2021-700612

第２ 訂正の適否

１ 訂正の内容

令和３年１１月１９日の訂正請求の趣旨は、特許第６８０９５１１号の特許請求の範囲を、訂正請求書に添付した訂正特許請求の範囲のとおり訂正することを求めるものであり、その訂正（以下、「本件訂正」という。）の内容は次のとおりである。

（１）訂正事項１

特許請求の範囲の請求項１に「前記貫通孔は、前記第１面から前記第２面までの区間のうち前記第１面から６．２５％、１８．７５％、３１．２５％、４３．７５％、５６．２５％、６８．７５％、８１．２５％、９３．７５％の距離の位置における前記貫通孔の中心軸に対する内側面の傾斜角度（前記第１面側が拡がる角度を正の傾斜角度とする）の合計値が、８．０°以上である条件を満たす」と記載されているのを、「前記貫通孔は、前記第１面から前記第２面までの区間のうち前記第１面から６．２５％、１８．７５％、３１．２５％、４３．７５％、５６．２５％、６８．７５％、８１．２５％、９３．７５％の距離の位置における前記貫通孔の中心軸に対する内側面の傾斜角度（前記第１面側が拡がる角度を正の傾斜角度とする）の合計値が、１１．７１°以上であり、前記第１面から前記第２面までの区間のうち４３．７５％、５６．２５％、８１．２５％の距離の位置における前記貫通孔の中心軸に対する内側面の傾斜角度が順に小さくなる条件を満たす」に訂正する。（請求項１の記載を引用する請求項３ないし９、１１も同様に訂正する。）

（２）訂正事項２

特許請求の範囲の請求項２に「前記貫通孔は、前記第１面から前記第２面までの区間のうち前記第１面から６．２５％、１８．７５％、３１．２５％、４３．７５％の距離の位置における前記貫通孔の中心軸に対する内側面の傾斜角度（前記第１面側が拡がる角度を正の傾斜角度とする）の合計値が４．０°以上、および前記第１面から５６．２５％、６８．７５％、８１．２５％、９３．７５％の距離の位置における前記貫通孔の中心軸に対する内側面の傾斜角度の合計値が－４．０°以下である条件を満たす」と記載されているのを、「前記貫通孔は、前記第１面から前記第２面までの区間のうち前記第１面から６．２５％、１８．７５％、３１．２５％、４３．７５％の距離の位置における前記貫通孔の中心軸に対する内側面の傾斜角度（前記第１面側が拡がる角度を正の傾斜角度とする）の合計値が１１．７１°以上、および前記第１面から５６．２５％、６８．７５％、８１．２５％、９３．７５％の距離の位置における前記貫通孔の中心軸に対する内側面の傾斜角度の合計値が－１１．７１°以下であり、前記第１面から前記第２面までの区間のうち前記第１面から１８．７５％、４３．７５％、５６．２５％、８１．２５％の距離の位置における前記貫通孔の中心軸に対する内側面の傾斜角度が順に小さくなる条件を満たす」に訂正する。（請求項２の記載を引用する請求項３ないし９、１１も同様に訂正する。）

（３）訂正事項３

特許請求の範囲の請求項１０に「前記貫通孔は、孔内部において径がさらに極大値を有する、請求項１乃至請求項９のいずれかに記載の貫通電極基板。」と記載されているのを、請求項１を引用するものについて、独立形式に改め、「第１面から第２面に対して貫通し孔内部において径が極小値を有しない貫通孔を含む基板と、前記貫通孔の内側面に沿って配置された導電体と、を備え、前記貫通孔の内部には、前記導電体に囲まれた絶縁領域が配置され、前記貫通孔は、前記第１面から前記第２面までの区間のうち前記第１面から６．２５％、１８．７５％、３１．２５％、４３．７５％、５６．２５％、６８．７５％、８１．２５％、９３．７５％の距離の位置における前記貫通孔の中心軸に対する内側面の傾斜角度（前記第１面側が拡がる角度を正の傾斜角度とする）の合計値が、８．０°以上である条件を満たし、前記貫通孔は、孔内部において径がさらに極大値を有する、貫通電極基板。」に訂正する。

（４）訂正事項４

特許請求の範囲の請求項１０に「前記貫通孔は、孔内部において径がさらに極大値を有する、請求項１乃至請求項９のいずれかに記載の貫通電極基板。」と記載されているのを、請求項２を引用するものについて、独立形式に改め、「第１面から第２面に対して貫通し孔内部において径が極小値を有する貫通孔を含む基板と、前記貫通孔の内側面に沿って配置された導電体と、を備え、前記貫通孔の内部には、前記導電体に囲まれた絶縁領域が配置され、前記貫通孔は、前記第１面から前記第２面までの区間のうち前記第１面から６．２５％、１８．７５％、３１．２５％、４３．７５％の距離の位置における前記貫通孔の中心軸に対する内側面の傾斜角度（前記第１面側が拡がる角度を正の傾斜角度とする）の合計値が４．０°以上、および前記第１面から５６．２５％、６８．７５％、８１．２５％、９３．７５％の距離の位置における前記貫通孔の中心軸に対する内側面の傾斜角度の合計値が－４．０°以下である条件を満たし、前記貫通孔は、孔内部において径がさらに極大値を有する、貫通電極基板。」とする新たな請求項１２に訂正する。

（５）訂正事項５

特許請求の範囲の請求項１１に「請求項１乃至請求項１０のいずれかに記載の貫通電極基板と、前記貫通電極基板の前記導電体と電気的に接続された半導体回路基板と、を有する半導体装置。」と記載されているのを、請求項１０を引用しないものとして、「請求項１乃至請求項９のいずれかに記載の貫通電極基板と、前記貫通電極基板の前記導電体と電気的に接続された半導体回路基板と、を有する半導体装置。」に訂正する。

（６）一群の請求項について

本件訂正前の請求項１、３ないし１１は、請求項３ないし１１が、訂正の対象となる請求項１を直接又は間接的に引用しているものであるから、請求項１、３ないし１１は一群の請求項を構成する。

また、本件訂正前の請求項２ないし１１は、請求項３ないし１１が、訂正の対象となる請求項２を直接又は間接的に引用しているものであるから、請求項２ないし１１は一群の請求項を構成する。

そして、これら一群の請求項は、共通する請求項３ないし１１を有するから、請求項１ないし１１は一群の請求項であり、それに対応する訂正後の請求項１ないし１２は一群の請求項である。

本件訂正請求は、一群の請求項〔１－１２〕に対して請求されたものである。

（７）別の訂正単位とする求め

訂正後の請求項１０、１２については、当該請求項についての訂正が認められる場合には、一群の他の請求項とは別途訂正することを求めている。

２ 訂正の適否についての判断

（１）訂正の目的の適否、新規事項の有無、特許請求の範囲の拡張・変更の存否、独立特許要件

ア 訂正事項１について

（ア）訂正の目的

訂正事項１は、訂正前の請求項１に記載の「貫通孔」が満たす「条件」について、「前記第１面から前記第２面までの区間のうち前記第１面から６．２５％、１８．７５％、３１．２５％、４３．７５％、５６．２５％、６８．７５％、８１．２５％、９３．７５％の距離の位置における前記貫通孔の中心軸に対する内側面の傾斜角度（前記第１面側が拡がる角度を正の傾斜角度とする）の合計値が、８．０°以上」から、「前記第１面から前記第２面までの区間のうち前記第１面から６．２５％、１８．７５％、３１．２５％、４３．７５％、５６．２５％、６８．７５％、８１．２５％、９３．７５％の距離の位置における前記貫通孔の中心軸に対する内側面の傾斜角度（前記第１面側が拡がる角度を正の傾斜角度とする）の合計値が、１１．７１°以上であり、前記第１面から前記第２面までの区間のうち４３．７５％、５６．２５％、８１．２５％の距離の位置における前記貫通孔の中心軸に対する内側面の傾斜角度が順に小さくなる」と、「貫通孔」が満たす「条件」をさらに限定するものであるから、特許請求の範囲の減縮を目的とするものである。

