2022-700076

第２ 本件発明

本件特許の請求項１～５に係る発明は，本件特許の願書に添付した特許請求の範囲の請求項１～５に記載された事項により特定される以下のとおりのものである（以下，それぞれ「本件発明１」等という。また，本件特許の願書に添付した明細書を「本件明細書」という。）。

【請求項１】

前記メタルマスク用素材１ｇ当たりにおいて，

面積円相当径が１０．０μｍを超える酸化物系非金属介在物が２．０個以下であり，

面積円相当径が６．０～１０．０μｍである酸化物系非金属介在物の個数が２０．０個以下であり，

前記素材は板厚０．１５ｍｍ以下の薄板形状であることを特徴とする，メタルマスク用素材。

【請求項２】

真空溶解により，再溶解用の第一消耗電極を製造する消耗電極製造工程と，

前記第一消耗電極を鋳型内で再溶解して第二再溶解用の第二再溶解用消耗電極を製造する第一再溶解工程と，

前記第二再溶解用消耗電極を鋳型内で再溶解して鋼塊とする第二再溶解工程と，を備え，

前記第二再溶解用消耗電極の径Ｄ１の，前記第二再溶解で用いる鋳型の内径Ｄ２に対する比Ｄ１／Ｄ２は，０．８０～０．９５であり，

前記第二再溶解工程後の鋼塊に熱間圧延，冷間圧延を行い，板厚０．１５ｍｍ以下の薄板状素材を得ることを特徴とする，メタルマスク用素材の製造方法。

【請求項３】

前記冷間圧延後の素材１ｇ当たりにおける，面積円相当径が１０．０μｍを超える酸化物系非金属介在物が２．０個以下であり，面積円相当径が６．０～１０．０μｍである酸化物系非金属介在物の個数が２０．０個以下であることを特徴とする，請求項２に記載のメタルマスク用素材の製造方法。

【請求項４】

前記冷間圧延時の総圧下率は，９０％以上であることを特徴とする，請求項２または３に記載のメタルマスク用素材の製造方法。

【請求項５】

前記第一再溶解工程および第二再溶解工程を，真空アーク再溶解で行うことを特徴とする，請求項２乃至４のいずれかに記載のメタルマスク用素材の製造方法。

第４ 当審の判断

以下に述べるように，特許異議申立書に記載した特許異議の申立ての理由によっては，本件特許の請求項１～５に係る特許を取り消すことはできない。

１ 申立理由１（進歩性），申立理由３（進歩性）

（１）甲１に記載された発明

甲１の記載（特許請求の範囲，２頁右下欄１４～１９行，５頁左上欄２～１６行，５頁左下欄１９行～１０頁左下欄３行，第１表～第４表，第１図～第４図）によれば，特に，特許請求の範囲の記載，実施例１の記載（５頁右下欄３行～６頁右下欄１０行）のほか，合金Ｎｏ．１（第１表，第２表）を用いた供試材ａ（第３表）に着目すると，甲１には，以下の発明が記載されていると認められる。

「Ｃ：０．００１９ｗｔ％，Ｓｉ：０．０５ｗｔ％，Ｍｎ：０．２８ｗｔ％，Ｎｉ：３５．７ｗｔ％，Ｃｒ：０．０２ｗｔ％，Ｐ：０．００２ｗｔ％，Ｓ：０．０００５ｗｔ％，ｓｏｌＡｌ：０．００７ｗｔ％，Ｎ：０．００１２ｗｔ％，Ｏ：０．００１０ｗｔ％を含有し，残部がＦｅおよび不可避的不純物からなる成分組成を有するシャドウマスク用Ｆｅ－Ｎｉ合金薄板であって，

板厚は０．２５ｍｍであり，

介在物組成が，ＣａＯ：５５ｗｔ％，Ａｌ２Ｏ３：５ｗｔ％，ＭｇＯ：４０ｗｔ％であり，

圧延方向における板厚断面で８００倍にて６０ｍｍ２検鏡し，視野内すべての介在物の厚さ，長さを測定し，（長さ／厚さ）≦３を球状介在物，（長さ／厚さ）＞３を線状介在物として分類した，介在物のサイズ別の個数（１ｍｍ２当り）が，球状介在物（～３μｍ）が７個／ｍｍ２，球状介在物（３～６μｍ）が０個／ｍｍ２，球状介在物（６～１４μｍ）が０個／ｍｍ２，球状介在物（１４μｍ～）が０個／ｍｍ２，線状介在物（～３μｍ）が０個／ｍｍ２，線状介在物（３～５μｍ）が０個／ｍｍ２であり，

