2021-701028

特許第６８６６３２０号発明「蒸着マスクの製造方法、蒸着マスクを作製するために用いられる金属板およびその製造方法」の特許異議申立事件について、次のとおり決定する。

結 論 特許第６８６６３２０号の特許請求の範囲を訂正請求書に添付された訂正特許請求の範囲のとおり、訂正後の請求項〔１１－１４〕について訂正することを認める。 特許第６８６６３２０号の請求項１１ないし１４に係る特許を維持する。

理 由 第１ 手続の経緯 特許第６８６６３２０号の請求項１～１４に係る特許についての出願は、平成２８年２月５日（優先権主張 平成２７年２月１０日）を出願日とする特願２０１６－１９９３９７号の一部を新たな特許出願として平成３０年１月２５日に出願されたものであり、令和３年４月９日にその特許権の設定登録がされ、同年同月２８日に特許掲載公報が発行され、その後、請求項１１～１４に係る特許について、同年１０月２８日に特許異議申立人村戸良至（以下、「異議申立人」という。）により特許異議の申立てがなされ、令和４年２月８日付けで取消理由が通知され、その指定期間内である同年４月１１日に特許権者より意見書の提出及び訂正の請求があり、これに対し、異議申立人からは意見書の提出がなかったものである。 第２ 訂正の適否 １ 訂正事項 上記令和４年４月１１日になされた訂正の請求は、特許法第１２０条の５第３項及び第４項の規定に従い、一群の請求項を構成する請求項１１～１４を訂正の単位として、本件特許請求の範囲を、上記訂正請求書に添付した訂正特許請求の範囲のとおり、訂正後の請求項１１～１４について訂正することを求めるものであって、その訂正（以下、「本件訂正」という。）の具体的な訂正事項は次のとおりである。 特許請求の範囲の請求項１１に「ニッケルを含む鉄合金からなる金属板」とあるのを、「ニッケルを３０～５４質量％含む鉄合金からなる金属板」に訂正する。 （請求項１１を直接又は間接的に引用する請求項１２～１４も同様に訂正する。） ２ 訂正の目的の適否、新規事項の有無及び特許請求の範囲の拡張・変更の存否 （１）上記訂正事項は、訂正前の請求項１１の鉄合金に含まれるニッケルの含有量を限定するものであるから、特許請求の範囲の減縮を目的とするものである。 （２）上記訂正事項は、本件明細書の【００３６】の「例えば、蒸着マスク２０を構成する金属板の材料として、３０～５４質量％のニッケルを含む鉄合金を用いることができる。」との記載に基づくものであるから、願書に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内の訂正である。 （３）上記訂正事項は、訂正前の請求項１１の鉄合金に含まれるニッケルの含有量を限定するものであるから、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではない。 ３ 小括 本件訂正は、請求項１１～１４について訂正することを求めるものであるところ、上記２のとおり、特許法第１２０条の５第２項ただし書第１号に掲げる事項を目的とするものに該当し、かつ、同条第９項において準用する同法第１２６条第５項及び第６項の規定に適合するものであるから、訂正後の請求項１１～１４について訂正することを認める。 第３ 本件発明 上記第２のとおり、本件訂正は認容し得るものであるから、特許異議申立の対象である、本件訂正後の請求項１１～１４に係る発明（以下、各請求項に係る発明及び特許を項番に対応させて「本件発明１１」、「本件特許１１」などといい、併せて「本件発明」、「本件特許」ということがある。）の記載は、次のとおりである。 「【請求項１１】 その第１面にドライフィルムからなる第１レジストパターンを形成し、複数の貫通孔を形成して蒸着マスクを製造するために用いられ、ニッケルを３０～５４質量％含む鉄合金からなる金属板であって、 前記金属板の第１面の組成分析を、Ｘ線光電子分光法を用いて実施した結果として得られる、ニッケル酸化物のピーク面積値とニッケル水酸化物のピーク面積値との和をＡ１とし、鉄酸化物のピーク面積値と鉄水酸化物のピーク面積値との和をＡ２とする場合、Ａ１／Ａ２が０．３７以下であり、 前記金属板の第１面の組成分析をＸ線光電子分光法を用いて実施した結果として得られるグラフのうち、ニッケルの2p3/2軌道に基づいて得られる光電子の強度分布を示すグラフであるニッケルのトータルピークＰ＿Ｎｉの面積から、ニッケル単体に関するピークＰ＿Ｎｉ１の面積を減算することにより算出される面積であるＳ＿Ｎｉ（ＲＥＳＴ）を、Ａ１として用い、 前記金属板の第１面の組成分析をＸ線光電子分光法を用いて実施した結果として得られるグラフのうち、鉄の2p3/2軌道に基づいて得られる光電子の強度分布を示すグラフである鉄のトータルピークＰ＿Ｆｅの面積から、鉄単体に関するピークＰ＿Ｆｅ１の面積を減算することにより算出される面積であるＳ＿Ｆｅ（ＲＥＳＴ）を、Ａ２として用い、 前記ニッケルのトータルピークＰ＿Ｎｉの面積は、前記ニッケルのトータルピークＰ＿Ｎｉと、Shirley法に基づいて算出される前記ニッケルのトータルピークＰ＿Ｎｉのバックグラウンド線ＢＧ＿Ｎｉとによって囲まれた領域の面積であり、 前記ニッケル単体に関するピークＰ＿Ｎｉ１の面積は、前記ニッケル単体に関するピークＰ＿Ｎｉ１と前記バックグラウンド線ＢＧ＿Ｎｉとによって囲まれた領域の面積であり、 前記鉄のトータルピークＰ＿Ｆｅの面積は、前記鉄のトータルピークＰ＿Ｆｅと、Shirley法に基づいて算出される前記鉄のトータルピークＰ＿Ｆｅのバックグラウンド線ＢＧ＿Ｆｅとによって囲まれた領域の面積であり、 前記鉄単体に関するピークＰ＿Ｆｅ１の面積は、前記鉄単体に関するピークＰ＿Ｆｅ１と前記バックグラウンド線ＢＧ＿Ｆｅとによって囲まれた領域の面積であり、 Ｘ線光電子分光法を用いた前記金属板の前記第１面の組成分析において、前記金属板へ照射されるＸ線の、前記第１面に対する入射角が４５度であり、前記金属板から放出される光電子の取り込み角が９０度である、金属板。 