2022-700569

特許第６９８８５６５号発明「蒸着マスク用基材、蒸着マスク用基材の製造方法、蒸着マスクの製造方法、および、表示装置の製造方法」の特許異議申立事件について、次のとおり決定する。

結 論 特許第６９８８５６５号の特許請求の範囲を訂正請求書に添付された訂正特許請求の範囲のとおり、訂正後の請求項〔１～４〕、５、〔６～８〕について訂正することを認める。 特許第６９８８５６５号の請求項１～４、６～８に係る特許を維持する。 特許第６９８８５６５号の請求項５に係る特許についての特許異議の申立てを却下する。

理 由 第１ 手続の経緯 本件特許第６９８８５６５号（以下、「本件特許」という。）に係る出願は、平成２９年１０月１３日を出願日とする特願２０１７－１９９９２１号（以下、「原出願」という。）の一部を、平成３０年２月２６日に新たな特許出願としたものであって、令和３年１２月６日にその請求項１～８に係る発明について特許権の設定登録がされ、令和４年１月５日に特許掲載公報が発行され、その後、全請求項に係る特許に対して、同年７月１日に特許異議申立人 村野 親（以下、「申立人村野」という。）により甲第１号証～甲第２８号証を証拠方法として特許異議の申立てがされ、同年７月４日に特許異議申立人 山田 芳男（以下、「申立人山田」という。）により甲第１号証～甲第２号証を証拠方法として特許異議の申立てがされ、同年９月２日に申立人村野より上申書（以下、「村野上申書」という。）が提出され、同年９月２７日付けで当審より取消理由が通知され、その指定期間内の同年１２月１３日に特許権者より意見書（以下、「特許権者意見書」という。）の提出及び訂正の請求がされ、令和５年１月２７日に申立人山田より意見書（以下、「山田意見書」という。）が提出され、同年同月３０日に申立人村野より甲第２９号証の１～甲第３０号証の２を添付して意見書（以下、「村野意見書」という。）が提出され、同年３月２８日付けで当審より取消理由（決定の予告）が通知され、その指定期間内の同年６月５日に特許権者より意見書（以下、「特許権者意見書２」という。）が提出され、同年同月１４日付けで当審より申立人村野及び申立人山田に審尋が通知され、同年７月１９日に申立人村野より意見書（以下、「村野意見書２」という。）が提出され、同年同月２０日に申立人山田より回答書（以下、「山田回答書」という。）が提出されたものである。 第２ 訂正の適否についての判断 １ 訂正の内容及び一群の請求項 令和４年１２月１３日にされた訂正の請求（以下、「本件訂正請求」といい、本件訂正請求による訂正を「本件訂正」という。）は、請求の趣旨を「特許第６９８８５６５号の特許請求の範囲を本訂正請求書に添付した訂正特許請求の範囲のとおり、訂正後の請求項１から８について訂正することを求める。」とするものであって、その訂正の内容は、次のとおりである（当審注：下線は訂正箇所であり、当審が付与した。）。 （１） 訂正事項１ 特許請求の範囲の請求項１に 「複数の孔がエッチングによって形成されて蒸着マスクの製造に用いられる」 と記載されていたのを、 「複数の孔がエッチング液を用いたエッチングによって形成されて蒸着マスクの製造に用いられる」 に訂正する（請求項１の記載を直接的又は間接的に引用する請求項２～４も同様に訂正する。）。 （２） 訂正事項２ 特許請求の範囲の請求項５を削除する。 （３） 訂正事項３ 特許請求の範囲の請求項６に 「前記レジスト層をマスクとしたエッチングによって前記金属板に複数の孔を形成してマスク部を形成する」 と記載されていたのを、 「前記レジスト層をマスクとしたエッチング液を用いたエッチングによって前記金属板に複数の孔を形成してマスク部を形成する」 に訂正する（請求項６の記載を直接的又は間接的に引用する請求項７及び８も同様に訂正する。）。 （４） 一群の請求項について 本件訂正前の請求項１の記載を請求項２～４が引用する関係にあるから、本件訂正前の請求項１～４は一群の請求項であり、本件訂正前の請求項５は独立請求項であり、本件訂正前の請求項６の記載を請求項７及び８が引用する関係にあるから、本件訂正前の請求項６～８は一群の請求項であるところ、訂正事項１～３に係る特許請求の範囲の訂正は、特許法第１２０条の５第３項及び第４項の規定に従い、これら請求項１～４、５、６～８を訂正の単位として請求されたものである。 ２ 訂正の目的の適否、新規事項の有無、特許請求の範囲の拡張・変更の存否、独立特許要件について （１） 訂正事項１及び３について 訂正事項１及び３は、それぞれ、本件訂正前の請求項１及び６における「エッチング」を、本件特許明細書の段落【０００６】、【００６７】及び【００７０】の記載に基づいて、「エッチング液を用いたエッチング」に限定するものであるから、いずれも、特許法第１２０条の５第２項ただし書第１号に掲げる特許請求の範囲の減縮を目的とするものであり、願書に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面に記載された事項の範囲内においてされたものであり、また、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではない。 （２） 訂正事項２について 訂正事項２は、本件訂正前の請求項５を削除するものであるから、特許法第１２０条の５第２項ただし書第１号に掲げる特許請求の範囲の減縮を目的とするものであり、願書に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面に記載された事項の範囲内においてされたものであり、また、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではない。 （３） 独立特許要件について 本件特許異議の申立ては本件訂正前の全ての請求項についてされているので、訂正事項１～３に関して、特許法第１２０条の５第９項で読み替えて準用する同法第１２６条第７項の独立特許要件は課されない。 （４） 村野意見書について 申立人村野は、村野意見書において、訂正事項１及び３に係る訂正は、「蒸着マスク用基材」の構造、特性を更に特定するものではないから、特許法第１２０条の５第２項ただし書第１号に掲げる特許請求の範囲の減縮を目的とするものではない旨を主張している（７ページ１５行～２６行）。 ところが、前記訂正事項１及び３に係る訂正は、いずれも、特許法第１２０条の５第２項ただし書第１号に掲げる特許請求の範囲の減縮を目的とするものであることは、前記（１）に記載したとおりであるので、申立人村野の前記主張は採用できない。 ３ 小括 したがって、本件訂正は、特許法第１２０条の５第２項ただし書第１号に掲げる特許請求の範囲の減縮を目的とするものに該当し、同法同条第９項で準用する同法第１２６条第５項及び第６項の規定に適合するので、特許請求の範囲を、訂正請求書に添付された訂正特許請求の範囲のとおり、訂正後の請求項〔１～４〕、５、〔６～８〕について訂正することを認める。 第３ 本件発明について 本件訂正が認められることは前記第２に記載したとおりであるので、本件訂正により訂正された請求項１～４、６～８に係る発明（以下、項番号に合わせて「本件発明１」などといい、これらをまとめて「本件発明」ということがある。）は、訂正特許請求の範囲の請求項１～４、６～８に記載された事項により特定される、次のとおりのものである。 「【請求項１】 複数の孔がエッチング液を用いたエッチングによって形成されて蒸着マスクの製造に用いられる、帯状を有した金属板である蒸着マスク用基材であって、 前記金属板を構成する材料は、ニッケルまたは鉄ニッケル合金であり、 前記金属板が有する厚みは、１０μｍ以上５０μｍ以下であり、 前記金属板の長さ方向での各位置における前記金属板の幅方向に沿った形状は、相互に異なっており、各形状は、前記金属板の幅方向に繰り返す波を有し、 前記波における一方の谷から他方の谷までを結ぶ幅方向の直線の長さが波の長さであり、 前記波の長さに対する前記波の高さの百分率が単位急峻度であり、 前記長さ方向における単位長さが、５００ｍｍであり、 前記単位長さの金属板における単位急峻度の最大値が、第１急峻度であり、 前記第１急峻度が、０．５％以下である 蒸着マスク用基材。 【請求項２】 前記金属板の長さ方向での各位置において、前記金属板の幅方向での単位急峻度の最大値が、第２急峻度であり、 前記単位長さの金属板における前記第２急峻度の平均値が、０．２５％以下である 請求項１に記載の蒸着マスク用基材。 【請求項３】 前記金属板の長さ方向での各位置において、前記金属板の幅方向に含まれる波の数は、波数であり、 前記単位長さの金属板における前記波数の最大値が４個以下である 請求項１または２に記載の蒸着マスク用基材。 【請求項４】 前記金属板の長さ方向での各位置において、前記金属板の幅方向に含まれる波の数は、波数であり、 前記単位長さの金属板における前記波数の平均値が２個以下である 請求項１から３のいずれか一項に記載の蒸着マスク用基材。 【請求項５】 （削除） 【請求項６】 帯状を有した金属板にレジスト層を形成することと、 前記レジスト層をマスクとしたエッチング液を用いたエッチングによって前記金属板に複数の孔を形成してマスク部を形成することと、を含む蒸着マスクの製造方法であって、 前記金属板を構成する材料は、ニッケルまたは鉄ニッケル合金であり、 前記金属板が有する厚みは、１０μｍ以上５０μｍ以下であり、 前記金属板の長さ方向での各位置における前記金属板の幅方向に沿った形状は、相互に異なっており、各形状は、前記金属板の幅方向に繰り返す波を有し、 前記波における一方の谷から他方の谷までを結ぶ幅方向の直線の長さが波の長さであり、 前記波の長さに対する前記波の高さの百分率が単位急峻度であり、 前記長さ方向における単位長さが、５００ｍｍであり、 前記単位長さの金属板における単位急峻度の最大値が、第１急峻度であり、 前記第１急峻度が、０．５％以下である 蒸着マスクの製造方法。 【請求項７】 前記マスク部を形成することは、単一の前記金属板に複数の前記マスク部を形成することであり、 前記各マスク部が、前記複数の孔を有した１つの側面を別々に備え、 前記各マスク部の側面と、１体のフレーム部とを、前記複数の孔を前記マスク部ごとに前記１体のフレーム部が囲うように、相互に接合することをさらに含む 請求項６に記載の蒸着マスクの製造方法。 【請求項８】 請求項６または７に記載の蒸着マスクの製造方法による蒸着マスクを準備することと、 前記蒸着マスクを用いた蒸着によってパターンを形成することとを含む 表示装置の製造方法。」 第４ 特許異議申立理由の概要 １ 申立人村野による特許異議申立理由の概要 ここでいう甲第１号証～甲第３０号証の２は、申立人村野により提出された、後記（４）に記載された甲第１号証～甲第３０号証の２である。 （１） 特許法第３６条第４項第１号所定の規定違反（実施可能要件違反）、同法同条第６項第１号所定の規定違反（サポート要件違反）について ア 本件特許明細書の発明の詳細な説明には、「第１急峻度」を「０．５％以下」とする際の圧延条件やアニール温度が記載されておらず、当業者は、本件訂正前の特許請求の範囲の請求項１～８を実施する際に過度な試行錯誤を強いられるし、仮に、圧延条件やアニール温度が特定されたとしても、「第１急峻度」が制御できること自体に疑義があるから、発明の詳細な説明は、当業者が前記請求項１～８に係る発明を実施することができる程度に明確かつ十分に記載したものでないので、実施可能要件を満たさない。 更に、「第２急峻度の平均値」、「単位長さあたりの波数の最大値」（以下、「波数の最大値」という。）及び「単位長さあたりの波数の平均値」（以下、「波数の平均値」という。）について検討しても事情は同じである（特許異議申立書１１１ページ３行～１１８ページ下から３行目）。 イ 本件特許明細書の発明の詳細な説明には、「蒸着マスク用基材」にドライフィルムレジスト等を貼り付ける条件について十分に記載されていないから、発明の詳細な説明は、当業者が本件訂正前の特許請求の範囲の請求項１～８に係る発明を実施することができる程度に明確かつ十分に記載したものでないので、実施可能要件を満たさない。 本件訂正前の特許請求の範囲の請求項１～８において、「蒸着マスク用基材」とドライフィルムレジストとの位置ズレの抑制や密着性の向上に関与する工程や条件が特定されていないから、本件訂正前の特許請求の範囲の記載はサポート要件を満たさない（特許異議申立書１１８ページ下から２行目～１２１ページ下から７行目）。 ウ 甲第１０号証（１３０ページ）の伸び差率と急峻度の関係式によれば、甲第１９号証の段落【０１３０】【表１】の比較例１及び３は、「第１急峻度」が「０．５％以下」を満たすが、孔の幅方向の開口径のばらつきの評価が×評価となっているし、甲第９号証の【図２７】には、比較例１の長手方向の波の急峻度の最大値が０．５％以下となることが記載されており、このとき、幅方向の波の「第１急峻度」も「０．５％以下」である蓋然性が高いが、前記比較例１のパターン精度のばらつきも×評価となっているから、本件訂正前の特許請求の範囲の請求項１～８に係る発明は、本件特許に係る発明の課題を解決しないものを含むので、本件訂正前の特許請求の範囲の記載はサポート要件を満たさない。 更に、「第２急峻度の平均値」、「波数の最大値」及び「波数の平均値」について検討しても事情は同じである（特許異議申立書１２１ページ下から６行目～１２８ページ最終行）。 エ 当業者は、「蒸着マスク用基材」が、本件特許明細書の段落【００２７】に記載された［条件１］を満たすとしても、それが「蒸着マスク用基材」の長さ方向における孔の均一性が向上することとどのように関係しているのかを理解できない。 また、エッチングにより形成される孔の精度は、エッチング液の組成や温度、スプレイ圧等に大きく影響されるのに、発明の詳細な説明には、「蒸着マスク用基材」のエッチング条件について十分に記載されておらず、当業者が「蒸着マスク用基材」を使用できる程度に記載されていないから、発明の詳細な説明の記載は実施可能要件を満たさないし、本件訂正前の特許請求の範囲にも、「蒸着マスク用基材」のエッチング条件について記載されていないから、課題が解決できることを当業者が認識できる範囲を超えるので、本件訂正前の特許請求の範囲の記載はサポート要件を満たさない。 更に、本件訂正前の特許請求の範囲の請求項１～８に係る発明は、エッチングとしてドライエッチングも含むが、ドライエッチングはエッチング液を用いないから、本件訂正前の特許請求の範囲の記載は、課題が解決できることを当業者が認識できる範囲を超えるので、サポート要件を満たさないし、当業者はドライエッチングで本件訂正前の特許請求の範囲の請求項１～８に係る発明を実施できないので、実施可能要件を満たさない。 また、現像やレジスト層の剥離、剥離液の洗浄は、前記条件１～４と無関係であるから、前記条件１～４は課題と無関係であるので、本件訂正前の特許請求の範囲の記載はサポート要件を満たさない。（特許異議申立書１２９ページ１行～１４６ページ１０行）。 オ 本件特許明細書の段落【０１０８】【表１】に記載された実施例には、開口径について具体的な数値が記載されていないので、実際に実験が行われたか否か疑わしいし、前記実施例において、「蒸着マスク用基材」が目標となる設計値のとおりに製造されているかがわからないから、前記実施例により課題を解決できるものとはいえない。 すると、本件訂正前の特許請求の範囲の記載は、課題が解決できることを当業者が認識できる範囲を超えるので、サポート要件を満たさない。（特許異議申立書１４６ページ１１行～１４７ページ１８行）。 カ 本件訂正前の特許請求の範囲の請求項１～８においては、「第１急峻度」の計測範囲について特定されていないから、「第１急峻度」は「蒸着マスク用基材」の全体で満たされるものと解されるが、本件特許明細書の発明の詳細な説明には非計測範囲を設けるものしか記載されていないので、本件訂正前の特許請求の範囲の記載はサポート要件を満たさないし、当業者は、「蒸着マスク用基材」の全体で所定の「第１急峻度」のものを製造することができないので、発明の詳細な説明の記載は実施可能要件を満たさない。 なお、スリットにより切断されるのは長さ方向の端縁であるため、幅方向の端縁を測定範囲から除くことの合理性を理解できないし、「第１急峻度」の測定において非計測範囲を設定するということは、「蒸着マスク用基材」の幅方向端縁付近に発生した波形状を考慮しないということであり、このとき、非計測範囲に発生した波形状によりドライレジストとの貼り合わせの際、搬送ズレ等が生じたり、現像液がよどんで、孔が不均一となったりし得るから、発明の課題を解決しない「蒸着マスク用基材」も権利範囲に含めるということであるので、本件訂正前の特許請求の範囲の記載は、発明の課題が解決できることを認識できるように記載された範囲を超えており、サポート要件を満たさない（特許異議申立書１４７ページ１９行～１５１ページ１３行）。 （２） 特許法第３６条第６項第２号所定の規定違反（明確性要件違反）について ア 本件訂正前の特許請求の範囲の請求項１～８においては、幅方向の非計測範囲が特定されておらず、「第１急峻度」を「蒸着マスク用基材」の幅方向のどのような範囲で測定するのかが特定されていないから、「第１急峻度」が特定できないので、本件訂正前の特許請求の範囲の記載は明確性要件を満たさない。 更に、「第２急峻度の平均値」、「波数の最大値」及び「波数の平均値」について検討しても事情は同じである（特許異議申立書１５２ページ３行～１５３ページ１８行）。 イ 「第１急峻度」は測定間隔により変化するのに、本件訂正前の特許請求の範囲の請求項１～８においてはこれらの測定間隔が特定されていないから、「第１急峻度」が不明確であるので、本件訂正前の特許請求の範囲の記載は明確性要件を満たさない。 更に、「第２急峻度の平均値」、「波数の最大値」及び「波数の平均値」について検討しても事情は同じである（特許異議申立書１５３ページ１９行～１５４ページ７行）。 ウ 本件特許明細書の段落【００２５】には、「なお、幅方向ＤＷの端に波のピークが位置する場合には・・・」と記載されているが、実施例では、幅方向の両端は計測範囲から外して計測しており、「幅方向ＤＷの端」まで表面位置を計測していないから、「幅方向ＤＷの端」に波のピークが位置しているか否かは知り得ない。 また、波のピークであるか否かは、当該ピークを過ぎる範囲まで見えなければ判断できないから、「幅方向ＤＷの端」に波があるとしても、その波がピークであるか否かは判断できないし、「幅方向ＤＷの端」又は計測範囲の端の位置が、波のピーク、波のピーク付近、波の中程度の高さ、あるいは波の根元であった場合に、それぞれにおいて、波の数にカウントするのか否かが明らかでなく、谷やピーク付近の複数の表面位置のデータが高低に震動している場合や、連続して同じであった場合に、どの位置を谷やピークにするのかが不明であるから、具体的な状況において、谷やピークをどのように決定するのかが明らかでないので、本件訂正前の特許請求の範囲の記載は明確性要件を満たさない（特許異議申立書１５４ページ８行～１５５ページ下から５行目）。 （３） 特許法第２９条第１項第３号、第２項所定の規定違反（新規性、進歩性欠如）について ア 本件訂正前の特許請求の範囲の請求項１～５に係る発明は、甲第１１号証に記載された発明である。 本件訂正前の特許請求の範囲の請求項１～８に係る発明は、甲第１１号証に記載された発明に基づいて、又は、甲第１１号証に記載された発明及び本件特許の原出願の出願日当時の周知技術に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものである（特許異議申立書１５６ページ３行～１６４ページ最終行）。 