2016-700215

特許第５７８５４８９号発明「ペリクル」の特許異議申立事件について、次のとおり決定する。

【結　論】 特許第５７８５４８９号の特許請求の範囲を訂正請求書に添付された訂正特許請求の範囲のとおり、訂正後の請求項〔１－７〕について訂正することを認める。 特許第５７８５４８９号の請求項１ないし７に係る特許を維持する。

【理　由】 第１　手続の経緯 特許第５７８５４８９号の請求項１～７に係る特許についての出願は、平成２３年１２月２７日に特許出願され、平成２７年７月３１日にその特許権の設定登録がされ、その後、その特許について、特許異議申立人岡村英紀（以下、単に「申立人」という。）により請求項１～７に対して特許異議の申立てがされ、平成２８年７月１９日付けで取消理由が通知され（以下、単に「取消理由通知」という。）、同年９月２０日付けで意見書の提出及び訂正請求がされ、同年１１月１１日付けで申立人から意見書が提出され、同年１２月５日付けで取消理由（決定の予告）が通知され、平成２９年２月６日付けで意見書（以下、単に「意見書」という。）が提出されたものである。 第２　訂正の適否 １　訂正の内容 特許権者は、特許請求の範囲の請求項１を以下の事項により特定されるとおりの請求項１として訂正することを請求する（訂正事項）。 「　【請求項１】 開口部を有するペリクル枠と、前記ペリクル枠の一端面上に設けられた前記開口部を覆うペリクル膜と、前記ペリクル枠の他端面上に設けられた粘着剤層と、を有するペリクルであって、 前記粘着剤層が、（メタ）アクリル酸アルキルエステル共重合体と硬化材との反応生成物を含み、 前記（メタ）アクリル酸アルキルエステル共重合体が、前記（メタ）アクリル酸アルキルエステル共重合体を構成する全モノマー単位に対し、（メタ）アクリル酸アルキルエステル成分９３～９８質量％と、反応性モノマー２～７質量％と、をモノマー単位として含み、 前記（メタ）アクリル酸アルキルエステル成分が、（メタ）アクリル酸ブチル、（メタ）アクリル酸ヘキシル、（メタ）アクリル酸オクチル、（メタ）アクリル酸デシル、（メタ）アクリル酸ドデシル、（メタ）アクリル酸ラウリル、（メタ）アクリル酸イソブチル、（メタ）アクリル酸イソアミル、（メタ）アクリル酸２－エチルヘキシル、（メタ）アクリル酸イソオクチル、（メタ）アクリル酸イソノニル、（メタ）アクリル酸メチル、（メタ）アクリル酸エチル、（メタ）アクリル酸プロピル及び（メタ）アクリル酸イソプロピルからなる群より選択される少なくとも一種の化合物であり、 前記粘着剤層の応力緩和率が２５％以上９０％以下であることを特徴とするペリクル。」 （下線は、訂正箇所である。） ２　訂正の目的の適否、新規事項の有無、一群の請求項及び特許請求の範囲の拡張・変更の存否 訂正事項は、特許請求の範囲の減縮を目的とし、新規事項の追加に該当せず、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではない。 また、訂正前の請求項１～７は、請求項２～７が、訂正の請求の対象である請求項１の記載を引用する関係にあるから、訂正前において一群の請求項に該当するものである。 したがって、訂正の請求は、一群の請求項ごとにされたものである。 ３　結論 したがって、上記訂正請求による訂正事項は、特許法第１２０条の５第２項ただし書き第１号に掲げる事項を目的とするものであり、かつ、同条第９項で準用する同法第１２６条第４項から第６項までの規定に適合するので、訂正後の請求項１についての訂正を認める。 第３　本件発明 上述のとおり、訂正後の請求項１についての訂正が認められたので、本件特許の訂正後の請求項１～７に係る発明（以下、それぞれ、「本件発明１」～「本件発明７」という。）は、以下のとおりのものである。 「　【請求項１】 開口部を有するペリクル枠と、前記ペリクル枠の一端面上に設けられた前記開口部を覆うペリクル膜と、前記ペリクル枠の他端面上に設けられた粘着剤層と、を有するペリクルであって、 前記粘着剤層が、（メタ）アクリル酸アルキルエステル共重合体と硬化材との反応生成物を含み、 前記（メタ）アクリル酸アルキルエステル共重合体が、前記（メタ）アクリル酸アルキルエステル共重合体を構成する全モノマー単位に対し、（メタ）アクリル酸アルキルエステル成分９３～９８質量％と、反応性モノマー２～７質量％と、をモノマー単位として含み、 前記（メタ）アクリル酸アルキルエステル成分が、（メタ）アクリル酸ブチル、（メタ）アクリル酸ヘキシル、（メタ）アクリル酸オクチル、（メタ）アクリル酸デシル、（メタ）アクリル酸ドデシル、（メタ）アクリル酸ラウリル、（メタ）アクリル酸イソブチル、（メタ）アクリル酸イソアミル、（メタ）アクリル酸２－エチルヘキシル、（メタ）アクリル酸イソオクチル、（メタ）アクリル酸イソノニル、（メタ）アクリル酸メチル、（メタ）アクリル酸エチル、（メタ）アクリル酸プロピル及び（メタ）アクリル酸イソプロピルからなる群より選択される少なくとも一種の化合物であり、 前記粘着剤層の応力緩和率が２５％以上９０％以下であることを特徴とするペリクル。 【請求項２】 前記粘着剤層に深紫外線を照射した後の前記粘着剤層の剥離力が０．４５～４．０ｋｇｆであることを特徴とする請求項１に記載のペリクル。 【請求項３】 前記硬化材が、多官能性エポキシ化合物及びイソシアネート化合物からなる群から選択される少なくとも１種の化合物を含むことを特徴とする請求項１又は２に記載のペリクル。 【請求項４】 前記粘着剤層が、前記（メタ）アクリル酸アルキルエステル共重合体１００質量部と前記硬化材０．０１～１．０質量部との反応生成物であることを特徴とする請求項１～３のいずれか１項に記載のペリクル。 