2024-701153

特許第７４９４９７２号発明「静電チャック」の特許異議申立事件について、次のとおり決定する。

結 論 特許第７４９４９７２号の請求項１に係る特許を維持する。

理 由 第１ 手続の経緯 特許第７４９４９７２号の請求項１に係る特許（以下、「本件特許」という。）についての出願は、令和 ５年 ３月２７日に出願され、令和 ６年 ５月２７日にその特許権の設定登録がされ、同年 ６月 ４日に特許掲載公報が発行され、同年１１月２８日に特許異議申立人金 海松（以下「申立人」という。）により特許異議の申立てがされた。 第２ 本件発明 本件特許の請求項１に係る発明（以下、「本件発明」という。）は、願書に添付された特許請求の範囲の請求項１に記載された次の事項により特定されるとおりのものである。 「【請求項１】 被吸着物が載置される載置面を有する誘電体基板と、 前記誘電体基板に内蔵された線状のヒーターと、 前記誘電体基板のうち前記載置面とは反対側の面に接合されたベースプレートと、を備え、 前記ベースプレートのうち前記誘電体基板側の面には開口が形成されており、 前記載置面に対し垂直な方向から見た場合において、 前記ヒーターのうち前記開口と重なっている部分では、 前記ヒーターの伸びている方向に沿った端部となる位置における前記ヒーターの線幅に比べて、同方向に沿った中央となる位置における前記ヒーターの線幅の方が大きく、 前記載置面に対し垂直な方向から見た場合において、 前記ヒーターのうち前記開口と重なっている部分では、 前記ヒーターの線幅が、前記ヒーターの伸びている方向に沿った中央となる位置において最も大きく、 前記ヒーターの線幅が、 前記ヒーターの伸びている方向に沿った中央となる位置に近づくに従って、段階的に大きくなっていることを特徴とする、静電チャック。」 第３ 特許異議の申立ての理由について 申立人が主張する特許異議の申立ての理由は、以下の申立理由１及び申立理由２のとおりのものである。なお、申立人が提出した甲第１号証～甲第７号証を、以下、「甲１」～「甲７」という。 １ 申立理由１（進歩性） 請求項１に係る発明は、甲１に記載された発明と、甲２～６に記載された事項とに基づいて、その発明の属する技術の分野における通常の知識を有する者（以下、「当業者」という。）が容易に発明をすることができたものであるから、請求項１に係る特許は、特許法第２９条第２項の規定に違反してされたものである。 ２ 申立理由２（明確性要件） 請求項１に記載されている「段階的に」の意味が不明確であるため、請求項１に係る発明は明確でない。したがって、請求項１に係る特許は、特許法第３６条第６項第２号に規定する要件を満たしていない特許出願に対してされたものである。 ＜申立人が提出した甲号証＞ 甲１：特開２０１６－１２９１８３号公報 甲２：特開２０１６－２０８０５３号公報 甲３：特開２０２０－１２６７７０号公報 甲４：特許第６８１８８８６号公報 甲５：特開平９－７７４１号公報 甲６：特開２００５－５０６２６号公報 甲７：「ｗｅｂｌｉｏ辞書」、[online]、Weblioウェブサイト、[令和６年１１月１８日検索］、インターネット＜ＵＲＬ：https://www.weblio.jp/content/%E6%AE%B5%E9%9A%8E%E7%9A%84%E3%81%AB＞ 第４ 当審の判断 １ 申立理由１（進歩性）について （１）甲号証について ア 甲１（特開２０１６－１２９１８３号公報）の記載、甲１発明 （ア） 甲１には、以下の記載がある。（下線は当審が付与した。以下、同様である。） 「【００２０】 図１は、本発明の第１実施形態の静電チャック装置を示す断面図であり、この形態の静電チャック装置１は、一主面（上面）側を載置面とした円板状の静電チャック部２と、この静電チャック部２の下方に設けられて静電チャック部２を所望の温度に調整する厚みのある円板状の温度調節用ベース部３と、静電チャック部２と温度調節用ベース部３の間に介挿されたヒータエレメント５を備えている。」 