2022-010913

特願２０１９－５６９７８１「高作動圧力用途のための圧力センサモジュール」拒絶査定不服審判事件〔平成３０年１２月２０日国際公開、ＷＯ２０１８／２３１５２０、令和 ２年 ８月１３日国内公表、特表２０２０－５２４２７０〕について、次のとおり審決する。

結 論 本件審判の請求は、成り立たない。

理 由 第１ 手続の経緯 本願は、２０１８年（平成３０年）５月３０日を国際出願日とする外国語特許出願であって（パリ条約による優先権主張 ２０１７年６月１６日 米国）、その手続の経緯の概略は、次のとおりである。 令和 ２年 ２月１３日 ：翻訳文の提出 令和 ３年１１月１７日付け：拒絶理由通知書 令和 ４年 ２月１８日 ：意見書、手続補正書の提出 同年 ３月 ９日付け：拒絶査定（以下「原査定」という。） （同月１５日 ：原査定の謄本の送達） 同年 ７月１３日 ：審判請求書、手続補正書の提出 同年 ９月 ２日付け：前置報告書 同年１１月１１日 ：上申書の提出 第２ 令和４年７月１３日にされた手続補正についての補正の却下の決定 ［補正の却下の決定の結論］ 令和４年７月１３日にされた手続補正を却下する。 ［補正の却下の決定の理由］ １ 本件補正の内容 令和４年７月１３日にされた補正（以下「本件補正」という。）は、特許請求の範囲について補正するものであって、次の(１)に示す本件補正前の特許請求の範囲の請求項１の記載を、後記の(２)に示す本件補正後の特許請求の範囲の請求項１の記載に補正することを含む。下線は補正箇所を示す。 (１) 本件補正前の請求項１ 「【請求項１】 差圧センサモジュールであって、 センサ室入口を有するセンサ室を画定するベースであって、一対のプロセス流体圧力入口をさらに有する、ベースと、 前記センサ室内部に配設された差圧センサであって、第１の圧力を受けるように前記第１の圧力と前記センサ室内部の差圧センサ外部のセンサ室圧力との間の差を示す信号を提供するように構成された入口を有する、差圧センサと、 実質上同平面に配設され、各々が夫々のプロセス流体圧力入口を封止する、一対の隔離ダイヤフラムと、 前記隔離ダイヤフラムのうちの一方と、前記差圧センサの入口とに動作可能に結合された第１の流体通路と、 前記隔離ダイヤフラムのうちの他方と、センサ室入口とに動作可能に結合された第２の流体通路であって、前記隔離ダイヤフラムのうちの他方及びセンサ室と流体連通する充填流体を含む第２の流体通路と、 前記第１の流体通路と、前記第２の流体通路とに流体的に結合された過圧防護ダイヤフラムであって、少なくとも１つの前記隔離ダイヤフラムよりも大きい変位を有する過圧防護ダイヤフラムと、 を備える、差圧センサモジュール。」 (２) 本件補正後の請求項１ 「【請求項１】 差圧センサモジュールであって、 センサ室入口を有するセンサ室を画定するベースであって、一対のプロセス流体圧力入口をさらに有する、ベースと、 前記センサ室内部に配設された差圧センサであって、第１の圧力を受けるように前記第１の圧力と前記センサ室内部の差圧センサ外部のセンサ室圧力との間の差を示す信号を提供するように構成された入口を有する、差圧センサと、 実質上同平面に配設され、各々が夫々のプロセス流体圧力入口を封止する、一対の隔離ダイヤフラムと、 前記隔離ダイヤフラムのうちの一方と、前記差圧センサの入口とに動作可能に結合された第１の流体通路と、 前記隔離ダイヤフラムのうちの他方と、センサ室入口とに動作可能に結合された第２の流体通路であって、前記隔離ダイヤフラムのうちの他方及びセンサ室と流体連通する充填流体を含む第２の流体通路と、 前記第１の流体通路と、前記第２の流体通路とに流体的に結合された過圧防護ダイヤフラムであって、いずれの前記隔離ダイヤフラムよりも大きい変位を有する過圧防護ダイヤフラムと、を備え、 過圧がいずれかのプロセス流体圧力入口に加えられたとき、前記過圧防護ダイヤフラムが、差圧センサを保護するように構成される、 差圧センサモジュール。」 ２ 本件補正の目的 本件補正は、本件補正前の請求項１の「前記第１の流体通路と、前記第２の流体通路とに流体的に結合された過圧防護ダイヤフラムであって、少なくとも１つの前記隔離ダイヤフラムよりも大きい変位を有する過圧防護ダイヤフラムと、を備える、」という記載を、本件補正後の請求項１の「前記第１の流体通路と、前記第２の流体通路とに流体的に結合された過圧防護ダイヤフラムであって、いずれの前記隔離ダイヤフラムよりも大きい変位を有する過圧防護ダイヤフラムと、を備え、過圧がいずれかのプロセス流体圧力入口に加えられたとき、前記過圧防護ダイヤフラムが、差圧センサを保護するように構成される、」という記載に補正することにより、本件補正前の請求項１の発明特定事項である「過圧防護ダイヤフラム」について、「少なくとも１つの前記隔離ダイヤフラムよりも大きい変位を有する」とされていた構成を「いずれの前記隔離ダイヤフラムよりも大きい変位を有する」という構成に限定して「過圧がいずれかのプロセス流体圧力入口に加えられたとき、前記過圧防護ダイヤフラムが、差圧センサを保護するように構成される」ものに限定するものである。 そして、本件補正前の請求項１に記載された発明と、本件補正後の請求項１に記載される発明は、産業上の利用分野及び解決しようとする課題が同一である。 よって、本件補正は、特許法１７条の２第５項２号に規定する特許請求の範囲の減縮を目的とするものに該当する。 ３ 独立特許要件についての当審の判断 本件補正は、特許法１７条の２第５項２号に規定する特許請求の範囲の減縮を目的とするものに該当するから、本件補正後における請求項１に記載されている事項により特定される発明（以下「本件補正発明」という。）が特許法１７条の２第６項において準用する同法１２６条７項の規定に適合するか、すなわち、特許出願の際独立して特許を受けることができるものであるか否かについて、以下検討を行う。 (１) 本件補正発明 ア 本件補正発明は、前記１(２)に摘記した本件補正後の請求項１に記載された事項により特定されるものである。 イ(ア) なお、請求項１には、次に示す部分にやや不明瞭な記載があるので、以下少し検討する。 「前記センサ室内部に配設された差圧センサであって、第１の圧力を受けるように前記第１の圧力と前記センサ室内部の差圧センサ外部のセンサ室圧力との間の差を示す信号を提供するように構成された入口を有する、差圧センサ」 (イ) 上記記載は、語句の修飾関係がやや複雑であり、「第１の圧力を受けるように…」の部分は、どの記載を修飾するのか分かりにくい。 