2020-700030

特許第６５４７９４６号発明「ガスバリアフィルム、および、ガスバリアフィルムの製造方法」の特許異議申立事件について、次のとおり決定する。

【結　論】 特許第６５４７９４６号の特許請求の範囲を訂正請求書に添付された訂正特許請求の範囲のとおり、訂正後の請求項〔１－２〕、〔３－５〕について訂正することを認める。 特許第６５４７９４６号の請求項３～５に係る特許を維持する。 特許第６５４７９４６号の請求項１～２に係る特許についての特許異議の申立てを却下する。

【理　由】 第１．手続の経緯 特許第６５４７９４６号の請求項１～５に係る特許についての出願は、平成２７年４月１７日に出願され、令和元年７月５日に特許権の設定登録がされ、同年７月２４日に特許掲載公報が発行された。その特許についての本件特許異議の申立てに関する経緯は、次のとおりである。 令和２年　１月１７日　　：特許異議申立人藤江桂子（以下「申立人Ａ」という）による請求項１～５に係る特許に対する特許異議の申立て 同年　１月２３日　　：特許異議申立人特許業務法人朝日奈特許事務所（以下「申立人Ｂ」という）による請求項１～５に係る特許に対する特許異議の申立て 同年　５月１９日付け：取消理由通知書 同年　７月２７日　　：特許権者による意見書の提出 同年　８月２５日付け：取消理由通知（決定の予告） 同年１０月２６日　　：特許権者による意見書の提出及び訂正請求 （以下、当該訂正請求による訂正を「本件訂正」という。） 同年１２月　７日　　：申立人Ａによる意見書の提出 第２．本件訂正の適否についての判断 １．本件訂正の内容 本件訂正の内容は以下のとおりである。なお、訂正箇所に下線を付した。 （１）訂正事項１ 特許請求の範囲の請求項１を削除する。 （２）訂正事項２ 特許請求の範囲の請求項２を削除する。 （３）訂正事項３ 特許請求の範囲の請求項３に、 「前記ガスバリア層における水素量が３０．０ａｔ％以下であり、前記反応生成物を蒸着する工程では、前記反応生成物が生成される空間に残留する水分量を吸着によって所望の値にまで下げ、前記アルミニウムと前記酸化ガスと水分とが反応することで前記反応生成物を生成する」 とあるのを、 「前記ガスバリア層における水素量が３０．０ａｔ％以下であり、前記反応生成物を蒸着する工程では、前記反応生成物を生成する期間において前記反応生成物が生成される空間に残留する水分量を吸着によって所望の値にまで下げ、前記アルミニウムと前記酸化ガスと水分とが反応することで前記反応生成物を生成する」 に訂正する（請求項３の記載を直接的又は間接的に引用する請求項４～５も同様に訂正する。）。 ２．一群の請求項 訂正前の請求項１～２ついて、請求項２は請求項１を引用するものであり、訂正事項１によって記載が訂正される請求項１に連動して訂正されるものである。 また、訂正前の請求項３～５について、請求項４～５は請求項３を直接的又は間接的に引用するものであり、訂正事項３によって記載が訂正される請求項３に連動して訂正されるものである。 したがって、請求項〔１～２〕、〔３～５〕に係る本件訂正は、それぞれ特許法第１２０条の５第４項に規定する、一群の請求項ごとにされたものである。 そして、本件訂正は、特定の請求項に係る訂正事項について別の訂正単位とする求めはされてないから、本件訂正請求は、一群の請求項である本件訂正前の請求項１～２に対応する訂正後の請求項〔１～２〕、及び、本件訂正前の請求項３～５に対応する訂正後の請求項〔３～５〕を訂正単位とするものであり、訂正事項１～２、訂正事項３は、一体の訂正事項として取り扱われるものである。 ３．本件訂正の目的の適否、新規事項追加の有無、及び特許請求の範囲の拡張・変更の存否 （１）訂正事項１について 訂正事項１による訂正は、請求項１を削除するものであるから、特許法第１２０条の５第２項ただし書第１号に掲げる特許請求の範囲の減縮を目的とするものである。 そして、訂正事項１による本件訂正は、本件特許明細書に記載された事項の範囲内のものであり、また、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものでないことは明らかであるから、特許法第１２０条の５第９項で準用する同法第１２６条第５項及び第６項の規定に適合するものである。 （２）訂正事項２について 訂正事項２による訂正は、請求項２を削除するものであるから、特許法第１２０条の５第２項ただし書第１号に掲げる特許請求の範囲の減縮を目的とするものである。 そして、訂正事項２による本件訂正は、本件特許明細書に記載された事項の範囲内のものであり、また、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものでないことは明らかであるから、特許法第１２０条の５第９項で準用する同法第１２６条第５項及び第６項の規定に適合するものである。 （３）訂正事項３について 訂正事項３による訂正は、訂正前の請求項３において、「前記反応生成物が生成される空間に残留する水分量を吸着によって所望の値にまで下げ」る期間について規定されていなかったところ、この期間について、「前記反応生成物を生成する期間において」と規定するものであるから、特許法第１２０条の５第２項ただし書第１号に掲げる特許請求の範囲の減縮を目的とするものである。 そして、本件特許明細書等の段落【００４５】には、 「真空チャンバ２０の内部には、コールドトラップ３１が収容されている。コールドトラップ３１は、反応生成物が生成される空間において水分を吸着によって捕集し、真空チャンバ２０の内部における水分量を反応生成物が生成される期間において所望の値にまで下げる。」 と記載されているから、新規事項を追加するものではなく、また、発明特定事項である「真空チャンバ２０の内部における水分量を」「所望の値にまでさげる」期間について、「反応生成物が生成される期間」と下位概念化するものであるから、実質的に特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではない（なお、下線は、理解の一助のために当審が付与したものである。以下同様。）。 よって、訂正事項３は、特許法第１２０条の５第９項で準用する同法第１２６条第５項及び第６項の規定に適合する。 ４．小括 以上のとおり、本件訂正は、特許法第１２０条の５第２項ただし書第１号に掲げる事項を目的とするものであり、かつ、同条第４項、並びに同条第９項において準用する同法第１２６条第５項及び第６項の規定に適合するので、特許請求の範囲を、本件訂正特許請求の範囲のとおり、本件訂正後の請求項〔１～２〕、〔３～５〕について訂正することを認める。 第３．訂正後の本件発明 上記第２．のとおり、本件訂正が認められるから、本件特許の請求項１～５は、それぞれ、本件訂正請求書に添付された訂正特許請求の範囲の請求項１～５に記載された、次のとおりのものである。 なお、訂正特許請求の範囲の請求項１～５に係る発明を、以下「本件発明１」等という。 「【請求項１】 （削除） 【請求項２】 （削除） 【請求項３】 真空雰囲気下においてアルミニウムを加熱して蒸発させる工程と、 蒸発したアルミニウムと酸化ガスとの反応生成物として、水素を含有した酸化アルミニウムであるＡｌＯＸＨＹを生成し、光透過性を有したプラスチックフィルムに前記反応生成物を蒸着させてガスバリア層を形成する工程とを含み、 酸素組成比Ｘは、１．００＜Ｘ＜２．００を満たし、 水素組成比Ｙは、０．１０＜Ｙ＜１．２０を満たし、 前記ガスバリア層における水素量が３０．０ａｔ％以下であり、 前記反応生成物を蒸着する工程では、前記反応生成物を生成する期間において前記反応生成物が生成される空間に残留する水分量を吸着によって所望の値にまで下げ、前記アルミニウムと前記酸化ガスと水分とが反応することで前記反応生成物を生成する ことを特徴とするガスバリアフィルムの製造方法。 【請求項４】 前記アルミニウムを加熱する工程では、前記アルミニウムの加熱に、電子ビーム加熱、抵抗加熱、および、高周波誘導加熱からなる群から選択される少なくとも１つを用いる 請求項３に記載のガスバリアフィルムの製造方法。 【請求項５】 前記反応生成物を蒸着する工程では、ＩＣＰプラズマ、ヘリコン波プラズマ、マイクロ波プラズマ、ホロカソード放電からなる群から選択される少なくとも１つを前記酸化ガスから生成し、前記酸化ガスから生成されたプラズマとアルミニウムとの反応によって前記反応生成物を生成する 請求項３または４に記載のガスバリアフィルムの製造方法。」 第４．取消理由（決定の予告）の概要 本件特許の請求項１～５に係る特許に対して、当審が特許権者に通知した令和２年８月２５日付けの取消理由（決定の予告）の要旨は、次のとおりである。 １．