2023-700822

特許第７２２７２１２号発明「気化器」の特許異議申立事件について、次のとおり決定する。

結 論 特許第７２２７２１２号の請求項１～７に係る特許を維持する。

理 由 第１ 手続の経緯 特許第７２２７２１２号の請求項１～７に係る特許についての出願は、令和２年１２月１１日に出願され、令和５年２月１３日にその特許権の設定登録がされ、令和５年２月２１日に特許掲載公報が発行された。その後、その特許に対し、令和５年８月９日に特許異議申立人笹井栄治（以下「申立人」という。）により、特許異議の申立てがされた。 第２ 本件発明 特許第７２２７２１２号の請求項１～７の特許に係る発明（以下、請求項１に係る発明を「本件発明１」といい、その他の請求項に係る発明も同様に称する。）は、それぞれ、その特許請求の範囲の請求項１～７に記載された事項により特定される次のとおりのものである。 「【請求項１】 主成分と、前記主成分の沸点よりも高い沸点を有する高沸点成分である水分とを含む液化アンモニアからなる液化ガスを気化させる気化器であって、 シェルと、 前記シェル内に前記液化ガスを供給する供給部と、 前記シェル内に配置され、前記液化ガスの前記主成分を気化させる温度を有する第１加熱流体が導入される複数の伝熱管であって、当該伝熱管の周囲の液化ガスと当該伝熱管内の前記第１加熱流体とを熱交換させる前記複数の伝熱管と、 前記シェル内で気化した前記主成分を前記シェルから導出させる導出部と、 前記シェルの底部に配置され、前記シェル内に溜まった前記液化ガスを前記シェルから流出させる液流出部と、 前記液流出部を通して前記シェルから導出された前記液化ガスに含まれる前記主成分を、第２加熱流体との熱交換により気化させる加熱器と、を備え、 前記液流出部は、前記供給部を通して前記シェル内に供給される液化ガスの流量に対する、前記液流出部から導出される液化ガスの流量の割合の値が、前記供給部を通して供給される前記液化ガスに含まれる前記高沸点成分の割合以上の値になるように前記液化ガスを導出させる、気化器。 【請求項２】 請求項１に記載の気化器において、 前記供給部は、前記シェル内に前記液化ガスを供給する供給口を有しており、 前記供給口は、前記シェル内において、前記複数の伝熱管のうち最も下に位置する伝熱管よりも上に位置する、気化器。 【請求項３】 請求項１に記載の気化器において、 前記供給部は、前記シェル内に前記液化ガスを供給する供給口を有しており、 前記供給口は、前記シェル内において、前記シェル内に溜まった液化ガスの液面よりも上に位置する、気化器。 【請求項４】 請求項１から請求項３の何れか１項に記載の気化器において、 前記加熱器は、前記導出部を通して導出されたガス状の前記主成分をも加熱する、気化器。 【請求項５】 請求項１から請求項４の何れか１項に記載の気化器において、 前記加熱器は、前記液流出部を通して前記シェルから導出された前記液化ガスに含まれる前記高沸点成分を、前記第２加熱流体との熱交換により蒸発させる、気化器。 【請求項６】 請求項１から請求項５の何れか１項に記載の気化器において、 前記供給部を通して前記シェル内に供給される液化ガスに含まれる高沸点成分の流量は、前記液流出部から流出する液化ガスに含まれる高沸点成分の流量と同じである気化器。 【請求項７】 請求項１から請求項６の何れか１項に記載の気化器において、 前記第１加熱流体は水である、気化器。」 第３ 申立理由の概要 申立人は、証拠として、以下の甲第１号証～甲第７号証（以下「甲１」等という。）を提出し、以下の理由を申立てている。 申立理由（進歩性） 本件発明１～７は、甲１に記載された発明及び甲２～７に記載された事項に基いて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定に違反するものであるから、本件発明１～７に係る特許は、特許法第１１３条第２号の規定により取り消されるべきものである。 ［証拠方法］ ・甲１：特開２０１４－５１５７号公報 ・甲２：特開２０２０－１４８３５７号公報 ・甲３：特表２００３－５１７５６０号公報 ・甲４：特開２００３－３３６９３４号公報 ・甲５：実願昭６１－７６０８１号（実開昭６２－１８５９９９号）のマイクロフィルム ・甲６：特表２００９－５００８６６号公報 ・甲７：特開２０００－２７４８６０号公報 第４ 当審の判断 １ 甲１～７に記載された事項・発明 （１）甲１ ア 甲１には、次の事項が記載されている。下線は、理解の便宜のため、当審が付した。以下同様である。 「【請求項１】 不純物が含有される粗アンモニアを精製するアンモニア精製システムにおいて、 気相および液相が形成されるように、内部空間に粗アンモニアを貯留し、その貯留された粗アンモニアを、気相または液相から導出する貯留手段と、 前記貯留手段における、前記内部空間の容積に対する液相の容積の比である容積比を算出し、該容積比が、予め定める閾値以上である場合には、液相から一部の粗アンモニアを導出するように前記貯留手段を制御し、前記容積比が、前記閾値未満である場合には、気相から粗アンモニアを導出するように前記貯留手段を制御する導出制御手段と、 前記貯留手段の液相から導出された液体状の粗アンモニアの一部を気化し、気体状のアンモニアを導出する気化手段と、 前記貯留手段の気相から導出された気体状の粗アンモニア、または、前記気化手段から導出された気体状のアンモニアに含有される不純物を、吸着剤によって吸着除去し、気体状のアンモニアを導出する吸着手段と、を備えることを特徴とするアンモニア精製システム。」 