2021-017121

特願２０２０－ ７２５１３「基板をボンディングする方法および装置」拒絶査定不服審判事件〔令和 ２年 ９月１０日出願公開、特開２０２０－１４５４３８〕について、次のとおり審決する。

結 論 本件審判の請求は、成り立たない。

理 由 第１ 手続の経緯 本願は、２０１４年（平成２６年）２月３日に出願した特願２０１６－５４９７４４号の一部を、平成３０年８月２８日に特許法第４４条第１項の規定による新たな特許出願（特願２０１８－１５９２６６号）とし、更にその一部を、令和２年４月１４日に特許法第４４条第１項の規定による新たな特許出願（特願２０２０－７２５１３号）としたものであって、その手続の経緯は以下のとおりである。 令和 ２年 ４月１４日 ：翻訳文、上申書、手続補正書の提出 令和 ３年 ３月２６日付け：拒絶理由通知書 令和 ３年 ６月２２日 ：意見書、手続補正書の提出 令和 ３年 ８月３０日付け：拒絶査定（原査定） 令和 ３年１２月１３日 ：審判請求書、手続補正書の提出 令和 ４年 １月２１日付け：前置報告書 令和 ４年 ４月 ５日 ：上申書の提出 第２ 令和３年１２月１３日にされた手続補正についての補正の却下の決定 ［補正の却下の決定の結論］ 令和３年１２月１３日にされた手続補正（以下「本件補正」という。）を却下する。 ［理由］ １ 本件補正について（補正の内容） （１）本件補正後の特許請求の範囲の記載 本件補正により、特許請求の範囲の請求項１の記載は、次のとおり補正された。（下線部は、補正箇所である。） 「【請求項１】 基板スタック（１４）を収容するための収容装置と前記基板スタック（１４）を固定するための固定装置との組合せであって、前記収容装置は、前記基板スタック（１４）を単に該基板スタック（１４）の周囲領域において収容することができるように構成されており、 前記基板スタック（１４）の基板は、前記固定装置によって予め固定可能であり、前記固定装置は、１つまたは複数の以下の固定形式、即ち、 －機械式の固定 －静電式の引付け力 －電流による、またはレーザを用いた制限された高温の熱供給による、両方の基板の局部的な溶接であって、局部的な固定のために役立つ、タッキング（固着） を含む、ことを特徴とする収容装置と固定装置との組合せ。」 （２）本件補正前の特許請求の範囲 本件補正前の、令和３年６月２２日にされた手続補正により補正された特許請求の範囲の請求項１の記載は次のとおりである。 「【請求項１】 基板スタック（１４）を収容するための収容装置と前記基板スタック（１４）を固定するための固定装置との組合せであって、前記収容装置は、前記基板スタック（１４）を単に該基板スタック（１４）の周囲領域において収容することができるように構成されており、 前記基板スタック（１４）の基板は、前記固定装置によって予め固定可能であり、前記固定装置は、１つまたは複数の以下の固定形式、即ち、 －磁気による固定 －機械式の固定 －静電式の引付け力 －電流による、またはレーザを用いた熱供給による、タッキング（固着） を含む、ことを特徴とする収容装置と固定装置との組合せ。」 ２ 補正の適否 本件補正は、本件補正前の請求項１に記載された発明を特定するために必要な事項である「固定装置」が含む「１つまたは複数」の「固定形式」について、上記のとおり、「－磁気による固定」との記載を削除するとともに、「－電流による、またはレーザを用いた熱供給による、タッキング（固着）」について、「－電流による、またはレーザを用いた制限された高温の熱供給による、両方の基板の局部的な溶接であって、局部的な固定のために役立つ、タッキング（固着）」と限定を付加するものであって、補正前の請求項１に記載された発明と補正後の請求項１に記載される発明の産業上の利用分野及び解決しようとする課題が同一であるから、特許法第１７条の２第５項第２号の特許請求の範囲の減縮を目的とするものに該当する。 