圧延方向における表面粗度Ｒａ（Ｌ）が０．５０μｍであり，圧延方向と垂直な方向における表面粗度Ｒａ（Ｃ）が０．６０μｍであり，圧延方向におけるスキューネスＲｓｋ（Ｌ）が＋０．６であり，圧延方向と垂直な方向におけるスキューネスＲｓｋ（Ｃ）が＋０．７であり，エッチング直前での表面におけるＳｉの成分偏析率が４％である，シャドウマスク用Ｆｅ－Ｎｉ合金薄板。」（以下，「甲１発明１」という。）

「Ｃ：０．００１９ｗｔ％，Ｓｉ：０．０５ｗｔ％，Ｍｎ：０．２８ｗｔ％，Ｎｉ：３５．７ｗｔ％，Ｃｒ：０．０２ｗｔ％，Ｐ：０．００２ｗｔ％，Ｓ：０．０００５ｗｔ％，ｓｏｌＡｌ：０．００７ｗｔ％，Ｎ：０．００１２ｗｔ％，Ｏ：０．００１０ｗｔ％を含有し，残部がＦｅおよび不可避的不純物からなる成分組成を有する合金を電気炉にて出鋼し，その後に取鍋精錬を行うことによって７トン鋼塊とし，

出鋼後の取鍋精錬は，ＣａＯ：４０％以下のＭｇＯ－ＣａＯ系耐火物よりなる取鍋を使用し，溶滓は成分がｗｔ％で（ＣａＯ）／（ＣａＯ）＋（Ａｌ２Ｏ３）が０．４５％以下，ＭｇＯが２５％以下，ＳｉＯ２が１５％以下，Ｓｉより酸化力の弱い金属の酸化物が３％以下であるＣａＯ－Ａｌ２Ｏ３－ＭｇＯ系のものであり，

上記で得られた鋼塊を手入れの後，１２００℃で２０時間加熱し，１次分塊にて断面減少率６０％で分塊圧延を行い，しかるのち１２００℃で２０時間加熱し，２次分塊にて断面減少率４５％で分塊圧延を行い，徐冷することにより，供試材を得て，スラブを準備し，

このスラブを手入れし酸化防止剤を塗布後，加熱温度１１００℃で加熱してから熱間圧延を行い，この際，１０００℃以上での合計圧下率は８２％であり，８５０℃以上での合計圧下率は９８％であって，熱間圧延された熱延コイルの巻取り温度は５５０～７５０℃であり，

上記のようにして得られた熱延コイルは脱スケール後，冷延，焼鈍を繰返し，最終冷延または調質圧延時にダルロールを用いて圧延することにより，圧延方向における表面粗度Ｒａ（Ｌ）が０．５０μｍであり，圧延方向と垂直な方向における表面粗度Ｒａ（Ｃ）が０．６０μｍであり，圧延方向におけるスキューネスＲｓｋ（Ｌ）が＋０．６であり，圧延方向と垂直な方向におけるスキューネスＲｓｋ（Ｃ）が＋０．７である，表面粗度を有する，板厚０．２５ｍｍの合金板を得る，シャドウマスク用Ｆｅ－Ｎｉ合金薄板の製造方法。」（以下，「甲１発明２」という。）

（２）本件発明１について

ア 対比

本件発明１と甲１発明１とを対比する。

本件発明１における「質量％で，Ｃ：０．０１％以下，Ｓｉ：０．５％以下，Ｍｎ：１．０％以下，Ｎｉ：３０～５０％を含有し，残部がＦｅ及び不可避的不純物からなる組成を有する」，「薄板形状である」「メタルマスク用素材」と，甲１発明１における「Ｃ：０．００１９ｗｔ％，Ｓｉ：０．０５ｗｔ％，Ｍｎ：０．２８ｗｔ％，Ｎｉ：３５．７ｗｔ％，Ｃｒ：０．０２ｗｔ％，Ｐ：０．００２ｗｔ％，Ｓ：０．０００５ｗｔ％，ｓｏｌＡｌ：０．００７ｗｔ％，Ｎ：０．００１２ｗｔ％，Ｏ：０．００１０ｗｔ％を含有し，残部がＦｅおよび不可避的不純物からなる成分組成を有するシャドウマスク用Ｆｅ－Ｎｉ合金薄板」とは，「質量％」と「ｗｔ％」とが同視できることから，いずれも，「質量％で，Ｃ：０．０１％以下，Ｓｉ：０．５％以下，Ｍｎ：１．０％以下，Ｎｉ：３０～５０％を含有し，Ｆｅ及び不可避的不純物を含有する組成を有する」，「薄板形状である」「素材」である限りで共通する。