「【０００２】 半導体製造工程および液晶製造工程においては、窒化物皮膜の作製などに用いる処理剤として、高純度のアンモニアが利用されている。このような高純度のアンモニアは、粗アンモニアを精製して不純物を除去することにより得られる。 【０００３】 粗アンモニア中には、水素、窒素、酸素、アルゴン、一酸化炭素、二酸化炭素などの低沸点ガス、炭化水素などの有機化合物、水分などが不純物として含まれており、一般的に入手可能な粗アンモニアの純度は９８～９９重量％程度である。」 「【００１８】 導出制御手段は、貯留手段における、前記内部空間の容積に対する液相の容積の比である容積比を算出し、該容積比が、予め定める閾値以上である場合に、液相から粗アンモニアを導出するように貯留手段を制御する。また、導出制御手段は、前記容積比が、前記閾値未満である場合に、気相から粗アンモニアを導出するように貯留手段を制御する。換言すると、導出制御手段は、貯留手段の内部空間における液体状の粗アンモニアの充填量（貯留量）に応じて、貯留手段における粗アンモニアの導出状態を切替える（気相および液相のいずれの相から粗アンモニアを導出させるかの導出動作の制御）ように構成されている。これによって、不純物濃度のばらつきが少ない状態で、粗アンモニアを貯留手段から導出することができる。したがって、最終的に精製されるアンモニアの純度に大きなばらつきが発生するのを防止することができる。」 「【００２４】 図１は、本発明の第１実施形態に係るアンモニア精製システム１００の構成を示す図である。本実施形態のアンモニア精製システム１００は、不純物が含まれる液体状の粗アンモニアを精製するシステムである。アンモニア精製システム１００は、貯留手段である原料貯留タンク１、導出制御手段である制御ユニット２、気化手段である気化器３、吸着手段である吸着ユニット４、分縮手段であるコンデンサ５、および回収タンク６１を含んで構成される。 【００２５】 原料貯留タンク１は、粗アンモニアを貯留するものである。本実施形態において、原料貯留タンク１に貯留される粗アンモニアは、純度９９重量％以上、好ましくは純度９９．０～９９．９重量％である。 【００２６】 原料貯留タンク１は、耐圧性および耐腐食性を有する保温容器であれば特に制限されるものではない。この原料貯留タンク１は、粗アンモニアを液体状のアンモニアとして貯留し、所定の温度および圧力になるように制御されている。原料貯留タンク１は、円柱状の内部空間を有し、その内部空間に液体状の粗アンモニアを貯留した状態で、原料貯留タンク１の上部には気相が形成され、下部には液相が形成されている。また、原料貯留タンク１には、原料貯留タンク１内に貯留される液体状の粗アンモニアの一部を気化させ、気相におけるアンモニア濃度を上昇させるために、液体状の粗アンモニアを加熱する加熱装置１１が設けられている。」 「【００２８】 また、本実施形態では、原料貯留タンク１は、貯留された粗アンモニアを、気相および液相のいずれの相からも導出可能に構成されている。 【００２９】 原料貯留タンク１の下部（液相が形成された部分）には、液体状の粗アンモニアが導出される配管となる第１配管７１が接続されている。第１配管７１の、原料貯留タンク１と接続される側とは反対側の端部は、気化器３に接続されている。また、第１配管７１には、第１配管７１における流路を開放または閉鎖する第１バルブ７１１が設けられている。原料貯留タンク１に貯留された粗アンモニアは、第１バルブ７１１が開放された状態で、原料貯留タンク１に形成される液相から液体状の粗アンモニアとして導出される。このようにして原料貯留タンク１から導出された液体状の粗アンモニアは、第１配管７１を流れて、気化器３に供給される。原料貯留タンク１から導出された液体状の粗アンモニアは、気化器３によって気化されて、気体状のアンモニアとして流量調整器６３に供給される。このようにして気化器３によって気化された気体状のアンモニアは、流量調整器６３によって流量が調整されて、吸着ユニット４に供給されることになる。 【００３０】 また、原料貯留タンク１の上部（気相が形成された部分）には、気体状の粗アンモニアが導出される配管となる第２配管７２が接続されている。第２配管７２の、原料貯留タンク１と接続される側とは反対側の端部は、流量調整器６３に接続されている。また、第２配管７２には、第２配管７２における流路を開放または閉鎖する第２バルブ７２１が設けられている。」 「【００３７】 原料貯留タンク１内における液体状の粗アンモニアの充填量（貯留量）によって、原料貯留タンク１に形成される気相の不純物（特に揮発性の高い不純物）濃度が異なる。原料貯留タンク１内における液体状の粗アンモニアの充填量が多いほど、原料貯留タンク１に形成される気相において、揮発性の高い不純物濃度が高くなる。また、原料貯留タンク１内における液体状の粗アンモニアの充填量が少ないほど、原料貯留タンク１に形成される液相において、揮発性の低い不純物（たとえば、水、炭素数が大きい有機化合物）の濃度が高くなる。すなわち、原料貯留タンク１に形成される液相から液体状の粗アンモニアを導出する場合、原料貯留タンク１内における液体状の粗アンモニアの充填量が減少するにつれて、揮発性の低い不純物濃度が高い粗アンモニアが原料貯留タンク１の液相から導出されることになる。 【００３８】 そこで、前述のように、本実施形態のアンモニア精製システム１００は、原料貯留タンク１内における液体状の粗アンモニアの充填量に応じて、粗アンモニアの導出状態（気相および液相のいずれの相から粗アンモニアを導出させるかの導出動作の制御）を切替えるように構成されている。