2021-700515

特許第６７９４４６２号発明「薬液、薬液収容体、薬液の製造方法、及び、薬液収容体の製造方法」の特許異議申立事件について、次のとおり決定する。

結 論 特許第６７９４４６２号の特許請求の範囲を、令和４年５月２３日付け訂正請求書に添付された訂正特許請求の範囲のとおり、訂正後の請求項〔１～９、１３〕、〔１０～１２〕、１４、１５、１６、１７、１８、１９、２０、２１、２２、２３、２４、２５、２６、２７、２８、２９、３０、３１、３２、３３、３４、３５、３６について、訂正することを認める。 特許第６７９４４６２号の請求項１ないし３６に係る特許を維持する。

理 由 第１ 手続等の経緯 特許第６７９４４６２号の請求項１～請求項１６に係る特許（以下「本件特許」という。）についての出願（特願２０１８－５４１９６９号）は、２０１７年（平成２９年）８月７日（先の出願に基づく優先権主張 平成２８年９月２８日）を国際出願日とする特許出願であって、令和２年１１月１３日に特許権の設定の登録がされたものである。 その後、本件特許について、令和２年１２月２日に特許掲載公報が発行されたところ、発行の日から６月以内である令和３年５月２５日に、本件特許のうち全請求項に係る特許に対して、特許異議申立人 星 正美（以下「特許異議申立人」という。）から、特許異議の申立てがされた。 その後の手続等の概要は、以下のとおりである。 令和３年 ６月２５日付け：取消理由通知書 令和３年 ９月２８日付け：訂正請求書 令和３年 ９月２８日付け：意見書（特許権者） 令和３年１１月１２日付け：意見書（特許異議申立人） 令和４年 ３月 ７日付け：取消理由通知書（決定の予告） 令和４年 ５月２３日付け：訂正請求書 令和４年 ５月２３日付け：意見書（特許権者） 令和４年 ７月２１日付け：意見書（特許異議申立人） なお、令和３年９月２８日付け訂正請求書による訂正の請求は、特許法１２０条の５第７項の規定により、取り下げられたものとみなす。 第２ 本件訂正請求について １ 訂正請求の趣旨 令和４年５月２３日付け訂正請求書による訂正の請求（以下「本件訂正請求」という。）の趣旨は、特許第６７９４４６２号の特許請求の範囲を本訂正請求書に添付した訂正特許請求の範囲のとおり、訂正後の請求項１～３６について訂正することを求める、というものである。 なお、本件訂正請求による訂正を「本件訂正」、本件訂正前又は本件訂正後を、単に「訂正前」又は「訂正後」ということがある。 ２ 訂正の内容 （１）本件訂正の内容 本件訂正は、後述する各訂正事項からなるところ、訂正前の請求項２、４、７、９～１６はそれぞれ訂正前の独立請求項１、３及び５のいずれか１項を引用するものであって、これらの請求項は、後記訂正事項１～３によって訂正される請求項１、３及び５に連動して訂正されるものである。また、訂正前の請求項７は訂正前の請求項１～６を引用し、訂正前の請求項９は訂正前の請求項１～８を引用するものである。 したがって、本件訂正請求は、特許法１２０条の５第４項に規定する一群の請求項である、訂正前の請求項１～１６に対して請求されたものである。 また、本件訂正請求は、一群の請求項を構成する訂正前の請求項１～１６に対して請求されたものであるところ、訂正後の請求項１０～１２及び訂正後の請求項１４～３６のそれぞれについての訂正は、当該請求項についての訂正が認められる場合には、一群の請求項を構成する他の請求項とは別の訂正単位とすることの求めがある。 ア 訂正事項１ 特許請求の範囲の請求項１に 「有機溶剤と、Ｆｅ原子、Ｃｒ原子、Ｎｉ原子、及び、Ｐｂ原子からなる群から選択される少なくとも１種の原子のイオンと、Ｚｎ原子を含有する粒子と、を含有する、半導体デバイス製造用の薬液であって、前記薬液に１種の前記イオンが含有される場合、前記イオンの含有量が、前記薬液の全質量に対して０．１～１００質量ｐｐｔであって、前記薬液に２種以上の前記イオンが含有される場合、前記イオンのそれぞれの含有量が、前記薬液の全質量に対して０．１～１００質量ｐｐｔであり、前記有機溶剤の含有量が、前記薬液の全質量に対して９８質量％以上であり、前記Ｚｎ原子を含有する粒子の含有量が、前記薬液の全質量に対して０．０５～６０質量ｐｐｔであり、前記薬液の帯電電位が１００ｍＶ以下である、薬液。」 と記載されているのを、 「有機溶剤と、Ｆｅ原子、Ｃｒ原子、Ｎｉ原子、及び、Ｐｂ原子からなる群から選択される少なくとも１種の原子のイオンと、Ｚｎ原子を含有する粒子と、を含有する、半導体デバイス製造用の薬液であって、前記薬液に１種の前記イオンが含有される場合、前記イオンの含有量が、前記薬液の全質量に対して０．１～５０質量ｐｐｔであって、前記薬液に２種以上の前記イオンが含有される場合、前記イオンのそれぞれの含有量が、前記薬液の全質量に対して０．１～５０質量ｐｐｔであり、前記有機溶剤の含有量が、前記薬液の全質量に対して９８質量％以上であり、前記Ｚｎ原子を含有する粒子の含有量が、前記薬液の全質量に対して０．０５～６０質量ｐｐｔであり、前記薬液の帯電電位が１００ｍＶ以下であり、前記有機溶剤が、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノプロピルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、乳酸エチル、メトキシプロピオン酸メチル、シクロペンタノン、シクロヘキサノン、γ－ブチロラクトン、ジイソアミルエーテル、酢酸ブチル、及び、４－メチル－２－ペンタノールからなる群から選択される少なくとも１種を含有する、薬液。」 に訂正する。 （請求項１の記載を直接的又は間接的に引用する請求項２、４、７、９、１３も同様に訂正する。） 以下では、便宜のため、上記下線部のうち「前記有機溶剤が、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノプロピルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、乳酸エチル、メトキシプロピオン酸メチル、シクロペンタノン、シクロヘキサノン、γ－ブチロラクトン、ジイソアミルエーテル、酢酸ブチル、及び、４－メチル－２－ペンタノールからなる群から選択される少なくとも１種を含有する」を「特定溶媒を含有する」といい、上記列挙されている溶媒の群から選択される少なくとも１種を含有する溶媒を「特定溶媒」という。 イ 訂正事項２ 特許請求の範囲の請求項３に 「有機溶剤と、Ｆｅ原子、Ｃｒ原子、Ｎｉ原子、及び、Ｐｂ原子からなる群から選択される少なくとも１種の原子のイオンと、Ｃｒ原子、Ｚｎ原子、Ａｌ原子、及び、Ｐｂ原子からなる群から選択される少なくとも１種の原子を含有する粒子と、を含有する、半導体デバイス製造用の薬液であって、前記薬液に１種の前記イオンが含有される場合、前記イオンの含有量が、前記薬液の全質量に対して０．１～１００質量ｐｐｔであって、前記薬液に２種以上の前記イオンが含有される場合、前記イオンのそれぞれの含有量が、前記薬液の全質量に対して０．１～１００質量ｐｐｔであり、前記有機溶剤の含有量が、前記薬液の全質量に対して９８質量％以上であり、前記薬液が１種の前記粒子を含有する場合、前記薬液中における前記粒子の含有量が、前記薬液の全質量に対して１００質量ｐｐｔ以下であり、前記薬液が２種以上の前記粒子を含有する場合、前記薬液中における前記粒子の合計含有量が、前記薬液の全質量に対して１００質量ｐｐｔ以下であり、前記薬液の帯電電位が１００ｍＶ以下である、薬液。」 と記載されているのを、 「有機溶剤と、Ｆｅ原子、Ｃｒ原子、Ｎｉ原子、及び、Ｐｂ原子からなる群から選択される少なくとも１種の原子のイオンと、Ｃｒ原子、Ｚｎ原子、Ａｌ原子、及び、Ｐｂ原子からなる群から選択される少なくとも１種の原子を含有する粒子と、を含有する、半導体デバイス製造用の薬液であって、前記薬液に１種の前記イオンが含有される場合、前記イオンの含有量が、前記薬液の全質量に対して０．１～５０質量ｐｐｔであって、前記薬液に２種以上の前記イオンが含有される場合、前記イオンのそれぞれの含有量が、前記薬液の全質量に対して０．１～５０質量ｐｐｔであり、前記有機溶剤の含有量が、前記薬液の全質量に対して９８質量％以上であり、前記薬液が１種の前記粒子を含有する場合、前記薬液中における前記粒子の含有量が、前記薬液の全質量に対して１００質量ｐｐｔ以下であり、前記薬液が２種以上の前記粒子を含有する場合、前記薬液中における前記粒子の合計含有量が、前記薬液の全質量に対して１００質量ｐｐｔ以下であり、前記薬液の帯電電位が１００ｍＶ以下であり、特定溶媒を含有する、薬液。」 に訂正する。 （請求項３の記載を直接的又は間接的に引用する請求項４、７、９、１３も同様に訂正する。） 以下では、便宜のため、訂正後の請求項３の発明特定事項のうち上記「有機溶媒と、Ｆｅ原子・・・０．１～５０質量ｐｐｔであり・・・１００ｍＶ以下」を「請求項３構成」という。 ウ 訂正事項３ 特許請求の範囲の請求項５に 「有機溶剤と、Ｆｅ原子、Ｃｒ原子、Ｎｉ原子、及び、Ｐｂ原子からなる群から選択される少なくとも１種の原子のイオンと、Ｃｒ原子を含有する粒子と、Ｚｎ原子を含有する粒子と、Ａｌ原子を含有する粒子と、Ｐｂ原子を含有する粒子と、を含有する、半導体デバイス製造用の薬液であって、前記薬液に１種の前記イオンが含有される場合、前記イオンの含有量が、前記薬液の全質量に対して０．１～１００質量ｐｐｔであって、前記薬液に２種以上の前記イオンが含有される場合、前記イオンのそれぞれの含有量が、前記薬液の全質量に対して０．１～１００質量ｐｐｔであり、前記有機溶剤の含有量が、前記薬液の全質量に対して９８質量％以上であり、前記Ｃｒ原子を含有する粒子の含有量が、前記薬液の全質量に対して０．１～３０質量ｐｐｔであり、前記Ｚｎ原子を含有する粒子の含有量が、前記薬液の全質量に対して０．１～２０質量ｐｐｔであり、前記Ａｌ原子を含有する粒子の含有量が、前記薬液の全質量に対して０．１～２０質量ｐｐｔであり、前記Ｐｂ原子を含有する粒子の含有量が、前記薬液の全質量に対して０．１～２０質量ｐｐｔである、前記薬液の帯電電位が１００ｍＶ以下である、薬液。」 と記載されているのを、 「有機溶剤と、Ｆｅ原子、Ｃｒ原子、Ｎｉ原子、及び、Ｐｂ原子からなる群から選択される少なくとも１種の原子のイオンと、Ｃｒ原子を含有する粒子と、Ｚｎ原子を含有する粒子と、Ａｌ原子を含有する粒子と、Ｐｂ原子を含有する粒子と、を含有する、半導体デバイス製造用の薬液であって、前記薬液に１種の前記イオンが含有される場合、前記イオンの含有量が、前記薬液の全質量に対して０．１～５０質量ｐｐｔであって、前記薬液に２種以上の前記イオンが含有される場合、前記イオンのそれぞれの含有量が、前記薬液の全質量に対して０．１～５０質量ｐｐｔであり、前記有機溶剤の含有量が、前記薬液の全質量に対して９８質量％以上であり、前記Ｃｒ原子を含有する粒子の含有量が、前記薬液の全質量に対して０．１～３０質量ｐｐｔであり、前記Ｚｎ原子を含有する粒子の含有量が、前記薬液の全質量に対して０．１～２０質量ｐｐｔであり、前記Ａｌ原子を含有する粒子の含有量が、前記薬液の全質量に対して０．１～２０質量ｐｐｔであり、前記Ｐｂ原子を含有する粒子の含有量が、前記薬液の全質量に対して０．１～２０質量ｐｐｔであり、前記薬液の帯電電位が１００ｍＶ以下であり、特定溶媒を含有する、薬液。」 に訂正する。 （請求項５の記載を直接的又は間接的に引用する請求項７、９、１３も同様に訂正する。） 以下では、便宜のため、訂正後の請求項５の発明特定事項のうち上記「有機溶媒と、Ｆｅ原子・・・０．１～５０質量ｐｐｔであり・・・１００ｍＶ以下」を「請求項５構成」という。 エ 訂正事項４ 特許請求の範囲の請求項６に 「有機溶剤と、Ｆｅ原子、Ｃｒ原子、Ｎｉ原子、及び、Ｐｂ原子からなる群から選択される少なくとも１種の原子のイオンと、を含有する、半導体デバイス製造用の薬液であって、前記薬液に１種の前記イオンが含有される場合、前記イオンの含有量が、前記薬液の全質量に対して０．１～１００質量ｐｐｔであって、前記薬液に２種以上の前記イオンが含有される場合、前記イオンのそれぞれの含有量が、前記薬液の全質量に対して０．１～１００質量ｐｐｔであり、且つ、Ｆｅイオンの含有量が、前記薬液の全質量に対して０．１～１０質量ｐｐｔであるか、又は、Ｃｒイオンの含有量が、前記薬液の全質量に対して０．１～１０質量ｐｐｔであり、前記有機溶剤の含有量が、前記薬液の全質量に対して９８質量％以上であり、前記薬液の帯電電位が１００ｍＶ以下である、薬液。」 と記載されているのを、 「有機溶剤と、Ｆｅ原子、Ｃｒ原子、Ｎｉ原子、及び、Ｐｂ原子からなる群から選択される少なくとも１種の原子のイオンと、を含有する、半導体デバイス製造用の薬液であって、前記薬液に１種の前記イオンが含有される場合、前記イオンの含有量が、前記薬液の全質量に対して０．１～１００質量ｐｐｔであって、前記薬液に２種以上の前記イオンが含有される場合、前記イオンのそれぞれの含有量が、前記薬液の全質量に対して０．１～１００質量ｐｐｔであり、且つ、Ｆｅイオンの含有量が、前記薬液の全質量に対して０．１～１０質量ｐｐｔであるか、又は、Ｃｒイオンの含有量が、前記薬液の全質量に対して０．１～１０質量ｐｐｔであり、前記有機溶剤の含有量が、前記薬液の全質量に対して９８質量％以上であり、前記薬液の帯電電位が１００ｍＶ以下であり、特定溶媒を含有する、薬液。」 に訂正する。 （請求項６の記載を直接的又は間接的に引用する請求項７、９、１３も同様に訂正する。） 以下では、便宜のため、訂正後の請求項６の発明特定事項のうち上記「有機溶媒と、Ｆｅ原子・・・１００ｍＶ以下」を「請求項６構成」という。 オ 訂正事項５ 特許請求の範囲の請求項８に 「有機溶剤とＦｅイオンと、Ｃｒイオンと、Ｎｉイオンと、Ｐｂイオンと、を含有する、半導体デバイス製造用の薬液であって、前記Ｆｅイオンの含有量が、前記薬液の全質量に対して０．１～１０質量ｐｐｔであり、前記Ｃｒイオンの含有量が、前記薬液の全質量に対して０．１～１０質量ｐｐｔであり、前記Ｎｉイオンの含有量が、前記薬液の全質量に対して０．１～１０質量ｐｐｔであり、前記Ｐｂイオンの含有量が、前記薬液の全質量に対して０．１～１０質量ｐｐｔであり、前記有機溶剤の含有量が、前記薬液の全質量に対して９８質量％以上であり、前記薬液の帯電電位が１００ｍＶ以下である、薬液。」 と記載されているのを、 「有機溶剤とＦｅイオンと、Ｃｒイオンと、Ｎｉイオンと、Ｐｂイオンと、を含有する、半導体デバイス製造用の薬液であって、前記Ｆｅイオンの含有量が、前記薬液の全質量に対して０．１～１０質量ｐｐｔであり、前記Ｃｒイオンの含有量が、前記薬液の全質量に対して０．１～１０質量ｐｐｔであり、前記Ｎｉイオンの含有量が、前記薬液の全質量に対して０．１～１０質量ｐｐｔであり、前記Ｐｂイオンの含有量が、前記薬液の全質量に対して０．１～１０質量ｐｐｔであり、前記有機溶剤の含有量が、前記薬液の全質量に対して９８質量％以上であり、前記薬液の帯電電位が１００ｍＶ以下であり、特定溶媒を含有する、薬液。」 に訂正する。 （請求項８の記載を直接的又は間接的に引用する請求項９、１３も同様に訂正する。） 以下では、便宜のため、訂正後の請求項８の発明特定事項のうち上記「有機溶媒とＦｅ原子イオンと・・・１００ｍＶ以下」を「請求項８構成」という。 カ 訂正事項６－１（訂正後の請求項１０） 特許請求の範囲の請求項１０に 「光散乱式液中粒子計数器によって計数される、０．１μｍ以上のサイズの被計数体の数が、１～１００個／ｍＬである、請求項１～９のいずれか一項に記載の薬液。」 とあるうち、請求項１を引用するものについて、独立形式に改めるとともに、訂正前の（請求項１における）「前記薬液に１種の前記イオンが含有される場合、前記イオンの含有量が、前記薬液の全質量に対して０．１～１００質量ｐｐｔであって、前記薬液に２種以上の前記イオンが含有される場合、前記イオンのそれぞれの含有量が、前記薬液の全質量に対して０．１～１００質量ｐｐｔであり、」との記載を、 「前記薬液に１種の前記イオンが含有される場合、前記イオンの含有量が、前記薬液の全質量に対して０．１～５０質量ｐｐｔであって、前記薬液に２種以上の前記イオンが含有される場合、前記イオンのそれぞれの含有量が、前記薬液の全質量に対して０．１～５０質量ｐｐｔであり、」 に訂正する。 （請求項１０の記載を引用する請求項１２も同様に訂正する。） キ 訂正事項６－２（訂正後の請求項１７） 特許請求の範囲の請求項１０に 「光散乱式液中粒子計数器によって計数される、０．１μｍ以上のサイズの被計数体の数が、１～１００個／ｍＬである、請求項１～９のいずれか一項に記載の薬液。」 とあるうち、請求項３を引用するものについて、独立形式に改め、 「請求項３構成であり、光散乱式液中粒子計数器によって計数される、０．１μｍ以上のサイズの被計数体の数が、１～１００個／ｍＬである、薬液。」 と記載し、新たに請求項１７とする。 ク 訂正事項６－３（訂正後の請求項１８） 特許請求の範囲の請求項１０に 「光散乱式液中粒子計数器によって計数される、０．１μｍ以上のサイズの被計数体の数が、１～１００個／ｍＬである、請求項１～９のいずれか一項に記載の薬液。」 とあるうち、請求項５を引用するものについて、独立形式に改め、 「請求項５構成であり、光散乱式液中粒子計数器によって計数される、０．１μｍ以上のサイズの被計数体の数が、１～１００個／ｍＬである、薬液。」 と記載し、新たに請求項１８とする。 ケ 訂正事項６－４（訂正後の請求項１９） 特許請求の範囲の請求項１０に 「光散乱式液中粒子計数器によって計数される、０．１μｍ以上のサイズの被計数体の数が、１～１００個／ｍＬである、請求項１～９のいずれか一項に記載の薬液。」 とあるうち、請求項６を引用するものについて、独立形式に改め、 「請求項６構成であり、光散乱式液中粒子計数器によって計数される、０．１μｍ以上のサイズの被計数体の数が、１～１００個／ｍＬである、薬液。」 と記載し、新たに請求項１９とする。 コ 訂正事項６－５（訂正後の請求項２０） 特許請求の範囲の請求項１０に 「光散乱式液中粒子計数器によって計数される、０．１μｍ以上のサイズの被計数体の数が、１～１００個／ｍＬである、請求項１～９のいずれか一項に記載の薬液。」 とあるうち、請求項８を引用するものについて、独立形式に改め、 「請求項８構成であり、光散乱式液中粒子計数器によって計数される、０．１μｍ以上のサイズの被計数体の数が、１～１００個／ｍＬである、薬液。」 と記載し、新たに請求項２０とする。 サ 訂正事項７－１（訂正後の請求項１１） 特許請求の範囲の請求項１１に 「更に、水を含有し、前記薬液中における水の含有量が、０．０１～１質量％である、請求項１～１０のいずれか一項に記載の薬液。」 とあるうち、請求項１を引用するものについて、独立形式に改めるとともに、訂正前の（請求項１における）「前記薬液に１種の前記イオンが含有される場合、前記イオンの含有量が、前記薬液の全質量に対して０．１～１００質量ｐｐｔであって、前記薬液に２種以上の前記イオンが含有される場合、前記イオンのそれぞれの含有量が、前記薬液の全質量に対して０．１～１００質量ｐｐｔであり、」を、 「前記薬液に１種の前記イオンが含有される場合、前記イオンの含有量が、前記薬液の全質量に対して０．１～５０質量ｐｐｔであって、前記薬液に２種以上の前記イオンが含有される場合、前記イオンのそれぞれの含有量が、前記薬液の全質量に対して０．１～５０質量ｐｐｔであり、」に訂正する。（請求項１１の記載を引用する請求項１２も同様に訂正する。） シ 訂正事項７－２（訂正後の請求項２１） 特許請求の範囲の請求項１１に 「更に、水を含有し、前記薬液中における水の含有量が、０．０１～１質量％である、請求項１～１０のいずれか一項に記載の薬液。」 