2020-700570

特許第６６４６７００号発明「硬質脆性材料製の被処理成品の表面加工方法」の特許異議申立事件について、次のとおり決定する。

結 論 特許第６６４６７００号の明細書及び特許請求の範囲を、訂正請求書に添付された訂正明細書及び特許請求の範囲のとおり、訂正後の請求項〔１－３〕について訂正することを認める。 特許第６６４６７００号の請求項１－３に係る特許を維持する。

理 由 第１ 手続の経緯 特許第６６４６７００号の請求項１－３に係る特許についての出願は、平成３０年３月１９日に出願され、令和２年１月１５日にその特許権の設定登録がされ、令和２年２月１４日に特許掲載公報が発行された。本件特許異議の申立ての経緯は、次のとおりである。 令和２年８月７日 ：特許異議申立人株式会社レクレアル（以下、「 特許異議申立人」という。による請求項１－３ に係る特許に対する特許異議の申立て 令和２年１０月２９日付け：取消理由通知書 令和２年１２月２５日 ：特許権者による意見書及び訂正請求書の提出 令和３年２月２４日 ：特許異議申立人による意見書の提出 令和３年４月２８日 ：特許権者と審判合議体との面接 令和３年６月３０日付け ：取消理由通知書（決定の予告） 令和３年８月３１日 ：特許権者による意見書及び訂正請求書（以下、 この訂正請求書による訂正請求を「本件訂正請 求」という。）の提出 令和３年１１月１１日 ：特許異議申立人による意見書の提出 令和４年３月３１日付け ：特許異議申立人に対する審判合議体による審尋 令和４年４月１９日 ：特許異議申立人による回答書の提出 第２ 訂正の適否 １ 訂正の内容 （１） 訂正事項１ 特許請求の範囲の請求項１の 「前記凹凸形状に形成された前記被処理成品の表面に対し，低反発弾性の弾性体に前記凹部の前記幅よりも粒径の小さい砥粒を担持させた構造の弾性研磨材を使用した第２のブラスト加工を行うことにより， 前記第１のブラスト加工によって形成した前記凹凸形状を維持したまま，前記被処理成品の前記凸部及び凹部の表面を算術平均粗さＲａ１．６μｍ以下に研磨すると共に，前記凸部の上面の端部に形成されたエッジに半径Ｒ１０μｍ以上の丸み付けを行うことを特徴とする」を、 「前記凹凸形状に形成された前記被処理成品の表面に対し，低反発弾性の弾性体に前記凹部の前記幅よりも粒径の小さい砥粒を担持させた構造の弾性研磨材を使用した第２のブラスト加工を，所定の傾斜した角度で前記被処理成品の表面上の各部に対し，平面視において少なくとも４方向より噴射して行うことにより，前記第１のブラスト加工によって形成した前記凹凸形状を維持したまま，前記被処理成品の前記各凸部及び各凹部の表面全体を算術平均粗さＲａ１．６μｍ以下に研磨すると共に，前記各凸部の上面の端部に形成されたエッジに元の半径Ｒよりも大きい半径Ｒ１０μｍ以上の丸み付けを行うことを特徴とする」 に訂正する。（請求項１の記載を引用する請求項２及び３も同様に訂正する。） （２） 訂正事項２ 特許請求の範囲の請求項２の 「前記第１のブラスト加工によって，平坦な上面を有する前記凸部を形成し， 前記第２のブラスト加工によって，前記凸部の前記平坦な上面の端部に形成されたエッジにＲ１０μｍ以上の丸みを付けることを特徴とする」を、 「前記第１のブラスト加工によって，平坦な上面を有する前記各凸部を形成し， 前記第２のブラスト加工によって，前記各凸部の前記平坦な上面の端部に形成されたエッジに前記半径Ｒ１０μｍ以上の丸み付けを行うことを特徴とする」 に訂正する。（請求項２の記載を引用する請求項３も同様に訂正する。） なお、本件訂正請求による訂正前の請求項１－３について、訂正前の請求項２－３は、訂正前の請求項１を直接的又は間接的に引用しているものであって、訂正事項１によって訂正される請求項１に連動して訂正されるものである。 したがって、訂正前の請求項１－３に対応する請求項１－３は、特許法第１２０条の５第４項に規定する一群の請求項であり、本件訂正請求の訂正事項１－２は、この一群の請求項について請求されたものである。 （３） 訂正事項３ 明細書の段落【００２８】の 「前記凹凸形状に形成された前記被処理成品の表面に対し，低反発弾性の弾性体に前記凹部の前記幅ｗよりも粒径の小さい砥粒を担持させた構造の弾性研磨材を使用した第２のブラスト加工を行うことにより，前記第１のブラスト加工によって形成した前記凹凸形状を維持したまま，前記被処理成品の前記凸部２１及び凹部２４の表面を算術平均粗さＲａ１．６μｍ以下に研磨すると共に，前記凸部の上面の端部に形成されたエッジに半径Ｒ１０μｍ以上の丸み付けを行うことを特徴とする（請求項１) 。」を、 「前記凹凸形状に形成された前記被処理成品の表面に対し，低反発弾性 の弾性体に前記凹部の前記幅ｗよりも粒径の小さい砥粒を担持させた構造の弾性研磨材を使用した第２のブラスト加工を，所定の傾斜した角度で前記被処理成品の表面上の各部に対し，平面視において少なくとも４方向より噴射して行うことにより，前記第１のブラスト加工によって形成した前記凹凸形状を維持したまま，前記被処理成品の前記各凸部２１及び各凹部２４の表面全体を算術平均粗さＲａ１．６μｍ以下に研磨すると共に，前記各凸部の上面の端部に形成されたエッジに元の半径Ｒよりも大きい半径Ｒ１０μｍ以上の丸み付けを行うことを特徴とする（請求項１) 。」 に訂正する。 （４） 訂正事項４ 明細書の段落【００２９】の 「前記第１のブラスト加工によって，平坦な上面２２を有する前記凸部２１を形成する場合，前記第２のブラスト加工によって， 前記凸部２１の前記平坦な上面２２の端部に形成されたエッジｅにＲ１０μｍ以上の丸みを付けることが好ましい（請求項２) 。」を、 「前記第１のブラスト加工によって，平坦な上面２２を有する前記各凸部２１を形成する場合，前記第２のブラスト加工によって，前記各凸部２１の前記平坦な上面２２の端部に形成されたエッジｅに前記半径Ｒ１０μｍ以上の丸み付けを行うことが好ましい（請求項２) 。」 に訂正する。 なお、明細書に係る訂正である上記訂正事項３は請求項１について、上記訂正事項４は請求項２について行われるものである。 ２ 訂正の目的の適否 （１） 訂正事項１について ア 「第２のブラスト加工を，所定の傾斜した角度で前記被処理成品の表面上の各部に対し，平面視において少なくとも４方向より噴射して行う」とする訂正について 訂正事項１のうち、「弾性研磨材を使用した第２のブラスト加工を，所定の傾斜した角度で前記被処理成品の表面上の各部に対し，平面視において少なくとも４方向より噴射して行う」と訂正する事項は、訂正前に記載されていた「弾性研磨材を使用した第２のブラスト加工」に「所定の傾斜した角度で前記被処理成品の表面上の各部に対し，平面視において少なくとも４方向より噴射して」行うという限定を付加するものであるから、当該事項に係る訂正の目的は、特許法第１２０条の５第２項ただし書第１号の特許請求の範囲の減縮に該当する。 イ 「表面全体」とする訂正について 訂正事項１のうち、「前記被処理成品の前記各凸部及び各凹部の表面全体を算術平均粗さＲａ１．６μｍ以下に研磨する」と訂正する事項は、訂正前に記載されていた「前記被処理成品の前記凸部及び凹部の表面を算術平均粗さＲａ１．６μｍ以下に研磨する」の「表面」に「全体」という限定を付加するものであるから、当該事項に係る訂正の目的は、特許法第１２０条の５第２項ただし書第１号の特許請求の範囲の減縮に該当する。 ウ 「元の半径Ｒよりも大きい半径Ｒ１０μｍ以上の丸み付け」とする訂正について 訂正事項１のうち、「各凸部の上面の端部に形成されたエッジに元の半径Ｒよりも大きい半径Ｒ１０μｍ以上の丸み付けを行う」と訂正する事項は、訂正前に記載されていた「凸部の上面の端部に形成されたエッジに半径Ｒ１０μｍ以上の丸み付けを行う」に「元の半径Ｒよりも大きい」という限定を付加するものであるから、当該事項に係る訂正の目的は、特許法第１２０条の５第２項ただし書第１号の特許請求の範囲の減縮に該当する。 