2024-000682

特願２０１９－１５３６７７「ロボット」拒絶査定不服審判事件〔令和 ３年 ３月 １日出願公開、特開２０２１－ ３０３７６〕について、次のとおり審決する。

結 論 本件審判の請求は、成り立たない。

理 由 第１ 手続の経緯 本願は、令和元年８月２６日を出願日とする出願であって、その主な手続の経緯は以下のとおりである。 令和５年 ６月１２日付け：拒絶理由通知書 令和５年 ８月 ８日 ：意見書、手続補正書の提出 令和５年１０月２４日付け：拒絶査定 令和６年 １月１６日 ：審判請求書、手続補正書の提出 第２ 令和６年１月１６日にされた手続補正についての補正の却下の決定 ［補正の却下の決定の結論］ 令和６年１月１６日にされた手続補正（以下「本件補正」という。）を却下する。 ［理由］ １ 本件補正について（補正の内容） （１）本件補正後の特許請求の範囲の記載 本件補正により、特許請求の範囲の請求項１の記載は、次のとおり補正された（下線部は補正箇所であり、当審が付した。）。 「【請求項１】 ワークに対して作業を行うためのロボットであって、 複数の関節軸を有するロボットアームと、 前記ロボットアームの先端に設けられるエンドエフェクタと、 前記関節軸を回転駆動するためのモータと、 前記モータの回転位置を示す回転位置データを取得するためのエンコーダと、 前記ロボット又は前記ワークの状態を示す状態データを取得するための複数のセンサと、 前記エンコーダと前記複数のセンサがマルチドロップ接続されたマルチドロップラインを有する通信装置と、 前記通信装置を介して前記回転位置データ及び前記状態データを取得可能であり、前記ロボットの動作を制御するためのロボット制御装置と、を備え、 前記ロボットアームは、前記関節軸がリンクを介して直列的に接続されたリンク構造を有し、 前記通信装置は、前記マルチドロップラインにより全ての前記エンコーダをマルチドロップ接続し、 前記複数のセンサが、前記ロボットの一部に取り付けられ、前記ロボットの一部の加速度を示す加速度データを前記状態データとして取得可能である加速度センサと、前記ロボットの一部に取り付けられ、前記ロボットの一部での音を示す音データを前記状態データとして取得可能であるマイクロホンと、を有し、 前記ロボット制御装置は、前記エンドエフェクタよりも基端側で直列的に接続された全ての前記関節軸のモータの回転位置データに基づき、前記エンドエフェクタの位置を示す位置データを導出可能であり、前記位置データ、前記加速度データ、及び前記音データに基づき、前記ロボットの動作を制御可能であることを特徴とする、ロボット。」 （２）本件補正前の特許請求の範囲 本件補正前の、令和５年８月８日提出の手続補正書により補正された特許請求の範囲の請求項１及び請求項３の記載は次のとおりである。 「【請求項１】 ワークに対して作業を行うためのロボットであって、 複数の関節軸を有するロボットアームと、 前記ロボットアームの先端に設けられるエンドエフェクタと、 前記関節軸を回転駆動するためのモータと、 前記モータの回転位置を示す回転位置データを取得するためのエンコーダと、 前記ロボット又は前記ワークの状態を示す状態データを取得するための複数のセンサと、 前記エンコーダと前記複数のセンサがマルチドロップ接続されたマルチドロップラインを有する通信装置と、 前記通信装置を介して前記回転位置データ及び前記状態データを取得可能であり、前記ロボットの動作を制御するためのロボット制御装置と、を備え、 前記ロボットアームは、前記関節軸がリンクを介して直列的に接続されたリンク構造を有し、 前記通信装置は、前記マルチドロップラインにより全ての前記エンコーダをマルチドロップ接続し、 前記複数のセンサのうちの少なくとも一つが、前記ロボットの一部に取り付けられ、前記ロボットの一部の加速度を示す加速度データを前記状態データとして取得可能である加速度センサとして構成され、 前記ロボット制御装置は、前記エンドエフェクタよりも基端側で直列的に接続された全ての前記関節軸のモータの回転位置データに基づき、前記エンドエフェクタの位置を示す位置データを導出可能であり、前記加速度データ及び前記位置データに基づき、前記ロボットの動作を制御可能であることを特徴とする、ロボット。」 「【請求項３】 前記複数のセンサのうちの少なくとも一つが、前記ロボットの一部に取り付けられ、前記ロボットの一部での音を示す音データを前記状態データとして取得可能であるマイクロホンとして構成され、 前記ロボット制御装置は、前記音データ及び前記位置データに基づき、前記ロボットの動作を制御可能である、請求項１又は２に記載のロボット。」 ２ 補正の適否 本件補正の請求項１に関する補正は、本件補正前の請求項１に記載された発明を特定するために必要な事項である「複数のセンサ」について、その「少なくとも一つ」を特定するのではなく、本件補正前の請求項３に記載された「前記ロボットの一部に取り付けられ、前記ロボットの一部での音を示す音データを前記状態データとして取得可能であるマイクロホン」を有するとの事項を付加することで複数のセンサの全てを限定するとともに、「ロボットの動作を制御可能」とするためのパラメータについて、位置データ及び加速度データに加えて、本件補正前の請求項３に記載された「前記音データ」に基づくとの事項を付加して限定するものである。 