【請求項５】 前記反応性モノマーがアクリル酸を含み、該アクリル酸に由来するモノマー単位の量が、前記（メタ）アクリル酸アルキルエステル共重合体を構成する全モノマー単位に対し２～７質量％であることを特徴とする請求項１～４のいずれか１項に記載のペリクル。 【請求項６】 前記（メタ）アクリル酸アルキルエステル共重合体が、炭素数１～３のアルキル基を有する（メタ）アクリル酸アルキルエステルと炭素数４～１４のアルキル基を有する（メタ）アクリル酸アルキルエステルとを含むことを特徴とする請求項１～５のいずれか１項に記載のペリクル。 【請求項７】 前記炭素数４～１４のアルキル基を有する（メタ）アクリル酸アルキルエステルに由来するモノマー単位の量が、前記（メタ）アクリル酸アルキルエステル共重合体を構成する全モノマー単位に対し、６８～９３質量％であり、 前記炭素数１～３のアルキル基を有する（メタ）アクリル酸アルキルエステルのモノマー単位の量が、前記（メタ）アクリル酸アルキルエステル共重合体を構成する全モノマー単位に対し、５～２５質量％であり、 前記炭素数４～１４のアルキル基を有する（メタ）アクリル酸アルキルエステルが、（メタ）アクリル酸ブチル及び（メタ）アクリル酸オクチルからなる群より選択される少なくとも一種の化合物であり、 前記炭素数１～３のアルキル基を有する（メタ）アクリル酸アルキルエステルが、（メタ）アクリル酸メチル、（メタ）アクリル酸エチル、（メタ）アクリル酸プロピル及び（メタ）アクリル酸イソプロピルからなる群より選択される少なくとも一種の化合物であることを特徴とする、請求項６に記載のペリクル。」 第４　当審の判断 １　取消理由通知に記載した取消理由について （１）理由１について ア　本件発明１ （ア）刊行物の記載 取消理由通知において引用した引用文献１（特開２０１１－１２８６０５号公報：甲第１号証）には、 「【課題を解決するための手段】 【００１２】 本発明者らは、鋭意検討した結果、以下の発明で上記課題が解決することがわかった。 すなわち本発明は １．ペリクル枠と、該ペリクル枠の一端面にペリクル膜を有し、他端面に粘着剤を有するペリクルであって、該粘着剤のトルエンによる重量膨潤度が５倍以上であることを特徴とするペリクル。 ２．該粘着剤が、炭素数４～１４のアルキル基を有する（メタ）アクリル酸アルキルエステルと、硬化材との反応性を有する官能基を有するモノマーとの共重合体である（メタ）アクリル酸アルキルエステル共重合体と、硬化材との反応生成物を含むことを特徴とする上記１に記載のペリクル。 ３．該粘着剤の引っ張り速度３０ｍｍ/ｍinでの引っ張り試験によって得られる２３℃における３００％モジュラス値が５０～３５０mN/ｍｍ２であることを特徴とする請求項１または上記２に記載のペリクル。 ４．該硬化材が、多官能性エポキシ化合物及びイソシアネート系化合物からなる群から選択される少なくともいずれか１つの硬化材であることを特徴とする上記１または上記２に記載のペリクル。」、 「【００１９】 本願発明のペリクルに使用する粘着剤は、重量膨潤度が５倍以上であれば限定は無いが、特に、（メタ）アクリル酸アルキルエステル共重合体と、硬化材との反応生成物を含んでなる組成物からなる粘着剤であって、該（メタ）アクリル酸アルキルエステル共重合体が、炭素数４～１４のアルキル基を有する（メタ）アクリル酸アルキルエステル（以下「Ａ成分」という。）と、硬化材との反応性を有する官能基を有するモノマー（以下「Ｂ成分」という。）との少なくとも２つのモノマー成分を共重合させることによって得られる共重合体である粘着剤がマスクとの接着力が十分で、且つ、剥離後の糊残りが少ないという点で好ましい。 アルキルエステル共重合体は、Ａ成分が９９～８０重量％、Ｂ成分が１～２０重量％である単量体混合物の共重合体であることがマスクへの適度な接着力を発現することができ、より好ましい。」、 「【００５０】 ＜実施例１＞ （粘着剤前駆体組成物の調整） （メタ）アクリル酸アルキルエステル共重合体１は、周知の方法により調整した。具体的には、攪拌機、温度計、還流冷却器、滴下装置、窒素導入管を備えた反応容器に酢酸エチル（３０重量部）を入れ、イソブチルアクリレート／ブチルアクリレート／アクリル酸／２－ヒドロキシエチルアクリレート／２、２’－アゾビスイソブチロニトリルの混合物（３２重量部）を３０/６６/１．５/２．５/１．０の重量比で仕込み、窒素雰囲気下中、この反応溶液を６０℃で８時間反応する。反応終了後、トルエン（３８重量部）を添加して、不揮発分濃度３２重量％ のアクリル共重合体溶液を得た（重量平均分子量１３０万）。得られたアクリル共重合体溶液１００重量部に多官能性エポキシ化合物（１，３－ビス（Ｎ，Ｎ－ジグリシジルアミノメチル）シクロヘキサン、不揮発分濃度５％、トルエン溶液）を０．３重量部添加・攪拌混合し、粘着剤前駆体組成物を得た。 【００５１】 （粘着剤付ペリクルの作製） その後、一端面にペリクル膜を接着したアルミ合金製のペリクル枠（外径１１３ｍｍ×１４９ｍｍ、内径１０９ｍｍ×１４５ｍｍ、高さ４．８ｍｍ）の他端面に調合した上記粘着剤前駆体組成物をディスペンサーで塗布した。これを２段階で加熱乾燥・キュア（１段階：１００℃、８分；２段階：１８０℃、８分）して上記粘着剤前駆体組成物からなる粘着剤層（厚み０．２ｍｍ）を形成した実施例１のペリクルを得た。ついで、シリコーン離型処理した厚さ１００μｍのポリエステル製保護フィルムを貼り合わせ、室温（２０±３℃）にて３日間養生させ、粘着力を安定化させ、粘着剤付ペリクルを作製した。得られた粘着剤付ペリクルについて、以下の方法で評価を実施した。」、 「【００６１】 ＜実施例５＞ （メタ）アクリル酸アルキルエステル共重合体３は、周知の方法により調整した。