2024-009885

特願２０２１－５５９４０２「例えば汚染マスクで使用するための粒子感知システム」拒絶査定不服審判事件〔令和２年１０月１５日国際公開、ＷＯ２０２０／２０７９０８、令和４年６月２日国内公表、特表２０２２－５２７５６３〕について、次のとおり審決する。

結 論 本件審判の請求は、成り立たない。

理 由 第１ 手続の経緯 本願は、２０２０年（令和２年）４月３日（パリ条約による優先権主張外国庁受理 ２０１９年４月１１日、（ＣＮ）中国 ２０１９年７月２３日、（ＥＰ）欧州特許庁）を国際出願日とする出願であって、令和５年１２月２２日付けの拒絶理由の通知に対し、令和６年３月１３日に意見書が提出されたが、同年４月８日付けで拒絶査定がなされ、これに対して同年６月１３日に審判の請求がなされると同時に手続補正（以下「本件補正」という。）がなされたものである。 第２ 本件補正についての補正の却下の決定 ［補正の却下の決定の結論］ 本件補正を却下する。 ［理由］ １ 本件補正について（補正の内容） （１）本件補正前の請求項１に係る発明 本件補正前の特許請求の範囲の請求項１に係る発明は、次のとおりである。 「 空気室と、 干渉ベースの粒子センサであって、 光を光路に沿って前記空気室に放出するための光源、 放出された光と、検出区域の粒子状物質によって検出器の方に反射された光との間の干渉に依存する検出信号を供給するための検出器、及び 前記粒子状物質によって反射された光の受光に基づいて粒子状物質の数又は濃度を決定するためのプロセッサを含む、干渉ベースの粒子センサと、 光学ユニットから前記検出器への直接反射を抑制する、前記光路に沿った光学ユニットであって、前記光学ユニットが前記光路に沿って前記検出区域の下流にある、光学ユニットと を含む、粒子感知システム。」 （２）本件補正後の請求項１に係る発明 本件補正後の特許請求の範囲の請求項１に係る発明は、次のとおりである（下線部は補正箇所を示す。）。 「 空気室と、 干渉ベースの粒子センサであって、 光を光路に沿って前記空気室に放出するための光源であって、前記光路が前記光源への戻りを含む、当該光源、 放出された光と、検出区域の粒子状物質によって検出器の方に反射された光との間の干渉に依存する検出信号を供給するための検出器であって、前記光源に戻る光を検出する当該検出器、及び 前記粒子状物質によって反射された光の受光に基づいて粒子状物質の数又は濃度を決定するためのプロセッサを含む、干渉ベースの粒子センサと、 光学ユニットから前記検出器への直接反射を抑制する、前記光路に沿った光学ユニットであって、前記光学ユニットが前記光路に沿って前記検出区域の下流にある、光学ユニットと を含む、粒子感知システム。」 ２ 補正の適否 本件補正は、本件補正前の請求項１に記載された発明を特定するために必要な事項である「光源」について、「光路が前記光源への戻りを含む」ように配置されることを限定するとともに、本件補正前の請求項１に記載された発明を特定するために必要な事項である「検出器」について、「光源に戻る光を検出する」ように配置されることを限定するものである。 本件補正は、上記のとおり限定を付加するものであって、補正前の請求項１に記載された発明と補正後の請求項１に記載される発明の産業上の利用分野及び解決しようとする課題が同一であるから、特許法第１７条の２第５項第２号の特許請求の範囲の減縮を目的とするものに該当する。 そこで、本件補正後の請求項１に記載される発明（以下「本件補正発明」という。）が同条第６項において準用する同法第１２６条第７項の規定に適合するか（特許出願の際独立して特許を受けることができるものであるか）について、以下、検討する。 ３ 本件補正発明 本件補正発明は、前記１（２）に記載したとおりのものである。 ４ 引用文献 （１）引用文献１ ア 引用文献１の記載事項 原査定の拒絶の理由で引用され、本願の最先の優先権主張の日（以下「最先の優先日」という。）前に電気通信回線を通じて公衆に利用可能となった引用文献である、特表２０１８－５２５６０６号公報（平成３０年９月６日出願公開。以下「引用文献１」という。）には、図面とともに、以下の記載事項がある。なお、引用発明の認定等に用いた箇所に下線を付した。 （ア）技術分野 「【０００１】 本発明は、粒子密度検出のための自己混合干渉を用いるレーザセンサ又はレーザセンサモジュール、及び、これらに関連する粒子密度検出方法に関する。」 （イ）発明が解決しようとする課題 「【０００４】 本発明の目的は、粒子密度検出のための改善されたレーザセンサを提供することである。」 （ウ）課題を解決するための手段 「【０００５】 第１の態様によれば、粒子密度検出のためのレーザセンサモジュールが提供される。レーザセンサモジュールは、少なくとも１つの第１のレーザと、少なくとも１つの第１の検出器と、少なくとも１つの電気駆動部と、を有する。第１のレーザは、少なくとも１つの電気駆動部によって供給される信号に応じて第１のレーザ光を放出するように構成される。少なくとも１つの第１の検出器は、第１のレーザの第１のレーザキャビティ内の光波の第１の自己混合干渉信号を検出するように構成される。第１の自己混合干渉信号は、第１のレーザ光の少なくとも一部を受ける粒子によって反射された、第１のレーザキャビティに再入射する第１の反射レーザ光によって引き起こされる。レーザセンサモジュールは、粒子の多重カウントを低減させるように構成される。 ・・・ 【０００９】 レーザセンサモジュールは、コントローラを更に有していてもよい。コントローラは、粒子をカウントするためにセンサによって供給される第１の自己混合干渉信号を評価するように構成されてもよく、また、コントローラは、粒子の検出を中断するように構成されてもよい。コントローラは、例えば、所定期間、第１のセンサによって供給される第１の自己混合干渉信号の評価を中断するように構成されてもよい。 ・・・ 【００１５】 例えば、第１の検出器などの１つの共通の検出器が、第１の自己混合干渉信号、第２の自己混合干渉信号、及び、レーザアレイの第３、第４、第５などのレーザによって生成され得る更なる自己混合干渉信号を検出するために使用されてもよい。１つの共通の検出器を使用すると、ある時点で異なる粒子の多重粒子検出を引き起こすことがある。この多数の自己混合干渉信号の識別は困難であるか、より高度なコントローラが使用され得る。コントローラは、例えば、粒子密度に依存し、電気駆動部によって、レーザアレイに含まれるレーザの少なくとも一部をスイッチオフするように構成され得る。コントローラは、特に、決定された粒子密度が連続的に上昇した場合、レーザ光を放出するレーザアレイのレーザの数が連続的に減少するように電気駆動部を制御するように構成されてもよい。或る瞬間に１つの粒子しかカウントされないという状況を達成するために、動作するレーザの数をある程度減らすことができる。より一般的には、検出された粒子濃度に依存して使用されるレーザの最適数を決定するアルゴリズムを適用することができる。濃度が低いと使用されるレーザの数が多くなる。このとき、ノイズは大きくなるものの、スキャンするボリュームは大きくなる。濃度が高いと使用されるレーザの数が少なくなる。このとき、ノイズは少なくなるものの、スキャンされるボリュームが小さくなる。これらの手段によって、検出速度及び精度が向上し得る。」 （エ）発明を実施するための形態 「【００２６】 以下、本発明の様々な実施形態が、図により説明される。 ・・・ 【００３２】 図２は、第２のレーザセンサモジュール１００の原理図を示している。第２のレーザセンサモジュールは、第１のレーザ１１０を有する。第１の検出器１２０が、第１のレーザキャビティに印加される電圧、又は、より一般的には、第１の自己混合干渉信号によって影響を受ける第１のレーザキャビティのインピーダンスを決定する外部測定回路として配置されている。第１のレーザセンサモジュール１００は、電気駆動部１３０を更に有する。電気駆動部１３０は、第１のレーザ光を放射するために、第１のレーザ１１０に電力を供給する。第１のレーザ１１０は、この場合、側面発光型半導体レーザである。レーザセンサモジュール１００は、電気駆動部１３０によって変調及び供給される電力を供給する電力供給装置（図示省略）に接続されている。電気駆動部１３０は、第１のレーザ光が第１のレーザ１１０によって放出されるように一定の駆動電流を供給する。電気駆動部１３０は、第１の自己混合干渉信号による粒子の二重カウント又は複数カウントのリスクが回避又は少なくとも低減されるように、１ｍｓ間、第１のレーザ光の放射を中断するように更に構成される。レーザセンサモジュール１００は、規定の粒子速度を供給するための装置を更に有する。