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特許第７６７０１９１号発明「静電チャック」の特許異議申立事件について、次のとおり決定する。

結 論 特許第７６７０１９１号の特許請求の範囲を訂正請求書に添付された特許請求の範囲のとおり訂正後の請求項〔１～２〕、３、４について訂正することを認める。 特許第７６７０１９１号の請求項１、３、４に係る特許を維持する。 特許第７６７０１９１号の請求項２に係る特許についての異議申立てを却下する。

理 由 第１ 手続の経緯 特許第７６７０１９１号に係る特許（以下「本件特許」という。）についての出願は、令和６年３月２１日に出願され、令和７年４月２１日にその特許権の設定登録がされ、同年同月３０日に特許掲載公報が発行され、その後の手続の経緯は以下のとおりである。 令和７年１０月２８日 ：特許異議申立人 金 海松（以下「申立人」という。）による特許異議の申立て 令和７年１２月２４日付け：取消理由通知書 令和８年 ３月 ４日 ：特許権者による訂正請求書、意見書の提出 令和８年 ３月２６日 ：特許権者による手続補正書（方式）の提出 令和８年 ５月２６日 ：申立人による意見書の提出 申立人が提出した甲第１号証～甲第６号証（以下、それぞれ「甲１」～「甲６」という。）は、次のとおりである。 甲１：特開２０２３－１４７１５９号公報 甲２：特表２００７－５１５８０５号公報 甲３：特開２０２３－１０９６７１号公報 甲４：特開２０１４－１８７２１４号公報 甲５：特開２０１４－２７２２０号公報 甲６：特開２０２４－１５２２１９号公報 第２ 訂正の適否についての判断 １ 訂正の内容 令和８年３月２６日提出の手続補正書（方式）により補正された、令和８年３月４日になされた訂正の請求（以下「本件訂正」という。）は、特許第７６７０１９１号の特許請求の範囲を、訂正請求書に添付した訂正特許請求の範囲のとおり、訂正後の請求項１～４について訂正することを求めるものであって、その訂正の内容は、以下のとおりである。（下線は訂正箇所を示すものとして、特許権者が付したとおり。） （１） 訂正事項１ 特許請求の範囲の請求項１に 「 被吸着物が載置される載置面を有する誘電体基板と、 前記誘電体基板に接合されたベースプレートと、を備え、 前記ベースプレートには、 冷媒の通る冷媒流路と、 前記載置面に対し垂直な方向に伸びる貫通穴と、が形成されており、 前記冷媒流路のうち前記貫通穴の近傍の部分には、冷媒の流れにおいて乱流を発生させるための乱流発生部が設けられており、 前記乱流発生部は、 前記冷媒流路のうち、冷媒の流れる方向に沿って前記貫通穴よりも上流側となる位置に設けられた第１乱流発生部と、 前記貫通穴よりも下流側となる位置に設けられた第２乱流発生部と、を含み、 前記第１乱流発生部及び前記第２乱流発生部のそれぞれにおいて、前記冷媒流路は、 前記載置面に対し垂直な方向から見た場合において、円弧状に突出する経路であって、その曲率半径が局所的に小さくなっている経路に沿って引き回されていることを特徴とする静電チャック。」 と記載されているのを、 「 被吸着物が載置される載置面を有する誘電体基板と、 前記誘電体基板に接合されたベースプレートと、を備え、 前記ベースプレートには、 冷媒の通る冷媒流路と、 前記載置面に対し垂直な方向に伸びる貫通穴と、が形成されており、 前記冷媒流路のうち前記貫通穴の近傍の部分には、冷媒の流れにおいて乱流を発生させるための乱流発生部が設けられており、 前記乱流発生部は、 前記冷媒流路のうち、冷媒の流れる方向に沿って前記貫通穴よりも上流側となる位置に設けられた第１乱流発生部と、 前記貫通穴よりも下流側となる位置に設けられた第２乱流発生部と、を含み、 前記第１乱流発生部及び前記第２乱流発生部のそれぞれにおいて、前記冷媒流路は、 前記載置面に対し垂直な方向から見た場合において、前記貫通穴が設けられている方に向けて円弧状に突出する経路であって、その曲率半径が局所的に小さくなっている経路に沿って引き回されており、 前記載置面に対し垂直な方向から見た場合において、 