2023-022315

特願２０２１－５５０２８９「圧力制御スペクトル特徴調整器」拒絶査定不服審判事件〔令和２年１０月１日国際公開、ＷＯ２０２０／１９７７１９、令和４年５月１９日特許出願公表、特表２０２２－５２５７３５〕について、次のとおり審決する。

結 論 本件審判の請求は、成り立たない。

理 由 第１ 手続の経緯 本願は、２０２０年（令和２年）３月３日（パリ条約による優先権主張外国庁受理２０１９年３月２７日、米国）を国際出願日とする出願であって、その手続の経緯の概要は、以下のとおりである。 令和３年１０月２６日 ：手続補正書の提出 令和４年１０月１２日付け：拒絶理由通知書 令和５年 １月１１日 ：意見書及び手続補正書の提出 同年 ３月２８日付け：拒絶理由通知書（最後） 同年 ７月 ３日 ：意見書及び手続補正書の提出 同年 ８月２４日付け：拒絶査定（以下「原査定」という。） 同年１２月２８日 ：審判請求書及び手続補正書の提出 第２ 令和５年１２月２８日にされた手続補正についての補正の却下の決定 ［補正の却下の決定の結論］ 令和５年１２月２８日にされた手続補正（以下「本件補正」という。）を却下する。 ［理由］ １ 本件補正の内容 （１） 本件補正後の特許請求の範囲の記載 本件補正により、特許請求の範囲の請求項１の記載は、以下のとおり補正された（下線部は、補正箇所である。）。 「大気圧未満の圧力に保持される一次内部を画定する本体であって、前記一次内部がパージガスを含む、本体と、 前記一次内部と同じ圧力になるように流体連通する二次内部を有し且つ前記本体及びガス放電チャンバを結合する運動減衰デバイスと、 紫外線領域の波長を有する光ビームを透過させる、前記本体を通る少なくとも１つの光学経路であって、前記運動減衰デバイス及び前記ガス放電チャンバの間に配置され前記一次内部及び前記二次内部と前記ガス放電チャンバとの間に密閉分離を提供する光学窓を含む、少なくとも１つの光学経路と、 前記光ビームと相互作用するように構成され、１つ以上の作動可能な光学素子を含む前記一次内部内の光学素子の一セットと、 前記１つ以上の作動可能な光学素子と通信し、前記１つ以上の作動可能な光学素子の物理的特徴を調整するように構成された、前記一次内部内の作動システムと、を備えたスペクトル特徴調整器。」 （２） 本件補正前の特許請求の範囲の記載 本件補正前の令和５年７月３日にされた手続補正による補正により補正された特許請求の範囲の請求項１の記載は、以下のとおりである。 「大気圧未満の圧力に保持される一次内部を画定する本体と、 前記一次内部と同じ圧力になるように流体連通する二次内部を有し且つ前記本体及びガス放電チャンバを結合する運動減衰デバイスと、 紫外線領域の波長を有する光ビームを透過させる、前記本体を通る少なくとも１つの光学経路であって、前記運動減衰デバイス及び前記ガス放電チャンバの間に配置され前記一次内部及び前記二次内部と前記ガス放電チャンバとの間に密閉分離を提供する光学窓を含む、少なくとも１つの光学経路と、 前記光ビームと相互作用するように構成され、１つ以上の作動可能な光学素子を含む前記内部内の光学素子の一セットと、 前記１つ以上の作動可能な光学素子と通信し、前記１つ以上の作動可能な光学素子の物理的特徴を調整するように構成された、前記一次内部内の作動システムと、を備えたスペクトル特徴調整器。」 ２ 本件補正の適否 本件補正により請求項１についてする補正は、本件補正前の請求項１に記載された「一次内部」について「パージガスを含む」と限定を付加するものであり、本件補正前の請求項１に記載された発明と本件補正後の請求項１に記載された発明の産業上の利用分野及び解決しようとする課題が同一であるから、本件補正により請求項１についてする補正は、特許法第１７条の２第５項第２号に掲げる特許請求の範囲の減縮を目的とするものに該当する補正を含むものである。そこで、本件補正後の請求項１に係る発明が同条第６項において準用する同法第１２６条第７項の規定に適合するか（特許出願の際独立して特許を受けることができるものであるか）について、以下に検討する。 （１） 本件補正発明の認定 本件補正後の請求項１に係る発明（以下「本件補正発明」という。）は、前記１（１）に記載された事項により特定されるとおりのものと認められる。 （２） 引用文献に記載された事項及び引用発明の認定 ア 引用文献の記載 原査定の拒絶の理由で引用された、本願の優先日前に発行された文献である国際公開第２０１７／０７２８７９号（以下「引用文献２」という。）には、以下の記載がある（下線は当審が付した。以下同じ。）。 「［００１１］１．狭帯域化エキシマレーザ装置の全体説明 １．１ 構成 図１および図２に、例示的な狭帯域化エキシマレーザ装置１の構成を概略的に示す。図１はこの狭帯域化エキシマレーザ装置１の一部破断側面図であり、図２はこの狭帯域化エキシマレーザ装置１の一部破断上面図である。 ［００１２］ 本開示では、レーザチャンバにおけるレーザ光の進行方向がＺ方向と定義される。また、狭帯域化エキシマレーザ装置１が載置される面に平行で、Ｚ方向と直交する方向がＨ方向と定義される。そしてＺ方向およびＨ方向に直交する方向がＶ方向と定義される。なお、狭帯域化エキシマレーザ装置１の通常の使用状態下では、Ｈ方向が水平方向であり、Ｖ方向が鉛直方向である。 ［００１３］ 図１および図２に示されるように狭帯域化エキシマレーザ装置１は、出力結合ミラー１０と、レーザチャンバ２０と、光路管３０と、狭帯域化モジュール（ＬＮＭ：Line Narrowing Module）４０とを含んでもよい。出力結合ミラー１０と狭帯域化モジュール４０は、光共振器を構成してもよい。レーザチャンバ２０は、光共振器の光路上に配置されてもよい。狭帯域化モジュール４０は、光共振器内に配置されてもよい。 ［００１４］ レーザチャンバ２０は、ウィンドウ２１および２２と、一対の放電電極２３および２４とを備えてもよい。ウィンドウ２１および２２はそれぞれ、レーザチャンバ２０に設けられたウィンドウ保持部２５および２６に保持されていてもよい。ウィンドウ２１および２２は、放電電極２３および２４の間で放電励起された後に増幅されたレーザ光Ｌが通過するように配置されてもよい。ウィンドウ２１および２２は、レーザ光Ｌの入射面がＨ方向を含むように、レーザ光Ｌの光路に対して微小角度をなす状態に傾いていてもよい。その傾斜角度は例えばブリュースタ角や、あるいはブリュースタ角に近い角度であってもよい。 ［００１５］ レーザチャンバ２０の内部は、エキシマレーザガスで満たされていてもよい。このエキシマレーザガスは、レアガスであるＡｒガスまたはＫｒガス、ハロゲンガスであるＦ２ガス、およびバッファガスであるＮｅガスが混合されたガスであってもよい。 ［００１６］ 一対の放電電極２３および２４は、レーザチャンバ２０内において互いにＶ方向に対向し、各々の長手方向がＺ方向と一致する状態で配置されてもよい。一対の放電電極２３および２４は、各々の長手方向が光共振器の光路と平行となるように配置されてもよい。これらの放電電極２３および２４には、不図示の電源から励起電力が供給されてもよい。 ［００１７］ 狭帯域化モジュール４０は、筐体４１と、この筐体４１内に収容された狭帯域化用光学素子とを含んでいてもよい。狭帯域化用光学素子は、複数であってもよく、例えば３個のプリズム４２、４３および４４、並びにグレーティング４５であってもよい。筐体４１の底板４１ａの上にはプリズム４２を固定するプリズム固定ホルダ４６、プリズム４３を固定するプリズム固定ホルダ４７、プリズム４４を固定するプリズム固定ホルダ４８、およびグレーティング４５を固定するグレーティング固定ホルダ４９が取り付けられてもよい。なおプリズム固定ホルダ４８は、自動回転ステージ５０を介して底板４１ａに取り付けられてもよい。プリズム固定ホルダ４８は、自動回転ステージ５０の駆動により、Ｖ方向に延びる回転軸を中心にして図２の矢印Ａ方向に回転可能とされてもよい。 ［００１８］ ３個のプリズム４２、４３および４４は、レーザ光Ｌのビーム径を拡大するビームエキスパンダとして機能するように配置されてもよい。プリズム４２、４３および４４の各傾斜端面、つまりレーザ光Ｌが斜め入射する端面４２ａ、４３ａおよび４４ａには、レーザ光ＬのＰ偏光成分に対して低反射率となる低反射膜がコートされてもよい。一方、プリズム４２、４３および４４の各垂直端面、つまりレーザ光Ｌが垂直入射する端面４２ｂ、４３ｂ、および４４ｂには、レーザ光Ｌに対して低反射率となる低反射膜がコートされてもよい。 ［００１９］ グレーティング４５と出力結合ミラー１０とは、光共振器を形成してもよい。