2023-701104

特許第７２６２８６４号発明「合成砥石、合成砥石アセンブリ、及び、合成砥石の製造方法」の特許異議申立事件について、次のとおり決定する。

結 論 特許第７２６２８６４号の明細書、特許請求の範囲及び図面を、訂正請求書に添付された訂正明細書、訂正特許請求の範囲及び訂正図面のとおり、訂正後の請求項〔１～５〕、６について訂正することを認める。 特許第７２６２８６４号の請求項１～２、４～６に係る特許を維持する。 特許第７２６２８６４号の請求項３に係る特許についての特許異議の申立てを却下する。

理 由 第１ 手続の経緯 １ 特許掲載公報の発行までの経緯 特許第７２６２８６４号（以下「本件特許」という。）の請求項１～６に係る特許についての出願は、令和４年９月２８日の出願であって、令和５年４月１４日にその特許権の設定登録がされ、同月２４日に特許掲載公報が発行された。 ２ 特許異議の申立て以降の経緯 本件特許についての特許異議の申立て以降の主な経緯は、次のとおりである。 （１）令和５年１０月１７日 特許異議申立人 中田覚史（以下「申立人」という。）による、本件特許の請求項１～６に係る特許に対する特許異議の申立て （２）令和６年１月３０日付け 取消理由通知書による取消理由の通知 （３）令和６年３月２９日 特許権者 株式会社東京ダイヤモンド工具製作所（以下「特許権者」という。）による訂正請求書及び意見書の提出 （４）令和６年６月１７日 申立人による意見書の提出 （５）令和６年１０月２３日付け 取消理由通知書による取消理由（決定の予告）の通知 （以下、当該取消理由（決定の予告）を「本件決定予告」という。） （６）令和６年１２月２０日 特許権者による訂正請求書及び意見書の提出 （７）令和７年１月２１日付け 手続補正指令書による手続補正指令 （８）令和７年１月２９日 特許権者による手続補正書の提出 （以下、当該手続補正書により補正された訂正請求書に係る訂正の請求を「本件訂正請求」といい、本件訂正請求に係る訂正を「本件訂正」という。） （９）令和７年６月６日 申立人による意見書の提出 なお、令和６年３月２９日に提出された訂正請求書に係る訂正の請求は、特許法１２０条の５第７項の規定により、取り下げられたものとみなす。 第２ 本件訂正の適否 １ 本件訂正請求の趣旨及び内容について 本件訂正請求の趣旨は、本件特許の明細書、特許請求の範囲及び図面を、訂正請求書に添付した訂正明細書、訂正特許請求の範囲及び訂正図面のとおり、訂正後の請求項〔１～５〕、６について訂正することを認める、というものである。 そして、本件訂正の内容は、以下のとおりである。（下線は、訂正箇所を示すために当審で付したものである。） （１）訂正事項１ 特許請求の範囲の請求項１に、 「前記砥粒に比べて平均粒径が大きい第１のフィラー、導電性を有する第２のフィラー、及び、被削物に比べて硬い第３のフィラーの少なくとも１つを含み」 と記載されているのを、 「前記砥粒に比べて平均粒径が大きい第１のフィラー、導電性を有する第２のフィラー、及び、被削物に比べて硬い第３のフィラーのうちの２つ又は３つを含み」 に訂正する。 （請求項１の記載を引用する請求項２、４～５についても同様に訂正する。） （２）訂正事項２ 特許請求の範囲の請求項１に、 「有する」 と記載されているのを、 「有し、 前記被削物に対して乾式により化学機械研削作用を発揮する」 に訂正する。 （請求項１の記載を引用する請求項２、４～５についても同様に訂正する。） （３）訂正事項３ 特許請求の範囲の請求項３を削除する。 （４）訂正事項４ 特許請求の範囲の請求項６に、 「前記第２のフィラーを含む前記仮成型体を高温炉で焼成することは、前記高温炉内を不活性雰囲気にして前記仮成型体を焼成することを含む、請求項５に記載の合成砥石の製造方法。」 と記載されているのを 「砥粒と、 前記砥粒を分散させた状態に保持する、ビトリファイド製の結合剤と、 前記砥粒に比べて平均粒径が大きい第１のフィラー、導電性を有する第２のフィラー、及び、被削物に比べて硬い第３のフィラーのうちの前記第２のフィラーを少なくとも含み、前記結合剤中に分散させた状態に配置されるフィラーと を有する、表面加工を行うための合成砥石の製造方法であって、 前記砥粒、前記結合剤、及び、前記フィラーを混合させて混合材を得ること、 前記混合材を金型に充填し、ホットプレスにより仮成型すること、 前記仮成型した仮成型体を、脱型すること、 前記仮成型体を高温炉で焼成すること を含み、 前記砥粒の砥粒率（Ｖｇ）を、０体積％より大きく、５０体積％以下とし、 前記結合剤の結合剤率（Ｖｂ）を、７体積％以上で、２０体積％以下とし、 前記第２のフィラーを０体積％より大きく、５０体積％以下とし、前記第１のフィラー及び前記第３のフィラーを、それぞれ０体積％以上５０体積％以下とし、 前記第２のフィラーを含む前記仮成型体を高温炉で焼成することは、前記高温炉内を不活性雰囲気にして前記仮成型体を焼成することを含む、合成砥石の製造方法。」 に訂正する。 （５）訂正事項５ 明細書の【０００６】に 「本発明の一態様に係る、表面加工を行うための合成砥石は、砥粒と、砥粒を分散させた状態に保持する、ビトリファイド製の結合剤と、結合剤中に分散させた状態に配置されるフィラーとを有する。フィラーは、砥粒に比べて平均粒径が大きい第１のフィラー、導電性を有する第２のフィラー、及び、被削物に比べて硬い第３のフィラーの少なくとも１つを含む。」 と記載されているのを、 「本発明の一態様に係る、表面加工を行うための合成砥石は、砥粒と、砥粒を分散させた状態に保持する、ビトリファイド製の結合剤と、結合剤中に分散させた状態に配置されるフィラーとを有する。フィラーは、砥粒に比べて平均粒径が大きい第１のフィラー、導電性を有する第２のフィラー、及び、被削物に比べて硬い第３のフィラーのうちの２つ又は３つを含む。」 に訂正する。 （６）訂正事項６ 明細書の【００３９】に 「ウェーハＷの表面が研磨され、摩擦が生じると、ウェーハＷの表面に静電気が生じ得る。このとき、導電性の第２のフィラーは、ウェーハＷの表面の静電気を砥石保持部材４３（図６参照）に流す。したがって、本変形例に係る合成砥石１００を用いることで、ウェーハＷの表面を研磨しながら、ウェーハＷの表面に生じる静電気を除去することができる。この結果、ウェーハＷの表面に塵埃等が付着することを防止できる。」 と記載されているのを、 「ウェーハＷの表面が研磨され、摩擦が生じると、ウェーハＷの表面に静電気が生じ得る。このとき、導電性の第２のフィラーは、ウェーハＷの表面の静電気を砥石保持部材４３（図４参照）に流す。したがって、本変形例に係る合成砥石１００を用いることで、ウェーハＷの表面を研磨しながら、ウェーハＷの表面に生じる静電気を除去することができる。この結果、ウェーハＷの表面に塵埃等が付着することを防止できる。」 