2023-700161

特許第７１１８３９４号発明「スクリーンマスクの製造方法」の特許異議申立事件について、次のとおり決定する。

結 論 特許第７１１８３９４号の請求項１及び２に係る特許を維持する。

理 由 第１ 手続の経緯 特許第７１１８３９４号の請求項１及び２に係る特許についての出願は、平成３０年１月３１日に出願され、令和４年８月５日にその特許権の設定登録がされ、令和４年８月１６日に特許掲載公報が発行された。その後、その特許に対し、令和５年２月１５日に特許異議申立人 丸野悟史（以下「特許異議申立人Ａ」という。）、及び同年２月１６日に特許異議申立人 森田弘潤（以下「特許異議申立人Ｂ」という。）は、それぞれ特許異議の申立てを行った。 第２ 本件発明 特許第７１１８３９４号の請求項１及び２の特許に係る発明は、それぞれ、その特許請求の範囲の請求項１及び２に記載された事項により特定される次のとおりのものである。（以下、それぞれ、「本件特許発明１」、「本件特許発明２」といい、併せて「本件特許発明」という。） 「【請求項１】 メッシュ部に配されたマスク材の対象領域を、所定幅の複数のスキャンエリアに分け、２方向に複数の照射素子を配列してマトリクス状に備え前記スキャンエリアにレーザ光を照射する照射ヘッドにより前記スキャンエリア毎にマスクレス露光するとともに、 隣接する前記スキャンエリア同士を一部オーバーラップさせて、前記照射ヘッドを前記対象領域に対して相対的に移動させ、 所定の露光パターンで前記マスクレス露光を行うことにより、前記マスク材に所定の開口パターンを形成するとともに、 前記メッシュ部の前記開口パターンにおける前記マスク材の厚みが前記メッシュ部の厚みの５０％以上９０％以下であり、 前記照射ヘッドの、前記照射素子の配列方向は、前記移動の方向に対して１度～１５度の範囲で傾斜する、スクリーンマスクの製造方法。 【請求項２】 前記照射ヘッドは、複数の前記照射素子の照度の差が±５％以下である、請求項１に記載のスクリーンマスクの製造方法。」 第３ 申立理由の概要 特許異議申立人Ａは、主たる証拠として特開２０１２－２２１９４号公報（以下「文献１」という。）及び従たる証拠として特開２００８－７０５０６号公報（以下「文献２」という。）、特開２０１０－２５８０９０号公報（以下「文献３」という。）、特開２０１４－５６１６７号公報（以下「文献４」という。）、特開２００５－１１５０号公報（以下「文献５」という。）、特開２０１３－２１９１９９号公報（以下「文献６」という。）を提出し、請求項１及び２に係る特許は特許法第２９条第２項の規定に違反してされたものであり（以下「申立理由１」という。）、また、請求項１及び２に係る特許は特許法第３６条第６項第１号の規定に違反してされたものである（以下「申立理由２」という。）から、請求項１及び２に係る特許を取り消すべきものである旨主張する。 また、特許異議申立人Ｂは、請求項１及び２に係る特許は特許法第３６条第６項第２号の規定に違反してされたものであり（以下「申立理由３」という。）、また、請求項１及び２に係る特許は特許法第３６条第６項第１号の規定に違反してされたものであり（以下「申立理由４」という。）、さらに、証拠として文献１及び従たる証拠として特開２００４－１４６７８９号公報（以下「文献７」という。）、特開２００７－９０８３８号公報（以下「文献８」という。）、特開２０１６－１２９９５４号公報（以下「文献９」という。）、“マスクレス露光技術”，［online］，２０１７年１０月２９日，株式会社大日本科研，インターネット＜URL：https://web.archive.org/web/20171029194435/https://www.kakenjse.co.jp:80/technical/masklesstechnology/＞（以下「文献１０」という。），特開２０１６－５１５９６０号公報（以下「文献１１」という。）、特開２００６－２３１７９５号公報（以下「文献１２」という。）、文献２、特開２００３－２５７８４４号公報（以下「文献１３」という。）