2016-005506

特願２０１４－１１４６４０「プロセス制御システム用のレシピ情報を表示するための方法及び機器」拒絶査定不服審判事件〔平成２６年１０月２日出願公開、特開２０１４－１８６７４６〕について、次のとおり審決する。

【結　論】 本件審判の請求は、成り立たない。

【理　由】 １　手続の経緯・本願発明 本願は、平成２０年１２月１７日（パリ条約による優先権主張２００７年１２月２１日、アメリカ合衆国）に出願した特願２００８－３２０９２１号の一部を、平成２６年６月３日に新たな特許出願としたものであって、平成２７年１２月７日付けで拒絶査定がなされ、それに対して、平成２８年４月１４日に拒絶査定不服審判が請求されたものである。 一方、当審において、平成２９年９月８日付けで拒絶理由を通知し、応答期間内である平成２９年１２月７日に意見書及び手続補正書が提出された。 そして、本願の請求項１ないし１１に係る発明は、平成２９年１２月７日付け手続補正書により補正された特許請求の範囲の請求項１ないし１１に記載された事項により特定されるものと認められるところ、その請求項１の記載は以下のとおりのものである。 「【請求項１】 プロセス制御システム用のレシピ情報を表示するための方法であって、 前記プロセス制御システムにおいて実行されている、複数の工程フェーズを含むレシピに関連するユーザインタフェース画面であって、レシピ解析ツールアイコンを含むユーザインタフェース画面を表示し、 前記ユーザインタフェース画面内に、前記レシピの全体の進展を示すようにレシピ進捗表示と、前記レシピの前記複数の工程フェーズの進展を示すように複数の工程段階進捗表示と、を表示し、前記複数の工程段階進捗表示の各々が前記レシピの前記複数の工程フェーズの少なくとも一つに対応し、前記複数の工程段階進捗表示の各々のため、前記工程段階進捗表示の全体の塗潰し量は、対応する工程フェーズに対する工程段階によって要求される時間又は作業の量を示し、 前記プロセス制御システムから受信された情報に基づいて、前記レシピの全体における進捗状況を示すレシピ進捗情報と、前記複数の工程フェーズの第１の工程フェーズにおける進捗状況を示す工程フェーズ進捗情報とを生成し、前記レシピ進捗情報は、前記レシピ進捗表示の部分的な塗潰し量を示し、前記工程フェーズ進捗情報は、前記工程段階進捗表示の部分的な塗潰し量を示し、 前記工程段階進捗表示を前記工程フェーズ進捗情報と関連させ、 前記レシピ進捗情報に基づきリアルタイムで、前記レシピ進捗表示の前記部分的な塗潰し量を更新すると共に、前記工程フェーズ進捗情報に基づきリアルタイムで、前記複数の工程段階進捗表示の第１の工程段階進捗表示の前記部分的な塗潰し量を更新し、 第１の工程段階進捗表示に対応する工程フェーズに関連するレシピ解析ツールアイコンを選択し、 前記レシピ解析ツールアイコンの選択に応答して、前記第１の工程段階進捗表示を表示するとともに、実行中のレシピに関連するパラメータについての予測値を表示すること、 を含む方法。」（以下「本願発明」という） ２　当審が通知した拒絶の理由 当審が平成２９年９月８日付けで通知した拒絶理由の概要は、以下のとおりである。 本件出願の請求項１ないし１１に係る発明は、その出願前に日本国内又は外国において、頒布された下記の刊行物に記載された発明又は電気通信回線を通じて公衆に利用可能となった発明に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。 記 １：特開２００３－３７０３２号公報 ２：特開２００７－５６１７号公報 ３：特開平５－５３６４１号公報 ４：実願昭６０－１５８２３号（実開昭６１－１３２８８５号）のマイクロフィルム（周知文献） ３　引用文献の記載事項 （１）引用文献１ 当審が通知した上記拒絶の理由で引用した特開２００３－３７０３２号公報（以下「引用文献１」という）には、次の事項が記載されている。（下線は理解の便のため、当審で付した） ａ　「【０００１】 【発明の属する技術分野】本発明は、半導体ウエハ等の被処理体の処理装置及び処理装置の処理状況表示方法に関する。」 