に訂正する。 （７）訂正事項７ 図面の図３に ［図：0001428981000001.jpg］ と記載されているのを、 ［図：0001428981000002.jpg］ に訂正する。（訂正箇所は砥粒と結合剤の数値範囲欄の入替え） ２ 一群の請求項について 本件訂正前の請求項１～６について、請求項２～６がそれぞれ請求項１の記載を直接的又は間接的に引用する関係にあって、訂正事項１によって記載が訂正される請求項１に連動して訂正されるものである。 したがって、訂正前の請求項１～６に対応する訂正後の請求項１～６は、特許法１２０条の５第４項に規定する一群の請求項である。 ３ 独立特許要件について 本件特許異議の申立ては、全ての請求項１～６を対象としているので、請求項１～６に係る訂正事項１～４に関して、特許法１２０条の５第９項において読み替えて準用する同法１２６条７項の独立特許要件は課されない。 ４ 訂正の目的の適否、新規事項の有無、特許請求の範囲の拡張・変更の存否について （１）訂正事項１について ア 訂正の目的について 訂正事項１は、訂正前の請求項１の「フィラー」が、第１～第３のフィラーのうちの少なくとも１つを含むこと、すなわち、１つ、２つ又は３つを含むことを特定していたところ、第１～第３のフィラーのうちの２つ又は３つを含むことに限定するものであるから、その訂正の目的は、特許法１２０条の５第２項ただし書１号に掲げる「特許請求の範囲の減縮」に該当する。 イ 新規事項の有無について 訂正事項１に係る「第１のフィラー・・・第３のフィラーのうちの２つ又は３つを含み」という事項は、本件特許の願書に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面（以下「本件明細書等」という。）の【００５１】に「・・・合成砥石１００は、第１のフィラー、第２のフィラー、第３のフィラーのうちの２つ又は３つを含むことも好適である。・・・」と記載されているから、訂正事項１は、本件明細書等に記載した事項の範囲内においてする訂正であり、特許法１２０条の５第９項で準用する同法１２６条５項に適合する。 ウ 特許請求の範囲の拡張・変更の存否について 訂正事項１は、上記アのとおり、本件訂正前の請求項１に記載された「フィラー」を限定するものであり、カテゴリーや対象、目的を変更するものではない。 したがって、訂正事項１は、実質的に特許請求の範囲を拡張し又は変更するものには該当せず、特許法１２０条の５第９項で準用する同法１２６条６項に適合する。 （２）訂正事項２について ア 訂正の目的について 訂正事項２は、本件訂正前の請求項１の合成砥石について、「前記被削物に対して乾式により化学機械研削作用を発揮する」ことを付加して限定するものであるから、その訂正の目的は、特許法１２０条の５第２項ただし書１号に掲げる「特許請求の範囲の減縮」に該当する。 イ 新規事項の有無について 訂正事項２は、本件訂正前の請求項３に記載されているから、訂正事項２は、本件明細書等に記載した事項の範囲内においてする訂正であり、特許法１２０条の５第９項で準用する同法１２６条５項に適合する。 ウ 特許請求の範囲の拡張・変更の存否について 訂正事項２は、上記アのとおり、本件訂正前の請求項１に記載された合成砥石を限定するものであり、カテゴリーや対象、目的を変更するものではない。 したがって、訂正事項２は、実質的に特許請求の範囲を拡張し又は変更するものには該当せず、特許法１２０条の５第９項で準用する同法１２６条６項に適合する。 （３）訂正事項３について ア 訂正の目的について 訂正事項３は、本件訂正前の請求項３を削除するものであるから、その訂正の目的は、特許法１２０条の５第２項ただし書１号に掲げる「特許請求の範囲の減縮」に該当する。 イ 新規事項の有無、特許請求の範囲の拡張・変更の存否について 訂正事項３は、請求項３を削除するものであるから、本件明細書等に記載した事項の範囲内において訂正するものであり、カテゴリーや対象、目的を変更する訂正でないことは明らかであるから、特許法１２０条の５第９項で準用する同法１２６条５～６項に適合する。 （４）訂正事項４について ア 訂正の目的について 訂正事項４は、本件訂正前の請求項６が請求項５の記載を引用し、当該請求項５が請求項１の記載を引用するように記載していたものを、請求項間の引用関係を解消し、請求項６について、請求項５及び請求項１の記載を引用しないように記載するとともに、訂正前の請求項６に記載された「第２のフィラー」について、「前記第２のフィラーを少なくとも含」むことを明確にし、さらに、フィラーの「体積％」について、「前記第２のフィラーを０体積％より大きく、５０体積％以下とし、前記第１のフィラー及び前記第３のフィラーを、それぞれ０体積％以上５０体積％以下」に明確にするものであるから、その訂正の目的は、特許法１２０条の５第２項ただし書４号に掲げる「他の請求項の記載を引用する請求項の記載を当該他の請求項の記載を引用しないものとすること」及び同項ただし書３号に掲げる「明瞭でない記載の釈明」に該当する。 イ 新規事項の有無、特許請求の範囲の拡張・変更の存否について 訂正事項４は、請求項６について、請求項５及び請求項１の記載を引用しないように記載を訂正するものであるし、「第２のフィラー」を含むことを明確にするものであるから、本件明細書等に記載した事項の範囲内において訂正するものであり、カテゴリーや対象、目的を変更する訂正でないことは明らかである。 したがって、訂正事項４は、特許法１２０条の５第９項で準用する同法１２６条５～６項に適合する。 （５）訂正事項５について ア 訂正の目的について 訂正事項５は、訂正事項１により請求項１の記載が訂正されることに合わせて、本件の願書に添付した明細書の【０００６】の記載を請求項１の記載に整合させるものであるから、その訂正の目的は、特許法１２０条の５第２項ただし書３号に掲げる「明瞭でない記載の釈明」に該当する。 イ 新規事項の有無、特許請求の範囲の拡張・変更の存否について 訂正事項５は、請求項１に係る訂正事項１と同様のものであるから、訂正事項１と同様に、訂正事項５は、特許法１２０条の５第９項で準用する同法１２６条５～６項に適合する。 （６）訂正事項６について ア 訂正の目的について 訂正事項６は、本件の願書に添付した明細書（以下「本件明細書」という。）の【００３９】に「（図６参照）」と記載されていたのに対して、本件の願書に添付した図面（以下「本件図面」という。）には図６が存在しないことから、不明瞭な記載となっていたところを、「（図４参照）」と訂正することで、明細書の記載と図面の記載を整合させるものであるから、その訂正の目的は、特許法１２０条の５第２項ただし書３号に掲げる「明瞭でない記載の釈明」に該当する。 