2023-700387

特許第７１５５４８１号発明「放電ランプおよびオゾン生成方法」の特許異議申立事件について、次のとおり決定する。

結 論 特許第７１５５４８１号の特許請求の範囲を、訂正請求書に添付された訂正特許請求の範囲のとおり、訂正後の請求項１、２、３、４、５、６、７、８、９、１０、１１、１２、１３について訂正することを認める。 特許第７１５５４８１号の請求項２、５～６、８、１２～１３に係る特許を維持する。 特許第７１５５４８１号の請求項１、３～４、７、９～１１に係る特許についての特許異議の申立てを却下する。

理 由 第１ 手続の経緯 特許第７１５５４８１号（以下「本件特許」という。）の請求項１～１３に係る特許についての出願は、平成２９年３月２８日に出願した特願２０１７－６３８０５号の一部を令和３年５月１２日に新たな特許出願としたものであって、令和４年１０月１１日にその特許権の設定登録がされ、令和４年１０月１９日に特許掲載公報が発行された。 本件特許異議の申立ての経緯は、次のとおりである。 令和 ５年 ４月１７日付け：特許異議申立人佐々木毅（以下「申立人」 という。）による請求項１～１３に係る特 許に対する特許異議の申立て 同年 ７月２１日付け：取消理由通知書（以下、これに係る取消理 由を「第１次取消理由」という。） 同年 ９月２１日付け：特許権者による意見書及び訂正請求書（以 下、この訂正請求書を「第１次訂正請求書 」といい、第１次訂正請求書による訂正を 「第１次訂正」という。）の提出 同年１１月 ６日付け：訂正拒絶理由通知書 同年１２月 ７日付け：特許権者による意見書の提出 令和 ６年 １月１７日付け：申立人による意見書の提出 同年 ３月２５日付け：取消理由通知書（決定の予告）（以下、こ れに係る取消理由を「第２次取消理由」と いう。） 同年 ５月１７日付け：特許権者による意見書及び訂正請求書の提 出 同年 ６月１３日付け：令和６年５月１７日付け訂正請求書に対す る手続補正指令書（方式） 同月１９日付け：手続補正書（方式）（以下、この手続補正 書（方式）により補正された訂正請求書を 「本件訂正請求書」といい、本件訂正請求 書による訂正を「本件訂正」という。） なお、本件訂正に係る請求によって、第１次訂正に係る請求は、特許法第１２０条の５第７項の規定により取り下げられたものとみなされた。 また、当合議体は、本件訂正に係る請求について、特許法第１２０条の５第５項ただし書に規定する「特許異議申立人に意見書を提出する機会を与える必要がないと認められる特別の事情」がある場合に該当すると判断し、改めて、申立人に意見書を提出する機会を与えないこととした。すなわち、本件訂正後の特許請求の範囲の記載は、第１次訂正後の同記載と比べて、請求項１、３、７、９～１０が削除された点においてのみ相違し、その余の請求項の記載に相違はなく、本件訂正に係る請求の内容は、実質的に、申立人に意見書を提出する機会を与えた第１次訂正に係る請求の内容に包含されているといえることから、当合議体は、申立人に改めて意見書を提出する機会を与えないこととした。 第２ 本件訂正について １ 本件訂正の内容について (１) 訂正事項１（請求項１） 本件特許登録時の特許請求の範囲の請求項１を削除する。 (２) 訂正事項２（請求項２） 本件特許登録時の特許請求の範囲の請求項２に、 「前記放電容器が、保持部材によって保持されていることを特徴とする請求項１に記載のエキシマランプ。」 と記載されているのを、 「オゾンを生成する波長を有する紫外線を放射するエキシマランプであって、 放電ガスが封入された筒状の放電容器と、 それぞれ前記放電容器の外周面に沿って軸方向に延び、前記放電容器の中央部を挟んで軸方向に沿って対向配置される一対の電極とを備え、 前記放電容器内において、前記一対の電極間に導電体が配置されておらず、 前記一対の電極に対して高周波電圧が印加されると、前記放電容器内で、前記一対の電極の間を跨って一方の電極から他方の電極にまで渡って放電が生じる誘電体バリア放電であって、前記放電容器内の中央部で、径方向に相対的に細い空間領域での放電となり、前記放電容器内の前記一対の電極が前記放電容器の外周面と接触する部分で、径方向に相対的に太い空間領域での放電となる、誘電体バリア放電が生じ、 発光物質としての臭素が、前記放電容器内に含まれておらず、 前記放電容器が、保持部材によって保持されていることを特徴とするエキシマランプ。」と訂正する。 (３) 訂正事項３（請求項３） 本件特許登録時の特許請求の範囲の請求項３を削除する。 (４) 訂正事項４（請求項４） 本件特許登録時の特許請求の範囲の請求項４を削除する。 (５) 訂正事項５（請求項５） 本件特許登録時の特許請求の範囲の請求項５に、 「請求項１乃至４のいずれかに記載のエキシマランプを備えたことを特徴とする紫外線照射装置。」 と記載されているのを、 「オゾンを生成する波長を有する紫外線を放射するエキシマランプを備えた紫外線照射装置であって、 前記エキシマランプが、 放電ガスが封入された筒状の放電容器と、 それぞれ前記放電容器の外周面に沿って軸方向に延び、前記放電容器の中央部を挟んで軸方向に沿って対向配置される一対の電極とを備え、 前記放電容器内において、前記一対の電極間に導電体が配置されておらず、 前記一対の電極に対して高周波電圧が印加されると、前記放電容器内で、前記一対の電極の間を跨って一方の電極から他方の電極にまで渡って放電が生じる誘電体バリア放電であって、前記放電容器内の中央部で、径方向に相対的に細い空間領域での放電となり、前記放電容器内の前記一対の電極が前記放電容器の外周面と接触する部分で、径方向に相対的に太い空間領域での放電となる、誘電体バリア放電が生じ、 前記放電容器の外周面から紫外線照射する装置であることを特徴とする紫外線照射装置。」と訂正する。 (６) 訂正事項６（請求項６） 本件特許登録時の特許請求の範囲の請求項６に、 「請求項１乃至４のいずれかに記載のエキシマランプを備えたことを特徴とするオゾン発生装置。」 と記載されているのを、 「オゾンを生成する波長を有する紫外線を放射するエキシマランプを備えたオゾン発生装置であって、 前記エキシマランプが、 放電ガスが封入された筒状の放電容器と、 それぞれ前記放電容器の外周面に沿って軸方向に延び、前記放電容器の中央部を挟んで軸方向に沿って対向配置される一対の電極とを備え、 前記放電容器内において、前記一対の電極間に導電体が配置されておらず、 前記一対の電極に対して高周波電圧が印加されると、前記放電容器内で、前記一対の電極の間を跨って一方の電極から他方の電極にまで渡って放電が生じる誘電体バリア放電であって、前記放電容器内の中央部で、径方向に相対的に細い空間領域での放電となり、前記放電容器内の前記一対の電極が前記放電容器の外周面と接触する部分で、径方向に相対的に太い空間領域での放電となる、誘電体バリア放電が生じることを特徴とするオゾン発生装置。」と訂正する。 (７) 訂正事項７（請求項７） 本件特許登録時の特許請求の範囲の請求項７を削除する。 (８) 訂正事項８（請求項８） 本件特許登録時の特許請求の範囲の請求項８に、 「前記放電容器の外周面が、前記放電容器から局所的に紫外線が放射されるように、紫外線を遮る遮光部材によって覆われていることを特徴とする請求項７に記載のエキシマランプ。」 と記載されているのを、 「オゾンを生成する波長を有する紫外線を放射するエキシマランプであって、 放電ガスが封入された筒状の放電容器と、 それぞれ前記放電容器の中央部を挟んで軸方向に沿って対向配置される一対の電極であって、前記放電容器の両端部付近において前記放電容器の外周面に沿って配置される一対の電極とを備え、 前記一対の電極が、それぞれ、前記放電容器の外周面と面接触する筒状電極で構成され、 前記一対の電極に対して高周波電圧が印加されることによって、前記放電容器内において、一方の放電容器端部付近から他方の放電容器端部付近にまで渡って放電が生じる誘電体バリア放電であって、前記放電容器の軸方向に関して前記放電容器内の両端部側に放電が偏っている誘電体バリア放電が生じ、 前記放電容器の外周面が、前記放電容器の外周面から局所的に紫外線が放射されるように、紫外線を遮る非導電性の遮光部材によって覆われていることを特徴とするエキシマランプ。」と訂正する。 (９) 訂正事項９（請求項９） 本件特許登録時の特許請求の範囲の請求項９を削除する。 (１０) 訂正事項１０（請求項１０） 本件特許登録時の特許請求の範囲の請求項１０を削除する。 (１１) 訂正事項１１（請求項１１） 本件特許登録時の特許請求の範囲の請求項１１を削除する。 (１２) 訂正事項１２（請求項１２） 本件特許登録時の特許請求の範囲の請求項１２に、 「請求項７乃至１１のいずれかに記載のエキシマランプを備えたことを特徴とする紫外線照射装置。」 と記載されているのを、 「オゾンを生成する波長を有する紫外線を放射するエキシマランプを備えた紫外線照射装置であって、 放電ガスが封入された筒状の放電容器と、 それぞれ前記放電容器の中央部を挟んで軸方向に沿って対向配置される一対の電極であって、前記放電容器の両端部付近において前記放電容器の外周面に沿って配置される一対の電極とを備え、 前記一対の電極が、それぞれ、前記放電容器の外周面と面接触する筒状電極で構成され、 前記一対の電極に対して高周波電圧が印加されることによって、前記放電容器内において、一方の放電容器端部付近から他方の放電容器端部付近にまで渡って放電が生じる誘電体バリア放電であって、前記放電容器の軸方向に関して前記放電容器内の両端部側に放電が偏っている誘電体バリア放電が生じ、 前記放電容器の外周面から紫外線照射する装置であることを特徴とする紫外線照射装置。」と訂正する。 (１３) 訂正事項１３（請求項１３） 本件特許登録時の特許請求の範囲の請求項１３に、 「請求項７乃至１１のいずれかに記載のエキシマランプを備えたことを特徴とするオゾン発生装置。」 と記載されているのを、 「オゾンを生成する波長を有する紫外線を放射するエキシマランプを備えたオゾン発生装置であって、 放電ガスが封入された筒状の放電容器と、 それぞれ前記放電容器の中央部を挟んで軸方向に沿って対向配置される一対の電極であって、前記放電容器の両端部付近において前記放電容器の外周面に沿って配置される一対の電極とを備え、 前記一対の電極が、それぞれ、前記放電容器の外周面と面接触する筒状電極で構成され、 前記一対の電極に対して高周波電圧が印加されることによって、前記放電容器内において、一方の放電容器端部付近から他方の放電容器端部付近にまで渡って放電が生じる誘電体バリア放電であって、前記放電容器の軸方向に関して前記放電容器内の両端部側に放電が偏っている誘電体バリア放電が生じることを特徴とするオゾン発生装置。」と訂正する。 (１４) 一群の請求項及び別の訂正単位としての求めについて 本件訂正は、一群の請求項である訂正後の請求項１～６について請求されているところ、特許権者は、訂正後の請求項２、３、４、５及び６について、当該各請求項に係る訂正が認められるときに請求項１とは別の訂正単位として扱われることを求めている。 また、本件訂正は、一群の請求項である訂正後の請求項７～１３についても請求されているところ、特許権者は、訂正後の請求項８、９、１０、１１、１２及び１３について、当該各請求項に係る訂正が認められるときに請求項７とは別の訂正単位として扱われることを求めている。 ２ 本件訂正の適否について (１) 訂正事項１、３～４、７、９～１１ ア 訂正の目的の適否 訂正事項１、３～４、７、９～１１は、それぞれ本件訂正前の請求項１、３～４、７、９～１１を削除するものであるから、特許請求の範囲を減縮するものであり、したがって、特許法第１２０条の５第２項ただし書第１号に掲げる事項を目的とするものである。 イ 新規事項の追加の有無 訂正事項１、３～４、７、９～１１は、本件訂正前の請求項１、３～４、７、９～１１を削除するものであるから、新規事項を追加するものではない。 ウ 特許請求の範囲の拡張・変更の存否 前記ア及びイに照らせば、訂正事項１、３～４、７、９～１１は、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではない。 エ 小括 したがって、訂正事項１、３～４、７、９～１１は、特許法第１２０条の５第２項ただし書第１号に掲げる事項を目的とし、同法第１２０条の５第９項で準用する同法第１２６条第５項及び第６項に適合するものである。 (２) 訂正事項２ ア 訂正の目的の適否 訂正事項２は以下の内容からなる。 (ｉ) 本件訂正前の請求項２は、請求項１の記載を引用していたところ、請求項間の引用関係を解消して、独立形式請求項とする訂正。 (ｉｉ) 前記(ｉ)に伴い、当該請求項１に特定されていた「紫外線」について、「オゾンを生成する波長を有する」ことを限定する訂正。 (ｉｉｉ) 前記(ｉ)に伴い、当該請求項１に特定されていた「放電ガスが封入された筒状の放電容器」について、「発光物質としての臭素が、前記放電容器内に含まれて［いない］」ことを限定する訂正。 前記(ｉ)の訂正は、特許法第１２０条の５第２項ただし書第４号に規定される請求項間の引用関係の解消を目的とするものである。 前記(ｉｉ)及び(ｉｉｉ)の訂正は、同法第１２０条の５第２項ただし書第１号に規定される特許請求の範囲の減縮を目的とするものである。 イ 新規事項の追加の有無 前記(ｉ)の訂正に係る事項によって、新たな技術的事項が導入されることはない。 前記(ｉｉ)の訂正に係る事項は、本件特許の設定登録時の明細書、特許請求の範囲又は図面（以下「本件明細書等」という。）の「エキシマランプで、・・・放電容器からランプ外に向けて紫外線を放射する。紫外線照射によって生じるオゾンは、・・・」（【０００２】）、「・・・放電容器２０の中央部付近から、局所的に紫外線が放電容器２０外へ放射される。これにより、中央部付近においてのみオゾンが生成し、・・・」（【００２５】）の記載に照らして、新規事項を追加するものではない。 前記(ｉｉｉ)の訂正に係る事項について、本件明細書等には、「・・・例えば、放電容器の外径は、３ｍｍ～１０ｍｍの範囲であり、放電容器の軸方向長さが、１０ｍｍ～３０ｍｍの範囲であり、放電ガスが、０．１ｋＰａ～３０ｋＰａの範囲内に定められた希ガスで構成することが可能である。・・・」（【００１１】）、「放電容器２０の放電空間Ｓには、キセノンガス１Ｔｏｒｒ～２２５Ｔｏｒｒ（０．１ｋＰａ～３０ｋＰａ、更に好ましくは７ｋＰａ～２０ｋＰａ）が封入されている。・・・」（【００１９】）と記載されており、発光物質としての臭素が放電容器内に含まれていることは記載されていない。