とあるうち、請求項３を引用するものについて、独立形式に改め、 「請求項３構成であり、前記薬液中における水の含有量が、０．０１～１質量％である、薬液。」 と記載し、新たに請求項２１とする。 ス 訂正事項７－３（訂正後の請求項２２） 特許請求の範囲の請求項１１に 「更に、水を含有し、前記薬液中における水の含有量が、０．０１～１質量％である、請求項１～１０のいずれか一項に記載の薬液。」 とあるうち、請求項５を引用するものについて、独立形式に改め、 「請求項５構成であり、前記薬液中における水の含有量が、０．０１～１質量％である、薬液。」 と記載し、新たに請求項２２とする。 セ 訂正事項７－４（訂正後の請求項２３） 特許請求の範囲の請求項１１に 「更に、水を含有し、前記薬液中における水の含有量が、０．０１～１質量％である、請求項１～１０のいずれか一項に記載の薬液。」 とあるうち、請求項６を引用するものについて、独立形式に改め、 「請求項６構成であり、前記薬液中における水の含有量が、０．０１～１質量％である、薬液。」 と記載し、新たに請求項２３とする。 ソ 訂正事項７－５（訂正後の請求項２４） 特許請求の範囲の請求項１１に 「更に、水を含有し、前記薬液中における水の含有量が、０．０１～１質量％である、請求項１～１０のいずれか一項に記載の薬液。」 とあるうち、請求項８を引用するものについて、独立形式に改め、 「請求項８構成であり、前記薬液中における水の含有量が、０．０１～１質量％である、薬液。」 と記載し、新たに請求項２４とする。 タ 訂正事項８（訂正後の請求項１２） 特許請求の範囲の請求項１２に 「請求項１～１１のいずれか一項に記載の薬液。」 とあるうち、請求項１０又は１１を引用するものについて、 「請求項１０又は１１に記載の薬液。」 に訂正する。 チ 訂正事項９ 特許請求の範囲の請求項１３に 「容器と、前記容器に収容された請求項１～１２のいずれか一項に記載の薬液と、を備え、前記容器内の前記薬液と接触する接液部がＣｒ原子、及び、Ｆｅ原子を含有する金属材料から形成され、前記金属材料が、ステンレス鋼、及び、電解研磨されたステンレス鋼からなる群から選択される少なくとも１種である、薬液収容体。」 とあるうち、請求項１～９を引用するものについて、 「容器と、前記容器に収容された請求項１～９のいずれか一項に記載の薬液と、を備え、前記容器内の前記薬液と接触する接液部がＣｒ原子、及び、Ｆｅ原子を含有する金属材料から形成され、前記金属材料が、ステンレス鋼、及び、電解研磨されたステンレス鋼からなる群から選択される少なくとも１種である、薬液収容体。」 に訂正する。 ツ 訂正事項１０－１ 特許請求の範囲の請求項１４に 「前記金属材料中における、前記Ｆｅ原子の含有量に対する、前記Ｃｒ原子の含有量の含有質量比が、０．５を超え、３．５未満である、請求項１３に記載の薬液収容体。」 とあるうち、引用する請求項１３のうち請求項１を引用するものについて、独立形式に改めるとともに、訂正前の（請求項１における）「前記薬液に１種の前記イオンが含有される場合、前記イオンの含有量が、前記薬液の全質量に対して０．１～１００質量ｐｐｔであって、前記薬液に２種以上の前記イオンが含有される場合、前記イオンのそれぞれの含有量が、前記薬液の全質量に対して０．１～１００質量ｐｐｔであり、」を、 「前記薬液に１種の前記イオンが含有される場合、前記イオンの含有量が、前記薬液の全質量に対して０．１～５０質量ｐｐｔであって、前記薬液に２種以上の前記イオンが含有される場合、前記イオンのそれぞれの含有量が、前記薬液の全質量に対して０．１～５０質量ｐｐｔであり、」 に訂正する。 テ 訂正事項１０－２（訂正後の請求項２５） 特許請求の範囲の請求項１４に 「前記金属材料中における、前記Ｆｅ原子の含有量に対する、前記Ｃｒ原子の含有量の含有質量比が、０．５を超え、３．５未満である、請求項１３に記載の薬液収容体。」 とあるうち、引用する請求項１３のうち請求項３を引用するものについて、独立形式に改め、 「容器と、前記容器に収容された薬液と、を備える薬液収容体であって、前記容器内の前記薬液と接触する接液部がＣｒ原子、及び、Ｆｅ原子を含有する金属材料から形成され、前記金属材料が、ステンレス鋼、及び、電解研磨されたステンレス鋼からなる群から選択される少なくとも１種であり、前記金属材料中における、前記Ｆｅ原子の含有量に対する、前記Ｃｒ原子の含有量の含有質量比が、０．５を超え、３．５未満であり、前記薬液が、請求項３構成である、薬液収容体。」 と記載し、新たに請求項２５とする。 ト 訂正事項１０－３（訂正後の請求項２６） 特許請求の範囲の請求項１４に 「前記金属材料中における、前記Ｆｅ原子の含有量に対する、前記Ｃｒ原子の含有量の含有質量比が、０．５を超え、３．５未満である、請求項１３に記載の薬液収容体。」 とあるうち、引用する請求項１３のうち請求項５を引用するものについて、独立形式に改め、 「容器と、前記容器に収容された薬液と、を備える薬液収容体であって、前記容器内の前記薬液と接触する接液部がＣｒ原子、及び、Ｆｅ原子を含有する金属材料から形成され、前記金属材料が、ステンレス鋼、及び、電解研磨されたステンレス鋼からなる群から選択される少なくとも１種であり、前記金属材料中における、前記Ｆｅ原子の含有量に対する、前記Ｃｒ原子の含有量の含有質量比が、０．５を超え、３．５未満であり、前記薬液が、請求項５構成である、薬液収容体。」 と記載し、新たに請求項２６とする。 ナ 訂正事項１０－４（訂正後の請求項２７） 特許請求の範囲の請求項１４に 「前記金属材料中における、前記Ｆｅ原子の含有量に対する、前記Ｃｒ原子の含有量の含有質量比が、０．５を超え、３．５未満である、請求項１３に記載の薬液収容体。」 とあるうち、引用する請求項１３のうち請求項６を引用するものについて、独立形式に改め、 「容器と、前記容器に収容された薬液と、を備える薬液収容体であって、前記容器内の前記薬液と接触する接液部がＣｒ原子、及び、Ｆｅ原子を含有する金属材料から形成され、前記金属材料が、ステンレス鋼、及び、電解研磨されたステンレス鋼からなる群から選択される少なくとも１種であり、前記金属材料中における、前記Ｆｅ原子の含有量に対する、前記Ｃｒ原子の含有量の含有質量比が、０．５を超え、３．５未満であり、前記薬液が、請求項６構成である、薬液収容体。」 と記載し、新たに請求項２７とする。 ニ 訂正事項１０－５（訂正後の請求項２８） 特許請求の範囲の請求項１４に 「前記金属材料中における、前記Ｆｅ原子の含有量に対する、前記Ｃｒ原子の含有量の含有質量比が、０．５を超え、３．５未満である、請求項１３に記載の薬液収容体。」 とあるうち、引用する請求項１３のうち請求項８を引用するものについて、独立形式に改め、 「容器と、前記容器に収容された薬液と、を備える薬液収容体であって、前記容器内の前記薬液と接触する接液部がＣｒ原子、及び、Ｆｅ原子を含有する金属材料から形成され、前記金属材料が、ステンレス鋼、及び、電解研磨されたステンレス鋼からなる群から選択される少なくとも１種であり、前記金属材料中における、前記Ｆｅ原子の含有量に対する、前記Ｃｒ原子の含有量の含有質量比が、０．５を超え、３．５未満であり、前記薬液が、請求項８構成である、薬液収容体。」 と記載し、新たに請求項２８とする。 ヌ 訂正事項１１－１ 特許請求の範囲の請求項１５に 「請求項１～１２のいずれか一項に記載の薬液を製造する、薬液の製造方法であって、有機溶剤を準備する、有機溶剤準備工程と、前記有機溶剤を含有する被精製物をフィルタに通過させ、薬液を得る、ろ過工程と、を含有し、前記ろ過工程が、以下の条件１及び条件２を満たす、薬液の製造方法。条件１：前記被精製物が前記フィルタを通過する際の、前記被精製物の温度が２３℃未満である。条件２：前記被精製物が前記フィルタを通過する際の、前記被精製物の温度が下記の式１を満たす。（式１）前記被精製物の温度＜前記有機溶剤の引火点－５ なお、式１中、前記被精製物の温度、及び、前記有機溶剤の引火点の単位は℃である。」 とあるうち、請求項１を引用するものについて、独立形式に改めるとともに、訂正前の（請求項１における）「前記薬液に１種の前記イオンが含有される場合、前記イオンの含有量が、前記薬液の全質量に対して０．１～１００質量ｐｐｔであって、前記薬液に２種以上の前記イオンが含有される場合、前記イオンのそれぞれの含有量が、前記薬液の全質量に対して０．１～１００質量ｐｐｔであり、」を、 「前記薬液に１種の前記イオンが含有される場合、前記イオンの含有量が、前記薬液の全質量に対して０．１～５０質量ｐｐｔであって、前記薬液に２種以上の前記イオンが含有される場合、前記イオンのそれぞれの含有量が、前記薬液の全質量に対して０．１～５０質量ｐｐｔであり、」 に訂正する。 ネ 訂正事項１１－２（訂正後の請求項２９） 特許請求の範囲の請求項１５に 「請求項１～１２のいずれか一項に記載の薬液を製造する、薬液の製造方法であって、有機溶剤を準備する、有機溶剤準備工程と、前記有機溶剤を含有する被精製物をフィルタに通過させ、薬液を得る、ろ過工程と、を含有し、前記ろ過工程が、以下の条件１及び条件２を満たす、薬液の製造方法。条件１：前記被精製物が前記フィルタを通過する際の、前記被精製物の温度が２３℃未満である。条件２：前記被精製物が前記フィルタを通過する際の、前記被精製物の温度が下記の式１を満たす。（式１）前記被精製物の温度＜前記有機溶剤の引火点－５ なお、式１中、前記被精製物の温度、及び、前記有機溶剤の引火点の単位は℃である。」 とあるうち、請求項３を引用するものについて、独立形式に改め、 「薬液を製造する、薬液の製造方法であって、有機溶剤を準備する、有機溶剤準備工程と、前記有機溶剤を含有する被精製物をフィルタに通過させ、薬液を得る、ろ過工程と、を含有し、前記薬液が、請求項３構成であり、前記ろ過工程が、以下の条件１及び条件２を満たす、薬液の製造方法。条件１：前記被精製物が前記フィルタを通過する際の、前記被精製物の温度が２３℃未満である。条件２：前記被精製物が前記フィルタを通過する際の、前記被精製物の温度が下記の式１を満たす。（式１）前記被精製物の温度＜前記有機溶剤の引火点－５ なお、式１中、前記被精製物の温度、及び、前記有機溶剤の引火点の単位は℃である。」 と記載し、新たに請求項２９とする。 ノ 訂正事項１１－３（訂正後の請求項３０） 特許請求の範囲の請求項１５に 「請求項１～１２のいずれか一項に記載の薬液を製造する、薬液の製造方法であって、有機溶剤を準備する、有機溶剤準備工程と、前記有機溶剤を含有する被精製物をフィルタに通過させ、薬液を得る、ろ過工程と、を含有し、前記ろ過工程が、以下の条件１及び条件２を満たす、薬液の製造方法。条件１：前記被精製物が前記フィルタを通過する際の、前記被精製物の温度が２３℃未満である。条件２：前記被精製物が前記フィルタを通過する際の、前記被精製物の温度が下記の式１を満たす。（式１）前記被精製物の温度＜前記有機溶剤の引火点－５ なお、式１中、前記被精製物の温度、及び、前記有機溶剤の引火点の単位は℃である。」 とあるうち、請求項５を引用するものについて、独立形式に改め、 「薬液を製造する、薬液の製造方法であって、有機溶剤を準備する、有機溶剤準備工程と、前記有機溶剤を含有する被精製物をフィルタに通過させ、薬液を得る、ろ過工程と、を含有し、前記薬液が、請求項５構成であり、前記ろ過工程が、以下の条件１及び条件２を満たす、薬液の製造方法。条件１：前記被精製物が前記フィルタを通過する際の、前記被精製物の温度が２３℃未満である。条件２：前記被精製物が前記フィルタを通過する際の、前記被精製物の温度が下記の式１を満たす。（式１）前記被精製物の温度＜前記有機溶剤の引火点－５ なお、式１中、前記被精製物の温度、及び、前記有機溶剤の引火点の単位は℃である。」 と記載し、新たに請求項３０とする。 ハ 訂正事項１１－４（訂正後の請求項３１） 特許請求の範囲の請求項１５に 「請求項１～１２のいずれか一項に記載の薬液を製造する、薬液の製造方法であって、有機溶剤を準備する、有機溶剤準備工程と、前記有機溶剤を含有する被精製物をフィルタに通過させ、薬液を得る、ろ過工程と、を含有し、前記ろ過工程が、以下の条件１及び条件２を満たす、薬液の製造方法。条件１：前記被精製物が前記フィルタを通過する際の、前記被精製物の温度が２３℃未満である。条件２：前記被精製物が前記フィルタを通過する際の、前記被精製物の温度が下記の式１を満たす。（式１）前記被精製物の温度＜前記有機溶剤の引火点－５ なお、式１中、前記被精製物の温度、及び、前記有機溶剤の引火点の単位は℃である。」 とあるうち、請求項６を引用するものについて、独立形式に改め、 「薬液を製造する、薬液の製造方法であって、有機溶剤を準備する、有機溶剤準備工程と、前記有機溶剤を含有する被精製物をフィルタに通過させ、薬液を得る、ろ過工程と、を含有し、前記薬液が、請求項６構成であり、前記ろ過工程が、以下の条件１及び条件２を満たす、薬液の製造方法。条件１：前記被精製物が前記フィルタを通過する際の、前記被精製物の温度が２３℃未満である。条件２：前記被精製物が前記フィルタを通過する際の、前記被精製物の温度が下記の式１を満たす。（式１）前記被精製物の温度＜前記有機溶剤の引火点－５ なお、式１中、前記被精製物の温度、及び、前記有機溶剤の引火点の単位は℃である。」 と記載し、新たに請求項３１とする。 ヒ 訂正事項１１－５（訂正後の請求項３２） 特許請求の範囲の請求項１５に 「請求項１～１２のいずれか一項に記載の薬液を製造する、薬液の製造方法であって、有機溶剤を準備する、有機溶剤準備工程と、前記有機溶剤を含有する被精製物をフィルタに通過させ、薬液を得る、ろ過工程と、を含有し、前記ろ過工程が、以下の条件１及び条件２を満たす、薬液の製造方法。条件１：前記被精製物が前記フィルタを通過する際の、前記被精製物の温度が２３℃未満である。条件２：前記被精製物が前記フィルタを通過する際の、前記被精製物の温度が下記の式１を満たす。（式１）前記被精製物の温度＜前記有機溶剤の引火点－５ なお、式１中、前記被精製物の温度、及び、前記有機溶剤の引火点の単位は℃である。」 とあるうち、請求項８を引用するものについて、独立形式に改め、 「薬液を製造する、薬液の製造方法であって、有機溶剤を準備する、有機溶剤準備工程と、前記有機溶剤を含有する被精製物をフィルタに通過させ、薬液を得る、ろ過工程と、を含有し、前記薬液が、請求項８構成であり、前記ろ過工程が、以下の条件１及び条件２を満たす、薬液の製造方法。条件１：前記被精製物が前記フィルタを通過する際の、前記被精製物の温度が２３℃未満である。条件２：前記被精製物が前記フィルタを通過する際の、前記被精製物の温度が下記の式１を満たす。（式１）前記被精製物の温度＜前記有機溶剤の引火点－５ なお、式１中、前記被精製物の温度、及び、前記有機溶剤の引火点の単位は℃である。」 と記載し、新たに請求項３２とする。 フ 訂正事項１２－１ 特許請求の範囲の請求項１６に 「請求項１３、又は、１４に記載の薬液収容体の製造方法であって、有機溶剤を準備する、有機溶剤準備工程と、前記有機溶剤を含有する被精製物をフィルタに通過させ、薬液を得る、ろ過工程と、前記薬液を、前記容器に収容して、薬液収容体を得る、収容工程と、を含有し、前記ろ過工程、及び、前記収容工程が、以下の条件３、及び、条件４を満たす、薬液収容体の製造方法。条件３：前記被精製物が前記フィルタを通過する際の前記被精製物の温度が２３℃未満であり、かつ、前記薬液を前記容器に収容する際の、薬液の温度が２３℃未満である。条件４：前記被精製物が前記フィルタを通過する際の前記被精製物の温度が下記の式１を満たし、かつ、前記薬液を前記容器に収容する際の、前記薬液の温度が下記の式２を満たす。（式１）前記被精製物の温度＜前記有機溶剤の引火点－５ （式２）前記薬液の温度＜前記有機溶剤の引火点－５ なお、式１、及び、式２中、前記被精製物の温度、前記薬液の温度、及び、前記有機溶剤の引火点の単位は℃である。」 とあるうち、引用する請求項１３のうち請求項１を引用するものについて、独立形式に改めるともに、訂正前の（請求項１における）「前記薬液に１種の前記イオンが含有される場合、前記イオンの含有量が、前記薬液の全質量に対して０．１～１００質量ｐｐｔであって、前記薬液に２種以上の前記イオンが含有される場合、前記イオンのそれぞれの含有量が、前記薬液の全質量に対して０．１～１００質量ｐｐｔであり、」を、 「前記薬液に１種の前記イオンが含有される場合、前記イオンの含有量が、前記薬液の全質量に対して０．１～５０質量ｐｐｔであって、前記薬液に２種以上の前記イオンが含有される場合、前記イオンのそれぞれの含有量が、前記薬液の全質量に対して０．１～５０質量ｐｐｔであり、」 に訂正する。 ヘ 訂正事項１２－２（訂正後の請求項３３） 特許請求の範囲の請求項１６に 「請求項１３、又は、１４に記載の薬液収容体の製造方法であって、有機溶剤を準備する、有機溶剤準備工程と、前記有機溶剤を含有する被精製物をフィルタに通過させ、薬液を得る、ろ過工程と、前記薬液を、前記容器に収容して、薬液収容体を得る、収容工程と、を含有し、前記ろ過工程、及び、前記収容工程が、以下の条件３、及び、条件４を満たす、薬液収容体の製造方法。条件３：前記被精製物が前記フィルタを通過する際の前記被精製物の温度が２３℃未満であり、かつ、前記薬液を前記容器に収容する際の、薬液の温度が２３℃未満である。条件４：前記被精製物が前記フィルタを通過する際の前記被精製物の温度が下記の式１を満たし、かつ、前記薬液を前記容器に収容する際の、前記薬液の温度が下記の式２を満たす。（式１）前記被精製物の温度＜前記有機溶剤の引火点－５ （式２）前記薬液の温度＜前記有機溶剤の引火点－５ なお、式１、及び、式２中、前記被精製物の温度、前記薬液の温度、及び、前記有機溶剤の引火点の単位は℃である。」 とあるうち、引用する請求項１３のうち請求項３を引用するものについて、独立形式に改め、 「容器と、前記容器に収容された薬液と、を備える薬液収容体の製造方法であって、有機溶剤を準備する、有機溶剤準備工程と、前記有機溶剤を含有する被精製物をフィルタに通過させ、薬液を得る、ろ過工程と、前記薬液を、前記容器に収容して、薬液収容体を得る、収容工程と、を含有し、前記容器内の前記薬液と接触する接液部がＣｒ原子、及び、Ｆｅ原子を含有する金属材料から形成され、前記金属材料が、ステンレス鋼、及び、電解研磨されたステンレス鋼からなる群から選択される少なくとも１種であり、前記薬液が、請求項３構成であり、前記ろ過工程、及び、前記収容工程が、以下の条件３、及び、条件４を満たす、薬液収容体の製造方法。条件３：前記被精製物が前記フィルタを通過する際の前記被精製物の温度が２３℃未満であり、かつ、前記薬液を前記容器に収容する際の、薬液の温度が２３℃未満である。条件４：前記被精製物が前記フィルタを通過する際の前記被精製物の温度が下記の式１を満たし、かつ、前記薬液を前記容器に収容する際の、前記薬液の温度が下記の式２を満たす。（式１）前記被精製物の温度＜前記有機溶剤の引火点－５ （式２）前記薬液の温度＜前記有機溶剤の引火点－５ なお、式１、及び、式２中、前記被精製物の温度、前記薬液の温度、及び、前記有機溶剤の引火点の単位は℃である。」 と記載し、新たに請求項３３とする。 ホ 訂正事項１２－３（訂正後の請求項３４） 特許請求の範囲の請求項１６に 「請求項１３、又は、１４に記載の薬液収容体の製造方法であって、有機溶剤を準備する、有機溶剤準備工程と、前記有機溶剤を含有する被精製物をフィルタに通過させ、薬液を得る、ろ過工程と、前記薬液を、前記容器に収容して、薬液収容体を得る、収容工程と、を含有し、前記ろ過工程、及び、前記収容工程が、以下の条件３、及び、条件４を満たす、薬液収容体の製造方法。条件３：前記被精製物が前記フィルタを通過する際の前記被精製物の温度が２３℃未満であり、かつ、前記薬液を前記容器に収容する際の、薬液の温度が２３℃未満である。