を適切なタイミングで供給すること」が本件特許発明の課題である。」（意見書２頁２４～２５行） （イ）「明細書に記載された具体的実施態様として示されているのは「排水タイミング」を制御する場合のみであり、訂正後の請求項１から導き出せるすべての組み合わせが記載されているとは言えない。」（意見書４頁３～６行） （ウ）「排水データと処理データが排水装置と排水処理装置とで共有され、排水装置と排水処理装置が連携して作動するとともに、複数の排水装置の排水タイミングが異なるように排水処理装置の処理能力に応じて適切に排水が排水処理装置に供給されること、複数の排水装置から排水が排水処理装置に同時に供給される場合は、排水処理装置の処理能力を超えないように排水装置からの排水量が制限されること、により本件特許発明の課題（目的）を達成しているのであり、これらの記載がない訂正後の請求項１に係る発明は、出願時の技術常識に照らしても、明細書に記載の事項に基づき請求項に係る発明の範囲まで発明の詳細な説明に開示された内容を拡張ないし一般化できるとはいえない。」（意見書５頁１６～２４行） （エ）「具体的に記載されているボイラ排水の中和処理以外のどのような排水処理で本件特許の範囲に含まれるのか不明である。」（意見書８頁２５～２７行） 「訂正後の請求項１～４に係る発明において、サポート要件（実施可能要件）を満たすためには、明細書に具体的記載がなされているボイラ排水の中和処理の具体的構成及び手法についての記載が必須である。なお、訂正によって「ボイラ排水の中和処理の具体的態様」に限定されていない訂正後の請求項１～４は、サポート要件（実施可能要件）を満たさない」（意見書９頁１２～１６行） ウ 実施可能要件について （ア）「訂正後の請求項１には、排水装置の「排水量及び排水タイミング」等をどのように制御するのか、その具体的手法は一切記載されておらず、当業者が本件特許の課題である「排水を効率良く処理する」ために本件特許発明を実施するに際し過度の試行錯誤を要求するものであるから、実施可能要件も満たしていない。」（意見書６頁２２～２６行） （イ）上記イ（エ）の主張は、実施可能要件を満たさないとの主張でもある。 （２）申立人の主張に対する当審の判断 ア （１）アの主張について 上記１（３）ア（ア）ａ～ｈで述べたように、本件発明１と甲１発明とは、甲１発明が少なくとも、「排水装置から排出される排水に係る排水データを取得する排水データ取得部」「を備え」「前記排水データ取得部は、複数の前記排水装置から前記排水データを取得」（＜相違点１＞）する構成を備えていない点で相違し、その相違点１は同（イ）で判断したとおり、当業者が容易になし得たものではない。そして、申立人の上記相当関係の主張は、上記相違点１の構成を無視したものであり、相違点１の判断に影響を及ぼすものではない。 そうすると、申立人の上記アの主張によって、当審の上記１で記載した新規性及び進歩性の判断が覆ることはない。 イ （１）イの主張について （ア） （１）イ（ア）の主張について 本件発明の課題は、本件明細書の「【発明が解決しようとする課題】」に続く【０００４】～【０００５】に「排水を効率良く処理するためには、排水装置から排水処理装置に適量な排水を適切なタイミングで供給することが要望される。本発明の態様は、排水を効率良く処理することを目的とする。」と記載されている文意からすると、「排水装置から排水処理装置に適量な排水を適切なタイミングで供給すること」により「排水を効率良く処理すること」が課題であると解釈され得るものである。 しかしながら、本件明細書全体からは、「排水装置から排水処理装置に適量な排水を適切なタイミングで供給すること」以外に、「排水処理装置の処理能力、及び処理タイミングの少なくとも一つを制御」することにより「排水を効率良く処理すること」も開示されていることが把握できるため、「排水装置から排水処理装置に適量な排水を適切なタイミングで供給すること」は課題における必須の条件ではなく、「排水を効率良く処理すること」という課題を解決するための選択肢の一つにすぎないと理解できる。 してみれば、本件明細書全体からは、本件発明の課題を「排水装置から排水処理装置に適量な排水を適切なタイミングで供給すること」と解するよりも、「排水を効率良く処理すること」であるとするのが妥当であるから、「「排水装置から排水処理装置に適量な排水を適切なタイミングで供給すること」が本件特許発明の課題である。」との申立人の主張は採用できない。 （イ） （１）イ（イ）の主張について 上記２（２）ウ（ア）、（ウ）、（オ）、（カ）に記載したように、「排水タイミング」を制御せずに、「排水量」、「処理能力」、「処理タイミング」を制御することが発明の詳細な説明には記載されており、上記３（２）ウ（ア）で説示したように、「排水量」、「処理能力」、「処理タイミング」を制御するものであっても、上記「排水を効率良く処理する」という課題を解決することができることから、申立人の上記（１）イ（イ）の主張によって、当審の上記３で記載したサポート要件の判断が覆ることはない。 （ウ） （１）イ（ウ）の主張について 本件明細書には、申立人が主張するとおり、「複数のボイラ２が排水処理装置３に接続される」（【０１４５】）こと、「複数のボイラ２の排水タイミングＰｄが異なるように、管理指令ＭＤ１が出力される」（【０１５３】）こと、「複数のボイラ２から排水処理装置３に排水ＤＷが同時に供給される場合において、排水処理装置３の処理能力Ａｐを超えないようにボイラ２の排水量Ｆｄが制限されること」（【０１５４】）、が記載されているが、これら態様に限定されることなく、上記３（２）ウ（ア）及び（イ）で記載したように、「排水データＤＡ１及び処理データＤＡ２の少なくとも一方に基づいて、」「排水装置（ボイラ２）」の「排水量Ｆｄ、排水タイミングＰｄ」、「排水処理装置３」の「処理能力Ａｐ、及び処理タイミングＰｐの少なくとも一つ」を制御するものであっても、上記「排水を効率良く処理できる」という課題が解決することが認識できることから、申立人の上記（１）イ（ウ）の主張によって、当審の上記３で記載したサポート要件の判断が覆ることはない。 （エ） （１）イ（エ）の主張について 本件明細書の【００１３】には「実施形態においては、排水装置２がボイラであることとする。」との記載が、【００６５】には「処理内容とは、排水処理装置３が実行可能な処理の種類をいう。実施形態において、処理内容は、中和処理及び冷却処理を含む。」との記載が、【０１２０】には「排水量Ｆｄが多い場合、制御部１０３は、中和剤ＮＴの流量が多くなるように、中和剤ＮＴの流量を決定する。排水量Ｆｄが少ない場合、制御部１０３は、中和剤ＮＴの流量が少なくなるように、中和剤ＮＴの流量を決定する。」との記載があることから、排水処理の具体例として、ボイラ排水の中和処理について記載されているが、【００６５】に「中和処理」と並列に「冷却処理」が記載されていることからも明らかなように、本件発明１の排水処理についての管理装置を、「排水を効率良く処理する」という課題において、ボイラ排水の中和処理以外の排水処理にも適用できることは当業者において明らかであり、本件発明１の排水処理について管理装置が、ボイラ排水の中和処理の課題のみを解決したものでもないことから、本件発明１の管理装置が「ボイラ排水の中和処理」に対するものであるとの特定事項がないからといって、「排水を効率良く処理する」という課題を解決することが認識できないとはいえない。よって、申立人の上記（１）イ（エ）の主張によって、当審の上記３で記載したサポート要件の判断が覆ることはない。 ウ （１）ウの主張について （ア） （１）ウ（ア）の主張について 排水装置の「排水量及び排水タイミング」の具体的に制御について明細書に記載されていることは、上記２（２）ウ（ア）～（エ）に記載したとおりであるから、本件発明１を実施するに際し過度の試行錯誤を必要とするものではない。よって、申立人の上記（１）ウ（ア）の主張によって、当審の上記２で記載した実施可能要件の判断が覆ることはない。 （イ） （１）ウ（イ）の主張について 上記イ（エ）で記載したように、冷却処理のような、ボイラ排水の中和処理以外の排水の処理についても、本件発明１の管理装置の制御処理は実施できるものであるから、申立人の上記（１）ウ（イ）の主張によって、当審の上記２で記載した実施可能要件の判断が覆ることはない。 （３）小括 以上のことから、申立人の主張によって、上記１～３で説示した当審の判断が覆ることはない。 第６ むすび 上記第５で検討したとおり、本件特許１～４は、特許法第２９条第１項及び第２項の規定に違反してされたものであるとも、同法第３６条第６項第１号及び同法同条第４項第１号に規定にする要件を満たしていない特許出願に対してされたものであるということはできず、同法第１１３条第２号又は第４号に該当するものではないから、上記申立理由１～４及び取消理由１では、本件特許１～４を取り消すことはできない。 また、他に本件特許１～４を取り消すべき理由を発見しない。 よって、結論のとおり決定する。