2024-013260

特願２０２３－５０７２２５「イオン注入システム及び新規な加速器段構成を有する線形加速器」拒絶査定不服審判事件〔令和４年２月１０日国際公開、ＷＯ２０２２／０３１３９２、令和５年９月１日国内公表、特表２０２３－５３７４７２〕について、次のとおり審決する。

結 論 本件審判の請求は、成り立たない。

理 由 第１ 手続の経緯 本願は、２０２１年（令和３年）７月６日を国際出願日とする外国語特許出願であって（パリ条約による優先権主張外国庁受理２０２０年８月３日、米国）、その手続の経緯の概略は、次のとおりである。 令和５年 ３月３１日 ：翻訳文の提出 同年１１月１４日付け：拒絶理由通知書 令和６年 ２月２８日 ：意見書及び手続補正書の提出 同年 ４月 ８日付け：拒絶査定（以下「原査定」という。） （同月１６日 ：原査定の謄本の送達） 同年 ８月１６日 ：審判請求書及び手続補正書の提出 ［同年１０月 １日付け：前置報告書］ 令和７年 １月１５日 ：上申書の提出 以下、２０２０年（令和２年）８月３日を「優先日」という。 第２ 令和６年８月１６日にされた手続補正についての補正の却下の決定 ［補正の却下の決定の結論］ 令和６年８月１６日にされた手続補正を却下する。 ［補正の却下の決定の理由］ １ 補正の内容 令和６年８月１６日にされた手続補正（以下「本件補正」という。）は、特許請求の範囲の補正をするものであって、本件補正により、次の(１)に示す本件補正前（令和６年２月２８日にされた手続補正後のものをいう。以下同じ。）の特許請求の範囲の請求項１の記載は、後記(２)に示す本件補正後の特許請求の範囲の請求項１の記載に補正された。下線は補正箇所を示す。 (１) 本件補正前 「第１のエネルギーでイオンビームを生成するように構成された、イオン源及び抽出システム、並びに 前記イオン源の下流に配置された線形加速器であって、当該線形加速器が、前記イオンビームを束状にされたイオンビームとして受け入れ、且つ前記イオンビームを前記第１のエネルギーよりも大きい第２のエネルギーへ加速させるように構成されており、当該線形加速器が、複数の加速段を備え、前記複数の加速段のうちの所与の加速段が、 前記イオンビームを伝導するように構成されたドリフトチューブアセンブリと、 前記ドリフトチューブアセンブリに電気的に連結された共振器と、 前記共振器に連結され、前記共振器へＲＦ信号を出力するように構成されたＲＦ電力アセンブリと を備え、前記所与の加速段が四重極要素を含まない、線形加速器 を備え、 前記ドリフトチューブアセンブリが、第１の接地ドリフトチューブ、前記第１の接地ドリフトチューブの下流に配置されたＡＣドリフトチューブアセンブリ、及び前記ＡＣドリフトチューブアセンブリの下流に配置された第２の接地ドリフトチューブを備え、 前記第１の接地ドリフトチューブ及び前記第２の接地ドリフトチューブのうちの少なくとも１つが、Ｌ／Ｄが２未満であるドリフトチューブ長（Ｌ）とドリフトチューブ径（Ｄ）とを有するコンパクトな構成を有する、 イオン注入システム。」 (２) 本件補正後 「第１のエネルギーでイオンビームを生成するように構成された、イオン源及び抽出システム、並びに 前記イオン源の下流に配置された線形加速器であって、当該線形加速器が、前記イオンビームを束状にされたイオンビームとして受け入れ、且つ前記イオンビームを前記第１のエネルギーよりも大きい第２のエネルギーへ加速させるように構成されており、当該線形加速器が、複数の加速段を備え、前記複数の加速段のうちの所与の加速段が、 前記イオンビームを伝導するように構成されたドリフトチューブアセンブリと、 前記ドリフトチューブアセンブリに電気的に連結された共振器と、 前記共振器に連結され、前記共振器へＲＦ信号を出力するように構成されたＲＦ電力アセンブリと を備え、前記所与の加速段が四重極要素を含まない、線形加速器 を備え、 前記ドリフトチューブアセンブリが、第１の接地ドリフトチューブ、前記第１の接地ドリフトチューブの下流に配置され、前記共振器に接続するＡＣドリフトチューブアセンブリ、及び前記ＡＣドリフトチューブアセンブリの下流に配置された第２の接地ドリフトチューブを備え、 前記第１の接地ドリフトチューブ及び前記第２の接地ドリフトチューブのうちの少なくとも１つが、Ｌ／Ｄが２未満であるドリフトチューブ長（Ｌ）とドリフトチューブ径（Ｄ）とを有するコンパクトな構成を有する、 イオン注入システム。」 ２ 補正の目的 本件補正のうち請求項１についてする補正は、本件補正前の請求項１に記載された「ＡＣドリフトチューブアセンブリ」について、「前記共振器に接続する」と限定するものである。 そして、本件補正前の請求項１に記載された発明と本件補正後の請求項１に記載される発明は、産業上の利用分野及び解決しようとする課題が同一である。 したがって、本件補正により請求項１についてする補正は、特許法１７条の２第５項２号に掲げる特許請求の範囲の減縮を目的とする補正に該当する。 ３ 独立特許要件の判断 本件補正は、前記２のとおり、特許法１７条の２第５項２号に掲げる特許請求の範囲の減縮を目的とする補正に該当するから、本件補正後の請求項１に記載されている事項により特定される発明（以下「本件補正発明」という。）が、同法１７条の２第６項において準用する同法１２６条７項の規定に適合するか、すなわち、特許出願の際独立して特許を受けることができるものであるかについて、以下検討する。 (１) 本件補正発明 ア 本件補正発明の認定と分説 本件補正発明は、前記１(２)に摘記した本件補正後の請求項１に記載された事項により特定されるとおりのものと認める。 ここで、検討の便宜上、本件補正発明の構成を次のとおり構成Ｘと構成Ａ～Ｅまでに分説する。また、参考図として、本願の【図１Ａ】を掲載する。 ＜本件補正発明の分説＞ Ａ 第１のエネルギーでイオンビームを生成するように構成された、イオン源及び抽出システム、 Ｂ 並びに前記イオン源の下流に配置された線形加速器であって、 Ｂ１ 当該線形加速器が、前記イオンビームを束状にされたイオンビームとして受け入れ、且つ前記イオンビームを前記第１のエネルギーよりも大きい第２のエネルギーへ加速させるように構成されており、 Ｂ２ 当該線形加速器が、複数の加速段を備え、 Ｂ３ 前記複数の加速段のうちの所与の加速段が、前記イオンビームを伝導するように構成されたドリフトチューブアセンブリと、 Ｂ４ 前記ドリフトチューブアセンブリに電気的に連結された共振器と、 Ｂ５ 前記共振器に連結され、前記共振器へＲＦ信号を出力するように構成されたＲＦ電力アセンブリとを備え、 Ｂ６ 前記所与の加速段が四重極要素を含まない、線形加速器を備え、 Ｃ 前記ドリフトチューブアセンブリが、第１の接地ドリフトチューブ、前記第１の接地ドリフトチューブの下流に配置され、前記共振器に接続するＡＣドリフトチューブアセンブリ、及び前記ＡＣドリフトチューブアセンブリの下流に配置された第２の接地ドリフトチューブを備え、 Ｄ 前記第１の接地ドリフトチューブ及び前記第２の接地ドリフトチューブのうちの少なくとも１つが、Ｌ／Ｄが２未満であるドリフトチューブ長（Ｌ）とドリフトチューブ径（Ｄ）とを有するコンパクトな構成を有する、 Ｘ イオン注入システム。 ＜参考図（図１Ａ）＞ ［図：0001436684000001.jpg］ イ 課題・作用効果等に関連する明細書の発明の詳細な説明の記載 本願明細書の発明の詳細な説明の記載のうち、発明が解決しようとする課題及び作用効果等に関連する記載を抜粋すると、次の記載がある。 「【技術分野】 【０００１】 本開示は、概して、イオン注入装置に関し、より具体的には、高エネルギービームラインイオン注入装置に関する。 【背景技術】 …（中略）…。 【０００７】 周知の設計では、四重極構成要素は、所与の加速段の接地されたドリフトチューブの周囲に便宜的に配置され得る。ある設計では、２つの別々の四重極を加速段の両端に沿って配置することができ、他の設計では、段ごとに１つの四重極を使用することができる。しかしながら、既知のイオン注入装置のＲＦ－ＬＩＮＡＣの加速段の設計は比較的複雑である。 【０００８】 上記の観点から、イオン注入装置のＲＦ－ＬＩＮＡＣの現在の構成をさらに改善することが有用である。 …（中略）…。 【００１１】 一実施形態では、イオン注入システムは、第１のエネルギーでイオンビームを生成するように構成された、イオン源及び抽出システムと、イオン源の下流に配置された線形加速器とを備え、イオンビームを束状にされたイオンビームとして受け入れるように構成された線形加速器は、イオンビームを第１のエネルギーよりも大きい第２のエネルギーへ加速させ、線形加速器は、複数の加速段を備えている。