前記冷媒流路のうち前記第１乱流発生部に対し下流側から隣り合っている部分と、 前記冷媒流路のうち前記第１乱流発生部に対し上流側から隣り合っている部分と、のいずれもが、共通の円弧に沿って円弧状に伸びるように形成されており、且つ、当該円弧の曲率半径が前記第１乱流発生部の曲率半径よりも大きく、 前記冷媒流路のうち前記第２乱流発生部に対し下流側から隣り合っている部分と、 前記冷媒流路のうち前記第２乱流発生部に対し上流側から隣り合っている部分と、のいずれもが、共通の円弧に沿って円弧状に伸びるように形成されており、且つ、当該円弧の曲率半径が前記第２乱流発生部の曲率半径よりも大きいことを特徴とする静電チャック。」 に訂正する。 （２） 訂正事項２ 特許請求の範囲の請求項２を削除する。 （３） 訂正事項３ 特許請求の範囲の請求項３に 「 被吸着物が載置される載置面を有する誘電体基板と、 前記誘電体基板に接合されたベースプレートと、を備え、 前記ベースプレートには、 冷媒の通る冷媒流路と、 前記載置面に対し垂直な方向に伸びる貫通穴と、が形成されており、 前記冷媒流路のうち前記貫通穴の近傍の部分には、冷媒の流れにおいて乱流を発生させるための乱流発生部が設けられており、 前記乱流発生部において、前記冷媒流路は、 前記載置面に対し垂直な方向から見た場合において、円弧状に突出する経路であって、その曲率半径が局所的に小さくなっている経路に沿って引き回されていることを特徴とする静電チャック。」 と記載されているのを、 「 被吸着物が載置される載置面を有する誘電体基板と、 前記誘電体基板に接合されたベースプレートと、を備え、 前記ベースプレートには、 冷媒の通る冷媒流路と、 前記載置面に対し垂直な方向に伸びる貫通穴と、が形成されており、 前記冷媒流路のうち前記貫通穴の近傍の部分には、冷媒の流れにおいて乱流を発生させるための乱流発生部が設けられており、 前記乱流発生部において、前記冷媒流路は、 前記載置面に対し垂直な方向から見た場合において、前記貫通穴が設けられている方に向けて円弧状に突出する経路であって、その曲率半径が局所的に小さくなっている経路に沿って引き回されており、 前記載置面に対し垂直な方向から見た場合において、 前記冷媒流路のうち前記乱流発生部に対し下流側から隣り合っている部分と、 前記冷媒流路のうち前記乱流発生部に対し上流側から隣り合っている部分と、のいずれもが、共通の円弧に沿って円弧状に伸びるように形成されており、且つ、当該円弧の曲率半径が前記乱流発生部の曲率半径よりも大きいことを特徴とする静電チャック。」 に訂正する。 （４） 訂正事項４ 特許請求の範囲の請求項４に 「 被吸着物が載置される載置面を有する誘電体基板と、 前記誘電体基板に接合されたベースプレートと、を備え、 前記ベースプレートには、 冷媒の通る冷媒流路と、 前記載置面に対し垂直な方向に伸びる貫通穴と、が形成されており、 前記冷媒流路のうち前記貫通穴の近傍の部分において、前記冷媒流路は、 前記載置面に対し垂直な方向から見た場合において、円弧状に突出する経路であって、その曲率半径が局所的に小さくなっている経路に沿って引き回されていることを特徴とする静電チャック。」 と記載されているのを、 「 被吸着物が載置される載置面を有する誘電体基板と、 前記誘電体基板に接合されたベースプレートと、を備え、 前記ベースプレートには、 冷媒の通る冷媒流路と、 前記載置面に対し垂直な方向に伸びる貫通穴と、が形成されており、 前記冷媒流路のうち前記貫通穴の近傍の部分において、前記冷媒流路は、 前記載置面に対し垂直な方向から見た場合において、前記貫通穴が設けられている方に向けて円弧状に突出する経路であって、その曲率半径が局所的に小さくなっている経路に沿って引き回されている突出部を有し、 前記載置面に対し垂直な方向から見た場合において、 前記冷媒流路のうち前記突出部に対し下流側から隣り合っている部分と、 前記冷媒流路のうち前記突出部に対し上流側から隣り合っている部分と、のいずれもが、共通の円弧に沿って円弧状に伸びるように形成されており、且つ、当該円弧の曲率半径が前記突出部の曲率半径よりも大きいことを特徴とする静電チャック。」 