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特許第７１２８３０６号発明「液体送達システム」の特許異議申立事件について、次のとおり決定する。

結 論 特許第７１２８３０６号の特許請求の範囲を訂正請求書に添付された特許請求の範囲のとおり、訂正後の請求項〔１ないし４、８ないし１１、１６、１７〕、５、６、７、〔１２、１３〕、１４、１５について訂正することを認める。 特許第７１２８３０６号の請求項１ないし７、１０ないし１６に係る特許を維持する。 特許第７１２８３０６号の請求項８、９及び１７に係る特許についての特許異議の申立てを却下する。

理 由 第１ 手続の経緯 特許第７１２８３０６号の請求項１ないし１７に係る特許は、２０１７年（平成２９年）４月４日を国際出願日とする特願２０１８－５５２０５３号の一部を、令和３年１月１５日に新たな特許出願としたものであって、令和４年８月２２日にその特許権の設定登録がされ、同年８月３０日に特許掲載公報が発行されたものである。本件特許異議の申立ての経緯は、以下のとおりである。 令和 ４年１２月１９日 ：特許異議申立人 菊井俊一（以下「申立人Ａ」という。）による請求項１ないし１７に係る特許に対する特許異議の申立て 令和 ５年 １月２７日 ：特許異議申立人 高橋展弘（以下「申立人Ｂ」という。）による請求項１ないし１７に係る特許に対する特許異議の申立て 同 年 ６月１９日付け：取消理由通知 同 年 ９月１９日 ：特許権者による意見書及び訂正請求書の提出 同 年１２月１９日 ：特許権者による手続補正書の提出 令和 ６年 ２月１９日付け：訂正拒絶理由通知 同 年 ３月２６日 ：特許権者による意見書の提出 同 年 ４月 ９日 ：特許権者による手続補正書の提出 同 年 ７月 ２日 ：申立人Ａによる意見書の提出 同 年 ７月 ４日 ：申立人Ｂによる意見書の提出 同 年１２月１０日付け：取消理由通知（決定の予告） 令和 ７年 ３月１０日 ：特許権者による訂正請求書の提出（以下、この訂正請求書による訂正を「本件訂正」という。） 同 年 ３月１２日 ：特許権者による意見書の提出 同 年 ５月１９日 ：申立人Ａによる意見書の提出 同 年 ５月２３日 ：申立人Ｂによる意見書の提出 なお、令和５年９月１９日に提出された訂正請求書による訂正の請求は、特許法第１２０条の５第７項の規定により、取り下げられたものとみなす。 第２ 本件訂正の適否 １ 一群の請求項１ないし１１、１６及び１７の訂正について （１）訂正の内容 本件訂正の内容は、訂正箇所に下線を付して示すと以下のとおりである。 ア 訂正事項１ 訂正前の特許請求の範囲の請求項１の 「流体送達システムであって、 背面と、 前記背面の上面に設けられた第１の基板ブロックであって、第１の上面；前記第１の上面の第１の入口基板ポート；前記第１の上面の第１の出口基板ポート；およびコーナまたは角張った壁のない滑らかな弧の形態で前記第１の入口基板ポートと前記第１の出口基板ポートとの間に延びる第１の基板流体通路を含み；前記第１の入口基板ポートおよび前記第１の出口基板ポートはそれぞれ第１の基板リングによって形成され；前記第１の出口基板ポートおよび前記第１の入口基板ポートそれぞれについて、前記第１の基板チャネルは、前記第１の上面に形成され、前記第１の基板リングを囲み；前記第１の基板リングの外面は前記第１の基板チャネルの内面を形成する、第１の基板ブロックと、 前記背面の前記上面に設けられた第２の基板ブロックであって、第２の上面；前記第２の上面の第２の入口基板ポート；前記第２の上面の第２の出口基板ポート；およびコーナまたは角張った壁のない滑らかな弧の形態で前記第２の入口基板ポートと前記第２の出口基板ポートとの間に延びる第２の基板流体通路を含み；前記第２の入口基板ポートおよび前記第２の出口基板ポートはそれぞれ第２の基板リングによって形成され；前記第２の出口基板ポートおよび前記第２の入口基板ポートそれぞれについて、前記第２の基板チャネルは、前記第２の上面に形成され、前記第２の基板リングを囲み；前記第２の基板リングの外面は前記第２の基板チャネルの内面を形成する、第２の基板ブロックと、 流量制御器、圧力変換器、流量測定センサ、圧力調整器、弁、および流量計からなる群から選択される能動構成要素であって、下面；前記下面の構成要素入口ポート；前記下面の構成要素出口ポート；前記構成要素入口ポートから前記構成要素出口ポートまで延びる構成要素流体通路を含み；前記構成要素入口ポートおよび前記構成要素出口ポートはそれぞれ構成要素リングによって形成され；前記構成要素入口ポートおよび前記構成要素出口ポートそれぞれについて、構成要素チャネルは、前記能動構成要素の前記下面に形成され、前記構成要素リングを囲み、前記第１の構成要素リングの外面は、前記構成要素チャネルの内面を形成する、能動構成要素と、 第１のシールリングおよび第２のシールリングであって、前記第１のシールリングおよび第２のシールリングはそれぞれ長手方向軸に沿って延びるスリーブ流体通路を形成する内部スリーブ；および前記内部スリーブに接続され、かつそれを取り囲む外リングであって、（１）環状上部スリーブ溝が、前記外リングの上部と前記内部スリーブの上部との間に形成され、かつ（２）環状下部スリーブ溝が、前記外リングの下部と前記内部スリーブ下部との間に形成される、外リングを備えた第１のシールリングおよび第２のシールリングと、 を備え、前記能動構成要素は、前記第１の基板ブロックおよび前記第２の基板ブロックに設けられ、それらを繋げて、（１）前記第１の出口基板ポートと前記構成要素入口ポートが位置合わせされ、かつ前記第１のシールリングは、前記第１の出口基板ポートの前記第１の基板チャネルおよび前記構成要素入口ポートの前記構成要素チャネルのそれぞれに入れ子になり、前記第１のシールリングは、前記第１の基板流体通路および前記構成要素流体通路を流体的にシールし；（２）前記第２の入口基板ポートと前記構成要素出口ポートが位置合わせされ、かつ前記第２のシールリングは、前記第２の入口基板ポートの前記第２の基板チャネルおよび前記構成要素出口ポートの前記構成要素チャネルのそれぞれに入れ子になり、前記第２のシールリングは、前記第２の基板流体通路および前記構成要素流体通路を流体的にシールし；（３）前記能動構成要素は、前記背面から離間して分離されている、流体送達システム。」 との記載を、 「流体送達システムであって、 背面と、 前記背面の上面に設けられた第１の基板ブロックであって、第１の上面；前記上面と反対側の第１の下面；前記第１の上面の第１の入口基板ポート；前記第１の上面の第１の出口基板ポート；コーナまたは角張った壁のない滑らかな弧の形態で前記第１の入口基板ポートと前記第１の出口基板ポートとの間に延びる第１の基板流体通路；複数の第１の支持壁であって、前記第１の基板ブロックの第１の側面を形成する第１の外面と、前記第１の下面に第１のキャビティを画定する第１の内面と、を含む第１の周壁、および前記第１のキャビティ内に位置する少なくとも１つの第１の内壁を備える複数の第１の支持壁；および前記第１の基板流体通路の下部を画定する前記第１のキャビティ内の第１の管壁を含み；前記少なくとも１つの第１の内壁は、前記第１の管壁に接続され、かつ前記第１の管壁から延在し；前記第１の入口基板ポートおよび前記第１の出口基板ポートはそれぞれ第１の内側へ傾斜した部分を有する第１の内面を有する第１の基板リングによって形成され；前記第１の出口基板ポートおよび前記第１の入口基板ポートそれぞれについて、前記第１の基板チャネルは、前記第１の上面に形成され、前記第１の基板リングを囲み；前記第１の基板リングの外面は前記第１の基板チャネルの内面を形成する、一体に形成された部品としての第１の基板ブロックと、 前記背面の前記上面に設けられた第２の基板ブロックであって、第２の上面；前記第２の上面とは反対側の第２の下面；前記第２の上面の第２の入口基板ポート；前記第２の上面の第２の出口基板ポート；コーナまたは角張った壁のない滑らかな弧の形態で前記第２の入口基板ポートと前記第２の出口基板ポートとの間に延びる第２の基板流体通路；複数の第２の支持壁であって、前記第２の基板ブロックの第２の側面を形成する第２の外面と、前記第２の下面に第２のキャビティを画定する第２の内面と、を含む第２の周壁、および前記第２のキャビティ内に位置する少なくとも１つの第２の内壁を備える複数の第２の支持壁；および前記第２の基板流体通路の下部を画定する前記第２のキャビティ内の第２の管壁を含み；前記少なくとも１つの第２の内壁は、前記第２の管壁に接続され、かつ前記第２の管壁から延在し；前記第２の入口基板ポートおよび前記第２の出口基板ポートはそれぞれ第２の内側へ傾斜した部分を有する第２の内面を有する第２の基板リングによって形成され；前記第２の出口基板ポートおよび前記第２の入口基板ポートそれぞれについて、前記第２の基板チャネルは、前記第２の上面に形成され、前記第２の基板リングを囲み；前記第２の基板リングの外面は前記第２の基板チャネルの内面を形成する、一体に形成された部品としての第２の基板ブロックと、 流量制御器、圧力変換器、流量測定センサ、圧力調整器、弁、および流量計からなる群から選択される能動構成要素であって、下面；前記下面の構成要素入口ポート；前記下面の構成要素出口ポート；前記構成要素入口ポートから前記構成要素出口ポートまで延びる構成要素流体通路を含み；前記構成要素入口ポートおよび前記構成要素出口ポートはそれぞれ構成要素リングによって形成され；前記構成要素入口ポートおよび前記構成要素出口ポートそれぞれについて、構成要素チャネルは、前記能動構成要素の前記下面に形成され、前記構成要素リングを囲み、前記第１の構成要素リングの外面は、前記構成要素チャネルの内面を形成する、能動構成要素と、 第１のシールリングおよび第２のシールリングであって、前記第１のシールリングおよび第２のシールリングはそれぞれ長手方向軸に沿って延びるスリーブ流体通路を形成する内部スリーブ；および前記内部スリーブに接続され、かつそれを取り囲む外リングであって、（１）環状上部スリーブ溝が、前記外リングの上部と前記内部スリーブの上部との間に形成され、かつ（２）環状下部スリーブ溝が、前記外リングの下部と前記内部スリーブ下部との間に形成される、外リングを備えた第１のシールリングおよび第２のシールリングと、 を備え、 前記内部スリーブの上部は、外側へ傾斜した部分を含む外面を有し、前記内部スリーブの下部は、外側へ傾斜した部分を含む外面を有し、前記内部スリーブは水平面を有さず、 前記内部スリーブの上部は、内側へ傾斜した部分を含む内面を有し、前記内部スリーブの下部は、内側へ傾斜した部分を含む内面を有し、 前記内部スリーブの前記上部の前記内面の前記内側へ傾斜した部分の傾斜は、前記スリーブ流体通路の前記長手方向軸に対して前記内部スリーブの前記上部の前記外面の前記外側へ傾斜した部分の傾斜よりも大きい角度であり、前記内部スリーブの前記下部の前記内面の前記内側へ傾斜した部分の傾斜は、前記スリーブ流体通路の前記長手方向軸に対して前記内部スリーブの前記下部の外面の前記外側へ傾斜した部分の傾斜よりも大きい角度であり、 前記内部スリーブは、前記内部スリーブの頂部から前記内部スリーブの底部まで延びる第１の高さを有し、前記外リングは、前記外リングの頂部から底部まで延びる第２の高さを有し、前記第１の高さが前記第２の高さよりも高く、 前記能動構成要素は、前記第１の基板ブロックおよび前記第２の基板ブロックに設けられ、それらを繋げて、（１）前記第１の出口基板ポートと前記構成要素入口ポートが位置合わせされ、かつ前記第１のシールリングは、前記第１の出口基板ポートの前記第１の基板チャネルおよび前記構成要素入口ポートの前記構成要素チャネルのそれぞれに入れ子になり、前記第１のシールリングは、前記第１の基板流体通路および前記構成要素流体通路を流体的にシールし；（２）前記第２の入口基板ポートと前記構成要素出口ポートが位置合わせされ、かつ前記第２のシールリングは、前記第２の入口基板ポートの前記第２の基板チャネルおよび前記構成要素出口ポートの前記構成要素チャネルのそれぞれに入れ子になり、前記第２のシールリングは、前記第２の基板流体通路および前記構成要素流体通路を流体的にシールし；（３）前記能動構成要素は、前記背面から離間して分離されている、流体送達システム。」 と訂正する（請求項１の記載を直接又は間接的に引用する請求項２ないし４、１０、１１及び１６も同様に訂正する。）。 イ 訂正事項２ 訂正前の特許請求の範囲の請求項５に 「前記第１のシールリングは、中心面および中心軸に沿って延びる前記スリーブ流体通路に関して両側対称であり、前記内部スリーブの上部は、外側へ傾斜した部分を含む外面を有し、前記内部スリーブの下部は、外側へ傾斜した部分を含む外面を有する、請求項１に記載の流体送達システム。」と記載されているのを、 「流体送達システムであって、 背面と、 前記背面の上面に設けられた第１の基板ブロックであって、第１の上面；前記上面と反対側の第１の下面；前記第１の上面の第１の入口基板ポート；前記第１の上面の第１の出口基板ポート；コーナまたは角張った壁のない滑らかな弧の形態で前記第１の入口基板ポートと前記第１の出口基板ポートとの間に延びる第１の基板流体通路；複数の第１の支持壁であって、前記第１の基板ブロックの第１の側面を形成する第１の外面と、前記第１の下面に第１のキャビティを画定する第１の内面と、を含む第１の周壁、および前記第１のキャビティ内に位置する少なくとも１つの第１の内壁を備える複数の第１の支持壁；および前記第１の基板流体通路の下部を画定する前記第１のキャビティ内の第１の管壁を含み；前記少なくとも１つの第１の内壁は、前記第１の管壁に接続され、かつ前記第１の管壁から延在し；前記第１の入口基板ポートおよび前記第１の出口基板ポートはそれぞれ第１の内側へ傾斜した部分を有する第１の内面を有する第１の基板リングによって形成され；前記第１の出口基板ポートおよび前記第１の入口基板ポートそれぞれについて、前記第１の基板チャネルは、前記第１の上面に形成され、前記第１の基板リングを囲み；前記第１の基板リングの外面は前記第１の基板チャネルの内面を形成する、一体に形成された部品としての第１の基板ブロックと、 前記背面の前記上面に設けられた第２の基板ブロックであって、第２の上面；前記第２の上面とは反対側の第２の下面；前記第２の上面の第２の入口基板ポート；前記第２の上面の第２の出口基板ポート；コーナまたは角張った壁のない滑らかな弧の形態で前記第２の入口基板ポートと前記第２の出口基板ポートとの間に延びる第２の基板流体通路；複数の第２の支持壁であって、前記第２の基板ブロックの第２の側面を形成する第２の外面と、前記第２の下面に第２のキャビティを画定する第２の内面と、を含む第２の周壁、および前記第２のキャビティ内に位置する少なくとも１つの第２の内壁を備える複数の第２の支持壁；および前記第２の基板流体通路の下部を画定する前記第２のキャビティ内の第２の管壁を含み；前記少なくとも１つの第２の内壁は、前記第２の管壁に接続され、かつ前記第２の管壁から延在し；前記第２の入口基板ポートおよび前記第２の出口基板ポートはそれぞれ第２の内側へ傾斜した部分を有する第２の内面を有する第２の基板リングによって形成され；前記第２の出口基板ポートおよび前記第２の入口基板ポートそれぞれについて、前記第２の基板チャネルは、前記第２の上面に形成され、前記第２の基板リングを囲み；前記第２の基板リングの外面は前記第２の基板チャネルの内面を形成する、一体に形成された部品としての第２の基板ブロックと、 流量制御器、圧力変換器、流量測定センサ、圧力調整器、弁、および流量計からなる群から選択される能動構成要素であって、下面；前記下面の構成要素入口ポート；前記下面の構成要素出口ポート；前記構成要素入口ポートから前記構成要素出口ポートまで延びる構成要素流体通路を含み；前記構成要素入口ポートおよび前記構成要素出口ポートはそれぞれ構成要素リングによって形成され；前記構成要素入口ポートおよび前記構成要素出口ポートそれぞれについて、構成要素チャネルは、前記能動構成要素の前記下面に形成され、前記構成要素リングを囲み、前記第１の構成要素リングの外面は、前記構成要素チャネルの内面を形成する、能動構成要素と、 第１のシールリングおよび第２のシールリングであって、前記第１のシールリングおよび第２のシールリングはそれぞれ長手方向軸に沿って延びるスリーブ流体通路を形成する内部スリーブ；および前記内部スリーブに接続され、かつそれを取り囲む外リングであって、（１）環状上部スリーブ溝が、前記外リングの上部と前記内部スリーブの上部との間に形成され、かつ（２）環状下部スリーブ溝が、前記外リングの下部と前記内部スリーブ下部との間に形成される、外リングを備えた第１のシールリングおよび第２のシールリングと、 を備え、 前記内部スリーブの上部は、外側へ傾斜した部分を含む外面を有し、前記内部スリーブの下部は、外側へ傾斜した部分を含む外面を有し、前記内部スリーブは水平面を有さず、前記内部スリーブの上部は、内側へ傾斜した部分を含む内面を有し、前記内部スリーブの下部は、内側へ傾斜した部分を含む内面を有し、 前記内部スリーブの前記上部の前記内面の前記内側へ傾斜した部分の傾斜は、前記スリーブ流体通路の前記長手方向軸に対して前記内部スリーブの前記上部の前記外面の前記外側へ傾斜した部分の傾斜よりも大きい角度であり、前記内部スリーブの前記下部の前記内面の前記内側へ傾斜した部分の傾斜は、前記スリーブ流体通路の前記長手方向軸に対して前記内部スリーブの前記下部の外面の前記外側へ傾斜した部分の傾斜よりも大きい角度であり、 前記内部スリーブは、前記内部スリーブの頂部から前記内部スリーブの底部まで延びる第１の高さを有し、前記外リングは、前記外リングの頂部から底部まで延びる第２の高さを有し、前記第１の高さが前記第２の高さよりも高く、 前記能動構成要素は、前記第１の基板ブロックおよび前記第２の基板ブロックに設けられ、それらを繋げて、（１）前記第１の出口基板ポートと前記構成要素入口ポートが位置合わせされ、かつ前記第１のシールリングは、前記第１の出口基板ポートの前記第１の基板チャネルおよび前記構成要素入口ポートの前記構成要素チャネルのそれぞれに入れ子になり、前記第１のシールリングは、前記第１の基板流体通路および前記構成要素流体通路を流体的にシールし；（２）前記第２の入口基板ポートと前記構成要素出口ポートが位置合わせされ、かつ前記第２のシールリングは、前記第２の入口基板ポートの前記第２の基板チャネルおよび前記構成要素出口ポートの前記構成要素チャネルのそれぞれに入れ子になり、前記第２のシールリングは、前記第２の基板流体通路および前記構成要素流体通路を流体的にシールし；（３）前記能動構成要素は、前記背面から離間して分離され、 前記第１のシールリングは、中心面および中心軸に沿って延びる前記スリーブ流体通路に関して両側対称であり、 前記少なくとも１つの第１の内壁および前記第１の周壁は、第１の共通面内に置かれかつ前記第１の基板ブロックの前記第１の下面を形成する第１の下縁で終端し、 前記少なくとも１つの第２の内壁および前記第２の周壁は、第２の共通面内に置かれかつ前記第２の基板ブロックの前記第２の下面を形成する第２の下縁で終端する、流体送達システム。」 と訂正する。 ウ 訂正事項３ 特許請求の範囲の請求項６に 「前記第１のシールリングの前記内部スリーブが水平面を有さない、請求項５に記載の流体送達システム。」と記載されているのを、 「流体送達システムであって、 背面と、 前記背面の上面に設けられた第１の基板ブロックであって、第１の上面；前記上面と反対側の第１の下面；前記第１の上面の第１の入口基板ポート；前記第１の上面の第１の出口基板ポート；コーナまたは角張った壁のない滑らかな弧の形態で前記第１の入口基板ポートと前記第１の出口基板ポートとの間に延びる第１の基板流体通路；複数の第１の支持壁であって、前記第１の基板ブロックの第１の側面を形成する第１の外面と、前記第１の下面に第１のキャビティを画定する第１の内面と、を含む第１の周壁、および前記第１のキャビティ内に位置する少なくとも１つの第１の内壁を備える複数の第１の支持壁；および前記第１の基板流体通路の下部を画定する前記第１のキャビティ内の第１の管壁を含み；前記少なくとも１つの第１の内壁は、前記第１の管壁に接続され、かつ前記第１の管壁から延在し；前記第１の入口基板ポートおよび前記第１の出口基板ポートはそれぞれ第１の内側へ傾斜した部分を有する第１の内面を有する第１の基板リングによって形成され；前記第１の出口基板ポートおよび前記第１の入口基板ポートそれぞれについて、前記第１の基板チャネルは、前記第１の上面に形成され、前記第１の基板リングを囲み；前記第１の基板リングの外面は前記第１の基板チャネルの内面を形成する、一体に形成された部品としての第１の基板ブロックと、 前記背面の前記上面に設けられた第２の基板ブロックであって、第２の上面；前記第２の上面とは反対側の第２の下面；前記第２の上面の第２の入口基板ポート；前記第２の上面の第２の出口基板ポート；コーナまたは角張った壁のない滑らかな弧の形態で前記第２の入口基板ポートと前記第２の出口基板ポートとの間に延びる第２の基板流体通路；複数の第２の支持壁であって、前記第２の基板ブロックの第２の側面を形成する第２の外面と、前記第２の下面に第２のキャビティを画定する第２の内面と、を含む第２の周壁、および前記第２のキャビティ内に位置する少なくとも１つの第２の内壁を備える複数の第２の支持壁；および前記第２の基板流体通路の下部を画定する前記第２のキャビティ内の第２の管壁を含み；前記少なくとも１つの第２の内壁は、前記第２の管壁に接続され、かつ前記第２の管壁から延在し；前記第２の入口基板ポートおよび前記第２の出口基板ポートはそれぞれ第２の内側へ傾斜した部分を有する第２の内面を有する第２の基板リングによって形成され；前記第２の出口基板ポートおよび前記第２の入口基板ポートそれぞれについて、前記第２の基板チャネルは、前記第２の上面に形成され、前記第２の基板リングを囲み；前記第２の基板リングの外面は前記第２の基板チャネルの内面を形成する、一体に形成された部品としての第２の基板ブロックと、 流量制御器、圧力変換器、流量測定センサ、圧力調整器、弁、および流量計からなる群から選択される能動構成要素であって、下面；前記下面の構成要素入口ポート；前記下面の構成要素出口ポート；前記構成要素入口ポートから前記構成要素出口ポートまで延びる構成要素流体通路を含み；前記構成要素入口ポートおよび前記構成要素出口ポートはそれぞれ構成要素リングによって形成され；前記構成要素入口ポートおよび前記構成要素出口ポートそれぞれについて、構成要素チャネルは、前記能動構成要素の前記下面に形成され、前記構成要素リングを囲み、前記第１の構成要素リングの外面は、前記構成要素チャネルの内面を形成する、能動構成要素と、 第１のシールリングおよび第２のシールリングであって、前記第１のシールリングおよび第２のシールリングはそれぞれ長手方向軸に沿って延びるスリーブ流体通路を形成する内部スリーブ；および前記内部スリーブに接続され、かつそれを取り囲む外リングであって、（１）環状上部スリーブ溝が、前記外リングの上部と前記内部スリーブの上部との間に形成され、かつ（２）環状下部スリーブ溝が、前記外リングの下部と前記内部スリーブ下部との間に形成される、外リングを備えた第１のシールリングおよび第２のシールリングと、 を備え、 前記内部スリーブの上部は、外側へ傾斜した部分を含む外面を有し、前記内部スリーブの下部は、外側へ傾斜した部分を含む外面を有し、前記内部スリーブは水平面を有さず、 前記内部スリーブの上部は、内側へ傾斜した部分を含む内面を有し、前記内部スリーブの下部は、内側へ傾斜した部分を含む内面を有し、 前記内部スリーブの前記上部の前記内面の前記内側へ傾斜した部分の傾斜は、前記スリーブ流体通路の前記長手方向軸に対して前記内部スリーブの前記上部の前記外面の前記外側へ傾斜した部分の傾斜よりも大きい角度であり、前記内部スリーブの前記下部の前記内面の前記内側へ傾斜した部分の傾斜は、前記スリーブ流体通路の前記長手方向軸に対して前記内部スリーブの前記下部の外面の前記外側へ傾斜した部分の傾斜よりも大きい角度であり、 前記内部スリーブは、前記内部スリーブの頂部から前記内部スリーブの底部まで延びる第１の高さを有し、前記外リングは、前記外リングの頂部から底部まで延びる第２の高さを有し、前記第１の高さが前記第２の高さよりも高く、 前記能動構成要素は、前記第１の基板ブロックおよび前記第２の基板ブロックに設けられ、それらを繋げて、（１）前記第１の出口基板ポートと前記構成要素入口ポートが位置合わせされ、かつ前記第１のシールリングは、前記第１の出口基板ポートの前記第１の基板チャネルおよび前記構成要素入口ポートの前記構成要素チャネルのそれぞれに入れ子になり、前記第１のシールリングは、前記第１の基板流体通路および前記構成要素流体通路を流体的にシールし；（２）前記第２の入口基板ポートと前記構成要素出口ポートが位置合わせされ、かつ前記第２のシールリングは、前記第２の入口基板ポートの前記第２の基板チャネルおよび前記構成要素出口ポートの前記構成要素チャネルのそれぞれに入れ子になり、前記第２のシールリングは、前記第２の基板流体通路および前記構成要素流体通路を流体的にシールし；（３）前記能動構成要素は、前記背面から離間して分離され、 前記第１のシールリングは、中心面および中心軸に沿って延びる前記スリーブ流体通路に関して両側対称であり、 前記第１の基板ブロックの前記第１の出口基板ポートの前記第１の基板リングの前記第１の内面の前記第１の内側へ傾斜した部分は、前記第１のシールリングの前記内部スリーブの前記下部の前記外面の前記外側へ傾斜した部分に干渉力を及ぼし、 前記第２の基板ブロックの前記第２の入口基板ポートの前記第２の基板リングの前記第２の内面の前記第２の内側へ傾斜した部分は、前記第２のシールリングの前記内部スリーブの前記下部の前記外面の前記外側へ傾斜した部分に干渉力を及ぼす、流体送達システム。」 と訂正する。 エ 訂正事項４ 特許請求の範囲の請求項７に「前記内部スリーブの上部は、内側へ傾斜した部分を含む内面を有し、前記内部スリーブの下部は、内側へ傾斜した部分を含む内面を有する、請求項５に記載の流体送達システム。」と記載されているのを、 「流体送達システムであって、 背面と、 前記背面の上面に設けられた第１の基板ブロックであって、第１の上面；前記第１の上面の第１の入口基板ポート；前記第１の上面の第１の出口基板ポート；およびコーナまたは角張った壁のない滑らかな弧の形態で前記第１の入口基板ポートと前記第１の出口基板ポートとの間に延びる第１の基板流体通路を含み；前記第１の入口基板ポートおよび前記第１の出口基板ポートはそれぞれ第１の基板リングによって形成され；前記第１の出口基板ポートおよび前記第１の入口基板ポートそれぞれについて、前記第１の基板チャネルは、前記第１の上面に形成され、前記第１の基板リングを囲み；前記第１の基板リングの外面は前記第１の基板チャネルの内面を形成する、第１の基板ブロックと、 前記背面の前記上面に設けられた第２の基板ブロックであって、第２の上面；前記第２の上面の第２の入口基板ポート；前記第２の上面の第２の出口基板ポート；およびコーナまたは角張った壁のない滑らかな弧の形態で前記第２の入口基板ポートと前記第２の出口基板ポートとの間に延びる第２の基板流体通路を含み；前記第２の入口基板ポートおよび前記第２の出口基板ポートはそれぞれ第２の基板リングによって形成され；前記第２の出口基板ポートおよび前記第２の入口基板ポートそれぞれについて、前記第２の基板チャネルは、前記第２の上面に形成され、前記第２の基板リングを囲み；前記第２の基板リングの外面は前記第２の基板チャネルの内面を形成する、第２の基板ブロックと、 流量制御器、圧力変換器、流量測定センサ、圧力調整器、弁、および流量計からなる群から選択される能動構成要素であって、下面；前記下面の構成要素入口ポート；前記下面の構成要素出口ポート；前記構成要素入口ポートから前記構成要素出口ポートまで延びる構成要素流体通路を含み；前記構成要素入口ポートおよび前記構成要素出口ポートはそれぞれ構成要素リングによって形成され；前記構成要素入口ポートおよび前記構成要素出口ポートそれぞれについて、構成要素チャネルは、前記能動構成要素の前記下面に形成され、前記構成要素リングを囲み、前記第１の構成要素リングの外面は、前記構成要素チャネルの内面を形成する、能動構成要素と、 第１のシールリングおよび第２のシールリングであって、前記第１のシールリングおよび第２のシールリングはそれぞれ長手方向軸に沿って延びるスリーブ流体通路を形成する内部スリーブ；および前記内部スリーブに接続され、かつそれを取り囲む外リングであって、（１）環状上部スリーブ溝が、前記外リングの上部と前記内部スリーブの上部との間に形成され、かつ（２）環状下部スリーブ溝が、前記外リングの下部と前記内部スリーブ下部との間に形成される、外リングを備えた第１のシールリングおよび第２のシールリングと、を備え、前記能動構成要素は、前記第１の基板ブロックおよび前記第２の基板ブロックに設けられ、それらを繋げて、（１）前記第１の出口基板ポートと前記構成要素入口ポートが位置合わせされ、かつ前記第１のシールリングは、前記第１の出口基板ポートの前記第１の基板チャネルおよび前記構成要素入口ポートの前記構成要素チャネルのそれぞれに入れ子になり、前記第１のシールリングは、前記第１の基板流体通路および前記構成要素流体通路を流体的にシールし；（２）前記第２の入口基板ポートと前記構成要素出口ポートが位置合わせされ、かつ前記第２のシールリングは、前記第２の入口基板ポートの前記第２の基板チャネルおよび前記構成要素出口ポートの前記構成要素チャネルのそれぞれに入れ子になり、前記第２のシールリングは、前記第２の基板流体通路および前記構成要素流体通路を流体的にシールし；（３）前記能動構成要素は、前記背面から離間して分離され、 前記第１のシールリングは、中心面および中心軸に沿って延びる前記スリーブ流体通路に関して両側対称であり、前記内部スリーブの上部は、外側へ傾斜した部分を含む外面を有し、前記内部スリーブの下部は、外側へ傾斜した部分を含む外面を有し、 前記内部スリーブの上部は、内側へ傾斜した部分を含む内面を有し、前記内部スリーブの下部は、内側へ傾斜した部分を含む内面を有し、 前記内部スリーブは水平面を有さず、 前記内部スリーブの前記上部の前記内面の前記内側へ傾斜した部分の傾斜は、前記スリーブ流体通路の前記長手方向軸に対して前記内部スリーブの前記上部の前記外面の前記外側へ傾斜した部分の傾斜よりも大きい角度であり、前記内部スリーブの前記下部の前記内面の前記内側へ傾斜した部分の傾斜は、前記スリーブ流体通路の前記長手方向軸に対して前記内部スリーブの前記下部の外面の前記外側へ傾斜した部分の傾斜よりも大きい角度であり、 前記内部スリーブは、前記内部スリーブの頂部から前記内部スリーブの底部まで延びる第１の高さを有し、前記外リングは、前記外リングの頂部から底部まで延びる第２の高さを有し、前記第１の高さが前記第２の高さよりも高い、流体送達システム。」 と訂正する。 オ 訂正事項５ 特許請求の範囲の請求項８を削除する。 カ 訂正事項６ 特許請求の範囲の請求項９を削除する。 キ 訂正事項７ 特許請求の範囲の請求項１０に「前記能動構成要素の基部を通って前記基板ブロック内に延在して、前記能動構成要素を前記基板ブロックに取り付ける複数の締結具をさらに備える、請求項１に記載の流体送達システム。」と記載されているのを、 「前記第１の基板ブロックは、前記第１の上面から前記第１の基板ブロックを通って延在する第１の締結具穴をさらに含み、 前記第２の基板ブロックは、前記第２の上面から前記第２の基板ブロックを通って延在する第２の締結具穴をさらに含み、 前記能動構成要素の基部を通って前記第１の基板ブロックの前記第１の締結具穴内に延在して、前記能動構成要素を前記第１の基板ブロックに取り付ける複数の第１の締結具と、 前記能動構成要素の基部を通って前記第２の基板ブロックの前記第２の締結具穴内に延在して、前記能動構成要素を前記第２の基板ブロックに取り付ける複数の第２の締結具と、 をさらに備える、請求項１に記載の流体送達システム。」 と訂正する。 ク 訂正事項８ 特許請求の範囲の請求項１６に「前記第１の基板ブロック、前記第２の基板ブロック、前記第１のシールリング、および前記第２のシールリンは、グフッ素ポリマーからなる、請求項１に記載の流体送達システム。」と記載されているのを、「前記第１の基板ブロック、前記第２の基板ブロック、前記第１のシールリング、および前記第２のシールリングは、フッ素ポリマーからなる、請求項１に記載の流体送達システム。」と訂正する。 ケ 訂正事項９ 特許請求の範囲の請求項１７を削除する。 （２）訂正の適否についての判断 ア 訂正事項１について 訂正事項１を、便宜上、以下の訂正事項１－１ないし１－３に分ける。 〔訂正事項１－１〕 訂正前の請求項１における「第１の基板ブロックであって、第１の上面；前記第１の上面の第１の入口基板ポート；前記第１の上面の第１の出口基板ポート；およびコーナまたは角張った壁のない滑らかな弧の形態で前記第１の入口基板ポートと前記第１の出口基板ポートとの間に延びる第１の基板流体通路を含み；前記第１の入口基板ポートおよび前記第１の出口基板ポートはそれぞれ第１の基板リングによって形成され；前記第１の出口基板ポートおよび前記第１の入口基板ポートそれぞれについて、前記第１の基板チャネルは、前記第１の上面に形成され、前記第１の基板リングを囲み；前記第１の基板リングの外面は前記第１の基板チャネルの内面を形成する、第１の基板ブロック」との記載を、「第１の基板ブロックであって、第１の上面；前記上面と反対側の第１の下面；前記第１の上面の第１の入口基板ポート；前記第１の上面の第１の出口基板ポート；コーナまたは角張った壁のない滑らかな弧の形態で前記第１の入口基板ポートと前記第１の出口基板ポートとの間に延びる第１の基板流体通路；複数の第１の支持壁であって、前記第１の基板ブロックの第１の側面を形成する第１の外面と、前記第１の下面に第１のキャビティを画定する第１の内面と、を含む第１の周壁、および前記第１のキャビティ内に位置する少なくとも１つの第１の内壁を備える複数の第１の支持壁；および前記第１の基板流体通路の下部を画定する前記第１のキャビティ内の第１の管壁を含み；前記少なくとも１つの第１の内壁は、前記第１の管壁に接続され、かつ前記第１の管壁から延在し；前記第１の入口基板ポートおよび前記第１の出口基板ポートはそれぞれ第１の内側へ傾斜した部分を有する第１の内面を有する第１の基板リングによって形成され；前記第１の出口基板ポートおよび前記第１の入口基板ポートそれぞれについて、前記第１の基板チャネルは、前記第１の上面に形成され、前記第１の基板リングを囲み；前記第１の基板リングの外面は前記第１の基板チャネルの内面を形成する、一体に形成された部品としての第１の基板ブロック」と訂正する。 〔訂正事項１－２〕 訂正前の請求項１における「第２の基板ブロックであって、第２の上面；前記第２の上面の第２の入口基板ポート；前記第２の上面の第２の出口基板ポート；およびコーナまたは角張った壁のない滑らかな弧の形態で前記第２の入口基板ポートと前記第２の出口基板ポートとの間に延びる第２の基板流体通路を含み；前記第２の入口基板ポートおよび前記第２の出口基板ポートはそれぞれ第２の基板リングによって形成され；前記第２の出口基板ポートおよび前記第２の入口基板ポートそれぞれについて、前記第２の基板チャネルは、前記第２の上面に形成され、前記第２の基板リングを囲み；前記第２の基板リングの外面は前記第２の基板チャネルの内面を形成する、第２の基板ブロック」との記載を、「第２の基板ブロックであって、第２の上面；前記第２の上面とは反対側の第２の下面；前記第２の上面の第２の入口基板ポート；前記第２の上面の第２の出口基板ポート；コーナまたは角張った壁のない滑らかな弧の形態で前記第２の入口基板ポートと前記第２の出口基板ポートとの間に延びる第２の基板流体通路；複数の第２の支持壁であって、前記第２の基板ブロックの第２の側面を形成する第２の外面と、前記第２の下面に第２のキャビティを画定する第２の内面と、を含む第２の周壁、および前記第２のキャビティ内に位置する少なくとも１つの第２の内壁を備える複数の第２の支持壁；および前記第２の基板流体通路の下部を画定する前記第２のキャビティ内の第２の管壁を含み；前記少なくとも１つの第２の内壁は、前記第２の管壁に接続され、かつ前記第２の管壁から延在し；前記第２の入口基板ポートおよび前記第２の出口基板ポートはそれぞれ第２の内側へ傾斜した部分を有する第２の内面を有する第２の基板リングによって形成され；前記第２の出口基板ポートおよび前記第２の入口基板ポートそれぞれについて、前記第２の基板チャネルは、前記第２の上面に形成され、前記第２の基板リングを囲み；前記第２の基板リングの外面は前記第２の基板チャネルの内面を形成する、一体に形成された部品としての第２の基板ブロック」と訂正する。 