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特許無効審判

2013-800203

赤外線センサIC、赤外線センサ及びその製造方法

審判番号
2013-800203
法域
特許
審判種別
無効審判(無効の審決)
出願番号
特願2005-513897
登録番号
特許第4086875号(P4086875)
請求日
2013年10月30日
審決日
2018年01月31日
公報発行日
2018年06月29日
結論
請求不成立
当事者
  • 【請求人】佐藤 義光
  • 【請求人代理人】柴田 昌聰
  • 【請求人代理人】阿部 寛
  • 【被請求人】旭化成エレクトロニクス 株式会社
  • 【被請求人代理人】特許業務法人 谷・阿部特許事務所
審判長/審判官
  • 審判長 森 竜介
  • 審判官 恩田 春香
  • 審判官 近藤 幸浩
分類
P1113.121-YAA(H01L) / P1113.55 -YAA(H01L) / P1113.536-YAA(H01L) / P1113.537-YAA(H01L)
根拠条文(結論部分から自動抽出・参考)
特許法169条2項民事訴訟法61条
条文(本文から自動抽出・参考)
特許法第134条の2第1項、特許法第134条の2第9項、特許法第36条第4項第1号、特許法第29条第2項、特許法第36条第6項第1号、特許法第17条の2第3項、特許法第184条の8第2項、特許法第29条第1項第3号、特許法第184条の6第2項、特許法第169条第2項
データ出所
審決公報(SGML)

事件の表示

上記当事者間の特許第4086875号「赤外線センサIC、赤外線センサ及びその製造方法」の特許無効審判事件についてされた平成28年 1月 4日付け審決に対し、知的財産高等裁判所において審決取消しの判決(平成28年(行ケ)第10044号、平成29年 6月20日判決言渡)があったので、さらに審理のうえ、次のとおり審決する。

結論

【結 論】 1 訂正請求書に添付された訂正特許請求の範囲のとおり一群の請求ごとに訂正することを認める。 2 本件審判の請求は、成り立たない。 3 審判費用は、請求人の負担とする。

理由

【理 由】 第1 手続の経緯 本件特許第4086875号についての手続の経緯の概要は、以下のとおりである。 平成16年 9月 9日 国際出願による特許出願 (特願2003-316281号に基づく優先権主張 平成15年9月9日、日本) 平成20年 2月29日 特許権の設定登録(特許第4086875号) 平成25年10月30日 無効審判請求 平成26年 1月20日 審判事件答弁書提出 平成26年 3月10日 審理事項通知書(同年3月12日発送) 平成26年 5月 7日 口頭審理陳述要領書提出(請求人) 平成26年 5月 7日 口頭審理陳述要領書提出(被請求人) 平成26年 5月20日 口頭審理陳述要領書(2)提出(被請求人) 平成26年 5月20日 口頭審理 平成26年 6月 6日 上申書提出(請求人) 平成26年 7月10日 無効理由通知(同年7月14日発送) 平成26年 9月12日 意見書(被請求人)及び訂正請求書提出 平成26年11月 5日 無効理由通知(同年11月7日発送) 平成26年11月28日 意見書提出(請求人) 平成27年 1月 6日 意見書提出(被請求人) 平成27年 4月 2日 審決の予告(同年4月7日発送) 平成27年 6月 8日 上申書(被請求人)及び訂正請求書提出 平成28年 1月 4日 審決(訂正を認める。請求成立。以下「一次審決」という。) (同年1月15日送達) 平成28年 2月12日 知的財産高等裁判所出訴 (平成28年(行ケ)第10044号) 平成29年 6月20日 判決言渡 (一次審決を取り消すと判決(以下、単に「判決」という。)がされ、同判決は確定した。) なお、請求人に対し、「上申書(被請求人)及び訂正請求書」の副本を平成27年6月17日に送付するとともに、期間を定めて意見を提出する機会を与えたが、意見書は提出されなかった。 第2 訂正請求について 1 訂正請求の趣旨及び訂正の内容 被請求人が平成27年6月8日にした訂正請求(以下、同訂正請求に係る訂正を「本件訂正」という。)は、特許請求の範囲について、訂正請求書に添付した訂正特許請求の範囲のとおり一群の請求項ごとに訂正することを請求するものであって、以下の訂正事項をその訂正内容とするものである(なお、願書に添付した明細書を、以下「本件特許明細書」という。)。 (1)訂正事項1 訂正前の特許請求の範囲の請求項1において、 「基板と、該基板上に形成された、複数の化合物半導体層が積層された化合物半導体の積層体とを備え、」とあるのを、 「基板と、該基板上に形成された、複数の化合物半導体層が積層された化合物半導体の積層体とを備え、室温において冷却機構無しで動作が可能な赤外線センサであって、」 に訂正する。 また、請求項1の記載を引用する請求項2ないし12も同様に訂正する。 (2)訂正事項2 訂正前の特許請求の範囲の請求項1において、 「該第1の化合物半導体層上に形成され、ノンドープあるいはp型ドーピングされた、InSb、InAsSb、InSbNのいずれかである第2の化合物半導体層と、」とあるのを、 「該第1の化合物半導体層上に形成され、p型ドーピングされた、InSb、InAsSb、InSbNのいずれかである第2の化合物半導体層と、」に訂正する。 また、請求項1の記載を引用する請求項2ないし12も同様に訂正する。 (3)訂正事項3 訂正前の特許請求の範囲の請求項1において、 「該第2の化合物半導体層上に形成された、前記第2の化合物半導体層よりも高濃度にp型ドーピングされ、かつ前記第1の化合物半導体層、及び前記第2の化合物半導体層よりも大きなバンドギャップを有する材料である第3の化合物半導体層と」とあるのを、 「該第2の化合物半導体層上に形成された、前記第2の化合物半導体層よりも高濃度にp型ドーピングされ、かつ前記第1の化合物半導体層、及び前記第2の化合物半導体層よりも大きなバンドギャップを有する材料であるAlZIn1-ZSb(0.1≦z≦0.5)の第3の化合物半導体層と」に訂正する。 また、請求項1の記載を引用する請求項2ないし12も同様に訂正する。 (4)訂正事項4 訂正前の特許請求の範囲の請求項1において、 「前記第1の化合物半導体層のn型ドーピング濃度は、1×1018原子/cm3以上であり、」を付加する。 また、請求項1の記載を引用する請求項2ないし12も同様に訂正する。 (5)訂正事項5 訂正前の特許請求の範囲の請求項1において、 「前記第2の化合物半導体層のドービング濃度は、1×1016原子/cm3以上1×1018原子/cm3未満である」を付加する。 また、請求項1の記載を引用する請求項2ないし12も同様に訂正する。 (6)訂正事項6 訂正前の特許請求の範囲の請求項1において、 「前記第3の化合物半導体層のp型ドーピング濃度は、1×1018原子/cm3以上である」を付加する。 また、請求項1の記載を引用する請求項2ないし12も同様に訂正する。 (7)訂正事項7 訂正前の特許請求の範囲の請求項2において、 「前記第3の化合物半導体層は、AlInSb、GaInSb、またはAlAs、InAs、GaAs、AlSb、GaSb及びそれらの混晶のいずれかである」を削除する。 また、請求項2の記載を引用する請求項3ないし12も同様に訂正する。 (8)訂正事項8 訂正前の特許請求項の範囲の請求項13において、 「室温において冷却機構無しで動作が可能な赤外線センサの製造方法であって、」を付加する。 また、請求項13の記載を引用する請求項14ないし18も同様に訂正する。 (9)訂正事項9 訂正前の特許請求の範囲の請求項13において、 「ノンドープあるいはp型ドーピングされた、InSb、InAsSb、InSbNのいずれかである第2の化合物半導体層を形成する工程と、」とあるのを、 「p型ドーピングされた、InSb、InAsSb、InSbNのいずれかである第2の化合物半導体層を形成する工程と、」 に訂正する。 また、請求項13の記載を引用する請求項14ないし18も同様に訂正する。 (10)訂正事項10 訂正前の特許請求の範囲の請求項13において、 「該第2の化合物半導体層上に、前記第2の化合物半導体層よりも高濃度にp型ドーピングされ、かつ前記第1の化合物半導体層、及び前記第2の化合物半導体層よりも大きなバンドギャップを有する材料である第3の化合物半導体層を形成する工程と」とあるのを、 「該第2の化合物半導体層上に、前記第2の化合物半導体層よりも高濃度にp型ドーピングされ、かつ前記第1の化合物半導体層、及び前記第2の化合物半導体層よりも大きなバンドギャップを有する材料であるAlZIn1-ZSb(0.1≦z≦0.5)の第3の化合物半導体層を形成する工程と」に訂正する。 また、請求項13の記載を引用する請求項14ないし18も同様に訂正する。 (11)訂正事項11 訂正前の特許請求の範囲の請求項13において、 「前記第1の化合物半導体層を形成する工程では、前記第1の化合物半導体層のn型ドーピング濃度は、1×1018原子/cm3以上であり、」を付加する。 また、請求項13の記載を引用する請求項14ないし18も同様に訂正する。 (12)訂正事項12 訂正前の特許請求の範囲の請求項13において、 「前記第2の化合物半導体層を形成する工程では、前記第2の化合物半導体層のドーピング濃度は、1×1016原子/cm3以上1×1018原子/cm3未満である」を付加する。 また、請求項13の記載を引用する請求項14ないし18も同様に訂正する。 (13)訂正事項13 訂正前の特許請求の範囲の請求項13において、 「前記第3の化合物半導体層を形成する工程では、前記第3の化合物半導体層のp型ドーピング濃度は、1×1018原子/cm3以上である」を付加する。 また、請求項13の記載を引用する請求項14ないし18も同様に訂正する。 (14)訂正事項14 訂正前の特許請求の範囲の請求項13において、 「該第第1の化合物半導体層上に、」とあるのを、 「該第1の化合物半導体層上に、」に訂正する。 また、請求項13の記載を引用する請求項14ないし18も同様に訂正する。 (15)訂正事項15 訂正前の特許請求の範囲の請求項14において、 「前記第3の化合物半導体層は、AlInSb、GaInSb、またはAlAs、InAs、GaAs、AlSb、GaSb及びそれらの混晶のいずれかである」を削除する。 また、請求項13の記載を引用する請求項14ないし18も同様に訂正する。 2 訂正の適否 (1)訂正事項1について ア 訂正後の請求項1に係る発明は、訂正前の請求項1に係る発明において、赤外線センサの特性が特定されていなかったものを、「室温において冷却機構無しで動作が可能な赤外線センサ」と特定することで、特許請求の範囲を減縮しようとするものであるから、訂正事項1は、特許法第134条の2第1項ただし書第1号に掲げる特許請求の範囲の減縮を目的とするものに該当すると認められる。 イ そして、本件特許明細書の【0011】に「本発明者らは、前記課題を解決するため、素子抵抗の小さな化合物半導体センサ部と該化合物半導体センサ部から出力される電気信号を処理する集積回路部を同一パッケージ内でハイブリッド形成させることにより、室温で検知できることを見出し、本発明をなすに至った。さらに本発明一実施形態に係る赤外線センサは、電磁ノイズや熱ゆらぎの影響を受けにくいという特徴を有することを見出した。」、【0067】に「……(略)……本発明の一実施形態に係る化合物半導体赤外線センサは、室温において冷却機構無しで、更なる高感度化を実現できる。」と記載され、「赤外線センサ」は、電磁ノイズや熱ゆらぎの影響を受けにくく、室温において冷却機構無しで赤外線を検知できることが理解できる。 してみると、本件特許明細書には、「赤外線センサ」が、室温において冷却機構無しで赤外線を検知できる(動作する)ことが記載されているものと認められる。 ウ したがって、訂正事項1は、願書に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内においてするものであり、また、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものでもないから、特許法第134条の2第9項において準用する同法第126条第5項及び第6項の規定に適合するものである。 (2)訂正事項2について ア 訂正後の請求項1に係る発明は、訂正前の請求項1に係る発明において、「第2の化合物半導体層」が「ノンドープあるいはp型ドーピングされた」という択一的に記載されていたものを、一方の「p型ドーピングされた」ものに特定するものであるから、訂正事項2は、特許法第134条の2第1項ただし書第1号に掲げる特許請求の範囲の減縮を目的とするものに該当すると認められる。 イ そして、本件特許明細書の【0089】には、第2の化合物半導体層に関して、「第七化合物半導体層17は、ドーピングしないで真性半導体のままでも良いし、またはp型にドーピングしても良い。」(なお、訂正前・訂正後の請求項1ないし18に記載された「第1の化合物半導体層」ないし「第3の化合物半導体層」は、本件特許明細書の「第6化合物半導体層」ないし「第8化合物半導体層」に、それぞれ、相当する。)との記載があるから、本件特許明細書には、第2の化合物半導体層が「p型ドーピングされた」ものであることが記載されているものと認められる。 ウ したがって、訂正事項2は、願書に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内においてするものであり、また、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものでもないから、特許法第134条の2第9項において準用する同法第126条第5項及び第6項の規定に適合するものである。 (3)訂正事項3について ア 訂正後の請求項1に係る発明は、訂正前の請求項1に係る発明において、「第3の化合物半導体層」の材料が特定されていなかったものを、「AlZIn1-ZSb(0.1≦z≦0.5)」に特定するものであるから、訂正事項3は、特許法第134条の2第1項ただし書第1号に掲げる特許請求の範囲の減縮を目的とするものに該当すると認められる。 イ そして、本件特許明細書の【0080】には、第3の化合物半導体層の材料に関して、「……(略)……特にAlzIn1-zSb混晶のバンドギャップEg’はEg’=0.172+1.621z+0.43z2で表され、僅かなAl組成によって大きなバンドギャップを得ることが可能となる。この為、光吸収層となる第七化合物半導体層17のInSbやInAsSb等の材料と格子定数が近く、バンドギャップの大きなバリア層とすることが可能となる。ここで、好ましいzの範囲は0.01≦z≦0.7であり、より好ましくは0.1≦z≦0.5である。」と記載されているから、本件特許明細書には、第3の化合物半導体層の材料として、「AlZIn1-ZSb(0.1≦z≦0.5)」が記載されているものと認められる。 ウ したがって、訂正事項3は、願書に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内においてするものであり、また、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものでもないから、特許法第134条の2第9項において準用する同法第126条第5項及び第6項の規定に適合するものである。 (4)訂正事項4について ア 訂正後の請求項1に係る発明は、訂正前の請求項1に係る発明において、「第1の化合物半導体層」のn型ドーピング濃度が特定されていなかったものを、「1×1018原子/cm3以上」に特定するものであるから、訂正事項4は、特許法第134条の2第1項ただし書第1号に掲げる特許請求の範囲の減縮を目的とするものに該当すると認められる。 イ そして、本件特許明細書の【0089】には、第1の化合物半導体層のドーピング濃度に関して、「第六化合物半導体層16のn型ドーピングの濃度は、第七化合物半導体層17とのポテンシャル差を大きくし、かつシート抵抗を下げるためになるべく大きいほうが好ましく、1×1018原子/cm3以上であることが好ましい。」と記載されているから、本件特許明細書には、第1の化合物半導体層のn型ドーピング濃度を1×1018原子/cm3以上にすることが記載されているものと認められる。 ウ したがって、訂正事項4は、願書に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内においてするものであり、また、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものでもないから、特許法第134条の2第9項において準用する同法第126条第5項及び第6項の規定に適合するものである。 (5)訂正事項5について ア 訂正後の請求項1に係る発明は、訂正前の請求項1に係る発明において、「第2の化合物半導体層」のp型ドーピング濃度が特定されていなかったものを、「1×1016原子/cm3以上1×1018原子/cm3未満」に特定するものであるから、訂正事項5は、特許法第134条の2第1項ただし書第1号に掲げる特許請求の範囲の減縮を目的とするものに該当すると認められる。 イ そして、本件特許明細書の【0089】には、第2の化合物半導体層のドーピング濃度に関して、「ここで、第七化合物半導体層17のp型ドーピング濃度は、1×1016原子/cm3以上1.0×1018原子/cm3未満が好ましい。」と記載されているから、本件特許明細書には、第2の化合物半導体層のp型ドーピング濃度を1×1016原子/cm3以上1.0×1018原子/cm3未満にすることが記載されているものと認められる。 