2023-700573

特許第７１８３３４４号発明「ガラスクロス、プリプレグ、及びプリント配線板」の特許異議申立事件について、次のとおり決定する。

結 論 特許第７１８３３４４号の請求項１～１０に係る特許を維持する。

理 由 第１ 手続の経緯 特許第７１８３３４４号の請求項１～１０に係る特許についての特願２０２１－１０８８２４号に係る出願は、令和３年６月３０日の出願であって、令和４年１１月２５日にその特許権の設定登録がされ、同年１２月５日に特許掲載公報が発行された。その後、その特許に対し、令和５年６月２日に特許異議申立人 野田澄子（以下「申立人」という。）により、全請求項に対して本件特許異議の申立てがされた。 第２ 本件発明 特許第７１８３３４４号の請求項１～１０に係る発明（以下「本件発明１」等という。また、本件発明１～１０を「本件発明」と総称することもある。）は、本件特許の特許請求の範囲の請求項１～１０に記載された事項により特定される次のとおりのものである。 「【請求項１】 複数本のガラスフィラメントから成るガラス糸を経糸及び緯糸として製織して成るガラスクロスであって、シランカップリング剤で表面処理されており、かつ前記ガラスクロス表面に付着しているカーボンもしくは有機物の粒状異物が、５．００×１０－３個／μｍ以下の範囲であるガラスクロス。 【請求項２】 前記ガラス糸を構成するガラスのバルク誘電正接が、１０ＧＨｚにおいて２．０×１０－３以下である、請求項１に記載のガラスクロス。 【請求項３】 前記ガラス糸を構成するガラスのバルク誘電正接が、１０ＧＨｚにおいて１．７×１０－３以下である、請求項１又は２に記載のガラスクロス。 【請求項４】 前記ガラス糸を構成するガラスのバルク誘電正接が、１０ＧＨｚにおいて１．５×１０－３以下である、請求項１～３のいずれか１項に記載のガラスクロス。 【請求項５】 前記ガラス糸を構成するガラスのバルク誘電正接が、１０ＧＨｚにおいて１．２×１０－３以下である、請求項１～４のいずれか１項に記載のガラスクロス。 【請求項６】 前記ガラス糸を構成するガラスのバルク誘電正接が、１０ＧＨｚにおいて１．０×１０－３以下である、請求項１～５のいずれか１項に記載のガラスクロス。 【請求項７】 前記シランカップリング剤が、下記一般式（１）： Ｘ（Ｒ）３－ｎＳｉＹｎ ・・・（１） （式中、Ｘは、アミノ基、及びラジカル反応性を有する不飽和二重結合基の１つ以上を有する有機官能基であり、Ｙは、各々独立して、アルコキシ基であり、ｎは、１以上３以下の整数であり、Ｒは、各々独立して、メチル基、エチル基、及びフェニル基から成る群より選ばれる基である） で示されるシランカップリング剤を含む、請求項１～６のいずれか１項に記載のガラスクロス。 【請求項８】 プリント配線板基材用である、請求項１～７のいずれか１項に記載のガラスクロス。 【請求項９】 請求項１～８のいずれか１項に記載のガラスクロスと、熱硬化性樹脂と、無機充填材とを含有することを特徴とする、プリプレグ。 【請求項１０】 請求項９に記載のプリプレグを含むことを特徴とする、プリント配線板。」 第３ 申立理由の概要 申立人は、以下に示す甲第１号証～甲第１２号証（以下、「甲１」等という。）を提出し、本件発明１～１０に係る特許は、以下の理由により、取り消すべきものである旨を主張する。 １ 申立理由１（拡大先願） 本件発明１～５、８～１０は、その出願の日前の特許出願（特願２０２０－１０４４５６号。甲１に係る特許出願、以下、「先願」という。）であって、本件特許の出願後に出願公開がされた願書に最初に添付された明細書又は請求の範囲に記載された発明と同一であり、しかも、本件特許の発明者がその出願前の特許出願に係る上記の発明をした者と同一ではなく、また本件特許の出願の時において、その出願人が上記特許出願の出願人と同一でもないので、特許法第２９条の２の規定により、特許を受けることができない。 ２ 申立理由２（甲２に基づく新規性） 本件発明１及び８は、甲２に記載された発明であるから、特許法第２９条第１項第３号に該当し、特許を受けることができない。 ３ 申立理由３－１（甲２に基づく進歩性） 本件発明１～１０は、甲２に記載された発明に基いて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により、特許を受けることができない。 ４ 申立理由３－２（甲３に基づく進歩性） 本件発明１～１０は、甲３に記載された発明に基いて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により、特許を受けることができない。 ５ 申立理由４（明確性） 本件発明１の「ガラスクロス表面に付着しているカーボンもしくは有機物の粒状異物が、５．００×１０－３個／μｍ以下の範囲である」の意味内容を理解できず、明確でなく、特許請求の範囲の記載が特許法第３６条第６項第２号に適合しないから、特許法第３６条第６項に規定する要件を満たしていない。 ６ 証拠方法 甲１：特開２０２１－１９５６８９号公報 甲２：特開平９－１３２６３号公報 甲３：特開２０２１－６３３２０号公報 甲４：特開２０２０－１９４８８８号公報 甲５：国際公開第２０１４／０４９８７７号 甲６：鈴木芳治、前川善一郎、▲浜▼田泰以（当審注：▲浜▼は、「浜」の異字体）、幾田信生「アクリルシランの吸着挙動がガラスクロス積層材料の力学的性質に及ぼす影響」、ＳＥＮ－Ｉ ＧＡＫＫＡＩＳＩ（報文） Ｖｏｌ．４９，Ｎｏ．２（１９９３） 甲７：宮里桂太、鈴木芳治「ガラス繊維とガラスクロス」、エレクトロニクス実装学会誌 Ｖｏｌ．４ Ｎｏ．２（２００１） 甲８：特開２０１９－１８３２９７号公報 甲９：特開２０２０－２５２０号公報 甲１０：谷村利介「プリント配線板用ガラスクロス入門」、（社）日本プリント回路工業会、２００３年８月２８日 第１版第１刷発行、ｐ１３６－１３７ 甲１１：矢木敏博、鈴木実、下村司、吉岡真一「品種，栽培法を異にする馬鈴薯澱粉の灰分について（第１報）」、澱粉化学 第２０巻第２号（１９７３） 甲１２：特開２００７－２６２６３２号公報 第４ 当審の判断 以下に記載のとおり、申立人の申立理由１～４には理由がないと判断する。 １ 申立理由１（拡大先願）について （１）先願の願書に最初に添付された明細書及び特許請求の範囲（以下、「先願明細書等」という。）