2024-700768

特許第７４３５８９２号発明「窒化珪素基板」の特許異議申立事件について、次のとおり決定する。

結 論 特許第７４３５８９２号の請求項１～４に係る特許を維持する。

理 由 第１ 手続の経緯 特許第７４３５８９２号（以下、「本件特許」という。）の請求項１～４に係る特許についての出願は、令和４年２月２５日を出願日とする特願２０２２－２７４３６号の一部を特許法第４４条第１項の規定により、令和５年３月１０日に新たな特許出願（特願２０２３－３７６２６号）として分割し、さらにその一部を、同年７月６日に新たな特許出願（特願２０２３－１１１２５０号）として分割し、さらにその一部を、同年９月２７日に新たな特許出願（特願２０２３－１６５９１４号）としたものであって、令和６年２月１３日に特許権の設定登録がされ、同年同月２１日に特許掲載公報が発行され、その後、同年８月１４日に、請求項１～４に係る特許について、特許異議申立人 小松茂夫（以下、「申立人」という。）により、特許異議の申立てがなされたものである。 第２ 本件特許請求の範囲の記載（本件発明） 本件特許請求の範囲の記載は、次のとおりである（以下、各請求項に係る発明を、項番号に合わせて「本件発明１」などといい、まとめて「本件発明」という。）。 「【請求項１】 第１面と、前記第１面とは反対側の第２面とを有し、 平面形状は、それぞれの辺が１００ｍｍ以上の矩形形状であり、 熱伝導率は、１１０Ｗ／（ｍ・Ｋ）以上であり、 前記第１面と前記第２面のうちの少なくとも一方の面において、中央部と、各角部から中央部の方向に１５ｍｍ内側の位置である縁部のすべてで、明度が７０以上であり、彩度が１０以上である、 窒化珪素基板。 【請求項２】 請求項１に記載の窒化珪素基板において、 前記中央部と前記縁部のすべてで、クロマティクネス指数ｂ＊が１０以上である、窒化ケイ素基板。 【請求項３】 請求項２に記載の窒化珪素基板において、 前記中央部と前記縁部のすべてで、クロマティクネス指数ａ＊が―２以上０以下である、窒化ケイ素基板。 【請求項４】 請求項１～３のいずれか１項に記載の窒化珪素基板において、 厚さが０．１５ｍｍ以上０．８ｍｍ以下である、窒化珪素基板。」 第３ 特許異議の申立てについて １ 特許異議申立理由 申立人が主張する特許異議申立理由は、概略、以下のとおりである。 ここで、申立人が提出した証拠方法は、次のものである。 甲第１号証 特開２００２－２９８５１号公報 甲第２号証 特開２０１４－５８４４５号公報 甲第３号証 特開２０００－２７２９６８号公報 （以下、「甲第１号証」などを「甲１」などという。） （１）申立理由１（サポート要件違反） 本件特許は、特許請求の範囲の記載が下記の点で不備のため、特許法第３６条第６項第１号に規定する要件を満たしていない特許出願に対してされたものである。 記 本件発明１の「窒化珪素基板」は、「珪素粉末を使用したシート状の成形体を窒化処理した後で緻密化焼結して生成される窒化珪素基板」及び「窒化珪素粉末を使用したシート状の成形体を窒化処理することなく緻密化焼結して生成される窒化珪素基板」の両方を含むが、本件特許の願書に添付された明細書（以下、「本件明細書」という。）の発明の詳細な説明には、「珪素粉末を使用したシート状の成形体を窒化処理した後で緻密化焼結して生成される窒化珪素基板」しか記載されていない。 そうすると、発明の詳細な説明に記載されていない「窒化珪素粉末を使用したシート状の成形体を窒化処理することなく緻密化焼結して生成される窒化珪素基板」をも含む本件発明１は、発明の詳細な説明に記載されたものではないし、本件発明２～４についても同様である。 （２）申立理由２（甲１を主たる証拠とした進歩性欠如） 本件発明１～４は、本件特許の出願前に日本国内又は外国において、頒布された刊行物に記載された発明又は電気通信回線を通じて公衆に利用可能となった発明である甲１に記載された発明、及び、甲２、３に記載された事項に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、本件発明１～４に係る特許は、特許法第２９条第２項の規定に違反してされたものである。 第４ 当審の判断 １ 申立理由１（サポート要件違反）について （１）サポート要件判断の規範 特許請求の範囲の記載が明細書のサポート要件に適合するか否かは、特許請求の範囲の記載と発明の詳細な説明の記載とを対比し、特許請求の範囲に記載された発明が、発明の詳細な説明に記載された発明で、発明の詳細な説明の記載又はその示唆により当業者が当該発明の課題を解決できると認識できる範囲のものであるか否か、また、その記載や示唆がなくとも当業者が出願時の技術常識に照らし当該発明の課題を解決できると認識できる範囲のものであるか否かを検討して判断すべきである。 （２）本件発明の課題 本件明細書の発明の詳細な説明の記載によれば、本件発明の課題は、「窒化珪素基板の外観検査の異物あるいは汚れの検出精度を向上できるようにすること」（【０００８】）であるといえる。 （３）本件発明の課題に対応する本件明細書の発明の詳細な説明の記載 ア 上記（２）の発明の課題に対応して、【００６５】には、「異物や汚れの窒化珪素基板への付着を検出するために、外観検査が行われている。ところが、図６に示すような色むらが発生すると、色むらを異物や汚れの付着として誤検出するおそれがある。具体的に、異物や汚れは黒色領域（黒色点）として認識されることが多いことを考慮すると、例えば、図６に示す窒化珪素基板の縁部は黒味を帯びていることから、この縁部の領域が異物や汚れが付着した領域と誤検出されるおそれがある。」と記載されており、窒化珪素基板の外観検査において、異物や汚れは黒色領域として認識されることが多いため、色むらが発生し黒味を帯びた領域は、異物や汚れが付着した領域として誤検出されるおそれがあることが記載されているといえる（下線は、当審で付した。以下、同様。）。 イ また、【００８１】には、色むらを評価するに当たり、「色空間」を使用することが記載され、【００８３】には、色空間の構成パラメータとして以下に示すパラメータがあることが記載され、【００８４】～【００８８】には、パラメータとして、明度Ｌ＊、彩度Ｃ＊が記載され、明度Ｌ＊については、【００８４】に、「「明度Ｌ＊」の値が小さくなると、色調は暗くなり、黒味を帯びる」ことが記載されている。また、【００８８】には、彩度Ｃ＊はクロマティクネス指数ａ＊とクロマティクネス指数ｂ＊から「Ｃ＊＝√｛（ａ＊）２＋（ｂ＊）２｝」で算出されること、【００８５】には、「「クロマティクネス指数ａ＊」の絶対値が小さくなる程、くすんだ色調となる」こと、【００８６】には、「「クロマティクネス指数ｂ＊」の絶対値が小さくなる程、くすんだ色調となる」ことが記載されている。そうすると、√｛（ａ＊）２＋（ｂ＊）２｝で表される彩度Ｃ＊は、値が小さくなる程、くすんだ色調となるといえる。 ウ さらに、【０１０２】には、「実施例１および実施例２において、中央部（位置１）と縁部（位置２～位置５）のそれぞれの「明度Ｌ＊」は７０以上であるともに、「彩度Ｃ＊」は１０以上である。