【００２１】 また、静電チャック部２と温度調節用ベース部３とは、静電チャック部２と温度調節用ベース部３の間に設けられた接着剤層８を介して接着されている。 【００２２】 静電チャック部２は、上面を半導体ウエハ等の板状試料Ｗを載置する載置面１１ａとした載置板１１と、この載置板１１と一体化され該載置板１１の底部側を支持する支持板１２と、これら載置板１１と支持板１２との間に設けられた静電吸着用電極（静電吸着用内部電極）１３および静電吸着用電極１３の周囲を絶縁する絶縁材層１４と、を有している。 【００２３】 載置板１１および支持板１２は、重ね合わせた面の形状を同じくする円板状のものであり、酸化アルミニウム－炭化ケイ素（Ａｌ２Ｏ３－ＳｉＣ）複合焼結体、酸化アルミニウム（Ａｌ２Ｏ３）焼結体、窒化アルミニウム（ＡｌＮ）焼結体、酸化イットリウム（Ｙ２Ｏ３）焼結体等の機械的な強度を有し、かつ腐食性ガスおよびそのプラズマに対する耐久性を有する絶縁性のセラミックス焼結体からなる。 【００２４】 載置板１１の載置面１１ａには、直径が板状試料の厚みより小さい突起部１１ｂが複数所定の間隔で形成され、これらの突起部１１ｂが板状試料Ｗを支える。」 「【００２７】 静電吸着用電極１３は、電荷を発生させて静電吸着力で板状試料Ｗを固定するための静電チャック用電極として用いられるもので、その用途によって、その形状や、ｖ大きさが適宜調整される。」 「【００４１】 温度調節用ベース部３の上面側には、接着層６を介して絶縁板７が接着されている。接着層６はポリイミド樹脂、シリコン樹脂、エポキシ樹脂等の耐熱性、および、絶縁性を有するシート状またはフィルム状の接着性樹脂からなる。接着層は例えば厚み５～１００μｍ程度に形成される。絶縁板７はポリイミド樹脂、エポキシ樹脂、アクリル樹脂などの耐熱性を有する樹脂の薄板、シートあるいはフィルムからなる。」 「【００４３】 ヒータエレメント５は、図２に示すように、中心部の円環状の領域に配置された第１の主ヒータ５Ａと、この第１の主ヒータ５Ａを順次取り囲むように円環状の領域に配置された第２の主ヒータ５Ｂと、第３の主ヒータ５Ｃと、第４の主ヒータ５Ｄとからなる。図２に示すように第１～第４の主ヒータ５Ａ～５Ｄが配置されている領域は、円板状の静電チャック部２と同程度の大きさであることが好ましい。図２に示す円環状の領域全体が、本発明の「円形領域」に該当する。 【００４４】 なお、主ヒータ５Ａ、５Ｂ、５Ｃ、５Ｄは、図２では平面視単純な円環状に描いたが、各主ヒータ５Ａ、５Ｂ、５Ｃ、５Ｄは帯状のヒータを蛇行させて図２に示す円環状の領域を占めるように配置されている。このため、図１に示す断面構造では各主ヒータ５Ａ、５Ｂ、５Ｃ、５Ｄを構成する帯状のヒータを個別に描いた。 【００４５】 図３は、ヒータエレメント５を構成する主ヒータ５Ａ、５Ｂ、５Ｃ、５Ｄについての説明図である。ここでは、主ヒータ５Ａ、５Ｂ、５Ｃ、５Ｄについて代表する符号５０を用い、「ヒータ５０」として説明する。 【００４６】 ヒータ５０は、円形領域に配置される帯状の部材であり、円弧状を呈し平面視で円形領域の周方向（図中、符号Ａで示す両矢印方向）に延在する複数の第１部材５１と、円形領域の径方向（図中、符号Ｂで示す両矢印方向）に延在し２つの第１部材５１を接続する第２部材５２と、を有している。また、ヒータ５０は、帯状形状の両末端に図１に示す給電用端子１７が接続されている。複数の第１部材５１は、円形領域において同心円状に複数列配列している。 【００４７】 第２部材５２は、円形領域の中心からの距離が異なる２つの第１部材５１を接続する。例えば、第２部材５２は、円形領域の半径の方向に延在し、２つの第１部材を接続している。なお、第２部材５２が延在する「径方向」とは、円形領域の中心を通る直線の延在方向には限定されない。円形領域の中心からの距離が異なる２つの第１部材５１を接続するならば、第２部材５２の延在方向は、正確に円形領域の半径の方向と一致していなくてもよい。」 