【請求項１２】 Ａ１／Ａ２が０．３以下である、請求項１１に記載の金属板。 【請求項１３】 前記金属板の厚みが、８５μｍ以下である、請求項１１又は１２に記載の金属板。 【請求項１４】 前記金属板は、前記金属板の前記第１面に貼り付けられた前記ドライフィルムを露光および現像して前記第１レジストパターンを形成し、前記金属板の前記第１面のうち前記第１レジストパターンによって覆われていない領域をエッチングして、前記蒸着マスクを製造するためのものである、請求項１１乃至１３のいずれか一項に記載の金属板。」 第４ 令和４年２月８日付けで通知した取消理由及びこの取消理由において採用しなかった異議申立人による特許異議の申立理由の概要 １ 令和４年２月８日付けで通知した取消理由の概要 標記取消理由は、特許法第３６条第６項第１号所定の規定違反（サポート要件違反）に関するもの（以下、単に「取消理由」という。）であり、その具体的な指摘事項は、概略、以下のとおりである。 本件発明は、本件明細書の【０００７】に記載される「有機ＥＬ表示装置の画素密度が高くなるにつれて、蒸着マスクの貫通孔の寸法や配列ピッチは小さくなる」ことに対して、高い解像度を有するレジストパターンを形成するためのレジスト膜を、高い密着力で形成することのできる金属板を得ることを発明の課題としている。 そして、レジストパターンとして用いる「ドライフィルム」は、インバー材などの鉄－ニッケル合金に対しては密着し難く（【００５９】）、その密着性が、金属板表面のニッケル化合物の存在に左右され（【００６４】）、レジストパターンに対する密着性が低い金属板は、レジストパターンに対する密着性が高い金属板に比べて、金属板の表面層にニッケル酸化物およびニッケル水酸化物がより多く存在していたことから、金属板表面の鉄酸化物および鉄水酸化物に対するニッケル酸化物およびニッケル水酸化物の比率が０．４以下とすれば、レジストパターンに対する金属板の密着性が十分に確保され（【００６７】）、上記の発明の課題を、まずは、解決できることが当業者において理解できる。 一方で、上記発明の課題は、金属板表面においてニッケル酸化物およびニッケル水酸化物が多く存在する金属板において生じる課題であって、そもそも、ニッケルの含有量が少ない金属板は、金属板表面のニッケル酸化物およびニッケル水酸化物も少ないのであるから、上記発明の課題が生じないことになるし、鉄酸化物および鉄水酸化物に対するニッケル酸化物およびニッケル水酸化物の比率を０．４以下とする技術的な意義も存しない。 そうすると、本件明細書の記載に基づいて、当業者において上記発明の課題を解決できると認識できる範囲は、レジスト膜を形成する金属板についていうと、金属板の表面層にニッケル酸化物およびニッケル水酸化物が多く存在し得る鉄合金であり、さらに、「３０～５４質量％のニッケルを含む鉄合金」であるといえる。 しかしながら、後者の点について、本件発明１１では、「ニッケルを含む鉄合金からなる金属板」とのみ特定され、ニッケル含有量が低い鉄合金も含み得るものとなっているから、本件発明は、発明の詳細な説明の記載又はその示唆により当業者が本件発明の課題を解決できると認識できる範囲のものであるということはできないし、また、その記載や示唆がなくとも当業者が出願時の技術常識に照らし本件発明の課題を解決できると認識できる範囲のものであるということもできない。 ２ 取消理由において採用しなかった異議申立人による特許異議の申立理由の概要 （１）特許法第２９条第１項第３号所定の規定違反（新規性欠如）（申立理由１） 本件訂正前の請求項１１～１４に係る発明は、下記甲第１号証に記載された発明であって、特許法第２９条第１項第３号に該当するから、その特許は、特許法第２９条第１項第３号の規定に違反してされたものである。 （２）特許法第２９条第２項所定の規定違反（進歩性欠如）（申立理由２） 本件訂正前の請求項１１～１４に係る発明は、下記甲第１号証に記載された発明に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、その特許は、特許法第２９条第２項の規定に違反してされたものである。 記 甲第１号証：特許第５６２６４９１号公報 （３）特許法第３６条第４項第１号所定の規定違反（実施可能要件違反）（異議申立書で予備的請求とされるものであるが、ここでは申立理由３として検討対象とする。） 本件発明１１～１４の金属板と、甲１発明の金属板の原材料及び製造方法は実質的に同一であるから、両者は同一であるといえるが、仮に、本件発明１１～１４の金属板が甲１発明の金属板と異なるものであれば、それを異なるものとするための条件や工程が本件明細書には開示されていないこととなる。 そうすると、本件発明１１～１４の金属板を製造しようとした場合に、当業者は、当業者が期待し得る程度を超える試行錯誤又は複雑高度な実験等をする必要があり、どの様に本件発明１１～１４を実施することができるのかを理解することができるとはいえないから、仮に、本件発明１１～１４の金属板が甲１発明の金属板と同ーでないのであれば、本件明細書の詳細な説明の記載は、本件発明１１～１４に対して、実施可能要件を満たしていない。 