このように、複数の加速段のうちの所与の加速段は、イオンビームを伝導するように構成されたドリフトチューブアセンブリと、ドリフトチューブアセンブリに電気的に連結された共振器と、共振器に連結され、共振器へＲＦ信号を出力するように構成されたＲＦ電力アセンブリをと含み得、所与の加速段は四重極要素を含まない。 …（中略）…。 【００３４】 線形加速器段から四重極要素を取り外した結果、ドリフトチューブアセンブリが再構成されることがある。特に、既知のイオン注入装置線形加速器では、四重極要素は、接地されたドリフトチューブの位置に（例えば、接地されたドリフトチューブを囲むように）配置される。接地したドリフトチューブは、四重極要素を支持するように、この位置で伸長する傾向がある。四重極要素を取り外したことにより、接地されたドリフトチューブを他の考慮事項に応じてサイズ決定してもよく、特に、接地されたドリフトチューブの長さをよりコンパクトな構成に短縮してもよい。ここで、ドリフトチューブ長（Ｌ）の値は、ドリフトチューブ径（Ｄ）に基づいており、Ｌ／Ｄは２未満であり、場合によっては、１．５であってもよい。図１Ａと図１Ｂを比較することによって、結果として比較的短くなったドリフトチューブアセンブリの長さが示される。」 (２) 各引用文献の記載事項及び引用発明等の認定 ア 引用文献１の記載事項及び引用発明の認定 (ア) 引用文献１に記載された事項 原査定の拒絶の理由において引用された、本願の優先日前に発行された文献である国際公開第２０１９／２３１７８２号（以下「引用文献１」という。）には、次の記載がある（なお、日本語訳は、引用文献１のファミリー出願である特表２０２１－５２５４４６号公報を参酌した。また、当合議体により、後記(ウ)の引用発明の認定に直接用いる記載に下線を付した。）。 「[0017] Referring now to FIG.1, an exemplary apparatus is shown in block form. The apparatus 100 may represent a beamline ion implanter, with some elements not shown for clarity of explanation. The apparatus 100 may include an ion source 102, and a gas box 107 disposed in a terminal 104 as known in the art. The ion source 102 may include an extraction system including extraction components and filters (not shown) to generate an ion beam 106 at a first energy. Examples of suitable ion energy for the first ion energy range from 5 keV to 100 keV, while the embodiments are not limited in this context. To form a high energy ion beam, the apparatus 100 includes various additional components for accelerating the ion beam 106. The apparatus 100 includes a DC accelerator column 108, disposed downstream of the ion source 102, and arranged to accelerate the ion beam 106 to produce an accelerated beam 109 at a second ion energy, where the second ion energy is greater than the first ion energy, generated by the ion source 102. The DC accelerator column 108 may be arranged as in known DC accelerator column, such as those columns used in medium energy ion implanters. [0018] The apparatus 100 may include an analyzer 110, functioning to analyze the accelerated ion beam 109 as in known apparatus, by changing the trajectory of the ion beam 106, as shown. The apparatus 100 may also include a buncher 112, and a linear accelerator 114 (shown in the dashed line), disposed downstream of the DC accelerator column 108, where the linear accelerator 114 is arranged to accelerate the accelerated ion beam 109 to form a high energy ion beam 115 at a third energy, greater than the second energy. The linear accelerator 114 may include a plurality of accelerator stages 126, arranged in series, as shown. In various embodiments, the third energy may represent the final ion energy for the ion beam 106, or approximately the final ion energy. In various embodiments, the apparatus 100 may include additional components, such as filter magnet 116, a scanner 118, collimator 120, where the general functions of the scanner 118 and collimator 120 are well known and will not be described herein in further detail. As such, a high energy ion beam, represented by the high energy ion beam 115, may be delivered to an end station 122 for processing a substrate 124.」 （日本語訳： ［００１７］ ここで図１を参照すると、例示的な装置がブロック形式で示される。装置１００は、ビームラインイオン注入装置を表し得、いくつかの要素は、説明を明確にするために示されない。装置１００は、当技術分野で知られているように、イオン源１０２と、ターミナル１０４内に配置されたガスボックス１０７とを含み得る。イオン源１０２は、第１のエネルギーでイオンビーム１０６を生成するために、抽出構成要素およびフィルタ（図示せず）を含む抽出システムを含み得る。第１のイオンエネルギーのための適切なイオンエネルギーの例は、５ｋｅＶ～１００ｋｅＶの範囲であるが、実施形態は、この文脈に限定されない。高エネルギーイオンビームを生成するために、装置１００は、イオンビーム１０６を加速するための様々な付加的な構成要素を含む。装置１００は、イオン源１０２の下流に配置されたＤＣ加速器カラム１０８を含む。ＤＣ加速器カラム１０８は、イオンビーム１０６を加速させ、第２のイオンエネルギーで加速ビーム１０９を生成するように構成されている。第２のイオンエネルギーは、イオン源１０２によって生成された第１のイオンエネルギーよりも大きい。ＤＣ加速器カラム１０８は、中型のエネルギーイオン注入装置で使用されるカラムなどの既知のＤＣ加速器カラムのように構成されてもよい。 ［００１８］ 図示のように、装置１００は、既知の装置と同様、イオンビーム１０６の軌道を変化させることによって加速イオンビーム１０９を分析するよう機能する分析器１１０を含み得る。また、装置１００は、ＤＣ加速器カラム１０８の下流に配置されたバンチャ（集束器、ｂｕｎｃｈｅｒ）１１２および線形加速器１１４（破線で示される）を含み得、ここで、線形加速器１１４は、第２のエネルギーよりも大きい第３のエネルギーで、高エネルギーイオンビーム１１５を生成するために、加速イオンビーム１０９を加速するように構成される。線形加速器１１４は、図示のように直列に配置された複数の加速器段１２６を含み得る。様々な実施形態では、第３のエネルギーは、イオンビーム１０６の最終イオンエネルギー、またはほぼ最終イオンエネルギーを表し得る。様々な実施形態では、装置１００は、フィルタ磁石１１６、スキャナ１１８、コリメータ１２０などの付加的な構成要素を含み得、スキャナ１１８およびコリメータ１２０の一般的な機能は周知であり、本明細書ではさらに詳細には記載しない。このようにして、高エネルギーイオンビーム１１５によって表される高エネルギーイオンビームは、基板１２４を処理するために、最終ステーション１２２に供給されてもよい。） 「図１ ［図：0001436684000002.jpg］ 」 「[0020] According to various embodiments of the disclosure, the linear accelerator 114 may include a plurality of accelerator stages to further accelerate the accelerated ion beam l09to a high energy. In some embodiments, the accelerator stages of the linear accelerator 114 may be a double gap accelerator stage, while in other embodiments the accelerator stages of the linear accelerator 114 may be a triple gap accelerator stage. In particular embodiments, the linear accelerator 114 may include at least three triple gap accelerator stages.」 （日本語訳： ［００２０］ 本開示の様々な実施形態によると、線形加速器１１４は、加速イオンビーム１０９を高エネルギーまでさらに加速するために、複数の加速器段を含み得る。いくつかの実施形態では、線形加速器１１４の加速器段は、二重間隙加速器段であってもよく、他の実施形態では、線形加速器１１４の加速器段は、三重間隙加速器段であってもよい。特定の実施形態では、線形加速器１１４は、少なくとも３つの三重間隙加速器段を含み得る。） 「[0021] FIG. 2 shows the structure of an exemplary accelerator stage of a linear accelerator, according to embodiments of the disclosure. FIG. 3 is a graph illustrating various parameters associated with the accelerator stage of the linear accelerator of FIG. 2. More particularly, FIG. 2 shows an embodiment of an accelerator stage 200, arranged as a triple gap accelerator stage. As is known, a linear accelerator (LINAC) receives an ion beam as a bunched ion beam. The bunched ion beam may be accelerated in two gaps within a double gap accelerator stage or in three gaps within a triple gap accelerator stage. [0022] The configuration of FIG. 2 illustrates a triple gap accelerator stage, including a resonator 204, a high frequency generator 202, coupled to the resonator 204, and a series of acceleration drift tubes, shown as drift tube 210, drift tube 212, drift tube 214, and drift tube 216. The term“drift tube” is known to indicate a cavity or region of the beamline surrounded by a conductor at a controlled potential so no electric fields penetrate into the interior of the tube, but the electric fields are confined to the entrance and exit regions of the drift tube. Thus, the charged particle will travel at a constant speed or“drift” through this drift tube. The high frequency generator 202 may generate a radio frequency signal, such as 20 MHz or greater, and in some embodiments, may generate a 40 MHz signal. The resonator 204 may be configured as a step-up transformer to act as a voltage source to generate a high voltage, high frequency signal, such as a radio frequency voltage signal. This high voltage signal is used to control the voltage of the drift tubes and thus define the acceleration provided by the accelerator stage 200. A series of accelerator stages, arranged generally as shown in FIG. 2, may be arranged in series to incrementally increase the ion energy to a final targeted ion energy.」 （日本語訳： ［００２１］ 図２は、本開示の実施形態による、線形加速器の例示的な加速器段の構造を示す。図３は、図２の線形加速器の加速器段に関連する様々なパラメータを示すグラフである。より詳細には、図２は、三重間隙加速器段として配置された加速器段２００の実施形態を示す。既知のように、線形加速器（ＬＩＮＡＣ）は集束イオンビームとしてイオンビームを受け取る。集束イオンビームは、二重間隙加速器段内の２つの間隙、または三重間隙加速器段内の３つの間隙で加速され得る。 ［００２２］ 図２の構成は、共振器２０４と、共振器２０４に連結された高周波生成器２０２と、ドリフト管２１０、ドリフト管２１２、ドリフト管２１４、およびドリフト管２１６として示される一連の加速ドリフト管とを含む、三重間隙加速器段を示す。「ドリフト管」という用語は、電界がチューブの内部に侵入しないように制御された電位で導体によって囲まれたビームラインの空洞または領域を示すことが知られているが、該電界はドリフト管の入口領域および出口領域に制限される。