の記載 先願明細書等には、以下の記載がある（下線は参考のため当審が付与したものである。以下同じ。）。 「【特許請求の範囲】 【請求項１】 石英ガラスクロスに熱処理が施されたアニールド石英ガラスクロスであって、 ＳｉＯ２含有量が９９．５質量％以上で、１０ＧＨｚでの誘電正接が０．００１０未満であり、引張強さがクロス重量（ｇ／ｍ２）当たり１．０Ｎ／２５ｍｍ以上のものであることを特徴とするアニールド石英ガラスクロス。 ・・・ 【請求項７】 石英ガラスクロスを５００℃～１５００℃の温度で加熱処理した後、前記加熱処理した石英ガラスクロスの表面をエッチング液でエッチング処理して、１０ＧＨｚでの誘電正接が０．００１０未満で引張強さがクロス重量（ｇ／ｍ２）当たり１．０Ｎ／２５ｍｍ以上のアニールド石英ガラスクロスとすることを特徴とするアニールド石英ガラスクロスの製造方法。 ・・・ 【請求項１２】 更に、前記エッチング処理した石英ガラスクロスの表面をカップリング剤処理することを特徴とする請求項７から請求項１１のいずれか一項に記載のアニールド石英ガラスクロスの製造方法。」 「【発明が解決しようとする課題】 【００１１】 従来技術では、５Ｇなどの高速通信化に伴って要求される誘電特性と引張強さを共に満足する低誘電正接ガラスクロスを得ることができないといった問題がある。 本発明は、上記問題を解決するためになされたものであり、誘電正接が低く、引張強さにも優れたアニールド石英ガラスクロスと、高温加熱処理後に強度が回復するアニールド石英ガラスクロスの製造方法を提供することを目的とする。」 「【課題を解決するための手段】 【００１２】 上記課題を解決するために、本発明では、石英ガラスクロスに熱処理が施されたアニールド石英ガラスクロスであって、ＳｉＯ２含有量が９９．５質量％以上で、１０ＧＨｚでの誘電正接が０．００１０未満であり、引張強さがクロス重量（ｇ／ｍ２）当たり１．０Ｎ／２５ｍｍ以上、即ち引張強さはクロス重量（ｇ／ｍ２）×１．０Ｎ／２５ｍｍ以上のものであることを特徴とするアニールド石英ガラスクロスを提供する。」 「【００３６】 本発明者らは、石英ガラスクロスの誘電正接を石英本来の値に近づけるべく鋭意検討した結果、石英ガラスクロスを構成する石英中に残存するシラノール基を高温で加熱除去し、更にクロスを構成する石英ガラスフィラメント等の表面層を溶解除去することで高強度、低誘電正接のアニールド石英ガラスクロスが得られることを見出し、本発明を完成させた。」 「【００８９】 （調製例１：石英ガラスクロス（ＳＱ１）の製造例） 石英ガラス糸をバーナー火炎中に投入し、延伸しながら石英ガラス繊維用集束剤を塗布し、直径７．０μｍの石英ガラスフィラメント２００本からなる石英ガラスストランドを作製した。次に、得られた石英ガラスストランドに２５ｍｍあたり０．２回の撚りをかけ石英ガラスヤーンを作製した。 得られた石英ガラスヤーンをエアージェット織機にセットし、たて糸密度が６０本／２５ｍｍ、よこ糸密度が５８本／２５ｍｍの平織の石英ガラスクロスを製織した。石英ガラスクロスは厚さ０．０８６ｍｍ、クロス重量が８５．５ｇ／ｍ２であった。 この石英ガラスクロスを４００℃で１０時間加熱処理することで繊維用集束剤を除去した。除去後の石英ガラスクロスの誘電正接（１０ＧＨｚ）は０．００１１、引張強さは８０Ｎ／２５ｍｍであった。表１に調製例に記載した石英ガラスクロスの基本物性を示す。 なお、上記石英ガラスクロス中のアルカリ金属の総和は０．５ｐｐｍ、Ｐ（リン）は０．１ｐｐｍ、ＵおよびＴｈの含有量はそれぞれ０．１ｐｐｂであった。各元素の含有量は原子吸光法により測定した（質量換算）。 【００９０】 （調製例２：石英ガラスクロス（ＳＱ２）の製造例） 調製例１と同様にして直径５．０μｍの石英ガラスフィラメント２００本からなる石英ガラスストランドを作製した。次に、得られた石英ガラスストランドに２５ｍｍあたり０．４回の撚りをかけ石英ガラスヤーンを作製した。 得られた石英ガラスヤーンをエアージェット織機にセットし、たて糸密度が５４本／２５ｍｍ、よこ糸密度が５４本／２５ｍｍの平織の石英ガラスクロスを製織した。石英ガラスクロスは厚さ０．０４５ｍｍ、クロス重量が４２．５ｇ／ｍ２であった。 この石英ガラスクロスを４００℃で１０時間加熱処理することで繊維用集束剤を除去した。除去後の石英ガラスクロスの誘電正接（１０ＧＨｚ）は０．００１１、引張強さは３５Ｎ／２５ｍｍであった。調製例１と同様に表１に基本物性を示す。 【００９１】 （調製例３：石英ガラスクロス（ＳＱ３）の製造例） 調製例１と同様にして直径５．０μｍの石英ガラスフィラメント１００本からなる石英ガラスストランドを作製した。次に、得られた石英ガラスストランドに２５ｍｍあたり０．８回の撚りをかけ石英ガラスヤーンを作製した。 得られた石英ガラスヤーンをエアージェット織機にセットし、たて糸密度が６６本／２５ｍｍ、よこ糸密度が６８本／２５ｍｍの平織の石英ガラスクロスを製織した。石英ガラスクロスは厚さ０．０３０ｍｍ、クロス重量が２６．５ｇ／ｍ２であった。 この石英ガラスクロスを４００℃で１０時間加熱処理することで繊維用集束剤を除去した。除去後の石英ガラスクロスの誘電正接（１０ＧＨｚ）は０．００１１、引張強さは２２Ｎ／２５ｍｍであった。調製例１と同様に表１に基本物性を示す。 ・・・ 【００９５】 （実施例４） 調製例１で製造した幅１．３ｍで長さ２０００ｍの石英ガラスクロス（ＳＱ１）を管壁に穴があいた石英管にロール状に巻いた状態で７００℃に設定された電気炉に入れ５時間加熱を行った。加熱後、８時間かけて室温まで冷却した。 その後、ｐＨ１３のアルカリ電解水を入れ、７０℃に加熱したエッチング槽に上記した石英ガラスクロスをロールから解きほぐしながらクロスを２４時間かけて浸漬させて通過することでエッチング処理を行った。エッチング槽には超音波発振装置が設置されており、超音波を印加して行った。 エッチング後連続してイオン交換水で満たされた洗浄槽を通し、乾燥させ石英管に再度巻き取ることで低誘電、高強度のアニールド石英ガラスクロスを作製した。 上記アニールド石英ガラスクロスの誘電正接（１０ＧＨｚ）は０．０００１で引張強さは１０５Ｎ／２５ｍｍであった。また、アニールド石英ガラスクロスを１８０°折り曲げても折り目もつかず破断もしなかった。 上記アニールド石英ガラスクロスを０．