2024-006867

特願２０２３－ ９４６４２「走査型電子顕微鏡および走査型電子顕微鏡の２次電子検出方法」拒絶査定不服審判事件〔令和 ５年 ８月 ８日出願公開、特開２０２３－１１００７２〕について、次のとおり審決する。

結 論 本件審判の請求は、成り立たない。

理 由 第１ 手続の経緯 本願は、令和元年９月２０日に出願した特願２０１９－１７１５８８号の一部を令和５年６月８日に新たな特許出願としたものであって、その手続の経緯の概略は次のとおりである。 令和 ６年 １月１２日付け：拒絶理由通知書 同年 ２月１６日 ：意見書、手続補正書の提出 同年 ４月 １日付け：拒絶査定 （同月 ９日 ：原査定の謄本の送達） 同年 ４月２３日 ：審判請求書、手続補正書の提出 令和 ７年 ７月 ９日付け：拒絶理由通知書 同年 ７月１７日 ：意見書、手続補正書の提出 同年１２月 ８日付け：拒絶理由通知書（最後）（以下、この拒絶理由通知書で通知された拒絶理由を「当審拒絶理由」という。） 同年１２月１５日 ：応対記録 同年１２月２３日 ：意見書、手続補正書の提出 第２ 令和７年１２月２３日にされた手続補正についての補正の却下の決定 ［補正の却下の決定の結論］ 令和７年１２月２３日にされた手続補正を却下する。 ［補正の却下の決定の理由］ １ 本件補正の内容 令和７年１２月２３日にされた手続補正（以下「本件補正」という。）は、特許請求の範囲についてする補正であって、本件補正前（令和７年７月１７日にされた手続補正後）の特許請求の範囲の請求項１～６及び本件補正後の特許請求の範囲の請求項１～６の記載は、それぞれ次の(１)及び(２)に示すとおりである。下線は補正箇所を示す。 (１) 本件補正前 「【請求項１】 １次電子をサンプルに照射し、該サンプルから放出された２次電子を検出して該サンプルの２次電子画像を生成する走査型電子顕微鏡において、 １次電子を生成して加速する１次電子照射系と、 前記１次電子照射系で生成された１次電子について、偏向に伴って該１次電子を分散させる第１制御装置と、 前記第１制御装置で偏向された１次電子を逆方向に偏向するに伴って該１次電子を逆分散して前記分散の無い１次電子の状態に戻し、かつ結像系の軸に一致させてサンプルに照射させると共に、該サンプルから放出された２次電子を前記１次電子と逆方向に偏向に伴って該２次電子を分散させる、少なくとも磁界で構成し、前記１次電子の走路と前記２次電子の走路とを軸対称に構成した第２制御装置と、 前記第２制御装置で偏向されて結像系の軸に一致させた後の前記１次電子を細く絞ってサンプルに照射すると共に、サンプルから放出された２次電子を前記第２制御装置に入射させる対物レンズからなる結像系と、 前記第２制御装置で偏向に伴って分散される前記２次電子を、該第２制御装置の偏向方向と逆方向に偏向するに伴って該２次電子を逆分散して前記分散の無い２次電子の状態に戻し、前記第２制御装置における１次電子の走路と該第３制御装置における２次電子の走路とを軸対称に構成した第３制御装置と、 前記第３制御装置で偏向に伴って逆分散して分散の無い２次電子に戻して検出する２次電子検出系とを備え、 前記偏向に伴って分散される前記１次電子および前記２次電子の走路をそれぞれ軸対称にし、かつそれぞれ逆分散して分散の無い１次電子および２次電子の状態にそれぞれ戻し、前記１次電子および前記２次電子を分散させることなくあるいは分散を低減させる、 ことを特徴とする走査型電子顕微鏡。 【請求項２】 前記第１制御装置および前記第３制御装置は、磁界あるいは電界あるいは磁界と電界の４極以上を有する偏向装置としたことを特徴とする請求項１に記載の走査型電子顕微鏡。 【請求項３】 前記第２制御装置は、磁界と電界の各４極以上を有し、前記１次電子の進行方向と逆方向の前記２次電子を分離することを特徴とする請求項１から請求項２のいずれかに記載の走査型電子顕微鏡。 