「【００５７】 また、ヒータエレメント５（主ヒータ５Ａ、５Ｂ、５Ｃ、５Ｄ）の下面側には温度センサー２０が設けられている。図１の構造では温度調節用ベース部３と絶縁板７を厚さ方向に貫通するように設置孔２１が形成され、これらの設置孔２１の最上部に温度センサー２０が設置されている。なお、温度センサー２０はできるだけヒータエレメント５に近い位置に設置することが望ましいので、図１の構造から更に接着剤層８側に突き出るように設置孔２１を延在して形成し、温度センサー２０とヒータエレメント５とを近づけることとしてもよい。」 「【００７１】 （設置孔２１近傍） 図５は、設置孔（第１の貫通孔）２１と平面的に重なるヒータの模式図である。図に示すように、設置孔２１と重なるヒータ５０Ａは、一対の第１部材５１Ａと、一対の第１部材５１Ａを接続する第２部材５２Ａとを有している。第１部材５１Ａと第２部材５２Ａとは、多くの位置において同じ幅となるように形成されている。 【００７２】 一対の第１部材５１Ａのうち一方の第１部材５１Ａ（図中、符号αで示す）と、一方の第１部材５１Ａから径方向（図中、符号Ｂで示す）に３番目（２ｎ＋１（ｎ＝１）番目）の列に配置された他方の第１部材５１Ａ（図中、符号βで示す）とは、互いに周方向（図中、符号Ａで示す）の同じ側の端部において第２部材５２Ａで接続されている。なお、類似構成として、上述したｎが１以上の整数であるものも採用可能である。 【００７３】 また、第２部材５２Ａは、設置孔２１と平面的に重なっており、第２部材５２Ａにおいて設置孔２１と重なる部分は、第１部材５１Ａよりも広い幅の拡大部５５が設けられている。 【００７４】 設置孔２１が設けられている部分では、温度調節用ベース部３の厚さ方向に熱が伝わりにくく、板状試料を冷却しにくい。そのため、従来の静電チャック装置においては、設置孔２１と平面的に重なる位置において、板状試料は目標温度よりも高くなり易く、周囲と温度差を生じやすくなっていた。 【００７５】 対して、本実施形態の静電チャック装置１では、設置孔２１と平面的に重なる位置の第２部材５２Ａが周囲の第１部材５１Ａよりも幅広い拡大部５５が形成されている。ヒータは、通電時の抵抗発熱を利用して加熱するものであるため、幅広く形成された拡大部５５においては、周囲の第１部材５１Ａよりも発熱量が小さい。従って、設置孔２１の存在により板状試料を冷却しにくくなっていても、設置孔２１と重なる位置のヒータ５０Ａの発熱量を低減させることにより、過熱されにくく、周囲との温度差を低減することが可能となる。 【００７６】 さらに、ヒータ５０Ａは、第１部材５１Ａと第２部材５２Ａとが接続する角部５４の内側において、ヒータ（導電薄板）側に凹む凹部５４ａが形成されている。角部５４の内側は、凹部５４ａが形成されることにより、凹部５４ａを設けない場合と比べて曲率半径が大きくなっている。また、角部５４の外側は、ヒータ（導電薄板）の外側に張り出す凸部５４ｂが形成されている。」 「 ［図：0001422461000001.jpg］ 」 （イ） 上記（ア）によれば、以下のことがいえる。 ａ 段落００４３には、「ヒータエレメント５は」「中心部の円環状の領域に配置された第１の主ヒータ５Ａと、この第１の主ヒータ５Ａを順次取り囲むように円環状の領域に配置された第２の主ヒータ５Ｂと、第３の主ヒータ５Ｃと、第４の主ヒータ５Ｄとからなる。」及び「円環状の領域全体が、本発明の「円形領域」に該当する。」と記載されている。 よって、ヒータエレメント５は、中心部の円環状の領域である円形領域に配置された第１の主ヒータ５Ａと、この第１の主ヒータ５Ａを順次取り囲むように円形領域に配置された第２の主ヒータ５Ｂと、第３の主ヒータ５Ｃと、第４の主ヒータ５Ｄとからなる。 ｂ 段落００４５には、「主ヒータ５Ａ、５Ｂ、５Ｃ、５Ｄについて代表する符号５０を用い、「ヒータ５０」として説明する。」と記載され、段落００４６には、「ヒータ５０は、円形領域に配置される帯状の部材であり」と記載されている。 よって、主ヒータ５Ａ、５Ｂ、５Ｃ、５Ｄを代表してヒータ５０といい、ヒータ５０は、円形領域に配置される帯状の部材である。 