2022-701127

特許第７０６９４６９号発明「成膜用又は焼結用粉末」の特許異議申立事件について、次のとおり決定する。

結 論 特許第７０６９４６９号の請求項１ないし９に係る特許を維持する。

理 由 第１ 手続の経緯 特許第７０６９４６９号（以下、「本件特許」という。）の請求項１～９に係る特許についての出願（以下、「本願」という。）は、２０１９年（令和１年）７月２４日（優先権主張 平成３１年 ４月２６日、日本国）を国際出願日とする特願２０１９－５５６３０１号の一部を令和 ２年 １月３０日に新たな特許出願としたものであって、令和 ４年 ５月１０日に特許権の設定登録がされ、同年 ５月１８日に特許掲載公報が発行され、その後、同年 １１月１６日に、請求項１～９（全請求項）に係る特許に対し、特許異議申立人である駒井佳子（以下、「申立人」という。）により特許異議の申立てがされたものである。 第２ 本件発明 本件特許の特許請求の範囲の請求項１～９に係る発明（以下、「本件発明１」～「本件発明９」といい、これらを総合して「本件発明」という。）は、それぞれ、本願の願書に添付した特許請求の範囲の請求項１～９に記載された事項により特定される次のとおりのものである。 「【請求項１】 Ｘ線回折測定において立方晶Ｙ３Ａｌ５Ｏ１２のピークと直方晶ＹＡｌＯ３のピークが観察され、 立方晶Ｙ３Ａｌ５Ｏ１２の（４２０）ピークに対する直方晶ＹＡｌＯ３の（１１２）ピークの強度比が０．０１以上１未満であり、 Ｘ線回折測定において更に立方晶Ｙ２Ｏ３のピークが観察されないか、或いは更に立方晶Ｙ２Ｏ３のピークが観察され、立方晶Ｙ３Ａｌ５Ｏ１２の（４２０）ピークに対する立方晶Ｙ２Ｏ３の（２２２）ピークの強度比が０．００１以上０．１未満であり、 立方晶Ｙ３Ａｌ５Ｏ１２の（４２０）ピークに対する三方晶Ａｌ２Ｏ３の（１０４）ピークの強度比が０．１未満であり、 Ｘ線回折測定においてＹ３Ａｌ５Ｏ１２の（４２０）ピークの半値幅から求められる結晶子サイズが５０ｎｍ以上であり、 細孔径０．１μｍ以上１μｍ以下の細孔容積が０．１６ｍＬ／ｇ以上であり、 立方晶Ｙ３Ａｌ５Ｏ１２、直方晶ＹＡｌＯ３、立方晶Ｙ２Ｏ３及び三方晶Ａｌ２Ｏ３以外の成分に由来するピークが実質的に観察されない、成膜用又は焼結用粉末。 【請求項２】 Ｘ線回折測定において更に立方晶Ｙ２Ｏ３のピークが観察され、立方晶Ｙ３Ａｌ５Ｏ１２の（４２０）ピークに対する立方晶Ｙ２Ｏ３の（２２２）ピークの強度比が０．００１以上０．１未満である請求項１に記載の成膜用又は焼結用粉末。 【請求項３】 ＢＥＴ比表面積が１ｍ２／ｇ以上５ｍ２／ｇ以下である請求項１又は２に記載の成膜用又は焼結用粉末。 【請求項４】 平均粒子径が１５μｍ以上の顆粒である請求項１～３のいずれか１項に記載の成膜用又は焼結用粉末。 【請求項５】 ＣｕＫα線を用いた２θ＝２０°～６０°の走査範囲のＸ線回折測定において、立方晶Ｙ３Ａｌ５Ｏ１２に由来するピークが最大ピーク強度を示すピークである、請求項１～４のいずれか１項に記載の成膜用又は焼結用粉末。 【請求項６】 請求項１～５のいずれか１項に記載の成膜用又は焼結用粉末を溶射法又はＰＶＤ法により成膜する、皮膜の製造方法。 【請求項７】 請求項１～５のいずれか１項に記載の成膜用又は焼結用粉末を焼結する、焼結体の製造方法。 【請求項８】 請求項１～５のいずれか１項に記載の成膜用又は焼結用粉末を溶射法又はＰＶＤ法により成膜してなる、皮膜。 【請求項９】 請求項１～５のいずれか１項に記載の成膜用又は焼結用粉末の焼結体。」 第３ 申立理由の概要 申立人は、証拠方法として、技術常識を示す甲第４号証以外は、いずれも本願の優先日前に、日本国内又は外国において頒布された又は電気通信回線を通じて公衆に利用可能となった、下記甲第１～１２号証を提出して、以下の申立理由１～３により、本件特許のうち請求項１～９に係る特許を取り消すべきものである旨主張している。 １ 申立理由１（進歩性） 本件発明１、３～９は、甲第１号証～甲第１２号証に記載された発明に記載された事項に基いて、その発明の属する技術の分野における通常の知識を有する者（以下、「当業者」という。）が容易に発明をすることができたものであり、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないものであるから、同発明に係る特許は、同法第１１３条第２号に該当し、取り消されるべきものである。 ２ 申立理由２（サポート要件） 本件発明１には「立方晶Ｙ３Ａｌ５Ｏ１２の（４２０）ピークに対する直方晶ＹＡｌＯ３の（１１２）ピークの強度比が０．０１以上１未満であり」及び「Ｘ線回折測定において更に立方晶Ｙ２Ｏ３のピークが観察されないか、或いは更に立方晶Ｙ２Ｏ３のピークが観察され、立方晶Ｙ３Ａｌ５Ｏ１２の（４２０）ピークに対する立方晶Ｙ２Ｏ３の（２２２）ピークの強度比が０．００１以上０．１未満であり」と記載されているところ、特に、立方晶Ｙ２Ｏ３のピークが観察されない場合（つまり、立方晶Ｙ３Ａｌ５Ｏ１２の（４２０）ピーク強度（Ｓ１）に対する立方晶Ｙ２Ｏ３の（２２２）ピーク強度（Ｓ３）の強度比（Ｓ３／Ｓ１）が０の場合）について注目すると、本願の願書に添付した明細書（以下、「本件明細書」という。）の発明の詳細な説明には、実施例３の、立方晶Ｙ３Ａｌ５Ｏ１２の（４２０）ピーク強度（Ｓ１）に対する直方晶ＹＡｌＯ３の（１１２）ピーク強度（Ｓ２）の強度比（Ｓ２／Ｓ１）が０．０７である場合の１点が記載されているのみであって、当該強度比（Ｓ２／Ｓ１）が１に近い場合にも、十分な耐食性を有すること（すなわち、本件発明の課題を解決し得ること）を示す実施例は記載されていない。 この点について、本件明細書の段落【００１６】には「Ｘ線回折測定において酸化イットリウムのピークが観察される場合、立方晶Ｙ３Ａｌ５Ｏ１２の（４２０）ピークの強度Ｓ１に対する立方晶Ｙ２Ｏ３の（２２２）ピークの強度Ｓ３の比Ｓ３／Ｓ１が０．００１以上０．１未満であることが、焼結体の作製時に、イットリウムとアルミニウムの複合酸化物の反応焼結の助剤として働き、より緻密な焼結体を得やすくなる点で好ましい。」と記載されていることから、立方晶Ｙ２Ｏ３は反応焼結の助剤として働くものであるが、立方晶Ｙ２Ｏ３が含まれない場合には反応焼結の助剤として効果が得られないため、十分な耐食性が得られるとはいえない。 したがって、反応焼結の助剤が存在せず十分な耐食性が得られるとはいえない、強度比（Ｓ３／Ｓ１）が０であって、強度比（Ｓ２／Ｓ１）が１に近い場合を含む本件発明１は、本件発明の課題を解決することができるとはいえないものである。 よって、本件発明１と、本件発明１を引用する本件発明２～９に係る特許は、特許法第３６条第６項第１号に規定する要件を満たしていない特許出願に対してされたものであるから、同法第１１３条第４号に該当し、取り消されるべきものである。 ３ 申立理由３（明確性） 本件発明１の発明特定事項である「細孔径０．１μｍ以上１μｍ以下の細孔容積が０．１６ｍＬ／ｇ以上であり」が次のいずれを意味するのか不明である。 （１）細孔径０．１μｍ以上１μｍ以下の範囲の全域において、細孔容積が０．１６ｍＬ／ｇ以上であること （２）細孔径０．１μｍ以上１μｍ以下の細孔の総容積が０．１６ｍＬ／ｇ以上であること したがって、本件発明１と、本件発明１を引用する本件発明２～９に係る特許は、特許法第３６条第６項第２号に規定する要件を満たしていない特許出願に対してされたものであるから、同法第１１３条第４号に該当し、取り消されるべきものである。 ［証拠方法］ 甲第１号証：特開２００６－２２５６８９号公報 甲第２号証：洪辰宗 外２名“ ［図：0001395262000001.jpg］ Seeding Effects on the Synthesis of YAG(Y3Al5O12) Powders”，2006 Annual Conference of Chinese Society of Particuology cum Symposium on Particle Technology across Taiwan Straits，2006年8月，pp219-222 甲第３号証：石明哲 外１名，“ ［図：0001395262000002.jpg］ Seeding effects on the synthesis of YAG(Y3Al5O12)powders”，國立成功大學資源工程研究所碩士論文，中華民國九十五年（２００６年）６月，pp18-68 甲第４号証：“Ｘ線回折を用いた結晶子サイズの評価について”，あいち産業科学技術総合センターニュース，２０２０年７月号，pp4 甲第５号証：特開２００２－３４８６５３号公報 甲第６号証：特開２００３－４８７１３号公報 甲第７号証：特開平１０－２３６８７１号公報 甲第８号証：阿部東彦，“ドライエッチング”，応用物理，第５３巻，第１０号，１９８４年，pp867-876 甲第９号証：特開２０１６－１３８３０９号公報 甲第１０号証：特開２００２－８０９５４号公報 甲第１１号証：特開２０１４－１５９６３７号公報 甲第１２号証：特開２０１８－１４５５２８号公報 （以下、甲第１号証～甲第１２号証をそれぞれ「甲１」～「甲１２」という。） 