【請求項４】 前記サンプルと対物レンズの先端部分との間にリターディング電圧を印加し、サンプルに低加速電圧の１次電子にして照射したことを特徴とする請求項１から請求項３のいずれかに記載の走査型電子顕微鏡。 【請求項５】 前記対物レンズの部分に隔膜を設けて、該隔膜を境にサンプル側を低真空、反対側を高真空に保持したことを特徴とする請求項１から請求項４のいずれかに記載の走査型電子顕微鏡。 【請求項６】 １次電子をサンプルに照射し、該サンプルから放出された２次電子を検出して該サンプルの２次電子画像を生成する走査型電子顕微鏡の２次電子検出方法において、 １次電子を生成して加速する１次電子照射系と、 前記１次電子照射系で生成された１次電子について、偏向に伴って該１次電子を分散させる第１制御装置と、 前記第１制御装置で偏向された１次電子を逆方向に偏向するに伴って該１次電子を逆分散して前記分散の無い１次電子の状態に戻し、かつ結像系の軸に一致させてサンプルに照射させると共に、該サンプルから放出された２次電子を前記１次電子と逆方向に偏向に伴って該２次電子を分散させる、少なくとも磁界で構成し、前記１次電子の走路と前記２次電子の走路とを軸対称に構成した第２制御装置と、 前記第２制御装置で偏向されて結像系の軸に一致させた後の前記１次電子を細く絞ってサンプルに照射すると共に、サンプルから放出された２次電子を前記第２制御装置に入射させる対物レンズからなる結像系と、 前記第２制御装置で偏向に伴って分散される前記２次電子を、該第２制御装置の偏向方向と逆方向に偏向するに伴って該２次電子を逆分散して前記分散の無い２次電子の状態に戻し、前記第２制御装置における１次電子の走路と該第３制御装置における２次電子の走路とを軸対称に構成した第３制御装置と、 前記第３制御装置で偏向に伴って逆分散して分散の無い２次電子に戻して検出する２次電子検出系とを設け、 前記偏向に伴って分散される前記１次電子および前記２次電子の走路をそれぞれ軸対称にし、かつそれぞれを逆分散して分散の無い１次電子および２次電子の状態にそれぞれ戻し、前記１次電子および前記２次電子を分散させることなくあるいは分散を低減させる、 ことを特徴とする走査型電子顕微鏡の２次電子検出方法」 (２) 本件補正後 「【請求項１】 １次電子をサンプルに照射し、該サンプルから放出された２次電子を検出して該サンプルの２次電子画像を生成する走査型電子顕微鏡において、 １次電子を生成して加速する１次電子照射系と、 前記１次電子照射系で生成された１次電子について、偏向に伴って該１次電子を分散させる第１制御装置と、 前記第１制御装置で偏向された１次電子を逆方向に偏向するに伴って該１次電子を逆分散して前記分散の無い１次電子の状態に戻し、かつ結像系の軸に一致させてサンプルに照射させると共に、該サンプルから放出された２次電子を前記１次電子と逆方向に偏向に伴って該２次電子を分散させる、少なくとも磁界で構成し、前記１次電子の軌道と前記２次電子の軌道とを互いに略対称に配置しかつ通過する電子が互いに逆になるようにした第２制御装置と、 前記第２制御装置で偏向されて結像系の軸に一致させた後の前記１次電子を細く絞ってサンプルに照射すると共に、サンプルから放出された２次電子を前記第２制御装置に入射させる対物レンズからなる結像系と、 前記第２制御装置で偏向に伴って分散される前記２次電子を、該第２制御装置の偏向方向と逆方向に偏向するに伴って該２次電子を逆分散して前記分散の無い２次電子の状態に戻し、前記第２制御装置における１次電子の軌道と２次電子の軌道とを互いに略対称に配置しかつ通過する電子が互いに逆になるようにした、第３制御装置と、 前記第３制御装置で偏向に伴って逆分散して分散の無い２次電子に戻して検出する２次電子検出系とを備え、 前記偏向に伴って分散される前記１次電子の軌道と前記２次電子の軌道とを互いに略対称に配置しかつ通過する電子が互いに逆になるようにし、かつそれぞれ逆分散して分散の無い１次電子および２次電子の状態にそれぞれ戻し、前記１次電子および前記２次電子を分散させることなくあるいは分散を低減させる、 ことを特徴とする走査型電子顕微鏡。 