ｂ　「【００１２】そして、上記加熱ヒータ６へ電力供給、上記流量制御機構１０、上記真空引き機構１６、上記ボート昇降エレベータ２４及び上記昇降エレベータ３４等は、コンピュータよりなる制御本体４０により自動的に制御されることになる。この場合、前述したように、一連の処理を行うためにレシピと称するプログラムが予め制御本体４０内に組み込まれており、必要に応じてレシピが開始できるようになっている。また、このレシピプログラムは、当然のごとく多数のステップよりなり、レシピ実行時には１つずつこのステップを順次消化して行くことになる。また、この制御本体４０は内部に日時も含めて時を刻むことができるタイマを有しており、上記レシピの開始及び終了の時刻やレシピ内の各ステップの開始及び終了の時刻等を検知できるようになっている。」 ｃ　「【００１３】そして、この制御本体４０には、例えばマイクロコンピュータ等よりなる時間演算制御手段４２が接続されており、この時間演算制御手段４２には、例えば書き換え可能なメモリよりなる時間記憶手段４４及び液晶表示ディスプレイ（ＬＣＤ）等よりなる表示手段４６がそれぞれ接続されている。上記時間記憶手段４４は、少なくもレシピ基準総時間を記憶しており、このレシピ基準総時間は当該レシピを開始してから終了するまでの時間の予測時間、或いは実測時間で定義され、必要な場合には、更新されて新しい実測時間で入れ替えられる。当該レシピが一度も実行されたことがない場合には、このレシピ基準総時間として、経験則に基づいて予め設定される予測時間が記憶され、実際にレシピが実行された時には、この時の実測時間で上記経験則に基づいて設定した予測時間を更新する。 【００１４】上記時間演算制御手段４２は、少なくともレシピの開始からの経過時間と上記レシピ基準総時間とに基づいてこのレシピの進み具合、すなわち進捗率を求める。この進捗率は次の式で与えられる。 進捗率（％）＝［レシピ経過時間／レシピ基準総時間］×１００ また、この時間演算制御手段４２は、上記進捗率の他に、レシピの終了予定時刻、レシピが終了するまでの残り時間、現在実行中のステップの経過時間等を演算によって求める。例えばレシピの終了予定時刻は次の式で与えられる。 レシピ終了予定時刻＝レシピの開始時刻＋レシピ基準総時間 また、レシピ終了までの残り時間は次の式で与えられる。 残り時間＝レシピ基準総時間－レシピ経過時間 【００１５】上記表示手段４６は、上記各求めた時間、或いは時刻を視覚的に表示するものである。従って、ここでは図２に示すように、この表示手段４６は、上記進捗率を表示する進捗率表示部４６Ａ、上記経過時間を表示する経過時間表示部４６Ｂ、レシピの開始時刻と終了予定時刻とを表示する時刻表示部４６Ｃ、上記残り時間を表示する残り時間表示部４６Ｄ、現在実行中のステップの経過時間を表示するステップ経過時間表示部４６Ｅ及び現在実行中のステップ名を表示するステップ表示部４６Ｆをそれぞれ有している。上記ステップ表示部は図示例では３つの表示欄があって現在実行中のステップ名が常に中央に位置するように表示され、１つのステップが終了する毎に上方へ、或いは下方へ表示が１欄ずつスクロールされる。図示例では中央のステップ名が、他よりも輝いて（明るく）表示されており、現在実行中である旨を示している。」 【図２】 ｄ　「【００１６】次に、以上のように構成された本実施例の動作について、図４に示すフローも参照して説明する。ここでは、半導体ウエハＷに対する処理として成膜を行う場合を例にとって説明する。この成膜処理を行うには、予めプログラム化されたレシピを作成し、このプログラムを実行することにより、成膜が行われる。前述したように、このレシピは、多数のステップにより構成されており、図３にレシピを構成する各ステップと、その時のウエハ温度との関係を示している。図示例では、説明の簡単化のために全部で７つのステップしか記載していないが、実際には、数１００のステップを有している。 【００１７】ステップ１は５分程度要し、室温の処理容器４の温度をウエハのロードを行う温度、例えば２００℃まで昇温する。