本件特許は、平成３１年１月２５日付けでした請求項１の補正が、願書に最初に添付した明細書又は図面に記載した事項の範囲内においてしたものでないから、特許法第１７条の２第３項に規定する要件を満たしていない補正をした特許出願に対してされたものである。 ２．本件特許は、本件発明１～２が発明の詳細な説明に記載されたものでないため、特許法第３６条第６項第１号に規定する要件を満たしていない特許出願に対してされたものである。 ３．本件特許は、本件発明１～２が明確でないため、特許法第３６条第６項第２号に規定する要件を満たしていない特許出願に対してされたものである。 ４．本件特許は、明細書の記載が、本件発明１～５について当業者が実施できる程度に十分に明確かつ十分に記載されたものでないため、特許法第３６条第４項第１号に規定する要件を満たしていない特許出願に対してされたものである。 ５．本件発明１～５は、本件特許出願前に日本国内又は外国において、頒布された以下の刊行物に記載された発明又は電気通信回線を通じて公衆に利用可能となった発明に基いて、本件特許出願前にその発明の属する技術の分野における通常の知識を有する者が容易に発明をすることができたものであるから、本件特許は、特許法第２９条第２項の規定に違反してされたものである。 ＜引用文献等一覧＞ 引用文献１：特開昭６３－２２２８４９号公報（申立人Ａの甲第１号証、申立人Ｂの甲第１号証） 引用文献２：特開平５－２１４１３５号公報（申立人Ｂの甲第２号証） 引用文献３：特開２０１２－５６３１１号公報（申立人Ａの甲第８号証、申立人Ｂの甲第３号証） 引用文献４：特許４０２８０４６号公報（申立人Ａの甲第１０号証） 引用文献５：特開２０００－３８６６８号公報（申立人Ａの甲第２号証、申立人Ｂの甲第６号証） 引用文献６：特開２０１４－２２１５４３号公報（申立人Ｂの甲第８号証） 引用文献７：特開２０１５－６３０２４号公報（申立人Ａの甲第９号証、申立人Ｂの甲第４号証） 第５．取消理由（決定の予告）に対する当審の判断 １．特許法第１７条の２第３項に係る理由について 本件訂正により、上記取消理由の対象となる請求項１～２が削除されたので、上記取消理由には理由がない。 ２．特許法第３６条第６項第１号に係る理由について 本件訂正により、上記取消理由の対象となる請求項１～２が削除されたので、上記取消理由には理由がない。 ３．特許法第３６条第６項第２号に係る理由について 本件訂正により、上記取消理由の対象となる請求項１～２が削除されたので、上記取消理由には理由がない。 ４．特許法第３６条第４項第１号に係る理由について （１）ガスバリア層の酸素組成比Ｘ、水素組成比Ｙ、水素量について 本件発明３には、ガスバリア層を形成するＡｌＯＸＨＹからなる酸化アルミニウムが、 「酸素組成比Ｘは、１．００＜Ｘ＜２．００を満たし、 水素組成比Ｙは、０．１０＜Ｙ＜１．２０を満たし、 前記ガスバリア層における水素量が３０．０ａｔ％以下であ」る点が特定されている。 そして、本件特許明細書の発明の詳細な説明の【表１】には、ガスバリア層の酸素組成比、水素組成比Ｙ、水素量の具体例として、Ｏ／Ａｌ、Ｈ／Ａｌ、Ｈ（ａｔ％）がそれぞれ１．５３、０．３４、１１．４の実施例、１．７４、１．１６、３８．１の比較例１、１．６９、１．４８、３１．４の比較例２が記載されている。 【表１】 ここで、【表１】の実施例、比較例１及び比較例２ついて、Ｏ／Ａｌ、Ｈ／Ａｌ、Ｈ（ａｔ％）の値からＡｌ（ａｔ％）、Ｏ（ａｔ％）を計算し、Ａｌ（ａｔ％）、Ｏ（ａｔ％）、Ｈ（ａｔ％）の合計のａｔ％を求めると、実施例は９６．２ａｔ％、比較例１は１２８．１ａｔ％、比較例２は８８．５％となり、いずれも１００ａｔ％とはならない。 しかしながら、ガスバリア層には、不可避的に炭素や窒素などの他の元素が存在することは技術常識であることや、測定においては多少の誤差が生じ得ることに鑑みると、実施例、比較例１及び比較例２の合計のａｔ％が１００％とならないことをもって、本件特許明細書は、当業者が実施できる程度に明確かつ十分に記載されたものではないとはいえない。 なお、比較例１について、合計のａｔ％が１００％を大きく上回るものであるが、特許法第３６条第４項第１号は、発明の詳細な説明の記載について、いわゆる当業者がその実施をすることができる程度に明確かつ十分に記載したものであることを求めているのであって、明細書の段落【００４６】～【００４７】の記載、及び、段落【００５２】～【００６０】の記載によれば、少なくとも製造方法の発明である本件発明３～５については、当業者が実施できる程度に明確かつ十分に記載されているものと認められる。 （２）蒸着直後のガスバリア層における酸素組成比Ｘ、水素組成比Ｙ及び水素量について 本件発明３には、ガスバリアフィルムの製造方法において、 「蒸発したアルミニウムと酸化ガスとの反応生成物として、水素を含有した酸化アルミニウムであるＡｌＯＸＨＹを生成し、光透過性を有したプラスチックフィルムに前記反応生成物を蒸着させてガスバリア層を形成する工程とを含み、 酸素組成比Ｘは、１．００＜Ｘ＜２．００を満たし、 水素組成比Ｙは、０．１０＜Ｙ＜１．２０を満たし、 前記ガスバリア層における水素量が３０．０ａｔ％以下であ」る点が特定されている。 ここで、蒸着フィルムを蒸着後に大気に開放することにより、成膜された金属膜（たとえばアルミナ膜）の酸化が進行し得るものであるが、ガスバリア層を大気に開放してからその組成の測定を開始するまでの環境は、４０℃、９０％ＲＨのような特殊環境ではなく一般的な設備環境であり、また、ガスバリア層を大気に開放してからその組成の測定を開始するまでの期間は、組成の結果に大きな差異をもたらせるような長い期間ではなく、一般的な数時間程度であることは明細書に触れた当業者であれば十分に理解でき、本件発明３の蒸着直後のガスバリア層における酸素組成比Ｘ、水素組成比Ｙ及び水素量は、大気開放後の酸素組成比Ｘ、水素組成比Ｙ及び水素量と大差ないものと認められるから、当該値をどのように求めるのかを理解することができないとは言えず、本件特許明細書は、当業者が実施できる程度に明確かつ十分に記載されているものと認められる。 したがって、本件特許発明に関し、発明の詳細な説明に、発明の詳細な説明の記載及び出願時の技術常識に基づいて、当業者が過度の試行錯誤を要することなく、その物を製造し、使用することができる程度の記載があるといえ、発明の詳細な説明の記載は実施可能要件を充足する。 ５．特許法第２９条第２項に係る理由について （１）引用文献記載事項 ア．引用文献１に記載された事項及び引用文献１に記載された発明 引用文献１には、以下の記載がある（下線は、当審にて付した。以下同様。）。 （ア）「２．特許請求の範囲 透明プラスチックフィルム基体上に、酸化アルミニウムと水酸化アルミニウムより成る薄層を設けたことを特徴とする包装用フィルム。」（第１ページ左下欄第４～７行）。 （イ）「［産業上の利用分野］ 本発明は包装用フィルムに関する。更に詳しくは、ガスバリア性と透明性に優れた包装用フィルムに関する。 ［従来の技術］ 従来、ガスバリア性の優れた包装用フィルムとして、プラスチックフィルムの少なくとも片面に酸化硅素を蒸着したものが知られている（特公昭５３－１２９５３）。酸化硅素の蒸着フィルムは、ガスバリア性において、塩化ビニリデン系やポリビニルアルコール系のコーティング層を設けたプラスチックフィルムより優れたガスバリア性を有している。 ［発明が解決しようとする問題点］ しかし、このような酸化硅素を蒸着した従来のガスバリア性包装用フィルムには、次のような問題があった。すなわち、ガスバリア性を向上させるため蒸着膜厚を厚くしたり、蒸着フィルムが吸湿により寸法変化すると酸化硅素層に亀裂やひび割れが発生し、ガスバリア性が著しく低下する。また、可撓性が十分でなく、蒸着フィルムを折り曲げたり、延ばしたり、成型したりすると亀裂が発生しガスバリア性が低下する問題があった。 かかる欠点を改良するため、本発明者らは、透明プラスチックフィルム基体上に、非結晶性の酸化アルミニウム薄層を設けたことを特徴とする包装用フィルムを既に提案した（特願昭６０－２４２０７０）。 しかし、酸化アルミニウム薄層は、その形成時の条件のコントロールが容易ではないために、多孔質な構造となり易く、このために酸化アルミニウム薄層の膜厚が薄い場合にガスバリア性が低下し、特に水蒸気バリア性の低下が著しいという問題点があることがわかった。 本発明は、上記欠点のないもの、すなわち透明で酸素ガスバリア性、水蒸気ガスバリア性の共に優れた包装用フィルムを提供することにある。 ［問題点を解決するための手段］ すなわち本発明は、透明プラスチックフィルム基体上に、酸化アルミニウムと水酸化アルミニウムより成る薄層を設けたことを特徴とする包装用フィルムである。」（第１ページ左下欄第９行～第２ページ左上欄第１０行）。 （ウ）「本発明の透明プラスチックフィルムの厚さは、特に制限を受けないが、３～４００μｍの範囲が望ましく、機械強度と可撓性の点で更に好ましくは５～２００μｍの範囲であることが望ましい。 かかる透明プラスチックフィルム基体上に、酸化アルミニウムと水酸化アルミニウムより成る薄層が形成される。 本発明でいう酸化アルミニウムとは、ＡｌＯ、Ａｌ２Ｏ２、Ａｌ２Ｏ３などのアルミニウムの酸化物であるが、本発明では、中でも透明性の点でＡｌ２Ｏ３であることが望ましい。水酸化アルミニウムとは、Ａｌ（ＯＨ）３、ＡｌＯ（ＯＨ ）などの水酸化物である。 また酸化アルミニウム薄層中に、透明性とガスバリア性を損わない範囲で、アルミニウム、銅、鉄、タングステン、モリブデンなどの金属や酸化ジルコニウム、酸化マグネシウム、酸化タングステン、酸化モリブデン、窒化硼素などの不純物が微量に含まれることは許容される。 酸化アルミニウムと水酸化アルミニウムより成る薄層の厚みは、使用する基体と目的に合せて選定されるが、本発明においては３０Å～５０００Åの範囲が望ましく、好ましくは５０Å～２０００Å、更に好ましくは１００Å～１０００Åが望ましい。３０Å未満ではガスバリア性が十分でなく、５０００Å以上では基体フィルムが１５μｍ以下のように極めて薄い場合にカールが発生するなど平面性を損う。 酸化アルミニウムと水酸化アルミニウムの比率は、重量比で９０：１０から１０：９０の範囲が望ましく、更に好ましくは８０：２０から２０：８０の範囲が望ましい。」（第２ページ左下欄第１行～右下欄第１２行））。 （エ）「図は、酸化アルミニウム膜を形成する反応性蒸着法置の一例を示す概略図である。 図において真空容器１内に設置された巻出し軸２より、プラスチックフィルム５が送り出され、－３０～－５℃に冷却された冷却ドラム３を経由して、巻取り軸４に巻取られる。この間、冷却ドラム上にて、高周波誘導加熱電源に接続された蒸発器６内のアルミニウムが蒸発し、酸素ボンベ１０から、ガス流量制御装置９を通してマスク７で囲まれたガス吹出口８から供給される酸素ガスと反応して、プラスチックフィルム基体５の上に酸化アルミニウム薄層が形成される。真空容器中の圧力は１×１０－５～１×１０－２トール、酸素ガスの供給量は、蒸発器６からのアルミニウムの蒸発量に応じて調整される。酸化アルミニウムの膜厚は蒸発器への供給電力とフィルム走行速度により調整される。 このようにして形成した酸化アルミニウム蒸着膜を後処理により酸化アルミニウムと水酸化アルミニウムより成る膜に変成することができる。この後処理の条件としては、水分と温度と時間が必要であり、例えば、６０℃、８０％ＲＨの恒温恒湿層に２４ｈｒ保管する方法、または２０℃、６０％ＲＨ中で１週間調湿した後、１００℃の熱風乾燥機で３０分熱処理する方法などが選択される。水酸化アルミニウム形成の熱処理条件としては、要求されるガスバリア性や使用するプラスチックフィルム基体の耐熱性などを考慮して適宜選択される。 このようにして形成した酸化アルミニウムと水酸化アルミニウムより成る薄層は、多孔質な膜構造となり易い酸化アルミニウム薄層を水酸化アルミニウムが封孔している構造となっている。このため特に水蒸気バリア性が優れている。 本発明の包装用フィルムは、酸化アルミニウムと水酸化アルミニウムより成る薄層を設ける前、あるいは後にプラスチックフィルム面および／または酸化アルミニウムと水酸化アルミニウムより成る薄層面に、ヒートシール性や耐摩耗性を与えるためのコーティング、押出しラミネーション、あるいは、他のフィルムとの積層や文字、図柄などの印刷を適宜行なうことができる。 本発明による包装用フィルムは、透明性が高く、酸素ガスバリア性、水蒸気バリア性が共に優れているため、内容物の変質を防ぐことができ、かつ透視性の良い包装材料として食品、電気部品、繊維製品、プラスチック部品などの包装に用いることができる。」（第３ページ右上欄第９行～右下欄第１６行） （オ）「［実施例］ 実施例１～３、比較例１ 二軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルム（厚さ２０μｍ）を幅５００ｍｍ、長さ１０，０００ｍのロール状とし、図に示す反応性蒸着装置に装着した。純度９９．９８％のアルミニウムを高周波誘導加熱蒸発器に充填した後、真空容器を１×１０－４Ｔｏｒｒに排気した。次いて高周波誘導加熱蒸発器を加熱し、アルミニウムの蒸着を始めると同時にフィルムの走行を始める。ガス流量制御装置によりガス吹出口から酸素ガスを供給し、酸素ガスの供給量は真空容器の圧力及び蒸着フィルムの光線透過率を見ながら調整して圧力３．０×１０－４Ｔｏｒｒで蒸着を行ない、厚さ５００Åの酸化アルミニウム蒸着膜を得た。 次いで、この酸化アルミニウムを形成したプラスチックフィルムを４０℃、８０％ＲＨで１週間保管した後、１００℃の熱風乾燥機で３０分間熱処理したものを実施例１、１０分間熱処理したものを実施例２、１分間熱処理したものを実施例３とする。 熱処理を行なわなかったものを比較例１とする。 ＥＳＣＡ（ＶＧサイエンティフィック製、ＥＳＣＡＬＡＢ－５）による表面分析の結果、酸化アルミニウムと水酸化アルミニウムの比率（重量比）は、実施例１では６５：３５、実施例２では７０：３０、実施例３では９０：１０、比較例１では１００：０であった。 表１にそれぞれのガスバリア性を示す。 実施例４～５、比較例２ 二軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルム（厚さ５０μｍ）上に、高周波マグネトロンスパッタリング装置（日電アネルバ製）を用いて、酸化アルミニウムと水酸化アルミニウムからなる膜をスパッタした。スパッタは酸化アルミニウムと水酸化アルミニウムを混合した（混合比６０：４０（重量比））直径６インチの焼結体をターゲットとし、Ａｒと酸素の混合ガス（Ａｒ：Ｏ２＝９５：５（体積比））を導入し、１３．５６ＭＨｚの高周波電力を２ＫＷ投入しながら行なった。スパッタ時間の調整により、膜厚を２００Åとしたものを実施例４、膜厚を６００Åとしたものを実施例５、スパッタを行なっていない基体フィルムを比較例２とする。 実施例４，５は、ＥＳＣＡによる表面分析の結果、いずれも酸化アルミニウムと水酸化アルミニウムの比率は６０：４０（重量比）であった。 表１にそれぞれガスバリア性を示す。 」（第４ページ左上欄第１３行～左下欄） （カ）「 」（第５ページ右上欄） （キ）上記（ア）～（カ）の事項をまとめると、引用文献１には、以下の発明（以下、「引用発明２」という。）が記載されている。 ＜引用発明２＞ 「純度９９．９８％のアルミニウムを高周波誘導加熱蒸発器に充填した後、真空容器を１×１０－４Ｔｏｒｒに排気し、次いで高周波誘導加熱蒸発器を加熱し、アルミニウムの蒸着を始めると同時にフィルムの走行を始める工程と、 ガス流量制御装置によりガス吹出口から酸素ガスを供給し、圧力３．０×１０－４Ｔｏｒｒで蒸着を行ない、厚さ５００Åの酸化アルミニウム蒸着膜を得る工程と、 酸化アルミニウムを形成したプラスチックフィルムを４０℃、８０％ＲＨで１週間保管した後、１００℃の熱風乾燥機で３０分間熱処理、１０分間熱処理、または１分間熱処理し、酸化アルミニウム蒸着膜を酸化アルミニウムと水酸化アルミニウムより成る膜に変成する後処理工程とを含み、 酸化アルミニウムとは、ＡｌＯ、Ａｌ２Ｏ２、Ａｌ２Ｏ３などのアルミニウムの酸化物であり、透明性の点でＡｌ２Ｏ３であることが望ましく、 水酸化アルミニウムとは、Ａｌ（ＯＨ）３、ＡｌＯ（ＯＨ）などの水酸化物であり、 酸化アルミニウムと水酸化アルムニウムの重量比が、６５：３５、７０：３０、または９０：１０である、 透明で酸素ガスバリア性、水蒸気ガスバリア性の共に優れた包装用フィルムの製造方法。」 イ．引用文献５に記載された事項 引用文献５には、以下の記載がある。 （ア）「【０００１】 【発明の属する技術分野】真空装置を用いて薄膜を形成する分野、たとえばスパッタによるＩＴＯ製造、熱線反射のためのガラスコーティング、そして食品包装等に使われるアルミニウム蒸着フィルム等の製造装置および製造方法に関するものであり、特に透明性、ガスバリア性、耐屈曲性に優れた食品、医薬品、電子部品等の気密性を要求される包装材料、または、ガス遮断材料として優れた特性を持つ透明ガスバリアフィルムの製造装置および製造方法に関するものである。」 （イ）「【００２０】以下に実施例をあげて本発明を説明する。本発明を透明バリアフィルムに適用して説明する。図１で示す直径１７００ｍｍ×奥行き１１００ｍｍ容量約２．５ｍ３の真空槽をもつロールコーター式蒸着装置で実験を行った。前記蒸着装置は２２０００ｌ／ｓｅｃの排気速度の排気装置及び水分を吸着する装置（商品名ポリコールド）を備えている。前記装置には真空槽、内部の隔壁、ルツボ、シャッターに水冷のための通路があり、それぞれの注水口、排水口をまとめた管には三方バルブが取り付けられておりクーリングタワーと温湯機との接続が切り替えるられるように成っている。