【請求項２】 前記第１制御装置および前記第３制御装置は、磁界あるいは電界あるいは磁界と電界の４極以上を有する偏向装置としたことを特徴とする請求項１に記載の走査型電子顕微鏡。 【請求項３】 前記第２制御装置は、磁界と電界の各４極以上を有し、前記１次電子の進行方向と逆方向の前記２次電子を分離することを特徴とする請求項１から請求項２のいずれかに記載の走査型電子顕微鏡。 【請求項４】 前記サンプルと対物レンズの先端部分との間にリターディング電圧を印加し、サンプルに低加速電圧の１次電子にして照射したことを特徴とする請求項１から請求項３のいずれかに記載の走査型電子顕微鏡。 【請求項５】 前記対物レンズの部分に隔膜を設けて、該隔膜を境にサンプル側を低真空、反対側を高真空に保持したことを特徴とする請求項１から請求項４のいずれかに記載の走査型電子顕微鏡。 【請求項６】 １次電子をサンプルに照射し、該サンプルから放出された２次電子を検出して該サンプルの２次電子画像を生成する走査型電子顕微鏡の２次電子検出方法において、 １次電子を生成して加速する１次電子照射系と、 前記１次電子照射系で生成された１次電子について、偏向に伴って該１次電子を分散させる第１制御装置と、 前記第１制御装置で偏向された１次電子を逆方向に偏向するに伴って該１次電子を逆分散して前記分散の無い１次電子の状態に戻し、かつ結像系の軸に一致させてサンプルに照射させると共に、該サンプルから放出された２次電子を前記１次電子と逆方向に偏向に伴って該２次電子を分散させる、少なくとも磁界で構成し、前記１次電子の軌道と前記２次電子の軌道とを互いに対称に配置しかつ通過する電子が互いに逆になるようにした第２制御装置と、 前記第２制御装置で偏向されて結像系の軸に一致させた後の前記１次電子を細く絞ってサンプルに照射すると共に、サンプルから放出された２次電子を前記第２制御装置に入射させる対物レンズからなる結像系と、 前記第２制御装置で偏向に伴って分散される前記２次電子を、該第２制御装置の偏向方向と逆方向に偏向するに伴って該２次電子を逆分散して前記分散の無い２次電子の状態に戻し、前記第２制御装置における１次電子の軌道と２次電子の軌道とを互いに略対称に配置しかつ通過する電子が互いに逆になるようにした、第３制御装置と、 前記第３制御装置で偏向に伴って逆分散して分散の無い２次電子に戻して検出する２次電子検出系とを設け、 前記偏向に伴って分散される前記１次電子の軌道と前記２次電子の軌道とを互いに略対称に配置しかつ通過する電子が互いに逆になるようにし、かつそれぞれを逆分散して分散の無い１次電子および２次電子の状態にそれぞれ戻し、前記１次電子および前記２次電子を分散させることなくあるいは分散を低減させる、 ことを特徴とする走査型電子顕微鏡の２次電子検出方法。」 ２ 本件補正の適否について (１) 本件補正の目的について ア 請求項１、６について 本件補正で請求項１、６（これらの請求項は独立項に係るものである。）についてする補正は、次の補正事項(ｉ)～(ｉｉｉ)からなるものである。 (ｉ) 本件補正前の請求項１、６に記載した発明を特定するために必要な事項（以下「発明特定事項」という。）である「第２制御装置」について、「前記１次電子の走路と前記２次電子の走路とを軸対称に構成した」ものであったのを、「前記１次電子の軌道と前記２次電子の軌道とを互いに略対称に配置しかつ通過する電子が互いに逆になるようにした」ものと補正する補正事項。 (ｉｉ) 本件補正前の請求項１、６に記載した発明特定事項である「第３制御装置」について、「前記第２制御装置における１次電子の走路と該第３制御装置における２次電子の走路とを軸対称に構成した」ものであったのを、「前記第２制御装置における１次電子の軌道と２次電子の軌道とを互いに略対称に配置しかつ通過する電子が互いに逆になるようにした」ものと補正する補正事項。 (ｉｉｉ) 本件補正前の請求項１、６に記載した発明特定事項である「走査型電子顕微鏡」又は「走査型電子顕微鏡の２次電子検出方法」について、「前記１次電子および前記２次電子の走路をそれぞれ軸対称に［する］」ものであったのを、「前記１次電子の軌道と前記２次電子の軌道とを互いに略対称に配置しかつ通過する電子が互いに逆になるように［する］」ものと補正する補正事項。 これらの補正事項のうち、前記(ｉｉ)の補正事項の目的について検討すると、本件補正前は、対称に構成又は配置される２次電子の走路又は軌道が「第３制御装置における」２次電子であったものを、「第２制御装置における」２次電子に変更するものであり、本件補正前の請求項１、６に記載した発明特定事項を限定するものとはいえないから、本件補正で請求項１、６についてする補正は、特許法１７条の２第５項２号に掲げる特許請求の範囲の限定的減縮を目的とするものではない。 また、前記(ｉｉ)の補正事項により第３制御装置が明確になるとはいえないことから、本件補正で請求項１、６についてする補正は、同項４号に掲げる明りょうでない記載の釈明を目的としたものでもない。 さらに、本件補正で請求項１、６についてする補正は、同項１号に掲げる請求項の削除、同項３号に掲げる誤記の訂正を目的とするものでもないことは明らかである。 イ 請求人の主張について 請求人は、本件補正は、不明瞭な記載を明瞭にし、構成要素を限定したものであって、下位概念であり、減縮に相当する旨主張しているが、本件補正が、特許請求の範囲の限定的減縮を目的とするものではなく、明りょうでない記載の釈明を目的とするものでもないことは、前記アで検討したとおりである。 ウ 小括 以上のとおりであるから、本件補正で特許請求の範囲の請求項１、６についてする補正は、特許法１７条の２第５項各号に掲げるいずれの事項を目的とするものにも該当せず、同項の規定に違反するものである。 (２) 新規事項の追加について ア 第２制御装置について (ア) 本件補正により、本件補正後の請求項１、６の「第２制御装置」が、「前記１次電子の軌道と前記２次電子の軌道とを互いに略対称に配置しかつ通過する電子が互いに逆になるようにした」ものであること（以下「電子軌道対称構成」という。）が特定されることとなった（前記(１)アの(ｉ)）。 しかしながら、願書に最初に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面（以下「当初明細書等」という。）には、電子軌道対称構成について、明示的な記載はない。 (イ) 次に、当初明細書等には、電子軌道対称構成に関連する記載として、次の記載がある。 「【０２０３】 以上によって、図１、図２の構成のもとで、第１偏向装置４、第２偏向装置５、第３偏向装置６の電界、磁界による回転方向を実験で求めた初期値に初期設定し、これから偏向器を通過して検出される２次電子の量が最大となるように電界、磁界の対向する極の強さなどを加減して回転方向を調整することにより、第１偏向装置４、第２偏向装置５、第３偏向装置６の電圧、磁界による回転方向を最適に調整することが可能となる。原理の上では偏向装置を本来の電子ビーム軌道に対してお互いに対称に配置してかつ通過する電子ビームが出来るだけ同じようにかつお互いに逆に成るように調節すると収差を最も小さくすることが出来る。」 また、【図１】は次のとおりである。 「【図１】 ［図：0001435583000001.jpg］ 」 (ウ) 前記(イ)の記載と技術常識を踏まえて、電子軌道対称構成が当初明細書等の記載から自明な事項であるであるか否かについて検討する。 まず、【０２０３】には「通過する電子ビームが出来るだけ同じようにかつお互いに逆に成るように調節する」との記載があり、【図１】には、第２制御装置に対応する第２偏向装置において、１次電子の軌道と２次電子の軌道が略対称であるように図示されている。 