すなわち、実質的に本件補正前の請求項１に記載された発明を本件補正前の請求項３に記載された事項により限定したものであり、本件補正前の請求項１に記載された発明と本件補正後の請求項１に記載される発明の産業上の利用分野及び解決しようとする課題が同一であるから、特許法第１７条の２第５項第２号の特許請求の範囲の減縮を目的とするものに該当する。 なお、本件補正の請求項１に関する補正は、複数のセンサについて「少なくとも一つ」を特定するものではなく、その全てを特定するものであることに照らせば、本件補正前の請求項１を削除し、請求項１を引用する請求項３を新たに請求項１とするものではないから、特許法第１７条の２第５項第１号の請求項の削除を目的とするものには該当しない。 そこで、本件補正後の請求項１に記載される発明（以下「本件補正発明」という。）が特許法第１７条の２第６項において準用する同法第１２６条第７項の規定に適合するか（特許出願の際独立して特許を受けることができるものであるか）について、以下、検討する。 （１）本件補正発明 本件補正発明は、上記１（１）に記載したとおりのものである。 （２）引用文献の記載事項等 ア 引用文献２ （ア）引用文献２の記載事項 原査定の拒絶の理由（下記第３の２を参照。）で主引用発明が記載された文献として引用された本願の出願前に頒布された又は電気通信回線を通じて公衆に利用可能となった引用文献である、引用文献２（特開２００５－２６０１７６号公報）には、図面とともに、次の記載がある（なお、下線部は当審で付した。以下同様。）。 「【０００１】 本発明は、搬送装置によって予め定められる搬送位置の位置情報を取得する搬送位置の位置情報取得方法に関する。」 「【０００３】 基板搬送装置は、各処理部における所要の受渡し部に対して、基板を正確な位置に搬送することが必要とされる。基板を正確な位置に搬送できないと、基板に処理ムラを生じさせたり、受渡し部からの基板の脱落が生じたり、不要なパーティクルが付着したりするおそれがある。」 「【０００５】 従来の第２の位置教示方法として、搬送すべき搬送位置に被検出部を設け、基板搬送装置に保持させた治具を用いて、治具が被検出部を検出したときのエンコーダ値に基づいて、搬送位置の情報を取得する方法がある（たとえば特許文献１）。 【０００６】 図２３は、従来技術における治具を用いて搬送位置情報を取得する手順を示すフローチャートである。まずステップｆ０で、基板搬送装置および基板処理装置を設置して、搬送位置の取得動作が可能な状態となると、ステップｆ１に進み、搬送位置の取得動作を開始する。ステップｆ１では、作業者は、基板を搬送すべき搬送位置に被検出部を設置し、ステップｆ２に進む。ステップｆ２では、作業者が基板搬送装置のハンドに被検出体を検出するための治具を搭載し、ステップｆ３に進む。」 「【００４４】 図１は、本発明の実施の一形態である搬送装置２０の搬送位置情報の取得手順を示すフローチャートであり、図２は、搬送装置２０を示す斜視図である。搬送装置２０は、たとえば半導体ウェハまたは液晶用ガラスなどの基板を搬送する基板搬送装置である。本実施の形態では搬送装置２０は、半導体ウェハを搬送する。搬送装置２０は、ハンド２２に半導体ウェハを保持し、ハンド２２とともに半導体ウェハを任意の位置に移動させる。たとえば半導体ウェハは、厚さが０．７ｍｍであり、直径が２００ｍｍまたは３００ｍｍの円板状に形成される。なお、搬送装置２０は、複数のハンド２２を有してもよい。 【００４５】 搬送装置２０は、床などの予め定める位置に固定される基台と、半導体ウェハを着脱可能に保持する保持部となるハンド２２と、ハンド２２が連結される連結部２５を有するアーム２３と、アーム２３を支持する支持体２４とを有する。基台には、旋回軸線Ｊ１が予め設定される。本実施の形態では、旋回軸線Ｊ１は鉛直に延びる。 【００４６】 支持体２４は、基台に対して旋回軸線Ｊ１まわりに角変位可能に設けられる。また支持体２４は、旋回軸線Ｊ１に垂直に延びる半径軸線Ｊ２が予め設定される。基台に対して支持体２４が旋回軸線Ｊ１まわりに角変位すると、半径軸線Ｊ２は支持体２４とともに、旋回軸線Ｊ１まわりに角変位する。 【００４７】 アーム２３は、支持体２４に対して旋回軸線Ｊ１に沿う方向、すなわち鉛直方向に連結部２５を移動可能に構成される。またアーム２３は、支持体２４に対して、半径軸線Ｊ２に沿う半径方向ｒに連結部２５を移動可能に構成される。 【００４８】 これによってアーム２３の連結部２５に連結されるハンド２２は、旋回軸線Ｊ１を基準とする円筒座標系に関する任意の位置に移動することができる。搬送装置２０は、上述のようなアーム２３および支持体２４の構成に限らず、ハンド２２を任意の位置に移動可能な構成であればよい。なお、本発明では、旋回軸線Ｊ１に沿う方向を上下方向Ｚとする。また旋回軸線Ｊ１を中心とする周方向を周方向Ｗとし、半径軸線Ｊ２に沿う方向を半径方向ｒとする。 【００４９】 ハンド２２は、略Ｕ字状に形成される。ハンド２２は、基部２６と、一対の延在部分２７，２８とを有する。基部２６は、アーム２３の連結部２５に連結される。一対の延在部分２７，２８は、水平に延びる乗載面が形成される。乗載面は、半導体ウェハ２２を乗載する。一対の延在部分２７，２８は、基部２６から半径軸線Ｊ２に沿って延び、旋回軸線Ｊ１から遠ざかるにつれて、互いに周方向Ｗに離反する。」 「【００５１】 搬送装置２０は、搬送体ウェハの処理設備内に設置される。処理設備の内部空間は、粉塵を低減したクリーンな雰囲気に保たれ、半導体ウェハを処理する処理装置が設けられる。搬送装置２０は、収容容器から処理設備内の配置位置に半導体ウェハを移載する。