2024-700544

特許第７３９４５５６号発明「載置台及び基板処理装置」の特許異議申立事件について、次のとおり決定する。

結 論 特許第７３９４５５６号の特許請求の範囲を、令和７年５月２日に提出された訂正請求書に添付された訂正特許請求の範囲のとおり、訂正後の請求項〔１～１３〕、〔１４～１７〕について訂正することを認める。 特許第７３９４５５６号の請求項１、３～７、９～１２、１４、１６、１７に係る特許を維持する。 特許第７３９４５５６号の請求項２、８、１３、１５に係る特許についての特許異議の申立てを却下する。

理 由 第１ 手続の経緯 特許第７３９４５５６号（以下「本件特許」という。）の請求項１～１７に係る特許についての出願は、令和１年８月９日の出願であって、令和５年１１月３０日にその特許権の設定登録がされ、令和５年１２月８日に特許掲載公報が発行され、その後の手続の経緯は以下のとおりである。 令和６年 ６月 ７日 ：特許異議申立人 石井悠太（以下「申立人」 という。）による特許異議の申立て 令和６年 ８月１４日付け：取消理由通知書 令和６年１０月 ４日 ：面接記録（面接日 令和６年１０月２日） 令和６年１０月１５日 ：特許権者による訂正請求書、意見書の提出 令和６年１０月３０日付け：特許権者に対する手続補正指令書（方式） 令和６年１１月２９日 ：特許権者による手続補正書（方式）の提出 令和６年１２月 ４日付け：申立人に対する通知書 令和７年 １月 ９日 ：申立人による意見書の提出 令和７年 ２月２８日付け：取消理由通知書（決定の予告） 令和７年 ５月 ２日 ：特許権者による訂正請求書、意見書の提出 令和７年 ５月１２日 ：面接記録（面接日 令和７年４月１８日） 令和７年 ５月１２日付け：申立人に対する通知書 令和７年 ６月１３日 ：申立人による意見書の提出 なお、令和６年１０月１５日にした訂正請求は、特許法第１２０条の５第７項の規定によって、令和７年５月２日に訂正請求をしたことにより取り下げられたものとみなす。 第２ 訂正の適否についての判断 １ 訂正の内容 令和７年５月２日提出の訂正請求書による訂正（以下「本件訂正」という。）の請求は、本件特許の特許請求の範囲を、訂正請求書に添付した訂正特許請求の範囲のとおり訂正後の請求項１～１７について訂正することを求めるものであって、本件訂正の内容は、次のとおりである。（下線は、訂正請求書の記載のとおり。） （１） 一群の請求項について ア 請求項〔１～１３〕について 訂正前の請求項１～１３について、請求項２～１３はそれぞれ直接的又は間接的に請求項１を引用しているものであって、下記訂正事項１～訂正事項３によって記載が訂正される請求項１に連動して訂正されるものである。 したがって、訂正前の請求項１～１３に対応する訂正後の請求項１～１３は、特許法第１２０条の５第４項に規定する一群の請求項である。 イ 請求項〔１４～１７〕について 訂正前の請求項１４～１７について、請求項１５～１７はそれぞれ直接的又は間接的に請求項１４を引用しているものであって、下記訂正事項１５～訂正事項１７によって記載が訂正される請求項１４に連動して訂正されるものである。 したがって、訂正前の請求項１４～１７に対応する訂正後の請求項１４～１７は、特許法第１２０条の５第４項に規定する一群の請求項である。 （２） 請求項〔１～１３〕についての訂正事項 ア 訂正事項１ 特許請求の範囲の請求項１に「基板の外側に位置する第１の面と、基板を載置する第２の面とを有する載置台」と記載されているのを、「段差を有し、前記段差の外側にフォーカスリングを載置する第１の面と前記段差の内側に基板を載置する第２の面とを有する載置台」と訂正する（請求項１の記載を引用する請求項３～７、９～１２も同様に訂正する）。 イ 訂正事項２ 特許請求の範囲の請求項１に「前記第１の面に対応して第１の流路が形成され、」と記載されているのを、「前記第１の面の下方に第１の流路が形成され、」、「前記第２の面の下方に第２の流路が形成され、」と訂正する（請求項１の記載を引用する請求項３～７、９～１２も同様に訂正する）。 ウ 訂正事項３ 特許請求の範囲の請求項１に「前記第１の面から前記第１の流路の上面までの垂直距離は、前記第１の面から前記第２の流路の上面までの垂直距離と等しく、」を付加する（請求項１の記載を引用する請求項３～７、９～１２も同様に訂正する）。 エ 訂正事項４ 特許請求の範囲の請求項２を削除する。 オ 訂正事項５ 特許請求の範囲の請求項３に「請求項１又は２に記載の載置台。」と記載されているのを、「請求項１に記載の載置台。」と訂正する（請求項３の記載を引用する請求項４～７、９～１２も同様に訂正する）。 カ 訂正事項６ 特許請求の範囲の請求項４に「前記第２の面に対応して第２の流路が形成され、」と記載されているのを削除する（請求項４の記載を引用する請求項５～ｌ７、９～１２も同様に訂正する）。 キ 訂正事項７ 特許請求の範囲の請求項４において、「前記第２の流路の水平方向の幅をｗ１、前記第１の流路の水平方向の幅をｗ２としたとき、ｗ１＞ｗ２である」を「前記第２の流路の水平方向の幅をｗ１、前記第１の流路の水平方向の幅をｗ２としたとき、ｗ１＞ｗ２であり」に変更し、「前記第１の流路における冷媒の流速は、前記第２の流路における冷媒の流速より速い、」を付加する（請求項４の記載を引用する請求項５～７、９～１２も同様に訂正する）。 