2021-700369

特許第６７８１８６４号発明「ペリクル膜、ペリクル枠体、ペリクル、その製造方法、露光原版、露光装置、半導体装置の製造方法」の特許異議申立事件について、令和５年３月３０日付けの異議の決定のうち、請求項１９～２３に係る部分が確定した一方で、知的財産高等裁判所において、請求項１、３～１８に係る部分を取り消す判決（令和５年（行ケ）第１００５３号、令和６年６月２４日判決言渡）があり、当該判決はその後確定したので、特許法第１８１条第２項の規定により、請求項２に係る部分を取り消した上で、請求項１～１８に係る部分を更に審理し、次のとおり決定する。

結 論 特許第６７８１８６４号の特許請求の範囲を訂正請求書に添付された訂正特許請求の範囲のとおり、訂正後の請求項〔１～１８〕について訂正することを認める。 特許第６７８１８６４号の請求項１、３～１８に係る特許を維持する。 特許第６７８１８６４号の請求項２に係る特許についての特許異議の申立てを却下する。

理 由 第１ 手続の経緯 特許第６７８１８６４号（以下「本件特許」という。）の請求項１～２３に係る特許についての出願（以下「本件出願」という。）は、２０１７年（平成２９年）７月３日（優先権主張 ２０１６年（平成２８年）７月５日）を国際出願日とするものであって、令和２年１０月２１日にその特許権の設定登録がされ、令和２年１１月１１日に特許掲載公報が発行された。本件特許異議の申立ての経緯は、次のとおりである。 令和 ３年 ４月２３日 ：特許異議申立人長谷川惠（以下「申立人Ａ」という。）による請求項１～１８に係る特許に対する特許異議の申立て 令和 ３年 ５月 ７日 ：特許異議申立人金山愼一（以下「申立人Ｂ」という。）による請求項１～２３に係る特許に対する特許異議の申立て 令和 ３年 ５月１１日 ：特許異議申立人谷口真魚（以下「申立人Ｃ」という。）による請求項１～２３に係る特許に対する特許異議の申立て 令和 ３年 ９月３０日付け：取消理由通知書（以下、この取消理由通知書に係る取消理由を「第１次取消理由」という。なお、指定期間は職権により発送日（同年１０月６日）から９０日とされた。） 令和 ３年１２月２８日 ：意見書（特許権者）及び訂正請求書（以下、この訂正請求書を「第１次訂正請求書」といい、第１次訂正請求書に係る訂正を「第１次訂正」という。）の提出 令和 ４年 １月２８日付け：訂正拒絶理由通知書（第１次訂正に係る請求に対するもの） 令和 ４年 ３月 ７日 ：意見書（特許権者）及び手続補正書（第１次訂正請求書に対するもの）の提出 令和 ４年 ４月２７日 ：意見書（申立人Ｂ）の提出 令和 ４年 ４月２８日 ：意見書（申立人Ｃ）の提出 令和 ４年 ６月２２日 ：意見書（申立人Ａ）の提出 令和 ４年 ８月 ８日付け：取消理由通知書（決定の予告。以下、この取消理由通知書に係る取消理由を「第２次取消理由」という。なお、指定期間は職権により発送日（同月１５日）から９０日とされた。） 令和 ４年１１月１１日 ：意見書（特許権者）及び訂正請求書（以下、この訂正請求書による訂正のうち、訂正後の請求項１～１８に係る部分のものを「本件訂正」という。）の提出 令和 ４年１２月２３日 ：意見書（申立人Ａ）の提出 令和 ４年１２月２３日 ：意見書（申立人Ｂ）の提出 令和 ４年１２月２３日 ：意見書（申立人Ｃ）の提出 令和 ５年 ３月３０日付け：異議の決定（以下「原決定」という。） 令和 ５年１２月１３日 ：原決定のうち請求項１９～２３に係る部分の確定登録 令和 ６年 ６月２４日 ：原決定のうち請求項１、３～１８に係る部分を取り消す判決（以下「本件判決」という。） なお、第１次訂正に係る請求は、特許法第１２０条の５第７項の規定により、取り下げられたものとみなされた。 また、第２次取消理由及び第１次取消理由を総称して、以下、単に「取消理由」ということがあり、申立人Ａ～Ｃを総称して、以下、単に「申立人」ということがある。さらに、申立人Ａ～Ｃによる特許異議申立理由を総称して、以下、単に「特許異議申立理由」という。 第２ 本件訂正の適否 １ 本件訂正の内容 本件訂正の内容は以下のとおりである（下線は訂正箇所である。）。 なお、本件訂正は、一群の請求項である訂正後の請求項１～１８について請求されたものである。 （１）訂正事項１ 本件訂正前の請求項１に記載された「支持枠の開口部に張設される露光用ペリクル膜であって、前記ペリクル膜は、厚さが２００ｎｍ以下であり、前記ペリクル膜は、カーボンナノチューブシートを含み、前記カーボンナノチューブシートは複数のカーボンナノチューブから形成されるバンドルを備え、前記バンドルは径が１００ｎｍ以下であり、前記カーボンナノチューブシート中で前記バンドルが面内配向しており、前記カーボンナノチューブの径が０．８ｎｍ以上６ｎｍ以下である、露光用ペリクル膜。」を、 「支持枠の開口部に張設される露光用ペリクル膜であって、前記ペリクル膜は、厚さが２００ｎｍ以下であり、前記ペリクル膜は、カーボンナノチューブシートの自立膜であり、前記カーボンナノチューブシートは複数のカーボンナノチューブから形成されるバンドルを備え、前記バンドルは径が１００ｎｍ以下であり、前記カーボンナノチューブシート中で前記バンドルが面内配向しており、下記条件（１）を満たし、前記カーボンナノチューブシートは、面内配向した前記バンドル同士が絡み合った網目構造を有し、前記カーボンナノチューブの径が０．８ｎｍ以上６ｎｍ以下である、露光用ペリクル膜。 （１）カーボンナノチューブシートの断面の制限視野電子線回折像において、前記カーボンナノチューブのバンドルの三角格子に由来する前記カーボンナノチューブシートの膜厚方向の、回折強度のピークとなる逆格子ベクトルにおける回折強度と、前記カーボンナノチューブシートの膜厚方向の前記ピークと重ならず、ベースラインとなる逆格子ベクトルにおける回折強度との差を、前記膜厚方向の前記ベースラインとなる逆格子ベクトルにおける前記カーボンナノチューブシートの面内方向の回折強度と、前記膜厚方向の回折強度のピークとなる逆格子ベクトルにおける前記カーボンナノチューブシートの面内方向の回折強度との差で除した比 ＲＢが０．４０以上である。」に訂正する。 （請求項１の記載を引用する請求項３～５、１３～１８も同様に訂正する。) （２）訂正事項２ 本件訂正前の請求項２を削除する。 （３）訂正事項３ 本件訂正前の請求項５に記載された「請求項１～４のいずれか一項に記載の露光用ペリクル膜」を「請求項１、３～４のいずれか一項に記載の露光用ペリクル膜」に訂正する。（請求項５の記載を引用する請求項１３～１８も同様に訂正する。) （４）訂正事項４ 本件訂正前の請求項６に記載された「カーボンナノチューブの径が０．８ｎｍ以上６ｎｍ以下であり、カーボンナノチューブの長さが１０μｍ以上１０ｃｍ以下であり、カーボンナノチューブ中のカーボンの含有量が９８質量パーセント以上である、カーボンナノチューブシートを含む、ペリクル膜。」を、 「カーボンナノチューブの径が０．８ｎｍ以上６ｎｍ以下であり、カーボンナノチューブの長さが１０μｍ以上１０ｃｍ以下であり、カーボンナノチューブ中のカーボンの含有量が９８質量パーセント以上である、カーボンナノチューブシートの自立膜であるペリクル膜であって、前記カーボンナノチューブシートは複数のカーボンナノチューブから形成されるバンドルを備え、前記バンドルは径が１００ｎｍ以下であり、前記カーボンナノチューブシート中で前記バンドルが面内配向し、下記条件（１）を満たし、前記カーボンナノチューブシートは、面内配向した前記バンドルが絡み合った網目構造を有する、ペリクル膜。 （１）カーボンナノチューブシートの断面の制限視野電子線回折像において、前記カーボンナノチューブのバンドルの三角格子に由来する前記カーボンナノチューブシートの膜厚方向の、回折強度のピークとなる逆格子ベクトルにおける回折強度と、前記カーボンナノチューブシートの膜厚方向の前記ピークと重ならず、ベースラインとなる逆格子ベクトルにおける回折強度との差を、前記膜厚方向の前記ベースラインとなる逆格子ベクトルにおける前記カーボンナノチューブシートの面内方向の回折強度と、前記膜厚方向の回折強度のピークとなる逆格子ベクトルにおける前記カーボンナノチューブシートの面内方向の回折強度との差で除した比 ＲＢが０．４０以上である。」に訂正する。 （請求項６の記載を引用する請求項７～１８も同様に訂正する。) ２ 訂正の目的の適否、新規事項の追加の有無、特許請求の範囲の拡張・変更の存否 （１）訂正事項１ ア 訂正の目的 訂正事項１に係る訂正は、次の内容からなるものである。 （ｉ）本件訂正前の請求項１において、「前記ペリクル膜」を構成する「カーボンナノチューブシート」が「カーボンナノチューブシートの自立膜」であることに限定する訂正。 （ｉｉ）本件訂正前の請求項１において、「前記カーボンナノチューブシート」が「面内配向した前記バンドル同士が絡み合った網目構造を有」するものであることに限定する訂正。 （ｉｉｉ）本件訂正前の請求項１において、「前記ペリクル膜」が、「下記条件（１）を満た」すとともに、当該「条件（１）」が「（１）カーボンナノチューブシートの断面の制限視野電子線回折像において、前記カーボンナノチューブのバンドルの三角格子に由来する前記カーボンナノチューブシートの膜厚方向の、回折強度のピークとなる逆格子ベクトルにおける回折強度と、前記カーボンナノチューブシートの膜厚方向の前記ピークと重ならず、ベースラインとなる逆格子ベクトルにおける回折強度との差を、前記膜厚方向の前記ベースラインとなる逆格子ベクトルにおける前記カーボンナノチューブシートの面内方向の回折強度と、前記膜厚方向の回折強度のピークとなる逆格子ベクトルにおける前記カーボンナノチューブシートの面内方向の回折強度との差で除した比 ＲＢが０．４０以上である」ものであることに限定する訂正。 前記（ｉ）～（ｉｉｉ）に係る訂正は、いずれも、特許請求の範囲を減縮することを目的とすることから、訂正事項１に係る訂正は、特許請求の範囲の減縮を目的とするものである。 イ 新規事項の追加の有無 （ア）前記（ｉ）及び（ｉｉ）に係る訂正について、本件特許の登録時の明細書、特許請求の範囲又は図面（以下「本件明細書等」という。）の【０１１２】には「バンドルが面内配向しているカーボンナノチューブシート（またはペリクル膜）は、面内方向にバンドル同士が絡み合った網目構造とすることができるために、１００ｎｍ以下の厚さであっても自立膜を形成することができる。」と記載されていることから、当該訂正は新たな技術的事項を導入するものではない。 （イ）前記（ｉｉｉ）に係る訂正について、本件明細書等の【００９９】には、バンドル構造の配向性に関して、カーボンナノチューブのバンドルの三角格子に由来するｄ＝０．３７ｎｍ（ｇ＝２．７ｎｍ－１）付近のピークについて、以下の式（以下「本件ＲＢ式」という。）を用いて面内方向におけるピーク強度と膜厚方向におけるピーク強度の比ＲＢを定義すると記載されている。 ［図：0001422361000001.jpg］ ここで、本件ＲＢ式における「Ｉ」は回折強度を意味すると解される（同【０１００】）ところ、同【００８０】、【００８４】～【００８６】の記載からは、この回折強度が、カーボンナノチューブシート断面の制限視野電子回折像に基づいて測定されるものであることが当業者にとって理解できる。また、本件ＲＢ式における「ｔｈ」及び「ｉｎ」は、それぞれ、「膜厚方向」及び「面内方向」を意味すると解される（同【０１００】）。 さらに、本件ＲＢ式における「２．７ｎｍ」及び「２．２ｎｍ」という値について、同【０１００】には、「ｇ＝２．７ｎｍ－１」が「図５における回折強度のピークとなるｇの値」であると記載されるとともに、「ｇ＝２．２ｎｍ－１」が「本回折ピークと重ならない位置において、ベースラインとなる強度を差し引くための位置」であると記載されているが、同【０１０２】には、ＲＢを算出するときのｇの値はこれらの値に限定されるものではなく適宜選定できると記載されている。そうすると、本件明細書等の記載に接した当業者は、本件ＲＢ式における「２．７ｎｍ」及び「２．２ｎｍ」という値が、それぞれ、回折強度のピーク、及び回折ピークと重ならない位置におけるベースラインとなるｇの値の例示であると理解できる。 このように、本件明細書等には、ＲＢの定義として「２．７ｎｍ」及び「２．２ｎｍ」という具体的な値が特定されるなどとされた本件ＲＢ式が記載されているものの、当業者には、その意味するところは前記（ｉｉｉ）の内容であることが理解できるといえる。 そして、同【０１０４】にはＲＢが０．４０以上では面内配向しているとの記載がある。 したがって、当該訂正は新たな技術的事項を導入するものではない。 （ウ）前記（ア）及び（イ）によれば、訂正事項１に係る訂正は、新規事項を追加するものではない。 ウ 実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更する訂正でないか否か 前記ア及びイによれば、訂正事項１に係る訂正は、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではない。 （２）訂正事項２ ア 訂正の目的 訂正事項２に係る訂正は、本件訂正前の請求項２を削除するものであるから、特許請求の範囲の減縮を目的とするものである。 イ 新規事項の追加の有無 前記アによれば、訂正事項２に係る訂正によって新規事項が追加されることはない。 ウ 実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更する訂正でないか否か 前記ア及びイによれば、訂正事項２に係る訂正は、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではない。 （３）訂正事項３ ア 訂正の目的 訂正事項３に係る訂正は、本件訂正前に引用していた請求項の数を削除するものであるから、特許請求の範囲の減縮を目的とするものである。 イ 新規事項の追加の有無 前記アによれば、訂正事項３に係る訂正によって新規事項が追加されることはない。 ウ 実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更する訂正でないか否か 前記ア及びイによれば、訂正事項３に係る訂正は、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではない。 （４）訂正事項４ ア 訂正の目的 訂正事項４は、次の内容からなるものである。 （ｉ）本件訂正前の請求項６において、「ペリクル膜」が「カーボンナノチューブシートを含」むことを、「ペリクル膜」が「カーボンナノチューブシートの自立膜である」ことに限定する訂正。 （ｉｉ）本件訂正前の請求項６において、「カーボンナノチューブシート」が、「複数のカーボンナノチューブから形成されるバンドルを備え」るものであるとともに、「前記バンドルは径が１００ｎｍ以下であ」るものに限定する訂正。 （ｉｉｉ）前記（ｉｉ）に加えて、「ペリクル膜」が「前記カーボンナノチューブシート中で前記バンドルが面内配向」するものであることに限定する訂正。 （ｉｖ）前記（ｉｉ）に加えて、「前記カーボンナノチューブシート」が「面内配向した前記バンドル同士が絡み合った網目構造を有」するものであることに限定する訂正。 （ｖ）本件訂正前の請求項６において、「ペリクル膜」が、「下記条件（１）を満た」すとともに、当該「条件（１）」が「（１）カーボンナノチューブシートの断面の制限視野電子線回折像において、前記カーボンナノチューブのバンドルの三角格子に由来する前記カーボンナノチューブシートの膜厚方向の、回折強度のピークとなる逆格子ベクトルにおける回折強度と、前記カーボンナノチューブシートの膜厚方向の前記ピークと重ならず、ベースラインとなる逆格子ベクトルにおける回折強度との差を、前記膜厚方向の前記ベースラインとなる逆格子ベクトルにおける前記カーボンナノチューブシートの面内方向の回折強度と、前記膜厚方向の回折強度のピークとなる逆格子ベクトルにおける前記カーボンナノチューブシートの面内方向の回折強度との差で除した比 ＲＢが０．４０以上である」ものであることに限定する訂正。 前記（ｉ）～（ｖ）に係る訂正は、いずれも、特許請求の範囲を減縮することを目的とすることから、訂正事項４に係る訂正は、特許請求の範囲の減縮を目的とするものである。 イ 新規事項の追加の有無 前記（ｉ）及び（ｉｖ）に係る訂正について、訂正事項１の（ｉ）及び（ｉｉ）（前記（１）イ（ア））と同様である。 前記（ｉｉ）に係る訂正について、本件明細書等の【００７５】には「カーボンナノチューブシートは、複数のカーボンナノチューブの束から形成されるバンドルを備える。」と記載されており、同【００７６】には「本実施形態において、カーボンナノチューブシートが有するカーボンナノチューブのバンドルの径は１００ｎｍ以下である必要がある。」と記載されていることから、当該訂正は新たな技術的事項を導入するものではない。 前記（ｉｉｉ）に係る訂正について、同【００１３】には、露光用ペリクル膜が「カーボンナノシート中で前記バンドルが面内配向している」と記載されていることから、当該訂正は新たな技術的事項を導入するものではない。 前記（ｖ）に係る訂正について、訂正事項１の（ｉｉｉ）（前記（１）イ（イ））と同様である。 したがって、訂正事項４に係る訂正は、新規事項を追加するものではない。 ウ 実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更する訂正でないか否か 前記ア及びイによれば、訂正事項４に係る訂正は、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではない。 ３ 小括 以上によれば、本件訂正は、特許法第１２０条の５第２項ただし書第１号に掲げる事項を目的とするものであり、かつ、特許法第１２０条の５第９項で準用する特許法第１２６条第５項及び第６項の規定に適合する。なお、本件訂正に係る請求項は、いずれも、特許異議の申立てがされたものであるから、本件訂正には、特許法第１２０条の５第９項で準用する特許法第１２６条第７項所定のいわゆる独立特許要件は課されない。 したがって、本件訂正を認める。 第３ 本件発明 本件訂正後の請求項１～１８に係る発明（以下「本件発明１」～「本件発明１８」といい、本件訂正により削除された請求項２を除くものを総称して「本件発明」という。）は、本件訂正後の請求項１～１８に記載された事項によって特定されるものであるところ、当該各請求項の記載は、次のとおりである。 【請求項１】 支持枠の開口部に張設される露光用ペリクル膜であって、 前記ペリクル膜は、厚さが２００ｎｍ以下であり、 前記ペリクル膜は、カーボンナノチューブシートの自立膜であり、 前記カーボンナノチューブシートは複数のカーボンナノチューブから形成されるバンドルを備え、 前記バンドルは径が１００ｎｍ以下であり、 前記カーボンナノチューブシート中で前記バンドルが面内配向しており、下記条件（１）を満たし、 前記カーボンナノチューブシートは、面内配向した前記バンドル同士が絡み合った網目構造を有し、 前記カーボンナノチューブの径が０．８ｎｍ以上６ｎｍ以下である、 露光用ペリクル膜。 （１）カーボンナノチューブシートの断面の制限視野電子線回折像において、前記カーボンナノチューブのバンドルの三角格子に由来する前記カーボンナノチューブシートの膜厚方向の、回折強度のピークとなる逆格子ベクトルにおける回折強度と、前記カーボンナノチューブシートの膜厚方向の前記ピークと重ならず、ベースラインとなる逆格子ベクトルにおける回折強度との差を、前記膜厚方向の前記ベースラインとなる逆格子ベクトルにおける前記カーボンナノチューブシートの面内方向の回折強度と、前記膜厚方向の回折強度のピークとなる逆格子ベクトルにおける前記カーボンナノチューブシートの面内方向の回折強度との差で除した比 ＲＢが０．４０以上である。 【請求項２】 （削除） 【請求項３】 前記カーボンナノチューブシートに接する保護層をさらに含む 請求項１に記載の露光用ペリクル膜。 【請求項４】 前記保護層は、ＳｉＯｘ（ｘ≦２）、ＳｉａＮｂ（ａ／ｂは０．７～１．５）、ＳｉＯＮ、Ｙ２Ｏ３、ＹＮ、Ｍｏ、Ｒｕ、Ｒｂ、Ｓｒ、Ｙ、Ｚｒ、Ｎｂ、Ｂ４Ｃ、ＳｉＣまたはＲｈからなる群から選択される１つ以上を含む、 請求項３に記載の露光用ペリクル膜。 【請求項５】 請求項１、３～４のいずれか一項に記載の露光用ペリクル膜と、 前記ペリクル膜を支持する支持枠と、 を有するペリクル。 【請求項６】 カーボンナノチューブの径が０．８ｎｍ以上６ｎｍ以下であり、 カーボンナノチューブの長さが１０μｍ以上１０ｃｍ以下であり、 カーボンナノチューブ中のカーボンの含有量が９８質量パーセント以上である、カーボンナノチューブシートの自立膜であるペリクル膜であって、 前記カーボンナノチューブシートは複数のカーボンナノチューブから形成されるバンドルを備え、 前記バンドルは径が１００ｎｍ以下であり、 前記カーボンナノチューブシート中で前記バンドルが面内配向し、下記条件（１）を満たし、 前記カーボンナノチューブシートは、面内配向した前記バンドル同士が絡み合った網目構造を有する、ペリクル膜。 （１）カーボンナノチューブシートの断面の制限視野電子線回折像において、前記カーボンナノチューブのバンドルの三角格子に由来する前記カーボンナノチューブシートの膜厚方向の、回折強度のピークとなる逆格子ベクトルにおける回折強度と、前記カーボンナノチューブシートの膜厚方向の前記ピークと重ならず、ベースラインとなる逆格子ベクトルにおける回折強度との差を、前記膜厚方向の前記ベースラインとなる逆格子ベクトルにおける前記カーボンナノチューブシートの面内方向の回折強度と、前記膜厚方向の回折強度のピークとなる逆格子ベクトルにおける前記カーボンナノチューブシートの面内方向の回折強度との差で除した比 ＲＢが０．４０以上である。 【請求項７】 前記カーボンナノチューブの径に対する長さの比（長さ／径）が、１×１０４以上１×１０８以下である、請求項６に記載のペリクル膜。 【請求項８】 カーボンナノチューブシートに接する保護層をさらに含む請求項６に記載のペリクル膜。 【請求項９】 前記保護層は、ＳｉＯｘ（ｘ≦２）、ＳｉａＮｂ（ａ／ｂは０．７～１．５）、ＳｉＯＮ、Ｙ２Ｏ３、ＹＮ、Ｍｏ、Ｒｕ、Ｒｂ、Ｓｒ、Ｙ、Ｚｒ、Ｎｂ、Ｂ４Ｃ、ＳｉＣまたはＲｈからなる群から選択される１つ以上を含む請求項８に記載のペリクル膜。 【請求項１０】 請求項６～９のいずれか一項に記載のペリクル膜と、 前記ペリクル膜を支持する支持枠と、 を有するペリクル。 【請求項１１】 請求項６～９のいずれか一項に記載のペリクル膜と、 前記ペリクル膜を支持する第１の枠体と、 を有するペリクル枠体。 【請求項１２】 請求項１１に記載のペリクル枠体と、 前記ペリクル枠体に接続される第２の枠体と、 を有するペリクル。 【請求項１３】 原版と、前記原版のパターンを有する側の面に装着された請求項５、１０または１２に記載のペリクルと、を含む露光原版。 【請求項１４】 請求項１３に記載の露光原版を有する、露光装置。 【請求項１５】 露光光を放出する光源と、請求項１３に記載の露光原版と、前記光源から放出された露光光を前記露光原版に導く光学系と、を有し、前記露光原版は、前記光源から放出された露光光が前記ペリクル膜を透過して前記原版に照射されるように配置されている、露光装置。 【請求項１６】 前記露光光が、ＥＵＶ光である、請求項１５に記載の露光装置。 【請求項１７】 光源から放出された露光光を、請求項１３に記載の露光原版のペリクル膜を透過させて原版に照射し、前記原版で反射させるステップと、前記原版によって反射された露光光を、前記ペリクル膜を透過させて感応基板に照射することにより、前記感応基板をパターン状に露光するステップと、を有する、半導体装置の製造方法。 【請求項１８】 前記露光光がＥＵＶ光である、請求項１７に記載の半導体装置の製造方法。 第４ 申立人及び特許権者が提出した証拠（参考資料を含む。）並びに引用文献等について 以下、証拠番号は「第」及び「号証」を略して表記する。その上で、申立人が提出した証拠については、申立人Ａ～Ｃのうちどの申立人が提出したものかを特定するべく、甲Ａ１などということにする。 １ 申立人及び特許権者が提出した証拠（参考資料を含む。）について （１）申立人Ａが提出した証拠 甲Ａ１：Ivan Pollentier, et. al., "EUV lithography imaging using novel pellicle membranes", Proc. of SPIE, 2016年, Vol. 9776, p. 977620 甲Ａ２：Jae Uk Lee, et. al., "Introducing the EUV CNT pellicle", Proc. of SPIE, 2016年, Vol. 9985, p. 99850C 甲Ａ３：Ivan Pollentier, et. al., "Novel membrane solutions for the EUV pellicle: better or not?", Proc. of SPIE, 2017年, Vol. 10143, p. 101430L 甲Ａ４：米国特許出願公開第２０１７／００３８６７６号明細書 甲Ａ５：国際公開第２０１４／１４２１２５号 甲Ａ６：国際公開第２００６／０１１６５５号 甲Ａ７：国際公開第２０１４／１８８７１０号 甲Ａ８：国際公開第２０１６／０４３３０１号 甲Ａ９：国際公開第２０１６／０４３２９２号 甲Ａ１０：特願２０１８－９３９０９号（特開２０１８－１９４８４０号） 甲Ａ１１：特願２０１６－１３３０６２号 甲Ａ１１－１：甲Ａ１１に係る出願における平成２９年６月１２日提出の出願人名義変更届 甲Ａ１２：国際公開第２０１８／００８５９４号 参考資料１：Ken R. Atkinson, et. al., "Multifunctional carbon nanotube yarns and transparent sheets: Fabrication, properties, and applications", Physica B, 2007年, Vol. 394, p. 339-p. 343 参考資料２：参考資料１の抄訳 （２）申立人Ｂが提出した証拠 甲Ｂ１：国際公開第２００６／０１１６５５号 甲Ｂ２：国際公開第２０１４／１３６９８１号 甲Ｂ３：木村寛恵、「スーパーグロース法による単層カーボンナノチューブ合成技術に関する研究」、筑波大学大学院博士課程 数理物質科学研究科 博士論文 博士（工学）、２０１４年２月 甲Ｂ４：特開２００６－２２８８１８号公報 甲Ｂ５：：Ivan Pollentier, et. al., "EUV lithography imaging using novel pellicle membranes", Proc. of SPIE, 2016年, Vol. 9776, p. 977620 甲Ｂ６：Emily E. Gallagher, et. al., "Properties and performance of EUVL pellicle membranes", Proc. of SPIE, 2015年, Vol. 9635, p. 96350X 甲Ｂ７：Jae Uk Lee, et. al., "Introducing the EUV CNT pellicle", Proc. of SPIE, 2016年, Vol. 9985, p. 99850C 甲Ｂ８：Ivan Pollentier, et. al., "Novel membrane solutions for the EUV pellicle: better or not?", Proc. of SPIE, 2017年, Vol.10143, p.101430L 甲Ｂ９：米国特許出願公開第２００８／０１５２８７３号明細書 甲Ｂ１０：「単層カーボンナノチューブ －Ｖｅｒ．２－」、関東化学株式会社、２０１６年４月 甲Ｂ１１：特開２００９－２９６９５号公報 甲Ｂ１２：特開２００６－２７３７１２号公報 甲Ｂ１３：飯島澄男著、「カーボンナノチューブの挑戦」、株式会社岩波書店、１９９９年１月２２日発行、８０～８３頁、８６～８７頁 甲Ｂ１４：特表２０１１－５３０１８４号公報 甲Ｂ１５：国際公開第２０１５／１７８２５０号 甲Ｂ１６：国際公開第２０１６／０４３３０１号 甲Ｂ１７：特願２０１６－１３３０６２号 甲Ｂ１８：長倉三郎その他編集、「岩波 理化学辞典 第５版」、株式会社岩波書店、１９９８年２月２０日発行、１３９２～１３９５頁 甲Ｂ１９：特開２００３－２０６１１４号公報 甲Ｂ２０：特開２０１６－１０８５２４号公報 甲Ｂ２１：特表２０１１－５３０１８４号公報 甲Ｂ２２：特表２０１５－５２３６１１号公報 甲Ｂ２３：特開２０１４－８４２５５号公報 甲Ｂ２４：国際公開第２０１０／０７６８８５号 甲Ｂ２５：特開２０１５－１８８８１１号公報 甲Ｂ２６：国際公開第２０１５／０４５４２７号 （３）申立人Ｃが提出した証拠 甲Ｃ１：特表２０１１－５３０１８４号公報 甲Ｃ２：Ken R. Atkinson, et. al., "Multifunctional carbon nanotube yarns and transparent sheets: Fabrication, properties, and applications", Physica B, 2007年, Vol. 394, p. 339-p. 343 甲Ｃ３：特開２０１３－１８６７３号公報 甲Ｃ４：Ivan Pollentier, et. al., "EUV lithography imaging using novel pellicle membranes", Proc. of SPIE, 2016年, Vol. 9776, p. 977620 甲Ｃ５：国際公開第２００６／０１１６５５号 甲Ｃ６：国際公開第２０１６／０４３３０１号 甲Ｃ７：米国特許第７３７９１５４号明細書 甲Ｃ８：国際公開第２０１４／１３６９８１号 甲Ｃ９：三宅泰雄監修、「三省堂 化学小事典 第３版」、株式会社三省堂、１９８８年１月２０日発行、２２６頁 甲Ｃ１０：Albert G. Nasibulin, et. al., "Multifunctional Free-Standing Single-Walled Carbon Nanotube Films", ACS Nano, 2011年, Vol. 5, p. 3214-p.3221 （４）特許権者が提出した証拠 乙１：Sang-Yong Ju, et. al., "Brightly Fluorescent Single-Walled Carbon Nanotubes via an Oxygen-Excluding Surfactant Organization", SCIENCE, 2009年, Vol. 323, p. 1319-p. 1323 乙２：Minsuk Park, et. al., "Selective Dispersion of Highly Pure Large-Diameter Semiconducting Carbon Nanotubes by a Flavin for Thin-Film Transistors", Applied Materials & Interfaces, 2016年, Vol. 8, p. 23270-p. 23280 乙３：Sang-Yong Ju, et. al., "Selection of carbon nanotubes with specific chiralities using helical assemblies of flavin mononucleotide", Nature Nanotechnology, 2008年, Vol. 3, p. 356-p. 362 乙４：Jinsook Sim, et. al., "Effect of tight flavin mononucleotide wrapping and its binding affinity on carbon nanotube covalent reactivities", [online], 2013年, インターネット＜ＵＲＬ：https://pubs.rsc.org/en/content/articlelanding/2013/cp/c3cp53634c＞ 乙５：実験成績証明書 ２ 引用文献等 原決定の一部を取り消した本件判決は、原決定に含まれる「引用文献１」等の表記を用いていることから、便宜のため、この決定においてもそれらの表記を用いることとする。