具体的には、攪拌機、温度計、還流冷却器、滴下装置、窒素導入管を備えた反応容器に酢酸エチル（５０重量部）を入れ、ブチルアクリレート／アクリル酸/２、２’－アゾビスイソブチロニトリルの混合物（３２重量部）を９８/２/１の重量比で仕込み、窒素雰囲気下中、この反応溶液を６５℃で８時間反応する。反応終了後、トルエン（１８重量部）を添加して、不揮発分濃度３２重量％ のアクリル共重合体溶液を得た（重量平均分子量６０万）。得られたアクリル共重合体溶液１００重量部に多官能性エポキシ化合物（１，３－ビスＮ，Ｎ－ジグリシジルアミノメチル）シクロヘキサン、不揮発分濃度５％、トルエン溶液）を０．３重量部添加・攪拌混合し、粘着剤前駆体組成物を得た。以下実施例１と同様にペリクルサンプルを作製し、評価した。」、 「【００６７】 【表１】 」 （下線は、当審が付した。） が記載されている。 （なお、上記段落【００６１】の「得られたアクリル共重合体溶液１００重量部に」は、「得られたアクリル共重合体１００重量部に」の誤記であることは、当業者には明らかである。） これらの記載によれば、引用文献１には以下の発明（以下、「引用発明１」という。）が記載されていると認められる。 「ペリクル枠と、該ペリクル枠の一端面にペリクル膜を有し、他端面に粘着剤を有するペリクルであって、 粘着剤は、（メタ）アクリル酸アルキルエステル共重合体と、硬化材との反応生成物を含んでなる組成物からなる粘着剤であって、 （メタ）アクリル酸アルキルエステル共重合体は、攪拌機、温度計、還流冷却器、滴下装置、窒素導入管を備えた反応容器に酢酸エチル（５０重量部）を入れ、ブチルアクリレート／アクリル酸／２、２’－アゾビスイソブチロニトリルの混合物（３２重量部）を９８／２／１の重量比で仕込み、窒素雰囲気下中、この反応溶液を６５℃で８時間反応させ、反応終了後、トルエン（１８重量部）を添加して得られた、不揮発分濃度３２重量％ のアクリル共重合体溶液であって、 この得られたアクリル共重合体１００重量部に多官能性エポキシ化合物（１，３－ビス（Ｎ，Ｎ－ジグリシジルアミノメチル）シクロヘキサン、不揮発分濃度５％、トルエン溶液）を０．３重量部添加・攪拌混合し、粘着剤前駆体組成物を得て、 その後、一端面にペリクル膜を接着したアルミ合金製のペリクル枠（外径１１３ｍｍ×１４９ｍｍ、内径１０９ｍｍ×１４５ｍｍ、高さ４．８ｍｍ）の他端面に調合した上記粘着剤前駆体組成物をディスペンサーで塗布し、これを２段階で加熱乾燥・キュア（１段階：１００℃、８分；２段階：１８０℃、８分）して、上記粘着剤層（厚み０．２ｍｍ）を形成したペリクル。」 （イ）対比 本件発明１と引用発明１を対比すると、 「開口部を有するペリクル枠と、前記ペリクル枠の一端面上に設けられた前記開口部を覆うペリクル膜と、前記ペリクル枠の他端面上に設けられた粘着剤層と、を有するペリクルであって、 前記粘着剤層が、（メタ）アクリル酸アルキルエステル共重合体と硬化材との反応生成物を含み、 前記（メタ）アクリル酸アルキルエステル共重合体が、前記（メタ）アクリル酸アルキルエステル共重合体を構成する全モノマー単位に対し、（メタ）アクリル酸アルキルエステル成分９３～９８質量％と、反応性モノマー２～７質量％と、をモノマー単位として含み、 前記（メタ）アクリル酸アルキルエステル成分が、（メタ）アクリル酸ブチル、（メタ）アクリル酸ヘキシル、（メタ）アクリル酸オクチル、（メタ）アクリル酸デシル、（メタ）アクリル酸ドデシル、（メタ）アクリル酸ラウリル、（メタ）アクリル酸イソブチル、（メタ）アクリル酸イソアミル、（メタ）アクリル酸２－エチルヘキシル、（メタ）アクリル酸イソオクチル、（メタ）アクリル酸イソノニル、（メタ）アクリル酸メチル、（メタ）アクリル酸エチル、（メタ）アクリル酸プロピル及び（メタ）アクリル酸イソプロピルからなる群より選択される少なくとも一種の化合物であるペリクル。」 で一致し、次の点で相違する。 （相違点１－１） 本件発明１では、「前記粘着剤層の応力緩和率が２５％以上９０％以下である」のに対して、引用発明１では、「粘着剤層」の応力緩和率が不明である点。 （ウ）判断 以下、上記相違点１－１について検討する。 本件発明１と引用発明１とは、素材に関して、上記のように一致しているうえ、本件発明１の「ペリクル」の実施例３（応力緩和率：５５％）の製造方法（下記本件特許明細書の段落【００４６】～【００４７】、【００５６】の記載（特に、下線部参照））と、引用発明１の 「（メタ）アクリル酸アルキルエステル共重合体は、攪拌機、温度計、還流冷却器、滴下装置、窒素導入管を備えた反応容器に酢酸エチル（５０重量部）を入れ、ブチルアクリレート／アクリル酸／２、２’－アゾビスイソブチロニトリルの混合物（３２重量部）を９８／２／１の重量比で仕込み、窒素雰囲気下中、この反応溶液を６５℃で８時間反応させ、反応終了後、トルエン（１８重量部）を添加して得られた、不揮発分濃度３２重量％ のアクリル共重合体溶液であって、 この得られたアクリル共重合体１００重量部に多官能性エポキシ化合物（１，３－ビス（Ｎ，Ｎ－ジグリシジルアミノメチル）シクロヘキサン、不揮発分濃度５％、トルエン溶液）を０．３重量部添加・攪拌混合し、粘着剤前駆体組成物を得て、 その後、一端面にペリクル膜を接着したアルミ合金製のペリクル枠（外径１１３ｍｍ×１４９ｍｍ、内径１０９ｍｍ×１４５ｍｍ、高さ４．８ｍｍ）の他端面に調合した上記粘着剤前駆体組成物をディスペンサーで塗布し、これを２段階で加熱乾燥・キュア（１段階：１００℃、８分；２段階：１８０℃、８分）して、上記粘着剤層（厚み０．２ｍｍ）を形成した」 とは、製造手順においても、同様のものである。 