ク 訂正事項８ 特許請求の範囲の請求項４に「請求項１～３のいずれか一項に記載の載置台。」と記載されているのを、「請求項１又は請求項３のいずれかに記載の載置台。」と訂正する（請求項４の記載を引用する請求項５～７、９～１３も同様に訂正する）。 ケ 訂正事項９ 特許請求の範囲の請求項８を削除する。 コ 訂正事項１０ 特許請求の範囲の請求項９に「静電チャックを備え、」を付加する（請求項９の記載を引用する請求項１０～１２も同様に訂正する）。 サ 訂正事項１１ 特許請求の範囲の請求項９に「前記第１の面は、前記リング部材を吸着する静電チャックの外側上面である、」と記載されているのを、「前記第１の面は、前記フォーカスリングを吸着する前記静電チャックの外側上面である、」と訂正する（請求項９の記載を引用する請求項１０～１２も同様に訂正する）。 シ 訂正事項１２ 特許請求の範囲の請求項９に「請求項８に記載の載置台。」と記載されているのを、「請求項１、３～７のいずれかに記載の載置台。」と訂正する（請求項９の記載を引用する請求項１０～１２も同様に訂正する）。 ス 訂正事項１３ 特許請求の範囲の請求項１１に「前記静電チャックは、前記第１の面と前記第１の流路との間に前記リング部材の温度を制御する第１のヒータを有する、」と記載されているのを、「前記静電チャックは、前記第１の面と前記第１の流路との間に前記フォーカスリングの温度を制御する第１のヒータを有する、」と訂正する（請求項１１を引用する請求項１２も同様に訂正する）。 セ 訂正事項１４ 特許請求の範囲の請求項１３を削除する。 （３） 請求項〔１４～１７〕についての訂正事項 ア 訂正事項１５ 特許請求の範囲の請求項１４に「基板の外側に位置する第１の面と基板を載置する第２の面とを有し、」と記載されているのを、「段差を有し、前記段差の外側にフォーカスリングを載置する第１の面と前記段差の内側に基板を載置する第２の面とを有し、」と訂正する（請求項１４の記載を引用する請求項１６～１７も同様に訂正する）。 イ 訂正事項１６ 特許請求の範囲の請求項１４に「前記第１の面に対応して第１の流路が形成され、」と記載されているのを、「前記第１の面の下方に第１の流路が形成され、」、「前記第２の面の下方に第２の流路が形成され、」と訂正する（請求項１４の記載を引用する請求項１６～１７も同様に訂正する）。 ウ 訂正事項１７ 特許請求の範囲の請求項１４に「前記第１の面から前記第１の流路の上面までの垂直距離は、前記第１の面から前記第２の流路の上面までの垂直距離と等しく、」を付加する（請求項１４の記載を引用する請求項１６～１７も同様に訂正する)。 エ 訂正事項１８ 特許請求の範囲の請求項１５を削除する。 オ 訂正事項１９ 特許請求の範囲の請求項１６に「請求項１４又は１５に記載の基板処理装置。」と記載されているのを、「請求項１４に記載の基板処理装置。」と訂正する（請求項１６の記載を引用する請求項１７も同様に訂正する）。 カ 訂正事項２０ 特許請求の範囲の請求項１７に「前記第２の面に対応して第２の流路が形成され、」と記載されているのを削除する。 キ 訂正事項２１ 特許請求の範囲の請求項１７に「請求項１４～１６のいずれか一項に記載の基板処理装置。」と記載されているのを、「請求項１４又は請求項１６のいずれかに記載の基板処理装置。」と訂正する。 ２ 独立特許要件、訂正の目的の適否、新規事項の有無、及び特許請求の範囲の拡張・変更の存否 以下、請求項〔１～１３〕についての訂正事項と、請求項〔１４～１７〕についての訂正事項に関し、訂正の成否を合わせて判断する。 （１） 独立特許要件 本件においては、訂正前の請求項１～１７について特許異議の申立てがされているので、訂正前の請求項１～１７に係る訂正事項１～１７に関して、特許法第１２０条の５第９項で読み替えて準用する特許法第１２６条第７項の独立特許要件は課されない。 （２） 訂正事項１～３、１５～１７について ア 訂正の目的 （ア） 訂正事項１に係る訂正は、令和６年８月１４日付け取消理由通知「第１の１」の「第１の面の内端部」に係る明確性についての取消理由を解消することを目的としたものであるから、「明瞭でない記載の釈明」（特許法第１２０条の５第２項ただし書第３号）を目的としたものといえる。 また、訂正事項１に係る訂正は、請求項１に係る発明を特定する事項である「載置台」が有する「第１の面」と「第２の面」について、「載置台」が「段差を有し」、「第１の面」が「前記段差の外側フォーカスリングを載置する」ものであり、「第２の面」が「前記段差の内側に基板を載置する」ものであるとの事項を付加するものであるから、「特許請求の範囲の減縮」（特許法第１２０条の５第２項ただし書第１号）を目的としたものといえる。 （イ） 訂正事項２、３に係る訂正は、令和６年８月１４日付け取消理由通知「第１の２（１）」のサポート要件についての取消理由を解消することを目的としたものであるから、「明瞭でない記載の釈明」を目的としたものといえる。 また、訂正事項２に係る訂正は、請求項１に係る発明を特定する事項である第１の面に対応して形成された「第１の流路」について、第１の面の「下方に」形成されることと限定し、さらに、「前記第２の面の下方に第２の流路が形成され、」との事項を付加するものであるから、「特許請求の範囲の減縮」を目的としたものといえる。 