2022-003068

特願２０１７－８４２６３号「走査型電子顕微鏡および走査型電子顕微鏡の２次電子検出方法」拒絶査定不服審判事件〔平成３０年１１月１５日出願公開、特開２０１８－１８１７９０号〕について、次のとおり審決する。

結 論 本件審判の請求は、成り立たない。

理 由 第１ 手続の経緯 本願は、平成２９年４月２１日を出願日とする出願であって、その手続の経緯は以下のとおりである。 令和３年 ３月２４日付け：拒絶理由通知書 令和３年 ４月１９日 ：意見書、手続補正書の提出 令和３年 ８月 ４日付け：拒絶理由（最後の拒絶理由）通知書 令和３年 ８月２５日 ：意見書、手続補正書の提出 令和３年１２月 ３日付け：令和３年８月２５日になされた手続補正につ いての補正の却下の決定、拒絶査定 令和４年 ３月 １日 ：審判請求書、手続補正書の提出 第２ 令和４年３月１日にされた手続補正についての補正の却下の決定 ［補正の却下の決定の結論］ 令和４年３月１日にされた手続補正（以下「本件補正」という。）を却下する。 ［理由］ １ 本件補正について（補正の内容） （１）本件補正後の特許請求の範囲の記載 本件補正により、特許請求の範囲の請求項１の記載は、次のとおり補正された。（下線部は、補正箇所である。） 「【請求項１】 電子ビームを細く絞ってサンプルに照射しつつ平面走査し、放出された２次電子を検出する２次電子検出器を設けた走査型電子顕微鏡において、 前記電子ビームを細く絞る対物レンズと試料室内に移動可能に保持された前記サンプルとの間に該電子ビームが通過し、かつ気体がほとんど通過されない小さなアパチャーと、 前記サンプルを収納した試料室の圧力について、所定圧力に保持する該所定圧力を、細く絞った電子ビームが前記試料室内の気体に衝突してイオン化し、サンプルの表面に電子ビームの照射によって生じた負および正電荷を中和するに十分なイオン量が得られる圧力とする所定圧力保持手段と、 前記サンプルと前記アパチャーとの間に、放電しない範囲の４００Ｖ以下の所定バイアス電圧を印加するサンプル電圧印加装置とを備え、 該サンプル電圧印加装置が前記サンプルから放出された２次電子を前記アパチャーに向けて加速する電圧を該アパチャーに印加して、該サンプルから放出された２次電子を該アパチャーの小さな穴を通過させるように偏向し、該通過した２次電子を前記２次電子検出器で検出して２次電子検出割合を増大させ、併せて放電しない範囲の前記バイアス電圧を印加して放電を抑止し、かつサンプルへの前記ビームの照射による負および正電荷を中和してチャージを防止およびバックグラインドノイズを低減してＳ/Ｎを向上させたことを特徴とする走査型電子顕微鏡。」 （２）本件補正前の特許請求の範囲 本件補正前の、令和３年４月１９日にされた手続補正により補正された特許請求の範囲の請求項１の記載は次のとおりである。 「【請求項１】 電子ビームを細く絞ってサンプルに照射しつつ平面走査し、放出された２次電子を検出する２次電子検出器を設けた走査型電子顕微鏡において、 前記電子ビームを細く絞る対物レンズと試料室内に移動可能に保持された前記サンプルとの間に該電子ビームが通過し、かつ気体がほとんど通過されない小さなアパチャーと、 前記サンプルを収納した試料室の圧力について、所定圧力に保持する該所定圧力を、細く絞った電子ビームが前記試料室内の気体に衝突してイオン化し、サンプルの表面に電子ビームの照射によって生じた負電荷を中和するに十分なイオン量が得られる圧力とする所定圧力保持手段と、 前記サンプルと前記アパチャーとの間に、放電しない範囲の４００Ｖ以下の所定バイアス電圧を印加するサンプル電圧印加装置とを備え、 該サンプル電圧印加装置が前記サンプルから放出された２次電子を前記アパチャーに向けて加速する電圧を該アパチャーに印加して、該サンプルから放出された２次電子を該アパチャーの小さな穴を通過させるように偏向し、該通過した２次電子を前記２次電子検出器で検出して２次電子検出割合を増大させ、併せて放電しない範囲の前記バイアス電圧を印加して放電を抑止し、かつサンプルへの前記ビームの照射による負電荷を中和してチャージを防止したことを特徴とする走査型電子顕微鏡。」 ２ 補正の適否 本件補正は、本件補正前の請求項１に記載された発明を特定するために必要な事項である「サンプルの表面に電子ビームの照射によって生じた負電荷」及び「サンプルへの前記ビームの照射による負電荷」とあったものを、「サンプルの表面に電子ビームの照射によって生じた負および正電荷」及び「サンプルへの前記ビームの照射による負および正電荷」と限定するとともに、「中和してチャージを防止した」とあったものを、「中和してチャージを防止およびバックグラインドノイズを低減してＳ/Ｎを向上させた」と限定するものであって、補正前の請求項１に記載された発明と補正後の請求項１に記載される発明の産業上の利用分野及び解決しようとする課題が同一であるから、特許法第１７条の２第５項第２号の特許請求の範囲の減縮を目的とするものに該当する。 そこで、本件補正後の請求項１に記載される発明（以下「本件補正発明」という。）が同条第６項において準用する同法第１２６条第７項の規定に適合するか（特許出願の際独立して特許を受けることができるものであるか）について、以下検討する。 （１）本件補正発明 本件補正発明は、上記１（１）に記載したとおりのものである。 （２）引用文献の記載事項 ア 引用文献１ （ア）原査定の拒絶の理由で引用された本願の出願日前に頒布された又は電気通信回線を通じて公衆に利用可能となった引用文献である、特表２００２－５０７０４５号公報（以下「引用文献１」という。）には、図面とともに、次の記載がある。（下線は当審で付した。以下同じ。） 「【請求項１】ビーム源と試料室とを有し、これらの間に少なくとも１つの圧力ステージアパチャーが配設され、この圧力ステージアパチャーのオリフィスを通って一次電子ビームが前記試料室内の試料に向かって偏向され、最も試料に近い最下側の圧力ステージアパチャー（１８）を通って一次電子ビームは試料に当たり、この圧力ステージアパチャー（１８）は、走査型電子顕微鏡の残りの顕微鏡カラムに対して試料室内の昇圧をシールドし、また試料からの二次電子が圧力ステージアパチャーのオリフィス（１６）を通って少なくとも１つの検出器に達するのを可能にするように設定されている走査型電子顕微鏡において、 試料に対してバイアス電位の高感度検出器（５１，７４，９１）が前記検出器として設けられていることを特徴とする走査型電子顕微鏡。 【請求項２】前記最下側の圧力ステージアパチャー（１８）の上方に配置された少なくとも１つの電極（３９，４３，４４，５５）が、圧力ステージアパチャー（１８）に対して正電位であり、試料からの二次電子を検出器（５１，７４，９１）へと偏向するようになっている請求項１の走査型電子顕微鏡。」 「【０００２】 【従来技術】 僅かに昇圧された状況で動作する走査型電子顕微鏡（圧力ＳＥＭ）においては、数ヘクトパスカルないし数キロパスカルの最大動作圧力が、試料室内で通常発生されている。このような圧力において、一次電子は、比較的短い平均自由行程を有する。このために、顕微鏡のカラムは、圧力ステージアパチャー（もしくは圧力規制アパチャー）により、試料室に対してシールされている。そして、このアパチャーを通って、電子ビームは、試料室に入る。また、この圧力ステージアパチャーの上方で、圧力は数十倍減じられている。」 「【０００７】 さらに、低い一次エネルギーの使用は、また、小さいエネルギーが試料に与えられて試料を損傷してしまう敏感な試料を調べる場合に、電子ビームの照射が、薄い表面層に限られるために、有効である。