そこで、本件補正後の請求項１に記載される発明（以下「本件補正発明」という。）が特許法第１７条の２第６項において準用する同法第１２６条第７項の規定に適合するか（特許出願の際独立して特許を受けることができるものであるか）について、以下、検討する。 （１）本件補正発明 本件補正発明は、上記１（１）に記載したとおりのものである。 （２）引用文献の記載事項 ア 引用文献１ （ア）原査定の拒絶の理由で引用された本願の原出願の出願前に頒布された刊行物である特開２０１１－１５１１２７号公報（以下「引用文献１」という。）には、図面とともに、次の記載がある（当審注：下線部は当審で付した。以下同じ。）。 「【技術分野】 【０００１】 本発明は、金属の接合部を有する基板同士を接合する接合装置、接合方法、プログラム及びコンピュータ記憶媒体に関する。」 「【００２３】 以下、本発明の実施の形態について説明する。図１は、本実施の形態にかかる接合装置を有する接合システム１の構成の概略を示す平面図である。図２は、接合システム１の内部構成の概略を示す側面図である。 【００２４】 接合システム１では、図３に示すように例えば２枚の基板としてのウェハＷＵ、ＷＬを接合する。以下、上側に配置されるウェハを「上ウェハＷＵ」といい、下側に配置されるウェハを「下ウェハＷＬ」という場合がある。各ウェハＷＵ、ＷＬは、金属の接合部ＪＵ、ＪＬをそれぞれ複数有している。そして、各接合部ＪＵ、ＪＬを当接させウェハＷＵ、ＷＬを重ね合わせて重合基板としての重合ウェハＷＴを形成し、ウェハＷＵ、ＷＬ同士を接合する。なお、本実施の形態では、例えば接合部ＪＵにはアルミニウムが用いられ、接合部ＪＬにはゲルマニウムが用いられる。 【００２５】 接合システム１は、図１に示すように例えば外部との間で複数のウェハＷＵ、ＷＬ、重合ウェハＷＴをそれぞれ収容可能なカセットＣＵ、ＣＬ、ＣＴが搬入出されるカセットステーション２と、ウェハＷＵ、ＷＬ、重合ウェハＷＴに対して所定の処理を施す各種処理装置を備えた処理ステーション３とを一体に接続した構成を有している。 ・・・ 【００２８】 処理ステーション３には、各種装置を備えた複数例えば３つのブロックＧ１、Ｇ２、Ｇ３が設けられている。例えば処理ステーション３の正面側（図１のＸ方向負方向側）には、第１のブロックＧ１が設けられ、処理ステーション３の背面側（図１のＸ方向正方向側）には、第２のブロックＧ２が設けられている。また、処理ステーション３のカセットステーション２側（図１のＹ方向負方向側）には、第３のブロックＧ３が設けられている。 【００２９】 例えば第１の処理ブロックＧ１には、例えば純水などの洗浄液によってウェハＷＵ、ＷＬの表面を洗浄する洗浄装置３０、ウェハＷＵ、ＷＬの位置調整をして重ね合わせ、これらウェハＷＵ、ＷＬを仮接合して重合ウェハＷＴを形成するアライメント装置３１がカセットステーション２側からこの順で配置されている。 【００３０】 例えば第２の処理ブロックＧ２には、重合ウェハＷＴを接合する複数、例えば４つの接合装置４０～４３が設けられている。接合装置４０～４３は、水平方向のＹ方向（図１中の左右方向）に一列に並べて配置されている。 ・・・ 【００３２】 図１に示すように第１のブロックＧ１～第３のブロックＧ３に囲まれた領域には、ウェハ搬送領域Ｄが形成されている。ウェハ搬送領域Ｄには、例えばウェハ搬送装置６０が配置されている。 【００３３】 ウェハ搬送装置６０は、例えばＹ方向、Ｘ方向、θ方向及び上下方向に移動自在な搬送アームを有している。ウェハ搬送装置６０は、ウェハ搬送領域Ｄ内を移動し、周囲の第１のブロックＧ１、第２のブロックＧ２及び第３のブロックＧ３内の所定の装置にウェハＷＵ、ＷＬ、重合ウェハＷＴを搬送できる。」 「【００３４】 次に、上述した接合装置４０～４３の構成について説明する。