2018-016543

特願２０１８－　２６７４７「偏光板及びその製造方法、並びに光学機器」拒絶査定不服審判事件〔令和　１年　８月２９日出願公開、特開２０１９－１４４３３４〕について、次のとおり審決する。

【結　論】 本件審判の請求は、成り立たない。

【理　由】 第１　手続の経緯 特願２０１８－２６７４７号（以下、「本件出願」という。）は、平成３０年２月１９日を出願日とする特許出願であって、その手続等の経緯の概要は、以下のとおりである。 平成３０年　４月２５日付け：拒絶理由通知書 平成３０年　７月　４日付け：意見書 平成３０年　７月　４日付け：手続補正書 平成３０年　９月　５日付け：拒絶査定（以下、「原査定」という。） 平成３０年１２月１１日付け：審判請求書 平成３０年１２月１１日付け：手続補正書 第２　平成３０年１２月１１日付けの手続補正書による手続補正についての補正却下の決定 ［結論］ 平成３０年１２月１１日付けの手続補正書による手続補正（以下、「本件補正」という。）を却下する。 ［理由］ １　本件補正の内容 （１）　本件補正前の特許請求の範囲 本件補正前、すなわち、平成３０年７月４日付けの手続補正書による補正後の特許請求の範囲の請求項１の記載は、次のとおりである。 「ワイヤグリッド構造を有する偏光板であって、 透明基板と、 使用帯域の光の波長よりも短いピッチで前記透明基板上に配列され、所定方向に延在する格子状凸部と、を備え、 前記格子状凸部が、前記透明基板側から順に、反射層と、誘電体層と、吸収層と、誘電体層と、を有し、 ２つの前記誘電体層の最大幅と前記吸収層の最大幅は略同一であり、 前記反射層の最大幅は、２つの前記誘電体層の最大幅及び前記吸収層の最大幅のいずれよりも小さい偏光板。」 （２）　本件補正後の特許請求の範囲 本件補正により、特許請求の範囲の請求項１の記載は、次のとおり補正された。なお、下線は当合議体が付したものであり、補正箇所を示す。 「ワイヤグリッド構造を有する偏光板であって、 透明基板と、 使用帯域の光の波長よりも短いピッチで前記透明基板上に配列され、所定方向に延在する格子状凸部と、を備え、 前記格子状凸部が、前記透明基板側から順に、 反射層から構成される矩形状のグリッド脚部と、 第１誘電体層と、吸収層と、第２誘電体層と、を前記透明基板側からこの順に有する矩形状のグリッド先端部と、を有し、 前記第１誘電体層および前記吸収層の膜厚は、吸収軸反射率が極小となる波長域が所望の波長域より短波長側となるように形成され、 ２つの前記誘電体層の最大幅と前記吸収層の最大幅は略同一であり、 前記反射層の最大幅は、２つの前記誘電体層の最大幅及び前記吸収層の最大幅のいずれよりも小さく、前記吸収軸反射率が極小となる波長域を前記所望の波長域内とするように形成される偏光板。」 ２　補正の適否について 本件補正は、本件補正前の請求項１に記載された発明を特定するために必要な事項である「格子状凸部」について、「前記透明基板側から順に、反射層と、誘電体層と、吸収層と、誘電体層と、を有し」とあるのを、本件出願の出願当初の明細書の【００２６】、【００３０】、【００３１】及び【００６８】等の記載に基づき、「前記透明基板側から順に」、「反射層から構成される矩形状のグリッド脚部と」、「第１誘電体層と、吸収層と、第２誘電体層と、を前記透明基板側からこの順に有する矩形状のグリッド先端部と、を有し」、「前記第１誘電体層および前記吸収層の膜厚は、吸収軸反射率が極小となる波長域が所望の波長域より短波長側となるように形成され」たものに限定するとともに、「反射層の最大幅」について、本件出願の出願当初の明細書の【００６８】及び【００７１】の記載に基づき、「前記吸収軸反射率が極小となる波長域を前記所望の波長域内とするように形成される」ものに限定するものであって、本件補正前の請求項１に記載される発明と本件補正後の請求項１に記載される発明の産業上の利用分野及び解決しようとする課題が同一であるから、本件補正は、特許法第１７条の２第３項の規定に適合するとともに、同条第５項第２号の特許請求の範囲の減縮を目的とするものに該当する。 そこで、本件補正後の請求項１に係る発明（以下、「本件補正後発明」という。）が、特許法第１７条の２第６項において準用する同法第１２６条第７項の規定に適合するか（特許出願の際独立して特許を受けることができるものであるか）について、以下、検討する。 （１）　特許法第３６条第６項第２号（明確性）について ア　本件補正後の特許請求の範囲の請求項１の記載は、上記「１」「（２）　本件補正後の特許請求の範囲」に記載したとおりである。 イ　請求項１には、「前記格子状凸部が、前記透明基板側から順に、・・・第１誘電体層と、吸収層と、第２誘電体層と、を前記透明基板側からこの順に有する矩形状のグリッド先端部と、を有し」、「前記第１誘電体層および前記吸収層の膜厚は、吸収軸反射率が極小となる波長域が所望の波長域より短波長側となるように形成され」との記載があるところ、この「前記第１誘電体層および前記吸収層の膜厚は、吸収軸反射率が極小となる波長域が所望の波長域より短波長側となるように形成され」との記載は、偏光板の形成・製造に係る事項により、「矩形状のグリッド先端部」の「第１誘電体層」の「膜厚」および「吸収層」の「膜厚」を特定しようとするものである。 しかしながら、請求項１に係る発明は「偏光板」という物に係る発明であって、物の発明として見た場合、「矩形状のグリッド先端部」の「第１誘電体層」及び「吸収層」の「膜厚」が、「吸収軸反射率が極小となる波長域が所望の波長域より短波長側となるように形成され」たものであるのか、あるいは、そうではないのかを判断、あるいは、区別することはできない。 そうすると、「前記第１誘電体層および前記吸収層の膜厚は、吸収軸反射率が極小となる波長域が所望の波長域より短波長側となるように形成され」との記載により、「偏光板」という物に係る発明の構成として、「第１誘電体層」、「吸収層」及びそれらの「膜厚」について、どのような事項が特定されるのか不明である。 また、本件補正後の請求項１の「前記反射層の最大幅は、２つの前記誘電体層の最大幅及び前記吸収層の最大幅のいずれよりも小さく、前記吸収軸反射率が極小となる波長域を前記所望の波長域内とするように形成される」との記載についても同様に、「前記吸収軸反射率が極小となる波長域を前記所望の波長域内とするように形成される」との偏光板の形成・製造に係る事項により「矩形状のグリッド脚部」を構成する「反射層」の「２つの前記誘電体層の最大幅及び前記吸収層の最大幅のいずれよりも小さ」い「最大幅」を特定しようとするものであって、「偏光板」という物の発明として見た場合に、「反射層」の「最大幅」が、「吸収軸反射率が極小となる波長域を所望の波長域内とするように形成され」たものであるのか、あるいは、そうではないのかを判断・区別することはできない。 そうすると、偏光板の形成・製造に係る「前記反射層の最大幅は」、「前記吸収軸反射率が極小となる波長域を前記所望の波長域内とするように形成される」との記載により、「偏光板」という物に係る発明の構成として、「反射層」あるいはその「最大幅」に関し、どのような事項が特定されるのか不明である。 