2019-701037

特許第６５３９３８３号発明「粘着テープ」の特許異議申立事件について、次のとおり決定する。

【結　論】 特許第６５３９３８３号の明細書及び特許請求の範囲を訂正請求書に添付された訂正明細書、訂正特許請求の範囲のとおり、訂正後の請求項〔１、３、４〕、〔２、５、６〕について訂正することを認める。 特許第６５３９３８３号の請求項１ないし６に係る特許を維持する。

【理　由】 第１　手続の経緯 １　本件特許に係る出願は、平成２５年１２月２６日（以下「原出願日という。）に出願された特願２０１３－２６９９８６号の一部を平成３０年６月１８日に新たな特許出願としたものであって、令和元年６月１４日に特許権の設定登録がされ、同年７月３日に特許掲載公報が発行されたところ、同年１２月１８日に特許異議申立人　北岡　引章（以下「申立人」という。）により特許異議の申立てがなされ、令和２年３月２４日付けで当審から取消理由通知がされ、同年６月２２日に意見書の提出とともに訂正の請求がされ、同年７月２９日に申立人から意見書が提出されたものである。 ２　その後の手続は次のとおりである。 令和２年１０月２１日付　取消理由通知（決定の予告） 令和２年１２月１７日　　意見書（権利者）の提出及び訂正の請求（以下「本件訂正」という。）なお、令和２年６月２２日にされた訂正の請求は、特許法第１２０条の５第７項の規定により取り下げたものとみなされる。 令和３年　１月２２日　　意見書（申立人）の提出 令和３年　４月２７日付　審尋 令和３年　７月　６日　　回答書 第２　本件訂正について １　訂正事項 本件訂正は次の訂正事項からなるものである。当審が訂正箇所に下線を付した。 （１）訂正事項１ 本件訂正前の特許請求の範囲の請求項１における「分子量分布（Ｍｗ／Ｍｎ）１．０５～２．５のリビングラジカル重合ポリマーの側鎖に紫外線硬化が可能な重合性基を導入した（メタ）アクリルポリマーを含有し、」という記載を、「分子量分布（Ｍｗ／Ｍｎ）１．０５～２．５のリビングラジカル重合ポリマーの側鎖に紫外線硬化が可能な重合性基を導入した（メタ）アクリルポリマー、及びラジカル重合性の多官能オリゴマー又はモノマーを含有し、」と訂正する（請求項１を直接または間接的に引用する請求項２～４も同様に訂正する。）。 （２）訂正事項２ 本件訂正前の特許請求の範囲の請求項１における「前記モノマー混合物における前記官能基を有する（メタ）アクリルモノマーの含有量が２５重量％以下であり」という記載を、「前記モノマー混合物における前記官能基を有する（メタ）アクリルモノマーの含有量が１重量％以上２５重量％以下であり」と訂正する（請求項１を直接または間接的に引用する請求項２～４も同様に訂正する。）。 （３）訂正事項３ 本件特許の願書に添付した明細書の段落【０００６】の「本発明は、粘着剤層を有する粘着テープであって、前記粘着剤層は、分子量分布（Ｍｗ／Ｍｎ）１．０５～２．５のリビングラジカル重合ポリマーの側鎖に紫外線硬化が可能な重合性基を導入した（メタ）アクリルポリマーを含有する粘着テープである。」との記載を、「本発明は、粘着剤層を有する粘着テープであって、前記粘着剤層は、分子量分布（Ｍｗ／Ｍｎ）１．０５～２．５のリビングラジカル重合ポリマーの側鎖に紫外線硬化が可能な重合性基を導入した（メタ）アクリルポリマー、及びラジカル重合性の多官能オリゴマー又はモノマーを含有する粘着テープである。」と訂正する。 （４）訂正事項４ 本件訂正前の特許請求の範囲の請求項２に、 「前記粘着剤層は、更に、紫外線により気体を発生する気体発生剤を含有することを特徴とする請求項１記載の粘着テープ。」と記載されているのを、 「粘着剤層を有する粘着テープであって、前記粘着剤層は、分子量分布（Ｍｗ／Ｍｎ）１．０５～２．５のリビングラジカル重合ポリマーの側鎖に紫外線硬化が可能な重合性基を導入した（メタ）アクリルポリマーを含有し、 前記リビングラジカル重合ポリマーは、官能基を有する（メタ）アクリルモノマーを含有するモノマー混合物を共重合させて得られたランダム共重合体であり、 前記モノマー混合物における前記官能基を有する（メタ）アクリルモノマーの含有量が１重量％以上２５重量％以下であり、 前記（メタ）アクリルポリマーは、前記リビングラジカル重合ポリマーに、前記官能基と反応可能であり、かつ、紫外線硬化が可能な重合性基を有する化合物を反応させて得られたものである ことを特徴とする粘着テープであって、 前記粘着剤層は、更に、紫外線により気体を発生する気体発生剤を含有することを特徴とする粘着テープ。」と訂正する。 （５）訂正事項５ 本件訂正前の請求項３に、「前記官能基を有する（メタ）アクリルモノマーは、カルボキシル基、水酸基、エポキシ基、アミノ基、イソシアネート基又はアミド基を有する（メタ）アクリルモノマーであることを特徴とする請求項１又は２記載の粘着テープ。」と記載されているのを、「前記官能基を有する（メタ）アクリルモノマーは、カルボキシル基、水酸基、エポキシ基、アミノ基、イソシアネート基又はアミド基を有する（メタ）アクリルモノマーであることを特徴とする請求項１記載の粘着テープ。」と訂正し、あわせて、特許請求の範囲に、「前記官能基を有する（メタ）アクリルモノマーは、カルボキシル基、水酸基、エポキシ基、アミノ基、イソシアネート基又はアミド基を有する（メタ）アクリルモノマーであることを特徴とする請求項２記載の粘着テープ。」という【請求項５】を追加する。 （６）訂正事項６ 本件訂正前の請求項４に「前記粘着剤層は、架橋剤を含有することを特徴とする請求項１、２又は３記載の粘着テープ。」と記載されているのを、「前記粘着剤層は、架橋剤を含有することを特徴とする請求項１又は３記載の粘着テープ。」と訂正し、あわせて、特許請求の範囲に、「前記粘着剤層は、架橋剤を含有することを特徴とする請求項２又は５記載の粘着テープ。」という【請求項６】を追加する。 （７）別の訂正単位とする求め 本件訂正の請求人は、「請求後の請求項２と、請求項２の記載を直接または間接的に引用する請求項５、６については、当該請求項についての訂正が認められる場合、一群の請求項の他の請求項とは別途訂正することを求める」として、別の訂正単位とする求めを行っている。 ２　訂正要件についての判断 （１）一群の請求項 ア　訂正前の請求項１～４について、請求項２～４は請求項１を直接または間接的に引用するものであって、訂正前の請求項１～４は特許法第１２０条の５第４項に規定される一群の請求項である。 イ　訂正後の請求項１、３、４について、請求項３、４は請求項１を直接または間接的に引用するから、訂正後の請求項１、３、４は一群の請求項を構成するものである。 ウ　訂正後の請求項２、５、６について、請求項５、６は請求項２を直接または間接的に引用するから、訂正後の請求項２、５、６は一群の請求項を構成するものである。 エ　前記１（７）のとおり、別の訂正単位とする求めがされ、後述するように本件訂正は認められ、その別の訂正単位とする求めは認められるから、訂正後の請求項１、３、４からなる一群の請求項と訂正後の２、５、６からなる一群の請求項とは別の一群の請求項である。 （２）訂正事項１ ア　訂正の目的 訂正事項１は、粘着剤層の成分を、「分子量分布（Ｍｗ／Ｍｎ）１．０５～２．５のリビングラジカル重合ポリマーの側鎖に紫外線硬化が可能な重合性基を導入した（メタ）アクリルポリマー」に加えて、「ラジカル重合性の多官能オリゴマー又はモノマーを含有し、」と訂正するものであって、特許請求の範囲の減縮を目的とするものであるから、特許法第１２０条の５第２項ただし書第１号に規定する特許請求の範囲の減縮を目的とするものといえる。 イ　実質上の拡張・変更の有無 前記アの目的からみて、訂正事項１は、粘着剤層の成分を限定するものであり、発明のカテゴリーや対象を変更するものでないから、実質上特許請求の範囲を拡張し、または変更するものでないから、特許法第１２０条の５第９項で準用する同法第１２６条第６項に適合するものである。 ウ　新規事項の追加の有無 本件特許の願書に添付した明細書の段落【００３６】～【００３７】には、 「【００３６】 上記粘着剤層は、更に、ラジカル重合性の多官能オリゴマー又はモノマーを含有してもよい。上記粘着剤層がラジカル重合性の多官能オリゴマー又はモノマーを含有することにより、上記粘着剤層の紫外線硬化性が向上する。・・・ 【００３７】 上記多官能オリゴマー又はモノマーとしては、例えば、トリメチロールプロパントリアクリレート、テトラメチロールメタンテトラアクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、ジペンタエリスリトールモノヒドロキシペンタアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート又は上記同様のメタクリレート類等が挙げられる。また、１，４－ブチレングリコールジアクリレート、１，６－ヘキサンジオールジアクリレート、ポリエチレングリコールジアクリレート、市販のオリゴエステルアクリレート、上記同様のメタクリレート類等が挙げられる。これらの多官能オリゴマー又はモノマーは、単独で用いてもよく、２種以上を併用してもよい。」と記載されており、訂正事項１は願書に添付した明細書、特許請求の範囲に記載した事項の範囲内の訂正であり、特許法第１２０条の５第９項で準用する同法第１２６条第５項の規定に適合するものである。 （３）訂正事項２ ア　訂正の目的について 訂正前の請求項１に係る発明では、モノマー混合物における官能基を有する（メタ）アクリルモノマーの含有量の上限値が「２５重量％以下」と規定されていた。訂正事項２は、当該含有量を「１重量％以上２５重量％以下」と規定することで特許請求の範囲を減縮しようとするものと認められるから、特許法第１２０条の５第２項ただし書第１号に規定する特許請求の範囲の減縮を目的とするものである。 イ　実質上の拡張・変更の有無 前記アの訂正事項２の目的からみて、訂正事項２はモノマー混合物における官能基を有する（メタ）アクリルモノマーの含有量の範囲を減縮するものであって、発明のカテゴリーや対象を変更するものでないから、実質上特許請求の範囲を拡張し、または変更するものでないものといえるから、特許法第１２０条の５第９項で準用する同法第１２６条第６項に適合するものである。 ウ　新規事項の追加の有無 モノマー混合物における官能基を有する（メタ）アクリルモノマーの含有量について、本件特許の願書に添付した明細書の段落【００１８】には、「上記官能基を有する（メタ）アクリルモノマーの含有量は、上記モノマー混合物中の好ましい下限が１重量％、好ましい上限が３５重量％である。上記含有量が１重量％未満であると、紫外線硬化が可能な重合性基を充分に導入することができず、上記粘着剤層の紫外線硬化性が低下し、被着体から剥離するときに粘着力が充分に低下しないことがある。」と記載されており、訂正事項２は願書に添付した明細書、特許請求の範囲に記載した事項の範囲内の訂正であり、特許法第１２０条の５第９項で準用する同法第１２６条第５項の規定に適合するものである。 （４）訂正事項３ ア　訂正の目的 訂正事項３は、前記（２）の訂正事項１に係る訂正に伴い、特許請求の範囲と明細書の記載との整合を図るための訂正と認められる。したがって、訂正事項３は、特許法第１２０条の５第２項ただし書第３号に規定する明瞭でない記載の釈明を目的とするものといえる。 イ　実質上の拡張・変更の有無 訂正事項３は、粘着剤層の成分について、訂正事項１と同様に訂正を行うものであって、カテゴリーや対象、目的を変更する訂正ではないから、実質上特許請求の範囲を拡張し、または変更するものとはいえず、特許法第１２０条の５第９項で準用する同法第１２６条第６項に適合するものである。 ウ　新規事項の追加の有無 訂正事項３により訂正された粘着剤層の成分は、訂正事項１と同様に訂正されたものであるから、訂正事項１についての検討と同様に前記（２）ウに摘記した本件特許の願書に添付した明細書の段落【００３６】～【００３７】に記載されている。したがって、訂正事項３は願書に添付した明細書、特許請求の範囲に記載した事項の範囲内の訂正であり、特許法第１２０条の５第９項で準用する同法第１２６条第５項の規定に適合するものである。 エ　訂正の対象請求項 訂正事項３は、訂正後の請求項１、３、４に係る一群の請求項の全ての請求項に関連する明細書の訂正であるから、特許法第１２０条の５第９項で準用する同法第１２６条第４項の規定に適合するものである。 （５）訂正事項４ ア　訂正の目的 訂正事項４は、本件訂正前の請求項２が本件訂正前（当審注：前記第１において指摘したとおり設定登録時）の請求項１を引用するものであったところ、当該請求項１の記載を引用しないものとし、更に訂正前に特定のなかった「（メタ）アクリルポリマーの含有量が１重量％以上」と訂正したものである。 したがって、訂正事項４は、特許法第１２０条の５第２項ただし書第４号に規定する他の請求項の記載を引用する請求項の記載を当該他の請求項の記載を引用しないものとすること及び同項ただし書第１号に規定する特許請求の範囲の減縮を目的とするものといえる。 イ　実質上の拡張・変更の有無及び新規事項の追加の有無 前記アに検討したように訂正事項４は、記載形式を引用形式から独立形式に訂正し、モノマー混合物における官能基を有する（メタ）アクリルモノマーの含有量の範囲を減縮するものであって、カテゴリーや対象、目的を変更する訂正ではないから、実質上特許請求の範囲を拡張し、または変更するものでないから、特許法第１２０条の５第９項で準用する同法第１２６条第６項に適合するものである。 ウ　新規事項の追加の有無 訂正事項４のモノマー混合物における官能基を有する（メタ）アクリルモノマーの含有量の下限が「１重量％以上」であるいう事項は、前記（３）ウにおいて検討したとおり、本件特許の願書に添付した明細書の段落【００１８】に記載された事項であるから、訂正事項４は新規事項を追加するものではなく、特許法第１２０条の５第９項で準用する同法第１２６条第５項の規定に適合するものである。 （６）訂正事項５ ア　訂正の目的 （ア）訂正事項５のうち、訂正前の請求項３の引用元の請求項１又は２を、訂正後の請求項３の引用元を請求項１のみとする訂正は、特許請求の範囲の減縮を目的とするものといえる。 （イ）訂正事項５のうち、訂正前の請求項２を引用する請求項３を新たに請求項５とする訂正は、訂正後の請求項１の属する一群の請求項と、訂正後の請求項２の属する一群の請求項とを明確に区別するためのものであるから、明瞭でない記載の釈明を目的とするものといえる。 イ　実質上の拡張・変更の有無及び新規事項の追加の有無 前記ア（ア）（イ）の訂正の目的からみて、訂正事項５が実質上、特許請求の範囲を拡張または変更するものでなく、また、新規事項を追加するものでないことは明らかである。したがって、訂正事項５は、特許法第１２０条の５第９項で準用する同法第１２６条第５項及び第６項の規定に適合するものである。 （６）訂正事項６ ア　訂正の目的 （ア）訂正事項６のうち、訂正前の請求項４の引用元の請求項１、２又は３を、訂正後の請求項４においては引用元を請求項１又は３とする訂正は、特許請求の範囲の減縮を目的とするものといえる。 （イ）訂正事項６のうち、訂正前の請求項２又は３を引用する請求項４を新たに請求項６とする訂正は、訂正後の請求項１の属する一群の請求項と、訂正後の請求項２の属する一群の請求項とを明確に区別するためのものであるから、明瞭でない記載の釈明を目的とするものといえる。 イ　実質上の拡張・変更の有無及び新規事項の追加の有無 前記ア（ア）（イ）の訂正の目的からみて、訂正事項６が実質上、特許請求の範囲を拡張または変更するものでなく、また、新規事項を追加するものでないことは明らかである。したがって、訂正事項６は、特許法第１２０条の５第９項で準用する同法第１２６条第５項及び第６項の規定に適合するものである。 ３　訂正についての小括 以上から、本件訂正は、特許法第１２０条の５第２項ただし書第１号、第３号及び第４号を目的とするものであって、特許法第１２０条の５第４項の要件に適合し、特許法第１２０条の５第９項で準用する同法第１２６条第４項、第５項及び第６項の規定に適合するものであるから、本件訂正を認める。 第３　本件発明 前記第２で検討したように本件訂正は認められるから、本件特許の請求項１～６に係る発明（以下「本件発明１」～「本件発明６」といい、まとめて「本件発明」ということもある。）は、以下のとおりである。 「【請求項１】 粘着剤層を有する粘着テープであって、前記粘着剤層は、分子量分布（Ｍｗ／Ｍｎ）１．０５～２．５のリビングラジカル重合ポリマーの側鎖に紫外線硬化が可能な重合性基を導入した（メタ）アクリルポリマー、及びラジカル重合性の多官能オリゴマーまたはモノマーを含有し、 前記リビングラジカル重合ポリマーは、官能基を有する（メタ）アクリルモノマーを含有するモノマー混合物を共重合させて得られたランダム共重合体であり、 前記モノマー混合物における前記官能基を有する（メタ）アクリルモノマーの含有量が１重量％以上２５重量％以下であり、 前記（メタ）アクリルポリマーは、前記リビングラジカル重合ポリマーに、前記官能基と反応可能であり、かつ、紫外線硬化が可能な重合性基を有する化合物を反応させて得られたものである ことを特徴とする粘着テープ。 【請求項２】 粘着剤層を有する粘着テープであって、前記粘着剤層は、分子量分布（Ｍｗ／Ｍｎ）１．０５～２．５のリビングラジカル重合ポリマーの側鎖に紫外線硬化が可能な重合性基を導入した（メタ）アクリルポリマーを含有し、 前記リビングラジカル重合ポリマーは、官能基を有する（メタ）アクリルモノマーを含有するモノマー混合物を共重合させて得られたランダム共重合体であり、 前記モノマー混合物における前記官能基を有する（メタ）アクリルモノマーの含有量が１重量％以上２５重量％以下であり、 前記（メタ）アクリルポリマーは、前記リビングラジカル重合ポリマーに、前記官能基と反応可能であり、かつ、紫外線硬化が可能な重合性基を有する化合物を反応させて得られたものである ことを特徴とする粘着テープであって、 前記粘着剤層は、更に、紫外線により気体を発生する気体発生剤を含有することを特徴とする粘着テープ。 【請求項３】 前記官能基を有する（メタ）アクリルモノマーは、カルボキシル基、水酸基、エポキシ基、アミノ基、イソシアネート基又はアミド基を有する（メタ）アクリルモノマーであることを特徴とする請求項１記載の粘着テープ。 【請求項４】 前記粘着剤層は、架橋剤を含有することを特徴とする請求項１又は３記載の粘着テープ。 【請求項５】 前記官能基を有する（メタ）アクリルモノマーは、カルボキシル基、水酸基、エポキシ基、アミノ基、イソシアネート基又はアミド基を有する（メタ）アクリルモノマーであることを特徴とする請求項２記載の粘着テープ。 【請求項６】 前記粘着剤層は、架橋剤を含有することを特徴とする請求項２又は５記載の粘着テープ。」 第４　取消理由の概要 １　当審が令和２年１０月２１日付で通知した取消理由の概要は次のとおりのものである。 本件特許の下記の請求項に係る発明は、原出願日前日本国内または外国において頒布された下記の刊行物に記載された発明又は電気通信回線を通じて公衆に利用可能となった発明に基いて、原出願日前にその発明の属する技術の分野における通常の知識を有する者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないものである。したがって、特許法第１１３条第２号の規定に該当し、下記の請求項に係る特許は取り消すべきものである。 記 ・請求項１、３、４に対して ・引用文献一覧 （以下、申立人の提示した甲第１号証を「甲１」などという。） 甲１：特開２００２－３７１２６２号公報 甲２：国際公開第２００７／１１９８８４号 甲３：特開２０１１－７４３８０号公報 甲４：特公昭６３－３６６０２号公報 参考資料１：特開平８－２７２３９号公報 参考資料２：特開２００９－３５６１８号公報 参考資料３：特開２０１１－１８４５７６号公報 参考資料４：特開平２－１８７４７８号公報 ２　当審が令和２年３月２４日付で通知した取消理由（前記１の理由を除く）は次のとおりである。 設定登録時の本件特許に係る願書に添付された特許請求の範囲の記載は、請求項１における「前記モノマー混合物における前記官能基を有する（メタ）アクリルモノマーの含有量が２５重量％以下」という記載が下限を規定していない点で特許法第３６条第６項第１号の規定を満たさないものであるから、本件発明１、２及び引用する本件発明３～６に係る特許は特許法第１１３条第４項に該当し、取り消されるべきものである。 第５　前記第４、２の記載要件についての当審の判断 本件訂正後の特許請求の範囲の記載は、前記第３に記載したとおりであって、請求項１及び請求項２における「前記モノマー混合物における前記官能基を有する（メタ）アクリルモノマーの含有量が１重量％以上２５重量％以下」との記載によって、下限が規定されているから、前記第４、２の記載要件を満たすものであって、この理由により本件発明１～６に係る特許を取り消すことはできない。 第６　前記第４、１の進歩性についての当審の判断 １　引用文献の記載事項 （１）甲１には、次の記載がある。 ア　「【請求項１】重量平均分子量が１０万以上であり、かつ分子量の分散度（重量平均分子量／数平均分子量）が１～２のベースポリマーを主成分として含有してなることを特徴とするウエハ加工用粘着シート用粘着剤。 【請求項２】ベースポリマーが放射線硬化型ポリマーであることを特徴とする請求項１記載のウエハ加工用粘着シート用粘着剤。 【請求項３】基材フィルム上に、請求項１または２記載の粘着剤により形成された粘着剤層が設けられていることを特徴とするウエハ加工用粘着シート。」 イ　「【０００１】 【発明の属する技術分野】本発明は、ウエハ加工用粘着シート用粘着剤および当該粘着剤により形成された粘着剤層が設けられているウエハ加工用粘着シートに関する。ウエハ加工用粘着シートは、各種半導体の製造工程のうち半導体ウエハの裏面を研削する研削工程においてウエハの表面を保護するために用いる表面保護用粘着シートや、半導体ウエハを素子小片に切断・分割し、該素子小片をピックアップ方式で自動回収するダイシング工程においてウエハの裏面に貼付する固定支持用粘着シートなどとして有用である。」 ウ　「【０００３】このようなウエハ加工用粘着シートからは、通常、半導体素子に対して若干の転写汚染物（糊残り）が発生する。かかる転写汚染物は、例えば、表面保護用粘着シートでは、その後の工程でワイヤボンディング不良を招き、また固定支持用粘着シートでは、樹脂封止工程（パッケージング工程）でのパッケージクラックという問題を引き起こすことが明らかになっている。そのため近年では、転写汚染物の発生の少ない高品質なウエハ加工用粘着シートが求められている。 【０００４】一般に、転写汚染物は粘着剤中に含まれる分子量１０万未満の低分子量成分であることが知られている。低分子量成分は粘着剤の主成分であるベースポリマーと呼ばれる高分子化合物中にもともと含まれており、精製により取り除くことも可能である。低分子量成分を低減するには、たとえば、汎用のラジカル重合などにより分散度の大きいポリマーを製造し、これを再沈殿法などにより精製するという方法がある。しかしながら、この方法では分子量１０万未満の低分子量成分を１回の操作で完全に除去することは難しく、その操作が煩雑である。 【０００５】また、一般に放射線硬化型粘着シートの粘着剤層を形成する放射線硬化型粘着剤は、ベースポリマーと呼ばれる高分子化合物に、分子内に炭素－炭素二重結合を有する放射線重合性化合物（放射線反応性オリゴマー等）、放射線重合性開始剤、さらには架橋剤などの種々の添加剤を適宜に加えて調製される。そして、通常、放射線照射後に粘着力が大きく低下するという特性を付与するため、放射線重合性化合物としては、１分子内に炭素－炭素二重結合を２個以上有するいわゆる多官能化合物が多く用いられている。このような放射線硬化型粘着剤に放射線を照射すると、放射線重合性化合物が反応して三次元網状構造が速やかに形成され、粘着剤全体が急激に反応・硬化し、粘着力が低下するものとされている。しかしながら、このような多官能化合物は分子量１０万未満のオリゴマーまたはモノマーの低分子量成分である場合が多く、前述の理由により転写汚染物の問題は解消できない。 ・・・ 【０００８】すなわち本発明は、重量平均分子量が１０万以上であり、かつ分子量の分散度（重量平均分子量／数平均分子量）が１～２のベースポリマーを主成分として含有してなることを特徴とするウエハ加工用粘着シート用粘着剤、に関する。 ・・・ 【００１１】前記ウエハ加工用粘着シート用粘着剤において、ベースポリマーが放射線硬化型ポリマーであることが好ましい一態様である。 【００１２】ベースポリマー自体を放射線硬化型ポリマーとすることにより、放射線反応性オリゴマー等の放射線重合性化合物を使用することなく粘着剤を放射線硬化型とすることができる。」 エ　「【００１４】 【発明の実施の形態】ウエハ加工用粘着シート用粘着剤の主成分であるベースポリマーとしては、一般的な感圧性粘着剤、たとえば、アクリル系粘着剤、ゴム系粘着剤等に用いられているものを使用できる。なかでも、半導体ウエハヘの粘着性などの点から、アクリル系粘着剤のベースポリマーであるアクリル系ポリマーが好ましい。これらベースポリマーは２種以上を混合して使用してもよい。 【００１５】前記アクリル系ポリマーとしては、例えば、（メタ）アクリル酸アルキルエステル（例えば、メチルエステル、エチルエステル、プロピルエステル、イソプロピルエステル、ブチルエステル、イソブチルエステル、ｓ－ブチルエステル、ｔ－ブチルエステル、ペンチルエステル、イソペンチルエステル、ヘキシルエステル、ヘプチルエステル、オクチルエステル、２－エチルヘキシルエステル、イソオクチルエステル、ノニルエステル、デシルエステル、イソデシルエステル、ウンデシルエステル、ドデシルエステル、トリデシルエステル、テトラデシルエステル、ヘキサデシルエステル、オクタデシルエステル、エイコシルエステルなどのアルキル基の炭素数１～３０、特に炭素数４～１８の直鎖状又は分岐鎖状のアルキルエステルなど）及び（メタ）アクリル酸シクロアルキルエステル（例えば、シクロペンチルエステル、シクロヘキシルエステルなど）の１種又は２種以上を単量体成分として用いたアクリル系ポリマーなどがあげられる。なお、（メタ）アクリル酸エステルとはアクリル酸エステルおよび／またはメタクリル酸エステルをいい、本発明の（メタ）とは全て同様の意味である。 【００１６】前記アクリル系ポリマーは、凝集力、耐熱性などの改質を目的として、必要に応じ、前記（メタ）アクリル酸アルキルエステル又はシクロアルキルエステルと共重合可能な他のモノマー成分に対応する単位を含んでいてもよい。このようなモノマー成分として、例えば、アクリル酸、メタクリル酸、カルボキシエチル（メタ）アクリレート、カルボキシペンチル（メタ）アクリレート、イタコン酸、マレイン酸、フマル酸、クロトン酸などのカルボキシル基含有モノマー；無水マレイン酸、無水イタコン酸などの酸無水物モノマー；（メタ）アクリル酸２－ヒドロキシエチル、（メタ）アクリル酸２－ヒドロキシプロピル、（メタ）アクリル酸４－ヒドロキシブチル、（メタ）アクリル酸６－ヒドロキシヘキシル、（メタ）アクリル酸８－ヒドロキシオクチル、（メタ）アクリル酸１０－ヒドロキシデシル、（メタ）アクリル酸１２－ヒドロキシラウリル、（４－ヒドロキシメチルシクロヘキシル）メチル（メタ）アクリレートなどのヒドロキシル基含有モノマー；スチレンスルホン酸、アリルスルホン酸、２－（メタ）アクリルアミド－２－メチルプロパンスルホン酸、（メタ）アクリルアミドプロパンスルホン酸、スルホプロピル（メタ）アクリレート、（メタ）アクリロイルオキシナフタレンスルホン酸などのスルホン酸基含有モノマー；２－ヒドロキシエチルアクリロイルホスフェートなどのリン酸基含有モノマー；アクリルアミド、アクリロニトリルなどがあげられる。