接合装置４０は、図４及び図５に示すように前熱処理ユニット７０、接合ユニット７１、後熱処理ユニット７２を水平方向のＹ方向（図４及び図５中の左右方向）にこの順で並べて一体に接続した構成を有している。すなわち、前熱処理ユニット７０と後熱処理ユニット７２は、それぞれゲートバルブ７３、７４を介して接合ユニット７１に気密に接続されている。 ・・・ 【００４０】 接合ユニット７１は、内部を密閉することができる処理容器１１０を有している。処理容器１１０は、容器本体１１１と天板１１２がシールドベローズ１１３によって接続された構成を有している。シールドベローズ１１３は鉛直方向に伸縮自在に構成され、このシールドベローズ１１３によって天板１１２は鉛直方向に移動自在になっている。 【００４１】 容器本体１１１の前熱処理ユニット７０側の側面には重合ウェハＷＴの搬入出口１１４が形成され、当該搬入出口１１４には上述したゲートバルブ７３が設けられている。また、容器本体１１１の後熱処理ユニット７２側の側面には重合ウェハＷＴの搬入出口１１５が形成され、当該搬入出口１１５には上述したゲートバルブ７４が設けられている。 ・・・ 【００４３】 処理容器１１０の内部であって天板１１２には、後述する第２の熱処理板１４０上の重合ウェハＷＴを第２の熱処理板１４０側に押圧する加圧機構１２０が設けられている。加圧機構１２０は、重合ウェハＷＴに当接して押圧する押圧部材１２１と、天板１１２に環状に取り付けられた支持部材１２２と、押圧部材１２１と支持部材１２２を接続し、鉛直方向に伸縮自在の加圧ベローズ１２３とを有している。押圧部材１２１の内部には、例えば給電により発熱するヒータ（図示せず）が内蔵されている。そして、加圧機構１２０の内部、すなわち押圧部材１２１、加圧ベローズ１２３、支持部材１２２及び天板１１２で囲まれた内部空間に例えば圧縮空気を給気又は吸気することで、加圧ベローズ１２３が伸縮し押圧部材１２１が鉛直方向に移動自在になっている。なお、加圧機構１２０の内部には圧縮空気が封入されるため、この圧縮空気による内圧に耐えるように、加圧機構１２０の加圧ベローズ１２３の剛性は、処理容器１１０のシールドベローズ１１３の剛性より大きくなっている。 【００４４】 また、処理容器１１０の内部であって天板１１２には、第１の熱処理板９０又は後述する第３の熱処理板１７０と第２の熱処理板１４０との間で重合ウェハＷＴを受け渡すための保持アーム１３０が設けられている。したがって、保持アーム１３０は、天板１１２の移動に伴って鉛直方向に移動自在になっている。保持アーム１３０は、例えば重合ウェハＷＴの同一円周上に等間隔に４本設けられ、当該重合ウェハＷＴの外周部を４箇所で保持するようになっている。保持アーム１３０は、図６に示すように天板１１２から鉛直方向下方に延伸し、その下端部が屈曲して水平方向内側に延伸した支持部１３１と、支持部１３１に支持され、重合ウェハＷＴを保持する保持部１３２とを有している。保持部１３２は、水平方向内側に突出し、重合ウェハＷＴの外周部下面を保持する突出部材１３３と、当該突出部材１３３から鉛直方向上方に延伸し、重合ウェハＷＴの外周部側面をガイドするガイド部材１３４とを有している。また、ガイド部材１３４上端の内側面は、下側から上側に向かってテーパ状に拡大している。 【００４５】 図５に示すように処理容器１１０の内部であって加圧機構１２０の下方には、当該加圧機構１２０に対向する位置に、重合ウェハＷＴを載置して熱処理する第２の熱処理板１４０が設けられている。第２の熱処理板１４０には、例えば給電により発熱するヒータ（図示せず）が内蔵されている。第２の熱処理板１４０の加熱温度は、例えば後述する制御部２００により制御される。また、第２の熱処理板１４０の外周部には、図６に示すように保持アーム１３０から第２の熱処理板１４０に重合ウェハＷＴを受け渡した状態で、当該保持アーム１３０の保持部１３２を収容するための切欠き溝１４１が形成されている。切欠き溝１４１は、図４に示すように第２の熱処理板１４０の外周部に例えば４箇所に形成されている。」 