2023-700487

特許第７１７１６７１号発明「超純水製造システム及び超純水製造方法」の特許異議申立事件について、次のとおり決定する。

結 論 特許第７１７１６７１号の特許請求の範囲を訂正請求書に添付された訂正特許請求の範囲のとおり、訂正後の請求項〔１～７〕、〔８～１４〕について訂正することを認める。 特許第７１７１６７１号の請求項１～９、１２～１４に係る特許を維持する。 特許第７１７１６７１号の請求項１０、１１に係る特許についての特許異議の申立てを却下する。

理 由 第１ 手続の経緯 特許第７１７１６７１号の請求項１～１４に係る特許についての出願は、令和２年１０月２２日を出願日とする出願であり、令和４年１１月７日にその特許権の設定登録がされ、同年同月１５日に特許公報が発行され、その後、令和５年５月１２日に、その請求項１～１４に係る特許を対象として、特許異議申立人の大矢真紀子（以下、「申立人」という。）により、特許異議の申立てがなされ、同年８月１７日付けで取消理由が通知され、その指定期間内である同年１０月１８日に特許権者より意見書の提出及び訂正の請求があり、これに対し、同年１２月６日に申立人より意見書の提出があり、令和６年１月２５日付けで取消理由（決定の予告）が通知され、その指定期間内である同年３月２１日に特許権者より意見書の提出及び訂正の請求があり、これに対し、同年５月１７日に申立人より意見書の提出があったものである。 第２ 訂正の適否についての判断 令和６年３月２１日に特許権者より請求された訂正は適法になされたものと判断する。 以下、その理由につき詳述する。 １ 訂正の内容 令和６年３月２１日に提出された訂正請求書における訂正請求（以下、「本件訂正請求」といい、本件訂正請求による訂正を「本件訂正」という。）の趣旨は、特許請求の範囲を本件訂正請求書に添付した訂正特許請求の範囲のとおり請求項１～１４について訂正することを求めるものであり、その内容は、次のとおりである（下線は訂正箇所。）。 なお、本件訂正請求があったので、令和５年１０月１８日の訂正請求（以下、この訂正請求による訂正を「先の訂正」という。）については、特許法第１２０条の５第７項の規定により取り下げられたものとみなす。 （１）訂正事項１ 特許請求の範囲の請求項１の 「前処理部、一次純水製造部及び二次純水製造部を有し、超純水を製造するための超純水製造システムであって、 前記前処理部の前段又は前記前処理部と前記一次純水製造部の間に設けられ、原水又は被処理水を貯留できる貯留部と、 前記超純水の使用後に得られる、過酸化水素を含有する使用済超純水を、該使用済超純水中に混入された不純物を除去しつつ、前記過酸化水素の一部又は全部を透過させて回収水とする回収処理部と、 前記回収処理部から得られる回収水を、前記貯留部に返送して循環させる循環手段と、 を有することを特徴とする超純水製造システム。」 との記載を、 「前処理部、一次純水製造部及び二次純水製造部を有し、超純水を製造するための超純水製造システムであって、 前記前処理部の前段又は前記前処理部と前記一次純水製造部の間に設けられ、原水又は被処理水を貯留できる貯留部と、 前記超純水の使用後に得られる、過酸化水素を含有する使用済超純水を、該使用済超純水中に混入された不純物を除去しつつ、前記過酸化水素の一部又は全部を透過させて回収水とする回収処理部と、 前記回収処理部から得られる回収水を、前記貯留部に返送して循環させる循環手段と、 を有し、 前記貯留部が前記前処理部と前記一次純水製造部の間に設けられる場合、前記回収水の過酸化水素濃度が２～５０ｐｐｍであり、前記前処理部で前記原水を処理して得られる前処理水の次亜塩素酸塩濃度が０．０５～１０ｐｐｍであり、前記貯留部における前記前処理水の供給量に対する前記回収水の供給量の比が１０／９０～５０／５０であり、 前記貯留部が前記前処理部の前段に設けられる場合、前記回収水の過酸化水素濃度が２～５０ｐｐｍであり、前記原水の次亜塩素酸塩濃度が０．０５～１０ｐｐｍであり、前記貯留部における前記原水の供給量に対する前記回収水の供給量の比が１０／９０～５０／５０である、 ことを特徴とする超純水製造システム。」 に訂正する。 （請求項１の記載を直接的又は間接的に引用する請求項２～７についても同様に訂正する。） （２）訂正事項２ 特許請求の範囲の請求項３の 「前記回収処理部が、活性炭装置を有していないことを特徴とする請求項１又は２に記載の超純水の製造システム。」 との記載を、 「前記回収処理部が、活性炭装置を有していないことを特徴とする請求項１又は２に記載の超純水製造システム。」 に訂正する。 （請求項３の記載を直接的又は間接的に引用する請求項４～７についても同様に訂正する。） （３）訂正事項３ 特許請求の範囲の請求項７の 「前記貯留部において、前記原水又は被処理水の供給量に対する前記回収水の供給量を１０／９０～５０／５０に調整して供給できる流量調整手段を有することを特徴とする請求項１～６のいずれか１項に記載の超純水製造システム。」 との記載を、 「前記貯留部は、前記前処理部と前記一次純水製造部の間に設けられ、 前記貯留部において、前記前処理水の供給量に対する前記回収水の供給量を１０／９０～５０／５０に調整して供給できる流量調整手段を有することを特徴とする請求項１～６のいずれか１項に記載の超純水製造システム。」 に訂正する。 （４）訂正事項４ 特許請求の範囲の請求項８の 「前記回収水を、前記貯留部に返送して循環させる、ことを特徴とする超純水製造方法。」 との記載を、 「前記回収水を、前記貯留部に返送して循環させ、 前記貯留部が前記前処理部と前記一次純水製造部の間に設けられる場合、前記回収水の過酸化水素濃度が２～５０ｐｐｍであり、前記前処理部で前記原水を処理して得られる前処理水の次亜塩素酸塩濃度が０．０５～１０ｐｐｍであり、前記貯留部における前記前処理水の供給量に対する前記回収水の供給量の比が１０／９０～５０／５０であり、 前記貯留部が前記前処理部の前段に設けられる場合、前記回収水の過酸化水素濃度が２～５０ｐｐｍであり、前記原水の次亜塩素酸塩濃度が０．０５～１０ｐｐｍであり、前記貯留部における前記原水の供給量に対する前記回収水の供給量の比が１０／９０～５０／５０である、 ことを特徴する超純水製造方法。」 に訂正する。 （請求項８の記載を直接的又は間接的に引用する請求項９、１２～１４についても同様に訂正する。） （５）訂正事項５ 特許請求の範囲の請求項１０を削除する。 （６）訂正事項６ 特許請求の範囲の請求項１１を削除する。 （７）訂正事項７ 特許請求の範囲の請求項１２の、「請求項８～１１のいずれか１項」との記載を、「請求項８又は９に記載の」に訂正する。 （請求項１２の記載を直接的又は間接的に引用する請求項１３、１４についても同様に訂正する。） ２ 訂正の目的の適否、新規事項の有無及び特許請求の範囲の拡張・変更の在否 （１）訂正事項１、４について ア 目的の適否、特許請求の範囲の拡張・変更の在否 「貯留部」に関し、貯留部が、「前記前処理部の前段又は前記前処理部と前記一次純水製造部の間に設けられ」ることに対応し、貯留部内には、「原水又は前処理部で原水を処理して得られる前処理水」と、「回収水」と、を混合した混合水が貯留されているところ、訂正事項１、４は、 「前記前処理部と前記一次純水製造部の間に設けられ」る場合と「前記前処理部の前段」「に設けられ」る場合に分けて記載し、「前記前処理部と前記一次純水製造部の間に設けられ」る場合には、「回収水」の「過酸化水素濃度」が「２～５０ｐｐｍ」であり、「前処理部」で「原水を処理して得られる前処理水」の「次亜塩素酸塩濃度」が「０．０５～１０ｐｐｍ」であり、貯留部における「前処理水の供給量」に対する「回収水の供給量」の比が１０／９０～５０／５０であるものに限定し、 貯留部が「前記前処理部の前段」「に設けられ」る場合には、「回収水」の「過酸化水素濃度」が「２～５０ｐｐｍ」であり、「原水」の「次亜塩素酸塩濃度」が「０．０５～１０ｐｐｍ」であり、貯留部における「原水の供給量」に対する「回収水の供給量」の比が１０／９０～５０／５０であるものに限定する訂正であるから、特許法第１２０条の５第２項ただし書第１号に掲げる「特許請求の範囲の減縮」を目的とするものである。 そして、上記訂正は特許請求の範囲の減縮を行う訂正であるので、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではない。 イ 新規事項の有無 （ア）まず、訂正事項１、４のうち、「前記貯留部が前記前処理部と前記一次純水製造部の間に設けられる場合、前記回収水の過酸化水素濃度が２～５０ｐｐｍであり、前記前処理部で前記原水を処理して得られる前処理水の次亜塩素酸塩濃度が０．０５～１０ｐｐｍであり、前記貯留部における前記前処理水の供給量に対する前記回収水の供給量の比が１０／９０～５０／５０であり」と訂正する点について検討する。 上記の訂正は、本件の願書に添付した明細書（以下、「本件明細書」という。）の【００４６】に「本実施形態においては、貯留部５において、前処理水と回収水を混合する」こと、すなわち、貯留部が前処理部と一次純水製造部の間に設けられる場合についての実施形態である旨の記載、及び、「前処理水には、通常、殺菌のための次亜塩素酸塩（例えば次亜塩素酸ナトリウム（ＮａＣｌＯ）等）が含有され、また、回収水には過酸化水素（Ｈ２Ｏ２）が含有され」ることが記載され、【００５１】に「回収水の過酸化水素の濃度は、２～５０ｐｐｍが好ましく」と記載されていることから、「回収水の過酸化水素の濃度は、２～５０ｐｐｍ」であることを特定し、【００４１】に「原水を前処理部２に供給して、原水中の懸濁物質を除去して前処理水を得る」と記載され、【００５１】に「前処理水の次亜塩素酸塩の濃度は０．０５～１０ｐｐｍが好ましく」と記載されていることから、「前記前処理部で前記原水を処理して得られる前処理水の次亜塩素酸塩の濃度が０．０５～１０ｐｐｍ」であることを特定し、【００５２】に「貯留部５における、前処理水の供給量と回収水との供給量は・・・前処理水の供給量に対する回収水の供給量の比（回収水の供給量／前処理水の供給量）を、１０／９０～５０／５０とすることが好ましく」と記載されていることから、「前記貯留部における前記前処理水の供給量に対する前記回収水の供給量の比が１０／９０～５０／５０であ」ることを特定するものであり、本件明細書に記載された事項の範囲内においてしたものでる。 （イ）次に、訂正事項１、４のうち、「前記貯留部が前記前処理部の前段に設けられる場合、前記回収水の過酸化水素濃度が２～５０ｐｐｍであり、前記原水の次亜塩素酸塩濃度が０．０５～１０ｐｐｍであり、前記貯留部における前記原水の供給量に対する前記回収水の供給量の比が１０／９０～５０／５０である」と訂正する点について検討する。 本件明細書の【００４９】には、前処理水と回収水を混合する場合に、「混合により、その混合水中には、次亜塩素酸塩と過酸化水素が共存し、これらの化合物は反応して、一重項酸素（１Ｏ２）又はＯＨラジカル（・ＯＨ）が発生する。一重項酸素（１Ｏ２）もＯＨラジカル（・ＯＨ）も、いずれも活性が高く、有機物の分解等の作用を有するため、貯留部５内での殺菌処理が、次亜塩素酸塩単独、過酸化水素単独に比べて、著しく向上でき、好ましい殺菌作用を発現できる」と記載されている。 そして、【００２９】には、「貯留部５は、図１では、前処理部２と一次純水製造部３との間に設けられている例を示しているが、前処理部２の前段に設けて、原水を一旦貯留部５に供給し、これを回収処理部６で得られた回収水と混合するようにしてもよい」と記載されており、貯留部は前処理部の前段に設けることが記載されている。