条件４：前記被精製物が前記フィルタを通過する際の前記被精製物の温度が下記の式１を満たし、かつ、前記薬液を前記容器に収容する際の、前記薬液の温度が下記の式２を満たす。（式１）前記被精製物の温度＜前記有機溶剤の引火点－５ （式２）前記薬液の温度＜前記有機溶剤の引火点－５ なお、式１、及び、式２中、前記被精製物の温度、前記薬液の温度、及び、前記有機溶剤の引火点の単位は℃である。」 とあるうち、引用する請求項１３のうち請求項５を引用するものについて、独立形式に改め、 「容器と、前記容器に収容された薬液と、を備える薬液収容体の製造方法であって、有機溶剤を準備する、有機溶剤準備工程と、前記有機溶剤を含有する被精製物をフィルタに通過させ、薬液を得る、ろ過工程と、前記薬液を、前記容器に収容して、薬液収容体を得る、収容工程と、を含有し、前記容器内の前記薬液と接触する接液部がＣｒ原子、及び、Ｆｅ原子を含有する金属材料から形成され、前記金属材料が、ステンレス鋼、及び、電解研磨されたステンレス鋼からなる群から選択される少なくとも１種であり、前記薬液が、請求項５構成であり、前記ろ過工程、及び、前記収容工程が、以下の条件３、及び、条件４を満たす、薬液収容体の製造方法。条件３：前記被精製物が前記フィルタを通過する際の前記被精製物の温度が２３℃未満であり、かつ、前記薬液を前記容器に収容する際の、薬液の温度が２３℃未満である。条件４：前記被精製物が前記フィルタを通過する際の前記被精製物の温度が下記の式１を満たし、かつ、前記薬液を前記容器に収容する際の、前記薬液の温度が下記の式２を満たす。（式１）前記被精製物の温度＜前記有機溶剤の引火点－５ （式２）前記薬液の温度＜前記有機溶剤の引火点－５ なお、式１、及び、式２中、前記被精製物の温度、前記薬液の温度、及び、前記有機溶剤の引火点の単位は℃である。」 と記載し、新たに請求項３４とする。 マ 訂正事項１２－４（訂正後の請求項３５） 特許請求の範囲の請求項１６に 「請求項１３、又は、１４に記載の薬液収容体の製造方法であって、有機溶剤を準備する、有機溶剤準備工程と、前記有機溶剤を含有する被精製物をフィルタに通過させ、薬液を得る、ろ過工程と、前記薬液を、前記容器に収容して、薬液収容体を得る、収容工程と、を含有し、前記ろ過工程、及び、前記収容工程が、以下の条件３、及び、条件４を満たす、薬液収容体の製造方法。条件３：前記被精製物が前記フィルタを通過する際の前記被精製物の温度が２３℃未満であり、かつ、前記薬液を前記容器に収容する際の、薬液の温度が２３℃未満である。条件４：前記被精製物が前記フィルタを通過する際の前記被精製物の温度が下記の式１を満たし、かつ、前記薬液を前記容器に収容する際の、前記薬液の温度が下記の式２を満たす。（式１）前記被精製物の温度＜前記有機溶剤の引火点－５ （式２）前記薬液の温度＜前記有機溶剤の引火点－５ なお、式１、及び、式２中、前記被精製物の温度、前記薬液の温度、及び、前記有機溶剤の引火点の単位は℃である。」 とあるうち、引用する請求項１３のうち請求項６を引用するものについて、独立形式に改め、 「容器と、前記容器に収容された薬液と、を備える薬液収容体の製造方法であって、有機溶剤を準備する、有機溶剤準備工程と、前記有機溶剤を含有する被精製物をフィルタに通過させ、薬液を得る、ろ過工程と、前記薬液を、前記容器に収容して、薬液収容体を得る、収容工程と、を含有し、前記容器内の前記薬液と接触する接液部がＣｒ原子、及び、Ｆｅ原子を含有する金属材料から形成され、前記金属材料が、ステンレス鋼、及び、電解研磨されたステンレス鋼からなる群から選択される少なくとも１種であり、前記薬液が、請求項６構成であり、前記ろ過工程、及び、前記収容工程が、以下の条件３、及び、条件４を満たす、薬液収容体の製造方法。条件３：前記被精製物が前記フィルタを通過する際の前記被精製物の温度が２３℃未満であり、かつ、前記薬液を前記容器に収容する際の、薬液の温度が２３℃未満である。条件４：前記被精製物が前記フィルタを通過する際の前記被精製物の温度が下記の式１を満たし、かつ、前記薬液を前記容器に収容する際の、前記薬液の温度が下記の式２を満たす。（式１）前記被精製物の温度＜前記有機溶剤の引火点－５ （式２）前記薬液の温度＜前記有機溶剤の引火点－５ なお、式１、及び、式２中、前記被精製物の温度、前記薬液の温度、及び、前記有機溶剤の引火点の単位は℃である。」 と記載し、新たに請求項３５とする。 ミ 訂正事項１２－５（訂正後の請求項３６） 特許請求の範囲の請求項１６に 「請求項１３、又は、１４に記載の薬液収容体の製造方法であって、有機溶剤を準備する、有機溶剤準備工程と、前記有機溶剤を含有する被精製物をフィルタに通過させ、薬液を得る、ろ過工程と、前記薬液を、前記容器に収容して、薬液収容体を得る、収容工程と、を含有し、前記ろ過工程、及び、前記収容工程が、以下の条件３、及び、条件４を満たす、薬液収容体の製造方法。条件３：前記被精製物が前記フィルタを通過する際の前記被精製物の温度が２３℃未満であり、かつ、前記薬液を前記容器に収容する際の、薬液の温度が２３℃未満である。条件４：前記被精製物が前記フィルタを通過する際の前記被精製物の温度が下記の式１を満たし、かつ、前記薬液を前記容器に収容する際の、前記薬液の温度が下記の式２を満たす。（式１）前記被精製物の温度＜前記有機溶剤の引火点－５ （式２）前記薬液の温度＜前記有機溶剤の引火点－５ なお、式１、及び、式２中、前記被精製物の温度、前記薬液の温度、及び、前記有機溶剤の引火点の単位は℃である。」 とあるうち、引用する請求項１３のうち請求項８を引用するものについて、独立形式に改め、 「容器と、前記容器に収容された薬液と、を備える薬液収容体の製造方法であって、有機溶剤を準備する、有機溶剤準備工程と、前記有機溶剤を含有する被精製物をフィルタに通過させ、薬液を得る、ろ過工程と、前記薬液を、前記容器に収容して、薬液収容体を得る、収容工程と、を含有し、前記容器内の前記薬液と接触する接液部がＣｒ原子、及び、Ｆｅ原子を含有する金属材料から形成され、前記金属材料が、ステンレス鋼、及び、電解研磨されたステンレス鋼からなる群から選択される少なくとも１種であり、前記薬液が、請求項８構成であり、前記ろ過工程、及び、前記収容工程が、以下の条件３、及び、条件４を満たす、薬液収容体の製造方法。条件３：前記被精製物が前記フィルタを通過する際の前記被精製物の温度が２３℃未満であり、かつ、前記薬液を前記容器に収容する際の、薬液の温度が２３℃未満である。条件４：前記被精製物が前記フィルタを通過する際の前記被精製物の温度が下記の式１を満たし、かつ、前記薬液を前記容器に収容する際の、前記薬液の温度が下記の式２を満たす。（式１）前記被精製物の温度＜前記有機溶剤の引火点－５ （式２）前記薬液の温度＜前記有機溶剤の引火点－５ なお、式１、及び、式２中、前記被精製物の温度、前記薬液の温度、及び、前記有機溶剤の引火点の単位は℃である。」 と記載し、新たに請求項３６とする。 ３ 訂正の適否についての判断 （１）訂正事項１について ア 訂正の目的の適否 訂正事項１による訂正は、訂正前の請求項１における「イオンの含有量」を、「０．１～１００質量ｐｐｔ」から「０．１～５０質量ｐｐｔ」へと限定するものであって、訂正後の数値範囲の全範囲が訂正前の数値範囲に包含される関係にある。また、訂正事項１による訂正は、訂正前の「有機溶媒」の種類を特定溶媒に限定するものである。 そうしてみると、訂正事項１による訂正は、特許法１２０条の５第２項ただし書１号（特許請求の範囲の減縮）に掲げる事項を目的とする訂正に該当する。 また、訂正事項１による訂正によって連動して訂正される請求項についても同様である。 イ 新規事項、拡張又は変更の存否 訂正事項１による訂正は、「イオンの含有量」に係る訂正については、願書に添付した明細書の【００２１】及び【００２２】の記載を、「特定溶媒」に係る訂正ついては、【００１７】の記載を根拠とするものであって、訂正事項１による訂正は、願書に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面（以下「本件明細書等」という。）に記載した事項の範囲内においてした訂正である。 また、訂正事項１による訂正によって、訂正前の特許請求の範囲には含まれないこととされたものが訂正後の特許請求の範囲に含まれることとならないことは明らかであるから、訂正事項１による訂正は、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更する訂正に該当しない。 したがって、訂正事項１による訂正は、特許法第１２０条の５第９項で準用する特許法第１２６条第５項及び第６項に適合するものである。 （２）訂正事項２について ア 訂正の目的の適否 訂正事項２による訂正は、その訂正内容からみて、訂正事項１による訂正と同様であることから、特許法１２０条の５第２項ただし書１号（特許請求の範囲の減縮）に掲げる事項を目的とする訂正に該当する。 また、訂正事項２による訂正によって連動して訂正される請求項についても同様である。 イ 新規事項、拡張又は変更の存否 訂正事項２による訂正は、その訂正内容からみて、願書に添付した明細書の【００２１】及び【００２２】の記載を、「特定溶媒」に係る訂正ついては、【００１７】の記載を根拠とするものであって、訂正事項２による訂正は、本件明細書等に記載した事項の範囲内においてした訂正である。 また、訂正事項２による訂正によって、訂正前の特許請求の範囲には含まれないこととされたものが訂正後の特許請求の範囲に含まれることとならないことは明らかであるから、訂正事項２による訂正は、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更する訂正に該当しない。 したがって、訂正事項２による訂正は、特許法第１２０条の５第９項で準用する特許法第１２６条第５項及び第６項に適合するものである。 （３）訂正事項３について ア 訂正の目的の適否 訂正事項３による訂正は、その訂正内容からみて、訂正事項１による訂正と同様であることから、特許法１２０条の５第２項ただし書１号（特許請求の範囲の減縮）に掲げる事項を目的とする訂正に該当する。 また、訂正事項３による訂正によって連動して訂正される請求項についても同様である。 イ 新規事項、拡張又は変更の存否 訂正事項３による訂正は、その訂正内容からみて、願書に添付した明細書の【００２１】及び【００２２】の記載を根拠とするものである。した、「特定溶媒」に係る訂正ついては、【００１７】の記載を根拠とするものであって、訂正事項３による訂正は、本件明細書等に記載した事項の範囲内においてした訂正である。 また、訂正事項３による訂正によって、訂正前の特許請求の範囲には含まれないこととされたものが訂正後の特許請求の範囲に含まれることとならないことは明らかであるから、訂正事項３による訂正は、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更する訂正に該当しない。 したがって、訂正事項３による訂正は、特許法第１２０条の５第９項で準用する特許法第１２６条第５項及び第６項に適合するものである。 （４）訂正事項４について ア 訂正の目的の適否 訂正事項４による訂正は、訂正前の「有機溶媒」の種類を特定溶媒に限定するものであるから、特許法１２０条の５第２項ただし書１号（特許請求の範囲の減縮）に掲げる事項を目的とする訂正に該当する。 また、訂正事項４による訂正によって連動して訂正される請求項についても同様である。 イ 新規事項、拡張又は変更の存否 訂正事項４による訂正は、願書に添付した明細書の【００１７】の記載を根拠とするものであって、訂正事項４による訂正は、本件明細書等に記載した事項の範囲内においてした訂正である。 また、訂正事項４による訂正によって、訂正前の特許請求の範囲には含まれないこととされたものが訂正後の特許請求の範囲に含まれることとならないことは明らかであるから、訂正事項４による訂正は、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更する訂正に該当しない。 したがって、訂正事項４による訂正は、特許法第１２０条の５第９項で準用する特許法第１２６条第５項及び第６項に適合するものである。 （５）訂正事項５について ア 訂正の目的の適否 訂正事項５による訂正は、訂正前の「有機溶媒」の種類を特定溶媒に限定するものであるから、特許法１２０条の５第２項ただし書１号（特許請求の範囲の減縮）に掲げる事項を目的とする訂正に該当する。 また、訂正事項５による訂正によって連動して訂正される請求項についても同様である。 イ 新規事項、拡張又は変更の存否 訂正事項５による訂正は、願書に添付した明細書の【００１７】の記載を根拠とするものであって、訂正事項５による訂正は、本件明細書等に記載した事項の範囲内においてした訂正である。 また、訂正事項５による訂正によって、訂正前の特許請求の範囲には含まれないこととされたものが訂正後の特許請求の範囲に含まれることとならないことは明らかであるから、訂正事項５による訂正は、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更する訂正に該当しない。 したがって、訂正事項５による訂正は、特許法第１２０条の５第９項で準用する特許法第１２６条第５項及び第６項に適合するものである。 （６）訂正事項６－１について ア 訂正の目的の適否 訂正事項６－１による訂正は、訂正前の請求項１０が訂正前の請求項１～９のいずれか一項を引用していたもののうち、請求項１を引用するものについて引用関係を解消するとともに、訂正前の請求項１０における「イオンの含有量」を、「０．１～１００質量ｐｐｔ」から「０．１～５０質量ｐｐｔ」へと限定するものであるから、特許法１２０条の５第２項ただし書１号（特許請求の範囲の減縮）及び同４号（他の請求項の記載を引用する請求項の記載を当該他の請求項の記載を引用しないものとすること）を目的とする訂正に該当する。 また、訂正事項６－１による訂正によって連動して訂正される請求項についても同様である。 イ 新規事項、拡張又は変更の存否 訂正事項６－１による訂正は、願書に添付した明細書の【００２１】及び【００２２】の記載を根拠とするものであって、本件明細書等に記載した事項の範囲内においてした訂正である。 また、訂正事項６－１による訂正によって、訂正前の特許請求の範囲には含まれないこととされたものが訂正後の特許請求の範囲に含まれることとならないことは明らかであるから、訂正事項６－１による訂正は、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更する訂正に該当しない。 したがって、訂正事項６－１による訂正は、特許法第１２０条の５第９項で準用する特許法第１２６条第５項及び第６項に適合するものである。 （７）訂正事項６－２～６－３について ア 訂正の目的の適否 訂正事項６－２～６－３による訂正は、訂正前の請求項１０が訂正前の請求項１～９のいずれか一項を引用していたもののうち、請求項３及び５を引用するものそれぞれについて引用関係を解消するとともに、訂正前の請求項１０における「イオンの含有量」を、「０．１～１００質量ｐｐｔ」から「０．１～５０質量ｐｐｔ」へと限定するものであるから、特許法１２０条の５第２項ただし書１号（特許請求の範囲の減縮）及び同４号（他の請求項の記載を引用する請求項の記載を当該他の請求項の記載を引用しないものとすること）を目的とする訂正に該当する。 また、訂正事項６－２～６－３による訂正によって連動して訂正される請求項についても同様である。 イ 新規事項、拡張又は変更の存否 訂正事項６－２～６－３による訂正は、願書に添付した明細書の【００２１】及び【００２２】の記載を根拠とするものであって、本件明細書等に記載した事項の範囲内においてした訂正である。 また、訂正事項６－２～６－３による訂正によって、訂正前の特許請求の範囲には含まれないこととされたものが訂正後の特許請求の範囲に含まれることとならないことは明らかであるから、訂正事項６－２～６－３による訂正は、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更する訂正に該当しない。 したがって、訂正事項６－２～６－３による訂正は、特許法第１２０条の５第９項で準用する特許法第１２６条第５項及び第６項に適合するものである。 （８）訂正事項６－４～６－５について ア 訂正の目的の適否 訂正事項６－４～６－５による訂正は、訂正前の請求項１０が訂正前の請求項１～９のいずれか一項を引用していたもののうち、請求項６及び８を引用するものそれぞれについて引用関係を解消するものであるから、特許法１２０条の５第２項ただし書４号（他の請求項の記載を引用する請求項の記載を当該他の請求項の記載を引用しないものとすること）を目的とする訂正に該当する。 また、訂正事項６－４～６－５による訂正によって連動して訂正される請求項についても同様である。 イ 新規事項、拡張又は変更の存否 訂正事項６－４～６－５による訂正は、その訂正内容からみて、本件明細書等に記載した事項の範囲内においてした訂正である。 また、訂正事項６－４～６－５による訂正によって、訂正前の特許請求の範囲には含まれないこととされたものが訂正後の特許請求の範囲に含まれることとならないことは明らかであるから、訂正事項６－４～６－５による訂正は、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更する訂正に該当しない。 したがって、訂正事項６－４～６－５による訂正は、特許法第１２０条の５第９項で準用する特許法第１２６条第５項及び第６項に適合するものである。 （９）訂正事項７－１について ア 訂正の目的の適否 訂正事項７－１による訂正は、訂正前の請求項１１が訂正前の請求項１～１０のいずれか一項を引用していたもののうち、請求項１を引用するものについて引用関係を解消するとともに、訂正前の請求項１１における「イオンの含有量」を、「０．１～１００質量ｐｐｔ」から「０．１～５０質量ｐｐｔ」へと限定するものであるから、特許法１２０条の５第２項ただし書１号（特許請求の範囲の減縮）及び同４号（他の請求項の記載を引用する請求項の記載を当該他の請求項の記載を引用しないものとすること）を目的とする訂正に該当する。 また、訂正事項７－１による訂正によって連動して訂正される請求項についても同様である。 イ 新規事項、拡張又は変更の存否 訂正事項７－１による訂正は、願書に添付した明細書の【００２１】及び【００２２】の記載を根拠とするものであって、本件明細書等に記載した事項の範囲内においてした訂正である。 また、訂正事項７－１による訂正によって、訂正前の特許請求の範囲には含まれないこととされたものが訂正後の特許請求の範囲に含まれることとならないことは明らかであるから、訂正事項７－１による訂正は、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更する訂正に該当しない。 したがって、訂正事項７－１による訂正は、特許法第１２０条の５第９項で準用する特許法第１２６条第５項及び第６項に適合するものである。 （１０）訂正事項７－２～７－３について ア 訂正の目的の適否 訂正事項７－２～７－３による訂正は、訂正前の請求項１１が訂正前の請求項１～１０のいずれか一項を引用していたもののうち、請求項３及び５を引用するものそれぞれについて引用関係を解消するとともに、訂正前の請求項１０における「イオンの含有量」を、「０．１～１００質量ｐｐｔ」から「０．１～５０質量ｐｐｔ」へと限定するものであるから、特許法１２０条の５第２項ただし書１号（特許請求の範囲の減縮）及び同４号（他の請求項の記載を引用する請求項の記載を当該他の請求項の記載を引用しないものとすること）を目的とする訂正に該当する。 