よって、本件補正後発明は明確でない。 ウ　また、請求項１の「前記第１誘電体層および前記吸収層の膜厚は、吸収軸反射率が極小となる波長域が所望の波長域より短波長側となるように形成され」との記載によれば、「吸収軸反射率が極小となる波長域」は「第１誘電体層」および「吸収層」の「膜厚」により制御されることが分かる。 一方、請求項１の「前記反射層の最大幅は、２つの前記誘電体層の最大幅及び前記吸収層の最大幅のいずれよりも小さく、前記吸収軸反射率が極小となる波長域を前記所望の波長域内とするように形成される」との記載によれば、「吸収軸反射率が極小となる波長域」は、（「２つの前記誘電体層の最大幅及び前記吸収層の最大幅のいずれよりも小さ」い）「反射層の最大幅」により制御されることが分かる。 そうすると、請求項１の上記の両記載からは、「吸収軸反射率が極小となる波長域」は、「反射層の最大幅」や「第１誘電体層」および「吸収層」の「膜厚」の両方に依存する、あるいは「反射層の最大幅」や「第１誘電体層」および「吸収層」の「膜厚」の両方により制御されると把握されるから、「前記第１誘電体層および前記吸収層の膜厚」だけで「吸収軸反射率が極小となる波長域」を決めることができない。 してみると、請求項１の「前記第１誘電体層および前記吸収層の膜厚」は、「吸収軸反射率が極小となる波長域」が「所望の波長域より短波長側となるように形成され」るとの記載は技術的にみて正確な記載とはいえない。 同様に、「前記反射層の最大幅」のみでは「吸収軸反射率が極小となる波長域」が決めることができないから、「前記反射層の最大幅」は、「前記吸収軸反射率が極小となる波長域」を「前記所望の波長域内とするように形成される」との記載は技術的にみて正確な記載とはいえない。 よって、本件補正後発明は明確でない。 エ　小括り 本件出願は、請求項１の記載が、特許法第３６条第６項第２号に規定する要件を満たしていないから、本件補正後発明は、特許出願の際独立して特許を受けることができないものである。 （２）　特許法第２９条第２項（進歩性）について ア　本件補正後発明 本件補正後発明は、上記「１」「（２）　本件補正後の特許請求の範囲」に記載したとおりのものである。 イ　引用文献１及び引用発明 （ア）　引用文献１の記載事項 原査定の拒絶の理由で引用文献１として引用され、本件出願の出願前に日本国内又は外国において、電気通信回線を通じて公衆に利用可能となった発明を記載した、特許第６２３０６８９号公報（以下、同じく「引用文献１」という。）には、以下の事項が記載されている（下線は、当合議体が付したものである。）。 ａ　「【技術分野】 【０００１】 本発明は、偏光板及びその製造方法、並びに光学機器に関する。 【背景技術】 【０００２】 従来、ワイヤグリッド型の偏光板では、使用帯域の光の波長に応じたピッチとグリッド幅（グリッドの配列方向の幅）との関係から、原理的に短波長側ほど光の透過率が低下することが知られている。特に、液晶プロジェクタで使用される可視光領域（赤色帯域：波長λ＝６００～６８０ｎｍ、緑色帯域：波長λ＝５２０～５９０ｎｍ、青色帯域：波長λ＝４３０～５１０ｎｍ）では、青色帯域が最も透過率が低くなる。 【０００３】 これに対して、偏光板のグリッド幅を狭くすることで透過率を高められることが知られている。しかし、実際にグリッド幅を狭めたパターンを形成することは、製造バラツキが大きくなる等の観点から難易度が高く、偏光板としての信頼性を維持することが困難である。 【０００４】 そこで、本出願人は、複数の線状金属層と、複数の線状誘電体層と、光吸収作用を有する複数の線状光吸収層とをこの順で透明基板上に有するワイヤグリッド型の無機偏光板において、線状金属層の長手方向に直交する断面における線状金属層の断面形状が、基板側を下底とし線状誘電体層側を上底とする台形状であるとともに、下底の長さが上底の長さよりも長い無機偏光板を提案している（例えば、特許文献１参照）。この特許文献１の無機偏光板によれば、線状金属層の断面形状によって優れた偏光特性が得られる。 ・・・略・・・ 【発明の概要】 【発明が解決しようとする課題】 【０００６】 しかし、近年では、さらに高い透過率特性を有するとともに反射率特性の制御に優れた偏光板が求められている。本発明は上記に鑑みてなされたものであり、その目的は、高い透過率特性を有するとともに反射率特性の制御に優れた偏光板及びその製造方法、並びにその偏光板を備える光学機器を提供することにある。 【課題を解決するための手段】 【０００７】 上記目的を達成するため本発明は、ワイヤグリッド構造を有する偏光板であって、透明基板（例えば、後述の透明基板１０）と、使用帯域の光の波長よりも短いピッチで前記透明基板上に配列され、所定方向に延在する格子状凸部（例えば、後述の格子状凸部１１）と、を備え、前記格子状凸部が、前記透明基板側から順に、反射層（例えば、後述の反射層１３）と、誘電体層（例えば、後述の誘電体層１４）と、吸収層（例えば、後述の吸収層１５）と、を有し、前記反射層の幅は、前記誘電体層の幅よりも小さく、前記格子状凸部の先端に形成されたグリッド先端部（例えば、後述のグリッド先端部１７）は、前記所定方向から見たときに、先端側ほど幅が狭くなる方向に側面が傾斜した先細形状を有し、前記グリッド先端部が、前記誘電体層及び前記吸収層で構成され、前記グリッド先端部の最大幅（例えば、後述のグリッド幅ｂ）が、３５～４５ｎｍであり、前記反射層の幅が、前記グリッド先端部の最大幅に対して５２～７２％である偏光板（例えば、後述の偏光板１）を提供する。 【０００９】 前記グリッド先端部の側面の前記透明基板に対する傾斜角をθとし、前記所定方向から見たときの前記グリッド先端部の高さをａ、前記グリッド先端部の最大幅をｂ、θ０＝ａｒｃｔａｎ（２ａ／ｂ）としたときに、２／３≦ａ／ｂ≦８／７を満たすとともにθ０≦θ＜９０度を満たし、前記傾斜角θが、可視光領域の所定の波長の光の吸収軸方向の反射率を１０％以下とする角度範囲から選択されてもよい。 ・・・略・・・ 【発明の効果】 【００１９】 本発明によれば、高い透過率特性を有するとともに反射率特性の制御に優れた偏光板及びその製造方法、並びにその偏光板を備える光学機器を提供できる。」 ｂ　「【図面の簡単な説明】 【００２０】 【図１】本発明の一実施形態に係る偏光板を示す断面模式図である。 【図２】上記実施形態に係る偏光板の形状パラメータを説明するための断面模式図である。 ・・・略・・・ 【図１０】グリッド先端部が矩形状の偏光板を示す断面模式図である。」 ｃ　「【発明を実施するための形態】 【００２１】 以下、本発明の実施形態について、図面を参照して詳しく説明する。 【００２２】 ［偏光板］ 本発明の一実施形態に係る偏光板は、ワイヤグリッド構造を有する無機偏光板であって、透明基板と、使用帯域の光の波長よりも短いピッチ（周期）で透明基板上に配列されて所定方向に延在する格子状凸部と、を備える。また、この格子状凸部が、透明基板側から順に、反射層と、誘電体層と、吸収層と、を有する。 【００２３】 図１は、本発明の一実施形態に係る偏光板１を示す断面模式図である。