エ 「前記各凸部及び各凹部」及び「前記各凸部」とする訂正について 訂正事項１のうち、「前記各凸部及び各凹部」及び「前記各凸部」と訂正する事項は、訂正前の「前記凸部及び凹部」及び「前記凸部」という記載においては、「前記」されている「多数の凸部」及び「多数の凹部」の全て、あるいは、そのうちの１つのいずれを指すのかが不明であったものを、「多数の凸部」の各凸部及び「多数の凹部」の各凹部を指すことを明瞭にしたものであるから、当該事項に係る訂正の目的は、特許法第１２０条の５第２項ただし書第３号の明瞭でない記載の釈明に該当する。 （２） 訂正事項２について ア 「前記各凸部」とする訂正について 訂正事項２のうち、「前記各凸部」と訂正する事項は、訂正前の請求項２について、訂正事項１と同様に訂正するものであるから、その訂正の目的は、上記（１）エと同様の理由により、特許法第１２０条の５第２項ただし書第３号の明瞭でない記載の釈明に該当する。 イ 「前記半径Ｒ１０μｍ以上の丸み付けを行う」とする訂正について 訂正事項２のうち、「前記半径Ｒ１０μｍ以上の丸み付けを行う」と訂正する事項は、訂正前の「Ｒ１０μｍ以上の丸みを付ける」という記載が、請求項１の「半径Ｒ１０μｍ以上の丸み付けを行う」という記載と同一の技術的事項を意味するにもかかわらず誤記により異なる表現が用いられていたものを、同じ表現に統一するものであるから、特許法第１２０条の５第２項ただし書第２号の誤記の訂正に該当する。 （３） 訂正事項３について 訂正事項３は、訂正前の請求項１に対応する記載がなされていた明細書の段落【００２８】について、訂正事項１と同様に訂正して整合を図るものであるから、その訂正の目的は、特許法第１２０条の５第２項ただし書第３号の明瞭でない記載の釈明に該当する。 （４） 訂正事項４について 訂正事項４は、訂正前の請求項２に対応する記載がなされていた明細書の段落【００２９】について、訂正事項２と同様に訂正して整合を図るものであるから、その訂正の目的は、特許法第１２０条の５第２項ただし書第３号の明瞭でない記載の釈明に該当する。 ３ 新規事項の有無 （１） 訂正事項１について ア 「第２のブラスト加工を，所定の傾斜した角度で前記被処理成品の表面上の各部に対し，平面視において少なくとも４方向より噴射して行う」とする訂正について 訂正事項１のうち、「弾性研磨材を使用した第２のブラスト加工を，所定の傾斜した角度で前記被処理成品の表面上の各部に対し，平面視において少なくとも４方向より噴射して行う」という事項は、願書に添付した明細書の段落【００６３】に「第２のブラスト加工は，前記被処理成品の表面に対し所定の傾斜した角度で前記弾性研磨材を噴射すると共に，前記噴射ノズルと前記被処理成品を所定のパターンで相対的に移動させながら前記弾性研磨材を噴射することで，前記凹凸面とされた前記被処理成品の表面上の各部に対し，平面視において少なくとも４方向より前記弾性研磨材が噴射されるように構成する。」として記載されている。 イ 「表面全体」とする訂正について 訂正事項１のうち、「前記被処理成品の前記各凸部及び各凹部の表面全体を算術平均粗さＲａ１．６μｍ以下に研磨する」という事項は、願書に添付した明細書の段落【００２６】に「該凹凸の凸部の上面，側面，及び凹部の底面等の表面全体を研磨することのできる硬質脆性材料製の被処理成品の表面加工方法を提供することを目的とする」として記載され、同段落【００３２】に「第２のブラスト加工により，・・・凸部２１のみならず凹部２４の底面２５等を含む立体的な凹凸形状の表面全体を算術平均粗さＲａで１．６μｍ以下の表面粗さに比較的容易に研磨することができた。」として記載されている。 ウ 「元の半径Ｒよりも大きい半径Ｒ１０μｍ以上の丸み付け」とする訂正について 訂正事項１のうち、「各凸部の上面の端部に形成されたエッジに元の半径Ｒよりも大きい半径Ｒ１０μｍ以上の丸み付けを行う」という事項は、願書に添付した明細書の段落【００７７】に〔実施例１〕について「凸部上面の端部に生じたエッジは，・・・第１のブラスト加工後の表面ではＲ５．