に訂正する。 （５） 一群の請求項、及び独立特許要件について ア 訂正前の請求項１～２について、請求項２は請求項１を引用しているものであって、訂正事項１によって記載が訂正される請求項１に連動して訂正されるものである。 したがって、訂正前の請求項１～２に対応する訂正後の請求項１～２は、特許法第１２０条の５第４項に規定する一群の請求項である。 イ 本件特許異議申立事件においては、訂正前の請求項１～４が特許異議申立の請求の対象とされているので、訂正前の請求項１～４に係る訂正事項１～４に関して、特許法第１２０条の５第９項で読み替えて準用する特許法第１２６条第７項の独立特許要件は課されない。 ２ 訂正の目的の適否、新規事項の有無、及び特許請求の範囲の拡張・変更の存否 （１）訂正事項１について ア 訂正の目的の適否 訂正事項１は、「冷媒流路」が、「前記載置面に対し垂直な方向から見た場合において、円弧状に突出する経路」であることについて、載置面に対し垂直な方向から見た場合において、「前記貫通穴が設けられている方に向けて」円弧状に突出する経路であるとの事項（以下「限定事項１」という。）、更に、「前記載置面に対し垂直な方向から見た場合において、 前記冷媒流路のうち前記第１乱流発生部に対し下流側から隣り合っている部分と、 前記冷媒流路のうち前記第１乱流発生部に対し上流側から隣り合っている部分と、のいずれもが、共通の円弧に沿って円弧状に伸びるように形成されており、且つ、当該円弧の曲率半径が前記第１乱流発生部の曲率半径よりも大きく、 前記冷媒流路のうち前記第２乱流発生部に対し下流側から隣り合っている部分と、 前記冷媒流路のうち前記第２乱流発生部に対し上流側から隣り合っている部分と、のいずれもが、共通の円弧に沿って円弧状に伸びるように形成されており、且つ、当該円弧の曲率半径が前記第２乱流発生部の曲率半径よりも大きい」との事項（以下「限定事項２」という。）を付加するものであるから、訂正事項１に係る本件訂正は、特許請求の範囲の減縮を目的とするものである。 イ 新規事項の有無 （ア）ａ 本件特許の願書に添付された明細書、特許請求の範囲又は図面等（以下「本件明細書等」という。）には次の記載がある。（下線は強調のために、当審において付加した。） 「【００３１】 冷媒流路２５０の構成について説明する。図２には、ベースプレート２００の内部に形成された冷媒流路２５０の構成が、上面視で模式的に描かれている。先に述べたように、ベースプレート２００の面２２０には開口２５１、２５２が設けられている。冷媒流路２５０は、開口２５１と開口２５２との間を繋いでおり、上面視においてベースプレート２００の略全体を通るような経路に沿って形成されている。 ・・・（中略）・・・ 【００４７】 図５には、本実施形態における冷媒流路２５０の構成が、図３と同様の視点で描かれている。冷媒流路２５０のうち図５に示される部分は、第１実施形態における範囲Ａ（図２を参照）と同じ部分である。また、図５に示される点線ＤＬ０、ＤＬ１、ＤＬ２は、いずれも図３に示されるものと同じである。 【００４８】 本実施形態では、冷媒流路２５０の内壁面に突起２７０が形成されていない。本実施形態では、冷媒流路２５０のうち点線ＤＬ１と対応する位置、及び点線ＤＬ２と対応する位置のそれぞれに、突出部２８０が形成されている。それぞれの突出部２８０においては、冷媒流路２５０は円弧状に突出するような経路に沿って引き回されている。「円弧状に突出するような経路」とは、上面視において単一の真円に沿うような形状であってもよいが、経路の曲率中心が場所によって互いに異なっているような形状であってもよい。また、突出部２８０の一部においては冷媒流路２５０が直線状に伸びていてもよい。点線ＤＬ１の位置に形成された突出部２８０のことを、以下では「突出部２８１」とも称する。点線ＤＬ２の位置に形成された突出部２８０のことを、以下では「突出部２８２」とも称する。 ・・・（中略）・・・ 【００５０】 このように、突出部２８１、２８２は、いずれもリフトピン穴２６０の近傍となる位置に形成されており、冷媒の流れにおいて乱流を発生させるための「乱流発生部」として機能する。