イ 本件訂正前の特許請求の範囲の請求項１～６及び８に係る発明は、甲第１２号証に記載された発明である。 本件訂正前の特許請求の範囲の請求項１～８に係る発明は、甲第１２号証に記載された発明に基づいて、又は、甲第１２号証に記載された発明及び原出願の出願日当時の周知技術に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものである（特許異議申立書１６５ページ１行～１７３ページ最終行）。 ウ 本件訂正前の特許請求の範囲の請求項１～５に係る発明は、甲第２０号証に記載された発明である。 本件訂正前の特許請求の範囲の請求項１～８に係る発明は、甲第２０号証に記載された発明に基づいて、又は、甲第２０号証に記載された発明及び原出願の出願日当時の周知技術に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものである（特許異議申立書１７４ページ１行～１８１ページ最終行）。 エ 本件訂正前の特許請求の範囲の請求項１～８に係る発明は、甲第２１号証に記載された発明に基づいて、又は、甲第２１号証に記載された発明及び本件特許の原出願の出願日当時の周知技術に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものである（特許異議申立書１８２ページ１行～１８８ページ最終行）。 オ 本件訂正前の特許請求の範囲の請求項１～８に係る発明は、甲第２２号証に記載された発明に基づいて、又は、甲第２２号証に記載された発明及び原出願の出願日当時の周知技術に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものである（特許異議申立書１８９ページ１行～１９５ページ最終行）。 （４） 証拠方法 甲第１号証：特許第６９８８５６５号公報 甲第２号証：教育分科会編，「フォトファブリケーション実務入門読本第７版」，日本フォトファブリケーション協会，平成１６年６月，目次，ｐ．３０－４９ 甲第３号証：教育分科会編，「フォトファブリケーション実務入門読本第８版」，日本フォトファブリケーション協会，平成２０年６月，目次，ｐ．３２－５５ 甲第４号証の１：日本フォトファブリケーション協会の基礎技術セミナーのホームページ，［online］，２０２０年１月１５日，http://www.jpfa.jp/school.html 甲第４号証の２：日本フォトファブリケーション協会の第１６回実務入門セミナーのホームページ，［online］，２０２０年１月１５日，http://www.jpfa.jp/school_16.html 甲第４号証の３：日本フォトファブリケーション協会の第１７回実務入門セミナーのホームページ，［online］，２０２０年１月１５日，http://www.jpfa.jp/school_17.html 甲第４号証の４：日本フォトファブリケーション協会の第１８回実務入門セミナーのホームページ，［online］，２０２０年１月１５日，http://www.jpfa.jp/school_18.html 甲第４号証の５：日本フォトファブリケーション協会の第１９回実務入門セミナーのホームページ，［online］，２０２０年１月１７日，http://www.jpfa.jp/school_19.html 甲第４号証の６：日本フォトファブリケーション協会の第２０回実務入門セミナーのホームページ，［online］，２０２０年１月１７日，http://www.jpfa.jp/school_20.html 甲第４号証の７：日本フォトファブリケーション協会の第２１回実務入門セミナーのホームページ，［online］，２０２０年１月１７日，http://www.jpfa.jp/school_21.html 甲第４号証の８：日本フォトファブリケーション協会の第２２回実務入門セミナーのホームページ，［online］，２０２０年１月１７日，http://www.jpfa.jp/school_22.html 甲第４号証の９：日本フォトファブリケーション協会の第２３回実務入門セミナー（基礎技術セミナー）のホームページ，［online］，２０２０年１月１７日，http://www.jpfa.jp/school_23.html 甲第４号証の１０：日本フォトファブリケーション協会の第２４回基礎技術セミナー（旧称：実務入門セミナー）のホームページ，［online］，２０２０年１月１７日，http://www.jpfa.jp/school_24.html 甲第４号証の１１：日本フォトファブリケーション協会の第２５回（平成２７年度）基礎技術セミナーのホームページ，［online］，２０２０年１月１７日，http://www.jpfa.jp/school_25.html 甲第５号証：特開２００９－７４１６０号公報 甲第６号証：橋本貴夫著，「図解・フォトファブリケーション －精密・微細加工入門－」，第１版，総合電子出版社，昭和６１年７月１０日，もくじ，ｐ．１，１４２－１４３，１７６－１８１，１８８－１９１ 甲第７号証：特公昭６０－７７０９号公報 甲第８号証の１：村野親，エッチングにおいてスプレイ方式により液体を供給する場合のイメージ動画，２０２０年１０月１２日 甲第８号証の２：村野親，甲第８号証の１の動画撮影報告書，２０２０年１０月１２日 甲第９号証：特許第６３１９５０５号公報 甲第１０号証：雲英洋一ら，「冷間圧延における形状制御と空気軸受式形状計」，ＩＨＩ技報，２００８年６月，Ｖｏｌ．４８，Ｎｏ．２，ｐ．１２９－１３５ 甲第１１号証：特開２０１７－６４７６３号公報 甲第１２号証：特開２０１５－５５００７号公報 甲第１３号証：特開２０１７－８８９３６号公報 甲第１４号証：特許第６１２００３８号公報 甲第１５号証：特開２０１６－８４０号公報 甲第１６号証：特開２００６－３３１９７３号公報 甲第１７号証：特開２００５－１５８３１９号公報 甲第１８号証：国際公開第２０１７／１５４９８１号 甲第１９号証：特許第６２９９９２１号公報 甲第２０号証：特開平１１－２２９０４０号公報 甲第２１号証：特開平１０－２０４５４１号公報 甲第２２号証：特開平１０－６０５２５号公報 甲第２３号証：特開２０１７－１８１８９４号公報 甲第２４号証：特開２０１７－１８１８９３号公報 甲第２５号証：特開２０１７－６４７６４号公報 甲第２６号証：特開２０１５－１９３８７１号公報 甲第２７号証：特開２０１０－２１４４４７号公報 甲第２８号証：特開２００９－２９９１７０号公報 甲第２９号証の１：エバーロイ商事株式会社，動画投稿サイトＹｏｕＴｕｂｅに投稿された「ミストヘッダーＷＰ型」と題する動画，２０１５年４月１４日 甲第２９号証の２：エバーロイ商事株式会社のホームページ，［online］，令和４年１２月１６日，＜https://www.everloy-spray-nozzles.com/solvieng_industry/electronics/＞ 甲第３０号証の１：株式会社いけうち，動画投稿サイトＹｏｕＴｕｂｅに投稿された「【霧のいけうち】細霧・中霧発生ノズルーＶＶＥＡ」と題する動画，２０１１年９月２９日 甲第３０号証の２：株式会社いけうちのホームページ，［online］，令和４年１２月１６日，＜https://www.kirinoikeuchi.co.jp/1p/summary/＞ なお、甲第２９号証の１～甲第３０号証の２は、村野意見書に添付して提出されたものである。 ２ 申立人山田による特許異議申立理由の概要 ここでいう甲第１号証、甲第２号証は、申立人山田により提出された、後記（３）に記載された甲第１号証、甲第２号証である。 （１） 特許法第３６条第４項第１号所定の規定違反（実施可能要件違反）について 本件特許明細書の発明の詳細な説明には、本件訂正前の特許請求の範囲の請求項１に係る「蒸着マスク用基材」の圧延を用いた製造方法において、「前記第１急峻度が、０．５％以下である蒸着マスク用基材」を製造するための具体的な条件が記載されていないから、発明の詳細な説明は、当業者が前記請求項１に係る発明を実施することができる程度に明確かつ十分に記載したものでない。そして、同請求項２～８について検討しても事情は同じであるので、発明の詳細な説明は実施可能要件を満たさない（特許異議申立書８ページ下から６行～１１ページ１０行）。 （２） 特許法第２９条第１項第３号、第２項所定の規定違反（新規性、進歩性欠如）について 本件発明１～８は、甲第１号証に記載された発明であるか、甲第１号証に記載された発明に基づいて、又は、甲第１号証に記載された発明及び甲第２号証に記載された事項に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものである（特許異議申立書１１ページ１１行～２４ページ最終行）。 （３） 証拠方法 甲第１号証：特開２０１５－５５００７号公報 甲第２号証：特開平１０－２０４５４１号公報 第５ 取消理由の概要 １ 令和４年９月２７日付け取消理由通知書の取消理由 （１） 特許法第３６条第６項第１号所定の規定違反（サポート要件違反）について 本件特許に係る発明の課題は、蒸着マスクを製造する際に、「蒸着マスク用基材」をエッチング液でエッチングすることで生じる課題といえるから、本件特許に係る発明は、そもそも、「蒸着マスク用基材」をエッチング液でエッチングすることを前提としたものといえるが、本件訂正前の特許請求の範囲の請求項１には、蒸着マスクを製造する際に、「蒸着マスク用基材」をエッチング液でエッチングすることは特定されていない。 すると、前記請求項１に係る発明は、前記前提に基づかない、本件特許に係る発明の課題と無関係のものまで包含するので、発明の詳細な説明に記載された発明とはいえないのであり、本件訂正前の特許請求の範囲の請求項２～８に係る発明ついて検討しても事情は同じであるから、本件訂正前の特許請求の範囲の記載は、特許法第３６条第６項第１号所定の規定に適合しない。 （２） 特許法第３６条第６項第２号所定の規定違反（明確性要件違反）について 本件訂正前の特許請求の範囲の請求項１に係る発明の「蒸着マスク用基材」は、長さ方向ＤＬから見て、急な傾きを伴う突出、あるいは、窪みによる波が存在しないようにするものであるから、谷付近において、表面位置が測定される各位置のデータが同じ値となる場合が当然に想定されるのであるが、本件特許明細書には、その場合に、谷の位置をどのようにして決定するのかが記載されていないから、当業者は、波における一方の谷から他方の谷までを結ぶ幅方向ＤＷでの直線の長さ、すなわち波の長さＬ１，Ｌ２，Ｌ３を特定することができない。 そして、波の長さＬ１，Ｌ２，Ｌ３を特定できない場合、「蒸着マスク用基材」の「単位急峻度」、すなわち高さＨＷ１/長さＬ１×１００（％）、高さＨＷ２/長さＬ２×１００（％）、及び、高さＨＷ３/長さＬ３×１００（％）も特定できないから、結局のところ、前記請求項１に係る発明における「第１急峻度」も特定することができない。 また、同様の理由により、前記請求項１に係る発明の「蒸着マスク用基材」は、ピーク付近において、表面位置が測定される各位置のデータが同じ値となる場合も当然に想定されるのであるが、本件特許明細書には、その場合に、ピークの位置をどのようにして決定するのかが記載されていないから、当業者は、その場合のピークの位置を特定することができない。 更に、前記請求項１に係る発明においては、幅方向ＤＷの端に波のピークが位置する場合には、幅方向ＤＷにおいて、波の長さは、ピークから波の谷までの長さの二倍として推定するものであるが、ピーク付近において表面位置が測定される各位置のデータが同じ値となる場合のピークの位置を特定することができないことは前記のとおりであるし、本件特許明細書には、谷付近において表面位置が測定される各位置のデータが同じ値となる場合に、谷の位置をどのようにして決定するのかが記載されていないことも前記のとおりであるから、当業者は、この場合も、ピークから波の谷までの長さを特定できず、これに基づいて波の長さを特定することもできないので、結局のところ、前記請求項１に係る発明における「第１急峻度」を特定することができない。 したがって、谷付近やピーク付近において表面位置が測定される各位置のデータが同じ値となる場合、当業者は、前記請求項１に係る発明における「第１急峻度」を特定することができないから、前記請求項１に係る発明が明確であるとはいえない。 更に、本件訂正前の特許請求の範囲の請求項２～８に係る発明について検討しても事情は同じであるから、本件訂正前の特許請求の範囲の記載は、特許法第３６条第６項第２号所定の規定に適合しない。 （３） 特許法第３６条第４項第１号所定の規定違反（実施可能要件違反）について 本件訂正前の特許請求の範囲の請求項５に係る発明における圧延の条件は、前記請求項５に係る発明を実施するにあたって明らかにされなければならないものであるのに、本件特許明細書の発明の詳細な説明には、圧延の具体的な条件は全く記載されていないし、そのような圧延の条件が技術常識から明らかであるということもできないから、本件特許明細書の発明の詳細な説明の記載は、当業者が前記請求項５に係る発明を実施できる程度に記載したものとはいえないので、特許法第３６条第４項第１号所定の規定に適合しない。 ２ 令和５年３月２８日付け取消理由通知書（決定の予告）の取消理由 （１） 特許法第３６条第６項第２号所定の規定違反（明確性要件違反）について 本件発明に係る「蒸着マスク用基材」は、長さ方向ＤＬから見て、急な傾きを伴う突出、あるいは、窪みによる波が存在しないようにするものであるから、谷付近において、表面位置が測定される各位置のデータが同じ値となる場合が当然に想定されるのであるが、本件特許明細書には、その場合に、谷の位置をどのようにして決定するのかが記載されていないから、当業者は、波における一方の谷から他方の谷までを結ぶ幅方向ＤＷでの直線の長さ、すなわち波の長さＬ１，Ｌ２，Ｌ３を特定することができない。 そして、波の長さＬ１，Ｌ２，Ｌ３を特定できない場合、「蒸着マスク用基材」の「単位急峻度」、すなわち高さＨＷ１/長さＬ１×１００（％）、高さＨＷ２/長さＬ２×１００（％）、及び、高さＨＷ３/長さＬ３×１００（％）も特定できないから、結局のところ、本件発明１における「第１急峻度」も特定することができない。 また、同様の理由により、本件発明に係る「蒸着マスク用基材」は、ピーク付近において、表面位置が測定される各位置のデータが同じ値となる場合も当然に想定されるのであるが、本件特許明細書には、その場合に、ピークの位置をどのようにして決定するのかが記載されていないから、当業者は、その場合のピークの位置を特定することができない。 更に、本件発明においては、幅方向ＤＷの端に波のピークが位置する場合には、幅方向ＤＷにおいて、波の長さは、ピークから波の谷までの長さの二倍として推定するものであるが、ピーク付近において表面位置が測定される各位置のデータが同じ値となる場合のピークの位置を特定することができないことは前記のとおりであるし、本件特許明細書には、谷付近において表面位置が測定される各位置のデータが同じ値となる場合に、谷の位置をどのようにして決定するのかが記載されていないことも前記のとおりであるから、当業者は、この場合も、ピークから波の谷までの長さを特定できず、これに基づいて波の長さを特定することもできないので、結局のところ、本件発明１における「第１急峻度」を特定することができない。 したがって、谷付近やピーク付近において表面位置が測定される各位置のデータが同じ値となる場合、当業者は、本件発明１における「第１急峻度」を特定することができないから、本件発明１が明確であるとはいえない。 更に、本件発明２～４、６～８について検討しても事情は同じであるから、本件特許請求の範囲の記載は明確性要件に適合しない。 第６ 取消理由及び特許異議申立理由について 事案に鑑み、取消理由及び特許異議の申立て理由についてまとめて検討する。 １ 特許法第３６条第６項第１号所定の規定違反（サポート要件違反）、同法同条第４項第１号所定の規定違反（実施可能要件違反）について （１） サポート要件及び実施可能要件の判断手法 ア サポート要件の判断手法 特許請求の範囲の記載がサポート要件に適合するか否かは、特許請求の範囲の記載と発明の詳細な説明の記載とを対比し、特許請求の範囲に記載された発明が、発明の詳細な説明に記載された発明で、発明の詳細な説明の記載又はその示唆により当業者が当該発明の課題を解決できると認識できる範囲のものであるか否か、また、その記載や示唆がなくとも当業者が出願時の技術常識に照らし当該発明の課題を解決できると認識できる範囲のものであるか否かを検討して判断すべきものである。 イ 実施可能要件違反の判断手法 明細書の発明の詳細な説明の記載が、実施可能要件に適合するか否かは、明細書の発明の詳細な説明に、当業者が、明細書の発明の詳細な説明の記載及び出願当時の技術常識に基づいて、過度の試行錯誤を要することなく、その発明を実施することができる程度に発明の構成等の記載があるか否かという観点から判断すべきものである。 そして、物の発明における実施とは、その物の生産、使用等をする行為をいうから（特許法第２条第３項第１号）、例えば、明細書等にその物を生産することができる具体的な記載があるか、そのような記載がなくても、出願時の技術常識に基づいて当業者がその物を生産することができるのであれば、実施可能要件を満たすということができる。 また、物を生産する方法の発明における実施とは、その物を生産する方法の使用をする行為のほか、その方法により生産した物の使用等をする行為をいうから（特許法第２条第３項第３号）、例えば、明細書等にその物を生産する方法を使用することができることの具体的な記載があるか、そのような記載がなくても、出願時の技術常識に基づいて当業者がその物を生産する方法を使用することができるのであれば、実施可能要件を満たすということができる。 （２） サポート要件についての一般的な判断 ア 始めに、サポート要件について、前記（１）アのサポート要件の判断手法にのっとって検討すると、本件特許明細書には、以下の（ア）～（カ）の記載がある（当審注：下線は当審が付与した。また、「・・・」は記載の省略を表す。以下、同様である。）。 （ア） 「【０００１】 本発明は、蒸着マスク用基材、蒸着マスク用基材の製造方法、蒸着マスクの製造方法、および、表示装置の製造方法に関する。 【背景技術】 【０００２】 蒸着マスクは、第１面と第２面とを備える。第１面は、基板などの対象物と対向し、第２面は、第１面とは反対側に位置する。第１面から第２面までを貫通する孔は、第１面に位置する第１開口と、第２面に位置する第２開口とを備える。第２開口から孔に入る蒸着物質は、第１開口の位置や第１開口の形状に追従したパターンを対象物に形成する（例えば、特許文献１を参照）。 ・・・ 【発明の概要】 【発明が解決しようとする課題】 【０００４】 蒸着マスクが備える孔は、第１開口から第２開口に向けて拡大する断面積を有し、それによって、第２開口から孔に入る蒸着物質の数量を高めて、第１開口に到達する蒸着物質の数量を確保する。一方、第２開口から孔に入る蒸着物質の一部は、第１開口に到達せずに、孔を区画する壁面に少なからず付着する。壁面に付着した蒸着物質は、他の蒸着物質による孔の通過を妨げて、パターンが有する寸法の精度を低下させる。 【０００５】 近年では、壁面に付着する蒸着物質の体積を低下させることを目的として、蒸着マスクの厚みを薄くし、壁面の面積そのものを縮小させることが検討されている。そして、蒸着マスクの厚みを薄くする技術として、蒸着マスクを製造するための基材である金属板の厚みそのものを薄くすることが検討されている。 【０００６】 他方、金属板に孔を形成するエッチングの工程では、金属板の厚みが薄くなるほど、除去される金属の体積が小さくなる。