決定された粒子速度を供給するための装置は、透明管１８２と、管内部の気体又は空気を移動させるためのファン１８０と、を有する。ファン１８０の速度は、第１のレーザ光の放射の中断時間に適合される。規定の粒子速度を供給するため、ファン１８０の代わりに、ポンプが使用されてもよい。 【００３３】 代替的に、ヒータ／クーラが、対流により空気移動を供給するために配置されてもよい。空気の移動に関する情報は、粒子密度の決定を精緻化するために使用されてもよい。ファンは、例えば、レーザセンサモジュール又は第１の自己混合干渉信号及び追加情報に基づいて粒子密度を決定するように構成されたコントローラ又は処理装置を有する外部装置のいずれかに、空気流量についての情報を供給するように構成されてもよい。 【００３４】 レーザセンサモジュール１００は、代替的に、又は、追加的に、装置内に一体化されていてもよく、装置周囲の空気を移動させるために、装置が、移動されてもよい。動きセンサのような追加のセンサが、装置の移動を決定するとともに、装置周囲の空気の移動を間接的に決定するために使用されてもよい。移動に関する情報は、粒子密度を決定するために使用され得る。 ・・・ 【００３６】 図４は、第４のレーザセンサモジュール１００の原理図を示している。第４のレーザセンサモジュール１００は、一体化された第１の検出器１２０を具備する第１のレーザ１１０を有する。一体型の第１の検出器１２０は、第１のレーザ１１０のレイヤ構造の一部である一体型フォトダイオードである。第４のレーザセンサモジュール１００は、電気駆動部１３０と、コントローラ１４０と、第１の光学装置１５０と、を更に有する。コントローラ１４０は、第１のレーザ１１０に接続され、又は、より正確には、第１の検出器１２０及び電気駆動部１３０に接続される。電気駆動部１３０は、第１のレーザ光を放射するため、第１のレーザ１１０に電力を供給する。第１のレーザ１１０は、この場合、一体型フォトダイオードを具備する垂直共振器面発光レーザ（ＶＣＳＥＬ）である。レーザセンサモジュール１００は、電気駆動部１３０によって変調及び供給される電力を供給する電源（図示省略）に接続される。電気駆動部１３０は、一定の駆動電流を供給する。コントローラ１４０は、第１の自己混合干渉信号によって引き起こされる第１の検出器１２０により供給される電気信号を受信する。コントローラ１４０は、電気駆動部１３０から情報を更に受ける。第１のレーザ１１０により放射された第１のレーザ光は、第１の光学装置１５０によって、第１の焦点領域１５５に集束される。粒子は、第１の焦点領域１５５の周囲の範囲内で検出され得る。コントローラ１４０は、粒子を検出した際の対応する制御信号により粒子を検出後、３ｍｓ間、第１のレーザ１１０をオフに切り替えるように更に構成される。粒子の二重カウント又は複数カウントが回避される、又は、少なくとも低減されるように、粒子は、第１のレーザ光の検出の中断中に、第１の焦点領域１５５を通過させられる。 【００３７】 第１の光学装置１５０は、例えば、規定の直径rlensを有するただ一つのレンズを有していてもよい。第１の自己混合干渉信号は、(1-exp[-(rlens/wpupil)^2])^2としてスケーリングされる。ここで、wpupilは、レンズ瞳孔における第１のレーザ光のガウシアンビームのウエストパラメータ（waist parameter）である。レンズは、第１のレーザ光の後方散乱ビーム又は反射ビームの口径食（ケラレ）による信号損失を回避するため、或る最小直径を有すべきである。好ましい実施形態は、レンズ直径＞１．１瞳孔直径（これは、３ｄＢの信号損失に対応する）を有する。ガウシアンビームの１．５倍の瞳孔直径（１ｄＢの信号損失）より大きいレンズがより優れている。 ・・・ 【００５０】 本発明は、図面及び前述の説明において詳細に図示され説明されてきたが、そのような図示及び説明は、例示的であって制限的ではないとみなされるべきである。 【００５１】 本開示を読むことで、他の修正例が、当該技術分野における当業者にとって明らかであろう。かかる修正例は、当該技術分野において既知であり、ここで説明された特徴の代わりに、又は、当該特徴に追加して使用され得る、他の特徴を含んでいてもよい。」 合議体注：図２及び図４は、以下のものである。 ［図：0001429625000001.jpg］ イ 引用文献１に記載された発明 上記記載事項（ア）及び（ウ）に基づけば、引用文献１には、「粒子密度検出のための自己混合干渉を用いるレーザセンサモジュール」が開示されており、レーザセンサモジュールが「少なくとも１つの第１のレーザと、少なくとも１つの第１の検出器と、少なくとも１つの電気駆動部と、を有する」こと、第１の検出器が「第１のレーザの第１のレーザキャビティ内の光波の第１の自己混合干渉信号を検出するように構成」され、第１の自己混合干渉信号は、「第１のレーザ光の少なくとも一部を受ける粒子によって反射された、第１のレーザキャビティに再入射する第１の反射レーザ光によって引き起こされる」ことが記載されている。さらに、記載事項（ウ）には、レーザセンサモジュールが、「コントローラ」を更に有すること、コントローラは、「粒子をカウントするためにセンサによって供給される第１の自己混合干渉信号を評価するように構成」されることが記載されている。 そして、「粒子密度検出のための自己混合干渉を用いるレーザセンサモジュール」の実施形態の１つとして、上記記載事項（エ）には、図２の「第２のレーザセンサモジュール１００の原理図」に示される「第２のレーザセンサモジュール１００」が記載されている。ここで、図２に基づけば、第１のレーザが透明管内に放出する第１のレーザ光と、透明管内の粒子によって反射され、第１の検出器に入射する反射光とが、同じ光路に沿って放出及び入射することが看取できる。 なお、記載事項（エ）及び図２の原理図には、コントローラについての記載がない。しかし、第２のレーザセンサモジュール１００も、粒子密度検出のために用いられるものであるから、粒子をカウントするためにセンサによって供給される第１の自己混合干渉信号を評価するコントローラを当然備えているものと理解できる。 以上より、引用文献１には、第２のレーザセンサモジュールとして、次の発明（以下「引用発明」という。）が記載されていると認められる。 「粒子密度検出のための自己混合干渉を用いるレーザセンサモジュールであって、 第１のレーザと、 第１のレーザの第１のレーザキャビティ内の光波の第１の自己混合干渉信号を検出するように構成され、第１の自己混合干渉信号は、第１のレーザ光の少なくとも一部を受ける粒子によって反射された、第１のレーザキャビティに再入射する第１の反射レーザ光によって引き起こされるものであり、第１のレーザキャビティに印加される電圧、又は、第１の自己混合干渉信号によって影響を受ける第１のレーザキャビティのインピーダンスを決定する外部測定回路として配置されている、第１の検出器と、 第１のレーザ光を放射するために、第１のレーザに電力を供給する、電気駆動部と、 透明管と、管内部の気体又は空気を移動させるためのファンと、を有し、規定の粒子速度を供給するための装置と、 粒子をカウントするためにセンサによって供給される第１の自己混合干渉信号を評価するように構成されたコントローラと、を有し、 第１のレーザが透明管内に放出する第１のレーザ光と、透明管内の粒子によって反射され、第１の検出器に入射する反射光とが、同じ光路に沿って放出及び入射するように構成された、 レーザセンサモジュール。」 （２）引用文献３ ア 引用文献３の記載事項 原査定の拒絶の理由で引用され、本願の最先の優先日前に電気通信回線を通じて公衆に利用可能となった引用文献である、特開２０１６－２２４０３４号公報（平成２８年１２月２８日出願公開。以下「引用文献３」という。）には、図面とともに、以下の記載事項がある。なお、引用文献３に記載された技術的事項を認定するのに用いた箇所に下線を付した。 （ア）技術分野 「【０００１】 本発明は、粒子センサ装置に関する。」 （イ）背景技術 「【０００３】 図１に略示した散乱光粒子カウンタは、レーザ光源１０と、光検出器１２と、測定セル１４とを有しており、この測定セルを通して空気流１６が引き込まれる。レーザ光源１０から放射されたレーザビーム１８は、測定セル１４の部分区間に放射されてこれを通過する。光が放射されて通過した上記部分区間内で、レーザビーム１８が、空気流１６の少なくとも一つの粒子１６ａに当たると、レーザビーム１８の少なくともいくつかの光子は、散乱光２０として光検出器１２に向かって散乱される（レーザビーム１８のうちの散乱されなかった部分は、吸収器２２に当たる）。