2022-700964

特許第７０４８７１３号発明「フッ素ゴム組成物及びそれを用いて形成されたゴム成形品」の特許異議申立事件について、次のとおり決定する。

結 論 特許第７０４８７１３号の請求項１～９に係る特許を維持する。

理 由 第１ 手続きの経緯 本件特許第７０４８７１３号にかかる出願（請求項の数９。以下「本件特許」という。）は、令和２年１２月１８日に出願され、令和４年３月２８日に特許権の設定登録がされ、同年４月５日に特許掲載公報が発行されたものである。 その後、令和４年９月３０日に、本件特許１～９に係る特許に対して、特許異議申立人岡本正義（以下「申立人」という。）により、特許異議の申立てがされた。 申立人が提出した証拠方法は、以下のとおりである。 甲第１号証 国際公開第２００６／０６８０９９号 甲第２号証 特開２００３－１８３４９３号公報 甲第３号証 特開２００４－１６８８８１号公報 甲第４号証 特開２００５－２４８１４９号公報 甲第５号証 特開２０００－７８３５号公報 甲第６号証 特開２０１８－２０２６２７号公報 甲第７号証 信越化学工業株式会社のインターネットページ「液状射出成形（ＬＩＭ）用ＳＩＦＥＬ３０００シリーズ」 （ＵＲＬ：ｈｔｔｐｓ：／／ｗｗｗ．ｓｉｆｅｌ．ｊｐ／ｐｒｏｄｕｃｔｓ／ｓｉｆｅｌ３０００．ｈｔｍｌ） 以下、甲第１号証～７号証を、それぞれ「甲１」～「甲７」という。 第２ 本件発明 特許第７０４８７１３号の請求項１～９の特許に係る発明（以下、「本件発明１」～「本件発明９」といい、これらをまとめて「本件発明」という。また、願書に添付された明細書を「本件明細書」という。）は、その特許請求の範囲の請求項１～９に記載された事項により特定される次のとおりのものである。 「【請求項１】 水素含有フッ素ゴムを主成分として含むベースゴムのＡ成分と、パーフルオロポリエーテル骨格を有する化合物のＢ成分と、かさ密度が０．４ｇ／ｃｍ３以下の粉体フィラーのＣ成分とを含有し、且つ前記Ｂ成分の一部又は全部が分子内にアルケニル基を含むフッ素ゴム組成物であって、 前記Ｂ成分の密度をｄＢ及び前記Ｂ成分の前記Ａ成分１００質量部に対する含有量をｐＢ、並びに前記Ｃ成分のかさ密度をｄＣ及び前記Ｃ成分の前記Ａ成分１００質量部に対する含有量をｐＣとするとき、（ｐＣ／ｄＣ）／（ｐＢ／ｄＢ）≧４であるフッ素ゴム組成物。 【請求項２】 請求項１に記載されたフッ素ゴム組成物において、 前記Ｂ成分における分子内にアルケニル基を含むものの割合が２０質量％以上であるフッ素ゴム組成物。 【請求項３】 請求項１又は２に記載されたフッ素ゴム組成物において、 架橋剤を更に含有するフッ素ゴム組成物。 【請求項４】 請求項３に記載されたフッ素ゴム組成物において、 前記架橋剤が有機過酸化物であるフッ素ゴム組成物。 【請求項５】 請求項１乃至４のいずれかに記載されたフッ素ゴム組成物において、 架橋助剤を更に含有するフッ素ゴム組成物。 【請求項６】 請求項１乃至５のいずれかに記載されたフッ素ゴム組成物が架橋して形成されたゴム成形品。 【請求項７】 請求項６に記載されたゴム成形品において、 成形品表面の方が成形品内部よりもＣＦ結合濃度が高いゴム成形品。 【請求項８】 請求項６又は７に記載されたゴム成形品において、 前記ゴム成形品がシール材であるゴム成形品。 【請求項９】 請求項８に記載されたゴム成形品において、 前記シール材が半導体製造装置用であるゴム成形品。」 第３ 申立人の主張する申立理由 １ 申立理由１（進歩性） 本件発明１～９は、本件特許出願前に日本国内又は外国において、頒布された又は電気通信回線を通じて公衆に利用可能となった、甲１及び甲３の記載に基づいて、本件発明の属する技術の分野における通常の知識を有する者（以下、「当業者」という。）が容易に発明をすることができたものであり、特許法第２９条第２項の規定に違反してされたものであるから、これらの発明に係る特許は、同法１１３条２号に該当し、取り消すべきものである。 ２ 申立理由２（サポート要件） 本件特許は、下記の理由により、特許法３６条６項１号に規定する要件を満たさない特許出願に対してされたものであるから、同法１１３条４号に該当し、取り消すべきものである。 記 請求項１～９では、フッ素ゴム組成物中の粉体フィラーＣ成分の含有量は規定されていないが、Ｃ成分の含有量が、水素含有フッ素ゴム１００質量部に対し、１０質量部を超えた場合であっても、本件明細書の実施例と同様に本件発明の課題を解決できるとはいえないから、請求項１～９は、発明の詳細な説明に記載した範囲を超えている。 ３ 申立理由３（明確性） 本件特許は、下記の理由により、特許法３６条６項２号に規定する要件を満たさない特許出願に対してされたものであるから、同法１１３条４号に該当し、取り消すべきものである。 記 （１）請求項１～９は、Ｂ成分がパーフルオロポリエーテル骨格を有する化合物のみからなるのか、パーフルオロポリエーテル骨格を有する化合物以外の成分を含むのか明確でないため、明確でない。 （２）請求項１～９における、Ａ成分とはどのような成分なのか、特に、水素含有フッ素ゴムをどの程度含む成分であるのか明確ではなく、Ａ成分がどのような成分なのかによってフッ素ゴム組成物やゴム成形品の物性が変化すると考えられるため、明確でない。 第４ 甲号証の記載 申立人が提出した甲１～７には、以下の記載がある。 １ 甲１ （１） 「請求の範囲 ［１］（ａ）架橋性フッ素ゴムと、 該架橋性フッ素ゴム１００重量部に対して、 （ｂ）２価パーフロロポリエーテル構造または２価パーフロロアルキレン構造を有し、末端あるいは側鎖に少なくとも有機珪素化合物（ｃ）中のヒドロシリル基と付加反応可能なアルケニル基を２個以上有する反応性フッ素系化合物（架橋性フッ素ゴム（ａ）を除く）と、 （ｃ）分子中に２個以上のヒドロシリル基を有し少なくとも前記反応性フッ素系化合物 （ｂ）中のアルケニル基と付加反応可能な反応性有機珪素化合物とを合計［（ｂ）＋（ｃ）］で１～１０重量部の量で含有し、さらに、 （ｄ）加硫剤（ｄ－１）と、必要により共架橋剤（ｄ－２）とを含むゴム組成物。 ・・・ ［５］請求項１～４の何れかに記載のゴム組成物を一次加硫成形後、１５０℃～３００℃の温度で、常圧～減圧下に二次加硫してなるプラズマ処理装置用シール材。」 （２） 「［０００１］ 本発明は、反応性を有する硬化前のゴム組成物、及びプラズマ処理装置用シール材に関し、さらに詳しくは、特に半導体製造プロセスなどで、高温下で長時間継続的に使用しても相手部材とのベタツキ・固着が発生し難く、パーティクル発生の問題がなく低コストで製造可能であるプラズマ処理装置用シール材を得ることができ、反応性を有する硬化前の未加硫ゴム組成物、及び該組成物を加硫成形してなるプラズマ処理装置用シール材等に関する。 背景技術 ［０００２］ 従来より半導体製造分野などでは、耐プラズマ性に優れたエラストマ一材料として、パーフロロエラストマ一（ＦＦＫＭ）が使用されていた。 しかしながら、パーフロロエラストマ一は非常に高価である。そのため、パーフロロェラストマー（ＦＦＫＭ）に代えて、より安価なフッ素ゴム（ＦＫＭ）が使用されることが多い。 ［０００３］ ところが、近年半導体の微細化傾向が強まり、半導体製造工程において、半導体用部材の微細化加工に際し、気相中でプラズマによりエッチング処理するドライエツチング方式が主流となっている。 このドライプロセスにおいて、半導体製造装置に組み込まれているフッ素ゴム（ＦＫＭ）製シール部材の使用環境は厳しくなりつつあり、フッ素ゴム製シール部材までも、プラズマエッチングされて劣化し、シール性能の低下を引起したり、あるいは、フッ素ゴム製シール部材中に配合されている充填材が露出・脱落し、パーティクルの発生などが起こり、メンテナンス回数の増加につながり、半導体製造工程に悪影響を及ぼす可能性がある。 ［０００４］ またフッ素ゴム（ＦＫＭ）成形品を、耐プラズマ性などが求められる半導体製造分野などで継続使用すると、フッ素ゴム成形品の表面にベタツキ（粘着）が発生し、相手部材と粘着してしまうことがある。この現象は、特に半導体製造プロセスで用いられるような高温下で起こりやすい。そのため、例えば、各種半導体製造プロセスで使用される各種処理装置の出入口に設置されるゲート弁などの開閉部のシール材としてフッ素ゴムシール材を使用した場合には、ゲート弁の迅速な開閉に支障をきたし、ゲート弁の開閉の遅延、脱落などのトラブルが発生するという問題もある。 ［０００５］ これに対して、従来は、フッ素ゴム（ＦＫＭ）に、耐プラズマ性を有する高価なパーフロロエラストマ一（ＦＦＫＭ）やフロロシリコーンゴムをブレンドして、得られる成形体に耐プラズマ性を付与することが試みられた。 しかしながら、得られた成形体では、フッ素ゴムと、パーフロロエラストマー（ＦＦＫＭ）またはフロロシリコーンゴムとがブレンドされセグメント状態となっており、成形体表面のフッ素ゴム部分が優先的にラジカル分解してしまうためか、耐プラズマ性はあまり向上しないという問題点があった。 ・・・ ［００１０］ ・・・ このため、フッ素ゴムよりも低コストで容易に製造でき、フッ素ゴム（ＦＫＭ）よりも優れた耐プラズマ性などを有する、優れたシール材が求められている。」 （３） 「［００１１］ 本発明は、上記のような従来技術に伴う問題点を解決しようとするものであって、半導体製造プロセス等で高温下に長時間継続的に使用しても相手部材とのベタツキ・固着が発生し難くパーティクル発生の問題が生じないプラズマ処理装置用シール材が低コストで得られるような、加硫可能で反応性を有する硬化前のゴム組成物、及び該組成物を加硫成形してなるプラズマ処理装置用シール材を提供することを目的としている。」 （４） 「［００２０］ 以下、この未加硫ゴム組成物に含まれる各成分について初めに説明する。 ＜架橋性フッ素ゴム（ａ）＞ 架橋性フッ素ゴム（ａ）としては、本発明の目的に照らして各種半導体ドライプロセスで使用されるプラズマ（プラズマエッチング処理）に対する耐性を示すシール材が得られるようなゴム材が望ましく、ベースゴム材料（ａ）としては一般的に耐プラズマ性に優れた公知のフッ素ゴムが使用される。 ［００２１］ 本発明では、上記架橋性フッ素ゴム（ａ）としては、 （イ）フッ化ビニリデン系の架橋性フッ素ゴム（ＦＫＭ）単独で用いてもよく、また （ロ）上記架橋性ＦＫＭに加えて、架橋性パーフルオロフッ素ゴム（ＦＦＫＭ）を含んでいてもよい。 ・・・ ［００２２］ このような架橋性フッ素ゴム（ａ）のうちで、上記架橋性のＦＫＭとしては、商品名「バイトン」（デュポン社製）、「ダイエルＧ９０２、９１２」（ダイキン工業社製）、「ミラフロン」（旭化成社製）、「フローレル」（３Ｍ社製）、「テクノフロン」（ソルベイソレクシス社製）などの商品名で上市されているものを何れも使用可能である。 本発明においては、ベースゴム（ａ）として、より安価なＦＫＭが単独で、またはＦＫＭを主成分とし、ＦＦＫＭなどを少量で配合したものが主に使用される。耐プラズマ性の観点からは、架橋性のＦＦＫＭを用いると最も優れたシール材を与えるがコスト高となる。これに対して本発明では、より安価で汎用性のあるＦＫＭをベースに、その耐プラズマ性、粘着性を改善し、低コストで半導体シール材としての使用に十分に耐えうるシール用ゴム材料が得られている。 ［００２３］ ・・・ ＜反応性フッ素系化合物（ｂ）＞ 反応性フッ素系化合物（ｂ）としては、２価パーフロロポリエーテル構造または２価パーフロロアルキレン構造を有し、末端あるいは側鎖に少なくとも有機珪素化合物（ｃ）中のヒドロシリル基（≡Ｓｉ－Ｈ）と付加反応可能なアルケニル基を２個以上有するものが用いられる。この２価パーフロロポリエーテル構造または２価パーフロロアルキレン構造は、硬化反応に寄与する。 ・・・ ［００２９］ ・・・ ＜反応性有機珪素化合物（ｃ）＞ 反応性有機珪素化合物（ｃ）としては、分子中に２個以上のヒドロシリル基（≡Ｓｉ－Ｈ）を有し、少なくとも前記反応性フッ素系化合物（ｂ）中のアルケニル基と付加反応可能のものが用いられる。」 （５） 「［００４７］ ・・・ ＜充填材＞ 本発明では、充填材は可能な限り使用しないのが望ましいが、本発明の目的・効果を逸脱しない範囲で必要に応じて（例えば・物性の改善などを目的として）、有機、無機系の各種充填材を配合することもできる。 ［００４８］ 無機充填材としては、例えば、カーボンブラック、シリカ、硫酸バリウム、酸化チタン、酸化アルミニウム等が挙げられる。」 （６） 「［００５４］ ・・・ 本発明では、成分（ｂ）、（ｃ）を含むものとして、この「ＳＩＦＥＬ８０７０Ａ／Ｂ」（信越化学社製）およびＬＩＭ成形用の「ＳＩＦＥＬ３７０１Ａ／Ｂ」などを挙げることができ、これらの流動性のある液状を呈する材料を用いることが必要である。成分（ｂ）、（ｃ）を液状の形で、上記ゴム成分（ａ）にブレンドしたゴム組成物を調製し、これを加硫成形によりゴム弾性体（シール材）に成形する。 ［００５５］ 正確な理由は判らないが、これらを、流動性のよい液状物（オイル状物）の状態でフッ素ゴムに配合することで、（ａ）フッ素ゴムと優れたブレンド状態が実現されることにより、耐プラズマ性、非粘着性に特に優れたシール材が得られるものと推察している。 より具体的にいえば、通常のフッ素ゴム同士のブレンドでは両成分の分散が完全にはなされることはなく、ある種の相構造（海島構造）の形態をとることが多く、それゆえ、ゴム高分子中のプラズマに弱い部分から選択的に劣化が進むと考えられている。 ［００５６］ これに対して、本発明に使用する液状を示す成分（ｂ）（ｃ）とフッ素ゴム（ａ）とのブレンドでは混?中によく行き渡りやすいため、成分（ｂ）中の耐プラズマ性を示すパーフルオロポリエーテルまたはパーフルオロアルキレン部分により、フッ素ゴムの弱い領域がよく保護されている構造を形成しているためではないかと発明者は推察している。 なお、前記特許文献２に記載の発明も「ＳＩＦＥＬ」（信越化学社製）製品を使用している点で本発明と共通するが、同文献中で使用されている「ＳＩＦＥＬ」製品は金型成形用の材料（固形状のコンパウンドタイプ）である「ＳＩＦＥＬ５７０１」とＬＩＭ成形用の材料である「ＳＩＦＥＬ３７０１」であり、いずれもゴム弾性体成形用の材料として市販されているものであり、そのまま単独で用いてシール材を得ている点で本発明とは大きく相違するものである。 ［００５７］ 特に、本発明で「（ｂ）＋（ｃ）」用の成分として使用する「ＳＩＦＥＬ８０７０Ａ／Ｂ」は、本来、ゲル形成用の材料であり、（成分（ａ）等を配合せず、）この「ＳＩＦＥＬ８０７０Ａ／Ｂ」を単独で用いて本来の方法で成形してもゲル体にしかならない材料であるが、これを、本発明では、用いられる成分（ａ）、（ｄ）等を含むゴム配合物に配合して加硫成形し、ゴム弾性体のシール材に成形した点において特徴的である。 ［００５８］ ところで、半導体分野では、パーティクルの発生が半導体製造に悪影響を与えることが知られている。耐プラズマ性に加え、プラズマ劣化を受けたとしてもパーティクルの発生が少ないシール材が求められている。プラズマ劣化によるシール材からのパーティクル発生を低減するために、シール材からのパーティクル発生源と考えられている充填材を含まないシール材とするには、「ＳＩＦＥＬ ＰＯＴＴＩＮＧ ＧＥＬ（ＳＩＦＥＬ８０７０Ａ／Ｂ）」が最も望ましい。ＬＩＭ成形用の材料（ＳＩＦＥＬ３７０１Ａ／Ｂ）の場合には、予め充填材が配合されているのに対し、ＳＩＦＥＬ８０７０Ａ／Ｂはゲル形成用材料であるため充填材が入っていないため、このような要求に応えることができる。また、充填材がはいっていないことからより流動性を有するので、ブレンドの分散性の観点からもより好ましい。」 （７） 「［００６０］ ・・・ ［実施例］ ・・・ ［００６２］ ・・・ ［実施例１］ 架橋性フッ素ゴムとして「ダイエルＧ９１２」｛パーオキサイド加硫可能な３元系含フッ素共重合体＝ビニリデンフルオライド（ＣＦ２＝ＣＨ２）／へキサフルオロプロピレン（ＣＦ３－ＣＦ＝ＣＦ２）／テトラフルオロエチレン（ＣＦ２＝ＣＦ２）、フッ素含量７１質量％、ムニー粘度ＭＬ１＋１０（１００℃）７６、ダイキン工業（株）製。｝に、 ２価パーフロロポリエーテル構造または２価パーフロロアルキレン構造を有し、末端あるいは側鎖にヒドロシリル基と付加反応可能なアルケニル基を２個以上有する反応性フッ素系化合物（ｂ）、及び、分子中に２個以上のヒドロシリル基を有しアルケニル基と付加反応可能な反応性有機珪素化合物（ｃ）、及び、（ｂ）と（ｃ）との付加反応用の白金族化合物触媒を含み、（ｂ）と（ｃ）との反応によりゲル化可能な成分である「ＳＩＦＥＬ８０７０Ａ／Ｂ」｛信越化学工業（株）製｝および、 架橋剤｛「パーへキサ２５Ｂ」、日本油脂社製、２，５－ジメチル－２，５－ジ（ｔ－ブチルパーオキシ）へキサン｝、並びに共架橋剤｛「ＴＡＩＣ」、日本化成社製、トリアリルイソシアヌレート｝を添加（配合）し、 オープンロールを用いて６０℃の温度で１．０時間混練し、ゴムコンパウンドを得た。 ［００６３］ このゴムコンパウンドを金型に充填し、圧力５０ｋｇｆ／ｃｍ２をかけて、１６５℃の温度で１５分間加熱し、架橋成形を行った（一次加硫成形）。 次いで、上記金型から一次加硫された成形体を取り出し、真空オーブン（真空度：３０Ｐａ）での減圧下に、２００℃で１２時間加熱した（二次加硫）。 得られた成形体について、表１に示す常態物性、圧縮永久歪（％）、固着試験（Ｎ）、耐プラズマ性（重量減少率（％）、条件３時間遮蔽）を上記試験条件下で測定した。 ・・・ ［００６４］ その結果を表１に示す。 ［実施例２～５］ 実施例１において、配合組成等を表１のように変えた以外は、実施例１と同様にして成形体を得た。 ・・・ ［００６９］［表１］ ［図：0001394026000001.jpg］ 」 ２ 甲２ （１） 「【請求項１】 反応可能基を少なくとも１個有し、主鎖がパーフルオロポリエーテル構造のパーフルオロポリエーテルポリマーと、これを架橋する架橋剤と、平均粒径が０．００１～１０μｍであるシリカ充填材とを含む硬化性組成物の硬化物からなることを特徴とする航空機用ゴム部品。 【請求項２】 硬化性組成物が、 （Ａ）一分子中に少なくとも２個のアルケニル基を有し、かつ主鎖中にパーフルオロポリエーテル構造を有する直鎖状フルオロポリエーテル化合物 （Ｂ）一分子中にケイ素原子に結合した水素原子（Ｓｉ－Ｈ基）を少なくとも２個有する有機ケイ素化合物 （Ｃ）ヒドロシリル化反応触媒 （Ｄ）シリカ充填材 を含有する硬化性フルオロポリエーテルゴム組成物である請求項１記載の航空機用ゴム部品。」 （２） 【００１２】上記硬化性組成物としては、公知のものを使用し得るが、特に、 （Ａ）一分子中に少なくとも２個のアルケニル基を有し、かつ主鎖中にパーフルオロポリエーテル構造を有する直鎖状フルオロポリエーテル化合物 （Ｂ）一分子中にケイ素原子に結合した水素原子（Ｓｉ－Ｈ基）を少なくとも２個有する有機ケイ素化合物 （Ｃ）ヒドロシリル化反応触媒 （Ｄ）シリカ充填材 を含有することを特徴とする硬化性フルオロポリエーテルゴム組成物であることが好ましい。」 （３） 「【００７５】［実施例１］パーフルオロポリエーテル構造を有する液状フッ素ゴムＳＩＦＥＬ３７０１（信越化学製）のＡ剤６２ｇ及びＢ剤６０ｇを混合し、減圧脱泡した。脱泡した材料を１７０×１３０×２ｍｍの型枠に注入し、５０トンプレス成形機を用い、１５０℃、８０ｋｇｆ／ｃｍ2、１０分間の条件で圧縮成形し、１７０×１３０×２ｍｍのシート状テストピースを成形した。このテストピースを２００℃／４時間ポストキュアーし、試験用サンプルを作製した。 ・・・ 【００７７】 ・・・ なお、上記実施例の液状フッ素ゴムＳＩＦＥＬ３７０１，４７５０，４７５５はいずれも（Ａ）～（Ｄ）成分を含むものである。」 ３ 甲３ （１） 「【請求項１】 （Ａ）分子中に少なくとも２個のアルケニル基を有し、かつ主鎖中にパーフルオロアルキルエーテル構造を有する直鎖状フルオロポリエーテル化合物 １００重量部 （Ｂ）表面をジメチルジクロロシランで疎水化処理された、比表面積が５０～３００ｍ２／ｇで、かつ、嵩密度が３０～８０ｇ／ｌであるシリカ系充填剤 １０～５０重量部 （Ｃ）分子中にケイ素原子に結合した水素原子を少なくとも２個有する有機ケイ素化合物 （Ａ）成分を硬化させる有効量 （Ｄ）ヒドロシリル化反応触媒 触媒量 を含有してなることを特徴とする硬化性フルオロポリエーテル系ゴム組成物。 【請求項２】（Ａ）成分の直鎖状フルオロポリエーテル化合物が、下記一般式（１） 【化１】 ［図：0001394026000002.jpg］ ［式中、Ｘは独立に－ＣＨ２－、－ＣＨ２Ｏ－又は－Ｙ－ＮＲ－ＣＯ－（但し、Ｙは－ＣＨ２－又は下記構造式でで示されるｏ，ｍ又はｐ位のジメチルフェニルシリレン基で表される基、 【化２】 ［図：0001394026000003.jpg］ Ｒは水素原子、メチル基、フェニル基又はアリル基である。）であり、ｐは独立に０又は１、Ｌは２～６の整数、ｍ及びｎはそれぞれ０～２００の整数である。］ で表される化合物である請求項１記載の硬化性フルオロポリエーテル系ゴム組成物。 ・・・ 【請求項４】 ＬＩＭ成形用である請求項１，２又は３記載の組成物。 ・・・ 【請求項６】 自動車用、化学プラント用、インクジェットプリンタ用、半導体製造ライン用、分析・理化学機器用、医療機器用、航空機用又は燃料電池用である請求項５記載のゴム製品。」 （２） 「【０００１】 【発明の属する技術分野】 本発明は、撥水性、撥油性、耐溶剤性、耐薬品性、耐候性に優れ、かつ金属等への固着防止性に優れたＯリング、ダイヤフラム、バルブ材料等に好適に利用される硬化性フルオロポリエーテル系ゴム組成物に関するものである。【０００２】 【従来の技術及び発明が解決しようとする課題】 従来、分子中に少なくとも２個のアルケニル基を有し、かつ主鎖中にパーフルオロアルキルエーテル構造を有する直鎖状フルオロポリエーテル化合物は、そのパーフルオロアルキルエーテル構造の有する特性から種々の用途に用いられている。この場合、シリコーンゴム等の補強のために使用されるヒュームドシリカと呼ばれている乾式法シリカ、沈降性シリカと呼ばれている湿式法シリカ等のシリカ系充填剤を硬化性フルオロポリエーテル系ゴムに配合することにより、得られた硬化物の機械的特性を飛躍的に向上させ得ることがわかっている。これにより耐熱性、耐薬品性、耐溶剤性、撥水性、撥油性、耐候性等の性質がバランスよく優れたフルオロポリエーテル系ゴム組成物を得ることができ、ほとんどの用途においては、これで十分な性能を有している。 【０００３】 しかし、このようなフルオロポリエーテル系ゴム組成物は、ほとんどの用途では性能的に十分であるものの、各種金属に圧着されて使用されるバルブ機構の構成部品としてシール部材及びダイヤフラムの成型用途では固着防止性に優れたものが要求されており、このため固着防止性の改善が課題となっている。例えば、バルブ機構の構成部品としてのシール性を向上させるシール部材及びダイヤフラムに硬化性フルオロポリエーテル系ゴム組成物が使用されているが、通常ゴム材料は接触している金属等の部品と固着する性質を有し、種々の不具合を生じる。このため従来ゴム材料の固着性を低下させるため、マイカ、２硫化モリブデン等による表面処理を行っている。しかし、上記処理においては、基材のゴム材料との密着性が不十分でありまた接触部材への移行による汚染の可能性等の問題があった。 【０００４】 本発明は上記事情に鑑みなされたもので、固着防止性に優れた硬化性フルオロポリエーテル系ゴム組成物を提供することを目的とする。 ・・・ 【０００７】 ・・・ （Ａ）成分の直鎖状フルオロポリエーテル化合物 （Ａ）成分の直鎖状フルオロポリエーテル化合物は、分子中に少なくとも２個のアルケニル基を有し、かつ主鎖中に２価のパーフルオロアルキルエーテル構造を有するもので、組成物のベースポリマーとして使用される。」 （３） 「【００２１】 さらには、シリカ系充填剤の嵩密度が３０～８０ｇ／ｌであることが好ましい。シリカ系充填剤の嵩密度が３０ｇ／ｌ以下では、組成物の粘度が増大するために配合が困難となり好ましくなく、８０ｇ／ｌ以上では十分な固着防止効果が付与されないので好ましくない。 【００２２】 このシリカ系充填剤の配合量は、（Ａ）成分１００重量部に対して１０～４０重量部であり、より好ましくは１５～３０重量部である。１０重量部未満では少なすぎて機械的強度及び固着性防止性の向上が認められず、また４０重量部より多くすると粘度の上昇が大きく、配合が難しい。」 （４） 「【００４８】 【実施例】 以下、実施例及び比較例を示し、本発明を具体的に説明するが、本発明は下記の実施例に制限されるものではない。なお、下記例で部は重量部を示し、粘度は２５℃の値である。 【００４９】 ［実施例１］ 下記式（２）で示されるポリマー（粘度４．４Ｐａ・ｓ、平均分子量１６，５００、ビニル基量０．０１２モル／１００ｇ）１００部に、シリカ系充填剤をジメチルジクロロシランで表面処理した処理シリカ（比表面積２４０ｍ２／ｇ、嵩密度４８ｇ／ｌ）を２５部の配合比でプラネタリーミキサーにて配合を行った後、１時間混練りを行った。混練り後１７０℃で２時間混合熱処理し、それぞれベースの製造をおこなった。 【００５０】 【化２１】 ［図：0001394026000004.jpg］ （但し、Ｒｆ１は、 【化２２】 ［図：0001394026000005.jpg］ を示し、Ｍｅはメチル基である。） 【００５１】 さらにこのベース１２５重量部に対して塩化白金酸を下記式（３）で示される化合物で変性した触媒のトルエン溶液（白金濃度０．５重量％）０．２部、エチニルシクロヘキサノールの５０％トルエン溶液を０．４部と下記式（４）で示されるＳｉＨ基を含有する有機ケイ素化合物３．３５部を加え、均一に混合し、硬化性フルオロポリエーテル系ゴム組成物を得た。 【００５２】 【化２３】 ［図：0001394026000006.jpg］ 」 ４ 甲４ （１） 「【０００５】 即ち、特開平８－１９９０７０号公報（特許文献１）では、（Ａ）下記一般式（１）で示される含フッ素アミド化合物、 【化１】 ［図：0001394026000007.jpg］ ［但し、式中Ｒ1は置換又は非置換の一価炭化水素基、Ｒ2は水素原子又は置換又は非置換の一価炭化水素基、Ｑは下記一般式（２）又は下記一般式（３）で示される基であり、 【化２】 ［図：0001394026000008.jpg］ （但し、式中Ｒ3は結合途中に酸素原子、窒素原子及びケイ素原子の１種又は２種以上を介在させてもよい置換又は非置換の二価炭化水素基を示す。） 【化３】 ［図：0001394026000009.jpg］ （但し、式中Ｒ4及びＲ5はそれぞれ置換又は非置換の二価炭化水素基を示す。）Ｒｆは二価のパーフルオロアルキレン基又は二価のパーフルオロポリエーテル基であり、ａは０以上の整数である。］ 【０００６】 （Ｂ）一分子中に１個以上の一価のパーフルオロオキシアルキル基、一価のパーフルオロアルキル基、二価のパーフルオロオキシアルキレン基又は二価のパーフルオロアルキレン基を有し、かつ２個以上のヒドロシリル基を有する含フッ素オルガノ水素シロキサン、 （Ｃ）触媒量の白金族化合物を含有する組成物であって、上記（Ｂ）成分の量は該組成物中の脂肪族不飽和基１モルに対し、ヒドロシリル基（Ｓｉ－Ｈ基）が０．５～５モルとなる量であることを特徴とする硬化性組成物が開示されている。」 （２） 「【００２４】 本発明の（ａ）成分のパーフルオロポリエーテル系含フッ素ゴム成形品は、前記した特許第２９９０６４６号公報（特開平８－１９９０７０号公報）、特開２０００－００７８３５号公報、特開２００１－１０６８９３号公報、特開２００３－２０１４０１号公報等により詳しく記載されている、架橋サイトがＳｉ－ＣＨ＝ＣＨ2であるパーフロロポリエーテル系含フッ素ゴム組成物を硬化成形したものであり、商品名ＳＩＦＥＬシリーズ（信越化学工業（株）製）として一般的に入手可能なものである。」 ５ 甲５ （１） 「【００７７】 【実施例】 ・・・ 【００７８】 【化１５】 ［図：0001394026000010.jpg］ 【００７９】 【化１６】 ［図：0001394026000011.jpg］ ・・・ 【００８４】 【表１】 ［図：0001394026000012.jpg］ 」 ６ 甲６ （１） 「【請求項１】 成形原料を押出成形して押出成形品を得る工程を備え、 前記成形原料が、第一の液状材料と、第二の液状材料を動的架橋して得られる動的架橋物との混合物であり、 前記第一の液状材料及び前記第二の液状材料が、それぞれ、 １分子中に少なくとも２つのアルケニル基を有し、且つ、パーフルオロポリエーテル構造及びアミド構造を有する含フッ素アミド化合物と、 １分子中に少なくとも２つのヒドロシリル基を有し、且つ、パーフルオロアルキル基及びパーフルオロアルカンジイル基からなる群より選択される少なくとも一種の含フッ素基を有する含フッ素ヒドロシランと、 ヒドロシリル化反応触媒と を含有する、押出成形品の製造方法。」 （２） 「【００５３】 含フッ素アミド化合物の具体例としては、例えば以下の化合物が挙げられる。 【００５４】 【化７】 ［図：0001394026000013.jpg］ 【００５５】 上記式中、ＲＡ１、ＲＡ２及びＲＡ３はそれぞれ独立に下記式（１－Ａ－２）で表される基を示す。 【００５６】 【化８】 ［図：0001394026000014.jpg］ 【００５７】 式（１－Ａ－２）中、ｐ及びｑはそれぞれ独立に２以上の整数を示す。ｐ＋ｑは、例えば２０以上であってよく、好ましくは４０以上、より好ましくは７０以上である。また、ｐ＋ｑは、例えば３００以下であってよく、好ましくは２００以下、より好ましくは１５０以下である。」 （３） 「【０１１１】 （使用材料の説明） 液状材料として、ＳＩＦＥＬ３５０５（信越化学工業株式会社製）を使用した。ＳＩＦＥＬ３５０５のＡ材とＢ材とを混合することによって、含フッ素アミド化合物、含フッ素ヒドロシラン及びヒドロシリル化反応触媒を含有する液状材料が調製される。なお、調製される液状材料の粘度は、３００Ｐａ・ｓであった。なお、実施例において、２３℃における粘度は、ＪＩＳ Ｋ ７１１７に準拠して、ブルックフィールド形回転粘度計により測定される見かけ粘度の値を示す。」 ７ 甲７ 「 ［図：0001394026000015.jpg］ ［図：0001394026000016.jpg］ 」（１／６～２／６頁） 第５ 当審の判断その１（申立理由１（進歩性）について） １ 甲１に記載された発明 甲１には、第４の１で摘記した事項が記載されているところ、摘記（７）の実施例４によれば、以下の発明が記載されていると認められる。 「「ダイエルＧ９１２」（ビニリデンフルオライド（ＣＦ２＝ＣＨ２）／へキサフルオロプロピレン（ＣＦ３－ＣＦ＝ＣＦ２）／テトラフルオロエチレン（ＣＦ２＝ＣＦ２）のパーオキサイド加硫可能な３元系含フッ素共重合体）１００重量部に、「ＳＩＦＥＬ３７０１Ａ／Ｂ」を１１重量部、過酸化物架橋剤（「パーへキサ２５Ｂ」、２，５－ジメチル－２，５－ジ（ｔ－ブチルパーオキシ）へキサン）を１重量部、共架橋剤（「ＴＡＩＣ」、トリアリルイソシアヌレート）を４重量部添加して混練したゴムコンパウンド。」 （以下、「甲１発明」という。 ２ 本件発明１について （１）対比 本件発明１と甲１発明とを対比する。 ア 甲１発明の「ダイエルＧ９１２」は架橋性フッ素ゴムであるところ、これは、ビニリデンフルオライド（ＣＦ２＝ＣＨ２）／へキサフルオロプロピレン（ＣＦ３－ＣＦ＝ＣＦ２）／テトラフルオロエチレン（ＣＦ２＝ＣＦ２）の３元系含フッ素共重合体であるから（甲１摘記（４）［００２２］、（７）［００６２］）、水素を含有する。 よって、甲１発明の「ダイエル９１２」は、本件発明１の「水素含有フッ素ゴム」に相当する。 そして、甲１発明のゴムコンパウンドは、「ダイエルＧ９１２」を１００重量部、「ＳＩＦＥＬ３７０１Ａ／Ｂ」を１１重量部、過酸化物架橋剤を１重量部、共架橋剤を４重量部含むところ、「ＳＩＦＥＬ３７０１Ａ／Ｂ」は流動性のある液状を呈する材料である（甲１摘記（６）［００５４］）からゴム成分ではなく、「架橋剤」及び「共架橋剤」もゴムではない。 すなわち、甲１発明のゴムコンパウンドは、ゴム成分として「ダイエルＧ９１２」のみを含むから、「ダイエルＧ９１２」は甲１発明のゴムコンパウンドにおけるベースゴムであるといえるし、当該ベースゴムは「ダイエルＧ９１２」のみを含むから、甲１発明のゴムコンパウンドのベースゴムは「ダイエルＧ９１２」を主成分とするといえる。 イ（ア）甲１発明のゴムコンパウンドに配合される「ＳＩＦＥＬ３７０１Ａ／Ｂ」は、「（ｂ）２価パーフロロポリエーテル構造または２価パーフロロアルキレン構造を有し、末端あるいは側鎖に少なくとも有機珪素化合物（ｃ）のヒドロシリル基と付加反応可能なアルケニル基を２個以上有する反応性フッ素化合物」と「（ｃ）分子中に２個以上のヒドロシリル基を有し少なくとも前記反応性フッ素化合物（ｂ）中のアルケニル基と付加反応可能な反応性有機珪素化合物」を含むＬＩＭ成形用の材料であり、あらかじめ充填材が配合されているものである（甲１摘記（１）、（６）［００５４］、［００５８］、（７）表１）。 （イ）「ＳＩＦＥＬ３７０１Ａ／Ｂ」について、甲２は、（Ａ）一分子中に少なくとも２個のアルケニル基を有し、かつ主鎖中にパーフルオロポリエーテル構造を有する直鎖状フルオロポリエーテル化合物、（Ｂ）一分子中にケイ素原子に結合した水素原子（Ｓｉ－Ｈ基）を少なくとも２個有する有機ケイ素化合物、（Ｃ）ヒドロシリル化反応触媒及び（Ｄ）シリカ充填材を含有する硬化性フルオロポリエーテルゴム組成物の硬化物からなることを特徴とする航空機用ゴム部品を開示するところ（甲２摘記（１））、甲２には、当該硬化性フルオロポリエーテルゴム組成物として、パーフルオロポリエーテル構造を有する液状フッ素ゴム「ＳＩＦＥＬ３７０１」のＡ剤及びＢ剤が記載されている（甲２摘記（３）【００７５】）。 これらの記載から、「ＳＩＦＥＬ３７０１」のＡ剤及びＢ剤、すなわち「ＳＩＦＥＬ３７０１Ａ／Ｂ」は、（Ａ）一分子中に少なくとも２個のアルケニル基を有し、かつ主鎖中にパーフルオロポリエーテル構造を有する直鎖状フルオロポリエーテル化合物、（Ｂ）一分子中にケイ素原子に結合した水素原子（Ｓｉ－Ｈ基）を少なくとも２個有する有機ケイ素化合物、（Ｃ）ヒドロシリル化反応触媒、（Ｄ）シリカ充填材を含むものと理解される。 （ウ）上記（ア）及び（イ）に照らせば、甲１発明の「ＳＩＦＥＬ３７０１Ａ／Ｂ」は、（ｉ）２価パーフロロポリエーテル構造とアルケニル基を２個以上有する反応性フッ素化合物、（ｉｉ）分子中に２個以上のヒドロシリル基を有する反応性有機珪素化合物、（ｉｉｉ）ヒドロシリル化反応触媒、（ｉｖ）シリカ充填材を含むものと理解されるところ、上記（ｉ）２価パーフロロポリエーテル構造とアルケニル基を２個以上有する反応性フッ素化合物は、本件発明１の「パーフルオロポリエーテル骨格を有する化合物」であって、「分子内にアルケニル基を含む」「Ｂ成分」に相当し、上記（ｉｖ）シリカ充填材は、本件発明１の「フィラー」に相当する。 ウ 上記アのとおり、甲１発明のゴムコンパウンドは、架橋性フッ素ゴムであるダイエルＧ９１２を主成分とするベースゴムを含むから、甲１発明のゴムコンパウンドは、「フッ素ゴム組成物」であるといえる。 エ 上記ア～ウに照らすと、本件発明１と甲１発明とは、 「水素含有フッ素ゴムを主成分として含むベースゴムのＡ成分と、パーフルオロポリエーテル骨格を有する化合物のＢ成分と、フィラーとを含有し、Ｂ成分の一部又は全部が分子内にアルケニル基を含むフッ素ゴム組成物。」 である点で一致し、以下の点で相違する。 ＜相違点１＞ フィラーに関し、本件発明１では、「かさ密度が０．４ｇ／ｃｍ３以下の粉体フィラー」であるのに対して、甲１発明では、「ＳＩＦＥＬ３７０１Ａ／Ｂ」はシリカ充填材を含むが、これのかさ密度は不明であり、粉体であるかも不明である点。 ＜相違点２＞ 本件発明１では、「Ｂ成分の密度をｄＢ及びＢ成分のＡ成分１００質量部に対する含有量をｐＢ、並びにＣ成分のかさ密度をｄＣ及びＣ成分のＡ成分１００質量部に対する含有量をｐＣとするとき、（ｐＣ／ｄＣ）／（ｐＢ／ｄＢ）≧４」であるのに対して、甲１発明ではそうであるか不明である点。 （２）判断 ア 相違点１について （ア）甲１発明において、「ＳＩＦＥＬ３７０１Ａ／Ｂ」は成分（ｂ）、（ｃ）及び充填材を含み（甲１摘記（６）［００５４］、（７）表１）、ここで、成分（ｂ）及び成分（ｃ）は「（ｂ）２価パーフロロポリエーテル構造または２価パーフロロアルキレン構造を有し、末端あるいは側鎖に少なくとも有機珪素化合物（ｃ）中のヒドロシリル基と付加反応可能なアルケニル基を２個以上有する反応性フッ素系化合物」と、「（ｃ）分子中に２個以上のヒドロシリル基を有し少なくとも前記反応性フッ素系化合物（ｂ）中のアルケニル基と付加反応可能な反応性有機珪素化合物」であるところ（甲１摘記（１））、甲１のいずれの箇所にも、「ＳＩＦＥＬ３７０１Ａ／Ｂ」に含まれる充填材のかさ密度についての記載や示唆はない。 この点に関して、甲１には、充填材は可能な限り使用しないのが望ましいが、例えば物性の改善などを目的として各種充填材を配合することができること、及び、ＬＩＭ成形用の「ＳＩＦＥＬ３７０１Ａ／Ｂ」は予め充填剤が配合されているのに対し、「ＳＩＦＥＬ８０７０Ａ／Ｂ」はゲル形成用材料であるため充填材が入っていないため、パーティクル発生低減の要求に応えることができ、ブレンドの分散性の観点からもより好ましいことが記載されている（甲１摘記（５）、（６）［００５８］）。 そうすると、甲１には、「ＳＩＦＥＬ３７０１Ａ／Ｂ」は、単に、上記（ｂ）成分、（ｃ）成分及び充填材を含有するものとして記載されているにとどまり、それに含まれる充填材のかさ密度について記載や示唆はなく、むしろ充填材が含まれていないことがより好ましいことすら記載されているのだから、甲１発明において、「ＳＩＦＥＬ３７０１Ａ／Ｂ」に含まれる充填材のかさ密度を調整し、０．４ｇ／ｃｍ３以下とすることの動機付けがあったとはいえない。 したがって、相違点１に係る事項は、甲１発明及び甲１の記載に基づいて当業者が容易に想到し得たものではない。 （イ）甲３摘記（１）、（２）【０００７】、（３）【００２１】及び（４）には、（Ａ）分子中に少なくとも２個のアルケニル基を有し、かつ主鎖中にパーフルオロアルキルエーテル構造を有する直鎖状フルオロポリエーテル化合物を１００重量部と、（Ｂ）表面をジメチルジクロロシランで疎水化処理された、比表面積が５０～３００ｍ２／ｇで、かつ、嵩密度が３０～８０ｇ／ｌであるシリカ系充填剤を１０～５０重量部と、（Ｃ）分子中にケイ素原子に結合した水素原子を少なくとも２個有する有機ケイ素化合物を（Ａ）成分を硬化させる有効量と、（Ｄ）ヒドロシリル化反応触媒を触媒量含有する、（Ａ）成分をベースポリマーとする硬化性フルオロポリエーテル系ゴム組成物に関し、シリカ系充填剤の嵩密度が３０ｇ／ｌ以下では、組成物の粘度が増大するために配合が困難となり、８０ｇ／ｌ以上では十分な固着防止効果が付与されないことが記載されている。 さらに具体的には、実施例１として、上記（Ａ）成分である式（２）で示されるポリマーを１００重量部と、上記（Ｂ）成分である、嵩密度４８ｇ／ｌのシリカ系充填剤をジメチルジクロロシランで表面処理した処理シリカ２５重量部とを混練り後、混合熱処理してベースの製造を行い、ベースに対して、触媒のトルエン溶液０．２重量部とエチニルシクロヘキサノールのトルエン溶液０．