そうすると、原水と回収水を混合する場合についても、前処理水と回収水を混合する場合と同様に殺菌作用を発現させることを意図していることが理解できるから、原水と回収水を混合する場合、すなわち、「前記貯留部が前記前処理部の前段に設けられる場合」についても、前処理水と回収水を混合する場合、すなわち、「前記貯留部が前記前処理部と前記一次純水製造部の間に設けられる場合」と同様に、「回収水の過酸化水素濃度が２～５０ｐｐｍであり、前記原水の次亜塩素酸塩濃度が０．０５～１０ｐｐｍであり、前記貯留部における前記原水の供給量に対する前記回収水の供給量の比が１０／９０～５０／５０である」ことが記載されているといえる。したがって、この訂正は、本件明細書等に記載した事項の範囲内においてしたものである。 （２）訂正事項２について 訂正事項２は、訂正前の請求項３において「超純水製造システム」と記載すべきところを、「超純水の製造システム」と記載していたという誤記を正すものであるから、特許法第１２０条の５第２項ただし書第２号に掲げる「誤記の訂正」を目的とするものであり、新規事項の追加に該当せず、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものでもない。 （３）訂正事項３について ア 目的の適否、特許請求の範囲の拡張・変更の在否 （ア）訂正事項３のうち、「前記貯留部は、前記前処理部と前記一次純水製造部の間に設けられ、」と訂正する点については、「貯留部」の位置を「前記前処理部と前記一次純水製造部の間」に限定する訂正であるから、特許法第１２０条の５第２項ただし書第１号に掲げる「特許請求の範囲の減縮」を目的とするものである。 そして、上記訂正は特許請求の範囲の減縮を行う訂正であるので、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではない。 （イ）訂正事項３のうち、「前記原水又は被処理水の供給量」を「前記前処理水の供給量」と訂正する点については、「前記貯留部は、前記前処理部と前記一次純水製造部の間に設けられ」ることが特定されたことに伴い、貯留部に供給される水が「原水又は被処理水」ではなく、「前処理水」となったため、「原水又は被処理水」との記載を「前処理水」に改めて整合させたものである。そのため、訂正事項３のうち、「前記原水又は被処理水の供給量」を「前記前処理水の供給量」と訂正する点は、特許法第１２０条の５第２項ただし書第３号に掲げる「明瞭でない記載の釈明」を目的とするものであり、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものでもない。 イ 新規事項の有無 （ア）訂正事項３のうち、「前記貯留部は、前記前処理部と前記一次純水製造部の間に設けられ、」と訂正する点については、本件明細書【００２８】に「本実施形態における貯留部５は、前処理部２と一次純水製造部３との間に設けられ」との記載があることから、本件明細書等に記載した事項の範囲内においてしたものである。 （イ）訂正事項３のうち、「前記原水又は被処理水の供給量」を「前記前処理水の供給量」と訂正する点については、上記ア（イ）に記載したとおり、「前記貯留部は、前記前処理部と前記一次純水製造部の間に設けられ」ることが特定されたことに伴い、貯留部に供給される水が「原水又は被処理水」ではなく、「前処理水」となったため、「原水又は被処理水」との記載を「前処理水」に改めて整合させたものであるため、新規事項の追加に該当しない。 （４）訂正事項５、６について 訂正事項５は訂正前の請求項１０を削除するものであり、訂正事項６は訂正前の請求項１１を削除するものであるから、特許法第１２０条の５第２項ただし書第１号に掲げる「特許請求の範囲の減縮」を目的とするものであり、新規事項の追加に該当せず、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものでもない。 （５）訂正事項７について 訂正事項７は、訂正事項５及び６により請求項１０及び１１が削除されたことに伴い、請求項１２が請求項１０又は１１を引用しないようにするものであり、引用請求項数を減少させるものであるから、「特許請求の範囲の減縮」を目的とするものであり、新規事項の追加に該当せず、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものでもない。 ３ 申立人の意見 （１）申立人は、令和６年５月１７日に提出した意見書において、本件訂正は、下記の点で訂正要件を満たしていない旨主張している。 本件明細書には、「貯留部が前処理部の前段に設けられる場合」について、「原水の次亜塩素酸濃度」及び「貯留部における原水の供給量に対する回収水の供給量」は具体的に示されていない。そして、前処理部の装置において、活性炭吸着（装置）は周知の装置であり、活性炭吸着（装置）により、次亜塩素酸塩が吸着、除去されることは周知技術である。そうすると、このような周知の前処理装置である活性炭吸着（装置）を用いた場合など、前処理装置の構成によっては、「前処理部」の前後、すなわち原水と前処理水とにおける次亜塩素酸塩濃度は変動することがあり、一概に、原水が原水由来の前処理水と同等の次亜塩素酸濃度や過酸化水素濃度を示しているとはいえない。したがって、原水が、原水由来の前処理水と同等の次亜塩素酸濃度や過酸化水素濃度を有していること、さらに、次亜塩素酸濃度や過酸化水素濃度、原水と回収水の混合比について、前処理水の場合と同様の数値限定が適用可能であるとはいえず、本件訂正は発明の詳細な説明に記載された事項を超えるものである。 （２）しかし、本件発明において、前処理部は「例えば、原水中の懸濁物質を除去するための砂ろ過装置、精密ろ過装置等を適宜選択して構成され、さらに必要に応じて原水の温度調整を行う熱交換器等を備えて構成される。なお、原水の水質によっては、前処理部２を省略してもよい」（【００２２】）ものであり、活性炭吸着装置等の、次亜塩素酸塩濃度を変化させるようなものは想定されていない。したがって、上記申立人の意見は採用できない。 ４ 小括 本件訂正は、特許法第１２０条の５第４項の規定に従い、一群の請求項を構成する請求項〔１～７〕、〔８～１４〕について訂正することを求めるものであるところ、上記２に記載のとおり、本件訂正は、特許法第１２０条の５第２項ただし書第１号乃至第３号に掲げる事項を目的とするものに該当し、かつ、同条第９項において読み替えて準用する同法第１２６条第５項及び第６項の規定に適合するものであるから、訂正後の請求項〔１～７〕、〔８～１４〕について訂正することを認める。 第３ 本件発明 上記第２に記載のとおり、本件訂正は容認し得るものであるから、異議申立ての対象である本件訂正後の請求項１～９、１２～１４に係る発明（以下、各請求項に係る発明及び特許を項番に対応させて「本件発明１」、「本件特許１」などといい、併せて「本件発明」、「本件特許」ということがある。）は、それぞれ、その特許請求の範囲の請求項１～９、１２～１４に記載された事項により特定される次のとおりのものである。 「【請求項１】 前処理部、一次純水製造部及び二次純水製造部を有し、超純水を製造するための超純水製造システムであって、 前記前処理部の前段又は前記前処理部と前記一次純水製造部の間に設けられ、原水又は被処理水を貯留できる貯留部と、 前記超純水の使用後に得られる、過酸化水素を含有する使用済超純水を、該使用済超純水中に混入された不純物を除去しつつ、前記過酸化水素の一部又は全部を透過させて回収水とする回収処理部と、 前記回収処理部から得られる回収水を、前記貯留部に返送して循環させる循環手段と、 を有し、 前記貯留部が前記前処理部と前記一次純水製造部の間に設けられる場合、前記回収水の過酸化水素濃度が２～５０ｐｐｍであり、前記前処理部で前記原水を処理して得られる前処理水の次亜塩素酸塩濃度が０．０５～１０ｐｐｍであり、前記貯留部における前記前処理水の供給量に対する前記回収水の供給量の比が１０／９０～５０／５０であり、 前記貯留部が前記前処理部の前段に設けられる場合、前記回収水の過酸化水素濃度が２～５０ｐｐｍであり、前記原水の次亜塩素酸塩濃度が０．０５～１０ｐｐｍであり、前記貯留部における前記原水の供給量に対する前記回収水の供給量の比が１０／９０～５０／５０である、 ことを特徴とする超純水製造システム。 【請求項２】 前記回収処理部が、第１の逆浸透膜装置を有することを特徴とする請求項１に記載の超純水製造システム。 【請求項３】 前記回収処理部が、活性炭装置を有していないことを特徴とする請求項１又は２に記載の超純水製造システム。 【請求項４】 前記一次純水製造部が、第２の逆浸透膜装置を有し、該第２の逆浸透膜装置の前段に次亜塩素酸除去装置を有することを特徴とする請求項１～３のいずれか１項に記載の超純水製造システム。 【請求項５】 前記次亜塩素酸除去装置が、活性炭装置である請求項４に記載の超純水製造システム。 【請求項６】 前記活性炭装置が、高分解型活性炭装置である請求項５に記載の超純水製造システム。 【請求項７】 前記貯留部は、前記前処理部と前記一次純水製造部の間に設けられ、 前記貯留部において、前記前処理水の供給量に対する前記回収水の供給量を１０／９０～５０／５０に調整して供給できる流量調整手段を有することを特徴とする請求項１～６のいずれか１項に記載の超純水製造システム。 【請求項８】 原水を、前処理部、一次純水製造部及び二次純水製造部で処理して超純水を製造する超純水製造方法であって、 前記前処理部の前段又は前記前処理部と前記一次純水製造部の間に設けられ、原水又は被処理水を貯留できる貯留部を有し、 前記超純水の使用後に得られる、過酸化水素を含有する使用済超純水を、回収処理部により処理して、該使用済超純水中に混入された不純物を除去しつつ、前記過酸化水素の一部又は全部を透過させて回収水とし、 前記回収水を、前記貯留部に返送して循環させ、 前記貯留部が前記前処理部と前記一次純水製造部の間に設けられる場合、前記回収水の過酸化水素濃度が２～５０ｐｐｍであり、前記前処理部で前記原水を処理して得られる前処理水の次亜塩素酸塩濃度が０．０５～１０ｐｐｍであり、前記貯留部における前記前処理水の供給量に対する前記回収水の供給量の比が１０／９０～５０／５０であり、 前記貯留部が前記前処理部の前段に設けられる場合、前記回収水の過酸化水素濃度が２～５０ｐｐｍであり、前記原水の次亜塩素酸塩濃度が０．０５～１０ｐｐｍであり、前記貯留部における前記原水の供給量に対する前記回収水の供給量の比が１０／９０～５０／５０である、 ことを特徴とする超純水製造方法。 【請求項９】 前記回収処理部が、第１の逆浸透膜装置を有することを特徴とする請求項８に記載の超純水製造方法。 【請求項１０】 （削除） 【請求項１１】 （削除） 【請求項１２】 前記一次純水製造部が、第２の逆浸透膜装置と、その前段に次亜塩素酸除去装置を有し、 前記次亜塩素酸除去装置により、前記回収水に含まれている次亜塩素酸塩を除去することを特徴とする請求項８又は９に記載の超純水製造方法。 【請求項１３】 前記次亜塩素酸除去装置が、活性炭装置であることを特徴とする請求項１２に記載の超純水製造方法。 【請求項１４】 前記活性炭装置において、被処理水をＳＶ＝５～４０ｈ－１で通水することを特徴とする請求項１３に記載の超純水製造方法。 