これら共重合可能なモノマー成分は、１種又は２種以上使用できる。これら共重合可能なモノマーの使用量は、全モノマー成分の５０重量％以下が好ましい。」 オ　「【００１８】本発明のベースポリマーの重量平均分子量は１０万以上であり、かつ分子量の分散度１～２である。このようなベースポリマーは、例えば金属の酸化・還元反応を利用したリビングラジカル重合、サマリウム錯体を開始剤とする配位重合などの開始、成長反応が完全に制御されながら重合反応が進行する、いわゆるリビング重合法を採用することができる。かかる重合法によれば分子量の設定が容易であるとともに、分子量の分散度を小さく設定できポリマーの重合反応が終了した時点ですでに分子量１０万以下の低分子量物の生成を抑えることができる。 【００１９】また、本発明のベースポリマーとしては放射線硬化型ポリマーを用いることができる。放射線硬化型ポリマーとした場合にもその重量平均分子量は１０万以上であり、かつ分子量の分散度１～２である。放射線硬化型ポリマーは、炭素－炭素二重結合をポリマー側鎖または主鎖中もしくは主鎖末端に有するものであり、低分子成分であるオリゴマー成分等を含有する必要がなく、または多くは含まないため、経時的にオリゴマー成分等が粘着剤在中を移動することなく、安定した層構造の粘着剤層を形成することができるため好ましい。」 カ　「【００２１】前記アクリル系ポリマーへの炭素－炭素二重結合の導入法は特に制限されず、様々な方法を採用できるが、炭素－炭素二重結合はポリマー側鎖に導入するのが分子設計が容易である。たとえば、予め、アクリル系ポリマーに官能基を有するモノマーを共重合した後、この官能基と反応しうる官能基および炭素－炭素二重結合を有する化合物を、炭素－炭素二重結合の放射線硬化性を維持したまま縮合または付加反応させる方法があげられる。 【００２２】これら官能基の組合せの例としては、カルボン酸基とエポキシ基、カルボン酸基とアジリジル基、ヒドロキシル基とイソシアネート基などがあげられる。これら官能基の組合せのなかでも反応追跡の容易さから、ヒドロキシル基とイソシアネート基との組合せが好適である。また、これら官能基の組み合わせにより、上記炭素－炭素二重結合を有するアクリル系ポリマーを生成するような組合せであれば、官能基はアクリル系ポリマーと前記化合物のいずれの側にあってもよいが、前記の好ましい組み合わせでは、アクリル系ポリマーがヒドロキシル基を有し、前記化合物がイソシアネート基を有する場合が好適である。この場合、炭素－炭素二重結合を有するイソシアネート化合物としては、たとえば、メタクリロイルイソシアネート、２－メタクリロイルオキシエチルイソシアネート、ｍ－イソプロペニル－α，α－ジメチルベンジルイソシアネートなどがあげられる。また、アクリル系ポリマーとしては、前記例示のヒドロキシ基含有モノマーや２－ヒドロキシエチルビニルエーテル、４－ヒドロキシブチルビニルエーテル、ジエチレングルコールモノビニルエーテルのエーテル系化合物などを共重合したものが用いられる。 ・・・ 【００２７】 ・・・ウエハ加工用粘着シートは基盤やウエハ等の被切断体の平面形状に対応した形状や連続シートなどの適宜な形態とすることができ、またシートを巻いてテープ状とすることもできる。」 キ　「【００３４】実施例１ （サマリウム錯体の調製）アルゴン置換した１リットルのフラスコに、SmI2を３．９６１６ｇ、テトラヒドロフラン(THF）を３３０ｍｌ入れ、攪拌しながら、ぺンタメチルシクロぺンタジエニルカリウム塩〔(C5(CH3)5)K〕４５．８５８ｇを加えて、室温で反応させた。その後、ＴＨＦを減圧除去し、固形物にトルエンを加えて、上澄みを回収し、減圧乾燥したのち、ＴＨＦとへキサンにより、(C5(CH3)5)2Sm(THF)2の再結晶を行った。この(C5(CH3)5)2Sm(THF)2の２．５ｇをトルエン６０ｍｌに溶解した後、トリメチルアルミニウム２．２ｍｌを加え、攪拌して反応を行った。沈澱物を除去したのち、再結晶を行うことにより、(C5(CH3)5)2Sm(CH3)(THF)を得た。 【００３５】（トリメチルシリルオキシエチルアクリレートの調製）１リットルの丸底フラスコに乾燥ＴＨＦ３００ｍｌを量り取り、これに乾燥トリエチルアミン１１１．６ｍｌと乾燥２－ヒドロキシエチルアクリレート８３．７ｍｌを加えた。１０分間程度撹拌した後、外欲を氷水で冷却し、乾燥トリメチルシリルクロライド７６．１ｍｌをゆっくり加えた。２４時間室温で撹拌を続けた後、ＴＨＦと過剰のトリエチルアミンとトリメチルシリルクロライドとを減圧留去した。そこに乾燥ヘキサン３００ｍｌを加え、約２時間撹拌後、ろ過により塩を取り除き、減圧下ヘキサンを留去したものをモレキュラーシーブで２晩処理し、４２℃／０．１ｍｍＨｇの条件下で蒸留することによりトリメチルシリルオキシエチルアクリレートを合成した。 【００３６】（アクリル系共重合ポリマーの調製）アルゴン置換した１リットルのフラスコに、上記の(C5(CH3)5)2Sm(CH3)(THF)を１００．４ｍｇ入れ、脱気脱水処理したトルエン４００ｍｌを加えて、－７８℃に冷却した後、脱気脱水処理したブチルアクリレート８０ｇおよびトリメチルシリルオキシエチルアクリレート２０ｇを、１時間かけて滴下しながら重合反応を行い、さらに５時間重合反応を継続した。５時間後、大量のメタノールを加えて重合を終了させ、同時に保護基であるトリメチルシリル基を脱離させ末端をＯＨ化した。ろ過、乾燥後に得られたアクリル系共重合ポリマーにつき、分子量をＧＰＣ法で測定した結果、重量平均分子量が３５．３万、数平均分子量が３２．４万、分散度（重量平均分子量／数平均分子量）が１．０９であった。 【００３７】（ウエハ加工用粘着シートの作製）前記アクリル系共重合ポリマーをトルエンに溶解し、このポリマー（固形分）１００重量部に対して、さらにイソシアネート系架橋剤を０．８重量部添加して得られた粘着剤を、厚さが１００μｍのポリエチレンフイルム（基材フィルム）上に、乾燥後の厚さが３０μｍとなるように塗布することにより粘着剤層を形成してウエハ加工用粘着シートを得た。」 ク　「【００３８】実施例２ （アクリル系共重合ポリマーの調製）実施例１において、(C5(CH3)5)2Sm(CH3)(THF)の使用量を１００．４ｍｇから５０．７ｍｇに変更したこと以外は、実施例１と同様の操作を行った。得られたアクリル系共重合ポリマーの重量平均分子量は５４．５万、数平均分子量が３８．７万、分散度が１．４１であった。 【００３９】（放射線硬化型ポリマーの調製）上記アクリル系共重合ポリマー溶液に、さらに有機スズ触媒と２－メタクリロイルオキシエチルイソシアネートを５ｇ加え付加反応させることにより、重量平均分子量が５６．０万、数平均分子量が３９．０万、分散度が１．４４の放射線硬化型ポリマー溶液を得た。 【００４０】（ウエハ加工用粘着シートの作製）前記放射線硬化型ポリマー（固形分）１００重量部に、さらにイソシアネート系架橋剤を０．８重量部とアセトフェノン系光重合開始剤を２重量部添加して得られた放射線硬化型粘着剤を、厚さが１００μｍのポリエチレンフイルムの上に、乾燥後の厚さが３０μｍとなるように塗布することにより粘着剤層を形成してウエハ加工用粘着シートを得た。」 ケ　「【００４４】実施例および比較例で得られたウエハ加工用粘着シートについて以下の評価を行った。実施例２、比較例３については加工処理後に紫外線を照射した。評価結果を表１に示す。 【００４５】（ウエハ表面の転写汚染物量）ウエハ表面にウエハ加工用粘着シートを貼り付け、所定の厚さまで下記条件で裏面研削した後に剥がし、剥がしたウエハ表面の転写汚染物量を測定した。粘着シート剥離後のウエハ表面の元素比率はＸＰＳ（Ｘ線光電子分光分析）にて測定し、粘着シートからの転写汚染物に由来する炭素の増加量をブランクウエハと比較しAtomic％増加量として算出した。 Ｘ線源：ＭｇＫα、Ｘ線取出角度：９０度、測定面積：１．０ｍｍ×３．５ｍｍ。」 コ　「【００４９】 【表１】 実施例１と比較例１から、分散度が１～２の範囲にあっても重量平均分子量が１０万未満の場合にはウエハ研削時に転写汚染物が多く、クラックが発生することがわかる。また実施例１と比較例２から、重量平均分子量が１０万以上であっても分散度が２を超えると場合には前記同様に転写汚染物が多く、クラックが発生することがわかる。また実施例２と比較例３から、放射線硬化型粘着剤を調製する場合に、分子量１０万未満の放射線重合性化合物を混合するような構成では転写汚染物、クラックの問題を解消できないことがわかる。」 （２）甲２の記載事項 甲２には次の記載がある。 ア　第４０～４１頁、請求の範囲 （ア）請求項１ 「(メタ)アクリル酸アルキルエステルを主成分とするピニルモノマー８０～９９．９重量部および反応性官能基を有するビニルモノマー０．１～２０重量部を、 （ａ）式（１）で表される有機テルル化合物、 （ｂ）式（１）で表される有機テルル化合物とアゾ系重合開始剤の混合物、 （ｃ）式（１）で表される有機テルル化合物と式（２）で表される有機ジテルル化合物の混合物、又は （ｄ）式（１）で表される有機テルル化合物、アゾ系重合開始剤及び式（２）で表される有機ジテルル化合物の混合物のいずれかを重合開始剤として用いてリビングラジカル重合法により共重合して得られた共重合体を含有する樹脂組成物であって、組成物中の金属含有量が１０００ｐｐｍ以下であることを特徴とする樹脂組成物。 （式中、Ｒ１は、Ｃ１～Ｃ８のアルキル基、アリール基、置換アリール基又は芳香族ヘテロ環基を示す。Ｒ２及びＲ３は、水素原子又はＣ１～Ｃ８のアルキル基を示す。Ｒ４は、アリール基、置換アリール基、芳香族へテロ環基、アシル基、アミド基、オキシ力ルポニル基又はシアノ基を示す。） （Ｒ１Ｔｅ）２　　　（２） （式中、Ｒ１は、上記と同じ。）」 （イ）請求項２ 「共重合体のＰＤ値が１．０５～２．００である請求項１の樹脂組成物。」 （ウ）請求項３ 「金属含有量が２００ｐｐｍ以下である請求項１の樹脂組成物。」 （エ）請求項５ 「請求項１に記載の樹脂組成物１００重量部に対し０．１～１０重量部の架橋剤を配合してなり、架橋反応後のゲル分率が８０重量％以上であることを特徴とする粘着剤。」 （オ）請求項６ 「請求項１に記載の樹脂組成物１００重量部に対し３～１０重量部の架橋剤を配合したことを特徴とする表面保護フィルム用粘着剤。」 （カ）請求項７ 「請求項１に記載の樹脂組成物１００重量部に対し０．１～３重量部の架橋剤を配合したことを特徴とする光学フィルム用粘着剤。」 （キ）請求項８ 「フィルムの基材に、請求項５～７のいずれかに記載の粘着剤を形成したことを特徴とする粘着フィルム。」 イ　明細書 （ア）第１頁５～９行（以下、行数は空行を含む。） 「技術分野 本発明は、有機テルル化合物を用いてリビングラジカル重合された樹脂組成物及びそれを用いた耐熱性に優れた粘着剤に関する。 また本発明は基材に上記粘着剤からなる粘着層を形成することにより得られる、耐熱性となじみ性に優れた粘着層を有する表面保護フィルムに関する。」 （イ）第１頁１３～２３行 「背景技術 これまで、粘着剤用樹脂組成物として様々なモノマーの組み合わせの共重合体が使用されており、これらは単一モノマーで作られる重合体に比べ、複数種類のモノマーそれぞれの特徴を有し、更には組み合わせることにより初めて発現する機能を持つ共重合体が得られる可能性がある。かかる共重合体を製造するに当たっては、通常のフリーラジカル重合法が用いられるが、該フリーラジカル重合法では、分子量の制御や、共重合体組成の均一性を取ることが困難であり、その結果として低分子量成分（オリゴマー）や、ホモポリマーの生成がおこり、これらの成分は粘着剤として使用する際に、使用環境下での耐熱性の低下や、再剥離時に糊残りによる被着体表面の汚染を招くことが知られており、できるだけこれらの成分を排除することが求められている。」 （ウ）第３頁１３行～第４頁２行 「リビングラジカル重合は、ラジカル重合の簡便性と汎用性を保ちつつ分子構造の精密制御を可能にする重合法で、新しい高分子材料の合成に大きな威力を発揮している。この重合法には、重合成長末端を安定化させる手法の違いにより、遷移金属触媒を用いる方法（ＡＴＲＰ）、硫黄系の可逆的連鎖移動剤を用いる方法（ＲＡＦＴ）、その他の方法がある。 これらの重合系については、スチレンやメタクリレート、アクリレートなどの種々のモノマーについて、盛んに研究がなされ、そのポリマーの一次構造をある程度精密に制御できることが広く知られるようになってきた。しかし、モノマーにより反応性が大きく異なるために、どのモノマーにも適用可能な重合法とはなり得ていない。 また遷移金属触媒を用いる方法では樹脂組成物中から触媒として用いた銅等の金属を完全に除去することが困難であり、粘着剤として用いた場合、電子材料用途において残存金属による誤作動等の問題が考えられ、硫黄系の可逆的連鎖移動剤を用いる方法では、可逆的連鎖移動剤として作用したポリマー末端の硫黄化合物を除去するのが困難であり、残存した場合には着色や臭気が発生し、粘着剤として用いた場合、光学用途に用いる場合には光線透過率が低下し、医療用途に用いる場合には臭気による不快感を与える等の問題が考えられる。」 （エ）第４頁３～８行 「本発明者は、リビングラジカル重合の例として、有機テルル化合物を開始剤として用いたリビングラジカル重合を報告している（例えば、特許文献４、５参照）。有機テルル化合物を用いる方法は、適用モノマー範囲が他の方法よりも比較的広く、残存するテルル金属の除去が遷移金属触媒を用いる方法と比較して効率が高く硫黄系の可逆的連鎖移動剤を用いる方法に比較して連鎖移動反応が少なく、分子量制御性に優れており、またポリマー末端の修飾が容易等の優位点を持っている。 