2020-700923

第２　訂正の請求について

１　訂正の内容

令和３年４月１６日提出の訂正請求書による訂正（以下，「本件訂正」という。）の請求は，本件特許の明細書及び図面を上記訂正請求書に添付された訂正明細書及び図面のとおり，訂正後の請求項６，７及び１０～１４について訂正することを求めるものであり，その内容は，以下のとおりである。下線は，訂正箇所を示す。

（１）訂正事項１

明細書の【００８３】に「Ｈｗ１１１の式」と記載されているのを，「Ｈｉｌｌの式」に訂正する。

（２）訂正事項２

図面の図９にグラフ縦軸の名称として「ｒｍａｘ」と記載されているのを，「ｒ」に訂正する。

（３）訂正事項３

明細書の【００９６】の表５

を，以下のとおり訂正する。

（４）訂正事項４

明細書の【０１６２】の表１５

を，以下のとおり訂正する。

（５）訂正事項５

図面の図１１

を，以下のとおり訂正する。

（６）一群の請求項について

訂正事項１～５に係る訂正は，いずれも願書に添付した明細書又は図面を訂正するものであるが，このうち，訂正事項１，２は，本件訂正前の請求項６に関係する訂正であり，また，訂正事項３～５は，本件訂正前の請求項７に関係する訂正である。

そして，本件訂正前の請求項６，７及び１０～１４について，請求項１０～１４はいずれも，請求項６，７を引用する関係にあるから，請求項６，７及び１０～１４は一群の請求項である。

よって，訂正事項１～５に係る訂正は，本件訂正前の請求項６，７及び１０～１４に関係する訂正であって，本件訂正は，明細書又は図面の訂正に係る請求項を含む上記一群の請求項の全てについて行われている。

２　訂正の適否についての当審の判断

（１）訂正事項１について

訂正事項１に係る訂正は，訂正前の明細書の【００８３】における「Ｈｗ１１１の式」との記載を，「Ｈｉｌｌの式」とするものである。

訂正前の明細書の【００８３】における「Ｈｗ１１１の式」との記載については，本件特許の国際出願日における国際出願の明細書，請求の範囲又は図面（以下，「出願当初明細書等」という。）の【００８３】に，「Ｈｉｌｌの式」と記載されていたところ，令和２年４月２日提出の手続補正書により補正する際に，「Ｈｉｌｌの式」との記載を，誤って「Ｈｗ１１１の式」と補正したものである。

この訂正は，このようにして誤って補正された「Ｈｗ１１１の式」との記載を，単に，元々の記載である「Ｈｉｌｌの式」に戻すものであるから，誤記の訂正を目的とするものに該当する。

また，出願当初明細書等には，上記のとおり，【００８３】に「Ｈｉｌｌの式」と記載されているから，この訂正は，出願当初明細書等に記載した事項の範囲内においてするものであり，また，実質上特許請求の範囲を拡張し，又は変更するものではない。

（２）訂正事項２について

訂正事項２に係る訂正は，訂正前の図面の図９におけるグラフ縦軸の名称について，「ｒｍａｘ」との記載を，「ｒ」とするものである。

訂正前の明細書，特許請求の範囲又は図面（以下，「訂正前の明細書等」という。）には，「【図９】各製造例に関し，メタルマスク材料の表面から７．０μｍまでの深さと，｛２００｝面の積分強度Ｉ２００に対する｛１１１｝面の積分強度Ｉ１１１の比ｒ（ｒ＝Ｉ１１１／Ｉ２００）との関係を示すグラフである。」（【００１６】）との記載があり，当該記載によれば，訂正前の図面の図９におけるグラフ縦軸の名称である「ｒｍａｘ」との記載は，訂正前の明細書等の記載との関係で誤りであることが明らかである。

そして，上記で訂正前の明細書等の記載について検討したところによれば，訂正前の図面の図９におけるグラフ縦軸の名称については，訂正前の明細書等の記載全体から，「ｒ」との正しい記載が自明な事項として定まるといえる。

以上のとおりであるから，訂正前の図面の図９におけるグラフ縦軸の名称について，「ｒｍａｘ」との記載が誤りで訂正後の「ｒ」との記載が正しいことが，訂正前の明細書等の記載又は当業者の技術常識から明らかで，当業者であればそのことに気づいて訂正後の趣旨に理解するのが当然であるといえる。

したがって，訂正事項２に係る訂正は，誤記の訂正を目的とするものに該当する。

また，出願当初明細書等には，上記で指摘した記載（【００１６】）と同じ記載（【００１６】）があるから，この訂正は，出願当初明細書等に記載した事項の範囲内においてするものであり，また，実質上特許請求の範囲を拡張し，又は変更するものではない。

（３）訂正事項３について

ア　訂正事項３に係る訂正は，明細書の【００９６】の表５における，試料Ｎｏ．ａ～ｄのｒ（１），ｒ（２），ｒ（３）の各数値と，試料Ｎｏ．ｅのｒ（１），ｒ（２）の各数値について，小数点第４位以下又は第３位以下を四捨五入した数値とし，また，試料Ｎｏ．ｅのｒ（３）の「１．０９９２６９」との数値を，「０．９５」とするものである。

イ　上記アの訂正のうち，前者の訂正については，訂正前の明細書の【００９５】，【００９７】に記載される，ｒ（１），ｒ（２），ｒ（３）をそれぞれ含む，（４－１）式，（４－２）式，（４－３）式の有効数字を考慮して，小数点第４位以下又は第３位以下を四捨五入した数値とするものであるから，明瞭でない記載の釈明を目的とするものに該当する。

ウ　また，上記アの訂正のうち，後者の訂正については，試料Ｎｏ．ｅのｒ（３）は，「ｒ（３）＝{Ｉ２２０+Ｉ２００}／｛Ｉ１１１＋Ｉ２００＋Ｉ２２０＋Ｉ３１１｝」で表されるものであるから，１を超える「１．０９９２６９」との数値は，それ自体で誤りであることが明らかである。

そして，特許権者が保有し，出願当初明細書等及び訂正前の明細書等の記載の根拠とされたと解される，試料Ｎｏ．ｅのＩ１１１，Ｉ２００，Ｉ２２０，Ｉ３１１の実測データ（この実測データは，同明細書等に記載された試料Ｎｏ．ｅのｒ（１），ｒ（２）の各数値と整合する。）に基づいて，ｒ（３）を正しく計算すると，「０．９５」（小数点第３位以下を四捨五入）となる。

以上によれば，上記アの訂正のうち，後者の訂正については，試料Ｎｏ．ｅのｒ（３）に関し，「１．０９９２６９」との誤った数値を，特許権者が保有し，出願当初明細書等及び訂正前の明細書等の記載の根拠とされたと解される，試料Ｎｏ．ｅの実測データに基づいて正しく計算した「０．９５」（小数点第３位以下を四捨五入）とするものであるから，誤記の訂正及び明瞭でない記載の釈明を目的とするものに該当する。

エ　また，上記アの訂正は，上記ウの事情を考慮すると，出願当初明細書等又は訂正前の明細書等に記載した事項の範囲内においてするものであり，また，実質上特許請求の範囲を拡張し，又は変更するものではない。

（４）訂正事項４について

ア　訂正事項４に係る訂正は，明細書の【０１６２】の表１５における，試料Ｎｏ．１～６のｒ（１），ｒ（２）の各数値について，小数点第４位以下又は第３位以下を四捨五入した数値とし，また，試料Ｎｏ．１～６のｒ（３）の「０．８９０８０３」，「１．１２６１９２」，「１．１２７４０」，「１．１２７８３」，「１．１２８３３２」，「１．１２８６３６」との数値を，それぞれ，「０．９１」，「０．９３」，「０．９４」，「０．９５」，「０．９６」，「０．９６」とするものである。

イ　上記アの訂正のうち，前者の訂正については，訂正前の明細書の【００９５】，【００９７】に記載される，ｒ（１），ｒ（２）をそれぞれ含む，（４－１）式，（４－２）式の有効数字を考慮して，小数点第４位以下又は第３位以下を四捨五入した数値とするものであるから，明瞭でない記載の釈明を目的とするものに該当する。

ウ　また，上記アの訂正のうち，後者の訂正については，試料Ｎｏ．２～６のｒ（３）は，「ｒ（３）＝{Ｉ２２０+Ｉ２００}／｛Ｉ１１１＋Ｉ２００＋Ｉ２２０＋Ｉ３１１｝」で表されるものであるから，１を超える「１．１２６１９２」，「１．１２７４０」，「１．１２７８３」，「１．１２８３３２」，「１．１２８６３６」との数値は，いずれも，それ自体で誤りであることが明らかである。

そして，特許権者が保有し，出願当初明細書等及び訂正前の明細書等の記載の根拠とされたと解される，試料Ｎｏ．１～６のＩ１１１，Ｉ２００，Ｉ２２０，Ｉ３１１の実測データ（これらの実測データは，同明細書等に記載された試料Ｎｏ．１～６のｒ（１），ｒ（２）の各数値と整合する。）に基づいて，ｒ（３）が１以下である試料Ｎｏ．１も含めて，改めてｒ（３）を正しく計算すると，それぞれ，「０．９１」，「０．９３」，「０．９４」，「０．９５」，「０．９６」，「０．９６」（いずれも，小数点第３位以下を四捨五入）となる。

以上によれば，上記アの訂正のうち，後者の訂正については，試料Ｎｏ．１～６のｒ（３）に関し，それぞれ，「０．８９０８０３」，「１．１２６１９２」，「１．１２７４０」，「１．１２７８３」，「１．１２８３３２」，「１．１２８６３６」との誤った数値を，特許権者が保有し，出願当初明細書等及び訂正前の明細書等の記載の根拠とされたと解される，試料Ｎｏ．１～６の実測データに基づいてそれぞれ正しく計算した「０．９１」，「０．９３」，「０．９４」，「０．９５」，「０．９６」，「０．９６」（小数点第３位以下を四捨五入）とするものであるから，誤記の訂正及び明瞭でない記載の釈明を目的とするものに該当する。

エ　また，上記アの訂正は，上記ウの事情を考慮すると，出願当初明細書等又は訂正前の明細書等に記載した事項の範囲内においてするものであり，また，実質上特許請求の範囲を拡張し，又は変更するものではない。