ステップ２は１０分程要し、処理容器４内へウエハをロードする。ステップ３は８分程要し、ウエハをプロセス温度（成膜温度）例えば６００℃程度まで昇温する。ステップ４は２０分程要し、ウエハ温度をプロセス温度にて安定化させる。ステップ５は１２０分程要し、成膜ガスを流して実際に膜付け（成膜処理）を行う。ステップ６は８分程要し、ウエハ温度をアンロード可能な温度、例えば２００℃程度まで降温する。ステップ７は９分程要し、ウエハボート３０を降下させてアンロードする。以上の各ステップ１～７を実行することにより、レシピの実行が１回終了することになる。 【００１８】まず、時間記憶手段４４には、予めレシピ基準総時間が記憶されている。ここでは、直前に行ったこのレシピの開始から終了までに要した時間を、更新して記憶しておくものとする。この時のレシピ基準総時間は、一例として図３に示されているような時間とし、１８０分間が終了に要している。また、図３には、各ステップ１～７を実行するための時間の内訳も示している。図２の表示内部について説明すると、このレシピの開始時刻は２時１０分３０秒であり、終了予定時刻は、レシピ基準総時間（１８０分）後の５時１０分３０秒である。現在のレシピ開始後の経過時間は１時間（６０分）であり、従って、レシピ終了後までの残り時間は、２時間（１２０分＝１８０分－６０分）である。この時のレシピの進捗率は３３％（＝６０分／１８０分）である。現在実行中のステップは”ステップ５”であり、そのステップ５を開始してからの経過時間は１７分である。」 ｅ　「【００１９】次に、図４を用いて一連の各工程の流れについて説明する。尚、これ以降説明するフローの各ステップは、例えば制御本体４０より発せられる基準クロックに基づいて順次実行される。まず、制御本体４０の指令によりレシピが開始されたか否かが判断され（Ｓ１）、レシピが開始されるとタイマの計測が開始される（Ｓ２）。そして、このレシピの開始時刻及びレシピの進行にともなう経過時間が、時間演算制御手段４２の指示により表示手段４６の所定の表示部、すなわち、時刻表示部４６Ｃの開始時刻の欄及び経過時間表示部４６Ｂにそれぞれ表示される（Ｓ３）。次に、時間演算制御手段４２は、上記レシピの開始時間と、時間記憶手段４４に記憶されているレシピ基準総時間とに基づいてこのレシピの終了予定時刻を求め（Ｓ４）、その時刻を表示手段４６の時刻表示部４６Ｃの終了予定時刻の欄に表示する（Ｓ５）。次に、上記時間演算制御手段４２は、上記レシピ基準総時間と経過時間とに基づいてレシピが終了するまでの残り時間を求め（Ｓ６）、この求めた残り時間を表示手段４６の残り時間表示部４６Ｄに表示する（Ｓ７）。 【００２０】次に、上記時間演算制御手段４２は、上記レシピ基準総時間と経過時間とに基づいてレシピの進捗率を求め（Ｓ８）、この求めた進捗率を表示手段４６の進捗率表示部４６Ａに表示する（Ｓ９）。次に、時間演算制御手段４２は、現在実行中のステップ名を、表示手段４６のステップ表示部４６Ｆの中央の欄に輝度を増した状態で表示する（Ｓ１０）。次に、時間演算制御手段４２は、現在実行中のステップの開始からの経過時間を計測すると共に、その経過時間を表示手段４６のステップ経過時間の表示部４６Ｅに表示する（Ｓ１１）。尚、このステップの経過時間は、制御本体４０側で計測するようにしてもよい。そして、レシピが終了したか否かが判断され（Ｓ１２）、ＮＯの場合には、まだ処理が実行中なのでステップＳ３へ戻って上述した各ステップが繰り返し行われる。そして、レシピが終了したならば（Ｓ１２のＹＥＳ）、このレシピを実行するのに要した実測時間で、上記時間記憶手段４４に記憶されているレシピ基準総時間を更新する（Ｓ１３）。これにより、一連の処理が完了することになる。」 ｆ　「【００２１】これにより、操作者はレシピの時間的な進捗率を常時確認することができるので、例えば次の処理等のための準備作業を適切なタイミングで着手することができる。