そのため、金属板にエッチング液を供給する時間や、供給されるエッチングの温度などの加工条件で許容範囲が狭くなり、結果として、第１開口や第２開口の寸法に十分な精度を得られがたくなっている。特に、金属板を製造する技術では、ローラーによって母材を延ばす圧延や、電極に析出した金属板を電極から剥がす電解が用いられ、金属板そのものに波形状が形成されている。こうした形状を有する金属板は、金属板とエッチング液との接触する時間を、例えば、波形状の山部と波形状の谷部との間で大きく異ならせて、上記許容範囲の狭小化に伴う精度の低下をさらに深刻化させている。以上のように、蒸着マスクの厚みを薄くする技術は、壁面に付着する蒸着物質の量を低下させて、それによって、蒸着の繰り返しでのパターンの寸法の精度を高められるが、蒸着ごとでは、パターンの寸法に必要な精度を得られがたい課題を新たに招来させている。 【０００７】 本発明の目的は、蒸着によって形成されるパターンの精度を向上可能とした蒸着マスク用基材、蒸着マスク用基材の製造方法、蒸着マスクの製造方法、および、表示装置の製造方法を提供することである。」 （イ） 「【課題を解決するための手段】 【０００８】 上記課題を解決するための蒸着マスク用基材は、複数の孔がエッチングによって形成されて蒸着マスクの製造に用いられる、帯状を有した金属板である蒸着マスク用基材であって、前記金属板の長さ方向での各位置における前記金属板の幅方向に沿った形状は、相互に異なっており、各形状は、前記金属板の幅方向に繰り返す波を有し、前記波における一方の谷から他方の谷までを結ぶ幅方向の直線の長さが波の長さであり、前記波の長さに対する前記波の高さの百分率が単位急峻度であり、前記長さ方向における単位長さが、５００ｍｍであり、前記単位長さの金属板における単位急峻度の最大値が、第１急峻度であり、前記第１急峻度が、０．５％以下である。 ・・・ 【００１１】 上記蒸着マスク用基材によれば、単位長さにおける金属板の幅方向での急峻度の最大値が０．５以下であるため、長さ方向に搬送される蒸着マスク用基材の表面に液体を供給するとしても、蒸着マスク用基材の表面で均一に液体を流しやすい。結果として、長さ方向に搬送される蒸着マスク用基材の表面に供給された液体が長さ方向の一部で淀むことが抑えられる。そして、エッチング液などの液体による処理を用いた長さ方向での加工の均一性、すなわち、蒸着マスク用基材が有する孔の長さ方向での均一性、ひいては、蒸着によって形成されるパターンの精度を向上することが可能となる。」 （ウ） 「【００２２】 ［急峻度］ 蒸着マスク用基材１が水平面に載置された状態において、水平面に対する蒸着マスク用基材１の表面の位置（高さ）が表面位置である。 図２が示すように、表面位置の計測では、まず、圧延された、もしくは電解で作製された金属板の幅方向ＤＷでの寸法が幅Ｗとなるように、金属板が切断されて、帯状を有した金属板である蒸着マスク用基材１がロール状に巻き回される。次いで、蒸着マスク用基材１が幅方向ＤＷの全体（全幅）において切断されるスリット工程が実施されて、蒸着マスク用基材１の長さ方向ＤＬにおける一部分として、測定用基材２Ｍが切り出される。測定用基材２Ｍの幅方向ＤＷでの幅Ｗは、蒸着マスク用基材１の幅方向ＤＷでの寸法と等しい。次いで、測定用基材２Ｍの表面２Ｓについて、長さ方向ＤＬの所定の間隔ごとに、幅方向ＤＷの各位置での表面位置が計測される。表面位置が計測される範囲は、計測範囲ＺＬである。 【００２３】 計測範囲ＺＬは、測定用基材２Ｍの長さ方向ＤＬでの両方の端部である非計測範囲ＺＥを除く範囲である。計測範囲ＺＬは、測定用基材２Ｍの幅方向ＤＷでの両端部である図示されない非計測範囲を除く範囲でもある。蒸着マスク用基材１を切断するスリット工程は、蒸着マスク用基材１とは異なる新たな波形状を測定用基材に形成し得る。各非計測範囲ＺＥの長さ方向ＤＬでの長さは、こうした新たな波形状が形成され得る範囲であり、表面位置の測定からは除外される範囲である。各非計測範囲ＺＥが有する長さ方向ＤＬでの長さは、例えば、１００ｍｍである。幅方向においても、スリット工程による新たな波形状を除外するため、非計測範囲の幅方向ＤＷでの長さは、幅方向ＤＷの端から、例えば、１０ｍｍである。 【００２４】 図３は、測定用基材２Ｍの幅方向ＤＷの各位置での表面位置の一例を示すグラフであり、測定用基材２Ｍの幅方向ＤＷを含む断面での断面構造と共に表面位置を示す図である。なお、図３では、長さ方向ＤＬの各部位のうち、幅方向ＤＷに３つの波を有する部位の例を示す。 【００２５】 図３が示すように、表面位置が測定される幅方向ＤＷの各位置は、蒸着マスク用基材１の波形状を引き写すことの可能な間隔で並ぶ。表面位置が測定される幅方向ＤＷの各位置は、例えば、幅方向ＤＷに１ｍｍ以上２０ｍｍ以下の間隔で並ぶ。幅方向ＤＷでの各位置の表面位置を結ぶ線ＬＣは、蒸着マスク用基材１の表面に沿う線と見なされ、線ＬＣの長さは、蒸着マスク用基材１の表面での沿面距離である。線ＬＣに含まれる各波において、波における一方の谷から他方の谷までを結ぶ幅方向ＤＷでの直線の長さは、波の長さＬ１，Ｌ２，Ｌ３である。線ＬＣに含まれる各波において、波における谷間を結ぶ直線に対する高さは、波の高さＨＷ１，ＨＷ２，ＨＷ３である。蒸着マスク用基材１の単位急峻度は、波の長さに対する波の高さの百分率であり、図３に示す例では、高さＨＷ１/長さＬ１×１００（％）、高さＨＷ２/長さＬ２×１００（％）、および、高さＨＷ３/長さＬ３×１００（％）である。なお、幅方向ＤＷの端に波のピークが位置する場合には、幅方向ＤＷにおいて、波の長さは、ピークから波の谷までの長さの二倍として推定する。 【００２６】 蒸着マスク用基材１の長さ方向ＤＬでの単位長さは、５００ｍｍである。 蒸着マスク用基材１の第１急峻度は、単位長さ、および、幅Ｗのなかに含まれる全ての波の単位急峻度における最大値である。 蒸着マスク用基材１の第２急峻度は、長さ方向ＤＬでの各位置に含まれる全ての波での単位急峻度の最大値である。すなわち、蒸着マスク用基材１の第１急峻度は、単位長さにおける第２急峻度の最大値でもある。 蒸着マスク用基材１の波数は、長さ方向ＤＬの各位置での全ての波の数である。 【００２７】 蒸着マスク用基材１の第１急峻度は、下記［条件１］を満たす。蒸着マスク用基材１の幅方向ＤＷでの急峻度では、第２急峻度が下記［条件２］を満たし、波数が［条件３］、および、［条件４］を満たすことが好ましい。 ［条件１］第１急峻度が０．５％以下である。 ［条件２］第２急峻度の平均値が０．２５％以下である。 ［条件３］単位長さあたりの波数の最大値が４個以下である。 ［条件４］単位長さあたりの波数の平均値が２個以下である。 【００２８】 ［条件１］を満たす蒸着マスク用基材１では、幅方向ＤＷでの急峻度である単位急峻度の最大値が０．５％以下であるため、長さ方向ＤＬから見て、急な傾きを伴う突出、あるいは、窪みによる波が存在しない。急な傾きを伴う突出や窪みでは、そこに供給される液体が周囲と比べて淀みやすく、こうした波が存在するか否かは、単位急峻度の平均値などでは得られがたい情報である。そのため、長さ方向ＤＬに搬送される蒸着マスク用基材１の表面に処理用の液体を供給するとしても、突出した波の周辺で液体が淀むことがなく、同じ処理を長さ方向ＤＬに繰り返すとしても、蒸着マスク用基材１の表面で均一に液体を流しやすい。結果として、蒸着マスク用基材の表面に供給された液体が長さ方向ＤＬの一部で淀むことが抑えられる。そして、エッチング液などの液体による処理を用いた長さ方向ＤＬでの加工の均一性、すなわち、蒸着マスク用基材１が有する孔の長さ方向ＤＬでの均一性、ひいては、蒸着によって形成されるパターンの精度を向上することが可能となる。」 （エ） 「【００９２】 ［実施例］ 図２２を参照して各実施例を説明する。 まず、インバーを材料とする母材１ａに圧延工程を施して金属板を形成し、次いで、幅方向ＤＷに所望の大きさが得られるように、金属板を切断するスリット工程を行い、圧延資材１ｂを形成した。続いて、圧延資材１ｂにアニール工程を施して、幅方向ＤＷの長さが５００ｍｍであり、かつ、厚さが２０μｍである実施例１の蒸着マスク用基材１を得た。 【００９３】 また、圧延ローラー５１，５２の回転速度と押圧力とを実施例１から変更し、その他の条件を実施例１の条件と同様に設定することによって、幅方向ＤＷの長さが５００ｍｍであり、かつ、厚さが２０μｍである実施例２の蒸着マスク用基材１を得た。 【００９４】 また、圧延ローラー５１，５２の間での押圧力を実施例１から変更し、その他の条件を実施例１の条件と同様に設定することによって、幅方向ＤＷの長さが５００ｍｍであり、かつ、厚さが５０μｍである実施例３の蒸着マスク用基材１を得た。 【００９５】 また、圧延ローラー５１，５２の数量を実施例１から変更し、その他の条件を実施例１の条件と同様に設定することによって、幅方向ＤＷの長さが５００ｍｍであり、かつ、厚さが２０μｍである実施例４の蒸着マスク用基材１を得た。 【００９６】 次いで、圧延ローラー５１，５２の数量および温度を実施例１、および、実施例４から変更し、その他の条件を実施例１の条件と同様に設定することによって、幅方向ＤＷの長さが５００ｍｍであり、かつ、厚さが２０μｍである比較例１の蒸着マスク用基材１を得た。 【００９７】 また、圧延ローラー５１，５２の数量および押圧力を実施例１、および、実施例３から変更し、その他の条件を実施例１の条件と同様に設定することによって、幅方向ＤＷの長さが５００ｍｍであり、かつ、厚さが２０μｍである比較例２の蒸着マスク用基材１を得た。 【００９８】 また、圧延ローラー５１，５２の数量および押圧力を実施例１から変更し、その他の条件を実施例１の条件と同様に設定することによって、幅方向ＤＷの長さが５００ｍｍであり、かつ、厚さが２０μｍである比較例３の蒸着マスク用基材１を得た。 【００９９】 次いで、図２２が示すように、長さ方向ＤＬの長さが７００ｍｍである測定用基材２Ｍを、各実施例の蒸着マスク用基材１、および、各比較例の蒸着マスク用基材１から切り出した。続いて、切り出された各測定用基材２Ｍの幅方向ＤＷでの急峻度を、計測範囲ＺＬの全体にわたり測定した。この際、幅方向ＤＷでの急峻度の測定条件として、以下に示す条件を用いた。 測定装置：株式会社ニコン製 ＣＮＣ画像測定システム ＶＭＲ－６５５５ 計測範囲ＺＬの長さ方向ＤＬの長さ ：５００ｍｍ（単位長さ） 非計測範囲ＺＥの長さ方向ＤＬの長さ ：１００ｍｍ 長さ方向ＤＬの測定間隔 ：２０ｍｍ 幅方向ＤＷの測定間隔 ：２０ｍｍ 【０１００】 なお、幅方向の測定は、スリット工程による新たな波形状を除外するため、幅方向ＤＷの両端から１０ｍｍを除き、幅方向ＤＷにおいて４８０ｍｍの範囲で実施した。すなわち、幅方向ＤＷに沿って２５点を計測し、この２５点を１ラインとして、長さ方向ＤＬに２６ラインを計測した。各実施例、および、各比較例のいずれの測定間隔においても、長さ方向ＤＬは、母材１ａが圧延によって引き延ばされる方向である。 各実施例１～４、および、比較例１～３について、第１急峻度、第２急峻度の平均値、波数の最大値、および、波数の平均値の測定結果を表１に示す。 【０１０１】 表１が示すように、実施例１の第１急峻度は０．４３％であり、［条件１］を満たすことが認められた。なお、実施例１における２６ラインのなかの４ラインについて、単位急峻度の最小値は０％であり、幅方向ＤＷでほとんど波を認められないことが認められた。実施例１における第２急峻度の平均値は０．２０％であり、［条件２］を満たすことが認められた。この際、第２急峻度の標準偏差σは０．１２％であることが認められた。実施例１における波数の最大値は４個であり、［条件３］を満たすことが認められた。また、実施例１における波数の平均値は１個であり、［条件４］を満たすことが認められた。 【０１０２】 実施例２の第１急峻度は０．２９％であり、［条件１］を満たすことが認められた。なお、実施例２における２６ラインのなかの５ラインについて、単位急峻度の最小値は０％であり、幅方向ＤＷでほとんど波を認められないことが認められた。実施例２における第２急峻度の平均値は０．１２％であり、［条件２］を満たすことが認められた。この際、第２急峻度の標準偏差σは０．０９％であることが認められた。実施例２における波数の最大値は３個であり、［条件３］を満たすことが認められた。また、実施例２における波数の平均値は１個であり、［条件４］を満たすことが認められた。 【０１０３】 実施例３の第１急峻度は０．３７％であり、［条件１］を満たすことが認められた。なお、実施例３における２６ラインのなかの７ラインについて、単位急峻度の最小値は０％であり、幅方向ＤＷでほとんど波を認められないことが認められた。実施例３における第２急峻度の平均値は０．１１％であり、［条件２］を満たすことが認められた。この際、第２急峻度の標準偏差σは０．１２％であることが認められた。実施例３における波数の最大値は３個であり、［条件３］を満たすことが認められた。また、実施例３における波数の平均値は１個であり、［条件４］を満たすことが認められた。 【０１０４】 実施例４の第１急峻度は０．４４％であり、［条件１］を満たすことが認められた。なお、実施例４における２６ラインのなかの１ラインについて、実施例４における単位急峻度の最小値は０％であり、幅方向ＤＷでほとんど波を認められないことが認められた。実施例４における第２急峻度の平均値は０．２２％であり、［条件２］を満たすことが認められた。この際、第２急峻度の標準偏差σは０．１１％であることが認められた。実施例４における波数の最大値は５個であり、［条件３］を満たさないことが認められた。また、実施例４における波数の平均値は２個であり、［条件４］を満たすことが認められた。 【０１０５】 比較例１の第１急峻度は０．９０％であり、［条件１］を満たさないことが認められた。なお、比較例１における単位急峻度の最小値は０．１１％であることが認められた。比較例１における第２急峻度の平均値は０．３３％であり、［条件２］を満たさないことが認められた。この際、第２急峻度の標準偏差σは０．１８％であることが認められた。比較例１における波数の最大値は８個であり、［条件３］を満たさないことが認められた。また、比較例１における波数の平均値は５個であり、［条件４］を満たさないことが認められた。なお、比較例１における波数の最小値は３個であることが認められた。 【０１０６】 比較例２の第１急峻度は１．３９％であり、［条件１］を満たさないことが認められた。なお、比較例２における単位急峻度の最小値は０．０６％であることが認められた。比較例２における第２急峻度の平均値は０．２８％であり、［条件２］を満たさないことが認められた。この際、第２急峻度の標準偏差σは０．２９％であることが認められた。比較例２における波数の最大値は５個であり、［条件３］を満たさないことが認められた。また、比較例２における波数の平均値は２個であり、［条件４］を満たすことが認められた。なお、比較例２における波数の最小値は１個であることが認められた。 【０１０７】 比較例３の第１急峻度は０．５８％であり、［条件１］を満たさないことが認められた。なお、比較例３における単位急峻度の最小値は０．０６％であることが認められた。比較例３における第２急峻度の平均値は０．３１％であり、［条件２］を満たさないことが認められた。この際、第２急峻度の標準偏差σは０．１４％であることが認められた。比較例３における波数の最大値は６個であり、［条件３］を満たさないことが認められた。また、比較例３における波数の平均値は４個であり、［条件４］を満たさないことが認められた。なお、比較例３における波数の最小値は１個であることが認められた。 【０１０８】 【表１】 ［図：0001404747000001.jpg］ 【０１０９】 ［パターンの精度］ 各実施例１～４、および、各比較例１～３の蒸着マスク用基材１を用い、蒸着マスク用基材１の第１面１Ｓａに、厚さが１０μｍの第１ＤＦＲ２を貼り着けた。次いで、第１ＤＦＲ２に露光マスクを接触させて露光する露光工程、次いで現像工程を施し、３０μｍの直径を有した複数の貫通孔２ａを、第１ＤＦＲ２に格子状に形成した。続いて、第１ＤＦＲ２をマスクとするエッチングを第１面１Ｓａに施して、格子状に位置する複数の孔３２Ｈを蒸着マスク用基材１に形成した。そして、蒸着マスク用基材１の幅方向ＤＷでの開口径を各孔３２Ｈについて計測した。各孔３２Ｈの幅方向ＤＷでの開口径のばらつきを表１に示す。なお、表１では、各孔３２Ｈが有する開口径のなかで、開口径の最大値と開口径の最小値との差が２．０μｍ以下である水準に○印を記載し、開口径の最大値と開口径の最小値との差が２．０μｍよりも大きい水準に×印を記載した。 【０１１０】 表１が示すように、実施例１～４では、開口径のばらつきがいずれも２．０μｍ以下であることが認められた。また、実施例１～４のなかでも、実施例１～３は、実施例４よりも、開口径のばらつきがさらに小さいことが認められた。他方、各比較例１～３では、開口径のばらつきがいずれも２．０μｍよりも大きいことが認められた。結果として、実施例１～４と比較例１～３との比較から、第１急峻度が０．５％以下であること、すなわち、［条件１］が満たされることによって、開口径のばらつきが抑えられることが認められた。また、第２急峻度の平均値が０．２５％以下であること、すなわち、［条件２］が満たされることによって、開口径のばらつきが抑えられることも認められた。」 （オ） 「【図２】 ［図：0001404747000002.jpg］ 」 （カ） 「【図３】 ［図：0001404747000003.jpg］ 」 イ 前記ア（ア）の記載によれば、本件発明は、蒸着マスク用基材、蒸着マスク用基材の製造方法、蒸着マスクの製造方法、および、表示装置の製造方法に関するものであって、近年では、壁面に付着する蒸着物質の体積を低下させることを目的として、蒸着マスクの厚みを薄くし、壁面の面積そのものを縮小させることが検討されており、蒸着マスクの厚みを薄くする技術として、蒸着マスクを製造するための基材である金属板の厚みそのものを薄くすることが検討されているのであるが、金属板に孔を形成するエッチングの工程では、金属板の厚みが薄くなるほど、除去される金属の体積が小さくなり、そのため、金属板にエッチング液を供給する時間や、供給されるエッチングの温度などの加工条件で許容範囲が狭くなり、結果として、第１開口や第２開口の寸法に十分な精度を得られがたくなっているものである。 特に、金属板を製造する技術では、ローラーによって母材を延ばす圧延や、電極に析出した金属板を電極から剥がす電解が用いられ、金属板そのものに波形状が形成されており、こうした形状を有する金属板は、金属板とエッチング液との接触する時間を、例えば、波形状の山部と波形状の谷部との間で大きく異ならせて、前記許容範囲の狭小化に伴う精度の低下をさらに深刻化させている、という課題（以下、「本件課題」という。）を有するものである。 ウ これに対して、前記ア（イ）、（ウ）（段落【００２５】～【００２８】）の記載によれば、本件発明は、複数の孔がエッチングによって形成されて蒸着マスクの製造に用いられる、帯状を有した金属板である「蒸着マスク用基材」であって、前記金属板の長さ方向での各位置における前記金属板の幅方向に沿った形状は、相互に異なっており、各形状は、前記金属板の幅方向に繰り返す波を有し、前記波における一方の谷から他方の谷までを結ぶ幅方向の直線の長さが波の長さであり、前記波の長さに対する前記波の高さの百分率が単位急峻度であり、前記長さ方向における単位長さが５００ｍｍであり、前記単位長さの金属板における単位急峻度の最大値が第１急峻度であり、前記第１急峻度を０．