2024-701193

特許第７５０５５４９号発明「加工システム」の特許異議申立事件について、次のとおり決定する。

結 論 特許第７５０５５４９号の特許請求の範囲を訂正請求書に添付された訂正特許請求の範囲のとおり、訂正後の請求項〔１～４８〕、４９について訂正することを認める。 特許第７５０５５４９号の請求項１～１８に係る特許を維持する。

理 由 第１ 手続の経緯 特許第７５０５５４９号の請求項１～１８に係る特許についての出願は、２０２０年（令和２年）４月３０日を国際出願日とする出願であって、令和６年６月１７日にその特許権の設定登録がされ、同月２５日に特許掲載公報が発行された。 本件特許異議の申立ての主な経緯は、次のとおりである。 令和６年１２月１３日受付：特許異議申立人 三原 舞緒（以下「申立人」という。）による請求項１～１８に係る特許に対する特許異議の申立て 令和７年 １月１５日付け：手続補正指令書（方式） 令和７年 １月３０日受付：申立人による特許異議申立書を対象とする手続補正書 令和７年 ５月 １日付け：取消理由通知書 令和７年 ７月 ２日提出：特許権者 株式会社ニコン（以下「特許権者」という。）による訂正請求書及び意見書 令和７年 ７月１６日付け：訂正請求書に対する手続補正指令書（方式）及び意見書に対する手続補正指令書（方式） 令和７年 ８月 ６日提出：訂正請求書を補正の対象とする手続補正書（方式）（当該手続補正書により補正がされた訂正請求書を、以下「訂正請求書」といい、当該訂正請求書により請求がされた訂正を「本件訂正」ということがある。）、及び意見書を補正の対象とする手続補正書（方式） 令和７年 ９月１７日付け：訂正の請求があった旨の申立人への通知書 （その後、期限までに申立人による意見書の提出はなかった。） 第２ 訂正の適否 １ 訂正の内容 訂正請求書により、特許権者は特許請求の範囲を、訂正特許請求の範囲のとおり、訂正後の請求項１から４９について訂正することを求めているところ、その訂正の内容は以下の訂正事項１～１７のとおりである（下線部は、訂正により変更又は追加された箇所を示す）。 （１） 一群の請求項〔１～４８〕について ア 訂正事項１ 訂正前の特許請求の範囲の請求項１に、 「・・・物体計測装置と、 前記物体計測装置によって・・・」と記載されているのを、 「・・・物体計測装置と、 前記ビーム照射装置からの前記エネルギビームを計測するビーム計測装置と、 前記物体計測装置によって・・・」に訂正する（請求項１を直接的又は間接的に引用する請求項２～２３、２５～４２及び４５～４８も同様に訂正する）。 イ 訂正事項２ 特許請求の範囲の請求項２４を削除する。 ウ 訂正事項３ 訂正前の特許請求の範囲の請求項２５に、 「請求項２４に記載の加工システム」と記載されているのを、 「請求項１から２３のいずれか一項に記載の加工システム」に訂正する（請求項２５を直接的又は間接的に引用する請求項２６～４２及び４５～４８も同様に訂正する）。 エ 訂正事項４ 訂正前の特許請求の範囲の請求項３２に、 「請求項２４から３１のいずれか一項に記載の加工システム」と記載されているのを、 「請求項１から２３及び２５から３１のいずれか一項に記載の加工システム」に訂正する（請求項３２を直接的又は間接的に引用する請求項３３～４２及び４５～４８も同様に訂正する）。 オ 訂正事項５ 訂正前の特許請求の範囲の請求項３３に、 「請求項２４から３２のいずれか一項に記載の加工システム」と記載されているのを、 「請求項１から２３及び２５から３２のいずれか一項に記載の加工システム」に訂正する（請求項３３を直接的又は間接的に引用する請求項３４～４２及び４５～４８も同様に訂正する）。 カ 訂正事項６ 訂正前の特許請求の範囲の請求項３４に、 「請求項２４から３３のいずれか一項に記載の加工システム」と記載されているのを、 「請求項１から２３及び２５から３３のいずれか一項に記載の加工システム」に訂正する（請求項３４を直接的又は間接的に引用する請求項３５～４２及び４５～４８も同様に訂正する）。 キ 訂正事項７ 訂正前の特許請求の範囲の請求項３８に、 「請求項２４から３７のいずれか一項に記載の加工システム」と記載されているのを、 「請求項１から２３及び２５から３７のいずれか一項に記載の加工システム」に訂正する（請求項３８を直接的又は間接的に引用する請求項３９～４２及び４５～４８も同様に訂正する）。 ク 訂正事項８ 訂正前の特許請求の範囲の請求項３９に、 「請求項１から３８のいずれか一項に記載の加工システム」と記載されているのを、 「請求項１から２３及び２５から３８のいずれか一項に記載の加工システム」に訂正する（請求項３９を直接的又は間接的に引用する請求項４０～４２及び４５～４８も同様に訂正する）。 ケ 訂正事項９ 訂正前の特許請求の範囲の請求項４０に、 「請求項１から３９のいずれか一項に記載の加工システム」と記載されているのを、 「請求項１から２３及び２５から３９のいずれか一項に記載の加工システム」に訂正する（請求項４０を直接的又は間接的に引用する請求項４１～４２及び４５～４８も同様に訂正する）。 コ 訂正事項１０ 訂正前の特許請求の範囲の請求項４１に、 「請求項１から４０のいずれか一項に記載の加工システム」と記載されているのを、 「請求項１から２３及び２５から４０のいずれか一項に記載の加工システム」に訂正する（請求項４１を直接的又は間接的に引用する請求項４２及び４５～４８も同様に訂正する）。 