「【００５５】 次に、以上のように構成された接合システム１を用いて行われる重合ウェハＷＴの接合処理方法について説明する。図８は、かかるウェハ接合処理の主な工程の例を示すフローチャートである。 ・・・ 【００５９】 上ウェハＷＵと下ウェハＷＬがアライメント装置３１に搬送されると、これらウェハＷＵ、ＷＬは位置調整され重ね合わされる。なお、ウェハＷＵ、ＷＬの一方又は双方にはこれらを重ね合わせる前に例えば接着剤を予め塗布しておき、重ね合わせ時に接着することで仮接合され、重合ウェハＷＴが形成される（図８の工程Ｓ３）。」 図１～６は、以下のとおりのものである。 ［図：0001393706000001.jpg］ ［図：0001393706000002.jpg］ ［図：0001393706000003.jpg］ ［図：0001393706000004.jpg］ ［図：0001393706000005.jpg］ ［図：0001393706000006.jpg］ （イ）上記（ア）の記載から、引用文献１には、次の技術的事項が記載されているものと認められる。 ａ 引用文献１に記載された技術は、金属の接合部を有する基板同士を接合する接合装置、接合方法、プログラムに関するものである（【０００１】）。 ｂ 接合システム１の処理ステーション３には、アライメント装置３１、４つの接合装置４０～４３が設けられている（【００２３】、【００２５】、【００２８】～【００３０】、図１、２）。 ｃ アライメント装置３１において、ウェハＷＵ、ＷＬの位置調整をして重ね合わせ、接着することで仮接合して、重合基板としての重合ウェハＷＴを形成する（【００２４】、【００２９】、【００５９】、図３）。 ｄ 接合装置４０～４３において、重合ウェハＷＴを接合する（【００３０】）。 接合装置４０～４３の接合ユニット７１が有する処理容器１１０の内部には、重合ウェハＷＴを受け渡すための保持アーム１３０が設けられており、保持アーム１３０は、重合ウェハＷＴの同一円周上に等間隔に４本設けられ、当該重合ウェハＷＴの外周部を４箇所で保持するようになっている（【００３４】、【００４０】、【００４４】）。 （ウ）上記（ア）、（イ）から、引用文献１には、次の発明（以下「引用発明」という。）が記載されていると認められる。 「アライメント装置３１、４つの接合装置４０～４３が設けられている接合システム１であって、 アライメント装置３１において、ウェハＷＵ、ＷＬの位置調整をして重ね合わせ、接着することで仮接合して、重合基板としての重合ウェハＷＴを形成し、 重合ウェハＷＴを接合する接合装置４０～４３には、重合ウェハＷＴを受け渡すための保持アーム１３０が設けられており、保持アーム１３０は、重合ウェハＷＴの同一円周上に等間隔に４本設けられ、当該重合ウェハＷＴの外周部を４箇所で保持するようになっている、接合システム１。」 イ 引用文献２ （ア）原査定の拒絶の理由で引用された本願の原出願の出願前に頒布された刊行物である特開２００７－１５８１９９号公報（以下「引用文献２」という。）には、図面とともに、次の記載がある。 「【００２９】 第１の仮固定工程：位置合わせされ、重ね合わされたウェハ対（ウェハ積層体）は図３（a）のように仮固定装置３１１により仮固定される。仮固定装置３１１はウェハホルダ２１１の面に対して垂直な力を及ぼすが、面に平行な力は作用しないように設計されている。 【００３０】 搬送工程：仮固定されたウェハ積層体３２１は図３（ｂ）に示されたように、ロボットアーム４１５により重ね合わせ工程実施部４１１から加圧・加熱工程実施部４１３に搬送される。この間、仮固定装置により互いのウェハはその位置が変化しないようになされている。」 図３は、以下のとおりのものである。 ［図：0001393706000007.jpg］ （イ）上記の（ア）の記載から、仮固定装置３１１は、機械式の固定をする手段であるといえる。 