しかし、特許権者が意見書に添付して提出した「実験成績証明書」（乙第１号証）によれば、引用発明１の「粘着剤層」と同様に作成した「実験１」の粘着剤層の応力緩和率が７．１％であることを参照すれば、引用発明１の「粘着剤層」の応力緩和率は２５％以上９０％以下である蓋然性が高いとまではいえない。 すると、本件発明１は、上記相違点１－１において、引用発明１と相違する。 したがって、本件発明１は引用発明１であるとはいえないから、特許法第２９条第１項第３号に規定する発明に該当しない。 本件特許明細書 「【００４６】 ＜実施例１＞ （粘着剤組成物の調整） （メタ）アクリル酸アルキルエステル共重合体１を、通常の方法により調整した。具体的には、攪拌機、温度計、還流冷却器、滴下装置、窒素導入管を備えた反応容器に酢酸エチル（３０質量部）を入れ、ブチルアクリレート（ＢＡ）／メチルアクリレート（ＭＡ）／アクリル酸（ＡＡ）／２、２’－アゾビスイソブチロニトリルの混合物（３２質量部）を７７／１９／４／０．３の質量比で仕込んで、反応溶液を調製した。窒素雰囲気下中、この反応溶液を８時間還流させて反応を行った。反応終了後、トルエン（３８質量部）を添加して、不揮発分濃度３２質量％のアクリル酸アルキルエステル共重合体１の溶液（アクリル共重合体溶液）を得た（重量平均分子量８０万）。得られたアクリル共重合体１００質量部に、多官能性エポキシ化合物（１，３－ビス（Ｎ，Ｎ－ジグリシジルアミノメチル）シクロヘキサン、不揮発分濃度５％、トルエン溶液）を０．１質量部添加し、攪拌混合して、粘着剤前駆体組成物の溶液を得た。 【００４７】 （粘着剤層付ペリクルの作製） その後、一端面にペリクル膜を接着したアルミ合金製のペリクル枠（外径１１３ｍｍ×１４９ｍｍ、内径１０９ｍｍ×１４５ｍｍ、高さ４．８ｍｍ）の他端面の全面に、調合した上記粘着剤前駆体組成物の溶液をディスペンサーで塗布した。塗布された溶液を２段階（１段階：１００℃、８分；２段階：１８０℃、８分）の加熱によって乾燥及びキュアして、実施例１のペリクル用粘着剤組成物からなる粘着剤層（厚み０．３ｍｍ）を有する実施例１のペリクルを得た。ついで、シリコーン離型処理した厚さ１００μｍのポリエステル製保護フィルムを粘着剤層に貼り合わせた。その状態で室温（２０±３℃）にて３日間養生させて粘着力を安定化させ、粘着剤層付ペリクルを作製した。得られた粘着剤層付ペリクルについて、以下の方法で評価を実施した。」、 「【００５６】 ＜実施例３＞ 攪拌機、温度計、還流冷却器、滴下装置、窒素導入管を備えた反応容器に酢酸エチル（３０質量部）を入れ、ブチルアクリレート／アクリル酸／２、２’－アゾビスイソブチロニトリルの混合物（３２質量部）を９６／４／１．０の質量比で仕込んで、反応溶液を調製した。窒素雰囲気下中、この反応溶液を６０℃で８時間加熱して、反応を行った。反応終了後、トルエン（３８質量部）を添加して、不揮発分濃度３２質量％のアクリル酸アルキルエステル共重合体２の溶液（アクリル共重合体溶液）を得た（重量平均分子量８０万）。得られたアクリル共重合体１００質量部に、多官能性エポキシ化合物（１，３－ビス（Ｎ，Ｎ－ジグリシジルアミノメチル）シクロヘキサン、不揮発分濃度５％、トルエン溶液）を０．１質量部添加し、攪拌混合して、粘着剤前駆体組成物の溶液を得た。以下は実施例１と同様にしてペリクルを作製し、その評価を行った。」 イ　本件発明２～５ 本件発明２～５は、本件発明１の発明特定事項を全て有するものであって、上記「ア」で検討したとおり、本件発明１は引用発明１であるとはいえないから、同様に、本件発明２～５は引用発明１であるとはいえない。 したがって、本件発明２～５は特許法第２９条第１項第３号に規定する発明に該当しない。 （２）取消理由通知に記載した取消理由２について ア　本件発明１ （ア）刊行物の記載 取消理由通知において引用した引用文献２（特開２０１０－２８９５号公報：甲第３号証）には、 「【発明が解決しようとする課題】 【０００７】 本発明の目的は、クロム薄膜表面と石英表面との双方の基材に対して適切な付着力を有し、剥離時に基材表面に残りにくいペリクル用粘着材を提供することである。 【課題を解決するための手段】 【０００８】 本発明者らは、鋭意検討した結果、特定の構造を有する（メタ）アクリル酸アルキルエステル共重合体と多官能性エポキシ化合物とを反応させた生成物を用いることにより、クロム薄膜表面と石英表面との双方の基材に対して適切な付着力（以下「粘着力」ともいう。）を有し、剥離時に基材表面に残りにくい粘着材が得られることを見出し、本発明を完成するに至った。 【０００９】 すなわち、本発明の一は、（メタ）アクリル酸アルキルエステル共重合体１００重量部と多官能性エポキシ化合物０．００５～３重量部との反応生成物を含んでなる組成物であって、該（メタ）アクリル酸アルキルエステル共重合体が、炭素数４～１４のアルキル基を有する（メタ）アクリル酸アルキルエステルと、エポキシ基との反応性を有する官能基を有するモノマーとの少なくとも２つのモノマー成分を共重合させることによって得られる共重合体であることを特徴とするペリクル用粘着材組成物である。 【００１０】 上記多官能性エポキシ化合物は、２～４個のエポキシ基を有する含窒素エポキシ化合物であることが好ましい。また、上記（メタ）アクリル酸アルキルエステル共重合体を構成するモノマー総量の９～５９重量％が炭素数４～１４の分岐したアルキル基を有する（メタ）アクリル酸アルキルエステルであることが好ましい。 本発明の二は、ペリクル枠の一端面に接着されたペリクル膜を有し、該ペリクル枠の他端面に本発明の一のペリクル用粘着材組成物からなる粘着材層を有することを特徴とするペリクルである。」