2025-700682

特許第７６０８８７１号発明「複合導電性部材、試料保持具、静電チャック装置」の特許異議申立事件について、次のとおり決定する。

結 論 特許第７６０８８７１号の請求項１～７に係る特許を維持する。

理 由 第１ 手続の経緯 特許第７６０８８７１号（以下「本件特許」という。）の請求項１～７に係る特許についての出願は、令和３年３月１日に出願され、令和６年１２月２３日にその特許権の設定登録がされ、令和７年１月７日に特許掲載公報が発行された。その後、その特許に対し、令和７年７月３日に特許異議申立人 河原田 隆（以下「申立人」という。）は、特許異議の申立てを行った。 第２ 本件特許発明 本件特許の請求項１～７に係る発明（以下、それぞれ「本件特許発明１」～「本件特許発明７」という。）は、特許請求の範囲の請求項１～７に記載された事項により特定される次のとおりのものである。 「【請求項１】 試料保持具の内部電極又は給電端子を構成する複合導電性部材であって、 前記複合導電性部材は、絶縁性材料と、導電性材料と、を含み、 前記複合導電性部材からなり、直径１０ｍｍ以上の試験片の両端のインピーダンスを測定した場合、１００ｋＨｚで測定されるインピーダンスが、１００Ｈｚで測定されるインピーダンスの０．２倍以上５倍以下である、複合導電性部材。 【請求項２】 前記試験片において、１００ｋＨｚで測定されるインピーダンスが、１００Ｈｚで測定されるインピーダンスの１倍以上５倍以下である、請求項１に記載の複合導電性部材。 【請求項３】 前記導電性材料の粒径は２０μｍ以下である、請求項１または２に記載の複合導電性部材。 【請求項４】 試料を載置する載置面を有するセラミックス部材と、前記セラミックス部材の内部に設けられた内部電極層と、前記内部電極層における前記載置面とは反対側の面に設けられた給電端子と、を備え、 前記内部電極層および前記給電端子の少なくとも一方が請求項１または２に記載の複合導電性部材から構成される、試料保持具。 【請求項５】 前記内部電極層の厚さは５０μｍ以上である、請求項４に記載の試料保持具。 【請求項６】 前記内部電極層の厚さ方向の下面と前記セラミックス部材における前記載置面とは反対側の面との距離をｄ２、前記内部電極層の厚さ方向の下面と前記給電端子の厚さ方向の下面との距離をｄ３とした場合、１／２ｄ２＜ｄ３≦ｄ２を満たす、請求項４または５に記載の試料保持具。 【請求項７】 静電チャック部材と、温度調整用ベース部材とを、接着剤層を介して接合してなる静電チャック装置であって、 前記静電チャック部材は、請求項４～６のいずれか１項に記載の試料保持具からなる、静電チャック装置。」 第３ 申立理由の概要 １ 申立人の提出した証拠 申立人は、次の甲第１号証～甲第８号証（以下、それぞれ「甲１」～「甲８」という。）を証拠として提出している。 甲第１号証（甲１）：特開２００８－４７８８１号公報 甲第２号証（甲２）：特開２００３－２１２６５７号公報 甲第３号証（甲３）：特開２００４－３１４７９号公報 甲第４号証（甲４）：特開２０２０－１９１１９９公報 甲第５号証（甲５）：特開２０２０－１８８０４３号公報 甲第６号証（甲６）：特開２０１９－１４９４５８号公報 甲第７号証（甲７）：国際公開第２０１９／０８８２０４号 甲第８号証（甲８）：特開２００４－３１５９９号公報 ２ 特許異議の申立理由 申立人の主張は、概略、以下のとおりである。 （１） 申立理由１（甲１を主たる証拠とし、甲２を従たる証拠とした場合の進歩性欠如） 本件特許発明１～７は、甲１に記載された発明、甲２～７に記載された事項に基づいて、当業者が容易に発明することができたものであるから、本件特許は、特許法第２９条第２項の規定に違反してされたものである。 （２） 申立理由２（甲１を主たる証拠とし、甲８を従たる証拠とした場合の進歩性欠如） 本件特許発明１～７は、甲１に記載された発明、甲３～８に記載された事項に基づいて、当業者が容易に発明することができたものであるから、本件特許は、特許法第２９条第２項の規定に違反してされたものである。 （３） 申立理由３（サポート要件違反） 本件特許発明１～７は、発明の詳細な説明において「発明の課題が解決できることを当業者が認識できるように記載された範囲」を超えるものであるから、特許法第３６条第６項第１号に規定する要件を満たしていない特許出願に対してされたものである。 第４ 申立人の提出した証拠の記載 １ 甲１の記載及び甲１発明 （１） 甲１の記載 甲１には、以下の記載がある（下線は当審において加筆した。以下同じ。）。 「【技術分野】 【０００１】 本発明は、クーロンタイプのヒータ付き静電チャックに関する。 ・・・ 【００１４】 本発明の実施形態によるヒータ付き静電チャック１は、図１，２に示すように、アルミナを含む焼結体からなる基体３と、該基体３中の上部側に埋設された電極５と、基体３の下部側に埋設された抵抗発熱体７とを備えている。 【００１５】 ［基体］ 前記基体３は、図１及び図２に示すように円盤状に形成されており、基体３の上面（表面）は、ウエハ等の基板が載置される基板載置面９に形成されている。また、基体３中の電極５から上側、即ち、電極５から基板載置面９までの部分は誘電体層１１に形成されている。また、電極５から下側、即ち、電極５から基体３の下面（裏面）までの部分は支持部材１３に形成されている。 ・・・ 【００１７】 ［電極］ 図１，２に示すように、基体３の上部側には、基体３よりも径の小さい円板状の電極５が埋設されている。この電極５は、主成分がタングステンカーバイドであり、かつ、５vol％以上２０vol％以下のアルミナを含んでいる。ここで、電極５中におけるタングステンカーバイドの含有量は、７０ｖｏｌ％～９５ｖｏｌ％が好ましい。 【００１８】 また、図２に示すように、基体３の径方向中心部に、基体３の下面から上方に向けて延びる収容孔１５が形成されており、該収容孔１５内に電極用給電部材２１が配設されている。この電極用給電部材２１の上端は、接続部材１９を介して電極５に接続されている。電極用給電部材２１から接続部材１９を介して電極５に電力が供給されると、基体３の誘電体層１１に静電吸着力（クーロン力）が発生して基体３の基板載置面９に基板が吸着される。 ・・・ 【００６０】 表３に示すように、本発明例５，６，７の方が比較例９，１０よりも電極５の密着強度が高くなることが判明した。なお、アルミナの含有量が２２vol％以上になると、ESC電極のインピーダンスが大きくなり、好ましくなかった。ESC電極には高周波電流を印加することがあるため、インピーダンスが低い方が好ましい。」 「【図１】 ［図：0001430033000001.jpg］ 【図２】 ［図：0001430033000002.jpg］ 」 （２） 甲１に記載された事項 ア 上記（１）の【００１４】によれば、「ヒータ付き静電チャック１」は、「アルミナを含む焼結体からなる基体３と、該基体３中の上部側に埋設された電極５と、基体３の下部側に埋設された抵抗発熱体７」とを備えている。 イ 上記（１）の【００１５】によれば、「前記基体３」は、「円盤状」に形成されており、「基体３の上面（表面）は、ウエハ等の基板が載置される基板載置面９」に形成されている。 ウ 上記（１）の【００１７】、【００１８】によれば、「基体３」の上部側には、「基体３よりも径の小さい円板状の電極５」が埋設されており、この電極５は、「主成分がタングステンカーバイドであり、かつ、５vol％以上２０vol％以下のアルミナ」を含み、電力が供給されると、「基板載置面９」に基板が吸着される。 （３） 甲１発明 上記（２）によれば、甲１には次の発明（以下、「甲１発明」という。）が記載されている。（各構成末尾の（ア）～（ウ）は、上記（２）の引用元を示す。） 「アルミナを含む焼結体からなる基体３と、該基体３中の上部側に埋設された電極５と、基体３の下部側に埋設された抵抗発熱体７とを備える、ヒータ付き静電チャック１であって、（ア） 前記基体３は、円盤状に形成されており、基体３の上面（表面）は、ウエハ等の基板が載置される基板載置面９に形成されており、（イ） 基体３の上部側には、基体３よりも径の小さい円板状の電極５が埋設されており、この電極５は、主成分がタングステンカーバイドであり、かつ、５vol％以上２０vol％以下のアルミナを含み、電力が供給されると、基板載置面９に基板が吸着される、（ウ） ヒータ付き静電チャック１。」 ２ 甲２の記載 甲２には、以下の記載がある。 「【０００１】 【発明の属する技術分野】本発明は、接地抵抗器及びその製造方法に関し、特に、高速鉄道用車両の車体に発生するサージ電圧等の異常電圧を低減する際に用いて好適な接地抵抗器及びその製造方法に関するものである。 ・・・ 【００２３】この抵抗体１は、０．０４重量％以上、好ましくは０．０４重量％～０．７重量％のアルミニウム（Ａｌ）が固溶した炭化珪素結晶粒子を１０重量％以上、好ましくは１５重量％以上含有する炭化珪素焼結体により構成されている。この炭化珪素焼結体は、４Ｈ型の結晶相を有する炭化珪素結晶粒子を１０重量％以上、好ましくは１５重量％以上含有している。そして、この炭化珪素焼結体は、周波数が１０Ｈｚ～１ＭＨｚの周波数帯域におけるインピーダンスの変化率が５０％以下となっている。 ・・・ 【００５３】 【実施例】以下、実施例及び比較例を挙げ、本発明をさらに詳しく説明する。 「実施例１」平均粒子径０．３μｍのβ型炭化珪素粉末（イビデン（株）製）（以下、炭化珪素粉末Ａと称する）と、モノシランとエチレンとを原料としてプラズマＣＶＤ法により気相合成した平均粒子径０．０３μｍのβ型炭化珪素微粉末（以下、炭化珪素粉末Ｂと称する）と、平均粒子径０．２μｍの酸化アルミニウム粉末（大明化学（株）製）とを混合し、混合組成物を得た。 【００５４】この混合組成物中における炭化珪素粉末Ａと炭化珪素粉末Ｂとの配合比は、重量比で９６：４であった。また、全炭化珪素粉末１００重量部に対する、酸化アルミニウム粉末の配合量は、金属アルミニウム換算で０．５３重量部であった。次いで、この混合組成物を、純水中にて分散せしめ、さらにボールミルで１２時間混合し、その後、乾燥、造粒し、顆粒状の成型用粉体とした。次いで、この成型用粉体を金型を用いて円板形状に予備成形した後、ホットプレス（加圧力：３５ＭＰａ）により，アルゴン雰囲気下、２０００℃の温度にて１時間焼成し、炭化珪素焼結体を得た。 【００５５】次いで、この焼結体の両面及び側面を研削し、長さ１２０ｍｍ、幅６５ｍｍ、厚さ５ｍｍの平板状に加工し、抵抗体１とした。その後、この抵抗体１の両端、上下面に、Ａｇ－Ｃｕ－Ｔｉ系ペーストを用いて、スクリーン印刷法によりメタライズ層を形成し、１対のＮｉメッキした銅製の電極板２とＮｉメッキした銅製のリード線端子板３とを上記の抵抗体１の両端にボルト４及びナット５で締結し実施例１の接地抵抗器とした。 ・・・ 【００５７】また、この焼結体の密度をアルキメデス法により測定したところ、３．０５ｇ／ｃｍ3であることが確認された。また、この焼結体から３×４×３８ｍｍの大きさの試験片を切り出して四点曲げ強度を測定したところ、４５０ＭＰａであった。また、インピーダンスアナライザを用いて、この焼結体の１０Ｈｚ～１ＭＨｚの周波数帯域におけるインピーダンスを測定したところ、この周波数帯域におけるインピーダンスの変化率は２２．９％であり、各周波数におけるインピーダンス値は図３に示すとおりであった。図３では、本実施例の測定データをＥ１で示している。 ・・・ 【００６２】また、この炭化珪素焼結体の比抵抗、熱伝導率、平均粒径を常法に従って測定したところ、比抵抗は室温（２５℃）～２５０℃の温度範囲で０．３２～０．２１Ω・ｃｍ、熱伝導率は室温で６０Ｗ／ｍＫ、平均粒径は２．３μｍであった。」 「【図３】 ［図：0001430033000003.jpg］ 」 ３ 甲８の記載 甲８には、以下の記載がある。 「【０００１】 【発明の属する技術分野】 本発明は、液晶ガラス基板製造装置や、半導体製造装置等において、導体膜を備えたガラス基板やＳＯＳ（シリコンオンサファイア）、ＳＯＩ（シリコンオンインシュレータ）等の絶縁性基板を静電気力で吸着し保持する静電チャックに関するものであって、特に、液晶注入、イオン注入、エッチング、ＣＶＤ、スパッタ工程に使用される静電チャックに関するものである。 ・・・ 【００３６】 平均粒径約１μｍの純度９９％の窒化アルミニウム原料粉末と有機バインダーと溶媒を加えて泥奬を作製し、ドクターブレード法により厚さ約０．５ｍｍのグリーンシートを複数枚成形した。 【００３７】 また、静電電極２用のペーストとして、純度９９％以上、平均粒径約２．５μｍのＷ、及びＷＣのそれぞれの原料粉末と上記のＡｌＮ原料粉末５重量％を有機バインダーとともに混練し作製した。また、静電電極２として、ペーストは、Ｔｉを主成分としたものと、ＡｌＮ原料粉末を添加していないペーストを準備した。このそれぞれのペーストをグリーンシート上にスクリーン印刷法にて四角形状の静電電極を印刷した。」 第５ 当審の判断 １ 申立理由１（甲１を主たる証拠とし、甲２を従たる証拠とした場合の進歩性欠如）について （１） 本件特許発明１について ア 対比 本件特許発明１と甲１発明を対比する。 （ア）「試料保持具の内部電極又は給電端子を構成する複合導電性部材」について 甲１発明の「基体３」は、「電極５」が上部側に埋設されており、上面は、ウエハ等の基板が載置される基板載置面９に形成されている。そして、「電極５」に電力が供給されると、基板載置面９に基板が吸着されるのであるから、「基体３」は「試料保持具」と、「電極５」はその「内部電極」といい得るものである。 また、「電極５」は、主成分がタングステンカーバイドであり、かつ、５vol％以上２０vol％以下のアルミナを含むことから、「複合導電性部材」といい得るものである。 そうすると、本件特許発明１と甲１発明とは、「試料保持具の内部電極を構成する複合導電性部材」である点で共通する。 （イ）「前記複合導電性部材は、絶縁性材料と、導電性材料と、を含み」について 「電極５」は、主成分がタングステンカーバイドであり、かつ、５vol％以上２０vol％以下のアルミナを含むものであり、「タングステンカーバイド」は「導電性材料」であり、「アルミナ」は「絶縁性材料」である。 そうすると、本件特許発明１と甲１発明とは、「前記複合導電性部材は、絶縁性材料と、導電性材料と、を含」む点で共通する。 （ウ）上記（ア）、（イ）より、本件特許発明１と甲１発明とは、以下の一致点、相違点を有する。 ［一致点］ 「試料保持具の内部電極又は給電端子を構成する複合導電性部材であって、 前記複合導電性部材は、絶縁性材料と、導電性材料と、を含む、 複合導電性部材。」 ［相違点］ 本件特許発明１の「複合導電性部材」は、「前記複合導電性部材からなり、直径１０ｍｍ以上の試験片の両端のインピーダンスを測定した場合、１００ｋＨｚで測定されるインピーダンスが、１００Ｈｚで測定されるインピーダンスの０．２倍以上５倍以下である」のに対し、甲１発明の「電極５」は、そのような特定がない点。 イ 判断 （ア）検討 甲１発明の「電極５」に関し、甲１には、ＥＳＣ電極には高周波電流を印加することがあるため、インピーダンスが低い方が好ましいことが記載されている（【００６０】）が、具体的にどの程度の周波数の高周波電流を印加するのかは記載されていないし、低周波電流を印加した場合のインピーダンスと高周波電流を印加した場合のインピーダンスの関係を特定することも記載されていない。 そうすると、甲１発明の「電極５」について、所定の高周波数におけるインピーダンスと所定の低周波数におけるインピーダンスの比を特定の範囲の値に定める動機付けは存在しない。 そして、甲２及び甲３～甲７の記載を見ても、「試料保持具」の「内部電極」を構成する部材として、「直径１０ｍｍ以上の試験片の両端のインピーダンスを測定した場合、１００ｋＨｚで測定されるインピーダンスが、１００Ｈｚで測定されるインピーダンスの０．２倍以上５倍以下」とすることは記載されておらず、技術常識であるともいえないから、上記ア（ウ）の相違点に係る構成は、当業者が容易になし得たものではない。 （イ）申立人の主張について 上記ア（ウ）の相違点に関して、申立人は、甲２には、１０Ｈｚ～１ＭＨｚの周波数帯域におけるインピーダンスの変化率が２２．