このような従来の散乱光粒子カウンタを使用することにより、光検出器１２によって検出された散乱光２０に基づいて、空気流１６内に場合によっては存在する粒子１６ａについての情報が求められるようにしている。」 合議体注：図１は次のものである。 ［図：0001429625000002.jpg］ （ウ）発明を実施するための形態 「【００２１】 図２ａに略示した粒子センサ装置は、光放射装置５０ａを備えており、この光放射装置は、光放射装置５０ａの放射スペクトル内の光ビーム５２を放射するように設計されている。 ・・・ 【００２３】 有利な一実施形態において、光放射装置５０ａは、ＶＣＳＥＬレーザ（Vertical-Cavity Surface-Emitting Laser）５０ａであり、及び／又は、ＶＣＳＥＬレーザ５０ａを含む。面発光器５０ａと称されることも多いこのようなＶＣＳＥＬレーザ５０ａは一般的に、機能化された半導体チップ面に対して垂直に光ビーム５２を放射する半導体レーザである。光放射装置５０ａにＶＣＳＥＬレーザ５０ａを使用することにより、粒子センサ装置を小型化できる可能性がさらに高くなる。 【００２４】 図２ａに略示した粒子センサ装置は、体積体５４の少なくとも一部分に存在し得る粒子５６の検出又は検査に使用することができる。各体積体５４は、例えば粒子センサ装置の試料チャンバ／測定チャンバのような装置内部の体積体５４であってよい。しかしながら、この粒子センサ装置は、装置外部の体積体５４の少なくとも一部分における粒子５６を検出又は検査するように設計することも可能である。この場合、粒子センサ装置は有利には、以下で説明するその複数のコンポーネントの機能を実行できるように装置外部のこの体積体５４に配置することが可能である。 ・・・ 【００３３】 光放射装置５０ａが少なくとも一つのＶＣＳＥＬレーザ及び／又はＶｅＣＳＥＬレーザ５０ａを含む場合、光検出装置５０ｂは有利には、ＶＣＳＥＬレーザ又はＶｅＣＳＥＬレーザ５０ａの層構造体に組み込まれているフォトダイオードである。このような光放射及び光検出装置５０ａ及び５０ｂ、乃至、対応するチップ６６は、自己混合干渉ＶＣＳＥＬセンサ６６（integrated Self-Mixing VCSELセンサ６６）と称することができる。このようなＶＣＳＥＬセンサ６６では、少なくとも一つの検出面６４に入射する散乱光６２の検出は、上記放射と、入射するこの散乱光６２との干渉によって行われる。従って、ＶＣＳＥＬセンサ６６では、（集束領域６０内にある少なくとも一つの粒子５６における）散乱光６２に起因しない、上記少なくとも一つの検出面６４への入射光は、自動的にフィルタ除去される。これにより、従来のように粒子５６を検出又は検査するために体積体５４を周囲光から遮蔽する必要もなくなる。従って、この粒子センサ装置においては、遮光装置用のコスト及び必要な据付スペースが不要になる。」 合議体注：図２ａは次のものである。 ［図：0001429625000003.jpg］ イ 周知技術 上記引用文献３の記載事項（イ）に基づけば、本願の最先の優先日前において、次の周知技術が知られていたといえる。 「散乱光粒子カウンタが有する測定セルに、レーザビームの光子のうちの、粒子に当たって散乱されなかった部分に当たるように、吸収器を配置すること」 ５ 対比 本件補正発明と引用発明とを対比する。 （１）空気室 引用発明の「透明管」は、内部を「気体又は空気を移動させる」ように構成されている。したがって、引用発明の「透明管」は、本件補正発明の「空気室」に相当する。 （２）粒子センサ 引用発明の「第１のレーザ」は、「第１のレーザ光を放射する」機能を有している。したがって、引用発明の「第１のレーザ」は、本件補正発明の「光源」に相当する。また、引用発明は、「第１のレーザが透明管内に放出する第１のレーザ光と、透明管内の粒子によって反射され、第１の検出器に入射する反射光とが、同じ光路に沿って放出及び入射するように構成」されている。そうすると、引用発明の「第１のレーザ」は、本件補正発明の「光を光路に沿って前記空気室に放出する」との要件、及び、「前記光路が前記光源への戻りを含む」との要件を満たしている。 また、引用発明の「第１の検出器」は、「第１のレーザ光の少なくとも一部を受ける粒子によって反射された、第１のレーザキャビティに再入射する第１の反射レーザ光によって引き起こされる」ものである「第１の自己混合干渉信号を検出する」ように構成されている。