４重量部と、上記（Ｃ）成分である式（４）で示される化合物３．３５重量部を加え、均一に混合し、硬化性フルオロポリエーテル系ゴム組成物を得たことが記載されている（甲３摘記（４））。 上記甲３の記載から、上記（Ａ）成分をベースポリマーとし、（Ｂ）成分を（Ａ）成分１００重量部に対して１０～５０重量部含む硬化性フルオロポリエーテル系ゴム組成物においては、シリカ系充填剤の嵩密度が３０ｇ／ｌ以下では、組成物の粘度が増大するために配合が困難となり、８０ｇ／ｌ以上では十分な固着防止効果が付与されないこと、具体的に、嵩密度４８ｇ／ｌのシリカ系充填剤を使用できることは理解できる。 しかしながら、上記（１）アのとおり、甲１発明のゴムコンパウンドは、ビニリデンフルオライド／へキサフルオロプロピレン／テトラフルオロエチレンの３元系含フッ素共重合体である「ダイエルＧ９１２」をベースポリマーとしており、「ＳＩＦＥＬ３７０１Ａ／Ｂ」が配合されるといっても、これは流動性のある液状を呈する材料であって（甲１摘記（６）［００５４］）ゴム成分ではないから、甲１発明のゴムコンパウンドは硬化性フルオロポリエーテル系ゴム組成物ではなく、上記甲３の記載に基づいて、硬化性フルオロポリエーテル系ゴム組成物におけるシリカ嵩密度に関し理解できる事項が、硬化性フルオロポリエーテル系ゴム組成物ではない甲１発明のゴムコンパウンドにもそのまま当てはまるとする合理的な根拠はない。 そうすると、甲１発明の組成物が含有する「ＳＩＦＥＬ３７０１Ａ／Ｂ」がシリカ充填材を含むものであったとしても、当該シリカ充填材のかさ密度を、甲３で好ましいとされたシリカ系充填剤の嵩密度の範囲にすることが動機づけられたとはいえない。 よって、甲１発明に甲３の記載を合わせ考えても、上記相違点１に係る事項を、当業者が容易に想到し得たとはいえない。 （ウ）甲２、甲４～７には、ゴム組成物における充填剤のかさ密度については何ら記載がないから、甲１発明にこれらの記載を合わせ考えても、上記相違点１に係る事項を、当業者が容易に想到し得たとはいえない。 イ 相違点２について 上記アのとおり、相違点１に係る事項は、当業者が容易に想到し得たものではないから、相違点２について検討するまでもなく、本件発明１は、甲１発明及び甲２～７の記載に基づき、当業者が容易に発明をすることができたものではないが、以下、念のため、相違点２について検討する。 本件明細書によれば、（ｐＣ／ｄＣ）／（ｐＢ／ｄＢ）≧４なる式は、Ｃ成分の体積がＢ成分の体積の４倍以上であることを意味する（【００２６】）。 これに対して、甲１発明のゴムコンパウンドが含有する「ＳＩＦＥＬ３７０１Ａ／Ｂ」は、上記（１）イ（ウ）のとおり、（ｉ）２価パーフロロポリエーテル構造とアルケニル基を２個以上有する反応性フッ素化合物と（ｉｖ）シリカ充填材を含むものの、甲１には、これらの体積比については何ら記載がなく、ましてや、当該（ｉｖ）成分の体積を、当該（ｉ）成分の体積の４倍以上とすることについてなど、記載も示唆もされていないから、甲１発明において、相違点２に係る事項を採用することは当業者にとって容易に想到し得た事項ではない。 さらに、甲２～７のいずれをみても、ゴム組成物における、（ｉ）２価パーフロロポリエーテル構造とアルケニル基を２個以上有する反応性フッ素化合物と（ｉｖ）シリカ充填材との体積比についての記載などないから、甲１発明に甲２～７のいずれの記載を合わせ考えても、相違点２に係る事項は、当業者が容易に想到し得たものではない。 ウ 申立人の主張について （ア）申立人の主張 申立人は、特許異議申立書（以下、「申立書」という。）において、概略以下のとおり主張する。 ａ 相手部材との固着が発生し難いことを一つの課題とする甲１発明のゴムコンパウンドにおいて、ＬＩＭ成形用であるＳＩＦＥＬ３７０１Ａ／Ｂの代わりに、相手部材との固着防止のために、同様の成分を含み、同じＬＩＭ成形用である甲３の実施例１に記載された組成物（甲３組成物）を用いることは、当業者にとって容易である。 そして、甲１発明のゴムコンパウンドにおいて、ＳＩＦＥＬ３７０１Ａ／Ｂの代わりに甲３組成物を用いたもの（甲１－３Ａ組成物）は、かさ密度が０．４ｇ／ｃｍ３以下の粉体フィラーのＣ成分を含むことになる（申立書３０頁７～３１頁最終行）。 ｂ 甲１発明のゴムコンパウンドのＳＩＦＥＬ３７０１Ａ／Ｂに含まれるシリカ充填材のかさ密度は不明であるが、甲３には、シリカ系充填剤の嵩密度が３０～８０ｇ／ｌが好ましいこと、３０ｇ／ｌ以下では組成物の粘度が増大するために配合が困難となり好ましくなく、８０ｇ／ｌ以上では、十分な固着防止効果が付与されないので好ましくないことが記載されているから、甲１発明のゴムコンパウンドにおいて、十分な固着防止効果を奏すること等を目的として、シリカ充填剤として嵩密度が３０～８０ｇ／ｌのシリカ系充填剤を用いることは容易であり、甲１発明のゴムコンパウンドにおいて、ＳＩＦＥＬ３７０１Ａ／Ｂの充填剤として、嵩密度が３０～８０ｇ／ｌのものを用いたもの（甲１－３Ｂ組成物）は、かさ密度が０．４ｇ／ｃｍ３以下の粉体フィラーのＣ成分を含む（申立書３２頁６～２５行） ｃ 甲３組成物における、パーフルオロポリエーテル、ＳｉＨ基を含有する有機珪素化合物及びヒドロシリル化反応触媒を含む組成物は、甲４～６の記載からみて、「ＳＩＥＦＥＬシリーズ」と同様の組成物であるといえるところ、甲７によれば、「ＳＩＦＥＬ３５０５Ａ／Ｂ」の密度は１．８６ｇ／ｃｍ３であるため、甲３組成物における、パーフルオロポリエーテル、ＳｉＨ基を含有する有機珪素化合物及びヒドロシリル化反応触媒を含む組成物の密度も、１．８６ｇ／ｃｍ３程度であると考えられ、これを踏まえると、甲１－３Ａ組成物は（ｐＣ／ｄＣ）／（ｐＢ／ｄＢ）≧４」を満たす（申立書３３頁４行～１９行）。 ｄ 甲７によれば、甲１組成物の「ＳＩＦＥＬ３７０１Ａ／Ｂ」に含まれる、１分子中に少なくとも２個のアルケニル基を有し、且つ主鎖中にパーフルオロポリエーテル構造を有する直鎖状フルオロポリエーテル化合物の密度は、１．８６～１．９８ｇ／ｃｍ３程度であると考えられるところ、甲３には、１分子中に少なくとも２個のアルケニル基を有し、且つ主鎖中にパーフルオロポリエーテル構造を有する直鎖状フルオロポリエーテル化合物１００質量部に対して、シリカ充填剤の配合量は１０～４０質量部であることが記載されているから、甲１－３Ｂ組成物において、シリカ充填剤の配合量をこのようにすることは当業者にとって容易であり、このとき、（ｐＣ／ｄＣ）／（ｐＢ／ｄＢ）≧４」となる（申立書３５頁２０行～３７頁４行） と主張する。 （イ）申立人の主張についての検討 ａ 主張ａについて 確かに、甲１摘記（２）及び（３）、甲３摘記（２）及び（３）によれば、甲１及び甲３は、いずれも相手部材との固着を回避すべき問題点として記載しているし、甲１摘記（６）及び甲３摘記（１）によれば、甲１発明のゴムコンパウンドにおける「ＳＩＦＥＬ３７０１Ａ／Ｂ」も、甲３組成物も、ＬＩＭ成形用であると記載されている。 しかしながら、甲１発明のゴムコンパウンドの「ＳＩＦＥＬ３７０１Ａ／Ｂ」は、上記（１）アのとおり流動性のある液状を呈する材料であるのに対して、甲３組成物は、式（２）で示される粘度４．４Ｐａ・ｓのポリマー１００重量部と、処理シリカ２５重量部を配合し、混練り、熱処理して製造したベース１２５重量部に対して、触媒のトルエン溶液０．２重量部、式（４）で示されるＳｉＨ基を有する有機ケイ素化合物３．３５重量部を加えて混合して得られた硬化性フルオロポリエーテル系ゴム組成物であり（甲３摘記（４））、流動性のある液状を呈する材料であると解することはできない。 加えて、甲１は、「ＳＩＦＥＬ３７０１Ａ／Ｂ」を、成分（ｂ）、（ｃ）を含むものとして記載した上で、成分（ｂ）、（ｃ）を流動性のよい液状物（オイル状物）の状態でフッ素ゴムに配合することで、優れたブレンド状態が実現されることにより、耐プラズマ性、非粘着性に特に優れたシール材が得られるものと推察されると記載する（甲１摘記（６）［００５４］、［００５５］）。 そうすると、甲１発明のゴムコンパウンドにおいて、流動性のある液状を呈する「ＳＩＦＥＬ３７０１Ａ／Ｂ」に代えて、流動性のある液状を呈する材料であると解することのできない甲３組成物を使用することは何ら動機づけられないし、上記甲１の、成分（ｂ）、（ｃ）を流動性のよい液状物（オイル状物）の状態でフッ素ゴムに配合することで、優れたブレンド状態が実現されることにより、耐プラズマ性、非粘着性に特に優れたシール材が得られるものと推察されるとの記載に照らせば、むしろ、阻害要因があるともいえる。 そして、このことは、甲１及び甲３が、いずれも相手部材との固着を回避すべき問題点として記載し、甲１発明のゴムコンパウンドに含有される「ＳＩＦＥＬ３７０１Ａ／Ｂ」と甲３組成物がいずれもＬＩＭ成形用であることに何ら左右されない。 よって、上記主張ａは、採用できない。 ｂ 主張ｂについて 確かに、甲３には、シリカ系充填剤の嵩密度が３０～８０ｇ／ｌが好ましいこと、３０ｇ／ｌ以下では組成物の粘度が増大するために配合が困難となり好ましくなく、８０ｇ／ｌ以上では、十分な固着防止効果が付与されないので好ましくないことが記載されているものの、そのような嵩密度についての記載が、甲１発明のゴムコンパウドにそのまま当てまめるとする合理的な根拠がないことは、上記ア（イ）のとおりである。 よって、主張ｂは、採用できない。 ｃ 主張ｃ及びｄについて 主張ｃは、甲１発明の組成物において、ＳＩＦＥＬ３５０５Ａ／Ｂに代えて甲３組成物を用いることは容易であるという前提にたち、主張ｄは、甲１発明の組成物において、「ＳＩＦＥＬ３７０１Ａ／Ｂ」におけるシリカ充填材の嵩密度を、甲３の記載に基づいて３０～８０ｇ／ｌとすることが容易であるという前提にたつが、これらの前提が誤っていることは上記ａ及びｂのとおりである。 よって、主張ｃ及びｄは前提において誤りがあり、採用できない。 ３ 本件発明２～９について 本件発明２～９は、本件発明１を直接的又は間接的に引用するものである。