2022-700499

特許第６９８１３０２号発明「蒸着マスク用基材、蒸着マスク用基材の製造方法、蒸着マスクの製造方法、および、表示装置の製造方法」の特許異議申立事件について、次のとおり決定する。

結 論 特許第６９８１３０２号の特許請求の範囲を訂正請求書に添付された訂正特許請求の範囲のとおり、訂正後の請求項〔１～４〕、５、〔６～８〕について訂正することを認める。 特許第６９８１３０２号の請求項１～４、６～８に係る特許を維持する。 特許第６９８１３０２号の請求項５に係る特許についての特許異議の申立てを却下する。

理 由 第１ 手続の経緯 本件特許第６９８１３０２号（以下、「本件特許」という。）に係る出願は、平成２９年１０月１３日を出願日とする特願２０１７－１９９９２０号（以下、「原出願」という。）の出願の一部を、平成３０年２月２６日に新たな特許出願としたものであって、令和３年１１月２２日にその請求項１～８に係る発明について特許権の設定登録がされ、同年１２月１５日に特許掲載公報が発行され、その後、全請求項に係る特許に対して、令和４年６月１０日に特許異議申立人 金山 愼一（以下、「申立人金山」という。）により甲第１号証～甲第２号証を証拠方法として特許異議の申立てがされ、同年同月１４日に特許異議申立人 古川 慎二（以下、「申立人古川」という。）により甲第１号証～甲第２６号証を証拠方法として特許異議の申立てがされ、同年８月３０日付けで当審より取消理由が通知され、同年９月２日に申立人古川より上申書（以下、「古川上申書」という。）が提出され、同年１１月４日に特許権者より意見書の提出及び訂正の請求がされ、同年１２月１９日に申立人金山より意見書（以下、「金山意見書」という。）が提出され、同年同月２１日に申立人古川より甲第２７号証の１～甲第２９号証を添付して意見書（以下、「古川意見書」という。）が提出されたものである。 第２ 訂正の適否についての判断 １ 訂正の内容 令和４年１１月４日にされた訂正の請求（以下、「本件訂正請求」といい、本件訂正請求による訂正を「本件訂正」という。）は、請求の趣旨を「特許第６９８１３０２号の特許請求の範囲を本訂正請求書に添付した訂正特許請求の範囲のとおり、訂正後の請求項１から８について訂正することを求める。」とするものであって、その訂正の内容は、次のとおりである（当審注：下線は訂正箇所であり、当審が付与した。）。 （１）訂正事項１ 特許請求の範囲の請求項１に 「複数の孔がエッチングによって形成されて蒸着マスクの製造に用いられる」 と記載されていたのを、 「複数の孔がエッチング液を用いたエッチングによって形成されて蒸着マスクの製造に用いられる」 に訂正する（請求項１の記載を直接的又は間接的に引用する請求項２～４も同様に訂正する。）。 （２）訂正事項２ 特許請求の範囲の請求項５を削除する。 （３）訂正事項３ 特許請求の範囲の請求項６に 「前記レジスト層をマスクとしたエッチングによって前記金属板に複数の孔を形成してマスク部を形成する」 と記載されていたのを、 「前記レジスト層をマスクとしたエッチング液を用いたエッチングによって前記金属板に複数の孔を形成してマスク部を形成する」 に訂正する（請求項６の記載を直接的又は間接的に引用する請求項７及び８も同様に訂正する。）。 （４）一群の請求項について 本件訂正前の請求項１の記載を請求項２～４が引用する関係にあるから、本件訂正前の請求項１～４は一群の請求項であり、本件訂正前の請求項５は独立請求項であり、本件訂正前の請求項６の記載を請求項７及び８が引用する関係にあるから、本件訂正前の請求項６～８は一群の請求項であるところ、訂正事項１～３に係る特許請求の範囲の訂正は、特許法第１２０条の５第３項及び第４項の規定に従い、これら請求項１～４、５、６～８を訂正の単位として請求されたものである。 ２ 訂正の目的の適否、新規事項の有無、特許請求の範囲の拡張・変更の存否、独立特許要件について （１）訂正事項１及び３について 訂正事項１及び３は、それぞれ、本件訂正前の請求項１及び６における「エッチング」を、本件特許明細書の段落【０００６】、【００６７】及び【００７０】の記載に基づいて、「エッチング液を用いたエッチング」に限定するものであるから、いずれも、特許法第１２０条の５第２項ただし書第１号に掲げる特許請求の範囲の減縮を目的とするものであり、願書に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面に記載された事項の範囲内においてされたものであり、また、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではない。 （２）訂正事項２について 訂正事項２は、本件訂正前の請求項５を削除するものであるから、特許法第１２０条の５第２項ただし書第１号に掲げる特許請求の範囲の減縮を目的とするものであり、願書に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面に記載された事項の範囲内においてされたものであり、また、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではない。 （３）独立特許要件について 本件特許異議の申立ては本件訂正前の全ての請求項についてされているので、訂正事項１～３に関して、特許法第１２０条の５第９項で読み替えて準用する同法第１２６条第７項の独立特許要件は課されない。 ３ 小括 したがって、本件訂正は、特許法第１２０条の５第２項ただし書第１号に掲げる特許請求の範囲の減縮を目的とするものに該当し、同法同条第９項で準用する同法第１２６条第５項及び第６項の規定に適合するので、特許請求の範囲を、訂正請求書に添付された訂正特許請求の範囲のとおり、訂正後の請求項〔１～４〕、５、〔６～８〕について訂正することを認める。 第３ 本件発明について 本件訂正が認められることは前記第２に記載したとおりであるので、本件訂正により訂正された請求項１～４、６～８に係る発明（以下、項番号に合わせて「本件発明１」などといい、これらをまとめて「本件発明」ということがある。）は、訂正特許請求の範囲の請求項１～４、６～８に記載された事項により特定される次のとおりのものである。 「【請求項１】 複数の孔がエッチング液を用いたエッチングによって形成されて蒸着マスクの製造に用いられる、帯状を有した金属板である蒸着マスク用基材であって、 前記金属板を構成する材料は、ニッケル、もしくは、鉄ニッケル合金であり、 前記金属板が有する厚みは、１０μｍ以上５０μｍ以下であり、 前記金属板の長さ方向での各位置における前記金属板の幅方向に沿った形状は、相互に異なっており、各形状は、前記金属板の幅方向に繰り返す凹凸を有した波形状であり、 前記金属板の表面での幅方向の長さが表面距離であり、 前記金属板の長さ方向の各位置での表面距離のなかの最小値が最小表面距離であり、 前記最小表面距離に対する、前記金属板の長さ方向の各位置での表面距離と前記最小表面距離との差分の比率が幅方向での伸び差率であり、 前記幅方向での伸び差率の最大値が２×１０－５以下である 蒸着マスク用基材。 【請求項２】 前記長さ方向における単位長さが５００ｍｍであり、 前記幅方向での伸び差率の単位長さでの平均値が０．５×１０－５以下である 請求項１に記載の蒸着マスク用基材。 【請求項３】 前記長さ方向における単位長さが５００ｍｍであり、 ０．５×１０－５以上の前記伸び差率を有したピークの個数が単位長さあたりに３個以下である 請求項１または２に記載の蒸着マスク用基材。 【請求項４】 前記長さ方向における単位長さが５００ｍｍであり、 ０．５×１０－５以上の前記伸び差率を有したピークの間隔が単位長さあたりにおいて１００ｍｍ以上である 請求項１から３のいずれか一項に記載の蒸着マスク用基材。 【請求項５】 （削除） 【請求項６】 帯状を有した金属板にレジスト層を形成することと、 前記レジスト層をマスクとしたエッチング液を用いたエッチングによって前記金属板に複数の孔を形成してマスク部を形成することと、を含む蒸着マスクの製造方法であって、 前記金属板を構成する材料は、ニッケル、もしくは、鉄ニッケル合金であり、 前記金属板が有する厚みは、１０μｍ以上５０μｍ以下であり、 前記金属板の長さ方向での各位置における前記金属板の幅方向に沿った形状は、相互に異なっており、各形状は、前記金属板の幅方向に繰り返す凹凸を有した波形状であり、 前記金属板の表面での幅方向の長さが表面距離であり、 前記金属板の長さ方向の各位置での表面距離のなかの最小値が最小表面距離であり、 前記最小表面距離に対する、前記金属板の長さ方向の各位置での表面距離と前記最小表面距離との差分の比率が幅方向での伸び差率であり、 前記幅方向での伸び差率の最大値が２×１０－５以下である 蒸着マスクの製造方法。 【請求項７】 前記マスク部を形成することは、単一の前記金属板に複数の前記マスク部を形成することであり、 前記各マスク部が、前記複数の孔を有した１つの側面を別々に備え、 前記各マスク部の側面と、１体のフレーム部とを、前記複数の孔を前記マスク部ごとに前記１体のフレーム部が囲うように、相互に接合することをさらに含む 請求項６に記載の蒸着マスクの製造方法。 【請求項８】 請求項６または７に記載の蒸着マスクの製造方法による蒸着マスクを準備することと、 前記蒸着マスクを用いた蒸着によってパターンを形成することとを含む 表示装置の製造方法。」 第４ 特許異議申立理由の概要 １ 申立人金山による特許異議申立理由の概要 ここでいう甲第１号証、甲第２号証は、申立人金山により提出された、後記（５）に記載された甲第１号証、甲第２号証である。 （１）特許法第２９条第２項所定の規定違反（進歩性欠如）について 本件訂正前の特許請求の範囲の請求項１～８に係る発明は、甲第１号証に記載された発明及び甲第２号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものである（特許異議申立書４２ページ下から６行目～４９ページ７行） （２）特許法第３６条第６項第２号所定の規定違反（明確性要件違反）について ア 「幅方向での伸び差率」は、その測定点数により変動し、その結果、「幅方向での伸び差率の最大値」も測定点数により変動するのに、本件訂正前の特許請求の範囲の請求項１には「幅方向の伸び差率」をいかなる条件下で測定するのかが記載されていないから、「幅方向での伸び差率の最大値」である「２×１０－５以下」の数値の意味が不明である。 更に、「幅方向での伸び差率の単位長さでの平均値」（以下、「伸び差率の平均値」という。）、「０．５×１０－５以上の前記伸び差率を有したピークの個数」（以下、「伸び差率のピークの個数」という。）及び「０．５×１０－５以上の前記伸び差率を有したピークの間隔」（以下、「伸び差率のピークの間隔」という。）についても同様であるから、本件訂正前の特許請求の範囲の請求項１～８に係る発明は明確でないので、前記請求項１～８の記載は明確性要件を満たさない（特許異議申立書４９ページ８行～５５ページ２行）。 イ 本件訂正前の請求項５には、「表面距離」がいかなる距離であるのかが特定されていないから、前記請求項５に係る発明は明確でないので、前記請求項５の記載は明確性要件を満たさない（特許異議申立書５８ページ１行～６０ページ６行）。 （３）特許法第３６条第６項第１号所定の規定違反（サポート要件違反）について ア 本件特許明細書の実施例及び比較例においては、開口径のばらつきが抑えられる等の効果が得られるのは、長さ方向における「単位長さ」が５００ｍｍの条件の下で「幅方向の伸び差率の最大値が２×１０－５以下」である場合とされ、それ以外の条件下においても前記効果が得られる旨の記載は一切ない。 また、「幅方向の伸び差率の最大値」は、「長さ方向」の「計測範囲」の長さによって変わり得ると考えるのが自然であり、本件特許明細書には、「幅方向の伸び差率の最大値」が「長さ方向」の「計測範囲」の長さに依存しない旨の記載もない。 ところが、本件訂正前の特許請求の範囲の請求項１～８においては、長さ方向における「単位長さ」が特定されていないから、本件特許明細書の記載を前記請求項１～８の範囲まで拡張ないし一般化することができないので、前記請求項１～８の記載はサポート要件を満たさない（特許異議申立書５５ページ３行～５７ページ最終行）。 イ 本件特許明細書の段落【００３４】の記載からみれば、本件訂正前の特許請求の範囲の請求項６～８に係る発明は、液体を用いた表面の加工での課題を解決しようとするものであり、本件特許明細書にも、「蒸着マスクの製造方法」としてウエットエッチングしか記載されていないのに、前記請求項６～８にはエッチングがウエットエッチングであることが特定されていないから、本件特許明細書の記載を前記請求項６～８の範囲まで拡張ないし一般化することができないので、前記請求項６～８の記載はサポート要件を満たさない（特許異議申立書６２ページ５行～６３ページ１２行）。 （４）特許法第３６条第４項第１号所定の規定違反（実施可能要件違反）について 本件特許明細書の発明の詳細な説明には、「蒸着マスク用基材」の具体的な圧延条件が一切記載されておらず、当業者は、本件訂正前の特許請求の範囲の請求項５に係る「蒸着マスク用基材」を製造する際に過度な試行錯誤を強いられるから、発明の詳細な説明は、当業者が前記請求項５に係る発明を実施することができる程度に明確かつ十分に記載したものでないので、実施可能要件を満たさない（特許異議申立書６０ページ７行～６２ページ４行）。 （５）証拠方法 甲第１号証：特開２０１４－１４８７４３号公報 甲第２号証：特開平１０－２０４５４１号公報 ２ 申立人古川による特許異議申立理由の概要 ここでいう甲第１号証～甲第２９号証は、申立人古川により提出された、後記（５）に記載された甲第１号証～甲第２９号証である。 （１）特許法第３６条第４項第１号所定の規定違反（実施可能要件違反）について ア 本件特許明細書の発明の詳細な説明には、「幅方向での伸び差率」を制御する際の圧延条件が記載されておらず、当業者は、本件訂正前の特許請求の範囲の請求項１～８に係る発明を実施する際に過度な試行錯誤を強いられるから、発明の詳細な説明は、当業者が前記請求項１～８に係る発明を実施することができる程度に明確かつ十分に記載したものでないので、実施可能要件を満たさない（特許異議申立書８９ページ１行～９３ページ下から３行）。 イ 「伸び差率の平均値」、「伸び差率のピークの個数」及び「伸び差率のピークの間隔」についても、前記アと同様であるから、発明の詳細な説明は、当業者が本件訂正前の特許請求の範囲の請求項２～４に係る発明を実施することができる程度に明確かつ十分に記載したものでないので、実施可能要件を満たさない（特許異議申立書９３ページ下から２行～９４ページ６行）。 ウ 「幅方向での伸び差率」、「伸び差率の平均値」、「伸び差率のピークの個数」及び「伸び差率のピークの間隔」は測定間隔により変化するのに、本件特許明細書の発明の詳細な説明にはこれらの測定条件が記載されていないから、当業者は、本件訂正前の特許請求の範囲の請求項１～８に係る発明を実施することができない。 このため、発明の詳細な説明は、当業者が前記請求項１～８に係る発明を実施することができる程度に明確かつ十分に記載したものでないので、実施可能要件を満たさない（特許異議申立書９４ページ７行～９５ページ８行）。 エ 本件特許明細書の発明の詳細な説明の段落【０１０９】～【０１１３】の実施例４の測定結果は、「伸び差率のピークの個数」が４個のとき、互いに隣り合うピークの間隔の最小値が６０ｍｍであるのに対して、「伸び差率のピークの個数」が５個のとき、互いに隣り合うピークの間隔の最小値が７５ｍｍとなっており、「伸び差率のピークの個数」が増えたときに隣り合うピークの間隔の最小値が増えることは当業者の理解を超えるから、当業者は、本件訂正前の特許請求の範囲の請求項３～４に係る発明を実施することができない。 このため、発明の詳細な説明は、当業者が前記請求項３～４に係る発明を実施することができる程度に明確かつ十分に記載したものでないので、実施可能要件を満たさない（特許異議申立書９５ページ９行～２５行）。 オ 本件特許明細書の発明の詳細な説明の実施例に記載された「幅方向での伸び差率」と、「伸び差率の平均値」、「伸び差率のピークの個数」及び「伸び差率のピークの間隔」とは測定条件が異なるが、本件訂正前の特許請求の範囲の請求項１～８においては、これらを異なる測定条件による測定することは特定されていないから、当業者はこれらをどのような測定条件に基づいて特定するべきかを理解できないので、前記請求項１～８に係る発明を実施することができない。 このため、発明の詳細な説明は、当業者が前記請求項１～８に係る発明を実施することができる程度に明確かつ十分に記載したものでないので、実施可能要件を満たさない（特許異議申立書９５ページ２６行～９６ページ６行）。 カ 本件訂正前の特許請求の範囲の請求項１～８においては、「幅方向での伸び差率」の非計測範囲について特定されていないので、「幅方向での伸び差率」の最大値は「蒸着マスク用基材」の全体で満たされるものと解されるが、本件特許明細書の発明の詳細な説明には、スリット工程による新たな波形状を除外するため、非計測範囲を設けるものしか記載されておらず、当業者は、その全体で所定の「幅方向の伸び差率の最大値」を満たす「蒸着マスク用基材」を製造することができないから、前記請求項１～８に係る発明を実施することができない。 なお、本件特許明細書の段落【００９２】の実施例１には、金属板を長さ方向で切断したことについて記載されていないから、スリットにより切断されるのは幅方向の端縁であるため、同段落【００９３】において、スリットを理由に、長さ方向の端縁から１０ｍｍを除くことの合理性を理解できないし、どのように幅方向の端縁をスリットにより切断するのか、その操作についても記載がないので、当業者は実施例１を追試できない。 このため、発明の詳細な説明は、当業者が前記請求項１～８に係る発明を実施することができる程度に明確かつ十分に記載したものでないので、実施可能要件を満たさない（特許異議申立書９６ページ７行～９７ページ２５行）。 （２）特許法第３６条第６項第１号所定の規定違反（サポート要件違反）について ア 甲第３号証の段落【０１０８】【表１】の実施例４は、「幅方向での伸び差率の最大値が２×１０－５以下」を満たさないが、孔の幅方向の開口径のばらつきの評価が○評価となっているから、本件特許に係る発明の課題と課題解決手段の関係に疑義があるので、本件訂正前の特許請求の範囲の請求項１～８の記載は、本件特許に係る発明の課題が解決できることを認識できるように記載された範囲を超えており、サポート要件を満たさない（特許異議申立書９８ページ１行～９９ページ下から８行）。 イ 甲第４号証の段落【００７９】～【００８０】、【００８７】【表１】の実施例３は、「幅方向での伸び差率の最大値」が「２×１０－５」を上回る蓋然性が高いが、パターン精度のばらつきの評価が○評価となっているから、本件特許に係る発明の課題を解決するためには「幅方向での伸び差率の最大値が２×１０－５以下」であるだけでは足りないことを示しているので、本件訂正前の特許請求の範囲の請求項１～８の記載は、本件特許に係る発明の課題が解決できることを認識できるように記載された範囲を超えており、サポート要件を満たさない（特許異議申立書９９ページ下から７行～１００ページ１７行）。 ウ 本件訂正前の特許請求の範囲の請求項１～８においては、「幅方向での伸び差率」の非計測範囲について特定されておらず、「幅方向での伸び差率の最大値」は、「蒸着マスク用基材」の全体で満たされるものと解されるが、本件特許明細書の発明の詳細な説明には非計測範囲を設けるものしか記載されていないから、前記請求項１～８の記載は、本件特許に係る発明の課題が解決できることを認識できるように記載された範囲を超えており、サポート要件を満たさない（特許異議申立書１００ページ１８行～１０１ページ下から６行）。 エ 本件訂正前の特許請求の範囲の請求項１～８においては、「幅方向での伸び差率」の非計測範囲は任意であると解することもできる。 そして、甲第４号証の比較例３で「幅方向での伸び差率」の非計測範囲を任意としたとき、その「幅方向での伸び差率」の最大値は「２×１０－５」よりも小さい蓋然性が高くなるが、前記比較例３の「蒸着マスク用基材」ではパターン精度のばらつきが×となっているから、前記請求項１～８に係る発明は、本件特許に係る発明の課題を解決し得ないものも包含し得る。 また、「蒸着マスク用基材」は、非計測範囲も含めて蒸着マスクの製造に用いられるものであって、「幅方向での伸び差率」の測定において非計測範囲を設定するということは、「蒸着マスク用基材」の幅方向端縁付近に発生した波形状を考慮しないということであり、このとき、非計測範囲に発生した波形状により孔が不均一となるから、本件特許に係る発明の課題を解決しない「蒸着マスク用基材」も権利範囲に含めるということであるので、前記請求項１～８の記載は、本件特許に係る発明の課題が解決できることを認識できるように記載された範囲を超えており、サポート要件を満たさない（特許異議申立書１０１ページ下から５行～１０４ページ５行）。 オ 甲第５号証～甲第７号証によれば、蒸着マスクの製造における現像方法として、浸漬法、スプレイ法、蒸気法が知られているが、これらの方法においては現像液がよどむということは観念し得ない。 また、現像液のよどみが生じたとしても、それによってレジスト層に形成される孔の精度が低下することはなく、更に、現像液に接するのは「蒸着マスク用基材」の金属表面ではないから、現像液のよどみが「蒸着マスク用基材」の孔の精度と関連することは観念し得ないので、当業者は、「幅方向での伸び差率」に係る発明特定事項を満たすことと、現像工程においてレジスト層に形成される孔の精度が低くなることとの関係を理解できないのであり、現像液を洗浄する洗浄液についても同様である。 したがって、本件訂正前の特許請求の範囲の請求項１～８に係る発明は、発明の詳細な説明に記載されたものとはいえないので、前記請求項１～８の記載はサポート要件を満たさない（特許異議申立書１０４ページ６行～１０６ページ９行）。 カ 甲第５号証～甲第７号証によれば、蒸着マスクの製造におけるエッチング方法として、浸漬法及びスプレイ法が知られているが、甲第８号証によれば、浸漬法においては、よどむということは観念し得ない。 また、甲第９号証の１、甲第９号証の２によれば、スプレイ法で噴射される液体の量は多量であるから、当業者は、「幅方向での伸び差率の最大値が２×１０－５以下」であればよどみが生じず、「幅方向での伸び差率の最大値が２×１０－５」超であればよどみが生じるという本件特許明細書の段落【００２９】の説明を理解できず、スプレイ法においても液がよどむということは観念し得ないから、本件特許に係る発明の課題は生じないし、ドライエッチングの場合は、金属板とエッチング液の接触時間を異ならせるという問題自体がそもそも生じない。 更に、本件特許に係る発明においては、「蒸着マスク用基材」の全面がエッチング液に接するわけではなく、当業者は、１ｍｍ間隔で測定して得られる程度の「幅方向での伸び差率」をもって、前記測定間隔よりもはるかに小さい直径３０μｍの孔において露出した「蒸着マスク用基材」とエッチング液との接触時間が均一になることとの技術的な関係を理解できないし、エッチング液によどみが発生するとしても、前記よどみが「蒸着マスク用基材」の孔の精度と関連することは観念し得ないから、「幅方向での伸び差率」に係る発明特定事項を満たすことと、エッチング工程において「蒸着マスク用基材」に形成される孔の精度が低くなることとの関係を理解できないのであり、エッチング液を洗浄する洗浄液についても同様である。 したがって、本件訂正前の特許請求の範囲の請求項１～８に係る発明は、発明の詳細な説明に記載されたものとはいえないので、前記請求項１～８の記載はサポート要件を満たさない（特許異議申立書１０６ページ１０行～１０９ページ下から１０行）。 キ 甲第７号証によれば、蒸着マスクの製造における剥離方法として、浸漬法及びスプレイ法が知られているが、これらの方法においても剥離液がよどむということは観念し得ない。 