図１に示すように、偏光板１は、使用帯域の光に透明な透明基板１０と、透明基板１０の一方の面上に使用帯域の光の波長よりも短いピッチで配列された格子状凸部１１と、を備える。格子状凸部１１は、透明基板１０側から順に、必要に応じて形成された台座１２と、反射層１３と、誘電体層１４と、吸収層１５と、を有する。即ち、図１に示す偏光板１は、台座１２、反射層１３、誘電体層１４及び吸収層１５が透明基板１０側からこの順に積層されて形成された格子状凸部１１が、透明基板１０上に一次元格子状に配列されたワイヤグリッド構造を有する。 【００２４】 ここで、図１に示すように格子状凸部１１の延在する方向（所定方向）を、Ｙ軸方向と称する。また、Ｙ軸方向に直交し、透明基板１０の主面に沿って格子状凸部１１が配列する方向を、Ｘ軸方向と称する。この場合、偏光板１に入射する光は、透明基板１０の格子状凸部１１が形成されている側において、好適にはＸ軸方向及びＹ軸方向に直交する方向から入射する。 【００２５】 偏光板１は、透過、反射、干渉及び光学異方性による偏光波の選択的光吸収の４つの作用を利用することで、Ｙ軸方向に平行な電界成分をもつ偏光波（ＴＥ波（Ｓ波））を減衰させ、Ｘ軸方向に平行な電界成分をもつ偏光波（ＴＭ波（Ｐ波））を透過させる。従って、Ｙ軸方向が偏光板１の吸収軸の方向であり、Ｘ軸方向が偏光板１の透過軸の方向である。 【００２６】 偏光板１の格子状凸部１１が形成された側から入射した光は、吸収層１５及び誘電体層１４を通過する際に一部が吸収されて減衰する。吸収層１５及び誘電体層１４を透過した光のうち、偏光波（ＴＭ波（Ｐ波））は高い透過率で反射層１３を透過する。一方、吸収層１５及び誘電体層１４を透過した光のうち、偏光波（ＴＥ波（Ｓ波））は反射層１３で反射される。反射層１３で反射されたＴＥ波は、吸収層１５及び誘電体層１４を通過する際に一部は吸収され、一部は反射して反射層１３に戻る。また、反射層１３で反射されたＴＥ波は、吸収層１５及び誘電体層１４を通過する際に干渉して減衰する。以上のようにして、偏光板１は、ＴＥ波の選択的減衰を行うことにより、所望の偏光特性が得られる。 【００２７】 格子状凸部１１は、図１に示すように各一次元格子の延在する方向（所定方向）から見たとき、つまり所定方向に直交する断面視で、台形状の台座１２と、矩形状のグリッド脚部１６と、先細形状のグリッド先端部１７と、を有する。 グリッド脚部１６は、台座１２から垂直に延びて形成される。このグリッド脚部１６は、反射層１３で構成される。即ち、グリッド脚部１６とグリッド先端部１７との境界は、反射層１３と誘電体層１４の境界に位置する。 グリッド先端部１７は、所定方向から見たときに、先端側（透明基板１０の反対側）ほど幅が狭くなる方向に側面が傾斜した先細形状を有する。より詳しくは、本実施形態のグリッド先端部１７は、等脚台形状を有する。このグリッド先端部１７は、誘電体層１４及び吸収層１５で構成される。 【００２８】 グリッド先端部１７を先細形状とすることにより、ＴＭ波の透過率を高めることができる。このようにＴＭ波の透過率が高まる理由としては、グリッド先端部１７を先細形状とすることにより、角度バラツキを持って入射してくる光に対して散乱を抑制する効果があるためと考えられる。 【００２９】 ここで、図２は、本実施形態に係る偏光板１の形状パラメータを説明するための断面模式図である。以下の説明において、高さとは、透明基板１０の主面に垂直な方向の寸法を意味し、幅とは、格子状凸部１１の延びる方向に沿うＹ軸方向から見たときに、高さ方向に直交するＸ軸方向の寸法を意味する。また、偏光板１を格子状凸部１１の延びる方向に沿うＹ軸方向から見たときに、格子状凸部１１のＸ軸方向の繰り返し間隔をピッチＰと称する。 【００３０】 格子状凸部１１のピッチＰは、使用帯域の光の波長よりも短ければ特に制限されない。作製の容易性及び安定性の観点から、格子状凸部１１のピッチＰは、例えば、１００ｎｍ～２００ｎｍが好ましい。この格子状凸部１１のピッチＰは、走査型電子顕微鏡又は透過型電子顕微鏡で観察することにより測定することができる。 ・・・略・・・ 【００３１】 また、格子状凸部１１のグリッド先端部１７におけるＸ軸方向の最大幅を、グリッド幅ｂと称する。本実施形態では、グリッド幅ｂは、グリッド先端部１７における反射層１３側の端部の幅を意味する。具体的には、このグリッド幅ｂは、３５～４５ｎｍであることが好ましい。なお、これらの幅は、例えば上述の電子顕微鏡法により測定可能である。 【００３２】 また、グリッド先端部１７の側面の透明基板１０に対する傾斜角を傾斜角θと称し、グリッド先端部１７の高さを高さａと称する。 ・・・略・・・ 【００３３】 また、θ０＝ａｒｃｔａｎ（２ａ／ｂ）としたとき、本実施形態に係る偏光板１は、２／３≦ａ／ｂ≦８／７を満たすとともに、θ０≦θ＜９０度を満たすことが好ましい。このとき、傾斜角θは、可視光領域の所定の波長の光の吸収軸方向の反射率を１０％以下とする角度範囲から選択されることが好ましい。 【００３４】 透明基板１０としては、使用帯域の光に対して透光性を示す基板であれば特に制限されず、目的に応じて適宜選択することができる。「使用帯域の光に対して透光性を示す」とは、使用帯域の光の透過率が１００％であることを意味するものではなく、偏光板としての機能を保持可能な透光性を示せばよい。使用帯域の光としては、例えば、波長３８０ｎｍ～８１０ｎｍ程度の可視光が挙げられる。 ・・・略・・・ 【００３９】 台座１２は、図１に示すように各一次元格子の延在する方向（所定方向）から見たとき、つまり所定方向に直交する断面視で、台形状を有する。より詳しくは、本実施形態に係る台座１２は、所定方向から見たときに、透明基板１０側から反射層１３側に向かうに従い幅が狭まるように側面が傾斜した等脚台形状を有する。 ・・・略・・・ 【００４２】 台座１２は、吸収軸であるＹ軸方向に帯状に延びた誘電体膜が透明基板１０上に配列されてなるものである。台座１２の構成材料としては、使用帯域の光に対して透明であり、透明基板１０よりも屈折率の小さい材料が好ましく、中でも、ＳｉＯ２等のＳｉ酸化物が好ましい。 ・・・略・・・ 【００４５】 反射層１３は、台座１２上に形成され、吸収軸であるＹ軸方向に帯状に延びた金属膜が配列されてなるものである。より詳しくは、反射層１３は、台座１２から垂直に延びており、上記所定方向から見たとき、つまり所定方向に直交する断面視で、矩形状を有する。この反射層１３は、ワイヤグリッド型偏光子としての機能を有し、反射層１３の長手方向に平行な方向に電界成分をもつ偏光波（ＴＥ波（Ｓ波））を減衰させ、反射層１３の長手方向に直交する方向に電界成分をもつ偏光波（ＴＭ波（Ｐ波））を透過させる。 【００４６】 反射層１３の構成材料としては、使用帯域の光に対して反射性を有する材料であれば特に制限されず、例えば、Ａｌ、Ａｇ、Ｃｕ、Ｍｏ、Ｃｒ、Ｔｉ、Ｎｉ、Ｗ、Ｆｅ、Ｓｉ、Ｇｅ、Ｔｅ等の元素単体又はこれらの１種以上の元素を含む合金が挙げられる。中でも、反射層１３は、アルミニウム又はアルミニウム合金で構成されることが好ましい。