（５）訂正事項５について

訂正事項５に係る訂正は，訂正前の図面の図１１（Ｃ）について，表５に示される試料Ｎｏ．ｄと試料Ｎｏ．ｅのプロット位置を変更するものである。

この訂正は，訂正事項３に係る訂正に伴い，試料Ｎｏ．ｄと試料Ｎｏ．ｅのプロット位置を正しい位置に変更するものであるから，誤記の訂正及び明瞭でない記載の釈明を目的とするものに該当する。

また，この訂正は，訂正事項３に係る訂正と同様，出願当初明細書等又は訂正前の明細書等に記載した事項の範囲内においてするものであり，また，実質上特許請求の範囲を拡張し，又は変更するものではない。

（６）独立特許要件について

本件においては，訂正前の全ての請求項１～１４について特許異議の申立てがされているので，特許法１２０条の５第９項において読み替えて準用する同法１２６条７項の独立特許要件は課されない。

３　まとめ

上記２のとおり，各訂正事項に係る訂正は，特許法１２０条の５第２項ただし書２号及び３号に掲げる事項を目的とするものに該当し，同条９項において準用する同法１２６条５項及び６項に適合するものであるから，結論のとおり，本件訂正を認める。

第３　本件発明

前記第２で述べたとおり，本件訂正は認められるので，本件特許の請求項１～１４に係る発明は，本件特許の願書に添付した特許請求の範囲の請求項１～１４に記載された事項により特定される以下のとおりのものである（以下，それぞれ「本件発明１」等という。また，本件訂正後の明細書を「本件明細書」という。）。

【請求項１】

板厚が５．００μｍ以上５０．００μｍ以下であるメタルマスク材料であって，

一辺が１００ｍｍの正方形の前記メタルマスク材料の試料を，当該試料の板厚が２／５になるまでその片側からエッチングをし，エッチングをした前記試料を定盤に載置した時の，前記試料の４角の浮き上がり量のうち最大値である反り量が５．０ｍｍ以下であることを特徴とするメタルマスク材料。

【請求項２】

【請求項３】

【請求項４】

表面下１．４５μｍから７．１１μｍまでの｛１１１｝面の平均格子面間隔が下記（１－１）式および（１－２）式を満足することを特徴とする，請求項１～３のうちいずれか１項に記載のメタルマスク材料。

ΔＤ≦０．０００３０・・・（１－１）

ΔＤ＝｜ＤＭ－ＤＬ｜・・・（１－２）

但し，上記式中のＤＭ及びＤＬの定義は，下記の通りである。

【請求項５】

下記（２－１）式を満足することを特徴とする，請求項１～３のうちいずれか１項に記載のメタルマスク材料。

【数１】

但し，上記式中のＨＷ１１１は，斜角入射Ｘ線回折法によって得られる，表面下１．４５μｍから７．１１μｍまでの｛１１１｝面の平均半値幅であり，ｔはメタルマスク材料の板厚（μｍ）である。

【請求項６】

下記（３－１）式又は（３－２）式のいずれかを満足することを特徴とする，請求項１～３のうちいずれか１項に記載のメタルマスク材料。

ｒｍａｘ＜９．５・・・（３－１）

ｒｍａｘ≧２０　・・・（３－２）

ｒ＝Ｉ１１１／Ｉ２００・・（３－３）

但し，Ｉ１１１は，斜角入射Ｘ線回折法によって得られる，表面下１．４５μｍから７．１１μｍまでの｛１１１｝面の積分強度；

Ｉ２００は，斜角入射Ｘ線回折法によって得られる，表面下１．４５μｍから７．１１μｍまでの｛２００｝面の積分強度；

ｒｍａｘは，（３－３）式で定義される積分強度比の最大値である。

【請求項７】

下記（４－１）式～（４－３）式を満足することを特徴とする，請求項１～３のうちいずれか１項に記載のメタルマスク材料。

０．３８５≦Ｉ２００／｛Ｉ１１１＋Ｉ２００＋Ｉ２２０＋Ｉ３１１｝・・・（４－１）

Ｉ３１１／｛Ｉ１１１＋Ｉ２００＋Ｉ２２０＋Ｉ３１１｝≦０．０８・・・（４－２）

０．９３≦｛Ｉ２２０＋Ｉ２００｝／｛Ｉ１１１＋Ｉ２００＋Ｉ２２０＋Ｉ３１１｝・・・（４－３）

但し，上記式中のＩ２００は，集中法Ｘ線回折によって得られる｛２００｝面の回折強度であり，Ｉ１１１は｛１１１｝面の回折強度であり，Ｉ２２０は｛２２０｝面の回折強度であり，Ｉ３１１は前記｛３１１｝面の回折強度である。

【請求項８】

Ｘ線応力測定法を用いて残留応力を測定した際に算出される誤差が，下記（５－１）式を満足することを特徴とする，請求項１～３のうちいずれか１項に記載のメタルマスク材料。

σ≦α＋β×Ｒ＋γ×Ｒ２・・・（５－１）

但し，α＝２１１．１；β＝５．３５５；γ＝０．０３４８８６；上記式中のＲは，前記Ｘ線応力測定法を用いて測定された残留応力値であり，σは前記Ｘ線応力測定法を用いて残留応力値を測定した際に算出される誤差である。

【請求項９】

Ｘ線応力測定法を用いて応力を測定した時に，前記メタルマスク材料の面法線と｛２２０｝面法線との成す角度（Ψ（ｄｅｇ））と，前記角度Ψにおける｛２２０｝面の回折ピーク位置（２θ（ｄｅｇ））との関係が下記（６－５）式で表され，且つ前記（６－５）式の係数であるｂ，ｃ，ｄ，ｅが下記（６－１）式～（６－４）式を満たすことを特徴とする，請求項１～３のうちいずれか１項に記載のメタルマスク材料。

ｂ／Ｉ≦０．０９・・・（６－１）

０．０２≦｜ｃ｜・・・（６－２）

ｄ／Ｉ≦１２・・・（６－３）

２≧｜ｅ｜／Ｉ・・・（６－４）

２θ＝ａ＋ｂ×ｓｉｎ２Ψ＋ｃ×ｓｉｎ（ｄ×ｓｉｎ２Ψ＋ｅ）・・・（６－５）

但し，Ｉ＝（ｚ×ｔ３）／１２

ｔ：板厚（μｍ）

ｚ：０．０００７６８

【請求項１０】

オージェ電子分光法により測定された酸化皮膜厚が４．５ｎｍ以下であることを特徴とする，請求項４～９のうちいずれか１項に記載のメタルマスク材料。

【請求項１１】

０．２％耐力が３３０ＭＰａ以上８５０ＭＰａ以下であることを特徴とする，請求項４～１０のうちいずれか１項に記載のメタルマスク材料。

【請求項１２】

圧延方向と直角方向の平均算術表面粗さＲａが０．０２μｍ以上０．１０μｍ以下であることを特徴とする，請求項４～１１のうちいずれか１項に記載のメタルマスク材料。

【請求項１３】

請求項１～３のうちいずれか１項に記載の組成を有する合金を溶製する工程と，

前記溶製された合金から鋼片を得る工程と，

前記鋼片を熱間圧延して巻取ることにより熱間圧延板を得る巻取工程と，

前記巻取工程後に前記熱間圧延板に対して冷間圧延と焼鈍とを少なくとも１回ずつ交互に行うことによって板厚５．００～５０．００μｍの鋼箔を得る工程と，

テンションアニール工程とを含み，

前記テンションアニール工程は最終圧延工程後に行われ，最終圧延工程での圧下率は３０．０％以上９５．０％以下であって，前記テンションアニール工程は焼鈍温度が３００～９００℃であって，還元雰囲気で行われることを特徴とする，請求項１～１２のうちいずれか１項に記載のメタルマスク材料の製造方法。

【請求項１４】

請求項１～１２のうちいずれか１項に記載のメタルマスク材料を用いたことを特徴とする，メタルマスク。

第５　当審の判断

以下に述べるように，取消理由通知書に記載した取消理由及び特許異議申立書に記載した特許異議の申立ての理由によっては，本件特許の請求項１～１４に係る特許を取り消すことはできない。

なお，申立理由１（明確性要件），申立理由２（実施可能要件），申立理由３（サポート要件）については，特許異議申立書に記載の各「申立理由」に付された番号を枝番として使用する。

（例えば，申立理由１（明確性要件）については，特許異議申立書３８～４６頁に記載の「（４－２）申立理由１　請求項４の記載について」に付された番号である「１」を枝番として使用し，申立理由１－１（明確性要件）と表記する。）

１　取消理由１（明確性要件），取消理由２（実施可能要件）

（１）「Ｈｗ１１１の式」に関するもの（申立理由１－４（明確性要件））

ア　令和３年２月１５日付けの取消理由通知書では，図１０は，ｒｍａｘと反り量の関係を示すものであり，請求項６における（３－１）式及び（３－２）式で表されるｒｍａｘの範囲を導出するのに用いられたものであるところ，本件明細書には，図１０について，「試料ａ，ｂ，ｃ，ｄのｒｍａｘ値と反り量との関係をＨｗ１１１の式で近似した」（【００８３】）と記載されているが，Ｈｗ１１１は，「斜角入射Ｘ線回折法によって得られる，表面下１．４５μｍから７．１１μｍまでの｛１１１｝面の平均半値幅」（【００６６】）であり，関数や曲線ではないから，「Ｈｗ１１１の式で近似した」とは，どのような意味であるのか不明であり，そのような「Ｈｗ１１１の式で近似」することにより得られた図１０を用いて導出された，請求項６における（３－１）式及び（３－２）式で表されるｒｍａｘの範囲は，その意味が不明であるから，本件発明６及び１０～１４は明確ではない旨，指摘した。

イ　これに対して，前記第２のとおり，本件訂正により，明細書の【００８３】における「Ｈｗ１１１の式」との記載が，「Ｈｉｌｌの式」とされた結果，その意味が明確にされたから，本件発明６及び１０～１４について，上記の点に関する明確性要件違反は解消した。

ウ　申立人は，「Ｈｉｌｌの式」がどのような式であるのか不明であると主張する（意見書（申立人）６頁）。

しかしながら，「Ｈｉｌｌの式」が，主に生化学で用いられる式であり，ヘモグロビンへの酸素の結合に関する協同効果を説明する経験式として導入された式であって，材料の技術分野においても適用できるものであることは，当業者に広く知られたことである。