（イ）新規事項の有無、特許請求の範囲の拡張・変更の存否

明細書の段落【００５２】の表３には、形状「Ａ１」について、傾斜角度合計値ＴＳＡが２９．２３°で、評価結果が良好であること、及び、形状「Ａ２」について、傾斜角度合計値ＴＳＡが１１．７１°で、評価結果が良好であることが記載されている。

そうすると、「前記第１面から前記第２面までの区間のうち前記第１面から６．２５％、１８．７５％、３１．２５％、４３．７５％、５６．２５％、６８．７５％、８１．２５％、９３．７５％の距離の位置における前記貫通孔の中心軸に対する内側面の傾斜角度（前記第１面側が拡がる角度を正の傾斜角度とする）の合計値が、８．０°以上」から、「前記第１面から前記第２面までの区間のうち前記第１面から６．２５％、１８．７５％、３１．２５％、４３．７５％、５６．２５％、６８．７５％、８１．２５％、９３．７５％の距離の位置における前記貫通孔の中心軸に対する内側面の傾斜角度（前記第１面側が拡がる角度を正の傾斜角度とする）の合計値が、１１．７１°以上」である条件は、明細書に記載されているといえる。

そして、図１１には、形状「Ａ１」についての深さＦｄと傾斜角度ＴＡとの関係が示されており、これによると、４３．７５％（１７５μｍ）、５６．２５％（２２５μｍ）、８１．２５％（３２５μｍ）（「％」と「μｍ」の関係は【００４４】参照）の距離の位置における貫通孔の中心軸に対する内側面の傾斜角度が順に小さくなることが読み取れる。また、図１２には、形状「Ａ２」についての深さＦｄと傾斜角度ＴＡとの関係が示されており、これによると、４３．７５％（１７５μｍ）、５６．２５％（２２５μｍ）、８１．２５％（３２５μｍ）の距離の位置における貫通孔の中心軸に対する内側面の傾斜角度が順に小さくなることが読み取れる。

したがって、「前記第１面から前記第２面までの区間のうち４３．７５％、５６．２５％、８１．２５％の距離の位置における前記貫通孔の中心軸に対する内側面の傾斜角度が順に小さくなる」条件は、明細書又は図面に記載されているといえる。

よって、訂正事項１は新規事項の追加に該当しない。

そして、訂正事項１は上述のとおり、訂正前の請求項１に係る発明について特許請求の範囲を減縮するものであるから、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものでもない。

（ウ）独立特許要件

訂正前の請求項１ないし９、１１について特許異議の申立がされているので、訂正前の請求項１、３ないし９、１１に係る訂正事項１に関して、独立特許要件は課されてない。

イ 訂正事項２について

（ア）訂正の目的

訂正事項２は、訂正前の請求項２に記載の「貫通孔」が満たす「条件」について、「前記第１面から前記第２面までの区間のうち前記第１面から６．２５％、１８．７５％、３１．２５％、４３．７５％の距離の位置における前記貫通孔の中心軸に対する内側面の傾斜角度（前記第１面側が拡がる角度を正の傾斜角度とする）の合計値が４．０°以上、および前記第１面から５６．２５％、６８．７５％、８１．２５％、９３．７５％の距離の位置における前記貫通孔の中心軸に対する内側面の傾斜角度の合計値が－４．０°以下」から、「前記第１面から前記第２面までの区間のうち前記第１面から６．２５％、１８．７５％、３１．２５％、４３．７５％の距離の位置における前記貫通孔の中心軸に対する内側面の傾斜角度（前記第１面側が拡がる角度を正の傾斜角度とする）の合計値が１１．７１°以上、および前記第１面から５６．２５％、６８．７５％、８１．２５％、９３．７５％の距離の位置における前記貫通孔の中心軸に対する内側面の傾斜角度の合計値が－１１．７１°以下であり、前記第１面から前記第２面までの区間のうち前記第１面から１８．７５％、４３．７５％、５６．２５％、８１．２５％の距離の位置における前記貫通孔の中心軸に対する内側面の傾斜角度が順に小さくなる」と、「貫通孔」が満たす「条件」をさらに限定するものであるから、特許請求の範囲の減縮を目的とするものである。

（イ）新規事項の有無、特許請求の範囲の拡張・変更の存否

明細書の段落【００７５】の表７には、形状「Ｃ１」について、傾斜角度合計値ＴＳＡが２３．３１°で、評価結果が良好であること、及び、形状「Ｃ２」について、傾斜角度合計値ＴＳＡが１１．７１°で、評価結果が良好であることが記載されている。

そうすると、「前記第１面から前記第２面までの区間のうち前記第１面から６．２５％、１８．７５％、３１．２５％、４３．７５％の距離の位置における前記貫通孔の中心軸に対する内側面の傾斜角度（前記第１面側が拡がる角度を正の傾斜角度とする）の合計値が１１．７１°以上、および前記第１面から５６．２５％、６８．７５％、８１．２５％、９３．７５％の距離の位置における前記貫通孔の中心軸に対する内側面の傾斜角度の合計値が－１１．７１°以下」である条件は、明細書に記載されているといえる。

そして、図２３には、形状「Ｃ１」についての深さＦｄと傾斜角度ＴＡとの関係が示されており、これによると、１８．７５％（７５μｍ）、４３．７５％（１７５μｍ）、５６．２５％（２２５μｍ）、８１．２５％（３２５μｍ）（「％」と「μｍ」の関係は【００７３】、【００７４】参照）の距離の位置における貫通孔の中心軸に対する内側面の傾斜角度が順に小さくなることが読み取れる。また、図２４には、形状「Ｃ２」についての深さＦｄと傾斜角度ＴＡとの関係が示されており、これによると、１８．７５％（７５μｍ）、４３．７５％（１７５μｍ）、５６．２５％（２２５μｍ）、８１．２５％（３２５μｍ）の距離の位置における貫通孔の中心軸に対する内側面の傾斜角度が順に小さくなることが読み取れる。

したがって、「前記第１面から前記第２面までの区間のうち前記第１面から１８．７５％、４３．７５％、５６．２５％、８１．２５％の距離の位置における前記貫通孔の中心軸に対する内側面の傾斜角度が順に小さくなる」条件は、明細書又は図面に記載されているといえる。

よって、訂正事項２は新規事項の追加に該当しない。

そして、訂正事項２は上述のとおり、訂正前の請求項２に係る発明について特許請求の範囲を減縮するものであるから、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものでもない。

（ウ）独立特許要件

訂正前の請求項１ないし９、１１について特許異議の申立がされているので、訂正前の請求項２ないし９、１１に係る訂正事項２に関して、独立特許要件は課されてない。

ウ 訂正事項３について

（ア）訂正の目的

訂正事項３は、訂正前の請求項１０が請求項１から請求項９いずれか一項の記載を引用するものであったのものを、請求項２ないし９の引用を削除し、請求項１を引用するものについて、請求項間の引用関係を解消するものであるから、特許請求の範囲の減縮、及び他の請求項の記載を引用する請求項の記載を当該他の請求項の記載を引用しないものとすることを目的とするものである。

（イ）新規事項の有無、特許請求の範囲の拡張・変更の存否

訂正事項３は上述のとおり、訂正前の請求項１０に係る発明について、引用関係を解消すると共に引用請求項を削除するものであるから、新規事項の追加に該当せず、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものでもない。

（ウ）独立特許要件

訂正後の請求項１０は「前記貫通孔は、前記第１面から前記第２面までの区間のうち前記第１面から６．２５％、１８．７５％、３１．２５％、４３．７５％、５６．２５％、６８．７５％、８１．２５％、９３．７５％の距離の位置における前記貫通孔の中心軸に対する内側面の傾斜角度（前記第１面側が拡がる角度を正の傾斜角度とする）の合計値が、８．０°以上である条件を満たし、前記貫通孔は、孔内部において径がさらに極大値を有する」を発明特定事項として含むものである。