・・・（略）・・・」 「【００２２】 本発明の好ましい実施の形態は、かくして、全体の検出器表面もしくは検出器表面の部分が、試料の電位と比較して正で５００Ｖ、好ましくは１０００Ｖ高い電位に設定されるという事実による。一般的な圧力ＳＥＭの試料室内でのこのような検出器の使用は、スパークオバーを生じさせる。」 「【００２４】 改良された検出効果は、試料並びに気体で発生されて圧力ステージアパチャーを通って検出器に達する二次電子の量の増大により生じる。・・・（略）・・・」 「【００２６】 【発明の実施の形態】 本発明の理解のために、図面の表示は、試料と検出器との間の領域に設けられた、本発明の理解のための重要な部品に制限されている。これは、例えば、ハウジング壁、真空ポンプ、真空ライン、カソード、ビーム成形のための電極、コンデンサーレンズ、アパチャー、スティグマトール、アラインメントコイル、並びに制御装置を含む、走査型電子顕微鏡の他の部品は、示していない。例えば、図１は、特に、本発明に係わる圧力ＳＥＭの実施の形態のための、本発明の理解にとって本質的である部品を示す。 【００２７】 一次電子ビームは、上方から検出器７４のオリフィス７７を通って光軸７９に沿って進む。試料１１を走査するために必要な一次電子ビームの偏向は、偏向コイル５９の助けにより果たされる。この一次電子ビームは、電極４４，５０，５５により形成された静電レンズと、磁気対物レンズ６２並びに／もしくは単一ポールの磁気対物レンズ６４により発生される磁界との助けにより収束される。そして、前記電極４４と別の電極１８との間の電界は、一次電子ビームを収束させるために、さらに貢献する。尚、光軸方向に開いたポールシュー間隙を有する前記磁気対物レンズ６２と、前記単一ポールの磁気対物レンズ６４との一方を省略することが可能である。 【００２８】 前記電極５５は、他方の電極４４，５０に対して高い正の電位に設定されている。このような電位差は、好ましくは、１ないし１５ｋＶ、例えば、７ｋＶで良い。前記電極５０，４４は、ポールシュー５８の周囲の絶縁体に、これと同心的に配置されている。また、この電極４４は、前記電極１８に対して正の電位に設定されており、これらの間の好ましい電位差は、５０ないし２０００Ｖである。この電極１８は、絶縁体６０に装着されており、正の電位か、試料１１と同電位に設定されている。印加される電圧の高さは、図２を参照して以下に説明される。」 「【００３０】 また、前記電極１８，４４は、同時に、圧力ステージアパチャーとして機能するようにデザインされている。気体は、試料室の外に流れ、圧力ステージアパチャー１８のオリフィスを通って、上方に流れて顕微鏡カラムに入る。そして、この気体は、矢印で示されるように、電極５５のオリフィス並びに並型チューブ６３を通るようにポンプで吸引される。中心合わせされ得る圧力ステージアパチャー１８は、シールリング６５により、外ポールシューに対してシールされている。」 「【００３３】 図２に示される圧力ステージアパチャーのオリフィス１６，４１の好ましいサイズは、試料室内の所望の最大許容圧力と、所望の最小使用可能一次エネルギーと、電極１８，４４間の電圧並びに距離と、カソウド（例えば、ショットキー・エミッター）により必要とされる真空度とに、依存している。圧力ステージアパチャー１８のオリフィス１６の直径は、例えば、２０ないし５００μｍで良い。しかし、オリフィス１６のサイズは、低い一次エネルギーに対して安定化が無視されるか、試料室内の圧力が低い圧力レベルに制限されているのであれば、１０００μｍで良い。例えば、オリフィス４１の好ましい直径は、例えば、１００μｍない２０００μｍで良い。これは、オリフィス１６の直径の少なくとも２倍であることが好ましい。」 「【００３５】 一次電子ビームは、図２に示されるオリフィス１６を通って上方から試料室に入り、この試料室内の気体を通って、試料に当たり、二次電子と後方散乱電子とを発生させる。二次電子は、弾性散乱に対して大きい有効断面積を有している。かくして、この動作軸は、拡散プロセスのときに、度々反転され、試料に達する前に散乱が吸収されるかもしれないリスクがある。かくして、二次電子は、オリフィス１６を通る電界路のみによるか、試料１１と圧力ステージアパチャー１８間に付加の電圧を印加することにより形成された電界の助けでオリフィス１６の方向に偏向される。 【００３６】 前記試料室内の気体並びに圧力と、オリフィス１６の直径と、ボア壁１７の長さと、内円錐面２２の円錐角β、γと、試料１１と圧力ステージアパチャー１８間の距離とに依存して、ほとんどの二次電子が検出器７４に達するような最適な電圧が前記試料１１と圧力ステージアパチャー１８と間に印加される。このような電圧は、ゼロボルトと数百ボルトとの間で良い。」 「【００３９】 前記試料１１と圧力ステージアパチャー１８との間の距離が比較的長く（例えば、１０００μｍ）かつ電圧が比較的高い（例えば、２００Ｖ）場合には、二次電子カスケードは、付加前増幅として得られる。充分に大きい（２００μｍ以上、例えば、２５０μｍ）圧力ステージアパチャー１６を使用する場合には、比較的距離が長くても高い検出効率を得るように、充分な二次電子がオリフィス１６に入る。」 「【００４４】 前記試料室内の低圧（例えば、１ｈＰａ）、もしくは下側の圧力ステージアパチャー１６の小さい直径（例えば、２００μｍ）で、または、二次電子がオリフィス１６に達する比較的高いエネルギーレベル（例えば、２０ｅＶ）を有しているときには、上側の圧力ステージアパチャー４１を通る二次電子を偏向するような電界を圧力ステージアパチャー１８の上方に必要としない。・・・（略）・・・」 「【００４８】 前記電極４４の上方の二次電子の残りのパスは、図１に基づいて以下に詳細に説明される。二次電子は、電極４４，５５間の電界によりさらに加速され、高い運動エネルギーで検出器７４に飛び込む。前記圧力ステージアパチャー１８，４４内並びにこれらの上方の気体圧力の大きな減少により、高い検出感度の検出器を使用するための充分に高い真空が、検出器７４の場所での試料室内の圧力増大にも係わらず達成される。・・・（略）・・・」 「【００５７】・・・（略）・・・圧力ステージアパチャー１８を交換するための対応する装置（図示せず）は、例えば、試料テーブルのエッジに装着され得る。」 「【００７２】 前記ワイヤーネットワーク７５と検出器５１との間の好ましい電圧は、１ないし１０ｋＶである。この検出器５１は、例えば、図６に示されるように、半導体検出器もしくはシンチレータで良い。試料室内に気体圧があるときにその高電圧がスパークを避けがたく導くような高感度二次電子検出器の使用は、今まで知っている走査型電子顕微鏡と比較して、はるかに優れた信号－雑音比のための理由である。これは、図６に示される実施の形態で、試料室に気体がある場合に得られる。」 ・ＦＩＧ．１ないし３は次のものである。 ［図：0001398834000001.jpg］ ［図：0001398834000002.jpg］ ［図：0001398834000003.jpg］ （イ）上記（ア）によれば、引用文献１には下記各事項が記載されていると認められる（以下、認定の根拠とした箇所の段落番号等を参考までに括弧内に付した。）。 ａ 引用文献１に記載された「走査型電子顕微鏡」（【００２６】）は、「一次電子ビームは、電極４４，５０，５５により形成された静電レンズと、磁気対物レンズ６２並びに／もしくは単一ポールの磁気対物レンズ６４により発生される磁界との助けにより収束され」、「前記電極４４と別の電極１８との間の電界は、一次電子ビームを収束させるために、さらに貢献する」（【００２７】）ものであって、「一次電子ビームは、」「オリフィス１６を通って上方から試料室に入り、この試料室内の気体を通って、試料に当たり、二次電子と後方散乱電子とを発生させる」（【００３５】）から、一次電子ビームを収束して試料１１に当てる走査型電子顕微鏡であるといえる。 