この場合、このレシピが終了するまでの残り時間と終了予定時刻の両者、或いはいずれか一方も併せて確認することができるので、例えばより一層適切なタイミングで次の処理等のための準備作業に着手することができる。ここで、図４に示すフローの内、ステップＳ３～ステップＳ１１において、時刻を求めて表示する一連の工程は、どの種類のものから着手してもよく、その順序は問わない。また、ここでは時間記憶手段４４に記憶しているレシピ基準総時間は、レシピを実行する毎にその時のレシピ終了までの実測時間で更新するようにしているが、これに限定されず、これをレシピを複数回実行する毎、或いは複数回実行したならばその複数回の平均の実測時間で更新するようにしてもよい。 【００２２】ただし、例えば新しいレシピを作成して初めて実行するような場合には、前述したように、このレシピ基準総時間としては、過去の経験則に基づいて算出した総時間が使用される。この場合、各ステップの所要時間は、或る程度の時間的余裕を組み込んで総時間を求めるようにする。また、経験則だけではなく、各ステップに設定されている時間の総時間を使用してもよい。また、ここでは処理の一例として成膜処理の場合を例にとって説明したが、これに限定されず、酸化拡散処理、エッチング処理、改質処理、アニール処理等の全ての処理について本発明を適用できるのは勿論である。また、処理装置の形態も、バッチ式の処理装置であればよく、図１に示した装置例に限定されない。また、被処理体としては半導体ウエハに限定されず、ＬＣＤ基板、ガラス基板等にも本発明を適用し得る。」 ｇ　「【図面の簡単な説明】 ・・・（省略）・・・ 【図２】表示手段の表示面を示す平面図である。 ・・・（省略）・・・」 ｈ　上記摘記事項ａ～ｇを、技術常識を踏まえて整理すると、引用文献１には以下の発明が記載されていると認められる。 「バッチ式処理装置用のレシピ情報を表示するための方法であって、 前記バッチ式処理装置において実行されている、複数のステップを含むレシピに関連する表示手段４６の表示面を表示し、 前記表示手段４６の表示面内に、前記レシピの進み具合を示すように進捗率表示部４６Ａと、前記レシピの前記複数のステップの実行状況を示すように３つの表示欄のステップ表示部４６Ｆ及び現在実行中のステップの経過時間を示すようにステップ経過時間表示部４６Ｅと、を表示し、前記ステップ表示部４６Ｆの３つの表示欄の各々が前記レシピの前記複数のステップの少なくとも１つに対応し、前記ステップ経過時間表示部４６Ｅに表示された数字は、現在実行中のステップの経過時間を示し、 時間演算制御手段４２が制御本体４０からの指令により、前記レシピの全体における進み具合を示す進捗率と、前記複数のステップの現在実行中のステップ名及びステップ経過時間とを生成し、前記進捗率は、パーセント表示で示し、前記現在実行中のステップ名が３つの表示欄の中央で他よりも明るく表示されるように１つのステップが終了する毎に１欄ずつスクロールされるとともに前記ステップ経過時間を時間表示で示し、 前記ステップ表示部４６Ｆ及びステップ経過時間表示部４６Ｅの表示を、前記実行中のステップ名及びステップ経過時間と関連させ、 前記進捗率に基づきリアルタイムで、前記進捗率表示部４６Ａの表示を更新すると共に、前記実行中のステップ名及びステップ経過時間に基づきリアルタイムで、前記ステップ表示部４６Ｆ及びステップ経過時間表示部４６Ｅの表示を更新し、 前記ステップ表示部４６Ｆ及びステップ経過時間表示部４６Ｅを表示するとともに、レシピ終了予定時刻も時刻表示部４６Ｃに表示すること、 を含む方法。」（以下「引用発明」という） （２）引用文献２ 当審が通知した上記拒絶の理由で引用した特開２００７－５６１７号公報（以下「引用文献２」という）には、次の事項が記載されている。（下線は理解の便のため、当審で付した） ａ　「【００７４】 以上の通り、本実施形態では、１ロット分全体の搬送処理の進捗状況が表示領域Ｒ２１に表示されるとともに、搬送系をなす装置の各々が何番目のウェハＷを搬送しているかを示す進捗状況が表示領域Ｒ２２に表示される。これにより、オペレータは搬送処理の進捗状況を容易に把握することができる。