〔訂正事項１－３〕 「前記内部スリーブの上部は、外側へ傾斜した部分を含む外面を有し、前記内部スリーブの下部は、外側へ傾斜した部分を含む外面を有し、前記内部スリーブは水平面を有さず、 前記内部スリーブの上部は、内側へ傾斜した部分を含む内面を有し、前記内部スリーブの下部は、内側へ傾斜した部分を含む内面を有し、 前記内部スリーブの前記上部の前記内面の前記内側へ傾斜した部分の傾斜は、前記スリーブ流体通路の前記長手方向軸に対して前記内部スリーブの前記上部の前記外面の前記外側へ傾斜した部分の傾斜よりも大きい角度であり、前記内部スリーブの前記下部の前記内面の前記内側へ傾斜した部分の傾斜は、前記スリーブ流体通路の前記長手方向軸に対して前記内部スリーブの前記下部の外面の前記外側へ傾斜した部分の傾斜よりも大きい角度であり、 前記内部スリーブは、前記内部スリーブの頂部から前記内部スリーブの底部まで延びる第１の高さを有し、前記外リングは、前記外リングの頂部から底部まで延びる第２の高さを有し、前記第１の高さが前記第２の高さよりも高く、」との事項を追加する。 （ア）訂正の目的 訂正事項１－１は、「第１の基板ブロック」について、「前記第１の上面と反対側の第１の下面」及び「複数の第１の支持壁であって、前記第１の基板ブロックの第１の側面を形成する第１の外面と、前記第１の下面に第１のキャビティを画定する第１の内面と、を含む第１の周壁、および前記第１のキャビティ内に位置する少なくとも１つの第１の内壁を備える複数の第１の支持壁；および前記第１の基板流体通路の下部を画定する前記第１のキャビティ内の第１の管壁」を含むこと、並びに「前記少なくとも１つの第１の内壁は、前記第１の管壁に接続され、かつ前記第１の管壁から延在」すること及び「一体に形成された部品としての」との特定事項を直列的に付加して限定するとともに、「第１の基板リング」について、「第１の内側へ傾斜した部分を有する第１の内面を有する」との特定事項を直列的に付加して限定するものである。 訂正事項１－２は、「第２の基板ブロック」について、「前記第２の上面と反対側の第２の下面」及び「複数の第２の支持壁であって、前記第２の基板ブロックの第２の側面を形成する第２の外面と、前記第２の下面に第２のキャビティを画定する第２の内面と、を含む第２の周壁、および前記第２のキャビティ内に位置する少なくとも１つの第２の内壁を備える複数の第２の支持壁；および前記第２の基板流体通路の下部を画定する前記第２のキャビティ内の第２の管壁」を含むこと、並びに「前記少なくとも１つの第２の内壁は、前記第２の管壁に接続され、かつ前記第２の管壁から延在」すること及び「一体に形成された部品としての」との特定事項を直列的に付加して限定するとともに、「第２の基板リング」について、「第２の内側へ傾斜した部分を有する第２の内面を有する」との特定事項を直列的に付加して限定するものである。 訂正事項１－３は、「前記内部スリーブの上部は、外側へ傾斜した部分を含む外面を有し、前記内部スリーブの下部は、外側へ傾斜した部分を含む外面を有し、前記内部スリーブは水平面を有さず、前記内部スリーブの上部は、内側へ傾斜した部分を含む内面を有し、前記内部スリーブの下部は、内側へ傾斜した部分を含む内面を有し、前記内部スリーブの前記上部の前記内面の前記内側へ傾斜した部分の傾斜は、前記スリーブ流体通路の前記長手方向軸に対して前記内部スリーブの前記上部の前記外面の前記外側へ傾斜した部分の傾斜よりも大きい角度であり、前記内部スリーブの前記下部の前記内面の前記内側へ傾斜した部分の傾斜は、前記スリーブ流体通路の前記長手方向軸に対して前記内部スリーブの前記下部の外面の前記外側へ傾斜した部分の傾斜よりも大きい角度であり、前記内部スリーブは、前記内部スリーブの頂部から前記内部スリーブの底部まで延びる第１の高さを有し、前記外リングは、前記外リングの頂部から底部まで延びる第２の高さを有し、前記第１の高さが前記第２の高さよりも高く」との特定事項を直列的に付加して限定するものである。 よって、訂正事項１－１ないし１－３からなる訂正事項１は、特許法第１２０条の５第２項ただし書第１号に掲げる特許請求の範囲の減縮を目的とするものである。 （イ）願書に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であること 訂正事項１－１ないし１－３は、願書に添付した明細書の段落【００２７】ないし【００２９】及び【００４０】、並びに図９Ｂ、図１０Ｂ、図１０Ｃ及び図１６Ａないし図１６Ｃに基づくものである。 ここで、「第１の基板ブロック」が「複数の第１の支持壁であって、前記第１の基板ブロックの第１の側面を形成する第１の外面と、前記第１の下面に第１のキャビティを画定する第１の内面と、を含む第１の周壁、および前記第１のキャビティ内に位置する少なくとも１つの第１の内壁を備える複数の第１の支持壁；および前記第１の基板流体通路の下部を画定する前記第１のキャビティ内の第１の管壁を含」むこと及び「前記少なくとも１つの第１の内壁は、前記第１の管壁に接続され、かつ前記第１の管壁から下方に延在」すること、並びに「第２の基板ブロック」が「複数の第２の支持壁であって、前記基板ブロックの第２の側面を形成する第２の外面と、前記第２の下面に第２のキャビティを画定する第２の内面と、を含む第２の周壁、および前記第２のキャビティ内に位置する少なくとも１つの第２の内壁を備える複数の第２の支持壁；および前記第２の基板流体通路の下部を画定する前記第２のキャビティ内の第２の管壁を含」むこと及び「前記少なくとも１つの第２の内壁は、前記第２の管壁に接続され、かつ前記第２の管壁から下方に延在」することは、図９Ｂ、図１０Ｂ及び図１０Ｃから、看取できる。 したがって、訂正事項１－１ないし１－３からなる訂正事項１は、願書に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であり、特許法第１２０条の５第９項で準用する同法第１２６条第５項の規定に適合するものである。 （ウ）実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更する訂正ではないこと 訂正事項１－１ないし１－３はいずれも、発明特定事項を直列的に付加するものであるから特許請求の範囲を拡張するものではなく、訂正事項１－１ないし１－３によりカテゴリーや対象を変更するものではない。 したがって、訂正事項１－１ないし１－３からなる訂正事項１は、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものには該当せず、特許法第１２０条の５第９項で準用する同法第１２６条第６項の規定に適合するものである。 イ 訂正事項２について 訂正事項２を、便宜上、以下の訂正事項２－１ないし２－４に分ける。 〔訂正事項２－１〕 訂正前の請求項５が引用する訂正前の請求項１（以下、本項において「訂正前の請求項１」という。）における「第１の基板ブロックであって、第１の上面；前記第１の上面の第１の入口基板ポート；前記第１の上面の第１の出口基板ポート；およびコーナまたは角張った壁のない滑らかな弧の形態で前記第１の入口基板ポートと前記第１の出口基板ポートとの間に延びる第１の基板流体通路を含み；前記第１の入口基板ポートおよび前記第１の出口基板ポートはそれぞれ第１の基板リングによって形成され；前記第１の出口基板ポートおよび前記第１の入口基板ポートそれぞれについて、前記第１の基板チャネルは、前記第１の上面に形成され、前記第１の基板リングを囲み；前記第１の基板リングの外面は前記第１の基板チャネルの内面を形成する、第１の基板ブロック」との記載を、「第１の基板ブロックであって、第１の上面；前記上面と反対側の第１の下面；前記第１の上面の第１の入口基板ポート；前記第１の上面の第１の出口基板ポート；コーナまたは角張った壁のない滑らかな弧の形態で前記第１の入口基板ポートと前記第１の出口基板ポートとの間に延びる第１の基板流体通路；複数の第１の支持壁であって、前記第１の基板ブロックの第１の側面を形成する第１の外面と、前記第１の下面に第１のキャビティを画定する第１の内面と、を含む第１の周壁、および前記第１のキャビティ内に位置する少なくとも１つの第１の内壁を備える複数の第１の支持壁；および前記第１の基板流体通路の下部を画定する前記第１のキャビティ内の第１の管壁を含み；前記少なくとも１つの第１の内壁は、前記第１の管壁に接続され、かつ前記第１の管壁から延在し；前記第１の入口基板ポートおよび前記第１の出口基板ポートはそれぞれ第１の内側へ傾斜した部分を有する第１の内面を有する第１の基板リングによって形成され；前記第１の出口基板ポートおよび前記第１の入口基板ポートそれぞれについて、前記第１の基板チャネルは、前記第１の上面に形成され、前記第１の基板リングを囲み；前記第１の基板リングの外面は前記第１の基板チャネルの内面を形成する、一体に形成された部品としての第１の基板ブロック」と訂正する。 〔訂正事項２－２〕 訂正前の請求項１における「第２の基板ブロックであって、第２の上面；前記第２の上面の第２の入口基板ポート；前記第２の上面の第２の出口基板ポート；およびコーナまたは角張った壁のない滑らかな弧の形態で前記第２の入口基板ポートと前記第２の出口基板ポートとの間に延びる第２の基板流体通路を含み；前記第２の入口基板ポートおよび前記第２の出口基板ポートはそれぞれ第２の基板リングによって形成され；前記第２の出口基板ポートおよび前記第２の入口基板ポートそれぞれについて、前記第２の基板チャネルは、前記第２の上面に形成され、前記第２の基板リングを囲み；前記第２の基板リングの外面は前記第２の基板チャネルの内面を形成する、第２の基板ブロック」との記載を、「第２の基板ブロックであって、第２の上面；前記第２の上面とは反対側の第２の下面；前記第２の上面の第２の入口基板ポート；前記第２の上面の第２の出口基板ポート；コーナまたは角張った壁のない滑らかな弧の形態で前記第２の入口基板ポートと前記第２の出口基板ポートとの間に延びる第２の基板流体通路；複数の第２の支持壁であって、前記第２の基板ブロックの第２の側面を形成する第２の外面と、前記第２の下面に第２のキャビティを画定する第２の内面と、を含む第２の周壁、および前記第２のキャビティ内に位置する少なくとも１つの第２の内壁を備える複数の第２の支持壁；および前記第２の基板流体通路の下部を画定する前記第２のキャビティ内の第２の管壁を含み；前記少なくとも１つの第２の内壁は、前記第２の管壁に接続され、かつ前記第２の管壁から延在し；前記第２の入口基板ポートおよび前記第２の出口基板ポートはそれぞれ第２の内側へ傾斜した部分を有する第２の内面を有する第２の基板リングによって形成され；前記第２の出口基板ポートおよび前記第２の入口基板ポートそれぞれについて、前記第２の基板チャネルは、前記第２の上面に形成され、前記第２の基板リングを囲み；前記第２の基板リングの外面は前記第２の基板チャネルの内面を形成する、一体に形成された部品としての第２の基板ブロック」と訂正する。 〔訂正事項２－３〕 「前記内部スリーブは水平面を有さず、前記内部スリーブの上部は、内側へ傾斜した部分を含む内面を有し、前記内部スリーブの下部は、内側へ傾斜した部分を含む内面を有し、前記内部スリーブの前記上部の前記内面の前記内側へ傾斜した部分の傾斜は、前記スリーブ流体通路の前記長手方向軸に対して前記内部スリーブの前記上部の前記外面の前記外側へ傾斜した部分の傾斜よりも大きい角度であり、前記内部スリーブの前記下部の前記内面の前記内側へ傾斜した部分の傾斜は、前記スリーブ流体通路の前記長手方向軸に対して前記内部スリーブの前記下部の外面の前記外側へ傾斜した部分の傾斜よりも大きい角度であり、前記内部スリーブは、前記内部スリーブの頂部から前記内部スリーブの底部まで延びる第１の高さを有し、前記外リングは、前記外リングの頂部から底部まで延びる第２の高さを有し、前記第１の高さが前記第２の高さよりも高く、」との事項を追加する。 〔訂正事項２－４〕 「前記少なくとも１つの第１の内壁および前記第１の周壁は、第１の共通面内に置かれかつ前記第１の基板ブロックの前記第１の下面を形成する第１の下縁で終端し、前記少なくとも１つの第２の内壁および前記第２の周壁は、第２の共通面内に置かれかつ前記第２の基板ブロックの前記第２の下面を形成する第２の下縁で終端する、」との事項を追加する。 （ア）訂正の目的 訂正事項２－１は、「第１の基板ブロック」について、「前記第１の上面と反対側の第１の下面」及び「複数の第１の支持壁であって、前記第１の基板ブロックの第１の側面を形成する第１の外面と、前記第１の下面に第１のキャビティを画定する第１の内面と、を含む第１の周壁、および前記第１のキャビティ内に位置する少なくとも１つの第１の内壁を備える複数の第１の支持壁；および前記第１の基板流体通路の下部を画定する前記第１のキャビティ内の第１の管壁」を含むこと、並びに「前記少なくとも１つの第１の内壁は、前記第１の管壁に接続され、かつ前記第１の管壁から延在」すること及び「一体に形成された部品としての」との特定事項を直列的に付加して限定するとともに、「第１の基板リング」について、「第１の内側へ傾斜した部分を有する第１の内面を有する」との特定事項を直列的に付加して限定するものである。 訂正事項２－２は、「第２の基板ブロック」について、「前記第２の上面と反対側の第２の下面」及び「複数の第２の支持壁であって、前記第２の基板ブロックの第２の側面を形成する第２の外面と、前記第２の下面に第２のキャビティを画定する第２の内面と、を含む第２の周壁、および前記第２のキャビティ内に位置する少なくとも１つの第２の内壁を備える複数の第２の支持壁；および前記第２の基板流体通路の下部を画定する前記第２のキャビティ内の第２の管壁」を含むこと、並びに「前記少なくとも１つの第２の内壁は、前記第２の管壁に接続され、かつ前記第２の管壁から延在」すること及び「一体に形成された部品としての」との特定事項を直列的に付加して限定するとともに、「第２の基板リング」について、「第２の内側へ傾斜した部分を有する第２の内面を有する」との特定事項を直列的に付加して限定するものである。 訂正事項２－３は、「前記内部スリーブの上部は、外側へ傾斜した部分を含む外面を有し、前記内部スリーブの下部は、外側へ傾斜した部分を含む外面を有し、前記内部スリーブは水平面を有さず、前記内部スリーブの上部は、内側へ傾斜した部分を含む内面を有し、前記内部スリーブの下部は、内側へ傾斜した部分を含む内面を有し、前記内部スリーブの前記上部の前記内面の前記内側へ傾斜した部分の傾斜は、前記スリーブ流体通路の前記長手方向軸に対して前記内部スリーブの前記上部の前記外面の前記外側へ傾斜した部分の傾斜よりも大きい角度であり、前記内部スリーブの前記下部の前記内面の前記内側へ傾斜した部分の傾斜は、前記スリーブ流体通路の前記長手方向軸に対して前記内部スリーブの前記下部の外面の前記外側へ傾斜した部分の傾斜よりも大きい角度であり、前記内部スリーブは、前記内部スリーブの頂部から前記内部スリーブの底部まで延びる第１の高さを有し、前記外リングは、前記外リングの頂部から底部まで延びる第２の高さを有し、前記第１の高さが前記第２の高さよりも高く」との特定事項を直列的に付加して限定するものである。 訂正事項２－４は、「前記少なくとも１つの第１の内壁および前記第１の周壁は、第１の共通面内に置かれかつ前記第１の基板ブロックの前記第１の下面を形成する第１の下縁で終端し、前記少なくとも１つの第２の内壁および前記第２の周壁は、第２の共通面内に置かれかつ前記第２の基板ブロックの前記第２の下面を形成する第２の下縁で終端する、」との特定事項を直列的に付加して限定するものである。 よって、訂正事項２－１ないし２－４からなる訂正事項２は、特許法第１２０条の５第２項ただし書第１号に掲げる特許請求の範囲の減縮を目的とするものである。 さらに、訂正事項２は、訂正前の請求項５が請求項１を引用していたものを、請求項１を引用しない形式で記載したものであるから、特許法第１２０条の５第２項ただし書第４号に掲げる「他の請求項の記載を引用する請求項の記載を当該他の請求項の記載を引用しないものとすること」を目的とするものである。 （イ）願書に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であること 訂正事項２－１ないし２－４は、願書に添付した明細書の段落【００２７】ないし【００２９】及び【００４０】、並びに図９Ｂ、図１０Ｂ、図１０Ｃ及び図１６Ａないし図１６Ｃに基づくものである。 ここで、「第１の基板ブロック」が「複数の第１の支持壁であって、前記第１の基板ブロックの第１の側面を形成する第１の外面と、前記第１の下面に第１のキャビティを画定する第１の内面と、を含む第１の周壁、および前記第１のキャビティ内に位置する少なくとも１つの第１の内壁を備える複数の第１の支持壁；および前記第１の基板流体通路の下部を画定する前記第１のキャビティ内の第１の管壁を含」むこと及び「前記少なくとも１つの第１の内壁は、前記第１の管壁に接続され、かつ前記第１の管壁から下方に延在」すること、並びに「第２の基板ブロック」が「複数の第２の支持壁であって、前記基板ブロックの第２の側面を形成する第２の外面と、前記第２の下面に第２のキャビティを画定する第２の内面と、を含む第２の周壁、および前記第２のキャビティ内に位置する少なくとも１つの第２の内壁を備える複数の第２の支持壁；および前記第２の基板流体通路の下部を画定する前記第２のキャビティ内の第２の管壁を含」むこと及び「前記少なくとも１つの第２の内壁は、前記第２の管壁に接続され、かつ前記第２の管壁から下方に延在」すること、「前記少なくとも１つの第１の内壁および前記第１の周壁は、第１の共通面内に置かれかつ前記第１の基板ブロックの前記第１の下面を形成する第１の下縁で終端し、前記少なくとも１つの第２の内壁および前記第２の周壁は、第２の共通面内に置かれかつ前記第２の基板ブロックの前記第２の下面を形成する第２の下縁で終端する」ことは、図９Ｂ、図１０Ｂ及び図１０Ｃから、看取できる。 したがって、訂正事項２－１ないし２－４からなる訂正事項２は、願書に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であり、特許法第１２０条の５第９項で準用する同法第１２６条第５項の規定に適合するものである。 （ウ）実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更する訂正ではないこと 訂正事項２－１ないし２－４はいずれも、発明特定事項を直列的に付加するものであるから特許請求の範囲を拡張するものではなく、訂正事項２－１ないし２－４によりカテゴリーや対象を変更するものではない。 したがって、訂正事項２－１ないし２－４からなる訂正事項２は、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものには該当せず、特許法第１２０条の５第９項で準用する同法第１２６条第６項の規定に適合するものである。 ウ 訂正事項３について 訂正事項３を、便宜上、以下の訂正事項３－１ないし３－４に分ける。 〔訂正事項３－１〕 訂正前の請求項６が引用する訂正前の請求項５が引用する訂正前の請求項１（以下、本項において「訂正前の請求項１」という。）における「第１の基板ブロックであって、第１の上面；前記第１の上面の第１の入口基板ポート；前記第１の上面の第１の出口基板ポート；およびコーナまたは角張った壁のない滑らかな弧の形態で前記第１の入口基板ポートと前記第１の出口基板ポートとの間に延びる第１の基板流体通路を含み；前記第１の入口基板ポートおよび前記第１の出口基板ポートはそれぞれ第１の基板リングによって形成され；前記第１の出口基板ポートおよび前記第１の入口基板ポートそれぞれについて、前記第１の基板チャネルは、前記第１の上面に形成され、前記第１の基板リングを囲み；前記第１の基板リングの外面は前記第１の基板チャネルの内面を形成する、第１の基板ブロック」との記載を、「第１の基板ブロックであって、第１の上面；前記上面と反対側の第１の下面；前記第１の上面の第１の入口基板ポート；前記第１の上面の第１の出口基板ポート；コーナまたは角張った壁のない滑らかな弧の形態で前記第１の入口基板ポートと前記第１の出口基板ポートとの間に延びる第１の基板流体通路；複数の第１の支持壁であって、前記第１の基板ブロックの第１の側面を形成する第１の外面と、前記第１の下面に第１のキャビティを画定する第１の内面と、を含む第１の周壁、および前記第１のキャビティ内に位置する少なくとも１つの第１の内壁を備える複数の第１の支持壁；および前記第１の基板流体通路の下部を画定する前記第１のキャビティ内の第１の管壁を含み；前記少なくとも１つの第１の内壁は、前記第１の管壁に接続され、かつ前記第１の管壁から延在し；前記第１の入口基板ポートおよび前記第１の出口基板ポートはそれぞれ第１の内側へ傾斜した部分を有する第１の内面を有する第１の基板リングによって形成され；前記第１の出口基板ポートおよび前記第１の入口基板ポートそれぞれについて、前記第１の基板チャネルは、前記第１の上面に形成され、前記第１の基板リングを囲み；前記第１の基板リングの外面は前記第１の基板チャネルの内面を形成する、一体に形成された部品としての第１の基板ブロック」と訂正する。 〔訂正事項３－２〕 訂正前の請求項１における「第２の基板ブロックであって、第２の上面；前記第２の上面の第２の入口基板ポート；前記第２の上面の第２の出口基板ポート；およびコーナまたは角張った壁のない滑らかな弧の形態で前記第２の入口基板ポートと前記第２の出口基板ポートとの間に延びる第２の基板流体通路を含み；前記第２の入口基板ポートおよび前記第２の出口基板ポートはそれぞれ第２の基板リングによって形成され；前記第２の出口基板ポートおよび前記第２の入口基板ポートそれぞれについて、前記第２の基板チャネルは、前記第２の上面に形成され、前記第２の基板リングを囲み；前記第２の基板リングの外面は前記第２の基板チャネルの内面を形成する、第２の基板ブロック」との記載を、「第２の基板ブロックであって、第２の上面；前記第２の上面とは反対側の第２の下面；前記第２の上面の第２の入口基板ポート；前記第２の上面の第２の出口基板ポート；コーナまたは角張った壁のない滑らかな弧の形態で前記第２の入口基板ポートと前記第２の出口基板ポートとの間に延びる第２の基板流体通路；複数の第２の支持壁であって、前記第２の基板ブロックの第２の側面を形成する第２の外面と、前記第２の下面に第２のキャビティを画定する第２の内面と、を含む第２の周壁、および前記第２のキャビティ内に位置する少なくとも１つの第２の内壁を備える複数の第２の支持壁；および前記第２の基板流体通路の下部を画定する前記第２のキャビティ内の第２の管壁を含み；前記少なくとも１つの第２の内壁は、前記第２の管壁に接続され、かつ前記第２の管壁から延在し；前記第２の入口基板ポートおよび前記第２の出口基板ポートはそれぞれ第２の内側へ傾斜した部分を有する第２の内面を有する第２の基板リングによって形成され；前記第２の出口基板ポートおよび前記第２の入口基板ポートそれぞれについて、前記第２の基板チャネルは、前記第２の上面に形成され、前記第２の基板リングを囲み；前記第２の基板リングの外面は前記第２の基板チャネルの内面を形成する、一体に形成された部品としての第２の基板ブロック」と訂正する。 〔訂正事項３－３〕 「前記内部スリーブの上部は、内側へ傾斜した部分を含む内面を有し、前記内部スリーブの下部は、内側へ傾斜した部分を含む内面を有し、前記内部スリーブの前記上部の前記内面の前記内側へ傾斜した部分の傾斜は、前記スリーブ流体通路の前記長手方向軸に対して前記内部スリーブの前記上部の前記外面の前記外側へ傾斜した部分の傾斜よりも大きい角度であり、前記内部スリーブの前記下部の前記内面の前記内側へ傾斜した部分の傾斜は、前記スリーブ流体通路の前記長手方向軸に対して前記内部スリーブの前記下部の外面の前記外側へ傾斜した部分の傾斜よりも大きい角度であり、前記内部スリーブは、前記内部スリーブの頂部から前記内部スリーブの底部まで延びる第１の高さを有し、前記外リングは、前記外リングの頂部から底部まで延びる第２の高さを有し、前記第１の高さが前記第２の高さよりも高く、」との事項を追加する。 〔訂正事項３－４〕 「前記第１の基板ブロックの前記第１の出口基板ポートの前記第１の基板リングの前記第１の内面の前記第１の内側へ傾斜した部分は、前記第１のシールリングの前記内部スリーブの前記下部の前記外面の前記外側へ傾斜した部分に干渉力を及ぼし、前記第２の基板ブロックの前記第２の入口基板ポートの前記第２の基板リングの前記第２の内面の前記第２の内側へ傾斜した部分は、前記第２のシールリングの前記内部スリーブの前記下部の前記外面の前記外側へ傾斜した部分に干渉力を及ぼす、」との事項を追加する。 （ア）訂正の目的 訂正事項３－１は、「第１の基板ブロック」について、「前記第１の上面と反対側の第１の下面」及び「複数の第１の支持壁であって、前記第１の基板ブロックの第１の側面を形成する第１の外面と、前記第１の下面に第１のキャビティを画定する第１の内面と、を含む第１の周壁、および前記第１のキャビティ内に位置する少なくとも１つの第１の内壁を備える複数の第１の支持壁；および前記第１の基板流体通路の下部を画定する前記第１のキャビティ内の第１の管壁」を含むこと、並びに「前記少なくとも１つの第１の内壁は、前記第１の管壁に接続され、かつ前記第１の管壁から延在み；前記少なくとも１つの第１の内壁は、前記第１の管壁に接続され、かつ前記第１の管壁から延在」すること及び「一体に形成された部品としての」との特定事項を直列的に付加して限定するとともに、「第１の基板リング」について、「第１の内側へ傾斜した部分を有する第１の内面を有する」との特定事項を直列的に付加して限定するものである。 訂正事項３－２は、「第２の基板ブロック」について、「前記第２の上面と反対側の第２の下面」及び「複数の第２の支持壁であって、前記第２の基板ブロックの第２の側面を形成する第２の外面と、前記第２の下面に第２のキャビティを画定する第２の内面と、を含む第２の周壁、および前記第２のキャビティ内に位置する少なくとも１つの第２の内壁を備える複数の第２の支持壁；および前記第２の基板流体通路の下部を画定する前記第２のキャビティ内の第２の管壁」を含むこと、並びに「前記少なくとも１つの第２の内壁は、前記第２の管壁に接続され、かつ前記第２の管壁から延在み；前記少なくとも１つの第２の内壁は、前記第２の管壁に接続され、かつ前記第２の管壁から延在」すること及び「一体に形成された部品としての」との特定事項を直列的に付加して限定するとともに、「第２の基板リング」について、「第２の内側へ傾斜した部分を有する第２の内面を有する」との特定事項を直列的に付加して限定するものである。 訂正事項３－３は、「前記内部スリーブの上部は、外側へ傾斜した部分を含む外面を有し、前記内部スリーブの下部は、外側へ傾斜した部分を含む外面を有し、前記内部スリーブは水平面を有さず、前記内部スリーブの上部は、内側へ傾斜した部分を含む内面を有し、前記内部スリーブの下部は、内側へ傾斜した部分を含む内面を有し、前記内部スリーブの前記上部の前記内面の前記内側へ傾斜した部分の傾斜は、前記スリーブ流体通路の前記長手方向軸に対して前記内部スリーブの前記上部の前記外面の前記外側へ傾斜した部分の傾斜よりも大きい角度であり、前記内部スリーブの前記下部の前記内面の前記内側へ傾斜した部分の傾斜は、前記スリーブ流体通路の前記長手方向軸に対して前記内部スリーブの前記下部の外面の前記外側へ傾斜した部分の傾斜よりも大きい角度であり、前記内部スリーブは、前記内部スリーブの頂部から前記内部スリーブの底部まで延びる第１の高さを有し、前記外リングは、前記外リングの頂部から底部まで延びる第２の高さを有し、前記第１の高さが前記第２の高さよりも高く」との特定事項を直列的に付加して限定するものである。 訂正事項３－４は、「前記第１の基板ブロックの前記第１の出口基板ポートの前記第１の基板リングの前記第１の内面の前記第１の内側へ傾斜した部分は、前記第１のシールリングの前記内部スリーブの前記下部の前記外面の前記外側へ傾斜した部分に干渉力を及ぼし、前記第２の基板ブロックの前記第２の入口基板ポートの前記第２の基板リングの前記第２の内面の前記第２の内側へ傾斜した部分は、前記第２のシールリングの前記内部スリーブの前記下部の前記外面の前記外側へ傾斜した部分に干渉力を及ぼす、」との特定事項を直列的に付加して限定するものである。 よって、訂正事項３－１ないし３－４からなる訂正事項３は、特許法第１２０条の５第２項ただし書第１号に掲げる特許請求の範囲の減縮を目的とするものである。 さらに、訂正事項３は、訂正前の請求項６が請求項５を引用していたものを、請求項５を引用しない形式で記載したものであるから、特許法第１２０条の５第２項ただし書第４号に掲げる「他の請求項の記載を引用する請求項の記載を当該他の請求項の記載を引用しないものとすること」を目的とするものである。 （イ）願書に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であること 訂正事項３－１ないし３－４は、願書に添付した明細書の段落【００２７】ないし【００２９】及び【００４０】、並びに図９Ｂ、図１０Ｂ、図１０Ｃ及び図１６Ａないし図１６Ｃに基づくものである。 ここで、「第１の基板ブロック」が「複数の第１の支持壁であって、前記第１の基板ブロックの第１の側面を形成する第１の外面と、前記第１の下面に第１のキャビティを画定する第１の内面と、を含む第１の周壁、および前記第１のキャビティ内に位置する少なくとも１つの第１の内壁を備える複数の第１の支持壁；および前記第１の基板流体通路の下部を画定する前記第１のキャビティ内の第１の管壁を含」むこと及び「前記少なくとも１つの第１の内壁は、前記第１の管壁に接続され、かつ前記第１の管壁から下方に延在」すること、並びに「第２の基板ブロック」が「複数の第２の支持壁であって、前記基板ブロックの第２の側面を形成する第２の外面と、前記第２の下面に第２のキャビティを画定する第２の内面と、を含む第２の周壁、および前記第２のキャビティ内に位置する少なくとも１つの第２の内壁を備える複数の第２の支持壁；および前記第２の基板流体通路の下部を画定する前記第２のキャビティ内の第２の管壁を含」むこと及び「前記少なくとも１つの第２の内壁は、前記第２の管壁に接続され、かつ前記第２の管壁から下方に延在」することは、図９Ｂ、図１０Ｂ及び図１０Ｃから、看取できる。 したがって、訂正事項３－１ないし３－４は、願書に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であり、特許法第１２０条の５第９項で準用する同法第１２６条第５項の規定に適合するものである。 （ウ）実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更する訂正ではないこと 訂正事項３－１ないし３－４は、発明特定事項を直列的に付加するものであるから特許請求の範囲を拡張するものではなく、訂正事項３－１ないし３－４によりカテゴリーや対象を変更するものではない。 したがって、訂正事項３－１ないし３－４からなる訂正事項３は、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものには該当せず、特許法第１２０条の５第９項で準用する同法第１２６条第６項の規定に適合するものである。 エ 訂正事項４について （ア）訂正の目的 訂正事項４は、訂正前の請求項７に、 「前記内部スリーブは水平面を有さず、 前記内部スリーブの前記上部の前記内面の前記内側へ傾斜した部分の傾斜は、前記スリーブ流体通路の前記長手方向軸に対して前記内部スリーブの前記上部の前記外面の前記外側へ傾斜した部分の傾斜よりも大きい角度であり、前記内部スリーブの前記下部の前記内面の前記内側へ傾斜した部分の傾斜は、前記スリーブ流体通路の前記長手方向軸に対して前記内部スリーブの前記下部の外面の前記外側へ傾斜した部分の傾斜よりも大きい角度であり、 前記内部スリーブは、前記内部スリーブの頂部から前記内部スリーブの底部まで延びる第１の高さを有し、前記外リングは、前記外リングの頂部から底部まで延びる第２の高さを有し、前記第１の高さが前記第２の高さよりも高い、」 との特定事項を直列的に付加して限定するものである。 したがって、訂正事項４は、特許法第１２０条の５第２項ただし書第１号に掲げる特許請求の範囲の減縮を目的とするものである。 さらに、訂正事項４は、訂正前の請求項７が請求項５を引用していたものを、請求項５を引用しない形式で記載したものであるから、特許法第１２０条の５第２項ただし書第４号に掲げる「他の請求項の記載を引用する請求項の記載を当該他の請求項の記載を引用しないものとすること」を目的とするものである。 （イ）願書に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であること 訂正事項４は、願書に添付した明細書の段落【００４０】及び図１６Ａないし図１６Ｃに基づくものである。 したがって、訂正事項４は、願書に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であり、特許法第１２０条の５第９項で準用する同法第１２６条第５項の規定に適合するものである。 （ウ）実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更する訂正ではないこと 訂正事項４は、発明特定事項を直列的に付加するものであるから特許請求の範囲を拡張するものではなく、訂正事項４によりカテゴリーや対象を変更するものではない。 したがって、訂正事項４は、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものには該当せず、特許法第１２０条の５第９項で準用する同法第１２６条第６項の規定に適合するものである。 オ 訂正事項５、６及び９について （ア）訂正の目的 訂正事項５は、特許請求の範囲の請求項８を削除するというものであり、訂正事項６は、特許請求の範囲の請求項９を削除するというものであり、訂正事項９は、請求項１７を削除するというものである。 したがって、訂正事項５、６及び９は、特許法第１２０条の５第２項ただし書第１号に掲げる特許請求の範囲の減縮を目的とするものである。 （イ）願書に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であること 訂正事項５は、特許請求の範囲の請求項８を削除するというものであり、訂正事項６は、特許請求の範囲の請求項９を削除するというものであり、訂正事項９は、請求項１７を削除するというものであるから、いずれも、願書に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であり、特許法第１２０条の５第９項で準用する同法第１２６条第５項の規定に適合するものである。 （ウ）実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更する訂正ではないこと 訂正事項５は、特許請求の範囲の請求項８を削除するというものであり、訂正事項６は、特許請求の範囲の請求項９を削除するというものであり、訂正事項９は、請求項１７を削除するというものであるから、いずれも、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものには該当せず、特許法第１２０条の５第９項で準用する同法第１２６条第６項の規定に適合するものである。 カ 訂正事項７について （ア）訂正の目的 訂正事項７は、訂正前の請求項１０の「前記能動構成要素の基部を通って前記基板ブロック内に延在して、前記能動構成要素を前記基板ブロックに取り付ける複数の締結具」について、「前記第１の基板ブロックは、前記第１の上面から前記第１の基板ブロックを通って延在する第１の締結具穴をさらに含み、前記第２の基板ブロックは、前記第２の上面から前記第２の基板ブロックを通って延在する第２の締結具穴をさらに含み、前記能動構成要素の基部を通って前記第１の基板ブロックの前記第１の締結具穴内に延在して、前記能動構成要素を前記第１の基板ブロックに取り付ける複数の第１の締結具と、前記能動構成要素の基部を通って前記第２の基板ブロックの前記第２の締結具穴内に延在して、前記能動構成要素を前記第２の基板ブロックに取り付ける複数の第２の締結具」と具体的に限定するものである。 よって、訂正事項７は、特許法第１２０条の５第２項ただし書第１号に掲げる特許請求の範囲の減縮を目的とするものである。 （イ）願書に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であること 訂正事項７は、願書に添付した明細書の段落【００１８】、【００１９】及び【００３３】、並びに図８Ａ、図８Ｂ、図１２Ａ、図１４Ａ及び図１４Ｂに基づくものである。 よって、訂正事項７は、願書に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であり、特許法第１２０条の５第９項で準用する同法第１２６条第５項の規定に適合するものである。 （ウ）実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更する訂正ではないこと 訂正事項７は、締結具の形態を具体的に限定するものであるから特許請求の範囲を拡張するものではなく、訂正事項７によりカテゴリーや対象を変更するものではない。 