そして、放電容器の技術分野において、放電容器内に発光物質としての臭素が含まれていることが技術常識であるとも認められない。このように、本件明細書等の記載及び技術常識に照らしては、放電容器内に発光物質としての臭素が含まれていることが想定し難いことから、前記(ｉｉｉ)の訂正のように、「発光物質としての臭素が、前記放電容器内に含まれて［いない］」ことを記載しても、このことによって、新たな技術的事項が導入されることはない。 ウ 特許請求の範囲の拡張・変更の存否 前記ア及びイに照らせば、訂正事項２は、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではない。 エ 小括 したがって、訂正事項２は、特許法第１２０条の５第２項ただし書第１号及び第４号に掲げる事項を目的とし、同法第１２０条の５第９項で準用する同法第１２６条第５項及び第６項に適合するものである。 (３) 訂正事項５ ア 訂正の目的の適否 訂正事項５は、次の内容からなる。 (ｉ) 本件訂正前の請求項５は請求項１～４のいずれかの記載を引用していたところ、そのうち請求項１の記載を引用するものに限定する訂正。 (ｉｉ) 前記(ｉ)に加えて、請求項間の引用関係を解消して、独立形式請求項である本件訂正後の請求項５とする訂正。 (ｉｉｉ) 前記(ｉｉ)に伴い、当該請求項１に特定されていた「紫外線」について「オゾンを生成する波長を有する」ことを限定する訂正。 (ｉｖ) 本件訂正前の請求項５に特定されていた「紫外線照射装置」について、「前記放電容器の外周面から紫外線照射する装置である」ことを限定する訂正。 前記(ｉ)の訂正について、引用する請求項数を削減するものであることから、当該訂正は、特許法第１２０条の５第２項ただし書第１号に規定される特許請求の範囲の減縮を目的とするものである。 前記(ｉｉ)の訂正は、特許法第１２０条の５第２項ただし書第４号に規定される請求項間の引用関係の解消を目的とするものである。 前記(ｉｉｉ)及び(ｉｖ)の訂正は、同法第１２０条の５第２項ただし書第１号に規定される特許請求の範囲の減縮を目的とするものである。 イ 新規事項の追加の有無 前記(ｉ)及び(ｉｉ)の訂正によって、新たな技術的事項が導入されることはない。 前記(ｉｉｉ)の訂正に係る事項は、前記(２)イ(ｉｉ)と同様の理由で、新規事項を追加するものではない。 前記(ｉｖ)の訂正に係る事項は、本件明細書等の「放電ランプ１０は、内部に放電空間Ｓを形成し、石英ガラスなどで成形される筒状の放電容器２０を備える。」（【００１７】）、「一対の電極３０、４０に覆われていない放電容器２０の中央部付近では、細い領域で微弱な放電が生じて、放射される紫外線の照度が低い。一方、放電容器２０の両端部側では、太い領域で強い放電ＣＣが生じて、放射される紫外線の照度は高いが、一対の電極３０、４０が放電容器の外周面２０Ｓを覆う位置に対向配置されて、放電から放射される紫外線を遮る遮光部となるため、強い放電ＣＣから放射された紫外線の一部が一対の電極３０、４０によって遮光される。電極以外の非導電性部材により紫外線を遮る遮光部として、放電容器の外周面を覆っても良い。」（【００２４】）の記載に照らして、新規事項を追加するものではない。 ウ 特許請求の範囲の拡張・変更の存否 前記ア及びイに照らせば、訂正事項５は、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではない。 エ 小括 したがって、訂正事項５は、特許法第１２０条の５第２項ただし書第１号及び第４号に掲げる事項を目的とし、同法第１２０条の５第９項で準用する同法第１２６条第５項及び第６項に適合するものである。 (４) 訂正事項６ ア 訂正の目的の適否 訂正事項６は、次の内容からなる。 (ｉ) 本件訂正前の請求項６は請求項１～４のいずれかの記載を引用していたところ、そのうち請求項１の記載を引用するものに限定する訂正。 (ｉｉ) 前記(ｉ)に加えて、請求項間の引用関係を解消して、独立形式請求項である本件訂正後の請求項６とする訂正。 (ｉｉｉ) 前記(ｉｉ)に伴い、当該請求項１に特定されていた「紫外線」について「オゾンを生成する波長を有する」ことを限定する訂正。 前記(ｉ)の訂正について、引用する請求項数を削減するものであることから、特許法第１２０条の５第２項ただし書第１号に規定される特許請求の範囲の減縮を目的とするものである。 前記(ｉｉ)の訂正は、特許法第１２０条の５第２項ただし書第４号に規定される請求項間の引用関係の解消を目的とするものである。 前記(ｉｉｉ)の訂正は、同法第１２０条の５第２項ただし書第１号に規定される特許請求の範囲の減縮を目的とするものである。 イ 新規事項の追加の有無 前記(ｉ)及び(ｉｉ)の訂正によって、新たな技術的事項が導入されることはない。 前記(ｉｉｉ)の訂正に係る事項は、前記(２)イ(ｉｉ)と同様の理由で、新規事項を追加するものではない。 ウ 特許請求の範囲の拡張・変更の存否 前記ア及びイに照らせば、訂正事項６は、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではない。 エ 小括 したがって、訂正事項６は、特許法第１２０条の５第２項ただし書第１号及び第４号に掲げる事項を目的とし、同法第１２０条の５第９項で準用する同法第１２６条第５項及び第６項に適合するものである。 (５) 訂正事項８ ア 訂正の目的の適否 訂正事項８は、次の内容からなる。 (ｉ) 本件訂正前の請求項８は、請求項７の記載を引用していたところ、請求項間の引用関係を解消して、独立形式請求項とする訂正。 (ｉｉ) 前記(ｉ)に伴い、当該請求項７に特定されていた「紫外線」について「オゾンを生成する波長を有する」ことを限定する訂正。 (ｉｉｉ) 本件訂正前の請求項８に「前記放電容器から局所的に紫外線が放射される」と特定されていたところ、局所的に紫外線が放射される放電容器の位置について、放電容器の「外周面」であることを限定する訂正。 (ｉｖ) 本件訂正前の請求項８に特定されていた「遮光部材」について、「非導電性」であることを限定する訂正。 前記(ｉ)の訂正は、特許法第１２０条の５第２項ただし書第４号に規定される請求項間の引用関係の解消を目的とするものである。 前記(ｉｉ)、(ｉｉｉ)及び(ｉｖ)の訂正は、同法第１２０条の５第２項ただし書第１号に規定される特許請求の範囲の減縮を目的とするものである。 イ 新規事項の追加の有無 前記(ｉ)の訂正によって、新たな技術的事項が導入されることはない。 前記(ｉｉ)の訂正に係る事項は、前記(２)イ(ｉｉ)と同様の理由で、新規事項を追加するものではない。 前記(ｉｉｉ)の訂正に係る事項は、前記(３)イ(ｉｖ)と同様の理由で、新規事項を追加するものではない。 前記(ｉｖ)の訂正に係る事項は、本件明細書等の「電極以外の非導電性部材により紫外線を遮る遮光部として、放電容器の外周面を覆っても良い。」（【００２４】）の記載に照らして、新規事項を追加するものではない。 ウ 特許請求の範囲の拡張・変更の存否 前記ア及びイに照らせば、訂正事項８は、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではない。 エ 小括 したがって、訂正事項８は、特許法第１２０条の５第２項ただし書第１号及び第４号に掲げる事項を目的とし、同法第１２０条の５第９項で準用する同法第１２６条第５項及び第６項に適合するものである。 (６) 訂正事項１２ ア 訂正の目的の適否 訂正事項１２は、次の内容からなる。 (ｉ) 本件訂正前の請求項１２は請求項７～１１のいずれかの記載を引用していたところ、そのうち請求項７の記載を引用するものに限定する訂正。 (ｉｉ) 前記(ｉ)に加えて、請求項間の引用関係を解消して、独立形式請求項である本件訂正後の請求項１２とする訂正。 (ｉｉｉ) 前記(ｉｉ)に伴い、当該請求項７に特定されていた「紫外線」について「オゾンを生成する波長を有する」ことを限定する訂正。 (ｉｖ) 本件訂正前の請求項１２に特定されていた「紫外線照射装置」について、「前記放電容器の外周面から紫外線照射する装置である」ことを限定する訂正。 前記(ｉ)の訂正について、引用する請求項数を削減するものであることから、当該訂正は、特許法第１２０条の５第２項ただし書第１号に規定される特許請求の範囲の減縮を目的とするものである。 前記(ｉｉ)の訂正は、特許法第１２０条の５第２項ただし書第４号に規定される請求項間の引用関係の解消を目的とするものである。 前記(ｉｉｉ)及び(ｉｖ)の訂正は、同法第１２０条の５第２項ただし書第１号に規定される特許請求の範囲の減縮を目的とするものである。 イ 新規事項の追加の有無 前記(ｉ)及び(ｉｉ)の訂正によって、新たな技術的事項が導入されることはない。 前記(ｉｉｉ)の訂正に係る事項は、前記(２)イ(ｉｉ)と同様の理由で、新規事項を追加するものではない。 前記(ｉｖ)の訂正に係る事項は、前記(３)イ(ｉｖ)と同様の理由で、新規事項を追加するものではない。 ウ 特許請求の範囲の拡張・変更の存否 前記ア及びイに照らせば、訂正事項１２は、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではない。 エ 小括 したがって、訂正事項１２は、特許法第１２０条の５第２項ただし書第１号及び第４号に掲げる事項を目的とし、同法第１２０条の５第９項で準用する同法第１２６条第５項及び第６項に適合するものである。 (７) 訂正事項１３ ア 訂正の目的の適否 訂正事項１３は、次の内容からなる。 (ｉ) 本件訂正前の請求項１３は請求項７～１１のいずれかの記載を引用していたところ、そのうち請求項７の記載を引用するものに限定する訂正。 (ｉｉ) 前記(ｉ)に加えて、請求項間の引用関係を解消して、独立形式請求項である本件訂正後の請求項１３とする訂正。 (ｉｉｉ) 前記(ｉｉ)に伴い、当該請求項７に特定されていた「紫外線」について「オゾンを生成する波長を有する」ことを限定する訂正。 前記(ｉ)の訂正について、引用する請求項数を削減するものであることから、当該訂正は、特許法第１２０条の５第２項ただし書第１号に規定される特許請求の範囲の減縮を目的とするものである。 前記(ｉｉ)の訂正は、特許法第１２０条の５第２項ただし書第４号に規定される請求項間の引用関係の解消を目的とするものである。 前記(ｉｉｉ)の訂正は、同法第１２０条の５第２項ただし書第１号に規定される特許請求の範囲の減縮を目的とするものである。 イ 新規事項の追加の有無 前記(ｉ)及び(ｉｉ)の訂正によって、新たな技術的事項が導入されることはない。 前記(ｉｉｉ)の訂正に係る事項は、前記(２)イ(ｉｉ)と同様の理由で、新規事項を追加するものではない。 ウ 特許請求の範囲の拡張・変更の存否 前記ア及びイに照らせば、訂正事項１３は、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではない。 エ 小括 したがって、訂正事項１３は、特許法第１２０条の５第２項ただし書第１号及び第４号に掲げる事項を目的とし、同法第１２０条の５第９項で準用する同法第１２６条第５項及び第６項に適合するものである。 (８) 訂正の適否についての判断の小括 以上のとおり、訂正事項１～１３は、特許法第１２０条の５第２項ただし書第１号又は第４号に掲げる事項を目的とするものであり、かつ、同条第９項で準用する同法第１２６条第５項及び第６項の規定に適合している。また、当該訂正事項１～１３に係る訂正後の請求項１～１３は、特許異議の申立てがされている請求項であるので、同法第１２０条の５第９項で読み替えて準用する同法第１２６条第７項所定の独立特許要件は課されない。そして、前記１(１４)のとおり、特許権者は、訂正後の請求項２、３、４、５、６、８、９、１０、１１、１２及び１３について、当該各請求項に係る訂正が認められるときに、請求項１又は請求項７とは別の訂正単位として扱われることを求めている。 したがって、特許請求の範囲を、本件訂正請求書に添付された訂正特許請求の範囲のとおり、訂正後の請求項１、２、３、４、５、６、７、８、９、１０、１１、１２及び１３について訂正することを認める。 第３ 本件発明の認定 本件訂正の適否については前記第２の２のとおりであることから、本件特許の請求項１～１３に係る発明（以下、それぞれ、「本件発明１」～「本件発明１３」という。）は、次に示す本件訂正後の特許請求の範囲の請求項１～１３に記載された事項により特定されるとおりのものである。 「【本件発明１】 （削除） 【本件発明２】 オゾンを生成する波長を有する紫外線を放射するエキシマランプであって、 放電ガスが封入された筒状の放電容器と、 それぞれ前記放電容器の外周面に沿って軸方向に延び、前記放電容器の中央部を挟んで軸方向に沿って対向配置される一対の電極とを備え、 前記放電容器内において、前記一対の電極間に導電体が配置されておらず、 前記一対の電極に対して高周波電圧が印加されると、前記放電容器内で、前記一対の電極の間を跨って一方の電極から他方の電極にまで渡って放電が生じる誘電体バリア放電であって、前記放電容器内の中央部で、径方向に相対的に細い空間領域での放電となり、前記放電容器内の前記一対の電極が前記放電容器の外周面と接触する部分で、径方向に相対的に太い空間領域での放電となる、誘電体バリア放電が生じ、 発光物質としての臭素が、前記放電容器内に含まれておらず、 前記放電容器が、保持部材によって保持されていることを特徴とするエキシマランプ。 【本件発明３】 （削除） 【本件発明４】 （削除） 【本件発明５】 オゾンを生成する波長を有する紫外線を放射するエキシマランプを備えた紫外線照射装置であって、 前記エキシマランプが、 放電ガスが封入された筒状の放電容器と、 それぞれ前記放電容器の外周面に沿って軸方向に延び、前記放電容器の中央部を挟んで軸方向に沿って対向配置される一対の電極とを備え、 前記放電容器内において、前記一対の電極間に導電体が配置されておらず、 前記一対の電極に対して高周波電圧が印加されると、前記放電容器内で、前記一対の電極の間を跨って一方の電極から他方の電極にまで渡って放電が生じる誘電体バリア放電であって、前記放電容器内の中央部で、径方向に相対的に細い空間領域での放電となり、前記放電容器内の前記一対の電極が前記放電容器の外周面と接触する部分で、径方向に相対的に太い空間領域での放電となる、誘電体バリア放電が生じ、 前記放電容器の外周面から紫外線照射する装置であることを特徴とする紫外線照射装置。 