また、これらの表示は１つの表示ウィンドウＷＤ２内に表示されるため、オペレータは搬送処理の進捗状況の把握が更に容易になる。 【００７５】 尚、図５に示す例では、搬送処理全体の進捗状況をプログレッシブバーで表示し、搬送系をなす装置の各々をブロックＰ０～Ｐ８で表示していたが、搬送処理全体の進捗状況は、文字表示、グラフ表示、及びイラスト表示で行っても良い。また、表示領域Ｒ２２には、搬送系をなす各装置をブロックＰ０～Ｐ８で示してどの装置に何番目のウェハＷが搬送されているかを表示していたが、ウェハＷ各々の搬送状況を表示してもよい。」 【図７】 ｂ　「【００７６】 図８は、表示ウィンドウＷＤ２に設けられた表示領域Ｒ２２の他の表示例を示す図である。図８に示す通り、画面縦方向には、ウェハＷのウェハ番号が順次表示されており、その右側にはウェハＷ毎の搬送の進捗状況がプログレッシブバーで表示されている。ＦＯＵＰ３０から取り出されていないウェハＷ（図８に示す例ではウェハ番号「１１」～「２５」）については進捗状況が０％であり、搬送が完了したウェハＷ（図８に示す例ではウェハ番号「１」～「６」）については進捗状況が１００％になる。搬送途中のウェハＷ（図８に示す例ではウェハ番号「８」～「１０」）については、進捗状況に応じた表示がなされる。図８に示す表示を行うことで、各ウェハＷの搬送状況を直感的に把握することができる。」 ｃ　「【００８１】 図９は、露光処理時における端末装置Ｔのディスプレイ５４の表示例を示す図である。図９に示す表示ウィンドウＷＤ３には、露光処理全体の進捗状況（全体処理進捗状況）を示す表示領域Ｒ３１及び露光処理に含まれる個々の処理の進捗状況（部分処理進捗状況）を表示する表示領域Ｒ３２、並びに露光を行っているショット領域の位置情報、露光条件等の各種情報を表示する表示領域Ｒ３３が設けられている。ここで、露光処理とは、狭義にはウェハステージＷＳＴ上に保持されたウェハＷを露光する処理をいうが、広義にはレチクルＲ及びウェハＷの搬送及びアライメント、ベースラインチェック、アライメントマークの計測等の露光に先立って又は露光の後に行われる各種処理（予備処理）が含まれる。図９に示す表示ウィンドウＷＤ３には、露光処理（狭義）及び予備処理の進捗状況が表示されている。」 【図９】 ４　対比 本願発明と引用発明とを対比する。 引用発明の「バッチ式処理装置」は、半導体ウェハや各種基板の成膜処理やエッチング処理等の全ての処理に適用可能であるから、本願発明の「プロセス制御システム」に相当するものであり、引用発明の「複数のステップを含むレシピ」は、本願発明の「複数の工程フェーズを含むレシピ」に相当する。 引用発明の「表示手段４６の表示面」は、本願発明の「ユーザインターフェース画面」に相当する。 引用発明の「前記レシピの進み具合を示すように進捗率表示部４６Ａ」を表示することは、本願発明の「前記レシピの全体の進展を示すようにレシピ進捗表示」を表示することに相当する。 引用発明の「前記レシピの前記複数のステップの実行状況を示すように３つの表示欄のステップ表示部４６Ｆ及び現在実行中のステップの経過時間を示すようにステップ経過時間表示部４６Ｅと」を表示することは、本願発明の「前記レシピの前記複数の工程フェーズの進展を示すように複数の工程段階進捗表示」を表示することと対比すると、「前記レシピの前記複数の工程フェーズ」の「実行状況を示す」ように「複数の工程段階表示」を表示することまでは一致している。 引用発明の「前記ステップ表示部４６Ｆの３つの表示欄の各々が前記レシピの前記複数のステップの少なくとも１つに対応し」ていることは、ステップ表示部４６Ｆの３つの表示欄に対して現在実行中のステップ名が常に中央に位置するようにスクロール表示されることからみて、本願発明の「前記複数の工程段階進捗表示の各々が前記レシピの前記複数の工程フェーズの少なくとも一つに対応し」ていることと対比すると、「前記複数の工程段階表示の各々が前記レシピの前記複数の工程フェーズの少なくとも一つに対応し」ていることでは一致する。 