ウ したがって、訂正事項5は、願書に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内においてするものであり、また、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものでもないから、特許法第134条の2第9項において準用する同法第126条第5項及び第6項の規定に適合するものである。 (6)訂正事項6について ア 訂正後の請求項1に係る発明は、訂正前の請求項1に係る発明において、「第3の化合物半導体層」のn型ドーピング濃度が特定されていなかったものを、「1×1018原子/cm3以上」に特定するものであるから、訂正事項6は、特許法第134条の2第1項ただし書第1号に掲げる特許請求の範囲の減縮を目的とするものに該当すると認められる。 イ そして、本件特許明細書の【0089】には、第3の化合物半導体層のドーピング濃度に関して、「また、第八化合物半導体層18のp型ドーピング濃度は、第七化合物半導体層17と第八化合物半導体層18との接合界面における価電子帯のスパイクが、赤外線の吸収により発生した正孔の流れを妨げ無いようにするため、1×1018原子/cm3以上が好ましい。」と記載されているから、本件特許明細書には、第3の化合物半導体層のp型ドーピング濃度を1×1018原子/cm3以上にすることが記載されているものと認められる。 ウ したがって、訂正事項6は、願書に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内においてするものであり、また、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものでもないから、特許法第134条の2第9項において準用する同法第126条第5項及び第6項の規定に適合するものである。 (7)訂正事項7について ア 訂正後の請求項2に係る発明は、第3の化合物半導体層の材料として、訂正後の請求項1に記載の「AlZIn1-ZSb(0.1≦z≦0.5)」を用いるように訂正するものであるから、訂正事項7は、特許法第134条の2第1項ただし書第1号に掲げる特許請求の範囲の減縮を目的とするものに該当すると認められる。 イ そして、本件特許明細書の【0080】には、第3の化合物半導体層の材料に関して、「第八化合物半導体層18の材料としては、バンドギャップが第七化合物半導体層17よりも大きい材料でよく、AlInSb、GaInSb、AlAs、GaAs、InAs、AlSb……(略)……のいずれかが好ましい。……(略)……特にAlzIn1-zSb混晶のバンドギャップEg’はEg’=0.172+1.621z+0.43z2で表され、僅かなAl組成によって大きなバンドギャップを得ることが可能となる。この為、光吸収層となる第七化合物半導体層17のInSbやInAsSb等の材料と格子定数が近く、バンドギャップの大きなバリア層とすることが可能となる。ここで、好ましいzの範囲は0.01≦z≦0.7であり、より好ましくは0.1≦z≦0.5である。」と記載されているから、本件特許明細書には、第3の化合物半導体層の材料として、「AlZIn1-ZSb(0.1≦z≦0.5)」が記載されているものと認められる。 ウ したがって、訂正事項7は、願書に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内においてするものであり、また、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものでもないから、特許法第134条の2第9項において準用する同法第126条第5項及び第6項の規定に適合するものである。 (8)訂正事項8について ア 訂正後の請求項13に係る発明は、訂正前の請求項13に係る発明において、赤外線センサの特性が特定されていなかったものを、「室温において冷却機構無しで動作が可能な赤外線センサ」と特定することで、特許請求の範囲を減縮しようとするものであるから、訂正事項8は、特許法第134条の2第1項ただし書第1号に掲げる特許請求の範囲の減縮を目的とするものに該当すると認められる。 イ そして、本件特許明細書の【0011】に「本発明者らは、前記課題を解決するため、素子抵抗の小さな化合物半導体センサ部と該化合物半導体センサ部から出力される電気信号を処理する集積回路部を同一パッケージ内でハイブリッド形成させることにより、室温で検知できることを見出し、本発明をなすに至った。」、【0067】に「……(略)……本発明の一実施形態に係る化合物半導体赤外線センサは、室温において冷却機構無しで、更なる高感度化を実現できる。」と記載され、「赤外線センサ」は、電磁ノイズや熱ゆらぎの影響を受けにくく、室温において冷却機構無しで赤外線を検知することができることが理解できる。 してみると、本件特許明細書には、「赤外線センサ」が、室温において冷却機構無しで赤外線を検知できる(動作する)ことが記載されているものと認められる。 ウ したがって、訂正事項8は、願書に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内においてするものであり、また、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものでもないから、特許法第134条の2第9項において準用する同法第126条第5項及び第6項の規定に適合するものである。 (9)訂正事項9について ア 訂正後の請求項13に係る発明は、訂正前の請求項13に係る発明において、「第2の化合物半導体層」が「ノンドープあるいはp型ドーピングされた」という択一的に記載されていたものを、一方の「p型ドーピングされた」ものに特定するものであるから、訂正事項9は、特許法第134条の2第1項ただし書第1号に掲げる特許請求の範囲の減縮を目的とするものに該当すると認められる。 イ そして、本件特許明細書の【0089】には、第2の化合物半導体層に関して、「第七化合物半導体層17は、ドーピングしないで真性半導体のままでも良いし、またはp型にドーピングしても良い。」との記載があるから、本件特許明細書には、第2の化合物半導体層が「p型ドーピングされた」ものであることが記載されているものと認められる。 ウ したがって、訂正事項9は、願書に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内においてするものであり、また、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものでもないから、特許法第134条の2第9項において準用する同法第126条第5項及び第6項の規定に適合するものである。 (10)訂正事項10について ア 訂正後の請求項13に係る発明は、訂正前の請求項13に係る発明において、「第3の化合物半導体層」の材料が特定されていなかったものを、「AlZIn1-ZSb(0.1≦z≦0.5)」に特定するものであるから、訂正事項10は、特許法第134条の2第1項ただし書第1号に掲げる特許請求の範囲の減縮を目的とするものに該当すると認められる。 イ そして、本件特許明細書の【0080】には、第3の化合物半導体層の材料に関して、「……(略)……特にAlzIn1-zSb混晶のバンドギャップEg’はEg’=0.172+1.621z+0.43z2で表され、僅かなAl組成によって大きなバンドギャップを得ることが可能となる。この為、光吸収層となる第七化合物半導体層17のInSbやInAsSb等の材料と格子定数が近く、バンドギャップの大きなバリア層とすることが可能となる。ここで、好ましいzの範囲は0.01≦z≦0.7であり、より好ましくは0.1≦z≦0.5である。」と記載されているから、本件特許明細書には、第3の化合物半導体層の材料として、「AlZIn1-ZSb(0.1≦z≦0.5)」が記載されているものと認められる。 ウ したがって、訂正事項10は、願書に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内においてするものであり、また、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものでもないから、特許法第134条の2第9項において準用する同法第126条第5項及び第6項の規定に適合するものである。 (11)訂正事項11について ア 訂正後の請求項13に係る発明は、訂正前の請求項13に係る発明において、「第1の化合物半導体層」のn型ドーピング濃度が特定されていなかったものを、「1×1018原子/cm3以上」に特定するものであるから、訂正事項11は、特許法第134条の2第1項ただし書第1号に掲げる特許請求の範囲の減縮を目的とするものに該当すると認められる。 イ そして、本件特許明細書の【0089】には、第1の化合物半導体層のドーピング濃度に関して、「第六化合物半導体層16のn型ドーピングの濃度は、第七化合物半導体層17とのポテンシャル差を大きくし、かつシート抵抗を下げるためになるべく大きいほうが好ましく、1×1018原子/cm3以上であることが好ましい。」と記載されているから、本件特許明細書には、第1の化合物半導体層のn型ドーピング濃度を1×1018原子/cm3以上にすることが記載されているものと認められる。 ウ したがって、訂正事項11は、願書に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内においてするものであり、また、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものでもないから、特許法第134条の2第9項において準用する同法第126条第5項及び第6項の規定に適合するものである。 (12)訂正事項12について ア 訂正後の請求項13に係る発明は、訂正前の請求項13に係る発明において、「第2の化合物半導体層」のp型ドーピング濃度が特定されていなかったものを、「1×1016原子/cm3以上1×1018原子/cm3未満」に特定するものであるから、訂正事項12は、特許法第134条の2第1項ただし書第1号に掲げる特許請求の範囲の減縮を目的とするものに該当すると認められる。 イ そして、本件特許明細書の【0089】には、第2の化合物半導体層のドーピング濃度に関して、「ここで、第七化合物半導体層17のp型ドーピング濃度は、1×1016原子/cm3以上1.0×1018原子/cm3未満が好ましい。」と記載されているから、本件特許明細書には、第2の化合物半導体層のp型ドーピング濃度を1×1016原子/cm3以上1.0×1018原子/cm3未満にすることが記載されているものと認められる。 ウ したがって、訂正事項12は、願書に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内においてするものであり、また、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものでもないから、特許法第134条の2第9項において準用する同法第126条第5項及び第6項の規定に適合するものである。 (13)訂正事項13について ア 訂正後の請求項13に係る発明は、訂正前の請求項13に係る発明において、「第3の化合物半導体層」のn型ドーピング濃度が特定されていなかったものを、「1×1018原子/cm3以上」に特定するものであるから、訂正事項13は、特許法第134条の2第1項ただし書第1号に掲げる特許請求の範囲の減縮を目的とするものに該当すると認められる。 イ そして、本件特許明細書の【0089】には、第3の化合物半導体層のドーピング濃度に関して、「また、第八化合物半導体層18のp型ドーピング濃度は、第七化合物半導体層17と第八化合物半導体層18との接合界面における価電子帯のスパイクが、赤外線の吸収により発生した正孔の流れを妨げ無いようにするため、1×1018原子/cm3以上が好ましい。」と記載されているから、本件特許明細書には、第3の化合物半導体層のp型ドーピング濃度を1×1018原子/cm3以上にすることが記載されているものと認められる。 ウ したがって、訂正事項13は、願書に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内においてするものであり、また、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものでもないから、特許法第134条の2第9項において準用する同法第126条第5項及び第6項の規定に適合するものである。 (14)訂正事項14について ア 訂正事項14は、訂正前の請求項13の「該第第1の化合物半導体層上に、」における不要な重複する文字を削除するものであるから、特許法第134条の2第1項ただし書第2号に掲げる誤記の訂正を目的とするものに該当すると認められる。 イ また、訂正事項14は、願書に最初に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内においてするものであり、また、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものでもないから、特許法第134条の2第9項において準用する同法第126条第5項及び第6項の規定に適合するものである。 (15)訂正事項15について ア 訂正後の請求項14に係る発明は、第3の化合物半導体層の材料として、訂正後の請求項13に記載の「AlZIn1-ZSb(0.1≦z≦0.5)」を用いるように訂正するものであるから、特許法第134条の2第1項ただし書第1号に規定する特許請求の範囲の減縮を目的とするものである。 イ そして、本件特許明細書の【0080】には、第3の化合物半導体層の材料として、「……バンドギャップが第七化合物半導体層17よりも大きい材料でよく、……特にAlZIn1-ZSb混晶のバンドギャップEg’はEg’=0.172+1.621z+0.43z2で表され、僅かなAl組成によって大きなバンドギャップを得ることが可能となる。……ここで、好ましいzの範囲は0.01≦z≦0.7であり、より好ましくは0.1≦z≦0.5である。」と記載されているから、本件特許明細書には、第3の化合物半導体層として、「AlZIn1-ZSb(0.1≦z≦0.5)」を用いることが記載されているものと認められる。 ウ したがって、訂正事項15は、願書に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内においてするものであり、また、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものでもないから、特許法第134条の2第9項において準用する同法第126条第5項及び第6項の規定に適合するものである。 3 本件訂正についてのむすび 以上のとおり、訂正事項1ないし13及び15は、特許請求の範囲の減縮を目的とするものであり、いずれも、願書に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内においてする訂正であり、また、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものでもない。 また、訂正事項14は、誤記の訂正を目的とするものであり、願書に最初に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内においてする訂正であり、また、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものでもない。 よって、本件訂正は、特許法第134条の2第1項ただし書きに掲げる事項を目的とするものであり、同法同条第2項及び第3項の規定、並びに同法同条第9項において準用する同法第126条第5項及び第6項の規定に適合するので、適法な訂正と認める。 第3 本件訂正発明 上記第2のとおり、本件訂正は認められるので、本件特許の請求項1ないし18に係る発明は、本件訂正後の訂正特許請求の範囲の請求項1ないし18に記載された事項によりそれぞれ特定される次のとおりのものである(以下、本件訂正後の各請求項に係る発明を「本件訂正発明1」ないし「本件訂正発明18」という。また、本件訂正前の各請求項に係る発明を「本件発明1」ないし「本件発明18」という。)。 「【請求項1】 基板と、 該基板上に形成された、複数の化合物半導体層が積層された化合物半導体の積層体とを備え、室温において冷却機構無しで動作が可能な赤外線センサであって、 前記化合物半導体の積層体は、 該基板上に形成された、インジウム及びアンチモンを含み、n型ドーピングされた材料である第1の化合物半導体層と、 該第1の化合物半導体層上に形成されp型ドーピングされた、InSb、InAsSb、InSbNのいずれかである第2の化合物半導体層と、 該第2の化合物半導体層上に形成された、前記第2の化合物半導体層よりも高濃度にp型ドーピングされ、かつ前記第1の化合物半導体層、及び前記第2の化合物半導体層よりも大きなバンドギャップを有する材料であるAlZIn1-ZSb(0.1≦z≦0.5)の第3の化合物半導体層と を備え、 前記第1の化合物半導体層のn型ドーピング濃度は、1×1018原子/cm3以上であり、 前記第2の化合物半導体層のp型ドーピング濃度は、1×1016原子/cm3以上1×1018原子/cm3未満であり、 前記第3の化合物半導体層のp型ドーピング濃度は、1×1018原子/cm3以上であることを特徴とする赤外線センサ。 【請求項2】 前記第1の化合物半導体層はInSbであることを特徴とする請求項1記載の赤外線センサ。 