2021-004230

特願２０１６－１０７４５３「基板支持部材及び給電端子」拒絶査定不服審判事件〔平成２９年１２月 ７日出願公開，特開２０１７－２１６２８７〕について，次のとおり審決する。

結 論 本件審判の請求は，成り立たない。

理 由 第１ 手続の経緯 本願は，平成２８年 ５月３０日の出願であって，その手続の経緯は以下のとおりである。 令和元年 ９月１７日付け：拒絶理由通知書 令和元年１１月１４日 ：意見書，手続補正書の提出 令和２年 ４月２４日付け：拒絶理由（最後の拒絶理由）通知書 令和２年 ７月 ６日 ：意見書，手続補正書の提出 令和２年１２月２２日付け：令和２年 ７月 ６日の手続補正についての補正の却下の決定，拒絶査定 令和３年 ４月 １日 ：審判請求書，手続補正書の提出 第２ 令和３年 ４月 １日にされた手続補正についての補正の却下の決定 ［補正の却下の決定の結論］ 令和３年 ４月 １日にされた手続補正（以下，「本願補正」という。）を却下する。 ［理由］ １ 本願補正について（補正の内容） （１）本願補正後の特許請求の範囲の記載 本願補正により，特許請求の範囲の請求項４の記載は，次のとおり補正された。（当審注：下線部は，補正箇所である。） 「（１）少なくとも２つの導電性の剛性端子と，前記剛性端子同士を接続するより線状の導電性の可撓性端子とを有する，又は（２）より線状の導電性の可撓性端子と，導電性の剛性端子とからなり， 前記剛性端子の径をＲ１，前記可撓性端子の径をＲ２としたとき，Ｒ２／Ｒ１が０．１～０．９５であり， 前記可撓性端子は，ニッケル線のより線，または，ニッケル被覆銅線のより線からなり，前記ニッケル線および前記ニッケル被覆銅線の線径は０．１ｍｍ～０．４ｍｍであることを特徴とする給電端子。」 （２）本願補正前の特許請求の範囲 本願補正前の，令和元年１１月１４日にされた手続補正により補正された特許請求の範囲の請求項６（本願補正によって補正された請求項４に対応。）の記載は次のとおりである。 「（１）少なくとも２つの導電性の剛性端子と，前記剛性端子同士を接続するより線状の導電性の可撓性端子とを有する，又は（２）より線状の導電性の可撓性端子と，導電性の剛性端子とからなる，ことを特徴とする給電端子。」 ２ 補正の適否 本願補正は，本願補正前の請求項６に記載された発明を特定するために必要な事項である「剛性端子の径」と「可撓性端子の径」との比，及び，「可撓性端子」について，前記のとおり限定を付加するものであって，補正前の請求項６に記載された発明と補正後の請求項４に記載される発明の産業上の利用分野及び解決しようとする課題が同一であるから，特許法第１７条の２第５項第２号の特許請求の範囲の減縮を目的とするものに該当する。 そこで，本願補正後の請求項４に記載される発明（以下，「本願補正発明」という。）が同条第６項において準用する同法第１２６条第７項の規定に適合するか（特許出願の際独立して特許を受けることができるものであるか）について，以下，検討する。 （１）本願補正発明 本願補正発明は，前記１（１）に記載したとおりのものである。 （２）引用文献１の記載事項 原査定の拒絶の理由で引用された本願の出願前に頒布された特開２００７－０３５８８６号公報（平成１９年２月８日出願公開。以下，「引用文献１」という。）には次の記載がある（当審注：下線は当審が付与した。以下、同様である。）。 「【発明を実施するための最良の形態】 ・・・ 【００３８】 尚，本発明は，上記実施形態に限定されるものではなく，種々の変形が可能である。例えば，図３に示すように，半導体製造装置として，電極２０と，電極２０を給電対象として電力を供給する給電部材２１７ｂとを備えるヒータ２１０としてもよい。 【００３９】 具体的には，ヒータ２１０は，基体１１と，抵抗発熱体１２と，電極２０と，管状部材１３と，抵抗発熱体１２に接合される端子１４と，電極２０に接合される端子２１４と，抵抗発熱体１２に端子１４を介して接続する給電部材２１７ａと，電極２０に端子２１４を介して接続する給電部材２１７ｂと，コネクター１８と，抵抗発熱体１２用の電源１９と，電極２０用の電源２１９とを備える。図３において，図１と実質的に同様の部分には同一の符号を付して説明を省略する。 ・・・ 【００４２】 給電部材２１７ａ，２１７ｂは，接続部材２１５ａ，２１５ｂと，連結部材１６とを備える。接続部材２１５ａ，２１５ｂは，第一の棒状部材１５２ａ，１５２ｂと，ケーブル部材１５３と，第二の棒状部材１５４とを備える。