５％以下とするもの、すなわち、［条件１］を満たすものである。 そして、本件発明は、「蒸着マスク用基材」が前記［条件１］を満たすことで、長さ方向に搬送される「蒸着マスク用基材」の表面に液体を供給するとしても、「蒸着マスク用基材」の表面で均一に液体を流しやすく、結果として、長さ方向に搬送される「蒸着マスク用基材」の表面に供給された液体が長さ方向の一部で淀むことが抑えられ、エッチング液などの液体による処理を用いた長さ方向での加工の均一性、すなわち、「蒸着マスク用基材」が有する孔の長さ方向での均一性、ひいては、蒸着によって形成されるパターンの精度を向上することが可能となって、本件課題を解決できるものであり、更に、このことは、前記ア（エ）（段落【０１１０】）の実施例１～４の記載からも裏付けられるものである。 エ 前記ウによれば、本件特許明細書の記載に接した当業者は、「蒸着マスク用基材」が前記［条件１］を満たすことで、本件課題を解決できることを理解することができる。 そして、「蒸着マスク用基材」が前記［条件１］を満たすことは、本件発明１の、「前記金属板の長さ方向での各位置における前記金属板の幅方向に沿った形状は、相互に異なっており、各形状は、前記金属板の幅方向に繰り返す波を有し、前記波における一方の谷から他方の谷までを結ぶ幅方向の直線の長さが波の長さであり、前記波の長さに対する前記波の高さの百分率が単位急峻度であり、前記長さ方向における単位長さが、５００ｍｍであり、前記単位長さの金属板における単位急峻度の最大値が、第１急峻度であり、前記第１急峻度が、０．５％以下である」との発明特定事項にほかならない。 オ 前記エによれば、当業者は、本件発明１が発明の詳細な説明に記載された発明であり、本件発明１の発明特定事項を満たすことにより本件課題を解決できることを理解することができるのであって、このことを前記（１）アの判断手法に当てはめれば、本件特許請求の範囲の請求項１の記載はサポート要件に適合するといえる。 更に、同請求項２～４及び６～８について検討しても事情は同じである。 （３） 実施可能要件違反についての一般的な判断 次に、実施可能要件について、前記（１）イの実施可能要件の判断手法にのっとって検討する。 ア 本件発明１～４について （ア） 本件特許明細書には、更に以下の記載がある。 「【００５７】 ［蒸着マスク用基材の製造方法］ 次に、蒸着マスク用基材の製造方法について説明する。なお、蒸着マスク用基材の製造方法では、圧延を用いる形態と、電解を用いる形態とを別々に例示する。まず、圧延を用いる形態を説明し、次いで、電解を用いる形態を説明する。図１１および図１２は、圧延を用いる例を示す。 ・・・ 【００６０】 電解を用いる製造方法では、電解に用いられる電極表面に蒸着マスク用基材１を形成し、その後、電極表面から蒸着マスク用基材１を離型する。この際、例えば、鏡面を表面とする電解ドラム電極が電解浴に浸され、かつ、電解ドラム電極を下方で受けて電解ドラム電極の表面と対向する他の電極が用いられる。そして、電解ドラム電極と他の電極との間に電流が流されて、電解ドラム電極の表面である電極表面に、蒸着マスク用基材１が沈着する。電解ドラム電極が回転して蒸着マスク用基材１が所望の厚さになるタイミングで、電解ドラム電極の表面から蒸着マスク用基材１が剥がされて巻き取られる。 【００６１】 蒸着マスク用基材１を構成する材料がインバーである場合、電解に用いられる電解浴は、鉄イオン供給剤、ニッケルイオン供給剤およびｐＨ緩衝剤を含む。電解に用いられる電解浴は、応力緩和剤、Ｆｅ３＋イオンマスク剤、リンゴ酸やクエン酸などの錯化剤などを含んでもよく、電解に適したｐＨに調整された弱酸性の溶液である。鉄イオン供給剤は、例えば、硫酸第一鉄・７水和物、塩化第一鉄、スルファミン酸鉄などである。ニッケルイオン供給剤は、例えば、硫酸ニッケル（II）、塩化ニッケル（II）、スルファミン酸ニッケル、臭化ニッケルである。ｐＨ緩衝剤は、例えば、ホウ酸、マロン酸である。マロン酸は、Ｆｅ３＋イオンマスク剤としても機能する。応力緩和剤は、例えばサッカリンナトリウムである。電解に用いられる電解浴は、例えば、上述した添加剤を含む水溶液であり、５％硫酸、あるいは、炭酸ニッケルなどのｐＨ調整剤によって、例えば、ｐＨが２以上３以下となるように調整される。なお、必要に応じて、アニール工程を入れてもよい。 【００６２】 電解に用いられる電解条件では、蒸着マスク用基材１の厚さ、蒸着マスク用基材１の組成比などに応じて、電解浴の温度、電流密度および電解時間が適宜調整される。上述した電解浴に適用される陽極は、例えば、純鉄製とニッケル製である。上述した電解浴に適用される陰極は、例えば、ＳＵＳ３０４などのステンレス板である。電解浴の温度は、例えば、４０℃以上６０℃以下である。電流密度は、例えば、１Ａ／ｄｍ２以上４Ａ／ｄｍ２以下である。この際、上記［条件１］が満たされるよう、電極表面での電流密度が設定される。好ましくは、上記［条件２］から［条件４］が［条件１］と共に満たされるように、電極表面での電流密度が設定される。」 （イ） 前記（ア）の記載からみれば、本件発明１に係る「蒸着マスク用基材」は、電解を用いる製造方法により製造されるものであり、当該電解を用いる製造方法では、電解に用いられる電極表面に「蒸着マスク用基材」を形成し、その後、電極表面から蒸着マスク用基材を離型するものであり、この際、例えば、鏡面を表面とする電解ドラム電極が電解浴に浸され、かつ、電解ドラム電極を下方で受けて電解ドラム電極の表面と対向する他の電極が用いられ、電解ドラム電極と他の電極との間に電流が流されて、電解ドラム電極の表面である電極表面に、蒸着マスク用基材が沈着し、電解ドラム電極が回転して「蒸着マスク用基材」が所望の厚さになるタイミングで、電解ドラム電極の表面から「蒸着マスク用基材」が剥がされて巻き取られるものである。 そして、「蒸着マスク用基材」を構成する材料がインバーである場合、電解に用いられる電解浴は、鉄イオン供給剤、ニッケルイオン供給剤およびｐＨ緩衝剤を含み、電解に用いられる電解浴は、応力緩和剤、Ｆｅ３＋イオンマスク剤、リンゴ酸やクエン酸などの錯化剤などを含んでもよく、電解に適したｐＨに調整された弱酸性の溶液であるものであり、鉄イオン供給剤は、例えば、硫酸第一鉄・７水和物、塩化第一鉄、スルファミン酸鉄などであり、ニッケルイオン供給剤は、例えば、硫酸ニッケル（II）、塩化ニッケル（II）、スルファミン酸ニッケル、臭化ニッケルであり、ｐＨ緩衝剤は、例えば、ホウ酸、マロン酸であり、応力緩和剤は、例えばサッカリンナトリウムであって、電解に用いられる電解浴は、例えば、上述した添加剤を含む水溶液であり、５％硫酸、あるいは、炭酸ニッケルなどのｐＨ調整剤によって、例えば、ｐＨが２以上３以下となるように調整されるものである。 また、電解に用いられる電解条件では、「蒸着マスク用基材」の厚さ、「蒸着マスク用基材」の組成比などに応じて、電解浴の温度、電流密度および電解時間が適宜調整されるものであり、電解浴に適用される陽極は、例えば、純鉄製とニッケル製であり、電解浴に適用される陰極は、例えば、ＳＵＳ３０４などのステンレス板であり、電解浴の温度は、例えば、４０℃以上６０℃以下であり、電流密度は、例えば、１Ａ／ｄｍ２以上４Ａ／ｄｍ２以下であり、この際、前記［条件１］が満たされるように、電極表面での電流密度を設定するものである。 （ウ） 前記（イ）によれば、本件特許明細書の記載に接した当業者は、前記電解を用いる製造方法によって、過度の試行錯誤を要することなく本件発明１に係る「蒸着マスク用基材」を生産することができるものであり、このことを前記（１）イの判断手法に当てはめれば、本件特許明細書の発明の詳細な説明の記載は、本件発明１について、実施可能要件に適合するといえる。 更に、本件発明２～４について検討しても事情は同じである。 イ 本件発明６～８について （ア） 本件特許明細書には、更に以下のａ～ｄの記載がある。 ａ 「【００３５】 ［マスク装置の構成］ 図４は、蒸着マスク用基材１を用いて製造される蒸着マスクを備えるマスク装置の概略的な平面構造を示す。図５は、蒸着マスクが備えるマスク部の断面構造の一例を示し、図６は、蒸着マスクが備えるマスク部の断面構造の他の例を示す。なお、マスク装置が備える蒸着マスクの数量や、蒸着マスク３０が備えるマスク部の数量は一例である。 【００３６】 図４が示すように、マスク装置１０は、メインフレーム２０と、３つの蒸着マスク３０とを備える。メインフレーム２０は、複数の蒸着マスク３０を支持する矩形枠状を有し、蒸着を行うための蒸着装置に取り付けられる。メインフレーム２０は、各蒸着マスク３０が位置する範囲のほぼ全体にわたり、メインフレーム２０を貫通するメインフレーム孔２１を有する。 【００３７】 各蒸着マスク３０は、帯板状を有した複数のフレーム部３１と、各フレーム部３１に３体ずつのマスク部３２とを備える。フレーム部３１は、マスク部３２を支持する短冊板状を有して、メインフレーム２０に取り付けられる。フレーム部３１は、マスク部３２が位置する範囲のほぼ全体にわたり、フレーム部３１を貫通するフレーム孔３３を有する。フレーム部３１は、マスク部３２よりも高い剛性を有し、かつ、フレーム孔３３を囲う枠状を有する。各マスク部３２は、フレーム孔３３を区画するフレーム部３１のフレーム内縁部に１体ずつ、溶着や接着によって固定される。」 ｂ 「【００７３】 ［蒸着マスクの製造方法］ 蒸着マスクの製造方法の各例を説明する。なお、図１９を参照して、ウェットエッチングによって孔を形成する方法での例（第１製造方法）を説明する。・・・ 【００７４】 ［第１製造方法］ なお、図５で説明したマスク部３２を備える蒸着マスクを製造する方法と、図６で説明したマスク部３２を備える蒸着マスクを製造する方法とは、基材３２Ｋに対して行われるエッチングの形態が異なるが、それ以外の工程はほぼ同様である。以下では、図５で説明したマスク部３２を備える蒸着マスクの製造方法を主に説明し、図６で説明したマスク部３２を備える蒸着マスクの製造方法に関しては、その重複した説明を省略する。 【００７５】 図１９（ａ）～（ｈ）が示す例のように、蒸着マスクの製造方法の一例では、まず、基材３２Ｋが準備される（図１９（ａ）参照）。なお、基材３２Ｋは、マスク板３２３として加工される上述した蒸着マスク用基材１であり、蒸着マスク用基材１の他に、その蒸着マスク用基材１を支持するための支持体ＳＰをさらに備えることが好ましい。なお、基材３２Ｋの第１面３２１（図１９の下面）は、上記第１面１Ｓａに相当し、基材３２Ｋの第２面３２２（図１９の上面）は、上記第２面１Ｓｂに相当する。 【００７６】 まず、基材３２Ｋが有する第２面３２２にレジスト層ＰＲを形成し（図１９（ｂ）参照）、レジスト層ＰＲに対する露光および現像を行うことによって、第２面３２２にレジストマスクＲＭを形成する（図１９（ｃ）参照）。次に、レジストマスクＲＭを用いた第２面３２２からのウェットエッチングによって、基材３２Ｋに孔３２Ｈが形成される（図１９（ｄ）参照）。 【００７７】 この際、ウェットエッチングが開始される第２面３２２には、第２開口Ｈ２が形成され、それよりも遅れてエッチングが行われる第１面３２１には、第２開口Ｈ２よりも小さい第１開口Ｈ１が形成される。次いで、レジストマスクＲＭが第２面３２２から除去されることによって、上記マスク部３２が形成される（図１９（ｅ）参照）。最後に、第２面３２２における外縁部３２Ｅが、フレーム部３１の内縁部３１Ｅに接合され、マスク部３２から支持体ＳＰが離型されることによって、蒸着マスク３０が製造される（図１９（ｆ）から（ｈ）参照）。 ・・・ 【００９１】 上述した蒸着マスク３０を用いて表示装置を製造する方法では、まず、蒸着マスク３０を搭載したマスク装置１０を蒸着装置の真空槽内に取り付ける。この際、ガラス基板などの蒸着対象と第１面３２１とが対向するように、かつ、蒸着源と第２面３２２とが対向するように、マスク装置１０を取り付ける。そして、蒸着装置の真空槽に蒸着対象を搬入し、蒸着源で蒸着物質を昇華させる。これによって、第１開口Ｈ１に追従した形状を有するパターンが、第１開口Ｈ１と対向する蒸着対象に形成される。なお、蒸着物質は、例えば、表示装置の画素を構成する有機発光材料や、表示装置の画素回路を構成する画素電極などである。」 ｃ 「【図４】 ［図：0001404747000004.jpg］ 」 ｄ 「【図１９】 ［図：0001404747000005.jpg］ 」 （イ） 前記（ア）ｂ、ｄの記載からみれば、本件発明６に係る「蒸着マスクの製造方法」は、ウエットエッチングによって孔を形成するものであり、まず、基材が準備されるが、前記基材は、前記ア（イ）に記載された方法により製造された「蒸着マスク用基材」であり、蒸着マスク用基材の他に、その蒸着マスク用基材を支持するための支持体をさらに備えることが好ましいものである。 そして、前記基材が有する第２面にレジスト層を形成し、レジスト層に対する露光および現像を行うことによって、第２面にレジストマスクを形成し、次に、レジストマスクを用いた第２面からのウェットエッチングによって、前記基材に孔が形成されるものであり、この際、ウェットエッチングが開始される第２面には、第２開口が形成され、それよりも遅れてエッチングが行われる第１面には、第２開口よりも小さい第１開口が形成されるものであり、次いで、レジストマスクが第２面から除去されることによって、マスク部が形成され、最後に、第２面における外縁部が、フレーム部の内縁部に接合され、マスク部から支持体が離型されることによって、「蒸着マスク」が製造されるものである。 （ウ） 前記（イ）によれば、本件特許明細書の記載に接した当業者は、本件発明６に係る「蒸着マスクの製造方法」の使用をすることができる。 また、前記（ア）ａ、ｃの記載からみれば、「蒸着マスク」は、メインフレームと、３つの「蒸着マスク」とを備えるマスク装置において、メインフレームに支持されて使用されるものであって、このことからみれば、本件特許明細書の記載に接した当業者は、本件発明６に係る「蒸着マスクの製造方法」により生産した物である「蒸着マスク」の使用等をすることもできる。 （エ） 前記（ウ）によれば、本件特許明細書の記載に接した当業者は、本件発明６に係る「蒸着マスクの製造方法」の使用をすることができ、また、本件発明６に係る「蒸着マスクの製造方法」により生産した物の使用等をすることができるものであり、このことを前記（１）イの判断手法に当てはめれば、本件特許明細書の発明の詳細な説明の記載は、本件発明６について、実施可能要件に適合するといえる。 更に、前記（ア）ｂ、ｄの記載からみれば、本件発明７～８について検討しても事情は同じである。 （４） 取消理由について ア 始めに、前記第５の１（１）の取消理由について検討すると、本件発明１は、「複数の孔がエッチング液を用いたエッチングによって形成されて蒸着マスクの製造に用いられる」、との発明特定事項を有するから、本件課題と無関係のものまで包含するものではないので、前記第５の１（１）の取消理由は理由がない。 イ 次に、前記第５の１（３）の取消理由について検討すると、本件訂正により本件特許請求の範囲の請求項５は削除されたから、前記第５の１（３）の取消理由はあてはまらない。 ウ したがって、前記第５の１（１）及び同（３）のサポート要件及び実施可能要件についての取消理由はいずれも理由がない。 （５） 申立人村野の特許異議申立理由及び村野意見書について ア 始めに、申立人村野の前記第４の１（１）ア及びイの主張について検討すると、前記（３）ア（ウ）、同イ（エ）の記載によれば、本件特許明細書に圧延条件やアニール条件やドライフィルムレジスト等を貼り付ける条件が記載されていないとしても、また、圧延により「第１急峻度」が制御できること自体の疑義の有無に関わらず、当業者は、「第１急峻度が０．５％以下である蒸着マスク用基材」を生産することができ、「第１急峻度が０．５％以下である蒸着マスクの製造方法」の使用をすることができ、前記「蒸着マスクの製造方法」により生産した物の使用等をすることができることに変わりはないのであり、更に、「第２急峻度の平均値」、「波数の最大値」及び「波数の平均値」について検討しても事情は同じであるから、本件特許明細書の発明の詳細な説明の記載は実施可能要件に適合する。 また、当業者は、本件発明１の発明特定事項により本件課題を解決できることを理解することができることは、前記（２）オに記載したとおりであって、本件発明１において、「蒸着マスク用基材」とドライフィルムレジストとの位置ズレの抑制や密着性の向上に関与する工程や条件が特定されていないとしても、本件発明１の発明特定事項を満たす「蒸着マスク用基材」に、当業者が通常採用する工程によりドライフィルムレジスト等を貼り付けることによって、本件課題を解決できることを理解することができるから、本件発明１の発明特定事項により本件課題を解決できることに変わりはない。 更に、本件発明２～４、６～８について検討しても事情は同じであるから、本件特許請求の範囲の記載はサポート要件に適合するので、前記第４の１（１）ア及びイの主張はいずれも採用できない。 イ 次に、申立人村野の前記第４の１（１）ウの主張について検討すると、前記主張は、甲第１０号証に記載された伸び差率と急峻度の関係式から、甲第１９号証に記載された比較例１及び３や甲第９号証に記載された比較例１の「第１急峻度」が算出されることを前提としたものといえる。 ここで、本件発明における「第１急峻度」は、「前記金属板の長さ方向での各位置における前記金属板の幅方向に沿った形状は、相互に異なっており、各形状は、前記金属板の幅方向に繰り返す波を有し、前記波における一方の谷から他方の谷までを結ぶ幅方向の直線の長さが波の長さであり、前記波の長さに対する前記波の高さの百分率が単位急峻度であり、前記長さ方向における単位長さが、５００ｍｍであり、前記単位長さの金属板における単位急峻度の最大値」であって、「金属板の幅方向に繰り返す」「波の長さ」及び「前記波の高さ」に基づいて算出されるものである。 すなわち、前記（２）ア（ウ）（段落【００２５】、【００２６】）、（カ）の記載によれば、本件発明１における「第１急峻度」の測定において、表面位置が測定される幅方向の各位置は、「蒸着マスク用基材」の波形状を引き写すことの可能な間隔で並ぶものであり、例えば、幅方向に１ｍｍ以上２０ｍｍ以下の間隔で並ぶものであり、幅方向での各位置の表面位置を結ぶ線は、「蒸着マスク用基材」の表面に沿う線と見なされ、線の長さは、「蒸着マスク用基材」の表面での沿面距離であり、線に含まれる各波において、波における一方の谷から他方の谷までを結ぶ幅方向での直線の長さは、波の長さであり、線に含まれる各波において、波における谷間を結ぶ直線に対する高さは、波の高さであり、蒸着マスク用基材の「単位急峻度」は、波の長さに対する波の高さの百分率である。 そして、「蒸着マスク用基材」の長さ方向での「単位長さ」は５００ｍｍであり、「蒸着マスク用基材」の「第１急峻度」は、「単位長さ」、及び、幅のなかに含まれる全ての波の「単位急峻度」における最大値であるから、前記「第１急峻度」は、「蒸着マスク用基材」の幅方向の波形状を引き写すことの可能な間隔、例えば幅方向に１ｍｍ以上２０ｍｍ以下の間隔で並ぶ各位置で測定される表面位置に基づいて算出されるものといえる。 これに対して、甲第１０号証には、以下の（ア）、（イ）の記載がある。 （ア） 「２．空気軸受式形状計 ２．１ 圧延材の形状 ・・・ 形状は，通常，第２図（１）および（１）式に示すように急峻度あるいは伸び差率などで定義する．当社は，１×１０－５の伸び差率を基本としたＩ－ＵＮＩＴ（５）を形状の単位に用いている． λ＝ｈｉ／ｌｉ×１００％ ε＝Δｌｉ／ｌｉ≒（π／２×ｈｉ／ｌｉ）２ ・・・・・・（１） λ ：急峻度 ε ：伸び差率 ｈｉ ：伸び差で発生する波の高さ ｌｉ ：基準長さ Δｌｉ：伸び差 第３図は，形状と伸び差率の関係を示した模式図である．