また、剥離工程においては既に「蒸着マスク用基材」に孔が形成されており、剥離液は形成された孔に影響しないから、剥離液と「蒸着マスク用基材」の接触時間が部分的に異なっていても加工の均一性は損なわれないので、当業者は、「幅方向の伸び差率」に係る発明特定事項を満たすことと、本件特許に係る発明の課題の関係を理解できないのであり、剥離液を洗浄する洗浄液についても同様である。 したがって、本件訂正前の特許請求の範囲の請求項１～８に係る発明は、発明の詳細な説明に記載されたものとはいえないので、前記請求項１～８の記載はサポート要件を満たさない（特許異議申立書１０９ページ下から９行～１１０ページ下から３行）。 ク 本件特許明細書の段落【０１３１】によれば、発明の詳細な説明に記載された実施例におけるパターン精度の評価では、「蒸着マスク用基材」に形成した孔の幅方向の開口径のばらつきを、開口径の最大値と最小値との差が２．０μｍ以下であるか否かで評価しており、目標となる設計値からの外れ度合いについては記載されていないから、前記評価によって本件特許に係る発明の課題を解決していることにはならないので、「幅方向での伸び差率」に係る発明特定事項を満たすことによって、本件特許に係る発明の課題が解決するということはできない。 したがって、本件訂正前の特許請求の範囲の請求項１～８に係る発明は、発明の詳細な説明に記載された発明とはいえないので、前記請求項１～８の記載はサポート要件を満たさない（特許異議申立書１１０ページ下から２行～１１１ページ１９行）。 （３）特許法第３６条第６項第２号所定の規定違反（明確性要件違反）について ア 「幅方向での伸び差率」、「伸び差率の平均値」、「伸び差率のピークの個数」及び「伸び差率のピークの間隔」は測定間隔により変化するのに、本件訂正前の特許請求の範囲の請求項１～８にはこれらの測定条件が特定されていないから、「幅方向での伸び差率」、「伸び差率の平均値」、「伸び差率のピークの個数」及び「伸び差率のピークの間隔」が不明確であるので、前記請求項１～８の記載は明確性要件を満たさない（特許異議申立書１１２ページ５行～下から７行）。 イ 本件特許明細書の段落【００９２】～【００９７】の実施例１には、「金属板」を長さ方向で切断したことについて記載がないから、実施例１においてスリットを理由に長さ方向の端縁から１０ｍｍを「幅方向での伸び差率」の非計測範囲として除くことの合理性を理解できない。 また、甲第４号証に示されたように、幅方向の端縁ほど波形状が激しくなるとすれば、幅方向の端縁を含めて測定しなければ「幅方向の伸び差率の最大値」を正確に評価できない。 そうすると、本件特許明細書の段落【０１０９】～【０１１３】の実施例４のように、「幅方向での伸び差率の最大値」が大きい実施例は、幅方向の端縁を除外しないで測定した場合、「幅方向での伸び差率の最大値」が「２×１０－５」よりも大きくなる可能性があり、「幅方向での伸び差率」の計測範囲は、「幅方向での伸び差率の最大値」を特定するための重要な要素である。 また、本件特許明細書には、「幅方向での伸び差率」の非計測範囲として１０ｍｍが記載されているにすぎない。 ところが、本件訂正前の特許請求の範囲の請求項１～８には、「幅方向での伸び差率」の非計測範囲が特定されていないので、前記請求項１～８の記載は明確性要件を満たさない（特許異議申立書１１２ページ下から６行～１１４ページ１１行）。 （４）特許法第２９条第１項、第２項所定の規定違反（新規性、進歩性欠如）について ア 本件訂正前の特許請求の範囲の請求項１～５に係る発明は、甲第１０号証に記載された発明である。 本件訂正前の特許請求の範囲の請求項１～８に係る発明は、甲第１０号証に記載された発明に基づいて、又は、甲第１０号証に記載された発明及び原出願の出願日当時の周知技術に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものである（特許異議申立書１１５ページ１行～１２２ページ最終行）。 イ 本件訂正前の特許請求の範囲の請求項１～６及び８に係る発明は、甲第１１号証に記載された発明である。 本件訂正前の特許請求の範囲の請求項１～８に係る発明は、甲第１１号証に記載された発明に基づいて、又は、甲第１１号証に記載された発明及び原出願の出願日当時の周知技術に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものである（特許異議申立書１２３ページ１行～１２９ページ最終行）。 ウ 本件訂正前の特許請求の範囲の請求項１～６及び８に係る発明は、甲第１２号証に記載された発明である。 本件訂正前の特許請求の範囲の請求項１～８に係る発明は、甲第１２号証に記載された発明に基づいて、又は、甲第１２号証に記載された発明及び原出願の出願日当時の周知技術に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものである（特許異議申立書１３０ページ１行～１３５ページ最終行）。 エ 本件訂正前の特許請求の範囲の請求項１～５に係る発明は、甲第１３号証に記載された発明である。 本件訂正前の特許請求の範囲の請求項１～８に係る発明は、甲第１３号証に記載された発明に基づいて、又は、甲第１３号証に記載された発明及び原出願の出願日当時の周知技術に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものである（特許異議申立書１３６ページ１行～１４３ページ最終行）。 オ 本件訂正前の特許請求の範囲の請求項１～８に係る発明は、甲第２５号証に記載された発明に基づいて、又は、甲第２５号証に記載された発明及び原出願の出願日当時の周知技術に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものである（特許異議申立書１４４ページ１行～１５０ページ最終行）。 カ 本件訂正前の特許請求の範囲の請求項１～８に係る発明は、甲第２６号証に記載された発明に基づいて、又は、甲第２６号証に記載された発明及び原出願の出願日当時の周知技術に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものである（特許異議申立書１５０ページ１行～１５７ページ最終行）。 （５）証拠方法 甲第１号証：雲英洋一ら，「冷間圧延における形状制御と空気軸受式形状計」，ＩＨＩ技報，２００８年６月，Ｖｏｌ．４８，Ｎｏ．２，ｐ．１２９－１３５ 甲第２号証：木原諄二ら，「技術資料 最近の板用圧延機」，日本金属学会報，１９８６年，第２５巻，第１０号，ｐ．８３２－８３９ 甲第３号証：特許第６２９９９２２号公報 甲第４号証：特許第６２３７９７２号公報 甲第５号証：教育分科会編，「フォトファブリケーション実務入門読本第７版」，日本フォトファブリケーション協会，平成１６年６月，目次，ｐ．３０－４９ 甲第６号証：教育分科会編，「フォトファブリケーション実務入門読本第８版」，日本フォトファブリケーション協会，平成２０年６月，目次，ｐ．３２－５５ 甲第７号証：橋本貴夫著，「図解・フォトファブリケーション －精密・微細加工入門－」，第１版，総合電子出版社，昭和６１年７月１０日，もくじ，ｐ．１，１４２－１４３，１７６－１８１，１８８－１９１ 甲第８号証：特公昭６０－７７０９号公報 甲第９号証の１：古川慎二，エッチングにおいてスプレイ方式により液体を供給する場合のイメージ動画，２０２０年１０月１２日 甲第９号証の２：古川慎二，甲第９号証の１の動画撮影説明書，２０２０年１０月１２日 甲第１０号証：特開２０１７－６４７６３号公報 甲第１１号証：特開２０１５－５５００７号公報 甲第１２号証：特開２０１４－１４８７４３号公報 甲第１３号証：特開平１１－２２９０４０号公報 甲第１４号証：特許第６１２００３８号公報 甲第１５号証：特開２０１６－８４０号公報 甲第１６号証：特開２０１７－８８９３６号公報 甲第１７号証：特開２００６－３３１９７３号公報 甲第１８号証：特開２００５－１５８３１９号公報 甲第１９号証：特開２０１７－１８１８９４号公報 甲第２０号証：特開２０１７－１８１８９３号公報 甲第２１号証：特開２０１７－６４７６４号公報 甲第２２号証：特開２０１５－１９３８７１号公報 甲第２３号証：特開２０１０－２１４４４７号公報 甲第２４号証：特開２００９－２９９１７０号公報 甲第２５号証：特開平１０－２０４５４１号公報 甲第２６号証：特開平１０－６０５２５号公報 甲第２７号証の１：エバーロイ商事株式会社，動画投稿サイトＹｏｕＴｕｂｅに投稿された「ミストヘッダーＷＰ型」と題する動画，２０１５年４月１４日 甲第２７号証の２：エバーロイ商事株式会社のホームページ ，［online］，令和４年１２月１６日，＜https://www.everloy-spray-nozzles.com/solvieng_industry/electronics/＞ 甲第２８号証の１：株式会社いけうち，動画投稿サイトＹｏｕＴｕｂｅに投稿された「【霧のいけうち】細霧・中霧発生ノズルーＶＶＥＡ」と題する動画，２０１１年９月２９日 甲第２８号証の２：株式会社いけうちのホームページ，［online］，令和４年１２月１６日，＜https://www.kirinoikeuchi.co.jp/1p/summary/＞ 甲第２９号証：国際公開第２０１７／１５４９８１号 なお、甲第２７号証の１～甲第２９号証は、古川意見書に添付して提出されたものである。 第５ 取消理由の概要 １ 特許法第３６条第６項第１号所定の規定違反（サポート要件違反）について 本件特許に係る発明の課題は、蒸着マスクを製造する際に、「蒸着マスク用基材」をエッチング液でエッチングすることで生じる課題といえるから、本件特許に係る発明は、そもそも、「蒸着マスク用基材」をエッチング液でエッチングすることを前提としたものといえるが、本件訂正前の特許請求の範囲の請求項１には、蒸着マスクを製造する際に、「蒸着マスク用基材」をエッチング液でエッチングすることは特定されていない。 すると、前記請求項１に係る発明は、前記前提に基づかない、本件特許に係る発明の課題と無関係のものまで包含するので、発明の詳細な説明に記載された発明とはいえないのであり、本件訂正前の特許請求の範囲の請求項２～８に係る発明ついて検討しても事情は同じであるから、本件訂正前の特許請求の範囲の記載は、特許法第３６条第６項第１号所定の規定に適合しない。 ２ 特許法第３６条第４項第１号所定の規定違反（実施可能要件違反）について 当業者は、「前記幅方向での伸び差率の最大値が２×１０－５以下であるように、前記母材を圧延する」、との発明特定事項を有する本件訂正前の特許請求の範囲の請求項５に係る発明を実施するにあたって、圧延の条件を理解することができないから、本件特許明細書の発明の詳細な説明の記載は、当業者が前記請求項５に係る発明を実施できる程度に記載したものとはいえないので、特許法第３６条第４項第１号所定の規定に適合しない。 第６ 取消理由及び特許異議申立理由について 事案に鑑み、取消理由及び特許異議申立理由についてまとめて検討する。 １ 特許法第３６条第６項第１号所定の規定違反（サポート要件違反）について （１）サポート要件の判断手法 特許請求の範囲の記載がサポート要件に適合するか否かは、特許請求の範囲の記載と発明の詳細な説明の記載とを対比し、特許請求の範囲に記載された発明が、発明の詳細な説明に記載された発明で、発明の詳細な説明の記載又はその示唆により当業者が当該発明の課題を解決できると認識できる範囲のものであるか否か、また、その記載や示唆がなくとも当業者が出願時の技術常識に照らし当該発明の課題を解決できると認識できる範囲のものであるか否かを検討して判断すべきものである。 （２）サポート要件について ア 始めに、前記（１）のサポート要件の判断手法にのっとって検討すると、本件特許明細書には、以下の（ア）～（エ）の記載がある（当審注：下線は当審が付与した。また、「・・・」は記載の省略を表す。以下、同様である。）。 （ア）「【０００１】 本発明は、蒸着マスク用基材、蒸着マスク用基材の製造方法、蒸着マスクの製造方法、および、表示装置の製造方法に関する。 【背景技術】 【０００２】 蒸着マスクは、第１面と第２面とを備える。第１面は、基板などの対象物と対向し、第２面は、第１面とは反対側に位置する。第１面から第２面までを貫通する孔は、第１面に位置する第１開口と、第２面に位置する第２開口とを備える。第２開口から孔に入る蒸着物質は、第１開口の位置や第１開口の形状に追従したパターンを対象物に形成する（例えば、特許文献１を参照）。 ・・・ 【発明の概要】 【発明が解決しようとする課題】 【０００４】 蒸着マスクが備える孔は、第１開口から第２開口に向けて拡大する断面積を有し、それによって、第２開口から孔に入る蒸着物質の数量を高めて、第１開口に到達する蒸着物質の数量を確保する。一方、第２開口から孔に入る蒸着物質の一部は、第１開口に到達せずに、孔を区画する壁面に少なからず付着する。壁面に付着した蒸着物質は、他の蒸着物質による孔の通過を妨げて、パターンが有する寸法の精度を低下させる。 【０００５】 近年では、壁面に付着する蒸着物質の体積を低下させることを目的として、蒸着マスクの厚みを薄くし、壁面の面積そのものを縮小させることが検討されている。そして、蒸着マスクの厚みを薄くする技術として、蒸着マスクを製造するための基材である金属板の厚みそのものを薄くすることが検討されている。 【０００６】 他方、金属板に孔を形成するエッチングの工程では、金属板の厚みが薄くなるほど、除去される金属の体積が小さくなる。そのため、金属板にエッチング液を供給する時間や、供給されるエッチングの温度などの加工条件で許容範囲が狭くなり、結果として、第１開口や第２開口の寸法に十分な精度を得られがたくなっている。特に、金属板を製造する技術では、ローラーによって母材を延ばす圧延や、電極に析出した金属板を電極から剥がす電解が用いられ、金属板そのものに波形状が形成されている。こうした形状を有する金属板は、金属板とエッチング液との接触する時間を、例えば、波形状の山部と波形状の谷部との間で大きく異ならせて、上記許容範囲の狭小化に伴う精度の低下をさらに深刻化させている。以上のように、蒸着マスクの厚みを薄くする技術は、壁面に付着する蒸着物質の量を低下させて、それによって、蒸着の繰り返しでのパターンの寸法の精度を高められるが、蒸着ごとでは、パターンの寸法に必要な精度を得られがたい課題を新たに招来させている。 【０００７】 本発明の目的は、蒸着によって形成されるパターンの精度を向上可能とした蒸着マスク用基材、蒸着マスク用基材の製造方法、蒸着マスクの製造方法、および、表示装置の製造方法を提供することである。」 （イ）「【課題を解決するための手段】 【０００８】 上記課題を解決するための蒸着マスク用基材は、複数の孔がエッチングによって形成されて蒸着マスクの製造に用いられる、帯状を有した金属板である蒸着マスク用基材であって、前記金属板の長さ方向での各位置における前記金属板の幅方向に沿った形状は、相互に異なっており、各形状は、前記金属板の幅方向に繰り返す凹凸を有した波形状であり、前記金属板の表面での幅方向の長さが表面距離であり、前記金属板の長さ方向の各位置での表面距離のなかの最小値が最小表面距離であり、前記最小表面距離に対する、前記金属板の長さ方向の各位置での表面距離と前記最小表面距離との差分の比率が幅方向での伸び差率であり、前記幅方向での伸び差率の最大値が２×１０－５以下である。 ・・・ 【００１１】 上記蒸着マスク用基材によれば、幅方向での伸び差率の最大値が２×１０－５以下であるため、長さ方向に搬送される蒸着マスク用基材の表面に液体を供給するとしても、蒸着マスク用基材の表面で均一に液体を流しやすい。結果として、長さ方向に搬送される蒸着マスク用基材の表面に供給された液体が長さ方向の一部で淀むことが抑えられる。そして、エッチング液などの液体による処理を用いた長さ方向での加工の均一性、すなわち、蒸着マスク用基材が有する孔の長さ方向での均一性、ひいては、蒸着によって形成されるパターンの精度を向上することが可能となる。」 （ウ）「【００２２】 ［伸び差率］ 蒸着マスク用基材１が水平面に載置された状態において、水平面に対する蒸着マスク用基材１の表面の位置（高さ）が表面位置である。 図２が示すように、表面位置の計測では、まず、圧延された、もしくは電解で作製された金属板の幅方向ＤＷでの寸法が幅Ｗとなるように、金属板が切断されて、帯状を有した金属板である蒸着マスク用基材１がロール状に巻き回される。次いで、蒸着マスク用基材１が幅方向ＤＷの全体（全幅）において切断されるスリット工程が実施されて、蒸着マスク用基材１の長さ方向ＤＬにおける一部分として、測定用基材２Ｍが切り出される。測定用基材２Ｍの幅方向ＤＷでの幅Ｗは、蒸着マスク用基材１の幅方向ＤＷでの寸法と等しい。次いで、測定用基材２Ｍの表面２Ｓについて、長さ方向ＤＬの所定の間隔ごとに、幅方向ＤＷの各位置での表面位置が計測される。表面位置が計測される範囲は、計測範囲ＺＬである。 【００２３】 計測範囲ＺＬは、測定用基材２Ｍの長さ方向ＤＬでの両方の端部である非計測範囲ＺＥを除く範囲である。計測範囲ＺＬは、測定用基材２Ｍの幅方向ＤＷでの両端部である図示されない非計測範囲を除く範囲でもある。蒸着マスク用基材１を切断するスリット工程は、蒸着マスク用基材１とは異なる新たな波形状を測定用基材に形成し得る。各非計測範囲ＺＥの長さ方向ＤＬでの長さは、こうした新たな波形状が形成され得る範囲であり、表面位置の測定からは除外される範囲である。各非計測範囲ＺＥが有する長さ方向ＤＬでの長さは、例えば、１００ｍｍである。幅方向においても、スリット工程による新たな波形状を除外するため、非計測範囲の幅方向ＤＷの長さは、幅方向ＤＷの端から、例えば、１０ｍｍである。 【００２４】 図３は、測定用基材２Ｍの幅方向ＤＷの各位置での表面位置の一例を示すグラフであり、測定用基材２Ｍの幅方向ＤＷを含む断面での断面構造と共に表面位置を示す図である。なお、図３では、長さ方向ＤＬの各部位のうち、幅方向ＤＷに３つの波を有する部位の例を示す。 【００２５】 図３が示すように、高さが測定される幅方向ＤＷの各位置は、蒸着マスク用基材１が有する波形状の凹凸を引き写すことの可能な間隔で並ぶ。高さが測定される幅方向ＤＷの各位置は、例えば、幅方向ＤＷに１ｍｍ以上２０ｍｍ以下の等間隔で並ぶ。幅方向ＤＷでの各位置の高さを結ぶ折れ線ＬＷの長さは、表面距離Ｌａとして算出される。蒸着マスク用基材１の幅方向ＤＷでの伸び差率は、式１によって定められる。すなわち、蒸着マスク用基材１の長さ方向ＤＬでの各位置の表面距離Ｌａのなかの最小値を最小表面距離Ｌｍとすると、最小表面距離Ｌｍに対する、各表面距離Ｌａと最小表面距離Ｌｍとの差分の比率が、伸び差率である。 伸び差率＝（Ｌａ－Ｌｍ）／Ｌｍ ・・・ （式１） 【００２６】 図４は、蒸着マスク用基材１の長さ方向ＤＬでの各位置の幅方向ＤＷでの伸び差率を示す。図４の上段に示す実線は、幅方向ＤＷでの伸び差率が、単位長さにおいて２つのピークを示す一例であり、図４の下段に示す実線は、幅方向ＤＷでの伸び差率が、単位長さにおいて４つのピークを示す一例である。長さ方向ＤＬの単位長さは、５００ｍｍである。伸び差率のピークは、０．５×１０－５以上の極大値を有する。 【００２７】 図４が示すように、蒸着マスク用基材１の幅方向ＤＷでの伸び差率は、例えば、単位長さのなかに複数のピークを含む。幅方向ＤＷでの伸び差率のピークは、例えば、長さ方向ＤＬに所定の間隔を空けて並ぶ。なお、蒸着マスク用基材１は、こうしたピークを有しない構成であってもよい。 【００２８】 蒸着マスク用基材１の幅方向ＤＷでの伸び差率は、以下の［条件１］を満たす。蒸着マスク用基材１の幅方向ＤＷでの伸び差率は、以下の［条件２］から［条件４］の少なくとも１つを満たすことが好ましい。 ［条件１］幅方向ＤＷでの伸び差率の最大値が２×１０－５以下である。 ［条件２］幅方向ＤＷでの伸び差率の単位長さでの平均値が０．５×１０－５以下である。 ［条件３］単位長さあたりのピークの個数が３個以下である。 ［条件４］単位長さあたりのピークの間隔が１００ｍｍ以上である。 【００２９】 図４の実線が示すように、［条件１］を満たす例では、幅方向ＤＷでの伸び差率の最大値が２×１０－５以下である。すなわち、蒸着マスク用基材１では、幅方向ＤＷでの伸び差率の最大値が２×１０－５以下であるため、幅方向ＤＷでの凹凸の繰り返される数や、幅方向ＤＷでの表面の段差が、長さ方向ＤＬの各部位において、極端に大きくなっていない。そのため、長さ方向に搬送される蒸着マスク用基材１の表面に処理用の液体を供給するとしても、段差によって液体が淀むことがなく、同じ処理を長さ方向ＤＬに繰り返すとしても、蒸着マスク用基材１の表面で均一に液体を流しやすい。結果として、蒸着マスク用基材の表面に供給された液体が長さ方向ＤＬの一部で淀むことが抑えられる。そして、エッチング液などの液体による処理を用いた長さ方向ＤＬでの加工の均一性、すなわち、蒸着マスク用基材１が有する孔の長さ方向ＤＬでの均一性、ひいては、蒸着によって形成されるパターンの精度を向上することが可能となる。」 （エ）「【００９２】 ［実施例］ 図２３から図３９を参照して各実施例を説明する。 ［実施例１］ まず、インバーを材料とする母材１ａに圧延工程を施して金属板を形成し、次いで、幅方向ＤＷに所望の大きさが得られるように、金属板を切断するスリット工程を行い、圧延資材１ｂを形成した。続いて、圧延資材１ｂにアニール工程を施して、幅方向ＤＷの長さが５００ｍｍであり、かつ、厚さが２０μｍである実施例１の蒸着マスク用基材１を得た。 【００９３】 次いで、図２３が示すように、長さ方向ＤＬの長さが７００ｍｍである実施例１の測定用基材２Ｍを、実施例１の蒸着マスク用基材１から切り出した。続いて、切り出された測定用基材２Ｍの幅方向ＤＷでの伸び差率を、計測範囲ＺＬの全体にわたり測定した。この際、幅方向ＤＷでの伸び差率の測定条件として、以下に示す条件を用いた。 測定装置：株式会社ニコン製 ＣＮＣ画像測定システム ＶＭＲ－６５５５ 計測範囲ＺＬの長さ方向ＤＬの長さ ：５００ｍｍ（単位長さ） ・・・ 幅方向の測定は、スリット工程による新たな波形状を除外するため、幅方向ＤＷの両端から１０ｍｍを除き、幅方向ＤＷにおいて４８０ｍｍの範囲で実施した。 【００９４】 実施例１の幅方向ＤＷでの伸び差率の測定結果を図２４、図２５、および、表１に示す。なお、図２４は、長さ方向ＤＬの測定間隔が２０ｍｍ、幅方向ＤＷの測定間隔が２０ｍｍであるときの伸び差率の長さ方向での分布を示す。図２５は、長さ方向ＤＬの測定間隔が１ｍｍ、幅方向ＤＷの測定間隔が２０ｍｍであるときの伸び差率の長さ方向での分布を示す。表１は、長さ方向ＤＬの測定間隔が２０ｍｍ、幅方向ＤＷの測定間隔が１ｍｍであるときの伸び差率の長さ方向での最大値を示す。なお、いずれの測定間隔においても、長さ方向ＤＬは、母材１ａが圧延によって引き延ばされる方向である。 【００９５】 表１が示すように、長さ方向ＤＬの測定間隔が２０ｍｍであって、幅方向ＤＷの測定間隔が１ｍｍである場合、実施例１の幅方向ＤＷでの伸び差率の最大値は、１．０×１０－５であった。 【００９６】 図２４が示すように、長さ方向ＤＬの測定間隔が２０ｍｍであって、幅方向ＤＷの測定間隔が２０ｍｍである場合、実施例１の幅方向ＤＷでの伸び差率の最大値は、０．７×１０－５であった。なお、単位長さあたりの伸び差率の平均値は、０．２×１０－５であり、単位長さにおける伸び差率の標準偏差σは、０．１９×１０－５であり、単位長さあたりに２個のピークが認められた。互いに隣り合うピークの間隔は、２２０ｍｍであった。 【００９７】 図２５が示すように、長さ方向ＤＬの測定間隔が１ｍｍであって、幅方向ＤＷの測定間隔が２０ｍｍである場合、実施例１の幅方向ＤＷでの伸び差率の最大値は、０．９×１０－５であった。なお、単位長さあたりの伸び差率の平均値は、０．２×１０－５であり、単位長さにおける伸び差率の標準偏差σは、０．２１×１０－５であり、単位長さあたりに３個のピークが認められた。互いに隣り合うピークの間隔の最小値は、１６６ｍｍであった。すなわち、実施例１は、いずれの測定間隔においても、条件１～４を満たすことが認められた。 【００９８】 ［実施例２］ 圧延ローラー５１，５２の回転速度と押圧力とを実施例１から変更し、その他の条件を実施例１の条件と同様に設定することによって、幅方向ＤＷの長さが５００ｍｍであり、かつ、厚さが２０μｍである実施例２の蒸着マスク用基材１を得た。