サ 訂正事項１１ 訂正前の特許請求の範囲の請求項４２に、 「請求項１から４０のいずれか一項に記載の加工システム」と記載されているのを、 「請求項１から２３及び２５から４０のいずれか一項に記載の加工システム」に訂正する（請求項４２を直接的又は間接的に引用する請求項４６～４８も同様に訂正する）。 シ 訂正事項１２ 訂正前の特許請求の範囲の請求項４３に、 「前記制御装置は、前記物体計測装置によって前記物体が計測された後に前記物体を回転させるように前記回転装置を制御し、 前記物体計測装置は、前記回転装置によって回転された前記物体の表面を計測する 請求項１から３９のいずれか一項に記載の加工システム」と記載されているのを、 「物体を回転可能に保持する保持装置と、 前記保持装置を回転させる回転装置と、 前記保持装置が保持した前記物体にエネルギビームを照射するビーム照射装置と、 前記物体の表面を計測する物体計測装置と、 前記物体計測装置によって取得された前記物体に関する情報と、前記回転装置の回転軸の情報とに基づいて、前記ビーム照射装置及び前記回転装置のうち少なくとも一方を制御する制御装置と を備え、 前記ビーム照射装置からのエネルギビームを前記保持装置に保持された前記物体に照射することにより物体を加工し、 前記制御装置は、前記物体計測装置によって前記物体が計測された後に前記物体を回転させるように前記回転装置を制御し、 前記物体計測装置は、前記回転装置によって回転された前記物体の表面を計測する 加工システム」に訂正する（請求項４３を直接的又は間接的に引用する４４及び４６～４８も同様に訂正する）。 ス 訂正事項１３ 訂正前の特許請求の範囲の請求項４５に、 「請求項１から４１のいずれか一項に記載の加工システム」と記載されているのを、 「請求項１から２３及び２５から４１のいずれか一項に記載の加工システム」に訂正する（請求項４５を直接的又は間接的に引用する請求項４６～４８も同様に訂正する）。 セ 訂正事項１４ 訂正前の特許請求の範囲の請求項４６に、 「請求項１から４５のいずれか一項に記載の加工システム」と記載されているのを、 「請求項１から２３及び２５から４５のいずれか一項に記載の加工システム」に訂正する（請求項４６を直接的又は間接的に引用する請求項４７～４８も同様に訂正する）。 ソ 訂正事項１５ 訂正前の特許請求の範囲の請求項４７に、 「請求項１から４６のいずれか一項に記載の加工システム」と記載されているのを、 「請求項１から２３及び２５から４６のいずれか一項に記載の加工システム」に訂正する（請求項４７を引用する請求項４８も同様に訂正する）。 タ 訂正事項１６ 訂正前の特許請求の範囲の請求項４８に、 「請求項１から４７のいずれか一項に記載の加工システム」と記載されているのを、 「請求項１から２３及び２５から４７のいずれか一項に記載の加工システム」に訂正する。 （２） 請求項４９について ア 訂正事項１７ 訂正前の特許請求の範囲の請求項４９に、 「前記エネルギビームを、保持された前記物体に照射することにより前記物体を加工する 加工方法」と記載されているのを、 「前記エネルギビームを、保持された前記物体に照射することにより前記物体を加工し、 前記制御することは、前記物体の表面を計測することによって前記物体が計測された後に前記物体を回転させるように前記回転装置を制御することを含み、 前記物体の表面を計測することは、前記物体を回転させることによって回転された前記物体の表面を計測することを含む 加工方法」に訂正する。 ２ 一群の請求項について 訂正前の特許請求の範囲の請求項１～４８は、請求項２～４８がそれぞれ請求項１を直接的又は間接的に引用する関係にあるから、訂正事項１によって記載が訂正される請求項１に連動して訂正されるものである。 したがって、本件訂正は、特許法（以下、単に「法」ということがある。）１２０条の５第４項に規定する一群の請求項である請求項〔１～４８〕、及び請求項４９について請求をするものである。 ３ 訂正の目的の適否、新規事項の有無、特許請求の範囲の拡張・変更の存否 （１） 一群の請求項〔１～４８〕について ア 訂正事項１について （ア） 訂正の目的 訂正事項１は、訂正前の特許請求の範囲の請求項１について、１（１）アの下線部の事項をさらに特定するものである。 したがって、訂正事項１に係る訂正は、法１２０条の５第２項ただし書１号に掲げる特許請求の範囲の減縮を目的とするものに該当する。 （イ） 新規事項 訂正事項１は、訂正前の特許請求の範囲の請求項２４において特定していた事項を請求項１に組み入れて特定したものであるから、訂正事項１に係る訂正は、願書に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内においてされたものである。 したがって、訂正事項１に係る訂正は、法１２０条の５第９項において準用する法１２６条５項の規定に適合する。 （ウ） 特許請求の範囲の拡張・変更 訂正事項１は、（ア）のとおり特許請求の範囲を減縮するものであるから、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものに該当しないことが明らかである。 したがって、訂正事項１に係る訂正は、法１２０条の５第９項において準用する法１２６条６項の規定に適合する。 イ 訂正事項２について （ア） 訂正の目的 訂正事項２は、訂正前の特許請求の範囲の請求項２４を削除するものである。 したがって、訂正事項２に係る訂正は、法１２０条の５第２項ただし書１号に掲げる特許請求の範囲の減縮を目的とするものに該当する。 （イ） 新規事項 訂正事項２は、訂正前の特許請求の範囲の請求項２４を削除するものであるから、訂正事項２に係る訂正は、願書に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内においてされたものである。 したがって、訂正事項２に係る訂正は、法１２０条の５第９項において準用する法１２６条５項の規定に適合する。 （ウ） 特許請求の範囲の拡張・変更 訂正事項２は、（ア）のとおり特許請求の範囲を減縮するものであるから、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものに該当しないことが明らかである。 したがって、訂正事項２に係る訂正は、法１２０条の５第９項において準用する法１２６条６項の規定に適合する。 ウ 訂正事項３～１１、１３～１６について （ア） 訂正の目的 訂正事項３～１１、１３～１６は、訂正事項２による請求項２４の削除に伴い、訂正後の特許請求の範囲において請求項２５、３２～３４、３８～４２、４５～４８における引用請求項の記載を整合させるものである。 したがって、訂正事項３～１１、１３～１６に係る訂正は、法１２０条の５第２項ただし書３号に掲げる明瞭でない記載の釈明を目的とするものに該当する。 （イ） 新規事項 訂正事項３～１１、１３～１６は、（ア）のとおり引用請求項を整合させるものであって、新たな技術的事項を導入するものではないから、訂正事項３～１１、１３～１６に係る訂正は、願書に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内においてされたものである。 したがって、訂正事項３～１１、１３～１６に係る訂正は、法１２０条の５第９項において準用する法１２６条５項の規定に適合する。 （ウ） 特許請求の範囲の拡張・変更 訂正事項３～１１、１３～１６は、（ア）のとおり引用請求項を整合させるものであって、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものに該当しないことが明らかである。 したがって、訂正事項３～１１、１３～１６に係る訂正は、法１２０条の５第９項において準用する法１２６条６項の規定に適合する。 エ 訂正事項１２について （ア） 訂正の目的 訂正事項１２は、訂正前の特許請求の範囲の請求項１を引用していた請求項４３について、当該請求項１の記載を引用しないものとする訂正である。 したがって、訂正事項１２に係る訂正は、法１２０条の５第２項ただし書４号に掲げる、他の請求項の記載を引用する請求項の記載を当該他の請求項の記載を引用しないものとすることを目的とするものに該当する。 （イ） 新規事項 訂正事項１２は、（ア）のとおりのものであるから、訂正事項１に係る訂正は、願書に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内においてされたものである。 したがって、訂正事項１２に係る訂正は、法１２０条の５第９項において準用する法１２６条５項の規定に適合する。 （ウ） 特許請求の範囲の拡張・変更 訂正事項１２は、（ア）のとおりのものであるから、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものに該当しないことが明らかである。 したがって、訂正事項１２に係る訂正は、法１２０条の５第９項において準用する法１２６条６項の規定に適合する。 （２） 請求項４９について ア 訂正事項１７について （ア） 訂正の目的 訂正事項１７は、訂正前の特許請求の範囲の請求項４９について、１（２）アの下線部の事項をさらに特定するものである。 したがって、訂正事項１７に係る訂正は、法１２０条の５第２項ただし書１号に掲げる特許請求の範囲の減縮を目的とするものに該当する。 （イ） 新規事項 訂正事項１７は、訂正前の特許請求の範囲の請求項４３及び明細書【０１４６】の記載事項を請求項４９に組み入れて特定したものであるから、訂正事項１７に係る訂正は、願書に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内においてされたものである。 したがって、訂正事項１７に係る訂正は、法１２０条の５第９項において準用する法１２６条５項の規定に適合する。 （ウ） 特許請求の範囲の拡張・変更 訂正事項１７は、（ア）のとおり、特許請求の範囲を減縮するものであるから、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものに該当しないことが明らかである。 したがって、訂正事項１７に係る訂正は、法１２０条の５第９項において準用する法１２６条６項の規定に適合する。 ４ 独立特許要件 （１） 独立特許要件が課されない訂正事項 訂正前の請求項１～１８について特許異議の申立てがされているので、訂正前の請求項１～１８に係る訂正事項１に関して、法１２０条の５第９項で読み替えて準用する法１２６条７項の独立特許要件は課されない。 次に、訂正事項２は、請求項２４を削除する訂正であり、対象が存在しないものとなったため、法１２０条の５第９項で読み替えて準用する法１２６条７項の独立特許要件は課されない。 また、訂正事項３～１１、１３～１６は、法１２０条の５第２項ただし書き３号に掲げる事項を目的とする訂正であるから、法１２０条の５第９項で読み替えて準用する法１２６条７項の独立特許要件は課されない。 