ウ そこで、明細書の段落【００２２】及び図５を参酌すると、次のように記載されている。 「【００２２】 図５は、本発明の実施形態が特に有用である差圧センサの拡大図である。…（中略）…図示されるように、台座３０４は、センサ取り付け面３０６の通路３１２と流体連通する開口３１０を含む。開口３１０は、基準圧力または低圧側圧力が、差圧センサ３００の内部３１４にアクセスすることを可能にする。図５に示されるように、差圧センサ３００の実質的にすべての外面の周囲で、高圧側圧力が、基準圧力（内部３１４に流体的に結合されている）に対して作用し、センサダイヤフラムを撓ませる。（後略）」 「【図５】 ［図：0001403256000001.jpg］ 」 エ 前記明細書及び図面の記載を参酌すると、「第１の圧力を受けるように」及び「前記第１の圧力と前記センサ室内部の差圧センサ外部のセンサ室圧力との間の差を示す信号を提供するように」は、いずれも「構成された」を修飾することが理解できる。 オ ここで、本願の国際公開における請求項１の前記記載に相当する箇所の記載は、次のとおりとなっており、上記エの理解と整合する。 「a differential pressure sensor disposed within the sensor chamber and having an inlet configured to receive a first pressure and provide a signal indicative of a difference between the first pressure and a sensor chamber pressure external to the differential pressure sensor within the sensor chamber;」 カ そうすると、請求項１における前記イ(ア)に摘記した記載は、よりこなれた日本語しては、次のように記載すべきものであったと認められる。 「前記センサ室内部に配設された差圧センサであって、第１の圧力を受けて、前記第１の圧力と前記センサ室内部の差圧センサ外部のセンサ室圧力との間の差を示す信号を提供するように構成された入口を有する、差圧センサと、」 キ しかし、修飾関係を前記エのとおり理解することにより、その記載の意味を理解できるから、前記アのとおり本件補正発明を認定する。 (２) 引用発明及び技術常識の認定 ア 引用文献１に記載された事項及び引用発明の認定 (ア) 引用文献１に記載された事項 原査定の拒絶の理由において引用された文献である特開平５－３４６３６３号公報（以下「引用文献１」という。）には、次の事項が記載されている。下線は合議体が付した。以下同様である。 ａ 段落【０００１】～【０００４】 「【０００１】 【産業上の利用分野】本発明はオリフィス等により、二点間に発生した圧力差（差圧）を測定する差圧伝送器に係わり、特に、二箇所の系内圧力が流体を介して伝達される受圧部の構成に関する。 【０００２】 【従来の技術】この種の開示例としては、公開特許公報昭和60－237337号及び、米国特許4,135,408号があるので、これらを参考にしながら説明する。 【０００３】いずれの開示例においても、３枚のダイアフラムで仕切られた部屋を２つ設けている受圧部と、この受圧部から離れた場所に、或いは前記受圧部内に圧力を電気に変換する微小変位形の差圧検出部を有している。これらの部分は、前記受圧部内と差圧検出部に形成されている部屋と流体通路を介して連通している。この内部には封入液が満たされており、外気とは完全隔離され、独立に密封されている構成をとっている。 【０００４】プロセスから導入された各圧力は低剛性の受圧ダイアフラムと受圧部部材とで形成される各受圧室に伝達し、前記低剛性の受圧ダイアフラムと過大圧の保護機構を構成するために設けられているもう一つのダイアフラム（中心ダイアフラムと称す）と受圧部部材とで形成される隔離室間に形成された流体通路を介して前記隔離室内に伝達する。さらに、隔離室内の圧力は差圧検出部と隔離室間に形成されたもう一つの流体通路を介して、差圧検出部の圧力／電気変換素子（例えば半導体圧力センサ）の表裏に伝達する。これによって、差圧に対応した電気信号が得られる。次に、この各圧力の差が大きくなると（過大圧）、前記低剛性の受圧ダイアフラムは前記受圧室内に設けられているストッパー部に着座するので、封入液の移動がなくなる。また、一端ストッパー部に着座してしまうと、それ以後の過大圧に対しても封入液の移動がない。このため、半導体圧力センサには所定の圧力しか発生せず、過大圧より保護されて破損することはない。前述の如く、この機構は一般には過大圧保護機構と呼ばれており、半導体圧力センサの如き微小変位形の圧力／電気変換素子を採用した差圧伝送器の受圧部には必須の構成要件である。」 ｂ 段落【００２３】～【００２６】 「【００２３】図１は、本発明の差圧伝送器受圧部の一実施例を示す断面図である。図１に示された差圧伝送器受圧部は第一部材１０と第二部材１１から構成されている。前記第一部材１０の一方の端面には、非常に低剛性の高圧側受圧ダイアフラム１２と低圧側受圧ダイアフラム１３が同方向に、並列的に設けられ、これらのダイアフラム１２，１３と対向する前記第一部材１０の面には受圧ダイアフラムと同形状の波形状の波形面が形成されており、それぞれの受圧ダイアフラム１２と１３の周辺を前記第一部材１０に溶接接合することにより、受圧部の第一部材と受圧ダイアフラム間に２つの受圧室、すなわち高圧側受圧室１４と低圧側受圧室115が形成される。また、前記第一部材１０のもう一方の面には、中心ダイアフラム１６がその外周部付近を円周上に溶接接合され、この溶接された前記中心ダイアフラム１６の第一部材１０の他方の面側に接合部材３０が設けられる。前記接合部材３０の一端には、前記中心ダイアフラム１６の溶接部より内側に突起状の形状部３１を有している。この突起形状部は前記中心ダイアフラム１６の差圧測定時の運動支点となるので、前記溶接部には過大な歪が発生しなく高寿命化が図られる。さらに、接合部材３０１は前記第一部材１０と嵌合して、その外周部を溶接接合される。この時、接合部材３０と中心ダイアフラム１６間に空間が生じ、この空間が高圧側隔離室１７となる。前記高圧側隔離室１７と前記高圧側受圧室１４は、前記第一部材１０に形成されている高圧側第一連通路１９により直列的に接続している。また、前記中心ダイアフラム１６の他方の面には、前記第一部材１０内に設けられた第一の凹部１０１と中心ダイアフラム間で低圧側隔離室１８が形成される。