引用発明の「時間演算制御手段４２が制御本体４０からの指令により、前記レシピの全体における進み具合を示す進捗率」「を生成」することは、本願発明の「前記プロセス制御システムから受信された情報に基づいて、前記レシピの全体における進捗状況を示すレシピ進捗情報」「を生成」することに相当する。また、同様に引用発明で生成する「前記複数のステップの現在実行中のステップ名及びステップ経過時間」は、本願発明で生成する「前記複数の工程フェーズの第１の工程フェーズにおける進捗状況を示す工程フェーズ進捗情報」と対比して、「前記複数の工程フェーズの第１の工程フェーズにおける実行状況を示す工程フェーズ情報」である点では一致している。 引用発明の「前記ステップ表示部４６Ｆ及びステップ経過時間表示部４６Ｅの表示を、前記実行中のステップ名及びステップ経過時間と関連させ」ることは、本願発明の「前記工程段階進捗表示を前記工程フェーズ進捗情報と関連させ」ることと対比すると、「前記工程段階表示を前記工程フェーズ情報と関連させ」ることまでは一致する。 引用発明の「前記進捗率に基づきリアルタイムで、前記進捗率表示部４６Ａの表示を更新する」ことは、本願発明の「前記レシピ進捗情報に基づきリアルタイムで、前記レシピ進捗表示の前記部分的な塗潰し量を更新する」ことと対比すると、「前記レシピ進捗情報に基づきリアルタイムで、前記レシピ進捗表示を更新する」ことまでは一致している。また、引用発明の「前記実行中のステップ名及びステップ経過時間に基づきリアルタイムで、前記ステップ表示部４６Ｆ及びステップ経過時間表示部４６Ｅの表示を更新する」ことは、本願発明の「前記工程フェーズ進捗情報に基づきリアルタイムで、前記複数の工程段階進捗表示の第１の工程段階進捗表示の前記部分的な塗潰し量を更新する」ことと対比すると、「前記工程フェーズ情報に基づきリアルタイムで、前記複数の工程段階表示の第１の工程段階表示を更新する」ことまでは一致している。 そうすると、引用発明は、以下の点で本願発明と一致し、また相違する。 ＜一致点＞ 「プロセス制御システム用のレシピ情報を表示するための方法であって、 前記プロセス制御システムにおいて実行されている、複数の工程フェーズを含むレシピに関連するユーザインタフェース画面を表示し、 前記ユーザインタフェース画面内に、前記レシピの全体の進展を示すようにレシピ進捗表示と、前記レシピの前記複数の工程フェーズの実行状況を示すように複数の工程段階表示と、を表示し、前記複数の工程段階表示の各々が前記レシピの前記複数の工程フェーズの少なくとも一つに対応し、 前記プロセス制御システムから受信された情報に基づいて、前記レシピの全体における進捗状況を示すレシピ進捗情報と、前記複数の工程フェーズの第１の工程フェーズにおける実行状況を示す工程フェーズ情報とを生成し、 前記工程段階表示を前記工程フェーズ情報と関連させ、 前記レシピ進捗情報に基づきリアルタイムで、前記レシピ進捗表示を更新すると共に、前記工程フェーズ情報に基づきリアルタイムで、前記複数の工程段階表示の第１の工程段階表示を更新すること、 を含む方法。」 ＜相違点１＞ 本願発明が、レシピ進捗表示を全体又は部分的な塗潰し量で表現しているのに対し、引用発明では、表示手段４６における進捗率の表示が数字によるものであり、塗潰し量ではない点。 ＜相違点２＞ 工程段階表示について、本願発明では、「工程段階進捗表示」という各工程の「進捗状況」を表示するものであり、当該「進捗状況」を全体又は部分的な塗潰し量で表現しているのに対し、引用発明では、ステップ表示部４６Ｆの３つの表示欄の中央に現在実行中のステップ名を表示することで、３つのステップについて、既に終了したステップ、現在実行しているステップ、まだ開始していないステップのいずれかであるかの進行状況を表示するものであり、当該進行状況をステップ名の輝度の増加や経過時間の数字表記により行うもので、塗潰し量で表示するものではない点。 ＜相違点３＞ 本願発明が、ユーザインタフェース画面に「レシピ解析ツールアイコン」を含み、「第１の工程段階進捗表示に対応する工程フェーズに関連するレシピ解析ツールアイコンを選択し、前記レシピ解析ツールアイコンの選択に応答して、前記第１の工程段階進捗表示を表示するとともに、実行中のレシピに関連するパラメータについての予測値を表示する」ものであるのに対し、引用発明では、表示手段４６に「レシピ解析ツールアイコン」を含まない点。 ５　当審の判断 （１）相違点１について プロセス制御システムにおけるユーザインターフェース画面での工程の進捗状況表示方法として、帯状体の塗潰し量で表現する技術は、引用文献２にも、搬送処理全体の進捗状況を示すプログレッシブバー（図７の表示領域Ｒ２１を参照）、ウェハＷ毎の搬送の進捗状況を示すプログレッシブバー（図８を参照）として示されているように、制御装置の表示技術として周知のものにすぎない。また、引用文献２の図５及び図６でも、リセット処理全体の進捗状況及び各コントローラにおけるリセット処理の進捗状況を、プログレッシブバーや棒グラフで表示しており、これも塗潰し量による表示に相当するものと認められる。よって、全体処理の進捗状況と個別処理の進捗状況とをユーザインターフェース画面で同時に塗潰し量で表示することは、引用文献２に示されている。 そうすると、引用発明に、引用文献２に記載された進捗状況表示方法を適用して、進捗率の数字による表示を、プログレッシブバーのような塗潰し量による表示に換えることは、当業者であれば容易に想到する事項である。 （２）相違点２について 引用文献２に記載されているように、搬送処理全体の進捗状況及びウェハＷ毎の搬送の進捗状況を両方ともにユーザーインターフェース画面で示すという事項が、当業者にとって周知であることを勘案すれば、引用発明におけるステップの進行状況の表示について、レシピ全体の進捗率の表示に合わせて、各ステップの進捗率による進捗状況表示とすることも、当業者にとって格別困難な事項とは認められない。 そして、このような進捗状況をプログレッシブバーを利用した塗潰し量による表示とすることも、上記（１）で検討したように、当業者であれば容易に想到する事項である。 （３）相違点３について プラント制御装置等のプロセス制御システムのユーザインターフェース画面において、実行中のレシピに関連するパラメータについての予測値を表示させるボタン等のアイコンを設けることは、例えば、特開平９－１９８１２６号公報にも、モニタＣＲＴ５で表示されるトレンドグラフ画面に設けられた予測表示ボタン２３（特に図３２参照）として示されているように、従来周知の事項にすぎない。 そして、引用発明においても、実行中のレシピに関連するパラメータについての予測値である「レシピ終了予定時刻」を表示するものであるし、工程段階進捗表示と実行中のレシピに関連するパラメータとを同時に表示することも、引用文献２の図９に、露光処理全体の進捗状況（全体処理進捗状況）を示す表示領域Ｒ３１、個々の処理の進捗状況（部分処理進捗状況）を示す表示領域Ｒ３２、露光条件等の各種情報を表示する表示領域Ｒ３３を同時に表示する端末装置Ｔのディスプレイ５４の表示例として示されているように、従来周知の事項であるから、引用発明において、表示手段４６の表示面内に、本願発明の「レシピ解析ツールアイコン」のような予測値を表示させるボタンを設けて、当該ボタンの選択に応じてレシピ終了予定時刻等のパラメータ予測値を表示させるようにすることも、当業者であれば容易に想到し得る程度の事項である。 （４）効果について 上記相違点１ないし３を総合的に勘案しても、本願発明の奏する作用効果は、引用発明、引用文献２に記載された事項及び従来周知の事項の奏する作用効果から予測される範囲内のものにすぎず、格別顕著なものということはできない。 ６　むすび したがって、本願発明は、引用発明、引用文献２に記載された事項及び従来周知の事項に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により、拒絶をすべきものである。 よって、本願のその他の請求項に係る発明について検討するまでもなく、本願は拒絶されるべきであるから、結論のとおり審決する。