第４ 異議申立人による特許異議申立理由、令和５年８月１７日付けで通知した取消理由、及び令和６年１月２５日付けで通知した取消理由（決定の予告）の概要 １ 特許異議申立理由の概要 申立人が主張する特許異議申立理由は、概略、以下の通りである。 ここで、申立人が提出した証拠方法は、以下のものである。 甲第１号証：特開２０１４－２２６６４２号公報 甲第２号証：特許第５４５４４６８号公報 甲第３号証：特開２００４－１８１３６４号公報 甲第４号証：特開平８－３９０７９号公報 甲第５号証：特開２０１２－１８８３１８号公報 甲第６号証：特開２０２０－１４６６１９号公報 甲第７号証：特開２０１２－９６１８７号公報 甲第８号証：特開２００６－２９７１８０号公報 甲第９号証：特開２０１０－１５８６０５号公報 甲第１０号証：松浦輝男、「酸素酸化反応」、昭和５２年、丸善株式会社発行、６１頁、２３７頁 甲第１１号証：特開２０１１－２２４４２４号公報 甲第１２号証：特開昭６３－１４１６９４号公報 甲第１３号証：特開２０１４－２１３３０６号公報 甲第１４号証：特開平５－２６１２８４号公報 甲第１５号証：「超純水の科学」、平成２年、半導体基盤技術研究会編、株式会社リアライズ社発行、１６４～１６５頁、１９１～２０２頁 甲第１６号証：特開２０１５－１００７３３号公報 甲第１７号証：特願２０２０－１０２３０６号（特開２０２１－１９４５８７号公報） 甲第１８号証：ＫＯＢＥ ＩＮＤＵＳＴＲＩＡＬ ＷＡＴＥＲ 神戸市の工業用水、神戸市水道局、令和２年３月、１～１４頁 甲第１９号証：大阪市工業用水道特定運営事業等の実施について、令和２年１月２９日戦略会議資料、大阪市水道局、表紙及び第１８～３２頁 （以下、甲第１号証等を略して、「甲１」等という。） なお、主たる証拠は甲１及び甲１７であり、甲２～４は、活性炭が過酸化水素を完全には分解できずにその一部を不可避に透過させてしまうこと、甲５は、逆浸透膜装置では過酸化水素を完全には除去できずにその一部を不可避に透過させてしまうこと、甲６は、ＥＤＩ装置において過酸化水素を完全には除去できずにその一部を不可避に透過させてしまうこと、甲７は貯留槽等における微生物の増殖による汚染の発生を次亜塩素酸ナトリウムが抑制すること、甲８は、過酸化水素が殺菌作用を有すること、甲９は、塩素系酸化剤の殺菌作用でスライム障害を防止できること、甲１０は、過酸化水素と次亜塩素酸が反応すると一重項酸素が生じること、甲１１は、ヒドロキシラジカルや一重項酸素、過酸化水素が微生物と反応して抗菌、殺滅作用を発現すること、甲１２は、逆浸透膜の殺菌目的に過酸化水素を添加すること、甲１３～１５は、活性炭は次亜塩素酸ナトリウムを除去できること、甲１６は、活性炭装置における通水速度、甲１８、１９は、工業用水は塩素処理が行われないことについて記載されたものである。 （１）申立理由１（新規性・進歩性） 設定登録時の請求項１、２、７～９に係る発明は、本件特許の出願前に日本国内又は外国において頒布された、甲１に記載された発明であって、特許法第２９条第１項第３号に該当し、設定登録時の請求項１～１４に係る発明は、甲１に記載された発明及び甲２～１６に記載された事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものである。したがって、設定登録時の請求項１、２、７～９に係る特許は、特許法第２９条第１項の規定に違反してなされたものであり、設定登録時の請求項１～１４に係る特許は、特許法第２９条第２項の規定に違反してされたものである。 （２）申立理由２（拡大先願） 設定登録時の請求項１、８に係る発明は、本件特許の出願日前の特許出願であって、本件特許の出願後に出願公開された、甲１７である、先願の願書に最初に添付された明細書又は特許請求の範囲（以下、それぞれ「先願明細書」、「先願特許請求の範囲」といい、まとめて「先願明細書等」という。）に記載された発明と同一であり、しかも、本件特許の発明者が先願明細書等に記載された発明をした者と同一ではなく、また本件特許の出願時において、本件特許の出願人が先願の出願人と同一でもない。したがって、設定登録時の請求項１、８に係る特許は、特許法第２９条の２の規定に違反してされたものである。 （３）申立理由３（サポート要件） 設定登録時の請求項１～１４に係る特許は、特許請求の範囲の記載が以下の点で不備のため、特許法第３６条第６項第１号に規定する要件を満たしていない特許出願に対してされたものである。 記 ア 設定登録時の請求項１～１４に係る発明の課題は、「使用済超純水を、その中に含まれる過酸化水素を含有させた状態で回収し、循環させて超純水の製造に再利用することにより、超純水製造工程において、細菌の発生や増殖等を抑制し、有機物の含有量を低減し、「簡易な構成で」、装置の清浄化に寄与しうる超純水の製造システム及び製造方法を提供すること」であるところ、この課題の解決には、装置が「簡易な構成」を有することが必要である。そして、設定登録時の請求項１～１４に係る発明では「活性炭装置」を有さないことによってこの課題を解決している。そうすると超純粋製造システムが「活性炭装置」を有さないことを特定していない、設定登録時の請求項１～１４に係る発明は、発明の課題を解決しない範囲を包含するものである。 イ 設定登録時の請求項１～１４に係る発明の課題は、「使用済超純水を、その中に含まれる過酸化水素を含有させた状態で回収し、循環させて超純水の製造に再利用することにより、超純水製造工程において、細菌の発生や増殖等を抑制し、有機物の含有量を低減し、簡易な構成で、装置の清浄化に寄与しうる超純水の製造システム及び製造方法を提供すること」である。そして、この課題を解決するためには、貯留部内において、過酸化水素と次亜塩素酸が、殺菌作用を有する一重項酸素若しくはＯＨラジカルを所定量で発生させられる濃度で存在していることが必要である。そうすると、貯留部内における過酸化水素濃度及び次亜塩素酸の濃度を特定していない設定登録時の請求項１～１４に係る発明は、発明の課題を解決しない範囲を包含するものである。 （４）申立理由４（明確性要件） 設定登録時の請求項１～１４に係る特許は、特許請求の範囲の記載が以下の点で不備のため、特許法第３６条第６項第２号に規定する要件を満たしていない特許出願に対してされたものである。 記 ア 「回収処理部」をどのような構成とすれば、過酸化水素の一部又は全部を、本件発明の課題を解決可能な透過量で透過させることができるのか、理解できないため、設定登録時の請求項１～１４に係る発明は明確でない。また、「逆浸透膜処理装置６２」は「膜処理装置６１」の下位概念であるため、膜処理装置６１と逆浸透膜装置６２とを明確に区別できないし、仮に「回収処理部」を「膜処理装置６１と逆浸透膜処理装置６２とをこの順番で配置する構成」に限定したとしても、依然として「回収処理部」の技術的範囲は不明確である。 イ 回収処理部において透過させる過酸化水素の量（境界）が明確に特定されていないため、設定登録時の請求項１～１４に係る発明は明確でない。 ウ 貯留部における過酸化水素濃度を把握、特定することができないため、設定登録時の請求項１～１４に係る発明は明確でない。 ２ 令和５年８月１７日付けで通知した取消理由の概要 （１）取消理由１（新規性・進歩性） 設定登録時の請求項１、２、８、９に係る発明は、本件特許の出願前に日本国内又は外国において頒布された、甲１に記載された発明であって、特許法第２９条第１項第３号に該当し、設定登録時の請求項１、２、４～６、８、９、１２～１４に係る発明は甲１に記載された発明、甲１３に記載された事項及び甲２～４に記載された技術常識に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものである。したがって、設定登録時の請求項１、２、８、９に係る特許は、特許法第２９条第１項の規定に違反してされたものであり、設定登録時の請求項１、２、４～６、８、９、１２～１４に係る特許は、特許法第２９条第２項の規定に違反してされたものである。 （２）取消理由２（拡大先願） 設定登録時の請求項１、８に係る発明は、本件特許の出願日前の特許出願であって、本件特許の出願後に出願公開された、甲１７の先願明細書等に記載された発明と同一であり、しかも、本件特許の発明者が先願明細書等に記載された発明をした者と同一ではなく、また本件特許の出願時において、本件特許の出願人が先願の出願人と同一でもない。したがって、設定登録時の請求項１、８に係る特許は、特許法第２９条の２の規定に違反してされたものである。 （３）取消理由３（サポート要件） 設定登録時の請求項１～１４に係る特許は、特許請求の範囲の記載が以下の点で不備のため、特許法第３６条第６項第１号に規定する要件を満たしていない特許出願に対してされたものである。 記 設定登録時の請求項１～１４に係る発明の課題は、「使用済超純水を、その中に含まれる過酸化水素を含有させた状態で回収し、循環させて超純水の製造に再利用することにより、超純水製造工程において、細菌の発生や増殖等を抑制し、有機物の含有量を低減し、簡易な構成で、装置の清浄化に寄与し得る、超純水の製造システム及び製造方法を提供すること」ことであり、この課題を解決するためには、「回収水の過酸化水素の濃度」が「２～５０ｐｐｍ」であり、「前処理水の次亜塩素酸塩濃度」が「０．０５～１０ｐｐｍ」であり、「前処理水の供給量に対する回収水の供給量の比」が「１０／９０～５０／５０」であることが必要である。しかし、設定登録時の請求項１～１４にはそのような特定がなく、これらの請求項に係る発明は、課題を解決しないものである。 ３ 令和６年１月２５日付けで通知した取消理由（決定の予告）の概要 （１）取消理由４（サポート要件） 先の訂正による請求項１～６、８～１０、１２～１４に係る特許は、特許請求の範囲の記載が以下の点で不備のため、特許法第３６条第６項第１号に規定する要件を満たしていない特許出願に対してされたものである。 記 先の訂正による請求項１～６、８～１０、１２～１４に係る発明の課題は、使用済超純水を、その中に含まれる過酸化水素を含有させた状態で回収し、循環させて超純水の製造に再利用することにより、超純水製造工程において、細菌の発生や増殖等を抑制し、有機物の含有量を低減し、簡易な構成で、装置の清浄化に寄与し得る、超純水の製造システム及び製造方法を提供すること」であるところ、この課題を解決するには、「前処理部と前記一次純水製造部の間」に「貯留部」が設けられる場合は、「回収水の過酸化水素の濃度」が「２～５０ｐｐｍ」であり、「前処理水の次亜塩素酸塩塩濃度」が「０．０５～１０ｐｐｍ」であり、「前処理水の供給量に対する回収水の供給量の比」が「１０／９０～５０／５０」であることが必要であり、「貯留部」が「前処理部」の「前段」に設けられる場合は、「回収水の過酸化水素の濃度」が「２～５０ｐｐｍ」であり、「原水の次亜塩素酸塩濃度」が「０．０５～１０ｐｐｍ」であり、「原水」の「供給量に対する回収水の供給量の比」が「１０／９０～５０／５０」であることが必要である。しかし、先の訂正による請求項１～６、８～１０、１２～１４にはそのような特定がなく、これらの請求項に係る発明は上記発明の課題を解決しないものである。 第５ 各証拠の記載事項 １ 甲１について 甲１には以下の事項が記載されている（下線は当審で付与した。以下、同様。）。 （１）「【０００１】 本発明は、超純水を製造する超純水製造装置に係り、特に、原水と使用済み超純水から超純水を製造する超純水製造装置及び超純水製造方法に関する。」 （２）「【００１９】 前処理システム１０は、原水中の濁質分やコロイド成分を除去して原水を前処理水とする。前処理システム１０は、前処理水のｐＨを６～８程度とする。この前処理水は、処理水ピットＴ１に供給されて貯留される。前処理システム１０が処理する原水としては、市水、井水、河川水、工業用水等が挙げられる。このような原水は通常、硬度成分（カルシウム、マグネシウム等)、イオン成分（ナトリウム、塩素イオン、イオン性有機物等）、溶存気体（溶存炭酸、溶存酸素等）、非イオン性有機物、微粒子成分等を含んでいる。前処理システム１０は、具体的には、精密ろ過膜や限外ろ過膜等を用いた膜分離装置、生物ろ過装置、紫外線照射装置、活性炭装置等を適宜選択して用いることができる。 【００２０】 回収処理システム２０は、半導体製造工場等(ユースポイント)で使用された使用済み超純水を回収処理する。使用済み超純水としては、例えば、半導体洗浄工程における洗浄排水を用いる。このような使用済み超純水は、半導体製造工程で使用された薬剤類、例えば、硫酸、塩酸、硝酸、フッ化水素、アンモニア、水酸化ナトリウム、過酸化水素、イソプロピルアルコールや界面活性剤などの有機物等、剥離したレジスト等の有機物を含み、ｐＨは１～３程度である。 【００２１】 逆浸透膜装置２１は、被処理水中の塩類やイオン性の有機物、コロイド性の有機物を除去する。すなわち、逆浸透膜装置２１は、使用済み超純水中の硫酸、塩酸、硝酸、酢酸等やイオン性有機物等を除去して透過水とする。この透過水は、後段の電気脱イオン装置２２に供給される。逆浸透膜装置２１の濃縮水の一部は電気脱イオン装置２２の電極室に電極水として供給され、残部は系外に排出される。逆浸透膜装置２１としては、例えば、酢酸セルロース、ポリアミド等からなる逆浸透膜を、スパイラル型、チューブラー型、ホローファイバ型等、任意の形式としたモジュールを備えたものを用いることができる。 ・・・ 【００２４】 電気脱イオン装置２２は、逆浸透膜装置２１の透過水中に残留するイオン成分を除去するものである。電気脱イオン装置２２は、陽極と陰極の間に交互に配置された陰イオン交換膜と陽イオン交換膜とを有している。また、電気脱イオン装置２２は、陰イオン交換膜と陽イオン交換膜によって仕切られた脱塩室と、除去されたイオン成分を含む濃縮水が流入する濃縮室とを交互に有している。電気脱イオン装置２２は、脱塩室内に充填された陰イオン交換樹脂と陽イオン交換樹脂との混合体と、直流電圧を印加するための電極を有している。 ・・・ 【００３１】 上記したように、使用済み超純水は、種々の薬剤類を含んでいるため、本実施形態の回収処理システム２０は、逆浸透膜装置２１の上流側に、逆浸透膜を保護する目的で、使用済み超純水中の過酸化水素等を分解除去するための活性炭装置や有機物を酸化分解するための紫外線酸化装置を備えることが好ましい。 ・・・ 【００４０】 逆浸透膜装置３１は、回収処理システム２０で用いられる逆浸透膜装置２１と同様の装置を用いることができる。上述したように、逆浸透膜装置３１の被処理水（混合処理水）中では、フッ化水素はそのほとんどが解離して、フッ素イオンとして溶存している。そのため、逆浸透膜装置３１において、酸やアルカリ等の薬品を用いてｐＨを調整することなく、フッ素を効率よく除去することができる。逆浸透膜装置３１の脱塩率(ナトリウムイオンの除去率)は、９６～９９．８％であることが好ましい。逆浸透膜装置３１の水回収率は、６０～９８％が好ましく、８０～９５％がより好ましい。 ・・・ 【００４３】 電気脱イオン装置３２は、逆浸透膜装置３１の透過水中のイオン成分(塩類、イオン性有機物等)を除去するものであり、回収処理システム２０で用いられる電気脱イオン装置２２と同様のものを使用することができる。本実施形態の一次純水システム３０では、逆浸透膜装置３１において、イオン化したフッ素のほとんどが除去されており、電気脱イオン装置３２への負荷を軽減することができる。そのため、電気脱イオン装置３２でのイオン成分の除去率を向上させることができる。 ・・・ 【００４７】 混床式イオン交換装置としては、陽イオン交換樹脂及び陰イオン交換樹脂を混合して充填した装置を用いることができ、再生式、非再生式のいずれであってもよい。混床式イオン交換装置は、前段の紫外線酸化装置で有機物が酸化分解して生成した低分子量のイオン成分を吸着除去する。また、膜脱気装置は、紫外線酸化装置の処理水中の溶存炭酸及び溶存酸素を除去する。 ・・・ 【００５３】 二次純水システム４０は、例えば、紫外線酸化装置、非再生式ポリッシャー、膜脱気装置及び限外ろ過装置を備えている。二次純水システム４０において、これらの装置が一次純水を順に処理し、全有機炭素（ＴＯＣ）濃度が数十μｇＣ／Ｌまで低減された一次純水中の有機物をさらに数μｇＣ／Ｌまで低減して超純水とする。」 （３）「【実施例】 【００６３】 次に、実施例を用いて本発明をより詳細に説明する。 本実施例に係る超純水製造装置２の構成を図２に示す。以下の説明において、図１と共通の機能を有する装置は同一の符号を付して示し、重複する説明を省略する。 【００６４】 図２に示される超純水製造装置２は、前処理システム１０と、回収処理システム２０と、一次純水システム３０と、二次純水システム４０とを備えている。二次純水システム４０は、ユースポイント（ＰＯＵ）５０に接続され、ユースポイント（ＰＯＵ）５０で回収された使用済み超純水は、回収処理システム２０に送られるようになっている。 【００６５】 回収処理システム２０は、活性炭装置（ＡＣ）２３と、紫外線酸化装置（ＴＯＣ－ＵＶ）２４と、２段逆浸透膜装置（ＲＯ）２１ａ，２１ｂと、電気脱イオン装置２２をこの順に備えている。 【００６６】 前処理システム１０と回収処理システム２０は、それぞれ処理水ピットＴ１に接続されており、処理水ピットＴ１の下流側には、一次純水システム３０と、一次純水タンクＴ２と、二次純水システム４０とが配管を用いてこの順に接続されている。 【００６７】 一次純水システム３０は、紫外線照射装置（ＵＶ）３３、プレフィルター（ＰＦ）３４２段逆浸透膜装置（ＲＯ）３１ａ，３１ｂ、膜脱気装置（ＭＤＧ）３５、電気脱イオン装置（ＥＤＩ）３２、紫外線酸化装置（ＴＯＣ－ＵＶ）３６、混床式イオン交換装置（ＭＢ）３７、膜脱気装置（ＭＤＧ）３８をこの順に備えている。また、一次純水システム３０は、余剰の一次純水が図示しない配管によって処理水ピットＴ１に循環されるよう構成されている。 【００６８】 二次純水システム４０は、紫外線酸化装置（ＴＯＣ－ＵＶ）４１、非再生式ポリッシャー（Ｐｏｌｉｓｈｅｒ）４２、膜脱気装置（ＭＤＧ）４３、限外ろ過装置（ＵＦ）４４をこの順に備えている。二次純水システム４０は、余剰の超純水が図示しない配管によって一次純水タンクＴ２に循環されるよう構成されている。 ・・・ 【００７４】 実施例では、導電率２００μＳ／ｃｍ、ｐＨ７．３、硬度６０ｍｇ／Ｌ（ａｓ ＣａＣＯ３）、炭酸濃度３０ｍｇ／Ｌ（ａｓ ＣａＣＯ３）の工業用水を、一日あたりの流量１０，０００ｍ３／ｄで前処理システム１０に供給した。また、導電率１，５００μＳ／ｃｍ、ｐＨ１．８、フッ素濃度６ｍｇ／Ｌ（ａｓ ＣａＣＯ３）の使用済み超純水を一日あたりの流量９，５００ｍ３／ｄで回収処理システム２０に供給した。 実施例で用いた工業用水及び使用済み超純水の水質を表１に示す。 【００７５】 【表１】 ［図：0001416444000001.jpg］ ・・・ 【００７９】 このように、超純水製造装置２では回収処理システム２０及び一次純水システム３０において十分なイオン除去率を得ることができる。そのため、使用済み超純水を利用して高水質の超純水を製造することができる。また、イオン交換樹脂を省略できるので、これを再生するための薬品使用量を大幅に削減でき、コストを削減することができる。」 （４）「【図２】 ［図：0001416444000002.jpg］ 」 ２ 甲１７について （１）「【請求項１】 一次純水システムと、二次純水システムと、前記二次純水システムからユースポイントに供給されて使用された超純水を回収水として回収し、前記回収水を活性炭で処理して前記一次純水システムまたはその上流側に還流させる回収システムと、を有する超純水製造装置の運転管理システムであって、 前記二次純水システムの上流側の所定位置から採取した試料水中の過酸化水素濃度を算出する過酸化水素濃度分析装置と、 前記過酸化水素濃度分析装置による算出値に基づいて、前記一次純水システムで製造された一次純水を前記二次純水システムに供給するか否かを制御するとともに、前記回収システムの前記活性炭が劣化しているか否かを判定する制御装置と、を有する、超純水製造装置の運転管理システム。」 （２）「【０００１】 本発明は、超純水製造装置の運転管理システム、超純水製造装置、および超純水製造装置の運転方法に関する。 ・・・ 【０００３】 こうした超純水製造装置の中には、洗浄などに使用された超純水を回収水として回収し、過酸化水素などの薬品を活性炭で分解処理した回収処理水を前処理システムや一次純水システムに還流させる回収システムを備えたものがある（例えば、特許文献１，２参照）。このような回収システムでは、例えば、過酸化水素濃度が活性炭で処理しきれないほど高い場合など、回収処理水に比較的高濃度の過酸化水素が残留して一次純水システムに導入されてしまい、それが一次純水システムでも処理されずにサブシステムに導入されてしまうことがある。そのような過酸化水素は、サブシステムでも処理されないため、例えば超純水をシリコンウエハの洗浄液として使用する場合、シリコンウエハの表面に自然酸化膜を形成したり、微細な配線を腐食させたりするなどの要因となる。そこで、特許文献３に記載の超純水製造装置では、サブシステムに導入される過酸化水素の濃度を管理するために、一次純水システムの任意の位置における過酸化水素濃度に基づいて、サブシステムへの一次純水の供給を制御することが行われている。」 （３）「【００１４】 超純水製造装置１は、河川水、地下水、工業用水などの原水を順次処理することにより超純水を製造し、その超純水をユースポイント２に供給するものであり、一次純水システム１０と二次純水システム（サブシステム）２０を有している。また、超純水製造装置１は、ユースポイント２に供給されて使用された超純水を回収水として回収して処理する回収システム３０を有している。 【００１５】 一次純水システム１０は、前処理システム（図示せず）で除濁や脱塩素などの前処理が施された原水（前処理水）を順次処理して一次純水を製造するものであり、前処理水タンク１１と、熱交換器１２と、紫外線酸化装置１３と、精密ろ過膜装置１４と、逆浸透膜装置１５と、混床式イオン交換装置１６と、膜脱気装置１７とを有している。これらは、超純水製造装置の一次純水システムにおいて一般的に採用されるものであり、各装置の詳細な構成や機能については、例えば、国際公開第２００９／０８２００８号を参照されたい。 ・・・ 【００１８】 回収システム３０は、回収水タンク３１と、活性炭処理装置３２と、混床式イオン交換装置３３とを有している。ユースポイント２に供給されて使用された超純水は、回収ラインＬ５を通じて回収され、回収水として回収水タンク３１に貯留される。なお、回収ラインＬ５には、バルブＶ３と、導電率計や全有機炭素（ＴＯＣ）濃度計などの水質計（図示せず）が設けられ、バルブＶ３の上流側には、バルブＶ４を介して回収水排出ラインＬ６が接続されている。