2023-700018

特許第７０９９５１２号発明「蒸着マスク中間体、蒸着マスク、および、蒸着マスクの製造方法」の特許異議申立事件について、次のとおり決定する。

結 論 特許第７０９９５１２号の明細書及び特許請求の範囲を訂正請求書に添付された訂正明細書及び訂正特許請求の範囲のとおり、訂正後の請求項〔１～３、７、８〕、〔４～６〕、〔９～１１〕、１２、１３、１４について訂正することを認める。 特許第７０９９５１２号の請求項１～３、７、８、１２、１４に係る特許を維持する。 特許第７０９９５１２号の請求項１３に係る特許についての特許異議の申立てを却下する。

理 由 第１ 手続の経緯 特許第７０９９５１２号の請求項１～１４に係る特許についての出願は、令和２年１２月２１日（優先権主張 同年２月５日）を出願日とする出願であり、令和４年７月４日にその特許権の設定登録がされ、同年同月１２日に特許掲載公報が発行され、その後、令和５年１月１１日に、その請求項１～３、７、８、１２～１４に係る特許を対象として特許異議申立人村野親（以下、「異議申立人」という。）により、特許異議の申立てがなされ、同年４月５日付けで取消理由が通知され、その指定期間内である同年６月６日に特許権者より意見書の提出及び訂正の請求があり、これに対し、同年７月２０日に異議申立人より、意見書の提出がなされ、同年９月５日付けで取消理由（決定の予告）が通知され、その指定期間内である同年１１月１０日に特許権者より意見書の提出及び訂正の請求（以下、この訂正を「本件訂正」という。）があったものである。 なお、令和５年６月６日にされた訂正の請求（以下、その訂正を「先の訂正」ということがある。）は、特許法第１２０条の５第７項の規定により、取り下げられたものとみなす。 また、先の訂正後、異議申立人に意見書の提出の機会が与えられたこと、本件訂正が、特許請求の範囲の訂正については、請求項１３の削除のみの訂正であることを考慮し、本件訂正後には、異議申立人に意見書の提出の機会を与えていない。 第２ 訂正の適否 １ 訂正事項 本件訂正は、本件明細書及び特許請求の範囲を、それぞれ、訂正請求書に添付した訂正明細書及び訂正特許請求の範囲のとおり、訂正後の請求項〔１～３、７、８〕、〔４～６〕、〔９～１１〕、１２、１３、１４について訂正することを求めるものであって、その具体的な訂正事項は次のとおりである。 （１）訂正事項１ 特許請求の範囲の請求項１３を削除する。 （２）訂正事項２ 明細書の【発明の名称】に「蒸着マスク中間体、蒸着マスク、マスク装置、および、蒸着マスクの製造方法」とあるのを、「蒸着マスク中間体、蒸着マスク、および、蒸着マスクの製造方法」に訂正する。 ２ 訂正の目的の適否、新規事項の有無及び特許請求の範囲の拡張・変更の存否 （１）訂正事項１について 訂正事項１は、請求項を削除するものであるから、特許請求の範囲の減縮を目的とするものであり、願書に添付した明細書又は特許請求の範囲に記載した事項の範囲内の訂正であり、かつ実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではない。 （２）訂正事項２について 訂正事項２は、上記訂正事項１において、「マスク装置」に係る請求項１３が削除され、特許請求の範囲に記載されている発明が、「蒸着マスク中間体」（請求項１～１１）、「蒸着マスク」（請求項１２）及び「蒸着マスクの製造方法」（請求項１４）になったことに伴い、発明の名称を「蒸着マスク中間体、蒸着マスク、および、蒸着マスクの製造方法」とし、訂正後の特許請求の範囲の記載との整合を図るものであるから、明瞭でない記載の釈明を目的とするものである。そして、訂正前の発明の名称から、「マスク装置」を削除するものであるから、願書に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であり、かつ実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではない。 ３ 小括 本件訂正は、特許法第１２０条の５第４項及び同法同条第９項において準用する同法第１２６条第４項の規定に従い、一群の請求項を構成する請求項〔１～３、７、８〕、〔４～６〕、〔９～１１〕、１２、１３、１４について訂正することを求めるものであるところ、上記２のとおり、本件訂正は、特許法第１２０条の５第２項ただし書第１号及び第３号に掲げる事項を目的とするものに該当し、かつ、同条第９項において準用する同法第１２６条第５項及び第６項の規定に適合するものであるから、訂正後の請求項〔１～３、７、８〕、〔４～６〕、〔９～１１〕、１２、１３、１４について訂正することを認める。 第３ 本件発明 上記第２のとおり、本件訂正は認容し得るものであるから、本件訂正後の請求項１～１４に係る発明の内、特許異議申立ての対象となる発明（以下、各請求項に係る発明及び特許を項番に対応させて「本件発明１」、「本件特許１」などといい、併せて「本件発明」、「本件特許」ということがある。）は、次のとおり特定されるものである。 「【請求項１】 帯状部と、 前記帯状部を囲む枠状部と、 前記帯状部と前記枠状部との間に位置し、前記帯状部を前記枠状部に連結する連結部と、を備え、 前記帯状部は、一対の長辺と一対の短辺とを有した縁と、複数のマスク孔を有したマスク部と、前記マスク部を囲む周辺部とを備え、 前記周辺部のうちで、前記帯状部の長手方向における前記マスク部と前記短辺との間には、一方の前記長辺から他方の前記長辺に向けて延びる形状を有した脆弱部が位置し、 前記脆弱部は、複数のハーフエッチング部を含み、 前記複数のハーフエッチング部は、一方の前記長辺から他方の前記長辺に向かう方向に沿って千鳥状に並んでいる 蒸着マスク中間体。 【請求項２】 帯状部と、 前記帯状部を囲む枠状部と、 前記帯状部と前記枠状部との間に位置し、前記帯状部を前記枠状部に連結する連結部と、を備え、 前記帯状部は、一対の長辺と一対の短辺とを有した縁と、複数のマスク孔を有したマスク部と、前記マスク部を囲む周辺部とを備え、 前記周辺部のうちで、前記帯状部の長手方向における前記マスク部と前記短辺との間には、一方の前記長辺から他方の前記長辺に向けて延びる形状を有した脆弱部が位置し、 前記周辺部および前記枠状部は、第１板厚を有し、 前記連結部は、前記帯状部の前記縁に沿うハーフエッチング線、および、前記帯状部の前記縁に沿って並ぶ複数のハーフエッチング部の少なくとも一方を含み、前記ハーフエッチング線および前記ハーフエッチング部は、前記第１板厚よりも薄い第２板厚を有する 蒸着マスク中間体。 【請求項３】 前記長辺は、前記枠状部に連結されない非連結部を含み、前記非連結部は、前記帯状部の幅方向において前記マスク部と隣り合う部分を含み、 前記非連結部と前記枠状部との間には、スリットが位置する 請求項１または２に記載の蒸着マスク中間体。 【請求項７】 前記周辺部および前記枠状部は、第１板厚を有し、 前記連結部は、複数の連結部のうちの１つであり、前記複数の連結部は、前記帯状部の前記縁に沿って間隔を空けて位置し、各連結部は前記第１板厚を有し、 前記帯状部の前記縁のうち前記連結部が接続した部分以外の部分に沿って、スリットが位置する 請求項１に記載の蒸着マスク中間体。 【請求項８】 前記長辺は、前記枠状部に連結されない非連結部を含み、前記非連結部は、前記帯状部の幅方向において前記マスク部と隣り合う部分を含む 請求項７に記載の蒸着マスク中間体。 【請求項１２】 帯状を有した蒸着マスクであって、 一対の第１長辺と一対の第１短辺とを有した縁と、 複数のマスク孔を有したマスク部と、 前記マスク部を囲む周辺部と、を備え、 前記周辺部のうちで、前記蒸着マスクの長手方向における前記マスク部と前記第１短辺との間には、一方の前記第１長辺から他方の前記第１長辺に向けて延びる形状を有した脆弱部が位置し、 前記脆弱部は、複数のハーフエッチング部を含み、 前記複数のハーフエッチング部は、一方の前記第１長辺から他方の前記第１長辺に向かう方向に沿って千鳥状に並び、 前記縁の少なくとも一部に位置する第１切断痕を備える 蒸着マスク。 【請求項１３】（削除） 【請求項１４】 帯状部、前記帯状部を囲む枠状部、および、前記帯状部と前記枠状部との間に位置し、前記帯状部を前記枠状部に連結する連結部を形成すること、および、 前記連結部を切断して、前記枠状部から前記帯状部を切り離すことによって蒸着マスクを得ること、を含み、 前記帯状部は、一対の長辺と一対の短辺を有した縁を備え、 前記帯状部は、複数のマスク孔を有したマスク部と、前記マスク部を囲む周辺部とを備え、 前記周辺部のうちで、前記帯状部の長手方向における前記マスク部と前記短辺との間には、一方の前記長辺から他方の前記長辺に向けて延びる形状を有した脆弱部が位置し、 前記脆弱部は、複数のハーフエッチング部を含み、 前記複数のハーフエッチング部は、一方の前記長辺から他方の前記長辺に向かう方向に沿って千鳥状に並んでいる 蒸着マスクの製造方法。」 第４ 令和５年９月５日付けで通知した取消理由（決定の予告）、同年４月５日付けで通知した取消理由、及び異議申立人による特許異議の申立理由の概要 １ 令和５年９月５日付けで通知した取消理由（決定の予告）の概要 ・特許法第２９条第２項所定の規定違反（進歩性欠如） 先の訂正後の請求項１３に係る発明は、後記３（５）に記載の甲第１号証～甲第３号証に記載された発明及び同甲第５号証～甲第８号証に記載された周知の技術的事項に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、その特許は、特許法第２９条第２項の規定に違反してされたものである（以下、「取消理由１」という。）。 ２ 令和５年４月５日付けで通知した取消理由の概要 （１）特許法第２９条第１項第３号所定の規定違反（新規性欠如） 設定登録時の請求項１３に係る発明は、後記３（５）に記載の甲第１号証～甲第３号証に記載された発明であって、特許法第２９条第１項第３号の規定に該当するから、その特許は、特許法第２９条第１項の規定に違反してされたものである（以下、「取消理由２」という。）。 （２）特許法第２９条第２項所定の規定違反（進歩性欠如） 設定登録時の請求項１２、１３に係る発明は、後記３（５）に記載の甲第１号証～甲第３号証に記載された発明及び同甲第４号証～甲第１５号証に記載された周知の技術的事項に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、それらの特許は、特許法第２９条第２項の規定に違反してされたものである（以下、「取消理由３」という。）。 ３ 異議申立人による特許異議の申立理由の概要 （１）特許法第３６条第６項第１号所定の規定違反（サポート要件違反） 本件特許は、設定登録時の請求項１～３、７、８、１２～１４の記載が後記第５の３（１）の点で不備のため、特許法第３６条第６項第１号に規定する要件を満たしていない特許出願に対してされたものである（以下、「申立理由１」とする。）。 （２）特許法第３６条第４項第１号所定の規定違反（実施可能要件違反） 本件特許は、設定登録時の請求項１～３、７、８、１２～１４に対応する本件明細書の発明の詳細な説明の記載が後記第５の４（１）の点で不備のため、特許法第３６条第４項第１号に規定する要件を満たしていない特許出願に対してされたものである（以下、「申立理由２」とする。）。 （３）特許法第３６条第６項第２号所定の規定違反（明確性要件違反） 本件特許は、設定登録時の請求項１～３、７、８、１２～１４の記載が後記第５の５（１）の点で不備のため、特許法第３６条第６項第２号に規定する要件を満たしていない特許出願に対してされたものである（以下、「申立理由３」とする。）。 （４）特許法第２９条第１項第３号所定の規定違反（新規性欠如） 設定登録時の請求項１３に係る発明は、後記（５）に記載の甲第１号証～甲第３号証に記載された発明であって、特許法第２９条第１項第３号の規定に該当するから、その特許は、特許法第２９条第１項の規定に違反してされたものである（以下、「申立理由４」という。）。 （５）特許法第２９条第２項所定の規定違反（進歩性欠如） ア 設定登録時の請求項１～３、７、８、１２～１４に係る発明は、下記に記載の甲第４号証に記載された発明及び同甲第１号証～甲第３号証、甲第５号証～甲第１３号証に記載された周知の技術的事項に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、それらの特許は、特許法第２９条第２項の規定に違反してされたものである（以下、「申立理由５－１」という。）。 イ 設定登録時の請求項１～３、７、８、１２～１４に係る発明は、下記に記載の甲第１号証に記載された発明及び同甲第４号証～甲第１５号証に記載された周知の技術的事項に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、それらの特許は、特許法第２９条第２項の規定に違反してされたものである（以下、「申立理由５－２」という。）。 ウ 設定登録時の請求項１～３、７、８、１２～１４に係る発明は、下記に記載の甲第２号証に記載された発明及び同甲第４号証～甲第１５号証に記載された周知の技術的事項に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、それらの特許は、特許法第２９条第２項の規定に違反してされたものである（以下、「申立理由５－３」という。）。 エ 設定登録時の請求項１～３、７、８、１２～１４に係る発明は、下記に記載の甲第３号証に記載された発明及び同甲第４号証～甲第１５号証に記載された周知の技術的事項に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、それらの特許は、特許法第２９条第２項の規定に違反してされたものである（以下、「申立理由５－４」という。）。 記 甲第１号証：特開２０１２－２３３２５３号公報 甲第２号証：特開２０１９－２１４７８３号公報 甲第３号証：米国特許出願公開２０１８／００６５１４３号明細書 甲第４号証：特開２０１８－１１５３９０号公報 甲第５号証：特開２００５－５０７１号公報 甲第６号証：特開２００５－５０７０号公報 甲第７号証：特開２００６－３２２０１５号公報 甲第８号証：特開２００６－３１０１８３号公報 甲第９号証：特開２０１８－１０９２１１号公報 甲第１０号証：特開２００２－３１３７５４号公報 甲第１１号証：特開２０１９－１６４２７４号公報 甲第１２号証：特開２０１９－１０４５４０号公報 甲第１３号証：特開２０１３－１００１１９号公報 甲第１４号証：特開２０１７－１６６０２９号公報 甲第１５号証：再公表特許ＷＯ２０１８／０６６３２５号 （以下、甲第１号証を略して、「甲１」などという。） 第５ 当審の判断 当審は、上記取消理由１～３及び申立理由１～４、５－１～５－４のいずれにも理由がないと判断する。 以下、その理由について詳述する。 １ 取消理由１、取消理由２、請求項１３を対象とする取消理由３、請求項１３を対象とする申立理由１～３、申立理由４、請求項１３を対象とする申立理由５－１～５－４について（新規性欠如及び進歩性欠如） 上記第２の１（１）で述べたように、本件訂正により請求項１３は削除されたから、取消理由１、取消理由２、請求項１３を対象とする取消理由３には、理由がない。 また、請求項１３を対象とする申立理由１～３、申立理由４、請求項１３を対象とする申立理由５－１～５－４は、申立ての対象が存在しないものとなったため却下されるべきものである。 ２ 請求項１２を対象とする取消理由３、申立理由５－１～５－４について（進歩性欠如） （１）甲１～甲１５に記載された事項 ア 甲１に記載された事項 （ア）「【請求項１】 パターンが形成された本体部と、 前記本体部の一側から延びた少なくとも一つ以上のサイドクランピング部と、 前記少なくとも一つ以上のサイドクランピング部の最外郭のサイドクランピング部に隣接して配される斜めクランピング部と、を備え、 前記斜めクランピング部と前記最外郭のサイドクランピング部とがなす角度（θ）は、０°より大きく９０°より小さい（０°＜θ＜９０°）ことを特徴とする分割マスク。 ・・・ 【請求項１７】 前記本体部と前記サイドクランピング部との間と、前記本体部と前記斜めクランピング部との間が、マスクフレーム組立体のフレームに溶接されることを特徴とする請求項１に記載の分割マスク。 【請求項１８】 前記サイドクランピング部と前記斜めクランピング部とは、前記フレームに溶接された後で除去されることを特徴とする請求項１７に記載の分割マスク。 【請求項１９】 パターンが形成された本体部、前記本体部の一側から延びた少なくとも一つ以上のサイドクランピング部、及び前記少なくとも一つ以上のサイドクランピング部の最外郭のサイドクランピング部に隣接して配される斜めクランピング部がそれぞれ備えられた複数の分割マスクと、前記複数の分割マスクが接合されるフレームと、を用意する段階と、 前記各分割マスクの前記サイドクランピング部と前記斜めクランピング部とを把持し、引張力を加えつつ前記本体部を前記フレームに溶接する段階と、を含むマスクフレーム組立体の組立方法。 