したがって、荷電粒子は、このドリフト管を通って一定の速度で移動または「ドリフト」することになる。高周波生成器２０２は、例えば２０ＭＨｚ以上の無線周波数信号を生成し得、いくつかの実施形態では、４０ＭＨｚの信号を生成し得る。共振器２０４は、無線周波電圧信号などの高電圧、高周波信号を生成するための電圧源として作用する昇圧器として構成され得る。この高電圧信号は、ドリフト管の電圧を制御するために使用され、したがって、加速器段２００によって提供される加速を規定する。概して図２に示すように配置された一連の加速器段を直列に配置して、イオンエネルギーを最終的な目標イオンエネルギーまで漸増的に増加させることができる。） 「図２ ［図：0001436684000003.jpg］ 」 「[0023] Various considerations may be taken into account according to the embodiments of the disclosure for determining the length of drift tubes within an accelerator stage, as well as the number of accelerator stages in a linear accelerator, such as linear accelerator 114. To begin with, a brief description of the operating principles of accelerator stage 200 is provided. As shown in the configuration of FIG. 2, the first acceleration drift tube, drift tube 210, receives an ion beam 230 having a given ion energy, which ion energy is determined by the DC acceleration column 108. The RF voltage may be provided as an AC signal 302, shown in FIG. 3, where the AC signal 302 is shown along the z axis value corresponding to the time when the bunch of ions is at that location. As the bunch accelerates, the wavelength of this bunch gets longer, even though the temporal frequency is fixed. The bunch (represented by ion beam 230) is then accelerated through the accelerator stage 200 by application of an RF signal, applied to drift tubes of the accelerator stage. The RF signal may have a suitable shape, such as sinusoidal, as shown by the exemplary applied signal, AC signal 302, in FIG. 3. The AC signal 302 may be characterized by a maximum amplitude of applied voltage, Vmax, where the AC signal is applied between the drift tube 212 and the drift tube 214. Thus, the maximum value of voltage applied between drift tube 212 and drift tube 214 is 2Vmax. Notably, drift tube 210, and the final drift tube, drift tube 216, are grounded. [0024] As further shown in FIG. 2, the accelerator stage 200 is characterized by a gap 220, between an end of drift tube 210 at point Pl and a beginning of drift tube 212 at point P2. The accelerator stage is further characterized by a gap 222, between an end of drift tube 212 at point P3 and a beginning of drift tube 214 at point P4. The accelerator stage is further characterized by a gap 224, between an end of drift tube 214 at point P5 and a beginning of drift tube 216 at point P6. Notably, within a given drift tube, the ion beam 230 does not accelerate, and merely drifts through the given drift tube at a given velocity. At each gap of the accelerator stage 200, the AC signal switches to accelerate the ion beam 230 (as a bunched ion beam) between adjacent drift tubes.」 （日本語訳： ［００２３］ 本開示の実施形態によると、加速器段内のドリフト管の長さのみならず、線形加速器１１４などの線形加速器内の加速器段の数を特定するためにも、様々な検討事項を考慮に入れることができる。最初に、加速器段２００の動作原理について簡単に説明する。図２の構成に示すように、第１の加速ドリフト管であるドリフト管２１０は、所与のイオンエネルギーを有するイオンビーム２３０を受け取り、このイオンエネルギーはＤＣ加速器カラム１０８によって規定される。ＲＦ電圧は、図３に示すＡＣ信号３０２として提供され得、ここで、ＡＣ信号３０２は、イオンの束がその位置にある時間に対応するｚ軸値に沿って示される。束が加速すると、一時的な周波数は固定されているにもかかわらず、この束の波長は長くなる。次いで、束（イオンビーム２３０によって表される）は、加速器段のドリフト管に印加されるＲＦ信号の印加によって、加速器段２００を通って加速される。ＲＦ信号は、図３において、例示的な印加信号であるＡＣ信号３０２によって示されるように、正弦波などの適切な形状を有し得る。ＡＣ信号３０２は、印加電圧の最大振幅Ｖｍａｘによって特徴付けられ得、ここで、ＡＣ信号は、ドリフト管２１２とドリフト管２１４との間に印加される。したがって、ドリフト管２１２とドリフト管２１４との間に印加される電圧の最大値は、２Ｖｍａｘである。特に、ドリフト管２１０、および最後のドリフト管であるドリフト管２１６は、接地されている。 ［００２４］ 図２にさらに示されるように、加速器段２００は、点Ｐ１におけるドリフト管２１０の端部と点Ｐ２におけるドリフト管２１２の始点との間の間隙２２０によって特徴付けられる。加速器段は、さらに、点Ｐ３におけるドリフト管２１２の端部と点Ｐ４におけるドリフト管２１４の始点との間の間隙２２２によって特徴付けられる。加速器段は、さらに、点Ｐ５におけるドリフト管２１４の端部と点Ｐ６におけるドリフト管２１６の始点との間の間隙２２４によって特徴付けられる。特に、所与のドリフト管内では、イオンビーム２３０は加速せず、所与の速度で所与のドリフト管を通って単にドリフトする。加速器段２００の各間隙において、ＡＣ信号は、隣接するドリフト管の間でイオンビーム２３０（集束イオンビームとして）を加速するように切り替わる。） 