それらの表記と前記１に記載した各証拠との関係は以下のとおりである（文献名も再掲している。）。 引用文献１：Ivan Pollentier, et. al., "EUV lithography imaging using novel pellicle membranes", Proc. of SPIE, 2016年, Vol. 9776, p. 977620（甲Ａ１、甲Ｂ５、甲Ｃ４） 引用文献２：国際公開第２００６／０１１６５５号（甲Ａ６、甲Ｂ１、甲Ｃ５） 引用文献３：特表２０１１－５３０１８４号公報（甲Ｂ１４、甲Ｂ２１、甲Ｃ１） 引用文献４：国際公開第２０１４／１３６９８１号（甲Ｂ２、甲Ｃ８） 引用文献５：木村寛恵、「スーパーグロース法による単層カーボンナノチューブ合成技術に関する研究」、筑波大学大学院博士課程 数理物質科学研究科 博士論文 博士（工学）、２０１４年２月（甲Ｂ３） 引用文献６：特開２００９－２９６９５号公報（甲Ｂ１１） 引用文献７：特開２００６－２７３７１２号公報（甲Ｂ１２） 引用文献８：飯島澄男著、「カーボンナノチューブの挑戦」、株式会社岩波書店、１９９９年１月２２日発行、８０～８３頁、８６～８７頁（甲Ｂ１３） 引用文献９：Ken R. Atkinson, et. al., "Multifunctional carbon nanotube yarns and transparent sheets: Fabrication, properties, and applications", Physica B, 2007年, Vol. 394, p. 339-p. 343（参考資料１、甲Ｃ２） 引用文献１０：特開２００６－２２８８１８号公報（甲Ｂ４） 引用文献１１：国際公開第２０１６／０４３３０１号（甲Ａ８、甲Ｂ１６、甲Ｃ６） 引用文献１２：国際公開第２０１４／１８８７１０号（甲Ａ７） 引用文献１３：国際公開第２０１５／１７８２５０号（甲Ｂ１５） 引用文献１４：Emily E. Gallagher, et. al., "Properties and performance of EUVL pellicle membranes", Proc. of SPIE, 2015年, Vol. 9635, p. 96350X（甲Ｂ６） 引用文献１５：国際公開第２０１４／１４２１２５号（甲Ａ５） 引用文献１６：国際公開第２０１６／０４３２９２号（甲Ａ９） 引用文献１７：特開２０１３－１８６７３号公報（甲Ｃ３） 引用文献１８：Albert G. Nasibulin, et. al., "Multifunctional Free-Standing Single-Walled Carbon Nanotube Films", ACS Nano, 2011年, Vol. 5, p. 3214-p.3221（甲Ｃ１０） 先願１：特願２０１８－９３９０９号（特開２０１８－１９４８４０号）（甲Ａ１０） 第５ 取消理由及び特許異議申立理由の概要 以下、原決定のうち確定登録された部分に係る取消理由及び特許異議申立理由を除いている。なお、第１次訂正及び本件訂正により、請求項２は削除された。 １ 第２次取消理由の概要 第２次取消理由に係る通知書では、第１次訂正後の請求項１、３～１８に係る発明について、優先権主張の効果が否定された上で、次の取消理由が通知されている。 （１）第１次訂正後の請求項１、３～５に係る発明に対する引用文献１に記載された発明に基づく新規性欠如。 （２）第１次訂正後の請求項１、３～１８に係る発明に対する引用文献１に記載された発明及び周知技術に基づく進歩性欠如。 （３）第１次訂正後の請求項１、３～１８に係る発明に対する引用文献２に記載された発明及び周知技術に基づく進歩性欠如。 （４）第１次訂正後の請求項１、３～１８に係る発明に対する引用文献３に記載された発明及び周知技術に基づく進歩性欠如。 （５）第１次訂正後の請求項１、３～５、１３～１８に係る発明に対する先願１に係る外国語書面出願の外国語書面（そのうち、優先権主張基礎出願の出願書類全体に記載されたものに限る。）に記載された発明に基づく拡大先願同一。 ２ 第１次取消理由（第２次取消理由に含まれないもの）の概要 第１次取消理由に係る通知書では、本件特許の登録時の請求項２に係る発明に対しても、優先権主張の効果が否定された上で、前記１（１）～（５）の取消理由が通知されていた。 ３ 特許異議申立理由（第２次取消理由及び第１次取消理由に含まれないもの）の概要 （１）本件訂正後の請求項１、３～１８について ア 本件訂正後の請求項１、３～１８の記載に対する明確性要件違反（申立人Ａ～Ｃ） イ 本件訂正後の請求項１、３～１８の記載に対するサポート要件違反（申立人Ａ及びＢ） ウ 本件訂正後の発明の詳細な説明の記載に対する本件訂正後の請求項１、３～１８に係る発明についての実施可能要件違反（申立人Ａ及びＢ） （２）第１次訂正後の請求項１、３～１８及び本件特許の登録時の請求項１～１８について ア 本件特許の登録時の請求項６～１８に係る発明に対する甲Ａ２に基づく進歩性欠如（申立人Ａ）。 イ 本件特許の登録時の請求項１～５、１３～１８及び第１次訂正後の請求項１、３～５、１３～１８の記載に対する明確性要件違反（申立人Ｂ） ウ 本件特許の登録時の請求項１～１８及び第１次訂正後の請求項１、３～１８の記載に対するサポート要件違反（申立人Ｂ） エ 本件特許の登録時の発明の詳細な説明の記載に対する登録時の請求項１～１８及び第１次訂正後の請求項１、３～１８に係る発明についての実施可能要件違反（申立人Ｂ） 第６ 第２次取消理由及び第１次取消理由についての当合議体の判断 １ 本件発明の優先権主張の効果について 事案に鑑み、まず、本件発明の優先権主張の効果について検討する。 独立項に係る本件発明１及び６には、（ｉ）「前記カーボンナノチューブシートは複数のカーボンナノチューブから形成されるバンドルを備え」ること、（ｉｉ）「前記バンドルは径が１００ｎｍ以下であ」ること、（ｉｉｉ）「前記カーボンナノチューブシート中で前記バンドルが面内配向し」ていること、（ｉｖ）「前記カーボンナノチューブシートは、面内配向した前記バンドル同士が絡み合った網目構造を有」すること、（ｖ）露光用ペリクル膜又はペリクル膜が条件（１）（ＲＢが０．４０以上であるという事項であり、以下「ＲＢ０．４０以上事項」という。）を満たすこと、が特定されている。しかるところ、これらの各特定事項は、本件出願の優先権主張の基礎出願である特願２０１６－１３３０６２号（甲Ａ１１、甲Ｂ１７）の願書に最初に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面には記載されておらず、当業者にとって自明なものでもない。 したがって、本件発明１及び６について、優先権主張の効果を認めることはできない。本件発明１又は６を引用する本件発明３～５、７～１８についても同様である。 ２ 本件発明の技術的意義について 本件訂正後の明細書、特許請求の範囲又は図面（以下「本件訂正明細書等」という。）によれば、本件発明の技術的意義は、次のとおりであると認められる。 本件発明は、先行文献に比してさらにＥＵＶ透過性が高く耐熱性に優れたペリクル膜を提供するという課題（【００１２】）を解決するものであり、その課題を解決するために、ＥＵＶ透過率が高く、膜自体の物理的強度も高いペリクル膜を提供する（【０１１８】）ものである。 独立項に係る本件発明１は、ペリクル膜の厚さが２００ｎｍ以下と薄いため、ＥＵＶ透過率が高いものである（【００７６】・【００１４】・【０１３６】）。当該厚さを薄くするために、バンドル径を１００ｎｍ以下とする（【００７６】）とともに、バンドルを面内配向させている（【０１１２】）。カーボンナノチューブがバンドルを形成することによって、カーボンナノチューブ単独の場合と比べて強度が高まっている（【００７５】）。面内配向したバンドルが網目構造を有しているため、１００ｎｍ以下の厚さであっても自立膜を形成することができる（【０１１２】）し、自立膜に応力を加えても、網目構造及び自立膜形状を保つことができる（【０１１４】）。ＲＢの値が０．４０以上であるので、バンドルが面内配向している（【０１０４】）。 別の独立項に係る本件発明６は、ペリクル膜の厚さの特定はないものの、カーボンナノチューブ中のカーボンの含有率が９８質量パーセント以上と非常に高いため、ＥＵＶ透過率が高く（【０１１６】）、また、カーボンナノチューブの径が０．８ｎｍ以上６ｎｍ以下であって大きいため、低密度の膜となることからもＥＵＶ透過率が高いものである（【０１１８】）。さらに、カーボンナノチューブの長さが１０μｍ以上１０ｃｍ以下と長いため、カーボンナノチューブどうしが絡み合い、強靱なシートとなることができる（【０１１８】）。その他、バンドル径、自立膜であること、バンドルが面内配向していること、面内配向したバンドル同士が絡み合った網目構造を有すること、ＲＢの値が０．４０以上であることについては、本件発明１と同様である。 ３ 引用文献１を主引用例とする新規性欠如（本件発明１、３～５に対するもの）及び進歩性欠如（本件発明１、３～１８に対するもの）について （１）引用発明１の認定 引用文献１には、図１４（ｂ）に記載されたＲｕでコーティングされたＣＮＴ膜（引用文献１の表題からみて、このＣＮＴ膜はＥＵＶリソグラフィ用のＣＮＴペリクル膜であると認められる。）について、次の発明（以下「引用発明１」という。）が記載されていると認められる（引用発明の認定に用いた記載箇所等を参考までに括弧内に付してある。以下同じ。）。 「ＥＵＶリソグラフィ用のＣＮＴペリクル膜であって、（要約） ＣＮＴはＲｕでコーティングされており、 このコーティングされた膜は、自立するものである、（１２頁４行～９行） ＣＮＴペリクル膜。」 （２）本件発明１について ア 対比 引用発明１の「ＥＵＶリソグラフィ用のＣＮＴペリクル膜」は、本件発明１の「露光用ペリクル膜」に相当する。そして、当該「ＣＮＴペリクル膜」は、技術常識に照らせば、本件発明１でいう「支持枠の開口部に張設される」ものといえる。 引用発明１の「ＣＮＴペリクル膜」は、「自立するものである」ことから、本件発明１でいう「カーボンナノチューブシートの自立膜」であるといえる。 イ 一致点及び相違点の認定 前記アによれば、本件発明１と引用発明１は、 「支持枠の開口部に張設される露光用ペリクル膜であって、 前記ペリクル膜は、カーボンナノチューブシートの自立膜である、 露光用ペリクル膜。」である点で一致し、次の点で相違する。 ［相違点１－１］ 「露光用ペリクル膜」が、本件発明１は、厚さが２００ｎｍ以下であるのに対し、引用発明１は、ＥＵＶリソグラフィ用のＣＮＴペリクル膜であるが、厚さが不明である点。 ［相違点１－２］ 「カーボンナノチューブシート」が、本件発明１は、複数のカーボンナノチューブから形成されるバンドルを備え、前記バンドルは径が１００ｎｍ以下であり、前記カーボンナノチューブシート中で前記バンドルが面内配向しており、前記カーボンナノチューブシートは、面内配向した前記バンドル同士が絡み合った網目構造を有するのに対し、引用発明１は、そうであるのか不明である点。 ［相違点１－３］ 「カーボンナノチューブ」が、本件発明１は、径が０．８ｎｍ以上６ｎｍ以下であるのに対し、引用発明１は、径が不明である点。 ［相違点１－４］ 「露光用ペリクル膜」が、本件発明１は、ＲＢ０．４０以上事項を満たすのに対し、引用発明１は、そうであるのか不明である点。 ウ 相違点の判断 事案に鑑み、相違点１－４及び１－２から判断する。ここで、相違点１－４に係る本件発明１のＲＢ０．４０以上事項は、「カーボンナノチューブシート」について観念される量であることから、同じく「カーボンナノチューブシート」に係る相違点である相違点１－２とまとめて判断するのが相当である。 （ア）本件発明１においてＲＢ０．４０以上事項を満たすということは、以下のとおり、径が１００ｎｍ以下という相当程度小さいバンドルが、面内方向に相当程度沿った上で、きわめて高密度に存在していることを意味していると解するのが相当である。 まず、ＲＢは、「カーボンナノチューブシートの断面の制限視野電子線回折像」における「カーボンナノチューブのバンドルの三角格子」に由来する回折強度を測定することによって算出されるところ、ＲＢ０．４０以上事項を満たすためには、ＲＢの定義からみて、「前記カーボンナノチューブのバンドルの三角格子に由来する前記カーボンナノチューブシートの膜厚方向の、回折強度のピークとなる逆格子ベクトルにおける回折強度」（以下「膜厚方向ピーク回折強度」という。）を相当程度大きくしつつ、「前記膜厚方向の回折強度のピークとなる逆格子ベクトルにおける前記カーボンナノチューブシートの面内方向の回折強度」（以下「面内方向ピーク回折強度」という。）を相当程度小さくする必要があるといえる。 このように、ＲＢ０．４０以上事項を満たすためには、カーボンナノチューブシートの断面の制限視野電子線回折像における膜厚方向ピーク回折強度を相当程度大きくするとともに面内方向ピーク回折強度を相当程度小さくしなければならないことから、そのためには、「カーボンナノチューブシートの断面」の制限視野内において、バンドルの三角格子に係る構造が、きわめて多数存在しなければならないといえる。そして、本件発明１では、バンドルの径として１００ｎｍ以下という小さくなる方向の値が特定されていることから、上記制限視野内においてバンドルの三角格子に係る構造がきわめて多数存在しているということは、上記制限視野内においてバンドルがきわめて多数存在している、つまり、きわめて高密度に存在しているとともに、それらのバンドルが面内方向に相当程度沿っていることを意味していることになる。 