したがって、訂正事項７は、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものには該当せず、特許法第１２０条の５第９項で準用する同法第１２６条第６項の規定に適合するものである。 キ 訂正事項８について （ア）訂正の目的 訂正事項８は、特許請求の範囲の請求項１６に記載されていた「第２のシールリンは、グフッ素ポリマーからなる」との誤記を、「第２のシールリングは、フッ素ポリマーからなる」と訂正するものであるから、特許法第１２０条の５第２項ただし書第２号に掲げる誤記の訂正を目的とするものである。 （イ）願書に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であること 訂正事項８は、誤記を正すものであり、願書に添付した明細書の段落【００３７】の記載に基づくことから、願書に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内のものである。 したがって、訂正事項８は、特許法第１２０条の５第９項で準用する同法第１２６条第５項の規定に適合するものである。 （ウ）実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更する訂正ではないこと 訂正事項８は、誤記を正すものであり、特許請求の範囲を拡張するものではなく、これにより、カテゴリーや対象を変更するものではない。 したがって、訂正事項８は、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものには該当せず、特許法第１２０条の５第９項で準用する同法第１２６条第６項の規定に適合するものである。 ク 一群の請求項について 訂正前の請求項１ないし１１、１６及び１７について、請求項２ないし１１、１６及び１７は、それぞれ請求項１を直接又は間接的に引用しているから、訂正事項１によって記載が訂正される請求項１に連動して訂正されるものである。したがって、訂正前の請求項１ないし１１、１６及び１７に対応する訂正後の請求項１ないし１１、１６及び１７は、特許法第１２０条の５第４項に規定する一群の請求項である。 ケ 別の訂正単位とする求めについて 特許権者は、訂正後の請求項５、６及び７について、当該請求項についての訂正が認められる場合には、一群の他の請求項とは別途訂正することを求めているので、これを認める。 コ 申立人Ａの主張について 申立人Ａは、令和７年５月１９日の意見書（２ページ）において、次のように主張する。 「（１－１）請求項１，５及び６に係る訂正について 本件訂正により、本件訂正後の請求項１、５及び６には「前記少なくとも１つの第１内壁は、前記第１の管壁に接続され、かつ前記第１の管壁から延在し」及び「前記少なくとも１つの第２の内壁は、前記第２の管壁に接続され、かつ前記第２の管壁から延在し」との事項が追加されている。 「内壁」が「管壁」に接続される態様や「管壁」から延在する態様には様々な態様が含まれるところ、本件特許明細書等に記載されているのは、基板ブロックを上下方向から見た場合に「内壁」が管軸と直交する方向でかつ上下方向に沿う方向に「管壁」に接続されて延在するもののみであり（図９・１０）、それ以外のもの、例えば「内壁」が管軸と平行な方向に接続されて延在するものは記載されていない。 また、本件特許明細書等には、本件訂正後の記載のように「内壁」と「管壁」との関係を一般化できることを許容するような記載はない。本件特許明細書等に記載されているのは、段落【００２９】の「このモジュール式基板ブロックの本体は、上で論じた例と同様に、流体経路およびねじ穴を除いて、実質的に中実の材料ブロックとして形成することができる。他の実施形態では、図９Ａから１１Ｃの例に示されているように、このモジュール式基板ブロックの本体を、必要な支持壁９５９だけを有するように形成することができる。」という記載のみであり、特に「内壁」と「管壁」との関係に着目したものではなく、それらの関係を個別化したものでもない。」 上記主張について検討する。 本件特許明細書段落【００２９】には「図９Ａから１１Ｃの例に示されているように、このモジュール式基板ブロックの本体を、必要な支持壁９５９だけを有するように形成することができる。このような実施形態は、本体の異なる全てのセクションの厚さが実質的に同じであり、それにより、不要な空隙を回避するために型の全てのセクションに均一に充填するのがより容易になるため、射出成形に対して特に有利である。図９Ｂに示されたこのような実施形態は、図４の中実構造に比べて表面積が大きく、このことが、モジュール式基板ブロックがより高い温度に耐えることを可能にする可能性がある。」と記載されている。ここで、「支持壁９５９」が「第１内壁」及び「第２の内壁」に対応することは、当業者であれば理解できるから、「第１内壁」及び「第２の内壁」は、「必要な」ものを有するように形成することができ、その技術的な意義は「不要な空隙を回避するために型の全てのセクションに均一に充填するのがより容易になるため、射出成形に対して特に有利」となること、「中実構造に比べて表面積が大きく、このことが、モジュール式基板ブロックがより高い温度に耐えることを可能にする可能性がある」ことと理解できる。 この理解を踏まえれば、「内壁」と「管壁」との関係について、本件特許明細書には、上記のような技術的な意義を満たす範囲のものが示唆されているといえる。 そして、「前記少なくとも１つの第１内壁は、前記第１の管壁に接続され、かつ前記第１の管壁から延在し」及び「前記少なくとも１つの第２の内壁は、前記第２の管壁に接続され、かつ前記第２の管壁から延在し」との事項は、図９Ｂ、図１０Ｂ及び図１０Ｃから看取できるものであり、これの「第１内壁」及び「第２の内壁」に係る事項が、「内壁」と「管壁」に係る上記技術的な意義を越えるものと解されない。 そうすると、本件訂正後の請求項１、５及び６において「前記少なくとも１つの第１内壁は、前記第１の管壁に接続 され、かつ前記第１の管壁から延在し」及び「前記少なくとも１つの第２の内壁は、前記第２の管壁に接続され、かつ前記第２の管壁から延在し」との事項を追加することは、願書に添付した明細書等のすべての記載を総合することにより導かれる技術的事項との関係において、新たな技術的事項を導入するとはいえない。 したがって、申立人Ａの上記主張は採用できない。 サ まとめ 以上のとおりであるから、一群の請求項１ないし１１、１６及び１７についての訂正は、特許法第１２０条の５第２項ただし書第１号、第２号及び第４号に掲げる事項を目的とするものであり、かつ、同条第９項で準用する同法第１２６条第５項及び第６項の規定に適合する。 よって、訂正後の請求項〔１ないし４、８ないし１１、１６、１７〕、５、６、７について訂正することを認める。 ２ 一群の請求項１２ないし１５の訂正について （１）訂正の内容 ア 訂正事項１ 特許請求の範囲の請求項１２に 「流体送達システムであって、 背面と、 前記背面の上面に設けられた第１の基板ブロックであって、第１の上面；前記第１の上面の第１の入口基板ポート；前記第１の上面の第１の出口基板ポート；およびコーナまたは角張った壁のない滑らかな弧の形態で前記第１の入口基板ポートと前記第１の出口基板ポートとの間に延びる第１の基板流体通路を含む、第１の基板ブロックと、 前記背面の前記上面に設けられた第２の基板ブロックであって、第２の上面；前記第２の上面の第２の入口基板ポート；および前記第２の上面の第２の出口基板ポート；およびコーナまたは角張った壁のない滑らかな弧の形態で前記第２の入口基板ポートと前記第２の出口基板ポートとの間に延びる第２の基板流体通路を含む、第２の基板ブロックと、 流量制御器、圧力変換器、流量測定センサ、圧力調整器、弁、および流量計からなる群から選択される能動構成要素であって、下面；前記下面の構成要素入口ポート；前記下面の構成要素出口ポート；および前記構成要素入口ポートから前記構成要素出口ポートまで延びる構成要素流体通路を含む、能動構成要素と、 第１のシールリングおよび第２のシールリングであって、前記第１のシールリングおよび第２のシールリングはそれぞれ内部スリーブおよび外リングを有する、第１のシールリングおよび第２のシールリングと、 を備え、前記能動構成要素は、前記第１の基板ブロックおよび前記第２の基板ブロックに設けられ、それらを繋げて、（１）前記第１の出口基板ポートと前記構成要素入口ポートが位置合わせされ、前記第１の上面と前記下面との間に水平界面が形成され、かつ前記第１のシールリングは、前記第１の出口基板ポートおよび前記構成要素入口ポートのそれぞれを取り囲み、前記第１の基板流体通路および前記構成要素流体通路を流体的にシールし、前記第１のシールリングは、垂直方向の干渉がなく、水平方向に圧縮されるようにサイズ決定され、（２）前記第２の入口基板ポートと前記構成要素出口ポートが位置合わせされ、前記第２の上面と前記下面との間に水平界面が形成され、かつ前記第２のシールリングは、前記第２の入口基板ポートおよび前記構成要素出口ポートのそれぞれを取り囲み、前記第２の基板流体通路および前記構成要素流体通路を流体的にシールし、前記第２のシールリングは、垂直方向の干渉がなく、水平方向に圧縮されるようにサイズ決定され、（３）前記能動構成要素は、前記背面から離間して分離されている、流体送達システム。」 と記載されているのを、 「流体送達システムであって、 背面と、 前記背面の上面に設けられた第１の基板ブロックであって、第１の上面；前記第１の上面と反対側の第１の下面；前記第１の上面の第１の入口基板ポート；前記第１の上面の第１の出口基板ポート；コーナまたは角張った壁のない滑らかな弧の形態で前記第１の入口基板ポートと前記第１の出口基板ポートとの間に延びる第１の基板流体通路；複数の第１の支持壁であって、前記第１の基板ブロックの第１の側面を形成する第１の外面と、前記第１の下面に第１のキャビティを画定する第１の内面と、を含む第１の周壁、および前記第１のキャビティ内に位置する少なくとも１つの第１の内壁を備える複数の第１の支持壁；および前記第１の基板流体通路の下部を画定する前記第１のキャビティ内の第１の管壁を含み、前記少なくとも１つの第１の内壁は、前記第１の管壁に接続され、かつ前記第１の管壁から下方に延在し、前記少なくとも１つの第１の内壁および前記第１の周壁は、第１の共通面に置かれかつ前記第１の基板ブロックの第１の下面を形成する第１の下縁で終端する、一体に形成された部品としての第１の基板ブロックと、 前記背面の前記上面に設けられた第２の基板ブロックであって、第２の上面；前記第２の上面と反対側の第２の下面；前記第２の上面の第２の入口基板ポート；および前記第２の上面の第２の出口基板ポート；コーナまたは角張った壁のない滑らかな弧の形態で前記第２の入口基板ポートと前記第２の出口基板ポートとの間に延びる第２の基板流体通路；複数の第２の支持壁であって、前記第２の基板ブロックの第２の側面を形成する第２の外面と、前記第２の下面に第２のキャビティを画定する第２の内面と、を含む第２の周壁、および前記第２のキャビティ内に位置する少なくとも１つの第２の内壁を備える複数の第２の支持壁；および前記第２基板流体通路の下部を画定する前記第２のキャビティ内の第２の管壁を含み、前記少なくとも１つの第２の内壁は、前記第２の管壁に接続され、かつ前記第２の管壁から下方に延在し、前記少なくとも１つの第２の内壁および前記第２の周壁は、第２の共通面に置かれかつ前記第２の基板ブロックの第２の下面を形成する第２の下縁で終端する、一体に形成された部品としての第２の基板ブロックと、 流量制御器、圧力変換器、流量測定センサ、圧力調整器、弁、および流量計からなる群から選択される能動構成要素であって、下面；前記下面の構成要素入口ポート；前記下面の構成要素出口ポート；および前記構成要素入口ポートから前記構成要素出口ポートまで延びる構成要素流体通路を含む、能動構成要素と、 第１のシールリングおよび第２のシールリングであって、前記第１のシールリングおよび第２のシールリングはそれぞれ内部スリーブおよび外リングを有し、前記内部スリーブは、長手方向軸に沿って延びるスリーブ流体通路を画定し、前記外リングは、前記内部スリーブに接続され、かつ前記内部スリーブを囲んで、（１）前記外リングの上部と前記内部スリーブの上部との間に環状上部スリーブ溝が形成され、そして（２）前記外リングの下部と前記内部スリーブの下部との間に環状下部スリーブ溝が形成され、そして前記内部スリーブの上部は、外側へ傾斜した部分を含む外面を有し、前記内部スリーブの下部は、外側へ傾斜した部分を含む外面を有する、第１のシールリングおよび第２のシールリングと、 を備え、前記第１の出口基板ポートおよび前記第１の入口基板ポートはそれぞれ第１の内側へ傾斜した部分を有する第１の内面を有する第１の基板リングによって形成され、 前記第１の出口基板ポートおよび前記第１の入口基板ポートそれぞれにおいて、第１の基板チャネルが前記第１の上面に形成され、前記第１の基板リングを取り囲み、前記第１の基板リングの外面は前記第１の基板チャネルの内面を形成し、 前記第２の出口基板ポートおよび前記第２の入口基板ポートはそれぞれ第２の内側へ傾斜した部分を有する第２の内面を有する第２の基板リングによって形成され、 前記第２の出口基板ポートおよび前記第２の入口基板ポートそれぞれにおいて、第２の基板チャネルが前記第２の上面に形成され、前記第２の基板リングを取り囲み、前記第２の基板リングの外面は前記第２の基板チャネルの内面を形成し、 前記構成要素入口ポートおよび前記構成要素出口ポートはそれぞれ構成要素リングによって画定され、前記構成要素入口ポートおよび前記構成要素出口ポートそれぞれにおいて、構成要素チャネルは、前記能動構成要素の前記下面に形成され、前記構成要素リングを囲み、前記構成要素リングの外面は前記構成要素チャネルの内面を形成し、 前記能動構成要素は、前記第１の基板ブロックおよび前記第２の基板ブロックに設けられ、それらを繋げて、（１）前記第１の出口基板ポートと前記構成要素入口ポートが位置合わせされ、前記第１の上面と前記下面との間に水平界面が形成され、かつ前記第１のシールリングは、前記第１の出口基板ポートおよび前記構成要素入口ポートのそれぞれを取り囲み、前記第１の基板流体通路および前記構成要素流体通路を流体的にシールし、前記第１のシールリングは、前記第１のシールリングの前記外リングが前記構成要素チャネルと前記第１の基板チャネルのそれぞれの内部で垂直方向の干渉がなく、水平方向に圧縮されるようにサイズ決定され、（２）前記第２の入口基板ポートと前記構成要素出口ポートが位置合わせされ、前記第２の上面と前記下面との間に水平界面が形成され、かつ前記第２のシールリングは、前記第２の入口基板ポートおよび前記構成要素出口ポートのそれぞれを取り囲み、前記第２の基板流体通路および前記構成要素流体通路を流体的にシールし、前記第２のシールリングは、前記第２のシールリングの前記外リングが前記構成要素チャネルと前記第２の基板チャネルのそれぞれの内部で垂直方向の干渉がなく、水平方向に圧縮されるようにサイズ決定され、（３）前記能動構成要素は、前記背面から離間して分離されている、流体送達システム。」 と訂正する（請求項１２の記載を引用する請求項１３も同様に訂正する。）。 イ 訂正事項２ 特許請求の範囲の請求項１４に 「前記第１の基板ブロックは、前記第１の出口基板ポートを形成する第１の基板リングと、前記第１の上面に形成され、前記第１の基板リングを取り囲む基板チャネルと、を備え、 前記能動構成要素は、前記構成要素入口ポートを形成する構成要素リングと、前記下面に形成され、前記構成要素リングを取り囲む構成要素チャネルと、を備え、 前記第１のシールリングの前記外リングは、前記各基板チャネルおよび前記構成要素チャネルの内部へ延び、前記基板チャネルおよび前記構成要素チャネルの側壁が、前記外リングを水平方向に圧縮し、 前記ウェブは、前記基板リングと前記構成要素リングとの間に配置される、請求項１３に記載の流体送達システム。」 と記載されているのを、 「流体送達システムであって、 背面と、 前記背面の上面に設けられた第１の基板ブロックであって、第１の上面；前記第１の上面と反対側の第１の下面；前記第１の上面の第１の入口基板ポート；前記第１の上面の第１の出口基板ポート；第１の内側へ傾斜した部分を有する第１の内面を有する第１の基板リング；第１の基板チャネル；コーナまたは角張った壁のない滑らかな弧の形態で前記第１の入口基板ポートと前記第１の出口基板ポートとの間に延びる第１の基板流体通路；複数の第１の支持壁であって、前記第１の基板ブロックの第１の側面を形成する第１の外面と、前記第１の下面に第１のキャビティを画定する第１の内面と、を含む第１の周壁、および前記第１のキャビティ内に位置する少なくとも１つの第１の内壁を備える複数の第１の支持壁；および前記第１の基板流体通路の下部を画定する前記第１のキャビティ内の第１の管壁を含み、前記少なくとも１つの第１の内壁は、前記第１の管壁に接続され、かつ前記第１の管壁から下方に延在し、前記少なくとも１つの第１の内壁および前記第１の周壁は、第１の共通面に置かれかつ前記第１の基板ブロックの第１の下面を形成する第１の下縁で終端する、一体に形成された部品としての第１の基板ブロックと、 前記背面の前記上面に設けられた第２の基板ブロックであって、第２の上面；前記第２の上面と反対側の第２の下面；前記第２の上面の第２の入口基板ポート；前記第２の上面の第２の出口基板ポート；第２の内側へ傾斜した部分を有する第２の内面を有する第２の基板リング；第２の基板チャネル；コーナまたは角張った壁のない滑らかな弧の形態で前記第２の入口基板ポートと前記第２の出口基板ポートとの間に延びる第２の基板流体通路；複数の第２の支持壁であって、前記第２の基板ブロックの第２の側面を形成する第２の外面と、前記第２の下面に第２のキャビティを画定する第２の内面と、を含む第２の周壁、および前記第２のキャビティ内に位置する少なくとも１つの第２の内壁を備える複数の第２の支持壁；および前記第２基板流体通路の下部を画定する前記第２のキャビティ内の第２の管壁を含み、前記少なくとも１つの第２の内壁は、前記第２の管壁に接続され、かつ前記第２の管壁から下方に延在し、前記少なくとも１つの第２の内壁および前記第２の周壁は、第２の共通面に置かれかつ前記第２の基板ブロックの第２の下面を形成する第２の下縁で終端する、一体に形成された部品としての第２の基板ブロックと、 流量制御器、圧力変換器、流量測定センサ、圧力調整器、弁、および流量計からなる群から選択される能動構成要素であって、下面；前記下面の構成要素入口ポート；前記下面の構成要素出口ポート；構成要素リング；構成要素チャネル；および前記構成要素入口ポートから前記構成要素出口ポートまで延びる構成要素流体通路を含む、能動構成要素と、 第１のシールリングおよび第２のシールリングであって、前記第１のシールリングおよび第２のシールリングはそれぞれ内部スリーブおよび外リングを有し、前記内部スリーブは、長手方向軸に沿って延びるスリーブ流体通路を画定し、前記外リングは、前記内部スリーブに接続され、かつ前記内部スリーブを囲んで、（１）前記外リングの上部と前記内部スリーブの上部との間に環状上部スリーブ溝が形成され、そして（２）前記外リングの下部と前記内部スリーブの下部との間に環状下部スリーブ溝が形成され、そして前記内部スリーブの上部は、外側へ傾斜した部分を含む外面を有し、前記内部スリーブの下部は、外側へ傾斜した部分を含む外面を有する、第１のシールリングおよび第２のシールリングと、 を備え、 前記第１の出口基板ポートおよび前記第１の入口基板ポートはそれぞれ前記第１の基板リングによって形成され、 前記第１の出口基板ポートおよび前記第１の入口基板ポートそれぞれにおいて、前記第１の基板チャネルが前記第１の上面に形成され、前記第１の基板リングを取り囲み、前記第１の基板リングの外面は前記第１の基板チャネルの内面を形成し、 前記第２の出口基板ポートおよび前記第２の入口基板ポートはそれぞれ前記第２の基板リングによって形成され、 前記第２の出口基板ポートおよび前記第２の入口基板ポートそれぞれにおいて、前記第２の基板チャネルが前記第２の上面に形成され、前記第２の基板リングを取り囲み、前記第２の基板リングの外面は前記第２の基板チャネルの内面を形成し、 前記構成要素入口ポートおよび前記構成要素出口ポートはそれぞれ前記構成要素リングによって形成され、前記構成要素入口ポートおよび前記構成要素出口ポートそれぞれにおいて、前記構成要素チャネルは、前記能動構成要素の前記下面に形成され、前記構成要素リングを取り囲み、前記構成要素リングの外面は前記構成要素チャネルの内面を形成し、 前記能動構成要素は、前記第１の基板ブロックおよび前記第２の基板ブロックに設けられ、それらを繋げて、（１）前記第１の出口基板ポートと前記構成要素入口ポートが位置合わせされ、前記第１の上面と前記下面との間に水平界面が形成され、かつ前記第１のシールリングは、前記第１の出口基板ポートおよび前記構成要素入口ポートのそれぞれを取り囲み、前記第１の基板流体通路および前記構成要素流体通路を流体的にシールし、前記第１のシールリングは、前記第１のシールリングの前記外リングが前記構成要素チャネルと前記第１の基板チャネルのそれぞれの内部で垂直方向の干渉がなく、水平方向に圧縮されるようにサイズ決定され、（２）前記第２の入口基板ポートと前記構成要素出口ポートが位置合わせされ、前記第２の上面と前記下面との間に水平界面が形成され、かつ前記第２のシールリングは、前記第２の入口基板ポートおよび前記構成要素出口ポートのそれぞれを取り囲み、前記第２の基板流体通路および前記構成要素流体通路を流体的にシールし、前記第２のシールリングは、前記第２のシールリングの前記外リングが前記構成要素チャネルと前記第２の基板チャネルのそれぞれの内部で垂直方向の干渉がなく、水平方向に圧縮されるようにサイズ決定され、（３）前記能動構成要素は、前記背面から離間して分離され、 前記第１のシールリングは、前記外リングから半径方向内側に延びるウェブをさらに備え、前記ウェブは垂直方向に圧縮されず、 前記第１のシールリングの前記外リングは、前記各第１の基板チャネルおよび前記構成要素チャネルの内部へ延び、前記基板チャネルおよび前記構成要素チャネルの側壁が、前記外リングを水平方向に圧縮し、 前記ウェブは、前記基板リングと前記構成要素リングとの間に配置され、 前記第１のシールリングおよび前記第２のシールリングそれぞれにおいて、前記内部スリーブは水平面を有さない、流体送達システム。」 と訂正する。 ウ 訂正事項３ 特許請求の範囲の請求項１５に 「前記第１の基板ブロックは、第１の出口基板ポートを形成する第１の基板リングを備え、前記能動構成要素は、前記構成要素入口ポートを形成する構成要素リングを備え、前記第１のシールリングの前記内部スリーブは、外側へ傾斜した下部と外側へ傾斜した上部とを含む外面を備え、前記構成要素リングは、前記第１のシールリングの前記内部スリーブの上部の前記外側へ傾斜した部分と結合してそれに圧縮力を及ぼす内側へ傾斜した部分を有する内面を備え、前記第１の基板リングは、前記第１のシールリングの前記内部スリーブの下部の前記外側へ傾斜した部分と結合してそれに圧縮力を及ぼす内側へ傾斜した部分を有する内面を備える、請求項１２に記載の液体送達システム。」 と記載されているのを、 「流体送達システムであって、 背面と、 前記背面の上面に設けられた第１の基板ブロックであって、第１の上面；前記第１の上面と反対側の第１の下面；前記第１の上面の第１の入口基板ポート；前記第１の上面の第１の出口基板ポート；第１の内側へ傾斜した部分を有する第１の内面を有する第１の基板リング；コーナまたは角張った壁のない滑らかな弧の形態で前記第１の入口基板ポートと前記第１の出口基板ポートとの間に延びる第１の基板流体通路；複数の第１の支持壁であって、前記第１の基板ブロックの第１の側面を形成する第１の外面と、前記第１の下面に第１のキャビティを画定する第１の内面と、を含む第１の周壁、および前記第１のキャビティ内に位置する少なくとも１つの第１の内壁を備える複数の第１の支持壁；および前記第１の基板流体通路の下部を画定する前記第１のキャビティ内の第１の管壁を含み、前記少なくとも１つの第１の内壁は、前記第１の管壁に接続され、かつ前記第１の管壁から下方に延在し、前記少なくとも１つの第１の内壁および前記第１の周壁は、第１の共通面に置かれかつ前記第１の基板ブロックの第１の下面を形成する第１の下縁で終端する、一体に形成された部品としての第１の基板ブロックと、 前記背面の前記上面に設けられた第２の基板ブロックであって、第２の上面；前記第２の上面と反対側の第２の下面；前記第２の上面の第２の入口基板ポート；および前記第２の上面の第２の出口基板ポート；第２の内側へ傾斜した部分を有する第２の内面を有する第２の基板リング；コーナまたは角張った壁のない滑らかな弧の形態で前記第２の入口基板ポートと前記第２の出口基板ポートとの間に延びる第２の基板流体通路；複数の第２の支持壁であって、前記第２の基板ブロックの第２の側面を形成する第２の外面と、前記第２の下面に第２のキャビティを画定する第２の内面と、を含む第２の周壁、および前記第２のキャビティ内に位置する少なくとも１つの第２の内壁を備える複数の第２の支持壁；および前記第２基板流体通路の下部を画定する前記第２のキャビティ内の第２の管壁を含み、前記少なくとも１つの第２の内壁は、前記第２の管壁に接続され、かつ前記第２の管壁から下方に延在し、前記少なくとも１つの第２の内壁および前記第２の周壁は、第２の共通面に置かれかつ前記第２の基板ブロックの第２の下面を形成する第２の下縁で終端する、一体に形成された部品としての第２の基板ブロックと、 流量制御器、圧力変換器、流量測定センサ、圧力調整器、弁、および流量計からなる群から選択される能動構成要素であって、下面；前記下面の構成要素入口ポート；前記下面の構成要素出口ポート；構成要素リング；および前記構成要素入口ポートから前記構成要素出口ポートまで延びる構成要素流体通路を含む、能動構成要素と、 第１のシールリングおよび第２のシールリングであって、前記第１のシールリングおよび第２のシールリングはそれぞれ内部スリーブおよび外リングを有し、前記内部スリーブは、長手方向軸に沿って延びるスリーブ流体通路を画定し、前記外リングは、前記内部スリーブに接続され、かつ前記内部スリーブを囲んで、（１）前記外リングの上部と前記内部スリーブの上部との間に環状上部スリーブ溝が形成され、そして（２）前記外リングの下部と前記内部スリーブの下部との間に環状下部スリーブ溝が形成され、そして前記内部スリーブの上部は、外側へ傾斜した部分を含む外面を有し、前記内部スリーブの下部は、外側へ傾斜した部分を含む外面を有する、第１のシールリングおよび第２のシールリングと、 を備え、前記第１の出口基板ポートおよび前記第１の入口基板ポートはそれぞれ前記第１の基板リングによって形成され、 前記第１の出口基板ポートおよび前記第１の入口基板ポートそれぞれにおいて、第１の基板チャネルが前記第１の上面に形成され、前記第１の基板リングを取り囲み、前記第１の基板リングの外面は前記第１の基板チャネルの内面を形成し、 前記第２の出口基板ポートおよび前記第２の入口基板ポートはそれぞれ第２の内側へ傾斜した部分を有する第２の内面を有する前記第２の基板ブロックの第２の基板リングによって形成され、 前記第２の出口基板ポートおよび前記第２の入口基板ポートそれぞれにおいて、第２の基板チャネルが前記第２の上面に形成され、前記第２の基板リングを取り囲み、前記第２の基板リングの外面は前記第２の基板チャネルの内面を形成し、 前記構成要素入口ポートおよび前記構成要素出口ポートはそれぞれ前記構成要素リングによって形成され、前記構成要素入口ポートおよび前記構成要素出口ポートそれぞれにおいて、構成要素チャネルは、前記能動構成要素の前記下面に形成され、前記構成要素リングを囲み、前記構成要素リングの外面は前記構成要素チャネルの内面を形成し、 前記能動構成要素は、前記第１の基板ブロックおよび前記第２の基板ブロックに設けられ、それらを繋げて、（１）前記第１の出口基板ポートと前記構成要素入口ポートが位置合わせされ、前記第１の上面と前記下面との間に水平界面が形成され、かつ前記第１のシールリングは、前記第１の出口基板ポートおよび前記構成要素入口ポートのそれぞれを取り囲み、前記第１の基板流体通路および前記構成要素流体通路を流体的にシールし、前記第１のシールリングは、前記第１のシールリングの前記外リングが前記構成要素チャネルと前記第１の基板チャネルのそれぞれの内部で垂直方向の干渉がなく、水平方向に圧縮されるようにサイズ決定され、（２）前記第２の入口基板ポートと前記構成要素出口ポートが位置合わせされ、前記第２の上面と前記下面との間に水平界面が形成され、かつ前記第２のシールリングは、前記第２の入口基板ポートおよび前記構成要素出口ポートのそれぞれを取り囲み、前記第２の基板流体通路および前記構成要素流体通路を流体的にシールし、前記第２のシールリングは、前記第２のシールリングの前記外リングが前記構成要素チャネルと前記第２の基板チャネルのそれぞれの内部で垂直方向の干渉がなく、水平方向に圧縮されるようにサイズ決定され、（３）前記能動構成要素は、前記背面から離間して分離され、 前記構成要素リングは、前記第１のシールリングの前記内部スリーブの上部の前記外側へ傾斜した部分と結合してそれに圧縮力を及ぼす内側へ傾斜した部分を有する内面を備え、前記第１の基板リングは、前記第１のシールリングの前記内部スリーブの下部の前記外側 へ傾斜した部分と結合してそれに圧縮力を及ぼす内側へ傾斜した部分を有する内面を備え、 前記第１のシールリングおよび前記第２のシールリングそれぞれにおいて、 前記内部スリーブが水平面を有さず、 前記内部スリーブの上部は、内側へ傾斜した部分を含む内面を有し、前記内部スリーブの下部は、内側へ傾斜した部分を含む内面を有し、 前記内部スリーブの前記上部の前記内面の前記内側へ傾斜した部分の傾斜は、前記スリーブ流体通路の前記長手方向軸に対して前記内部スリーブの前記上部の前記外面の前記外側へ傾斜した部分の傾斜よりも大きい角度であり、前記内部スリーブの前記下部の前記内面の前記内側へ傾斜した部分の傾斜は、前記スリーブ流体通路の前記長手方向軸に対して前記内部スリーブの前記下部の前記外面の前記外側へ傾斜した部分の傾斜よりも大きい角度であり、 前記内部スリーブは、前記内部スリーブの頂部から前記内部スリーブの底部まで延びる第１の高さを有し、前記外リングは、前記外リングの頂部から底部まで延びる第２の高さを有し、前記第１の高さが前記第２の高さよりも高い、液体送達システム。」 と訂正する。 （２）訂正の適否についての判断 ア 訂正事項１について 訂正事項１を、便宜上、以下の訂正事項１－１ないし１－６に分ける。 〔訂正事項１－１〕 訂正前の請求項１２における「第１の基板ブロックであって、第１の上面；前記第１の上面の第１の入口基板ポート；前記第１の上面の第１の出口基板ポート；およびコーナまたは角張った壁のない滑らかな弧の形態で前記第１の入口基板ポートと前記第１の出口基板ポートとの間に延びる第１の基板流体通路を含む、第１の基板ブロック」との記載を、「第１の基板ブロックであって、第１の上面；前記第１の上面と反対側の第１の下面；前記第１の上面の第１の入口基板ポート；前記第１の上面の第１の出口基板ポート；コーナまたは角張った壁のない滑らかな弧の形態で前記第１の入口基板ポートと前記第１の出口基板ポートとの間に延びる第１の基板流体通路；複数の第１の支持壁であって、前記第１の基板ブロックの第１の側面を形成する第１の外面と、前記第１の下面に第１のキャビティを画定する第１の内面と、を含む第１の周壁、および前記第１のキャビティ内に位置する少なくとも１つの第１の内壁を備える複数の第１の支持壁；および前記第１の基板流体通路の下部を画定する前記第１のキャビティ内の第１の管壁を含み、前記少なくとも１つの第１の内壁は、前記第１の管壁に接続され、かつ前記第１の管壁から下方に延在し、前記少なくとも１つの第１の内壁および前記第１の周壁は、第１の共通面に置かれかつ前記第１の基板ブロックの第１の下面を形成する第１の下縁で終端する、一体に形成された部品としての第１の基板ブロック」と訂正する。 〔訂正事項１－２〕 訂正前の請求項１２における「第２の基板ブロックであって、第２の上面；前記第２の上面の第２の入口基板ポート；および前記第２の上面の第２の出口基板ポート；およびコーナまたは角張った壁のない滑らかな弧の形態で前記第２の入口基板ポートと前記第２の出口基板ポートとの間に延びる第２の基板流体通路を含む、第２の基板ブロック」との記載を、「第２の基板ブロックであって、第２の上面；前記第２の上面と反対側の第２の下面；前記第２の上面の第２の入口基板ポート；および前記第２の上面の第２の出口基板ポート；コーナまたは角張った壁のない滑らかな弧の形態で前記第２の入口基板ポートと前記第２の出口基板ポートとの間に延びる第２の基板流体通路；複数の第２の支持壁であって、前記第２の基板ブロックの第２の側面を形成する第２の外面と、前記第２の下面に第２のキャビティを画定する第２の内面と、を含む第２の周壁、および前記第２のキャビティ内に位置する少なくとも１つの第２の内壁を備える複数の第２の支持壁；および前記第２基板流体通路の下部を画定する前記第２のキャビティ内の第２の管壁を含み、前記少なくとも１つの第２の内壁は、前記第２の管壁に接続され、かつ前記第２の管壁から下方に延在し、前記少なくとも１つの第２の内壁および前記第２の周壁は、第２の共通面に置かれかつ前記第２の基板ブロックの第２の下面を形成する第２の下縁で終端する、一体に形成された部品としての第２の基板ブロック」と訂正する。 〔訂正事項１－３〕 訂正前の請求項１２における「前記第１のシールリングおよび第２のシールリングはそれぞれ内部スリーブおよび外リングを有する、第１のシールリングおよび第２のシールリング」との記載を、「前記第１のシールリングおよび第２のシールリングはそれぞれ内部スリーブおよび外リングを有し、前記内部スリーブは、長手方向軸に沿って延びるスリーブ流体通路を画定し、前記外リングは、前記内部スリーブに接続され、かつ前記内部スリーブを囲んで、（１）前記外リングの上部と前記内部スリーブの上部との間に環状上部スリーブ溝が形成され、そして（２）前記外リングの下部と前記内部スリーブの下部との間に環状下部スリーブ溝が形成され、そして前記内部スリーブの上部は、外側へ傾斜した部分を含む外面を有し、前記内部スリーブの下部は、外側へ傾斜した部分を含む外面を有する、第１のシールリングおよび第２のシールリング」と訂正する。 〔訂正事項１－４〕 「前記第１の出口基板ポートおよび前記第１の入口基板ポートはそれぞれ第１の内側へ傾斜した部分を有する第１の内面を有する第１の基板リングによって形成され、 前記第１の出口基板ポートおよび前記第１の入口基板ポートそれぞれにおいて、第１の基板チャネルが前記第１の上面に形成され、前記第１の基板リングを取り囲み、前記第１の基板リングの外面は前記第１の基板チャネルの内面を形成し、 前記第２の出口基板ポートおよび前記第２の入口基板ポートはそれぞれ第２の内側へ傾斜した部分を有する第２の内面を有する第２の基板リングによって形成され、 前記第２の出口基板ポートおよび前記第２の入口基板ポートそれぞれにおいて、第２の基板チャネルが前記第２の上面に形成され、前記第２の基板リングを取り囲み、前記第２の基板リングの外面は前記第２の基板チャネルの内面を形成し、 前記構成要素入口ポートおよび前記構成要素出口ポートはそれぞれ構成要素リングによって画定され、前記構成要素入口ポートおよび前記構成要素出口ポートそれぞれにおいて、構成要素チャネルは、前記能動構成要素の前記下面に形成され、前記構成要素リングを囲み、前記構成要素リングの外面は前記構成要素チャネルの内面を形成し、」との事項を追加する。 〔訂正事項１－５〕 訂正前の請求項１２における「前記第１のシールリングは、垂直方向の干渉がなく」との記載を、「前記第１のシールリングは、前記第１のシールリングの前記外リングが前記構成要素チャネルと前記第１の基板チャネルのそれぞれの内部で垂直方向の干渉がなく」と訂正する。 〔訂正事項１－６〕 訂正前の請求項１２における「前記第２のシールリングは、垂直方向の干渉がなく」との記載を、「前記第２のシールリングは、前記第２のシールリングの前記外リングが前記構成要素チャネルと前記第２の基板チャネルのそれぞれの内部で垂直方向の干渉がなく」と訂正する。 （ア）訂正の目的 訂正事項１－１は、「第１の基板ブロック」について、「前記第１の上面と反対側の第１の下面」及び「複数の第１の支持壁であって、前記第１の基板ブロックの第１の側面を形成する第１の外面と、前記第１の下面に第１のキャビティを画定する第１の内面と、を含む第１の周壁、および前記第１のキャビティ内に位置する少なくとも１つの第１の内壁を備える複数の第１の支持壁；および前記第１の基板流体通路の下部を画定する前記第１のキャビティ内の第１の管壁を含」むこと、並びに、「前記少なくとも１つの第１の内壁は、前記第１の管壁に接続され、かつ前記第１の管壁から下方に延在し、前記少なくとも１つの第１の内壁および前記第１の周壁は、第１の共通面に置かれかつ前記第１の基板ブロックの第１の下面を形成する第１の下縁で終端する」こと及び「一体に形成された部品としての」との特定事項を直列的に付加して限定するものである。 