これにより、異物や汚れとのコントラストが明瞭となる結果、外観検査の異物あるいは汚れの検出精度を向上できるという顕著な効果を得ることができる。」と記載されている。 エ 上記アによれば、窒化珪素基板の外観検査において、窒化珪素基板の、色むらが発生し黒味を帯びた領域は、異物や汚れが付着した領域として誤検出されるおそれがあることが記載されている。 そして、上記イによれば、明度Ｌ＊の値が小さくなると、色調は暗くなり、黒味を帯びること、彩度Ｃ＊は、値が小さいほどくすんだ色調となることが記載されているといえる。つまり、明度Ｌ＊、彩度Ｃ＊の値が大きければ色調は明るく、黒味や、くすみがなくなることが記載されているといえる。この点を、上記アの記載事項と合わせて考えれば、明度Ｌ＊、彩度Ｃ＊の値が大きければ色調は明るく、黒味や、くすみがなくなり、異物や汚れが付着した領域として誤検出されるおそれがなくなるといえる。 そして、上記ウによれば、中央部（位置１）と縁部（位置２～位置５）のそれぞれの「明度Ｌ＊」は７０以上であるともに、「彩度Ｃ＊」は１０以上であれば、異物や汚れとのコントラストが明瞭となる結果、外観検査の異物あるいは汚れの検出精度を向上できるといえる。 そうすると、上記ア～ウによれば、本件明細書の発明の詳細な説明には、明度Ｌ＊、彩度Ｃ＊の値が大きいこと、そして、中央部（位置１）と縁部（位置２～位置５）のそれぞれの「明度Ｌ＊」は７０以上であるともに、「彩度Ｃ＊」は１０以上であることで、異物や汚れが付着した領域として誤検出されるおそれがなくなり、外観検査の異物あるいは汚れの検出精度が向上できることが記載されているといえる。 （４）特許請求の範囲の記載と本件明細書の発明の詳細な説明の記載との対比 上記（３）エで述べたように、発明の詳細な説明の記載によれば、本件発明の課題を解決するには、明度Ｌ＊、彩度Ｃ＊の値が大きいこと、そして、中央部（位置１）と縁部（位置２～位置５）のそれぞれの「明度Ｌ＊」は７０以上であるともに、「彩度Ｃ＊」は１０以上であることが肝要であると理解される。 これに対し、本件発明１では「前記第１面と前記第２面のうちの少なくとも一方の面において、中央部と、各角部から中央部の方向に１５ｍｍ内側の位置である縁部のすべてで、明度が７０以上であり、彩度が１０以上である」ことが特定されている。 したがって、本件発明１及びこれ引用する本件発明２～４は、発明の詳細な説明の記載又はその示唆により当業者が本件発明の課題を解決できると認識できる範囲のものである。 （５）小括 上記（４）について、上記（１）のサポート要件判断の規範への当てはめを行うと、本件発明は、発明の詳細な説明に記載されたものであり、サポート要件を満たしているといえる。 （６）申立人の主張について 申立人は、特許異議申立書において、上記第３の１（１）に記載した理由で、本件発明は発明の詳細な説明に記載されたものではない旨主張している。 しかし、上記（１）～（５）で検討したとおり、本件発明は発明の詳細な説明に記載されたものであり、サポート要件を満たすため、上記申立人の主張は採用できない。 ２ 申立理由２（甲１を主たる証拠とした進歩性欠如）について （１）甲号証に記載された事項及び甲号証に記載された発明 ア 甲１に記載された事項及び甲１に記載された発明 （ア）甲１に記載された事項 甲１には、以下の事項が記載されている（下線は当審で付した。）。 「【００５０】 【実施例】以下、実施例と比較例をあげて、本発明を詳細に説明するが、本発明はこれに限定されるものではない。 