圧延材料を長手方向に裁断すると，波状のところは基準長さｌｉに対しΔｌｉだけ伸びる．この比が（１）式で示された伸び差率である．この材料の圧延中における板幅方向の張力分布は，中央部分が高く両端部に向かうと伸び波が大きくなるので低くなる．このように，形状不良の波の程度と伸び差率および張力分布には相関関係があり，張力分布を知ることによって形状を把握することができる．」（１２９ページ左欄下から８行～１３０ページ左欄２６行） （イ） 「 ［図：0001404747000006.jpg］ 」（１３０ページ右欄） 前記（ア）、（イ）の記載からみれば、甲第１０号証には、圧延材料を長手方向に裁断して測定される伸び差率と急峻度の関係式が記載されているにすぎず、これらは、金属板の幅方向の波形状を引き写すことの可能な間隔で並ぶ各位置で測定される表面位置に基づいて算出されるものではないから、甲第１０号証に記載された関係式により本件発明における「第１急峻度」を算出することができるものではない。 そうすると、前記関係式から算出した、甲第１９号証に記載された比較例１及び３や甲第９号証に記載された比較例１の「第１急峻度」は、本件発明における「第１急峻度」に相当するものではないから、前記第４の１（１）ウの主張は前提において誤っているので、採用できない。 ウ 次に、申立人村野の前記第４の１（１）エの主張について検討すると、当業者は、「蒸着マスク用基材」が前記［条件１］を満たすことで本件課題を解決できることを理解することができることは、前記（２）エに記載したとおりであるから、「蒸着マスク用基材」が［条件１］を満たすことと、本件課題が解決できることとの関係を理解することができる。 また、当業者は、本件発明１の発明特定事項により本件課題を解決できることを理解することができることは、前記（２）オに記載したとおりであって、本件発明１において、「蒸着マスク用基材」のエッチング条件について特定されていないとしても、本件発明１の発明特定事項を満たす「蒸着マスク用基材」を、当業者が通常採用する工程によりエッチングすることによって、本件課題を解決できることを理解することができるから、本件発明１の発明特定事項は、課題が解決できることを当業者が認識できる範囲を超えるものではないので、本件特許請求の範囲の記載はサポート要件に適合するし、発明の詳細な説明に「蒸着マスク用基材」のエッチング条件について記載されていないとしても、当業者は、本件発明１の発明特定事項を満たす「蒸着マスク用基材」を使用することができるから、本件特許明細書の発明の詳細な説明の記載は実施可能要件に適合する。 更に、本件発明１は、ドライエッチングによりエッチングを行うものではないから、本件特許請求の範囲の記載はサポート要件に適合するし、本件特許明細書の発明の詳細な説明は実施可能要件に適合する。 また、現像やレジスト層の剥離、剥離液の洗浄が、前記［条件１］と無関係であるとしても、当業者は、「蒸着マスク用基材」が前記［条件１］を満たすことで、本件課題を解決できることを理解することができることに変わりはないから、本件特許請求の範囲の記載はサポート要件に適合するので、前記第４の１（１）エの主張も採用できない。 エ 次に、申立人村野の前記第４の１（１）オの主張について検討すると、前記（２）ア（エ）（段落【０１０９】、【０１１０】）の記載によれば、発明の詳細な説明の実施例においては、蒸着マスク用基材の第１面に貼り着けた第１ＤＦＲに露光マスクを接触させて露光する露光工程、次いで現像工程を施し、３０μｍの直径を有した複数の貫通孔を、第１ＤＦＲに格子状に形成し、続いて、第１ＤＦＲをマスクとするエッチングを第１面に施して、格子状に位置する複数の孔を蒸着マスク用基材に形成した上で、各孔が有する開口径のなかで、開口径の最大値と開口径の最小値との差が２．０μｍ以下である水準に○印を記載し、開口径の最大値と開口径の最小値との差が２．０μｍよりも大きい水準に×印を記載したのであるから、目標となる設計値が３０μｍの孔を形成することを前提として、開口径の最大値と最小値の差が２．０μｍ以下であるか否かにより孔の開口径のばらつきを評価していると解するのが妥当であるので、前記実施例に開口径について具体的な数値が記載されていないとも、実際に実験が行われたか否か疑わしいともいえないし、目標となる設計値からの外れ度合いについて記載されていないともいえない。 そして、当業者が、本件発明１の発明特定事項により本件課題を解決できることを理解できることは、前記（２）オに記載したとおりであり、本件発明２～４、６～８について検討しても事情は同じであるから、本件特許請求の範囲の記載はサポート要件に適合するので、前記第４の１（１）オの主張も採用できない。 オ 最後に、申立人村野の前記第４の１（１）カの主張について検討すると、 前記（２）ア（ウ）（段落【００２２】、【００２３】）の記載によれば、本件発明においては、圧延された、もしくは電解で作製された金属板の幅方向での寸法が所定幅となるように、金属板が切断されて、帯状を有した金属板である蒸着マスク用基材がロール状に巻き回され、次いで、蒸着マスク用基材が幅方向の全体（全幅）において切断されるスリット工程が実施されて、蒸着マスク用基材の長さ方向における一部分として、測定用基材が切り出されるものであり、蒸着マスク用基材を切断するスリット工程は、蒸着マスク用基材とは異なる新たな波形状を測定用基材に形成し得るので、表面位置の測定からは除外される範囲となるのであり、各非計測範囲が有する長さ方向での長さは、例えば、１００ｍｍであり、非計測範囲の幅方向の長さは、幅方向の端から、例えば、１０ｍｍであるものである。 すると、本件特許明細書の記載に接した当業者は、本件発明は、長さ方向及び幅方向の両方について切断すなわちスリット工程が行われることを前提として、「第１急峻度」を、前記スリット工程により蒸着マスク用基材とは異なる新たな波形状が形成され得る範囲である非計測範囲を除外して計測するものであることを理解できるので、本件発明１において非計測範囲が特定されていないとしても、「第１急峻度」が「蒸着マスク用基材」の全体で満たされるものと解されるものではないし、当業者は、前記非計測範囲の合理性を理解することができる。 そして、このことからみれば、本件発明１が、蒸着マスク用基材とは異なる新たな波形状が形成される非計測範囲に貫通孔を形成するものを含むと解するのは不合理であるから、本件課題を解決しないものを権利範囲に含めるものとはいえない。 更に、本件発明２～４、６～８について検討しても事情は同じであるから、本件特許請求の範囲の記載はサポート要件に適合するし、本件特許明細書の発明の詳細な説明の記載は実施可能要件に適合するので、前記第４の１（１）カの主張も採用できない。 カ 村野意見書における申立人村野の主張は、概略、以下のとおりである。（ア） エッチング液を用いたエッチングのうち浸漬式エッチングは、エッチング液に流れがないから、本件課題とは無関係のものである。 エッチング液を用いたエッチングのうちスプレイ式エッチングの垂直型は、エッチング液がよどむことがないから、本件課題とは無関係のものである。 エッチング液を用いたエッチングのうちスプレイ式エッチングの水平型は、片面型の場合、エッチング液がよどむことがないから、本件課題とは無関係のものである。 エッチング液を用いたエッチングのうちパドル式エッチングは、エッチング液がよどむことがないから、本件課題とは無関係のものである。 すると、これらのエッチング方法によるエッチングを含む本件発明１は、本件課題と無関係のものまで包含している（３ページ下から５行～６ページ９行）。 （イ） 本件発明１の「複数の孔がエッチング液を用いたエッチングによって形成されて蒸着マスクの製造に用いられる」、との発明特定事項は、「蒸着マスク用基材」の用途を特定するものであり、その構造、特性を特定するものではないから、本件発明１～４は、依然として、本件課題が発生し得る前提に基づかないものであるので、本件特許請求の範囲の記載はサポート要件を満たさない（６ページ１０行～７ページ１４行）。 （ウ） 甲第８号証の１、甲第８号証の２、甲第２９条の１～甲第３０号証の２によれば、スプレイ式エッチング装置では、エッチング液は勢いよく噴射するものであり、エッチング液がよどむ原因が、山のピーク高さによるとは考え難いから、エッチング工程において、液体のよどみが生じるとはいえないので、当業者は、本件課題と課題解決手段の関係を理解できない（７ページ２７行～１３ページ１６行）。 （エ） 甲第１９号証及び甲第９号証には、本件特許明細書の発明の詳細な説明に記載される実施例と矛盾した評価結果が記載されていることは、特許異議申立書の４．（３）ウ（ウ）～（エ）に記載したとおりであるから、本件特許請求の範囲の記載はサポート要件を満たさない（１３ページ１７行～１４ページ１９行）。 （オ） 取消理由通知書において、本件訂正前の特許請求の範囲の請求項５に係る発明に実施可能要件違反を指摘しつつ、前記請求項５に係る発明と全く同じ発明特定事項を有する同請求項１及び６に係る発明ついて実施可能要件違反を指摘しないのは、実施可能要件の判断を誤った違法性がある（１９ページ下から４行～２２ページ１２行）。 （カ） 特許異議申立書に記載したのと同様の理由により、本件特許明細書の発明の詳細な説明の記載は、実施可能要件を満たさない（２２ページ１３行～２３ページ７行）。 キ 以下、前記カの主張について検討する。 （ア） 始めに、前記カ（ア）～（ウ）の主張について検討すると、甲第７号証には、以下の記載がある。 「また浸漬法によるエツチングに於てはスプレー法に比較し、スプレー圧、スプレーパターンの重なり、液溜りなどのエツチング状態におよぼす要因は考える必要はないが、金属板表面のエツチング液交換は攪拌によるでけであるのでシヤドウマスクのような大きなものになると攪拌子、超音波、バブリングなどを利用しても金属板表面のエツチング液は不均一となり、この為穿孔形状などのばらつきが生じやすいし、またスプレー法に比較しエツチング効果が悪く、時間がかかりやすいので量産には向かない。 これに対しスプレー法によるエツチングにおいては浸債法と比較し、エツチング液の当りが強いため新らしいエツチング液との液交換効率が良く、短かいエツチング時間で所望のシヤドウマスクが得られるので量産に適している。しかしエツチング液の金属板表面に対するスプレーパターンが均一でなく、金属板表面上のエツチング液の流れや溜りが不均一となり易く、このため穿孔の大きさや形状のばらつきが発生しやすい。・・・しかし液溜りや液流れに関してはエツチング方式により、どうしても避けられないものであり、液溜りの多い部分は液溜の少ない部分に比較し、新しいエツチング液との交換速度が遅くなり、この部分の金属板のエツチング速度を低下させる。」（２ページ左欄４３行～右欄２８行） 前記記載からみれば、甲第７号証には、浸漬法によるエッチングにおいては、金属板表面のエッチング液交換は攪拌によるだけであるので、攪拌子、超音波、バブリングなどを利用しても金属板表面のエッチング液は不均一となること、及び、スプレー法によるエッチングにおいては、エッチング液の金属板表面に対するスプレーパターンが均一でなく、金属板表面上のエッチング液の流れや溜りが不均一となりやすいことや、液溜りの多い部分は液溜りの少ない部分に比較し、新しいエッチング液との交換速度が遅くなり、この部分の金属板のエッチング速度を低下させることが記載されている。 すると、エッチング液を用いたエッチングにおいては、エッチング方法に関わらず、金属板表面にエッチング液の流れや液溜りが生じるのであるから、金属板の厚みが薄くなり、エッチングなどの加工条件の許容範囲が狭くなったときに、設計値が３０μｍ程度の孔を形成するような微細な加工（前記（２）ア（エ）段落【０１０９】）の加工精度に影響するような液体のよどみが生じないと直ちにいえるものではないし、甲第８号証の１、甲第８号証の２、甲第２９条の１～甲第３０号証の２から、このことが裏付けられるものでもない。 また、本件発明１における「複数の孔がエッチング液を用いたエッチングによって形成されて蒸着マスクの製造に用いられる」、との発明特定事項は「蒸着マスク用基材」の「複数の孔」が「エッチング液を用いたエッチングによって形成」されるものとすることで、その構造、特性を更に特定するものといえ、「エッチング液を用いたエッチング」においてエッチング液の流れや液溜りが生じることは前記のとおりであるから、本件発明１が、本件課題と無関係のものまで包含しているとはいえないし、本件課題が発生し得る前提に基づかないものともいえない。 そして、当業者は、本件発明１の発明特定事項を満たすことにより本件課題を解決できることを理解できることは、前記（２）オに記載したとおりであるから、当業者は、本件課題と課題解決手段の関係を理解することができるので、前記カ（ア）～（ウ）の主張はいずれも採用できない。 （イ） 次に、前記カ（エ）の主張について検討すると、前記イに記載したのと同様の理由により、甲第１９号証及び甲第９号証に、本件特許明細書の発明の詳細な説明に記載される実施例と矛盾した評価結果が記載されているとはいえないから、前記カ（エ）の主張も採用できない。 （ウ） 次に、前記カ（オ）の主張について検討すると、前記主張は、本件訂正前の請求項１及び６に係る発明が、同請求項５に係る発明と全く同じ発明特定事項を有することを前提としたものといえるが、前記請求項５に係る発明は、「母材を圧延して前記金属板を得ることを含み」、との発明特定事項を有するのに対して、前記請求項１及び６に係る発明は前記発明特定事項を有しないから、前記請求項５に係る発明と全く同じ発明特定事項を有するものではない。 そうすると、前記カ（オ）の主張は前提において誤っており、取消理由通知書において実施可能要件の判断を誤った違法性はないから、採用できない。 （エ） 最後に、前記カ（カ）の主張について検討すると、申立人村野の特許異議申立書における主張、すなわち前記第４の１（１）の主張は採用できないことは、前記ア～オに記載したとおりであるから、前記カ（カ）の主張も採用できない。 ク したがって、前記第４の１（１）のサポート要件及び実施可能要件についての申立人村野の特許異議の申立て理由はいずれも理由がない。 （６） 申立人山田の特許異議申立理由及び山田意見書について ア 始めに、前記第４の２（１）の主張について検討すると、本件特許明細書に圧延条件が記載されていないとしても、前記（３）ア（ウ）に記載したのと同様の理由により、当業者は、「第１急峻度が０．５％以下である蒸着マスク用基材」を過度な試行錯誤を要することなく製造できることに変わりはないから、前記前記第４の２（１）の主張は採用できない。 イ また、山田意見書における申立人山田の主張は、概略、以下のとおりである。 「蒸着マスク用基材」の製造方法のうち電解を用いる形態について、本件特許明細書の発明の詳細な説明には、「第１急峻度が０．５％以下」となるように電極表面での電流密度を設定する具体的な条件が全く記載されていないから、本件特許明細書の発明の詳細な説明は、当業者が本件発明を実施できる程度に明確かつ十分に記載されたものとはいえない（３ページ下から１０行～４ページ１３行）。 ウ ところが、前記（３）ア（イ）によれば、本件特許明細書の発明の詳細な説明には、「蒸着マスク用基材」の製造方法のうち電解を用いる形態について、電解に用いられる電解浴の組成が具体的に記載され、更に、電解液のｐＨ、電解浴に適用される陽極及び陰極の材料、電解浴の温度、電流密度が記載されているといえる。 そうすると、本件特許明細書の発明の詳細な説明に、「第１急峻度」が「０．５％以下」となるように電極表面での電流密度を設定する具体的な条件が全く記載されていないとはいえないのであって、本件特許明細書の記載に接した当業者は、前記電解を用いる製造方法によって、過度の試行錯誤を要することなく本件発明１に係る「蒸着マスク用基材」を生産することができることは、前記（３）ア（ウ）に記載したとおりであるから、前記イの主張も採用できない。 エ したがって、前記第４の２（１）の実施可能要件についての申立人山田の特許異議の申立て理由は理由がない。 （７） 小括 よって、本件特許請求の範囲の記載は、同法同条第６項第１号所定の規定に適合し、本件特許明細書の発明の詳細な説明の記載は、特許法第３６条第４項第１号所定の規定に適合するから、これらについての取消理由及び特許異議の申立て理由はいずれも理由がない。 ２ 特許法第３６条第６項第２号所定の規定違反（明確性要件違反）について （１） 明確性要件違反の判断手法 特許請求の範囲の記載が、明確性要件に適合するか否かは、特許請求の範囲の記載だけでなく、願書に添付した明細書の記載及び図面を考慮し、また、当業者の出願当時における技術常識を基礎として、特許請求の範囲の記載が、第三者の利益が不当に害されるほどに不明確であるか否かという観点から判断されるべきであるので、以下、この観点に立って検討する。 （２） 取消理由について 前記第５の１（２）及び同２（１）の取消理由は同じものであるから、まとめて検討する。 ア 本件発明１の発明特定事項及び前記１（２）ア（ウ）の本件特許明細書の記載（段落【００２２】～【００２６】）によれば、本件発明１における「第１急峻度」は、「金属板の幅方向に繰り返す」「波の長さ」及び「波の高さ」に基づいて算出されるものである。 すなわち、「蒸着マスク用基材」が水平面に載置された状態において、水平面に対する「蒸着マスク用基材」の表面の位置（高さ）が表面位置であり（段落【００２２】）、表面位置が測定される幅方向の各位置は、「蒸着マスク用基材」の波形状を引き写すことの可能な間隔、例えば、幅方向に１ｍｍ以上２０ｍｍ以下の間隔で並ぶものであり、幅方向での各位置の表面位置を結ぶ線は、「蒸着マスク用基材」の表面に沿う線と見なされ、線の長さは、「蒸着マスク用基材」の表面での沿面距離であり、線に含まれる各波において、波における一方の谷から他方の谷までを結ぶ幅方向での直線の長さが「波の長さ」であり、線に含まれる各波において、波における谷間を結ぶ直線に対する高さが「波の高さ」である（段落【００２５】）。 そして、「蒸着マスク用基材」の「単位急峻度」は、前記「波の長さ」に対する「波の高」さの百分率であり、幅方向の端に波のピークが位置する場合には、幅方向において、「波の長さ」は、ピークから波の谷までの長さの二倍として推定するものであり（段落【００２５】）、「蒸着マスク用基材」の「第１急峻度」は、単位長さ、および、幅Ｗのなかに含まれる全ての波の単位急峻度における最大値である（段落【００２６】）。 イ ここで、谷付近において表面位置が測定される各位置のデータが同じ値となる場合、波の立ち上がりの位置は、前記各位置の中で波のピークに最も近い位置であるといえるから、当該位置を谷の位置とするのが合理的であり、そうすることで、「波の長さ」は一義的に決まり、「第１急峻度」も一義的に決まるものである。 また、ピーク付近において表面位置が測定される各位置のデータが同じ値となる場合、いずれの位置をピークとしても「波の高さ」は変わらないから、「波の高さ」は一義的に決まり、「第１急峻度」も一義的に決まるものである。 ウ さらに、幅方向の端に波のピークが位置する場合には、「波の長さ」は、ピークから波の谷までの長さの二倍として推定するものであることは、前記アに記載したとおりであり、そうすることで、「波の長さ」は一義的に決まり、「第１急峻度」も一義的に決まるものである。 なお、この場合に、谷付近において表面位置が測定される各位置のデータが同じ値となる場合には、前記イのとおり谷の位置を決めることで、「波の長さ」は一義的に決まり、「第１急峻度」も一義的に決まるものである。 