そして、当該発明特定事項は、特許異議の申立ての証拠として提出された甲第１号証ないし甲第６号証に記載されておらず、訂正後の請求項１０に係る発明は、甲第１号証または甲第６号証に記載された発明に基いて、当業者が容易に発明をすることができたものでない。

したがって、訂正後の請求項１０に係る発明については、特許出願の際独立して特許を受けることができないとする理由を発見しない。

エ 訂正事項４について

（ア）訂正の目的

訂正事項４は、訂正前の請求項１０が請求項１から請求項９いずれか一項の記載を引用するものであったのものを、請求項１、３ないし９の引用を削除し、請求項２を引用するものについて、請求項間の引用関係を解消し新たな請求項１２とするものであるから、特許請求の範囲の減縮、及び他の請求項の記載を引用する請求項の記載を当該他の請求項の記載を引用しないものとすることを目的とするものである。

（イ）新規事項の有無、特許請求の範囲の拡張・変更の存否

訂正事項４は上述のとおり、訂正前の請求項１０に係る発明について、引用関係を解消すると共に引用請求項を削除するものであるから、新規事項の追加に該当せず、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものでもない。

（ウ）独立特許要件

訂正後の請求項１２は「前記貫通孔は、前記第１面から前記第２面までの区間のうち前記第１面から６．２５％、１８．７５％、３１．２５％、４３．７５％の距離の位置における前記貫通孔の中心軸に対する内側面の傾斜角度（前記第１面側が拡がる角度を正の傾斜角度とする）の合計値が４．０°以上、および前記第１面から５６．２５％、６８．７５％、８１．２５％、９３．７５％の距離の位置における前記貫通孔の中心軸に対する内側面の傾斜角度の合計値が－４．０°以下である条件を満たし、前記貫通孔は、孔内部において径がさらに極大値を有する」を発明特定事項として含むものである。

そして、当該発明特定事項は、特許異議の申立ての証拠として提出された甲第１号証ないし甲第６号証に記載されておらず、訂正後の請求項１２に係る発明は、甲第１号証または甲第６号証に記載された発明に基いて、当業者が容易に発明をすることができたものでない。

したがって、訂正後の請求項１２に係る発明については、特許出願の際独立して特許を受けることができないとする理由を発見しない。

オ 訂正事項５について

（ア）訂正の目的

訂正事項５は、訂正前の請求項１１が請求項１から請求項１０いずれか一項の記載を引用するものであったのものを、請求項１０の引用を削除するものであるから、特許請求の範囲の減縮を目的とするものである。

（イ）新規事項の有無、特許請求の範囲の拡張・変更の存否

訂正事項５は上述のとおり、引用請求項を削除するものであるから、新規事項の追加に該当せず、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものでもない。

（ウ）独立特許要件

訂正前の請求項１ないし９、１１について特許異議の申立がされているので、訂正前の請求項１１に係る訂正事項５に関して、独立特許要件は課されてない。

（２）小活

以上のとおりであるから、本件訂正請求による訂正は、特許法第１２０条の５第２項ただし書第１号及び第４号に掲げる事項を目的とするものであり、かつ、同条第９項で準用する同法第１２６条第５項ないし第７項の規定に適合する。そして、特許権者から訂正後の請求項１０、１２について訂正が認められるときは、一群の他の請求項とは別途訂正することの求めがあった。

したがって、特許請求の範囲を、訂正請求書に添付された訂正特許請求の範囲のとおり、訂正後の請求項〔１－９、１１〕、１０、１２について訂正することを認める。

第３ 本件発明

本件訂正請求により訂正された請求項１ないし１２に係る発明（以下「本件発明１ないし１２」という。）は、訂正特許請求の範囲の請求項１ないし１２に記載された次の事項により特定されるとおりのものである。

「【請求項１】

第１面から第２面に対して貫通し孔内部において径が極小値を有しない貫通孔を含む基板と、

前記貫通孔の内側面に沿って配置された導電体と、

を備え、

続きを表示（全46行）

前記貫通孔の内部には、前記導電体に囲まれた絶縁領域が配置され、

前記貫通孔は、前記第１面から前記第２面までの区間のうち前記第１面から６．２５％、１８．７５％、３１．２５％、４３．７５％、５６．２５％、６８．７５％、８１．２５％、９３．７５％の距離の位置における前記貫通孔の中心軸に対する内側面の傾斜角度（前記第１面側が拡がる角度を正の傾斜角度とする）の合計値が、１１．７１°以上であり、前記第１面から前記第２面までの区間のうち４３．７５％、５６．２５％、８１．２５％の距離の位置における前記貫通孔の中心軸に対する内側面の傾斜角度が順に小さくなる条件を満たす、貫通電極基板。

【請求項２】

第１面から第２面に対して貫通し孔内部において径が極小値を有する貫通孔を含む基板と、

前記貫通孔の内側面に沿って配置された導電体と、

を備え、

前記貫通孔の内部には、前記導電体に囲まれた絶縁領域が配置され、

前記貫通孔は、前記第１面から前記第２面までの区間のうち前記第１面から６．２５％、１８．７５％、３１．２５％、４３．７５％の距離の位置における前記貫通孔の中心軸に対する内側面の傾斜角度（前記第１面側が拡がる角度を正の傾斜角度とする）の合計値が１１．７１°以上、および前記第１面から５６．２５％、６８．７５％、８１．２５％、９３．７５％の距離の位置における前記貫通孔の中心軸に対する内側面の傾斜角度の合計値が－１１．７１°以下であり、前記第１面から前記第２面までの区間のうち前記第１面から１８．７５％、４３．７５％、５６．２５％、８１．２５％の距離の位置における前記貫通孔の中心軸に対する内側面の傾斜角度が順に小さくなる条件を満たす、貫通電極基板。

【請求項３】

前記絶縁領域は、絶縁体が充填された領域である、請求項１または請求項２に記載の貫通電極基板。

【請求項４】

前記絶縁体は、樹脂を含む、請求項３に記載の貫通電極基板。

【請求項５】

前記導電体は、第１金属層と第２金属層とを含み、

前記第１金属層は、前記第２金属層と前記基板との間に配置され、

前記第１面と前記第２面との双方において、少なくとも一部に前記第１金属層が配置されている、請求項１乃至請求項４のいずれかに記載の貫通電極基板。

【請求項６】

前記第１面と前記第２面とに配置された前記第１金属層の少なくとも一部は、前記貫通孔の内部に配置された前記第１金属層と接続されている、請求項５に記載の貫通電極基板。

【請求項７】

前記基板は、ガラス基板である、請求項１乃至請求項６のいずれかに記載の貫通電極基板。

【請求項８】

前記導電体は、前記基板上に配置された第１金属層および前記第１金属層上に配置された第２金属層を含む、請求項１乃至請求項７のいずれかに記載の貫通電極基板。

【請求項９】

前記貫通孔のアスペクト比は４以上である、請求項１乃至請求項８のいずれかに記載の貫通電極基板。

【請求項１０】

第１面から第２面に対して貫通し孔内部において径が極小値を有しない貫通孔を含む基板と、

前記貫通孔の内側面に沿って配置された導電体と、

を備え、

前記貫通孔の内部には、前記導電体に囲まれた絶縁領域が配置され、

前記貫通孔は、前記第１面から前記第２面までの区間のうち前記第１面から６．２５％、１８．７５％、３１．２５％、４３．７５％、５６．２５％、６８．７５％、８１．２５％、９３．７５％の距離の位置における前記貫通孔の中心軸に対する内側面の傾斜角度（前記第１面側が拡がる角度を正の傾斜角度とする）の合計値が、８．０°以上である条件を満たし、