、 「【００２０】 本発明の粘着材組成物には、前記（メタ）アクリル酸アルキルエステル共重合体と多官能性エポキシ化合物からなる架橋剤との反応生成物を含有する。 かかる架橋剤としては、多官能性エポキシ化合物以外にも、金属塩、金属アルコキシド、アルデヒド系化合物、非アミノ樹脂系アミノ化合物、尿素系化合物、イソシアネート系化合物、金属キレート系化合物、メラミン系化合物、アジリジン系化合物など、通常の粘着材に使用される架橋剤をあげることができるが、（メタ）アクリル酸アルキルエステル共重合体が有する官能基成分との反応性の点から、多官能性エポキシ化合物が好ましい。」、 「【００３０】 ＜実施例１＞ （メタ）アクリル酸アルキルエステル共重合体１は、周知の方法により調整した。具体的には、攪拌機、温度計、還流冷却器、滴下装置、窒素導入管を備えた反応容器に酢酸エチル（３０重量部）を入れ、イソブチルアクリレート／ブチルアクリレート／アクリル酸／２－ヒドロキシエチルアクリレート／２、２’－アゾビスイソブチロニトリルの混合物（３２重量部）を４８／４８／１．５／２．５／０．５の重量比で仕込み、窒素雰囲気下中、この反応溶液を還流温度で８時間反応する。反応終了後、トルエン（３８重量部）を添加して、不揮発分濃度３２重量％ のアクリル共重合体溶液を得た。次いで得られたアクリル共重合体溶液１００重量部に多官能性エポキシ化合物溶液（溶媒をトルエンとし、多官能性エポキシ化合物溶液中には１，３－ビス（Ｎ，Ｎ－ジグリシジルアミノメチル）シクロヘキサンを不揮発成分として５重量％含む）を１．５重量部添加した。この時、多官能性エポキシ化合物は（メタ）アクリル酸アルキルエステル共重合体１００重量部あたり０．２３重量部であった。その後攪拌混合し、粘着材前駆体組成物を得た。 【００３１】 その後、一端面にペリクル膜を接着したアルミ合金製のペリクル枠（外径１１３ｍｍ×１４９ｍｍ、内径１０９ｍｍ×１４５ｍｍ、高さ４．８ｍｍ）の他端面に調合した上記粘着材前駆体組成物をディスペンサーで塗布した。これを２段階で加熱乾燥・キュア（１段階：１００℃、８分；２段階：１８０℃、８分）して、実施例１のペリクル用粘着材組成物からなる粘着材層（厚み０．２ｍｍ）を形成した実施例１のペリクルを得た。ついで、シリコーン離型処理した厚さ１００μｍのポリエステル製保護フィルムを貼り合わせ、室温（２０±３℃）にて３日間養生させ、粘着力を安定化させた。その後、該保護フィルムを剥がして、６０２５石英ブランクス基材および６０２５クロム付きマスクブランクス基材に簡易型マウンターで加重（３０Ｋｇｆ、６０ｓｅｃ）貼付を行い、ペリクルを貼り付けた基材を得た。 ペリクルを貼り付けた基材を、室温（２０±３℃）にて２時間放置後、粘着力と剥離性を前述の方法で評価した。 【００３２】 ＜実施例２＞ （メタ）アクリル酸アルキルエステル共重合体２は、実施例１と同様に調整した。具体的には、攪拌機、温度計、還流冷却器、滴下装置、窒素導入管を備えた反応容器に酢酸エチル（３２重量部）を入れ、ブチルアクリレート／２－エチルヘキシルアクリレート／アクリル酸／２、２’－アゾビスイソブチロニトリルの混合物（３８重量部）を５２／４１／７／０．５の重量比で仕込み、窒素雰囲気下中、この反応溶液を還流温度で８時間反応する。反応終了後、トルエン（３０重量部）を添加して、不揮発分濃度３８重量％ のアクリル共重合体溶液を得た。次いで、得られたアクリル共重合体溶液１００重量部に多官能性エポキシ化合物溶液（溶媒をトルエンとし、多官能性エポキシ化合物溶液中には１，３－ビス（Ｎ，Ｎ－ジグリシジルアミノメチル）シクロヘキサンを不揮発成分として５重量％含む）を３重量部添加した。この時、多官能性エポキシ化合物は（メタ）アクリル酸アルキルエステル共重合体１００重量部あたり０．３９重量部であった。その後攪拌混合し、粘着材前駆体組成物を得た。 以下、実施例１と同様にして、実施例２のペリクル用粘着材組成物からなる粘着材層を形成した実施例２のペリクルを作成し、ペリクルの基材に対する粘着力および剥離性を評価して結果を表１に記載した。」 （下線は、当審が付した。） が記載されている。 これらの記載によれば、引用文献２には以下の発明（以下、「引用発明２」という。）が記載されていると認められる。 「ペリクル枠と、該ペリクル枠の一端面に接着されたペリクル膜を有し、該ペルクル枠の他端面にペリクル用粘着材組成物からなる粘着材層を有するペリクルであって、 ペリクル用粘着材組成物は、（メタ）アクリル酸アルキルエステル共重合体と、多官能性エポキシ化合物からなる架橋剤との反応生成物を含有し、 （メタ）アクリル酸アルキルエステル共重合体は、攪拌機、温度計、還流冷却器、滴下装置、窒素導入管を備えた反応容器に酢酸エチル（３２重量部）を入れ、ブチルアクリレート／２－エチルヘキシルアクリレート／アクリル酸／２、２’－アゾビスイソブチロニトリルの混合物（３８重量部）を５２／４１／７／０．５の重量比で仕込み、窒素雰囲気下中、この反応溶液を環流温度で８時間反応させ、反応終了後、トルエン（３０重量部）を添加して得られた、不揮発分濃度３８重量％のアクリル共重合体溶液であって、 この得られたアクリル共重合体溶液１００重量部に多官能性エポキシ化合物溶液（溶媒をトルエンとし、多官能性エポキシ化合物溶液中には１，３－ビス（Ｎ，Ｎ－ジグリシジルアミノメチル）シクロヘキサンを不揮発成分として５重量％含む）を３重量部添加し、このとき、多官能性エポキシ化合物は（メタ）アクリル酸アルキルエステル共重合体１００重量部あたり０．３９重量部であり、その後攪拌混合し、粘着材前駆体組成物を得て、 その後、一端面にペリクル膜を接着したアルミ合金製のペリクル枠（外径１１３ｍｍ×１４９ｍｍ、内径１０９ｍｍ×１４５ｍｍ、高さ４．