グレーティング４５は、光共振器内を往復するレーザ光Ｌの波長を選択する波長選択部としての機能を備えてもよい。グレーティング４５は、入射角と回折角が一致するようにリトロー配置とされてもよい。グレーティング４５は、例えば中心波長が１９３ｎｍであるレーザ光Ｌを高効率で回折させるように溝間隔およびブレーズ角が定められたエシェールグレーティングであってもよい。 ［００２０］ 狭帯域化モジュール４０の筐体４１は、開口４１ｂを有していてもよい。この開口４１ｂは、レーザチャンバ２０から出射してウィンドウ２２を透過したレーザ光Ｌが通過する位置に設けられてもよい。筐体４１は、開口４１ｂの他の部分では、この筐体４１の内部を外部に対して気密に保つ構造とされてもよい。 ［００２１］ 光路管３０は、レーザチャンバ２０と筐体４１との間に配置されてもよい。光路管３０は、レーザチャンバ２０から出射してウィンドウ２２を透過したレーザ光Ｌの光路を覆うように構成されてもよい。 ［００２２］ １．２ 動作 上記の構成において、放電電極２３および２４に高電圧が印加されると、放電電極２３と放電電極２４との間で放電し得る。この放電によりレーザガスが励起され、レアガスおよびハロゲンガスを含むレーザ媒質から、自然放出光が発生し得る。この自然放出光は、波長が例えば前述した１９３ｎｍあるいは２４８ｎｍの紫外光であり得る。この光はウィンドウ２２を透過して、狭帯域化モジュール４０内に入射し、プリズム４２～４４によってビーム径が拡大されて、グレーティング４５に入射し得る。 ［００２３］ グレーティング４５に入射した紫外光は、グレーティング４５において狭帯域の波長に選択されて回折し得る。回折した光は、グレーティング４５へ入射した光路と同じ光路を辿って、再びレーザチャンバ２０に入射し得る。なお、自動回転ステージ５０によりプリズム固定ホルダ４８を介してプリズム４４が回転されると、上記光のグレーティング４５への入射角が変化し得る。それにより、グレーティング４５によって選択される波長が調節され得る。 ［００２４］ レーザチャンバ２０に再入射した光は、放電領域を通過することによって増幅され得る。増幅された光はウィンドウ２１を透過して出力結合ミラー１０に入射し、一部がこの出力結合ミラー１０を透過し、一部が出力結合ミラー１０で反射する。反射した光はレーザチャンバ２０に戻り、放電領域を通過することによって増幅され得る。以上のことが繰り返されることにより、出力結合ミラー１０とグレーティング４５とで構成される光共振器内で光が共振し、レーザ光Ｌが発振し得る。」 「［００２８］３． 比較例 ３．１ 比較例の構成 図５は、本発明に対する比較例である狭帯域化エキシマレーザ装置２の構成を概略的に示す一部破断上面図である。図５の構成において、図２に示したものと同一の構成要素には同一の参照符号を付して、重複した説明を省略する。 ［００２９］ 以下、この比較例の構成の中で、図２の構成と異なる部分について説明する。なお本比較例において、以下で説明する図２の構成との相違点以外の構成は、図２の構成と同様とされてもよい。 ［００３０］ 狭帯域化モジュール４０の筐体４１は、外部の大気を筐体４１内に流入させ得る導入口４１ｃと、筐体４１内の圧力を測定するための開口４１ｄとを有してもよい。また筐体４１に設けられた開口４１ｂは、本比較例では、レーザ光Ｌを通過させるだけでなく、筐体４１内のガスを排出させる排気口として機能してもよい。筐体４１は、開口４１ｂ、導入口４１ｃ、および開口４１ｄの他の部分では、筐体４１の内部と外部とを気密に保つ構造とされてもよい。 ［００３１］ 光路管３０には、開口３０ａが設けられてもよい。光路管３０は、両端および開口３０ａ以外の部分では、光路管３０の内部と外部とを気密に保つ構造とされてもよい。 ［００３２］ 筐体４１の導入口４１ｃには、導入管６０が連通されてもよい。導入管６０には第１のバルブ６１が設けられてもよい。光路管３０の開口３０ａには、排気管６４の一端が連通されてもよい。排気管６４の他端は、例えば真空ポンプからなる排気ポンプ６５に接続されてもよい。排気管６４には、排気ポンプ６５と光路管３０との間において、第２のバルブ６２が設けられてもよい。筐体４１には、開口４１ｄを通して筐体内部の圧力を測定する圧力センサ５１が取り付けられてもよい。 ［００３３］ 第１のバルブ６１および第２のバルブ６２の各々の開閉、並びに排気ポンプ６５の駆動を制御する制御部６６が設けられてもよい。制御部６６には、圧力センサ５１が出力する圧力検出信号、つまり筐体４１の内部の圧力を示す信号が入力されてもよい。」 「［００３８］４．実施形態１ ４．１ 実施形態１の構成 図６は、実施形態１に係る狭帯域化エキシマレーザ装置３の構成を概略的に示す一部破断上面図である。図６の構成において、図５に示した比較例と同一の構成要素には同一の参照符号を付して、重複した説明を省略する。 ［００３９］ 以下、この実施形態１の構成の中で、比較例の構成と異なる部分について説明する。なお本実施形態１において、以下で説明する比較例との相違点以外の構成は、比較例と同様とされてもよい。 ［００４０］ 導入管６０には、第１のバルブ６１側から順に、流量調節バルブ７０、圧力調節弁すなわちレギュレータ７１、バルブ７２、およびスピンドルバルブ７３を介して、窒素ガス供給装置としての窒素ガスボンベ７４が接続されてもよい。スピンドルバルブ７３は、窒素ガスボンベ７４に付属しているものであってもよい。バルブ７２は、窒素ガスボンベ７４と狭帯域化モジュール４０との間を遮断するためのものであってもよい。 ［００４１］ 一方、光路管３０と第２のバルブ６２との間において、排気管６４から大気排気管７５が分岐されていてもよい。この大気排気管７５には、第３のバルブ６３が設けられていてもよい。また制御部６６には、レーザ制御部５２が接続されてもよい。 ［００４２］ なお、導入管６０、流量調節バルブ７０、レギュレータ７１、およびバルブ７２は、窒素ガスボンベ７４から供給された窒素ガスを筐体４１内に流入させる窒素ガス導入部を構成してもよい。第１のバルブ６１は、筐体４１内への窒素ガスの流入を制御するものであってもよい。窒素ガスとしては、純度が９９．９９９％のもの等が適用されてもよい。 ［００４３］ また、筐体４１に設けられた開口４１ｂ、光路管３０、および光路管３０の開口３０ａに連通する排気管６４は、筐体４１内のガスを筐体４１外に流出させる排気部を構成してもよい。排気ポンプ６５は、上記排気部を通して筐体４１内のガスを筐体４１外に排出させるものであってもよい。第２のバルブ６２は、上記排気部からのガスの排出を制御するものであってもよい。」 「［００６０］ ４．３ 実施形態１の作用・効果 以上説明したように、狭帯域化エキシマレーザ装置３がレーザ発振する前に、狭帯域化モジュール４０の筐体４１内が例えば３分～１０分程度の時間、窒素ガスによってパージされるので、筐体４１内の不純物ガスが筐体４１の外に排出され得る。またその後に、筐体４１内の圧力Ｐが例えば４ｋＰａ程度まで減圧されるので、大気中の不純物ガスや、筐体４１内から発生する不純物ガスが筐体４１内の狭帯域化用光学素子に付着して狭帯域化モジュール４０の光学性能が劣化することが抑制され得る。」 「［図６］ ［図：0001427366000001.jpg］ 」 イ 引用発明の認定 前記アによれば、引用文献２には、実施形態１（図６）に係る狭帯域化エキシマレーザ装置３を構成する光路管３０及び狭帯域化モジュール４０について、以下の発明（以下「引用発明」という。）が記載されていると認められる（引用発明の認定に用いた段落番号等を参考までに括弧内に付してある。以下同じ。）。 ＜引用発明＞ 「狭帯域化エキシマレーザ装置３は、出力結合ミラー１０と、レーザチャンバ２０と、光路管３０と、狭帯域化モジュール（ＬＮＭ：Line Narrowing Module）４０とを含み、（［００１３］） レーザチャンバ２０は、ウィンドウ２１および２２と、一対の放電電極２３および２４とを備え、ウィンドウ２１および２２は、放電電極２３および２４の間で放電励起された後に増幅されたレーザ光Ｌが通過するように配置され、（［００１４］） レーザチャンバ２０の内部は、エキシマレーザガスで満たされ、（［００１５］） 狭帯域化モジュール４０は、筐体４１と、この筐体４１内に収容された狭帯域化用光学素子とを含み、 狭帯域化用光学素子は、複数であってもよく、３個のプリズム４２、４３および４４、並びにグレーティング４５であり、 