前記貫通孔は、孔内部において径がさらに極大値を有する、貫通電極基板。

【請求項１１】

請求項１乃至請求項９のいずれかに記載の貫通電極基板と、

前記貫通電極基板の前記導電体と電気的に接続された半導体回路基板と、

を有する半導体装置。

【請求項１２】

第１面から第２面に対して貫通し孔内部において径が極小値を有する貫通孔を含む基板と、

前記貫通孔の内側面に沿って配置された導電体と、

を備え、

前記貫通孔の内部には、前記導電体に囲まれた絶縁領域が配置され、

前記貫通孔は、前記第１面から前記第２面までの区間のうち前記第１面から６．２５％、１８．７５％、３１．２５％、４３．７５％の距離の位置における前記貫通孔の中心軸に対する内側面の傾斜角度（前記第１面側が拡がる角度を正の傾斜角度とする）の合計値が４．０°以上、および前記第１面から５６．２５％、６８．７５％、８１．２５％、９３．７５％の距離の位置における前記貫通孔の中心軸に対する内側面の傾斜角度の合計値が－４．０°以下である条件を満たし、

前記貫通孔は、孔内部において径がさらに極大値を有する、貫通電極基板。」

第４ 取消理由通知に記載した取消理由について

１ 取消理由の概要

訂正前の請求項１ないし９、１１に係る特許に対して、当審が令和３年９月１４日に特許権者に通知した取消理由の要旨は、次のとおりである。

１．（新規性）下記の請求項に係る発明は、本件特許出願前に日本国内又は外国において、頒布された下記の刊行物に記載された発明又は電気通信回線を通じて公衆に利用可能となった発明であって、特許法第２９条第１項第３号に該当するから、下記の請求項に係る特許は、特許法第２９条第１項の規定に違反してされたものである。

２．（進歩性）下記の請求項に係る発明は、本件特許出願前に日本国内又は外国において、頒布された下記の刊行物に記載された発明又は電気通信回線を通じて公衆に利用可能となった発明に基いて、本件特許出願前にその発明の属する技術の分野における通常の知識を有する者が容易に発明をすることができたものであるから、下記の請求項に係る特許は、特許法第２９条第２項の規定に違反してされたものである。

記 （引用文献等については引用文献等一覧参照）

（１）甲第１号証を主引例とした場合

●理由１（新規性）、理由２（進歩性）について

・請求項１ないし４、７、９、１１

・引用文献等 甲第１号証

●理由２（進歩性）について

・請求項５、６、８

・引用文献等 甲第１号証、甲第５号証、甲第６号証

（２）甲第２号証を主引例とした場合

●理由２（進歩性）について

・請求項１ないし９、１１

・引用文献等 甲第２号証、甲第５号証、甲第６号証

（３）甲第３号証を主引例とした場合

●理由２（進歩性）について

・請求項１、３ないし９、１１

・引用文献等 甲第３号証、甲第５号証、甲第６号証

（４）甲第５号証を主引例とした場合

●理由１（新規性）、理由２（進歩性）について

・請求項１、３ないし９、１１

・引用文献等 甲第５号証

＜引用文献一覧＞

３ 対比、判断

（１）甲第１号証に記載された発明について

ア 本件発明１について

（ア）対比

本件発明１と甲１発明１を対比すると、次のことがいえる。

ａ 甲１発明１の「基板の表面からもう一方の基板の表面に向って、」「径の大きさは徐々に小さくな」る「貫通孔１００」は、本件発明１の「孔内部において径が極小値を有しない貫通孔」に相当する。

したがって、甲１発明１の「貫通孔１００を有する基板１」は、本件発明１の「第１面から第２面に対して貫通し孔内部において径が極小値を有しない貫通孔を含む基板」に相当する。

ｂ 甲１発明１の「貫通孔１００の内面」に「存在」する「Ｃｒ／Ｃｕ」及び「銅配線１０１」は、本件発明１の「前記貫通孔の内側面に沿って配置された導電体」に相当する。

ｃ 甲１発明１は「貫通孔１００の内面に」「銅配線１０１が形成された後に、絶縁性の材料を充填し」ているので、「絶縁性の材料」が「銅配線１０１」に囲まれている。このことは、本件発明１の「前記貫通孔の内部には、前記導電体に囲まれた絶縁領域が配置され」ていることに相当する。

ｄ 甲１発明１の「貫通孔１００」は、「基板１の厚みは０．５ｍｍで、２次側開口径は０．２６ｍｍで、１次側開口径は０．１ｍｍ」であるから、内側面の傾斜角度は、ａｔａｎ｛（（０．２６－０．１）／２）／０．５｝＝９．０９°である。このことは、本件発明１の「前記第１面から前記第２面までの区間のうち前記第１面から６．２５％、１８．７５％、３１．２５％、４３．７５％、５６．２５％、６８．７５％、８１．２５％、９３．７５％の距離の位置における前記貫通孔の中心軸に対する内側面の傾斜角度（前記第１面側が拡がる角度を正の傾斜角度とする）の合計値が、１１．７１°以上であ」ることに含まれる。

但し、本件発明１は「前記第１面から前記第２面までの区間のうち４３．７５％、５６．２５％、８１．２５％の距離の位置における前記貫通孔の中心軸に対する内側面の傾斜角度が順に小さくなる条件を満たす」のに対して、甲１発明１はそのような特定がない点で相違する。

ｅ 甲１発明１の「内面に、」「銅配線１０１が存在」する「貫通孔１００を有する基板１に配線１２０を形成した配線基板」は、本件発明１の「貫通電極基板」に相当する。

したがって、本件発明１と甲１発明１とは、次の一致点及び相違点を有する。

（一致点）

「第１面から第２面に対して貫通し孔内部において径が極小値を有しない貫通孔を含む基板と、

前記貫通孔の内側面に沿って配置された導電体と、

を備え、

前記貫通孔の内部には、前記導電体に囲まれた絶縁領域が配置され、

前記貫通孔は、前記第１面から前記第２面までの区間のうち前記第１面から６．２５％、１８．７５％、３１．２５％、４３．７５％、５６．２５％、６８．７５％、８１．２５％、９３．７５％の距離の位置における前記貫通孔の中心軸に対する内側面の傾斜角度（前記第１面側が拡がる角度を正の傾斜角度とする）の合計値が、１１．７１°以上である、貫通電極基板。」

（相違点１）

本件発明１は「前記第１面から前記第２面までの区間のうち４３．７５％、５６．２５％、８１．２５％の距離の位置における前記貫通孔の中心軸に対する内側面の傾斜角度が順に小さくなる条件を満たす」のに対して、甲１発明１はそのような特定がない点。

（イ）判断

ａ 第２９条第１項第３号について

本件発明１と甲１発明１は、上記のとおり相違点がある。

よって、本件発明１は、甲第１号証に記載された発明でない。

ｂ 第２９条２項について

上記相違点１について検討する。

貫通孔の壁面のテーパ角について、甲第１号証には、サンドブラストの加工条件を適宜選択して、スパッタにより貫通孔１００の内面に給電膜が形成され易くなるように壁面のテーパ角を調節することが記載されているが（【００３５】）、具体的なテーパ角は示されていない。また、「逆に、２次側開口径が絶縁基板１の厚みの約１／１０より小さくなると、１次側にまで貫通する孔を形成するためには、ほぼ９０度、少なくとも８８度のテーパ角が必要となるので、貫通孔壁面への配線形成が困難になりやすい。」（【００３７】）と、８８度以上のテーパ角（本件発明１の「傾斜角度（前記第１面側が拡がる角度を正の傾斜角度とする）」では、２°以下。）では、貫通孔壁面への配線形成が困難であることが示されているに過ぎず、基板の表面からもう一方の基板の表面に向かって、テーパ角を変化させる旨の記載は存在しない。

そうすると、甲１発明１において、テーパ角を調整して、基板の表面から４３．７５％、５６．２５％、８１．２５％の距離の位置における傾斜角度が順に小さくなるようにする動機はない。

また、甲１号証の段落【００３５】には、サンドブラストにより形成された貫通孔１００の壁面の極表面には、加工原理そのものに由来する微少の凸凹が存在することが記載されている。

そうすると、テーパ角を調整するにしても、壁面の表面の微少な凸凹は加工原理そのものに由来するものであるため精度よく調整することは困難で、基板の表面から４３．７５％、５６．２５％、８１．２５％の距離の位置における傾斜角度が順に小さくなるようにすることは、当業者が容易になし得たこととはいえない。