ｃ 段落００７１には、「図５は、設置孔」「２１と平面的に重なるヒータの模式図である。」及び「設置孔２１と重なるヒータ５０Ａ」と記載されているから、上記ｂを踏まえると、ヒータ５０Ａは、ヒータ５０のうち設置孔２１と重なる部分であるといえる。 そして、図５から、設置孔２１と第２部材５２Ａとが重なる方向から見た場合において、第２部材５２Ａのうち設置孔２１と重なっている部分では、第２部材５２Ａの伸びている方向に沿った端部となる位置における第２部材５２Ａの線幅に比べて、同方向に沿った中央となる位置における第２部材５２Ａの線幅の方が大きく、 設置孔２１と第２部材５２Ａとが重なる方向から見た場合において、第２部材５２Ａのうち設置孔２１と重なっている部分では、第２部材５２Ａの線幅が、第２部材５２Ａの伸びている方向に沿った中央となる位置において最も大きく、第２部材５２Ａの伸びている方向に沿った中央となる位置に近づくに従って、大きくなっていることが、見て取れる。 ｄ そうすると、上記（ア）並びに上記ａ～ｃによれば、甲１には「第１実施形態」として、次の発明（以下、「甲１発明」という。）が記載されている。（括弧内の段落番号等は、上記（ア）並びに上記ａ及びｂにおける参照箇所を示す。） ＜甲１発明＞ 「静電チャック装置１であって、 静電チャック装置１は、上面側を載置面１１ａとした円板状の静電チャック部２と、この静電チャック部２の下方に設けられて静電チャック部２を所望の温度に調整する厚みのある円板状の温度調節用ベース部３と、静電チャック部２と温度調節用ベース部３の間に介挿されたヒータエレメント５を備え、（段落００２０） 静電チャック部２と温度調節用ベース部３とは、静電チャック部２と温度調節用ベース部３の間に設けられた接着剤層８を介して接着され、（段落００２１） 静電チャック部２は、上面を半導体ウエハ等の板状試料Ｗを載置する載置面１１ａとした載置板１１と、この載置板１１と一体化され該載置板１１の底部側を支持する支持板１２と、これら載置板１１と支持板１２との間に設けられた静電吸着用電極１３および静電吸着用電極１３の周囲を絶縁する絶縁材層１４と、を有し、（段落００２２） 載置板１１および支持板１２は、重ね合わせた面の形状を同じくする円板状のものであり、機械的な強度を有し、かつ腐食性ガスおよびそのプラズマに対する耐久性を有する絶縁性のセラミックス焼結体からなり、（段落００２３） 載置板１１の載置面１１ａには、直径が板状試料Ｗの厚みより小さい突起部１１ｂが複数所定の間隔で形成され、これらの突起部１１ｂが板状試料Ｗを支え、（段落００２４） 静電吸着用電極１３は、電荷を発生させて静電吸着力で板状試料Ｗを固定するための静電チャック用電極として用いられるものであり、（段落００２７） 温度調節用ベース部３の上面側には、接着層６を介して絶縁板７が接着され、接着層６は耐熱性、および、絶縁性を有するシート状またはフィルム状の接着性樹脂からなり、（段落００４１） ヒータエレメント５は、中心部の円環状の領域である円形領域に配置された第１の主ヒータ５Ａと、この第１の主ヒータ５Ａを順次取り囲むように円形領域に配置された第２の主ヒータ５Ｂと、第３の主ヒータ５Ｃと、第４の主ヒータ５Ｄとからなり、（上記ａ） 主ヒータ５Ａ、５Ｂ、５Ｃ、５Ｄを代表してヒータ５０といい、ヒータ５０は、円形領域に配置される帯状の部材であり、（上記ｂ） 温度調節用ベース部３と絶縁板７を厚さ方向に貫通するように設置孔２１が形成され、これらの設置孔２１の最上部に温度センサー２０が設置され、（段落００５７） ヒータ５０のうち設置孔２１と重なるヒータ５０Ａは、一対の第１部材５１Ａと、一対の第１部材５１Ａを接続する第２部材５２Ａとを有し、第１部材５１Ａと第２部材５２Ａとは、多くの位置において同じ幅となるように形成され、（段落００７１、上記ｃ） 一対の第１部材５１Ａのうち一方の第１部材５１Ａと、一方の第１部材５１Ａから径方向に３番目の列に配置された他方の第１部材５１Ａとは、互いに、周方向の同じ側の端部において第２部材５２Ａで接続されており、（段落００７２） 