筐体４１の底板４１ａの上にはプリズム４２を固定するプリズム固定ホルダ４６、プリズム４３を固定するプリズム固定ホルダ４７、プリズム４４を固定するプリズム固定ホルダ４８、およびグレーティング４５を固定するグレーティング固定ホルダ４９が取り付けられ、プリズム固定ホルダ４８は、自動回転ステージ５０を介して底板４１ａに取り付けられ、プリズム固定ホルダ４８は、自動回転ステージ５０の駆動により、回転可能とされ、（［００１７］） レーザ光Ｌは、中心波長が１９３ｎｍであり、（［００１９］） 狭帯域化モジュール４０の筐体４１は、開口４１ｂを有し、この開口４１ｂは、レーザチャンバ２０から出射してウィンドウ２２を透過したレーザ光Ｌが通過する位置に設けられ、（［００２０］） 光路管３０は、レーザチャンバ２０と筐体４１との間に配置され、レーザチャンバ２０から出射してウィンドウ２２を透過したレーザ光Ｌの光路を覆うように構成され、（［００２１］） 自動回転ステージ５０によりプリズム固定ホルダ４８を介してプリズム４４が回転されると、光のグレーティング４５への入射角が変化し、それにより、グレーティング４５によって選択される波長が調節され、（［００２３］） 出力結合ミラー１０とグレーティング４５とで構成される光共振器内で光が共振し、レーザ光Ｌが発振し、（［００２４］） 開口４１ｂは、レーザ光Ｌを通過させるだけでなく、筐体４１内のガスを排出させる排気口として機能し、 筐体４１は、開口４１ｂ、導入口４１ｃ、および開口４１ｄの他の部分では、筐体４１の内部と外部とを気密に保つ構造とされ、（［００３０］） 光路管３０には、開口３０ａが設けられ、光路管３０は、両端および開口３０ａ以外の部分では、光路管３０の内部と外部とを気密に保つ構造とされ、（［００３１］） 光路管３０の開口３０ａには、排気管６４の一端が連通され、（［００３２］） 筐体４１に設けられた開口４１ｂ、光路管３０、および光路管３０の開口３０ａに連通する排気管６４は、筐体４１内のガスを筐体４１外に流出させる排気部を構成し、（［００４３］） 狭帯域化エキシマレーザ装置３がレーザ発振する前に、狭帯域化モジュール４０の筐体４１内が、窒素ガスによってパージされるので、筐体４１内の不純物ガスが筐体４１の外に排出され、またその後に、筐体４１内の圧力Ｐが４ｋＰａ程度まで減圧される、（［００６０］） 狭帯域化エキシマレーザ装置３の光路管３０及び狭帯域化モジュール４０。」 （３） 周知技術の認定 レーザチャンバと狭帯域化モジュールとの間をベローズで結合することは、周知技術である。 必要であれば、特開２０１４－１３５５２４号公報（原査定の拒絶の理由で引用された引用文献５）の【００１６】及び【図３４】、米国特許第０６７９２０２３号明細書（原査定の拒絶の理由で引用された引用文献１）のＦＩＧ．７（１１欄１６行～１３欄１９行）のline-narrowing module 41、VACUUM BELLOWS (8)及びLASER DISCHARGE CHAMBER (12)、特開２００３－１３３６２２号公報の【００２０】及び図１の記載を参照のこと。 （４） 本件補正発明と引用発明の対比 ア 本件補正発明と引用発明を対比すると、以下のとおりである。 （ア） 本件補正発明の「大気圧未満の圧力に保持される一次内部を画定する本体であって、前記一次内部がパージガスを含む、本体と、」との特定事項について 引用発明の「狭帯域化モジュール４０」は、本件補正発明の「本体」に相当する。そして、引用発明の「狭帯域化モジュール４０」は、「狭帯域化エキシマレーザ装置３がレーザ発振する前に、狭帯域化モジュール４０の筐体４１内が、窒素ガスによってパージされるので、筐体４１内の不純物ガスが筐体４１の外に排出され、またその後に、筐体４１内の圧力Ｐが４ｋＰａ程度まで減圧される」ものであるから、当該「狭帯域化モジュール４０の筐体４１内」は、本件補正発明の「一次内部」に相当し、当該「窒素ガス」は、いわゆるパージガスと理解でき、「４ｋＰａ」が大気圧未満の圧力であることは明らかである。したがって、引用発明の「狭帯域化モジュール４０」は、本件補正発明の「大気圧未満の圧力に保持される一次内部を画定する本体であって、前記一次内部がパージガスを含む、」との前記特定事項を満たしている。 （イ） 本件補正発明の「前記一次内部と同じ圧力になるように流体連通する二次内部を有し且つ前記本体及びガス放電チャンバを結合する運動減衰デバイスと、」との特定事項について ａ 引用発明の「光路管３０」は、「開口３０ａが設けられ」、「両端および開口３０ａ以外の部分では、光路管３０の内部と外部とを気密に保つ構造とされ」ており、当該「開口３０ａ」には、「排気管６４の一端が連通され」、当該「排気管６４」は、「筐体４１に設けられた開口４１ｂ、光路管３０、および光路管３０の開口３０ａに連通する」ものであって、「筐体４１内のガスを筐体４１外に流出させる排気部を構成し」ている。そうすると、当該「光路管３０の内部」は、「開口４１ｂ」を介して「筐体４１内」と連通し、「筐体４１内」と同じ圧力となっているものと理解できる。 したがって、引用発明の「光路管３０の内部」は、本件補正発明の「二次内部」に相当し、引用発明の「光路管３０」は、本件補正発明の「前記一次内部と同じ圧力になるように流体連通する二次内部を有し」との前記特定事項を満たしている。 ｂ 引用発明の「レーザチャンバ２０」は、その内部が、「エキシマレーザガスで満たされ」ているから、本件補正発明の「ガス放電チャンバ」に相当する。そして、引用発明の「光路管３０」は、「レーザチャンバ２０と筐体４１との間に配置され、レーザチャンバ２０から出射してウィンドウ２２を透過したレーザ光Ｌの光路を覆うように構成され」ているから、「レーザチャンバ２０」と「狭帯域化モジュール４０」とを結合しているものと理解できる。 ｃ 以上を踏まえると、本件補正発明と引用発明は、「前記一次内部と同じ圧力になるように流体連通する二次内部を有し且つ前記本体及びガス放電チャンバを結合する」「結合部材」「と、」との点で共通する。 （ウ） 本件補正発明の「紫外線領域の波長を有する光ビームを透過させる、前記本体を通る少なくとも１つの光学経路であって、前記運動減衰デバイス及び前記ガス放電チャンバの間に配置され前記一次内部及び前記二次内部と前記ガス放電チャンバとの間に密閉分離を提供する光学窓を含む、少なくとも１つの光学経路と、」との特定事項について ａ 引用発明の「レーザ光Ｌ」及び「レーザ光Ｌの光路」は、それぞれ本件補正発明の「光ビーム」及び「光学経路」に相当する。そして、引用発明の「レーザ光Ｌ」は、「中心波長が１９３ｎｍ」であるから、紫外線領域の波長を有するものと理解できる。また、引用発明は、「出力結合ミラー１０とグレーティング４５とで構成される光共振器内で光が共振し、レーザ光Ｌが発振し」ているところ、当該「グレーティング４５」は、「筐体４１内に収容された狭帯域化用光学素子」であるから、当該「レーザ光Ｌ」は、「狭帯域化モジュール４０」の中を通っていると理解できる。 したがって、引用発明は、本件補正発明の「紫外線領域の波長を有する光ビームを透過させる、前記本体を通る少なくとも１つの光学経路」との特定事項を満たしている。 ｂ 引用発明の「ウィンドウ２２」は、本願補正発明の「光学窓」に相当する。そして、（ａ）引用発明の「レーザチャンバ２０」は、「ウィンドウ２１および２２と、一対の放電電極２３および２４とを備え、ウィンドウ２１および２２は、放電電極２３および２４の間で放電励起された後に増幅されたレーザ光Ｌが通過するように配置され」ており、（ｂ）引用発明の「光路管３０」は、「レーザチャンバ２０と筐体４１との間に配置され、レーザチャンバ２０から出射してウィンドウ２２を透過したレーザ光Ｌの光路を覆うように構成され」ており、（ｃ）引用発明の「狭帯域化モジュール４０の筐体４１」は、「開口４１ｂを有し、この開口４１ｂは、レーザチャンバ２０から出射してウィンドウ２２を透過したレーザ光Ｌが通過する位置に設けられ」ている。そうすると、「レーザチャンバ２０」で放電励起された後に増幅された「レーザ光Ｌ」は、「ウィンドウ２２」を透過して、「光路管３０」の内部を通過し、開口４１ｂを通過して「狭帯域化モジュール４０の筐体４１内」に導かれるものと理解できるから、引用発明の「ウィンドウ２２」は、「光路管３０」と「レーザチャンバ２０」との間に配置されていると理解できる。 ｃ 引用発明の「筐体４１」は、「開口４１ｂ、導入口４１ｃ、および開口４１ｄの他の部分では、筐体４１の内部と外部とを気密に保つ構造とされ」、引用発明の「光路管３０」は、「両端および開口３０ａ以外の部分では、光路管３０の内部と外部とを気密に保つ構造とされ」ており、前記（イ）ａのとおり、引用発明の「光路管３０の内部」は、「筐体４１に設けられた開口４１ｂ」を介して「狭帯域化モジュール４０の筐体４１内」と連通し、「筐体４１内」と同じ圧力となっている。