したがって、上記相違点１に係る構成は、甲１発明１に基づいて、当業者が容易になし得たこととはいえない。

よって、本件発明１は、甲第１号証に記載された発明に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものでない。

イ 本件発明２について

（ア）対比

本件発明２と甲１発明２を対比すると、次のことがいえる。

甲１発明２の「絶縁基板の中央から外部に向って」「径が広がってい」く「貫通孔」は、本件発明２の「孔内部において径が極小値を有する貫通孔」に相当する。

また、甲１発明２の「貫通孔１００」は、「基板１の厚みは０．５ｍｍで、２次側開口径は０．２６ｍｍで、中央部の径は０．１８ｍｍで、１次側開口径は０．２６ｍｍである」であるから、内側面の傾斜角度は９．０９°である。このことは、本件発明２の「記第１面から前記第２面までの区間のうち前記第１面から６．２５％、１８．７５％、３１．２５％、４３．７５％の距離の位置における前記貫通孔の中心軸に対する内側面の傾斜角度（前記第１面側が拡がる角度を正の傾斜角度とする）の合計値が１１．７１°以上、および前記第１面から５６．２５％、６８．７５％、８１．２５％、９３．７５％の距離の位置における前記貫通孔の中心軸に対する内側面の傾斜角度の合計値が－１１．７１°以下であ」ることに含まれる。

但し、本件発明２は「前記第１面から前記第２面までの区間のうち前記第１面から１８．７５％、４３．７５％、５６．２５％、８１．２５％の距離の位置における前記貫通孔の中心軸に対する内側面の傾斜角度が順に小さくなる条件を満たす」のに対して、甲１発明２はそのような特定がない点で相違する。

そして、本件発明１と甲１発明１との対比を踏まえると、本件発明２と甲１発明２とは、次の一致点及び相違点を有する。

（一致点）

「第１面から第２面に対して貫通し孔内部において径が極小値を有する貫通孔を含む基板と、

前記貫通孔の内側面に沿って配置された導電体と、

を備え、

前記貫通孔の内部には、前記導電体に囲まれた絶縁領域が配置され、

前記貫通孔は、前記第１面から前記第２面までの区間のうち前記第１面から６．２５％、１８．７５％、３１．２５％、４３．７５％の距離の位置における前記貫通孔の中心軸に対する内側面の傾斜角度（前記第１面側が拡がる角度を正の傾斜角度とする）の合計値が１１．７１°以上、および前記第１面から５６．２５％、６８．７５％、８１．２５％、９３．７５％の距離の位置における前記貫通孔の中心軸に対する内側面の傾斜角度の合計値が－１１．７１°以下である、貫通電極基板。」

（相違点２）

本件発明２は「前記第１面から前記第２面までの区間のうち前記第１面から１８．７５％、４３．７５％、５６．２５％、８１．２５％の距離の位置における前記貫通孔の中心軸に対する内側面の傾斜角度が順に小さくなる条件を満たす」のに対して、甲１発明２はそのような特定がない点。

（イ）判断

ａ 第２９条第１項第３号について

本件発明２と甲１発明２は、上記のとおり相違点がある。

よって、本件発明２は、甲第１号証に記載された発明でない。

ｂ 第２９条２項について

上記相違点２について検討する。

貫通孔の壁面のテーパ角について、甲第１号証には、サンドブラストの加工条件を適宜選択して、スパッタにより貫通孔１００の内面に給電膜が形成され易くなるように壁面のテーパ角を調節することが記載されているが（【００３５】）、具体的なテーパ角は示されていない。また、「逆に、２次側開口径が絶縁基板１の厚みの約１／１０より小さくなると、１次側にまで貫通する孔を形成するためには、ほぼ９０度、少なくとも８８度のテーパ角が必要となるので、貫通孔壁面への配線形成が困難になりやすい。」（【００３７】）と、８８度以上のテーパ角（本件発明２の「傾斜角度（前記第１面側が拡がる角度を正の傾斜角度とする）」では、２°以下。）では、貫通孔壁面への配線形成が困難であることが示されているに過ぎず、基板の表面からもう一方の基板の表面に向かって、テーパ角を変化させる旨の記載は存在しない。

そうすると、甲１発明２において、テーパ角を調整して、基板の表面から１８．７５％、４３．７５％、５６．２５％、８１．２５％の距離の位置における傾斜角度が順に小さくなるようにする動機はない。

また、甲１号証の段落【００３５】には、サンドブラストにより形成された貫通孔１００の壁面の極表面には、加工原理そのものに由来する微少の凸凹が存在することが記載されている。

そうすると、テーパ角を調整するにしても、壁面の表面の微少な凸凹は加工原理そのものに由来するものであるため精度よく調整することは困難で、基板の表面から１８．７５％、４３．７５％、５６．２５％、８１．２５％の距離の位置における傾斜角度が順に小さくなるようにすることは、当業者が容易になし得たこととはいえない。

したがって、上記相違点２に係る構成は、甲１発明２に基づいて、当業者が容易になし得たこととはいえない。

よって、本件発明２は、甲第１号証に記載された発明に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものでない。

ウ 本件発明３、４、７、９、１１について

本件発明３、４、７、９、１１は、本件発明１又は２に係る全ての構成を備え、さらに構成を付加したものであるから、本件発明１又は２と同様な理由により、甲第１号証に記載された発明でない。また、甲第１号証に記載された発明に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものでない。

エ 本件発明５、６、８について

本件発明５、６、８は、本件発明１又は２に係る全ての構成を備え、さらに構成を付加したものである。そして、甲第５号証及び甲第６号証には、上記相違点１及び２に係る構成は記載されていない。

よって、本件発明５、６、８は、甲第１号証に記載された発明、甲第５号証及び甲第６号証に記載された技術に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものでない。

（２）甲第２号証に記載された発明について

ア 本件発明１について

（ア）対比

本件発明１と甲２発明１を対比すると、次のことがいえる。

ａ 甲２発明１の「円錐台状の形状を有して」いる「貫通孔」は、本件発明１の「孔内部において径が極小値を有しない貫通孔」に相当する。

したがって、甲２発明１の「貫通孔を有するガラス板」は、本件発明１の「第１面から第２面に対して貫通し孔内部において径が極小値を有しない貫通孔を含む基板」に相当する。

ｂ 甲２発明１の「貫通孔が充填されるように」「メッキした」「銅」は、本件発明１の「前記貫通孔の内側面に沿って配置された導電体」に相当する。

ｃ 甲２発明１は「ガラス板の厚みが２５０μｍであり、貫通孔は、レーザ入射面の開口径が１５μｍ、反対側の表面の開口径が１００μｍの円錐台状の形状」であるから、内側面の傾斜角度は、ａｔａｎ｛（（１００－１５）／２）／２５０｝＝９．６４°である。このことは、本件発明１の「前記第１面から前記第２面までの区間のうち前記第１面から６．２５％、１８．７５％、３１．２５％、４３．７５％、５６．２５％、６８．７５％、８１．２５％、９３．７５％の距離の位置における前記貫通孔の中心軸に対する内側面の傾斜角度（前記第１面側が拡がる角度を正の傾斜角度とする）の合計値が、１１．７１°以上であ」ることに含まれる。

但し、本件発明１は「前記第１面から前記第２面までの区間のうち４３．７５％、５６．２５％、８１．２５％の距離の位置における前記貫通孔の中心軸に対する内側面の傾斜角度が順に小さくなる条件を満たす」のに対して、甲２発明１はそのような特定がない点で相違する。

ｄ 甲２発明１の「貫通電極付きガラス板」は、本件発明１の「貫通電極基板」に相当する。

したがって、本件発明１と甲２発明１とは、次の一致点及び相違点を有する。

（一致点）

「第１面から第２面に対して貫通し孔内部において径が極小値を有しない貫通孔を含む基板と、

前記貫通孔の内側面に沿って配置された導電体と、

を備え、

前記貫通孔は、前記第１面から前記第２面までの区間のうち前記第１面から６．２５％、１８．７５％、３１．２５％、４３．７５％、５６．２５％、６８．７５％、８１．２５％、９３．７５％の距離の位置における前記貫通孔の中心軸に対する内側面の傾斜角度（前記第１面側が拡がる角度を正の傾斜角度とする）の合計値が、１１．７１°以上である、貫通電極基板。」