そして、上記２のとおり、本件発明１が、甲１発明及び甲２～７の記載に基づいて容易に発明をすることができたものであるといえない以上、本件発明２～９も、甲１発明及び甲２～７の記載に基づいて容易に発明をすることができたものであるとはいえない。 ４ 小括 よって、申立理由１は、理由がない。 第６ 当審の判断その２（申立理由２（サポート要件）について） １ 判断基準 特許請求の範囲の記載が、明細書のサポート要件に適合するか否かは、特許請求の範囲の記載と発明の詳細な説明の記載とを対比し、特許請求の範囲に記載された発明が、発明の詳細な説明に記載された発明で、発明の詳細な説明の記載により当業者が当該発明の課題を解決できると認識できる範囲のものであるか否か、また、その記載や示唆がなくとも当業者が出願時の技術常識に照らし当該発明の課題を解決できると認識できる範囲のものであるか否かを検討して判断すべきものである。 ２ 本件発明について （１）本件明細書の記載 ア 本件明細書には,以下の記載がある。 「【背景技術】 【０００２】 半導体製造装置用のシール材として、フッ素ゴム組成物で形成されたものが広く用いられている。特許文献１には、その耐プラズマ性を高めることを目的として、シール材を形成するフッ素ゴム組成物に、パーフルオロポリエーテル骨格を有する化合物を含有させることが開示されている。 ・・・ 【発明が解決しようとする課題】 【０００４】 ところが、シール材を形成するフッ素ゴム組成物にパーフルオロポリエーテル骨格を有する化合物を含有させた場合、それがシール材からブリードアウトするという問題がある。 【０００５】 本発明の課題は、ゴム成形品に優れた耐プラズマ性を保持させるとともに、ゴム成形品からパーフルオロポリエーテル骨格を有する化合物がブリードアウトするのを抑制することである。 ・・・ 【００１７】 Ｂ成分の密度ｄＢは、後述するように実施形態に係るフッ素ゴム組成物を用いて形成されるゴム成形品に優れた耐プラズマ性を保持させるとともに、ゴム成形品からＢ成分がブリードアウトするのを抑制する観点から、好ましくは１．５ｇ／ｃｍ３以上、より好ましくは１．８ｇ／ｃｍ３以上であり、同様の観点から、好ましくは２．５ｇ／ｃｍ３以下、より好ましくは２．０ｇ／ｃｍ３以下である。Ｂ成分が複数種の化合物を含む場合、Ｂ成分の密度ｄＢは、それぞれの密度と含有分率との積の総和である。分子内にアルケニル基を含むＢ成分の密度ｄＢは、ＪＩＳ Ｚ８８３７：２０１８に規定されるガスピクノメータ法により測定されるものである。分子内にアルケニル基を含まないＢ成分の密度ｄＢは、ＪＩＳ Ｋ００６１：２００１に規定される振動式密度計法により温度２０℃で測定されるものである。 【００１８】 Ｂ成分のＡ成分１００質量部に対する含有量ｐＢは、ゴム成形品の高い耐プラズマ性を得る観点から、好ましくは０．１質量部以上、より好ましくは１．０質量部以上であり、ゴム成形品に優れた耐プラズマ性を保持させるとともに、ゴム成形品からＢ成分がブリードアウトするのを抑制する観点から、好ましくは２０質量部以下、より好ましくは１５質量部以下である。Ｂ成分が複数種の化合物を含む場合、Ｂ成分の含有量ｐＢは、それぞれの含有量の総和である。 【００１９】 Ｂ成分における分子内にアルケニル基を含むパーフルオロポリエーテル骨格を有する化合物の市販材料としては、例えば、信越化学工業社製のＳＩＦＥＬが挙げられ、特にＳＩＦＥＬ３０００シリーズが好ましい。分子内にアルケニル基を含むパーフルオロポリエーテル骨格を有する化合物は、一液型材料であることが好ましい。 【００２０】 Ｂ成分における分子内にアルケニル基を含まないパーフルオロポリエーテル骨格を有する化合物の市販材料としては、例えば、ＳＯＬＶＡＹ社製のフォンブリンＹ潤滑剤やケマーズ社のクライトックスのＧＰＬオイル等が挙げられる。 【００２１】 Ｃ成分は、Ａ成分に分散したかさ密度ｄＣが０．４ｇ／ｃｍ３以下の粉体フィラーである。Ｃ成分の粉体フィラーとしては、例えば、シリカ、樹脂粉体、炭化ケイ素、炭化ホウ素、窒化ケイ素、窒化ホウ素等が挙げられる。Ｃ成分は、これらのうちの１種又は２種以上を含むことが好ましく、シリカ及び／又は樹脂粉体を含むことがより好ましい。シリカは、乾式シリカであっても、湿式シリカであっても、どちらでもよい。シリカは、表面未処理の親水性シリカであっても、ジメチルジクロロシラン等で表面修飾処理された疎水性シリカであっても、どちらでもよい。樹脂粉体としては、例えば、フェノール樹脂粉体、フッ素樹脂粉体、ポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥＫ）樹脂粉体等が挙げられる。 【００２２】 Ｃ成分の粉体フィラーのかさ密度ｄＣは、ゴム成形品に優れた耐プラズマ性を保持させるとともに、ゴム成形品からＢ成分がブリードアウトするのを抑制する観点から、好ましくは０．０１ｇ／ｃｍ３以上、より好ましくは０．０３ｇ／ｃｍ３以上であり、同様の観点から、好ましくは０．３５ｇ／ｃｍ３以下、より好ましくは０．２０ｇ／ｃｍ３以下である。Ｃ成分が複数種の粉体フィラーを含む場合、Ｃ成分のかさ密度ｄＣは、それぞれのかさ密度と含有分率との積の総和である。Ｃ成分のかさ密度ｄＣは、ＪＩＳ Ｒ１６２８－１９９７に規定されるタップかさ密度の測定方法に準じて測定されるものである。 【００２３】 Ｃ成分のＡ成分１００質量部に対する含有量ｐＣは、ゴム成形品に優れた耐プラズマ性を保持させるとともに、ゴム成形品からＢ成分がブリードアウトするのを抑制する観点から、好ましくは０．１質量部以上、より好ましくは１．０質量部以上であり、ゴム成形品から粉体フィラーが析出するのを抑制する観点から、好ましくは３０質量部以下、より好ましくは２０質量部以下である。Ｃ成分が複数種の粉体フィラーを含む場合、Ｃ成分の含有量ｐＣは、それぞれの含有量の総和である。 【００２４】 Ｃ成分の含有量ｐＣは、ゴム成形品から粉体フィラーが析出するのを抑制する観点から、Ｂ成分の含有量ｐＢよりも多いことが好ましい。Ｃ成分の含有量ｐＣのＢ成分の含有量ｐＢに対する比（ｐＣ／ｐＢ）は、同様の観点から、好ましくは０．１以上３０以下、より好ましくは１．０以上２０以下である。 【００２５】 Ｃ成分の市販材料としては、シリカでは、例えばエボニック社製のアエロジルシリーズやカープレックスシリーズ等が挙げられる。フェノール樹脂粉体では、例えばエア・ウォーター・ベルパール社製のベルパールシリーズ等が挙げられる。フッ素樹脂粉体では、例えばアルケマ社製のカイナーシリーズ等が挙げられる。ポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥＫ）樹脂粉体では、例えばダイセル・エボニック社製のＶＥＳＴＡＫＥＥＰシリーズ等が挙げられる。 【００２６】 実施形態に係るフッ素ゴム組成物では、（ｐＣ／ｄＣ）／（ｐＢ／ｄＢ）≧４である。これは、Ｃ成分の体積がＢ成分の体積の４倍以上あることを意味する。ゴム成形品に優れた耐プラズマ性を保持させるとともに、ゴム成形品からＢ成分がブリードアウトするのを抑制する観点からは、好ましくは（ｐＣ／ｄＣ）／（ｐＢ／ｄＢ）≧１０、より好ましくは（ｐＣ／ｄＣ）／（ｐＢ／ｄＢ）≧５０である。 ・・・ 【００３３】 実施形態に係るフッ素ゴム組成物が架橋して形成されるゴム成形品では、Ｂ成分のパーフルオロポリエーテル骨格を有する化合物が用いられているので、優れた耐プラズマ性を保持させることができ、具体的にはプラズマが照射されても質量減少を少なくすることができる。それとともに、Ｂ成分がブリードアウトするのを抑制することができる。これは、Ｃ成分の粉体フィラーが用いられており、且つそのＣ成分の体積がＢ成分の体積よりも非常に大きいので、Ｂ成分がＣ成分に担持されてＡ成分内に保持されるためであると推測される。しかも、Ｃ成分の粉体フィラーのかさ密度が０．４ｇ／ｃｍ３以下と小さいことにより、プラズマが照射されても、Ｃ成分の粉体フィラーのパーティクルが析出するのを抑制することができる。 【００３４】 また、実施形態に係るフッ素ゴム組成物が架橋して形成されるゴム成形品では、その成形加工時において、フッ素ゴム組成物がＣ成分の粉体フィラーを含有するので、その粘度が高められており、そのためＢ成分のパーフルオロポリエーテル骨格を有する化合物の流動が容易となり、その結果、Ｂ成分が表層に偏析することとなって、成形品表面の方が成形品内部よりもＣＦ結合濃度が高くなる。これにより、成形品表面では、プラズマによる攻撃を受けて劣化の起点となるＣＨ結合が少なくなり、それによって耐プラズマ性を高めることができる。定量的には、Ｘ線光電子分光法により、Ｘ線を照射したときに計測されるＣ１ｓピークにおけるＣＨ結合に由来する２８２～２８８ｅＶのピーク面積をＡＣＨ及びＣＦ結合に由来する２８８～２９６ｅＶのピーク面積をＡＣＦとするとき、（成形品表面にＸ線を照射したときのＡＣＦ／ＡＣＨ）／（成形品断面にＸ線を照射したときのＡＣＦ／ＡＣＨ）≧２であることが好ましい。この比は、ゴム成形品に優れた耐プラズマ性を保持させるとともに、ゴム成形品からＢ成分がブリードアウトするのを抑制する観点から、好ましくは２．５以上である。 ・・・ 【００３８】 ・・・ 【実施例】 【００３９】 （シール材） 以下の実施例１乃至１３及び比較例１乃至７のシール材を作製した。それぞれの構成は表１及び２にも示す。なお、パーフルオロポリエーテル骨格を有する化合物の密度は、分子内にアルケニル基を含む場合には、ＪＩＳ Ｚ８８３７：２０１８に規定されるガスピクノメータ法により測定し、分子内にアルケニル基を含まない場合には、ＪＩＳ Ｋ００６１：２００１に規定される振動式密度計法により温度２０℃で測定した。粉体フィラーのかさ密度は、ＪＩＳ Ｒ１６２８－１９９７に規定されるタップかさ密度の測定方法に準じて測定した。 