５質量％のＫＢＭ－９０３（商品名：信越化学工業（株）製、３－アミノプロピルトリメトキシシラン）水溶液に１０分間浸漬し、次いで１１０℃／２０分加熱乾燥させて表面処理した。表面処理したアニールド石英ガラスクロスの引張強さを含め、測定した諸物性（誘電正接、引張強さ、柔軟性）を表４に示す。 【００９６】 （実施例５） 調製例２で製造した幅１．３ｍで長さ２０００ｍの石英ガラスクロス（ＳＱ２）を管壁に穴があいた石英管にロール状に巻いた状態で７００℃に設定された電気炉に入れ５時間加熱を行った。加熱後、８時間かけて室温まで冷却した。 その後、実施例４と同様に、同一条件でエッチング処理を行い、測定した諸物性（誘電正接、引張強さ、柔軟性）を表４に示す。また、同様に表面処理したアニールド石英ガラスクロスの引張強さを表４に示す。 【００９７】 （実施例６） 調製例３で製造した幅１．３ｍで長さ２０００ｍの石英ガラスクロス（ＳＱ３）を管壁に穴があいた石英管にロール状に巻いた状態で７００℃に設定された電気炉に入れ５時間加熱を行った。加熱後、８時間かけて室温まで冷却した。 その後、実施例４と同様に、同一条件でエッチング処理を行い、測定した諸物性（誘電正接、引張強さ、柔軟性）を表４に示す。また、同様に表面処理したアニールド石英ガラスクロスの引張強さを表４に示す。」 「【０１０４】 【表４】 ［図：0001403682000001.jpg］ 」 （２） 先願明細書等に記載された発明 上記（１）に記載したように、実施例４～６の各々に着目すると、先願明細書等には、以下の石英ガラスクロス発明（以下、「先願実施例４発明」等という。）が記載されているものと認められる。 ＜先願実施例４発明＞ 「石英ガラス糸をバーナー火炎中に投入し、延伸しながら石英ガラス繊維用集束剤を塗布し、直径７．０μｍの石英ガラスフィラメント２００本からなる石英ガラスストランドを作製し、次に、得られた石英ガラスストランドに２５ｍｍあたり０．２回の撚りをかけ石英ガラスヤーンを作製し、得られた石英ガラスヤーンをエアージェット織機にセットし、たて糸密度が６０本／２５ｍｍ、よこ糸密度が５８本／２５ｍｍの平織の石英ガラスクロスを製織し、この石英ガラスクロスを４００℃で１０時間加熱処理することで繊維用集束剤を除去して得られた石英ガラスクロス（ＳＱ１）を管壁に穴があいた石英管にロール状に巻いた状態で７００℃に設定された電気炉に入れ５時間加熱を行い、加熱後、８時間かけて室温まで冷却し、その後、ｐＨ１３のアルカリ電解水を入れ、７０℃に加熱したエッチング槽に上記した石英ガラスクロスをロールから解きほぐしながらクロスを２４時間かけて浸漬させて通過することでエッチング処理を行い、エッチング後連続してイオン交換水で満たされた洗浄槽を通し、乾燥させ石英管に再度巻き取ったアニールド石英ガラスクロスを０．５質量％のＫＢＭ－９０３（商品名：信越化学工業（株）製、３－アミノプロピルトリメトキシシラン）水溶液に１０分間浸漬し、次いで１１０℃／２０分加熱乾燥させて表面処理して得られた表面処理したアニールド石英ガラスクロス。」 ＜先願実施例５発明＞ 「石英ガラス糸をバーナー火炎中に投入し、延伸しながら石英ガラス繊維用集束剤を塗布し、直径５．０μｍの石英ガラスフィラメント２００本からなる石英ガラスストランドを作製し、次に、得られた石英ガラスストランドに２５ｍｍあたり０．４回の撚りをかけ石英ガラスヤーンを作製し、得られた石英ガラスヤーンをエアージェット織機にセットし、たて糸密度が５４本／２５ｍｍ、よこ糸密度が５４本／２５ｍｍの平織の石英ガラスクロスを製織し、この石英ガラスクロスを４００℃で１０時間加熱処理することで繊維用集束剤を除去して得られた石英ガラスクロス（ＳＱ２）を管壁に穴があいた石英管にロール状に巻いた状態で７００℃に設定された電気炉に入れ５時間加熱を行い、加熱後、８時間かけて室温まで冷却し、その後、ｐＨ１３のアルカリ電解水を入れ、７０℃に加熱したエッチング槽に上記した石英ガラスクロスをロールから解きほぐしながらクロスを２４時間かけて浸漬させて通過することでエッチング処理を行い、エッチング後連続してイオン交換水で満たされた洗浄槽を通し、乾燥させ石英管に再度巻き取ったアニールド石英ガラスクロスを０．５質量％のＫＢＭ－９０３（商品名：信越化学工業（株）製、３－アミノプロピルトリメトキシシラン）水溶液に１０分間浸漬し、次いで１１０℃／２０分加熱乾燥させて表面処理して得られた表面処理したアニールド石英ガラスクロス。」 ＜先願実施例６発明＞ 「石英ガラス糸をバーナー火炎中に投入し、延伸しながら石英ガラス繊維用集束剤を塗布し、直径５．０μｍの石英ガラスフィラメント１００本からなる石英ガラスストランドを作製し、得られた石英ガラスストランドに２５ｍｍあたり０．８回の撚りをかけ石英ガラスヤーンを作製し、得られた石英ガラスヤーンをエアージェット織機にセットし、たて糸密度が６６本／２５ｍｍ、よこ糸密度が６８本／２５ｍｍの平織の石英ガラスクロスを製織し、この石英ガラスクロスを４００℃で１０時間加熱処理することで繊維用集束剤を除去して得られた幅１．３ｍで長さ２０００ｍの石英ガラスクロス（ＳＱ３）を管壁に穴があいた石英管にロール状に巻いた状態で７００℃に設定された電気炉に入れ５時間加熱を行い、加熱後、８時間かけて室温まで冷却し、その後、ｐＨ１３のアルカリ電解水を入れ、７０℃に加熱したエッチング槽に上記した石英ガラスクロスをロールから解きほぐしながらクロスを２４時間かけて浸漬させて通過することでエッチング処理を行い、エッチング後連続してイオン交換水で満たされた洗浄槽を通し、乾燥させ石英管に再度巻き取ったアニールド石英ガラスクロスを０．５質量％のＫＢＭ－９０３（商品名：信越化学工業（株）製、３－アミノプロピルトリメトキシシラン）水溶液に１０分間浸漬し、次いで１１０℃／２０分加熱乾燥させて表面処理して得られた表面処理したアニールド石英ガラスクロス。」 （３） 本件発明１との対比・判断 ア 先願実施例４発明との対比・判断 本件発明１と先願実施例４発明とを対比する。 先願実施例４発明における「直径７．０μｍの石英ガラスフィラメント２００本からなる石英ガラスストランドを作製し、次に、得られた石英ガラスストランドに２５ｍｍあたり０．２回の撚りをかけ石英ガラスヤーンを作製し、得られた石英ガラスヤーンをエアージェット織機にセットし、たて糸密度が６０本／２５ｍｍ、よこ糸密度が５８本／２５ｍｍの平織の石英ガラスクロス」は、本件発明１の「複数本のガラスフィラメントから成るガラス糸を経糸及び緯糸として製織して成るガラスクロス」に相当する。 