2021-011175

特願２０２０－ ２４５１７「プローバ」拒絶査定不服審判事件〔令和 ２年 ５月１４日出願公開，特開２０２０－ ７４４９６〕について，次のとおり審決する。

結 論 本件審判の請求は，成り立たない。

理 由 第１ 手続の経緯 本願は，平成２８年８月５日に出願した特願２０１６－１５４２１３号（以下，「原出願」という。）の一部を令和２年２月１７日に新たな特許出願としたものであって，その手続の経緯は以下のとおりである。 令和２年 ３月１７日 ：手続補正書 令和３年 ２月１０日付け：拒絶理由通知書 同年 ４月１３日 ：意見書，手続補正書 同年 ５月１８日付け：拒絶査定 同年 ８月２３日 ：審判請求書，手続補正書 同年１０月２１日付け：前置報告書 同年１１月 ２日 ：上申書 第２ 令和３年８月２３日にされた手続補正についての補正の却下の決定 ［補正の却下の決定の結論］ 令和３年８月２３日にされた手続補正（以下，「本件補正」という。）を却下する。 ［理由］ １ 本件補正について（補正の内容） （１）本件補正後の特許請求の範囲の記載 本件補正により，特許請求の範囲の請求項１の記載は，次のとおり補正された。（当審注：下線部は，補正箇所である。） 「【請求項１】 搬送ユニットが配される搬送エリアと， 複数の測定部が配される測定エリアと， 前記測定エリアの前記搬送エリアとは反対側に配されるメンテナンスエリアと， を備え， 前記複数の測定部にはそれぞれテストヘッドが配置され， 前記テストヘッドは前記メンテナンスエリア側に引き出し可能に構成され， 前記搬送ユニットが搬送先の前記測定部に搬送するウエハの搬送方向と，前記テストヘッドの引き出し方向とが一直線状である，プローバ。」 （２）本件補正前の特許請求の範囲 本件補正前の，令和３年４月１３日にされた手続補正により補正された特許請求の範囲の請求項１の記載は次のとおりである。 「【請求項１】 搬送ユニットが配される搬送エリアと， 複数の測定部が配される測定エリアと， 前記測定エリアの前記搬送エリアとは反対側に配されるメンテナンスエリアと， を備え， 前記複数の測定部にはそれぞれテストヘッドが配置され， 前記テストヘッドは前記メンテナンスエリア側に引き出し可能に構成され， 前記搬送ユニットが搬送先の前記測定部に搬送する搬送物の搬送方向と，前記テストヘッドの引き出し方向とが一直線状である，プローバ。」 ２ 補正の適否 本件補正は，本件補正前の請求項１に記載された発明を特定するために必要な事項である「搬送物」について，上記のとおり「ウエハ」と限定するものであって，補正前の請求項１に記載された発明と補正後の請求項１に記載される発明の産業上の利用分野及び解決しようとする課題が同一であるから，特許法第１７条の２第５項第２号の特許請求の範囲の減縮を目的とするものに該当する。 そこで，本件補正後の請求項１に記載される発明（以下，「本件補正発明」という。）が同条第６項において準用する同法第１２６条第７項の規定に適合するか（特許出願の際独立して特許を受けることができるものであるか）について，以下，検討する。 （１）本件補正発明 本件補正発明は，上記１（１）に記載したとおりのものである。 （２）引用文献の記載事項及び引用発明 ア 引用文献１について （ア）原査定の拒絶の理由で引用された原出願の出願日前に頒布された引用文献である，特開２０１５－８８５５５号公報（平成２７年５月７日出願公開。以下，「引用文献１」という。）には，以下の事項が記載されている（当審注：下線は当審が付与した。以下，同様である。）。 「【技術分野】 【０００１】 本発明は，複数のテストヘッドを有するウエハ検査装置の整備用台車及びウエハ検査装置の整備方法に関する。」 「【背景技術】 【０００２】 多数の半導体デバイスが形成された半導体ウエハ（以下，単に「ウエハ」という。）において各半導体デバイスの電気的特性検査を行うために，ウエハ検査装置としてのプローバが用いられている。プローバはウエハと対向するプローブカードを備え，プローブカードは複数の柱状接触端子であるコンタクトプローブを有する（例えば，特許文献１参照。）。このプローバでは，プローブカードの各コンタクトプローブが半導体デバイスにおける電極パッドや半田バンプに接続された半導体デバイスへ検査信号を流すことによって半導体デバイスの電気回路の導通状態等を検査する。 【０００３】 プローブカードの各コンタクトプローブへは検査回路であるメインボードを搭載したテストヘッドから検査信号が流されるが，近年，ウエハの検査効率を向上するために，それぞれにプローブカードが装着された複数のテストヘッドを備え，搬送ステージによって一のテストヘッドへウエハを搬送中に他のテストヘッドでウエハの半導体デバイスを検査可能なウエハ検査装置が開発されている。