８ｍｍ）の他端面に調合した上記粘着材前駆体組成物をディスペンサーで塗布し、これを２段階で加熱乾燥・キュア（１段階：１００℃、８分；２段階：１８０℃、８分）して、ペリクル用粘着材組成物からなる粘着材層（厚み０．２ｍｍ）を形成したペリクル。」 （イ）対比 本件発明１と引用発明２を対比すると、 「開口部を有するペリクル枠と、前記ペリクル枠の一端面上に設けられた前記開口部を覆うペリクル膜と、前記ペリクル枠の他端面上に設けられた粘着剤層と、を有するペリクルであって、 前記粘着剤層が、（メタ）アクリル酸アルキルエステル共重合体と硬化材との反応生成物を含み、 前記（メタ）アクリル酸アルキルエステル共重合体が、前記（メタ）アクリル酸アルキルエステル共重合体を構成する全モノマー単位に対し、（メタ）アクリル酸アルキルエステル成分９３～９８質量％と、反応性モノマー２～７質量％と、をモノマー単位として含み、 前記（メタ）アクリル酸アルキルエステル成分が、（メタ）アクリル酸ブチル、（メタ）アクリル酸ヘキシル、（メタ）アクリル酸オクチル、（メタ）アクリル酸デシル、（メタ）アクリル酸ドデシル、（メタ）アクリル酸ラウリル、（メタ）アクリル酸イソブチル、（メタ）アクリル酸イソアミル、（メタ）アクリル酸２－エチルヘキシル、（メタ）アクリル酸イソオクチル、（メタ）アクリル酸イソノニル、（メタ）アクリル酸メチル、（メタ）アクリル酸エチル、（メタ）アクリル酸プロピル及び（メタ）アクリル酸イソプロピルからなる群より選択される少なくとも一種の化合物であるペリクル。」 で一致し、次の点で相違する。 （相違点２－１） 本件発明１では、「前記粘着剤層の応力緩和率が２５％以上９０％以下である」のに対して、引用発明２では、「粘着剤層」の応力緩和率が不明である点。 （ウ）判断 以下、上記相違点２－１について検討する。 本件発明１と引用発明２とは、素材に関して、上記のように一致しているうえ、本件発明１の「ペリクル」の実施例３（応力緩和率：５５％）の製造方法（本件特許明細書の段落【００４６】～【００４７】、【００５６】の記載（上記「（１）」「ア」「（ウ）」で引用）を参照）は、引用発明２の 「（メタ）アクリル酸アルキルエステル共重合体は、攪拌機、温度計、還流冷却器、滴下装置、窒素導入管を備えた反応容器に酢酸エチル（３２重量部）を入れ、ブチルアクリレート／２－エチルヘキシルアクリレート／アクリル酸／２、２’－アゾビスイソブチロニトリルの混合物（３８重量部）を５２／４１／７／０．５の重量比で仕込み、窒素雰囲気下中、この反応溶液を環流温度で８時間反応させ、反応終了後、トルエン（３０重量部）を添加して得られた、不揮発分濃度３８重量％のアクリル共重合体溶液であって、 この得られたアクリル共重合体溶液１００重量部に多官能性エポキシ化合物溶液（溶媒をトルエンとし、多官能性エポキシ化合物溶液中には１，３－ビス（Ｎ，Ｎ－ジグリシジルアミノメチル）シクロヘキサンを不揮発成分として５重量％含む）を３重量部添加し、このとき、多官能性エポキシ化合物は（メタ）アクリル酸アルキルエステル共重合体１００重量部あたり０．３９重量部であり、その後攪拌混合し、粘着材前駆体組成物を得て、 その後、一端面にペリクル膜を接着したアルミ合金製のペリクル枠（外径１１３ｍｍ×１４９ｍｍ、内径１０９ｍｍ×１４５ｍｍ、高さ４．８ｍｍ）の他端面に調合した上記粘着材前駆体組成物をディスペンサーで塗布し、これを２段階で加熱乾燥・キュア（１段階：１００℃、８分；２段階：１８０℃、８分）して、ペリクル用粘着材組成物からなる粘着材層（厚み０．２ｍｍ）を形成した」 とは、製造手順においても、同様のものである。 しかし、特許権者が意見書に添付して提出した「実験成績証明書」（乙第１号証）によれば、引用発明２の「粘着剤層」と同様に作成した「実験２」の粘着剤層の応力緩和率は１２．７％であることを参照すれば、引用発明２の「粘着剤層」の応力緩和率は２５％以上９０％以下である蓋然性が高いとまではいえない。 すると、本件発明１は、上記相違点２－１において、引用発明２と相違する。 したがって、本件発明１は引用発明２であるとはいえないから、特許法第２９条第１項第３号に規定する発明に該当しない。 イ　本件発明２～５ 本件発明２～５は、本件発明１の発明特定事項を全て有するものであって、上記「ア」で検討したとおり、本件発明１は引用発明２であるとはいえないから、同様に、本件発明２～５は引用発明２であるとはいえない。 したがって、本件発明２～５は特許法第２９条第１項第３号に規定する発明に該当しない。 （３）取消理由通知に記載した取消理由３について ア　本件発明１ （ア）刊行物の記載 引用文献２には、上記「（２）」「ア」「（ア）」で引用した段落【０００７】～【００１０】、【００２０】、【００３０】～【００３１】の他、 「【００３４】 ＜実施例３＞ （メタ）アクリル酸アルキルエステル共重合体３は、実施例１と同様に調整した。具体的には、攪拌機、温度計、還流冷却器、滴下装置、窒素導入管を備えた反応容器に酢酸エチル（２３重量部）を入れ、ブチルアクリレート／オクチルアクリレート／アクリル酸／２、２’－アゾビスイソブチロニトリルの混合物（３５重量部）を７５／２０／５／０．５の重量比で仕込み、窒素雰囲気下中、この反応溶液を還流温度で８時間反応する。反応終了後、トルエン（４２重量部）を添加して、不揮発分濃度３５重量％ のアクリル共重合体溶液を得た。次いで、得られたアクリル共重合体溶液１００重量部に多官能エポキシ化合物溶液（溶媒をトルエンとし、多官能性エポキシ化合物溶液中には１，３－ビス（Ｎ，Ｎ－ジグリシジルアミノメチル）シクロヘキサンを不揮発成分として５重量％含む）を４重量部添加した。