【００５１】〔実施例１～１９、比較例１～９〕表１に示す粉体特性の異なる窒化珪素粉末Ａ～Ｄに、表２に示す組成の酸化物を添加し、更にメタノールを添加してボールミルで３０分間湿式混合した。次に、これらの混合粉末を濾過・乾燥後、２０ＭＰａの成形圧で金型成形した後、２００ＭＰａの成形圧でＣＩＰ成形して、５０×３０×５ｍｍの成形体を得た。得られた成形体は、窒化ホウ素（ＢＮ）製の坩堝に充填し、カーボンヒーターの電気炉で表２に示す窒素ガス圧力、焼成温度、焼成時間の条件で焼結し、焼結体を作製した。 【００５２】 【表１】 ［図：0001420337000001.jpg］ 【００５３】 【表２】 ［図：0001420337000002.jpg］ ・・・ 【００６２】〔実施例２８〕実施例１と同一配合の原料粉を混合し、プレス成形法にて１１０×６０×３ｍｍの板状成形体を作成し、実施例１と同じ焼成条件で焼成し、板状焼結体を作成した。この板状焼結体をダイヤモンドホイールで研削し、９０×４５×１ｍｍのサイズに加工した。得られた焼結体の熱伝導率は１１０Ｗ／ｍＫ、三点曲げ強度６２５ＭＰａであった。また、焼結体の色調は均一で、色ムラは観察されなかった。」 （イ）甲１に記載された発明 上記（ア）によれば、甲１には、実施例２８として、実施例１と同一の原料配合である窒化珪素粉末Ａ＋Ｂを９９．３４質量％、Ｙ２Ｏ３を６質量％、ＭｇＯを０．６６質量％含有する原料粉を混合し、プレス成形法にて板状成形体を作成し、焼成し、板状焼結体を作成し、９０×４５×１ｍｍのサイズに加工したこと、得られた焼結体の熱伝導率は１１０Ｗ／ｍＫであり、焼結体の色調は均一で、色ムラは観察されないものだったことが記載されている。 そうすると、甲１には、以下の発明が記載されているといえる（以下、「甲１発明」という。）。 「９０×４５×１ｍｍの板状であり、 １１０Ｗ／ｍＫの熱伝導率であり、 色調が均一で、色ムラが観察されない、 窒化珪素板状焼結体。」 イ 甲２に記載された事項 甲２には、以下の事項が記載されている。 「【００２８】 次に、本実施形態にかかる窒化珪素基板の製造方法について説明する。 【００２９】 本発明で用いる原料粉末として窒化珪素粉末は、平均粒子径を１．０μｍ以下、比表面積を１５ｍ２／ｇ以下の範囲とする。また、窒化珪素焼結体の高熱伝導化には、含有酸素量を１．５ｗｔ．％以下、特にＦｅ成分およびＡｌ成分はそれぞれ１０００ｐｐｍ以下とする。 また、焼結助剤として添加するＭｇＯ粉末およびＹ２Ｏ３粉末は、それぞれ、平均粒子径を１．０μｍ以下、比表面積を３０ｍ２／ｇ以下の範囲とする。また、不純物量は窒化珪素粉末と同様にＦｅ成分およびＡｌ成分は、それぞれ１０００ｐｐｍ以下とする。 まず、原料調整・混合工程として、含有酸素量２質量％以下の窒化珪素原料粉に酸化マグネシウム（ＭｇＯ）が６．７～１２．８ｍｏｌ％、少なくとも１種の希土類元素酸化物（ＲＥ２Ｏ３）が１．１～２．９ｍｏｌ％を合計７．９～１５．１ｍｏｌ％、かつ（ＲＥ２Ｏ３）／（ＭｇＯ）のモル比が０．０９～０．３となるように混合し、溶剤、有機バインダー、可塑剤等とともにボールミル等で混合する。ＭｇＯ、ＲＥ２Ｏ３及び合計の添加量と（ＲＥ２Ｏ３）／（ＭｇＯ）の添加量のモル比が上記範囲以外の場合、ＭｇＯ、ＲＥ２Ｏ３及び合計の含有量と（ＲＥ２Ｏ３）／（ＭｇＯ）の含有量のモル比も上記範囲外となり、上述したように曲げ強度と熱伝導率の一方もしくは両方が低下する。従って、ＭｇＯ、ＲＥ２Ｏ３、その合計の添加量及び（ＲＥ２Ｏ３）／（ＭｇＯ）のモル比は上記範囲が好適である。 