先願実施例４発明における「０．５質量％のＫＢＭ－９０３（商品名：信越化学工業（株）製、３－アミノプロピルトリメトキシシラン）水溶液に１０分間浸漬し、次いで１１０℃／２０分加熱乾燥させて表面処理して」は、本件発明１の「シランカップリング剤で表面処理されており」に相当する。 そうすると、本件発明１と先願実施例４発明とは、 「複数本のガラスフィラメントから成るガラス糸を経糸及び緯糸として製織して成るガラスクロスであって、シランカップリング剤で表面処理されている、ガラスクロス。」 である点で一致し、以下の点で相違する。 ＜相違点１－１＞ 本件発明１は、「前記ガラスクロス表面に付着しているカーボンもしくは有機物の粒状異物が、５．００×１０－３個／μｍ以下の範囲である」と特定するのに対し、先願実施例４発明は、この点を特定しない点。 以下、＜相違点１－１＞について検討する。 まず、先願実施例４発明における「前記ガラスクロス表面に付着しているカーボンもしくは有機物の粒状異物」について、先願明細書等には記載がない。 そして、申立人の提出したその他の証拠をみても、先願実施例４発明において、「ガラスクロス表面に付着しているカーボンもしくは有機物の粒状異物」が、「５．００×１０－３個／μｍ以下の範囲である」ことを示すものもない。 申立人は、先願実施例４発明は、ガラスクロスを７００℃で加熱処理していることから、「前記ガラスクロス表面に付着しているカーボンもしくは有機物の粒状異物が、５．００×１０－３個／μｍ以下の範囲である」蓋然性が高い旨主張する。 確かに、先願実施例４発明は、本件発明１とほぼ同様に「低誘電正接」のガラスクロスを得ることを目的としてなされたものであり、シランカップリング剤で表面処理されているものであるが、シランカップリング剤で表面処理された後の誘電正接は測定されていないから、本件特許の実施例と対比できるものではないし、また、シランカップリング剤の表面処理後には、１１０℃／２０分加熱乾燥させているのみである（上記先願明細書等段落【００９５】）。 そして、先願実施例４発明は、「本発明者らは、石英ガラスクロスの誘電正接を石英本来の値に近づけるべく鋭意検討した結果、石英ガラスクロスを構成する石英中に残存するシラノール基を高温で加熱除去し、更にクロスを構成する石英ガラスフィラメント等の表面層を溶解除去することで高強度、低誘電正接のアニールド石英ガラスクロスが得られることを見出し、本発明を完成させた。」（上記（１）の段落【００３６】）とされていて、先願実施例４発明においても、「７００℃に設定された電気炉に入れ５時間加熱を行」う加熱処理に加えて、「ｐＨ１３のアルカリ電解水を入れ、７０℃に加熱したエッチング槽に上記した石英ガラスクロスをロールから解きほぐしながらクロスを２４時間かけて浸漬させて通過することでエッチング処理を行」っている。 そうすると、先願実施例４発明における上記７００℃で５時間の加熱は、石英ガラスフィラメントを構成する石英中に残存するシラノール基を除去するために行うものであり、その後の「エッチング処理」により、石英ガラスフィラメント等の表面層が溶解除去されているものであることからみても、本件特許の発明の詳細な説明に記載されているガラスクロスの表面に付着している有機物の処理工程とは異なるものである。 そうすると、申立人の上記主張は失当であって採用できない。 以上のとおりであるから、＜相違点１－１＞は形式的な相違点ではなく、実質的な相違点であるから、本件発明１は、先願実施例４発明と同一とはいえない。 イ 先願実施例５又は６発明との対比・判断 本件発明１と先願実施例５又は６発明とを対比すると、上記アと同様に、＜相違点１－１＞で相違し、その判断は、上記アのとおりである。 そうすると、本件発明１は、先願実施例５又は６発明と同一とはいえない。 （４） 本件発明２～１０について 本件発明２～１０は、本件発明１の発明特定事項を全て含み、さらに限定するものであるから、上記（３）で検討したのと同じ理由により、本件発明２～１０は、先願実施例４、５又は６発明と同一とはいえない。 （５） まとめ 以上のとおりであるから、申立理由１には理由がない。 ２ 申立理由２及び申立理由３－１（甲２に基づく新規性・進歩性）について （１） 甲２の記載 甲２には、以下の記載がある。 「【特許請求の範囲】 【請求項１】 ガラス繊維織物を予備焼きする工程、予備焼きしたガラス繊維織物に水もしくは酸化剤を含む水溶液を付与する工程、水もしくは酸化剤を含む水溶液を付与した状態の予備焼きしたガラス繊維織物を本焼きする工程を含むことを特徴とするガラス繊維織物のヒートクリーニング方法。」 「【０００９】 【発明が解決しようとする課題】そこで、ガラス繊維織物の強度を低下させない熱処理温度で、且つヒートクリーニング後のガラス繊維織物上に不純物が残存しないヒートクリーニング時間の短縮技術が望まれている。 【００１０】 【課題を解決するための手段】本願発明者等は、前記課題解決のため鋭意検討した結果、ガラス繊維織物の生機に付着している集束剤、糊剤の約９０％程度を予備焼き工程により除去し、予備焼きされた織物に、水もしくは酸化剤を含む水溶液を付与し、水もしくは酸化剤を含む水溶液を付与した状態の織物を加熱炉で加熱処理することにより、ガラスの歪点温度よりも低温で短時間にヒートクリーニングが可能であることを見出した。」 「【００１７】 【実施例】以下の実施例では、ガラス繊維織物として平織りＥガラス繊維織物（旭シュエーベル（株）製、７６２８、目付２１０ｇ／ｍ２、集束剤・整経糊剤付着量２％）の生機を準備し、予備焼き工程として、炉長３．５ｍ、炉温５７０℃、ライン速度１５ｍ／ｍｉｎの条件で熱風炉を通過させ、織物白度９４％の予備焼きガラス繊維織物を作成した。 〔実施例１〕予備焼きしたガラス繊維織物に、２流体スプレイノズルにより過酸化水素水（有効成分３重量％）をガラス繊維織物に対して１０重量％付与した後、過酸化水素水を保持させたまま本焼き工程として、炉長０．５ｍ、ライン速度１ｍ／ｍｉｎ、炉内温度６００℃の管状電気炉に通過させヒートクリーニングガラス繊維織物を得た。 〔実施例２〕予備焼きしたガラス繊維織物に、２流体スプレイノズルにより水をガラス繊維織物に対して１０重量％付与した後、水を保持させたまま本焼き工程として、炉長０．５ｍ、ライン速度０．