したがって、引用発明の「第１の検出器」は、本件補正発明の「検出器」に相当し、「放出された光と、検出区域の粒子状物質によって検出器の方に反射された光との間の干渉に依存する検出信号を供給する」との要件を満たしている。また、引用発明は、「第１のレーザが透明管内に放出する第１のレーザ光と、透明管内の粒子によって反射され、第１の検出器に入射する反射光とが、同じ光路に沿って放出及び入射するように構成」されている。そうすると、引用発明の「第１の検出器」は、本件補正発明の「前記光源に戻る光を検出する」との要件を満たしている。 さらに、引用発明の「コントローラ」は、「粒子をカウントするためにセンサによって供給される第１の自己混合干渉信号を評価する」ように構成されたものである。したがって、引用発明の「コントローラ」は、本件補正発明の「プロセッサ」に相当し、「前記粒子状物質によって反射された光の受光に基づいて粒子状物質の数又は濃度を決定する」という要件を満たしている。 引用発明の上記「第１のレーザ」、「第１の検出器」及び「コントローラ」は、その機能からみて、本件補正発明の「干渉ベースの粒子センサ」を構成しているといえる。 （３）粒子感知システム 引用発明の「レーザセンサモジュール」は、上記「透明管」を有する「規定の粒子速度を供給するための装置」と、上記「第１のレーザ」と、上記「第１の検出器」と、上記「コントローラ」とを有するものである。そうすると、引用発明の「レーザセンサモジュール」は、本件補正発明の「粒子感知システム」に相当するといえる。 （４）一致点及び相違点 以上より、本件補正発明と引用発明とは、 「 空気室と、 干渉ベースの粒子センサであって、 光を光路に沿って前記空気室に放出するための光源であって、前記光路が前記光源への戻りを含む、当該光源、 放出された光と、検出区域の粒子状物質によって検出器の方に反射された光との間の干渉に依存する検出信号を供給するための検出器であって、前記光源に戻る光を検出する当該検出器、及び 前記粒子状物質によって反射された光の受光に基づいて粒子状物質の数又は濃度を決定するためのプロセッサを含む、干渉ベースの粒子センサと、 を含む、粒子感知システム。」 である点で一致し、以下の点で相違する。 ［相違点］ 本件補正発明は、「光学ユニットから前記検出器への直接反射を抑制する、前記光路に沿った光学ユニットであって、前記光学ユニットが前記光路に沿って前記検出区域の下流にある、光学ユニット」を含むのに対し、引用発明は、光学ユニットを含んでいない点。 ６ 判断 （１）［相違点］について 前記４（２）イに記載したとおり、本願の最先の優先日前において、次の周知技術が知られていたといえる。 「散乱光粒子カウンタが有する測定セルに、レーザビームの光子のうちの粒子に当たって散乱されなかった部分が当たるように、吸収器を配置すること」 引用発明と上記周知技術とは、レーザ光を用いて空気中の粒子を計測するレーザセンサに関するものであるから、技術分野が共通している。また、両者は、管内部に存在する粒子、つまり、小さいボリューム中での粒子を測定しようとする点でも共通している。そして、上記周知技術は、センサを、測定セルのような小さいボリュームに設けた場合において、測定セルの壁面に当たって散乱された光子が、検出器によって検出されてしまうことを抑制するものであるが、引用発明においても、透明管の壁面に当たって反射されたレーザ光が第１の検出器によって検出されてしまうという、同じ課題が存在することは明らかである。 そうすると、引用発明において、透明管の壁面に当たって反射されたレーザ光が第１の検出器によって検出されてしまうという課題を解決するために、上記周知技術を採用することは、当業者が容易に想到し得ることである。 なお、念のため、引用文献３の記載事項（ウ）について検討すると、引用文献３の記載事項（ウ）には、発明を実施するための形態として、図２ａと共に「自己混合干渉ＶＣＳＥＬセンサ６６」を用いた「粒子センサ装置」が記載されており、図２ａからみて、検出される「粒子５６」が存在する「集束領域６０」と「光放射及び光検出装置５０ａ及び５０ｂ」との間の光路は、本件補正発明における「光源への戻りを含む」、「前記光源に戻る光を検出する」との要件を満たすものである。 引用文献３の記載事項（ウ）には、「測定セル」及び「吸収器」についての記載がない。