以上によれば，本件発明１と甲１発明１とは，

「質量％で，Ｃ：０．０１％以下，Ｓｉ：０．５％以下，Ｍｎ：１．０％以下，Ｎｉ：３０～５０％を含有し，Ｆｅ及び不可避的不純物を含有する組成を有する素材であって，

前記素材は薄板形状である，素材。」

の点で一致し，以下の点で相違する。

・相違点１－１

素材の用途が，本件発明１では，「メタルマスク用」であるのに対して，甲１発明１では，「シャドウマスク用」である点。

・相違点１－２

素材の組成が，本件発明１では，Ｃ，Ｓｉ，Ｍｎ，Ｎｉのほかは，「残部がＦｅ及び不可避的不純物からなる」のに対して，甲１発明１では，Ｃ，Ｓｉ，Ｍｎ，Ｎｉのほかに，さらに，「Ｃｒ：０．０２ｗｔ％，Ｐ：０．００２ｗｔ％，Ｓ：０．０００５ｗｔ％，ｓｏｌＡｌ：０．００７ｗｔ％，Ｎ：０．００１２ｗｔ％，Ｏ：０．００１０ｗｔ％」を含有し，「残部がＦｅおよび不可避的不純物からなる」点。

・相違点１－３

素材の板厚が，本件発明１では，「０．１５ｍｍ以下」であるのに対して，甲１発明１では，「０．２５ｍｍ」である点。

・相違点１－４

本件発明１では，「前記メタルマスク用素材１ｇ当たりにおいて，面積円相当径が１０．０μｍを超える酸化物系非金属介在物が２．０個以下であり，面積円相当径が６．０～１０．０μｍである酸化物系非金属介在物の個数が２０．０個以下であ」るのに対して，甲１発明１では，「圧延方向における板厚断面で８００倍にて６０ｍｍ２検鏡し，視野内すべての介在物の厚さ，長さを測定し，（長さ／厚さ）≦３を球状介在物，（長さ／厚さ）＞３を線状介在物として分類した，介在物のサイズ別の個数（１ｍｍ２当り）が，球状介在物（～３μｍ）が７個／ｍｍ２，球状介在物（３～６μｍ）が０個／ｍｍ２，球状介在物（６～１４μｍ）が０個／ｍｍ２，球状介在物（１４μｍ～）が０個／ｍｍ２，線状介在物（～３μｍ）が０個／ｍｍ２，線状介在物（３～５μｍ）が０個／ｍｍ２であ」る点。

イ 相違点１－１の検討

甲１には，カラーテレビブラウン管のシャドウマスクを製造するためのＦｅ－Ｎｉ合金薄板について記載されている（特許請求の範囲，２頁左上欄４～１１行，２頁右下欄１４～１９行，１０頁右上欄１４行～左下欄３行）。

しかしながら，甲１には，甲１発明１に係るシャドウマスク用Ｆｅ－Ｎｉ合金薄板を，メタルマスクを製造するために用いることについては，何ら記載されておらず，また，そのようなことが技術常識であるともいえない。

また，甲２には，高鮮明ＴＶのシャドウマスク材として使用することができるＦｅ－Ｎｉ系合金冷延板について記載されているものの（特許請求の範囲，【０００１】），甲１発明１に係るシャドウマスク用Ｆｅ－Ｎｉ合金薄板を，メタルマスクを製造するために用いることを動機付ける記載は見当たらない。

念のため，甲３～１４の記載について検討しても，やはり，甲１発明１に係るシャドウマスク用Ｆｅ－Ｎｉ合金薄板を，メタルマスクを製造するために用いることを動機付ける記載は見当たらない。

以上によれば，甲１発明１において，Ｆｅ－Ｎｉ合金薄板の用途を，「シャドウマスク用」に代えて，「メタルマスク用」とすることは，当業者が容易に想到することができたとはいえない。

ウ 申立人の主張について

申立人は，本件発明１の用途と甲１に記載された発明の用途は一応相違するものの，これらは，発明に係る物品がどのような用途に用いられるかにすぎず，発明に係る素材やＦｅ－Ｎｉ合金薄板そのものの特徴ではないこと，また，本件明細書の記載を根拠として，出願人（特許権者）自身が，「シャドウマスク用のＦｅ－Ｎｉ系薄板」及び「メタルマスク用素材」は同一又は同等の技術分野であることを認めていること，を指摘して，「メタルマスク用」及び「シャドウマスク用」は実質的に相違しないと主張する。