この低圧側隔離室１８と前記低圧側受圧室１５は、前記第一部材１０に形成されているもう一つの低圧側第一連通路２０により直列的に接続している。これらの構成により、受圧部の第一部材１０内で、プロセス圧力を受圧部内に連通させる高圧側と低圧側の各部屋と、各通路が形成される。 【００２４】前記接合部材３０の高圧側隔離室１７を形成している他方の面には、半導体圧力または複合機能形差圧センサの如き微小変位形の圧力／電気変換素子部組100の一方の面が面するように設けられ、前記接合部材３０の一端を円周上に溶接接合（Ｃ部）され、第一の測定室（高圧側測定室）１００１が形成される。この高圧側測定室には、前記高圧側隔離室１７と、前記接合部材３０に設けられた微小な穴２１（高圧側第二連通路）を介して連通する。このため、前記高圧側受圧室１４の圧力は、高圧側隔離室１７を直列的に経由して、高圧側測定室１００１に伝達され、高圧側の圧力測定経路が達成される。 【００２５】一方、前記圧力／電気変換素子部組１００は、受圧部部材を構成する他の第二部材１１の第一の凹部１１２に挿入され、かつ前記第二部材１１の内部に設けられた機械的接触部１１１により機械的に位置ずれを起こさないように、位置決めされ、かつ、前記第二部材１１の他方の面にて（前記高圧側測定室１００１の反対方向面）溶接接合される（ｅ部）。圧力が印加された時、この機械的接触部１１１は、前記圧力／電気変換素子部組１００の抜け止めとして動作するので、溶接部（ｅ部）には過大な歪が発生しない。このため、前記溶接部（ｅ部）は単なる気密封止を目的とする一般のアルゴンアーク溶接等の接合法で十分である。また、前記第二部材１１には、前記圧力／電気変換素子部組１００を挿入する凹部１１２以外に、もう一つの凹部１１３が設けられており、かつその延長上に前記第一部材１０との接合面を有している。この凹部１１３には、前記第一部材１０内に既に形成されている高圧側隔離室１７と低圧側隔離室１８の各部屋部分が挿入されており、これらの部屋を包込んだ構成になる。この時、前記高圧側隔離室１７を形成するのに設けられた接合部材３０は、圧力印加時に、静水圧状態となっている。このため、前記第一部材１０との接合部（ｂ部）には、圧力印加時にも、過大な歪が発生しなく、気密封止を目的とする一般のアルゴンアーク溶接等の接合法で十分である。また、前記第二部材１１の第二凹部１１３以外の領域には、前記第一部材１０との接合を可能にするための接合面を有しており、この接合面は前記凹部形状の延長上にあり、溶接にて固着接合される（ｄ部）。この接合面の接合時に、前記第二部材１１の第一の凹部１１２と前記圧力／電気変換素子部組１００との嵌合によって形成される微小空間と、前記第二部材１１の第二の凹部１１３と前記第一部材１０内に設けられた各隔離室を包込むように嵌合された時にできる微小空間とが連通して、圧力／電気変換素子部組１００のもう一方の測定室（低圧側測定室）に至る連通路（低圧側第二連通路の一部）が外気と密閉され、圧力を伝達できるようになる。この嵌合の際に形成された前記低圧側第二連通路の一部は、前記第一部材１０内と前記中心ダアフラム１６とで形成された低圧側隔離室１８の一部分に設けられた少なくとも１つ以上の微小穴２２（低圧側第二連通路の一部）によって連通する。したがって、前記低圧側受圧室１５の圧力は、低圧側隔離室１８を直列的に経由して、低圧側測定室（図３に示されているように、この部屋は圧力／電気変換素子部組の内部に形成されている。）に伝達され、低圧側の圧力測定経路が達成される。 【００２６】かかる構成により形成される前記各部屋と前記各通路には、圧力を伝達するための非圧縮性封入液、例えばシリコンオイルが封入される。この封入液は、前記第一部材１０内の前記高圧側第一連通路１９と低圧側第一連通路２０に、それぞれ直交するように設けられた液封入口３１１，３２１より注入され、シールピン３１，３２で封止される。」 ｃ 段落【００２９】 「【００２９】図１における二つの継手フランジ４１，４２は、プロセス圧力を前述の受圧部の高圧側シールダイフラム１２と低圧側シールダイフラム１３に導くために設けられる一種の圧力容器であり、通称フランジと呼ばれている。この継手フランジ４１，４２は、前記各シールダイフラム１２，１３面を覆うようにして、高圧側と低圧側にそれぞれ別々に設けられ、シール部材４５，４６を介して、前記受圧部の第一部材１０のシールダイフラム位置の近傍に密着接合する。前記継手フランジ４１，４２のそれぞれの締め付けボルト４３，４４は、前記シール部材の密着面の他方の面から、継手フランジ４１，４２に設けられた二つのボルト通し穴（図示せず）を貫通して、なおかつ、前記各シールダイフラムの近傍でそれらに干渉しないようにして、前記受圧部材の第一部材１０内に設けられたそれぞれに二つずつ設けた穴１０５，１０６を介して、前記第一部材１０内の穴１０５，１０６とその軸を同じ軸上に設けられた、前記第二部材１１内のそれぞれのねじ穴１１５１，１１６１にねじ込まれる。この時、前記シール部材４５，４６は前記締め付けボルトの軸力により圧縮される。このため、前記継手フランジ４１，４２と前記第一部材の各シールダイアフラム１２，１３間の空間で形成される高圧側圧力導入室４１１と、低圧側圧力導入室４２１が完全に気密封止され、プロセスの各圧力を各シールダイアフラム面に負荷することができる。さらに、これらの締め付けボルトは前記第一部材１０と前記第二部材１１との接合面（図１のｄ部）に圧縮力を与えている。したがって、前記接合部ｄ部には、圧力印加時も過大な歪が発生しないので、単なる気密封止を目的としたアルゴンアーク溶接或いはレーザ溶接等の一般的な接合法で十分である。」 ｄ 図１ 「 ［図：0001403256000002.jpg］ 」 ｅ 段落【００３２】～【００３４】 「【００３２】図３は前記圧力／電気変換素子部組の詳細を示した断面図である。図３において、８１は単結晶シリコンから成る複合機能形の差圧センサチップである。複合機能形差圧センサチップ８１は中空の固定台８２を介してハウジング８４に取り付けらける。固定台８２は複合機能形差圧センサチップ８１のハウジング８４との電気絶縁およびハウジング８４との線膨張係数の相違による熱歪の低減を考慮して、前記シリコンと線膨張係数の近似したセラミックス(例えばＳｉＣ,ＳｉＮ）あるいはＦｅ－Ｎｉ合金が望ましい。しかし、入手不可能の場合はその材料選択時に前記シリコンとの線膨張係数との相違を無視しても、実用的精度は達成できる。