第４ 当審の判断 上記申立理由１～３はいずれも採用できない。その理由は以下のとおりである。 １ 申立理由１（進歩性）について （１）甲１の記載、及び甲１に記載された発明 ア 甲１には、「溶射用粉末」（発明の名称）に関して、次の記載がある。（なお、下線は当審が付与し、「…」は記載の省略を表す。以下同様。）。 （１ア）「【技術分野】 【0001】 本発明は、イットリウム-アルミニウム複酸化物造粒-焼結粒子を含有する溶射用粉末に関する。」 （１イ）「【発明が解決しようとする課題】 【0005】 本発明の目的は、腐食雰囲気又は酸化雰囲気のもと熱衝撃を受ける用途での使用及び基材との反応性を有する部材と接した状態で熱衝撃を受ける用途での使用に適した溶射皮膜をより確実に形成可能な溶射用粉末を提供することにある。 【課題を解決するための手段】 【0006】 上記の目的を達成するために、請求項１に記載の発明は、イットリウム及びアルミニウムを含む原料粉末を造粒及び焼結して得られるイットリウム-アルミニウム複酸化物造粒-焼結粒子を含有する溶射用粉末であって、造粒-焼結粒子における直径６μｍ以下の細孔の総容積が０．０６～０．２５ｃｍ３／ｇである溶射用粉末を提供する。」 （１ウ）「【0021】 造粒-焼結粒子中にイットリアが多く混入している場合には、造粒-焼結粒子がイットリア寄りの性質を示すようになる。具体的には例えば、イットリウム-アルミニウム複酸化物に比べて融点の高いイットリアが造粒-焼結粒子中に混入することにより、造粒-焼結粒子の融点は上昇する。造粒-焼結粒子の融点が上昇すると、造粒-焼結粒子が溶射フレームにより十分に軟化又は溶融されにくくなるため、溶射用粉末の付着効率が低下する虞がある。また、造粒-焼結粒子中にイットリアが多く混入している場合には、緻密度のやや低い溶射皮膜が得られやすく、そのため雰囲気ガスによる基材の腐食又は酸化に基づく溶射皮膜の剥離及び溶射皮膜に接する部材との基材の反応に基づく溶射皮膜の剥離があまり強く抑制されない虞もある。造粒-焼結粒子中のイットリアの混入量は、例えば、イットリウム-アルミニウム複酸化物に由来するＸ線回折ピークに対するイットリアに由来するＸ線回折ピークの比率から推定される。具体的には、イットリウム-アルミニウム複酸化物のガーネット相の（４２０）面に由来するＸ線回折ピーク、イットリウム-アルミニウム複酸化物のペロブスカイト相の（４２０）面に由来するＸ線回折ピーク、及びイットリウム-アルミニウム複酸化物の単斜晶相の（-１２２）面に由来するＸ線回折ピークのうちの最大ピークの強度に対するイットリアの（２２２）面に由来するＸ線回折ピークの強度の比率からイットリアの混入量は推定される。造粒-焼結粒子中にイットリアが混入することによる弊害を抑制するためには（具体的には、溶射用粉末の付着効率の低下を抑制するため、また腐食雰囲気又は酸化雰囲気のもとでの使用及び基材との反応性を有する部材と接した状態での使用によく適した溶射皮膜を得るためには）、造粒-焼結粒子中のイットリアの混入量はできるだけ少ないことが好ましい。具体的には、イットリウム-アルミニウム複酸化物に由来する最大Ｘ線回折ピークの強度に対するイットリアに由来するＸ線回折ピークの強度の比率は、好ましくは０．２０以下、より好ましくは０．１７以下、最も好ましくは０．１５以下である。なお、本明細書において、（-１２２）面という記載における“-１”は上線付きの１を表す。 【0022】 造粒-焼結粒子中にアルミナが多く混入している場合には、造粒-焼結粒子がアルミナ寄りの性質を示すようになる。具体的には例えば、１０００～１１００℃において密度が比較的小さいγ-アルミナから密度が比較的大きいα-アルミナに相転移するアルミナの性質を造粒-焼結粒子が示すようになり、溶射用粉末から形成される溶射皮膜の気孔率が高温下において大きく増大する虞がある。造粒-焼結粒子中のアルミナの混入量は、例えば、イットリウム-アルミニウム複酸化物に由来するＸ線回折ピークに対するアルミナに由来するＸ線回折ピークの比率から推定される。具体的には、イットリウム-アルミニウム複酸化物のガーネット相の（４２０）面に由来するＸ線回折ピーク、イットリウム-アルミニウム複酸化物のペロブスカイト相の（４２０）面に由来するＸ線回折ピーク、及びイットリウム-アルミニウム複酸化物の単斜晶相の（-１２２）面に由来するＸ線回折ピークのうちの最大ピークの強度に対するアルミナの（１０４）面に由来するＸ線回折ピークの強度の比率から推定される。造粒-焼結粒子中にアルミナが混入することによる弊害を抑制するためには（具体的には、高温下での溶射皮膜の気孔率の増大を抑制するためには）、造粒-焼結粒子中のアルミナの混入量はできるだけ少ないことが好ましい。具体的には、イットリウム-アルミニウム複酸化物に由来する最大Ｘ線回折ピークの強度に対するアルミナに由来するＸ線回折ピークの強度の比率は、好ましくは０．２０以下、より好ましくは０．１７以下、最も好ましくは０．１５以下である。」 （１エ）「【0030】 次に、本実施形態に係る溶射用粉末の製造方法について説明する。本実施形態に係る溶射用粉末は、イットリウム及びアルミニウムを含む原料粉末から造粒-焼結法により製造される。原料粉末としては、イットリウムアルミニウムガーネット（略称ＹＡＧ）やイットリウムアルミニウムペロブスカイト（略称ＹＡＰ）、イットリウムアルミニウム単斜晶（略称ＹＡＭ）などのイットリウム-アルミニウム複酸化物粉末、あるいはイットリア粉末とアルミナ粉末の混合物が用いられる。まず、原料粉末を分散媒に混合することによりスラリーが調製される。次に、噴霧型造粒機を用いてスラリーから造粒粉末を作製する。こうして得られた造粒粉末を焼結し、さらに解砕及び分級することにより、イットリウム-アルミニウム複酸化物造粒-焼結粒子から実質的になる溶射用粉末は製造される。」 （１オ）「【0034】 ・溶射用粉末を溶射する方法はプラズマ溶射以外の方法であってもよい。 次に、実施例及び比較例を挙げて本発明をさらに具体的に説明する。 実施例１，３～２１，２４，２５及び比較例１，２においては、イットリア粉末とアルミナ粉末の混合物を造粒及び焼結して得られるＹＡＧ造粒-焼結粒子から溶射用粉末を用意した。実施例２においては、ＹＡＧ粉末を造粒及び焼結して得られるＹＡＧ造粒-焼結粒子からなる溶射用粉末を用意した。実施例２２においては、イットリア粉末とアルミナ粉末の混合物を造粒及び焼結して得られるＹＡＰ造粒-焼結粒子からなる溶射用粉末を用意した。実施例２３，２６，２７においては、イットリア粉末とアルミナ粉末の混合物を造粒及び焼結して得られるＹＡＭ造粒-焼結粒子からなる溶射用粉末を用意した。比較例３においては、ＹＡＧ粉末を造粒して得られるＹＡＧ造粒粉末からなる溶射用粉末を用意した。比較例４においては、ＹＡＧ粉末を溶融及び粉砕して得られるＹＡＧ溶融-粉砕粒子からなる溶射用粉末を用意した。実施例１～２７及び比較例１～４に係る各溶射用粉末の詳細は表１に示すとおりである。 … 【0036】 表１の“細孔径分布のピーク”欄には、（株）島津製作所製の水銀圧入式ポロシメーター“ポアサイザー９３２０”を用いて測定される各溶射用粉末中の粒子の細孔径分布のピークを示す。通常、造粒-焼結粒子の細孔径分布を測定すると２つのピークが得られる。このうち大径側（例えば１０μｍ前後）に現れるピークは、造粒-焼結粒子同士の隙間に由来するものであり、造粒-焼結粒子中の細孔に由来するピークは小径側のピークのみである。本明細書中における造粒-焼結粒子の細孔径分布のピークとは、造粒-焼結粒子同士の隙間に由来するピークではなく、造粒-焼結粒子中の細孔に由来するピークを意味する。参考までに水銀圧入式ポロシメーターにより測定した実施例１の溶射用粉末の細孔径分布のグラフを図１に示す。 【0037】 表１の“原料粉末の平均粒子径”欄には、（株）堀場製作所製のレーザー回折／散乱式粒度測定機“ＬＡ-３００”を用いて測定される各溶射用粉末の原料粉末の平均粒子径を示す。 … 【0040】 表１の“イットリア又はアルミナの相対ピーク強度”欄には、各溶射用粉末のＸ線回折を測定したときに得られる、イットリウム-アルミニウム複酸化物に由来するＸ線回折ピークに対するイットリアに由来するＸ線回折ピークの比率とイットリウム-アルミニウム複酸化物に由来するＸ線回折ピークに対するアルミナに由来するＸ線回折ピークの比率のうちの最大値を示す。 【0041】 表１の“アルミニウムに対するイットリウムの比率”欄には、アルミナに換算した各溶射用粉末中のアルミニウムのモル数に対するイットリアに換算した各溶射用粉末中のイットリウムのモル数の比率を示す。」 （１カ）「【0043】 実施例１～２７及び比較例１～４に係る各溶射用粉末を表２に示す条件でプラズマ溶射して形成した溶射皮膜をその上面に直交する面で切断した。切断面を鏡面研磨した後、エヌサポート社製の画像解析処理装置“ＮＳＦＪ１-Ａ”を用いて測定される切断面における溶射皮膜の気孔率に基づいて、良（○）、可（△）、不良（×）の三段階で各溶射用粉末を評価した。具体的には、気孔率が５％以上１０％未満の場合には良、３％以上５％未満又は１０％以上１３％未満の場合には可、３％未満又は１３％以上の場合には不良と評価した。この評価の結果を表１の“皮膜の緻密度”欄に示す。」 （１キ）「【0044】 【表1】 ［図：0001395262000003.jpg］ 」（当審注：表１の一部のみの抜粋。） イ 甲１に記載された発明 （ア）甲１には、原料粉末としてイットリア粉末とアルミナ粉末の混合物を用い、原料粉末を分散媒に混合してスラリーを調製し、スラリーから造粒粉末を作製し、造粒粉末を焼結し、さらに解砕及び分級することにより製造された、「イットリウム-アルミニウム複酸化物造粒-焼結粒子」から実質的になる溶射用粉末が記載されている（【００３０】）。 （イ）そのような溶射用粉末のうち実施例１の溶射用粉末に注目すると、実施例１の溶射用粉末は、イットリア粉末とアルミナ粉末の混合物を造粒及び焼結して得られる「ＹＡＧ造粒-焼結粒子」からなる溶射用粉末であって（【００３４】）、【表１】の実施例１の欄の記載によれば、「アルミニウムに対するイットリウムの比率」は「０．６０」であり、「イットリア又はアルミナの相対ピーク強度」は「０」であり、「直径６μｍ以下の細孔の総容積」は「０．１６ｃｍ３／ｇ」である。 （ウ）また、実施例１の溶射用粉末は、プラズマ溶射することにより溶射皮膜を形成することができるものである（【００４３】）。 （エ）したがって、甲１には次の「プラズマ溶射皮膜用の溶射用粉末」が記載されているものと認められる（以下「甲１発明」という。）。 「原料粉末としてイットリア粉末とアルミナ粉末の混合物を用い、原料粉末を分散媒に混合してスラリーを調製し、スラリーから造粒粉末を作製し、造粒粉末を焼結し、さらに解砕及び分級することによって製造されたイットリウム-アルミニウム複酸化物から実質的になる溶射用粉末であって、 上記溶射用粉末は、 ＹＡＧ造粒-焼結粒子からなる溶射用粉末であり、 アルミニウムに対するイットリウムの比率は０．６０であり、 イットリア又はアルミナの相対ピーク強度は０であり、 直径６μｍ以下の細孔の総容積は０．１６ｃｍ３／ｇである、 プラズマ溶射皮膜用の溶射用粉末。」 （２）甲２の記載 ア 甲２には、「 ［図：0001395262000004.jpg］ 」（申立人による翻訳：種晶のＹＡＧ粉体の生成における影響に関する研究）」（論文の表題）に関して、次の記載がある。 （２ア）「 ［図：0001395262000005.jpg］ 」（２１９頁上部） （申立人による翻訳：要約：本研究は、α－Ａｌ２Ｏ３及びＹ２Ｏ３を出発原料として、固相反応法でイットリウムアルミニウムガーネット（Ｙ３Ａｌ５Ｏ１２）粉体を合成するとともに、ＹＡＧ種晶を添加することにより、固相反応でも種晶効果が発生するか否かを観察する。…） （２イ）「 ［図：0001395262000006.jpg］ 」（２１９頁左欄２～１１行） （申立人による翻訳：ＹＡＧ（Ｙ３Ａｌ５Ｏ１２）は、ガーネット構造に属し、現在、レーザーと蛍光材の基材に広く用いられている。例えば、ネオジム(Ｎｄ)を添加したＹＡＧ：Ｎｄの単結晶又はセラミック体は工業と医療レーザー用に適用され［１］、セリウム(Ｃｅ)を添加したＹＡＧ：Ｃｅ黄色蛍光粉末は白色ＬＥＤ(Light Emitted Diode)の作製に適用されている[2]。Ｙ２Ｏ３及びＡｌ２Ｏ３を出発原料として固相反応によってＹＡＧを合成し、プロセス中に、ＹＡＭおよびＹＡＰ中間相が順次生成されることが常に観察でき、生成反応式は、常に以下のように表される［３］。…） （２ウ）「 ［図：0001395262000007.jpg］ ［図：0001395262000008.jpg］ 」（２１９頁左欄下から４行～右欄４行） （申立人による翻訳：２ 実験 ２．１ 実験原料 研究で使用する原料の基本性質は表1のとおりである。ＹＡＧの合成に必要な化学用量で、市販のα－Ａｌ２Ｏ３ (Forever Chemical, Ａｌ２Ｏ３＞９９％,α-phase＞９５％）とＹ２Ｏ３(Acros Organics,９９．９９％）粉体の両者をまずスラリーに調製し、ボールミルで研磨して分散させ、分散剤として適量の硝酸を添加し、70ｎｍと100ｎｍのＢＥＴ粒径の粉体をそれぞれ得る。 表1 出発原料の基本性質 薬品 ＢＥＴｄｉｓ．（ｎｍ） α－Ａｌ２Ｏ３ ７０ Ｙ２Ｏ３ １００ ＹＡＧ（Ｙ３Ａｌ５Ｏ１２） ５３０ ＣａＦ２ － ） （２エ）「 ［図：0001395262000009.jpg］ 」（２１９頁右欄５～１０行） （申立人による翻訳： 2.2 実験フロー ２つのスラリーをボールミルで混合し、前に得られた粒径が500ｎｍであるＹＡＧ種晶を添加し、添加量は0.2%(ω)であり、得られた混合スラリーを造粒技術で５～１０μｍの団粒に作成して、ＹＡＧを合成するための出発粉体とする。その後の熱処理に採用する条件は、示差熱分析（ＤＴＡ）の出発粉体に対する観察した結果を参考にし設定する。） （２オ）「 ［図：0001395262000010.jpg］ ［図：0001395262000011.jpg］ 」（２１９頁右欄下から５行～２２０頁左欄１０行） （申立人による翻訳：3 結果と考察 3.1 α－Ａｌ２Ｏ３とＹ２Ｏ３の固相反応観察 ＤＴＡ結果（図１)からわかるように、種晶を加えるか加えないかに関わらず試料の熱反応は主に900℃以後で発生し、900～1070℃(Ex.1)、1070～1270℃(Ex.2)及び1300℃の後(Ex.3)に放熱反応がそれぞれ１回発生した。Ex.1は不明瞭且つ幅が広く、Ex.2及びEx.3は明瞭で、種晶を加えることで鮮明で激しかった。XRDによる相の同定と組み合わせ、種晶なしの試料（図２)は、熱処理を経て、中間相ＹＡＭ及びＹＡＰはそれぞれ1000及び1100℃で２ｈ保持してから出現した。一方、ＹＡＧは1200℃で2h保持した後、明白に生成された［図２(d)及び図1Ex.2]。反応全体では、Ｙ２Ｏ３が最初に消失した。1300℃で2h保持した後、ＹＡＰとＹＡＧしか存在しなかったため、Ex.3はＹＡＰからＹＡＧを生成した反応に属するはずである。α－Ａｌ２Ｏ３の存在が観察されなかったため（図２及び３)、Ａｌ２Ｏ３はアモルファス[11]でＹＡＰの構造に溶解された又はＹＡＰの構造に固溶された可能性がある[12]。1400℃で保持してから純相のＹＡＧ粉体が得られた［図2(f)］。） （２カ）「 ［図：0001395262000012.jpg］ 」（２２０頁右欄） （申立人による翻訳：3.2 種晶の添加によるYAGの生成過程への影響 種晶を添加した後の試料のDTA［図1(b)]及びXRD（図3)のデータにより、α－Ａｌ２Ｏ３とＹ２Ｏ３の主な反応温度が900℃より低い可能性があることが説明されている。種晶を添加していないものと比べ、YAM(Ex.1)及びYAG(Ex.2)の発生温度は約100℃低下し、それぞれ800～1050℃と1100℃になる。サンプルの1000℃で2h保持した結果［図3(b)]においても、YAMに加えて、YAGも明白に生成されたことが発見された。1100℃まで昇温して温度を保持した後［図3(c)］α－Ａｌ２Ｏ３及びＹ２Ｏ３は既に消失していたが、YAM相の回折強度は1000℃のサンプルと同じように維持された。これは、この温度区間でα－Ａｌ２Ｏ３とＹ２Ｏ３の継続反応がYAM相を生成する、又はYAP相やYAG相をさらに生成することを説明している。