この時、多官能性エポキシ化合物は（メタ）アクリル酸アルキルエステル共重合体１００重量部あたり０．５７重量部であった。その後攪拌混合し、粘着材前駆体組成物を得た。 以下、実施例１と同様にして、実施例３のペリクル用粘着材組成物からなる粘着材層を形成した実施例３のペリクルを作成し、ペリクルの基材に対する粘着力、および剥離性を評価して結果を表１に記載した。」 （下線は、当審が付した。） が記載されている。 これらの記載によれば、引用文献２には以下の発明（以下、「引用発明３」という。）が記載されていると認められる。 「ペリクル枠と、該ペリクル枠の一端面に接着されたペリクル膜を有し、該ペルクル枠の他端面にペリクル用粘着材組成物からなる粘着材層を有するペリクルであって、 ペリクル用粘着材組成物は、（メタ）アクリル酸アルキルエステル共重合体と、多官能性エポキシ化合物からなる架橋剤との反応生成物を含有し、 （メタ）アクリル酸アルキルエステル共重合体は、攪拌機、温度計、還流冷却器、滴下装置、窒素導入管を備えた反応容器に酢酸エチル（２３重量部）を入れ、ブチルアクリレート／オクチルアクリレート／アクリル酸／２、２’－アゾビスイソブチロニトリルの混合物（３５重量部）を７５／２０／５／０．５の重量比で仕込み、窒素雰囲気下中、この反応溶液を環流温度で８時間反応させ、反応終了後、トルエン（４２重量部）を添加して得られた、不揮発分濃度３５重量％のアクリル共重合体溶液であって、 この得られたアクリル共重合体溶液１００重量部に多官能性エポキシ化合物溶液（溶媒をトルエンとし、多官能性エポキシ化合物溶液中には１，３－ビス（Ｎ，Ｎ－ジグリシジルアミノメチル）シクロヘキサンを不揮発成分として５重量％含む）を４重量部添加し、このとき、多官能性エポキシ化合物は（メタ）アクリル酸アルキルエステル共重合体１００重量部あたり０．５７重量部であり、その後攪拌混合し、粘着材前駆体組成物を得て、 その後、一端面にペリクル膜を接着したアルミ合金製のペリクル枠（外径１１３ｍｍ×１４９ｍｍ、内径１０９ｍｍ×１４５ｍｍ、高さ４．８ｍｍ）の他端面に調合した上記粘着剤前駆体組成物をディスペンサーで塗布し、これを２段階で加熱乾燥・キュア（１段階：１００℃、８分；２段階：１８０℃、８分）して、ペリクル用粘着材組成物からなる粘着剤層（厚み０．２ｍｍ）を形成したペリクル。」 （イ）対比 本件発明１と引用発明３を対比すると、 「開口部を有するペリクル枠と、前記ペリクル枠の一端面上に設けられた前記開口部を覆うペリクル膜と、前記ペリクル枠の他端面上に設けられた粘着剤層と、を有するペリクルであって、 前記粘着剤層が、（メタ）アクリル酸アルキルエステル共重合体と硬化材との反応生成物を含み、 前記（メタ）アクリル酸アルキルエステル共重合体が、前記（メタ）アクリル酸アルキルエステル共重合体を構成する全モノマー単位に対し、（メタ）アクリル酸アルキルエステル成分９３～９８質量％と、反応性モノマー２～７質量％と、をモノマー単位として含み、 前記（メタ）アクリル酸アルキルエステル成分が、（メタ）アクリル酸ブチル、（メタ）アクリル酸ヘキシル、（メタ）アクリル酸オクチル、（メタ）アクリル酸デシル、（メタ）アクリル酸ドデシル、（メタ）アクリル酸ラウリル、（メタ）アクリル酸イソブチル、（メタ）アクリル酸イソアミル、（メタ）アクリル酸２－エチルヘキシル、（メタ）アクリル酸イソオクチル、（メタ）アクリル酸イソノニル、（メタ）アクリル酸メチル、（メタ）アクリル酸エチル、（メタ）アクリル酸プロピル及び（メタ）アクリル酸イソプロピルからなる群より選択される少なくとも一種の化合物であるペリクル。」 で一致し、次の点で相違する。 （相違点３－１） 本件発明１では、「前記粘着剤層の応力緩和率が２５％以上９０％以下である」のに対して、引用発明３では、「粘着剤層」の応力緩和率が不明である点。 （ウ）判断 以下、上記相違点３－１について検討する。 本件発明１と引用発明３とは、素材に関して、上記のように一致しているうえ、本件発明１の「ペリクル」の実施例３（応力緩和率：５５％）の製造方法（本件特許明細書の段落【００４６】～【００４７】、【００５６】の記載（上記「（１）」「ア」「（ウ）」で引用）を参照）は、引用発明３の 「（メタ）アクリル酸アルキルエステル共重合体は、攪拌機、温度計、還流冷却器、滴下装置、窒素導入管を備えた反応容器に酢酸エチル（２３重量部）を入れ、ブチルアクリレート／オクチルアクリレート／アクリル酸／２、２’－アゾビスイソブチロニトリルの混合物（３５重量部）を７５／２０／５／０．５の重量比で仕込み、窒素雰囲気下中、この反応溶液を環流温度で８時間反応させ、反応終了後、トルエン（４２重量部）を添加して得られた、不揮発分濃度３５重量％のアクリル共重合体溶液であって、 この得られたアクリル共重合体溶液１００重量部に多官能性エポキシ化合物溶液（溶媒をトルエンとし、多官能性エポキシ化合物溶液中には１，３－ビス（Ｎ，Ｎ－ジグリシジルアミノメチル）シクロヘキサンを不揮発成分として５重量％含む）を４重量部添加し、このとき、多官能性エポキシ化合物は（メタ）アクリル酸アルキルエステル共重合体１００重量部あたり０．５７重量部であり、その後攪拌混合し、粘着材前駆体組成物を得て、 その後、一端面にペリクル膜を接着したアルミ合金製のペリクル枠（外径１１３ｍｍ×１４９ｍｍ、内径１０９ｍｍ×１４５ｍｍ、高さ４．８ｍｍ）の他端面に調合した上記粘着剤前駆体組成物をディスペンサーで塗布し、これを２段階で加熱乾燥・キュア（１段階：１００℃、８分；２段階：１８０℃、８分）して、ペリクル用粘着材組成物からなる粘着剤層（厚み０．２ｍｍ）を形成した」 とは、製造手順においても、同様のものである。 