これにより、使用済みの超純水のうち一定の水質基準を満たしたもの、すなわち、導電率とＴＯＣ濃度のいずれもが基準値以下となったものを回収することができる。回収水タンク３１に貯留された回収水は、活性炭を含む活性炭処理装置３２で主に過酸化水素が除去された後、混床式イオン交換装置３３でイオン類が除去される。こうして処理された回収処理水は、回収処理水ラインＬ７を通じて前処理水タンク１１に還流される。なお、回収処理水ラインＬ７は、前処理システムに接続されていてもよく、したがって、回収処理水が前処理システムに還流されるようになっていてもよい。 ・・・ 【００２５】 上述したように、一次純水システム１０内の過酸化水素濃度の上昇は、被処理水（前処理水）のＴＯＣ濃度や処理流量の変動などに応じて発生するが、その他にも、回収システム３０による過酸化水素の処理性能が低下した場合に発生することがある。すなわち、活性炭処理装置３２の活性炭が経年劣化すると、回収水中の過酸化水素が十分に分解処理されず、回収処理水に比較的高濃度の過酸化水素が残留してしまい、一次純水システム１０内の過酸化水素濃度を上昇させることがある。この場合、上述した水質回復工程により一時的に過酸化水素濃度が低下しても、高濃度の過酸化水素を含む回収処理水が一次純水システム１０に還流され続けるため、一次純水システム１０内の過酸化水素濃度はすぐに上昇してしまう。 【００２６】 逆に言えば、制御装置５は、水質回復工程の終了後、濃度分析装置４による過酸化水素の算出濃度の変化を観察することで、活性炭処理装置３２の活性炭が劣化しているか否かを判定することができる。すなわち、制御装置５は、活性炭処理装置３２の活性炭の劣化の有無を判定する判定システム（状態判定システム）として機能し、過酸化水素の算出濃度が所定時間内に再び所定値を超えた場合、あるいは、算出濃度が一定以上の速度で上昇し、所定時間内に所定値を超えることが予測される場合に、活性炭処理装置３２の活性炭が劣化していると判定することができる。なお、このときの所定時間は、特に限定されず、活性炭の種類や処理能力、処理水量などに応じて適宜設定することができ、例えば、最長で４８時間である。 【００２７】 制御装置５により活性炭処理装置３２の活性炭が劣化していると判定された場合、例えば、警報などでそのことを外部に通知した上で、まず、排水運転が行われる。具体的には、一次純水供給ラインＬ１のバルブＶ１が閉鎖されるとともに、一次純水排出ラインＬ４のバルブＶ２が開放されることで、一次純水システム１０で製造された一次純水が外部に排出される。こうして、サブシステム２０への一次純水の供給が停止されるため、所定値を超える濃度の過酸化水素がサブシステム２０に導入されることが抑制される。それと同時に、それまで行われていた回収システム３０による回収水の回収が停止される。具体的には、回収ラインＬ５のバルブＶ３が閉鎖されるとともに、回収水排出ラインＬ６のバルブＶ４が開放されることで、ユースポイント２で使用された超純水は、全てが回収水排出ラインＬ６を通じて外部に排出される。こうして、一次純水システム１０への回収処理水への還流が停止されるため、高濃度の過酸化水素が一次純水システム１０に導入されることが抑制される。 【００２８】 さらに、排水運転時には、上述した循環運転時と同様に、前処理水供給ラインＬ３を通じて前処理水タンク１１に前処理水が供給される水質回復工程が実行される。これにより、所定値を超える濃度の過酸化水素を含む一次純水が外部に排出されつつ前処理水で希釈され、一次純水システム１０内の過酸化水素濃度が低下する。そして、濃度分析装置４による過酸化水素の算出濃度が所定値以下になった時点で、前処理水タンク１１への前処理水の供給が停止され、水質回復工程が終了するのと同時に、排水運転から給水運転への切り替えが行われ、サブシステム２０への一次純水の供給が再開される。【００２９】 なお、活性炭処理装置３２の活性炭が劣化していると判定されたときに、前処理水タンク１１の空き容量に、前処理水による希釈のみで過酸化水素濃度を低下させられるだけの余裕があれば、節水の観点から、排水運転の代わりに循環運転を行ってもよい。また、一次純水還流ラインＬ２に過酸化水素を分解処理する手段が設けられていれば、排水運転の代わりに循環運転を行ってもよい。過酸化水素を分解処理する手段としては、上述したように、活性炭や還元剤添加手段などが挙げられる。 【００３０】 一方で、回収システム３０による回収水の回収が停止された後、活性炭処理装置３２の活性炭の交換が行われる。そして、活性炭の交換後、回収水排出ラインＬ６のバルブＶ４が閉鎖されるとともに、回収ラインＬ５のバルブＶ３が開放されることで、回収システム３０による回収水の回収も再開される。 【００３１】 以上のように、本実施形態の運転管理システム３によれば、一次純水システム１０内の過酸化水素濃度が上昇しても、その過酸化水素がサブシステム２０に導入されることを抑制することができる。その結果、サブシステム２０に導入される過酸化水素の濃度を適切に管理することができる。加えて、一次純水システム１０内の過酸化水素濃度の上昇が回収システム３０の活性炭の経年劣化によるものかどうかを適切に判断することができ、活性炭の交換が必要か否かを適切に判断することもできる。」 （４）「【図１】 ［図：0001416444000003.jpg］ 」 ３ 乙第１～３号証について 特許権者は、令和５年１０月１８日又は令和６年３月２１日に、意見書とともに、下記の乙第１～３号証を提出している。 乙第１号証：国際公開第２０２０／０４５０６１号 乙第２号証：特開平９－１９２６５７号公報 乙第３号証：特開昭５７－３５９８６号公報 （以下、乙第１号証等を略して、「乙１」等という。） （１）乙１について 乙１には、以下の事項が記載されている。 「[0033] 紫外線酸化装置において過剰の紫外線照射が行われた場合、有機物の酸化分解に寄与しないＯＨラジカル同士が反応して過酸化水素が発生する。この発生した過酸化水素は、下流の電気式脱イオン装置が有する電極やイオン交換体を劣化させることがある。」 （２）乙２について 乙２には、以下の事項が記載されている。 「【００３２】 ・・・比較例では紫外線殺菌ランプ装置１０をバイパスしたために、低圧紫外線ランプ酸化装置９よりリークした過酸化水素が混床式イオン交換装置１１中のイオン交換樹脂を酸化して劣化させ・・・」 （３）乙３について 乙３には、以下の事項が記載されている。 「飲料水または工業用水などに提供される水道水はその衛生的見地から浄水場において塩素（または次亜塩素酸ソーダ）による滅菌処理を行ない，さらに配水途中における汚染を防止する意味で配水末端の水道栓蛇口において残留遊離塩素（以下残留塩素とする）が０・１ｐｐｍ（結合残留塩素の場合は０・４ｐｐｍ）以上保持されることが定められている。」（第１頁右欄９～１６行） 第６ 当審の判断 １ 申立理由１（新規性・進歩性）および取消理由１（新規性・進歩性）について （１）甲１に記載された発明 上記第５の１（３）には、実施例として「前処理システム１０と、回収処理システム２０と、一次純水システム３０と、二次純水システム４０とを備え」（【００６４】）、「二次純水システム４０は、ユースポイント（ＰＯＵ）５０に接続され、ユースポイント（ＰＯＵ）５０で回収された使用済み超純水は、回収処理システム２０に送られ」（【００６４】）、「回収処理システム２０は、活性炭装置（ＡＣ）２３と、紫外線酸化装置（ＴＯＣ－ＵＶ）２４と、２段逆浸透膜装置（ＲＯ）２１ａ，２１ｂと、電気脱イオン装置２２をこの順に備え」（【００６５】）、「前処理システム１０と回収処理システム２０は、それぞれ処理水ピットＴ１に接続されており、処理水ピットＴ１の下流側には、一次純水システム３０と、一次純水タンクＴ２と、二次純水システム４０とが配管を用いてこの順に接続され」（【００６６】）、「一次純水システム３０は、紫外線照射装置（ＵＶ）３３、プレフィルター（ＰＦ）３４、２段逆浸透膜装置（ＲＯ）３１ａ，３１ｂ、膜脱気装置（ＭＤＧ）３５、電気脱イオン装置（ＥＤＩ）３２、紫外線酸化装置（ＴＯＣ－ＵＶ）３６、混床式イオン交換装置（ＭＢ）３７、膜脱気装置（ＭＤＧ）３８をこの順に備え」（【００６７】）、「二次純水システム４０は、紫外線酸化装置（ＴＯＣ－ＵＶ）４１、非再生式ポリッシャー（Ｐｏｌｉｓｈｅｒ）４２、膜脱気装置（ＭＤＧ）４３、限外ろ過装置（ＵＦ）４４をこの順に備えた」（【００６８】）、「超純水製造装置２」が記載されており、「工業用水を、一日あたりの流量１０，０００ｍ３／ｄで前処理システム１０に供給し」、「使用済み超純水を一日あたりの流量９，５００ｍ３／ｄで回収処理システム２０に供給する」（【００７４】）ことが記載されている。 加えて、同（３）の【表１】には、ユースポイント（ＰＯＵ）５０で回収されて回収処理システム２０に送られる水である「使用済み超純水」の過酸化水素（Ｈ２Ｏ２）濃度が１８ｍｇ／Ｌであることが記載されている。また、甲１には、超純水製造装置に加えて、超純水製造方法（【０００１】）、すなわち「前記超純水製造装置を用いて超純水を製造する方法」についても記載されているといえる。 そうすると、甲１には次の発明（以下、「甲１発明」という。）が記載されていると認められる。 「前処理システム１０と、回収処理システム２０と、一次純水システム３０と、二次純水システム４０とを備え、 二次純水システム４０は、ユースポイント（ＰＯＵ）５０に接続され、ユースポイント（ＰＯＵ）５０で回収された使用済み超純水は、回収処理システム２０に送られ、 回収処理システム２０は、活性炭装置（ＡＣ）２３と、紫外線酸化装置（ＴＯＣ－ＵＶ）２４と、２段逆浸透膜装置（ＲＯ）２１ａ，２１ｂと、電気脱イオン装置２２をこの順に備え、 前処理システム１０と回収処理システム２０は、それぞれ処理水ピットＴ１に接続されており、処理水ピットＴ１の下流側には、一次純水システム３０と、一次純水タンクＴ２と、二次純水システム４０とが配管を用いてこの順に接続され、一次純水システム３０は、紫外線照射装置（ＵＶ）３３、プレフィルター（ＰＦ）３４、２段逆浸透膜装置（ＲＯ）３１ａ，３１ｂ、膜脱気装置（ＭＤＧ）３５、電気脱イオン装置（ＥＤＩ）３２、紫外線酸化装置（ＴＯＣ－ＵＶ）３６、混床式イオン交換装置（ＭＢ）３７、膜脱気装置（ＭＤＧ）３８をこの順に備え、二次純水システム４０は、紫外線酸化装置（ＴＯＣ－ＵＶ）４１、非再生式ポリッシャー（Ｐｏｌｉｓｈｅｒ）４２、膜脱気装置（ＭＤＧ）４３、限外ろ過装置（ＵＦ）４４をこの順に備え、 使用済み超純水の過酸化水素（Ｈ２Ｏ２）濃度が１８ｍｇ／Ｌであり、 工業用水が一日あたりの流量１０，０００ｍ３／ｄで前処理システム１０に供給され、使用済み超純水が一日あたりの流量９，５００ｍ３／ｄで回収処理システムに供給される 超純水製造装置及び前記超純水製造装置を用いて超純水を製造する方法。」 （２）本件発明１について ア 甲１発明との対比 （ア）甲１発明の「超純水製造装置」は、超純水を製造するための装置であり、前処理システム１０と、回収処理システム２０と、一次純水システム３０と、二次純水システム４０とを備えている。 ここで、「システム」とは、「複数の要素が有機的に関係しあい、全体としてまとまった機能を発揮している要素の集合体[株式会社岩波書店 広辞苑第六版]」を意味する語句であるため、前処理システム１０、回収処理システム２０、一次純水システム３０、二次純水システム４０という４つの要素を有し、これら４つが機能を発揮することで全体として超純水製造を実行している甲１発明の超純水製造装置は、超純水製造システムであるといえる。 