（相違点３）

本件発明１は「前記貫通孔の内部には、前記導電体に囲まれた絶縁領域が配置され」ているのに対して、甲２発明１はそのような特定がない点。

（相違点４）

本件発明１は「前記第１面から前記第２面までの区間のうち４３．７５％、５６．２５％、８１．２５％の距離の位置における前記貫通孔の中心軸に対する内側面の傾斜角度が順に小さくなる条件を満たす」のに対して、甲２発明１はそのような特定がない点。

（イ）判断

上記相違点について検討する。

事案に鑑み、まず、相違点４について検討する。

甲２発明１の課題は、貫通電極を精度よく、且つ高密度に形成することであり（【０００８】）、本件発明１のように、貫通孔の内部に導電体を容易に形成することではない。よって、甲２発明１において「レーザ入射面の開口径が１５μｍ、反対側の表面の開口径が１００μｍの円錐台状の形状」の「貫通孔」を、上記相違点４に係る構成とする動機はない。

また、甲第５号証及び甲第６号証には、上記相違点４に係る構成は記載されていない。

したがって、上記相違点４に係る構成は、甲２発明１、甲第５号証及び甲第６号証に記載された技術に基づいて、当業者が容易になし得たこととはいえない。

よって、他の相違点について検討するまでもなく、本件発明１は、甲第２号証に記載された発明、甲第５号証及び甲第６号証に記載された技術に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものでない。

イ 本件発明２について

（ア）対比

本件発明２と甲２発明２を対比すると、次のことがいえる。

ａ 甲２発明２の「鼓状」の「貫通孔」は、本件発明２の「孔内部において径が極小値を有する貫通孔」に相当する。

したがって、甲２発明２の「貫通孔を有するガラス板」は、本件発明２の「第１面から第２面に対して貫通し孔内部において径が極小値を有する貫通孔を含む基板」に相当する。

ｂ 甲２発明２の「貫通孔が充填されるように」「行った」「電解銅メッキ」は、本件発明１の「前記貫通孔の内側面に沿って配置された導電体」に相当する。

ｃ 甲２発明２は「ガラス板の厚みは３００μｍであり、貫通孔は、両表面の開口径が８０μｍ、ガラス板の厚みの中心付近の径が２０μｍの鼓状であり」であるから、内側面の傾斜角度は、ａｔａｎ｛（（８０－２０）／２）／（３００／２）｝＝１１．３１°である。このことは、本件発明２の「前記第１面から前記第２面までの区間のうち前記第１面から６．２５％、１８．７５％、３１．２５％、４３．７５％の距離の位置における前記貫通孔の中心軸に対する内側面の傾斜角度（前記第１面側が拡がる角度を正の傾斜角度とする）の合計値が１１．７１°以上、および前記第１面から５６．２５％、６８．７５％、８１．２５％、９３．７５％の距離の位置における前記貫通孔の中心軸に対する内側面の傾斜角度の合計値が－１１．７１°以下である条件を満たす」ことに含まれる。

但し、本件発明２は「前記第１面から前記第２面までの区間のうち前記第１面から１８．７５％、４３．７５％、５６．２５％、８１．２５％の距離の位置における前記貫通孔の中心軸に対する内側面の傾斜角度が順に小さくなる条件を満たす」のに対して、甲１発明２はそのような特定がない点で相違する。

ｄ 甲２発明２の「貫通電極付きガラス板」は、本件発明１の「貫通電極基板」に相当する。

したがって、本件発明２と甲２発明２とは、次の一致点及び相違点を有する。

（一致点）

「第１面から第２面に対して貫通し孔内部において径が極小値を有する貫通孔を含む基板と、

前記貫通孔の内側面に沿って配置された導電体と、

を備え、

前記貫通孔は、前記第１面から前記第２面までの区間のうち前記第１面から６．２５％、１８．７５％、３１．２５％、４３．７５％の距離の位置における前記貫通孔の中心軸に対する内側面の傾斜角度（前記第１面側が拡がる角度を正の傾斜角度とする）の合計値が１１．７１°以上、および前記第１面から５６．２５％、６８．７５％、８１．２５％、９３．７５％の距離の位置における前記貫通孔の中心軸に対する内側面の傾斜角度の合計値が－１１．７１°以下である、貫通電極基板。」

（相違点５）

本件発明２は「前記貫通孔の内部には、前記導電体に囲まれた絶縁領域が配置され」ているのに対して、甲２発明２はそのような特定がない点。

（相違点６）

本件発明２は「前記第１面から前記第２面までの区間のうち前記第１面から１８．７５％、４３．７５％、５６．２５％、８１．２５％の距離の位置における前記貫通孔の中心軸に対する内側面の傾斜角度が順に小さくなる条件を満たす」のに対して、甲２発明２はそのような特定がない点。

（イ）判断

上記相違点について検討する。

事案に鑑み、まず、相違点６について検討する。

甲２発明２の課題は、貫通電極を精度よく、且つ高密度に形成することであり（【０００８】）、本件発明２のように、貫通孔の内部に導電体を容易に形成することではない。よって、甲２発明２において「両表面の開口径が８０μｍ、ガラス板の厚みの中心付近の径が２０μｍの鼓状」の「貫通孔」を、上記相違点６に係る構成とする動機はない。

また、甲第５号証及び甲第６号証には、上記相違点６に係る構成は記載されていない。

したがって、上記相違点６に係る構成は、甲２発明２、甲第５号証及び甲第６号証に記載された技術に基づいて、当業者が容易になし得たこととはいえない。

よって、他の相違点について検討するまでもなく、本件発明２は、甲第２号証に記載された発明、甲第５号証及び甲第６号証に記載された技術に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものでない。

ウ 本件発明３ないし９、１１について

本件発明３ないし９、１１は、本件発明１又は２に係る全ての構成を備え、さらに構成を付加したものであるから、本件発明１又は２と同様な理由により、甲第２号証に記載された発明、甲第５号証及び甲第６号証に記載された技術に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものでない。

（３）甲第３号証に記載された発明について

ア 本件発明１について

（ア）対比

本件発明１と甲３発明を対比すると、次のことがいえる。

ａ 甲３発明の「第１面１０１における貫通孔１２０の第１孔径１２３は第２面１０２における貫通孔１２０の第２孔径１２４に比べて大きく、」「テーパ形状である」「貫通孔１２０」は、本件発明１の「孔内部において径が極小値を有しない貫通孔」に相当する。

したがって、甲３発明の「貫通孔１２０が設けられた基板１００」は、本件発明１の「第１面から第２面に対して貫通し孔内部において径が極小値を有しない貫通孔を含む基板」に相当する。

ｂ 甲３発明の「貫通孔１２０の内部に配置された貫通電極１１０」である「第１導電層１１１及び第２導電層１１２」は、本件発明１の「前記貫通孔の内側面に沿って配置された導電体」に相当する。

ｃ 甲３発明は「第１面１０１と貫通孔１２０の第１側壁１２１とのなす角度１３１は９１.５°以上９３．５°以下であ」るから、内側面の傾斜角度は、１.５°以上３．５°以下である。このことは、本件発明１の「前記第１面から前記第２面までの区間のうち前記第１面から６．２５％、１８．７５％、３１．２５％、４３．７５％、５６．２５％、６８．７５％、８１．２５％、９３．７５％の距離の位置における前記貫通孔の中心軸に対する内側面の傾斜角度（前記第１面側が拡がる角度を正の傾斜角度とする）の合計値が、１１．７１°以上である条件を満たす」ことに含まれる。

但し、本件発明１は「前記第１面から前記第２面までの区間のうち４３．７５％、５６．２５％、８１．２５％の距離の位置における前記貫通孔の中心軸に対する内側面の傾斜角度が順に小さくなる条件を満たす」のに対して、甲３発明はそのような特定がない点で相違する。