イ 新規事項の有無、特許請求の範囲の拡張・変更の存否について 訂正事項６は、上記アのとおり、明細書の記載と図面の記載を整合させるものであるから、本件明細書等に記載した事項の範囲内において訂正するものであり、カテゴリーや対象、目的を変更する訂正でないことは明らかである。 したがって、訂正事項６は、特許法１２０条の５第９項で準用する同法１２６条５～６項に適合する。 （７）訂正事項７について ア 訂正の目的について 訂正事項７は、本件図面の図３には、合成砥石の組成比率［体積％］について、「砥粒」が「７～２０」、「結合剤」が「０～５０」と記載されていたのに対して、本件明細書の【００１５】には、「図３に示すように、砥粒１０１の砥粒率（Ｖｇ）は、０体積％より高く５０体積％以下である。結合剤１０２の結合剤率（Ｖｂ）は、７体積％以上２０体積％以下である。」と記載されており、不整合が生じていたため不明瞭な記載であったところ、明細書の記載に合わせるように、図３の「砥粒」を「０～５０」、「結合剤」を「７～２０」と訂正するものであるから、その訂正の目的は、特許法１２０条の５第２項ただし書３号に掲げる「明瞭でない記載の釈明」に該当する。 イ 新規事項の有無、特許請求の範囲の拡張・変更の存否について 訂正事項７は、上記アのとおり、明細書の記載と図面の記載を整合させるものであるから、本件明細書等に記載した事項の範囲内において訂正するものであり、カテゴリーや対象、目的を変更する訂正でないことは明らかである。 したがって、訂正事項７は、特許法１２０条の５第９項で準用する同法１２６条５～６項に適合する。 ５ 訂正についての付言 （１）明細書及び図面の訂正と関係する請求項について 訂正事項５に係る【０００６】の訂正、訂正事項６に係る【００３９】の訂正及び訂正事項７に係る図３の訂正は、いずれも、一群の請求項１～６に関係する訂正であることを付言する。 （２）別の請求単位とする求めについて 権利者は、訂正後の請求項６については、当該請求項についての訂正が認められる場合には、一群の請求項の他の請求項とは別の訂正単位とすることを求めていることを付言する。 ６ 小括 上記４（１）～（７）のとおり、本件訂正は、訂正の要件をすべて満たすものであるから、本件特許の明細書、特許請求の範囲及び図面を、訂正請求書に添付された訂正明細書、訂正特許請求の範囲及び訂正図面のとおり、本件訂正後の請求項〔１～５〕、６について訂正することを認める。 第３ 本件発明 上記第２のとおり本件訂正は認容されたから、本件特許の請求項１～６に係る発明（以下、各請求項に係る発明を「本件発明１」などという。）は、訂正請求書に添付された訂正特許請求の範囲の請求項１～６に記載された、以下の事項により特定されるとおりのものである。 「【請求項１】 砥粒と、 前記砥粒を分散させた状態に保持する、ビトリファイド製の結合剤と、 前記砥粒に比べて平均粒径が大きい第１のフィラー、導電性を有する第２のフィラー、及び、被削物に比べて硬い第３のフィラーのうちの２つ又は３つを含み、前記結合剤中に分散させた状態に配置されるフィラーと を有し、 前記被削物に対して乾式により化学機械研削作用を発揮する、表面加工を行うための合成砥石。 【請求項２】 前記砥粒の砥粒率（Ｖｇ）が、０体積％より大きく、５０体積％以下であり、 前記結合剤の結合剤率（Ｖｂ）が、７体積％以上で、２０体積％以下であり、 前記第１のフィラー、前記第２のフィラー及び前記第３のフィラーは、それぞれ、０体積％以上５０体積％以下である、 請求項１に記載の合成砥石。 【請求項３】（削除） 【請求項４】 請求項１又は請求項２に記載の合成砥石と、 前記合成砥石が固定され、導電性及び前記合成砥石よりも高い熱伝導性の少なくとも一方を有する基体と を有する、合成砥石アセンブリ。 【請求項５】 請求項１に記載の合成砥石の製造方法であって、 前記砥粒、前記結合剤、及び、前記フィラーを混合させて混合材を得ること、 前記混合材を金型に充填し、ホットプレスにより仮成型すること、 前記仮成型した仮成型体を、脱型すること、 前記仮成型体を高温炉で焼成すること を含み、 前記砥粒の砥粒率（Ｖｇ）を、０体積％より大きく、５０体積％以下とし、 前記結合剤の結合剤率（Ｖｂ）を、７体積％以上で、２０体積％以下とし、 前記第１のフィラー、前記第２のフィラー及び前記第３のフィラーを、それぞれ０体積％以上５０体積％以下とする、 合成砥石の製造方法。 【請求項６】 砥粒と、 前記砥粒を分散させた状態に保持する、ビトリファイド製の結合剤と、 前記砥粒に比べて平均粒径が大きい第１のフィラー、導電性を有する第２のフィラー、及び、被削物に比べて硬い第３のフィラーのうちの前記第２のフィラーを少なくとも含み、前記結合剤中に分散させた状態に配置されるフィラーと を有する、表面加工を行うための合成砥石の製造方法であって、 前記砥粒、前記結合剤、及び、前記フィラーを混合させて混合材を得ること、 前記混合材を金型に充填し、ホットプレスにより仮成型すること、 前記仮成型した仮成型体を、脱型すること、 前記仮成型体を高温炉で焼成すること を含み、 前記砥粒の砥粒率（Ｖｇ）を、０体積％より大きく、５０体積％以下とし、 前記結合剤の結合剤率（Ｖｂ）を、７体積％以上で、２０体積％以下とし、 前記第２のフィラーを０体積％より大きく、５０体積％以下とし、前記第１のフィラー及び前記第３のフィラーを、それぞれ０体積％以上５０体積％以下とし、 前記第２のフィラーを含む前記仮成型体を高温炉で焼成することは、前記高温炉内を不活性雰囲気にして前記仮成型体を焼成することを含む、合成砥石の製造方法。」 第４ 本件決定予告の概要 本件訂正前の請求項１～６に係る特許に対して、当審が令和６年１０月２３日付けで特許権者に通知した本件決定予告の概要は、次のとおりである。 １ 請求項６の明確性について 本件訂正前の請求項６に係る特許は、特許請求の範囲の請求項６の記載が不備のため、特許法３６条６項２号に規定する要件を満たしていない特許出願に対してされたものである。 ２ 請求項１～２及び４～５に係る発明の進歩性について 本件訂正前の請求項１～２に係る発明は、甲第７号証に記載された発明及び参考資料１記載の技術的事項に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであり、本件訂正前の請求項４に係る発明は、甲第７号証に記載された発明、参考資料１記載の技術的事項及び甲第８号証の記載に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであり、本件訂正前の請求項５に係る発明は、甲第７号証に記載された第５発明、参考資料１記載の技術的事項及び甲第１号証記載の技術的事項に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、請求項１～２及び４～５に係る特許は、特許法２９条２項の規定に違反してされたものである。 