なお、これらの金属材料以外にも、例えば着色等により表面の反射率が高く形成された金属以外の無機膜や樹脂膜で反射層１３を構成してもよい。 【００４７】 反射層１３の膜厚は、特に制限されず、例えば、１００ｎｍ～３００ｎｍが好ましい。なお、反射層１３の膜厚は、例えば上述の電子顕微鏡法により測定可能である。 【００４８】 反射層１３の幅ｃは、台座１２の最小幅以下であることが好ましく、より好ましくは台座１２の最小幅よりも小さく設定される。また、後述するように、反射層１３の幅ｃは、誘電体層１４の最大幅、即ちグリッド先端部１７の最大幅であるグリッド幅ｂよりも小さいことが好ましい。具体的には、反射層１３の幅ｃは、グリッド幅ｂに対する割合が５２～７２％であることが好ましい。なお、これらの幅は、例えば上述の電子顕微鏡法により測定可能である。 【００４９】 反射層１３の幅を、台座１２の幅やグリッド幅（誘電体層１４の幅）ｂよりも小さくする方法としては、例えばウェットエッチングによる等方性エッチングが挙げられる。上述したように、反射層１３は光を反射するが、反射層１３の幅を制御することで、光の入射方向から見た反射層１３の面積が変更され、反射層１３で反射される光の量が変化する。従って、グリッド幅ｂに占める反射層１３の幅の割合を制御することで、偏光板１の光透過特性を制御可能である。 【００５０】 誘電体層１４は、反射層１３上に形成され、吸収軸であるＹ軸方向に帯状に延びた誘電体膜が配列されてなるものである。誘電体層１４は、吸収層１５で反射した偏光に対して、吸収層１５を透過して反射層１３で反射した偏光の位相が半波長ずれる膜厚で形成される。具体的には、誘電体層１４の膜厚は、偏光の位相を調整して干渉効果を高めることが可能な１～５００ｎｍの範囲で適宜設定される。この誘電体層１４の膜厚は、例えば上述の電子顕微鏡法により測定可能である。 【００５１】 誘電体層１４を構成する材料としては、ＳｉＯ２等のＳｉ酸化物、Ａｌ２Ｏ３、酸化ベリリウム、酸化ビスマス、等の金属酸化物、ＭｇＦ２、氷晶石、ゲルマニウム、二酸化チタン、ケイ素、フッ化マグネシウム、窒化ボロン、酸化ボロン、酸化タンタル、炭素、又はこれらの組み合わせ等の一般的な材料が挙げられる。中でも、誘電体層１４は、Ｓｉ酸化物で構成されることが好ましい。 【００５２】 誘電体層１４の屈折率は、１．０より大きく、２．５以下であることが好ましい。反射層１３の光学特性は、周囲の屈折率によっても影響を受けるため、誘電体層１４の材料を選択することで、偏光板特性を制御することができる。 また、誘電体層１４の膜厚や屈折率を適宜調整することにより、反射層１３で反射したＴＥ波について、吸収層１５を透過する際に一部を反射して反射層１３に戻すことができ、吸収層１５を通過した光を干渉により減衰させることができる。このようにしてＴＥ波の選択的減衰を行うことにより、所望の偏光特性を得ることができる。 【００５３】 吸収層１５は、誘電体層１４上に形成され、吸収軸であるＹ軸方向に帯状に延びて配列されたものである。吸収層１５の構成材料としては、金属材料や半導体材料等の光学定数の消衰定数が零でない、光吸収作用を持つ物質の１種以上が挙げられ、適用される光の波長範囲によって適宜選択される。金属材料としては、Ｔａ、Ａｌ、Ａｇ、Ｃｕ、Ａｕ、Ｍｏ、Ｃｒ、Ｔｉ、Ｗ、Ｎｉ、Ｆｅ、Ｓｎ等の元素単体又はこれらの１種以上の元素を含む合金が挙げられる。また、半導体材料としては、Ｓｉ・・・略・・・が挙げられる。これらの材料を用いることにより、偏光板１は、適用される可視光域に対して高い消光比が得られる。中でも、吸収層１５は、Ｆｅ又はＴａを含むとともに、Ｓｉを含んで構成されることが好ましい。 【００５４】 吸収層１５として半導体材料を用いる場合には、吸収作用に半導体のバンドギャップエネルギーが関与するため、バンドギャップエネルギーが使用帯域以下であることが必要である。例えば、可視光で使用する場合、波長４００ｎｍ以上での吸収、即ち、バンドギャップとしては３．１ｅｖ以下の材料を使用する必要がある。 【００５５】 吸収層１５の膜厚は、特に制限されず、例えば、１０ｎｍ～１００ｎｍが好ましい。この吸収層１５の膜厚は、例えば上述の電子顕微鏡法により測定可能である。 ・・・略・・・ 【００５７】 また、本実施形態に係る偏光板１は、光学特性の変化に影響を与えない範囲において、光の入射側の表面が、誘電体からなる保護膜により覆われていてもよい。具体的には、少なくともグリッド先端部１７の側面（傾斜面）が保護膜により覆われていることが好ましい。 ・・・略・・・ 【００５９】 ［偏光板の製造方法］ 本実施形態に係る偏光板１の製造方法は、下地層形成工程と、反射層形成工程と、誘電体層形成工程と、吸収層形成工程と、エッチング工程と、を有する。 【００６０】 下地層形成工程では、透明基板１０上に下地層を形成する。反射層形成工程では、下地層形成工程で形成された下地層上に、反射層を形成する。誘電体層形成工程では、反射層形成工程で形成された反射層上に、誘電体層を形成する。吸収層形成工程では、誘電体層形成工程で形成された誘電体層上に、吸収層を形成する。これらの各層形成工程では、例えばスパッタ法や蒸着法により、各層を形成可能である。 【００６１】 エッチング工程では、上述の各層形成工程を経て形成された積層体を選択的にエッチングすることにより、使用帯域の光の波長よりも短いピッチで透明基板１０上に配列される格子状凸部１１を形成する。具体的には、例えばフォトリソグラフィ法やナノインプリント法により、一次元格子状のマスクパターンを形成する。そして、上記積層体を選択的にエッチングすることにより、使用帯域の光の波長よりも短いピッチで透明基板１０上に配列される格子状凸部１１を形成する。エッチング方法としては、例えば、エッチング対象に対応したエッチングガスを用いたドライエッチング法が挙げられる。 【００６２】 特に本実施形態では、エッチング条件（ガス流量、ガス圧、出力、透明基板の冷却温度）を最適化することにより、グリッド先端部１７の側面に傾斜を持たせた先細形状を形成する。また、上記エッチング条件を最適化することにより、下地層１８をエッチングして格子状凸部１１の延在方向から見たときに台形状を有する台座１２を形成する。また、例えばウェットエッチングによる等方性エッチングにより、反射層１３の幅をグリッド幅（誘電体層１４の幅）ｂよりも小さくする。具体的には、誘電体層１４及び吸収層１５で構成されるグリッド先端部１７の最大幅が３５～４５ｎｍであり、反射層１３の幅がグリッド先端部１７の最大幅に対して５２～７２％となるように格子状凸部１１を形成する。 【００６３】 なお、本実施形態に係る偏光板１の製造方法は、少なくともグリッド先端部１７の側面（傾斜面）を保護膜で被覆する工程を有していてもよい。・・・略・・・ 以上により、本実施形態に係る偏光板１が製造される。 【００６４】 ［光学機器］ 本実施形態に係る光学機器は、上述した本実施形態に係る偏光板１を備える。光学機器としては、液晶プロジェクタ、ヘッドアップディスプレイ、デジタルカメラ等が挙げられる。