【請求項２０】 前記溶接が完了した後、前記サイドクランピング部と前記斜めクランピング部とを切断する段階をさらに含む請求項１９に記載のマスクフレーム組立体の組立方法。」 （イ）「【０００７】 一方、このような分割マスクをフレームに付着する時には、分割マスクを分割マスクの長手方向に引っ張る過程を経る。もし、分割マスクが引っ張られていない状態でフレームに結合されれば、分割マスクのボディーに凸凹なウェーブが発生し、これは、以後の蒸着工程でマスクと基板との間の密着性を低下させて、精密な蒸着を阻害する要因として作用する。したがって、分割マスクをフレームに付着する時には、分割マスクを分割マスクの長手方向に引っ張った後にフレームに付着する。 【０００８】 最近の大型ディスプレイ装置の需要に対応するために分割マスクは、その長さが約１，８４０ｍｍレベルに大型化しており、各分割マスク毎に長手方向にウェーブが生じる問題があった。 【発明の概要】 【発明が解決しようとする課題】 【０００９】 本発明の一実施形態は、分割マスクのウェーブの発生を抑制できるように改善された分割マスクと、それを利用したマスクフレーム組立体の組立方法を提供する。 【課題を解決するための手段】 【００１０】 本発明の一実施形態による分割マスクは、蒸着用パターンが形成されたスティック本体部と、前記本体部の長手方向の両側端部からそれぞれの外側に延びた複数のクランピング部を備え、前記クランピング部は、前記スティック本体部の長手方向に沿って延びた少なくとも一つ以上のサイドクランピング部と、前記少なくも一つ以上のサイドクランピング部の最外郭のサイドクランピング部の近傍に前記スティック本体の長手方向と幅方向との間の斜め方向に沿って延びて配される斜めクランピング部と備え、前記斜めクランピング部と前記最外郭のサイドクランピング部とがなす角度（θ）は、０°より大きく９０°より小さい（０°＜θ＜９０°）。 ・・・ 【００１３】 前記サイドクランピング部は、同一長に形成される。前記サイドクランピング部は、同一幅に形成される。」 （ウ）「【００３１】 本発明の一実施形態による分割マスク１００は、本体部１１０、サイドクランピング部１２０、及び斜めクランピング部１３１ａ、１３１ｂ、１３１ｃ、１３１ｄを備える。 【００３２】 本体部１１０は、その内部にパターン１１１が形成されている。パターン１１１を通じて、蒸着物質は被蒸着体に蒸着される。本体部１１０は、フレーム（図４の３００）に溶接されて蒸着作業に使われるフレーム組立体４００を形成する部位であり、サイドクランピング部１２０及び斜めクランピング部１３１ａ、１３１ｂ、１３１ｃ、１３１ｄは、本体部１１０をフレーム３００に溶接する時に引っ張り張力を付与するために形成された部位であって、組立過程中に除去される。接合部（図４の１１５）は、本体部１１０と、サイドクランピング部１２０及び斜めクランピング部１３１ａ、１３１ｂ、１３１ｃ、１３１ｄとの間の境界領域であって、フレーム３００に溶接される領域である。 【００３３】 複数の分割マスク１００をフレーム３００に結合させれば、図４に示したようなマスクフレーム組立体４００が形成される。それぞれの分割マスク１００は、フレーム３００の開口３０１にパターン１１１が位置するように配された状態で、接合部１１５が溶接されることで固定され、サイドクランピング部１２０及び斜めクランピング部１３１ａ、１３１ｂ、１３１ｃ、１３１ｄは、点線で示したように溶接後に除去される。 ・・・ 【００４３】 分割マスク１００をフレーム３００に溶接する時には、引張器（図示せず）で分割マスク１００のサイドクランピング部１２０及び斜めクランピング部１３１ａ、１３１ｂ、１３１ｃ、１３１ｄを把持して引き寄せた状態で、前記接合部１１５をフレーム３００に溶接するが、斜めクランピング部１３１ａ、１３１ｂ、１３１ｃ、１３１ｄは、サイドクランピング部１２１ａ、１２１ｂ、１２２ａ、１２２ｂと所定の角度θ１、θ２、θ３、θ４を持つように形成されるところ、本体部１１０の長手方向（Ｘ軸方向）だけでなく、本体部１１０の幅方向（Ｙ軸方向）にも引張力が印加される。したがって、本体部１１０の中央領域で本体部１１０が片寄ることを回避できる。本体部１１０が扁平に維持されるので、被蒸着体（図示せず）と分割マスク１００との密着性を向上させて蒸着時に発生しうるシャドー不良を低減させる。 ・・・ 【００５０】 前記分割マスク１００は、細長いスティック状の部材であって、前記開口部３０１中に位置するパターン１１１が形成されており、本体部１１０とクランピング部１２０、１３１ａ、１３１ｂ、１３１ｃ、１３１ｄとの間の接合部１１５が、前述したようにフレーム３００に溶接される。 【００５１】 図５Ａは、最初の分割マスク１００をフレーム３００に結合させる過程を示したものであって、まず該当分割マスク１００の両端にあるサイドクランピング部１２０及び斜めクランピング部１３１ａ、１３１ｂ、１３１ｃ、１３１ｄを引張器（図示せず）で把持して、外側にぴんと引っ張る。これにより、分割マスク１００には引張力Ｔが加えられるが、前述したように、斜めクランピング部１３１ａ、１３１ｂ、１３１ｃ、１３１ｄは、サイドクランピング部１２１ａ、１２１ｂ、１２２ａ、１２２ｂと所定の角度を成して形成されるため、本体部１１０の長手方向（Ｘ軸方向）だけでなく幅方向（Ｙ軸方向）に引張力が加えられる。これにより、分割マスク１００の本体部１１０にはウェーブが著しく低減して、平坦度の非常に向上した状態になる。この状態で、前記接合部１１５をフレーム３００に溶接して該分割マスク１００を固定させる。 【００５２】 そして、このように溶接が完了した後には、図５Ｂに示したように、接合部１１５外側のサイドクランピング部１２０及び斜めクランピング部１３１ａ、１３１ｂ、１３１ｃ、１３１ｄを切断して除去する。斜めクランピング部１３１ａ、１３１ｂ、１３１ｃ、１３１ｄは、サイドクランピング部１２１ａ、１２１ｂ、１２２ａ、１２２ｂと所定の角度を成して形成されるので、そのまま置く場合、隣接した他の分割マスク１００の斜めクランピング部１３１ａ、１３１ｂ、１３１ｃ、１３１ｄと互いに干渉する恐れがある。したがって、次の分割マスク１００を溶接する前に、サイドクランピング部１２０及び斜めクランピング部１３１ａ、１３１ｂ、１３１ｃ、１３１ｄは切断して除去する。」 （エ）「【図１】 ［図：0001411262000001.jpg］ 【図５Ａ】 【図５Ｂ】 ［図：0001411262000002.jpg］ 」 イ 甲２に記載された事項 （ア）「【請求項１】 複数のパターン孔が配列されたパターン部が配置されるパターニング領域と、 第１方向で前記パターニング領域の両端と隣接して配置される複数のボンディング領域と、を含み、 前記パターン部は、 第１パターン孔が設けられた第１パターン部と、 第２パターン孔が設けられ、前記第１方向で前記第１パターン部の両端と前記ボンディング領域との間に配置される複数の第２パターン部と、を含み、 前記第１パターン孔のうち互いに隣接する前記第１パターン孔間の最小距離と定義される第１距離より、前記第２パターン孔のうち互いに隣接する前記第２パターン孔間の最小距離と定義される第２距離のほうが大きい蒸着用マスク。」 （イ）「【００６０】 蒸着用マスク２０は、フレームセット１０の上に安着される。本実施例によると、フレームセット１０の支持台１２、１３のそれぞれの上面は、支持フレーム１１の上面と同じ平面上に配置される。よって、蒸着用マスク２０がフレームセット１０の上に安定的に安着される。 【００６１】 蒸着用マスク２０は第１方向ＤＲ１に延長される。蒸着用マスク２０は第２方向ＤＲ２に配列される。 【００６２】 蒸着用マスク２０のそれぞれは、マスクユニット２１及び複数のカッティング部２２を含む。 【００６３】 マスクユニット２１は第１方向ＤＲ１に延長される。マスクユニット２１は、フレームセット１０によって実質的に支持される部分である。つまり、マスクユニット２１の第１方向ＤＲ１両端は、支持フレーム１１の前記長辺の一部と重畳する。支持フレーム１１の前記長辺の一部と重畳するマスクユニット２１の領域は、溶接工程のようなボンディング工程を介して維持フレーム１１の前記長辺の一部にボンディングされる。 【００６４】 カッティング部２２は、マスクユニット２１の第１方向ＤＲ１の両端に隣接して配置される。例示的に、カッティング部２２はマスクユニット２１の第１方向ＤＲ１の両端に接続されてもよい。つまり、マスクユニット２１は２つのカッティング部２２の間に配置されてもよい。カッティング部２２はフレームセット１０と接触しない。 【００６５】 本実施例によると、フレームセット１０の上に安着される前の蒸着マスク２０のそれぞれは、固定部材（図示せず）によって支持される。例示的に、固定部材（図示せず）はクランプ（Ｃｌａｍｐ）であってもよい。蒸着用マスク２０のそれぞれの両端に配置されたカッティング部２２のそれぞれが固定部材（図示せず）に固定されることで、蒸着用マスク２０が支持される。また、固定部材（図示せず）はカッティング部２２のそれぞれを固定すると共に蒸着用マスク２０に引張力を加える。前記引張力の方向は第１方向ＤＲ１と平行する。 【００６６】 本実施例によると、マスクユニット２１と支持フレーム１１との間のボンディング工程が完了した後、カッティング部２２が切断される。図３では、カッティング部２２が切断されたマスク組立体１００Ａが示されている。つまり、切断工程が完了したマスク組立体１００Ａはフレームセット１０及びマスクユニット２１のみを含む。以下、図５乃至図８において、蒸着用マスク２０に関して詳細に後述する。」 （ウ）「 ［図：0001411262000003.jpg］ ［図：0001411262000004.jpg］ 」 ウ 甲３に記載された事項（訳文は、（ア）は当審によるものであり、（イ）は異議申立人によるものである。） （ア）「[0022] FIGS.3A,3B,3C and 3D illustrate views of stages in a method of manufacturing a mask frame assembly including a division mask according to an exemplary embodiment;」 （［００２２］図３Ａ、図３Ｂ、図３Ｃ及び図３Ｄは、本実施形態による分割マスクを含むマスクフレーム組立体の製造方法を段階別に示す図である。） （イ）「[0051] FIG.3A is a view illustrating a process of fixing a first division mask 100 to the frame 200. Referring to FIG.3A, the clamping portion 120 is held by a tensioning apparatus, and a tensile force T acts in a longitudinal direction of the division mask 100. In such an exemplary embodiment, the tensile force T may act not only in the longitudinal direction of the division mask 100 but also in a width direction of the division mask 100 due to the clamping portion 120 having a wider width than a width of the main body 100. Accordingly, wave generation may be substantially suppressed in the division mask 100, and the patterning accuracy may be improved. [0052] Subsequently, the joint portion 130 is welded to the frame 200 to fix the first division mask 100 to the frame 200. For example, the joint portion 130 may be between the opening pattern 111 on the main body 110 and the dummy opening pattern 121 on the clamping portion 120. [0053] FIG.3B is a view illustrating a process of removing the clamping portion 120. Referring to FIG.3B, the clamping portion 120 is cut off to be removed. If the clamping portion 120 were to remain (instead of being cut off), the clamping portion 120 would have interfered with an adjacent division mask 100, since the width of the clamping portion 120 is larger than the width of the main body 110. （［００５１］ 図３Ａは、第１分割マスク１００をフレーム２００に固定する過程を示す図である。図３Ａに示すように、クランプ部１２０はテンション装置によって保持され、分割マスク１００の長手方向に張力Ｔが作用する。このような実施形態において、クランプ部１２０がメインボディ１００の幅より広い幅を有することにより、張力Ｔは、分割マスク１００の長手方向だけでなく、分割マスク１００の幅方向にも作用する。これにより、分割マスク１００では波の発生が大幅に抑制され、パターニング精度が向上する。 ［００５２］ 続いて、ジョイント部１３０をフレーム２００に溶接して、第１分割マスク１００をフレーム２００に固定する。例えば、ジョイント部１３０は、メインボディ １１０の開口パターン１１１とクランプ部１２０のダミー開口パターン１２１との間にあってもよい。 ［００５３］ 図３Ｂは、クランプ部１２０を除去する過程を示す図である。図３Ｂに示すように、クランプ部１２０は切断して除去される。クランプ部分１２０が（切断されずに）残っていた場合、クランプ部分１２０の幅はメインボディ１１０の幅よりも大きいため、クランプ部分１２０は隣接する分割マスク１００と干渉しうる。） （ウ）「 ［図：0001411262000005.jpg］ ［図：0001411262000006.jpg］ 」 エ 甲４に記載された事項 （ア）「【請求項１】 複数の貫通孔が形成された蒸着マスクであって、 前記貫通孔が形成された第１面及び第２面と、 前記第１面及び前記第２面に接続され、前記蒸着マスクの長手方向における前記蒸着マスクの輪郭を画定する一対の長側面と、 前記第１面及び前記第２面に接続され、前記蒸着マスクの幅方向における前記蒸着マスクの輪郭を画定する一対の短側面と、を備え、 前記長側面は、前記第１面側に位置する第１端部と、前記第２面側に位置するとともに前記第１端部よりも内側に位置する第２端部とを含み、且つ内側へ凹んだ第１部分を有し、 前記貫通孔は、前記第１面側に形成された第１凹部と、前記第２面側に形成され、孔接続部において前記第１凹部に接続された第２凹部と、を含み、 前記長側面の前記第１部分の前記第１端部が、前記孔接続部よりも前記第１面側に位置する、蒸着マスク。」 （イ）「【００３５】 （蒸着マスク） ・・・ 【００３６】 次に、貫通孔２５に関連する蒸着マスク２０の構成について説明する。図３及び図４に示すように、蒸着マスク２０は、第１面２０ａから第２面２０ｂに至る貫通孔２５が形成された、少なくとも１つの有効領域２２と、有効領域２２を取り囲む周囲領域２３と、を含む。有効領域２２は、蒸着マスク２０のうち、有機ＥＬ基板９２の表示領域に対面する領域である。 ・・・ 【００４６】 図１に示すようにして蒸着マスク装置１０が蒸着装置９０に収容された場合、蒸着マスク２０の第１面２０ａが、有機ＥＬ基板９２に対面し、蒸着マスク２０の第２面２０ｂが、蒸着材料９８を保持したるつぼ９４側に位置する。したがって、蒸着材料９８は、次第に開口面積が小さくなっていく第２凹部３５を通過して有機ＥＬ基板９２に付着する。図６において第２面２０ｂ側から第１面２０ａへ向かう矢印で示すように、蒸着材料９８は、るつぼ９４から有機ＥＬ基板９２に向けて有機ＥＬ基板９２の法線方向Ｎに沿って移動するだけでなく、有機ＥＬ基板９２の法線方向Ｎに対して大きく傾斜した方向に移動することもある。このとき、蒸着マスク２０の厚みが大きいと、斜めに移動する蒸着材料９８の多くは、貫通孔２５を通って有機ＥＬ基板９２に到達するよりも前に、第２凹部３５の壁面３６に到達して付着する。従って、蒸着材料９８の利用効率を高めるためには、蒸着マスク２０の厚みｔを小さくし、これによって、第２凹部３５の壁面３６や第１凹部３０の壁面３１の高さを小さくすることが好ましい。