これによって、不純物濃度のばらつきが少ない状態で、粗アンモニアを原料貯留タンク１から導出することができる。したがって、最終的に精製されるアンモニアの純度に大きなばらつきが発生するのを防止することができる。 【００３９】 気化器３は、原料貯留タンク１の液相から導出された液体状の粗アンモニアの一部を気化する。すなわち、気化器３は、液体状の粗アンモニアを加熱して所定の気化率で気化して気相成分と液相成分とに分離し、気体状のアンモニアを導出する。気化器３は、液体状の粗アンモニアの一部を気化するので、粗アンモニア中に含有される揮発性の低い不純物（たとえば、水分、炭素数６以上の炭化水素など）が液相に残り、揮発性の低い不純物が低減された気体状のアンモニアを導出することができる。」 「【図１】 ［図：0001404840000001.jpg］ 」 イ 甲１に記載された発明 上記アを総合すると、甲１には以下の発明（以下「甲１発明」という。）が記載されていると認められる。 「揮発性の低い不純物（たとえば、水、炭素数が大きい有機化合物）が含有される液体状の粗アンモニアを精製するアンモニア精製システムにおいて、 気相および液相が形成されるように、内部空間に粗アンモニアを貯留し、その貯留された粗アンモニアを、気相または液相から導出するものであって、液体状の粗アンモニアを加熱する加熱装置が設けられた貯留手段と、 前記貯留手段における、前記内部空間の容積に対する液相の容積の比である容積比を算出し、該容積比が、予め定める閾値以上である場合には、液相から一部の液体状の粗アンモニアを前記貯留手段の下部（液相が形成された部分）に接続された第１配管を流れて導出するように前記貯留手段を制御し、前記容積比が、前記閾値未満である場合には、気相から気体状の粗アンモニアを前記貯留手段の上部（気相が形成された部分）に接続された第２配管を流れて導出するように前記貯留手段を制御する導出制御手段と、 前記貯留手段の液相から導出された液体状の粗アンモニアの一部を気化し、気体状のアンモニアを導出する気化手段と、 前記貯留手段の気相から導出された気体状の粗アンモニア、または、前記気化手段から導出された気体状のアンモニアに含有される不純物を、吸着剤によって吸着除去し、気体状のアンモニアを導出する吸着手段と、を備えるアンモニア精製システム。」 （２）甲２ ア 甲２には、次の事項が記載されている。 「【請求項１】 液体アンモニアを気化させてアンモニア蒸気を生成し、当該アンモニア蒸気を燃料として燃焼させることにより電力を発生させる発電システムであって、 前記液体アンモニアを貯留するタンクと、 前記液体アンモニアを所定の熱交換器で海水と熱交換させて前記アンモニア蒸気を発生させる気化器と、 前記アンモニア蒸気を燃焼させることにより動力を発生する動力発生装置と、 該動力発生装置によって駆動される発電機と を備えることを特徴とする発電システム。」 「【００２４】 このような第１気化器１０について、加熱海水Ｘ７に含まれる異物が内部に蓄積することを防ぐため、加熱海水Ｘ７の流速を十分に確保する必要がある。このような事情から第１気化器１０には、シェル＆チューブ型の熱交換器を採用することが好ましい。 【００２５】 また、この場合にはチューブ側に加熱海水Ｘ７を流通させ、シェル側に脱水アンモニアＸ９を流通させる。さらに、第１気化器１０におけるチューブ側の材料としては、耐食性の高い金属（例えばチタン）を採用することが好ましい。このような第１気化器１０は、アンモニア蒸気Ｘ２を燃料調節弁１１に供給する。なお、第１気化器１０は、本発明における気化器に相当する。」 イ 甲２に記載された技術的事項 上記アを総合すると、甲２には、次の技術的事項が記載されていると認められる（以下「甲２に記載された技術的事項」という。）。 「液体アンモニアを気化させてアンモニア蒸気を生成し、当該アンモニア蒸気を燃料として燃焼させることにより電力を発生させる発電システムであって、 気化器には、シェル＆チューブ型の熱交換器を採用する発電システム。」 （３）甲３ ア 甲３には、次の事項が記載されている。 「【請求項３０】 蒸気圧縮冷却システムのための流下液膜式蒸発器であって、 蒸気流出口を有するシェルと、 管束と、 冷媒ディストリビューターとを有し、 前記管束の管が前記シェルの中で水平方向に走っており、前記管束が少なくとも一つの蒸気レーンを規定しており、前記蒸気レーンが前記管束の内部から外側側部へ、及びそこから前記蒸気流出口への気体冷媒の導通を容易にするような概ね障害のない流路であり、 前記冷媒ディストリビューターが前記シェル内の前記管束の鉛直上向きに取り付けられており、液体冷媒が前記ディストリビューターから概ね鉛直方向下向きに前記管束の上部の上に落ちるように、前記管束の上部の上に圧力の助けなしで重力によって概ね予測可能で制御された量で液体冷媒が落下されるようにしたことを特徴とする蒸気圧縮冷却システムのための流下液膜式蒸発器。」 「【０００２】 （背景技術） 最も単純には、蒸気圧縮冷却方式の冷却器は一つのコンプレッサー、一つのコンデンサー、一つの膨張装置、及び一つの蒸発器を有する。気体冷媒がかなり高い圧力の下で、コンプレッサーの中で圧縮され、冷却され液体状態に凝縮されるコンデンサーへと運ばれる。凝縮された冷媒はコンデンサーから膨張装置へ進み、そこを通り抜けて行く。この冷媒が膨張装置を通るとその中での圧力低下及び、さらにそこでの冷却を生じる。結果として、この膨張装置から蒸発器へ運ばれた冷媒は通常、かなり冷えており、二相混合の満ちた状態となっている。 【０００３】 蒸発器へ運ばれた混合二相冷媒は、その中に配置された、中を比較的温かい例えば水のような熱転移媒体が流れている管束と接触するような状況にされる。