また本発明者らは上記有機テルル化合物を用いたリビングラジカル重合によって得られた樹脂組成物の架橋度を制御し、この架橋度の制御された樹脂組成物を粘着フィルムの粘着層に使用することにより、なじみ性、耐熱性、耐久性、再剥離性、及び応力緩和性に優れた粘着層を有する粘着フィルムが得られることを見いだした。」 （オ）第１８頁５～１４行 「本発明で得られるリビングラジカルポリマーの分子量分布（ＰＤ＝Ｍｗ／Ｍｎ）は、１．０５～２．００の間で制御される。更に、分子量分布１．０５～１．９０，更には１．０５～１．８０のより狭い分子量分布を持ったポリマーを得ることができる。式（１）および式（２）で表される有機テルル化合物を開始剤として用いる場合、－ＴｅＲ１の形態でテルル原子がポリマー末端に残存する場合がある（Ｒ１は、上記と同じ）。 テルル原子が末端に残存したポリマーは着色しており、金属性の元素であるため、得られた共重合体を配合した粘着剤の透明性の向上や異物混入防止の観点から、この残存テルル原子を含めた金属含量は、樹脂全体に対して１，０００ｐｐｍ以下、特に２００ｐｐｍ以下であることが好ましい。」 （カ）第３０頁１１行～第３１頁５行 「実施例５ ポリアクリル酸ｎ－ブチル－ｃｏ－ポリメタクリル酸ヒドロキシエチル アルゴン置換したグローブボックス内で、合成例１で製造したエチル－２－メチル－２－ｎ－ブチルテラニル－プロピオネート５９．５μＬ（０．２６ｍｍｏｌ）、アクリル酸ｎ－ブチル（和光純薬工業株式会社製）９５ｇ（０．７４ｍｏｌ）、メタクリル酸２－ヒドロキシエチル（和光純薬工業株式会社製）５ｇ（３８．４ｍｍｏｌ）、２，２’－アゾビス（２，４－ジメチルバレロニトリル）〔大塚化学（株）製、商品名：ＡＤＶＮ〕１２．９ｍｇ（０．０５ｍｍｏｌ）及び酢酸エチル２５ｇを５０℃で２４時間反応させた。ＮＭＲ分析により、重合率は ９２．１％であった。 反応終了後、反応器をグローブボックスから取り出し、酢酸エチルで希釈後、空気酸化を行い、苛性ソーダ１％水溶液で２回洗浄後、無水硫酸ナトリウムを加え系中の水分を脱水し、１μｍ孔径のメンブランフィルターを用いてろ過を行い、アクリルポリマーを得た。得られたポリマー溶液の粘度は４，９５０ｍＰａ・Ｓ（２５℃）、固形分は３５．３％であった。 またＧＰＣ分析（ポリスチレン標準サンプルの分子量を基準）により、重量平均分子量４３５，５００、ＰＤ＝１．６１であった。 またポリマー溶液を乾燥後、灰化処理しＩＣＰ／ＭＳによる分析を行った結果、不揮発分中の金属含量は１３５ｐｐｍであった。」 （キ）第３４頁７～１３行 「実施例９ 実施例５で得たアクリルポリマー溶液の固形分換算１００重量部に対して、架橋剤としてコロネートＨＬ〔日本ポリウレタン工業（株）製〕を３部添加し、撹拌して粘着剤組成物を得た。 これを５０μｍ厚のＰＥＴ製剥離フィルム上に乾燥後の厚みが２５μｍとなるように塗布し、９５℃で２分間乾燥させた後、２５μｍ厚のＰＥＴフィルムを転写し、本発明の表面保護フィルムを作製した。」 （ク）第３５頁１６～２０行 「（糊のこり評価方法Ｅ１） 粘着力測定後の被着体表面を目視で観察し、下記の如く評価した。 ○…被着体表面の顕著な汚染なし △…被着体表面にくもり ×…被着体表面に明らかな糊のこり（凝集破壊ｏｒ転写）」 （ケ）第３６頁の【表２】及び３～６行 「 表２から明らかなように、本発明の粘着剤層は、リビングラジカル重合により得られたＭｗ＞３０万以上、Ｍｗ／Ｍｎが１．８以下の分子量が揃ったポリマーを用いることにより、耐熱性に優れ、被着体への耐汚染性に優れる。また本発明の粘着剤層はタック性が高いため、被着体へのなじみ性に優れる。」 （３）甲３の記載事項 甲３には次の記載がある。 ア　「【請求項１】 リビングラジカル重合によって得られた重量平均分子量２０万～２００万及び分子量分布２.５未満の(メタ)アクリル酸エステル系共重合体（Ａ）を含む粘着剤組成物により形成された粘着剤層を有する保護フィルムであって、前記(メタ)アクリル酸エステル系共重合体（Ａ）中の重量平均分子量５万以下の低分子量成分の割合が５質量％未満であることを特徴とする保護フィルム。 ・・・ 【請求項４】 (メタ)アクリル酸エステル系共重合体（Ａ）が、炭素数１～２０のアルキル基を有する(メタ)アクリル酸エステル単量体単位（ａ）と、反応性官能基を有する(メタ)アクリル酸エステル単量体単位（ｂ）とを、質量比８０：２０～９９.９：０.１の割合で含むものである、請求項１～３のいずれかに記載の保護フィルム。 【請求項５】 さらに、粘着剤組成物が架橋剤（Ｂ）を含む、請求項１～４のいずれかに記載の保護フィルム。 ・・・」 イ　「【技術分野】 【０００１】 本発明は、粘着剤層を有する保護フィルムに関する。さらに詳しくは、粘着剤層を構成する粘着剤組成物中の残留モノマー及び低分子量成分が極めて少なく、被着体への残渣物の付着が極めて少ない保護フィルム、及びその保護フィルムの製造方法に関するものである。 【背景技術】 【０００２】 従来、保護フィルムは、光学用として各種画像表示装置、例えばＬＣＤ（液晶表示体）、タッチパネル、ＣＲＴ（ブラウン管）、ＰＤＰ（プラズマディスプレイパネル）、ＥＬ（エレクトロルミネッセンス）、光記録媒体などにおいて、表面保護を始め、防眩性や反射防止などの目的で用いられている。また、ＬＣＤにおいては、偏光子を保護するために用いられている。この保護フィルムは、一般に、基材フィルムの一方の面に粘着剤層を有し、他方の面に帯電防止性能や防汚性能などの機能性コーティング層、あるいは必要に応じてハードコート層などが設けられている。そして、光学的特性に優れ、粘着剤の設計が比較的容易であることから前記粘着剤層には、(メタ)アクリル酸エステル系共重合体を主剤とするアクリル系粘着剤が用いられている。 このような保護フィルムを、前記被着体に粘着剤層を介して貼付すると、視認不可能なレベルで僅かな残渣物が付着することが知られており、これは、アクリル系粘着剤を用いる場合、主剤である(メタ)アクリル酸エステル系共重合体中に存在する残留モノマーや低分子量成分に起因することが分かっている。」 ウ　「【発明の効果】 【０００９】 本発明によれば、被着体に貼付した場合に十分な粘着力で被着体に接着できるとともに、剥した際は被着体への残渣物の付着が極めて少ない粘着剤層を有する保護フィルムを提供することができる。本保護フィルムを用いることにより、被着体の中でも高いレベルで表面の清浄さが要求される機能性光学部材への適用においても残渣物の付着により各機能が損なわれるのを抑制し得ることが期待される。」 エ　「【００１８】 （重合方法） 当該(メタ)アクリル酸エステル系共重合体（Ａ）は、リビングラジカル重合により重合されてなるものである。リビングラジカル重合はフリーラジカル重合と比較して活性点での反応が非常に緩やかであるという特徴を有する。すなわち、フリーラジカル重合では、活性点での反応が非常に早いために反応性の高い単量体から重合し、その後、反応性の低い単量体が重合するものと考えられている。一方、リビングラジカル重合では、活性点での反応が緩やかであるため、単量体の反応性の影響を受けずに均等に重合が進行し、得られるいずれの共重合体もより均等な組成になるものと考えられる。そのため、リビングラジカル重合で得られる(メタ)アクリル酸エステル系共重合体（Ａ）はフリーラジカル重合によるものに比べて非官能性単量体単位（ａ）のみからなる(メタ)アクリル酸エステル系単独重合体の発生割合が圧倒的に少ないものになると考えられる。このため、リビングラジカル重合によって得られる(メタ)アクリル酸エステル系共重合体（Ａ）は、分子量の低いものであっても後述の架橋剤（Ｂ）により架橋される可能性が非常に高くなる。その結果、リビングラジカル重合により得られた(メタ)アクリル酸エステル系共重合体（Ａ）を主剤とする粘着剤層は、被着体への残渣物の付着を非常に低いレベルに抑えることができるものと考えられる。 リビングラジカル重合法としては、従来公知の方法、例えば重合制御剤として、原子移動ラジカル重合剤を用いる原子移動ラジカル重合法（ＡＴＲＰ重合法）、可逆付加－開裂連鎖移動剤を用いる可逆付加－開裂連鎖移動による重合法（ＲＡＦＴ重合法）、重合開始剤として有機テルル化合物を用いる重合法などを採用することができる。これらのリビングラジカル重合法の中で、有機テルル化合物を重合開始剤として用いる方法が、分子量の制御性及び水系においても重合が可能であることなどから好ましい。以下に、有機テルル化合物を重合開始剤として用いる方法を示す。」 オ　実施例 （ア）「【００３９】 ・・・ （５）残留パーティクル試験 実施例あるいは比較例において得られた保護フィルムをクリーンルーム内にて、室温下で、４インチシリコンウエハの鏡面に５ｋｇ（４９Ｎ）ゴムローラーを１往復させることにより貼り付け、６０分間放置した後、剥離を行った。このときウエハ上の粒径０.２７μｍ以上の残留異物の数をレーザー表面検査装置［日立電子エンジニアリング社製］により測定した。」 （イ）「【００４１】 合成例１（エチル－２－メチル－２－ｎ－ブチルテラニル－プロピオネート） ・・・黄色油状物のエチル－２－メチル－２－ｎ－ブチルテラニル－プロピオネート８.９８ｇ（収率５９.５％）を得た。 実施例１ （１）リビングラジカル重合によるランダム共重合体からなる(メタ)アクリル酸エステル共重合体（Ａ）の製造 単量体としてブチルアクリレート［ＢＡ、東京化成社製］と２－エチルヘキシルアクリレート［２ＥＨＡ、東京化成社製］と４－ヒドロキシブチルアクリレート［４ＨＢＡ、東京化成社製］とを、質量比７５：２０：５の割合で用い、以下に示すリビングラジカル重合により、ＢＡ／２ＥＨＡ／４ＨＢＡのランダム共重合体からなる(メタ)アクリル酸エステル共重合体（Ａ）を製造した。この共重合体の性状を第２表に示す。 ＜リビングラジカル重合＞ アルゴン置換したグローブボックス内で、合成例１で製造したエチル－２－メチル－２－ｎ－ブチルテラニル－プロピオネート６８.５μＬ、ブチルアクリレート（同上）１０７ｇ、２－エチルヘキシルアクリレート（同上）２８.５ｇ、４－ヒドロキシブチルアクリレート（同上）７.１ｇ及び２,２'－アゾビス(イソブチロニトリル)［ＡＩＢＮ；Ａｌｄｒｉｃｈ社製］４.６ｍｇを６０℃で２０時間反応させた。 反応終了後、反応器をグローブボックスから取り出し、酢酸エチル５００ｍｌに溶解した後、そのポリマー溶液を活性アルミナ［和光純薬工業社製］で作製したカラムに通した。ポリマー溶液の粘度が５０００ｍＰａ・ｓ（２５℃）となるようにトルエンを添加した。得られたポリマーの固形分は３０.０質量％であった。 またＧＰＣにより、重量平均分子量４８.５万、分子量分布１.８８であった。 （２）粘着剤組成物の調製 上記（１）で製造したランダム共重合体からなる(メタ)アクリル酸エステル共重合体（Ａ）１００質量部（固形分）と、架橋剤としてイソシアヌレート型ＨＤＩ［日本ポリウレタン工業社製、商品名「コロネートＨＸ」、ＮＣＯ含量：２１.３質量％、固形分１００％］４.０質量部を、溶媒であるメチルエチルケトンに溶解して、固形分濃度２８質量％、２３℃における粘度が３Ｐａ・ｓの粘着剤組成物を調製した。なお、上記粘度はＢ型粘度計を用いて測定した。 （３）保護フィルムの作製 厚さ３８μｍの離型フィルム［リンテック社製、商品名「ＳＰ－ＰＥＴ３８１０３１」］の離型処理面に、上記（２）で得た粘着剤組成物を、ナイフ式塗工機により、乾燥厚さが２０μｍになるように塗布したのち、９０℃にて１分間加熱乾燥して粘着剤層を形成した。 次いで、基材フィルムとして、厚さ３８μｍの帯電防止性防汚ポリエチレンテレフタレートフィルム［東レ社製、商品名「ＰＥＴ３８ＳＬＤ５２」］の一方の面に、上記で得られた離型フィルム付き粘着剤層を貼合して、保護フィルムを作製し、この保護フィルムについて、諸特性を求めた。その結果を第２表に示す。」 （ウ）「【００４２】 実施例２～１０、及び比較例２ （１）リビングラジカル重合によるランダム共重合体からなる(メタ)アクリル酸エステル共重合体（Ａ）の製造 単量体として、第１表に示す種類と使用割合のものを用い、エチル－２－メチル－２－ｎ－ブチルテラニル－プロピオネート及びＡＩＢＮの添加量、並びに重合時間を調整する以外は実施例１と同様にしてリビングラジカル重合により、各種の(メタ)アクリル酸エステル共重合体（Ａ）を製造した。各共重合体の性状を第２表に示す。 （２）粘着剤組成物の調製 上記（１）で製造した各(メタ)アクリル酸エステル共重合体（Ａ）１００質量部と、第１表に示す種類と量の各架橋剤を溶媒であるメチルエチルケトンに溶解して、第１表に示す固形分濃度と粘度を有する各種の粘着剤組成物を調製した。 （３）保護フィルムの作製 上記（２）で得られた各種の粘着剤組成物を用い、粘着剤層の厚さを第２表に示す値にした以外は、実施例１と同様にして各種の保護フィルムを作製した。各保護フィルムについて、諸特性を求めた。その結果を第２表に示す。」 （エ）「【００４３】 実施例１１ （１）実施例４で得られた(メタ)アクリル酸エステル共重合体（Ａ）（ＢＡ／４ＨＢＡ質量比＝９９／１）の分別 実施例４で得られたＢＡ／４ＨＢＡ質量比＝９９／１の共重合体の溶液４０質量部（固形分７.２質量部）をメタノール１００質量部中に加え、室温でかきまぜて、沈殿を形成させた。次いで、この沈殿物を、デカンテーションにより分離したのち、メタノール５０質量部で洗浄した。その後、デカンテーションでメタノールを取り除き、沈殿物をトルエン４０質量部に溶解させ、固形分含有量が１５質量％の共重合体（Ａ）の溶液を調製した。 （２）粘着剤組成物の調製 上記（１）で調製した溶液に、その固形分１００質量部に対し、架橋剤としてイソシアヌレート型ＨＤＩ「コロネートＨＸ」（前出）１.０質量部を添加して溶解させ、２３℃における粘度が３Ｐａ・ｓの粘着剤組成物を調製した。 （３）保護フィルムの作製 上記（２）で得られた粘着剤組成物を用い、粘着剤層の厚さを第２表に示す値にした以外は、実施例１と同様にして保護フィルムを作製した。この保護フィルムについて、諸特性を求めた。その結果を第２表に示す。 