【００３０】 次に、成形工程として、上記混合した原料スラリーを脱泡・増粘した後、これを公知のドクターブレード法等により所定厚さの板にシート成形する。このときのシート成形体の板厚は、用途に応じて適宜決定できるが、例えば０．２～１．０ｍｍ程度とすることができる。また、シート成形体寸法については収縮量を考慮し、かつシート成形体を載せるＢＮセッターおよび焼成容器の寸法および容量も考慮して適宜選定する。本発明では、シート成形体寸法は１７０ｍｍ×１４０ｍｍとした。 【００３１】 次に、焼結工程として、上記シート成形体を１枚もしくはＢＮ等の剥離剤を介して複数枚重ね、焼結炉内を０．５～１．０ＭＰａの窒素加圧雰囲気とし、１６００℃から３００℃／ｈ以下の速度で昇温し、１８００～２０００℃の温度で２～１０時間保持した後、１００℃／ｈ以上の速度で１５００℃まで冷却することで焼結し、窒化珪素基板とする。また、焼結後の窒化珪素基板はそのまま用いてもよいが、焼結温度より低い温度での熱処理や、ブラスト加工等による表面処理を施してもよい。なお、焼結温度が１８００℃未満だと焼結が不十分で強度や熱伝導率の低下が起こる。また、焼結温度が２０００℃より高いと異常粒成長が起こり、強度の低下を招く。従って、焼結温度は上記範囲が好適である。さらに、焼結炉内の雰囲気が０．５ＭＰａ未満では焼結時に窒化珪素の分解が起こりやすく、強度や熱伝導率の低下が起こる。また、１．０ＭＰａより高い圧力とするためには高価な焼結炉が必要となりコスト高となる。従って、焼結炉内の雰囲気は上記範囲が好適である。さらに、１６００℃からの昇温速度を３００℃／ｈより速くした場合、詳細な理由は不明であるがＭｇＳｉＮ２結晶相の生成が抑制され、熱伝導率が低下する。従って、昇温速度は上記範囲が好適である。さらに、１５００℃までの冷却速度が１００℃／ｈ未満の場合は粒界相の結晶化が促進され、粒界にＲＥを含んだ結晶相が析出し、窒化珪素粒子間の結合が弱くなり曲げ強度が低下する。従って、冷却速度は上記範囲が好適である。また、焼結時の基板の総厚み（複数枚の基板を重ねるときは、総厚みはそれらを合計した厚さのこと）が４０ｍｍより大きい場合も、試料の見掛けの体積が大きくなり、結果として試料内部の冷却速度は１００℃／ｈ未満になるので、焼結時の基板の総厚みは４０ｍｍ以下であることが好ましく、更に好ましくは３０ｍｍ以下である。さらに、焼結時間が２時間より短い場合はＭｇＳｉＮ２結晶相の生成が抑制され、熱伝導率が低下し、また、焼結も不十分であり曲げ強度も低下する。また、焼結時間が５時間より長い場合、粒界相の結晶化が促進され、粒界にＲＥを含んだ結晶相が析出し、窒化珪素粒子間の結合が弱くなり曲げ強度が低下する。従って、焼結時間は上記範囲が好適である。 【００３２】 なお、Ｍｇ成分を含んだ粒界相は蒸気圧が高いため、高温での焼結時に揮発や偏析を起こしやすく、焼結体表面層で気孔生成による密度低下や局部的な色調むらを生じる。このため、Ｍｇ成分を基板中に留めておくためには密閉式のセラミックス製の焼成容器を、望ましくは、ＢＮ製の焼成容器を用い、それらの内部におけるＭｇ成分のガス濃度を一定に保つことで揮発するＭｇ成分を抑制することで、極端な強度低下が回避できかつ高熱伝導相であるＭｇＳｉＮ２相を適度に析出させることが肝要である。それに対して、ＲＥを含んだ粒界相は蒸気圧が低く、Ｍｇを含んだ粒界相に比べて、窒化珪素粒子間に均一に安定して存在し易く、非晶質相１２として窒化珪素粒子間の強固な結合を保つのに重大な役割を担っている。