よって，申立人の主張は採用できない。

（２）｛１１１｝面の平均格子面間隔に関するもの（申立理由１－５（明確性要件），申立理由２－５（実施可能要件））

ア　上記取消理由通知書では，請求項４には，メタルマスク材料における「表面下１．４５μｍから７．１１μｍまでの｛１１１｝面の平均格子面間隔」について記載されているところ，請求項４が引用する請求項１には，メタルマスク材料の「板厚が５．００μｍ以上５０．００μｍ以下である」と記載されているため，少なくとも，板厚が５．００μｍ以上７．１１μｍ未満の場合には，「表面下１．４５μｍから７．１１μｍまでの｛１１１｝面の平均格子面間隔」を算出することはできないから，請求項４において，「表面下１．４５μｍから７．１１μｍまでの｛１１１｝面の平均格子面間隔」について特定することの意味が不明であり，本件発明４及び１０～１４は明確ではない旨，指摘した。

また，上記取消理由通知書では，請求項１を引用する請求項５における「斜角入射Ｘ線回折法によって得られる，表面下１．４５μｍから７．１１μｍまでの｛１１１｝面の平均半値幅」，同請求項６における「斜角入射Ｘ線回折法によって得られる，表面下１．４５μｍから７．１１μｍまでの｛１１１｝面の積分強度」，同「｛２００｝面の積分強度」についても同様であり，本件発明５，６及び１０～１４は明確ではない旨，指摘した。

さらに，上記取消理由通知書では，本件発明４～６及び１０～１４において，少なくとも，メタルマスク材料の板厚が５．００μｍ以上７．１１μｍ未満の場合については，上記と同様の理由により，発明の詳細な説明の記載は，当業者がその実施をすることができる程度に明確かつ十分に記載したものとはいえない旨，指摘した。

以下，検討する。

イ　本件発明１に係るメタルマスク材料は，「板厚が５．００μｍ以上５０．００μｍ以下」のものであるが，本件発明１を引用する本件発明４においては，「表面下１．４５μｍから７．１１μｍまでの｛１１１｝面の平均格子面間隔」について特定されていることから，本件発明４に係るメタルマスク材料は，「表面下１．４５μｍから７．１１μｍまでの｛１１１｝面の平均格子面間隔」について特定することが可能な程度の「板厚」を有するものに限定されていると解される。

また，本件発明５における「斜角入射Ｘ線回折法によって得られる，表面下１．４５μｍから７．１１μｍまでの｛１１１｝面の平均半値幅」，本件発明６における「斜角入射Ｘ線回折法によって得られる，表面下１．４５μｍから７．１１μｍまでの｛１１１｝面の積分強度」，同「｛２００｝面の積分強度」についても，同様である。

よって，本件発明４～６及び１０～１４は，明確である。

以上によれば，本件発明４～６及び１０～１４について，上記の点に関する明確性要件違反は解消した。

ウ　特許権者は，請求項４に記載される「表面下１．４５μｍから７．１１μｍまでの｛１１１｝面の平均格子面間隔」とは，表面下１．４５μｍから深くても７．１１μｍまでの領域であれば，どの範囲で｛１１１｝面の平均格子面間隔を測定してもよいという意味であると主張する（意見書７頁）。

しかしながら，請求項４に，「表面下１．４５μｍから７．１１μｍまでの｛１１１｝面の平均格子面間隔」と明記されている以上，そのように理解することは困難である。

よって，特許権者の主張は採用できない。

エ　また，本件発明４～６及び１０～１４について，上記イと同様の理由により，発明の詳細な説明の記載は，当業者がその実施をすることができる程度に明確かつ十分に記載したものである。

以上によれば，本件発明４～６及び１０～１４について，上記の点に関する実施可能要件違反は解消した。

（３）入射角と入射深さとの関係に関するもの（申立理由１－６（明確性要件），申立理由２－６（実施可能要件））

ア　上記取消理由通知書では，本件明細書に記載されている入射角と入射深さとの関係（表２，表３）は，斜角入射Ｘ線回折法の場合の関係ではなく，集中法の場合の関係であると考える余地があるため，請求項４～６における「表面下１．４５μｍから７．１１μｍまでの」入射深さは，集中法の場合に４．０°～２０．０°の入射角で実現される入射深さであると考える余地があるから，請求項４～６における「斜角入射Ｘ線回折法によって得られる」との記載と矛盾し，本件発明４～６及び１０～１４は明確ではない旨，指摘した。

また，上記取消理由通知書では，本件発明４～６及び１０～１４において，上記と同様の理由により，発明の詳細な説明の記載は，当業者がその実施をすることができる程度に明確かつ十分に記載したものとはいえない旨，指摘した。

以下，検討する。

イ（ア）本件発明４は，「斜角入射Ｘ線回折法によって得られる」「表面下１．４５μｍから７．１１μｍまでの｛１１１｝面の平均格子面間隔」について特定するものであるところ，その記載自体の意味は，明確である。

（イ）また，本件明細書には，斜角入射Ｘ線回折法における，Ｘ線の試料表面に対する入射角と試料表面からの入射深さとの関係について，以下の記載がある。

「前記厚さ方向の｛１１１｝面の格子面間隔，｛１１１｝面の積分強度Ｉ１１１，｛２００｝面の積分強度Ｉ２００の測定は，斜角入射Ｘ線回折法により行った。

尚，前記Ｘ線回折装置の対陰極はＣｏであり，測定時の管電圧及び電流はそれぞれ４０ｋＶ及び１３５ｍＡとした。また，斜角入射Ｘ線回折法は，リガク製ＳｍａｒｔＬａｂの平行ビーム光学系を用いて行い，入射Ｘ線の光軸が試料の表面に対して角度（θ）０．２°，０．４°，０．６°，０．８°，１．０°，２．０°，３．０°，４．０°，５．０°，６．０°，８．０°，１０．０°，１２．０°，１５．０°，２０．０°のそれぞれになるようにＸ線を試料の表面に入射させた際における，前記試料へのＸ線質量吸収係数を計算し，算出されたＸ線質量吸収係数を表面垂直方向の侵入深さを換算した。入射側に５．０°のソーラースリット，受光側にソーラースリット５．０°を設置し，平行スリットアナライザー（ＰＳＡ）なし，受光スリット１（ＲＳ１）＝受光スリット２（ＲＳ２）＝１．０ｍｍとして測定した。その結果を表３及び図９に示す。」（【００７８】）

「

」（表３）

上記記載によれば，本件発明４における「斜角入射Ｘ線回折法」による「表面下１．４５μｍから７．１１μｍ」との入射深さは，入射角に基づいて算出されたものと解されるところ，両者の関係が表３に示されており，「１．４５μｍ」，「７．１１μｍ」との入射深さは，それぞれ，「４．０°」，「２０．０°」との入射角に対応したものであることが理解できる。

そして，申立人の主張にかかわらず，斜角入射Ｘ線回折法による入射深さが，入射角に基づいて正しく算出されているのであれば，表３に示される斜角入射Ｘ線回折法における入射角と入射深さとの正しい関係に基づいて，本件発明４において，「斜角入射Ｘ線回折法」による「表面下１．４５μｍから７．１１μｍ」との入射深さが正しく特定されていることになるから，何ら矛盾はなく，本件発明４は明確であるといえる。

また，仮に，申立人が主張するように，入射角に基づいて斜角入射Ｘ線回折法による入射深さを算出する際に，Ｘ線の試料表面に対する入射角と出射角を同一の値としている点で，誤りがあるとしても，本件発明４における「斜角入射Ｘ線回折法」による「表面下１．４５μｍから７．１１μｍ」との入射深さの意味内容は，表３に示される入射角と入射深さとの特定の関係を前提としたものとして，理解することが可能であり，不明確なものとはいえない。

（ウ）以上のとおり，いずれにしろ，本件発明４における「斜角入射Ｘ線回折法」による「表面下１．４５μｍから７．１１μｍ」との入射深さは，表３に示される入射角との関係で，明確に定まるものである。

（エ）また，本件発明５における「斜角入射Ｘ線回折法によって得られる，表面下１．４５μｍから７．１１μｍまでの｛１１１｝面の平均半値幅」，本件発明６における「斜角入射Ｘ線回折法によって得られる，表面下１．４５μｍから７．１１μｍまでの｛１１１｝面の積分強度」，「斜角入射Ｘ線回折法によって得られる，表面下１．４５μｍから７．１１μｍまでの｛２００｝面の積分強度」についても，同様である。

（オ）よって，本件発明４～６及び１０～１４は，明確である。

以上によれば，本件発明４～６及び１０～１４について，上記の点に関する明確性要件違反は解消した。

ウ　また，本件発明４～６及び１０～１４について，上記イと同様の理由により，発明の詳細な説明の記載は，当業者がその実施をすることができる程度に明確かつ十分に記載したものである。

以上によれば，本件発明４～６及び１０～１４について，上記の点に関する実施可能要件違反は解消した。

（４）各結晶面の回折強度に関するもの（申立理由１－７（明確性要件））

ア　上記取消理由通知書では，請求項７に記載される（４－３）式について，当該式に含まれるＩ１１１，Ｉ２００，Ｉ２２０，Ｉ３１１は，いずれも，集中法Ｘ線回折によって得られる各結晶面の回折強度であるため，負の値をとることはないから，（４－３）式の右辺の値が１を超えることはないと解されるが，本件明細書の表５及び表１５には，（４－３）式の右辺の値に対応する「ｒ（３）」が１を超える場合が記載されているため，上記（４－３）式の意味が不明であるから，本件発明７及び１０～１４は明確ではない旨，指摘した。

イ　これに対して，前記第２のとおり，本件訂正により，明細書の【００９６】の表５，【０１６２】の表１５における各試料のｒ（３）の数値が，正しく計算した数値とされた結果，上記（４－３）式の意味が明確にされたから，本件発明７及び１０～１４について，上記の点に関する明確性要件違反は解消した。