このように，接続部材は，図１に示したような全体が棒状のものに限られず，棒状部材とケーブル部材とを組み合わせたものを用いてもよい。 【００４３】 第一の棒状部材１５２ａ，１５２ｂ及び第二の棒状部材１５４の形状は限定されず，略円柱状や略角柱状等の柱状や，略円管状や略角管状等の管状といった棒状の部材を用いることができる。 ・・・ 【００４８】 このようにして，接続部材や連結部材がケーブル部材を備えることにより，ケーブル部材１５３を備える給電部材２１７ａ，２１７ｂとすることができる。これによれば，給電部材２１７ａ，２１７ｂに柔軟性を持たせることができる。そのため，給電部材２１７ａ，２１７ｂを給電対象である抵抗発熱体１２や電極２０に接続させた際に，電源側端部１５４ｃの位置が完全に固定されることを防止できる。よって，電源側端部１５４ｃの位置に要求される精度を緩和できる。例えば，コネクター１８等，ヒータ２１０のような半導体製造装置を組み立てるためのアセンブリ部品に対する給電部材２１７ａ，２１７ｂの位置決めの精度を緩和でき，ある程度の自由度を持たせることができる。 【００４９】 しかも，給電部材２１７ａ，２１７ｂの一部をケーブル部材１５３とし，給電対象側端部１５２ｄ，１５２ｇ，電源側端部１５４ｃはそれぞれ，第一の棒状部材１５２ａ，１５２ｂ，第二の棒状部材１５４で構成しているため，給電部材２１７ａ，２１７ｂの自立性を維持できる。よって，端子１４，２１４を介した給電対象の抵抗発熱体１２や電極２０と給電部材２１７ａ，２１７ｂとの接続や，コネクター１８を介した電源１９，２１９と給電部材２１７ａ，２１７ｂとの接続を容易にできる。これらの結果，ヒータ２１０製造の歩留まりの低下や製造工程の煩雑化を抑制できる。又，給電により給電部材２１７ａ，２１７ｂに熱が加わり，熱膨張を起こす場合であっても，ケーブル部材１５３がこの熱膨張を吸収することができる。そのため，給電部材２１７ａ，２１７ｂ全体が撓んでしまうことを防止できる。よって，給電対象である抵抗発熱体１２や電極２０と給電部材２１７ａ，２１７ｂとの接続部分の強度低下を抑制できる。特に，端子１４，２１４と給電部材２１７ａ，２１７ｂとの接合部分の強度低下を抑制でき，ヒータ２１０の耐久性を向上できる。 ・・・ 【００５８】 また，ケーブル部材１５３の形態は限定されず，例えば，図５（ａ）に示すような複数の線材を撚って形成された撚り線ケーブル１５３ａや，図５（ｂ）に示すような複数の線材を編んで形成された編み線ケーブル１５３ｂ等を用いることができる。編み線ケーブル１５３ａは，例えば，線材を格子状に編むことができる。又，複数の線材を撚って形成された撚り線ケーブルを更に撚って形成した撚り線ケーブルや，撚り線ケーブルを編んだ編み線ケーブル等を用いることもできる。又，ケーブル部材１５３の断面形状も限定されず，円形，矩形，楕円形等のものを用いることができる。 【００５９】 第一の棒状部材１５２ａ，１５２ｂ，第二の棒状部材１５４及びケーブル部材１５３は，ニッケル，金，白金，又は，銅の少なくとも１つを含むことが好ましい。これによれば，給電部材２１７ａ，２１７ｂの高温での使用耐性を向上できる。第一の棒状部材１５２ａ，１５２ｂ，第二の棒状部材１５４及びケーブル部材１５３全体がニッケル，金，白金，銅等で形成されていてもよく，その表面だけがニッケル，金，白金，銅等でコーティングされていてもよい。又，第一の棒状部材１５２ａ，１５２ｂ及び第二の棒状部材１５４と，ケーブル部材１５３とは異なる材料を用いてもよいが，同種材料を用いることが好ましい。」 「【図３】 ［図：0001380827000001.jpg］ 」 「【図５】 ［図：0001380827000002.jpg］ 」 （３） 引用文献１に記載された発明 前記（２）の記載事項から，引用文献１には，次の発明（以下，「引用発明１」という。）が記載されていると認められる。 「接続部材２１５ａと，連結部材１６とを備え，前記接続部材２１５ａは，略円柱状の第一の棒状部材１５２ａと，ケーブル部材１５３と，略円柱状の第二の棒状部材１５４とを備える給電部材２１７ａであって， 前記ケーブル部材１５３は，複数の線材を撚って形成された撚り線ケーブル１５３ａであり，全体がニッケルで形成されている給電部材２１７ａ。」 （４）対比 本願補正発明と引用発明１とを対比する。 ア 引用文献１の【００５９】の「第一の棒状部材１５２ａ，１５２ｂ，第二の棒状部材１５４及びケーブル部材１５３は，ニッケル，金，白金，又は，銅の少なくとも１つを含むことが好ましい。」