微量のYAP及びＹ２Ｏ３は存在したが、1200℃まで保持して観察された生成物は既にほぼ純相YAGである。注目すべきことは、YAP相は1000～1200℃の温度区間では何れも明白ではなく、この特性は、種晶未添加のシステムとの最も異なる点である。これは、活発なYAG生成プロセスにおいて、YAPが不安定であることを説明している[14]。YAG純相を得るための温度は1300℃まで低くすることができる。図1(b)のDTAグラフを参照すると、YAG相は、主に1100～1270℃の間で生成されたが、一部は1000℃の前と1300℃の後に生成された可能性がある。明らかに、マルチシステム(3回以上）熱反応の発生を回避するために、種晶の添加の数についてさらに研究する必要がある。表2では、種晶を添加しない場合と0.2%(ω)添加した場合の試料が昇温プロセスにおいて発生する結晶相の変化を詳細に示す。) （２キ）「 ［図：0001395262000013.jpg］ 」（２２０頁下部） （申立人による翻訳：図２ 種晶の未添加の出発粉体の(a)900℃/2h、(b)1000℃/2h、(c)1100℃/2h、(d)1200℃/2h、(e)1300℃/2h、(f)1400℃/2hの熱処理後のXRD分析） （２ク）「 ［図：0001395262000014.jpg］ 」（２２１頁左下） （申立人による翻訳：図３ 種晶の添加0.2%(ω)の出発粉体の(a)900℃/2h、(b)1000℃/2h、(c)1100℃/2h、(d)1200℃/2h、(e)1300℃/2hの熱処理後のXRD分析。） （３）甲３の記載 ア 甲３には、「 ［図：0001395262000015.jpg］ 」 （当審訳：種晶のＹＡＧ粉体の生成における影響に関する研究）」（論文の表題）に関して、次の記載がある。 （３ア）「 ［図：0001395262000016.jpg］ 」（２２頁） （申立人による翻訳：図3.2.2 種晶含有率が異なる固相反応によるYAG合成実験のフローチャート） （３イ）「 ［図：0001395262000017.jpg］ 」（２５頁） （申立人による翻訳：3.3.4粉末結晶相分析（相同定） 粉末の結晶相の同定に、X線回折装置 (Rigaku MiniflexXRD, 成大資源研究所）を使用。常温下で、結晶相をX線回折装置で同定。操作条件：Cuターゲット(Kα，λ=1.540598Å),3OkV×15mA,走査速度は4゜／分，走査角度(2θ)範囲は20～80°。） （３ウ）「 ［図：0001395262000018.jpg］ 」（６５頁） （申立人による翻訳： 付属書D 強度（カウント） ２－θ Ｄ．１ 900～1400℃で2時間焼成した種晶０wt％の出発物質のXRDスペクトル） （４）甲４の記載 甲４には、「Ｘ線回折を用いた結晶子サイズの評価について」（ニュースの標題）に関して、次の記載がある。 「 ［図：0001395262000019.jpg］ 」 （４頁左欄１７～２６行） （５）甲５の記載 甲５には「希土類酸化物溶射用粒子、溶射部材および耐食性部材」（発明の名称）に関して、次の記載がある。 「【特許請求の範囲】 【請求項１】 平均粒径が３～２０μｍ、分散指数が０．４以下、アスペクト比が２以下であることを特徴とする希土類酸化物溶射用粒子。 【請求項２】 比表面積が０．３～１．０ｍ2／ｇであることを特徴とする請求項１記載の希土類酸化物溶射用粒子。 【請求項３】 嵩密度が真密度の３０～５０％であることを特徴とする請求項１または２記載の希土類酸化物溶射用粒子。 【請求項４】 結晶子が２５ｎｍ以上であることを特徴とする請求項１、２または３記載の希土類酸化物溶射用粒子。」 「【００１１】以下、本発明について更に詳しく説明する。本発明における希土類酸化物としては、イットリウム（Ｙ）を含む３Ａ族の希土類元素のうちから１種以上を用いることができる。なお、上記希土類酸化物とＡｌ、Ｓｉ、Ｚｒ、Ｉｎ等から選ばれる１種以上の金属との複合酸化物を用いてもよい。また、希土類酸化物溶射用粒子の平均粒径は３～２０μｍであり、特に７～１６μｍが好ましい。平均粒径が３μｍ未満では、溶射時のプラズマ炎等の中で蒸発、飛散してしまい、その分だけロスが生じるという問題がある。一方、平均粒径が２０μｍを超えると、溶射時のプラズマ炎等の中で完全に溶融されずに溶け残り、それが未融着粉となって、密着強度の低下を招くこととなる。なお、上記平均粒径とは、レーザー回折法で測定した粒度分布のＤ５０の値である。」 「【００１５】ところで、単結晶粒子は最も緻密であり、多結晶粒子でも粒子を構成する単結晶粒子の粒径が大きいほど緻密であると考えられる。このような粒子を構成する単結晶粒子の粒径を結晶子といい、上記希土類酸化物溶射用粒子において、当該結晶子が２５ｎｍ以上であることが好ましく、より好ましくは、５０ｎｍ以上である。結晶子が２５ｎｍ未満の場合、単結晶粒子の粒径が小さい多結晶粒子であるため、緻密とはいえない場合が多いと考えられる。なお、結晶子はＸ線回折のｗｉｌｓｏｎ法から求めた値であり、このｗｉｌｓｏｎ法では、単結晶粒子の粒径が最大でも１００ｎｍ以下になる。」 （６）甲６の記載 甲６には「ＹＡＧ粉末の製造方法」（発明の名称）に関して、次の記載がある。 「【０００１】 【発明の属する技術分野】本発明はＹＡＧ粉末の製造方法に関し、更に詳細はアルミニウム化合物粉末とイットリウム（Ｙ）含有化合物粉末とを混合粉砕して混合粉体を得た後、前記混合粉体を焼成して実質的にイットリウム－アルミニウム－ガーネット（ＹＡＧ）粉末を製造するＹＡＧ粉末の製造方法に関する。 【０００２】 【従来の技術】イットリウム－アルミニウム－ガーネット（ＹＡＧ）粉末を原料に用いた燒結体は、アルミナ（Ａｌ2Ｏ3）粉末を原料に用いた燒結体に比較して、ハロゲン系ガスに対する耐蝕性、特に１２７３℃以上の高温でのハロゲン系ガスに対する耐蝕性が良好であり、ハロゲンランプ等の種々の用途に用いられている。」 「【０００４】 【課題を解決するための手段】本発明者等は、前記課題を解決すべく検討した結果、出発原料であるアルミニウム化合物粉末として、アンモニウム－アルミニウム－カーボネイト－ハイドロオキサイド［ＮＨ4ＡｌＣＯ3（ＯＨ）2］粉末（以下、ＡＡＣＨ粉末と称することがある）を用い、ＡＡＣＨ粉末とＹ2Ｏ3粉末とを混合し短時間の混合粉砕を施した後、１５００℃未満の低温焼成温度で焼成を施すことによって、実質的にＹＡＧから成る粉末が得られることを見出し、本発明に到達した。すなわち、本発明は、アルミニウム化合物粉末とイットリウム（Ｙ）含有化合物粉末とを混合粉砕して混合粉体を得た後、前記混合粉体を焼成して実質的にＹＡＧから成る粉末を製造する際に、該アルミニウム化合物粉末として、ＮＨ4ＡｌＣＯ3（ＯＨ）2（ＡＡＣＨ）を用いることを特徴とするＹＡＧ粉末の製造方法にある。」 「【００１２】 【実施例】以下、本発明ついて実施例によって更に詳細に説明する。 実施例１ ＡＡＣＨ粉末９４４ｇに４．６リットルの水を加えてスラリーとし、ナイロン製ボールが充填されたボールミルを用いて約５時間の予備粉砕を行った。更に、予備粉砕を施したスラリーに、市販されているＹ2Ｏ3粉末４６０ｇを加え、ナイロン製ボールが充填されたボールミルを用いて更に２時間の予備粉砕を施して混合スラリーを得た。次いで、得られた混合スラリーに、前述した「粉砕・分級と表面処理」に掲載された湿式媒体攪拌型粉砕機を用いて６０分間の混合粉砕を施した。この湿式媒体攪拌型粉砕機の媒体としては、直径０．３ｍｍのジルコニアビーズを用いた。湿式媒体攪拌型粉砕機によって混合粉砕して得られた混合スラリーを、８０℃で乾燥した後、３６メッシュの網体を通過させて混合粉体とした。この混合粉体を、大気雰囲気の電気炉中で焼成した。この焼成条件では、焼成温度を１０５０℃とし、焼成時間を５時間とした。得られた焼成粉体のＸ線回折パターンを図４（ａ）に示す。このＸ線回折パターンから、ＹＡＧについてのメインピークの回折強度［ＹＡＧ（４２０）］と、ＹＡＰについてのメインピークである回折強度［ＹＡＰ（１２１）］との各々について、バッググランドを差し引いた正味のピーク長を測定した。その測定値を用いて強度比を計算したところ、強度比は０．９２であった。この強度比の値は、０．７以上であるため、得られた焼成粉末は実質的にＹＡＧから成るＹＡＧ粉末である。尚、強度比は、ＹＡＧ（４２０）／［ＹＡＧ（４２０）＋ＹＡＰ（１２１）］の計算式で計算した。 … 【００１４】実施例３ 実施例１において、焼成温度を１２００℃、焼成時間を１時間とした他は、実施例１と同様にして焼成粉体を得た。