センターロールは不凍液が循環できるように通路があり外部の冷却装置につながっている。前記冷却装置は加温も可能である。」 ウ．引用文献６に記載された事項 引用文献６には、以下の記載がある。 （ア）「【００４４】 （ガスバリア層） 本発明で用いるガスバリア層としては、ＳｉＯ２、Ａｌ２Ｏ３などの透明金属酸化物及びＳｉＯ２－Ａｌ２Ｏ３等の複合金属酸化物、ＳｉＮ、ＡｌＮ等の金属窒化物、ＳｉＯＮ、ＡｌＯＮ等の金属酸窒化物よりなる無機薄膜層が挙げられる。これらの中で透明性に優れるという観点から金属酸化物が好ましい。また、ＰＶＡなどに扁平粒子を添加した有機物によるガスバリア層も用いることが可能であるが、湿度などの環境に対するガスバリア性の安定性の観点から無機薄膜層を用いることが好ましい。」 （イ）「【００４９】 また、無機薄膜層を成膜する際の水分圧としては、２×１０－３Ｐａ以下が好ましく、さらに好ましくは５×１０－４Ｐａ以下である。水分圧が２×１０－３Ｐａを超える場合、無機薄膜層中に水素が取り込まれ、ネットワーク（例えば、Ｍ－Ｏ－）の成長が停止する。このため、無機薄膜層の連続性が乏しくなり、ガスバリア性が低下してしまう。」 （２）本件発明３について ア．対比 本件発明３と引用発明２とを対比する。 （ア）引用発明２の「純度９９．９８％のアルミニウムを高周波誘導加熱蒸発器に充填した後、真空容器を１×１０－４Ｔｏｒｒに排気し、次いて高周波誘導加熱蒸発器を加熱し、アルミニウムの蒸着を始める」点は、本件発明３の「真空雰囲気下においてアルミニウムを加熱して蒸発させる」点に相当する。 （イ）引用発明２の「酸化アルミニウムと水酸化アルミニウムより成る膜」は、「多孔質な膜構造となり易い酸化アルミニウム薄層を水酸化アルミニウムが封孔している構造」であるため、「特に水蒸気バリア性が優れている」ものであるから、本件発明３の「ガスバリア層」に相当する。 （ウ）引用発明２の「透明で酸素ガスバリア性、水蒸気ガスバリア性の共に優れた包装用フィルム」は、本件発明３の「ガスバリアフィルム」に相当する。 （エ）引用発明２において、「透明」な「包装用フィルム」を構成する「プラスチックフィルム」は「光透過性を有する」ものといえる。 上記（ア）～（エ）より、本件発明３と引用発明２とは、 「真空雰囲気下においてアルミニウムを加熱して蒸発させる工程と、 光透過性を有したプラスチックフィルムにガスバリア層を形成する工程とを含む、 ガスバリアフィルムの製造方法。」 である点で一致し、以下の点で相違する。 ＜相違点３＞ ガスバリア層を形成する工程が、本件発明３は、「蒸発したアルミニウムと酸化ガスとの反応生成物として、水素を含有した酸化アルミニウムであるＡｌＯＸＨＹを生成し、光透過性を有したプラスチックフィルムに前記反応生成物を蒸着させ」るものであり、「前記反応生成物を蒸着する工程では、前記反応生成物を生成する期間において前記反応生成物が生成される空間に残留する水分量を吸着によって所望の値にまで下げ、前記アルミニウムと前記酸化ガスと水分とが反応することで前記反応生成物を生成する」ものであるのに対し、引用発明２は、「ガス流量制御装置によりガス吹出口から酸素ガスを供給し、圧力３．０×１０－４Ｔｏｒｒで蒸着を行ない、厚さ５００Åの酸化アルミニウム蒸着膜を得」たのち、「酸化アルミニウムを形成したプラスチックフィルムを４０℃、８０％ＲＨで１週間保管した後、１００℃の熱風乾燥機で３０分間熱処理、１０分間熱処理、または１分間熱処理し、酸化アルミニウム蒸着膜を酸化アルミニウムと水酸化アルミニウムより成る膜に変成する」ものである点。 ＜相違点４＞ ガスバリア層について、本件発明３は、「水素を含有した酸化アルミニウムであるＡｌＯＸＨＹ」であり、「酸素組成比Ｘは、１．００＜Ｘ＜２．００をたし、水素組成比Ｙは、０．１０＜Ｙ＜１．２０を満たし、前記ガスバリア層における水素量が３０．０ａｔ％以下であ」るのに対し、引用発明２は、「酸化アルミニウムと水酸化アルミニウムより成る」ものであり、「酸化アルミニウムとは、ＡｌＯ、Ａｌ２Ｏ２、Ａｌ２Ｏ３などのアルミニウムの酸化物であり、透明性の点でＡｌ２Ｏ３であることが望ましく、水酸化アルミニウムとは、Ａｌ（ＯＨ）３、ＡｌＯ（ＯＨ）などの水酸化物であり、酸化アルミニウムと水酸化アルミニウムの重量比が、６５：３５、７０：３０、９０：１０である」ものの、ＡｌＯＸＨＹとして換算した場合に、酸素組成比Ｘ、水素組成比Ｙ及び水素量の原子パーセントの具体的な範囲が明らかでない点。 イ．相違点についての検討 ＜相違点３について＞ 引用文献５には、上記第５．５．（１）イ．において摘示したように、透明性、ガスバリア性、耐屈曲性に優れたアルミニウム蒸着フィルムを製造するための、真空槽を有するロールコーター式蒸着装置が、水分を吸着する装置（商品名ポリコールド）を備えることが記載されている。 引用文献６には、上記第５．５．（１）ウ．において摘示したように、ガスバリア層としてＡｌ２Ｏ３などの無機薄膜層を成膜する際に、水素が取り込まれるとガスバリア性が低下することから、水分圧を制限することが記載されている。 したがって、ガスバリアフィルムのアルミニウムの蒸着工程において、水素が取り込まれることによってガスバリア性が低下しないように、水分を吸着して除去することは本件特許の出願日前において周知の技術である。 一方で、引用発明２は、「酸化アルミニウムを形成したプラスチックフィルムを４０℃、８０％ＲＨで１週間保管した後、１００℃の熱風乾燥機で３０分間熱処理、１０分間熱処理、または１分間熱処理し、酸化アルミニウム蒸着膜を酸化アルミニウムと水酸化アルミニウムより成る膜に変成する」ものであり、アルミニウムの蒸着工程で反応生成物を生成する期間においては、水酸基の導入を要しないものであるから、引用発明２に上記周知の技術を適用し、ガスバリアフィルムのアルミニウムの蒸着工程において水分を吸着して除去することができたとしても、アルミニウムの蒸着工程においては可能な限り多くの水分を吸着して除去しようとするのが合理的であって、アルミニウムと酸化ガスと水分とを反応させるために、水分量を「所望の値」にまで下げることが当業者にとって容易になし得るものであるとはいえない。 したがって、その他の相違点について検討するまでもなく、本件発明３は、引用発明２に基いて当業者が容易に発明をすることができたものということができない。 （３）本件発明４～５について 本件発明４～５は、本件発明３の発明特定事項を全て含み、更に限定するものであるから、本件発明３と同様の理由から、引用発明２及び周知技術に基いて当業者が容易に発明をすることができたものということができない。 第６．取消理由としなかった申立理由について １．申立人Ａ及び申立人Ｂの主張する申立理由のうち、取消理由又は取消理由（予告）としなかった理由 （１）申立人Ａの特許異議申立書に添付された甲第８号証（特開２０１２－５６３１１号公報）を主たる引用例とした場合 ア．理由８－１（特許法第２９条第１項第３号） 本件訂正前の請求項１～５に係る発明は、甲第８号証に記載された発明（以下、「甲８発明」という。以下同様。）であるから、特許法第２９条第１項第３号の規定により特許を受けることができない発明である。 イ．理由８－２（特許法第２９条第２項） 本件訂正前の請求項１～５に係る発明は、甲８発明及び周知技術に基いて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない発明である。 （２）申立人Ａの特許異議申立書に添付された甲第１０号証（特許第４０２８０４６号公報）を主たる引用例とした場合 ア．理由１０－１（特許法第２９条第１項第３号） 本件訂正前の請求項３～４に係る発明は、甲１０発明であるから、特許法第２９条第１項第３号の規定により特許を受けることができない発明である。 イ．理由１０－２（特許法第２９条第２項） 本件訂正前の請求項３～５に係る発明は、甲１０発明及び周知技術に基いて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない発明である。 （３）申立人Ｂの特許異議申立書に添付された甲第４号証（特開２０１５－６３０２４号公報）を主たる引用例とした場合 ア．理由４－１（特許法第２９条第２項） 本件訂正前の請求項３～５に係る発明は、甲４発明及び周知技術に基いて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない発明である。 ２．上記主張についての検討 （１）理由８－１（特許法第２９条第１項第３号）について ア．