2024-701014

特許第７４６８８０５号発明「露光方法、蒸着マスクの製造方法、および、露光装置」の特許異議申立事件について、次のとおり決定する。

結 論 特許第７４６８８０５号の特許請求の範囲を訂正請求書に添付した訂正特許請求の範囲のとおり、訂正後の請求項〔１～６〕、１０について訂正することを認める。 特許第７４６８８０５号の請求項１～１０に係る特許を維持する。

理 由 第１ 手続の経緯 本件の特許第７４６８８０５号（以下「本件特許」という。）の請求項１～９に係る特許についての出願（特願２０２３－５６１６９５号。以下「本願」という。）は、２０２３年（令和 ５年） ４月２１日（優先権主張：令和 ４年 ４月２１日）を国際出願日とする出願であって、令和 ６年 ４月 ８日にその特許権の設定登録がされ、同年 ４月１６日に特許掲載公報が発行され、その後、令和 ６年１０月１６日に、その請求項１～９（全請求項）に係る特許について、特許異議申立人である村野 親（以下「申立人」という。）により特許異議の申立てがされたものである。 そして、本件特許異議の申立てにおける、その後の手続きの経緯は、以下のとおりである。 令和 ６年１０月１６日 特許異議の申立て 令和 ７年 ２月１４日付け 取消理由通知書 同年 ４月１８日 特許権者による訂正請求書（以下「先の訂正請求書」という。）及び意見書の提出 同年 ６月３０日 申立人による意見書の提出 同年 ９月２６日付け 取消理由通知書（決定の予告） 同年１２月 １日 特許権者による訂正請求書（以下「本件訂正請求書」という。）及び意見書の提出 なお、本件訂正請求書による訂正（以下「本件訂正請求」という。）による訂正（以下「本件訂正」という。）については、すでに申立人に意見書の提出の機会が与えられている場合であって、訂正請求によって特許請求の範囲が相当程度減縮され、事件において提出された全ての証拠や意見等を踏まえて更に審理を進めたとしても特許を維持すべきとの結論となると合議体が判断した場合であり、特許法第１２０条の５第５項ただし書に規定する「特許異議申立人に意見書を提出する機会を与える必要がないと認められる特別の事情があるとき」に該当するといえるから、申立人に意見書を提出する機会を与えないこととした。 第２ 本件訂正請求について １ 請求の趣旨、及び訂正の内容 本件訂正請求に係る請求の趣旨は、本件特許の特許請求の範囲を本件訂正請求書に添付した訂正特許請求の範囲のとおり、訂正後の請求項１～６、１０について訂正することを求める、というものであり、本件訂正の内容は、以下のとおりである（訂正箇所には、当合議体が下線を付した。）。 なお、令和 ７年 ４月１８日提出の訂正請求書による訂正請求は、特許法第１２０条の５第７項の規定により、取り下げられたものとみなされる。 （１）訂正事項１ 本件訂正前の特許請求の範囲の請求項１に「前記第２端部を形成するための第３露光領域とから構成される露光方法。」と記載されているのを、「前記第２端部を形成するための第３露光領域とから構成され、前記レジスト層は、前記単位マスク領域を複数含み、複数の前記単位マスク領域は、第１マスク領域と第２マスク領域とを含み、前記露光することは、前記第１マスク領域の前記単位露光領域と、前記第２マスク領域の前記単位露光領域とを同時に露光することと、各蒸着マスクについて、前記第１端部と前記第２端部との少なくとも一方における幅が、前記中央部の幅とは異なるように、前記レジスト層を露光することと、を含む露光方法。」に訂正する。 （２）訂正事項２ 本件訂正前の特許請求の範囲の請求項２に「前記第２端部を形成するための第４露光領域とから構成される露光方法。」と記載されているのを、「前記第２端部を形成するための第４露光領域とから構成され、前記蒸着マスクは、第１方向に沿って延びる第１長辺と、前記第１長辺に平行な第２長辺と、前記第１方向に交差する第２方向に沿って延び、前記第１長辺を前記第２長辺に接続する一対の短辺と、を備え、前記第１長辺から前記第２長辺に向かう方向が段差方向であり、前記露光することは、前記第１長辺が、前記段差方向において窪む第１段差部を前記第１中央部と前記第２中央部との境界に有し、前記第２長辺が、前記段差方向において突き出る第２段差部を前記第１中央部と前記第２中央部との境界に有し、かつ、前記第１段差部と前記第２段差部とが、前記短辺が延びる方向において並ぶとともに、前記第１長辺および前記第２長辺の一方が、前記段差方向において窪む第３段差部を前記第１端部と前記第１中央部との境界に有し、前記第１長辺および前記第２長辺の他方が、前記段差方向において突き出る第４段差部を前記第１端部と前記第１中央部との境界に有し、かつ、前記第３段差部と前記第４段差部とが、前記短辺が延びる方向において並ぶように、前記レジスト層を露光することを含む露光方法。」に訂正する。 （３）訂正事項３ 本件訂正前の特許請求の範囲の請求項３に「前記第１マスク領域の前記単位露光領域と、前記第２マスク領域の前記単位露光領域とを同時に露光することを含む露光方法。」と記載されているのを、「前記第１マスク領域の前記単位露光領域と、前記第２マスク領域の前記単位露光領域とを同時に露光することを含み、前記蒸着マスクは、第１端部と、第２端部と、前記第１端部と前記第２端部とに挟まれる中央部とから構成され、かつ、第１方向に沿って延びる第１長辺と、前記第１長辺に平行な第２長辺と、前記第１方向に交差する第２方向に沿って延び、前記第１長辺を前記第２長辺に接続する一対の短辺と、を備え、前記中央部は、蒸着パターンを形成するためのマスク孔を複数有し、前記第１端部および前記第２端部は、前記マスク孔を有さず、前記複数の単位露光領域は、前記第１端部を形成するための第１露光領域と、前記中央部を形成するための第２露光領域と、前記第２端部を形成するための第３露光領域とから構成され、前記第１長辺から前記第２長辺に向かう方向が段差方向であり、前記露光することは、前記第１長辺が、前記段差方向において窪む段差部を前記第１端部と前記中央部との境界に有し、前記第２長辺が、前記段差方向において突き出る段差部を前記第１端部と前記中央部との境界に有し、かつ、前記第１長辺の前記段差部と前記第２長辺の前記段差部とが、前記短辺が延びる方向において並ぶように、前記レジスト層を露光することを含む露光方法。」に訂正する。 （４）訂正事項４ 本件訂正前の特許請求の範囲の請求項６に「請求項１から５のいずれか一項に記載の露光方法によって前記レジスト層を露光すること、」と記載されているのを、「請求項１，２，４，５のいずれか一項に記載の露光方法によって前記レジスト層を露光すること、」に訂正する。 （５）訂正事項５ 本件訂正前の特許請求の範囲の請求項６に「蒸着マスク用基材にレジスト層を形成すること、請求項１から５のいずれか一項に記載の露光方法によって前記レジスト層を露光すること、前記レジスト層を現像し、これによってレジストマスクを形成すること、および、前記レジストマスクを用いて前記蒸着マスク用基材をエッチングすること、を含む蒸着マスクの製造方法。」とあるうち、請求項３を引用するものについて、独立形式に改め、「蒸着マスク用基材にレジスト層を形成すること、前記レジスト層を露光すること、前記レジスト層を現像し、これによってレジストマスクを形成すること、および、前記レジストマスクを用いて前記蒸着マスク用基材をエッチングすること、を含み、前記レジスト層のうち、１枚の蒸着マスクをエッチングによって形成するために用いられる領域が、単位マスク領域であり、前記単位マスク領域は、複数の単位露光領域を含み、前記複数の単位露光領域に含まれる全ての単位露光領域を露光することを含み、前記露光することは、前記複数の単位露光領域に含まれる第１の単位露光領域を露光することと、前記複数の単位露光領域に含まれる第２の単位露光領域を前記第１の単位露光領域とは異なるタイミングで露光することと、を含み、前記レジスト層は、前記単位マスク領域を複数含み、複数の前記単位マスク領域は、第１マスク領域と第２マスク領域とを含み、前記露光することは、前記第１マスク領域の前記単位露光領域と、前記第２マスク領域の前記単位露光領域とを同時に露光することを含み、前記蒸着マスクは、第１端部と、第２端部と、前記第１端部と前記第２端部とに挟まれる中央部とから構成され、前記中央部は、第１中央部と第２中央部とから構成され、かつ、第１方向に沿って延びる第１長辺と、前記第１長辺に平行な第２長辺と、前記第１方向に交差する第２方向に沿って延び、前記第１長辺を前記第２長辺に接続する一対の短辺と、を備え、前記中央部は、蒸着パターンを形成するためのマスク孔を複数有し、前記第１端部および前記第２端部は、前記マスク孔を有さず、前記複数の単位露光領域は、前記第１端部を形成するための第１露光領域と、前記第１中央部を形成するための第２露光領域と、前記第２中央部を形成するための第３露光領域と、前記第２端部を形成するための第４露光領域とから構成され、前記第１長辺から前記第２長辺に向かう方向が段差方向であり、前記露光することは、前記第１長辺が、前記段差方向において窪む段差部を前記第１中央部と前記第２中央部との境界に有し、前記第２長辺が、前記段差方向において突き出る段差部を前記第１中央部と前記第２中央部との境界に有し、かつ、前記第１長辺の前記段差部と前記第２長辺の前記段差部とが、前記短辺が延びる方向において並ぶように、前記レジスト層を露光することを含む蒸着マスクの製造方法。」として、新たに請求項１０とする。 （６）一群の請求項について ア 本件訂正前の請求項６は、訂正前の請求項１を引用するものであって、訂正事項１に係る請求項１の訂正に連動して訂正されるものであるから、本件訂正前の請求項１、６は、一群の請求項である。 イ また、本件訂正前の請求項６は、訂正前の請求項２を引用するものであって、訂正事項２に係る請求項２の訂正に連動して訂正されるものであるから、本件訂正前の請求項２、６は、一群の請求項である。 ウ さらに、本件訂正前の請求項４～６は、訂正前の請求項３を直接又は間接的に引用するものであって、訂正事項３に係る請求項３の訂正に連動して訂正されるものであるから、本件訂正前の請求項３～６は、一群の請求項である。 エ そして、請求項６を共通の請求項とするこれら３つの「一群の請求項」は、組み合わされて１つの「一群の請求項」となるから、本件訂正前の請求項１～６は、一群の請求項である。 オ そうすると、本件訂正請求は、当該一群の請求項ごとに訂正を請求するものであるところ、本件訂正前の請求項１～６に対応する、訂正後の請求項１～６、１０のうち、訂正後の請求項１０については、当該請求項について訂正が認められる場合には、一群の請求項の他の請求項とは別途訂正することを求めるものである。 なお、特許権者は、本件訂正請求書の第１７頁において、「ウ 別の訂正単位とする求め」として、「訂正後の請求項１，２，３，１０については、当該請求項についての訂正が認められる場合には、一群の請求項の他の請求項とは別途訂正することを求める。」旨主張しているが、本件訂正によっても、訂正後の請求項１～６については、訂正後の請求項６を介した上記ア～ウの引用関係が維持されているから、請求項１～３についての訂正が認められる場合であっても、これを一群の請求項の他の請求項である請求項４～６と別途訂正することは認められない。 カ したがって、本件訂正請求は、訂正後の請求項〔１～６〕、１０をそれぞれ訂正単位とする訂正を請求するものである。 ２ 訂正の適否についての当合議体の判断 （１）訂正の目的、特許請求の範囲の拡張、変更の存否、及び新規事項の有無について ア 訂正事項１について （ア）訂正の目的について 訂正事項１に係る訂正は、本件訂正前の特許請求の範囲の請求項１に「前記第２端部を形成するための第３露光領域とから構成される露光方法。」と記載されているのを、「前記第２端部を形成するための第３露光領域とから構成され、前記レジスト層は、前記単位マスク領域を複数含み、複数の前記単位マスク領域は、第１マスク領域と第２マスク領域とを含み、前記露光することは、前記第１マスク領域の前記単位露光領域と、前記第２マスク領域の前記単位露光領域とを同時に露光することと、各蒸着マスクについて、前記第１端部と前記第２端部との少なくとも一方における幅が、前記中央部の幅とは異なるように、前記レジスト層を露光することと、を含む露光方法。」に訂正することによって、訂正前の請求項１における「レジスト層」が、第１マスク領域と第２マスク領域を含む複数の単位マスク領域を含むものであることを特定するものであるとともに、訂正前の請求項１における「露光すること」が、第１マスク領域の単位露光領域と、第２マスク領域の単位マスク領域とを同時に露光するものであること、および、各蒸着マスクについて、第１端部と第２端部との少なくとも一方における幅が、中央部の幅とは異なるように露光するものであることを特定するものであるから、特許法第１２０条の５第２項ただし書第１号に掲げる「特許請求の範囲の減縮」を目的とするものに該当する。 （イ）特許請求の範囲の拡張、変更の存否について 訂正事項１に係る訂正は、上記（ア）のとおり、特許請求の範囲の減縮を目的とするものであって、カテゴリーや対象、目的を変更するものではないから、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものとはいえない。 （ウ）新規事項の有無について 本願の願書に添付した明細書又は図面（以下「本件明細書等」という。）の【０１５５】には、レジスト層が単位マスク領域を複数含み、当該複数の単位マスク領域が第１マスク領域と第２マスク領域とを含むこと、及び露光することが第１マスク領域の単位露光領域と、第２マスク領域の単位露光領域とを同時に露光することを含んでもよいことが記載され、同じく【０１３９】には、図２３及び図２４を参照して、露光を経て製造された蒸着マスクの第１端部及び第２端部のマスク幅が、中央部におけるマスク幅よりも大きい又は小さいこと、すなわち、第１端部と第２端部の幅が中央部の幅とは異なることが記載されている。 したがって、訂正事項１に係る訂正は、本件明細書等の全ての記載を総合することにより導かれる技術的事項との関係において、新たな技術的事項を導入するものとはいえない。 よって、訂正事項１に係る訂正は、本件明細書等に記載した事項の範囲内においてしたものである。 イ 訂正事項２について （ア）訂正の目的について 訂正事項２に係る訂正は、本件訂正前の特許請求の範囲の請求項２に「前記第２端部を形成するための第４露光領域とから構成される露光方法。」と記載されているのを、「前記第２端部を形成するための第４露光領域とから構成され、前記蒸着マスクは、第１方向に沿って延びる第１長辺と、前記第１長辺に平行な第２長辺と、前記第１方向に交差する第２方向に沿って延び、前記第１長辺を前記第２長辺に接続する一対の短辺と、を備え、前記第１長辺から前記第２長辺に向かう方向が段差方向であり、前記露光することは、前記第１長辺が、前記段差方向において窪む第１段差部を前記第１中央部と前記第２中央部との境界に有し、前記第２長辺が、前記段差方向において突き出る第２段差部を前記第１中央部と前記第２中央部との境界に有し、かつ、前記第１段差部と前記第２段差部とが、前記短辺が延びる方向において並ぶとともに、前記第１長辺および前記第２長辺の一方が、前記段差方向において窪む第３段差部を前記第１端部と前記第１中央部との境界に有し、前記第１長辺および前記第２長辺の他方が、前記段差方向において突き出る第４段差部を前記第１端部と前記第１中央部との境界に有し、かつ、前記第３段差部と前記第４段差部とが、前記短辺が延びる方向において並ぶように、前記レジスト層を露光することを含む露光方法。」に訂正することにより、訂正前の請求項２における「蒸着マスク」が、「第１方向に沿って延びる第１長辺と、前記第１長辺に平行な第２長辺と、前記第１方向に交差する第２方向に沿って延び、前記第１長辺を前記第２長辺に接続する一対の短辺と、を備え、前記第１長辺から前記第２長辺に向かう方向が段差方向であ」るものであることを限定するとともに、訂正前の請求項２における「露光すること」が、「前記第１長辺が、前記段差方向において窪む第１段差部を前記第１中央部と前記第２中央部との境界に有し、前記第２長辺が、前記段差方向において突き出る第２段差部を前記第１中央部と前記第２中央部との境界に有し、かつ、前記第１段差部と前記第２段差部とが、前記短辺が延びる方向において並ぶとともに、前記第１長辺および前記第２長辺の一方が、前記段差方向において窪む第３段差部を前記第１端部と前記第１中央部との境界に有し、前記第１長辺および前記第２長辺の他方が、前記段差方向において突き出る第４段差部を前記第１端部と前記第１中央部との境界に有し、かつ、前記第３段差部と前記第４段差部とが、前記短辺が延びる方向において並ぶように、前記レジスト層を露光すること」であることを特定するものであるから、特許法第１２０条の５第２項ただし書第１号に掲げる「特許請求の範囲の減縮」を目的とするものに該当する。 （イ）特許請求の範囲の拡張、変更の存否について 訂正事項２に係る訂正は、上記（ア）のとおり、特許請求の範囲の減縮を目的とするものであって、カテゴリーや対象、目的を変更するものではないから、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものとはいえない。 （ウ）新規事項の有無について 本件明細書等の【００３１】～【００４２】及び図２～図５には、蒸着マスク１０の第１長辺１０Ｌ１が、第２長辺１０Ｌ２に向かう段差方向において窪む第１段差部Ｌ１Ｓを第１中央部１０Ｃ１と第２中央部１０Ｃ２との境界に有し、上記第２長辺１０Ｌ２が、上記段差方向において突き出る第２段差部Ｌ２Ｓを上記第１中央部１０Ｃ１と上記第２中央部１０Ｃ２との境界に有し、上記第１段差部Ｌ１Ｓと上記第２段差部Ｌ２Ｓとが短辺１０Ｓの延びる方向において並ぶことが記載され、また、上記第１長辺１０Ｌ１及び上記第２長辺１０Ｌ２の一方が、上記段差方向において窪む第３段差部を上記第１端部１０Ｅ１と上記第１中央部１０Ｃ１との境界に有し、上記第１長辺１０Ｌ１及び上記第２長辺１０Ｌ２の他方が、上記段差方向において突き出る第４段差部を上記第１端部１０Ｅ１と上記第１中央部１０Ｃ１との境界に有し、上記第３段差部と上記第４段差部とが短辺１０Ｓの延びる方向において並ぶことが記載されている。 そうすると、訂正事項２に係る訂正は、本件明細書等の全ての記載を総合することにより導かれる技術的事項との関係において、新たな技術的事項を導入するものとはいえない。 したがって、訂正事項２に係る訂正は、本件明細書等に記載した事項の範囲内においてしたものである。 ウ 訂正事項３について （ア）訂正の目的について 訂正事項３に係る訂正は、本件訂正前の特許請求の範囲の請求項３に「前記第１マスク領域の前記単位露光領域と、前記第２マスク領域の前記単位露光領域とを同時に露光することを含む露光方法。」と記載されているのを、「前記第１マスク領域の前記単位露光領域と、前記第２マスク領域の前記単位露光領域とを同時に露光することを含み、前記蒸着マスクは、第１端部と、第２端部と、前記第１端部と前記第２端部とに挟まれる中央部とから構成され、かつ、第１方向に沿って延びる第１長辺と、前記第１長辺に平行な第２長辺と、前記第１方向に交差する第２方向に沿って延び、前記第１長辺を前記第２長辺に接続する一対の短辺と、を備え、前記中央部は、蒸着パターンを形成するためのマスク孔を複数有し、前記第１端部および前記第２端部は、前記マスク孔を有さず、前記複数の単位露光領域は、前記第１端部を形成するための第１露光領域と、前記中央部を形成するための第２露光領域と、前記第２端部を形成するための第３露光領域とから構成され、前記第１長辺から前記第２長辺に向かう方向が段差方向であり、前記露光することは、前記第１長辺が、前記段差方向において窪む段差部を前記第１端部と前記中央部との境界に有し、前記第２長辺が、前記段差方向において突き出る段差部を前記第１端部と前記中央部との境界に有し、かつ、前記第１長辺の前記段差部と前記第２長辺の前記段差部とが、前記短辺が延びる方向において並ぶように、前記レジスト層を露光することを含む露光方法。」に訂正することにより、訂正前の請求項３における「蒸着マスク」が、「第１端部と、第２端部と、前記第１端部と前記第２端部とに挟まれる中央部とから構成され、かつ、第１方向に沿って延びる第１長辺と、前記第１長辺に平行な第２長辺と、前記第１方向に交差する第２方向に沿って延び、前記第１長辺を前記第２長辺に接続する一対の短辺と、を備え、前記中央部は、蒸着パターンを形成するためのマスク孔を複数有し、前記第１端部および前記第２端部は、前記マスク孔を有さ」ないものであることを限定するとともに、訂正前の請求項３における「複数の単位露光領域」が、「前記第１端部を形成するための第１露光領域と、前記中央部を形成するための第２露光領域と、前記第２端部を形成するための第３露光領域とから構成され、前記第１長辺から前記第２長辺に向かう方向が段差方向であ」るものであることを限定し、さらに、訂正前の請求項３における「露光すること」が、「前記第１長辺が、前記段差方向において窪む段差部を前記第１端部と前記中央部との境界に有し、前記第２長辺が、前記段差方向において突き出る段差部を前記第１端部と前記中央部との境界に有し、かつ、前記第１長辺の前記段差部と前記第２長辺の前記段差部とが、前記短辺が延びる方向において並ぶように、前記レジスト層を露光すること」であることを特定するものであるから、特許法第１２０条の５第２項ただし書第１号に掲げる「特許請求の範囲の減縮」を目的とするものに該当する。 （イ）特許請求の範囲の拡張、変更の存否について 訂正事項３に係る訂正は、上記（ア）のとおり、特許請求の範囲の減縮を目的とするものであって、カテゴリーや対象、目的を変更するものではないから、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものとはいえない。 （ウ）新規事項の有無について ａ 本件明細書等の【００２６】、【００２７】及び【０１３４】には、蒸着マスク１０が第１端部１０Ｅ１と、第２端部１０Ｅ２と、第１方向Ｄ１において上記第１端部１０Ｅ１と上記第２端部１０Ｅ２に挟まれている中央部１０Ｃとから構成され、上記中央部１０Ｃは蒸着パターンを形成するためのマスク孔１０Ｈを複数有しているのに対して、上記第１端部１０Ｅ１及び上記第２端部１０Ｅ２は、マスク孔１０Ｈを有していないことが記載されている。 ｂ また、本件明細書等の【０１０５】及び【０１４６】には、各単位マスク領域ＭＡが搬送方向に沿って並ぶ第１露光領域、第２露光領域及び第３露光領域から構成されることが記載されている。 ｃ さらに、本件明細書等の【００３１】～【００４２】及び図２～図５には、蒸着マスク１０の第１長辺１０Ｌ１及び第２長辺１０Ｌ２の一方が、段差方向において窪む段差部を第１端部１０Ｅ１と第１中央部１０Ｃ１との境界に有し、上記第１長辺１０Ｌ１及び上記第２長辺１０Ｌ２の他方が、上記段差方向において突き出る段差部を上記第１端部１０Ｅ１と上記第１中央部１０Ｃ１との境界に有し、上記第１長辺の段差部と上記第２長辺の段差部とが、短辺１０Ｓの延びる方向において並ぶことが記載されている。 ｄ 上記ａ～ｃに摘記した本件明細書等の記載を考慮すれば、訂正事項３に係る訂正は、本件明細書等の全ての記載を総合することにより導かれる技術的事項との関係において、新たな技術的事項を導入するものとはいえない。 ｅ したがって、訂正事項３に係る訂正は、本件明細書等に記載した事項の範囲内においてしたものである。 エ 訂正事項４について （ア）訂正の目的について 訂正事項４に係る訂正は、訂正前の請求項６が請求項１から５の記載を引用するものであったところ、下記訂正事項５において請求項３を引用するものについて独立形式に改めることによって、請求項３を引用できなくなったことに伴い、請求項間の引用関係を解消するものであるから、特許法第１２０条の５第２項ただし書第４号に掲げる「他の請求項の記載を引用する請求項の記載を当該他の請求項の記載を引用しないものとすること」を目的とするものに該当する。 また、訂正事項４に係る訂正は、多数項を引用している訂正前の請求項６の引用請求項数を削減するものであるから、特許法第１２０条の５第２項ただし書第１号に掲げる「特許請求の範囲の減縮」を目的とするものに該当する。 （イ）特許請求の範囲の拡張、変更の存否について 訂正事項４に係る訂正は、上記（ア）のとおり、「他の請求項の記載を引用する請求項の記載を当該他の請求項の記載を引用しないものとすること」と「特許請求の範囲の減縮」とを目的とするものであって、カテゴリーや対象、目的を変更するものではないから、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものとはいえない。 （ウ）新規事項の有無について 訂正事項４に係る訂正は、請求項間の引用関係を解消することと、多数項を引用している請求項の引用請求項数を削減することとを目的とするものであるから、本件明細書等の全ての記載を総合することにより導かれる技術的事項との関係において、新たな技術的事項を導入するものとはいえない。 したがって、訂正事項４に係る訂正は、本件明細書等に記載した事項の範囲内においてしたものである。 