を提出し、請求項１及び２に係る特許は同法第２９条第２項の規定に違反してされたものである（以下「申立理由５」という。）から、請求項１及び２に係る特許を取り消すべきものである旨主張する。 第４ 文献の記載 １ 文献１ 文献１には、 「複数のマイクロミラーを有するデジタルマイクロミラーデバイスを用いてスクリーンの被鋸光面にパターンを露光するダイレクト露光方法に使用するスクリーンの製造方法であって、 スクリーンメッシュを用意するステップと、 スクリーンメッシュの上に、感光特性を有する感光乳剤を塗布するステップと、 スクリーンの全体を複数回の主走査方向の走査により分割露光を行うステップであって、 ２本の走査の間にオーバラップ部分を設け、同一箇所を複数回にわたって走査する分割露光を行うステップと、 を含む、スクリーンの製造方法。」 なる発明（以下「引用発明」という。）が記載されている。（【００２４】～【００２７】、【００３０】参照。） ２ 周知技術１ 「対象領域に光の照射（露光）を行い、対象領域上にパターンを形成するに当たり、描画パターンの解像度向上のために、照射ヘッドの照射素子の配列方向を、照射ヘッドの移動方向に対して傾けること」は周知技術（以下「周知技術１」という。）である。（文献２（【０００６】、【００３０】、【００３２】、【００３７】、【００４０】参照。）、文献３（【請求項１】～【請求項３】、【００１９】、【００２０】参照。）、文献４（【０００１】、【００３９】、【００４０】参照。）、文献７（【０００４】、【００１１】、【００１９】、【００４２】参照。）、文献１０、文献１１（【００５０】参照。）、文献１２（【００３６】参照。）） なお文献２には、照射領域群における行方向と副走査方向とのなす角θを１４度とすることが記載されている。（【００３７】参照。） ３ 周知技術２ 「ＤＭＤによって照射する光としてレーザ光を選択すること」は周知技術（以下「周知技術２」という。）である。（文献４（【００３４】参照。）及び文献７（【０００５】、【００１８】参照。）） ４ 技術事項１ 文献５には、 「スクリーンの一面に感光性樹脂乳剤を塗布し、露光処理によって所望のパターンを形成するスクリーン印刷用版の製造方法であって、スクリーンとしては、ステンレス鋼線を厚さ３５μｍに編み上げたものを用い、樹脂膜５５のスキージ面側表面５５Ａからスクリーン３のスキージ面側頂点３Ａまでの高さ寸法Ｄが６．０μｍからなるスクリーン印刷用版の製造方法。」 なる技術事項（以下「技術事項１」という。）が記載されている。（【００１３】、【００２２】、【００３９】、【図５】参照。） ５ 技術事項２ 「スクリーンマスクのマスク材の厚みを金属メッシュのメッシュ厚に対して５０％以上９０％以下に設定すること」 なる技術事項（以下「技術事項２」という。）が文献８（【００１９】、【００２０】、【図４】参照。）及び文献９（【図３】参照。）に記載されている。 ６ 技術事項３ 「半導体素子製造装置における露光装置に用いる照明系として、ＡｒＦエキシマレーザ光により略均一な照度で照明すること。」 なる技術事項なる技術事項（以下「技術事項３」という。）が文献６に記載されている。（【０００１】、【００２１】、【００２２】参照。） 第５ 当審の判断 １ 進歩性要件（申立理由１及び申立理由５）について 申立理由１及び申立理由５は、本件特許発明１及び２が、主たる証拠を特開２０１２－２２１９４号公報として特許法第２９条第２項の規定に違反してされたものとの点で共通するから、併せて検討する。 （１）本件特許発明１について ア 対比 本件特許発明１と引用発明とを対比すると、両者は、以下の一致点で一致し、以下の各相違点で相違する。 ［一致点］ 「メッシュ部に配されたマスク材の対象領域を、所定幅の複数のスキャンエリアに分け、２方向に複数の照射素子を配列してマトリクス状に備え前記スキャンエリアを照射する照射ヘッドにより前記スキャンエリア毎にマスクレス露光するとともに、 隣接する前記スキャンエリア同士を一部オーバーラップさせて、前記照射ヘッドを前記対象領域に対して相対的に移動させ、 所定の露光パターンで前記マスクレス露光を行うことにより、前記マスク材に所定の開口パターンを形成する、スクリーンマスクの製造方法。」 ［相違点１］ 本件特許発明１の照射ヘッドが「レーザ光」を照射するものであるのに対し、引用発明はその点が明らかでない点。 ［相違点２］ 本件特許発明１が「前記メッシュ部の前記開口パターンにおける前記マスク材の厚みが前記メッシュ部の厚みの５０％以上９０％以下」であるのに対し、引用発明はその点が明らかでない点。 ［相違点３］ 本件特許発明１が「前記照射ヘッドの、前記照射素子の配列方向は、前記移動の方向に対して１度～１５度の範囲で傾斜する」ものであるのに対し、引用発明は傾斜していないものである点。 イ 判断 事案に即し、相違点３から検討する。 上記「第４ ２」からすると、上記相違点３に係る構成は、周知技術といえる。 ここで、文献１には、「【発明が解決しようとする課題】【０００７】しかし、上記特許文献２及び３で行われているように、オーバラップ部分において、２回の分割露光の積算光量を１回露光の規定の露光光量の１００％としても、寸法変化（収縮）などが発生し、１回露光の場合のような感光乳剤の膜厚が得られないという分割露光に起因する相反則不軌の課題を見出したものである。【０００８】そこで、本発明の目的は、オーバラップ部分において、分割露光した場合の相反則不軌を補償できるダイレクト露光装置及び露光方法を提供することである。」と記載されていることからすると、引用発明が解決しようとする課題は“分割露光に起因する相反則不軌を補償すること”であると認める。 これに対し、上記周知技術１は、描画パターンの解像度を向上させるために、照射ヘッドの照射素子の配列方向を、照射ヘッドの移動方向に対して傾けるものである。 そうすると、引用発明と上記周知技術１とで、課題もしくは作用・機能において共通するものがない。 引用発明と上記周知技術１とは、スクリーンマスクの製造方法における露光装置との技術分野で共通するところがあるものの、課題もしくは作用・機能において、共通するものが見いだせない以上、引用発明に上記周知技術１を適用する動機付けがあるとはいえない。 そうすると、引用発明に上記周知技術１を適用する動機付けがないことからすると、上記相違点３に係る本件特許発明１は、引用発明及び上記周知技術１に基づき、当業者が容易に発明できたものとはいえない。 また、周知技術２、技術事項１乃至３をみても、上記相違点３に係る構成は示されていないし、上記周知技術１を引用発明に組み合わせる動機付けも見いだせない。 してみると、上記相違点１及び相違点２について検討するまでもなく、本件特許発明１は、引用発明、周知技術１及び２、技術事項１乃至３に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものではない。 なお、特許異議申立人Ａ及びＢは、上記周知技術１を以て、上記相違点３に係る本件特許発明１が容易に発明できたものと主張するのみであるから、上記判断を覆す理由は見いだせない。 （２）本件特許発明２について 本件特許発明２は、本件特許発明１の構成を全て備え、さらに限定したものであるから、上記１（２）の判断のとおり、本件特許発明２も引用発明、周知技術１及び２、技術事項１乃至３に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものではない。 （３）申立理由１及び申立理由５についてのまとめ 上記（１）及び（２）の検討のとおり、本件特許発明１及び２は、いずれも、引用発明、周知技術１及び２、技術事項１乃至３に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものではないから、申立理由１及び５によって、本件特許発明１及び２を取り消すことはできない。 ２ サポート要件（申立理由２及び申立理由４）について （１）申立理由２について ア 特許異議申立人Ａは、“本件特許明細書の記載をもって、マスク材（乳剤）の厚みを特定する本特許発明1に係る範囲において顕著な効果を奏するとは言えず、出願時の技術常識をもって予測し得るとも言えない。”旨、主張する。