甲第８号証の記載 （ア）「【背景技術】 【０００２】 従来から、高分子フィルム基材の表面に、酸化アルミニウム、酸化ケイ素、酸化マグネシウム等の無機物（無機酸化物を含む）を使用し、真空蒸着法、スパッタリング法、イオンプレーティング法等の物理気相成長法（ＰＶＤ法）、あるいは、プラズマ化学気相成長法、熱化学気相成長法、光化学気相成長法等の化学気相成長法（以下、ＣＶＤ法という）等を利用して、その無機物の蒸着膜を形成してなる透明ガスバリア性フィルムは、水蒸気や酸素などの各種ガスの遮断を必要とする食品や医薬品などの包装材として用いられている。」 （イ）「【０００６】 また、真空蒸着法により形成された酸化金属薄膜の上にプラズマＣＶＤ法により形成されたシリコン化合物薄膜を順次積層した方法は、プラズマや蒸着源からの熱ダメージが大きく、高分子フィルム基材が熱負けによる反りが発生し、後工程の加工で作業性が悪くなるなどの問題があった。本発明は、かかる従来技術の背景に鑑み、膜形成によるフィルムの反りを低減し、かつフィルム搬送や印刷、ラミネート、熱水殺菌処理といった高温処理や後工程においても、ガスバリア性が悪化しない、透明かつ高度なガスバリア性を有するガスバリア性フィルムを提供せんとするものである。 【課題を解決するための手段】 【０００７】 本発明の上記課題は次の構成によって達成される。すなわち、 （１）高分子フィルム基材の片面または両面に、Ｘ線光電子分光法（ＸＰＳ法）により測定される膜表層のＯ／ＡＬ比が１．７～２．３の範囲であって、Ｘ線反射測定法（ＧＩＸＲ法）により測定される膜密度が２．５ｇ／ｃｍ３～２．８ｇ／ｃｍ３の範囲である酸化アルミニウム層を有し、さらに該酸化アルミニウム層の前記高分子フィルム基材と反対の面の上にシラン化合物を含む有機化合物層が配置されていることを特徴とするガスバリア性フィルム。 ・・・」 （ウ）「【００１９】 また、本発明にかかる酸化アルミニウム層の表面において、ＸＰＳ法により測定されるＯ／ＡＬ比率は、有機化合物層形成の際に酸化アルミニウム層の欠陥にシラン化合物を含む有機化合物が含浸してガス透過性を抑える観点から、１．７～２．３の範囲であり、１．７５～２．１の範囲であることが好ましく、より好ましくは１．９０～２．０５の範囲である。シラン化合物は、有機化合物に含まれる水分及び乾燥時の加熱処理により加水分解されてシラノールになり、酸化アルミニウム層と有機化合物層の界面のアルミニウム原子に結合した水酸基と脱水縮合反応して、アルミニウム原子と化学的に結合する。従って、アルミニウム原子の濃度が大きい方が酸化アルミニウム層の欠陥部分に有機化合物を効率よく含浸できガスバリア性は向上するため、Ｏ／ＡＬ比率は小さい方が好ましい。しかし、酸化アルミニウム層表層のＯ／ＡＬ比率は１．７より小さくなると、酸化アルミニウム層の粒成長に伴う欠陥数が増加するため、酸化アルミニウム層内部の全ての欠陥を有機化合物で含浸することができなくなり、ガスバリア性は悪化する。従って、Ｏ／ＡＬ比率は１．７以上で形成することが好ましい。また、Ｏ／ＡＬ比率は２．３より大きくなると、外気の湿気により水酸化されたアルミニウム成分が増えることにより、欠陥数は増加して有機化合物の含浸効率が低下するためガスバリア性は悪化する。従って、酸化アルミニウム層表層のＯ／ＡＬ比率は２．３以下で形成することが好ましい。」 （エ）「【００５６】 ・装置：Ｒｉｇａｋｕ製 Ｘ線 ＳＰＥＣＴＲＯＭＥＴＥＲ ＲＩＸ１０００ ・Ｘ線管：横型Ｃｒターゲット ・分光結晶：ＬＩＦ１ （実施例１） （酸化アルミニウム層の製造） 図２に示す装置構造の巻き取り式の真空蒸着装置を使用し、厚さ１２μｍの２軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルム（東レ株式会社製“ルミラー”（登録商標） １２Ｔ７０５）を高分子フィルム基材とし、その片面に、アルミニウムを蒸着材料に用いて抵抗加熱方式によりアルミニウムを蒸気化し、酸素ガスを導入して酸化アルミニウム層を設けた。図２は本発明のガスバリア性フィルムの製造に当たり酸化アルミニウム層を形成する工程に用いるための巻き取り式真空蒸着装置の概略図である。まず、巻き取り式真空蒸着装置４の巻き取り室５の中で、巻き出しロール６にセットされた高分子フィルム基材１を搬送速度１００ｍ／ｍｉｎで巻き出し、ガイドロール８，９，１０を介して、クーリングドラム１１に通す。ボート７上にはアルミニウム等のワイヤーが導入されていて、ボート７からアルミニウムを蒸発させ、酸素導入ノズル１２から酸素ガス０．４Ｌ／ｍｉｎを導入し、さらにプラズマ電極１３から酸素プラズマを導入することにより、このクーリングドラム１１上の位置において高分子フィルム基材１の表面に酸化アルミニウム層を形成した。このとき、プラズマ電極１３には、酸素ガス０．２Ｌ／ｍｉｎを導入し、プラズマ投入電力は３．０ｋｗとした。その後、この酸化アルミニウム層を形成した高分子フィルム基材をガイドロール１４、１５、１６を介して、巻き取りロール１７に巻き取った。」 （オ）「 」 以上を総合し、甲第８号証には、以下の甲８発明が記載されている。 「透明高分子フィルム基材上に、酸化アルミニウム層を設け、その上にシラン化合物を含む有機化合物を設けた酸素ガスバリア性及び水蒸気ガスバリア性に優れ、Ｏ／Ａｌ比が１．７～２．３である包装用フィルムの製造方法であって、巻き取り式の真空蒸着装置において、アルミニウムを蒸着材料に用いて抵抗加熱方式によりアルミニウムを蒸気化し、酸素ガスを導入して酸化アルミニウム層を設け、シラン化合物は、有機化合物に含まれる水分及び乾燥時の加熱処理により加水分解されてシラノールになり、酸化アルミニウム層と有機化合物層の界面のアルミニウム原子に結合した水酸基と脱水縮合反応して、アルミニウム原子と化学的に結合する包装用フィルムの製造方法。」 イ．本件発明３について （ア）対比 本件発明３と甲８発明とを対比すると、甲８発明の「透明高分子フィルム基材」は本件発明３の「光透過性を有したプラスチックフィルム」に相当し、以下同様に、「アルミニウムを蒸着材料に用いて抵抗加熱方式によりアルミニウムを蒸気化」は「アルミニウムを加熱して蒸発させる工程」に、「酸素ガス」は「酸化ガス」にそれぞれ相当する。 また、甲８発明の「アルミニウムを蒸気化し、酸素ガスを導入して」設けられた「酸化アルミニウム層」は、本件発明３の「蒸発したアルミニウムと酸化ガスとの反応生成物」に相当し、甲８発明の「真空蒸着装置」は、真空状態で蒸着させるものであるから、本件発明３の「真空雰囲気下において」「蒸着」に相当し、甲８発明の「酸素ガスバリア性及び水蒸気ガスバリア性に優れ」た「包装用フィルム」は、本件発明３の「ガスバリアフィルム」に相当する。 よって、本件発明３と甲８発明は、以下の点で一致する。 ＜一致点８＞ 「真空雰囲気下においてアルミニウムを加熱して蒸発させる工程と、蒸発したアルミニウムと酸化ガスとの反応生成物を光透過性を有したプラスチックフィルムに蒸着させてガスバリア層を形成する工程とを含むガスバリアフィルムの製造方法。」 ＜相違点８－１＞ 蒸発したアルミニウムと酸化ガスとの反応生成物である酸化アルミニウムについて、本件発明３は、「水素を含有した酸化アルミニウムであるＡｌＯＸＨＹ」であって、「酸素組成比Ｘは、１．００＜Ｘ＜２．００を満たし、水素組成比Ｙは、０．１０＜Ｙ＜１．２０を満たし、前記ガスバリア層における水素量が３０．０ａｔ％以下」であるのに対し、甲８発明は、具体的組成が明記されていない点。 ＜相違点８－２＞ 反応生成物を蒸着する工程について、本件発明３は、「前記反応生成物を生成する期間において前記反応生成物が生成される空間に残留する水分量を吸着によって所望の値にまで下げ、前記アルミニウムと前記酸化ガスと水分とが反応することで前記反応生成物を生成する」のに対し、甲８発明は、そのようなことが明記されていない点。 （イ）相違点についての検討 事案に鑑み、まず＜相違点８－２＞について検討する。甲８発明の真空蒸着装置は、アルミニウムと酸化ガスと水分とを反応させるために、水分量を「所望の値」にまで下げるものではないから、＜相違点８－２＞は実質的な相違点である。 よって、＜相違点８－１＞について検討するまでもなく、本件発明３は、甲８発明ではない。 ウ．本件発明４～５について 本件発明４～５は、本件発明３の発明特定事項を全て含み、更に限定するものであるから、本件発明４～５についても同様に、甲８発明ではない。 （２）理由８－２（特許法第２９条第２項）について ア．甲第８号証の記載 甲第８号証に記載された事項及び甲８発明については、上記第６．２．（１）ア．で述べたとおりである。 イ．本件発明３について （ア）対比 上記第６．２．（１）ウ．（ア）のとおり、本件発明３と甲８発明は＜一致点８＞で一致し＜相違点８－１＞～＜相違点８－２＞で相違するものである。 （イ）相違点についての検討 ＜相違点８－１＞及び＜相違点８－２＞について検討する。