また所定の処理が完了した半導体ウェハを、処理設備内の配置位置から収容容器に移載する。また搬送装置２０は、予め定める手順に従って処理装置に設けられる複数の処理位置間で、半導体ウェハを順次移載する。処理装置は、レジスト塗布処理、露光処理、現像処理および熱処理などを行う。上述した配置位置および処理位置が、搬送位置となる。 【００５２】 図３は、搬送装置２０の電気的構成を示すブロック図である。搬送装置２０は、ハンド２２を基台に対して変位駆動する駆動手段を有する。具体的には、搬送装置２０は、基台に対して周方向Ｗに支持体２４を変位駆動する旋回駆動手段３０と、基台に対して上下方向Ｚにアーム２３を変位駆動する上下駆動手段３１と、支持体２５に対して半径方向ｒにアーム２３の連結部２５を変位駆動する半径方向駆動手段３２とを有する。各駆動手段３０～３２は、サーボモータまたは空気圧シリンダなどのアクチュエータによって実現される。 【００５３】 旋回駆動手段３０は、搬送位置から離反した旋回軸線Ｊ１まわりにハンド２２を角変位駆動する第１駆動手段となる。また上下駆動手段３１は、旋回軸線Ｊ１に沿ってハンド２２を変位駆動する第２駆動手段となる。また半径方向駆動手段３２は、旋回軸線Ｊ１に対して垂直な半径方向ｒにハンド２２を変位駆動する第３駆動手段となる。 【００５４】 搬送装置２０は、基台に対するハンド２２の位置情報を検出する位置情報検出手段を有する。位置情報検出手段は、上述した第１～第３駆動手段３０～３２がサーボモータであると、各サーボモータに設けられるエンコーダによって実現される。 【００５５】 この場合、搬送装置２０は、旋回方向エンコーダ３３と、上下方向エンコーダ３４と、半径方向エンコーダ３５とを含む。旋回方向エンコーダ３３は、ハンド２２の周方向Ｗに関する位置情報を検出する。また上下方向エンコーダ３４は、ハンド２２の上下方向Ｚに関する位置情報を検出する。また半径方向エンコーダ３５は、ハンド２２の半径方向ｒに関する位置情報を検出する。 【００５６】 搬送装置２０は、搬送位置の位置情報を取得するためターゲット治具２１を検出する第１非接触センサ４０と第２非接触センサ４１とを有する。第１非接触センサ４０は、アーム２３に設けられ、半径軸線Ｊ２に平行または同軸に進むレーザ光を用いてターゲット治具２１を検出する。第２非接触センサ４１は、ハンド２２に設けられ、半径軸線Ｊ２と旋回軸線Ｊ１とを含む平面に垂直な方向に進むセンサ光を用いてターゲット治具２１を検出する。センサ光は、半導体レーザまたは発光ダイオードなどを発光源とする光である。」 「【００５８】 搬送装置２０は、制御手段５２を有する。制御手段５２は、各エンコーダ３３～３５から与えられる位置情報に基づいて、各駆動手段３０～３２を制御する。また制御手段５２は、入力手段５０から与えられる作業者の指令に応じて各駆動手段３０～３２と、各非接触センサ４０，４１とを制御する。また制御手段５２は、動作状態を示す情報を表示手段５１に表示させる。 【００５９】 制御手段５２は、入力部５３と、出力部５４と、演算部５５と、記憶部５６とを含む。入力部５３は、各エンコーダ３３～３５および各非接触センサ４０，４１から、ターゲット治具２１に関する位置情報の検出結果が与えられる。出力部５４は、演算部５５によって算出された演算指令を各駆動手段３０～３２および各非接触センサ４０，４１に与える。たとえば出力部５４は、演算された駆動量を各駆動手段３０～３２にそれぞれ与えるとともに、表示手段５１に動作状態を表示させる。」 「【００６１】 このような制御手段５２は、コンピュータ、たとえばロボットコントローラによって実現される。たとえば入力部５３および出力部５４は、インターフェースボードなどで実現される。また演算部５５は、マイクロコンピュータなどによって実現される演算回路、たとえばＣＰＵ（Central Processing Unit）によって実現され、記憶部５６は、ＲＡＭ（Random Access Memory）およびＲＯＭ（Read Only memory）などの記憶回路によって実現される。」 「【００６７】 図６は、第２非接触センサ４１の取付位置を示す斜視図である。第２非接触センサ４１は、第２投光部６０と、第２受光部６１と、アンプユニット６２とを含む。第２非接触センサ４１は、予め定める並列方向、本実施の形態では上下方向Ｚに並ぶ半導体ウェハの配置状態を検出するために用いられる。すなわち第２非接触センサ４１は、半導体ウェハのマッピングに用いられる。」 「【０１３２】 以上のような本実施の形態の搬送装置２０およびその搬送位置情報の取得動作は、発明の例示に過ぎず、発明の範囲内で構成を変更することができる。本実施の形態では、搬送装置２０は、半導体ウェハなどの基板を搬送するとしたが、基板以外を搬送する装置であってもよい。たとえば手先に加工具を搭載し、加工具を搬送する加工装置であってもよい。また本実施の形態では、旋回軸線Ｊ１、半導体ウェハの軸線Ｊ３およびターゲット治具７０の軸線Ｊ４が上下方向Ｚに延びるとしたが、上下方向以外に延びてもよい。また搬送装置の構成についても、ハンドを３次元的に搬送可能であればよい。」 