第５ 当審の判断 １ 取消理由（特許法第３６条第６項第１号所定の規定違反（サポート要件違反））について （１）取消理由についての判断 取消理由は、要するに、本件明細書の記載から本件発明の課題を解決できると当業者において認識できる範囲は、金属板が「３０～５４質量％のニッケルを含む鉄合金」の場合であるところ、本件発明は、「ニッケルを含む鉄合金からなる金属板」とのみ特定され、ニッケルの含有量に関する特定はないからサポート要件を満たしていない、というものである。 しかしながら、本件訂正により、本件発明は、「３０～５４質量％のニッケルを含む鉄合金」というニッケルの含有量に関する特定事項を有するものとされたので、上記の範囲のものとなったということができる。 したがって、本件発明（本件発明１１～１４）に係る請求項１１～１４の記載は、サポート要件を満たしているといえる。 （２）異議申立人の主張について 異議申立人は、特許異議申立書において、上記取消理由に関連し、本件明細書に記載される本件発明の課題を解決することができる金属板の範囲は、本件明細書の【表４】、【表７】、【０１５３】及び【０１５７】に具体的に記載される元素の組み合わせ及び組成に限定される旨を主張している。 しかしながら、上記第４の１で述べた本件発明の課題に対し、本件明細書の【００６４】には、「第１レジストパターン６５ａと第１面２１ａとの間の密着力は、金属板２１の第１面２１ａにおけるニッケル化合物の存在に左右される」と記載され、また、同【００６７】には、「レジストパターンに対する密着性が低い金属板においては、レジストパターンに対する密着性が高い金属板に比べて、金属板の表面層にニッケル酸化物およびニッケル水酸化物がより多く存在していた。金属板の表面層に存在する化合物が、鉄酸化物、鉄水酸化物、ニッケル酸化物およびニッケル水酸化物であることを考えると、「金属板の表面層にニッケル酸化物およびニッケル水酸化物が多く存在する」という状況は、「金属板の表面層において、鉄酸化物および鉄水酸化物に対するニッケル酸化物およびニッケル水酸化物の比率が高い」という状況に言い換えることができる。また、後述する実施例に示すように、様々な金属板に関してレジストパターンに対する密着性を評価したところ、鉄酸化物および鉄水酸化物に対するニッケル酸化物およびニッケル水酸化物の比率が０．４以下であれば、レジストパターンに対する金属板の密着性が十分に確保されており、一方、上述の比率が０．４を超えると、レジストパターンに対する金属板の密着性が不十分になっていた。」と記載されている。 これらの記載によれば、レジストパターンに対する金属板の密着性が低い原因として、金属板の表面層にニッケル酸化物およびニッケル水酸化物が多く存在していることが明らかにされているから、上記の発明の課題の前提として、金属板表面においてニッケル酸化物およびニッケル水酸化物が相当量存在する必要はあるものの、上記の発明の課題を解決するために重要となる事項は、金属板の表面層のニッケル酸化物およびニッケル水酸化物の含有量を減らすこと、すなわち、鉄酸化物および鉄水酸化物に対するニッケル酸化物およびニッケル水酸化物の比率を０．４以下とすることであり、これによれば、レジストパターンに対する金属板の密着性が十分に確保することを、当業者において理解することができる。 そうすると、本件発明の課題を解決できると当業者において認識できる金属板は、本件明細書の【表４】、【表７】、【０１５３】及び【０１５７】に具体的に記載される元素の組み合わせ及び組成に限定されるものではないと解するのが相当であるから、上記異議申立人の主張は、採用することはできない。 （３）小括 以上のとおりであるから、取消理由には、理由がない。 ２ 申立理由１（特許法第２９条第１項第３号所定の規定違反（新規性欠如））及び申立理由２（特許法第２９条第２項所定の規定違反（進歩性欠如））について （１）甲１に記載の事項 ア 「【請求項５】 複数の貫通孔を形成して蒸着マスクを製造するために用いられる金属板であって、 前記マスクの前記貫通孔は、前記金属板をエッチングすることによって形成されるものであり、 前記金属板を、その一対の表面から５ｎｍ以内の距離に位置する一対の表面層と、前記一対の表面層の間に位置するバルク層と、に区画する場合、以下の条件（１），（２）が満たされており、 （１）前記一対の表面層のうち少なくとも一方の表面層に含まれる鉄、ニッケルおよびクロムの質量の合計を１００質量％としたときに、前記少なくとも一方の表面層は、３４～３８質量％のニッケルと、０．１質量％以上のクロムと、残部の鉄と、を含む鉄合金からなること；および、 （２）前記バルク層に含まれる各構成元素の質量の合計を１００質量％としたときに、前記バルク層は、３４～３８質量％のニッケルと、０．１質量％未満のクロムと、残部の鉄および不可避の不純物と、を含む鉄合金からなること； 前記金属板の一方の表面からの距離が５ｎｍを超える部分に含まれる鉄、ニッケルおよびクロムの質量の合計を１００質量％としたときに、Ｘ線光電子分光法を用いて前記金属板の前記一方の表面層およびその近傍における金属板の組成分析を実施した結果として得られる、前記金属板の一方の表面からの距離が５ｎｍを超える部分におけるクロム濃度が、０．１質量％未満である、 金属板。」 イ 「【０００６】 このような課題を解決するため、蒸着マスクを製造するために用いられる金属板の厚みを小さくすることが考えられる。