突出部２８１は、冷媒流路２５０のうち、冷媒の流れる方向に沿ってリフトピン穴２６０よりも上流側となる位置に設けられており、本実施形態における「第１乱流発生部」に該当する。突出部２８２は、冷媒流路２５０のうち、冷媒の流れる方向に沿ってリフトピン穴２６０よりも下流側となる位置に設けられており、本実施形態における「第２乱流発生部」に該当する。本実施形態とは逆の方向に冷媒が流れる場合には、突出部２８２が「第１乱流発生部」に該当し、突出部２８１が「第２乱流発生部」に該当することになる。このような構成においても、図５に示される範囲ＡＲ１において乱流が発生することとなるので、第１実施形態で説明したものと同様の効果を奏することができる。 ・・・（中略）・・・ 【００５３】 このように、本実施形態では、突出部２８１（第１乱流発生部）及び突出部２８２（第２乱流発生部）のそれぞれにおいて、冷媒流路２５０が、上面視においてリフトピン穴２６０が設けられている方に向けて円弧状に突出する経路、に沿って引き回されている。このような構成とすることで、リフトピン穴２６０の近傍における局所的な温度上昇を更に抑制することができる。」 「【図２】 ［図：0001439228000001.jpg］ 」 「【図５】 ［図：0001439228000002.jpg］ 」 ｂ 限定事項１について 限定事項１は、本件明細書等の段落００５３の記載に対応するものであるから、本件明細書等のすべての記載を総合することにより導かれる技術的事項との関係において新たな技術的事項とはいえない。 ｃ 限定事項２について 静電チャック１０が備えるベースプレート２００の内部に形成された冷媒流路２５０の構成を上面視で示した図面、すなわち載置面に対し垂直な方向から見た図面である本件明細書等の図２において、リフトピン穴２６０より外側の範囲Ａに示される冷媒流路２５０は、螺旋になっていないから、同じ曲率半径の円弧であるといえる。 そして、本件明細書等の図５、段落００４８、００５０の記載によると、冷媒流路２５０のうち第１乱流発生部２８１に対し下流側から隣り合っている部分、及び、上流側から隣り合っている部分とは、共通の円弧に沿って円弧状に伸びるように形成され且つ、当該円弧の曲率半径が前記第１乱流発生部２８１の曲率半径よりも大きいといえる。 また、第２乱流発生部２８２に対して下流側、及び上流側から隣り合っている部分についても同様である。 そうすると、限定事項２は、本件明細書等のすべての記載を総合することにより導かれる技術的事項との関係において新たな技術的事項とはいえない。 ｄ 以上のとおり、訂正事項１に係る本件訂正は、本件明細書等のすべての記載を総合することにより導かれる技術的事項との関係において新たな技術的事項を導入するものではなく、本件明細書等に記載した事項の範囲内の訂正であるから、特許法第１２０の５第９項で準用する同法第１２６条第５項の規定に適合する。 （イ） 申立人の主張 申立人は、令和８年５月２６日に提出した意見書（以下「申立人意見書」という。）２～３ページの「４．（１）（１－１）」において、図２、及び、図１、３～５から、訂正後の請求項１の「第１乱流発生部に対し上流側から隣り合っている部分」と「第１乱流発生部に対し下流側から隣り合っている部分」が、同じ曲率半径を有する円弧状となっていることを読み取ること、及び、訂正後の請求項１の「第２乱流発生部に対し上流側から隣り合っている部分」の形状と「第２乱流発生部に対し下流側から隣り合っている部分」が、同じ曲率半径を有する円弧状となっていることを読み取ることはできないと主張する。 しかしながら、上記（ア）のとおり、訂正事項１に係る本件訂正は、本件明細書等のすべての記載を総合することにより導かれる技術的事項との関係において新たな技術的事項を導入するものではないから、申立人の主張は採用できない。 ウ 特許請求の範囲の拡張・変更の存否 訂正事項１に係る本件訂正は、訂正前の発明特定事項を減縮するものであり、カテゴリーや対象、目的を変更するものではなく、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものには該当しないから、特許法第１２０の５第９項で準用する同法第１２６条第６項の規定に適合する。 （２）訂正事項２について 訂正事項２に係る本件訂正は、請求項２を削除するものであるから、特許請求の範囲の減縮を目的とするものであり、本件明細書等のすべての記載を総合することにより導かれる技術的事項との関係において新たな技術的事項を導入するものではなく、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものには該当しない。 （３）訂正事項３について 訂正事項３は、「冷媒流路」が、「前記載置面に対し垂直な方向から見た場合において、円弧状に突出する経路」であることについて、載置面に対し垂直な方向から見た場合において、「前記貫通穴が設けられている方に向けて」円弧状に突出する経路であるとの事項（以下「限定事項３」という。）、更に、「前記載置面に対し垂直な方向から見た場合において、 前記冷媒流路のうち前記乱流発生部に対し下流側から隣り合っている部分と、 前記冷媒流路のうち前記乱流発生部に対し上流側から隣り合っている部分と、のいずれもが、共通の円弧に沿って円弧状に伸びるように形成されており、且つ、当該円弧の曲率半径が前記乱流発生部の曲率半径よりも大きい」との事項（以下「限定事項４」という。）を付加するものであるから、訂正事項３に係る本件訂正は、特許請求の範囲の減縮を目的とするものである。 そして、新規事項の有無について、申立人は、申立人意見書８ページの「４．（２）（２－１）」で上記（１）と同様の主張をするものの、限定事項３、４は、上記（１）で検討した限定事項１、２と同様に、本件明細書等のすべての記載を総合することにより導かれる技術的事項との関係において新たな技術的事項とはいえないから、訂正事項３に係る本件訂正は、本件明細書等のすべての記載を総合することにより導かれる技術的事項との関係において新たな技術的事項を導入するものではない。 また、訂正事項３に係る本件訂正は、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものには該当しない。 （４）訂正事項４について 訂正事項４は、「冷媒流路」が、「前記載置面に対し垂直な方向から見た場合において、円弧状に突出する経路」であることについて、載置面に対し垂直な方向から見た場合において、「前記貫通穴が設けられている方に向けて」円弧状に突出する経路である「突出部を有」するとの事項（以下「限定事項５」という。）、更に、「前記載置面に対し垂直な方向から見た場合において、 前記冷媒流路のうち前記突出部に対し下流側から隣り合っている部分と、 前記冷媒流路のうち前記突出部に対し上流側から隣り合っている部分と、のいずれもが、共通の円弧に沿って円弧状に伸びるように形成されており、且つ、当該円弧の曲率半径が前記突出部の曲率半径よりも大きい」との事項（以下「限定事項６」という。）を付加するものであるから、訂正事項４に係る本件訂正は、特許請求の範囲の減縮を目的とするものである。 そして、新規事項の有無について、申立人は、申立人意見書１０～１１ページの「４．（３）（３－１）」で上記（１）と同様の主張をするものの、限定事項５、６は、上記（１）で検討した限定事項１、２と同様に、本件明細書等のすべての記載を総合することにより導かれる技術的事項との関係において新たな技術的事項とはいえないから、訂正事項４に係る本件訂正は、本件明細書等のすべての記載を総合することにより導かれる技術的事項との関係において新たな技術的事項を導入するものではない。 また、訂正事項４に係る本件訂正は、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものには該当しない。 ３ まとめ 上記のとおり、本件訂正は、特許法第１２０条の５第２項ただし書第１号に掲げる事項を目的とするものであり、かつ、同条第９項で準用する同法第１２６条第５項及び第６項の規定に適合する。 したがって、特許請求の範囲を、訂正請求書に添付された訂正特許請求の範囲のとおり、訂正後の請求項〔１～２〕、３、４について訂正することを認める。 