そのため、甲１発明の超純水を製造するための「超純水製造装置」は、本件発明１の「超純水を製造するための超純水製造システム」に相当する。 （イ）本件発明１の「前処理部」は、本件明細書【００２２】の記載によれば「原水中の懸濁物質を除去」するものである。これに対し、甲１発明の「前処理システム１０」は「原水中の濁質分やコロイド成分を除去して原水を前処理水とする」（【００１９】）ものである。そして、本件発明１の「前処理部」と甲１発明の「前処理システム１０」は、両者とも、原水中の濁質分を除去する機能を担っていることから、甲１発明の「前処理システム１０」は本件発明１の「前処理部」に相当する。 （ウ）本件発明１の「一次純水製造部」は、本件明細書【００２４】の記載によれば「前処理水中の不純物を除去して純水を製造するもの」である。これに対し、甲１発明の「一次純水システム３０」は、２段逆浸透膜装置（ＲＯ）３１ａ，３１ｂ、膜脱気装置（ＭＤＧ）３５、電気脱イオン装置（ＥＤＩ）３２、混床式イオン交換装置（ＭＢ）３７を備えており、逆浸透膜装置は被処理水から不純物であるナトリウムイオンを除去（【００４０】）し、電気脱イオン装置は不純物であるイオン成分（塩類、イオン性有機物等）を除去（【００４３】）し、膜脱気装置は不純物である溶存炭酸及び溶存酸素を除去（【００４７】）し、混床式イオン交換装置は不純物であるイオン成分を吸着除去（【００４７】）するものである。本件発明１の「一次純水製造部」と甲１発明の「一次純水システム３０」は、両者とも、不純物の除去を行っていることから、甲１発明の「一次純水システム３０」は本件発明１の「一次純水製造部」に相当する。 （エ）本件発明１の「二次純水製造部」は、本件明細書【００２７】の記載によれば「一次純水中の微量不純物を除去して超純水を製造する」ものである。これに対し、甲１発明の「二次純水システム４０」は「一次純水中の有機物をさらに数μｇＣ／Ｌまで低減して超純水とする」（【００５３】）ものであり、両者とも一次純水中の不純物除去を行っていることから、甲１発明の「二次純水システム４０」は本件発明１の「二次純水製造部」に相当する。 （オ）上記（ア）～（エ）を踏まえると、甲１発明の「前処理システム１０と、回収処理システム２０と」、「二次純水システム４０とを備え」た「超純水製造装置」は、本件発明１の「前処理部、一次純水製造部及び二次純水製造部を有し、超純水を製造するための超純水製造システム」に相当する。 （カ）甲１発明の「処理水ピットＴ１」は「前処理システム１０から得られた前処理水と、回収処理システム２０から得られた回収処理水を貯留することで、これらを混合して混合処理水とするもの」（【００３６】）であり、「前処理水」、「回収処理水」、そしてこれらが混合された「混合処理水」が貯留される部分である。一方、本件発明１の「貯留部」は、「前処理部２で処理された前処理水と、後述する回収処理部６で得られた回収水とが、それぞれ供給され、これらを混合して一次純水製造部以降の被処理水として貯留する」（【００２８】）ものである。そのため、甲１発明の「混合処理水」、「処理水ピットＴ１」は、それぞれ本件発明１の「被処理水」、「貯留部」に相当する。 （キ）甲１発明の「前処理システム１０」が「処理水ピットＴ１に接続され」る点と、「処理水ピットＴ１の下流側には、一次純水システム３０」が「接続」される点から、処理水ピットＴ１は前処理システム１０と一次純水システム３０の間にあるといえる。そのため、甲１発明の「前処理システム１０」は「処理水ピットＴ１に接続され」、「処理水ピットＴ１の下流側には、一次純水システム３０」が「接続」される点は、本件発明１の（貯留部が）「前処理部と前記一次純水製造部の間に設けられ」に相当する。 （ク）上記（カ）及び（キ）を踏まえると、甲１発明の、「前処理システム１０」は「処理水ピットＴ１に接続され」、「処理水ピットＴ１の下流側には、一次純水システム３０」が「接続」され、前処理水と回収処理水を貯留し、これらを混合して混合処理水とする「処理水ピットＴ１」は、本件発明１の「前記前処理部の前段又は前記前処理部と前記一次純水製造部の間に設けられ、原水又は被処理水を貯留できる貯留部」に相当する。 （ケ）甲１発明では、使用済み超純水の過酸化水素（Ｈ２Ｏ２）濃度が１８ｍｇ／Ｌである。濃度が０より大きいので、この使用済み超純水は過酸化水素を含有しているといえる。また、ユースポイント（ＰＯＵ）５０とは超純水が使用される場所である。そのため、甲１発明の、ユースポイント（ＰＯＵ）５０で回収された、「過酸化水素（Ｈ２Ｏ２）濃度が１８ｍｇ／Ｌ」である「使用済み超純水」は、本件発明１の「超純水の使用後に得られる、過酸化水素を含有する使用済超純水」に相当する。 （コ）甲１発明の回収処理システム２０は、２段逆浸透膜装置（ＲＯ）２１ａ，２１ｂと、電気脱イオン装置２２とを備えている。逆浸透膜装置２１は、不純物である塩類、イオン性の有機物、コロイド性の有機物を除去（【００２１】）するものであり、電気脱イオン装置は不純物であるイオン成分を除去（【００２４】）するものである。そのため、甲１発明の、「２段逆浸透膜装置（ＲＯ）２１ａ，２１ｂと、電気脱イオン装置２２と」を備えた「回収処理システム２０」は、本件発明１の「使用済超純水中に混入された不純物を除去しつつ、前記過酸化水素の一部又は全部を透過させて回収水とする回収処理部」と、「使用済超純水中に混入された不純物を除去し」「回収水とする回収処理部」である点で共通する。 （サ）甲１発明は「回収処理システム２０は、それぞれ処理水ピットＴ１に接続されており、処理水ピットＴ１の下流側には、一次純水システム３０と、一次純水タンクＴ２と、二次純水システム４０とが配管を用いてこの順に接続され」る構成であり、回収処理システム２０と処理水ピットＴ１、処理水ピットＴ１と一次純水システム３０、一次純水システム３０と二次純水システム４０とが、それぞれ配管で接続されている。そして、回収処理システム２０で処理された回収処理水は接続された順に、つまり、回収処理システム２０、処理水ピットＴ１、一次純水システム３０、二次純水システム４０の順に流れる構成である。他方、本件発明１の「循環手段」について、本件明細書【００３８】には「回収水を貯留部５へと流通できる配管」であると記載されている。そのため、甲１発明の回収処理システム２０と処理水ピットＴ１を接続する「配管」は、本件発明１の「循環手段」に相当する。すると、甲１発明の、回収処理システム２０と処理水ピットＴ１が「配管」により接続され、回収処理システム２０で処理された回収処理水が処理水ピットＴ１へと流れる点は、本件発明１の「回収処理部から得られる回収水を、前記貯留部に返送して循環させる循環手段」に相当する。 （シ）上記（ア）～（サ）によると、本件発明１と甲１発明は、 「前処理部、一次純水製造部及び二次純水製造部を有し、超純水を製造するための超純水製造システムであって、 前記前処理部の前段又は前記前処理部と前記一次純水製造部の間に設けられ、原水又は被処理水を貯留できる貯留部と、 前記超純水の使用後に得られる、過酸化水素を含有する使用済超純水を、該使用済超純水中に混入された不純物を除去して回収水とする回収処理部と、 前記回収処理部から得られる回収水を、前記貯留部に返送して循環させる循環手段と、 を有し、 前記貯留部が前処理部と前記一次純水製造部の間に設けられる、 超純水製造システム。」 の点で一致し、以下の点で相違する。 ＜相違点１＞ 本件発明１は、「使用済超純水中に混入された不純物を除去しつつ、前記過酸化水素の一部又は全部を透過させて回収水とする回収処理部」を備えるのに対し、甲１発明の「回収処理システム２０」は、不純物（塩類、イオン性の有機物、コロイド性の有機物、イオン成分）を除去する構成ではあるものの、過酸化水素等を分解除去する機能を持つ活性炭装置２３を備えているため、過酸化水素の一部を透過させるものであるかどうか不明である点。 ＜相違点２＞ 「前記貯留部が前記前処理部と前記一次純水製造部の間に設けられる場合」について、本件発明１は「前記回収水の過酸化水素濃度が２～５０ｐｐｍであり、前記前処理部で前記原水を処理して得られる前処理水の次亜塩素酸塩濃度が０．０５～１０ｐｐｍであり、前記貯留部における前記前処理水の供給量に対する前記回収水の供給量の比が１０／９０～５０／５０であ」るのに対し、甲１発明では「使用済み超純水の過酸化水素（Ｈ２Ｏ２）濃度が１８ｍｇ／Ｌであり、工業用水が一日あたりの流量１０，０００ｍ３／ｄで前処理システム１０に供給され、使用済み超純水が一日あたりの流量９，５００ｍ３／ｄで回収処理システムに供給され」るものであり、 「前記貯留部が前記前処理部の前段に設けられる場合」について、本件発明１は「前記回収水の過酸化水素濃度が２～５０ｐｐｍであり、前記原水の次亜塩素酸塩濃度が０．０５～１０ｐｐｍであり、前記貯留部における前記原水の供給量に対する前記回収水の供給量の比が１０／９０～５０／５０である」のに対し、甲１発明では「前記貯留部が前記前処理部の前段に設けられる場合」について特定がない点。 イ 相違点について 事案に鑑み、相違点２について検討する。 「前記貯留部が前記前処理部と前記一次純水製造部の間に設けられる場合」について、甲１発明では、使用済み超純水が、活性炭装置（ＡＣ）、紫外線酸化装置（ＴＯＣ－ＵＶ）、２段逆浸透膜装置（ＲＯ）、電気脱イオン装置をこの順に備える回収処理システムで処理される。そして、甲１には、第５の１（２）によれば「回収処理システム２０は、逆浸透膜装置２１の上流側に、逆浸透膜を保護する目的で、使用済み超純水中の過酸化水素等を分解除去するための活性炭装置・・・を備えることが好ましい」（【００３１】）ことが記載されている。そうすると、甲１発明においては、回収処理システム中の逆浸透膜の保護のために、逆浸透膜に到達する前に、使用済み超純水の過酸化水素濃度をできるだけ下げることが好ましいことが記載されているといえるため、回収処理システムを経た使用済み超純水の過酸化水素濃度をできるだけ下げることが記載されているといえる。また、乙１（第５の３（１））にも記載されているとおり、電気式脱イオン装置は、過酸化水素で劣化することが知られているため、甲１発明の回収処理システム中の電気脱イオン装置の保護のためにも過酸化水素濃度はできるだけ下げられていることも理解される。 一方、本件発明１では、回収処理水の過酸化水素濃度をできるだけ下げるということはせず、あえて２～５０ｐｐｍとすることによって、「混合水中には、次亜塩素酸塩と過酸化水素が共存し、これらの化合物は反応して、一重項酸素（１Ｏ２）又はＯＨラジカル（・ＯＨ）が発生する。一重項酸素（１Ｏ２）もＯＨラジカル（・ＯＨ）も、いずれも活性が高く、有機物の分解等の作用を有するため、貯留部５内での殺菌処理が、次亜塩素酸塩単独、過酸化水素単独に比べて、著しく向上でき、好ましい殺菌作用を発現できる」（【００４９】）との効果を発揮するものである。 してみれば、甲１発明では過酸化水素濃度はできるだけ下げるべきものであるため、その過酸化水素濃度を２～５０ｐｐｍとする動機付けはないし、過酸化水素濃度を２～５０ｐｐｍとすることによって、貯留部内で好ましい殺菌作用が発現されるという効果も予測できるものではない。そうすると、本件発明１のうち「前記貯留部が前記前処理部と前記一次純水製造部の間に設けられる場合」については、甲１発明から容易に想到しうるものではない。 