（特許異議申立書２３頁３行～２４頁３行） イ 本件特許明細書には、以下のとおり記載されている。 「【発明が解決しようとする課題】 【０００６】 本発明は高精度の印刷が可能なスクリーンマスク、スクリーンマスクの製造方法、スクリーン印刷装置、及び露光装置、を提供することを目的とする。」 「【００５６】 以上のように構成されたスクリーンマスク２０、スクリーン印刷装置１０、及びスクリーンマスクの製造方法によれば、露光時のスキャンエリアＡｓ１がオーバーラップすることにより、露光のムラが低減し、露光によるマスク膜２３の厚みが均一化できる。図６は、本実施形態にかかる露光装置５０と、比較例１及び比較例２にかかる露光装置１００Ａ，１００Ｂについて、照射ヘッドの配置及び向きと、照度分布と、露光後の露光エリアの外観の状態とを、比較して示す説明図である。露光装置５０はオーバーラップ部Ｂ１が有り、かつ、照射ヘッド５２のＤＭＤ素子５２ｂの配列の方向Ｄ２が移動方向Ｄ１に対して傾斜している場合を示す。露光装置１００Ａはオーバーラップ部が無く、照射ヘッド１５２のＤＭＤ素子１５２ｂの配列の方向Ｄ２が移動方向Ｄ１に対して傾斜している場合を示す。露光装置１００Ｂはオーバーラップ部が無く、照射ヘッド１５２のＤＭＤ素子１５２ｂの配列の方向Ｄ２が移動方向Ｄ１と同じ方向である場合を示す。 【００５７】 例えば図５及び図６に示すようにスキャンエリアＡｓ１内に照度の差がある場合、スキャンエリアＡｓ１にオーバーラップ部Ｂ１がある場合には、オーバーラップ部Ｂ１がない場合に比べて、照射量の差が少なくなるため、露光ムラが低減できる。したがって、スクリーンマスクのパターン精度が良く、高精度の印刷が可能となる。 【００５８】 さらに、上記のスクリーンマスクの製造方法は、露光装置のＤＭＤ素子の配列方向と、スキャン方向が傾斜する。このため、スキャンエリアＡｓ１の境界における照射量のムラをより低減できる。図６によれば、露光装置５０における照度エネルギー分布は７％以内であるのに対し、露光装置１００Ａ，１００Ｂでは１０％以上となっている。すなわち、図５及び図６に示すように、例えばスキャンエリアＡｓ１に照度の差がある場合、スキャン方向である移動方向Ｄ１と配列方向Ｄ２が同じ向きである場合は、特定のＤＭＤ素子５２ｂが特定の領域を移動方向Ｄ１（スキャン方向）に沿って通ることになり、照度分布がライン状に現れやすいのに対し、移動方向Ｄ１と配列方向Ｄ２とが傾斜する場合には、同じルート上を複数のＤＭＤ素子５２ｂが通ることになるため、照度分布の差が均一化され、露光ムラが低減できる。」 ウ 【０００６】の記載からすると、本件特許発明は、高精度の印刷が可能なスクリーンマスクの製造方法を提供することを目的とすると認められるところ、“高精度の印刷”とは、【００５７】及び【００５８】の記載からすると、スキャンエリアＡｓ１内に照度の差がある場合に、露光ムラが低減された印刷を意味する。 そして、同【００５７】及び【００５８】の記載からすると、上記目的を解決するための手段は、“スキャンエリアにオーバーラップ部を設けること”及び“露光装置のＤＭＤ素子の移動方向と配列方向とを傾斜させること”であると認められる。 エ そして、本件特許発明１及び２には、「隣接する前記スキャンエリア同士を一部オーバーラップさせて、前記照射ヘッドを前記対象領域に対して相対的に移動させ」及び「前記照射ヘッドの、前記照射素子の配列方向は、前記移動の方向に対して１度～１５度の範囲で傾斜する」と特定されているから、本件特許発明１及び２には、上記目的を解決するための手段は反映されている。 オ そこで、特許異議申立人Ａの主張について検討すると、本件特許発明の「前記メッシュ部の前記開口パターンにおける前記マスク材の厚みが前記メッシュ部の厚みの５０％以上９０％以下」との構成は、上記目的を解決するための手段ではないのであるから、前記構成により顕著な効果が奏しないからといって、サポート要件違反とはならない。 カ また、本件特許明細書の発明の詳細な説明の【００２７】の記載は、「一例」として記載しただけであって、上記オのとおり、そもそも顕著な効果を求める事項でもないし、【００２５】に「メッシュ部２２内の乳剤の厚みＴ３が、メッシュ部２２の厚みＴ２の５０％以上９０％以下に構成されている。」