また、引用文献１に記載された「走査型電子顕微鏡」（【００２６】）は、「試料１１を走査するために必要な一次電子ビームの偏向は、偏向コイル５９の助けにより果たされ」る（【００２７】）「電子ビームの照射」（【０００７】）により「試料１１を走査する」（【００２７】）ものであるから、走査する走査型電子顕微鏡であるともいえる。 したがって、引用文献１に記載された走査型電子顕微鏡は、一次電子ビームを収束して試料１１に当てつつ走査する走査型電子顕微鏡であるといえる。 ｂ 引用文献１に記載された「走査型電子顕微鏡」（【００２６】）は、「一次電子ビームは、」「オリフィス１６を通って上方から試料室に入り、この試料室内の気体を通って、試料に当たり、二次電子と後方散乱電子とを発生させ」（【００３５】）、「二次電子は、電極４４，５５間の電界によりさらに加速され、高い運動エネルギーで検出器７４に飛び込む」（【００４８】）ものであるから、発生した二次電子を検出する検出器７４を設けた走査型電子顕微鏡であるといえる。 ｃ 引用文献１に記載された「電極１８」（【００２７】）は、「電極４４」との間の電界」が「一次電子ビームを収束させるために、さらに貢献する」（【００２７】）電極であって、「最も試料に近い最下側の圧力ステージアパチャー」（請求項１）であるから、引用文献１に記載された走査型電子顕微鏡では、電極４４及び圧力ステージアパチャー１８は一次電子ビームを収束させる対物レンズをなすといえる。 ｄ 「走査型電子顕微鏡」（【００２６】）において、「試料１１」が「試料テーブル」（【００５７】）に保持されることは周知の技術的事項である。 したがって、引用文献１に記載された「走査型電子顕微鏡」（【００２６】）の「一次電子ビームが」「試料室内の試料」「に当た」（請求項１）るものであることを踏まえると、引用文献１に記載された走査型電子顕微鏡では、試料１１は試料室内に保持されているといえる。 ｅ 引用文献１に記載された「走査型電子顕微鏡」（【００２６】）は、「一次電子ビームが」「最も試料に近い最下側の圧力ステージアパチャー（１８）を通って」「試料に当たり、この圧力ステージアパチャー（１８）は、走査型電子顕微鏡の残りの顕微鏡カラムに対して試料室内の昇圧をシールドし、また試料からの二次電子が圧力ステージアパチャーのオリフィス（１６）を通って少なくとも１つの検出器に達するのを可能にするように設定されている」（請求項１）ものであって、当該「圧力ステージアパチャー」「により、試料室に対してシールされ」、「この圧力ステージアパチャーの上方で、圧力は数十倍減じられ」るから（【０００２】）、引用文献１に記載された走査型電子顕微鏡の圧力ステージアパチャー１８は、一次電子ビームが通過するオリフィス１６を有するものであるといえる。 また、引用文献１には、「圧力ステージアパチャー１８のオリフィス１６の直径は、例えば、２０ないし５００μｍで良い」（【００３３】）と記載されているから、２０ないし５００μｍの直径を有するオリフィス１６であるといえる。 さらに、引用文献１に記載された「走査型電子顕微鏡」（【００２６】）における「電極４４と別の電極１８との間の電界は、一次電子ビームを収束させるために、さらに貢献する」（【００２７】）から、引用文献１に記載された走査型電子顕微鏡では、圧力ステージアパチャー１８は、一次電子ビームを収束させる対物レンズをなす電極４４及び圧力ステージアパチャー１８のうちの電極４４と試料１１の間に備えられているといえる。 したがって、引用文献１に記載された走査型電子顕微鏡の圧力ステージアパチャー１８は、一次電子ビームが通過する、２０ないし５００μｍの直径のオリフィスを有し、前記圧力ステージアパチャー１８は、一次電子ビームを収束させる対物レンズをなす前記電極４４及び圧力ステージアパチャー１８のうちの前記電極４４と前記試料の間に備えられているといえる。 ｆ 引用文献１には、「真空ポンプ」「を含む、走査型電子顕微鏡の他の部品は、示していない」（【００２６】）と記載されていることに照らして、引用文献１の走査型電子顕微鏡は真空ポンプを備えるといえる。 また、引用文献１には、「試料室内の低圧（例えば、１ｈＰａ）を有しているときには、上側の圧力ステージアパチャー４１を通る二次電子を偏向するような電界を圧力ステージアパチャー１８の上方に必要としない」（【００４４】）と記載されるとともに、「気体は、試料室の外に流れ、圧力ステージアパチャー１８のオリフィスを通って、上方に流れて顕微鏡カラムに入」り、「そして、この気体は、矢印で示されるように、電極５５のオリフィス並びに並型チューブ６３を通るようにポンプで吸引される」（【００３０】）と記載されていることから、引用文献１に記載された走査型電子顕微鏡の試料室の中の気体は真空ポンプにより所定圧力（例えば、１ｈＰａ）に保持されていると解される。 ｇ 引用文献１には、「試料１１と圧力ステージアパチャー１８間の距離とに依存して、ほとんどの二次電子が検出器７４に達するような最適な電圧が前記試料１１と圧力ステージアパチャー１８と間に印加され」、「このような電圧は、ゼロボルトと数百ボルトとの間で良」く（【００３６】）、「試料１１と圧力ステージアパチャー１８との間の距離が比較的長く（例えば、１０００μｍ）かつ電圧が比較的高い（例えば、２００Ｖ）場合には、二次電子カスケードは、付加前増幅として得られる」（【００３９】）と記載されているから、引用文献１に記載された走査型電子顕微鏡では、試料１１と圧力ステージアパチャー１８との間には、ほとんどの二次電子が検出器７４に達するような最適な電圧（例えば、２００Ｖ）が印加されるといえる。 また、引用文献１に記載された「走査型電子顕微鏡」（【００２６】）が、当該最適な電圧（例えば、２００Ｖ）を印加する装置を備えることは明らかである。 したがって、引用文献１に記載された走査型電子顕微鏡は、試料１１と圧力ステージアパチャー１８の間に、２００Ｖの電圧を印加する装置を備えるといえる。 ｈ 引用文献１に記載された「走査型電子顕微鏡」（【００２６】）は、「二次電子は、電極４４，５５間の電界によりさらに加速され、高い運動エネルギーで検出器７４に飛び込む」（【００４８】）から、上記ｇでの検討を踏まえると、引用文献１に記載された走査型電子顕微鏡は、試料１１と圧力ステージアパチャー１８の間に、２００Ｖの電圧を印加する装置を備えることで、二次電子を圧力ステージアパチャー１８に向ける２００Ｖの電圧を圧力ステージアパチャー１８に印加しているといえる。 ｉ 引用文献１に記載された「走査型電子顕微鏡」（【００２６】）は、「二次電子は、オリフィス１６を通る電界路のみによるか、試料１１と圧力ステージアパチャー１８間に付加の電圧を印加することにより形成された電界の助けでオリフィス１６の方向に偏向される」（【００３５】）から、引用文献１に記載された走査型電子顕微鏡は、試料１１と圧力ステージアパチャー１８間に付加の電圧を印加することにより形成された電界の助けで、二次電子を、オリフィス１６の方向に偏向しているといえる。 ｊ 引用文献１に記載された「走査型電子顕微鏡」（【００２６】）では、「改良された検出効果は、試料並びに気体で発生されて圧力ステージアパチャーを通って検出器に達する二次電子の量の増大により生じる」（【００２４】）から、引用文献１に記載された走査型電子顕微鏡は、圧力ステージアパチャー１８のオリフィス１６を通過した二次電子を検出器７４で検出しているといえる。 （ウ）上記（ア）及び（イ）によれば、引用文献１には下記発明（以下「引用発明」という。）が記載されていると認められる（以下、引用発明の認定の根拠とした箇所の項目等を参考までに括弧内に付した。）。 「一次電子ビームを収束して試料に当てつつ走査し（（イ）ａ）、発生した二次電子を検出する検出器を設けた走査型電子顕微鏡において（（イ）ｂ）、 電極４４及び圧力ステージアパチャー１８は一次電子ビームを収束させる対物レンズをなし（（イ）ｃ）、前記試料は試料室内に保持され（（イ）ｄ）、 前記圧力ステージアパチャー１８は、一次電子ビームが通過する２０ないし５００μｍの直径のオリフィスを有し、前記圧力ステージアパチャー１８は、一次電子ビームを収束させる対物レンズをなす前記電極４４及び圧力ステージアパチャー１８のうちの前記電極４４と前記試料の間に備えられていて（（イ）ｅ）、 前記試料室の中の気体は真空ポンプにより所定圧力（１ｈＰａ）に保持され（（イ）ｆ）、 前記試料と前記圧力ステージアパチャー１８の間に、２００ボルトの電圧を印加する装置を備え（（イ）ｇ）、 前記試料と前記圧力ステージアパチャー１８の間に、前記２００Ｖの電圧を印加する装置を備えることで、前記二次電子を前記圧力ステージアパチャー１８に向ける２００Ｖの電圧を前記圧力ステージアパチャー１８に印加し（（イ）ｈ）、前記試料と圧力ステージアパチャー１８間に付加の電圧を印加することにより形成された電界の助けで、二次電子を、オリフィスの方向に偏向し（（イ）ｉ）、前記圧力ステージアパチャー１８のオリフィスを通過した二次電子を検出器で検出している（（イ）ｊ）、 走査型電子顕微鏡（請求項１）。」 イ 引用文献２ （ア）原査定の拒絶の理由で引用された本願の出願日前に頒布された又は電気通信回線を通じて公衆に利用可能となった引用文献である、特開２０１６－６６４１３号公報（以下「引用文献２」という。）には、次の記載がある。 「【技術分野】 【０００１】 本発明は、リターディング電圧を用いた低真空用荷電粒子線装置に関するものである。」 「【０００９】 これらのマスクが正しい寸法で出来ているかどうかを調べるためには、電子顕微鏡技術が必須であるが、高精細画像を取得するためにはサンプル表面にビームスポットサイズの小さな電子を照射して、信号電子を検出する必要があるが、その際、サンプル表面がチャージして照射電子ビームや信号電子に悪影響を与えないことが必須である。」 「【００２８】 また、リターディング電圧を調整し、サンプルの表面にチャージの発生が可及的に少なくなるようにすると共に、どうしても発生してしまったチャージを、低真空状態でガスを分離して生成したプラスとマイナスの電荷で中和して除去することができる。これにより、どのような表面状態を持つサンプルにおいてもサンプル上に生じるチャージ（電荷）を除去し、高分解能の画像を観察、取得し、測長できる。」 「【００４２】 差動排気アパチャー１１は、２段の差動排気用のアパチャーであって、低真空側のサンプル１２に面した側に差動排気アパチャー（下、第１）１１を設け、高真空側に面した側に差動排気アパチャー（上、第２）１１を設け、低真空側から高真空側の間に空間を設けるためのものである。この空間は、必要に応じて図示外の真空排気系で真空排気（差動排気）する。このアパチャーに酸化膜、チッカ膜、炭素膜等の電子透過薄膜が設けられていてもよ良い（当審注：「いても良い」の誤記と解される。）。差動排気アパチャーの典型的なサイズは０．００５ｍｍから数ｍｍの範囲である。差動排気アパチャーは１つの装置に２つ以上の真空度を持つ場所を提供する技術であり、高真空を必要とする、電子銃あるいはＭＣＰ等の電子検出器が動作できる環境をチャンバーの低真空環境とともに提供する。」 「【００５５】 （３）ここで、低真空側と高真空側との間に、本発明の、中心に穴を有する２段の差動排気アパチャー１１が設けられているため、両者（低真空側と高真空側と）でそれぞれ所望の真空を保持することができると共に、本発明では差動排気アパチャー１１の下（サンプル１２に近い方の下（あるいは上、あるいは両者でもよい））にリターディング電圧２３を印加して減速して１次電子２のエネルギーを低エネルギーにしてサンプル１２に照射しつつ平面走査するために、（１）対物レンズ８による収差の影響（１次電子２を低エネルギーにして収差が大きくなる影響）を小さくして細く絞った１次電子２をサンプル１２に照射しつつ平面走査し、高分解能の画像を取得でき、（２）かつ低エネルギーの１次電子２でサンプル１２の表面を照射しつつ平面走査して当該サンプル１２のごく表面からの２次電子を放出させて高分解能の信号を取得でき、かつ（３）低真空状態においたサンプル１２に１次電子２を照射するために当該低真空中のガスと衝突して分離してプラスとマイナスの電荷が発生し、サンプル１２上に生じた電荷を中和し、サンプル１２のチャージによる影響を低減（あるいは除去）できるという顕著な効果が得られる。」 「【００６０】 真空チャンバー９は、低真空状態に保持、ここでは、例えば１００Ｐａに保持されている。低真空状態は、望ましくは１Ｐａから１００Ｐａ，更に大気圧の範囲で実験を行って決めればよい。１Ｐａよりも圧力が小さくなると、低速エネルギーの１次電子２をサンプル１２に照射しつつ平面走査したときに、ガスとの衝突確率が小さくなりすぎ、ガスを分離してプラスとマイナスの電荷を十分に生成できず、サンプル１２の表面の電荷を中和が困難となるので、最適な値は実験で求めて決めればよい。尚、高真空側は、本例では１ｍＰａとしたが、これに限られず、通常１００ｍＰａよりも高真空であればよい。」 「【００６３】 放電を避けるためには、低真空部において高電位差が起きないようにすることも大事である。本実施例では、従来のＳＥＭ構造では、放電が起きやすい差動排気アパチャー１１とサンプル１２との間の電位が同じになるように電気的に制御する。このようにすると低真空状態にある差動排気アパチャー１１の先端とサンプル１２との間には高電圧が掛からないため、原理的に放電は起こらない。一方、差動排気アパチャー１１とサンプル１２にはリターディング効果に必要な高電圧（リターディング電圧２３）が加えられる。例えば、電子銃１から出射する１次電子２のエネルギー（電圧）が８ＫＶで、ブースター電極１７で１０ＫＶ（ブースタ電圧２２）に加速し、差動排気アパチャー１１とサンプル１２との電位を－９ＫＶに設定すれば、サンプル１２へのランディング電圧は１ＫＶが実現できる。一方、差動排気アパチャー１１とサンプル１２との間の電位差は０ＫＶとなり放電は起こらない。高電圧は高真空側の部分にのみに加えられるので、通常の高真空における沿面放電対策等を行えば、十分の上記の電位差に耐えることが出来る。 【００６４】 以上の方法によって、真空チャンバー９のサンプル１２の周辺圧力を低真空状態に保ちながらリターディング電圧２３を印加でき、該リターディング法は、１次電子２のエネルギーを変えることで、更に、２次電子放出の効率を変化させることができるので、サンプル１２の表面に電荷が蓄積しない条件を作ることが出来る。リターディング法ではサンプル１２の全ての部分の電荷蓄積を０にすることは出来ないが、その０には成らない部分を本発明の低真空状態でガスを分離してプラスとマイナスのイオンを発生させて、サンプル１２上の電荷を中和して除去することにより、極めて安定度の高い、サンプル１２の観察、測定が可能になる。」 「【００６７】 以上のように、２段の穴を有する差動排気アパチャー１１を低真空側と高真空側との間に図１、図２に示すように配置することにより、低真空側の真空度を１００Ｐａにした場合に高真空側の真空度を１ｍＰａに保持でき、実用上問題のないように構成できることが判明した。