第３ 本件訂正による訂正後の本件発明 本件訂正により訂正された訂正後の請求項１～４に係る発明（以下、順に「本件発明１」～「本件発明４」という。）は、訂正特許請求の範囲の請求項１～４に記載された次の事項により特定されるとおりのものである。 （下線は、訂正特許請求の範囲の記載のとおり。） 「【請求項１】 被吸着物が載置される載置面を有する誘電体基板と、 前記誘電体基板に接合されたベースプレートと、を備え、 前記ベースプレートには、 冷媒の通る冷媒流路と、 前記載置面に対し垂直な方向に伸びる貫通穴と、が形成されており、 前記冷媒流路のうち前記貫通穴の近傍の部分には、冷媒の流れにおいて乱流を発生させるための乱流発生部が設けられており、 前記乱流発生部は、 前記冷媒流路のうち、冷媒の流れる方向に沿って前記貫通穴よりも上流側となる位置に設けられた第１乱流発生部と、 前記貫通穴よりも下流側となる位置に設けられた第２乱流発生部と、を含み、 前記第１乱流発生部及び前記第２乱流発生部のそれぞれにおいて、前記冷媒流路は、 前記載置面に対し垂直な方向から見た場合において、前記貫通穴が設けられている方に向けて円弧状に突出する経路であって、その曲率半径が局所的に小さくなっている経路に沿って引き回されており、 前記載置面に対し垂直な方向から見た場合において、 前記冷媒流路のうち前記第１乱流発生部に対し下流側から隣り合っている部分と、 前記冷媒流路のうち前記第１乱流発生部に対し上流側から隣り合っている部分と、のいずれもが、共通の円弧に沿って円弧状に伸びるように形成されており、且つ、当該円弧の曲率半径が前記第１乱流発生部の曲率半径よりも大きく、 前記冷媒流路のうち前記第２乱流発生部に対し下流側から隣り合っている部分と、 前記冷媒流路のうち前記第２乱流発生部に対し上流側から隣り合っている部分と、のいずれもが、共通の円弧に沿って円弧状に伸びるように形成されており、且つ、当該円弧の曲率半径が前記第２乱流発生部の曲率半径よりも大きいことを特徴とする静電チャック。 【請求項２】 （削除） 【請求項３】 被吸着物が載置される載置面を有する誘電体基板と、 前記誘電体基板に接合されたベースプレートと、を備え、 前記ベースプレートには、 冷媒の通る冷媒流路と、 前記載置面に対し垂直な方向に伸びる貫通穴と、が形成されており、 前記冷媒流路のうち前記貫通穴の近傍の部分には、冷媒の流れにおいて乱流を発生させるための乱流発生部が設けられており、 前記乱流発生部において、前記冷媒流路は、 前記載置面に対し垂直な方向から見た場合において、前記貫通穴が設けられている方に向けて円弧状に突出する経路であって、その曲率半径が局所的に小さくなっている経路に沿って引き回されており、 前記載置面に対し垂直な方向から見た場合において、 前記冷媒流路のうち前記乱流発生部に対し下流側から隣り合っている部分と、 前記冷媒流路のうち前記乱流発生部に対し上流側から隣り合っている部分と、のいずれもが、共通の円弧に沿って円弧状に伸びるように形成されており、且つ、当該円弧の曲率半径が前記乱流発生部の曲率半径よりも大きいことを特徴とする静電チャック。 【請求項４】 被吸着物が載置される載置面を有する誘電体基板と、 前記誘電体基板に接合されたベースプレートと、を備え、 前記ベースプレートには、 冷媒の通る冷媒流路と、 前記載置面に対し垂直な方向に伸びる貫通穴と、が形成されており、 前記冷媒流路のうち前記貫通穴の近傍の部分において、前記冷媒流路は、 前記載置面に対し垂直な方向から見た場合において、前記貫通穴が設けられている方に向けて円弧状に突出する経路であって、その曲率半径が局所的に小さくなっている経路に沿って引き回されている突出部を有し、 前記載置面に対し垂直な方向から見た場合において、 前記冷媒流路のうち前記突出部に対し下流側から隣り合っている部分と、 前記冷媒流路のうち前記突出部に対し上流側から隣り合っている部分と、のいずれもが、共通の円弧に沿って円弧状に伸びるように形成されており、且つ、当該円弧の曲率半径が前記突出部の曲率半径よりも大きいことを特徴とする静電チャック。」 