しかし、引用文献３の記載事項（ウ）に記載された発明を実施するための形態は、「自己混合干渉ＶＣＳＥＬセンサ６６」等を特定するものであって、「図２ａに略示した粒子センサ装置は、体積体５４の少なくとも一部分に存在し得る粒子５６の検出又は検査に使用することができる。各体積体５４は、例えば粒子センサ装置の試料チャンバ／測定チャンバのような装置内部の体積体５４であってよい。」と記載されているように、「測定セル」の構成を特定するものではないから、当業者であれば、従来技術における「測定セル」及び「吸収器」を適用できるものと理解する。そうすると、引用文献３には、上記周知技術を、自己混合干渉を用いるレーザセンサモジュールに適用することが示唆されているということもできる。 また、引用文献３の記載事項（ウ）には、「ＶＣＳＥＬセンサ６６では、（集束領域６０内にある少なくとも一つの粒子５６における）散乱光６２に起因しない、上記少なくとも一つの検出面６４への入射光は、自動的にフィルタ除去される。これにより、従来のように粒子５６を検出又は検査するために体積体５４を周囲光から遮蔽する必要もなくなる。」との記載があるが、「測定セル」の壁面における散乱光は、自動的にフィルタ除去されることはないから、「吸収器」の適用にあたり、阻害要因があるということもいえない。 審判請求人は、動機付けについて、「引用文献３では、吸収器２２から検出器１２への直接反射が想定されておらず、よって、吸収器２２は、本願発明の光学ユニットと異なる構成である。」、「引用文献３及び４の構成は、本願発明、並びに、引用文献１及び２の発明と、異なる光路を形成し、また、検出対象も異なるものである。」とし、「引用文献１及び２の発明において、引用文献３の吸収器２２及び引用文献４の第１光トラップ４０を採用する動機付けは存在しない。」と主張している。 しかし、上記［相違点］は、引用発明は、光学ユニットを含んでいない点にあり、光路及び検出対象が異なる点にはない。そして、センサを、測定セルのような小さいボリュームに設けた場合において、測定セルの壁面に当たって散乱された光子が、検出器によって検出されてしまうという現象は、レーザ光を散乱する壁面が検出器と対向して配置される場合に発生することは明らかであり、光源から壁面に至る光路と壁面から検出器に至る光路とが共通するものであるか異なるものであるかに依存しない。したがって、引用発明においても、同じ課題が存在することは明らかであるから、審判請求人の上記主張は採用できない。 （２）効果について 本願明細書の段落【００１８】の「光センサを汚染マスクで利用するために、光センサをコンパクトなボリューム内に統合できるようにする解決策が必要である。」、段落【００２１】の「光学ユニットによる反射の抑制は、光源から光学ユニットまでの光路の物理的長さが短縮できることを意味する。・・・光路によって占められる空間は、センサによる誤った解釈のリスクを増加させることなく減少される。これにより、空気室のよりコンパクトな設計が可能になる。」との記載に基づけば、本件補正発明が奏する効果は、「コンパクト」に設計できるという点にあると理解できる。 一方、引用発明は、「自己混合干渉を用いるレーザセンサモジュール」であって、「透明管」内の粒子密度を検出するものである。そうすると、引用発明も「コンパクト」に設計できるという効果を奏するといえる。また、上記周知技術を採用することにより、測定セルの壁面に当たって散乱された光子が、検出器によって検出されてしまうことを抑制するという効果を奏するものである。 したがって、本件補正発明の効果は、引用発明と同じ効果であるか、あるいは、引用発明の効果と周知技術の効果とを足し合わせた効果に過ぎず、格別なものということができない。 審判請求人は、本件補正発明の効果について、「本願発明は、上記技術的特徴を有することにより、センサをより小さいボリュームに設けることを可能にできるという顕著な効果を発揮するものである（本願明細書の段落００７６）。」と主張している。そして、本願明細書の段落【００７６】には、「本発明は、光路３１に沿った光学ユニットを使用し、それにより、光学ユニットから光路に沿って光源に戻る直接反射が抑制されることによって、センサをより小さいボリュームに設けることを可能にする。このようにして、光路は、長さが減じられる（終端される）か、又は方向が変えられる。