そのため、ＲＥを含んだ粒界相の一部が結晶化することにより、窒化珪素粒子間の結合が不十分となり粒界相に粗大な欠陥が生じやすい。結果として窒化珪素基板の機械的強度が低下してしまい、窒化珪素基板と金属回路板及び金属放熱板との接合工程、パワー半導体モジュールの作製工程、もしくはパワー半導体モジュールの稼働に伴う熱サイクルにより窒化珪素基板に応力が働いた場合にクラックが発生しやすくなる。また、ＲＥを含んだ粒界相の熱伝導率は結晶化することで、僅かには改善されるが、窒化珪素粒子に比べた場合に著しく低く、窒化珪素基板の高熱伝導率化にはほとんど貢献しない。そのため、ＲＥを含んだ粒界相は窒化珪素粒子間の強固な結合を保つために、非晶質相として存在していることが好適である。ＲＥとしては、Ｙ、Ｙｂ、Ｅｒ，Ｄｙ、Ｇｄ，Ｓｍ，ＮｄおよびＬｕの酸化物が選択できるが、窒化珪素粒子と粒界相との結合強度が優れるため、Ｙ酸化物の選択が望ましい。」 ウ 甲３に記載された事項 甲３には、以下の事項が記載されている。 「【００３３】実施例２ 上記実施例１と同じＳｉ3Ｎ4粉末を使用し、下記表３に示す各焼結助剤粉末を酸化物換算モル比率において第一成分が６モル％、同じく第二成分が３モル％、残部の９１モル％がＳｉ3Ｎ4となるように添加し、エタノール中で分散させた。その後、実施例１と同様にペレット状の成形体を作製した後、窒素含有非酸化性雰囲気中にて１８００℃、５時間の条件で焼結させた。 【００３４】 【表３】使用焼結助剤の種類 試料 第一成分 第二成分 12 Ｙ2Ｏ3 ＭｇＯ 13 Ｙ2Ｏ3 ＣａＣＯ3 14 Ｙ2Ｏ3 ＢａＯ 15 Ｙ2Ｏ3 ＳｒＯ 16 Ｙ2Ｏ3 ＬｉＯ 17 Ｓｍ2Ｏ3 ＭｇＯ 18 Ｅｒ2Ｏ3 ＭｇＯ 19 Ｄｙ2Ｏ3 ＭｇＯ 20 Ｈｏ2Ｏ3 ＭｇＯ 21 Ｔｍ2Ｏ3 ＭｇＯ 22 Ｌｕ2Ｏ3 ＭｇＯ 【００３５】得られた各Ｓｉ3Ｎ4焼結体について、上記実施例１と同様にして、焼結前後での重量減少、助剤成分の平均的な含有量（酸化物に換算したモル％）、開気孔率、熱伝導率（室温）、及びＪＩＳ Ｒ１６０に準拠する４点曲げ強度をそれぞれ測定し、その結果を下記表４に示した。また、実施例１と同様にして、各焼結体中の中心部と表面部における助剤成分の濃度分布を求めたところ、いずれの試料においても、第一成分は中心部よりも表面部が高濃度であり、第二成分は表面部よりも中心部が高濃度であった。 【００３６】この結果から、実施例１とは別の焼結助剤であっても、第一成分が希土類元素の少なくとも１種、及び第二成分がアルカリ土類元素、Ｌｉ、Ｓｒの少なくとも１種であれば、高い曲げ強度で且つ高い熱伝導率を示すＳｉ3Ｎ4焼結体が得られることが分かる。尚、試料１９～２２については、焼結体に若干の色ムラの発生が認められた。」 （２）本件発明１について ア 本件発明１と甲１発明の対比 （ア）甲１発明の、「９０×４５×１ｍｍの板状」の「窒化珪素板状焼結体」は、本件発明１の、「第１面と、前記第１面とは反対側の第２面とを有し、平面形状は」「矩形形状であ」る「窒化珪素基板」に相当する。 （イ）甲１発明の、「１１０Ｗ／ｍＫの熱伝導率であり」は、本件発明１の、「熱伝導率は、１１０Ｗ／（ｍ・Ｋ）以上であり」に相当する。 （ウ）そうすると、本件発明１と甲１発明は、 「第１面と、前記第１面とは反対側の第２面とを有し、 平面形状は、矩形形状であり、 熱伝導率は、１１０Ｗ／（ｍ・Ｋ）以上である、 窒化珪素基板。」の点で一致し、以下の点で相違する。 （相違点１） 本件発明１は、「それぞれの辺が１００ｍｍ以上」の矩形形状であるのに対し、甲１発明は、「９０×４５×１ｍｍ」の板状である点。 （相違点２） 本件発明１は、「前記第１面と前記第２面のうちの少なくとも一方の面において、中央部と、各角部から中央部の方向に１５ｍｍ内側の位置である縁部のすべてで、明度が７０以上であり、彩度が１０以上である」のに対し、甲１発明は、「色調が均一で、色ムラが観察されない」ものであるが、明度及び彩度が明らかでない点。 イ 相違点の検討 事案に鑑み、上記相違点２について検討する。 甲１には、窒化珪素板状焼結体の明度、彩度について記載はなく、甲１発明は、明度、彩度になんら着目するものではない。 また、甲２、３には、窒化珪素基板において、「第１面と前記第２面のうちの少なくとも一方の面において、中央部と、各角部から中央部の方向に１５ｍｍ内側の位置である縁部のすべてで、明度が７０以上であり、彩度が１０以上である」ようにすることは記載されていないし、このようなことが技術常識であるとの証拠もない。 そうすると、甲１発明は、明度、彩度について何らの記載も示唆もないのであるから、甲１発明において相違点２に係る本件発明１の構成を採用する動機はないし、甲２、３の記載事項を検討しても事情は変わらない。 したがって、甲１発明において、相違点２に係る本件発明１の構成とすることは、当業者が容易に想到し得るものではない。 ウ 小括 以上のとおりであるから、相違点１について検討するまでもなく、本件発明１は、甲１発明及び甲２、３に記載の事項に基づいて当業者が容易に発明することができたものとはいえない。 （３）本件発明２～４について 本件発明２～４は、本件発明１の全ての特定事項を含むものであるから、上記（２）で検討したのと同様の理由により、本件発明２～４も、甲１発明及び甲２、３に記載の事項に基づいて当業者が容易に発明することができたものとはいえない。 （４）申立人の主張について 申立人は、特許異議申立書において、甲１には、色調が均一で、色ムラが観察されていない窒化珪素焼結体からなる窒化珪素基板が記載されており、窒化珪素基板の表面の色ムラを低減するという課題はこの技術分野において一般的な課題であるところ、本件発明１の「前記第１面と前記第２面のうちの少なくとも一方の面において、中央部と、各角部から中央部の方向に１５ｍｍ内側の位置である縁部のすべてで、明度が７０以上であり、彩度が１０以上である」との規定は、一定の課題を解決するための数値範囲の最適化又は好適化にすぎない旨、主張している。 しかし、甲１～３には、窒化珪素基板の表面の色ムラを低減するという課題を解決する手段として、「前記第１面と前記第２面のうちの少なくとも一方の面において、中央部と、各角部から中央部の方向に１５ｍｍ内側の位置である縁部のすべてで、明度が７０以上であり、彩度が１０以上」とすることは記載されていないし、このことが技術常識であるといえる証拠もない。 してみれば、窒化珪素基板の表面の色ムラを低減するという課題を解決するために、数値範囲の最適化又は好適化を行うことで、「前記第１面と前記第２面のうちの少なくとも一方の面において、中央部と、各角部から中央部の方向に１５ｍｍ内側の位置である縁部のすべてで、明度が７０以上であり、彩度が１０以上である」ようにすることを、当業者が容易に想到し得るとはいえない。 したがって、上記申立人の主張は採用できない。 第５ むすび 以上のとおりであるから、請求項１～４に係る特許は、特許異議申立書に記載された特許異議申立理由及び証拠によっては、取り消すことができない。 また、他に請求項１～４に係る特許を取り消すべき理由を発見しない。 よって、結論のとおり決定する。