また、訂正事項７－２～７－３による訂正によって連動して訂正される請求項についても同様である。 イ 新規事項、拡張又は変更の存否 訂正事項７－２～７－３による訂正は、願書に添付した明細書の【００２１】及び【００２２】の記載を根拠とするものであって、本件明細書等に記載した事項の範囲内においてした訂正である。 また、訂正事項７－２～７－３による訂正によって、訂正前の特許請求の範囲には含まれないこととされたものが訂正後の特許請求の範囲に含まれることとならないことは明らかであるから、訂正事項７－２～７－３による訂正は、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更する訂正に該当しない。 したがって、訂正事項７－２～７－３による訂正は、特許法第１２０条の５第９項で準用する特許法第１２６条第５項及び第６項に適合するものである。 （１１）訂正事項７－４～７－５について ア 訂正の目的の適否 訂正事項７－４～７－５による訂正は、訂正前の請求項１１が訂正前の請求項１～１０のいずれか一項を引用していたもののうち、請求項６及び８を引用するものそれぞれについて引用関係を解消するものであるから、特許法１２０条の５第２項ただし書４号（他の請求項の記載を引用する請求項の記載を当該他の請求項の記載を引用しないものとすること）を目的とする訂正に該当する。 また、訂正事項７－４～７－５による訂正によって連動して訂正される請求項についても同様である。 イ 新規事項、拡張又は変更の存否 訂正事項７－４～７－５による訂正は、その訂正内容からみて、本件明細書等に記載した事項の範囲内においてした訂正である。 また、訂正事項７－４～７－５による訂正によって、訂正前の特許請求の範囲には含まれないこととされたものが訂正後の特許請求の範囲に含まれることとならないことは明らかであるから、訂正事項７－４～７－５による訂正は、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更する訂正に該当しない。 したがって、訂正事項７－４～７－５による訂正は、特許法第１２０条の５第９項で準用する特許法第１２６条第５項及び第６項に適合するものである。 （１２）訂正事項８について ア 訂正の目的の適否 訂正事項８による訂正は、訂正前の請求項１２が請求項１～１１のいずれか一項を引用していたもののうち、請求項１～９を引用しないものとする訂正であるから、特許法第１２０条の５第２項ただし書第１号（特許請求の範囲の減縮）を目的とする訂正に該当する。 イ 新規事項、拡張又は変更の存否 訂正事項８による訂正は、その訂正内容からみて、本件明細書等に記載した事項の範囲内においてした訂正である。 また、訂正事項８による訂正によって、訂正前の特許請求の範囲には含まれないこととされたものが訂正後の特許請求の範囲に含まれることとならないことは明らかであるから、訂正事項８による訂正は、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更する訂正に該当しない。 したがって、訂正事項８による訂正は、特許法第１２０条の５第９項で準用する特許法第１２６条第５項及び第６項に適合するものである。 （１３）訂正事項９について ア 訂正の目的の適否 訂正事項９による訂正は、訂正前の請求項１３が請求項１～１２のいずれか一項を引用していたもののうち、請求項１０～１２を引用しないものとする訂正であるから、特許法第１２０条の５第２項ただし書第１号（特許請求の範囲の減縮）を目的とする訂正に該当する。 イ 新規事項、拡張又は変更の存否 訂正事項９による訂正は、その訂正内容からみて、本件明細書等に記載した事項の範囲内においてした訂正である。 また、訂正事項９による訂正によって、訂正前の特許請求の範囲には含まれないこととされたものが訂正後の特許請求の範囲に含まれることとならないことは明らかであるから、訂正事項９による訂正は、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更する訂正に該当しない。 したがって、訂正事項９による訂正は、特許法第１２０条の５第９項で準用する特許法第１２６条第５項及び第６項に適合するものである。 （１４）訂正事項１０－１について ア 訂正の目的の適否 訂正事項１０－１による訂正は、訂正前の請求項１４が引用する訂正前の請求項１３のうち訂正前の請求項１を引用していたものについて引用関係を解消するとともに、訂正前の請求項１４における「イオンの含有量」を、「０．１～１００質量ｐｐｔ」から「０．１～５０質量ｐｐｔ」へと限定するものであるから、特許法１２０条の５第２項ただし書１号（特許請求の範囲の減縮）及び同４号（他の請求項の記載を引用する請求項の記載を当該他の請求項の記載を引用しないものとすること）を目的とする訂正に該当する。 また、訂正事項１０－１による訂正によって連動して訂正される請求項についても同様である。 イ 新規事項、拡張又は変更の存否 訂正事項１０－１による訂正は、願書に添付した明細書の【００２１】及び【００２２】の記載を根拠とするものであって、本件明細書等に記載した事項の範囲内においてした訂正である。 また、訂正事項１０－１による訂正によって、訂正前の特許請求の範囲には含まれないこととされたものが訂正後の特許請求の範囲に含まれることとならないことは明らかであるから、訂正事項１０－１による訂正は、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更する訂正に該当しない。 したがって、訂正事項１０－１による訂正は、特許法第１２０条の５第９項で準用する特許法第１２６条第５項及び第６項に適合するものである。 （１５）訂正事項１０－２～１０－３について ア 訂正の目的の適否 訂正事項１０－２～１０－３による訂正は、訂正前の請求項１４が引用する訂正前の請求項１３のうち、請求項３及び５を引用するものそれぞれについて引用関係を解消するとともに、訂正前の請求項１４における「イオンの含有量」を、「０．１～１００質量ｐｐｔ」から「０．１～５０質量ｐｐｔ」へと限定するものであるから、特許法１２０条の５第２項ただし書１号（特許請求の範囲の減縮）及び同４号（他の請求項の記載を引用する請求項の記載を当該他の請求項の記載を引用しないものとすること）を目的とする訂正に該当する。 また、訂正事項１０－２～１０－３による訂正によって連動して訂正される請求項についても同様である。 イ 新規事項、拡張又は変更の存否 訂正事項１０－２～１０－３による訂正は、願書に添付した明細書の【００２１】及び【００２２】の記載を根拠とするものであって、本件明細書等に記載した事項の範囲内においてした訂正である。 また、訂正事項１０－２～１０－３による訂正によって、訂正前の特許請求の範囲には含まれないこととされたものが訂正後の特許請求の範囲に含まれることとならないことは明らかであるから、訂正事項１０－２～１０－３による訂正は、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更する訂正に該当しない。 したがって、訂正事項１０－２～１０－３による訂正は、特許法第１２０条の５第９項で準用する特許法第１２６条第５項及び第６項に適合するものである。 （１６）訂正事項１０－４～１０－５について ア 訂正の目的の適否 訂正事項１０－４～１０－５による訂正は、訂正前の請求項１４が引用する訂正前の請求項１３のうち、請求項６及び８を引用するものそれぞれについて引用関係を解消するものであるから、特許法１２０条の５第２項ただし書４号（他の請求項の記載を引用する請求項の記載を当該他の請求項の記載を引用しないものとすること）を目的とする訂正に該当する。 また、訂正事項１０－４～１０－５による訂正によって連動して訂正される請求項についても同様である。 イ 新規事項、拡張又は変更の存否 訂正事項１０－４～１０－５による訂正は、その訂正内容からみて、本件明細書等に記載した事項の範囲内においてした訂正である。 また、訂正事項１０－４～１０－５による訂正によって、訂正前の特許請求の範囲には含まれないこととされたものが訂正後の特許請求の範囲に含まれることとならないことは明らかであるから、訂正事項１０－４～１０－５による訂正は、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更する訂正に該当しない。 したがって、訂正事項１０－４～１０－５による訂正は、特許法第１２０条の５第９項で準用する特許法第１２６条第５項及び第６項に適合するものである。 （１７）訂正事項１１－１について ア 訂正の目的の適否 訂正事項１１－１による訂正は、訂正前の請求項１５が引用する訂正前の請求項１～１２のいずれか一項のうち訂正前の請求項１を引用するものについて引用関係を解消するとともに、訂正前の請求項１５における「イオンの含有量」を、「０．１～１００質量ｐｐｔ」から「０．１～５０質量ｐｐｔ」へと限定するものであるから、特許法１２０条の５第２項ただし書１号（特許請求の範囲の減縮）及び同４号（他の請求項の記載を引用する請求項の記載を当該他の請求項の記載を引用しないものとすること）を目的とする訂正に該当する。 また、訂正事項１１－１による訂正によって連動して訂正される請求項についても同様である。 イ 新規事項、拡張又は変更の存否 訂正事項１１－１による訂正は、願書に添付した明細書の【００２１】及び【００２２】の記載を根拠とするものであって、本件明細書等に記載した事項の範囲内においてした訂正である。 また、訂正事項１１－１による訂正によって、訂正前の特許請求の範囲には含まれないこととされたものが訂正後の特許請求の範囲に含まれることとならないことは明らかであるから、訂正事項１１－１による訂正は、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更する訂正に該当しない。 したがって、訂正事項１１－１による訂正は、特許法第１２０条の５第９項で準用する特許法第１２６条第５項及び第６項に適合するものである。 （１８）訂正事項１１－２～１１－３について ア 訂正の目的の適否 訂正事項１１－２～１１－３による訂正は、訂正前の請求項１５が引用する訂正前の請求項１～１２のうち、請求項３及び５を引用するものそれぞれについて引用関係を解消するとともに、訂正前の請求項１５における「イオンの含有量」を、「０．１～１００質量ｐｐｔ」から「０．１～５０質量ｐｐｔ」へと限定するものであるから、特許法１２０条の５第２項ただし書１号（特許請求の範囲の減縮）及び同４号（他の請求項の記載を引用する請求項の記載を当該他の請求項の記載を引用しないものとすること）を目的とする訂正に該当する。 また、訂正事項１１－２～１１－３による訂正によって連動して訂正される請求項についても同様である。 イ 新規事項、拡張又は変更の存否 訂正事項１１－２～１１－３による訂正は、願書に添付した明細書の【００２１】及び【００２２】の記載を根拠とするものであって、本件明細書等に記載した事項の範囲内においてした訂正である。 また、訂正事項１１－２～１１－３による訂正によって、訂正前の特許請求の範囲には含まれないこととされたものが訂正後の特許請求の範囲に含まれることとならないことは明らかであるから、訂正事項１１－２～１１－３による訂正は、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更する訂正に該当しない。 したがって、訂正事項１１－２～１１－３による訂正は、特許法第１２０条の５第９項で準用する特許法第１２６条第５項及び第６項に適合するものである。 （１９）訂正事項１１－４～１１－５について ア 訂正の目的の適否 訂正事項１１－４～１１－５による訂正は、訂正前の請求項１５が引用する訂正前の請求項１～１２のうち、請求項６及び８を引用するものそれぞれについて引用関係を解消するものであるから、特許法１２０条の５第２項ただし書４号（他の請求項の記載を引用する請求項の記載を当該他の請求項の記載を引用しないものとすること）を目的とする訂正に該当する。 また、訂正事項１１－４～１１－５による訂正によって連動して訂正される請求項についても同様である。 イ 新規事項、拡張又は変更の存否 訂正事項１１－４～１１－５による訂正は、その訂正内容からみて、本件明細書等に記載した事項の範囲内においてした訂正である。 また、訂正事項１１－４～１１－５による訂正によって、訂正前の特許請求の範囲には含まれないこととされたものが訂正後の特許請求の範囲に含まれることとならないことは明らかであるから、訂正事項１１－４～１１－５による訂正は、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更する訂正に該当しない。 したがって、訂正事項１１－４～１１－５による訂正は、特許法第１２０条の５第９項で準用する特許法第１２６条第５項及び第６項に適合するものである。 （２０）訂正事項１２－１について ア 訂正の目的の適否 訂正事項１２－１による訂正は、訂正前の請求項１６が引用する訂正前の請求項１３のうち訂正前の請求項１を引用していたものについて引用関係を解消するとともに、訂正前の請求項１６における「イオンの含有量」を、「０．１～１００質量ｐｐｔ」から「０．１～５０質量ｐｐｔ」へと限定するものであるから、特許法１２０条の５第２項ただし書１号（特許請求の範囲の減縮）及び同４号（他の請求項の記載を引用する請求項の記載を当該他の請求項の記載を引用しないものとすること）を目的とする訂正に該当する。 また、訂正事項１２－１による訂正によって連動して訂正される請求項についても同様である。 イ 新規事項、拡張又は変更の存否 訂正事項１２－１による訂正は、願書に添付した明細書の【００２１】及び【００２２】の記載を根拠とするものであって、本件明細書等に記載した事項の範囲内においてした訂正である。 また、訂正事項１２－１による訂正によって、訂正前の特許請求の範囲には含まれないこととされたものが訂正後の特許請求の範囲に含まれることとならないことは明らかであるから、訂正事項１２－１による訂正は、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更する訂正に該当しない。 したがって、訂正事項１２－１による訂正は、特許法第１２０条の５第９項で準用する特許法第１２６条第５項及び第６項に適合するものである。 （２１）訂正事項１２－２～１２－３について ア 訂正の目的の適否 訂正事項１２－２～１２－３による訂正は、訂正前の請求項１６が引用する訂正前の請求項１３のうち、請求項３及び５を引用するものそれぞれについて引用関係を解消するとともに、訂正前の請求項１６における「イオンの含有量」を、「０．１～１００質量ｐｐｔ」から「０．１～５０質量ｐｐｔ」へと限定するものであるから、特許法１２０条の５第２項ただし書１号（特許請求の範囲の減縮）及び同４号（他の請求項の記載を引用する請求項の記載を当該他の請求項の記載を引用しないものとすること）を目的とする訂正に該当する。 また、訂正事項１２－２～１２－３による訂正によって連動して訂正される請求項についても同様である。 イ 新規事項、拡張又は変更の存否 訂正事項１２－２～１２－３による訂正は、願書に添付した明細書の【００２１】及び【００２２】の記載を根拠とするものであって、本件明細書等に記載した事項の範囲内においてした訂正である。 また、訂正事項１２－２～１２－３による訂正によって、訂正前の特許請求の範囲には含まれないこととされたものが訂正後の特許請求の範囲に含まれることとならないことは明らかであるから、訂正事項１２－２～１２－３による訂正は、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更する訂正に該当しない。 したがって、訂正事項１２－２～１２－３による訂正は、特許法第１２０条の５第９項で準用する特許法第１２６条第５項及び第６項に適合するものである。 （２２）訂正事項１２－４～１２－５について ア 訂正の目的の適否 訂正事項１２－４～１２－５による訂正は、訂正前の請求項１６が引用する訂正前の請求項１３のうち、請求項６及び８を引用するものそれぞれについて引用関係を解消するものであるから、特許法１２０条の５第２項ただし書４号（他の請求項の記載を引用する請求項の記載を当該他の請求項の記載を引用しないものとすること）を目的とする訂正に該当する。 また、訂正事項１２－４～１２－５による訂正によって連動して訂正される請求項についても同様である。 イ 新規事項、拡張又は変更の存否 訂正事項１２－４～１２－５による訂正は、その訂正内容からみて、本件明細書等に記載した事項の範囲内においてした訂正である。 また、訂正事項１２－４～１２－５による訂正によって、訂正前の特許請求の範囲には含まれないこととされたものが訂正後の特許請求の範囲に含まれることとならないことは明らかであるから、訂正事項１２－４～１２－５による訂正は、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更する訂正に該当しない。 したがって、訂正事項１２－４～１２－５による訂正は、特許法第１２０条の５第９項で準用する特許法第１２６条第５項及び第６項に適合するものである。 ４ 本件訂正請求についてのまとめ 上記２によれば、本件訂正請求による訂正は、特許法１２０条の５第２項ただし書、同条９項において準用する同法１２６条５項及び６項の規定に適合する。 よって、結論に記載のとおり、特許第６７９４４６２号の特許請求の範囲を、令和４年５月２３日付け訂正請求書に添付された訂正特許請求の範囲のとおり、訂正後の請求項〔１～９、１３〕、〔１０～１２〕、１４、１５、１６、１７、１８、１９、２０、２１、２２、２３、２４、２５、２６、２７、２８、２９、３０、３１、３２、３３、３４、３５、３６について、訂正することを認める。 第３ 本件特許発明 上記「第２」のとおり、本件訂正請求による訂正は認められた。 そうしてみると、特許異議の申立ての対象となっている、請求項１～請求項１６に係る発明は、本件訂正請求による訂正後の特許請求の範囲の請求項１～請求項３６に記載された事項によって特定されるとおりの、以下のものである。 なお、各請求項に係る訂正後の特許発明をその請求項の番号に基づいて、「本件特許発明１」などといい、全ての請求項に係る特許発明を総称して、「本件特許発明」ということがある。 「 【請求項１】 有機溶剤と、 Ｆｅ原子、Ｃｒ原子、Ｎｉ原子、及び、Ｐｂ原子からなる群から選択される少なくとも１種の原子のイオンと、 Ｚｎ原子を含有する粒子と、を含有する、半導体デバイス製造用の薬液であって、 前記薬液に１種の前記イオンが含有される場合、前記イオンの含有量が、前記薬液の全質量に対して０．１～５０質量ｐｐｔであって、 前記薬液に２種以上の前記イオンが含有される場合、前記イオンのそれぞれの含有量が、前記薬液の全質量に対して０．１～５０質量ｐｐｔであり、 前記有機溶剤の含有量が、前記薬液の全質量に対して９８質量％以上であり、 前記Ｚｎ原子を含有する粒子の含有量が、前記薬液の全質量に対して０．０５～６０質量ｐｐｔであり、 前記薬液の帯電電位が１００ｍＶ以下であり、 前記有機溶剤が、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノプロピルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、乳酸エチル、メトキシプロピオン酸メチル、シクロペンタノン、シクロヘキサノン、γ－ブチロラクトン、ジイソアミルエーテル、酢酸ブチル、及び、４－メチル－２－ペンタノールからなる群から選択される少なくとも１種を含有する、薬液。 