実施例１２ 前記帯電防止性防汚ポリエチレンテレフタレートフィルム［東レ社製、商品名「ＰＥＴ３８ＳＬＤ５２」］の一方の面に、実施例１の「（２）粘着剤組成物の調製」の工程で得られた粘着剤組成物を、ナイフ塗工機により、乾燥厚さが２０μｍになるように塗布したのち、９０℃にて１分間加熱乾燥して粘着剤層を形成した。 次いで、前記離型フィルム［リンテック社製、商品名「ＳＰ－ＰＥＴ３８１０３１」］をその離型処理面が前記粘着剤層と接するように積層することにより、離型フィルムで粘着剤層が保護された保護フィルムを得た。そして、該保護フィルムの諸特性は実施例１の保護フィルムと同一になることを確認した。」 （オ）「【００４４】 比較例１ （１）フリーラジカル重合による(メタ)アクリル酸エステル共重合体の製造 単量体としてブチルアクリレート（同上）と２－エチルヘキシルアクリレート（同上）と４－ヒドロキシブチルアクリレート（同上）とを、質量比７５：２０：５の割合で用い、以下に示すフリーラジカル重合により、ＢＡ／２ＥＨＡ／４ＨＢＡの(メタ)アクリル酸エステル共重合体を製造した。この共重合体の性状を第２表に示す。 ＜フリーラジカル重合＞ 撹拌機、温度計、還流冷却器、窒素導入管を備えた反応装置に、窒素ガスを封入後、酢酸エチル９０質量部、２－エチルヘキシルアクリレート２０質量部、ブチルアクリレート７５質量部、４－ヒドロキシブチルアクリレート５質量部、重合開始剤２,２'－アゾビス(イソブチルニトリル)（ＡＩＢＮ）０.２質量部を仕込み、撹拌しながら酢酸エチルの還流温度で７時間反応させた。反応終了後、トルエン９５質量部を添加して室温まで冷却した。粘度３,０００ｍＰａ・ｓ、固形分３０質量％である(メタ)アクリル酸エステル共重合体を得た。 以下、実施例１と同様にして、粘着剤組成物を調製し、さらに保護フィルムを作製した。この保護フィルムの諸特性を第２表に示す。」 （カ）「【００４５】 【表１】 【００４６】 ［注］ コロネートＨＸ；日本ポリウレタン工業社製、商品名、イソシアヌレート型ＨＤＩ、ＮＣＯ含量：２３.１質量％、固形分：１００％ タケネートＤ－１１０Ｎ；三井化学社製、商品名、キシリレンジイソシアネートのトリメチロールプロパンの３：１付加物、ＮＣＯ含量：１１.８質量％、固形分：７５質量％ ＢＡ；ブチルアクリレート［東京化成社製］ ＨＥＡ；２－ヒドロキシエチルアクリレート［東京化成社製］ ４ＨＢＡ；４－ヒドロキシブチルアクリレート［東京化成社製］ ２ＥＨＡ；２－エチルヘキシルアクリレート［東京化成社製］ ＣＨＡ；シクロヘキシルアクリレート［東京化成社製］ ＭＡ；メチルアクリレート［東京化成社製］」 （キ）「【００４７】 【表２】 」 （４）甲４の記載事項 甲４には、次の記載がある。以下、行数には空行を含む。 ア　１頁右欄１７行～２頁左欄７行 「本発明は、フエノール性残基の水酸基が飽和脂肪族系保護基によつて保護されたモノマーをリビングアニオン重合法により重合した後、保護基を脱離させることを特徴とするフエノール残基を有する狭分散高分子の製造方法に関する。 分子量分布の狭いフエノール残基を有する高分子は、超LSIの製造に必要なレジスト材や高解像のリソグラフイー用材料として利用することができるが、これまでその実用的な合成方法が見出されていない。分子量分布の狭い高分子を製造する方法として、一般に、リビングアニオン重合法が用いられるが、実際に、これによつて得られた分子量分布の狭いポリイソプレン、ポリスチレン、ポリ（α―メチルスチレン）等は高分子標準試料やLSI製造用のレジスト材として利用されている。ところが、フエノール残基を有するモノマーの場合、プロトンがカルバニオンによつて容易に引抜かれるため、それらの重合はリビングアニオン重合法によつて行うことはできない。」 イ　２頁左欄８行～２５行 「一方、分子量分布の狭いポリスチレンを原料として、その分子量分布を広げないで、芳香族環に水酸基を導入することは極めて困難である。最近、tert―ブチルジメチルシランによつてｐ―ビニルフエノールの水酸基を保護すれば、リチウムナフタレン等の開始剤を用いてリビングアニオン重合が可能となることが報告されているが（高分子学会予稿集、31巻、1149ページ）、この場合、ｐ―ビニルフエノキシtert―ブチルジメチルシランは精製が難しいこととその合成に必要なtert―ブチルジメチルシリルクロリドが極めて高価であることが実用的な難点となつている。 本発明者は飽和脂肪族系保護基によつてフエノール残基の水酸基を保護して得たモノマーについてリビングアニオン重合を試みた結果、tert―ブチル基等の体積の大きな基を保護基として用いれば、リビングアニオン重合が可能になることを見出し本発明に到達したものである。」 （５）参考資料１の記載事項 参考資料１には次の記載がある。 ア　「【請求項１】（Ａ）官能基含有モノマー単位を有するアクリル系共重合体と、該官能基に反応する置換基を有する不飽和基含有化合物とを反応させて得られる、側鎖にエネルギー線重合性不飽和基を有する分子量１００，０００以上のエネルギー線硬化型共重合体と、（Ｂ）分子量１００，０００以上で、かつガラス転移温度が－１０℃以下であるアクリル系重合体とからなることを特徴とするエネルギー線硬化型感圧粘着剤組成物。 【請求項２】（Ｃ）光重合開始剤をさらに含有することを特徴とする請求項１に記載のエネルギー線硬化型感圧粘着剤組成物。 【請求項３】（Ｄ）分子量１０，０００以下のエネルギー線重合性化合物をさらに含有することを特徴とする請求項１または２に記載のエネルギー線硬化型感圧粘着剤組成物。 【請求項４】請求項１～３の何れかに記載のエネルギー線硬化型感圧粘着剤組成物が、基材上に塗布されてなることを特徴とする粘着シート。 【請求項５】ウエハ加工用粘着シートとして用いられることを特徴とする請求項４に記載の粘着シート。」 イ　「【０００６】 【発明の目的】本発明は、上記のような従来技術に鑑みてなされたものであって、エネルギー線の照射前には、充分な感圧接着性と初期接着力を有し、照射後にはゴム弾性を維持しつつ接着力が激減するエネルギー線硬化型感圧粘着剤組成物を提供することを目的としている。 【０００７】また、本発明は、このようなエネルギー線硬化型感圧粘着剤組成物を用いた粘着シート、特にウエハ加工用粘着シートおよび表面保護用粘着シートを提供することを目的としている。」 ウ　「【００３３】さらに、エネルギー線に対する硬化特性を制御するために、エネルギー線硬化型感圧粘着剤組成物に低分子量のエネルギー線重合性化合物（Ｄ）を添加することもできる。化合物（Ｄ）の分子量は、１０，０００以下であり、好ましくは１００～８０００程度であり、特に好ましくは１００～３０００程度である。 【００３４】このような本発明において用いられうるエネルギー線重合性化合物（Ｄ）としては、具体的には、アクリレートモノマー、ウレタンアクリレート系オリゴマー、エポキシ変性ウレタンアクリレートオリゴマーあるいはエポキシアクリレートオリゴマー等があげられる。」 エ　「【００７８】 【発明の効果】以上説明してきたように、本発明に係るエネルギー線硬化型感圧粘着剤組成物は、充分なゴム弾性を示し、エネルギー線照射前には被着体に対して充分な感圧接着性と初期接着性を有し、エネルギー線照射後には、ゴム弾性を維持しつつ、被着体に対する接着力が激減し、粘着剤を残留することなく除去することができる。このため、本発明に係るエネルギー線硬化型感圧粘着剤組成物は、貼付後の剥離を前提とした用途、たとえばウエハ加工あるいは表面保護用粘着シートに好ましく使用される。」 オ　「【００８０】・・・ １８０°剥離粘着力 実施例あるいは比較例において得られた粘着フィルムを２３℃、６５％ＲＨの雰囲気下で、半導体ウエハ鏡面に２kgゴムローラーを往復させることにより貼り付け、３０分間放置した後、万能型引張試験機（株式会社オリエンテック製、TENSILON　/　UTM－4－100）を用いて剥離速度３００mm／分で１８０°剥離粘着力を測定した。また、同様の条件で貼付、放置後、基材フィルム側から高圧水銀灯（８０Ｗ／cm）で照射距離１０cm、ラインスピード５ｍで紫外線照射した後、同様に１８０°剥離粘着力を測定した。 ・・・ 残留パーティクル測定 粘着シートに４インチシリコンウエハを貼付し、１時間放置後、１８０°剥離粘着力測定の時と同様の条件で紫外線照射に、粘着シートを剥離した。このときウエハに残留したパーティクルの数をレーザー表面検査装置（日立電子エンジニアリング製）により測定した。 」 カ　「【００８１】また、以下の実施例において、エネルギー線硬化型共重合体（Ａ）、アクリル系重合体（Ｂ）、光重合開始剤（Ｃ）およびエネルギー線重合性化合物（Ｄ）として以下のものを用いた。 エネルギー線硬化型共重合体（Ａ） （Ａ１）：ブチルアクリレート７５重量部、２－ヒドロキシエチルアクリレート２５重量部からなる重量平均分子量２５０，０００の共重合体の２５％酢酸エチル溶液１００重量部と、メタクリロイルオキシエチルイソシアナート６．７重量部との反応物。 （Ａ２）：ブチルアクリレート６０重量部、メチルメタクリレート１０重量部、２－ヒドロキシエチルアクリレート３０重量部からなる重量平均分子量４００，０００の共重合体の２５％酢酸エチル溶液１００重量部と、メタクリロイルオキシエチルイソシアナート８．４重量部との反応物。 アクリル系重合体（Ｂ） （Ｂ１）：ブチルアクリレート７５重量部、２－ヒドロキシエチルアクリレート２５重量部からなる重量平均分子量２５０，０００の共重合体の２５％酢酸エチル溶液。 （Ｂ２）：ブチルアクリレート６０重量部、メチルメタクリレート１０重量部、２－ヒドロキシエチルアクリレート３０重量部からなる重量平均分子量４００，０００の共重合体の２５％酢酸エチル溶液。 光重合開始剤（Ｃ） （Ｃ）：イルガキュアー１８４（チバ・ガイギー社製） エネルギー線重合性化合物（Ｄ） （Ｄ１）：ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート （Ｄ２）：ウレタンアクリレート（重量平均分子量３０００）」 キ　「【００８２】 【実施例１】上記成分（Ａ１）６７重量部、（Ｂ１）３３重量部、（Ｃ）１重量部および多価イソシアナート化合物（コロネートＬ（日本ポリウレタン社製））０．５重量部を混合しエネルギー線硬化型感圧粘着剤組成物を得た。このエネルギー線硬化型感圧粘着剤組成物を、乾燥後の塗布厚が１０μｍになるように、８０μｍ厚のエチレン－メタクリル酸共重合体フィルムに塗布した後、１００℃で１分間乾燥し、粘着シートを得た。 【００８３】得られた粘着シートを用いて「１８０°剥離粘着力」、「エキスパンド性（拡張率）」、「整列性」および「残留パーティクル測定」は上記のようにして評価した。結果を表１に示す。」 ク　「【実施例９】上記成分（Ａ１）５０重量部、（Ｂ１）５０重量部、（Ｃ）１重量部、（Ｄ１）２重量部およびコロネートＬ０．５重量部を用いた以外は、実施例１と同様の操作を行なった。結果を表１に示す。 【００９２】 【実施例１０】上記成分（Ａ１）５０重量部、（Ｂ１）５０重量部、（Ｃ）１重量部、（Ｄ２）５重量部およびコロネートＬ０．５重量部を用いた以外は、実施例１と同様の操作を行なった。結果を表１に示す。」 ケ　「【００９９】 【表１】 」 （６）参考資料２の記載事項 参考資料２には次の記載がある。 ア　「【請求項１】 水酸基を有するポリマー（Ａ）、活性エネルギー線硬化性化合物（Ｂ）、光重合開始剤（Ｃ）およびイソシアネート系硬化剤（Ｄ）を含んでなり、前記（Ａ）～（Ｃ）が有する水酸基の合計に対する、（Ｄ）中のイソシアネート基の当量比が１を超え３０以下であることを特徴とする活性エネルギー線粘着力消失型粘着剤組成物。 【請求項２】 水酸基を有するポリマー（Ａ）が、さらにカルボキシル基を有するポリマー(Ａ－１)であって、前記（Ａ－１）、活性エネルギー線硬化性化合物（Ｂ）、および光重合開始剤（Ｃ）が有する水酸基と、カルボキシル基との合計に対する、イソシアネート系硬化剤（Ｄ）中のイソシアネート基の当量比が０．０５～０．３５であることを特徴とする請求項１記載の活性エネルギー線粘着力消失型粘着剤組成物。 【請求項３】 基材、請求項１または２記載の活性エネルギー線粘着力消失型粘着剤組成物から形成される粘着剤層（Ｉ）および剥離シートが順次積層されてなる粘着テープであって、前記剥離シートの剥離処理面の算術平均粗さ（Ｒａ）が０．１０～２μｍであることを特徴とする粘着テープ。」 イ　「【０００５】 本発明は、電子部品や、プリント回路基板等へ表面保護や、裏面の補強用として貼付し、その貼り直し性が良好で、エッチング液やメッキ液等への薬液耐性を有し、製造工程後は活性エネルギー線照射により粘着力が低下し、糊残りなく容易に剥離可能な、活性エネルギー線粘着力消失型粘着剤組成物とそれを塗工した粘着テープを提供することを目的とする。」 ウ　「【０００９】 本発明の活性エネルギー線粘着力消失型粘着剤組成物を用いることにより、プリント回路基板等へ補強用として貼付するときの貼り直し性が良好で、エッチング液やメッキ液等への薬液耐性を有し、製造工程後は活性エネルギー線照射により糊残りなく容易に剥離可能な粘着テープを提供することができるようになった。その結果、プリント回路基板の製造時のロスを低減することが可能になり、歩留まりを向上することができた。」 エ　「【００２４】 活性エネルギー線粘着力消失型粘着剤組成物に含まれる活性エネルギー線硬化性化合物（Ｂ）の作用としては、活性エネルギー線照射により、光重合開始剤（Ｃ）が反応し、さらに活性エネルギー線硬化性化合物（Ｂ）がより高度な３次元架橋を起こすことにより、粘着剤層（Ｉ）の粘着力が低下もしくは消失して、被着体から容易に剥離可能となる。活性エネルギー線硬化性化合物（Ｂ）は官能基として（メタ）アクリロイル基（「アクリロイル基」と「メタクリロイル基」とをあわせて「（メタ）アクリロイル基」と称す）を有する化合物で、（メタ）アクリロイル基を３個以上有する多官能モノマーおよび／または（メタ）アクリロイル基を６個以上有するウレタンアクリレートオリゴマーを使用することが好ましい。