第２部材５２Ａは、設置孔２１と平面的に重なっており、第２部材５２Ａにおいて設置孔２１と重なる部分は、第１部材５１Ａよりも広い幅の拡大部５５が設けられ、（段落００７３） 設置孔２１と第２部材５２Ａとが重なる方向から見た場合において、第２部材５２Ａのうち設置孔２１と重なっている部分では、第２部材５２Ａの伸びている方向に沿った端部となる位置における第２部材５２Ａの線幅に比べて、同方向に沿った中央となる位置における第２部材５２Ａの線幅の方が大きく、 設置孔２１と第２部材５２Ａとが重なる方向から見た場合において、第２部材５２Ａのうち設置孔２１と重なっている部分では、第２部材５２Ａの線幅が、第２部材５２Ａの伸びている方向に沿った中央となる位置において最も大きく、第２部材５２Ａの伸びている方向に沿った中央となる位置に近づくに従って、大きくなっている、（上記ｃ） 静電チャック。」 イ 甲３（特許第６８１８８８６号公報）の記載、技術事項 （ア） 甲３には、以下の記載がある。 「【００１８】 内周側及び外周側ヒータ電極２６，２８の詳細について、図５及び図６を用いて説明する。図５は内周側ヒータ電極２６の部分平面図、図６は外周側ヒータ電極２８の部分平面図である。内周側ヒータ電極２６のうち内周側センサ穴３６の直上部分２６ａ（図５の濃い網掛部分及び薄い網掛部分）を含む所定領域２６Ａの発熱密度は、所定領域２６Ａ以外の部分の発熱密度よりも小さくなるように設計されている。具体的には、内周側ヒータ電極２６は、厚みが一定で所定領域２６Ａの幅Ｍが所定領域２６Ａ以外の部分の幅ｍよりも広くなっている。本実施形態では、所定領域２６Ａ以外の部分は、所定領域２６Ａに隣接する部分とした。直上部分２６ａは、所定領域２６Ａの幅Ｍを所定領域２６Ａ以外の部分の幅ｍと同じにした場合でも、内周側センサ穴３６の直上部分と重なっている（図５の濃い網掛部分）。幅Ｍは幅ｍの１．２～２．６倍とするのが好ましい。これにより、内周側ヒータ電極２６の所定領域２６Ａの電極断面積は、所定領域２６Ａ以外の部分の電極断面積よりも大きくなっている。そのため、所定領域２６Ａの長手方向の両端間（長さＬ１）の電気抵抗は、所定領域２６Ａ以外の部分の同じ長さＬ１の電気抵抗よりも低い。長さＬ１は内周側センサ穴３６の直径の１．５倍以下とするのが好ましい。 【００１９】 外周側ヒータ電極２８のうち外周側センサ穴３８の直上部分２８ａ（図６の濃い網掛部分及び薄い網掛部分）を含む所定領域２８Ａの発熱密度は、所定領域２８Ａ以外の部分の発熱密度よりも小さくなるように設計されている。具体的には、外周側ヒータ電極２８は、厚みが一定で所定領域２８Ａの幅Ｎが所定領域２８Ａ以外の部分の幅ｎよりも広くなっている。本実施形態では、所定領域２８Ａ以外の部分は、所定領域２８Ａに隣接する部分とした。直上部分２８ａは、所定領域２８Ａの幅Ｎを所定領域２８Ａ以外の部分の幅ｎと同じにした場合でも、外周側センサ穴３８の直上部分と重なっている（図６の濃い網掛部分）。幅Ｎは幅ｎの１．２～２．６倍とするのが好ましい。これにより、外周側ヒータ電極２８の所定領域２８Ａの電極断面積は、所定領域２８Ａ以外の部分の電極断面積よりも大きくなっている。そのため、所定領域２８Ａの長手方向の両端間（長さＬ２）の電気抵抗は、所定領域２８Ａ以外の部分の同じ長さＬ２の電気抵抗よりも低い。長さＬ２は外周側センサ穴３８の直径の１．５倍以下とするのが好ましい。」 「【図５】 ［図：0001422461000002.jpg］ 【図６】 ［図：0001422461000003.jpg］ 」 （イ）上記（ア）によれば、甲３には、以下の技術事項３が記載されている。 ＜技術事項３＞ 「ヒータ電極のうちセンサ穴の直上部分を含む所定領域の発熱密度を、所定領域以外の部分の発熱密度よりも小さくするために、ヒータ電極を、厚みが一定で所定領域の幅Ｍが一定で、所定領域以外の部分の幅ｍより広くなるように設計すること。」 （２）対比、判断 ア 本件発明と甲１発明とを対比する。 （ア）甲１発明の「半導体ウエハ等の板状試料Ｗ」は、「電荷を発生させて静電吸着力で」固定されるものであるから、本件発明の「被吸着物」に相当する。 （イ）甲１発明の「静電チャック部２」は、「上面を半導体ウエハ等の板状試料Ｗを載置する載置面１１ａとした載置板１１と」、「支持板１２と」を有し、「載置板１１および支持板１２は」「絶縁性のセラミックス焼結体から」なるものであるから、上記（ア）を踏まえると、本件発明の「被吸着物が載置される載置面を有する誘電体基板」に相当する。 （ウ）甲１発明の「ヒータエレメント５」は、「第１の主ヒータ５Ａと」、「第２の主ヒータ５Ｂと」、「第３の主ヒータ５Ｃと」、「第４の主ヒータ５Ｄとからなり」、「主ヒータ５Ａ、５Ｂ、５Ｃ、５Ｄを代表してヒータ５０といい、ヒータ５０は、円形領域に配置される帯状の部材で」あるから、線状であるといえる点で、本件発明の「ヒーター」と共通する。 （エ）甲１発明の「円板状の温度調節用ベース部３」は、「上面側を載置面１１ａとした円板状の静電チャック部２」の下方に設けられ、「静電チャック部２」と「接着剤層８を介して接着され」るものであるから、本件発明の「前記誘電体基板のうち前記載置面とは反対側の面に接合されたベースプレート」に相当する。 （オ）甲１発明の「温度調節用ベース部３と絶縁板７を厚さ方向に貫通するように設置孔２１が形成され」ることは、本件発明の「前記ベースプレートのうち前記誘電体基板側の面には開口が形成されて」いることに相当する。 （カ）甲１発明の「ヒータ５０のうち、設置孔２１と重なるヒータ５０Ａは」「第２部材５２Ａ」を有するから、「第２部材５２Ａ」は「ヒータ５０」の一部である。そうすると、甲１発明の「設置孔２１と第２部材５２Ａとが重なる方向から見た場合において、第２部材５２Ａのうち設置孔２１と重なっている部分では、第２部材５２Ａの伸びている方向に沿った端部となる位置における第２部材５２Ａの線幅に比べて、同方向に沿った中央となる位置における第２部材５２Ａの線幅の方が大き」いことは、本件発明の「前記載置面に対し垂直な方向から見た場合において、前記ヒーターのうち前記開口と重なっている部分では、前記ヒーターの伸びている方向に沿った端部となる位置における前記ヒーターの線幅に比べて、同方向に沿った中央となる位置における前記ヒーターの線幅の方が大き」いことに相当する。 （キ）甲１発明の「設置孔２１と第２部材５２Ａとが重なる方向から見た場合において、第２部材５２Ａのうち設置孔２１と重なっている部分では、第２部材５２Ａの線幅が、第２部材５２Ａの伸びている方向に沿った中央となる位置において最も大き」いことは、本件発明の「前記載置面に対し垂直な方向から見た場合において、前記ヒーターのうち前記開口と重なっている部分では、前記ヒーターの線幅が、前記ヒーターの伸びている方向に沿った中央となる位置において最も大き」いことに相当する。 （ク）甲１発明の「第２部材５２Ａの伸びている方向に沿った中央となる位置に近づくに従って、大きくなっている」ことは、本件発明の「前記ヒーターの伸びている方向に沿った中央となる位置に近づくに従って」「大きくなっている」ことに相当する。 （ケ）上記（ア）～（ク）によれば、本件発明と甲１発明とは、以下の点で一致し、相違する。 ＜一致点＞ 「被吸着物が載置される載置面を有する誘電体基板と、 線状のヒーターと、 前記誘電体基板のうち前記載置面とは反対側の面に接合されたベースプレートと、を備え、 前記ベースプレートのうち前記誘電体基板側の面には開口が形成されており、 前記載置面に対し垂直な方向から見た場合において、 前記ヒーターのうち前記開口と重なっている部分では、 前記ヒーターの伸びている方向に沿った端部となる位置における前記ヒーターの線幅に比べて、同方向に沿った中央となる位置における前記ヒーターの線幅の方が大きく、 前記載置面に対し垂直な方向から見た場合において、 前記ヒーターのうち前記開口と重なっている部分では、 前記ヒーターの線幅が、前記ヒーターの伸びている方向に沿った中央となる位置において最も大きく、 前記ヒーターの線幅が、 前記ヒーターの伸びている方向に沿った中央となる位置に近づくに従って、大きくなっていることを特徴とする、静電チャック。」 ＜相違点１＞ 本件発明は、「前記誘電体基板に内蔵された線状のヒーター」を備えるのに対し、甲１発明は、「ヒータ５０」が、「帯状の部材」であるものの、「静電チャック部２」に内蔵されたものではない点。 ＜相違点２＞ 本件発明は、「前記ヒーターのうち前記開口と重なっている部分では」、「前記ヒーターの線幅が、前記ヒーターの伸びている方向に沿った中央となる位置に近づくに従って、段階的に大きくなっている」ものであるのに対し、甲１発明は、「第２部材５２Ａのうち設置孔２１と重なっている部分では」、「第２部材５２Ａの線幅が」「第２部材５２Ａの伸びている方向に沿った中央となる位置に近づくに従って」「大きくなっている」ものの、段階的に大きくなっていない点。 イ 事案に鑑み、相違点２から検討する。 （ア）相違点２について 技術事項３において、「所定領域」は、「センサ穴の直上部分を含む」領域であるから、センサ穴の直上でヒータ電極の伸びている方向に沿った端部となる位置と中央となる位置とを含む領域であるといえる。そうすると、技術事項３において、「ヒータ電極」は、センサ穴の直上でヒータ電極の伸びている方向に沿った端部となる位置と中央となる位置とを含む所定領域における幅Ｍが一定であるから、甲１発明に技術事項３を適用しても、「第２部材５２Ａのうち設置孔２１と重なっている部分」で、「第２部材５２Ａの伸びている方向に沿った端部となる位置」と「中央となる位置」と「における第２部材５２Ａの線幅」が一定のものとなり、相違点２に係る本件発明の構成とはならない。 また、甲２並びに甲４～甲６のいずれにも、相違点２に係る本件発明の構成は記載されていない。 したがって、引用発明に、甲２～甲６に記載された事項を適用しても、相違点２に係る本件発明の構成とすることはできない。 （イ）申立人の主張について 申立人は、特許異議申立書の第３０頁下から１２行～末行において、材料の電気抵抗を利用して発熱する抵抗体において、抵抗体の線幅を「段階的に」変化させることで抵抗体の発熱量を制御し、温度を均一化する技術は、甲４～甲６に記載されているとおり周知技術であるから、甲１発明が備える、自身の線幅が自身の伸びている方向に沿った中央となる位置に近づくに従って大きくなっているヒータについて、甲３に記載されているように、センサ穴の位置に合わせてヒータ電極の幅を変化させる場合に、ヒータの線幅を「段階的に」変化させることは、当業者が容易に想刹できるものであり、相違点２に係る本件発明の構成は、当業者であれば、甲１発明と甲３～甲６に記載された事項とに基づいて、容易に想到できるものである旨、主張している。 しかし、上記（ア）において検討したとおり、甲１発明に技術事項３を適用した場合、「第２部材５２Ａのうち設置孔２１と重なっている部分」で、「第２部材５２Ａの伸びている方向に沿った端部となる位置」と「中央となる位置」と「における第２部材５２Ａの線幅」が一定のものとなる。そうすると、甲４～甲６に、抵抗体の線幅を「段階的に」変化させることで抵抗体の発熱量を制御する技術が記載されているとしても、甲１発明に技術事項３を適用した上で、さらに、甲４～甲６に記載された技術を適用し、「第２部材５２Ａの線幅」の線幅を一定のものから段階的に変化するものに改変することは、当業者であっても、容易に想到し得たことではない。 よって、上記申立人の主張を採用することはできない。 （ウ）上記（ア）及び（イ）のとおりであるから、当業者といえども、甲１発明と、甲３～甲６に記載された事項とに基づき、相違点２に係る本件発明の構成を容易に想到することはできない。 ウ 小括 以上のとおりであるから、相違点１について検討するまでもなく、本件発明は、甲１発明と、甲２～６に記載された事項とに基づき、当業者が容易に発明をすることができたものではない。