なぜなら、金属板の厚みを小さくすることによって、蒸着マスクの貫通孔の壁面の高さを小さくすることができ、このことにより、蒸着材料のうち貫通孔の壁面に付着するものの比率を低くすることができるからである。厚みの小さな金属板を得るためには、母材を圧延して金属板を製造する際の圧延率を大きくすることになる。 【０００７】 一方、金属板の厚みを小さくした場合、有機ＥＬ表示装置用の基板に対する蒸着マスクの貫通孔の位置の精度を決定する要因として、蒸着マスクと基板との間における密着の程度が無視できない要因になる。例えば、蒸着マスクの貫通孔の深さが２５μｍであり、そして、基板に対向する蒸着マスクの表面に厚み１μｍの錆びが形成された場合について考える。この場合、錆びの厚みである１μｍは、貫通孔の深さである２５μｍの４％に相当するので、貫通孔の深さに対して無視できない程度の値であると言える。このような錆びが生じた蒸着マスクを基板に密着させる場合、錆びの厚みの分だけ貫通孔が基板から遠ざかってしまい、この結果、基板に対する蒸着マスクの貫通孔の位置が有意にずれてしまうことになる。このため、基板上に付着する蒸着材料の寸法精度や位置精度が低下してしまうことが考えられる。また、蒸着マスクに生じた錆びによって基板に傷がついてしまうことも考えられる。従って、蒸着マスクの表面に錆びが生じることは、可能な限り抑制されることが好ましい。 【０００８】 表面の錆びを抑制する方法としては、例えばステンレス鋼で採用されているように、空気中の酸素と結合して表面に不動態被膜を形成することができるクロムなどの元素を合金に添加することが考えられる。しかしながら、本件発明者らが鋭意研究を行ったところ、クロムの添加によって防錆性が改善される反面、クロムの添加に起因して蒸着マスクの寸法精度や位置精度が低下し得ることを見出した。このような課題は、上述の特許文献１においては認識されていないものである。 【０００９】 本発明は、このような課題を考慮してなされたものであり、高い寸法精度および位置精度で形成された貫通孔を備え、かつ高い防錆性を有する蒸着マスクを製造するために用いられる金属板を提供することを目的とする。また本発明は、金属板の製造方法およびマスクの製造方法を提供することを目的とする。」 ウ 「【００５５】 （金属板の製造方法） ・・・ 【００５６】 〔圧延工程〕 はじめに図８（ａ）に示すように、３４～３８質量％のニッケルを含む鉄合金から構成された母材５５を準備し、この母材５５を、一対の圧延ロール５６ａ，５６ｂを含む圧延装置５６に向けて、矢印Ｄ１で示す搬送方向に沿って搬送する。一対の圧延ロール５６ａ，５６ｂの間に到達した母材５５は、一対の圧延ロール５６ａ，５６ｂによって圧延され、この結果、母材５５は、その厚みが低減されるとともに、搬送方向に沿って伸ばされる。これによって、厚みｔ０の長尺金属板６４を得ることができる。図８（ａ）に示すように、長尺金属板６４をコア６１に巻き取ることによって巻き体６２を形成してもよい。厚みｔ０の具体的な値は、好ましくは上述のように１５～８５μｍの範囲内となっている。 ・・・ 【００５８】 〔スリット工程〕 ・・・ 【００５９】 〔アニール工程〕 その後、圧延によって長尺金属板６４内に蓄積された残留応力を取り除くため、図８（ｂ）に示すように、アニール装置５７を用いて長尺金属板６４をアニールする。アニール工程は、図８（ｂ）に示すように、長尺金属板６４を搬送方向（長手方向）に引っ張りながら実施されてもよい。すなわち、アニール工程は、いわゆるバッチ式の焼鈍ではなく、搬送しながらの連続焼鈍として実施されてもよい。アニール工程が実施される期間は、長尺金属板６４の厚みや圧延率などに応じて適切に設定されるが、例えば５００℃で６０秒にわたってアニール工程が実施される。なお上記「６０秒」は、アニール装置５７中の５００℃に加熱された空間を長尺金属板６４が通過することに要する時間が６０秒であることを意味している。 【００６０】 アニール工程を実施することにより、残留歪がある程度除去された、厚みｔ０の長尺金属板６４を得ることができる。なお厚みｔ０は通常、蒸着マスク２０の周囲領域２３内の最大厚みＴｂに等しくなる。 ・・・ 【００６３】 〔切断工程〕 その後、長尺金属板６４の幅方向における両端をそれぞれ所定範囲にわたって切り落とし、これによって、長尺金属板６４の幅を所望の幅に調整する切断工程を実施する。このようにして、所望の厚みおよび幅を有する長尺金属板６４を得ることができる。 【００６４】 〔検査工程〕 その後、得られた長尺金属板６４を構成する材料の組成を検査する検査工程を実施する。ここでは、図９に示すように、長尺金属板６４を、その厚み方向において、長尺金属板６４の一対の表面６４ａ，６４ｂからｔ２以内の距離に位置する一対の表面層（第１表面層６４ｃ，第２表面層６４ｄ）と、一対の表面層６４ｃ，６４ｄの間に位置するバルク層６４ｅと、に区画した上で、表面層６４ｃ，６４ｄおよびバルク層６４ｅに対してそれぞれ別個の手法を用いて組成の分析を実施する場合について説明する。これによって、表面層６４ｃ，６４ｄおよびバルク層６４ｅにおける組成をより精密に検査することが可能になる。なお、距離ｔ２の具体的な値は、蒸着マスク２０の形状や金属板２１の材料に応じて適切に定められるが、例えば距離ｔ２は５ｎｍとなっている。 【００６５】 表面層６４ｃ，６４ｄの組成を検査する方法としては、Ｘ線光電子分光法（以下、ＸＰＳ法とも称する）を用いることができる。