【請求項２】 更に、Ｃｒ原子、Ｚｎ原子、Ａｌ原子、及び、Ｐｂ原子からなる群から選択される少なくとも１種の原子を含有する粒子を含有し、 前記薬液が１種の前記粒子を含有する場合、前記薬液中における前記粒子の含有量が、前記薬液の全質量に対して０．１～１００質量ｐｐｔであり、 前記薬液が２種以上の前記粒子を含有する場合、前記薬液中における前記粒子の合計含有量が、前記薬液の全質量に対して０．１～１００質量ｐｐｔである、請求項１に記載の薬液。 【請求項３】 有機溶剤と、 Ｆｅ原子、Ｃｒ原子、Ｎｉ原子、及び、Ｐｂ原子からなる群から選択される少なくとも１種の原子のイオンと、 Ｃｒ原子、Ｚｎ原子、Ａｌ原子、及び、Ｐｂ原子からなる群から選択される少なくとも１種の原子を含有する粒子と、を含有する、半導体デバイス製造用の薬液であって、 前記薬液に１種の前記イオンが含有される場合、前記イオンの含有量が、前記薬液の全質量に対して０．１～５０質量ｐｐｔであって、 前記薬液に２種以上の前記イオンが含有される場合、前記イオンのそれぞれの含有量が、前記薬液の全質量に対して０．１～５０質量ｐｐｔであり、 前記有機溶剤の含有量が、前記薬液の全質量に対して９８質量％以上であり、 前記薬液が１種の前記粒子を含有する場合、前記薬液中における前記粒子の含有量が、前記薬液の全質量に対して１００質量ｐｐｔ以下であり、 前記薬液が２種以上の前記粒子を含有する場合、前記薬液中における前記粒子の合計含有量が、前記薬液の全質量に対して１００質量ｐｐｔ以下であり、 前記薬液の帯電電位が１００ｍＶ以下であり、 前記有機溶剤が、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノプロピルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、乳酸エチル、メトキシプロピオン酸メチル、シクロペンタノン、シクロヘキサノン、γ－ブチロラクトン、ジイソアミルエーテル、酢酸ブチル、及び、４－メチル－２－ペンタノールからなる群から選択される少なくとも１種を含有する、薬液。 【請求項４】 前記薬液が、Ｃｒ原子を含有する粒子、Ｚｎ原子を含有する粒子、Ａｌ原子を含有する粒子、及び、Ｐｂ原子を含有する粒子を含有し、 前記Ｃｒ原子を含有する粒子の含有量が、前記薬液の全質量に対して、０．１～３０質量ｐｐｔであり、 前記Ｚｎ原子を含有する粒子の含有量が、前記薬液の全質量に対して、０．１～２０質量ｐｐｔであり、 前記Ａｌ原子を含有する粒子の含有量が、前記薬液の全質量に対して、０．１～２０質量ｐｐｔであり、 前記Ｐｂ原子を含有する粒子の含有量が、前記薬液の全質量に対して、０．１～２０質量ｐｐｔである、請求項１～３のいずれか１項に記載の薬液。 【請求項５】 有機溶剤と、 Ｆｅ原子、Ｃｒ原子、Ｎｉ原子、及び、Ｐｂ原子からなる群から選択される少なくとも１種の原子のイオンと、 Ｃｒ原子を含有する粒子と、Ｚｎ原子を含有する粒子と、Ａｌ原子を含有する粒子と、Ｐｂ原子を含有する粒子と、を含有する、半導体デバイス製造用の薬液であって、 前記薬液に１種の前記イオンが含有される場合、前記イオンの含有量が、前記薬液の全質量に対して０．１～５０質量ｐｐｔであって、 前記薬液に２種以上の前記イオンが含有される場合、前記イオンのそれぞれの含有量が、前記薬液の全質量に対して０．１～５０質量ｐｐｔであり、 前記有機溶剤の含有量が、前記薬液の全質量に対して９８質量％以上であり、 前記Ｃｒ原子を含有する粒子の含有量が、前記薬液の全質量に対して０．１～３０質量ｐｐｔであり、 前記Ｚｎ原子を含有する粒子の含有量が、前記薬液の全質量に対して０．１～２０質量ｐｐｔであり、 前記Ａｌ原子を含有する粒子の含有量が、前記薬液の全質量に対して０．１～２０質量ｐｐｔであり、 前記Ｐｂ原子を含有する粒子の含有量が、前記薬液の全質量に対して０．１～２０質量ｐｐｔであり、 前記薬液の帯電電位が１００ｍＶ以下であり、 前記有機溶剤が、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノプロピルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、乳酸エチル、メトキシプロピオン酸メチル、シクロペンタノン、シクロヘキサノン、γ－ブチロラクトン、ジイソアミルエーテル、酢酸ブチル、及び、４－メチル－２－ペンタノールからなる群から選択される少なくとも１種を含有する、薬液。 【請求項６】 有機溶剤と、 Ｆｅ原子、Ｃｒ原子、Ｎｉ原子、及び、Ｐｂ原子からなる群から選択される少なくとも１種の原子のイオンと、 を含有する、半導体デバイス製造用の薬液であって、 前記薬液に１種の前記イオンが含有される場合、前記イオンの含有量が、前記薬液の全質量に対して０．１～１００質量ｐｐｔであって、 前記薬液に２種以上の前記イオンが含有される場合、前記イオンのそれぞれの含有量が、前記薬液の全質量に対して０．１～１００質量ｐｐｔであり、且つ、 Ｆｅイオンの含有量が、前記薬液の全質量に対して０．１～１０質量ｐｐｔであるか、又は、Ｃｒイオンの含有量が、前記薬液の全質量に対して０．１～１０質量ｐｐｔであり、 前記有機溶剤の含有量が、前記薬液の全質量に対して９８質量％以上であり、 前記薬液の帯電電位が１００ｍＶ以下であり、 前記有機溶剤が、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノプロピルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、乳酸エチル、メトキシプロピオン酸メチル、シクロペンタノン、シクロヘキサノン、γ－ブチロラクトン、ジイソアミルエーテル、酢酸ブチル、及び、４－メチル－２－ペンタノールからなる群から選択される少なくとも１種を含有する、薬液。 【請求項７】 前記薬液が、Ｆｅイオン、Ｃｒイオン、Ｎｉイオン、及び、Ｐｂイオンを含有し、 前記Ｆｅイオンの含有量が、前記薬液の全質量に対して、０．１～１０質量ｐｐｔであり、 前記Ｃｒイオンの含有量が、前記薬液の全質量に対して、０．１～１０質量ｐｐｔであり、 前記Ｎｉイオンの含有量が、前記薬液の全質量に対して、０．１～１０質量ｐｐｔであり、 前記Ｐｂイオンの含有量が、前記薬液の全質量に対して、０．１～１０質量ｐｐｔである、請求項１～６のいずれか１項に記載の薬液。 【請求項８】 有機溶剤と Ｆｅイオンと、Ｃｒイオンと、Ｎｉイオンと、Ｐｂイオンと、 を含有する、半導体デバイス製造用の薬液であって、 前記Ｆｅイオンの含有量が、前記薬液の全質量に対して０．１～１０質量ｐｐｔであり、 前記Ｃｒイオンの含有量が、前記薬液の全質量に対して０．１～１０質量ｐｐｔであり、 前記Ｎｉイオンの含有量が、前記薬液の全質量に対して０．１～１０質量ｐｐｔであり、 前記Ｐｂイオンの含有量が、前記薬液の全質量に対して０．１～１０質量ｐｐｔであり、 前記有機溶剤の含有量が、前記薬液の全質量に対して９８質量％以上であり、 前記薬液の帯電電位が１００ｍＶ以下であり、 前記有機溶剤が、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノプロピルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、乳酸エチル、メトキシプロピオン酸メチル、シクロペンタノン、シクロヘキサノン、γ－ブチロラクトン、ジイソアミルエーテル、酢酸ブチル、及び、４－メチル－２－ペンタノールからなる群から選択される少なくとも１種を含有する、薬液。 【請求項９】 更に、有機不純物を含有し、 前記薬液中における有機不純物の合計含有量が、１～５０００質量ｐｐｍである、請求項１～８のいずれか一項に記載の薬液。 【請求項１０】 有機溶剤と、 Ｆｅ原子、Ｃｒ原子、Ｎｉ原子、及び、Ｐｂ原子からなる群から選択される少なくとも１種の原子のイオンと、 Ｚｎ原子を含有する粒子と、を含有する、半導体デバイス製造用の薬液であって、 前記薬液に１種の前記イオンが含有される場合、前記イオンの含有量が、前記薬液の全質量に対して０．１～５０質量ｐｐｔであって、 前記薬液に２種以上の前記イオンが含有される場合、前記イオンのそれぞれの含有量が、前記薬液の全質量に対して０．１～５０質量ｐｐｔであり、 前記有機溶剤の含有量が、前記薬液の全質量に対して９８質量％以上であり、 前記Ｚｎ原子を含有する粒子の含有量が、前記薬液の全質量に対して０．０５～６０質量ｐｐｔであり、 前記薬液の帯電電位が１００ｍＶ以下であり、 光散乱式液中粒子計数器によって計数される、０．１μｍ以上のサイズの被計数体の数が、１～１００個／ｍＬである、薬液。 【請求項１１】 有機溶剤と、 Ｆｅ原子、Ｃｒ原子、Ｎｉ原子、及び、Ｐｂ原子からなる群から選択される少なくとも１種の原子のイオンと、 Ｚｎ原子を含有する粒子と、 水と、を含有する、半導体デバイス製造用の薬液であって、 前記薬液に１種の前記イオンが含有される場合、前記イオンの含有量が、前記薬液の全質量に対して０．１～５０質量ｐｐｔであって、 前記薬液に２種以上の前記イオンが含有される場合、前記イオンのそれぞれの含有量が、前記薬液の全質量に対して０．１～５０質量ｐｐｔであり、 前記有機溶剤の含有量が、前記薬液の全質量に対して９８質量％以上であり、 前記Ｚｎ原子を含有する粒子の含有量が、前記薬液の全質量に対して０．０５～６０質量ｐｐｔであり、 前記薬液の帯電電位が１００ｍＶ以下であり、 前記薬液中における水の含有量が、０．０１～１質量％である、薬液。 【請求項１２】 前記有機溶剤が、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノプロピルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、乳酸エチル、メトキシプロピオン酸メチル、シクロペンタノン、シクロヘキサノン、γ－ブチロラクトン、ジイソアミルエーテル、酢酸ブチル、及び、４－メチル－２－ペンタノールからなる群から選択される少なくとも１種を含有する、請求項１０又は１１に記載の薬液。 【請求項１３】 容器と、前記容器に収容された請求項１～９のいずれか一項に記載の薬液と、を備え、前記容器内の前記薬液と接触する接液部がＣｒ原子、及び、Ｆｅ原子を含有する金属材料から形成され、 前記金属材料が、ステンレス鋼、及び、電解研磨されたステンレス鋼からなる群から選択される少なくとも１種である、薬液収容体。 【請求項１４】 容器と、前記容器に収容された薬液と、を備える薬液収容体であって、 前記容器内の前記薬液と接触する接液部がＣｒ原子、及び、Ｆｅ原子を含有する金属材料から形成され、 前記金属材料が、ステンレス鋼、及び、電解研磨されたステンレス鋼からなる群から選択される少なくとも１種であり、 前記金属材料中における、前記Ｆｅ原子の含有量に対する、前記Ｃｒ原子の含有量の含有質量比が、０．５を超え、３．５未満であり、 前記薬液が、有機溶剤と、Ｆｅ原子、Ｃｒ原子、Ｎｉ原子、及び、Ｐｂ原子からなる群から選択される少なくとも１種の原子のイオンと、Ｚｎ原子を含有する粒子と、を含有する、半導体デバイス製造用の薬液であって、 前記薬液に１種の前記イオンが含有される場合、前記イオンの含有量が、前記薬液の全質量に対して０．１～５０質量ｐｐｔであって、 前記薬液に２種以上の前記イオンが含有される場合、前記イオンのそれぞれの含有量が、前記薬液の全質量に対して０．１～５０質量ｐｐｔであり、 前記有機溶剤の含有量が、前記薬液の全質量に対して９８質量％以上であり、 前記Ｚｎ原子を含有する粒子の含有量が、前記薬液の全質量に対して０．０５～６０質量ｐｐｔであり、 前記薬液の帯電電位が１００ｍＶ以下である、薬液収容体。 【請求項１５】 薬液を製造する、薬液の製造方法であって、 有機溶剤を準備する、有機溶剤準備工程と、 前記有機溶剤を含有する被精製物をフィルタに通過させ、薬液を得る、ろ過工程と、を含有し、 前記薬液が、前記有機溶剤と、Ｆｅ原子、Ｃｒ原子、Ｎｉ原子、及び、Ｐｂ原子からなる群から選択される少なくとも１種の原子のイオンと、Ｚｎ原子を含有する粒子と、を含有する、半導体デバイス製造用の薬液であって、 前記薬液に１種の前記イオンが含有される場合、前記イオンの含有量が、前記薬液の全質量に対して０．１～５０質量ｐｐｔであって、 前記薬液に２種以上の前記イオンが含有される場合、前記イオンのそれぞれの含有量が、前記薬液の全質量に対して０．１～５０質量ｐｐｔであり、 前記有機溶剤の含有量が、前記薬液の全質量に対して９８質量％以上であり、 前記Ｚｎ原子を含有する粒子の含有量が、前記薬液の全質量に対して０．０５～６０質量ｐｐｔであり、 前記薬液の帯電電位が１００ｍＶ以下であり、 前記ろ過工程が、以下の条件１及び条件２を満たす、薬液の製造方法。 条件１：前記被精製物が前記フィルタを通過する際の、前記被精製物の温度が２３℃未満である。 条件２：前記被精製物が前記フィルタを通過する際の、前記被精製物の温度が下記の式１を満たす。 （式１） 前記被精製物の温度＜前記有機溶剤の引火点－５ なお、式１中、前記被精製物の温度、及び、前記有機溶剤の引火点の単位は℃である。 【請求項１６】 容器と、前記容器に収容された薬液と、を備える薬液収容体の製造方法であって、 有機溶剤を準備する、有機溶剤準備工程と、 前記有機溶剤を含有する被精製物をフィルタに通過させ、薬液を得る、ろ過工程と、 前記薬液を、前記容器に収容して、薬液収容体を得る、収容工程と、を含有し、 前記容器内の前記薬液と接触する接液部がＣｒ原子、及び、Ｆｅ原子を含有する金属材料から形成され、 前記金属材料が、ステンレス鋼、及び、電解研磨されたステンレス鋼からなる群から選択される少なくとも１種であり、 前記薬液が、有機溶剤と、Ｆｅ原子、Ｃｒ原子、Ｎｉ原子、及び、Ｐｂ原子からなる群から選択される少なくとも１種の原子のイオンと、Ｚｎ原子を含有する粒子と、を含有する、半導体デバイス製造用の薬液であって、 前記薬液に１種の前記イオンが含有される場合、前記イオンの含有量が、前記薬液の全質量に対して０．１～５０質量ｐｐｔであって、 前記薬液に２種以上の前記イオンが含有される場合、前記イオンのそれぞれの含有量が、前記薬液の全質量に対して０．１～５０質量ｐｐｔであり、 前記有機溶剤の含有量が、前記薬液の全質量に対して９８質量％以上であり、 前記Ｚｎ原子を含有する粒子の含有量が、前記薬液の全質量に対して０．０５～６０質量ｐｐｔであり、 前記薬液の帯電電位が１００ｍＶ以下であり、 前記ろ過工程、及び、前記収容工程が、以下の条件３、及び、条件４を満たす、薬液収容体の製造方法。 条件３：前記被精製物が前記フィルタを通過する際の前記被精製物の温度が２３℃未満であり、かつ、前記薬液を前記容器に収容する際の、薬液の温度が２３℃未満である。 条件４：前記被精製物が前記フィルタを通過する際の前記被精製物の温度が下記の式１を満たし、かつ、前記薬液を前記容器に収容する際の、前記薬液の温度が下記の式２を満たす。 （式１） 前記被精製物の温度＜前記有機溶剤の引火点－５ （式２） 前記薬液の温度＜前記有機溶剤の引火点－５ なお、式１、及び、式２中、前記被精製物の温度、前記薬液の温度、及び、前記有機溶剤の引火点の単位は℃である。 【請求項１７】 有機溶剤と、 Ｆｅ原子、Ｃｒ原子、Ｎｉ原子、及び、Ｐｂ原子からなる群から選択される少なくとも１種の原子のイオンと、 Ｃｒ原子、Ｚｎ原子、Ａｌ原子、及び、Ｐｂ原子からなる群から選択される少なくとも１種の原子を含有する粒子と、を含有する、半導体デバイス製造用の薬液であって、 前記薬液に１種の前記イオンが含有される場合、前記イオンの含有量が、前記薬液の全質量に対して０．１～５０質量ｐｐｔであって、 前記薬液に２種以上の前記イオンが含有される場合、前記イオンのそれぞれの含有量が、前記薬液の全質量に対して０．１～５０質量ｐｐｔであり、 前記有機溶剤の含有量が、前記薬液の全質量に対して９８質量％以上であり、 前記薬液が１種の前記粒子を含有する場合、前記薬液中における前記粒子の含有量が、前記薬液の全質量に対して１００質量ｐｐｔ以下であり、 前記薬液が２種以上の前記粒子を含有する場合、前記薬液中における前記粒子の合計含有量が、前記薬液の全質量に対して１００質量ｐｐｔ以下であり、 前記薬液の帯電電位が１００ｍＶ以下であり、 光散乱式液中粒子計数器によって計数される、０．１μｍ以上のサイズの被計数体の数が、１～１００個／ｍＬである、薬液。 【請求項１８】 有機溶剤と、 Ｆｅ原子、Ｃｒ原子、Ｎｉ原子、及び、Ｐｂ原子からなる群から選択される少なくとも１種の原子のイオンと、 Ｃｒ原子を含有する粒子と、Ｚｎ原子を含有する粒子と、Ａｌ原子を含有する粒子と、Ｐｂ原子を含有する粒子と、を含有する、半導体デバイス製造用の薬液であって、 前記薬液に１種の前記イオンが含有される場合、前記イオンの含有量が、前記薬液の全質量に対して０．１～５０質量ｐｐｔであって、 前記薬液に２種以上の前記イオンが含有される場合、前記イオンのそれぞれの含有量が、前記薬液の全質量に対して０．１～５０質量ｐｐｔであり、 前記有機溶剤の含有量が、前記薬液の全質量に対して９８質量％以上であり、 前記Ｃｒ原子を含有する粒子の含有量が、前記薬液の全質量に対して０．１～３０質量ｐｐｔであり、 前記Ｚｎ原子を含有する粒子の含有量が、前記薬液の全質量に対して０．１～２０質量ｐｐｔであり、 前記Ａｌ原子を含有する粒子の含有量が、前記薬液の全質量に対して０．１～２０質量ｐｐｔであり、 前記Ｐｂ原子を含有する粒子の含有量が、前記薬液の全質量に対して０．１～２０質量ｐｐｔであり、 前記薬液の帯電電位が１００ｍＶ以下であり、 光散乱式液中粒子計数器によって計数される、０．１μｍ以上のサイズの被計数体の数が、１～１００個／ｍＬである、薬液。 【請求項１９】 有機溶剤と、 Ｆｅ原子、Ｃｒ原子、Ｎｉ原子、及び、Ｐｂ原子からなる群から選択される少なくとも１種の原子のイオンと、を含有する、半導体デバイス製造用の薬液であって、 前記薬液に１種の前記イオンが含有される場合、前記イオンの含有量が、前記薬液の全質量に対して０．１～１００質量ｐｐｔであって、 前記薬液に２種以上の前記イオンが含有される場合、前記イオンのそれぞれの含有量が、前記薬液の全質量に対して０．１～１００質量ｐｐｔであり、且つ、 Ｆｅイオンの含有量が、前記薬液の全質量に対して０．１～１０質量ｐｐｔであるか、又は、Ｃｒイオンの含有量が、前記薬液の全質量に対して０．１～１０質量ｐｐｔであり、 前記有機溶剤の含有量が、前記薬液の全質量に対して９８質量％以上であり、 前記薬液の帯電電位が１００ｍＶ以下であり、 光散乱式液中粒子計数器によって計数される、０．１μｍ以上のサイズの被計数体の数が、１～１００個／ｍＬである、薬液。 【請求項２０】 有機溶剤と、 Ｆｅイオンと、Ｃｒイオンと、Ｎｉイオンと、Ｐｂイオンと、 を含有する、半導体デバイス製造用の薬液であって、 前記Ｆｅイオンの含有量が、前記薬液の全質量に対して０．１～１０質量ｐｐｔであり、 前記Ｃｒイオンの含有量が、前記薬液の全質量に対して０．１～１０質量ｐｐｔであり、 前記Ｎｉイオンの含有量が、前記薬液の全質量に対して０．１～１０質量ｐｐｔであり、 前記Ｐｂイオンの含有量が、前記薬液の全質量に対して０．１～１０質量ｐｐｔであり、 前記有機溶剤の含有量が、前記薬液の全質量に対して９８質量％以上であり、 前記薬液の帯電電位が１００ｍＶ以下であり、 光散乱式液中粒子計数器によって計数される、０．１μｍ以上のサイズの被計数体の数が、１～１００個／ｍＬである、薬液。 