この媒体は、冷却器が冷却することを目的としている熱負荷と熱交換接触して温められる。 【０００４】 比較的冷えた冷媒と、管束を通り流れる比較的温かい熱転移媒体の間の接触による熱交換は冷媒の気化及び熱転移媒体の冷却を生じさせる。今冷却されたその媒体はさらに熱負荷を冷却するように戻され、一方で、熱により今気化された冷媒は蒸発器の外へ方向付けられ、再圧縮及び引き続きの過程でコンデンサーに運ぶために冷却装置のコンプレッサーの中に引き込まれる。」 「【００４０】 管束５２は、概ね水平方向の最上部となる５２aや二つの概ね鉛直方向の外側部分５２ｂ及び５２ｃを有している。ひとたび管束５２の上部に落下すると、さらに説明していくような方法で、液体冷媒及びオイルは管束を通って下方へ滴る。 この液体冷媒及びオイルの一部分は蒸発器シェルの底部へ進み、そこでプール５４を形成する。そこから、さらに説明していくようにポンプ３４やオイルリターンライン３６などにより、このオイルはコンプレッサーに戻される。」 「【図２】 ［図：0001404840000002.jpg］ 」 イ 甲３に記載された技術的事項 上記アを総合すると、甲３には、次の技術的事項が記載されていると認められる（以下「甲３に記載された技術的事項」という。）。 「蒸気圧縮冷却システムのための流下液膜式蒸発器であって、 蒸気流出口を有するシェルと、 管束と、 冷媒ディストリビューターとを有し、 前記管束の管が前記シェルの中で水平方向に走っており、前記管束が少なくとも一つの蒸気レーンを規定しており、前記蒸気レーンが前記管束の内部から外側側部へ、及びそこから前記蒸気流出口への気体冷媒の導通を容易にするような概ね障害のない流路であり、 前記冷媒ディストリビューターが前記シェル内の前記管束の鉛直上向きに取り付けられており、液体冷媒が前記ディストリビューターから概ね鉛直方向下向きに前記管束の上部の上に落ちるように、前記管束の上部の上に圧力の助けなしで重力によって概ね予測可能で制御された量で液体冷媒が落下されるようにし、 液体冷媒及びオイルの一部分はシェルの底部へ進み、そこでプールを形成し、そこから、さらに説明していくようにポンプやオイルリターンラインなどにより、このオイルはコンプレッサーに戻される、 蒸気圧縮冷却システムのための流下液膜式蒸発器。」 （４）甲４ ア 甲４には、次の事項が記載されている。 「【０００２】 【従来の技術】先ず、上記アンモニア吸収式冷凍機は、アンモニア水溶液を動作媒体とする吸収式冷凍機であり、その一般的な冷凍サイクルについて、図１を参照しながら説明する（尚、図１は本発明に係るアンモニア吸収式冷凍機の冷凍サイクルを示す図である）。蒸発圧力Ｐｅ（例えば、０．２９ＭＰａ ａｔ －１０℃）下で蒸発器１内において蒸発したアンモニア蒸気は、吸収器２で蒸発圧力Ｐｅに維持するようにアンモニア水溶液に吸収される。その際発生する吸収熱は外部へ冷却水等により放出する。アンモニア蒸気を吸収して生じた濃溶液（アンモニアを吸収してアンモニア濃度が高まった溶液）は、溶液ポンプ９によって圧力が高められ、溶液熱交換器８を経て熱回収した後、精留器４に送られる。そして、発生器３に流下した濃溶液は、凝縮圧力Ｐｃ（例えば、１．５５ＭＰａ ａｔ ４０℃）下で外部の熱源蒸気等によって加熱されてアンモニア蒸気を発生させる。ただし、アンモニアと水との沸点差があまり大きくないので、発生器３からは水分を含んだアンモニア蒸気が発生する。この蒸気は精留器４並びに分縮器５に入り、凝縮器６で発生した冷媒溶液の一部をリフラックスポンプ１０により分縮器５に還流して、自己蒸発によって蒸気を過冷却し水分を分縮させて蒸気中の水分を除去する。そして、図２に示すような高濃度（高純度）のアンモニア蒸気（例えば、９９．８％以上）に精製して凝縮器６に送り、凝縮器６において冷却水等により冷却液化させてアンモニア溶液（冷媒溶液）にする。 【０００３】上記冷媒溶液は膨張弁７を経て冷媒溶液供給口１９から蒸発器１に入り、ブライン入口２２から流入した被冷却媒体（例えばブライン）から熱を奪うことにより蒸発したのち、蒸発したアンモニア蒸気は吸収器２内でスプレーされる稀溶液（発生器３で部分的にアンモニアを蒸発してアンモニア濃度が低くなった溶液）に吸収される。このとき、冷媒溶液中に含まれている水分はアンモニアに比べて蒸発し難いので、蒸発器１内の冷媒溶液中の水分濃度が高まり、図３に示すように沸点（蒸発温度）の上昇を生じる。図３には、蒸発圧力を変えて冷媒の蒸発温度を変化させた各条件での蒸発温度の上昇を示す。尚、上記冷媒溶液は、蒸発器１に入る前に、蒸発器１から出るアンモニア蒸気の冷熱を回収するための過冷却器１１、及び、後述のブリード熱交換器１２に通されて冷却される。 【０００４】上記冷媒溶液の沸点上昇が生じると、被冷却媒体（ブライン）の温度と冷媒の蒸発温度の差が小さくなり、蒸発器１の熱交換量が低下して、ブライン出口２３で所定のブライン出口温度が得られなくなる。そのため、蒸発器１内の冷媒溶液のアンモニア濃度を、凝縮器６からの冷媒溶液のアンモニア濃度（例えば、９９．８％）に対して沸点上昇分１℃程度に抑えることができる値、具体的には、９６～９７％に維持する必要がある（図３参照）。すなわち、凝縮器６から送られてくる冷媒溶液中の水分と同じ量の水分を取り除く必要がある。ただし、水分だけを取り除くことは不可能であるので、水分を含んだ冷媒溶液（アンモニア濃度９６～９７％）をブリードとして、冷媒循環量（凝縮器６から送られてくる冷媒溶液量）の４～５％を蒸発器１から取り出すようにしている。 