しかしながら、【図１】は原理構成図であり（【００４０】）、【図１】中の矢印は正確な電子の軌道を表すものではない。また、第２偏向装置においては、同一の電界及び磁界内を１次電子と２次電子が逆向きに進行するところ、１次電子と２次電子のエネルギー及びその分散は大きく異なることが技術常識であるから（このことは、本願の明細書【００２７】～【００２９】にも記載されているとおりである。）、電子軌道対称構成で特定されるように、１次電子の軌道と２次電子の軌道が略対称に配置されるとは考えがたい。したがって、電子軌道対称構成が、当初明細書等の記載から自明な事項であるとはいえない。 なお、【０２０３】の「偏向装置を本来の電子ビーム軌道に対してお互いに対称に配置して」との記載は、偏向装置の配置が対称である旨の記載であり、偏向装置の配置が対称であることが、必ずしも電子軌道対称構成のように電子の軌道が対称であることを意味しないことは上述のとおりである。 (エ) このように、電子軌道対称構成は、当初明細書等に記載されておらず、当初明細書等の記載から当業者に自明な事項であるとも認められないから、電子軌道対称構成を特定する本件補正は、当初明細書等の全ての記載を総合することにより導かれる技術的事項との関係において、新たな技術的事項を導入するものである。 イ 第３制御装置について 本件補正により、本件補正後の請求項１、６の「第３制御装置」が、「前記第２制御装置における１次電子の軌道と２次電子の軌道とを互いに略対称に配置しかつ通過する電子が互いに逆になるようにした」ものであるとの事項が特定されることとなったが（前記(１)アの(ｉｉ)）、そのような事項は、明らかに当初明細書等には記載されておらず、当初明細書等の記載から自明な事項でないこともまた明らかである。 すなわち、第３制御装置の構成は、第２制御装置における電子の軌道とは本質的に無関係であるから、前記事項が当初明細書等に開示されているとは到底考えられない。 したがって、前記事項を特定する本件補正は、当初明細書等の全ての記載を総合することにより導かれる技術的事項との関係において、新たな技術的事項を導入するものである。 ウ 走査型電子顕微鏡について 本件補正後の請求項１、６において、「走査型電子顕微鏡」又は「走査型電子顕微鏡の２次電子検出方法」が「前記１次電子の軌道と前記２次電子の軌道とを互いに略対称に配置しかつ通過する電子が互いに逆になるように［する］」ことを追加する補正（前記(１)アの(ｉｉｉ)）についても、前記アと同様の理由により、当初明細書等の全ての記載を総合することにより導かれる技術的事項との関係において、新たな技術的事項を導入するものである。 エ 請求人の主張について 請求人は、電子軌道対称構成は、当初明細書等の【０２０３】、【図１】に記載されている旨主張しているが、これらの記載については前記ア(ウ)で検討したとおりである。なお、請求人は、前記イの第３制御装置に関する補正について、補正の根拠を何ら説明していない。 オ 小括 以上のとおり、本件補正は、当初明細書等の全ての記載を総合することにより導かれる技術的事項との関係において、新たな技術的事項を導入するものであるから、新規事項を追加するものである。したがって、本件補正は、当初明細書等に記載した事項の範囲内においてしたものではない。 (３) 本件補正の適否についてのまとめ 前記(１)で検討したとおり、本件補正で特許請求の範囲についてする補正は、特許法１７条の２第５項各号に掲げるいずれの事項を目的とするものにも該当せず、同項の規定に違反するものである。 また、前記(２)で検討したとおり、本件補正は、当初明細書等に記載した事項の範囲内においてしたものではないから、同条３項の規定に違反するものである。 したがって、本件補正は、同法１５９条１項で読み替えて準用する同法５３条１項の規定により却下されるべきものである。 