と記載されているように、本件特許の特許請求の範囲と発明の詳細な説明とが対応付けられている点で十分である。 キ よって、特許異議申立人Ａが主張する申立理由２によって、本件特許発明１及び２を取り消すことはできない。 （２）申立理由４－１について ア 特許異議申立人Ｂは、“「マスク材の厚み」の定義に関し、本件明細書の段落【００２４】乃至【００２７】の記載は、相互に矛盾しないしは一貫性がなく、それが図３＜ＳＴ３＞のＴ１を指しているのかＴ３を指しているのか判別することができないのであるから、かかる規定が本件明細書の記載によってサポートされていないことは、この時点で既に明らかと言える。なお、仮にマスク材の厚みをＴ３と解するのであれば、上記段落【００２７】によれば、…Ｔ３／Ｔ２＝４５％（ないし３８％）であり、明らかに、「前記メッシュ部の前記開ロパターンにおける前記マスク材の厚みが前記メッシュ部の厚みの５０％以上９０％以下であり」という数値範囲を充足しない。また、仮にマスク材の厚みをＴ１と解するのとしても、上記（４－２）のとおり、本件明細書の段落【００２７】では、上記Ｔ１の寸法もその計算根拠となる数値も開示しておらず、かかる実施態様におけるＴ１がどのような値となるか（マスク膜２３の厚みがＴｌである場合に、上記「５０％以上９０％以下」の範囲に含まれるか否か）判別することができない。”旨、主張する。（特許異議申立書１５頁下から２行～１８頁１行） イ 本件特許明細書には、以下のとおり記載されている。 「【００２４】 ここで、図３に示すように、スクリーンマスク２０は、マスク膜２３の厚み、すなわちマスク膜２３を構成する乳剤（マスク材）の厚さ方向（Ｚ方向）の寸法をＴ１とし、メッシュ部２２の厚みをＴ２とすると、マスク膜２３の厚みＴ１のばらつきが１０％以内に構成されている。Ｔ１ｍａｘ－Ｔ１ｍｉｎ≦Ｔ１×０．1を満たす。Ｔ１ｍａｘは複数の測定点において測定したマスク膜２３の厚みＴ１の最大値であり、Ｔ１ｍｉｎは複数の測定点で測定したマスク膜２３の厚みＴ１の最小値である。 【００２５】 また、スクリーンマスク２０は、透過部２２ａの中央の測定ポイントＰ１で測定されたメッシュ部２２内の乳剤の厚みＴ３が、メッシュ部２２の厚みＴ２の５０％以上９０％以下に構成されている。 【００２６】 ここでメッシュ部２２部内の乳剤の厚みＴ３は、マスク膜２３のうちメッシュ部２２に重なる部分の乳剤の厚みであり、透過部２２ａの中央の測定ポイントＰ１におけるマスク膜２３の厚みＴ１から、透過部２２ａの中央の測定ポイントＰ１においてメッシュ部２２から突出する乳剤の厚み、すなわちいわゆる乳厚を、差し引いた長さである。このメッシュ部２２内の乳剤の厚みＴ３の測定ポイントＰ１は、メッシュ部２２における各透過部２２ａの中央とする。一方、メッシュ部２２の厚み寸法Ｔ２は、メッシュ部２２の経糸２６ａと緯糸２６ｂが重なる重合部における厚さ方向の寸法である。 【００２７】 一例として、本実施形態においては開口パターン２３ａの径ｄ３＝２０μｍ、メッシュ部２２の厚みＴ２＝２２μｍ、経糸２６ａのＺ方向の径ｄ１＝緯糸２６ｂのＺ方向の径ｄ２＝φ１３μｍ、メッシュ部２２内の乳剤の厚みＴ３＝１０μｍに構成されている。」 ウ 上記記載からすれば、本件特許発明の「マスク材の厚み」とは、「透過部２２ａの中央の測定ポイントＰ１で測定されたメッシュ部２２内の乳剤の厚みＴ３」のことを意味することは明らかである。 エ ここで、本件特許発明の「前記メッシュ部の前記開口パターンにおける前記マスク材の厚みが前記メッシュ部の厚みの５０％以上９０％以下であり」との事項は、本件特許明細書の【００２５】の記載と対応する。 オ 他方、特許異議申立人Ｂが指摘するように、本件特許明細書の【００２７】の記載は、本件特許発明の「マスク材の厚み」を「透過部２２ａの中央の測定ポイントＰ１で測定されたメッシュ部２２内の乳剤の厚みＴ３」と解すると、本件特許発明の「前記メッシュ部の前記開口パターンにおける前記マスク材の厚みが前記メッシュ部の厚みの５０％以上９０％以下であり」との事項と対応しない。 