【０００５】冷媒溶液中の水分を効率よく取り除くためには、冷媒溶液中の水分濃度が一番高い位置の冷媒溶液を取り出すことが必要である。そこで、ブライン入口２２付近ではブラインと冷媒溶液との温度差が大きく、すなわちヒートフラックが大きく蒸発が盛んな部分であり、冷媒溶液中の水分濃度が最も高くなる傾向になり、また、冷媒液室内での冷媒溶液の流れを一方方向にすることにより、冷媒溶液が流れるに従って水分濃度が次第に高くなることから、冷媒溶液及びブラインの流れ方向を筒軸方向に沿って反対向きにして、ブライン出口２３側に冷媒溶液の供給口１９を配置するとともに、ブライン入口２２側にブリード取出し口２０を設けている。なお、このブリード取出し口２０で取り出した高水分濃度の冷媒溶液は、ブリード熱交換器１２で蒸発器１に入る前の冷媒溶液に冷熱回収されたのち、吸収器２に送られる。」 イ 甲４に記載された技術的事項 上記アを総合すると、甲４には、次の技術的事項が記載されていると認められる（以下「甲４に記載された技術的事項」という。）。 「アンモニア水溶液を動作媒体とするアンモニア吸収式冷凍機であり、蒸発器１内の冷媒溶液のアンモニア濃度を、凝縮器６からの冷媒溶液のアンモニア濃度（例えば、９９．８％）に対して沸点上昇分１℃程度に抑えることができる値、具体的には、９６～９７％に維持するために、凝縮器６から送られてくる冷媒溶液中の水分と同じ量の水分を取り除く必要があるが、水分だけを取り除くことは不可能であるので、水分を含んだ冷媒溶液（アンモニア濃度９６～９７％）をブリードとして、冷媒循環量（凝縮器６から送られてくる冷媒溶液量）の４～５％を蒸発器１から取り出す、アンモニア吸収式冷凍機。」 （５）甲５ ア 甲５には、次の事項が記載されている。 「２ 実用新案登録請求の範囲 〇１（当審注：数字を〇で囲んだものについては、「〇１」等と代用表記する。） 熱源水通過用第１チューブ（２）を第１タンク（１）内の液状中間熱媒体（Ｌ）に浸漬して設け、多数の低温液化ガス通過用チューブ（３）を前記第１タンク（１）内に液状中間熱媒体（Ｌ）の上方に位置させて設け、前記多数の低温液化ガス通過用チューブ（３）の出口に連通するガス集合室（７）に第２タンク（１２）をガス回収路（６）で接続し、熱源水通過用第２チューブ（１３）を前記第２タンク（１２）内に設け、製品ガス回収路（１５）を前記第２タンク（１２）に接続した低温液化ガス用気化器であって、前記ガス集合室（７）とガス回収路（６）との接続部（８）の内部にミストセパレータ（９）を設け、前記ガス集合室（７）の下部にドレン回収路（１１）を接続してある低温液化ガス用気化器。 〇２ 前記ドレン回収路（１１）の出口側を前記第２タンク（１２）内への撒布用ノズル（１７）に接続してある実用新案登録請求の範囲第〇１項に記載の気化器。」 「 第１タンク（１）内にプロパンやフロン等の中間熱媒体を収容し、熱源水を通過させるための多数の第１チューブ（２）を、第１タンク（１）内に液状中間熱媒体（Ｌ）に浸潤させて設け、低温液化ガス（ＬＧ）を通過させるための多数のＵ形のチューブ（３）を、第１タンク（１）内に液状中間熱媒体（Ｌ）の上方に位置させて設け、熱源水による加熱で液状中間熱媒体（Ｌ）を気化させ、ガス状中間熱媒体による加熱でＬＧを気化させ、かつ、ガス状中間熱媒体を凝縮させるように構成してある。」（明細書第６ページ第１３行～第７ページ第３行） 「 ガス回収路（６）に第２タンク（１２）を接続し、熱源水を通過させるための多数の第２チューブ（１３）を第２タンク（１２）内に設け、第２タンク（１２）内にジグザグ状のガス流路を形成するバッフル（１４）を多数並設し、ガスを第２チューブ（１３）に繰返して接触させて、－２０℃程度以下でガス回収路（６）から送られてくるガスを、熱源水による加熱で常温程度に昇温させて、第２タンク（１２）に接続した製品ガス回収路（１５）に供給するように構成してある。」（明細書第８ページ第２行～第１１行） イ 甲５に記載された技術的事項 上記アを総合すると、甲５には、次の技術的事項が記載されていると認められる（以下「甲５に記載された技術的事項」という。）。 「熱源水通過用第１チューブ（２）を第１タンク（１）内の液状中間熱媒体（Ｌ）に浸漬して設け、多数の低温液化ガス通過用チューブ（３）を前記第１タンク（１）内に液状中間熱媒体（Ｌ）の上方に位置させて設け、前記多数の低温液化ガス通過用チューブ（３）の出口に連通するガス集合室（７）に第２タンク（１２）をガス回収路（６）で接続し、熱源水通過用第２チューブ（１３）を前記第２タンク（１２）内に設け、製品ガス回収路（１５）を前記第２タンク（１２）に接続した低温液化ガス用気化器であって、前記ガス集合室（７）とガス回収路（６）との接続部（８）の内部にミストセパレータ（９）を設け、前記ガス集合室（７）の下部にドレン回収路（１１）を接続してあり、ガスを第２チューブ（１３）に繰返して接触させて、－２０℃程度以下でガス回収路（６）から送られてくるガスを、熱源水による加熱で常温程度に昇温させて、第２タンク（１２）に接続した製品ガス回収路（１５）に供給する、低温液化ガス用気化器。」 （６）甲６ ア 甲６には、次の事項が記載されている。 「【００２８】 図１を参照して、好ましくは屋内または大気温度での作動を可能にする囲い（図示せず）内に、システム１００が設けてある。アンモニアを、イソテナ(isotainer)のような、運搬容器１０で非空気ガス製造業者から最終ユーザへ運搬する。この運搬容器は、導管２０を経て気化容器４０と流体連通している。この運搬容器から気化容器へのアンモニアの移し替えは、この運搬容器への高圧、不活性ガスの注入でこの運搬容器を加圧することによって容易になるかも知れない。