との記載によれば，引用発明１の「略円柱状の第一の棒状部材１５２ａ」及び「略円柱状の第二の棒状部材１５４」は，導電性及び剛性を有しているといえるから，本願補正発明の「２つの導電性の剛性端子」に相当する。 イ 引用発明１の「ケーブル部材１５３」は，「複数の線材を撚って形成された撚り線ケーブル１５３ａであり，全体がニッケルで形成されている」から，本願補正発明の「ニッケル線のより線」からなる「より線状の導電性の可撓性端子」に相当する。 ウ 引用発明１の「給電部材２１７ａ」は，本願補正発明の「給電端子」に相当し，本願補正発明と引用発明１とは，「（１）少なくとも２つの導電性の剛性端子と，前記剛性端子同士を接続するより線状の導電性の可撓性端子とを有する」点で共通する。 エ 以上から，本願補正発明と引用発明１との一致点及び相違点は，次のとおりである。 ＜一致点＞ 「（１）少なくとも２つの導電性の剛性端子と，前記剛性端子同士を接続するより線状の導電性の可撓性端子とを有し， 前記可撓性端子は，ニッケル線のより線からなる給電端子。」 ＜相違点＞ 相違点１：本願補正発明は，「前記剛性端子の径をＲ１，前記可撓性端子の径をＲ２としたとき，Ｒ２／Ｒ１が０．１～０．９５であ」るのに対し，引用発明１は，そのような構成を有しているかどうか不明である点。 相違点２：「ニッケル線」について，本願補正発明は，「線径は０．１ｍｍ～０．４ｍｍである」のに対し，引用発明１は，そのような構成を有しているかどうか不明である点。 （５）判断 以下，相違点について検討する。 ア 相違点１について 引用文献１の【図３】から，「略円柱状の第一の棒状部材１５２ａ」及び「略円柱状の第二の棒状部材１５４」の横方向の幅（径）よりも，「ケーブル部材１５３」の横方向の幅（径）が小さいことが見て取れるから，「略円柱状の第一の棒状部材１５２ａ」及び「略円柱状の第二の棒状部材１５４」の径をＲ１，「ケーブル部材１５３」の径をＲ２としたときに，Ｒ２／Ｒ１の値は１未満であるといえる。 そうすると，引用発明１における「Ｒ２／Ｒ１」の範囲は，本願補正発明の「０．１～０．９５」との範囲と重複している。 よって，相違点１は実質的な相違点ではない。 また，相違点１が実質的な相違点であったとしても，引用発明１において，１未満であるＲ２／Ｒ１を具体的にどの値とするかは，当業者が必要に応じて適宜設定し得る事項にすぎないから，Ｒ２／Ｒ１を０．１～０．９５の範囲とすることは，当業者であれば格別困難なこととはいえない。 イ 相違点２について 引用文献１の【００４８】の「このようにして，接続部材や連結部材がケーブル部材を備えることにより，ケーブル部材１５３を備える給電部材２１７ａ，２１７ｂとすることができる。これによれば，給電部材２１７ａ，２１７ｂに柔軟性を持たせることができる。」との記載によれば，引用発明１の「ケーブル部材１５３」には，柔軟性を備えることが必要であるといえる。 また，引用発明１の「ケーブル部材１５３」は，「給電部材２１７ａ」を構成する部材であるから，当該「ケーブル部材１５３」に電流が流れることは自明の事項である。 そして，「ケーブル部材１５３」の線径を変えると，「ケーブル部材１５３」の柔軟性や「ケーブル部材１５３」に流すことができる電流量が変わることは技術常識である。 そうすると，引用発明１において，「ケーブル部材１５３」の線径は，当業者であれば，「ケーブル部材１５３」の柔軟性，「ケーブル部材１５３」に流す電流量等を考慮して適宜設定する設計的事項であるといえるから，当該「ケーブル部材１５３」の線径を０．１ｍｍ～０．４ｍｍとすることは，当業者が適宜なし得る数値範囲の最適化にすぎない。 ウ そして，これらの相違点を総合的に勘案しても，本願補正発明の奏する作用効果は，引用発明１の奏する作用効果から予測される範囲内のものにすぎず，格別顕著なものということはできない。 エ 請求人は，審判請求書の「５１３ 本願発明１，４の作用効果」及び「５５１ 本願発明１，４の進歩性の考察」において，本願発明４によれば，可撓性端子は，ニッケル線のより線，または，ニッケル被覆銅線のより線からなり，ニッケル線およびニッケル被覆銅線の線径は０．１ｍｍ～０．４ｍｍであるので，可撓性端子の強度及び耐久性を確保するとともに，熱膨張時の応力を可撓性端子によって十分に緩和することが可能となる。線径が０．４ｍｍを超えると，可撓性が低下し，応力緩和の効果が低下するおそれがある。