以上をまとめると、本件発明１においてＲＢ０．４０以上事項を満たすということは、径が１００ｎｍ以下という相当程度小さいバンドルが、面内方向に相当程度沿った上で、きわめて高密度に存在していることを意味しているといえる。なお、この理解は、本件訂正明細書等の実施例（ＲＢが１．０２）では、バンドルの平均径が９．０ｎｍであり、径が１００ｎｍを超えるバンドルが見られなかった（【０１９０】・【０１９２】）一方で、比較例（ＲＢが０．３５３）では、径が１００ｎｍを超えるバンドルが観察された（【０１９６】・【０１９７】）ことや、本件訂正明細書等には、カーボンナノチューブシートを製造する際に用いる分散液に分散剤を含ませると、バンドルが細くなり、面内配向しやすくなる（【００５９】）旨記載されていることと整合している。 （イ）ａ これを引用発明１についてみると、引用発明１の「ＣＮＴペリクル膜」は、バンドルを形成しているのか、また、仮にバンドルを形成しているといえたとしても、その径がどの程度であるのか、そのバンドルがどの程度面内方向に沿っているのか、そのバンドルがどの程度の密度で存在しているのかが一切不明であることから、ＲＢ０．４０以上事項を満たすのかも不明と言わざるを得ない。 この点、引用文献１には、ＣＮＴペリクルのＥＵＶリソグラフィ用散乱のモデリングを行う際に、ＣＮＴペリクルを、ＣＮＴの複雑なネットワークを平面上に横たわる平行なシリンダーのセットに単純化することができた旨記載されているところ、この記載は、モデリングに関するものである上、それをさておくとしても、ＣＮＴペリクルのバンドル径やバンドルの密度までも明らかにするものではないから、当該記載によって上記判断が左右されることはない。 また、引用文献１には、多層ＣＮＴ粉末をパラフィンワックス溶液に分散させた溶液をスピンコーティング又はスプレーコーティングし、アニールしてＣＮＴ薄膜を得る方法が記載されている（８頁下から４行～末行）が、この方法によって得られたＣＮＴ薄膜が、バンドルを形成しているのか、バンドルを形成しているとしてもその径がどの程度か、バンドルが面内方向にどの程度沿って存在しているのか、バンドルがどの程度の密度で存在しているのかの記載はない。そして、本件訂正明細書等（【０１８７】・【０１８８】・【０１９０】・【００５７】）には、ＲＢ０．４０以上事項を満たす例として、いわゆるスーパーグロース法で製造されたカーボンナノチューブを、分散剤として有機側鎖フラビンを用いて得られた分散液を用いて厚さ２００ｎｍ程度のカーボンナノチューブシートを製造した実施例が一例（以下「本件実施例」という。）記載されているが、引用文献１に記載された上記の方法が本件実施例に係る方法と一致しているとはいえないことから、上記の方法によって製造されたＣＮＴ薄膜がＲＢ０．４０以上事項を満たしている蓋然性が高いともいえない。 以上によれば、相違点１－４及び１－２は実質的である。 ｂ 引用発明１から出発した当業者が相違点１－４及び１－２に係る本件発明１の構成に至るためには、当該「ＣＮＴペリクル膜」に含まれるＣＮＴがバンドルを形成するとともに、そのバンドル径を１００ｎｍ以下という相当程度小さいものとし、さらに、そのバンドルを面内方向に相当程度沿うようにした上で、きわめて高密度に存在させることが必要となるが、それが容易であるとはいえない。 すなわち、引用文献１には、そのようにする記載も示唆もないし、申立人及び特許権者が提出した他の証拠をみても、引用発明１から出発した当業者が、相違点１－４及び１－２に係る本件発明１の構成に容易に至ることを根拠付ける記載は見いだせない。 したがって、相違点１－４及び１－２に係る本件発明１の構成は、引用発明１並びに申立人及び特許権者が提出した他の証拠に記載された技術的事項に基づいて、当業者が容易に至るものともいえない。 エ 申立人の主張について （ア）申立人は、ＲＢ０．４０以上事項が本件発明１で特定されたバンドルの「面内配向」を特定しているにすぎないとか、引用発明１は、バンドルが「面内配向」しているといえることから、これがＲＢ０．４０以上事項を満たすようにすることは当業者にとって容易であるなどと主張する。 しかしながら、前記ウ（ア）で説示したとおり、本件発明１においてＲＢ０．４０以上事項を満たすためには、径が１００ｎｍ以下という相当程度小さいバンドルが、面内方向に相当程度沿った上で、きわめて高密度に存在することを要すると解されるのであり、そうである以上、申立人の主張は、その前提を欠くものである。 （イ）ａ 申立人は、引用文献１には、面内配向するとともに、安定した自立型のＣＮＴ膜が記載されているから、当該ＣＮＴ膜はＲＢ０．４０以上事項を満たす旨主張する。 しかしながら、前記ウ（イ）ａで説示したとおり、当該ＣＮＴ膜において、バンドルを形成しているのか、また、仮にバンドルを形成しているとしても、バンドル径がどの程度であるのか、バンドルが面内方向にどの程度沿って存在しているのか、バンドルがどの程度の密度で存在しているのかは不明である。そして、本件訂正明細書等には、ＲＢ０．４０以上事項を満たすとバンドルが面内配向していること（【０１０４】）、バンドルが面内配向しているカーボンナノチューブシートは、１００ｎｍ以下の厚さであっても自立膜を形成することができること（【０１１２】）が記載されているものの、だからといって、論理的には、バンドルが面内配向しており、かつ、自立膜が形成されてさえいれば、直ちにＲＢ０．４０以上事項を満たすとはいえないのであり、このことは、同事項を満たすためには、バンドルの面内配向と自立膜の形成という要件以外の他の要件も必要とされる可能性が排除されないことからみて明らかである。そうすると、当該ＣＮＴ膜が、面内配向しており自立していることをもって、ＲＢ０．４０以上事項を満たすともいえない。 ｂ さらに、申立人は、安定した自立型のＣＮＴ膜のＲＢの値を０．４０以上とすることは周知技術にすぎないとも主張し、その根拠として、引用文献３及び６を挙げるようである。 しかしながら、引用文献３には、カーボンナノチューブシートにおいてカーボンナノチューブが面内に配向していると解される記載がある（【００６１】）にとどまり、引用文献３に記載されたカーボンナノチューブシートがＲＢ０．４０以上事項を満たしているのかは不明である。 また、引用文献６には、カーボンナノチューブ集合体に係る透明導電性フィルム（【０００１】）であって、溶媒などに対する分散性の観点からバンドル径の平均が２０ｎｍ以下であることが好ましく（【００３９】）、厚みが約０．５ｎｍ～約１０００μｍであり（【００６９】）、自立フィルムとして用いることもできる（【００６８】）ものが記載されている。そして、当該フィルムは、３次元編目構造を形成している（【００５３】・図５）。しかしながら、バンドルの面内配向の程度及びバンドルの密度の程度が、ＲＢ０．４０以上事項を満たす程度に至っているのかは不明と言わざるを得ない。また、そのフィルムの製造方法は、カーボンナノチューブ集合体を分散液として、その分散液を基板に塗布するものであり（請求項３・【００１６】・【００４９】）、実施例に記載された透明導電性フィルム（【０１２８】・【０１３９】・【０１５１】・【０１５６】）は、塗布厚みが１２μｍとされるところ、本件実施例のように、分散剤として有機側鎖フラビンを用いることは記載されていないし、カーボンナノチューブシートの膜厚（本件実施例では２００ｎｍ程度）も相当異なる。そうすると、当該透明導電性フィルムの製造方法が、前記ウ（イ）ａで説示した本件実施例に係る製造方法と一致しているとはいえないのであり、そのため、引用文献６に記載された実施例に係る透明導電性フィルムがＲＢ０．４０以上事項を満たしている蓋然性が高いともいえない。 （ウ）申立人は、ＲＢ０．４０以上事項において用いられる制限視野電子線回折法を用いた配向性に関する評価方法は周知技術（甲Ｂ２４～Ｂ２６）であり、ＲＢについて０．４０を境界値として何らかの臨界的意義があるとはいえないから、引用発明１から出発した当業者がＲＢ０．４０以上事項に係る構成に至ることに格別の困難性はない旨主張する。 しかしながら、甲Ｂ２４～Ｂ２６には、ＲＢについての記載があるわけではない。そして、制限視野電子線回折法を用いた配向性に関する評価方法が周知技術であり、ＲＢについて０．４０を境界値として何らかの臨界的意義があるとはいえないとしても、前記ウ（イ）ｂで説示したとおり、引用発明１から出発した当業者が、相違点１－４及び１－２に係る本件発明１の構成に容易に至るとはいえない以上、申立人の主張によって前記の説示が左右されることはない。 オ 小括 そして、引用文献１に記載されたいずれの発明を引用発明として認定しても、前記の説示を左右するものはない。 したがって、本件発明１は、引用文献１に記載された発明とはいえないし、また、他の相違点について検討するまでもなく、引用文献１に記載された発明並びに申立人及び特許権者が提出した他の証拠に記載された技術的事項に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものともいえない。 （３）本件発明３～１８について ア 本件発明３～５は、本件発明１に従属するものといえるから、前記（２）と同様の理由で、引用文献１に記載された発明とはいえないし、また、引用文献１に記載された発明並びに申立人及び特許権者が提出した他の証拠に記載された技術的事項に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものともいえない。 イ 本件発明６は、これを引用発明１と対比すると、両者の間には相違点１－２及び１－４と同様の相違点が存在することから、前記（２）と同様の理由で、引用文献１に記載された発明並びに申立人及び特許権者が提出した他の証拠に記載された技術的事項に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものとはいえない。 ウ 本件発明７～１２は、本件発明６に従属するものといえるから、前記イと同様の理由で、引用文献１に記載された発明並びに申立人及び特許権者が提出した他の証拠に記載された技術的事項に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものとはいえない。 エ 本件発明１３～１８は、本件発明１又は６に従属するものといえるから、前記イ及び前記（２）と同様の理由で、引用文献１に記載された発明並びに申立人及び特許権者が提出した他の証拠に記載された技術的事項に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものとはいえない。 （４）小括 以上のとおりであるから、引用文献１を主引用例とする新規性欠如及び進歩性欠如の取消理由は、理由がない。 ４ 引用文献２を主引用例とする進歩性欠如（本件発明１、３～１８に対するもの）について （１）引用発明２の認定 引用文献２には、請求項２８の記載を引用する請求項４７に記載された配向単層カーボンナノチューブ・バルク構造体であって、請求項４８に記載された製造方法によって製造されたもの（２６頁１２行～１４行、３４頁１３行～２２行、図１１を参照。）について、次の発明（以下「引用発明２」という。）が記載されていると認められる。 「複数の配向単層カーボンナノチューブからなり、高さが１０μｍ以上である配向単層カーボンナノチューブ・バルク構造体であって、（請求項２８） バルク構造体が薄膜であり、（請求項４７） 金属触媒を基板上にパターニングし、その金属触媒の存在下に基板面に対して所定方向に配向するように複数の単層カーボンナノチューブを化学気相成長（ＣＶＤ）させてバルク構造体とする方法であって、反応雰囲気に酸化剤を添加する配向単層カーボンナノチューブ・バルク構造体の製造方法によって製造される、（請求項４８） 配向単層カーボンナノチューブ・バルク構造体。（請求項２８）」 （２）本件発明１について ア 対比 引用発明２の「バルク構造体が薄膜であ」る「配向単層カーボンナノチューブ・バルク構造体」は、本件発明１でいう「カーボンナノチューブシート」を構成しているといえる。 本件発明１の「露光用ペリクル膜」と引用発明２の「バルク構造体が薄膜であ」る「配向単層カーボンナノチューブ・バルク構造体」は、膜構造体である点で共通する。 イ 一致点及び相違点の認定 前記アによれば、本件発明１と引用発明２は、 「膜構造体であって、 膜構造体は、カーボンナノチューブシートである、 膜構造体。」である点で一致し、次の点で相違する。 ［相違点２－１］ 膜構造体が、本件発明１は、「支持枠の開口部に張設される露光用ペリクル膜」であるのに対し、引用発明２は、「バルク構造体が薄膜であ」る「配向単層カーボンナノチューブ・バルク構造体」である点。 ［相違点２－２］ 膜構造体が、本件発明１は、厚さが２００ｎｍ以下であるのに対し、引用発明２は、厚さが不明である点。 ［相違点２－３］ 「カーボンナノチューブシート」である膜構造体が、本件発明１は、自立膜であるのに対し、引用発明２はそうであるのか不明である点。 ［相違点２－４］ 「カーボンナノチューブシート」が、本件発明１は、複数のカーボンナノチューブから形成されるバンドルを備え、前記バンドルは径が１００ｎｍ以下であり、前記カーボンナノチューブシート中で前記バンドルが面内配向しており、前記カーボンナノチューブシートは、面内配向した前記バンドル同士が絡み合った網目構造を有するのに対し、引用発明２は、そうであるのか不明である点。 ［相違点２－５］ 「カーボンナノチューブ」が、本件発明１は、径が０．８ｎｍ以上６ｎｍ以下であるのに対し、引用発明２は、径が不明である点。 ［相違点２－６］ 膜構造体が、本件発明１は、ＲＢ０．４０以上事項を満たすのに対し、引用発明２は、そうであるのか不明である点。 ウ 相違点の判断 事案に鑑み、相違点２－４から判断する。 引用発明２は、従来の技術では、例えば不純物を除く精製中に容易に無秩序・無配向のバルク構造体を構成してしまい、垂直配向した単層カーボンナノチューブのバルク構造体が得られていないという課題があった（引用文献２の３頁１５行～下から２行）ことから、この課題を解決するために、複数の配向単層カーボンナノチューブからなり、高さ１０μｍ以上である配向単層カーボンナノチューブ・バルク構造体を得る（同２６頁７行～下から４行）ものであるところ、この構造体は、「金属触媒を基板上にパターニングし、その金属触媒の存在下に基板面に対して所定方向に配向するように複数の単層カーボンナノチューブを化学気相成長（ＣＶＤ）させてバルク構造体とする方法であって、反応雰囲気に酸化剤を添加する配向単層カーボンナノチューブ・バルク構造体の製造方法によって製造される」ものであり、この製造方法では、触媒を基板上に配置して基板面に垂直に配向した単層カーボンナノチューブが成長されることになる（同２４頁下から５行～下から４行）。 このように、引用発明２に係る「配向単層カーボンナノチューブ・バルク構造体」は、単層カーボンナノチューブが基板面に垂直に配向されることになるから、相違点２－４に係る本件発明１の構成のように、「バンドル」を有しているのか不明であるし、また、仮に「バンドル」を有することがあるとしても、それら「同士が絡み合った網目構造を有」しているとは解し難い。 