訂正事項３に係る訂正は、請求項１に「前記第１の面から前記第１の流路の上面までの垂直距離は、前記第１の面から前記第２の流路の上面までの垂直距離と等しく、」を付加するものであるから、「特許請求の範囲の減縮」を目的としたものといえる。 （ウ） 以上のとおり、請求項１についての訂正事項１～３に係る訂正は、いずれも「明瞭でない記載の釈明」及び「特許請求の範囲の減縮」を目的としたものといえる。 （エ） また、請求項１４についての訂正事項１５～１７に係る訂正も、上記（ア）～（ウ）と同様である。 イ 新規事項の有無 本件特許の願書に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面（以下「本件明細書等」という。）の図２ 、段落００１３、００１４には、訂正事項１で付加される事項に対応する事項の開示がある。 また、本件明細書等の図２ 、段落００１７、００１８には、訂正事項２で付加される事項に対応する事項の開示がある。 さらに、本件明細書等の図３、段落００４２には、訂正事項３で付加される事項に対応する事項の開示がある。 そうすると、請求項１についての訂正事項１～３に係る訂正は、いずれも、本件明細書等のすべての記載を総合することにより導かれる技術的事項との関係において新たな技術的事項を導入するものとはいえないから、新規事項を追加するものではない。（特許法第１２０条の５第９項において準用する同法第１２６条第５項） また、請求項１４についての訂正事項１５～１７に係る訂正も、同様である。 ウ 特許請求の範囲の拡張・変更の存否 （ア） 当審の判断 上記アのとおり、請求項１についての訂正事項１～３に係る訂正は、いずれも「特許請求の範囲の減縮」を目的としたものであり、そのカテゴリーや対象、目的を変更するものではないから、実質上特許請求の範囲を拡張、又は変更するものとはいえない。（特許法第１２０条の５第９項において準用する同法第１２６条第６項） また、請求項１４についての訂正事項１５～１７に係る訂正も、同様である。 （イ） 申立人の主張について 申立人は、令和７年６月１３日提出の意見書５ページ下から３行～６ページ６行にて「訂正事項１は、訂正前の請求項１において、「基板の外側」の位置に基づいて規定されていた「第１の面」を、「基板の外側」とは全く別の「段差」の位置に基づいて規定するように修正するものである。即ち、「基板」は発明自体の構成の範囲外であるのに対し、「段差」は載置台の一部であり、両者は全く別物である。このように、訂正事項１は、「第１の面」を規定する「基準」を全く異なる構成に置き換えている。よって、訂正事項１は、「第１の面」の定義を「質的」に変更するものであるから、この訂正が「特許請求の範囲の減縮」を目的としたものであるかを検討するまでもなく、実質上特許請求の範囲を変更するものであることは明らかである。」と主張する。 しかしながら、本件訂正後の「前記段差の外側にフォーカスリングを載置する第１の面」との発明特定事項が、新たに「段差」を基準にしたものであったとしても、「第１の面」が「段差の内側に基板を載置する第２の面」に載置される「基板」の外側に位置することは明らかであるから、申立人が主張するように、「基準」を全く異なる構成に置き換えているとはいえない。 したがって、申立人の主張は採用できない。 （３） 訂正事項４、９、１４、１８について 訂正事項４、１８に係る訂正は、それぞれ、令和６年８月１４日付けの取消理由通知の「第１の２（２）」のサポート要件についての取消理由を解消することを目的としたものであるから、「明瞭でない記載の釈明」を目的としたものといえる。 また、訂正事項９、１４に係る訂正は、それぞれ、令和７年２月２８日付けの取消理由通知（決定の予告）の「第４の１～３」の明確性要件についての取消理由を解消することを目的としたものであるから、「明瞭でない記載の釈明」を目的としたものといえる。 加えて、訂正事項４、９、１４、１８に係る訂正は、それぞれ、請求項２、８、１３、１５を削除する訂正であるから、「特許請求の範囲の減縮」を目的としたものであり、本件明細書等のすべての記載を総合することにより導かれる技術的事項との関係において新たな技術的事項を導入するものとはいえないから、新規事項を追加するものではなく、さらに、実質上特許請求の範囲を拡張、又は変更するものとはいえない。 （４） 訂正事項５、８、１２、１９、２１について ア 訂正の目的 訂正事項５、８、１２、１９、２１に係る訂正は、訂正前に引用していた請求項２、８、１３、１５が削除されたことにより、これらの請求項を引用しないものとするものであるから、多数項を引用している請求項の引用請求項数を削減する「特許請求の範囲の減縮」、又は、「明瞭でない記載の釈明」を目的としたものといえる。 イ 新規事項の有無、及び特許請求の範囲の拡張・変更の存否 上記アのとおり、訂正事項５、８、１２、１９、２１に係る訂正は、多数項を引用している請求項の引用請求項数を削減するものであって、本件明細書等のすべての記載を総合することにより導かれる技術的事項との関係において新たな技術的事項を導入するものとはいえないから、新規事項を追加するものではなく、さらに、実質上特許請求の範囲を拡張、又は変更するものとはいえない。 （５） 訂正事項６、２０について 訂正事項６に係る訂正は、訂正事項２に係る訂正によって、請求項１に「前記第２の面の下方に第２の流路が形成され、」との事項が付加されることに対応して、請求項１を引用する請求項４の「前記第２の面に対応して第２の流路が形成され、」との記載を削除するものであるから、「明瞭でない記載の釈明」を目的としたものといえ、また、本件明細書等のすべての記載を総合することにより導かれる技術的事項との関係において新たな技術的事項を導入するものとはいえないから、新規事項を追加するものではなく、さらに、実質上特許請求の範囲を拡張、又は変更するものとはいえない。 訂正事項２０に係る訂正についても同様である。 （６） 訂正事項７について ア 訂正の目的 訂正事項７に係る訂正は、令和６年８月１４日付けの取消理由通知の「第１の２（３）」のサポート要件についての取消理由を解消することを目的としたものであるから、「明瞭でない記載の釈明」を目的としたものといえる。 また、請求項４に係る発明を特定する事項である「第１の流路」及び「第２の流路」について、「前記第１の流路における冷媒の流速は、前記第２の流路における冷媒の流速より速い、」との事項を付加するものであるから、「特許請求の範囲の減縮」を目的としたものといえる。 イ 新規事項の有無 本件明細書等の段落００４６には、訂正事項７で付加される事項に対応する事項の開示があるから、請求項４についての訂正事項７に係る訂正は、本件明細書等のすべての記載を総合することにより導かれる技術的事項との関係において新たな技術的事項を導入するものとはいえないから、新規事項を追加するものではない。 ウ 特許請求の範囲の拡張・変更の存否 上記アのとおり、請求項４についての訂正事項７に係る訂正は、「特許請求の範囲の減縮」を目的としたものであり、そのカテゴリーや対象、目的を変更するものではないから、実質上特許請求の範囲を拡張、又は変更するものとはいえない。 （７） 訂正事項１０、１１、１３について ア 訂正の目的 訂正事項１０、１１、１３に係る訂正は、令和７年２月２８日付けの取消理由通知（決定の予告）の「第４の１、２」の明確性要件についての取消理由を解消することを目的としたものであるから、「明瞭でない記載の釈明」を目的としたものといえる。 そして、訂正事項１０は、請求項９に係る発明について、「静電チャックを備え、」との事項を付加するものであり、また、訂正事項１１、１３の請求項９又は請求項１１に係る発明を特定する事項である「リング部材」をその一例である「フォーカスリング」とするものである、いずれも「特許請求の範囲の減縮」を目的としたものといえる。 イ 新規事項の有無 訂正事項１０において、訂正前の請求項９に係る発明が「静電チャック」を備えることは明らかであり、また、訂正事項１１、１３の「フォーカスリング」については、本件明細書等の段落００１４に記載があるから、請求項９、１１についての訂正事項１０、１１、１３に係る訂正は、本件明細書等のすべての記載を総合することにより導かれる技術的事項との関係において新たな技術的事項を導入するものとはいえないから、新規事項を追加するものではない。 ウ 特許請求の範囲の拡張・変更の存否 上記アのとおり、請求項９、１１についての訂正事項１０、１１、１３に係る訂正は、「特許請求の範囲の減縮」を目的としたものであり、そのカデゴリーや対象、目的を変更するものでないから、実質上特許請求の範囲を拡張、又は変更するものとはいえない。 （８） 小括 以上のとおり、訂正事項１～２１に係る訂正は、いずれも「特許請求の範囲の減縮」又は「明瞭でない記載の釈明」を目的としたものであり、新規事項の追加に該当せず、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものでもないから、特許法第１２０条の５第２項ただし書第１号及び第３号に掲げる事項を目的とするものであり、かつ、同条第９項において準用する同法第１２６条第５、６項の規定に適合する。 したがって、特許請求の範囲を、訂正請求書に添付された訂正特許請求の範囲のとおり訂正することを認める。 第３ 本件発明 本件訂正後の請求項１～１７に係る発明（以下それぞれ「本件発明１～１７」という。）は、訂正特許請求の範囲の請求項１～１７に記載された次の事項により特定されるとおりのものである。 「【請求項１】 段差を有し、前記段差の外側にフォーカスリングを載置する第１の面と前記段差の内側に基板を載置する第２の面とを有する載置台であって、 前記第１の面の下方に第１の流路が形成され、 前記第２の面の下方に第２の流路が形成され、 前記第１の面から前記第１の流路の上面までの垂直距離は、前記第１の面から前記第２の流路の上面までの垂直距離と等しく、 前記第１の流路の上面の延長線と、前記第１の流路の上面のうち前記第２の面に近い側の端部と前記第１の面の内端部とを結ぶ線とがなす角度が６０°以下である、 載置台。 【請求項２】（削除） 【請求項３】 前記角度は、４５°以下である、 請求項１に記載の載置台。 【請求項４】 前記第２の流路の水平方向の幅をｗ１、前記第１の流路の水平方向の幅をｗ２としたとき、ｗ１＞ｗ２であり、 前記第１の流路における冷媒の流速は、前記第２の流路における冷媒の流速より速い、 請求項１又は請求項３のいずれかに記載の載置台。 【請求項５】 前記第１の面と前記第２の面との境界面から前記第１の流路までの水平距離をｄ、前記第１の流路から前記第２の流路までの水平距離をｄ’としたとき、ｄ’＞ｄである、 請求項４に記載の載置台。 