カ しかし、本件特許明細書の【００２７】の記載は、上記（１）カのとおり、「一例」にすぎず、本件特許明細書に本件特許発明の特許請求の範囲外の実施例であって、何ら問題のないことである。 キ よって、特許異議申立人Ｂが主張する申立理由４－１によって、本件特許発明１及び２を取り消すことはできない。 （３）申立理由４－２について ア 特許異議申立人Ｂは、“「前記照射ヘッドの、前記照射素子の配列方向は、前記移動の方向に対して１度～１５度の範囲で傾斜する」及び【００５０】「照射ヘッド５２のＤＭＤ素子５２ｂの配列方向であるＤ２は、スキャン方向となる移動方向Ｄ１に対して、１度～１５度の範囲で傾斜した姿勢に設置される。なお、本実施形態においてスキャン方向である移動方向Ｄ１はＹ軸方向に沿っている。」の数値範囲の技術的意味やその裏付けとなるような実験データなどは一切開示がない。どのような目的でそのような角度に設定するかや、その上限、下限にはどのような臨界点的意味が存するかなど、一切説明されていない。単に従来から周知技術として存在する、ＤＭＤ素子を移動方向に対して傾斜させることについて説明しているに過ぎず、本件発明の特徴的構成と被申立人自ら主張する１度～１５度という傾斜角度の技術的意味を説明するものではない。”旨、主張する。（特許異議申立書１８頁２行～２０頁３行） イ 上記（１）ウのとおり、本件特許発明は、高精度の印刷が可能なスクリーンマスクの製造方法を提供することを目的とすると認められるところ、上記目的を解決するための手段は、“スキャンエリアにオーバーラップ部を設けること”及び“露光装置のＤＭＤ素子の移動方向と配列方向とを傾斜させること”であると認められる。 ウ 他方、原審の令和３年５月１８日付けの拒絶理由通知で提示された引用文献２には、傾斜角度を０．１～０．５度とすることが記載されていたため、引用文献２に記載の発明との差別化を図るために本件特許明細書に記載の「１度～１５度」と特定したものと解される。 エ そうすると、（１）ウのとおり、本件特許の目的を解決するための手段は特許請求の範囲に反映されているところ、「１度～１５度の範囲で傾斜する」点は、従来技術との差別化を図るためのものであるから、数値範囲の技術的意味やその裏付けとなるような実験データなどを求める必要はないと認める。 オ よって、特許異議申立人Ｂが主張する申立理由４－２によって、本件特許発明１及び２を取り消すことはできない。 ３ 明確性要件（申立理由３）について ア 特許異議申立人Ｂは、“本件発明１では、上記構成要件Ｄの「前記メッシュ部の前記開口パターンにおける前記マスク材の厚みが前記メッシュ部の厚みの５０％以上９０％以下であり」という規定に係る上記段落【００２４】乃至【００２７】は、相互に矛盾しないしは一貫性がなく、それが上記図３＜ＳＴ３＞のＴ１を指しているのかＴ３を指しているのか判別することができない。その上、上記図３＜ＳＴ３＞のとおり、Ｔ１とＴ３とでは、指している寸法（厚さ）の定義が全く異なるのであり、それによって上記構成要件Ｄに係る「前記メッシュ部の前記開ロパターンにおける前記マスク材の厚みが前記メッシュ部の厚みの５０％以上９０％以下であり」という規定の技術的意味は大きく異なるのであるから、かかる規定は第三者に不測の不利益を及ぼすほどに不明確であるという他ない。”旨、主張する。（特許異議申立書８頁下から３行～１３頁９行） イ 上記（２）ウのとおり、本件特許発明の「マスク材の厚み」とは、「透過部２２ａの中央の測定ポイントＰ１で測定されたメッシュ部２２内の乳剤の厚みＴ３」のことを意味する。 ウ また、上記（２）カのとおりであって、本件特許明細書の【００２７】の一例は、本件特許発明の特許請求の範囲外の実施例である。 エ よって、特許異議申立人Ｂが主張する申立理由３によって、本件特許発明１及び２を取り消すことはできない。 第６ むすび したがって、特許異議の申立ての理由及び証拠によっては、請求項１及び２に係る特許を取り消すことはできない。 また、他に請求項１及び２に係る特許を取り消すべき理由を発見しない。 よって、結論のとおり決定する。