そして、引用発明２は、上記のとおり、垂直配向した単層カーボンナノチューブのバルク構造体が得られていないという課題を解決するものであるから、相違点２－４に係る本件発明１の構成を採用することは、上記課題の解決を阻害することになるのであり、このことは、引用文献２の他の記載並びに申立人及び特許権者が提出した他の証拠の記載をみても左右されない。 したがって、相違点２－４に係る本件発明１の構成は、引用発明２並びに申立人及び特許権者が提出した他の証拠に記載された技術的事項に基づいて、当業者が容易に至るものとはいえない。 エ 申立人の主張について 申立人は、カーボンナノチューブをバンドルとした際にバンドル同士が網目構造となることは当然のことであるとか、仮にそうでないとしても、そのような構造とすることは当業者が通常行い得ることであると主張するが、ここで想定すべき当業者は、引用発明２から出発した当業者なのであり、そうである以上、前記ウで説示したとおりとなる。 オ 小括 そして、引用文献２に記載されたいずれの発明を引用発明として認定しても、前記の説示を左右するものはない。 したがって、本件発明１は、他の相違点について検討するまでもなく、引用文献２に記載された発明並びに申立人及び特許権者が提出した他の証拠に記載された技術的事項に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものとはいえない。 （３）本件発明３～１８について ア 本件発明３～５は、本件発明１に従属するものといえるから、前記（２）と同様の理由で、引用文献２に記載された発明並びに申立人及び特許権者が提出した他の証拠に記載された技術的事項に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものとはいえない。 イ 本件発明６は、これを引用発明２と対比すると、両者の間には相違点２－４と同様の相違点が存在することから、前記（２）と同様の理由で、引用文献２に記載された発明並びに申立人及び特許権者が提出した他の証拠に記載された技術的事項に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものとはいえない。 ウ 本件発明７～１２は、本件発明６に従属するものといえるから、前記イと同様の理由で、引用文献２に記載された発明並びに申立人及び特許権者が提出した他の証拠に記載された技術的事項に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものとはいえない。 エ 本件発明１３～１８は、本件発明１又は６に従属するものといえるから、前記イ及び前記（２）と同様の理由で、引用文献２に記載された発明並びに申立人及び特許権者が提出した他の証拠に記載された技術的事項に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものとはいえない。 （４）小括 以上のとおりであるから、引用文献２を主引用例とする進歩性欠如の取消理由は、理由がない。 ５ 引用文献３を主引用例とする進歩性欠如（本件発明１、３～１８に対するもの）について （１）引用発明３の認定 引用文献３には、「リソグラフィ装置１内のマスクペリクル１００ｃとして」「配置され」る「光学素子１００」（【００８５】）について、次の発明（以下「引用発明３」という。）が記載されていると認められる。 「リソグラフィ装置１内のマスクペリクル１００ｃとして配置される光学素子１００であって、（【００８５】） 前記光学素子１００は配向カーボンナノチューブシート１１０を含み、前記光学素子１００は約２０～５００ｎｍの範囲内の素子厚さを有し、かつ、１～２０ｎｍの範囲内の波長を有するＥＵＶ放射に対して、前記ＥＵＶ放射による垂直照射下で少なくとも２０％の透過を有するものであり、（請求項１） 配向カーボンナノチューブシート１１０は、配向単層カーボンナノチューブシートを含み、（【００２３】） 光学素子１００の配向カーボンナノチューブシート１１０は、約１０～５００ｎｍの範囲内のシート厚さを有し、（【００２４】） ナノチューブは配向しており、その配向は、シートの表面と実質的に平行であり、（【００６１】） 配向カーボンナノチューブシート１１０は、強度があることによりサポートが必ずしも必要ではなく、したがって、光学素子１００は、自立型である、（【００６７】） 光学素子１００。」 （２）本件発明１について ア 対比 引用発明３の「光学素子１００」は、「リソグラフィ装置１内のマスクペリクル１００ｃとして配置される」ものであるから、本件発明１の「露光用ペリクル膜」に相当する。そして、当該「光学素子１００」は、技術常識に照らせば、本件発明１でいう「支持枠の開口部に張設される」ものといえる。 引用発明３の「配向カーボンナノチューブシート１１０」は、本件発明１の「カーボンナノチューブシート」に相当する。 引用発明３は、「配向カーボンナノチューブシート１１０は、強度があることによりサポートが必ずしも必要ではなく、したがって、光学素子１００は、自立型である」ことから、当該「配向カーボンナノチューブシート１１０」は、本件発明１でいう「自立膜」であるといえる。 イ 一致点及び相違点の認定 前記アによれば、本件発明１と引用発明３は、 「支持枠の開口部に張設される露光用ペリクル膜であって、 前記ペリクル膜は、カーボンナノチューブシートの自立膜である、 露光用ペリクル膜。」である点で一致し、次の点で相違する。 ［相違点３－１］ 「露光用ペリクル膜」が、本件発明１は、厚さが２００ｎｍ以下であるのに対し、引用発明３は、約２０～５００ｎｍの範囲内の素子厚さを有し、配向カーボンナノチューブシート１１０は、約１０～５００ｎｍの範囲内のシート厚さを有するものである点。 ［相違点３－２］ 「カーボンナノチューブシート」が、本件発明１は、複数のカーボンナノチューブから形成されるバンドルを備え、前記バンドルは径が１００ｎｍ以下であり、前記カーボンナノチューブシート中で前記バンドルが面内配向しており、前記カーボンナノチューブシートは、面内配向した前記バンドル同士が絡み合った網目構造を有するのに対し、引用発明３は、そうであるのか不明である点。 ［相違点３－３］ 「カーボンナノチューブ」が、本件発明１は、径が０．８ｎｍ以上６ｎｍ以下であるのに対し、引用発明３は、径が不明である点。 ［相違点３－４］ 「露光用ペリクル膜」が、本件発明１は、ＲＢ０．４０以上事項を満たすのに対し、引用発明３は、そうであるのか不明である点。 ウ 相違点の判断 事案に鑑み、相違点３－４及び３－２から判断する。両相違点をまとめて判断するのが相当であることは、前記３（２）ウの冒頭に説示したとおりである。 （ア）前記３（２）ウ（ア）で説示したことに照らせば、相違点３－４及び３－２に係る本件発明１の構成を満たすためには、径が１００ｎｍ以下という相当程度小さいバンドルが、面内方向に相当程度沿った上で、きわめて高密度に存在していることを要すると解される。 これを引用発明３についてみると、引用発明３の「光学素子１００」は、「ナノチューブは配向しており、その配向は、シートの表面と実質的に平行であ」るものの、バンドルを形成しているのか、また、仮にバンドルを形成しているといえたとしても、その径がどの程度であるのか、そのバンドルがどの程度面内方向に沿っているのか、そのバンドルがどの程度の密度で存在しているのかが一切不明であることから、ＲＢ０．４０以上事項を満たすのかも不明と言わざるを得ない。 また、引用文献３には、配向カーボンナノチューブシートを製造する方法として、引用文献９が例示されている（【００１０】）ところ、引用文献９には、バインダを使用することなしでナノチューブ集合体を製造する方法が開示されており（３３９頁の「要旨」の項）、ＣＮＴシートは、撚りを入れることなくＣＮＴフォレストからＣＮＴを延伸させることにより生産されること、また、自立型ＭＷＮＴシートが、最初は５０ｎｍという薄さの強固なシートに高密度化され得る高度に異方性のエアロゲルとして形成されること、フォレストからナノチューブを延伸させることにより形成された高密度化ＭＷＮＴシートにおいてナノチューブがバンドル化していること（３４２頁右欄～３４３頁右欄の「６．シート生産及び特性」の項、図７のキャプション）、が記載されている。しかしながら、引用文献９に記載された方法によって製造された高密度化ＭＷＮＴシートのバンドル径の程度、面内配向の程度及びバンドルの密度の程度が、ＲＢ０．４０以上事項を満たす程度に至っているのかは不明と言わざるを得ないし、当該ＭＷＮＴシートの製造方法は、前記３（２）ウ（イ）ａで説示した本件実施例に係る製造方法と一致しているとはいえないことから、これがＲＢ０．４０以上事項を満たしている蓋然性が高いともいえない。 （イ）そして、引用発明３から出発した当業者が相違点３－４及び３－２に係る本件発明１の構成に至るためには、当該「カーボンナノチューブシート１１０」に含まれる「ナノチューブ」がバンドルを形成しているとともに、そのバンドル径を１００ｎｍ以下という相当程度小さいものとし、さらに、そのバンドルを面内方向に相当程度沿うようにした上で、きわめて高密度に存在させることが必要となる。 しかるところ、引用文献３には、「ナノチューブは配向しており、その配向は、好適にはシートの表面と実質的に平行であり、したがって、好適には光ビームの伝播に対して実質的に垂直であるかまたは光軸に平行である。」（【００６１】）とは記載されているものの、以上の観点のようにする記載も示唆もない。 そして、申立人及び特許権者が提出した他の証拠をみても、引用発明３から出発した当業者が、相違点３－４及び３－２に係る本件発明１の構成に容易に至ることを根拠付ける記載は見いだせない。 したがって、相違点３－４及び３－２に係る本件発明１の構成は、引用発明３並びに申立人及び特許権者が提出した他の証拠に記載された技術的事項に基づいて、当業者が容易に至るものとはいえない。 エ 申立人の主張について （ア）申立人は、引用文献３に引用された引用文献９の記載を根拠に、引用発明３がＲＢ０．４０以上事項を満たす蓋然性が高い旨主張するが、引用発明３の「配向カーボンナノチューブシート１１０」として引用文献９に記載されたものを採用することができるとしても、前記ウ（ア）で説示したとおり、引用文献９に記載されたシートがＲＢ０．４０以上事項を満たしているとはいえない。 （イ）申立人は、引用文献１を主引用例とする新規性欠如及び進歩性欠如の理由においてした主張（前記３（２）エ）と同様の主張を、本取消理由においてもするが、同様に採用できない。 オ 小括 そして、引用文献３に記載されたいずれの発明を引用発明として認定しても、前記の説示を左右するものはない。 したがって、本件発明１は、他の相違点について検討するまでもなく、引用文献３に記載された発明並びに申立人及び特許権者が提出した他の証拠に記載された技術的事項に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものとはいえない。 （３）本件発明３～１８について ア 本件発明３～５は、本件発明１に従属するものといえるから、前記（２）と同様の理由で、引用文献３に記載された発明並びに申立人及び特許権者が提出した他の証拠に記載された技術的事項に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものとはいえない。 イ 本件発明６は、これを引用発明３と対比すると、両者の間には相違点３－２及び３－４と同様の相違点が存在することから、前記（２）と同様の理由で、引用文献３に記載された発明並びに申立人及び特許権者が提出した他の証拠に記載された技術的事項に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものとはいえない。 ウ 本件発明７～１２は、本件発明６に従属するものといえるから、前記イと同様の理由で、引用文献３に記載された発明並びに申立人及び特許権者が提出した他の証拠に記載された技術的事項に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものとはいえない。 エ 本件発明１３～１８は、本件発明１又は６に従属するものといえるから、前記イ及び前記（２）と同様の理由で、引用文献３に記載された発明並びに申立人及び特許権者が提出した他の証拠に記載された技術的事項に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものとはいえない。 （４）小括 以上のとおりであるから、引用文献３を主引用例とする進歩性欠如の取消理由は、理由がない。 ６ 先願１に係る外国語書面出願の外国語書面（そのうち、優先権主張基礎出願の出願書類全体に記載されたものに限る。）に記載された発明に基づく拡大先願同一（本件発明１、３～５、１３～１８に対するもの）について （１）先願発明Ａの認定 先願１に係る外国語書面出願の出願日は、２０１８年（平成３０年）５月１５日であって、優先日は、２０１７年（平成２９年）５月１５日であるところ、前記１で説示したとおり、本件発明については、優先日が２０１６年（平成２８年）７月５日であるが、その効果を認めることができず、そのため、特許要件の判断基準日は、国際出願日である２０１７年（平成２９年）７月３日となる。そうすると、先願１に係る外国語書面出願は、特許法第２９条の２所定の「当該特許出願の日前の他の出願」に該当する。 そして、先願１に係る外国語書面出願の外国語書面（そのうち、優先権主張基礎出願の出願書類全体に記載されたものに限るものであり、以下「先願１当初明細書等」という。）には、図１に係る「自立型ＣＮＴペリクル膜１０２」について、次の発明（以下「先願発明Ａ」という。）が記載されていると認められる（翻訳は、先願１に係る公開公報の記載に基づくものであり、参考までに括弧内に記載してある先願発明Ａの認定に用いた箇所については、当該公報の段落番号に基づいて示してある。）。 「ＣＮＴフィルム１０４を加圧することによって形成された自立型ＣＮＴペリクル膜１０２であって、（【００８７】） ＣＮＴフィルム１０４は、第１の加圧面１０６と第２の加圧面１０８との間に配置されており、（【００７７】） ＣＮＴフィルム１０４は、いわゆる自立型ＣＮＴフィルム１０４であり、（【００７７】） ＣＮＴフィルム１０４のＣＮＴ１１０は、単層ＣＮＴであり、（【００７８】） ＣＮＴフィルム１０４の個々のＣＮＴは、ＣＮＴ１１０が主要な方向または優勢な方向に沿ってＣＮＴフィルム１０４内に配置されていないという意味で、ＣＮＴフィルム１０４内にランダムに配置されており、（【００７９】） ＣＮＴフィルム１０４は、ランダムに配向されたＣＮＴ束から形成されており、（【００８０】） ＣＮＴ束１１０は、例えば、２～２０個の個々のＣＮＴを含むことができ、（【００８０】） 加圧面１０６，１０８は、ＣＮＴフィルム１０４に機械的に圧力を印加するために、共に加圧することができ、（【００８４】） 加圧中にオーバーラップする位置で起こる結合は、ＣＮＴフィルム１０４の強度および完全性を向上させ、それによって、自立型ＣＮＴペリクル膜１０２を形成するものであり、（【００８６】） 個々のＣＮＴ１１０は、０．５～２ｎｍの直径を有し、（【０１０４】。