オ 訂正事項５について （ア）訂正の目的について 訂正事項５に係る訂正は、訂正前の請求項６が請求項１から５の記載を引用するものであったところ、そのうち請求項３を引用するものについて、独立形式に改めるとともに、さらに特定事項を加えて、「蒸着マスク用基材にレジスト層を形成すること、前記レジスト層を露光すること、前記レジスト層を現像し、これによってレジストマスクを形成すること、および、前記レジストマスクを用いて前記蒸着マスク用基材をエッチングすること、を含み、前記レジスト層のうち、１枚の蒸着マスクをエッチングによって形成するために用いられる領域が、単位マスク領域であり、前記単位マスク領域は、複数の単位露光領域を含み、前記複数の単位露光領域に含まれる全ての単位露光領域を露光することを含み、前記露光することは、前記複数の単位露光領域に含まれる第１の単位露光領域を露光することと、前記複数の単位露光領域に含まれる第２の単位露光領域を前記第１の単位露光領域とは異なるタイミングで露光することと、を含み、前記レジスト層は、前記単位マスク領域を複数含み、複数の前記単位マスク領域は、第１マスク領域と第２マスク領域とを含み、前記露光することは、前記第１マスク領域の前記単位露光領域と、前記第２マスク領域の前記単位露光領域とを同時に露光することを含み、前記蒸着マスクは、第１端部と、第２端部と、前記第１端部と前記第２端部とに挟まれる中央部とから構成され、前記中央部は、第１中央部と第２中央部とから構成され、かつ、第１方向に沿って延びる第１長辺と、前記第１長辺に平行な第２長辺と、前記第１方向に交差する第２方向に沿って延び、前記第１長辺を前記第２長辺に接続する一対の短辺と、を備え、前記中央部は、蒸着パターンを形成するためのマスク孔を複数有し、前記第１端部および前記第２端部は、前記マスク孔を有さず、前記複数の単位露光領域は、前記第１端部を形成するための第１露光領域と、前記第１中央部を形成するための第２露光領域と、前記第２中央部を形成するための第３露光領域と、前記第２端部を形成するための第４露光領域とから構成され、前記第１長辺から前記第２長辺に向かう方向が段差方向であり、前記露光することは、前記第１長辺が、前記段差方向において窪む段差部を前記第１中央部と前記第２中央部との境界に有し、前記第２長辺が、前記段差方向において突き出る段差部を前記第１中央部と前記第２中央部との境界に有し、かつ、前記第１長辺の前記段差部と前記第２長辺の前記段差部とが、前記短辺が延びる方向において並ぶように、前記レジスト層を露光することを含む蒸着マスクの製造方法。」として新たに請求項１０とするものであるから、特許法第１２０条の５第２項ただし書第４号に掲げる「他の請求項の記載を引用する請求項の記載を当該他の請求項の記載を引用しないものとすること」、及び同第１号に掲げる「特許請求の範囲の減縮」を目的とするものに該当する。 （イ）特許請求の範囲の拡張、変更の存否について 訂正事項５に係る訂正は、上記（ア）のとおり、「他の請求項の記載を引用する請求項の記載を当該他の請求項の記載を引用しないものとすること」と「特許請求の範囲の減縮」とを目的とするものであって、カテゴリーや対象、目的を変更するものではないから、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものとはいえない。 （ウ）新規事項の有無について ａ 本件明細書等の【００２５】～【００２７】には、蒸着マスク１０が第１端部１０Ｅ１と、第２端部１０Ｅ２と、第１方向Ｄ１において上記第１端部１０Ｅ１と上記第２端部１０Ｅ２に挟まれている中央部１０Ｃとから構成され、上記中央部１０Ｃは、第１中央部１０Ｃ１と第２中央部１０Ｃ２とから構成され、蒸着パターンを形成するためのマスク孔１０Ｈを複数有しているのに対して、上記第１端部１０Ｅ１及び上記第２端部１０Ｅ２は、マスク孔１０Ｈを有していないことが記載されている。 ｂ また、本件明細書等の【０１０５】には、各単位マスク領域ＭＡが搬送方向に沿って並ぶ第１露光領域、第２露光領域、第３露光領域及び第４露光領域から構成されることが記載されている。 ｃ さらに、本件明細書等の【００３７】～【００４２】及び図４、図５には、蒸着マスク１０の第１長辺１０Ｌ１及び第２長辺１０Ｌ２の一方が、段差方向において窪む段差部を第１中央部１０Ｃ１と第２中央部１０Ｃ２との境界に有し、上記第１長辺１０Ｌ１及び上記第２長辺１０Ｌ２の他方が、上記段差方向において突き出る段差部を上記第１中央部１０Ｃ１と上記第２中央部１０Ｃ２との境界に有し、上記第１長辺の段差部と上記第２長辺の段差部とが、短辺１０Ｓの延びる方向において並ぶことが記載されている。 ｄ ここで、訂正事項５に係る訂正は、他の請求項の記載を引用する請求項の記載を当該他の請求項の記載を引用しないものとする訂正事項を含むものであるところ、それによって新たな技術的事項を導入するものとはいえないことは、明らかである。 ｅ また、上記ａ～ｃに摘記した本件明細書等の記載を考慮すれば、訂正事項５に係る訂正は、本件明細書等の全ての記載を総合することにより導かれる技術的事項との関係において、新たな技術的事項を導入するものとはいえない。 ｆ したがって、訂正事項５に係る訂正は、本件明細書等に記載した事項の範囲内においてしたものである。 （２）独立特許要件について 本件は、訂正前の全請求項について特許異議の申立てがされているので、訂正事項１～５について、特許法第１２０条の５第９項で読み替えて準用する特許法第１２６条第７項の独立特許要件は課されない。 ３ 本件訂正請求についてのむすび 以上のとおりであるから、本件訂正請求による訂正は、特許法第１２０条の５第２項ただし書第１号又は第４号に掲げる事項を目的とするものであり、かつ、同条第９項において準用する同法第１２６条第５項及び第６項の規定に適合するものである。 したがって、本件特許の特許請求の範囲を訂正請求書に添付した訂正特許請求の範囲のとおり、訂正後の請求項〔１～６〕、１０について訂正することを認める。 第３ 本件発明 上記第２の３のとおり、本件訂正は認められるから、本件特許の請求項１～１０に係る発明は、訂正特許請求の範囲の請求項１～１０に記載された事項により特定される次のとおりのものである。なお、以下において、本件特許の請求項１～１０に係る発明をそれぞれ「本件発明１」～「本件発明１０」といい、総称して、「本件発明」という。また、本願の願書に添付した明細書を「本件明細書」という。 「【請求項１】 蒸着マスク用基材上に位置するレジスト層を露光する方法であって、 前記レジスト層のうち、１枚の蒸着マスクをエッチングによって形成するために用いられる領域が、単位マスク領域であり、 前記単位マスク領域は、複数の単位露光領域を含み、 前記複数の単位露光領域に含まれる全ての単位露光領域を露光することを含み、 前記露光することは、 前記複数の単位露光領域に含まれる第１の単位露光領域を露光することと、 前記複数の単位露光領域に含まれる第２の単位露光領域を前記第１の単位露光領域とは異なるタイミングで露光することと、を含み、 前記露光することは、 前記単位マスク領域に含まれる全ての前記単位露光領域を個別に露光することを含み、 前記蒸着マスクは、第１端部と、第２端部と、前記第１端部と前記第２端部とに挟まれる中央部とから構成され、 前記中央部は、蒸着パターンを形成するためのマスク孔を複数有し、 前記第１端部および前記第２端部は、前記マスク孔を有さず、 前記複数の単位露光領域は、 前記第１端部を形成するための第１露光領域と、 前記中央部を形成するための第２露光領域と、 前記第２端部を形成するための第３露光領域とから構成され、 前記レジスト層は、前記単位マスク領域を複数含み、 複数の前記単位マスク領域は、第１マスク領域と第２マスク領域とを含み、 前記露光することは、 前記第１マスク領域の前記単位露光領域と、前記第２マスク領域の前記単位露光領域とを同時に露光することと、 各蒸着マスクについて、前記第１端部と前記第２端部との少なくとも一方における幅が、前記中央部の幅とは異なるように、前記レジスト層を露光することと、を含む 露光方法。 【請求項２】 蒸着マスク用基材上に位置するレジスト層を露光する方法であって、 前記レジスト層のうち、１枚の蒸着マスクをエッチングによって形成するために用いられる領域が、単位マスク領域であり、 前記単位マスク領域は、複数の単位露光領域を含み、 前記複数の単位露光領域に含まれる全ての単位露光領域を露光することを含み、 前記露光することは、 前記複数の単位露光領域に含まれる第１の単位露光領域を露光することと、 前記複数の単位露光領域に含まれる第２の単位露光領域を前記第１の単位露光領域とは異なるタイミングで露光することと、を含み、 前記露光することは、 前記単位マスク領域に含まれる全ての前記単位露光領域を個別に露光することを含み、 前記蒸着マスクは、第１端部と、第２端部と、前記第１端部と前記第２端部とに挟まれる中央部とから構成され、 前記中央部は、第１中央部と第２中央部とから構成され、 各中央部は、蒸着パターンを形成するためのマスク孔を複数有し、 前記第１端部および前記第２端部は、前記マスク孔を有さず、 前記複数の単位露光領域は、 前記第１端部を形成するための第１露光領域と、 前記第１中央部を形成するための第２露光領域と、 前記第２中央部を形成するための第３露光領域と、 前記第２端部を形成するための第４露光領域とから構成され、 前記蒸着マスクは、第１方向に沿って延びる第１長辺と、前記第１長辺に平行な第２長辺と、前記第１方向に交差する第２方向に沿って延び、前記第１長辺を前記第２長辺に接続する一対の短辺と、を備え、 前記第１長辺から前記第２長辺に向かう方向が段差方向であり、 前記露光することは、 前記第１長辺が、前記段差方向において窪む第１段差部を前記第１中央部と前記第２中央部との境界に有し、 前記第２長辺が、前記段差方向において突き出る第２段差部を前記第１中央部と前記第２中央部との境界に有し、かつ、 前記第１段差部と前記第２段差部とが、前記短辺が延びる方向において並ぶとともに、 前記第１長辺および前記第２長辺の一方が、前記段差方向において窪む第３段差部を前記第１端部と前記第１中央部との境界に有し、 前記第１長辺および前記第２長辺の他方が、前記段差方向において突き出る第４段差部を前記第１端部と前記第１中央部との境界に有し、かつ、 前記第３段差部と前記第４段差部とが、前記短辺が延びる方向において並ぶように、前記レジスト層を露光することを含む 露光方法。 【請求項３】 蒸着マスク用基材上に位置するレジスト層を露光する方法であって、 前記レジスト層のうち、１枚の蒸着マスクをエッチングによって形成するために用いられる領域が、単位マスク領域であり、 前記単位マスク領域は、複数の単位露光領域を含み、 前記複数の単位露光領域に含まれる全ての単位露光領域を露光することを含み、 前記露光することは、 前記複数の単位露光領域に含まれる第１の単位露光領域を露光することと、 前記複数の単位露光領域に含まれる第２の単位露光領域を前記第１の単位露光領域とは異なるタイミングで露光することと、を含み、 前記レジスト層は、前記単位マスク領域を複数含み、 前記複数の前記単位マスク領域は、第１マスク領域と第２マスク領域とを含み、 前記露光することは、 前記第１マスク領域の前記単位露光領域と、前記第２マスク領域の前記単位露光領域とを同時に露光することを含み、 前記蒸着マスクは、第１端部と、第２端部と、前記第１端部と前記第２端部とに挟まれる中央部とから構成され、かつ、第１方向に沿って延びる第１長辺と、前記第１長辺に平行な第２長辺と、前記第１方向に交差する第２方向に沿って延び、前記第１長辺を前記第２長辺に接続する一対の短辺と、を備え、 前記中央部は、蒸着パターンを形成するためのマスク孔を複数有し、 前記第１端部および前記第２端部は、前記マスク孔を有さず、 前記複数の単位露光領域は、 前記第１端部を形成するための第１露光領域と、 前記中央部を形成するための第２露光領域と、 前記第２端部を形成するための第３露光領域とから構成され、 前記第１長辺から前記第２長辺に向かう方向が段差方向であり、 前記露光することは、 前記第１長辺が、前記段差方向において窪む段差部を前記第１端部と前記中央部との境界に有し、 前記第２長辺が、前記段差方向において突き出る段差部を前記第１端部と前記中央部との境界に有し、かつ、 前記第１長辺の前記段差部と前記第２長辺の前記段差部とが、前記短辺が延びる方向において並ぶように、前記レジスト層を露光することを含む 露光方法。 【請求項４】 前記露光することは、 前記単位マスク領域に含まれる全ての前記単位露光領域を個別に露光することを含む 請求項３に記載の露光方法。 【請求項５】 前記単位マスク領域は、１枚の長手方向に延びる帯状を有した前記蒸着マスクをエッチングによって形成するために用いられる領域であり、 前記単位マスク領域が含む前記複数の単位露光領域は、前記長手方向に並び、 前記複数の単位露光領域は、１つの前記単位露光領域である当該単位露光領域とは異なる構造を有した他の前記単位露光領域を備える 請求項４に記載の露光方法。 【請求項６】 蒸着マスク用基材にレジスト層を形成すること、 請求項１，２，４，５のいずれか一項に記載の露光方法によって前記レジスト層を露光すること、 前記レジスト層を現像し、これによってレジストマスクを形成すること、および、 前記レジストマスクを用いて前記蒸着マスク用基材をエッチングすること、を含む 蒸着マスクの製造方法。 