訂正事項１－２は、「第２の基板ブロック」について、「前記第２の上面と反対側の第２の下面」及び「複数の第２の支持壁であって、前記基板ブロックの第２の側面を形成する第２の外面と、前記第２の下面に第２のキャビティを画定する第２の内面と、を含む第２の周壁、および前記第２のキャビティ内に位置する少なくとも１つの第２の内壁を備える複数の第２の支持壁；および前記第２の基板流体通路の下部を画定する前記第２のキャビティ内の第２の管壁を含」むこと、並びに、「前記少なくとも１つの第２の内壁は、前記第２の管壁に接続され、かつ前記第２の管壁から下方に延在し、前記少なくとも１つの第２の内壁および前記第２の周壁は、第２の共通面に置かれかつ前記第２の基板ブロックの第２の下面を形成する第２の下縁で終端する」こと及び「一体に形成された部品としての」との特定事項を直列的に付加して限定するものである。 訂正事項１－３は、「前記第１のシールリングおよび第２のシールリングはそれぞれ内部スリーブおよび外リングを有」することについて、「前記内部スリーブは、長手方向軸に沿って延びるスリーブ流体通路を画定し、前記外リングは、前記内部スリーブに接続され、かつ前記内部スリーブを囲んで、（１）前記外リングの上部と前記内部スリーブの上部との間に環状上部スリーブ溝が形成され、そして（２）前記外リングの下部と前記内部スリーブの下部との間に環状下部スリーブ溝が形成され、そして前記内部スリーブの上部は、外側へ傾斜した部分を含む外面を有し、前記内部スリーブの下部は、外側へ傾斜した部分を含む外面を有する」との特定事項を直列的に付加して限定するものである。 訂正事項１－４は、「前記第１の出口基板ポートおよび前記第１の入口基板ポートはそれぞれ第１の内側へ傾斜した部分を有する第１の内面を有する第１の基板リングによって形成され、前記第１の出口基板ポートおよび前記第１の入口基板ポートそれぞれにおいて、第１の基板チャネルが前記第１の上面に形成され、前記第１の基板リングを取り囲み、前記第１の基板リングの外面は前記第１の基板チャネルの内面を形成」するとの特定事項及び「前記第２の出口基板ポートおよび前記第２の入口基板ポートはそれぞれ第２の内側へ傾斜した部分を有する第２の内面を有する第２の基板リングによって形成され、前記第２の出口基板ポートおよび前記第２の入口基板ポートそれぞれにおいて、第２の基板チャネルが前記第２の上面に形成され、前記第２の基板リングを取り囲み、前記第２の基板リングの外面は前記第２の基板チャネルの内面を形成」するとの特定事項、並びに、「前記構成要素入口ポートおよび前記構成要素出口ポートはそれぞれ構成要素リングによって画定され、前記構成要素入口ポートおよび前記構成要素出口ポートそれぞれにおいて、構成要素チャネルは、前記能動構成要素の前記下面に形成され、前記構成要素リングを囲み、前記構成要素リングの外面は前記構成要素チャネルの内面を形成」するとの特定事項を直列的に付加して限定するものである。 よって、訂正事項１－１ないし１－４は、特許法第１２０条の５第２項ただし書第１号に掲げる特許請求の範囲の減縮を目的とするものである。 また、訂正事項１－５及び１－６は、「垂直方向の干渉がなく」との特定事項が、第１のシールリング又は第２のシールリングといずれの部材との間で垂直方向の干渉がないことを意味するのかが特定されておらず明確でなかったものを、それぞれ「前記第１のシールリングの前記外リングが前記構成要素チャネルと前記第１の基板チャネルのそれぞれの内部で」及び「前記第２のシールリングの前記外リングが前記構成要素チャネルと前記第２の基板チャネルのそれぞれの内部で」との事項を加えることで明らかにするものであるから、特許法第１２０条の５第２項ただし書第３号に掲げる明瞭でない記載の釈明を目的とするものである。 よって、訂正事項１－１ないし１－６からなる訂正事項１は、特許法第１２０条の５第２項ただし書第１号に掲げる特許請求の範囲の減縮、及び、同項ただし書第３号に掲げる明瞭でない記載の釈明を目的とするものである。 （イ）願書に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であること 訂正事項１－１ないし１－４は、願書に添付した明細書の段落【００２７】ないし【００２９】及び【００４０】、並びに図９Ｂ、図１０Ｂ、図１０Ｃ及び図１６Ａないし図１６Ｃに基づくものである。 ここで、「第１の基板ブロック」が「複数の第１の支持壁であって、前記第１の基板ブロックの第１の側面を形成する第１の外面と、前記第１の下面に第１のキャビティを画定する第１の内面と、を含む第１の周壁、および前記第１のキャビティ内に位置する少なくとも１つの第１の内壁を備える複数の第１の支持壁；および前記第１の基板流体通路の下部を画定する前記第１のキャビティ内の第１の管壁を含」むこと及び「前記少なくとも１つの第１の内壁は、前記第１の管壁に接続され、かつ前記第１の管壁から下方に延在」すること、並びに「第２の基板ブロック」が「複数の第２の支持壁であって、前記基板ブロックの第２の側面を形成する第２の外面と、前記第２の下面に第２のキャビティを画定する第２の内面と、を含む第２の周壁、および前記第２のキャビティ内に位置する少なくとも１つの第２の内壁を備える複数の第２の支持壁；および前記第２の基板流体通路の下部を画定する前記第２のキャビティ内の第２の管壁を含」むこと及び「前記少なくとも１つの第２の内壁は、前記第２の管壁に接続され、かつ前記第２の管壁から下方に延在」することは、図９Ｂ、図１０Ｂ及び図１０Ｃから、看取できる。 また、「少なくとも１つの第１の内壁および前記第１の周壁は、第１の共通面に置かれかつ前記第１の基板ブロックの第１の下面を形成する第１の下縁で終端する」こと及び「少なくとも１つの第２の内壁および前記第２の周壁は、第２の共通面に置かれかつ前記第２の基板ブロックの第２の下面を形成する第２の下縁で終端する」ことについては、図１０Ｃのみからは、２つ存在する内壁のうち一方の内壁の下面について周壁の下縁と面一であることしか読み取れず、他方の内壁の下面が周壁の下縁と面一であるか否か明らかでないとしても、図１０Ｂを併せ見れば、他方の内壁の下面が周壁の下縁と面一であることが把握できる。 訂正事項１－５及び１－６は、願書に添付した特許請求の範囲の請求項３の記載に基づくものである。 したがって、訂正事項１－１ないし１－６からなる訂正事項１は、願書に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であり、特許法第１２０条の５第９項で準用する同法第１２６条第５項の規定に適合するものである。 （ウ）実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更する訂正ではないこと 訂正事項１－１ないし１－４は、発明特定事項を直列的に付加するものであるから特許請求の範囲を拡張するものではなく、訂正事項１－１ないし１－４によりカテゴリーや対象を変更するものではない。 また、訂正事項１－５及び１－６は、第１のシールリング又は第２のシールリングが、垂直方向の干渉がないことについて具体的に特定するものであるから特許請求の範囲を拡張するものではなく、訂正事項１－５及び１－６によりカテゴリーや対象を変更するものではない。 したがって、訂正事項１－１ないし１－６からなる訂正事項１は、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものには該当せず、特許法第１２０条の５第９項で準用する同法第１２６条第６項の規定に適合するものである。 イ 訂正事項２について 訂正事項２を、便宜上、以下の訂正事項２－１ないし２－９に分ける。 〔訂正事項２－１〕 訂正前の請求項１４が引用する訂正前の請求項１３が引用する訂正前の請求項１２（以下、本項において「訂正前の請求項１２」という。）における「第１の基板ブロックであって、第１の上面；前記第１の上面の第１の入口基板ポート；前記第１の上面の第１の出口基板ポート；およびコーナまたは角張った壁のない滑らかな弧の形態で前記第１の入口基板ポートと前記第１の出口基板ポートとの間に延びる第１の基板流体通路を含む、第１の基板ブロック」との記載を、「第１の基板ブロックであって、第１の上面；前記第１の上面と反対側の第１の下面；前記第１の上面の第１の入口基板ポート；前記第１の上面の第１の出口基板ポート；第１の内側へ傾斜した部分を有する第１の内面を有する第１の基板リング；第１の基板チャネル；コーナまたは角張った壁のない滑らかな弧の形態で前記第１の入口基板ポートと前記第１の出口基板ポートとの間に延びる第１の基板流体通路；複数の第１の支持壁であって、前記第１の基板ブロックの第１の側面を形成する第１の外面と、前記第１の下面に第１のキャビティを画定する第１の内面と、を含む第１の周壁、および前記第１のキャビティ内に位置する少なくとも１つの第１の内壁を備える複数の第１の支持壁；および前記第１の基板流体通路の下部を画定する前記第１のキャビティ内の第１の管壁を含み、前記少なくとも１つの第１の内壁は、前記第１の管壁に接続され、かつ前記第１の管壁から下方に延在し、前記少なくとも１つの第１の内壁および前記第１の周壁は、第１の共通面に置かれかつ前記第１の基板ブロックの第１の下面を形成する第１の下縁で終端する、一体に形成された部品としての第１の基板ブロック」と訂正する。 〔訂正事項２－２〕 訂正前の請求項１２における「第２の基板ブロックであって、第２の上面；前記第２の上面の第２の入口基板ポート；および前記第２の上面の第２の出口基板ポート；およびコーナまたは角張った壁のない滑らかな弧の形態で前記第２の入口基板ポートと前記第２の出口基板ポートとの間に延びる第２の基板流体通路を含む、第２の基板ブロック」との記載を、「第２の基板ブロックであって、第２の上面；前記第２の上面と反対側の第２の下面；前記第２の上面の第２の入口基板ポート；前記第２の上面の第２の出口基板ポート；第２の内側へ傾斜した部分を有する第２の内面を有する第２の基板リング；第２の基板チャネル；コーナまたは角張った壁のない滑らかな弧の形態で前記第２の入口基板ポートと前記第２の出口基板ポートとの間に延びる第２の基板流体通路；複数の第２の支持壁であって、前記第２の基板ブロックの第２の側面を形成する第２の外面と、前記第２の下面に第２のキャビティを画定する第２の内面と、を含む第２の周壁、および前記第２のキャビティ内に位置する少なくとも１つの第２の内壁を備える複数の第２の支持壁；および前記第２基板流体通路の下部を画定する前記第２のキャビティ内の第２の管壁を含み、前記少なくとも１つの第２の内壁は、前記第２の管壁に接続され、かつ前記第２の管壁から下方に延在し、前記少なくとも１つの第２の内壁および前記第２の周壁は、第２の共通面に置かれかつ前記第２の基板ブロックの第２の下面を形成する第２の下縁で終端する、一体に形成された部品としての第２の基板ブロック」と訂正する。 〔訂正事項２－３〕 訂正前の請求項１２における「能動構成要素であって、下面；前記下面の構成要素入口ポート；前記下面の構成要素出口ポート；および前記構成要素入口ポートから前記構成要素出口ポートまで延びる構成要素流体通路を含む、能動構成要素」との記載を、「能動構成要素であって、下面；前記下面の構成要素入口ポート；前記下面の構成要素出口ポート；構成要素リング；構成要素チャネル；および前記構成要素入口ポートから前記構成要素出口ポートまで延びる構成要素流体通路を含む、能動構成要素」と訂正する。 〔訂正事項２－４〕 訂正前の請求項１２における「前記第１のシールリングおよび第２のシールリングはそれぞれ内部スリーブおよび外リングを有する、第１のシールリングおよび第２のシールリング」との記載を、「前記第１のシールリングおよび第２のシールリングはそれぞれ内部スリーブおよび外リングを有し、前記内部スリーブは、長手方向軸に沿って延びるスリーブ流体通路を画定し、前記外リングは、前記内部スリーブに接続され、かつ前記内部スリーブを囲んで、（１）前記外リングの上部と前記内部スリーブの上部との間に環状上部スリーブ溝が形成され、そして（２）前記外リングの下部と前記内部スリーブの下部との間に環状下部スリーブ溝が形成され、そして前記内部スリーブの上部は、外側へ傾斜した部分を含む外面を有し、前記内部スリーブの下部は、外側へ傾斜した部分を含む外面を有する、第１のシールリングおよび第２のシールリング」と訂正する。 〔訂正事項２－５〕 「前記第１の出口基板ポートおよび前記第１の入口基板ポートはそれぞれ前記第１の基板リングによって形成され、 前記第１の出口基板ポートおよび前記第１の入口基板ポートそれぞれにおいて、前記第１の基板チャネルが前記第１の上面に形成され、前記第１の基板リングを取り囲み、前記第１の基板リングの外面は前記第１の基板チャネルの内面を形成し、 前記第２の出口基板ポートおよび前記第２の入口基板ポートはそれぞれ前記第２の基板リングによって形成され、 前記第２の出口基板ポートおよび前記第２の入口基板ポートそれぞれにおいて、 前記第２の基板チャネルが前記第２の上面に形成され、前記第２の基板リングを取り囲み、前記第２の基板リングの外面は前記第２の基板チャネルの内面を形成し、 前記構成要素入口ポートおよび前記構成要素出口ポートはそれぞれ前記構成要素リングによって形成され、前記構成要素入口ポートおよび前記構成要素出口ポートそれぞれにおいて、前記構成要素チャネルは、前記能動構成要素の前記下面に形成され、前記構成要素リングを取り囲み、前記構成要素リングの外面は前記構成要素チャネルの内面を形成し、」を追加する。 〔訂正事項２－６〕 訂正前の請求項１２における「前記第１のシールリングは、垂直方向の干渉がなく」との記載を、「前記第１のシールリングは、前記第１のシールリングの前記外リングが前記構成要素チャネルと前記第１の基板チャネルのそれぞれの内部で垂直方向の干渉がなく」と訂正する。 〔訂正事項２－７〕 訂正前の請求項１２における「前記第２のシールリングは、垂直方向の干渉がなく」との記載を、「前記第２のシールリングは、前記第２のシールリングの前記外リングが前記構成要素チャネルと前記第２の基板チャネルのそれぞれの内部で垂直方向の干渉がなく」と訂正する。 〔訂正事項２－８〕 訂正前の請求項１４に記載されていた「前記第１の基板ブロックは、前記第１の出口基板ポートを形成する第１の基板リングと、前記第１の上面に形成され、前記第１の基板リングを取り囲む基板チャネルと、を備え、 前記能動構成要素は、前記構成要素入口ポートを形成する構成要素リングと、前記下面に形成され、前記構成要素リングを取り囲む構成要素チャネルと、を備え、」を削除する。 〔訂正事項２－９〕 訂正前の請求項１４に、「前記第１のシールリングおよび前記第２のシールリングそれぞれにおいて、前記内部スリーブは水平面を有さない」を追加する。 （ア） 訂正の目的 訂正事項２－１は、「第１の基板ブロック」について、「前記第１の上面と反対側の第１の下面」、「第１の内側へ傾斜した部分を有する第１の内面を有する第１の基板リング；第１の基板チャネル」及び「複数の第１の支持壁であって、前記第１の基板ブロックの第１の側面を形成する第１の外面と、前記第１の下面に第１のキャビティを画定する第１の内面と、を含む第１の周壁、および前記第１のキャビティ内に位置する少なくとも１つの第１の内壁を備える複数の第１の支持壁；および前記第１の基板流体通路の下部を画定する前記第１のキャビティ内の第１の管壁を含」むこと、並びに、「前記少なくとも１つの第１の内壁は、前記第１の管壁に接続され、かつ前記第１の管壁から下方に延在し、前記少なくとも１つの第１の内壁および前記第１の周壁は、第１の共通面に置かれかつ前記第１の基板ブロックの第１の下面を形成する第１の下縁で終端する」こと及び「一体に形成された部品としての」との特定事項を直列的に付加して限定するものである。 訂正事項２－２は、「第２の基板ブロック」について、「前記第２の上面と反対側の第２の下面」、「第２の内側へ傾斜した部分を有する第２の内面を有する第２の基板リング；第２の基板チャネル」及び「複数の第２の支持壁であって、前記第２の基板ブロックの第２の側面を形成する第２の外面と、前記第２の下面に第２のキャビティを画定する第２の内面と、を含む第２の周壁、および前記第２のキャビティ内に位置する少なくとも１つの第２の内壁を備える複数の第２の支持壁；および前記第２基板流体通路の下部を画定する前記第２のキャビティ内の第２の管壁を含」むこと、並びに、「前記少なくとも１つの第２の内壁は、前記第２の管壁に接続され、かつ前記第２の管壁から下方に延在し、前記少なくとも１つの第２の内壁および前記第２の周壁は、第２の共通面に置かれかつ前記第２の基板ブロックの第２の下面を形成する第２の下縁で終端する」こと及び「一体に形成された部品としての」との特定事項を直列的に付加して限定するものである。 訂正事項２－３は、「能動構成要素」について、「構成要素リング；構成要素チャネル」と含むとの特定事項を直列的に付加して限定するものである。 訂正事項２－４は、「前記第１のシールリングおよび第２のシールリングはそれぞれ内部スリーブおよび外リングを有することについて、「前記内部スリーブは、長手方向軸に沿って延びるスリーブ流体通路を画定し、前記外リングは、前記内部スリーブに接続され、かつ前記内部スリーブを囲んで、（１）前記外リングの上部と前記内部スリーブの上部との間に環状上部スリーブ溝が形成され、そして（２）前記外リングの下部と前記内部スリーブの下部との間に環状下部スリーブ溝が形成され、そして前記内部スリーブの上部は、外側へ傾斜した部分を含む外面を有し、前記内部スリーブの下部は、外側へ傾斜した部分を含む外面を有する」との特定事項を直列的に付加して限定するものである。 訂正事項２－５は、「前記第１の出口基板ポートおよび前記第１の入口基板ポートはそれぞれ前記第１の基板リングによって形成され、前記第１の出口基板ポートおよび前記第１の入口基板ポートそれぞれにおいて、前記第１の基板チャネルが前記第１の上面に形成され、前記第１の基板リングを取り囲み、前記第１の基板リングの外面は前記第１の基板チャネルの内面を形成し、前記第２の出口基板ポートおよび前記第２の入口基板ポートはそれぞれ前記第２の基板リングによって形成され、前記第２の出口基板ポートおよび前記第２の入口基板ポートそれぞれにおいて、前記第２の基板チャネルが前記第２の上面に形成され、前記第２の基板リングを取り囲み、前記第２の基板リングの外面は前記第２の基板チャネルの内面を形成し、前記構成要素入口ポートおよび前記構成要素出口ポートはそれぞれ前記構成要素リングによって形成され、前記構成要素入口ポートおよび前記構成要素出口ポートそれぞれにおいて、前記構成要素チャネルは、前記能動構成要素の前記下面に形成され、前記構成要素リングを取り囲み、前記構成要素リングの外面は前記構成要素チャネルの内面を形成し、」との特定事項を直列的に付加して限定するものである。 訂正事項２－９は、「前記第１のシールリングおよび前記第２のシールリングそれぞれにおいて、前記内部スリーブは水平面を有さない」との特定事項を直列的に付加して限定するものである。 よって、訂正事項２－１ないし２－５及び２－９は、特許法第１２０条の５第２項ただし書第１号に掲げる特許請求の範囲の減縮を目的とするものである。 また、訂正事項２－６及び２－７は、「垂直方向の干渉がなく」との特定事項が、第１のシールリング又は第２のシールリングといずれの部材との間で垂直方向の干渉がないことを意味するのかが特定されておらず明確でなかったものを、それぞれ「前記第１のシールリングの前記外リングが前記構成要素チャネルと前記第１の基板チャネルのそれぞれの内部で」及び「前記第２のシールリングの前記外リングが前記構成要素チャネルと前記第２の基板チャネルのそれぞれの内部で」との事項を加えることで明らかにするものであるから、特許法第１２０条の５第２項ただし書第３号に掲げる明瞭でない記載の釈明を目的とするものである。 さらに、訂正事項２－８は、訂正事項２－１ないし２－５により付加された事項と重複する事項を削除するものであるから、特許法第１２０条の５第２項ただし書第３号に掲げる明瞭でない記載の釈明を目的とするものである。 したがって、訂正事項２－１ないし２－９からなる訂正事項２は、特許法第１２０条の５第２項ただし書第１号に掲げる特許請求の範囲の減縮、及び、同項ただし書第３号に掲げる明瞭でない記載の釈明を目的とするものである。 さらに、訂正事項２は、訂正前の請求項１４が請求項１３を引用していたものを、請求項１３を引用しない形式で記載したものであるから、特許法第１２０条の５第２項ただし書第４号に掲げる「他の請求項の記載を引用する請求項の記載を当該他の請求項の記載を引用しないものとすること」を目的とするものである。 （イ）願書に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であること 訂正事項２－１、２－２、２－４、２－５は、願書に添付した明細書の段落【００２７】ないし【００２９】及び【００４０】、並びに図９Ｂ、図１０Ｂ、図１０Ｃ及び図１６Ａないし図１６Ｃに基づくものである。 ここで、「第１の基板ブロック」が「複数の第１の支持壁であって、前記第１の基板ブロックの第１の側面を形成する第１の外面と、前記第１の下面に第１のキャビティを画定する第１の内面と、を含む第１の周壁、および前記第１のキャビティ内に位置する少なくとも１つの第１の内壁を備える複数の第１の支持壁；および前記第１の基板流体通路の下部を画定する前記第１のキャビティ内の第１の管壁を含」むこと及び「前記少なくとも１つの第１の内壁は、前記第１の管壁に接続され、かつ前記第１の管壁から下方に延在」すること、並びに「第２の基板ブロック」が「複数の第２の支持壁であって、前記基板ブロックの第２の側面を形成する第２の外面と、前記第２の下面に第２のキャビティを画定する第２の内面と、を含む第２の周壁、および前記第２のキャビティ内に位置する少なくとも１つの第２の内壁を備える複数の第２の支持壁；および前記第２の基板流体通路の下部を画定する前記第２のキャビティ内の第２の管壁を含」むこと及び「前記少なくとも１つの第２の内壁は、前記第２の管壁に接続され、かつ前記第２の管壁から下方に延在」することは、図９Ｂ、図１０Ｂ及び図１０Ｃから、看取できる。 また、「少なくとも１つの第１の内壁および前記第１の周壁は、第１の共通面に置かれかつ前記第１の基板ブロックの第１の下面を形成する第１の下縁で終端する」こと及び「少なくとも１つの第２の内壁および前記第２の周壁は、第２の共通面に置かれかつ前記第２の基板ブロックの第２の下面を形成する第２の下縁で終端する」ことについては、図１０Ｃのみからは、２つ存在する内壁のうち一方の内壁の下面について周壁の下縁と面一であることしか読み取れず、他方の内壁の下面が周壁の下縁と面一であるか否か明らかでないとしても、図１０Ｂを併せ見れば、他方の内壁の下面が周壁の下縁と面一であることが把握できる。 訂正事項２－３は、願書に添付した特許請求の範囲の請求項１４の記載に基づくものである。 訂正事項２－６及び２－７は、願書に添付した特許請求の範囲の請求項３の記載に基づくものである。 訂正事項２－８は、訂正事項２－１ないし２－５により付加された事項と重複する事項を削除するものである。 訂正事項２－９は、願書に添付した特許請求の範囲の請求項６及び明細書の段落【００４０】並びに図１６Ａないし１６Ｃの記載に基づくものである。 よって、訂正事項２－１ないし２－９からなる訂正事項２は、願書に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であり、特許法第１２０条の５第９項で準用する同法第１２６条第５項の規定に適合するものである。 （ウ）実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更する訂正ではないこと 訂正事項２－１ないし２－５及び２－９は、発明特定事項を直列的に付加するものであるから特許請求の範囲を拡張するものではなく、訂正事項２－１ないし２－５及び２－９によりカテゴリーや対象を変更するものではない。 訂正事項２－６及び２－７は、第１のシールリング又は第２のシールリングが、垂直方向の干渉がないことについて具体的に特定するものであるから特許請求の範囲を拡張するものではなく、訂正事項２－６及び２－７によりカテゴリーや対象を変更するものではない。 訂正事項２－８は、訂正事項２－１ないし２－３及び２－５により付加された事項と重複する事項を削除するものであるから特許請求の範囲を拡張するものではなく、訂正事項２－８によりカテゴリーや対象を変更するものではない。 よって、訂正事項２－１ないし２－９からなる訂正事項２は、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものには該当せず、特許法第１２０条の５第９項で準用する同法第１２６条第６項の規定に適合するものである。 ウ 訂正事項３について 訂正事項３を、便宜上、以下の訂正事項３－１ないし３－９に分ける。 〔訂正事項３－１〕 訂正前の請求項１５が引用する訂正前の請求項１２（以下、本項目において「訂正前の請求項１２」という。）における「第１の基板ブロックであって、第１の上面；前記第１の上面の第１の入口基板ポート；前記第１の上面の第１の出口基板ポート；およびコーナまたは角張った壁のない滑らかな弧の形態で前記第１の入口基板ポートと前記第１の出口基板ポートとの間に延びる第１の基板流体通路を含む、第１の基板ブロック」との記載を、「第１の基板ブロックであって、第１の上面；前記第１の上面と反対側の第１の下面；前記第１の上面の第１の入口基板ポート；前記第１の上面の第１の出口基板ポート；第１の内側へ傾斜した部分を有する第１の内面を有する第１の基板リング；コーナまたは角張った壁のない滑らかな弧の形態で前記第１の入口基板ポートと前記第１の出口基板ポートとの間に延びる第１の基板流体通路；複数の第１の支持壁であって、前記第１の基板ブロックの第１の側面を形成する第１の外面と、前記第１の下面に第１のキャビティを画定する第１の内面と、を含む第１の周壁、および前記第１のキャビティ内に位置する少なくとも１つの第１の内壁を備える複数の第１の支持壁；および前記第１の基板流体通路の下部を画定する前記第１のキャビティ内の第１の管壁を含み、前記少なくとも１つの第１の内壁は、前記第１の管壁に接続され、かつ前記第１の管壁から下方に延在し、前記少なくとも１つの第１の内壁および前記第１の周壁は、第１の共通面に置かれかつ前記第１の基板ブロックの第１の下面を形成する第１の下縁で終端する、一体に形成された部品としての第１の基板ブロック」と訂正する。 〔訂正事項３－２〕 訂正前の請求項１２における「第２の基板ブロックであって、第２の上面；前記第２の上面の第２の入口基板ポート；および前記第２の上面の第２の出口基板ポート；およびコーナまたは角張った壁のない滑らかな弧の形態で前記第２の入口基板ポートと前記第２の出口基板ポートとの間に延びる第２の基板流体通路を含む、第２の基板ブロック」との記載を、「第２の基板ブロックであって、第２の上面；前記第２の上面と反対側の第２の下面；前記第２の上面の第２の入口基板ポート；および前記第２の上面の第２の出口基板ポート；第２の内側へ傾斜した部分を有する第２の内面を有する第２の基板リング；コーナまたは角張った壁のない滑らかな弧の形態で前記第２の入口基板ポートと前記第２の出口基板ポートとの間に延びる第２の基板流体通路；複数の第２の支持壁であって、前記第２の基板ブロックの第２の側面を形成する第２の外面と、前記第２の下面に第２のキャビティを画定する第２の内面と、を含む第２の周壁、および前記第２のキャビティ内に位置する少なくとも１つの第２の内壁を備える複数の第２の支持壁；および前記第２基板流体通路の下部を画定する前記第２のキャビティ内の第２の管壁を含み、前記少なくとも１つの第２の内壁は、前記第２の管壁に接続され、かつ前記第２の管壁から下方に延在し、前記少なくとも１つの第２の内壁および前記第２の周壁は、第２の共通面に置かれかつ前記第２の基板ブロックの第２の下面を形成する第２の下縁で終端する、一体に形成された部品としての第２の基板ブロック」と訂正する。 〔訂正事項３－３〕 訂正前の請求項１２における「能動構成要素であって、下面；前記下面の構成要素入口ポート；前記下面の構成要素出口ポート；および前記構成要素入口ポートから前記構成要素出口ポートまで延びる構成要素流体通路を含む、能動構成要素」との記載を、「能動構成要素であって、下面；前記下面の構成要素入口ポート；前記下面の構成要素出口ポート；構成要素リング；および前記構成要素入口ポートから前記構成要素出口ポートまで延びる構成要素流体通路を含む、能動構成要素」と訂正する。 〔訂正事項３－４〕 訂正前の請求項１２における「前記第１のシールリングおよび第２のシールリングはそれぞれ内部スリーブおよび外リングを有する、第１のシールリングおよび第２のシールリング」との記載を、「前記第１のシールリングおよび第２のシールリングはそれぞれ内部スリーブおよび外リングを有し、前記内部スリーブは、長手方向軸に沿って延びるスリーブ流体通路を画定し、前記外リングは、前記内部スリーブに接続され、かつ前記内部スリーブを囲んで、（１）前記外リングの上部と前記内部スリーブの上部との間に環状上部スリーブ溝が形成され、そして（２）前記外リングの下部と前記内部スリーブの下部との間に環状下部スリーブ溝が形成され、そして前記内部スリーブの上部は、外側へ傾斜した部分を含む外面を有し、前記内部スリーブの下部は、外側へ傾斜した部分を含む外面を有する、第１のシールリングおよび第２のシールリング」と訂正する。 〔訂正事項３－５〕 「前記第１の出口基板ポートおよび前記第１の入口基板ポートはそれぞれ前記第１の基板リングによって形成され、 前記第１の出口基板ポートおよび前記第１の入口基板ポートそれぞれにおいて、第１の基板チャネルが前記第１の上面に形成され、前記第１の基板リングを取り囲み、前記第１の基板リングの外面は前記第１の基板チャネルの内面を形成し、 前記第２の出口基板ポートおよび前記第２の入口基板ポートはそれぞれ第２の内側へ傾斜した部分を有する第２の内面を有する前記第２の基板ブロックの第２の基板リングによって形成され、 前記第２の出口基板ポートおよび前記第２の入口基板ポートそれぞれにおいて、第２の基板チャネルが前記第２の上面に形成され、前記第２の基板リングを取り囲み、前記第２の基板リングの外面は前記第２の基板チャネルの内面を形成し、 前記構成要素入口ポートおよび前記構成要素出口ポートはそれぞれ前記構成要素リングによって形成され、前記構成要素入口ポートおよび前記構成要素出口ポートそれぞれにおいて、構成要素チャネルは、前記能動構成要素の前記下面に形成され、前記構成要素リングを囲み、前記構成要素リングの外面は前記構成要素チャネルの内面を形成し、」との事項を追加する。 〔訂正事項３－６〕 訂正前の請求項１２における「前記第１のシールリングは、垂直方向の干渉がなく」との記載を、「前記第１のシールリングは、前記第１のシールリングの前記外リングが前記構成要素チャネルと前記第１の基板チャネルのそれぞれの内部で垂直方向の干渉がなく」と訂正する。 〔訂正事項３－７〕 訂正前の請求項１２における「前記第２のシールリングは、垂直方向の干渉がなく」との記載を、「前記第２のシールリングは、前記第２のシールリングの前記外リングが前記構成要素チャネルと前記第２の基板チャネルのそれぞれの内部で垂直方向の干渉がなく」と訂正する。 〔訂正事項３－８〕 訂正前の請求項１５における「前記第１の基板ブロックは、第１の出口基板ポートを形成する第１の基板リングを備え、前記能動構成要素は、前記構成要素入口ポートを形成する構成要素リングを備え、前記第１のシールリングの前記内部スリーブは、外側へ傾斜した下部と外側へ傾斜した上部とを含む外面を備え、」との記載を削除する。 〔訂正事項３－９〕 「前記第１のシールリングおよび前記第２のシールリングそれぞれにおいて、 前記内部スリーブが水平面を有さず、 前記内部スリーブの上部は、内側へ傾斜した部分を含む内面を有し、前記内部スリーブの下部は、内側へ傾斜した部分を含む内面を有し、 前記内部スリーブの前記上部の前記内面の前記内側へ傾斜した部分の傾斜は、前記スリーブ流体通路の前記長手方向軸に対して前記内部スリーブの前記上部の前記外面の前記外側へ傾斜した部分の傾斜よりも大きい角度であり、前記内部スリーブの前記下部の前記内面の前記内側へ傾斜した部分の傾斜は、前記スリーブ流体通路の前記長手方向軸に対して前記内部スリーブの前記下部の前記外面の前記外側へ傾斜した部分の傾斜よりも大きい角度であり、 前記内部スリーブは、前記内部スリーブの頂部から前記内部スリーブの底部まで延びる第１の高さを有し、前記外リングは、前記外リングの頂部から底部まで延びる第２の高さを有し、前記第１の高さが前記第２の高さよりも高い、」との事項を追加する。 （ア） 訂正の目的 訂正事項３－１は、「第１の基板ブロック」について、「前記第１の上面と反対側の第１の下面」、「第１の内側へ傾斜した部分を有する第１の内面を有する第１の基板リング」及び「複数の第１の支持壁であって、前記第１の基板ブロックの第１の側面を形成する第１の外面と、前記第１の下面に第１のキャビティを画定する第１の内面と、を含む第１の周壁、および前記第１のキャビティ内に位置する少なくとも１つの第１の内壁を備える複数の第１の支持壁；および前記第１の基板流体通路の下部を画定する前記第１のキャビティ内の第１の管壁を含」むこと、並びに、「前記少なくとも１つの第１の内壁は、前記第１の管壁に接続され、かつ前記第１の管壁から下方に延在し、前記少なくとも１つの第１の内壁および前記第１の周壁は、第１の共通面に置かれかつ前記第１の基板ブロックの第１の下面を形成する第１の下縁で終端する」こと及び「一体に形成された部品としての」との特定事項を直列的に付加して限定するものである。 訂正事項３－２は、「第２の基板ブロック」について、「前記第２の上面と反対側の第２の下面」、「第１の内側へ傾斜した部分を有する第１の内面を有する第１の基板リング」及び「複数の第２の支持壁であって、前記第２の基板ブロックの第２の側面を形成する第２の外面と、前記第２の下面に第２のキャビティを画定する第２の内面と、を含む第２の周壁、および前記第２のキャビティ内に位置する少なくとも１つの第２の内壁を備える複数の第２の支持壁；および前記第２の基板流体通路の下部を画定する前記第２のキャビティ内の第２の管壁を含」むこと、並びに、「前記少なくとも１つの第２の内壁は、前記第２の管壁に接続され、かつ前記第２の管壁から下方に延在し、前記少なくとも１つの第２の内壁および前記第２の周壁は、第２の共通面に置かれかつ前記第２の基板ブロックの第２の下面を形成する第２の下縁で終端する」こと及び「一体に形成された部品としての」との特定事項を直列的に付加して限定するものである。 訂正事項３－３は、「能動構成要素」について、「構成要素リング」を含むとの特定事項を直列的に付加して限定するものである。 訂正事項３－４は、「第１のシールリングおよび第２のシールリングはそれぞれ内部スリーブおよび外リングを有」することについて、「前記内部スリーブは、長手方向軸に沿って延びるスリーブ流体通路を画定し、前記外リングは、前記内部スリーブに接続され、かつ前記内部スリーブを囲んで、（１）前記外リングの上部と前記内部スリーブの上部との間に環状上部スリーブ溝が形成され、そして（２）前記外リングの下部と前記内部スリーブの下部との間に環状下部スリーブ溝が形成され、そして前記内部スリーブの上部は、外側へ傾斜した部分を含む外面を有し、前記内部スリーブの下部は、外側へ傾斜した部分を含む外面を有」するとの特定事項を直列的に付加して限定するものである。 訂正事項３－５は、「前記第１の出口基板ポートおよび前記第１の入口基板ポートはそれぞれ前記第１の基板リングによって形成され、前記第１の出口基板ポートおよび前記第１の入口基板ポートそれぞれにおいて、第１の基板チャネルが前記第１の上面に形成され、前記第１の基板リングを取り囲み、前記第１の基板リングの外面は前記第１の基板チャネルの内面を形成し、前記第２の出口基板ポートおよび前記第２の入口基板ポートはそれぞれ第２の内側へ傾斜した部分を有する第２の内面を有する前記第２の基板ブロックの第２の基板リングによって形成され、前記第２の出口基板ポートおよび前記第２の入口基板ポートそれぞれにおいて、第２の基板チャネルが前記第２の上面に形成され、前記第２の基板リングを取り囲み、前記第２の基板リングの外面は前記第２の基板チャネルの内面を形成し、 前記構成要素入口ポートおよび前記構成要素出口ポートはそれぞれ前記構成要素リングによって形成され、前記構成要素入口ポートおよび前記構成要素出口ポートそれぞれにおいて、構成要素チャネルは、前記能動構成要素の前記下面に形成され、前記構成要素リングを囲み、前記構成要素リングの外面は前記構成要素チャネルの内面を形成し、」との特定事項を直列的に付加して限定するものである。 