（５）したがって，取消理由１（明確性要件），取消理由２（実施可能要件）によっては，本件特許の請求項４～７及び１０～１４に係る特許を取り消すことはできない。

２　申立理由１（明確性要件），申立理由２（実施可能要件）（上記１の取消理由１（明確性要件），取消理由２（実施可能要件）以外のもの）

（１）申立理由１－１（明確性要件），申立理由２－１（実施可能要件）

ア　申立人は，請求項４におけるＤＬの候補は，合計で５つ存在しているが，これらの候補が同一の値となるとはいえないから，ＤＬの値は一義的に決まらず，また，５つの候補の各々についても，値は一義的に決まらないと主張する。

しかしながら，ＤＬに５つの候補が存在するとしても，本件発明４において，それらのいずれかについて（１－１）式及び（１－２）式を満たせば足りるといえる。なお，ＤＬは，｛１１１｝面の格子面間隔に関するものであり，試料が決まれば，ほぼ一定の値に決まると考えられる。

また，５つの候補の各々についても，いずれも，当業者に広く知られたものであり，本件明細書の記載及び技術常識を参酌すれば，どのような値となるかは，当業者であれば理解できる。

よって，申立人の主張は採用できない。

イ　申立人は，ＤＬの第１の候補（｛１１１｝面の格子面間隔の基準値（単位：ｎｍ））は，異なる平均格子面間隔及び反り量を有する複数の試料が存在することを前提としているが，第三者の実施形態に係る試料が１種類の場合，図３のような近似曲線を描くことができず，ＤＬを算出することができないと主張する。

しかしながら，ＤＬの第１の候補については，複数の試料を用いてＤＬを算出すればよいことが明らかであるところ，試料が１種類の場合には，ＤＬの第１の候補については，採用することができないというにすぎない。

よって，申立人の主張は採用できない。

ウ　申立人は，ＤＬの第２－１の候補（Ｎｅｌｓｏｎ－Ｒｉｌｅｙ関数を用いて算出された値）について，本件明細書【００５０】に記載されるように，Ｘ線回折の集中法により測定した入射角度（２θ）からＮｅｌｓｏｎ－Ｒｉｌｅｙ関数の値を算出し，得られた値をｘ座標に，Ｂｒａｇｇの回折条件から得られた｛１１１｝面の平均格子面間隔をｙ座標にしてプロットし，最小二乗法によって得られる直線のｙ切片の値を求めることによって，｛１１１｝面の平均格子面間隔が算出されるが，本件明細書【００４９】には，集中法を用いたＸ線回折法では，｛１１１｝面の回折パターンを直接観測できないと記載されており，Ｘ線回折の集中法によっては，｛１１１｝面の平均格子面間隔を算出できないのであれば，最小二乗法によって得られる直線のｙ切片の値を求めることもできないと主張する。

しかしながら，本件明細書【００４９】に記載されるように，集中法を用いたＸ線回折法では，｛１１１｝面の回折パターンを直接観測できないからこそ，集中法を用いたＸ線回折法を用いて，メタルマスク材料を構成する合金のバルクの平均の格子定数を測定し，【００５０】に記載の算出方法で，バルクの平均の格子定数から｛１１１｝面の平均格子面間隔を算出するとしているものと解される。そして，その内容については，本件明細書の記載及び技術常識を参酌すれば，当業者であれば理解できる。

よって，申立人の主張は採用できない。

エ　申立人は，ＤＬの第２－２の候補（Ｒｉｅｔｖｅｌｔ法を用いて算出された値），第２－３の候補（非特許文献１等の文献値を用いて算出された値），第２－４の候補（ヴェガード則を用いて算出された値）について，いずれも，本件明細書には，その詳細について開示も示唆もないから，当業者といえども，過度な試行錯誤なく算出することはできないと主張する。

しかしながら，ＤＬの第２－２～２－４の候補については，いずれも，当業者に広く知られたものであり，本件明細書の記載及び技術常識を参酌すれば，どのように算出すればよいかは，当業者であれば理解できる。

よって，申立人の主張は採用できない。

（２）申立理由１－２（明確性要件），申立理由２－２（実施可能要件）

申立人は，図７のとおり，｛１１１｝面におけるＸ線回折ピークの高さは方向に応じて変化するため，請求項５における半値幅も方向に応じて変化するところ，本件明細書には，どの方向において｛１１１｝面におけるＸ線回折ピークを測定するのか，開示も示唆もないと主張する。

しかしながら，当業者であれば，｛１１１｝面におけるＸ線回折ピークを測定するのに適した方向を適宜選択して測定できる。

よって，申立人の主張は採用できない。

（３）申立理由１－３（明確性要件），申立理由２－３（実施可能要件）

申立人は，図７のとおり，｛１１１｝面におけるＸ線回折ピークの高さは方向に応じて変化するため，請求項６における積分強度も方向に応じて変化するところ，本件明細書には，どの方向において｛１１１｝面におけるＸ線回折ピークを測定するのか，開示も示唆もないと主張する。

しかしながら，当業者であれば，｛１１１｝面におけるＸ線回折ピークを測定するのに適した方向を適宜選択して測定できる。

よって，申立人の主張は採用できない。

（４）申立理由１－４（明確性要件），申立理由２－４（実施可能要件）

ア　申立人は，請求項６における（３－２）式では，ｒｍａｘの上限が規定されていないと主張する。

しかしながら，ｒｍａｘは，｛２００｝面に対する｛１１１｝面の（Ｘ線回折ピークの）積分強度比であるから，その上限は，技術常識に基づいて自ずと定まる。

よって，申立人の主張は採用できない。

イ　申立人は，請求項６における（３－１）式を満たしているのは，試料ｅのみであり，また，（３－１）式を満たしている試料における最小のｒｍａｘは，７２．７６４４７（試料ｄ）， 同最大のｒｍａｘは，７８．７４９７３（試料ｃ）であり，本件明細書には，ｒｍａｘの値を調整するための具体的な方法について，開示も示唆もないと主張する。

しかしながら，本件明細書には，「反り量が５．０ｍｍ以下」である本件発明１に係るメタルマスク材料の製造方法について記載されており（【０１３６】～【０１４１】），当業者であれば，過度の試行錯誤なく，本件発明１に係るメタルマスク材料を製造することができる。

そして，ｒｍａｘは，上記「反り量」と関連するものであり，ｒｍａｘを調整するには，多少の試行錯誤により，上記製造方法において，製造条件を適宜調整すればよいことは，明らかである。

この点，本件明細書に，「冷間圧延での各段（各回の圧延）の圧下率および最終圧延の圧下率及び最終焼鈍温度を前述の範囲内で調整することにより、前述した第１実施形態～第６実施形態のメタルマスク材料のうちの少なくともいずれかを製造することができる。」（【０１４１】）と記載されているとおりである（なお，本件発明６は，第３実施形態に対応する。）。

よって，申立人の主張は採用できない。

（５）申立理由２－７（実施可能要件）

申立人は，本件明細書【００４９】には，集中法を用いたＸ線回折法では，｛１１１｝面の回折パターンを直接観測できないと記載されており，Ｘ線回折の集中法によっては，請求項７における｛１１１｝面の回折強度を測定できないと主張する。

しかしながら，例えば，甲２では，｛１１１｝面のＸ線回折強度が得られており（【００２９】等），集中法を用いたＸ線回折法では｛１１１｝面の回折パターンを直接観測できないとしても，技術常識を参酌すれば，どのようにすれば｛１１１｝面のＸ線回折強度が得られるのか，当業者であれば理解できる。

よって，申立人の主張は採用できない。

（６）申立理由１－８（明確性要件），申立理由２－８（実施可能要件）

ア　申立人は，請求項８における誤差σは，測定点数ｎの値に応じて変化すると考えられるが，本件明細書には，測定点数ｎの具体的な値が記載も示唆もされていないと主張する。

しかしながら，測定点数ｎの値については，本件明細書の記載及び技術常識を参酌すれば，どのように設定すればよいかは，当業者であれば理解できる。

よって，申立人の主張は採用できない。

イ　申立人は，本件明細書には，図１３における，誤差σが７ＭＰａより大きく，曲線の左下の範囲（申立書６８頁の図１３のハッチングの範囲）には，実施例が存在しないから，どのような方法によれば，ハッチングの範囲に含まれるものを製造することができるのか，判然としないと主張する。

しかしながら，本件明細書には，「反り量が５．０ｍｍ以下」である本件発明１に係るメタルマスク材料の製造方法について記載されており（【０１３６】～【０１４１】），当業者であれば，過度の試行錯誤なく，本件発明１に係るメタルマスク材料を製造することができる。

そして，（５－１）式は，上記「反り量」と関連するものであり，ハッチングの範囲に含まれるものを製造するには，過度の試行錯誤なく，上記製造方法において，製造条件を適宜調整すればよいことは，明らかである。

この点，本件明細書に，「冷間圧延での各段（各回の圧延）の圧下率および最終圧延の圧下率及び最終焼鈍温度を前述の範囲内で調整することにより、前述した第１実施形態～第６実施形態のメタルマスク材料のうちの少なくともいずれかを製造することができる。」（【０１４１】）と記載されているとおりである（なお，本件発明８は，第５実施形態に対応する。）。

よって，申立人の主張は採用できない。

（７）申立理由１－９（明確性要件），申立理由２－９（実施可能要件）

申立人は，請求項９における（６－５）式の近似曲線のパラメータａ～ｅを算出する方法について，本件明細書には，近似曲線は最小二乗法によって求めると記載されているのみであり（【０１３１】），具体的な算出方法が記載されていないと主張する。

しかしながら，近似曲線については，本件明細書の記載及び技術常識を参酌すれば，どのように算出すればよいかは，当業者であれば理解できる。

よって，申立人の主張は採用できない。

（８）申立理由２－１０（実施可能要件）

申立人は，本件明細書には，本件発明１の範囲のうち，本件発明１の要件を満たすが，本件発明４～９の要件を満たさない範囲等については，メタルマスク材料を製造するための具体的な条件に関し，記載も示唆もないと主張する。

しかしながら，本件明細書には，「反り量が５．０ｍｍ以下」である本件発明１に係るメタルマスク材料の製造方法について記載されており（【０１３６】～【０１４１】），当業者であれば，過度の試行錯誤なく，本件発明１に係るメタルマスク材料を製造することができる。

そして，本件発明１の範囲のうち，本件発明１の要件を満たすが，本件発明４～９の要件を満たさない範囲等に含まれるものを製造するには，過度の試行錯誤なく，上記製造方法において，製造条件を適宜調整すればよいことは，明らかである。