「【図２】 ［図：0001422088000001.jpg］ 」 「【図３】 ［図：0001422088000002.jpg］ 」 （イ）引用文献２の記載事項の整理 Ａ 段落【００４５】～【００４８】、【００５２】～【００５５】、【００６１】、図２等から、搬送装置２０は半導体ウェハに対して搬送などの作業を行うものであって、ロボットコントローラによって実現される制御手段５２を有し、さらに、搬送装置２０は、基台に対して旋回軸線Ｊ１まわりに角変位可能に設けられる支持体２４、支持台２４に対して旋回軸線Ｊ１に沿う鉛直方向に連結部２５を移動可能に構成されるアーム２３、半径軸線Ｊ２に沿う半径方向に移動可能に連結部２５が直列的に接続されたリンク構造を有する複数の関節軸を有するロボットアームを備えたものであるといえる。そして、このロボットアームは、連結部２５の先端にハンド２２が連結されるとともに、旋回駆動手段３０、上下駆動手段３１、半径方向駆動手段３２のサーボモータを備えているものであって、旋回駆動手段３０で旋回軸線Ｊ１まわりに回転駆動され、さらに鉛直方向に上下駆動手段３１、半径軸線Ｊ２に沿う半径方向に半径方向駆動手段３２で駆動されることで、ハンド２２を任意の位置に移動可能としている。さらに、段落【０１３２】に「搬送装置の構成についても、ハンドを３次元的に搬送可能であればよい。」と記載されていることから、搬送装置２０を、基板を搬送する一般的な多関節ロボットとすることが示唆されているともいえる。 Ｂ エンコーダはモータの回転位置を示す回転位置データを取得するためのものであるから、段落【００５４】、【００５５】における、旋回方向エンコーダ３３、上下方向エンコーダ３４、半径方向エンコーダ３５は、サーボモータ（旋回駆動手段３０、上下駆動手段３１、半径方向駆動手段３２）の回転位置を示す回転位置データを取得するためのものであることは明らかである。 Ｃ 図３から、旋回方向エンコーダ３３、上下方向エンコーダ３４、半径方向エンコーダ３５と第１非接触センサ４０、第２非接触センサ４１がラインを有する通信装置で接続され、当該通信装置は、ラインにより全てのエンコーダを接続するものであることが看取できる。 Ｄ 段落【００５４】、【００５８】等から、制御手段５２は、旋回方向エンコーダ３３、上下方向エンコーダ３４、半径方向エンコーダ３５で検出される、ハンド２２よりも基端側で直列的に接続された全ての関節軸の旋回駆動手段３０、上下駆動手段３１、半径方向駆動手段３２の回転位置データに基づき、ハンド２２の位置を示す位置データを導出可能であり、当該位置データに基づき、搬送装置２０の動作を制御可能であることが理解できる。 （ウ）引用文献２発明 上記（ア）、（イ）から、引用文献２には、次の発明（以下「引用文献２発明」という。）が記載されていると認められる。 「半導体ウェハに対して作業を行うための搬送装置２０であって、 複数の関節軸を有するロボットアームと、 前記ロボットアームの先端に設けられるハンド２２と、 前記関節軸を回転駆動するための旋回駆動手段３０、上下駆動手段３１、半径方向駆動手段３２と、 前記旋回駆動手段３０、上下駆動手段３１、半径方向駆動手段３２の回転位置を示す回転位置データを取得するための旋回方向エンコーダ３３、上下方向エンコーダ３４、半径方向エンコーダ３５と、 前記搬送装置２０の位置を示す搬送位置を取得するための第１非接触センサ４０、第２非接触センサ４１と、 前記旋回方向エンコーダ３３、上下方向エンコーダ３４、半径方向エンコーダ３５と前記第１非接触センサ４０、第２非接触センサ４１が接続されたラインを有する通信装置と、 前記通信装置を介して前記回転位置データ及び前記搬送位置を取得可能であり、前記搬送装置２０の動作を制御するための制御手段５２と、を備え、 前記ロボットアームは、前記関節軸がリンクを介して直列的に接続されたリンク構造を有し、 前記通信装置は、前記ラインにより全ての前記エンコーダを接続し、 前記制御手段５２は、前記ハンド２２よりも基端側で直列的に接続された全ての前記関節軸の旋回駆動手段３０、上下駆動手段３１、半径方向駆動手段３２の回転位置データに基づき、前記ハンド２２の位置を示す位置データを導出可能であり、前記位置データに基づき、前記搬送装置２０の動作を制御可能である、搬送装置２０。」 イ 引用文献１ （ア）引用文献１の記載事項 同じく原査定に引用され（下記第３の２を参照。）、本願の出願前に頒布された又は電気通信回線を通じて公衆に利用可能となった引用文献１（特開２０１３－８４１１１号公報）には、次の記載がある。 「【００１９】 ＜＜実施形態１＞＞ （システム構成） 図１は本実施形態に係るロボットシステムの概要図である。本ロボットシステムは、コントローラ１、視覚モジュール２、関節モジュール３及び４、エンドエフェクタ５及び６により構成される。コントローラ１は、ロボットシステム全体の動作制御を実施する。また、不図示の上位の管理システムへ、作業進捗やエラー情報等を随時送信する。視覚モジュール２は、加工対象物８のようなロボットシステムが影響を及ぼす外部環境の取得（撮影）を実施する。関節モジュール３及び関節モジュール４は、ロボットアームの関節の角度制御を実施する。エンドエフェクタ５は、図示するようロボットアーム先端に取り付けられ、加工対象物８に対して所定の加工を実行する。エンドエフェクタ６は、エンドエフェクタ５とは異なる所定の加工を実行することができるエンドエフェクタである。エンドエフェクタ５とエンドエフェクタ６は、作業内容に応じて人手を介さず自律的に交換される。なお、コントローラ１と視覚モジュール２や関節モジュール３等を含むロボット本体とは、配線７により接続される。配線７を介してコントローラ１と各モジュールとの間の信号の伝送が行われる。 【００２０】 図２は本実施形態のロボットシステムの接続形態例を表す構成図である。