さらに、訂正事項１２は、法１２０条の５第２項ただし書き４号に掲げる事項を目的とする訂正であるから、法１２０条の５第９項で読み替えて準用する法１２６条７項の独立特許要件は課されない。 （２） 独立特許要件が課される訂正事項 ア 訂正前の請求項１９～２３、２５～４２、４５～４８に係る訂正事項１は、法１２０条の５第２項ただし書１号に掲げる事項を目的とする訂正であるから、訂正事項１による請求項１９～２３、２５～４２、４５～４８については、法１２０条の５第９項で読み替えて準用する法１２６条７項の規定により独立特許要件が課されるため、以下に検討する。 訂正後の請求項１９～２３、２５～４２、４５～４８は、訂正後の請求項１に直接的又は間接的に従属するから、後述する第４の２（１）で検討する相違点３に係る訂正後の請求項１の構成を少なくとも有することになる。 そうすると、第４の２（１）と同様に、訂正後の請求項１９～２３、２５～４２、４５～４８に係る発明は、甲１発明及び甲２技術～甲５技術に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるとはいえない。 イ 訂正事項１７は、法１２０条の５第２項ただし書１号に掲げる事項を目的とする訂正であるから、訂正事項１７による請求項４９については、法１２０条の５第９項で読み替えて準用する法１２６条７項の規定により独立特許要件が課されるため、以下に検討する。 訂正後の請求項４９の、 「前記制御することは、前記物体の表面を計測することによって前記物体が計測された後に前記物体を回転させるように前記回転装置を制御することを含み、 前記物体の表面を計測することは、前記物体を回転させることによって回転された前記物体の表面を計測することを含む」という構成については、後述する第４での甲１発明及び甲２技術～甲５技術において、当該構成に相当する技術的な内容が見当たらないことが明らかである。 そうすると、訂正後の請求項４９に係る発明は、甲１発明及び甲２技術～甲５技術に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるとはいえない。 ウ そして、訂正後の請求項１９～２３、２５～４２、４５～４８及び訂正後の請求項４９の記載について不備は見当たらないし、他に請求項１９～２３、２５～４２、４５～４８に係る発明及び請求項４９に係る発明が特許出願の際独立して特許を受けることができないとする理由も見当たらない。 ５ 訂正の適否についての小括 以上のとおりであるから、特許請求の範囲を、訂正請求書に添付された訂正特許請求の範囲のとおり、訂正後の請求項〔１～４８〕、及び請求項４９について訂正することを認める。 第３ 訂正後の本件発明 第２のとおり、本件訂正は認められたから、本件の請求項１～４９に係る発明のうち、特許異議の申立てがされている請求項１～１８に係る発明（以下、まとめて「本件発明」という。また、個別に請求項１に係る発明を「本件発明１」といい、他の請求項に係る発明についても同様にいう。）は、次の事項により特定されるものである。 【請求項１】 物体を回転可能に保持する保持装置と、 前記保持装置を回転させる回転装置と、 前記保持装置が保持した前記物体にエネルギビームを照射するビーム照射装置と、 前記物体の表面を計測する物体計測装置と、 前記ビーム照射装置からの前記エネルギビームを計測するビーム計測装置と、 前記物体計測装置によって取得された前記物体に関する情報と、前記回転装置の回転軸の情報とに基づいて、前記ビーム照射装置及び前記回転装置のうち少なくとも一方を制御する制御装置と を備え、 前記ビーム照射装置からのエネルギビームを前記保持装置に保持された前記物体に照射することにより前記物体を加工する 加工システム。 【請求項２】 前記回転軸の情報は、前記物体計測装置による計測結果に基づいて取得される 請求項１に記載の加工システム。 【請求項３】 前記物体計測装置は、前記物体に光を照射することで前記物体の表面を計測する 請求項１又は２に記載の加工システム。 【請求項４】 前記物体計測装置は、前記物体から反射する光を検出することで前記物体の表面を計測する 請求項３に記載の加工システム。 【請求項５】 前記物体計測装置は、光干渉法により前記物体の表面を計測する 請求項４に記載の加工システム。 【請求項６】 前記物体計測装置は、光切断法またはタイム・オブ・フライト法により前記物体の表面を計測する 請求項４に記載の加工システム。 【請求項７】 前記物体計測装置は、前記物体の表面の３次元形状を計測する 請求項１から６のいずれか一項に記載の加工システム。 【請求項８】 前記物体計測装置は、前記エネルギビームとは異なる計測光を照射することで前記物体の表面を計測する 請求項３から７のいずれか一項に記載の加工システム。 【請求項９】 前記物体計測装置は、前記物体の計測のために前記ビーム照射装置によって前記エネルギビームを照射することなく、前記物体の表面の形状を計測する 請求項１から８のいずれか一項に記載の加工システム。 【請求項１０】 前記物体計測装置は、前記ビーム照射装置によって前記エネルギビームを照射することなく、前記物体の表面を計測する 請求項１から９のいずれか一項に記載の加工システム。 【請求項１１】 前記制御装置は、前記物体の加工が完了する前に前記回転軸の情報を取得する 請求項１から１０のいずれか一項に記載の加工システム。 【請求項１２】 前記制御装置は、前記物体の加工が行われる前に前記回転軸の情報を取得する、 請求項１１に記載の加工システム。 