本実施形態に係る偏光板１は、有機偏光板に比べて耐熱性に優れる無機偏光板であるため、耐熱性が要求される液晶プロジェクタ、ヘッドアップディスプレイ等の用途に好適である。 【００６５】 本実施形態に係る光学機器が複数の偏光板を備える場合、複数の偏光板の少なくとも１つが本実施形態に係る偏光板１であればよい。例えば、本実施形態に係る光学機器が液晶プロジェクタである場合、液晶パネルの入射側及び出射側に配置される偏光板の少なくとも一方が本実施形態に係る偏光板１であればよい。 【００６６】 以上説明した偏光板１及びその製造方法、並びに光学機器によれば、次のような効果が奏される。 【００６７】 本実施形態に係る偏光板１では、透明基板１０側から順に、反射層１３と、誘電体層１４と、吸収層１５と、を有する格子状凸部１１を備えるワイヤグリッド構造の偏光板１において、反射層１３の幅が、誘電体層１４の幅よりも小さい。 上述したように、反射層１３は光を反射するが、反射層１３の幅を制御することで、光の入射方向から見た反射層１３の面積が変更され、反射層１３で反射される光の量が変化する。そのため、反射層１３の幅を、グリッド幅（誘電体層１４の幅）ｂよりも小さくすることにより、偏光板１の光透過特性を向上でき、反射率特性を制御できる。 【００６８】 また、本実施形態に係る偏光板１では、格子状凸部１１の先端に形成されるグリッド先端部１７を、上記所定方向（Ｙ軸方向）から見たときに先端側ほど幅が狭くなる方向に側面が傾斜した先細形状とする。 上述したように、グリッド先端部１７を先細形状とすることにより、角度バラツキを持って入射してくる光に対して散乱を抑制する効果があると考えられる。そのため、本実施形態によれば、ＴＭ波の透過率を高めることができる。 従って、本実施形態によれば、高い透過率特性を有するとともに反射率特性の制御に優れた偏光板１及びその製造方法、並びにその偏光板１を備える光学機器を提供できる。」 ｄ　「【００８９】 ＜実施例３＞ 図１０は、グリッド先端部１７Ｂが矩形状の偏光板３００を示す断面模式図である。図１０中、図１に示す偏光板１と共通する構成については同一の符号を付している。この偏光板３００は、グリッド先端部３０７が先細形状ではなく矩形状の誘電体層３０４及び吸収層３０５で構成されている以外は、図１に示す偏光板１と同様の構成である。偏光板３００は、図１に示す偏光板１のグリッド先端部の側面の傾斜角θが９０度のものに相当する。 本実施例では、図１に示す構造の偏光板１について、上記傾斜角θを変化させるとともにそれぞれグリッド先端部の高さａとグリッド幅ｂとの比を種々変更したものをシミュレーションに供した。また、本実施例では、透過軸透過率Ｔｐと吸収軸反射率Ｒｓのシミュレーションを実施した。ここで、吸収軸反射率Ｒｓとは、偏光板の吸収軸方向（Ｙ軸方向）の偏光（ＴＥ波）の反射率を意味する。なお、本実施例では、緑色帯域（波長λ＝５２０～５９０ｎｍ（所定の波長））の光に対して最適化されるよう設計された偏光板についてシミュレーションを実施した。」 ｅ　「【図１】 」 ｆ　「【図２】 」 ｇ　「【図１０】 」 （イ）　引用発明 ａ　引用文献１の【００８９】（上記（ア）ｄ参照）には、引用文献１における「本発明の一実施形態に係る偏光板」である「ワイヤグリッド構造を有する無機偏光板」の「実施例３」として、「図１０」（上記（ア）ｇ参照）に断面模式図として示される「グリッド先端部１７Ｂが矩形状の偏光板３００」が記載されているところ、当該【００８９】の記載によれば、「実施例３」の「偏光板３００」は、「グリッド先端部３０７が先細形状ではなく矩形状の誘電体層３０４及び吸収層３０５で構成されている以外は、図１に示す偏光板１と同様の構成」を有する。 ｂ　「実施例３」と「同様の構成を有する」として参照される「図１に示す偏光板１」の構成については、引用文献１の「本発明の一実施形態に係る偏光板１」として、図１（本発明の一実施形態に係る偏光板を示す断面模式図）及び図２（実施形態に係る偏光板の形状パラメータを説明するための断面模式図）（上記（ア）ｅ及びｆ参照）とともに、段落【００２３】～【００６３】（上記（ア）ｃ参照）に説明されている。 ｃ　上記ａ，ｂより、引用文献１には、「実施例３」に係る「グリッド先端部１７Ｂが矩形状」の「偏光板３００」の発明として、次の発明が記載されているものと認められる（以下、「引用発明」という。）。 「ワイヤグリッド構造を有する無機偏光板３００であって、 使用帯域の光に透明な透明基板１０と、透明基板１０の一方の面上に使用帯域の光の波長よりも短いピッチで配列された格子状凸部と、を備え、 台座１２、反射層１３、誘電体層３０４及び吸収層３０５が透明基板１０側からこの順に積層されて形成された格子状凸部が、透明基板１０上に一次元格子状に配列されたワイヤグリッド構造を有し、 格子状凸部の延在する方向（所定方向）をＹ軸方向とし、Ｙ軸方向に直交し、透明基板１０の主面に沿って格子状凸部が配列する方向をＸ軸方向とした場合、Ｙ軸方向が偏光板３００の吸収軸の方向であり、Ｘ軸方向が偏光板３００の透過軸の方向であり、 格子状凸部は、所定方向から見たとき、台形状の台座１２と、矩形状のグリッド脚部１６と、グリッド先端部３０７と、を有し、 グリッド脚部１６は、台座１２から垂直に延びて形成され、所定方向から見たとき、矩形状を有し、反射層１３で構成され、 グリッド先端部３０７が、矩形状の誘電体層３０４及び吸収層３０５で構成され、 幅を、Ｘ軸方向の寸法とし、格子状凸部のＸ軸方向の繰り返し間隔をピッチＰとしたとき、 格子状凸部のピッチＰは１００ｎｍ～２００ｎｍであり、格子状凸部のグリッド先端部３０７におけるＸ軸方向の最大幅であるグリッド幅ｂは３５～４５ｎｍであり、 反射層１３の幅ｃは、グリッド幅ｂよりも小さい、 無機偏光板３００。」 ウ　対比 本件補正後発明と引用発明とを対比する。 （ア）　「透明基板」 引用発明の「透明基板１０」は、「使用帯域の光に透明な」ものである。 そうすると、引用発明の「透明基板１０」は、本件補正後発明の「透明基板」に相当する。 （イ）　「グリッド脚部」、「グリッド先端部」及び「格子状凸部」 ａ　引用発明の「格子状凸部」は、「透明基板１０の一方の面上に使用帯域の光の波長よりも短いピッチで配列され」たものである。 また、引用発明の「無機偏光板３００」においては、「格子状凸部の延在する方向（所定方向）をＹ軸方向とし」、「Ｙ軸方向に直交し」、「格子状凸部が配列する方向をＸ軸方向とした場合」、「Ｙ軸方向が」「吸収軸の方向であり」、「Ｘ軸方向が」「透過軸の方向であ」る。 ｂ　上記ａより、引用発明の「格子状凸部」は、「使用帯域の光の波長よりも短いピッチで」「透明基板１０の一方の面上に」「配列され」、「所定方向」（「Ｙ軸方向」）」に「延在する」。 引用発明の「使用帯域の光の波長よりも短いピッチ」及び「所定方向」（「Ｙ軸方向」）」は、それぞれ本件補正後発明の「使用帯域の光の波長よりも短いピッチ」及び「所定方向」に対応する。 そうすると、引用発明の「格子状凸部」は、本件補正後発明の「格子状凸部」に相当し、引用発明の「格子状凸部」は、本件補正後発明の「格子状凸部」の「使用帯域の光の波長よりも短いピッチで前記透明基板上に配列され、所定方向に延在する」との要件を具備する。 