【請求項3】 前記第1の化合物半導体層のn型ドーパントはSnであり、前記第2の化合物半導体層及び前記第3の化合物半導体層のp型ドーパントはZnであることを特徴とする請求項1または2記載の赤外線センサ。 【請求項4】 前記化合物半導体の積層体は、 前記第3の化合物半導体層上に形成された、インジウム及びアンチモンを含み、該第3の化合物半導体層と同等か、またはそれ以上の濃度にp型ドーピングされた材料である第4の化合物半導体層をさらに備えることを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の赤外線センサ。 【請求項5】 前記第4の化合物半導体層は、InSbであることを特徴とする請求項4記載の赤外線センサ。 【請求項6】 前記第4の化合物半導体層のp型ドーパントはZnであることを特徴とする請求項4または5記載の赤外線センサ。 【請求項7】 前記基板は、半絶縁性、または前記基板と該基板に形成された第1の化合物半導体層とが絶縁分離可能である基板であり、 前記第1の化合物半導体層のうち、前記第2の化合物半導体層が形成されていない領域に形成された第1電極と、 前記第3の化合物半導体層上に形成された、第2電極と をさらに備えることを特徴とする請求項1乃至6のいずれかに記載の赤外線センサ。 【請求項8】 前記基板上には、前記化合物半導体の積層体に形成された第1の電極と、該第1の電極が形成された化合物半導体の積層体の隣の化合物半導体の積層体に形成された第2の電極とが直列接続するように、複数の前記化合物半導体の積層体が連続的に形成されていることを特徴とする請求項7記載の赤外線センサ。 【請求項9】 出力信号を測定する際に、前記第1及び第2の電極間のバイアスをゼロバイアスとし、赤外線入射時の信号を開放回路電圧として読み出すことを特徴とする請求項7または8記載の赤外線センサ。 【請求項10】 前記基板と、前記積層体との間に配置された、格子不整合を緩和させる層であるバッファ層をさらに備えることを特徴とする請求項1乃至9のいずれかに記載の赤外線センサ。 【請求項11】 前記バッファ層が、AlSb、AlGaSb、AlGaAsSb、AlInSb、GaInAsSb、AlInAsSbのいずれかであることを特徴とする請求項10記載の赤外線センサ。 【請求項12】 請求項1乃至11のいずれかに記載の赤外線センサと、 前記赤外線センサから出力される電気信号を処理して所定の演算を行う集積回路部とを備え、 前記赤外線センサ及び前記集積回路部が同一パッケージ内にハイブリッドの形態で配設されていることを特徴とする赤外線センサIC。 【請求項13】 室温において冷却機構無しで動作が可能な赤外線センサの製造方法であって、 基板上に、インジウム及びアンチモンを含み、n型ドーピングされた材料である第1の化合物半導体層を形成する工程と、 該第1の化合物半導体層上に、p型ドーピングされた、InSb、InAsSb、InSbNのいずれかである第2の化合物半導体層を形成する工程と、 該第2の化合物半導体層上に、前記第2の化合物半導体層よりも高濃度にp型ドーピングされ、かつ前記第1の化合物半導体層、及び前記第2の化合物半導体層よりも大きなバンドギャップを有する材料であるAlZIn1-ZSb(0.1≦z≦0.5)の第3の化合物半導体層を形成する工程と を有し、 前記第1の化合物半導体層を形成する工程では、前記第1の化合物半導体層のn型ドーピンク濃度を1×1018原子/cm3以上とし、 前記第2の化合物半導体層を形成する工程では、前記第2の化合物半導体層のp型ドーピンク濃度を1×1016原子/cm3以上1×1018原子/cm3未満とし、 前記第3の化合物半導体層を形成する工程では、前記第3の化合物半導体層のp型ドーピング濃度を1×1018原子/cm3以上とすることを特徴とする赤外線センサの製造方法。 【請求項14】 前記第1の化合物半導体層はInSbであることを特徴とする請求項13記載の赤外線センサの製造方法。 【請求項15】 前記第1の化合物半導体層のn型ドーパントはSnであり、前記第2の化合物半導体層及び前記第3の化合物半導体層のp型ドーパントはZnであることを特徴とする請求項13または14記載の赤外線センサの製造方法。 【請求項16】 前記第3の化合物半導体層上に、インジウム及びアンチモンを含み、該第3の化合物半導体層と同等か、またはそれ以上の濃度にp型ドーピングされた材料である第4の化合物半導体層を形成する工程をさらに有することを特徴とする請求項13乃至15のいずれかに記載の赤外線センサの製造方法。 【請求項17】 前記第4の化合物半導体層は、InSbであることを特徴とする請求項16記載の赤外線センサの製造方法。 【請求項18】 前記第4の化合物半導体層のp型ドーパントはZnであることを特徴とする請求項16または17記載の赤外線センサの製造方法。」 第4 請求人の主張の概要及び証拠方法 1 請求人の主張する無効理由1ないし5は、おおよそ、以下のとおりである。 (1)無効理由1(特許法第29条第2項違反) 本件発明1ないし18は、当業者が甲第1ないし7号証に記載された発明に基づいて容易に発明をすることができたものである。 (2)無効理由2(特許法第17条の2第3項違反) 本件発明1、13の発明特定事項のうち、「前記第1の化合物半導体層、及び前記第2の化合物半導体層よりも大きなバンドギャップを有する材料である第3の化合物半導体層」という発明特定事項は、出願当初の明細書等に記載されておらず、補正により追加された新規事項である。 (3)無効理由3(特許法第36条第4項第1号違反:委任省令違反) 発明の詳細な説明は、本件発明1、13の発明特定事項のうち、「前記第1の化合物半導体層、及び前記第2の化合物半導体層よりも大きなバンドギャップを有する材料である第3の化合物半導体層」という発明特定事項の技術上の意義が理解できるように記載されていない。 (4)無効理由4(特許法第36条第6項第1号違反) 本件発明1、13の発明特定事項のうち、「インジウム及びアンチモンを含み、n型ドーピングされた材料である第1の化合物半導体層」及び請求項4、16に記載された発明特定事項のうち、「インジウム及びアンチモンを含み、該第3の化合物半導体層と同等か、またはそれ以上の濃度にp型ドーピングされた材料である第4の化合物半導体層」との発明特定事項については、発明の詳細な説明に開示された事項から、拡張ないし一般化できる事項であるとはいえない。 (5)無効理由5(特許法第36条第4項第1号違反:実施可能要件違反) 本件発明1、13の発明特定事項のうち、「インジウム及びアンチモンを含み、n型ドーピングされた材料である第1の化合物半導体層」及び請求項4、16に記載された発明特定事項のうち、「インジウム及びアンチモンを含み、該第3の化合物半導体層と同等か、またはそれ以上の濃度にp型ドーピングされた材料である第4の化合物半導体層」について、実施できる程度に明確かつ十分に記載されているとはいえない。 2 無効理由1(特許法第29条第2項違反) (1)審判請求書における主張(第2ないし5、22ないし31頁) ア 請求項1 (ア)甲第1号証(特に、第25頁~第32頁「4.3 InAsSb/AlInSb Double Heterostructure Photodiodes」、Fig.4.9)に記載された引用発明1は、GaAs基板と、該基板上に形成された、複数の化合物半導体層が積層された化合物半導体の積層体とを備え、赤外線を検出するセンサである。 引用発明1は、以下のものである(第2頁の右欄参照。)。 「(1A)基板(GaAs基板)と、 (1B)該基板上に形成された、複数の化合物半導体層が積層された化合物半導体層の積層体と、 を備え、 前記化合物半導体の積層体は、 (1C)該基板上に形成された、インジウム及びアンチモンを含み、n型ドーピングされた材料である第1の化合物半導体層(n+-AlInSb)と、 (1D)該第1の化合物半導体層上に形成された、ノンドープのInAsSbである第2の化合物半導体層(i-InAsSb)と、 (1e)該第2の化合物半導体層上に形成された、前記第2の化合物半導体層よりも高濃度にp型ドーピングされ、かつ前記第2の化合物半導体層よりも大きなバンドギャップを有する材料である第3の化合物半導体層(p+-AlInSb)と を備える (1F)ことを特徴とする赤外線センサ。」 (イ)本件発明1と引用発明1とは、 (1A)基板(GaAs基板)と、 (1B)該基板上に形成された、複数の化合物半導体層が積層された化合物半導体の積層体と を備え、 前記化合物半導体の積層体は、 (1C)該基板上に形成された、インジウム及びアンチモンを含み、n型ドーピングされた材料である第1の化合物半導体層(n+-AlInSb)と、 (1D)該第1の化合物半導体層上に形成され、ノンドープのInAsSbである第2の化合物半導体層(i-InAsSb)と、 (1e)該第2の化合物半導体層上に形成された、前記第2の化合物半導体層よりも高濃度にp型ドーピングされ、かつ前記第2の化合物半導体層よりも大きなバンドギャップを有する材料である第3の化合物半導体層(p+-AlInSb)と を備える (1F)ことを特徴とする赤外線センサ、 である点で一致している。 (ウ)本件発明1と引用発明1とは、構成要件(1E)(当審注:「該第2の化合物半導体層上に形成された、前記第2の化合物半導体層よりも高濃度にp型ドーピングされ、かつ前記第1の化合物半導体層、及び前記第2の化合物半導体層よりも大きなバンドギャップを有する材料であるAlZIn1-ZSb(0.1≦z≦0.5)の第3の化合物半導体層と」)のうち「前記第1の化合物半導体層・・・よりも大きなバンドギャップを有する材料である第3の化合物半導体層」という発明特定事項を引用発明1が有しているか否か不明である点で相違している(以下「相違点1」という。)。 しかし、相違点1に係る「前記第1の化合物半導体層・・・よりも大きなバンドギャップを有する材料である第3の化合物半導体層」という発明特定事項については、甲第2号証及び甲第3号証に記載されている。 (エ)甲第2号証(特にFig.1)に記載された引用発明2は、赤外線を検出するセンサであって、 基板上に形成された化合物半導体の積層体を備え、その化合物半導体の積層体が、インジウム及びアンチモンを含みn型ドーピングされた材料である第1の化合物半導体層(n-In0.85Al0.15As0.9Sb0.1バリア層)と、ノンドープのInAsSbである第2の化合物半導体層(i-InAs0.91Sb0.09光吸収層)と、前記第2の化合物半導体層よりも高濃度にp型ドーピングされ、かつ前記第1の化合物半導体層及び前記第2の化合物半導体層よりも大きなバンドギャップを有する材料である第3の化合物半導体層(p-Al0.5Ga0.5Sbバリア層)と、を備える。 (オ)引用発明2は、甲第2号証のFig.1に示されているように、第1の化合物半導体層(n-In0.85Al0.15As0.9Sb0.1及び第2の化合物半導体層(i-InAs0.91Sb0.09)それぞれのバンドギャップより、第3の化合物半導体層(p-Al0.5Ga0.5Sb)のバンドギャップが大きい。 (カ)甲第3号証(特にFig.1)に記載された引用発明3は、赤外線を検出するセンサであって、基板上に形成された化合物半導体の積層体を備え、その化合物半導体の積層体が、n型ドーピングされた材料である第1の化合物半導体層(n-InAs)と、ノンドープの光吸収層である第2の化合物半導体層(i-InAs光吸収層)と、前記第2の化合物半導体層よりも高濃度にp型ドーピングされ、かつ前記第1の化合物半導体層及び前記第2の化合物半導体層よりも大きなバンドギャップを有する材料である第3の化合物半導体層(p-In0.85Al0.15Asバリア層)と、を備える。引用発明3は、第1の化合物半導体層(n-InAs)及び第2の化合物半導体層(i-InAs)は同じ組成であるからバンドギャップが互いに等しく、これらより第3の化合物半導体層(p-In0.85Al0.15As)のバンドギャップが大きい。 (キ)引用発明2、3の何れも、引用発明1と同様に、p型の第3の化合物半導体層(バリア層)/i型の第2の化合物半導体層(吸収層)/n型の第1の化合物半導体層の構成を有する。そして、引用発明2、3の何れも、第1の化合物半導体層及び第2の化合物半導体層それぞれのバンドギャップより第3の化合物半導体層のバンドギャップが大きい。 特に、引用発明2は、引用発明1と同様に、第2の化合物半導体層(光吸収層)としてInAsSbを採用し、且つ、電子及びホールの双方に対するバリア層となる第1の化合物半導体層及び第3の化合物半導体層を採用している。 (ク)したがって、引用発明1において、引用発明2、3のように第1の化合物半導体層及び第2の化合物半導体層それぞれのバンドギャップより第3の化合物半導体層のバンドギャップを大きくするという周知の事項を適用することは、当業者にとって容易である。 (ケ)相違点1に係る「前記第1の化合物半導体層・・・よりも大きなバンドギャップを有する材料である第3の化合物半導体層」という発明特定事項は、その技術上の意義について本件特許明細書に何ら記載されていない。 本件発明1において、相違点1に係る発明特定事項は、技術上の意義を何ら有していない。 引用発明1において第1の化合物半導体層及び第2の化合物半導体層それぞれのバンドギャップより第3の化合物半導体層のバンドギャップを大きくすることは、当業者が適宜なし得る設計的事項にすぎない。第1の化合物半導体層のバンドギャップより第3の化合物半導体層のバンドギャップを大きくすることによる作用効果の存在は認められない。 (コ)引用発明2または3を引用発明1に適用して本件発明1とすることは、当業者が容易に想到し得るものである。 本件発明1の効果は、引用発明1の効果と何ら相違しない。 イ 請求項2 …(略)… ス 請求項13ないし18 …(略)… (2)口頭審理陳述要領書における主張(第7ないし15頁) …(略)… 3 無効理由2(特許法第17条の2第3項) (1)審判請求書における主張(第32ないし33頁) ア 本件発明1の「前記第1の化合物半導体層・・・よりも大きなバンドギャップを有する材料である第3の化合物半導体層」という発明特定事項は、出願当初の明細書等には記載されていない。 イ 出願当初の明細書においては、請求項13(登録時の請求項1に対応)等には「・・・第六化合物半導体層と、・・・第七化合物半導体層と、前記第七化合物半導体層よりも大きなバンドギャップを有する材料である第八化合物半導体層」と記載され、段落[0068]に「図10において・・・第七化合物半導体層17上には、第七化合物半導体層17よりも高濃度にp型ドーピングされた層(P層とも呼ぶ)であり、かつ第七化合物半導体層17よりもエネルギーバンドギャップが大きな第八化合物半導体層18が形成されている」と記載されているにすぎない。 ウ この発明特定事項は、平成18年3月3日に提出された特許協力条約第34条補正の写し(特許法第184条の8第2項の規定により同法第17条の2第1項の規定による補正がされたものとみなされる)において追加された新規事項であり(甲第11号証)、その後の平成19年8月7日及び同年11月5日に提出された手続補正書においても追加されたままである。 エ この発明特定事項を追加する補正は、出願当初の明細書等に記載した事項の範囲内においてしたものではない。 (2)口頭審理陳述要領書における主張(第19ないし21頁) …(略)… 4 無効理由3(特許法第36条第4項第1号違反:委任省令要件違反) (1)審判請求書における主張(第33頁) ア 本件発明1の「前記第1の化合物半導体層・・・よりも大きなバンドギャップを有する材料である第3の化合物半導体層」という発明特定事項の技術上の意義については、発明の詳細な説明に記載されておらず、不明である。 この発明特定事項は補正により追加されたものであるが、平成19年11月5日に提出された意見書においても、この発明特定事項の技術上の意義について記載されていない。 発明の詳細な説明は、この発明特定事項に関し、当業者が発明の技術上の意義を理解するために必要な事項を記載したものではなく、経済産業省令(特許法施行規則第24条の2)で定めるところにより記載したものではない。 (2)口頭審理陳述要領書における主張(第21ないし22頁) …(略)… 5 無効理由4(特許法第36条第6項第1号違反) (1)審判請求書における主張(第34ないし35頁) ア 請求項の記載「インジウム及びアンチモンを含み」という上位概念に対して、発明の詳細な説明において「第1の化合物半導体層」及び「第4の化合物半導体層」それぞれの材料の具体例として開示されているのは、一部の下位概念であるInSbのみである。 イ 「第1の化合物半導体層」及び「第4の化合物半導体層」に関し、請求項の記載の範囲「インジウム及びアンチモンを含み」まで、発明の詳細な説明に開示された内容(InSbのみ)を拡張ないし一般化できるとはいえない。 ウ 本件発明は、発明の詳細な説明において発明の課題が解決できることを当業者が認識できるように記載された範囲を超えるものである。 (2)口頭審理陳述要領書における主張(第22ないし23頁) …(略)… 6 無効理由5(特許法第36条第4項第1号違反:実施可能要件違反) (1)審判請求書における主張(第35ないし37頁) ア 請求項の記載「インジウム及びアンチモンを含み」という上位概念に対して、発明の詳細な説明において「第1の化合物半導体層」及び「第4の化合物半導体層」それぞれの材料の具体例として開示されているのは、一部の下位概念であるInSbのみである。 