甲８発明の真空蒸着装置は、酸化アルミニウム層成膜時に水酸基の導入を要しないものであるから、ガスバリアフィルムのアルミニウムの蒸着工程において水分を吸着して除去することができたとしても、アルミニウムの蒸着工程においては可能な限り多くの水分を吸着して除去しようとするのが合理的であって、アルミニウムと酸化ガスと水分とを反応させるために、水分量を「所望の値」にまで下げることにより、酸素組成比Ｘが１．００＜Ｘ＜２．００を満たし、水素組成比Ｙが０．１０＜Ｙ＜１．２０を満たし、ガスバリア層における水素量が３０．０ａｔ％以下である水素を含有した酸化アルミニウムであるＡｌＯＸＨＹを生成するガスバリアフィルムの製造方法とすることは、当業者が容易に想到することができたものであるといえない。 よって、本件発明３は、甲８発明に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるといえない。 ウ．本件発明４～５について 本件発明４～５は、本件発明３の発明特定事項を全て含み、更に限定するものであるから、本件発明３と同様の理由から、甲８発明に記載された事項に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるといえない。 （３）理由１０－１（特許法第２９条第１項第３号）について ア．甲第１０号証の記載 （ア）「【０００１】 【発明の属する技術分野】 本発明は、透明バリア性ポリプロピレンフィルム、それを使用した積層体および包装用容器に関し、更に詳しくは、透明性、酸素、水蒸気等に対するガスバリア性、耐衝撃性等に優れ、更に、ラミネ－ト加工、印刷加工、製袋ないし製函加工等の後加工適性を有し、また、バリア性膜としての蒸着膜の剥離を防止し、かつ、その熱的クラックの発生を阻止し、その劣化を防止してバリア－性膜として優れた耐性を発揮し、飲食品、医薬品、洗剤、シャンプ－、オイル、歯磨き、接着剤、粘着剤等の化学品ないし化粧品、その他等の種々の物品の充填包装適性、保存適性等に優れた透明バリア性ポリプロピレンフィルム、およびそれを使用した積層体および包装用容器に関するものである。」 （イ）「【０００３】 【発明が解決しようとする課題】 しかしながら、上記のアルミニウム箔においては、使用後の再利用が困難であり、かつ、廃棄後焼却すると、金属箔由来の焼却灰が残り、環境上の問題点がある。また、上記のポリ塩化ビニリデン系樹脂のコ－ティング膜を有するナイロンフィルムあるいはポリエチレンテレフタレ－トフィルム等においては、使用後に廃棄し、焼却すると、例えば、塩素ガス等の有害なガスが発生し、これもまた、環境上の問題点がある。更に、上記のポリビニルアルコ－ルフィルム、エチレン－酢酸ビニル共重合体のケン化物フィルム、ポリアクリロニトリル系樹脂フィルム等においては、例えば、内容物として、食品を充填し、ボイル処理やレトルト処理等の加熱殺菌時に、充分なバリア性を保持することが困難であり、また、包装製品の保存、流通環境における温度や湿度等に影響を受けるという問題点がある。 上記のような問題点を解決するものとして、上記のように、近年、プラスチック基材の上に、例えば、酸化ケイ素、酸化アルミニウム等の無機酸化物の蒸着膜を設けた構成からなる透明バリア性フィルム、あるいは、アルミニウム等の金属の蒸着膜をを設けた構成からなるバリア性フィルムが提案されているが、これらのものは、使用後に焼却しても残留物が少なく、また、高湿度下でのバリア性の劣化も少なく、種々の包装用材料として多用されているものである。」 （ウ）「【０００５】 【課題を解決するための手段】 本発明者は、上記のような問題点を解決すべく種々研究の結果、２軸延伸ポリプロピレンフィルム基材の一方の面に、物理蒸着法による無機酸化物の蒸着膜を形成し、これを第１の薄膜とし、該第１の薄膜を、次に形成する第２の薄膜の第１の薄膜への密着性を向上させ、かつ、第２の薄膜を形成するプラズマ処理による２軸延伸ポリプロピレンフィルムの黄変と劣化等を防止する耐プラズマ保護層とし、次いで、上記の第１の薄膜の上に、プラズマ化学蒸着法による無機酸化物の蒸着膜を形成し、これを第２の薄膜とし、少なくとも２種以上の無機酸化物による第１の薄膜と第２の薄膜とを積層して透明バリア性ポリプロピレンフィルムを製造し、更に、該透明バリア性ポリプロピレンフィルムに、ヒ－トシ－ル性を有するポリオレフィン系樹脂層、あるいは、基材フィルム層等を積層して積層体を製造し、更に、該積層体を使用して製袋または製函して包装用容器を製造し、該包装用容器内に種々の物品を充填包装したところ、透明性、酸素あるいは水蒸気等に対するガスバリア性、耐衝撃性等に優れ、更に、ラミネ－ト加工、印刷加工、製袋ないし製函加工等の後加工適性を有し、また、バリア性膜としての蒸着膜の剥離を防止し、かつ、その熱的クラックの発生を阻止し、その劣化を防止してバリア－性膜として優れた耐性を発揮し、飲食品、医薬品、洗剤、シャンプ－、オイル、歯磨き、接着剤、粘着剤等の化学品ないし化粧品、その他等の種々の物品の充填包装適性、保存適性等に優れた透明バリア性ポリプロピレンフィルム、およびそれを使用した積層体および包装用容器を製造し得ることを見出して本発明を完成したものである。」 （エ）「【００１４】 次にまた、本発明において、透明バリア性ポリプロピレンフィルムを構成する第１の薄膜としては、基本的に無機酸化物をアモルファス（非晶質）化した薄膜であれば使用可能であり、例えば、酸化ケイ素、酸化アルミニウム、酸化マグネシウム、酸化カルシウム、酸化カリウム、酸化スズ、酸化ナトリウム、酸化ホウ素、酸化チタン、酸化鉛、酸化ジルコニウム、酸化イットリウム等の無機酸化物をアモルファス（非晶質）化した薄膜を使用することができる。 本発明において、上記の第１の薄膜としては、具体的には、例えば、上記のような金属酸化物からなる無機酸化物、あるいは、金属等を使用し、必要ならば、酸素ガス等を供給しながら、真空蒸着法、スパッタリング法、イオンプレ－ティング法等の物理気相成長法（物理蒸着法、Ｐｈｙｓｉｃａｌ Ｖａｐｏｒ Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ法、ＰＶＤ法）によって、無機酸化物の蒸着膜を形成し、これを第１の薄膜として使用することができる。上記において、蒸着原料の加熱方式としては、例えば、エレクトロンビ－ム（ＥＢ）方式、高周波誘導加熱方式、抵抗加熱方式等を用いられる。 上記の物理蒸着法について、その一例として、巻き取り式蒸着機の例を挙げて更に具体的に説明すると、図１１の概略的構成図に示すように、巻き取り式真空蒸着装置１１１の真空チャンバ－１１２の中で、巻き出しロ－ル１１３から繰り出す２軸延伸ポリプロピレンフィルム１１４は、コ－ティングドラム１１５を経て蒸着チャンバ－１１６の中に入り、ここで、るつぼ１１７で蒸着源として熱せられた金属、あるいは、金属酸化物を蒸発させ、その際に、酸素吹き出し口１１８より酸素ガス等を噴出させながら、冷却したコ－ティングドラム１１５の２軸延伸ポリプロピレンフィルム１１４の上に、マスク１１９、１１９を介して無機酸化物の蒸着膜を成膜化し、次いで蒸着膜を形成した２軸延伸ポリプロピレンフィルム１１４を真空チャンバ－１１２内に送り出して巻き取りロ－ル１２０に巻き取ることによって、第１の薄膜としての物理蒸着法による無機酸化物の蒸着膜を製造することができる。 【００１５】・・・本発明において、上記の密着強度を更に向上させるために、第１の薄膜としての無機酸化物の蒸着膜を有する２軸延伸ポリプロピレンフィルムを、大気中に長時間保持することにより、あるいは、インラインまたはオフラインで酸素プラズマ処理により、第１の薄膜としての無機酸化物の蒸着膜面に、水酸基を導入することも可能である。例えば、第１の薄膜としての無機酸化物の蒸着膜が、酸化アルミニウムの蒸着膜である場合、アルミニウムに直結した酸素（酸化アルミニウム）と水酸基（水酸化アルミニウム）の比率を重量比で４０：６０～７０：３０位にすることが好ましいものである。而して、本発明において、上記の耐プラズマ保護層、更には、第２の薄膜の密着性を向上させるものとしての第１の薄膜は、透明性に優れ、非結晶性の無機酸化物の蒸着膜が好ましく、具体的には、式ＡｌＯX （ただし、式中、Ｘは、１～１．５の数を表す。）で表される酸化アルミニウムの蒸着膜が好ましいものである。また、本発明において、第１の薄膜の膜厚としては、５０～３００Å位、より好ましくは、１００～２５０Å位が望ましく、而して、上記において、３００Å、更には、２５０Åより厚くなると、その膜にクラック等が発生し易くなるので好ましくなく、また、５０Å未満、更には、１００Å未満であると、その効果を奏することが困難になることから好ましくないものである。」 （オ）「【００２８】 【実施例】 実施例１ （１）．