2026-700028

特許第７７０４３３５号発明「静電チャック、基板固定装置」の特許異議申立事件について、次のとおり決定する。

結 論 特許第７７０４３３５号の請求項１～６に係る特許を維持する。

理 由 第１ 手続の経緯 特許第７７０４３３５号に係る特許（以下「本件特許」という。）についての出願は、令和３年８月２日に出願され、令和７年６月３０日にその特許権の設定登録がされ、同年７月８日に特許掲載公報が発行された。その後、その特許に対し、令和８年１月７日に特許異議申立人 小澤 チガ子（以下、「申立人」という。）により特許異議の申立てがされた。（令和８年１月７日に申立人により提出された特許異議申立書を以下「申立書」という。） 第２ 本件発明 本件特許の請求項１～６に係る発明（以下、それぞれ「本件発明１」～「本件発明６」という。）は、その特許請求の範囲の請求項１～６に記載された事項により特定される次のとおりのものである。 「【請求項１】 一方の面が吸着対象物の載置面である基体と、 前記基体を貫通する貫通孔と、を備え、 前記貫通孔に、角状セラミック粒子と、２種以上の元素の酸化物と、を含む多孔質体が配置され、 前記角状セラミック粒子は、粒子サイズが１０μｍ以上１００μｍ以下である粗粒アルミナであり、 前記２種以上の元素の酸化物は、前記角状セラミック粒子の外面の一部に固着して前記角状セラミック粒子を支持し、前記角状セラミック粒子を結着して一体化する静電チャック。 【請求項２】 前記基体と前記角状セラミック粒子は、同一の酸化物セラミックスを含む請求項１に記載の静電チャック。 【請求項３】 前記酸化物セラミックスは、アルミナである請求項２に記載の静電チャック。 【請求項４】 前記基体は、前記多孔質体と同一の前記２種以上の元素の酸化物を含み、 前記基体内の前記酸化物の組成比は、前記多孔質体の内の前記酸化物の組成比と同じに設定されている請求項１乃至３の何れか一項に記載の静電チャック。 【請求項５】 前記２種以上の元素は、ケイ素、マグネシウム、カルシウム、及びイットリウムから選択される、請求項１乃至４の何れか一項に記載の静電チャック。 【請求項６】 内部にガス供給部を備えたベースプレートと、 前記ベースプレート上に設けられた請求項１乃至５の何れか一項に記載の静電チャックと、を有し、 前記貫通孔は、前記ガス供給部に連通し、 前記ガス供給部及び前記貫通孔を介して、前記載置面にガスが供給される、基板固定装置。」 第３ 申立理由の概要 申立人は、下記甲第１号証～甲第３号証（以下、それぞれ「甲１」～「甲３」という。）を証拠方法とし、以下の申立理由により、本件特許を取り消すべきものである旨申し立てた。 甲１： 特開２０２１－０９３４３６号公報（出願人：新光電気工業株式会社） 甲２： 国際公開第２０２０／２０３６８０号（出願人：京セラ株式会社 ） 甲３： 特開２０１７－２１８３５２号公報（出願人：新光電気工業株式会社） 本件発明１～６は、甲１の記載と、甲２、３の記載とに基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであり、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないものであるから、本件の請求項１～６に係る特許は、同法第１１３条第２号により取消されるべきものである。 第４ 申立理由の検討 １ 甲１～甲３に記載された発明 （１） 甲１発明 ア 甲１の記載 甲１には次の記載がある。（下線は、引用箇所を示すために、当審において付加した。） 「【００１１】 〈第１実施形態〉 図１は、第１実施形態に係る基板固定装置を簡略化して例示する断面図である。図１を参照すると、基板固定装置１は、主要な構成要素として、ベースプレート１０と、接着層２０と、静電チャック３０とを有している。基板固定装置１は、ベースプレート１０の一方の面に搭載された静電チャック３０により吸着対象物である基板（ウェハ等）を吸着保持する装置である。 ・・・（中略）・・・ 【００２０】 静電チャック３０は、基体３１と、正極３２Ｐ及び負極３２Ｎとを有している。基体３１の上面は、吸着対象物の載置面３１ａである。静電チャック３０は、例えば、ジョンセン・ラーベック型静電チャックである。但し、静電チャック３０は、クーロン力型静電チャックであってもよい。 ・・・（中略）・・・ 【００２４】 基体３１の各ガス排出部１１３に対応する位置には、基体３１を貫通してガス排出部１１３の他端を露出するガス孔３１１が設けられている。ガス孔３１１の平面形状は、例えば、内径が０．１ｍｍ～１ｍｍ程度の円形である。ガス孔３１１は、例えば、ドリル加工やレーザ加工により形成できる。ガス孔３１１を通って静電チャック３０上に吸着された吸着対象物の裏面に不活性ガスが供給され、吸着対象物が冷却される。 ・・・（中略）・・・ 【００４３】 〈第２実施形態〉 第２実施形態では、ガス孔に多孔質体を配置する例を示す。なお、第２実施形態において、既に説明した実施形態と同一構成部についての説明は省略する場合がある。 【００４４】 図５は、第２実施形態に係る基板固定装置を簡略化して例示する断面図である。図６は、図５のＢ部の部分拡大断面図である。図５及び図６を参照すると、基板固定装置２は、ガス孔３１１に多孔質体６０が配置された点が、静電チャック３０（図１等参照）と相違する。 【００４５】 多孔質体６０は、複数の球状酸化物セラミックス粒子６０１と、複数の球状酸化物セラミックス粒子６０１を結着して一体化する混合酸化物６０２を含んでいる。 【００４６】 球状酸化物セラミックス粒子６０１の直径は、例えば、３０μｍ～１０００μｍの範囲である。球状酸化物セラミックス粒子６０１の好適な一例としては、球状酸化アルミニウム粒子が挙げられる。又、球状酸化物セラミックス粒子６０１は、８０重量％以上（９７重量％以下）の重量比で多孔質体６０内に含有されていることが好ましい。 【００４７】 混合酸化物６０２は、複数の球状酸化物セラミックス粒子６０１の外面（球面）の一部に固着してそれらを支持している。混合酸化物６０２は、例えば、ケイ素（Ｓｉ）、マグネシウム（Ｍｇ）、カルシウム（Ｃａ）、アルミニウム（Ａｌ）、及びイットリウム（Ｙ）から選択される２種以上の元素の酸化物から形成される。」 「【図１】 ［図：0001434208000001.jpg］ 」 「【図６】 ［図：0001434208000002.jpg］ 」 イ 甲１発明 上記アの段落００４３の「第２実施形態において、既に説明した実施形態と同一構成部についての説明は省略する場合がある。」との記載、及び、第１実施形態についての段落００２０、００２４の記載を踏まえると、甲１には、第２実施形態として、次の発明（以下「甲１発明」という。）が記載されているといえる。（括弧内は引用元の段落番号等を示す。） 「基体３１を有している静電チャック３０（段落００２０）であって、 基体３１の上面は、吸着対象物の載置面３１ａであり（段落００２０）、 基体３１の各ガス排出部１１３に対応する位置に、基体３１を貫通してガス排出部１１３の他端を露出するガス孔３１１が設けられ（段落００２４）、 ガス孔３１１に多孔質体６０が配置され（段落００４４）、 多孔質体６０は、複数の球状酸化物セラミックス粒子６０１と、複数の球状酸化物セラミックス粒子６０１を結着して一体化する混合酸化物６０２を含み（段落００４５）、 球状酸化物セラミックス粒子６０１の直径は、例えば、３０μｍ～１０００μｍの範囲であり、球状酸化物セラミックス粒子６０１の好適な一例としては、球状酸化アルミニウム粒子が挙げられ（段落００４６）、 混合酸化物６０２は、複数の球状酸化物セラミックス粒子６０１の外面（球面）の一部に固着してそれらを支持し、例えば、ケイ素（Ｓｉ）、マグネシウム（Ｍｇ）、カルシウム（Ｃａ）、アルミニウム（Ａｌ）、及びイットリウム（Ｙ）から選択される２種以上の元素の酸化物から形成されている（段落００４７）、 静電チャック３０。」 （２） 甲２発明 ア 甲２の記載 甲２には次の記載がある。 「［００１５］ 静電チャック５は、絶縁基体１５、接合層１６、伝熱部材１４、設備プレート１３、絶縁プレート１２および取付プレート１１を厚み方向に貫通する通気孔２０を有し、取付プレート１１の裏面側からヘリウムガスを通気孔２０の内部に流すことによって、半導体基板６を冷却するようにされている。 ・・・（中略）・・・ ［００１９］ 本開示のガスプラグ２１、２２は、通気孔２０の内部（図１，２に示す例では、両端部）に装着され、エッチングガスの供給によって生じるパーティクルを捉えることができる。 ・・・（中略）・・・ ［００２３］ 図３（ａ）に示すガスプラグ２１は、直胴状の円柱体である。図４（ａ）に示すガスプラグ２２は、円柱状の軸部２２ａと、軸部２２ａの先端側に軸部の径よりも大きい径を有する先端部２２ｂと、からなる。ガスプラグ２１、２２は、図３（ｂ）、図４（ｂ）に示すように複数の珪素化合物相２４どうしが珪素を主成分とする珪素相２５を介して接続されてなる多孔質複合体からなる。機械的強度の高い珪素化合物相２４どうしを熱伝導率および電気伝導度がいずれも高い珪素相２５を介して接続することによって、熱伝導率および機械的強度が高く、しかも、流れたプラズマのアーク放電を抑制することができる。 ［００２４］ なお、珪素化合物相２４の主成分は、例えば、窒化珪素（Ｓｉ３Ｎ４）、炭化珪素（ＳｉＣ）、炭窒化珪素（ＳｉＣｘＮｙ（ｘおよびｙは、それぞれ０＜ｘ＜１、０＜ｙ＜４／３の範囲で、４ｘ＋３ｙ＝４を満たす数値である。））、酸化珪素（ＳｉＯ２）、サイアロン（Ｓｉ６－ＺＡｌＺＯＺＮ８－Ｚ（ｚは０．１≦ｚ≦１を満たす数値である。））等が挙げられ、これら組成は、定比であっても不定比であってもよい。 ・・・（中略）・・・ ［００２９］ また、珪素化合物相２４の断面形状は、多角形状であってもよい。このような構成であると、断面形状が球状である場合よりもエッチングガスの供給によって生じるパーティクルを珪素化合物相２４によって容易に捉えることができる。」 「［図２］ ［図：0001434208000003.jpg］ ［図３］ ［図：0001434208000004.jpg］ 」 イ 甲２発明 上記アによると、甲２には、次の発明（以下「甲２発明」という。）が記載されているといえる。（括弧内は引用元の段落番号等を示す。） 「静電チャック５の絶縁基体１５を厚み方向に貫通する通気孔２０に装着されるガスプラグ２１、２２（段落００１５、００１９）であって、 複数の珪素化合物相２４どうしが珪素を主成分とする珪素相２５を介して接続されてなる多孔質複合体からなり（段落００２３）、 珪素化合物相２４の主成分は、例えば、窒化珪素（Ｓｉ３Ｎ４）、炭化珪素（ＳｉＣ）、炭窒化珪素（ＳｉＣｘＮｙ（ｘおよびｙは、それぞれ０＜ｘ＜１、０＜ｙ＜４／３の範囲で、４ｘ＋３ｙ＝４を満たす数値である。））、酸化珪素（ＳｉＯ２）、サイアロン（Ｓｉ６－ＺＡｌＺＯＺＮ８－Ｚ（ｚは０．１≦ｚ≦１を満たす数値である。））等が挙げられ（段落００２４）、 珪素化合物相２４の断面形状は、多角形状であってもよい（段落００２９）、 ガスプラグ２１、２２。」 （３） 甲３発明 ア 甲３の記載 甲３には次の記載がある。（下線は、引用箇所を示すために、当審において付加した。） 「【００２２】 多孔質焼結体の作成方法としては、焼成前の通常のセラミック組成体に所定割合の体積を占めるように造孔剤を添加し、焼成することにより、造孔剤が除去されて多孔質焼結体が得られる。造孔剤としては、ポリメタクリ酸メチル（ＰＭＭＡ）などが使用される。 【００２３】 これにより、図１に示すように、多数のセラミック粒子１００ａが焼結され、造孔剤の作用によって内部に気孔Ｐが連通して形成された多孔質体１００が得られる。」 「【図１】 ［図：0001434208000005.jpg］ 」 イ 甲３発明 上記アの段落００２３、図１によると、甲３には次の発明（以下「甲３発明」という。）が記載されているといえる。 