例えば、加圧は、ヘリウム供給システム３０から運搬容器１０へ気体ヘリウムを提供することによって達成できる。この不活性ガスは、典型的には運搬容器１０の中に約０．６９ＭＰａ（ゲージ圧力）と２．４１ＭＰａ（ゲージ圧力）の間の圧力レベルを維持するように、約１３．７９ＭＰａ（ゲージ圧力）と４１．３７ＭＰａ（ゲージ圧力）の間の圧力でボンベに入れて供給する。しかし、もし純度問題で不活性ガス注入が望ましくないなら、運搬容器１０は、加熱毛布、または何か他の適当な加熱装置を使って、運搬容器１０にエネルギーを供給することによって加圧してもよい。更に、この運搬容器から気化容器へ液体を移し替えるためにポンプを利用できる。」 「【００３３】 この気化容器は、その中へ移し替えた低蒸気圧流体を気化するための手段を含む。この蒸気流を気化容器４０から引出すとき、その中の圧力が下がり始める。この影響を相殺し、この圧力を機能する範囲内に維持するために、ヒータ１６０を使ってこの容器内の液体アンモニアを部分的に気化する。典型的にこの気化容器内の圧力は、０．３５ＭＰａ（ゲージ圧力）ないし２．０７ＭＰａ（ゲージ圧力）の範囲に維持する。対応する温度は、約０°Ｃないし５２°Ｃに及ぶ。 【００３４】 この気化手段は、シェルアンドチューブ形交換器のような、従来の熱交換器を含んでもよく、その中で液体の低蒸気圧流体を第２流体に当てて沸立たせる。その代りに、この容器をこの容器の表面上または容器内に位置するヒータを使って加熱してもよい。多種多様なヒータを使うことができる。これらには、加熱毛布、加熱ロッドのような、抵抗ヒータ、または米国特許第６，３６３，７２８号に記載してあり且つ参考までにその全体をここに援用する加熱毛布がある。ヒータの更なる例には、米国特許出願公報第２００４／００３５５３３号に記載してあるような、マイクロウエーブベースのヒータは勿論、輻射及び誘導ヒータがある。」 「【００３８】 引出して導管６０を通して運んだ蒸気流に所望の汚染物質レベルを維持するために、低揮発性汚染物質が濃い液体流をこの気化容器から導管１００を介して純度制御弁１１０へ引出すことができる。この液体流に関連する流れは、この気化容器内の液体の純度に依って変動し、典型的にはこの気化容器への液体または二相の流体の流量の０と９０％の間に及ぶ。この気化容器内にほぼ一定の液体レベルを維持するので、主として蒸気を含むこのガス流に関連する汚染物質レベルは、一定のままで、一定純度に対する半導体、ＬＥＤおよびＬＣＤ製造業者の要件を満足する。」 イ 甲６に記載された技術的事項 上記アを総合すると、甲６には、次の技術的事項が記載されていると認められる（以下「甲６に記載された技術的事項」という。）。 「液状または二相のアンモニアをこの運搬容器１０から気化容器４０に移し替えるものであり、 蒸気流を気化容器４０から引出すとき、その中の圧力が下がり始める影響を相殺し、この圧力を機能する範囲内に維持するために、ヒータ１６０を使ってこの容器内の液体アンモニアを部分的に気化し、この気化手段は、シェルアンドチューブ形交換器のような、従来の熱交換器を含むものであり、 引出して導管６０を通して運んだ蒸気流に所望の汚染物質レベルを維持するために、低揮発性汚染物質が濃い液体流をこの気化容器から導管１００を介して純度制御弁１１０へ引出し、この液体流に関連する流れは、この気化容器内の液体の純度に依って変動し、典型的にはこの気化容器への液体または二相の流体の流量の０と９０％の間に及ぶものである、 システム１００。」 （７）甲７ ア 甲７には、次の事項が記載されている。 「【００２０】 【発明の実施の形態】図１は、本発明の実施の第１形態としての吸収式冷凍暖房装置の概略的な構成を示す。本実施形態の吸収式冷暖房装置は、アンモニア吸収式冷凍サイクルによって、蒸発器（１）で冷媒であるアンモニアが蒸発し、冷熱媒体である冷却ブラインを０℃以下に冷却することができる。蒸発器（１）で蒸発したアンモニア冷媒は、吸収器（２）で吸収液である稀溶液に吸収される。稀溶液は、発生器（３）に送られ、加熱されてアンモニア冷媒が蒸発し、吸収液は濃溶液になり、吸収器（２）に送られる。発生器（３）から発生されたアンモニア冷媒の蒸気は、凝縮器（４）で凝縮され、液冷媒として蒸発器（１）に送られる。本発明では、後述するように、吸収器（２）から温水を取出すことが特徴である。 【００２１】発生器（３）で吸収液であるアンモニア水溶液を加熱すると、冷媒であるアンモニアとともに水分も蒸発する。発生器（３）から純度の高いアンモニア蒸気を凝縮器（４）に送るため、精留塔（５）が設けられる。精留塔（５）の下部には、発生器（３）からのアンモニアと水の混合水蒸気が送られる。精留塔（５）からは、精留に利用されたアンモニア水溶液が、発生器（３）の上部にフィードされる。この溶液は、発生器（３）で加熱、濃縮され、高温の稀溶液になって溶液熱交換器（６）に送られる。 【００２２】精留塔（５）は、発生器（３）から送られてくる純度の低い冷媒ガス、たとえば５０～６０％を、高純度、たとえば９９．８％のアンモニアガスに濃縮する。精留塔（５）内には、バブルキャプ式等のトレイ（７）が複数段、たとえば６～１８段設置されている。各トレイ（７）では、アンモニアの純度の高い濃溶液と、アンモニアと水との混合蒸気が気液接触し、混合蒸気中の水蒸気は濃溶液中に吸収され、その時に発生する凝縮熱で濃溶液中のアンモニアがガス化する。トレイ（７）の各段毎にこれを繰返すことによって、高純度のアンモニアガスが得られる。この精留の過程で不可欠な加熱量として、精留熱（ｑR ）がある。