【本件発明６】 オゾンを生成する波長を有する紫外線を放射するエキシマランプを備えたオゾン発生装置であって、 前記エキシマランプが、 放電ガスが封入された筒状の放電容器と、 それぞれ前記放電容器の外周面に沿って軸方向に延び、前記放電容器の中央部を挟んで軸方向に沿って対向配置される一対の電極とを備え、 前記放電容器内において、前記一対の電極間に導電体が配置されておらず、 前記一対の電極に対して高周波電圧が印加されると、前記放電容器内で、前記一対の電極の間を跨って一方の電極から他方の電極にまで渡って放電が生じる誘電体バリア放電であって、前記放電容器内の中央部で、径方向に相対的に細い空間領域での放電となり、前記放電容器内の前記一対の電極が前記放電容器の外周面と接触する部分で、径方向に相対的に太い空間領域での放電となる、誘電体バリア放電が生じることを特徴とするオゾン発生装置。 【本件発明７】 （削除） 【本件発明８】 オゾンを生成する波長を有する紫外線を放射するエキシマランプであって、 放電ガスが封入された筒状の放電容器と、 それぞれ前記放電容器の中央部を挟んで軸方向に沿って対向配置される一対の電極であって、前記放電容器の両端部付近において前記放電容器の外周面に沿って配置される一対の電極とを備え、 前記一対の電極が、それぞれ、前記放電容器の外周面と面接触する筒状電極で構成され、 前記一対の電極に対して高周波電圧が印加されることによって、前記放電容器内において、一方の放電容器端部付近から他方の放電容器端部付近にまで渡って放電が生じる誘電体バリア放電であって、前記放電容器の軸方向に関して前記放電容器内の両端部側に放電が偏っている誘電体バリア放電が生じ、 前記放電容器の外周面が、前記放電容器の外周面から局所的に紫外線が放射されるように、紫外線を遮る非導電性の遮光部材によって覆われていることを特徴とするエキシマランプ。 【本件発明９】 （削除） 【本件発明１０】 （削除） 【本件発明１１】 （削除） 【本件発明１２】 オゾンを生成する波長を有する紫外線を放射するエキシマランプを備えた紫外線照射装置であって、 放電ガスが封入された筒状の放電容器と、 それぞれ前記放電容器の中央部を挟んで軸方向に沿って対向配置される一対の電極であって、前記放電容器の両端部付近において前記放電容器の外周面に沿って配置される一対の電極とを備え、 前記一対の電極が、それぞれ、前記放電容器の外周面と面接触する筒状電極で構成され、 前記一対の電極に対して高周波電圧が印加されることによって、前記放電容器内において、一方の放電容器端部付近から他方の放電容器端部付近にまで渡って放電が生じる誘電体バリア放電であって、前記放電容器の軸方向に関して前記放電容器内の両端部側に放電が偏っている誘電体バリア放電が生じ、 前記放電容器の外周面から紫外線照射する装置であることを特徴とする紫外線照射装置。 【本件発明１３】 オゾンを生成する波長を有する紫外線を放射するエキシマランプを備えたオゾン発生装置であって、 放電ガスが封入された筒状の放電容器と、 それぞれ前記放電容器の中央部を挟んで軸方向に沿って対向配置される一対の電極であって、前記放電容器の両端部付近において前記放電容器の外周面に沿って配置される一対の電極とを備え、 前記一対の電極が、それぞれ、前記放電容器の外周面と面接触する筒状電極で構成され、 前記一対の電極に対して高周波電圧が印加されることによって、前記放電容器内において、一方の放電容器端部付近から他方の放電容器端部付近にまで渡って放電が生じる誘電体バリア放電であって、前記放電容器の軸方向に関して前記放電容器内の両端部側に放電が偏っている誘電体バリア放電が生じることを特徴とするオゾン発生装置。」 第４ 取消理由の概要及び当事者が提出した証拠 １ 第２次取消理由の概要 本件特許登録時の請求項１（なお、第１次訂正における請求項１に係る訂正は認められなかった。）及び第１次訂正後の請求項３、７、９～１０に係る特許に対して、当審において特許権者に通知した第２次取消理由の概要は、次のとおりである。 本件特許登録時の請求項１に係る発明は、その出願前日本国内又は外国において頒布された刊行物に記載された発明又は電気通信回線を通じて公衆に利用可能となった発明である甲第１号証に記載された発明であって、特許法第２９条第１項第３号に該当するから、当該発明に係る特許は、特許法第２９条第１項の規定に違反してされたものである。 本件特許登録時の請求項１に係る発明及び第１次訂正後の請求項３、７、９～１０に係る発明は、その出願前日本国内又は外国において頒布された刊行物に記載された発明又は電気通信回線を通じて公衆に利用可能となった発明である、甲第１号証に記載された発明及び必要に応じて甲第１号証に記載された技術的事項に基いて、その出願前にその発明の属する技術の分野における通常の知識を有する者が容易に発明をすることができたものであるから、当該各発明に係る特許は、特許法第２９条第２項の規定に違反してされたものである。 ２ 第１次取消理由の概要 本件特許登録時の請求項１～１３に係る特許に対して、当審において特許権者に通知した第１次取消理由（第２次取消理由に係るものを除く。）の概要は、次のとおりである。 本件特許登録時の請求項４～６、１１～１３に係る特許は、特許法第３６条第６項第２号に規定する要件を満たしていない出願に対してされたものである。 本件特許登録時の請求項１～１３に係る特許は、特許法第３６条第６項第１号に規定する要件を満たしていない出願に対してされたものである。 本件特許登録時の請求項４～５に係る発明は、その出願前日本国内又は外国において頒布された刊行物に記載された発明又は電気通信回線を通じて公衆に利用可能となった発明である、甲第１号証に記載された発明であって、特許法第２９条第１項第３号に該当するから、当該各発明に係る特許は、特許法第２９条第１項の規定に違反してされたものである。 本件特許登録時の請求項２、４～５、８、１１～１２に係る発明は、その出願前日本国内または外国において頒布された刊行物に記載された発明又は電気通信回線を通じて公衆に利用可能となった発明である、甲第１号証に記載された発明及び必要に応じて甲第１号証に記載された技術的事項に基いて、その出願前にその発明の属する技術の分野における通常の知識を有する者が容易に発明をすることができたものであるから、当該各発明に係る特許は、特許法第２９条第２項の規定に違反してされたものである。 ３ 当事者が提出した証拠 以下、「第」及び「号証」を略して表記する。 (１) 申立人が提出した証拠 甲１：特開２００３－１９８０１０号公報 甲２：特開２００８－１４６９０６号公報 甲３：ＩＤＷ／ＡＤ’１６において発表された技術論文の内容が記載されている書面（”Development of the Flexible Surface Light Source using Luminous Array Film Technology”, Kenji Awamoto, et. al.） 甲４：特開平９－１７５８２号公報 甲５：特開２００３－３６７０３号公報 甲６：特開２００５－３２７５６９号公報 甲７：特開２００１－７６６８２号公報 甲８：国際公開第２０１６／１２５７０８号 甲９：特開平５－８２１０２号公報 甲１０：特開２０１２－６４３８２号公報 甲１１：特開平１－２２６７０１号公報 参考文献１：特開平１０－６９８８６号公報 参考文献２：特開２００６－９２８００号公報 参考文献３：特開２０１６－２０７５５３号公報 (２) 特許権者が提出した証拠 乙１：特開２０１５－２０１３００号公報 乙２：特開２００２－１５１０１３号公報 乙３：特開２００２－１５１７６１号公報 乙４：特開２００３－３３１７９３号公報 乙５：特開２００４－３１０５９号公報 乙６：広辞苑第七版（た－ん ２５５０頁） 乙７：特開平７－２８８１１０号公報 乙８：広辞苑第七版（た－ん ２８９７頁） 乙９：特開２０１０－２７２６８号公報 乙１０：特開２００３－３３１７８２号公報 乙１１：広辞苑第七版（あ－そ １７３２頁） 第５ 第２次取消理由、第１次取消理由及び特許異議申立理由についての判断 １ 判断の概要 当合議体は、本件発明２、５～６、８、１２～１３に係る特許について、第２次取消理由、第１次取消理由及び特許異議申立理由によっては、これらを取り消すことはできないと判断する。なお、本件発明１、３～４、７、９～１１は、本件訂正により削除された。 ２ 第２次取消理由について 第２次取消理由を通知した請求項１、３、７、９～１０は、本件訂正により削除されたから、第２次取消理由は解消している。 ３ 第１次取消理由（第２次取消理由に係るものを除く。）について (１) 明確性要件違反について 第１次取消理由における明確性要件違反は、本件特許登録時の請求項４、１１の「前記一対の電極に対し、１ｋＨｚ～５００ｋＨｚの範囲の周波数で５ｋＶ～１０ｋＶの範囲の電圧が印加される」という記載が不明確であるというものであるが、当該各請求項は本件訂正により削除されたから、当該明確性要件違反は解消している。 (２) サポート要件違反について 第１次取消理由におけるサポート要件違反は、本件特許登録時の請求項１～１３に係る発明は、エキシマランプから放射される紫外線の波長がオゾンを生じさせる旨の特定がないため、本件明細書等の記載及び技術常識に基づいて当業者が課題を解決できることを認識できる範囲のものであるとはいえないというものである。 これに対して、本件訂正により、請求項２、５、６、８、１２～１３の各々において、エキシマランプが放射する紫外線が「オゾンを生成する波長を有する」ことが特定されたから、当該サポート要件違反は解消している。 (３) 新規性欠如及び進歩性欠如について 第１次取消理由における第２次取消理由に係るもの以外の新規性欠如は、本件特許登録時の４～５に係る発明は、甲１に記載された発明であるというものであり、同進歩性欠如は、本件特許登録時の請求項２、４～５、８、１１～１２に係る発明は、甲１に記載された発明及び必要に応じて甲１に記載された技術事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるというものである。これらの請求項のうち、請求項４、１１は本件訂正により削除された。そこで以下では、本件発明５の甲１に記載された発明に基づく新規性欠如、並びに本件発明２、５、８、１２の甲１に記載された発明及び甲１に記載された技術事項に基づく進歩性欠如について検討する。 ア 甲１の記載事項及び甲１発明の認定 (ア) 甲１の記載事項 甲１（特開２００３－１９８０１０号公報）には、次の事項が記載されている。 「【特許請求の範囲】 【請求項１】フッ素レーザ装置より出射されるレーザ光の波長に近い発光スペクトルを有し、この発光スペクトル線を利用してフッ素レーザ装置からのレーザ光の発振波長を安定化させるためのフッ素レーザ用基準光源において、 前記基準光源は、概略円筒状の放電容器の一端に真空紫外光を放射する窓部材を有するとともに、容器内には発光物質として臭素を有し、 この放電容器の外面には、一対の電極が互いに離間して配置しており、かつ、前記臭素の封入量Ｄ（μｍｏｌ／ｃｃ）と前記電極の端部と前記窓部材との距離Ｌ（ｍｍ）との積Ｄ・Ｌが０．２５以下であることを特徴とするからフッ素レーザ用基準光源。」 「【０００９】 【発明が解決しようとする課題】この発明が解決しようとする課題は、波長１５７ｎｍの光を放出するフッ素レーザ装置用の基準光源であって、ステッパーやスキャン露光等の投影露光装置の光源として実用的意味において使用できる基準光源を提供することである。」 「【００１２】このように本願発明は、フッ素レーザ装置を半導体製造のための露光装置用光源として使う場合に、実用的観点から十分に効果を有するという意味において、臭素を発光原子とすることが最適であることを見出し、かつ、臭素を封入した場合の最適な構造として電極と窓部材の距離の関係を規定したものである。また、臭素原子はフッ素レーザの発振波長である１５７．６２９９ｎｍに極めて近い、１５７．４８４ｎｍと１５７.６３９ｎｍの二つの発光ラインを持ち、臭素原子はその他の原子に比べて、このフッ素レーザの発振波長に近い波長に高い光強度を有するもので実用的意味において効果的である。 【００１３】ここで、臭素を封入するランプの場合、臭素原子を発光種とするため、ある濃度以上になると発光線に関与する二つのエネルギー準位のうち、低い方の準位に位置する原子は、放出された光を吸収することで高い準位に励起される、いわゆる自己吸収を生じる。一般にスペクトル線は、濃度や温度の上昇に伴う波長的な広がりや中心波長のシフトを生じる。ランプ内部に封入するＢｒ量は、より低濃度である方が、波長の広がりや波長のシフトを小さく抑えることができ、基準光源としてより好適なものとなる。そして、放電プラズマと光取出窓との間に距離を有すると、この領域にも臭素原子が多量に存在しており、ここで生じる自己吸収がランプから放射される光を減衰させていることが考えられる。このため、本願発明では自己吸収が生じる領域を小さくすることに着目してその数値範囲を見出したのである。 【００１４】 【発明の実施の形態】図１は本発明のフッ素レーザ装置の発振レーザ光を制御するための基準光源を示す。放電容器１は本体ケース２と窓部材３から構成される。本体ケース２は概略円筒形状をしており、例えば、ホウケイ酸ガラスから形成される。窓部材３は容器内部で生成した真空紫外光を取出すためのもので合成石英ガラスからなる概略円盤状部材が本体ケース２の一端を塞ぐように取付けられる。ここで、本体ケース２の一端は、窓部材３との接着を容易にするために、熱膨張係数を少しずつ変化させたガラスを段継ぎに接続しており、電極と窓部材までの距離Ｌを形成する。なお、本体ケース２は合成石英ガラスにより形成することが可能であり、この場合には窓部材３と同一材料であるため、段継ぎ構造を採用することなく直接接着することで気密封止構造を形成できる。さらに、窓部材３は合成石英ガラス以外にフッ化マグネシウムを採用することができる。数値例をあげると、放電容器は、長さ１５０ｍｍ、外径２０ｍｍである。 【００１５】本体ケース２の外表面には概略リング状の電極４（４ａ、４ｂ）が２つ巻き付けられており、この電極４（４ａ、４ｂ）からの接続線が交流電源に接続される。電極４は、例えば、銅、アルミニウムからなるもので薄膜状のものが本体ケース２に密着する形で巻き付けられる。数値例をあげると、電極４の幅は１０ｍｍであり、電極４ａと放電容器の端部との距離２０ｍｍ、電極４ｂと窓部材３との距離５０ｍｍである。なお、電源からの供給は、正弦波、矩形波、フライバックによるパルス点灯、あるいはバースト点灯なども可能である。 