固定台８２とセンサチップ８１との接合面側には接合層８２０を有する。接合層８２０は固定台８２の接合表面を低融点ガラス等の酸化物ソルダーでグレイズ化して形成するか、あるいは金属ソルダー、あるいはＡｕ－Ｓｎ，Ａｕ－Ｓｉ合金層又はＡｕの薄膜をスパッタ法、あるいは蒸着法により形成することができる。または、有機質あるいは無機質のバインダーでも形成できる。かかる接合層８２０を固定台８２のセンサチップ８１の接合面側に設けることにより、センサチップ８１を、低温で容易に接合できる。またその接合層は薄いので接合歪の影響を極力低減できる。 【００３３】複合機能形差圧センサチップ８１は（１００）面のｎ形単結晶シリコンであり、その一方の面のほぼ中央に、円形又は多角形の薄肉部８１１を有する。一方、センサチップ８１の他方の面は中央に孔８２９を有する固定台８２とで形成される凹部８１３を形成する。この凹部８１３に検出すべき差圧の一方(低圧側圧力)を前記固定台に設けた孔８２９と前記ハウジング８４に設けられた孔８４３を介して導入する。これにより、前記薄肉部８１１は差圧に感応する起歪体となり、差圧検出用の感圧ダイアフラムとして動作する。差圧感圧ダイアフラム８１１の上面（高圧側）には(１００)面におけるピエゾ抵抗係数が最大となる〈１１０〉軸方向に、Ｐ形抵抗体（ゲージ抵抗）８１１１～８１１４がそれぞれ結晶軸に対して平行又は直角方向に熱拡散法あるいはイオン注入法により形成される。前記各抵抗体８１１１～８１１４の配置位置は、差圧印加時に差圧感圧ダイアフラム８１１上に発生する半径方向，周方向の歪が最大になる固定部近傍に配置する。また、これらの抵抗の配置方向としては、８１１１と８１１３を半径方向とし、８１１２と８１１４を接線方向とし、これらの抵抗をブリッジ回路に結線することにより大きな差圧信号を得ることができる。差圧感圧ダイアフラム８１１の形状と肉厚は感応する差圧に応じて所望の形状と肉厚に設定され、異方性ウェットエッチング、あるいはドライエッチングによって形成される。 【００３４】センサチップ８１に圧力が加わった時、差圧感圧ダイアフラム８１１上の抵抗体８１１１～８１１４は、ダイアフラムの上面（前記高圧側測定室側）と凹部８１３（前記低圧側測定室側）の圧力差（差圧）により発生する歪を受け、ピエゾ抵抗効果により抵抗が変化する。」 ｆ 段落【００３７】 「【００３７】複合機能形差圧センサチップ８１からの差圧，静圧，温度の各信号はリード線８１７を介してハウジング８４に設けられたハーメチックシール部８４１の端子８４２により、前記受圧部の第二部材１１の一方の面（前記第二部材の第二凹部と反対側）にそれぞれ取り出される。さらに、これらの信号は前記第二部材１１の電気信号取り出し口に設けられた第三の凹部１１４内の電気信号処理ユニット１１４１（例えば記憶素子，Ａ／Ｄコンバータ，マルチプレクサを含んだ信号処理回路であり、本受圧部の特性を特徴ずけるための信号処理ユニット）に送られ、さらに、増幅器（図示せず）に送られて正規化された信号になる。」 ｇ 図３ 「 ［図：0001403256000003.jpg］ 」 ｈ 引用文献１の記載から読み取れる事項 (ａ) 図１、図３及び段落【００２３】、【００２９】、【００３２】の記載から、「第一部材１０」、「第二部材１１」、「接合部材３０」、「継手フランジ４１，４２」及び「ハウジング８４」（以下、これらの部材を併せて「構成部材」という。）によって、「複合機能形差圧センサチップ８１」及び「固定台８２」を格納する空間（以下「センサ格納空間」という。）が画定されていることが読み取れる。 (ｂ) 図１及び段落【００２４】の記載から、前記センサ格納空間は、前記接合部材３０に設けられた「微小な穴２１」からなる入口を有することが読み取れる。 (ｃ) 図１及び段落【００２３】の記載から、高圧側受圧ダイアフラム１２と低圧側受圧ダイアフラム１３が、実質上同平面に配列されており、また各々が二つの継手フランジ４１，４２からの流路を封止して、高圧側受圧室１４及び低圧側受圧室１５に圧力を伝達するものであることが読み取れる。 (ｄ) 図１及び段落【００２３】の記載から、中心ダイアフラム１６の両面側にそれぞれ高圧側隔離室１７と低圧側隔離室１８が形成されていることが読み取れる。 (ｅ) 図１、図３及び段落【００２４】、【００２６】、【００３３】の記載から、前記センサ格納空間の高圧側（図３では上側となる高圧側測定室空間）には、シリコンオイルなどの非圧縮性封入液が封入され、微小な穴２１、高圧側隔離室１７、高圧側第一連通路１９、高圧側受圧室１４、高圧側受圧ダイアフラム１２、継手フランジ４１を介して導入される外部からのプロセス圧力が当該空間内において均一に伝達されることにより、前記センサ格納空間内の高圧側測定室側圧力が、複合機能形差圧センサチップ８１の上面、側面、及び固定台８２の一部に均等に印加されることが読み取れる。 ｉ 従来の技術に関する記載についての検討 前記ａの段落【０００４】において、従来の技術として「中心ダイアフラム」が「過大圧の保護機構を構成するために設けられている」ことが説明されている。引用文献１において、前記「中心ダイアフラム」の目的、機能に関し何らかの変更がなされるといった記載も示唆も無いことから、当該説明は前記ｂの段落【００２３】に記載されている、実施例の「中心ダイアフラム１６」においても同様にあてはまるものであることは明らかである。 (イ) 引用発明の認定 前記(ア)ａ～ｇにおいて摘記した事項及び前記(ア)ｈの引用文献１の記載から読み取れる事項を前記ア(ｉ)の検討を踏まえて総合すると、引用文献１には次の発明（以下「引用発明」という。）が記載されていると認められる。 ［引用発明］ 「差圧伝送器受圧部であって、（段落【００２３】） 微小な穴２１からなる入口を有するセンサ格納空間を画定する、第一部材１０、第二部材１１、接合部材３０、継手フランジ４１，４２及びハウジング８４からなる構成部材であって、前記継手フランジ４１，４２は、プロセス圧力を受圧部の高圧側シールダイアフラム１２と低圧側シールダイアフラム１３に導くものである、構成部材と、（段落【００２９】、前記ｈの引用文献１の記載から読み取れる事項(ａ)～(ｂ)） 前記センサ格納空間に格納された、複合機能形差圧センサチップ８１及び固定台８２であって、（前記ｈの引用文献１の記載から読み取れる事項(ａ)） 前記複合機能形差圧センサチップ８１は、凹部８１３を形成し、この凹部８１３に検出すべき差圧の一方(低圧側圧力)が前記固定台に設けた孔８２９と前記ハウジング８４に設けられた孔８４３を介して導入され、（段落【００３３】） 前記複合機能形差圧センサチップ８１に圧力が加わった時、差圧感圧ダイアフラム８１１上の抵抗体８１１１～８１１４は、ダイアフラムの高圧側測定室側と低圧側測定室側の圧力差（差圧）により発生する歪を受け、ピエゾ抵抗効果により抵抗が変化するものであり、（段落【００３４】） 前記複合機能形差圧センサチップ８１からの差圧信号はリード線８１７を介してハウジング８４に設けられたハーメチックシール部８４１の端子８４２により、前記受圧部の第二部材１１の一方の面にそれぞれ取り出され、（段落【００３７】） 前記高圧側測定室は、高圧側隔離室１７と、前記接合部材３０に設けられた微小な穴２１（高圧側第二連通路）を介して連通し、高圧側受圧室１４の圧力は、高圧側隔離室１７を直列的に経由して、高圧側測定室に伝達され、高圧側の圧力測定経路が達成され、（段落【００２４】）、 前記センサ格納空間内の高圧側測定室側圧力が、複合機能形差圧センサチップ８１の上面、側面、及び固定台８２の一部に均等に印加され、 実質上同平面に配列され、各々が二つの継手フランジ４１，４２からの流路を封止して、高圧側受圧室１４及び低圧側受圧室１５に圧力を伝達する高圧側受圧ダイアフラム１２及び低圧側受圧ダイアフラム１３と、（前記ｈの引用文献１の記載から読み取れる事項(ｃ)） 低圧側受圧室１５の圧力を、低圧側隔離室１８を直列的に経由して、低圧側測定室に伝達する、低圧側の圧力測定経路と、（段落【００２５】） 過大圧の保護機構を構成するために設けられている中心ダイアフラムであって、両面側にそれぞれ高圧側隔離室１７と低圧側隔離室１８が形成されている中心ダイアフラムと、（段落【０００４】、【００２３】、前記ｈの引用文献１の記載から読み取れる事項(ｄ)） を有し、 前記各部屋と前記各通路には、圧力を伝達するための非圧縮性封入液が封入される、（段落【００２６】） 差圧伝送器受圧部。」 イ 引用文献５及び引用文献６に記載された事項と技術常識１の認定 (ア) 引用文献５に記載された事項 原査定において引用された文献である特開２０１３－１８１９４９号公報（以下「引用文献５」という。）には、次の事項が記載されている。 ａ 段落【０００１】～【０００２】 「【０００１】 この発明は、圧力差に応じた信号を出力するセンサダイアフラムを用いた差圧発信器に関するものである。 【背景技術】 【０００２】 従来より、工業用の差圧発信器（伝送器）として、圧力差に応じた信号を出力するセンサダイアフラムを用いた差圧発信器が用いられている。この差圧発信器は、高圧側および低圧側の受圧ダイアフラムに加えられる各測定圧を、圧力伝達媒体としての封入液によってセンサダイアフラムの一方の面および他方の面に導き、そのセンサダイアフラムの歪みを例えば歪抵抗ゲージの抵抗値変化として検出し、この抵抗値変化を電気信号に変換して取り出すように構成されている。」 ｂ 段落【０００４】～【０００８】 「【０００４】 図２に従来の差圧発信器の概略構成を示す。この差圧発信器１００は、センサダイアフラム（図示せず）を有するセンサチップ１をメータボディ２に組み込んで構成される。センサチップ１におけるセンサダイアフラムは、シリコンやガラス等からなり、薄板状に形成されたダイアフラムの表面に歪抵抗ゲージが形成されている。メータボディ２は、金属製の本体部３とセンサ部４とからなり、本体部３の側面に一対の受圧部をなすバリアダイアフラム（受圧ダイアフラム）５ａ，５ｂが設けられ、センサ部４のセンサ室４ａ内にセンサチップ１が設けられている。 【０００５】 メータボディ２において、センサ室４ａ内に設けられたセンサチップ１と本体部３に設けられたバリアダイアフラム５ａ，５ｂとの間は、大径のセンタダイアフラム６により隔離された圧力緩衝室７ａ，７ｂを介してそれぞれ連通され、センサチップ１とバリアダイアフラム５ａ，５ｂとを結ぶ連通路８ａ，８ｂにシリコーンオイル等の圧力伝達媒体９ａ，９ｂが封入されている。 【０００６】 なお、シリコーンオイル等の圧力媒体が必要となるのは、センサダイアフラムに対する計測媒体中の異物付着を防ぐこと、センサダイアフラムを腐食させないため、耐食性を持つ受圧ダイアフラムと応力（圧力）感度を持つセンサダイアフラムとを分離する必要があるためである。 【０００７】 この差圧発信器１００では、図３(ａ)に定常状態時の動作態様を模式的に示すように、プロセスからの測定圧Ｐ１がバリアダイアフラム５ａに印加され、プロセスからの測定圧Ｐ２がバリアダイアフラム５ｂに印加される。これにより、バリアダイアフラム５ａ，５ｂが変位し、その加えられた圧力Ｐ１，Ｐ２がセンタダイアフラム６により隔離された圧力緩衝室７ａ，７ｂを介し、圧力伝達媒体９ａ，９ｂを通して、センサチップ１のセンサダイアフラムの一方の面および他方の面にそれぞれ導かれる。この結果、センサチップ１のセンサダイアフラムは、その導かれた圧力Ｐ１，Ｐ２の差圧ΔＰに相当する変位を呈することになる。 【０００８】 これに対して、例えば、バリアダイアフラム５ｂに過大圧Ｐoverが加わると、図３(ｂ)に示すようにバリアダイアフラム５ｂが大きく変位し、これに伴ってセンタダイアフラム６が過大圧Ｐoverを吸収するように変位する。そして、バリアダイアフラム５ｂがメータボディ２の凹部１０ｂの底面（過大圧保護面）に着底し、その変位が規制されると、バリアダイアフラム５ｂを介するセンサダイアフラムへのそれ以上の差圧ΔＰの伝達が阻止される。バリアダイアフラム５ａに過大圧Ｐoverが加わった場合も、バリアダイアフラム５ｂに過大圧Ｐoverが加わった場合と同様にして、バリアダイアフラム５ａがメータボディ２の凹部１０ａの底面（過大圧保護面）に着底し、その変位が規制されると、バリアダイアフラム５ａを介するセンサダイアフラムへのそれ以上の差圧ΔＰの伝達が阻止される。この結果、過大圧Ｐoverの印加によるセンサチップ１の破損、すなわちセンサチップ１におけるセンサダイアフラムの破損が未然に防止される。」 ｃ 図２、図３ 「【図２】 ［図：0001403256000004.jpg］ 」 「【図３】 ［図：0001403256000005.jpg］ 」 (イ) 引用文献６に記載された事項 原査定において引用された文献である特開平９－１４５５１８号公報（以下「引用文献６」という。）には、次の事項が記載されている。 ａ 段落【００１１】～【００１４】 「【００１１】 【発明の実施の形態】以下、本発明を図面に示す実施の形態に基づいて詳細に説明する。図１は本発明に係る差圧・圧力発信器の実施の形態を示す断面図である。