【請求項６】 前記第１の流路と前記第２の流路とは、前記第１の流路と前記第２の流路とに熱交換媒体を流すことが可能なチラーユニットに並列に接続される、 請求項４又は５に記載の載置台。 【請求項７】 前記第１の流路と前記第２の流路とは、前記第１の流路と前記第２の流路とに熱交換媒体を流すことが可能なチラーユニットに直列に接続される、 請求項４又は５に記載の載置台。 【請求項８】（削除） 【請求項９】 静電チャックを備え、 前記第１の面は、前記フォーカスリングを吸着する前記静電チャックの外側上面である、 請求項１、３～７のいずれかに記載の載置台。 【請求項１０】 前記第２の面は、基板を吸着する前記静電チャックの内側上面である、 請求項９に記載の載置台。 【請求項１１】 前記静電チャックは、前記第１の面と前記第１の流路との間に前記フォーカスリングの温度を制御する第１のヒータを有する、 請求項９又は１０に記載の載置台。 【請求項１２】 前記静電チャックは、前記第２の面と平行に基板の温度を制御する第２のヒータを有する、 請求項９～１１のいずれか一項に記載の載置台。 【請求項１３】（削除） 【請求項１４】 プラズマ処理又は熱処理が行われるチャンバと、前記チャンバの内部にて静電チャックに基板を載置する載置台と、を有する基板処理装置であって、 前記載置台は、 段差を有し、前記段差の外側にフォーカスリングを載置する第１の面と前記段差の内側に基板を載置する第２の面とを有し、 前記第１の面の下方に第１の流路が形成され、 前記第２の面の下方に第２の流路が形成され、 前記第１の面から前記第１の流路の上面までの垂直距離は、前記第１の面から前記第２の流路の上面までの垂直距離と等しく、 前記第１の流路の上面の延長線と、前記第１の流路の上面のうち前記第２の面に近い側の端部と前記第１の面の内端部とを結ぶ線とがなす角度が６０°以下である、 基板処理装置。 【請求項１５】（削除） 【請求項１６】 前記角度は、４５°以下である、 請求項１４に記載の基板処理装置。 【請求項１７】 前記第１の流路と前記第２の流路とに熱交換媒体を流すことが可能なチラーユニットを有する、 請求項１４又は請求項１６のいずれかに記載の基板処理装置。」 第４ 取消理由（決定の予告）について １ 令和７年２月２８日付けの取消理由通知書（決定の予告）で通知した取消理由は次のとおりである。 本件特許は、特許請求の範囲の記載が下記の点で不備のため、特許法第３６条第６項第１、２号に規定する要件を満たしていない特許出願に対してされたものである。 （１） 請求項８、９、１１ 本件明細書の段落００１４には、「エッジリング２５は、基板の周囲に位置するリング部材の一例であり、フォーカスリングともいう。」と、フォーカスリングがリング部材の一例であるとの記載があるのに対し、請求項８、９、１１には、請求項８、９、１１が引用する請求項１に記載された「フォーカスリング」との関係が明らかでない「リング部材」が記載されている。 そうすると、請求項８、９、１１に記載された「リング部材」は、請求項１に記載された「フォーカスリング」に対してどのような物を意味しているか明らかとはいえないから、本件発明８、９、１１、及び請求項８、９、１１の記載を引用する本件発明１０、１２、１３は明確でない。 （２） 請求項９～１２ 請求項９～１２に記載された「静電チャック」が、「載置台」自体、「第１の面」及び「リング部材（フォーカスリング）」、「第２の面」及び「基板」と、それぞれどのような関係の物なのか明らかでない。 したがって、本件発明９～１２、及び、請求項９～１２の記載を引用する本件発明１３は明確でない。 （３） 請求項１３ 請求項１は、「段差を有し、前記段差の外側にフォーカスリングを載置する第１の面と前記段差の内側に基板を載置する第２の面とを有する載置台であって、前記第１の面の下方に第１の流路が形成され」ているから、「前記第１の流路は、基板の端部よりも外側に形成される」といえる。 そうすると、請求項１を引用する、請求項１３に記載された事項が、どのような技術事項を特定しているのか明らかとはいえない。 したがって、本件発明１３は明確でない。 （４） サポート要件 ア 発明の詳細な説明の段落０００４には、「基板の最外周の温度を制御することが可能な載置台及び基板処理装置を提供する。」、また、段落００３５には、「基台１８の内部に設けられた第２の流路１９ａでは、所定の温度に冷却された冷媒を流すことによって基板Ｗを冷却するが、直径が３００ｍｍ以上の基板の端部から例えば数ｍｍ程度の、基板の最外周の局所的な領域の温度を制御することは難しい。」との、発明の課題が記載されている。 一方、「段差を有し、前記段差の外側にフォーカスリングを載置する第１の面と前記段差の内側に基板を載置する第２の面とを有する載置台であって、 前記第１の面の下方に第１の流路が形成され、 前記第２の面の下方に第２の流路が形成され、 前記第１の面から前記第１の流路の上面までの垂直距離は、前記第１の面から前記第２の流路の上面までの垂直距離と等しく、」と特定される、本件発明１の載置台において、「前記第１の流路の上面の延長線と、前記第１の流路の上面のうち前記第２の面に近い側の端部と前記第１の面の内端部とを結ぶ線とがなす角度」が小さくなるほど、「第１の流路」と基板の最外周との距離が離れることによって、基板を載置する第２の面の下方に形成される「第２の流路」に対する「第１の流路」の、基板の最外周の温度に対する影響が相対的により小さくなるから、基板の最外周の温度を制御すること、すなわち、発明の課題を解決することは、発明の詳細な説明の段落００４８～００５０の「条件４」についての記載を踏まえても、より困難になる。 