これにより、複雑な信号処理の必要性が避けられ、検出信号のより電力効率のよい処理が可能になる。」と記載されている。 しかし、上記周知技術は、「散乱光粒子カウンタが有する測定セルに、レーザビームの光子のうちの、粒子に当たって散乱されなかった部分に当たるように、吸収器を配置する」ものであって、センサを、測定セルのような小さいボリュームに設けた場合において、測定セルの壁面に当たって散乱された光子が、検出器によって検出されることを抑制するものであることは明らかである。そうすると、上記周知技術を採用することにより、吸収器から光路に沿って検出器に至る反射が抑制されることによって、測定セルのような小さいボリュームに設けることを可能にできるという効果を奏することは、当業者にとって自明である。 したがって、審判請求人の主張する効果は、上記周知技術を採用することによる自明な効果であって、当業者が予測できる範囲のものであるから、格別顕著な効果であるということができない。 ７ むすび 以上のとおり、上記［相違点］は、周知技術に基づいて当業者が容易に想到し得たものであり、その効果も当業者が予測できた範囲のものである。そうすると、本件補正発明は、引用発明及び周知技術に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により独立して特許を受けることができない。 したがって、本件補正は、特許法第１７条の２第６項で準用する同法第１２６条第７項の規定に違反するものであり、同法第１５９条第１項で読み替えて準用する同法第５３条第１項の規定により却下されるべきものである。 よって、上記補正の却下の決定の結論のとおり決定する。 第３ 本件発明 １ 本件発明 本件補正は、前記第２に記載したとおり却下されたので、本願の請求項１～１５に係る発明は、願書に最初に添付された特許請求の範囲の請求項１～１５に記載された事項により特定されるものと認められるところ、その請求項１に係る発明（以下、「本件発明」という。）は、前記第２の１（１）に記載のとおりのものである。 ２ 原査定の拒絶の理由 原査定の拒絶の理由の概要は、この出願の請求項１～１５に係る発明は、本願の最先の優先日前に日本国内又は外国において、頒布された又は電気通信回線を通じて公衆に利用可能となった以下の引用文献に記載された発明に基づいて、その最先の優先日前にその発明の属する技術の分野における通常の知識を有する者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない、というものである。 なお、本件発明に対して、引用文献１及び引用文献２を、それぞれ、主引用発明が記載された文献として引用しており、引用文献３及び引用文献４を、それぞれ周知技術が記載された文献として引用している。 引用文献１：特表２０１８－５２５６０６号公報 引用文献２：国際公開第２０１８／２０６４７４号 引用文献３：特開２０１６－２２４０３４号公報 引用文献４：特開２０１６－０９０３５０号公報 引用文献５：特表２０１３－５０２５７２号公報 引用文献６：特表２０１９－５０１７２１号公報 引用文献７：特表２０１９－５０７３３２号公報 ３ 引用文献 原査定の拒絶の理由で引用された引用文献１、引用文献３及びその記載事項は、前記第２の４に記載したとおりである。 ４ 対比・判断 本件発明は、前記第２の２で検討した本件補正発明から、「光源」についての、「光路が前記光源への戻りを含む」ように配置されることの限定と、「検出器」についての、「光源に戻る光を検出する」ように配置されることの限定とを、それぞれ削除したものである。 そうすると、本件発明の発明特定事項を全て含み、さらに他の事項を付加したものに相当する本件補正発明が、前記第２の５～７に記載したとおり、引用発明及び周知技術に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、本件発明も、引用発明及び周知技術に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものである。 第４ むすび 以上のとおり、本件発明は、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないから、他の請求項に係る発明について検討するまでもなく、本願は拒絶されるべきものである。 よって、結論のとおり審決する。