訂正事項３－９は、「前記第１のシールリングおよび前記第２のシールリングそれぞれにおいて、前記内部スリーブが水平面を有さず、前記内部スリーブの上部は、内側へ傾斜した部分を含む内面を有し、前記内部スリーブの下部は、内側へ傾斜した部分を含む内面を有し、前記内部スリーブの前記上部の前記内面の前記内側へ傾斜した部分の傾斜は、前記スリーブ流体通路の前記長手方向軸に対して前記内部スリーブの前記上部の前記外面の前記外側へ傾斜した部分の傾斜よりも大きい角度であり、前記内部スリーブの前記下部の前記内面の前記内側へ傾斜した部分の傾斜は、前記スリーブ流体通路の前記長手方向軸に対して前記内部スリーブの前記下部の前記外面の前記外側へ傾斜した部分の傾斜よりも大きい角度であり、前記内部スリーブは、前記内部スリーブの頂部から前記内部スリーブの底部まで延びる第１の高さを有し、前記外リングは、前記外リングの頂部から底部まで延びる第２の高さを有し、前記第１の高さが前記第２の高さよりも高い、」との特定事項を直列的に付加して限定するものである。 よって、訂正事項３－１ないし３－５及び３－９は、特許法第１２０条の５第２項ただし書第１号に掲げる特許請求の範囲の減縮を目的とするものである。 また、訂正事項３－６及び３－７は、「第１のシールリングは、垂直方向の干渉がなく」を「第１のシールリングは、前記第１のシールリングの前記外リングが前記構成要素チャネルと前記第１の基板チャネルのそれぞれの内部で垂直方向の干渉がなく」と訂正すること、及び、「第２のシールリングは、垂直方向の干渉がなく」を「第２のシールリングは、前記第２のシールリングの前記外リングが前記構成要素チャネルと前記第２の基板チャネルのそれぞれの内部で垂直方向の干渉がなく」と訂正することは、「垂直方向の干渉がなく」との特定事項が、第１の（第２の）シールリングといずれの部材との間で垂直方向の干渉がないことを意味するのかが特定されておらず明確でなかったものを、それぞれ「前記第１のシールリングの前記外リングが前記構成要素チャネルと前記第１の基板チャネルのそれぞれの内部で」及び「前記第２のシールリングの前記外リングが前記構成要素チャネルと前記第２の基板チャネルのそれぞれの内部で」との事項を加えることで明らかにするものであるから、特許法第１２０条の５第２項ただし書第３号に掲げる明瞭でない記載の釈明を目的とするものである。 さらに、訂正事項３－８は、訂正事項３－１ないし３－５により付加された事項と重複する事項を削除するものであるから、特許法第１２０条の５第２項ただし書第３号に掲げる明瞭でない記載の釈明を目的とするものである。 したがって、訂正事項３－１ないし３－９からなる訂正事項３は、特許法第１２０条の５第２項ただし書第１号に掲げる特許請求の範囲の減縮、及び、同項ただし書第３号に掲げる明瞭でない記載の釈明を目的とするものである。 さらに、訂正事項３は、訂正前の請求項１５が請求項１２を引用していたものを、請求項１２を引用しない形式で記載したものであるから、特許法第１２０条の５第２項ただし書第４号に掲げる「他の請求項の記載を引用する請求項の記載を当該他の請求項の記載を引用しないものとすること」を目的とするものである。 （イ）願書に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であること 訂正事項３－１ないし３－５は、願書に添付した明細書の段落【００２７】ないし【００２９】及び【００４０】、並びに図９Ｂ、図１０Ｂ、図１０Ｃ及び図１６Ａないし図１６Ｃに基づくものである。 ここで、「第１の基板ブロック」が「複数の第１の支持壁であって、前記第１の基板ブロックの第１の側面を形成する第１の外面と、前記第１の下面に第１のキャビティを画定する第１の内面と、を含む第１の周壁、および前記第１のキャビティ内に位置する少なくとも１つの第１の内壁を備える複数の第１の支持壁；および前記第１の基板流体通路の下部を画定する前記第１のキャビティ内の第１の管壁を含」むこと及び「前記少なくとも１つの第１の内壁は、前記第１の管壁に接続され、かつ前記第１の管壁から下方に延在」すること、並びに「第２の基板ブロック」が「複数の第２の支持壁であって、前記基板ブロックの第２の側面を形成する第２の外面と、前記第２の下面に第２のキャビティを画定する第２の内面と、を含む第２の周壁、および前記第２のキャビティ内に位置する少なくとも１つの第２の内壁を備える複数の第２の支持壁；および前記第２の基板流体通路の下部を画定する前記第２のキャビティ内の第２の管壁を含」むこと及び「前記少なくとも１つの第２の内壁は、前記第２の管壁に接続され、かつ前記第２の管壁から下方に延在」することは、図９Ｂ、図１０Ｂ及び図１０Ｃから、看取できる。 また、「少なくとも１つの第１の内壁および前記第１の周壁は、第１の共通面に置かれかつ前記第１の基板ブロックの第１の下面を形成する第１の下縁で終端する」こと及び「少なくとも１つの第２の内壁および前記第２の周壁は、第２の共通面に置かれかつ前記第２の基板ブロックの第２の下面を形成する第２の下縁で終端する」ことについては、図１０Ｃのみからは、２つ存在する内壁のうち一方の内壁の下面について周壁の下縁と面一であることしか読み取れず、他方の内壁の下面が周壁の下縁と面一であるか否か明らかでないとしても、図１０Ｂを併せ見れば、他方の内壁の下面が周壁の下縁と面一であることが把握できる。 訂正事項３－６及び３－７は、願書に添付した特許請求の範囲の請求項３の記載に基づくものである。 訂正事項３－８は、訂正事項３－１ないし３－５により付加された事項と重複する事項を削除するものである。 訂正事項３－９は、願書に添付した特許請求の範囲の請求項６及び明細書の段落【００４０】並びに図１６Ａないし１６Ｃの記載に基づくものである。 したがって、訂正事項３－１ないし３－９からなる訂正事項３は、願書に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であり、特許法第１２０条の５第９項で準用する同法第１２６条第５項の規定に適合するものである。 （ウ）実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更する訂正ではないこと 訂正事項３－１ないし３－５及び３－９は、発明特定事項を直列的に付加するものであるから特許請求の範囲を拡張するものではなく、訂正事項３－１ないし３－５及び３－９によりカテゴリーや対象を変更するものではないから、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものには該当せず、特許法第１２０条の５第９項で準用する同法第１２６条第６項に適合するものである。 訂正事項３－６及び３－７は、第１のシールリング又は第２のシールリングが、垂直方向の干渉がないことについて具体的に特定するものであるから特許請求の範囲を拡張するものではなく、訂正事項３－６及び３－７によりカテゴリーや対象を変更するものではない。 訂正事項３－８は、訂正事項３－１ないし３－５及び３－９により付加された事項と重複する事項を削除するものであるから特許請求の範囲を拡張するものではなく、訂正事項３－８によりカテゴリーや対象を変更するものではない。 よって、訂正事項３－１ないし３－９からなる訂正事項３は、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものには該当せず、特許法第１２０条の５第９項で準用する同法第１２６条第６項の規定に適合するものである。 エ 一群の請求項について 訂正前の請求項１２ないし１５について、請求項１３ないし１５は、それぞれ請求項１２を直接又は間接的に引用しているから、訂正事項１によって記載が訂正される請求項１２に連動して訂正されるものである。したがって、訂正前の請求項１２ないし１５に対応する訂正後の請求項１２ないし１５は、特許法第１２０条の５第４項に規定する一群の請求項である。 オ 別の訂正単位とする求めについて 特許権者は、訂正後の請求項１４及び１５について、当該請求項についての訂正が認められる場合には、一群の他の請求項とは別途訂正することを求めているので、これを認める。 カ 申立人Ａの主張について 申立人Ａは、令和７年５月１９日の意見書（３ページ）において、次のように主張する。 「（１－２）請求項１２，１４及び１５に係る訂正について 本件訂正により、本件訂正後の請求項１２，１４及び１５には「前記少なくとも１つの第１内壁は、前記第１の管壁に接続 され、かつ前記第１の管壁から延在し」及び 「前記少なくとも１つの第２の内壁は、前記第２の管壁に接続され、かつ前記第２の管壁から延在し」との事項が追加されている。 前述のとおり、「内壁」が「管壁」に接続される態様や「管壁」から延在する態様には様々な態様が含まれるところ、本件特許明細書等に記載されているのは、基板ブロンクを上下方向から見た場合に「内壁」が管軸と直交する方向でかつ上下方向に沿う方向に「管壁」に接続されて延在するもののみであり（図９・１０）、それ以外のもの、例えば「内壁」が管軸と平行な方向に接続されて延在するものは記載されていない。 また、本件特許明細書等には、本件訂正後の記載のように「内壁」と「管壁」との関係を一般化できることを許容するような記載はない。本件特許明細書等に記載されているのは、段落【００２９】の「このモジュール式基板ブロックの本体は、上で論じた例と同様に、流体経路およびねじ穴を除いて、実質的に中実の材料ブロックとして形成することができる。他の実施形態では、図９Ａから１１Ｃの例に示されているように、このモジュール式基板ブロックの本体を、必要な支持壁９５９だけを有するように形成することができる。」という記載のみであり、特に「内壁」と「管壁」との関係に着目したものではなく、それらの関係を個別化したものでもない。」 上記主張について検討する。 本件特許明細書段落【００２９】には「図９Ａから１１Ｃの例に示されているように、このモジュール式基板ブロックの本体を、必要な支持壁９５９だけを有するように形成することができる。このような実施形態は、本体の異なる全てのセクションの厚さが実質的に同じであり、それにより、不要な空隙を回避するために型の全てのセクションに均一に充填するのがより容易になるため、射出成形に対して特に有利である。図９Ｂに示されたこのような実施形態は、図４の中実構造に比べて表面積が大きく、このことが、モジュール式基板ブロックがより高い温度に耐えることを可能にする可能性がある。」と記載されている。ここで、「支持壁９５９」が「第１内壁」及び「第２の内壁」に対応することは、当業者であれば理解できるから、「第１内壁」及び「第２の内壁」は、「必要な」ものを有するように形成することができ、その技術的な意義は「不要な空隙を回避するために型の全てのセクションに均一に充填するのがより容易になるため、射出成形に対して特に有利」となること、「中実構造に比べて表面積が大きく、このことが、モジュール式基板ブロックがより高い温度に耐えることを可能にする可能性がある」ことと理解できる。 この理解を踏まえれば、「内壁」と「管壁」との関係について、本件特許明細書には、上記のような技術的な意義を満たす範囲のものが示唆されているといえる。 そして、「前記少なくとも１つの第１内壁は、前記第１の管壁に接続され、かつ前記第１の管壁から延在し」及び「前記少なくとも１つの第２の内壁は、前記第２の管壁に接続され、かつ前記第２の管壁から延在し」との事項は、図９Ｂ、図１０Ｂ及び図１０Ｃから看取できるものであり、この「第１内壁」及び「第２の内壁」に係る事項が、「内壁」と「管壁」に係る上記技術的な意義を越えるものと解されない。 そうすると、本件訂正後の請求項１２、１４及び１５において「前記少なくとも１つの第１内壁は、前記第１の管壁に接続 され、かつ前記第１の管壁から延在し」及び「前記少なくとも１つの第２の内壁は、前記第２の管壁に接続され、かつ前記第２の管壁から延在し」との事項を追加することは、願書に添付した明細書等のすべての記載を総合することにより導かれる技術的事項との関係において、新たな技術的事項を導入するとはいえない。 したがって、申立人Ａの上記主張は採用できない。 キ まとめ 以上のとおりであるから、一群の請求項１２ないし１５についての訂正は、特許法第１２０条の５第２項ただし書第１号、第３号及び第４号に掲げる事項を目的とするものであり、かつ、同条第９項で準用する同法第１２６条第５項及び第６項の規定に適合する。 よって、訂正後の請求項〔１２、１３〕、１４、１５について訂正することを認める。 第３ 本件発明 上記第２のとおり本件訂正が認められるから、本件特許の請求項１ないし１７に係る発明（以下「本件発明１」ないし「本件発明１７」という。）は、令和７年３月１０日の訂正請求書に添付された訂正特許請求の範囲に記載された、以下のとおりのものである。 「【請求項１】 流体送達システムであって、 背面と、 前記背面の上面に設けられた第１の基板ブロックであって、第１の上面；前記上面と反対側の第１の下面；前記第１の上面の第１の入口基板ポート；前記第１の上面の第１の出口基板ポート；コーナまたは角張った壁のない滑らかな弧の形態で前記第１の入口基板ポートと前記第１の出口基板ポートとの間に延びる第１の基板流体通路；複数の第１の支持壁であって、前記第１の基板ブロックの第１の側面を形成する第１の外面と、前記第１の下面に第１のキャビティを画定する第１の内面と、を含む第１の周壁、および前記第１のキャビティ内に位置する少なくとも１つの第１の内壁を備える複数の第１の支持壁；および前記第１の基板流体通路の下部を画定する前記第１のキャビティ内の第１の管壁を含み；前記少なくとも１つの第１の内壁は、前記第１の管壁に接続され、かつ前記第１の管壁から延在し；前記第１の入口基板ポートおよび前記第１の出口基板ポートはそれぞれ第１の内側へ傾斜した部分を有する第１の内面を有する第１の基板リングによって形成され；前記第１の出口基板ポートおよび前記第１の入口基板ポートそれぞれについて、前記第１の基板チャネルは、前記第１の上面に形成され、前記第１の基板リングを囲み；前記第１の基板リングの外面は前記第１の基板チャネルの内面を形成する、一体に形成された部品としての第１の基板ブロックと、 前記背面の前記上面に設けられた第２の基板ブロックであって、第２の上面；前記第２の上面とは反対側の第２の下面；前記第２の上面の第２の入口基板ポート；前記第２の上面の第２の出口基板ポート；コーナまたは角張った壁のない滑らかな弧の形態で前記第２の入口基板ポートと前記第２の出口基板ポートとの間に延びる第２の基板流体通路；複数の第２の支持壁であって、前記第２の基板ブロックの第２の側面を形成する第２の外面と、前記第２の下面に第２のキャビティを画定する第２の内面と、を含む第２の周壁、および前記第２のキャビティ内に位置する少なくとも１つの第２の内壁を備える複数の第２の支持壁；および前記第２の基板流体通路の下部を画定する前記第２のキャビティ内の第２の管壁を含み；前記少なくとも１つの第２の内壁は、前記第２の管壁に接続され、かつ前記第２の管壁から延在し；前記第２の入口基板ポートおよび前記第２の出口基板ポートはそれぞれ第２の内側へ傾斜した部分を有する第２の内面を有する第２の基板リングによって形成され；前記第２の出口基板ポートおよび前記第２の入口基板ポートそれぞれについて、前記第２の基板チャネルは、前記第２の上面に形成され、前記第２の基板リングを囲み；前記第２の基板リングの外面は前記第２の基板チャネルの内面を形成する、一体に形成された部品としての第２の基板ブロックと、 流量制御器、圧力変換器、流量測定センサ、圧力調整器、弁、および流量計からなる群から選択される能動構成要素であって、下面；前記下面の構成要素入口ポート；前記下面の構成要素出口ポート；前記構成要素入口ポートから前記構成要素出口ポートまで延びる構成要素流体通路を含み；前記構成要素入口ポートおよび前記構成要素出口ポートはそれぞれ構成要素リングによって形成され；前記構成要素入口ポートおよび前記構成要素出口ポートそれぞれについて、構成要素チャネルは、前記能動構成要素の前記下面に形成され、前記構成要素リングを囲み、前記第１の構成要素リングの外面は、前記構成要素チャネルの内面を形成する、能動構成要素と、 第１のシールリングおよび第２のシールリングであって、前記第１のシールリングおよび第２のシールリングはそれぞれ長手方向軸に沿って延びるスリーブ流体通路を形成する内部スリーブ；および前記内部スリーブに接続され、かつそれを取り囲む外リングであって、（１）環状上部スリーブ溝が、前記外リングの上部と前記内部スリーブの上部との間に形成され、かつ（２）環状下部スリーブ溝が、前記外リングの下部と前記内部スリーブ下部との間に形成される、外リングを備えた第１のシールリングおよび第２のシールリングと、 を備え、 前記内部スリーブの上部は、外側へ傾斜した部分を含む外面を有し、前記内部スリーブの下部は、外側へ傾斜した部分を含む外面を有し、前記内部スリーブは水平面を有さず、 前記内部スリーブの上部は、内側へ傾斜した部分を含む内面を有し、前記内部スリーブの下部は、内側へ傾斜した部分を含む内面を有し、 前記内部スリーブの前記上部の前記内面の前記内側へ傾斜した部分の傾斜は、前記スリーブ流体通路の前記長手方向軸に対して前記内部スリーブの前記上部の前記外面の前記外側へ傾斜した部分の傾斜よりも大きい角度であり、前記内部スリーブの前記下部の前記内面の前記内側へ傾斜した部分の傾斜は、前記スリーブ流体通路の前記長手方向軸に対して前記内部スリーブの前記下部の外面の前記外側へ傾斜した部分の傾斜よりも大きい角度であり、 前記内部スリーブは、前記内部スリーブの頂部から前記内部スリーブの底部まで延びる第１の高さを有し、前記外リングは、前記外リングの頂部から底部まで延びる第２の高さを有し、前記第１の高さが前記第２の高さよりも高く、 前記能動構成要素は、前記第１の基板ブロックおよび前記第２の基板ブロックに設けられ、それらを繋げて、（１）前記第１の出口基板ポートと前記構成要素入口ポートが位置合わせされ、かつ前記第１のシールリングは、前記第１の出口基板ポートの前記第１の基板チャネルおよび前記構成要素入口ポートの前記構成要素チャネルのそれぞれに入れ子になり、前記第１のシールリングは、前記第１の基板流体通路および前記構成要素流体通路を流体的にシールし；（２）前記第２の入口基板ポートと前記構成要素出口ポートが位置合わせされ、かつ前記第２のシールリングは、前記第２の入口基板ポートの前記第２の基板チャネルおよび前記構成要素出口ポートの前記構成要素チャネルのそれぞれに入れ子になり、前記第２のシールリングは、前記第２の基板流体通路および前記構成要素流体通路を流体的にシールし；（３）前記能動構成要素は、前記背面から離間して分離されている、流体送達システム。 【請求項２】 前記第１の基板リングは、前記第１のシールリングの前記環状下部スリーブ溝内に延在し、前記第１の構成要素リングは、前記第１のシールリングの前記環状上部スリーブ溝内に延在し、前記第１のシールリングの前記外リングの上部は前記構成要素チャネル内に延在し、前記第１のシールリングの前記外リングの下部は前記第１の基板チャネル内に延在する、請求項１に記載の流体送達システム。 【請求項３】 前記第１の基板ブロックの前記第１の上面と前記能動構成要素の前記下面は、水平界面を形成し、前記第１のシールリングは、（１）前記第１のシールリングの前記外リングが、前記第１の構成要素チャネルと前記第１の基板チャネルのそれぞれの内部で水平方向に圧縮され、かつ（２）前記第１のシールリングの前記外リングは垂直方向に圧縮されないように、サイズ決定される、請求項２に記載の流体送達システム。 【請求項４】 前記第１のシールリングは、前記内部スリーブと前記外リングを接続するウェブをさらに備え、前記ウェブは、前記構成要素リングと前記基板リングとの間に配置され、前記第１のシールリングは、前記ウェブが垂直方向に圧縮されないようにサイズ決定される、請求項３に記載の流体送達システム。 【請求項５】 流体送達システムであって、 背面と、 前記背面の上面に設けられた第１の基板ブロックであって、第１の上面；前記上面と反対側の第１の下面；前記第１の上面の第１の入口基板ポート；前記第１の上面の第１の出口基板ポート；コーナまたは角張った壁のない滑らかな弧の形態で前記第１の入口基板ポートと前記第１の出口基板ポートとの間に延びる第１の基板流体通路；複数の第１の支持壁であって、前記第１の基板ブロックの第１の側面を形成する第１の外面と、前記第１の下面に第１のキャビティを画定する第１の内面と、を含む第１の周壁、および前記第１のキャビティ内に位置する少なくとも１つの第１の内壁を備える複数の第１の支持壁；および前記第１の基板流体通路の下部を画定する前記第１のキャビティ内の第１の管壁を含み；前記少なくとも１つの第１の内壁は、前記第１の管壁に接続され、かつ前記第１の管壁から延在し；前記第１の入口基板ポートおよび前記第１の出口基板ポートはそれぞれ第１の内側へ傾斜した部分を有する第１の内面を有する第１の基板リングによって形成され；前記第１の出口基板ポートおよび前記第１の入口基板ポートそれぞれについて、前記第１の基板チャネルは、前記第１の上面に形成され、前記第１の基板リングを囲み；前記第１の基板リングの外面は前記第１の基板チャネルの内面を形成する、一体に形成された部品としての第１の基板ブロックと、 前記背面の前記上面に設けられた第２の基板ブロックであって、第２の上面；前記第２の上面とは反対側の第２の下面；前記第２の上面の第２の入口基板ポート；前記第２の上面の第２の出口基板ポート；コーナまたは角張った壁のない滑らかな弧の形態で前記第２の入口基板ポートと前記第２の出口基板ポートとの間に延びる第２の基板流体通路；複数の第２の支持壁であって、前記第２の基板ブロックの第２の側面を形成する第２の外面と、前記第２の下面に第２のキャビティを画定する第２の内面と、を含む第２の周壁、および前記第２のキャビティ内に位置する少なくとも１つの第２の内壁を備える複数の第２の支持壁；および前記第２の基板流体通路の下部を画定する前記第２のキャビティ内の第２の管壁を含み；前記少なくとも１つの第２の内壁は、前記第２の管壁に接続され、かつ前記第２の管壁から延在し；前記第２の入口基板ポートおよび前記第２の出口基板ポートはそれぞれ第２の内側へ傾斜した部分を有する第２の内面を有する第２の基板リングによって形成され；前記第２の出口基板ポートおよび前記第２の入口基板ポートそれぞれについて、前記第２の基板チャネルは、前記第２の上面に形成され、前記第２の基板リングを囲み；前記第２の基板リングの外面は前記第２の基板チャネルの内面を形成する、一体に形成された部品としての第２の基板ブロックと、 流量制御器、圧力変換器、流量測定センサ、圧力調整器、弁、および流量計からなる群から選択される能動構成要素であって、下面；前記下面の構成要素入口ポート；前記下面の構成要素出口ポート；前記構成要素入口ポートから前記構成要素出口ポートまで延びる構成要素流体通路を含み；前記構成要素入口ポートおよび前記構成要素出口ポートはそれぞれ構成要素リングによって形成され；前記構成要素入口ポートおよび前記構成要素出口ポートそれぞれについて、構成要素チャネルは、前記能動構成要素の前記下面に形成され、前記構成要素リングを囲み、前記第１の構成要素リングの外面は、前記構成要素チャネルの内面を形成する、能動構成要素と、 第１のシールリングおよび第２のシールリングであって、前記第１のシールリングおよび第２のシールリングはそれぞれ長手方向軸に沿って延びるスリーブ流体通路を形成する内部スリーブ；および前記内部スリーブに接続され、かつそれを取り囲む外リングであって、（１）環状上部スリーブ溝が、前記外リングの上部と前記内部スリーブの上部との間に形成され、かつ（２）環状下部スリーブ溝が、前記外リングの下部と前記内部スリーブ下部との間に形成される、外リングを備えた第１のシールリングおよび第２のシールリングと、 を備え、 前記内部スリーブの上部は、外側へ傾斜した部分を含む外面を有し、前記内部スリーブの下部は、外側へ傾斜した部分を含む外面を有し、前記内部スリーブは水平面を有さず、前記内部スリーブの上部は、内側へ傾斜した部分を含む内面を有し、前記内部スリーブの下部は、内側へ傾斜した部分を含む内面を有し、 前記内部スリーブの前記上部の前記内面の前記内側へ傾斜した部分の傾斜は、前記スリーブ流体通路の前記長手方向軸に対して前記内部スリーブの前記上部の前記外面の前記外側へ傾斜した部分の傾斜よりも大きい角度であり、前記内部スリーブの前記下部の前記内面の前記内側へ傾斜した部分の傾斜は、前記スリーブ流体通路の前記長手方向軸に対して前記内部スリーブの前記下部の外面の前記外側へ傾斜した部分の傾斜よりも大きい角度であり、 前記内部スリーブは、前記内部スリーブの頂部から前記内部スリーブの底部まで延びる第１の高さを有し、前記外リングは、前記外リングの頂部から底部まで延びる第２の高さを有し、前記第１の高さが前記第２の高さよりも高く、 前記能動構成要素は、前記第１の基板ブロックおよび前記第２の基板ブロックに設けられ、それらを繋げて、（１）前記第１の出口基板ポートと前記構成要素入口ポートが位置合わせされ、かつ前記第１のシールリングは、前記第１の出口基板ポートの前記第１の基板チャネルおよび前記構成要素入口ポートの前記構成要素チャネルのそれぞれに入れ子になり、前記第１のシールリングは、前記第１の基板流体通路および前記構成要素流体通路を流体的にシールし；（２）前記第２の入口基板ポートと前記構成要素出口ポートが位置合わせされ、かつ前記第２のシールリングは、前記第２の入口基板ポートの前記第２の基板チャネルおよび前記構成要素出口ポートの前記構成要素チャネルのそれぞれに入れ子になり、前記第２のシールリングは、前記第２の基板流体通路および前記構成要素流体通路を流体的にシールし；（３）前記能動構成要素は、前記背面から離間して分離され、 前記第１のシールリングは、中心面および中心軸に沿って延びる前記スリーブ流体通路に関して両側対称であり、 前記少なくとも１つの第１の内壁および前記第１の周壁は、第１の共通面内に置かれかつ前記第１の基板ブロックの前記第１の下面を形成する第１の下縁で終端し、 前記少なくとも１つの第２の内壁および前記第２の周壁は、第２の共通面内に置かれかつ前記第２の基板ブロックの前記第２の下面を形成する第２の下縁で終端する、流体送達システム。 【請求項６】 流体送達システムであって、 背面と、 前記背面の上面に設けられた第１の基板ブロックであって、第１の上面；前記上面と反対側の第１の下面；前記第１の上面の第１の入口基板ポート；前記第１の上面の第１の出口基板ポート；コーナまたは角張った壁のない滑らかな弧の形態で前記第１の入口基板ポートと前記第１の出口基板ポートとの間に延びる第１の基板流体通路；複数の第１の支持壁であって、前記第１の基板ブロックの第１の側面を形成する第１の外面と、前記第１の下面に第１のキャビティを画定する第１の内面と、を含む第１の周壁、および前記第１のキャビティ内に位置する少なくとも１つの第１の内壁を備える複数の第１の支持壁；および前記第１の基板流体通路の下部を画定する前記第１のキャビティ内の第１の管壁を含み；前記少なくとも１つの第１の内壁は、前記第１の管壁に接続され、かつ前記第１の管壁から延在し；前記第１の入口基板ポートおよび前記第１の出口基板ポートはそれぞれ第１の内側へ傾斜した部分を有する第１の内面を有する第１の基板リングによって形成され；前記第１の出口基板ポートおよび前記第１の入口基板ポートそれぞれについて、前記第１の基板チャネルは、前記第１の上面に形成され、前記第１の基板リングを囲み；前記第１の基板リングの外面は前記第１の基板チャネルの内面を形成する、一体に形成された部品としての第１の基板ブロックと、 前記背面の前記上面に設けられた第２の基板ブロックであって、第２の上面；前記第２の上面とは反対側の第２の下面；前記第２の上面の第２の入口基板ポート；前記第２の上面の第２の出口基板ポート；コーナまたは角張った壁のない滑らかな弧の形態で前記第２の入口基板ポートと前記第２の出口基板ポートとの間に延びる第２の基板流体通路；複数の第２の支持壁であって、前記第２の基板ブロックの第２の側面を形成する第２の外面と、前記第２の下面に第２のキャビティを画定する第２の内面と、を含む第２の周壁、および前記第２のキャビティ内に位置する少なくとも１つの第２の内壁を備える複数の第２の支持壁；および前記第２の基板流体通路の下部を画定する前記第２のキャビティ内の第２の管壁を含み；前記少なくとも１つの第２の内壁は、前記第２の管壁に接続され、かつ前記第２の管壁から延在し；前記第２の入口基板ポートおよび前記第２の出口基板ポートはそれぞれ第２の内側へ傾斜した部分を有する第２の内面を有する第２の基板リングによって形成され；前記第２の出口基板ポートおよび前記第２の入口基板ポートそれぞれについて、前記第２の基板チャネルは、前記第２の上面に形成され、前記第２の基板リングを囲み；前記第２の基板リングの外面は前記第２の基板チャネルの内面を形成する、一体に形成された部品としての第２の基板ブロックと、 流量制御器、圧力変換器、流量測定センサ、圧力調整器、弁、および流量計からなる群から選択される能動構成要素であって、下面；前記下面の構成要素入口ポート；前記下面の構成要素出口ポート；前記構成要素入口ポートから前記構成要素出口ポートまで延びる構成要素流体通路を含み；前記構成要素入口ポートおよび前記構成要素出口ポートはそれぞれ構成要素リングによって形成され；前記構成要素入口ポートおよび前記構成要素出口ポートそれぞれについて、構成要素チャネルは、前記能動構成要素の前記下面に形成され、前記構成要素リングを囲み、前記第１の構成要素リングの外面は、前記構成要素チャネルの内面を形成する、能動構成要素と、 第１のシールリングおよび第２のシールリングであって、前記第１のシールリングおよび第２のシールリングはそれぞれ長手方向軸に沿って延びるスリーブ流体通路を形成する内部スリーブ；および前記内部スリーブに接続され、かつそれを取り囲む外リングであって、（１）環状上部スリーブ溝が、前記外リングの上部と前記内部スリーブの上部との間に形成され、かつ（２）環状下部スリーブ溝が、前記外リングの下部と前記内部スリーブ下部との間に形成される、外リングを備えた第１のシールリングおよび第２のシールリングと、 を備え、 前記内部スリーブの上部は、外側へ傾斜した部分を含む外面を有し、前記内部スリーブの下部は、外側へ傾斜した部分を含む外面を有し、前記内部スリーブは水平面を有さず、 前記内部スリーブの上部は、内側へ傾斜した部分を含む内面を有し、前記内部スリーブの下部は、内側へ傾斜した部分を含む内面を有し、 前記内部スリーブの前記上部の前記内面の前記内側へ傾斜した部分の傾斜は、前記スリーブ流体通路の前記長手方向軸に対して前記内部スリーブの前記上部の前記外面の前記外側へ傾斜した部分の傾斜よりも大きい角度であり、前記内部スリーブの前記下部の前記内面の前記内側へ傾斜した部分の傾斜は、前記スリーブ流体通路の前記長手方向軸に対して前記内部スリーブの前記下部の外面の前記外側へ傾斜した部分の傾斜よりも大きい角度であり、 前記内部スリーブは、前記内部スリーブの頂部から前記内部スリーブの底部まで延びる第１の高さを有し、前記外リングは、前記外リングの頂部から底部まで延びる第２の高さを有し、前記第１の高さが前記第２の高さよりも高く、 前記能動構成要素は、前記第１の基板ブロックおよび前記第２の基板ブロックに設けられ、それらを繋げて、（１）前記第１の出口基板ポートと前記構成要素入口ポートが位置合わせされ、かつ前記第１のシールリングは、前記第１の出口基板ポートの前記第１の基板チャネルおよび前記構成要素入口ポートの前記構成要素チャネルのそれぞれに入れ子になり、前記第１のシールリングは、前記第１の基板流体通路および前記構成要素流体通路を流体的にシールし；（２）前記第２の入口基板ポートと前記構成要素出口ポートが位置合わせされ、かつ前記第２のシールリングは、前記第２の入口基板ポートの前記第２の基板チャネルおよび前記構成要素出口ポートの前記構成要素チャネルのそれぞれに入れ子になり、前記第２のシールリングは、前記第２の基板流体通路および前記構成要素流体通路を流体的にシールし；（３）前記能動構成要素は、前記背面から離間して分離され、 前記第１のシールリングは、中心面および中心軸に沿って延びる前記スリーブ流体通路に関して両側対称であり、 前記第１の基板ブロックの前記第１の出口基板ポートの前記第１の基板リングの前記第１の内面の前記第１の内側へ傾斜した部分は、前記第１のシールリングの前記内部スリーブの前記下部の前記外面の前記外側へ傾斜した部分に干渉力を及ぼし、 前記第２の基板ブロックの前記第２の入口基板ポートの前記第２の基板リングの前記第２の内面の前記第２の内側へ傾斜した部分は、前記第２のシールリングの前記内部スリーブの前記下部の前記外面の前記外側へ傾斜した部分に干渉力を及ぼす、流体送達システム。 【請求項７】 流体送達システムであって、 背面と、 前記背面の上面に設けられた第１の基板ブロックであって、第１の上面；前記第１の上面の第１の入口基板ポート；前記第１の上面の第１の出口基板ポート；およびコーナまたは角張った壁のない滑らかな弧の形態で前記第１の入口基板ポートと前記第１の出口基板ポートとの間に延びる第１の基板流体通路を含み；前記第１の入口基板ポートおよび前記第１の出口基板ポートはそれぞれ第１の基板リングによって形成され；前記第１の出口基板ポートおよび前記第１の入口基板ポートそれぞれについて、前記第１の基板チャネルは、前記第１の上面に形成され、前記第１の基板リングを囲み；前記第１の基板リングの外面は前記第１の基板チャネルの内面を形成する、第１の基板ブロックと、 前記背面の前記上面に設けられた第２の基板ブロックであって、第２の上面；前記第２の上面の第２の入口基板ポート；前記第２の上面の第２の出口基板ポート；およびコーナまたは角張った壁のない滑らかな弧の形態で前記第２の入口基板ポートと前記第２の出口基板ポートとの間に延びる第２の基板流体通路を含み；前記第２の入口基板ポートおよび前記第２の出口基板ポートはそれぞれ第２の基板リングによって形成され；前記第２の出口基板ポートおよび前記第２の入口基板ポートそれぞれについて、前記第２の基板チャネルは、前記第２の上面に形成され、前記第２の基板リングを囲み；前記第２の基板リングの外面は前記第２の基板チャネルの内面を形成する、第２の基板ブロックと、 流量制御器、圧力変換器、流量測定センサ、圧力調整器、弁、および流量計からなる群から選択される能動構成要素であって、下面；前記下面の構成要素入口ポート；前記下面の構成要素出口ポート；前記構成要素入口ポートから前記構成要素出口ポートまで延びる構成要素流体通路を含み；前記構成要素入口ポートおよび前記構成要素出口ポートはそれぞれ構成要素リングによって形成され；前記構成要素入口ポートおよび前記構成要素出口ポートそれぞれについて、構成要素チャネルは、前記能動構成要素の前記下面に形成され、前記構成要素リングを囲み、前記第１の構成要素リングの外面は、前記構成要素チャネルの内面を形成する、能動構成要素と、 第１のシールリングおよび第２のシールリングであって、前記第１のシールリングおよび第２のシールリングはそれぞれ長手方向軸に沿って延びるスリーブ流体通路を形成する内部スリーブ；および前記内部スリーブに接続され、かつそれを取り囲む外リングであって、（１）環状上部スリーブ溝が、前記外リングの上部と前記内部スリーブの上部との間に形成され、かつ（２）環状下部スリーブ溝が、前記外リングの下部と前記内部スリーブ下部との間に形成される、外リングを備えた第１のシールリングおよび第２のシールリングと、を備え、前記能動構成要素は、前記第１の基板ブロックおよび前記第２の基板ブロックに設けられ、それらを繋げて、（１）前記第１の出口基板ポートと前記構成要素入口ポートが位置合わせされ、かつ前記第１のシールリングは、前記第１の出口基板ポートの前記第１の基板チャネルおよび前記構成要素入口ポートの前記構成要素チャネルのそれぞれに入れ子になり、前記第１のシールリングは、前記第１の基板流体通路および前記構成要素流体通路を流体的にシールし；（２）前記第２の入口基板ポートと前記構成要素出口ポートが位置合わせされ、かつ前記第２のシールリングは、前記第２の入口基板ポートの前記第２の基板チャネルおよび前記構成要素出口ポートの前記構成要素チャネルのそれぞれに入れ子になり、前記第２のシールリングは、前記第２の基板流体通路および前記構成要素流体通路を流体的にシールし；（３）前記能動構成要素は、前記背面から離間して分離され、 前記第１のシールリングは、中心面および中心軸に沿って延びる前記スリーブ流体通路に関して両側対称であり、前記内部スリーブの上部は、外側へ傾斜した部分を含む外面を有し、前記内部スリーブの下部は、外側へ傾斜した部分を含む外面を有し、 前記内部スリーブの上部は、内側へ傾斜した部分を含む内面を有し、前記内部スリーブの下部は、内側へ傾斜した部分を含む内面を有し、 前記内部スリーブは水平面を有さず、 前記内部スリーブの前記上部の前記内面の前記内側へ傾斜した部分の傾斜は、前記スリーブ流体通路の前記長手方向軸に対して前記内部スリーブの前記上部の前記外面の前記外側へ傾斜した部分の傾斜よりも大きい角度であり、前記内部スリーブの前記下部の前記内面の前記内側へ傾斜した部分の傾斜は、前記スリーブ流体通路の前記長手方向軸に対して前記内部スリーブの前記下部の外面の前記外側へ傾斜した部分の傾斜よりも大きい角度であり、 前記内部スリーブは、前記内部スリーブの頂部から前記内部スリーブの底部まで延びる第１の高さを有し、前記外リングは、前記外リングの頂部から底部まで延びる第２の高さを有し、前記第１の高さが前記第２の高さよりも高い、流体送達システム。 