この点，本件明細書に，「冷間圧延での各段（各回の圧延）の圧下率および最終圧延の圧下率及び最終焼鈍温度を前述の範囲内で調整することにより、前述した第１実施形態～第６実施形態のメタルマスク材料のうちの少なくともいずれかを製造することができる。」（【０１４１】）と記載されているとおりである。

よって，申立人の主張は採用できない。

（９）申立理由２－１１（実施可能要件）

申立人は，本件明細書には，本件発明１の範囲のうち，「５．００μｍ以上２５．００μｍ未満」，「３０．００μｍ超５０．００μｍ以下」については，メタルマスク材料を製造するための具体的な条件に関し，記載も示唆もないと主張する。

しかしながら，本件明細書には，「反り量が５．０ｍｍ以下」である本件発明１に係るメタルマスク材料の製造方法について記載されており（【０１３６】～【０１４１】），当業者であれば，過度の試行錯誤なく，本件発明１に係るメタルマスク材料を製造することができる。

そして，本件発明１の範囲のうち，「５．００μｍ以上２５．００μｍ未満」，「３０．００μｍ超５０．００μｍ以下」に含まれるものを製造するには，過度の試行錯誤なく，上記製造方法において，製造条件を適宜調整すればよいことは，明らかである。

この点，本件明細書に，「冷間圧延での各段（各回の圧延）の圧下率および最終圧延の圧下率及び最終焼鈍温度を前述の範囲内で調整することにより、前述した第１実施形態～第６実施形態のメタルマスク材料のうちの少なくともいずれかを製造することができる。」（【０１４１】）と記載されているとおりである。

よって，申立人の主張は採用できない。

（１０）申立理由２－１２（実施可能要件）

申立人は，本件発明１においては，極めて微量の不純物の含有量を規定しているが，本件明細書には，このような微量の不純物を制御する方法及び測定する方法について，開示も示唆もされていないと主張する。

しかしながら，極めて微量の不純物等の成分を含む各種の合金は，広く知られており，本件明細書に，極めて微量の不純物を制御する方法及び測定方法が明記されていないとしても，技術常識を参酌すれば，どのように制御し，測定すればよいかは，当業者であれば理解でき，通常の方法を用いて制御でき，測定できる。

よって，申立人の主張は採用できない。

（１１）申立理由１－１３（明確性要件），申立理由２－１３（実施可能要件）

申立人は，本件発明１においては，試料をどのように準備するかについて何ら規定されておらず，また，刃物を用いてメタルマスク材料を切断すると，せん断応力に起因して試料が変形し，それにより生じる反り量も測定されるところ，本件明細書には，残留応力に起因して生じる反り量のみを適切に評価する方法について，記載されていないと主張する。

しかしながら，メタルマスク材料から試料を得て，その試料の片面をエッチングし，その反り量を測定することは，普通に行われていることである（甲１，３）。本件発明１において，試料をどのように準備するか規定されておらず，また，本件明細書に，メタルマスク材料から試料を準備するための具体的な方法について明記されていないとしても，技術常識を参酌すれば，当業者は，通常の方法により，メタルマスク材料から試料を準備することができ，反り量を測定することができる。

よって，申立人の主張は採用できない。

（１２）申立理由１－１４（明確性要件）

申立人は，本件明細書には，試料をエッチングする際の具体的な条件について，記載されていないと主張する。

しかしながら，メタルマスク材料から試料を得て，その試料の片面をエッチングし，その反り量を測定することは，普通に行われていることである（甲１，３）。

本件明細書に，試料をエッチングする際の具体的な条件について明記されていないとしても，技術常識を参酌すれば，当業者は，通常の条件により，試料をエッチングすることができる。

なお，申立人は，サンプルの一方の面をレジストで保護した状態でエッチングを行うと，側面もエッチングされ，試料の角はエッチングが大きく進行し，試料の平面形状が変化すると指摘するが，反り量の測定に実際にどの程度影響があるのかは，明らかではない。上記指摘は，単にそのような可能性があることを指摘するにとどまり，実際にそのような問題が生じることを具体的な根拠を示して主張するものではない。

よって，申立人の主張は採用できない。

（１３）申立理由１－１５（明確性要件），申立理由２－１５（実施可能要件）

ア　申立人は，本件発明１において，試料のどの部分の板厚が２／５になるまでエッチングを行うのか，本件明細書には記載も示唆もないと主張する。

しかしながら，請求項１の記載から，試料の全域にわたって板厚２／５になるまで，通常の条件でエッチングすることは，明らかである。

よって，申立人の主張は採用できない。

イ　申立人は，試料の全域にわたって厚み方向に均一にエッチングするための具体的な方法について，本件明細書には記載も示唆もないと主張する。

しかしながら，本件発明１は，試料の全域にわたって板厚２／５になるまでエッチングするというものであり，全域をエッチングするからといって，申立人が主張するような意味で「均一に」エッチングすることまでを意味するものとはいえない。

仮に，「均一に」エッチングするとしても，程度問題であり，技術常識を参酌すれば，当業者は，通常の条件により，試料を「均一に」エッチングすることができる。

よって，申立人の主張は採用できない。

（１４）申立理由２－１６（実施可能要件）

申立人は，本件明細書の表１の試料Ｎｏ．ａ，ｂにおける焼鈍温度は，５００℃，６５０℃であり，表１１の試料Ｎｏ．１における焼鈍温度は，６５０℃であるが，これら試料においては，反り量が５．０ｍｍを超えているため，本件発明１３が規定する３００～９００℃の焼鈍温度のうち，３００～６５０℃の範囲には，本件明細書の記載及び当業者の技術常識を加味しても，当業者が実施できない事情があると主張する。

しかしながら，本件明細書には，「反り量が５．０ｍｍ以下」である本件発明１に係るメタルマスク材料の製造方法について記載されており（【０１３６】～【０１４１】），当業者であれば，過度の試行錯誤なく，本件発明１に係るメタルマスク材料を製造することができる。この点，本件発明１を引用する本件発明１３についても，同様である。

そして，本件発明１３に係るメタルマスク材料の製造方法における３００～９００℃の焼鈍温度のうち，３００～６５０℃の範囲の条件を採用してメタルマスク材料を製造するには，多少の試行錯誤により，上記製造方法において，メタルマスク材料の化学組成や，焼鈍温度以外の各種の製造条件を適宜調整すればよいことは，明らかである。

この点，本件明細書に，「冷間圧延での各段（各回の圧延）の圧下率および最終圧延の圧下率及び最終焼鈍温度を前述の範囲内で調整することにより、前述した第１実施形態～第６実施形態のメタルマスク材料のうちの少なくともいずれかを製造することができる。」（【０１４１】）と記載されているとおりである。

よって，申立人の主張は採用できない。

３　申立理由３（サポート要件）

（１）本件明細書の記載（【０００２】～【０００６】，【００１３】）によれば，本件発明１の課題は，反り量が低減されるメタルマスク材料を提供することであると認められる。

そして，本件明細書の記載（【００１４】，【００１５】，【００１８】～【００２０】，【００２８】～【００３３】，【００４１】～【００４３】，【０１４５】～【０１４９】，【０１５４】，表１，１０～１２）によれば，上記課題は，メタルマスク材料において，「質量％にて，Ｎｉ：３５．０～３７．０％，Ｃｏ：０．００～０．５０％を含有し，残部がＦｅ及び不純物」からなるものとし，板厚を「５．００μｍ以上５０．００μｍ以下」とし，「一辺が１００ｍｍの正方形の前記メタルマスク材料の試料を，当該試料の板厚が２／５になるまでその片側からエッチングをし，エッチングをした前記試料を定盤に載置した時の，前記試料の４角の浮き上がり量のうち最大値である反り量が５．０ｍｍ以下」とすることによって，解決できることが理解できる。

そうすると，本件明細書の記載を総合すれば，上記の各要件を備える本件発明１は，本件明細書の発明の詳細な説明に記載されたものであって，当業者が出願時の技術常識に照らして発明の詳細な説明の記載により本件発明１の課題を解決できると認識できる範囲のものということができる。

また，本件発明１を直接又は間接的に引用する本件発明２～１４についても，同様である。

したがって，本件発明１～１４については，特許請求の範囲の記載が特許法３６条６項１号に適合するものである。

（２）申立人は，本件発明１について，申立理由３－１０（サポート要件）として，本件発明１が規定する範囲は広範囲であるが，本件発明１の範囲のうち，本件発明１の要件を満たすが，本件発明４～９の要件を満たさない範囲等については，実施例によってサポートされていないと主張する。

また，申立人は，本件発明１について，申立理由３－１１（サポート要件）として，本件発明１において規定される「５．００μｍ以上５０．００μｍ以下」という板厚の範囲のうち，「５．００μｍ以上２５．００μｍ未満」，「３０．００μｍ超５０．００μｍ以下」については，実施例によってサポートされていないと主張する。

しかしながら，実施例の記載を含む，本件明細書の記載を総合すれば，本件発明１は，本件明細書の発明の詳細な説明に記載されたものであって，当業者が出願時の技術常識に照らして発明の詳細な説明の記載により本件発明１の課題を解決できると認識できる範囲のものということができることは，上記（１）のとおりである。

よって，申立人の主張は，いずれも採用できない。

（３）申立人は，本件発明１について，申立理由３－１２（サポート要件）として，スラブに熱間鍛造，熱間圧延，冷間圧延及び焼鈍が施されるため，メタルマスク材料の組成はスラブの組成と同一ではないこと，また，テンションアニールに還元雰囲気が利用されるため，組成が変化することを指摘して，本件発明１～３において規定されるメタルマスク材料の組成について，実施例によるサポートに関し疑義があると主張する。

しかしながら，最終製品の組成は，通常，スラブの組成とほぼ同一であるから，メタルマスク材料の組成についても，スラブの組成とほぼ同一と考えられる。申立人の指摘は，単にそのような可能性があることを指摘するにとどまり，実際にそのような問題が生じることを具体的な根拠を示して主張するものではない。