得られた焼成粉体のＸ線回折パターンを図４（ｃ）に示す。このＸ線回折パターンから、実施例１と同様にして強度比を計算したところ、０．９９であった。このため、得られた焼成粉体は、実質的にＹＡＧから成るＹＡＧ粉末である。」 「【図４】 ［図：0001395262000020.jpg］ 」 （７）甲７の記載 甲７には「耐プラズマ部材」（発明の名称）に関して、次の記載がある。 「【０００６】ところで、この種の半導体製造装置では、雰囲気ガスとして塩素系やフッ素系のハロゲン系腐食性ガスが使用され、処理室６２の内壁材６８、監視窓６７、マイクロ波導入窓６３、あるいは静電チャック７０は、これらの腐食性ガス雰囲気下でプラズマに曝されることから、ハロゲン系腐食性ガスに対する耐プラズマ性に優れることが要求されており、上記処理室６２の内壁材６８、監視窓６７、マイクロ波導入窓６３、静電チャック７０などの耐プラズマ部材を、アルミナ焼結体、窒化珪素焼結体、窒化アルミニウム焼結体等のセラミック焼結体やサファイアで形成したものがあった（特開平５－２５１３６５号公報参照）。」 「【００１０】 【課題を解決するための手段】そこで、本発明は上記課題に鑑み、フッ素系や塩素系などのハロゲン系腐食性ガス雰囲気下でプラズマに曝される表面を、気孔率が３％以下のイットリウム・アルミニウム・ガーネット焼結体により形成するとともに、その表面を中心線平均粗さ（Ｒａ）１μｍ以下として耐プラズマ部材を構成したものである。 【００１１】また、本発明は上記イットリウム・アルミニウム・ガーネット焼結体中に含まれている周期律表２ａ族元素の酸化物及び酸化珪素の含有量を１５００ｐｐｍ以下とすることにより、ハロゲン系腐食性ガスに対する耐プラズマ性をさらに高めたものであり、特にこの耐プラズマ部材は半導体製造装置の監視窓、マイクロ波導入窓、静電チャック、サセプタ、クランプ部材、処理室の内壁材を構成するのに好適なものである。」 （８）甲８の記載 甲８には「ドライエッチング」（論文の標題）に関して、次の記載がある。 「 ［図：0001395262000021.jpg］ 」（第８６８頁上部） （９）甲９の記載 甲９には「溶射用粉末及び溶射材料」（発明の名称）に関して、次の記載がある。 「【特許請求の範囲】 【請求項１】 希土類元素の酸化物からなる溶射用粉末であって、 レーザー回折・散乱式粒度分布測定法による小粒径側からの積算体積が５０％になる粒径Ｄ５０が１．０μｍ以上１０．０μｍ以下であり、 ＢＥＴ法比表面積が１．５ｍ２／ｇ以上１０ｍ２／ｇ以下であり、 水銀圧入法により測定された細孔直径６μｍ以下の細孔容積が０．１５ｃｍ３／ｇ以上０．８０ｃｍ３／ｇ以下である溶射用粉末。」 「【００２４】 本発明の溶射用粉末は、ＢＥＴ法比表面積が特定範囲である。具体的には、本発明の溶射用粉末のＢＥＴ法比表面積は、１．５ｍ２／ｇ以上１０．０ｍ２／ｇ以下である。この範囲であることにより、本発明の溶射用粉末は、これを溶射すると、希土類酸化物粒子がほど良く溶融する。このため、本発明の溶射用粉末から緻密な溶射膜を得ることができる。一層緻密な溶射膜を得る観点から、溶射用粉末のＢＥＴ法比表面積は好ましくは２．０ｍ２／ｇ以上９．０ｍ２／ｇ以下であり、更に好ましくは２．０ｍ２／ｇ以上８．０ｍ２／ｇ以下である。ＢＥＴ法比表面積を上記の範囲とするためには、後述する溶射用粉末の製造方法における第２工程の焼成温度条件を適切に設定すればよい。ＢＥＴ法比表面積は後述の実施例に記載の方法により測定することができる。」 （１０）甲１０の記載 甲１０には「溶射粉及び溶射被膜」（発明の名称）に関して、次の記載がある。 「【特許請求の範囲】 【請求項１】 元素の周期表３Ａ族から選択された一種以上の元素の化合物からなり、鉄族金属化合物が酸化物換算で５ｐｐｍ以下であることを特徴とする溶射粉。 … 【請求項４】 平均粒径が５μｍ～８０μｍの範囲にある請求項１乃至３のいずれかに記載の溶射粉。 … 【請求項６】 比表面積が１ｍ2／ｇ以上、５ｍ2／ｇ以下である請求項１乃至５のいずれかに記載の溶射粉。」 「【００１３】このような希土類元素を含む化合物を造粒して得た造粒粉は、平均粒径を５～８０μｍ、好ましくは２０～８０μｍとすることにより、溶射粉としての流動性を向上することができる。造粒粉の平均粒子径が５μｍより小さいと製造が困難であり、８０μｍを超えると粒子の中心部が溶射時に溶融されず未融着粉を生じたり、密着強度が低く歩留の低下を招くおそれがある。」 「【００２４】［実施例５］ＰＶＡ（ポリビニルアルコール）１５ｇを溶かした純水１５リットルに、平均粒子径１．３μｍでＦｅ2Ｏ3が０．５ｐｐｍ以下のＹ3Ａｌ5Ｏ12の複合酸化物粉５ｋｇを分散させてスラリーを作製し、このスラリーをマグネット除鉄器に通して磁性粉を除いた後、２流体ノズル噴霧型造粒機でこのスラリーを噴霧乾燥させ球状造粒粉を作製した。さらに、この造粒粉を１７００℃で２時間焼成し球状溶射粉とした。上記、溶射粉製造工程によって得られた溶射粉の粒径をレーザー回折式の粒度測定器で測定したところ、平均粒子径は３２μｍであった。測定した粒度分布より分散指数を求めたところ、０．５２であった。この溶射粉を酸分解してＩＣＰ分光分析（誘導結合高周波プラズマ分光分析）でＦｅ2Ｏ3濃度を測定したところ、Ｆｅ2Ｏ3は１ｐｐｍであった。また、ＢＥＴ法で比表面積を求めたところ、比表面積は２．１ｍ2／ｇであった。」 （１１）甲１１の記載 甲１１には「イットリウム含有保護皮膜による半導体処理装置の被覆方法」（発明の名称）に関して、次の記載がある。 「【０００７】 高いコロージョン耐性及び絶縁性を必要とするチャンバの内壁表面及びチャンバ内の部材の露出面上にはＡｌ２Ｏ３の又はＡｌ２Ｏ３とＹ２Ｏ３との膜が形成される。模範的な応用例において、チャンバの母材はセラミック材料（Ａｌ２Ｏ３、ＳｉＯ２、ＡＩＮ等）、アルミニウム、ステンレススチール、その他の金属又は金属合金であり、母材上に溶射膜を有する。この膜は、周期表のＩＩＩ－Ｂ元素の化合物（Ｙ２Ｏ３等）から形成することができる。この膜は、実質的にＡｌ２Ｏ３及びＹ２Ｏ３から成る複合酸化物を含む。イットリウム・アルミニウム・ガーネット（ＹＡＧ）の溶射膜を使用することもできる。溶射皮膜の典型的な厚さは約５０μｍ～３００μｍである。」 「【００２４】 膜／皮膜は、熱／火炎溶射、プラズマ放電溶射に加えたその他の方法を使用して適用してもよい。例えば、焼結バルクセラミックのターゲットをスパッタする形態の物理気相蒸着（ＰＶＤ）及び化学気相蒸着（ＣＶＤ）も採用することができる。得られる皮膜の構造は各ケースによって若干異なるが、当業者ならすぐさま調節して皮膜を所望の性能特性にすることが可能である。皮膜をスパッタリング又はＣＶＤにより適用する場合、適用速度はずっと遅くなるため、皮膜を酸化アルミニウムの下層と組み合わせて使用するのが有利である。プラズマ溶射被覆及び熱溶射被覆により、アルミニウム合金上への直接の適用でもアルミニウム合金上の酸化アルミニウム層上への適用でも素晴らしい皮膜が得られた。」 （１２）甲１２の記載 甲１２には「溶射成形体」（発明の名称）に関して、次の記載がある。 「【００４２】 ［参考例６］ 外径（ＯＤ）３００ｍｍ×内径（ＩＤ）２９４ｍｍ×高さ（Ｈ）１００ｍｍのカーボン円筒（ＣＩＰ基材）を準備した。ショットブラストでカーボン円筒外周面を荒らし、その表面上に、Ｙ2Ｏ3溶射用原料粉を用いてアルゴン／水素ガスのプラズマ溶射によりコーティングを実施した。カーボン円筒外周面にＹ2Ｏ3溶射膜を積層させてゆき、Ｙ2Ｏ3溶射膜厚が２ｍｍに達したところで、溶射を終了した。 次に、ＹＡＧ（Ｙｔｔｒｉｕｍ Ａｌｕｍｉｎｕｍ Ｇａｒｎｅｔ）溶射用原料粉を用いてアルゴン／水素ガスのプラズマ溶射によりコーティングを実施した。カーボン円筒外周面のＹ2Ｏ3溶射膜の上にＹＡＧ溶射膜を積層させてゆき、ＹＡＧ溶射膜厚が２ｍｍに達したところで、溶射を終了した。 次に、Ｙ2Ｏ3＋ＹＡＧ積層コートされたカーボン円筒を酸化雰囲気炉にセットし、８００℃まで加熱してカーボン円筒を燃焼させた。その後、常温に戻すことで、カーボン円筒を除去した肉厚４ｍｍ、外径３０９ｍｍ×内径３０１ｍｍ×高さ１００ｍｍのＹ2Ｏ3＋ＹＡＧ溶射物（Ｙ2Ｏ3＋ＹＡＧセラミックス円筒基材）を得た。」 （１３）申立理由１（進歩性）についての当審の判断 ア 本件発明１と甲１発明との対比 （ア）甲１発明の「アルミニウムに対するイットリウムの比率は０．