活性エネルギー線硬化性化合物（Ｂ）は、水酸基を有するポリマー（Ａ）１００重量部に対して２０～３００重量部使用することが好ましく、３０～１５０重量部使用することがより好ましい。 【００２５】 活性エネルギー線硬化性化合物（Ｂ）として用いられる（メタ）アクリロイル基を３個以上有する多官能モノマーとしては、例えばトリメチロールプロパントリアクリレート、トリメチロールプロパントリメタクリレート、エトキシ化トリメチロールプロパントリアクリレート、プロポキシ化トリメチロールプロパントリアクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、テトラメチロールプロパントリアクリレート、テトラメチロールメタントリアクリレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、カプロラクトン変性トリメチロールプロパントリアクリレート、エトキシ化イソシアヌール酸トリアクリレート、トリ（２－ヒドロキシエチルイソシアヌレート）トリアクリレート、プロポキシレートグリセリルトリアクリレート、テトラメチロールメタンテトラアクリレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、ジトリメチロールプロパンテトラアクリレート、エトキシ化ペンタエリスリトールテトラアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、ネオペンチルグリコールオリゴアクリレート、１，４－ブタンジオールオリゴアクリレート、１，６－ヘキサンジオールオリゴアクリレート、トリメチロールプロパンオリゴアクリレート、ペンタエリスリトールオリゴアクリレート等が挙げられる。 【００２６】 ウレタンアクリレートオリゴマーについては、分子内にウレタン結合を有し、かつ（メタ）アクリロイル基を６個以上有するオリゴマーであればよい。ウレタンアクリレートオリゴマーの重量平均分子量は６００～２００００が好ましく、さらに６００～１００００が好ましい。２００００を超えると活性エネルギー線照射後の粘着力消失性が不足する恐れがある。またウレタンアクリレートオリゴマーは、（メタ）アクリロイル基を分子内に６～２０個有することが好ましい。６個に満たないときは活性エネルギー線照射後の粘着力消失性が不足する恐れがあり、２０個を超えても活性エネルギー線照射後の粘着力消失性をさらに向上させることは難しい。」 オ　「【００４１】 ＜ポリマー合成例１＞ ブチルアクリレート９９．３部、２－ヒドロキシエチルアクリレート０．７部、アゾビスイソブチロニトリル０．１部および酢酸エチル１５０部を原料として、窒素雰囲気下で加熱還流して、溶液重合によりポリマー合成を行った。その結果、不揮発分４０％の水酸基を有するポリマー（Ａ）溶液を得た。ポリマーの重量平均分子量（Ｍｗ）は４２万であった。 ・・・ 【００４５】 ＜ポリマー合成例５＞ ポリマー合成例１で合成した水酸基を有するポリマー（Ａ）溶液１００部に、２－メタクリロイルオキシエチルイソシアネート０．３２部およびジブチルヒドロキシトルエン０．０００３２部を加え、酸素雰囲気下で加熱して、合成を行った。その結果、不揮発分４１％の側鎖にメタクリロイル基を有するポリマー（Ａ）溶液を得た。ポリマーの重量平均分子量４４万であった。」 カ　「【００４７】 ＜粘着シート作成＞ 表１の上段に示す配合組成で攪拌混合した粘着剤組成物を、コンマコーターを使用して厚さ１００μｍの易接着処理ＰＥＴフィルム（Ｕ４２６ 東レ製）へ乾燥膜厚が２０μｍになるように塗工し、熱風乾燥オーブン通過後に、表１の下段に示す剥離シートの剥離処理面を貼り合わせて実施例１～７および比較例１～４の粘着テープを得た。 ・・・ 【００４９】 ［粘着力］ 剥離シートを剥がした粘着テープとポリイミドフィルム(カプトン１００Ｈ 東レデュポン製)をハンドローラーで貼付後に、８０℃－０．４ＭＰａ―１ｍ／ｍｉｎの条件でラミネートを行った後、引っ張り試験機（テスター産業製「ＴＥ－５０３」）を使用してＪＩＳ Ｋ６８５４に準拠したＴ型剥離試験（幅２５ｍｍ、剥離速度３００ｍｍ／ｍｉｎ）で、下記測定を行った。 貼付２０分後粘着力：貼付２０分後に測定（単位Ｎ／２５ｍｍ）。 永久粘着力：貼付２４時間後に測定。 照射後粘着力：貼付２時間以内に高圧水銀ランプを使用して、活性エネルギー線を積算照度が５００ｍＪ／ｃｍ2になるまで照射し、照射２４時間後に粘着力を測定した。 ・・・ 【００５２】 ［糊残り評価］ 薬液耐性テストで使用した試料を、乾燥後に高圧水銀ランプを使用して、積算照度が５００ｍＪ／ｃｍ2になるまで活性エネルギー線を照射した。照射１時間以内に粘着テープを剥離して、ポリイミド面の糊残りを目視にて５段階評価した。 １：点状糊残りあり。 ２：粘着テープ外周状の糊残りあり。 ３：粘着テープ外周上の一部に糊残りあり。 ４：外周状の曇りが確認されるが糊残りはない。 ５：糊残り・汚染がない。」 キ　「【００５４】 【表１】 」 ク　「【００５５】 【表２】 」 （７）参考資料３の記載事項 参考資料３には次の記載がある。 ア　「【請求項１】 ベースポリマーと分子内に放射線反応性炭素－炭素二重結合を有する放射線反応性化合物とを反応させることによって得られる（メタ）アクリル系ポリマー、及び多官能モノマーを含有し、 前記ベースポリマーは、共重合モノマー成分として、炭素数２～８の直鎖または分岐アルキル基含有（メタ）アクリル系モノマーと、水酸基含有（メタ）アクリル系モノマーと、炭素数１４～１８の直鎖アルキル基含有（メタ）アクリル系モノマーとを少なくとも有し、 前記共重合モノマー成分全量に対して、前記炭素数２～８の直鎖または分岐アルキル基含有（メタ）アクリル系モノマーの含有量が３０～８０質量％、前記水酸基含有（メタ）アクリル系モノマーの含有量が５～２０質量％、前記炭素数１４～１８の直鎖アルキル基含有（メタ）アクリル系モノマーの含有量が１０～６０質量％であり、 前記放射線反応性化合物の含有量が、前記ベースポリマー１００質量部に対して、５～２５質量部である放射線硬化性粘着剤組成物。 【請求項２】 前記多官能モノマーの含有量が、前記ベースポリマー１００質量部に対して、５～３０質量部である請求項１に記載の放射線硬化性粘着剤組成物。 【請求項３】 さらに、架橋剤、及び光重合開始剤を含有する請求項１または２に記載の放射線硬化性粘着剤組成物。 【請求項４】 基材と、前記基材の少なくとも一方の面に粘着剤層とを有するダイシング用粘着フィルムであって、 前記粘着剤層は、請求項１～３のいずれか１項に記載の放射線硬化性粘着剤組成物を含有するダイシング用粘着フィルム。」 イ　「【０００３】 上記ダイシング用粘着フィルムは、一般に、プラスチックフィルムなどの基材上に粘着剤組成物を含有する粘着剤層が形成された構成を有している。半導体素子を製造する場合、ダイシング用粘着フィルムには、ダイシング工程における粘着フィルムからの半導体素子の脱離飛散を抑えるため、ダイシング時に洗浄水の水圧が加えられても粘着フィルムから半導体素子が剥離しない程度の高い粘着力が要求される一方、ピックアップ工程における剥離時には粘着剤層が半導体ウェハを破損しない程度の低い粘着力になる軽剥離性、及び切断された半導体素子上に糊残りなどが生じない低汚染性を有することが要求されている。」 ウ　「【００１０】 本発明は上記課題を解決するものであり、本発明の目的は、放射線による硬化前では粘着力が高く、放射線による硬化後では粘着力が著しく低下する放射線硬化性粘着剤組成物を提供すること、及び前記放射線硬化性粘着剤組成物を用いることにより、ダイシング工程においては高い粘着力を有し半導体素子などの切断片の脱離飛散が抑えられるとともに、ピックアップ工程においては活性面を有する被加工物に対しても優れた軽剥離性及び低汚染性が得られる粘着剤層を有するダイシング用粘着フィルムを提供することにある。」 エ　「【００３３】 本実施の形態の放射線硬化性粘着剤組成物は、さらに分子内に放射線反応性炭素－炭素二重結合を複数有する多官能モノマーを含有する。上記の長鎖のアルキル基を有するベースポリマーを用いて得られる（メタ）アクリル系ポリマーと多官能モノマーとを併用することにより、放射線の照射で（メタ）アクリル系ポリマーが重合硬化するだけでなく、分子内に放射線反応性炭素－炭素二重結合を複数有する多官能モノマー同士も反応するため、（メタ）アクリル系ポリマーの重合物が多官能モノマーの反応物によって拘束される。さらに、（メタ）アクリル系ポリマー及び多官能モノマーいずれも放射線反応性炭素－炭素二重結合を有するから、（メタ）アクリル系ポリマーと多官能モノマーも反応する。これにより、より高密度の三次元架橋構造が形成されて放射線硬化性粘着剤組成物が硬化収縮するため、著しく粘着力を低下させることができる。 【００３４】 多官能モノマーの放射線反応性炭素－炭素二重結合の数は、一分子当たり、好ましくは２個以上であり、より好ましくは３～６個である。放射線反応性炭素－炭素二重結合の数が１個では、高分子量化しないため硬化が不充分となり粘着力が十分低下しない。このような多官能モノマーとしては、具体的には、例えば、１，６－ヘキサンジオールジ（メタ）アクリレート、（ポリ）エチレングリコールジ（メタ）アクリレート、（ポリ）プロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、ネオペンチルグリコールジ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールジ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、グリセリンジ（メタ）アクリレート、エポキシ（メタ）アクリレート、ポリエステル（メタ）アクリレート、ウレタン（メタ）アクリレート、ジビニルベンゼン、ブチルジ（メタ）アクリレート、ヘキシルジ（メタ）アクリレートなどが挙げられる。これらは、単独でまたは複数使用してもよい。これらの中でも、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、及びジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレートからなる群から選ばれる少なくとも１種が好ましい。 【００３５】 多官能モノマーの含有量は、ベースポリマー１００質量部に対して、好ましくは３～３５質量部であり、より好ましくは５～３０質量部である。多官能モノマーの含有量が３質量部以上であれば、放射線の照射により硬化が十分に促進され、粘着力をより低減することができる。一方、多官能モノマーの含有量が３５質量部以下であれば、低分子量成分による放射線による硬化前の粘着力の低下がより抑えられるとともに、放射線による硬化後の糊汚れをより低減することができる。」 オ　「【実施例】 【００５０】 ＜（メタ）アクリル系ポリマーの合成＞ 共重合モノマー成分として、炭素数２の直鎖アルキル基を含有するアクリル酸エチル（ＥＡ）、炭素数８の分岐アルキル基を含有するアクリル酸２－エチルヘキシル（ＥＨＡ）、水酸基を含有するアクリル酸２－ヒドロキシエチル（ＨＥＡ）、炭素数１４の直鎖のアルキル基を含有するアクリル酸ミリスチル（ＭＡ）、炭素数１８の直鎖のアルキル基を含有するアクリル酸オクタデシル（ＳＴＡ）、及び炭素数１２の直鎖のアルキル基を含有するアクリル酸ドデシル（ＬＡ）を準備した。これらの共重合モノマー成分を表１に示す各配合量で混合し、溶液ラジカル重合して各ベースポリマーを合成した。なお、重合にあたっては、ＧＰＣにより共重合モノマー成分の反応追跡を行い、共重合モノマー成分が消失した時点で重合を終了した。 【００５１】 次に、この各ベースポリマー１００部に対し、放射線反応性炭素－炭素二重結合を含有する２－イソシアネートエチルメタクリレート（ＩＥＭ）を、表１に示す各配合量で反応させて、各（メタ）アクリル系ポリマーを合成した。なお、上記の反応にあたっては、重合禁止剤としてヒドロキノン・モノメチルエーテル（ＭＥＨＱ）を０．０５部用いた。合成した各（メタ）アクリル系ポリマーの重量平均分子量をＧＰＣ（溶媒：テトラヒドロフラン）により測定したところ、５０万～８０万であった。 【００５２】 ＜ダイシング用粘着フィルムの作製＞ 多官能モノマーとして、ペンタエリスリトールトリアクリレート（共栄社化学社製，ＰＥ３Ａ，３官能）、及びジペンタエリスリトールヘキサアクリレート（日本化薬社製，ＤＰＨＡ，６官能）を準備した。上記のようにして得られた各（メタ）アクリル系ポリマーと、表１に示す各配合量の多官能モノマーと、架橋剤としてポリイソシアネート化合物（日本ポリウレタン社製，コロネートＬ）０．１部と、光重合開始剤として１－ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン（チバスペシャリティー・ケミカルズ社製，イルガキュア－１８４）０．５部とを混合し、各放射線硬化性粘着剤組成物を調製した。 【００５３】 次に、上記のようにして得られた各放射線硬化性粘着剤組成物を、ポリエチレンテレフタレート製セパレータ（厚み：３８μｍ）上に厚さが１０μｍとなるように塗布して粘着剤層を形成した後、１００℃で３分間加熱した。その後、粘着剤層に、片面にコロナ放電処理が施されたポリオレフィン製フィルム（厚み：１００μｍ）を貼り合わせた。貼り合せた試料を４０℃の恒温槽に７２時間保存して、各ダイシング用粘着フィルムを作製した。」 カ　「【００５６】 （放射線による硬化後の粘着力） 放射線による硬化前の粘着力の測定で用いた測定試料と同様の測定試料を作製した。この測定試料のダイシング用粘着フィルムの基材側から紫外線（照射強度：３００ｍＪ/ｃｍ２）を照射し、照射後の粘着力を上記の放射線による硬化前の粘着力と同様にして測定し、以下の基準で硬化後の粘着力を評価した。 ○：粘着力の測定値が、０．０５Ｎ／１０ｍｍ未満 △：粘着力の測定値が、０．０５Ｎ／１０ｍｍ以上、０．１５Ｎ／１０ｍｍ以下 ×：粘着力の測定値が、０．１５Ｎ／１０ｍｍ超 【００５７】 （ピックアップ性） 厚さ１００μｍの５インチのシリコンミラーウェハを鏡面研磨処理した後、直ちに２３℃の雰囲気下で研磨面にダイシング用粘着フィルムを貼り合わせた。この粘着フィルムが貼付されたウェハに洗浄水を供給しながらウェハを３ｍｍ×３ｍｍの大きさにフルカットした。 次に、ダイシング用粘着フィルムの基材側から紫外線（照射強度：３００ｍＪ/ｃｍ２）を照射し、エキスパンドした後、半導体素子を粘着フィルムから剥離して、ピックアップした。任意の半導体素子１００個をピックアップしたときに、全ての半導体素子のピックアップが成功した場合を、◎、９５～９９個の半導体素子のピックアップが成功した場合を、○、５０～９４個の半導体素子のピックアップが成功した場合を、△、それ以外を、×としてピックアップ性を評価した」 キ　「【００５８】 【表１】 」 ク　「【００６３】 そして、長鎖のアルキル基を有する共重合モノマー成分を一定量含有するベースポリマーと一定量の放射線反応性化合物とを反応させた（メタ）アクリル系ポリマー、及び多官能モノマーを一定量含有する放射線硬化性粘着剤組成物を用いた場合、硬化前では粘着力が高く、硬化後では著しく粘着力が低下することが分かる。特に、多官能モノマーをベースポリマーに対して、５～３０質量部用いた場合、硬化前により高い粘着力を有し、且つ硬化後に低い粘着力を有する粘着剤層が得られることが分かる。このため、これらの放射線硬化性粘着剤組成物を用いた場合、ダイシング時に半導体素子の脱離飛散も観察されず、またピックアップ工程において全ての半導体素子をピックアップすることができた。なお、多官能モノマーを３５質量部含有する放射線硬化性粘着剤組成物を用いた場合、得られた半導体素子の表面に若干糊汚れが観察された。 【００６４】 これに対して、同一の（メタ）アクリル系ポリマーを用いても、多官能モノマーを含有しない放射線硬化性粘着剤組成物は、硬化後にある程度粘着力が低下するが、多官能モノマーを併用した場合に比べて、粘着力の低下が少ないことが分かる。」 （８）参考資料４の記載事項 参考資料４には以下の事項が記載されている。 ア　１頁左下欄４～１２行 「２．特許請求の範囲 （１）分子内に放射線重合性の不飽和結合を有してなるヨウ素価が０．５～２０であるアクリル酸アルキルエステル系および／またはメタクリル酸アルキルエステル系の重合性ポリマーと、このポリマー１００重量部に対して１～５０重量部となる割合の放射線重合性の多官能オリゴマーとを主成分として含む再剥離型粘着剤。」 イ　２頁左上欄３行～右上欄１２行 「　〔発明が解決しようとする課題〕 しかるに、上記公知の粘着シートでは、粘着剤中の多官能オリゴマーの量が少ないと、放射線の照射による重合硬化速度が遅くなるうえに、接着力の低下も小さくなり、一方上記の量を多くすると、放射線の照射前の凝集力が小さくなって素子小片への切断時にズレが生じやすく、また硬化後は粘着剤の伸びが小さくなり、素子小片を分離しピックアップする際に粘着シートを引き伸ばしたとき、粘着剤層にクラックが発生して、素子小片が飛散するといった不具合があった。 したがって、この発明は、多官能オリゴマーの多少に起因した上述の如き問題を回避して、半導体ウェハの素子小片への切断作業やピックアップ作業をより良好に行えるような再剥離型粘着剤を提供することを目的としている。 〔課題を解決するための手段〕 この発明者らは、上記の目的を達成するために鋭意検討した結果、粘着剤のベースポリマーとして分子内に放射線重合性の不飽和結合を導入した特定のアクリル酸アルキルエステル系および／またはメタクリル酸アルキルエステル系ポリマーを用い、このポリマーに多官能オリゴマーを配合するようにすると、放射線照射前の凝集力や接着力が大きく、しかも放射線の照射による重合硬化速度が速くてかつ硬化後の接着力の低下の大きい再剥離型粘着剤が得られ、これによれば半導体ウェハの素子小片への切断作業やピックアップ作業の大幅な改善を図れるものであることを知り、この発明を完成するに至った。」 ウ　２頁左下欄１３～１８行 「このような重合性ポリマーに放射線重合性の多官能オリゴマーを配合すると、放射線の照射により粘着剤層の全体が均一にかつ速やかに重合架橋して一体化するため、重合硬化による弾性率の増加が著しくなって、接着力の低下が大きくなる。」 エ　３頁左下欄１１行～４頁左上欄２行 「この発明において用いる多官能オリゴマーは、その分子量が通常１０，０００以下であるのがよく、より好ましくは放射線の照射による粘着剤層の三次元網状化が効率よくなされるように、その分子量が５，０００以下でかつ分子内の放射線重合性の不飽和結合の数が２～６個のものを用いるのがよい。このような特に好適な多官能オリゴマーとしては、たとえばトリメチロールプロパントリアクリレート、テトラメチロールメタンテトラアクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、ジペンタエリスリトールモノヒドロキシペンタアクリレート、ジペンタエリスリトールへキサアクリレートまたは上記同様のメタクリレート類などが挙げられる。その他、１・４－ブチレングリコールジアクリレート、１・６－ヘキサンジオールジアクリレート、ポリエチレングリコールジアクリレート、市販のオリゴエステルアクリレートまたは上記同様のメタクリレート類なども使用することができる。 多官能オリゴマーとしては、上記の化合物のうちの１種を単独で用いてもよいし２種以上を併用してもよい。その使用量は、上記の重合性ポリマー１００重量部に対して、１～５０重量部、好適には５～２０重量部である。１重量部未満となると、放射線の照射による重合硬化後のガラス転移点の上昇が小さくかつ架橋率も小さいため、接着力の低下が小さくなる。また５０重量部を超えると、放射線照射前の粘着剤の可塑化が著しくなって半導体ウェハの切断時にズレや接着不良が発生し、また放射線照射後は粘着剤の伸びの不足などの不具合が生じてくる。」 オ　４頁右下欄１４行～５頁左上欄３行 「〔発明の効果〕 以上のように、この発明においては、特定の重合性ポリマーに多官能オリゴマーを特定量配合する構成としたことにより、放射線照射前の凝集力や接着力が大きく、しかも放射線の照射による重合硬化速度が速くてかつ硬化後の接着力の低下の大きい再剥離型粘着剤を得ることができ、この粘着剤によれば半導体ウェハの素子小片への切断作業やピックアップ作業の大幅な改善を図ることができる。」 カ　５頁左上欄１０行～左下欄１３行 「実施例１ アクリル酸ｎ－ブチル７９部、アクリル酸エチル１５部、アクリル酸１部およびアクリル酸２－ヒドロキシエチル５部を、トルエン中で常法により共重合して、重量平均分子量が６５万の官能基含有ポリマーを含む固形分濃度が３５重量％のポリマー溶液を得た。 つぎに、このポリマー溶液に、官能基含有ポリマー１００部に対してメタクリル酸２－イソシアネートエチル（昭和ローデイオ社製のＭＤＩ）３．５部を加え、４０℃で６時間かけて反応させることにより、ヨウ素価が５．２の重合性ポリマーを含むポリマー溶液とした。 この重合性ポリマー溶液に、重合性ポリマー１００部に対してペンタエリスリトールトリアクリレート２０部、ベンゾフェノン０．５部およびポリイソシアネート化合物（日本ポリウレタン社製のコロネートＬ）０．３部を配合し、再剥離型粘着剤の溶液を調製した。 この溶液を厚さが３８μｍのポリプロピレンフィルムに塗布し、加熱乾燥して、厚さが１０μｍの粘着剤層を形成し、その上面に剥離紙を貼り合わせて粘着シートとした。剥離紙を除去し、直径１０１のシリコンウェハを粘着剤層面に貼り合わせて、ＪＩＳ－Ｚ－０２３７に基づき初期接着力を測定したところ、５５０ｇ／２５ｍｍであったが、粘着剤層に電子線を実効吸収線量２Ｍｒａｄ（電圧１５０ＫｅＶ、電流５ｍＡ）照射したのち、その接着力を調べたところ、１０ｇ／２５ｍｍと著しく低下していた。 つぎに、この粘着シートに直径５インチの大きさの半導体ウェハを貼り付け、回転丸刃を用いて５０ｍｌの大きさの素子小片に切断した。この切断は２ｋｇ／ｃｍ２の水圧の水で洗浄しながら行ったものであるが、その際に素子小片が剥がれ落ちることはなかった。この切断後、粘着シートの基材側から高圧水銀ランプ（４０Ｗ／ｃｍ）で発生した光を集光して５秒間ピックアップするべき素子小片に対応する部分にのみ光照射したのち、この照射部分の素子小片をニードルで突き上げるとともに、エアピンセットで吸着することにより、ピックアップした。このピックアップ作業は非常に容易で、しかも粘着剤層の素子小片への移行は認められず、隣接する素子小片の飛散も生じなかった。」 キ　６頁左上欄１５行～右上欄６行 「比較例１ ペンタエリスリトールトリアクリレート２０部を用いなかった以外は、実施例１と同様にして再剥離型粘着剤の調製および粘着シートの作製を行った。この粘着シートの初期接着力および電子線照射後の接着力を調べたところ、初期接着力は４５０ｇ／２５ｍｍ、電子線照射後の接着力は１８０ｇ／２５ｍｍであった。また、この粘着シートを用いて実施例１と同様の方法で半導体ウェハの切断およびピックアップ作業を行ってみたところ、切断作業は良好に行えたが、ピックアップ作業はうまく行えなかった。」 ２　本件発明１について （１）甲１発明の認定 ア　前記１（１）クに摘記した甲１の段落【００３８】～【００４０】に記載された実施例２（以下「甲１実施例２」という。）に注目し、以下検討する。 イ　モノマーについて （ア）甲１実施例２におけるポリマーを構成するモノマーの組成は、前記１（１）キに摘記した甲１の段落【００３４】～【００３７】に記載された実施例１と同じであるから、甲１の段落【００３６】にあるように、「ブチルアクリレート８０ｇおよびトリメチルシリルオキシエチルアクリレート２０ｇ」である。 （イ）トリメチルシリルオキシエチルアクリレートは、段落【００３６】に記載のように重合後「保護基であるトリメチルシリル基を脱離させ末端をＯＨ化」されることから、ヒドロキシエチルアクリレート単位となっていると認められる。なお、前記１（４）イに摘記した甲４の記載から、ヒドロキシエチルアクリレートにトリメチルシリルクロリドを反応させることでトリメチルシリルオキシエチルアクリレートが得られると推認できる。 ウ　重合反応について 前記１（１）オに摘記した甲１の段落【００１８】には、「サマリウム錯体を開始剤とする配位重合」と記載されており、前記実施例２においても、サマリウム錯体が用いられているから、配位重合であると認められる。 エ　放射線について 前記１（１）クに摘記した甲１の段落【００３９】に記載の「放射線硬化型」とは、前記１（１）ケに摘記した甲１の段落【００４４】の「実施例２、比較例３については加工処理後に紫外線を照射」という記載から、紫外線硬化型であることが理解できる。 オ　甲１発明 以上から、甲１には、「ブチルアクリレート８０ｇ及びヒドロキシエチルアクリレートをトリメチルシリル基によって保護したトリメチルシリルオキシエチルアクリレート２０ｇを配位重合すると共にトリメチルシリル基を脱離されて得られる重量平均分子量５４．５万、分散度１．４１のアクリル系共重合体ポリマーに、さらに５ｇの２－メタクリロイルオキシエチルイソシアネートを反応させた紫外線硬化型樹脂溶液に、イソシアネート系架橋剤とアセトフェノン系光重合開始剤を加えて得られた粘着剤を、フイルム上に塗布して乾燥させた粘着剤層を有する粘着シート」の発明（以下「甲１発明」という。）が記載されているといえる。 （２）対比 ア　分散度について （ア）前記１（１）ウに摘記したように、甲１の段落【０００８】に「分散度（重量平均分子量／数平均分子量）」と記載されているから、甲１発明の分散度は本件発明の「分子量分布（Ｍｗ／Ｍｎ）」と同義である。 （イ）甲１発明における分散度１．４１は、本件発明１に規定される「分子量分布（Ｍｗ／Ｍｎ）＝１．０５～２．５」を充足する。 イ　２－メタクリロイルオキシエチルイソシアネートについて （ア）前記（１）イ（イ）において検討したように、末端をＯＨ化された状態で、２－メタクリロイルオキシエチルイソシアネートと反応させると、ＯＨ基がイソシアネート基と反応することは技術常識であって、この場合、メタクリロイル基が上記ポリマーに導入され、その基に含まれる炭素同士の２重結合部分が重合可能であることも技術常識である。また、甲１発明は、前記（１）エで検討したように、紫外線照射により重合するものである。 （イ）そうすると、甲１において２－メタクリロイルオキシエチルイソシアネートを反応させることは、本件発明１における「ポリマーの側鎖に紫外線硬化が可能な重合性基を導入した」及び「前記（メタ）アクリルポリマーは、・・・ポリマーに、前記官能基と反応可能であり、かつ、紫外線硬化が可能な重合性基を有する化合物を反応させて得られたものである」に相当する。 ウ　モノマー混合物について （ア）甲１発明の「ブチルアクリレート８０ｇ及びヒドロキシエチルアクリレートをトリメチルシリル基によって保護したトリメチルシリルオキシエチルアクリレート２０ｇ」のうち、ブチルアクリレートには、官能基が存在しないが、トリメチルシリルオキシエチルアクリレートには、保護基で保護された潜在的な官能基が存在するといえる。保護基をその後除去することは、当然必要なことであるからである。 （イ）そうすると、甲１発明の「ブチルアクリレート８０ｇ及び・・・トリメチルシリルオキシエチルアクリレート２０ｇ」は、本件発明１における「官能基を有する（メタ）アクリルモノマーを含有するモノマー混合物」に相当し、混合物におけるトリメチルシリルオキシエチルアクリレートは、２０重量％であるから、本件発明１の「１重量％以上２５重量％以下」を充足する。 