尚、低真空状態は、１００Ｐａから１Ｐａ（１Ｐａは１次電子２をガスに衝突させて、プラスおよびマイナスのイオンへの分離の確率が小さくなり、サンプル１２の表面の電荷を中和できる下限に相当）であればよい。」 （イ）上記（ア）によれば、引用文献２には下記技術的事項（以下「引用文献２に記載の技術的事項」という。）が記載されていると認められる（以下、認定の根拠とした箇所の段落番号等を参考までに括弧内に付した。）。 「低真空側のサンプルに面した側に差動排気アパチャー（下、第１）を設け、高真空側に面した側に差動排気アパチャー（上、第２）を設けた２段の差動排気用のアパチャーを備え（【００４２】）、画像を取得するためにサンプル表面に電子を照射して信号電子を検出する電子顕微鏡において、サンプル表面がチャージして照射電子ビームや信号電子に悪影響を与えない（【０００９】）ために、発生してしまったチャージを（【００２８】）、低真空状態においたサンプルに１次電子を照射するために当該低真空中のガスと衝突して分離してプラスとマイナスの電荷が発生し、サンプル上に生じた電荷を中和し、サンプルのチャージによる影響を低減（あるいは除去）（【００５５】）するために、真空チャンバーは、低真空状態（例えば１００Ｐａ）に保持され、１次電子をサンプルに照射しつつ平面走査したときに、ガスと衝突し、ガスを分離してプラスとマイナスの電荷を生成して、サンプルの表面の電荷を中和する（【００６０】）こと。」 （３）対比・判断 ア 本件補正発明と引用発明とを対比する。 （ア）引用発明の「一次電子ビーム」、「収束して」、「試料」、「発生した二次電子」、「検出器」、「一次電子ビームを収束させる（対物レンズをなす）電極４４及び圧力ステージアパチャー１８」、「試料室」、「圧力ステージアパチャー１８」、「所定圧力（１ｈＰａ）」、「真空ポンプ」、「２００Ｖの電圧」、「２００Ｖの電圧を印加する装置」及び「走査型電子顕微鏡」は、本件補正発明の「電子ビーム」、「細く絞って」、「サンプル」、「放出された２次電子」、「２次電子検出器」、「電子ビームを細く絞る対物レンズ」、「試料室」、「アパチャー」、「所定圧力」、「所定圧力保持手段」、「４００Ｖ以下の所定電圧」、「サンプル電圧印加装置」及び「走査型電子顕微鏡」に相当する。 （イ）本件補正発明の「電子ビームを細く絞ってサンプルに照射しつつ平面走査し、放出された２次電子を検出する２次電子検出器を設けた走査型電子顕微鏡」との発明特定事項（以下「発明特定事項イ」という。）について 引用発明の「一次電子ビームを収束して試料に当てつつ走査」するとの構成は、本件補正発明の「電子ビームを細く絞ってサンプルに照射しつつ平面走査」することと、「電子ビームを細く絞ってサンプルに照射しつつ走査」ことの点で一致する。 また、引用発明の「発生した二次電子を検出する検出器を設けた走査型電子顕微鏡」との構成は、本件補正発明の「放出された２次電子を検出する２次電子検出器を設けた走査型電子顕微鏡」に相当する。 したがって、引用発明の「一次電子ビームを収束して試料に当てつつ走査し（（イ）ａ）、発生した二次電子を検出する検出器を設けた走査型電子顕微鏡」との構成は、本件補正発明の発明特定事項イの構成と、「電子ビームを細く絞ってサンプルに照射しつつ走査し、放出された２次電子を検出する２次電子検出器を設けた走査型電子顕微鏡」の点で一致する。 （ウ）本件補正発明の「前記電子ビームを細く絞る対物レンズと試料室内に移動可能に保持された前記サンプルとの間に該電子ビームが通過し、かつ気体がほとんど通過されない小さなアパチャー」との発明特定事項（以下「発明特定事項ウ」という。）について 引用発明の「一次電子ビームを収束させる対物レンズをな」す「電極４４及び圧力ステージアパチャー」は、本件補正発明の「前記電子ビームを細く絞る対物レンズ」に相当する。 また、引用発明の「試料室内に保持され」る「試料」は、本件補正発明の「試料室内に移動可能に保持された前記サンプル」と、「試料室内に保持された前記サンプル」の点で一致する。 さらに、引用発明の「一次電子ビームが通過する２０ないし５００μｍの直径のオリフィスを有」する「圧力ステージアパチャー」は、本件補正発明の「該電子ビームが通過し、かつ気体がほとんど通過されない小さなアパチャー」と、「該電子ビームが通過するアパチャー」の点で一致する。 そして、引用発明の「一次電子ビームを収束させる対物レンズをなす前記電極４４及び圧力ステージアパチャー１８のうちの前記電極４４と前記試料の間に備えられて」いる「圧力ステージアパチャー１８」は、本件補正発明の「対物レンズと」「サンプルとの間に」備えられる「アパチャー」に相当する。 したがって、引用発明の「電極４４及び圧力ステージアパチャー１８は一次電子ビームを収束させる対物レンズをなし、前記試料は試料室内に保持され、前記圧力ステージアパチャー１８は、一次電子ビームが通過する２０ないし５００μｍの直径のオリフィスを有し、前記圧力ステージアパチャー１８は、一次電子ビームを収束させる対物レンズをなす前記電極４４及び圧力ステージアパチャー１８のうちの前記電極４４と前記試料の間に備えられてい」るとの構成は、本件補正発明の発明特定事項ウの構成と、「前記電子ビームを細く絞る対物レンズと試料室内に保持された前記サンプルとの間に該電子ビームが通過するアパチャー」の点で一致する。 （エ）本件補正発明の「前記サンプルを収納した試料室の圧力について、所定圧力に保持する該所定圧力を、細く絞った電子ビームが前記試料室内の気体に衝突してイオン化し、サンプルの表面に電子ビームの照射によって生じた負および正電荷を中和するに十分なイオン量が得られる圧力とする所定圧力保持手段」との発明特定事項（以下「発明特定事項エ」という。）について 引用発明の「前記試料室の中の気体は真空ポンプにより所定圧力（１ｈＰａ）に保持」する「真空ポンプ」との構成は、本件補正発明の発明特定事項エの構成と、「前記サンプルを収納した試料室の圧力について、所定圧力に保持する所定圧力保持手段」の点で一致する。 （オ）本件補正発明の「前記サンプルと前記アパチャーとの間に、放電しない範囲の４００Ｖ以下の所定バイアス電圧を印加するサンプル電圧印加装置とを備え」るとの発明特定事項（以下「発明特定事項オ」という。）について 引用発明の「前記試料と前記圧力ステージアパチャー１８の間に、２００ボルトの電圧を印加する装置を備え」るとの構成は、本件補正発明の発明特定事項オの構成と、「前記サンプルと前記アパチャーとの間に、４００Ｖ以下の所定電圧を印加するサンプル電圧印加装置とを備え」る点で一致する。 （カ）本件補正発明の「該サンプル電圧印加装置が前記サンプルから放出された２次電子を前記アパチャーに向けて加速する電圧を該アパチャーに印加して、該サンプルから放出された２次電子を該アパチャーの小さな穴を通過させるように偏向し、該通過した２次電子を前記２次電子検出器で検出して２次電子検出割合を増大させ、併せて放電しない範囲の前記バイアス電圧を印加して放電を抑止し、かつサンプルへの前記ビームの照射による負および正電荷を中和してチャージを防止およびバックグラインドノイズを低減してＳ／Ｎを向上させた」との発明特定事項（以下「発明特定事項カ」という。）について 引用発明の「前記試料と前記圧力ステージアパチャー１８の間に、前記２００Ｖの電圧を印加する装置を備えることで、前記二次電子を前記圧力ステージアパチャー１８に向ける２００Ｖの電圧を前記圧力ステージアパチャー１８に印加」することは、本件補正発明の「該サンプル電圧印加装置が前記サンプルから放出された２次電子を前記アパチャーに向ける電圧を該アパチャーに印加」することに相当する。 