次に、「前記貯留部が前記前処理部の前段に設けられる場合」について検討すると、甲１には、貯留部が前処理部の前に設けられることは記載も示唆もされていないし、第５の１（２）によれば甲１発明は「回収処理システム２０は、逆浸透膜装置２１の上流側に、逆浸透膜を保護する目的で、使用済み超純水中の過酸化水素等を分解除去するための活性炭装置・・・を備えることが好ましい」（【００３１】）ものであるから、貯留部を前処理部の前段に設けることは想定されていない。 しかも、「前記貯留部が前記前処理部と前記一次純水製造部の間に設けられる場合」で述べたのと同様の理由により、回収水の過酸化水素濃度を２～５０ｐｐｍとする動機付けはないし、過酸化水素濃度を２～５０ｐｐｍとすることによって、貯留部で好ましい殺菌作用が発現されるという効果も予測できるものではない。 したがって、「前記貯留部が前記前処理部の前段に設けられる場合」についても、甲１発明から容易に想到しうるものではない。 また、甲２～１６には、前処理水または原水の過酸化水素濃度を２～５０ｐｐｍとすることについての記載や示唆はない。 したがって、本件発明１は、甲１発明ではないし、甲１発明及び甲２～１６に記載の事項から当業者が容易に発明しうるものではない。 （３）本件発明８について 本件発明８は、システムの発明である本件発明１を装置の発明に書き換えたものであるから、本件発明８と甲１発明は、本件発明１と甲１発明と同じ一致点、相違点を有する。したがって、上記（２）の記載を踏まえると、本件発明８は、甲１発明ではないし、甲１発明及び甲２～１６に記載の事項から当業者が容易に発明しうるものではない。 （４）本件発明２～７、９、１２～１４について 本件発明２～７は、本件発明１の全ての特定事項を含むものであるから、上記（２）で検討したのと同様の理由により、甲１発明であるといえないし、甲１発明及び甲２～甲１６に記載の事項に基づいて当業者が容易に発明することができたものともいえない。 また、本件発明９、１２～１４は、本件発明８の全ての特定事項を含むものであるから、上記（３）で検討したのと同様の理由により、甲１発明であるといえないし、甲１発明及び甲２～１６に記載の事項に基づいて当業者が容易に発明することができたものともいえない。 （５）小括 以上のとおりであるから、申立理由１および取消理由１は理由がない。 ２ 申立理由２（拡大先願）及び取消理由２（拡大先願）について （１）甲１７先願明細書等に記載された発明 ア 甲１７先願明細書等の上記第５の２（１）の記載によれば、【請求項１】として、「一次純水システムと、二次純水システムと、前記二次純水システムからユースポイントに供給されて使用された超純水を回収水として回収し、前記回収水を活性炭で処理して前記一次純水システムまたはその上流側に還流させる回収システムと、を有する超純水製造装置の運転管理システムであって、前記二次純水システムの上流側の所定位置から採取した試料水中の過酸化水素濃度を算出する過酸化水素濃度分析装置と、前記過酸化水素濃度分析装置による算出値に基づいて、前記一次純水システムで製造された一次純水を前記二次純水システムに供給するか否かを制御するとともに、前記回収システムの前記活性炭が劣化しているか否かを判定する制御装置と、を有する、超純水製造装置」が記載されているといえる。 イ 上記アの「一次純水システム」について、上記第５の２（３）には「一次純水システム１０は、前処理システム（図示せず）で除濁や脱塩素などの前処理が施された原水（前処理水）を順次処理して一次純水を製造する」（【００１５】）との記載があることから、超純水製造装置が一次純水システムの前段に「前処理システム」を備えることがわかる。 ウ また、上記アの「一次純水システム」について、上記第５の２（３）には「一次純水システム１０は、前処理システム（図示せず）で除濁や脱塩素などの前処理が施された原水（前処理水）を順次処理して一次純水を製造するものであり、前処理水タンク１１と、熱交換器１２と、紫外線酸化装置１３と、精密ろ過膜装置１４と、逆浸透膜装置１５と、混床式イオン交換装置１６と、膜脱気装置１７とを有している。」（【００１５】）との記載、及び、「回収水タンク３１に貯留された回収水は、活性炭を含む活性炭処理装置３２で主に過酸化水素が除去された後、混床式イオン交換装置３３でイオン類が除去される。こうして処理された回収処理水は、回収処理水ラインＬ７を通じて前処理水タンク１１に還流される。」（【００１８】）との記載があることから、一次純水システム１０が「前処理水タンク１１」と、「精密ろ過膜装置１４と、逆浸透膜装置１５と、混床式イオン交換装置１６と、膜脱気装置１７」を備えること、前処理水タンク１１に前処理が施された原水が流入すると共に、活性炭処理装置及び混床式イオン交換装置で処理された回収処理水が回収水ラインを通じて還流されることがわかる。 エ 上記アの「回収水」について、上記第５の２（３）には「活性炭処理装置３２の活性炭が経年劣化すると、回収水中の過酸化水素が十分に分解処理されず、回収処理水に比較的高濃度の過酸化水素が残留してしまい」（【００２５】）との記載があることから、回収水が過酸化水素を含有することがわかる。 オ 上記第５の２（２）の、「本発明は、超純水製造装置の運転管理システム、超純水製造装置、および超純水製造装置の運転方法に関する」（【０００１】）との記載によれば、甲１７先願明細書等には、超純水製造装置の運転管理システムに加えて、超純水製造装置、超純水製造装置の運転方法についても記載されていると認められるが、超純水製造装置の運転方法において、超純水製造装置を運転するとは、超純水製造装置とは不可分の関係にある超純水製造装置の運転管理システムを運転することであるともいえるから、甲１７先願明細書等には、超純水製造装置の運転管理システムの運転方法も記載されているといえる。 カ 上記ア～オを踏まえると、甲１７先願明細書等には次の発明（以下、「甲１７発明」という。）が記載されていると認められる。 「一次純水システムと、二次純水システムと、前記二次純水システムからユースポイントに供給されて使用された超純水を回収水として回収し、前記回収水を活性炭で処理して前記一次純水システムまたはその上流側に還流させる回収システムと、を有する超純水製造装置の運転管理システム、及び、超純水製造装置の運転管理システムの運転方法であって、 前記二次純水システムの上流側の所定位置から採取した試料水中の過酸化水素濃度を算出する過酸化水素濃度分析装置と、 前記過酸化水素濃度分析装置による算出値に基づいて、前記一次純水システムで製造された一次純水を前記二次純水システムに供給するか否かを制御するとともに、前記回収システムの前記活性炭が劣化しているか否かを判定する制御装置と、 前処理システムと、を有し、 前記一次純水システムは、前処理システムで除濁や脱塩素などの前処理が施された原水（前処理水）を順次処理して一次純水を製造するものであり、 前記一次純水システムは、前処理水タンクと、精密ろ過膜装置と、逆浸透膜装置と、混床式イオン交換装置と、膜脱気装置とを備え、 前処理水タンクに、前処理が施された原水が流入すると共に、回収システムの活性炭及び混床式イオン交換装置で処理された回収処理水が回収水ラインを通じて還流され、 前記回収水が過酸化水素を含有する、 超純水製造装置の運転管理システム、及び、超純水製造装置の運転管理システム。」 （２）本件発明１について ア 甲１７発明との対比 （ア）甲１７発明の「超純水製造装置の運転管理システム」は、「超純水」を「製造」するために、「超純水製造装置の運転管理」を行う「システム」であるから、本件発明１の「超純水を製造するための超純水製造システム」に相当する。 （イ）本件発明１の「前処理部」は、本件明細書【００２２】の記載によれば「原水中の懸濁物質を除去」するものである。これに対し、甲１７発明の「前処理システム」は「除濁や脱塩素などの前処理」（【００１５】）を行うものである。そして、本件発明１の「前処理部」と甲１７発明の「前処理システム」は、両者とも、原水中の「濁」を除去する機能を担っていることから、甲１７発明の「前処理システム」は本件発明１の「前処理部」に相当する。 （ウ）本件発明１の「一次純水製造部」は、本件明細書【００２４】の記載によれば、「前処理水中の不純物を除去して純水を製造するもの」である。これに対し、甲１７発明の「精密ろ過膜装置１４と、逆浸透膜装置１５と、混床式イオン交換装置１６と、膜脱気装置１７」は、いずれも一次純水を製造するために不純物を除去する装置である。そのため、甲１７発明の「精密ろ過膜装置１４と、逆浸透膜装置１５と、混床式イオン交換装置１６と、膜脱気装置１７」は本件発明１の「一次純水製造部」に相当する。 （エ）本件発明１の「二次純水製造部」は、本件明細書【００２７】の記載によれば、「一次純水中の微量不純物を除去して超純水を製造する」ものである。これに対し、甲１７発明の「二次純水システム」（【００１７】ではサブシステム２０と呼称）は「一次純水システム１０で製造された一次純水を順次処理して超純水を製造」（【００１７】）ものであり、両者とも一次純水を処理して超純水を製造していることから、甲１７発明の「二次純水システム」は本件発明１の「二次純水製造部」に相当する。 （オ）上記（ア）～（エ）を踏まえると、甲１７発明の「前処理システム」と、「一次純水システムと、二次純水システム」とを備えた「超純水製造装置の運転管理システム」は、本件発明１の「前処理部、一次純水製造部及び二次純水製造部を有し、超純水を製造するための超純水製造システム」に相当する。 （カ）甲１７発明の「前処理水タンク」は、前処理が施された原水と、回収システムの活性炭及び混床式イオン交換装置で処理された回収処理水が導入されるタンクである。そして、タンクとは、液体又は気体を収容し貯める容器を意味する語句であるので、「前処理水タンク」は、前処理が施された原水と、回収システムの活性炭及び混床式イオン交換装置で処理された回収処理水とを収容し貯める容器を意味する。そのため、甲１７発明の「前処理された原水」が貯められる「前処理水タンク」は、本件発明１の「原水又は被処理水を貯留できる貯留部」に相当する。 （キ）上記第５の２（３）の「一次純水システム１０は、前処理システム（図示せず）で除濁や脱塩素などの前処理が施された原水（前処理水）を順次処理して一次純水を製造するものであり、前処理水タンク１１と、熱交換器１２と、紫外線酸化装置１３と、精密ろ過膜装置１４と、逆浸透膜装置１５と、混床式イオン交換装置１６と、膜脱気装置１７とを有している。」（【００１５】）の記載からは、甲１７発明の「前処理水タンク１１」が「前処理システム」の下流に存在することが分かる。加えて、上記第５の２（４）の【図１】からは、甲１７発明の「前処理水タンク１１」が「精密ろ過膜装置１４、逆浸透膜装置１５、混床式イオン交換装置１６、膜脱気装置１７」の上流に位置している点が看取できる。 また前記（ウ）に記載したとおり、甲１７発明の「精密ろ過膜装置１４と、逆浸透膜装置１５と、混床式イオン交換装置１６と、膜脱気装置１７」は本件発明１の「一次純水製造部」に相当する。 このことから、甲１７発明の、「前処理システム」の下流、且つ、「精密ろ過膜装置１４、逆浸透膜装置１５、混床式イオン交換装置１６、膜脱気装置１７」の上流に位置する「前処理水タンク」は、本件発明１の「前記処理部と前記一次純水製造部の間に設けられ」る「貯留部」に相当する。 （ク）上記（カ）及び（キ）を踏まえると、甲１７発明の、「前処理システム」の下流、且つ、「精密ろ過膜装置１４、逆浸透膜装置１５、混床式イオン交換装置１６、膜脱気装置１７」の上流に位置し、「前処理された原水」が貯められる「前処理水タンク」は、本件発明１の「前記前処理部の前段又は前記前処理部と前記一次純水製造部の間に設けられ、原水又は被処理水を貯留できる貯留部」に相当する。 （ケ）甲１７発明では、「ユースポイントに供給されて使用された超純水を回収水として回収」しており、この回収水は過酸化水素を含有している。そのため、甲１７発明の「ユースポイントに供給されて使用され」、「過酸化水を含有」している「回収水」は、本件発明１の「超純水の使用後に得られる、過酸化水素を含有する使用済超純水」に相当する。 （コ）甲１７発明の「回収システム」は、混床式イオン交換装置３３を備えており、混床式イオン交換装置３３では不純物であるイオン類が除去される（【００１８】）構成である。そのため、甲１７発明の、「混床式イオン交換装置」を備えた「回収システム」は、本件発明１の「使用済超純水中に混入された不純物を除去しつつ、前記過酸化水素の一部又は全部を透過させて回収水とする回収処理部」と、「使用済超純水中に混入された不純物を除去し」「回収水とする回収処理部」である点で共通する。 （サ）上記（カ）で記載したように、甲１７発明の「前処理水タンク」は、本件発明１の「貯留部」に相当する。そして、甲１７発明の「回収水ライン」と本件発明１の「循環手段」は、いずれも回収水（回収処理水）を貯留部（タンク）へ送る経路である。そのため、甲１７発明の、「回収システムの活性炭及び混床式イオン交換装置で処理された回収処理水」を「前処理水タンク」に還流させる「回収水ライン」は、本件発明１の「回収処理部から得られる回収水を、前記貯留部に返送して循環させる循環手段」に相当する。 （シ）上記（ア）～（サ）によると、本件発明１と甲１７発明は、 「前処理部、一次純水製造部及び二次純水製造部を有し、超純水を製造するための超純水製造システムであって、 前記前処理部の前段又は前記前処理部と前記一次純水製造部の間に設けられ、原水又は被処理水を貯留できる貯留部と、 前記超純水の使用後に得られる、過酸化水素を含有する使用済超純水を、該使用済超純水中に混入された不純物を除去しつつ、回収水とする回収処理部と、 前記回収処理部から得られる回収水を、前記貯留部に返送して循環させる循環手段と、 を有する超純水製造システム。」 の点で一致し、以下の点で相違する。 ＜相違点３＞ 本件発明１は「使用済超純水中に混入された不純物を除去しつつ、前記過酸化水素の一部又は全部を透過させて回収水とする回収処理部」を備えるのに対し、甲１７発明の「回収システム」は不純物（イオン類）を除去する構成ではあるものの、過酸化水素を分解除去する機能を持つ活性炭処理装置３２を備えているため、過酸化水素の一部を透過させるものであるかどうか不明である点。 ＜相違点４＞ 「前記貯留部が前記前処理部と前記一次純水製造部の間に設けられる場合」について、本件発明１は、「前記回収水の過酸化水素濃度が２～５０ｐｐｍであり、前記前処理部で前記原水を処理して得られる前処理水の次亜塩素酸塩濃度が０．０５～１０ｐｐｍであり、前記貯留部における前記前処理水の供給量に対する前記回収水の供給量の比が１０／９０～５０／５０であ」るのに対し、甲１７発明では、回収システムの活性炭及び混床式イオン交換装置で処理された回収処理水の過酸化水素濃度、前処理が施された原水の次亜塩素酸塩濃度、回収処理水と前処理が施された原水の供給量の比が不明であり、「前記貯留部が前記前処理部の前段に設けられる場合」について、本件発明１は「前記回収水の過酸化水素濃度が２～５０ｐｐｍであり、前記原水の次亜塩素酸塩濃度が０．０５～１０ｐｐｍであり、前記貯留部における前記原水の供給量に対する前記回収水の供給量の比が１０／９０～５０／５０である」のに対し、甲１７発明では「前記貯留部が前記前処理部の前段に設けられる場合」について特定がない点。 イ 相違点について 事案に鑑み、相違点４について検討する。 甲１７発明は、「前記貯留部が前記前処理部と前記一次純水製造部の間に設けられる場合、前記回収水の過酸化水素濃度が２～５０ｐｐｍであり、前記前処理部で前記原水を処理して得られる前処理水の次亜塩素酸塩濃度が０．０５～１０ｐｐｍであり、前記貯留部における前記前処理水の供給量に対する前記回収水の供給量の比が１０／９０～５０／５０」である、又は、「前記貯留部が前記前処理部の前段に設けられる場合、前記回収水の過酸化水素濃度が２～５０ｐｐｍであり、前記原水の次亜塩素酸塩濃度が０．０５～１０ｐｐｍであり、前記貯留部における前記原水の供給量に対する前記回収水の供給量の比が１０／９０～５０／５０」との構成を有していないが、甲１７先願明細書等には、甲１７発明が上記の構成を有する蓋然性があることを示す記載や示唆もない。 してみれば、少なくとも相違点４は実質的な相違点である。 したがって、本件発明１は甲１７発明であるとはいえない。 （３）本件発明８について 本件発明８は、システムの発明である本件発明１を装置の発明に書き換えたものであるから、本件発明８と甲１７発明は、本件発明１と甲１７発明と同じ一致点、相違点を有する。したがって、上記（２）を踏まえると、本件発明８は、甲１７発明ではない。 （４）小括 以上のとおりであるから、申立理由２及び取消理由２は理由がない。 ３ 申立理由３（サポート要件）、取消理由３（サポート要件）及び取消理由４（サポート要件）について （１）申立理由３のうち、上記第４の１（３）アの点について 本件明細書の【００７０】には「以上より、過酸化水素を含有する使用済超純水を回収して再利用する超純水製造装置において、回収処理時に、あえて過酸化水素を含有させたまま循環させ、被処理水とすることで、原水又は前処理水と混合した後、生菌数やＴＯＣ等を抑制することができることがわかった。 このとき、回収処理時に通常設けられていた活性炭装置を省略することができ、装置を簡素化するとともに、設置面積を縮小することもできる。」 と記載されている。そうすると、本件発明の主な課題は「原水又は前処理水と混合した後、生菌数やＴＯＣ等を抑制すること」であり、「活性炭装置を省略すること」、「装置を簡素化するとともに、設置面積を縮小すること」は、主な課題ではなく、好ましい一態様の副次的な効果であることが理解できる。 したがって、「活性炭装置」を有さないことを特定していなくとも、本件発明１～１４は本件発明の課題を解決するものである。 （２）申立理由３のうち、上記第４の１（３）イの点、取消理由３、及び取消理由４について ア 本件訂正によって、本件発明は、「前記貯留部が前記前処理部と前記一次純水製造部の間に設けられる場合、前記回収水の過酸化水素濃度が２～５０ｐｐｍであり、前記前処理部で前記原水を処理して得られる前処理水の次亜塩素酸塩濃度が０．０５～１０ｐｐｍであり、前記貯留部における前記前処理水の供給量に対する前記回収水の供給量の比が１０／９０～５０／５０であり、 前記貯留部が前記前処理部の前段に設けられる場合、前記回収水の過酸化水素濃度が２～５０ｐｐｍであり、前記原水の次亜塩素酸塩濃度が０．０５～１０ｐｐｍであり、前記貯留部における前記原水の供給量に対する前記回収水の供給量の比が１０／９０～５０／５０である」ものとなった。 イ 申立理由３のうち、上記第４の１（３）イの点について 本件訂正によって貯留部に供給される回収水の過酸化水素濃度、貯留部に供給される前処理水又は原水の次亜塩素酸塩濃度、貯留部に供給される回収水と前処理水又は原水の量比が特定されたのであるから、貯留部内における過酸化水素濃度及び次亜塩素酸の濃度が特定範囲にあることが特定されたといえる。 ウ 取消理由３について 「回収水の過酸化水素の濃度」が「２～５０ｐｐｍ」であり、「前処理水の次亜塩素酸濃度」が「０．０５～１０ｐｐｍ」であり、「前処理水の供給量に対する回収水の供給量の比」が「１０／９０～５０／５０」であることが特定された。 エ 取消理由４について 「前処理部と前記一次純水製造部の間」に「貯留部」が設けられる場合は、「回収水の過酸化水素の濃度」が「２～５０ｐｐｍ」であり、「前処理水の次亜塩素酸塩濃度」が「０．０５～１０ｐｐｍ」であり、「前処理水の供給量に対する回収水の供給量の比」が「１０／９０～５０／５０」であること、「貯留部」が「前処理部」の「前段」に設けられる場合は、「回収水の過酸化水素の濃度」が「２～５０ｐｐｍ」であり、「原水の次亜塩素酸塩濃度」が「０．０５～１０ｐｐｍ」であり、原水の「供給量に対する回収水の供給量の比」が「１０／９０～５０／５０」であることが特定された。 （３）小括 上記のとおりであるから、申立理由３、取消理由３及び取消理由４には理由がない。 ４ 申立理由４（明確性）について （１）第４の１（４）のアについて 本件明細書の記載も考慮すれば、同【００３０】に、「回収処理部６は、過酸化水素を含有する使用済超純水から、使用により混合された不純物を除去しつつ、過酸化水素は透過させて、再度超純水を製造する被処理水として回収するもの」であることが記載されており、回収処理部の意味するところは明確である。 さらに、【００３２】～【００３４】には、「回収処理部としては・・・膜処理装置６１と逆浸透膜装置６２（第１の逆浸透膜装置）とを、この順番で配置する構成が例示できる。」、「ここで膜処理装置６１としては、精密ろ過膜（ＭＦ）、限外ろ過膜（ＵＦ）等が例示でき、使用済超純水中に含まれる微粒子を除去するもので、逆浸透膜装置６２の前段に配置されるものである。なお、膜処理装置は必須の要素ではない。」、「逆浸透膜装置６２としては、水処理で用いられる公知の逆浸透膜装置が挙げられ、特に限定されるものではない。」と記載されている。ここで、「膜処理装置６１と逆浸透膜装置６２（第１の逆浸透膜装置）とを、この順番で配置する構成」において、「膜処理装置６２」は、「精密ろ過膜（ＭＦ）、限外ろ過膜（ＵＦ）等の、使用済超純水中に含まれる微粒子を除去するもの」であり、逆浸透膜装置とは異なる処理装置である。そうすると、「逆浸透膜処理装置６２」が「膜処理装置６１」の下位概念ということはなく、「逆浸透膜処理装置６２」と「膜処理装置６１」を明確に区別できるから、回収処理部が「膜処理装置と逆浸透膜装置とをこの順番で配置する構成」についても、明確である。 （２）第４の１（４）のイについて 訂正により、本件発明１～１４において、回収処理部において透過させる過酸化水素の量（境界）は２～５０ｐｐｍであることが特定された。 （３）第４の１（４）のウについて 本件訂正によって、貯留部に供給される回収水の過酸化水素濃度、貯留部に供給される前処理水又は原水の次亜塩素酸塩濃度、貯留部に供給される回収水と前処理水又は原水の量比が特定されたのであるから、貯留部内における過酸化水素濃度が特定範囲にあることが特定されたといえる。 （４）小括 以上のとおりであるから、申立理由４は理由がない。 第７ むすび 以上のとおりであるから、本件発明１～９、１２～１４に係る特許は、特許異議申立書に記載された申立理由、及び、当審が通知した取消理由によっては、取り消すことができない。 また、他に本件発明１～９、１２～１４に係る特許を取り消すべき理由を発見しない。 そして、本件訂正により請求項１０、１１は削除されたから、請求項１０、１１に係る特許異議の申立てについては対象となる請求項が存在しないものとなったので、特許法第１２０条の８第１項で準用する同法第１３５条の規定により却下する。 よって、結論のとおり決定する。