次いで、実施例１と同様に、実施例２の蒸着マスク用基材１から測定用基材２Ｍを切り出し、切り出された測定用基材２Ｍの幅方向ＤＷでの伸び差率を、計測範囲ＺＬの全体にわたり測定した。 【００９９】 実施例２の幅方向ＤＷでの伸び差率の測定結果を図２６、図２７、図２８、および、表１に示す。なお、図２６は、長さ方向ＤＬの測定間隔が２０ｍｍ、幅方向ＤＷの測定間隔が２０ｍｍであるときの伸び差率の長さ方向での分布を示す。図２７は、長さ方向ＤＬの測定間隔が２０ｍｍ、幅方向ＤＷの測定間隔が１ｍｍであるときの伸び差率の長さ方向での分布を示す。図２８は、長さ方向ＤＬの測定間隔が１ｍｍ、幅方向ＤＷの測定間隔が２０ｍｍであるときの伸び差率の長さ方向での分布を示す。表１は、長さ方向ＤＬの測定間隔が２０ｍｍ、幅方向ＤＷの測定間隔が１ｍｍであるときの伸び差率の長さ方向での最大値を示す。なお、いずれの測定間隔においても、長さ方向ＤＬは、母材１ａが圧延によって引き延ばされる方向である。 【０１００】 表１が示すように、長さ方向ＤＬの測定間隔が２０ｍｍであって、幅方向ＤＷの測定間隔が１ｍｍである場合、実施例２の幅方向ＤＷでの伸び差率の最大値は、０．７×１０－５であった。 【０１０１】 図２６が示すように、長さ方向ＤＬの測定間隔が２０ｍｍであって、幅方向ＤＷの測定間隔が２０ｍｍである場合、実施例２の幅方向ＤＷでの伸び差率の最大値は、０．６×１０－５であった。なお、単位長さあたりの伸び差率の平均値は、０．１×１０－５であり、単位長さにおける伸び差率の標準偏差σは、０．１２×１０－５であり、単位長さあたりに１個のピークが認められた。 【０１０２】 図２７が示すように、長さ方向ＤＬの測定間隔が２０ｍｍであって、幅方向ＤＷの測定間隔が１ｍｍである場合、実施例２の幅方向ＤＷでの伸び差率の最大値は、０．７×１０－５であった。なお、単位長さあたりの伸び差率の平均値は、０．１×１０－５であり、単位長さにおける伸び差率の標準偏差σは、０．１４×１０－５であり、単位長さあたりに１個のピークが認められた。 【０１０３】 図２８が示すように、長さ方向ＤＬの測定間隔が１ｍｍであって、幅方向ＤＷの測定間隔が２０ｍｍである場合、実施例２の幅方向ＤＷでの伸び差率の最大値は、０．６×１０－５であった。なお、単位長さあたりの伸び差率の平均値は、０．１×１０－５であり、単位長さにおける伸び差率の標準偏差σは、０．１２×１０－５であり、単位長さあたりに１個のピークが認められた。すなわち、実施例２は、いずれの測定間隔においても、条件１～４を満たすことが認められた。 【０１０４】 ［実施例３］ 圧延ローラー５１，５２の間での押圧力を実施例１から変更し、その他の条件を実施例１の条件と同様に設定することによって、幅方向ＤＷの長さが５００ｍｍであり、かつ、厚さが５０μｍである実施例３の蒸着マスク用基材１を得た。次いで、実施例１と同様に、実施例３の蒸着マスク用基材１から測定用基材２Ｍを切り出し、切り出された測定用基材２Ｍの幅方向ＤＷでの伸び差率を、計測範囲ＺＬの全体にわたり測定した。 【０１０５】 実施例３の幅方向ＤＷでの伸び差率の測定結果を図２９、図３０、および、表１に示す。なお、図２９は、長さ方向ＤＬの測定間隔が２０ｍｍ、幅方向ＤＷの測定間隔が２０ｍｍであるときの伸び差率の長さ方向での分布を示す。図３０は、長さ方向ＤＬの測定間隔が１ｍｍ、幅方向ＤＷの測定間隔が２０ｍｍであるときの伸び差率の長さ方向での分布を示す。表１は、長さ方向ＤＬの測定間隔が２０ｍｍ、幅方向ＤＷの測定間隔が１ｍｍであるときの伸び差率の長さ方向での最大値を示す。なお、いずれの測定間隔においても、長さ方向ＤＬは、母材１ａが圧延によって引き延ばされる方向である。 【０１０６】 表１が示すように、長さ方向ＤＬの測定間隔が２０ｍｍであって、幅方向ＤＷの測定間隔が１ｍｍである場合、実施例３の幅方向ＤＷでの伸び差率の最大値は、０．９×１０－５であった。 【０１０７】 図２９が示すように、長さ方向ＤＬの測定間隔が２０ｍｍであって、幅方向ＤＷの測定間隔が２０ｍｍである場合、実施例３の幅方向ＤＷでの伸び差率の最大値は、０．８×１０－５であった。なお、単位長さあたりの伸び差率の平均値は、０．２×１０－５であり、単位長さにおける伸び差率の標準偏差σは、０．２０×１０－５であり、単位長さあたりに２個のピークが認められた。互いに隣り合うピークの間隔の最小値は、２４０ｍｍであった。 【０１０８】 図３０が示すように、長さ方向ＤＬの測定間隔が１ｍｍであって、幅方向ＤＷの測定間隔が２０ｍｍである場合、実施例３の幅方向ＤＷでの伸び差率の最大値は、０．８×１０－５であった。なお、単位長さあたりの伸び差率の平均値は、０．２×１０－５であり、単位長さにおける伸び差率の標準偏差σは、０．１９×１０－５であり、単位長さあたりに２個のピークが認められた。互いに隣り合うピークの間隔の最小値は、２４０ｍｍであった。すなわち、実施例３は、いずれの測定間隔においても、条件１～４を満たすことが認められた。 【０１０９】 ［実施例４］ 圧延ローラー５１，５２の数量を実施例１から変更し、その他の条件を実施例１の条件と同様に設定することによって、幅方向ＤＷの長さが５００ｍｍであり、かつ、厚さが２０μｍである実施例４の蒸着マスク用基材１を得た。次いで、実施例１と同様に、実施例４の蒸着マスク用基材１から測定用基材２Ｍを切り出し、切り出された測定用基材２Ｍの幅方向ＤＷでの伸び差率を、計測範囲ＺＬの全体にわたり測定した。 【０１１０】 実施例４の幅方向ＤＷでの伸び差率の測定結果を図３１、図３２、および、表１に示す。なお、図３１は、長さ方向ＤＬの測定間隔が２０ｍｍ、幅方向ＤＷの測定間隔が２０ｍｍであるときの伸び差率の長さ方向での分布を示す。図３２は、長さ方向ＤＬの測定間隔が１ｍｍ、幅方向ＤＷの測定間隔が２０ｍｍであるときの伸び差率の長さ方向での分布を示す。表１は、長さ方向ＤＬの測定間隔が２０ｍｍ、幅方向ＤＷの測定間隔が１ｍｍであるときの伸び差率の長さ方向での最大値を示す。なお、いずれの測定間隔においても、長さ方向ＤＬは、母材１ａが圧延によって引き延ばされる方向である。 【０１１１】 表１が示すように、長さ方向ＤＬの測定間隔が２０ｍｍであって、幅方向ＤＷの測定間隔が１ｍｍである場合、実施例４の幅方向ＤＷでの伸び差率の最大値は、１．４×１０－５であった。 【０１１２】 図３１が示すように、長さ方向ＤＬの測定間隔が２０ｍｍであって、幅方向ＤＷの測定間隔が２０ｍｍである場合、実施例４の幅方向ＤＷでの伸び差率の最大値は、１．１×１０－５であった。なお、単位長さあたりの伸び差率の平均値は、０．４×１０－５であり、単位長さにおける伸び差率の標準偏差σは、０．３１×１０－５であり、単位長さあたりに４個のピークが認められた。互いに隣り合うピークの間隔の最小値は、６０ｍｍであった。 【０１１３】 図３２が示すように、長さ方向ＤＬの測定間隔が１ｍｍであって、幅方向ＤＷの測定間隔が２０ｍｍである場合、実施例４の幅方向ＤＷでの伸び差率の最大値は、１．２×１０－５であった。なお、単位長さあたりの伸び差率の平均値は、０．４×１０－５であり、単位長さにおける伸び差率の標準偏差σは、０．３０×１０－５であり、単位長さあたりに５個のピークが認められた。互いに隣り合うピークの間隔の最小値は、７５ｍｍであった。すなわち、実施例４は、いずれの測定間隔においても、条件１，２を満たすことが認められた。 ・・・ 【０１３０】 【表１】 ［図：0001398260000001.jpg］ 【０１３１】 ［パターンの精度］ 各実施例１～４、および、各比較例１～３の蒸着マスク用基材１を用い、蒸着マスク用基材１の第１面１Ｓａに、厚さが１０μｍの第１ＤＦＲ２を貼り着けた。次いで、第１ＤＦＲ２に露光マスクを接触させて露光する露光工程、次いで現像工程を施し、３０μｍの直径を有した複数の貫通孔２ａを、第１ＤＦＲ２に格子状に形成した。続いて、第１ＤＦＲ２をマスクとするエッチングを第１面１Ｓａに施して、格子状に位置する複数の孔３２Ｈを蒸着マスク用基材１に形成した。そして、蒸着マスク用基材１の幅方向ＤＷでの開口径を各孔３２Ｈについて計測した。各孔３２Ｈの幅方向ＤＷでの開口径のばらつきを表１に示す。なお、表１では、各孔３２Ｈが有する開口径のなかで、開口径の最大値と開口径の最小値との差が２．０μｍ以下である水準に○印を記載し、開口径の最大値と開口径の最小値との差が２．０μｍよりも大きい水準に×印を記載した。 【０１３２】 表１が示すように、各実施例１～４では、開口径のばらつきがいずれも２．０μｍ以下であることが認められた。また、実施例１～４のなかでも、実施例１～３は、実施例４よりも、開口径のばらつきがさらに小さいことが認められた。他方、各比較例１～３では、開口径のばらつきがいずれも２．０μｍよりも大きいことが認められた。結果として、実施例１～４と比較例１～３との比較から、幅方向ＤＷでの伸び差率の最大値が２．０×１０－５よりも小さいこと、すなわち、［条件１］が満たされることによって、開口径のばらつきが抑えられることが認められた。また、実施例１，２，３と実施例４との比較から、幅方向ＤＷでの伸び差率の単位長さでの平均値が小さいほど、開口径のばらつきがさらに抑えられることが認められた。また、単位長さあたりのピークの個数が条件３を満たす小さい値であること、単位長さあたりのピークの間隔が条件４を満たす小さい値であること、これらが満たされることによっても、開口径のばらつきがさらに抑えられることが認められた。」 イ 前記ア（ア）の記載によれば、本件発明は、蒸着マスク用基材、蒸着マスク用基材の製造方法、蒸着マスクの製造方法、および、表示装置の製造方法に関するものであって、近年では、壁面に付着する蒸着物質の体積を低下させることを目的として、蒸着マスクの厚みを薄くし、壁面の面積そのものを縮小させることが検討されており、蒸着マスクの厚みを薄くする技術として、蒸着マスクを製造するための基材である金属板の厚みそのものを薄くすることが検討されているのであるが、金属板に孔を形成するエッチングの工程では、金属板の厚みが薄くなるほど、除去される金属の体積が小さくなり、そのため、金属板にエッチング液を供給する時間や、供給されるエッチングの温度などの加工条件で許容範囲が狭くなり、結果として、第１開口や第２開口の寸法に十分な精度を得られがたくなっているものである。 特に、金属板を製造する技術では、ローラーによって母材を延ばす圧延や、電極に析出した金属板を電極から剥がす電解が用いられ、金属板そのものに波形状が形成されており、こうした形状を有する金属板は、金属板とエッチング液との接触する時間を、例えば、波形状の山部と波形状の谷部との間で大きく異ならせて、上記許容範囲の狭小化に伴う精度の低下をさらに深刻化させている、という課題（以下、「本件課題」という。）を有するものである。 ウ そして、前記ア（イ）、（ウ）（段落【００２５】～【００２９】）の記載によれば、本件発明は、複数の孔がエッチングによって形成されて蒸着マスクの製造に用いられる、帯状を有した金属板である蒸着マスク用基材であって、前記金属板の長さ方向での各位置における前記金属板の幅方向に沿った形状は、相互に異なっており、各形状は、前記金属板の幅方向に繰り返す凹凸を有した波形状であり、前記金属板の表面での幅方向の長さが表面距離であり、前記金属板の長さ方向の各位置での表面距離のなかの最小値が最小表面距離であり、前記最小表面距離に対する、前記金属板の長さ方向の各位置での表面距離と前記最小表面距離との差分の比率が幅方向での伸び差率であり、前記幅方向での伸び差率の最大値を２×１０－５以下とするもの、すなわち、［条件１］を満たすものとするものであって、そうすることで、長さ方向に搬送される蒸着マスク用基材の表面に液体を供給するとしても、蒸着マスク用基材の表面で均一に液体を流しやすく、結果として、長さ方向に搬送される蒸着マスク用基材の表面に供給された液体が長さ方向の一部で淀むことが抑えられ、エッチング液などの液体による処理を用いた長さ方向での加工の均一性、すなわち、蒸着マスク用基材が有する孔の長さ方向での均一性、ひいては、蒸着によって形成されるパターンの精度を向上することが可能となって、本件課題を解決できるものであり、更に、このことは、前記ア（エ）（段落【０１３２】）の実施例１～４の記載からも裏付けられるものである。 エ 前記ウによれば、本件特許明細書の記載に接した当業者は、蒸着マスク用基材が前記［条件１］を満たすことで、本件課題を解決できることを理解することができる。 そして、蒸着マスク用基材が前記［条件１］を満たすことは、本件発明１の、「前記金属板の長さ方向での各位置における前記金属板の幅方向に沿った形状は、相互に異なっており、各形状は、前記金属板の幅方向に繰り返す凹凸を有した波形状であり、前記金属板の表面での幅方向の長さが表面距離であり、前記金属板の長さ方向の各位置での表面距離のなかの最小値が最小表面距離であり、前記最小表面距離に対する、前記金属板の長さ方向の各位置での表面距離と前記最小表面距離との差分の比率が幅方向での伸び差率であり、前記幅方向での伸び差率の最大値が２×１０－５以下である」との発明特定事項を満たすことにほかならない。 オ 前記エによれば、当業者は、本件発明１の発明特定事項を満たすことにより本件課題を解決できることを理解できるのであって、このことを前記（１）の判断手法に当てはめれば、本件特許請求の範囲の請求項１の記載はサポート要件に適合するといえ、同請求項２～４及び６～８について検討しても事情は同じである。 （３）取消理由について 本件発明１は、「複数の孔がエッチング液を用いたエッチングによって形成されて蒸着マスクの製造に用いられる」、との発明特定事項を有するから、本件課題と無関係のものまで包含するものではないので、前記第５の１の取消理由は理由がない。 （４）申立人金山の特許異議申立理由について ア 始めに、申立人金山の前記第４の１（３）アの主張について検討すると、当業者は、本件発明１の発明特定事項を満たすことにより本件課題を解決できることを理解できることは、前記（２）オに記載したとおりであって、本件発明１に、長さ方向における「単位長さ」が特定されておらず、また、「幅方向の伸び差率の最大値」が「長さ方向」の「計測範囲」の長さによって変わり得るとしても、当業者が通常採用し得る「単位長さ」において本件発明１の発明特定事項を満たすことにより本件課題を解決できることに変わりはなく、本件発明２～４、６～８について検討しても事情は同じであるから、前記主張は採用できない。 イ 次に、申立人金山の前記第４の１（３）イの主張について検討すると、前記（３）に記載したのと同様の理由により、本件特許明細書の記載を本件特許請求の範囲の請求項６～８の範囲まで拡張ないし一般化できるから、前記主張も採用できない。 ウ よって、前記第４の１（３）の申立人金山の特許異議申立理由は、いずれも理由がない。 （５）申立人古川の特許異議申立理由及び古川意見書について ここでいう甲各号証は、申立人古川が提出した、前記第４の２（５）に記載された甲各号証である。 ア 始めに、申立人古川の前記第４の２（２）ア及びイの主張について検討すると、仮に、甲第３号証の実施例４や甲第４号証の実施例３が、「幅方向での伸び差率の最大値が２×１０－５以下」を満たさずに、孔の幅方向の開口径のばらつきの評価が○評価となっているとしても、そもそも、前記実施例４や実施例３は、本件発明１の発明特定事項を満たさないのであるから、その孔の幅方向の開口径のばらつきの評価に関わらず、本件発明１に、本件課題を解決しないものが含まれることにはならない。 したがって、本件課題と課題解決手段の関係に疑義が生じるものではないし、本件課題を解決するためには「幅方向での伸び差率の最大値が２×１０－５以下」であるだけでは足りないものでもない。 そして、当業者は、本件発明１の発明特定事項を満たすことにより本件課題を解決できることを理解できることは、前記（２）オに記載したとおりであって、本件発明２～４、６～８について検討しても事情は同じであるから、本件特許請求の範囲の記載は、本件発明の課題が解決できることを認識できるように記載された範囲を超えるものではないので、前記主張はいずれも採用できない。 イ 次に、申立人古川の前記第４の２（２）ウ及びエの主張について検討すると、前記（２）ア（ウ）（段落【００２２】、【００２３】）の記載によれば、本件発明においては、圧延された、もしくは電解で作製された金属板の幅方向での寸法が所定幅となるように、金属板が切断されて、帯状を有した金属板である蒸着マスク用基材がロール状に巻き回され、次いで、蒸着マスク用基材が幅方向の全体（全幅）において切断されるスリット工程が実施されて、蒸着マスク用基材の長さ方向における一部分として、測定用基材が切り出されるものであり、蒸着マスク用基材を切断するスリット工程は、蒸着マスク用基材とは異なる新たな波形状を測定用基材に形成し得るので、表面位置の測定からは除外される範囲となるのであり、各非計測範囲が有する長さ方向での長さは、例えば、１００ｍｍであり、非計測範囲の幅方向の長さは、幅方向の端から、例えば、１０ｍｍであるものである。 すると、本件特許明細書の記載に接した当業者は、本件発明は、長さ方向及び幅方向の両方についてスリット工程が行われることを前提として、「幅方向での伸び差率」を、前記スリット工程により蒸着マスク用基材とは異なる新たな波形状が形成され得る範囲である非計測範囲を除外して計測するものであることを理解できるので、本件発明１において非計測範囲が特定されていないとしても、「幅方向での伸び差率」の最大値が「蒸着マスク用基材」の全体で満たされるものと解されるものではないし、非計測範囲が任意であると解されるものでもない。 更に、このことからみれば、本件発明１が、貫通孔を、蒸着マスク用基材とは異なる新たな波形状が形成される非計測範囲に形成するものを含むと解するのは不合理であるから、本件課題を解決しないものを権利範囲に含めるものとはいえないのであり、本件発明２～４、６～８について検討しても事情は同じであるから、前記主張もいずれも採用できない。 ウ 次に、申立人古川の前記第４の２（２）オ～キの主張について検討すると、前記オ～キの主張は、総じて、蒸着マスクの製造においては液がよどむということは観念し得ないから、「幅方向での伸び差率」と本件課題の関係を理解できない旨をいうものである。 ところが、甲第８号証には、以下の記載がある。 「また浸漬法によるエツチングに於てはスプレー法に比較し、スプレー圧、スプレーパターンの重なり、液溜りなどのエツチング状態におよぼす要因は考える必要はないが、金属板表面のエツチング液交換は攪拌によるでけであるのでシヤドウマスクのような大きなものになると攪拌子、超音波、バブリングなどを利用しても金属板表面のエツチング液は不均一となり、この為穿孔形状などのばらつきが生じやすいし、またスプレー法に比較しエツチング効果が悪く、時間がかかりやすいので量産には向かない。 これに対しスプレー法によるエツチングにおいては浸債法と比較し、エツチング液の当りが強いため新らしいエツチング液との液交換効率が良く、短かいエツチング時間で所望のシヤドウマスクが得られるので量産に適している。しかしエツチング液の金属板表面に対するスプレーパターンが均一でなく、金属板表面上のエツチング液の流れや溜りが不均一となり易く、このため穿孔の大きさや形状のばらつきが発生しやすい。・・・しかし液溜りや液流れに関してはエツチング方式により、どうしても避けられないものであり、液溜りの多い部分は液溜の少ない部分に比較し、新しいエツチング液との交換速度が遅くなり、この部分の金属板のエツチング速度を低下させる。」（２ページ左欄４３行～右欄２８行） 前記記載からみれば、甲第８号証には、浸漬法によるエッチングにおいては、金属板表面のエッチング液交換は攪拌によるだけであるので、攪拌子、超音波、バブリングなどを利用しても金属板表面のエッチング液は不均一となること、及び、スプレー法によるエッチングにおいては、エッチング液の金属板表面に対するスプレーパターンが均一でなく、金属板表面上のエッチング液の流れや溜りが不均一となりやすいことや、液溜りの多い部分は液溜りの少ない部分に比較し、新しいエッチング液との交換速度が遅くなり、この部分の金属板のエッチング速度を低下させることが記載されている。 すると、エッチング液を用いたエッチングにおいては、エッチング方法に関わらず、金属板表面にエッチング液の流れが生じるのであるから、エッチングが浸漬法によるものであっても、又、スプレイ法で噴射される液体の量が多量であっても、金属板の厚みが薄くなり、エッチングなどの加工条件の許容範囲が狭くなったときに、加工精度に影響するような液体のよどみが生じないと直ちにいえるものではないし、このことを裏付ける証拠もない。 そして、当業者は、本件発明１の発明特定事項を満たすことにより本件課題を解決できることを理解できることは、前記（２）オに記載したとおりであって、「幅方向での伸び差率」と本件課題の関係を理解できるのであり、本件発明２～４、６～８について検討しても事情は同じであるから、前記主張もいずれも採用できない。 エ 最後に、申立人古川の前記第４の２（２）クの主張について検討すると、前記（２）ア（エ）（段落【０１３１】、【０１３２】）の記載によれば、発明の詳細な説明の実施例においては、蒸着マスク用基材の第１面に貼り付けた第１ＤＦＲに露光マスクを接触させて露光する露光工程、次いで現像工程を施し、３０μｍの直径を有した複数の貫通孔を、第１ＤＦＲ２に格子状に形成し、続いて、第１ＤＦＲをマスクとするエッチングを第１面に施して、格子状に位置する複数の孔を蒸着マスク用基材に形成したのであるから、目標となる設計値が３０μｍの孔を形成することを前提として、孔の開口径のばらつきを評価していると解するのが妥当であるので、前記実施例において、目標となる設計値からの外れ度合いについて記載されていないとはいえない。 そして、当業者は、本件発明１の発明特定事項を満たすことにより本件課題を解決できることを理解できることは、前記（２）オに記載したとおりであり、本件発明２～４、６～８について検討しても事情は同じであるから、本件発明１～４、６～８は、発明の詳細な説明に記載された発明であるので、前記主張も採用できない。 オ 古川意見書における申立人古川の主張は、概略、以下のとおりである。 （ア）「エッチング液を用いたエッチング」の態様の中にも、金属板とエッチング液が接触する時間が、波形状の山部と波形状の谷部との間で大きく異ならない態様と大きく異なる態様とが存在するから、本件発明１に、本件課題と無関係のものまで包含しないようにするためには、「エッチング液を用いたエッチング」の具体的な特定が必要であるのに、本件発明１はそのような特定を欠いているから、本件特許請求の範囲の記載はサポート要件に適合しない（２ページ６行～５ページ下から１０行）。 （イ）本件発明１における「複数の孔がエッチング液を用いたエッチングによって形成されて蒸着マスクの製造に用いられる」、との発明特定事項は、「蒸着マスク用基材」の使用用途を特定するものであるが、係る特定は、「蒸着マスク用基材」の構造、特性を更に特定するものではないから、本件発明１は、本件課題と無関係のものまで包含するものであるので、本件特許請求の範囲の記載はサポート要件に適合しない（５ページ下から９行～６ページ下から５行）。 （ウ）技術常識として、エッチング液は勢いよく噴射するものであり、エッチング液がよどむ原因が、高さが高々０．００５ｍｍ程度の蒸着マスクの波形状における山のピーク高さによるとは考え難いから、エッチング工程において、液体がとどまるようなよどみが生じるとは認められないので、当業者は、本件課題と課題解決手段の対応関係を理解できない（６ページ下から４行～１３ページ５行）。 （エ）甲第３号証、甲第４号証には、本件発明の実施例と矛盾する評価結果が示されているから、本件特許請求の範囲の記載はサポート要件に適合しない（１３ページ６行～１４ページ１２行）。 カ 以下、前記オの主張について検討する。 （ア）始めに、前記オ（ア）の主張について検討すると、前記（２）イによれば、本件課題は、「エッチング液を用いたエッチング」の態様に関わらず、波形状が形成された金属板の厚みを薄くして、加工条件の許容範囲が狭くなったときに生じる課題ということができる。 