本ロボットシステムは、親局１０と子局Ａ２０～子局Ｅ６０を有する通信システムである。親局１０はコントローラ１に含まれるものとする。また、子局Ａ２０は視覚モジュール２に、子局Ｂ３０は関節モジュール３に、子局Ｃ４０は関節モジュール４に、子局Ｄ５０はエンドエフェクタ５に、そして子局Ｅ６０はエンドエフェクタ６に、それぞれ含まれるものとする。」 「【００８８】 ＜＜実施形態３＞＞ 実施形態１、実施形態２では、親局及び各子局がデイジーチェーン接続され、各子局にてデータ中継を行うロボットシステムについて説明した。しかし本発明はこれに限らず、１つの伝送ケーブル上に複数の端局を接続したマルチドロップ接続や、無線接続された場合でも適用可能である。本実施形態では、親局及び各子局がマルチドロップ接続されたロボットシステム、及びその伝送手順について説明する。本実施形態のロボットシステムの概要は、実施形態１と同様であるため、詳細については省略する。なお伝送方式にはＴＤＭＡ（時分割多元接続）方式を用いるものとして説明する。 【００８９】 本実施形態では、図１７に示すように、１本または複数本のバスに親局と子局が接続する接続形態を用いる場合について説明する。なお、図１７における親局１０のコネクタ１５及び各子局のコネクタ２５～６５は、バス接続により信号の送受信を行うためのコネクタである。これ以外の構成として、回線の親局方向への信号送信を上り、及び親局方向からの信号送信を下りと定義することにより、上り用のコネクタと下り用のコネクタを用いて信号の送受信を実行することも可能である。」 「【図１７】 ［図：0001422088000003.jpg］ 」 （イ）引用文献１記載の技術的事項 上記記載等から、引用文献１には、次の技術的事項（以下「引用文献１記載の技術的事項」という。）が記載されていると認められる。 「ロボットシステムにおいて、子局Ａである視覚モジュール２、子局Ｂである関節モジュール３、子局Ｃである関節モジュール４、子局Ｄであるエンドエフェクタ５には、それぞれモータ及びセンサが接続されており、これらのモータ及びセンサを接続するラインが、マルチドロップ接続されたマルチドロップラインであり、全てのセンサがマルチドロップラインによりマルチドロップ接続していること。」 ウ 引用文献３ （ア）引用文献３の記載事項 同じく原査定に引用され（下記第３の２を参照。）、本願の出願前に頒布された又は電気通信回線を通じて公衆に利用可能となった引用文献３（特開２００９－２３３７８９号公報）には、次の記載がある。 「【００１６】 搬送用ハンド３の基部３１にはセンサ６が備えられており、このセンサ６によって搬送用ハンド３の動作の変化量を検出している。 本実施例のセンサには、加速度センサが用いられており、例えばジャイロセンサを使用して角速度の変化量を検出することで搬送用ハンドの動作の変化量を検出している。勿論、ジャイロセンサ以外の加速度センサを使用して、又は加速度センサ以外のセンサを使用して搬送用ハンドの動作の変化量を測定しても同様の効果を得ることができる。」 「【００２４】 次に、図３を用いて、本発明の搬送用ロボットとコントローラとの信号の入出力関係を説明する。 本発明のコントローラ７は、搬送用ロボット１に信号を送信して搬送用ロボット１が所定の動作を行うように駆動制御する。コントローラ７によって駆動制御される搬送用ロボット１は、搬送用ハンド３を水平方向に回動又は延伸させることができる。この搬送用ロボット１において、基板を所望の位置に搬送するために、搬送用ハンド３を例えばＸ軸方向に延伸させた場合、図２に示すように、搬送用ハンド３の先端が撓むこととなる。このとき搬送用ハンド３上に備えたセンサによって、搬送用ハンド３の加速度を検出する。通常、搬送用ロボット１を工場内等に設置した時に、予めこの初期状態のときの搬送用ハンド３の加速度をコントローラ７に記憶しておく。コントローラ７は、この記憶した加速度の値とロボットが実際に駆動した時の搬送用ハンド３を延伸したときの加速度とを比較して、その差分から搬送用ハンド３の撓み量を推測して搬送用ハンド３の位置を補正するように搬送用ロボット１に信号を送信する。 【００２５】 通常、搬送用ロボット１を駆動制御する際には、予め位置設定をして駆動制御するティーチングプレイバックによって、搬送用ハンド３を所望の搬送位置に駆動させている。このとき、前述した加速度の所定値をティーチングポイント毎にコントローラ７に記憶させておき、実際に搬送用ハンド３を駆動制御させるときに、リアルタイムで加速度の差分を演算して搬送用ハンド３の位置を調整することができる。」 「【００２７】 このように、所定の位置に搬送用ハンド３を延伸するときに、予め記憶させる加速度の所定値と実際に搬送用ハンド３を駆動させたときの加速度の値とを比較してその差分から搬送用ハンド３の撓み量を求め、搬送用ハンド３の位置を補正することで搬送用ハンド３が基板を収納するカセット等の他の周辺機器に衝突したり、搬送用ハンド自身が破損することを未然に防止することができる。」 「【図１】 ［図：0001422088000004.jpg］ 」 （イ）引用文献３記載の技術的事項 上記記載等から、引用文献３には、次の技術的事項（以下「引用文献３記載の技術的事項」という。）が記載されていると認められる。 「搬送用ロボット１において、前記搬送用ロボット１の一部に取り付けられ、前記搬送用ロボット１の一部の加速度を示す加速度データを取得可能であるセンサ６を有し、センサ６に基づいて搬送用ハンド３の撓み量を推測して、搬送用ハンド３の位置を補正して搬送用ロボット１の動作を制御可能であること。」 