2025-700430

特許第７６０１６０６号発明「保持装置」の特許異議申立事件について、次のとおり決定する。

結 論 特許第７６０１６０６号の請求項１、３～４に係る特許を維持する。

理 由 第１ 手続の経緯 特許第７６０１６０６号（以下「本件特許」という。）の請求項１～４に係る特許についての出願は、令和２年１０月２８日に出願され、令和６年１２月９日にその特許権の設定登録がされ、同年同月１７日に特許掲載公報が発行された。その後、その特許に対し、令和７年４月１５日に特許異議申立人 河原田隆（以下「申立人」という。）により特許異議の申立てがされた。 第２ 本件発明 本件特許の請求項１～４に係る発明（以下、それぞれ「本件発明１」～「本件発明４」という。）は、その特許請求の範囲の請求項１～４に記載された事項により特定される次のとおりのものである。 「【請求項１】 第１の面と、前記第１の面とは反対側に設けられる第２の面とを備える板状部材と、第３の面と、前記第３の面とは反対側に設けられる第４の面とを備えるベース部材と、前記板状部材の前記第２の面と前記ベース部材の前記第３の面との間に配置され、前記板状部材と前記ベース部材とを接合する接合層と、を有し、前記板状部材の前記第１の面上に対象物を保持する保持装置において、 前記板状部材には、前記第１の面と前記第２の面を貫通する第１の貫通孔が形成され、 前記ベース部材には、前記第３の面と前記第４の面を貫通し、前記第１の貫通孔に連通する第２の貫通孔が形成されており、 前記第２の面に、前記第１の貫通孔の開口部周辺に凹部が設けられ、 前記接合層は、前記凹部の少なくとも一部に充填配置された他の部位よりも厚い厚層部を有し、 前記凹部は、前記第１の貫通孔に向かって徐々に前記第１の面の方向に深くなるテーパ形状をなしており、 前記厚層部は、前記第１の貫通孔と前記第２の貫通孔とを連通させる第３の貫通孔が中央に形成された前記第１の面側に凸である ことを特徴とする保持装置。 【請求項２】 請求項１に記載する保持装置において、 前記板状部材は、内部に発熱抵抗体を有し、 前記発熱抵抗体は、前記板状部材と前記ベース部材との積層方向から見たときに、前記厚層部に重なるように配置されている ことを特徴とする保持装置。 【請求項３】 請求項１又は請求項２に記載する保持装置において、 前記ベース部材は、冷媒を流すための冷媒流路を備え、 前記冷媒流路は、前記板状部材と前記ベース部材との積層方向から見たときに、前記厚層部に重ならないように配置されている ことを特徴とする保持装置。 【請求項４】 第１の面と、前記第１の面とは反対側に設けられる第２の面とを備える板状部材と、第３の面と、前記第３の面とは反対側に設けられる第４の面とを備えるベース部材と、前記板状部材の前記第２の面と前記ベース部材の前記第３の面との間に配置され、前記板状部材と前記ベース部材とを接合する接合層と、を有し、前記板状部材の前記第１の面上に対象物を保持する保持装置において、 前記板状部材には、前記第１の面と前記第２の面を貫通する第１の貫通孔が形成され、 前記ベース部材には、前記第３の面と前記第４の面を貫通し、前記第１の貫通孔に連通する第２の貫通孔が形成されており、 前記第２の面に、前記第１の貫通孔の開口部を取り囲むように凹部が設けられ、 前記凹部は、前記第１の面の方向に深くなる形状をなしており、 前記接合層は、前記凹部の少なくとも一部に充填配置された他の部位よりも厚い厚層部を有し、前記第１の貫通孔と前記第２の貫通孔とを連通させる第３の貫通孔が中央に形成された前記第１の面側に凸であり、 第３貫通孔の直径は、前記第1の貫通孔の直径と同等である ことを特徴とする保持装置。」 第３ 申立理由の概要 申立人が主張する申立理由は、次のとおりである。 本件発明１、３～４は、特許法第３６条第６項第１号に規定する要件を満たしていないから、本件の請求項１、３～４に係る特許は、同法第１１３条第４号により取消されるべきものである。 第４ 申立理由の検討 特許請求の範囲の記載が、明細書のサポート要件に適合するか否かは、特許請求の範囲の記載と発明の詳細な説明の記載とを対比し、特許請求の範囲に記載された発明が、発明の詳細な説明に記載された発明で、発明の詳細な説明の記載により当業者が当該発明の課題を解決できると認識できる範囲のものであるか否か、また、その記載や示唆がなくとも当業者が出願時の技術常識に照らし当該発明の課題を解決できると認識できる範囲のものであるか否かを検討して判断すべきものである。 以下、この観点に立って検討する。 １ 本件発明１について （１） 本件特許の明細書の、背景技術としての、「保持装置として、例えば、特許文献１に記載された静電チャックが知られている。この静電チャックは、対象物であるウエハを保持する静電チャック基板（セラミックス部材）と、冷却用のベースプレート（ベース部材）と、両部材を接合する接合層とを備えている。そして、静電チャック基板は、発熱抵抗体を内蔵している。また、このような静電チャックには、ウエハを静電チャック基板からリフトアップするためのリフトピンが挿入されるリフトピン孔や、静電チャック基板の表面（保持面）とウエハとの間にガスを充填するためのガス孔などの貫通孔が設けられている。」