そして、本件発明１には、エッチングが「エッチング液を用いたエッチング」であることが特定され、更に、金属板の厚み及び形状について、「前記金属板が有する厚みは、１０μｍ以上５０μｍ以下であり、前記金属板の長さ方向での各位置における前記金属板の幅方向に沿った形状は、相互に異なっており、各形状は、前記金属板の幅方向に繰り返す凹凸を有した波形状であり」、と特定されているのであるから、本件課題の前提となる事項が特定されているので、本件発明１において、「エッチング液を用いたエッチング」の態様について具体的な特定がされていないとしても、本件発明１が本件課題と無関係のものまで包含するものとはいえない。 更に、本件発明２～４、６～８について検討しても事情は同じであるから、前記主張は採用できない。 （イ）次に、前記オ（イ）の主張について検討すると、本件発明１における「複数の孔がエッチング液を用いたエッチングによって形成されて蒸着マスクの製造に用いられる」、との発明特定事項が「蒸着マスク用基材」の構造、特性を更に特定するものではないとしても、前記（ア）に記載したのと同様の理由により、本件発明１が本件課題と無関係のものまで包含するものとはいえないのであり、本件発明２～４、６～８について検討しても事情は同じであるから、前記主張も採用できない。 （ウ）次に、前記オ（ウ）の主張について検討すると、前記ウに記載したのと同様の理由により、エッチング工程において、液体がとどまるようなよどみが生じるとは認められないとはいえないから、前記主張も採用できない。 （エ）最後に、前記オ（エ）の主張について検討すると、前記アに記載したのと同様の理由により、甲第３号証、甲第４号証に、本件発明の実施例と矛盾する評価結果が示されているとはいえないから、前記主張も採用できない。 キ よって、前記第４の２（２）の申立人古川の特許異議申立理由も、いずれも理由がない。 （６）まとめ したがって、本件特許請求の範囲の記載は、特許法第３６条第６項第１号所定の規定に適合するといえるから、これについての取消理由及び特許異議申立理由はいずれも理由がない。 ２ 特許法第３６条第４項第１号所定の規定違反（実施可能要件違反）について （１）実施可能要件の判断手法 明細書の発明の詳細な説明の記載が、実施可能要件に適合するか否かは、明細書の発明の詳細な説明に、当業者が、明細書の発明の詳細な説明の記載及び出願当時の技術常識に基づいて、過度の試行錯誤を要することなく、その発明を実施することができる程度に発明の構成等の記載があるか否かという観点から判断すべきものである。 そして、物の発明における実施とは、その物の生産、使用等をする行為をいうから（特許法第２条第３項第１号）、例えば、明細書等にその物を生産することができる具体的な記載があるか、そのような記載がなくても、出願時の技術常識に基づいて当業者がその物を生産することができるのであれば、実施可能要件を満たすということができる。 また、物を生産する方法の発明における実施とは、その物を生産する方法の使用をする行為のほか、その方法により生産した物の使用等をする行為をいうから（特許法第２条第３項第３号）、例えば、明細書等にその物を生産する方法を使用することができることの具体的な記載があるか、そのような記載がなくても、出願時の技術常識に基づいて当業者がその物を生産する方法を使用することができるのであれば、実施可能要件を満たすということができる。 （２）実施可能要件について 始めに、前記（１）の実施可能要件の判断手法にのっとって検討する。 ア 本件発明１～４について （ア）本件特許明細書には、更に以下の記載がある。 「【００５７】 ［蒸着マスク用基材の製造方法］ 次に、蒸着マスク用基材の製造方法について説明する。なお、蒸着マスク用基材の製造方法では、圧延を用いる形態と、電解を用いる形態とを別々に例示する。まず、圧延を用いる形態を説明し、次いで、電解を用いる形態を説明する。図１２および図１３は、圧延を用いる例を示す。 ・・・ 【００６０】 電解を用いる製造方法では、電解に用いられる電極表面に蒸着マスク用基材１を形成し、その後、電極表面から蒸着マスク用基材１を離型する。この際、例えば、鏡面を表面とする電解ドラム電極が電解浴に浸され、かつ、電解ドラム電極を下方で受けて電解ドラム電極の表面と対向する他の電極が用いられる。そして、電解ドラム電極と他の電極との間に電流が流されて、電解ドラム電極の表面である電極表面に、蒸着マスク用基材１が沈着する。電解ドラム電極が回転して蒸着マスク用基材１が所望の厚さになるタイミングで、電解ドラム電極の表面から蒸着マスク用基材１が剥がされて巻き取られる。 【００６１】 蒸着マスク用基材１を構成する材料がインバーである場合、電解に用いられる電解浴は、鉄イオン供給剤、ニッケルイオン供給剤およびｐＨ緩衝剤を含む。電解に用いられる電解浴は、応力緩和剤、Ｆｅ３＋イオンマスク剤、リンゴ酸やクエン酸などの錯化剤などを含んでもよく、電解に適したｐＨに調整された弱酸性の溶液である。鉄イオン供給剤は、例えば、硫酸第一鉄・７水和物、塩化第一鉄、スルファミン酸鉄などである。ニッケルイオン供給剤は、例えば、硫酸ニッケル（II）、塩化ニッケル（II）、スルファミン酸ニッケル、臭化ニッケルである。ｐＨ緩衝剤は、例えば、ホウ酸、マロン酸である。マロン酸は、Ｆｅ３＋イオンマスク剤としても機能する。応力緩和剤は、例えばサッカリンナトリウムである。電解に用いられる電解浴は、例えば、上述した添加剤を含む水溶液であり、５％硫酸、あるいは、炭酸ニッケルなどのｐＨ調整剤によって、例えば、ｐＨが２以上３以下となるように調整される。なお、必要に応じて、アニール工程を入れてもよい。 【００６２】 電解に用いられる電解条件では、蒸着マスク用基材１の厚さ、蒸着マスク用基材１の組成比などに応じて、電解浴の温度、電流密度および電解時間が適宜調整される。上述した電解浴に適用される陽極は、例えば、純鉄製とニッケル製である。上述した電解浴に適用される陰極は、例えば、ＳＵＳ３０４などのステンレス板である。電解浴の温度は、例えば、４０℃以上６０℃以下である。電流密度は、例えば、１Ａ／ｄｍ２以上４Ａ／ｄｍ２以下である。この際、上記［条件１］が満たされるよう、電極表面での電流密度が設定される。好ましくは、上記［条件２］から［条件４］の少なくとも１つが［条件１］と共に満たされるように、電極表面での電流密度が設定される。」 （イ）前記（ア）の記載からみれば、本件発明１に係る「蒸着マスク用基材」は、電解を用いる製造方法により製造されるものであり、当該電解を用いる製造方法では、電解に用いられる電極表面に「蒸着マスク用基材」を形成し、その後、電極表面から蒸着マスク用基材を離型するものであり、この際、例えば、鏡面を表面とする電解ドラム電極が電解浴に浸され、かつ、電解ドラム電極を下方で受けて電解ドラム電極の表面と対向する他の電極が用いられ、電解ドラム電極と他の電極との間に電流が流されて、電解ドラム電極の表面である電極表面に、蒸着マスク用基材が沈着し、電解ドラム電極が回転して「蒸着マスク用基材」が所望の厚さになるタイミングで、電解ドラム電極の表面から「蒸着マスク用基材」が剥がされて巻き取られるものである。 そして、「蒸着マスク用基材」を構成する材料がインバーである場合、電解に用いられる電解浴は、鉄イオン供給剤、ニッケルイオン供給剤およびｐＨ緩衝剤を含み、電解に用いられる電解浴は、応力緩和剤、Ｆｅ３＋イオンマスク剤、リンゴ酸やクエン酸などの錯化剤などを含んでもよく、電解に適したｐＨに調整された弱酸性の溶液であるものであり、鉄イオン供給剤は、例えば、硫酸第一鉄・７水和物、塩化第一鉄、スルファミン酸鉄などであり、ニッケルイオン供給剤は、例えば、硫酸ニッケル（II）、塩化ニッケル（II）、スルファミン酸ニッケル、臭化ニッケルであり、ｐＨ緩衝剤は、例えば、ホウ酸、マロン酸であり、応力緩和剤は、例えばサッカリンナトリウムであって、電解に用いられる電解浴は、例えば、上述した添加剤を含む水溶液であり、５％硫酸、あるいは、炭酸ニッケルなどのｐＨ調整剤によって、例えば、ｐＨが２以上３以下となるように調整されるものである。 また、電解に用いられる電解条件では、「蒸着マスク用基材」の厚さ、「蒸着マスク用基材」の組成比などに応じて、電解浴の温度、電流密度および電解時間が適宜調整されるものであり、電解浴に適用される陽極は、例えば、純鉄製とニッケル製であり、電解浴に適用される陰極は、例えば、ＳＵＳ３０４などのステンレス板であり、電解浴の温度は、例えば、４０℃以上６０℃以下であり、電流密度は、例えば、１Ａ／ｄｍ２以上４Ａ／ｄｍ２以下であり、この際、前記［条件１］が満たされるように、電極表面での電流密度を設定するものである。 （ウ）前記（イ）によれば、本件特許明細書の記載に接した当業者は、前記電解を用いる製造方法によって、過度の試行錯誤をすることなく本件発明１に係る「蒸着マスク用基材」を生産することができるものであり、このことを前記（１）の判断手法に当てはめれば、本件特許明細書の発明の詳細な説明の記載は、本件発明１について、実施可能要件を満たすといえ、本件発明２～４について検討しても事情は同じである。 イ 本件発明６～８について （ア）本件特許明細書には、更に以下のａ～ｄの記載がある。 ａ「【００３５】 ［マスク装置の構成］ 図５は、蒸着マスク用基材１を用いて製造される蒸着マスクを備えるマスク装置の概略的な平面構造を示す。図６は、蒸着マスクが備えるマスク部の断面構造の一例を示し、図７は、蒸着マスクが備えるマスク部の断面構造の他の例を示す。なお、マスク装置が備える蒸着マスクの数量や、蒸着マスク３０が備えるマスク部の数量は一例である。 【００３６】 図５が示すように、マスク装置１０は、メインフレーム２０と、３つの蒸着マスク３０とを備える。メインフレーム２０は、複数の蒸着マスク３０を支持する矩形枠状を有し、蒸着を行うための蒸着装置に取り付けられる。メインフレーム２０は、各蒸着マスク３０が位置する範囲のほぼ全体にわたり、メインフレーム２０を貫通するメインフレーム孔２１を有する。 【００３７】 各蒸着マスク３０は、帯板状を有した複数のフレーム部３１と、各フレーム部３１に３体ずつのマスク部３２とを備える。フレーム部３１は、マスク部３２を支持する短冊板状を有して、メインフレーム２０に取り付けられる。フレーム部３１は、マスク部３２が位置する範囲のほぼ全体にわたり、フレーム部３１を貫通するフレーム孔３３を有する。フレーム部３１は、マスク部３２よりも高い剛性を有し、かつ、フレーム孔３３を囲う枠状を有する。各マスク部３２は、フレーム孔３３を区画するフレーム部３１のフレーム内縁部に１体ずつ、溶着や接着によって固定される。」 ｂ「【００７３】 ［蒸着マスクの製造方法］ 蒸着マスクの製造方法の各例を説明する。なお、図２０を参照して、ウェットエッチングによって孔を形成する方法での例（第１製造方法）を説明する。・・・ 【００７４】 ［第１製造方法］ なお、図６で説明したマスク部３２を備える蒸着マスクを製造する方法と、図７で説明したマスク部３２を備える蒸着マスクを製造する方法とは、基材３２Ｋに対して行われるエッチングの形態が異なるが、それ以外の工程はほぼ同様である。以下では、図６で説明したマスク部３２を備える蒸着マスクの製造方法を主に説明し、図７で説明したマスク部３２を備える蒸着マスクの製造方法に関しては、その重複した説明を省略する。 【００７５】 図２０（ａ）～（ｈ）が示す例のように、蒸着マスクの製造方法の一例では、まず、基材３２Ｋが準備される（図２０（ａ）参照）。なお、基材３２Ｋは、マスク板３２３として加工される上述した蒸着マスク用基材１であり、蒸着マスク用基材１の他に、その蒸着マスク用基材１を支持するための支持体ＳＰをさらに備えることが好ましい。なお、基材３２Ｋの第１面３２１（図２０の下面）は、上記第１面１Ｓａに相当し、基材３２Ｋの第２面３２２（図２０の上面）は、上記第２面１Ｓｂに相当する。 【００７６】 まず、基材３２Ｋが有する第２面３２２にレジスト層ＰＲを形成し（図２０（ｂ）参照）、レジスト層ＰＲに対する露光および現像を行うことによって、第２面３２２にレジストマスクＲＭを形成する（図２０（ｃ）参照）。次に、レジストマスクＲＭを用いた第２面３２２からのウェットエッチングによって、基材３２Ｋに孔３２Ｈが形成される（図２０（ｄ）参照）。 【００７７】 この際、ウェットエッチングが開始される第２面３２２には、第２開口Ｈ２が形成され、それよりも遅れてエッチングが行われる第１面３２１には、第２開口Ｈ２よりも小さい第１開口Ｈ１が形成される。次いで、レジストマスクＲＭが第２面３２２から除去されることによって、上記マスク部３２が形成される（図２０（ｅ）参照）。最後に、第２面３２２における外縁部３２Ｅが、フレーム部３１の内縁部３１Ｅに接合され、マスク部３２から支持体ＳＰが離型されることによって、蒸着マスク３０が製造される（図２０（ｆ）から（ｈ）参照）。 ・・・ 【００９１】 上述した蒸着マスク３０を用いて表示装置を製造する方法では、まず、蒸着マスク３０を搭載したマスク装置１０を蒸着装置の真空槽内に取り付ける。この際、ガラス基板などの蒸着対象と第１面３２１とが対向するように、かつ、蒸着源と第２面３２２とが対向するように、マスク装置１０を取り付ける。そして、蒸着装置の真空槽に蒸着対象を搬入し、蒸着源で蒸着物質を昇華させる。これによって、第１開口Ｈ１に追従した形状を有するパターンが、第１開口Ｈ１と対向する蒸着対象に形成される。なお、蒸着物質は、例えば、表示装置の画素を構成する有機発光材料や、表示装置の画素回路を構成する画素電極などである。」 ｃ「【図５】 ［図：0001398260000002.jpg］ 」 ｄ「【図２０】 ［図：0001398260000003.jpg］ 」 （イ）前記（ア）ｂ、ｄの記載からみれば、本件発明６に係る「蒸着マスクの製造方法」は、ウエットエッチングによって孔を形成するものであり、まず、基材が準備されるが、前記基材は、前記ア（イ）に記載された方法により製造された「蒸着マスク用基材」である。 そして、前記基材が有する第２面にレジスト層を形成し、レジスト層に対する露光および現像を行うことによって、第２面にレジストマスクを形成し、次に、レジストマスクを用いた第２面からのウェットエッチングによって、前記基材に孔が形成されるものであり、この際、ウェットエッチングが開始される第２面には、第２開口が形成され、それよりも遅れてエッチングが行われる第１面には、第２開口よりも小さい第１開口が形成されるものであり、次いで、レジストマスクが第２面から除去されることによって、マスク部が形成され、最後に、第２面における外縁部が、フレーム部の内縁部に接合され、マスク部から支持体が離型されることによって、「蒸着マスク」が製造されるものである。 （ウ）前記（イ）によれば、本件特許明細書の記載に接した当業者は、本件発明６に係る「蒸着マスクの製造方法」の使用をすることができるものである。 また、前記（ア）ａ、ｃの記載からみれば、「蒸着マスク」は、メインフレームと、３つの「蒸着マスク」とを備えるマスク装置において、メインフレームに支持されて使用されるものであって、このことからみれば、本件特許明細書の記載に接した当業者は、本件発明６に係る「蒸着マスクの製造方法」により生産した物である「蒸着マスク」の使用等をすることができるものである。 （エ）前記（ウ）によれば、本件特許明細書の記載に接した当業者は、本件発明６に係る「蒸着マスクの製造方法」の使用をすることができ、また、本件発明６に係る「蒸着マスクの製造方法」により生産した物の使用等をすることができるものであり、このことを前記（１）の判断手法に当てはめれば、本件特許明細書の発明の詳細な説明の記載は、本件発明６について、実施可能要件を満たす。 更に、前記（ア）ｂ、ｄの記載からみれば、本件発明７～８について検討しても事情は同じである。 （３）取消理由、申立人金山の特許異議申立理由及び金山意見書について 本件訂正により本件特許請求の範囲の請求項５は削除されたから、前記第５の２の取消理由及び前記第４の１（４）の申立人金山の特許異議申立理由はあてはまらない。 また、申立人金山は、金山意見書において、本件特許明細書の発明の詳細な説明には、「幅方向での伸び差率の最大値が２×１０－５以下」であるような母材を圧延するための圧延条件が記載されていないから、発明の詳細な説明の記載は、本件発明１～４について実施可能要件を満たさない旨を主張しているが（１ページ下から２行～３ページ１０行）、前記（２）ア（ウ）に記載したのと同様の理由により、前記主張は採用できない。 （４）申立人古川の特許異議申立理由及び古川意見書について ア 始めに、申立人古川の前記第４の２（１）ア及びイの主張について検討すると、前記（２）ア（ウ）に記載したのと同様の理由により、本件特許明細書の発明の詳細な説明に「幅方向での伸び差率」、「伸び差率の平均値」、「伸び差率のピークの個数」及び「伸び差率のピークの間隔」を制御する際の圧延条件が記載されていないとしても、本件特許明細書の発明の詳細な説明の記載が実施可能要件に適合することに変わりはないから、前記主張はいずれも採用できない。 イ 次に、申立人古川の前記第４の２（１）ウ及びオの主張について検討すると、前記１（２）ア（ウ）（段落【００２５】）の記載によれば、「蒸着マスク用基材」の表面の位置（高さ）が測定される幅方向の各位置は、「蒸着マスク用基材」が有する波形状の凹凸を引き写すことの可能な間隔で並ぶものであって、例えば、幅方向に１ｍｍ以上２０ｍｍ以下の等間隔で並ぶものである。 すると、本件特許請求の範囲に、「幅方向での伸び差率」、「伸び差率の平均値」、「伸び差率のピークの個数」及び「伸び差率のピークの間隔」の測定条件が特定されていないとしても、また、「幅方向での伸び差率」と、「伸び差率の平均値」、「伸び差率のピークの個数」及び「伸び差率のピークの間隔」の測定条件が異なることが特定されていないとしても、本件特許明細書の記載に接した当業者は、「幅方向での伸び差率」、「伸び差率の平均値」、「伸び差率のピークの個数」及び「伸び差率のピークの間隔」は、「蒸着マスク用基材」が有する波形状の凹凸を引き写すことの可能な間隔、例えば、幅方向に１ｍｍ以上２０ｍｍ以下の等間隔で測定するものであることを理解することができるから、本件発明１～４及び６～８を実施することができるものである。 したがって、本件特許明細書の発明の詳細な説明の記載は実施可能要件に適合するから、前記主張もいずれも採用できない。 ウ 次に、申立人古川の前記第４の２（１）エの主張について検討すると、圧延した金属板における「伸び差率のピークの個数」が増えたとき、隣り合うピークの間隔の最小値が増えることはないことを裏付ける機序や証拠は示されていないから、「伸び差率のピークの個数」が増えたときに隣り合うピークの間隔の最小値が増えることが当業者の理解を超えるものとはいえないので、前記主張も採用できない。 エ 最後に、申立人古川の前記第４の２（１）カの主張について検討すると、前記１（５）イに記載したのと同様の理由により、本件発明は、「幅方向での伸び差率」の最大値が「蒸着マスク用基材」の全体で満たされるものと解されるものではないし、当業者は、発明の詳細な説明の実施例１において、長さ方向の端縁から１０ｍｍを計測範囲から除くことの合理性を理解することができ、更に、前記実施例１を追試することもできるから、前記主張も採用できない。 オ 古川意見書における申立人古川の主張は、概略、以下のとおりである。 本件訂正前の特許請求の範囲の請求項５に係る発明と全く同じ発明特定事項を有する本件発明１～４、６～８についても、前記請求項５に係る発明と同様に、実施可能要件違反の違法性があるから、本件特許明細書の発明の詳細な説明の記載は、実施可能要件を満たさない（１４ページ１３行～１７ページ２５行）。 カ そこで、前記オの主張について検討すると、本件訂正前の特許請求の範囲の請求項５に係る発明は、「母材を圧延して前記金属板を得ることを含み」、との発明特定事項を有するのに対して、本件発明１～４、６～８は係る発明特定事項を有しないから、本件発明１～４、６～８は、本件訂正前の特許請求の範囲の請求項５に係る発明と全く同じ発明特定事項を有するものではないので、前記（ア）の主張は前提において誤っている。 そして、本件特許明細書の発明の詳細な説明の記載は、本件発明１～４、６～８について実施可能要件を満たすことは、前記（２）ア（ウ）及び（２）イ（エ）に記載したとおりであるから、前記主張は採用できない。 （５）まとめ したがって、本件特許明細書の発明の詳細な説明の記載は、特許法第３６条第４項第１号所定の規定に適合するから、これについての取消理由及び特許異議申立理由はいずれも理由がない。 ３ 特許法第３６条第６項第２号所定の規定違反（明確性要件違反）について （１）明確性要件の判断手法 特許請求の範囲の記載が、明確性要件に適合するか否かは、特許請求の範囲の記載だけでなく、願書に添付した明細書の記載及び図面を考慮し、また、当業者の出願当時における技術常識を基礎として、特許請求の範囲の記載が、第三者の利益が不当に害されるほどに不明確であるか否かという観点から判断されるべきであるので、以下、この観点に立って検討する。 （２）申立人金山による特許異議申立理由について ア 始めに、申立人金山の前記第４の１（２）アの主張について検討すると、前記２（４）イに記載したのと同様の理由により、本件特許明細書の記載に接した当業者は、「幅方向の伸び差率」をいかなる条件下で測定するのかを理解することができるから、「幅方向での伸び差率の最大値」である「２×１０－５以下」の数値の意味が、第三者の利益が不当に害されるほどに不明確であるとはいえないのであり、更に、「伸び差率の平均値」、「伸び差率のピークの個数」及び「伸び差率のピークの間隔」について検討しても事情は同じである。 そして、このことを前記（１）の判断手法に当てはめれば、本件特許請求の範囲の記載は明確性要件に適合するので、前記主張は採用できない。 イ また、申立人金山の前記第４の１（２）イの主張は、本件訂正により本件特許請求の範囲の請求項５は削除されたから、あてはまらない。 （３）申立人古川の特許異議申立理由、古川上申書及び古川意見書について ア 始めに、申立人古川の前記第４の２（３）アの主張について検討すると、前記主張は、「幅方向での伸び差率」、「伸び差率の平均値」、「伸び差率のピークの個数」及び「伸び差率のピークの間隔」は測定間隔により変化するのに、特許請求の範囲にはこれらの測定条件が特定されていないことをいう点で、前記第４の１（２）アの申立人金山の主張と実質的に同じものであるから、前記（２）アに記載したのと同様の理由により採用できない。 イ 次に、申立人古川の前記第４の２（３）イの主張について検討すると、前記２（４）エに記載したのと同様の理由により、当業者は、発明の詳細な説明の実施例１において、長さ方向の端縁から１０ｍｍを計測範囲から除くことの合理性を理解することができるし、本件発明１～４、６～８において非計測範囲が特定されていないとしても、特許請求の範囲の記載が第三者の利益が不当に害されるほどに不明確であるとはいえない。 そして、このことを前記（１）の判断手法に当てはめれば、本件特許請求の範囲の記載は明確性要件に適合するので、前記主張も採用できない。 ウ 古川上申書及び古川意見書における申立人古川の主張は、概略、以下のとおりである。 （ア）本件訂正前の特許請求の範囲の請求項７には、「前記マスク部を形成することは、単一の前記金属板に複数の前記マスク部を形成することであり」、と特定されているものの、単一の金属板に形成した複数のマスク部をマスク部ごとに切り出す工程は記載されていない。 このため、当業者は、切り出されていない「前記各マスク部の側面と、１体のフレーム部とを、前記複数の孔を前記マスク部ごとに前記１体のフレーム部が囲うように、相互に接合する」ことの技術的な意義が理解できないから、前記請求項７に係る発明を明確に理解することができない（古川上申書５ページ３行～１５行）。 （イ）本件発明に係る「蒸着マスク用基材」は、凹凸の谷付近において表面位置が測定される各位置のデータが同じ値となる場合が当然想定され、ピーク付近において表面位置が測定される各位置のデータが同じ値となる場合も当然想定されるが、本件特許明細書には、その場合に、谷の位置及びピークの位置をどのようにして決定するのかが記載されていないし、「蒸着マスク用基材」の二面のうちどちらをおもて面とするかの決め方も記載されていない。 