すなわち、蒸着マスク２０を構成するための基材２１として、蒸着マスク２０の強度を確保できる範囲内で可能な限り厚みｔを小さくすることが好ましいと言える。この点を考慮し、本実施の形態において、好ましくは蒸着マスク２０の厚みｔは、５０μｍ以下に、例えば５μｍ以上且つ５０μｍ以下に設定される。・・・」 （ウ）「【００６１】 次に、金属板６４を用いて蒸着マスク２０を製造する方法について、主に図１３～図２４を参照して説明する。以下に説明する蒸着マスク２０の製造方法では、図１３に示すように、金属板６４を加工して、金属板６４に、貫通孔２５を含む複数の蒸着マスク部分を形成し（加工工程）、その後、蒸着マスク部分を金属板６４から分離する（分離工程）ことによって、枚葉状の蒸着マスク２０を得ることができる。 ・・・ 【００７５】 図２２Ａは、上述のようにして蒸着マスク２０を加工して貫通孔２５を形成することによって得られた中間製品５０を示す平面図である。中間製品５０は、複数の蒸着マスク部分５１と支持部分５６とを備える。蒸着マスク２０の製造工程における金属板６４の搬送方向は、長手方向Ｄ１に一致する。 【００７６】 蒸着マスク部分５１は、金属板６４のうち、分離されることによって蒸着マスク２０となる部分である。図２２Ａに示すように、複数の蒸着マスク部分５１は、幅方向Ｄ２に並んでいる。 【００７７】 支持部分５６は、平面視において複数の蒸着マスク部分５１を囲むとともに蒸着マスク部分５１に部分的に接続されている部分である。図２２Ａに示す例において、支持部分５６は、金属板６４のうち蒸着マスク部分５１以外の部分である。図２２Ａに示すように、蒸着マスク部分５１は、短側面２７において接続箇所５４を介して支持部分５６に接続されている。 【００７８】 図２２Ｂは、図２２Ａの中間製品５０のうち符号XXIIBが付された点線で囲われた領域を拡大して示す図である。上述の接続箇所５４において、蒸着マスク部分５１の短側面２７は、支持部分５６に向かって突出し、且つ支持部分５６に接続されている複数の凸部５３ａを含んでいる。例えば、中間製品５０のうち短側面２７と支持部分５６との間には、金属板６４を貫通する複数の第２貫通部５５ｂが、短側面２７が延びる方向に沿って並んでいる。幅方向Ｄ２における第２貫通部５５ｂの寸法Ｋは、例えば３０μｍ以上であり、また、例えば１００μｍ以下である。凸部５３ａは、短側面２７が延びる方向において隣接する２つの第２貫通部５５ｂの間に位置する。一方、蒸着マスク部分５１の長側面２６は、支持部分５６に接続されていない。言い換えると、中間製品５０のうち蒸着マスク部分５１の長側面２６と支持部分５６との間には、金属板６４を貫通する第１貫通部５５ａが、長側面２６が延びる方向に沿って延びている。幅方向Ｄ２における第１貫通部５５ａの寸法Ｓは、例えば０．１ｍｍ以上であり、また、例えば５ｍｍ以下である。 ・・・ 【００８５】 （分離工程） ・・・ 【００８６】 図２３は、蒸着マスク部分５１を支持部分５６から分離する分離工程を示す図である。上述のように、蒸着マスク部分５１の長側面２６と支持部分５６とは接続されていない。このため、短側面２７において蒸着マスク部分５１と支持部分５６との間の接続箇所５４を破断させることにより、蒸着マスク部分５１を支持部分５６から分離して蒸着マスク２０を得ることができる。図２４は、中間製品５０から得られた蒸着マスク２０を拡大して示す平面図である。」 （エ）「【００８９】 蒸着マスク装置の製造方法 次に、蒸着マスク２０とフレーム１５とを組み合わせて蒸着マスク装置１０を製造する方法について説明する。まず、フレーム１５を準備する。続いて、図２５に示すように、溶接などによって蒸着マスク２０の第２面２０ｂをフレーム１５に固定する。例えば、まず、フレーム１５と蒸着マスク２０とを重ねた状態で、第１面２０ａ側からカメラなどを用いて蒸着マスク２０を撮影する。この際、蒸着マスク２０には張力が付与されていてもよい。続いて、撮影によって得られた画像に基づいて、フレーム１５に対する蒸着マスク２０の位置を検出する。例えば、長手方向Ｄ１における蒸着マスク２０の輪郭の位置を検出する。続いて、フレーム１５に対する蒸着マスク２０の位置が所定の位置になるよう、蒸着マスク２０の位置を調整する。」 （オ）「【図２２Ａ】 ［図：0001411262000007.jpg］ 【図２２Ｂ】 ［図：0001411262000008.jpg］ 【図２３】 ［図：0001411262000009.jpg］ 【図２４】 ［図：0001411262000010.jpg］ 【図２５】 ［図：0001411262000011.jpg］ 」 オ 甲５に記載された事項 （ア）「【請求項１】 額縁状のフレームに固定して使用するメタルマスクであって、前記フレームに対して固定すべき領域よりも外側に位置するクランプ領域を備え、該クランプ領域の表裏の少なくとも一方の表面に粗面を形成したことを特徴とするメタルマスク。」 （イ）「【０００８】 また、前記メタルマスクには、フレームに固定して使用する有効領域を取り囲む位置に易切断線を形成しておくことが好ましい。このように、有効領域を取り囲む位置に易切断線を設けておくと、このメタルマスクをフレームに固定した後、易切断線を利用して、その外側にあるクランプ領域を含む不要部分を容易に切断、除去することができる。」 （ウ）「【００１２】 【発明の実施の形態】 以下、有機ＥＬ素子製造工程における蒸着に用いる多面付けのメタルマスクを例にとって本発明の好適な実施の形態を説明する。図１は本発明の実施の形態に係るメタルマスク及びそれを取り付けるフレームの概略斜視図、図２はメタルマスクをフレームに固定した状態で示す概略斜視図、図３はメタルマスクの一部を拡大して示す概略平面図である。図１～図３において、１はメタルマスク、２はそのメタルマスク１を支持するための額縁状のフレームである。メタルマスク１は、インバー材、ステンレスなどの金属薄板で形成され、多数の微細なスリットを平行に並べて形成したパターン部３を複数個備えている。更に、図１に示すように、フレーム２に取り付ける前のメタルマスク１は、その４辺の側縁部分１ｂを適当なクランプでつかんで張力を加えた状態で、フレーム２の上に乗せてスポット溶接することができるよう、フレーム２よりも縦横両方向ともに大きいサイズに作っている。以下、クランプで把持される側縁部分１ｂをクランプ領域という。また、メタルマスク１は、そのメタルマスク１をフレーム２に固定して残す有効領域１ａを取り囲む位置に易切断線４を形成している。この易切断線４は、メタルマスク１をこの易切断線４に沿って折り曲げることなどにより容易に切断しうるものであり、ハーフカット、ミシン目などで形成されている。易切断線４として、ハーフカットを用いる場合、パターン部３のエッチングと同時にハーフエッチングを行って形成することが好ましい。なお、易切断線４は、メタルマスク１に加える引張力には耐え得る強度は備えている。更に、メタルマスク１のクランプ領域１ｂの表裏の少なくとも一方の表面は、クランプで把持した時に滑りにくくするため粗面としている。粗面の形態は任意であり、例えば、多数の独立した突起或いは凹みを備えたもの、多数の平行な溝或いは凸条を備えたもの、多数の溝或いは凸状を交叉して配置したもの等を例示できる。粗面の形成方法は任意であるが、ハーフエッチングにより形成することが、パターン部３のエッチングと同時に形成できるので好ましい。粗面の表面粗さは、クランプに対して極力滑りを生じないように定めればよく、例えば、粗面をハーフエッチングで形成する場合には、ハーフエッチング深さがメタルマスクの厚さの６０％程度とすることが好ましい。」 （エ）「 ［図：0001411262000012.jpg］ 」 カ 甲６に記載された事項 （ア）「【請求項１】 額縁状のフレームに溶接固定して使用するメタルマスクであって、表面に溶接固定すべき位置を案内するマークを付していることを特徴とするメタルマスク。」 （イ）「【００１２】 【発明の実施の形態】 以下、有機ＥＬ素子製造工程における蒸着に用いる多面付けのメタルマスクを例にとって本発明の好適な実施の形態を説明する。図１は本発明の実施の形態に係るメタルマスク及びそれを取り付けるフレームの概略斜視図、図２はメタルマスクをフレームに固定した状態で示す概略斜視図である。図１、図２において、１はメタルマスク、２はそのメタルマスク１を支持するための額縁状のフレームである。メタルマスク１は、インバー材、ステンレスなどの金属薄板で形成され、多数の微細なスリットを平行に並べて形成したパターン部３を複数個備えている。更に、図１に示すように、フレーム２に取り付ける前のメタルマスク１は、その４辺の側縁部分１ｂを適当なクランプでつかんで張力を加えた状態で、フレーム２の上に乗せてスポット溶接することができるよう、フレーム２よりも縦横両方向ともに大きいサイズに作っている。また、フレーム２に固定した後、４辺の不要な側縁部分１ｂを容易に除去してその内側の有効部分１ａをフレーム２上に残すことができるよう、有効部分１ａを取り囲む位置に、折り曲げることなどによって容易に切断することができるよう、ハーフカット、ミシン目などの易切断線４を形成している。なお、易切断線４は、メタルマスク１に加える引張力には耐え得る強度は備えている。フレーム２は、メタルマスク１の多数のパターン部３を形成した領域を包含する大きさの開口部５を備えた額縁状のものである。更に、フレーム２は張力を加えた状態のメタルマスク１を固定した後においても、そのメタルマスク１の張力によってたわんでメタルマスクにゆがみやたるみが生じることがないよう、また、保管時、蒸着機への取付時、蒸着操作時などの取り扱い時においても常にメタルマスク１を平坦な状態に保持しうるよう、大きい剛性を備えたものであり、その剛性を付与するため、フレーム２には十分な厚さ及び幅を持たせている。フレーム２の材料としては、通常、ステンレス、インバー材などの金属材が使用される。」 （ウ）「 ［図：0001411262000013.jpg］ 」 キ 甲７に記載された事項 （ア）「【請求項１】 メタルマスクを取り付けるための窓枠形状のフレームであって、多数の穴を形成した窓枠形状の薄板を複数枚積層して接合し、一体化したことを特徴とするメタルマスク用フレーム。」 （イ）「【００２４】 メタルマスク１２は、金属薄板製のもので、複数のマスク部１５を縦横に並べて形成している。各マスク部１５は、エッチング等によって形成した多数の微少な開口部を備えたものである。各マスク部１５における開口部は、蒸着時に蒸気の通過を許容するためのものであり、その開口部の形状、配列は任意であり、例えば、細長いスリット状の開口部を平行に並べたもの、スロット状の開口部を縦方向に並べると共に平行にも並べたもの等を挙げることができる。フレーム１３に取り付ける前のメタルマスク１２は、フレーム１３よりも縦横両方向ともに大きいサイズに作られており、フレーム１３の外周縁にほぼ対応する位置に、折り曲げることで容易に切断可能な易切断線１９をハーフエッチングなどによって形成している。なお、易切断線１９は、メタルマスク１２に加えるテンションには耐え得る強度を備えたものである。メタルマスク１２の厚さ、マスク部１５の寸法、それに形成した多数の微少な開口部の寸法等は特に限定するものではないが、代表的なものとして、メタルマスク１２の厚さは３０～２００μｍ、マスク部１５の寸法は長さが５０～７０ｍｍ、幅が３０～５０ｍｍ、開口部の幅が４０～１００μｍ、平行に配列された開口部間の無孔部分の幅が８０～２００μｍ等を例示できる。」 （ウ）「 ［図：0001411262000014.jpg］ 」 ク 甲８に記載された事項 （ア）「【請求項１】 窓枠形状のフレームに金属テープを、テンションを付加した状態で取り付ける方法であって、前記金属テープを前記フレームの金属テープ取り付け位置に配置する工程と、前記金属テープの両端近傍を把持し、前記フレームの金属テープ取り付け位置の近傍に反力を取ってテンションを付加し、その状態で前記フレームの反り量を測定し、反り量が所望の範囲内となるように前記金属テープに付加するテンションを調整する工程と、前記金属テープの両端近傍をそれぞれ前記フレームに固定する工程を有することを特徴とする金属テープの取り付け方法。」 （イ）「【００１６】 メタルマスク１１は、金属薄板製のもので、複数のマスク部１２を縦横に並べて形成している。各マスク部１２は、エッチング等によって形成した多数の微少な開口部を備えたものである。各マスク部１２における開口部は、蒸着時に蒸気の通過を許容するためのものであり、その開口部の形状、配列は任意であり、例えば、細長いスリット状の開口部を平行に並べたもの、スロット状の開口部を縦方向に並べると共に平行にも並べたもの等を挙げることができる。フレーム１３に取り付ける前のメタルマスク１１は、フレーム１３よりも縦横両方向ともに大きいサイズに作られており、フレーム１３の外周縁にほぼ対応する位置に、折り曲げることで容易に切断可能な易切断線１５をハーフエッチングなどによって形成している。なお、易切断線１５は、メタルマスク１１に加えるテンションには耐え得る強度を備えたものである。メタルマスク１１の厚さ、マスク部１２の寸法、それに形成した多数の微少な開口部の寸法等は特に限定するものではないが、代表的なものとして、メタルマスク１１の厚さは３０～２００μｍ、マスク部１２の寸法は長さが５０～７０ｍｍ、幅が３０～５０ｍｍ、開口部の幅が４０～１００μｍ、平行に配列された開口部間の無孔部分の幅が８０～２００μｍ等を例示できる。」 （ウ）「 ［図：0001411262000015.jpg］ 」 ケ 甲９に記載された事項 （ア）「【請求項１】 独立した多数の蒸着通孔を所定パターンで設けられるマスク本体と、マスク本体と一体に配設される枠体とを備える蒸着マスクにおいて、 前記枠体が、マスク本体と連結一体化される保持枠部と、当該保持枠部と一体に配設される補強枠部とを有することを 特徴とする蒸着マスク。 【請求項２】 前記請求項１に記載の蒸着マスクにおいて、 前記枠体における保持枠部と補強枠部との境界部分に、貫通孔もしくは凹部の少なくともいずれかが規則的もしくは不規則的に複数線状に並んだ配置とされる、又は、溝が線状に連続する配置とされる、切離し用加工部が設けられることを 特徴とする蒸着マスク。」 （イ）「【００１２】 また、本発明の開示に係る蒸着マスクは、必要に応じて、前記枠体における保持枠部と補強枠部との境界部分に、貫通孔もしくは凹部の少なくともいずれかが規則的もしくは不規則的に複数線状に並んだ配置とされる、又は、溝が線状に連続する配置とされる、切離し用加工部が設けられるものである。 【００１３】 このように本発明の開示によれば、枠体の保持枠部と補強枠部との境界部分に切り離し用加工部を設けて、補強枠部を保持枠部から切り離す際の加工対象位置とすることにより、蒸着装置側への枠体保持枠部及びマスク本体の位置決め、固定の後など、補強枠部による枠体の剛性確保が不要となった場合に、補強枠部の保持枠部からの切り離し加工が無理なく容易に行え、蒸着装置による蒸着工程にスムーズに移行できると共に、枠体として残る保持枠部の形状や保持枠部によるマスク本体の補強状態に影響を与えずに補強枠部を切り離すことができ、その後の蒸着工程を問題なく進められる。」 （ウ）「【００３５】 この枠体３における保持枠部４と補強枠部５との境界部分には、線状に連続する溝３ｃと複数の貫通孔３ｄとを組み合わせた形状の切離し用加工部３ｂが設けられる。切離し用加工部３ｂの幅は、例えば、約２ｍｍに設定される。 ・・・ 【００３８】 切離し用加工部３ｂは、枠体３へのエッチングにより設ける他、機械加工やレーザ加工で不要部分を除去することにより設けることもできる。 なお、切離し用加工部３ｂは、貫通孔３ｄを切欠き部３ｅのある断面形状とするものに限られるものではなく、単純な四角形や円形断面の貫通孔としてもよい。また、切離し用加工部３ｂは、溝３ｃと貫通孔３ｄとを組み合わせた形状の他、貫通孔が所定間隔で併設されない溝が、線状に連続する配置として設けられる構成としてもかまわない。この他、切離し用加工部３ｂは、貫通孔もしくは凹部の少なくともいずれかが規則的もしくは不規則的に複数線状に並んだ配置として設けられる構成とすることもできる。」 （エ）「【００６７】 こうしたマスク本体２と枠体３との組合せからなる蒸着マスク１を、蒸着釜等の蒸着を行う蒸着装置に対し、蒸着可能に設置する。設置に際しては、まず、蒸着マスク１を、蒸着装置に蒸着マスク支持用として設けられるフレーム５０に対し適切に位置決めしてから固定する（図１０、図１１参照）。フレーム５０は、例えば、インバー材など低熱膨張係数の材質からなる枠状部材であり、その厚さを１０～２５ｍｍとして形成される。 この固定は、蒸着マスク１の枠体３における保持枠部４を、フレーム５０にスポット溶接などの溶接により強固に且つ蒸着時の熱に耐えうる状態で一体化することでなされる。 ・・・ 【００７０】 フレーム５０への保持枠部固定後は、枠体３の保持枠部４の剛性を枠体３自体の構造で担保する、すなわち、保持枠部４をその外側の補強枠部５で補強する構成をそのまま維持する必要がなくなる。蒸着の工程において、蒸着マスク１は小さい方が都合がよいことから、補強目的で残す必要がなく、不要部分となった補強枠部５については、保持枠部４との境界に設けられた切離し用加工部３ｂで切断し、保持枠部４から分離除去する（図１２参照）。 