エ 引用文献４ （ア）引用文献４の記載事項 同じく原査定に引用され（下記第３の２を参照。）、本願の出願前に頒布された又は電気通信回線を通じて公衆に利用可能となった引用文献４（特開２００１－２２３２５４号公報）には、次の記載がある。 「【００１４】ウエハ１０を搬送するウエハ搬送装置１１は振動センサ１３を持ったツィーザ１２を垂直方向および水平方向に移動させるためのロボット１５を備えている。すなわち、ロボット１５の最終段に設置された取付ブロック１４にはツィーザ１２が基端部を固定されて水平に支持されている。本実施の形態においては、ツィーザ１２は五本が垂直方向に互いに等間隔に配置されており、五つのブロックが組み合わされた取付ブロック１４にそれぞれ水平に支持されている。なお、五本のツィーザを区別して説明する必要がある場合には、最上段側のツィーザから順に第一段ツィーザ１２ａ、第二段ツィーザ１２ｂ、第三段ツィーザ１２ｃ、第四段ツィーザ１２ｄ、第五段ツィーザ１２ｅという。」 「【００１６】第一段ツィーザ１２ａ～第五段ツィーザ１２ｅの基端部上面には各ツィーザの振動を検出する振動センサ１３ａ～１３ｅがそれぞれ設置されている。振動センサ１３は圧電素子や小型のマイクロフォンが用いられて構成されており、ツィーザ１２の振動を検出して電気信号に変換しコントローラ（図示せず）に送信するようになっている。コントローラは各振動センサ１３ａ～１３ｅの検出出力を記録するメモリと、各振動センサ１３ａ～１３ｅの検出出力に対して予め設定された設定値と各振動センサ１３ａ～１３ｅの現在の検出出力とを比較して各振動センサ１３ａ～１３ｅの検出出力に対して異常の有無を判定する判定手段と、判定手段の判定結果を作業者に告知する出力手段とを備えている。」 「【００３０】以上のようにして第三段ツィーザ１２ｃに付帯された振動センサ１３ｃからの検出出力により図５（ｅ）に示されている擦り信号２２が抽出された場合には、コントローラは「第三段ツィーザ１２ｃの先端側が相対向するウエハ１０に接触して擦すった」と判定し、その旨を表示手段によって表示し、作業者に通報する。この場合、第三段ツィーザ１２ｃは上側または下側に撓むことがあるため、第三段ツィーザ１２ｃの先端側が相対向する上下のウエハ１０のうちいずれかに傷がついたと通報することになる。」 「【００５０】第三ステップＳ３において、コントローラは表示手段をして異常が発生している旨を通報させ、ウエハ搬送装置１１による搬送制御フローを終了する。」 「【００５８】第四ステップＳ４において、コントローラは表示手段をして異常が発生している旨を通報させ、ウエハ搬送装置１１による搬送制御フローを終了する。」 （イ）引用文献４記載の技術的事項 上記（ア）について、振動センサ１３は、マイクロフォンで構成され（段落【００１６】）、擦り信号２２を検出する（段落【００３０】等）ものである。 また、引用文献４の段落【００５０】、【００５８】に記載された、異常が発生している旨を通報させ、ウエハ搬送装置１１による搬送制御フローを終了することは、ウエハ搬送装置１１の動作を制御する（例えば、停止する）ことを含むものと認められる。 したがって、引用文献４には、次の技術的事項（以下「引用文献４記載の技術的事項」という。）が記載されていると認められる。 「ウエハ搬送装置１１において、前記ウエハ搬送装置１１の一部に取り付けられ、前記ウエハ搬送装置１１の一部での振動に伴う擦り信号２２を取得可能なマイクロフォンである振動センサ１３を有し、前記擦り信号２２に基づき、ロボットの動作を制御可能であること。」 （３）本件補正発明と引用文献２発明との対比 ア 本件補正発明と引用文献２発明とを対比する。 （ア）引用文献２発明の「半導体ウェハ」は本件補正発明の「ワーク」に相当し、以下同様に、「搬送装置２０」は「ロボット」に、「ハンド２２」は「エンドエフェクタ」に、「旋回駆動手段３０、上下駆動手段３１、半径方向駆動手段３２」はいずれもサーボモータであるから「モータ」に、「旋回方向エンコーダ３３、上下方向エンコーダ３４、半径方向エンコーダ３５」は「エンコーダ」に、「第１非接触センサ４０、第２非接触センサ４１」は「複数のセンサ」に、「制御手段５２」は「ロボット制御装置」に、それぞれ相当する。また、引用文献２発明の「前記搬送装置２０の位置を示す搬送位置」は、「状態データ」の「状態」が「物事のありさま。ようす。」[広辞苑 第七版]を意味し広義に解されるから、本件補正発明の「前記ロボット又は前記ワークの状態を示す状態データ」に包含されると認められる。 （イ）通信装置について、引用文献２発明の「前記旋回方向エンコーダ３３、上下方向エンコーダ３４、半径方向エンコーダ３５と前記第１非接触センサ４０、第２非接触センサ４１が接続されたラインを有する」ことと、本件補正発明の「前記エンコーダと前記複数のセンサがマルチドロップ接続されたマルチドロップラインを有する」こととは、「前記エンコーダと前記複数のセンサが接続されたラインを有する」ことでは共通し、同様に「前記ラインにより全ての前記エンコーダを接続」することと「前記マルチドロップラインにより全ての前記エンコーダをマルチドロップ接続」することとは「前記ラインにより全ての前記エンコーダを接続」することでは共通する。 （ウ）引用文献２発明の「前記位置データに基づき、前記搬送装置２０の動作を制御可能である」ことと、本件補正発明の「前記位置データ、前記加速度データ、及び前記音データに基づき、前記ロボットの動作を制御可能である」こととは、「前記位置データに基づき、前記ロボットの動作を制御可能である」ことでは共通する。 