このため、当業者は、本件発明３において、ピーク付近において表面位置が測定される各位置のデータが僅かな値しか異ならない場合に、複数のピークがあると認定するのか、１つのピークが続いていると認定するのか、どの程度の起伏があれば１つのピークがあると認定するのかを決められないし、本件発明４において、ピーク付近において表面位置が測定される各位置のデータが同じ値となる場合に、ピークの位置を特定できず、「ピークの間隔」を特定できないので、本件発明３及び４は明確でない（古川意見書１７ページ下から１１行～２３ページ最終行）。 エ 以下、前記ウの主張について検討する。 （ア）始めに、前記ウ（ア）の主張について検討すると、前記２（２）イｂ（段落【００７４】～【００７７】）、ｄの記載によれば、本件発明７に係る「蒸着マスクの製造方法」は、そもそも、単一の金属板に複数のマスク部を形成するものと解され、形成した複数のマスク部をマスク部ごとに切り出すものとは解されないから、前記主張は前提において誤っており、採用できない。 （イ）次に、前記ウ（イ）の主張について検討すると、前記１（２）ア（ウ）（段落【００２４】～【００２６】）によれば、本件発明３及び４における「ピーク」は、「蒸着マスク用基材」の長さ方向での各位置の「伸び差率」のピークと解されるのであって、凹凸の谷付近において表面位置が測定される各位置のデータから得られるピークとは解されないから、前記（イ）の主張はピークに関する誤認に基づくものであるので、採用できない。 （４）まとめ したがって、本件特許請求の範囲の記載は、特許法第３６条第６項第２号所定の規定に適合するから、これについての特許異議申立理由はいずれも理由がない。 ４ 特許法第２９条第１項、第２項所定の規定違反（新規性，進歩性欠如）について （１）申立人金山による特許異議申立理由について ここでいう甲第１号証、甲第２号証は、申立人金山により提出された、前記第４の１（５）に記載された甲第１号証、甲第２号証である。 ア 甲各号証に記載された事項等 （ア）甲第１号証の記載事項及び甲第１号証に記載された発明 甲第１号証には、以下のａ～ｂの記載がある。 ａ「【特許請求の範囲】 【請求項１】 複数の貫通孔を形成して蒸着マスクを製造するために用いられる金属板の製造方法であって、 前記蒸着マスクの前記貫通孔は、前記金属板をエッチングすることにより形成されるものであり、 前記金属板の製造方法は、 母材を圧延して前記金属板を得る圧延工程と、 前記金属板の幅方向における両端を所定範囲にわたって切り落とす切断工程と、を備え、 前記切断工程後の前記金属板は、その長手方向における長さがその幅方向の位置に応じて異なることに起因する波打ち形状を少なくとも部分的に有しており、 前記切断工程後の前記金属板の前記長さの最小値を基準長さと称し、前記基準長さに対する、前記切断工程後の前記金属板の幅方向の各位置における前記金属板の前記長さの差の比率を伸び差率と称する場合、以下の条件（１）～（３）が満たされており、 （１）前記切断工程後の前記金属板の幅方向の中央部分における前記伸び差率が、１０×１０－５以下であること； （２）前記切断工程後の前記金属板の幅方向の端部における前記伸び差率が、２０×１０－５以下であること；および、 （３）前記端部における前記伸び差率が、前記中央部分における前記伸び差率の最大値よりも大きいこと； 前記中央部分は、前記切断工程後の前記金属板の幅方向の中央部を含む、前記金属板の幅の４０％を占める部分である、金属板の製造方法。」 ｂ「【００８５】 （第１サンプル） はじめに、インバー材から構成された母材に対して上述の圧延工程およびアニール工程を実施することにより、長尺の金属板が巻き取られた巻き体（第１巻き体）を製造した。・・・ ・・・ 【０１０６】 （第７サンプル） 上述の第１巻き体～第６巻き体とは異なる第７巻き体の先端部を切り取ることによって、幅５００ｍｍ、投影長さ７００ｍｍの金属板からなる第７サンプルを得た。次に、上述の第１サンプルの場合と同様にして、幅方向の各位置において、第７サンプルの長さを測定し、また伸び差率を算出した。結果、一方の端部における伸び差率は１６．５×１０－５であり、他方の端部における伸び差率は３．２×１０－５であり、中央部分の各位置における伸び差率の最大値は０．８×１０－５であった。」 そして、前記ａ～ｂの記載の、第７サンプルに注目すると、甲第１号証には、以下の発明が記載されているといえる。 「複数の貫通孔を形成して蒸着マスクを製造するために用いられる金属板の製造方法であって、 前記蒸着マスクの前記貫通孔は、前記金属板をエッチングすることにより形成されるものであり、 前記金属板の製造方法は、 母材を圧延して前記金属板を得る圧延工程と、 前記金属板の幅方向における両端を所定範囲にわたって切り落とす切断工程と、を備え、 前記切断工程後の前記金属板は、その長手方向における長さがその幅方向の位置に応じて異なることに起因する波打ち形状を少なくとも部分的に有しており、 前記切断工程後の前記金属板の前記長さの最小値を基準長さと称し、前記基準長さに対する、前記切断工程後の前記金属板の幅方向の各位置における前記金属板の前記長さの差の比率を伸び差率と称する場合、以下の条件（１）～（３）が満たされており、 （１）前記切断工程後の前記金属板の幅方向の中央部分における前記伸び差率が、１０×１０－５以下であること； （２）前記切断工程後の前記金属板の幅方向の端部における前記伸び差率が、２０×１０－５以下であること；および、 （３）前記端部における前記伸び差率が、前記中央部分における前記伸び差率の最大値よりも大きいこと； 前記中央部分は、前記切断工程後の前記金属板の幅方向の中央部を含む、前記金属板の幅の４０％を占める部分であり、 得られた金属板は、インバー材から構成された母材に対して圧延工程およびアニール工程を実施したものであり、 一方の端部における伸び差率が１６．５×１０－５であり、他方の端部における伸び差率が３．２×１０－５であり、中央部分の各位置における伸び差率の最大値が０．８×１０－５である、金属板の製造方法。」（以下、「甲１発明１」という。） 「甲１発明１に係る金属板の製造方法により製造された金属板。」（以下、「甲１発明２」という。） （イ）甲第２号証の記載事項 甲第２号証には、以下のａ～ｃの記載がある。 ａ「【特許請求の範囲】 【請求項１】 Ｎｉを３２～３８ｗｔ％含むＦｅ－Ｎｉ系合金を、冷間圧延後、伸長率０．４～３％の歪みを付与して形状矯正を行い、引き続いて鋼板温度５５０～６９０℃、張力２ｋｇｆ／ｍｍ２以下の条件で歪み取り焼鈍を行うことを特徴とする板形状および耐熱収縮性に優れたＦｅ－Ｎｉ系低熱膨張合金薄板の製造方法。」 ｂ「【００２６】以下に本発明を詳細に説明する。本発明者らは、Ｆｅ－Ｎｉ系低熱膨張合金薄板をシャドウマスク用途に使用するために必要な板形状や耐熱収縮性の品質水準について調査した結果、板形状を急峻度で０．５％以下、熱収縮率を０．０５％以下にすればよいことを知見した。そこで、形状矯正条件および歪み取り焼鈍条件と急峻度、熱収縮率の関係について検討した。 ・・・ 【００２８】ここで、急峻度は、板形状すなわち鋼板の平坦度を表すパラメータで、耳波および中伸びの高さとピッチを測定し次式より求めた。 急峻度（％）＝高さ（ｍｍ）／ピッチ（ｍｍ）×１００」 ｃ「【００５２】 【実施例】本発明例および比較例の合金鋼の化学組成を表１に示す。成分組成は、シャドウマスク用素材として必要な低熱膨張特性、黒化処理性およびプレス成形性が得られるものとし、鋼Ａ～Ｃの３種類を溶製した。 ・・・ 【００５４】次に、表１に示す成分組成に溶製した鋼塊を１１５０～１２５０℃×１～５０時間の熱処理後に分塊圧延し、スラブを製造した。このスラブを１１００℃×１～５時間の熱処理後に熱間圧延して３．０ｍｍの熱延鋼板を得た。さらに、脱スケール、冷間圧延と７５０℃以上の焼鈍を施した後、冷間圧延して板厚０．１０～０．２２ｍｍの薄板を得た。前記で得た薄板をテンションレベラーで所定の伸長率で形状矯正後所定の歪み取り焼鈍を行って、Ｎｏ．１～２５の薄板を製造した。また、比較のために、テンションレベラーによる形状矯正だけを行ったＮｏ．２６の薄板を製造した。ここで、Ｎｏ．１５～１７、２２は７６０ｍｍ幅、他のＮｏ．１～１４、１８～２１、２３～２６は９９０ｍｍ幅である。 【００５５】テンションレベリング条件と歪み取り焼鈍条件を表２に示す。また、前記で得た薄板の板形状および熱収縮率を調査した。板形状は耳波、中伸びの高さとピッチを測定し、急峻度により評価した。 【００５６】熱収縮率は、前記で得た薄板の板幅中央部と板幅端部から１００ｍｍの部分から、それぞれ薄板の長手方向に３００ｍｍ（長さ）×１００ｍｍ（幅）×全厚の試験片を採取し、８５０～９００℃×３０分間の熱処理を行い、それぞれの熱処理前後の試験片の長さの差をノギスで測定して求めた最大収縮量の比率により評価した。急峻度、熱収縮率の調査結果を表２に併せて記載した。 【００５７】 【表２】 ［図：0001398260000004.jpg］ 」 イ 対比・判断 （ア）本件発明１～４について ａ 本件発明１と甲１発明２とを対比すると、甲１発明２における「複数の貫通孔を形成して蒸着マスクを製造するために用いられる金属板」は、本件発明１における「複数の孔が」「形成されて蒸着マスクの製造に用いられる、帯状を有した金属板である蒸着マスク用基材」に相当し、甲１発明２において、「得られた金属板は、インバー材から構成された母材に対して圧延工程およびアニール工程を実施したもので」あることは、本件発明１において、「前記金属板を構成する材料は、ニッケル、もしくは、鉄ニッケル合金であ」ることに相当する。 すると、本件発明１と甲１発明２とは、 「複数の孔が形成されて蒸着マスクの製造に用いられる、帯状を有した金属板である蒸着マスク用基材であって、 前記金属板を構成する材料は、ニッケル、もしくは、鉄ニッケル合金である、 蒸着マスク用基材。」である点で一致し、以下の点で相違する。 ・相違点１：本件発明１は、「複数の孔」が「エッチング液を用いたエッチング」によって形成される、との発明特定事項を有するものであるのに対して、甲１発明２は前記発明特定事項を有するか否かが明らかでない点。 ・相違点２：本件発明１は、「前記金属板が有する厚みは、１０μｍ以上５０μ以下であ」る、との発明特定事項を有するのに対して、甲１発明２は前記発明特定事項を有するか否かが明らかでない点。 ・相違点３：本件発明１は、「前記金属板の長さ方向での各位置における前記金属板の幅方向に沿った形状は、相互に異なっており、各形状は、前記金属板の幅方向に繰り返す凹凸を有した波形状であり、前記金属板の表面での幅方向の長さが表面距離であり、前記金属板の長さ方向の各位置での表面距離のなかの最小値が最小表面距離であり、前記最小表面距離に対する、前記金属板の長さ方向の各位置での表面距離と前記最小表面距離との差分の比率が幅方向での伸び差率であり、前記幅方向での伸び差率の最大値が２×１０－５以下である」、との発明特定事項を有するのに対して、甲１発明２は、「一方の端部における伸び差率が１６．５×１０－５であり、他方の端部における伸び差率が３．２×１０－５であり、中央部分の各位置における伸び差率の最大値が０．８×１０－５」である点。 ｂ 事案に鑑み、前記ａの相違点３が実質的な相違点であるか否かについて検討すると、本件発明１における「幅方向での伸び差率」は、「金属板の表面での幅方向の長さが表面距離であり、前記金属板の長さ方向の各位置での表面距離のなかの最小値が最小表面距離であり、前記最小表面距離に対する、前記金属板の長さ方向の各位置での表面距離と前記最小表面距離との差分の比率」であって、「金属板の表面での幅方向の長さ」である「表面距離」に基づいて算出されるものである。 これに対して、甲１発明２における「伸び差率」は、「前記切断工程後の前記金属板は、その長手方向における長さがその幅方向の位置に応じて異なることに起因する波打ち形状を少なくとも部分的に有して」いることに基づいて、「前記切断工程後の前記金属板の前記長さの最小値を基準長さと称し、前記基準長さに対する、前記切断工程後の前記金属板の幅方向の各位置における前記金属板の前記長さの差の比率を伸び差率と称する」ものであるから、「金属板の表面での幅方向の長さ」である「表面距離」に基づいて算出されるものとはいえないので、甲１発明２において、「一方の端部における伸び差率が１６．５×１０－５であり、他方の端部における伸び差率が３．２×１０－５であり、中央部分の各位置における伸び差率の最大値が０．８×１０－５」である場合に、前記相違点３に係る本件発明特定事項を満たすとはいえないし、このことを裏付ける証拠もない。 したがって、甲１発明２が、本件発明１の前記相違点３に係る発明特定事項を満たすとはいえないので、前記相違点３は実質的な相違点である。 ｃ 次に、前記相違点３の容易想到性について検討すると、前記ア（イ）ａ～ｃの甲第２号証の記載によれば、甲第２号証には、板形状すなわち鋼板の平坦度を表すパラメータで、耳波および中伸びの高さとピッチを測定し、急峻度（％）＝高さ（ｍｍ）／ピッチ（ｍｍ）×１００の式より求めた急峻度が０％であるＦｅ－Ｎｉ系低熱膨張合金薄板が記載されている。 ところが、前記ｂに記載したのと同様の理由により、前記急峻度が０％であるからといって、「幅方向での伸び差率の最大値が２×１０－５以下」となるとはいえないから、甲第２号証に、「幅方向での伸び差率の最大値が２×１０－５以下」とすることが記載も示唆もされているとはいえないので、甲１発明２に甲第２号証に記載された事項を適用しても、前記相違点３に係る本件発明１の発明特定事項を有するものとするには至らない。 したがって、そのほかの相違点について検討するまでもなく、本件発明１は、甲１発明２及び甲第２号証に記載された事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものとはいえないのであり、本件発明２～４について検討しても事情は同じである。 （イ）本件発明６～８について ａ 前記（ア）ａと同様にして本件発明６と甲１発明１とを対比すると、本件発明６と甲１発明１とは、 「金属板に複数の孔を形成してマスク部を形成すること、を含む蒸着マスクの製造方法であって、 前記金属板を構成する材料は、ニッケル、もしくは、鉄ニッケル合金である、蒸着マスクの製造方法。」の点で一致し、以下の点で相違する。 ・相違点１’：本件発明６は、「レジスト層を形成することと、前記レジスト層をマスクとしたエッチング液を用いたエッチングによって前記金属板に複数の孔を形成してマスク部を形成することと、を含む」、との発明特定事項を有するのに対して、甲１発明１は前記発明特定事項を有するか否かが明らかでない点。 ・相違点２’：本件発明６は、「前記金属板が有する厚みは、１０μｍ以上５０μｍ以下」である、との発明特定事項を有するのに対して、甲１発明１は前記発明特定事項を有するか否かが明らかでない点。 ・相違点３’：本件発明６は、「前記金属板の長さ方向での各位置における前記金属板の幅方向に沿った形状は、相互に異なっており、各形状は、前記金属板の幅方向に繰り返す凹凸を有した波形状であり、前記金属板の表面での幅方向の長さが表面距離であり、前記金属板の長さ方向の各位置での表面距離のなかの最小値が最小表面距離であり、前記最小表面距離に対する、前記金属板の長さ方向の各位置での表面距離と前記最小表面距離との差分の比率が幅方向での伸び差率であり、前記幅方向での伸び差率の最大値が２×１０－５以下である」、との発明特定事項を有するのに対して、甲１発明１は、甲１発明２は、「一方の端部における伸び差率が１６．５×１０－５であり、他方の端部における伸び差率が３．２×１０－５であり、中央部分の各位置における伸び差率の最大値が０．８×１０－５」である点。 ｂ そして、前記ａの相違点３’は前記（ア）ａの相違点３と同じものであるから、前記（ア）ｂ～ｃに記載したのと同様の理由により、そのほかの相違点について検討するまでもなく、本件発明６は、甲１発明１及び甲第２号証に記載された事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものとはいえないのであり、本件発明７、８について検討しても事情は同じである。 ウ 申立人金山の主張について 申立人金山は、特許異議申立書において、甲第２号証の段落【００５７】【表２】（前記ア（イ）ｃ）には、板形状の急峻度が０％である本発明例８、９、１１～２０が記載されており、段落【００２８】（前記ア（イ）ｂ）によれば、急峻度が０％であるということは、金属板に凹凸がないこと、すなわち、金属板の長さ方向及び幅方向のいずれの方向においても凹凸が認められないことを意味しており、その結果、「幅方向での伸び差率の最大値が２×１０－５以下である」ことを意味するものにほかならないから、本件発明は、甲第１号証に記載された発明及び甲第２号証時記載された事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものである旨を主張している（４３ページ１６行～４４ページ下から４行）。 ところが、甲第２号証に、「幅方向での伸び差率の最大値が２×１０－５以下」とすることが記載も示唆もされているとはいえないことは、前記イ（ア）ｃに記載したとおりであるので、申立人金山の前記主張は採用できない。 エ 小括 よって、本件発明１～４、６～８は、甲第１号証に記載された発明及び甲第２号証に記載された事項に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものではないから、前記第４の１（１）の特許異議申立理由は理由がない。 （２）申立人古川による特許異議申立理由について ここでいう甲各号証は、申立人古川により提出された、前記第４の２（５）に記載された甲各号証である。 ア 甲各号証の記載事項等 （ア）甲第１０号証に記載された事項及び甲第１０号証に記載された発明 甲第１０号証には、以下のａ～ｂの記載がある。 ａ「【特許請求の範囲】 【請求項１】 質量％でＮｉ＋Ｃｏ：３５．０～４３．０％（但し、Ｃｏは０～６．０％）、Ｓｉ：０．５％以下、Ｍｎ：１．０％以下、残部はＦｅ及び不純物からなる冷間圧延用素材を準備する工程と、前記冷間圧延用素材に冷間圧延と連続焼鈍とを１回以上繰り返す冷間圧延工程とを含み、前記冷間圧延工程における最終の冷間仕上圧延を、単位幅当たりの圧延荷重１５０ｋｇ／ｍｍ以下、圧延速度１．７ｍ／ｓ以上、前方張力２５０～４００ＭＰａの条件で行い、厚さを０．２５ｍｍ以下とし、前記最終の冷間仕上圧延後には熱処理を行わないことを特徴とするＦｅ－Ｎｉ系合金薄板の製造方法。」 ｂ「【００１４】 次に、上述した本発明のＦｅ－Ｎｉ系合金薄板の製造方法で得られるＦｅ－Ｎｉ系合金薄板について説明する。 ＜急峻度＞ 本発明では、Ｆｅ－Ｎｉ系合金薄板を最終の冷間仕上圧延した後、製品幅とした際の急峻度を、薄板を水平定盤に置いた状態の浮上り高さで評価し、最大０．７５％以下（好ましくは０．５０％以下）とすることができる。 ・・・ この急峻度の測定は、薄板を一定長さに切断し、水平定盤上に置き、レーザー変位計等を用いて、薄板の浮上り高さを測定する。この際、板幅および板長さ方向で、一定長さごとで浮上り高さをマトリックス状に記録したデータから、急峻度を算出すれば良い。 【実施例】 【００１５】 真空溶解、均熱化熱処理、熱間プレス及び熱間圧延を行って厚さ３．０ｍｍの熱間圧延材を準備した。熱間圧延材の硬さを測定したところ、１７０～１９０ＨＶであった。熱間圧延材の化学組成を表１に示す。 その後、化学研摩、機械研磨にて熱間圧延材表面の酸化層を除去し、粗圧延を施し、トリム加工で素材幅方向の両端部にある熱間圧延時の亀裂を除去し、冷間圧延用素材を準備した。 次に、前述の冷間圧用素材に対し、冷間圧延と連続焼鈍とを繰り返した後、最終の冷間仕上圧延として、本発明例（Ｎｏ．１～６）、比較例（Ｎｏ．２１、２２）、従来例（Ｎｏ．３１～３３）に分けて、製造した結果を表２に示す。また、最終の冷間仕上圧延に用いたワークロールは高速度工具鋼を用い、直径１２０ｍｍを使用し、最終の冷間仕上圧延のパス回数は本発明と比較例は１回とし、従来例は複数回行って、最終の厚さを０．１ｍｍとした。なお、最終の冷間仕上圧延前の硬さは１３５ＨＶであり、幅は８００ｍｍの広幅材である。 また、表２に示す急峻度の測定は３次元形状測定器を用いて、７００ｍｍ長さに切断した水平定盤上のＦｅ－Ｎｉ系合金薄板試験片に測定領域幅８００ｍｍ×長さ７００ｍｍの範囲をレーザー変位計等を用いて、薄板の浮上り高さを測定した。急峻度は一定長さ（幅方向：１４ｍｍ、長さ方向：８ｍｍ）ごとに浮上り高さをマトリックス状に記録したデータから算出した。 ・・・ 【００１７】 【表２】 ［図：0001398260000005.jpg］ 」 そして、前記ａ～ｂの記載の、Ｎｏ．６の実施例に注目すると、甲第１０号証には、以下の発明が記載されているといえる。 「質量％でＮｉ＋Ｃｏ：３５．０～４３．０％（但し、Ｃｏは０～６．０％）、Ｓｉ：０．５％以下、Ｍｎ：１．０％以下、残部はＦｅ及び不純物からなる冷間圧延用素材を準備する工程と、前記冷間圧延用素材に冷間圧延と連続焼鈍とを１回以上繰り返す冷間圧延工程とを含み、前記冷間圧延工程における最終の冷間仕上圧延を、単位幅当たりの圧延荷重１５０ｋｇ／ｍｍ以下、圧延速度１．７ｍ／ｓ以上、前方張力２５０～４００ＭＰａの条件で行い、厚さを０．２５ｍｍ以下とし、前記最終の冷間仕上圧延後には熱処理を行わない、Ｆｅ－Ｎｉ系合金薄板の製造方法であって、 得られたＦｅ－Ｎｉ系合金薄板の最終の厚さが０．１ｍｍであり、最大急峻度が０．３３％であり、 急峻度の測定は３次元形状測定器を用いて、７００ｍｍ長さに切断した水平定盤上のＦｅ－Ｎｉ系合金薄板試験片に測定領域幅８００ｍｍ×長さ７００ｍｍの範囲をレーザー変位計等を用いて、薄板の浮上り高さを測定し、急峻度は一定長さ（幅方向：１４ｍｍ、長さ方向：８ｍｍ）ごとに浮上り高さをマトリックス状に記録したデータから算出したものである、Ｆｅ－Ｎｉ系合金薄板の製造方法。」（以下、「甲１０発明１」という。） 「甲１０発明１に係るＦｅ－Ｎｉ系合金薄板の製造方法により製造されたＦｅ－Ｎｉ系合金薄板。」（以下、「甲１０発明２」という。） （イ）甲第１１号証に記載された事項及び甲第１１号証に記載された発明 甲第１１号証には、以下のａ～ｃの記載がある。 ａ「【特許請求の範囲】 【請求項１】 複数の貫通孔を形成してマスクを製造するために用いられる金属板の製造方法であって、 前記マスクの前記貫通孔は、搬送されている長尺状の前記金属板をエッチングすることによって形成されるものであり、 前記金属板の製造方法は、 母材を圧延して前記金属板を得る圧延工程と、 前記金属板の幅方向における一端および他端を所定範囲にわたって切り落とす切断工程と、を備え、 前記切断工程後の前記金属板は、その長手方向における長さがその幅方向の位置に応じて異なることに起因する波打ち形状を少なくとも部分的に有しており、 前記切断工程後の前記金属板の前記波打ち形状の前記長手方向における周期に対する、前記波打ち形状の高さの百分率を急峻度と称する場合、以下の条件（１）～（３）が満たされており、 （１）前記切断工程後の前記金属板の幅方向の中央部分における急峻度の最大値が、０．４％以下であること； （２）前記中央部分における急峻度の最大値が、前記切断工程後の前記金属板の幅方向の一端側部分における急峻度の最大値以下であり、かつ、前記切断工程後の前記金属板の幅方向の他端側部分における急峻度の最大値以下であること；および、 （３）前記一端側部分における急峻度の最大値と、前記他端側部分における急峻度の最大値と、の差が０．４％以下であること； 前記一端側部分、前記中央部分および前記他端側部分はそれぞれ、前記切断工程後の前記金属板の幅の３０％、４０％および３０％を占める部分である、金属板の製造方法。」 ｂ「【０１１０】 （第２～第２０巻き体および第２～第２０サンプル） 第１巻き体の場合と同様にして、インバー材から構成された母材から、第２巻き体～第２０巻き体を製造した。