６０」であることについて ａ 甲１発明の「アルミニウムに対するイットリウムの比率」とは、【００４１】の説明によれば、「アルミナに換算した溶射用粉末中のアルミニウムのモル数に対するイットリアに換算した溶射用粉末中のイットリウムのモル数の比率」のことである。 ｂ 上記ａの説明を踏まえると、「アルミニウムに対するイットリウムの比率は０．６０」であるとは、甲１の実施例１のＹＡＧ造粒-焼結粒子からなる溶射用粉末である「イットリウム-アルミニウム複酸化物」が、アルミニウムとイットリウムを、アルミナとイットリアに換算したとき、 アルミナ（Ａｌ２Ｏ３）：イットリア（Ｙ２Ｏ３）＝１：０．６ のモル数の比率で含むものであって、 Ａｌ２Ｏ３・０．６Ｙ２Ｏ３＝２／５・Ｙ３Ａｌ５Ｏ１２ であることも勘案すれば、化学量論比のＹＡＧ（イットリウムアルミニウムガーネット）が生成されているものであることを意味するといえる。 ｃ そうすると、実施例１の溶射用粉末である、「イットリウム-アルミニウム複酸化物」は、「ＹＡＧ（イットリウムアルミニウムガーネット、Ｙ３Ａｌ５Ｏ１２）」を含むものであるが、イットリウムとアルミニウムを含む他の化合物、具体的には、ＹＡＧが生成する化学量論比の配合量よりもイットリウムの配合量が多い場合に生成するＹＡｌＯ３（ＹＡＰ、イットリウムアルミニウムペロブスカイト）は含まれていないものといえる。 ｄ つまり、甲１発明において、「アルミニウムに対するイットリウムの比率は０．６０」であることは、「イットリウム-アルミニウム複酸化物から実質的になる溶射用粉末」が、 ・Ｙ３Ａｌ５Ｏ１２（ＹＡＧ、イットリウムアルミニウムガーネット）を含むものであり、 ・ＹＡｌＯ３（ＹＡＰ、イットリウムアルミニウムペロブスカイト）を含まないものであること、 を意味しているものと認められる。 ｅ したがって、甲１発明において、「アルミニウムに対するイットリウムの比率は０．６０」であることは、Ｙ３Ａｌ５Ｏ１２（ＹＡＧ、イットリウムアルミニウムガーネット）を含むものであることを意味するから、本件発明１において、「Ｘ線回折測定において立方晶Ｙ３Ａｌ５Ｏ１２のピーク」「が観察され」ることとは、「Ｘ線回折測定において」「Ｙ３Ａｌ５Ｏ１２のピーク」「が観察され」る点で共通する。 また、甲１発明において、「アルミニウムに対するイットリウムの比率は０．６０」であることは、ＹＡｌＯ３（ＹＡＰ、イットリウムアルミニウムペロブスカイト）を含まないことも意味するから、本件発明１のように「直方晶ＹＡｌＯ３のピークが観察され、立方晶Ｙ３Ａｌ５Ｏ１２の（４２０）ピークに対する直方晶ＹＡｌＯ３の（１１２）ピークの強度比が０．０１以上１未満であ」るものではない。 （イ）甲１発明の「イットリア又はアルミナの相対ピーク強度は０」であることについて ａ 甲１発明の「イットリア又はアルミナの相対ピーク強度」とは、【００４０】の説明によれば、「溶射用粉末のＸ線回折を測定したときに得られる、イットリウム-アルミニウム複酸化物に由来するＸ線回折ピークに対するイットリアに由来するＸ線回折ピークの比率とイットリウム-アルミニウム複酸化物に由来するＸ線回折ピークに対するアルミナに由来するＸ線回折ピークの比率のうちの最大値」のことである。 ｂ すると、「イットリア又はアルミナの相対ピーク強度は０である」とは、イットリアに由来するＸ線回折ピークと、アルミナに由来するＸ線回折ピークの最大値が０であり、さらに、Ｘ線回折ピークの強度が負の値になることはないことも勘案すると、イットリアに由来するＸ線回折ピークの強度と、アルミナに由来するＸ線回折ピークの強度がいずれも０であるといえるから、実施例１の溶射粉末ではイットリアに由来するＸ線回折ピークとアルミナに由来するＸ線回折ピークのいずれも観測されないことを意味しているものと認められる。 ｃ つまり、甲１発明において、「イットリア又はアルミナの相対ピーク強度は０」であることは、「イットリウム-アルミニウム複酸化物から実質的になる溶射粉末」が、 ・イットリアに由来するＸ線回折ピークとアルミナに由来するＸ線回折ピークのいずれも観測されないものであること、 を意味しているものと認められる。 ｄ したがって、甲１発明において「イットリア又はアルミナの相対ピーク強度は０であ」ることは、イットリアの化学式がＹ２Ｏ３であることを勘案すると、イットリアに由来するＸ線回折ピークが観測されないものであること、すなわち、Ｙ２Ｏ３がいかなる結晶系であるかによらず、Ｙ２Ｏ３に由来するＸ線回折ピークが観測されないものであることを意味しているから、本件発明１の「Ｘ線回折測定において更に立方晶Ｙ２Ｏ３のピークが観察されない」ことに相当する。 ｅ また、甲１発明において「イットリア又はアルミナの相対ピーク強度は０であ」ることは、アルミナの化学式がＡｌ２Ｏ３であることを勘案すると、アルミナに由来するＸ線回折ピークが観測されないものであること、すなわち、アルミナがいかなる結晶系であるかによらず、また、いずれの格子面からの回折であるかによらず、Ａｌ２Ｏ３に由来するピークが観測されないことを意味しているから、本件発明１の「立方晶Ｙ３Ａｌ５Ｏ１２の（４２０）ピークに対する三方晶Ａｌ２Ｏ３の（１０４）ピークの強度比が０．１未満であ」ることに相当する。 （ウ）甲１発明は、「原料粉末としてイットリア粉末とアルミナ粉末の混合物を用い」ているものであるから、不可避不純物の混入を除けば、イットリウムとアルミニウムと酸素以外の元素は含まれていないものであるということができ、また、上記（ア）ｃで検討したとおり、Ｙ３Ａｌ５Ｏ１２を含むが、イットリウムとアルミニウムを含む他の化合物は含まれていないものであるから、本件発明１と同様に、「立方晶Ｙ３Ａｌ５Ｏ１２、直方晶ＹＡｌＯ３、立方晶Ｙ２Ｏ３及び三方晶Ａｌ２Ｏ３以外の成分に由来するピークが実質的に観察されない」ものである。 （エ）甲１発明の「プラズマ溶射皮膜用の溶射用粉末」は、本件発明１の「成膜用又は焼結用粉末」に相当する。 （オ）以上の検討によれば、本件発明１と甲１発明の一致点及び相違点は以下のとおりである。 （一致点） 「 Ｘ線回折測定においてＹ３Ａｌ５Ｏ１２のピークが観察され、 Ｘ線回折測定において更に立方晶Ｙ２Ｏ３のピークが観察されないか、或いは更に立方晶Ｙ２Ｏ３のピークが観察され、立方晶Ｙ３Ａｌ５Ｏ１２の（４２０）ピークに対する立方晶Ｙ２Ｏ３の（２２２）ピークの強度比が０．００１以上０．１未満であり、 立方晶Ｙ３Ａｌ５Ｏ１２の（４２０）ピークに対する三方晶Ａｌ２Ｏ３の（１０４）ピークの強度比が０．１未満であり、 立方晶Ｙ３Ａｌ５Ｏ１２、直方晶ＹＡｌＯ３、立方晶Ｙ２Ｏ３及び三方晶Ａｌ２Ｏ３以外の成分に由来するピークが実質的に観察されない、成膜用又は焼結用粉末。」の点。 （相違点１） Ｘ線回折測定においてピークが観察される「Ｙ３Ａｌ５Ｏ１２」の結晶系が、本件発明１では「立方晶」であるのに対して、甲１発明では特定されていない点。 （相違点２） 本件発明１は、「Ｘ線回折測定において」「直方晶ＹＡｌＯ３のピークが観察され」、「立方晶Ｙ３Ａｌ５Ｏ１２の（４２０）ピークに対する直方晶ＹＡｌＯ３の（１１２）ピークの強度比が０．０１以上１未満であ」るのに対して、甲１発明は、ＹＡｌＯ３（ＹＡＰ、イットリウムアルミニウムペロブスカイト）を含まないものであるから、ＹＡｌＯ３がいかなる結晶系であるかによらず、また、いかなる格子面からの回折であるかによらず、ＹＡｌＯ３のピークが観察されないものである点。 （相違点３） 「Ｘ線回折測定においてＹ３Ａｌ５Ｏ１２の（４２０）ピークの半値幅から求められる結晶子サイズ」が、本件発明１では「５０ｎｍ以上」であるのに対して、甲１発明では、Ｙ３Ａｌ５Ｏ１２のピークが観察されるものではあるが、そのピークの半値幅から観察される結晶子サイズが特定されていない点。 （相違点４） 「細孔径０．１μｍ以上１μｍ以下の細孔容積」が、本件発明１では「０．１６ｍＬ／ｇ以上」であるのに対して、甲１発明では、特定されていない点。 イ 相違点についての検討 事案に鑑みて、相違点２について検討する。 （ア）甲１発明の溶射用粉末において、アルミニウムに対するイットリウムの比率が０．６０であることは、化学量論比のＹ３Ａｌ５Ｏ１２（ＹＡＧ、イットリウムアルミニウムガーネット）が生成していることを意味するものであるが（上記ア（ア）ｂの検討参照）、当該溶射用粉末に「直方晶ＹＡｌＯ３」が含有されるためには、本件明細書の段落【００１３】に「本発明者は、Ｘ線回折測定において立方晶Ｙ３Ａｌ５Ｏ１２に加えて直方晶ＹＡｌＯ３を含有し、且つ両者の組成が特定比であると、プラズマエッチングにおいて耐食性が高い皮膜及び焼結体が得やすいことを見出した。