ｄ 甲３発明の「貫通電極基板１０」は、本件発明１の「貫通電極基板」に相当する。

したがって、本件発明１と甲３発明とは、次の一致点及び相違点を有する。

（一致点）

「第１面から第２面に対して貫通し孔内部において径が極小値を有しない貫通孔を含む基板と、

前記貫通孔の内側面に沿って配置された導電体と、

を備え、

前記貫通孔は、前記第１面から前記第２面までの区間のうち前記第１面から６．２５％、１８．７５％、３１．２５％、４３．７５％、５６．２５％、６８．７５％、８１．２５％、９３．７５％の距離の位置における前記貫通孔の中心軸に対する内側面の傾斜角度（前記第１面側が拡がる角度を正の傾斜角度とする）の合計値が、１１．７１°以上である、貫通電極基板。」

（相違点７）

本件発明１は「前記貫通孔の内部には、前記導電体に囲まれた絶縁領域が配置され」ているのに対して、甲３発明はそのような特定がない点。

（相違点８）

本件発明１は「前記第１面から前記第２面までの区間のうち４３．７５％、５６．２５％、８１．２５％の距離の位置における前記貫通孔の中心軸に対する内側面の傾斜角度が順に小さくなる条件を満たす」のに対して、甲３発明はそのような特定がない点。

（イ）判断

上記相違点について検討する。

事案に鑑み、まず、相違点８について検討する。

甲３発明の課題は、貫通電極内部にボイドが形成されてしまうのを防止するためであり（【０００６】）、本件発明１のように、貫通孔の内部に導電体を容易に形成することではない。よって、甲３発明において「第１面１０１と貫通孔１２０の第１側壁１２１とのなす角度１３１は９１.５°以上９３．５°以下であ」る「貫通孔１２０」を、上記相違点８に係る構成とする動機はない。

また、甲第５号証及び甲第６号証には、上記相違点８に係る構成は記載されていない。

したがって、上記相違点８に係る構成は、甲３発明、甲第５号証及び甲第６号証に記載された技術に基づいて、当業者が容易になし得たこととはいえない。

よって、他の相違点について検討するまでもなく、本件発明１は、甲第３号証に記載された発明、甲第５号証及び甲第６号証に記載された技術に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものでない。

イ 本件発明３ないし９、１１について

本件発明３ないし９、１１は、本件発明１に係る全ての構成を備え、さらに構成を付加したものであるから、本件発明１と同様な理由により、甲第３号証に記載された発明、甲第５号証及び甲第６号証に記載された技術に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものでない。

（４）甲第５号証に記載された発明について

ア 本件発明１について

（ア）対比

本件発明１と甲５発明を対比すると、次のことがいえる。

ａ 甲５発明の「第１の面１０１側の開口部が狭く、第２の面１０２側の開口部が広いテーパー形状であ」る「貫通孔１５０」は、本件発明１の「孔内部において径が極小値を有しない貫通孔」に相当する。

したがって、甲５発明の「貫通孔１５０が形成された半導体基板１００」は、本件発明１の「第１面から第２面に対して貫通し孔内部において径が極小値を有しない貫通孔を含む基板」に相当する。

ｂ 甲５発明の「貫通孔１５０の内壁に」「形成され」た「導電層３５０」は、本件発明１の「前記貫通孔の内側面に沿って配置された導電体」に相当する。

ｃ 甲５発明の「導電層３５０より内側には、絶縁性樹脂４５０が充填されて」いるこのことは、本件発明１の「前記貫通孔の内部には、前記導電体に囲まれた絶縁領域が配置され」ていることに相当する。

ｄ 甲５発明の「貫通孔１５０」の「テーパーの角度は、９１°～９４°である」であるから、内側面の傾斜角度は１°～４°である。このことは、本件発明１の「前記第１面から前記第２面までの区間のうち前記第１面から６．２５％、１８．７５％、３１．２５％、４３．７５％、５６．２５％、６８．７５％、８１．２５％、９３．７５％の距離の位置における前記貫通孔の中心軸に対する内側面の傾斜角度（前記第１面側が拡がる角度を正の傾斜角度とする）の合計値が、１１．７１°以上である条件を満たす」ことに含まれる。

但し、本件発明１は「前記第１面から前記第２面までの区間のうち４３．７５％、５６．２５％、８１．２５％の距離の位置における前記貫通孔の中心軸に対する内側面の傾斜角度が順に小さくなる条件を満たす」のに対して、甲５発明はそのような特定がない点で相違する。

ｅ 甲５発明の「貫通電極基板１０」は、本件発明１の「貫通電極基板」に相当する。

したがって、本件発明１と甲５発明とは、次の一致点及び相違点を有する。

（一致点）

「第１面から第２面に対して貫通し孔内部において径が極小値を有しない貫通孔を含む基板と、

前記貫通孔の内側面に沿って配置された導電体と、

を備え、

前記貫通孔の内部には、前記導電体に囲まれた絶縁領域が配置され、

前記貫通孔は、前記第１面から前記第２面までの区間のうち前記第１面から６．２５％、１８．７５％、３１．２５％、４３．７５％、５６．２５％、６８．７５％、８１．２５％、９３．７５％の距離の位置における前記貫通孔の中心軸に対する内側面の傾斜角度（前記第１面側が拡がる角度を正の傾斜角度とする）の合計値が、１１．７１°以上である、貫通電極基板。」

（相違点９）

本件発明１は「前記第１面から前記第２面までの区間のうち４３．７５％、５６．２５％、８１．２５％の距離の位置における前記貫通孔の中心軸に対する内側面の傾斜角度が順に小さくなる条件を満たす」のに対して、甲５発明はそのような特定がない点。

（イ）判断

ａ 第２９条第１項第３号について

本件発明１と甲５発明は、上記のとおり相違点がある。

よって、本件発明１は、甲第５号証に記載された発明でない。

ｂ 第２９条２項について

上記相違点９について検討する。

甲５発明の課題は、貫通孔内の導電層にボイドが発生することを防止して、貫通孔内の密閉性を高めることであり（【０００４】、【０００５】）、本件発明１のように、貫通孔の内部に導電体を容易に形成することではない。よって、甲５発明において「テーパーの角度は、９１°～９４°である」「貫通孔１５０」を、上記相違点９に係る構成とする動機はない。

したがって、上記相違点９に係る構成は、甲５発明に基づいて、当業者が容易になし得たこととはいえない。

よって、本件発明１は、甲第５号証に記載された発明に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものでない。

イ 本件発明３ないし９、１１について

本件発明３ないし９、１１は、本件発明１に係る全ての構成を備え、さらに構成を付加したものであるから、本件発明１と同様な理由により、甲第５号証に記載された発明でない。また、甲第５号証に記載された発明に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものでない。

（５） まとめ

以上のことより、当該取消理由通知書に記載した取消理由により、本件発明１ないし９、１１に係る特許を取り消すことはできない。

第５ 取消理由通知において採用しなかった特許異議申立理由について

１ 特許異議申立人の主張

特許異議申立人は特許異議申立書において、訂正前の特許請求の範囲に関し、請求項１、３ないし９、１１に係る発明は、甲第４号証に記載された発明、甲第５号証及び甲第６号証に記載事項に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものである旨を主張している。

２ 各号証の記載

（１）甲第４号証

甲第４号証には、次の事項が記載されている。

ア 「背景技術

このように孔が開けられた、例えば、ガラス、石英ガラス、合成樹脂またはセラミック材料の板は、特に、電界放射表示装置及び薄型電子表示装置に用いられ、これら金属化された孔は、蛍光物質が設けられたルミネッセントスクリーンに向かって移動する電子流とプラズマ表示装置内の電子流とを制御する電極として働く。このような板の表面はまた、前記電極を駆動する（アドレスする）ために用いられる幅狭の金属トラックも有する。このような表示装置において、これらの板は、制御板または選択板として用いられる。薄型電子表示装置は、少なくとも二つの選択板を有する。」（４頁８－１６行）