さらに、第１巻き体の場合と同様にして、第２巻き体～第２０巻き体に関して、各巻き体から取り出されたサンプルの急峻度の測定、並びに、各巻き体の長尺金属板から作製された蒸着マスクに関する上述の「１次効果 その１」および「１次効果 その２」を実施した。」 ｃ「【図２４】 ［図：0001398260000006.jpg］ 」 そして、前記ａ～ｃの記載の、第４サンプルに注目すると、甲第１１号証には、以下の発明が記載されているといえる。 「複数の貫通孔を形成してマスクを製造するために用いられる金属板の製造方法であって、 前記マスクの前記貫通孔は、搬送されている長尺状の前記金属板をエッチングすることによって形成されるものであり、 前記金属板の製造方法は、 母材を圧延して前記金属板を得る圧延工程と、 前記金属板の幅方向における一端および他端を所定範囲にわたって切り落とす切断工程と、を備え、 前記切断工程後の前記金属板は、その長手方向における長さがその幅方向の位置に応じて異なることに起因する波打ち形状を少なくとも部分的に有しており、 前記切断工程後の前記金属板の前記波打ち形状の前記長手方向における周期に対する、前記波打ち形状の高さの百分率を急峻度と称する場合、以下の条件（１）～（３）が満たされており、 （１）前記切断工程後の前記金属板の幅方向の中央部分における急峻度の最大値が、０．４％以下であること； （２）前記中央部分における急峻度の最大値が、前記切断工程後の前記金属板の幅方向の一端側部分における急峻度の最大値以下であり、かつ、前記切断工程後の前記金属板の幅方向の他端側部分における急峻度の最大値以下であること；および、 （３）前記一端側部分における急峻度の最大値と、前記他端側部分における急峻度の最大値と、の差が０．４％以下であること； 前記一端側部分、前記中央部分および前記他端側部分はそれぞれ、前記切断工程後の前記金属板の幅の３０％、４０％および３０％を占める部分である、金属板の製造方法であり、 前記金属板は、インバー材から構成され、 得られた金属板の一端側部分における急峻度の最大値が０．２％、中央部分における急峻度の最大値が０．２％、他端側部分における急峻度の最大値が０．３％である、金属板の製造方法。」（以下、「甲１１発明１」という。） 「甲１１発明１に係る金属板の製造方法により製造された金属板。」（以下、「甲１１発明２」という。） （ウ）甲第１２号証に記載された事項及び甲第１２号証に記載された発明 甲第１２号証は、申立人金山が提出した甲第１号証と同じものであるから、前記（１）ア（ア）の甲１発明１及び甲１発明２が記載されているといえる。 （エ）甲第１３号証に記載された事項及び甲第１３号証に記載された発明 甲第１３号証には、以下のａ～ｅの記載がある。 ａ「【特許請求の範囲】 【請求項１】 加熱帯及び冷却帯を備えた竪型焼鈍炉を用いてＦｅ－Ｎｉ合金鋼ストリップを焼鈍する方法において、下記工程（１）から（５）の条件を満たす工程で前記Ｆｅ－Ｎｉ合金鋼ストリップを加熱し冷却することを特徴とする、Ｆｅ－Ｎｉ合金鋼ストリップの形状矯正を伴なう焼鈍方法。 （１）前記Ｆｅ－Ｎｉ合金鋼ストリップをその再結晶温度以下の温度で加熱し、次いで冷却する。 （２）前記冷却帯内の入側に前記ストリップ長手方向に直角に、互いに近接した３本以上のロールを設け、前記ロールで前記ストリップの表面を交互に反対方向に押し込み、前記ストリップに板幅方向の拘束力を負荷する。 （３）上記工程（２）において押し込まれた前記ストリップの曲率半径が、前記ロール間の少なくとも１箇所において２５００～５０００ｍｍの範囲内になるように前記ロールの間隔及び押込量の内、少なくとも一つを調整して前記拘束力を調節する。 （４）上記工程（２）の前記拘束力を負荷する位置における前記ストリップの温度を２００～５００℃の範囲内に調節する。 （５）前記焼鈍炉内における前記ストリップの搬送張力を０．１～２０ｋｇ／ｍｍ２の範囲内に調節する。」 ｂ「【００３８】 【表１】 ［図：0001398260000007.jpg］ ・・・ 【００４０】（１）ストリップの波板形状は、焼鈍前及び後のいずれにおいても、図４及び５に板の横断面形状を示したように、板幅方向の湾曲が１箇所の場合と２箇所の場合とがあった。図４及び５のそれぞれに示したように、ストリップ１と水平定盤１０との隙間である湾曲量の極大値ｈ１ 、並びに、ｈ１及びｈ２を測定した。図５のように湾曲が２箇所ある場合は湾曲量の大きい方の値を当該ストリップの湾曲量と定めた。板波の評価特性として上記湾曲量を用い、それが４ｍｍ以下のものを合格とした。 【００４１】（２）ストリップの中伸び急峻度を、焼鈍前後に測定した。図６は中伸び急峻度の説明図であり、中伸び部分の板長手方向断面における波高ａとピッチｐとから急峻度λを、λ＝（ａ／ｐ）×１００％で定義する。中伸び急峻度は、λ≦０．５％のものを合格とした。」（当審注：段落【００４０】、【００４１】の「（１）」、「（２）」は「○」に「１」、「○」に「２」と表記されている。） ｃ「【図４】 ［図：0001398260000008.jpg］ 」 ｄ「【図５】 ［図：0001398260000009.jpg］ 」 ｅ「【図６】 ［図：0001398260000010.jpg］ 」 そして、前記ａ～ｅの記載の、実施例１に注目すると、甲第１３号証には、以下の発明が記載されているといえる。 「加熱帯及び冷却帯を備えた竪型焼鈍炉を用いてＦｅ－Ｎｉ合金鋼ストリップを焼鈍する方法において、下記工程（１）から（５）の条件を満たす工程で前記Ｆｅ－Ｎｉ合金鋼ストリップを加熱し冷却する、Ｆｅ－Ｎｉ合金鋼ストリップの形状矯正を伴なう焼鈍方法であって、 （１）前記Ｆｅ－Ｎｉ合金鋼ストリップをその再結晶温度以下の温度で加熱し、次いで冷却する。 （２）前記冷却帯内の入側に前記ストリップ長手方向に直角に、互いに近接した３本以上のロールを設け、前記ロールで前記ストリップの表面を交互に反対方向に押し込み、前記ストリップに板幅方向の拘束力を負荷する。 （３）上記工程（２）において押し込まれた前記ストリップの曲率半径が、前記ロール間の少なくとも１箇所において２５００～５０００ｍｍの範囲内になるように前記ロールの間隔及び押込量の内、少なくとも一つを調整して前記拘束力を調節する。 （４）上記工程（２）の前記拘束力を負荷する位置における前記ストリップの温度を２００～５００℃の範囲内に調節する。 （５）前記焼鈍炉内における前記ストリップの搬送張力を０．１～２０ｋｇ／ｍｍ２の範囲内に調節する。 得られるＦｅ－Ｎｉ合金鋼ストリップの板厚が０．１２ｍｍであり、波板湾曲量が１ｍｍであり、焼鈍後の中伸び急峻度が０．５％であり、 ここで、波板湾曲量は、ストリップと水平定盤との隙間である湾曲量の極大値ｈ１ 、並びに、ｈ１及びｈ２を測定し、湾曲が２箇所ある場合は湾曲量の大きい方の値を当該ストリップの湾曲量と定めたものであり、 中伸び急峻度は、中伸び部分の板長手方向断面における波高ａとピッチｐとから急峻度λを、λ＝（ａ／ｐ）×１００％で定義したものである、焼鈍方法。」（以下、「甲１３発明１」という。） 「甲１３発明１に係る焼鈍方法により製造された、Ｆｅ－Ｎｉ合金鋼ストリップ。」（以下、「甲１３発明２」という。） （オ）甲第２５号証に記載された発明 甲第２５号証は、申立人金山が提出した甲第２号証と同じものであって、その記載事項は、前記（１）ア（イ）ａ～ｃに記載したとおりである。 そして、前記（１）ア（イ）ａ～ｃの記載の、本発明例Ｎｏ．１７に注目すると、甲第２５号証には、以下の発明が記載されているといえる。 「Ｎｉを３２～３８ｗｔ％含むＦｅ－Ｎｉ系合金を、冷間圧延後、伸長率０．４～３％の歪みを付与して形状矯正を行い、引き続いて鋼板温度５５０～６９０℃、張力２ｋｇｆ／ｍｍ２以下の条件で歪み取り焼鈍を行う、板形状および耐熱収縮性に優れたＦｅ－Ｎｉ系低熱膨張合金薄板の製造方法であって、 得られるＦｅ－Ｎｉ系低熱膨張合金薄板の板厚が０．１０ｍｍであり、急峻度が０％であり、最大熱収縮率が０．０２０％であり、 急峻度は、板形状すなわち鋼板の平坦度を表すパラメータで、耳波および中伸びの高さとピッチを測定し次式より求めたものであり、 急峻度（％）＝高さ（ｍｍ）／ピッチ（ｍｍ）×１００ 最大熱収縮率は、薄板の板幅中央部と板幅端部から１００ｍｍの部分から、それぞれ薄板の長手方向に３００ｍｍ（長さ）×１００ｍｍ（幅）×全厚の試験片を採取し、８５０～９００℃×３０分間の熱処理を行い、それぞれの熱処理前後の試験片の長さの差をノギスで測定して求めた最大収縮量の比率により評価したものである、Ｆｅ－Ｎｉ系低熱膨張合金薄板の製造方法。」（以下、「甲２５発明１」という。） 「甲２５発明１に係るＦｅ－Ｎｉ系低熱膨張合金薄板の製造方法により製造された、Ｆｅ－Ｎｉ系低熱膨張合金薄板。」（以下、「甲２５発明２」という。） （カ）甲第２６号証に記載された事項及び甲第２６号証に記載された発明 甲第２６号証には、以下のａ～ｃの記載がある。 ａ「【特許請求の範囲】 【請求項１】 Ｎｉを３２～３８wt% 含むＦｅ－Ｎｉ系合金を、冷間圧延後、鋼板温度５５０～６９０℃、張力５～２０kgf/mm２の条件で、１回以上の歪み取り焼鈍を実施し、引き続いて鋼板温度５５０～６９０℃、張力０. １～８kgf/mm２の条件で歪み取り焼鈍を実施することを特徴とする板形状および耐熱収縮性に優れたＦｅ- Ｎｉ系低熱膨張合金薄板の製造方法。」 ｂ「【００２４】ここで、急峻度は鋼板の平坦度を表すパラメータで、耳波および中伸びの高さとピッチを測定し次式により求めた。 【００２５】急峻度（％）＝高さ（mm）／ピッチ（mm）×１００ ・・・ 【００２６】続いて、張力と熱収縮の関係を調べた。図３はテンションアニールでの均熱時間が５～６０秒間および冷却速度が２０℃／秒以上の条件で、張力と熱収縮の関係を示した図である。図３において、熱収縮率は鋼板の板幅中央部と鋼板端部から１００mmの部分から、鋼板の長手方向に３００mml ×１００mmw ×全厚の試験片を採取し、シャドウマスクの成型前の焼鈍工程をシミュレートした８５０～９００℃×３０分間の熱処理を行い、熱処理前後の試験片の長さの差をノギスにて測定することで求めた。・・・」 ｃ「【００４４】次に表１に示す成分組成で溶製した鋼塊を１１５０～１２５０℃×１～５０時間の熱処理後に分塊圧延し、１１００℃×１～５時間の熱処理後に熱間圧延して厚さ２．０mmの熱延鋼板を得た。さらに冷間圧延と７５０℃以上の焼鈍と所定の歪み取り焼鈍を行い、板厚０．１２～０．２２mmの薄板Ｎｏ．１～２７を製造した。Ｎｏ．１～２０が本発明例であり、Ｎｏ．２１～２７が比較例である。 【００４５】表２に、Ｎｏ．１～２７の薄板についてテンションアニールによる歪み取り焼鈍条件を示し、板形状および熱収縮率を評価した結果を示す。・・・ 【００４６】 【表２】 ［図：0001398260000011.jpg］ 」 そして、前記ａ～ｃの記載の、本発明例Ｎｏ．１５に注目すると、甲第２６号証には、以下の発明が記載されているといえる。 「Ｎｉを３２～３８wt% 含むＦｅ－Ｎｉ系合金を、冷間圧延後、鋼板温度５５０～６９０℃、張力５～２０kgf/mm２の条件で、１回以上の歪み取り焼鈍を実施し、引き続いて鋼板温度５５０～６９０℃、張力０. １～８kgf/mm２の条件で歪み取り焼鈍を実施する、板形状および耐熱収縮性に優れたＦｅ－Ｎｉ系低熱膨張合金薄板の製造方法であって、 得られるＦｅ－Ｎｉ系低熱膨張合金薄板の板厚が０．１２ｍｍであり、急峻度が０．０１％であり、８５０～９００℃×３０分の熱収縮が０．０３１％であり、 急峻度は、鋼板の平坦度を表すパラメータで、耳波および中伸びの高さとピッチを測定し次式により求めたものであり、 急峻度（％）＝高さ（mm）／ピッチ（mm）×１００ 熱収縮率は、鋼板の板幅中央部と鋼板端部から１００mmの部分から、鋼板の長手方向に３００mml ×１００mmw ×全厚の試験片を採取し、シャドウマスクの成型前の焼鈍工程をシミュレートした８５０～９００℃×３０分間の熱処理を行い、熱処理前後の試験片の長さの差をノギスにて測定することで求めたものである、Ｆｅ－Ｎｉ系低熱膨張合金薄板の製造方法。」（以下、「甲２６発明１」という。） 「甲２６発明１に係るＦｅ－Ｎｉ系低熱膨張合金薄板の製造方法により製造された、Ｆｅ－Ｎｉ系低熱膨張合金薄板。」（以下、「甲２６発明２」という。） （キ）甲第１号証の記載事項 甲第１号証には、以下の以下のａ、ｂの記載がある。 ａ「２．空気軸受式形状計 ２．１ 圧延材の形状 ・・・ 形状は，通常，第２図（１）および（１）式に示すように急峻度あるいは伸び差率などで定義する．当社は，１×１０－５の伸び差率を基本としたＩ－ＵＮＩＴ（５）を形状の単位に用いている． λ＝ｈｉ／ｌｉ×１００％ ε＝Δｌｉ／ｌｉ≒（π／２×ｈｉ／ｌｉ）２ ・・・・・・（１） λ ：急峻度 ε ：伸び差率 ｈｉ ：伸び差で発生する波の高さ ｌｉ ：基準長さ Δｌｉ：伸び差 第３図は，形状と伸び差率の関係を示した模式図である．圧延材料を長手方向に裁断すると，波状のところは基準長さｌｉに対しΔｌｉだけ伸びる．この比が（１）式で示された伸び差率である．この材料の圧延中における板幅方向の張力分布は，中央部分が高く両端部に向かうと伸び波が大きくなるので低くなる．このように，形状不良の波の程度と伸び差率および張力分布には相関関係があり，張力分布を知ることによって形状を把握することができる．」（１２９ページ左欄下から８行～１３０ページ左欄２６行） ｂ「 ［図：0001398260000012.jpg］ 」（１３０ページ右欄） （ク）甲第２号証には、以下のａ、ｂの記載がある。 ａ「今，幅広がりを無視したとすると，圧延前の厚さｈ１が圧延後ｈ２になれば，伸び率ｅは ｅ＝ｈ１／ｈ２－１ （１） となる．板を板要素に裁断したときの伸び率をｅ’とすれば，平面を保っている板に関しての伸び率が（１）で表されているならば，上述のモデルによって評価されるσｙは σｙ＝Ｅ（ｅ－ｅ’） （２） で与えられる．・・・ もし，圧延機において与えられる塑性変形だけでは比率クラウン保存の条件が満されず，課題のσｙが発生するような事態になると、σｙが負の領域で座屈が生じ波が発生する．・・・図２に概念図を示すが，端伸びは波長が小さいのに対して，他の伸びは波長が大きい． いったん，このような波が発生するとσｙは開放されて小さな値となる．したがって，波を発生している板の長さを測ると，板幅方向の伸び差率を求めることができる．図３に示すように、波を発生した板を定盤に置き，波の波長と高さとを測定してこれらをそれぞれιとδとすると，δをιで除した値を通常急峻度λと称する．すなわち λ＝δ／ι （３） 定盤上で測定した波長ιを基準として、波の部分の長さがι＋Διとして伸び差率Δεを Δε＝Δι／ι （４） と定義する．波の形を正弦曲線とみなすと，Δｅと急峻度λの間に Δε＝（π／２）２λ２ （５） の関係がある．もし，板に発生する波が端伸びの波か腹（または中）伸びの波であれば，比率クラウン変化と波の急峻度λとの関係を導出できる．」（８３３ページ左欄１２行～右欄下から８行） ｂ「 ［図：0001398260000013.jpg］ ［図：0001398260000014.jpg］ 」（８３３ページ右欄） （ケ）甲第１４号証には、以下の記載がある。 「【００４１】 ［蒸着用メタルマスクの製造方法］ 図４で説明した蒸着用メタルマスク３０を製造する方法と、図５で説明した蒸着用メタルマスク３０を製造する方法とは、ニッケル含有金属シート１１にウェットエッチングを行う工程が異なる一方で、それ以外の工程はほぼ同様である。以下では、図４で説明した蒸着用メタルマスク３０の製造方法を主に説明し、図５で説明した蒸着用メタルマスク３０の製造方法に関しては、その重複した説明を省略する。 【００４２】 図６が示すように、蒸着用メタルマスクの製造方法は、まず、上述した（Ａ）電解や（Ｂ）圧延および研磨などによってニッケル含有金属シート１１を準備する（ステップＳ１－１）。次いで、ニッケル含有金属シート１１が有する対象面の１つにレジスト層を形成し（ステップＳ１－２）、レジスト層に対する露光、および、現像を行うことによって、対象面にレジストマスクを形成する（ステップＳ１－３）。 【００４３】 次に、レジストマスクを用いた対象面のウェットエッチングによって、ニッケル含有金属シート１１にマスク孔３２１Ｈを形成する（ステップＳ１－４）。次いで、レジストマスクを対象面から除去することによって、上述したマスク部３２が製造される（ステップＳ１－５）。そして、複数のマスク部３２におけるマスク表面３２１ａをサブフレーム３１に固定することによって、上述した蒸着用メタルマスクを製造する（ステップＳ１－６）。 【００４４】 ニッケル含有金属シート１１をエッチングするエッチング液は、酸性のエッチング液であって、インバーをエッチングすることが可能なエッチング液であればよい。酸性のエッチング液は、例えば、過塩素酸第二鉄液、および、過塩素酸第二鉄液と塩化第二鉄液との混合液に対して、過塩素酸、塩酸、硫酸、蟻酸、および、酢酸のいずれかを混合した溶液である。対象面のエッチングは、ニッケル含有金属シート１１を酸性のエッチング液に浸漬するディップ式であってもよいし、ニッケル含有金属シート１１の対象面に対して酸性のエッチング液を吹き付けるスプレー式であってもよい。また、対象面のエッチングは、スピナーによって回転するニッケル含有金属シート１１に酸性のエッチング液を滴下するスピン式であってもよい。 【００４５】 ここで、対象面に位置するレジスト層に光が照射されることに際して、光の一部が対象面で散乱し、散乱した光がレジスト層のなかの露光対象領域以外の部分を照射してしまうことが抑えられる。そのため、露光、および、現像によって形成されるレジストマスクの構造と、設計されたレジストマスクの構造との間に差異が生じることを抑えることが可能となる。ひいては、ニッケル含有金属シート３２１が有するマスク孔３２１Ｈの構造上の精度を高めることが可能となる。なお、対象面に形成されるレジスト層は、シート状に形成された後に対象面に貼り付けられてもよいし、レジスト層を形成するための塗液が対象面に塗布されることによって形成されてもよい。 【００４６】 なお、図５で説明した蒸着用メタルマスク３０の製造方法では、上述したステップＳ１－１からステップＳ１－５までの工程が、マスク表面３２１ａに対応する基材表面１１ａに施され、それによって、マスク大孔３２ＬＨが形成される。次いで、マスク大孔３２ＬＨを保護するためのレジストなどがマスク大孔３２ＬＨに充填される。続いて、上述したステップＳ１－２からステップＳ１－５までの工程が、マスク裏面３２１ｂに対応する基材裏面１１ｂに施され、それによって、マスク小孔３２ＳＨが形成され、マスク部３２が得られる。そして、複数のマスク部３２におけるマスク表面３２１ａがサブフレーム３１に固定されることによって、上述した蒸着用メタルマスクが製造される（ステップＳ１－６）。」 （コ）甲第１５号証には、以下の記載がある。 「【技術分野】 【０００１】 本発明は、有機ＥＬパネルなどを真空蒸着によって製造する際に使用する蒸着マスクの部材であるメタルマスクを製造中に、欠陥を生じさせない様に搬送するための搬送治具に関する。 【背景技術】 【０００２】 中小型の有機ＥＬパネルの製造方式は、低分子有機ＥＬ材料を発色光別に蒸着マスクを使用して塗り分ける方式が主流であり、その蒸着マスクには高精細エッチングを施したメタルマスクが使用される（図１）。 【０００３】 そのメタルマスクは、インバー材（Ｆｅ、Ｎｉの合金）を母材とし、厚みが２０μｍ～３０μｍ程度で、ストライプ幅は２０μｍ～５０μｍのスリット部を有している。そのスリット部は、インバー材をロールトゥロール搬送により、整面、ドライフィルムラミネート、露光、現像、エッチング、剥膜工程を経ることで形成され、メタルマスクとなる。この時、メタルマスクは多面付けで形成されるので、図１に示すようなピース状に断裁した後、外枠と呼ばれるフレームに固定されて蒸着マスクとなる。」 （サ）甲第１６号証には、以下の記載がある。 「【００８１】 ［試験例］ ［試験例１］ マスク基材としてインバー材を準備し、レジストを用いたウェットエッチングによって、複数の貫通孔をマスク基材に形成した。複数の貫通孔として、第１孔と第２孔とから構成される貫通孔を形成した。 【００８２】 そして、補修装置を用いて、複数の貫通孔のうち、補修の対象となる第２貫通孔の位置を検出した。複数の貫通孔において、貫通孔のうち、第２孔が補修の対象である第２貫通孔の位置が検出された。なお、設計構造において、第２孔の開口幅における設計値を３０μｍとし、開口幅において許容される誤差の範囲を±３μｍ以内とした。また、第２貫通孔において、第２面において第２孔の占める面積が、第２基準孔が占める面積よりも大きく、開口幅に対する誤差が＋３μｍよりも大きいことが認められた。 【００８３】 第２貫通孔に対し、塗布針を用いて第２孔の全体に充填される量の樹脂を塗布した。樹脂には、ＳＰ－０４２（東レ（株）製、熱膨張係数：１７ｐｐｍ／℃）を用いた。 【００８４】 そして、ＩＲスポットヒータを用いて、５Ｖの電圧で３分間にわたってマスク基材の全体に赤外線を照射した。これにより、第２貫通孔に塗布された樹脂を予備乾燥させた。その後、ＩＲスポットヒータを用いて、マスク基材の全体を３０分間にわたって１４０℃に加熱し、次いで３０分間にわたって２００℃に加熱し、さらに６０分間にわたって３００℃に加熱した。これにより、第２貫通孔に塗布した樹脂を本乾燥させた、言い換えれば、樹脂を硬化させた。 【００８５】 次いで、ＹＡＧレーザーであって、２６６ｎｍの波長を有した第４高調波のレーザー光を出力するレーザーを用いて、第２貫通孔に塗布された樹脂をトリミングした。このとき、レーザー光において、エネルギーを５０ｍＪ／ｃｍ２に設定し、ショット回数を５００回に設定し、ラップレートを６０Ｈｚに設定した。 【００８６】 さらに、レーザーを用いて、第２貫通孔に塗布された樹脂をトリミングした。このとき、レーザー光において、エネルギーを１００ｍＪ／ｃｍ２に設定し、ショット回数を１０回に設定し、ラップレートを２０Ｈｚに設定した。 【００８７】 その後、マスク基材の全体を３０分間にわたって３００℃に加熱し、試験例１のメタルマスクを得た。メタルマスクでは、硬化した樹脂がマスク基材から剥がれていないこと、および、補修部が位置する貫通孔において、開口幅の設計値に対する誤差が＋１μｍ以内であり、第２孔における開口幅の大きさが設計寸法を満たすことが認められた。 【００８８】 また、試験例１のメタルマスクに対して、３００℃に加熱し、１０℃／分の速度で室温に冷却する処理である加速試験を３回繰り返しても、マスク基材から補修部が剥がれないことが認められた。さらには、試験例１のメタルマスクに対して２ｋｇｆ／ｍｍ２の張力を掛ける処理である張力試験を行っても、マスク基材から補修部が剥がれないことが認められた。」 （シ）甲第１７号証には、以下の記載がある。 「【技術分野】 【０００１】 本発明は、有機エレクトロルミネッセンス（以下、有機ＥＬと称す）素子の表示媒体を蒸着、スパッター等で形成するときに使用する多面付けメタルマスクの製造方法に関する。 ・・・ 【０００９】 単位メタルマスク１２０は、ニッケルやステンレス材をフォトエッチング法でパターニング処理して作製され、多面取り枠１１１に設けられた開口部１１２の縁部にメタル枠１２２部がスポット溶接、テープによる貼り付けなどによって接合される（図７（ａ）及び（ｂ）参照）。開口部１１２の縁部には、単位メタルマスク１２０と位置合わせするための位置合わせマークが、レーザマーキングなどにより付与されている。 ・・・ 【００１５】 以下、本発明の多面付けメタルマスクの製造方法について説明する。最近有機ＥＬ表示パネルを製造する場合、有機ＥＬ表示パネルが小型表示パネルでは、パネルのコストダウン及び製造効率を高めるために、小型有機ＥＬパネルを多面付けした大型の処理基板を用いてパネルの製造を行い、最後に小切れ分割して、所望の有機ＥＬ表示パネルを作製するという多面付け製造プロセスが採用されている。多面付け製造プロセスに用いられるＥＬ素子作製用の蒸着マスクも大型の多面付けメタルマスクが使用されている。」 （ス）甲第１８号証には、以下の記載がある。 