（段落０００２）との記載、また、発明が解決しようとする課題としての、「しかしながら、上記のような保持装置では、発熱抵抗体の露出を防止するために、貫通孔付近においては発熱抵抗体が貫通孔から少し離れた箇所（言い換えると、貫通孔を避けるよう）に配置されている。そのため、対象物を保持する保持面において、貫通孔周辺では、他の部位に比べて低温になり易い。そのため、保持面において、貫通孔周辺まで温度を均一化することが困難であった。」（段落０００４）、及び、「そこで、本開示は上記した問題点を解決するためになされたものであり、対象物を保持する保持面において、貫通孔周辺まで温度を均一化することができる保持装置を提供することを目的とする。」（段落０００５）との記載によると、発明の詳細な説明には「保持装置（対象物であるウエハを保持する静電チャック）において、貫通孔付近においては発熱抵抗体が貫通孔から少し離れた箇所（言い換えると、貫通孔を避けるよう）に配置されることにより、対象物を保持する保持面において、貫通孔周辺では、他の部位に比べて低温になり易く、そのため、保持面において、貫通孔周辺まで温度を均一化することが困難であった」との、発明の課題が記載されているといえる。 一方、本件発明１の保持装置は、「前記第２の面に、前記第１の貫通孔の開口部周辺に凹部が設けられ、前記接合層は、前記凹部の少なくとも一部に充填配置された他の部位よりも厚い厚層部を有し」との構成（以下「本件構成」という。）を備えるものである。そして、本件特許の明細書の「これにより、第１の面において低温になりやすい貫通孔周辺に、接合層の厚層部が配置される。そのため、厚層部によってベース部材と板状部材との熱伝達（ベース部材による冷却）が抑制されるので、貫通孔周辺の温度低下を抑制することができる。従って、第１の面において、貫通孔周辺まで温度を均一化することができる。」（段落０００７）との記載によると、当業者は、本件構成によって、上記発明の課題を解決できると認識し得る。 したがって、本件発明１は、発明の詳細な説明に記載された発明で、発明の詳細な説明の記載により当業者が当該発明の課題を解決できると認識できる範囲のものである。 （２） 申立人の主張について 申立人は、特許異議申立書の６ページにおいて、下記のとおり主張している。 「一方で、本件特許の特許請求の記載において、請求項１では、板状部材の内部に発熱抵抗体が内蔵されていること、が構成要件として特定されていない。このため、請求項１に係る発明は、上記の課題を解決し得ない構成をも広く包含するものとなっている。すなわち、請求項１に係る発明は、発明の詳細な説明において「発明の課題が解決できることを当業者が認識できるように記載された範囲」を超えるものであるから、特許法第３６条第６項第１号に規定された所謂「サポート要件」を満たしていない。」 しかしながら、本件発明１が、板状部材の内部に発熱抵抗体が内蔵されておらず、上記（１）の発明の課題を解決しない場合を含むとしても、当業者が上記（１）の発明の課題を解決できると認識できる範囲を超えるとはいえないから、申立人の主張は採用できない。 ２ 本件発明３～４について 本件発明３～４についても、本件構成を含むから、本件発明１と同様に、発明の詳細な説明に記載された発明で、発明の詳細な説明の記載により当業者が当該発明の課題を解決できると認識できる範囲のものである。 ３ その他の申立人の主張について 本件発明４につき、申立人は、特許異議申立書の７ページにおいて、下記のとおり主張している。 「本件特許の詳細な説明には、「第３貫通孔の直径は、前記第１の貫通孔の直径と同等である」ことを示す記載は一切存在しない。・・・請求項４に記載された「第３貫通孔の直径は、前記第１の貫通孔と同等である」との事項を、本件特許の図２から読み取ることはできない。このように、本件特許の特許請求の範囲のうち、請求項４に記載された「第３貰通孔の直径は、前記第１の貫通孔の直径と同等である」との事項は、発明の詳細な説明中に記載も示唆もされていない。従って、請求項４に係る発明が、特許法第３６条第６項第１号に規定された所謂「サポート要件」を満たしていないことは、この点においても明らかである。」 しかしながら、本件特許の図２、図５からは、第３貫通孔４５ａ、４５ｂの直径が、第１貫通孔１５ａ，１５ｂの直径と同等であることが見て取れるから、本件発明４の「第３貰通孔の直径は、前記第１の貫通孔の直径と同等である」との発明特定事項が、発明の詳細な説明中に記載も示唆もされていないとまではいえない。 したがって、申立人の主張は採用できない。 ４ 小括 以上のとおり、本件発明１、３～４は、発明の詳細な説明に記載された発明で、発明の詳細な説明の記載により当業者が当該発明の課題を解決できると認識できる範囲のものであるから、サポート要件に適合する。 第５ むすび 以上のとおりであるから、特許異議の申立ての理由によっては、請求項１、３～４に係る特許を取り消すことはできない。 また、他に請求項１、３～４に係る特許を取り消すべき理由を発見しない。 よって、結論のとおり決定する。