イ 「第1の化合物半導体層」及び「第4の化合物半導体層」に関し、発明の詳細な説明において、請求項に記載された上位概念「インジウム及びアンチモンを含み」に含まれる一部の下位概念(InSbのみ)についての実施の形態が記載されているのみであって、他の下位概念については実施できる程度に明確かつ十分に記載されていない。 (2)口頭審理陳述要領書における主張(第23ないし24頁) …(略)… 7 平成26年6月6日付け上申書 口頭審理陳述要領書(2)に添付された試験結果に対する反論 …(略)… 8 証拠方法 請求人が提出した甲号証は、以下のとおりである。 (1)甲第1号証 M. Razeghi, ″Demonstration of Uncooled InAsSb Photodetectors for Military Sensors, ″Center for Quantum Devices, Northwestern University (2)甲第2号証 A. Rakovska, ″Room temperature InAsSb photovoltaic midinfrared detector, ″ APPLIED PHYSICS LETTERS, Vol.77, No.3, pp.397-399(2000) (3)甲第3号証 J. Kaniewski,″Epitaxial InAs detectors optically immersed to GaAs microlenses, ″ Proceedings of SPIE Vol.4369, pp.721-729 (2001) (4)甲第4号証 M. Razeghi, ″Longwavelength InAsSb Infrared Photodetectors, ″ Center for Quantum Devices, Northwestern University (5)甲第5号証 A. K. DUTTA, ″WDM Technologies Active Optical Components,″ Academic Press (2002) (6)甲第6号証 特許第2674657号公報 (7)甲第7号証 特開平4-170526号公報 (8)甲第8号証 NTISのウェブサイトのうち甲第1号証の注文を購入希望者から受け付けるページの写し (9)甲第9号証 NTISのウェブサイトのうち甲第4号証の注文を購入希望者から受け付けるページの写し (10)甲第10号証 NTISのSue Feindt氏による供述書 (11)甲第11号証 再公表特許第2005/027228号公報 以上、「審判請求書」に添付。 (12)甲第12号証 平山宏之ら著、「雑音処理」、社団法人計測自動制御学会、昭和63年4月30日、初版発行 以上、「口頭審理陳述要領書」に添付。 第5 被請求人の反論の概要及び証拠方法 1 本件発明の技術的意義 (1)審判事件答弁書における主張(第2ないし6頁) ア 本件発明は、赤外線検知の分野、特に長波長帯の放射エネルギーを検知するような赤外線センサ、例えば人感センサの技術分野に関するものである(段落0001)。 従来、赤外線センサとして、熱型と量子型の2種類が存在したが、熱型の赤外線センサの場合は、電磁ノイズや熱ゆらぎの影響を受けやすく、小型にし難いという欠点がある。 一方、量子型の赤外線センサ、特にPIN構造を備える光ダイオード型の赤外線センサの場合には、室温動作時に拡散電流による漏れ電流が大きくなり、感度が高くならないため、赤外線センサを低温に冷却することで焦電センサの感度よりも100倍以上の高い感度を実現していた。しかし、冷却機構が必要となり、また、赤外線センサを頑丈な金属でパッケージ化する必要があるため、やはり小型化が困難であり、その用途には限りがあった(段落0002~段落0009)。 また、室温において冷却機構無しで、更なる高感度が実現できる赤外線センサが期待されていました(段落0067)。 本件発明は、室温での動作が可能であり、電磁ノイズや熱ゆらぎの影響も受けにくく、高感度な超小型の、赤外線センサを提供することを課題とするものである。 イ 第1のないし第3の化合物半導体層の技術的意義 (ア)第1の化合物半導体層 第1の化合物半導体層は、素子の中で最も大きい表面積を有し、表面積が大きいほどシート抵抗、すなわち結果としてセンサの抵抗が大きくなることから、第1の化合物半導体層は、シート抵抗を小さくするために採用されるものである。 (イ)第2の化合物半導体層 第2の化合物半導体層は、光吸収層として機能するものである。 (ウ)第3の化合物半導体層 第3の化合物半導体層は、拡散電流を抑制するバリア層として機能するものである。 (2)口頭審理陳述要領書における主張(第3ないし5頁) …(略)… (3)口頭審理陳述要領書(2)における主張 …(略)… 2 無効理由1(特許法第29条第2項違反) (1)審判事件答弁書における主張(第6ないし19頁) 請求人の主張を要約すると、以下に示すように、相違点1の容易想到性を主張していると思われる。 ・引用発明1と引用発明2または3との組み合わせ ・引用発明1と周知の事項との組み合わせ ・引用発明1からの適宜なし得る設計変更 したがって、以下では、それぞれに分けて反論する。 ア 引用発明1と引用発明2または3との組み合わせ …(略)… オ 本件発明1は、引用発明1ないし3に基いて、当業者が容易に発明をすることができたものではない。甲第4ないし第7号証に記載の発明を参酌しても、当業者が容易に発明をすることができたものではない。本件発明13についても同様である。 また、本件請求項2ないし12は本件請求項1を、本件請求項14ないし18は本件請求項13を、それぞれ、引用することから、本件発明2ないし12、14ないし18も、引用発明1ないし3に基いて、当業者が容易に発明をすることができたものではない。 3 無効理由2(特許法第17条の2第3項違反) 審判事件答弁書における主張(第19ないし24頁) …(略)… 4 無効理由3(特許法第36条第4項第1号違反:委任省令違反) 審判事件答弁書における主張(第24ないし25頁) …(略)… 5 無効理由4(特許法第36条第6項第1号違反) 審判事件答弁書における主張(第25ないし26頁) …(略)… 6 無効理由5(特許法第36条第4項第1号違反:実施可能要件違反) 審判事件答弁書における主張(第26ないし27頁) …(略)… 7 証拠方法 被請求人が提出した乙号証は、以下のとおりである。 (1)乙第1号証;赤崎勇著「III・V族化合物半導体」培風館、第150ないし151頁(写し) (2)乙第2号証;生駒俊明著「最新化合物半導体ハンドブック」(株)サイエンスフォーラム、第35頁(写し) (3)乙第3号証;国際予備審査機関に、平成17年4月6日に提出した手続補正書(写し) (4)乙第4号証;国際予備審査機関に、平成17年10月28日に提出した答弁書(写し) 第6 前審における、職権審理に基づく無効理由について 平成26年11月5日付け無効理由通知(以下「前審無効理由通知」という。)の内容は、おおよそ、以下のとおりである。 「第2 無効理由 1 優先権主張の効果 (1)本件特許発明1の「該第2の化合物半導体層上に形成された、前記第2の化合物半導体層よりも高濃度にp型ドーピングされ、かつ前記第1の化合物半導体層、及び前記第2の化合物半導体層よりも大きなバンドギャップを有する材料である第3の化合物半導体層」は、本件特許明細書の【0068】、【0071】ないし【0073】、【0075】、【0077】、【0078】、【0080】、【0092】及び図11に基づくものである(被請求人も審判事件答弁書(第20ないし24頁)で主張している。)ところ、上記記載及び図11は、後の出願により追加された箇所であり、先の出願(特願2003-316281号)には「該第2の化合物半導体層上に形成された、前記第2の化合物半導体層よりも高濃度にp型ドーピングされ、かつ前記第1の化合物半導体層、及び前記第2の化合物半導体層よりも大きなバンドギャップを有する材料である第3の化合物半導体層」は記載されていない。 したがって、本件特許発明1ないし18には、優先権主張の効果が認められない(なお、優先権主張の効果が認められる旨を主張する際は、その根拠となる記載箇所を指摘して説明してください。)。 (2)上記のとおり、本件特許には、優先権主張の効果は認められず、新規性・進歩性の判断基準日は、本件特許出願日の平成16年9月9日(2004年9月9日)である。 2 引用文献 (1)引用文献1 ・著者:UMID TUMKAYA(システム上の制限により、 ウムラウト表記は省略。以下同様。) ・表題:「PERFORMANCE ASSESMENT OF INDIUM ANTIMONIDE PHOTODETECTORS ON SILICON SUBSTRATES」 ・関連箇所:第39ないし81頁(第3章ないし第5章) ・媒体のタイプ:ONLINE(E-Theses) ・掲載者:THE MIDDLE EAST TECHNICAL UNIVERSITY(以下「METU」又は 「中東工科大学」という。) ・掲載場所:後述する「the Theses Catalogue」に論文のタイトルを 入力することで検索される「E-Theses」 ・検索日:平成26年10月15日 ・情報の情報源及びアドレス:http://etd.lib. metu.edu.tr/upload/756403 /index.pdf ・言語:英語 なお、「電気通信回線を通じて公衆に利用可能となった日」については、下記「4 引用文献1ないし5の公表日」を参照。 (2)引用文献2 UMID TUMKAYA,「PERFORMANCE ASSESMENT OF INDIUM ANTIMONIDE PHOTODETECTORS ON SILICON SUBSTRATES」の論文のコピーであって、METUの図書館に「Print Theses」として提出されたもの、METU、第39ないし81頁(第3章ないし第5章) なお、上記コピーが頒布された刊行物に該当する点については、下記「4 引用文献1ないし5の公表日」を参照。 (3)引用文献3 Tim Ashley、et.al.、「Epitaxial InSb for elevated temperature operation of large IR focal plane arrays」、Infrared Technology and Applications XXIX、Proc. of SPIE、2004.01.23、Vol.5074、p.95-102 (4)引用文献4 C.T.Elliott、「Advanced heterostructures for In1-xAlxSb and Hg1-xCdxTe detectors and emitters」、Infrared Technology and Applications XXII、SPIE、1996.10.22、Vol.2744、p452-461 (5)引用文献5 E.Michel、「Sb-based infrared materials and photodetectors for the 3-5 and 8-12 μm range」、Potodetectors:Materials and Devices、SPIE、1996.11.26、Vol.2685、p101-111 3 添付資料 (1)引用文献1及び引用文献2 …(略)… (4)引用文献5 …(略)… 4 引用文献1ないし5の公表日 (1)引用文献1及び引用文献2について …(略)… (4)引用文献5について …(略)… 5 上記1で指摘したとおり、本件特許には、優先権主張の効果は認められない。 したがって、新規性・進歩性の判断基準日は、本件特許出願日の平成16年9月9日(2004年9月9日)である。 このことを前提にして、【理由1】ないし【理由4】を通知する。 6 【理由1】 本件特許の請求項1、2、10、13、14に係る発明は、本件特許出願前に日本国内または外国において、電気通信回線を通じて公衆に利用可能となった発明(引用文献1を参照。)又は本件特許出願前に外国において頒布された引用文献2に記載された発明であるから、当該発明の特許は、特許法第29条第1項第3号の規定に違反してなされたものである。 7 【理由2】 本件特許の請求項1ないし18に係る発明は、本件特許出願前に日本国内または外国において、電気通信回線を通じて公衆に利用可能となった発明(引用文献1を参照。)又は本件特許出願前に外国において頒布された引用文献2に記載された発明に基づいて、その出願前にその発明の属する技術の分野における通常の知識を有する者が容易に発明をすることができたものであるから、当該発明の特許は、特許法第29条第2項の規定に違反してなされたものである。 8 【理由3】 本件特許の請求項1ないし18に係る発明は、本件特許出願前に日本国内または外国において頒布された引用文献3に記載された発明に基づいて、その出願前にその発明の属する技術の分野における通常の知識を有する者が容易に発明をすることができたものであるから、当該発明の特許は、特許法第29条第2項の規定に違反してなされたものである。 9 【理由4】 本件特許の請求項1ないし18に係る発明は、本件特許出願前に日本国内または外国において頒布された引用文献4に記載された発明に基づいて、その出願前にその発明の属する技術の分野における通常の知識を有する者が容易に発明をすることができたものであるから、当該発明の特許は、特許法第29条第2項の規定に違反してなされたものである。」 なお、上記前審無効理由通知における【理由1】ないし【理由4】は、上記「第4」において、請求人が主張する無効理由1ないし無効理由5と区別するために、以下では、それぞれ「前審無効理由6」ないし「前審無効理由9」という。 第7 当審の判断 1 本件訂正発明 「第3 本件訂正発明」で認定したとおりである。 2 無効理由1ないし5についての当審の判断 事案に鑑み、まず、無効理由2ないし無効理由5について検討し、最後に、無効理由1について検討する。 (1)無効理由2(特許法第17条の2第3項違反)について 特許法第184条の6第2項の規定により願書に添付して提出したものとみなされる国際特許出願の明細書及び図面(以下、「願書に最初に添付した明細書及び図面」又は「当初明細書等」という。)の記載から把握できる技術事項を総合的に勘案すると、本件訂正発明1の「第1の化合物半導体層、及び前記第2の化合物半導体層よりも大きなバンドギャップを有する材料である第3の化合物半導体層」との技術的事項は、当初明細書等のすべての記載を総合することにより導かれる技術的事項の範囲内であり、前記技術的事項を追加する補正は、新たな技術的事項を導入するものには該当しない。 よって、本件訂正発明1、13の発明特定事項のうち、「前記第1の化合物半導体層、及び前記第2の化合物半導体層よりも大きなバンドギャップを有する材料である第3の化合物半導体層」という発明特定事項を追加する補正は、当初明細書等に記載した事項の範囲内においてしたものと認められ、請求人の主張する無効理由2によっては、本件訂正発明1ないし18についての特許を無効とすることはできない。 (2)無効理由3(特許法第36条第4項第1号違反:委任省令違反)について 本件特許明細書の記載によれば、本件訂正発明1ないし18が解決しようとする課題は、拡散電流を抑制すること(本件特許明細書の【0067】参照。)にあり、基板上に、「バッファ層及び電極とのコンタクト層」として機能する第1の化合物半導体層、「光吸収層」として機能する第2の化合物半導体層及び「バリア層」として機能する第3の化合物半導体層を積層し、第3の化合物半導体層のバンドギャップを第2の化合物半導体層のバンドギャップよりも大きくする技術的手段を採用することで、拡散電流を大幅に減少させ、室温において冷却機構無しで、更なる高感度化を実現できること(本件特許明細書の【0067】ないし【0095】参照。)が理解できる。 つまり、発明の詳細な説明には、「発明が解決しようとする課題及びその解決手段その他のその発明の属する技術の分野における通常の知識を有する者が発明の技術上の意義を理解するために必要な事項」が記載されているといえる。 よって、請求人の主張する無効理由3によっては、本件訂正発明1ないし18についての特許を無効とすることはできない。 (3)無効理由4(特許法第36条第6項第1号違反)について 本件特許明細書における、第1の化合物半導体層及び第4の化合物半導体層に関連する段落【0071】、【0078】、【0091】、【0093】の記載から、第1の化合物半導体層は「バッファ層及び電極とのコンタクト層」として、第4の化合物半導体層は「コンタクト層」として機能する層であって、発明の詳細な説明には、その好ましい材料としてキャリア移動度の大きい「InSb」が例示されているが、材料が「InSb」に限られないことは明らかである。 したがって、実施例に、「InSb」を利用した例が示されているのみであるとしても、本件特許明細書に、第1及び第4の化合物半導体層の材料として「InSb」を利用した赤外線センサしか開示されていない、とすることはできない。 よって、本件訂正発明1ないし18は、本件特許明細書に記載された発明であるから、請求人の主張する無効理由4によっては、本件訂正発明1ないし18についての特許を無効とすることはできない。 (4)無効理由5(特許法第36条第4項第1号違反:実施可能要件違反)について 上記「(3)無効理由4(特許法第36条第6項第1号違反)」で検討したように、第1及び第4の化合物半導体層の材料として「InSb」に限られないことは、当業者に明らかであり、本件特許明細書の【0149】の実施例13に示された製造方法と同様に、例えば、第1及び第4の化合物半導体層として「InAsSb」、「InSbN」、「GaInAsSb」等を利用して赤外線センサを製造し得ることは、当業者が容易に理解し得ることである。 