【請求項７】 蒸着マスク用基材上に位置するレジスト層を露光するための露光装置であって、 前記レジスト層のうち、１枚の蒸着マスクをエッチングによって形成するために用いられる領域が単位マスク領域であり、 前記単位マスク領域は、複数の単位露光領域を含み、 前記露光装置は、 単位露光領域ごとに露光する露光部と、 前記複数の単位露光領域のなかで、露光済の単位露光領域を検知することが可能に構成された検知部と、 前記複数の単位露光領域に含まれる第１の単位露光領域を前記露光部に露光させた後に、前記検知部の検知した結果に基づいて、前記レジスト層のうち、前記第１の単位露光領域とは異なる第２の単位露光領域を前記露光部に露光させる制御部と、を備え、 前記制御部は、前記露光部に前記単位マスク領域に含まれる全ての前記単位露光領域を個別に露光させ、 前記蒸着マスクは、第１端部と、第２端部と、前記第１端部と前記第２端部とに挟まれる中央部とから構成され、 前記中央部は、蒸着パターンを形成するためのマスク孔を複数有し、 前記第１端部および前記第２端部は、前記マスク孔を有さず、 前記複数の単位露光領域は、 前記第１端部を形成するための第１露光領域と、 前記中央部を形成するための第２露光領域と、 前記第２端部を形成するための第３露光領域とから構成される 露光装置。 【請求項８】 蒸着マスク用基材上に位置するレジスト層を露光するための露光装置であって、 前記レジスト層のうち、１枚の蒸着マスクをエッチングによって形成するために用いられる領域が単位マスク領域であり、 前記単位マスク領域は、複数の単位露光領域を含み、 前記露光装置は、 単位露光領域ごとに露光する露光部と、 前記複数の単位露光領域のなかで、露光済の単位露光領域を検知することが可能に構成された検知部と、 前記複数の単位露光領域に含まれる第１の単位露光領域を前記露光部に露光させた後に、前記検知部の検知した結果に基づいて、前記レジスト層のうち、前記第１の単位露光領域とは異なる第２の単位露光領域を前記露光部に露光させる制御部と、を備え、 前記制御部は、前記露光部に前記単位マスク領域に含まれる全ての前記単位露光領域を個別に露光させ、 前記蒸着マスクは、第１端部と、第２端部と、前記第１端部と前記第２端部とに挟まれる中央部とから構成され、 前記中央部は、第１中央部と第２中央部とから構成され、 各中央部は、蒸着パターンを形成するためのマスク孔を複数有し、 前記第１端部および前記第２端部は、前記マスク孔を有さず、 前記複数の単位露光領域は、 前記第１端部を形成するための第１露光領域と、 前記第１中央部を形成するための第２露光領域と、 前記第２中央部を形成するための第３露光領域と、 前記第２端部を形成するための第４露光領域とから構成される 露光装置。 【請求項９】 蒸着マスク用基材上に位置するレジスト層を露光するための露光装置であって、 前記レジスト層のうち、１枚の蒸着マスクをエッチングによって形成するために用いられる領域が単位マスク領域であり、 前記単位マスク領域は、複数の単位露光領域を含み、 前記露光装置は、 単位露光領域ごとに露光する露光部と、 前記複数の単位露光領域のなかで、露光済の単位露光領域を検知することが可能に構成された検知部と、 前記複数の単位露光領域に含まれる第１の単位露光領域を前記露光部に露光させた後に、前記検知部の検知した結果に基づいて、前記レジスト層のうち、前記第１の単位露光領域とは異なる第２の単位露光領域を前記露光部に露光させる制御部と、を備え、 前記レジスト層は、前記単位マスク領域を複数含み、 複数の前記単位マスク領域は、第１マスク領域と第２マスク領域とを含み、 前記制御部は、前記露光部に、前記第１マスク領域の前記単位露光領域と、前記第２マスク領域の前記単位露光領域とを同時に露光させる 露光装置。 【請求項１０】 蒸着マスク用基材にレジスト層を形成すること、 前記レジスト層を露光すること、 前記レジスト層を現像し、これによってレジストマスクを形成すること、および、 前記レジストマスクを用いて前記蒸着マスク用基材をエッチングすること、を含み、 前記レジスト層のうち、１枚の蒸着マスクをエッチングによって形成するために用いられる領域が、単位マスク領域であり、 前記単位マスク領域は、複数の単位露光領域を含み、 前記複数の単位露光領域に含まれる全ての単位露光領域を露光することを含み、 前記露光することは、 前記複数の単位露光領域に含まれる第１の単位露光領域を露光することと、 前記複数の単位露光領域に含まれる第２の単位露光領域を前記第１の単位露光領域とは異なるタイミングで露光することと、を含み、 前記レジスト層は、前記単位マスク領域を複数含み、 複数の前記単位マスク領域は、第１マスク領域と第２マスク領域とを含み、 前記露光することは、 前記第１マスク領域の前記単位露光領域と、前記第２マスク領域の前記単位露光領域とを同時に露光することを含み、 前記蒸着マスクは、第１端部と、第２端部と、前記第１端部と前記第２端部とに挟まれる中央部とから構成され、前記中央部は、第１中央部と第２中央部とから構成され、かつ、第１方向に沿って延びる第１長辺と、前記第１長辺に平行な第２長辺と、前記第１方向に交差する第２方向に沿って延び、前記第１長辺を前記第２長辺に接続する一対の短辺と、を備え、 前記中央部は、蒸着パターンを形成するためのマスク孔を複数有し、 前記第１端部および前記第２端部は、前記マスク孔を有さず、 前記複数の単位露光領域は、 前記第１端部を形成するための第１露光領域と、 前記第１中央部を形成するための第２露光領域と、 前記第２中央部を形成するための第３露光領域と、 前記第２端部を形成するための第４露光領域とから構成され、 前記第１長辺から前記第２長辺に向かう方向が段差方向であり、 前記露光することは、 前記第１長辺が、前記段差方向において窪む段差部を前記第１中央部と前記第２中央部との境界に有し、 前記第２長辺が、前記段差方向において突き出る段差部を前記第１中央部と前記第２中央部との境界に有し、かつ、 前記第１長辺の前記段差部と前記第２長辺の前記段差部とが、前記短辺が延びる方向において並ぶように、前記レジスト層を露光することを含む 蒸着マスクの製造方法。」 第４ 申立理由の概要 申立人は、証拠方法として甲第１号証～甲第７号証（以下「甲１」～「甲７」という。下記４参照。）を提出し、以下の理由により、本件特許の本件訂正前の請求項１～９に係る特許を取り消すべきものである旨主張している。 １ 申立理由１（新規性：取消理由として一部採用） 本件訂正前の請求項１～６に係る発明は、甲１に記載された発明であり、特許法第２９条第１項第３号に該当するものであるから、同発明に係る特許は、同法第１１３条第２号に該当し、取り消されるべきものである。 ２ 申立理由２（進歩性：取消理由として一部採用） 本件訂正前の請求項１～９に係る発明は、甲１に記載された発明に基いて、又は、甲１に記載された発明及び甲４～甲７に記載された事項に基いて、その発明の属する技術の分野における通常の知識を有する者（以下「当業者」という。）が容易に発明をすることができたものであって、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないものであるから、同発明に係る特許は、同法第１１３条第２号に該当し、取り消されるべきものである。 ３ 申立理由３（拡大先願：取消理由として一部採用） 本件訂正前の請求項１、３～６に係る発明は、本願の優先権主張の日前の特許出願であって、特許法第４１条第３項の規定によって本願の優先権主張の日後に出願公開（甲３）がされたものとみなされる甲２に係る特許出願（以下「先願」という。）の願書に最初に添付された明細書、特許請求の範囲又は図面に記載された発明と同一であり、しかも、本願の発明者が上記先願に係る上記の発明をした者と同一ではなく、また本願の出願の時において、その出願人が上記先願の出願人と同一でもないので、特許法第２９条の２の規定により、特許を受けることができないものであるから、同発明に係る特許は、同法第１１３条第２号に該当し、取り消されるべきものである。 ４ 証拠方法 甲１：韓国登録特許第１０－２２８９７２２号公報及びその翻訳文 甲２：特願２０２１－１０２７６８号の願書、及び願書に最初に添付された明細書、特許請求の範囲、要約書及び図面 甲３：特開２０２３－１８８９号公報 甲４：特開２０１３－１２５０７９号公報 甲５：特開２０１９－４５８７４号公報 甲６：特開２０１９－１０５６７５号公報 甲７：特開２００７－３１６５３７号公報 ５ なお、申立人は、令和 ７年 ６月３０日提出の意見書に添付して、以下の甲第８号証～甲第１０号証（以下「甲８」～「甲１０」という。）を提出した。 甲８：特開２００９－４１０５４号公報 甲９：特開２００４－２１８０３４号公報 甲１０：特開２０２０－１５２９３９号公報 第５ 令和 ７年 ２月１４日付けで通知した取消理由の概要 当合議体は、上記第４の申立理由１～申立理由３それぞれの一部を採用し、令和 ７年 ２月１４日付け取消理由通知書により、以下の取消理由を通知した。 １ 取消理由１（新規性） 本件訂正前の請求項１、３～６に係る発明は、甲１に記載された発明であり、特許法第２９条第１項第３号に該当するものであるから、同発明に係る特許は、同法第１１３条第２号に該当し、取り消されるべきものである。 ２ 取消理由２（進歩性） 本件訂正前の請求項１～６に係る発明は、甲１に記載された発明に基いて、当業者が容易に発明をすることができたものであり、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないものであるから、同発明に係る特許は、同法第１１３条第２号に該当し、取り消されるべきものである。 ３ 取消理由３（拡大先願） 本件訂正前の請求項１、６に係る発明は、先願の願書に最初に添付された明細書、特許請求の範囲又は図面に記載された発明と同一であり、しかも、本願の発明者が上記先願に係る上記の発明をした者と同一ではなく、また本願の出願の時において、その出願人が上記先願の出願人と同一でもないので、特許法第２９条の２の規定により、特許を受けることができないものであるから、同請求項に係る特許は、同法第１１３条第２号に該当し、取り消されるべきものである。 第６ 令和 ７年 ９月２６日付けで通知した取消理由（決定の予告）の概要 当合議体は、先の訂正請求書による訂正によって、上記取消理由１及び上記取消理由３は解消したと判断したものの、上記取消理由２は依然として解消しないと判断し、令和 ７年 ９月２６日付け取消理由通知書（決定の予告）により以下の取消理由を通知した。 １ 取消理由２（進歩性） 先の訂正請求書によって訂正された請求項２に係る発明は、甲１に記載された発明に基いて、当業者が容易に発明をすることができたものであり、また、同じく先の訂正請求書によって訂正された請求項３～６に係る発明は、甲１に記載された発明、及び甲１０に記載された事項に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであり、いずれも特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないものであるから、同発明に係る特許は、同法第１１３条第２号に該当し、取り消されるべきものである。 第７ 当合議体の判断 以下に述べるとおり、当合議体は、上記第４の申立理由、上記第５の取消理由、及び上記第６の取消理由（決定の予告）のいずれによっても、本件特許の請求項１～１０に係る特許を取り消すことはできないと判断する。 １ 取消理由１、２並びに申立理由１、２について （１）甲１に記載された発明 本願の優先日前に公知となった甲１には、その［００４６］～［００５２］、［００６２］及び図１の記載に着目すると、以下の発明が記載されていると認められる。なお、以下は申立人が提出した甲１の翻訳文の記載に基づくものである。 「第８世代（３Ｇ）マスクに適した有効部（１２０）の長さを有する横長略矩形状の微細金属マスク（１００）を作製するために金属板材（１９０）をマスクの長手方向と同じ方向に移動させながら露光する過程を備えた微細金属マスク（１００）の作製方法において、 前記微細金属マスク（１００）は前記有効部（１２０）と前記有効部（１２０）の両側に一体に構成されたグリップ部（１１０）で構成され、ディスプレイのＯＬＥＤ画素蒸着用加工孔は前記有効部（１２０）に形成され、 前記金属板材（１９０）上に空孔形成の基礎となるパターンを形成するために、まずフォトレジストを前記金属板材（１９０）上に塗布し、塗布されたフォトレジストの選択的な露光および現像のためにフォトマスクをフォトレジスト上に積層した後、露光を行い、 前記露光は、前記有効部（１２０）と前記グリップ部（１１０）を基本単位にして、複数の相互に隣接する加工対象微細金属マスク（１００）に対して連続露光又は連続的露光を施すものであり、 まず、一番左側のグリップ部（１１０）を形成するために当該部分の前記金属板材（１９０）を露光し、以後には隣接する前記有効部（１２０）を露光し、その後順次に右側のグリップ部（１１０）を露光するか、または、前記右側のグリップ部（１１０）と、前記隣接する加工対象微細金属マスク（１００）の左側のグリップ部（１１０）とを同時に露光するかして、この後に、前記隣接する加工対象微細金属マスク（１００）の有効部（１２０）と右側のグリップ部（１１）を順次露光し、 その後に、現像、エッチング及び剥離過程を順次実行する、 微細金属マスク（１００）の作製方法。」