「[0025] For a given AC voltage signal having a Vmax, the maximum amount of added energy imparted to the ion beam 230 may be shown to be equal to 4qVmax, where q is the charge on the ion. This maximum energy may be imparted to the ion beam 230 when the tube length of a given drift tube is matched to the velocity of the bunched ion beam. If the tube length is too long or too short, the amount of energy imparted to the ion beam across a given gap is less than 2Vmax of added energy. As is well known, the velocity of an ion depends merely on the ion energy and the ion mass - and is independent of the charge state of the ion. Thus, the maximum energy is typically higher for higher mass ions. Accordingly, the tube length of a given drift tube of the accelerator stage 200 may be designed by consideration of the ion energy and ion mass of ions to be used in the ion beam 230. As an example, the injection energy is to be higher for higher mass ions, as compared to lower mass ions. [0026] Since components of a linear accelerator including the accelerator stages may not be easily switchable, the design of the various drift tubes of a given accelerator stage may account for various ion species and ion energies to be employed in an apparatus, such as apparatus 100. By way of reference, for known LINACs, generators have usually been restricted to operation at 13.56 MHz. In principle, 40 MHz power supplies including a 40 MHz generator may be used to drive a LINAC, where the resonator size may be scaled down accordingly as compared to a 13.56 MHz resonator. Notably, to obtain maximum voltage increase in a given tube, the tube length is matched to the energy of the ions. Thus, tube length increases along the beamline as the ion energy is increased. As detailed below, for heavier ions and lower energies, a shorter tube length is needed. For example, for a 100 keV phosphorous ion energy, a tube length of approximately 1 cm is called for in the case of 40 MHz resonator. Such a small length may be incompatible with beam control, where a width of the ion beam and thus the minimum inner diameter of the drift tube, may be on the order of one centimeter. With such a short length, the electric fields will penetrate the entire“length” of the drift tube, rendering the drift tube ineffective. For 13.56 MHz resonators, an ideal tube length in the case of 80 keV phosphorous is approximately 3 cm, presenting a more compatible geometry for conducting an ion beams as the ion beam enter the series of tubes to undergo acceleration to high energy. A disadvantage of such 13.56 MHz LINAC systems is the relatively larger resonators, and the concomitant larger LIN AC, generating a large footprint for such ion implanters.」 （日本語訳： ［００２５］ Ｖｍａｘを有する所与のＡＣ電圧信号について、イオンビーム２３０に付与される付加エネルギーの最大量は、４ｑＶｍａｘに等しいことが示され得る。ここで、ｑはイオンの電荷である。この最大エネルギーは、所与のドリフト管のチューブの長さが集束イオンビームの速度に適合されるときに、イオンビーム２３０に付与されてもよい。チューブの長さが長すぎるか短すぎる場合、所与の間隙にわたってイオンビームに付与されるエネルギーの量は、付加エネルギーの２Ｖｍａｘ未満である。周知のように、イオンの速度は、単にイオンエネルギーおよびイオン質量によって決まり、イオンの荷電状態の影響を受けない。したがって、最大エネルギーは、典型的には、より高いイオン質量に対してより高くなる。その結果、加速器段２００の所与のドリフト管のチューブの長さは、イオンビーム２３０に使用されるイオンのイオンエネルギーおよびイオン質量を考慮して設計され得る。一例として、注入エネルギーは、より低いイオン質量と比較して、より高いイオン質量に対してより高くなる可能性がある。 ［００２６］ 加速器段を含む線形加速器の構成要素は容易に切り換えることができないので、所与の加速器段の様々なドリフト管の設計は、装置１００などの装置で採用される様々なイオン種およびイオンエネルギーを考慮に入れてよい。参考までに、既知のＬＩＮＡＣに関しては、生成器は、通常、１３．５６ＭＨｚでの動作に制限されてきた。原理上は、４０ＭＨｚ生成器を含む４０ＭＨｚ電源を使用してＬＩＮＡＣを駆動することができ、この場合、共振器サイズは、１３．５６ＭＨｚ共振器と比較して、それに応じて縮小され得る。特に、所与のチューブにおける最大電圧増加を得るために、チューブの長さは、イオンのエネルギーに適合される。したがって、イオンエネルギーが増加するにつれて、チューブの長さはビームラインに沿って増加する。以下に詳述するように、より重いイオンおよびより低いエネルギーに対しては、より短い長さのチューブが必要とされる。例えば、１００ｋｅＶのリンイオンエネルギーに対しては、４０ＭＨｚ共振器の場合、約１ｃｍの長さのチューブが要求される。かかる短い長さは、イオンビームの幅、したがってドリフト管の最小内径が１センチメートルのオーダーであり得る場合、ビーム制御と両立しないことがある。かかる短い長さでは、電界はドリフト管の「長さ」全体に侵入し、ドリフト管を無効にする。１３．５６ＭＨｚの共振器に関しては、８０ｋｅＶのリンの場合の理想的なチューブの長さは約３ｃｍであり、イオンビームが一連のチューブに入って高エネルギーへの加速を受けるときに、イオンビームを伝導するためのより適合性の高い形状寸法を提示する。