そうすると、本件発明１は、発明の詳細な説明に記載された発明で、発明の詳細な説明の記載又はその示唆により当業者が当該発明の課題を解決できると認識できる範囲のものとも、その記載や示唆がなくとも当業者が出願時の技術常識に照らし当該発明の課題を解決できると認識できる範囲のものともいえないから、本件発明１に係る発明は、発明の詳細な説明に記載したものでない。 本件発明１４及び、請求項１又は請求項１４を引用する本件発明３～１３、１６、１７も、同様に発明の詳細な説明に記載したものでない。 ２ 当審の判断 （１） 上記１（１）、（２）の取消理由（明確性）について ア 本件訂正によって、請求項８、１３ を削除し、また、請求項９、１１における「リング部材」との記載を「フォーカスリング」と訂正することにより、上記１（１）の取消理由は解消した。 イ 本件訂正により、本件発明９の「静電チャック」が、「載置台」に備えられるものであって、かつ、「第１の面」が、フォーカスリングを吸着する静電チャックの外側上面であることを明確にし、本件発明１０において、「第２の面」が、基板を吸着する静電チャックの内側上面であることを明確にし、請求項１３を削除したことによって、上記１（２）の取消理由は解消した。 ウ 上記１（２）についての申立人の主張 申立人は、令和７年６月１３日提出の意見書７ページ１５～２３行にて「本件特許明細書には、載置台は、基台及び静電チャックからなり、静電チャックは基台の載置面に載置されていること、第１の面は静電チャックの外側上面であり、エッジリングを吸着すること、第２の面は静電チャックの内側上面であり、基板を吸着すること、が記載されている。 ｄ． これに対して、訂正後の請求項９には、載置台が静電チャックを有すること、第１の面は静電チャックの外側上面であり、エッジリングを吸着すること、が記載されているのみである。従って、「静電チャック」と「載置台」自体の関係、及び「静電チャック」と「第２の面」及び「基板」の関係は依然として明らかではなく、本件発明９～１２は明確ではない。」と主張する。 しかしながら、発明が明確であるか否かは、特許請求の範囲の記載だけではなく、本件明細書等を考慮し、また、当業者の出願当時における技術常識を基礎として、特許請求の範囲の記載が、第三者に不測の不利益を及ぼすほどに不明確であるか否かという観点から判断されるべきであるところ、本件明細書等の記載を踏まえれば、本件発明９～１２について、特許請求の範囲の記載が、第三者に不測の不利益を及ぼすほどに不明確であるとはいえないから、申立人の主張は採用できない。 （２） 上記１（３）の取消理由（明確性）について 本件訂正により請求項１３が削除されたことにより、上記１（３）の取消理由は解消した。 （３） 上記１（４）の取消理由（サポート要件）について ア 本件発明１及び１４の構成は、本件明細書等の段落００３５～段落００５０、図３及び図４に記載されている。 そして、令和７年５月２日に特許権者が提出した意見書３ページ１９行～４ページ下から２行での主張も参酌すると、本件発明１において、「前記第１の流路の上面の延長線と、前記第１の流路の上面のうち前記第２の面に近い側の端部と前記第１の面の内端部とを結ぶ線とがなす角度」が小さくなるほど、「第１の流路」と基板の最外周との距離が離れることによって、基板を載置する第２の面の下方に形成される「第２の流路」に対する「第１の流路」の、基板の最外周の温度に対する影響が相対的により小さくなったとしても、基板の最外周の温度の制御が、「第１の流路」による温度影響と「第２の流路」による温度影響との合算によりなされることに変わりなく、加えて、「前記第１の流路の上面の延長線と、前記第１の流路の上面のうち前記第２の面に近い側の端部と前記第１の面の内端部とを結ぶ線とがなす角度を６０°以下」にすることにより、第１の流路について、基板の最外周の温度制御対象エリアＴｇにおける温度影響範囲を小さくし、更に局所的な温度制御ができるようになることが理解できる。 そうすると、当業者は、本件発明１及び１４の構成によって、本件明細書の段落０００４に記載された、基板の最外周の温度を制御することが可能な載置台及び基板処理装置を提供するという発明の課題を解決できると認識できるから、本件発明１及び１４の構成を含む本件発明３～７、９～１２、１６及び１７も含め、上記１（４）の取消理由は解消した。 イ 申立人の主張 （ア）令和７年６月１３日提出の意見書１０ページ１７～末行において、申立人は次の主張をする。 「ｄ． 一方、令和７年５月２日提出の意見書において、特許権者は、請求項１に対して更なる訂正を行うことなく、審判合議体の上記認定に反論している。特許権者による反論を要約すれば、本件発明１において規定されている「角度」が小さくなるほど「第１の流路」と「基板の最外周」との間の距離が遠くなるため、「基板の最外周」の温度に対し、「第１の流路」の温度の影響が「第２の流路」に対して相対的に小さくなり、局所的な領域の温度を制御することができる、というものである。