第４ 取消理由の概要 当審が令和７年１２月２４日付けで特許権者に通知した取消理由の要旨は、次のとおりである。 取消理由１（新規性） 請求項１～４に係る発明は、甲１に記載された発明又は電気通信回線を通じて公衆に利用可能となった発明であって、特許法第２９条第１項第３号に該当するから、請求項１～４に係る特許は、特許法第２９条第１項の規定に違反してされたものである。 取消理由２（進歩性） 請求項１～４に係る発明は、甲１に記載された発明に基いて、本件特許出願前にその発明の属する技術の分野における通常の知識を有する者（以下「当業者」という。）が容易に発明をすることができたものであるから、請求項１～４に係る特許は、特許法第２９条第２項の規定に違反してされたものである。 取消理由３（拡大先願） 請求項１、３、４に係る発明は、本件出願の日前の甲６に係る特許出願であって、本件出願の出願後に出願公開がされたものの願書に最初に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面（以下「当初明細書等」という。）に記載された発明と同一であり、しかも、本件特許の発明者が他の特許出願に係る上記発明をした者と同一ではなく、また、本件特許の出願の時に本件特許の出願人が他の特許出願の出願人と同一でもないので、請求項１、３、４に係る特許は、特許法第２９条の２の規定に違反してされたものである。 第５ 当審の判断 １ 取消理由１、２ （１） 本件発明１ ア 限定事項２（上記「第２の２（１）ア」参照）に係る本件発明１の構成については、甲１に記載されていないから、本件発明１は甲１に記載された発明とはいえない。 また、限定事項２に係る本件発明１の構成については、いずれの証拠にも、記載も示唆もされていないから、本件発明１は、甲１に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明できたものとはいえない。 したがって、本件発明１についての取消理由１、２は理由がない。 イ 申立人の主張 （ア） ［図：0001439228000003.jpg］ 申立人は、申立人意見書３～６ページの「４．（１）（１－２）」において、甲１の図９に基づく上記参考図１に基づいて、第２通路部３０１ｂに対する第５通路部３０１ｅ、及び、第１通路部３０１ａが仮想円弧Ｖａｒｃの形状に沿って形成されていると主張する。 しかしながら、甲１の段落０１１６の「例えば、連通路３０１は、一筆書きの渦巻き状である。すなわち、連通路３０１は、積層方向に沿って見た場合に、中心３００ｃの周りを周方向に沿って回りながら、中心３００ｃから離れる形状である。ただし、「渦巻き状」の一部は、中心３００ｃに近づくように延びていてもよい。「渦巻き状」の一部は、蛇行していてもよい。」との記載によると、甲１の第２通路部３０１ｂに対する第５通路部３０１ｅ、及び、第１通路部３０１ａは、共通の曲率半径が特定できるような円弧に沿って円弧状に伸びるように形成されているとはいえない。 第３通路部３０１ｃに対する第６通路部３０１ｆ、及び、第３通路部３０１ｃに対する第１通路部３０１ａについても同様である。 したがって、申立人の上記主張は採用できない。 （イ） 申立人は、さらに、ベースプレートに形成される冷媒流路が貫通孔や電極を迂回するように形成される部分（迂回部分）を有し、迂回部分の形状が円弧形状である場合には、冷媒流路において、迂回部分を除く冷媒流路の形状の曲率半径が、迂回部分の曲率半径よりも大きくなることは、設計上の必然的な結果に過ぎず、いわゆる当業者であれば容易に想到される事項である旨主張する。 しかしながら、本件特許１の第１乱流発生部、第２乱流発生部は、貫通穴が設けられている方に向けて円弧状に突出する経路であって、冷媒流路が貫通孔や電極を迂回する部分（迂回部分）とはいえず、申立人の上記主張は前提において誤っているから、採用できない。 （２） 本件発明３、４ 限定事項４（上記「第２の２（３）」参照）に係る本件発明３の構成、及び、限定事項６（上記「第２の２（４）」参照）に係る本件発明４の構成は、いずれも甲１に記載されていないから、本件発明３、４は、いずれも甲１に記載された発明とはいえない。 