よって、前記補正の却下の決定の結論のとおり決定する。 第３ 先の補正について １ 当審拒絶理由の概要 本件補正前に通知された当審拒絶理由の概要は、次のとおりである。 （新規事項）令和７年７月１７日にされた手続補正（以下「先の補正」という。）は、当初明細書等に記載した事項の範囲内においてしたものでないから、特許法１７条の２第３項に規定する要件を満たしていない。 ２ 先の補正の内容 先の補正は、特許請求の範囲についてする補正であって、先の補正前（令和６年４月２３日にされた手続補正後）の特許請求の範囲の請求項１～６の記載及び先の補正後の特許請求の範囲の請求項１～６の記載（前記第２の１(１)に示した本件補正前のものであるが、再掲する。）は、それぞれ次の(１)及び(２)に示すとおりである。下線は補正箇所を示す。 (１) 先の補正前 「【請求項１】 １次電子をサンプルに照射し、該サンプルから放出された２次電子を検出して該サンプルの２次電子画像を生成する走査型電子顕微鏡において、 １次電子を生成して加速する１次電子照射系と、 前記１次電子照射系で生成された１次電子について、偏向に伴って該１次電子を分散させる第１制御装置と、 前記第１制御装置で偏向された１次電子を逆方向に偏向するに伴って該１次電子を逆分散して前記分散の無い１次電子の状態に戻し、かつ結像系の軸に一致させてサンプルに照射させると共に、該サンプルから放出された２次電子を前記１次電子と逆方向に偏向に伴って該２次電子を分散させる、少なくとも磁界で構成される第２制御装置と、 前記第２制御装置で偏向されて結像系の軸に一致させた後の前記１次電子を細く絞ってサンプルに照射すると共に、サンプルから放出された２次電子を前記第２制御装置に入射させる対物レンズからなる結像系と、 前記第２制御装置で偏向に伴って分散される前記２次電子を、該第２制御装置の偏向方向と逆方向に偏向するに伴って該２次電子を逆分散して前記分散の無い２次電子の状態に戻す第３制御装置と、 前記第３制御装置で偏向に伴って逆分散して分散の無い２次電子に戻して検出する２次電子検出系とを備え、 前記偏向に伴って分散される前記１次電子および前記２次電子をそれぞれ逆分散して分散の無い１次電子および２次電子の状態にそれぞれ戻し、前記１次電子および前記２次電子を分散させることなくあるいは分散を低減させる、 ことを特徴とする走査型電子顕微鏡。 【請求項２】 前記第１制御装置および前記第３制御装置は、磁界あるいは電界あるいは磁界と電界の４極以上を有する偏向装置としたことを特徴とする請求項１に記載の走査型電子顕微鏡。 【請求項３】 前記第２制御装置は、磁界と電界の各４極以上を有し、前記１次電子の進行方向と逆方向の前記２次電子を分離することを特徴とする請求項１から請求項２のいずれかに記載の走査型電子顕微鏡。 【請求項４】 前記サンプルと対物レンズの先端部分との間にリターディング電圧を印加し、サンプルに低加速電圧の１次電子にして照射したことを特徴とする請求項１から請求項３のいずれかに記載の走査型電子顕微鏡。 【請求項５】 前記対物レンズの部分に隔膜を設けて、該隔膜を境にサンプル側を低真空、反対側を高真空に保持したことを特徴とする請求項１から請求項４のいずれかに記載の走査型電子顕微鏡。 【請求項６】 １次電子をサンプルに照射し、該サンプルから放出された２次電子を検出して該サンプルの２次電子画像を生成する走査型電子顕微鏡の２次電子検出方法において、 １次電子を生成して加速する１次電子照射系と、 前記１次電子照射系で生成された１次電子について、偏向に伴って該１次電子を分散させる第１制御装置と、 前記第１制御装置で偏向された１次電子を逆方向に偏向するに伴って該１次電子を逆分散して前記分散の無い１次電子の状態に戻し、かつ結像系の軸に一致させてサンプルに照射させると共に、該サンプルから放出された２次電子を前記１次電子と逆方向に偏向に伴って該２次電子を分散させる、少なくとも磁界で構成される第２制御装置と、 