第５ 当審の判断 １ 申立人が提出した証拠 （１）特許異議申立書に添付した証拠 甲第１号証：特開平１－２７１１７７号公報 甲第２号証：特開２０１９－９３４６８号公報 甲第３号証：特開２０１７－１１３６号公報 甲第４号証：特開２００４－５０３６４号公報 甲第５号証：国際公開第２００５／０７２９１２号 甲第６号証：中国特許出願公開第１１３９９７２１３号明細書 甲第７号証：特開２０２１－８０１６号公報 甲第８号証：特許第５６４００６４号公報 （以下、各甲号証を「甲１」などという。） （２）令和６年６月１７日に提出した意見書に添付した証拠 参考資料１：特開２０２１－３７９５号公報 ２ 本件特許の請求項６の明確性について （１）本件決定予告では、本件訂正前の請求項６の「第１のフィラー、・・・第２のフィラー、及び、・・・第３のフィラーの少なくとも１つを含み、前記結合剤中に分散させた状態に配置されるフィラー」という記載は、請求項６に係る合成砥石が、第２のフィラーを含まない場合があることを意味すると解されるのに対して、請求項６の「前記第２のフィラーを含む前記仮成型体を高温炉で焼成することは、・・・焼成することを含む」という記載は、請求項６に係る合成砥石が、第２のフィラーを含むことを意味すると解されるため、請求項６に係る合成砥石は、第２のフィラーを含むものに限定されるのか、それとも、第２のフィラーを含まない場合も含まれるのか、明確でないと判断した。 （２）本件特許の請求項６の記載は、上記第３の請求項６に示すとおりであり、「第１のフィラー、・・・第２のフィラー、及び、・・・第３のフィラーのうちの前記第２のフィラーを少なくとも含み、前記結合剤中に分散させた状態に配置されるフィラー」という記載や、「前記第２のフィラーを０体積％より大きく、５０体積％以下とし」という記載、及び「前記第２のフィラーを含む前記仮成型体を高温炉で焼成することは、・・・焼成することを含む」という記載は、いずれも、請求項６に係る合成砥石が、第２のフィラーを含むものに限定されることを意味する点で一致するから、請求項６の「第２のフィラー」に係る記載は明確であり、特許法３６条６項２号に規定する要件を満たしている。 （３）したがって、本件決定予告の請求項６の明確性の理由により、本件特許の請求項６に係る特許を取り消すことはできない。 ３ 本件発明１～２及び４～５の進歩性について （１）本件発明１の進歩性 ア 本件発明１の記載 本件発明１は、上記第３の請求項１に記載された事項により特定されるとおりのものである。 イ 甲７の記載事項及び甲７発明 （ア）甲７の記載事項 甲７には、以下の事項が記載されている。 「【０００１】 本発明は、シリコンウェーハ等の被削物の表面をグライディング加工するための合成砥石に関する。」 「【０００３】 近年、ポリッシング工程の代わりに、乾式のケミカルメカニカル研削（以下、「ＣＭＧ」と称する。）による表面加工を行う方法が用いられている（例えば、特許文献１参照）。ＣＭＧ工程では、研磨剤（砥粒）を硬質樹脂等の樹脂結合剤で固定化した合成砥石を用いる。そして、ウェーハ及び合成砥石を回転させながら合成砥石をウェーハに押圧させる（例えば、特許文献２参照）。ウェーハ表面の凸部は、合成砥石との摩擦により微細な加工起点が加熱・酸化されて脆くなって剥がれ落ちる。このようにして、ウェーハの凸部だけが研削され、平坦化される。」 「【０００６】 上述した合成砥石は、次のような問題があった。すなわち、上述したようにＣＭＧ工程では、固体間の化学反応を利用して材料除去を加工原理としているため、反応熱が十分に上昇しないと加工速度が上昇しなかった。また、合成砥石から遊離した研磨剤が合成砥石又はウェーハの回転に伴う遠心力で排出され、研削作用に関与せず、加工速度が低下するという問題もあった。 【０００７】 そこで、本発明は上記の課題を解決するためになされたものであり、研削加工における高い研削効率を実現する合成砥石を提供することを目的とする。 【課題を解決するための手段】 【０００８】 本実施形態に係る合成砥石は、被削材に対し化学機械研削作用を有する研磨剤と、摩擦促進剤と、前記研磨剤と前記摩擦促進剤を結合する結合剤とを備えている。」 「【発明の効果】 【００１０】 研削加工における摩擦による発熱を促進し、短時間で温度上昇を図ることで、高い研削効率を実現することが可能となる。」 「【００１５】 砥石駆動機構４０は、回転モータ部４１を備えている。回転モータ部４１は、下方に突出した回転軸４２を備えている。回転軸４２の先端部には円板状のホイール保持部材４３が取り付けられている。ホイール保持部材４３には、図２に示すように、円板状の合成砥石１００が着脱自在に取り付けられている。合成砥石１００の装着には、合成砥石１００に設けられたネジ孔に、ホイール保持部材４３側からボルトをネジ込んで装着する。 【００１６】 合成砥石１００は、図３に示すように、ウェーハＳに対し化学機械研削作用を有する研磨剤１０１を有し、この研磨剤１０１内に摩擦促進剤１０２を分散して結合剤１０３によって結合し、気孔を形成して形成されている。研磨剤１０１は、被削材の材質によって適宜選択されるものであり、ウェーハＳがシリコン材製の場合には、平均粒径が１０μｍ以下の酸化セリウムを主成分とすることが好ましい。なお、酸化セリウムの他、酸化ケイ素、酸化鉄、酸化チタン、酸化クロムも適用でき、これらの混合物でも良い。 （当審注：「この研磨剤１０１内に摩擦促進剤１０２を分散して結合剤１０３によって結合し」という記載は、図４の記載からみて、「この合成砥石１００内に摩擦促進剤１０２を分散して結合剤１０３によって結合し」という記載の誤記と認める。） 【００１７】 摩擦促進剤１０２は、ウェーハＳよりも低いモース硬度で、かつ、高い摩擦係数を有する繊維物質を主成分とする。繊維物質は、ウィスカ（結晶表面から外側に向けて髭状に成長した結晶）、ファイバのいずれか又は混合物を適用できる。ウィスカとしては、機械的強度の大きな酸化物系ウィスカ及び炭化物系ウィスカが好ましい。ファイバとしては、セルロースファイバ及びカーボンファイバが好ましい。結合剤１０３は、フェノール樹脂、ウレタン樹脂、エポキシ樹脂等の有機化合物系樹脂又は低融点ガラス質結合剤を主成分としている。 【００１８】 なお、合成砥石１００の組成は例えば、研磨剤１０１が４０～５５体積％、摩擦促進剤１０２が１～５体積％、結合剤１０３が９～３０体積％である。また、合成砥石１００の気孔率は１０～５０体積％である。気孔には、摩擦促進剤１０２が充填される。 【００１９】 このように構成された合成砥石１００は、ＣＭＧ装置１０に取り付けられて、次のようにしてウェーハＳを研削する。すなわち、合成砥石１００をホイール保持部材４３に取り付ける。次に、搬送ロボットによりウェーハＳをテーブル２３に取り付ける。」 「【００２１】 この時の合成砥石１００とウェーハＳとの関係を図４に示す。