より具体的には本発明の粉末はＹ３Ａｌ５Ｏ１２の量論比に比してイットリウムのモル比が若干高く、且つＹＡｌＯ３が直方晶であることが良いことを見出した。」と記載されているように、原料粉末中のイットリア粉末の含有比率を、化学量論比の含有比率よりも高くする必要がある。 （イ）しかしながら、甲１の【００２１】には、造粒-焼結粒子中にイットリアが多く混入している場合には、融点が上昇して溶融しにくくなるので、溶射用粉末の付着効率が低下し、また、緻密度の低い溶射被膜が得られやすいため、溶射被膜の剥離があまり抑制されない虞があるところ、当該虞を抑制するためには、造粒-焼結粒子中のイットリアの混入量を少なくすることが好ましいことが記載されている。 （ウ）したがって、「アルミニウムに対するイットリウムの比率は０．６０であ」り、化学量論比のＹ３Ａｌ５Ｏ１２（ＹＡＧ、イットリウムアルミニウムガーネット）が生成している甲１発明の溶射用粉末において、原料粉末中のイットリア粉末の含有割合を化学量論比の含有割合よりも高めると、溶射用粉末の付着効率が低下したり、溶射被膜の剥離があまり抑制されないという不適正な事態が生じるため、原料粉末中のイットリア粉末の含有割合を高めることには阻害要因がある。それゆえに、甲１発明の溶射粉末に「直方晶ＹＡｌＯ３」が含有されるものとすること、すなわち、「Ｘ線回折測定において」「直方晶ＹＡｌＯ３のピークが観察され」るものとすることはできない。 つまり、甲１発明において、他の甲号証の記載如何によらず、相違点２に係る本件発明１の特定事項とすることは、当業者にとって容易になし得たことであるとはいえない。 （エ）なお、甲２は、「α－Ａｌ２Ｏ３及びＹ２Ｏ３を出発原料として、固相反応法でイットリウムアルミニウムガーネット（Ｙ３Ａｌ５Ｏ１２）粉体を合成する」ことについて観察したものであり（２ア）、種晶を加えない場合には１４００℃で２ｈの熱処理をするとＹＡＧの純相（単一相）が生成されるが（２オ、図２（ｆ））、種晶を加える場合には１３００℃で２ｈの熱処理をすることによりＹＡＧの純相（単一相）を生成することができる（２カ、図３（ｅ））。また、種晶を加えない場合には、１１００℃～１３００℃では中間相としてＹＡＰ（ＹＡｌＯ３）が生成することが示されている（２イ、２オ、図２（ｃ）～（ｅ））。 （オ）甲１発明においても、「原料粉末としてイットリア粉末とアルミナ粉末の混合物を用い、原料粉末を分散媒に混合してスラリーを調製し、スラリーから造粒粉末を作製し、造粒粉末を焼結」するものであるから、上記（エ）の甲２の記載事項を参照すると、焼結温度が仮に１１００～１３００℃という温度であれば、ＹＡＰ（ＹＡｌＯ３）が生成する可能性はあるが、甲１には焼結を１１００～１３００℃で行うことは記載されていないから甲１発明がＹＡＰを含むものであるとはいえないし、「ＹＡＧ造粒-焼結粒子」は上記ア（ア）ｃで検討したように、ＹＡＧの単一相からなる粒子であると解されるものであるところ、甲１発明においてＹＡＧ以外に中間相のＹＡＰを含有させる動機を見いだすことができない。 また、甲３は、甲２と同一執筆者の石明哲による論文であり、甲２と同様の内容が記載されているにすぎないから、甲３の記載事項を参照しても、甲１発明がＹＡＰを含むものであるとはいえないし、甲１発明に中間相のＹＡＰを含有させる動機を見いだすことができない。 したがって、甲２及び甲３の記載を参照しても、相違点２が実質的なものでないということはできないし、また、甲１発明において、相違点２に係る本件発明１の特定事項を備えたものとすることが容易になし得たことであるとはいえない。 （カ）そうすると、相違点１、３、４について検討するまでもなく、本件発明１は、甲１～甲１２に記載された発明に基いて当業者が容易に発明をすることができたものであるとはいえない。 ウ 本件発明３～９について 本件発明１を直接又は間接的に引用することによって本件発明１の特定事項の全てを備える本件発明３～９も、本件発明１と同様の理由で、甲１～甲１２に記載された発明に基いて当業者が容易に発明をすることができたものではない。 エ 小括 以上の検討から、本件発明１、３～９は、甲１～甲１２に記載された発明に基いて当業者が容易に発明をすることができたものであるとはいえないから、申立理由１は採用できない。 ２ 申立理由２（サポート要件）について （１） 本件明細書の段落【０００６】に、「しかしながら、特許文献１及び２に記載の粉末を溶射して得られる皮膜はプラズマエッチングに対する十分な耐食性を有するものでなかった。したがって、本発明の課題は、前述した従来技術が有する種々の欠点を解消し得るイットリウムとアルミニウムの複合酸化物粉末を提供することにある。」と記載されていることから、本件発明が解決しようとする課題は、プラズマエッチングに対する十分な耐食性を有する皮膜を溶射によって得ることができる、イットリウムとアルミニウムの複合酸化物粉末を提供することであると認められる（以下、単に「課題」という。）。 （２） そして、上記課題を解決するための手段について、本件明細書には次の記載がある（下線は当審が付した。）。 「【課題を解決するための手段】 【0007】 本発明者はイットリウムとアルミニウムの複合酸化物粉末についてプラズマエッチングに対する耐食性を効果的に高める構成について鋭意検討した。その結果、特定の組成又は細孔容積を採用することで、耐食性を効果的に高め得ることを見出した。 【0008】 本発明は前記知見に基づきなされたものであり、Ｘ線回折測定においてＹ３Ａｌ５Ｏ１２のピークとＹＡｌＯ３のピークが観察され、立方晶Ｙ３Ａｌ５Ｏ１２の（４２０）ピークに対する直方晶ＹＡｌＯ３の（１１２）ピークの強度比が０．０１以上１未満である成膜用又は焼結用粉末を提供するものである。」 「【0013】 （成膜用又は焼結用粉末の組成） 本発明の粉末をＸ線回折測定に付すと、立方晶Ｙ３Ａｌ５Ｏ１２（イットリウム・アルミニウム・ガーネット）に由来する回折ピークと、直方晶ＹＡｌＯ３に由来する回折ピークが観察される。本発明者は、Ｘ線回折測定において立方晶Ｙ３Ａｌ５Ｏ１２に加えて直方晶ＹＡｌＯ３を含有し、且つ両者の組成が特定比であると、プラズマエッチングにおいて耐食性が高い皮膜及び焼結体が得やすいことを見出した。より具体的には本発明の粉末はＹ３Ａｌ５Ｏ１２の量論比に比してイットリウムのモル比が若干高く、且つＹＡｌＯ３が直方晶であることが良いことを見出した。 【0014】 具体的には、本発明の粉末は、Ｘ線回折測定において立方晶Ｙ３Ａｌ５Ｏ１２のピークと直方晶ＹＡｌＯ３のピークが観察され、立方晶Ｙ３Ａｌ５Ｏ１２の（４２０）ピークの強度Ｓ１に対する直方晶ＹＡｌＯ３の（１１２）ピークの強度Ｓ２の比率Ｓ２／Ｓ１が０．０１以上１未満であることが好ましい。当該範囲の粉末から得られる皮膜や焼結体の耐食性が高くなる理由は明確ではないが、本発明者はＹ３Ａｌ５Ｏ１２の量論比に比してイットリウムのモル比が若干高く、ＹＡｌＯ３が直方晶であると、プラズマエッチングに対して安定な組成の皮膜又は焼結体が得やすいと考えている。例えば、Ｓ２／Ｓ１が１未満であることで不安定なメリライト（Ｙ４Ａｌ２Ｏ９）組成の出現を効果的に防止できる。皮膜又は焼結体の耐食性を一層高める観点から、Ｓ２／Ｓ１は０．０２以上０．５以下であることがより好ましく、０．０３以上０．３以下であることが特に好ましい。また、ＹＡｌＯ３は複合酸化物であり、その結晶構造は立方晶、直方晶及び六方晶など多系が知られている。これらの結晶構造のうち、ＹＡｌＯ３が直方晶であると、プラズマエッチングに対して安定な組成の皮膜又は焼結体が得やすいと本発明者は考えている。この結晶構造はＩＣＤＤ粉末回折データベース０１－０７４－４２３６に開示されている。なお本明細書でいうピーク強度比は２つのピークの高さの比を指し、２つのピークの積分強度の比を指すのではない（以下「ピーク強度」というときには、これと同じ意味である）。」 （３） 上記（２）の記載によれば、上記課題を解決するための手段とは、Ｘ線回折測定において立方晶Ｙ３Ａｌ５Ｏ１２のピークと直方晶ＹＡｌＯ３のピークが観察され、立方晶Ｙ３Ａｌ５Ｏ１２の（４２０）ピークの強度Ｓ１に対する直方晶ＹＡｌＯ３の（１１２）ピークの強度Ｓ２の比率Ｓ２／Ｓ１が０．０１以上１未満であることである。そして、当該手段によって課題が解決される機序について、プラズマエッチングに対して安定な組成の皮膜又は焼結体が得やすいからであり、さらに詳細には、Ｓ２／Ｓ１が１未満であることで不安定なメリライト（Ｙ４Ａｌ２Ｏ９）組成の出現を効果的に防止できるからであると説明されている。 