【００１６】放電容器１の内部には、発光成分として臭素原子、点灯始動用バッファガスとしてのキセノンが封入される。後述するが発光成分としての臭素原子は５．０×１０－５～９．０×１０－３μｍｏｌ／ｃｃの範囲で封入される。一3方、希ガスはキセノン、アルゴン、クリプトンから選ばれた少なくとも１種のガスが採用され、０．３ｋＰａ～１０ｋＰａ（常温において）の範囲で封入される。」 「【００１８】図２～図４は基準光源の他の形態を示すものである。図２は放電容器２が電極４ａ、４ｂ間で細管形状となっており、放電プラズマは部分的に狭窄するのではなく、細管部において全域に発生する。図３は基準光源１の構成としては、図１に示すものと同一であるが、封入ガス圧力や高周波電圧の選択によって、放電プラズマの形態が変化している状態を示す。図４は放電容器の形状は図１，３と同じであるが、電極の構成が異なっており、放電容器の長手方向に一対の電極が配置する。 【００１９】本発明は、放電容器の放電プラズマが生じる領域と光透過窓までの距離Ｌ（ｍｍ）と放電容器内の臭素原子の封入量Ｄ（μｍｏｌ／ｃｃ）との積が放電ランプからの放射強度及び輝線形状に大きく影響することを見出し、この点を下記実験によって検証した。図５は波長１５７．６３９ｎｍ近辺のスペクトルを示し、図６は波長１５７．４８４ｎｍ近辺のスペクトルを示す。横軸は波長を表し、縦軸はＤ・Ｌ＝０の時の強度を１００としたときの相対値を示す。図では、Ｄ・Ｌの値が、０、０．０９、０．１５、０．２１、０．２５、０．３０における波形を示している。 【００２０】図５を見ると、Ｄ・Ｌの値が、０、０．０９、０．１５の場合は、スペクトル波形は頂点が一つの形状をしており、この頂点部分が波長１５７．６３９ｎｍであることが分かる。それに比べて、Ｄ・Ｌの値が、０．２１、０．２５、０．３の場合は、頂点に相当する波長１５７．６３９ｎｍに窪みを形成していることがわかる。すなわち、この場合は自己吸収によって波長１５７．６３９ｎｍが減衰していることを示す。 【００２１】また、図６を見ると、Ｄ・Ｌの値が、０、０．０９、０．１５、０．２１、０．２５の場合は、スペクトル波形は頂点が一つの形状をしており、この頂点部分が波長１５７．４８４ｎｍであることが分かる。それに比べて、Ｄ・Ｌの値が、０．３０の場合は、頂点に相当する波長１５７．４８４ｎｍに窪みを形成していることがわかる。すなわち、この場合も自己吸収によって波長１５７．４８４ｎｍが減衰していることを示す。 【００２２】以上、図５、図６に示す実験結果から、放電容器内の臭素原子の封入量Ｄ（μｍｏｌ／ｃｃ）と放電容器の放電プラズマが生じる領域と光透過窓までの距離Ｌ（ｍｍ）の積が、０～０．２５であれば、１５７．６３９ｎｍ、１５７．４８４ｎｍの内、少なくとも一方は、自己吸収による影響を受けることなく、基準光源に適した放電ランプを構成することができる。また、０～０．１５であれば臭素原子の発光波長が２つとも自己吸収の影響を受けないことが示される。」 「【００２８】以上説明したように、この発明のフッ素レーザ装置用基準光源は、臭素を発光原子とするとともに、最適な構造として電極と窓部材の距離の関係を規定することで、臭素の自己吸収による影響を受けることなく放射強度の十分な光源を提供することができる。」 「【図１】 ［図：0001415265000001.jpg］ 【図２】 ［図：0001415265000002.jpg］ 【図３】 ［図：0001415265000003.jpg］ 【図４】 ［図：0001415265000004.jpg］ 」 (イ) 甲１の記載事項から把握できる事項の認定 前記(ア)の甲１の記載事項から、図１に係るフッ素レーザ装置用基準光源（以下「図１基準光源」という。）について、以下の技術的事項を把握することができると認められる。 ａ 図１基準光源においては、放電容器１内に放電プラズマが存在するところ、その放電プラズマの形態は、当該図１及び【００１８】の「図２～図４は基準光源の他の形態を示すものである。図２は放電容器２が電極４ａ、４ｂ間で細管形状となっており、放電プラズマは部分的に狭窄するのではなく、細管部において全域に発生する。」の記載によれば、部分的に狭窄するものであるといえる。そして、当該図１からは、図１基準光源において、このように部分的に狭窄している放電プラズマが、リング状の電極４ａ及び４ｂの間を跨がって生じており、リング状の電極４ａ及び４ｂの間においては放電プラズマが狭窄する一方、リング状の電極４ａ及び４ｂのそれぞれの径方向内側においては放電プラズマが狭窄していない部分があることが見て取れる。 ｂ 図１基準光源において、当該図１及び【００１４】の「電極と窓部材までの距離Ｌ」の記載によれば、距離Ｌは、電極４ｂと窓部材３までの距離であるといえる。そして、【００２２】には、当該距離Ｌが放電容器の放電プラズマが生じる領域と光透過窓までの距離Ｌ（ｍｍ）であって、これと放電容器内の臭素原子の封入量Ｄ（μｍｏｌ／ｃｃ）との積が、０～０．２５であれば、臭素原子の二つの発光ラインの波長の内、少なくとも一方は、自己吸収による影響を受けることなく、基準光源に適した放電ランプを構成することができることが記載されており、【００１３】には、放電プラズマと光取出窓との間に距離（距離Ｌと解される。）を有すると、この領域にも臭素原子が多量に存在することから自己吸収が生じ、ここで生じる自己吸収がランプから放射させる光を減衰させていることが考えられることが記載されている。このように、図１基準光源において、放電容器内の臭素原子の封入量Ｄと電極４ｂと窓部材３までの距離Ｌとの積Ｄ・Ｌが０～０．２５であれば、当該臭素原子の二つの発光ラインの波長の内、少なくとも一方は自己吸収による影響を受けることがなく、しかも、Ｌを有すると自己吸収が生じることが記載されていることから、甲１の記載に接した当業者であれば、電極４ｂと窓部材３までの距離Ｌを０にできることを想定できるといえる。 ｃ 図１からは、放電容器内において、電極４ａ及び電極４ｂ間には、放電プラズマ４が発生するのみであり、導電体等の部材は配置されない様子が見て取れる。また、甲１には、他に、放電容器内において、電極４ａ及び電極４ｂ間に導電体を配置することは記載されていない。そうすると、図１基準光源では、放電容器内において、電極４ａ及び電極４ｂ間に導電体が配置されていないものといえる。 ｄ 図１からは、電極４ａは筒状の放電容器１の一端面の近傍に存在することが見て取れる。 (ウ) 甲１発明の認定 前記(ア)及び(イ)によれば、甲１には、図１に係るフッ素レーザ用基準光源（図１基準光源）について、次の発明（以下「甲１発明」という。）が記載されていると認められる（なお、参考までに引用発明等の認定に用いた段落等の記載を括弧内に付してある。以下同じ。）。 ＜甲１発明＞ 「フッ素レーザ装置より出射されるレーザ光の波長に近い発光スペクトルを有し、この発光スペクトル線を利用してフッ素レーザ装置からのレーザ光の発振波長を安定化させるためのフッ素レーザ用基準光源において、 前記基準光源は、概略円筒状の放電容器の一端に真空紫外光を放射する窓部材を有するとともに、容器内には発光物質として臭素を有し、 この放電容器の外面には、一対の電極が互いに離間して配置しており、かつ、前記臭素の封入量Ｄ（μｍｏｌ／ｃｃ）と前記電極の端部と前記窓部材との距離Ｌ（ｍｍ）との積Ｄ・Ｌが０．２５以下であるフッ素レーザ用基準光源であって、（【請求項１】） 臭素原子はフッ素レーザの発振波長である１５７．６２９９ｎｍに極めて近い、１５７．４８４ｎｍと１５７.６３９ｎｍの二つの発光ラインを持ち、（【００１２】） 放電容器１は概略円筒形状の本体ケース２と窓部材３から構成されており、（【００１４】） 窓部材３は容器内部で生成した真空紫外光を取出すためのもので合成石英ガラスからなる概略円盤状部材が本体ケース２の一端を塞ぐように取付けられ、（【００１４】） 本体ケース２は合成石英ガラスにより形成されており、（【００１４】） 本体ケース２の外表面には概略リング状の電極４（４ａ、４ｂ）が２つ巻き付けられており、（【００１５】） 電極４は、例えば、銅、アルミニウムからなるもので薄膜状のものが本体ケース２に密着する形で巻き付けられており、この電極４（４ａ、４ｂ）からの接続線が交流電源に接続され、（【００１５】） 放電容器内において、電極４ａ及び電極４ｂ間に導電体が配置されておらず、（前記(イ)ｃ） 電極４ａは筒状の放電容器１の一端面の近傍に存在し、（前記(イ)ｄ） 電極４ｂと窓部材３までの距離Ｌを０にでき、（前記(イ)ｂ） 放電容器１の内部には、発光成分として臭素原子、点灯始動用バッファガスとしてのキセノンが封入され、（【００１６】） 封入ガス圧力や高周波電圧の選択によって、放電プラズマの形態が変化するものであって、（【００１８】） 放電プラズマが、リング状の電極４ａ及び４ｂの間を跨がって生じており、リング状の電極４ａ及び４ｂの間においては放電プラズマが狭窄する一方、リング状の電極４ａ及び４ｂのそれぞれの径方向内側においては放電プラズマが狭窄していない部分がある、（前記(イ)ａ） フッ素レーザ用基準光源。」 イ 本件発明２について (ア) 対比 本件発明２と甲１発明を対比する。 ａ 本件発明２の「オゾンを生成する波長を有する紫外線を放射するエキシマランプであって、」との特定事項について (ａ) 甲１発明の「フッ素レーザ用基準光源」は、本件発明２の「エキシマランプ」に相当する。すなわち、まず、当該「フッ素レーザ用基準光源」においては、「合成石英ガラスから形成され」た「本体ケース２」の「外表面には概略リング状の電極４（４ａ、４ｂ）が２つ巻き付けられており」、「この電極４（４ａ、４ｂ）からの接続線が交流電源に接続されており」、「高周波電圧の選択」がなされるものであって、「放電プラズマ」を生じるものであるから、誘電体バリア放電が生じているといえる。そして、当該「フッ素レーザ用基準光源」において「放電容器１の内部には、発光成分として臭素原子、点灯始動用バッファガスとしてのキセノンが封入されて」いることから、技術常識に照らせば、当該「フッ素レーザ用基準光源」は、前記の誘電体バリア放電を利用して、希ガス原子である「キセノン」とハロゲン原子である「臭素原子」によって形成されるエキシマからの光を放射するものであるといえる。 したがって、当該「フッ素レーザ用基準光源」は、本件発明２の「エキシマランプ」に相当する。 (ｂ) 甲１発明の「真空紫外光」は、その波長が「１５７．４８４ｎｍと１５７.６３９ｎｍ」であって、これらの真空紫外光の波長がオゾンを生成する波長であることは技術常識であるから、甲１発明の「真空紫外光」は、本件発明２の「オゾンを生成する波長を有する紫外線」に相当する。そして、甲１発明の「フッ素レーザ用基準光源」は、本件発明２でいう「オゾンを生成する波長を有する紫外線を放射する」ものといえる。 (ｃ) したがって、甲１発明は、本件発明２の前記特定事項を満たしている。 ｂ 本件発明２の「放電ガスが封入された筒状の放電容器と、」との特定事項について (ａ) 甲１発明における「臭素原子」及び「キセノン」は、いずれも、本件発明２における「放電ガス」に相当する。また、甲１発明における「概略円筒状の放電容器」は、本件発明２における「筒状の放電容器」に相当する。そして、甲１発明は、「放電容器１の内部には、発光成分として臭素原子、点灯始動用バッファガスとしてのキセノンが封入され」ていることから、甲１発明の「概略円筒状の放電容器」は、本件発明２でいう「放電ガスが封入された」ものといえる。 (ｂ) したがって、甲１発明は、本件発明２の前記特定事項を満たしている。 ｃ 本件発明２の「それぞれ前記放電容器の外周面に沿って軸方向に延び、前記放電容器の中央部を挟んで軸方向に沿って対向配置される一対の電極とを備え、」との特定事項について (ａ) 甲１発明の「電極４ａ」及び「電極４ｂ」は、本件発明２の「一対の電極」に相当する。 (ｂ) 甲１発明は、「放電容器１は概略円筒形状の本体ケース２と窓部材３から構成されており」、「本体ケース２の外表面には概略リング状の電極４（４ａ、４ｂ）が２つ巻き付けられて」いるものである。ここで、甲１発明は、「概略リング状」の電極が「概略円筒形状」の本体ケースに巻き付けられているのであるから、「概略リング状」のリングの幅方向が「概略円筒形状」の円筒の軸方向に一致していると解される。そうすると、甲１発明の電極４ａ及び電極４ｂは、それぞれ放電容器の外周面に沿って軸方向に延びているといえる。 したがって、甲１発明は、本件発明２でいう「一対の電極」が「それぞれ前記放電容器の外周面に沿って軸方向に延び」るものといえる。 (ｃ) 甲１発明の「電極４ａ」及び「電極４ｂ」について、「この放電容器の外面には、一対の電極が互いに離間して配置して」いるものであるから、放電容器の軸方向に沿って対向配置されているといえる。そして、甲１発明の「電極４ａ」及び「電極４ｂ」は、放電容器の外面に「互いに離間して」配置されているから、放電容器の中央部を挟んで配置されるものといえる。 そうすると、甲１発明は、本件発明２でいう「一対の電極」が「前記放電容器の中央部を挟んで軸方向に沿って対向配置される」ものといえる。 (ｄ) したがって、甲１発明は、本件発明２の前記特定事項を満たしている。 ｄ 本件発明２の「前記放電容器内において、前記一対の電極間に導電体が配置されておらず、」との特定事項について (ａ) 甲１発明は、「放電容器内において、電極４ａ及び電極４ｂ間に導電体が配置されて」いないものであるから、本件発明２でいう「前記放電容器内において、前記一対の電極間に導電体が配置されて」いないものである。 (ｂ) したがって、甲１発明は、本件発明２の前記特定事項を満たしている。 ｅ 本件発明２の「前記一対の電極に対して高周波電圧が印加されると、前記放電容器内で、前記一対の電極の間を跨って一方の電極から他方の電極にまで渡って放電が生じる誘電体バリア放電であって、前記放電容器内の中央部で、径方向に相対的に細い空間領域での放電となり、前記放電容器内の前記一対の電極が前記放電容器の外周面と接触する部分で、径方向に相対的に太い空間領域での放電となる、誘電体バリア放電が生じ、」との特定事項について (ａ) 甲１発明は、「合成石英ガラスにより形成され」た「本体ケース２」の「外表面には概略リング状の電極４（４ａ、４ｂ）が２つ巻き付けられており」、「電極４（４ａ、４ｂ）からの接続線が交流電源に接続され」、「高周波電圧の選択」がなされるものであって、「放電プラズマ」を生じるものであるから、本件発明２でいう「前記一対の電極に対して高周波電圧が印加されると、前記放電容器内で」、「誘電体バリア放電が生じ［る］」ものといえる。 