このウエハ検査装置では，フットプリント削減の観点から複数のテストヘッドを収容するセルが多段積みで配置される。 【０００４】 各テストヘッドのメインボードは一種の消耗品であるために定期的に交換する必要があるが，メインボードを交換するためにはテストヘッドをウエハ検査装置から整備用台車の上に引き出す必要がある。」 「【発明を実施するための形態】 【００１６】 以下，本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。 【００１７】 まず，本実施の形態に係るウエハ検査装置の整備用台車について説明する。 【００１８】 図１は，本実施の形態に係る整備用台車が適用されるウエハ検査装置の構成を概略的に示す斜視図である。 【００１９】 図１において，ウエハ検査装置１０は，複数の検査室（セル）１１が多段，例えば，４段に配置されたセルタワー１２と，該セルタワー１２に隣接して配置され，搬送機構（図示しない）を内蔵してウエハの各セル１１への搬出入を行うローダ１３とを備える。セルタワー１２及びローダ１３はそれぞれ直方体状を呈し，高さは，例えば，２．４ｍである。 【００２０】 ウエハ検査装置１０では，セルタワー１２におけるローダ１３との隣接面の反対側（以下，「外側」という。）には作業者が各セル１１の整備作業を行うことが可能な空間が確保され，後述する整備用台車２７が配置される。 【００２１】 図２は，図１におけるセルタワーの各セルに内蔵される構成要素を説明するための図であり，図２（Ａ）はテストヘッドの斜視図であり，図２（Ｂ）は各セルにおけるテスタヘッド，ポゴフレーム及びプローブカードの配置状態を示す正面図である。 【００２２】 図２（Ａ）において，テストヘッド１５は，直方体状の筐体からなる本体１６と，本体１６の長手方向の側面上部から側方へ突出するフランジ１７とを有し，本体１６は検査回路であるメインボード（図示しない）を収容する。 【００２３】 また，図２（Ｂ）に示すように，各セル１１は，内部において，テストヘッド１５と，プローブカード１８と，プローブカード１８及びメインボードを電気的に接続するポゴピン（図示しない）を保持するポゴフレーム１９とを有する。プローブカード１８及びポゴフレーム１９，並びにポゴフレーム１９及びテストヘッド１５の間にはシール部材２０，２１が配置され，該シール部材２０，２１に囲まれた空間が減圧されることにより，プローブカード１８及びポゴフレーム１９が真空吸着によってテストヘッド１５へ装着される。 ・・・ 【００２６】 ところで，テストヘッド１５の重量は約７０ｋｇｆであり，作業者の力だけでは取り扱いが困難であるため，テストヘッド１５は，セル１１内において当該テストヘッド１５の長手方向（以下，単に「長手方向」という。）に沿って配置されるスライドレール（図示しない）によってフランジ１７を介して支持され，スライドレールの上面に設けられた複数のボール台座によって長手方向に引きだし可能に構成される。」 「【図１】 ［図：0001386011000001.jpg］ 」 「【図２】 ［図：0001386011000002.jpg］ 」 上記【図１】には，検査室（セル）１１が，上下方向に４段，前記上下方向と直交する幅方向に６列の多段多列に配置されていることが見て取れる。 そして，上記【００２０】には，「ウエハ検査装置１０では，セルタワー１２におけるローダ１３との隣接面の反対側（以下，「外側」という。）には作業者が各セル１１の整備作業を行うことが可能な空間が確保され」と記載され，上記【００２６】には，「テストヘッド１５は，セル１１内において当該テストヘッド１５の長手方向（以下，単に「長手方向」という。）に沿って配置されるスライドレール（図示しない）によってフランジ１７を介して支持され，スライドレールの上面に設けられた複数のボール台座によって長手方向に引きだし可能に構成される。」と記載されていることからすると，テストヘッドは，セルタワー１２の前記長手方向に引きだされるものであり，セルタワー１２の上記長手方向であって，セルタワー１２におけるローダ１３との隣接面の反対側に，作業者が各セル１１の整備作業を行うことが可能な空間が確保されており，また，上記上下方向と直交する幅方向は，上記長手方向とも直交するといえる。 （イ）引用発明 上記（ア）によれば，引用文献１には，以下の発明（以下，「引用発明」という。）が記載されていると認められる。 