イ 「以下に考慮されるべき各図において、層厚等の寸法は縮尺通りに書かれていない。第１Ａ図において、参照番号１は、ガラス板の断面の一部を示している。この板は、27×44cmの寸法で、0.4mmの厚さを持つ。この板を酸化アルミニウムパウダーのジェットに曝すことにより、300μmの最大直径を持ち100μmの最小直径を持つ300、000個の円錐型の円孔３が該板内に形成される。これら孔が形成される方法は、前述のヨーロッパ特許出願公開第562670号公報に記載されている。いかなる小さな酸化アルミニウム粒子も除去するために、前記板は2％の肝の水溶液内に２分間浸される。この板は、次いで、水洗され、乾燥される。」（１２頁６－１３行）

ウ 「露光された前記ラッカーコーティングは、EAGLE（商標）REMOVER2009（Shipley社）内に前記板を浸すことにより除去され、この後、該板は、水洗される（第１Ｆ図参照）。ここで、前記ガラス板は、その壁にニッケル硼素層７’で被覆された銅層５’が設けられている孔を有している。前記板は、ニッケル硼素層７”で被覆された銅トラック５”を有している。

前記板は、次いで、以下の組成、

ＮｉＣｌ2．６Ｈ2Ｏ ２６ｇ／ｌ

ホスフィン酸塩ナトリウム ２４ｇ／ｌ

乳酸 ２７ｇ／ｌ

プロピオン酸 ２．２ｇ／ｌ

酢酸塩 0.002g／ｌ

ＮａＯＨをｐｈ＝４．６まで

の無電解のニッケル蛍光物質の浴内に浸される。この浴の温度は95°Ｃである。ニッケル硼素層７’、７”の活性化なしに、５００ｎｍの厚さのニッケル蛍光物質の層２３、２５が、このニッケル硼素層上に堆積される（第１Ｇ図参照）。前記板は、次いで、水洗される。この段階において、前記ガラス板は、銅電極５’で被覆された孔を有している。この銅電極５’の表面及び銅トラック５”の表面には、耐食性のニッケル蛍光物質層２３及び２５が各々設けられている。」（１４頁９－２６行）

上記記載より、甲第４号証には、次の発明（以下、「甲４発明」という。）が記載されている。

「電界放射表示装置に用いられるガラス板であって（上記「ア」）、

ガラス板は27×44cmの寸法で、0.4mmの厚さを持ち、300μmの最大直径を持ち100μmの最小直径を持つ300、000個の円錐型の円孔３が該板内に形成され（上記「イ」）、

円孔３には、壁にニッケル硼素層７’で被覆された銅層５’が設けられ、

ニッケル蛍光物質の層２３、２５が、ニッケル硼素層７’上に堆積され（上記「ウ」）、

電界放射表示装置に用いられるガラス板。」

（２）甲第５号証

甲第５号証に記載された事項は、上記「第４ ２ （４）」に記載したとおりである。

（３）甲第６号証

甲第６号証に記載された事項は、上記「第４ ２ （５）」に記載したとおりである。

３ 対比、判断

（１）本件発明１について

ア 対比

本件発明１と甲４発明を対比すると、次のことがいえる。

ａ 甲４発明の「円錐型の円孔３」は、本件発明１の「孔内部において径が極小値を有しない貫通孔」に相当する。

したがって、甲４発明の「円錐型の円孔３が該板内に形成され」た「ガラス板」は、本件発明１の「第１面から第２面に対して貫通し孔内部において径が極小値を有しない貫通孔を含む基板」に相当する。

ｂ 甲４発明の「円孔３」の「壁に」「設けられ」た「ニッケル硼素層７’」、「銅層５’」、「ニッケル蛍光物質の層２３、２５」は、本件発明１の「前記貫通孔の内側面に沿って配置された導電体」に相当する。

ｃ 甲４発明の「円錐型の円孔３」は、「ガラス板は」「0.4mmの厚さを持ち、300μmの最大直径を持ち100μmの最小直径を持つ」のであるから、内側面の傾斜角度は、１４．０３°である。このことは、本件発明１の「前記第１面から前記第２面までの区間のうち前記第１面から６．２５％、１８．７５％、３１．２５％、４３．７５％、５６．２５％、６８．７５％、８１．２５％、９３．７５％の距離の位置における前記貫通孔の中心軸に対する内側面の傾斜角度（前記第１面側が拡がる角度を正の傾斜角度とする）の合計値が、１１．７１°以上であ」ることに含まれる。

但し、本件発明１は「前記第１面から前記第２面までの区間のうち４３．７５％、５６．２５％、８１．２５％の距離の位置における前記貫通孔の中心軸に対する内側面の傾斜角度が順に小さくなる条件を満たす」のに対して、甲４発明はそのような特定がない点で相違する。

ｄ 甲４発明の「電界放射表示装置に用いられるガラス板」と本件発明１の「貫通電極基板」とは、「基板」である点で共通する。

但し、本件発明１は「貫通電極基板」であるのに対して、甲４発明は「電界放射表示装置に用いられるガラス板」である点で相違する。

したがって、本件発明１と甲４発明とは、次の一致点及び相違点を有する。

（一致点）

「第１面から第２面に対して貫通し孔内部において径が極小値を有しない貫通孔を含む基板と、

前記貫通孔の内側面に沿って配置された導電体と、

を備え、

前記貫通孔は、前記第１面から前記第２面までの区間のうち前記第１面から６．２５％、１８．７５％、３１．２５％、４３．７５％、５６．２５％、６８．７５％、８１．２５％、９３．７５％の距離の位置における前記貫通孔の中心軸に対する内側面の傾斜角度（前記第１面側が拡がる角度を正の傾斜角度とする）の合計値が、１１．７１°以上である、基板。」

（相違点Ａ）

本件発明１は「前記貫通孔の内部には、前記導電体に囲まれた絶縁領域が配置され」ているのに対して、甲４発明はそのような特定がない点。

（相違点Ｂ）

本件発明１は「前記第１面から前記第２面までの区間のうち４３．７５％、５６．２５％、８１．２５％の距離の位置における前記貫通孔の中心軸に対する内側面の傾斜角度が順に小さくなる条件を満たす」のに対して、甲４発明はそのような特定がない点。

（相違点Ｃ）

本件発明１は「貫通電極基板」であるのに対して、甲４発明は「電界放射表示装置に用いられるガラス板」である点。

イ 判断

上記相違点について検討する。

相違点Ａについて

貫通電極基板において、貫通孔の内部に樹脂を充填することは周知である（例えば、甲第５号証（【００５１】）、甲第６号証（【００６３】）等参照）。

しかしながら、甲４発明の「ガラス板」は電界放射表示装置に用いられるものであり、当該「ガラス板」において、「円孔３」の内部に樹脂を充填して「ニッケル蛍光物質の層２３、２５」を樹脂で覆うことは、発光の妨げになるので想定できないことであり、甲４発明に上記周知技術を適用することは、当業者が容易になし得たことはいえない。

したがって、上記相違点Ａに係る構成は、甲第５号証及び甲第６号証に記載された技術に基づいて、当業者が容易になし得たこととはいえない。

よって、他の相違点について検討するまでもなく、本件発明１は、甲第４号証に記載された発明、甲第５号証及び甲第６号証に記載された技術に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものでない。

（２）本件発明３ないし９、１１について

本件発明３ないし９、１１は、本件発明１に係る全ての構成を備え、さらに構成を付加したものであるから、本件発明１と同様な理由により、甲第４号証に記載された発明、甲第５号証及び甲第６号証に記載された技術に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものでない。

４ まとめ

したがって、特許異議申立人のかかる主張は、採用することができない。

第６ むすび

以上のとおりであるから、取消理由通知に記載した取消理由及び特許異議申立書に記載した異議申立理由によっては、請求項１ないし９、１１に係る特許を取り消すことはできない。さらに、他に請求項１ないし９、１１に係る特許を取り消すべき理由を発見しない。

よって、結論のとおり決定する。