したがって、引用文献２には、次の技術が記載されていると認められる。 「位置合わせされ、重ね合わされたウェハ対（ウェハ積層体）を機械式の固定手段により仮固定し、仮固定されたウェハ積層体を、重ね合わせ工程実施部から加圧・加熱工程実施部に搬送する技術。」 ウ 引用文献３ （ア）原査定の拒絶の理由で引用された本願の原出願の出願前に頒布された刊行物である特開２００６－３３９１９１号公報（以下「引用文献３」という。）には、図面とともに、次の記載がある。 「【００２２】 先ず、本願発明のウェハホルダを図１（ａ）に示す。図中１０１はウェハホルダであり、その周囲部に固定部材１０２によりウェハホルダに固定された結合部材１０３が取り付けられている。このウェハホルダのＡＡ’における断面図を図１（ｂ）に示した。固定部材１０２はウェハホルダ面内方向にはほとんど変形せず、ホルダ面に垂直な方向のみに変形可能であるようになされている。このため、固定部材１０２に取り付けられた結合部材１０３の変位方向もウェハホルダ１０２に垂直な方向に限られることになる。このような特性を有する固定部材としては、図１（ｂ）のような平行板バネ１０４である。このような平行板バネは材料として、ＳＵＳ、Ｔｉ、燐青銅板で厚さが０．１～０．５ｍｍのもので形成される。なお、この平行板バネは上下とも各１枚の板バネにより形成されても良いし、上下各板バネが同一面内で分離された複数の板バネにより構成されていて良い。 【００２３】 このウェハホルダ１０１に積層すべきウェハ１００を例えば真空吸着や静電吸着（不図示）により固定し、互いに位置合わせを行い、その位置関係が保たれるように接続部材を動作させてウェハを挟み保持する。この状態を示したのが図２である。このように、実質的にホルダ面に垂直な方向のみに変位する接合部材を使用して挟み保持することにより、位置合わせを行った２枚のウェハの位置関係を保持する仮接合が得られる。 【００２４】 固定部材の結合力源には、図３（ａ）のようにコイル３０１に通電して得られる電磁吸着力、図３（ｂ）のような導管３０２を配置した真空吸着力、図３（ｃ）のように静電電極３０３を配置した静電吸着力を使用することが可能である。これらの結合力源は電気的に吸着・解放の状態の制御が可能であり、好適な結合力源となる。尚、電磁力を用いる場合には、ウェハ１００を挟み込む他方のウェハホルダの接合部材には電磁石を設ける代わりに磁性体を用いても良いし、永久磁石であってもよい。また、真空吸着力を使用する場合には、一方のウェハホルダの固定部材には真空排気用の導管を設け、他方のウェハホルダの接合部材には鏡面に近い非吸着面を設けることになる。静電吸着力の場合も他方のウェハホルダには静電用の電極を配置することは必要なく、単に比較的滑らかな面を設ければよい。」 図１～３は、以下のとおりのものである。 ［図：0001393706000008.jpg］ ［図：0001393706000009.jpg］ ［図：0001393706000010.jpg］ （イ）上記の（ア）の記載から、引用文献３には、次の技術が記載されていると認められる。 「位置合わせを行った２枚のウェハの位置関係が保たれるように、接合部材（接続部材）を使用してウェハを挟み保持することにより、仮接合を得るために、固定部材の結合力源として、静電電極３０３を配置した静電吸着力を使用する技術。」 （３）引用発明との対比 ア 本件補正発明と引用発明とを対比する。 （ア）引用発明の「重合ウェハＷＴ」は、「ウェハＷＵ、ＷＬを重ね合わせ、接着することで仮接合して」形成するものであるから、本件補正発明の「基板スタック」に相当する。 （イ）引用発明の「保持アーム１３０」は、「重合ウェハＷＴの同一円周上に等間隔に４本設けられ、当該重合ウェハＷＴの外周部を４箇所で保持するようになっている」ものであり、「重合ウェハＷＴの外周部を４箇所で保持する」ことは、４本の保持アーム１３０によって重合ウェハＷＴを収容しているといえるから、本件補正発明でいう「基板スタックを収容するための収容装置」といえる。 