加工が開始されると、合成砥石１００とウェーハＳが摺動し、結合剤１０３に外力が作用する。この外力が連続して作用することで結合剤１０３が緩み、研磨剤１０１及び軟質の摩擦促進剤１０２がウェーハＳ上に脱落する。遊離した研磨剤１０１は、繊維状の摩擦促進剤１０２に絡まり、合成砥石１００とウェーハＳとの隙間において摺動される。研磨剤１０１は化学研磨作用を有しており、ウェーハＳ表面に長く滞留することで化学研磨作用の機会頻度の向上につながる。 【００２２】 一方、摩擦促進剤１０２は、ウェーハＳ表面及び研磨剤１０１と擦れあうことで微視的な凝着と剥離を繰り返す。この動作がブレーキ作用となることで摩擦熱が発生する。摩擦熱は、研磨剤１０１及び結合剤１０３とウェーハＳとの間でも生じているため、その摩擦熱に加わることとなる。図４中Ｈは、合成砥石１００とウェーハＳとの隙間で生じた摩擦熱がウェーハＳ表面からウェーハＳ内部に拡がる様子を示している。」 「【００２６】 このようにして摩擦促進剤１０２を用いてウェーハＳ表面の温度上昇による化学反応を促進し、研削効率が上昇させることで、ＣＭＧ装置１０及び合成砥石１００によるウェーハＳの表面研削の加工時間を短縮させることができる。」 図４の記載 「 ［図：0001428981000003.jpg］ 」 （イ）甲７の記載事項から理解できる事項 甲７の記載事項から、以下の事項を理解することができる（括弧内に甲７の記載箇所を付記する。）。 ａ 甲７には、シリコンウェーハ等の被削物の表面をグライディング加工するための合成砥石（【０００１】）が記載されるところ、従来の乾式のＣＭＧ（ケミカルメカニカル研削）の合成砥石は、固体間の化学反応を利用して材料除去を行うため、反応熱が十分に上昇しないと加工速度が上昇しないという課題（【０００６】）があった。甲７の合成砥石は、被削材に対して化学機械研削作用を有する研磨剤と、摩擦促進剤と、前記研磨剤と前記摩擦促進剤を結合する結合剤とを備える（【０００８】）ことで、研削加工における摩擦による発熱を促進し、短時間で温度上昇を図ることで、高い研削効率を実現するものである（【００１０】）。 ｂ 甲７の合成砥石は、被削材がシリコン材製のウェーハＳの場合には、研磨剤１０１は、平均粒径が１０μｍ以下の酸化セリウムを主成分とし（【００１６】）、摩擦促進剤１０２は、ウェーハＳよりも低いモース硬度で、かつ、高い摩擦係数を有する繊維物質を主成分とし（【００１７】）、結合剤１０３は、低融点ガラス質結合剤を主成分とする（【００１７】）。 ｃ 合成砥石１００の組成は、例えば、研磨剤１０１が４０～５５体積％、摩擦促進剤１０２が１～５体積％、結合剤１０３が９～３０体積％であり、気孔率は１０～５０体積％であるところ、気孔には、摩擦促進剤１０２が充填される（【００１８】）。 また、研磨剤１０１は、合成砥石１００の内部で分散していることを理解できる（図４）から、結合剤１０３は、研磨剤１０１を分散させた状態に保持しているといえる。同様に、摩擦促進剤１０２は、合成砥石１００の内部で分散していることを理解できる（【００１６】）から、摩擦促進剤１０２は、結合剤１０３中に分散させた状態に配置されているといえる。 ｄ 加工が開始されると、合成砥石１００とウェーハＳが摺動し、結合剤１０３に外力が連続して作用することで、結合剤１０３が緩み、研磨剤１０１及び軟質の摩擦促進剤１０２がウェーハＳ上に脱落する（【００２１】及び図４）。 遊離した研磨剤１０１は、繊維状の摩擦促進剤１０２に絡まり、合成砥石１００とウェーハＳとの隙間において摺動され、化学研磨作用を有する研磨剤１０１が、ウェーハＳ表面に長く滞留することで化学研磨作用の機会頻度の向上につながる（【００２１】及び図４）。 また、摩擦促進剤１０２は、ウェーハＳ表面及び研磨剤１０１と擦れあうことで微視的な凝着と剥離を繰り返し、この動作がブレーキ作用となることで生じる摩擦熱や、研磨剤１０１及び結合剤１０３とウェーハＳとの間で生じる摩擦熱（【００２２】）により、ウェーハＳ表面の温度上昇による化学反応を促進し、研削効率が上昇することで、加工時間を短縮できる（【００２６】）。 （ウ）甲７発明 上記（ア）及び（イ）に係る事項を本件発明１の記載に合わせて整理すると、甲７には次の発明（以下「甲７発明」という。）が記載されているということができる。 「平均粒径が１０μｍ以下の酸化セリウムを主成分とする研磨剤１０１と、 前記研磨剤１０１を分散させた状態に保持する、低融点ガラス質結合剤を主成分とする結合剤１０３と、 ウェーハＳよりも低いモース硬度で、かつ、高い摩擦係数を有する繊維物質を主成分とし、前記結合剤１０３中に分散させた状態に配置される摩擦促進剤１０２と、 を有し、 シリコン材製のウェーハＳに対して化学機械研磨作用を有する、表面をグライディング加工するための合成砥石１００。」 ウ 参考資料１記載の技術的事項 （ア）参考資料１の記載事項から理解できる事項 参考資料１の記載事項から、以下の事項を理解することができる（括弧内に参考資料１の記載箇所を付記する。）。 ａ 参考資料１には、シリコンウェーハ等の被削物の表面をグライディング加工するための合成砥石（【０００１】）が記載されており、従来の乾式のＣＭＧ（ケミカルメカニカル研削）の合成砥石は、ＣＭＧ工程が進むと、合成砥石から研磨剤が脱落し、研磨作用面が平滑になり、樹脂結合剤と被削物との接触機会が増えることで、研磨剤と被削材との間の接触圧が低下して、加工能率が著しく低下し、また、摩擦熱が過大となって、焼けやスクラッチを生じるという課題（【０００６】）があった。参考資料１の合成砥石は、被削材に対し化学機械研削作用を有し、平均粒子径が５μｍより小さい研磨剤と、前記研磨剤より平均粒子径が大きい球状充填剤と、前記研磨剤と前記球状充填剤を一体的に結合する樹脂結合剤とを備える（【０００８】）ことで、加工が進行しても研磨剤と被削物との接触圧を十分に維持して加工能率を維持し、しかも樹脂結合剤と被削物との接触面積を一定以下に抑制することで被削物面の品質低下及びスクラッチの発生を防止するものである（【０００９】）。 ｂ 参考資料１の合成砥石は、被削材がシリコンの場合は酸化セリウムの研磨剤１０１が適用可能であり（【００３１】）、研磨剤１０１の平均粒径は５μｍより小さく（【０００８】）、球状充填剤１０２としては、粒子径２０μｍの球状シリカゲルを用い、樹脂結合剤１０３としては、フェノール樹脂を用いる（【００１８】）。 ｃ 球状充填剤１０２は研磨剤１０１よりも平均粒径が大きいため、加工中の合成砥石１００とウェーハＷとは、ほとんど球状充填剤１０２の頂点を介して接触することになり、合成砥石１００の母材ＭとウェーハＷとは直接接触せず、隙間Ｓが生じる（【００２６】及び図３）。 加工が開始されると、母材Ｍに外力が連続して作用することで、研磨剤１０１を保持する樹脂結合剤１０３が緩み、母材Ｍから研磨剤１０１が脱落する（【００２７】及び図３）。 