【００７１】 この保持枠部４の除去において、あらかじめ枠体３に切離し用加工部３ｂを設けて、補強枠部５を保持枠部４から切り離す際の加工対象位置とすることで、切り離し加工が無理なく容易に行えると共に、枠体として残る保持枠部４の形状や保持枠部４によるマスク本体２の保持状態に影響を与えずに補強枠部５を切り離すことができ、蒸着装置による蒸着工程にスムーズに移行できる。 【００７２】 加えて、加工対象となる切離し用加工部３ｂは、線状に連続配置される溝３ｃと、溝３ｃの連続方向へ所定間隔で複数穿設される貫通孔３ｄとの組合せ形状とされると共に、貫通孔３ｄには鋭角の切欠き部３ｅを設けた構造となっている。このため、この切離し用加工部３ｂを切断加工して補強枠部５を切り離す際に、切欠き部３ｅを起点として切離し用加工部３ｂに沿って切断面が無理なく生成され、保持枠部４側にバリ等が残りにくく、蒸着工程に付随する諸作業に悪影響を及ぼさないようにできる。」 （オ）「 ［図：0001411262000016.jpg］ ［図：0001411262000017.jpg］ ［図：0001411262000018.jpg］ 」 コ 甲１０に記載された事項 （ア）「【請求項１】 表面が（１１０）面であるシリコンウェハーの切断予定線上に、エッチングにより貫通孔を開設して脆弱部を形成するシリコンウェハーのブレークパターンにおいて、 前記切断予定線を、前記（１１０）面上であって、該（１１０）面に直交する（１１１）第一面の面方向に設定し、 前記貫通孔を、（１１１）第一面によって長辺が構成され、この（１１１）第一面に交差すると共に（１１０）面に直交する（１１１）第二面によって短辺が構成される細長い平行四辺形の孔とし、 当該貫通孔を、前記切断予定線を中心にして千鳥状に配置したことを特徴とするシリコンウェハーのブレークパターン。」 （イ）「【００２４】この様にしてシリコンウェハー１０に平行四辺形の貫通孔１４…を千鳥状に穿孔してブレークパターンを作製すると、隣り合う貫通孔１４，１４同士の間が脆弱部１９となり、この脆弱部１９の内であっても切断予定線Ｌ１に近い側のエッジ同士の間が最短距離となる。したがって、切断力が作用した場合には、図２（ｃ）に示すように、脆弱部１９のうちで最も弱い上記最短距離の線上から優先的に破断が発生し、ここで切断することができる。即ち、上記最短距離の線以外の部位から破断が発生することを抑制できる。これにより、切断位置の安定化を図ることができる。また、破断する位置が上記最短距離の線に集中してほぼ直線に円滑に破断するので、割れカスの発生を抑制することもできる。」 （ウ）「 ［図：0001411262000019.jpg］ 」 サ 甲１１に記載された事項 （ア）「【０００６】 本発明の目的は、横ミシン目線に沿って破断して上方領域を容易に除去でき、上方領域を除去した後に下方領域の上端部に摘み部を生じさせることができる熱収縮性筒状ラベル及び筒状ラベル付き容器を提供することである。」 （イ）「【００２４】 上横ミシン目線３１の貫通孔３９と下横ミシン目線３２の貫通孔３９は、千鳥状に配置されている。換言すると、上横ミシン目線３１の貫通孔３９の下側に下横ミシン目線３２の不切り部が位置し且つ上横ミシン目線３１の不切り部の下側に下横ミシン目線３２の貫通孔３９が位置するように、上横ミシン目線３１と下横ミシン目線３２は横ずれして形成されている。特に、上横ミシン目線３１の貫通孔３９の下側に下横ミシン目線３２の不切り部が位置し、且つ、上横ミシン目線３１の貫通孔３９の両端部の下側に下横ミシン目線３２の貫通孔３９の一方端部及び不切り部を挟んで隣接する貫通孔３９の他方端部が位置するように、上横ミシン目線３１と下横ミシン目線３２が形成されていることが好ましい。 上横ミシン目線３１の貫通孔３９と下横ミシン目線３２の貫通孔３９を千鳥状に配置することにより、横ミシン目線３に沿って破断しやすくなるとともに、横貫通孔３９を縦断する縦長貫通孔４を容易に形成できる。 なお、上横ミシン目線３１の貫通孔３９と下横ミシン目線３２の貫通孔３９が、縦方向に並ぶように配置されていてもよい（図示せず）。換言すると、上横ミシン目線３１の貫通孔３９の下側に下横ミシン目線３２の貫通孔３９が位置するように、上横ミシン目線３１と下横ミシン目線３２が形成されていてもよい。」 （ウ）「 ［図：0001411262000020.jpg］ 」 シ 甲１２に記載された事項 （ア）「【請求項１】 接着層と、あらかじめ設定された開封誘導線となるミシン目が形成されたシートと、を有し、 パウチ容器の開封予定位置に貼り着けられ、前記ミシンに沿って前記シートを破断する際に前記パウチ容器を同時に破断可能とすることで開封誘導性を付与可能とされることを特徴とする開封誘導ラベル。」 （イ）「【００４２】 図６は、本実施形態における開封誘導ラベルの他の例を示す平面図である。 ここで、ミシン目とは、断続的に設けられた切断線を意味し、図２に示す連続した破断線や、図６（ａ）に示すように、所定長さで向きが異なる短い切れ目が連続して設けられたミシン目４ｄ，４ｅとされることができる。 【００４３】 あるいは、ミシン目として、千鳥状の破断線、つまり、図６（ｂ）に示すように、短い直線状の切り込み線が、ミシン目の長さ方向（図の左右方向）で隣り合う位置においてミシン目の幅方向（図の上下方向）に互い違いに配置されて、等しいピッチで上下する破断線とされ、これがミシン目の幅方向（図の上下方向）に複数設けられた状態の破断線４ｆ、言い換えると、複数本の一の字がミシン目の幅方向（図の上下方向）に所定のピッチで配列され、この複数本の一の字にミシン目の長さ方向（図の左右方向）で隣接する位置には、ミシン目の幅方向（図の上下方向）に上記のピッチに対して半分だけずれた位置に同じ長さの一の字が千鳥足状に配列され、さらにミシン目の長さ方向（図の左右方向）で隣接する位置ににも同様にしてずれた位置に、複数本の一の字の配列が繰り返されている多数配列の破断線４ｆなどの形状を有することができる。」 （ウ）「 ［図：0001411262000021.jpg］ 」 ス 甲１３に記載された事項 （ア）「【請求項１】 表側フィルムと裏側フィルムとに囲まれて形成された収容部に被包装物を収容する易開封性包装袋において、 一方の側のフィルムには、当該包装袋の幅方向に延びる、２本のミシン目が設けられ、 他方の側のフィルムには、当該包装袋の厚み方向の投影において、前記２本のミシン目の間に位置するように、前記幅方向に延びる１本のミシン目が設けられていることを特徴とする、易開封性包装袋。 【請求項２】 前記２本のミシン目が千鳥足状に形成されていることを特徴とする請求項１に記載の易開封性包装袋。」 （イ）「 ［図：0001411262000022.jpg］ 」 セ 甲１４に記載された事項 （ア）「【００１２】 ところで、蒸着マスクの製造コストを削減するため、はじめに、一つの有機ＥＬ表示装置に対応する複数の貫通孔を含む有効領域を、金属板に複数形成し、その後、金属板を複数に切断し、これによって、細長状の複数の蒸着マスクを一度に製造することが知られている。このため、金属板の幅方向の側縁において波打ち形状が現れている場合、切断された蒸着マスクの中には、その幅方向における一方の側縁に形成される波打ち形状が、他方の側縁に形成される波打ち形状よりも大きくなっている蒸着マスクが存在し得る。このような蒸着マスクは、張設しない状態では波打ち形状が形成されている一方の側縁が縮むため、蒸着マスクの法線方向に沿って見たときに蒸着マスクが湾曲する。この場合、蒸着マスクの当該一方の側縁が凹み、他方の側縁が凸となる。」 （イ）「【００８１】 （蒸着マスク中間体） ところで、上述した本実施の形態による蒸着マスク２０は、一つの有機ＥＬ表示装置に対応する複数の貫通孔２５を含む有効領域２２を、後述する長尺金属板６４に複数形成し、その後、長尺金属板６４を複数に切断して得られる。これによって、細長状の複数の蒸着マスク２０が一度に製造されるようになる。この場合、図１１に示すように、複数の蒸着マスク２０が割り付けられるように、長尺金属板６４に複数の有効領域２２Ａ、２２Ｂが形成された蒸着マスク中間体１００を作製し、その後、長尺金属板６４が切断されて、個々の蒸着マスク２０Ａ、２０Ｂが得られる。」 （ウ）「 ［図：0001411262000023.jpg］ 」 ソ 甲１５に記載された事項 （ア）「【０００６】 蒸着マスクを効率的に製造する方法として、まず、複数の蒸着マスクに相当する面積を有する金属板を準備し、次に、複数の蒸着マスクに形成されるべき多数の貫通孔を金属板に形成し、その後、金属板から個々の蒸着マスクを抜き出す、という方法が知られている。例えば特許文献１においては、破断線に沿って金属板を切断することによって、金属板から蒸着マスクを抜き出している。特許文献１において、破断線は、蒸着マスクの長辺及び短辺に対応するパターンで金属板に形成されたミシン目である。」 （イ）「【００８２】 図１８は、上述のようにして蒸着マスク２０を加工して貫通孔２５を形成することによって得られた中間製品５０を示す平面図である。中間製品５０には、蒸着マスク２０が割り付けられている。言い換えると、中間製品５０は、複数の蒸着マスク部分５１と支持部分５６とを備える。図１８において、符号Ｔ１は、蒸着マスク２０の製造工程における金属板６４の搬送方向を表し、符号Ｔ２は、搬送方向Ｔ１に直交する方向（以下、幅方向とも称する）を表す。搬送方向Ｔ１は、長尺状の金属板６４の長手方向に一致する。 【００８３】 蒸着マスク部分５１は、金属板６４のうち、分離されることによって蒸着マスク２０となる部分である。蒸着マスク部分５１は、蒸着マスク２０の一対の長辺２６及び一対の短辺２７に対応する一対の長辺５２及び一対の短辺５３を含む。また、蒸着マスク部分５１には、複数の貫通孔２５が形成されている。例えば、蒸着マスク部分５１は、複数の貫通孔２５が形成された有効領域２２と、有効領域２２を取り囲む周囲領域２３と、を含む。 【００８４】 図１８に示すように、複数の蒸着マスク部分５１は、長辺５２に交差する方向に並んでいる。例えば、長辺５２は搬送方向Ｔ１に平行であり、複数の蒸着マスク部分５１が並ぶ方向は幅方向Ｔ２に平行である。 【００８５】 支持部分５６は、平面視において複数の蒸着マスク部分５１を囲むとともに蒸着マスク部分５１に部分的に接続されている部分である。図１８に示す例において、支持部分５６は、金属板６４のうち蒸着マスク部分５１以外の部分である。 【００８６】 以下、蒸着マスク部分５１と支持部分５６との間の接続箇所５４について説明する。図１９は、図１８の中間製品５０のうち符号XIXが付された点線で囲われた領域を拡大して示す図である。図１８及び図１９に示す例において、蒸着マスク部分５１の短辺５３は、支持部分５６に部分的に接続されている。例えば、図１９に示すように、蒸着マスク部分５１の短辺５３は、支持部分５６に向かって突出し、且つ支持部分５６に接続されている複数の凸部５３ａを含んでいる。一方、蒸着マスク部分５１の長辺５２は、支持部分５６に接続されていない。言い換えると、蒸着マスク部分５１の長辺５２と支持部分５６との間には、長辺５２の全域にわたって隙間５５が存在している。また、隣り合う２つの蒸着マスク部分５１の長辺５２の間にも、支持部分５６が存在していない。言い換えると、隣り合う２つの蒸着マスク部分５１の長辺５２の間には、長辺５２の全域にわたって隙間５５が存在している。 ・・・ 【００９３】 図２０は、蒸着マスク部分５１を支持部分５６から分離する分離工程を示す図である。上述のように、蒸着マスク部分５１の長辺５２と支持部分５６とは接続されていない。このため、短辺５３において蒸着マスク部分５１と支持部分５６との間の接続箇所５４を破断させることにより、蒸着マスク部分５１を支持部分５６から分離して蒸着マスク２０を得ることができる。図２１は、中間製品５０から得られた蒸着マスク２０を拡大して示す平面図である。 【００９４】 分離工程は、例えば、蒸着マスク部分５１の短辺５３のうち支持部分５６に接続されている接続箇所５４を破断させる破断工程を含む。この場合、図２１に示すように、蒸着マスク２０のうち接続箇所５４が破断された箇所、例えば短辺５３の凸部５３ａの先端が、破断面２７ｂとなる。このように、蒸着マスク２０の短辺２７には部分的に破断面２７ｂが存在する。図２２は、図２１の矢印XXIIの方向から蒸着マスク２０の短辺２７の凸部２７ａの破断面２７ｂを見た場合を示す側面図である。 【００９５】 破断工程においては、蒸着マスク部分５１を支持部分５６に対して例えば図２２の上方向に引っ張ることによって、蒸着マスク部分５１の短辺５３と支持部分５６との間の接続箇所５４を破断させる。この場合、凸部２７ａの破断面２７ｂには、図２２に示すように、破断時に支持部分５６から受けた力に起因するバリ２７ｃが生じることがある。バリ２７ｃは、破断時に支持部分５６から受けた力の方向（図２２においては下方向）に向かって延びている。破断面２７ｂは、このようなバリ２７ｃが存在する面として定義され得る。一方、蒸着マスク部分５１の長辺５２は支持部分５６に接続されていないので、蒸着マスク２０の長辺２６には破断面が存在しない。」 （ウ）「【図１８】 ［図：0001411262000024.jpg］ 【図１９】 ［図：0001411262000025.jpg］ 【図２０】 ［図：0001411262000026.jpg］ 」 （２）甲１～甲４に記載された発明及び甲４～甲１５に記載された周知の技術的事項 ア 甲１に記載された発明 甲１の上記（１）ア（ア）の【請求項１】を引用する【請求項１７】をさらに引用する【請求項１８】には、「パターンが形成された本体部と、前記本体部の一側から延びた少なくとも一つ以上のサイドクランピング部と、前記少なくとも一つ以上のサイドクランピング部の最外郭のサイドクランピング部に隣接して配される斜めクランピング部と、を備え、前記斜めクランピング部と前記最外郭のサイドクランピング部とがなす角度（θ）は、０°より大きく９０°より小さく（０°＜θ＜９０°）、前記本体部と前記サイドクランピング部との間と、前記本体部と前記斜めクランピング部との間が、マスクフレーム組立体のフレームに溶接され、その後、前記サイドクランピング部と前記斜めクランピング部は、除去される分割マスク。」が記載されている。 そして、同（ア）の【請求項２０】の記載によれば、サイドクランピング部及び斜めクランピング部の除去は、「切断」により行われるものである。 また、同（ウ）の【００５０】の記載によれば、分割マスクは、「細長いスティック状の部材」であり、また、同（イ）の【００１０】の「前記スティック本体部の長手方向に沿って延びた少なくとも一つ以上のサイドクランピング部」との記載によれば、サイドクランピング部は、細長いスティック状の部材である分割マスクの「長手方向に」形成されるものであるといえる。 以上を踏まえると、甲１には、以下の発明（以下、「甲１発明」という。）が記載されているといえる。 「パターンが形成された本体部と、前記本体部の一側から長手方向に延びた少なくとも一つ以上のサイドクランピング部と、前記少なくとも一つ以上のサイドクランピング部の最外郭のサイドクランピング部に隣接して配される斜めクランピング部と、を備え、前記斜めクランピング部と前記最外郭のサイドクランピング部とがなす角度（θ）は、０°より大きく９０°より小さく（０°＜θ＜９０°）、前記本体部と前記サイドクランピング部との間と、前記本体部と前記斜めクランピング部との間が、マスクフレーム組立体のフレームに溶接され、その後、前記サイドクランピング部と前記斜めクランピング部とは、切断により除去される、細長いスティック状の部材である分割マスク。」 イ 甲２及び甲３に記載された発明 甲２の上記（１）イの記載によれば、甲２には、蒸着用マスクが記載され（甲２の上記（１）イ（ア）の【請求項１】等）、この蒸着用マスク２０は、マスクユニット２１及びマスクユニット２１の長手方向両端に配置されるカッティング部２２を含み（同（イ）の【００６２】、【００６４】）、マスクユニット２１と支持フレーム１１との間のボンディング工程が完了した後、カッティング部２２が切断されるものである（同（イ）の【００６６】）。 そして、この蒸着用マスク２０は、具体的には、同（ウ）の【図５】で表されるものであるところ、この蒸着用マスク２０と、上記アで述べた甲１発明及びその具体的な態様である、甲１の上記（１）ア（エ）の【図１】に記載される分割マスクと比較すると、前者の、【図５】より細長い形状であると見て取れる「蒸着用マスク２０」、「マスクユニット２１」及び「カッティング部２２」は、それぞれ、後者の「細長いスティック状の部材である分割マスク」、「パターンが形成された本体部」及び「前記本体部の一側から長手方向に延びた少なくとも一つ以上のサイドクランピング部」に対応するものである。また、甲１発明において、「前記本体部と前記サイドクランピング部との間」が、「マスクフレーム組立体のフレームに溶接され、その後、前記サイドクランピング部」は、「切断により除去される」のと同様に、甲２の蒸着用マスク２０も、マスクユニット２１と支持フレーム１１との間のボンディング工程が完了した後、カッティング部２２が切断されるものであるから、甲２には、蒸着用マスク２０について、甲１発明と同様の発明が記載されているといえる。 