また、限定事項４に係る本件発明３の構成、及び、限定事項６に係る本件発明４の構成については、いずれの証拠にも、記載も示唆もされていないから、本件発明３、４は、いずれも、甲１に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明できたものとはいえない。 申立人は、申立人意見書８～９ページの「４．（２）（２－２）」、申立人意見書１１ページの「４．（３）（３－２）」で、上記（１）イと同様の主張をするが、上記（１）と同様の理由で採用できない。 したがって、本件発明３、４についての取消理由１、２は、理由がない。 ２ 取消理由３ 限定事項１、２（上記「第２の２（１）ア」参照）に係る本件発明１の構成、限定事項３、４（上記「第２の２（３）」参照）に係る本件発明３の構成、限定事項５、６（上記「第２の２（４）」参照）に係る本件発明４の構成は、いずれも甲６に記載されていないから、本件発明１、３、４は、甲６に係る特許出願の当初明細書等に記載された発明と同一とはいえない。 したがって、本件発明１、３、４についての取消理由３は理由がない。 第６ 取消理由として採用しなかった申立ての理由についての当審の判断 取消理由として採用しなかった特許異議申立書（以下「申立書」という。）に記載された明確性要件違反について申立理由を検討する。 １ 「前記冷媒流路のうち前記貫通穴の近傍の部分」について 申立人は、申立書６３～６４ページの「３（４）（４－４）（４－４－１）」において、本件発明１、３、４の「前記冷媒流路のうち前記貫通穴の近傍の部分」とは、冷媒流路のどの部分を指すのか明確でないため、乱流発生部が設けられる位置が明確となっていない旨主張する。 しかしながら、本件明細書等の段落０００６、０００８、０００９の記載によると、本件発明は、誘電体基板のうち、ベースプレートに形成された貫通穴の直上となる部分では、ベースプレート側への熱引きが行われにくく、このため、当該部分において局所的な温度上昇が生じ、基板の面内温度分布がばらついてしまう可能性があるとの課題を、冷媒流路のうち貫通穴の近傍の部分に、冷媒の流れにおいて乱流を発生させるための乱流発生部を設けることによって、ベースプレートのうち貫通穴の近傍の部分を、乱流発生部が無い場合に比べて効率的に冷却し、その温度を低下させることにより解決するものである。 そうすると、「前記冷媒流路のうち前記貫通穴の近傍の部分」とは、冷媒流路において、ある貫通穴に対して、乱流発生部を設けることによって、より効率的に冷却を行える範囲であることが明らかであるから、当該申立理由は理由がない。 ２ 「その曲率半径が局所的に小さくなっている経路に沿って引き回されており」について 申立人は、申立書６４～６６ページの「３（４）（４－４）（４－４－２）」において、本件発明１、３、４の「曲率半径が局所的に小さくなっている経路に沿って引き回されている」とされている冷媒流路の部分は、冷媒流路のどの部分との比較によって「曲率半径が局所的に小さくなっている」とされているかが明確になっていない旨主張する。 しかしながら、本件訂正における限定事項２（上記「第２の２（１）ア」参照）、限定事項４（上記「第２の２（３）」参照）、限定事項６（上記「第２の２（４）」参照）において、冷媒流路のうち（第１、第２）乱流発生部に対し上流側、及び下流から隣り合っている部分の円弧の曲率半径に対して、曲率半径が局所的に小さくなっていることが明らかであるから、当該申立理由は理由がない。 第７ むすび 上記第５、第６のとおりであるから、取消理由、並びに、特許異議の申立ての理由及び証拠によっては、請求項１、３、４に係る本件特許を取り消すことはできない。 また、他に請求項１、３、４に係る本件特許を取り消すべき理由を発見しない。 そして、請求項２に係る特許は、本件訂正により削除されたから、申立人による特許異議の申立てについて、請求項２に係る特許についての申立ては、申立ての対象が存在しないものとなったため、特許法第１２０条の８第１項で準用する同法第１３５条の規定により却下する。 よって、結論のとおり決定する。