してみると、本件補正発明と引用発明とは、「前記収容装置は、前記基板スタックを単に該基板スタックの周囲領域において収容することができるように構成されて」いるものである点で一致する。 （ウ）引用発明は、「アライメント装置３１において、ウェハＷＵ、ＷＬを重ね合わせ、接着することで仮接合して、重合基板としての重合ウェハＷＴを形成し」、「重合ウェハＷＴ」は、（接合装置４０～４３において、）「接合」されるものであるから、引用発明において、ウェハＷＵ、ＷＬは、仮接合する手段（本件補正発明の「基板スタックを固定するための固定装置」に相当。）によって予め固定可能であるといえる。 したがって、本件補正発明と引用発明とは、「基板スタックを固定するための固定装置によって予め固定可能」である点で一致する。 （エ）引用発明において、「保持アーム１３０」は、「重合ウェハＷＴを受け渡す」ため「接合装置４０～４３」に設けられたものであり、「『仮接合して、重合基板としての重合ウェハＷＴを形成』する手段」は、「アライメント装置３１」に設けられたものであるといえるところ、「接合装置４０～４３」と「アライメント装置３１」は、いずれも接合システム１に設けられ、「『仮接合して、重合基板としての重合ウェハＷＴを形成』する手段」と「保持アーム１３０」は、いずれも「重合ウェハＷＴ」を扱う手段であるといえるから、「『仮接合して、重合基板としての重合ウェハＷＴを形成』する手段」と「保持アーム１３０」は、本件補正発明でいう「組合せ」を構成するといえる。 イ 以上のことから、本件補正発明と引用発明との一致点及び相違点は、次のとおりである。 ＜一致点＞ 「基板スタックを収容するための収容装置と前記基板スタックを固定するための固定装置の組合せであって、前記収容装置は、前記基板スタックを単に該基板スタックの周囲領域において収容することができるように構成されており、 前記基板スタックの基板は、前記固定装置によって予め固定可能である、収容装置と固定装置との組合せ。」 ＜相違点＞ ＜相違点１＞ 「固定装置」について、本件補正発明は、「前記固定装置は、１つまたは複数の以下の固定形式、即ち、－機械式の固定－静電式の引付け力－電流による、またはレーザを用いた制限された高温の熱供給による、両方の基板の局部的な溶接であって、局部的な固定のために役立つ、タッキング（固着） を含む」のに対し、引用発明は、「重合基板としての重合ウェハＷＴを形成」するに際して、「接着することで仮接合して」いる点。 （４）判断 以下、相違点について検討する。 ア 相違点１について 引用文献２には、「位置合わせされ、重ね合わされたウェハ対（ウェハ積層体）を機械式の固定手段により仮固定し、仮固定されたすウェハ積層体を、重ね合わせ工程実施部から加圧・加熱工程実施部に搬送する技術。」が記載されており、引用文献３には、「位置合わせを行った２枚のウェハの位置関係が保たれるように、接合部材（接続部材）を使用してウェハを挟み保持することにより、仮接合を得るために、固定部材の結合力源として、静電電極３０３を配置した静電吸着力を使用する技術。」が記載されており、引用発明と、引用文献２、３に記載された技術とは、いずれも、「ウェハの位置調整をして重ね合わされたウェハ積層体を、仮接合（仮固定）して重合ウェハを形成する」点で共通するものであるから、引用発明における、重合ウェハＷＴを形成する際の固定形式として、「接着する」ことに代えて、引用文献２、又は３に記載された「機械式の固定手段」、「静電吸着力」を採用することは、当業者であれば適宜なし得たことである。 イ そして、本件補正発明の奏する作用効果は、引用発明及び引用文献２、３に記載された技術の奏する作用効果から予測される範囲内のものにすぎず、格別顕著なものということはできない。 