してみると、本件特許明細書に「InSb」を利用した例が示されているのみであるとしても、当業者が本件訂正発明1ないし18を実施することができる程度に明確かつ十分に記載されているものと認められる。 よって、本件特許明細書における発明の詳細な説明の記載は、本件訂正発明1ないし18を実施することができる程度に明確かつ十分に記載されているものと認められ、請求人の主張する無効理由5によっては、本件訂正発明1ないし18についての特許を無効とすることはできない。 (5)無効理由1(特許法第29条第2項違反)について ア 甲第1号証の記載より、甲第1号証には、次の発明(以下「引用発明1」という。」)が記載されているものと認められる。 「GaAs基板上に、基板側からn+-AlInSb層、i-InAsSb層及びp+-AlInSb層が順番に積層されたダブルヘテロ構造からなる赤外線を検知する非冷却フォトダイオードであって、 n+-AlInSb層は、およそ1018cm-3のドーピングレベルを有し、 i-InAsSb層は、~5×1016cm-3の真性キャリア濃度であり、 p+-AlInSb層は、1018cm-3のドーピングレベルを有し、 p+-AlInSb層のバンドギャップが、i-InAsSb層のバンドギャップよりも大きい、 赤外線を検知する非冷却フォトダイオード。」 イ また、甲第1号証の記載より、甲第1号証には、次の発明(以下「引用発明2」という。」)が記載されているものと認められる。 「GaAs基板上に、基板側からn+-AlInSb層、i-InAsSb層及びp+-AlInSb層が順番に積層されたダブルヘテロ構造からなる赤外線を検知する非冷却フォトダイオードの製造方法であって、 GaAs基板上に、およそ1018cm-3のドーピングレベルを有するn+-AlInSb層を積層する工程と、 n+-AlInSb層上に、~5×1016cm-3の真性キャリア濃度であるi-InAsSb層を積層する工程と、 i-InAsSb層上に、1018cm-3のドーピングレベルを有し、i-InAsSb層のバンドギャップよりも大きい材料であるp+-AlInSb層を積層する工程と、 を有する赤外線を検知する非冷却フォトダイオードの製造方法。」 ウ 本件訂正発明1について (ア)本件訂正発明1と引用発明1との対比 本件訂正発明1と引用発明1とは、以下の点で一致する。 <一致点> 「基板と、 該基板上に形成された、複数の化合物半導体層が積層された化合物半導体の積層体とを備え、室温において冷却機構無しで動作が可能な赤外線センサであって、 前記化合物半導体の積層体は、 該基板上に形成された、インジウム及びアンチモンを含み、n型ドーピングされた材料である第1の化合物半導体層と、 該第1の化合物半導体層上に形成されたInAsSbである第2の化合物半導体層と、 該第2の化合物半導体層上に形成された、前記第2の化合物半導体層よりも高濃度にp型ドーピングされ、かつ前記第2の化合物の半導体層よりも大きなバンドギャップを有する材料であるAlInSb第3の化合物半導体層と を備え、 前記第1の化合物半導体層のn型ドーピング濃度は、1×1018原子/cm3であり、 前記第3の化合物半導体層のp型ドーピング濃度は、1×1018原子/cm3である、 赤外線センサ。」 一方、両者は、以下の点で相違する。 <相違点1> 第2の化合物半導体層に関し、 本件訂正発明1は、「p型ドーピングされた」ものであるのに対して、 引用発明1は、i層であって、p型ドーピングされたものではない点。 <相違点2> 第3の化合物半導体層に関し、 本件訂正発明1は、「第1の化合物半導体層よりも大きなバンドギャップを有する材料であるAlZIn1-ZSb(0.1≦z≦0.5)」であるのに対して、 引用発明1は、n+-AlInSb層(「第1の化合物半導体層」に相当する。)よりも大きなバンドギャップを有する材料なのか否か不明な、p+-AlInSbである点。 (イ)相違点についての判断 a まず、相違点2について検討する。 (a)甲第1号証の記載によれば、最良のバリア材料として「AlInSb」を選択した後、まず、「n+-AlInSb層」を正孔に対するバリア層としたシングルヘテロ構造のフォトダイオードが調査され、その後、「p+-AlInSb層」を電子に対するバリア層として追加したダブルヘテロ構造のフォトダイオード(このダブルヘテロ構造のフォトダイオードが引用発明1である。)が調査されたことが理解できる。 (b)上記「n+-AlInSb層」及び「p+-AlInSb層」は、キャリア(正孔と電子)の拡散に対してバリア機能を奏するものであるが、甲第1号証には、キャリアの種類に応じてバリアの大きさ(つまり、バンドギャップの大きさ)を異ならせる旨の記載はなく、「p+-AlInSb層」のバンドギャップの大きさを「n+-AlInSb層」のバンドギャップよりも大きくする動機付けがない。 (c)以上のことから、引用発明1において、「p+-AlInSb層」のバンドギャップの大きさを「n+-AlInSb層」のバンドギャップよりも大きくすることは、当業者が容易になし得たことであるとはいえない。 (d)したがって、引用発明1において、相違点2に係る本件訂正発明1の構成を採用することが、当業者が甲第1号証ないし3号証の記載に基づいて容易になし得たことであるとはいえない。 b 以上の検討によれば、相違点1について検討するまでもなく、本件訂正発明1は、当業者が甲第1号証ないし3号証の記載に基づいて容易に発明をすることができたものであるとはいえない。 エ 本件訂正発明2ないし12について 本件訂正発明2ないし12は、本件訂正発明1の発明特定事項をすべて備えるとともに、さらに限定を付したものに相当するから、本件訂正発明1と同様に、当業者が甲第1号証ないし3号証の記載に基づいて容易に発明をすることができたものであるとはいえない。 また、甲第4ないし7号証にも、「p+-AlInSb層」のバンドギャップの大きさを「n+-AlInSb層」のバンドギャップよりも大きくすることを示唆する記載はない。 よって、本件訂正発明2ないし12は、当業者が甲第1号証ないし7号証の記載に基づいて容易に発明をすることができたものであるとはいえない。 オ 本件訂正発明13について (ア)本件訂正発明13と引用発明2との対比 本件訂正発明13と引用発明2とは、以下の点で一致する。 <一致点> 「室温において冷却機構無しで動作が可能な赤外線センサの製造方法であって、 基板上に、インジウム及びアンチモンを含み、n型ドーピングされた材料である第1の化合物半導体層を形成する工程と、 該第1の化合物半導体層上に、InAsSbである第2の化合物半導体層を形成する工程と、 該第2の化合物半導体層上に、前記第2の化合物半導体層よりも高濃度にp型ドーピングされ、かつ前記第2の化合物の半導体層よりも大きなバンドギャップを有する材料であるAlInSbの第3の化合物半導体層を形成する工程と を有し、 前記第1の化合物半導体層を形成する工程では、前記第1の化合物半導体層のn型ドーピンク濃度を1×1018原子/cm3とし、 前記第3の化合物半導体層を形成する工程では、前記第3の化合物半導体層のp型ドーピング濃度を1×1018原子/cm3とする、赤外線センサの製造方法。」 一方、両者は、以下の点で相違する。 <相違点3> 第2の化合物半導体層に関し、 本件訂正発明13は、「p型ドーピングされた」ものであるのに対して、引用発明2は、i層であって、p型ドーピングされたものではない点。 <相違点4> 第3の化合物半導体層に関し、 本件訂正発明13は、「第1の化合物半導体層よりも大きなバンドギャップを有する材料であるAlZIn1-ZSb(0.1≦z≦0.5)」であるのに対して、 引用発明2は、n+-AlInSb層(「第1の化合物半導体層」に相当する。)よりも大きなバンドギャップを有する材料なのか否か不明な、p+-AlInSbである点。 (イ)相違点についての判断 a まず、相違点4について検討する。 (a)甲第1号証の記載によれば、最良のバリア材料として「AlInSb」を選択した後、まず、「n+-AlInSb層」を正孔に対するバリア層としたシングルヘテロ構造のフォトダイオードが調査され、その後、「p+-AlInSb層」を電子に対するバリア層として追加したダブルヘテロ構造のフォトダイオード(このダブルヘテロ構造のフォトダイオードが引用発明2におけるフォトダイオードである。)が調査されたことが理解できる。 (b)上記「n+-AlInSb層」及び「p+-AlInSb層」は、キャリア(正孔と電子)の拡散に対してバリア機能を奏するものであって、甲第1号証には、キャリアの種類に応じてバリアの大きさ(つまり、バンドギャップの大きさ)を異ならせる旨の記載はなく、「p+-AlInSb層」のバンドギャップの大きさを「n+-AlInSb層」のバンドギャップよりも大きくする動機付けはない。 (c)以上のことから、引用発明2において、「p+-AlInSb層」のバンドギャップの大きさを「n+-AlInSb層」のバンドギャップよりも大きくすることは、当業者が容易になし得たことであるとはいえない。 (d)したがって、引用発明2において、相違点4に係る本件訂正発明13の構成を採用することが、当業者が甲第1号証ないし3号証の記載に基づいて容易になし得たことであるとはいえない。 b 以上の検討によれば、相違点3について検討するまでもなく、本件訂正発明13は、当業者が甲第1号証ないし3号証の記載に基づいて容易に発明をすることができたものであるとはいえない。 カ 本件訂正発明14ないし18について 本件訂正発明14ないし18は、本件訂正発明13の発明特定事項をすべて備えるとともに、さらに限定を付したものに相当するから、本件訂正発明13と同様に、当業者が甲第1号証ないし3号証の記載に基づいて容易に発明をすることができたものであるとはいえない。 また、甲第4ないし7号証にも、「p+-AlInSb層」のバンドギャップの大きさを「n+-AlInSb層」のバンドギャップよりも大きくすることを示唆する記載はない。 よって、本件訂正発明14ないし18は、当業者が甲第1号証ないし7号証の記載に基づいて容易に発明をすることができたものであるとはいえない。 キ 無効理由1についてのまとめ 本件訂正発明1ないし18についての特許は、審判請求人が主張する無効理由1によっては、無効とすることはできない。 3 前審無効理由6ないし9についての当審の判断 (1)知的財産高等裁判所における判示 知的財産高等裁判所が、上記判決(平成28年(行ケ)第10044号)において、「第4 2 取消事由1(引用発明Cに基づく本件発明1の進歩性判断の誤り)について」、「第4 3 取消事由2(引用発明Aに基づく本件発明1の進歩性判断の誤り)について」、「第4 4 取消事由3(引用発明Bに基づく本件発明1の進歩性判断の誤り)について」、「第4 5 取消事由4(本件発明2ないし18の進歩性判断の誤り)について」、「第4 6 結論」につき判示した内容は、おおよそ、以下のとおりである(判決、42~75頁を参照。)。 なお、上記「第1」における、平成28年1月4日付け審決の「一次判決」との置き換えに従い、「本件審決」は「本件審決(一次審決)」と置き換えした。また、丸数字は、「丸1」のように記載した。 「2 取消事由1(引用発明Cに基づく本件発明1の進歩性判断の誤り)について (1) 引用発明Cについて ア 引用例4(当審注:前記「3」に記載した前審無効理由通知における「引用文献4」)の記載 …(略)… イ 引用発明Cについて開示された事項 …(略)… (2) 引用発明Cの認定 ア …(略)… イ そして、前記(1)によれば、引用例4には、本件審決(一次審決)が認定した前記第2の3(6)アのとおり引用発明Cが記載されていることが認められる。 (当審注:引用発明Cは、次のとおりである。 「InSb基板と、 InSb基板側から、p+InSb層、p+In0.85Al0.15Sb層、π-InSb層及びn+InSb層を積層した積層体と、 p+InSb層上に形成されたp側電極と、 n+InSb層に形成されたn側電極と、 を備えた、InSb赤外線検出器であって、 p+InSb層は、2×1018cm-3の典型的なレベルにベリリウムを使用してドープされ、厚さが1μmの層であり、 p+In0.85Al0.15Sb層は、2×1018cm-3の典型的なレベルにベリリウムを使用してドープされ、厚さが0.02μmの層であり、 π-InSb層は、意図的にドープされておらず、厚さが1.3μmの層であり、 n+InSb層は、2×1018cm-3の電気的レベルにシリコンを使用してドープされ、厚さが1μmの層であり、 p+In0.85Al0.15Sb層のバンドギャップが、n+InSb層及びπ-InSb層のバンドギャップよりも大きく、 比検出能力が、室温でバイアスなしに2×109cmHz1/2w-1以上である、 赤外線検出器。」) よって、本件審決(一次審決)の引用発明Cの認定に誤りはない。 …(略)… (3) 本件発明1と引用発明Cとの対比 …(略)… そして、本件発明1と引用発明Cには、本件審決(一次審決)が認定した前記第2の3(6)ウのとおり、相違点c-1ないしc-3があることは当事者間に争いがない。 よって、本件審決(一次審決)の本件発明1と引用発明Cとの一致点及び相違点の認定に、誤りはない。 (4) 相違点c-1について ア …(略)… イ 実質的相違点、設計事項 (ア) 引用発明Cのπ-InSbからなる第2の化合物半導体層は、前記(1)ア(ウ)、(エ)のとおり、「近真性p」としての性質を示し、かつ、「Undoped」とされているから、その性質は、実質的に真性半導体に近く、p型としての性質は、結晶欠陥の存在等に由来する程度のものであって、ドーパントはなるべく除去されているものと認められる。 …(略)… (イ) したがって、ドーパントがなるべく除去されている引用発明Cの第2の化合物半導体層を、本件発明1の濃度の程度までp型ドーピングすることは、実質的にも相違し、本件発明1の濃度の程度にまでp型ドーピングすることは、実質的にも相違し、…(略)…された引用発明Cの構成を変更するものであるから、当業者が適宜なし得る設計事項であるということはできない。 ウ 周知技術の適用 (ア) 被告主張に係る周知技術について 被告は、…(略)…から、「丸1」光吸収層の…、「丸2」…、「丸3」…、「丸4」…ことが、光吸収層における周知技術と認められる旨主張する。 …(略)… したがって、被告の主張に係る前記周知技術のうち、少なくとも前記「丸1」及び「丸2」の周知技術は認めることができない。なお、…(略)… (イ) 本件審決(一次審決)が認定した周知技術について a 本件審決(一次審決)は、…(略)…本件特許の出願日当時、周知だったと認定した。 一方、…(略)… e 本件審決(一次審決)が認定した周知技術の検討 (a)…(略)… (b)…(略)… (c) 以上のとおり、赤外線検出器の検出能力を向上させるために、光吸収層に所定の濃度のp型ドーパントを含ませるのは、光吸収層(第2の化合物半導体層)の伝導帯の電子密度を低減させるという目的のために行われるものであって、また、それによって生じ得る現象を考慮しなければならない。 そうすると、本件審決(一次審決)が認定するように、赤外線検出器において、おおよそ雑音を低減する手段として、光吸収層にp型ドーピングを行うことが、本件特許の出願日当時、周知であったと認めることはできない。 (ウ) 本件特許の出願日当時の周知技術 a 前記(イ)e(b)によれば、本件特許の出願日当時、周知であったと認められる技術事項は、甲5ないし7から、赤外線検出器(InSbデバイス)は、一般的に、光吸収層に所定の濃度のp型ドーパントを含ませることにより、それによって生じ得る現象を考慮しなければならないものの、光吸収層(第2の化合物半導体層)の伝導帯の電子密度を低減させることによって、その検出能力を向上させることができるという技術事項にとどまるというべきである(以下、この技術事項を「本件周知技術」という。)。 b 被告の主張について …(略)… (エ) 本件周知技術の適用 a 動機付け …(略)… そうすると、本件周知技術が、光吸収層の伝導帯の電子密度を低減させることを課題として第2の化合物半導体層(光吸収層)にp型ドーパントを含ませるのに対し、引用発明Cは、バリア層として伝導帯レベル差ΔEを有しており、そのような課題を有しないから、光吸収層にp型ドーパントを含ませる必要がない。また、光吸収層にp型ドーパントを含ませることによって、一般的に赤外線検出器の検出能力が向上するとしても、それによって生じ得る現象を考慮することも必要であるから、当業者は、上記のような課題を有しない引用発明Cの光吸収層に、あえてp型ドーパントを含ませようとは考えない。 したがって、引用発明Cに、本件周知技術を適用する動機付けがあるということはできない。 b 阻害要因 前記(1)イ(ウ)のとおり、引用発明Cの赤外線検出器は、ワイドギャップ領域を設けることにより、すなわち、…(略)…伝導帯レベル差ΔEcを大きくとることにより、…(略)…検出能力を向上させるというものである。 一方、本件周知技術は、光吸収層に、伝導帯の電子密度が低減する所定の濃度に至るまでp型ドーパントを含ませるというものであるところ、その場合には、…(略)…ΔEcは、p型ドーパントに相当する分だけ小さくなる。 そうすると、…(略)…引用発明Cの作用は、本件周知技術を適用することにより、阻害されることになる。、 したがって、引用発明Cに、本件周知技術を適用することには阻害要因があるというべきである。 c 被告の主張について …(略)… (オ) よって、引用発明Cに周知技術を適用することにより、相違点c-1に係る本件発明1の構成を備えるようにすることを、当業者が容易に想到することができたということはできない。 (5) 相違点c-3について …(略)… そして、前記(4)のとおり、…ということはできないから、第3の化合物半導体層が、第2の化合物半導体層よりも高濃度にp型ドーピングされているという関係を有するということもまた、当業者が容易に想到することができたということはできない。 よって、引用発明Cにおいて、相違点c-3に係る本件発明1の構成を備えるようにすることを、当業者が容易に想到することができたということはできない。 (6) 小括 以上によれば、引用発明Cにおいて、相違点c-1及び相違点c-3に係る本件発明1の構成を備えるようにすることは、当業者が容易に想到することはできないから、相違点c-2について判断するまでもなく、本件発明1は、当業者が引用発明Cに基づいて容易に発明をすることができたものということはできない。 よって、取消事由1は理由がある。 3 取消事由2(引用発明Aに基づく本件発明1の進歩性判断の誤り)について (1) 引用発明Aについて ア 引用例1(当審注:前記「3」に記載した前審無効理由通知における「引用文献1」)の記載 …(略)… イ 引用発明Aについて開示された事項 …(略)… (2) 引用発明Aの認定 ア …(略)… イ そして、前記(1)アによれば、引用例1には、次のとおり引用発明Aが記載されていることが認められる(なお、本件審決(一次審決)と異なる箇所は下線部のとおりである。)。 Si基板と、Si基板側から、GaAsバッファー層、n+InSb層、π-InSb層及びp+Al0.1In0.9Sb層が積層された積層構造とを備えた、赤外線検出器であって、p+Al0.1In0.9Sb層のバンドギャップが、n+InSb層及びπ-InSb層のバンドギャップよりも大きく、室温において冷却機構無しで動作が可能であるか不明である、赤外線検出器。 ウ なお、本件審決(一次審決)は、…(略)…を認定していないものの、この点を、本件発明1との相違点a-1として認定しているから、かかる引用発明Aの認定の相違は審決の結論に影響を及ぼすものではない。 (3) 本件発明1と引用発明Aとの対比 …(略)… よって、本件審決(一次審決)の本件発明1と引用発明Aとの一致点及び相違点の認定に、誤りはない。 (4) 相違点a-3について ア …(略)… イ 実質的相違点、設計事項 (ア) 引用発明Aのπ-InSbからなる第2の化合物半導体層は、前記(1)ア(エ)のとおり、意図しないドーピングにより「真性p」に近く、かつ、「intrinsic」とされているから、その性質は、実質的に真性半導体に近く、p型としての性質は、結晶欠陥の存在等に由来する程度のものであって、ドーパントはなるべく除去されているものと認められる。 そして、引用例1は、前記(1)ア(エ)のとおり、ナローバンドギャップ半導体であるInSbを材料とする赤外線検出器が冷却される必要があるとした上で、第3の化合物半導体層に、広いバンドギャップを有するAlInSbを用い、また、第2の化合物半導体層には真性pに近い性質を有するInSbを用いた赤外線検出器を対象に、エネルギーバンド図も示しつつ、考察するものである。…(略)…引用例1には、(1)ア(オ)のとおり、エピ層の欠陥密度を低減するために成長条件と検出器の層構造を最適化することで、検出器の性能を向上させることが可能である旨記載されている。 そうすると、引用発明Aは、…(略)…伝導帯レベル差ΔEcを前提として、各半導体層間の層構造等を調整し、結晶欠陥を低減することにより、赤外線検出器の比検出能力を向上させるものということができる。 (イ) したがって、ドーパントがなるべく除去されている引用発明Aの第2の化合物半導体層を、本件発明1の濃度の程度にまでp型ドーピングすることは、実質的にも相違し、…(略)…された引用発明Aの構成を変更するものであるから、当業者が適宜なし得る設計事項であるということはできない。 ウ 周知技術の適用 (ア) 前記2(4)ウ(ア)ないし(ウ)のとおり、本件特許出願日当時、周知であったと認められる技術事項は、本件周知技術のとおりである。 a 動機付け …(略)… そうすると、本件周知技術が、光吸収層の伝導帯の電子密度を低減させることを課題として第2の化合物半導体層(光吸収層)にp型ドーパントを含ませるのに対し、引用発明Aは、バリア層として伝導帯レベル差ΔEを有しており、そのような課題を有しないから、光吸収層にp型ドーパントを含ませる必要がない。また、光吸収層にp型ドーパントを含ませることによって、一般的に赤外線検出器の検出能力が向上するとしても、それによって生じ得る現象を考慮することも必要であるから、当業者は、上記のような課題を有しない引用発明Aの光吸収層に、あえてp型ドーパントを含ませようとは考えない。 したがって、引用発明Aに、本件周知技術を適用する動機付けがあるということはできない。 b 阻害要因 引用例1には、…(略)…、引用発明Aにおいては、…(略)…伝導帯レベル差ΔEcを大きくとることにより、…(略)…検出能力を向上させるというものである。 一方、本件周知技術は、光吸収層に、伝導帯の電子密度が低減する所定の濃度に至るまでp型ドーパントを含ませるというものであるところ、その場合には、…(略)…伝導帯レベル差ΔEcは、p型ドーパントに相当する分だけ小さくなる。 そうすると、…(略)…引用発明Aの作用は、本件周知技術を適用することにより、阻害されることになる。、 したがって、引用発明Aに、本件周知技術を適用することには阻害要因があるというべきである。 c 被告の主張について …(略)… (ウ) よって、引用発明Aに周知技術を適用することにより、相違点a-3に係る本件発明1の構成を備えるようにすることを、当業者が容易に想到することができたということはできない。 (5) 相違点a-4について …(略)… そして、前記(4)のとおり、…(略)…ということはできないから、第3の化合物半導体層が、第2の化合物半導体層よりも高濃度にp型ドーピングされているという関係を有するということもまた、当業者が容易に想到することができたということはできない。 よって、引用発明Aにおいて、相違点a-4に係る本件発明1の構成を備えるようにすることを、当業者が容易に想到することができたということはできない。 (6) 小括 以上によれば、引用発明Aにおいて、相違点a-3及び相違点a-4に係る本件発明1の構成を備えるようにすることは、当業者が容易に想到することはできないから、相違点a-1及び相違点a-2について判断するまでもなく、本件発明1は、当業者が引用発明Aに基づいて容易に発明をすることができたものということはできない。 よって、取消事由2は理由がある。 4 取消事由3(引用発明Bに基づく本件発明1の進歩性判断の誤り)について (1) 引用発明Bについて ア 引用例3(当審注:前記「3」に記載した前審無効理由通知における「引用文献3」)の記載 …(略)… イ 引用発明Bについて開示された事項 …(略)… (2) 引用発明Bの認定 前記(1)によれば、引用例3には、本件審決(一次審決)が認定した前記第2の3(4)アのとおり引用発明Bが記載されていることが認められる。 (当審注:引用発明Bは、次のとおりである。 「InSb基板と、 InSb基板側から、n+InSb層、n-InSb層、p+In0.9Al0.1Sb層及びp+InSb層を積層した積層体とを備えた、赤外線検出器であって、 n+InSb層、n-InSb層及びp+InSb層における、各層のドーピングレベルは、それぞれ、約3×1018cm-3、2×1015cm-3及び2×1015cm-3であり、 p+In0.9Al0.1Sb層のバンドギャップが、n+InSb層及びn-InSb層のバンドギャップよりも大きい、 赤外線検出器。」 (3) 本件発明1と引用発明Bとの対比 本件発明1と引用発明Bは、本件審決(一次審決)が認定したとおり、前記第2の3(4)イの点で一致し、前記第2の3(4)ウのとおり相違する。 よって、本件審決(一次審決)の本件発明1と引用発明Bとの一致点及び相違点の認定に、誤りはない。 (4)相違点b-2について ア …(略)… イ 実質的相違点、設計事項 (ア) …(略)… そして、引用発明Bは、従来の基本的なInSbを材料とするp+-n-n+構造を前提に、p+層とn層との間に、In1-xAlxSbの薄層領域を導入することにより、電子の拡散を阻止するポテンシャル障壁を与えたものであるところ、引用例3には、In1-xAlxSbの薄層領域を導入するに当たり、当該薄層とn-InSbとのエネルギーバンドギャップが適当なものになるよう、当該薄層のp型ドーピングの濃度を調整している(前記(1)ア(ウ))。 そうすると、引用発明Bは、…(略)…伝導帯レベル差ΔEcに着目したものであって、第2の化合物半導体層と第3の化合物半導体層のドーピングの型やドーピング濃度は、…(略)…伝導帯レベル差ΔEcを生じさせ、赤外線検出器の比検出能力を向上させるために調整される要因であることは明らかである。 (イ) したがって、…(略)…引用発明Bの第2の化合物半導体層を、本件発明1の濃度の程度にまでp型ドーピングすることは、実質的にも相違し、…(略)…された引用発明Bの構成を変更するものであるから、当業者が適宜なし得る設計事項であるということはできない。 ウ 周知技術の適用 (ア) 前記2(4)ウ(ア)ないし(ウ)のとおり、本件特許出願日当時、周知であったと認められる技術事項は、本件周知技術のとおりである。 a 動機付け …(略)… そうすると、本件周知技術が、光吸収層の伝導帯の電子密度を低減させることを課題として第2の化合物半導体層(光吸収層)にp型ドーパントを含ませるのに対し、引用発明Bは、バリア層として伝導帯レベル差ΔEを有しており、そのような課題を有しないから、光吸収層にp型ドーパントを含ませる必要がない。また、光吸収層にp型ドーパントを含ませることによって、一般的に赤外線検出器の検出能力が向上するとしても、それによって生じ得る現象を考慮することも必要であるから、当業者は、上記のような課題を有しない引用発明Bの光吸収層に、あえてp型ドーパントを含ませようとは考えない。 したがって、引用発明Bに、本件周知技術を適用する動機付けがあるということはできない。 b 阻害要因 引用発明Bの赤外線検出器は、第3の化合物半導体層(In1-xAlxSb層)に、第2の化合物半導体層(InSb層)よりも、Egが広い材料を採用することにより、電子の拡散を阻止するポテンシャル障壁を伝導帯に設けて、第2の化合物半導体層から第3の化合物半導体層への電子の拡散を抑えるものである。(前記(1)イ(ウ)) 一方、本件周知技術は、光吸収層に、伝導帯の電子密度が低減する所定の濃度に至るまでp型ドーパントを含ませるものであるところ、その場合には、…(略)…ポテンシャル障壁(伝導帯レベル差ΔEc)は、p型ドーパントに相当する分だけ小さくなる。 そうすると、…(略)…引用発明Bの作用は、本件周知技術を適用することにより、阻害されることになる。 したがって、引用発明Bに、本件周知技術を適用することには阻害要因があるというべき。 c 被告の主張について …(略)… (ウ) よって、引用発明Bに周知技術を適用することにより、相違点b-2に係る本件発明1の構成を備えるようにすることを、当業者が容易に想到することができたということはできない。 (5) 相違点b-3について …(略)… そして、前記(4)のとおり、第3の化合物半導体層が、第2の化合物半導体層よりも高濃度にp型ドーピングされているという関係を有するということもまた、当業者が容易に想到することができたということはできない。 よって、引用発明Bにおいて、相違点b-3に係る本件発明1の構成を備えるようにすることを、当業者が容易に想到することができたということはできない。 (6) 小括 以上によれば、引用発明Bにおいて、相違点b-2及び相違点b-3に係る本件発明1の構成を備えるようにすることは、当業者が容易に想到することはできないから、相違点b-1について判断するまでもなく、本件発明1は、当業者が引用発明Bに基づいて容易に発明をすることができたものということはできない。 よって、取消事由3は理由がある。 5 取消事由4(本件発明2ないし18の進歩性判断の誤り)について (1) 本件発明2ないし12 本件発明2ないし12は、本件発明1の発明特定事項を全て含み、さらに他の限定を付したものであるから、当業者が引用発明AないしCに基づいて、容易に発明をすることができたということはできない。 (2) 本件発明13 …(略)… したがって、本件発明13は、当業者が、引用発明A’ないしC’に基づいて容易に発明をすることができたということはできない。 (3) 本件発明14ないし18 本件発明14ないし18は、本件発明13の発明特定事項を全て含み、さらに他の限定を付したものであるから、当業者が引用発明A’ないしC’に基づいて、容易に発明をすることができたということはできない。 (4) よって、取消事由4は理由がある。 6 結論 以上のとおり、原告主張の取消事由はいずれも理由があるから、原告の請求を認容することとし、主文のとおり判決する。」 そして、上記判決は、行政事件訴訟法第33条第1項の規定により、本件特許無効審判事件について、当合議体を拘束する。 以下では、最初に(2)で「前審無効理由9」について、次に(3)で「前審無効理由6、7」について、最後に(4)で「前審無効理由8」について検討する。 (2)前審無効理由通知における前審無効理由9について ア 引用文献4の記載及び引用文献4に記載された発明 引用文献4の記載より、一次審決が認定し、判決もこれを容認したとおり、引用文献4には、次の発明(以下「引用発明C」という。)が記載されているものと認める。 「InSb基板と、 InSb基板側から、p+InSb層、p+In0.85Al0.15Sb層、π-InSb層及びn+InSb層を積層した積層体と、 p+InSb層上に形成されたp側電極と、 n+InSb層に形成されたn側電極と、 を備えた、InSb赤外線検出器であって、 p+InSb層は、2×1018cm-3の典型的なレベルにベリリウムを使用してドープされ、厚さが1μmの層であり、 p+In0.85Al0.15Sb層は、2×1018cm-3の典型的なレベルにベリリウムを使用してドープされ、厚さが0.02μmの層であり、 π-InSb層は、意図的にドープされておらず、厚さが1.3μmの層であり、 n+InSb層は、2×1018cm-3の電気的レベルにシリコンを使用してドープされ、厚さが1μmの層であり、 p+In0.85Al0.15Sb層のバンドギャップが、n+InSb層及びπ-InSb層のバンドギャップよりも大きく、 比検出能力が、室温でバイアスなしに2×109cmHz1/2w-1以上である、 赤外線検出器。」 また、引用文献4の記載より、一次審決が認定し、判決もこれを容認したとおり、引用文献4には、次の発明(以下「引用発明C’」という。)が記載されているものと認める。 「InSb基板側から、p+InSb層、p+In0.85Al0.15Sb層、π-InSb層及びn+InSb層を積層した積層体を備えた、室温における比検出能力が、室温でバイアスなしに2×109cmHz1/2w-1以上の赤外線検出器の製造方法であって、 InSb基板上に、厚さが1μmのp+InSb層を積層する工程と、 p+InSb層上に、厚さが0.02μmのp+In0.85Al0.15Sb層を積層する工程と、 p+In0.85Al0.15Sb層上に、意図的にドープされていない厚さが1.3μmのπ-InSb層を積層する工程と、 π-InSb層上に、厚さが1μmのn+InSb層を積層する工程と、 p+InSb層にp側電極、n+InSb層にn側電極を形成する工程と、 を有し、 p+InSb層及びp+In0.85Al0.15Sb層を積層する工程では、2×1018cm-3の典型的なレベルにベリリウムを使用してドープし、 n+InSb層を積層する工程では、2×1018cm-3の電気的レベルにシリコンを使用してドープし、 p+In0.85Al0.15Sb層のバンドギャップが、π-InSb層及びn+InSb層のバンドギャップよりも大きい、 赤外線検出器の製造方法。」 イ 本件訂正発明1について (ア)本件訂正発明1と引用発明Cとの対比 一次審決が認定し、判決もこれを容認したとおり、本件訂正発明1と引用発明Cとの一致点及び相違点は、それぞれ次のとおりである。 <一致点> 「基板と、 該基板上に形成された、複数の化合物半導体層が積層された化合物半導体の積層体とを備え、室温において冷却機構無しで動作が可能な赤外線センサであって、 前記化合物半導体の積層体は、 インジウム及びアンチモンを含み、n型ドーピングされた材料である第1の化合物半導体層と、 InSbである第2の化合物半導体層と、 高濃度にp型ドーピングされ、かつ前記第1の化合物半導体層、及び前記第2の化合物半導体層よりも大きなバンドギャップを有する材料であるAl0.15In0.85Sbの第3の化合物半導体層と、 を備え、 前記第1の化合物半導体層のn型ドーピング濃度は、1×1018原子/cm3であり、 前記第3の化合物半導体層のp型ドーピング濃度は、1×1018原子/cm3である、赤外線センサ。」 <相違点c-1> InSbである第2の化合物半導体層に関して、 本件訂正発明1は、 a 「p型ドーピングされた」ものであって、 b 「p型ドーピング濃度は、1×1016原子/cm3以上1×1018原子/cm3未満」であるのに対して、 引用発明Cは、「意図的にドープされておらず」、「π-InSb」である点。 <相違点c-2> 積層体の積層順に関して、 本件訂正発明1は、基板上に、第1の化合物半導体層、第2の化合物半導体層、第3の化合物半導体層の順で形成されているのに対して、 引用発明Cは、基板上に、p+InSb層、p+In0.85Al0.15Sb層、π-InSb層及びn+InSb層の順で積層され、本件訂正発明1と積層順が逆である点。 <相違点c-3> 第3の化合物半導体層に関して、 本件訂正発明1は、「第2の化合物半導体層よりも高濃度にp型ドーピングされ」ているのに対し、 引用発明Cは、第3の化合物半導体層(p+In0.85Al0.15Sb層)は、高濃度にp型ドーピングされているものの、第2の化合物半導体層(π-InSb層)は、意図的にドープされていないから、本件訂正発明1の上記関係を有するものとは言えない点。 (イ)相違点についての判断 a 相違点c-1について 引用発明Cにおいて、相違点c-1に係る本件訂正発明1の構成を備えるようにすることを、当業者が容易に想到することができたか否かについて検討する。 (a) 実質的相違点、設計事項であるかについて 先ず、引用発明Cにおいて、相違点c-1は実質的相違点であるか否かについて、及び仮にそうでないとしても、相違点c-1に係る本件訂正発明1の構成を備えるようにすることは、当業者が適宜なし得る設計事項であるかについて、以下において検討する。 前記(1)の判決において判示した内容のとおり、引用発明Cのπ-InSbからなる第2の化合物半導体層は、「近真性p」としての性質を示し、かつ、「Undoped」とされているから、その性質は、実質的に真性半導体に近く、p型としての性質は、結晶欠陥の存在等に由来する程度のものであって、ドーパントはなるべく除去されているものと認められる。 そして、引用文献4には、前記(1)の判決において判示した内容のとおり、引用発明Cに係る赤外線検出器について、「前記バンド構造は、コンタクト領域から各々の少数キャリアの移動をほとんど生じさせず、それゆえ付加的なノイズもほとんど生じさせない」と記載されている。 そうすると、判決が認定したとおり、引用発明Cは、第2の化合物半導体層のドーパントをなるべく除去した上で、第3の化合物半導体層との間の伝導帯レベル差ΔEcに着目したものであるから、第2の化合物半導体層と第3の化合物半導体層のドーピングの型やドーピング濃度は、第2の化合物半導体層と第3の化合物半導体層との間に伝導帯レベル差ΔEcを生じさせ、比検出能力を向上させるために調整される要因であることは明らかである。 したがって、判決が認定したとおり、ドーパントがなるべく除去されている引用発明Cの第2の化合物半導体層を、本件発明1の濃度の程度までp型ドーピングすることは、実質的にも相違し、本件訂正発明1の濃度の程度にまでp型ドーピングすることは、実質的にも相違し、第2の化合物半導体層と第3の化合物半導体層との間に伝導帯レベル差ΔEcを生じさせ、比検出能力を向上させるために調整された引用発明Cの構成を変更するものであるから、当業者が適宜なし得る設計事項であるということはできない。 (b) 周知技術の適用について (b-1) 本件特許の出願日当時の周知技術 判決が認定したとおり、光吸収層のドーピングについて、引用例3、引用例4、甲5、甲6には、光吸収層のドーピングの調整によって、量子効率の最大化、ライフタイムの最大化、ノイズの最小化、熱によるキャリア生成に対する光によりキャリア生成の最大化、熱生成-再結合が起こる領域の最小化、オージェ再結合の抑制が図られる旨記載されており、また、甲7には、オージェ制限のある光検出器の検出能力の最大化は、p型ドーピングによって実現できる旨記載されている。 そうすると、判決が認定したとおり、赤外線検出器の検出能力を向上させるためには、その目的に応じて、光吸収層のドーピングを調整することが必要であるというべきである。 したがって、判決が認定したとおり、本件特許の出願日当時、周知であったと認められる技術事項は、甲5ないし7から、赤外線検出器(InSbデバイス)は、一般的に、光吸収層に所定の濃度のp型ドーパントを含ませることにより、それによって生じ得る現象を考慮しなければならないものの、光吸収層(第2の化合物半導体層)の伝導帯の電子密度を低減させることによって、その検出能力を向上させることができるという技術事項(前記(1)の判決において判示した内容の「本件周知技術」)というべきである。 (b-2) 本件周知技術の適用 (b-2-1) 動機付け 本件周知技術において、光吸収層に所定の濃度のp型ドーパントを含ませるのは、光吸収層の伝導帯の電子密度を低減させるという目的のために行われるものである。 これに対して、引用発明Cは、赤外線検出器の検出能力を向上させる一つの手段として、第2の化合物半導体層と第3の化合物半導体層との間の伝導帯レベル差ΔEcに着目し、かかる観点から、第2の化合物半導体層と第3の化合物半導体層との間のドーピングの型やドーピング濃度を調整したものであって、また、引用発明Cの第2の化合物半導体層のドーパントはなるべく除去されたものである。 そうすると、判決が認定したとおり、本件周知技術が、光吸収層の伝導帯の電子密度を低減させることを課題として第2の化合物半導体層(光吸収層)にp型ドーパントを含ませるのに対し、引用発明Cは、バリア層として伝導帯レベル差ΔEcを有しており、そのような課題を有しないから、光吸収層にp型ドーパントを含ませる必要がない。また、光吸収層にp型ドーパントを含ませることによって、一般的に赤外線検出器の検出能力が向上するとしても、それによって生じうる現象を考慮することも必要であるから、当業者は、上記のような課題を有しない引用発明Cの光吸収層に、あえてp型ドーパントを含ませようとは考えない。 したがって、判決が認定したとおり、引用発明Cに、本件周知技術を適用する動機付けがあるということはできない。 (b-2-2) 阻害要因 引用発明Cの赤外線検出器は、ワイドギャップ領域を設けることにより、すなわち、ドーパントがなるべく除去された第2の化合物半導体層と第3の化合物半導体層との間の伝導帯レベル差ΔEcを大きくとることにより、キャリアの熱生成レートを非常に小さくするとともに、コンタクト部におけるキャリア生成から活性領域を隔離することによって、検出能力を向上させるというものである。 一方、本件周知技術は、光吸収層に、伝導帯の電子密度が低減する所定の濃度に至るまでp型ドーパントを含ませるというものであるところ、その場合には、第2の化合物半導体層と第3の化合物半導体層との間の伝導帯レベル差ΔEcは、p型ドーパントに相当する分だけ小さくなる。 そうすると、判決が認定したとおり、伝導帯レベル差ΔEcを大きくとることによって、検出能力を向上させるという引用発明Cの作用は、本件周知技術を適用することにより、阻害されることになる。 したがって、判決が認定したとおり、引用発明Cに、本件周知技術を適用することには阻害要因があるというべきである。 よって、引用発明Cに周知技術を適用することにより、相違点c-1に係る本件訂正発明1の構成を備えるようにすることを、当業者が容易に想到することができたということはできない。 b 相違点c-3について 前記aのとおり、引用発明Cにおいて、第2の化合物半導体層をp型ドーピングすることを、当業者が容易に想到することができたということはできないから、第3の化合物半導体層が、第2の化合物半導体層よりも高濃度にp型ドーピングされているという関係を有することもまた、当業者が容易に想到することができたということはできない。 よって、判決が認定したとおり、引用発明Cにおいて、相違点c-3に係る本件訂正発明1の構成を備えるようにすることを、当業者が容易に想到することができたということはできない。 (ウ)本件訂正発明1についてのまとめ 以上によれば、引用発明Cにおいて、相違点c-1及び相違点c-3に係る本件訂正発明1の構成を備えるようにすることは、当業者が容易に想到することはできないから、相違点c-2について検討するまでもなく、本件訂正発明1は、当業者が引用発明Cに基づいて容易に発明をすることができたものということはできない。 ウ 本件訂正発明2ないし12について 本件訂正発明2ないし12は、本件訂正発明1の発明特定事項を全て含み、さらに他の限定を付したものであるから、当業者が引用発明Cに基づいて容易に発明をすることができたということはできない。 エ 本件訂正発明13について 本件訂正発明13は、本件訂正発明1に係る赤外線センサの製造方法である。 一方、引用文献4には、上記アのとおり、一次審決が認定し、判決もこれを容認したとおり、引用発明C’が記載されているものと認められる。 また、本件訂正発明13と引用発明C’との一致点及び相違点は、一次審決が認定し、判決もこれを容認したとおりであるところ、相違点は、以下の相違点c-イ、相違点c-ハを含む。 <相違点c-イ> InSbである第2の化合物半導体層に関して、 本件訂正発明13は、 a 「p型ドーピングされた」ものであって、 b 「p型ドーピング濃度は、1×1016原子/cm3以上1×1018原子/cm3未満とし」たものであるのに対して、 引用発明C’は、「意図的にドープされておらず」、「π」である点。 <相違点c-ハ> 第3の化合物半導体層に関して、 本件訂正発明13は、「第2の化合物半導体層よりも高濃度にp型ドーピングされ」ているのに対し、 引用発明C’は、第3の化合物半導体層(p+In0.85Al0.15Sb層)は、高濃度にp型ドーピングされているものの、第2の化合物半導体層(π-InSb層)は、意図的にドープされていないから、本件訂正発明13の上記関係を有するものとは言えない点。 そうすると、判決が認定したとおり、上記イ(イ)a、bにおける相違点c-1、相違点c-3についての検討と同様に、引用発明C’において、相違点c-イ、相違点c-ハに係る本件訂正発明13の構成を備えるようにすることを、当業者が容易に想到することができたということはできない。 オ 本件訂正発明14ないし18について 本件訂正発明14ないし18は、本件訂正発明13の発明特定事項を全て含み、さらに他の限定を付したものであるから、当業者が引用発明C’に基づいて容易に発明をすることができたということはできない。 カ 小括 以上のとおりであるから、本件訂正発明1ないし18についての特許は、前審無効理由通知で通知した前審無効理由9によっては、無効とすることはできない。 (3)前審無効理由通知における前審無効理由6、7について ア 引用文献1及び引用文献2の記載(以下、両者をまとめて「METU論文」という。)並びにMETU論文に記載された発明 METU論文の記載より、判決が認定したとおり、METU論文には、次の発明(以下「引用発明A」という。)が記載されているものと認める。 なお、一次審決の認定と異なる箇所に下線を付与した。 「Si基板と、 Si基板側から、GaAsバッファー層、n+InSb層、π-InSb層及びp+Al0.1In0.9Sb層が積層された積層構造とを備えた、赤外線検出器であって、 p+Al0.1In0.9Sb層のバンドギャップが、n+InSb層及びπ-InSb層のバンドギャップよりも大きく、室温において冷却機構無しで動作が可能であるか不明である、赤外線検出器。」 また、METU論文の記載より、一次審決が認定し、判決もこれを容認したとおり、METU論文には、次の発明(以下「引用発明A′」という。)が記載されているものと認める。 「Si基板側から、GaAsバッファー層、n+InSb層、π-InSb層及びp+Al0.1In0.9Sb層が積層された積層構造を備えた、赤外線検出器の製造方法であって、 Si基板上に、GaAsバッファー層を積層する工程と、 GaAsバッファー層上に、n+InSb層を積層する工程と、 n+InSb層上に、π-InSb層を積層する工程と、 π-InSb層上に、n+InSb層及びπ-InSb層のバンドギャップよりも大きいp+Al0.1In0.9Sb層を積層する工程と、 を有する赤外線検出器の製造方法。」 イ 本件訂正発明1について (ア)本件訂正発明1と引用発明Aとの対比 一次審決が認定し、判決もこれを容認したとおり、本件訂正発明1と引用発明Aとの一致点及び相違点は、それぞれ次のとおりである。 <一致点> 「基板と、 該基板上に形成された、複数の化合物半導体層が積層された化合物半導体の積層体とを備えた赤外線センサであって、 前記化合物半導体の積層体は、 該基板上に形成された、インジウム及びアンチモンを含み、n型ドーピングされた材料である第1の化合物半導体層と、 該第1の化合物半導体層上に形成され、InSbである第2の化合物半導体層と、 該第2の化合物半導体層上に形成された、高濃度にp型ドーピングされ、かつ前記第1の化合物半導体層、及び前記第2の化合物半導体層よりも大きなバンドギャップを有する材料であるAl0.1In0.9Sbの第3の化合物半導体層と、 を備える、赤外線センサ。」 <相違点a-1> 赤外センサの特性に関して、 本件訂正発明1は、「室温において冷却機構無しで動作が可能」であるのに対して、 引用発明Aは、室温において冷却機構無しで動作が可能であるか不明である点。 <相違点a-2> 第1の化合物半導体層に関して、 本件訂正発明1は、「n型ドーピング濃度は、1×1018原子/cm3以上」であるのに対して、 引用発明Aは、n+型ではあるものの、n型ドーピング濃度が不明である点。 <相違点a-3> 第2の化合物半導体層に関して、 本件訂正発明1は、 a 「p型ドーピングされた」ものであって、 b 「p型ドーピング濃度は、1×1016原子/cm3以上1×1018原子/cm3未満」であるのに対して、 引用発明Aは、π-InSbである点。 <相違点a-4> 第3の化合物半導体層に関して、 本件訂正発明1は、「第2の化合物半導体層よりも高濃度にp型ドーピングされ」、「p型ドーピング濃度は、1×1018原子/cm3以上」であるのに対して、 引用発明Aは、p+型ではあるものの、p型ドーピング濃度が不明で、本件訂正発明1の上記関係を有するものか否か不明である点。 (イ)相違点についての判断 a 相違点a-3について 引用発明Aにおいて、相違点a-3に係る本件訂正発明1の構成を備えるようにすることを、当業者が容易に想到することができたか否かについて検討する。 (a) 実質的相違点、設計事項であるかについて 先ず、引用発明Aにおいて、相違点a-3は実質的相違点であるか否かについて、及び仮にそうでないとしても、相違点a-3に係る本件訂正発明1の構成を備えるようにすることは、当業者が適宜なし得る設計事項であるかについて、以下において検討する。 前記(1)の判決において判示した内容のとおり、引用発明Aのπ-InSbからなる第2の化合物半導体層は、意図しないドーピングにより「真性p」に近く、かつ、「intrinsic」とされているから、その性質は、実質的に真性半導体に近く、p型としての性質は、結晶欠陥の存在等に由来する程度のものであって、ドーパントはなるべく除去されているものと認められる。 前記(1)の判決において判示した内容のとおり、そして、METU論文は、ナローバンドギャップ半導体であるInSbを材料とする赤外線検出器が冷却される必要があるとした上で、第3の化合物半導体層に、広いバンドギャップを有するAlInSbを用い、また、第2の化合物半導体層には真性pに近い性質を有するInSbを用いた赤外線検出器を対象に、エネルギーバンド図も示しつつ、考察するものである。その上で、METU論文には、エピ層の欠陥密度を低減するために成長条件と検出器の層構造を最適化することで、検出器の性能を向上させることが可能である旨記載されている。 そうすると、引用発明Aは、第2の化合物半導体層と第3の化合物半導体層との間の伝導帯レベル差ΔEcを前提として、各半導体層間の層構造等を調整し、結晶欠陥を低減することにより、赤外線検出器の比検出能力を向上させるものということができる。 したがって、判決が認定したとおり、ドーパントがなるべく除去されている引用発明Aの第2の化合物半導体層を、本件訂正発明1の濃度の程度にまでp型ドーピングすることは、実質的にも相違し、引用発明Aの構成を変更するものであるから、当業者が適宜なし得る設計事項であるということはできない。 (b) 周知技術の適用について (b-1) 本件特許の出願日当時の周知技術 前記(2)イ(イ)a(b)(b-1)のとおり、本件特許の出願日当時、周知であったと認められる技術事項は、判決が認定した、本件周知技術のとおりである。 (b-2) 本件周知技術の適用 (b-2-1) 動機付け 本件周知技術において、光吸収層に所定の濃度のp型ドーパントを含ませるのは、光吸収層の伝導帯の電子密度を低減させるという目的のために行われるものである。 これに対して、引用発明Aは、赤外線検出器の検出能力を向上させる一つの手段として、第2の化合物半導体層と第3の化合物半導体層との間の伝導帯レベル差ΔEcを前提とし、層構造等を調整することにより各半導体層間の結晶欠陥を低減したものであって、また、引用発明Aの第2の化合物半導体層のドーパントはなるべく除去されたものである。 そうすると、判決が認定したとおり、本件周知技術が、光吸収層の伝導帯の電子密度を低減させることを課題として第2の化合物半導体層(光吸収層)にp型ドーパントを含ませるのに対し、引用発明Aは、バリア層として伝導帯レベル差ΔEcを有しており、そのような課題を有しないから、光吸収層にp型ドーパントを含ませる必要がない。また、光吸収層にp型ドーパントを含ませることによって、一般的に赤外線検出器の検出能力が向上するとしても、それによって生じ得る現象を考慮することも必要であるから、当業者は、上記のような課題を有しない引用発明Aの光吸収層に、あえてp型ドーパントを含ませようとは考えない。 したがって、判決が認定したとおり、引用発明Cに、本件周知技術を適用する動機付けがあるということはできない。 (b-2-2) 阻害要因 METU論文には、第2の化合物半導体層において室温における熱生成キャリアの量が多いとした上で、第3の化合物半導体層に広いEgを有する材料を用いる旨が記載されていることからすれば、引用発明Aにおいては、ドーパントがなるべく除去された第2の化合物半導体層と第3の化合物半導体層との間の伝導帯レベル差ΔEcを大きくとることにより、熱生成キャリアの拡散を防止し、検出能力を向上させることが前提になっているものということができる。 一方、本件周知技術は、光吸収層に、光吸収層の伝導帯の電子密度が低減する所定の濃度に至るまでp型ドーパントを含ませるものであるところ、その場合には、第2の化合物半導体層と第3の化合物半導体層との間の伝導帯レベル差ΔEcは、p型ドーパントに相当する分だけ小さくなる。 そうすると、判決が認定したとおり、伝導帯レベル差ΔEcを大きくとることによって、検出能力を向上させるという引用発明Cの作用は、本件周知技術を適用することにより、阻害されることになる。 したがって、引用発明Aに、本件周知技術を適用することには阻害要因があるというべきである。 よって、引用発明Aに周知技術を適用することにより、相違点a-3に係る本件訂正発明1の構成を備えるようにすることを、当業者が容易に想到することができたということはできない。 b 相違点a-4について 前記aのとおり、引用発明Cにおいて、第2の化合物半導体層をp型ドーピングすることを、当業者が容易に想到することができたということはできないから、第3の化合物半導体層が、第2の化合物半導体層よりも高濃度にp型ドーピングされているという関係を有することもまた、当業者が容易に想到することができたということはできない。 よって、判決が認定したとおり、引用発明Cにおいて、相違点c-3に係る本件訂正発明1の構成を備えるようにすることを、当業者が容易に想到することができたということはできない。 (ウ)本件訂正発明1についてのまとめ 以上によれば、本件訂正発明1と引用発明Aとを対比すると、相違点a-1ないし相違点a-4を有するから、本件訂正発明1は、引用発明Aであるとはいえない。 また、引用発明Aにおいて、相違点a-3及び相違点a-4に係る本件訂正発明1の構成を備えるようにすることは、当業者が容易に想到することはできないから、相違点a-1及びa-2について検討するまでもなく、本件訂正発明1は、当業者が引用発明Aに基づいて容易に発明をすることができたものということはできない。 ウ 本件訂正発明2ないし12について 本件訂正発明2ないし12は、本件訂正発明1の発明特定事項を全て含み、さらに他の限定を付したものであるから、本件訂正発明2、10は、引用発明Aであるとはいえず、また、本件訂正発明2ないし12は、当業者が引用発明Aに基づいて容易に発明をすることができたということはできない。 エ 本件訂正発明13について 本件訂正発明13は、本件訂正発明1に係る赤外線センサの製造方法である。 一方、引用文献4には、上記アのとおり、一次審決が認定し、判決もこれを容認したとおり、引用発明A’が記載されているものと認められる。 また、本件訂正発明13と引用発明A’との一致点及び相違点は、一次審決が認定し、判決もこれを容認したとおりであるところ、相違点は、以下の相違点a-ハ、相違点a-ニを含む。 <相違点a-ハ> 第2の化合物半導体層及び第2の化合物半導体層を形成する工程に関して、 本件訂正発明13は、「p型ドーピングされた」ものであって、「p型ドーピング濃度を1×1016原子/cm3以上1×1018原子/cm3未満」とするのに対して、 引用発明A’は、πである点。 <相違点a-ニ> 第3の化合物半導体層を形成する工程に関して、 本件訂正発明13は、「第2の化合物半導体層よりも高濃度にp型ドーピングされ」、「p型ドーピング濃度を1×1018原子/cm3以上」とするのに対して、引用発明A’は、p+型ではあるものの、第3の化合物半導体層(p+In0.85Al0.15Sb層)は、高濃度にp型ドーピングされているものの、p型ドーピング濃度が不明で、本件訂正発明13の上記関係を有するものであるか否か不明である点。 そうすると、本件訂正発明13と引用発明A’とを対比すると、相違点a-ハないし相違点a-ニを有するから、本件訂正発明13は、引用発明A’であるとはいえない。 また、判決が認定したとおり、上記イ(イ)a、bにおける相違点a-3、相違点a-4についての検討と同様に、引用発明A’において、相違点a-ハ、相違点a-ニに係る本件訂正発明13の構成を備えるようにすることを、当業者が容易に想到することができたということはできない。 オ 本件訂正発明14ないし18について 本件訂正発明14ないし18は、本件訂正発明13の発明特定事項を全て含み、さらに他の限定を付したものであるから、本件訂正発明14は、引用発明A’であるとはいえず、また、本件訂正発明14ないし18は、当業者が引用発明A’に基づいて容易に発明をすることができたということはできない。 カ 小括 以上のとおりであるから、本件訂正発明1ないし18についての特許は、前審無効理由通知で通知した前審無効理由6、7によっては、無効とすることはできない。 (4)前審無効理由通知における前審無効理由8について ア 引用文献3の記載及び引用文献3に記載された発明 引用文献3の記載より、一次審決が認定し、判決もこれを容認したとおり、引用文献3には、次の発明(以下「引用発明B」という。)が記載されているものと認める。 「InSb基板と、 InSb基板側から、n+InSb層、n-InSb層、p+In0.9Al0.1Sb層及びp+InSb層を積層した積層体とを備えた、赤外線検出器であって、 n+InSb層、n-InSb層及びp+InSb層における、各層のドーピングレベルは、それぞれ、約3×1018cm-3、2×1015cm-3 及び2×1018cm-3であり、 p+In0.9Al0.1Sb層のバンドギャップが、n+InSb層及びn-InSb層のバンドギャップよりも大きい、 赤外線検出器。」 引用文献3の記載より、一次審決が認定し、判決もこれを容認したとおり、引用文献3には、次の発明(以下「引用発明B’」という。)が記載されているものと認める。 「InSb基板側から、n+InSb層、n-InSb層、p+In0.9Al0.1Sb層及びp+InSb層を積層した積層体を備えた、赤外線検出器の製造方法であって、 InSb基板上に、n+InSb層を積層する工程と、 n+InSb層上に、n-InSb層を積層する工程と、 n-InSb層上に、n+InSb層及びn-InSb層のバンドギャップよりも大きいp+In0.9Al0.1Sb層を積層する工程と、 p+In0.9Al0.1Sb層上に、p+InSb層を積層する工程と、 を有し、 n+InSb層、n-InSb層及びp+InSb層における、各層のドーピングレベルは、それぞれ、約3×1018cm-3、2×1015cm-3 及び2×1018cm-3である、 赤外線検出器の製造方法。」 イ 本件訂正発明1について (ア)本件訂正発明1と引用発明Bとの対比 一次審決が認定し、判決もこれを容認したとおり、本件訂正発明1と引用発明Bとの一致点及び相違点は、それぞれ次のとおりである。 <一致点> 「基板と、 該基板上に形成された、複数の化合物半導体層が積層された化合物半導体の積層体とを備えた赤外線センサであって、 前記化合物半導体の積層体は、 該基板上に形成された、インジウム及びアンチモンを含み、n型ドーピングされた材料である第1の化合物半導体層と、 該第1の化合物半導体層上に形成された、InSbである第2の化合物半導体層と、 該第2の化合物半導体層上に形成された、高濃度にp型ドーピングされ、かつ前記第1の化合物半導体層、及び前記第2の化合物半導体層よりも大きなバンドギャップを有する材料であるAl0.1In0.9Sbの第3の化合物半導体層と を備え、 前記第1の化合物半導体層のn型ドーピング濃度は、1×1018原子/cm3である、 赤外線センサ。」 <相違点b-1> 赤外センサの特性に関して、 本件訂正発明1は、「室温において冷却機構無しで動作が可能」であるのに対して、  引用発明Bは、そのようなものではない点。 <相違点b-2> 第2の化合物半導体層に関して、 本件訂正発明1は、 a 「p型ドーピングされた」ものであって、 b 「p型ドーピング濃度は、1×1016原子/cm3以上1×1018原子/cm3未満」であるのに対して、 引用発明Bは、n-InSb層であって、p型ドーピングされたものではない点。 <相違点b-3> 第3の化合物半導体層のp型ドーピング濃度に関して、 本件訂正発明1は、「前記第2の化合物半導体層よりも高濃度にp型ドーピングされ」、「p型ドーピング濃度は、1×1018原子/cm3以上である」のに対して、 引用発明Bは、第3の化合物半導体層(p+Al0.1In0.9Sb層)は、高濃度にp型ドーピングされているものの、第2の化合物半導体層(n-InSb層)は、n-であるから、本件訂正発明1の上記関係を有するものとはいえない点。 (イ)相違点についての判断 a 相違点b-2について 引用発明Bにおいて、相違点b-2に係る本件訂正発明1の構成を備えるようにすることを、当業者が容易に想到することができたか否かについて検討する。 (a) 実質的相違点、設計事項であるかについて 先ず、引用発明Bにおいて、相違点b-2は実質的相違点であるか否かについて、及び仮にそうでないとしても、相違点b-2に係る本件訂正発明1の構成を備えるようにすることは、当業者が適宜なし得る設計事項であるかについて、以下において検討する。 引用発明Bの第2の化合物半導体層は、n-InSbであって、p型のドーパントは含まれていない。 前記(1)の判決において判示した内容のとおり、引用発明Bは、従来の基本的なInSbを材料とするp+-n-n+構造を前提に、p+層とn層との間に、InAlSbの薄層領域を導入することにより、電子の拡散を阻止するポテンシャル障壁を与えたものであるところ、引用文献3には、薄層領域を導入するに当たり、当該薄層とn-InSbとのエネルギーバンドギャップが適当なものになるよう、当該薄層のp型ドーピングの濃度を調整している。 そうすると、引用発明Bは、第2の化合物半導体層と第3の化合物半導体層との間の伝導帯レベル差ΔEcに着目したものであって、第2の化合物半導体層と第3化合物半導体層のドーピングの型やドーピング濃度は、第2の化合物半導体層と第3の化合物半導体層との間の伝導帯レベル差ΔEcを生じさせ、赤外線検出器の比検出能力を向上させるために調整される要因であることは明らかである。 したがって、判決が認定したとおり、p型のドーパントは含まれていない引用発明Bの第2の化合物半導体層を、本件訂正発明1の濃度の程度にまでp型ドーピングすることは、実質的にも相違し、引用発明Bの構成を変更するものであるから、当業者が適宜なし得る設計事項であるということはできない。 (b) 周知技術の適用について (b-1) 本件特許の出願日当時の周知技術 前記(2)イ(イ)a(b)(b-1)のとおり、本件特許の出願日当時、周知であったと認められる技術事項は、判決が認定した、本件周知技術のとおりである。 (b-2) 本件周知技術の適用 (b-2-1) 動機付け 本件周知技術において、光吸収層に所定の濃度のp型ドーパントを含ませるのは、光吸収層の伝導帯の電子密度を低減させるという目的のために行われるものである。 これに対して、引用発明Bは、赤外線検出器の検出能力を向上させる一つの手段として、第2の化合物半導体層と第3の化合物半導体層との間の伝導帯レベル差ΔEcに着目したものであって、かかる観点から、第2の化合物半導体層と第3の化合物半導体層との間のドーピングの型やドーピング濃度を調整したものである。また、引用発明Bの第2の化合物半導体層のはn型ドーピングされたものであって、p型ドーパントは含まれていない。 そうすると、判決が認定したとおり、本件周知技術が、光吸収層の伝導帯の電子密度を低減させることを課題として第2の化合物半導体層(光吸収層)にp型ドーパントを含ませるのに対し、引用発明Bは、バリア層として伝導帯レベル差ΔEcを有しており、そのような課題を有しないから、光吸収層にp型ドーパントを含ませる必要がない。また、光吸収層にp型ドーパントを含ませることによって、一般的に赤外線検出器の検出能力が向上するとしても、それによって生じうる現象を考慮することも必要であるから、当業者は、上記のような課題を有しない引用発明Bの光吸収層に、あえてp型ドーパントを含ませようとは考えない。 したがって、判決が認定したとおり、引用発明Bに、本件周知技術を適用する動機付けがあるということはできない。 (b-2-2) 阻害要因 引用発明Bの赤外線検出器は、第3の化合物半導体層(In1-xAlxSb層)に、第2の化合物半導体層(InSb層)よりも、エネルギーギャップが広い材料を採用することにより、電子の拡散を阻止するポテンシャル障壁を伝導帯に設けて、第2の化合物半導体層から第3の化合物半導体層への電子の拡散を抑えるものである。 一方、本件周知技術は、光吸収層に、伝導帯の電子密度が低減する所定の濃度に至るまでp型ドーパントを含ませるものであるところ、その場合には、第2の化合物半導体層と第3の化合物半導体層との間の伝導帯レベル差ΔEcは、p型ドーパントに相当する分だけ小さくなる。 そうすると、判決が認定したとおり、伝導帯レベル差ΔEcを設けることによって、検出能力を向上させるという引用発明Bの作用は、本件周知技術を適用することにより、阻害されることになる。 したがって、引用発明Bに、本件周知技術を適用することには阻害要因があるというべき。 よって、判決が認定したとおり、引用発明Bに周知技術を適用することにより、相違点b-2に係る本件訂正発明1の構成を備えるようにすることを、当業者が容易に想到することができたということはできない。 b 相違点b-3について 前記aのとおり、引用発明Bにおいて、第2の化合物半導体層をp型ドーピングすることを、当業者が容易に想到することができたということはできないから、第3の化合物半導体層が、第2の化合物半導体層よりも高濃度にp型ドーピングされているという関係を有することもまた、当業者が容易に想到することができたということはできない。 よって、判決が認定したとおり、引用発明Bにおいて、相違点b-3に係る本件訂正発明1の構成を備えるようにすることを、当業者が容易に想到することができたということはできない。 (ウ)本件訂正発明1についてのまとめ 以上によれば、引用発明Bにおいて、相違点b-2及び相違点b-3に係る本件訂正発明1の構成を備えるようにすることは、当業者が容易に想到することはできないから、相違点b-1について検討するまでもなく、本件訂正発明1は、当業者が引用発明Bに基づいて容易に発明をすることができたものということはできない。 ウ 本件訂正発明2ないし12について 本件訂正発明2ないし12は、本件訂正発明1の発明特定事項を全て含み、さらに他の限定を付したものであるから、当業者が引用発明Bに基づいて容易に発明をすることができたということはできない。 エ 本件訂正発明13について 本件訂正発明13は、本件訂正発明1に係る赤外線センサの製造方法である。 一方、引用文献3には、上記アのとおり、一次審決が認定し、判決もこれを容認したとおり、引用発明B’が記載されているものと認められる。 また、本件訂正発明13と引用発明B’との一致点及び相違点は、一次審決が認定し、判決もこれを容認したとおりであるところ、相違点は、以下の相違点b-ロ、相違点b-ハを含む。 <相違点b-ロ> 第2の化合物半導体層を形成する工程に関して、 本件訂正発明13は、「p型ドーピング濃度を1×1016原子/cm3以上1×1018原子/cm3未満」とするのに対して、 引用発明B’は、n-InSb層であって、p型ドーピングされたものではない点。 <相違点b-ハ> 第3の化合物半導体層のp型ドーピング濃度に関して、 本件訂正発明13は、「第2の化合物半導体層よりも高濃度にp型ドーピングされ」、「p型ドーピング濃度を1×1018原子/cm3以上とする」のに対して、 引用発明B’は、第3の化合物半導体層(p+Al0.1In0.9Sb層)は、高濃度にp型ドーピングされているものの、第2の化合物半導体層(n-InSb層)は、n-であるから、本件訂正発明13の上記関係を有するものとは言えない点。 そうすると、判決が認定したとおり、上記イ(イ)a、bにおける相違点b-2、相違点b-3についての検討と同様に、引用発明B’において、相違点b-ロ、相違点b-ハに係る本件訂正発明13の構成を備えるようにすることを、当業者が容易に想到することができたということはできない。 オ 本件訂正発明14ないし18について 本件訂正発明14ないし18は、本件訂正発明13の発明特定事項を全て含み、さらに他の限定を付したものであるから、当業者が引用発明B’に基づいて容易に発明をすることができたということはできない。 カ 小括 以上のとおりであるから、本件訂正発明1ないし18についての特許は、前審無効理由通知で通知した前審無効理由8によっては、無効とすることはできない。 (5)前審無効理由6ないし9についてのまとめ 以上のとおり、本件訂正発明1ないし18についての特許は、前審無効理由6ないし9によっては、無効とすることはできない。 第8 むすび 以上のとおり、無効理由1ないし5及び前審無効理由6ないし9にはいずれも理由がなく、請求人の主張及び証拠方法によっては、本件訂正発明1ないし18についての特許を無効とすることはできない。 審判に関する費用については、特許法第169条第2項の規定で準用する民事訴訟法第61条の規定により、請求人が負担すべきものとする。 よって、結論のとおり審決する。

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2013-800203

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