（以下「甲１発明」という。） 「甲１発明に係る微細金属マスク（１００）の作製方法を実行するための露光機。」（以下「甲１装置発明」という。） （２）本件発明１について ア 対比 本件発明１と甲１発明とを対比する。 （ア）甲１発明の「ディスプレイのＯＬＥＤ画素蒸着用加工孔」が形成される「有効部（１２０）と前記有効部（１２０）の両側に一体に構成されたグリップ部（１１０）で構成され」る「微細金属マスク（１００）を作製するため」の「金属板材（１９０）」は、本件発明１の「蒸着マスク用基材」に相当する。 （イ）上記（ア）の検討を踏まえると、甲１発明の「金属板材（１９０）上に」「塗布されたフォトレジスト」は、本件発明１の「蒸着マスク用基材上に位置するレジスト層」に相当する。 （ウ）上記（ア）、（イ）の検討を踏まえると、甲１発明において、「フォトレジストを前記金属板材（１９０）上に塗布し、塗布されたフォトレジストの選択的な露光および現像のためにフォトマスクをフォトレジスト上に積層した後、露光を行」うことは、本件発明１の「蒸着マスク用基材上に位置するレジスト層を露光する方法」に相当する。 （エ）甲１発明の「金属板材（１９０）上に塗布」される「フォトレジスト」のうち、「有効部（１２０）と前記有効部（１２０）の両側に一体に構成されたグリップ部（１１０）で構成され」る「加工対象微細金属マスク（１００）」に対応する領域は、加工対象の「微細金属マスク（１００）」を作製するために「エッチング」される領域であるから、本件発明１の「前記レジスト層のうち、１枚の蒸着マスクをエッチングによって形成するために用いる領域」である「単位マスク領域」に相当する。 （オ）甲１発明において、露光の「基本単位」となっている「有効部（１２０）」又は「グリップ部（１１０）」は、本件発明１の「単位マスク領域」に「複数」含まれる「単位露光領域」に相当する。 （カ）甲１発明の「前記微細金属マスク（１００）は前記有効部（１２０）と前記有効部（１２０）の両側に一体に構成されたグリップ部（１１０）で構成され、ディスプレイのＯＬＥＤ画素蒸着用加工孔は前記有効部（１２０）に形成され」ることは、その「前記有効部（１２０）の両側に一体に構成されたグリップ部（１１０）」すなわち二つの「グリップ部（１１０）」がそれぞれ本件発明１の「第１端部」及び「第２端部」に相当し、「有効部（１２０）」が、本件発明１の「前記第１端部と前記第２端部とに挟まれる中央部」に相当するものであることを踏まえると、本件発明１の「前記蒸着マスクは、第１端部と、第２端部と、前記第１端部と前記第２端部とに挟まれる中央部とから構成され、」「中央部は、蒸着パターンを形成するためのマスク孔を複数有し、前記第１端部および前記第２端部は、前記マスク孔を有さ」ないことに相当する。 （キ）甲１発明の「一番左側のグリップ部（１１０）」、「隣接する前記有効部（１２０）」及び「右グリップ部（１１０）」で構成される領域と、「隣接する加工対象微細金属マスク（１００）」に対応する領域とは、それぞれ、本件発明１の「レジスト層」に複数含まれる「単位マスク領域」である「第１マスク領域」及び「第２マスク領域」に相当する。 （ク）上記（カ）、（キ）の検討を踏まえると、甲１発明において、「同時に露光」される「右グリップ部（１１０）」と、「隣接する加工対象微細金属マスク（１１０）の左グリップ部（１１０）」とは、それぞれ、本件発明１の「同時に露光」される「前記第１マスク領域の前記単位露光領域」及び「前記第２マスク領域の前記単位露光領域」に相当する。 （ケ）上記（カ）～（ク）の検討を踏まえると、甲１発明の「前記露光は、前記有効部（１２０）と前記グリップ部（１１０）を基本単位にして連続露光又は連続的露光を施すものであり、まず、一番左側のグリップ部（１１０）を形成するために当該部分の前記金属板材（１９０）を露光し、以後には隣接する前記有効部（１２０）を露光し、その後順次に」「右グリップ部（１１０）と隣接する加工対象微細金属マスク（１００）の左グリップ部（１１０）を同時に露光し、この後に、再び有効部（１２０）と右グリップ部を順次露光」することは、本件発明１の「前記単位マスク領域は、複数の単位露光領域を含み、前記複数の単位露光領域に含まれる全ての単位露光領域を露光することを含み」、「前記露光することは、前記複数の単位露光領域に含まれる第１の単位露光領域を露光することと、前記複数の単位露光領域に含まれる第２の単位露光領域を前記第１の単位露光領域とは異なるタイミングで露光することと、を含み」、「前記レジスト層は、前記単位マスク領域を複数含み、複数の前記単位マスク領域は、第１マスク領域と第２マスク領域とを含み、前記露光することは、前記第１マスク領域の前記単位露光領域と、前記第２マスク領域の前記単位露光領域とを同時に露光すること」に相当する。 （コ）上記（キ）の検討を踏まえると、本件発明１と甲１発明とは、「前記複数の単位露光領域は、」「前記第１端部を形成するための」「第１露光領域」と、中央部を形成するための「第２露光領域」と、「前記第２端部を形成するための」「第３露光領域とから構成され」るものである点で共通する。 （サ）そうすると、本件発明１と甲１発明とは、 「 蒸着マスク用基材上に位置するレジスト層を露光する方法であって、 前記レジスト層のうち、１枚の蒸着マスクをエッチングによって形成するために用いられる領域が、単位マスク領域であり、 前記単位マスク領域は、複数の単位露光領域を含み、 前記複数の単位露光領域に含まれる全ての単位露光領域を露光することを含み、 前記露光することは、 前記複数の単位露光領域に含まれる第１の単位露光領域を露光することと、 前記複数の単位露光領域に含まれる第２の単位露光領域を前記第１の単位露光領域とは異なるタイミングで露光することと、を含み、 前記露光することは、 前記単位マスク領域に含まれる全ての前記単位露光領域を個別に露光することを含み、 前記蒸着マスクは、第１端部と、第２端部と、前記第１端部と前記第２端部とに挟まれる中央部とから構成され、 中央部は、蒸着パターンを形成するためのマスク孔を複数有し、 前記第１端部および前記第２端部は、前記マスク孔を有さず、 前記複数の単位露光領域は、 前記第１端部を形成するための第１露光領域と、 前記中央部を形成するための第２露光領域と、 前記第２端部を形成するための第３露光領域とから構成され、 前記レジスト層は、前記単位マスク領域を複数含み、 複数の前記単位マスク領域は、第１マスク領域と第２マスク領域とを含み、 前記露光することは、 前記第１マスク領域の前記単位露光領域と、前記第２マスク領域の前記単位露光領域とを同時に露光することと、を含む 露光方法。」 である点で一致し、次の点で相違する。 ＜相違点１＞ 本件発明１は、「各蒸着マスクについて、前記第１端部と前記第２端部との少なくとも一方における幅が、前記中央部の幅とは異なるように、前記レジスト層を露光すること」を含むものであるのに対して、甲１発明は、「グリップ部（１１０）」の幅と、「有効部（１２０）」の幅とが異なるように、フォトレジストを露光することを含むものか否かが不明である点。 イ 相違点についての判断 上記相違点１について、以下検討する。 （ア）本件明細書等の【００２５】、【０１４０】、【０１４３】及び図１、図２３、図２４の記載によれば、本件発明１の「第１端部」、「第２端部」及び「中央部」の「幅」とは、蒸着マスクの長辺が延在する第１方向Ｄ１に直交している第２方向Ｄ２に沿う「マスク幅Ｗ」に対応するものと解される。 （イ）そうすると、甲１発明における「一番左側のグリップ部（１１０）」、「隣接する前記有効部（１２０）及び「右側のグリップ部（１１０）」が配置される左右方向に直交する方向に沿った各部の幅が、本件発明１の「第１端部」、「中央部」及び「第２端部」の「幅」に相当するものであるといえる。 （ウ）しかしながら、甲１発明においては、「一番左側のグリップ部（１１０）」、「隣接する前記有効部（１２０）及び「右側のグリップ部（１１０）」が配置される左右方向に直交する方向に沿った各部の幅については、何ら特定されておらず、上記「グリップ部（１１０）」の少なくとも一方と上記「有効部（１２０）」の幅が異なるか否かは不明と言わざるを得ない。この点は、甲１発明の認定の根拠となった甲１の［００４６］～［００５２］、［００６２］及び図１の記載を参照しても同様である。 （エ）したがって、上記相違点１は、実質的な相違点である。 （オ）次に、上記相違点１の容易想到性について検討する。 ａ 甲１の記載を参照しても、甲１発明において、「一番左側のグリップ部（１１０）」及び「右側のグリップ部（１１０）」の少なくとも一方の幅を、「隣接する前記有効部（１２０）」の幅とは異なるようにすることを動機付けるような記載は見当たらない。 ｂ また、甲４～甲７、及び甲１０の記載を参照しても、同様に、甲１発明において、「一番左側のグリップ部（１１０）」及び「右側のグリップ部（１１０）」の少なくとも一方の幅を、「隣接する前記有効部（１２０）」の幅とは異なるようにすることを動機付けるような記載は見当たらない。 ｃ したがって、甲１発明において、上記相違点１に係る特定事項を備えようとすることは、当業者が容易に想到し得たこととはいえない。 ウ 小括 よって、本件発明１は、甲１に記載された発明であるとはいえない。 また、本件発明１によって奏される効果について検討するまでもなく、本件発明１は、甲１に記載された発明、又は、甲１に記載された発明及び甲４～甲７、甲１０に記載された事項に基いて、当業者が容易に発明をすることができたものとはいえない。 （３）本件発明２について ア 対比 本件発明２と甲１発明とを対比する。 （ア）上記（２）ア（ア）～（カ）、（ケ）、（コ）において本件発明１と甲１発明とを対比したのと同様の検討により、本件発明２と甲１発明とは、「蒸着マスク用基材上に位置するレジスト層を露光する方法であって、前記レジスト層のうち、１枚の蒸着マスクをエッチングによって形成するために用いられる領域が、単位マスク領域であり、前記単位マスク領域は、複数の単位露光領域を含み、前記複数の単位露光領域に含まれる全ての単位露光領域を露光することを含み、前記露光することは、前記複数の単位露光領域に含まれる第１の単位露光領域を露光することと、前記複数の単位露光領域に含まれる第２の単位露光領域を前記第１の単位露光領域とは異なるタイミングで露光することと、を含み、前記露光することは、前記単位マスク領域に含まれる全ての前記単位露光領域を個別に露光することを含み、前記蒸着マスクは、第１端部と、第２端部と、前記第１端部と前記第２端部とに挟まれる中央部とから構成され」、「中央部は、蒸着パターンを形成するためのマスク孔を複数有し、前記第１端部および前記第２端部は、前記マスク孔を有さず」、「前記複数の単位露光領域は、前記第１端部を形成するための」露光領域「と、前記第中央部を形成するための」露光領域「と、「前記第２端部を形成するための」露光領域「とから構成される、露光方法。」である点で共通する。 （イ）甲１発明における「横長略矩形状の微細金属マスク（１００）」は、本件発明２の「第１方向に沿って延びる第１長辺と、前記第１長辺に平行な第２長辺と、前記第１方向に交差する第２方向に沿って延び、前記第１長辺に接続する一対の短辺と、を備え」る「蒸着マスク」に相当する。 （ウ）そうすると、本件発明２と甲１発明とは、 「 蒸着マスク用基材上に位置するレジスト層を露光する方法であって、 前記レジスト層のうち、１枚の蒸着マスクをエッチングによって形成するために用いられる領域が、単位マスク領域であり、 前記単位マスク領域は、複数の単位露光領域を含み、 前記複数の単位露光領域に含まれる全ての単位露光領域を露光することを含み、 前記露光することは、 前記複数の単位露光領域に含まれる第１の単位露光領域を露光することと、 前記複数の単位露光領域に含まれる第２の単位露光領域を前記第１の単位露光領域とは異なるタイミングで露光することと、を含み、 前記露光することは、 前記単位マスク領域に含まれる全ての前記単位露光領域を個別に露光することを含み、 前記蒸着マスクは、第１端部と、第２端部と、前記第１端部と前記第２端部とに挟まれる中央部とから構成され、 中央部は、蒸着パターンを形成するためのマスク孔を複数有し、 前記第１端部および前記第２端部は、前記マスク孔を有さず、 前記複数の単位露光領域は、 前記第１端部を形成するための露光領域と、 前記第中央部を形成するための露光領域と、 前記第２端部を形成するための露光領域とから構成され、 前記蒸着マスクは、第１方向に沿って延びる第１長辺と、前記第１長辺に平行な第２長辺と、前記第１方向に交差する第２方向に沿って延び、前記第１長辺に接続する一対の短辺と、を備える、 露光方法。」 である点で一致し、次の点で相違する。 ＜相違点２＞ 本件発明２は、「中央部」が「第１中央部と第２中央部とから構成され」、「複数の単位露光領域」を構成する単位露光領域が「第１中央部を形成するための第２露光領域」と「第２中央部を形成するための第３露光領域」とを含むのに対して、甲１発明は、その「有効部（１２０）」が別々に露光される２つの領域を含むものではない点。 ＜相違点３＞ 本件発明２は、「前記第１長辺から前記第２長辺に向かう方向が段差方向であり、前記露光することは、前記第１長辺が、前記段差方向において窪む第１段差部を前記第１中央部と前記第２中央部との境界に有し、前記第２長辺が、前記段差方向において突き出る第２段差部を前記第１中央部と前記第２中央部との境界に有し、かつ、前記第１段差部と前記第２段差部とが、前記短辺が延びる方向において並ぶとともに、前記第１長辺および前記第２長辺の一方が、前記段差方向において窪む第３段差部を前記第１端部と前記第１中央部との境界に有し、前記第１長辺および前記第２長辺の他方が、前記段差方向において突き出る第４段差部を前記第１端部と前記第１中央部との境界に有し、かつ、前記第３段差部と前記第４段差部とが、前記短辺が延びる方向において並ぶように、前記レジスト層を露光することを含む」ものであるのに対して、甲１発明は、「微細金属マスク（１００）」の左右方向に沿った長辺における「有効部（１２０）」と「グリップ部（１１０）」との境界及び「有効部（１２０）」内の領域に、左右方向と直交する方向に沿った段差部を形成するように露光するものではない点。 イ 相違点についての判断 事案に鑑み、まず、上記相違点３について検討する。 （ア）上記相違点３が実質的な相違点であることは、明らかである。 （イ）そこで、次に、上記相違点３の容易想到性について検討する。 ａ 甲１の記載を参照しても、甲１発明において、「微細金属マスク（１００）」の左右方向に沿った長辺における「有効部（１２０）」と「グリップ部（１１０）」との境界及び「有効部（１２０）」内の領域に、左右方向と直交する方向に沿った段差部を形成するように露光することを動機付けるような記載は見当たらない。 ｂ また、甲４～甲７、及び甲１０の記載を参照しても、同様に、甲１発明において、「微細金属マスク（１００）」の左右方向に沿った長辺における「有効部（１２０）」と「グリップ部（１１０）」との境界及び「有効部（１２０）」内の領域に、左右方向と直交する方向に沿った段差部を形成するように露光することを動機付けるような記載は見当たらない。 ｃ したがって、甲１発明において、上記相違点３に係る特定事項を備えようとすることは、当業者が容易に想到し得たこととはいえない。 ウ 小括 よって、上記相違点２について検討するまでもなく、本件発明２は、甲１に記載された発明であるとはいえない。 また、上記相違点２、及び本件発明２によって奏される効果について検討するまでもなく、本件発明２は、甲１に記載された発明、又は、甲１に記載された発明及び甲４～甲７、甲１０に記載された事項に基いて、当業者が容易に発明をすることができたものとはいえない。 （４）本件発明３について ア 対比 本件発明３と甲１発明とを対比する。 （ア）上記（２）ア（ア）～（コ）において本件発明１と甲１発明とを対比したのと同様の検討により、本件発明３と甲１発明とは、「蒸着マスク用基材上に位置するレジスト層を露光する方法であって、前記レジスト層のうち、１枚の蒸着マスクをエッチングによって形成するために用いられる領域が、単位マスク領域であり、前記単位マスク領域は、複数の単位露光領域を含み、前記複数の単位露光領域に含まれる全ての単位露光領域を露光することを含み、前記露光することは、前記複数の単位露光領域に含まれる第１の単位露光領域を露光することと、前記複数の単位露光領域に含まれる第２の単位露光領域を前記第１の単位露光領域とは異なるタイミングで露光することと、を含み、前記レジスト層は、前記単位マスク領域を複数含み、複数の前記単位マスク領域は、第１マスク領域と第２マスク領域とを含み、前記露光することは、前記第１マスク領域の前記単位露光領域と、前記第２マスク領域の前記単位露光領域とを同時に露光することと、を含み」、「前記蒸着マスクは、第１端部と、第２端部と、前記第１端部と前記第２端部とに挟まれる中央部とから構成され」、「中央部は、蒸着パターンを形成するためのマスク孔を複数有し、前記第１端部および前記第２端部は、前記マスク孔を有さず、前記複数の単位露光領域は、前記第１端部を形成するための第１露光領域と、前記中央部を形成するための第２露光領域と、前記第２端部を形成するための第３露光領域とから構成され」る、「露光方法。」である点で共通する。 （イ）甲１発明における「横長略矩形状の微細金属マスク（１００）」は、本件発明３の「第１方向に沿って延びる第１長辺と、前記第１長辺に平行な第２長辺と、前記第１方向に交差する第２方向に沿って延び、前記第１長辺に接続する一対の短辺と、を備え」る「蒸着マスク」に相当する。 （ウ）そうすると、本件発明３と甲１発明とは、 「 蒸着マスク用基材上に位置するレジスト層を露光する方法であって、 前記レジスト層のうち、１枚の蒸着マスクをエッチングによって形成するために用いられる領域が、単位マスク領域であり、 前記単位マスク領域は、複数の単位露光領域を含み、 前記複数の単位露光領域に含まれる全ての単位露光領域を露光することを含み、 前記露光することは、 前記複数の単位露光領域に含まれる第１の単位露光領域を露光することと、 前記複数の単位露光領域に含まれる第２の単位露光領域を前記第１の単位露光領域とは異なるタイミングで露光することと、を含み、 前記レジスト層は、前記単位マスク領域を複数含み、 前記複数の前記単位マスク領域は、第１マスク領域と第２マスク領域とを含み、 前記露光することは、 前記第１マスク領域の前記単位露光領域と、前記第２マスク領域の前記単位露光領域とを同時に露光することを含み、 前記蒸着マスクは、第１端部と、第２端部と、前記第１端部と前記第２端部とに挟まれる中央部とから構成され、かつ、第１方向に沿って延びる第１長辺と、前記第１長辺に平行な第２長辺と、前記第１方向に交差する第２方向に沿って延び、前記第１長辺を前記第２長辺に接続する一対の短辺と、を備え、 前記中央部は、蒸着パターンを形成するためのマスク孔を複数有し、 前記第１端部および前記第２端部は、前記マスク孔を有さず、 前記複数の単位露光領域は、 前記第１端部を形成するための第１露光領域と、 前記中央部を形成するための第２露光領域と、 前記第２端部を形成するための第３露光領域とから構成される、 露光方法。」 である点で一致し、次の点で相違する。 ＜相違点４＞ 本件発明３は、「前記第１長辺から前記第２長辺に向かう方向が段差方向であり、前記露光することは、前記第１長辺が、前記段差方向において窪む段差部を前記第１端部と前記中央部との境界に有し、前記第２長辺が、前記段差方向において突き出る段差部を前記第１端部と前記中央部との境界に有し、かつ、前記第１長辺の前記段差部と前記第２長辺の前記段差部とが、前記短辺が延びる方向において並ぶように、前記レジスト層を露光することを含む」ものであるのに対して、甲１発明は、「微細金属マスク（１００）」の左右方向に沿った長辺における「有効部（１２０）」と「グリップ部（１１０）」との境界の領域に、左右方向と直交する方向に沿った段差部を形成するように露光するものではない点。 イ 相違点についての判断 上記相違点４について検討する。 （ア）上記相違点４が実質的な相違点であることは、明らかである。 （イ）そこで、次に、上記相違点４の容易想到性について検討する。 ａ 甲１の記載を参照しても、甲１発明において、「微細金属マスク（１００）」の左右方向に沿った長辺における「有効部（１２０）」と「グリップ部（１１０）」との境界の領域に、左右方向と直交する方向に沿った段差部を形成するように露光することを動機付けるような記載は見当たらない。 ｂ また、甲４～甲７、及び甲１０の記載を参照しても、同様に、甲１発明において、「微細金属マスク（１００）」の左右方向に沿った長辺における「有効部（１２０）」と「グリップ部（１１０）」との境界の領域に、左右方向と直交する方向に沿った段差部を形成するように露光することを動機付けるような記載は見当たらない。 ｃ したがって、甲１発明において、上記相違点４に係る特定事項を備えようとすることは、当業者が容易に想到し得たこととはいえない。 ウ 小括 よって、本件発明３は、甲１に記載された発明であるとはいえない。 また、本件発明３によって奏される効果について検討するまでもなく、本件発明３は、甲１に記載された発明、又は、甲１に記載された発明及び甲４～甲７、甲１０に記載された事項に基いて、当業者が容易に発明をすることができたものとはいえない。 （６）本件発明４～６について 本件特許の請求項４～６は、請求項１～３の記載を直接又は間接的に引用するものであるから、本件発明４～６は、本件発明１～３の少なくともいずれかの発明特定事項を全て備えたものであるところ、上記（３）～（５）において検討したとおり、本件発明１～３が、甲１に記載された発明であるとはいえず、甲１に記載された発明、又は、甲１に記載された発明及び甲４～甲７、甲１０に記載された事項に基いて、当業者が容易に発明をすることができたものともいえない以上、本件発明４～６についても、同様に、甲１に記載された発明であるとはいえず、甲１に記載された発明、又は、甲１に記載された発明及び甲４～甲７、甲１０に記載された事項に基いて、当業者が容易に発明をすることができたものともいえない。 （７）本件発明７～９について ア 本件発明７と甲１装置発明との対比 本件発明７と甲１装置発明とを対比する。 （ア）上記（２）ア（ア）～（ウ）の検討を踏まえると、甲１装置発明の「露光機」は、本件発明７の「蒸着マスク用基材上に位置するレジスト層を露光するための露光装置」に相当する。 （イ）甲１装置発明には、甲１発明に係る露光方法を実行するための露光部と、それを制御するための制御部とが、当然に備わっているものと認められる。 （ウ）上記（ア）、（イ）を踏まえ、上記（２）ア（エ）～（カ）、（ケ）、（コ）において本件発明１と甲１発明とを対比したのと同様に検討すると、本件発明７と甲１装置発明とは、「蒸着マスク用基材上に位置するレジスト層を露光するための露光装置であって、レジスト層のうち、１枚の蒸着マスクをエッチングによって形成するために用いられる領域が単位マスク領域であり、前記単位マスク領域は複数の単位露光領域を含み、前記露光装置は、単位露光領域ごとに露光する露光部と」、「前記複数の単位露光領域に含まれる第１の単位露光領域を前記露光部に露光させた後に」、「前記レジスト層のうち、前記第１の単位露光領域とは異なる第２の単位露光領域を前記露光部に露光させる制御部と、を備え、前記制御部は、前記露光部に前記単位マスク領域に含まれる全ての前記単位露光領域を個別に露光させ、前記蒸着マスクは、第１端部と、第２端部と、前記第１端部と前記第２端部とに挟まれる中央部とから構成され、前記中央部は、蒸着パターンを形成するためのマスク孔を複数有し、前記第１端部および前記第２端部は、前記マスク孔を有さず、前記複数の単位露光領域は、前記第１端部を形成するための第１露光領域と、前記中央部を形成するための第２露光領域と、前記第２端部を形成するための第３露光領域とから構成される露光装置。」である点で共通する。 （エ）そうすると、本件発明７と甲１装置発明とは、 「 蒸着マスク用基材上に位置するレジスト層を露光するための露光装置であって、 前記レジスト層のうち、１枚の蒸着マスクをエッチングによって形成するために用いられる領域が単位マスク領域であり、 前記単位マスク領域は、複数の単位露光領域を含み、 前記露光装置は、 単位露光領域ごとに露光する露光部と、 前記複数の単位露光領域に含まれる第１の単位露光領域を前記露光部に露光させた後に、前記レジスト層のうち、前記第１の単位露光領域とは異なる第２の単位露光領域を前記露光部に露光させる制御部と、を備え、 前記制御部は、前記露光部に前記単位マスク領域に含まれる全ての前記単位露光領域を個別に露光させ、 前記蒸着マスクは、第１端部と、第２端部と、前記第１端部と前記第２端部とに挟まれる中央部とから構成され、 前記中央部は、蒸着パターンを形成するためのマスク孔を複数有し、 前記第１端部および前記第２端部は、前記マスク孔を有さず、 前記複数の単位露光領域は、 前記第１端部を形成するための第１露光領域と、 前記中央部を形成するための第２露光領域と、 前記第２端部を形成するための第３露光領域とから構成される 露光装置。」 である点で一致し、次の点で相違する。 ＜相違点５＞ 本件発明７は、「前記複数の単位露光領域のなかで、露光済の単位露光領域を検知することが可能に構成された検知部」を備えるとともに、「制御部」が「前記複数の単位露光領域に含まれる第１の単位露光領域を前記露光部に露光させた後に、前記検知部の検知した結果に基づいて、前記レジスト層のうち、前記第１の単位露光領域とは異なる第２の単位露光領域を前記露光部に露光させる」のに対して、甲１装置発明は、露光済の「有効部（１２０）」又は「グリップ部（１１０）」（本件発明７の「単位露光領域」に相当）を検知することが可能に構成された検知部を備えておらず、そのような検知部が検知した結果に基づいて露光部に露光させるような制御部も備えていない点。 