ｃ　上記ａ，ｂより、引用発明は、本件補正後発明の「透明基板と」、「使用帯域の光の波長よりも短いピッチで前記透明基板上に配列され、所定方向に延在する格子状凸部と、を備え」との要件を具備する。 ｄ　引用発明においては、「台座１２、反射層１３、誘電体層３０４及び吸収層３０５が透明基板１０側からこの順に積層されて形成された格子状凸部が、透明基板１０上に一次元格子状に配列されたワイヤグリッド構造を有」する。 また、引用発明の「格子状凸部は、所定方向から見たとき、台形状の台座１２と、矩形状のグリッド脚部１６と、グリッド先端部３０７と、を有し」、「グリッド脚部１６は、台座１２から垂直に延びて形成され、所定方向から見たとき、矩形状を有し、反射層１３で構成され」、「グリッド先端部３０７が、矩形状の誘電体層３０４及び吸収層３０５で構成され」ている。 ｅ　上記ｄより、引用発明の「格子状凸部」は、「透明基板１０側から」「順に」、「台座１２」と、「反射層１３」と、「誘電体層３０４」と、「吸収層３０５」を有する。 また、引用発明の「グリッド脚部１６」は、「台座１２から垂直に延びて形成され」、「反射層１３」から「構成され」、「矩形状を有」するものである。 また、引用発明の「グリッド先端部３０７」は、「誘電体層３０４」と「吸収層３０５」とを、「透明基板１０側からこの順」に有する「矩形状」のものである。 そうすると、これらの「格子状凸部」の層の構造・順序からみて、引用発明の「格子状凸部」は、「透明基板１０側から」「順に」、「台座１２」と、「反射層１３」から「構成」される「矩形状」の「グリッド脚部１６」と、「誘電体層３０４」と「吸収層３０５」とを「透明基板１０側からこの順」に有する「矩形状」の「グリッド先端部３０７」とを、有するものということができる。 してみると、引用発明の「反射層１３」及び「グリッド脚部１６」は、それぞれ本件補正後発明の「反射層」及び「グリッド脚部」に相当し、引用発明の「グリッド脚部１６」は、本件補正後発明の「グリッド脚部」の「反射層から構成される矩形状の」との要件を具備する。 また、引用発明の「誘電体層３０４」、「吸収層３０５」及び「グリッド先端部３０７」は、それぞれ本件補正後発明の「第１誘電体層」、「吸収層」及び「グリッド先端部」に相当し、引用発明の「グリッド先端部３０７」と、本件補正後発明の「グリッド先端部」とは、「第１誘電体層と、吸収層と」、「を前記透明基板側からこの順に有する矩形状の」との要件を具備する点で共通する。 ｆ　引用発明においては、「幅」は、「Ｘ軸方向の寸法」である。 また、引用発明においては、「格子状凸部のグリッド先端部３０７におけるＸ軸方向の最大幅であるグリッド幅ｂは３５～４５ｎｍであり」、「反射層１３の幅ｃは、グリッド幅ｂよりも小さい」。 上記ｅより、引用発明の「グリッド先端部３０７」は「矩形状」である。 そうすると、引用発明においては、「グリッド先端部３０７」が有する「誘電体層３０４」の「Ｘ軸方向」の最大「幅」と「吸収層３０５」の「Ｘ軸方向」の最大「幅」は略同一であるということができる。 してみると、引用発明と、本件補正後発明は、「前記第１誘電体層の最大幅と前記吸収層の最大幅略同一であ」る点で共通する。、 また、引用発明においては、「反射層１３の幅ｃは」、「格子状凸部のグリッド先端部３０７におけるＸ軸方向の最大幅であるグリッド幅ｂ」「よりも小さ」い。 上記ｅより、引用発明の「グリッド脚部１６」は、「反射層１３」から「構成され」、「矩形状を有」するものである。 また、引用発明においては、「グリッド先端部３０７におけるＸ軸方向の最大幅」は、「誘電体層３０４」の「Ｘ軸方向」の最大「幅」あるいは、「吸収層３０５」の「Ｘ軸方向」の最大「幅」である。 してみると、引用発明においては、「反射層１３」の最大「幅」が、「誘電体層３０４」の最大「幅」及び「吸収層３０５」の最大「幅」よりも小さいということができる。 また、引用発明と、本件補正後発明は、「前記反射層の最大幅は」、「前記第１誘電体層の最大幅及び前記吸収層の最大幅のいずれよりも小さい」点で共通する。 ｇ　上記ａ～ｆより、引用発明と、本件補正後発明とは、「前記格子状凸部が、前記透明基板側から順に」、「反射層から構成される矩形状のグリッド脚部と」、「第１誘電体層と、吸収層と、を前記透明基板側からこの順に有する矩形状のグリッド先端部と、を有し」ている点で共通する。 （ウ）　「ワイヤグリッド構造」及び「偏光板」 上記（ア）と（イ）より、引用発明の「ワイヤグリッド構造」は、本件補正後発明の「ワイヤグリッド構造」に対応する。 そうすると、引用発明の「無機偏光板３００」は、本件補正後発明の「偏光板」に相当し、引用発明の「無機偏光板３００」は、本件補正後発明の「偏光板」の「ワイヤグリッド構造を有する」との要件を具備する。 （エ）　以上の対比結果を踏まえると、本件補正後発明と引用発明は、 「ワイヤグリッド構造を有する偏光板であって、 透明基板と、 使用帯域の光の波長よりも短いピッチで前記透明基板上に配列され、所定方向に延在する格子状凸部と、を備え、 前記格子状凸部が、前記透明基板側から順に、 反射層から構成される矩形状のグリッド脚部と、 第１誘電体層と、吸収層と、を前記透明基板側からこの順に有する矩形状のグリッド先端部と、を有し、 前記第１誘電体層の最大幅と前記吸収層の最大幅は略同一であり、 前記反射層の最大幅は、前記第１誘電体層の最大幅及び前記吸収層の最大幅のいずれよりも小さい、 偏光板。」である点において一致し、以下の点で相違、あるいは一応相違する。 （相違点１） 本件補正後発明は、「グリッド先端部」が、「第１誘電体層と、吸収層と、第２誘電体層と、を前記透明基板側からこの順に有」し、「２つの前記誘電体層の最大幅と前記吸収層の最大幅は略同一であ」るのに対して、 引用発明は、「グリッド先端部３０７」が「第２誘電体層」を有しておらず、また、「２つの前記誘電体層の最大幅と前記吸収層の最大幅は略同一であ」るとはいえない点。 （相違点２） 本件補正後発明は、「前記第１誘電体層および前記吸収層の膜厚は、吸収軸反射率が極小となる波長域が所望の波長域より短波長側となるように形成され」ているのに対して、 引用発明は、そのように形成されているか一応不明である点。 （相違点３） 本件補正後発明は、「前記反射層の最大幅は、２つの前記誘電体層の最大幅及び前記吸収層の最大幅のいずれよりも小さ」いのに対して、 引用発明は、「グリッド先端部」が「第２誘電体層」を有しておらず、「２つの前記誘電体層の最大幅及び前記吸収層の最大幅のいずれよりも小さ」いとはいえない点。 （相違点４） 本件補正後発明は、「前記反射層の最大幅は」、「前記吸収軸反射率が極小となる波長域を前記所望の波長域内とするように形成される」ているのに対して、 引用発明は、そのように形成されているか一応不明である点。 エ　判断 （ア）　相違点１について ａ　ワイヤグリッド構造を有する偏光板において、反射防止特性の向上のために、反射層上に、誘電体層、吸収層、誘電体層とをこの順で積層することは、本件出願の出願前に周知の技術である（例えば、特開２００５－３７９００号公報（原査定の拒絶の理由において引用文献３として引用されたもの。