５ｍ／ｍｉｎ、炉内温度６００℃の管状電気炉に通過させヒートクリーニングガラス繊維織物を得た。 〔比較例１〕予備焼きしたガラス繊維織物を、本焼き工程として、炉長０．５ｍ、ライン速度０．１ｍ／ｍｉｎ、炉内温度６００℃の管状電気炉に通過させヒートクリーニングガラス繊維織物を得た。 〔比較例２〕予備焼きしたガラス繊維織物を、本焼き工程として、炉長０．５ｍ、ライン速度１ｍ／ｍｉｎ、炉内温度８００℃の管状電気炉に通過させヒートクリーニングガラス繊維織物を得た。 ・・・ 〔実施例・比較例の製品の評価〕実施例１～２及び比較例１～３によるヒートクリーニングガラス繊維織物（脱糊織物という）について、下記の試験を行った結果を表１にまとめて示す。表１で明らかなように、実施例１～２によるガラス繊維織物は、短時間の本焼き処理で脱糊が可能であり、しかも織物の残留残査量及び白度並びに使用性能について優れている。 ・試験方法 （１）ヒートクリーニングガラス繊維織物の残留残査量（脱糊織物の残査量という）の測定 ＪＩＳ Ｒ ３４２０～１９８９ §５．３の「強熱減量」の測定に準じて測定。 （２）脱糊織物白度の測定 脱糊織物を〔株〕ミノルタ製の色差計により標準白度板上に置いたガラス繊維織物にキセノンランプ光を照射し、その照射光量に対する反射光量の比率（％）を測定した。 （３）表面処理織物引張強度測定 脱糊織物に以下の方法でエポキシシランＳＨ－６０４０（東レシリコン〔株〕製）で表面処理し、処理織物について、ＪＩＳ Ｒ ３０２０－１９８９ §５．４（定速荷重形引張試験機）に準じて測定した。 【００１８】エポキシシランＳＨ－６０４０の１重量％水溶液に脱糊織物を浸漬し、次いでガラス脱糊織物に対し約２０重量％の処理液保持率になるように絞液した後、１７０℃の熱風によって乾燥し表面処理織物を調製した。 （４）積層板ハンダ耐熱性評価試験 【００１９】 【表１】 ［図：0001403682000002.jpg］ 【００２０】「表面処理織物引張強度試験」におけると同じ方法で表面処理した脱糊織物を、臭素化ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂ＤＥＲ５１４（ダウケミカル日本（株）製）８５重量部（固形）、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂Ｎ６９０（大日本インキ化学工業（株）製）１５重量部（固形）、Ｎ，Ｎ′－ジメチルホルムアミド１０重量部、メトキシエタノール１０重量部、ジシアンジアミド２．４重量部および２－エチル－４－メチルイミダゾール０．２重量部を配合してエポキシ樹脂ワニスに浸漬し、乾燥して樹脂分４２重量％のプリプレグを調製した。 【００２１】次に、このプリプレグを４枚重ね、その両表層に厚さ１８μｍの銅箔を重ね、真空プレスを用いて、１０ｔｏｒｒの減圧下に１２０℃で３０分、次いで常圧下に１７５℃で６０分間、４０Ｋｇ／ｃｍ２の条件で加熱加圧して一体に成形し、厚さ０．８ｍｍの銅張り積層板を得た。さらに、エッチング液で銅箔を全面エッチアウトした後、水洗し、風乾して、吸湿はんだ耐熱性試験用積層板とした。」 （２） 甲２に記載された比較例２に着目すると、甲２には、「ヒートクリーニングガラス繊維織物」に表面処理した織物の引張強度を測るときの織物として、以下の甲２比較例２発明が記載されていると認める。 ＜甲２比較例２発明＞ 「ガラス繊維織物として平織りＥガラス繊維織物（旭シュエーベル（株）製、７６２８、目付２１０ｇ／ｍ２、集束剤・整経糊剤付着量２％）の生機を準備し、予備焼き工程として、炉長３．５ｍ、炉温５７０℃、ライン速度１５ｍ／ｍｉｎの条件で熱風炉を通過させ、織物白度９４％の予備焼きガラス繊維織物を作成し、予備焼きしたガラス繊維織物に、本焼き工程として、炉長０．５ｍ、ライン速度１ｍ／ｍｉｎ、炉内温度８００℃の管状電気炉に通過させてガラス脱糊織物を得、エポキシシランＳＨ－６０４０の１重量％水溶液に該ガラス脱糊織物を浸漬し、次いでガラス脱糊織物に対し約２０重量％の処理液保持率になるように絞液した後、１７０℃の熱風によって乾燥して得た表面処理織物ヒートクリーニングガラス繊維織物。」 （３） 本件発明１との対比・判断 本件発明１と甲２比較例２発明とを対比する。 甲２比較例２発明における「平織りＥガラス繊維織物（旭シュエーベル（株）製、７６２８、目付２１０ｇ／ｍ２、集束剤・整経糊剤付着量２％）」は、本件発明１の「複数本のガラスフィラメントから成るガラス糸を経糸及び緯糸として製織して成るガラスクロス」に相当する。 甲２比較例２発明における「エポキシシランＳＨ－６０４０の１重量％水溶液に該ガラス脱糊織物を浸漬し、次いでガラス脱糊織物に対し約２０重量％の処理液保持率になるように絞液した後、１７０℃の熱風によって乾燥」されていることは、本件発明１の「シランカップリング剤で表面処理されており」に相当する。 そうすると、本件発明１と甲２比較例２発明とは、 「複数本のガラスフィラメントから成るガラス糸を経糸及び緯糸として製織して成るガラスクロスであって、シランカップリング剤で表面処理されている、ガラスクロス。」 である点で一致し、以下の点で相違する。 ＜相違点２－１＞ 本件発明１は、「前記ガラスクロス表面に付着しているカーボンもしくは有機物の粒状異物が、５．００×１０－３個／μｍ以下の範囲である」と特定するのに対し、甲２比較例２発明は、この点を特定しない点。 以下、＜相違点２－１＞について検討する。 ア 新規性について 甲２比較例２発明における「前記ガラスクロス表面に付着しているカーボンもしくは有機物の粒状異物」について、甲２には記載がない。また、甲２においては、脱糊織物の残渣量として、「（１）ヒートクリーニングガラス繊維織物の残留残査量（脱糊織物の残査量という）の測定、ＪＩＳ Ｒ ３４２０－１９８９ §５．３の「強熱減量」の測定に準じて測定」（【００１７】）により脱糊織物の残渣量が０．０３％（甲２の第１表）であったことが記載されているが、これは脱糊織物についてであって、シランカップリング処理された後の脱糊織物についてではないし、甲２比較例２発明の脱糊織物の残査量と「前記ガラスクロス表面に付着しているカーボンもしくは有機物の粒状異物」との関係は不明であって、当該０．０３％が、本件発明１の＜相違点２－１＞に係る構成である「５．００×１０－３個／μｍ以下」を満たすという証拠もない。 