基材として、厚さ２０μｍの２軸延伸ポリプロピレンフィルム（ＴＤ方向の引張強度：１２Ｋｇｆ／ｍｍ2 ）を使用し、これをエレクトロンビ－ム（ＥＢ）加熱方式のＰＶＤ真空蒸着機の送り出しロ－ルに装着し、下記の条件で酸化アルミニウムの蒸着膜からなる保護層を上記のポリプロピレンフィルムのコロナ処理面に形成した。 蒸着原料：アルミニウム 真空チャンバ－内の真空度：２．５×１０-3ｍｂａｒ 酸素導入前の蒸着チャンバ－内の真空度：２．２×１０-4ｍｂａｒ 酸素導入後の蒸着チャンバ－内の真空度：３．１×１０-4ｍｂａｒ フィルムの搬送速度：４８０ｍ／分 蒸着面：コロナ処理 面蒸着膜の厚さ：２５０Å（蛍光Ｘ線分析法） （２）．上記で製造した酸化アルミニウムの蒸着膜を有する２軸延伸ポリプロピレンフィルムを高周波プラズマ方式ＣＶＤ蒸着装置の送り出しロ－ルに装着し、下記の条件で酸化ケイ素の蒸着膜からなるバリア層を、２軸延伸ポリプロピレンフィルムの酸化アルミニウムの蒸着膜の上に形成して、本発明にかかる透明バリア性ポリプロピレンフィルムを製造した。 反応ガス混合比：１．１．３．３－テトラメチルジシロキサン：酸素ガス：ヘリウム＝１：１０：８ 真空チャンバ－内の真空度：７．０×１０－６ｍｂａｒ 蒸着チャンバ－内の真空度：３．８×１０－２ｍｂａｒ 冷却・電極ドラム供給電力：１０ｋＷ フィルムの搬送速度：１００ｍ／分 蒸着膜の厚さ：２００Å（蛍光Ｘ線分析法） （３）．上記で製造した本発明にかかる透明バリア性ポリプロピレンフィルムの酸化ケイ素の蒸着膜の面に、厚さ５０μｍの低密度ポリエチレンフィルムをドライラミネ－ト法で積層して、下記の層構成からなる本発明にかかる積層体を製造した。上記において、接着剤としては、２液硬化型のウレタン系接着剤を用いて、その接着剤量は、４．５ｇ／ｍ２（固形分量）であった。 厚さ１５μｍの２軸延伸ポリプロピレンフィルム／酸化アルミニウムの蒸着膜／酸化ケイ素の蒸着膜／接着剤層／厚さ５０μｍの低密度ポリエチレンフィルム」 （カ）「 」 以上を総合し、甲第１０号証には、以下の甲１０発明が記載されている。 「巻き取り式真空蒸着装置１１１の真空チャンバ－１１２の中で、巻き出しロ－ル１１３から繰り出す２軸延伸ポリプロピレンフィルム１１４は、コ－ティングドラム１１５を経て蒸着チャンバ－１１６の中に入り、ここで、るつぼ１１７で蒸着源として熱せられたアルミニウムを蒸発させ、その際に、酸素吹き出し口１１８より酸素ガス等を噴出させながら、冷却したコ－ティングドラム１１５の２軸延伸ポリプロピレンフィルム１１４の上に、マスク１１９、１１９を介して酸化アルミニウムの蒸着膜を成膜化した透明バリア性ポリプロピレンフィルムの製造方法。」 イ．本件発明３について （ア）対比 本件発明３と甲１０発明とを対比すると、甲１０発明の「透明バリア性ポリプロピレンフィルム」は本件発明３の「光透過性を有したプラスチックフィルム」に相当し、以下同様に、「るつぼ１１７で蒸着源として熱せられたアルミニウムを蒸発」は「アルミニウムを加熱して蒸発させる工程」に、「酸素ガス」は「酸化ガス」にそれぞれ相当する。 また、甲１０発明の「巻き取り式真空蒸着装置１１１」は、真空状態で蒸着させるものであるから、本件発明３の「真空雰囲気下において」「蒸着」に相当し、甲１０発明の「酸化アルミニウムの蒸着膜」は、本件発明３の「蒸発したアルミニウムと酸化ガスとの反応生成物」に相当し、甲１０発明の「透明バリア性ポリプロピレンフィルム」は、本件発明３の「ガスバリアフィルム」に相当する。 よって、本件発明３と甲８発明は、以下の点で一致する。 ＜一致点１０＞ 「真空雰囲気下においてアルミニウムを加熱して蒸発させる工程と、 蒸発したアルミニウムと酸化ガスとの反応生成物を生成し、光透過性を有したプラスチックフィルムに前記反応生成物を蒸着させてガスバリア層を形成する工程とを含むガスバリアフィルムの製造方法。」 ＜相違点１０－１＞ 蒸発したアルミニウムと酸化ガスとの反応生成物である酸化アルミニウムについて、本件発明３は、「水素を含有した酸化アルミニウムであるＡｌＯＸＨＹ」であって、「酸素組成比Ｘは、１．００＜Ｘ＜２．００を満たし、水素組成比Ｙは、０．１０＜Ｙ＜１．２０を満たし、前記ガスバリア層における水素量が３０．０ａｔ％以下」であるのに対し、甲１０発明は、具体的組成が明記されていない点。 ＜相違点１０－２＞ 反応生成物を蒸着する工程について、本件発明３は、「前記反応生成物を生成する期間において前記反応生成物が生成される空間に残留する水分量を吸着によって所望の値にまで下げ、前記アルミニウムと前記酸化ガスと水分とが反応することで前記反応生成物を生成する」のに対し、甲１０発明は、そのようなことが明記されていない点。 （イ）相違点についての検討 事案に鑑み、まず＜相違点１０－２＞について検討する。甲１０発明の巻き取り式真空蒸着装置１１１は、アルミニウムと酸化ガスと水分とを反応させるために、水分量を「所望の値」にまで下げるものではないから、＜相違点１０－２＞は実質的な相違点である。 よって、＜相違点１０－１＞について検討するまでもなく、本件発明３は、甲１０発明ではない。 ウ．本件発明４について 本件発明４は、本件発明３の発明特定事項を全て含み、更に限定するものであるから、本件発明４についても同様に、甲１０発明ではない。 （４）理由１０－２（特許法第２９条第２項）について ア．甲第１０号証の記載 甲第１０号証に記載された事項及び甲１０発明については、上記第６．２．（３）ア．で述べたとおりである。 イ．本件発明３について （ア）対比 上記第６．２．（３）ウ．（ア）のとおり、本件発明３と甲１０発明は＜一致点１０＞で一致し＜相違点１０－１＞～＜相違点１０－２＞で相違するものである。 （イ）相違点についての検討 ＜相違点１０－１＞及び＜相違点１０－２＞について検討する。甲１０発明の巻き取り式真空蒸着装置は、水酸基を導入することによって、アルミニウムに直結した酸素（酸化アルミニウム）と水酸基（水酸化アルミニウム）の比率を調整するものであるから、アルミニウムと酸化ガスと水分とを反応させるために、水分量を「所望の値」にまで下げることにより、酸素組成比Ｘが１．００＜Ｘ＜２．００を満たし、水素組成比Ｙが０．１０＜Ｙ＜１．２０を満たし、ガスバリア層における水素量が３０．０ａｔ％以下である水素を含有した酸化アルミニウムであるＡｌＯＸＨＹを生成するガスバリアフィルムの製造方法とすることは、当業者が容易に想到することができたものであるといえない。 よって、本件発明３は、甲１０発明に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるといえない。 ウ．本件発明４～５について 本件発明４～５は、本件発明３の発明特定事項を全て含み、更に限定するものであるから、本件発明３と同様の理由から、甲１０発明に記載された事項に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるといえない。 （５）理由４－１（特許法第２９条第２項）について ア．甲第４号証の記載 （ア）「【請求項１1】 基材と、当該基材上に形成されたガスバリア層と、を備えたガスバリア性フィルムであって、 前記基材上に前記ガスバリア層を形成する際に、真空蒸着法と、当該真空蒸着法で用いる蒸着材料からなる蒸着粒子に対する、高密度プラズマを発生させる手段により発生させた高密度プラズマによる活性化と、を併せて用いることにより、８０％以上１００％以下の範囲内の光線透過率で水蒸気透過率の最大値と最小値との差を２ｇ／ｍ2・ｄａｙ以下としたことを特徴とするガスバリア性フィルム。 ・・・ 【請求項４】 前記ガスバリア層は、アルミニウムを含む層であることを特徴とする請求項１から請求項３のうちいずれか１項に記載したガスバリア性フィルム。」 （イ）「【技術分野】 【０００１】 本発明は、食品の包装材、医療医薬品、インクジェットタンク部材の外装材、樹脂等の輸出用包材、太陽電池バックシート等の産業資材向け外装材に用いられるガスバリア性フィルムに関するものである。」 （ウ）「【００２３】 （ガスバリア層１１の構成） ガスバリア層１１の材料としては、例えば、酸化珪素膜、窒化珪素膜、酸窒化珪素膜、酸化アルミニウム膜、窒化アルミニウム膜、酸窒化アルミニウム膜、酸化マグネシウム膜を用いることが可能である。これらの材料を蒸着する際に用いる蒸着材料は、特に限定されるものではなく、公知のものを用いることが可能であるが、特に、酸化アルミニウム膜、窒化アルミニウム膜、酸窒化アルミニウム膜等、アルミニウムを含む膜を蒸着材料として用いる場合、透明性を向上させつつ、ガスバリア性能の維持及び向上が、その他の材料と比較して容易となるため、好ましい。 ・・・」 （エ）「【００３１】 （ガスバリア性フィルム１の製造方法） 以下、図１を参照しつつ、図２を用いて、ガスバリア性フィルム１の製造方法について説明する。