９％である抵抗体が記載されていることを示したうえで、甲１の【００６０】には、高周波電流の印加時において電極層のインピーダンスが大きくなってしまうという課題が記載されており、当該課題を解決するために、甲１に記載された静電チャックの電極５を構成する部材として、甲２に記載された抵抗体（複合導電性部材）を用い、相違点に係る構成とすることは、容易になし得たものである旨主張する。（異議申立書１７頁下から６行～２０頁最終行） しかしながら、甲１の【００６０】には、ＥＳＣ電極には、高周波電流を印加することがあるため、インピーダンスが低い方が好ましいことが記載されている程度であって、高周波電流を印加時にインピーダンスが大きくなってしまうという課題があることまでは記載されていない。 そうすると、甲２に記載された技術を、甲１に記載された静電チャックの発明に適用する動機付けが有るとはいえず、申立人の上記主張は採用できない。 （２）本件特許発明２～７について 本件特許発明２～７は、本件特許発明１を限定した発明であり、甲１発明と対比すると、少なくとも、上記（１）ア（ウ）の相違点を有するところ、本件特許発明１が上記（１）イ（ア）、上記（１）イ（イ）のとおり、甲１発明、甲２～甲７に記載された事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるとはいえない以上、本件特許発明２～７も甲１発明、甲２～甲７に記載された事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるとはいえない。 （３）小括 以上のとおり、本件特許発明１～７は、甲１発明、甲２～甲７に記載された事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるとはいえないから、本件特許発明１～７は、特許法第２９条第２項の規定に違反してされたものとはいえない。 したがって、申立理由１には理由がない。 ２ 申立理由２（甲１を主たる証拠とし、甲８を従たる証拠とした場合の進歩性欠如）について （１） 本件特許発明１について ア 対比 本件特許発明１と甲１発明を対比すると、上記１（１）ア（ウ）で示した一致点、相違点を有する。 イ 判断 （ア）検討 上記１（１）イ（ア）で示したように、甲１発明の「電極５」を「直径１０ｍｍ以上の試験片の両端のインピーダンスを測定した場合、１００ｋＨｚで測定されるインピーダンスが、１００Ｈｚで測定されるインピーダンスの０．２倍以上５倍以下」とする動機付けは存在しない。 そして、甲８及び甲３～甲７の記載を見ても、「試料保持具」の「内部電極」を構成する部材として、「直径１０ｍｍ以上の試験片の両端のインピーダンスを測定した場合、１００ｋＨｚで測定されるインピーダンスが、１００Ｈｚで測定されるインピーダンスの０．２倍以上５倍以下」とすることは記載されておらず、技術常識であるともいえないから、上記１（１）ア（ウ）の相違点に係る構成は、当業者が容易になし得たものではない。 （イ）申立人の主張について 上記１（１）ア（ウ）の相違点に関して、甲８には、静電チャックの静電電極として用いられる複合導電性部材を製作するにあたり、原料粉末の平均粒径が約２．５μｍであるＷ(つまり導電性材料)と、原料粉末の平均粒径が１μｍであるＡｌＮ(つまり絶縁性材料)と、を用いることが記載されており、この複合導電性部材で構成される静電電極２のインピーダンスの周波数特性は、本件特許の願書に添付した明細書（以下、「本件明細書」という。）の【００２５】、【００２９】、【００３０】の記載によれば、相違点に係る構成を満たす程度に小さくなるはずであり、甲１の【００６０】に記載された課題を解決するため、電極５を構成する部材として、同じ技術分野に属する甲８に記載された静電電極２の材料と同じ材料を用い、結果的に相違点に係る構成とすることは、容易になし得たことである旨主張する。（異議申立書２８頁５行～３０頁３行） しかしながら、本件明細書の【００２３】に、「複合導電性部材において、全体の体積に占める導電性材料の配合量は体積比で、１０％以上７０％以下」とすることで、「インピーダンスの周波数による変化を小さくすることができる」ことが記載されているように、インピーダンスの周波数特性は複合導電性部材を構成する導電性材料や絶縁性材料の平均粒径だけで決まるものでないことは技術常識であり、甲８に記載された平均粒径の導電性材料と絶縁性材料で構成される静電電極２のインピーダンスの周波数特性が、相違点に係る構成を満たすとはいえない。 