また、引用発明の「前記試料と圧力ステージアパチャー１８間に付加の電圧を印加することにより形成された電界の助けで、二次電子を、オリフィスの方向に偏向」させることは、本件補正発明の「該サンプルから放出された２次電子を該アパチャー方向に偏向」することに相当する。 さらに、引用発明の「前記圧力ステージアパチャーのオリフィスを通過した二次電子を検出器で検出している」ことは、本件補正発明の「該通過した２次電子を前記２次電子検出器で検出」することに相当する。 したがって、引用発明の「前記試料と前記圧力ステージアパチャー１８の間に、前記２００Ｖの電圧を印加する装置を備えることで、前記二次電子を前記圧力ステージアパチャー１８に向ける２００Ｖの電圧を前記圧力ステージアパチャー１８に印加し、前記試料と圧力ステージアパチャー１８間に付加の電圧を印加することにより形成された電界の助けで、二次電子を、オリフィスの方向に偏向し、前記圧力ステージアパチャーのオリフィスを通過した二次電子を検出器で検出している」との構成は、本件補正発明の発明特定事項カの構成と、「該サンプル電圧印加装置が前記サンプルから放出された２次電子を前記アパチャーに向ける電圧を該アパチャーに印加して、該サンプルから放出された２次電子を該アパチャーに偏向し、該通過した２次電子を前記２次電子検出器で検出」する点で一致する。 （キ）以上によれば、本件補正発明と引用発明との一致点及び相違点は、次のとおりである。 【一致点】 「電子ビームを細く絞ってサンプルに照射しつつ走査し、放出された２次電子を検出する２次電子検出器を設けた走査型電子顕微鏡において、 前記電子ビームを細く絞る対物レンズと試料室内に保持された前記サンプルとの間に該電子ビームが通過するアパチャーと、 前記サンプルを収納した試料室の圧力について、所定圧力に保持する所定圧力保持手段と、 前記サンプルと前記アパチャーとの間に、４００Ｖ以下の所定電圧を印加するサンプル電圧印加装置とを備え、 該サンプル電圧印加装置が前記サンプルから放出された２次電子を前記アパチャーに向ける電圧を該アパチャーに印加して、該サンプルから放出された２次電子を該アパチャーに偏向し、該通過した２次電子を前記２次電子検出器で検出する、走査型電子顕微鏡。」 【相違点】 （相違点１） 走査型電子顕微鏡が、電子ビームを細く絞ってサンプルに照射するに際して、本件補正発明は「平面走査」するものであるに対して、引用発明は「走査」するものである点。 （相違点２） 試料室内でサンプルを保持するに際して、本件補正発明は「移動可能に」保持するのに対して、引用発明は移動可能に保持するとは特定されない点。 （相違点３） アパチャーが、本件補正発明は、「気体がほとんど通過されない小さな」アパチャーであるのに対して、引用発明は、「２０ないし５００μｍの直径のオリフィスを有」する「圧力ステージアパチャー１８」である点。 （相違点４） 「サンプル電圧印加装置」が、本件補正発明は「放電しない範囲の」「バイアス」電圧であり、サンプルから放出された２次電子をアパチャーに向けて「加速」し「アパチャーの小さな穴を通過させるように」偏向する電圧であり、「２次電子検出器で検出」する「２次電子検出割合を増大させ」る電圧であり、さらには、「併せて放電しない範囲の前記バイアス電圧を印加して放電を抑止」する電圧を印加しているのに対して、引用発明における「試料と圧力ステージアパチャーの間」の「２００Ｖの電圧」は、「二次電子を、オリフィスの方向に偏向」する電圧である点。 （相違点５） 「サンプルを収納した試料室の圧力」である「所定圧力」が、本件補正発明は、「細く絞った電子ビームが前記試料室内の気体に衝突してイオン化し、サンプルの表面に電子ビームの照射によって生じた負および正電荷を中和するに十分なイオン量が得られる圧力」であるのに対して、引用発明における「試料室の中の気体」の「所定圧力（１ｈＰａ）」はそのようなものであるのか明らかではない点。 (相違点６) 走査型電子顕微鏡が、本件補正発明は、「サンプルへの前記ビームの照射による負および正電荷を中和してチャージを防止およびバックグラインドノイズを低減してＳ／Ｎを向上させた」ものであるのに対して、引用発明はそのようなものであるのか明らかではない点。 イ 判断 以下、相違点について検討する。 （ア）相違点１について 走査型電子顕微鏡を試料上で平面走査することは通常の走査形態にすぎず、格別特殊な走査を行うものではない引用発明の走査型電子顕微鏡も平面走査するものであるといえる。 したがって、上記相違点１は実質的な相違点ではない。 （イ）相違点２について 「走査型電子顕微鏡」の「試料テーブル」を走査の必要に応じて移動可能に構成することは例をあげるまでもなく周知の技術的事項であるから、引用発明において、試料１１を試料室内に移動可能に保持する構成となして、上記相違点２に係る本件補正発明の構成となすことは当業者が容易になし得たことにすぎない。 （ウ）相違点３について 引用発明の「一次電子ビームが通過する２０ないし５００μｍの直径のオリフィスを有」する「圧力ステージアパチャー１８」は、「前記圧力ステージアパチャー１８，４４内並びにこれらの上方の気体圧力の大きな減少により、高い検出感度の検出器を使用するための充分に高い真空が、検出器７４の場所での試料室内の圧力増大にも係わらず達成される」（【００４８】）ものであるから、当該「２０ないし５００μｍの直径のオリフィス」は、気体がほとんど通過されない小さな穴であるといえる。 したがって、引用発明の「一次電子ビームが通過する２０ないし５００μｍの直径のオリフィスを有」する「圧力ステージアパチャー１８」は、「気体がほとんど通過されない小さな」「アパチャー」であるといえるから、上記相違点３は実質的な相違点ではない。 （エ）相違点４について ａ 引用発明の「試料と前記圧力ステージアパチャー１８の間」に印加される２００ボルトの電圧は、「前記試料と圧力ステージアパチャー１８間に付加の電圧を印加することにより形成された電界の助けで、二次電子を、オリフィスの方向に偏向し」た上で、「前記圧力ステージアパチャー１８のオリフィスを通過した二次電子を検出器で検出」できるようにする電圧であるから、バイアス電圧であるといえる。 また、二次電子を、オリフィスの方向に偏向して集めているといえるから、検出器で検出する「前記圧力ステージアパチャー１８のオリフィスを通過した二次電子」の割合は、当該電圧を印加しない場合に比べて増大することは明らかである。 そして、電子に電圧を印加したときの電子の運動方程式が、１／２ｍｖ２＝ｅＶ（ｍ：電子の質量、ｖ：電子の速度、Ｖ：印加電圧、ｅ電子の電荷（絶対値））で表され、電子に電圧を印加すれば電子が加速され電子の速度が増加することから、当該「試料と前記圧力ステージアパチャー１８の間」に２００ボルトの電圧を印加することにより、二次電子に対して２００ボルトの電位差に基づく加速作用が生じることとなるといえる。 したがって、引用発明の「試料と前記圧力ステージアパチャー１８の間」に印加される２００ボルトの電圧は、二次電子を加速し圧力ステージアパチャー１８の２０ないし５００μｍの直径のオリフィスを通過させ、検出器で検出する二次電子検出割合を増大させるものであるといえる。 ｂ また、引用文献１には、「本発明の好ましい実施の形態は、かくして、全体の検出器表面もしくは検出器表面の部分が、試料の電位と比較して正で５００Ｖ、好ましくは１０００Ｖ高い電位に設定されるという事実による。一般的な圧力ＳＥＭの試料室内でのこのような検出器の使用は、スパークオバーを生じさせる。」（【００２２】）、及び、「試料室内に気体圧があるときにその高電圧がスパークを避けがたく導くような高感度二次電子検出器の使用は、今まで知っている走査型電子顕微鏡と比較して、はるかに優れた信号－雑音比のための理由である。」