この特許権者による反論は、本件発明が、基板の最外周の温度を制御することを目的として、「第１の流路」の位置に数値限定を加えているにも関わらず、その数値限定により「第１の流路」の温度の影響が小さくなることによって、発明の課題が解決される、という理解し難いものである。」 しかしながら、上記アのとおり、本件発明１は、発明の詳細な説明に記載された発明で、当業者が発明の課題を解決できると認識できる範囲のものであるから、申立人の主張は採用できない。 （イ） 令和７年６月１３日提出の意見書１１ページ１行～１２ページ１行において、申立人は次の主張もする。 「ｅ． ここで、本件特許明細書の段落００４３には、「構造上、第２の面２０ｃの端部と、第１の面２０ｄ及び第２の面２０ｃの境界面とによりなす角部分は、基板処理時に発生する反応生成物が付き易く、かつ、プラズマ入熱により熱くなり易い。よって、温度制御対象工リアＴｇの温度制御は重要である。」との記載がある。ここに記載されているように、本件発明の技術課題は、プラズマ入熱等により「基板の最外周」が過熱してしまうのを抑制することにある、と理解することができる。 ｆ． 上記の技術課題を解決するのであれば、「基板の最外周」の温度を低下させるべく、「第１の流路」に「冷媒」を流すことが自然である。しかしながら、「第１の流路」に「冷媒」を流したとすれば、本件発明１において規定されている「角度」が小さくなるほど「第１の流路」と「基板の最外周」との間の距離が遠くなるため、「基板の最外周」の温度を低下させる効果は低下してしまい、「角度」を６０°以下とすることは逆効果である。一方、仮に「第１の流路」に温度の高い「熱媒体」を流したとすれば、「第１の流路」と「基板の最外周」との間の距離を遠くすることにより、「基板の最外周」の冷却は邪魔されにくくなる。従って、「第１の流路」に「熱媒体」を流した場合、本件発明の技術課題を解決できるほどの効果があるとは考えにくいが、本件発明１に規定されている「角度」を小さくすることは有利に働く。 ｇ． このように、本件発明１に規定されている「角度」は、「第１の流路」に「冷媒」を流した場合と「熱媒体」を流した場合で、正反対の効果を奏するものである。そして、本件発明１においては、「第１の流路」に流す媒体は何ら特定されていない。このように、「第１の流路」に流す媒体を特定することなく、単に「角度」により「第１の流路」の位置を規定することには、何ら技術的意味を見いだすことはできない。よって、本件発明１は、発明の技術課題を解決できるものではなく、発明の詳細な説明に記載したものではない。同様に、本件発明１４、及び請求項１又は１４を引用する本件発明３～７、９～１２、１６、１７も、発明の詳細な説明に記載したものではない。このため、これらの発明は対する特許は取り消されるべきである。」 しかしながら、本件発明１の発明の課題は、上記アのとおり、本件明細書等の段落０００４に記載された「基板の最外周の温度を制御することが可能な載置台及び基板処理装置を提供する」ことであって、段落００４３に記載された事項ではない。 また、本件明細書等の段落００１７に「以下、熱交換媒体の一例として冷媒を挙げて説明するが、熱交換媒体はこれに限られず、温度調整媒体であってもよい。」と記載されているように、本件発明１において、「第１の流路」には、「冷媒」又は「熱媒体」を流すことができ、いずれの場合であっても、上記アのとおり、当業者は、基板の最外周の局所的な領域の温度を制御するという発明の課題を解決できると認識できる。 したがって、申立人の主張は採用できない。 ３ 小括 以上のとおり、本件発明１、３～７、９～１２、１４、１６及び１７に係る特許は、特許法第３６条第６項第１、２号に規定する要件を満たしていない特許出願に対してされたものであるとはいえない。 したがって、本件発明１、３～７、９～１２、１４、１６及び１７に係る特許は、取消理由（決定の予告）に記載した理由によって取り消されるべきものではない。 第５ 取消理由として採用しなかった申立ての理由について １ 申立理由の概要 特許異議申立書（以下「申立書」という。）に記載された、以下の証拠方法による、異議申立ての理由は次のとおりである。 甲第１号証 ： 特開２０１４－１５０１０４号公報 甲第２号証 ： 特開２０１６－２０７９７９号公報 甲第３号証 ： 特開平１１－２３３６０５号公報 甲第４号証 ： 特開２０１４－１１３８２号公報 甲第５号証 ： 特開２０１１－９３５１号公報 甲第６号証 ： 特許第６５１８０２４号公報 甲第７号証 ： 特開２０１８－１６４０９２号公報 （１） 申立理由１（進歩性欠如） 甲第１号証を主たる引用文献とし、甲第２～７号証を従たる引用文献とする進歩性欠如（申立書４２ページ１行～５７ページ１４行） （２） 申立理由２（明確性要件違反） 明確性要件違反（申立書６１ページ１行～６２ページ１８行） なお、申立書５７ページ１５行～６０ページ末行において申立人が主張するサポート要件違反は、取消理由（決定の予告）（上記第４の１（４））として採用した。 ２ 当審の判断 （１） 申立理由１（進歩性欠如） ア 申立人は、申立書４３ページ７行～４７ページ９行において、本件訂正前の請求項１に係る発明の「前記第１の流路の上面の延長線と、前記第１の流路の上面のうち前記第２の面に近い側の端部と前記第１の面の内端部とを結ぶ線とがなす角度が６０°以下である」との構成要件Ｃ（なお、本件発明１及び１４も同じ構成を有する。）