【請求項１３】 前記制御装置は、前記物体の加工が行われている間に前記回転軸の情報を取得する、 請求項１１に記載の加工システム。 【請求項１４】 前記物体に関する情報は、前記物体の表面の形状に関する情報を含む 請求項１から１３のいずれか一項に記載の加工システム。 【請求項１５】 前記回転軸の情報は、前記回転軸と前記物体とのずれに関する情報を含む 請求項１から１４のいずれか一項に記載の加工システム。 【請求項１６】 前記ずれに関する情報は、前記回転軸と前記物体の中心軸との角度関係及び位置関係の少なくとも一方を含む 請求項１５に記載の加工システム。 【請求項１７】 前記回転軸の情報は、ステージに対する前記回転装置の組み付け誤差及び前記回転軸の方向と前記エネルギビームの走査方向とのずれの少なくとも一方に関する情報を含む 請求項１から１６のいずれか一項に記載の加工システム。 【請求項１８】 前記制御装置は、前記ビーム照射装置による前記エネルギビームの照射位置を制御する 請求項１から１７のいずれか一項に記載の加工システム。 第４ 取消理由通知で通知した取消理由について １ 取消理由の概要 取消理由通知で通知した取消理由（以下、単に「取消理由」という。）の概要は以下のとおりである。当該取消理由は、特許異議申立書における申立の理由と同趣旨である。 （１） 進歩性 訂正前の本件特許の請求項１～１８に係る発明は、その出願前日本国内または外国において頒布された刊行物に記載された発明又は電気通信回線を通じて公衆に利用可能となった発明に基いて、その出願前にその発明の属する技術の分野における通常の知識を有する者が容易に発明をすることができたものであるから、請求項１～１８に係る特許は、法２９条２項の規定に違反してされたものである。 （２） 証拠方法 ア 申立書に添付して提出された証拠のうち取消理由通知で採用したもの 甲第１号証：特開２０１４－２２３６７２号公報 甲第２号証：特開昭５４－６９８９６号公報 甲第３号証：特開２０１８－１７６２４５号公報 甲第４号証：特開２００５－２６２２２０号公報 イ 申立書に添付して提出された証拠のうち取消理由通知では採用しなかったもの 甲第５号証：特開２０１８－１５３８４２号公報 以下、「甲第１号証」等を単に「甲１」等という。 ２ 取消理由についての判断 第２のとおり本件訂正は認められたから、本件発明について前記１の取消理由を検討する。 （１） 本件発明１の進歩性 ア 甲１に記載された発明 （ア） 甲１の記載事項 甲１には、以下の事項が記載されている（下線は当審で付与）。 「【０００５】 本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、加工対象物の軸振れの測定と補正を高精度で行うことができ、加工精度を向上させたレーザ加工方法及び加工装置を提供することを目的とする。 ・・・ 【００１８】 以下、本発明に係るレーザ加工方法及びレーザ加工装置の一実施形態を図面を参照しながら説明する。 まず、レーザ加工装置の実施形態について説明する。この実施形態のレーザ加工装置１は、図１に示すように、加工対象物ｗに加工用レーザ光Ｌ１を照射して加工する装置である。レーザ加工装置１は、加工対象物ｗに加工用レーザ光Ｌ１及び測定用レーザＬ２を照射するレーザ照射手段２と、加工対象物ｗを保持した状態で回転及びｘ，ｙ，ｚ軸方向に移動可能なステージを有するワーク保持手段３と、加工対象物ｗの表面で反射した加工用レーザ光Ｌ１の反射光Ｒ１の変化により加工終点を判定可能な終点判定手段４（図２参照）と、加工対象物ｗの表面で反射した測定用レーザ光Ｌ２の反射光Ｒ２の変化により加工対象物ｗの軸心と回転中心との軸ずれを検出して、補正値を算出する補正手段５（図３参照）と、これらを制御するコンピュータからなる制御手段６とを備える。 【００１９】 レーザ照射手段２は、例えばレーザ光を一定の繰り返し周波数でパルス発振するレーザ光源１１と、レーザ光の広がりを調整するビーム調整部１２と、照射するレーザ光を走査させるガルバノスキャナ１３と、レーザ光をスポット状に集光する集光レンズ１４と、光路を屈曲する複数のミラーｍ１，ｍ２とを備えている。 ・・・。また、本実施形態においては、レーザ光源１１の出力を調整することによりレーザ光のエネルギー密度を調整して、異なるエネルギー密度の加工用レーザ光Ｌ１と測定用レーザ光Ｌ２とを照射することとしている。そして、測定用レーザ光Ｌ２は、加工対象物ｗの加工閾値よりも低く、加工用レーザ光Ｌ１よりも低いエネルギー密度に設定される。・・・。 【００２０】 ワーク保持手段３は、加工対象物ｗを把持するチャック２１と、このチャック２１を回転する回転機構２２と、この回転機構２２を搭載してｘ，ｙ，ｚ軸方向に移動可能なステージ２３ｘ～２３ｚを有している。・・・。 【００２１】 また、レーザ加工装置１には、加工対象物ｗの表面で反射する加工用レーザ光Ｌ１の反射光Ｒ１及び測定用レーザ光Ｌ２の反射光Ｒ２の双方を受光可能な受光手段３１が備えられる。そして、補正手段５は、図３に示すように、この受光手段３１と、受光手段３１で受光された反射光Ｒ２から加工対象物ｗの軸心Ｏと回転中心Ｃとの軸ずれにより生じる軸振れの大きさを算出する算出部３７から構成される。また、終点判定手段４は、図２に示すように、受光手段３１により加工対象物ｗの表面で反射する加工用レーザ光Ｌ１の反射光Ｒ１を受光し、この反射光Ｒ１から加工終点を判定するコンピュータからなる判定部３２により構成される。 ・・・ 【００２３】 次に、このレーザ加工装置１を用いて加工対象物ｗを加工する方法について説明する。 