一方，線径が０．１ｍｍ未満であると，強度や耐久性が低下するおそれがある（本願／当初明細書段落００３２，００３３参照）。引用発明１におけるケーブル部材１５３を，本願発明４のように限定することにより，上記で述べた作用効果を奏する発明を得ることができることは，当業者であっても容易に想到し得ることではない旨主張している。 しかし，本願発明４のニッケル線およびニッケル被覆銅線の線径の上限を０．４ｍｍとし，下限を０．１ｍｍとする理由については，本願明細書には何ら記載も示唆もされていないから，請求人の主張する，ニッケル線およびニッケル被覆銅線の線径を０．１ｍｍ～０．４ｍｍとすることによる作用効果（以下，単に「作用効果」という。）は，本願明細書の記載に基づくものではない。 また，請求人が主張する上記作用効果が，本願明細書の記載及び技術常識から自明なものであったとしても，当該作用効果は，当業者であれば引用文献１の記載及び技術常識から予測し得るものであり，格別顕著なものであるとはいえない。 したがって，請求人の上記主張は採用できない。 オ よって，本願補正発明は，引用発明１に基づいて，当業者が容易に発明をすることができたものであり，特許法第２９条第２項の規定により，特許出願の際独立して特許を受けることができないものである。 ３ 本願補正についてのむすび 以上のとおりであるから，本願補正は，特許法第１７条の２第６項において準用する同法第１２６条第７項の規定に違反するので，同法第１５９条第１項の規定において読み替えて準用する同法第５３条第１項の規定により却下すべきものである。 よって，前記補正の却下の決定の結論のとおり決定する。 第３ 本願発明について １ 本願発明 令和３年 ４月 １日にされた手続補正は，前記のとおり却下されたので，本願の請求項に係る発明は，令和元年１１月１４日にされた手続補正により補正された特許請求の範囲の請求項１～６に記載された事項により特定されるものであるところ，その請求項６に係る発明（以下，「本願発明」という。）は，その請求項６に記載された事項により特定される，前記第２［理由］１（２）に記載のとおりのものである。 ２ 原査定の拒絶の理由 原査定の拒絶の理由は，この出願の請求項１，６に係る発明は，その出願前に日本国内又は外国において，頒布された以下の引用文献１に記載された発明又は電気通信回線を通じて公衆に利用可能となった発明であるから，特許法第２９条第１項第３号に該当し，特許を受けることができない，また，この出願の請求項１～６に係る発明は，引用文献１に記載された発明に基づいて，当業者が容易に発明をすることができたものであるから，特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない，というものである。 引用文献１：特開２００７－０３５８８６号公報 ３ 引用文献１の記載事項及び引用文献１に記載された発明 原査定の拒絶の理由で引用された引用文献１の記載事項は，前記第２の［理由］２（２）に記載したとおりであり，また，引用文献１に記載された発明（引用発明１）は，同２（３）において認定したとおりのものである。 ４ 対比・判断 本願発明は，前記第２の［理由］２で検討した本願補正発明から，「前記可撓性端子の長さは，前記筒状シャフトの軸方向の長さの１／３５～１／１．０５であり，前記剛性端子の径をＲ１，前記可撓性端子の径をＲ２としたとき，Ｒ２／Ｒ１が０．１～０．９５であり，前記可撓性端子は，ニッケル線のより線，または，ニッケル被覆銅線のより線からなり，前記ニッケル線および前記ニッケル被覆銅線の線径は０．１ｍｍ～０．４ｍｍである」との限定事項を削除，すなわち，前記相違点１及び相違点２に係る本願補正発明の特定事項を削除したものである。 そうすると，本願発明と引用発明１との間に相違点はないから，本願発明は引用発明１である。また，仮に，本願発明と引用発明１との間に相違点があったとしても，その相違点は微差であるから，本願発明は，引用発明１に基づいて，当業者が容易に発明をすることができたものである。 第４ むすび 以上のとおり，本願発明は，特許法第２９条第１項第３号に該当し，特許を受けることができない，又は，特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないから，他の請求項に係る発明について検討するまでもなく，本願は拒絶されるべきものである。 よって，結論のとおり審決する。