遊離した研磨剤１０１は、隙間Ｓにおいて、球状充填剤１０２に吸着した状態となるため、加工中の研磨剤１０１とウェーハＷとは、ほとんど球状充填剤１０２の頂点を介して接触することになり、研磨剤１０１とウェーハＷとの実接触面積は大幅に小さくなって、作用圧力は高まり、高い加工能率で研削加工が進む（【００２７】）。 ｄ また、隙間Ｓによって、ウェーハＷの表面付近の空気は外気との循環が促進され、加工面は冷却され、研磨剤１０１によって生じたスラッジは、隙間Ｓを介してウェーハＷから外部に排出されるから、ウェーハＷの表面が傷つくことを防止でき、摩擦熱によるウェーハＷの表面の焼けやスクラッチを防止できる（【００２８】）。 （イ）参考資料１記載の技術的事項 上記（ア）に係る事項を整理すると、参考資料１には次の技術的事項（以下「参考資料１記載の技術的事項」という。）が記載されているということができる。 「シリコン材製のウェーハＷに対して化学機械研磨作用を有する、表面をグライディング加工するための合成砥石において、 平均粒子径が５μｍより小さい酸化セリウムの研磨剤１０１と、 研磨剤１０１を保持する樹脂結合剤１０３と、 粒子径２０μｍの球状シリカゲルを用いることで、 合成砥石１００の母材ＭとウェーハＷとの間に隙間Ｓが生じ、 加工で作用する外力で合成砥石１００から脱落した研磨剤１０１が球状充填剤１０２に吸着して球状充填剤１０２の頂点を介してウェーハＷと接触することで、作用圧力が高まって、高い加工能率で研削加工が進み、 隙間Ｓによって、ウェーハＷの表面付近の空気は外気との循環が促進されて、加工面は冷却され、研磨剤１０１によって生じたスラッジは隙間Ｓを介してウェーハＷから外部に排出されることで、ウェーハＷの表面が傷つくことを防止でき、摩擦熱によるウェーハＷの表面の焼けやスクラッチを防止できること。」 エ 本件発明１と甲７発明の対比 本件発明１と甲７発明を対比すると、甲７発明の「平均粒径が１０μｍ以下の酸化セリウムを主成分とする研磨剤１０１」が、本件発明１の「砥粒」に相当することは明らかであり、以下同様に、「前記研磨剤１０１を分散させた状態に保持する」ことが、「前記砥粒を分散させた状態に保持する」ことに、「低融点ガラス質結合剤を主成分とする結合剤１０３」が「ビトリファイド製の結合剤」に、「シリコン材製のウェーハＳに対して化学機械研磨作用を有する」ことが「前記被削物に対して乾式により化学機械研削作用を発揮する」ことに、「表面をグライディング加工する」ことが「表面加工を行う」ことに、「合成砥石１００」が「合成砥石」に、それぞれ相当する。 また、甲７発明の「ウェーハＳよりも低いモース硬度で、かつ、高い摩擦係数を有する繊維物質を主成分とし、前記結合剤１０３中に分散させた状態に配置される摩擦促進剤１０２」と、本件発明１の「前記砥粒に比べて平均粒径が大きい第１のフィラー、導電性を有する第２のフィラー、及び、被削物に比べて硬い第３のフィラーのうちの２つ又は３つを含み、前記結合剤中に分散させた状態に配置されるフィラー」を対比すると、「前記結合剤中に分散させた状態に配置されるフィラー」という点では一致する。 したがって、本件発明１と甲７発明は、以下の点で一致し、以下の相違点１で相違する。 ［一致点］ 両発明は、 「砥粒と、 前記砥粒を分散させた状態に保持する、ビトリファイド製の結合剤と、 前記結合剤中に分散させた状態に配置されるフィラーと を有し、 前記被削物に対して乾式により化学機械研削作用を発揮する、表面加工を行うための合成砥石。」 である点。 ［相違点１］ 本件発明１のフィラーは、「前記砥粒に比べて平均粒径が大きい第１のフィラー、導電性を有する第２のフィラー、及び、被削物に比べて硬い第３のフィラーのうちの２つ又は３つを含」むものであるのに対して、甲７発明のフィラーは、「ウェーハＳよりも低いモース硬度で、かつ、高い摩擦係数を有する繊維物質を主成分とする摩擦促進剤１０２」であって、当該摩擦促進剤１０２は、砥粒に比べて平均粒径が大きいものではなく、導電性を有するものではなく、被削物に比べて硬いものでもない点。 オ 相違点１の検討 相違点１について検討すると、甲７発明のような、化学機械研削作用を発揮する合成砥石において、砥粒に比べて平均粒径が大きい第１のフィラー、導電性を有する第２のフィラー、及び、被削物に比べて硬い第３のフィラーのうちの２つ又は３つを含むように構成することは、申立人が提出したいずれの証拠にも記載されていない。 また、参考資料１記載の技術的事項（上記ウ（イ））には、化学機械研削作用を発揮する合成砥石において、酸化セリウムの研磨剤１０１（砥粒）に比べて平均粒径が大きい球状シリカゲルを含むように構成することが示されており、当該球状シリカゲルを甲７発明に適用すれば、本件発明１の「第１のフィラー」に相当するといえる。 しかし、シリカゲルが導電性を有するとはいえないから、当該球状シリカゲルを甲７発明に適用しても本件発明１の「第２のフィラー」には相当しない。また、シリカゲルの成分であるシリカ（ＳｉＯ２）のモース硬度が「７」であるのに対して、甲７発明の被削材であるシリコン（Ｓｉ）のモース硬度も同じく「７」であることは技術常識であるから、当該球状シリカゲルを甲７発明に適用しても本件発明１の「第３のフィラー」には相当しない。 さらに、参考資料１には、球状シリカゲルのほかに、導電性を有するフィラーや、被削物に比べて硬いフィラーを付加することは記載されていない。 したがって、相違点１は、甲７発明、参考資料１記載の技術的事項、並びに甲１～甲６及び甲８に記載された事項に基づいて、当業者が容易に想到できたものとはいえない。 カ 令和７年６月６日に提出された意見書の主張について （ア）相違点１についての申立人の主張の概要 申立人は、令和７年６月６日に提出された意見書（以下「申立人意見書」という。）において、上記相違点１について、以下のように主張している。 ａ 砥粒に比べて平均粒径が大きいフィラーは、令和６年１月３０日付け取消理由通知書で引用された甲２の「ＳｉＯ２砥粒」や、参考資料１の「球状シリカゲル」に示すように周知技術であり、また、砥粒に比べて平均粒径が大きいフィラーと、被削物（Ｓｉ）に比べて硬いフィラーは甲３の「ホウ素化合物」や甲８の「フィラーとしてのＡｌ２Ｏ３」に開示されており、周知技術である。（申立人意見書の１５ページ１１行～１８ページ下から５行） ｂ 甲７には、研磨剤１０１として、酸化セリウムのほか、酸化ケイ素（ＳｉＯ２）を混合させることの開示があり（甲７の【００１６】）、甲７発明に対して、甲２に示す砥粒に比べて平均粒径が大きい「ＳｉＯ２砥粒」をフィラーとすることで、本件発明１は容易に想到できる。（申立人意見書の１８ページ下から４行～１９ページ２行） ｃ また、本件発明１は、甲７発明、甲２及び参考資料１、並びに甲３及び甲８に示す周知技術に基づいて、当業者が容易に想到できたものである。