について、例えば、甲第１号証に関し、申立書４３ページの下図のように公開特許公報の図面に基づいて角度を測定することによって、甲第１号証の図３、図８、他にも、甲第２号証の図４、図７、甲第３号証の図１、図１４、甲第４号証の図４、図６、図７Ａ、図８に基づいて、構成要件Ｃはありふれた構造であって、周知技術であるから、基板の温度制御性を高めるという周知の技術課題を達成するために、甲第１号証に記載された発明において、当該周知技術の構成を適用することは、当業者が容易に想到し得る旨主張する。 ［図：0001428992000001.jpg］ しかしながら、例えば、平成２２年（行ケ）第１０３８１号の３３～３４ページにおいて判示されているように、特許出願に係る図面は、設計図面のように具体的な寸法などが正確に描かれるものではなく、具体的な定量的事項を認定することは妥当でないというべきであるから、公開特許公報の図面に基づいて角度を測定したことによる申立人の主張は、周知技術の認定として妥当性を欠く。 イ また、申立人は、申立書４７ページ１０～２５行において、さらに「角度θが６０度以下となる位置に冷媒流路を設ける設計は、多くの特許公報の図面に見られるようにありふれたものであると共に、角度θを６０度以下とすることに「臨界的意義」を見いだすこともできないから、構成要件Ｃは当業者が適宜選択する単なる設計的事項であるということができる。」と主張する。 しかしながら、上記アのとおり、構成要件Ｃは周知技術であるとはいえないから、「角度θが６０度以下となる位置に冷媒流路を設ける設計は、多くの特許公報の図面に見られるようにありふれたもの」ということもできず、かつ、上記第４の２（３）アのとおり、本件発明１は、その構成によって、基板の最外周の温度を制御することが可能な載置台及び基板処理装置を提供するという発明の課題を解決するものであるから、単なる設計的事項ということはできない。 ウ そうすると、本件発明１の「前記第１の流路の上面の延長線と、前記第１の流路の上面のうち前記第２の面に近い側の端部と前記第１の面の内端部とを結ぶ線とがなす角度が６０°以下である」という構成要件Ｃは、申立人が提出した甲第１号証～甲第４号証には記載されていないし、他に甲第５号証～甲第７号証をみても記載も示唆もされていないから、本件発明１は、甲第１号証～甲第７号証に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものとはいえない。 また、本件発明１４、及び本件発明１又は本件発明１４の構成を全て含む本件発明３～７、９～１２、１６、１７についても同様に、甲第１号証～甲第７号証に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものとはいえない。 したがって、申立理由１は、理由がない。 エ さらに、申立人は、申立書４７ページ２６行～４８ページ２３行において、本件発明１の技術的範囲に「溝部が存在して第１の面と第２の面との間で熱の伝達がない構造」を含むことを前提とし、構成要件Ｃの技術的意義は極めて小さく、当業者が適宜選択する単なる設計的事項である旨主張するが、構成要件Ｃが単なる設計的事項であるといえないことは、上記イのとおりであるから、申立人の主張は採用できない。 （２） 申立理由２（明確性要件違反） 申立人は、申立書６１ページ２３行～６２ページ３行において、「本件発明１（当審注；本件訂正前の請求項１に係る発明）において、「第１の面」は「基板の外側に位置する」と定義されているから、第２の面に基板が載置された状態でなければ「第１の面」の内周を特定することはできない。ここで、「第１の面の内端部」は、本件発明１の構成要件Ｃに規定されている角度を規定するためのパラメータであるから、「第１の面の内端部」が特定されない限り、本件発明１の外縁は確定しないこととなる。このように、本件発明１は、発明の構成要素に含まれていない「基板」を加えなければその外縁を確定することができず、本件発明１に含まれる構成のみでは、その外縁を判断することができないから、不明確であると言わざるを得ない。」と主張する（本件訂正前の他の請求項についても同様。）。 しかしながら、本件訂正により、本件発明１において、申立人の主張の前提となる「基板の外側に位置する第１の面」との構成はなくなったから、本件発明１４、及び本件発明１又は本件発明１４の構成を全て含む本件発明３～７、９～１２、１６、１７を含め、申立人の主張は前提を欠き、採用できない。 第６ むすび 上記第４、第５のとおりであるから、取消理由（決定の予告）、及び、特許異議の申立ての理由及び証拠によっては、本件発明１、３～７、９～１２、１４、１６、１７に係る特許を取り消すことはできない。 また、他に本件発明１、３～７、９～１２、１４、１６、１７に係る特許を取り消すべき理由を発見しない。 そして、本件発明２、８、１３、１５に係る特許は、本件訂正により削除されたから、申立人による特許異議の申立てについて、本件発明２、８、１３、１５に係る特許についての申立ては、申立ての対象が存在しないものとなったため、特許法第１２０条の８第１項で準用する１３５条の規定により却下する。 よって、結論のとおり決定する。