「検査室（セル）１１を，上下方向に４段，前記上下方向及びテストヘッド１５が引きだされる方向である長手方向（以下，単に「長手方向」という。）のそれぞれに直交する幅方向（以下，単に「幅方向」という。）に６列の多段多列に配置した，直方体状を呈するセルタワー１２と， 前記セルタワー１２に隣接して配置され，搬送機構を内蔵してウエハの各セル１１への搬出入を行う，直方体状を呈するローダ１３と， 前記セルタワー１２の前記長手方向であって，前記セルタワー１２におけるローダ１３との隣接面の反対側に確保され，作業者が各セル１１の整備作業を行うことが可能であり，整備用台車２７が配置される空間と， を備える，多数の半導体デバイスが形成された半導体ウエハにおいて各半導体デバイスの電気的特性検査を行うための，ウエハ検査装置１０としてのプローバであって， 前記テストヘッドには，プローブカードのコンタクトプローブへ検査信号を流してウエハの半導体デバイスを検査するメインボードが搭載され， プローブカード１８及びポゴフレーム１９が真空吸着によってテストヘッド１５へ装着され， 前記メインボードは一種の消耗品であるために定期的に交換する必要があるため，メインボードを交換するためにテストヘッドをウエハ検査装置から整備用台車の上に引き出す必要があり， 前記テストヘッド１５は，セル１１内において当該テストヘッド１５の長手方向に沿って配置されるスライドレールによってフランジ１７を介して支持され，スライドレールの上面に設けられた複数のボール台座によって長手方向に引きだし可能に構成される， ウエハ検査装置１０としてのプローバ。」 イ 引用文献２について （ア）原査定の拒絶の理由で引用された原出願の出願日前に頒布された引用文献である，特開２０１５－１３０４２２号公報（平成２７年７月１６日出願公開。以下，「引用文献２」という。）には，以下の事項が記載されている。 「【００２４】 図１及び図２において，ウエハ検査装置１０は検査室１１を備え，該検査室１１は，ウエハの半導体デバイスの電気的特性の検査を行う検査領域１２と，検査室１１に対するウエハや後述するプローブカード１８の搬出入を行う搬出入領域１３と，検査領域１２及び搬出入領域１３の間に設けられた搬送領域１４とを有する。 【００２５】 検査領域１２には複数のウエハ検査用インターフェースとしてのテスタ１５が配置され，各テスタ１５は水平に配列された複数のテスタからなるテスタ列を構成し，各テスタ１５の下部にはプローブカード１８が装着される。 【００２６】 搬出入領域１３は複数の収容空間１６に区画され，各収容空間１６には複数のウエハを収容する容器，例えば，ＦＯＵＰを受け入れるポート１６ａ，プローブカード１８が搬入され且つ搬出されるローダ１６ｃやウエハ検査装置１０の各構成要素の動作を制御するコントローラ１６ｄが配置される。 【００２７】 搬送領域１４には移動自在な搬送ロボット１７（搬送装置）が配置される。搬送ロボット１７は，搬出入領域１３のポート１６ａからウエハを受け取って各テスタ１５へ搬送し，また，半導体デバイスの電気的特性の検査が終了したウエハを各テスタ１５からポート１６ａへ搬送する。さらには，搬送ロボット１７は各テスタ１５から品種の交換やメンテナンスを必要とするプローブカード１８を搬出入領域１３のローダ１６ｃへ搬送し，また，新規やメンテナンス済みのプローブカード１８をローダ１６ｃから各テスタ１５へ搬送する。 【００２８】 このウエハ検査装置１０では，各テスタ１５が搬送されたウエハの半導体デバイスの電気的特性の検査を行うが，搬送ロボット１７が一のテスタ１５へ向けてウエハを搬送している間に，他のテスタ１５は他のウエハの半導体デバイスの電気的特性の検査を行うことができるので，ウエハの検査効率を向上することができる。」 「【図１】 ［図：0001386011000003.jpg］ 【図２】 ［図：0001386011000004.jpg］ 」 「【図１０】 ［図：0001386011000005.jpg］ 」 上記【図１】，【図２】及び【図１０】には，検査領域１２に，ウエハ検査用インターフェースとしてのテスタ１５が，上下方向に３段，前記上下方向と直交する幅方向に６列の多段多列に配置されていること，及び，前記検査領域１２の前記上下方向及び前記幅方向のそれぞれに直交する方向に隣接して，前記搬送領域１４が配置されることが見て取れる。 （イ）以上から，引用文献２には，以下の事項が記載されているといえる。 