また、甲１発明において、「放電プラズマが、リング状の電極４ａ及び４ｂの間を跨がって生じており、リング状の電極４ａ及び４ｂの間においては放電プラズマが狭窄する一方、リング状の電極４ａ及び４ｂのそれぞれの径方向内側においては放電プラズマが狭窄していない部分がある」ことは、本件発明２でいう「前記一対の電極の間を跨って一方の電極から他方の電極にまで渡って放電が生じる誘電体バリア放電であって、前記放電容器内の中央部で、径方向に相対的に細い空間領域での放電となり、前記放電容器内の前記一対の電極が前記放電容器の外周面と接触する部分で、径方向に相対的に太い空間領域での放電となる、誘電体バリア放電が生じ［る］」ことに相当する。 (ｂ) したがって、甲１発明は、本件発明２の前記特定事項を満たしている。 ｆ 本件発明２の「発光物質としての臭素が、前記放電容器内に含まれておらず、」との特定事項について 甲１発明は、「発光物質として臭素を有」するものであるから、前記特定事項において本件発明２と相違する。 ｇ 本件発明２の「前記放電容器が、保持部材によって保持されている」との特定事項について 甲１発明は、放電容器が保持部材によって保持されているかどうかは不明であるから、前記特定事項において本件発明２と相違する。 (イ) 一致点及び相違点の認定 前記(ア)によれば、本件発明２と甲１発明の一致点及び相違点は次のとおりである。 ＜一致点１＞ 「 オゾンを生成する波長を有する紫外線を放射するエキシマランプであって、 放電ガスが封入された筒状の放電容器と、 それぞれ前記放電容器の外周面に沿って軸方向に延び、前記放電容器の中央部を挟んで軸方向に沿って対向配置される一対の電極とを備え、 前記放電容器内において、前記一対の電極間に導電体が配置されておらず、 前記一対の電極に対して高周波電圧が印加されると、前記放電容器内で、前記一対の電極の間を跨って一方の電極から他方の電極にまで渡って放電が生じる誘電体バリア放電であって、前記放電容器内の中央部で、径方向に相対的に細い空間領域での放電となり、前記放電容器内の前記一対の電極が前記放電容器の外周面と接触する部分で、径方向に相対的に太い空間領域での放電となる、誘電体バリア放電が生じるエキシマランプ」である点。 ＜相違点１＞ 本件発明２は、「発光物質としての臭素が、前記放電容器内に含まれて［いない］」のに対して、甲１発明は、「容器内には発光物質として臭素を有［する］」点。 ＜相違点２＞ 本件発明２は、「前記放電容器が、保持部材によって保持されている」のに対して、甲１発明は、放電容器１が保持部材によって保持されているかどうかは不明である点。 (ウ) 相違点についての判断 事案に鑑み、相違点１について検討する。 ａ 甲１発明は、「フッ素レーザ用基準光源」の発明であるところ、「波長１５７ｎｍの光を放出するフッ素レーザ装置用の基準光源であって、ステッパーやスキャン露光等の投影露光装置の光源として実用的意味において使用できる基準光源を提供すること」（【００１１】）を発明が解決しようとする課題として、「フッ素レーザ装置を半導体製造のための露光装置用光源として使う場合に、実用的観点から十分に効果を有するという意味において、臭素を発光原子とすることが最適であることを見出し［た］」（【００１２】）ことに基づいて、「フッ素レーザの発振波長である１５７．６２９９ｎｍに極めて近い」発光ラインを得るために、「１５７．４８４ｎｍと１５７.６３９ｎｍの二つの発光ラインを持［つ］」「臭素原子」を必須の構成とする発明である。そうすると、甲１発明において、相違点１に係る本件発明２のように「発光物質としての臭素が、前記放電容器内に含まれて［いない］」構成とすれば、甲１発明の前記課題を解決できないこととなるから、甲１発明において相違点１に係る本件発明２の構成とすることには阻害要因がある。そして、甲１～甲１１の他の記載をみても、上記判断を左右するものはない。 したがって、甲１に記載された発明において、相違点１に係る本件発明２の構成とすることは、当業者が容易になし得たこととはいえない。 ｂ 申立人は、「発光物質としての臭素が、前記放電容器内に含まれて［いない］」ことは、甲２、甲８、甲９、甲１０に記載されているように周知技術である旨を主張しているが、甲２、甲８、甲９、甲１０はいずれもフッ素レーザ用基準光源に関するものではないし、「発光物質としての臭素が、前記放電容器内に含まれて［いない］」ことが周知技術であるとしても、甲１に記載された発明に当該周知技術を適用することには前記ａのとおり阻害要因があるから、申立人の主張は前記ａの説示を左右するものではない。 (エ) 小括 以上のとおり、本件発明２は、甲１に記載された発明及び他の甲号証に記載された技術事項又は周知技術に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものとはいえない。 ウ 本件発明５について (ア) 対比 本件発明５と甲１発明を対比する。 ａ 本件発明５の「エキシマランプを備えた紫外線照射装置」との特定事項について (ａ) 前記イ(ア)ａのとおり、甲１発明の「フッ素レーザ用基準光源」は、本件発明２の「エキシマランプ」に相当するところ、「真空紫外光を放射する」ものであるから、「エキシマランプを備えた紫外線照射装置」にも相当するといえる。 (ｂ) したがって、甲１発明は、本件発明５の前記特定事項を満たしている。 ｂ 本件発明５の「前記放電容器の外周面から紫外線照射する装置である」との特定事項について (ａ) 甲１発明は、「概略円筒状の放電容器の一端に真空紫外光を放射する窓部材を有する」ものであるから、本件発明５と甲１発明は、「前記放電容器」「から紫外線照射する装置である」点で共通する。 (ｂ) しかし、甲１発明のフッ素レーザ用基準光源は、「真空紫外光を放射する窓部材」が概略円筒形状の本体ケース２の一端を塞ぐように取付けられているものであり、その他の位置に窓部材を有するものとはいえない以上、放電容器の「外周面から」紫外線照射する装置であるとはいえない。したがって、本件発明５は、放電容器の「外周面」から紫外線照射する装置であるのに対して、甲１発明は、放電容器１の外周面から紫外線照射する装置であるとはいえない点で両者は相違する。 (イ) 一致点及び相違点の認定 前記(ア)に加えて、前記イ(ア)の本件発明２と甲１発明の対比を踏まえると、本件発明５と甲１発明の一致点及び相違点は次のとおりである。 ＜一致点２＞ 「 オゾンを生成する波長を有する紫外線を放射するエキシマランプを備えた紫外線照射装置であって、 放電ガスが封入された筒状の放電容器と、 それぞれ前記放電容器の外周面に沿って軸方向に延び、前記放電容器の中央部を挟んで軸方向に沿って対向配置される一対の電極とを備え、 前記放電容器内において、前記一対の電極間に導電体が配置されておらず、 前記一対の電極に対して高周波電圧が印加されると、前記放電容器内で、前記一対の電極の間を跨って一方の電極から他方の電極にまで渡って放電が生じる誘電体バリア放電であって、前記放電容器内の中央部で、径方向に相対的に細い空間領域での放電となり、前記放電容器内の前記一対の電極が前記放電容器の外周面と接触する部分で、径方向に相対的に太い空間領域での放電となる、誘電体バリア放電が生じ、 前記放電容器から紫外線照射する装置である紫外線照射装置」である点。 ＜相違点３＞ 本件発明５は、前記放電容器の「外周面から」紫外線照射する装置であるのに対して、甲１発明は、「概略円筒状の放電容器の一端に真空紫外光を放射する窓部材を有する」点。 (ウ) 相違点についての判断 相違点３について検討する。 ａ 甲１発明は、「フッ素レーザ用基準光源」の発明であって、「概略円筒状の放電容器の一端に真空紫外光を放射する窓部材を有する」ことを前提として、「前記臭素の封入量Ｄ（μｍｏｌ／ｃｃ）と前記電極の端部と前記窓部材との距離Ｌ（ｍｍ）との積Ｄ・Ｌが０．２５以下」とすることにより、「最適な構造として電極と窓部材の距離の関係を規定することで、臭素の自己吸収による影響を受けることなく放射強度の十分な光源を提供することができる」（【００２８】）ものである。そして、甲１発明のフッ素レーザ用基準光源が、相違点３に係る本件発明５のように、前記放電容器の「外周面から」紫外線照射する装置であるとはいえないことは前記(ア)ｂ(ｂ)で説示したとおりであるところ、甲１発明が「フッ素レーザ用基準光源」の発明であることを勘案すれば、当業者は、甲１発明において窓部材から真空紫外光を放射することに代えて、レーザの放射形態とは大きく異なる放電容器の「外周面から」紫外線照射するように変更する動機は存在しないというべきである。そして、甲１～甲１１の他の記載をみても、上記判断を左右するものはない。 したがって、甲１に記載された発明において、相違点３に係る本件発明５の構成とすることは、当業者が容易になし得たことはいえない。 ｂ 申立人は、「前記放電容器の外周面から紫外線照射する」ことは、甲２、甲８、甲１０に記載されているように周知技術である旨を主張しているが、甲２、甲８、甲１０はいずれもレーザ用基準光源に関するものではないし、「前記放電容器の外周面から紫外線照射する」ことが周知技術であるとしても、甲１に記載された発明に当該周知技術を適用する動機は存在しないことは前記ａのとおりであるから、申立人の主張は前記ａの説示を左右するものではない。 (エ) 小括 以上のとおり、本件発明５は、甲１に記載された発明及び他の甲号証に記載された技術事項又は周知技術に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものとはいえない。 エ 本件発明８について (ア) 対比 本件発明８と甲１発明を対比する。 ａ 本件発明８の「オゾンを生成する波長を有する紫外線を放射するエキシマランプであって、放電ガスが封入された筒状の放電容器と、それぞれ前記放電容器の中央部を挟んで軸方向に沿って対向配置される一対の電極であって、前記放電容器の両端部付近において前記放電容器の外周面に沿って配置される一対の電極とを備え」る「エキシマランプ」との特定事項について (ａ) 前記イ(ア)ａ～ｃと同様の理由により、本件発明８と甲１発明は、「オゾンを生成する波長を有する紫外線を放射するエキシマランプであって、放電ガスが封入された筒状の放電容器と、それぞれ前記放電容器の中央部を挟んで軸方向に沿って対向配置される一対の電極であって、」「前記放電容器の外周面に沿って配置される一対の電極とを備え」る「エキシマランプ」である点で共通する。 (ｂ) しかし、「一対の電極」が「前記放電容器の外周面に沿って配置される」位置が、本件発明８は、「前記放電容器の両端部付近」であるのに対し、甲１発明は、「電極４ａ」は「筒状の放電容器１の一端面の近傍」であり、「電極４ｂ」は「放電容器の一端」に存在する「窓部材３までの距離Ｌを０にでき」るようなものである点で両者は一応相違する。 ｂ 本件発明８の「前記一対の電極が、それぞれ、前記放電容器の外周面と面接触する筒状電極で構成され」との特定事項について (ａ) 甲１発明の「電極４ａ」及び「電極４ｂ」は、本件発明８の「一対の電極」に相当する。そして、甲１発明は、「放電容器１は概略円筒形状の本体ケース２と窓部材３から構成されており」、「本体ケース２の外表面には概略リング状の電極４（４ａ、４ｂ）が２つ巻き付けられており」、「電極４は、」「薄膜状のものが本体ケース２に密着する形で巻き付けられ」たものであるから、本件発明８でいう「前記一対の電極が、それぞれ、前記放電容器の外周面と面接触する筒状電極で構成され」るものといえる。 (ｂ) したがって、甲１発明は、本件発明８の前記特定事項を満たしている。 ｃ 本件発明８の「前記一対の電極に対して高周波電圧が印加されることによって、前記放電容器内において、一方の放電容器端部付近から他方の放電容器端部付近にまで渡って放電が生じる誘電体バリア放電であって、前記放電容器の軸方向に関して前記放電容器内の両端部側に放電が偏っている誘電体バリア放電が生じ、」との特定事項について (ａ) 前記イ(ア)ｅ(ａ)と同様の理由により、甲１発明は、本件発明８でいう「前記一対の電極に対して高周波電圧が印加されることによって、前記放電容器内において」、「放電が生じる誘電体バリア放電」が生じるものといえる。また、甲１発明は、「放電プラズマが、リング状の電極４ａ及び４ｂの間を跨がって生じており、リング状の電極４ａ及び４ｂの間においては放電プラズマが狭窄する一方、リング状の電極４ａ及び４ｂのそれぞれの径方向内側においては放電プラズマが狭窄していない部分がある」ものであるから、本件発明８でいう「前記放電容器の軸方向に関して」「放電が偏っている誘電体バリア放電が生じ［る］」ものといえる。 (ｂ) したがって、本件発明８と甲１発明は、「前記一対の電極に対して高周波電圧が印加されることによって、前記放電容器内において」「放電が生じる誘電体バリア放電であって」、「前記放電容器の軸方向に関して」「放電が偏っている誘電体バリア放電が生じる」点で共通する。 (ｃ) しかし、「前記放電容器の軸方向に関して」「放電が偏っている誘電体バリア放電」が、本件発明８は、「一方の放電容器端部付近から他方の放電容器端部付近にまで渡って」放電が生じるものであり、「前記放電容器内の両端部側に」放電が偏っているのに対し、甲１発明は、そのようであるか不明である点で両者は一応相違する。 ｄ 本件発明８の「前記放電容器の外周面が、前記放電容器の外周面から局所的に紫外線が放射されるように、紫外線を遮る非導電性の遮光部材によって覆われている」との特定事項について 前記ウ(ア)ｂ(ｂ)で説示したとおり、甲１発明のフッ素レーザ用基準光源は、放電容器の「外周面から」紫外線照射する装置であるとはいえない。そうすると、甲１発明の放電容器の外面に設けられた「電極４」は、銅、アルミニウムからなるものであるところ、これらの素材それ自体が紫外線を遮ることが技術常識であるとしても、甲１発明の「電極４」が、本件発明８でいう「前記放電容器の外周面から局所的に紫外線が放射されるように、紫外線を遮る」「遮光部材」に相当するということはできない。したがって、本件発明８は、「前記放電容器の外周面が、前記放電容器の外周面から局所的に紫外線が放射されるように、紫外線を遮る非導電性の遮光部材によって覆われている」のに対して、甲１発明は、放電容器の外周面が、当該遮光部材によって覆われていない点で相違する。 (イ) 一致点及び相違点の認定 前記(ア)によれば、本件発明８と甲１発明の一致点及び相違点は次のとおりである。 ＜一致点３＞ 「オゾンを生成する波長を有する紫外線を放射するエキシマランプであって、 放電ガスが封入された筒状の放電容器と、 それぞれ前記放電容器の中央部を挟んで軸方向に沿って対向配置される一対の電極であって、前記放電容器の外周面に沿って配置される一対の電極とを備え、 前記一対の電極が、それぞれ、前記放電容器の外周面と面接触する筒状電極で構成され、 前記一対の電極に対して高周波電圧が印加されることによって、前記放電容器内において、放電が生じる誘電体バリア放電であって、前記放電容器の軸方向に関して放電が偏っている誘電体バリア放電が生じるエキシマランプ」である点。 ＜相違点４＞ 「一対の電極」が「前記放電容器の外周面に沿って配置される」位置が、本件発明８は、「前記放電容器の両端部付近」であるのに対し、甲１発明は、「電極４ａ」は「筒状の放電容器１の一端面の近傍」であり、「電極４ｂ」は「放電容器の一端」に存在する「窓部材３までの距離Ｌを０にでき」るようなものである点。 ＜相違点５＞ 「前記放電容器の軸方向に関して」「放電が偏っている誘電体バリア放電」が、本件発明８は、「一方の電極により覆われる一方の放電容器端部付近から他方の電極により覆われる他方の放電容器端部付近にまで渡って」放電が生じるものであり、「前記放電容器内の両端部側に」放電が偏っているのに対し、甲１発明は、そのようであるか不明である点。 ＜相違点６＞ 本件発明８は、「前記放電容器の外周面が、前記放電容器の外周面から局所的に紫外線が放射されるように、紫外線を遮る非導電性の遮光部材によって覆われている」のに対して、甲１発明は、放電容器の外周面が、当該遮光部材によって覆われていない点。 (ウ) 相違点についての判断 事案に鑑み、相違点６について検討する。 ａ 前記ウ(ウ)ａでも説示したとおり、甲１発明において窓部材から真空紫外光を放射することに代えて、レーザの放射形態とは大きく異なる放電容器の「外周面から」紫外線照射するように変更する動機は存在しない。そうすると、甲１発明においては、放電容器の外周面から局所的に紫外線が放射されるようにする動機が存在するとはいえず、そのための遮光部材を設ける動機も存在しないというべきである。そして、甲１～１１の他の記載をみても、上記判断を左右するものはない。 したがって、甲１に記載された発明において、相違点６に係る本件発明８の構成とすることは、当業者が容易になし得たこととはいえない。 ｂ 申立人は、参考文献２には、バルブ１１の外表面に２５４ｎｍを透過し、１８５ｎｍを吸収する酸化ジルコニウム膜１３を形成した部分としない部分を形成することが記載されており、参考文献３に見られるように酸化ジルコニウムは一般的に非導電性であるから、本件発明８は当業者が容易になし得たことである旨を主張しているが、参考文献２はフッ素レーザ用基準光源に関するものではないし、甲１に記載された発明において、放電容器の外周面から局所的に紫外線が放射されるようにする動機が存在するとはいえないことは前記ａのとおりであるから、申立人の主張は前記ａの説示を左右するものではない。 (エ) 小括 以上のとおり、本件発明８は、甲１に記載された発明、他の甲号証及び参考文献２、３に記載された技術事項又は周知技術に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものとはいえない。 オ 本件発明１２について (ア) 対比並びに一致点及び相違点の認定 前記ウ(ア)の本件発明５と甲１発明の対比及び前記エ(ア)ａ～ｃの本件発明８と甲１発明の対比を踏まえて本件発明１２と甲１発明とを対比すると、本件発明１２と甲１発明の一致点及び相違点は次のとおりである。 ＜一致点４＞ 「オゾンを生成する波長を有する紫外線を放射するエキシマランプを備えた紫外線照射装置であって、 放電ガスが封入された筒状の放電容器と、 それぞれ前記放電容器の中央部を挟んで軸方向に沿って対向配置される一対の電極であって、前記放電容器の外周面に沿って配置される一対の電極とを備え、 前記一対の電極が、それぞれ、前記放電容器の外周面と面接触する筒状電極で構成され、 前記一対の電極に対して高周波電圧が印加されることによって、前記放電容器内において、放電が生じる誘電体バリア放電であって、前記放電容器の軸方向に関して放電が偏っている誘電体バリア放電が生じ、 前記放電容器から紫外線照射する装置である紫外線照射装置」である点。 ＜相違点７＞ 「一対の電極」が「前記放電容器の外周面に沿って配置される」位置が、本件発明１２は、「前記放電容器の両端部付近」であるのに対し、甲１発明は、「電極４ａ」は「筒状の放電容器１の一端面の近傍」であり、「電極４ｂ」は「放電容器の一端」に存在する「窓部材３までの距離Ｌを０にでき」るようなものである点。 ＜相違点８＞ 「前記放電容器の軸方向に関して」「放電が偏っている誘電体バリア放電」が、本件発明１２は、「一方の電極により覆われる一方の放電容器端部付近から他方の電極により覆われる他方の放電容器端部付近にまで渡って」放電が生じるものであり、「前記放電容器内の両端部側に」放電が偏っているのに対し、甲１発明は、そのようであるか不明である点。 ＜相違点９＞ 本件発明１２は、前記放電容器の「外周面から」紫外線照射する装置であるのに対して、甲１発明は、「概略円筒状の放電容器の一端に真空紫外光を放射する窓部材を有する」点。 (ウ) 相違点についての判断 事案に鑑み相違点９について検討すると、前記ウ(ウ)ａで相違点３について検討したのと同様の理由により、甲１発明において相違点９に係る本件発明１２の構成とすることは、当業者が容易になし得たことであるとはいえない。 申立人の主張についても前記ウ(ウ)ｂで検討したとおりである。 (エ) 小括 以上のとおり、本件発明１２は、甲１に記載された発明及び他の甲号証に記載された技術事項又は周知技術に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものとはいえない。 ４ 第２次取消理由及び第１次取消理由で採用しなかった特許異議申立理由について (１) 甲１発明を主引用発明とした本件発明６、１３に対する進歩性欠如について ア 甲１発明の認定 甲１発明の認定は、前記３(３)ア(ウ)に記載したとおりである。 イ 本件発明６について (ア) 対比 本件発明６と甲１発明を対比する。 ａ 本件発明６の「オゾンを生成する波長を有する紫外線を放射するエキシマランプを備えたオゾン発生装置」との特定事項について (ａ) 前記３(３)イ(ア)ａのとおり、甲１発明の「フッ素レーザ用基準光源」は、本件発明６の「オゾンを生成する波長を有する紫外線を放射するエキシマランプ」に相当するところ、当該エキシマランプを備えた装置であるともいえる。したがって、本件発明６と甲１発明は、「オゾンを生成する波長を有する紫外線を放射するエキシマランプを備えた」「装置」である点で共通する。 (ｂ) しかし、本件発明６は、「オゾン発生装置」であるのに対して、甲１発明は、「フッ素レーザ用基準光源」であり、オゾンを生成する波長を有する紫外線を放射する装置ではあるものの、オゾン発生装置とはいえない点で両者は相違する。 (イ) 一致点及び相違点の認定 前記(ア)に加えて、前記３(３)イ(ア)の本件発明２と甲１発明の対比を踏まえると、本件発明６と甲１発明の一致点及び相違点は次のとおりである。 ＜一致点５＞ 「 オゾンを生成する波長を有する紫外線を放射するエキシマランプを備えた装置であって、前記エキシマランプが、 放電ガスが封入された筒状の放電容器と、 それぞれ前記放電容器の外周面に沿って軸方向に延び、前記放電容器の中央部を挟んで軸方向に沿って対向配置される一対の電極とを備え、 前記放電容器内において、前記一対の電極間に導電体が配置されておらず、 前記一対の電極に対して高周波電圧が印加されると、前記放電容器内で、前記一対の電極の間を跨って一方の電極から他方の電極にまで渡って放電が生じる誘電体バリア放電であって、前記放電容器内の中央部で、径方向に相対的に細い空間領域での放電となり、前記放電容器内の前記一対の電極が前記放電容器の外周面と接触する部分で、径方向に相対的に太い空間領域での放電となる、誘電体バリア放電が生じる装置」である点。 ＜相違点１０＞ 本件発明６は、「オゾン発生装置」であるのに対して、甲１発明は、「フッ素レーザ用基準光源」であり、オゾンを生成する波長を有する紫外線を放射する装置ではあるものの、オゾン発生装置とはいえない点。 (ウ) 相違点についての判断 相違点１０について検討する。 ａ 甲１発明は、「フッ素レーザ用基準光源」の発明であって、「波長１５７ｎｍの光を放出するフッ素レーザ装置用の基準光源であって、ステッパーやスキャン露光等の投影露光装置の光源として実用的意味において使用できる基準光源を提供すること」（【００１１】）を発明が解決しようとする課題とするのであるところ、当業者は、甲１発明はフッ素レーザ用基準光源に適した特有の構成を採用したものであると理解するのであって、これをオゾン発生装置とする動機は存在しない。そして、甲１～１１の他の記載をみても、上記判断を左右するものはない。 したがって、甲１に記載された発明において、相違点１０に係る本件発明６の構成とすることは、当業者が容易になし得たこととはいえない。 ｂ 申立人は、甲１１に低圧水銀ランプである紫外線ランプを備えたオゾン製造装置が記載されていることや、甲２に紫外線光源として水銀ランプに代えてエキシマランプを用いることが記載されている旨を主張しているが、甲１に記載された発明をオゾン発生装置とする動機は存在しないことは前記ａのとおりであるから、申立人の主張は前記ａの説示を左右するものではない。 (エ) 小括 以上のとおり、本件発明６は、甲１に記載された発明及び他の甲号証に記載された技術事項又は周知技術に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものとはいえない。 ウ 本件発明１３について (ア) 対比並びに一致点及び相違点の認定 前記イ(ア)の本件発明６と甲１発明の対比及び前記３(３)エ(ア)ａ～ｃの本件発明８と甲１発明の対比を踏まえて本件発明１２と甲１発明とを対比すると、本件発明１２と甲１発明の一致点及び相違点は次のとおりである。 ＜一致点６＞ 「オゾンを生成する波長を有する紫外線を放射するエキシマランプを備えた装置であって、 放電ガスが封入された筒状の放電容器と、 それぞれ前記放電容器の中央部を挟んで軸方向に沿って対向配置される一対の電極であって、前記放電容器の外周面に沿って配置される一対の電極とを備え、 前記一対の電極が、それぞれ、前記放電容器の外周面と面接触する筒状電極で構成され、 前記一対の電極に対して高周波電圧が印加されることによって、前記放電容器内において、放電が生じる誘電体バリア放電であって、前記放電容器の軸方向に関して放電が偏っている誘電体バリア放電が生じる装置」である点。 ＜相違点１１＞ 「一対の電極」が「前記放電容器の外周面に沿って配置される」位置が、本件発明１２は、「前記放電容器の両端部付近」であるのに対し、甲１発明は、「電極４ａ」は「筒状の放電容器１の一端面の近傍」であり、「電極４ｂ」は「放電容器の一端」に存在する「窓部材３までの距離Ｌを０にでき」るようなものである点。 ＜相違点１２＞ 「前記放電容器の軸方向に関して」「放電が偏っている誘電体バリア放電」が、本件発明１２は、「一方の電極により覆われる一方の放電容器端部付近から他方の電極により覆われる他方の放電容器端部付近にまで渡って」放電が生じるものであり、「前記放電容器内の両端部側に」放電が偏っているのに対し、甲１発明は、そのようであるか不明である点。 ＜相違点１３＞ 本件発明６は、「オゾン発生装置」であるのに対して、甲１発明は、「フッ素レーザ用基準光源」であり、オゾンを生成する波長を有する紫外線を放射する装置ではあるものの、オゾン発生装置とはいえない点。 (ウ) 相違点についての判断 事案に鑑み相違点１３について検討すると、前記イ(ウ)ａで相違点１０について検討したのと同様の理由により、甲１に記載された発明において相違点１３に係る本件発明１３の構成とすることは、当業者が容易になし得たことであるとはいえない。 申立人の主張についても前記イ(ウ)ｂで検討したとおりである。 (エ) 小括 以上のとおり、本件発明１３は、甲１に記載された発明及び他の甲号証に記載された技術事項又は周知技術に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものとはいえない。 (２) 甲２に記載された発明を主引用発明とした本件発明１～１３に対する新規性欠如又は進歩性欠如について 請求項１、３～４、７、９～１１は、本件訂正によって削除されたから、以下、甲２に記載された発明を主引用発明とした本件発明２、５～６、８、１２～１３に対する新規性欠如及び進歩性欠如について検討する（後記(３)、(４)においても同様に、本件発明２、５～６、８、１２～１３に対する新規性欠如及び進歩性欠如について検討する。）。 ア 甲２発明の認定 甲２（特開２００８－１４６９０６号公報）には、図１に係る紫外線発生装置であって交流電圧（請求項１、【００２０】）を印加するものについて、次の発明（以下「甲２発明」という。）が記載されていると認められる。 ＜甲２発明＞ 「紫外線を透過可能な誘電体による容器と、 この容器の周囲に互いに離間して配置された一対の電極と、 前記一対の電極間に交流電圧を印加する電源と、 前記誘電体容器内部に充填された、エキシマ分子を形成するヘリウム、アルゴン、クリプトンおよびキセノンのいずれか一つ以上の希ガスと、フッ素、ヨウ素、塩素及び臭素のいずれか一つ以上のハロゲンとの混合気体を主成分とする放電ガスとを備え、 前記一対の電極間に交流電圧を印加することにより、前記誘電体容器内部に放電を起こさせて紫外線光を発生させる紫外線発生装置であって（請求項１） 容器が円筒状に形成されている、（【００２０】） 紫外線発生装置。」 イ 本件発明２、５～６について (ア) 対比 本件発明２、５～６と甲２発明を対比する。 ａ 甲２発明は、「紫外線を透過可能な誘電体による容器」と、「この容器の周囲に互いに離間して配置された一対の電極」と、「前記一対の電極間に交流電圧を印加する電源」と、「前記誘電体容器内部に充填された、エキシマ分子を形成するヘリウム、アルゴン、クリプトンおよびキセノンのいずれか一つ以上の希ガスと、フッ素、ヨウ素、塩素及び臭素のいずれか一つ以上のハロゲンとの混合気体を主成分とする放電ガス」とを備え、「前記一対の電極間に交流電圧を印加することにより、前記誘電体容器内部に放電を起こさせ［る］」ものであるから、本件発明２、５～６でいう「前記一対の電極に対して高周波電圧が印加されると、前記放電容器内で、前記一対の電極の間を跨がって一方の電極から他方の電極にまで渡って放電が生じる誘電体バリア放電」「が生じ［る］」ものといえる。 