（【００７２】）と記載されていて、試料の電位と比較して正で５００Ｖあるいは１０００Ｖ高い電位の走査型電子顕微鏡の部材（検出器）があるとスパークオバーを生じさせること、及び、試料室内に気体圧があるときに当該高電圧が試料と走査型電子顕微鏡の部材（検出器）の間にスパーク(sparkover)を避けがたいことが記載されている。ここで、試料と走査型電子顕微鏡の部材の間にスパークが生じると、試料によってはダメージを受けることは周知の技術的事項であるから、試料と走査型電子顕微鏡の部材の間にスパークが生じることを避けることは当業者が当然に考慮する設計的事項であるといえる。 そうすると、引用発明の「試料と圧力ステージアパチャーの間に」印加する「２００ボルトの電圧」は、試料室内に気体圧があるときに試料と走査型電子顕微鏡の部材である圧力ステージアパチャーの間にスパーク(sparkover)を生じる高電圧を避けた電圧であると解される。 したがって、引用発明の「試料と圧力ステージアパチャーの間に」印加する「２００ボルトの電圧」は放電しない範囲電圧であると認められる。 ｃ ａ及びｂによれば、引用発明における「試料と圧力ステージアパチャーの間」の「２００ボルトの電圧」は、放電しない範囲のバイアス電圧であり、二次電子を加速し圧力ステージアパチャー１８の２０ないし５００μｍの直径のオリフィスを通過させ、検出器で検出する二次電子検出割合を増大させ、さらには、放電しない範囲の電圧であるといえるから、上記相違点４は実質的な相違点ではない。 また、例え、引用発明の「試料と圧力ステージアパチャーの間に」印加する「２００ボルトの電圧」が「放電しない範囲」の電圧ではないとしても、試料と圧力ステージアパチャーの間にスパーク(sparkover)を生じることが好ましくないことは、本願出願当時の技術常識であるから、引用発明において、「試料と圧力ステージアパチャーの間に」「２００ボルトの電圧」を印加しても放電することのないよう、他の条件を考慮して、上記相違点４に係る本件補正発明の構成となすことは当業者が容易になし得たことにすぎない。 （オ）相違点５及び６について 走査型電子顕微鏡において、サンプル表面がプラス／マイナスにチャージして照射電子ビームや信号電子に悪影響を与えることは、後記ウの周知文献１ないし３にみられるように、本願出願日には周知の技術的課題であった。また、走査型電子顕微鏡の試料室で「低真空状態でガスを分離」すると「プラスとマイナスの電荷」が生成されることも、引用文献２（【００２８】・【００５５】・【００６０】）、並びに、後記ウの周知文献４ないし６に見られるように本願出願日には周知の技術的事項であった。 そうすると、「試料室の中は、所定圧力（１ｈＰａ）の気体が存在する」引用発明の走査型電子顕微鏡においても、試料表面がプラス／マイナスにチャージして照射電子ビームや信号電子に悪影響を与えるとの技術的課題を有することは当業者が自然に認識することである。 したがって、「試料室の中は、所定圧力（１ｈＰａ）の気体が存在する」引用発明の走査型電子顕微鏡が有する上記周知の技術的課題を解決するために、引用発明の「試料室の中は、所定圧力（１ｈＰａ）」と同じ「低真空状態（例えば１００Ｐａ）」の電子顕微鏡において、「サンプル表面がチャージして照射電子ビームや信号電子に悪影響を与えないために、発生してしまったチャージを、低真空状態においたサンプルに１次電子を照射するために当該低真空中のガスと衝突して分離してプラスとマイナスの電荷が発生し、サンプル上に生じた電荷を中和し、サンプルのチャージによる影響を低減（あるいは除去）するために、真空チャンバーは、低真空状態（例えば１００Ｐａ）に保持され、１次電子をサンプルに照射しつつ平面走査したときに、ガスと衝突し、ガスを分離してプラスとマイナスの電荷を生成して、サンプルの表面の電荷を中和する」構成（引用文献２に記載の技術的事項）を適用して、試料の表面の電荷を中和することで上記技術的課題を解決すること（相違点５）は当業者が容易になし得たことである。 そして、引用発明において、試料の表面の電荷を中和すれば、「サンプルへの前記ビームの照射による負および正電荷を中和してチャージを防止」することとなり、さらには、試料が帯電することにより生じるノイズであるバックグラインドノイズも低減することができるから、当該試料が帯電することにより生じるバックグラインドノイズが減少ることによりＳ／Ｎ比も向上させることができること（相違点６）となることは明らかである。 ここで、引用発明における「試料室の中は、所定圧力（１ｈＰａ）の気体が存在する」ことは、引用文献２に記載の技術的事項の「低真空状態（例えば１００Ｐａ）」と同様の圧力であるから、当該圧力は、本件補正発明の「細く絞った電子ビームが前記試料室内の気体に衝突してイオン化し、サンプルの表面に電子ビームの照射によって生じた負および正電荷を中和するに十分なイオン量が得られる圧力」を満たすものである。 よって、引用発明に引用文献２に記載の技術的事項を適用して、上記相違点５及び６に係る本件補正発明の構成となすことは当業者が容易になし得たことである。 ウ 周知文献 （ア）周知文献１（特開２００８－１０１５１号公報） 「走査型電子顕微鏡は解像度の高い画像を得ることが可能であるが、観察される試料によって帯電現象に基づく画質の低下という問題を抱えている。即ち、試料が絶縁性材料から成る場合、電子線照射により試料表面が帯電してしまう。この様な帯電により、試料の二次電子放出が低下し、結果的に二次電子像の画質が低下してしまう。」（【０００２】） 「試料が絶縁材料から成る場合、その絶縁材料の種類や試料観察条件等により絶縁試料表面の帯電状態が変化するので、前記絶縁材料の種類や観察条件等に拘わらず一定量のガスを供給すると、中和が充分に行われずに、試料表面が負の帯電の状態になったり、逆に、正に帯電の状態になったりする。」（【００１８】） （イ）周知文献２（特開２００７－６６７８９号公報） 「従来、加速した電子線ビームを細く絞って試料に照射しつつ平面走査し、そのときに放出された２次電子や反射された反射電子を検出して画像（２次電子画像、反射電子画像）を生成し、当該画像上でパターンの線幅の測定や異物の検出や欠陥の検出などの検査が行われている。この際、検査対象の試料（例えば半導体を作成するマスク、ウェハなどの試料）がチャージして画像がドリフトして正確に試料上のパターンの測長が困難となる。」（【０００２】・【０００３】） 「電子線ビーム３を試料（マスク）９に照射しつつ平面走査したときに当該試料（マスク）９の部分が電子を逃がさない例えば絶縁性の場合には、入射する電子線ビーム３の量と、２次電子、反射電子、イオンなどの荷電粒子が放出される量との差引が負になるときは当該試料（マスク）９の観察部分が負にチャージし、差引が正になるときは当該試料（マスク）の観察部分が正にチャージすることになると考えられる」（【００１８】） （ウ）周知文献３（特開２０１５－６４２８９号公報） 「ＳＥＭでは、試料を観察及び測定する際に電子線を照射するが、この電子線によって試料表面が帯電する現象が発生する。すなわち、試料に入射する荷電粒子が有する電荷と放出される荷電粒子が有する電荷との差によって、照射面が正又は負に帯電する。試料表面の帯電電位に伴って、放出された二次電子が加速されたり、試料に再び引き戻されたりして、二次電子の放出効率が変化する。その結果、検出される二次電子量が不安定になるという問題がある。」