「ウエハの半導体デバイスの電気的特性の検査を行う検査領域１２と， 検査室１１に対するウエハやプローブカード１８の搬出入を行う搬出入領域１３と， 検査領域１２及び搬出入領域１３の間に設けられた搬送領域１４と， を有するウエハ検査装置１０であって， 前記検査領域１２には，ウエハ検査用インターフェースとしてのテスタ１５が，上下方向に３段，前記上下方向と直交する幅方向に６列の多段多列に配置されており， 前記検査領域１２の前記上下方向及び前記幅方向のそれぞれに直交する方向に隣接して，前記搬送領域１４が配置され， 各テスタ１５の下部にはプローブカード１８が装着され， 前記搬出入領域１３には，ウエハを収容する容器，例えば，ＦＯＵＰを受け入れるポート１６ａが配置され， 前記搬送領域１４には移動自在な搬送ロボット１７（搬送装置）が配置され，搬送ロボット１７は，搬出入領域１３のポート１６ａからウエハを受け取って各テスタ１５へ搬送する， ウエハ検査装置１０。」 ウ 周知文献 （ア）周知文献１ ａ 原出願の出願日前に頒布された文献である特開２０１３－１９１７３７号公報（平成２５年９月２６日出願公開。以下，「周知文献１」という。）には，以下の事項が記載されている。 「【００２１】 図１は，本発明の実施の形態に係るウエハ検査装置の外観を示す斜視図である。このウエハ検査装置１０は，ウエハに形成された全半導体デバイスについてプローブカードの全プローブを一度に当接させて電気的特性検査を行う一括接触型の検査装置であって，共用できる装置についてはできるだけ共用するという概念の下，開発されたものである。従って，複数の検査室を有し，検査室以外の別の場所に設けられた位置合わせ装置によってウエハの位置合わせが行われる。 【００２２】 図１において，ウエハ検査装置１０は，当該ウエハ検査装置１０の背面においてウエハの搬出入を行う搬出入領域Ｓ１０と，該搬出入領域Ｓ１０に対向して正面に設けられた検査領域Ｓ４０と，搬出入領域Ｓ１０と検査領域Ｓ４０との間に設けられた搬送領域Ｓ３０とから主として構成されている。 【００２３】 搬出入領域Ｓ１０は，複数の載置機構に対向して複数の単位搬出入領域に仕切られており，検査領域Ｓ４０も複数の検査室に対応して複数の単位検査領域に仕切られている。すなわち，搬出入領域Ｓ１０及び検査領域Ｓ４０は，それぞれマンション風に複数の部屋に仕切られており，その間の搬送領域Ｓ３０をウエハ搬送機構（後述する図２参照）が移動する。 【００２４】 図２は，図１のII－II線に沿う断面図である。 【００２５】 図２において，搬出入領域Ｓ１０には載置機構として，例えば複数のフープＦの受け入れ機構が設けられている。また，搬出入領域Ｓ１０の図中左端には位置合わせ装置（以下，「アライメント室」という。）１２を有するアライメント領域Ｓ２０が形成されており，右端には針跡検査装置１７を有する針跡検査領域Ｓ５０が設けられている。また，搬送領域Ｓ３０にはウエハ搬送機構１３が設けられており，検査領域Ｓ４０には複数の検査室１４が設けられている。 【００２６】 ウエハ搬送機構１３は，例えば，基台上に設けられた回転体と，回転体上でそれぞれ個別に一方向に往復移動する上下二枚の搬送アームと，基台及び搬送アームを昇降させる昇降機構と，これらを搬送領域Ｓ３０に沿って往復移動させる移動機構とを備えており，上側の搬送アームに，例えばウエハＷを載置して搬送する。 【００２７】 ウエハ検査装置１０では，搬送機構１３がフープＦから未検査のウエハを受け取ってアライメント室１２へ搬送し，該アライメント室１２は，搬送機構１３の搬送アームに対するウエハのアライメントを行い，搬送機構１３がアライメント後のウエハを所定の検査室１４へ搬入する。検査室１４は，後述するウエハ検査用インターフェース１８を有し，該ウエハ検査用インターフェース１８は，ウエハＷに形成された複数の半導体デバイスの電気的特性検査を行う。 【００２８】 さらに，搬送機構１３は検査済みのウエハを所定の検査室１４から搬出入領域Ｓ１０の一端に位置する針跡検査領域Ｓ５０内に設けられた針跡検査装置１７へ受け渡し，針跡検査装置１７は検査済みのウエハにおける各半導体デバイスの電極における針跡（プローブ２５の接触痕）の検査を行い，その後，搬送機構１３が検査後のウエハＷを搬出入領域Ｓ１０のフープＦへ搬入する。」 「【図１】 ［図：0001386011000006.jpg］ 【図２】 ［図：0001386011000007.jpg］ 」 上記【図１】及び【図２】には，検査領域Ｓ４０に，上下方向に３段，前記上下方向と直交する方向に６列の多段多列の検査室１４が配置されていること，及び，前記検査領域Ｓ４０の前記上下方向及び前記幅方向のそれぞれに直交する方向に隣接して，前記搬出入領域Ｓ１０が配置されていることが見て取れる。 ｂ 以上から，周知文献１には，以下の事項が記載されているといえる。 