前記第２制御装置で偏向されて結像系の軸に一致させた後の前記１次電子を細く絞ってサンプルに照射すると共に、サンプルから放出された２次電子を前記第２制御装置に入射させる対物レンズからなる結像系と、 前記第２制御装置で偏向に伴って分散される前記２次電子を、該第２制御装置の偏向方向と逆方向に偏向するに伴って該２次電子を逆分散して前記分散の無い２次電子の状態に戻す第３制御装置と、 前記第３制御装置で偏向に伴って逆分散して分散の無い２次電子に戻して検出する２次電子検出系とを設け、 前記偏向に伴って分散される前記１次電子および前記２次電子をそれぞれ逆分散して分散の無い１次電子および２次電子の状態にそれぞれ戻し、前記１次電子および前記２次電子を分散させることなくあるいは分散を低減させる、 ことを特徴とする走査型電子顕微鏡の２次電子検出方法。」 (２) 先の補正後 「【請求項１】 １次電子をサンプルに照射し、該サンプルから放出された２次電子を検出して該サンプルの２次電子画像を生成する走査型電子顕微鏡において、 １次電子を生成して加速する１次電子照射系と、 前記１次電子照射系で生成された１次電子について、偏向に伴って該１次電子を分散させる第１制御装置と、 前記第１制御装置で偏向された１次電子を逆方向に偏向するに伴って該１次電子を逆分散して前記分散の無い１次電子の状態に戻し、かつ結像系の軸に一致させてサンプルに照射させると共に、該サンプルから放出された２次電子を前記１次電子と逆方向に偏向に伴って該２次電子を分散させる、少なくとも磁界で構成し、前記１次電子の走路と前記２次電子の走路とを軸対称に構成した第２制御装置と、 前記第２制御装置で偏向されて結像系の軸に一致させた後の前記１次電子を細く絞ってサンプルに照射すると共に、サンプルから放出された２次電子を前記第２制御装置に入射させる対物レンズからなる結像系と、 前記第２制御装置で偏向に伴って分散される前記２次電子を、該第２制御装置の偏向方向と逆方向に偏向するに伴って該２次電子を逆分散して前記分散の無い２次電子の状態に戻し、前記第２制御装置における１次電子の走路と該第３制御装置における２次電子の走路とを軸対称に構成した第３制御装置と、 前記第３制御装置で偏向に伴って逆分散して分散の無い２次電子に戻して検出する２次電子検出系とを備え、 前記偏向に伴って分散される前記１次電子および前記２次電子の走路をそれぞれ軸対称にし、かつそれぞれ逆分散して分散の無い１次電子および２次電子の状態にそれぞれ戻し、前記１次電子および前記２次電子を分散させることなくあるいは分散を低減させる、 ことを特徴とする走査型電子顕微鏡。 【請求項２】 前記第１制御装置および前記第３制御装置は、磁界あるいは電界あるいは磁界と電界の４極以上を有する偏向装置としたことを特徴とする請求項１に記載の走査型電子顕微鏡。 【請求項３】 前記第２制御装置は、磁界と電界の各４極以上を有し、前記１次電子の進行方向と逆方向の前記２次電子を分離することを特徴とする請求項１から請求項２のいずれかに記載の走査型電子顕微鏡。 【請求項４】 前記サンプルと対物レンズの先端部分との間にリターディング電圧を印加し、サンプルに低加速電圧の１次電子にして照射したことを特徴とする請求項１から請求項３のいずれかに記載の走査型電子顕微鏡。 【請求項５】 前記対物レンズの部分に隔膜を設けて、該隔膜を境にサンプル側を低真空、反対側を高真空に保持したことを特徴とする請求項１から請求項４のいずれかに記載の走査型電子顕微鏡。 