なお、図中従来技術の欄で示した構成部品等と同一のものについては同一の符号をもって示し、その説明を省略する。同図において、発信器本体２の発信器ボディ９は、両側面に設けられたシールダイヤフラム８と、これらのシールダイヤフラム８によって形成されたダイヤフラム室１４に一端がそれぞれ連通する封入液通路３１を有し、ダイヤフラム室１４および封入液通路３１に封入された封入液１３を介して各シールダイヤフラム８の変位を半導体圧力センサ１１に伝達するように構成されている。したがって、発信器本体２は、図３に示したセンターダイヤフラム６および内室７を備えていない。 【００１２】発信器本体２にキャピラリチューブ５を介してそれぞれ接続される低圧側と高圧側の受圧器３は、その検出器ボディ１７の一側面に設けられた接液ダイヤフラム１５と、この接液ダイヤフラム１５と対称な部位となるように他側面に設けられた過負荷保護用ダイヤフラム３５をそれぞれ備えている。検出器ボディ１７の側面と接液ダイヤフラム１５および過負荷保護用ダイヤフラム３５によってそれぞれ形成されたダイヤフラム室１６，３７は、連通路３８によって互いに連通しており、またこの連通路３８は封入液通路１８を介して前記キャピラリチューブ５に接続されている。過負荷保護用ダイヤフラム３５のコンプライアンス（外力が加わったときの変形と力の比で、ダイヤフラムの変形し易さ、撓み易さを表す）は、接液ダイヤフラム１５のコンプライアンスより小さく設定されている。言い換えれば、過負荷保護用ダイヤフラム３５は、接液ダイヤフラム１５より撓み難く製作されている。なお、４０はキャピラリチューブ５を発信器ボディ９と検出器ボディ１１に接続するための接続具、４１はキャピラリチューブ５の接続端部を覆う保護カバー、４２は信号処理回路、４３はカバー１０を発信器ボディ９に固定するボルトである。その他の構成は図３に示した従来の差圧・圧力発信器と同様である。 【００１３】このような構造からなるリモート・シール型の差圧・圧力発信器において、測定流体の低圧側および高圧側の圧力ＰL ，ＰH が低圧側、高圧側の受圧器３の接液ダイヤフラム１５にそれぞれ加わると、これらの接液ダイヤフラム１５はその圧力に応じて変位する。そのため、ダイヤフラム室１６内の封入液２０の一部は、連通路３８を通ってダイヤフラム室３７へ移動する。この時、通常測定時においては、接液ダイヤフラム１５が検出器ボディ１７の側面に着底せず、ダイヤフラム室１６の容積は零にならない。このダイヤフラム室１６内の封入液２０は、連通路３８を通ってダイヤフラム室３７に流れ込み、過負荷保護用ダイヤフラム３５を変位させる。したがって、この時の圧力のみが封入液２０を介して発信器本体２に導かれ、シールダイヤフラム８を変位させる。そして、このシールダイヤフラム８の変位は、封入液１３を介して半導体圧力センサ１１に導かれ、その差圧が測定される。 【００１４】一方、たとえば低圧側受圧器３の接液ダイヤフラム１５に測定限界圧以上の過大圧力が加わると、この接液ダイヤフラム１５は変位して検出器ボディ１７の側面に着底し、ダイヤフラム室１６の容積を零にする。そのため、ダイヤフラム室１６内の封入液２０は全て連通路３８を通ってダイヤフラム室３７内へ移動し、過負荷保護用ダイヤフラム３５を変位させる。過負荷保護用ダイヤフラム３５は、コンプライアンスが小さいが、接液ダイヤフラムが通常の弾性域を越えて塑性域に入る状態よりは撓み易いので、十分に変位してダイヤフラム室１６内の封入液２０をダイヤフラム室３７内に受け入れ、過大圧力を吸収する。したがって、過大圧力は発信器本体２側には伝わらず、シールダイヤフラム８および半導体圧力センサ１１が破損することはない。高圧側受圧器３の接液ダイヤフラム１５に過大圧力が加わった時も同様に、高圧側の過負荷保護用ダイヤフラム３７が変位して過負荷を吸収することにより、過大圧力が発信器本体２側に伝わらず、シールダイヤフラム８および半導体圧力センサ１１の破損を防止する。」 ｂ 図１ 「 ［図：0001403256000006.jpg］ 」 (ウ) 技術常識１の認定 前記(ア)及び(イ)に摘記した事項に例示されるように、次の事項は当業者にとって技術常識であったと認められる（以下「技術常識１」という）。 ［技術常識１］ 「差圧発信器（伝送器）のセンタダイアフラム（保護用ダイアフラム）は、低圧側及び高圧側の受圧ダイアフラムが変位することにより伝達される過大圧を自身の変位により吸収してセンサの破損を防止するものであること。」 (３) 対比 ア 対比分析 本件補正発明と引用発明を対比する。 (ア) 引用発明の「差圧伝送器受圧部」は、「複合機能形差圧センサチップ８１」を有し、差圧を測定することができるものであるから、「差圧センサモジュール」であるといえる。したがって、「差圧センサモジュール」の発明である本件補正発明と「差圧伝送器受圧部」の発明である引用発明は、「差圧センサモジュール」の発明である点で一致する。 (イ) 引用発明の「微小な穴２１からなる入口を有するセンサ格納空間を画定する、第一部材１０、第二部材１１、接合部材３０、継手フランジ４１，４２及びハウジング８４からなる構成部材」は、本件補正発明の「センサ室入口を有するセンサ室を画定するベース」に相当する。 また、引用発明において、前記構成部材の一部である「継手フランジ４１，４２」が「プロセス圧力を受圧部の高圧側シールダイアフラム１２と低圧側シールダイアフラム１３に導くものである」ことは、本件補正発明において「ベース」が「一対のプロセス流体圧力入口をさらに有する」ことに相当する。 よって、本件補正発明と引用発明は、「センサ室入口を有するセンサ室を画定するベースであって、一対のプロセス流体圧力入口をさらに有する、ベース」を備える点で一致する。 (ウ)ａ 引用発明の「前記センサ格納空間に格納された、複合機能形差圧センサチップ８１及び固定台８２」は、本件補正発明の「前記センサ室内部に配設された差圧センサ」に相当する。 そして、引用発明における「差圧の一方(低圧側圧力)」及び当該圧力が導入される「前記固定台に設けた孔８２９」は、それぞれ本件補正発明における「第１の圧力」及び差圧センサの有する「入口」に相当する。 ｂ 引用発明において「センサチップ８１」は「ダイアフラムの高圧側測定室側と低圧側測定室側の圧力差（差圧）により発生する歪を受け、ピエゾ抵抗効果により抵抗が変化する」ことにより「差圧信号」が取り出されるものである。 