しかしながら，本件発明１は，出願人（特許権者）がその発明を特定するために必要と認める事項として，素材が「メタルマスク用」であることを明示的に特定したものであり，本件発明１と甲１発明１とが，発明（技術的思想の創作）として，その用途が異なるものであることは明らかである。

よって，申立人の主張は採用できない。

エ 小括

したがって，相違点１－２～１－４について検討するまでもなく，本件発明１は，甲１に記載された発明及び甲２に記載された事項に基いて，当業者が容易に発明をすることができたものとはいえない。

（３）本件発明２について

本件発明２と甲１発明２とを対比すると，上記（２）アと同様に，両者は，少なくとも，相違点１－１と同様の点で相違するところ，この相違点については，上記（２）イで述べたのと同様の理由により，当業者が容易に想到することができたとはいえない。

したがって，本件発明２は，甲１に記載された発明及び甲４～８に記載された事項に基いて，当業者が容易に発明をすることができたものとはいえない。

（４）本件発明３～５について

本件発明３～５は，本件発明２を直接又は間接的に引用するものであるが，上記（３）で述べたとおり，本件発明２が，甲１に記載された発明及び甲４～８に記載された事項に基いて，当業者が容易に発明をすることができたものとはいえない以上，本件発明３～５についても同様に，甲１に記載された発明及び甲４～８に記載された事項に基いて，当業者が容易に発明をすることができたものとはいえない。

（５）まとめ

以上のとおり，本件発明１は，甲１に記載された発明及び甲２に記載された事項に基いて，当業者が容易に発明をすることができたものとはいえない。

また，本件発明２～５は，甲１に記載された発明及び甲４～８に記載された事項に基いて，当業者が容易に発明をすることができたものとはいえない。

したがって，申立理由１（進歩性），申立理由３（進歩性）によっては，本件特許の請求項１～５に係る特許を取り消すことはできない。

２ 申立理由２（進歩性）

（１）甲３に記載された発明

甲３の記載（請求項１，【０００８】，【００２０】～【００３０】，表１，図１，２）によれば，特に，請求項１，【０００８】，【００２８】の記載のほか，サンプルＮｏ．９（表１）に着目すると，甲３には，以下の発明が記載されていると認められる。

「Ｎｉ：４２．３ｗｔ％，Ｍｎ：０．２８ｗｔ％，Ａｌ：０．０１４ｗｔ％，Ｓ：０．０００６ｗｔ％，残部はＦｅおよび不可避的不純物からなり，

前記不可避的不純物が，Ｓｉ：０．１３ｗｔ％，Ｃｒ：０．０５ｗｔ％，Ｃ：０．００１９ｗｔ％，Ｎ：０．００１２ｗｔ％，Ｐ：０．００２ｗｔ％，Ｏ：０．００１５ｗｔ％，および非金属介在物：６０ｗｔ％のＣａＯを含むＡｌ２Ｏ３－ＭｇＯ－ＣａＯ，で構成され，

冷延板中における前記非金属介在物の形態が，介在物径は平均直径にして１０μｍ以下であり，平均直径１０μｍ超の介在物分布が１００ｍｍ２当たり０個，平均直径６～１０μｍの介在物分布が１００ｍｍ２当たり０個，平均直径６μｍ未満の介在物分布が１００ｍｍ２当たり４１個に制御され，