そして、本件明細書の段落【００８５】の【表２】によれば、実施例１～１２はいずれも、立方晶Ｙ３Ａｌ５Ｏ１２の（４２０）ピーク（その強度Ｓ１）と、直方晶ＹＡｌＯ３の（１１２）ピーク（その強度Ｓ２）が観測されるものであるとともに、Ｓ２／Ｓ１の値が０．０１以上１未満の範囲を満たしているものであり、これら実施例のエッチングレートは１．５～２．２ｎｍ／ｍｉｎの範囲にあって、上記条件を満たさない比較例１～３よりもエッチングレートが小さくなっていることから、プラズマエッチングに対する耐食性が高くなっていること、すなわち、上記課題が解決されていることが確認できる。 （４） そして、本件発明１と本件発明１を引用する本件発明２～９は、いずれも、「Ｘ線回折測定において立方晶Ｙ３Ａｌ５Ｏ１２のピークと直方晶ＹＡｌＯ３のピークが観察され、立方晶Ｙ３Ａｌ５Ｏ１２の（４２０）ピークに対する直方晶ＹＡｌＯ３の（１１２）ピークの強度比が０．０１以上１未満であ」るとの上記課題を解決するための手段を備えることが特定されているので、本件発明１～９は、発明の詳細な説明に記載したものであるということができる。 （５） なお、申立人は、異議申立書の２５～２６頁の「特許法第３６条第６項第１号」の項目において、「立方晶Ｙ２Ｏ３」のピークが観測されない（Ｓ３／Ｓ１が０）場合の効果が具体的に示されているのは、Ｓ２／Ｓ１が０．０７の実施例３一つのみであり、Ｓ２／Ｓ１が１に近い場合にも同様の効果があることは実施例として示されていないから、本件発明が、Ｓ３／Ｓ１が０でありＳ２／Ｓ１が１に近い場合に、上記課題が解決できるとは認められないと主張しているので、以下、この主張について検討する。 （６） 本件明細書には、本件発明１が「立方晶Ｙ３Ａｌ５Ｏ１２のピーク」と「直方晶ＹＡｌＯ３のピーク」以外に、「立方晶Ｙ２Ｏ３（酸化イットリウム）のピーク」が観察される場合について次の記載がある（下線は当審が付した。）。 「【００１６】 本発明の粉末は上述したとおりイットリウム・アルミニウム・ガーネットＹ３Ａｌ５Ｏ１２に比してＹ／Ａｌ比の高いＹＡｌＯ３を若干量含むことを反映して、Ｘ線回折測定において酸化イットリウムのピークが観察される場合がある。Ｘ線回折測定において酸化イットリウムのピークが観察される場合、立方晶Ｙ３Ａｌ５Ｏ１２の（４２０）ピークの強度Ｓ１に対する立方晶Ｙ２Ｏ３の（２２２）ピークの強度Ｓ３の比Ｓ３／Ｓ１が０．００１以上０．１未満であることが、焼結体の作製時に、イットリウムとアルミニウムの複合酸化物の反応焼結の助剤として働き、より緻密な焼結体を得やすくなる点で好ましい。また、Ｓ３／Ｓ１が０．００１以上０．１未満であることが、皮膜及び焼結体の耐食性を高める点からも好ましい。これらの観点から、Ｓ３／Ｓ１は０．００２以上０．０５以下であることがより好ましく、０．００３以上０．０３以下であることが特に好ましい。ＣｕＫα線を用いたＸ線回折測定において立方晶Ｙ２Ｏ３の（２２２）ピークは、通常２θ＝２９°、具体的には２９．２°±０．５°に観察される。」 （７） 上記（６）の記載によれば、本件発明１が「立方晶Ｙ３Ａｌ５Ｏ１２のピーク」と「直方晶ＹＡｌＯ３のピーク」以外に、「立方晶Ｙ２Ｏ３（酸化イットリウム）のピーク」が観察される場合には、「立方晶Ｙ３Ａｌ５Ｏ１２の（４２０）ピークに対する立方晶Ｙ２Ｏ３の（２２２）ピークの強度比（Ｓ３／Ｓ１）」が「０．００１以上０．１未満」である限りにおいて、「立方晶Ｙ２Ｏ３（酸化イットリウム）」が反応焼結の助剤として働き、より緻密な焼結体を得やすくなることが説明されており、本件発明１が上記（４）の課題を解決するための手段によって上記課題を解決することを何ら阻害するものではないことが理解される。 （８） 一方、上記（６）の記載には、本件発明１が「立方晶Ｙ３Ａｌ５Ｏ１２のピーク」と「直方晶ＹＡｌＯ３のピーク」以外に、「立方晶Ｙ２Ｏ３（酸化イットリウム）のピーク」が観察されない場合（Ｓ３／Ｓ１が０の場合）についての説明はされていないが、そのような場合は、「立方晶Ｙ２Ｏ３（酸化イットリウム）」が反応焼結の助剤として働くことはないけれども、上記ウに記載した、Ｓ２／Ｓ１が１未満であることで不安定なメリライト（Ｙ４Ａｌ２Ｏ９）組成の出現を効果的に防止できるので、プラズマエッチングに対して安定な組成の皮膜又は焼結体が得やすいとの機序に基づいて本件発明１は上記課題を解決し得るものであると理解することができる。 つまり、上記エの課題を解決するための手段を備えた本件発明１において、「立方晶Ｙ２Ｏ３（酸化イットリウム）のピーク」が観察されない場合（Ｓ３／Ｓ１が０の場合）が基本的な態様であって、その場合には上記機序によって課題を解決し得るのであり、また、Ｙ３Ａｌ５Ｏ１２に比してＹ／Ａｌ比の高いＹＡｌＯ３を若干量含むことを反映して、Ｘ線回折測定において酸化イットリウムのピークが観察されるような態様であっても、Ｓ３／Ｓ１が０．００１以上０．１未満の場合に限って酸化イットリウムは反応焼結の助剤として働き、また、上記機序を阻害することもないので、この場合も課題を解決することができるものと認められる。 （９） そして、申立人は、Ｓ３／Ｓ１が０でありＳ２／Ｓ１が１に近い場合に、例えば、不安定なメリライト（Ｙ４Ａｌ２Ｏ９）組成の出現を効果的に防止できない等の、上記課題を解決することができなくなることについての具体的な理由を示しているわけでもなく、実際に課題が解決できないことを示す実験結果を提出しているわけでもないので、上記の場合に本件発明１が課題を解決することができないとの上記（５）の主張は採用することができない。 （１０） 小括 以上の検討から、本件発明１～９は、本件発明の課題を解決し得るものであって、発明の詳細な説明に記載したものであるといえるから、申立理由２は採用できない。 ３ 申立理由３（明確性）について （１） 本件発明１の発明特定事項である「細孔径０．１μｍ以上１μｍ以下の細孔容積が０．１６ｍＬ／ｇ以上であり」が次のア、イのいずれを意味するのか検討する。 ア 細孔径０．１μｍ以上１μｍ以下の範囲の全域において、細孔容積が０．１６ｍＬ／ｇ以上である。 イ 細孔径０．１μｍ以上１μｍ以下の細孔の総容積が０．１６ｍＬ／ｇ以上である。 （２） 本件明細書の段落【0058】には次の記載がある（下線は当審が付した。）。 「〔細孔第１ピーク、細孔第２ピーク、０．１μｍ以上１μｍ以下の細孔容積、５μｍ以上５０μｍ以下の細孔容積〕 ・装置：オートポアIV（マイクロメリティクス社製） ・第１細孔ピーク：通常、一次粒子で構成された顆粒の細孔径分布を測定すると２つのピークが得られるが、このピークのうち、小径側のピークを第１細孔ピークとする。 ・第２細孔ピーク：前述のピークのうち、大径側のピークを第２ピークとする。 ・０．１μｍ以上１μｍ以下の細孔容積：細は孔径０．１μｍ以上１μｍ以下の細孔容積の積算値 ・５μｍ以上５０μｍ以下の細孔容積：細孔径５μｍ以上５０μｍ以下の細孔容積の積算値測定結果を図２に示す。」 （３） 上記（２）には「０．１μｍ以上１μｍ以下の細孔容積」が「細孔径０．１μｍ以上１μｍ以下の細孔容積の積算値」であることが明記されており、本件発明１の「細孔径０．１μｍ以上１μｍ以下の細孔容積が０．１６ｍＬ／ｇ以上であ」るとの特定事項は、上記（１）イの「細孔径０．１μｍ以上１μｍ以下の細孔の総容積が０．１６ｍＬ／ｇ以上である」ことを意味することは明らかである。 （４） なお、本件明細書の段落【００８５】の表２には、実施例１の「０．１μｍ以上１μｍ以下の細孔容積Ｖ１」が「０．２３ｍＬ／ｇ」であることが示されているが、実施例１の測定結果を表した本願の願書に添付した図２を参照すると、「細孔径０．１μｍ以上１μｍ以下」の範囲における縦軸の値は、０．３μｍ近辺で１ｍＬ／ｇを超えているが、０．１μｍ近傍と１μｍ近傍で０．２３ｍＬ／ｇを下回る０に近い値であることが確認できるから、上記（１）アの解釈を採用する余地はない。 「【００８５】 【表２】 ［図：0001395262000022.jpg］ 」（当審注：表２の一部のみの抜粋） 「【図２】 ［図：0001395262000023.jpg］ 」 （５） 小括 したがって、本件発明１の発明特定事項である「細孔径０．１μｍ以上１μｍ以下の細孔容積が０．１６ｍＬ／ｇ以上であり」は、その意味が明確であるので、申立理由３は採用できない。 第５ 結び 以上のとおりであるから、特許異議の申立ての理由及び証拠によっては、請求項１～９に係る特許を取り消すことはできない。 また、他に請求項１～９に係る特許を取り消すべき理由を発見しない。 よって、結論のとおり決定する。