エ 前記イ及びウによれば、前記アの方法にのっとって「第１急峻度」を算出するに際して、谷付近において表面位置が測定される各位置のデータが同じ値となる場合であっても、また、幅方向の端のピーク付近において表面位置が測定される各位置のデータが同じ値となる場合であっても、「第１急峻度」を特定することができるといえる。 してみれば、特許請求の範囲の記載が、第三者の利益が不当に害されるほどに不明確であるとはいえないのであり、このことを前記（１）の判断手法に当てはめれば、本件特許請求の範囲の記載は明確性要件に適合するので、前記第５の１（２）及び同２（１）の取消理由はいずれも理由がない。 （３） 申立人村野の特許異議申立理由、村野上申書、村野意見書及び村野意見書２について ア 始めに、申立人村野の前記第４の１（２）アの主張について検討すると、本件特許明細書の記載に接した当業者は、本件発明は、長さ方向及び幅方向の両方についてスリット工程が行われることを前提として、「第１急峻度」を、前記スリット工程により蒸着マスク用基材とは異なる新たな波形状が形成され得る範囲である非計測範囲を除外して計測するものであることを理解できることは、前記１（５）オに記載したとおりである。 してみれば、本件発明１において幅方向の非計測範囲が特定されていないとしても、「第１急峻度」の測定範囲を理解できるから、本件発明１の発明特定事項が第三者の利益が不当に害されるほどに不明確であるとはいえないのであり、「第２急峻度の平均値」、「波数の最大値」及び「波数の平均値」について検討しても事情は同じである。 そして、このことを前記（１）の判断手法に当てはめれば、本件特許請求の範囲の記載は明確性要件に適合するから、前記前記第４の１（２）アの主張は採用できない。 イ 次に、申立人村野の前記第４の１（２）イの主張について検討すると、前記（２）アによれば、前記「第１急峻度」は、「蒸着マスク用基材」の波形状を引き写すことの可能な間隔、例えば幅方向に１ｍｍ以上２０ｍｍ以下の間隔で並ぶ各位置で測定される表面位置に基づいて算出されるのであって、前記各位置の間隔が異なれば、測定される表面位置も異なるとしても、前記各位置の間隔を、例えば幅方向に１ｍｍ以上２０ｍｍ以下の範囲で適宜選択することで、前記「第１急峻度」を特定することができるものである。 してみれば、本件発明１における「第１急峻度」が、第三者の利益が不当に害されるほどに不明確であるとはいえないのであり、「第２急峻度の平均値」、「波数の最大値」及び「波数の平均値」について検討しても事情は同じである。 そして、このことを前記（１）の判断手法に当てはめれば、本件特許請求の範囲の記載は明確性要件に適合するから、前記第４の１（２）イの主張も採用できない。 ウ 最後に、申立人村野の前記第４の１（２）ウの主張について検討すると、前記１（５）オに記載したとおり、本件特許明細書の記載に接した当業者は、本件発明は、長さ方向及び幅方向の両方についてスリット工程が行われることを前提として、「第１急峻度」を、前記スリット工程により蒸着マスク用基材とは異なる新たな波形状が形成され得る範囲である非計測範囲を除外して計測するものであることを理解できるのであるから、本件特許明細書の段落【００２５】（前記１（２）ア（ウ））の「幅方向ＤＷの端」、との記載は、計測範囲の端を意味していると解するのが合理的である。 そうすると、「幅方向ＤＷの端」に波のピークが位置していることを判断することができる。 また、本件特許明細書の段落【００２６】（前記１（２）ア（ウ））には、「蒸着マスク用基材」の「波数」は、長さ方向の各位置での全ての波の数であることが記載されているから、「波数」の意味を理解することができるし、前記（２）に記載したとおり、具体的な状況においても、谷やピークの位置を決定できるものである。 してみれば、本件特許請求の範囲の記載が、第三者の利益が不当に害されるほどに不明確であるとはいえないのであり、このことを前記（１）の判断手法に当てはめれば、本件特許請求の範囲の記載は明確性要件に適合するから、前記第４の１（２）ウの主張も採用できない。 エ 村野上申書、村野意見書及び村野意見書２における申立人村野の主張は、概略、以下のとおりである。 （ア） 本件訂正前の特許請求の範囲の請求項７には、「前記マスク部を形成することは、単一の前記金属板に複数の前記マスク部を形成することであり」、と特定されているものの、単一の金属板に形成した複数のマスク部をマスク部ごとに切り出す工程は記載されていない。 このため、切り出されていない「前記各マスク部の側面と、１体のフレーム部とを、前記複数の孔を前記マスク部ごとに前記１体のフレーム部が囲うように、相互に接合する」ことの技術的な意義が理解できないから、前記請求項７に係る発明を明確に理解することができない（村野上申書５ページ３行～１４行）。 （イ） 特許権者意見書における特許権者の主張は、文章全体の意味が不明であり、技術的な誤りがあり、本件特許明細書の記載からは、「波における谷間を結ぶ直線に対する高さ」の求め方が不明であるから、本件特許請求の範囲の記載は明確性要件を満たさない（村野意見書１７ページ１５行～１８ページ２６行）。 （ウ） 特許権者は、特許権者意見書において、表面位置が同じ値となる範囲がピーク付近に存在した場合に、いずれの値をピークとしてどのように定めるのか説明していないし、本件特許明細書にも記載されていない。 また、「蒸着マスク用基材」の谷付近は、裏表を逆にすればピーク付近になるから、表裏が逆であると「単位急峻度」の値が変わることは明らかであるのに、本件特許明細書には、「蒸着マスク用基材」の表面のうちどちらを表面とし、どちらを裏面とするのかも記載されていないから、本件特許請求の範囲の記載は明確性要件を満たさない（村野意見書１８ページ２７行～１９ページ９行）。 （エ） 幅方向の表面位置の測定間隔を狭くしたデータで、波を立体的にとらえれば、波が様々に歪んでいる場合もあり得るから、本件課題の解決のためには、必ずしも、特許権者が特許権者意見書において主張する「表面位置が同じ値となる範囲が谷付近に存在するならば、同範囲の中で波のピークに最も近い表面位置を用いて直線の長さを求める」方法がよいとは限らないし、前記方法が本件特許明細書に記載されるものでもないから、特許権者による前記主張は、前記方法の理解を、審判部ないし当業者に強要しようとするものである（村野意見書１９ページ１０行～２６行）。 （オ） 特許権者意見書２における特許権者の主張は意味が不明であり、前記主張をみても、明確性要件についての取消理由は解消しないし、特許権者意見書２における特許権者の主張は本件特許図面の記載と矛盾する（村野意見書２ ２ページ２３行～７ページ最終行）。 （カ） 特許権者は、幅方向の端に波のピークが位置する場合についての取消理由に対して無回答であり、また、本件特許明細書においては、波における谷間を結ぶ直線に対する高さの求め方及び「蒸着マスク用基材」の表面と裏面の決め方も記載されていないから、本件特許請求の範囲の記載は明確性要件に適合しない（村野意見書２ ８ページ１行～１１ページ１２行）。 オ 以下、前記エの主張について検討する。 （ア） 始めに、前記エ（ア）の主張について検討すると、本件特許明細書の前記１（３）イ（ア）ｂ（段落【００７４】～【００７７】）、ｄの記載によれば、本件発明７に係る「蒸着マスクの製造方法」は、そもそも、単一の金属板に複数のマスク部を形成するものと解されるのであって、形成した複数のマスク部をマスク部ごとに切り出すものとはいえないから、前記（ア）の主張は前提において誤っており、採用できない。 （イ） 次に、前記エ（イ）の主張について検討すると、前記（２）アによれば、本件発明においては、幅方向での各位置の表面位置を結ぶ線が「蒸着マスク用基材」の表面に沿う線と見なされ、線に含まれる各波において、波における谷間を結ぶ直線に対する高さが「波の高さ」であるのであるから、「波における谷間を結ぶ直線に対する高さ」の求め方を理解できるので、前記エ（イ）の主張も採用できない。 （ウ） 最後に、前記エ（ウ）～（カ）の主張について検討すると、前記エ（ウ）～エ（カ）の主張は、総じて、特許権者意見書及び特許権者意見書２における特許権者の主張によっても、前記第５の１（２）及び同２（１）の取消理由は解消せず、本件特許請求の範囲の記載は明確性要件に適合しない旨をいうものといえる。 ところが、本件特許請求の範囲の記載は明確性要件に適合することは、前記（２）エに記載したとおりであるから、前記エ（ウ）～（カ）の主張もいずれも採用できない。 カ したがって、前記第４の１（２）の明確性要件についての申立人村野の特許異議の申立て理由はいずれも理由がない。 （４） 山田意見書及び山田回答書について ア 申立人山田は明確性要件について特許異議の申立てをしていないから、本来、山田意見書及び山田回答書における明確性要件についての主張を検討する必要はないが、以下、検討しておくと、申立人山田の主張は、概略、以下のとおりである。 （ア） 特許権者は、特許権者意見書において波の長さを定める具体的な方法を示しておらず、特許権者意見書における特許権者の反論は妥当でない（山田意見書４ページ目１５行～２７行）。 （イ） 特許権者意見書における「単位急峻度の大きさが変わらないように単位急峻度を特定する」という文章は、説明変数と目的変数が同一であり、意味が不明である（山田意見書４ページ目２８行～５ページ目２行）。 （ウ） 特許権者の特許権者意見書における反論によっても、「ピークの位置」を特定することができないことに変わりはないのであるから、特許権者意見書における特許権者の反論は妥当でないし、本件特許明細書の記載を参酌しても、「単位急峻度」の特定方法は理解できない（山田意見書５ページ目３行～６ページ目３行）。 （エ） 特許権者意見書２における特許権者の「直線の長さ」の測定方法を採用したとしても、測定間隔によって「直線の長さ」は変化し得るから、「第１急峻度」も変化し得るので、本件発明は不明確である（山田回答書２ページ目４行～３ページ目下から４行）。 （オ） 特許権者意見書２における特許権者の主張は意味が不明であり、妥当でない（山田回答書３ページ目下から３行～４ページ目下から６行）。 （カ） 特許権者は、特許権者意見書２において、一方の凹部である谷から他方の凹部である谷までを結ぶ幅方向の「直線の長さ」が、幅方向に繰り返される凹凸である波において定められる、と主張するが、一般に、「波の長さ」とは波長のことであり、波の周期的な長さであるが、特許権者意見書２において特許権者が主張する「直線の長さ」には谷の長さが含まれないから、波長とはいえないので、前記特許権者の主張は妥当でない。 イ 始めに、前記ア（ア）～（ウ）、（オ）及び（カ）の主張について検討すると、前記ア（ア）～（ウ）、（オ）及び（カ）の主張もまた、総じて、特許権者意見書及び特許権者意見書２における特許権者の主張によっても、前記第５の１（２）及び同２（１）の取消理由は解消せず、本件特許請求の範囲の記載は明確性要件に適合しない旨をいうものといえるから、前記（３）オ（ウ）に記載したのと同様の理由により、いずれも採用できない。 また、前記ア（エ）の主張について検討すると、前記各位置の間隔を、例えば幅方向に１ｍｍ以上２０ｍｍ以下の範囲で適宜選択することで、前記「第１急峻度」を特定することができることは、前記（３）イに記載したとおりであるから、本件特許請求の範囲の記載は明確性要件に適合するので、前記ア（エ）の主張も採用できない。 （５） 小括 したがって、本件特許請求の範囲の記載は、特許法第３６条第６項第２号所定の規定に適合するから、これについての取消理由及び特許異議の申立て理由はいずれも理由がない。 ３ 特許法第２９条第１項第３号、第２項所定の規定違反（新規性，進歩性欠如）について （１） 申立人村野による特許異議申立理由について ここでいう甲第１号証～甲第３０号証の２は、申立人村野により提出された、前記第４の１（４）に記載された甲第１号証～甲第３０号証の２である。なお、事案に鑑み、甲各号証の摘記は主引用例である甲第１１号証、甲第１２号証、甲第２０号証～甲第２２号証のみとした。 ア 甲各号証に記載された事項等 （ア） 甲第１１号証に記載された事項及び甲第１１号証に記載された発明 甲第１１号証には、以下のａ～ｂの記載がある。 ａ 「【特許請求の範囲】 【請求項１】 質量％でＮｉ＋Ｃｏ：３５．０～４３．０％（但し、Ｃｏは０～６．０％）、Ｓｉ：０．５％以下、Ｍｎ：１．０％以下、残部はＦｅ及び不純物からなる冷間圧延用素材を準備する工程と、前記冷間圧延用素材に冷間圧延と連続焼鈍とを１回以上繰り返す冷間圧延工程とを含み、前記冷間圧延工程における最終の冷間仕上圧延を、単位幅当たりの圧延荷重１５０ｋｇ／ｍｍ以下、圧延速度１．７ｍ／ｓ以上、前方張力２５０～４００ＭＰａの条件で行い、厚さを０．２５ｍｍ以下とし、前記最終の冷間仕上圧延後には熱処理を行わないことを特徴とするＦｅ－Ｎｉ系合金薄板の製造方法。」 ｂ 「【００１４】 次に、上述した本発明のＦｅ－Ｎｉ系合金薄板の製造方法で得られるＦｅ－Ｎｉ系合金薄板について説明する。 ＜急峻度＞ 本発明では、Ｆｅ－Ｎｉ系合金薄板を最終の冷間仕上圧延した後、製品幅とした際の急峻度を、薄板を水平定盤に置いた状態の浮上り高さで評価し、最大０．７５％以下（好ましくは０．５０％以下）とすることができる。・・・ この急峻度の測定は、薄板を一定長さに切断し、水平定盤上に置き、レーザー変位計等を用いて、薄板の浮上り高さを測定する。この際、板幅および板長さ方向で、一定長さごとで浮上り高さをマトリックス状に記録したデータから、急峻度を算出すれば良い。 【実施例】 【００１５】 真空溶解、均熱化熱処理、熱間プレス及び熱間圧延を行って厚さ３．０ｍｍの熱間圧延材を準備した。熱間圧延材の硬さを測定したところ、１７０～１９０ＨＶであった。熱間圧延材の化学組成を表１に示す。 その後、化学研摩、機械研磨にて熱間圧延材表面の酸化層を除去し、粗圧延を施し、トリム加工で素材幅方向の両端部にある熱間圧延時の亀裂を除去し、冷間圧延用素材を準備した。 次に、前述の冷間圧用素材に対し、冷間圧延と連続焼鈍とを繰り返した後、最終の冷間仕上圧延として、本発明例（Ｎｏ．１～６）、比較例（Ｎｏ．２１、２２）、従来例（Ｎｏ．３１～３３）に分けて、製造した結果を表２に示す。また、最終の冷間仕上圧延に用いたワークロールは高速度工具鋼を用い、直径１２０ｍｍを使用し、最終の冷間仕上圧延のパス回数は本発明と比較例は１回とし、従来例は複数回行って、最終の厚さを０．１ｍｍとした。なお、最終の冷間仕上圧延前の硬さは１３５ＨＶであり、幅は８００ｍｍの広幅材である。 また、表２に示す急峻度の測定は３次元形状測定器を用いて、７００ｍｍ長さに切断した水平定盤上のＦｅ－Ｎｉ系合金薄板試験片に測定領域幅８００ｍｍ×長さ７００ｍｍの範囲をレーザー変位計等を用いて、薄板の浮上り高さを測定した。急峻度は一定長さ（幅方向：１４ｍｍ、長さ方向：８ｍｍ）ごとに浮上り高さをマトリックス状に記録したデータから算出した。 ・・・ 【００１７】 【表２】 ［図：0001404747000007.jpg］ 」 そして、前記ａ～ｂの記載のうち、Ｎｏ．６の実施例に注目すると、甲第１１号証には以下の発明が記載されているといえる。 「質量％でＮｉ＋Ｃｏ：３５．０～４３．０％（但し、Ｃｏは０～６．０％）、Ｓｉ：０．５％以下、Ｍｎ：１．０％以下、残部はＦｅ及び不純物からなる冷間圧延用素材を準備する工程と、前記冷間圧延用素材に冷間圧延と連続焼鈍とを１回以上繰り返す冷間圧延工程とを含み、前記冷間圧延工程における最終の冷間仕上圧延を、単位幅当たりの圧延荷重１５０ｋｇ／ｍｍ以下、圧延速度１．７ｍ／ｓ以上、前方張力２５０～４００ＭＰａの条件で行い、厚さを０．２５ｍｍ以下とし、前記最終の冷間仕上圧延後には熱処理を行わない、Ｆｅ－Ｎｉ系合金薄板の製造方法であって、 得られたＦｅ－Ｎｉ系合金薄板の最終の厚さが０．１ｍｍであり、最大急峻度が０．３３％であり、 急峻度の測定は３次元形状測定器を用いて、７００ｍｍ長さに切断した水平定盤上のＦｅ－Ｎｉ系合金薄板試験片に測定領域幅８００ｍｍ×長さ７００ｍｍの範囲をレーザー変位計等を用いて、薄板の浮上り高さを測定し、急峻度は一定長さ（幅方向：１４ｍｍ、長さ方向：８ｍｍ）ごとに浮上り高さをマトリックス状に記録したデータから算出したものである、Ｆｅ－Ｎｉ系合金薄板の製造方法。」（以下、「甲１１発明１」という。） 「甲１１発明１に係るＦｅ－Ｎｉ系合金薄板の製造方法により製造されたＦｅ－Ｎｉ系合金薄板。」（以下、「甲１１発明２」という。） （イ） 甲第１２号証に記載された事項及び甲第１２号証に記載された発明 甲第１２号証には、以下のａ～ｃの記載がある。 ａ 「【特許請求の範囲】 【請求項１】 複数の貫通孔を形成してマスクを製造するために用いられる金属板の製造方法であって、 前記マスクの前記貫通孔は、搬送されている長尺状の前記金属板をエッチングすることによって形成されるものであり、 前記金属板の製造方法は、 母材を圧延して前記金属板を得る圧延工程と、 前記金属板の幅方向における一端および他端を所定範囲にわたって切り落とす切断工程と、を備え、 前記切断工程後の前記金属板は、その長手方向における長さがその幅方向の位置に応じて異なることに起因する波打ち形状を少なくとも部分的に有しており、 前記切断工程後の前記金属板の前記波打ち形状の前記長手方向における周期に対する、前記波打ち形状の高さの百分率を急峻度と称する場合、以下の条件（１）～（３）が満たされており、 （１）前記切断工程後の前記金属板の幅方向の中央部分における急峻度の最大値が、０．４％以下であること； （２）前記中央部分における急峻度の最大値が、前記切断工程後の前記金属板の幅方向の一端側部分における急峻度の最大値以下であり、かつ、前記切断工程後の前記金属板の幅方向の他端側部分における急峻度の最大値以下であること；および、 （３）前記一端側部分における急峻度の最大値と、前記他端側部分における急峻度の最大値と、の差が０．４％以下であること； 前記一端側部分、前記中央部分および前記他端側部分はそれぞれ、前記切断工程後の前記金属板の幅の３０％、４０％および３０％を占める部分である、金属板の製造方法。」 ｂ 「【０１１０】 （第２～第２０巻き体および第２～第２０サンプル） 第１巻き体の場合と同様にして、インバー材から構成された母材から、第２巻き体～第２０巻き体を製造した。さらに、第１巻き体の場合と同様にして、第２巻き体～第２０巻き体に関して、各巻き体から取り出されたサンプルの急峻度の測定、並びに、各巻き体の長尺金属板から作製された蒸着マスクに関する上述の「１次効果その１」および「１次効果その２」を実施した。」 ｃ 「【図２４】 ［図：0001404747000008.jpg］ 」 そして、前記ａ～ｃの記載のうち、第４サンプルに注目すると、甲第１２号証には以下の発明が記載されているといえる。 「複数の貫通孔を形成してマスクを製造するために用いられる金属板の製造方法であって、 前記マスクの前記貫通孔は、搬送されている長尺状の前記金属板をエッチングすることによって形成されるものであり、 前記金属板の製造方法は、 母材を圧延して前記金属板を得る圧延工程と、 前記金属板の幅方向における一端および他端を所定範囲にわたって切り落とす切断工程と、を備え、 前記切断工程後の前記金属板は、その長手方向における長さがその幅方向の位置に応じて異なることに起因する波打ち形状を少なくとも部分的に有しており、 前記切断工程後の前記金属板の前記波打ち形状の前記長手方向における周期に対する、前記波打ち形状の高さの百分率を急峻度と称する場合、以下の条件（１）～（３）が満たされており、 （１）前記切断工程後の前記金属板の幅方向の中央部分における急峻度の最大値が、０．