ｂ しかし、誘電体バリア放電について、本件発明２、５～６は、「前記放電容器内の中央部で、径方向に相対的に細い空間領域での放電となり、前記放電容器内の前記一対の電極が前記放電容器の外周面と接触する部分で、径方向に相対的に太い空間領域での放電となる」であるのに対して、甲２発明は、「前記一対の電極間に交流電圧を印加することにより、前記誘電体容器内部に放電を起こさせ［る］」ものであるが、放電状態は不明である点で両者は相違する。 (イ) 相違点の認定 前記(ア)によれば、本件発明２、５～６と甲２発明は、少なくとも次の相違点１４において相違する。 ＜相違点１４＞ 誘電体バリア放電について、本件発明２、５～６は、「前記放電容器内の中央部で、径方向に相対的に細い空間領域での放電となり、前記放電容器内の前記一対の電極が前記放電容器の外周面と接触する部分で、径方向に相対的に太い空間領域での放電となる」であるのに対して、甲２発明は、「前記一対の電極間に交流電圧を印加することにより、前記誘電体容器内部に放電を起こさせ［る］」ものであるが、放電状態は不明である点。 (ウ) 相違点についての判断 相違点１４について検討する。 ａ まず、相違点１４が実質的な相違点であるか否かについて検討する。 (ａ) 甲２発明では、前記(ア)ａのとおり誘電体バリア放電が生じるが、その放電状態がどのような領域での放電であるのかは特定されておらず、甲２の他の記載をみても、そのことは不明である。もっとも、甲２発明は、「容器」が「円筒状」であり、「一対の電極」が「容器の周囲に互いに離間して配置された」ものであり、「誘電体容器内部」に「エキシマ分子を形成する」「希ガスと」「ハロゲンとの混合気体を主成分とする放電ガス」を備えており、一対の電極間に印加されるのが「交流電圧」であるところ、このような「誘電体による容器」の形状及び「一対の電極」の配置は、誘電体バリア放電の放電状態を決める要因の一つと解されることから、仮に、当該形状及び配置が、上記要因として支配的であるなどの事情があれば、甲２発明も、本件発明２、５～６と同様の形状及び配置をしている以上、相違点１４に係る本件発明２、５～６の構成を満たしていると評価する余地が生じることになる。 そこで検討すると、誘電体バリア放電の放電状態は、容器の形状及び一対の電極の配置だけによって定まるものではなく、その他に、容器内の放電ガスの種類及び圧力、並びに、一対の導電電極に印加される電圧及び周波数といった各要因にも依存して定まることが、出願時点の技術常識（例えば、甲１の【００１８】や、甲４の【０００８】・【００１５】～【００１９】を参照。）であると認められる。そこで他の要因についてみると、本件明細書等の【００１９】には、放電ガスの種類をキセノンガスとすること、その圧力を１～２２５Ｔｏｏｒ（０．１～３０ｋＰａ）とすること、一対の電極間に印加する電圧を５～１０ｋＶとすること、その周波数を１～５００ｋＨｚの高周波とするといった設定条件が例示されている。他方で、甲２には、放電ガスが希ガスとハロゲンとの混合気体である点で本件明細書等の記載とは相違しており、また、その際の圧力をどうするのかについてや、交流電圧の大きさや周波数についての具体的な記載はない。 このように、甲２発明では、その放電状態がどのような領域での放電であるのかは甲２の全体の記載をみても不明である上、容器の形状及び一対の電極の配置が誘電体バリア放電の放電状態を決める要因として支配的であるなどの事情があるとはいえず、しかも、甲２に記載された他の要因に係る設定条件が、本件明細書等に記載された設定条件に一致しているともいえないことから、甲２発明の放電状態が、相違点１４に係る本件発明２、５～６の構成を満たしているとはいえない。 (ｂ) これに対し、申立人は、本件発明２、５～６で特定されるエキシマランプの物理的な構成は、甲２発明の紫外線発生装置の物理的な構成と同じであり、そうである以上、甲２発明においても、相違点１４に係る本件発明２、５～６の放電形態となるのは自明である旨、また、甲２発明の紫外線発生装置の物理的な構成は、甲１発明のフッ素レーザ基準用光源や、甲３、４に記載された発明の物理的な構成とも同じであるから、甲２発明においても、甲１発明と同様に相違点１４に係る本件発明２、５～６の放電形態となることは明白である旨を主張している。 しかしながら、申立人が主張する「物理的な構成」は、本件発明２、５～６や甲１発明については容器の形状、一対の電極の配置といったところにとどまり、その他の要因についての考慮がなされていないから、失当である。 (ｃ) したがって、相違点１４は実質的である。 ｂ(ａ) 前記ａのとおり、相違点１４は実質的であるところ、以下に示すとおり、この相違点１４に係る本件発明２、５～６の構成は、当業者が容易に想到し得たものともいえない。 すなわち、甲２発明は、高効率で紫外線を発生できる紫外線発生装置を提供する（【０００５】）というものであることから、電極によって紫外線が遮られない領域の紫外線の発生が抑制される、相違点１４に係る本件発明２、５～６のような放電状態を採用することには阻害要因がある。したがって、仮に、相違点１４に係る本件発明２、５～６の放電状態自体が公知であるとしても、甲２から出発した当業者がそのような放電状態となるように、あえて、放電ガスの種類及び圧力、並びに、一対の電極に印加される電圧及び周波数といった各要因に係る条件を設定するとはいえない。 (ｂ) したがって、相違点１４に係る本件発明２、５～６の構成は、甲２発明から出発した当業者が容易に想到し得たものとはいえない。そして、甲１～１１のその余の記載をみても、上記判断が左右されることはない。 (エ) 小括 以上のとおり、本件発明２、５～６は、甲２に記載された発明及び他の甲号証に記載された技術事項又は周知技術に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものとはいえない。 ウ 本件発明８、１２～１３について (ア) 対比 本件発明８、１２～１３と甲２発明を対比する。 ａ 甲２発明は、「紫外線を透過可能な誘電体による容器」と、「この容器の周囲に互いに離間して配置された一対の電極」と、「前記一対の電極間に交流電圧を印加する電源」と、「前記誘電体容器内部に充填された、エキシマ分子を形成するヘリウム、アルゴン、クリプトンおよびキセノンのいずれか一つ以上の希ガスと、フッ素、ヨウ素、塩素及び臭素のいずれか一つ以上のハロゲンとの混合気体を主成分とする放電ガス」とを備え、「前記一対の電極間に交流電圧を印加することにより、前記誘電体容器内部に放電を起こさせ［る］」ものであるから、本件発明８、１２～１３でいう「前記一対の電極に対して高周波電圧が印加されることによって、前記放電容器内において、」「放電が生じる誘電体バリア放電」「が生じ［る］」ものといえる。 ｂ しかし、誘電体バリア放電について、本件発明８、１２～１３は、「一方の放電容器端部付近から他方の放電容器端部付近にまで渡って」放電が生じるものであって、「前記放電容器の軸方向に関して前記放電容器内の両端部側に放電が偏っている」ものであるのに対して、甲２発明は、「前記一対の電極間に交流電圧を印加することにより、前記誘電体容器内部に放電を起こさせ［る］」ものであるが、放電状態は不明である点で両者は相違する。 (イ) 相違点の認定 前記(ア)によれば、本件発明８、１２～１３と甲２発明は、少なくとも次の相違点１５において相違する。 ＜相違点１５＞ 誘電体バリア放電について、本件発明８、１２～１３は、「一方の放電容器端部付近から他方の放電容器端部付近にまで渡って」放電が生じるものであって、「前記放電容器の軸方向に関して前記放電容器内の両端部側に放電が偏っている」ものであるのに対して、甲２発明は、「前記一対の電極間に交流電圧を印加することにより、前記誘電体容器内部に放電を起こさせ［る］」ものであるが、放電状態は不明である点。 (ウ) 相違点についての判断 相違点１５について検討する。 ａ まず、相違点１５が実質的な相違点であるか否かについて検討する。 (ａ) 前記イ(ウ)ａで検討したのと同様の理由により、甲２発明では、その放電状態がどのような領域での放電であるのかは甲２の全体の記載をみても不明である上、容器の形状及び一対の電極の配置が誘電体バリア放電の放電状態を決める要因として支配的であるなどの事情があるとはいえず、しかも、甲２に記載された他の要因に係る設定条件が、本件明細書等に記載された設定条件に一致しているともいえないことから、甲２発明の放電状態が、相違点１５に係る本件発明８、１２～１３の「前記放電容器の軸方向に関して前記放電容器内の両端部側に放電が偏っている」との構成を満たしているとはいえない。 (ｂ) これに対し、申立人は、本件発明８、１２～１３で特定されるエキシマランプの物理的な構成は、甲２発明の紫外線発生装置の物理的な構成と同じであり、そうである以上、甲２発明においても、相違点１５に係る本件発明８、１２～１３の放電形態となるのは自明である旨、また、甲２発明の紫外線発生装置の物理的な構成は、甲１発明のフッ素レーザ基準用光源や、甲３、４に記載された発明の物理的な構成とも同じであるから、甲２発明においても、甲１発明と同様に相違点１５に係る本件発明７、１２～１３の放電形態となることは明白である旨を主張しているが、当該主張は前記イ(ウ)ａ(ｂ)で説示したのと同様の理由により失当である。 (ｃ) したがって、相違点１５は実質的である。 ｂ 前記ａのとおり、相違点１５は実質的であるところ、この相違点１５に係る本件発明８、１２～１３の構成は、前記イ(ウ)ｂで説示したのと同様の理由により、当業者が容易に想到し得たものともいえない。 (エ) 小括 以上のとおり、本件発明８、１２～１３は、甲２に記載された発明及び他の甲号証に記載された技術事項又は周知技術に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものとはいえない。 (３) 甲３に記載された発明を主引用発明とした本件発明１～１３に対する新規性欠如又は進歩性欠如について ア 甲３発明の認定 甲３（ＩＤＷ／ＡＤ’１６において発表された技術論文の内容が記載されている書面（”Development of the Flexible Surface Light Source using Luminous Array Film Technology”, Kenji Awamoto, et. al.））には、深紫外発光アレイフィルムについて、次の発明（以下「甲３発明」という。）が記載されていると認められる。 ＜甲３発明＞ 「深紫外発光アレイフィルムであって、（甲３の３ ５頁） ガラス管と、ガラス管内の放電ガスと、背面電極基板上に設けられ、ガラス管の長手方向に対向する一対の電極と、ガラス管の内面の背面側に設けられた蛍光体層を備え、（甲３の３ ５頁） 背面電極はガラス管内の放電ガスに交流電場を印加し、深紫外光は前面側にのみ放射され、（甲３の３ ５頁） 一対の電極間に交流駆動パルスが印加され、交流駆動パルスは、管内に安定で均一な放電を提供し、（甲３の３ ５頁） 発光管の上面図で、放電は発光管の両端部側で幅広く、中央部で幅狭い、（甲３の３ １１頁） 発光アレイフィルム」 イ 本件発明２、５～６について (ア) 対比 本件発明２、５～６と甲３発明を対比する。 ａ 甲３発明は、「ガラス管と、ガラス管内の放電ガスと、背面電極基板上に設けられ、ガラス管の長手方向に対向する一対の電極と」を備え、「一対の電極間に交流駆動パルスが印加され、交流駆動パルスは、管内に安定で均一な放電を提供［する］」ものであるから、本件発明２、５～６でいう「前記一対の電極に対して高周波電圧が印加されると、前記放電容器内で、前記一対の電極の間を跨がって一方の電極から他方の電極にまで渡って放電が生じる誘電体バリア放電」「が生じ［る］」ものといえる。 ｂ しかし、誘電体バリア放電について、本件発明２、５～６は、「前記放電容器内の中央部で、径方向に相対的に細い空間領域での放電となり、前記放電容器内の前記一対の電極が前記放電容器の外周面と接触する部分で、径方向に相対的に太い空間領域での放電となる」であるのに対して、甲３発明は、「発光管の上面図で、放電は発光管の両端部側で幅広く、中央部で幅狭い」ものであるが、ガラス容器中央部と、ガラス容器内の一対の電極がガラス容器の外周面と接触する部分とにおける、放電の空間領域の径方向の相対的な細さ又は太さは不明である点で両者は相違する。 (イ) 相違点の認定 前記(ア)によれば、本件発明２、５～６とは、少なくとも次の相違点１６において相違する。 ＜相違点１６＞ 誘電体バリア放電について、本件発明２、５～６は、「前記放電容器内の中央部で、径方向に相対的に細い空間領域での放電となり、前記放電容器内の前記一対の電極が前記放電容器の外周面と接触する部分で、径方向に相対的に太い空間領域での放電となる」であるのに対して、甲３発明は、「発光管の上面図で、放電は発光管の両端部側で幅広く、中央部で幅狭い」ものであるが、ガラス容器中央部と、ガラス容器内の一対の電極がガラス容器の外周面と接触する部分とにおける、放電の空間領域の径方向の相対的な細さ又は太さは不明である点。 (ウ) 相違点についての判断 相違点１６について検討する。 ａ まず、相違点１６が実質的な相違点であるか否かについて検討する。 (ａ) 甲３発明は、発光管の上面図で、放電は発光管の両端部側で幅広く、中央部で幅狭いものであるが、その側面図においては、発光管の両端部と中央部で放電の太さに特段の差異は認められない（甲３の３ １１頁）。このように、発光管の上面図と側面図で放電の形態が異なることは、甲３の発光アレイフィルムにおいては、一対の電極がガラス管の背面側に設けられていることに起因するものと考えられる。 そして、相違点１６に係る本件発明２、５～６における、放電の空間領域が「径方向に相対的に細い」又は「径方向に相対的に太い」との特定は、いずれかの平面視における放電の幅を特定するものではなく、放電の空間領域における全ての径方向の相対的な太さ又は細さを特定するものと解するのが相当であるから、その側面図において発光管の両端部側と中央部で放電の太さに特段の差異は認められない甲３発明の放電状態は、相違点１６に係る本件発明２、５～６の構成を満たしているとはいえない。 (ｂ) これに対し、申立人は、甲３の３の１１頁の発光管内の放電の側面図から読み取れる放電形態が相違点１６に係る本件発明２、５～６の構成に相当する旨を主張している。 