【請求項２１】 有機溶剤と、 Ｆｅ原子、Ｃｒ原子、Ｎｉ原子、及び、Ｐｂ原子からなる群から選択される少なくとも１種の原子のイオンと、 Ｃｒ原子、Ｚｎ原子、Ａｌ原子、及び、Ｐｂ原子からなる群から選択される少なくとも１種の原子を含有する粒子と、 水と、を含有する、半導体デバイス製造用の薬液であって、 前記薬液に１種の前記イオンが含有される場合、前記イオンの含有量が、前記薬液の全質量に対して０．１～５０質量ｐｐｔであって、 前記薬液に２種以上の前記イオンが含有される場合、前記イオンのそれぞれの含有量が、前記薬液の全質量に対して０．１～５０質量ｐｐｔであり、 前記有機溶剤の含有量が、前記薬液の全質量に対して９８質量％以上であり、 前記薬液が１種の前記粒子を含有する場合、前記薬液中における前記粒子の含有量が、前記薬液の全質量に対して１００質量ｐｐｔ以下であり、 前記薬液が２種以上の前記粒子を含有する場合、前記薬液中における前記粒子の合計含有量が、前記薬液の全質量に対して１００質量ｐｐｔ以下であり、 前記薬液の帯電電位が１００ｍＶ以下であり、 前記薬液中における水の含有量が、０．０１～１質量％である、薬液。 【請求項２２】 有機溶剤と、 Ｆｅ原子、Ｃｒ原子、Ｎｉ原子、及び、Ｐｂ原子からなる群から選択される少なくとも１種の原子のイオンと、 Ｃｒ原子を含有する粒子と、Ｚｎ原子を含有する粒子と、Ａｌ原子を含有する粒子と、Ｐｂ原子を含有する粒子と、 水と、を含有する、半導体デバイス製造用の薬液であって、 前記薬液に１種の前記イオンが含有される場合、前記イオンの含有量が、前記薬液の全質量に対して０．１～５０質量ｐｐｔであって、 前記薬液に２種以上の前記イオンが含有される場合、前記イオンのそれぞれの含有量が、前記薬液の全質量に対して０．１～５０質量ｐｐｔであり、 前記有機溶剤の含有量が、前記薬液の全質量に対して９８質量％以上であり、 前記Ｃｒ原子を含有する粒子の含有量が、前記薬液の全質量に対して０．１～３０質量ｐｐｔであり、 前記Ｚｎ原子を含有する粒子の含有量が、前記薬液の全質量に対して０．１～２０質量ｐｐｔであり、 前記Ａｌ原子を含有する粒子の含有量が、前記薬液の全質量に対して０．１～２０質量ｐｐｔであり、 前記Ｐｂ原子を含有する粒子の含有量が、前記薬液の全質量に対して０．１～２０質量ｐｐｔであり、 前記薬液の帯電電位が１００ｍＶ以下であり、 前記薬液中における水の含有量が、０．０１～１質量％である、薬液。 【請求項２３】 有機溶剤と、 Ｆｅ原子、Ｃｒ原子、Ｎｉ原子、及び、Ｐｂ原子からなる群から選択される少なくとも１種の原子のイオンと、 水と、を含有する、半導体デバイス製造用の薬液であって、 前記薬液に１種の前記イオンが含有される場合、前記イオンの含有量が、前記薬液の全質量に対して０．１～１００質量ｐｐｔであって、 前記薬液に２種以上の前記イオンが含有される場合、前記イオンのそれぞれの含有量が、前記薬液の全質量に対して０．１～１００質量ｐｐｔであり、且つ、 Ｆｅイオンの含有量が、前記薬液の全質量に対して０．１～１０質量ｐｐｔであるか、又は、Ｃｒイオンの含有量が、前記薬液の全質量に対して０．１～１０質量ｐｐｔであり、 前記有機溶剤の含有量が、前記薬液の全質量に対して９８質量％以上であり、 前記薬液の帯電電位が１００ｍＶ以下であり、 前記薬液中における水の含有量が、０．０１～１質量％である、薬液。 【請求項２４】 有機溶剤と、 Ｆｅイオンと、Ｃｒイオンと、Ｎｉイオンと、Ｐｂイオンと、 水と、 を含有する、半導体デバイス製造用の薬液であって、 前記Ｆｅイオンの含有量が、前記薬液の全質量に対して０．１～１０質量ｐｐｔであり、 前記Ｃｒイオンの含有量が、前記薬液の全質量に対して０．１～１０質量ｐｐｔであり、 前記Ｎｉイオンの含有量が、前記薬液の全質量に対して０．１～１０質量ｐｐｔであり、 前記Ｐｂイオンの含有量が、前記薬液の全質量に対して０．１～１０質量ｐｐｔであり、 前記有機溶剤の含有量が、前記薬液の全質量に対して９８質量％以上であり、 前記薬液の帯電電位が１００ｍＶ以下であり、 前記薬液中における水の含有量が、０．０１～１質量％である、薬液。 【請求項２５】 容器と、前記容器に収容された薬液と、を備える薬液収容体であって、 前記容器内の前記薬液と接触する接液部がＣｒ原子、及び、Ｆｅ原子を含有する金属材料から形成され、 前記金属材料が、ステンレス鋼、及び、電解研磨されたステンレス鋼からなる群から選択される少なくとも１種であり、 前記金属材料中における、前記Ｆｅ原子の含有量に対する、前記Ｃｒ原子の含有量の含有質量比が、０．５を超え、３．５未満であり、 前記薬液が、有機溶剤と、Ｆｅ原子、Ｃｒ原子、Ｎｉ原子、及び、Ｐｂ原子からなる群から選択される少なくとも１種の原子のイオンと、Ｃｒ原子、Ｚｎ原子、Ａｌ原子、及び、Ｐｂ原子からなる群から選択される少なくとも１種の原子を含有する粒子と、を含有する、半導体デバイス製造用の薬液であって、 前記薬液に１種の前記イオンが含有される場合、前記イオンの含有量が、前記薬液の全質量に対して０．１～５０質量ｐｐｔであって、 前記薬液に２種以上の前記イオンが含有される場合、前記イオンのそれぞれの含有量が、前記薬液の全質量に対して０．１～５０質量ｐｐｔであり、 前記有機溶剤の含有量が、前記薬液の全質量に対して９８質量％以上であり、 前記薬液が１種の前記粒子を含有する場合、前記薬液中における前記粒子の含有量が、前記薬液の全質量に対して１００質量ｐｐｔ以下であり、 前記薬液が２種以上の前記粒子を含有する場合、前記薬液中における前記粒子の合計含有量が、前記薬液の全質量に対して１００質量ｐｐｔ以下であり、 前記薬液の帯電電位が１００ｍＶ以下である、薬液収容体。 【請求項２６】 容器と、前記容器に収容された薬液と、を備える薬液収容体であって、 前記容器内の前記薬液と接触する接液部がＣｒ原子、及び、Ｆｅ原子を含有する金属材料から形成され、 前記金属材料が、ステンレス鋼、及び、電解研磨されたステンレス鋼からなる群から選択される少なくとも１種であり、 前記金属材料中における、前記Ｆｅ原子の含有量に対する、前記Ｃｒ原子の含有量の含有質量比が、０．５を超え、３．５未満であり、 前記薬液が、有機溶剤と、Ｆｅ原子、Ｃｒ原子、Ｎｉ原子、及び、Ｐｂ原子からなる群から選択される少なくとも１種の原子のイオンと、Ｃｒ原子を含有する粒子と、Ｚｎ原子を含有する粒子と、Ａｌ原子を含有する粒子と、Ｐｂ原子を含有する粒子と、を含有する、半導体デバイス製造用の薬液であって、 前記薬液に１種の前記イオンが含有される場合、前記イオンの含有量が、前記薬液の全質量に対して０．１～５０質量ｐｐｔであって、 前記薬液に２種以上の前記イオンが含有される場合、前記イオンのそれぞれの含有量が、前記薬液の全質量に対して０．１～５０質量ｐｐｔであり、 前記有機溶剤の含有量が、前記薬液の全質量に対して９８質量％以上であり、 前記Ｃｒ原子を含有する粒子の含有量が、前記薬液の全質量に対して０．１～３０質量ｐｐｔであり、 前記Ｚｎ原子を含有する粒子の含有量が、前記薬液の全質量に対して０．１～２０質量ｐｐｔであり、 前記Ａｌ原子を含有する粒子の含有量が、前記薬液の全質量に対して０．１～２０質量ｐｐｔであり、 前記Ｐｂ原子を含有する粒子の含有量が、前記薬液の全質量に対して０．１～２０質量ｐｐｔであり、 前記薬液の帯電電位が１００ｍＶ以下である、薬液収容体。 【請求項２７】 容器と、前記容器に収容された薬液と、を備える薬液収容体であって、 前記容器内の前記薬液と接触する接液部がＣｒ原子、及び、Ｆｅ原子を含有する金属材料から形成され、 前記金属材料が、ステンレス鋼、及び、電解研磨されたステンレス鋼からなる群から選択される少なくとも１種であり、 前記金属材料中における、前記Ｆｅ原子の含有量に対する、前記Ｃｒ原子の含有量の含有質量比が、０．５を超え、３．５未満であり、 前記薬液が、有機溶剤と、Ｆｅ原子、Ｃｒ原子、Ｎｉ原子、及び、Ｐｂ原子からなる群から選択される少なくとも１種の原子のイオンと、を含有する、半導体デバイス製造用の薬液であって、 前記薬液に１種の前記イオンが含有される場合、前記イオンの含有量が、前記薬液の全質量に対して０．１～１００質量ｐｐｔであって、 前記薬液に２種以上の前記イオンが含有される場合、前記イオンのそれぞれの含有量が、前記薬液の全質量に対して０．１～１００質量ｐｐｔであり、且つ、 Ｆｅイオンの含有量が、前記薬液の全質量に対して０．１～１０質量ｐｐｔであるか、又は、Ｃｒイオンの含有量が、前記薬液の全質量に対して０．１～１０質量ｐｐｔであり、 前記有機溶剤の含有量が、前記薬液の全質量に対して９８質量％以上であり、 前記薬液の帯電電位が１００ｍＶ以下である、薬液収容体。 【請求項２８】 容器と、前記容器に収容された薬液と、を備える薬液収容体であって、 前記容器内の前記薬液と接触する接液部がＣｒ原子、及び、Ｆｅ原子を含有する金属材料から形成され、 前記金属材料が、ステンレス鋼、及び、電解研磨されたステンレス鋼からなる群から選択される少なくとも１種であり、 前記金属材料中における、前記Ｆｅ原子の含有量に対する、前記Ｃｒ原子の含有量の含有質量比が、０．５を超え、３．５未満であり、 前記薬液が、有機溶剤と、Ｆｅイオンと、Ｃｒイオンと、Ｎｉイオンと、Ｐｂイオンと、を含有する、半導体デバイス製造用の薬液であって、 前記Ｆｅイオンの含有量が、前記薬液の全質量に対して０．１～１０質量ｐｐｔであり、 前記Ｃｒイオンの含有量が、前記薬液の全質量に対して０．１～１０質量ｐｐｔであり、 前記Ｎｉイオンの含有量が、前記薬液の全質量に対して０．１～１０質量ｐｐｔであり、 前記Ｐｂイオンの含有量が、前記薬液の全質量に対して０．１～１０質量ｐｐｔであり、 前記有機溶剤の含有量が、前記薬液の全質量に対して９８質量％以上であり、 前記薬液の帯電電位が１００ｍＶ以下である、薬液収容体。 【請求項２９】 薬液を製造する、薬液の製造方法であって、 有機溶剤を準備する、有機溶剤準備工程と、 前記有機溶剤を含有する被精製物をフィルタに通過させ、薬液を得る、ろ過工程と、を含有し、 前記薬液が、有機溶剤と、Ｆｅ原子、Ｃｒ原子、Ｎｉ原子、及び、Ｐｂ原子からなる群から選択される少なくとも１種の原子のイオンと、Ｃｒ原子、Ｚｎ原子、Ａｌ原子、及び、Ｐｂ原子からなる群から選択される少なくとも１種の原子を含有する粒子と、を含有する、半導体デバイス製造用の薬液であって、 前記薬液に１種の前記イオンが含有される場合、前記イオンの含有量が、前記薬液の全質量に対して０．１～５０質量ｐｐｔであって、 前記薬液に２種以上の前記イオンが含有される場合、前記イオンのそれぞれの含有量が、前記薬液の全質量に対して０．１～５０質量ｐｐｔであり、 前記有機溶剤の含有量が、前記薬液の全質量に対して９８質量％以上であり、 前記薬液が１種の前記粒子を含有する場合、前記薬液中における前記粒子の含有量が、前記薬液の全質量に対して１００質量ｐｐｔ以下であり、 前記薬液が２種以上の前記粒子を含有する場合、前記薬液中における前記粒子の合計含有量が、前記薬液の全質量に対して１００質量ｐｐｔ以下であり、 前記薬液の帯電電位が１００ｍＶ以下であり、 前記ろ過工程が、以下の条件１及び条件２を満たす、薬液の製造方法。 条件１：前記被精製物が前記フィルタを通過する際の、前記被精製物の温度が２３℃未満である。 条件２：前記被精製物が前記フィルタを通過する際の、前記被精製物の温度が下記の式１を満たす。 （式１） 前記被精製物の温度＜前記有機溶剤の引火点－５ なお、式１中、前記被精製物の温度、及び、前記有機溶剤の引火点の単位は℃である。 【請求項３０】 薬液を製造する、薬液の製造方法であって、 有機溶剤を準備する、有機溶剤準備工程と、 前記有機溶剤を含有する被精製物をフィルタに通過させ、薬液を得る、ろ過工程と、を含有し、 前記薬液が、有機溶剤と、Ｆｅ原子、Ｃｒ原子、Ｎｉ原子、及び、Ｐｂ原子からなる群から選択される少なくとも１種の原子のイオンと、Ｃｒ原子を含有する粒子と、Ｚｎ原子を含有する粒子と、Ａｌ原子を含有する粒子と、Ｐｂ原子を含有する粒子と、を含有する、半導体デバイス製造用の薬液であって、 前記薬液に１種の前記イオンが含有される場合、前記イオンの含有量が、前記薬液の全質量に対して０．１～５０質量ｐｐｔであって、 前記薬液に２種以上の前記イオンが含有される場合、前記イオンのそれぞれの含有量が、前記薬液の全質量に対して０．１～５０質量ｐｐｔであり、 前記有機溶剤の含有量が、前記薬液の全質量に対して９８質量％以上であり、 前記Ｃｒ原子を含有する粒子の含有量が、前記薬液の全質量に対して０．１～３０質量ｐｐｔであり、 前記Ｚｎ原子を含有する粒子の含有量が、前記薬液の全質量に対して０．１～２０質量ｐｐｔであり、 前記Ａｌ原子を含有する粒子の含有量が、前記薬液の全質量に対して０．１～２０質量ｐｐｔであり、 前記Ｐｂ原子を含有する粒子の含有量が、前記薬液の全質量に対して０．１～２０質量ｐｐｔであり、 前記薬液の帯電電位が１００ｍＶ以下であり、 前記ろ過工程が、以下の条件１及び条件２を満たす、薬液の製造方法。 条件１：前記被精製物が前記フィルタを通過する際の、前記被精製物の温度が２３℃未満である。 条件２：前記被精製物が前記フィルタを通過する際の、前記被精製物の温度が下記の式１を満たす。 （式１） 前記被精製物の温度＜前記有機溶剤の引火点－５ なお、式１中、前記被精製物の温度、及び、前記有機溶剤の引火点の単位は℃である。 【請求項３１】 薬液を製造する、薬液の製造方法であって、 有機溶剤を準備する、有機溶剤準備工程と、 前記有機溶剤を含有する被精製物をフィルタに通過させ、薬液を得る、ろ過工程と、を含有し、 前記薬液が、有機溶剤と、Ｆｅ原子、Ｃｒ原子、Ｎｉ原子、及び、Ｐｂ原子からなる群から選択される少なくとも１種の原子のイオンと、を含有する、半導体デバイス製造用の薬液であって、 前記薬液に１種の前記イオンが含有される場合、前記イオンの含有量が、前記薬液の全質量に対して０．１～１００質量ｐｐｔであって、 前記薬液に２種以上の前記イオンが含有される場合、前記イオンのそれぞれの含有量が、前記薬液の全質量に対して０．１～１００質量ｐｐｔであり、且つ、 Ｆｅイオンの含有量が、前記薬液の全質量に対して０．１～１０質量ｐｐｔであるか、又は、Ｃｒイオンの含有量が、前記薬液の全質量に対して０．１～１０質量ｐｐｔであり、 前記有機溶剤の含有量が、前記薬液の全質量に対して９８質量％以上であり、 前記薬液の帯電電位が１００ｍＶ以下であり、 前記ろ過工程が、以下の条件１及び条件２を満たす、薬液の製造方法。 条件１：前記被精製物が前記フィルタを通過する際の、前記被精製物の温度が２３℃未満である。 条件２：前記被精製物が前記フィルタを通過する際の、前記被精製物の温度が下記の式１を満たす。 （式１） 前記被精製物の温度＜前記有機溶剤の引火点－５ なお、式１中、前記被精製物の温度、及び、前記有機溶剤の引火点の単位は℃である。 【請求項３２】 薬液を製造する、薬液の製造方法であって、 有機溶剤を準備する、有機溶剤準備工程と、 前記有機溶剤を含有する被精製物をフィルタに通過させ、薬液を得る、ろ過工程と、を含有し、 前記薬液が、有機溶剤と、Ｆｅイオンと、Ｃｒイオンと、Ｎｉイオンと、Ｐｂイオンと、を含有する、半導体デバイス製造用の薬液であって、 前記Ｆｅイオンの含有量が、前記薬液の全質量に対して０．１～１０質量ｐｐｔであり、 前記Ｃｒイオンの含有量が、前記薬液の全質量に対して０．１～１０質量ｐｐｔであり、 前記Ｎｉイオンの含有量が、前記薬液の全質量に対して０．１～１０質量ｐｐｔであり、 前記Ｐｂイオンの含有量が、前記薬液の全質量に対して０．１～１０質量ｐｐｔであり、 前記有機溶剤の含有量が、前記薬液の全質量に対して９８質量％以上であり、 前記薬液の帯電電位が１００ｍＶ以下であり、 前記ろ過工程が、以下の条件１及び条件２を満たす、薬液の製造方法。 条件１：前記被精製物が前記フィルタを通過する際の、前記被精製物の温度が２３℃未満である。 条件２：前記被精製物が前記フィルタを通過する際の、前記被精製物の温度が下記の式１を満たす。 （式１） 前記被精製物の温度＜前記有機溶剤の引火点－５ なお、式１中、前記被精製物の温度、及び、前記有機溶剤の引火点の単位は℃である。 【請求項３３】 容器と、前記容器に収容された薬液と、を備える薬液収容体の製造方法であって、 有機溶剤を準備する、有機溶剤準備工程と、 前記有機溶剤を含有する被精製物をフィルタに通過させ、薬液を得る、ろ過工程と、 前記薬液を、前記容器に収容して、薬液収容体を得る、収容工程と、を含有し、 前記容器内の前記薬液と接触する接液部がＣｒ原子、及び、Ｆｅ原子を含有する金属材料から形成され、 前記金属材料が、ステンレス鋼、及び、電解研磨されたステンレス鋼からなる群から選択される少なくとも１種であり、 前記薬液が、有機溶剤と、Ｆｅ原子、Ｃｒ原子、Ｎｉ原子、及び、Ｐｂ原子からなる群から選択される少なくとも１種の原子のイオンと、Ｃｒ原子、Ｚｎ原子、Ａｌ原子、及び、Ｐｂ原子からなる群から選択される少なくとも１種の原子を含有する粒子と、を含有する、半導体デバイス製造用の薬液であって、 前記薬液に１種の前記イオンが含有される場合、前記イオンの含有量が、前記薬液の全質量に対して０．１～５０質量ｐｐｔであって、 前記薬液に２種以上の前記イオンが含有される場合、前記イオンのそれぞれの含有量が、前記薬液の全質量に対して０．１～５０質量ｐｐｔであり、 前記有機溶剤の含有量が、前記薬液の全質量に対して９８質量％以上であり、 前記薬液が１種の前記粒子を含有する場合、前記薬液中における前記粒子の含有量が、前記薬液の全質量に対して１００質量ｐｐｔ以下であり、 前記薬液が２種以上の前記粒子を含有する場合、前記薬液中における前記粒子の合計含有量が、前記薬液の全質量に対して１００質量ｐｐｔ以下であり、 前記薬液の帯電電位が１００ｍＶ以下であり、 前記ろ過工程、及び、前記収容工程が、以下の条件３、及び、条件４を満たす、薬液収容体の製造方法。 条件３：前記被精製物が前記フィルタを通過する際の前記被精製物の温度が２３℃未満であり、かつ、前記薬液を前記容器に収容する際の、薬液の温度が２３℃未満である。 条件４：前記被精製物が前記フィルタを通過する際の前記被精製物の温度が下記の式１を満たし、かつ、前記薬液を前記容器に収容する際の、前記薬液の温度が下記の式２を満たす。 （式１） 前記被精製物の温度＜前記有機溶剤の引火点－５ （式２） 前記薬液の温度＜前記有機溶剤の引火点－５ なお、式１、及び、式２中、前記被精製物の温度、前記薬液の温度、及び、前記有機溶剤の引火点の単位は℃である。 【請求項３４】 容器と、前記容器に収容された薬液と、を備える薬液収容体の製造方法であって、 有機溶剤を準備する、有機溶剤準備工程と、 前記有機溶剤を含有する被精製物をフィルタに通過させ、薬液を得る、ろ過工程と、 前記薬液を、前記容器に収容して、薬液収容体を得る、収容工程と、を含有し、 前記容器内の前記薬液と接触する接液部がＣｒ原子、及び、Ｆｅ原子を含有する金属材料から形成され、 前記金属材料が、ステンレス鋼、及び、電解研磨されたステンレス鋼からなる群から選択される少なくとも１種であり、 前記薬液が、有機溶剤と、Ｆｅ原子、Ｃｒ原子、Ｎｉ原子、及び、Ｐｂ原子からなる群から選択される少なくとも１種の原子のイオンと、Ｃｒ原子を含有する粒子と、Ｚｎ原子を含有する粒子と、Ａｌ原子を含有する粒子と、Ｐｂ原子を含有する粒子と、を含有する、半導体デバイス製造用の薬液であって、 前記薬液に１種の前記イオンが含有される場合、前記イオンの含有量が、前記薬液の全質量に対して０．１～５０質量ｐｐｔであって、 前記薬液に２種以上の前記イオンが含有される場合、前記イオンのそれぞれの含有量が、前記薬液の全質量に対して０．１～５０質量ｐｐｔであり、 前記有機溶剤の含有量が、前記薬液の全質量に対して９８質量％以上であり、 前記Ｃｒ原子を含有する粒子の含有量が、前記薬液の全質量に対して０．１～３０質量ｐｐｔであり、 前記Ｚｎ原子を含有する粒子の含有量が、前記薬液の全質量に対して０．