【請求項８】 （削除） 【請求項９】 （削除） 【請求項１０】 前記第１の基板ブロックは、前記第１の上面から前記第１の基板ブロックを通って延在する第１の締結具穴をさらに含み、 前記第２の基板ブロックは、前記第２の上面から前記第２の基板ブロックを通って延在する第２の締結具穴をさらに含み、 前記能動構成要素の基部を通って前記第１の基板ブロックの前記第１の締結具穴内に延在して、前記能動構成要素を前記第１の基板ブロックに取り付ける複数の第１の締結具と、 前記能動構成要素の基部を通って前記第２の基板ブロックの前記第２の締結具穴内に延在して、前記能動構成要素を前記第２の基板ブロックに取り付ける複数の第２の締結具と、 をさらに備える、請求項１に記載の流体送達システム。 【請求項１１】 前記第１の基板ブロックは、前記背面に取り付けられ、前記能動構成要素が取り外されたときに、前記第１の基板ブロックは、前記背面に固定されたままである、請求項１に記載の液体送達システム。 【請求項１２】 流体送達システムであって、 背面と、 前記背面の上面に設けられた第１の基板ブロックであって、第１の上面；前記第１の上面と反対側の第１の下面；前記第１の上面の第１の入口基板ポート；前記第１の上面の第１の出口基板ポート；コーナまたは角張った壁のない滑らかな弧の形態で前記第１の入口基板ポートと前記第１の出口基板ポートとの間に延びる第１の基板流体通路；複数の第１の支持壁であって、前記第１の基板ブロックの第１の側面を形成する第１の外面と、前記第１の下面に第１のキャビティを画定する第１の内面と、を含む第１の周壁、および前記第１のキャビティ内に位置する少なくとも１つの第１の内壁を備える複数の第１の支持壁；および前記第１の基板流体通路の下部を画定する前記第１のキャビティ内の第１の管壁を含み、前記少なくとも１つの第１の内壁は、前記第１の管壁に接続され、かつ前記第１の管壁から下方に延在し、前記少なくとも１つの第１の内壁および前記第１の周壁は、第１の共通面に置かれかつ前記第１の基板ブロックの第１の下面を形成する第１の下縁で終端する、一体に形成された部品としての第１の基板ブロックと、 前記背面の前記上面に設けられた第２の基板ブロックであって、第２の上面；前記第２の上面と反対側の第２の下面；前記第２の上面の第２の入口基板ポート；および前記第２の上面の第２の出口基板ポート；コーナまたは角張った壁のない滑らかな弧の形態で前記第２の入口基板ポートと前記第２の出口基板ポートとの間に延びる第２の基板流体通路；複数の第２の支持壁であって、前記第２の基板ブロックの第２の側面を形成する第２の外面と、前記第２の下面に第２のキャビティを画定する第２の内面と、を含む第２の周壁、および前記第２のキャビティ内に位置する少なくとも１つの第２の内壁を備える複数の第２の支持壁；および前記第２基板流体通路の下部を画定する前記第２のキャビティ内の第２の管壁を含み、前記少なくとも１つの第２の内壁は、前記第２の管壁に接続され、かつ前記第２の管壁から下方に延在し、前記少なくとも１つの第２の内壁および前記第２の周壁は、第２の共通面に置かれかつ前記第２の基板ブロックの第２の下面を形成する第２の下縁で終端する、一体に形成された部品としての第２の基板ブロックと、 流量制御器、圧力変換器、流量測定センサ、圧力調整器、弁、および流量計からなる群から選択される能動構成要素であって、下面；前記下面の構成要素入口ポート；前記下面の構成要素出口ポート；および前記構成要素入口ポートから前記構成要素出口ポートまで延びる構成要素流体通路を含む、能動構成要素と、 第１のシールリングおよび第２のシールリングであって、前記第１のシールリングおよび第２のシールリングはそれぞれ内部スリーブおよび外リングを有し、前記内部スリーブは、長手方向軸に沿って延びるスリーブ流体通路を画定し、前記外リングは、前記内部スリーブに接続され、かつ前記内部スリーブを囲んで、（１）前記外リングの上部と前記内部スリーブの上部との間に環状上部スリーブ溝が形成され、そして（２）前記外リングの下部と前記内部スリーブの下部との間に環状下部スリーブ溝が形成され、そして前記内部スリーブの上部は、外側へ傾斜した部分を含む外面を有し、前記内部スリーブの下部は、外側へ傾斜した部分を含む外面を有する、第１のシールリングおよび第２のシールリングと、 を備え、前記第１の出口基板ポートおよび前記第１の入口基板ポートはそれぞれ第１の内側へ傾斜した部分を有する第１の内面を有する第１の基板リングによって形成され、 前記第１の出口基板ポートおよび前記第１の入口基板ポートそれぞれにおいて、第１の基板チャネルが前記第１の上面に形成され、前記第１の基板リングを取り囲み、前記第１の基板リングの外面は前記第１の基板チャネルの内面を形成し、 前記第２の出口基板ポートおよび前記第２の入口基板ポートはそれぞれ第２の内側へ傾斜した部分を有する第２の内面を有する第２の基板リングによって形成され、 前記第２の出口基板ポートおよび前記第２の入口基板ポートそれぞれにおいて、第２の基板チャネルが前記第２の上面に形成され、前記第２の基板リングを取り囲み、前記第２の基板リングの外面は前記第２の基板チャネルの内面を形成し、 前記構成要素入口ポートおよび前記構成要素出口ポートはそれぞれ構成要素リングによって画定され、前記構成要素入口ポートおよび前記構成要素出口ポートそれぞれにおいて、構成要素チャネルは、前記能動構成要素の前記下面に形成され、前記構成要素リングを囲み、前記構成要素リングの外面は前記構成要素チャネルの内面を形成し、 前記能動構成要素は、前記第１の基板ブロックおよび前記第２の基板ブロックに設けられ、それらを繋げて、（１）前記第１の出口基板ポートと前記構成要素入口ポートが位置合わせされ、前記第１の上面と前記下面との間に水平界面が形成され、かつ前記第１のシールリングは、前記第１の出口基板ポートおよび前記構成要素入口ポートのそれぞれを取り囲み、前記第１の基板流体通路および前記構成要素流体通路を流体的にシールし、前記第１のシールリングは、前記第１のシールリングの前記外リングが前記構成要素チャネルと前記第１の基板チャネルのそれぞれの内部で垂直方向の干渉がなく、水平方向に圧縮されるようにサイズ決定され、（２）前記第２の入口基板ポートと前記構成要素出口ポートが位置合わせされ、前記第２の上面と前記下面との間に水平界面が形成され、かつ前記第２のシールリングは、前記第２の入口基板ポートおよび前記構成要素出口ポートのそれぞれを取り囲み、前記第２の基板流体通路および前記構成要素流体通路を流体的にシールし、前記第２のシールリングは、前記第２のシールリングの前記外リングが前記構成要素チャネルと前記第２の基板チャネルのそれぞれの内部で垂直方向の干渉がなく、水平方向に圧縮されるようにサイズ決定され、（３）前記能動構成要素は、前記背面から離間して分離されている、流体送達システム。 【請求項１３】 前記第１のシールリングは、前記外リングから半径方向内側に延びるウェブをさらに備え、前記ウェブは垂直方向に圧縮されない、請求項１２に記載の流体送達システム。 【請求項１４】 流体送達システムであって、 背面と、 前記背面の上面に設けられた第１の基板ブロックであって、第１の上面；前記第１の上面と反対側の第１の下面；前記第１の上面の第１の入口基板ポート；前記第１の上面の第１の出口基板ポート；第１の内側へ傾斜した部分を有する第１の内面を有する第１の基板リング；第１の基板チャネル；コーナまたは角張った壁のない滑らかな弧の形態で前記第１の入口基板ポートと前記第１の出口基板ポートとの間に延びる第１の基板流体通路；複数の第１の支持壁であって、前記第１の基板ブロックの第１の側面を形成する第１の外面と、前記第１の下面に第１のキャビティを画定する第１の内面と、を含む第１の周壁、および前記第１のキャビティ内に位置する少なくとも１つの第１の内壁を備える複数の第１の支持壁；および前記第１の基板流体通路の下部を画定する前記第１のキャビティ内の第１の管壁を含み、前記少なくとも１つの第１の内壁は、前記第１の管壁に接続され、かつ前記第１の管壁から下方に延在し、前記少なくとも１つの第１の内壁および前記第１の周壁は、第１の共通面に置かれかつ前記第１の基板ブロックの第１の下面を形成する第１の下縁で終端する、一体に形成された部品としての第１の基板ブロックと、 前記背面の前記上面に設けられた第２の基板ブロックであって、第２の上面；前記第２の上面と反対側の第２の下面；前記第２の上面の第２の入口基板ポート；前記第２の上面の第２の出口基板ポート；第２の内側へ傾斜した部分を有する第２の内面を有する第２の基板リング；第２の基板チャネル；コーナまたは角張った壁のない滑らかな弧の形態で前記第２の入口基板ポートと前記第２の出口基板ポートとの間に延びる第２の基板流体通路；複数の第２の支持壁であって、前記第２の基板ブロックの第２の側面を形成する第２の外面と、前記第２の下面に第２のキャビティを画定する第２の内面と、を含む第２の周壁、および前記第２のキャビティ内に位置する少なくとも１つの第２の内壁を備える複数の第２の支持壁；および前記第２基板流体通路の下部を画定する前記第２のキャビティ内の第２の管壁を含み、前記少なくとも１つの第２の内壁は、前記第２の管壁に接続され、かつ前記第２の管壁から下方に延在し、前記少なくとも１つの第２の内壁および前記第２の周壁は、第２の共通面に置かれかつ前記第２の基板ブロックの第２の下面を形成する第２の下縁で終端する、一体に形成された部品としての第２の基板ブロックと、 流量制御器、圧力変換器、流量測定センサ、圧力調整器、弁、および流量計からなる群から選択される能動構成要素であって、下面；前記下面の構成要素入口ポート；前記下面の構成要素出口ポート；構成要素リング；構成要素チャネル；および前記構成要素入口ポートから前記構成要素出口ポートまで延びる構成要素流体通路を含む、能動構成要素と、 第１のシールリングおよび第２のシールリングであって、前記第１のシールリングおよび第２のシールリングはそれぞれ内部スリーブおよび外リングを有し、前記内部スリーブは、長手方向軸に沿って延びるスリーブ流体通路を画定し、前記外リングは、前記内部スリーブに接続され、かつ前記内部スリーブを囲んで、（１）前記外リングの上部と前記内部スリーブの上部との間に環状上部スリーブ溝が形成され、そして（２）前記外リングの下部と前記内部スリーブの下部との間に環状下部スリーブ溝が形成され、そして前記内部スリーブの上部は、外側へ傾斜した部分を含む外面を有し、前記内部スリーブの下部は、外側へ傾斜した部分を含む外面を有する、第１のシールリングおよび第２のシールリングと、 を備え、 前記第１の出口基板ポートおよび前記第１の入口基板ポートはそれぞれ前記第１の基板リングによって形成され、 前記第１の出口基板ポートおよび前記第１の入口基板ポートそれぞれにおいて、前記第１の基板チャネルが前記第１の上面に形成され、前記第１の基板リングを取り囲み、前記第１の基板リングの外面は前記第１の基板チャネルの内面を形成し、 前記第２の出口基板ポートおよび前記第２の入口基板ポートはそれぞれ前記第２の基板リングによって形成され、 前記第２の出口基板ポートおよび前記第２の入口基板ポートそれぞれにおいて、前記第２の基板チャネルが前記第２の上面に形成され、前記第２の基板リングを取り囲み、前記第２の基板リングの外面は前記第２の基板チャネルの内面を形成し、 前記構成要素入口ポートおよび前記構成要素出口ポートはそれぞれ前記構成要素リングによって形成され、前記構成要素入口ポートおよび前記構成要素出口ポートそれぞれにおいて、前記構成要素チャネルは、前記能動構成要素の前記下面に形成され、前記構成要素リングを取り囲み、前記構成要素リングの外面は前記構成要素チャネルの内面を形成し、 前記能動構成要素は、前記第１の基板ブロックおよび前記第２の基板ブロックに設けられ、それらを繋げて、（１）前記第１の出口基板ポートと前記構成要素入口ポートが位置合わせされ、前記第１の上面と前記下面との間に水平界面が形成され、かつ前記第１のシールリングは、前記第１の出口基板ポートおよび前記構成要素入口ポートのそれぞれを取り囲み、前記第１の基板流体通路および前記構成要素流体通路を流体的にシールし、前記第１のシールリングは、前記第１のシールリングの前記外リングが前記構成要素チャネルと前記第１の基板チャネルのそれぞれの内部で垂直方向の干渉がなく、水平方向に圧縮されるようにサイズ決定され、（２）前記第２の入口基板ポートと前記構成要素出口ポートが位置合わせされ、前記第２の上面と前記下面との間に水平界面が形成され、かつ前記第２のシールリングは、前記第２の入口基板ポートおよび前記構成要素出口ポートのそれぞれを取り囲み、前記第２の基板流体通路および前記構成要素流体通路を流体的にシールし、前記第２のシールリングは、前記第２のシールリングの前記外リングが前記構成要素チャネルと前記第２の基板チャネルのそれぞれの内部で垂直方向の干渉がなく、水平方向に圧縮されるようにサイズ決定され、（３）前記能動構成要素は、前記背面から離間して分離され、 前記第１のシールリングは、前記外リングから半径方向内側に延びるウェブをさらに備え、前記ウェブは垂直方向に圧縮されず、 前記第１のシールリングの前記外リングは、前記各第１の基板チャネルおよび前記構成要素チャネルの内部へ延び、前記基板チャネルおよび前記構成要素チャネルの側壁が、前記外リングを水平方向に圧縮し、 前記ウェブは、前記基板リングと前記構成要素リングとの間に配置され、 前記第１のシールリングおよび前記第２のシールリングそれぞれにおいて、前記内部スリーブは水平面を有さない、流体送達システム。 【請求項１５】 流体送達システムであって、 背面と、 前記背面の上面に設けられた第１の基板ブロックであって、第１の上面；前記第１の上面と反対側の第１の下面；前記第１の上面の第１の入口基板ポート；前記第１の上面の第１の出口基板ポート；第１の内側へ傾斜した部分を有する第１の内面を有する第１の基板リング；コーナまたは角張った壁のない滑らかな弧の形態で前記第１の入口基板ポートと前記第１の出口基板ポートとの間に延びる第１の基板流体通路；複数の第１の支持壁であって、前記第１の基板ブロックの第１の側面を形成する第１の外面と、前記第１の下面に第１のキャビティを画定する第１の内面と、を含む第１の周壁、および前記第１のキャビティ内に位置する少なくとも１つの第１の内壁を備える複数の第１の支持壁；および前記第１の基板流体通路の下部を画定する前記第１のキャビティ内の第１の管壁を含み、前記少なくとも１つの第１の内壁は、前記第１の管壁に接続され、かつ前記第１の管壁から下方に延在し、前記少なくとも１つの第１の内壁および前記第１の周壁は、第１の共通面に置かれかつ前記第１の基板ブロックの第１の下面を形成する第１の下縁で終端する、一体に形成された部品としての第１の基板ブロックと、 前記背面の前記上面に設けられた第２の基板ブロックであって、第２の上面；前記第２の上面と反対側の第２の下面；前記第２の上面の第２の入口基板ポート；および前記第２の上面の第２の出口基板ポート；第２の内側へ傾斜した部分を有する第２の内面を有する第２の基板リング；コーナまたは角張った壁のない滑らかな弧の形態で前記第２の入口基板ポートと前記第２の出口基板ポートとの間に延びる第２の基板流体通路；複数の第２の支持壁であって、前記第２の基板ブロックの第２の側面を形成する第２の外面と、前記第２の下面に第２のキャビティを画定する第２の内面と、を含む第２の周壁、および前記第２のキャビティ内に位置する少なくとも１つの第２の内壁を備える複数の第２の支持壁；および前記第２基板流体通路の下部を画定する前記第２のキャビティ内の第２の管壁を含み、前記少なくとも１つの第２の内壁は、前記第２の管壁に接続され、かつ前記第２の管壁から下方に延在し、前記少なくとも１つの第２の内壁および前記第２の周壁は、第２の共通面に置かれかつ前記第２の基板ブロックの第２の下面を形成する第２の下縁で終端する、一体に形成された部品としての第２の基板ブロックと、 流量制御器、圧力変換器、流量測定センサ、圧力調整器、弁、および流量計からなる群から選択される能動構成要素であって、下面；前記下面の構成要素入口ポート；前記下面の構成要素出口ポート；構成要素リング；および前記構成要素入口ポートから前記構成要素出口ポートまで延びる構成要素流体通路を含む、能動構成要素と、 第１のシールリングおよび第２のシールリングであって、前記第１のシールリングおよび第２のシールリングはそれぞれ内部スリーブおよび外リングを有し、前記内部スリーブは、長手方向軸に沿って延びるスリーブ流体通路を画定し、前記外リングは、前記内部スリーブに接続され、かつ前記内部スリーブを囲んで、（１）前記外リングの上部と前記内部スリーブの上部との間に環状上部スリーブ溝が形成され、そして（２）前記外リングの下部と前記内部スリーブの下部との間に環状下部スリーブ溝が形成され、そして前記内部スリーブの上部は、外側へ傾斜した部分を含む外面を有し、前記内部スリーブの下部は、外側へ傾斜した部分を含む外面を有する、第１のシールリングおよび第２のシールリングと、 を備え、前記第１の出口基板ポートおよび前記第１の入口基板ポートはそれぞれ前記第１の基板リングによって形成され、 前記第１の出口基板ポートおよび前記第１の入口基板ポートそれぞれにおいて、第１の基板チャネルが前記第１の上面に形成され、前記第１の基板リングを取り囲み、前記第１の基板リングの外面は前記第１の基板チャネルの内面を形成し、 前記第２の出口基板ポートおよび前記第２の入口基板ポートはそれぞれ第２の内側へ傾斜した部分を有する第２の内面を有する前記第２の基板ブロックの第２の基板リングによって形成され、 前記第２の出口基板ポートおよび前記第２の入口基板ポートそれぞれにおいて、第２の基板チャネルが前記第２の上面に形成され、前記第２の基板リングを取り囲み、前記第２の基板リングの外面は前記第２の基板チャネルの内面を形成し、 前記構成要素入口ポートおよび前記構成要素出口ポートはそれぞれ前記構成要素リングによって形成され、前記構成要素入口ポートおよび前記構成要素出口ポートそれぞれにおいて、構成要素チャネルは、前記能動構成要素の前記下面に形成され、前記構成要素リングを囲み、前記構成要素リングの外面は前記構成要素チャネルの内面を形成し、 前記能動構成要素は、前記第１の基板ブロックおよび前記第２の基板ブロックに設けられ、それらを繋げて、（１）前記第１の出口基板ポートと前記構成要素入口ポートが位置合わせされ、前記第１の上面と前記下面との間に水平界面が形成され、かつ前記第１のシールリングは、前記第１の出口基板ポートおよび前記構成要素入口ポートのそれぞれを取り囲み、前記第１の基板流体通路および前記構成要素流体通路を流体的にシールし、前記第１のシールリングは、前記第１のシールリングの前記外リングが前記構成要素チャネルと前記第１の基板チャネルのそれぞれの内部で垂直方向の干渉がなく、水平方向に圧縮されるようにサイズ決定され、（２）前記第２の入口基板ポートと前記構成要素出口ポートが位置合わせされ、前記第２の上面と前記下面との間に水平界面が形成され、かつ前記第２のシールリングは、前記第２の入口基板ポートおよび前記構成要素出口ポートのそれぞれを取り囲み、前記第２の基板流体通路および前記構成要素流体通路を流体的にシールし、前記第２のシールリングは、前記第２のシールリングの前記外リングが前記構成要素チャネルと前記第２の基板チャネルのそれぞれの内部で垂直方向の干渉がなく、水平方向に圧縮されるようにサイズ決定され、（３）前記能動構成要素は、前記背面から離間して分離され、 前記構成要素リングは、前記第１のシールリングの前記内部スリーブの上部の前記外側へ傾斜した部分と結合してそれに圧縮力を及ぼす内側へ傾斜した部分を有する内面を備え、前記第１の基板リングは、前記第１のシールリングの前記内部スリーブの下部の前記外側 へ傾斜した部分と結合してそれに圧縮力を及ぼす内側へ傾斜した部分を有する内面を備え、 前記第１のシールリングおよび前記第２のシールリングそれぞれにおいて、 前記内部スリーブが水平面を有さず、 前記内部スリーブの上部は、内側へ傾斜した部分を含む内面を有し、前記内部スリーブの下部は、内側へ傾斜した部分を含む内面を有し、 前記内部スリーブの前記上部の前記内面の前記内側へ傾斜した部分の傾斜は、前記スリーブ流体通路の前記長手方向軸に対して前記内部スリーブの前記上部の前記外面の前記外側へ傾斜した部分の傾斜よりも大きい角度であり、前記内部スリーブの前記下部の前記内面の前記内側へ傾斜した部分の傾斜は、前記スリーブ流体通路の前記長手方向軸に対して前記内部スリーブの前記下部の前記外面の前記外側へ傾斜した部分の傾斜よりも大きい角度であり、 前記内部スリーブは、前記内部スリーブの頂部から前記内部スリーブの底部まで延びる第１の高さを有し、前記外リングは、前記外リングの頂部から底部まで延びる第２の高さを有し、前記第１の高さが前記第２の高さよりも高い、液体送達システム。 【請求項１６】 前記第１の基板ブロック、前記第２の基板ブロック、前記第１のシールリング、および前記第２のシールリングは、フッ素ポリマーからなる、請求項１に記載の流体送達システム。 【請求項１７】 （削除） 」 第４ 取消理由の概要 当審が令和６年１２月１０日付け取消理由通知書（決定の予告）で通知した取消理由の概要は、以下のとおりである。 理由１（進歩性） 本件特許の請求項１ないし１１、１６及び１７に係る発明は、本件特許の原出願の出願前に日本国内又は外国において、頒布された下記の刊行物に記載された発明又は電気通信回線を通じて公衆に利用可能となった発明に基いて、その出願前にその発明の属する技術の分野における通常の知識を有する者（以下「当業者」という。）が容易に発明をすることができたものであるから、本件特許の請求項１ないし１１、１６及び１７に係る特許は、特許法第２９条第２項の規定に違反してされたものである。 理由２（明確性） 本件特許は、特許請求の範囲の記載が下記の点で不備のため、特許法第３６条第６項第２号に規定する要件を満たしていない特許出願に対してされたものである。 理由３（新規事項） 本件特許は、令和４年４月１５日に提出した手続補正書でした補正が、下記の点で、願書に最初に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面（以下、「当初明細書等」という。）に記載した事項の範囲内においてしたものでないから、特許法第１７条の２第３項に規定する要件を満たしていない補正をした特許出願に対してされたものである。 記 ●理由１（進歩性）について 本件特許の請求項１ないし１１、１６及び１７に係る発明は、下記の引用文献等に記載された発明に基いて、当業者が容易に発明をすることができたものである。 ＜引用文献等一覧＞ １．特開２００７－１３９１９６号公報（申立人Ａ及び申立人Ｂが提出した甲第１号証。以下「引用文献１」という。） ２．特開２００５－１４０２３０号公報（申立人Ａ及び申立人Ｂが提出した甲第２号証。以下「引用文献２」という。） ３．特開２０１６－７０３８６号公報（申立人Ａが提出した甲第３号証；周知技術を示す文献。以下「引用文献３」という。） ４．特許第５８８３９０７号公報（申立人Ａが提出した甲第４号証；周知技術を示す文献。以下「引用文献４」という。） ５．特開２０００－１４６０５１号公報（申立人Ａが提出した甲第５号証、申立人Ｂが提出した甲第３号証。以下「引用文献５」という。） ●理由２（明確性）について 請求項１５ないし１７に係る発明は明確でない。 ●理由３（新規事項）について 請求項１７の「前記第１の基板流体通路が、実質的に一定の半径を有する」との事項は、当初明細書等に記載されたものではない。 第５ 理由１（進歩性）についての当審の判断 １ 引用発明、引用文献に記載の事項等 （１）引用文献１ 引用文献１には、以下の事項が記載されている（下線は、理解の一助のために当審が付与した。以下同様。）。 ア 「【０００１】 本発明は、半導体製造工程で使用される薬液弁等を連通させるための流路ブロックに関する発明である。」 イ 「【０００５】 そこで本発明は、かかる課題を解決すべく、薬液弁を流路ブロックに取り付けた薬液供給ユニットを実現するために使用される流路ブロックを提供することを目的とする。」 ウ 「【００１２】 チューブ部材３０をブロック部材２０に装着する際に、ブロック部材２０の凹部２４の半径Ｒの寸法が重要になるが、それは次のように決める。すなわち、図１に示すようにチューブ部材３０がブロック部材２０に装着され、チューブ側係合部３３の側面３４とブロック部材２０の環状溝部２３の端面２５を当接させたとき、ブロック部材２０の凹部２４の最下部で、凹部２４と管状チューブ３２との間に隙間ｃができるように、凹部２４の半径Ｒを決める。但し、隙間ｃは少ない方が望ましい。凹部２４の溝幅Ｗはチューブ部材３０が容易に装着できるように、チューブ部材３０の管状チューブ３２の直径ｄより大きくするが、溝幅Ｗと管状チューブ３２の直径ｄとの隙間は少ない方が望ましい。 こうして、図１に示すように構成された流路ブロック１０は、図１３に示す薬液弁５０と共に使用される。使用に際しては、各ポート３６に薬液が外部に漏れるのを防ぐためにシール部材が取り付けられる。図１３におけるシール部材の取り付けの詳細は、Oリング６４の場合を図１４に、角リング６４’の場合を図１５に示す。 【００１３】 このように設けられた本発明の第1実施例に係る流路ブロック１０の作動及びその作用効果について説明する。図１３は本発明の流路ブロック１０が薬液の供給装置の機器の一つである薬液弁５０と共に使用される具体例を示す。具体例を薬液弁５０で説明するが、本発明の流路ブロック１０は、フィルタなどその他様々な機器と使用される。 ボディ５１はピストン５３が摺動可能をなすシリンダ５２を有する。ピストン５３の上部には、復帰バネ５４がピストン５３を下方に付勢する。ピストン５３は下部に位置するダイヤフラム弁体５５を一体的に軸方向に移動可能になるように保持する。ダイヤフラム弁体５５は弁座５６に対して当接または離間するように保持される。ピストン５３の上部、ボディ５１およびボディカバー５８により囲まれた室５９は、ピストン５３の軸方向の移動に伴い変化する容積に対して、大気圧を維持するように図示しないポートから吸気および排気する。ボディ５１のシリンダ５２とピストン５３により囲まれた圧力室５７には、ダイヤフラム弁体５５を弁座５６に対して当接または離間するように、図示しないポートから電磁弁により、エア圧力が供給または停止される。圧力室５７にエア圧力が供給されていない場合は、復帰バネ５４の付勢力により、ピストン５３を介してダイヤフラム弁体５５が弁座５６に当接する。ダイヤフラム弁体５５と弁座５６の当接により、左の流路ブロック１０Aと連通する薬液弁の連通路６１が、右の流路ブロック１０Bと連通する薬液弁の連通路６２と連通を閉じている。」 エ 「【００２０】 本発明に係る流路ブロックの第３実施例は、連通路を含めて樹脂で一体成形する流路ブロックについてであり、図９、図１０及び図１１で説明する。図９は流路ブロック１０’の平面図、図１０はＣ－Ｃ断面図及び図１１は樹脂成形の入れ子型を示す。図９に示すように、２つのポート４１間の中心は、流路ブロック１０’の長手方向にｘのズレをもって設けられ、２つのポート４１は連通路４２と連通する。ここで、２つのポート４１の中心のズレ量ｘは、成形を容易にするために一定量以上にすることが必要である。第３実施例は、第１及び第２実施例にあるチューブ部材がないが、流路の形状は同様であるので、流路ブロックとして差がなく、その他の説明は省略する。」 オ 「【００２７】 本発明に係る流路ブロックの第７実施例はまた、第３実施例と同様に連通路を含めて樹脂で一体成形する流路ブロック１１である。図２２は第７実施例の製造過程を示す。まず、最初に２つのポート４１’と曲線状の連通路４２’を含んだ形状の入れ子型４６を水溶性の樹脂材料、即ち水、アルコール等の溶剤に溶解して除去が可能な材料で製作する。水溶性の樹脂材料としては、例えば日本合成化学工業株式会社製の「エコマティＡＸ」がある。次に、入れ子型４６を使用して流路ブロック１１を樹脂成形する。成形後の入れ子型４６を含んだ成形品を図２２(a)に示す。次に、図２２(b)に示すように、入れ子型４６を含んだ成形品を水、アルコール等の溶剤に浸漬し、流路ブロック１１の成形品から入れ子型４６を水、アルコール等の溶剤で溶解させて除去する。図２２(c)に入れ子型４６が取り除かれた流路ブロック１１を示す。」 カ 「【図１】 ［図：0001431087000001.jpg］ 」 キ 「【図１３】 ［図：0001431087000002.jpg］ 」 ク 「【図２２】 ［図：0001431087000003.jpg］ 」 ケ 図２２から、流路ブロック１１は、上面及び前記上面と反対側の下面を有すること、ポート４１’は、流路ブロック１１の上面にあることが看取できる。 コ 上記エ及びオから、図１３における、流路ブロック１０Ａ及び流路ブロック１０Ｂは、図２２の流路ブロック１１に置き換えることができることがわかる。その場合、一方の流路ブロック１１は、「第１の流路ブロック１１」ということができ、他方の流路ブロック１１は、「第２の流路ブロック１１」ということができる。さらに、一方の流路ブロック１１の一方のポート４１’は、「第１の入口ポート４１’」ということができ、他方のポート４１’は「第１の出口ポート４１’」ということができ、曲線状の連通路４２’は「第１の曲線状の連通路４２’」ということができる。さらに、他方の流路ブロック１１の一方のポート４１’は、「第２の入口ポート４１’」ということができ、他方のポート４１’は、「第２の出口ポート４１’」ということができ、曲線状の連通路４２’は「第２の曲線状の連通路４２’」ということができる。 サ 上記オから、流路ブロック１１は「一体に形成された部品」ということができる。 シ 図１３から、図１３の薬液弁５０に入口ポート及び出口ポートがあることが自明であり、これらは、それぞれ、「薬液弁入口ポート」及び「薬液弁出口ポート」ということができる。そして、図１３から、連通路６１、６２は、薬液弁入口ポートから薬液弁出口ポートまで延びていることが看取できる。 ス 上記ウ（段落【００１２】）及びキから、薬液供給ユニットは、第１のシール部材及び第２のシール部材を備えているといえる。 そして、薬液弁５０は、第１の流路ブロック１１および第２の流路ブロック１１に設けられ、それらを繋げて、第１の出口ポート４１’と薬液弁入口ポートが位置合わせされ、第１のシール部材は、第１の曲線状の連通路４２’および連通路６１、６２を流体的にシールし；第２の入口ポート４１’と薬液弁出口ポートが位置合わせされ、かつ第２のシール部材は、第２の曲線状の連通路４２’および前記連通路６１、６２を流体的にシールしているといえる。 以上より、引用文献１には、次の発明（以下「引用発明」という。）が記載されている。 〔引用発明〕 「薬液供給ユニットであって、 第１の流路ブロック１１であって、第１の上面；前記第１の上面と反対側の第１の下面；前記第１の上面の第１の入口ポート４１’；前記第１の上面の第１の出口ポート４１’；および前記第１の入口ポート４１’と前記第１の出口ポート４１’との間に延びる曲線状の連通路４２’を含む、一体に形成された部品としての第１の流路ブロック１１と、 第２の流路ブロック１１であって、第２の上面；前記第２の上面と反対側の第２の下面；前記第２の上面の第２の入口ポート４１’；前記第２の上面の第２の出口ポート４１’；および前記第２の入口ポート４１’と前記第２の出口ポート４１’との間に延びる曲線状の連通路４２’を含む、一体に形成された部品としての第２の流路ブロック１１と、 薬液弁５０であって、下面；前記下面の薬液弁入口ポート；前記下面の薬液弁出口ポート；前記薬液弁入口ポートから前記薬液弁出口ポートまで延びる連通路６１、６２を含む、薬液弁５０と、 第１のシール部材および第２のシール部材と、を備え、前記薬液弁５０は、前記第１の流路ブロック１１および前記第２の流路ブロック１１に設けられ、それらを繋げて、前記第１の出口ポート４１’と前記薬液弁入口ポートが位置合わせされ、前記第１のシール部材は、前記第１の曲線状の連通路４２’および前記連通路６１、６２を流体的にシールし；前記第２の入口ポート４１’と前記薬液弁出口ポートが位置合わせされ、かつ前記第２のシール部材は、前記第２の曲線状の連通路４２’および前記連通路６１、６２を流体的にシールしている、薬液供給ユニット。」 （２）引用文献２ 引用文献２には、以下の事項が記載されている。 ア 「【技術分野】 【０００１】 この発明は、流体用機器に係り、その接続部のシール構造に関する。」 イ 「【００１７】 図１に、本発明の流体用機器としてのマニホールドタイプの薬液弁１を断面図により示す。図２に、その薬液弁１を分解断面図により示す。この薬液弁１は、マウンティングプレート２と、同プレート２上に固定された樹脂よりなるマニホールドベース３と、同ベース３上に固定された樹脂よりなるバルブ部４とを備える。この実施形態では、マニホールドベース３とバルブ部４を互いに接続することにより薬液弁１が構成される。この実施形態では、マニホールドベース３が本発明の第１の部品に相当し、バルブ部４が本発明の第２の部品に相当する。この実施形態では、マニホールドベース３及びバルブ部４の流路ブロック９はともに、ＰＴＦＥより形成される。」 ウ 「【００２０】 マニホールドベース３の接続部７と流路ブロック９の接続部１９との間には、本発明の樹脂よりなるシール部品としてのＨ形リング２０が介在される。この実施形態で、Ｈ形リング２０は、ＰＴＦＥよりやや硬いＰＦＡにより形成される。」 エ 「【００４２】 ［第４の実施形態］ 次に、本発明の流体用機器の接続部シール構造を具体化した第４の実施形態を図面を参照して詳細に説明する。 【００４３】 この実施形態では、第１の実施形態の接続部シール構造の変形例について説明する。図１４に、マニホールドベース３及び流路ブロック９の接続部７，１９を拡大断面図により示す。図１５に、その接続部７，１９を分解して拡大断面図により示す。樹脂よりなるマニホールドベース３の接続部７と、樹脂よりなる流路ブロック９の接続部１９との間には、樹脂よりなるリング状のシール部品８１が介在する。マニホールドベース３の接続部７とシール部品８１の対応部位には、互いに凹凸の関係で嵌合する凹凸条８２，８３がそれぞれ形成される。流路ブロック９の接続部１９とシール部品８１の対応部位には、互いに凹凸の関係で嵌合する凹凸条８４，８５がそれぞれ形成される。この実施形態で、マニホールドベース３の凹凸条８２は、流路口６を中心に形成された周溝８２ａと、その周溝８２ａの内側にて流路口６を中心に形成された袖部８２ｂとを含む形状をなす。流路口６に連なる袖部８２ｂの開口はテーパ面８２ｃとなっている。また、流路ブロック９の凹凸条８４は、流路口１８を中心に形成された周溝８４ａと、その周溝８４ａの内側にて流路口１８を中心に形成された袖部８４ｂとを含む形状をなす。流路口１８に連なる袖部８４ｂの開口はテーパ面８４ｃとなっている。 【００４４】 マニホールドベース３の凹凸条８２に対応するシール部品８１の凹凸条８３は、上記した周溝８２ａに圧入される周凸条８３ａと、その周凸条８３ａの内側に位置し、上記した袖部８２ｂが圧入される周凹条８３ｂとを含む形状をなす。周凹条８３ｂは、袖部８２ｂのテーパ面８２ｃに整合するテーパ面８３ｃを有する。同じく、流路ブロック９の凹凸条８４に対応するシール部品８１の凹凸条８５は、上記した周溝８４ａに圧入される周凸条８５ａと、その周凸条８５ａの内側に位置し、上記した袖部８４ｂが圧入される周凹条８５ｂとを含む形状をなす。周凹条８５ｂは、袖部８４ｂのテーパ８４ｃに整合するテーパ面８５ｃを有する。 【００４５】 この実施形態では、シール部品８１の各周凸条８３ａ，８５ａの肉厚方向（半径方向）内側には、圧入代８７が設けられる。すなわち、この実施形態では、各凹凸条８２，８４の周溝８２ａ，８４ａの幅Ｗ２１よりもシール部品８１の各周凸条８３ａ，８５ａの根元部分の幅Ｗ２２の方が若干大きく設定される。そして、それら幅Ｗ２１，Ｗ２２の差が各周凸条８３ａ，８５ａの圧入代８７となっている。 【００４６】 従って、この実施形態では、マニホールドベース３及びシール部品８１の両凹凸条８２，８３が互いに嵌合するとき、袖部８２ｂのテーパ面８２ｃと周凹条８３ｂのテーパ面８３ｃとが互いに圧接することで、周凸条８３ａの圧入代８７が周溝８２ａの中で締まり嵌めされる。同様に、流路ブロック９及びシール部品８１の両凹凸条８４，８５が互いに嵌合するとき、袖部８４ｂのテーパ面８４ｃと周凹条８５ｂのテーパ面８５ｃとが互いに圧接することで、周凸条８５ａの圧入代８７が周溝８４ａの中で締まり嵌めされる。これにより、マニホールドベース３及びバルブ部４の接続部７，１９が互いにシール部品８１を介してシールされる。この結果、この実施形態でも、第１の実施形態と同様の効果を得ることができる。」 