かかる１３．５６ＭＨｚのＬＩＮＡＣシステムの欠点は、比較的大きな共振器およびそれに付随するより大きなＬＩＮＡＣであり、かかるイオン注入装置のために大きな設置面積を生成する。） 「[0034] In view of the foregoing, at least the following advantages are achieved by the embodiments disclosed herein. By providing a DC acceleration subsystem to inject ions at relatively high energy, the present embodiments provide the advantage of a smaller overall footprint for a high energy ion implanter as compared to known linear accelerators. A related advantage is the shorter accelerator drift tubes used to generate a final beam energy, meaning the LINAC subsystem is shorter, and the overall tool is more compact. An additional advantage afforded by the present embodiments is the ability to use higher frequency resonators, meaning smaller resonators, because of the higher injection energy. A further related advantage is the ability to reduce breakdown risk by operating at higher frequency, eliminating the need to use cumbersome insulation means, such as SF6.」 （日本語訳： ［００３４］ 上記に鑑みて、本明細書に開示される実施形態によって、少なくとも以下の利点が達成される。比較的高エネルギーでイオンを注入するためのＤＣ加速サブシステムを提供することによって、本実施形態は、既知の線形加速器と比較して、高エネルギーイオン注入装置用の総設置面積がより小さいという利点を提供する。関連する利点は、最終ビームエネルギーを生成するために使用される加速器ドリフト管がより短いということであり、これは、ＬＩＮＡＣサブシステムがより短く、全体的なツールがよりコンパクトであることを意味する。本実施形態によって与えられる付加的な利点は、より高い周波数の共振器を使用する能力であり、注入エネルギーがより高いため、共振器がより小さいことを意味する。さらなる関連する利点は、より高い周波数で動作することによって破壊リスクを減少させる能力であり、ＳＦ６などの扱いにくい絶縁手段を使用する必要がなくなることである。） (イ) 引用文献１の記載から把握できる技術事項の認定 前記(ア)に摘記した［００３４］の記載によれば、次の技術事項（以下「引用文献１記載技術事項」という。）を把握できる。 ＜引用文献１記載技術事項＞ 「最終ビームエネルギーを生成するために使用される加速器ドリフト管をより短くすることにより、ＬＩＮＡＣサブシステムがより短く、全体的なツールがよりコンパクトとなること。」 (ウ) 引用発明の認定 前記(イ)において認定した事項及び前記(ア)に摘記した引用文献１の記載事項を総合すると、引用文献１には、請求項１に係る装置に含まれる実施形態による例示的な装置（図１及び２）について、次の発明（以下「引用発明」という。）が記載されていると認められる。なお、認定の根拠となる記載箇所を括弧内に示した。 ＜引用発明＞ 「ビームラインイオン注入装置であって、 装置１００は、イオン源１０２を含み、 イオン源１０２は、第１のエネルギーでイオンビーム１０６を生成するために、抽出システムを含み、 装置１００は、イオン源１０２の下流に配置されたＤＣ加速器カラム１０８を含み、 ＤＣ加速器カラム１０８は、イオンビーム１０６を加速させ、第２のイオンエネルギーで加速ビーム１０９を生成するように構成され、（［００１７］） 装置１００は、ＤＣ加速器カラム１０８の下流に配置されたバンチャ（集束器、ｂｕｎｃｈｅｒ）１１２および線形加速器１１４を含み、 線形加速器１１４は、第２のエネルギーよりも大きい第３のエネルギーで、高エネルギーイオンビーム１１５を生成するために、加速イオンビーム１０９を加速するように構成され、 線形加速器１１４は、直列に配置された複数の加速器段１２６を含み、（［００１８］） 線形加速器１１４は、少なくとも３つの三重間隙加速器段を含み、（［００２０］） 三重間隙加速器段として配置された加速器段２００は、共振器２０４と、共振器２０４に連結された高周波生成器２０２と、ドリフト管２１０、ドリフト管２１２、ドリフト管２１４、およびドリフト管２１６として示される一連の加速ドリフト管とを含み、（［００２１］・［００２２］） ドリフト管は、電界がチューブの内部に侵入しないように制御された電位で導体によって囲まれたビームラインの空洞または領域を示し、 共振器２０４は、無線周波電圧信号などの高電圧、高周波信号を生成するための電圧源として作用する昇圧器として構成され、 この高電圧信号は、ドリフト管の電圧を制御するために使用され、（［００２２］） 第１の加速ドリフト管であるドリフト管２１０は、所与のイオンエネルギーを有するイオンビーム２３０を受け取り、 ＲＦ電圧は、ＡＣ信号３０２として提供され、 束（イオンビーム２３０）は、加速器段のドリフト管に印加されるＲＦ信号の印加によって、加速器段２００を通って加速され、 ＡＣ信号は、ドリフト管２１２とドリフト管２１４との間に印加され、 ドリフト管２１０、および最後のドリフト管であるドリフト管２１６は、接地されており、（［００２３］） 所与のドリフト管内では、イオンビーム２３０は加速せず、所与の速度で所与のドリフト管を通って単にドリフトし、 加速器段２００の各間隙において、ＡＣ信号は、隣接するドリフト管の間でイオンビーム２３０（集束イオンビームとして）を加速するように切り替わり、（［００２４］） 加速器段２００の所与のドリフト管のチューブの長さは、イオンビーム２３０に使用されるイオンのイオンエネルギーおよびイオン質量を考慮して設計され得る、（［００２５］） ビームラインイオン注入装置」 イ 引用文献２及び３の記載事項及び周知技術の認定 当審において新たに引用する、本願の優先日前に発行された文献である特表２００３－５３５４３９号公報及び特開平１１－３５４２９８号公報（以下、それぞれを「引用文献２」及び「引用文献３」という。）には、次の記載がある。 (ア) 引用文献２の記載 「【００２０】 図１ｃにおいて、抵抗ＲＬ及びキャパシタンスＣｓに並列接続した誘導コイルＬを有する通常の共振回路１００が図示されている。加速電極１０８は、インダクターＬに接続され、イオンビーム１１０に関連するイオンを加速するのに役立つ。電極１０８は、２つの接地された電極１１２，１１４間に取り付けられ、そして、加速電極１０８と接地電極１１２，１１４は、イオンビームを加速するために「プッシュプル」動作で作用する。」 「【図１ｄ】 ［図：0001436684000004.jpg］ 」 (イ) 引用文献３の記載 「【００２５】 図１は本発明の実施の一形態の加速管３１の構造を示す縦断面図であり、図２は図１の切断面線Ａ－Ａから見た断面図である。この加速管３１は、３つの加速ギャップ３２，３３，３４を備える直線型の加速管であり、大略的に、前記加速ギャップ３２，３３，３４を形成するグランド電極３５、ドリフトチューブ３６、ドリフトチューブ３７およびグランド電極３８を備える加速室４１と、共振用のインダクタ３９，４０を備えるタンク４５とから構成されている。」 「【図３】 ［図：0001436684000005.jpg］ 」 (ウ) 周知技術の認定 前記(ア)及び(イ)に摘記した引用文献２及び３の摘記事項に例示される図面より、接地されるドリフト管の長さを短く、例えば、その直径に対して２倍未満に描画することが見てとれ、このような描画によれば、次の技術事項は、当業者にとって周知技術（以下「接地ドリフト管周知技術」という。）