１～２０質量ｐｐｔであり、 前記Ａｌ原子を含有する粒子の含有量が、前記薬液の全質量に対して０．１～２０質量ｐｐｔであり、 前記Ｐｂ原子を含有する粒子の含有量が、前記薬液の全質量に対して０．１～２０質量ｐｐｔであり、 前記薬液の帯電電位が１００ｍＶ以下であり、 前記ろ過工程、及び、前記収容工程が、以下の条件３、及び、条件４を満たす、薬液収容体の製造方法。 条件３：前記被精製物が前記フィルタを通過する際の前記被精製物の温度が２３℃未満であり、かつ、前記薬液を前記容器に収容する際の、薬液の温度が２３℃未満である。 条件４：前記被精製物が前記フィルタを通過する際の前記被精製物の温度が下記の式１を満たし、かつ、前記薬液を前記容器に収容する際の、前記薬液の温度が下記の式２を満たす。 （式１） 前記被精製物の温度＜前記有機溶剤の引火点－５ （式２） 前記薬液の温度＜前記有機溶剤の引火点－５ なお、式１、及び、式２中、前記被精製物の温度、前記薬液の温度、及び、前記有機溶剤の引火点の単位は℃である。 【請求項３５】 容器と、前記容器に収容された薬液と、を備える薬液収容体の製造方法であって、 有機溶剤を準備する、有機溶剤準備工程と、 前記有機溶剤を含有する被精製物をフィルタに通過させ、薬液を得る、ろ過工程と、 前記薬液を、前記容器に収容して、薬液収容体を得る、収容工程と、を含有し、 前記容器内の前記薬液と接触する接液部がＣｒ原子、及び、Ｆｅ原子を含有する金属材料から形成され、 前記金属材料が、ステンレス鋼、及び、電解研磨されたステンレス鋼からなる群から選択される少なくとも１種であり、 前記薬液が、有機溶剤と、Ｆｅ原子、Ｃｒ原子、Ｎｉ原子、及び、Ｐｂ原子からなる群から選択される少なくとも１種の原子のイオンと、を含有する、半導体デバイス製造用の薬液であって、 前記薬液に１種の前記イオンが含有される場合、前記イオンの含有量が、前記薬液の全質量に対して０．１～１００質量ｐｐｔであって、 前記薬液に２種以上の前記イオンが含有される場合、前記イオンのそれぞれの含有量が、前記薬液の全質量に対して０．１～１００質量ｐｐｔであり、且つ、 Ｆｅイオンの含有量が、前記薬液の全質量に対して０．１～１０質量ｐｐｔであるか、又は、Ｃｒイオンの含有量が、前記薬液の全質量に対して０．１～１０質量ｐｐｔであり、 前記有機溶剤の含有量が、前記薬液の全質量に対して９８質量％以上であり、 前記薬液の帯電電位が１００ｍＶ以下であり、 前記ろ過工程、及び、前記収容工程が、以下の条件３、及び、条件４を満たす、薬液収容体の製造方法。 条件３：前記被精製物が前記フィルタを通過する際の前記被精製物の温度が２３℃未満であり、かつ、前記薬液を前記容器に収容する際の、薬液の温度が２３℃未満である。 条件４：前記被精製物が前記フィルタを通過する際の前記被精製物の温度が下記の式１を満たし、かつ、前記薬液を前記容器に収容する際の、前記薬液の温度が下記の式２を満たす。 （式１） 前記被精製物の温度＜前記有機溶剤の引火点－５ （式２） 前記薬液の温度＜前記有機溶剤の引火点－５ なお、式１、及び、式２中、前記被精製物の温度、前記薬液の温度、及び、前記有機溶剤の引火点の単位は℃である。 【請求項３６】 容器と、前記容器に収容された薬液と、を備える薬液収容体の製造方法であって、 有機溶剤を準備する、有機溶剤準備工程と、 前記有機溶剤を含有する被精製物をフィルタに通過させ、薬液を得る、ろ過工程と、 前記薬液を、前記容器に収容して、薬液収容体を得る、収容工程と、を含有し、 前記容器内の前記薬液と接触する接液部がＣｒ原子、及び、Ｆｅ原子を含有する金属材料から形成され、 前記金属材料が、ステンレス鋼、及び、電解研磨されたステンレス鋼からなる群から選択される少なくとも１種であり、 前記薬液が、有機溶剤と、Ｆｅイオンと、Ｃｒイオンと、Ｎｉイオンと、Ｐｂイオンと、を含有する、半導体デバイス製造用の薬液であって、 前記Ｆｅイオンの含有量が、前記薬液の全質量に対して０．１～１０質量ｐｐｔであり、 前記Ｃｒイオンの含有量が、前記薬液の全質量に対して０．１～１０質量ｐｐｔであり、 前記Ｎｉイオンの含有量が、前記薬液の全質量に対して０．１～１０質量ｐｐｔであり、 前記Ｐｂイオンの含有量が、前記薬液の全質量に対して０．１～１０質量ｐｐｔであり、 前記有機溶剤の含有量が、前記薬液の全質量に対して９８質量％以上であり、 前記薬液の帯電電位が１００ｍＶ以下であり、 前記ろ過工程、及び、前記収容工程が、以下の条件３、及び、条件４を満たす、薬液収容体の製造方法。 条件３：前記被精製物が前記フィルタを通過する際の前記被精製物の温度が２３℃未満であり、かつ、前記薬液を前記容器に収容する際の、薬液の温度が２３℃未満である。 条件４：前記被精製物が前記フィルタを通過する際の前記被精製物の温度が下記の式１を満たし、かつ、前記薬液を前記容器に収容する際の、前記薬液の温度が下記の式２を満たす。 （式１） 前記被精製物の温度＜前記有機溶剤の引火点－５ （式２） 前記薬液の温度＜前記有機溶剤の引火点－５ なお、式１、及び、式２中、前記被精製物の温度、前記薬液の温度、及び、前記有機溶剤の引火点の単位は℃である。」 第４ 特許異議申立人による申立ての理由の概要及び証拠方法 １ 申立ての理由の概要 （１）申立理由１（甲３に基づく新規性・進歩性） 本件特許発明１～９及び１３は、甲３に記載された発明であるか、または、甲３に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法２９条１項３号に該当するか、または、同法２９条２項の規定により、特許を受けることができないものである。 したがって、それらの特許は、同法１１３条２号に該当し、取り消すべきものである。 （２）申立理由２（甲４に基づく新規性・進歩性） 本件特許発明１～５及び９は、甲４に記載された発明であるか、または、甲４に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法２９条１項３号に該当するか、または、特許法２９条２項の規定により、特許を受けることができないものである。 したがって、それらの特許は、同法１１３条２号に該当し、取り消すべきものである。 （３）申立理由３（明確性要件） 本件特許発明１～１６は、帯電電位の測定条件が明確でなく、特許を受けようとする発明が明確でない。 したがって、それらの特許は、同法１１３条４号に該当し、取り消すべきものである。 （４）申立理由４（実施可能要件） 本件特許発明１～１６は、本件特許の明細書の発明の詳細な説明の記載が、その発明の属する技術の分野における通常の知識を有する者（以下「当業者」という。）が、本件特許発明１～１６の実施をすることができる程度に明確かつ十分に記載したものであるということができないから、特許法３６条４項１号に規定する要件を満たしていない。 したがって、それらの特許は、同様１１３条４号に該当し、取り消すべきものである。 上記理由（１）～（４）のほか、令和３年１１月１２日付け及び令和４年７月２１日付け意見書に記載した申立ての理由は次のとおりである。 （５）申立理由５（甲６に基づく新規性・進歩性） 本件特許発明１～９及び１３は、甲６に記載された発明であるか、または、甲６に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法２９条１項３号に該当するか、または、特許法２９条２項の規定により、特許を受けることができないものである。 したがって、それらの特許は、同法１１３条２号に該当し、取り消すべきものである。 （６）申立理由６（明確性要件） 本件特許発明１～１６は、粒子性メタルの含有量の測定方法が明確でなく、特許を受けようとする発明が明確でない。 したがって、それらの特許は、同法１１３条４号に該当し、取り消すべきものである。 （７）申立理由７（甲３または甲４及び甲７に基づく新規性・進歩性） 訂正後の請求項１０、１７、１８、１９、２０は、訂正前の請求項１０に記載の発明特定事項を組み入れたものであるところ、これらの本件特許発明は、甲３または甲４に記載された発明及び甲７に記載された技術事項から、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法２９条２項の規定により、特許を受けることができないものである。 したがって、それらの特許は、同法１１３条２号に該当し、取り消すべきものである。 ２ 証拠方法 甲１：可燃性液体の帯電と災害対策、森田豊、安全工学、１９８１年, Vol.20, No.6, ３１４頁～３１９頁 甲２：可燃性液体の帯電防止、北川徹三、高分子、１９６１年, Vol.10, ３５８頁～３６２頁 甲３：特開平１１－２３６６６０号公報 甲４：特開２０１２－６２３００号公報 甲５：ＷＯ２０１７／１６９８３２号 甲６：“Determination of Impurities in Organic Solvents used in the Semiconductor Industry with the NexION 300S/350S ICP-MS",［online］，2012年～2014年, PerkinElmer社技術資料Application Note ICP-Mass Spectrometry,インターネット＜URL：https://resources.perkinelmer.com/lab-solutions/resources/docs/APP_010279_01NexION300S-ImpuritiesSemiconIPAPGMEA.pdf＞ 甲７：特表平１１－５０６４３１号公報 参考資料１：腐食・防食ハンドブック（社）腐食防食協会編、２００１年９月 参考資料２：水溶液中の電気化学的平衡の図表集（Atlas of Electrochemical Equilibria in Aqueous Solutions）、Marcel Pourblax, 第１英語版、１９６６年、pp.333, pp.409, pp.489 第５ 当合議体が通知した取消しの理由 令和４年３月７日付け取消理由通知書（決定の予告）により通知した取消しの理由は、以下のとおりである。 ●理由１及び理由２（甲３または甲６に基づく新規性、進歩性） 本件特許の請求項１～９及び１３に係る発明は、その優先権主張の基礎とされた先の出願（以下「先の出願」という。）前に日本国内又は外国において、頒布された刊行物に記載された発明又は電気通信回線を通じて公衆に利用可能となった発明であるから、特許法２９条１項３号に該当し、特許を受けることができない。また、本件特許の請求項１～９及び１３に係る発明は、先の出願前に日本国内又は外国において、頒布された刊行物に記載された発明又は電気通信回線を通じて公衆に利用可能となった発明に基づいて、先の出願前にその発明の属する技術の分野における通常の知識を有する者（以下「当業者」という。）が容易に発明をすることができたものであるから、特許法２９条２項の規定により特許を受けることができない。 したがって、本件特許の請求項１～９及び１３に係る特許は、特許法１１３条２号に該当し、取り消されるべきものである。 ●理由３：（実施可能要件）本件特許は、発明の詳細な説明の記載が、その発明の属する技術の分野における通常の知識を有する者が本件特許の請求項１～１６に係る発明の実施をすることができる程度に明確かつ十分に記載したものであるということができないから、特許法３６条４項１号に規定する要件を満たしていない。 したがって、本件特許は特許法１１３条４号に該当し、取り消されるべきものである。 ●理由４：（明確性要件）本件特許の特許請求の範囲の記載は，特許を受けようとする発明が，明確であるということができないから、特許法３６条６項２号に規定する要件を満たしていない。 したがって、本件特許は特許法１１３条４号に該当し、取り消されるべきものである。 第６ 当合議体の判断（●理由１及び●理由２（新規性・進歩性）について） １ 甲３を主引用例とした場合 （１）甲３の記載及び甲３に記載された発明 ア 甲３の記載 甲３は、先の出願前に日本国内又は外国において頒布された刊行物であるところ、そこには、以下の記載がある。なお、下線は当合議体が付したものであり、引用発明の認定や判断等に活用した箇所を示す。 （ア）「【０００１】 【発明の属する技術分野】本発明は、金属不純物の混入を極端に嫌う、半導体製造、液晶製造等の電子産業用に使用される高純度のイソプロピルアルコール（ＩＰＡ）を収納保持する収納容器に関する。詳しくは、長期保存した場合における、高純度ＩＰＡに対する全金属溶出量を１０ｐｇ／ｍｌ（ｐｐｔ）以下に抑えることが可能な収納容器である。 ・・・中略・・・ 【０００３】ところで、電子産業、特に半導体産業では形式パターン寸法の微細化、基板の大口径化の急激な技術革新に伴って、使用する薬品の量が増大するのみでなく益々高純度の品質が要求され、ＩＰＡも例外ではない。電子産業ではＩＰＡは各種基板の洗浄、乾燥用途に高純度のものが大量に使用されている。ここでは、通常ステンレス鋼に代表される金属容器に充填され、供給され、容器から適宜導出されて使用される。従って、極めて純度の高いＩＰＡを長期に亘って金属不純物の溶出のない状態で維持収納できる容器が望まれている。」 （イ）「【０００４】特に、最近デバイスの微細化に伴って、金属不純物（ミストや粉体を含む）の混入に対する条件が厳しく、要求される半導体を製造するＩＰＡでは、長期保存した場合、高純度ＩＰＡに対する全金属溶出量が１０ｐｇ／ｍｌ（ｐｐｔ）以下の収納容器が要求されている。 【０００５】従来、このような金属不純物の溶出を防止するために、ステンレス鋼の表面を研磨して専ら平滑にする方法、例えば、バフ研磨や電解研磨が開示されている。 ・・・中略・・・ 【０００６】 【発明が解決しようとする課題】しかしながら、ステンレス鋼の研磨処理（バフ研磨、電解研磨）したものは金属溶出量がｐｐｍからｐｐｂのレベルであり本発明の目標とするレベルを満たすものではない。 ・・・中略・・・ 【０００９】 【課題を解決するための手段】従って、本発明の目的は、長期保存しても高純度ＩＰＡの純度が低下しない高純度ＩＰＡ収納容器を提供することにある。 【００１０】かかる目的は、金属製容器の少なくとも内面がニッケル層により構成され、且つ該ニッケル層の表層部を酸化処理することにより達成することができる。 【００１１】即ち、本発明は、少なくとも内面がニッケルにより構成され、且つ該内面を構成するニッケルの少なくとも表層が酸化処理された金属製容器よりなることを特徴とする高純度イソプロピルアルコール収納容器（以下、単にＩＰＡ収納容器という）である。 ・・・中略・・・ 【００２３】本発明において容器内面を構成するニッケル層の表層部に酸化処理層を形成する方法は、従来の酸化方法が何ら制限なく採用できる。例えば、酸化雰囲気での熱酸化法、電解反応を利用した陽極酸化法、酸化剤を使用した化学的酸化法等が挙げられる、そのうち、熱酸化法、陽極酸化法が、形成する酸化膜層の耐久性、緻密性、酸化膜厚の容器内での均一性等の面で好ましい。上記熱酸化処理する場合、例えば、大気中で温度２００～４００℃、処理時間、１～４時間が一般的である。また、陽極酸化法の場合、例えば、アルカリ溶液系、電流密度５～２０Ａ／ｄｍ2、処理時間５～３０分が一般的である。 ・・・中略・・・ 【００２６】本発明のＩＰＡ収納容器は、これに供給、保管される高純度ＩＰＡの品質が極めて高いものに対して有効である。一般に、充填直前のＩＰＡ純度はフォーナイン以上、水分濃度５０ｐｐｍ以下のものに対して効果が顕著である。 ・・・中略・・・ 【００３２】 【発明の効果】以上の説明により理解されるように、本発明の収納容器は、少なくとも内面がニッケルの酸化処理層により構成されることにより、金属不純物のＩＰＡへの溶出が極めて高度に抑えられ、該収納容器に高純度ＩＰＡを長期維持保管してもＩＰＡの純度品質は良好に維持される。その結果、ＩＰＡの金属濃度の増加による半導体製造、液晶表示素子製造等におけるトラブルを回避でき、製品の歩留まり向上、さらには安定運転にも貢献できる。」 （ウ）「【００３３】 【実施例】以下に本発明を詳細に説明するために実施例及び比較例を示すが、本発明はこれら実施例に限定されるものではない。 【００３４】なお、実施例及び比較例においての金属イオンは、ＩＣＰ－ＭＳ（誘導結合高周波プラズマ発光分光質量分析計）で分析した値である。 【００３５】実施例１ ＳＵＳ３０４ステンレス鋼製の缶径２５０ｍｍ、長さ６５０ｍｍ、底部及び開口部の曲率１２５ｍｍのＩＰＡ収納容器を製作し、電解研磨、ストライクニッケル処理後、硫酸ニッケルを主成分とするメッキ浴中で電解電流密度４Ａ／ｄｍ2の条件で電解メッキし、厚みが２０μｍのメッキ層が表面に形成されたＩＰＡ収納容器を得た。尚、電解解研磨は燐酸－硫酸の混酸中で電流密度５Ａ／ｄｍ2の条件で行った。ストライクニッケル処理は、塩化ニッケルと塩酸液中で電流密度１０Ａ／ｄｍ2の条件で行った。得られた高純度ＩＰＡＩＰＡ収納容器の内表面であるメッキ層を分析すると、ニッケル純度９９．９９％以上、鉄、クローム、銅の含有量は１００ｐｐｍ以下であった。次に大気中で４００℃３時間加熱酸化処理を行い厚みが３００オングストロームのニッケル酸化層を得た。ついで、抵抗率１８ＭΩ・ｃｍ以上の超純水で精密洗浄、次に、抵抗率１０００ＭΩ・ｃｍ以上の高純度ＩＰＡで精密洗浄を行った。ついで、このＩＰＡ収納容器に高純度ＩＰＡ（純度９９．９９％以上）を満たし、温度５０℃で６ヶ月間保持した後、ＩＰＡ収納容器内のＩＰＡに溶出した金属イオンを分析した。結果を表１に示した。」 （当合議体注：「高純度ＩＰＡＩＰＡ収納容器」は、「高純度ＩＰＡ収納容器」の誤記である。） （エ）「【００３９】 【表１】 ［図：0001395172000001.jpg］ 」 イ 甲３に記載された発明 上記「ア」の（ア）～（ウ）によれば、甲３の【００３５】には、実施例１として「ＩＰＡ収納容器」が記載されている。このＩＰＡ収納容器は、甲３の【０００１】、【０００３】、【００３４】及び【００３５】等の記載によれば、「デバイスの微細化に伴って、金属不純物（ミストや粉体を含む）の混入に対する条件が厳しく、要求される半導体を製造する」「高純度ＩＰＡ（純度９９．９９％以上）」を収容するための容器であって、前記「高純度ＩＰＡ（純度９９．９９％以上）を満たし、温度５０℃で６ヶ月間保持した後、ＩＰＡ収納容器内のＩＰＡに溶出した金属イオンをＩＰＣ－ＭＳで分析した結果が、表１に示されるものである。 以上によれば、甲３には、次の高純度ＩＰＡの発明（以下「甲３発明」という。）が記載されている。 「半導体を製造する高純度ＩＰＡ（純度９９．９９％以上）を、電解研磨後、硫酸ニッケルを主成分とするメッキ浴中で電解メッキし、厚みが２０μｍのメッキ層が表面に形成されたＳＵＳ３０４ステンレス鋼製のＩＰＡ収納容器に満たし、温度５０℃で６ヶ月間保持した後の高純度ＩＰＡであって、溶出した金属イオンをＩＰＣ－ＭＳで分析した結果が、表１に示される、高純度ＩＰＡ。 ここで、表１は以下のものである ［図：0001395172000002.jpg］ 」 また、甲３には、次の「ＩＰＡ収納容器」の発明（以下「甲３容器発明」という。）も記載されている。 「ＳＵＳ３０４ステンレス鋼製の缶径２５０ｍｍ、長さ６５０ｍｍ、底部及び開口部の曲率１２５ｍｍのＩＰＡ収納容器を製作し、電解研磨、ストライクニッケル処理後、硫酸ニッケルを主成分とするメッキ浴中で電解電流密度４Ａ／ｄｍ2の条件で電解メッキし、厚みが２０μｍのメッキ層を表面に形成し、メッキ層を分析すると、ニッケル純度９９．９９％以上、鉄、クローム、銅の含有量は１００ｐｐｍ以下であり、次に大気中で４００℃３時間加熱酸化処理を行い厚みが３００オングストロームのニッケル酸化層を得、 甲３発明の高純度ＩＰＡを保持した、 高純度ＩＰＡ収納容器。」 （２）対比 本件特許発明１と甲３発明とを対比する。 