この精留熱ｑR は、蒸発温度が低いほど大になる。 【００２３】凝縮器（４）は、高純度のアンモニアガスを冷却して凝縮させ、その一部はリフラックスポンプ（８）によって、精留塔（５）の頂部に送られ、精留のために利用される。凝縮したアンモニア冷媒は冷媒過冷却器（９）からブリード熱交換器（９）を介して蒸発器（１）に送られる。冷媒過冷却器（８）では、凝縮器（４）からの暖かい冷媒液と、蒸発器（１）からの冷たい冷媒ガスとを熱交換させ、冷媒液を過冷却させて冷凍効率を向上させることができる。 【００２４】蒸発器（１）では、冷媒液であるアンモニア液が伝熱管内を流れる冷熱媒体から熱を奪い、蒸発して純度１００％のガスになる。したがって、沸騰している冷媒液側の純度は９９．８％よりも低下する。蒸発器（１）内の冷媒液の純度を９６～９８％に保つため、蒸発器（１）内の冷媒液を冷媒循環量の４～５％程度ブリード熱交換器（１０）に放出する。ブリード熱交換器（１０）は、放出された液冷媒の冷熱を回収するため、冷媒過冷却器（９）から蒸発器（１）に送られる冷媒液をさらに過冷却する。ブリード冷媒は、ブリード熱交換器（１０）でガス化して、吸収器（２）で吸収液に吸収される。」 イ 甲７に記載された技術的事項 上記アを総合すると、甲７には、次の技術的事項が記載されていると認められる（以下「甲７に記載された技術的事項」という。）。 「蒸発器（１）では、冷媒液であるアンモニア液が伝熱管内を流れる冷熱媒体から熱を奪い、蒸発して純度１００％のガスになり、沸騰している冷媒液側の純度は９９．８％よりも低下するので、蒸発器（１）内の冷媒液の純度を９６～９８％に保つため、蒸発器（１）内の冷媒液を冷媒循環量の４～５％程度ブリード熱交換器（１０）に放出する、吸収式冷凍暖房装置。」 ２ 本件発明１について （１）対比 本件発明１と甲１発明とを、その機能、構造又は技術的意義を考慮して対比する。 甲１発明の「液体状の粗アンモニア」は、甲１の【０００２】～【０００３】、【００２５】を参照すると、主成分は液体状のアンモニアである。同様に、本件明細書の「液化アンモニアには、主成分であるアンモニアと、主成分の沸点よりも高い沸点を有する高沸点成分である水とが含まれる。」（【００２７】）との記載を踏まえると、本件発明１の「主成分」も液化アンモニアである。そうすると、甲１発明の「揮発性の低い不純物が含有される液体状の粗アンモニア」は、本件発明の「主成分と、前記主成分の沸点よりも高い沸点を有する高沸点成分である水分とを含む液化アンモニアからなる液化ガス」に相当する。 甲１発明における「貯留手段」は、「原料貯留タンク１」として「円柱状の内部空間を有し、その内部空間に液体状の粗アンモニアを貯留」するものであり、該タンクは殻ともいえるものであるから、本件発明１における「シェル」に相当する。 甲１発明における貯留手段に設けられた「液体状の粗アンモニアを加熱する加熱装置」は、甲１の「原料貯留タンク１内に貯留される液体状の粗アンモニアの一部を気化させ、気相におけるアンモニア濃度を上昇させるために、液体状の粗アンモニアを加熱する加熱装置１１」（【００２６】）との記載も踏まえると、本件発明１における「シェル内に配置され、前記液化ガスの前記主成分を気化させる温度を有する第１加熱流体が導入される複数の伝熱管であって、当該伝熱管の周囲の液化ガスと当該伝熱管内の前記第１加熱流体とを熱交換させる前記複数の伝熱管」とは、「液化ガスの主成分を気化させる加熱装置」である点に限り一致する。 甲１発明における「気相から気体状の粗アンモニアを」「導出する」「前記貯留手段の上部（気相が形成された部分）に接続された第２配管」は、本件発明１における「シェル内で気化した前記主成分を前記シェルから導出させる導出部」に相当する。 甲１発明における「液相から一部の液体状の粗アンモニアを」「導出する」「前記貯留手段の下部（液相が形成された部分）に接続された第１配管」と、本件発明１における「前記シェルの底部に配置され、前記シェル内に溜まった前記液化ガスを前記シェルから流出させる液流出部」とは、「シェルの下部に配置され、シェル内に溜まった液化ガスをシェルから流出させる液流出部」を備える点に限り一致する。 甲１発明における「貯留手段の液相から導出された液体状の粗アンモニアの一部を気化し、気体状のアンモニアを導出する気化手段」と、本件発明１における「液流出部を通して前記シェルから導出された前記液化ガスに含まれる前記主成分を、第２加熱流体との熱交換により気化させる加熱器」とは、「液流出部を通してシェルから導出された液化ガスに含まれる主成分を気化させる気化手段」である点に限り一致する。 甲１発明における「液体状の粗アンモニアを精製するアンモニア精製システム」は、粗アンモニアの一部を気化させる加熱装置１１を含むから、本件発明１における「主成分と、・・・水分とを含む液化アンモニアからなる液化ガスを気化させる気化器」を含むといえる。 したがって、本件発明１と甲１発明との間には、次の一致点、相違点があるといえる。 ［一致点］ 「主成分と、前記主成分の沸点よりも高い沸点を有する高沸点成分である水分とを含む液化アンモニアからなる液化ガスを気化させるものであって、 シェルと、 液化ガスの主成分を気化させる加熱装置と、 シェル内で気化した前記主成分をシェルから導出させる導出部と、 シェルの下部に配置され、シェル内に溜まった液化ガスをシェルから流出させる液流出部と、 液流出部を通してシェルから導出された液化ガスに含まれる主成分を気化させる気化手段と、を備える、気化器。」 ［相違点１］ 「液化ガスの主成分を気化させる加熱装置」が、本件発明１では、「シェル内に配置され、前記液化ガスの前記主成分を気化させる温度を有する第１加熱流体が導入される複数の伝熱管であって、当該伝熱管の周囲の液化ガスと当該伝熱管内の前記第１加熱流体とを熱交換させる前記複数の伝熱管」であるのに対し、甲１発明では、「加熱手段」の具体的な構成が特定されていない点。 ［相違点２］ 「シェルの下部に配置され、シェル内に溜まった液化ガスをシェルから流出させる液流出部」が、本件発明１では、「前記シェルの底部に配置され」ているのに対し、甲１発明では、「貯留手段の底部」に配置されているか特定されていない点。 ［相違点３］ 「液流出部を通してシェルから導出された液化ガスに含まれる主成分を気化させる気化手段」が、本件発明１では、「液流出部を通して前記シェルから導出された前記液化ガスに含まれる前記主成分を、第２加熱流体との熱交換により気化させる加熱器」であるのに対し、甲１発明では、「気化手段」の具体的な構成が特定されていない点。 ［相違点４］ 本件発明１は、「前記シェル内に前記液化ガスを供給する供給部」を備え、「前記液流出部は、前記供給部を通して前記シェル内に供給される液化ガスの流量に対する、前記液流出部から導出される液化ガスの流量の割合の値が、前記供給部を通して供給される前記液化ガスに含まれる前記高沸点成分の割合以上の値になるように前記液化ガスを導出させる」のに対し、甲１発明は、前記貯留手段における、前記内部空間の容積に対する液相の容積の比である容積比を算出し、該容積比が、予め定める閾値以上である場合には、液相から一部の液体状の粗アンモニアを前記貯留手段の下部（液相が形成された部分）に接続された第１配管を流れて導出するように前記貯留手段を制御し、前記容積比が、前記閾値未満である場合には、気相から気体状の粗アンモニアを前記貯留手段の上部（気相が形成された部分）に接続された第２配管を流れて導出するように前記貯留手段を制御する導出制御手段を備える点。 （２）判断 事案に鑑みて、上記相違点４について検討する。 甲１発明の「貯留手段」は液体状及び気体状の粗アンモニアを導出するものであるから、「液化ガスを供給する供給部」を有することは甲１に記載されているに等しい事項である。 そして、甲１発明の相違点４に係る構成について、甲１の発明の詳細な説明を参照すると、「原料貯留タンク１内における液体状の粗アンモニアの充填量が多いほど、原料貯留タンク１に形成される気相において、揮発性の高い不純物濃度が高くなる。また、・・・充填量が少ないほど、原料貯留タンク１に形成される液相において、揮発性の低い不純物（たとえば、水、炭素数が大きい有機化合物）の濃度が高くなる。」（【００３７】）ことを踏まえ、「導出制御手段は、貯留手段における、前記内部空間の容積に対する液相の容積の比である・・・、該容積比が、予め定める閾値以上である場合に、液相から粗アンモニアを導出するように貯留手段を制御する。また、・・・、前記閾値未満である場合に、気相から粗アンモニアを導出するように貯留手段を制御する。」（【００１８】）ことが記載されている。そして、これらの記載を整理すると、甲１には、液体状の粗アンモニアの充填量が少ないほど液相中の揮発性の低い、すなわち高沸点といえる不純物の濃度が高くなるから、液相からの導出を停止し、気相から粗アンモニアを導出する制御を行うことが記載されている。 そうすると、甲１発明において、本件発明１のように、シェル内に溜まる液化ガス内に高沸点成分が蓄積（【０００５】）することを抑制するために、「前記液流出部が、前記供給部を通して前記シェル内に供給される液化ガスの流量に対する、前記液流出部から導出される液化ガスの流量の割合の値が、前記供給部を通して供給される前記液化ガスに含まれる前記高沸点成分の割合以上の値になるように液化ガスを導出させる」構成とすることの動機はない。 また、甲４は、アンモニア吸収式冷凍機であり、凝縮器、膨張弁、蒸発器、吸収器及び発生器等により冷凍サイクルを構成するものであるから、甲１発明のアンモニア精製システムとは技術が異なり、甲４装置の一部の機器に係る流量態様を甲１発明に適用する動機はない。 また、甲７も甲４と同様の吸収式冷凍及び暖房同時取出し機であり、甲１発明のアンモニア精製システムに適用する動機はない。 更に、甲２に記載された技術的事項、甲３に記載された技術的事項、甲５に記載された技術的事項及び甲６に記載された技術的事項において、「前記液流出部が、前記供給部を通して前記シェル内に供給される液化ガスの流量に対する、前記液流出部から導出される液化ガスの流量の割合の値が、前記供給部を通して供給される前記液化ガスに含まれる前記高沸点成分の割合以上の値になるように液化ガスを導出させる」ことは、記載も示唆もされていない。 したがって、他の相違点を検討するまでもなく、本件発明１は、甲１発明及び甲２～甲７に記載された技術的事項に基いて、当業者が容易に想到し得るものではない。 ３ 本件発明２～７について 本件発明２～７は、本件発明１の発明特定事項を全て含み、さらに限定を加えるものであるから、上記２で検討したものと同じ理由により、本件発明２～７は、甲１発明及び甲２～甲７に記載された技術的事項に基いて、当業者が容易に想到し得るものではない。 ４ 小括 したがって、本件発明１～７は、甲１発明及び甲２～甲７に記載された技術的事項に基いて当業者が容易に発明をすることができたものでもない。 第５ むすび 以上のとおり、特許異議の申立ての理由及び証拠によっては、請求項１～７に係る特許を取り消すことはできない。 また、他に請求項１～７に係る特許を取り消すべき理由を発見しない。 よって、結論のとおり決定する。