なお、図２は、本実施形態のガスバリア性プラスチックフィルムの製造装置の概略構成を示す図である。 図２中に示すように、ガスバリア性フィルム１の製造装置２は、真空チャンバー２０と、巻き出しローラー２２と、成膜ロール２３と、巻取りローラー２４と、直進電子ビーム銃２６と、反応性ガス導入パイプ２７と、反応ガスボンベ２８と、坩堝３１を備えている。」 （オ）「【００３４】 ガスバリア層１１をプラスチックフィルム２１上に形成する処理では、坩堝３１に、ガスバリア層１１を成膜するための蒸着材料２５をセットし、直進電子ビーム銃２６から出力する電子ビームにより加熱する。 直進電子ビーム銃２６が出力する電子ビームにより加熱された蒸着材料２５は、蒸気となりプラスチックフィルム２１に蒸着されるが、図２中では、加熱された蒸着材料２５による蒸気を蒸着粒子２９で示し、蒸着粒子２９を活性化する高密度プラズマを、プラズマ３０として示す。」 （カ）「【実施例】 【００３７】 以下、本発明の実施例について説明する。 （実施例１） 図２の製造装置２を用いて、厚さ１２μｍのポリエチレンテレフタレートフィルム（東レ製Ｐ６０）の片面に、ＡｌＯｘからなるガスバリア層１１を形成した。その際、ガスバリア層１１の透過率を変化させるため、導入する酸素ガス量を変化させた。また、１００Ａに電流制御されたホロカソード放電による高密度プラズマを併用した。」 （キ）「 」 以上を総合し、甲第４号証には、以下の甲４発明が記載されている。 「ガスバリア性フィルム１の製造装置２は、真空チャンバー２０と、巻き出しローラー２２と、成膜ロール２３と、巻取りローラー２４と、直進電子ビーム銃２６と、反応性ガス導入パイプ２７と、反応ガスボンベ２８と、坩堝３１を備え、坩堝３１に、アルミニウムを含むガスバリア層１１を成膜するための蒸着材料２５をセットし、酸素ガスを導入しながら、直進電子ビーム銃２６から出力する電子ビームにより加熱された蒸着材料２５は、蒸気となりプラスチックフィルム２１に蒸着されてガスバリア層をプラスチックフィルムに形成するガスバリア性フィルムの製造方法。」 イ．本件発明３について （ア）対比 本件発明３と甲４発明とを対比すると、甲４発明の「プラスチックフィルム」は、本件発明３の「プラスチックフィルム」に相当し、以下同様に、「酸素ガス」は「酸化ガス」に、「ガスバリア性フィルム」は「ガスバリアフィルム」相当する。 また、甲４発明の「アルミニウムを含むガスバリア層１１を成膜するための蒸着材料２５」を「電子ビームにより加熱」し「蒸気」とすることは、本件発明３の「アルミニウムを加熱して蒸発させる工程」に相当し、甲４発明の「真空チャンバー２０」を備えた「製造装置２」は、真空状態で蒸着させるものであるから、本件発明３の「真空雰囲気下において」「蒸着」に相当する。 よって、本件発明３と甲４発明は、以下の点で一致する。 ＜一致点４＞ 「真空雰囲気下においてアルミニウムを加熱して蒸発させる工程と、 プラスチックフィルムに反応生成物を蒸着させてガスバリア層を形成する工程とを含むガスバリアフィルムの製造方法。」 ＜相違点４－１＞ 蒸発したアルミニウムと酸化ガスとの反応生成物について、本件発明３は、「水素を含有した酸化アルミニウムであるＡｌＯＸＨＹ」であって、「酸素組成比Ｘは、１．００＜Ｘ＜２．００を満たし、水素組成比Ｙは、０．１０＜Ｙ＜１．２０を満たし、前記ガスバリア層における水素量が３０．０ａｔ％以下」であるのに対し、甲４発明は、具体的組成が明記されていない点。 ＜相違点４－２＞ 反応生成物を蒸着する工程について、本件発明３は、「前記反応生成物を生成する期間において前記反応生成物が生成される空間に残留する水分量を吸着によって所望の値にまで下げ、前記アルミニウムと前記酸化ガスと水分とが反応することで前記反応生成物を生成する」のに対し、甲４発明は、そのようなことが明記されていない点。 （イ）相違点についての検討 ＜相違点４－１＞及び＜相違点４－２＞について検討する。甲４発明は、アルミニウムの蒸着工程で反応生成物を生成する期間においては、水酸基の導入を要しないものであるから、ガスバリアフィルムのアルミニウムの蒸着工程において水分を吸着して除去することができたとしても、アルミニウムの蒸着工程においては可能な限り多くの水分を吸着して除去しようとするのが合理的であって、アルミニウムと酸化ガスと水分とを反応させるために、水分量を「所望の値」にまで下げることにより、酸素組成比Ｘが１．００＜Ｘ＜２．００を満たし、水素組成比Ｙが０．１０＜Ｙ＜１．２０を満たし、ガスバリア層における水素量が３０．０ａｔ％以下である水素を含有した酸化アルミニウムであるＡｌＯＸＨＹを生成するガスバリアフィルムの製造方法とすることは、当業者が容易に発明をすることができたものであるといえない。 よって、本件発明３は、甲４発明に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるといえない。 ウ．本件発明４～５について 本件発明４～５は、本件発明３の発明特定事項を全て含み、更に限定するものであるから、本件発明３と同様の理由から、甲４発明に記載された事項に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるといえない。 ３．小括 以上のとおりであるから、申立人Ａ及びＢのかかる主張は、採用することができない。 第７．申立人Ａの意見書による主張について （１）申立人Ａは、「Ａｌ、Ｏ、Ｈの合計のａｔ％が１００ａｔ％を上回ることについては、依然として不明なままである。」と主張するが、上述したとおり、ガスバリア層には、不可避的に炭素や窒素などの他の元素が存在することは技術常識であることや、測定においては多少の誤差が生じ得ることに鑑みると、実施例、比較例１及び比較例２の合計のａｔ％が１００％とならないことをもって、本件特許明細書は、当業者が実施できる程度に明確かつ十分に記載されたものではないとはいえない。 （２）申立人Ａは、進歩性欠如の理由として、「訂正発明３が従来周知のコールドトラップと異なる用い方をするのであれば、例えば、どの値まで水分量を下げるのかを特定し説明しなければならない。」と主張するが、訂正発明３においては、酸素組成比Ｘは、１．００＜Ｘ＜２．００を満たし、水素組成比Ｙは、０．１０＜Ｙ＜１．２０を満たし、ガスバリア層における水素量が３０．０ａｔ％以下である水素を含有した酸化アルミニウムであるＡｌＯＸＨＹを生成できる程度に水分量を下げると特定しているから、上記主張は採用できない。 （３）申立人Ａは、訂正により顕在化した取消理由として、明確性違反及びサポート要件違反を主張するが、訂正発明３の「酸素組成比Ｘは、１．００＜Ｘ＜２．００を満たし、水素組成比Ｙは、０．１０＜Ｙ＜１．２０を満たし、前記ガスバリア層における水素量が３０．０ａｔ％以下であり、」との事項は、本件特許異議申立ての時点で既に本件特許の請求項３に特定されていた事項であり、申立人Ａの、訂正により顕在化した取消理由として主張する上記理由は時機に遅れた申立理由であり、採用することはできない。 なお、訂正発明３の「酸素組成比Ｘは、１．００＜Ｘ＜２．００を満たし、水素組成比Ｙは、０．１０＜Ｙ＜１．２０を満たし、前記ガスバリア層における水素量が３０．０ａｔ％以下であり、」との事項は、「前記反応生成物を生成する期間において前記反応生成物が生成される空間に残留する水分量を吸着によって所望の値にまで下げ」ることによって生成されるガスバリアフィルムの技術的特徴を特定するものにすぎないから明確であり、また、前記反応生成物を生成する期間において前記反応生成物が生成される空間に残留する水分量を吸着によって所望の値にまで下げ」ることによって、「酸素組成比Ｘは、１．００＜Ｘ＜２．００を満たし、水素組成比Ｙは、０．１０＜Ｙ＜１．２０を満たし、前記ガスバリア層における水素量が３０．０ａｔ％以下であり、」という技術的特徴を有するガスバリアフィルムが生成されることは、本件特許明細書等の段落【００４５】及び技術常識を参酌すると、発明の詳細な説明において当業者が認識できるように記載された範囲内のものである。 第８．むすび 以上のとおり、本件発明３～５に係る特許は、申立人の主張する申立理由、取消理由通知及び取消理由通知（予告）の取消理由によって取り消すことができない。 また、他に本件発明３～５に係る特許を取り消すべき理由を発見しない。 そして、本件訂正により、請求項１、２に係る特許は削除されたため、請求項１、２に対して申立人Ａ、Ｂがした特許異議の申立ては、不適法であって、その補正をすることができないものであることから、特許法第１２０条の８で準用する特許法第１３５条の規定により、却下すべきものである。 よって、結論のとおり決定する。