４％以下であること； （２）前記中央部分における急峻度の最大値が、前記切断工程後の前記金属板の幅方向の一端側部分における急峻度の最大値以下であり、かつ、前記切断工程後の前記金属板の幅方向の他端側部分における急峻度の最大値以下であること；および、 （３）前記一端側部分における急峻度の最大値と、前記他端側部分における急峻度の最大値と、の差が０．４％以下であること； 前記一端側部分、前記中央部分および前記他端側部分はそれぞれ、前記切断工程後の前記金属板の幅の３０％、４０％および３０％を占める部分である、金属板の製造方法であって、 前記金属板は、インバー材から構成され、 得られた金属板の一端側部分における急峻度の最大値が０．２％、中央部分における急峻度の最大値が０．２％、他端側部分における急峻度の最大値が０．３％である、金属板の製造方法。」（以下、「甲１２発明１」という。） 「甲１２発明１に係る金属板の製造方法により製造された金属板。」（以下、「甲１２発明２」という。） （ウ） 甲第２０号証に記載された事項及び甲第２０号証に記載された発明 甲第２０号証には、以下のａ～ｅの記載がある。 ａ 「【特許請求の範囲】 【請求項１】 加熱帯及び冷却帯を備えた竪型焼鈍炉を用いてＦｅ－Ｎｉ合金鋼ストリップを焼鈍する方法において、下記工程（１）から（５）の条件を満たす工程で前記Ｆｅ－Ｎｉ合金鋼ストリップを加熱し冷却することを特徴とする、Ｆｅ－Ｎｉ合金鋼ストリップの形状矯正を伴なう焼鈍方法。 （１）前記Ｆｅ－Ｎｉ合金鋼ストリップをその再結晶温度以下の温度で加熱し、次いで冷却する。 （２）前記冷却帯内の入側に前記ストリップ長手方向に直角に、互いに近接した３本以上のロールを設け、前記ロールで前記ストリップの表面を交互に反対方向に押し込み、前記ストリップに板幅方向の拘束力を負荷する。 （３）上記工程（２）において押し込まれた前記ストリップの曲率半径が、前記ロール間の少なくとも１箇所において２５００～５０００ｍｍの範囲内になるように前記ロールの間隔及び押込量の内、少なくとも一つを調整して前記拘束力を調節する。 （４）上記工程（２）の前記拘束力を負荷する位置における前記ストリップの温度を２００～５００℃の範囲内に調節する。 （５）前記焼鈍炉内における前記ストリップの搬送張力を０．１～２０ｋｇ／ｍｍ２の範囲内に調節する。」 ｂ 「【００３８】 【表１】 ［図：0001404747000009.jpg］ ・・・ 【００４０】（１）ストリップの波板形状は、焼鈍前及び後のいずれにおいても、図４及び５に板の横断面形状を示したように、板幅方向の湾曲が１箇所の場合と２箇所の場合とがあった。図４及び５のそれぞれに示したように、ストリップ１と水平定盤１０との隙間である湾曲量の極大値ｈ１、並びに、ｈ１及びｈ２を測定した。図５のように湾曲が２箇所ある場合は湾曲量の大きい方の値を当該ストリップの湾曲量と定めた。板波の評価特性として上記湾曲量を用い、それが４ｍｍ以下のものを合格とした。 【００４１】（２）ストリップの中伸び急峻度を、焼鈍前後に測定した。図６は中伸び急峻度の説明図であり、中伸び部分の板長手方向断面における波高ａとピッチｐとから急峻度λを、λ＝（ａ／ｐ）×１００％で定義する。中伸び急峻度は、λ≦０．５％のものを合格とした。」（当審注：段落【００４０】、【００４１】の「（１）」、「（２）」は「○」に「１」、「○」に「２」と表記されている。） ｃ 「【図４】 ［図：0001404747000010.jpg］ 」 ｄ 「【図５】 ［図：0001404747000011.jpg］ 」 ｅ 「【図６】 ［図：0001404747000012.jpg］ 」 そして、前記ａ～ｅの記載のうち、実施例１に注目すると、甲第２０号証には以下の発明が記載されているといえる。 「加熱帯及び冷却帯を備えた竪型焼鈍炉を用いてＦｅ－Ｎｉ合金鋼ストリップを焼鈍する方法において、下記工程（１）から（５）の条件を満たす工程で前記Ｆｅ－Ｎｉ合金鋼ストリップを加熱し冷却する、Ｆｅ－Ｎｉ合金鋼ストリップの形状矯正を伴なう焼鈍方法であって、 （１）前記Ｆｅ－Ｎｉ合金鋼ストリップをその再結晶温度以下の温度で加熱し、次いで冷却する。 （２）前記冷却帯内の入側に前記ストリップ長手方向に直角に、互いに近接した３本以上のロールを設け、前記ロールで前記ストリップの表面を交互に反対方向に押し込み、前記ストリップに板幅方向の拘束力を負荷する。 （３）上記工程（２）において押し込まれた前記ストリップの曲率半径が、前記ロール間の少なくとも１箇所において２５００～５０００ｍｍの範囲内になるように前記ロールの間隔及び押込量の内、少なくとも一つを調整して前記拘束力を調節する。 （４）上記工程（２）の前記拘束力を負荷する位置における前記ストリップの温度を２００～５００℃の範囲内に調節する。 （５）前記焼鈍炉内における前記ストリップの搬送張力を０．１～２０ｋｇ／ｍｍ２の範囲内に調節する。 得られるＦｅ－Ｎｉ合金鋼ストリップの板厚が０．１２ｍｍであり、波板湾曲量が１ｍｍであり、焼鈍後の中伸び急峻度が０．５％であり、 ここで、波板湾曲量は、ストリップと水平定盤との隙間である湾曲量の極大値ｈ１、並びに、ｈ１及びｈ２を測定し、湾曲が２箇所ある場合は湾曲量の大きい方の値を当該ストリップの湾曲量と定めたものであり、 中伸び急峻度は、中伸び部分の板長手方向断面における波高ａとピッチｐとから急峻度λを、λ＝（ａ／ｐ）×１００％で定義したものである、焼鈍方法。」（以下、「甲２０発明１」という。） 「甲２０発明１に係る焼鈍方法により製造された、Ｆｅ－Ｎｉ合金鋼ストリップ。」（以下、「甲２０発明２」という。） （エ） 甲第２１号証に記載された事項及び甲第２１号証に記載された発明 甲第２１号証には、以下のａ～ｃの記載がある。 ａ 「【特許請求の範囲】 【請求項１】 Ｎｉを３２～３８ｗｔ％含むＦｅ－Ｎｉ系合金を、冷間圧延後、伸長率０．４～３％の歪みを付与して形状矯正を行い、引き続いて鋼板温度５５０～６９０℃、張力２ｋｇｆ／ｍｍ２以下の条件で歪み取り焼鈍を行うことを特徴とする板形状および耐熱収縮性に優れたＦｅ－Ｎｉ系低熱膨張合金薄板の製造方法。」 ｂ 「【００２６】以下に本発明を詳細に説明する。本発明者らは、Ｆｅ－Ｎｉ系低熱膨張合金薄板をシャドウマスク用途に使用するために必要な板形状や耐熱収縮性の品質水準について調査した結果、板形状を急峻度で０．５％以下、熱収縮率を０．０５％以下にすればよいことを知見した。そこで、形状矯正条件および歪み取り焼鈍条件と急峻度、熱収縮率の関係について検討した。 ・・・ 【００２８】ここで、急峻度は、板形状すなわち鋼板の平坦度を表すパラメータで、耳波および中伸びの高さとピッチを測定し次式より求めた。急峻度（％）＝高さ（ｍｍ）／ピッチ（ｍｍ）×１００」 ｃ 「【００５２】 【実施例】本発明例および比較例の合金鋼の化学組成を表１に示す。成分組成は、シャドウマスク用素材として必要な低熱膨張特性、黒化処理性およびプレス成形性が得られるものとし、鋼Ａ～Ｃの３種類を溶製した。 ・・・ 【００５４】次に、表１に示す成分組成に溶製した鋼塊を１１５０～１２５０℃×１～５０時間の熱処理後に分塊圧延し、スラブを製造した。このスラブを１１００℃×１～５時間の熱処理後に熱間圧延して３．０ｍｍの熱延鋼板を得た。さらに、脱スケール、冷間圧延と７５０℃以上の焼鈍を施した後、冷間圧延して板厚０．１０～０．２２ｍｍの薄板を得た。前記で得た薄板をテンションレベラーで所定の伸長率で形状矯正後所定の歪み取り焼鈍を行って、Ｎｏ．１～２５の薄板を製造した。また、比較のために、テンションレベラーによる形状矯正だけを行ったＮｏ．２６の薄板を製造した。ここで、Ｎｏ．１５～１７、２２は７６０ｍｍ幅、他のＮｏ．１～１４、１８～２１、２３～２６は９９０ｍｍ幅である。 【００５５】テンションレベリング条件と歪み取り焼鈍条件を表２に示す。また、前記で得た薄板の板形状および熱収縮率を調査した。板形状は耳波、中伸びの高さとピッチを測定し、急峻度により評価した。 【００５６】熱収縮率は、前記で得た薄板の板幅中央部と板幅端部から１００ｍｍの部分から、それぞれ薄板の長手方向に３００ｍｍ（長さ）×１００ｍｍ（幅）×全厚の試験片を採取し、８５０～９００℃×３０分間の熱処理を行い、それぞれの熱処理前後の試験片の長さの差をノギスで測定して求めた最大収縮量の比率により評価した。急峻度、熱収縮率の調査結果を表２に併せて記載した。 【００５７】 【表２】 ［図：0001404747000013.jpg］ 」 そして、前記ａ～ｃの記載のうち、本発明例Ｎｏ．１７に注目すると、甲第２１号証には以下の発明が記載されているといえる。 「Ｎｉを３２～３８ｗｔ％含むＦｅ－Ｎｉ系合金を、冷間圧延後、伸長率０．４～３％の歪みを付与して形状矯正を行い、引き続いて鋼板温度５５０～６９０℃、張力２ｋｇｆ／ｍｍ２以下の条件で歪み取り焼鈍を行う、板形状および耐熱収縮性に優れたＦｅ－Ｎｉ系低熱膨張合金薄板の製造方法であって、 得られるＦｅ－Ｎｉ系低熱膨張合金薄板の板厚が０．１０ｍｍであり、急峻度が０％であり、最大熱収縮率が０．０２０％であり、 急峻度は、板形状すなわち鋼板の平坦度を表すパラメータで、耳波および中伸びの高さとピッチを測定し次式より求めたものであり、 急峻度（％）＝高さ（ｍｍ）／ピッチ（ｍｍ）×１００ 最大熱収縮率は、薄板の板幅中央部と板幅端部から１００ｍｍの部分から、それぞれ薄板の長手方向に３００ｍｍ（長さ）×１００ｍｍ（幅）×全厚の試験片を採取し、８５０～９００℃×３０分間の熱処理を行い、それぞれの熱処理前後の試験片の長さの差をノギスで測定して求めた最大収縮量の比率により評価したものである、Ｆｅ－Ｎｉ系低熱膨張合金薄板の製造方法。」（以下、「甲２１発明１」という。） 「甲２１発明１に係るＦｅ－Ｎｉ系低熱膨張合金薄板の製造方法により製造された、Ｆｅ－Ｎｉ系低熱膨張合金薄板。」（以下、「甲２１発明２」という。） （オ） 甲第２２号証に記載された事項及び甲第２２号証に記載された発明 甲第２２号証には、以下のａ～ｃの記載がある。 ａ 「【特許請求の範囲】 【請求項１】 Ｎｉを３２～３８wt% 含むＦｅ－Ｎｉ系合金を、冷間圧延後、鋼板温度５５０～６９０℃、張力５～２０kgf/mm２の条件で、１回以上の歪み取り焼鈍を実施し、引き続いて鋼板温度５５０～６９０℃、張力０. １～８kgf/mm２の条件で歪み取り焼鈍を実施することを特徴とする板形状および耐熱収縮性に優れたＦｅ- Ｎｉ系低熱膨張合金薄板の製造方法。」 ｂ 「【００２４】ここで、急峻度は鋼板の平坦度を表すパラメータで、耳波および中伸びの高さとピッチを測定し次式により求めた。 【００２５】急峻度（％）＝高さ（mm）／ピッチ（mm）×１００ ・・・ 【００２６】続いて、張力と熱収縮の関係を調べた。図３はテンションアニールでの均熱時間が５～６０秒間および冷却速度が２０℃／秒以上の条件で、張力と熱収縮の関係を示した図である。図３において、熱収縮率は鋼板の板幅中央部と鋼板端部から１００mmの部分から、鋼板の長手方向に３００mml ×１００mmw ×全厚の試験片を採取し、シャドウマスクの成型前の焼鈍工程をシミュレートした８５０～９００℃×３０分間の熱処理を行い、熱処理前後の試験片の長さの差をノギスにて測定することで求めた。・・・」 ｃ 「【００４４】次に表１に示す成分組成で溶製した鋼塊を１１５０～１２５０℃×１～５０時間の熱処理後に分塊圧延し、１１００℃×１～５時間の熱処理後に熱間圧延して厚さ２．０mmの熱延鋼板を得た。さらに冷間圧延と７５０℃以上の焼鈍と所定の歪み取り焼鈍を行い、板厚０．１２～０．２２mmの薄板Ｎｏ．１～２７を製造した。Ｎｏ．１～２０が本発明例であり、Ｎｏ．２１～２７が比較例である。 【００４５】表２に、Ｎｏ．１～２７の薄板についてテンションアニールによる歪み取り焼鈍条件を示し、板形状および熱収縮率を評価した結果を示す。・・・ 【００４６】 【表２】 ［図：0001404747000014.jpg］ 」 そして、前記ａ～ｃの記載のうち、本発明例Ｎｏ．１５に注目すると、甲第２２号証には以下の発明が記載されているといえる。 「Ｎｉを３２～３８wt% 含むＦｅ－Ｎｉ系合金を、冷間圧延後、鋼板温度５５０～６９０℃、張力５～２０kgf/mm２の条件で、１回以上の歪み取り焼鈍を実施し、引き続いて鋼板温度５５０～６９０℃、張力０. １～８kgf/mm２の条件で歪み取り焼鈍を実施する、板形状および耐熱収縮性に優れたＦｅ－Ｎｉ系低熱膨張合金薄板の製造方法であって、 得られるＦｅ－Ｎｉ系低熱膨張合金薄板の板厚が０．１２ｍｍであり、急峻度が０．０１％であり、８５０～９００℃×３０分の熱収縮が０．０３１％であり、 急峻度は、鋼板の平坦度を表すパラメータで、耳波および中伸びの高さとピッチを測定し次式により求めたものであり、 急峻度（％）＝高さ（mm）／ピッチ（mm）×１００ 熱収縮率は、鋼板の板幅中央部と鋼板端部から１００mmの部分から、鋼板の長手方向に３００mml ×１００mmw ×全厚の試験片を採取し、シャドウマスクの成型前の焼鈍工程をシミュレートした８５０～９００℃×３０分間の熱処理を行い、熱処理前後の試験片の長さの差をノギスにて測定することで求めたものである、Ｆｅ－Ｎｉ系低熱膨張合金薄板の製造方法。」（以下、「甲２２発明１」という。） 「甲２２発明１に係るＦｅ－Ｎｉ系低熱膨張合金薄板の製造方法により製造された、Ｆｅ－Ｎｉ系低熱膨張合金薄板。」（以下、「甲２２発明２」という。） イ 対比・判断 （ア） 甲第１１号証を主引用例とした場合について ａ 本件発明１～４について （ａ） 本件発明１と甲１１発明２とを対比すると、甲１１発明２における「Ｆｅ－Ｎｉ系合金薄板」は、本件発明１における「帯状を有した金属板」「であって、前記金属板を構成する材料は、ニッケル、もしくは、鉄ニッケル合金であ」ることに相当する。 すると、本件発明１と甲１１発明２とは、 「帯状を有した金属板であって、前記金属板を構成する材料は、ニッケル、もしくは、鉄ニッケル合金である、金属板。」である点で一致し、以下の点で相違する。 ・相違点１：本件発明１は、「複数の孔がエッチング液を用いたエッチングによって形成されて蒸着マスクの製造に用いられる」「蒸着マスク用基材であ」る、との発明特定事項を有するのに対して、甲１１発明２は前記発明特定事項を有するか否かが明らかでない点。 ・相違点２：本件発明１は、「前記金属板が有する厚み」が、「１０μｍ以上５０μｍ以下」であるのに対して、甲１１発明２は「最終の厚さ」が「０．１ｍｍ」である点。 ・相違点３：本件発明１は、「前記金属板の長さ方向での各位置における前記金属板の幅方向に沿った形状は、相互に異なっており、各形状は、前記金属板の幅方向に繰り返す波を有し、前記波における一方の谷から他方の谷までを結ぶ幅方向の直線の長さが波の長さであり、前記波の長さに対する前記波の高さの百分率が単位急峻度であり、前記長さ方向における単位長さが、５００ｍｍであり、前記単位長さの金属板における単位急峻度の最大値が、第１急峻度であり、前記第１急峻度が、０．５％以下である」、との発明特定事項を有するのに対して、甲１１発明２は、「Ｆｅ－Ｎｉ系合金薄板」の「最大急峻度が０．３３％」である点。 （ｂ） 事案に鑑み、前記（ａ）の相違点３が実質的な相違点であるか否かについて検討すると、本件発明１における「第１急峻度」は、「蒸着マスク用基材」の幅方向の波形状を引き写すことの可能な間隔、例えば幅方向に１ｍｍ以上２０ｍｍ以下の間隔で並ぶ各位置で測定される表面位置に基づいて算出されるものといえることは、前記１（５）イに記載したとおりである。 これに対して、甲１１発明２における「最大急峻度」は、「３次元形状測定器を用いて、７００ｍｍ長さに切断した水平定盤上のＦｅ－Ｎｉ系合金薄板試験片に測定領域幅８００ｍｍ×長さ７００ｍｍの範囲をレーザー変位計等を用いて、薄板の浮上り高さを測定し、急峻度は一定長さ（幅方向：１４ｍｍ、長さ方向：８ｍｍ）ごとに浮上り高さをマトリックス状に記録したデータから算出したもの」であるから、「蒸着マスク用基材」の幅方向の波形状を引き写すことの可能な間隔で並ぶ各位置で測定される表面位置に基づいて算出されるものとはいえないので、甲１１発明２における「最大急峻度が０．３３％」である場合に、前記相違点３に係る本件発明特定事項を満たすとはいえないし、このことを裏付ける証拠もない。 したがって、甲１１発明２における「Ｆｅ－Ｎｉ系合金薄板の最大急峻度が０．３３％」であるとしても、本件発明１の前記相違点３に係る発明特定事項を満たすとはいえないから、前記相違点３は実質的な相違点であるので、そのほかの相違点について検討するまでもなく、本件発明１が甲１１発明２であるとはいえない。 更に、本件発明２～４について検討しても事情は同じである。 （ｃ） 次に、前記相違点３の容易想到性について検討すると、「蒸着マスク用基材」において「第１急峻度」を「０．５％以下」とすることが、甲第１１号証に記載されるものではないし、このことが本件特許の原出願の出願日当時の周知技術であったことを裏付ける証拠はないから、甲１１発明２において、前記相違点３に係る本件発明１の発明特定事項を有するものとするには至らない。 してみれば、そのほかの相違点について検討するまでもなく、本件発明１は、甲１１発明２に基づいて、又は、甲１１発明２及び本件特許の原出願の出願日当時の周知技術に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものではない。 更に、本件発明２～４について検討しても事情は同じである ｂ 本件発明６～８について （ａ） 前記ａ（ａ）と同様にして本件発明６と甲１１発明１とを対比すると、本件発明６と甲１１発明１とは、 「帯状を有した金属板の製造方法であって、前記金属板を構成する材料は、ニッケル、もしくは、鉄ニッケル合金である、製造方法。」である点で一致し、以下の点で相違する。 ・相違点１’：本件発明６は、「レジスト層を形成することと、前記レジスト層をマスクとしたエッチング液を用いたエッチングによって前記金属板に複数の孔を形成してマスク部を形成することと、を含む蒸着マスクの製造方法」、との発明特定事項を有するのに対して、甲１１発明１は「Ｆｅ－Ｎｉ系合金薄板の製造方法」である点。 ・相違点２’：本件発明６は、「前記金属板が有する厚み」が、「１０μｍ以上５０μｍ以下」であるのに対して、甲１１発明１は「厚さ」が「０．１ｍｍ以下」である点。 ・相違点３’：本件発明６は、「前記金属板の長さ方向での各位置における前記金属板の幅方向に沿った形状は、相互に異なっており、各形状は、前記金属板の幅方向に繰り返す波を有し、前記波における一方の谷から他方の谷までを結ぶ幅方向の直線の長さが波の長さであり、前記波の長さに対する前記波の高さの百分率が単位急峻度であり、前記長さ方向における単位長さが、５００ｍｍであり、前記単位長さの金属板における単位急峻度の最大値が、第１急峻度であり、前記第１急峻度が、０．５％以下である」、との発明特定事項を有するのに対して、甲１１発明１は、「Ｆｅ－Ｎｉ系合金薄板の最大急峻度が０．３３％」である点。 （ｂ） そして、前記（ａ）の相違点３’は前記ａ（ａ）の相違点３と同じものであるから、前記ａ（ｂ）、（ｃ）に記載したのと同様の理由により、本件発明６は、甲１１発明１に基づいて、又は、甲１１発明１及び本件特許の原出願の出願日当時の周知技術に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものではない。 更に、本件発明７、８について検討しても事情は同じである。 ｃ 小括 したがって、本件発明１～４は、甲第１１号証に記載された発明であるとはいえないし、本件発明１～４、６～８は、甲第１１号証に記載された発明に基づいて、又は、甲第１１号証に記載された発明及び原出願の出願日当時の周知技術に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものでもない。 （イ） 甲第１２号証、甲第２０号証、甲第２１号証、甲第２２号証を主引用例とした場合について ａ 本件発明１～４について （ａ） 本件発明１と甲１２発明２とを対比すると、本件発明１と甲１２発明２とは、甲１２発明２が、少なくとも前記（ア）ａ（ａ）の相違点３に係る本件発明１の発明特定事項を有さない点で相違する。 そして、甲１２発明２における「急峻度」は、「切断工程後の前記金属板の前記波打ち形状の前記長手方向における周期に対する、前記波打ち形状の高さの百分率」であるから、前記（ア）ａ（ｂ）、同（ｃ）に記載したのと同様の理由により、そのほかの相違点について検討するまでもなく、本件発明１は、甲１２発明２であるとはいえないし、甲１２発明２に基づいて、又は、甲１２発明２及び本件特許の原出願の出願日当時の周知技術に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものでもない。 更に、本件発明２～４について検討しても事情は同じである。 （ｂ） 本件発明１と甲２０発明２とを対比すると、本件発明１と甲２０発明２とは、甲２０発明２が、少なくとも前記（ア）ａ（ａ）の相違点３に係る本件発明１の発明特定事項を有さない点で相違する。 そして、甲２０発明２における「波板湾曲量」は、「ストリップと水平定盤との隙間である湾曲量の極大値ｈ１、並びに、ｈ１及びｈ２を測定し、湾曲が２箇所ある場合は湾曲量の大きい方の値を当該ストリップの湾曲量と定めたもの」であり、「中伸び急峻度」は、「中伸び部分の板長手方向断面における波高ａとピッチｐとから急峻度λを、λ＝（ａ／ｐ）×１００％で定義したもの」であるから、前記（ア）ａ（ｂ）、同（ｃ）に記載したのと同様の理由により、そのほかの相違点について検討するまでもなく、本件発明１は、甲２０発明２であるとはいえないし、甲２０発明２に基づいて、又は、甲２０発明２及び本件特許の原出願の出願日当時の周知技術に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものでもない。 更に、本件発明２～４について検討しても事情は同じである。 （ｃ） 本件発明１と甲２１発明２とを対比すると、本件発明１と甲２１発明２とは、甲２１発明２が、少なくとも前記（ア）ａ（ａ）の相違点３に係る本件発明１の発明特定事項を有さない点で相違する。 そして、甲２１発明２における「急峻度」は、「板形状すなわち鋼板の平坦度を表すパラメータで、耳波および中伸びの高さとピッチを測定し次式より求めたもの」「急峻度（％）＝高さ（ｍｍ）／ピッチ（ｍｍ）×１００」であるから、前記（ア）ａ（ｂ）及び同（ｃ）に記載したのと同様の理由により、そのほかの相違点について検討するまでもなく、本件発明１は、甲２１発明２に基づいて、又は、甲２１発明２及び本件特許の原出願の出願日当時の周知技術に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものではない。 更に、本件発明２～４について検討しても事情は同じである。 （ｄ） 本件発明１と甲２２発明２とを対比すると、本件発明１と甲２２発明２とは、甲２２発明２が、少なくとも前記（ア）ａ（ａ）の相違点３に係る本件発明１の発明特定事項を有さない点で相違する。 そして、甲２２発明２における「急峻度」は、「鋼板の平坦度を表すパラメータで、耳波および中伸びの高さとピッチを測定し次式により求めたもの」「急峻度（％）＝高さ（mm）／ピッチ（mm）×１００」であるから、前記（ア）ａ（ｂ）及び同（ｃ）に記載したのと同様の理由により、そのほかの相違点について検討するまでもなく、本件発明１は、甲２２発明２に基づいて、又は、甲２２発明２及び本件特許の原出願の出願日当時の周知技術に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものではない。 更に、本件発明２～４について検討しても事情は同じである。 ｂ 本件発明６～８について （ａ） 本件発明６と甲１２発明１とを対比すると、本件発明６と甲１２発明１とは、甲１２発明１が、少なくとも前記（ア）ｂ（ａ）の相違点３’に係る本件発明６の発明特定事項を有さない点で相違する。 そうすると、前記（ア）ｂ（ｂ）に記載したのと同様の理由により、そのほかの相違点について検討するまでもなく、本件発明６は、甲１２発明１であるとはいえないし、甲１２発明１に基づいて、又は、甲１２発明１及び本件特許の原出願の出願日当時の周知技術に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものではない。 更に、本件発明７、８について検討しても事情は同じである。 （ｂ） 本件発明６と甲２０発明１とを対比すると、本件発明６と甲２０発明１とは、甲２０発明１が、少なくとも前記（ア）ｂ（ａ）の相違点３’に係る本件発明６の発明特定事項を有さない点で相違する。 そうすると、前記（ア）ｂ（ｂ）に記載したのと同様の理由により、そのほかの相違点について検討するまでもなく、本件発明６は、甲２０発明１に基づいて、又は、甲２０発明１及び本件特許の原出願の出願日当時の周知技術に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものではない。 更に、本件発明７、８について検討しても事情は同じである。 （ｃ） 本件発明６と甲２１発明１とを対比すると、本件発明６と甲２１発明１とは、甲２１発明１が、少なくとも前記（ア）ｂ（ａ）の相違点３’に係る本件発明６の発明特定事項を有さない点で相違する。 そうすると、前記（ア）ｂ（ｂ）に記載したのと同様の理由により、そのほかの相違点について検討するまでもなく、本件発明６は、甲２１発明１に基づいて、又は、甲２１発明１及び本件特許の原出願の出願日当時の周知技術に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものではない。 更に、本件発明７、８について検討しても事情は同じである。 （ｄ） 本件発明６と甲２２発明１とを対比すると、本件発明６と甲２２発明１とは、甲２２発明１が、少なくとも前記（ア）ｂ（ａ）の相違点３’に係る本件発明６の発明特定事項を有さない点で相違する。 そうすると、前記（ア）ｂ（ｂ）に記載したのと同様の理由により、そのほかの相違点について検討するまでもなく、本件発明６は、甲２２発明１に基づいて、又は、甲２２発明１及び本件特許の原出願の出願日当時の周知技術に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものではない。 更に、本件発明７、８について検討しても事情は同じである。 ｃ 小括 したがって、本件発明１～４、６及び８は、甲第１２号証、甲第２０号証に記載された発明であるとはいえないし、本件発明１～４、６～８は、甲第１２号証、甲第２０号証～甲第２２号証に記載された発明に基づいて、又は、甲第１２号証、甲第２０号証～甲第２２号証に記載された発明及び原出願の出願日当時の周知技術に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものではない。 ウ 申立人村野の特許異議申立理由、村野上申書及び村野意見書について （ア） 特許異議申立理由、村野上申書及び村野意見書における申立人村野の主張は、概略、以下のとおりである。 ａ 甲第１１号証の記載によれば、甲第１１号証に記載された発明における最大急峻度が０．３３％であるということは、少なくとも幅方向の最大急峻度が０．３３％以下であることを意味する。なお、甲第１１号証には、急峻度を定義する数式等が記載されていないが、甲第１２号証、甲第１０号証の記載によれば、急峻度とは、波のピッチに対する高さの百分率であることは技術常識であるので、本件訂正前の特許請求の範囲の請求項１～５に係る発明は、甲第１１号証に記載された発明であり、同請求項１～８に係る発明は、甲第１１号証に記載された発明及び原出願の出願日当時の周知技術に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものである（特許異議申立書１５６ページ３行～１６４ページ最終行）。 ｂ 本件訂正前の特許請求の範囲に記載された発明と、甲第１２号証に記載された発明とは、急峻度の測定方法が長さ方向であるか幅方向であるかという点において相違するが、耳伸び形状や中伸び形状においては、長手方向の波の急峻度は幅方向の波の急峻度よりも大きく算出されるから、甲第１２号証に記載された発明において、一端側部分と他端側部分の長さ方向の急峻度が大きくても０．３％であり、中央部分の長さ方向の急峻度の最大値が０．２％であることからすれば、幅方向の急峻度の最大値は０．３％や０．２％よりも小さい蓋然性が高いので、本件訂正前の特許請求の範囲の請求項１～６、８に係る発明は、甲第１２号証に記載された発明であり、同請求項１～８に係る発明は、甲第１２号証に記載された発明及び原出願の出願日当時の周知技術に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものである（特許異議申立書１６５ページ１行～１７３ページ最終行）。 ｃ 甲第２０号証に記載された発明における湾曲量のピッチを板幅に基づいて想定すると、甲第２０号証には、「第１急峻度」が０．２２７％以下のＦｅ－Ｎｉ合金鋼ストリップが記載されているといえるから、本件訂正前の特許請求の範囲の請求項１～５に係る発明は、甲第２０号証に記載された発明であり、同請求項１～８に係る発明は、甲第２０号証に記載された発明及び原出願の出願日当時の周知技術に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものである（特許異議申立書１７４ページ１行～１８１ページ最終行）。 ｄ 甲第２１号証の実施例のＮｏ．１７の急峻度は０％であって、このとき、急峻度の測定方法が長さ方向であるか幅方向であるかが明らかでないが、少なくとも波形状があれば測定方向が長さ方向か幅方向かに関わらず急峻度が０％になることはないから、急峻度が０であることは波形状がないことを意味するので、甲第２１号証には、「第１急峻度」が０％のＦｅ－Ｎｉ系低熱膨張合金薄板が記載されているといえる。 したがって、本件訂正前の特許請求の範囲の請求項１～８に係る発明は、甲第２１号証に記載された発明及び原出願の出願日当時の周知技術に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものである（特許異議申立書１８２ページ１行～１８８ページ最終行）。 ｅ 甲第２２号証の実施例のＮｏ．１５の急峻度は０．０１％であって、このとき、急峻度の測定方法が長さ方向であるか幅方向であるかが明らかでないが、ある方向の急峻度が０．０１％であるときに、これと直交する方向の急峻度が０．５％を超えることは考え難いので、甲第２２号証には、「第１急峻度」が０．５％以下のＦｅ－Ｎｉ系低熱膨張合金薄板が記載されているといえる。 したがって、本件訂正前の特許請求の範囲の請求項１～８に係る発明は、甲第２２号証に記載された発明及び原出願の出願日当時の周知技術に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものである（特許異議申立書１８９ページ１行～１９５ページ最終行）。 ｆ 本件訂正前の特許請求の範囲の請求項７に係る発明の発明特定事項は、甲第１４号証に記載されているから、本件訂正前の請求項７に係る発明は、当業者が容易に発明をすることができたものである（村野上申書１ページ１１行～５ページ２行）。 ｇ 本件訂正前の特許請求の範囲の請求項２に係る発明について、甲第１１号証及び甲第１２号証に記載された事項からみて、「単位急峻度」のばらつきが正規分布に従うことに疑義は生じないから、前記請求項２に係る発明の発明特定事項は、甲第１１号証に記載されている（村野上申書５ページ１５行～６ページ下から３行）。 （イ） 始めに、前記（ア）ａ～ｅの主張について検討すると、前記（ア）ａ～ｅの主張は、総じて、甲第１１号証、甲第１２号証、甲第２０号証～甲第２２号証に記載された「最大急峻度」、「急峻度の最大値」、「第１急峻度」といった物性値から、あるいは前記物性値及び甲第１０号証や甲第１２号証に記載された急峻度の定義に基づいて、本件発明における「第１急峻度」を算出又は推認できることを前提としたものといえる。 ところが、甲第１１号証、甲第１２号証、甲第２０号証～甲第２２号証には、本件発明１において特定される「第１急峻度」は記載されていないし、甲第１０号証に記載された関係式から本件発明における「第１急峻度」を算出することができるものではないことは、前記１（５）イに記載したとおりであって、更に甲第１２号証の記載について検討しても事情は同じであるから、甲第１１号証、甲第１２号証、甲第２０号証～甲第２２号証に記載された「最大急峻度」、「急峻度の最大値」、「第１急峻度」といった物性値から、あるいは前記物性値及び甲第１０号証や甲第１２号証に記載された急峻度の定義に基づいて、本件発明における「第１急峻度」を算出又は推認できるものではない。 してみれば、前記（ア）ａ～ｅの主張は前提において誤っているから、いずれも採用できない。 次に、前記（ア）ｆ～ｇの主張について検討すると、仮に、本件訂正前の特許請求の範囲の請求項７の発明特定事項が、甲第１４号証に記載されており、「単位急峻度」のばらつきが正規分布に従うとしても、前記イ（ア）ｃ、同（イ）ｃに記載した事項に変わりはないので、前記（ア）ｆ～ｇの主張も、いずれも採用できない。 エ まとめ よって、本件発明１～４、６及び８は、甲第１１号証、甲第１２号証、甲第２０号証に記載された発明であるとはいえないし、本件発明１～４、６～８は、甲第１１号証、甲第１２号証、甲第２０号証～甲第２２号証に記載された発明に基づいて、または、甲第１１号証、甲第１２号証、甲第２０号証～甲第２２号証に記載された発明と、原出願の出願日当時の周知技術に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものでもないから、前記第４の１（３）の特許異議の申立て理由はいずれも理由がない。 （２） 申立人山田による特許異議申立について ここでいう甲第１号証、甲第２号証は、申立人山田により提出された、前記第４の２（３）に記載された甲第１号証、甲第２号証である。 ア 甲各号証に記載された事項等 （ア） 甲第１号証の記載事項及び甲第１号証に記載された発明 甲第１号証は、申立人村野が提出した甲第１２号証（第４の２（４））と同じものであるから、前記（１）ア（イ）の甲１２発明１及び甲１２発明２が記載されているといえる。 （イ） 甲第２号証の記載事項 甲第２号証は、申立人村野が提出した甲第２１号証（第４の２（４））と同じものであるから、前記（１）ア（エ）に記載された事項が記載されているといえる。 イ 対比・判断 甲第１号証に、前記（１）ア（イ）の甲１２発明１及び甲１２発明２が記載されているといえることは、前記ア（ア）に記載したとおりである。 そうすると、前記（１）イ（イ）ａ（ａ）及び同ｂ（ａ）に記載したのと同様の理由により、本件発明１～４、６～８は、甲第１号証に記載された発明であるとはいえないし、甲第１号証に記載された発明に基づいて、又は、甲第１号証に記載された発明及び甲第２号証に記載された事項に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものともいえない。 ウ 申立人山田の特許異議申立理由及び山田意見書について （ア） 申立人山田の特許異議申立理由及び山田意見書における主張は、概略、以下のとおりである。 ａ 甲第１号証に記載された発明において、「急峻度」が「０．３％」以下であることは、本件訂正前の特許請求の範囲の請求項１に係る発明において、「第１急峻度が、０．５％以下」であることに相当するから、前記請求項１に係る発明と甲第１号証に記載された発明との間には相違点が存在しない。 また、前記請求項１に係る発明は、一般的な圧延工程で製造されるものと解されるから、前記請求項１に係る発明と甲第１号証に記載された発明とは出発材料及び製造条件が同一であるので、甲第１号証に記載された発明も、「第１急峻度が、０．５％以下」である蓋然性が高い。 したがって、前記請求項１に係る発明と甲第１号証に記載された発明との間には実質的な相違点が存在しない。 更に、甲第１号証には、甲第１号証に記載された発明において急峻度に基づいて長尺金属板を選別すれば、貫通孔ピッチのばらつきを低減できることが記載され、甲第２号証には、急峻度が０％のＦｅ－Ｎｉ系合金の金属板が記載されているから、前記請求項１に係る発明は、甲第１号証に記載された発明に基づいて、又は、甲第１号証に記載された発明及び甲第２号証に記載された事項に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものである（特許異議申立書１６ページ２行～１９ページ１５行）。 ｂ 甲第１号証には、「エッチング液を用いたエッチング」により金属板に複数の孔を形成することが記載されているから、本件発明１～４、６～８は、依然として新規性、進歩性を有しない（山田意見書１ページ下から１６行～３ページ２行）。 （イ）以下、前記（ア）ａ～ｂの主張について検討すると、前記（１）イ（イ）ａ（ａ）に記載したのと同様の理由により、甲第１号証に記載された発明において、「急峻度」が「０．３％」以下であるとしても、「第１急峻度が、０．５％以下」であるとはいえないし、本件発明１と甲第１号証に記載された発明の出発材料及び製造条件が同一であることを裏付ける証拠もないから、本件発明１～４、６～８は、甲第１号証に記載された発明であるとはいえない。 また、甲第１号証に、「エッチング液を用いたエッチング」により金属板に複数の孔を形成することが記載されているとしても、前記（１）イ（イ）ａ（ａ）に記載したのと同様の理由により、本件発明１は、甲第１号証に記載された発明であるとはいえないし、甲第１号証に記載された発明に基づいて、又は、甲第１号証に記載された発明及び甲第２号証に記載された事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものともいえないことに変わりはないのであり、本件発明２～４、６～８について検討しても事情は同じであるから、申立人山田の前記（ア）ａ～ｂの主張はいずれも採用できない。 エ まとめ よって、本件発明１～４、６～８は、甲第１号証に記載された発明であるとはいえないし、甲第１号証に記載された発明に基づいて、又は、甲第１号証に記載された発明及び甲第２号証に記載された事項に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものでもないから、前記第４の２（２）の特許異議の申立て理由は理由がない。 （３） 特許法第２９項第１項、第２項所定の規定違反についてのまとめ よって、特許法第２９項第１項、第２項所定の規定違反についての特許異議の申立て理由はいずれも理由がない。 第７ むすび 以上のとおりであるので、取消理由通知書に記載した取消理由及び特許異議申立書に記載された特許異議の申立て理由によっては、本件請求項１～４、６～８に係る特許を取り消すことはできない。 また、他に本件請求項１～４、６～８に係る特許を取り消すべき理由を発見しない。 そして、本件訂正により本件請求項５は削除されたから、本件請求項５に係る特許異議の申立てについては対象となる特許が存在しないものとなったので、特許法第１２０条の８第１項で準用する同法１３５条の規定により却下する。 よって、結論のとおり決定する。