イ 以上のことから、本件補正発明と引用文献２発明との一致点及び相違点は、次のとおりである。 ＜一致点＞ 「ワークに対して作業を行うためのロボットであって、 複数の関節軸を有するロボットアームと、 前記ロボットアームの先端に設けられるエンドエフェクタと、 前記関節軸を回転駆動するためのモータと、 前記モータの回転位置を示す回転位置データを取得するためのエンコーダと、 前記ロボット又は前記ワークの状態を示す状態データを取得するための複数のセンサと、 前記エンコーダと前記複数のセンサが接続されたラインを有する通信装置と、 前記通信装置を介して前記回転位置データ及び前記状態データを取得可能であり、前記ロボットの動作を制御するためのロボット制御装置と、を備え、 前記ロボットアームは、前記関節軸がリンクを介して直列的に接続されたリンク構造を有し、 前記通信装置は、前記ラインにより全ての前記エンコーダを接続し、 前記ロボット制御装置は、前記エンドエフェクタよりも基端側で直列的に接続された全ての前記関節軸のモータの回転位置データに基づき、前記エンドエフェクタの位置を示す位置データを導出可能であり、前記位置データに基づき、前記ロボットの動作を制御可能である、ロボット。」 ＜相違点１＞ エンコーダと複数のセンサを接続する通信装置のラインが、本件補正発明では「マルチドロップ接続されたマルチドロップライン」であり、全てのエンコーダが「マルチドロップライン」により「マルチドロップ接続し」ているのに対し、引用文献２発明では、旋回方向エンコーダ３３、上下方向エンコーダ３４、半径方向エンコーダ３５と第１非接触センサ４０、第２非接触センサ４１とを接続するラインがマルチドロップラインであるか不明な点。 ＜相違点２＞ 本件補正発明は、「前記ロボットの一部に取り付けられ、前記ロボットの一部の加速度を示す加速度データを前記状態データとして取得可能である加速度センサと、前記ロボットの一部に取り付けられ、前記ロボットの一部での音を示す音データを前記状態データとして取得可能であるマイクロホン」を有し、「前記位置データ、前記加速度データ、及び前記音データ」に基づき、ロボットの動作を制御可能であるのに対し、引用文献２発明は、加速度センサ及びマイクロホンを備えておらず、位置データに基づいてはいるものの、位置データ、加速度データ、及び音データに基づいて、ロボットの動作を制御可能とするものではない点。 （４）判断 以下、各相違点について検討する。 ア 相違点１について 上記（２）イ（イ）に示したとおり、引用文献１には、「ロボットシステムにおいて、子局Ａである視覚モジュール２、子局Ｂである関節モジュール３、子局Ｃである関節モジュール４、子局Ｄであるエンドエフェクタ５には、それぞれモータ及びセンサが接続されており、これらのモータ及びセンサを接続するラインが、マルチドロップ接続されたマルチドロップラインであり、全てのセンサがマルチドロップラインによりマルチドロップ接続していること。」との技術的事項が記載されているところ、引用文献２発明と引用文献１記載の技術的事項とは、センサの検出情報を用いてモータで関節を駆動してエンドエフェクタの位置を制御する点で共通するから、引用文献２発明に引用文献１記載の技術的事項を適用して、エンコーダやセンサを接続する通信装置のラインをマルチドロップラインとし、エンコーダやセンサをマルチドロップラインで接続する構成として、相違点１に係る本件補正発明とすることは、当業者が容易になし得るものである。 イ 相違点２について ロボットの技術分野において、ロボットが多様なセンサを備え、多様なセンサの検出情報を用いてロボットの動作を制御可能とすることは良く知られている技術思想であるところ、上記（２）ウ（イ）及びエ（イ）に示したとおり、引用文献３及び引用文献４には、「搬送用ロボット１において、前記搬送用ロボット１の一部に取り付けられ、前記搬送用ロボット１の一部の加速度を示す加速度データを取得可能であるセンサ６を有し、センサ６に基づいて搬送用ハンド３の撓み量を推測して、搬送用ハンド３の位置を補正して搬送用ロボット１の動作を制御可能であること。」及び「ウエハ搬送装置１１において、前記ウエハ搬送装置１１の一部に取り付けられ、前記ウエハ搬送装置１１の一部での振動に伴う擦り信号を取得可能なマイクロフォンである振動センサ１３を有し、前記擦り信号に基づき、ロボットの動作を制御可能であること。」との技術的事項が記載されている。 ここで、上記引用文献４記載の技術的事項における“マイクロフォン（マイクロホン）”の用語は、ＪＩＳ Ｚ ８１０６：２０００ 音響用語における３．６マイクロホンのＩＥＶ番号８０１－２６－０１（１８ページ）によれば、「音響振動から電気信号を得る電気音響変換器。」であり、“音響振動”の用語は、同３．１一般のＩＥＶ番号８０１－２１－０２（２ページ）によれば、「ａ）聴覚を引き起こさせる音響振動」、あるいは「ｂ）音響振動によって引き起こされる聴覚。」であるから、当該技術的事項のマイクロフォンが取得する擦り信号は聴覚を引き起こさせる音響振動であって、音データであるといえる。 そうすると、引用文献２発明に、多様なセンサの検出情報を用いてロボットの動作を制御可能とすることについての引用文献３、４記載の技術的事項を適用して、相違点２に係る本件補正発明とすることは、当業者が容易になし得るものである。 