よって，申立人の主張は採用できない。

（４）申立人は，請求項１を引用する以下の各請求項の記載について，以下の申立理由として，縷々主張する。

具体的には，請求項４の記載について，申立理由３－１（サポート要件）（ＤＬの候補に関するもの），請求項５の記載について，申立理由３－２（サポート要件）（｛１１１｝面の平均半値幅に関するもの），請求項６の記載について，申立理由３－３（サポート要件）（｛１１１｝面の積分強度に関するもの），申立理由３－４（サポート要件）（（３－１）式，（３－２）式に関するもの），請求項７の記載について，申立理由３－７（サポート要件）（（４－３）式に関するもの），請求項８の記載について，申立理由３－８（サポート要件）（（５－１）式に関するもの），請求項９の記載について，申立理由３－９（サポート要件）（（６－１）式～（６－４）式に関するもの），請求項４～９の記載について，申立理由３－１０（サポート要件）（実施例の有無に関するもの），申立理由３－１１（サポート要件）（実施例の有無に関するもの），請求項１３の記載について，申立理由３－１６（サポート要件）（実施例の有無に関するもの）として，主張する。

しかしながら，上記（１）で述べたとおり，本件発明４～１４は，本件発明１を直接又は間接的に引用するものであるから，本件発明１と同様，上記（１）の各要件を備えるものである。

そうすると，上記の各要件を備える本件発明４～１４についても，本件発明１と同様に，特許請求の範囲の記載が特許法３６条６項１号に適合するものといえる。

よって，申立人の主張は，いずれも採用できない。

（５）したがって，申立理由３（サポート要件）によっては，本件特許の請求項１～１４に係る特許を取り消すことはできない。

４　申立理由４－１（新規性），申立理由５－１（進歩性）

（１）甲１に記載された発明

甲１の記載（請求項６，８，【０００５】～【０００７】，【００２１】，【００４８】～【００６２】，【００８１】～【００９２】，表１）によれば，特に，請求項６，８，【００４８】，【００５４】の記載に着目すると，甲１には，以下の発明が記載されていると認められる。

「複数の貫通孔を形成して蒸着マスクを製造するために用いられる，鉄に３６％のニッケルを加えた合金であるインバー材から構成される金属板であって，

前記金属板は，２０～１００μｍの範囲内である厚みｔ０を有し，かつ前記金属板は，その厚み方向に対して直交し，互いに対向する第１面および第２面を有し，

前記金属板から取り出したサンプルをエッチングした場合，エッチング後のサンプルの反りの曲率ｋが０．００８ｍｍ－１以下であり，

前記曲率ｋは，はじめに，長さ１７０ｍｍ，幅３０ｍｍの前記サンプルを前記金属板から取り出し，次に，前記サンプルのうち長さ方向における両端から１０ｍｍ以内にある領域を除いた長さ１５０ｍｍ，幅３０ｍｍの被エッチング領域の厚みが１／３×ｔ０～２／３×ｔ０の範囲内になるまで，前記第１面の側から，前記被エッチング領域の全域にわたって前記サンプルをエッチングし，その後，エッチングされた前記サンプルを，その側面が水平になるように所定の載置台に載置し，次に，前記サンプルの前記被エッチング領域の長さ方向における端部間距離ｘ（ｍｍ）および前記サンプルの前記被エッチング領域の反りの深さｙ（ｍｍ）を測定し，その後，前記端部間距離ｘおよび前記深さｙを，以下の式

ｋ＝１／ρ，ρ＝（ｙ／２）＋（ｘ２／８ｙ）

に代入することにより求められる値である，金属板。」（以下，「甲１発明」という。）

（２）本件発明１について

ア　対比

本件発明１と甲１発明とを対比する。

甲１発明における「複数の貫通孔を形成して蒸着マスクを製造するために用いられる」「金属板」は，本件発明１における「メタルマスク材料」に相当する。

本件発明１における材料の化学組成と，甲１発明におけるインバー材の化学組成とは，いずれも，Ｎｉ及びＦｅを含有する点で共通する。

以上によれば，本件発明１と甲１発明とは，

「Ｎｉ及びＦｅを含有する，メタルマスク材料。」

の点で一致し，以下の点で相違する。

・相違点１－１

本件発明１では，「一辺が１００ｍｍの正方形の前記メタルマスク材料の試料を，当該試料の板厚が２／５になるまでその片側からエッチングをし，エッチングをした前記試料を定盤に載置した時の，前記試料の４角の浮き上がり量のうち最大値である反り量が５．０ｍｍ以下である」のに対して，甲１発明では，「前記金属板から取り出したサンプルをエッチングした場合，エッチング後のサンプルの反りの曲率ｋが０．００８ｍｍ－１以下」であり，「前記曲率ｋは，はじめに，長さ１７０ｍｍ，幅３０ｍｍの前記サンプルを前記金属板から取り出し，次に，前記サンプルのうち長さ方向における両端から１０ｍｍ以内にある領域を除いた長さ１５０ｍｍ，幅３０ｍｍの被エッチング領域の厚みが１／３×ｔ０～２／３×ｔ０の範囲内になるまで，前記第１面の側から，前記被エッチング領域の全域にわたって前記サンプルをエッチングし，その後，エッチングされた前記サンプルを，その側面が水平になるように所定の載置台に載置し，次に，前記サンプルの前記被エッチング領域の長さ方向における端部間距離ｘ（ｍｍ）および前記サンプルの前記被エッチング領域の反りの深さｙ（ｍｍ）を測定し，その後，前記端部間距離ｘおよび前記深さｙを，以下の式 ｋ＝１／ρ，ρ＝（ｙ／２）＋（ｘ２／８ｙ）に代入することにより求められる値である」点。

・相違点１－２

本件発明１では，材料が，「質量％にて，Ｎｉ：３５．０～３７．０％，Ｃｏ：０．００～０．５０％を含有し，残部がＦｅ及び不純物」からなるのに対して，甲１発明では，インバー材が，「鉄に３６％のニッケルを加えた合金」である点。

・相違点１－３

本件発明１では，板厚が，「５．００μｍ以上５０．００μｍ以下」であるのに対して，甲１発明では，厚みｔ０が，「２０～１００μｍの範囲内」である点。

イ　相違点１－１の検討

（ア）まず，相違点１－１が実質的な相違点であるか否かについて検討する。

ａ　甲１には，「一辺が１００ｍｍの正方形の前記メタルマスク材料の試料を，当該試料の板厚が２／５になるまでその片側からエッチングをし，エッチングをした前記試料を定盤に載置した時の，前記試料の４角の浮き上がり量のうち最大値」である「反り量」については，記載されていない。

また，甲１発明に係る金属板であれば，必ず，上記「反り量」が「５．０ｍｍ以下」となるかどうかは，不明である。

ｂ　甲１発明に係る金属板は，その金属板から取り出したサンプルをエッチングした場合，エッチング後のサンプルの反りの曲率ｋが０．００８ｍｍ－１以下となるものである。

そして，上記曲率ｋは，長さ１７０ｍｍ，幅３０ｍｍの長方形のサンプルについて，長さ方向における両端から１０ｍｍ以内にある領域を除いた被エッチング領域（長さ１５０ｍｍ，幅３０ｍｍ）の厚みが１／３×ｔ０～２／３×ｔ０の範囲内になるまで，被エッチング領域の全域にわたってサンプルをエッチングした後，サンプルをその側面が水平になるように所定の載置台に載置し，その状態で測定される，被エッチング領域の長さ方向における端部間距離と反りの深さから，所定の式により求められる値である。

上記サンプルは，長さ方向に長いため，幅方向には反りは生じがたく，長さ方向に反りが生じるものと解されるが，反りの深さは，サンプルの形状（長さ，幅，厚みの比）に影響を受けると考えられるから，甲１発明に係る金属板を一辺１００ｍｍの正方形の試料とした場合において，実際に上記「反り量」が「５．０ｍｍ以下」となるかどうかは，不明である。

ｃ　以上によれば，相違点１－１は実質的な相違点である。

（イ）次に，相違点１－１の容易想到性について検討する。

上記（ア）ａで述べたとおり，甲１には，「一辺が１００ｍｍの正方形の前記メタルマスク材料の試料を，当該試料の板厚が２／５になるまでその片側からエッチングをし，エッチングをした前記試料を定盤に載置した時の，前記試料の４角の浮き上がり量のうち最大値」である「反り量」については記載されておらず，また，甲１発明に係る金属板であれば，必ず，上記「反り量」が「５．０ｍｍ以下」となるかどうかは不明である。

また，甲２～９にも，甲１発明において，上記「反り量」を「５．０ｍｍ以下」とすることを動機付ける記載は見当たらない。

そうすると，甲１発明において，上記「反り量」を「５．０ｍｍ以下」とすることは，当業者が容易に想到することができたとはいえない。

ウ　小括

以上のとおりであるから，相違点１－２及び１－３について検討するまでもなく，本件発明１は，甲１に記載された発明であるとはいえず，また，甲１に記載された発明及び甲２～９に記載された事項に基いて，当業者が容易に発明をすることができたものとはいえない。

（３）本件発明２～１４について

本件発明２～１４は，本件発明１を直接又は間接的に引用するものであるが，上記（２）で述べたとおり，本件発明１が，甲１に記載された発明であるとはいえず，また，甲１に記載された発明及び甲２～９に記載された事項に基いて，当業者が容易に発明をすることができたものとはいえない以上，本件発明２～１４についても同様に，甲１に記載された発明であるとはいえず，また，甲１に記載された発明及び甲２～９に記載された事項に基いて，当業者が容易に発明をすることができたものとはいえない。

（４）まとめ

以上のとおり，本件発明１～１１及び１４は，甲１に記載された発明であるとはいえない。

また，本件発明１～１４は，甲１に記載された発明及び甲２～９に記載された事項に基いて，当業者が容易に発明をすることができたものとはいえない。

したがって，申立理由４－１（新規性），申立理由５－１（進歩性）によっては，本件特許の請求項１～１４に係る特許を取り消すことはできない。

５　申立理由４－２（新規性），申立理由５－２（進歩性）

（１）甲２に記載された発明

甲２の記載（請求項１～４，【０００１】～【０００７】，【００１３】，【００２６】～【００３３】，【００４１】，【００４５】～【００６６】，図１～５）によれば，特に，合金符号Ｃを用いた材料Ｎｏ．２１，合金符号Ｂを用いた材料Ｎｏ．２４，合金符号Ｃを用いた材料Ｎｏ．２５（表９，１１，１４）にそれぞれ着目すると，甲２には，以下の発明が記載されていると認められる。