なお、「ＣＮＴ１１２」の記載は、図１及び【００８１】等の記載からみて「ＣＮＴ１１０」の明らかな誤記と認められるので、誤記を正して認定した。） ＣＮＴペリクル膜１０２の厚さは、５～５０ｎｍの範囲である、（【０１０６】。なお、当該段落には、「５～５０ｍｍ」と記載されているが、この「ｍｍ」は「ｎｍ」の明らかな誤記であると認められるので、誤記を正して認定した。） 自立型ＣＮＴペリクル膜１０２。」 （２）本件発明１について ア 対比 先願発明Ａの「自立型ＣＮＴペリクル膜１０２」は、本件発明１の「露光用ペリクル膜」に相当する。そして、当該「自立型ＣＮＴペリクル膜１０２」は、技術常識に照らせば、本件発明１でいう「支持枠の開口部に張設される」ものといえる。 先願発明Ａの「自立型ＣＮＴペリクル膜１０２」は、「５～５０ｎｍ」の厚さであるから、本件発明１でいう「厚さが２００ｎｍ以下」であるといえる。 先願発明Ａの「自立型ＣＮＴペリクル膜１０２」は、本件発明１でいう「カーボンナノチューブシートの自立膜」であるといえる。 先願発明Ａの「自立型ＣＮＴペリクル膜１０２」は、「ＣＮＴフィルム１０４」を加圧することによって形成されるものであるところ、当該「ＣＮＴフィルム１０４」は、「ランダムに配向されたＣＮＴ束から形成されて」いることから、先願発明Ａは、本件発明１の「前記カーボンナノチューブシートは複数のカーボンナノチューブから形成されるバンドルを備え」ているものといえる。 イ 一致点及び相違点の認定 前記アによれば、本件発明１と先願発明Ａは、 「支持枠の開口部に張設される露光用ペリクル膜であって、 前記ペリクル膜は、厚さが２００ｎｍ以下であり、 前記ペリクル膜は、カーボンナノチューブシートの自立膜であり、 前記カーボンナノチューブシートは複数のカーボンナノチューブから形成されるバンドルを備えている、 露光用ペリクル膜。」である点で一致し、次の点で相違する。 ［相違点Ａ－１］ 「カーボンナノチューブシート」が、本件発明１は、複数のカーボンナノチューブから形成されるバンドルの径が１００ｎｍ以下であり、前記カーボンナノチューブシート中で前記バンドルが面内配向しており、前記カーボンナノチューブシートは、面内配向した前記バンドル同士が絡み合った網目構造を有するのに対し、先願発明Ａは、そうであるのか不明である点。 ［相違点Ａ－２］ 「カーボンナノチューブ」が、本件発明１は、径が０．８ｎｍ以上６ｎｍ以下であるのに対し、先願発明Ａは、０．５～２ｎｍの直径を有する点。 ［相違点Ａ－３］ 「露光用ペリクル膜」が、本件発明１は、ＲＢ０．４０以上事項を満たすのに対し、先願発明Ａは、そうであるのか不明である点。 ウ 相違点の判断 前記３（２）ウの冒頭に説示したのと同様の理由により、相違点Ａ－１及びＡ－３をまとめて判断する。 （ア）前記３（２）ウ（ア）で説示したことに照らせば、相違点Ａ－１及びＡ－３に係る本件発明１の構成を満たすためには、径が１００ｎｍ以下という相当程度小さいバンドルが、面内方向に相当程度沿った上で、きわめて高密度に存在していることを要すると解される。 これを先願発明Ａについてみると、先願発明Ａの「自立型ＣＮＴペリクル膜１０２」は、「ＣＮＴフィルム１０４を加圧することによって形成された」ものであり、ＣＮＴ束１１０が、「２～２０個の個々のＣＮＴ」を含み、個々のＣＮＴ１１０は、「０．５～２ｎｍの直径を有」するものであるところ、これらの個数及び直径の大きさからすれば、一のＣＮＴ束１１０の径が１００ｎｍを超えないことまでは理解できるものの、ＣＮＴ束１１０の面内配向の程度及び密度の程度が、ＲＢ０．４０以上事項を満たす程度に至っているのかは不明と言わざるを得ないし、当該「自立型ＣＮＴペリクル膜１０２」の製造方法は、前記３（２）ウ（イ）ａで説示した本件実施例に係る製造方法と一致しているとはいえないことから、これがＲＢ０．４０以上事項を満たしている蓋然性が高いともいえない。 そして、先願１当初明細書等の他の記載をみても上記の判断を左右するものはない。 したがって、相違点Ａ－１についてはさておくとしても、相違点Ａ－３は、実質的である。 （イ）そして、相違点Ａ－３が、課題解決のための具体化手段における微差であるといえる根拠も見いだせない。 （ウ）したがって、本件発明１と先願発明Ａは、同一とはいえない。 エ 申立人の主張について 申立人は、引用文献１を主引用例とする新規性欠如及び進歩性欠如の理由においてした主張（前記３（２）エ）と同様の主張を、本取消理由においてもするが、同様に採用できない。 オ 小括 そして、先願１当初明細書等に記載されたいずれの発明を先願発明として認定しても、前記の説示を左右するものはない。 したがって、本件発明１は、先願１当初明細書等に記載された発明と同一であるとはいえない。 （３）本件発明３～５、１３～１８について 本件発明３～５、１３～１８は、本件発明１に従属するものといえるから、前記（２）と同様の理由で、先願１当初明細書等に記載された発明と同一であるとはいえない。 （４）小括 以上のとおりであるから、先願１に係る外国語書面出願の外国語書面（そのうち、優先権主張基礎出願の出願書類全体に記載されたものに限る。）に記載された発明に基づく拡大先願同一の取消理由は、理由がない。 ７ 第２次取消理由及び第１次取消理由についての当合議体の判断の小括 第１次取消理由のうち第２次取消理由に含まれないものは、前記第５の２のとおり、本件特許の登録時の請求項２に係るもののみであるが、当該請求項２は本件訂正により削除されている。 したがって、第２次取消理由及び第１次取消理由によって、本件発明に係る特許を取り消すことはできない。 第７ 特許異議申立理由（第２次取消理由及び第１次取消理由に含まれないもの）についての当合議体の判断 １ 明確性要件違反に係る理由 （１）ＲＢ０．４０以上事項に関連する主張について ア 申立人は、本件発明のＲＢに係る特定事項が「Ａと、Ｂとの差」という表現構造を含む記載となっていることについて、これでは、Ａ－Ｂを意味しているのか、Ｂ－Ａを意味しているのかが明確でない、つまり、ＡとＢのいずれが被減数であっていずれが減数であるのかが不明である旨主張する。 しかしながら、当該特定事項は、（ｉ）「膜厚方向の、回折強度のピークとなる逆格子ベクトルにおける回折強度」と、「膜厚方向の、」「ベースラインとなる逆格子ベクトルにおける回折強度」との差を、（ｉｉ）「前記膜厚方向の前記ベースラインとなる逆格子ベクトルにおける前記カーボンナノチューブシートの面内方向の回折強度」と、「前記膜厚方向の回折強度のピークとなる逆格子ベクトルにおける前記カーボンナノチューブシートの面内方向の回折強度」との差で除した比として記載されているのであり、分子（ｉ）と分母（ｉｉ）の双方に「差」に係る表現が登場している。そして、分子及び分母において、どちらが被減数でどちらが減数になるのかは、記載された順序に基づいて、分子及び分母の双方につき同様にこれを決することが自然である。そうすると、申立人が主張するいずれの意味に解しても、商をとったＲＢの値としてみると、これは一意に特定されることになる。 イ 申立人は、ＲＢを算出する際には、「前記カーボンナノチューブのバンドルの三角格子に由来するカーボンナノチューブシートの膜厚方向の、回折強度のピークとなる逆格子ベクトル」（以下「本件ピーク逆格子ベクトル」という。）と、「前記カーボンナノチューブシートの膜厚方向の前記ピークと重ならず、ベースラインとなる逆格子ベクトル」（以下「本件ベースライン逆格子ベクトル」という。）が特定される必要があるが、これらが明確に特定されていない旨主張し、その根拠として、（ｉ）本件訂正明細書等には、本件ピーク逆格子ベクトル及び本件ベースライン逆格子ベクトルとして、それぞれ、２．７ｎｍ－１及び２．２ｎｍ－１のものが記載されている（【０１００】）ものの、これに限定することなく、適宜選定できるとも記載されており（【０１０２】）、選定する値によって、ＲＢの値が大きく変化してしまうこと、（ｉｉ）本件ベースライン逆格子ベクトルについては、「本回折ピークと重ならない位置において、ベースラインとなる強度を差し引くための位置」と記載されているが（【０１００】）、この記載からどのように特定するのかは当業者にとっても不明であることを挙げる。 （ア）ａ まず、本件ピーク逆格子ベクトルは、「カーボンナノチューブのバンドルの三角格子に由来する前記カーボンナノチューブシートの膜厚方向の、回折強度のピークとなる」と特定されているものであり、その文言は、当業者にとって明確に理解できる。 また、本件ベースライン逆格子ベクトルは、「前記カーボンナノチューブシートの膜厚方向の前記ピークと重ならず、ベースラインとなる逆格子ベクトル」と特定されているところ、その特定中の「ベースライン」という文言、及びＲＢの定義において、本件ベースライン逆格子ベクトルに係る回折強度と本件ピーク逆格子ベクトルに係る回折強度との（商ではなく）差が特定されていることに照らせば、当業者であれば、本件ベースライン逆格子ベクトルが、「カーボンナノチューブシートの断面」における「膜厚方向」の「前記カーボンナノチューブのバンドルの三角格子」に係る構造（以下「本件バンドル三角格子構造」という。）にもっぱら由来する回折強度を明らかにするためのものであって、本件ピーク逆格子ベクトルにおける回折強度から、本件バンドル三角格子構造に係る影響以外の影響を差し引くための回折強度に対応する逆格子ベクトルを意味していることを理解できる。 ｂ この点、本件訂正明細書等の【０１０２】には、本件ピーク逆格子ベクトル及び本件ベースライン逆格子ベクトルは、それぞれ「２．７ｎｍ－１」及び「２．２ｎｍ－１」に限定することなく、適宜選定することができる旨記載されており、そのため、本件ピーク逆格子ベクトル及び本件ベースライン逆格子ベクトルに任意性があると理解される余地がある。しかしながら、本件訂正明細書等の図５（後掲してある。）のような、横軸にカーボンナノチューブシートの断面の制限視野電子線回折像における逆格子ベクトルをとり、縦軸に膜厚方向及び面内方向における回折強度を反映する輝度をとった曲線（同【００４１】・【００９１】。以下「本件逆格子ベクトル－回折強度曲線」といい、当該図５に記載された本件逆格子ベクトル－回折強度曲線を「本件図５曲線」という。）について、本件図５曲線その他のいかなる本件逆格子ベクトル－回折強度曲線であっても、上記の「ピーク」が「２．７ｎｍ－１」に常に現れるとは解し難く、このことは、同【００８５】において、回折強度や散乱角が、ナノチューブの直径や集合状態に依存すると記載されていることからみても明らかである。そうであるならば、本件ピーク逆格子ベクトルは、上記の特定、つまり、「カーボンナノチューブのバンドルの三角格子に由来する前記カーボンナノチューブシートの膜厚方向の、回折強度のピークとなる」という特定に基づいて、本件逆格子ベクトル－回折強度曲線から読み取れる値をもって値を確定すべきであるのが明らかであり、上記の「適宜選定することができる」旨の記載も、そのことを意味しているにすぎないと解するのが相当である。同様に、本件ベースライン逆格子ベクトルも、上記の特定、つまり、「前記カーボンナノチューブシートの膜厚方向の前記ピークと重ならず、ベースラインとなる」という特定に基づいて、本件逆格子ベクトル－回折強度曲線から読み取れる値をもって値を確定すべきであるのが明らかである。 ［図：0001422361000002.jpg］ ｃ 申立人は、特許権者が引用文献１に記載されたペリクル膜の再現実験であるとして提出した乙５に記載された本件逆格子ベクトル－回折強度曲線（一例を後掲する。）においては、当該曲線からは、本件ピーク逆格子ベクトル及び本件ベースライン逆格子ベクトルを特定できない旨主張する。 しかしながら、ＲＢは、前記ａの本件ピーク逆格子ベクトル及び本件ベースライン逆格子ベクトルの理解によれば、要するに、本件バンドル三角格子構造の量を把握しようとするものであって、回折強度を観測しているという原理に照らせば、この構造は、理想的には、滑らかな曲線で表されるものと理解されることから、乙５に記載された本件逆格子ベクトル－回折強度曲線のように滑らかさに欠く曲線が得られたとしても、これをフィッティングして解析すればよいことが明らかである。 ［乙５の６頁に記載された電子線回折プロファイル］ ［図：0001422361000003.jpg］ （イ）ａ 次に、本件ベースライン逆格子ベクトルが具体的にどのような値として定まるのかについて検討する。すなわち、本件ベースライン逆格子ベクトルは、前記（ア）ａのとおり、本件バンドル三角格子構造にもっぱら由来する回折強度を明らかにするためのものであって、本件ピーク逆格子ベクトルにおける回折強度から、本件バンドル三角格子構造に係る影響以外の影響を差し引くための回折強度に対応する逆格子ベクトルを意味していることを理解できるが、本件逆格子ベクトル－回折強度曲線が与えられたときに、そのような逆格子ベクトルを具体的に特定できるのかについては、申立人の主張があることも踏まえると、さらに検討する必要がある。 ｂ 本件図５曲線のうち、本件ベースライン逆格子ベクトルの特定に係る「膜厚方向」に対応する「厚み方向」を表す実線は、同【０１００】の記載及びその前後の文脈にも照らせば、本件ピーク逆格子ベクトルが２．７ｎｍ－１であって、本件ベースライン逆格子ベクトルが２．２ｎｍ－１であることを表していることを理解できる。 その上で、改めて本件図５曲線の実線をみると、当該実線には、ｇ＝２．７ｎｍ－１付近にピークをもつ所定の広がりをもった山なりの曲線部分を見て取れるとともに、当該曲線部分が、ｇ＝２．０ｎｍ－１付近で極小値となっており、換言すれば、この付近で傾きの変動傾向を大きく変えていることも見て取れる。もっとも、当該曲線部分は、特にこの付近では輝度が滑らかに変動していないことを見て取れることから、当業者であれば、前記（ア）ｃに照らして、当該実線をフィッティングした上で理解できるのであり、そうであれば、上記の傾きの変動傾向を大きく変えている点は、ｇ＝２．２ｎｍ－１付近と解することも可能である。 ｃ また、本件図５曲線の実線における前記山なりの曲線部分を含む曲線全体は、前記ａの説示に照らせば、（ｉ）本件バンドル三角格子構造にもっぱら由来する曲線と、（ｉｉ）ベースラインを構成する曲線との和によって形成されていることを理解できる。 そして、（ｉ）の曲線は、山形の形状である一方、（ｉｉ）の曲線は、輝度が最大のところから、おおむね滑らか、かつ、単調に減少する形状となっていると解される。 ｄ 本件図５曲線の実線を、前記（ア）並びに前記ｂ及びｃを踏まえて整合的に理解できれば、本件ベースライン逆格子ベクトルの意味をより具体的に理解できるといえるところ、そのためには、（ｉ）の本件バンドル三角格子構造にもっぱら由来する曲線（山形の形状である。）が、ｇの値が２．２ｎｍ－１付近にまで大きくなって初めて有意な値をもつものであると理解するとともに、（ｉｉ）のベースラインを構成する曲線（輝度が最大のところから、おおむね滑らか、かつ、単調に減少する形状である。）が、（ｉ）の曲線を足し合わせると本件図５曲線の実線となるようなものと理解すればよいのであり、この理解は、本件図５曲線並びにその本件ピーク逆格子ベクトル及び本件ベースライン逆格子ベクトルの値に接した当業者にとって合理的なものといえる。 このように、本件ベースライン逆格子ベクトルは、本件逆格子ベクトル－回折強度曲線（必要ならばフィッティングを行う。）