オ 「【図１】 ［図：0001431087000004.jpg］ カ 「【図１４】 ［図：0001431087000005.jpg］ 」 キ 「【図１５】 ［図：0001431087000006.jpg］ 」 以上より、引用文献２には、次の事項（以下「引用文献２記載事項１」及び「引用文献２記載事項２」という。）が記載されている。 〔引用文献２記載事項１〕 「マウンティングプレート２と、マウンティングプレート２上に固定されたＰＴＦＥ樹脂よりなるマニホールドベース３と、マニホールドベース３上に固定されたＰＴＦＥ樹脂よりなるバルブ部４とを備える薬液弁１。」 〔引用文献２記載事項２〕 「マニホールドベース３の接続部７と、バルブ部４の流路ブロック９の接続部１９との間にリング状のシール部品８１が介在し、 マニホールドベース３の接続部７とシール部品８１の対応部位には、互いに凹凸の関係で嵌合する凹凸条８２，８３がそれぞれ形成され、 流路ブロック９の接続部１９とシール部品８１の対応部位には、互いに凹凸の関係で嵌合する凹凸条８４，８５がそれぞれ形成され、 マニホールドベース３の凹凸条８２は、流路口６を中心に形成された周溝８２ａと、その周溝８２ａの内側にて流路口６を中心に形成された袖部８２ｂとを含む形状をなし、流路口６に連なる袖部８２ｂの開口はテーパ面８２ｃとなっており、 流路ブロック９の凹凸条８４は、流路口１８を中心に形成された周溝８４ａと、その周溝８４ａの内側にて流路口１８を中心に形成された袖部８４ｂとを含む形状をなし、流路口１８に連なる袖部８４ｂの開口はテーパ面８４ｃとなっており、 マニホールドベース３の凹凸条８２に対応するシール部品８１の凹凸条８３は、周溝８２ａに圧入される周凸条８３ａと、その周凸条８３ａの内側に位置し、袖部８２ｂが圧入される周凹条８３ｂとを含む形状をなし、周凹条８３ｂは、袖部８２ｂのテーパ面８２ｃに整合するテーパ面８３ｃを有し、 流路ブロック９の凹凸条８４に対応するシール部品８１の凹凸条８５は、周溝８４ａに圧入される周凸条８５ａと、その周凸条８５ａの内側に位置し、袖部８４ｂが圧入される周凹条８５ｂとを含む形状をなし、周凹条８５ｂは、袖部８４ｂのテーパ面８４ｃに整合するテーパ面８５ｃを有し、 シール部品８１の各周凸条８３ａ，８５ａの肉厚方向（半径方向）内側には、圧入代８７が設けられ、マニホールドベース３及びシール部品８１の両凹凸条８２，８３が互いに嵌合するとき、袖部８２ｂのテーパ面８２ｃと周凹条８３ｂのテーパ面８３ｃとが互いに圧接することで、周凸条８３ａの圧入代８７が周溝８２ａの中で締まり嵌めされ、流路ブロック９及びシール部品８１の両凹凸条８４，８５が互いに嵌合するとき、袖部８４ｂのテーパ面８４ｃと周凹条８５ｂのテーパ面８５ｃとが互いに圧接することで、周凸条８５ａの圧入代８７が周溝８４ａの中で締まり嵌めされ、これにより、マニホールドベース３及びバルブ部４の接続部７，１９が互いにシール部品８１を介してシールされること。」 （３）引用文献３ 引用文献３には、以下の事項が記載されている。 ア 「【００３９】 前記スリーブ４は、嵌合部２５と、連結部２６と、差込部２７と、規制部２８とを備えている。前記スリーブ４は、前記連結部２６により前記チューブ２と連結された状態で前記継手本体３に対して接続又は脱離可能に構成されている。本実施形態において、前記スリーブ４は、具体的には、ＰＦＡを用いて製造されている。」 イ 「【００４５】 前記規制部２８は、筒状のものであり、前記差込部２７の径方向内方に配置されている。前記規制部２８は、その突出端２９が前記差込部２７の突出端３０よりも前記嵌合部２５側に位置するように前記嵌合部２５から前記差込部２７と同方向へ突設されている。」 ウ 「【００５２】 そして、前記差込部２７を前記溝部２０に圧入することによって、前記チューブ２と連結済みの前記スリーブ４を、前記チューブ２の流路３２が前記流路１４・１８に連通するように前記継手本体３に接続させる。最後に、前記締結具５を用いて前記チューブ２を前記継手本体３に締結する。」 エ 「【図１】及び【図２】 ［図：0001431087000007.jpg］ 」 オ 「【図４】 ［図：0001431087000008.jpg］ 」 カ 図２及び４から、スリーブ４の規制部２８の突出端２９の流路１４、１８側がテーパ状となっていることが看取できる。 以上より、引用文献３には、次の事項（以下「引用文献３記載事項」という。）が記載されている。 〔引用文献３記載事項〕 「スリーブ４の規制部２８の突出端２９の流路１４、１８側をテーパ状とすること。」 （４）引用文献４ 引用文献４には、以下の事項が記載されている。 ア 「【００７０】 また、本実施形態においては、図１、図２、図３に示すように、前記スリーブ４は、規制部３８を有している。 【００７１】 前記規制部３８は、筒状のものであり、前記差込部２７の径方向内方に配置されている。前記規制部３８は、その突出端２９が前記差込部２７の突出端３０よりも前記嵌合部２５側に位置するように前記嵌合部２５から前記差込部２７と同方向へ突設されている。 【００７２】 前記規制部３８は、前記差込部２７が前記継手本体３の溝部２０に前記開口部２１から前記閉塞部２２側に向かって圧入されたとき、前記内筒部１３の径方向内方に位置して、前記差込部２７により押される前記内筒部１３の径方向内方（前記流路１８側）への変形移動を規制するように構成されている。」 イ 「【図１】及び【図２】 ［図：0001431087000009.jpg］ 」 ウ 「【図３】 ［図：0001431087000010.jpg］ 」 エ 図２及び３から、スリーブ４の規制部３８の突出端２９の流路１８側がテーパ状となっていることが看取できる。 以上より、引用文献４には、次の事項（以下「引用文献４記載事項」という。）が記載されている。 〔引用文献４記載事項〕 「スリーブ４の規制部３８の突出端２９の流路１８側をテーパ状とすること。」 （３）引用文献５ 引用文献５には、以下の事項が記載されている。 ア 「【００２２】図４から図６までには、第２開閉弁(7)の好ましい実施形態を示している。 【００２３】図５に示すように、第１開閉弁(6)は、弁本体(12)の下端部に設けられた上から見て方形のフランジ部(12a)の四隅部に上方からねじ(100)がねじ込まれることにより弁取付基部(28)に結合されている。第２開閉弁(7)は、弁本体(14)の下端部に設けられた上から見て方形のフランジ部(14a)の四隅部および左右縁部の中央部に上方からねじ(100)がねじ込まれることにより弁取付基部(28)に結合されている。そして、第２開閉弁(7)の円柱状弁本体(14)の外周壁には、図４および図６に示すように、フランジ部(14a)の左右縁部の中央部にねじ込まれるねじ(100)のための垂直状のざぐり(101)が設けられている。」 イ 「【図４】 ［図：0001431087000011.jpg］ 」 ウ 「【図５】 ［図：0001431087000012.jpg］ 」 エ 「【図６】 ［図：0001431087000013.jpg］ 」 オ 「【図７】 ［図：0001431087000014.jpg］ 」 以上より、引用文献５には、次の事項（以下「引用文献５記載事項」という。）が記載されている。 〔引用文献５記載事項〕 「第１開閉弁(6)は、弁本体(12)の下端部に設けられたフランジ部(12a)の四隅部に上方からねじ(100)がねじ込まれることにより弁取付基部(28)に結合されること。」 ２ 対比及び判断 （１）本件発明１について ア 対比 本件発明１と引用発明とを対比すると、引用発明の「薬液供給ユニット」は、その機能、構成又は技術的意義からみて、本件発明１の「流体送達システム」に相当し、以下同様に、「第１の流路ブロック１１」は「第１の基板ブロック」に、「第１の入口ポート４１’」は「第１の入口基板ポート」に、「第１の出口ポート４１’」は「第１の出口基板ポート」に、「第１の曲線状の連通路４２’」は「第１の基板流体通路」に、「第１の流路ブロック１１」は「第１の基板ブロック」に、「第２の流路ブロック１１」は「第２の基板ブロック」に、「第２の入口ポート４１’」は「第２の入口基板ポート」に、「第２の出口ポート４１’」は「第２の出口基板ポート」に、「第２の曲線状の連通路４２’」は「第２の基板流体通路」に、「第２の流路ブロック１１」は「第２の基板ブロック」に、「薬液弁５０」は「流量制御器、圧力変換器、流量測定センサ、圧力調整器、弁、および流量計からなる群から選択される能動構成要素」及び「能動構成要素」に、「連通路６１、６２」は「構成要素流体通路」に、「第１のシール部材」は「第１のシールリング」に、「第２のシール部材」は「第２のシールリング」に、「薬液弁入口ポート」は「構成要素入口ポート」に、「薬液弁出口ポート」は「構成要素出口ポート」に、それぞれ相当する。 引用発明の「前記第１の入口ポート４１’と前記第１の出口ポート４１’との間に延びる曲線状の連通路４２’」は、段落【００２７】の記載事項及び図２２の図示事項から、「コーナまたは角張った壁のない滑らかな弧の形態」であるといえるから、本件発明1の「コーナまたは角張った壁のない滑らかな弧の形態で前記第１の入口基板ポートと前記第１の出口基板ポートとの間に延びる第１の基板流体通路」に相当し、同様に、「前記第２の入口ポート４１’と前記第２の出口ポート４１’との間に延びる曲線状の連通路４２’」は、本件発明１の「コーナまたは角張った壁のない滑らかな弧の形態で前記第２の入口基板ポートと前記第２の出口基板ポートとの間に延びる第２の基板流体通路」に相当する。 そうすると、本件発明１と引用発明とは、次の一致点及び相違点を有する。 〔一致点〕 「流体送達システムであって、 第１の基板ブロックであって、第１の上面；前記第１の上面と反対側の第１の下面；前記第１の上面の第１の入口基板ポート；前記第１の上面の第１の出口基板ポート；およびコーナまたは角張った壁のない滑らかな弧の形態で前記第１の入口基板ポートと前記第１の出口基板ポートとの間に延びる第１の基板流体通路を含む、一体の形成された部品としての第１の基板ブロックと、 第２の基板ブロックであって、第２の上面；前記第２の上面と反対側の第２の下面；前記第２の上面の第２の入口基板ポート；前記第２の上面の第２の出口基板ポート；およびコーナまたは角張った壁のない滑らかな弧の形態で前記第２の入口基板ポートと前記第２の出口基板ポートとの間に延びる第２の基板流体通路を含む、一体の形成された部品としての第２の基板ブロックと、 流量制御器、圧力変換器、流量測定センサ、圧力調整器、弁、および流量計からなる群から選択される能動構成要素であって、下面；前記下面の構成要素入口ポート；前記下面の構成要素出口ポート；前記構成要素入口ポートから前記構成要素出口ポートまで延びる構成要素流体通路を含む、能動構成要素と、 第１のシールリングおよび第２のシールリングと、を備え、前記能動構成要素は、前記第１の基板ブロックおよび前記第２の基板ブロックに設けられ、それらを繋げて、前記第１の出口基板ポートと前記構成要素入口ポートが位置合わせされ、前記第１のシールリングは、前記第１の基板流体通路および前記構成要素流体通路を流体的にシールし；前記第２の入口基板ポートと前記構成要素出口ポートが位置合わせされ、かつ前記第２のシールリングは、前記第２の基板流体通路および前記構成要素流体通路を流体的にシールしている、流体送達システム。」 〔相違点１Ａ〕 本件発明１は、「背面」を備え、第１の基板ブロック及び第２の基板ブロックが「背面の上面に設けられ」、能動構成要素は、「背面から離間して分離されている」のに対して、引用発明は、背面を備えるのか不明な点。 〔相違点１Ｂ〕 本件発明１は、第１の基板ブロックが「複数の第１の支持壁であって、前記第１の基板ブロックの第１の側面を形成する第１の外面と、前記第１の下面に第１のキャビティを画定する第１の内面と、を含む第１の周壁、および前記第１のキャビティ内に位置する少なくとも１つの第１の内壁を備える複数の第１の支持壁；および前記第１の基板流体通路の下部を画定する前記第１のキャビティ内の第１の管壁を含み；前記少なくとも１つの第１の内壁は、前記第１の管壁に接続され、かつ前記第１の管壁から延在」するものであり、第２の基板ブロックが「複数の第２の支持壁であって、前記第２の基板ブロックの第２の側面を形成する第２の外面と、前記第２の下面に第２のキャビティを画定する第２の内面と、を含む第２の周壁、および前記第２のキャビティ内に位置する少なくとも１つの第２の内壁を備える複数の第２の支持壁；および前記第２の基板流体通路の下部を画定する前記第２のキャビティ内の第２の管壁を含み；前記少なくとも１つの第２の内壁は、前記第２の管壁に接続され、かつ前記第２の管壁から延在」するものであるのに対して、 引用発明は、そのような事項を備えていない点。 〔相違点１Ｃ〕 本件発明１は、 「前記第１の入口基板ポートおよび前記第１の出口基板ポートはそれぞれ第１の内側へ傾斜した部分を有する第１の内面を有する第１の基板リングによって形成され；前記第１の出口基板ポートおよび前記第１の入口基板ポートそれぞれについて、前記第１の基板チャネルは、前記第１の上面に形成され、前記第１の基板リングを囲み；前記第１の基板リングの外面は前記第１の基板チャネルの内面を形成」し、「前記第２の入口基板ポートおよび前記第２の出口基板ポートはそれぞれ第２の内側へ傾斜した部分を有する第２の内面を有する第２の基板リングによって形成され；前記第２の出口基板ポートおよび前記第２の入口基板ポートそれぞれについて、前記第２の基板チャネルは、前記第２の上面に形成され、前記第２の基板リングを囲み；前記第２の基板リングの外面は前記第２の基板チャネルの内面を形成」し、 「前記構成要素入口ポートおよび前記構成要素出口ポートはそれぞれ構成要素リングによって形成され；前記構成要素入口ポートおよび前記構成要素出口ポートそれぞれについて、構成要素チャネルは、前記能動構成要素の前記下面に形成され、前記構成要素リングを囲み、前記第１の構成要素リングの外面は、前記構成要素チャネルの内面を形成」し、 「前記第１のシールリングおよび第２のシールリングはそれぞれ長手方向軸に沿って延びるスリーブ流体通路を形成する内部スリーブ；および前記内部スリーブに接続され、かつそれを取り囲む外リングであって、（１）環状上部スリーブ溝が、前記外リングの上部と前記内部スリーブの上部との間に形成され、かつ（２）環状下部スリーブ溝が、前記外リングの下部と前記内部スリーブ下部との間に形成される、外リングを備え」、 「前記内部スリーブの上部は、外側へ傾斜した部分を含む外面を有し、前記内部スリーブの下部は、外側へ傾斜した部分を含む外面を有し、前記内部スリーブは水平面を有さず、 前記内部スリーブの上部は、内側へ傾斜した部分を含む内面を有し、前記内部スリーブの下部は、内側へ傾斜した部分を含む内面を有し、 前記内部スリーブの前記上部の前記内面の前記内側へ傾斜した部分の傾斜は、前記スリーブ流体通路の前記長手方向軸に対して前記内部スリーブの前記上部の前記外面の前記外側へ傾斜した部分の傾斜よりも大きい角度であり、前記内部スリーブの前記下部の前記内面の前記内側へ傾斜した部分の傾斜は、前記スリーブ流体通路の前記長手方向軸に対して前記内部スリーブの前記下部の外面の前記外側へ傾斜した部分の傾斜よりも大きい角度であり、 前記内部スリーブは、前記内部スリーブの頂部から前記内部スリーブの底部まで延びる第１の高さを有し、前記外リングは、前記外リングの頂部から底部まで延びる第２の高さを有し、前記第１の高さが前記第２の高さよりも高く、」 「前記第１のシールリングは、前記第１の出口基板ポートの前記第１の基板チャネルおよび前記構成要素入口ポートの前記構成要素チャネルのそれぞれに入れ子になり」、「前記第２のシールリングは、前記第２の入口基板ポートの前記第２の基板チャネルおよび前記構成要素出口ポートの前記構成要素チャネルのそれぞれに入れ子にな」るものであるのに対して、 引用発明は、そのような事項を備えていない点。 イ 判断 事案に鑑み、上記相違点１Ｂについて検討する。 引用文献２及び５の記載事項等は、上記１（２）及び（３）のとおりであって、上記相違点１Ｂに係る本件発明１の発明特定事項を開示ないし示唆するものではない。 引用文献３記載事項及び引用文献４記載事項は、シール部において流路に面する部分の端部に内側へ傾斜した内面を含む内面を形成することを開示するものの、上記相違点１Ｂに係る本件発明１の発明特定事項のように構成することを開示ないし示唆するものではない。 そうすると、引用発明において、引用文献２記載事項ないし引用文献５記載事項を組み合わせても、上記相違点１Ｂに係る本件発明１の発明特定事項とはならないから、上記相違点１Ｂに係る本件発明１の発明特定事項は、引用発明及び引用文献２記載事項ないし引用文献５記載事項に基いて、当業者が容易に想到できたとはいえない。 また、上記相違点１Ｂに係る本件発明１の発明特定事項は、申立人Ａ、Ｂが提出した他の証拠には記載も示唆もされておらず、当業者が適宜なし得た設計的事項であるいえる根拠もない。 したがって、他の相違点について検討するまでもなく、本件発明１は、引用発明及び引用文献２記載事項ないし引用文献５記載事項に基いて、当業者が容易に発明をすることができたものではない。 ウ 申立人Ａの主張について 申立人Ａは、令和６年７月２日の意見書において甲第１０ないし１３号証を示し、また、令和７年５月１９日の意見書において甲第１９ないし２５号証を示し、樹脂成形において「肉抜き」ないし「肉盗み」を行うことは周知であり、その際、必要な強度を維持するために適宜箇所にリブとして機能する内壁を設けたり、肉抜きした空洞内に管壁を露出させたり、内壁が管壁に接続されて同管壁から延在するようにさせたりすることも周知であるから、引用発明において、その「流路ブロック１１」の下面を本件発明１のように構成することは周知技術に基づいて容易になし得たことである旨主張している。 しかしながら、上記相違点１Ｂに係る本件発明１の発明特定事項は、本件明細書段落【００２９】の記載から、中実構造に比べて表面積が大きく、モジュール式基板ブロックがより高い温度に耐えることを可能にすることを目的とすると理解でき、単なる「肉抜き」ないし「肉盗み」とは技術的に異なるものであるから、引用発明の第１の基板ブロック、第２の基板ブロックについて、当該周知技術を適用したとしても、上記相違点１Ｂに係る本件発明１の発明特定事項のように、基板流体通路の下部を画定するキャビティ内の管壁を含み、内壁は前記管壁に接続され、かつ前記管壁から延在する構成とすることまで、当業者が容易に想到できたとはいえない。 したがって、申立人Ａの当該主張は採用できない。 （２）本件発明２ないし４について 本件発明２ないし４は、本件発明１を直接または間接的に引用するものであるから、本件発明１の発明特定事項を全て含むものである。 よって、上記本件発明１について述べたものと同様の理由により、本件発明２ないし４は、引用発明及び引用文献２記載事項ないし引用文献５記載事項に基いて、当業者が容易に発明をすることができたものではない。 （３）本件発明５について 本件発明５と引用発明とを対比するに当たり、上記本件発明１と引用発明との対比を参照すると、本件発明５と引用発明とは、少なくとも、上記本件発明１と引用発明との対比における相違点１Ｂと同様の相違点を有する。 そして、当該相違点１Ｂについての判断は、上記（１）イで述べたとおりである。 したがって、本件発明５は、引用発明及び引用文献２記載事項ないし引用文献５記載事項に基いて、当業者が容易に発明をすることができたものではない。 （４）本件発明６について 本件発明６と引用発明とを対比するに当たり、上記本件発明１と引用発明との対比を参照すると、本件発明６と引用発明とは、少なくとも、上記本件発明１と引用発明との対比における相違点１Ｂと同様の相違点を有する。 そして、当該相違点１Ｂについての判断は、上記（１）イで述べたとおりである。 したがって、本件発明６は、引用発明及び引用文献２記載事項ないし引用文献５記載事項に基いて、当業者が容易に発明をすることができたものではない。 （５）本件発明７について ア 対比 本件発明７と引用発明とを対比すると、引用発明の「薬液供給ユニット」は、その機能、構成又は技術的意義からみて、本件発明７の「流体送達システム」に相当し、以下同様に、「第１の流路ブロック１１」は「第１の基板ブロック」に、「第１の入口ポート４１’」は「第１の入口基板ポート」に、「第１の出口ポート４１’」は「第１の出口基板ポート」に、「第１の曲線状の連通路４２’」は「第１の基板流体通路」に、「第１の流路ブロック１１」は「第１の基板ブロック」に、「第２の流路ブロック１１」は「第２の基板ブロック」に、「第２の入口ポート４１’」は「第２の入口基板ポート」に、「第２の出口ポート４１’」は「第２の出口基板ポート」に、「第２の曲線状の連通路４２’」は「第２の基板流体通路」に、「第２の流路ブロック１１」は「第２の基板ブロック」に、「薬液弁５０」は「流量制御器、圧力変換器、流量測定センサ、圧力調整器、弁、および流量計からなる群から選択される能動構成要素」及び「能動構成要素」に、「連通路６１、６２」は「構成要素流体通路」に、「第１のシール部材」は「第１のシールリング」に、「第２のシール部材」は「第２のシールリング」に、「薬液弁入口ポート」は「構成要素入口ポート」に、「薬液弁出口ポート」は「構成要素出口ポート」に、それぞれ相当する。 引用発明の「前記第１の入口ポート４１’と前記第１の出口ポート４１’との間に延びる曲線状の連通路４２’」は、段落【００２７】及び図２２から、「コーナまたは角張った壁のない滑らかな弧の形態」であるといえるから、本件発明７の「コーナまたは角張った壁のない滑らかな弧の形態で前記第１の入口基板ポートと前記第１の出口基板ポートとの間に延びる第１の基板流体通路」に相当し、同様に、「前記第２の入口ポート４１’と前記第２の出口ポート４１’との間に延びる曲線状の連通路４２’」は、本件発明７の「コーナまたは角張った壁のない滑らかな弧の形態で前記第２の入口基板ポートと前記第２の出口基板ポートとの間に延びる第２の基板流体通路」に相当する。 そうすると、本件発明７と引用発明とは、次の一致点及び相違点を有する。 〔一致点〕 「流体送達システムであって、 第１の基板ブロックであって、第１の上面；前記第１の上面の第１の入口基板ポート；前記第１の上面の第１の出口基板ポート；およびコーナまたは角張った壁のない滑らかな弧の形態で前記第１の入口基板ポートと前記第１の出口基板ポートとの間に延びる第１の基板流体通路を含む、第１の基板ブロックと、 第２の基板ブロックであって、第２の上面；前記第２の上面の第２の入口基板ポート；前記第２の上面の第２の出口基板ポート；およびコーナまたは角張った壁のない滑らかな弧の形態で前記第２の入口基板ポートと前記第２の出口基板ポートとの間に延びる第２の基板流体通路を含む、第２の基板ブロックと、 流量制御器、圧力変換器、流量測定センサ、圧力調整器、弁、および流量計からなる群から選択される能動構成要素であって、下面；前記下面の構成要素入口ポート；前記下面の構成要素出口ポート；前記構成要素入口ポートから前記構成要素出口ポートまで延びる構成要素流体通路を含む、能動構成要素と、 第１のシールリングおよび第２のシールリングと、を備え、前記能動構成要素は、前記第１の基板ブロックおよび前記第２の基板ブロックに設けられ、それらを繋げて、前記第１の出口基板ポートと前記構成要素入口ポートが位置合わせされ、前記第１のシールリングは、前記第１の基板流体通路および前記構成要素流体通路を流体的にシールし；前記第２の入口基板ポートと前記構成要素出口ポートが位置合わせされ、かつ前記第２のシールリングは、前記第２の基板流体通路および前記構成要素流体通路を流体的にシールしている、流体送達システム。」 〔相違点７Ａ〕 本件発明７は、「背面」を備え、第１の基板ブロック及び第２の基板ブロックが「背面の上面に設けられ」、能動構成要素は、「背面から離間して分離されている」のに対して、引用発明は、背面を備えるのか不明な点。 〔相違点７Ｂ〕 本件発明７は、 「前記第１の入口基板ポートおよび前記第１の出口基板ポートはそれぞれ第１の基板リングによって形成され；前記第１の出口基板ポートおよび前記第１の入口基板ポートそれぞれについて、前記第１の基板チャネルは、前記第１の上面に形成され、前記第１の基板リングを囲み；前記第１の基板リングの外面は前記第１の基板チャネルの内面を形成」し、「前記第２の入口基板ポートおよび前記第２の出口基板ポートはそれぞれ第２の基板リングによって形成され；前記第２の出口基板ポートおよび前記第２の入口基板ポートそれぞれについて、前記第２の基板チャネルは、前記第２の上面に形成され、前記第２の基板リングを囲み；前記第２の基板リングの外面は前記第２の基板チャネルの内面を形成」し、 「前記構成要素入口ポートおよび前記構成要素出口ポートはそれぞれ構成要素リングによって形成され；前記構成要素入口ポートおよび前記構成要素出口ポートそれぞれについて、構成要素チャネルは、前記能動構成要素の前記下面に形成され、前記構成要素リングを囲み、前記第１の構成要素リングの外面は、前記構成要素チャネルの内面を形成」し、 「前記第１のシールリングおよび第２のシールリングはそれぞれ長手方向軸に沿って延びるスリーブ流体通路を形成する内部スリーブ；および前記内部スリーブに接続され、かつそれを取り囲む外リングであって、（１）環状上部スリーブ溝が、前記外リングの上部と前記内部スリーブの上部との間に形成され、かつ（２）環状下部スリーブ溝が、前記外リングの下部と前記内部スリーブ下部との間に形成される、外リングを備え」、 「前記第１のシールリングは、前記第１の出口基板ポートの前記第１の基板チャネルおよび前記構成要素入口ポートの前記構成要素チャネルのそれぞれに入れ子になり」、「前記第２のシールリングは、前記第２の入口基板ポートの前記第２の基板チャネルおよび前記構成要素出口ポートの前記構成要素チャネルのそれぞれに入れ子になり」 「前記第１のシールリングは、中心面および中心軸に沿って延びる前記スリーブ流体通路に関して両側対称であり、前記内部スリーブの上部は、外側へ傾斜した部分を含む外面を有し、前記内部スリーブの下部は、外側へ傾斜した部分を含む外面を有し」 「前記内部スリーブの上部は、内側へ傾斜した部分を含む内面を有し、前記内部スリーブの下部は、内側へ傾斜した部分を含む内面を有し、 前記内部スリーブは水平面を有さず、 前記内部スリーブの前記上部の前記内面の前記内側へ傾斜した部分の傾斜は、前記スリーブ流体通路の前記長手方向軸に対して前記内部スリーブの前記上部の前記外面の前記外側へ傾斜した部分の傾斜よりも大きい角度であり、前記内部スリーブの前記下部の前記内面の前記内側へ傾斜した部分の傾斜は、前記スリーブ流体通路の前記長手方向軸に対して前記内部スリーブの前記下部の外面の前記外側へ傾斜した部分の傾斜よりも大きい角度であり、 前記内部スリーブは、前記内部スリーブの頂部から前記内部スリーブの底部まで延びる第１の高さを有し、前記外リングは、前記外リングの頂部から底部まで延びる第２の高さを有し、前記第１の高さが前記第２の高さよりも高い」 るものであるのに対して、 引用発明は、そのような事項を備えていない点。 イ 判断 事案に鑑み、上記相違点７Ｂについて検討する。 上記相違点７Ｂに係る本件発明７の発明特定事項のうち、「前記内部スリーブは、前記内部スリーブの頂部から前記内部スリーブの底部まで延びる第１の高さを有し、前記外リングは、前記外リングの頂部から底部まで延びる第２の高さを有し、前記第１の高さが前記第２の高さよりも高い」との事項は、引用文献２記載事項２には、開示ないし示唆もされていない。 ここで、申立人Ａが令和６年７月２日の意見書とともに提出した甲第１８号証（米国特許出願公開第２００５／０２４２５１９号明細書。以下「甲１８」という。）には、次の記載事項及び図示事項がある。 ア 「[0034]In the illustrative embodiment depicted in FIG. 5, the seal 54 is a metal “AX” gasket that is adapted to provide a seal between the components 50, 52. More specifically, the gasket 54 is comprised of sealing surfaces 54a that are adapted to engage corresponding sealing surfaces 50a and 52a on the components 50, 52, respectively. In the depicted embodiment, the sealing surfaces 54a of the gasket 54 and the sealing surfaces 50a , 52a of the components 50, 52, respectively, are tapered sealing surfaces. The angle of the tapered sealing surfaces 54a, 50a and 52a may vary depending upon the particular application. However, it should be understood that the wedge seal 10 of the present invention may be employed gaskets 54 that have non-tapered sealing surfaces that are adapted to engage non-tapered sealing surfaces on the various sealed components. The arrangement shown in FIGS. 5 and 6 depicts a pressure assisted configuration where the present invention may be employed. In this configuration, the initial sealing force is generated by making up the joint between the two components 50, 52, i.e., the pressurized fluid does not generate the initial seal. The tapered interface between the gasket 54 and the surfaces 50a, 52a creates a mechanical advantage which drives the tapered seal components together. As the sealed pressure increases, the pressurized fluid assists in creating the sealing force.」 （訳） 「図5に示す実施例では、シール54は、部品50、52間のシールを提供するのに適した金属製の「AX」ガスケットである。より具体的には、ガスケット54は、部品50、52の対応するシール面50 a及び52aにそれぞれ係合するように適合されたシール面54aから構成される。図示の実施例では、ガスケット54のシール面54a及び部品50、52のシール面50a、52aは、それぞれテーパシール面である。テーパシール面54a、50a、及び52aの角度は用途に応じて変化してもよい。しかし、本発明のウェッジシール10は、様々なシール部品の非テーパシール面に係合するように適合された非テーパシール面を有するガスケット54に使用されてもよいことが理解されるべきである。図5及び6に示す配置は、本発明が採用される圧力補助構成を示している。この構成では、初期のシール力は、2つのコンポーネント50、52間に結合部を形成することによって生み出される。つまり、加圧流体は初期のシールを生み出さない。ガスケット54と表面50a、52a間のテーパ状の接合面は、テーパ状のシールコンポーネントを一緒に駆動する機械的利点を生み出す。シール圧が増加すると、加圧流体がシール力の生成を補助する。」 イ 「図５ ［図：0001431087000015.jpg］ 」 ウ 図５から、ガスケット54は、内部スリーブと外リングとを有し、内部スリーブの高さが、外リングの高さよりも高いことが看取できる。 上記から、甲１８には、次の事項（以下「甲１８記載事項」という。）が記載されているものと認められる。 〔甲１８記載事項〕 「内部スリーブの高さが、外リングの高さよりも高いガスケット54。」 引用発明において、上記相違点７Ｂに係る本件発明７の発明特定事項とするためには、引用発明のシールに引用文献２記載事項２を適用し、さらに、甲１８記載事項を適用することとなるが、この適用はいわゆる二段階容易に当たるため採用できない。また、引用発明の第１のシール部材および第２のシール部材及び引用文献２記載事項２のシール部品８１と、甲１８記載事項のガスケット54とは形態が異なり、甲１８記載事項のガスケット54は、引用発明や引用文献２記載事項２のように流路ブロック同士の接続部設けるものではないから、甲１８記載事項をさらに適用する動機付けは存在しない。 したがって、上記相違点７Ｂに係る本件発明７の発明特定事項は、当業者が容易に想到できたとはいえない。 また、上記相違点７Ｂに係る本件発明７の発明特定事項は、申立人Ａ、Ｂが提出した他の証拠には記載も示唆もされておらず、当業者が適宜なし得た設計的事項であるいえる根拠もない。 したがって、他の相違点について検討するまでもなく、本件発明７は、引用発明、引用文献２記載事項ないし引用文献５記載事項、甲１８記載事項に基いて、当業者が容易に発明をすることができたものではない。 （６）本件発明１０及び１１について 本件発明１０及び１１は、本件発明１を引用するものであるから、本件発明１の発明特定事項を全て含むものである。 よって、上記本件発明１について述べたものと同様の理由により、本件発明１０及び１１は、引用発明及び引用文献２記載事項ないし引用文献５記載事項に基いて、当業者が容易に発明をすることができたものではない。 （７）本件発明１２について ア 対比 本件発明１２と引用発明とを対比すると、引用発明の「薬液供給ユニット」は、その機能、構成又は技術的意義からみて、本件発明１２の「流体送達システム」に相当し、以下同様に、「第１の流路ブロック１１」は「第１の基板ブロック」に、「第１の入口ポート４１’」は「第１の入口基板ポート」に、「第１の出口ポート４１’」は「第１の出口基板ポート」に、「第１の曲線状の連通路４２’」は「第１の基板流体通路」に、「第１の流路ブロック１１」は「第１の基板ブロック」に、「第２の流路ブロック１１」は「第２の基板ブロック」に、「第２の入口ポート４１’」は「第２の入口基板ポート」に、「第２の出口ポート４１’」は「第２の出口基板ポート」に、「第２の曲線状の連通路４２’」は「第２の基板流体通路」に、「第２の流路ブロック１１」は「第２の基板ブロック」に、「薬液弁５０」は「流量制御器、圧力変換器、流量測定センサ、圧力調整器、弁、および流量計からなる群から選択される能動構成要素」及び「能動構成要素」に、「連通路６１、６２」は「構成要素流体通路」に、「第１のシール部材」は「第１のシールリング」に、「第２のシール部材」は「第２のシールリング」に、「薬液弁入口ポート」は「構成要素入口ポート」に、「薬液弁出口ポート」は「構成要素出口ポート」に、それぞれ相当する。 引用発明の「前記第１の入口ポート４１’と前記第１の出口ポート４１’との間に延びる曲線状の連通路４２’」は、段落【００２７】及び図２２から、「コーナまたは角張った壁のない滑らかな弧の形態」であるといえるから、本件発明1２の「コーナまたは角張った壁のない滑らかな弧の形態で前記第１の入口基板ポートと前記第１の出口基板ポートとの間に延びる第１の基板流体通路」に相当し、同様に、「前記第２の入口ポート４１’と前記第２の出口ポート４１’との間に延びる曲線状の連通路４２’」は、本件発明１の「コーナまたは角張った壁のない滑らかな弧の形態で前記第２の入口基板ポートと前記第２の出口基板ポートとの間に延びる第２の基板流体通路」に相当する。 そうすると、本件発明１２と引用発明とは、次の一致点及び相違点を有する。 