（申立人意見書の１９ページ２～５行） ｄ また、本件発明１は、甲２に記載された発明に甲７発明を組み合わせることで容易に想到できたものであり、甲２に記載された発明に、甲７及び参考資料１、並びに甲３及び甲８に示す周知技術に基づいて、当業者が容易に想到できたものである。（申立人意見書の１９ページ６～１１行） （イ）相違点１についての申立人の主張の検討 ａ 申立人は、甲７発明に対して、甲２の「ＳｉＯ２砥粒」を適用することで、相違点１が容易に想到できる旨を主張している（上記（ア）ｂ）が、甲２の「ＳｉＯ２砥粒」の粒径は３μｍであり（甲２の【０１４７】）、甲７発明の酸化セリウムを主成分とする研磨剤１０１の平均粒径１０μｍよりも小さいから、甲７発明に対して、甲２の「ＳｉＯ２砥粒」を適用しても、相違点１に係る「砥粒に比べて平均粒径が大きい第１のフィラー」という構成には至らない。 なお、令和６年１月３０日付けの取消理由通知書における第１の１（２）イ及びウでは、甲２のダイヤモンド砥粒の平均粒径２．５μｍ（甲２の【０１４７】）に対して、「ＳｉＯ２砥粒」の平均粒径３μｍが大きいことを指摘したものである。 また、ＳｉＯ２は、導電性を有するとはいえないし、甲７発明の被削材であるシリコンと同じモース硬度「７」である（上記オ）から、甲２には、相違点１に係る「導電性を有する第２のフィラー」や、「被削物に比べて硬い第３のフィラー」という構成が示されているとはいえない。 したがって、甲７発明に甲２の「ＳｉＯ２砥粒」を適用することで、相違点１が容易に想到できる旨の主張は採用できない。 ｂ 申立人は、甲７発明、甲２及び参考資料１、並びに甲３及び甲８に示す周知技術に基づいて、相違点１が容易に想到できる旨を主張している（上記（ア）ｃ）が、甲７発明の化学機械研削（ケミカルメカニカル研削、ＣＭＧ）は、固体間の化学反応を利用して材料除去を行うことを加工原理としている（甲７の【０００６】）ため、砥粒の硬度は、被削材の硬度よりも高くする必要がない。これは、甲７発明の被削材であるシリコンのモース硬度が「７」であるのに対して、甲７発明の砥粒の主成分である酸化セリウムのモース硬度が「６」であることからも明らかである。 これに対して、甲３及び甲８の研削は、固体間の化学反応を利用するものではなく、機械的な研削を行うことを加工原理とするものであるから、当業者が、加工原理の異なる研削におけるフィラーを甲７発明に適用する動機があるとはいえない。 むしろ、甲７には、被削材であるシリコンのウェーハよりも低いモース硬度のフィラー（摩擦促進剤１０２）を用いること（甲７の【００１７】）が開示されているから、甲７発明に対して、「被削物に比べて硬い第３のフィラー」を適用することには、阻害要因があるというべきである。 また、甲７発明に甲２を適用しても、相違点１に係る第１～第３のフィラーのいずれの構成にも至らないことは、上記ａで説示するとおりである。 したがって、甲７発明、甲２及び参考資料１、並びに甲３及び甲８に示す周知技術に基づいて、相違点１が容易に想到できる旨の主張は採用できない。 ｃ 申立人は、甲２に記載された発明に甲７発明を組み合わせることなどを主張している（上記（ア）ｄ）が、甲７発明の化学機械研削は、固体間の化学反応を利用して材料除去を行うことを加工原理としているのに対して、甲２の研削は、機械的な研削を行うことを加工原理とするものであるから、当業者が、加工原理の異なる甲７発明の研削を組み合わせる動機があるとはいえない。 したがって、甲２に記載された発明に甲７発明を組み合わせることなどの主張は採用できない。 キ 本件発明１の進歩性の小括 以上のとおりであるから、本件発明１は、甲７発明、参考資料１記載の技術的事項、並びに甲１～甲６及び甲８に記載された事項に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものとはいえない。 （２）本件発明２及び４～５の進歩性について 本件発明２及び４～５は、本件発明１を引用し、本件発明１の発明特定事項を全て含む発明であるから、本件発明１と同様に、甲７発明、参考資料１記載の技術的事項、並びに甲１～甲６及び甲８に記載された事項に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものとはいえない。 （３）本件発明１～２及び４～５の進歩性のむすび 以上のとおりであるから、本件決定予告の本件発明１～２及び４～５の進歩性の理由により、本件特許の請求項１～２及び４～５に係る特許を取り消すことはできない。 第６ 本件決定予告で採用しなかった特許異議申立理由及び申立人意見書で主張する理由について １ 本件決定予告で採用しなかった特許異議申立理由の概要 特許異議申立書（以下「申立書」という。）に記載された特許異議申立理由のうち、本件決定予告で採用しなかった理由の概要は、以下のとおりである。 （１）請求項１に係る発明の新規性及び進歩性の理由 本件訂正前の請求項１に係る発明は、甲１～甲８のいずれかに記載された発明であるか、甲１～甲６又は甲８のいずれかに記載された発明を主たる引用発明とし、甲１～甲８に記載された発明を副引用発明として適用することで、容易に発明をすることができたものである。（申立書２５～３９ページ） （２）請求項２に係る発明の新規性及び進歩性の理由 本件訂正前の請求項２に係る発明は、甲１～甲２、甲５又は甲７～甲８のいずれかに記載された発明であるか、甲１～甲２、甲５又は甲８のいずれかに記載された発明を主たる引用発明とし、甲１～甲８に記載された発明を副引用発明として適用することで、容易に発明をすることができたものである。（申立書３９～４５ページ） （３）請求項３に係る発明の新規性及び進歩性の理由 本件訂正前の請求項３に係る発明は、甲７に記載された発明であるか、甲７に記載された発明を主たる引用発明とし、甲１～甲６及び甲８に記載された発明を副引用発明として適用することで、容易に発明をすることができたものである。（申立書４５～４６ページ） （４）請求項４に係る発明の新規性及び進歩性の理由 本件訂正前の請求項４に係る発明は、甲１、甲５又は甲７～甲８のいずれかに記載された発明であるか、甲１、甲５又は甲８のいずれかに記載された発明を主たる引用発明とし、甲１～甲８に記載された発明を副引用発明として適用することで、容易に発明をすることができたものである。（申立書４６～４９ページ） （５）請求項５に係る発明の新規性及び進歩性の理由 本件訂正前の請求項５に係る発明は、甲１に記載された発明であるか、甲１又は甲６のいずれかに記載された発明を主たる引用発明とし、甲１～甲２、甲５又は甲７に記載された発明を副引用発明として適用することで、容易に発明をすることができたものである。