「【特許請求の範囲】 【請求項１】 基板上に蒸着によりパターン状に膜を形成する際に用いる蒸着マスクの製造方法において、 １）紗貼り枠の上面に、テンションをかけて紗を貼り付ける工程、 ２）予め、フォトエッチング法にて、蒸着によりパターン状の膜を形成する部分を孔あけしたメタルマスク原反を、メタルマスク原反の余白部にて紗に貼り付ける工程、 ３）メタルマスク原反の中央のメタルマスクに接する紗の部分を除去し、メタルマスク原反にテンションをかける工程、 ４）位置合わせマークを描画したガラス描画板に、上記紗貼り枠に紗を介して貼り付けたメタルマスク原反を重ね、ガラス描画板の位置合わせマークと、メタルマスクの位置合わせマークとが合致するように、紗貼り枠に水平方向の荷重を加える工程、 ５）メタルマスクの位置合わせマークが合致した状態で、上記メタルマスク原反のメタルマスクの周縁部を蒸着マスクの本枠の上面に貼り付ける工程、 ６）メタルマスク原反の周囲の紗を切断し、メタルマスク原反の余白部を除去し、メタルマスクを蒸着マスクの本枠に転写する工程、を少なくとも具備することを特徴とする蒸着マスクの製造方法。 【発明の詳細な説明】 【技術分野】 【０００１】 本発明は、有機ＥＬ層などの形成に用いられる蒸着マスクの製造方法に関するものであり、特に、紗貼り枠に貼り付けた紗の上にメタルマスクを貼り付け、このメタルマスクを本枠上に転写して蒸着マスクを製造しても、パターンの位置精度に優れた蒸着マスクを製造することのできる蒸着マスクの製造方法に関する。 ・・・ 【０００９】 メタルマスク（１２）には、蒸着によって基板にパターン状の膜を形成する部分が開口部となった、例えば、画面の対角２～３インチ程度のパターン部（１３）が多数個面付けされている。この開口部は、予め、フォトエッチング法によって形成されたものである。」 （セ）甲第１９号証には、以下の記載がある。 「【発明の効果】 【００１２】 本発明によれば、金属板加工時に耐エッチング性・タック性を維持したままアルカリ溶解性を有する経時安定性に優れた金属加工用感光性組成物および金属加工板を提供することができる。金属加工板としては、リードフレームや蒸着用マスク、シャドウマスク等をエレクトロニクス部材に用いることができる。」 （ソ）甲第２０号証には、以下の記載がある。 「【発明の効果】 【００１３】 本発明によれば、金属板加工時に耐エッチング性を維持したままアルカリ溶解性を有する経時安定性に優れた金属加工用感光性組成物および金属加工板を提供することができる。金属加工板としては、リードフレームや蒸着用マスク、シャドウマスク等をエレクトロニクス部材に用いることができる。」 （タ）甲第２１号証には、以下の記載がある。 「【技術分野】 【０００１】 本発明は、例えば、リードフレームやメタルマスク等に使用されるＦｅ－Ｎｉ系合金薄板及びその製造方法に関するものである。 【背景技術】 【０００２】 リードフレームやメタルマスク等に使用されるＦｅ－Ｎｉ系合金薄板には、例えば、エッチングやプレス等の加工を行い、他部材と組合わせて使用される。このＦｅ－Ｎｉ系合金薄板は、通常、仕上圧延前後に歪取り焼鈍や軟化焼鈍が行われて、結晶方位の調整がなされ、所望の要求特性を満足するように仕上げられている。 一方で、本願出願人は、例えば、特開平６－１７２９２８号公報（特許文献１）として、質量％でＮｉ：３０～６０％を含有するＦｅ－Ｎｉ系合金でなるリードフレーム材料であり、板幅方向に垂直な断面内での検鏡で繊維状の圧延組織を有し、かつ圧延面の｛１００｝方位集積度が５０％以上であるエッチング性に優れるリードフレーム材料の発明を提案している。また、特開平６－２７９９４６号公報（特許文献２）として、質量％で、Ｎｉ：３０～４０％を含有し、残部Ｆｅおよび不可避不純物からなるＦｅ－Ｎｉ系アンバー合金でなるシャドウマスク材料において、圧延面の｛１００｝方位集積度が８５％以上であり、かつ、板幅方向に垂直な断面内での検鏡で繊維状の圧延組織を有するエッチング性に優れるシャドウマスク材料の発明を提案している。 ・・・ 【００１３】 次に、冷間圧延工程について、詳しく説明する。 ＜圧下率：９０％以上＞ 本発明では、冷間圧延工程中の圧下率を９０％以上とする。圧下率が９０％未満であると、冷間圧延後のＦｅ－Ｎｉ系合金薄板の硬さや引張強さが低くなる。そのため、０．２５ｍｍ以下のＦｅ－Ｎｉ系合金薄板のハンドリング性が劣化して、例えば、搬送時にしわや折れ等が発生しやすくなる。好ましい圧下率は９２％以上であり、更に好ましくは９４％以上である。なお、圧下率の上限は特に定めないが、圧下率が９９％を超えると、圧延中のＦｅ－Ｎｉ系合金の形状調整が困難となる場合があるので、上限は９９％とするのが現実的である。 なお、冷間圧延後の厚さは０．２５ｍｍ以下とする。これは、本発明のＦｅ－Ｎｉ系合金薄板を例えば、リードフレームに用いた場合では多ピン化に対応しやすく、また、メタルマスク（シャドーマスクと称される場合もある）に用いた場合は、エッチング加工による高精細化に対応が可能であるためである。 【００１４】 ＜圧延張力＞ 本発明では、最終圧延パスの圧延張力を４００～６００ＭＰａとする。前述のように本発明では９０％以上の圧下率で冷間圧延を行う。そのために、複数回の圧延パスで所定の板厚としていくが、このうち、最終パスの圧延張力が最も急峻度に影響を及ぼす。そのため、最終圧延パスの圧延張力を適正なものとして冷間圧延材に優れた急峻度を付与する。この最終圧延パスの圧延張力の適正化により、冷間圧延を行って得られる冷間圧延材の急峻度を０．７５％以下とすることができ、更に０．５０％以下とすることも可能となる。優れた急峻度を得るために、圧延張力を４３０～５２０ＭＰａとすることがより好ましい。 最終圧延パスの圧延張力が４００ＭＰａ未満であると、所望の板厚に圧延するために必要な圧延荷重を高くしなければならなくなる。そうすると、圧延機が過負荷になると共に、形状調整が困難となる。一方、最終圧延パスの圧延張力は高いほど形状調整が容易になるが、圧延張力が６００ＭＰａを超えると圧延中のＦｅ－Ｎｉ系合金薄板が破断するおそれがある。そのため、最終圧延パスの圧延張力は４００～６００ＭＰａとする。 なお、優れた急峻度のＦｅ－Ｎｉ系合金薄板は、板幅が５００～１５００ｍｍの広幅のＦｅ－Ｎｉ系合金薄板への適用が特に好ましい。かかるＦｅ－Ｎｉ系合金薄板は広幅と優れた急峻度を要求されるような、例えば、メタルマスク用途等への素材として好適となる。」 （チ）甲第２２号証には、以下の記載がある。 「【技術分野】 【０００１】 本発明は、例えば、リードフレームやメタルマスク等に使用されるＦｅ－Ｎｉ系合金薄板及びその製造方法に関するものである。 【背景技術】 【０００２】 例えば、リードフレームやメタルマスク等に使用されるＦｅ－Ｎｉ系合金薄板には、例えば、エッチングやプレス等の工程に供するために各種の特性が要求されている。このＦｅ－Ｎｉ系合金薄板は、通常、仕上圧延前後に歪取り焼鈍や軟化焼鈍が行われて、結晶方位の調整がなされ、所望の要求特性を満足するように仕上げられている。 一方で、本願出願人は、例えば、特開平６－１７２９２８号公報（特許文献１）として、質量％でＮｉ：３０～６０％を含有するＦｅ－Ｎｉ系合金でなるリードフレーム材料であり、板幅方向に垂直な断面内での検鏡で繊維状の圧延組織を有し、かつ圧延面の｛１００｝方位集積度が５０％以上であるエッチング性に優れるリードフレーム材料や、特開平６－２７９９４６号公報（特許文献２）として、質量％で、Ｎｉ：３０～４０％を含有し、残部Ｆｅおよび不可避不純物からなるＦｅ－Ｎｉ系アンバー合金でなるシャドウマスク材料において、圧延面の｛１００｝方位集積度が８５％以上であり、かつ、板幅方向に垂直な断面内での検鏡で繊維状の圧延組織を有するエッチング性に優れるシャドウマスク材料の発明を提案している。 ・・・ 【００１３】 次に、冷間圧延工程について、詳しく説明する。 ＜圧下率：９０％以上＞ 本発明では、冷間圧延工程中の圧下率を９０％以上とする。圧下率が９０％未満であると、冷間圧延後のＦｅ－Ｎｉ系合金薄板の硬さや引張強度が低くなる。そのため、０．２５ｍｍ以下のＦｅ－Ｎｉ系合金薄板のハンドリング性が劣化して、例えば、搬送時にしわや折れ等が発生しやすくなる。好ましい圧下率は９２％以上であり、更に好ましくは９４％以上である。なお、圧下率の上限は特に定めないが、圧下率が９９％を超えると、圧延中のＦｅ－Ｎｉ系合金の形状調整が困難となる場合があるので、上限は９９％とするのが現実的である。 なお、冷間圧延後の厚さは０．２５ｍｍ以下とする。これは、本発明のＦｅ－Ｎｉ系合金薄板を例えば、リードフレームに用いた場合では多ピン化に対応しやすく、また、メタルマスク（シャドーマスクと称される場合もある）に用いた場合は、エッチング加工による高精細化に対応が可能であるためである。 【００１４】 ＜圧延張力＞ 本発明では、最終圧延パスの圧延張力を４～６ＭＰａとする。前述のように本発明では９０％以上の圧下率で冷間圧延を行う。そのために、複数回の圧延パスで所定の板厚としていくが、このうち、最終パスの圧延張力が最も急峻度に影響を及ぼす。そのため、最終圧延パスの圧延張力を適正なものとして冷間圧延材に優れた急峻度を付与する。この最終圧延パスの圧延張力の適正化により、冷間圧延を行って得られる冷間圧延材の急峻度を０．７５％以下とすることができ、更に０．５０％以下とすることも可能となる。 最終圧延パスの圧延張力が４ＭＰａ未満であると、所望の板厚に圧延するために必要な圧延荷重を高くしなければならなくなる。そうすると、圧延機が過負荷になると共に、形状調整が困難となる。一方、最終圧延パスの圧延張力は高いほど形状調整が容易になるが、圧延張力が６ＭＰａを超えると圧延中のＦｅ－Ｎｉ系合金薄板が破断するおそれがある。そのため、最終圧延パスの圧延張力は４～６ＭＰａとする。 なお、優れた急峻度のＦｅ－Ｎｉ系合金薄板は、板幅が９００ｍｍ以上の広幅のＦｅ－Ｎｉ系合金薄板への適用が特に好ましい。広幅と優れた急峻度を要求されるような、例えば、メタルマスク用途等への素材として好適となる。」 （ツ）甲第２３号証には、以下の記載がある。 「【背景技術】 【０００２】 Ｆｅ－Ｎｉ合金の薄板に高精細なエッチング加工を行う用途として、従来からリードフレーム材やシャドウマスク材等の各種マスク材が知られている。 ところで、Ｆｅ－Ｎｉ合金の薄板を製造する場合、最終工程で冷間圧延が施される。この冷間圧延中に生じる問題としては、表面形態に関する問題や残留応力に関する問題があり、何れも高精細なエッチング特性に影響を及ぼす。そのため、高精細なエッチングを行なう薄板には、所望のエッチング特性を得るために、表面粗さを調整したり、残留応力を調整する種々の提案がなされている。 例えば、特開平８－２６９７４２号公報（特許文献２）には、表面からの残留応力の平均値を５０Ｎ／ｍｍ２以下とすることで微細なエッチングパターンが形成可能なＦｅ－Ｎｉ合金を素材とした提案がなされている。この技術はサイドエッチを防止し、高精細なエッチング加工が可能とするものである。 また、例えば、特開平６－１２２０１３号公報（特許文献１）には、最終冷間圧延工程において、圧下率５％以上で圧延するとともに圧延油濃度を管理することによりオイルピットの発生を制御し所望の板面粗度を得るシャドウマスクやアパーチャーグリル用鋼板の製造方法が提案されている。この技術は、残留応力を抑制する技術である。 また、本願出願人も特開２００４－３９６２８号公報（特許文献３）として、２枚の金属板を中間層で接着した積層箔を用いた蒸着マスクを提案している。 ・・・ 【００２３】 表３に示すとおり、本発明方法を適用した、エッチング加工用素材は、オイルピットの発生を極めて抑制できていることが分かる。 また、図１及び図２に示した通り、条件Ｅ（図２）のエッチング加工用素材の表面は、数μｍ～２０μｍ程度のオイルピットが分散して形成されていることが確認できる。一方、本発明の条件Ａ（図１）のメタルマスク用素材の表面は、数μｍ程度のオイルピットが僅かに形成されていることが分かる。」 （テ）甲第２４号証には、以下の記載がある。 「【０００２】 例えば、リードフレーム、シャドウマスクなどの電子部品は、フォトエッチング法を用いて製造されることが多い。これら電子部品の材料としては、鉄、鉄－ニッケル合金、鉄－コバルト－ニッケル合金など鉄系の金属薄板が広く用いられている。フォトエッチング法では、先ず、フォトリソグラフィ法によって金属薄板上に所定形状のレジストパターンを形成し、次に、レジストパターンより露出した金属薄板部位をウエットエッチングによって除去し、金属薄板に貫通パターン或いは半貫通パターンを形成する。 ・・・ 【０００９】 図４は、有機ＥＬを製造する際に用いられるメタルマスクの一例の平面図である。図４に示すメタルマスクは、貫通パターン（３１Ａ）の形状・配置からしてスロット型と称されるメタルマスクである。このメタルマスクに形成される貫通パターン（３１Ａ）は、例えば、図４中、Ｙ軸方向の長さ（ａ）は１３０μｍ程度、幅（ｂ）は５０μｍ程度、Ｙ軸方向の貫通パターン（３１Ａ）間のブリッヂ（３２）の幅（ｃ）は１５～２０μｍ程度、Ｘ軸方向の貫通パターン（３１Ａ）間の幅（ｄ）は１００μｍ程度のものである。 ・・・ 【００１１】 また、図５は、メタルマスクの他の例の平面図である。図５に示すメタルマスクは、貫通パターン（３１Ｂ）の形状・配置からしてスリット型と称されるメタルマスクである。このメタルマスクに形成される貫通パターン（３１Ｂ）は、例えば、図５中、Ｙ軸方向の長さ（ａ’）は６０ｍｍ程度、幅（ｂ’）は５０μｍ程度、Ｘ軸方向の貫通パターン（３１Ｂ）間の幅（ｄ’）は１００μｍ程度のものである。」 イ 対比・判断 （ア）甲第１０号証を主引用例とした場合について ａ 本件発明１～４について （ａ）本件発明１と甲１０発明２とを対比すると、甲１０発明２における「Ｆｅ－Ｎｉ系合金薄板」は、本件発明１における「帯状を有した金属板」「であって、前記金属板を構成する材料は、ニッケル、もしくは、鉄ニッケル合金であ」ることに相当する。 すると、本件発明１と甲１０発明２とは、 「帯状を有した金属板であって、前記金属板を構成する材料は、ニッケル、もしくは、鉄ニッケル合金である、金属板。」である点で一致し、以下の点で相違する。 ・相違点４：本件発明１は、「複数の孔がエッチング液を用いたエッチングによって形成されて蒸着マスクの製造に用いられる」「蒸着マスク用基材であ」る、との発明特定事項を有するのに対して、甲１０発明２は前記発明特定事項を有するか否かが明らかでない点。 ・相違点５：本件発明１は、「前記金属板が有する厚み」が、「１０μｍ以上５０μｍ以下」であるのに対して、甲１０発明２は「最終の厚さ」が「０．１ｍｍ」である点。 ・相違点６：本件発明１は、「前記金属板の長さ方向での各位置における前記金属板の幅方向に沿った形状は、相互に異なっており、各形状は、前記金属板の幅方向に繰り返す凹凸を有した波形状であり、前記金属板の表面での幅方向の長さが表面距離であり、前記金属板の長さ方向の各位置での表面距離のなかの最小値が最小表面距離であり、前記最小表面距離に対する、前記金属板の長さ方向の各位置での表面距離と前記最小表面距離との差分の比率が幅方向での伸び差率であり、前記幅方向での伸び差率の最大値が２×１０－５以下である」、との発明特定事項を有するのに対して、甲１０発明２は、「Ｆｅ－Ｎｉ系合金薄板」の「最大急峻度が０．３３％」である点。 （ｂ）事案に鑑み、前記（ａ）の相違点６が実質的な相違点であるか否かについて検討すると、本件発明１における「幅方向での伸び差率」は、前記（１）イ（ア）ｂに記載したとおり、「金属板の表面での幅方向の長さ」である「表面距離」に基づいて算出されるものである。 これに対して、甲１０発明２における「最大急峻度」は、「３次元形状測定器を用いて、７００ｍｍ長さに切断した水平定盤上のＦｅ－Ｎｉ系合金薄板試験片に測定領域幅８００ｍｍ×長さ７００ｍｍの範囲をレーザー変位計等を用いて、薄板の浮上り高さを測定し、急峻度は一定長さ（幅方向：１４ｍｍ、長さ方向：８ｍｍ）ごとに浮上り高さをマトリックス状に記録したデータから算出したもの」であるから、前記「表面距離」に基づいて算出されるものとはいえないので、甲１０発明２における「最大急峻度が０．３３％」である場合に、前記相違点６に係る本件発明特定事項を満たすとはいえないし、このことを裏付ける証拠もない。 したがって、甲１０発明２における「Ｆｅ－Ｎｉ系合金薄板の最大急峻度が０．３３％」であるとしても、本件発明１の前記相違点６に係る発明特定事項を満たすとはいえないから、前記相違点６は実質的な相違点であるので、そのほかの相違点について検討するまでもなく、本件発明１が甲１０発明２であるとはいえないのであり、本件発明２～４について検討しても事情は同じである。 （ｃ）次に、前記相違点６の容易想到性について検討すると、「蒸着マスク用基材」において、「幅方向での伸び差率の最大値」を「２×１０－５以下」とすることが、本件特許の原出願の出願日当時の周知技術であったことを裏付ける証拠はないから、甲１０発明２において、前記相違点６に係る本件発明１の発明特定事項を有するものとするには至らない。 してみれば、そのほかの相違点について検討するまでもなく、本件発明１は、甲１０発明２に基づいて、又は、甲１０発明２及び本件特許の原出願の出願日当時の周知技術に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものではないのであり、本件発明２～４について検討しても事情は同じである。 ｂ 本件発明６～８について （ａ）前記ａ（ａ）と同様にして本件発明６と甲１０発明１とを対比すると、本件発明６と甲１０発明１とは、 「帯状を有した金属板の製造方法であって、前記金属板を構成する材料は、ニッケル、もしくは、鉄ニッケル合金である、製造方法。」である点で一致し、以下の点で相違する。 ・相違点４’：本件発明６は、「レジスト層を形成することと、前記レジスト層をマスクとしたエッチング液を用いたエッチングによって前記金属板に複数の孔を形成してマスク部を形成することと、を含む蒸着マスクの製造方法」、との発明特定事項を有するのに対して、甲１０発明１は「Ｆｅ－Ｎｉ系合金薄板の製造方法」である点。 ・相違点５’：本件発明６は、「前記金属板が有する厚み」が、「１０μｍ以上５０μｍ以下」であるのに対して、甲１０発明１は「厚さ」が「０．１ｍｍ以下」である点。 ・相違点６’：本件発明６は、「前記金属板の長さ方向での各位置における前記金属板の幅方向に沿った形状は、相互に異なっており、各形状は、前記金属板の幅方向に繰り返す凹凸を有した波形状であり、前記金属板の表面での幅方向の長さが表面距離であり、前記金属板の長さ方向の各位置での表面距離のなかの最小値が最小表面距離であり、前記最小表面距離に対する、前記金属板の長さ方向の各位置での表面距離と前記最小表面距離との差分の比率が幅方向での伸び差率であり、前記幅方向での伸び差率の最大値が２×１０－５以下である」、との発明特定事項を有するのに対して、甲１０発明１は、「Ｆｅ－Ｎｉ系合金薄板」の「最大急峻度が０．３３％」である点。 （ｂ）そして、前記（ａ）の相違点６’は前記ａ（ａ）の相違点６と同じものであるから、前記ａ（ｂ）、（ｃ）に記載したのと同様の理由により、本件発明６は、甲１０発明２に基づいて、又は、甲１０発明２及び本件特許の原出願の出願日当時の周知技術に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものではないのであり、本件発明７、８について検討しても事情は同じである。 ｃ 小括 よって、本件発明１～４は、甲第１０号証に記載された発明であるとはいえないし、本件発明１～４、６～８は、甲第１０号証に記載された発明に基づいて、又は、甲第１０号証に記載された発明及び原出願の出願日当時の周知技術に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものでもない。 （イ）甲第１１号証を主引用例とした場合について ａ 本件発明１～４について （ａ）本件発明１と甲１１発明２とを対比すると、甲１１発明２における「インバー材から構成」された「金属板」は、本件発明１における「帯状を有した金属板」「であって、前記金属板を構成する材料は、ニッケル、もしくは、鉄ニッケル合金であ」ることに相当する。 すると、本件発明１と甲１１発明２とは、 「帯状を有した金属板であって、前記金属板を構成する材料は、ニッケル、もしくは、鉄ニッケル合金である、金属板。」である点で一致し、以下の点で相違する。 ・相違点７：本件発明１は、「複数の孔がエッチング液を用いたエッチングによって形成されて蒸着マスクの製造に用いられる」「蒸着マスク用基材であ」る、との発明特定事項を有するのに対して、甲１１発明２は前記発明特定事項を有するか否かが明らかでない点。 ・相違点８：本件発明１は、「前記金属板が有する厚み」が、「１０μｍ以上５０μｍ以下」であるのに対して、甲１１発明２は「金属板が有する厚み」が明らかでない点。 ・相違点９：本件発明１は、「前記金属板の長さ方向での各位置における前記金属板の幅方向に沿った形状は、相互に異なっており、各形状は、前記金属板の幅方向に繰り返す凹凸を有した波形状であり、前記金属板の表面での幅方向の長さが表面距離であり、前記金属板の長さ方向の各位置での表面距離のなかの最小値が最小表面距離であり、前記最小表面距離に対する、前記金属板の長さ方向の各位置での表面距離と前記最小表面距離との差分の比率が幅方向での伸び差率であり、前記幅方向での伸び差率の最大値が２×１０－５以下である」、との発明特定事項を有するのに対して、甲１１発明２は、「得られた金属板の一端側部分における急峻度の最大値が０．２％、中央部分における急峻度の最大値が０．２％、他端側部分における急峻度の最大値が０．３％である」点。 （ｂ）事案に鑑み、前記（ａ）の相違点９から検討すると、甲１１発明２における「急峻度」は、「切断工程後の前記金属板の前記波打ち形状の前記長手方向における周期に対する、前記波打ち形状の高さの百分率」であるから、本件発明１における「表面距離」に基づいて算出されるものとはいえないので、前記（ア）ａ（ｂ）、（ｃ）に記載したのと同様の理由により、そのほかの相違点について検討するまでもなく、本件発明１が甲１１発明２であるとはいえないし、甲１１発明２に基づいて、又は、甲１１発明２及び本件特許の原出願の出願日当時の周知技術に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものでもないのであり、本件発明２～４について検討しても事情は同じである。 ｂ 本件発明６～８について 前記ａ（ａ）と同様にして本件発明６と甲１１発明１とを対比すると、本件発明６と甲１１発明１とは、 「帯状を有した金属板の製造方法であって、前記金属板を構成する材料は、ニッケル、もしくは、鉄ニッケル合金である、製造方法。」である点で一致し、以下の点で相違する。 ・相違点７’：本件発明６は、「レジスト層を形成することと、前記レジスト層をマスクとしたエッチング液を用いたエッチングによって前記金属板に複数の孔を形成してマスク部を形成することと、を含む蒸着マスクの製造方法」、との発明特定事項を有するのに対して、甲１１発明１は「金属板の製造方法」である点。 ・相違点８’：本件発明６は、「前記金属板が有する厚み」が、「１０μｍ以上５０μｍ以下」であるのに対して、甲１１発明１は「金属板が有する厚み」が明らかでない点。 ・相違点９’：本件発明６は、「前記金属板の長さ方向での各位置における前記金属板の幅方向に沿った形状は、相互に異なっており、各形状は、前記金属板の幅方向に繰り返す凹凸を有した波形状であり、前記金属板の表面での幅方向の長さが表面距離であり、前記金属板の長さ方向の各位置での表面距離のなかの最小値が最小表面距離であり、前記最小表面距離に対する、前記金属板の長さ方向の各位置での表面距離と前記最小表面距離との差分の比率が幅方向での伸び差率であり、前記幅方向での伸び差率の最大値が２×１０－５以下である」、との発明特定事項を有するのに対して、甲１１発明１は、「得られた金属板の一端側部分における急峻度の最大値が０．２％、中央部分における急峻度の最大値が０．２％、他端側部分における急峻度の最大値が０．３％である」点。 （ｂ）そして、前記（ａ）の相違点９’は前記ａ（ａ）の相違点９と同じものであるから、前記ａ（ｂ）に記載したのと同様の理由により、そのほかの相違点について検討するまでもなく、本件発明６が甲１１発明１であるとはいえないし、甲１１発明１に基づいて、又は、甲１１発明１及び本件特許の原出願の出願日当時の周知技術に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものではないのであり、本件発明７、８について検討しても事情は同じである。 ｃ 小括 よって、本件発明１～４、６及び８は、甲第１１号証に記載された発明であるとはいえないし、本件発明１～４、６～８は、甲第１１号証に記載された発明に基づいて、又は、甲第１１号証に記載された発明及び原出願の出願日当時の周知技術に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものでもない。 （ウ）甲第１２号証を主引用例とした場合について 甲第１２号証に、前記（１）ア（ア）の甲１発明１及び甲１発明２が記載されているといえることは、前記ア（ウ）に記載したとおりであるから、本件発明１と甲１発明２とを対比した場合の相違点は、前記（１）イ（ア）の相違点１～相違点３であり、本件発明６と甲１発明１とを対比した場合の相違点は、前記（１）イ（イ）の相違点１’～相違点３’である。 すると、前記（１）イ（ア）ｂ同（イ）ｂに記載したのと同様の理由により、本件発明１～４、６及び８は、甲第１２号証に記載された発明であるとはいえない。 また、前記相違点３及び相違点３’について検討すれば、前記（ア）ａ（ｃ）、同ｂ（ｂ）に記載したのと同様の理由により、そのほかの相違点について検討するまでもなく、本件発明１～４、６～８は、甲第１２号証に記載された発明に基づいて、又は、甲第１２号証に記載された発明及び原出願の出願日当時の周知技術に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものでもない。 （エ）甲第１３号証を主引用例とした場合について ａ 本件発明１～４について （ａ）本件発明１と甲１３発明２とを対比すると、甲１３発明２における「Ｆｅ－Ｎｉ合金鋼ストリップ」は、本件発明１における「帯状を有した金属板」「であって、前記金属板を構成する材料は、ニッケル、もしくは、鉄ニッケル合金であ」ることに相当する。 すると、本件発明１と甲１３発明２とは、 「帯状を有した金属板であって、前記金属板を構成する材料は、ニッケル、もしくは、鉄ニッケル合金である、金属板。」である点で一致し、以下の点で相違する。 ・相違点１０：本件発明１は、「複数の孔がエッチング液を用いたエッチングによって形成されて蒸着マスクの製造に用いられる」「蒸着マスク用基材であ」る、との発明特定事項を有するのに対して、甲１３発明２は前記発明特定事項を有するか否かが明らかでない点。 ・相違点１１：本件発明１は、「前記金属板が有する厚み」が、「１０μｍ以上５０μｍ以下」であるのに対して、甲１３発明２は「板厚」が「０．１２ｍｍ」である点。 ・相違点１２：本件発明１は、「前記金属板の長さ方向での各位置における前記金属板の幅方向に沿った形状は、相互に異なっており、各形状は、前記金属板の幅方向に繰り返す凹凸を有した波形状であり、前記金属板の表面での幅方向の長さが表面距離であり、前記金属板の長さ方向の各位置での表面距離のなかの最小値が最小表面距離であり、前記最小表面距離に対する、前記金属板の長さ方向の各位置での表面距離と前記最小表面距離との差分の比率が幅方向での伸び差率であり、前記幅方向での伸び差率の最大値が２×１０－５以下である」、との発明特定事項を有するのに対して、甲１３発明２は、「Ｆｅ－Ｎｉ合金鋼ストリップ」の「波板湾曲量が１ｍｍであり、焼鈍後の中伸び急峻度が０．５％である」点。 （ｂ）事案に鑑み、前記（ａ）の相違点１２から検討すると、甲１３発明２における「波板湾曲量」は、「ストリップと水平定盤との隙間である湾曲量の極大値ｈ１ 、並びに、ｈ１及びｈ２を測定し、湾曲が２箇所ある場合は湾曲量の大きい方の値を当該ストリップの湾曲量と定めたもの」であり、「中伸び急峻度」は、「中伸び部分の板長手方向断面における波高ａとピッチｐとから急峻度λを、λ＝（ａ／ｐ）×１００％で定義したもの」であるから、本件発明１における「表面距離」に基づいて算出されるものとはいえないので、前記（ア）ａ（ｂ）、（ｃ）に記載したのと同様の理由により、そのほかの相違点について検討するまでもなく、本件発明１が甲１３発明２であるとはいえないし、甲１３発明２に基づいて、又は、甲１３発明２及び本件特許の原出願の出願日当時の周知技術に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものでもないのであり、本件発明２～４について検討しても事情は同じである。 ｂ 本件発明６～８について 前記ａ（ａ）と同様にして本件発明６と甲１３発明１とを対比すると、本件発明６と甲１３発明１とは、 「帯状を有した金属板の製造方法であって、前記金属板を構成する材料は、ニッケル、もしくは、鉄ニッケル合金である、製造方法。」である点で一致し、以下の点で相違する。 ・相違点１０’：本件発明６は、「レジスト層を形成することと、前記レジスト層をマスクとしたエッチング液を用いたエッチングによって前記金属板に複数の孔を形成してマスク部を形成することと、を含む蒸着マスクの製造方法」、との発明特定事項を有するのに対して、甲１３発明１は「焼鈍方法」である点。 ・相違点１１’：本件発明６は、「前記金属板が有する厚み」が、「１０μｍ以上５０μｍ以下」であるのに対して、甲１３発明１は「板厚」が「０．１２ｍｍ」である点。 ・相違点１２’：本件発明６は、「前記金属板の長さ方向での各位置における前記金属板の幅方向に沿った形状は、相互に異なっており、各形状は、前記金属板の幅方向に繰り返す凹凸を有した波形状であり、前記金属板の表面での幅方向の長さが表面距離であり、前記金属板の長さ方向の各位置での表面距離のなかの最小値が最小表面距離であり、前記最小表面距離に対する、前記金属板の長さ方向の各位置での表面距離と前記最小表面距離との差分の比率が幅方向での伸び差率であり、前記幅方向での伸び差率の最大値が２×１０－５以下である」、との発明特定事項を有するのに対して、甲１３発明１は、「Ｆｅ－Ｎｉ合金鋼ストリップ」の「波板湾曲量が１ｍｍであり、焼鈍後の中伸び急峻度が０．５％である」点。 （ｂ）そして、前記（ａ）の相違点１２’は前記ａ（ａ）の相違点１２と同じものであるから、前記ａ（ｂ）に記載したのと同様の理由により、そのほかの相違点について検討するまでもなく、本件発明６は、甲１３発明１に基づいて、又は、甲１３発明１及び本件特許の原出願の出願日当時の周知技術に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものではないのであり、本件発明７、８について検討しても事情は同じである。 ｃ 小括 よって、本件発明１～４は、甲第１３号証に記載された発明であるとはいえないし、本件発明１～４、６～８は、甲第１３号証に記載された発明に基づいて、又は、甲第１３号証に記載された発明及び原出願の出願日当時の周知技術に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものでもない。 （オ）甲第２５号証を主引用例とした場合について ａ 本件発明１～４について （ａ）本件発明１と甲２５発明２とを対比すると、甲２５発明２における「Ｆｅ－Ｎｉ系低熱膨張合金薄板」は、本件発明１における「帯状を有した金属板」「であって、前記金属板を構成する材料は、ニッケル、もしくは、鉄ニッケル合金であ」ることに相当する。 すると、本件発明１と甲２５発明２とは、 「帯状を有した金属板であって、前記金属板を構成する材料は、ニッケル、もしくは、鉄ニッケル合金である、金属板。」である点で一致し、以下の点で相違する。 ・相違点１３：本件発明１は、「複数の孔がエッチング液を用いたエッチングによって形成されて蒸着マスクの製造に用いられる」「蒸着マスク用基材であ」る、との発明特定事項を有するのに対して、甲２５発明２は前記発明特定事項を有するか否かが明らかでない点。 ・相違点１４：本件発明１は、「前記金属板が有する厚み」が、「１０μｍ以上５０μｍ以下」であるのに対して、甲２５発明２は「板厚」が「０．１０ｍｍ」である点。 ・相違点１５：本件発明１は、「前記金属板の長さ方向での各位置における前記金属板の幅方向に沿った形状は、相互に異なっており、各形状は、前記金属板の幅方向に繰り返す凹凸を有した波形状であり、前記金属板の表面での幅方向の長さが表面距離であり、前記金属板の長さ方向の各位置での表面距離のなかの最小値が最小表面距離であり、前記最小表面距離に対する、前記金属板の長さ方向の各位置での表面距離と前記最小表面距離との差分の比率が幅方向での伸び差率であり、前記幅方向での伸び差率の最大値が２×１０－５以下である」、との発明特定事項を有するのに対して、甲２５発明２は、「Ｆｅ－Ｎｉ系低熱膨張合金薄板」の「急峻度が０％」である点。 （ｂ）事案に鑑み、前記（ａ）の相違点１５から検討すると、前記（１）イ（ア）ｃに記載したのと同様の理由により、甲２５発明２において、「Ｆｅ－Ｎｉ系低熱膨張合金薄板」の「急峻度が０％」であるとしても、本件発明１の前記相違点１５に係る発明特定事項を満たすとはいえない。 すると、前記（ア）ａ（ｃ）に記載したのと同様の理由により、そのほかの相違点について検討するまでもなく、本件発明１は、甲２５発明２に基づいて、又は、甲２５発明２及び本件特許の原出願の出願日当時の周知技術に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものでもないのであり、本件発明２～４について検討しても事情は同じである。 ｂ 本件発明６～８について 前記ａ（ａ）と同様にして本件発明６と甲２５発明１とを対比すると、本件発明６と甲２５発明１とは、 「帯状を有した金属板の製造方法であって、前記金属板を構成する材料は、ニッケル、もしくは、鉄ニッケル合金である、製造方法。」である点で一致し、以下の点で相違する。 ・相違点１３’：本件発明６は、「レジスト層を形成することと、前記レジスト層をマスクとしたエッチング液を用いたエッチングによって前記金属板に複数の孔を形成してマスク部を形成することと、を含む蒸着マスクの製造方法」、との発明特定事項を有するのに対して、甲２５発明１は「Ｆｅ－Ｎｉ系低熱膨張合金薄板の製造方法」である点。 ・相違点１４’：本件発明６は、「前記金属板が有する厚み」が、「１０μｍ以上５０μｍ以下」であるのに対して、甲２５発明１は「板厚」が「０．１０ｍｍ」である点。 ・相違点１５’：本件発明６は、「前記金属板の長さ方向での各位置における前記金属板の幅方向に沿った形状は、相互に異なっており、各形状は、前記金属板の幅方向に繰り返す凹凸を有した波形状であり、前記金属板の表面での幅方向の長さが表面距離であり、前記金属板の長さ方向の各位置での表面距離のなかの最小値が最小表面距離であり、前記最小表面距離に対する、前記金属板の長さ方向の各位置での表面距離と前記最小表面距離との差分の比率が幅方向での伸び差率であり、前記幅方向での伸び差率の最大値が２×１０－５以下である」、との発明特定事項を有するのに対して、甲２５発明１は、「Ｆｅ－Ｎｉ系低熱膨張合金薄板」の「急峻度が０％」である点。 （ｂ）そして、前記（ａ）の相違点１５’は前記ａ（ａ）の相違点１５と同じものであるから、前記ａ（ｂ）に記載したのと同様の理由により、そのほかの相違点について検討するまでもなく、本件発明６は、甲２５発明１に基づいて、又は、甲２５発明１及び本件特許の原出願の出願日当時の周知技術に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものではないのであり、本件発明７、８について検討しても事情は同じである。 ｃ 小括 よって、本件発明１～４、６～８は、甲第２５号証に記載された発明に基づいて、又は、甲第２５号証に記載された発明及び原出願の出願日当時の周知技術に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものでもない。 （カ）甲第２６号証を主引用例とした場合について ａ 本件発明１～４について （ａ）本件発明１と甲２６発明２とを対比すると、甲２６発明２における「Ｆｅ－Ｎｉ系低熱膨張合金薄板」は、本件発明１における「帯状を有した金属板」「であって、前記金属板を構成する材料は、ニッケル、もしくは、鉄ニッケル合金であ」ることに相当する。 すると、本件発明１と甲２６発明２とは、 「帯状を有した金属板であって、前記金属板を構成する材料は、ニッケル、もしくは、鉄ニッケル合金である、金属板。」である点で一致し、以下の点で相違する。 ・相違点１６：本件発明１は、「複数の孔がエッチング液を用いたエッチングによって形成されて蒸着マスクの製造に用いられる」「蒸着マスク用基材であ」る、との発明特定事項を有するのに対して、甲２６発明２は前記発明特定事項を有するか否かが明らかでない点。 ・相違点１７：本件発明１は、「前記金属板が有する厚み」が、「１０μｍ以上５０μｍ以下」であるのに対して、甲２６発明２は「板厚」が「０．１２ｍｍ」である点。 ・相違点１８：本件発明１は、「前記金属板の長さ方向での各位置における前記金属板の幅方向に沿った形状は、相互に異なっており、各形状は、前記金属板の幅方向に繰り返す凹凸を有した波形状であり、前記金属板の表面での幅方向の長さが表面距離であり、前記金属板の長さ方向の各位置での表面距離のなかの最小値が最小表面距離であり、前記最小表面距離に対する、前記金属板の長さ方向の各位置での表面距離と前記最小表面距離との差分の比率が幅方向での伸び差率であり、前記幅方向での伸び差率の最大値が２×１０－５以下である」、との発明特定事項を有するのに対して、甲２６発明２は、「Ｆｅ－Ｎｉ系低熱膨張合金薄板」の「急峻度が０．０１％」である点。 （ｂ）事案に鑑み、前記（ａ）の相違点１８から検討すると、甲２６発明２における「急峻度」は、「耳波および中伸びの高さとピッチを測定し次式により求めたもの」「急峻度（％）＝高さ（mm）／ピッチ（mm）×１００」であるから、本件発明１における「表面距離」に基づいて算出されるものとはいえないので、前記（ア）ａ（ｂ）、（ｃ）に記載したのと同様の理由により、そのほかの相違点について検討するまでもなく、本件発明１は、甲２６発明２に基づいて、又は、甲２６発明２及び本件特許の原出願の出願日当時の周知技術に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものでもないのであり、本件発明２～４について検討しても事情は同じである。 ｂ 本件発明６～８について 前記ａ（ａ）と同様にして本件発明６と甲２６発明１とを対比すると、本件発明６と甲２５発明１とは、 「帯状を有した金属板の製造方法であって、前記金属板を構成する材料は、ニッケル、もしくは、鉄ニッケル合金である、製造方法。」である点で一致し、以下の点で相違する。 ・相違点１６’：本件発明６は、「レジスト層を形成することと、前記レジスト層をマスクとしたエッチング液を用いたエッチングによって前記金属板に複数の孔を形成してマスク部を形成することと、を含む蒸着マスクの製造方法」、との発明特定事項を有するのに対して、甲２６発明１は「Ｆｅ－Ｎｉ系低熱膨張合金薄板の製造方法」である点。 ・相違点１７’：本件発明６は、「前記金属板が有する厚み」が、「１０μｍ以上５０μｍ以下」であるのに対して、甲２６発明１は「板厚」が「０．１２ｍｍ」である点。 ・相違点１８’：本件発明６は、「前記金属板の長さ方向での各位置における前記金属板の幅方向に沿った形状は、相互に異なっており、各形状は、前記金属板の幅方向に繰り返す凹凸を有した波形状であり、前記金属板の表面での幅方向の長さが表面距離であり、前記金属板の長さ方向の各位置での表面距離のなかの最小値が最小表面距離であり、前記最小表面距離に対する、前記金属板の長さ方向の各位置での表面距離と前記最小表面距離との差分の比率が幅方向での伸び差率であり、前記幅方向での伸び差率の最大値が２×１０－５以下である」、との発明特定事項を有するのに対して、甲２６発明１は、「Ｆｅ－Ｎｉ系低熱膨張合金薄板」の「急峻度が０．０１％」である点。 （ｂ）そして、前記（ａ）の相違点１８’は前記ａ（ａ）の相違点１８と同じものであるから、前記ａ（ｂ）に記載したのと同様の理由により、本件発明６は、甲２６発明１に基づいて、又は、甲２６発明１及び本件特許の原出願の出願日当時の周知技術に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものではないのであり、本件発明７、８について検討しても事情は同じである。 ｃ 小括 よって、本件発明１～４、６～８は、甲第２６号証に記載された発明に基づいて，又は、甲第２６号証に記載された発明及び原出願の出願日当時の周知技術に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものではない。 ウ 申立人古川の主張、古川上申書及び古川意見書について （ア）申立人古川の特許異議申立書、古川上申書及び古川意見書における主張は、概略、以下のとおりである。 ａ 甲第１号証、甲第２号証の記載によれば、急峻度と伸び差率の間には、伸び差率＝（π／２×急峻度／１００）２の関係式が成立するから、甲第１０号証の実施例のＮｏ．６のＦｅ－Ｎｉ系合金薄板は、「幅方向での伸び差率の最大値が２×１０－５以下」である蓋然性が高いので、本件訂正前の特許請求の範囲の請求項１～５に係る発明は、甲第１０号証に記載された発明であり、同請求項１～８に係る発明は、甲第１０号証に記載された発明及び原出願の出願日当時の周知技術に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものである（特許異議申立書１１５ページ２行～１２２ページ最終行）。 ｂ 甲第１１号証の第４サンプルの金属板の急峻度を伸び差率に変換し、かつ伸び差率を測定精度により２割減らして考慮すると、前記第４サンプルの金属板は、「幅方向での伸び差率の最大値が２×１０－５以下」である蓋然性が高いので、本件訂正前の特許請求の範囲の請求項１～６、８に係る発明は、甲第１１号証に記載された発明であり、同請求項１～８に係る発明は、甲第１１号証に記載された発明及び原出願の出願日当時の周知技術に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものである（特許異議申立書１２３ページ１行～１２９ページ最終行）。 ｃ 甲第１２号証の第７サンプルの金属板の伸び差率からみれば、前記第７サンプルの金属板は、「幅方向での伸び差率の最大値が２×１０－５以下」である蓋然性が高いので、本件訂正前の特許請求の範囲の請求項１～６、８に係る発明は、甲第１２号証に記載された発明であり、同請求項１～８に係る発明は、甲第１２号証に記載された発明及び原出願の出願日当時の周知技術に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものである（特許異議申立書１３０ページ１行～１３５ページ最終行）。 ｄ 甲第１３号証の実施例１のＦｅ－Ｎｉ合金鋼ストリップの波板湾曲量からみれば、前記実施例１のＦｅ－Ｎｉ合金鋼ストリップは、「幅方向での伸び差率の最大値が２×１０－５以下」である蓋然性が高いので、本件訂正前の特許請求の範囲の請求項１～５に係る発明は、甲第１３号証に記載された発明であり、同請求項１～８に係る発明は、甲第１３号証に記載された発明及び原出願の出願日当時の周知技術に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものである（特許異議申立書１３６ページ１行～１４３ページ最終行）。 ｅ 甲第２５号証の実施例のＮｏ．１７のＦｅ－Ｎｉ系低熱膨張合金薄板は、甲第１号証、甲第２号証に記載された急峻度と伸び差率の間の関係式からみれば、「幅方向での伸び差率の最大値が２×１０－５以下」であり、Ｆｅ－Ｎｉ系低熱膨張合金薄板の厚さを１０μｍ以上５０μｍ以下とすることは、当業者が容易になし得ることであるから、本件訂正前の特許請求の範囲の請求項１～８に係る発明は、甲第２５号証に記載された発明及び原出願の出願日当時の周知技術に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものである（特許異議申立書１４４ページ１行～１５０ページ最終行）。 ｆ 甲第２６号証の実施例のＮｏ．１５のＦｅ－Ｎｉ系低熱膨張合金薄板は、甲第１号証、甲第２号証に記載された急峻度と伸び差率の間の関係式からみれば、「幅方向での伸び差率の最大値が２×１０－５以下」であり、Ｆｅ－Ｎｉ系低熱膨張合金薄板の厚さを１０μｍ以上５０μｍ以下とすることは、当業者が容易になし得ることであるから、本件訂正前の特許請求の範囲の請求項１～８に係る発明は、甲第２６号証に記載された発明及び原出願の出願日当時の周知技術に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものである（特許異議申立書１４４ページ１行～１５０ページ最終行）。 ｇ 本件訂正前の特許請求の範囲の請求項７の発明特定事項は、甲第１４号証に記載されているから、本件訂正前の請求項７に係る発明は、当業者が容易に発明をすることができたものである（古川上申書１ページ１１行～５ページ２行）。 ｈ 本件訂正により、「エッチング」が「エッチング液を用いたエッチング」に訂正されたが、「エッチング液を用いたエッチング」は原出願の出願日当時の周知技術にすぎない。 そして、特許異議申立書における「（６）申立理由４（新規性欠如及び進歩性欠如）」の主張は、本件訂正後にも当てはまるものである（古川意見書２４ページ１行～２５ページ６行）。 （イ）そこで、前記（ア）の主張について検討すると、前記（ア）ａ～ｆの主張は、総じて、甲第１号証や甲第２号証に記載された、伸び差率＝（π／２×急峻度／１００）２の関係式等に基づけば、甲第１０号証～甲第１３号証、甲第２５号証及び甲第２６号証に記載された「急峻度」、「伸び差率」、「波板湾曲量」といった物性値から、本件発明における「幅方向での伸び差率の最大値」を算出又は推認できることを前提としたものといえる。 ところが、前記関係式は、前記物性値と、本件発明における「幅方向での伸び差率の最大値」との関係を示すものではないし、そのほかに、前記物性値と、本件発明における「幅方向での伸び差率の最大値」との関係を明らかにする証拠はないから、前記物性値から、本件発明における「幅方向での伸び差率の最大値」を算出又は推認できるものではない。 してみれば、前記主張は前提において誤っており、係る誤った前提に基づいた前記（ア）ａ～ｆの主張はいずれも採用できない。 また、仮に、本件訂正前の特許請求の範囲の請求項７の発明特定事項が、甲第１４号証に記載されており、「エッチング液を用いたエッチング」が原出願の出願日当時の周知技術にすぎないとしても、前記イに記載した事項に変わりはないので、前記（ア）ｇ～ｈの主張も、いずれも採用できない。 エ まとめ よって、本件発明１～４、６及び８は、甲第１０号証～甲第１３号証に記載された発明ではなく、本件発明１～４、６～８は、甲第１０号証～甲第１３号証、甲第２５号証、甲第２６号証に記載された発明と、原出願の出願日当時の周知技術に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものではないから、前記第４の２（４）の特許異議申立理由はいずれも理由がない。 （３）特許法第２９条第１項、第２項所定の規定違反についてのまとめ したがって、特許法第２９条第１項、第２項所定の規定違反についての特許異議申立理由はいずれも理由がない。 第７ むすび 以上のとおりであるので、取消理由通知書に記載した取消理由及び特許異議申立書に記載された申立て理由によっては、本件請求項１～４及び６～８に係る特許を取り消すことはできない。 また、他に本件請求項１～４及び６～８に係る特許を取り消すべき理由を発見しない。 そして、本件訂正により本件請求項５は削除されたから、本件請求項５に係る特許異議の申立てについては対象となる特許が存在しないものとなったので、特許法第１２０条の８第１項で準用する同法１３５条の規定により却下する。 よって、結論のとおり決定する。