「Ｎｉ：３６．４重量％，Ｃｏ：０．０２重量％，Ｈ：１．０ｐｐｍ，Ｍｎ：０．０５重量％，Ａｌ：０．０１０重量％，Ｓｉ：０．０５重量％，Ｃｒ：０．０２重量％，Ｔｉ：０．０２重量％，Ｏ：０．００２５重量％，Ｎ：０．００１５重量％，Ｗ：０．０１重量％，Ｎｂ：０．０１重量％，Ｖ：０．０１重量％，Ｃｕ：０．０１重量％，Ｃ：０．００４７重量％，Ｂ：０．０００１重量％，Ｐ：０．００４重量％，Ｓ：０．００１８重量％，Ｍｏ：０．０２重量％を含有するＦｅ合金薄板であって，

合金表面部分の｛１１１｝，｛１００｝，｛１１０｝，｛３１１｝，｛３３１｝，｛２１０｝及び｛２１１｝の各結晶面の集積度Ｓ１，Ｓ２，Ｓ３，Ｓ４，Ｓ５，Ｓ６及びＳ７が，それぞれ，２％，７５％，６％，３％，８％，４％，２％であり，

（Ｓ２＋Ｓ４＋Ｓ６）／（Ｓ１＋Ｓ３＋Ｓ５＋Ｓ７）の値が４．５６であり，

合金薄板をフォトエッチングによりフラットマスクにし，これを水平な定盤の上に置き，測定した反り量が，１ｍｍである，

エッチング加工性に優れた電子機器用合金薄板。」（以下，「甲２発明１」という。）

「Ｎｉ：３５．７重量％，Ｃｏ：０．００１重量％，Ｈ：０．４ｐｐｍ，Ｍｎ：０．２５重量％，Ａｌ：０．００５重量％，Ｓｉ：０．００２重量％，Ｃｒ：０．０１重量％，Ｔｉ：＜０．０１重量％，Ｏ：０．０００９重量％，Ｎ：０．０００７重量％，Ｗ：＜０．０１重量％，Ｎｂ：＜０．０１重量％，Ｖ：＜０．０１重量％，Ｃｕ：＜０．０１重量％，Ｃ：０．００１４重量％，Ｂ：０．０００１重量％，Ｐ：０．００１重量％，Ｓ：０．０００３重量％，Ｍｏ：＜０．０１重量％を含有するＦｅ合金薄板であって，

合金表面部分の｛１１１｝，｛１００｝，｛１１０｝，｛３１１｝，｛３３１｝，｛２１０｝及び｛２１１｝の各結晶面の集積度Ｓ１，Ｓ２，Ｓ３，Ｓ４，Ｓ５，Ｓ６及びＳ７が，それぞれ，１％，９０％，３％，１％，３％，１％，１％であり，

（Ｓ２＋Ｓ４＋Ｓ６）／（Ｓ１＋Ｓ３＋Ｓ５＋Ｓ７）の値が１１．５０であり，

合金薄板をフォトエッチングによりフラットマスクにし，これを水平な定盤の上に置き，測定した反り量が，２ｍｍである，

エッチング加工性に優れた電子機器用合金薄板。」（以下，「甲２発明２」という。）

「Ｎｉ：３６．４重量％，Ｃｏ：０．０２重量％，Ｈ：１．０ｐｐｍ，Ｍｎ：０．０５重量％，Ａｌ：０．０１０重量％，Ｓｉ：０．０５重量％，Ｃｒ：０．０２重量％，Ｔｉ：０．０２重量％，Ｏ：０．００２５重量％，Ｎ：０．００１５重量％，Ｗ：０．０１重量％，Ｎｂ：０．０１重量％，Ｖ：０．０１重量％，Ｃｕ：０．０１重量％，Ｃ：０．００４７重量％，Ｂ：０．０００１重量％，Ｐ：０．００４重量％，Ｓ：０．００１８重量％，Ｍｏ：０．０２重量％を含有するＦｅ合金薄板であって，

合金表面部分の｛１１１｝，｛１００｝，｛１１０｝，｛３１１｝，｛３３１｝，｛２１０｝及び｛２１１｝の各結晶面の集積度Ｓ１，Ｓ２，Ｓ３，Ｓ４，Ｓ５，Ｓ６及びＳ７が，それぞれ，０％，８７％，６％，２％，１％，１％，１％であり，

（Ｓ２＋Ｓ４＋Ｓ６）／（Ｓ１＋Ｓ３＋Ｓ５＋Ｓ７）の値が１１．５０であり，

合金薄板をフォトエッチングによりフラットマスクにし，これを水平な定盤の上に置き，測定した反り量が，２ｍｍである，

エッチング加工性に優れた電子機器用合金薄板。」（以下，「甲２発明３」という。）

（２）本件発明１について

ア　対比

本件発明１と甲２発明１～３とを対比する。

本件発明１における「メタルマスク材料」と，甲２発明１～３における「Ｆｅ合金薄板」である「エッチング加工性に優れた電子機器用合金薄板」とは，「材料」である限りにおいて共通する。

本件発明１における材料の化学組成と，甲２発明１～３におけるＦｅ合金の化学組成とは，いずれも，Ｎｉ，Ｃｏ及びＦｅを含有する点で共通する。

以上によれば，本件発明１と甲２発明１～３とは，

「Ｎｉ，Ｃｏ及びＦｅを含有する，材料。」

の点で一致し，以下の点で相違する。

・相違点２－１

本件発明１では，「一辺が１００ｍｍの正方形の前記メタルマスク材料の試料を，当該試料の板厚が２／５になるまでその片側からエッチングをし，エッチングをした前記試料を定盤に載置した時の，前記試料の４角の浮き上がり量のうち最大値である反り量が５．０ｍｍ以下である」のに対して，甲２発明１～３では，「合金薄板をフォトエッチングによりフラットマスクにし，これを水平な定盤の上に置き，測定した反り量」が，それぞれ，「１ｍｍ」，「２ｍｍ」，「２ｍｍ」である点。

・相違点２－２

本件発明１では，材料が，「質量％にて，Ｎｉ：３５．０～３７．０％，Ｃｏ：０．００～０．５０％を含有し，残部がＦｅ及び不純物」からなるのに対して，甲２発明１～３では，Ｆｅ合金が，それぞれ所定量のＮｉ，Ｃｏを含有するほか，それぞれ所定量のＨ，Ｍｎ，Ａｌ，Ｓｉ，Ｃｒ，Ｔｉ，Ｏ，Ｎ，Ｗ，Ｎｂ，Ｖ，Ｃｕ，Ｃ，Ｂ，Ｐ，Ｓ，Ｍｏを含有するＦｅ合金である点。

・相違点２－３

本件発明１では，板厚が「５．００μｍ以上５０．００μｍ以下」であるのに対して，甲２発明１～３では，板厚が不明である点。

・相違点２－４

本件発明１は，「メタルマスク材料」であるのに対して，甲２発明１～３は，「Ｆｅ合金薄板」である「エッチング加工性に優れた電子機器用合金薄板」である点。

イ　相違点２－１の検討

（ア）まず，相違点２－１が実質的な相違点であるか否かについて検討する。

ａ　甲２には，「一辺が１００ｍｍの正方形の前記メタルマスク材料の試料を，当該試料の板厚が２／５になるまでその片側からエッチングをし，エッチングをした前記試料を定盤に載置した時の，前記試料の４角の浮き上がり量のうち最大値」である「反り量」については，記載されていない。

また，甲２発明１～３では，「合金薄板をフォトエッチングによりフラットマスクにし，これを水平な定盤の上に置き，測定した反り量」が，それぞれ，「１ｍｍ」，「２ｍｍ」，「２ｍｍ」であるものの，どのようなサイズ及び形状の試料を用いて，どの程度のフォトエッチングを施し，どの部分の反り量をどのように測定したかは，不明であり，本件発明１でいう上記「反り量」が「５．０ｍｍ以下」であるかどうかは，不明である。

さらに，甲２発明１～３に係るＦｅ合金薄板であれば，必ず，本件発明１でいう上記「反り量」が「５．０ｍｍ以下」となるかどうかは，不明である。

ｂ　申立人は，甲２発明１～３に係るＦｅ合金薄板における，合金表面部分の｛１１１｝，｛１００｝（｛２００｝と等価），｛１１０｝（｛２２０｝と等価），｛３１１｝，｛３３１｝，｛２１０｝及び｛２１１｝の各結晶面の集積度Ｓ１～Ｓ７を，本件発明７における（４－１）式～（４－３）式に当てはめると，いずれも，（４－１）式～（４－３）式を満足するところ，本件明細書の【００９５】～【００９７】においては，（４－１）式～（４－３）式が，本件発明１でいう上記「反り量」が「５．０ｍｍ以下」を満たすための条件として説明されているから，甲２発明１～３に係るＦｅ合金薄板は，本件発明１でいう上記「反り量」が「５．０ｍｍ以下」であると主張する（申立書１４４，１４７頁）。

しかしながら，本件発明１に係るメタルマスク材料の製造方法（請求項１３，本件明細書【０１３６】～【０１４１】）と，甲２発明１～３に係るＦｅ合金薄板の製造方法（甲２【００４２】～【００４８】）とを対比すると，前者では，圧下率が３０．０％以上９５．０％以下で最終圧延を行った後，焼鈍温度３００～９００℃，還元雰囲気でテンションアニールを行うのに対して，後者では，熱延板焼鈍後の合金板表面の各結晶面の集積度に応じて，以降の冷間圧延率，焼鈍条件を最適な条件の組合せにし，圧延条件又は焼鈍条件を変化させながら，冷間圧延及びそれに続く焼鈍を行うとされているものの，それらの具体的な条件が不明である点で，少なくとも相違する。

ここで，合金は，一般に，その組成や製造方法が異なれば，得られる合金の組織や特性等が異なることが通常であることを踏まえると，申立人が主張するように，甲２発明１～３に係るＦｅ合金薄板における各結晶面の集積度が，いずれも，（４－１）式～（４－３）式を満足するとしても，上記のとおり，本件発明１に係るメタルマスク材料の製造方法と，甲２発明１～３に係るＦｅ合金薄板の製造方法とが，同じものであるとはいえない以上，各結晶面の集積度以外の合金の組織や特性等についても，本件発明１に係るメタルマスク材料と同じであるとはいえないから，甲２発明１～３に係るＦｅ合金薄板について，本件発明１でいう上記「反り量」が「５．０ｍｍ以下」であるかどうかは，不明というほかない。