ア 薬液の用途 甲３発明の「高純度ＩＰＡ」は、「半導体を製造する高純度ＩＰＡ（純度９９．９９％以上）であ」る。 そうしてみると、甲３発明の「高純度ＩＰＡ」は、本件特許発明１の「半導体デバイス製造用の薬液」に相当する。 イ 有機溶剤 甲３発明の「高濃度ＩＰＡ」は、技術的にみて、本件特許発明１の「有機溶媒」に相当する。 ウ 薬液の全体構成 甲３発明の「高濃度ＩＰＡ」は、「ＩＰＡ収納容器に満たし、温度５０℃で６ヶ月間保持した後、溶出した金属イオンをＩＰＣ－ＭＳで分析した結果が、表１に示される」ものである。（表１の再摘記は省略する。以下同様。） 上記表１によれば、甲３発明の「高純度ＩＰＡ」は、Ｆｅ、Ｃｒ、Ｎｉ及びＣｕの金属イオン濃度が、それぞれ４、２、１及び１（ｐｐｔ）である。前記表１は「ＩＰＣ－ＭＳで分析した結果」としての「金属イオン濃度」が記載されたものであるから、その値は、粒子性の金属濃度及びイオン性の金属濃度の和を意味することは技術常識である。 そうしてみると、甲３発明の「高純度ＩＰＡ」と、本件特許発明１の「薬液」とは、少なくとも「Ｆｅ原子、Ｃｒ原子、Ｎｉ原子、及び、Ｐｂ原子からなる群から選択される少なくとも１種の原子のイオンと、を含有する」という点において共通する。 また、甲３発明の「高純度ＩＰＡ」は、「高純度ＩＰＡ（純度９９．９９％以上）を」「ＩＰＡ収納容器に満たし、温度５０℃で６ヶ月間保持した後、溶出した金属イオンをＩＰＣ－ＭＳで分析した結果が、表１に示される」ものである。 上記表１に記載された金属イオン濃度レベル（ｐｐｔレベル）及びＩＰＡ収納容器に満たされる前の薬液純度（９９．９９％以上）によれば、甲３発明の「高濃度ＩＰＡ」が、本件特許発明１の「有機溶剤と、」「を含有する」及び「前記有機溶剤の含有量が、前記薬液の全質量に対して９８質量％以上であり」との要件を満たすことは、技術的にみて明らかである。 （３）一致点及び相違点 本件特許発明１と甲３発明とは、以下の点で一致ないし相違する。 （一致点） 「有機溶剤と、 Ｆｅ原子、Ｃｒ原子、Ｎｉ原子、及び、Ｐｂ原子からなる群から選択される少なくとも１種の原子のイオンと、を含有する、半導体デバイス製造用の薬液であって、 前記有機溶剤の含有量が、前記薬液の全質量に対して９８質量％以上である、 薬液。」 （相違点１） 「薬液」が、本件特許発明１は、「Ｚｎ原子を含有する粒子と、を含有」し、「前記薬液に１種の前記イオンが含有される場合、前記イオンの含有量が、前記薬液の全質量に対して０．１～５０質量ｐｐｔであって、前記薬液に２種以上の前記イオンが含有される場合、前記イオンのそれぞれの含有量が、前記薬液の全質量に対して０．１～５０質量ｐｐｔであり、」「前記Ｚｎ原子を含有する粒子の含有量が、前記薬液の全質量に対して０．０５～６０質量ｐｐｔであ」るのに対して、甲３発明では、「Ｚｎ原子を含有する粒子」の存否及び各イオンの含有量が明らかでない点。 （相違点２） 「薬液の帯電電位」が、本件特許発明１は、「１００ｍＶ以下である」のに対して、甲３発明は、これが明らかでない点。 （相違点３） 「有機溶媒」が、本件特許発明１は「特定溶媒」であるのに対して、甲３発明は「ＩＰＡ」である点。 （４）判断 ア 新規性について 本件特許発明１と甲３発明とは上記相違点を有するから、本件特許発明１は甲３に記載された発明ではない。 イ 進歩性について 事案に鑑み、相違点３について検討する。 本件特許発明１の「特定溶媒」は、「プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノプロピルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、乳酸エチル、メトキシプロピオン酸メチル、シクロペンタノン、シクロヘキサノン、γ－ブチロラクトン、ジイソアミルエーテル、酢酸ブチル、及び、４－メチル－２－ペンタノールからなる群から選択される少なくとも１種を含有する溶媒」であって、列挙された溶媒の中にＩＰＡは含まれていない。 そして、甲３の記載（例えば、【０００１】及び【０００９】等）からみて、甲３発明が「ＩＰＡ」を前提とした発明である。したがって、甲３の上記記載及び記載全体に接した当業者は、甲３発明の「ＩＰＡ」を、本件特許発明１の「特定溶媒」を前提とした発明に変更しようと動機付けられることはない。 （５）本件特許発明２～９及び１３について 上記「第４ １ 取消しの理由の概要」に示した理由１及び理由２の対象請求項２～９及び１３は、それぞれ本件特許発明２～９及び１３に対応する。そして、本件特許発明２～９及び１３も特定溶媒を前提とした発明であるから、判断は上記（４）で示したとおりである。 （６）小括 本件特許発明１～９及び１３は、甲３に記載された発明ではないし、また、たとえ当業者といえども、甲３に記載された発明に基づいて容易に発明をすることができたものでもない。 ２ 甲６を主引用例とした場合 （１）甲６の記載及び甲６に記載された発明 ア 甲６の記載 上記「第４」の「２」の甲６は、先の出願前に日本国内又は外国において電気通信回線を通じて公衆に利用可能となった発明が記載されたものであるところ、そこには以下の記載がある。なお、下線は引用発明の認定及び判断等に活用した箇所を示す。 （ア）１頁 「 ［図：0001395172000003.jpg］ 」 （仮訳）「NexION 300S/350Sを用いた半導体産業で使用される有機溶剤中の測定 序文： 半導体産業において最も普通に用いられる二つの有機溶剤は、イソプロピルアルコール（IPA）およびプロピレングリコール・メチルエーテル・アセテート（PGMEA）である。IPAがシリコンウェーハの洗浄に頻繁に使用される一方、PGMEAは、フォトレジストの希釈剤または剥離剤として用いられる。汚染が存在するとメモリー・デバイスの信頼性に有害な効果をもたらす、痕跡量の金属の汚染をチェックするために、双方を分析しなければならない。SEMI標準C41-0705は、IPAの高い純度グレード4を、各元素について100 ppt未満の汚染限度を有するものと規定している。」 （イ）２頁左欄～右欄 「 ［図：0001395172000004.jpg］ ［図：0001395172000005.jpg］ ［図：0001395172000006.jpg］ 」 （仮訳）「実験条件 電子機器級のイソプロピルアルコールとプロピレングリコールメチルエーテルアセテートは、シンガポールの半導体の顧客から提供された。サンプルは、前処理や希釈をせずに直接注入した。標準溶液は、10 mg / Lの多元素標準試料（PerkinElmer Pure、PerkinElmer、米国コネチカット州シェルトン）から作成した。この実験で使用された機器は、NexION 300S ICP-MS（PerkinElmer米国コネチカット州シェルトン）である。機器のパラメータとサンプル導入コンポーネントを表1に示す。 結果 IPAおよびPGMEAサンプルは、添加方法を使用して定量的に分析された。 Mg、Al、およびCrのIPAの検量線を図1?3に示す。これは、バンドパスと組み合わせて反応性NH3ガスによって除去されたすべての炭素関連の多原子干渉で可能な良好な直線性を示す。」 （ウ）４頁 「 ［図：0001395172000007.jpg］ ［図：0001395172000008.jpg］ 」 （当合議体注：上記表２の枠囲い（一部ハイライトした箇所を含む。）は、当合議体にて付与したものであり、一部の行を省略した。） （仮訳） ［図：0001395172000009.jpg］ 」 イ 甲６発明 上記アによれば、甲６には、半導体産業において最も普通に用いられるイソプロピルアルコール（IPA）中の各種金属元素の不純物濃度を、NexION 300S/350Sを用いて測定した結果が記載されている。上記測定の条件及び結果は、甲６の上記「実験条件」及び表２のとおりである。 したがって、甲６には、次の「イソプロピルアルコール（IPA）」（以下「IPA」という。）の発明（以下「甲６発明」という。）が記載されている。 「半導体産業において最も普通に用いられるIPAであって、 以下の実験条件で各種金属元素の不純物濃度が測定され、測定結果が表２のとおりである、 IPA。 実験条件：標準溶液は、10 mg / Lの多元素標準試料（PerkinElmer Pure、PerkinElmer、米国コネチカット州シェルトン）から作成し、実験で使用された機器は、NexION 300S ICP-MS（PerkinElmer米国コネチカット州シェルトン）であり、IPAサンプルは、添加方法を使用して定量的に分析された 測定結果：表２」 （当合議体注：「表２」は、上記「ア（ウ）」に記載のものである。） （２）対比及び判断 本件特許発明１と甲６発明とを対比する。 ア 薬液の用途 甲６発明の「ＩＰＡ」は、「半導体産業において最も普通に用いられるＩＰＡであ」る。 そうしてみると、甲６発明の「ＩＰＡ」は、本件特許発明１の「半導体デバイス製造用の薬液」といえる。 イ 有機溶剤 甲６発明の「ＩＰＡ」は、技術的にみて、本件特許発明１の「有機溶媒」に相当する。 ウ 薬液の全体構成 甲６発明の「ＩＰＡ」の「各種金属元素の不純物濃度」は、「表２」に示すとおりのものであって、そのＡｌ、Ｃｒ、Ｆｅ、Ｎｉ、Ｚｎ及びＰｂのＢＥＣは、それぞれ５、９、１１、３１、検出限界以下、２及び０．２（ｐｐｔ）である。ここで、甲６発明の表２の「ＢＥＣ（ｐｐｔ）欄」が「ＩＰＡ」の金属イオン濃度（本件特許発明１の金属イオン濃度と金属粒子濃度の和）に相当することは、実験条件からみて当業者に自明である。 以上によれば、甲６発明の「ＩＰＡ」は、本件特許発明１の「薬液」における、「Ｆｅ原子、Ｃｒ原子、Ｎｉ原子、及び、Ｐｂ原子からなる群から選択される少なくとも１種の原子のイオンと、を含有する」、「前記薬液に１種の前記イオンが含有される場合、前記イオンの含有量が、前記薬液の全質量に対して０．１～５０質量ｐｐｔであって、前記薬液に２種以上の前記イオンが含有される場合、前記イオンのそれぞれの含有量が、前記薬液の全質量に対して０．１～５０質量ｐｐｔであり」との要件を満たす。また、表２から理解される、全ての金属元素の不純物濃度の和から、甲６発明の「ＩＰＡ」が、本件特許発明１の「有機溶剤と、」「を含有する」及び「前記有機溶剤の含有量が、前記薬液の全質量に対して９８質量％以上であり」との要件を満たすことは明らかである。 さらに、表２（Ｚｎの値（２ｐｐｔ））及びｐｐｔレベルの希薄溶液におけるイオン性金属不純物濃度と粒子性金属不純物濃度についての技術常識から、甲6発明の「ＩＰＡ」におけるＺｎ原子を含有する粒子の含有量は、本件特許発明１の「０．０５～６０ｐｐｔ質量％」の範囲内にある蓋然性は高い。 （３）一致点及び相違点 本件特許発明１と甲６発明とは、上記「第５」の「１（３）」の相違点２及び相違点３において相違し、その余において一致する。 （４）判断 ア 新規性について 本件特許発明１と甲６発明とは相違点を有するから、本件特許発明１は甲６に記載された発明ではない。 イ 進歩性について 事案に鑑み、相違点３について検討する。 本件特許発明１の「特定溶媒」は、「プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノプロピルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、乳酸エチル、メトキシプロピオン酸メチル、シクロペンタノン、シクロヘキサノン、γ－ブチロラクトン、ジイソアミルエーテル、酢酸ブチル、及び、４－メチル－２－ペンタノールからなる群から選択される少なくとも１種を含有する溶媒」であって、列挙された溶媒の中にＩＰＡは含まれていない。 そして、特段の証拠がない限り、甲６発明の分析結果（表２）が、他の溶媒にそのまま適用できるとはいえないから、甲６発明に基づいて、当業者が相違点３に係る本件特許発明１の構成に想到することは容易ではない。 （５）本件特許発明２～９及び１３について 本件特許発明２～９及び１３も特定溶媒を前提とした発明であるから、判断は上記（４）で示したとおりである。 （６）小括 本件特許発明１～９及び１３は、甲６に記載された発明ではないし、また、たとえ当業者といえども、甲６に記載された発明に基づいて容易に発明をすることができたものでもない。 第７ 当合議体の判断（●理由３（実施可能要件）について） １ 判断 本件特許の明細書の発明の詳細な説明（以下「本件明細書」という。）が、先の出願時において当業者が本件特許発明の実施をすることができる程度に明確かつ十分に記載されているといえるか（実施可能要件を充足するか）について検討するに、当合議体は充足すると判断する。その理由は以下のとおりである。 本件明細書には、本件特許の薬液中の粒子の含有量及びイオンの含有量を調整する（制御する）ことに関する記載（【００３３】及び【０１６２】）がある。また、本件明細書には、上記記載のほか、【０１５７】～【０１６０】に、実施例１の「薬液１」の製造・精製に用いた、具体的な原料、タンク及び循環管路の接液部の材質、前記循環管路において使用された各フィルタ（第一イオン吸着フィルタ、粒子除去フィルタ、有機不純物吸着フィルタの材質及び入手先並びにそれらの使用条件（各フィルタによるフィルタリングの順番、循環回数及びフィルタリング温度等）が開示されている。 そして、これらフィルターを適宜組み合わせることで、本件特許発明における薬液の製造・生成ができることは、特許権者が提出した乙３（特表２０１５－５２１１０１号公報の請求項１及び【００５６】（実施例２に記載された、ＩＰＡからのクロムの除去方法と除去効率））等の記載や、甲６等で示される、いわゆるＳＰ－ＩＰＣ－ＭＳ法により薬液を製造・調整し、分析できていたこととも合致するものといえる。 なお、特許異議申立人は、具体的な原料や製法と金属イオン濃度との関係などをあげつつ、実施可能要件を充足しない旨主張するが、上記で検討した本件明細書の開示内容や本件優先権主張時における技術常識に照らして、本件明細書に具体的な原料の詳細情報（入手先及び製造ロット等の情報）、フィルタリングの回数等の開示がないからといって、当業者が本件特許の薬液を作ることができないとまではいえない。 したがって、本件特許の発明の詳細な説明は、先の出願時において当業者が本件特許発明の実施をすることができる程度に明確かつ十分に記載されているといえる。 ２ 小括 本件特許は、発明の詳細な説明の記載が、その発明の属する技術の分野における通常の知識を有する者が本件特許の請求項１～３６に係る発明の実施をすることができる程度に明確かつ十分に記載したものといえる。 第８ 当合議体の判断（●理由４（明確性要件：含有量の測定方法）について） 当合議体が通知した明確性要件についての取消しの理由は、次のものである。 本件特許発明における、イオン性金属の含有量を求めるためには粒子性金属の含有量を求める必要があるところ、後者の含有量を算出するためには、粒子性金属がどのような存在形態（金属単体、酸化物又は水酸化物等）で薬液中に存在しているかについて予め仮定しておく必要があるにもかかわらず、当該仮定が本件明細書に記載がないから、本件特許発明は、特許を受けようとする発明が明確でない、というものである。 しかしながら、上記第７ １で検討したとおり、先の出願当時において、イオンの含有量及び粒子の含有量を質量ｐｐｔレベルで測定する方法（ＳＰ－ＩＣＰ－ＭＳ法）が既に存在していることに照らせば、本件特許発明に何ら不明確なところはない。 第９ 取消理由通知書（決定の予告）において採用しなかった特許異議申立ての理由について １ 申立理由２（特許異議申立書３６頁最下行～３９頁８行等） （１）甲４発明 甲４の【０００２】～【０００３】、【００１１】、【００２５】～【００３５】（特に、【００３２】、【００３３】及び【表２】）には、実施方式１（実施例１）として、超高純度電子級イソプロパノールの発明（以下「甲４発明」という。）が記載されている。 （２）対比 本件特許発明１と甲４発明とを対比すると、両者は少なくとも、上記「第５ １（３）」に記載された相違点３において相違する。 （３）判断 甲４の請求項１には、「下記の手順： （１）室温の下で、工業級塩酸又はイソプロパノールに化学前処理を実施することによって、純度を向上する。濾過を実施して、濾過液を収集する。 （２）濾過液を精留する。精留のプロセスで、蒸気を更に加熱することによって、加熱蒸気を形成して、これから微小孔のある膜を通して過熱蒸気を濾過する。 （３）膜濾過後の過熱蒸気を冷却して、フラックションを収集して、それにフラックションを微小孔のある膜を通して濾過して、濾過液の中の顆粒数をコントロールして、超高純度電子級塩酸又はイソプロパノールを得る。 を含むことを特徴とする超高純度電子級化学試薬生産方法。」と、 甲４の【０００１】には、 「本発明は、超高純度電子級化学試薬生産方法に係り、特に超高純度電子級塩酸と超高純度電子級イソプロパノールの生産方法に係る。」とそれぞれ記載されている。 上記各記載によれば、甲４発明は「イソプロパノール」を有機溶媒として含むことを前提とした発明といえる。 したがって、甲４を主引用例とした場合の判断は、甲３及び甲６を主引用例とした場合と同様となる。 （４）小括 本件特許発明１～５及び９は、甲４に記載された発明ではないし、また、たとえ当業者といえども、甲４に記載された発明に基づいて容易に発明をすることができたものでもない。 ２ 申立理由３（特許異議申立書３１頁１行～３２頁） （１）申立ての理由の概要 本件特許発明は「薬液の帯電電位が１００ｍＶ以下であり」との発明特定事項を含むところ、本件明細書には、帯電電位の測定にあたり、ＪＩＳ規格が記録すべきことを求めてる事項（測定場所、測定時の温度、相対湿度等）が記載されていない。 また、帯電電位は時間の進行に伴い指数関数的に減衰するが（後記甲１及び甲２）、本件明細書には薬液を帯電せしめた後に帯電電位の測定までの時間に関する記載はない。 したがって、本件特許発明は、当業者といえども帯電電位を一義的に測定することはできない。 甲１：可燃性液体の帯電と災害対策、森田豊、安全工学、１９８１年, Vol.20, No.6, ３１４頁～３１９頁 甲２：可燃性液体の帯電防止、北川徹三、高分子、１９６１年, Vol.10, ３５８頁～３６２頁 （２）判断 本件特許発明は、特許請求の範囲において、「帯電電位」について何ら測定時期を特定していないのであるから、当該帯電電位は任意の時点における測定値と解するのが自然であって、この解釈を妨げるような記載は本件明細書にはない。また、上記以外の解釈が成り立つといえる他の証拠もない。 （３）小括 したがって、本件特許発明は明確である。 ３ 申立理由７（令和４年７月２１日付け意見書１頁） 特許異議申立人は、甲７（特表平１１－５０６４３１号公報）を新たに提出して、新たな申立ての理由（請求項１０、１７、１８、１９、２０の進歩性違反について）を追加した。 しかしながら、本件特許発明１０及び１７～２０は、それぞれ、実質的に訂正前の請求項１０が引用する請求項３、５、６及び８を引用する部分に対応する発明であって、これらの発明に対しては、特許異議申立書において、進歩性欠如の理由は何ら申し立てられていなかったものである。そして、上記新たな取消しの理由は、本件訂正請求に起因して申立てることが必要となったものでもない。 また、一見して、甲３または甲４及び甲７に基づき、本件特許１０、１７、１８、１９、２０を取り消せるものであるということもできない。 したがって、甲３または甲４及び甲７に基づく進歩性欠如の理由は採用しない。 第１０ まとめ 本件特許１～３６は、取消理由通知書（決定の予告）に記載した取消しの理由及び特許異議申立書に記載された特許異議申立ての理由によっては、取り消すことができない。 また、他に本件特許１～３６を取り消すべき理由を発見しない。 よって、結論のとおり決定する。