「多数のセラミック粒子１００ａが焼結され、造孔剤の作用によって内部に気孔Ｐが連通して形成された多孔質体１００。」 ２ 申立理由（進歩性欠如）について （１） 対比 本件発明１と甲１発明を対比する。 ア 本件発明１と甲１発明とはいずれも「静電チャック」に係る発明である点で共通する。 イ 甲１発明の「上面」が「吸着対象物の載置面３１ａ」である「基体３１」は、本件発明１の「一方の面が吸着対象物の載置面である基体」に相当する。 ウ 甲１発明の「基体３１を貫通してガス排出部１１３の他端を露出するガス孔３１１」は、本件発明１の「前記基体を貫通する貫通孔」に相当する。 エ 甲１発明のガス孔３１１に配置される「多孔質体６０」は、「複数の球状酸化物セラミックス粒子６０１と、複数の球状酸化物セラミックス粒子６０１を結着して一体化する混合酸化物６０２」を含み、「混合酸化物６０２」は、「例えば、ケイ素（Ｓｉ）、マグネシウム（Ｍｇ）、カルシウム（Ｃａ）、アルミニウム（Ａｌ）、及びイットリウム（Ｙ）から選択される２種以上の元素の酸化物から形成されている」から、貫通孔に配置される「セラミック粒子と、２種以上の元素の酸化物と、を含む多孔質体」といえる点で、本件発明１の多孔質体と共通する。 オ 甲１発明の「球状酸化物セラミックス粒子６０１の直径は、例えば、３０μｍ～１０００μｍの範囲であり、球状酸化物セラミックス粒子６０１の好適な一例としては、球状酸化アルミニウム粒子が挙げられ」るから、「セラミック粒子は、アルミナである」といえる点で、本件発明１の粒子サイズが１０μｍ以上１００μｍ以下で、粗粒アルミナである角状セラミック粒子と共通する。 カ 甲１発明の混合酸化物６０２は、「複数の球状酸化物セラミックス粒子６０１を結着して一体化」したものであり、「複数の球状酸化物セラミックス粒子６０１の外面（球面）の一部に固着してそれらを支持」するから、「前記セラミック粒子の外面の一部に固着して前記セラミック粒子を支持し、前記セラミック粒子を結着して一体化する」といえる点で、本件発明１の「２種以上の元素の酸化物」と共通する。 キ 一致点・相違点 以上を踏まえると、本件発明１と甲１発明とは次の点で一致し、相違する。 （ア） 一致点 一方の面が吸着対象物の載置面である基体と、 前記基体を貫通する貫通孔と、を備え、 前記貫通孔に、セラミック粒子と、２種以上の元素の酸化物と、を含む多孔質体が配置され、 前記セラミック粒子は、アルミナであり、 前記２種以上の元素の酸化物は、前記セラミック粒子の外面の一部に固着して前記セラミック粒子を支持し、前記セラミック粒子を結着して一体化する静電チャック。 （イ） 相違点 多孔質体が含むセラミック粒子について、本件発明１が「角状」セラミック粒子であって、「粒子サイズが１０μｍ以上１００μｍ以下である粗粒アルミナ」であることを特定しているのに対し、甲１発明が球状酸化アルミニウム粒子であって、その直径が、例えば、３０μｍ～１０００μｍの範囲である点。（以下「相違点」という。） （２） 相違点の判断 相違点に係る本件発明１の構成は、甲２及び甲３のいずれの証拠にも、記載も示唆もされていないから、本件発明１は、甲１発明と、甲２、３発明とに基づいて当業者が容易に発明をすることができたものではない。 また、本件発明１の構成をすべて含む本件発明２～６についても同様である。 したがって、本件発明１～６は、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないものではないから、申立人の主張する申立理由及び証拠によって取り消すことはできない。 （３） 申立人の主張について ア 甲２について （ア） 申立人は、申立書２３ページ「（イ－１－３） 検討」において、甲１発明の多孔質体に含まれる酸化物セラミックス粒子の形状を、同じ技術分野に属する甲２発明が備えるガスプラグ２１，２２を形成する珪素粉末の形状である「不規則形状」とすることは、当業者の通常の創作能力の発揮に過ぎず、また、甲１発明も、甲２発明の、発生するパーティクルの放散を抑制するとの技術課題があるから、甲１発明である静電チャックが備える多孔質体を形成する酸化物セラミックス粒子の形状を、パーティクルの捕捉性能がより大きい甲２発明のプラズマ処理装置が備えるガスプラグを形成する珪素粉末の形状とすることに、動機付けがある旨主張する。 （イ） しかしながら、甲１発明の多孔質体６０が、複数の球状酸化物セラミックス粒子６０１と、複数の球状酸化物セラミックス粒子６０１を結着して一体化する混合酸化物６０２で構成されるものであるのに対し、甲２発明の多孔質複合体は、複数の珪素化合物相２４どうしが珪素を主成分とする珪素相２５を介して接続されてなるものであるところ、甲１発明の酸化アルミニウムである球状酸化物セラミックス粒子６０１と、甲２発明の窒化珪素、炭化珪素、炭窒化珪素、酸化珪素、サイアロン等である珪素化合物相２４とは、その材料自体が異なり、かつ、甲１発明の球状酸化物セラミックス粒子６０１は、混合酸化物６０２によって結着して一体化されるものであるから、珪素を主成分とする珪素相２５を介して接続される甲２発明の珪素化合物相２４とは、その結着、一体化される態様が異なる。 そして、甲１発明と甲２発明とが、同じ技術分野に属することによって、例えば、甲１発明の多孔質体６０を甲２発明の多孔質複合体と置換することが容易想到といえたとしても、その材料、及び、結着、一体化する態様が異なることを踏まえれば、甲１発明の球状酸化物セラミックス粒子６０１の形状について、甲２発明の珪素化合物相２４の形状のみを取り出して採用することまで、当業者の通常の創作能力の発揮とはいえない。 また、甲１には、エッチングガスの供給によって生じるパーティクルについての記載はなく、甲１発明に、発生するパーティクルの放散を抑制するとの技術課題があるともいえないから、甲１発明の球状酸化物セラミックス粒子６０１の形状について、甲２発明の珪素化合物相２４の形状のみを取り出して採用する動機付けがあるともいえない。 そうすると、甲１発明の球状酸化物セラミックス粒子６０１の形状について、甲２発明の珪素化合物相２４の形状のみを取り出して採用することは容易想到でないから、申立人の上記主張は採用できない。 イ 甲３について （ア） 申立人は、申立書２３ページ「（イ－１－３） 検討」において、甲１発明の多孔質体が含む球状酸化物セラミックス粒子の形状を、「球状」から、甲３発明である焼結体が備える多孔質体においてすでに採用実績があり、かつ、馴染みのある「角状」に変更することは、一定の課題を解決するための技術の具体的適用に伴う設計変更や設計的事項に採用に過ぎない旨主張する。 （イ） しかしながら、甲１発明の多孔質体６０が、複数の球状酸化物セラミックス粒子６０１と、複数の球状酸化物セラミックス粒子６０１を結着して一体化する混合酸化物６０２で構成されるものであるのに対し、甲３発明は、「多数のセラミック粒子１００ａが焼結され、造孔剤の作用によって内部に気孔Ｐが連通して形成された多孔質体１００。」であって、甲１発明の球状酸化物セラミックス粒子６０１と甲３のセラミック粒子１００ａとは、その結着、一体化される態様が異なる。 そうすると、仮に、甲３の図１から、甲３のセラミック粒子１００ａの形状が「角状」であることが見て取れるとしても、その結着、一体化する態様が異なることを踏まえれば、甲１発明の球状酸化物セラミックス粒子６０１の形状について、甲３のセラミック粒子１００ａの形状のみを取り出して採用することが、単なる設計変更や設計的事項とはいえない。 したがって、甲１発明の球状酸化物セラミックス粒子６０１の形状について、甲３の図１に示されるセラミック粒子１００ａの形状のみを取り出して採用することは容易想到ではないから、申立人の上記主張は採用できない。 第５ むすび 以上のとおりであるから、特許異議の申立ての理由及び証拠によっては、本件特許を取り消すことはできない。 また、他に本件特許を取り消すべき理由を発見しない。 よって、結論のとおり決定する。