まず、ワーク保持手段３のチャック２１に加工対象物ｗを固定する。そして、加工対象物ｗの加工開始前に、加工対象物ｗの軸心Ｏとワーク保持手段３の回転中心Ｃとの軸ずれにより生じる加工対象物ｗの軸振れの大きさを算出する。 軸振れの大きさの算出は、加工対象物ｗに測定用レーザ光Ｌ２を定点照射し、回転機構２２によって加工対象物ｗを回転しながら、加工対象物ｗの表面で反射した反射光Ｒ２のスクリーン３３への投影光Ｓ２を測定することにより行う。・・・。 ・・・ 【００２６】 ・・・。そして、軸振れの大きさＲｘに基づいて加工用レーザ光Ｌ１の照射位置を加工対象物ｗの回転に伴い追随させることで、加工対象物ｗをワーク保持手段３に取り付ける際に生じる軸ずれを補正でき、加工時において軸振れの影響を取り除くことができる。・・・。 ・・・ 【００２８】 ・・・、これらの変数が軸振れ角θ又はｘ座標の位置に伴い変化する値であることを示している。・・・。 ・・・ 【００３０】 以上の関係式を用いることで、投影光Ｓ２のｚ座標の測定値から、測定用レーザ光Ｌ２が照射される位置のｘ座標における軸振れの大きさＲｘを求めることができる。また、スクリーン３３上の投影光Ｓ２のｚ座標が、加工対象物ｗの回転に伴い変化するが、このときの投影光Ｓ２のｚ座標の変化量から、加工対象物ｗのｙ座標Δｙｘθ及びｚ座標Δｚｘθを求めることができる。そして、これらの算出値に基づいて加工用レーザ光Ｌ１の照射位置をガルバノスキャナ１３やステージ部２３ｘ～２３ｚを操作して加工対象物ｗの回転に伴い追随させることで、加工対象物ｗを回転機に取り付ける際に生じる軸ずれを補正することができる。」 「【図１】 ［図：0001433070000001.jpg］ ・・・ 【図３】 ［図：0001433070000002.jpg］ 【図４】 ［図：0001433070000003.jpg］ 」 （イ） 甲１から理解できる事項 ａ 【００１８】の「加工対象物ｗに加工用レーザ光Ｌ１及び測定用レーザＬ２を照射するレーザ照射手段２」という記載、及び【００１９】の「レーザ光源１１の出力を調整することによりレーザ光のエネルギー密度を調整して、異なるエネルギー密度の加工用レーザ光Ｌ１と測定用レーザ光Ｌ２とを照射する」という記載からみて、加工用レーザ光Ｌ１と測定用レーザ光Ｌ２とは同時に照射されるものではないから、レーザ照射手段２は加工対象物ｗに加工用レーザ光Ｌ１又は測定用レーザ光Ｌ２を照射するものといえる。 ｂ 【００２３】の「ワーク保持手段３の回転中心Ｃ」という記載によると、【００２０】のとおりワーク保持手段３は回転機構２２を有するから、回転中心Ｃは、回転機構２２の回転中心Ｃであるといえる。 （ウ） 甲１発明 （ア）及び（イ）から、甲１に記載された事項を、本件発明１の発明特定事項に合わせて整理すると、甲１には、次の発明（以下「甲１発明」という。）が記載されているといえる。 「加工対象物ｗを回転可能に把持するチャック２１と、 前記チャック２１を回転させる回転機構２２と、 前記チャック２１が把持した前記加工対象物ｗに加工用レーザ光Ｌ１又は測定用レーザ光Ｌ２を照射するレーザ照射手段２と、 前記加工対象物ｗの表面で反射する加工用レーザ光Ｌ１の反射光Ｒ１及び測定用レーザ光Ｌ２の反射光Ｒ２の双方を受光可能な受光手段３１と、 前記受光手段３１によって受光された反射光Ｒ２と、前記回転機構２２の回転中心Ｃとに基づいて、前記加工用レーザ光Ｌ１の照射位置を加工対象物ｗの回転に伴い追随させる制御手段６と を備え、 前記レーザ照射手段２からの加工用レーザ光Ｌ１を前記チャック２１に把持された前記加工対象物ｗに照射することにより前記加工対象物ｗを加工する レーザ加工装置１。」 イ 甲２に記載された事項 （ア） 甲２の記載事項 甲２には、以下の事項が記載されている（下線は当審で付与）。 「レーザー光（Ｌ）及び溶融物除去成形バイト（３）による加工状況は数値制御装置（６）からの指令によって追従装置（５ａ）を介してレーザー非接触式形状測定器（５）により測定され、逐次数値制御装置（６）に伝達される。そして数値制御装置（６）は受信した情報を再処理して、指令を追従装置（１ａ），（３ａ）を介してレーザー光照射装置（１）及び溶融物除去成形バイト（３）に与えて照射点（Ｐ）及び当接点（Ｑ）の各瞬時における正確な位置制御を達成する。かくしてレーザー光照射装置（１），溶融物除去成形バイト（３）及びレーザー非接触式形状測定装置（５）による照射点（Ｐ），当接点（Ｑ），計測点（Ｒ）は被加工物（Ｗ）の回転半径方向及び回転軸線方向に常に正確な位置を保持しつつ移動するので、広範囲に亘る被加工物（Ｗ）の外径面に高精度の凹凸形状を成形することができる。」（３ページ右下欄１２行～４ページ左上欄１２行） 「 ［図：0001433070000004.jpg］ 」 （イ） 甲２から理解できる事項 （ア）によると、甲２には、レーザ加工技術に関し「レーザー非接触式形状測定器（５）で被加工物（Ｗ）の外径面を測定すること」（以下「甲２技術」という。）が開示されているといえる。 ウ 甲３に記載された事項 （ア） 甲３の記載事項 甲３には、以下の事項が記載されている（下線は当審で付与）。 「【０００９】 図１は、一態様によるレーザ加工システム１０の構成を機能ブロックで示す。