「ウエハ検査装置１０の背面においてウエハの搬出入を行う搬出入領域Ｓ１０と， 該搬出入領域Ｓ１０に対向して正面に設けられた検査領域Ｓ４０と， 搬出入領域Ｓ１０と検査領域Ｓ４０との間に設けられた搬送領域Ｓ３０とから主として構成されているウエハ検査装置１０であって， 前記検査領域Ｓ４０は，上下方向に３段，前記上下方向と直交する方向に６列の多段多列の検査室１４に対応して複数の単位検査領域に仕切られており， 前記検査領域Ｓ４０の前記上下方向及び前記幅方向のそれぞれに直交する方向に隣接して，前記搬出入領域Ｓ１０が配置され， 前記ウエハ搬送機構１３は，基台上に設けられた回転体と，回転体上でそれぞれ個別に一方向に往復移動する上下二枚の搬送アームと，基台及び搬送アームを昇降させる昇降機構と，これらを搬送領域Ｓ３０に沿って往復移動させる移動機構とを備えており，上側の搬送アームは，ウエハＷを載置して搬送するものであり， 前記搬送機構１３がアライメント後のウエハを所定の検査室１４へ搬入し，検査室１４は，ウエハ検査用インターフェース１８を有し，該ウエハ検査用インターフェース１８は，ウエハＷに形成された複数の半導体デバイスの電気的特性検査を行う， ウエハ検査装置１０。」 （イ）周知文献２ ａ 原出願の出願日前に頒布された文献である特開２０１４－７７６７１号公報（平成２６年５月１日出願公開。以下，「周知文献２」という。）には，以下の事項が記載されている。 「【００２３】 図１は，本実施の形態に係るプローブカード取り付け方法が適用されるウエハ検査装置の構成を概略的に示す水平断面図であり，図２は，図１における線II－IIに沿う断面図である。 【００２４】 図１及び図２において，ウエハ検査装置１０は検査室１１を備え，該検査室１１は，ウエハの半導体デバイスの電気的特性検査を行う検査領域１２と，検査室１１に対するウエハや後述するプローブカード２０の搬出入を行う搬出入領域１３と，検査領域１２及び搬出入領域１３の間に設けられた搬送領域１４とを有する。 【００２５】 検査領域１２には複数のウエハ検査用インターフェースとしてのテスター１５が配置される。具体的には，水平に配列された複数のテスターからなるテスター列の３層構造を有し，テスター列の各々に対応して１つのテスター側カメラ１６（第２のカメラ）が配置される。各テスター側カメラ１６は対応するテスター列に沿って水平に移動し，テスター列を構成する各テスター１５の前に位置して後述する搬送ステージ１８が搬送するプローブカード２０等の位置を確認する。 【００２６】 搬出入領域１３は複数の収容空間１７に区画され，各収容空間１７には複数のウエハを収容する容器，例えば，ＦＯＵＰを受け入れるポート１７ａ，ウエハの位置合わせを行うアライナー１７ｂ，プローブカード２０が搬入され且つ搬出されるローダ１７ｃやウエハ検査装置１０の各構成要素の動作を制御するコントローラ１７ｄが配置される。 【００２７】 搬送領域１４には該搬送領域１４だけでなく検査領域１２や搬出入領域１３へも移動自在な搬送ステージ１８が配置される。搬送ステージ１８は，搬出入領域１３のポート１７ａからウエハを受け取って各テスター１５へ搬送し，また，半導体デバイスの電気的特性の検査が終了したウエハを各テスター１５からポート１７ａへ搬送する。さらには，搬送ステージ１８は各テスター１５からメンテナンスを必要とするプローブカード２０を搬出入領域１３のローダ１７ｃへ搬送し，また，新規やメンテナンス済みのプローブカード２０をローダ１７ｃから各テスター１５へ搬送する。」 「【図１】 ［図：0001386011000008.jpg］ 【図２】 ［図：0001386011000009.jpg］ 」 上記【図１】及び【図２】から，検査領域１２には，上下方向に３段，前記上下方向と直交する方向に６列の多段多列の検査室１４が配置されていること，及び，前記検査領域１２の前記上下方向及び幅方向のそれぞれに直交する方向に隣接して，前記搬送領域１４が配置されることが見て取れる。 ｂ 以上から，周知文献２には，以下の事項が記載されているといえる。 「ウエハの半導体デバイスの電気的特性検査を行う検査領域１２と， 検査室１１に対するウエハやプローブカード２０の搬出入を行う搬出入領域１３と， 検査領域１２及び搬出入領域１３の間に設けられた搬送領域１４とを有するウエハ検査装置１０であって， 前記検査領域１２には，複数のウエハ検査用インターフェースとしてのテスター１５が，上下方向に３段，前記上下方向と直交する幅方向に６列の多段多列に配置されており， 前記検査領域１２の前記上下方向及び幅方向のそれぞれに直交する方向に隣接して，前記搬送領域１４が配置され， 前記搬送領域１４には該搬送領域１４だけでなく検査領域１２や搬出入領域１３へも移動自在な搬送ステージ１８が配置され， 前記搬送ステージ１８は，搬出入領域１３のポート１７ａからウエハを受け取って各テスター１５へ搬送し，また，半導体デバイスの電気的特性の検査が終了したウエハを各テスター１５からポート１７ａへ搬送する， ウエハ検査装置１０。」 （３）引用発明との対比 本件補正発明と引用発明を対比する。 ア 引用発明の「ローダ１３」は，「搬送機構を内蔵してウエハの各セル１１への搬出入を行う」ものであるから，本件補正発明の「搬送ユニット」に相当する。 また，引用発明の「ローダ１３」が位置する領域は，「搬送機構を内蔵してウエハの各セル１１への搬出入を行う」ための領域であるから，本件補正発明の「搬送ユニットが配される搬送エリア」に相当する。 イ 引用発明の「検査室（セル）１１」は，「上下方向に４段，前記上下方向及びテストヘッド１５が引きだされる方向である長手方向（以下，単に「長手方向」という。）のそれぞれに直交する幅方向（以下，単に「幅方向」という。）に６列の多段多列に配置」されているから，複数あるといえ，また，上記「検査室（セル）１１」は，「多数の半導体デバイスが形成された半導体ウエハにおいて各半導体デバイスの電気的特性検査を行うための」ものであるから，各半導体デバイスの電気的特性を測定するものであるといえる。 したがって，引用発明の複数の「検査室（セル）１１」は，本件補正発明の「複数の測定部」に相当する。 また，引用発明の「セルタワー１２」が位置する領域は，複数の「検査室（セル）１１」が配置されている領域であるから，本件補正発明の「複数の測定部が配される測定エリア」に相当する。 ウ 引用発明の「整備用台車２７が配置される空間」は，「作業者が各セル１１の整備作業を行うことが可能」な領域であるから，メンテナンスエリアであるといえる。 また，引用発明の「ローダ１３」は，「前記セルタワー１２の，前記長手方向であって，作業者が各セル１１の整備作業を行うことが可能であり，整備用台車２７が配置される空間に面する外側とは反対側の面に隣接して配置される」ものであるから，「整備用台車２７が配置される空間」は，「セルタワー１２」が位置する領域の，「ローダ１３」が位置する領域とは反対側に配されているといえる。 そうすると，引用発明の「セルタワー１２」が位置する領域の，「ローダ１３」が位置する領域とは反対側に配されている「整備用台車２７が配置される空間」は，本件補正発明の「前記測定エリアの前記搬送エリアとは反対側に配されるメンテナンスエリア」に相当する。 エ 引用発明の「テストヘッド１５」は，本件補正発明の「テストヘッド」に相当する。 そして，引用発明の「テストヘッド１５」は，「セル１１内において当該テストヘッド１５の長手方向に沿って配置されるスライドレールによってフランジ１７を介して支持され，スライドレールの上面に設けられた複数のボール台座によって長手方向に引きだし可能に構成される」ものであるから，「検査室（セル）１１」にはそれぞれ「テストヘッド１５」が配置されているといえる。 そうすると，引用発明の「検査室（セル）１１」にはそれぞれ「テストヘッド１５」が配置されていることは，本件補正発明の「前記複数の測定部にはそれぞれテストヘッドが配置され」ていることに相当する。 オ 引用発明の「テストヘッド１５」は，「各セル１１内において当該テストヘッド１５の長手方向に沿って配置されるスライドレールによってフランジ１７を介して支持され，スライドレールの上面に設けられた複数のボール台座によって長手方向に引きだし可能に構成される」ものであり，また，上記「テストヘッド１５」は，「ウエハ検査装置から整備用台車の上に引き出」されるものであるから，「整備用台車２７が配置される空間」側に「引きだし可能に構成され」ているといえる。 そうすると，引用発明の「テストヘッド１５」は，「整備用台車２７が配置される空間」側に「引きだし可能に構成され」ていることは，本件補正発明の「前記テストヘッドは前記メンテナンスエリア側に引き出し可能に構成され」ていることに相当する。 カ 引用発明の「ウエハ検査装置１０としてのプローバ」は，本件補正発明の「プローバ」に対応する。 キ 以上から，本件補正発明と引用発明との一致点及び相違点は，次のとおりである。 ＜一致点＞ 「搬送ユニットが配される搬送エリアと， 複数の測定部が配される測定エリアと， 前記測定エリアの前記搬送エリアとは反対側に配されるメンテナンスエリアと， を備え， 前記複数の測定部にはそれぞれテストヘッドが配置され， 前記テストヘッドは前記メンテナンスエリア側に引き出し可能に構成される，プローバ。」 ＜相違点＞ 相違点１：本件補正発明は，「前記搬送ユニットが搬送先の前記測定部に搬送するウエハの搬送方向と，前記テストヘッドの引き出し方向とが一直線状である」のに対し，引用発明は，そのような構成を有しているか不明である点。 （４）判断 以下，相違点について検討する。 ア 引用文献２に記載されたウエハ検査装置の「搬送ロボット１７」，「『移動自在な搬送ロボット１７（搬送装置）が配置され』る『搬送領域１４』」，「『上下方向に３段，前記上下方向と直交する幅方向に６列の多段多列に配置され』る『テスタ１５』」，「『ウエハ検査用インターフェースとしてのテスタ１５が，上下方向に３段，前記上下方向と直交する幅方向に６列の多段多列に配置されて』いる『検査領域１２』」は，それぞれ，本件補正発明の「搬送ユニット」，「搬送ユニットが配される搬送エリア」，「複数の測定部」，「複数の測定部が配される測定エリア」に相当する。 そして，引用文献２に記載された検査装置では，「テスタ１５」が，上下方向に３段，前記上下方向と直交する幅方向に６列の多段多列に配置されていることから，上記「テスタ１５」にウエハを搬送する場合に，上記上下方向，あるいは上記上下方向と直交する幅方向からウエハを搬送すると，隣接する他のテスタ１５の存在が邪魔となることは明らかである。 したがって，引用文献２に記載された検査装置においては，「テスタ１５」へのウエハの搬送は，前記上下方向及び前記幅方向のそれぞれに直交する「長手方向」に沿って行われているものと解することが，技術常識に照らして，自然かつ合理的と認められる。 イ ここで，上記引用文献２に記載された事項と同様の事項が上記（２）ウ（ア）及び（イ）における周知文献１及び２に記載されていることからすると，「搬送ユニットが配される搬送エリアと，複数の測定部が配される測定エリアと，前記測定エリアの前記搬送エリアとは反対側に配されるメンテナンスエリアと，を備え」る検査装置において，「測定部」へのウエハの搬送が，前記上下方向及び前記幅方向のそれぞれに直交する「長手方向」に沿って行われることは，本件補正発明の原出願の出願日において周知技術であったといえる。 ウ そうすると，引用発明の具体化に際し，「搬送機構を内蔵してウエハの各セル１１への搬出入を行う，直方体状を呈するローダ１３」における「ウエハ」の搬送方向を，上記「長手方向」とすることは，当業者であれば通常採り得る構成にすぎず，このとき，引用発明の「ウエハ」の搬送方向である「長手方向」と，「テストヘッド１５」が引きだされる「長手方向」とは，同じ方向といえる。 そして，ウエハ検査装置としてのプローバにおいて，検査室に搬送されたウエハの半導体デバイスと，テストヘッドに装着されているプローブカードのコンタクトプローブとの位置合わせを行うことは技術常識であり，また，当該位置合わせにおける移動量が少ない方が，スループットが上がることは，当業者にとって自明の事項であるから，引用発明において，当該位置合わせにおける移動量が少なくすむように，「検査室（セル）１１」に搬送される「ウエハ」の搬送方向と，「プローブカード１８」が装着されている「テストヘッド」の搬送方向を一致させること，すなわち，「ローダ１３」が搬送先の「検査室（セル）１１」に搬送する「ウエハ」の搬送方向と，「テストヘッド１５」の引き出し方向とを一直線状とすることは，当業者であれば適宜なし得る事項にすぎない。 エ したがって，引用発明，引用文献２に記載された事項及び周知技術に基づいて，上記相違点１に係る本件補正発明の構成を採用することは当業者が容易になし得たことである。 （５）請求人の主張 ア 請求人は，審判請求書の【請求の理由】３．（３）（キ）において，「本願発明は，『前記搬送ユニットが搬送先の前記測定部に搬送するウエハの搬送方向と，前記テストヘッドの引き出し方向とが一直線状である』構成を採用したことにより，高精度が求められるテストヘッドの位置決めの際に考慮しなくてはならないアッベ誤差を抑制することができるという格別の効果を奏するものである（段落[０１１１]）」と主張している。 しかし，上記（４）で検討したとおり，引用発明において，「ローダ１３」が搬送先の「検査室（セル）１１」に搬送する「ウエハ」の搬送方向と，「テストヘッド１５」の引き出し方向とを一直線状とすることは，当業者であれば適宜なし得る事項にすぎないものであるところ，請求人の主張する「アッベ誤差の抑制」は，測定部に搬送するウエハの搬送方向と，テストヘッドの引き出し方向とが一直線状となることで，その位置関係から直ちに生じるものである（本願明細書【０１１１】参照。）