・・・ 一方、バルク層６４ｅの組成を検査する方法としては、蛍光Ｘ線分析法（以下、ＸＲＦ法とも称する）を用いることができる。・・・ 【００６６】 ＸＰＳ法およびＸＲＦ法を用いて表面層６４ｃ，６４ｄおよびバルク層６４ｅの組成を測定した後、以下の条件（１），（２）をいずれも満たす長尺金属板６４のみを、後述する蒸着マスク２０の製造工程において使用するという、長尺金属板６４の選別を実施する。 （１）表面層６４ｃ，６４ｄのうち少なくとも一方の表面層に含まれる鉄、ニッケルおよびクロムの質量の合計を１００質量％としたときに、少なくとも一方の表面層は、３４～３８質量％のニッケルと、０．１質量％以上のクロムと、残部の鉄と、を含む鉄合金からなること。 （２）バルク層６４ｅに含まれる各構成元素の質量の合計を１００質量％としたときに、バルク層６４ｅは、３４～３８質量％のニッケルと、０．１質量％未満のクロムと、残部の鉄および不可避の不純物と、を含む鉄合金からなること。 ・・・ 【００７０】 本件発明者らが鋭意研究を重ねたところ、アニール工程の際の雰囲気を適切にすることにより、上記の条件（１）、（２）を満たす長尺金属板６４を得ることができた。具体的には、大気環境下よりも低い分圧で存在する酸素ガスと、窒素ガスなどの不活性ガスとを含む雰囲気下でアニール工程を実施することにより、上記の条件（１）、（２）を満たす長尺金属板６４を得ることができた。この理由は特には限定されないが、例えば、ニッケル系鉄合金中におけるクロムが、アニール工程中に表面に向かって拡散することにより、上記の条件（１）、（２）を満たす組成分布が実現されたことが考えられる。 ・・・ 【００７４】 （蒸着マスクの製造方法） 次に、上述のようにして選別された長尺金属板６４を用いて蒸着マスク２０を製造する方法について、主に図１０～図１９を参照して説明する。以下に説明する蒸着マスク２０の製造方法では、図１０に示すように、長尺金属板６４が供給され、この長尺金属板６４に貫通孔２５が形成され、さらに長尺金属板６４を断裁することによって枚葉状の金属板２１からなる蒸着マスク２０が得られる。 【００７５】 より具体的には、蒸着マスク２０の製造方法、帯状に延びる長尺の金属板６４を供給する工程と、フォトリソグラフィー技術を用いたエッチングを長尺の金属板６４に施して、長尺金属板６４に第１面６４ａの側から第１凹部３０を形成する工程と、フォトリソグラフィー技術を用いたエッチングを長尺金属板６４に施して、長尺金属板６４に第２面６４ｂの側から第２凹部３５を形成する工程と、を含んでいる。そして、長尺金属板６４に形成された第１凹部３０と第２凹部３５とが互いに通じ合うことによって、長尺金属板６４に貫通孔２５が作製される。図１１～図１９に示された例では、第２凹部３５の形成工程が、第１凹部３０の形成工程の前に実施され、且つ、第２凹部３５の形成工程と第１凹部３０の形成工程の間に、作製された第２凹部３５を封止する工程が、さらに設けられている。以下において、各工程の詳細を説明する。 ・・・ 【００７８】 まず、図１１に示すように、長尺金属板６４の第１面６４ａ上（図１１の紙面における下側の面上）および第２面６４ｂ上にネガ型の感光性レジスト材料を含む塗布液を塗布して、レジスト膜６５ｃ、６５ｄを形成する。」 エ 「【実施例】 【００９６】 次に、本発明を実施例により更に具体的に説明するが、本発明はその要旨を超えない限り、以下の実施例の記載に限定されるものではない。 【００９７】 （第１巻き体） はじめに、３４～３８質量％のニッケルと、０．１質量％未満のクロムと、残部の鉄および不可避の不純物と、を含む鉄合金から構成された母材を準備した。次に、母材に対して上述の圧延工程、スリット工程、アニール工程および切断工程を実施することにより、長尺金属板が巻き取られた巻き体（第１巻き体）を製造した。 【００９８】 具体的には、はじめに、第１熱間圧延工程および第１冷間圧延工程をこの順で行う第１圧延工程を実施し、次に、長尺金属板の幅方向における両端をそれぞれ３ｍｍ以上かつ５ｍｍ以下の範囲にわたって切り落とす第１スリット工程を実施した。その後、長尺金属板を構成する元素の結晶配列を変化させる温度以上の温度で、所定時間にわたって長尺金属板を連続焼鈍する第１アニール工程を実施した。さらに、第１アニール工程を経た長尺金属板に対して、第２冷間圧延工程を含む第２圧延工程を実施し、次に、長尺金属板の幅方向における両端をそれぞれ３ｍｍ以上かつ５ｍｍ以下の範囲にわたって切り落とす第２スリット工程を実施した。その後、長尺金属板を構成する元素の結晶配列を変化させる温度以上の温度で、所定時間にわたって長尺金属板を連続焼鈍する第２アニール工程を実施した。これによって、所望の厚みを有する、約６００ｍｍ幅の長尺金属板６４を得た。上述の第１アニール工程および第２アニール工程は、大気に対して少なくとも部分的に開放された空間において、窒素ガスを連続的に導入しながら実施した。その後、長尺金属板６４の幅方向における両端をそれぞれ所定範囲にわたって切り落とし、これによって、長尺金属板６４の幅を所望の幅、具体的には５００ｍｍ幅に最終的に調整する切断工程を実施した。 【００９９】 なお、冷間圧延工程は、圧延油を用いてクーリングしながら行った。冷間圧延工程の後には、長尺金属板を洗浄する洗浄工程を行った。洗浄工程の後には、上述のスリット工程を実施した。なお、長尺金属板の厚みは２５μｍとした。 【０１００】 〔組成の分析〕 その後、シャーを用いて長尺金属板６４を所定の範囲で、例えば３０×３０ｍｍの範囲で切り出して第１試料を得た。次に、ＸＰＳ法を用いて、第１試料の表面層の組成を分析した。