そして、前記ｂのとおり、「レーザチャンバ２０」と「光路管３０」との間に「ウィンドウ２２」が配置されていることに鑑みれば、「狭帯域化モジュール４０の筐体４１内」及び「光路管３０の内部」は、「ウィンドウ２２」により密閉されていると理解できる。 ｄ 以上を踏まえると、本件補正発明と引用発明は、「前記結合部材」「及び前記ガス放電チャンバの間に配置され前記一次内部及び前記二次内部と前記ガス放電チャンバとの間に密閉分離を提供する光学窓を含む」との点で共通する。 （エ） 本件補正発明の「前記光ビームと相互作用するように構成され、１つ以上の作動可能な光学素子を含む前記一次内部内の光学素子の一セットと、」との特定事項について 引用発明の「狭帯域化用光学素子」は、「３個のプリズム４２、４３および４４、並びにグレーティング４５」であるから、本件補正発明の「光学素子の一セット」に相当する。そして、引用発明の「レーザ光Ｌ」は、「自動回転ステージ５０によりプリズム固定ホルダ４８を介してプリズム４４が回転されると、光のグレーティング４５への入射角が変化し、それにより、グレーティング４５によって選択される波長が調節され」ており、「出力結合ミラー１０とグレーティング４５とで構成される光共振器内で光が共振し、レーザ光Ｌが発振し」ている。 そうすると、引用発明の「狭帯域化用光学素子」は、本件補正発明の「前記光ビームと相互作用するように構成され、」との前記特定事項を満たしており、前記のとおり、「自動回転ステージ５０によりプリズム固定ホルダ４８を介してプリズム４４が回転される」のであるから、本件補正発明の「１つ以上の作動可能な光学素子を含む」との前記特定事項を満たし、「筐体４１内に収容された」ものであるから、本件補正発明の「前記一次内部内の」との前記特定事項を満たしている。 したがって、引用発明は、本件補正発明の前記特定事項を満たしている。 （オ） 本件補正発明の「前記１つ以上の作動可能な光学素子と通信し、前記１つ以上の作動可能な光学素子の物理的特徴を調整するように構成された、前記一次内部内の作動システムと、」との特定事項について 引用発明の「自動回転ステージ５０」は、本件補正発明の「作動システム」に相当する。そして、引用発明の「自動回転ステージ５０」は、「プリズム固定ホルダ４８を介してプリズム４４」を「回転さ」せるものであり、当該「プリズム４４」は、「筐体４１内に収容された」ものであるから、当該「自動回転ステージ５０」は、本件補正発明の「前記１つ以上の作動可能な光学素子と通信し、前記１つ以上の作動可能な光学素子の物理的特徴を調整するように構成された、」及び「前記一次内部内の」との前記特定事項を満たしている。 したがって、引用発明は、本件補正発明の前記特定事項を満たしている。 （カ） 本件補正発明の「を備えたスペクトル特徴調整器」との特定事項について 引用発明の「光路管３０」及び「狭帯域化モジュール４０」は、本件補正発明の「スペクトル特徴調整器」に相当する。 イ 前記アより、本件補正発明と引用発明の一致点及び相違点は、下記のとおりである。 ＜一致点＞ 「大気圧未満の圧力に保持される一次内部を画定する本体であって、前記一次内部がパージガスを含む、本体と、 前記一次内部と同じ圧力になるように流体連通する二次内部を有し且つ前記本体及びガス放電チャンバを結合する結合部材と、 紫外線領域の波長を有する光ビームを透過させる、前記本体を通る少なくとも１つの光学経路であって、前記結合部材及び前記ガス放電チャンバの間に配置され前記一次内部及び前記二次内部と前記ガス放電チャンバとの間に密閉分離を提供する光学窓を含む、少なくとも１つの光学経路と、 前記光ビームと相互作用するように構成され、１つ以上の作動可能な光学素子を含む前記一次内部内の光学素子の一セットと、 前記１つ以上の作動可能な光学素子と通信し、前記１つ以上の作動可能な光学素子の物理的特徴を調整するように構成された、前記一次内部内の作動システムと、を備えたスペクトル特徴調整器。」 ＜相違点＞ 「結合部材」について、本件補正発明は、「運動減衰デバイス」であるのに対して、引用発明は、「光路管３０」である点。 （５） 相違点の検討 前記（３）のとおり、レーザチャンバと狭帯域化モジュールとの間をベローズで結合することは周知技術であって、ベローズの機能として振動の伝達を減衰することは技術常識（前記米国特許第０６７９２０２３号明細書の１０欄６７行～１１欄２行の記載も参照のこと。）