甲３についても、甲３の上記（１）ウの記載によれば、クランプ部１２０とメインボディ１１０を有する分割マスク１００が記載され（甲３の上記（１）ウ（ウ）のＦＩＧ．１）、このクランプ部１２０は、分割マスク１００がフレーム２００に溶接された後、切断して除去されるもの（同（イ）の［００５３］）であるから、甲３にも、分割マスク１００について、甲１発明と同様の発明が記載されているといえる。 ウ 甲４に記載された発明 甲４の上記（１）エ（ウ）には、同（オ）の【図２２Ａ】、【図２２Ｂ】、【図２３】、【図２４】等に示される「中間製品」について、以下の内容が記載されている。 【００７５】には、中間製品５０は、複数の蒸着マスク部分５１と支持部分５６とを備えることが記載され、【００７６】には、蒸着マスク部分５１は、分離されることによって蒸着マスク２０となる部分であり、複数の蒸着マスク部分５１は、幅方向Ｄ２に並ぶものであることが記載され、【００７７】には、支持部分５６は、平面視において複数の蒸着マスク部分５１を囲むとともに蒸着マスク部分５１に部分的に接続されている部分であること、蒸着マスク部分５１は、短側面２７において接続箇所５４を介して支持部分５６に接続するものであることが記載され、【００７８】には、接続箇所５４において、中間製品５０のうち短側面２７と支持部分５６との間には、金属板６４を貫通する複数の第２貫通部５５ｂが、短側面２７が延びる方向に沿って並んでいること、蒸着マスク部分５１の長側面２６は、支持部分５６に接続されていないことが記載され、【００８６】には、短側面２７において蒸着マスク部分５１と支持部分５６との間の接続箇所５４を破断させることにより、蒸着マスク部分５１を支持部分５６から分離して蒸着マスク２０を得ることができることが記載されている。 以上の「中間製品」に関する内容をまとめると、甲４には、「中間製品」に関する以下の発明（以下、「甲４発明」という。）が記載されているといえる。 「複数の蒸着マスク部分と支持部分とを備える中間製品であって、 蒸着マスク部分は、分離されることによって蒸着マスクとなる部分であり、複数の蒸着マスク部分は、幅方向Ｄ２に並ぶものであり、 支持部分は、平面視において複数の蒸着マスク部分を囲むとともに蒸着マスク部分に部分的に接続されている部分であり、蒸着マスク部分は、短側面において接続箇所を介して支持部分に接続するものであり、 接続箇所において、中間製品のうち短側面と支持部分との間には、金属板を貫通する複数の第２貫通部が、短側面が延びる方向に沿って並び、蒸着マスク部分の長側面は、支持部分に接続されておらず、 短側面において蒸着マスク部分と支持部分との間の接続箇所を破断させることにより、蒸着マスク部分を支持部分から分離して蒸着マスクを得る、 中間製品。」 エ 甲５～甲９に記載された周知の技術的事項 （ア）甲５の上記（１）オ～甲８の上記（１）クの記載によれば、甲５～甲８には、メタルマスクを、フレームにスポット溶接などの溶接により固定後、メタルマスクの不要部分の切断が容易なように、切断箇所に易切断線を設けること（甲５の上記（１）オ（イ）、甲６の上記（１）カ（イ）、甲７の上記（１）キ（イ）、甲８の上記（１）ク（イ））、易切断線は、複数のハーフカット、ミシン目などで形成されること（甲５の同（イ）、（ウ）、甲６の同（イ）、（ウ）、甲７の同（イ）、（ウ）、甲８の同（イ）、（ウ））、易切断線がハーフカットの場合には、ハーフエッチングにより形成されること（甲５の同（イ）、甲７の同（イ）、甲８の同（イ））が記載されている。 ここで、易切断線は、本件発明の脆弱部に相当する。 （イ）甲９の上記（１）ケの記載によれば、甲９には、蒸着マスク１の枠体３における保持枠部４を、フレーム５０にスポット溶接などの溶接により一体化した（甲９の上記（１）ケ（エ）の【００６７】）後、不要部分となった補強枠部５については、切り離し加工が無理なく容易に行える等のために（同（エ）の【００７１】）、保持枠部４との境界に設けられた切離し用加工部３ｂで切断し、保持枠部４から分離除去すること（同（エ）の【００７０】）、切離し用加工部は、貫通孔もしくは凹部の少なくともいずれかが規則的もしくは不規則的に複数線状に並んだ配置されるものであること（同（イ）の【００１２】）、また、この切離し用加工部３ｂは、枠体３へのエッチングにより設けること（同（ウ）の【００３８】）が記載されている。 ここで、切離し用加工部は、本件発明の脆弱部に相当し、切離し用加工部として複数設けられる凹部は、枠体３の厚みの途中までエッチングされたものであるから、複数のハーフエッチング部であるといえる。 （ウ）以上によれば、甲５～９に記載されるように、「蒸着マスクをフレームに取り付けた後、蒸着マスクの不要部分を容易に切断するために、切断箇所に複数のハーフエッチング部を含む脆弱部を位置させること」は、周知の技術的事項であるといえる。 オ 甲１０～甲１３に記載された周知の技術的事項 甲１０の上記（１）コ～甲１３の上記（１）スの記載によれば、甲１０～甲１３には、切断箇所に予め脆弱部（甲１０）又はミシン目（甲１１、甲１２、甲１３）を設け、これらの脆弱部又はミシン目に設けられる複数の孔等の配置を切り離しを行う方向に沿って千鳥状に並ぶものとすることが記載されている。 ここで、甲１０～甲１３の「脆弱部又はミシン目」は、本件発明の「脆弱部」に対応するものであるから、甲１０～甲１３に記載されるように、「切断箇所に予め脆弱部を設け、この脆弱部に設けられる孔等の配置を切断を行う方向に沿って千鳥状に並ぶものとすること」は、周知の技術的事項であるといえる。 カ 甲４、甲１４、甲１５に記載された周知の技術的事項 甲４の上記（１）エ、甲１４の上記（１）セ及び甲１５の上記（１）ソには、金属板を用いて蒸着マスクを製造する際、金属板を加工して、金属板に、複数の蒸着マスク部分を形成し、中間製品又は中間体とし、その後、蒸着マスク部分を金属板から破断（甲４の上記（１）エ（ウ）、（オ）、甲１５の上記（１）ソ（イ）、（ウ））又は切断（甲１４の上記（１）セ（ア）、（イ））して、蒸着マスクを得ることが記載されている。 ここで、甲４及び甲１５における「破断」は、「切断」ともいえるものであるから、甲４、甲１４、甲１５に記載されるように、「金属板を用いて蒸着マスクを製造する際、金属板を加工して、金属板に、複数の蒸着マスク部分を形成し、その後、蒸着マスク部分を金属板から切断して、蒸着マスクを得ること」は、周知の技術的事項であるといえる。 （３）甲１を主引用例として（取消理由３（甲１を主引用例とする場合）、申立理由５－２） 取消理由３（甲１を主引用例とする場合）、申立理由５－２は、甲１を主引用例とするものであるから、まとめて判断する。 事案にかんがみ、まず、「蒸着マスク」に係る本件発明１２について判断し、その後、「蒸着マスクの製造方法」に係る本件発明１４、「蒸着マスク中間体」に係る本件発明１～３、７、８について判断する。 ア 本件発明１２について （ア）対比 本件発明１２と甲１発明を対比する。 ａ 甲１の上記（１）ア（イ）の【０００７】等の記載によれば、甲１発明１の「分割マスク」は、蒸着に用いるものであるから、本件発明１２の「蒸着マスク」に相当し、甲１発明での「細長いスティック状」は、「帯状」といえるものであるから、甲１発明の「細長いスティック状の部材である分割マスク」は、本件発明１２の「帯状を有した蒸着マスク」に相当する。 ｂ 甲１発明において、分割マスクが「細長いスティック状の部材である」ことは、概略、分割マスクが一対の長辺と一対の短辺を有する形状であることが理解でき、また甲１発明の分割マスクの具体的な構造を示す、甲１の上記（１）ア（エ）の【図１】も参照すれば、甲１発明の「本体部の一側から長手方向に延びた少なくとも一つ以上のサイドクランピング部」（【図１】における１２０、１２１）は、隣接するサイドクランピング部で整列し、これら隣接するサイドクランピング部の長手方向に直交する端の辺で、全体として分割マスクの短辺を形成しているといえるから、甲１発明の「細長いスティック状の部材である分割マスク」は、本件発明１２の「一対の第１長辺と一対の第２短辺とを有した縁」に相当する構成を有するものであるといえる。 ｃ 甲１発明の分割マスクの「パターンが形成された本体部」の「パターンが形成された」部分は、そのパターンが複数の孔で形成されるものであるから、本件発明１２の「複数のマスク孔を有したマスク部」に相当し、甲１の上記（１）ア（エ）の【図１】を参照すれば、甲１発明の本体部の「パターンが形成された」部分の周囲にパターンが形成されていない部分を有し、この部分は、本件発明１２の「周辺部」に相当するといえるから、甲１発明の「分割マスク」は、本件発明１２の「複数のマスク孔を有したマスク部と、前記マスク部を囲む周辺部」に相当する構成を有しているといえる。 ｄ そうすると、本件発明１２と甲１発明は、「帯状を有した蒸着マスクであって、一対の第１長辺と一対の第１短辺とを有した縁と、複数のマスク孔を有したマスク部と、前記マスク部を囲む周辺部と、を備える蒸着マスク。」の点で一致し、以下の点で相違しているといえる。 ＜相違点１＞ 本件発明１２では、周辺部のうちで、蒸着マスクの長手方向におけるマスク部と第１短辺との間には、一方の第１長辺から他方の第１長辺に向けて延びる形状を有した脆弱部が位置し、前記脆弱部は、複数のハーフエッチング部を含み、前記複数のハーフエッチング部は、一方の前記第１長辺から他方の前記第１長辺に向かう方向に沿って千鳥状に並んでいるのに対し、甲１発明では、このような構成が設けられているのか明らかでない点。 ＜相違点２＞ 本件発明１２は、縁の少なくとも一部に位置する第１切断痕を備えているのに対し、甲１発明では、このような構成が設けられているのか明らかでない点。 （イ）判断 上記相違点１について、以下検討する。 本件発明１２は、周辺部のうちで、蒸着マスクの長手方向におけるマスク部と第１短辺との間に、一方の第１長辺から他方の第１長辺に向けて延びる、千鳥状に並んでいる複数のハーフエッチング部で形成される脆弱部を有するものであるところ、特に、脆弱部を千鳥状に並んでいる複数のハーフエッチング部で形成する技術的な意義について、本件明細書及び図面には以下の記載がある。 「【００１１】 上記蒸着マスク中間体において、前記脆弱部は、複数のハーフエッチング部を含み、前記複数のハーフエッチング部は、一方の前記長辺から他方の前記長辺に向かう方向に沿って千鳥状に並んでいてもよい。 【００１２】 上記蒸着マスク中間体によれば、脆弱部が延びる方向において複数のエッチング部が直線状に等間隔で並ぶ場合に比べて、脆弱部が延びる方向において隣り合うエッチング部の間隔を長くすることが可能である。これにより、蒸着マスク中間体の搬送時において、脆弱部の意図しない切断が生じにくくなる。」 「【００８０】 ［試験例］ 第１脆弱部１１ｃの構造が互いに異なる試験例１から試験例４の蒸着マスク１１Ｍを形成した。なお、以下に参照する図１４から図１７は、蒸着マスク１１Ｍの表面１１Ｆと対向する平面視における第１脆弱部１１ｃの構造を示している。各第１脆弱部１１ｃは、蒸着マスク１１Ｍの表面１１Ｆに位置している。 ・・・ 【００８４】 ［試験例４］ 図１７が示すように、試験例４では、試験例３と同様に、複数のハーフエッチング部１１ｃ３によって第１脆弱部１１ｃを形成した。各ハーフエッチング部１１ｃ３の形状を試験例３のハーフエッチング部１１ｃ３と同一の形状に設定した。一方で、複数のハーフエッチング部１１ｃ３を千鳥状に配列した。この際に、幅方向ＤＷにおいて互いに隣り合う２つのハーフエッチング部１１ｃ３について、長手方向ＤＬにおいて、一方のハーフエッチング部１１ｃ３の位置に対する他方のハーフエッチング部１１ｃ３の位置をハーフエッチング部１１ｃ３の幅Ｗ分だけずらした。また、幅方向ＤＷにおいて互いに隣り合う２つのハーフエッチング部１１ｃ３の間の間隔ＧＷを試験例３と同一に設定した。 【００８５】 ［評価方法および評価方法］ 各試験例の蒸着マスク１１Ｍが有する表面１１Ｆの一部をフレーム２１に貼り付けることによって、マスク装置２０を形成した。次いで、第１脆弱部１１ｃに沿って各蒸着マスク１１Ｍを切断した。蒸着マスク１１Ｍが第１脆弱部１１ｃに沿って切断されるまでに必要な折り曲げの回数を計数したところ、試験例１，３，４では、蒸着マスク１１Ｍを２回折り曲げることによって、蒸着マスク１１Ｍが第１脆弱部１１ｃに沿って切断されることが認められた。これに対して、試験例２では、蒸着マスク１１Ｍを４回折り曲げることによって、蒸着マスク１１Ｍが第１脆弱部１１ｃに沿って切断されることが認められた。このように、試験例１，３，４の蒸着マスク１１Ｍによれば、試験例２の蒸着マスク１１Ｍに比べて、少ない回数の折り曲げによって蒸着マスク１１Ｍを切断することが可能であることが認められた。 【００８６】 なお、試験例４の蒸着マスク１１Ｍでは、試験例２，３の蒸着マスク１１Ｍに比べて、長手方向ＤＬにおけるハーフエッチング部１１ｃ３間の間隔が長いから、蒸着マスク中間体１０の搬送時において第１脆弱部１１ｃの意図しない切断が生じにくい。この点において、試験例４の蒸着マスク１１Ｍは、試験例２，３の蒸着マスク１１Ｍよりも好ましい。」 「【図１４】 ［図：0001411262000027.jpg］ 【図１５】 ［図：0001411262000028.jpg］ 【図１６】 ［図：0001411262000029.jpg］ 【図１７】 ［図：0001411262000030.jpg］ 」 以上の記載によれば、複数のハーフエッチング部を千鳥状に配列することにより、蒸着マスクを少ない回数の折り曲げによって切断することが可能である上に、複数のハーフエッチング部が直線状に等間隔で並ぶ場合に比べて、脆弱部が延びる方向において隣り合うエッチング部の間隔を長くすることが可能であるため、蒸着マスク中間体の搬送時において、脆弱部の意図しない切断が生じにくくなるという技術的な意義が理解できる。 そして、例えば、甲４の上記（１）エ（イ）の【００４６】の「蒸着マスク２０の厚みｔは、５０μｍ以下に、例えば５μｍ以上且つ５０μｍ以下に設定される」との記載によれば、蒸着マスク、及び蒸着マスクを製造するための蒸着マスク中間体は極めて厚みが薄いものであり、強度が小さいといえるものである以上、蒸着マスク中間体に脆弱部を設ける場合には、脆弱部の意図しない切断を防ぐ必要があるといえる。 以上によれば、本件発明１２において、脆弱部を千鳥状に並んでいる複数のハーフエッチング部で形成する技術的な意義は、蒸着マスク中間体の厚みが薄いということを前提とした上で、搬送時において、脆弱部の意図しない切断が生じるという、蒸着マスクに特有の問題に対処するために、脆弱部の構造を改良したものであるといえる。 一方、甲１発明の分割マスクは、「前記本体部と前記サイドクランピング部との間」「が、マスクフレーム組立体のフレームに溶接され、その後、前記サイドクランピング部」「は、切断により除去される」ものであるところ、上記（２）エで述べたように、甲５～甲９の記載によれば、「蒸着マスクをフレームに取り付けた後、蒸着マスクの不要部分を容易に切断するために、切断箇所に複数のハーフエッチング部を含む脆弱部を位置させること」は、周知の技術的事項であるといえる。 そして、当業者であれば、甲１発明の分割マスクの切断箇所に、当業者が、通常考慮する切り離し加工の容易性等のために、上記周知の技術的事項を適用し、複数のハーフエッチング部を含む脆弱部を位置させることまでは、想到できる可能性はあるものの、甲１には、蒸着マスク中間体の厚みが薄いということを前提とした上で、搬送時において、脆弱部の意図しない切断が生じるという、蒸着マスクに特有の問題に対処することに関する何らの記載もないから、甲１発明には、脆弱部を設けた上で、その構造を改良し、千鳥状に並んでいる複数のハーフエッチング部で形成する動機付けがあるとはいえない。 ここで、上記（２）オで述べたように、甲１０～甲１３の記載によれば、「切断箇所に予め脆弱部を設け、この脆弱部に設けられる孔等の配置を切断を行う方向に沿って千鳥状に並ぶものとすること」自体は、周知の技術的事項であるといえるが、上述のように、そもそも、甲１発明には、脆弱部を設けた上で、その構造等を改良しようとする動機付けがあるとはいえないのであるから、当業者は、甲１発明に、この周知の技術的事項を採用しようとするとはいえない。また、この周知の技術的事項は、蒸着マスクを前提とするものではないから、仮に、当業者が、甲１発明において、分割マスク（蒸着マスク）に脆弱部を設けた上で、この脆弱部の構造を検討したとしても、蒸着マスクを前提としていない上記の周知の技術的事項を採用しようとするとはいえない。さらに、甲１４、甲１５には、上記相違点１に係る本件発明１２の構成に関係する事項は記載されていない。 そうすると、甲１発明において、切断箇所に、脆弱部が位置するものとし、前記脆弱部は、複数のハーフエッチング部を含み、前記複数のハーフエッチング部は、一方の長辺から他方の長辺に向かう方向に沿って千鳥状に並んでいるものとすることは、甲４～甲１５に記載される周知の技術的事項を考慮したとしても、当業者が容易に想到し得るものであるとはいえない。 （ウ）異議申立人の主張について ａ 異議申立人の主張の内容 異議申立人は、令和５年７月２０日に提出された意見書において、本件発明１２の脆弱部を千鳥状に並んでいる複数のハーフエッチング部で形成する点について、甲９の上記（１）ケ（イ）の【００１２】の「また、本発明の開示に係る蒸着マスクは、必要に応じて、前記枠体における保持枠部と補強枠部との境界部分に、貫通孔もしくは凹部の少なくともいずれかが規則的もしくは不規則的に複数線状に並んだ配置とされる、又は、溝が線状に連続する配置とされる、切離し用加工部が設けられるものである。」との記載から容易に想到できる旨を主張している（２頁５～２３行）。 そして、この点について、特許異議申立書では、「凹部が規則的に複数線状に並んだ配置には、以下に示すように、凹部の位置が同じくして規則的に複数線状に並んだ配置と、凹部の位置がずれて規則的に複数線状に並んだ配置という２つの概念しか想定できず、甲第９号証の上記記載がいずれの配置を特に意味しているとは認められないから、甲第９号証には以下の両方の配置が開示されていると当業者であれば認識する。 ［図：0001411262000031.jpg］ 」（９６頁下から６行～９７頁）としている。 ｂ 異議申立人の主張に対する判断 上記ａの異議申立人の主張は、「貫通孔もしくは凹部の少なくともいずれかが規則的もしくは不規則的に複数線状に並んだ配置」の記載における「複数」が「線状」に係るものであることを前提としている。 しかしながら、上記の記載において、「規則的」と同じく「不規則的」も「線状に並んだ配置」に係っていることや、「複数線」とは言わず、「複数線状」と言っていることから、「複数」は、単に「貫通孔もしくは凹部」の数を意味するもの、すなわち、上記の記載は、「貫通孔もしくは凹部が、複数、線状に並んだ配置」の意味であると解するのが妥当であるといえる。 そうすると、上記ａにおける異議申立人の主張は、前提に誤りがあるため、甲９の上記の記載からは、複数の線の存在を前提とした上記ａの模式図に示された２つの配置しか想定できず、甲９にはその両方の配置が開示されているとする旨の上記ａにおける異議申立人の主張は、採用することができない。 （エ）小括 以上のとおり、上記相違点１に係る本件発明１２の構成は、当業者が容易に想到し得るものであるとはいえないから、他の相違点について検討するまでもなく、本件発明１２は、甲１発明及び甲４～甲１５に記載される周知の技術的事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものではない。 イ 本件発明１４について 本件発明１４は、「帯状部、前記帯状部を囲む枠状部、および、前記帯状部と前記枠状部との間に位置し、前記帯状部を前記枠状部に連結する連結部を形成すること、および、前記連結部を切断して、前記枠状部から前記帯状部を切り離すことによって蒸着マスクを得ること、を含」む「蒸着マスクの製造方法」であるところ、上記の「蒸着マスク」については、「前記帯状部は、一対の長辺と一対の短辺を有した縁を備え、 前記帯状部は、複数のマスク孔を有したマスク部と、前記マスク部を囲む周辺部とを備え、 前記周辺部のうちで、前記帯状部の長手方向における前記マスク部と前記短辺との間には、一方の前記長辺から他方の前記長辺に向けて延びる形状を有した脆弱部が位置し、 前記脆弱部は、複数のハーフエッチング部を含み、 前記複数のハーフエッチング部は、一方の前記長辺から他方の前記長辺に向かう方向に沿って千鳥状に並んでいる」ものであることが特定されている。 そして、この「蒸着マスク」における「前記脆弱部は、複数のハーフエッチング部を含み、前記複数のハーフエッチング部は、一方の前記長辺から他方の前記長辺に向かう方向に沿って千鳥状に並んでいる」との構成は、上記ア（ア）で本件発明１２と甲１発明を対比した際の相違点１に係る本件発明１２の構成と実質的に同じものである。 これによれば、甲１発明を、本件発明１４の蒸着マスクの製造方法に対応する分割マスクの製造方法の発明（これも便宜上、以下、「甲１発明」という。）と認定し直して、本件発明１４と対比しても、本件発明１４と甲１発明との間には、少なくとも、上記ア（ア）で述べた相違点１と同じ相違点が存在することになる。 そして、この相違点に係る本件発明１４の「前記周辺部のうちで、前記帯状部の長手方向における前記マスク部と前記短辺との間には、一方の前記長辺から他方の前記長辺に向けて延びる形状を有した脆弱部が位置し、前記脆弱部は、複数のハーフエッチング部を含み、前記複数のハーフエッチング部は、一方の前記長辺から他方の前記長辺に向かう方向に沿って千鳥状に並んでいる」との構成が、当業者にとり容易に想到し得たものでないことは、上記ア（イ）で述べたとおりである。 そうすると、上記の相違点に係る本件発明１４の構成は、当業者が容易に想到し得るものであるとはいえないから、本件発明１４と甲１発明との間に、さらに他の相違点があるとしても、他の相違点について検討するまでもなく、本件発明１４は、甲１発明及び甲４～甲１５に記載される周知の技術的事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものではない。 ウ 本件発明１について 本件発明１と甲１発明を対比すると、甲１に、本件発明１の「蒸着マスク中間体」に対応するもの、すなわち、甲１発明の分割マスクを製造する際の前段階のものに関する具体的な記載は何もないから、甲１において、本件発明１と対比する対象は、甲１発明しかない。 そして、本件発明１と甲１発明を対比すると、本件発明１の「蒸着マスク中間体」に関する全ての構成が、甲１発明との間で相違点となる。 ここで、上記（２）カで述べたように、甲４、甲１４、甲１５によれば、「金属板を用いて蒸着マスクを製造する際、金属板を加工して、金属板に、複数の蒸着マスク部分を形成し、中間製品又は中間体とし、その後、蒸着マスク部分を金属板から切断して、蒸着マスクを得ること」、すなわち、例えば甲４の上記（１）エ（オ）の【図２２Ａ】、【図２３】、甲１５の上記（１）ソ（ウ）の【図１８】、【図２０】に示される蒸着マスクの中間製品等を形成することは、周知の技術的事項であるといえるが、この中間製品等には、本件発明１の「前記周辺部のうちで、前記帯状部の長手方向における前記マスク部と前記短辺との間には、一方の前記長辺から他方の前記長辺に向けて延びる形状を有した脆弱部が位置」する構成を有していない。 そうすると、仮に、甲１発明に、上記の周知の技術的事項を組み合わせたとしても、本件発明１の構成には至らない。 また、蒸着マスクに対しては、上記ア（イ）で述べたように、甲５～甲９によれば、「蒸着マスクをフレームに取り付けた後、蒸着マスクの不要部分を容易に切断するために、切断箇所に複数のハーフエッチング部を含む脆弱部を位置させること」は、周知の技術的事項であるといえるものの、甲１は、そもそも「蒸着マスク中間体」に対応するもの、すなわち、甲１発明の分割マスクを製造する際の前段階のものに関する具体的な記載は何もなく、「蒸着マスク中間体」に何ら着目するものではないから、甲１発明には、甲１発明の分割マスクを蒸着マスク中間体とした上で、本件発明１に係る脆弱部を、蒸着マスク中間体に設けようとする動機付けがあるとはいえない。さらに、甲１０～甲１３には、蒸着マスク中間体に関する事項は記載されていない。 そうすると、少なくとも、本件発明１の「蒸着マスク中間体」における「前記周辺部のうちで、前記帯状部の長手方向における前記マスク部と前記短辺との間には、一方の前記長辺から他方の前記長辺に向けて延びる形状を有した脆弱部が位置」する構成は、当業者が容易に想到し得るものであるとはいえないから、本件発明１と甲１発明との間に、さらに他の相違点があるとしても、他の相違点について検討するまでもなく、本件発明１は、甲１発明及び甲４～甲１５に記載される周知の技術的事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものではない。 エ 本件発明２について 本件発明２は、「帯状部と、前記帯状部を囲む枠状部と、前記帯状部と前記枠状部との間に位置し、前記帯状部を前記枠状部に連結する連結部と、を備え、前記帯状部は、一対の長辺と一対の短辺とを有した縁と、複数のマスク孔を有したマスク部と、前記マスク部を囲む周辺部とを備え、前記周辺部のうちで、前記帯状部の長手方向における前記マスク部と前記短辺との間には、一方の前記長辺から他方の前記長辺に向けて延びる形状を有した脆弱部が位置」する「蒸着マスク中間体」との構成を有する点で、本件発明１と共通するものであり、上記ウで当業者が容易に想到し得るものではないとした、本件発明１の「蒸着マスク中間体」における「前記周辺部のうちで、前記帯状部の長手方向における前記マスク部と前記短辺との間には、一方の前記長辺から他方の前記長辺に向けて延びる形状を有した脆弱部が位置」する構成と同じ構成を含むものである。 そうすると、上記ウで述べたのと同様の理由により、本件発明２は、甲１発明及び甲４～甲１５に記載される周知の技術的事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものではない。 オ 本件発明３、７、８について 本件発明３、７、８は、本件発明１又は２を引用し、これらを、さらに限定するものであるところ、本件発明１又は２が、甲１発明及び甲４～甲１５に記載される周知の技術的事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものではない以上、本件発明３、７、８も同様に、甲１発明及び甲４～甲１５に記載される周知の技術的事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものではない。 （４）甲２、３を主引用例として（取消理由３（甲２、甲３を主引用例とする場合）、申立理由５－３、申立理由５－４） 取消理由３（甲２、甲３を主引用例とする場合）、申立理由５－３、申立理由５－４は、甲２、３を主引用例とするものであるから、まとめて判断する。 事案にかんがみ、まず、「蒸着マスク」に係る本件発明１２について判断し、その後、「蒸着マスクの製造方法」に係る本件発明１４、「蒸着マスク中間体」に係る本件発明１～３、７、８について判断する。 ア 本件発明１２、１４について 上記（２）イで述べたように、甲２には、「蒸着用マスク２０」について、甲３には、「分割マスク１００」について、甲１発明と同様の発明（以下、便宜上、「甲２発明」、「甲３発明」という。）が記載されているといえる。 そうすると、本件発明１２と、甲２発明又は甲３発明を対比すると、本件発明１２と、甲２発明又は甲３発明は、上記（３）ア（ア）で述べた相違点１及び相違点２の点で相違することになる。 そして、この相違点１について検討すると、上記（３）ア（イ）で述べたように、本件発明１２において、「複数のハーフエッチング部を千鳥状に配列すること」には、蒸着マスクを少ない回数の折り曲げによって切断することが可能である上に、複数のハーフエッチング部が直線状に等間隔で並ぶ場合に比べて、脆弱部が延びる方向において隣り合うエッチング部の間隔を長くすることが可能であるため、蒸着マスク中間体の搬送時において、脆弱部の意図しない切断が生じにくくなるという技術的な意義があると理解できるところ、甲２、甲３には、蒸着マスク中間体の厚みが薄いということを前提とした上で、搬送時において、脆弱部の意図しない切断が生じるという、蒸着マスクに特有の問題に対処することに関する何らの記載もない点で甲１と同じであるから、上記（３）ア（イ）で述べたのと同様の理由により、甲２発明又は甲３発明において、切断箇所に、脆弱部が位置するものとし、前記脆弱部は、複数のハーフエッチング部を含み、前記複数のハーフエッチング部は、一方の長辺から他方の長辺に向かう方向に沿って千鳥状に並んでいるものとすることは、甲４～甲１５に記載される周知の技術的事項を考慮したとしても、当業者が容易に想到し得るものであるとはいえない。 そうすると、上記相違点１に係る本件発明１２の構成は、当業者が容易に想到し得るものであるとはいえないから、他の相違点について検討するまでもなく、本件発明１２は、甲２発明及び甲４～甲１５に記載される周知の技術的事項、又は甲３発明及び甲４～甲１５に記載される周知の技術的事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものではない。 また、本件発明１４も、上記（３）イで述べたのと同様の理由により、甲２発明及び甲４～甲１５に記載される周知の技術的事項、又は甲３発明及び甲４～甲１５に記載される周知の技術的事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものではない。 ウ 本件発明１、２について 本件発明１と甲２発明又は甲３発明を対比する。 甲２又は甲３には、本件発明１の「蒸着マスク中間体」に対応するもの、すなわち、甲２発明の蒸着用マスク、又は甲３発明の分割マスクを製造する際の前段階のものに関する具体的な記載は何もないから、甲１と同様に、甲２又は甲３において、本件発明１の「蒸着マスク中間体」と対比する対象は、甲２発明の「蒸着マスク」又は甲３発明の「分割マスク」しかない。 これによれば、本件発明１と甲２発明又は甲３発明を対比すると、本件発明１の「蒸着マスク中間体」に関する全ての構成が、甲２発明又は甲３発明との間で相違点となる。 そして、上記（３）ウで述べたのと同様の理由により、仮に、甲２発明又は甲３発明に、甲４、甲１４、甲１５に記載される「金属板を用いて蒸着マスクを製造する際、金属板を加工して、金属板に、複数の蒸着マスク部分を形成し、中間製品又は中間体とし、その後、蒸着マスク部分を金属板から切断して、蒸着マスクを得ること」、すなわち、例えば甲４の上記（１）エ（オ）の【図２２Ａ】、【図２３】、甲１５の上記（１）ソ（ウ）の【図１８】、【図２０】に示される蒸着マスクの中間製品等を形成するという周知の技術的事項を組み合わせたとしても、本件発明１の構成には至らない。 また、甲２又は甲３には、甲１と同様に、そもそも「蒸着マスク中間体」に対応するもの、すなわち、甲２発明の蒸着マスク又は甲３発明の分割マスクを製造する際の前段階のものに関する具体的な記載は何もないのであるから、甲５～甲９に記載されるように、「蒸着マスクをフレームに取り付けた後、蒸着マスクの不要部分を容易に切断するために、切断箇所に複数のハーフエッチング部を含む脆弱部を位置させること」が、周知の技術的事項であるとしても、甲２発明又は甲３発明には、甲２発明の蒸着マスク又は甲３発明の分割マスクを、蒸着マスク中間体とした上で、本件発明１に係る脆弱部を、蒸着マスク中間体に設けようとする動機付けがあるとはいえない。さらに、甲１０～甲１３には、蒸着マスク中間体に関する事項は記載されていない。 そうすると、少なくとも、本件発明１の「蒸着マスク中間体」における「前記周辺部のうちで、前記帯状部の長手方向における前記マスク部と前記短辺との間には、一方の前記長辺から他方の前記長辺に向けて延びる形状を有した脆弱部が位置」する構成は、当業者が容易に想到し得るものであるとはいえないから、本件発明１と、甲２発明又は甲３発明との間に、さらに他の相違点があるとしても、他の相違点について検討するまでもなく、本件発明１は、甲２発明及び甲４～甲１５に記載される周知の技術的事項、又は甲３発明及び甲４～甲１５に記載される周知の技術的事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものではない。 また、本件発明２についても、上記（３）エで述べたのと同様の理由により、甲２発明及び甲４～甲１５に記載される周知の技術的事項、又は甲３発明及び甲４～甲１５に記載される周知の技術的事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものではない。 ウ 本件発明３、７、８について 本件発明３、７、８は、本件発明１又は２を引用し、これらを、さらに限定するものであるところ、本件発明１又は２が、甲２発明及び甲４～甲１５に記載される周知の技術的事項、又は甲３発明及び甲４～甲１５に記載される周知の技術的事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものではない以上、本件発明３、７、８も同様に、甲２発明及び甲４～甲１５に記載される周知の技術的事項、又は甲３発明及び甲４～甲１５に記載される周知の技術的事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものではない。 （５）甲４を主引用例として（申立理由５－１） ア 本件発明１について （ア）対比 本件発明１と甲４発明を対比する。 ａ 甲４発明の「中間製品」を示す甲４の上記（１）エ（オ）の【図２２Ａ】も参照すると、甲４発明の「蒸着マスク部分」、「支持部分」、「中間製品」は、それぞれ、本件発明１の「帯状部」、「枠状部」、「蒸着マスク中間体」に相当する。 