ｃ また引用発明の「複合機能形差圧センサチップ８１の上面、側面、及び固定台８２の一部に均等に印加される」「前記センサ格納空間内の高圧側測定室側圧力」は、本件補正発明の「前記センサ室内部の差圧センサ外部のセンサ室圧力」に相当する。 ｄ そうすると、本件補正発明と引用発明は、「前記センサ室内部に配設された差圧センサであって、第１の圧力を受けるように前記第１の圧力と前記センサ室内部の差圧センサ外部のセンサ室圧力との間の差を示す信号を提供するように構成された入口を有する、差圧センサ」を備える点で一致する。 (エ) 引用発明の「実質上同平面に配列され、各々が二つの継手フランジ４１，４２からの流路を封止する、高圧側受圧ダイアフラム１２と低圧側受圧ダイアフラム１３」は、本件補正発明の「実質上同平面に配設され、各々が夫々のプロセス流体圧力入口を封止する、一対の隔離ダイヤフラム」に相当する。 したがって、本件補正発明と引用発明は、「実質上同平面に配設され、各々が夫々のプロセス流体圧力入口を封止する、一対の隔離ダイヤフラム」を備える点で一致する。 (オ) 引用発明において「前記各部屋と前記各通路には、圧力を伝達するための非圧縮性封入液が封入される」ことを考慮すると、引用発明の「低圧側受圧室１５の圧力を、低圧側隔離室１８を直列的に経由して、低圧側測定室に伝達する、低圧側の圧力測定経路」は、本件補正発明の「前記隔離ダイヤフラムのうちの一方と、前記差圧センサの入口とに動作可能に結合された第１の流体通路」に相当する。 したがって、本件補正発明と引用発明は、「前記隔離ダイヤフラムのうちの一方と、前記差圧センサの入口とに動作可能に結合された第１の流体通路」を備える点で一致する。 (カ) 引用発明において「前記各部屋と前記各通路には、圧力を伝達するための非圧縮性封入液が封入される」ことを考慮すると、引用発明の「高圧側受圧室１４の圧力」が「高圧側隔離室１７を直列的に経由して、高圧側測定室に伝達され」る「高圧側の圧力測定経路」は、本件補正発明の「前記隔離ダイヤフラムのうちの他方と、センサ室入口とに動作可能に結合された第２の流体通路であって、前記隔離ダイヤフラムのうちの他方及びセンサ室と流体連通する充填流体を含む第２の流体通路」に相当する。 したがって、本件補正発明と引用発明は、「前記隔離ダイヤフラムのうちの他方と、センサ室入口とに動作可能に結合された第２の流体通路であって、前記隔離ダイヤフラムのうちの他方及びセンサ室と流体連通する充填流体を含む第２の流体通路」を備える点で一致する。 (キ) 引用発明の「過大圧の保護機構を構成するために設けられている中心ダイアフラム」は、「両面側にそれぞれ高圧側隔離室１７と低圧側隔離室１８が形成されている」ものであるから、前記(オ)、(カ)を踏まえると、本件補正発明の「前記第１の流体通路と、前記第２の流体通路とに流体的に結合された過圧防護ダイヤフラム」に相当する。 したがって、本件補正発明と引用発明は、「前記第１の流体通路と、前記第２の流体通路とに流体的に結合された過圧防護ダイヤフラム」を備える点で一致する。 イ 一致点及び相違点の認定 前記(ア）の対比分析の検討結果をまとめると、本件補正発明と引用発明は、次の一致点において一致し、以下の相違点において相違する。 (ア) 一致点 「差圧センサモジュールであって、 センサ室入口を有するセンサ室を画定するベースであって、一対のプロセス流体圧力入口をさらに有する、ベースと、 前記センサ室内部に配設された差圧センサであって、第１の圧力を受けるように前記第１の圧力と前記センサ室内部の差圧センサ外部のセンサ室圧力との間の差を示す信号を提供するように構成された入口を有する、差圧センサと、 実質上同平面に配設され、各々が夫々のプロセス流体圧力入口を封止する、一対の隔離ダイヤフラムと、 前記隔離ダイヤフラムのうちの一方と、前記差圧センサの入口とに動作可能に結合された第１の流体通路と、 前記隔離ダイヤフラムのうちの他方と、センサ室入口とに動作可能に結合された第２の流体通路であって、前記隔離ダイヤフラムのうちの他方及びセンサ室と流体連通する充填流体を含む第２の流体通路と、 前記第１の流体通路と、前記第２の流体通路とに流体的に結合された過圧防護ダイヤフラムと、を備える、 差圧センサモジュール」である点。 (イ) 相違点 本件補正発明においては、「過圧防護ダイヤフラム」が「いずれの前記隔離ダイヤフラムよりも大きい変位を有する」ものであって、「過圧がいずれかのプロセス流体圧力入口に加えられたとき、」「差圧センサを保護するように構成される」のに対し、引用発明に関してはそのような特定が明示されていない点。 (４) 判断 前記相違点について検討する。 ア 引用発明の「中心ダイアフラム」は「過大圧の保護機構を構成するために設けられて」おり、その「両面側にそれぞれ高圧側隔離室１７と低圧側隔離室１８が形成されている」ものである。そして、前記「高圧側隔離室１７」及び「低圧側隔離室１８」には、それぞれ「高圧側受圧室１４」及び「低圧側受圧室１５」の圧力が伝達される。 イ 前記(２)イ(ウ)において「技術常識１」として認定したように「差圧発信器（伝送器）のセンタダイアフラム（保護用ダイアフラム）は、低圧側及び高圧側の受圧ダイアフラムが変位することにより伝達される過大圧を自身の変位により吸収してセンサの破損を防止するものであること」は技術常識である。 ウ したがって、引用発明の「中心ダイアフラム」も、「高圧側シールダイアフラム１２」及び「低圧側シールダイアフラム１３」を介して導入される「高圧側受圧室１４」及び「低圧側受圧室１５」の圧力が過大となった場合に、これを自身の変位により吸収し得るように構成すべきこと、すなわち「高圧側シールダイアフラム１２」及び「低圧側シールダイアフラム１３」の変位により伝達される圧力を吸収し得るように「中心ダイアフラム」の変位をそれらより大きいものとすることは、当業者が当然に考慮すべきことにすぎない。 エ そして、引用発明の「中心ダイアフラム」は「高圧側受圧室１４」及び「低圧側受圧室１５」に加えられた過圧による「複合機能形差圧センサチップ８１」の破損を防止するために設けられたものであるから、過圧防護ダイヤフラムがいずれの前記隔離ダイヤフラムよりも大きい変位を有するようにしたことの結果として「過圧がいずれかのプロセス流体圧力入口に加えられたとき」「差圧センサを保護するように構成される」ことは当然のことである。 オ したがって、「過圧防護ダイヤフラムがいずれの前記隔離ダイヤフラムよりも大きい変位を有し、過圧がいずれかのプロセス流体圧力入口に加えられたとき、過圧防護ダイヤフラムが、差圧センサを保護する」という前記相違点に相当する構成を引用発明において備えるようにすることは、当業者が容易に想到し得たことである。 