を得た上で、本件ピーク逆格子ベクトルのピークをもつ本件バンドル三角格子構造にもっぱら由来する曲線が有意な値をもち始める逆格子ベクトルの値をもって特定されるものであることが当業者にとって理解できるのであり、第三者に不測の不利益を及ぼすことはないというべきである。 （ウ）したがって、本件ピーク逆格子ベクトル及び本件ベースライン逆格子ベクトルはいずれも明確である。この点に関する申立人の主張はいずれも採用できない。 ウ 申立人は、本件発明１及び６においてカーボンナノチューブの製造方法が特定されていないことをもって、本件発明の特定事項の記載が明確でない旨主張し、その根拠として、ＲＢを求めるためには、「バンドルの三角格子に由来する」回折強度のピークを求める必要がある一方で、本件訂正明細書等の【００８５】の記載によれば、このピークの位置や形状が、カーボンナノチューブの製造方法によって異なるとされていることを挙げる。 しかしながら、ＲＢに係る特定事項には、「回折強度のピーク」が「バンドルの三角格子に由来する」ことが含まれている。そして、カーボンナノチューブの製造方法によって当該ピークの位置や形状が異なるとしても、その差異は、上記の「バンドルの三角格子に由来する」「回折強度のピークとなる逆格子ベクトル」という特定事項に反映されることになる。 エ 申立人は、本件訂正明細書等の記載が、ＲＢ０．４０以上事項について、所望の面内配向が得られると当業者において認識できる程度のものになっていない、下限であるＲＢが０．４０のときのカーボンナノチューブシートがどのような面内配向の状態にあるのか理解できない、ＲＢの下限である０．４０は比較例１のＲＢの０．３５３に極めて近く両者の間で技術的な有意差があると理解できない、ＲＢの上限値が不明などと主張する。 しかしながら、ＲＢ０．４０以上事項についての明確性要件の検討に際しては、当該特定事項それ自体が明確であるか否かを検討すれば足りるのであり、当該特定事項それ自体は、前記ア～ウでも説示したとおり、明確である。申立人の上記各主張は、いずれも、それを問題とするものではない。 （２）ＲＢ０．４０以上事項以外の主張について ア 申立人は、本件発明の「自立膜」の意味が明確でない旨主張し、その根拠として、特許権者が、引用文献１に記載されたＣＮＴ膜について局所的に凝集体を形成したから自立膜を形成しない旨主張していると理解されることや、本件訂正明細書等において自立膜の定義や必要とする面積についての記載がないことを挙げるが、「自立膜」は、本件訂正明細書等の【００４５】のとおり、「基材や基板がなく薄膜自身でその形状を保持可能なもの」と理解されるのであり、明確である。特許権者がどのように主張したかによって、この判断が左右されることはない。 さらに、申立人は、本件発明の「カーボンナノチューブシートの自立膜」という記載では、カーボンナノチューブシートのみの自立膜であるのか、他の成分も任意的に含有してもよいのか明確でない旨主張するが、同【００７１】には、保護層が、カーボンナノチューブシート中の各バンドルを被覆する態様であってよい旨記載されていることから、上記の記載は、他の成分も任意的に含有してよいものと解される。 イ 申立人は、本件発明１における、ペリクル膜の厚さの下限値が不明であるとか、バンドルの径の下限値が不明であるなどと主張するが、この値が特定されていないことによって、明確性要件違反の問題が生じることはない。 ウ 申立人は、本件発明の「カーボンナノチューブ」の「径」が「０．８ｎｍ以上６ｎｍ以下」であるという特定事項が明確でない旨主張し、その根拠として、「径」の測定方法について、乙５において採用された方法と本件訂正明細書等の【０１１７】に記載されたカーボンナノチューブの「径の中心サイズ」に係る方法とが整合していないことを挙げる。 カーボンナノチューブの「径」の測定方法については、当該【０１１７】に、カーボンナノチューブの「径」の「中心サイズ」の測定方法に関する文脈において、カーボンナノチューブシートの膜面において、透過電子顕微鏡にて透過電子像を撮影し、その画像から、カーボンナノチューブの直径を各々計測する旨の記載がある（なお、径の「中心サイズ」は、この計測されたデータに基づいて作成されたヒストグラムから、その９０パーセントが有する径として計算される旨記載されている。）。そうすると、上記の特定事項は、そのようにして測定されたカーボンナノチューブの「径」が、「０．８ｎｍ以上６ｎｍ以下」であることを意味していると解するのが自然であり、そのため、明確である。 そして、乙５において採用された測定方法の内容がどのようなものかによって、上記の判断が左右されることはないし、それをさておくとしても、当該測定方法は、上記のとおり理解された測定方法と同様のものである。申立人が主張する当該【０１１７】に記載された測定方法は、カーボンナノチューブの「径の中心サイズ」に係るものであって、本件発明に特定されたカーボンナノチューブの「径」に係るものとは異なる。 （３）小括 以上のとおりであるから、本件発明の明確性要件違反に係る特許異議申立理由は、理由がない。 ２ 実施可能要件違反に係る理由 （１）判断 申立人は、本件訂正明細書等の記載では、当業者が本件発明に係るペリクル膜を実施できない旨主張するので検討する。 ア 本件訂正明細書等には、おおむね次のことが記載されている。 （ア）ペリクル膜に用いるカーボンナノチューブは、反応系に金属触媒を存在させ、かつ反応雰囲気に酸化剤を添加するＣＶＤ法によって、化学気相成長用基板上に形成する。詳細には、カーボンナノチューブは、スーパーグロース法を参照して製造できる（【００５７】）。 化学気相成長用基板からカーボンナノチューブを剥離して得られたカーボンナノチューブを液体中に分散させた分散液を準備し、これを用いて、カーボンナノチューブシートを製造できる（【００５８】）。分散液を基板上にコーティングした後、分散液に用いた液体を除去すると、その除去するための蒸発に伴い、基板面に対してカーボンナノチューブが略平行である膜が得られ、その基板を取り除くことで、ペリクル膜が得られる（【００６３】～【００６６】）。 分散液には、分散剤を含んでよく、分散剤を含むと、バンドルが細くなり、面内配向しやすく好ましい（【００５９】）。分散剤の種類として、有機側鎖フラビン、フラビン誘導体、ドデシル硫酸ナトリウム、コール酸ナトリウム、デオキシコール酸ナトリウム、ドデシルベンゼンスルホン酸ナトリウムなどを用いることができるが、スーパーグロース法で合成したカーボンナノチューブを分散液中で細くて均一なバンドルに分散させる場合には、分散剤として有機側鎖フラビンを用いることが望ましい（【００５９】・【００６１】）。 分散液の溶媒の種類としては、分散剤の溶解性に応じて、適宜溶媒を選定することができ、たとえば、分散剤として有機側鎖フラビンを用いる場合は、溶媒としてトルエン、キシレン、エチルベンゼンを用いることができる。分散剤を用いない場合においては、Ｎ－メチルピロリドン（ＮＭＰ）、Ｎ，Ｎ－ジメチルホルムアミド、プロピレングリコール、メチルイソブチルケトン（ＭＩＢＫ）などを用いることができる（【００６０】）。 バンドルが面内配向しているカーボンナノチューブシートは、面内方向にバンドル同士が絡み合った網目構造とすることができるために、１００ｎｍ以下の厚さであっても自立膜を形成できる（【０１１２】）。液体上に膜を浮かせてから掬い取ることで自立膜を得ることができる（【０１２５】）。 バンドル径を１００ｎｍ以下とすると、膜厚を２００ｎｍ以下とすることができ（【００７６】）、バンドルが面内配向しているようにすると、バンドル径と同等の膜厚とすることが可能となる（【０１１２】）。 化学気相成長用基板からカーボンナノチューブを剥離したり（【００６４】）、酸洗浄により金属触媒を除したりする（【０１１６】）ことにより、カーボンナノチューブの純度を９８質量パーセント以上とすることができる。 （イ）ａ 実施例１（本件実施例）として、スーパーグロース法で合成したカーボンナノチューブ３００ｍｇと分散剤としての有機側鎖フラビン１ｇをトルエン１００ｍＬに加え、これを攪拌、分散させてカーボンナノチューブ分散液を得て脱泡させた後、そのカーボンナノチューブ分散液を、シリコン基板に、ブレードとのギャップを２４０μｍとして、ブレードコートして、乾燥後に厚さ２００ｎｍの膜を得た。そして、有機側鎖フラビンを除去したのち、シリコン基板を水浴に浸透して膜を剥離し、枠で膜を掬い取って、自立膜であるペリクル膜を得た（【０１８７】・【０１８８】・【００５７】）。 このペリクル膜は、バンドルの平均径が９．０ｎｍであり、径が１００ｎｍを超えるバンドルは見られなかった（【０１９２】）。 ＲＢは１．０２であった（【０１９０】）。 ｂ 実施例２として、実施例１と同様の方法で作製した分散液を用いて、当該分散液を、シリコン基板に、ブレードとのギャップを５０μｍとして、ブレードコートして、乾燥後に厚さ４０ｎｍの膜を得た。そして、有機側鎖フラビンを除去したのち、シリコン基板を水浴に浸透して膜を剥離し、枠で膜を掬い取って、自立膜であるペリクル膜を得た（【０１９３】）。 このペリクル膜は、バンドルの平均径が１０．０ｎｍであり、径が１００ｎｍを超えるバンドルは見られなかった（【０１９３】）。 ＲＢの値は記載されていない。 ｃ 比較例１として、スーパーグロース法で合成したカーボンナノチューブ４００ｍｇを有機溶媒であるプロピレングリコール１００ｇに加え、これを攪拌、分散させて得られたカーボンナノチューブ分散液を脱泡した後、そのカーボンナノチューブ分散液を、シリコン基板にブレードとのギャップを２４０μｍとしてブレードコートして、乾燥後に厚さ２００ｎｍの膜を得た（【０１９４】・【００５７】）。 ＲＢは０．３５３であった（【０１９６】）。 径が１００ｎｍを超えるバンドルが観察され、上記の基板を水浴に浸透したところ、基板から剥離したカーボンナノチューブシートの膜は、枠に掬い取る際に細かく砕け、自立膜であるペリクル膜は得られなかった（【０１９７】）。 イ 以上をも踏まえて、本件訂正明細書等の記載に接した当業者が本件発明に係るペリクル膜を実施できるかを検討する。 （ア）まず、本件発明においてＲＢ０．４０以上事項を満たすということは、前記第６の３（２）ウ（ア）のとおり、径が１００ｎｍ以下という相当程度小さいバンドルが、面内方向に相当程度沿った上で、きわめて高密度に存在することを意味しているのであり、このことは、本件訂正明細書等の記載に接した当業者であれば理解できる。 （イ）次に、本件訂正明細書等には、前記ア（ア）のとおり、本件発明に係るペリクル膜を製造するための製造方法が一般的に記載されている。 ａ すなわち、ペリクル膜に用いるカーボンナノチューブは、スーパーグロース法で合成すること、基板面に対してカーボンナノチューブを略平行にする方法として、カーボンナノチューブを液体中に分散させた分散液を基板上にコーティングさせた後に、分散液に用いた液体を蒸発により除去すること、バンドルを細くして、面内配向しやすくするための方法として、分散液に分散剤を含めることが記載されている。 加えて、上記分散液について、分散剤は、スーパーグロース法で合成したカーボンナノチューブには、有機側鎖フラビンを用いることが望ましく、また、分散液の溶媒の種類は、分散剤の溶解性に応じて、適宜選定できることも記載されている。 ｂ そして、膜厚を小さくするためには、バンドル径を１００ｎｍ以下とするとともに、バンドルが面内配向しているようにすることが記載されているところ、これらは分散液に分散剤を含めるといった前記ａの方法により実現できるといえる。 ｃ また、自立膜を得るためには、バンドルが面内配向しているカーボンナノチューブシートを用いること、面内方向にバンドル同士が絡み合った網目構造とすることが記載されているところ、これらも、分散液を基板上にコーティングさせた後に、分散液に用いた液体を蒸発により除去するといった前記ａの方法により実現できるといえるし、液体上に膜を浮かせてから掬い取ることで自立膜を実現できることも記載されている。 ｄ さらに、カーボンナノチューブの純度を９８質量パーセント以上とするために、化学気相成長用基板からカーボンナノチューブを剥離したり、酸洗浄により金属触媒を除したりすることも記載されている。 （ウ）ａ 本件訂正明細書等には、前記ア（イ）ａ及びｃのとおり、ＲＢが１．０２の実施例１とＲＢが０．３５３の比較例１が記載されている。ここで、両者の製造方法は、おおむね、分散剤の有無及び用いる溶媒の点（実施例１では、分散剤として「有機側鎖フラビン」を用い、溶媒として「トルエン」を用いているが、比較例１では、分散剤を用いておらず、溶媒として「プロピレングリコール」を用いている。）で異なることが理解できる。 ところで、上記のとおり、実施例１では、分散剤として「有機側鎖フラビン」を用いると記載されているにとどまり、具体的にどのような物質を用いたのかの明記はない。この点、「フラビン」は、一般に、イソアロキサジン誘導体を意味する（例えば、特開２００８－５６５８５号公報の【０００２】を参照。）ところ、「有機側鎖フラビン」は、その文言に照らして、イソアロキサジン誘導体の置換基に有機側鎖が存在するものと解される。そして、カーボンナノチューブの技術分野において、ＦＣ１２という化合物が単層カーボンナノチューブの分散剤として周知であった（例えば、乙１の要約欄、引用文献４の［００２６］を参照。）と認められるところ、ＦＣ１２は、その化学構造式（次図参照。引用文献４の【００２７】から引用したものである。）からみて、「有機側鎖フラビン」の一種であることが理解できる。 ［図：0001422361000004.jpg］ さらに、有機側鎖フラビンが単層カーボンナノチューブの分散剤として作用する機序が、芳香環を有する部位が単層カーボンナノチューブと相互作用するとともに、アルキル鎖部位といった有機側鎖が溶媒に対する溶解性を示すことにあるのも周知であった（例えば、引用文献４の［００２６］を参照。）と認められる。そして、このことから、当業者であれば、カーボンナノチューブが単層か多層かにかかわらず、カーボンナノチューブの分散剤として機能する化合物には、カーボンナノチューブに対して相互作用する部位と、溶媒に対する溶解性を示す部位を備えているものがあり、これらの部位を選択することにより、カーボンナノチューブに対する相互作用の程度と溶媒に対する溶解性の程度を制御することを通じて、カーボンナノチューブの分散性を制御できることも理解できるといえる。 ｂ また、本件訂正明細書等には、前記ア（イ）ａ及びｂのとおり、実施例として、膜厚が２００ｎｍ程度及び４０ｎｍ程度のペリクル膜が記載されている。ここで、両者の相違は、シリコン基板に分散液をブレードコートする際のブレードとシリコン基板のギャップの差（それぞれ、２４０μｍ及び５０μｍ）に起因するものであることも理解できる。 （エ）ａ 以上によれば、本件訂正明細書等の記載に接した当業者であれば、本件発明のうち、まずＲＢ０．４０以上事項を満たすためには、バンドル径を１００ｎｍ以下という相当程度小さいものとし、バンドルを面内方向に相当程度沿わせ、バンドルをきわめて高密度に存在させればよいことを理解できる（前記（ア））ところ、そのためには、分散液に分散剤を含めるか、分散剤を含めるならば分散剤として何を選択するか、分散液に用いる溶媒をどうするかなどを選択する必要があることを理解できる（前記（イ）ａ及び（ウ）ａ）し、これらのほかにも、カーボンナノチュ－ブをどのように合成するか（前記（イ）ａ）、合成したカーボンナノチューブをどの程度分散液に含ませるかについても、分散剤として何を選択するかやバンドルの密度に影響することから、選択する必要があるのを理解できるといえる。