そうすると、甲１の電極５を構成する部材として、甲８の複合導電性部材を用いることができたとしても、相違点に係る構成を満たすとはいえず、申立人の上記主張を採用できない。 （２）本件特許発明２～７について 本件特許発明２～７は、本件特許発明１を限定した発明であり、甲１発明と対比すると、少なくとも、上記１（１）ア（ウ）の相違点を有するところ、本件特許発明１が上記（１）イ（ア）、上記（１）イ（イ）のとおり、甲１発明、甲３～甲８に記載された事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるとはいえない以上、本件特許発明２～７も甲１発明、甲３～甲８に記載された事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるとはいえない。 （３）小括 以上のとおり、本件特許発明１～７は、甲１発明、甲３～甲８に記載された事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるとはいえないから、本件特許発明１～７は、特許法第２９条第２項の規定に違反してされたものとはいえない。 したがって、申立理由２には理由がない。 ３ 申立理由３（サポート要件違反）について （１）申立人の主張の概要 申立人は、異議申立書（３５頁１５行～３６頁５行）において、本件特許明細書の【０００５】等の記載によれば、本件特許発明１～７が解決しようとする課題は、「高周波でプラズマ電極となる電極層や、電極層に電圧を伝えるため給電端子等のインピーダンスが大きくなり、発熱が大きくなっていた」というものであり、「半導体製造装置等において、給電端子等のインピーダンスに起因した発熱を問題の無い程度に抑えるためには、各周波数におけるインピーダンスの絶対値そのものを小さく抑える必要がある」ところ、本件特許発明１～７は、「各周波数におけるインピーダンスの絶対値」については何ら特定するものではなく、上記課題を解決することのできない構成を含むものであるから、発明の詳細な説明において「発明の課題が解決できることを当業者が認識できるように記載された範囲」を超えるものである旨主張している。 （２）当審の判断 本件特許発明１～７が解決しようとする課題は、本件特許明細書の【０００６】、【００１４】の記載からみて、「従来よりも高い周波数までインピーダンスの変化が少ない複合導電性部材、その複合導電性部材から構成される導電層等を備える試料保持具、その試料保持具からなる静電チャック部材を備える静電チャック装置を提供すること」にあるといえる。そして、本件特許発明１の「複合導電性部材」は、「直径１０ｍｍ以上の試験片の両端のインピーダンスを測定した場合、１００ｋＨｚで測定されるインピーダンスが、１００Ｈｚで測定されるインピーダンスの０．２倍以上５倍以下」であり、１００ｋＨｚで測定されるインピーダンスが、１００Ｈｚで測定されるインピーダンスの０．２倍以上５倍以下と特定されていることから、当該課題を解決できるものと認められる。また、本件特許発明１を引用する本件特許発明２～７においても、同様に当該課題を解決できると認められる。 よって、申立人の主張に理由はなく採用できない。 （３）小括 以上のとおり、本件特許発明１～７は、発明の詳細な説明において「発明の課題が解決できることを当業者が認識できるように記載された範囲」を超えるものではないから、特許法第３６条第６項第１号に規定する要件を満たしていない特許出願に対してされたものとはいえない。 したがって、申立理由３には理由がない。 第６ むすび 以上のとおりであるから、特許異議の申立ての理由及び申立人の提出した証拠によっては、本件特許の請求項１～７に係る特許を取り消すことはできない。 また、他に本件特許を取り消すべき理由を発見しない。 よって、結論のとおり決定する。