また、ＸＲＦ法を用いて、第１試料のバルク層の組成を分析した。」 （２）甲１に記載された発明 甲１の上記（１）アの記載によれば、甲１には、以下の発明（以下、「甲１発明」という。）が記載されているといえる。 「複数の貫通孔を形成して蒸着マスクを製造するために用いられる金属板であって、 前記マスクの前記貫通孔は、前記金属板をエッチングすることによって形成されるものであり、 前記金属板を、その一対の表面から５ｎｍ以内の距離に位置する一対の表面層と、前記一対の表面層の間に位置するバルク層と、に区画する場合、以下の条件（１），（２）が満たされており、 （１）前記一対の表面層のうち少なくとも一方の表面層に含まれる鉄、ニッケルおよびクロムの質量の合計を１００質量％としたときに、前記少なくとも一方の表面層は、３４～３８質量％のニッケルと、０．１質量％以上のクロムと、残部の鉄と、を含む鉄合金からなること；および、 （２）前記バルク層に含まれる各構成元素の質量の合計を１００質量％としたときに、前記バルク層は、３４～３８質量％のニッケルと、０．１質量％未満のクロムと、残部の鉄および不可避の不純物と、を含む鉄合金からなること； 前記金属板の一方の表面からの距離が５ｎｍを超える部分に含まれる鉄、ニッケルおよびクロムの質量の合計を１００質量％としたときに、Ｘ線光電子分光法を用いて前記金属板の前記一方の表面層およびその近傍における金属板の組成分析を実施した結果として得られる、前記金属板の一方の表面からの距離が５ｎｍを超える部分におけるクロム濃度が、０．１質量％未満である、 金属板。」 （３）本件発明１１について ア 対比 本件発明１１と甲１発明を対比する。 甲１発明の「複数の貫通孔を形成して蒸着マスクを製造するために用いられる金属板」は、本件発明１１の「複数の貫通孔を形成して蒸着マスクを製造するために用いられ」る「金属板」に相当する。 また、甲１発明の金属板は、前記金属板を、その一対の表面から５ｎｍ以内の距離に位置する一対の表面層と、前記一対の表面層の間に位置するバルク層と、に区画する場合、（１）「前記少なくとも一方の表面層は、３４～３８質量％のニッケルと、０．１質量％以上のクロムと、残部の鉄と、を含む鉄合金からな」り、（２）「前記バルク層は、３４～３８質量％のニッケルと、０．１質量％未満のクロムと、残部の鉄および不可避の不純物と、を含む鉄合金からなる」ることから、金属板全体としては、「３４～３８質量％のニッケルと、クロムと、残部の鉄と、を含む鉄合金」であり、本件発明１１の「ニッケルを３０～５４質量％含む鉄合金からなる」金属板に相当する。 そうすると、本件発明１１と甲１発明は、「複数の貫通孔を形成して蒸着マスクを製造するために用いられ、ニッケルを３０～５４質量％含む鉄合金からなる金属板」の点で一致し、以下の点で相違しているといえる。 ＜相違点１＞ 金属板が、本件発明１１では、その第１面にドライフィルムからなる第１レジストパターンを形成するものであるのに対し、甲１発明では、その様なものであるのか明らかでない点。 ＜相違点２＞ 金属板が、本件発明１１では、「金属板の第１面の組成分析を、Ｘ線光電子分光法を用いて実施した結果として得られる、ニッケル酸化物のピーク面積値とニッケル水酸化物のピーク面積値との和をＡ１とし、鉄酸化物のピーク面積値と鉄水酸化物のピーク面積値との和をＡ２とする場合、Ａ１／Ａ２が０．３７以下（Ａ１及びＡ２の、測定方法の説明である「前記金属板の第１面の組成分析をＸ線光電子分光法を用いて実施した結果として得られるグラフのうち・・・Ｘ線光電子分光法を用いた前記金属板の前記第１面の組成分析において、前記金属板へ照射されるＸ線の、前記第１面に対する入射角が４５度であり、前記金属板から放出される光電子の取り込み角が９０度である」の記載を省略する。以下、同様）のものであるのに対し、甲１発明では、その様なものであるのか明らかでない点。 イ 相違点に関する判断 （ア）相違点１について 甲１の上記（１）ウの【００７８】の記載によれば、甲１発明において、マスクに貫通孔を設ける際のレジストパターンの形成は、感光性レジスト材料を含む塗布液によることが記載されるのみで、甲１には、本件発明１１のように、ドライフィルムからなるレジストパターンによることは記載されていない。 そうすると、上記相違点１は、実質的な相違点である。 また、甲１発明の課題は、以下のとおりである。 蒸着マスクを用いて蒸着材料を基板上に成膜する場合、蒸着マスクを製造するために用いられる金属板の厚みを小さくすることが考えられるが（甲１の上記（１）イの【０００６】）、金属板の厚みを小さくした場合、基板上に付着する蒸着材料の寸法精度や位置精度が低下するため、蒸着マスクの表面に錆びが生じることは、可能な限り抑制されることが好ましいところ（同【０００７】）、表面の錆びを抑制するには、空気中の酸素と結合して表面に不動態被膜を形成することができるクロムなどの元素を合金に添加することが考えられている。一方で、クロムの添加によって防錆性が改善される反面、クロムの添加に起因して蒸着マスクの寸法精度や位置精度が低下し得るという問題があるため（同【０００８】）、甲１発明は、高い寸法精度および位置精度で形成された貫通孔を備え、かつ高い防錆性を有する蒸着マスクを製造するために用いられる金属板を提供することを目的とするものである（【０００９】）。 