であったと認められる。 ＜接地ドリフト管周知技術＞ 「線形加速器における接地ドリフト管の長さを、その直径に対して２倍未満にすること。」 (３) 本件補正発明と引用発明の対比 ア 対比分析 本件補正発明と引用発明を、前記(１)アに記載した本件補正発明の分説に従い、以下に対比する。 (ア) 構成Ｘの観点（イオン注入システム） ａ 構成Ｘは、「イオン注入システム」の発明であることを特定するものである。 ｂ 引用発明は、「ビームラインイオン注入装置」の発明である。 ｃ したがって、本件補正発明と引用発明は、「イオン注入システム」の発明である点において一致する。 (イ) 構成Ａの観点（イオン注入システムについて） ａ 構成Ａは、「第１のエネルギーでイオンビームを生成するように構成された、イオン源及び抽出システム」を備えることである。 ｂ 引用発明における「イオン源１０２」及び「抽出システム」は、「第１のエネルギーでイオンビーム１０６を生成するため」ものであるから、本件補正発明にいうところの「第１のエネルギーでイオンビームを生成するように構成された、イオン源及び抽出システム」であるといえる。 ｃ したがって、本件補正発明と引用発明は、次の点において一致する。 「第１のエネルギーでイオンビームを生成するように構成された、イオン源及び抽出システム」を備える点。 (ウ) 構成Ｂ、Ｂ１及びＢ２の観点（線形加速器について１） ａ 構成Ｂは、「前記イオン源の下流に配置された線形加速器」（Ｂ）を備えることであり、当該「線形加速器」が、「前記イオンビームを束状にされたイオンビームとして受け入れ、且つ前記イオンビームを前記第１のエネルギーよりも大きい第２のエネルギーへ加速させるように構成されており」（Ｂ１）、当該「線形加速器」が、「複数の加速段を備える」（Ｂ２）ことである。 ｂ 引用発明における「線形加速器１１４」は、イオン源１０２の下流に配置された「ＤＣ加速器カラム１０８」の下流に配置されたものであるから、本件補正発明にいうところの「前記イオン源の下流に配置された線形加速器」であるといえる。 ｃ 引用発明における「線形加速器１１４」に含まれる「第１の加速ドリフト管であるドリフト管２１０」は、「所与のイオンエネルギーを有するイオンビーム２３０を受け取」っているところ、当該「イオンビーム２３０」は、「束（イオンビーム２３０）」であるから、引用発明における「線形加速器」は、本件補正発明にいうところの「前記イオンビームを束状にされたイオンビームとして受け入れ」との構成を満たしてる。 ｄ 引用発明における「線形加速器１１４」は、「第２のエネルギーよりも大きい第３のエネルギーで、高エネルギーイオンビーム１１５を生成するために、加速イオンビーム１０９を加速するように構成され」ている。ここで、当該「加速イオンビーム１０９」は、「イオンビーム１０６を加速させ、」「生成する」ビームであるから、「イオンビーム１０６」よりエネルギーが大きいものと理解できるところ、「高エネルギーイオンビーム１１５」は、当該「加速イオンビーム１０９」よりエネルギーが大きいのであるから、引用発明における「高エネルギーイオンビーム１１５」は、「イオンビーム１０６」よりもエネルギーが大きいことを理解できる。そうすると、引用発明における「線形加速器１１４」は、本件補正発明にいうところの「前記イオンビームを前記第１のエネルギーよりも大きい第２のエネルギーへ加速させるように構成されており」との構成を満たしてる。 ｅ 引用発明における「線形加速器」は、「少なくとも３つの三重間隙加速器段を含［む］」から、本件補正発明にいうところの「複数の加速段を備え」との構成を満たしてる。 ｆ したがって、本件補正発明と引用発明は、次の点において一致する。 「前記イオン源の下流に配置された線形加速器」を備え、「当該線形加速器が、前記イオンビームを束状にされたイオンビームとして受け入れ、且つ前記イオンビームを前記第１のエネルギーよりも大きい第２のエネルギーへ加速させるように構成されており、当該線形加速器が、複数の加速段」を備える点。 (エ) 構成Ｂ３～６の観点（線形加速器について２） ａ 構成Ｂ３～６は、「所与の加速段」が、以下の特定事項を満たすことである。 (ａ) 「前記イオンビームを伝導するように構成されたドリフトチューブアセンブリ」を備えること。（構成Ｂ３） (ｂ) 「前記ドリフトチューブアセンブリに電気的に連結された共振器」を備えること。（構成Ｂ４） (ｃ) 「前記共振器に連結され、前記共振器へＲＦ信号を出力するように構成されたＲＦ電力アセンブリ」を備えること。（構成Ｂ５） (ｄ) 「四重極要素を含まない」こと。（構成Ｂ６） ｂ 前記ａ(ａ)について、引用発明における「加速器段２００（三重間隙加速器段）」は、「ドリフト管２１０、ドリフト管２１２、ドリフト管２１４、およびドリフト管２１６として示される一連の加速ドリフト管」を含み、当該「一連の加速ドリフト管」により「イオンビームを加速する」のであるから、引用発明における「一連の加速ドリフト管」は、本件補正発明にいうところの「前記イオンビームを伝導するように構成されたドリフトチューブアセンブリ」であるといえる。 ｃ 前記ａ(ｂ)について、引用発明における「共振器２０４」は、「無線周波電圧信号などの高電圧、高周波信号を生成するための電圧源として作用する昇圧器として構成され」ており、「束（イオンビーム２３０）は、加速器段のドリフト管に印加されるＲＦ信号の印加によって、加速器段２００を通って加速され」るから、引用発明における「共振器２０４」は、「一連の加速ドリフト管」と電気的に接続されていると理解でき、本件補正発明にいうところの「前記ドリフトチューブアセンブリに電気的に連結された共振器」であるといえる。 ｄ 前記ａ(ｃ)について、引用発明における「共振器２０４」には、「高周波生成器２０２」が連結されているところ、「高周波生成」とは、ＲＦ信号を生成することと理解できる。そうすると、引用発明における「高周波生成器２０２」は、本件補正発明にいうところの「前記共振器に連結され、前記共振器へＲＦ信号を出力するように構成されたＲＦ電力アセンブリ」であるといえる。 ｅ 前記ａ(ｄ)について、引用発明は、「四重極要素」を含むことを発明特定事項とはしていないところ、引用文献１に「四重極要素」や、その配置を示唆する記載はなく、三重間隙加速器が「四重極要素」を必須とするとの技術常識もないことに鑑みれば、引用文献１に記載された三重間隙加速器を、「四重極要素」を含まないものと認定することは自然なことといえるから、引用発明は、本件補正発明にいうところの「四重極要素を含まない」との構成を満たしている。 ｆ 以上を踏まえ、本件補正発明と引用発明は、次の点において一致する。 「前記複数の加速段のうちの所与の加速段が、前記イオンビームを伝導するように構成されたドリフトチューブアセンブリと、前記ドリフトチューブアセンブリに電気的に連結された共振器と、前記共振器に連結され、前記共振器へＲＦ信号を出力するように構成されたＲＦ電力アセンブリとを備え、前記所与の加速段が四重極要素を含まない、線形加速器」を備える点。 (オ) 構成Ｃの観点（ドリフトチューブアセンブリについて） ａ 構成Ｃは、「ドリフトチューブアセンブリ」が、「第１の接地ドリフトチューブ、前記第１の接地ドリフトチューブの下流に配置され、前記共振器に接続するＡＣドリフトチューブアセンブリ、及び前記ＡＣドリフトチューブアセンブリの下流に配置された第２の接地ドリフトチューブ」を備えることである。 ｂ 引用発明における「一連の加速ドリフト管」は、「ドリフト管２１０、ドリフト管２１２、ドリフト管２１４、およびドリフト管２１６」であるところ、「ドリフト管２１０、および最後のドリフト管であるドリフト管２１６は、接地されて」いる。また、「ＲＦ電圧は、ＡＣ信号３０２として提供され」ているところ、「ＡＣ信号は、ドリフト管２１２とドリフト管２１４との間に印加され」ている。そうすると、引用発明における「ドリフト管２１０」、「ドリフト管２１２とドリフト管２１４」及び「ドリフト管２１６」は、それぞれ本件補正発明における「第１の接地ドリフトチューブ」、「ＡＣドリフトチューブアセンブリ」及び「第２の接地ドリフトチューブ」に相当し、「ドリフト管２１０、ドリフト管２１２、ドリフト管２１４、およびドリフト管２１６」は、「一連の加速ドリフト管」であるから、この順に並ぶもの、すなわち本件補正発明にいうところの「（それぞれの）下流に配置され」るものと理解できる。 ｃ したがって、本件補正発明と引用発明は、次の点において一致する。 