から，その効果を格別のものと認めることはできない。 しかも，「アッベの原理」は技術常識であり，他方，本願明細書の発明の詳細な説明には，「被メンテナンス装置の引出方向と前記搬送物の搬送方向とが同じ方向であ」ることで，誤差が顕著に小さくなったという具体的な測定結果は示されていないから，「測定部に搬送するウエハの搬送方向と，テストヘッドの引き出し方向とが一直線状である」構成を備えたことにより，格別の効果が奏されるとする請求人の主張を採用することはできない。 イ 請求人は，令和３年１１月２日付け上申書の【上申の内容】１．（イ）において，「引用文献２には，搬送ロボット１７がテスタ１５に向けてプローブカード１８だけでなくウエハを搬送することが記載されているものの（段落００２７），搬送ロボット１７がウエハをテスタ１５へ搬送する際に，搬送ロボット１７がプローブカード１８をテスタ１５へ搬送する場合と同様な動作を行うか否かについては具体的に明示されておらず（段落００５２），搬送ロボット１７がウエハをテスタ１５へ搬送する際に，ウエハとテスタ１５とがどのような位置関係にあるかについては不明である。しかも，引用文献２においては，ウエハとテスタ１５との位置関係については不明であり，これらの位置合わせを行うべき必要性や必然性がない」と主張する。 しかし，請求人が主張しているように，引用文献２の【００２７】には，搬送ロボット１７がテスタ１５に向けてプローブカード１８だけでなくウエハを搬送することが記載されている。そうすると，プローブカード１８とウエハは同様の動作によって搬送されているとするのが相当である。 そして，上記（４）で検討したとおり，引用発明において，「ローダ１３」が搬送先の「検査室（セル）１１」に搬送する「ウエハ」の搬送方向と，「テストヘッド１５」の引き出し方向とを一直線状とすることは，引用発明，引用文献２に記載された事項及び周知技術に基づいて当業者が容易になし得たことである。 ウ したがって，請求人の上記主張はいずれも採用できない。 （６）よって，本件補正発明は，引用発明及び引用文献２に記載された事項及び周知技術に基づいて，当業者が容易に発明をすることができたものであり，特許法第２９条第２項の規定により，特許出願の際独立して特許を受けることができないものである。 ３ 本件補正についてのむすび 以上のとおりであるから，本件補正は，特許法第１７条の２第６項において準用する同法第１２６条第７項の規定に違反するので，同法第１５９条第１項の規定において読み替えて準用する同法第５３条第１項の規定により却下すべきものである。 よって，上記補正の却下の決定の結論のとおり決定する。 第３ 本願発明について １ 本願発明 令和３年８月２３日にされた手続補正は，上記のとおり却下されたので，本願の請求項１～３に係る発明は，令和３年４月１３日にされた手続補正により補正された特許請求の範囲の請求項１～３に記載された事項により特定されるものであるところ，その請求項１に係る発明（以下，「本願発明」という。）は，前記第２［理由］１（２）に記載のとおりのものである。 ２ 原査定の拒絶の理由 原査定の拒絶の理由は，この出願の請求項１～３に係る発明は，原出願の出願日前に頒布された以下の引用文献１に記載された発明及び引用文献２に記載された事項に基づいて，当業者が容易に発明をすることができたものであるから，特許法第２９条２項の規定により特許を受けることができない，というものである。 引用文献１．特開２０１５－０８８５５５号公報 引用文献２．特開２０１５－１３０４２２号公報 ３ 引用文献の記載事項及び引用発明 原査定の拒絶の理由で引用された引用文献１，２，周知文献１，２の記載事項及び引用発明は，前記第２の［理由］２（２）に記載したとおりである。 ４ 対比・判断 本願発明は，前記第２の［理由］２で検討したとおり，本件補正発明の「ウエハ」を「搬送物」との上位概念にしたものである。 そうすると，本願発明の発明特定事項を全て含んだものに相当する本件補正発明が，前記第２の［理由］２（３），（４）に記載したとおり，引用発明及び引用文献２に記載された事項及び周知技術に基づいて，当業者が容易に発明をすることができたものであるから，本願発明も，引用発明及び引用文献２に記載された事項及び周知技術に基づいて，当業者が容易に発明をすることができたものである。 第４ むすび 以上のとおり，本願発明は，特許法第２９条２項の規定により特許を受けることができないから，他の請求項に係る発明について検討するまでもなく，本願は拒絶されるべきものである。 よって，結論のとおり審決する。