エ　共重合について （ア）甲１発明における共重合は、前記ウのようにモノマーの混合物の共重合であり、甲１にブロック共重合という明示がないから、ランダム共重合であることが推認できる。 （イ）そうすると、甲１発明における重合は、本件発明１の「ランダム共重合」に相当する。 オ　粘着テープについて （ア）「テープ」とは、前記１（１）カに摘記した甲１の段落【００２７】に記載されているように、シートを巻いたものとも解される。 （イ）しかしながら、本件特許明細書の段落【００５６】の「厚み５０μｍの離型処理したＰＥＴフィルムに、得られた粘着剤溶液を、乾燥後の粘着剤層の厚みが５０μｍとなるように塗工した後、７０℃で１０分間乾燥させ、粘着テープを得た。」と記載されており、巻く工程の記載がないことから、本件発明における「粘着テープ」は、単なる「粘着シート」を指していると解される。 カ　一致点 以上から、本件発明１と甲１発明は次の点で一致する。 「粘着剤層を有する粘着テープであって、前記粘着剤層は、分子量分布（Ｍｗ／Ｍｎ）１．０５～２．５の重合ポリマーの側鎖に紫外線硬化が可能な重合性基を導入した（メタ）アクリルポリマーを含有し、 前記重合ポリマーは、官能基を有する（メタ）アクリルモノマーを含有するモノマー混合物を共重合させて得られたランダム共重合体であり、 前記モノマー混合物における前記官能基を有する（メタ）アクリルモノマーの含有量が１重量％以上２５重量％以下であり、 前記（メタ）アクリルポリマーは、前記重合ポリマーに、前記官能基と反応可能であり、かつ、紫外線硬化が可能な重合性基を有する化合物を反応させて得られたものであることを特徴とする粘着テープ。」である点。 キ　相違点 本件発明１と甲１発明は次の点で相違する。 （ア）相違点１ 重合について、本件発明１においては、「リビングラジカル重合」であるのに対し、甲１発明においては、「配位重合」である点。 （イ）相違点２ 粘着剤層について、本件発明１においては、「ラジカル重合性の多官能オリゴマー又はモノマー」を含有するのに対し、甲１発明においては、当該成分を含有しない点。 （３）本件発明１についての判断 ア　相違点１について （ア）前記１（１）オに摘記した甲１の段落【００１８】には、「このようなベースポリマーは、例えば金属の酸化・還元反応を利用したリビングラジカル重合、サマリウム錯体を開始剤とする配位重合などの開始、成長反応が完全に制御されながら重合反応が進行する、いわゆるリビング重合法を採用することができる。」と記載されており、リビングラジカル重合についても示唆がされている。 （イ）前記１（２）イ（エ）、（オ）に摘記したように、甲２には、粘着剤に用いるポリマーの分子量分布を幅狭くするために、リビングラジカルポリマーを採用することが記載され、具体的に、前記２（２）イ（カ）、（キ）に摘記したように、「ポリアクリル酸ｎ－ブチル－ｃｏ－ポリメタクリル酸ヒドロキシエチル」が合成可能であることが示されている。 （ウ）前記１（３）エに摘記したように、甲３には、（メタ）アクリル酸エステル系共重合体を主剤とするアクリル系粘着剤低分子量成分を減少させるためにリビングラジカル重合を重合方法とすることが記載され、前記１（３）オに摘記したように具体的な実施例として、リビングラジカル重合により粘着剤用の（メタ）アクリル酸系ランダム共重合体が合成可能であることが示されている。 （エ）そうすると、甲１発明及び甲１の段落【００１８】の記載を動機づけとして、甲２及び甲３に記載された事項を採用して、本件発明１は当業者が容易に想到できるものという他ない。 （オ）なお、重合方法が本件発明１のように「リビングラジカル重合」であるか、甲１発明のように「配位重合」であるかに応じて、モノマーが持つ水酸基のような官能基について、保護基による保護が必要ないか、必要があるかの相違もあるが、保護基により保護されても官能基を有することに相違がないことは、前記（２）ウ（ア）において、「トリメチルシリルオキシエチルアクリレート」が官能基を有すると認定したとおりである。 イ　相違点２について （ア）甲１発明は、前記１（１）に摘記したように、ウエハ加工用粘着シート用をその用途とするものであり、その重要な機能は、前記１（１）コに摘記したように、放射線照射により粘着力を低下した状態で剥離した後の転写汚染物質を少なくすることである。 （イ）周知技術の認定 ａ　前記１（５）ウに摘記したように参考資料１には、「エネルギー線に対する硬化特性を制御するために、エネルギー線硬化型感圧粘着剤組成物に低分子量のエネルギー線重合性化合物（Ｄ）を添加することもできる。」とされ、具体的には、前記２（５）オに摘記したように、「（Ｄ１）：ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、（Ｄ２）：ウレタンアクリレート」が用いられ、これらは、本件発明１の「ラジカル重合性の多官能オリゴマー又はモノマー」に相当する。 そして、前記１（５）ケに摘記した表１から残留パーティクルが減少していることが読み取れる。 ｂ　前記１（６）ア、エに摘記したように参考資料２には、「水酸基を有するポリマー（Ａ）、活性エネルギー線硬化性化合物（Ｂ）、光重合開始剤（Ｃ）およびイソシアネート系硬化剤（Ｄ）を含」む「活性エネルギー線粘着力消失型粘着剤組成物」に用いられる、「活性エネルギー線硬化性化合物（Ｂ）は官能基として（メタ）アクリロイル基（「アクリロイル基」と「メタクリロイル基」とをあわせて「（メタ）アクリロイル基」と称す）を有する化合物で、（メタ）アクリロイル基を３個以上有する多官能モノマーおよび／または（メタ）アクリロイル基を６個以上有するウレタンアクリレートオリゴマーを使用することが好ましい。」とされ、具体的には、前記１（６）キに摘記した表１の注記にあるように、多官能モノマーとして「アクリロイル基３　ライトアクリレートＴＭＰ　共栄社化学製」が用いられ、ウレタンアクリレートオリゴマーとして「ウレタンアクリレートオリゴマーＡ（アクリロイル基６　Ｍｗ１０００）等が用いられており、これらは、本件発明１の「ラジカル重合性の多官能オリゴマー又はモノマー」に相当する。 そして、それにより前記１（６）クに摘記した表２から「糊残り評価」が高くなっていることが読み取れる。 ｃ　前記１（７）エに摘記したように参考資料３には、「本実施の形態の放射線硬化性粘着剤組成物は、さらに分子内に放射線反応性炭素－炭素二重結合を複数有する多官能モノマーを含有する。」とされ、具体的には、前記１（７）オに摘記した段落【００５２】に「ペンタエリスリトールトリアクリレート（共栄社化学社製，ＰＥ３Ａ，３官能）、及びジペンタエリスリトールヘキサアクリレート（日本化薬社製，ＤＰＨＡ，６官能）」と記載され、これらは、本件発明１の「ラジカル重合性の多官能オリゴマー又はモノマー」に相当する。 そして、前記１（７）キに摘記した表１から、多官能モノマーを添加することによりピックアップ性が向上していることが読み取れる。 ｄ　前記１（８）エに摘記したように参考資料４には、「この発明において用いる多官能オリゴマーは、その分子量が通常１０，０００以下であるのがよく、より好ましくは放射線の照射による粘着剤層の三次元網状化が効率よくなされるように、その分子量が５，０００以下でかつ分子内の放射線重合性の不飽和結合の数が２～６個のものを用いるのがよい。このような特に好適な多官能オリゴマーとしては、たとえばトリメチロールプロパントリアクリレート・・・」と記載され、具体的には、前記１（８）カに摘記したように「ペンタエリスリトールトリアクリレート」を用いて実証されており、これは本件発明１の「ラジカル重合性の多官能オリゴマー又はモノマー」に相当する。 これにより、前記１（８）カ、キに摘記したように、ペンタエリスリトールトリアクリレートを用いない場合（比較例１）よりも、ピックアップ性が向上することが記載されている。 ｅ　以上から、ウエハ加工用粘着シート用粘着剤において、放射線照射により粘着力を低下した状態で剥離した後の転写汚染物質を少なくために、「ラジカル重合性の多官能オリゴマー又はモノマー」を添加することは、本件元出願前に周知の技術であったと認められる。 ウ　阻害要因について （ア）前記第５、１（１）ウに摘記した甲１の従来技術を説明する段落【０００５】には、「そして、通常、放射線照射後に粘着力が大きく低下するという特性を付与するため、放射線重合性化合物としては、１分子内に炭素－炭素二重結合を２個以上有するいわゆる多官能化合物が多く用いられている。このような放射線硬化型粘着剤に放射線を照射すると、放射線重合性化合物が反応して三次元網状構造が速やかに形成され、粘着剤全体が急激に反応・硬化し、粘着力が低下するものとされている。しかしながら、このような多官能化合物は分子量１０万未満のオリゴマーまたはモノマーの低分子量成分である場合が多く、前述の理由により転写汚染物の問題は解消できない。」と記載されている。 （イ）前記第５、１（１）コに摘記した甲１の段落【００４９】には、「放射線硬化型粘着剤を調製する場合に、分子量１０万未満の放射線重合性化合物を混合するような構成では転写汚染物、クラックの問題を解消できない」と記載されている。 （ウ）そして、甲１発明における放射線重合性化合物は全て分子量１０万以上の放射線重合性化合物となっており、それにより転写汚染物の問題を解消したというのであるから、分子量１０万以上の放射線重合性化合物でない放射線重合性化合物である「ラジカル重合性の多官能オリゴマー又はモノマー」を添加することによって、転写汚染物の問題が発生すると予測されることになる。 （エ）一方、前記１（１）オに摘記した甲１の段落【００１９】には、「放射線硬化型ポリマーは、炭素－炭素二重結合をポリマー側鎖または主鎖中もしくは主鎖末端に有するものであり、低分子成分であるオリゴマー成分等を含有する必要がなく、または多くは含まないため、経時的にオリゴマー成分等が粘着剤在中を移動することなく、安定した層構造の粘着剤層を形成することができる」と記載されているが、「オリゴマー成分等を多くは含まない」という記載は、前記ａに摘記した甲１の段落【０００５】、【００４９】の記載から把握できる甲１全体の記載と整合せず、当業者が甲１の段落【００１９】の記載から何らかの発想を得ると言うことはできない。 （オ）そうすると、甲１発明に対して相違点２に係る構成を備えさせることには、そもそも動機付けがないことに加えて、阻害要因があって、当業者が容易に想到しうることということはできない。 カ　小括 以上に検討したように、本件発明１は、甲１発明及び甲第２、３号証に記載された技術事項並びに参考文献１～４に示される原出願前周知の技術事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができた発明ということはできないから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない発明とはいえず、特許法第１１３条第２号の規定により本件発明１に係る特許は取り消すべきものとすることはできない。 ３　本件発明３、４に対して 本件発明３、４は、本件発明１を包含し、さらに特定事項を追加するものであるから、本件発明１と同様に本件発明１は、甲１発明及び甲第２、３号証に記載された技術事項並びに参考文献１～４に示される原出願前周知の技術事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができた発明ということはできないから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない発明とはいえず、特許法第１１３条第２号の規定により本件発明１に係る特許は取り消すべきものとすることはできない。 ４　進歩性についての小括 以上のように、本件発明１、３、４に係る発明は、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない発明とはいえないから、本件発明１、３、４に係る特許を取り消すことはできない。 第７　本件通知に採用しなかった申立理由について １　特許異議申立書における申立人の主張 （１）申立人は、特許異議申立書において、本件発明１～６について、（１）官能基を有する（メタ）アクリルモノマーの種類及び配合割合、（２）コモノマーの種類及び配合割合、（３）重合開始剤などが特定されていないから、本件明細書における実施例を拡張一般化することができず、本件発明１～６の記載は、特許法第３６条第６項第１号に規定する要件を満たさないと主張する。 （２）しかしながら、申立人は本件発明１～６における具体的に課題が解決できない態様について主張・立証していないから、申立人の主張は採用できない。 ２　意見書（申立人）における申立人の主張 （１）申立人は、令和３年１月２２日提出の意見書において、本件発明１、３、４に係る発明は、実施例による裏付けを欠いているから、本件特許明細書に記載された本件発明が解決しようとする課題が解決できるといえないから、本件特許請求の範囲の請求項１、３、４の記載は、特許法第３６条第６項第１号に規定する要件を満たさないと主張する。 （２）しかしながら、「ラジカル重合性の多官能オリゴマーまたはモノマーを含有」させることは、前記第６、１（５）～（８）において摘記したように本件の原出願日前に周知の技術事項であって、本件特許明細書に実施例がないとしても、前記第２、２（２）ウに摘記した本件特許明細書の段落【００３６】に記載のように「粘着剤層の紫外線硬化性が向上する」程度に、「ラジカル重合性の多官能オリゴマーまたはモノマーを含有」させることによって本件発明１、３、４の課題が解決できることは本件明細書から読み取れる事項であるから、申立人の主張は採用できない。 第８　むすび １　本件訂正は認められる。 ２　本件発明１～６に係る特許については、特許異議の申立ての理由により取り消すべきものといえず、また、他に取り消すべき理由を発見しない。 ３　よって、結論のとおり決定する。