よって，申立人の主張は採用できない。

ｃ　以上によれば，相違点２－１は実質的な相違点である。

（イ）次に，相違点２－１の容易想到性について検討する。

上記（ア）ａで述べたとおり，甲２には，「一辺が１００ｍｍの正方形の前記メタルマスク材料の試料を，当該試料の板厚が２／５になるまでその片側からエッチングをし，エッチングをした前記試料を定盤に載置した時の，前記試料の４角の浮き上がり量のうち最大値」である「反り量」については記載されておらず，また，甲２発明１～３では，「合金薄板をフォトエッチングによりフラットマスクにし，これを水平な定盤の上に置き，測定した反り量」が，それぞれ，「１ｍｍ」，「２ｍｍ」，「２ｍｍ」であるものの，どのようなサイズ及び形状の試料を用いて，どの程度のフォトエッチングを施し，どの部分の反り量をどのように測定したかは不明であり，さらに，甲２発明１～３に係るＦｅ合金薄板であれば，必ず，本件発明１でいう上記「反り量」が「５．０ｍｍ以下」となるかどうかは不明である。

また，甲１及び３～９にも，甲２発明１～３において，本件発明１でいう上記「反り量」を「５．０ｍｍ以下」とすることを動機付ける記載は見当たらない。

そうすると，甲２発明１～３において，本件発明１でいう上記「反り量」を「５．０ｍｍ以下」とすることは，当業者が容易に想到することができたとはいえない。

ウ　小括

以上のとおりであるから，相違点２－２～２－４について検討するまでもなく，本件発明１は，甲２に記載された発明であるとはいえず，また，甲２に記載された発明並びに甲１及び３～９に記載された事項に基いて，当業者が容易に発明をすることができたものとはいえない。

（３）本件発明２～１４について

本件発明２～１４は，本件発明１を直接又は間接的に引用するものであるが，上記（２）で述べたとおり，本件発明１が，甲２に記載された発明であるとはいえず，また，甲２に記載された発明並びに甲１及び３～９に記載された事項に基いて，当業者が容易に発明をすることができたものとはいえない以上，本件発明２～１４についても同様に，甲２に記載された発明であるとはいえず，また，甲２に記載された発明並びに甲１及び３～９に記載された事項に基いて，当業者が容易に発明をすることができたものとはいえない。

（４）まとめ

以上のとおり，本件発明１～１１及び１４は，甲２に記載された発明であるとはいえない。

また，本件発明１～１４は，甲２に記載された発明並びに甲１及び３～９に記載された事項に基いて，当業者が容易に発明をすることができたものとはいえない。

したがって，申立理由４－２（新規性），申立理由５－２（進歩性）によっては，本件特許の請求項１～１４に係る特許を取り消すことはできない。

６　申立理由４－３（新規性），申立理由５－３（進歩性）

（１）甲３に記載された発明

甲３の記載（請求項１，［０００２］，［０００４］，［０００８］，［０００９］，［００１２］，［００１９］～［００２６］，表１～３）によれば，特に，請求項１のほか，表１，２に示される試料Ｎｏ．１（［００１９］～［００２３］）に着目すると，甲３には，以下の発明が記載されていると認められる。

「質量％で，Ｃ：０．００３％，Ｓｉ：０．０２３％，Ｍｎ：０．２７％，Ｎｉ：３５．７％を含有し，残部がＦｅ及び不可避的不純物からなり，板厚が２０μｍであるメタルマスク用素材であって，

前記メタルマスク用素材は，表面粗さＲａが，０．１１μｍ（幅方向），０．１１μｍ（長手方向）であり，表面粗さＲｚが，０．７４μｍ（幅方向），０．７０μｍ（長手方向）であり，スキューネスＲｓｋが，－１．７（幅方向），－１．５（長手方向）であり，

前記メタルマスク用素材の幅方向中央部から，長さ方向が圧延方向となるように，長さ１５０ｍｍ，幅３０ｍｍのカットサンプルを作成し，板厚の２／５となるように片側からエッチングした後，カットサンプルを垂直上盤に吊下げた際の反り量が３ｍｍである，メタルマスク用素材。」（以下，「甲３発明」という。）

（２）本件発明１について

ア　対比

本件発明１と甲３発明とを対比する。

甲３発明における「板厚が２０μｍであるメタルマスク用素材」は，本件発明１における「板厚が５．００μｍ以上５０．００μｍ以下であるメタルマスク材料」に相当する。

本件発明１におけるメタルマスク材料の化学組成と，甲３発明におけるメタルマスク用素材の化学組成とは，いずれも，Ｎｉ及びＦｅを含有する点で共通する。

以上によれば，本件発明１と甲３発明とは，

「Ｎｉ及びＦｅを含有し，板厚が５．００μｍ以上５０．００μｍ以下であるメタルマスク材料。」

の点で一致し，以下の点で相違する。

・相違点３－１

本件発明１では，「一辺が１００ｍｍの正方形の前記メタルマスク材料の試料を，当該試料の板厚が２／５になるまでその片側からエッチングをし，エッチングをした前記試料を定盤に載置した時の，前記試料の４角の浮き上がり量のうち最大値である反り量が５．０ｍｍ以下である」のに対して，甲３発明では，「前記メタルマスク用素材の幅方向中央部から，長さ方向が圧延方向となるように，長さ１５０ｍｍ，幅３０ｍｍのカットサンプルを作成し，板厚の２／５となるように片側からエッチングした後，カットサンプルを垂直上盤に吊下げた際の反り量が３ｍｍである」点。

・相違点３－２

本件発明１では，メタルマスク材料が，「質量％にて，Ｎｉ：３５．０～３７．０％，Ｃｏ：０．００～０．５０％を含有し，残部がＦｅ及び不純物」からなるのに対して，甲３発明では，メタルマスク用素材が，「質量％で，Ｃ：０．００３％，Ｓｉ：０．０２３％，Ｍｎ：０．２７％，Ｎｉ：３５．７％を含有し，残部がＦｅ及び不可避的不純物」からなる点。

イ　相違点３－１の検討

（ア）まず，相違点３－１が実質的な相違点であるか否かについて検討する。

ａ　甲３には，「一辺が１００ｍｍの正方形の前記メタルマスク材料の試料を，当該試料の板厚が２／５になるまでその片側からエッチングをし，エッチングをした前記試料を定盤に載置した時の，前記試料の４角の浮き上がり量のうち最大値」である「反り量」については，記載されていない。

また，甲３発明に係るメタルマスク用素材であれば，必ず，本件発明１でいう上記「反り量」が「５．０ｍｍ以下」となるかどうかは，不明である。

ｂ　甲３発明に係るメタルマスク用素材は，そのメタルマスク用素材の幅方向中央部から，長さ方向が圧延方向となるように，長さ１５０ｍｍ，幅３０ｍｍのカットサンプルを作成し，板厚の２／５となるように片側からエッチングした後，カットサンプルを垂直上盤に吊下げた際の反り量が３ｍｍとなるものである。

上記カットサンプルは，長さ方向に長いため，幅方向には反りは生じがたく，長さ方向に反りが生じるものと解されるが，反りは，カットサンプルの形状（長さ，幅，厚みの比）に影響を受けると考えられるから，甲３発明に係るメタルマスク用素材を一辺１００ｍｍの正方形の試料とした場合において，実際に本件発明１でいう上記「反り量」が「５．０ｍｍ以下」となるかどうかは，不明である。

ｃ　以上によれば，相違点３－１は実質的な相違点である。

（イ）次に，相違点３－１の容易想到性について検討する。

上記（ア）ａで述べたとおり，甲３には，「一辺が１００ｍｍの正方形の前記メタルマスク材料の試料を，当該試料の板厚が２／５になるまでその片側からエッチングをし，エッチングをした前記試料を定盤に載置した時の，前記試料の４角の浮き上がり量のうち最大値」である「反り量」については記載されておらず，また，甲３発明に係るメタルマスク用素材であれば，必ず，本件発明１でいう上記「反り量」が「５．０ｍｍ以下」となるかどうかは不明である。

また，甲１，２及び４～９にも，甲３発明において，本件発明１でいう上記「反り量」を「５．０ｍｍ以下」とすることを動機付ける記載は見当たらない。

そうすると，甲３発明において，本件発明１でいう上記「反り量」を「５．０ｍｍ以下」とすることは，当業者が容易に想到することができたとはいえない。

ウ　小括

以上のとおりであるから，相違点３－２について検討するまでもなく，本件発明１は，甲３に記載された発明であるとはいえず，また，甲３に記載された発明並びに甲１，２及び４～９に記載された事項に基いて，当業者が容易に発明をすることができたものとはいえない。

（３）本件発明２～１４について

本件発明２～１４は，本件発明１を直接又は間接的に引用するものであるが，上記（２）で述べたとおり，本件発明１が，甲３に記載された発明であるとはいえず，また，甲３に記載された発明並びに甲１，２及び４～９に記載された事項に基いて，当業者が容易に発明をすることができたものとはいえない以上，本件発明２～１４についても同様に，甲３に記載された発明であるとはいえず，また，甲３に記載された発明並びに甲１，２及び４～９に記載された事項に基いて，当業者が容易に発明をすることができたものとはいえない。

（４）まとめ

以上のとおり，本件発明１～１２及び１４は，甲３に記載された発明であるとはいえない。

また，本件発明１～１４は，甲３に記載された発明並びに甲１，２及び４～９に記載された事項に基いて，当業者が容易に発明をすることができたものとはいえない。

したがって，申立理由４－３（新規性），申立理由５－３（進歩性）によっては，本件特許の請求項１～１４に係る特許を取り消すことはできない。

第６　むすび

以上のとおり，取消理由通知書に記載した取消理由及び特許異議申立書に記載した特許異議の申立ての理由によっては，本件特許の請求項１～１４に係る特許を取り消すことはできない。

また，他に本件特許の請求項１～１４に係る特許を取り消すべき理由を発見しない。

よって，結論のとおり決定する。