したがって、請求項１に係る特許は、特許法第２９条第２項の規定に違反してされたものではない。 よって、申立理由１は、理由がない。 ２ 申立理由２（明確性要件）について （１）請求項１の記載について ア 請求項１には、「前記ヒーターの線幅が、前記ヒーターの伸びている方向に沿った中央となる位置に近づくに従って、段階的に大きくなっている」と記載されている。 イ 「段階」は、「だんばしご。きざはし。階段。」（広辞苑第４版）を意味する用語であり、「的」は、「名詞に添えて、その性質を帯びる、その状態をなす意を表す」（広辞苑第４版）用語である。 ウ 上記アにおいて、「段階的に」は、「ヒーターの線幅が」「大きくなっている」状態を修飾するものであるから、上記イを踏まえると、きざはし又は階段状に大きさが変化することを意味する表現であると解される。 エ さらに、本願明細書の発明の詳細な説明の段落００５３には、「ヒーター５００の線幅が」「段階的に大きくなっている。尚、ヒーター５００の段数は、この変形例では３段であるが、２段又は１段であってもよく、４段以上であってもよい。」と記載されており、「段階的に」は、きざはし又は階段状に、１段、２段、３段又は４段以上の段数を有するように大きさが変化することであるといえる。 オ 上記ウ及びエを踏まえると、上記アの「前記ヒーターの線幅が、前記ヒーターの伸びている方向に沿った中央となる位置に近づくに従って、段階的に大きくなっている」は、「ヒーターの線幅が」「ヒーターの伸びている方向に沿った中央となる位置に近づくに従って」、きざはし又は階段状に、１段、２段、３段又は４段以上の段数を有するように、「大きくなっている」ことを特定するものであり、明確である。 カ さらに、上記アの記載以外の、請求項１の記載について、不明確なところはない。 キ よって、請求項１に係る発明は、明確である。 （２）申立人の主張について ア 申立人は、特許異議申立書の第３５頁第１３行～第３７頁下から７行において、請求項１に記載された「段階的に」は、甲７によれば、「徐々に程度・水準を上げていくこと。一足飛びにではなくだんだんと進めていくこと。」を意味すると解される一方、上記（１）エの本願明細書の発明の詳細な説明の段落００５３の記載によれば、階段状になるように形成されていることを意味すると解され、本願発明１が備えるヒーターの形状が不明確である旨主張している。 イ 上記主張について検討する。上記（１）において検討したとおり、「段階的に」は、きざはし又は階段状に、１段、２段、３段又は４段以上の段数を有するように大きさが変化することを意味する表現であり、不明なところはない。 ウ また、本願明細書の発明の詳細な説明の段落００１１には、「また、本発明に係る静電チャックでは」「ヒーターの線幅が」「次第に大きくなっていることも好ましい。」と記載され、段落００１２には、「また、本発明に係る静電チャックでは」「ヒーターの線幅が」「段階的に大きくなっていることも好ましい。」と記載され、「ヒーターの線幅が」「次第に大きくなっている」形態とは別の形態として「ヒーターの線幅が」「段階的に大きくなっている」形態が記載されている。そうすると、「段階的に大きく」なることが、「次第に大きく」なること、すなわち、「徐々に程度・水準を上げていくこと。一足飛びにではなくだんだんと進めていくこと。」を意味する表現として用いられる用語ではないことは明らかである。 エ よって、請求項１に記載された「段階的に」の意味に不明確なところはなく、上記申立人の主張を採用することはできない。 （３）小括 上記（１）及び（２）によれば、本件発明は明確であるから、請求項１に係る特許は、特許法第３６条第６項第２号に規定する要件を満たす特許出願に対してされたものである。 よって、申立理由２は、理由がない。 第５ むすび 以上のとおりであるから、請求項１に係る特許は、特許異議申立書に記載された申立理由によっては取り消すことはできない。 また、他に請求項１に係る特許を取り消すべき理由を発見しない。 よって、結論のとおり決定する。