そして、申立人の提出したその他の証拠をみても、甲２比較例２発明においての「ガラスクロス表面に付着しているカーボンもしくは有機物の粒状異物」が、「５．００×１０－３個／μｍ以下の範囲である」ことを示す証拠はない。 そうすると、＜相違点２－１＞は、形式的な相違点ではなく、実質的な相違点であって、本件発明１は、甲２比較例２発明でない。 申立人は、甲２比較例２発明においても「予備焼きしたガラス繊維織物に、２流体スプレイノズルにより過酸化水素水（有効成分３重量％）をガラス繊維織物に対して１０重量％付与した後、過酸化水素水を保持させたまま本焼き工程として、炉長０．５ｍ、ライン速度１ｍ／ｍｉｎ、炉内温度８００℃の管状電気炉に通過させてガラス脱糊織物を得」ているとの技術的事項を備えていることから、＜相違点２－１＞の発明特定事項を満たしている蓋然性が高い旨主張する。 しかし甲２には、当該技術的事項は、ガラスクロスに付着している有機物を効率よく除去する手段として記載されているのであり、ガラスクロスを６５０℃よりも高い温度で加熱処理することで、必ず、「ガラスクロス表面に付着しているカーボンもしくは有機物の粒状異物」が、「５．００×１０－３個／μｍ以下の範囲」のものとなるとは、下記の理由でいえない。 すなわち、本件特許の明細書において、高温での加熱は、ガラスクロスに付着している有機物を効率よく除去する手段として記載されているものの、ガラスクロスに付着している有機物の除去の程度は、繊維用集束剤の種類、加熱時の酸素濃度、加熱時間等により異なることは当業者の技術常識といえる。そうすると、加熱処理の温度、及び、時間が本件特許の発明の詳細な説明に記載の温度条件と処理時間を満たすとしても、集束剤の種類や加熱時の酸素濃度等も有機物の除去の程度に影響するのであるから、「ガラスクロス表面に付着しているカーボンもしくは有機物の粒状異物」が、「５．００×１０－３個／μｍ以下の範囲」となると判断することができない。 したがって、申立人の主張は採用できない。 イ 進歩性について 次に、進歩性について検討する。 「シランカップリング剤処理後のガラスクロス表面に付着しているカーボンもしくは有機物の粒状異物が、５．００×１０－３個／μｍ以下の範囲である」ことについて、申立人が提示するいずれの文献にも記載も示唆もされていない。 そうすると、甲２比較例２発明において、＜相違点２－１＞に係る発明特定事項とすることは、当業者といえども容易に想到し得たこととはいえない。 よって、本件発明１は、甲２比較例２発明に基いて当業者が容易に発明をすることができたものとはいえない。 （４） 本件発明２～１０について 本件発明２～１０は、本件発明１の発明特定事項を全て含み、さらに限定するものであるから、上記（３）で検討したのと同じ理由により、本件発明２～１０は、甲２比較例２発明とはいえないし、甲２比較例２発明に基いて当業者が容易に発明をすることができたものともいえない。 （５） まとめ 以上のとおりであるから、申立理由２及び申立理由３-１には理由がない。 ３ 申立理由３－２（甲３に基づく新規性・進歩性）について （１） 甲３の記載 甲３には、以下の記載がある。 「【特許請求の範囲】 【請求項１】 ＳｉＯ２組成量が９６．０～１００．０質量％含まれるガラスフィラメントからなる加熱処理シリカガラスクロスであって、 前記加熱処理シリカガラスクロスの誘電正接ｔａｎδ１が、周波数９ＧＨｚ以上で０．００１５以下であり、 前記加熱処理シリカガラスクロスの誘電正接ｔａｎδ１の非加熱処理シリカガラスクロスの周波数９ＧＨｚ以上での誘電正接ｔａｎδ２に対する比ｔａｎδ１／ｔａｎδ２が０．７以下のものであることを特徴とする加熱処理シリカガラスクロス。 【請求項２】 前記加熱処理シリカガラスクロスは、前記非加熱処理シリカガラスクロスの４５０℃～１６５０℃、１分～７２時間加熱処理体であることを特徴とする請求項１に記載の加熱処理シリカガラスクロス。 【請求項３】 前記加熱処理シリカガラスクロスが、平均フィラメント径が３μｍ～２０μｍのガラスフィラメントを１０本～４００本の本数で束ねたガラスストランドに対して、１ｍ当たり４回～４０回の撚りを掛けて、番手の大きさが０．５～４０ｔｅｘとしたガラスヤーンを製織してなるものであることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の加熱処理シリカガラスクロス。 【請求項４】 請求項１から請求項３のいずれか１項に記載の加熱処理シリカガラスクロスと、前記加熱処理シリカガラスクロスに含浸された硬化性樹脂とからなるものであることを特徴とするプリプレグ。 【請求項５】 請求項４に記載のプリプレグを備えるものであることを特徴とするプリント配線基板。 【請求項６】 加熱処理シリカガラスクロスの製造方法であって、 ＳｉＯ２組成量が９６．０～１００．０質量％含まれるガラスフィラメントからなる非加熱処理シリカガラスクロスを準備する工程と、 前記非加熱処理シリカガラスクロスを４５０℃～１６５０℃の温度で、１分～７２時間加熱処理して加熱処理シリカガラスクロスを得る工程を含み、 前記加熱処理シリカガラスクロスの誘電正接ｔａｎδ１を、周波数９ＧＨｚ以上で０．００１５以下とし、 前記加熱処理シリカガラスクロスの誘電正接ｔａｎδ１の前記非加熱処理シリカガラスクロスの周波数９ＧＨｚ以上での誘電正接ｔａｎδ２に対する比ｔａｎδ１／ｔａｎδ２を０．７以下とすることを特徴とする加熱処理シリカガラスクロスの製造方法。」 「【発明が解決しようとする課題】 【００１０】 本発明は、上記問題点に鑑みてなされたものであり、誘電正接が低く、伝送損失が小さい基板（「基板」とは、プリプレグ、プリント配線板、又はこれらの積層板等を含む概念である）を作製することのできるシリカガラスクロス、前記シリカガラスクロスを用いたプリプレグ、及びプリント配線板を提供することを目的とする。」 「【課題を解決するための手段】 【００１１】 上記課題を解決するために、本発明では、ＳｉＯ２組成量が９６．０～１００．０質量％含まれるガラスフィラメントからなる加熱処理シリカガラスクロスであって、前記加熱処理シリカガラスクロスの誘電正接ｔａｎδ１が、周波数９ＧＨｚ以上で０．００１５以下であり、前記加熱処理シリカガラスクロスの誘電正接ｔａｎδ１の非加熱処理シリカガラスクロスの周波数９ＧＨｚ以上での誘電正接ｔａｎδ２に対する比ｔａｎδ１／ｔａｎδ２が０．