イ 相違点についての判断 上記相違点５について検討する。 （ア）上記相違点５が実質的な相違点であることは、明らかである。 （イ）そこで、次に、上記相違点５の容易想到性について検討する。 ａ 甲１の記載を参照しても、甲１装置発明において、「前記複数の単位露光領域のなかで、露光済の単位露光領域を検知することが可能に構成された検知部」を備えるとともに、「制御部」が「前記複数の単位露光領域に含まれる第１の単位露光領域を前記露光部に露光させた後に、前記検知部の検知した結果に基づいて、前記レジスト層のうち、前記第１の単位露光領域とは異なる第２の単位露光領域を前記露光部に露光させる」ことを動機付けるような記載は見当たらない。 ｂ また、甲４～甲７、及び甲１０の記載を参照しても、同様に、甲１装置発明において、「前記複数の単位露光領域のなかで、露光済の単位露光領域を検知することが可能に構成された検知部」を備えるとともに、「制御部」が「前記複数の単位露光領域に含まれる第１の単位露光領域を前記露光部に露光させた後に、前記検知部の検知した結果に基づいて、前記レジスト層のうち、前記第１の単位露光領域とは異なる第２の単位露光領域を前記露光部に露光させる」ことを動機付けるような記載は見当たらない。 ｃ したがって、甲１装置発明において、上記相違点５に係る特定事項を備えようとすることは、当業者が容易に想到し得たこととはいえない。 ウ 小括 よって、本件発明７は、甲１に記載された発明であるとはいえない。 また、本件発明７によって奏される効果について検討するまでもなく、本件発明７は、甲１に記載された発明、又は、甲１に記載された発明及び甲４～甲７、甲１０に記載された事項に基いて、当業者が容易に発明をすることができたものとはいえない。 エ 本件発明８、９について （ア）本件発明８、９と甲１装置発明とを対比すると、上記アにおいて検討したのと同様であるから、両者は、少なくとも上記相違点５と同様の点で相違する。 （イ）そして、上記相違点５が実質的な相違点であること、また、甲１装置発明において、上記相違点５に係る特定事項を備えようとすることが、当業者が容易に想到し得たこととはいえないことは、上記イにおいて検討したとおりである。 （ウ）小括 よって、本件発明８，９は、甲１に記載された発明であるとはいえない。 また、本件発明８、９によって奏される効果について検討するまでもなく、本件発明８、９は、甲１に記載された発明、又は、甲１に記載された発明及び甲４～甲７、甲１０に記載された事項に基いて、当業者が容易に発明をすることができたものとはいえない。 （８）本件発明１０について ア 対比 本件発明１０と甲１発明とを対比する。 （ア）上記（２）ア（ア）の検討を踏まえると、甲１発明の「微細金属マスク（１００）の作製方法」は、本件発明１０の「蒸着マスクの製造方法」に相当する。 （イ）上記（２）ア（ア）～（ウ）の検討を踏まえると、甲１発明において、「フォトレジストを前記金属板材（１９０）上に塗布し、塗布されたフォトレジストの選択的な露光および現像のためにフォトマスクをフォトレジスト上に積層した後、露光を行」い、「その後に、現像、エッチング及び剥離過程を順次実行する」ことは、本件発明１０の「蒸着マスク用基材上に位置するレジスト層を形成すること、前記レジスト層を露光すること、前記レジスト層を現像し、これによってレジストマスクを形成すること、および、前記レジストマスクを用いて前記蒸着マスク用基材をエッチングすること、を含む」ことに相当する。 （ウ）上記（ア）を踏まえ、さらに上記（２）ア（ア）～（コ）において本件発明１と甲１発明とを対比したのと同様の検討によれば、本件発明１０と甲１発明とは、「前記レジスト層を露光すること」は、「前記レジスト層のうち、１枚の蒸着マスクをエッチングによって形成するために用いられる領域が、単位マスク領域であり、前記単位マスク領域は、複数の単位露光領域を含み、前記複数の単位露光領域に含まれる全ての単位露光領域を露光することを含み、前記露光することは、前記複数の単位露光領域に含まれる第１の単位露光領域を露光することと、前記複数の単位露光領域に含まれる第２の単位露光領域を前記第１の単位露光領域とは異なるタイミングで露光することと、を含み、前記レジスト層は、前記単位マスク領域を複数含み、複数の前記単位マスク領域は、第１マスク領域と第２マスク領域とを含み、前記露光することは、前記第１マスク領域の前記単位露光領域と、前記第２マスク領域の前記単位露光領域とを同時に露光することを含み」、「前記蒸着マスクは、第１端部と、第２端部と、前記第１端部と前記第２端部とに挟まれる中央部とから構成され」、「中央部は、蒸着パターンを形成するためのマスク孔を複数有し、前記第１端部および前記第２端部は、前記マスク孔を有さず、前記複数の単位露光領域は、前記第１端部を形成するための」「露光領域」と、「前記中央部を形成するための」「露光領域」と、「前記第２端部を形成するための」「露光領域とから構成され」る、「蒸着マスクの製造方法。」である点で共通する。 （エ）甲１発明における「横長略矩形状の微細金属マスク（１００）」は、本件発明１０の「第１方向に沿って延びる第１長辺と、前記第１長辺に平行な第２長辺と、前記第１方向に交差する第２方向に沿って延び、前記第１長辺に接続する一対の短辺と、を備え」る「蒸着マスク」に相当する。 （オ）そうすると、本件発明１０と甲１発明とは、 「 蒸着マスク用基材にレジスト層を形成すること、 前記レジスト層を露光すること、 前記レジスト層を現像し、これによってレジストマスクを形成すること、および、 前記レジストマスクを用いて前記蒸着マスク用基材をエッチングすること、を含み、 前記レジスト層のうち、１枚の蒸着マスクをエッチングによって形成するために用いられる領域が、単位マスク領域であり、 前記単位マスク領域は、複数の単位露光領域を含み、 前記複数の単位露光領域に含まれる全ての単位露光領域を露光することを含み、 前記露光することは、 前記複数の単位露光領域に含まれる第１の単位露光領域を露光することと、 前記複数の単位露光領域に含まれる第２の単位露光領域を前記第１の単位露光領域とは異なるタイミングで露光することと、を含み、 前記レジスト層は、前記単位マスク領域を複数含み、 複数の前記単位マスク領域は、第１マスク領域と第２マスク領域とを含み、 前記露光することは、 前記第１マスク領域の前記単位露光領域と、前記第２マスク領域の前記単位露光領域とを同時に露光することを含み、 前記蒸着マスクは、第１端部と、第２端部と、前記第１端部と前記第２端部とに挟まれる中央部とから構成され、かつ、第１方向に沿って延びる第１長辺と、前記第１長辺に平行な第２長辺と、前記第１方向に交差する第２方向に沿って延び、前記第１長辺を前記第２長辺に接続する一対の短辺と、を備え、 前記中央部は、蒸着パターンを形成するためのマスク孔を複数有し、 前記第１端部および前記第２端部は、前記マスク孔を有さず、 前記複数の単位露光領域は、 前記第１端部を形成するための露光領域と、 前記中央部を形成するための露光領域と、 前記第２端部を形成するための露光領域とから構成され、 前記第１長辺から前記第２長辺に向かう方向が段差方向であり、 蒸着マスクの製造方法。」 である点で一致し、次の点で相違する。 ＜相違点６＞ 本件発明１０は、「中央部」が「第１中央部と第２中央部とから構成され」、「複数の単位露光領域」を構成する単位露光領域が「第１中央部を形成するための第２露光領域」と「第２中央部を形成するための第３露光領域」とを含むのに対して、甲１発明は、その「有効部（１２０）」が別々に露光される２つの領域を含むものではない点。 ＜相違点７＞ 本件発明１０は、「前記第１長辺から前記第２長辺に向かう方向が段差方向であり、前記露光することは、前記第１長辺が、前記段差方向において窪む段差部を前記第１中央部と前記第２中央部との境界に有し、前記第２長辺が、前記段差方向において突き出る段差部を前記第１中央部と前記第２中央部との境界に有し、かつ、前記第１長辺の前記段差部と前記第２長辺の前記段差部とが、前記短辺が延びる方向において並ぶように、前記レジスト層を露光することを含む」ものであるのに対して、甲１発明は、「微細金属マスク（１００）」の左右方向に沿った長辺における「有効部（１２０）」内の領域に、左右方向と直交する方向に沿った段差部を形成するように露光するものではない点。 イ 相違点についての判断 事案に鑑み、まず、上記相違点７について検討する。 （ア）上記相違点７が実質的な相違点であることは、明らかである。 （イ）そこで、次に、上記相違点７の容易想到性について検討する。 ａ 甲１の記載を参照しても、甲１発明において、「微細金属マスク（１００）」の左右方向に沿った長辺における「有効部（１２０）」内の領域に、左右方向と直交する方向に沿った段差部を形成するように露光することを動機付けるような記載は見当たらない。 ｂ また、甲４～甲７、及び甲１０の記載を参照しても、同様に、甲１発明において、「微細金属マスク（１００）」の左右方向に沿った長辺における「有効部（１２０）」内の領域に、左右方向と直交する方向に沿った段差部を形成するように露光することを動機付けるような記載は見当たらない。 ｃ したがって、甲１発明において、上記相違点７に係る特定事項を備えようとすることは、当業者が容易に想到し得たこととはいえない。 ウ 小括 よって、上記相違点６について検討するまでもなく、本件発明１０は、甲１に記載された発明であるとはいえない。 また、上記相違点６、及び本件発明１０によって奏される効果について検討するまでもなく、本件発明１０は、甲１に記載された発明、又は、甲１に記載された発明及び甲４～甲７、甲１０に記載された事項に基いて、当業者が容易に発明をすることができたものとはいえない。 （９）取消理由１、２並びに申立理由１、２についてのまとめ 以上のとおりであるから、本件発明１～１０は、特許法第２９条第１項３号に該当するものであるとはいえず、また、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないものであるともいえない。 よって、取消理由１、２並びに申立理由１、２によっては、本件特許の請求項１～１０に係る特許を取り消すことはできない。 ２ 取消理由３及び申立理由３について （１）先願発明 本願の優先日前の先の特許出願（特願２０２１－１０２７６８号。以下「先願」という。）の願書に最初に添付した明細書、特許請求の範囲及び図面（甲２）と、当該先の特許出願を基礎とした後の特許出願（特願２０２２－９４３４８号）であって、本願の優先日後に出願公開がされた、上記後の特許出願の願書に最初に添付した明細書、特許請求の範囲及び図面（甲３）の双方に記載された事項を総合勘案し、特に、【請求項１】、【請求項２】、【０００３】、【００１８】、【００１９】、【００７０】、【００７８】、【００８１】、【００８２】、【００８６】、【０１４５】～【０１７１】、【０２５２】、【０２５３】、図５、図９Ａ～図１２Ｂ（いずれも甲２における記載箇所を表す。）に記載された「マスクの製造方法」に着目すると、甲２及び甲３には、以下の発明が記載されていると認められる。 「マスクの製造方法であって、 前記マスクは、第１方向において対向する第１端部及び第２端部と、前記第１端部と第２端部との間に位置し、蒸着材料が通る貫通孔群を含む中間部と、を備え、横長略矩形状であり、 前記製造方法は、 オリジナル基材の表面にレジスト層を設けるステップと、 オリジナル基材に前記中間部の外縁及び前記貫通孔群を形成する中間部形成ステップと、 前記オリジナル基材に前記第１端部の外縁を形成する第１端部形成ステップと、 前記オリジナル基材に前記第２端部の外縁を形成する第２端部形成ステップと、を備え、 前記中間部形成ステップは、第１露光マスクを用いて前記オリジナル基材上の前記中間部に対応する領域に位置するレジスト層を露光するプロセスと、露光及び現像された前記レジスト層を介して前記オリジナル基材をエッチングするプロセスと、を含み、 前記第１端部形成ステップは、 第２露光マスクを用いて前記オリジナル基材上の前記第１端部に対応する領域に位置するレジスト層を露光するプロセスと、露光及び現像された前記レジスト層を介して前記オリジナル基材をエッチングするプロセスと、を含み、 前記第２端部形成ステップは、 第３露光マスクを用いて前記オリジナル基材の前記第２端部に対応する領域に位置するレジスト層を露光するプロセスと、露光及び現像された前記レジスト層を介して前記オリジナル基材をエッチングするプロセスと、を含み、 前記中間部形成ステップにおける第１露光マスクを用いた露光プロセスと、前記第１端部形成ステップにおける第２露光マスクを用いた露光プロセス及び前記第２端部形成ステップにおける第３露光マスクを用いた露光プロセスとは、異なるタイミングで実施される、 マスクの製造方法。」（以下「先願発明」という。） （２）本件発明１について ア 対比 本件発明１と先願発明とを対比する。 （ア）先願発明の「蒸着材料が通る貫通孔群を含む中間部」を備えた「マスク」及び「オリジナル基材」は、本件発明１の「蒸着マスク」及び「蒸着マスク用基材」に相当する。 （イ）先願発明の「中間部形成ステップ」、「第１端部形成ステップ」及び「第２端部形成ステップ」において、オリジナル基材上のレジスト層を露光するプロセスを含む方法は、本件発明１の「蒸着マスク用基材上に位置するレジスト層を露光する方法」に相当する。 （ウ）先願発明の「レジスト層」において、「マスク」が備える「中間部」、「第１端部」及び「第２端部」に対応する領域の全体は、本件発明１の「前記レジスト層のうち、１枚の蒸着マスクをエッチングによって形成するために用いられる領域」である「単位マスク領域」に相当する。 （エ）先願発明の「マスク」が備える「第１端部」及び「第２端部」は、本件発明１の「蒸着パターンを形成するための」「マスク孔を有さ」ない「第１端部」及び「第２端部」に相当する。また、先願発明の「マスク」が備える「前記第１端部と第２端部との間に位置し、蒸着材料が通る貫通孔群を含む中間部」は、本件発明１の「前記第１端部と前記第２端部とに挟まれる」「蒸着パターンを形成するためのマスク孔を複数有」する「中央部」に相当する。 （オ）先願発明の「レジスト層」において、「マスク」が備える「第１端部」、「中間部」及び「第２端部」に対応するそれぞれの領域は、本件発明１の「単位マスク領域」に含まれる「単位露光領域」である「第１露光領域」、「第２露光領域」及び「第３露光領域」に相当する。 （カ）先願発明において、「前記中間部形成ステップにおける第１露光マスクを用いた露光プロセスと、前記第１端部形成ステップにおける第２露光マスクを用いた露光プロセス及び前記第２端部形成ステップにおける第３露光マスクを用いた露光プロセスとは、異なるタイミングで実施される」ことは、本件発明１において、「前記複数の単位露光領域に含まれる全ての単位露光領域を露光することを含み、」「前記露光することは、前記複数の単位露光領域に含まれる第１の単位露光領域を露光することと、前記複数の単位露光領域に含まれる第２の単位露光領域を前記第１の単位露光領域とは異なるタイミングで露光することと、を含み、」「前記露光することは、前記単位マスク領域に含まれる全ての前記単位露光領域を個別に露光することを含」むことに相当する。 （キ）そうすると、本件発明１と先願発明とは、 「蒸着マスク用基材上に位置するレジスト層を露光する方法であって、 前記レジスト層のうち、１枚の蒸着マスクをエッチングによって形成するために用いられる領域が、単位マスク領域であり、 前記単位マスク領域は、複数の単位露光領域を含み、 前記複数の単位露光領域に含まれる全ての単位露光領域を露光することを含み、 前記露光することは、 前記複数の単位露光領域に含まれる第１の単位露光領域を露光することと、 前記複数の単位露光領域に含まれる第２の単位露光領域を前記第１の単位露光領域とは異なるタイミングで露光することと、を含み、 前記露光することは、 前記単位マスク領域に含まれる全ての前記単位露光領域を個別に露光することを含み、 前記蒸着マスクは、第１端部と、第２端部と、前記第１端部と前記第２端部とに挟まれる中央部とから構成され、 前記中央部は、蒸着パターンを形成するためのマスク孔を複数有し、 前記第１端部および前記第２端部は、前記マスク孔を有さず、 前記複数の単位露光領域は、 前記第１端部を形成するための第１露光領域と、 前記中央部を形成するための第２露光領域と、 前記第２端部を形成するための第３露光領域とから構成される 露光方法。」 である点で一致し、次の点で相違する。 ＜相違点８＞ 本件発明１は、「前記レジスト層は、前記単位マスク領域を複数含み、複数の前記単位マスク領域は、第１マスク領域と第２マスク領域とを含み、前記露光することは、前記第１マスク領域の前記単位露光領域と、前記第２マスク領域の前記単位露光領域とを同時に露光すること」を含むものであるのに対して、先願発明は、そのような露光をすることを含むものか否かが不明である点。 ＜相違点９＞ 本件発明１は、「各蒸着マスクについて、前記第１端部と前記第２端部との少なくとも一方における幅が、前記中央部の幅とは異なるように、前記レジスト層を露光すること」を含むものであるのに対して、先願発明は、そのような露光をすることを含むものか否かが不明である点。 イ 相違点についての判断 上記相違点８、９についてまとめて判断する。 （ア）まず、上記相違点８、９が実質的な相違点であることは、明らかである。 （イ）また、本件明細書の【００１５】、【００１６】、【０１４０】～【０１４５】の記載を参照すれば、上記相違点８、９に係る特定事項が課題解決における具体的手段における微差であるともいえない。 ウ 小括 したがって、本件発明１は、先願発明と実質同一であるとはいえない。 （３）本件発明２について ア 対比 （ア）先願発明の「横長略矩形状」の「マスク」は、本件発明２の「第１方向に沿って延びる第１長辺と、前記第１長辺に平行な第２長辺と、前記第１方向に交差する第２方向に沿って延び、前記第１長辺を前記第２長辺に接続する一対の短辺と、を備え」る「蒸着マスク」に相当する。 （イ）上記（ア）の点を踏まえた上で、上記（２）アと同様に、本件発明２と先願発明とを対比すると、両者は、 「 蒸着マスク用基材上に位置するレジスト層を露光する方法であって、 前記レジスト層のうち、１枚の蒸着マスクをエッチングによって形成するために用いられる領域が、単位マスク領域であり、 前記単位マスク領域は、複数の単位露光領域を含み、 前記複数の単位露光領域に含まれる全ての単位露光領域を露光することを含み、 前記露光することは、 前記複数の単位露光領域に含まれる第１の単位露光領域を露光することと、 前記複数の単位露光領域に含まれる第２の単位露光領域を前記第１の単位露光領域とは異なるタイミングで露光することと、を含み、 前記露光することは、 前記単位マスク領域に含まれる全ての前記単位露光領域を個別に露光することを含み、 前記蒸着マスクは、第１端部と、第２端部と、前記第１端部と前記第２端部とに挟まれる中央部とから構成され、 中央部は、蒸着パターンを形成するためのマスク孔を複数有し、 前記第１端部および前記第２端部は、前記マスク孔を有さず、 前記複数の単位露光領域は、 前記第１端部を形成するための露光領域と、 前記中央部を形成するための露光領域と、 前記第２端部を形成するための露光領域とから構成され、 前記蒸着マスクは、第１方向に沿って延びる第１長辺と、前記第１長辺に平行な第２長辺と、前記第１方向に交差する第２方向に沿って延び、前記第１長辺を前記第２長辺に接続する一対の短辺と、を備える、 露光方法。」 である点で一致し、次の点で相違する。 ＜相違点１０＞ 本件発明２は、「中央部」が「第１中央部と第２中央部とから構成され」、「複数の単位露光領域」を構成する単位露光領域が「第１中央部を形成するための第２露光領域」と「第２中央部を形成するための第３露光領域」とを含むのに対して、先願発明は、その「中間部」が別々に露光される２つの領域を含むものではない点。 ＜相違点１１＞ 本件発明２は、「前記第１長辺から前記第２長辺に向かう方向が段差方向であり、前記露光することは、前記第１長辺が、前記段差方向において窪む第１段差部を前記第１中央部と前記第２中央部との境界に有し、前記第２長辺が、前記段差方向において突き出る第２段差部を前記第１中央部と前記第２中央部との境界に有し、かつ、前記第１段差部と前記第２段差部とが、前記短辺が延びる方向において並ぶとともに、前記第１長辺および前記第２長辺の一方が、前記段差方向において窪む第３段差部を前記第１端部と前記第１中央部との境界に有し、前記第１長辺および前記第２長辺の他方が、前記段差方向において突き出る第４段差部を前記第１端部と前記第１中央部との境界に有し、かつ、前記第３段差部と前記第４段差部とが、前記短辺が延びる方向において並ぶように、前記レジスト層を露光することを含む」ものであるのに対して、先願発明は、そのような露光をすることを含むものか否かが不明である点。 イ 相違点についての判断 上記相違点１０、１１についてまとめて判断する。 （ア）まず、上記相違点１０、１１が実質的な相違点であることは、明らかである。 （イ）また、本件明細書の【００３１】～【００４２】の記載を参照すれば、上記相違点１０、１１に係る特定事項が課題解決における具体的手段における微差であるともいえない。 ウ 小括 したがって、本件発明２は、先願発明と実質同一であるとはいえない。 （４）本件発明３について ア 対比 （ア）上記（３）ア（ア）の点を踏まえた上で、上記（２）アと同様に、本件発明３と先願発明とを対比すると、両者は、 「蒸着マスク用基材上に位置するレジスト層を露光する方法であって、 前記レジスト層のうち、１枚の蒸着マスクをエッチングによって形成するために用いられる領域が、単位マスク領域であり、 前記単位マスク領域は、複数の単位露光領域を含み、 前記複数の単位露光領域に含まれる全ての単位露光領域を露光することを含み、 前記露光することは、 前記複数の単位露光領域に含まれる第１の単位露光領域を露光することと、 前記複数の単位露光領域に含まれる第２の単位露光領域を前記第１の単位露光領域とは異なるタイミングで露光することと、を含み、 前記蒸着マスクは、第１端部と、第２端部と、前記第１端部と前記第２端部とに挟まれる中央部とから構成され、かつ、第１方向に沿って延びる第１長辺と、前記第１長辺に平行な第２長辺と、前記第１方向に交差する第２方向に沿って延び、前記第１長辺を前記第２長辺に接続する一対の短辺と、を備え、 前記中央部は、蒸着パターンを形成するためのマスク孔を複数有し、 前記第１端部および前記第２端部は、前記マスク孔を有さず、 前記複数の単位露光領域は、 前記第１端部を形成するための第１露光領域と、 前記中央部を形成するための第２露光領域と、 前記第２端部を形成するための第３露光領域とから構成される 露光方法。」 である点で一致し、次の点で相違する。 ＜相違点１２＞ 本件発明３は、「前記レジスト層は、前記単位マスク領域を複数含み、複数の前記単位マスク領域は、第１マスク領域と第２マスク領域とを含み、前記露光することは、前記第１マスク領域の前記単位露光領域と、前記第２マスク領域の前記単位露光領域とを同時に露光すること」を含むものであるのに対して、先願発明は、そのような露光をすることを含むものか否かが不明である点。 ＜相違点１３＞ 本件発明３は、「前記第１長辺から前記第２長辺に向かう方向が段差方向であり、前記露光することは、前記第１長辺が、前記段差方向において窪む段差部を前記第１端部と前記中央部との境界に有し、前記第２長辺が、前記段差方向において突き出る段差部を前記第１端部と前記中央部との境界に有し、かつ、前記第１長辺の前記段差部と前記第２長辺の前記段差部とが、前記短辺が延びる方向において並ぶように、前記レジスト層を露光することを含む」ものであるのに対して、先願発明は、そのような露光をすることを含むものか否かが不明である点。 イ 相違点についての判断 上記相違点１２、１３についてまとめて判断する。 （ア）まず、上記相違点１２、１３が実質的な相違点であることは、明らかである。 （イ）また、本件明細書の【００１５】、【００１６】、【００３１】～【００３６】の記載を参照すれば、上記相違点１２、１３に係る特定事項が課題解決における具体的手段における微差であるともいえない。 ウ 小括 したがって、本件発明３は、先願発明と実質同一であるとはいえない。 （５）本件発明４～６について 本件特許の請求項４～６は、請求項１～３の記載を直接又は間接的に引用するものであるから、本件発明４～６は、本件発明１～３の少なくともいずれかの発明特定事項を全て備えたものであるところ、上記（２）～（４）において検討したとおり、本件発明１～３が、先願発明と実質同一であるとはいえない以上、本件発明４～６についても、同様に、先願発明と実質同一であるとはいえない。 （６）本件発明１０について 本件発明１０と先願発明とを対比すると、少なくとも上記相違点１０、１２と同様の点で相違するところ、上記相違点１０、１２については、上記（３）イ、及び上記（４）イにおいて検討したとおりであるから、本件発明１０は、先願発明と実質同一であるとはいえない。 （７）取消理由３及び申立理由３についてのまとめ 以上のとおりであるから、本件発明１、３～６、１０は、特許法第２９条の２の規定により特許を受けることができないものであるとはいえない。 よって、取消理由３及び申立理由３によっては、本件特許の請求項１、３～６、１０に係る特許を取り消すことはできない。 第８ むすび 以上のとおり、令和 ７年 ９月２６日付けで通知した取消理由（決定の予告）、令和 ７年 ２月１４日付けで通知した取消理由、及び申立人による特許異議の申立ての理由によっては、本件特許の請求項１～１０に係る特許を取り消すことはできない。 また、他に本件特許の請求項１～１０に係る特許を取り消すべき理由を発見しない。 よって、結論のとおり決定する。