【００４０】 ＜実施例１＞ ビニリデンフルオライドとヘキサフルオロプロピレンとテトラフルオロエチレンとの共重合体からなる水素含有フッ素ゴム（ダイエルＧ９１２ ダイキン工業社製）をＡ成分とし、このＡ成分１００質量部に対して、Ｂ成分の一液型の液状材料である分子内にビニル基を含むパーフルオロポリエーテル骨格を有する化合物１（ＳＩＦＥＬ３０００シリーズ Ｘ-７１-３５９ 信越化学工業社製、密度ｄＢ：１．８５ｇ／ｃｍ３）１質量部（ｐＢ）、Ｃ成分の粉体フィラーである表面未処理の親水性の乾式シリカ１（アエロジル２００ エボニック社製、かさ密度ｄＣ：０．０５ｇ／ｃｍ３）１０質量部（ｐＣ）、架橋剤の有機過酸化物である２，５－ジメチル－２，５－ジ（ｔ－ブチルパーオキシ）ヘキサン（パーヘキサ２５Ｂ 日本油脂社製）１．５質量部、及び架橋助剤のトリアリルイソシアヌレート（タイク 日本化成社製）４質量部を配合してオープンロールで混練することによりフッ素ゴム組成物を調製した。そして、このフッ素ゴム組成物を用いて架橋させることによりシール材（ＡＳ-２１４ Ｏリング）を作製した。フッ素ゴム組成物の架橋は、１６０℃で１０分間のプレス成形により一次架橋と、２００℃に温度設定したギアオーブン中に４時間保持する二次架橋とにより行った。得られたシール材を実施例１とした。 【００４１】 ＜実施例２＞ Ｃ成分の粉体フィラーとして、ジメチルジクロロシランで表面処理された疎水性の乾式シリカ２（アエロジルＲ９７２ エボニック社製、かさ密度ｄＣ：０．０５ｇ／ｃｍ３）を、Ａ成分１００質量部に対して０．２質量部（ｐＣ）を配合してフッ素ゴム組成物を調製したことを除いて、実施例１と同様にしてシール材を作製した。得られたシール材を実施例２とした。 【００４２】 ＜実施例３＞ Ｃ成分の粉体フィラーとして、実施例２で用いた乾式シリカ２を配合してフッ素ゴム組成物を調製したことを除いて、実施例１と同様にしてシール材を作製した。得られたシール材を実施例３とした。 【００４３】 ＜実施例４＞ Ｃ成分の粉体フィラーとして、湿式シリカ（カープレックス＃８０ エボニック社製、かさ密度ｄＣ：０．１５ｇ／ｃｍ３）を配合してフッ素ゴム組成物を調製したことを除いて、実施例１と同様にしてシール材を作製した。得られたシール材を実施例４とした。 【００４４】 ＜実施例５＞ Ｂ成分として、液体材料である分子内にアルケニル基を含まないパーフルオロポリエーテル骨格を有する化合物１（フォンブリンＹ潤滑剤 ＳＯＬＶＡＹ社製、密度：１．９１ｇ／ｃｍ３）を、Ａ成分１００質量部に対して１質量部を更に配合してフッ素ゴム組成物を調製したことを除いて、実施例３と同様にしてシール材を作製した。得られたシール材を実施例５とした。なお、Ｂ成分の密度ｄＢは１．８８ｇ／ｃｍ３である。 【００４５】 ＜実施例６＞ Ｂ成分の一液型の液状材料である分子内にビニル基を含むパーフルオロポリエーテル骨格を有する化合物１を、Ａ成分１００質量部に対して５質量部配合してフッ素ゴム組成物を調製したことを除いて、実施例３と同様にしてシール材を作製した。得られたシール材を実施例６とした。 【００４６】 ＜実施例７＞ Ｂ成分として、分子内にアルケニル基を含まないパーフルオロポリエーテル骨格を有する化合物２（クライトックス ＧＰＬオイル１０７ ケマーズ社製、密度：１．９０ｇ／ｃｍ３）を、Ａ成分１００質量部に対して１質量部を更に配合してフッ素ゴム組成物を調製したことを除いて、実施例３と同様にしてシール材を作製した。得られたシール材を実施例７とした。なお、Ｂ成分の密度ｄＢは１．８８ｇ／ｃｍ３である。 【００４７】 ＜実施例８＞ Ｂ成分の液体材料である分子内にアルケニル基を含まないパーフルオロポリエーテル骨格を有する化合物１を、Ａ成分１００質量部に対して５質量部配合してフッ素ゴム組成物を調製したことを除いて、実施例５と同様にしてシール材を作製した。得られたシール材を実施例８とした。なお、Ｂ成分の密度ｄＢは１．９０ｇ／ｃｍ３である。 【００４８】 ＜実施例９＞ Ｂ成分の一液型の液状材料である分子内にビニル基を含むパーフルオロポリエーテル骨格を有する化合物２（ｄＢ：１．９０ｇ／ｃｍ３）と、Ｃ成分のシリカ（ｄＣ：０．０５ｇ／ｃｍ３）とが、Ｂ成分：Ｃ成分＝８９：１１の質量比で混合された混合材料（ＳＩＦＥＬ３０００シリーズ Ｘ-７１-３６９-Ｎ 信越化学工業社製）を、Ａ成分１００質量部に対して１質量部配合してフッ素ゴム組成物を調製したことを除いて、実施例１と同様にしてシール材を作製した。得られたシール材を実施例９とした。 【００４９】 ＜実施例１０＞ Ｃ成分の粉体フィラーとして、フェノール樹脂粉体１（ベルパールＲ１００ エア・ウォーター・ベルパール社製、かさ密度ｄＣ：０．３５ｇ／ｃｍ３）を配合してフッ素ゴム組成物を調製したことを除いて、実施例１と同様にしてシール材を作製した。得られたシール材を実施例１０とした。 【００５０】 ＜実施例１１＞ Ｃ成分の粉体フィラーとして、フェノール樹脂粉体２（ベルパールＲ２００ エア・ウォーター・ベルパール社製、かさ密度ｄＣ：０．３８ｇ／ｃｍ３）を配合してフッ素ゴム組成物を調製したことを除いて、実施例１と同様にしてシール材を作製した。得られたシール材を実施例１１とした。 【００５１】 ＜実施例１２＞ Ｃ成分の粉体フィラーとして、フッ素樹脂（ＰＶＤＦ）粉体（カイナーＭＧ１５ アルケマ社製、かさ密度ｄＣ：０．３２ｇ／ｃｍ３）を配合してフッ素ゴム組成物を調製したことを除いて、実施例１と同様にしてシール材を作製した。得られたシール材を実施例１２とした。 【００５２】 ＜実施例１３＞ Ｃ成分の粉体フィラーとして、ポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥＫ）樹脂粉体（ＶＥＳＴＡＫＥＥＰ ２０００ＵＦＰ１０ ダイセル・エボニック社製、かさ密度ｄＣ：０．２５ｇ／ｃｍ３）を配合してフッ素ゴム組成物を調製したことを除いて、実施例１と同様にしてシール材を作製した。得られたシール材を実施例１３とした。 【００５３】 ＜比較例１＞ Ｂ成分及びＣ成分を配合しないフッ素ゴム組成物を調製したことを除いて、実施例１と同様にしてシール材を作製した。得られたシール材を比較例１とした。 【００５４】 ＜比較例２＞ Ｃ成分を配合しないフッ素ゴム組成物を調製したことを除いて、実施例１と同様にしてシール材を作製した。得られたシール材を比較例２とした。 【００５５】 ＜比較例３＞ Ｂ成分のうちの一液型の液状材料である分子内にビニル基を含むパーフルオロポリエーテル骨格を有する化合物１を配合しないフッ素ゴム組成物を調製したことを除いて、実施例５と同様にしてシール材を作製した。得られたシール材を比較例３とした。 【００５６】 ＜比較例４＞ Ｃ成分の代わりに、粉体フィラーとして、フェノール樹脂粉体３（ベルパールＲ８００ エア・ウォーター・ベルパール社製、かさ密度ｄＣ：０．６０ｇ／ｃｍ３）を配合してフッ素ゴム組成物を調製したことを除いて、実施例１と同様にしてシール材を作製した。得られたシール材を比較例４とした。 【００５７】 ＜比較例５＞ Ｃ成分の代わりに、粉体フィラーとして、フッ素樹脂（ＰＴＦＥ）粉体（ルブロンＬ-５ ダイキン工業社製、かさ密度ｄＣ：０．６１ｇ／ｃｍ３）を配合してフッ素ゴム組成物を調製したことを除いて、実施例１と同様にしてシール材を作製した。得られたシール材を比較例５とした。 【００５８】 ＜比較例６＞ Ｃ成分の代わりに、粉体フィラーとして、ＭＴカーボンブラック（Ｔｈｅｒｍａｘ Ｎ９９０ Ｃａｎｃａｒｂ社製、かさ密度ｄＣ：０．６６ｇ／ｃｍ３）を配合してフッ素ゴム組成物を調製したことを除いて、実施例１と同様にしてシール材を作製した。得られたシール材を比較例６とした。 【００５９】 ＜比較例７＞ Ｂ成分として、実施例５で用いた液体材料である分子内にアルケニル基を含まないパーフルオロポリエーテル骨格を有する化合物１を、Ａ成分１００質量部に対して１質量部を更に配合してフッ素ゴム組成物を調製したことを除いて、実施例２と同様にしてシール材を作製した。得られたシール材を比較例７とした。なお、Ｂ成分の密度ｄＢは１．８８ｇ／ｃｍ３である。 【００６０】 【表１】 ［図：0001394026000017.jpg］ 【００６１】 【表２】 ［図：0001394026000018.jpg］ 【００６２】 （試験方法） ＜耐プラズマ性＞ 実施例１乃至１３及び比較例１乃至７のそれぞれについて、小型プラズマエッチング装置（神港精機社製）に入れ、３０分間、Ｏ２プラズマを照射して暴露し、その前後の質量減少率を求めた。この質量減少率が０．７％未満の場合を評価Ａ、及び０．７％以上の場合を評価Ｂとした。また、Ｏ２プラズマ暴露後のシール材の表面について、目視によりパーティクルの析出の有無を確認した。なお、Ｏ２プラズマの照射では、１５００Ｗの高周波電源を用いた。反応ガスには、Ｏ２及びＣＦ４を用い、それらの流量比を５０：１とした。圧力は１００Ｐａとした。 【００６３】 ＜Ｂ成分のブリードアウトの有無＞ 実施例１乃至１３及び比較例２乃至７のそれぞれについて、黒色のアクリル板に押し付け、Ｂ成分によるシール材の転写痕の認められない場合を評価Ａ、及びＢ成分によるシール材の転写痕が認められた場合を評価Ｂとした。 ・・・ 【００６９】 （試験結果） 試験結果を表１及び２に示す。表１及び２によれば、実施例１乃至１３では、質量減少率が少ないという優れた耐プラズマ性及びＢ成分のブリードアウトの抑制が両立されているのに対し、比較例１乃至７では、それらのうちの一方が劣ることが分かる。」 （２）本件発明のサポート要件についての検討 ア 本件明細書の【０００５】によれば、本件発明の課題は、ゴム成形品に優れた耐プラズマ性を保持させるとともに、ゴム成形品からパーフルオロポリエーテル骨格を有する化合物がブリードアウトするのを抑制することである。 