７以下のものであることを特徴とする加熱処理シリカガラスクロスを提供する。」 「【００３５】 本発明におけるシリカガラスクロスはシリカガラスヤーンを製織して製造することができる。 シリカガラスヤーンとしては、上記シリカガラスフィラメントを束ねてシリカガラスストランドとし、前記シリカガラスストランドに対して、１ｍ当たり４回～４０回の撚りを掛けて、番手の大きさが０．５～４０ｔｅｘとしたシリカガラスヤーンを用いることができる。」 「【００４１】 シリカガラスクロスを構成する経糸及び緯糸の総フィラメント数は特に制限はないが、２９０，０００本／ｍ２以上４００，０００本／ｍ２以下であることが好ましい。該範囲とすることにより、製織工程、水洗工程、及び開繊工程での、ガラスフィラメントに係る張力や加工圧に対しても、糸切れを生じにくくなり、毛羽立ちを抑制することが可能となる。また、経糸及び緯糸の総ガラスフィラメント数を４００，０００本／ｍ２以下とすることにより、ガラスクロスの厚さを薄くすることができ、厚さの薄い基板を得ることができる。これにより、従来よりも、薄く、より一層誘電率が低い基板を作製できるガラスクロスを提供することができる。総ガラスフィラメント数は、打ち込み密度や、ガラスフィラメント数を調整することによって制御することができる。」 「【００５８】 必要に応じて、シリカガラスヤーンやシリカガラスクロスは、シランカップリング剤等の公知の表面処理剤で表面処理されることが好適である。」 「【００６５】 （実施例１） ＳｉＯ２が９９．９質量％以上でｔａｎδ２が０．００２２のシリカガラスクロス（２１１６）を電気加熱炉に入れ、５００℃で１０分加熱を行った。加熱後はクロス形状を維持していた。得られた加熱処理ガラスクロスの誘電正接（ｔａｎδ１）を測定し、値を算出したところｔａｎδ１が０．００１４であった。処理前との比はｔａｎδ１／ｔａｎδ２＝０．６６であり、良好な結果であった。 ・・・ 【００６７】 （実施例３） 実施例１と同様に、ＳｉＯ２が９９．９質量％以上でｔａｎδ２が０．００２２のシリカガラスクロス（２１１６）を電気加熱炉に入れ、７００℃で５時間加熱を行った。加熱後はクロス形状を維持していた。得られた加熱処理ガラスクロスの誘電正接を測定し、値を算出したところｔａｎδ１が０．０００６であった。処理前との比はｔａｎδ１／ｔａｎδ２＝０．２８であり、実施例１より良好な結果であった。 【００６８】 （実施例４） 実施例１と同様に、ＳｉＯ２が９９．９質量％以上でｔａｎδ２が０．００２２のシリカガラスクロス（２１１６）を電気加熱炉に入れ、７００℃で１０時間加熱を行った。加熱後はクロス形状を維持していた。得られた加熱処理ガラスクロスの誘電正接を測定し、値を算出したところｔａｎδ１が０．０００２であった。処理前との比はｔａｎδ１／ｔａｎδ２＝０．１０であり、実施例２より良好な結果であった。 【００６９】 （実施例５） 実施例１と同様に、ＳｉＯ２が９９．９質量％以上でｔａｎδ２が０．００２２のシリカガラスクロス（２１１６）を電気加熱炉に入れ、１１００℃で１０時間加熱を行った。加熱後はクロス形状を維持していた。得られた加熱処理ガラスクロスの誘電正接を測定し、値を算出したところｔａｎδ１が０．０００２であった。処理前との比はｔａｎδ１／ｔａｎδ２＝０．１０であり、実施例４と同様の良好な結果であった。」 「【００７２】 実施例及び比較例の結果を表１に示す。 ［図：0001403682000003.jpg］ 」 （２） 甲３に記載された発明 甲３の実施例３～５にそれぞれ着目すると、甲３、甲４又は甲５には、それぞれ加熱処理ガラスクロスとして、以下の発明が記載されていると認める。 ＜甲３実施例３発明＞ 「ＳｉＯ２が９９．９質量％以上でｔａｎδ２が０．００２２のシリカガラスクロス（２１１６）を電気加熱炉に入れ、７００℃で５時間加熱を行った加熱処理ガラスクロス。」 ＜甲３実施例４発明＞ 「ＳｉＯ２が９９．９質量％以上でｔａｎδ２が０．００２２のシリカガラスクロス（２１１６）を電気加熱炉に入れ、７００℃で１０時間加熱を行った加熱処理ガラスクロス。」 ＜甲３実施例５発明＞ 「ＳｉＯ２が９９．９質量％以上でｔａｎδ２が０．００２２のシリカガラスクロス（２１１６）を電気加熱炉に入れ、１１００℃で１０時間加熱を行った加熱処理ガラスクロス。」 （３） 本件発明１との対比・判断 本件発明１と甲３実施例３、４又は５発明とを対比する。 甲３の段落【００３５】及び【００４１】の記載から、甲３実施例３、４又は５発明は、複数本のガラスフィラメントから成るガラス糸を経糸及び緯糸として製織して成るものを共通する構成であるといえる。 そうすると、甲３実施例３、４又は５発明において共通する構成である「ＳｉＯ２が９９．９質量％以上でｔａｎδ２が０．００２２のシリカガラスクロス（２１１６）」は、本件発明１の「複数本のガラスフィラメントから成るガラス糸を経糸及び緯糸として製織して成るガラスクロス」に相当する。 そうすると、本件発明１と甲３実施例３、４又は５発明とのそれぞれを対比すると、以下の点で一致し、かつ、相違する。 ＜一致点＞ 「複数本のガラスフィラメントから成るガラス糸を経糸及び緯糸として製織して成るガラスクロス。」 である点で一致し、以下の点で相違する。 ＜相違点３－１＞ ガラスクロスに関し、本件発明１は、「シランカップリング剤で表面処理されており」と特定されるとともに、「前記ガラスクロス表面に付着しているカーボンもしくは有機物の粒状異物が、５．００×１０－３個／μｍ以下の範囲である」と特定するのに対し、甲３実施例３、４又は５発明は、この点を特定しない点。 以下、＜相違点３－１＞について検討する。 甲３には、「必要に応じて、シリカガラスヤーンやシリカガラスクロスは、シランカップリング剤等の公知の表面処理剤で表面処理されることが好適である。」（段落【００５８】）との記載はあるが、シランカップリング剤処理後の「ガラスクロス表面に付着しているカーボンもしくは有機物の粒状異物」についての記載はない。 そして、申立人が提出したいずれの証拠にも、「シランカップリング剤処理後の」「ガラスクロス表面に付着しているカーボンもしくは有機物の粒状異物が、５．００×１０－３個／μｍ以下の範囲である」ことについて記載されているものはない。 