しかしながら、当該側面図からは発光管の両端部側と中央部で放電の太さに特段の差異は認められないことは前記(ａ)で説示したとおりであり、失当である。なお、当該側面図における「Narrow discharge pass」とともに記載されている矢印は、上面図中の「Driving condition (A)」における放電の幅が狭い領域が側面図においてどこに対応しているのかを示すものであり、当該側面図中の「Strong discharge」とともに記載されている矢印は、上面図中の「Driving condition (C)」における放電の幅が狭い領域が側面図においてどこに対応しているのかを示すものである、すなわち、「Narrow discharge pass」及び「Strong discharge」は、いずれも上面図における放電形態を説明するものであって、側面図における放電の太さ又は細さを示すものではない。 (ｃ) したがって、相違点１６は実質的である。 ｂ(ａ) 前記ａのとおり、相違点１６は実質的であるところ、甲３発明において相違点１６に係る本件発明２、５～６のような放電状態とする動機はなく、当業者が容易に想到し得たものともいえない。 さらにいえば、甲３発明において当業者が相違点１６に係る本件発明２、５～６の構成に至るには、前記ａ(ａ)で説示したように、甲３発明において、上面図のみならず、少なくとも側面図においても放電が発光管の両端部側で幅広く、中央部で幅狭いものとする必要があるところ、そのようにするためには、甲３発明における一対の電極を発光管の側面にも設ける必要があると認められる。しかしながら、甲３発明は背面電極基板上に設けられた一対の電極の上に発光管の底面を載置して設けることを前提とするものであり、当該前提においては発光管の側面に電極を設けることはできないし、当該前提を変更すべき動機も存在しない。 (ｂ) したがって、相違点１６に係る本件発明２、５～６の構成は、甲３発明から出発した当業者が容易に想到し得たものとはいえない。そして、甲１～１１のその余の記載をみても、上記判断が左右されることはない。 (エ) 小括 以上のとおり、本件発明２、５～６は、甲３に記載された発明及び他の甲号証に記載された技術事項又は周知技術に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものとはいえない。 ウ 本件発明８、１２～１３について (ア) 対比 本件発明８、１２～１３と甲３発明を対比すると、甲３発明の「一対の電極」は、本件発明８、１２～１３の「一対の電極」に相当するが、当該一対の電極について、本件発明８、１２～１３は、「前記一対の電極が、それぞれ、前記放電容器の外周面と面接触する筒状電極で構成され［る］」のに対して、甲３発明は、「背面電極基板上に設けられ［た］」ものである点で両者は相違する。 (イ) 相違点の認定 前記(ア)によれば、本件発明８、１２～１３と甲３発明は、少なくとも次の相違点１７において相違する。 ＜相違点１７＞ 一対の電極について、本件発明８、１２～１３は、「前記一対の電極が、それぞれ、前記放電容器の外周面と面接触する筒状電極で構成され［る］」のに対して、甲３発明は、「背面電極基板上に設けられ［た］」ものである点。 (ウ) 相違点についての判断 相違点１７について検討する。 ａ 前記イ(ウ)ｂ(ａ)で検討したように、甲３発明は、背面電極基板上に設けられた一対の電極の上に発光管の底面を載置して設けることを前提とするものであり、当該前提においては発光管の外周面と面接触する筒状電極を設けることはできないし、当該前提を変更すべき動機も存在しない。 ｂ これに対し、申立人は、筒状電極は甲１、甲２に記載されており、本件明細書等には、電極を筒状にすることについての顕著な効果は記載されていないから、電極を筒状にすることは設計事項にすぎない旨を主張しているが、甲３発明が前提とする構成においては発光管の外周面と面接触する筒状電極を設けることはできないし、当該前提を変更すべき動機も存在しないことは前記ａで検討したとおりである。 ｃ したがって、相違点１７に係る本件発明８、１２～１３の構成は、甲３発明から出発した当業者が容易に想到し得たものとはいえない。そして、甲１～１１のその余の記載をみても、上記判断が左右されることはない。 (エ) 小括 以上のとおり、本件発明８、１２～１３は、甲３に記載された発明及び他の甲号証に記載された技術事項又は周知技術に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものとはいえない。 (４) 甲４に記載された発明を主引用発明とした本件発明１～１３に対する新規性欠如又は進歩性欠如について ア 甲４発明の認定 甲４（特開平９－１７５８２号公報）には、図１に係る紫外光を放射するための（【０００１】）放電装置であって、負グローが形成されているもの（図７（ａ）～（ｃ））について、次の発明（以下「甲４発明」という。）が記載されていると認められる。 ＜甲４発明＞ 「１対の電極が設けられている放電装置であって、該電極の少なくとも一方に第１の周波数を有する第１の電圧を印加し、上記第１の周波数より高い第２の周波数を有する第２の電圧を上記第１の電圧に重畳する放電装置であり、（請求項１） 紫外光を放射し、（【０００１】） 放電管と、放電管の外面に設け軸周りに覆わずに軸方向に延びる、前記１対の電極を備え、（【０００９】・図１） 前記１対の電極である電極２１および２２の近傍には負グロー３１および３２が形成されるとともに、負グローの上部、および電極間には陽光柱３３が形成される、（【００１４】・【００１７】・【００１８】・図７（ａ）～（ｃ）） 放電装置。」 イ 本件発明２、５～６について (ア) 対比 本件発明２、５～６と甲４発明を対比する。 ａ 甲４発明は、「放電管」と、「放電管の外面に設け軸周りに覆わずに軸方向に延びる、前記１対の電極」を備え、「該電極の少なくとも一方に第１の周波数を有する第１の電圧を印加し、上記第１の周波数より高い第２の周波数を有する第２の電圧を上記第１の電圧に重畳する」ものであるから、本件発明２、５～６でいう「前記一対の電極に対して高周波電圧が印加されると、前記放電容器内で、前記一対の電極の間を跨がって一方の電極から他方の電極にまで渡って放電が生じる誘電体バリア放電」「が生じ［る］」ものといえる。 ｂ しかし、誘電体バリア放電について、本件発明２、５～６は、「前記放電容器内の中央部で、径方向に相対的に細い空間領域での放電となり、前記放電容器内の前記一対の電極が前記放電容器の外周面と接触する部分で、径方向に相対的に太い空間領域での放電となる」であるのに対して、甲４発明は、「前記１対の電極である電極２１および２２の近傍には負グロー３１および３２が形成されるとともに、負グローの上部、および電極間には陽光柱３３が形成される」ものであるが、放電管の中央部で、径方向に相対的に細い空間領域での放電となり、放電管内の１対の電極が放電管の外周面と接触する部分で、径方向に相対的に太い空間領域での放電とはなっていない点で両者は相違する。 (イ) 相違点の認定 前記(ア)によれば、本件発明２、５～６と甲４発明は、少なくとも次の相違点１１において相違する。 ＜相違点１８＞ 誘電体バリア放電について、本件発明２、５～６は、「前記放電容器内の中央部で、径方向に相対的に細い空間領域での放電となり、前記放電容器内の前記一対の電極が前記放電容器の外周面と接触する部分で、径方向に相対的に太い空間領域での放電となる」であるのに対して、甲４発明は、「前記１対の電極である電極２１および２２の近傍には負グロー３１および３２が形成されるとともに、負グローの上部、および電極間には陽光柱３３が形成される」ものであるが、放電管の中央部で、径方向に相対的に細い空間領域での放電となり、放電管内の１対の電極が放電管の外周面と接触する部分で、径方向に相対的に太い空間領域での放電とはなっていない点。 (ウ) 相違点についての判断 相違点１８について検討する。 ａ 甲４発明から出発した当業者が相違点１８に係る本件発明２、５～６の構成に至るためには、少なくとも、「放電管内の１対の電極が放電管の外周面と接触する部分で、径方向に相対的に太い空間領域での放電」であるようにする必要がある。しかるところ、そのように構成することは、以下に示すとおり、当業者が容易になし得たこととはいえない。 甲４発明の技術的意義は、消費電力が増えるという課題を解決する（【０００４】）ために、負グローを小さくする（【０００８】）ということにあるといえる。そのため、相違点１８に係る本件発明２、５～６の構成に至るべく、放電管内の１対の電極が放電管の外周面と接触する部分で、径方向に相対的に太い空間領域での放電とすると、負グローが大きくなって、消費電力が増えることになりかねない。そうすると、甲４発明から出発した当業者が、相違点１８に係る本件発明２、５～６の構成に至るようにすることは、甲４発明の課題を解決することに反するといえることから、阻害要因がある。 ｂ これに対し、申立人は、相違点１８に係る本件発明２、５～６の放電状態は、甲４の図６に記載されている旨を主張している。 しかしながら、甲４の図６においては、例えば（ａ）では放電管の軸方向の全体にわたって放電領域の上面視の幅は略一様であり、（ｄ）では１対の電極が放電管の外周面と接触する部分ではその大半で放電が生じていないことが読み取れるものの、放電管の中央部で、径方向に相対的に細い空間領域での放電となり、放電管内の１対の電極が放電管の外周面と接触する部分で、径方向に相対的に太い空間領域での放電となっていることは読み取れないから、申立人の主張は失当である。 ｃ したがって、相違点１８に係る本件発明２、５～６の構成は、甲４発明から出発した当業者が容易に想到し得たものとはいえない。そして、甲１～１１のその余の記載をみても、上記判断が左右されることはない。 (エ) 小括 以上のとおり、本件発明２、５～６は、甲４に記載された発明及び他の甲号証に記載された技術事項又は周知技術に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものとはいえない。 ウ 本件発明８、１２～１３について (ア) 対比 本件発明８、１２～１３と甲４発明を対比する。 ａ 甲４発明の「放電管の外面に設け［られ］」、「軸方向に延びる」「１対の電極」は、本件発明８、１２～１３の「放電容器の外周面に沿って配置される一対の電極」に相当する。 ｂ しかし、「一対の電極」について、本件発明８、１２～１３は、「筒状電極で構成され［る］」ものであるのに対して、甲４発明は、「軸周りに覆わ［ない］」ものである点で両者は相違する。 (イ) 相違点の認定 前記(ア)によれば、本件発明８、１２～１３と甲４発明は、少なくとも次の相違点１９において相違する。 ＜相違点１９＞ 「一対の電極」について、本件発明８、１２～１３は、「筒状電極で構成され［る］」ものであるのに対して、甲４発明は、「軸周りに覆わ［ない］」ものである点。 (ウ) 相違点についての判断 相違点１９について検討する。 ａ 甲４発明から出発した当業者が相違点１９に係る本件発明８、１２～１３の構成に至るためには、少なくとも、「１対の放電電極」を「筒状電極」とする必要がある。しかるところ、そのようにすることは、以下に示すとおり、当業者が容易になし得たこととはいえない。 前記イ(ウ)ａで説示したとおり、甲４発明の技術的意義は、消費電力が増えるという課題を解決する（【０００４】）ために、負グローを小さくする（【０００８】）ということにあるといえるところ、甲４の【００１４】には、「電極２１および２２の近傍には、負グロー３１および３２が形成される。」と記載されている。また、図５にも電極２１及び２２の近傍に負グロー３１及び３２が形成されることが示されるとともに、電極２１及び２２が形成されていない側部側や上部側には負グローが形成されていないことが理解できる。そのため、相違点１９に係る本件発明８、１２～１３の構成に至るべく、「１対の電極」を「筒状電極」とすると、負グローが側部側から上部側にも形成される結果、その大きさも大きくなって、消費電力が増えることになりかねない。そうすると、甲４発明から出発した当業者が、相違点１９に係る本件発明８、１２～１３の構成に至るようにすることは、甲４発明の課題を解決することに反するといえることから、阻害要因がある。 ｂ これに対し、申立人は、甲１及び甲２には筒状電極が記載されており、本件明細書等には筒状電極とすることについての顕著な効果が記載されていないため、電極の形態は設計事項にすぎない旨を主張している。 しかしながら、甲４発明において１対の電極を筒状電極とすることには阻害要因があることは前記ａで説示したとおりであるから、筒状電極とすることが甲１及び甲２に記載されていたとしても、前記ａの説示を左右するものではない。 ｃ したがって、相違点１９に係る本件発明８、１２～１３の構成は、甲４発明から出発した当業者が容易に想到し得たものとはいえない。そして、甲１～１１のその余の記載をみても、上記判断が左右されることはない。 (エ) 小括 以上のとおり、本件発明８、１２～１３は、甲４に記載された発明及び他の甲号証に記載された技術事項又は周知技術に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものとはいえない。 (５) 実施可能要件違反について 申立人は、本件発明８の非導電性の遮光部材について、発明の詳細な説明には当業者がその実施をすることができる程度に明確かつ十分に記載されてない旨を主張している。 しかしながら、本件明細書等の発明の詳細な説明【００２４】には、「電極以外の非導電性部材により紫外線を遮る遮光部として、放電容器の外周面を覆っても良い」と記載されており、当業者は、例えば非導電性部材による遮光部を放電容器と電極の間に設ける構成を理解することができるから、本件明細書等の発明の詳細な説明の記載は、本件発明８についての実施可能要件に適合している。 第６ むすび 以上のとおり、本件発明２、５～６、８、１２～１３に係る特許は、第２次取消理由、第１次取消理由及び特許異議申立書に記載した特許異議申立理由によっては取り消すことはできない。さらに、他に本件発明２、５～６、８、１２～１３に係る特許を取り消すべき理由を発見しない。 本件特許の請求項１、３～４、７、９～１１は、本件訂正により削除されたため、特許法第１２０条の８第１項で準用する特許法第１３５条の規定により、これらの請求項に係る特許に対する特許異議の申立ては却下する。 よって、結論のとおり決定する。