カ なお、本件補正発明の奏する効果としては、本件補正発明の構成のものとしては当業者が予測困難であり、かつ、格別顕著な効果を認めることはできない。 キ したがって、本件補正発明は、引用発明及び技術常識１に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものである。 (５) 請求人の主張について ア 請求人の主張内容 (ア) 審判請求書における主張内容 補正後の請求項１は、過圧がいずれかのプロセス流体圧力入口に加えられたとき、過圧防護ダイヤフラムが、差圧センサを保護するように構成される、ことを特徴としている。 そのような構成は、引用文献１～６には全く記載されておらず、また、引用文献１に引用文献２～６を組み合わせても、補正後の請求項１に容易に想到することはできない。 したがって、補正後の請求項１及び請求項１に直接又は間接的に従属する請求項２～１７に係る発明は、進歩性を有する。 (イ) 令和４年１１月１１日に提出された上申書の主張内容 請求人は前記上申書において次のような補正案を示し、当該補正案の請求項１に係る発明は当業者が容易になし得たものではないと主張している。 [補正案] 「差圧センサモジュールであって、 センサ室入口を有するセンサ室を画定するベースであって、一対のプロセス流体圧力入口をさらに有する、ベースと、 前記センサ室内部に配設された差圧センサであって、第１の圧力を受けるように前記第１の圧力と前記センサ室内部の差圧センサ外部のセンサ室圧力との間の差を示す信号を提供するように構成された入口を有する、差圧センサと、 実質上同平面に配設され、各々が夫々のプロセス流体圧力入口を封止する、一対の隔離ダイヤフラムと、 前記隔離ダイヤフラムのうちの一方と、前記差圧センサの入口とに動作可能に結合された第１の流体通路と、 前記隔離ダイヤフラムのうちの他方と、センサ室入口とに動作可能に結合された第２の流体通路であって、前記隔離ダイヤフラムのうちの他方及びセンサ室と流体連通する充填流体を含む第２の流体通路と、 前記第１の流体通路と、前記第２の流体通路とに流体的に結合された過圧防護ダイヤフラムであって、いずれの前記隔離ダイヤフラムよりも大きい変位を有する過圧防護ダイヤフラムと、を備え、 過圧がいずれかのプロセス流体圧力入口に加えられたとき、差圧センサに対する圧力が過圧防護ダイヤフラムによって差圧センサの圧力定格以下に維持されることによって、前記過圧防護ダイヤフラムが差圧センサを保護するように構成される、 差圧センサモジュール。」 イ 請求人の主張に対する当審の判断 (ア) 審判請求書における主張について 前記(４)エにおいて説示したとおり、引用発明の「中心ダイアフラム」は「高圧側受圧室１４」及び「低圧側受圧室１５」に加えられた過圧による「複合機能形差圧センサチップ８１」の破損を防止するために設けられたものであるから、「過圧がいずれかのプロセス流体圧力入口に加えられたとき」「差圧センサを保護するように構成される」ことは当然のことである。 したがって、前記ア(ア)の請求人の主張は、採用することはできない。 (イ) 令和４年１１月１１日に提出された上申書による補正案について 前記補正案は請求項１に「差圧センサに対する圧力が過圧防護ダイヤフラムによって差圧センサの圧力定格以下に維持されることによって、」との記載を追加するものである。 しかしながら、そもそも「差圧センサ」を過圧から保護する場合、センサに加わる圧力を圧力定格以下に維持すべきことは当業者が当然に配慮すべき範疇のものにすぎない。 したがって、前記ア(イ)の請求人の示した補正案に進歩性は認められない。 (６) 本件補正についてのむすび 以上検討のとおり、本件補正発明は、特許法２９条２項の規定により特許出願の際独立して特許を受けることができない。 よって、本件補正は、同法１７条の２第６項において準用する同法１２６条７項の規定に違反するから、同法１５９条１項において読み替えて準用する同法５３条１項の規定により却下すべきものである。 したがって、前記補正の却下の決定の結論のとおり決定する。 第３ 本願発明について １ 本願発明について 本件補正は、前記第２のとおり却下されたので、本願の請求項１～２３に係る発明は、令和４年２月１８日に提出された手続補正書により補正された特許請求の範囲の請求項１～２３に記載された事項により特定されるとおりのものであると認められるところ、そのうち、請求項１に係る発明（以下「本願発明」という。）は前記第２の１(１)に摘記した事項により特定されるとおりである。 ２ 原査定における拒絶の理由の概要 原査定の拒絶の理由のうち、本願発明についての進歩性欠如の理由は、次のとおりである。 本願発明は、下記の引用文献１、５、６に記載された発明に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法２９条２項の規定により特許を受けることができない。 記 引用文献１：特開平５－３４６３６３号公報 引用文献５：特開２０１３－１８１９４９号公報 引用文献６：特開平９－１４５５１８号公報 ３ 引用文献に記載された事項 上記引用文献１には、前記第２の３(２)ア(イ)において認定したとおりの引用発明が記載されていると認められる。 また、技術常識１は、前記第２の３(２)イ(ウ)において認定したとおりである。 ４ 対比・判断 本願発明は実質的に、本件補正発明の「過圧防護ダイヤフラム」について、「少なくとも１つの前記隔離ダイヤフラムよりも大きい変位を有する」とされていた構成を「いずれの前記隔離ダイヤフラムよりも大きい変位を有する」という構成に限定して「過圧がいずれかのプロセス流体圧力入口に加えられたとき、前記過圧防護ダイヤフラムが、差圧センサを保護するように構成される」ものに限定することを省いたものである（前記第２の２参照）。 そうすると、本願発明の構成を全て含み、当該構成の一部を限定したものに相当する本件補正発明が、前記第２の２において説示したとおり、引用発明及び技術常識に基づいて当業者が容易に発明することができたものであるから、本願発明も、引用発明及び技術常識に基づいて当業者が容易に発明することができたものである。 第４ むすび 以上検討のとおりであるから、本願発明は、特許法２９条２項の規定により、特許を受けることができない。 したがって、他の請求項に係る発明について検討するまでもなく、本願は拒絶すべきものである。 よって、結論のとおり審決する。