そうすると、甲３実施例３、４又は５発明において、＜相違点３－１＞に係る本件発明１の発明特定事項とすることは、当業者といえども容易に想到し得たこととはいえない。 申立人は、本件発明１と甲３実施例３、４又は５発明との相違点を、「本件発明１は、シランカップリング剤で表面処理されているのに対し、甲３実施例３、４又は５発明は、この点を特定しない点（以下、＜相違点３－１－１＞という。）と、さらに、本件発明１は、ガラスクロス表面に付着しているカーボンもしくは有機物の粒状異物が、５．００×１０－３個／μｍ以下の範囲であると特定するのに対し、甲３実施例３、４又は５発明は、この点を特定しない点（以下＜相違点３－１－２＞という。）の２つとして、＜相違点３－１－１＞については、甲３の段落【００５８】の記載及びシランカップリング処理を行うことが当業者において周知慣用技術であるから、当業者が容易になし得たことであるとし、＜相違点３－１－２＞については、上記申立理由１、申立理由２、申立理由３－１と同様に、６５０℃以上で加熱処理をしていることから実質的な相違点でないと主張している。 当該主張について検討するに、申立人のいう＜相違点３－１－１＞については、上記１における＜相違点１－１＞、上記２における＜相違点２－１＞、上記３における＜相違点３－１＞で検討したとおりであり、申立人の主張は採用できないものである。 加えて、申立人は、＜相違点３－１－２＞に関して、実質的な相違点であったとしても、甲２、甲５及び甲６に基づいて当業者が容易に想到し得たことと主張するが、甲２及び甲５からは、ガラスクロス上に残存する有機物を除去した方がよいことが読み取れるに過ぎず、甲６にはシランカップリング剤処理後にメタノール洗浄を行うことが記載されているのみであって、「シランカップリング剤処理後の」「ガラスクロス表面に付着しているカーボンもしくは有機物の粒状異物が、５．００×１０－３個／μｍ以下の範囲である」ことは記載も示唆もされていないから、当該主張も採用できない。 よって、本件発明１は、甲３実施例３、４又は５発明に基いて当業者が容易に発明をすることができたものとはいえない。 （４） 本件発明２～１０について 本件発明２～１０は、本件発明１の発明特定事項を全て含み、さらに限定を加えるものであるから、上記（３）で検討したのと同じ理由により、本件発明２～１０は、甲３実施例３、４又は５発明に基いて当業者が容易に発明をすることができたものともいえない。 （５） まとめ 以上のとおりであるから、申立理由３－２には理由がない。 ４ 申立理由４（明確性）について （１）発明の詳細な説明の記載について 本件発明１の「ガラスクロス表面に付着しているカーボンもしくは有機物の粒状異物が、５．００×１０－３個／μｍ以下の範囲である」について、本件特許明細書の発明の詳細な説明には、以下の記載がある。 「【００３０】 〔カーボンもしくは有機物の粒状異物〕 本実施形態に係るカーボンもしくは有機物の粒状異物とは、マイクロスコープや走査型電子顕微鏡等によって、ガラスクロスを構成するガラスフィラメントの表面に付着していることが観察される、カーボンもしくは有機物の不定形の粒子である。前記不定形粒子のサイズは、数１０ｎｍ～数μｍであることが通常であるが、糊剤の種類やヒートクリーニングの条件、表面処理の条件によっては前記のサイズ範囲以外となることもある。一例として、ガラスクロス表面に付着している粒状異物の走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）写真を図１に示す。前記不定形粒子の組成がカーボンであるか、有機物であるか、無機物であるかは、ＳＥＭ－ＥＤＸや顕微ラマン分光測定により判別が可能である。 【００３１】 前記カーボンもしくは有機物の粒状異物は、付着頻度が増加するとガラスクロスの誘電正接を上昇させる傾向にある。ガラスクロスを構成する低誘電ガラスの低い誘電正接を発揮させるには、前記カーボンもしくは有機物の粒状異物の付着頻度が５．００×１０－３個／μｍ以下であることが好ましく、４．００×１０－３個／μｍ以下であることがより好ましく、３．００×１０－３個／μｍ以下であることが更に好ましい。また、付着頻度の下限値は、例えば、０個／μｍでよく、または０個／μｍを超えてよい。」 「【００７３】 〔ガラスクロス表面に付着している粒状異物の頻度〕 ４ｃｍ角サイズに切り出したガラスクロスを、カーボン両面テープを用いて、試料台に張り付けることで、測定の準備を行った。キーエンス社製超深度マルチアングル顕微鏡ＶＨＸ－Ｄ５００を用いて、経糸および緯糸に沿って、それぞれ１３２５μｍずつ観察を行う操作を計５回実施し、カウントした粒状異物の数と観察長から、ガラスクロスに付着している粒状異物の頻度を求めた。 ＜測定条件＞ 測定モード：超深度観察モード 倍率：１０００倍 プリセット：２５ｍｍ 【００７４】 〔粒状異物のラマン分析〕 粒状異物頻度の測定で確認できた粒状異物を、下記の条件でラマン分析することで、粒状異物をカーボン、有機物、無機物の３タイプに大別した。本操作による分類を粒状異物２０点に実施することで、各組成分類の付着率を求めた。 ＜ラマン測定条件＞ 装置：Ｒｅｎｉｓｈａｗｓ社製 ｉｎ Ｖｉａ Ｒｅｆｌｅｘ レーザー：５３２ｎｍ 照射時間：１０ｓｅｃ レーザーパワー：５％ 対物レンズ：×５０ 【００７５】 〔ガラスクロス表面に付着しているカーボンもしくは有機物の粒状異物頻度〕 ガラスクロス表面に付着しているカーボンもしくは有機物の粒状異物頻度を下記、計算式に従い、求めた。 カーボンもしくは有機物の粒状異物頻度［×１０－３ 個／μｍ］＝粒状異物頻度［×１０－３ 個／μｍ］×（カーボン粒状異物の付着率［％］＋有機物の粒状異物付着率［％］）÷１００」 （２） 判断 当業者は、上記記載をみれば、請求項１の「ガラスクロス表面に付着しているカーボンもしくは有機物の粒状異物」とは、上記段落【００７３】～【００７５】に記載された測定方法によって把握できるものであると、当業者であれば理解できるから、請求項１の記載は明確である。また、請求項１を引用する請求項２～１０の記載も明確である。 （３） まとめ よって、申立理由４には理由がない。 第５ むすび 以上のとおり、特許異議の申立ての理由及び証拠によっては、本件特許の請求項１～１０に係る特許を取り消すことはできない。また、他に本件特許の請求項１～１０に係る特許を取り消すべき理由は発見しない。 よって、結論のとおり決定する。