「前記ドリフトチューブアセンブリが、第１の接地ドリフトチューブ、前記第１の接地ドリフトチューブの下流に配置され、前記共振器に接続するＡＣドリフトチューブアセンブリ、及び前記ＡＣドリフトチューブアセンブリの下流に配置された第２の接地ドリフトチューブを備え」る点。 (カ) 構成Ｄの観点（接地ドリフトチューブについて） ａ 構成Ｄは、「前記第１の接地ドリフトチューブ及び前記第２の接地ドリフトチューブのうちの少なくとも１つが、Ｌ／Ｄが２未満であるドリフトチューブ長（Ｌ）とドリフトチューブ径（Ｄ）とを有するコンパクトな構成を有する」ことである。 ｂ 引用発明は、本件補正発明の構成Ｄの観点について不明であるから、本件補正発明と引用発明は、次の点において相違する。 「前記第１の接地ドリフトチューブ及び前記第２の接地ドリフトチューブのうちの少なくとも１つが、Ｌ／Ｄが２未満であるドリフトチューブ長（Ｌ）とドリフトチューブ径（Ｄ）とを有するコンパクトな構成を有する」点。 イ 一致点及び相違点 前記アの対比分析の結果をまとめると、本件補正発明と引用発明の一致点及び相違点は、それぞれ次の(ア)及び(イ)に示すとおりである。 (ア) 一致点 「第１のエネルギーでイオンビームを生成するように構成された、イオン源及び抽出システム、 並びに前記イオン源の下流に配置された線形加速器であって、 当該線形加速器が、前記イオンビームを束状にされたイオンビームとして受け入れ、且つ前記イオンビームを前記第１のエネルギーよりも大きい第２のエネルギーへ加速させるように構成されており、 当該線形加速器が、複数の加速段を備え、前記複数の加速段のうちの所与の加速段が、前記イオンビームを伝導するように構成されたドリフトチューブアセンブリと、 前記ドリフトチューブアセンブリに電気的に連結された共振器と、 前記共振器に連結され、前記共振器へＲＦ信号を出力するように構成されたＲＦ電力アセンブリとを備え、 前記所与の加速段が四重極要素を含まない、線形加速器を備え、 前記ドリフトチューブアセンブリが、第１の接地ドリフトチューブ、前記第１の接地ドリフトチューブの下流に配置され、前記共振器に接続するＡＣドリフトチューブアセンブリ、及び前記ＡＣドリフトチューブアセンブリの下流に配置された第２の接地ドリフトチューブを備える、 イオン注入システム」の発明である点。 (イ) 相違点 本件補正発明は、「前記第１の接地ドリフトチューブ及び前記第２の接地ドリフトチューブのうちの少なくとも１つが、Ｌ／Ｄが２未満であるドリフトチューブ長（Ｌ）とドリフトチューブ径（Ｄ）とを有するコンパクトな構成を有する」との対し、引用発明は、そのようであるか不明な点。 (４) 判断 ア 相違点について (ア) 引用文献１の記載によれば、前記(２)ア(イ)ａの引用文献１記載技術事項１のとおり、「最終ビームエネルギーを生成するために使用される加速器ドリフト管をより短くすることにより、ＬＩＮＡＣサブシステムがより短く、全体的なツールがよりコンパクトとなる」との技術事項を把握でき、引用発明の装置をコンパクトとするために、引用発明における「一連の加速ドリフト管」をより短くすることに動機はあるといえる。 (イ) そうすると、「加速器段２００の所与のドリフト管のチューブの長さは、イオンビーム２３０に使用されるイオンのイオンエネルギーおよびイオン質量を考慮して設計され得る」引用発明において、「加速器段２００（三重間隙加速器段）」をより短くするために、各ドリフト管の長さをどの程度短くするかは、当業者の設計事項にすぎない。 そして、接地された「ドリフト管２１０」又は「ドリフト管２１６」の長さは、接地されたことによる作用が十分に機能する程度の長さであれば、それ以上に長くする必要がないことは明らかといえるから、接地ドリフト管周知技術も踏まえ、その長さを「Ｌ／Ｄを２未満」を満たすものとすることは、前記のとおり、「ドリフト管」をより短く設計するとの設計方針に従って、「ドリフト管２１０」又は「ドリフト管２１６」の長さを最適化した結果として満たされるにすぎず、当業者が適宜なし得た設計事項にすぎない。 イ 評価 前記アにおいて検討したとおり、引用発明において、前記相違点に係る本件補正発明の構成を備えるようにすることは、引用発明、引用文献１記載技術事項及び周知技術に基づいて当業者が容易に想到し得たことである。 そして、本件補正発明が奏する効果としては、当該構成のものとして当業者が予測・発見困難であり、かつ、格別顕著な効果を認めることはできない。 したがって、本件補正発明は、引用発明、引用文献１記載技術事項及び周知技術に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものである。 ウ 請求人の主張について (ア) 請求人の主張の内容 請求人は、引用文献１の「使用される加速器ドリフト管がより短い」という記載は、「一連の加速ドリフト管」の全体がより短いと解釈することが妥当であり、本願補正発明の「第１の接地ドリフトチューブ及び第２の接地ドリフトチューブのうちの少なくとも１つを短くする」という具体的な技術思想を得ることはできず、さらには、「Ｌ／Ｄが２未満であるドリフトチューブ長（Ｌ）とドリフトチューブ径（Ｄ）とを有するコンパクトな構成を有する」との構成を得ることはできない旨を主張している。 (イ) 請求人の主張についての検討 前記アに説示のとおり、引用発明における（接地された）「ドリフト管２１０」又は「ドリフト管２１６」の長さをどの程度短くするかは、当業者の設計事項であり、接地ドリフト管周知技術を踏まえれば、「Ｌ／Ｄが２未満」との事項は、その結果として満たされる、当業者が適宜なし得た設計事項にすぎないものである。 したがって、請求人の前記(ア)の主張は、採用し得ないものである。 エ 独立特許要件の判断のまとめ 以上検討のとおり、本願補正発明は、引用発明、引用文献１記載技術事項及び周知技術に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法２９条２項の規定により、特許出願の際独立して特許を受けることができないものである。 したがって、本件補正により請求項１についてする補正は、特許法１７条の２第６項において準用する同法１２６条７項の規定に適合しない。 ４ 本件補正の却下の決定の理由のむすび 前記３(４)エのとおり、本件補正は、同法１７条の２第６項において準用する同法１２６条７項の規定に違反するから、同法１５９条１項において読み替えて準用する同法５３条１項の規定により却下すべきものである。 よって、前記補正の却下の決定の結論のとおり決定する。 第３ 本願発明について １ 本願発明について 本件補正は、前記第２のとおり却下したので、本願の請求項１に係る発明（以下「本願発明」という。）は、本件補正前の特許請求の範囲の請求項１（前記第２の１(１)参照）に記載された事項により特定されるとおりのものである。 ２ 原査定における拒絶の理由の概要 原査定の本願発明に対する拒絶の理由（進歩性の欠如）の概要は、次のとおりである。 （進歩性の欠如） 本願発明は、本願の優先日前に発行された下記の引用文献に記載された発明に基づいて、本願の優先日前にその発明の属する技術の分野における通常の知識を有する者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法２９条２項の規定により特許を受けることができない。 記 引用文献１．国際公開第２０１９／２３１７８２号 ３ 引用文献に記載された事項及び引用発明の認定等 引用文献１に記載された事項並びに引用発明及び引用文献１記載技術事項は、前記第２の３(２)ア(ア)並びに(ウ)及び(イ)において示したとおりである。 ４ 対比・判断 本願発明は、前記第２の２において検討したとおり、本件補正発明から「前記共振器に接続する」の限定を省いたものである。 そうすると、本願発明の発明特定事項を全て含み、その発明特定事項の一部を限定したものに相当する本件補正発明が、前記第２の３(４)において説示したとおり、引用発明、引用文献１記載技術事項及び周知技術に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、本願発明も、同様の理由により引用発明、引用文献１記載技術事項及び周知技術に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものである。 第４ むすび 以上検討のとおり、本願発明は、特許法２９条２項の規定により、特許を受けることができない。 したがって、他の請求項に係る発明について検討するまでもなく、本願は拒絶すべきものである。 よって、結論のとおり審決する。