厚さが０．１５ｍｍである，リードフレームやシャドウマスクなどの電子部品材料として使用されるＦｅ－Ｎｉ系合金冷延板。」（以下，「甲３発明」という。）

（２）本件発明１について

ア 対比

本件発明１と甲３発明とを対比する。

本件発明１における「質量％で，Ｃ：０．０１％以下，Ｓｉ：０．５％以下，Ｍｎ：１．０％以下，Ｎｉ：３０～５０％を含有し，残部がＦｅ及び不可避的不純物からなる組成を有する」，「薄板形状である」「メタルマスク用素材」と，甲３発明における「Ｎｉ：４２．３ｗｔ％，Ｍｎ：０．２８ｗｔ％，Ａｌ：０．０１４ｗｔ％，Ｓ：０．０００６ｗｔ％，残部はＦｅおよび不可避的不純物からなり，前記不可避的不純物が，Ｓｉ：０．１３ｗｔ％，Ｃｒ：０．０５ｗｔ％，Ｃ：０．００１９ｗｔ％，Ｎ：０．００１２ｗｔ％，Ｐ：０．００２ｗｔ％，Ｏ：０．００１５ｗｔ％，および非金属介在物：６０ｗｔ％のＣａＯを含むＡｌ２Ｏ３－ＭｇＯ－ＣａＯ，で構成され」る，「リードフレームやシャドウマスクなどの電子部品材料として使用されるＦｅ－Ｎｉ系合金冷延板」とは，「質量％」と「ｗｔ％」とが同視できることから，いずれも，「質量％で，Ｃ：０．０１％以下，Ｓｉ：０．５％以下，Ｍｎ：１．０％以下，Ｎｉ：３０～５０％を含有し，Ｆｅ及び不可避的不純物を含有する組成を有する」，「薄板形状である」「素材」である限りで共通する。

以上によれば，本件発明１と甲３発明とは，

「質量％で，Ｃ：０．０１％以下，Ｓｉ：０．５％以下，Ｍｎ：１．０％以下，Ｎｉ：３０～５０％を含有し，Ｆｅ及び不可避的不純物を含有する組成を有する素材であって，

前記素材は板厚０．１５ｍｍ以下の薄板形状である，素材。」

の点で一致し，以下の点で相違する。

・相違点３－１

素材の用途が，本件発明１では，「メタルマスク用」であるのに対して，甲３発明では，「リードフレームやシャドウマスクなどの電子部品材料として使用される」ものである点。

・相違点３－２

素材の組成が，本件発明１では，Ｃ，Ｓｉ，Ｍｎ，Ｎｉのほかは，「残部がＦｅ及び不可避的不純物からなる」のに対して，甲３発明では，Ｃ，Ｓｉ，Ｍｎ，Ｎｉのほかに，さらに，「Ａｌ：０．０１４ｗｔ％，Ｓ：０．０００６ｗｔ％」を含み，「残部はＦｅおよび不可避的不純物からなり」，「前記不可避的不純物」が，「Ｃｒ：０．０５ｗｔ％」，「Ｎ：０．００１２ｗｔ％，Ｐ：０．００２ｗｔ％，Ｏ：０．００１５ｗｔ％」で構成される点。

・相違点３－３

本件発明１では，「前記メタルマスク用素材１ｇ当たりにおいて，面積円相当径が１０．０μｍを超える酸化物系非金属介在物が２．０個以下であり，面積円相当径が６．０～１０．０μｍである酸化物系非金属介在物の個数が２０．０個以下であ」るのに対して，甲３発明では，「冷延板中における前記非金属介在物の形態が，介在物径は平均直径にして１０μｍ以下であり，平均直径１０μｍ超の介在物分布が１００ｍｍ２当たり０個，平均直径６～１０μｍの介在物分布が１００ｍｍ２当たり０個，平均直径６μｍ未満の介在物分布が１００ｍｍ２当たり４１個に制御され」る点。

イ 相違点３－１の検討

甲３には，リードフレームやシャドウマスクなどの電子部品材料として用いるためのＦｅ－Ｎｉ系合金冷延板について記載されている（【０００８】，【００３０】）。

しかしながら，甲３には，甲３発明に係るＦｅ－Ｎｉ系合金冷延板を，メタルマスクを製造するために用いることについては，何ら記載されておらず，また，そのようなことが技術常識であるともいえない。

念のため，甲１，２及び４～１４の記載について検討しても，甲３発明に係るＦｅ－Ｎｉ系合金冷延板を，メタルマスクを製造するために用いることを動機付ける記載は見当たらない。

以上によれば，甲３発明において，Ｆｅ－Ｎｉ系合金冷延板の用途を，「リードフレームやシャドウマスクなどの電子部品材料として使用される」ものに代えて，「メタルマスク用」とすることは，当業者が容易に想到することができたとはいえない。

ウ 小括

したがって，相違点３－２，３－３について検討するまでもなく，本件発明１は，甲３に記載された発明に基いて，当業者が容易に発明をすることができたものとはいえない。

（３）まとめ

以上のとおり，本件発明１は，甲３に記載された発明に基いて，当業者が容易に発明をすることができたものとはいえない。

したがって，申立理由２（進歩性）によっては，本件特許の請求項１に係る特許を取り消すことはできない。

第５ むすび

以上のとおり，特許異議申立書に記載した特許異議の申立ての理由によっては，本件特許の請求項１～５に係る特許を取り消すことはできない。

また，他に本件特許の請求項１～５に係る特許を取り消すべき理由を発見しない。

よって，結論のとおり決定する。