そして、甲４発明の「平面視において複数の蒸着マスク部分を囲む」「支持部分」は、本件発明１の「前記帯状部を囲む枠状部」に相当し、甲４発明の「蒸着マスク部分に部分的に接続されている部分であり」、「短側面と支持部分との間には、金属板を貫通する複数の第２貫通部が、短側面が延びる方向に沿って並び」、「破断させることにより、蒸着マスク部分を支持部分から分離」する「蒸着マスク部分と支持部分との間の接続箇所」は、本件発明１の「前記帯状部と前記枠状部との間に位置し、前記帯状部を前記枠状部に連結する連結部」に相当する。 そうすると、甲４発明の「複数の蒸着マスク部分と支持部分とを備える中間製品であって」、「支持部分は、平面視において複数の蒸着マスク部分を囲むとともに」、「蒸着マスク部分に部分的に接続されている部分であり」、「蒸着マスク部分と支持部分との間の接続箇所」は、「短側面と支持部分との間には、金属板を貫通する複数の第２貫通部が、短側面が延びる方向に沿って並び」、「破断させることにより、蒸着マスク部分を支持部分から分離」するものである中間製品は、本件発明１の「帯状部と、前記帯状部を囲む枠状部と、前記帯状部と前記枠状部との間に位置し、前記帯状部を前記枠状部に連結する連結部と、を備え」る「蒸着マスク中間体」に相当する。 ｂ 甲４発明の「蒸着マスク部分」には、「短側面」や「蒸着マスク部分の長側面」の特定もあることから、甲４発明の「蒸着マスク部分」は、本件発明１の「一対の長辺と一対の短辺とを有した縁」に相当する構成を有するものである。 また、甲４発明の「蒸着マスク部分」が支持部分から分離した後の「蒸着マスク」について、甲４の上記（１）エ（イ）の【００３６】には、「蒸着マスク２０は、第１面２０ａから第２面２０ｂに至る貫通孔２５が形成された、少なくとも１つの有効領域２２と、有効領域２２を取り囲む周囲領域２３と、を含む。」と記載されていることから、甲４発明の「蒸着マスク部分」は、「第１面２０ａから第２面２０ｂに至る貫通孔２５が形成された、少なくとも１つの有効領域２２と、有効領域２２を取り囲む周囲領域２３と、を含む」ものであり、これは、本件発明１の「複数のマスク孔を有したマスク部と、前記マスク部を囲む周辺部」に相当する。 そうすると、甲４発明の「蒸着マスク部分」は、本件発明１の「前記帯状部は、一対の長辺と一対の短辺とを有した縁と、複数のマスク孔を有したマスク部と、前記マスク部を囲む周辺部とを備え」に相当する構成を有するものである。 ｃ 以上によれば、本件発明１と甲４発明は、「帯状部と、前記帯状部を囲む枠状部と、前記帯状部と前記枠状部との間に位置し、前記帯状部を前記枠状部に連結する連結部と、を備え、前記帯状部は、一対の長辺と一対の短辺とを有した縁と、複数のマスク孔を有したマスク部と、前記マスク部を囲む周辺部とを備える、蒸着マスク中間体。」の点で一致し、以下の点で相違しているといえる。 ＜相違点３＞ 蒸着マスク中間体について、本件発明１では、周辺部のうちで、帯状部の長手方向におけるマスク部と短辺との間には、一方の長辺から他方の前記長辺に向けて延びる形状を有した脆弱部が位置し、前記脆弱部は、複数のハーフエッチング部を含み、前記複数のハーフエッチング部は、一方の前記長辺から他方の前記長辺に向かう方向に沿って千鳥状に並んでいるのに対し、甲４発明では、このような構成を有していない点。 （イ）相違点３に対する判断 ａ 甲４の上記（１）エ（エ）の【００８９】の「蒸着マスク２０とフレーム１５とを組み合わせて蒸着マスク装置１０を製造する方法について説明する。まず、フレーム１５を準備する。続いて、図２５に示すように、溶接などによって蒸着マスク２０の第２面２０ｂをフレーム１５に固定する。」との記載によれば、甲４発明における「中間製品」において、蒸着マスク部分は支持部分から分離され蒸着マスクとされた後、蒸着マスクは、同（オ）の【図２５】に示されるようにフレームに固定され、同図で１０として表される蒸着マスク装置を形成するものである。 そして、本件発明１における「脆弱部」とは、甲４の同（オ）の【図２５】でいえば、蒸着マスクがフレームに取り付けられた後、フレームより外側の端部を取り除くために、蒸着マスクのフレーム上に位置する部分に設けられるものであるところ、そもそも甲４には、蒸着マスク装置において、蒸着マスクをフレームに取り付けた後、蒸着マスクのフレームより外側の端部を取り除くことが記載されていないことから、甲４発明には、蒸着マスク装置において、蒸着マスクをフレームに取り付けた後、蒸着マスクのフレームより外側の端部を取り除くための脆弱部を設ける動機付けがあるとはいえない。 ここで、上記（２）エで述べたように、甲５～甲９の記載によれば、「蒸着マスクをフレームに取り付けた後、蒸着マスクの不要部分を容易に切断するために、切断箇所に複数のハーフエッチング部を含む脆弱部を位置させること」は、周知の技術的事項であるといえるが、上述のように、甲４には、蒸着マスクをフレームに取り付けた後、蒸着マスクのフレームより外側の端部を取り除くための脆弱部を設ける動機付けがあるとはいえないし、ましてや、中間製品の段階のものに脆弱部を設ける動機付けがあるとはいえないのであるから、上記周知事項を考慮したとしても、甲４発明において、「中間製品」における蒸着マスク部分の支持部分との切断箇所よりも内側に脆弱部を設けること、すなわち、上記相違点３における本件発明１の構成を採用することは、当業者が容易に想到し得ることであるとはいえない。 ｂ しかも、甲４発明における「中間製品」から蒸着マスク部分を分離する際には、蒸着マスク部分と支持部分との間の接続箇所を破断させることにより、蒸着マスク部分を支持部分から分離して蒸着マスクを得ることになるが、この接続箇所より蒸着マスクの内側に脆弱部があっては、「中間製品」から蒸着マスク部分を接続箇所で分離する際に、この脆弱部で破断が生じる恐れがあるから、甲４発明において、蒸着マスク部分における接続箇所に加えて、切断箇所より蒸着マスクの内側に脆弱部を設ける、すなわち、上記相違点３における本件発明１の構成を採用する動機付けあるとはいえず、この観点からも、甲４発明において、上記相違点３における本件発明１の構成を採用することは、当業者が容易に想到し得ることであるとはいえない。 ｃ さらに、蒸着マスク中間体について、周辺部のうちで、帯状部の長手方向におけるマスク部と短辺との間に、一方の長辺から他方の前記長辺に向けて延びる形状を有した脆弱部を設けることに関し、甲１～甲３、甲１０～甲１３にも、何らの記載はない。 （ウ）小括 以上のとおり、甲４発明の蒸着マスク中間体の蒸着マスク部分に相当する構成において、周辺部のうちで、帯状部の長手方向におけるマスク部と短辺との間に、一方の長辺から他方の前記長辺に向けて延びる形状を有した脆弱部を設けることは、当業者が容易に想到し得るものであるとはいえないから、上記相違点３における本件発明１の「前記脆弱部は、複数のハーフエッチング部を含み、前記複数のハーフエッチング部は、一方の前記長辺から他方の前記長辺に向かう方向に沿って千鳥状に並んでいる」との脆弱部の構造の容易想到性を検討するまでもなく、本件発明１は、甲４発明及び甲１～甲３、甲５～甲１３に記載される周知の技術的事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものではない。 イ 本件発明２について 本件発明２は、「帯状部と、前記帯状部を囲む枠状部と、前記帯状部と前記枠状部との間に位置し、前記帯状部を前記枠状部に連結する連結部と、を備え、前記帯状部は、一対の長辺と一対の短辺とを有した縁と、複数のマスク孔を有したマスク部と、前記マスク部を囲む周辺部とを備え、前記周辺部のうちで、前記帯状部の長手方向における前記マスク部と前記短辺との間には、一方の前記長辺から他方の前記長辺に向けて延びる形状を有した脆弱部が位置」する「蒸着マスク中間体」との構成を有する点で、本件発明１と共通するものである。 そして、本件発明２も、上記アで述べた相違点３に係る「前記周辺部のうちで、前記帯状部の長手方向における前記マスク部と前記短辺との間には、一方の前記長辺から他方の前記長辺に向けて延びる形状を有した脆弱部が位置」との構成を含むものであるが、上記ア（イ）で述べたのと同様の理由により、この構成については、当業者が容易に想到し得るものであるとはいえない。 そうすると、甲４発明の蒸着マスク中間体の蒸着マスク部分に相当する構成において、少なくとも、周辺部のうちで、帯状部の長手方向におけるマスク部と短辺との間に、一方の長辺から他方の前記長辺に向けて延びる形状を有した脆弱部を設けることは、当業者が容易に想到し得るものであるとはいえないから、本件発明２の他の構成について検討するまでもなく、本件発明２は、甲４発明及び甲１～甲３、甲５～甲１３に記載される周知の技術的事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものではない。 ウ 本件発明３、７、８について 本件発明３、７、８は、本件発明１又は２を引用し、さらに限定するものであるところ、本件発明１又は２が、甲４発明及び甲１～甲３、甲５～甲１３に記載される周知の技術的事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものではない以上、本件発明３、７、８も同様に、甲４発明及び甲１～甲３、甲５～甲１３に記載される周知の技術的事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものではない。 エ 本件発明１２について 本件発明１２は、「蒸着マスク」に係るものであり、本件発明１における「蒸着マスク中間体」における枠状部から分離する「帯状部」に対応するものである。 一方、甲４発明も「中間製品」から蒸着マスク部分を分離し、「蒸着マスク」を製造するものであり、本件発明１２の「蒸着マスク」は、甲４発明の「中間製品」の支持部分から分離される「蒸着マスク」が対応することになる。 そして、甲４発明の「中間製品」から分離された蒸着マスク部分を「蒸着マスク」の発明（これも便宜上、以下、「甲４発明」という。）として認定し直したものを示す、甲４の上記（１）エ（オ）の【図２５】を見ても、蒸着マスクには、本件発明１２の「脆弱部」に相当するものが何ら記載されていないから、少なくとも、甲４発明は、本件発明１２の「周辺部のうちで、蒸着マスクの長手方向におけるマスク部と第１短辺との間には、一方の第１長辺から他方の第１長辺に向けて延びる形状を有した脆弱部が位置し、前記脆弱部は、複数のハーフエッチング部を含み、前記複数のハーフエッチング部は、一方の前記第１長辺から他方の前記第１長辺に向かう方向に沿って千鳥状に並び」との構成を有していない点で、本件発明１２と相違している。 ここで、上記相違点の内、「周辺部のうちで、蒸着マスクの長手方向におけるマスク部と第１短辺との間には、一方の第１長辺から他方の第１長辺に向けて延びる形状を有した脆弱部が位置し」の点については、上記ア（イ）ａで述べたように、甲４には、蒸着マスク装置において、蒸着マスクをフレームに取り付けた後、蒸着マスクのフレームより外側の端部を取り除くことが記載されていないことから、甲４発明には、蒸着マスク装置において、蒸着マスクをフレームに取り付けた後、蒸着マスクのフレームより外側の端部を取り除くための脆弱部を設ける動機付けがあるとはいえない。 しかも、本件発明１２は、さらに、「脆弱部」の構造が、「脆弱部は、複数のハーフエッチング部を含み、前記複数のハーフエッチング部は、一方の前記第１長辺から他方の前記第１長辺に向かう方向に沿って千鳥状に並び」との構成を有するものであるが、上記（３）ア（イ）で述べたように、この構成は、甲１～甲１５に記載の事項から、当業者が容易に想到し得たものではないから、この点でも、上記の相違に係る本件発明１２の構成は、当業者が容易に想到し得たものであるとはいえない。 以上のとおり、上記の相違点に係る本件発明１２の構成は、当業者が容易に想到し得たものであるとはいえないから、本件発明１２は、甲４発明及び甲１～甲３、甲５～甲１３に記載される周知の技術的事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものではない。 オ 本件発明１４について 上記（３）イで述べたように、本件発明１４と本件発明１２で共通する構成を考慮すると、本件発明１４と甲４発明との間には、少なくとも、上記エで述べた、本件発明１２と甲４発明との間の相違点と同じ相違点が存在することになる。 そして、この相違点に係る本件発明１４の構成が、当業者にとり容易に想到し得たものでないことは、上記エで述べたとおりである。 そうすると、上記の相違点に係る本件発明１４の構成は、当業者が容易に想到し得るものであるとはいえないから、本件発明１４と甲４発明との間に、さらに他の相違点があるとしても、他の相違点について検討するまでもなく、本件発明１４は、甲４発明及び甲１～甲３、甲５～甲１３に記載される周知の技術的事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものではない。 （６）請求項１２を対象とする取消理由３、申立理由５－１～５－４に関するまとめ 以上のとおり、本件発明１～３、７、８、１２、１４について、請求項１２を対象とする取消理由３、申立理由５－１～５－４には理由がない。 ３ 申立理由１について（サポート要件違反） （１）申立理由１の概要 サポート要件の判断における規範は、「特許請求の範囲の記載が、明細書のサポート要件に適合するか否かは、特許請求の範囲の記載と発明の詳細な説明の記載とを対比し、特許請求の範囲に記載された発明が、発明の詳細な説明に記載された発明で、発明の詳細な説明の記載により当業者が当該発明の課題を解決できると認識できる範囲のものであるか否か、また、その記載や示唆がなくとも当業者が出願時の技術常識に照らし当該発明の課題を解決できると認識できる範囲のものであるか否かを検討して判断するのが相当である。」ところ、本件発明の課題は、「蒸着マスクをフレームに固定した後における蒸着マスクの端部を取り除く作業を容易とすることを可能」とすることであり、その解決手段は、複数のハーフエッチング部を千鳥状に構成することである（本件明細書の【０００６】、【００１０】、【００３１】)。 そして、課題と解決手段との実質的な対応関係が以下の２点で不明である。 ア 本件発明１～３、７～８、１２、１４は、課題解決手段として、複数のハーフエッチング部は、一方の長辺から他方の長辺に向かう方向に沿って千鳥状に並んでいるという構成を有する。 ここで、本件明細書の試験例４には、幅方向ＤＷにおいて互いに隣り合う２つのハーフエッチング部１１ｃ３について、長手方向ＤＬにおいて、一方のハーフエッチング部１１ｃ３の位置に対する他方のハーフエッチング部１１ｃ３の位置をハーフエッチング部１１ｃ３の幅Ｗ分だけずらして、千鳥状としたことが開示されており、試験例４の蒸着マスク１１Ｍによれば、試験例２の蒸着マスク１１Ｍに比べて、少ない回数の折り曲げによって蒸着マスク１１Ｍを切断することが可能であったことが開示されている。 ※ 試験例４：一方のハーフエッチング部１１ｃ３の位置に対する他方のハーフエッチング部１１ｃ３の位置をハーフエッチング部１１ｃ３の幅Ｗ分だけずらした例 ［図：0001411262000032.jpg］ 試験例４では、破線で示す直線部分が、最も多くのハーフエッチング部１１ｃ３を横断する部分となり、強度の弱い部分となる。当業者からすれば、折り曲げの際に、破線で示す直線部分に折り曲げの力が集中しやすく、折り曲げによる応力が集中しやすいことは自明である。 以下に示す試験例３は試験例４をより単純化した例であり、破線で示す直線部分が多くのハーフエッチング部１１ｃ３を横断しており、応力集中が生じやすい。試験例３と試験例４がともに２回の折り曲げで切断できたことが示されているが、これは、折り曲げには、破線で示す直線部分におけるハーフエッチング部の密度（数）が重要であるといういわば当業者にとって自明なことを示しているにすぎない。 ［図：0001411262000033.jpg］ つまり、千鳥状にハーフエッチング部を構成した試験例４で生じている折り曲げによる応力の集中とそれによる切断のしやすさというのは、千鳥状にハーフエッチング部を構成したこととは一切関係ない。 したがって、当業者からすれば、「蒸着マスクの端部を取り除く作業を容易とする」という課題と、ハーフエッチング部を千鳥状に構成するという解決手段との実質的な対応関係は、到底理解できない。 イ 本件発明１～３、７、８、１２、１４は、課題解決手段として、複数のハーフエッチング部は、一方の長辺から他方の長辺に向かう方向に沿って千鳥状に並んでいるという構成を有するものであるが、ハーフエッチング部を千鳥状に構成すると、折り曲げ部分におけるハーフエッチング部の密度（数）が低下し、むしろ切断を困難にすることがある。 本件発明は、ハーフエッチング部の千鳥状の配列について何ら具体的に特定しておらず、例えば以下のように、二列のハーフエッチング部の配列があり、一方のハーフエッチング部１１ｃ３の配列位置に対する他方のハーフエッチング部１１ｃ３のＤＬ方向の配列位置を相当程度離したパターンも当然に包含する。 ［図：0001411262000034.jpg］ しかし、このようなパターンの場合には、折り曲げ部分を破線で描くと明らかなように、すべてのハーフエッチング部を横断する一つの直線が描けない。言い換えると、千鳥状にハーフエッチング部を形成したとしても、その距離がＤＬ方向に相当程度離間している場合には、明らかに破断に寄与しないハーフエッチング部が約半数生じるし、かけようとする曲げ応力も分散してしまう。 このような場合、約半数のハーフエッチング部が切断に寄与せず、かけようとする曲げ応力も分散してしまうのであるから、当業者からすれば、ハーフエッチング部を千鳥状に構成することによって、むしろ切断が困難となることが明らかである。 したがって、このようなパターンを包含する本件発明は、「端部を取り除く作業を容易とする」という課題とその解決手段との実質的な対応関係を理解できるものではない。 （２）申立理由１に対する判断 ア 上記（１）アの理由に対して （ア）申立理由１では、本件発明の課題を、「蒸着マスクをフレームに固定した後における蒸着マスクの端部を取り除く作業を容易とすることを可能」とすることとし、その課題を解決するには、複数のハーフエッチング部を千鳥状に構成する必要があることを前提としている。 しかしながら、本件発明において、「蒸着マスクをフレームに固定した後における蒸着マスクの端部を取り除く作業を容易とすることを可能」とするとの課題は、本件明細書の【０００７】に、「上記課題を解決するための蒸着マスク中間体は、・・・前記周辺部のうちで、前記帯状部の長手方向における前記マスク部と前記短辺との間には、一方の前記長辺から他方の前記長辺に向けて延びる形状を有した脆弱部が位置する。」と、【０００８】に、「上記課題を解決するための蒸着マスクは、・・・前記周辺部のうちで、前記蒸着マスクの長手方向における前記マスク部と前記短辺との間には、一方の前記長辺から他方の前記長辺に向けて延びる形状を有した脆弱部が位置する。」と、【０００９】に、「上記課題を解決するための蒸着マスクの製造方法は、・・・前記周辺部のうちで、前記帯状部の長手方向における前記マスク部と前記短辺との間には、一方の前記長辺から他方の前記長辺に向けて延びる形状を有した脆弱部が位置する。」と、【００１０】に、「上記蒸着マスク中間体、蒸着マスク、および、蒸着マスクの製造方法によれば、脆弱部を切断することによって、帯状部のうち、短辺を含む両端部を、帯状部のうちでマスク部を含む部分から切り離すことが可能である。そのため、帯状部から形成された蒸着マスクをフレームに取り付けた後に、蒸着マスクの端部を取り除くことが容易である。」と記載されるように、蒸着マスク中間体又は蒸着マスクにおいて、帯状部のうち、短辺を含む両端部を、帯状部のうちでマスク部を含む部分から切り離す位置に、「脆弱部」を設けることにより達成されるものである。 そして、本件発明１～３、７、８、１２、１４の「蒸着マスク中間体」、「蒸着マスク」又は「蒸着マスクの製造方法」に係るいずれの発明においても、上記の「脆弱部」が特定されているのであるから、本件発明１～３、７、８、１２、１４は、本件明細書に記載される発明の課題を解決できるもの、すなわち、発明の詳細な説明の記載により当業者が当該発明の課題を解決できると認識できる範囲のものであるといえる。 そうすると、上記（１）におけるサポート要件の判断における規範に照らせば、本件発明１～３、７、８、１２、１４に対応する特許請求の範囲の記載は、サポート要件に適合している。 （イ）上記（ア）で述べたように、本件発明１～３、７、８、１２、１４に対応する特許請求の範囲の記載は、サポート要件に適合しているから、上記（１）アの理由は、サポート要件の判断を左右するものではないが、念のため、検討する。 上記（１）アの理由では、「千鳥状にハーフエッチング部を構成した試験例４で生じている折り曲げによる応力の集中とそれによる切断のしやすさというのは、千鳥状にハーフエッチング部を構成したこととは一切関係ない。したがって、当業者からすれば、「蒸着マスクの端部を取り除く作業を容易とする」という課題と、ハーフエッチング部を千鳥状に構成するという解決手段との実質的な対応関係は、到底理解できない。」としているが、上記（ア）で述べたように、「蒸着マスクの端部を取り除く作業を容易とする」ことには、「ハーフエッチング部を千鳥状」にすることを含め、蒸着マスクに「脆弱部」を設けることが対応している。すなわち、蒸着マスクに何らの「脆弱部」が設けられていない場合に比べて、「ハーフエッチング部を千鳥状」にした脆弱部が設けられた方が、蒸着マスクの端部を取り除く作業を容易とすることができることは、当業者にとり明らかである。 なお、「ハーフエッチング部を千鳥状」にした技術的な意義は、上記２（３）ア（イ）で述べたように、「蒸着マスクを少ない回数の折り曲げによって切断することが可能である上に、複数のハーフエッチング部が直線状に等間隔で並ぶ場合に比べて、脆弱部が延びる方向において隣り合うエッチング部の間隔を長くすることが可能であるため、蒸着マスク中間体の搬送時において、脆弱部の意図しない切断が生じにくくなる」ことであるから、複数のハーフエッチング部が直線状に等間隔で並ぶ場合（上記（１）アにおける試験例３）に比べて、ハーフエッチング部が千鳥状に並ぶ場合（上記（１）アにおける試験例４）が、より切断し易くなければならないというものではない。 以上によれば、上記（１）アの理由は、妥当なものではない。 イ 上記（１）イの理由に対して 上記ア（ア）で述べたように、本件発明１～３、７、８、１２、１４に対応する特許請求の範囲の記載は、サポート要件に適合しているから、上記（１）イの理由は、サポート要件の判断を左右するものではないが、念のため、検討する。 上記ア（イ）で述べたように、蒸着マスクに何らの「脆弱部」が設けられていない場合に比べて、「ハーフエッチング部を千鳥状」にした脆弱部が設けられた方が、蒸着マスクの端部を取り除く作業を容易とすることができることは、当業者にとり明らかであるから、千鳥状における二列のハーフエッチング部の間に間隔があったとしても、上記（１）イにあるように「ハーフエッチング部を千鳥状に構成すると、折り曲げ部分におけるハーフエッチング部の密度（数）が低下し、むしろ切断を困難にすることがある。」とはいえない。仮に、ハーフエッチング部を千鳥状に構成すると、むしろ切断が困難になるのであれば、そのような構造は、「脆弱部」の範疇に含まれないものであるから、本件発明が対象とするものではない。 以上によれば、上記（１）イの理由は、妥当なものではない。 （３）申立理由１に関するまとめ 以上のとおり、本件特許は、請求項１～３、７、８、１２、１４の記載が不備のため、特許法第３６条第６項第１号に規定する要件を満たしていない特許出願に対してされたものではないから、上記申立理由１には、理由がない。 ４ 申立理由２について（実施可能要件違反） （１）申立理由２の概要 実施可能要件の判断における規範は、「発明の詳細な説明の記載については、「その発明の属する技術の分野における通常の知識を有する者がその実施をすることができる程度に明確かつ十分に記載したものであること」との要件、いわゆる実施可能要件に適合することが求められている。この規定にいう「実施」とは、特許法２条３項１号における実施を言う。したがって、物の発明について実施とは、その物の生産、使用等をする行為をいうのであるから、物の発明について実施可能要件を満たすというためには、明細書の発明の詳細な説明の記載が、当業者において、その記載及び出願時の技術常識に基づいて、過度の試行錯誤を要することなく、当該発明に係る物を生産、使用することができる程度のものでなければならないと解される。」というものであるところ、本件発明１～３、７、８、１２、１４は、課題解決手段として、複数のハーフエッチング部は、一方の長辺から他方の長辺に向かう方向に沿って千鳥状に並んでいるという構成を有している。 しかし、当業者からすれば、ハーフエッチング部を千鳥状に構成することのみによって、直ちに、蒸着マスクをフレームに固定した後における蒸着マスクの端部を取り除く作業を容易とするという課題が解決できると認められない。 つまり、言い換えれば、ハーフエッチング部を千鳥状に構成することのみによって、蒸着マスクをフレームに固定した後における蒸着マスクの端部を取り除く作業を容易とするという使用ができるとは認められない。 そして、本件発明１～３、７、８、１２、１４では、ハーフエッチングの深さや形状、ハーフエッチングの「複数」の程度（形成頻度）など、或いは、「千鳥状」に配列されたハーフエッチング部のＤＬ方向の列間の離間距離など、蒸着マスクの端部を取り除く作業を実現するための具体的な構成は明確ではない。また、本件明細書の試験例４（【図１７】）に具体的に記載されるもののほか、通常想定される様々な千鳥状の態様を包含する記載となっているが、本件明細書の試験例４（【図１７】）に具体的に記載されるもの以外の場合に、蒸着マスクをフレームに固定した後における蒸着マスクの端部を取り除く作業を容易とする使用ができることは、本件明細書の記載を鑑みても、理解できない。 （２）申立理由２に対する判断 上記（１）における理由で、「ハーフエッチング部を千鳥状に構成することのみによって、直ちに、蒸着マスクをフレームに固定した後における蒸着マスクの端部を取り除く作業を容易とするという課題が解決できると認められない。」としているが、実施可能要件の判断では、上記（１）における規範にあるとおり、本件明細書の発明の詳細な説明に、過度の試行錯誤を要することなく、本件発明の蒸着マスクや蒸着マスク中間体を生産、使用することができる程度の記載があるか否かで判断すべきであって、ハーフエッチング部を千鳥状に構成することが、発明の課題を解決できるものであるか否かの判断は、実施可能要件の判断を左右するものではない。 ここで、本件発明は、蒸着マスクや蒸着マスク中間体に、脆弱部を設けることが技術的な特徴であるところ、本件明細書の【００７５】に、この脆弱部は、蒸着マスクがフレームに取り付けられた後、蒸着マスクのうちで短辺寄りの部分を除去するために設けられるものであることが記載されていると共に、【００８０】～【００８６】及び【図１４】～【図１７】には、［試験例１］～［試験例４］として脆弱部の具体例が記載され、フレームに貼り付けた後、２回又は３回の折り曲げにより切断することが記載されている（【００８５】）。 そして、これらの記載等をもとに、蒸着マスクや蒸着マスク中間体に、脆弱部を設けることや、脆弱部を切断することが十分可能であることから、本件発明における蒸着マスクや蒸着マスク中間体を生産することや、それらを使用することに、過度の試行錯誤が必要であるとはいえない。 そうすると、上記（１）における規範に照らせば、本件明細書の発明の詳細な説明の記載は、当業者において、その記載及び出願時の技術常識に基づいて、過度の試行錯誤を要することなく、本件発明に係る物を生産、使用することができる程度のものであるから、実施可能要件に適合している。 なお、上記（１）の理由では、「本件発明１～３、７、８、１２、１４では、ハーフエッチングの深さや形状、ハーフエッチングの「複数」の程度（形成頻度）など、或いは、「千鳥状」に配列されたハーフエッチング部のＤＬ方向の列間の離間距離など、蒸着マスクの端部を取り除く作業を実現するための具体的な構成は明確ではない。また、本件明細書の試験例４（【図１７】）に具体的に記載されるもののほか、通常想定される様々な千鳥状の態様を包含する記載となっているが、本件明細書の試験例４（【図１７】）に具体的に記載されるもの以外の場合に、蒸着マスクをフレームに固定した後における蒸着マスクの端部を取り除く作業を容易とする使用ができることは、本件明細書の記載を鑑みても、理解できない。」としているが、ハーフエッチング部を千鳥状にしたものは、「脆弱部」の態様の範囲内にあるものである以上、通常想定される様々な千鳥状の態様毎によって、蒸着マスクの端部を取り除く作業の容易性に多少の差が出るとしても、蒸着マスクの端部を取り除く作業が容易になることには変わりはない。 以上によれば、上記（１）の理由は、妥当なものではない。 （３）申立理由２に関するまとめ 以上のとおり、本件特許は、発明の詳細な説明の記載が不備のため、特許法第３６条第４項第１号に規定する要件を満たしていない特許出願に対してされたものではないから、上記申立理由２には、理由がない。 ５ 申立理由３について（明確性要件違反） （１）申立理由３の概要 明確性要件の判断の規範は、「特許請求の範囲の記載、本件明細書の記載及び出願当時の技術常識を踏まえ、特許請求の範囲の記載が第三者に不測の損害を被らせない程度に明確に記載されているかという観点から判断されるべきである。」というものであるところ、本件発明１～３、７、８、１２、１４は、課題解決手段として、複数のハーフエッチング部は、一方の長辺から他方の長辺に向かう方向に沿って千鳥状に並んでいるという構成を有する。 しかし、当業者からすれば、ハーフエッチング部を千鳥状に構成することのみによって、直ちに、蒸着マスクをフレームに固定した後における蒸着マスクの端部を取り除く作業を容易とするという課題が解決できると認められない。 そして、本件発明１～３、７、８、１２、１４には、ハーフエッチングの深さや形状、ハーフエッチングの「複数」の程度（形成頻度）など、或いは、「千鳥状」に配列されたハーフエッチング部のＤＬ方向の列間の離間距離など、蒸着マスクの端部を取り除く作業を実現するための具体的な構成は明確ではない。 そうすると、どの程度にハーフエッチング部を千鳥状に構成したものまでが本件特許請求の範囲に含まれるのかという点について、本件特許の特許請求の範囲は、技術常識を踏まえても第三者に不測の損害を被らせない程度に明確に記載されているとはいえない。 （２）申立理由３に対する判断 上記（１）における理由で、「ハーフエッチング部を千鳥状に構成することのみによって、直ちに、蒸着マスクをフレームに固定した後における蒸着マスクの端部を取り除く作業を容易とするという課題が解決できると認められない。」としているが、明確性要件の判断では、上記（１）における規範にあるとおり、特許請求の範囲の記載が第三者に不測の損害を被らせない程度に明確に記載されているか否かで判断すべきであって、ハーフエッチング部を千鳥状に構成することが、発明の課題を解決できるものであるか否かの判断は、明確性要件の判断を左右するものではない。 ここで、本件発明１～３、７、８、１２、１４には、「脆弱部」、「複数のハーフエッチング部は、一方の前記長辺から他方の前記長辺に向かう方向に沿って千鳥状に並んでいる」等の記載があるが、これらの記載は、記載上特に不明確な点はなく、特許請求の範囲の記載が第三者に不測の損害を被らせるものではないから、上記（１）の規範に照らせば、本件発明１～３、７、８、１２、１４は、明確である。 なお、上記（１）の理由では、「本件発明１～３、７、８、１２、１４には、ハーフエッチングの深さや形状、ハーフエッチングの「複数」の程度（形成頻度）など、或いは、「千鳥状」に配列されたハーフエッチング部のＤＬ方向の列間の離間距離など、蒸着マスクの端部を取り除く作業を実現するための具体的な構成は明確ではない。そうすると、どの程度にハーフエッチング部を千鳥状に構成したものまでが本件特許請求の範囲に含まれるのかという点については、本件特許の特許請求の範囲は、技術常識を踏まえても第三者に不測の損害を被らせない程度に明確に記載されているとはいえない。」としているが、蒸着マスクの端部を取り除く作業を実現するため、どの程度にハーフエッチング部を千鳥状に構成したものまでが本件特許請求の範囲に含まれるのかという点は、サポート要件で判断すべき事項であり、明確性要件の点で、「脆弱部」、「複数のハーフエッチング部は、一方の前記長辺から他方の前記長辺に向かう方向に沿って千鳥状に並んでいる」等の記載が明確である以上、蒸着マスクの端部を取り除く作業を実現するための具体的な構成をさらに追加しなければ、本件発明１～３、７、８、１２、１４が明確にならないというものではない。 以上によれば、上記（１）の理由は、妥当なものではない。 （３）申立理由３に関するまとめ 以上のとおり、本件特許は、請求項１～３、７、８、１２、１４の記載が不備のため、特許法第３６条第６項第２号に規定する要件を満たしていない特許出願に対してされたものではないから、上記申立理由３には、理由がない。 第６ むすび 上記第５で検討したとおり、本件特許１～３、７、８、１２、１４は、特許法第２９条第１項及び同法同条第２項の規定に違反してされたものであるとも、同法第３６条第４項第１号並びに同条第６項第１号及び第２号に規定する要件を満たしていない特許出願に対してされたものであるということもできず、同法第１１３条第２号又は第４号に該当するものではないから、上記取消理由１～３及び上記申立理由１～３、５－１～５－４では、本件特許１～３、７、８、１２、１４を取り消すことはできない。 また、他に本件特許１～３、７、８、１２、１４を取り消すべき理由を発見しない。 そして、本件特許１３は、本件訂正により削除され、本件特許１３に対する特許異議の申立ては、申立ての対象が存在しないものとなったため、特許法第１２０条の８第１項で準用する同法第１３５条の規定により却下する。 よって、結論のとおり決定する。