【請求項６】 １次電子をサンプルに照射し、該サンプルから放出された２次電子を検出して該サンプルの２次電子画像を生成する走査型電子顕微鏡の２次電子検出方法において、 １次電子を生成して加速する１次電子照射系と、 前記１次電子照射系で生成された１次電子について、偏向に伴って該１次電子を分散させる第１制御装置と、 前記第１制御装置で偏向された１次電子を逆方向に偏向するに伴って該１次電子を逆分散して前記分散の無い１次電子の状態に戻し、かつ結像系の軸に一致させてサンプルに照射させると共に、該サンプルから放出された２次電子を前記１次電子と逆方向に偏向に伴って該２次電子を分散させる、少なくとも磁界で構成し、前記１次電子の走路と前記２次電子の走路とを軸対称に構成した第２制御装置と、 前記第２制御装置で偏向されて結像系の軸に一致させた後の前記１次電子を細く絞ってサンプルに照射すると共に、サンプルから放出された２次電子を前記第２制御装置に入射させる対物レンズからなる結像系と、 前記第２制御装置で偏向に伴って分散される前記２次電子を、該第２制御装置の偏向方向と逆方向に偏向するに伴って該２次電子を逆分散して前記分散の無い２次電子の状態に戻し、前記第２制御装置における１次電子の走路と該第３制御装置における２次電子の走路とを軸対称に構成した第３制御装置と、 前記第３制御装置で偏向に伴って逆分散して分散の無い２次電子に戻して検出する２次電子検出系とを設け、 前記偏向に伴って分散される前記１次電子および前記２次電子の走路をそれぞれ軸対称にし、かつそれぞれを逆分散して分散の無い１次電子および２次電子の状態にそれぞれ戻し、前記１次電子および前記２次電子を分散させることなくあるいは分散を低減させる、ことを特徴とする走査型電子顕微鏡の２次電子検出方法。」 ３ 当合議体の判断 (１) 判断の概要 当合議体は、以下に示すとおり、当審拒絶理由は妥当なものであり、先の補正は、当初明細書等に記載した事項の範囲内においてしたものではない、と判断する。 (２) 判断の詳細な説明 ア 第２制御装置について 先の補正により、先の補正後の請求項１、６の「第２制御装置」が、「前記１次電子の走路と前記２次電子の走路とを軸対称に構成した」ものであること（以下「電子走路軸対称構成」という。）が特定されることとなった。 しかしながら、前記第２の２(２)アで電子軌道対称構成について検討したのと同様の理由により、電子走路軸対称構成は、当初明細書等に記載されておらず、当初明細書等の記載から当業者に自明な事項であるとも認められないから、電子走路軸対称構成を特定する先の補正は、当初明細書等の全ての記載を総合することにより導かれる技術的事項との関係において、新たな技術的事項を導入するものである。 イ 第３制御装置について 先の補正により、先の補正後の請求項１、６の「第３制御装置」が、「前記第２制御装置における１次電子の走路と該第３制御装置における２次電子の走路とを軸対称に構成した」ものであるとの事項が特定されることとなったが、そのような事項は、明らかに当初明細書等には記載されておらず、当初明細書等の記載から自明な事項でないこともまた明らかである。 したがって、前記事項を特定する先の補正は、当初明細書等の全ての記載を総合することにより導かれる技術的事項との関係において、新たな技術的事項を導入するものである。 ウ 走査型電子顕微鏡について 先の補正後の請求項１、６において、「走査型電子顕微鏡」又は「走査型電子顕微鏡の２次電子検出方法」が「前記１次電子および前記２次電子の走路をそれぞれ軸対称に［する］」ことを追加する補正についても、前記アと同様の理由により、当初明細書等の全ての記載を総合することにより導かれる技術的事項との関係において、新たな技術的事項を導入するものである。 エ 小括 以上のとおり、先の補正は、当初明細書等の全ての記載を総合することにより導かれる技術的事項との関係において、新たな技術的事項を導入するものであるから、新規事項を追加するものである。したがって、先の補正は、当初明細書等に記載した事項の範囲内においてしたものではない。 第４ むすび 以上のとおり、令和７年７月１７日提出の手続補正書でした補正は、特許法１７条の２第３項に規定する要件を満たしておらず、同法４９条１号に該当するから、本願は拒絶されるべきものである。 よって、結論のとおり審決する。