ウ したがって、本件補正発明は、引用発明及び引用文献２、３に記載された技術に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであり、特許法第２９条第２項の規定により、特許出願の際独立して特許を受けることができないものである。 ３ 本件補正についてのむすび よって、本件補正は、特許法第１７条の２第６項において準用する同法第１２６条第７項の規定に違反するので、同法第１５９条第１項の規定において読み替えて準用する同法第５３条第１項の規定により却下すべきものである。 よって、上記補正の却下の決定の結論のとおり決定する。 第３ 本願発明について １ 本願発明 令和３年１２月１３日にされた手続補正は、上記のとおり却下されたので、本願の請求項に係る発明は、令和３年６月２２日にされた手続補正により補正された特許請求の範囲の請求項１～５に記載された事項により特定されるものであるところ、そのうちの請求項１に係る発明（以下「本願発明」という。）は、その請求項１に記載された事項により特定される、前記第２［理由］１（２）に記載のとおりのものである。 ２ 原査定の拒絶の理由 原査定の拒絶の理由は、この出願の請求項１～３に係る発明は、下記の引用文献１に記載された発明及び下記の引用文献２に記載された技術に基づいて、本願の請求項１、３に係る発明は、引用文献１に記載された発明及び下記の引用文献３に記載された技術、又は引用文献１に記載された発明及び下記の引用文献４に記載された技術に基づいて、本願の請求項４～５に係る発明は、引用文献１に記載された発明及び引用文献２、５に記載された技術、引用文献１に記載された発明及び引用文献３、５に記載された技術、又は引用文献１に記載された発明及び引用文献４、５に記載された技術に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により、特許を受けることができない、というものである。 引用文献１：特開２０１１－１５１１２７号公報 引用文献２：特開２００７－１５８１９９号公報（周知技術を示す文献） 引用文献３：特開２００６－３３９１９１号公報（周知技術を示す文献） 引用文献４：特開２０１３－００４６０９号公報 引用文献５：特開２００９－０４９０８１号公報 ３ 引用文献 原査定の拒絶の理由で引用された引用文献１ないし３及びその記載事項は、前記第２の［理由］２（２）に記載したとおりである。 ４ 対比・判断 本願発明は、前記第２の［理由］２で検討した本件補正発明において、「固定装置」が含む「１つまたは複数」の「固定形式」について、「－磁気による固定」の固定形式を付加するとともに、「タッキング（固着）」の固定形式に係る限定事項を削除したものであるから、本願発明における「固定装置」は、「固定形式」が、本件補正発明と同じ、「－磁気による固定」の固定形式を含まず、「１つまたは複数の固定形式、即ち、－機械式の固定－静電式の引付け力－電流による、またはレーザを用いた制限された高温の熱供給による、両方の基板の局部的な溶接であって、局部的な固定のために役立つ、タッキング（固着） を含む」ものも含まれる。 そうすると、本件補正発明が、前記第２の［理由］２（３）、（４）に記載したとおり、引用発明及び引用文献２、３に記載された技術に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、本願発明も、引用発明及び引用文献２、３に記載された技術に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものである。 第４ むすび 以上のとおり、本願発明は、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないから、他の請求項に係る発明について検討するまでもなく、本願は拒絶されるべきものである。 よって、結論のとおり審決する。