さらに、前記（イ）ａのとおり、本件訂正明細書等には、スーパーグロース法で合成したカーボンナノチューブでは分散剤として有機側鎖フラビンを用いることが望ましいことが記載されている。 そして、前記（ウ）ａのとおり、本件訂正明細書等には、ＲＢが１．０２となる実施例１が存在し、スーパーグロース法で合成したカーボンナノチューブを用いて、分散剤として有機側鎖フラビンを用いるとともに溶媒としてトルエンを用いることが、それらの量などとともに記載されている。ここで、有機側鎖フラビンの具体例こそ明記されていないものの、有機側鎖フラビンに該当するＦＣ１２といった具体的化合物が単層カーボンナノチューブの分散剤として周知である。また、当業者は、有機側鎖フラビンを含めたカーボンナノチューブの分散剤として機能する化合物において、どのようにすれば、カーボンナノチューブの分散性を制御できるのかも理解できるし、分散性の程度が得られるバンドル径に影響することも当業者には明らかである。 このように、本件訂正明細書等には、ＲＢ０．４０以上事項を満たすべく、ＲＢの値を制御するために選択する必要がある事項が何であるのかを理解できるように記載されているとともに、ＲＢ０．４０以上事項を満たす実施例１が記載されていること、当該実施例１では分散剤である有機側鎖フラビンの具体例こそ明記されていないものの、技術常識に照らしてどのようなものを選択すればよいか理解できるといえることから、当業者であれば、本件訂正明細書等の記載に基づいて、ＲＢ０．４０以上事項を満たすべく、ＲＢの値を制御するために必要な事項の内容及びその事項をどのように選択するかの指針を理解することができるといえる。 ｂ 本件発明におけるＲＢ０．４０以上事項以外の特定事項である、バンドル径を１００ｎｍ以下とすること、バンドルを面内配向すること、自立膜を得ること、面内配向したバンドル同士が絡み合った網目構造を有するようにすることについては、前記（イ）ｃに照らせば、ＲＢ０．４０以上事項を満たすペリクル膜を製造することに伴って実現されるものといえる。 加えて、本件発明１における膜厚を２００ｎｍ以下とすることは、前記（イ）ｂのとおり、バンドル径を小さくすることとともに、バンドルが面内配向しているようにすることや、前記（ウ）ｂのとおり、シリコン基板に分散液をブレードコートする際のブレードとシリコン基板のギャップの差の調整により実現できるし、本件発明６におけるカーボンナノチューブの純度は、前記（イ）ｄのとおり、酸洗浄などの手段により実現できることが理解できる。 ｃ 前記ａ及びｂによれば、当業者であれば、本件訂正明細書等の発明の詳細な説明の記載に基づいて、過度の試行錯誤をすることなく、本件発明に係るペリクル膜を製造することができると認められる。 ウ したがって、本件訂正明細書等の発明の詳細な説明は、当業者が本件発明に係るペリクル膜を実施できるように記載されている。 （２）特許異議申立理由について ア ＲＢ０．４０以上事項に関連する理由について （ア）申立人は、本件訂正明細書等には、実質的に実施例が存在しないから、当業者であってもＲＢ０．４０以上事項を満たすペリクル膜を製造できない旨主張し、その根拠として、分散剤としての「有機側鎖フラビン」の具体例の記載がないことを挙げる。 しかしながら、前記（１）イ（ウ）ａで説示したとおり、単層カーボンナノチューブの分散剤としての「有機側鎖フラビン」の具体例は周知であるし、その作用機序も周知であることから、申立人の主張によって前記（１）イ及びウの説示が左右されることはない。 （イ）申立人は、本件訂正明細書等には、ＲＢ０．４０以上事項を満たすようにする制御方法やＲＢに影響を与える条件などＲＢ０．４０以上事項を満たすための具体的な手法が記載されていない旨主張するが、前記（１）イ（エ）で説示したとおりである。 （ウ）申立人は、ＲＢを計算することができない旨主張し、その根拠として、「回折強度のピーク」が特定できない旨主張するが、この意味は、前記１（１）イ（ア）で説示したとおり明確である。 （エ）申立人は、ＲＢ０．４０以上事項について、前記（ア）～（ウ）以外にも、ＲＢが１．０２以外の場合について実施例によるサポートがされておらず、ＲＢが０．４０以上という数値範囲について実施できない、膜厚との関係でＲＢが０．４０以上であるという数値範囲について実施できない、ＲＢだけでは面内配向の特定として不十分でありＲＦＦＴも特定される必要があるなどと主張する。 しかしながら、本件訂正明細書等が、当業者が本件発明に係るペリクル膜を実施できるように記載されていることは、前記（１）で説示したとおりである。 イ ＲＢ０．４０以上事項以外に関連する理由について （ア）申立人は、ペリクル膜の厚さについて、自立膜として一定以上の厚さを有していなければならないにもかかわらず本件発明１に下限値が特定されていない、本件訂正明細書等には、実施例１の２００ｎｍと実施例２の４０ｎｍの２つしか記載されていない、などと主張するが、前記（１）イで説示したことのほか、本件発明は、「自立膜」であることが特定されていることから、それが実現する範囲の膜厚であることが当然の前提になっているといえる。 また、申立人は、本件発明６にはそもそも膜厚が特定されていない旨も主張するが、前記第６の２で認定したとおり、本件発明６は、カーボンナノチューブ中のカーボンの含有率を高くしつつ、カーボンナノチューブの径を大きくすることによって、ＥＵＶ透過率を低くするものであるから、膜厚の特定がないことをもって当該発明についての実施可能要件が問題となることはない。 （イ）申立人は、本件発明にはカーボンナノチューブが単層か複層かの特定がないが、本件訂正明細書等に記載された実施例は単層のものしかない旨主張する。 しかしながら、本件発明は、前記第６の２で認定したとおり、先行文献に比してさらにＥＵＶ透過性が高く耐熱性に優れたペリクル膜を提供するという課題を解決するものであって、その課題を解決するために、要するに、バンドル径を小さくして、バンドルを面内配向させつつ、面内配向したバンドルが網目構造を有するようにするものといえる。そして、前記（１）で説示したとおり、本件訂正明細書等には、このような課題解決手段が実施可能に記載されている。そうすると、カーボンナノチューブが単層か複層かの観点をもって、本件発明についての実施可能要件が問題となることはないというべきである。 （ウ）申立人は、バンドル径、カーボンナノチューブの径、及びカーボンナノチューブの長さについても、るる主張するが、前記（１）で説示したとおりである。 （３）小括 以上によれば、本件発明についての実施可能要件違反に係る特許異議申立理由は、理由がない。 ３ サポート要件違反に係る理由 （１）判断 申立人は、本件発明が本件訂正明細書等の発明の詳細な説明に記載されていない旨主張するので検討する。 前記第６の２によれば、本件発明の課題は、先行文献に比してさらにＥＵＶ透過性が高く耐熱性に優れたペリクル膜を提供することである。 そして、本件訂正明細書等には、ペリクル膜の厚さが２００ｎｍ以下と薄いため、ＥＵＶ透過率が高いこと、当該厚さを薄くするために、バンドル径を１００ｎｍ以下とするとともに、バンドルを面内配向させていること、カーボンナノチューブがバンドルを形成することによって、カーボンナノチューブ単独の場合と比べて強度が高まっていること、面内配向したバンドルが網目構造を有しているため、１００ｎｍ以下の厚さであっても自立膜を形成することができるとともに、自立膜に応力を加えても、網目構造及び自立膜形状を保つことができることが記載されている。また、本件訂正明細書等には、カーボンナノチューブ中のカーボンの含有率が９８質量パーセント以上と非常に高いため、ＥＵＶ透過率が高いこと、カーボンナノチューブの径が０．８ｎｍ以上６ｎｍ以下であって大きいため、低密度の膜となることからもＥＵＶ透過率が高いこと、カーボンナノチューブの長さが長いため、カーボンナノチューブどうしが絡み合い、強靱なシートとなることができることも記載されている。加えて、本件訂正明細書等には、ＲＢが１．０２の実施例１が記載されており、分散剤としての「有機側鎖フラビン」の具体例こそ明記はないものの、前記２（１）イ（ウ）ａのとおり、それを選択する指針を理解できるものである。 以上によれば、当業者は、本件発明に特定されたペリクル膜が、本件訂正明細書等の発明の詳細な説明に記載された課題を解決できると認識できる範囲を超えていないと認識できるといえるから、本件発明はサポート要件を満たしている。 （２）特許異議申立理由について 申立人は、本件発明がサポート要件違反である旨主張し、その根拠をるる挙げるが、おおむね、実施可能要件違反の主張をサポート要件違反として構成し直したものであるにすぎず、前記（１）及び前記２に照らして、いずれも採用できない。 （３）小括 以上によれば、本件発明のサポート要件違反に係る特許異議申立理由は、理由がない。 ４ 甲Ａ２を主引用例とする進歩性欠如（本件特許の登録時の請求項６～１８に係る発明に対するもの）に関する理由 （１）引用発明Ａ２の認定 甲Ａ２には、図１に記載された自立したＣＮＴペリクルについて、次の発明（以下「引用発明Ａ２」という。）が記載されていると認められる。 「自立したＣＮＴペリクル膜であって、（図１） ＣＮＴを水平面に配列させて、連続フィルムよりもはるかに密度が低い層を形成している、（２頁下から８行～下から７行） ＣＮＴペリクル膜。」 （２）本件発明６について ア 対比、一致点及び相違点の認定 本件発明６と引用発明Ａ２とは、 「カーボンナノチューブシートの自立膜であるペリクル膜である、 ペリクル膜。」である点で一致し、次の点で相違する。 ［相違点Ａ２－１］ 「カーボンナノチューブ」について、本件発明６は、径が０．８ｎｍ以上６ｎｍ以下であり、長さが１０μｍ以上１０ｃｍ以下であり、その中のカーボンの含有量が９８質量パーセント以上であるのに対し、引用発明Ａ２は、いずれも不明である点。 ［相違点Ａ２－２］ 「カーボンナノチューブシート」が、本件発明６は、複数のカーボンナノチューブから形成されるバンドルを備え、前記バンドルは径が１００ｎｍ以下であり、前記カーボンナノチューブシート中で前記バンドルが面内配向しており、前記カーボンナノチューブシートは、面内配向した前記バンドル同士が絡み合った網目構造を有するのに対し、引用発明Ａ２は、そうであるのか不明である点。 ［相違点Ａ２－３］ 「ペリクル膜」が、本件発明６は、ＲＢ０．４０以上事項を満たすのに対し、引用発明Ａ２は、そうであるのか不明である点。 イ 相違点の判断 前記第６の３（２）ウの冒頭に説示したのと同様の理由により、相違点Ａ２－２及びＡ２－３をまとめて判断する。 （ア）前記第６の３（２）ウ（ア）で説示したことに照らせば、相違点Ａ２－２及びＡ２－３に係る本件発明６の構成を満たすためには、径が１００ｎｍ以下という相当程度に小さいバンドルが、面内方向に相当程度沿った上で、きわめて高密度に存在することを要すると解される。 これを引用発明Ａ２についてみると、引用発明Ａ２の「ＣＮＴペリクル膜」は、ＣＮＴを水平面に配列させて、連続フィルムよりもはるかに密度が低い層を形成しているものの、バンドルを形成しているのか、また、仮にバンドルを形成しているといえたとしても、その径がどの程度であるのか、そのバンドルがどの程度面内方向に沿っているのか、そのバンドルがどの程度の密度で存在しているのかが一切不明であることから、ＲＢ０．４０以上事項を満たすのかも不明と言わざるを得ない。 また、甲Ａ２には、水平面に配列したＣＮＴを製造する方法として、ＣＮＴを液体中に分散させて「インク」を作り、スピンコート、ブレードコート、スプレーコートで表面に塗布し、その後、インクから界面活性剤を熱的又は化学的に除去することや、基板上で長く整列したＣＮＴを合成し、液体中に分散させることなく、様々な方法で連続的に転写することが記載されている（２頁「２．１」の項の６行～９行）が、これらの方法によって製造されたＣＮＴがバンドルを形成しているのか、形成しているとしてバンドル径の程度、面内配向の程度及びバンドルの密度の程度が、ＲＢ０．４０以上事項を満たす程度に至っているのかは不明と言わざるを得ないし、当該方法は、前記第６の３（２）ウ（イ）ａで説示した本件実施例の製造方法と一致しているとはいえないことから、これがＲＢ０．４０以上事項を満たしている蓋然性が高いともいえない。 （イ）そして、引用発明Ａ２から出発した当業者が相違点Ａ２－２及びＡ２－３に係る本件発明６の構成に至るためには、当該「ＣＮＴペリクル膜」に含まれる「ＣＮＴ」がバンドルを形成しているとともに、そのバンドル径を１００ｎｍ以下という相当程度小さいものとし、さらに、そのバンドルを面内方向に相当程度沿うようにした上で、きわめて高密度に存在させることが必要となる。 しかるところ、甲Ａ２には、引用発明Ａ２で特定されるように、「ＣＮＴを水平面に配列させ」るとは記載されているものの、以上の観点のようにする記載も示唆もない。 そして、申立人及び特許権者が提出した他の証拠をみても、引用発明Ａ２から出発した当業者が、相違点Ａ２－２及びＡ２－３に係る本件発明６の構成に容易に至ることを根拠付ける記載は見いだせない。 したがって、相違点Ａ２－２及びＡ２－３に係る本件発明６の構成は、引用発明Ａ２並びに申立人及び特許権者が提出した他の証拠に記載された技術的事項に基づいて、当業者が容易に至るものとはいえない。 ウ 小括 そして、甲Ａ２に記載されたいずれの発明を引用発明として認定しても、前記の説示を左右するものはない。 したがって、本件発明６は、他の相違点について検討するまでもなく、甲Ａ２に記載された発明並びに申立人及び特許権者が提出した他の証拠に記載された技術的事項に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものともいえない。 （３）本件発明７～１８について 本件発明７～１８は、本件発明６に従属するものといえるから、前記（２）と同様の理由で、甲Ａ２に記載された発明並びに申立人及び特許権者が提出した他の証拠に記載された技術的事項に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものとはいえない。 （４）小括 以上のとおりであるから、甲Ａ２を主引用例とする進歩性欠如の取消理由は、理由がない。 ５ 特許異議申立理由（第２次取消理由及び第１次取消理由に含まれないもの）についての当合議体の判断の小括 以上によれば、特許異議申立理由（第２次取消理由及び第１次取消理由に含まれないもの）によって、本件発明に係る特許を取り消すことはできない。 第８ むすび 以上のとおり、第２次取消理由、第１次取消理由及び特許異議申立理由によっては、本件発明１、３～１８に係る特許を取り消すことはできない。また、他に本件発明１、３～１８に係る特許を取り消すべき理由を発見しない。 本件特許の請求項２は、本件訂正により削除されたため、申立人による特許異議の申立てのうち、当該請求項２に係る特許に対する申立ては、その対象が存在しないものとなった。そのため、当該申立てについては、特許法第１２０条の８第１項で準用する同法第１３５条の規定により却下する。 よって、結論のとおり決定する。