以上の課題に照らすと、甲１発明は、金属板に、クロムなどの元素を合金に添加することを前提とし、その上で、クロムの添加に起因する蒸着マスクの寸法精度や位置精度の低下を防ぐことを主眼とするものであり、蒸着の際のレジストパターンの形態になんら着目するものではないから、甲１発明には、レジストパターンをドライフィルムとする動機付けはないものと解される。 してみると、上記相違点１に係る本件発明１１の構成は、当業者が容易に想到し得たものではない。 （イ）相違点２について ａ 甲１には、上記相違点２に係る本件発明１１の構成に関する事項は記載されていない。 ｂ（ａ） 異議申立人は、異議申立書の１４頁７行～１８頁８行において、上記相違点について、概略、次のように主張する。 「上記相違点２に係る本件発明１１の構成は、金属板の第１面の組成分析における、ニッケル酸化物、ニッケル水酸化物、鉄酸化物、鉄水酸化物の関係を規定したものであるが、このような特徴は、原材料と、製造方法によって決まるものと解される。 そこで、本件発明１１の金属板の原材料及び製造方法と、甲１発明の金属板の原材料及び製造方法を比較すると、本件発明１１に係る金属板の原材料及び製造方法は、以下のとおりである。 １１－ａ：ニッケルを含む鉄合金から構成された母材を準備する（【００７２】）、１１－ｂ：圧延工程で、母材を一対の圧延ロールを含む圧延装憤に向け搬送し、圧延し、厚みt０の板材を得る（【００７２】）、１１－ｃ：板材の幅方向における両端をそれぞれ３ｍｍ以上かつ５ｍｍ以下の範囲にわたって切り落とすスリット工程を実施してもよい（【００７４】）、１１－ｄ：アニール工程で、板材を、たとえば、５００℃で６０秒以上アニールし（【００７５】）、アニールエ程は、非還元雰囲気や不活性ガス雰囲気で実施される（【００７６】）、１１－ｅ：圧延工程、スリット工程、アニール工程を複数回繰り返して長尺金属板を作製してもよい（【００７８】）、１１－ｆ：長尺金属板の幅方向における両端をそれぞれ所定範囲にわたって切り落とし、長尺金属板の幅を所望の幅に調整する（【００７９】）。 他方、甲１発明の金属板の原材料及び製造方法は、以下のとおりである。 甲１－ａ：３４～３８質量％のニッケルを含む鉄合金から構成された母材を準備する(【００５６】)、甲１－ｂ：圧延工程で、母材を一対の圧延ロールを含む圧延装置に向け搬送し、圧延し、厚みｔ０の板材を得る(【００５６】)、甲１－ｃ：板材の幅方向における両端をそれぞれ３ｍｍ以上かつ５ｍｍ以下の範囲にわたって切り落とすスリット工程を実施してもよい(【００５８】)、甲１－ｄ：アニールエ程で、板材を、たとえば、５００℃で６０秒以上アニールする(【００６０】)、甲１－ｅ：圧延工程、スリット工程、アニール工程を複数回繰り返して長尺金属板を作製してもよい(【００６１】)、及び甲１－ｆ：長尺金属板の輻方向における両端をそれぞれ所定範囲にわたって切り落とし、長尺金属板の幅を所望の幅に調整する(【００６３】)。そして、アニール工程についてはさらに、「第１アニール工程および第２アニール工程は、大気に対して少なくとも部分的に開放された空間において、窒素ガスを連続的に導入しながら実施した。」と記載されているから（【００９８】）、本件発明１１に係る金属板と甲１発明の金属板は、原材料及び製造方法が一致している。 そうすると、甲１発明の金属板は、上記相違点２に係る本件発明１の構成の点で本件発明１の金属板と同じ金属板である。」 （ｂ） そこで、念のため、上記の主張についても検討するに、確かに原材料が同じで、甲１発明の蒸着マスク用金属板を製造する工程及びその工程での具体的な各製造条件までが、本件発明１１の金属板の原材料及び製造方法に一致しているのであれば、甲１発明の金属板も、上記相違点２に係る本件発明１１の構成を有する金属板であると考える余地がある。 しかしながら、本件発明１１に係る金属板及び甲１発明の金属板は共に、実際の製造に際しては、上記の１１－ａ～１１－ｆ及び甲１－ａ～甲１－ｆの各工程において、さらに具体的な製造条件が設定されるところ、そのような具体的な製造条件についても両者が一致していると認めるに足りる証拠はない。 また、異議申立人が特に着目するアニール工程についてみると、本件明細書の【００７５】及び【００７６】に「〔アニール工程〕・・・アニール工程が実施される期間は、長尺金属板６４の厚みや圧延率などに応じて適切に設定されるが、例えば５００℃で６０秒以上にわたってアニール工程が実施される。・・・好ましくは上述のアニール工程は、非還元雰囲気や不活性ガス雰囲気で実施される。ここで非還元雰囲気とは、水素などの還元性ガスを含まない雰囲気のことである。「還元性ガスを含まない」とは、水素などの還元性ガスの濃度が１０％以下であることを意味している。また不活性ガス雰囲気とは、アルゴンガス、ヘリウムガス、窒素ガスなどの不活性ガスが９０％以上存在する雰囲気のことである。非還元雰囲気や不活性ガス雰囲気でアニール工程を実施することにより、上述のニッケル水酸化物が長尺金属板６４の第１面６４ａや第２面６４ｂに生成されることを抑制することができる。」と記載される一方、甲１の上記（１）ウの【００５９】には、「〔アニール工程〕・・・アニール工程が実施される期間は、長尺金属板６４の厚みや圧延率などに応じて適切に設定されるが、例えば５００℃で６０秒にわたってアニール工程が実施される。」、同ウの【００７０】には、「本件発明者らが鋭意研究を重ねたところ、アニール工程の際の雰囲気を適切にすることにより、上記の条件（１）、（２）を満たす長尺金属板６４を得ることができた。具体的には、大気環境下よりも低い分圧で存在する酸素ガスと、窒素ガスなどの不活性ガスとを含む雰囲気下でアニール工程を実施することにより、上記の条件（１）、（２）を満たす長尺金属板６４を得ることができた。」