イ 本件明細書の記載によれば、本件発明の組成物が架橋して形成されるゴム成形品では、Ｂ成分として、パーフルオロポリエーテル骨格を有する化合物が用いられているので、優れた耐プラズマ性を保持させることができること（【００３３】）、（ｐＣ／ｄＣ）／（ｐＢ／ｄＢ）≧４は、Ｃ成分の体積がＢ成分の体積の４倍以上あることを意味するところ（【００２６】）、本件発明の組成物が架橋して形成されるゴム成形品は、粉体フィラーであるＣ成分を含有し、Ｃ成分の体積がＢ成分の体積の４倍以上であるので、Ｂ成分がＣ成分に担持されてＡ成分内に保持され、Ｂ成分がブリードアウトするのを抑制することができること（【００３３】）、Ｃ成分の粉体フィラーのかさ密度が０．４ｇ／ｃｍ３以下と小さいことにより、プラズマが照射されても、Ｃ成分の粉体フィラーのパーティクルが析出するのを抑制することができること（【００３３】）、Ｃ成分の粉体フィラーを含有するので、フッ素ゴム組成物の成形時に、Ｂ成分の流動が容易となり、Ｂ成分が表層に偏析して、成形品表面の方が成形品内部よりもＣＦ結合濃度が高くなるため、耐プラズマ性を高めることができること（【００３４】）が理解できる。 すなわち、本件明細書の記載に接した当業者は、本件発明は、Ｂ成分としてパーフルオロポリエーテル骨格を有する化合物を用い、Ｃ成分としてかさ密度が０．４ｇ／ｃｍ３以下の粉体フィラーを用いることにより、耐プラズマ性に優れること、（ｐＣ／ｄＣ）／（ｐＢ／ｄＢ）≧４であることにより、成形品からＢ成分がブリードアウトするのを抑制することができることを理解する。 ウ 本件明細書の実施例をみると、実施例１～１３の、所定のＡ成分、Ｂ成分及びＣ成分を含有し、（ｐＣ／ｄＣ）／（ｐＢ／ｄＢ）≧４であるフッ素ゴム組成物は、耐プラズマ性に優れ、Ｂ成分のブリードアウトも見られなかったが、Ｂ成分及びＣ成分をいずれも含まない比較例１、Ｃ成分を含まない比較例２、所定のＢ成分ではない（Ｂ成分がアルケニル基を含むパーフルオロポリエーテル骨格を有する化合物を含まない）比較例３、Ｃ成分が所定のものではない（Ｃ成分のかさ密度が０．４ｇ／ｃｍ３以下ではない）比較例４～６、（ｐＣ／ｄＣ）／（ｐＢ／ｄＢ）≧４を満たさない比較例７は、耐プラズマ性及びブリードアウトの有無のいずれかまたは両方が劣ることがみてとれる。 このような結果は、上記イの理解を具体的に裏付けるものである。 エ 上記イ及びウに照らせば、本件明細書の記載に接した当業者は、本件明細書の記載に基づき、本件発明は、上記アの課題を解決するものであると理解する。 （３）申立理由２について 申立理由２は、第３の２のとおり、請求項１～９では、フッ素ゴム組成物中の粉体フィラーＣ成分の含有量は規定されていないが、水素含有フッ素ゴム１００質量部に対し、１０質量部を超えた場合であっても、本件明細書の実施例と同様に本件発明の課題を解決できるとはいえないから、請求項１～９は、発明の詳細な説明に記載した範囲を超えているというものである。 詳述すれば申立人の主張は、本件明細書の【００２３】には、Ｃ成分の含有量について、「ゴム成形品から粉体フィラーが析出するのを抑制する観点から、好ましくは３０質量部以下、より好ましくは２０質量部以下」と記載されていることに基づき、Ｃ成分の含有量が多すぎれば、Ｃ成分がゴム成形品から析出するのを当業者であれば当然に理解でき、課題が解決できるとはいえないところ、本件明細書で課題を解決できた組成物として実施例に記載されているフッ素ゴム組成物もＣ成分の含有量は、水素含有フッ素ゴム１００質量部に対し最大でも１０質量部であるから、Ｃ成分の含有量がこれを超えた場合であっても、実施例と同様に課題を解決できるとはいえないと考えられるというものである（申立書４１頁１１行～４２頁３行）。 申立理由２について検討する。 本件明細書の記載に接した当業者は、本件明細書の記載に基づき、ゴム成形品に優れた耐プラズマ性を保持させるとともに、ゴム成形品からパーフルオロポリエーテル骨格を有する化合物がブリードアウトするのを抑制するという課題を解決するものと理解できることは上記（２）のとおりであり、Ｃ成分が多すぎると当該課題が全く解決できないとすべき格別の理由はない。 確かに本件明細書の申立人の指摘箇所には申立人が指摘する記載があるが、当該記載はＣ成分の好ましい含有量を説明したものと解されるのであって、当該記載をもって、Ｃ成分の含有量が多すぎればＣ成分がゴム成形品から析出するなどと直ちに理解することはできない。また、実施例において、フッ素ゴム組成物におけるＣ成分の含有量が、水素含有フッ素ゴム１００質量部に対し最大でも１０質量部であったとしても、その含有量が１０質量部を超えればＣ成分が析出すると解すべき理由もない。 よって、申立人の主張は採用できない。 ３ 小括 よって、申立理由２は、理由がない。 第７ 当審の判断その３（申立理由３（明確性）について） １ 判断基準 特許法３６条６項２号は、特許請求の範囲の記載に関し、特許を受けようとする発明が明確でなければならない旨規定する。この趣旨は、特許請求の範囲に記載された発明が明確でない場合には、特許の付与された発明の技術的範囲が不明確となり、第三者に不測の不利益を及ぼすことがあり得るため、そのような不都合な結果を防止することにある。そして、特許を受けようとする発明が明確であるか否かは、特許請求の範囲の記載のみならず、願書に添付した明細書の記載及び図面を考慮し、また、当業者の出願時における技術常識を基礎として、特許請求の範囲の記載が、第三者に不測の不利益を及ぼすほどに不明確であるか否かという観点から判断されるべきである。 ２ 当審の判断 （１）本件発明１～９の記載は第２のとおりであるが、上記１の判断基準に照らして、特許請求の範囲の記載は、以下のとおり、第三者に不測の不利益を及ぼすほどに不明確であるとはいえない。 （２）申立理由３は、第３の３のとおり、 「（１）請求項１～９は、Ｂ成分がパーフルオロポリエーテル骨格を有する化合物のみからなるのか、パーフルオロポリエーテル骨格を有する化合物以外の成分を含むのか明確でないため、明確でない。 （２）請求項１～９における、Ａ成分とはどのような成分なのか、特に、水素含有フッ素ゴムをどの程度含む成分であるのか明確ではなく、Ａ成分がどのような成分なのかによってフッ素ゴム組成物やゴム成形品の物性が変化すると考えられるため、請求項１～９の記載は明確でない。」 というものである。 申立理由３（１）及び（２）について、それぞれ検討する。 上記（１）について、請求項１において、「Ｂ成分」は「パーフルオロポリエーテル骨格を有する化合物のＢ成分」と記載されており、「Ｂ成分」は「パーフルオロポリエーテル骨格を有する化合物」であることは明らかであって、「Ｂ成分」が、パーフルオロポリエーテル骨格を有する化合物以外の成分を含むなどと理解することはできないから、当該記載が、第三者に不測の不利益を及ぼすほどに不明確であるとはいえない。 ここで、申立人は、本件明細書には、Ｂ成分について、「信越化学工業社製のＳＩＥＦＥＬが挙げられ、特にＳＩＥＦＥＬ３０００シリーズが好ましい。」と記載されているところ、ＳＩＦＥＬ３０００シリーズには、パーフルオロポリエーテル骨格を有する化合物以外の化合物も含む組成物があることを指摘する（申立書３９頁１８行～４０頁４行）。 確かに、本件明細書には、「Ｂ成分における分子内にアルケニル基を含むパーフルオロポリエーテル骨格を有する化合物の市販材料としては、例えば、信越化学工業社製のＳＩＥＦＥＬが挙げられ、特にＳＩＥＦＥＬ３０００シリーズが好ましい。」（【００１９】）と記載されているが、当該記載は、Ｂ成分のうち、分子内にアルケニル基を含むパーフルオロポリエーテル骨格を有する化合物を提供しうる市販材料について説明したものであり、当該記載によって、請求項１の、「パーフルオロポリエーテル骨格を有する化合物」であるＢ成分が、「パーフルオロポリエーテル骨格を有する化合物」以外の化合物を含み得るなどと理解することはできないから、当該記載によって、請求項１が第三者に不測の不利益を及ぼすほどに不明確になるとはいえない。 上記（２）について、請求項１には、「水素含有フッ素ゴムを主成分として含むベースゴムのＡ成分」と記載されており、当該記載から、Ａ成分は、フッ素ゴム組成物におけるベースゴムであって、水素含有フッ素ゴムを主成分とするものであると理解することができる。 上記水素含有フッ素ゴムを主成分とすることに関して、請求項１は水素含有フッ素ゴムの含有量を特定していないが、発明の詳細な説明には、「Ａ成分は、ベースゴムである。このベースゴムのＡ成分は、水素含有フッ素ゴムを主成分として含む。・・・Ａ成分における水素含有フッ素ゴムの含有量は５０質量％よりも多く・・・なお、Ａ成分は、水素含有フッ素ゴム以外のフッ素ゴム等を含んでいてもよい」と記載されている（【００１３】）。 そうすると、請求項１の「水素含有フッ素ゴムを主成分として含むベースゴムのＡ成分」なる記載は、「Ａ成分」が、水素含有フッ素ゴムを５０質量％よりも多く含むベースゴムであることを意味することは明らかであり、当該記載が第三者に不測の不利益を及ぼすほどに不明確であるとはいえない。 申立人は、Ａ成分が水素フッ素ゴムを５０．１質量％含む場合と、水素含有フッ素ゴムを１００質量％含む場合とでは得られる成形体が大きく異なると考えられることを指摘するが（申立書４０頁２０～４１頁１０行）、発明が明確であるか否かは上記１の判断基準によるべきであって、Ａ成分が水素フッ素ゴムを５０．１質量％含む場合と、水素含有フッ素ゴムを１００質量％含む場合とでは得られる成形体が大きく異なったとしても、それにより、請求項１の記載が第三者の不測の不利益を及ぼすほどに不明確であるということにはならない。 ３ 小括 よって、申立理由３は、理由がない。 第８ まとめ したがって、特許異議の申し立ての理由及び証拠によっては、請求項１～９に係る特許を取り消すことはできない。 また、他に請求項１～９に係る特許を取り消すべき理由を発見しない。 よって、結論のとおり決定する。