レーザ加工システム１０は、加工用光学系１１を通してレーザ光Ｌを対象物Ｗに走査式（破線矢印Ｓ）に照射する加工ヘッド１２と、加工ヘッド１２に設けられ、加工用光学系１１の光軸１１ａに沿って照明光Ｉを加工ヘッド１２から対象物Ｗに向けて出射させる照明光出射部１４と、照明光出射部１４に対し予め定めた位置関係を有し、対象物Ｗの被照射点Ｗｐで反射する照明光Ｉの反射光Ｉｒを受光する受光部１６と、受光部１６が受光した反射光Ｉｒを処理して被照射点Ｗｐの三次元測定データＭを取得する測定処理部１８とを備える。 ・・・ 【００１２】 加工開始前に測定した被照射点Ｗｐ（加工対象部位）の位置や形状のデータ（つまり三次元測定データＭ）は、必要に応じて、加工プログラムに含まれる加工ヘッド１２の位置指令や走査動作指令の補正に用いることができる。また加工終了後に測定した被照射点Ｗｐ（加工対象部位）の加工品質のデータ（三次元測定データＭ）は、必要に応じて、加工プログラムに含まれるレーザ発振パラメータ等の調整に用いることができる。なおレーザ加工システム１０が有する測定機能は、加工対象部位の測定に限定されず、例えば、加工対象部位の位置を相対的に表すことができるように対象物（ワーク）Ｗに設定された基準箇所（例えば板状ワークの角部）の位置の測定や、レーザ加工に際して干渉物となり得るワーク以外の対象物Ｗの外面の位置や形状の測定に用いることもできる。 ・・・ 【００２０】 レーザ加工システム１０、２０では、三次元測定データＭの測定処理の他の例として、三角測量法の一種として知られる光切断法を採用できる。光切断法では、照明光出射部１４は、線状の照明光（つまりスリット光）Ｉを対象物Ｗに照射し、受光部１６は、被照射点Ｗｐにおける線状の反射光Ｉｒを撮像処理し、測定処理部１８は、受光部１６が撮像処理した線状の反射光Ｉｒを三角測量処理して三次元測定データＭを取得する。線状の照明光Ｉで照射される被照射点Ｗｐの位置を平行移動させて、個々の位置で線状の反射光Ｉｒの三角測量処理を行うことにより、対象物Ｗの三次元形状を取得することができる。」 「 ［図：0001433070000005.jpg］ 」 （イ） 甲３から理解できる事項 （ア）によると、甲３には、レーザ加工技術に関し「照明光Ｉを用いて対象物Ｗの三次元測定データＭを取得すること」（以下「甲３技術」という。）が開示されているといえる。 エ 甲４に記載された事項 （ア） 甲４の記載事項 「【００５８】 本発明の実施例６（請求項２～４に対応）について、図８を参照しながら説明する。図８は、被加工物表面の三次元形状を測定するための構成を示す。 図８に示された構成において、図２の示された前記実施例１もの（当審注：「実施例１のもの」と思われる）と同じ部品には同じ符号を付けており、これらは前記実施例１のものと同様に作用するものである。加工用のＹＡＧレーザ光源５からの光は、ＮＤフィルタ６を透過してレンズ７にて集光された後、広げられ、レンズ８にてコリメートされる。ピンホール９は空間フィルタとして作用する。コリメートされた光はミラー１０にて折り返され（反射され）、対物レンズ２により集光されて被加工物３に照射される。この被加工物３の加工点近傍では、反応場４ｂが生じるとともに形態変化４ａが生じる。 １１は計測用の半導体レーザ励起ＹＡＧレーザで、この半導体レーザ励起ＹＡＧレーザ１１からの光は、ＮＤフィルタ１２を通過してレンズ１３にて集光されたのち広げられ、レンズ１４にてコリメートされる。１５は空間フィルタとして作用するピンホールである。レンズ１４にてコリメートされた光はビームスプリッタ５０にて分岐され、該ビームスプリッタ５０にて反射された光は被加工物面に照射されて、該被加工物３で反射された光は往きの光路を逆行してビームスプリッタ５０を透過してミラー５２で折り返される。一方、往きの光路でビームスプリッタ５０を透過した光はミラー５１で反射され、該ビームスプリッタ５０にて反射されてミラー５２で折り返される。上記被加工物３で反射された光は物体光となり、ミラー５１で反射された光は参照光となる。 【００５９】 物体光路長と参照光路長を半導体レーザ励起ＹＡＧレーザ１１のコヒーレンス長以下に設定しておき、上記物体光と参照光の光軸をほぼ一致させれば両者は干渉して干渉縞を発生する。この干渉縞はレンズ２０、ミラー２１、レンズ２２及びレンズ２３を介してＣＣＤカメラ２４の撮像面上で結像する。このＣＣＤカメラ２４にて撮像された干渉縞画像は、ＣＣＤドライバ２５、フレームグラバ２６を介してパーソナルコンピュータ２７のメモリに転送され、干渉縞画像として処理される。収録した干渉縞画像からレーザ加工途中における被加工面形状と二次元強度分布が同時に測定される。干渉縞画像の収録方法、物体光の強度情報、位相情報の計算方法は、前記実施例１（図２参照）のものと同様であるが、位相情報から加工面形状を求める場合は、物体光は被加工面で反射されて位相差が倍になっているため、物体光の位相情報を半分にしてから長さの単位に変換して形状を求める。」 「 ［図：0001433070000006.jpg］ 」 （イ） 甲４から理解できる事項 前記（ア）によると、甲４には、レーザ加工に関し「計測用の半導体レーザ励起ＹＡＧレーザを用いて被加工物表面の三次元形状を測定すること」（以下「甲４技術」という。）が開示されている。 オ 甲５に記載された事項 （ア） 甲５の記載事項 「【０００１】 本発明は、計測装置およびレーザ溶接装置に関する。 ・・・ 【００２０】 計測部２は、ワーク１５０の溶融池１５０ｂの溶け込み深さを光干渉法により計測するために設けられている。・・・。」 「【図１】 ［図：0001433070000007.jpg］ 」 （イ） 甲５から理解できる事項 （ア）によると、甲５には、レーザ溶接に関し「光干渉法を用いてワークの溶融池の溶け込み深さを測定すること」（以下「甲５技術」という。）