また、引用文献２～４の記載等を参酌しても、引用文献２発明に引用文献３、４記載の技術的事項を適用することを妨げるような特段の事情は見当たらない。 ウ 作用効果について 請求人は、審判請求書の５～６ページにおいて、本願の【００３９】に記載された、「具体的には、例えば、ロボット制御装置５０は、加速度データによって認識可能なエンドエフェクタ２６の振動、及び、音声データによって認識可能なエンドエフェクタ２６での音声が、それぞれ、予め定められた許容範囲内にあるとき、存在データ及び位置データに基づきロボットの動作を制御してもよい。これにより、ロボット制御装置５０は、精度良くロボット１０の動作を制御することが可能となる。」との作用効果は格別であって、引用文献１～４から容易ではない旨を主張しているから、本件補正発明による作用効果についても検討する。 本件補正発明では「前記加速度データ及び前記位置データに基づき、前記ロボットの動作を制御可能である」ことが特定されている程度であり、エンドエフェクタ２６の振動及びエンドエフェクタ２６での音（音声）がそれぞれ予め定められた許容範囲内にあるとき、存在データ及び位置データに基づきロボットの動作を制御することは特定されていないから、上記段落【００３９】の記載のように制御することにより精度良くロボット１０の動作を制御することが可能となる旨の格別の作用効果についての主張は本件補正発明に基づくものと認めることはできない。 さらに、仮に上記段落【００３９】に記載された作用効果が、本件補正発明により奏されるものであるとしても、引用文献２発明に引用文献１、３、４記載の技術的事項を適用したものにおいても同様の作用効果が奏されるものであり、当該作用効果が予測し得ないような格別顕著な作用効果とはいえない。 エ したがって、本件補正発明は、引用文献２発明及び引用文献１、３、４記載の技術的事項に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであり、特許法第２９条第２項の規定により、特許出願の際独立して特許を受けることができないものである。 ３ 本件補正についてのむすび 以上のとおりであるから、本件補正は、特許法第１７条の２第６項において準用する同法第１２６条第７項の規定に違反するので、同法第１５９条第１項の規定において読み替えて準用する同法第５３条第１項の規定により却下しなければならないものである。 よって、上記補正の却下の決定の結論のとおり決定する。 第３ 本願発明について １ 本願発明１ 令和６年１月１６日にされた手続補正は、上記のとおり却下されたので、本願の請求項１～５に係る発明は、令和５年８月８日にされた手続補正により補正がされた特許請求の範囲の請求項１～５に記載された事項により特定されるものであるところ、その請求項１に係る発明（以下「本願発明１」という。）は、前記第２の１（２）の請求項１に記載された事項により特定されるとおりのものである。 ２ 原査定の拒絶の理由 本願発明１についての原査定の拒絶の理由は、本願発明１は、本願の出願前に頒布された又は電気通信回線を通じて公衆に利用可能となった下記引用文献２に記載された発明及び引用文献１、３記載の技術的事項に基づいて、その出願前にその発明の属する技術の分野における通常の知識を有する者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない、というものである。 引用文献１：特開２０１３－８４１１１号公報 引用文献２：特開２００５－２６０１７６号公報 引用文献３：特開２００９－２３３７８９号公報 引用文献４：特開２００１－２２３２５４号公報 （なお、引用文献４は、本件補正前の請求項３～５について引用した文献であり、本願発明１については引用しない。） ３ 引用文献 原査定の拒絶の理由で引用された引用文献１～３の記載事項等は、前記第２の２（２）に記載したとおりである。 ４ 対比及び判断 本願発明１は、前記第２の２で検討した本件補正発明から、「複数のセンサ」についての、「前記ロボットの一部に取り付けられ、前記ロボットの一部での音を示す音データを前記状態データとして取得可能であるマイクロホン」を有するとの限定事項を削除するとともに、「ロボットの動作を制御可能」とするためのパラメータについて、「前記音データ」に基づくとの限定事項を削除したものであり、さらに、ロボットの一部に取り付けられる「複数のセンサ」につき、それらの全てを特定していたものを、それらのうち「少なくとも一つ」としたものである。 そうすると、本願発明１の発明特定事項を全て含み、さらに限定事項を付加したものに相当する本件補正発明が、前記第２の２（３）、（４）で検討したとおり、引用文献２発明及び引用文献１、３、４記載の技術的事項に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、本願発明１も、引用文献２発明及び引用文献１、３記載の技術的事項（引用文献４記載の技術的事項は上記限定事項についてのものであるから、本願発明１については引用しない。）に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものである。 第４ むすび 以上のとおり、本願の請求項１に係る発明は、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないから、他の請求項に係る発明について検討するまでもなく、本願は拒絶されるべきものである。 よって、結論のとおり審決する。