以下、同じく「引用文献３」という。）の【００６５】、【００６６】や、特表２０１０－５３０９９４号公報（原査定の拒絶の理由において引用文献４として引用されたもの。以下、同じく「引用文献４」という。）の【００１４】、【００３７】、【００３８】等を参照。）。 ｂ　引用文献１の【０００２】、【００６４】には、ワイヤグリッド型偏光板が液晶プロジェクタに使用されることが記載されているところ、液晶プロジェクタ用途のワイヤグリッド型偏光板には、低い吸収軸反射率が求められることは技術常識である（例えば、特開２０１６－２１２１５６号公報の【００３７】には、「多くの液晶プロジェクタ用途では、吸収軸反射率は１０％未満であることが要求される。」との記載がある。）。 そうすると、引用発明において、反射防止特性の向上のための上記の本件出願の出願前に周知の技術に基づいて、格子状凸部が、台座１２、反射層１３、「第１誘電体層」、吸収層３０５及び「第２誘電体層」が透明基板１０側からこの順に積層されて形成された構成とするとともに、グリッド先端部３０７が、矩形状の「第１誘電体層」、吸収層３０５及び「第２誘電体層」からなる構成とすることは、引用発明の液晶プロジェクタへの適用を検討する当業者が容易になし得たことである。 そして、引用発明において上記のグリッド先端部３０７が、矩形状の「第１誘電体層」、吸収層３０５及び「第２誘電体層」からなる構成としたものにおいては、第１誘電体層、第２誘電体層及び吸収層の最大幅は略同一となる。あるいは、矩形状の「第１誘電体層」、吸収層３０５及び「第２誘電体層」からなる構成において、第１誘電体層、第２誘電体層及び吸収層の最大幅を略同一とすることは、当業者の設計上のことである。 してみると、引用発明において、上記相違点１に係る本件補正後発明の構成とすることは、当業者が容易になし得たことである。 （イ）　相違点２について 上記（１）イで述べたとおり、「偏光板」という物に係る発明として、「第１誘電体層」及び「吸収層」の「膜厚」が、「吸収軸反射率が極小となる波長域が所望の波長域より短波長側となるように形成され」たものであるのか、あるいは、そうではないのかを判断、区別することはできない。 してみると、上記相違点２は実質的な相違点を構成しない。 （ウ）　相違点３について ａ　上記（ア）において述べた理由と同様な理由により、上記の本件出願の出願前に周知の技術に基づいて、引用発明において、グリッド先端部３０７が、矩形状の「第１誘電体層」、吸収層及び「第２誘電体層」で構成されたものとして、矩形状の反射層１３の最大幅を、第１誘電体層の最大幅、第２誘電体層の最大幅及び吸収層３０５の最大幅のいずれよりも小さいものとすることは、引用発明の液晶プロジェクタへの適用を考慮する当業者が容易になし得たことである。 してみると、引用発明において、上記相違点３に係る本件補正後発明の構成とすることは、当業者が容易になし得たことである。 （エ）　相違点４について ａ　上記（１）イで述べたとおり、「偏光板」という物に係る発明として、「前記反射層の最大幅」が、「前記吸収軸反射率が極小となる波長域を前記所望の波長域内とするように形成される」たものであるのか、あるいは、そうではないのかを判断、区別することはできない。 してみると、上記相違点４は実質的な相違点を構成しない。 ｂ　相違点２及び相違点４に係る本件補正後発明の構成は、物として見たときに、「反射層の幅（ｂ）」＜「グリッド幅（ａ）」であること、あるいは、「反射層の幅（ｂ）」＝「グリッド幅（ａ）」である場合に比して吸収軸反射率が極小となる波長域が長波長側にシフトすることを意味するとも解される（本件出願明細書の【００５３】、【００６８】、【００７１】、【００７７】及び図１等より）ところ、仮に、そのように解釈したとしても、「反射層１３の幅」が「グリッド幅」「よりも小さい」引用発明も具備する構成である。 してみると、上記相違点２及び相違点４は実質的な相違点を構成しない。 （オ）　相違点１乃至相違点４を併せて検討したとしても同様である。 オ　本件補正後発明の効果及び請求人の主張について （ア）　本件補正後発明の効果について検討すると、本件出願の出願当初の明細書には、【発明が解決しようとする課題】として、【０００７】には、「無機偏光板を構成する各無機層は、一般的に幅方向の寸法が均一な断面矩形状に設計され、上述の物理エッチング技術により形成される。ところが、その際に偏光子の先端となる吸収層は物理エッチングによって常にエッチングされており、エッチング装置の真空度やガス圧コントロールのバラツキによってその厚み及び体積が変動する。その結果、吸収軸反射率特性が最も低くなる波長域も変動し、各メーカのチャンネル波長域に対して最適な吸収軸反射率特性を得るのが困難であった。」、【０００８】には、「本発明は上記に鑑みてなされたものであり、その目的は、吸収軸反射率の波長分散をより正確に制御できる偏光板を提供することにある。」との記載があり、【発明の効果】として、【００２２】に「本発明によれば、吸収軸反射率の波長分散をより正確に制御できる偏光板を提供できる。」との記載がある。 また、本件出願の出願当初の明細書には、本件出願における「本発明」の実施形態について、【００７７】には、「本実施形態では、・・・略・・・格子状凸部１１を備えるワイヤグリッド構造の偏光板１において、反射層１３の幅ｂを、グリッド幅ａ（誘電体層１４の幅、吸収層１５の幅）よりも小さくする。」、「これにより、吸収軸反射率Ｒｓの波長分散をより正確に制御できる。より具体的には、吸収軸反射率Ｒｓの波長分散を長波長側にシフトさせることができ、吸収軸反射率Ｒｓが最も低くなる波長域を長波長側に波長シフトさせることができる。その結果、吸収軸反射率Ｒｓが最も低くなるよう制御できる偏光板１をより確実に得ることができる。」、 【００７８】には、「また、エッチングによって反射層１３の幅ｂをグリッド幅ａよりも細くすることにより吸収軸反射率Ｒｓの波長分散を正確に制御できるため、液晶プロジェクタの各メーカのチャンネル波長域よりも短波長側であれば、ある程度の自由度を持って誘電体層１４及び吸収層１５の各膜厚を設定できる。そのため、本実施形態によれば、液晶プロジェクタの各メーカの専用設計に囚われることなく、製造過程における誘電体層１４及び吸収層１５の各膜厚や形状等のバラツキに関係なく、最適な反射特性を得ることができる。ひいては、液晶プロジェクタの各メーカで異なる光源スペクトルに対して、最適な光学特性を有する偏光板を提供できる。また同時に、反射層の幅がグリッド幅と同一である基本設計構造に対して、透過軸透過率Ｔｐが高められ、液晶プロジェクタの投影明るさが向上した偏光板を提供できる。」との記載がある。 （イ）　また、請求人は、平成３０年１２月１１日付けの審判請求書の「（３－２）拒絶理由の解消」において、 「本審判請求書と同時に提出の手続補正書による補正によれば、いずれの文献にも記載されていない、『第１誘電体層および吸収層の膜厚は、吸収軸反射率が極小となる波長域が所望の波長域より短波長側となるように形成され、前記反射層の最大幅は、前記吸収軸反射率が極小となる波長域を前記所望の波長域内とするように形成される』構成を請求項１に組み入れる補正を行いました。」