が開示されている。 カ 対比 （ア） 甲１発明の「加工対象物ｗ」は本件発明１の「物体」に相当し、以下同様に、「把持」は「保持」に、「チャック２１」は「保持装置」に、「回転機構２２」は「回転装置」に、それぞれ相当する。 （イ） 甲１発明の「加工用レーザ光Ｌ１」が本件発明１の「エネルギビーム」に相当するので、甲１発明の「前記加工対象物ｗに加工用レーザ光Ｌ１又は測定用レーザＬ２を照射するレーザ照射手段２」は、本件発明１の「前記物体にエネルギビームを照射するビーム照射装置」に相当する。 （ウ） 甲１発明の「前記加工対象物ｗの表面で反射する加工用レーザ光Ｌ１の反射光Ｒ１及び測定用レーザ光Ｌ２の反射光Ｒ２の双方を受光可能な受光手段３１」と、本件発明１の「前記物体の表面を計測する物体計測装置」とは、「前記物体の表面に関する情報を取得する装置」という概念では一致する。 （エ） 甲１発明の「前記受光手段３１によって受光された反射光Ｒ２」と、本件発明１の「前記物体計測装置によって取得された前記物体に関する情報」とは、 「前記取得する装置によって取得された前記物体に関する情報」という概念では一致する。 （オ） 甲１発明の「前記回転機構２２の回転中心Ｃ」は、本件発明１の「前記回転装置の回転軸の情報」に相当する。 （カ） 甲１発明の「前記加工用レーザ光Ｌ１の照射位置を加工対象物ｗの回転に伴い追随させる制御手段６」は、本件発明１の「前記ビーム照射装置及び前記回転装置のうち少なくとも一方を制御する制御装置」に相当する。 （キ） 甲１発明の「前記レーザ照射手段２からの加工用レーザ光Ｌ１を前記チャック２１に把持された前記加工対象物ｗに照射することにより前記加工対象物ｗを加工する」ことは、本件発明１の「前記ビーム照射装置からのエネルギビームを前記保持装置に保持された前記物体に照射することにより前記物体を加工する」ことに相当する。 （ク） 甲１発明の「レーザ加工装置１」は、全体的にみればシステムともいえるから、本件発明１の「加工システム」に相当する。 キ 一致点と相違点 カによると、本件発明１と甲１発明との一致点・相違点は以下のとおりである。 （ア） 一致点 「物体を回転可能に保持する保持装置と、 前記保持装置を回転させる回転装置と、 前記保持装置が保持した前記物体にエネルギビームを照射するビーム照射装置と、 前記物体の表面に関する情報を取得する装置と、 前記取得する装置によって取得された前記物体に関する情報と、前記回転装置の回転軸の情報とに基づいて、前記ビーム照射装置及び前記回転装置のうち少なくとも一方を制御する制御装置と を備え、 前記ビーム照射装置からのエネルギビームを前記保持装置に保持された前記物体に照射することにより前記物体を加工する 加工システム。」 （イ） 相違点１ 物体の表面に関する情報を取得する装置が、本件発明１では物体の表面「を計測する物体計測装置」であるのに対し、甲１発明では加工対象物ｗの表面「で反射する加工用レーザ光Ｌ１の反射光Ｒ１及び測定用レーザ光Ｌ２の反射光Ｒ２の双方を受光可能な受光手段３１」である点。 （ウ） 相違点２ 「前記取得する装置によって取得された前記物体に関する情報」が、本件発明１では「前記物体計測装置によって取得された前記物体に関する情報」であるのに対し、甲１発明では「前記受光手段３１によって受光された反射光Ｒ２」である点。 （エ） 相違点３ 本件発明１は「前記ビーム照射装置からの前記エネルギビームを計測するビーム計測装置」を備えるのに対し、甲１発明ではこれに相当する構成を有しない点。 ク 判断 事案に鑑み、相違点３について検討する。 取消理由通知で用いた甲２技術～甲４技術、及び、特許異議申立書で提示された甲５記載の甲５技術をみても、相違点３の「前記ビーム照射装置からの前記エネルギビームを計測するビーム計測装置」に相当する技術的な内容が見当たらないことが明らかである。 そうすると、甲１発明に甲２技術～甲５技術を適用したとしても、相違点３に係る本件発明１の構成は当業者が容易に想到できたものであるとはいえない。 ケ 本件発明１の進歩性についての小括 以上のとおりであるから、相違点１～２について検討するまでもなく、本件発明１は、甲１発明及び甲２技術～甲５技術に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるとはいえない。 したがって、本件発明１に係る特許が、法２９条２項の規定に違反してされたものであるとはいえない。 （２） 本件発明２～１８の進歩性 本件発明２～１８は、直接的又は間接的に本件発明１に従属するものであるから、少なくとも相違点３について、（１）クのとおり、当業者が容易に想到できたものであるとはいえない。 したがって、本件発明２～１８に係る特許が、法２９条２項の規定に違反してされたものであるとはいえない。 （３） 進歩性についての小括 （１）～（２）のとおりであるから、本件発明１～１８に係る特許は、当審が取消理由通知で通知した取消理由であり、かつ、特許異議申立書における申立の理由である法２９条２項（進歩性）の規定に違反してされたものであるとはいえない。 第５ むすび 以上のとおりであるから、取消理由通知に記載した取消理由、及び特許異議申立書に記載された申立ての理由によっては、本件発明１～１８に係る特許を取り消すことはできない。 また、他に本件発明１～１８に係る特許を取り消すべき理由を発見しない。 よって、結論のとおり決定する。