しかし、特許権者が意見書に添付して提出した「実験成績証明書」（乙第１号証）によれば、引用発明３の「粘着剤層」と同様に作成した「実験３」の粘着剤層のの応力緩和率は１０．３％であることを参照すれば、引用発明３の「粘着剤層」の応力緩和率は２５％以上９０％以下である蓋然性が高いとまではいえない。 すると、本件発明１は、上記相違点３－１において、引用発明３と相違する。 したがって、本件発明１は引用発明３であるとはいえないから、特許法第２９条第１項第３号に規定する発明に該当しない。 イ　本件発明２～５ 本件発明２～５は、本件発明１の発明特定事項を全て有するものであって、上記「ア」で検討したとおり、本件発明１は引用発明３であるとはいえないから、同様に、本件発明２～５は引用発明３であるとはいえない。 したがって、本件発明２～５は特許法第２９条第１項第３号に規定する発明に該当しない。 （４）小括 以上検討のとおり、本件発明１～５は、いずれも、引用発明１、２又は３であるとはいえないから、特許法第２９条第１項第３号に規定する発明に該当しない。 ２　取消理由通知において採用しなかった特許異議申立理由について （１）特許法第２９条第１項第３号 申立人は、本件発明１～５は、引用文献１（甲第１号証）、引用文献２（甲第３号証）に加え、特開２０１１－１０７４６８号公報（甲第２号証）に記載された発明と実質的に同一であると主張している。 まず、甲第１及び３号証に記載された発明について、上記１での検討を参照すると、引用発明１、２及び３以外の、甲第１及び３号証に記載された他の実施例（発明）も、本件発明１～５と、応力緩和率の数値において一致しているとはいえないから、本件発明１～５は、甲第１及び３号証に記載された発明と実質的に同一であるとはいえないことは明らかである。 次に、甲第２号証に記載された発明について、上記１での検討を参照すると、甲第２号証に記載された実施例（発明）は、いずれも、本件発明１～５と、応力緩和率の数値において一致しているとはいえないから、やはり、本件発明１～５は、甲第２号証に記載された発明と実質的に同一であるとはいえないことは明らかである。 したがって、本件発明１～５は、いずれも、甲第１～３号証に記載された発明であるとはいえないから、特許法第２９条第１項第３号に規定する発明に該当しない。 （２）特許法第２９条第２項 ア　本件発明１～５ 申立人は、本件発明１～５が、甲第１～３号証に記載された発明ではないとしても、当業者がその違いを区別することができないほどのものでしかないものであるから、特許法第２９条第２項に規定により取り消されるべきものであると主張している。 しかし、本件発明１～５と、甲第１～３号証に記載された発明とは、応力緩和率の数値において一致しているとはいえず、また、この応力緩和率の数値に係る本件発明１～５の発明特定事項を、当業者が容易に想到し得るものであるとする理由もない。 したがって、本件発明１～５は、甲第１～３号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるとはいえない。 イ　本件発明６、７ 申立人は、本件発明６、７は、甲第１～３号証、甲第６号証、甲第７号証に記載された発明に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであると主張している。 しかし、甲第６、７号証には、ペリクルとマスクを貼着する粘着材として、応力緩和率が２５％以上９０％以下である粘着材は記載も示唆もされていないことは明らかである。 すると、甲第１～３号に記載された発明に、甲第６、７号証に記載された技術事項を参酌しても、この応力緩和率の数値に係る本件発明１～５の発明特定事項を、当業者が容易に想到し得るものではない。 さらに、取消理由（決定の予告）の「第４　当審の判断」「２　本件発明６及び７について」で検討したとおり、（メタ）アクリル酸アルキルエステル共重合体を構成するモノマーである（メタ）アクリル酸アルキルエステルの炭素数について、甲第１～３号証に記載された発明に、甲第６又は７号証に記載された発明を適用することはできない。 したがって、本件発明６、７は、甲第１～３号証、甲第６号証、甲第７号証に記載された発明に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるとはいえない。 （３）特許法第３９条第１項 申立人は、本件発明１～５は、特許第５３１９５００号公報（甲第４号証：甲第２号証の出願に係る特許公報）、特許第５４８４７８５号公報（甲第５号証：甲第３号証の出願に係る特許公報）の特許請求の範囲に記載された発明と実質的に同一であると主張している。 しかし、甲第４及び５号証の特許請求の範囲の各請求項に記載された発明は、いずれも、応力緩和率が２５％以上９０％以下であるという発明特定事項を有さないことは明らかである。 また、上記１での検討を踏まえると、甲第４及び５号証の特許請求の範囲の各請求項に記載された発明が、実質的に、応力緩和率が２５％以上９０％以下であるという発明特定事項を備えるものであるということもできない。 したがって、本件発明１～５は、甲第４、５号証の特許請求の範囲に記載された発明と実質的に同一であるとはいえない。 （４）小括 以上検討のとおり、取消理由通知において採用しなかった特許異議申立理由についての申立人の主張は理由がない。 第５　むずび 以上のとおりであるから、取消理由通知に記載した取消理由及び特許異議申立書に記載した特許異議申立理由によっては、本件発明１～７に係る特許を取り消すことはできない。 また、他に、本件発明１～７に係る特許を取り消すべき理由を発見しない。 よって、結論のとおり決定する。