と記載されているので、本件明細書及び甲１に記載されるアニール工程は、非還元雰囲気や不活性ガス雰囲気での５００℃、６０秒の条件で重複していることが分かる。しかしながら、本件発明１１に係る金属板について、本件明細書の【００８７】には、「上述の条件（１）は、アニール温度やアニール時間などの、長尺金属板６４を製造するための条件を最適化するために利用されてもよい。具体的には、様々なアニール温度やアニール時間で長尺金属板６４を製造し、得られた各長尺金属板６４の表面の組成を分析し、そして分析結果と条件（１）とを照らし合わせることによって、条件（１）を満たし得る適切な製造条件を設定する、という作業のために、条件（１）が利用されてもよい。」と記載されるように、アニール工程における具体的な製造条件は、条件（１）（Ａ１／Ａ２が０．４以下であること（【００８２】））を考慮しながら、本件明細書に記載される概略的なアニール工程における製造条件をさらに最適化する必要があるといえるから、両者のアニール工程は、具体的な製造条件までが一致するということはできない。 さらに、本件発明１１に係る金属板の製造工程は、本件明細書の【００８２】に記載されるような上記条件（１）を満たす金属板のみを選別する工程を備えるものであるが、甲１に記載される製造方法には、このような選別工程は存在していない。 そうすると、本件発明１１に係る金属板の製造方法と、甲１発明に係る金属板の製造方法が同じであるということはできないから、甲１発明に係る金属板が、本件発明１１に係る金属板と同じ物であるということはできないため、上記主張を採用して、上記相違点２を実質的な相違点ではないとすることはできない。 ｃ また、甲１発明は、上記（ア）で述べたとおり、クロムの添加に起因する蒸着マスクの寸法精度や位置精度の低下を防ぐことを主眼とするものであり、金属板表面のニッケル酸化物及びニッケル水酸化物の含有量に、何ら着目するものではないから、甲１発明には、金属板表面の鉄酸化物及び鉄水酸化物の含有量に対するニッケル酸化物及びニッケル水酸化物の含有量の比を制御することに対応する構成である、金属板の表面をＸ線光電子分光法を用いて得られる、ニッケル酸化物のピーク面積値とニッケル水酸化物のピーク面積値との和をＡ１とし、鉄酸化物のピーク面積値と鉄水酸化物のピーク面積値との和をＡ２とする場合、Ａ１／Ａ２が０．３７以下とする動機付けはない。 そうすると、上記相違点２に係る本件発明１１の構成は、当業者が容易に想到し得たものではない。 （ウ）以上のとおり、本件発明１は、甲１発明ではないし、甲１発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるとはいえない。 （４）本件発明１１～１４について 本件発明１１を少なくとも引用する本件発明１２～１４は、本件発明１１の発明特定事項を全て含むものであるから、上記（３）で述べたのと同様に、甲１発明ではないし、甲１発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるとはいえない。 （５）申立理由１及び申立理由２に関するまとめ 上記（３）及び（４）によれば、申立理由１及び申立理由２には、理由がない。 ３ 申立理由３（特許法第３６条第４項第１号所定の規定違反（実施可能要件違反））について 異議申立人の主張は、本件発明１１～１４の金属板と、甲１発明の金属板の原材料及び製造方法が一致することを前提としているが、本件発明１１～１４の金属板の製造方法と甲１発明の金属板の製造方法とが必ずしも一致しないことは、上記２（３）イ（イ）ｂ（ｂ）で述べたとおりであるから、異議申立人の主張は、その前提において誤りがある。 そして、本件明細書には、本件発明１の金属板の概略的な製造方法が【００７１】～【００８７】に記載され、上記２（３）イ（イ）ｂ（ｂ）で述べたように、本件明細書に記載される条件（１）（Ａ１／Ａ２が０．４以下であること（【００８２】））を考慮しながら概略的に記載された、アニール工程を含め各工程の製造条件をさらに最適化していくことは、製造工程を確立する上で当業者が通常行う条件設定の作業であるといえる。加えて、本件明細書に記載される金属板の製造工程は、【００８２】に記載されるような上記条件（１）を満たす金属板のみを選別する工程を備えるものであるから、上記条件（１）を満たす金属板に対応する本件発明１１～１４の金属板を過度の試行錯誤を行わなければ製造することができないとはいえない。 そうすると、本件発明１１～１４の金属板を製造するのに、当業者に期待し得る程度を超える試行錯誤又は複雑高度な実験等をする必要があるとはいえず、当業者であれば、本件明細書の発明の詳細な説明の記載により、本件発明１１～１４を実施することができるというべきであるから、本件明細書の詳細な説明の記載は、本件発明１１～１４に対して、実施可能要件を満たしているといえる。 よって、申立理由３には、理由がない。 第６ むすび 上記第５で検討したとおり、本件特許１１～１４は、特許法第３６条第６項及び第４項に規定する要件を満たしていない特許出願に対してされたものであるとも、同法第２９条のいずれの規定に違反してされたものであるともいうことはできず、同法第１１３条第２号又は第４号に該当するものではないから、上記取消理由及び申立理由では、本件特許１１～１４を取り消すことはできない。 また、他に本件特許１１～１４を取り消すべき理由を発見しない。 よって、結論のとおり決定する。