である。 そうすると、引用発明の「光路管３０」は、レーザチャンバ２０と狭帯域化モジュール４０との間に配置され、両者を結合している部品であるから、レーザチャンバ２０と狭帯域化モジュール４０との間で振動の伝達による悪影響を減らすために、上記周知技術を適用して、当該「光路管３０」を振動を減衰するベローズ、すなわち、運動減衰デバイスとし、本件補正発明の相違点に係る構成とすることは、当業者が容易になし得たことである。 （６） 本件補正発明の効果について 相違点を備える本件補正発明の効果は、本件補正発明の構成が奏するものとして、引用発明及び周知技術の奏する作用効果から予測される範囲内のものにすぎず、格別顕著なものということはできない。 （７） 請求人の主張について 請求人は、引用文献２には、運動減衰デバイスについて記載がない旨を主張している。 しかしながら、引用文献２に運動減衰デバイスについて記載がないとしても、前記（５）に説示のとおり、引用発明に周知技術を適用することは、当業者が容易になし得たことであるから、請求人の前記主張は採用できない。 （８） 小括 以上のとおり、本件補正発明は、引用発明及び周知技術に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により、特許出願の際独立して特許を受けることができないものである。 したがって、本件補正は、特許法第１７条の２第６項において準用する同法第１２６条第７項の規定に違反するものである。 ３ 本件補正についてのむすび 以上のとおりであるから、本件補正は、特許法第１５９条第１項の規定において読み替えて準用する同法第５３条第１項の規定により却下すべきものである。 よって、前記補正の却下の決定の結論のとおり決定する。 第３ 本願発明について １ 本願発明の認定 本件補正は、前記第２のとおり却下されたので、本願の請求項１～１４に係る発明は、令和５年７月３日に提出された手続補正書により補正された特許請求の範囲の請求項１～１４に記載された事項により特定されるとおりのものであるところ、その請求項１に係る発明（以下「本願発明」という。）は、前記第２の［理由］１（２）において本件補正前の請求項１として記載された事項により特定されるとおりのものである。 ２ 原査定の拒絶の理由 原査定の拒絶の理由は、以下の理由を含むものである。 本願発明は、その出願の優先日前に頒布された刊行物に記載された発明又は電気通信回線を通じて公衆に利用可能となった発明である下記引用文献２に記載された引用発明及び周知技術に基づいて、その出願の優先日前にその発明の属する技術の分野における通常の知識を有する者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。 引用文献２：国際公開第２０１７／０７２８７９号 引用文献４：特開２００４－１１１７６５号公報（周知技術を示す文献） 引用文献５：特開２０１４－１３５５２４号公報（周知技術を示す文献） ３ 引用文献に記載された事項及び引用発明の認定 原査定の拒絶の理由で引用された引用文献２に記載された事項及び引用発明の認定は、前記第２の［理由］２（２）に記載したとおりである。 ４ 対比・判断 本願発明は、前記第２の［理由］２で検討した本件補正発明から、「一時内部」について「パージガスを含む」という限定事項を削除したものである。 そうすると、本願発明の発明特定事項を全て含み、さらに他の事項を付加したものに相当する本件補正発明が、前記第２の［理由］２（４）及び（５）に記載したとおり、引用発明及び周知技術に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、本願発明も、引用発明及び周知技術に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものである。 第４ むすび 以上のとおり、本願発明は、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないから、他の請求項に係る発明について検討するまでもなく、本願は拒絶されるべきものである。 よって、結論のとおり審決する。