、 「補正後の本願請求項１（以下、本願発明）を引用文献１に記載の発明と比較すると、本願発明は、上記補正にて組み入れた構成を有する点について、引用文献１と相違しています。」、 「かかる相違点によれば本願発明は、第１誘電体層および吸収層の膜厚の調整によって吸収軸反射率が極小となる波長域が所望の波長域より短波長側となるように設定され、次にエッチングで反射層の幅を調整することによって、吸収軸反射率が極小となる波長域を前記所望の波長域へと正確に制御することができます。」、 「これにより、吸収軸反射率の波長分散をより正確に制御できる（本願明細書中段落［００７７］を参照。）とともに、液晶プロジェクタの各メーカのチャンネル波長域よりも短波長側であればある程度の自由度をもって誘電体層および吸収層の膜厚を設定することができます。即ち、液晶プロジェクタの各メーカの専用設計にとらわれることなく誘電体層および吸収層の膜厚や形状等を設定できるため、製造過程における膜厚や形状等のバラツキや、各メーカで異なる光源スペクトルに対しても関係なく、最適な光学特性を有する偏光板が得られます（段落［００７８］を参照。）。さらに、誘電体層および吸収層の製造過程における膜厚や形状等のバラツキをある程度許容できるため、ひいては偏光板の生産効率が向上します。」旨主張している。 （ウ）　しかしながら、請求人が主張する「いずれの文献にも記載されていない、『第１誘電体層および吸収層の膜厚は、吸収軸反射率が極小となる波長域が所望の波長域より短波長側となるように形成され、前記反射層の最大幅は、前記吸収軸反射率が極小となる波長域を前記所望の波長域内とするように形成される』構成」は、物に係る偏光板の発明において、実質的な相違点とはならないことは、上記エ（イ）及び（エ）において既に述べたとおりである。 また、請求人が審判請求書において主張する「かかる相違点によれば本願発明は、第１誘電体層および吸収層の膜厚の調整によって吸収軸反射率が極小となる波長域が所望の波長域より短波長側となるように設定され、次にエッチングで反射層の幅を調整することによって、吸収軸反射率が極小となる波長域を前記所望の波長域へと正確に制御することができ」ることは、偏光板の製造方法に係る発明について述べたものである。 そして、引用発明の無機偏光板３００は、矩形状の誘電体層３０４及び吸収層３０５からなるグリッド先端部３０７を有し、かつ、矩形状の反射層１３の（最大）幅が矩形状のグリッド先端部３０７の（最大）幅よりも小さいものとされている点において、本件補正後発明と同様の構成を有するものである。 そうしてみると、吸収軸反射率の波長分散をより正確に制御できる偏光板を提供する、透過軸透過率Ｔｐが高められ、液晶プロジェクタの投影明るさが向上した偏光板を提供するなど、本件出願の出願当初の明細書の【００２２】、【００７７】、【００７８】に記載された物に係る本件補正後発明の偏光板についての効果、あるいは請求人が主張する本件補正後発明の偏光板についての効果は、同様な構成の引用発明の無機偏光板３００も具備する効果である。 オ　小括り 本件補正後発明は、引用文献１に記載された発明及び引用文献３，４等に記載された本件出願の出願前に周知の技術に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。 ３　補正却下の決定のむすび 本件補正は、特許法第１７条の２第６項において準用する同法第１２６条第７項の規定に違反するので、同法第１５９条第１項の規定において読み替えて準用する同法第５３条第１項の規定により却下すべきものである。 よって、前記「第２　平成３０年１２月１１日付けの手続補正書による手続補正についての補正却下の決定」［結論］のとおり決定する。 第３　本願発明について １　本願発明 以上のとおり、本件補正は却下されたので、本件出願の請求項１に係る発明は、前記第２［理由］１（１）に記載のとおりのものである（以下、「本願発明」という。）。 ２　原査定の拒絶の理由 本願発明の原査定の拒絶の理由は、本願発明は、本件出願前に日本国内又は外国において、頒布された刊行物である下記の引用文献に記載された発明又は電気通信回線を通じて公衆に利用可能となった下記の引用文献に記載された発明に基づいて、本件出願前にその発明の属する技術の分野における通常の知識を有する者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない、というものである。 引用文献１：特許第６２３０６８９号公報 引用文献２：特開２０１２－１８１４２０号公報 引用文献３：特開２００５－３７９００号公報 引用文献４：特表２０１０－５３０９９４号公報 （当合議体注：引用文献１は、主引用例である。引用文献３，４は、ワイヤグリッド構造の偏光板において、反射防止特性の向上のために、反射層上に、誘電体層と、吸収層と、誘電体層とをこの順で積層することが、本件出願の出願前に周知の技術であることを示すための文献である。引用文献２は、本願発明の効果が予測可能であること、格別顕著なものでないことを示すための文献である。） ３　引用文献及び引用発明 引用文献１の記載及び引用発明は、前記「第２」［理由］２（２）イ（ア）及び（イ）に記載したとおりである。 ４　対比及び判断 本願発明は、前記第２［理由］２（２）で検討した本件補正後発明から、「格子状凸部」について、「前記透明基板側から順に、反射層と、誘電体層と、吸収層と、誘電体層と、を有し」とあるのを、「前記透明基板側から順に」、「反射層から構成される矩形状のグリッド脚部と」、「第１誘電体層と、吸収層と、第２誘電体層と、を前記透明基板側からこの順に有する矩形状のグリッド先端部と、を有し」との発明特定事項を削除し、「前記透明基板側から順に、反射層と、誘電体層と、吸収層と、誘電体層と、を有し」との発明特定事項を具備するものとするとともに、「反射層の最大幅」について、「前記吸収軸反射率が極小となる波長域を前記所望の波長域内とするように形成される」との発明特定事項を削除したものである。 そうすると、本願発明の発明特定事項を全て含み、さらに他の事項を限定した本件補正後発明が、前記「第２」［理由］２（２）に記載したとおり、引用文献１に記載された発明及び本件出願前に周知の技術に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、本願発明も、前記「第２」［理由］２（２）に記載した理由と同じ理由により、引用発明及び本件出願前に周知の技術に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものである。 第４　むすび 以上のとおり、本願発明は、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないから、他の請求項に係る発明について検討するまでもなく、本件出願は拒絶されるべきものである。 よって、結論のとおり審決する。