〔一致点〕 「流体送達システムであって、 第１の基板ブロックであって、第１の上面；前記第１の上面と反対側の第１の下面；前記第１の上面の第１の入口基板ポート；前記第１の上面の第１の出口基板ポート；およびコーナまたは角張った壁のない滑らかな弧の形態で前記第１の入口基板ポートと前記第１の出口基板ポートとの間に延びる第１の基板流体通路を含む、一体の形成された部品としての第１の基板ブロックと、 第２の基板ブロックであって、第２の上面；前記第２の上面と反対側の第２の下面；前記第２の上面の第２の入口基板ポート；前記第２の上面の第２の出口基板ポート；およびコーナまたは角張った壁のない滑らかな弧の形態で前記第２の入口基板ポートと前記第２の出口基板ポートとの間に延びる第２の基板流体通路を含む、一体の形成された部品としての第２の基板ブロックと、 流量制御器、圧力変換器、流量測定センサ、圧力調整器、弁、および流量計からなる群から選択される能動構成要素であって、下面；前記下面の構成要素入口ポート；前記下面の構成要素出口ポート；前記構成要素入口ポートから前記構成要素出口ポートまで延びる構成要素流体通路を含む、能動構成要素と、 第１のシールリングおよび第２のシールリングと、を備え、前記能動構成要素は、前記第１の基板ブロックおよび前記第２の基板ブロックに設けられ、それらを繋げて、前記第１の出口基板ポートと前記構成要素入口ポートが位置合わせされ、前記第１のシールリングは、前記第１の基板流体通路および前記構成要素流体通路を流体的にシールし；前記第２の入口基板ポートと前記構成要素出口ポートが位置合わせされ、かつ前記第２のシールリングは、前記第２の基板流体通路および前記構成要素流体通路を流体的にシールしている、流体送達システム。」 〔相違点１２Ａ〕 本件発明１２は、「背面」を備え、第１の基板ブロック及び第２の基板ブロックが「背面の上面に設けられ」、能動構成要素は、「背面から離間して分離されている」のに対して、引用発明は、背面を備えるのか不明な点。 〔相違点１２Ｂ〕 本件発明１２は、第１の基板ブロックが「複数の第１の支持壁であって、前記第１の基板ブロックの第１の側面を形成する第１の外面と、前記第１の下面に第１のキャビティを画定する第１の内面と、を含む第１の周壁、および前記第１のキャビティ内に位置する少なくとも１つの第１の内壁を備える複数の第１の支持壁；および前記第１の基板流体通路の下部を画定する前記第１のキャビティ内の第１の管壁を含み；前記少なくとも１つの第１の内壁は、前記第１の管壁に接続され、かつ前記第１の管壁から下方に延在し、前記少なくとも１つの第１の内壁および前記第１の周壁は、第１の共通面に置かれかつ前記第１の基板ブロックの第１の下面を形成する第１の下縁で終端する」ものであり、第２の基板ブロックが「複数の第２の支持壁であって、前記第２の基板ブロックの第２の側面を形成する第２の外面と、前記第２の下面に第２のキャビティを画定する第２の内面と、を含む第２の周壁、および前記第２のキャビティ内に位置する少なくとも１つの第２の内壁を備える複数の第２の支持壁；および前記第２の基板流体通路の下部を画定する前記第２のキャビティ内の第２の管壁を含み；前記少なくとも１つの第２の内壁は、前記第２の管壁に接続され、かつ前記第２の管壁から下方に延在し、前記少なくとも１つの第１の内壁および前記第１の周壁は、第１の共通面に置かれかつ前記第１の基板ブロックの第１の下面を形成する第１の下縁で終端する」ものであるのに対して、 引用発明は、そのような事項を備えていない点。 〔相違点１２Ｃ〕 本件発明１２は、 「前記第１のシールリングおよび第２のシールリングはそれぞれ内部スリーブおよび外リングを有し、前記内部スリーブは、長手方向軸に沿って延びるスリーブ流体通路を画定し、前記外リングは、前記内部スリーブに接続され、かつ前記内部スリーブを囲んで、（１）前記外リングの上部と前記内部スリーブの上部との間に環状上部スリーブ溝が形成され、そして（２）前記外リングの下部と前記内部スリーブの下部との間に環状下部スリーブ溝が形成され、そして前記内部スリーブの上部は、外側へ傾斜した部分を含む外面を有し、前記内部スリーブの下部は、外側へ傾斜した部分を含む外面を有」し、 「前記第１の出口基板ポートおよび前記第１の入口基板ポートはそれぞれ第１の内側へ傾斜した部分を有する第１の内面を有する第１の基板リングによって形成され、 前記第１の出口基板ポートおよび前記第１の入口基板ポートそれぞれにおいて、第１の基板チャネルが前記第１の上面に形成され、前記第１の基板リングを取り囲み、前記第１の基板リングの外面は前記第１の基板チャネルの内面を形成し、 前記第２の出口基板ポートおよび前記第２の入口基板ポートはそれぞれ第２の内側へ傾斜した部分を有する第２の内面を有する第２の基板リングによって形成され、 前記第２の出口基板ポートおよび前記第２の入口基板ポートそれぞれにおいて、第２の基板チャネルが前記第２の上面に形成され、前記第２の基板リングを取り囲み、前記第２の基板リングの外面は前記第２の基板チャネルの内面を形成し、」 「前記構成要素入口ポートおよび前記構成要素出口ポートはそれぞれ構成要素リングによって画定され、前記構成要素入口ポートおよび前記構成要素出口ポートそれぞれにおいて、構成要素チャネルは、前記能動構成要素の前記下面に形成され、前記構成要素リングを囲み、前記構成要素リングの外面は前記構成要素チャネルの内面を形成し、」 「前記第１のシールリングは、前記第１の入口基板ポートおよび前記構成要素入口ポートのそれぞれを取り囲み、」「前記第１のシールリングは、前記第１のシールリングの前記外リングが前記構成要素チャネルと前記第１の基板チャネルのそれぞれの内部で垂直方向の干渉がなく、水平方向に圧縮されるようにサイズ決定され、」 「かつ前記第２のシールリングは、前記第２の入口基板ポートおよび前記構成要素出口ポートのそれぞれを取り囲み、」「前記第２のシールリングは、前記第２のシールリングの前記外リングが前記構成要素チャネルと前記第２の基板チャネルのそれぞれの内部で垂直方向の干渉がなく、水平方向に圧縮されるようにサイズ決定され」るものであるのに対して、 引用発明は、そのような事項を有していない点。 イ 判断 事案に鑑み、上記相違点１２Ｂについて検討する。 引用文献２及び５の記載事項等は、上記１（２）及び（３）のとおりであって、上記相違点１２Ｂに係る本件発明１２の発明特定事項を開示ないし示唆するものではない。 引用文献３記載事項及び引用文献４記載事項は、シール部において流路に面する部分の端部に内側へ傾斜した内面を含む内面を形成することを開示するものの、上記相違点１２Ｂに係る本件発明１２の発明特定事項のように構成することを開示ないし示唆するものではない。 そうすると、引用発明において、引用文献２記載事項ないし引用文献５記載事項を組み合わせても、上記相違点１２Ｂに係る本件発明１２の発明特定事項とはならないから、上記相違点１２Ｂに係る本件発明１２の発明特定事項は、引用発明及び引用文献記載事項２ないし引用文献５記載事項に基いて、当業者が容易に想到できたとはいえない。 また、上記相違点１２Ｂに係る本件発明１２の発明特定事項は、申立人Ａ、Ｂが提出した他の証拠には記載も示唆もされておらず、当業者が適宜なし得た設計的事項であるいえる根拠もない。 したがって、他の相違点について検討するまでもなく、本件発明１２は、引用発明及び引用文献２記載事項ないし引用文献５記載事項に基いて、当業者が容易に発明をすることができたものではない。 ウ 申立人Ａの主張について 申立人Ａは、令和６年７月２日の意見書において甲第１０ないし１３号証を示し、また、令和７年５月１９日の意見書において甲第１９ないし２５号証を示し、樹脂成形において「肉抜き」ないし「肉盗み」をおこなうことは周知であり、その際、必要な強度を維持するために適宜箇所にリブとして機能する内壁を設けたり、肉抜きした空洞内に管壁を露出させたり、内壁が管壁に接続されて同管壁から延在するようにさせたりすることも周知であるから、引用発明において、その「流路ブロック１１」の下面を本件発明１のように構成することは周知技術に基づいて容易になし得たことである旨主張している。 しかしながら、引用発明の第１の基板ブロック、第２の基板ブロックについて、上記相違点１２Ｂに係る本件発明１２の発明特定事項は、本件明細書段落【００２９】の記載から、中実構造に比べて表面積が大きく、モジュール式基板ブロックがより高い温度に耐えることを可能にすることを目的とすると理解でき、単なる「肉抜き」ないし「肉盗み」とは技術的に異なるものであるから、当該周知技術を適用したとしても、上記相違点１２Ｂに係る本件発明１２の発明特定事項のように、基板流体通路の下部を画定するキャビティ内の管壁を含み、内壁は前記管壁に接続され、かつ前記管壁から延在する構成とすることまで、当業者が容易に想到できたとはいえない。 したがって、申立人Ａの当該主張は採用できない。 （８）本件発明１３について 本件発明１３は、本件発明１２を引用するものであるから、本件発明１２の発明特定事項を全て含むものである。 よって、上記本件発明１２について述べたものと同様の理由により、本件発明１３は、引用発明及び引用文献２記載事項ないし引用文献５記載事項に基いて、当業者が容易に発明をすることができたものではない。 （９）本件発明１４について 本件発明１４と引用発明とを対比するに当たり、上記本件発明１２と引用発明との対比を参照すると、本件発明１４と引用発明とは、少なくとも、上記本件発明１２と引用発明との対比における相違点１２Ｂと同様の相違点を有する。 そして、当該相違点１２Ｂについての判断は、上記（７）イで述べたとおりである。 したがって、本件発明１４は、引用発明及び引用文献２記載事項ないし引用文献５記載事項に基いて、当業者が容易に発明をすることができたものではない。 （１０）本件発明１５について 本件発明１５と引用発明とを対比するに当たり、上記本件発明１２と引用発明との対比を参照すると、本件発明１５と引用発明とは、少なくとも、上記本件発明１２と引用発明との対比における相違点１２Ｂと同様の相違点を有する。 そして、当該相違点１２Ｂについての判断は、上記（７）イで述べたとおりである。 したがって、本件発明１５は、引用発明及び引用文献２記載事項ないし引用文献５記載事項に基いて、当業者が容易に発明をすることができたものではない。 （１１）本件発明１６について 本件発明１６は、本件発明１を引用するものであるから、本件発明１の発明特定事項を全て含むものである。 よって、上記本件発明１について述べたものと同様の理由により、本件発明１６は、引用発明及び引用文献２記載事項ないし引用文献５記載事項に基いて、当業者が容易に発明をすることができたものではない。 第６ 理由２（明確性）についての当審の判断 本件訂正により、請求項１５の「前記背面の前記上面に設けられた第２の基板ブロックであって、第２の上面；前記第２の上面と反対側の第２の下面；前記第２の上面の第２の入口基板ポート；および前記第２の上面の第２の出口基板ポート；第１の内側へ傾斜した部分を有する第１の内面を有する第１の基板リング；」との記載は、「前記背面の前記上面に設けられた第２の基板ブロックであって、第２の上面；前記第２の上面と反対側の第２の下面；前記第２の上面の第２の入口基板ポート；および前記第２の上面の第２の出口基板ポート；第２の内側へ傾斜した部分を有する第２の内面を有する第２の基板リング；」と訂正された。 本件訂正により、請求項１６の「前記第２のシールリンは、グフッ素ポリマーからなる、」との記載は、「前記第２のシールリングは、フッ素ポリマーからなる、」と訂正された。 本件訂正により、請求項１７は削除された したがって、請求項１５ないし１７に係る発明に対して通知した明確性についての取消理由は、解消した。 第７ 理由３（新規事項）についての当審の判断 請求項１７に係る発明に対して通知した新規事項についての取消理由は、本件訂正により、請求項１７が削除されたことにより、解消した。 第８ 申立人の主張について 申立人Ｂは、令和７年５月２３日の意見書において、概略以下の主張をする。 本件発明１及び５ないし７に記載された「前記第１の基板チャネル」、「前記第２の基板チャネル」、「前記第１の構成要素リング」が何を指すのかが不明である。 よって、本件発明１及び５ないし７並びに本件発明１を引用する本件発明２ないし４、１０及び１１は明確でない。 上記主張について検討する。 当該意見は、特許権者による訂正の請求に付随して生じた事項ではないから、特許異議申立書に記載された特許異議の申立ての理由に対して実質的に新たな内容を含むものであるから、採用できない。 仮に訂正により生じたと解したとしても、本件発明１及び５ないし７に記載された「前記第１の基板チャネル」、「前記第２の基板チャネル」、「前記第１の構成要素リング」が何を指すかは、本件特許明細書、図面を参照すれば理解できるものであり、第三者に不測の不利益を及ぼすほどに不明確であるとはいえない。 したがって、申立人Ｂの上記主張は採用できない。 第９ 決定の予告で採用しなかった理由について １ 申立人Ａが主張する理由２（サポート要件違反）について （１）理由の概要 申立人Ａは、異議申立書８ページにおいて、大略、以下の理由を主張している。 請求項１２における「垂直方向の干渉がなく」との記載はテーパ接合を含む一切の垂直方向の干渉がないとの意味に理解されるところ、本件特許明細書及び図面には「内部スリーブ」及び「外リング」を備えながら垂直方向の干渉が一切ない発明については記載されていない。 よって、請求項１２に係る発明は発明の詳細な説明に記載されたものでない。 請求項１２を引用する請求項１３～１５に係る発明のついても同様である。 （２）当審の判断 本件訂正により、訂正前の請求項１２に記載された「前記第１のシールリングは、垂直方向の干渉がなく」との記載は、「前記第１のシールリングは、前記第１のシールリングの前記外リングが前記構成要素チャネルと前記第１の基板チャネルのそれぞれの内部で垂直方向の干渉がなく」と訂正され、「前記第２のシールリングは、垂直方向の干渉がなく」との記載は、「前記第２のシールリングは、前記第２のシールリングの前記外リングが前記構成要素チャネルと前記第２の基板チャネルのそれぞれの内部で垂直方向の干渉がなく」と訂正された。 また、本件訂正後の請求項１３ないし１５についても、上記と同様の訂正がされた。 そして、この事項は特許明細書の段落【００４３】に記載されている。 したがって、本件発明１２ないし１５は、申立人Ａが主張する理由２（サポート要件違反）を有しないから、採用しない。 ２ 申立人Ａが主張する理由３（明確性要件違反（その２））について （１）理由の概要 申立人Ａは、異議申立書８ページにおいて、大略、以下の理由を主張している。 請求項１７に記載された「半径」は多義的であり、明確でない。 （２）当審の判断 本件訂正により、請求項１７は削除された。 よって、申立人Ａが主張する理由３は解消されたから、採用しない。 ３ 申立人Ｂが主張する理由２について （１）理由の概要 申立人Ｂは、異議申立書３４ないし３５ページ及び６１ないし７５ページにおいて、大略、以下の理由を主張している。 請求項１ないし１７に係る発明は、甲第３号証に記載された発明と甲第１、２、４号証とに記載された事項とに基いて、当業者が容易に発明をすることができたものである。 （２）当審の判断 ア 甲号証の記載事項等 （ア）甲第３号証の記載事項等 申立人Ｂが提出した甲第３号証（特開２０００－１４６０５１号公報；上記第４の取消理由の理由１で示した引用文献５）には、以下の事項が記載されている。 ａ 「【０００３】 【発明が解決しようとする課題】本発明者らは、図７に示すように、半導体製造装置等において用いられる流体制御装置(4)をマスフローコントローラ(3)およびこれの左方および右方に設けられた遮断開放器(1)(2)により構成するとともに、各遮断開放器(1)(2)が、入口および出口が下面に設けられた複数の弁(6)(7)(8)(9)(10)と、各弁(6)(7)(8)(9)(10)が上方から着脱自在に一方向に並んで取り付けられている弁取付基部(28)(29)とよりなり、弁取付基部(28)(29)が、一端側に配置された弁(6)(8)の入口に通じる通路を有する流入路形成部材(30)(34)と、隣り合う弁(6)(7)(8)(9)(10)の入口と出口とを連通する通路を有する１または複数の連通路形成部材(31)(36)(38)と、他端側に配置された弁(7)(10) の出口に通じる通路を有する流出路形成部材(33)(39)とによって形成されているものを提案した（特願平９-２７８４７３参照）。 【０００４】同図において、(5)(11) は、継手部(40)(41)(60)(61)が設けられた左側弁本体(22)(25)、中央弁本体(23)(26)および右側弁本体(24)(27)よりなる逆止弁であり、(32)(35)(37)は、継手保持部材(47)(51)(53)および継手部(48)(52)(54)からなる副通路形成部材であり、(49)(50)は、マスフローコントローラ(3) の下端部に設けられかつ下向きに開口した通路を有する直方体状張出部である。また、各開閉弁(6)(7)(8)(9)(10)は、それぞれ、弁本体(12)(14)(16)(18)(20)およびこれに上方から取り付けられて弁本体(12)(14)(16)(18)(20)内の流路を適宜遮断開放するアクチュエータ(13)(15)(17)(19)(21)よりなり、弁本体(12)(14)(16)(18)(20)の下端部に設けられた上から見て方形のフランジ部(12a)(14a)(16a)(18a)(20a)が上方からねじ込まれたねじ（図示略）により弁取付基部(28)(29)に結合されている。 【０００５】上記の各遮断開放器(1)(2)において、流路形成部材(30)(38)は、複数部材(42)(43)(44)(45)(46)(55)(56)(57)(58)(59)の組み合わせによってＵ字状通路を有するように構成してもよく、また、流路形成部材(31)(33)(34)(36)(39)は、Ｖ字状通路(31a)(33a)(34a)(36a)(39a) を有するブロック状継手部材だけから構成されてもよい。ここで、ブロック状継手部材(31)(33)(34)(36)(39)は、部品数の低減とヒーターによる加熱の容易さという利点を有している。」 ｂ 「【０００８】この発明の目的は、Ｖ字状通路を有するブロック状継手部材を用いる利点を確保しつつ、その欠点である流量低下要因を除去することができる流体継手を提供することにある。」 ｃ 「【００１２】図１（ａ）（ｂ）は、この発明の流体継手を示すもので、（ａ）は、図７に示した第１開閉弁の弁本体(12)、第２開閉弁の弁本体(14)および連通路形成部材(31)の突き合わせ部の拡大断面図であり、（ｂ）は、第１開閉弁の弁本体(12)および連通路形成部材(31)の突き合わせ部をさらに拡大した断面図である。 【００１３】第１開閉弁の弁本体(12)および連通路形成部材(31)の突き合わせ端面には、それぞれ断面円形の凹所(69)(70)が設けられており、各凹所(69)(70)の底面には、ガスケット押さえ用環状突起(71a)(72a)を先端に有する円筒状突出部(71)(72)が設けられている。両部材(12)(31)間には、リテーナ(74)に保持された円環状ガスケット(73)が介在させられている。リテーナ(74)は、連通路形成部材(31)の円筒状突出部(72)の外周部に取り付けられている。第２開閉弁の弁本体(14)および連通路形成部材(31)の突き合わせ部も全く同様に構成されている。連通路形成部材(31)のＶ字状通路(31a)は、両開口部から斜め方向の孔を開けていき、通路(31a)の下端でこれらの孔を突き合わせることにより形成されている。 【００１４】以下では、第１開閉弁の弁本体（第１継手部材という。）(12)および連通路形成部材（第２継手部材という。）(31)の突き合わせ部の構成について説明する。 【００１５】第１および第２継手部材(12)(31)の流体通路(75)(76)は、円筒状突出部(71)(72)の内周面により形成され突き合わせ端面に直交している短い開口部通路(75a)(76a)と、これに傾斜状に連なる本通路(75b)(76b)とよりなる。 【００１６】各開口部通路(75a)(76a)の径は、各ガスケット押さえ用環状突起(71a)(72a)の内径と等しく、ガスケット(73)の内径は、開口部通路(75a)(76a)の径より小さくなされている。本通路(75b)(76b)は、開口部通路(75a)(76a)の径に対応する最大径に穿孔されている。 【００１７】図２（ａ）（ｂ）には、比較のため、第１および第２継手部材(12)(31)の流体通路(85)(86)の開口部通路(85a)(86b)の径とガスケット(83)の内径とが一致させられ、本通路(85b)(86b)が開口部通路(85a)(86b)に傾斜状に連なり、ガスケット押さえ用環状突起(81a)(82a)の内径がガスケット(83)の内径より大きくされている流体継手を示している。」 ｄ 「【図１】 ［図：0001431087000016.jpg］ 」 ｅ 「【図７】 ［図：0001431087000017.jpg］ 」 ｆ 上記図１及び図７から、連通路形成部材(31)及び連通路形成部材(33)は、上面及び上面と反対側の下面を有することが看取できる。 ｇ 上記ａ（段落【０００３】）及び図１及び図７から、連通路形成部材(31)及び連通路形成部材(33)の、それぞれの上面には、入口側の開口部通路(76a)及び出口側の開口部通路(76a)を有することが理解できる。 ｈ 上記ア（段落【０００３】）並びに図１及び図７から、第２開閉弁の弁本体(14)の下面に入口側の開口部通路(75a)及び出口側の開口部通路(75a)を有すること及び第２開閉弁の弁本体(14)には、入口側の開口部通路(75a)から出口側の開口部通路(75a)まで延びる流体通路(75)があることが理解できる。 ｉ 上記ａ（段落【０００３】）及びｃ（段落【００１３】）並びに図１及び図７から、第２開閉弁の弁本体(14)は、前記連通路形成部材(31)及び前記連通路形成部材(33)に設けられ、それらを繁げて、（１）前記連通路形成部材(31)の前記出口側の開口部通路(76a)と前記第２開閉弁の弁本体(14)の前記入口側の開口部通路(75a)が位置合わせされ、かつ前記円環状ガスケット(73)は、前記連通路形成部材(31)の流体通路(76)及び前記第２開閉弁の弁本体(14)の前記流体通路(75)を流体的にシールし、（２）前記連通路形成部材(33)の前記入口側の開口部通路(76a)と前記第２開閉弁の弁本体(14)の前記出口側の開口部通路(75a)が位置合わせされ、かつ前記円環状ガスケット(73)は、前記連通路形成部材(32)の流体通路(76)及び前記第２開閉弁の弁本体(14)の前記流体通路(75)を流体的にシールすることが理解できる。 以上より、引用文献５には、次の発明（以下「引用発明５」という。）が記載されている。 〔引用発明５〕 「流体制御装置(4)であって、 連通路形成部材(31)であって、上面;前記上面と反対側の下面；前記上面の入口側の開口部通路(76a)、前記上面の出口側の開口部通路(76a)の間に延びるＶ字状通路(31a)を含み;前記入口側の開口部通路(76a)及び出口側の開口部通路(76a)はそれぞれ円筒状突出部(72)によって形成され; 前記入口側の開口部通路(76a)及び出口側の開口部通路(76a)それぞれについて、凹所(70)は、前記上面に形成され、前記円筒状突出部(72)を囲み;前記円筒状突出部(72)の外面は前記凹所(70)の内面を形成する、連通路形成部材(31)と、 連通路形成部材(33)であって、上面;前記上面と反対側の下面；前記上面の入口側の開口部通路(76a)、前記上面の出口側の開口部通路(76a)の間に延びるＶ字状通路(31a)を含み;前記入口側の開口部通路(76a)及び出口側の開口部通路(76a)はそれぞれ円筒状突出部(72)によって形成され; 前記入口側の開口部通路(76a)及び出口側の開口部通路(33a)それぞれについて、凹所(70)は、前記上面に形成され、前記円筒状突出部(72)を囲み;前記円筒状突出部(72)の外面は前記凹所(70)の内面を形成する、連通路形成部材(32)と、 第２開閉弁の弁本体(14)であって、下面;前記下面の入口側の開口部通路(75a); 前記下面の出口側の開口部通路(75a);前記入口側の開口部通路(75a)から前記出口側の開口部通路(75a)まで延びる流体通路(75)を含み;前記入口側の開口部通路(75a)及び前記出口側の開口部通路(75a)はそれぞれ円筒状突出部(71)によって形成され; 前記入口側の開口部通路(75a)及び前記出口側の開口部通路(75a)それぞれについて、凹所(69)は、前記第２開閉弁の弁本体(14)の前記下面に形成され、前記円筒状突出部(71)を囲み、前記円筒状突出部(71)の外面は、前記凹所(69)の内面を形成する、第２開閉弁の弁本体(14)と、 円環状ガスケット(73)と、 を備え、 前記第２開閉弁の弁本体(14)は、前記連通路形成部材(31)及び前記連通路形成部材(33)に設けられ、それらを繁げて、（１）前記連通路形成部材(31)の前記出口側の開口部通路(76a)と前記第２開閉弁の弁本体(14)の前記入口側の開口部通路(75a)が位置合わせされ、かつ前記円環状ガスケット(73)は、前記連通路形成部材(31)の流体通路(76)及び前記第２開閉弁の弁本体(14)の前記流体通路(75)を流体的にシールし、（２）前記連通路形成部材(33)の前記入口側の開口部通路(76a)と前記第２開閉弁の弁本体(14)の前記出口側の開口部通路(75a)が位置合わせされ、かつ前記円環状ガスケット(73)は、前記連通路形成部材(33)の流体通路(76)及び前記第２開閉弁の弁本体(14)の前記流体通路(75)を流体的にシールする、 流体制御装置(4)。」 （イ）甲第１号証の記載事項等 申立人Ｂが提出した甲第１号証（特開２００７－１３９１９６号公報）は、上記第４の取消理由の理由１で示した引用文献１であり、その記載事項及び引用発明は、上記第５の１（１）で示したとおりである。 （ウ）甲第２号証の記載事項等 申立人Ｂが提出した甲第２号証（特開２００５－１４０２３０号公報）は、上記第４の取消理由の理由１で示した引用文献２であり、その記載事項は、上記第５の１（２）で示したとおりである。 （エ）甲第４号証の記載事項等 申立人Ｂが提出した甲第４号証（特開２００８－２１０９８２号公報）には、次の記載がある。 ａ 「【００３７】 また，流路ブロック２４１～２４９の流路の形状は上述したものに限られるものではない。例えば中間に配置される流路ブロック２４２～２４８に形成される流路は，図６に示すコの字形状であってもよく，また図７に示すようにＵ字形状であってもよい。また，流路ブロック２４１～２４９は複数のブロックで構成する代わりに，一体で構成してもよい。また，上記流路ブロックはカーボン焼結材料などの炭素材料に孔をあけて流路を形成してもよく，また型を使用して流路が所望の形状になるように焼結することにより流路ブロックを形成してもよい。このように，流路ブロックをカーボン焼結材料などの炭素材料で成形することにより，流路も所望の形状に成形し易くなる。」 ｂ 「 ［図：0001431087000018.jpg］ 」 上記から、申立人Ｂが提出した甲第４号証には、次の事項（以下「甲４記載事項」という。）が記載されているものといえる。 〔甲４記載事項〕 「流路ブロック２４１～２４９の流路の形状を、Ｕ字形状とすること。」 イ 対比及び判断 （ア）本件発明１について 本件発明１と引用発明５とを対比すると、引用発明５の「流体制御装置(4)」は、本件発明１の「流体送達システム」に相当し、以下同様に、「連通路形成部材(31)」は「第１の基板ブロック」に、「連通路形成部材(31)」の「上面」は「第１の上面」に、「連通路形成部材(31)」の「上面と反対側の下面」は「第１の上面と反対側の第１の下面」に、「連通路形成部材(31)」の「入口側の開口部通路(76a)」は「第１の入口基板ポート」に、「連通路形成部材(31)」の「出口側の開口部通路(76a)」は「第１の出口基板ポート」に、「連通路形成部材(31)」の「Ｖ字状通路(31a)」は「第１の基板流体通路」に、「連通路形成部材(31)」の「円筒状突出部(72)」は「第１の基板リング」に、「連通路形成部材(31)」の「凹所(70)」は「第１の基板チャネル」に、「連通路形成部材(33)」は「第２の基板ブロック」に、「連通路形成部材(33)」の「上面」は「第２の上面」に、「連通路形成部材(33)」の「上面と反対側の下面」は「第２の上面と反対側の第２の下面」に、 「連通路形成部材(33)」の「入口側の開口部通路(76a)」は「第２の入口基板ポート」に、「連通路形成部材(33)」の「出口側の開口部通路(76a)」は「第２の出口基板ポート」に、「連通路形成部材(33)」の「Ｖ字状通路(33a)」は「第２の基板流体通路」に、「連通路形成部材(33)」の「円筒状突出部(72)」は「第２の基板リング」に、「連通路形成部材(33)」の「凹所(70)」は「第２の基板チャネル」に、「第２開閉弁の弁本体(14)」は「流量制御器、圧力変換器、流量測定センサ、圧力調整器、弁、および流量計からなる群から選択される能動構成要素」に、「第２開閉弁の弁本体(14)の入口側の開口部通路(75a)」は「構成要素入口ポート」に、「第２開閉弁の弁本体(14)の出口側の開口部通路(75a)」は「構成要素出口ポート」に、「第２開閉弁の弁本体(14)の流体通路(75)」は「構成要素流体通路」に、「第２開閉弁の弁本体(14)の円筒状突出部(71)」は「構成要素リング」に、「第２開閉弁の弁本体(14)の凹所(69)」は「構成要素チャネル」に、「円環状ガスケット(73)」は「第１のシールリング」及び「第２のシールリング」に、それぞれ相当する。 そうすると、本件発明１と引用発明５とは、次の一致点及び相違点を有する。 〔一致点〕 「流体送達システムであって、 第１の基板ブロックであって、第１の上面；前記第１の上面と反対側の第１の下面；前記第１の上面の第１の入口基板ポート；前記第１の上面の第１の出口基板ポート；前記第１の入口基板ポートと前記第１の出口基板ポートとの間に延びる第１の基板流体通路を含む、第１の基板ブロックと、 第２の基板ブロックであって、第２の上面；前記第２の上面と反対側の第２の下面；前記第２の上面の第２の入口基板ポート；前記第２の上面の第２の出口基板ポート；前記第２の入口基板ポートと前記第２の出口基板ポートとの間に延びる第２の基板流体通路を含む、第２の基板ブロックと、 流量制御器、圧力変換器、流量測定センサ、圧力調整器、弁、および流量計からなる群から選択される能動構成要素であって、下面；前記下面の構成要素入口ポート；前記下面の構成要素出口ポート；前記構成要素入口ポートから前記構成要素出口ポートまで延びる構成要素流体通路を含む、能動構成要素と、 第１のシールリングおよび第２のシールリングと、を備え、前記能動構成要素は、前記第１の基板ブロックおよび前記第２の基板ブロックに設けられ、それらを繋げて、前記第１の出口基板ポートと前記構成要素入口ポートが位置合わせされ、前記第１のシールリングは、前記第１の基板流体通路および前記構成要素流体通路を流体的にシールし；前記第２の入口基板ポートと前記構成要素出口ポートが位置合わせされ、かつ前記第２のシールリングは、前記第２の基板流体通路および前記構成要素流体通路を流体的にシールしている、流体送達システム。」 〔相違点１ａ〕 本件発明１は、「背面」を備え、第１の基板ブロックが「背面の上面に設けられ」、能動構成要素は、「背面から離間して分離されている」のに対して、引用発明５はそのような事項を備えるのか不明な点。 〔相違点１ｂ〕 本件発明１は、第１の基板流体通路及び第２の基板流体通路が「コーナまたは角張った壁のない滑らかな弧の形態で」あるのに対して、引用発明５は、Ｖ字状通路(31a)(33a)である点。 〔相違点１ｃ〕 本件発明１は、第１の基板ブロックが「複数の第１の支持壁であって、前記第１の基板ブロックの第１の側面を形成する第１の外面と、前記第１の下面に第１のキャビティを画定する第１の内面と、を含む第１の周壁、および前記第１のキャビティ内に位置する少なくとも１つの第１の内壁を備える複数の第１の支持壁；および前記第１の基板流体通路の下部を画定する前記第１のキャビティ内の第１の管壁を含み；前記少なくとも１つの第１の内壁は、前記第１の管壁に接続され、かつ前記第１の管壁から延在」するものであり、「一体に形成された部品」であり、第２の基板ブロックが「複数の第２の支持壁であって、前記第２の基板ブロックの第２の側面を形成する第２の外面と、前記第２の下面に第２のキャビティを画定する第２の内面と、を含む第２の周壁、および前記第２のキャビティ内に位置する少なくとも１つの第２の内壁を備える複数の第２の支持壁；および前記第２の基板流体通路の下部を画定する前記第２のキャビティ内の第２の管壁を含み；前記少なくとも１つの第２の内壁は、前記第２の管壁に接続され、かつ前記第２の管壁から延在」するものであり、「一体に形成された部品」であるのに対して、引用発明５は、そのような事項を備えていない点。 〔相違点１ｄ〕 本件発明１は、第１の基板リングが「第１の内側に傾斜した部分を有する第１の内面を有」し、第２の基板リングが「第２の内側に傾斜した部分を有する第２の内面を有する」のに対して、引用発明５は、かかる事項を備えるのか不明な点。 〔相違点１ｅ〕 本件発明１は、 「第１のシールリングおよび第２のシールリングはそれぞれ長手方向軸に沿って延びるスリーブ流体通路を形成する内部スリーブ；および前記内部スリーブに接続され、かつそれを取り囲む外リングであって、（１）環状上部スリーブ溝が、前記外リングの上部と前記内部スリーブの上部との間に形成され、かつ（２）環状下部スリーブ溝が、前記外リングの下部と前記内部スリーブ下部との間に形成される、外リングを備え、」 「前記内部スリーブの上部は、外側へ傾斜した部分を含む外面を有し、前記内部スリーブの下部は、外側へ傾斜した部分を含む外面を有し、前記内部スリーブは水平面を有さず、前記内部スリーブの上部は、内側へ傾斜した部分を含む内面を有し、前記内部スリーブの下部は、内側へ傾斜した部分を含む内面を有し、 前記内部スリーブの前記上部の前記内面の前記内側へ傾斜した部分の傾斜は、前記スリーブ流体通路の前記長手方向軸に対して前記内部スリーブの前記上部の前記外面の前記外側へ傾斜した部分の傾斜よりも大きい角度であり、前記内部スリーブの前記下部の前記内面の前記内側へ傾斜した部分の傾斜は、前記スリーブ流体通路の前記長手方向軸に対して前記内部スリーブの前記下部の外面の前記外側へ傾斜した部分の傾斜よりも大きい角度であり、 前記内部スリーブは、前記内部スリーブの頂部から前記内部スリーブの底部まで延びる第１の高さを有し、前記外リングは、前記外リングの頂部から底部まで延びる第２の高さを有し、前記第１の高さが前記第２の高さよりも高く、 かつ前記第１のシールリングは、前記第１の出口基板ポートの前記第１の基板チャネルおよび前記構成要素入口ポートの前記構成要素チャネルのそれぞれに入れ子になり、 かつ前記第２のシールリングは、前記第２の入口基板ポートの前記第２の基板チャネルおよび前記構成要素出口ポートの前記構成要素チャネルのそれぞれに入れ子にな」るのに対して、 引用発明５は、そのような事項を備えていない点。 事案に鑑み、上記相違点１ｂについて検討する。 引用文献５の段落【０００８】（上記ア（ア）ｂを参照。）には「この発明の目的は、Ｖ字状通路を有するブロック状継手部材を用いる利点を確保しつつ、その欠点である流量低下要因を除去することができる流体継手を提供することにある。」と記載され、段落【００１３】（上記ア（ア）ｃを参照。）には「連通路形成部材(31)のＶ字状通路(31a)は、両開口部から斜め方向の孔を開けていき、通路(31a)の下端でこれらの孔を突き合わせることにより形成されている。」と記載されている。すなわち、引用発明５は、「Ｖ字状通路を有するブロック状継手部材」が前提であるから、Ｖ字状と異なる形状、形態の通路とすることは想定していないというベきである。 そうすると、たとえ、申立人Ｂが提出した甲第１号証（引用文献１）に「曲線状の連通路４２’」が記載され（上記第５の１（２）を参照。）、申立人Ｂが提出した甲第４号証に「流路ブロック２４１～２４９の流路の形状を、Ｕ字形状とすること。」が記載（甲４記載事項）されているとしても、引用発明５において、Ｖ字状通路(31a)(33a)を「コーナまたは角張った壁のない滑らかな弧の形態」とすることには、阻害事由があるというべきである。 したがって、引用発明５において、上記相違点１ｂに係る本件発明１の発明特定事項とすることは、当業者が容易に想到できたことではない。 よって、他の相違点について検討するまでもなく、本件発明１は、引用発明５と甲第１、２、４号証とに記載された事項とに基いて、当業者が容易に発明をすることができたものではない。 （イ）本件発明２ないし７及び１０ないし１６について 本件発明２ないし７及び１０ないし１６は、いずれも上記相違点１ｂに係る本件発明１の発明特定事項と同様の発明特定事項を有する。 よって、上記本件発明１に対して述べたものと同様の理由により、本件発明２ないし７及び１０ないし１６は、引用発明５と甲第１、２、４号証とに記載された事項とに基いて、当業者が容易に発明をすることができたものではない。 第１０ まとめ 以上のとおりであるから、取消理由通知に記載した取消理由、及び、特許異議申立書に記載した申立ての理由によっては、本件特許の請求項１ないし７及び１０ないし１６に係る特許を取り消すことができない。そして、他に取り消すべき理由を発見しない。 また、本件特許の請求項８、９及び１７は本件訂正により削除された。これにより請求項８、９及び１７に係る特許に対する申立ては、申立ての対象が存在しないものとなったため、特許法第１２０条の８第１項で準用する同法第１３５条の規定により却下する。 よって、結論のとおり決定する。