（申立書４９～５２ページ） （６）請求項６に係る発明の進歩性の理由 本件訂正前の請求項６に係る発明は、甲１に記載された発明を主たる引用発明とし、甲１、甲５～甲６に記載された発明を副引用発明として適用することで、容易に発明をすることができたものである。（申立書５２～５３ページ） ２ 申立人意見書で主張する理由の概要 （１）請求項１～２及び４～５の実施可能要件の理由 請求項１には、合成砥石のフィラーが、第１～第３のフィラーのうちの２つ又は３つを含むことが特定されているが、本件明細書には、３種類のフィラーの具体的な好ましい配合比率や実施形態、実施例等の記載はないし、第１～第３のフィラーのうち、２つを選択した場合の配合比率や製造方法等に関しても全く記載がないから、当業者は、３種類のフィラーのうち、どの２つを選択すれば好適であるか判断できない。 当業者が、本件発明１を実施する場合、フィラーを２種類又は３種類にするかや、その組み合わせをどうするか、それぞれの配合比率をどうするかを検討する必要があり、過度な試行錯誤を強いられることになるから、請求項１～２及び４～５に係る特許は、特許法３６条４項１号に規定する要件を満たしていない特許出願に対してされたものである。（申立人意見書９～１０ページ） （２）請求項２及び４～５の明確性の理由 請求項１には、合成砥石のフィラーが、第１～第３のフィラーのうちの２つ又は３つを含むことが特定されているが、請求項２及び５では、２種類のフィラーが０体積％の場合を包含していて矛盾するから、請求項２及び４～５に係る特許は、特許法３６条６項２号に規定する要件を満たしていない特許出願に対してされたものである。（申立人意見書１０ページ） （３）請求項６の進歩性の理由 甲５には、ビトリファイドダイヤモンド砥石の焼成を６５０℃以上の高温で、例えば窒素雰囲気下で行われることが記載されている（甲５の［０００２］）から、本件発明６は、甲５と甲１、甲２～甲４及び甲７の少なくとも１つの組み合わせにより容易に発明をすることができたものであり、請求項６に係る特許は、特許法２９条２項の規定に違反してされたものである。（申立人意見書１９～２０ページ） ３ 本件決定予告で採用しなかった特許異議申立理由の検討 （１）本件発明１の新規性及び進歩性について 本件発明１と甲７発明を対比すると、相違点１が存在し（上記第５の３（１）エ）、当該相違点１に係る構成は、申立人が提出したいずれの証拠にも記載されていない（上記第５の３（１）オ）。 したがって、本件発明１は、甲１～甲８のいずれかに記載された発明ではない。 また、甲１～甲６又は甲８のいずれかに記載された発明を主引用発明として、本件発明１と対比すると、少なくとも相違点１が存在し、相違点１は、甲１～甲８及び参考資料１に記載された事項に基づいて、当業者が容易に想到できたものとはいえないから、本件発明１に係る発明の新規性及び進歩性の理由により、請求項１に係る特許を取り消すことはできない。 （２）本件発明２及び４～５の新規性及び進歩性について 本件発明２及び４～５は、本件発明１を引用し、本件発明１の発明特定事項を全て含む発明であるから、本件発明１と同様に、本件発明２及び４～５の新規性及び進歩性の理由により、請求項２及び４～５に係る特許を取り消すことはできない。 （３）請求項３に係る発明の新規性及び進歩性について 本件訂正により、請求項３は削除されたから、特許異議申立理由の対象が存在しない。 （４）本件発明６の進歩性について 本件発明６は、上記第３の請求項６に記載された事項により特定されるとおりのものであって、「導電性を有する第２のフィラー」を含み、「前記第２のフィラーを含む前記仮成型体を高温炉で焼成することは、前記高温炉内を不活性雰囲気にして前記仮成型体を焼成することを含む」合成砥石の製造方法であるが、導電性を有するフィラーを含む仮成型体を高温炉で焼成する際に、高温炉内を不活性雰囲気にして焼成することは、申立人が提出したいずれの証拠にも記載されていない。 申立人が主張する、甲５の「ビトリファイドダイヤモンド砥石」は、ダイヤモンドであって、ダイヤモンドが導電性を有するものでないことは技術常識であるから、甲５には、本件発明６の「導電性を有する第２のフィラー」に係る構成が示されていない。 したがって、本件発明６の進歩性の理由により、請求項６に係る特許を取り消すことはできない。 ４ 申立人意見書で主張する理由の検討 （１）請求項１～２及び４～５の実施可能要件の理由について 本件明細書に接した当業者であれば、第１のフィラーが存在すれば、加工点での作用圧力が高まり、高い加工能率で研削加工できる（本件明細書【００２８】）という技術的な意義を理解でき、第２のフィラーが存在すれば、被削物の静電気が除去されて、塵埃等の付着が防止できる（本件明細書【００３９】）という技術的な意義を理解でき、第３のフィラーが存在すれば、被削物の裏面にゲッタリングサイトが形成されて、ゲッタリング効果が生じる（本件明細書【００４９】）という技術的な意義を理解できるといえる。 当業者であれば、本件発明１を実施する際には、これらの３つの技術的な意義を考慮して、第１～第３のフィラーのうちの２つ又は３つを含むように適宜に選択して構成すればよいのであって、それらの配合比率を決定することが過度な試行錯誤とはいえないから、本件特許に係る発明の詳細な説明の記載は、当業者が本件発明１～２及び４～５を実施をすることができる程度に明確かつ十分に記載したものである。 したがって、請求項１～２及び４～５の実施可能要件の理由により、それらの特許を取り消すことはできない。 （２）請求項２及び４～５の明確性の理由について 請求項２は、請求項１を引用するように記載されており、請求項１には、第１～第３のフィラーのうちの２つ又は３つを含むことが特定されているから、請求項２及び５に「前記第１のフィラー、前記第２のフィラー及び前記第３のフィラーは、それぞれ、０体積％以上」と記載されていても、当業者は、合成砥石に含めるように選択した２つ又は３つのフィラーの体積％が「０」であると理解することはない。 したがって、請求項２及び４～５の記載は明確であり、請求項２及び４～５の明確性の理由により、それらの特許を取り消すことはできない。 （３）本件発明６の進歩性について 上記３（４）のとおり、本件発明６の進歩性の理由により、請求項６に係る特許を取り消すことはできない。 第７ むすび 以上のとおりであるから、本件決定予告及び特許異議申立書に記載した特許異議申立理由並びに申立人意見書の理由によっては、本件特許の請求項１～２及び４～６に係る特許を取り消すことはできない。 また、他に本件特許の請求項１～２及び４～６に係る特許を取り消すべき理由を発見しない。 そして、本件特許の請求項３は、上記第２及び第３のとおり、本件訂正により削除された。これにより、申立人による請求項３に係る特許異議の申立ては、申立ての対象が存在しないものとなったため、特許法１２０条の８第１項で準用する同法１３５条の規定により却下する。 よって、結論のとおり決定する。