（【０００８】） （エ）周知文献４（特開２０１３－２２５５３０号公報） 「（１）低真空雰囲気（１Ｐａ～３０００Ｐａ）に制御された試料室８おいて、一次電子ビーム２が照射された試料５から二次電子６が発生 （１）－１ 一次電子と試料室中の中性ガス分子の衝突で、電子とプラスイオンを生成」（【００３９】) （オ）周知文献５（特開２０１０－２８６４７６号公報） 「電気的に中性な被測定ガスをイオン化させる方法としては、約１０００℃以上に高温加熱した金属製フィラメントから熱電子を放出させ、それに外部電圧を印加して熱電子を加速し、中性な被測定ガスに衝突させて中性ガス分子から電子を叩き出し、プラス電荷を持ったイオンに変化させることが挙げられる。」(【００２２】） （カ）周知文献６（特開２００７－２１８６５７号公報） 「加速された電子のエネルギーは、中性ガス分子との衝突時に電子イオン対を作ることが可能である。このため、電子が中性ガス分子と多数の衝突を行うことにより、イオン対がさらに作られる。」（【００３４】） エ そして、これらの相違点を総合的に勘案しても、本件補正発明の奏する作用効果は、引用発明及び引用文献２に記載された技術の奏する作用効果から予測される範囲内のものにすぎず、格別顕著なものということはできない。 オ 請求人の主張 （ア）請求人は、審判請求書の【請求の理由】【本願発明が特許されるべき理由】において概略、下記のとおり主張する。 ａ 引用文献２は、サンプル１２と差動排気アパチャー１１との両者に同一電圧（－９ＫＶの固定高電圧）を印加するものであるから、引用発明に引用文献２の構成を適用すると、「前記サンプルと前記アパチャーとの間に、放電しない範囲の４００Ｖ以下の所定バイアス電圧を印加する」ことが不可となる（［２］理由１）。 ｂ 引用文献２は、差動排気アパチャーに対してサンプルにリターディング電圧－９ＫＶを印加しているために、サンプルの近傍に発生した正と負電荷を持つイオンのうち、負電荷のイオンが差動排気アパチャーに吸引され、その電圧が９ＫＶと、本願発明の４００Ｖ以下よりも２２．５倍大きい（高い）ために、引用文献２では２２．５倍のイオン（正と負の電荷を持つイオン）を生成する必要が生じる（［３」理由２）。 （イ）上記（ア）ａの点について 引用文献２において、「差動排気アパチャー１１とサンプル１２との電位を－９ＫＶに設定す」ることは、「差動排気アパチャー１１とサンプル１２との電位」を（接地電位等に対して）「－９ＫＶに設定す」ることを特定しているのであって、「差動排気アパチャー１１とサンプル１２との間の電位差」を－９ＫＶにすることを意味しない。 したがって、引用発明において、「前記試料と前記圧力ステージアパチャー１８の間に」放電が起こらない程度（上記イ（エ）ｂ参照））の「２００ボルトの電圧」（電位差であって、電位ではない）を印加することを何ら妨げない。 そもそも、上記イ（オ）は、試料の表面の電荷を中和するために、低真空状態にする構成を適用することを論じているのであって、上記（ア）ａの請求人の主張は採用できない。 （ウ）上記（ア）ｂの点について 上記イ（オ）の判断では、引用文献２の「差動排気アパチャー１１とサンプル１２との電位を－９ＫＶに設定す」ることまでを引用発明に適用することを論じているのではないことは上記（イ）で述べたとおりである。 なお、引用文献２は、サンプル１２と差動排気アパチャー１１（特に低真空側のサンプル１２に面した側に差動排気アパチャー１１（下、第１））との両者に同一電圧（－９ＫＶの固定高電圧）を印加することで、「放電が起きやすい差動排気アパチャー１１とサンプル１２との間の電位が同じになるように電気的に制御する。・・・差動排気アパチャー１１とサンプル１２との間の電位差は０ＫＶとなり放電は起こらない。」（【００６３】）ものであるから、差動排気アパチャー１１（特に低真空側のサンプル１２に面した側に差動排気アパチャー１１（下、第１））とサンプル１２との間の電位差は０ＫＶであり、請求人が上記（ア）ｂで主張するような、「本願発明の４００Ｖ以下よりも２２．５倍大きい（高い）ために、引用文献２では２２．５倍のイオン（正と負の電荷を持つイオン）を生成する必要が生じる」こととはならないと解される。 したがって、当該ガスから生じたイオンは差動排気アパチャー１１及びサンプル１２と同じ電位であって当該イオンと差動排気アパチャー１１との間に電位差はなく、差動排気アパチャー１１とサンプル１２との間のガスから生じたイオンが９ＫＶの電位差によって差動排気アパチャー１１（特に低真空側のサンプル１２に面した側に差動排気アパチャー１１（下、第１））に吸引されることは生じないから、上記（ア）ｂの請求人の主張は採用できない。 （エ）よって、請求人の主張は採用できない。 （４）したがって、本件補正発明は、引用発明、引用文献２に記載された技術及び周知の技術的事項に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであり、特許法第２９条第２項の規定により、特許出願の際独立して特許を受けることができないものである。 ３ 本件補正についてのむすび よって、本件補正は、特許法第１７条の２第６項において準用する同法第１２６条第７項の規定に違反するので、同法第１５９条第１項の規定において読み替えて準用する同法第５３条第１項の規定により却下すべきものである。 よって、上記補正の却下の決定の結論のとおり決定する。 第３ 本願発明について １ 本願発明 令和４年３月１日にされた手続補正は、上記のとおり却下されたので、本願の請求項に係る発明は、令和３年４月１９日にされた手続補正により補正された特許請求の範囲の請求項１ないし４に記載された事項により特定されるものであるところ、その請求項１に係る発明（以下「本願発明」という。）は、その請求項１に記載された事項により特定される、上記第２、理由１（２）に記載のとおりのものである。 ２ 原査定の拒絶の理由 原査定の拒絶の理由は、この出願の請求項１ないし４に係る発明は、本願の出願前に頒布された刊行物である又は電気通信回線を通じて公衆に利用可能となった文献である下記の引用文献１に記載された発明及び引用文献２に記載された事項に基づいて、その出願前にその発明の属する技術の分野における通常の知識を有する者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない、というものである。 引用文献１：特表２００２－５０７０４５号公報 引用文献２：特開２０１６－６６４１３号公報 ３ 引用文献 原査定の拒絶の理由で引用された引用文献１ないし２及びその記載事項は、上記「第２」の［理由］２（２）に記載したとおりである。 ４ 対比・判断 本願発明は、上記第２の［理由］２で検討した本件補正発明から、「および正電荷」と「バックグラインドノイズを低減してＳ/Ｎを向上させた」との限定事項を削除したものである。 そうすると、本願発明の発明特定事項を全て含み、さらに他の事項を付加したものに相当する本件補正発明が、上記第２の［理由］２（３）及び（４）に記載したとおり、引用発明、引用文献２に記載された技術及び周知の技術的事項に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、本願発明も、引用発明、引用文献２に記載された技術及び周知の技術的事項に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものである。 ５ むすび 以上のとおり、本願発明は、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないから、他の請求項に係る発明について検討するまでもなく、本願は拒絶されるべきものである。 よって、結論のとおり審決する。