７１７μｍであったものが，第２のブラスト加工後の表面ではＲ２７．４３１μｍまで丸められており」と記載され、同段落【００８７】に〔実施例２〕について「また，凸部上面の端部にあるエッジについても，第１のブラスト加工後のエッジのＲが４．１５０μｍであったのに対し，第２のブラスト加工後のエッジのＲは５２．８８４μｍとなっており，エッジの丸み付けが行われていることが確認できた。」と記載されていることから、願書に添付した明細書には第２ブラスト加工後はエッジの丸み付けが行われて「元の半径Ｒよりも大きい半径」となることが記載されていると理解でき、これらはその具体例と理解できる。 エ 「前記各凸部及び各凹部」及び「前記各凸部」とする訂正について 訂正事項１のうち、「前記各凸部及び各凹部」及び「前記各凸部」という事項は、願書に添付した明細書の段落【００６３】に「第２のブラスト加工は，・・・前記凹凸面とされた前記被処理成品の表面上の各部に対し，平面視において少なくとも４方向より前記弾性研磨材が噴射されるように構成する。」と記載されていることから、第２ブラスト加工が、第１のブラスト加工により被処理成品の表面上に形成された多数の凸部と多数の凹部の「各部」、すなわち、「前記」された「多数の凸部」の各凸部と同「前記」された「多数の凹部」の各凹部に対して行われるように記載されていると理解できる。 オ したがって、訂正事項１に係る訂正は、願書に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であると認められるから、特許法第１２０条の５第９項で準用する同法１２６条５項の規定に適合する。 （２） 訂正事項２について ア 「前記各凸部」とする訂正について 訂正事項２のうち、「前記各凸部」という事項は、訂正前の請求項２について、訂正事項１と同様に訂正するものであるから、上記（１）エと同様の理由により、願書に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内のものであると認められる。 イ 「前記半径Ｒ１０μｍ以上の丸み付けを行う」とする訂正について 訂正事項２のうち、「前記半径Ｒ１０μｍ以上の丸み付けを行う」という事項は、訂正前の請求項１に「前記凸部の上面の端部に形成されたエッジに半径Ｒ１０μｍ以上の丸み付けを行う」として記載され、願書に最初に添付した明細書の段落【００６８】には「凸部２１上面２２の端部に形成されたエッジｅに，Ｒ１０μｍ以上の丸み付けを行う。」と記載されており、訂正前の請求項２に記載された「Ｒ１０μｍ以上の丸みを付ける」はこれと本来同一の技術的事項を意味すると理解できることから、訂正事項２のうちの上記事項は願書に最初に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内のものであると認められる。 ウ したがって、訂正事項２に係る訂正は、願書に添付した及び願書に最初に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であると認められるから、特許法第１２０条の５第９項で準用する同法１２６条５項の規定に適合する。 （３） 訂正事項３について 訂正事項３は、訂正前の請求項１に対応する記載がなされていた明細書の段落【００２８】について、訂正事項１と同様に訂正して整合を図るものであるから、上記（１）と同様の理由により、特許法第１２０条の５第９項で準用する同法１２６条５項の規定に適合する。 （４） 訂正事項４について 訂正事項４は、訂正前の請求項２に対応する記載がなされていた明細書の段落【００２９】について、訂正事項２と同様に訂正して整合を図るものであるから、上記（２）と同様の理由により、特許法第１２０条の５第９項で準用する同法１２６条５項の規定に適合する。 ４ 特許請求の範囲の拡張・変更の存否 （１） 訂正事項１について 訂正事項１は、上記２．（１）に示すとおり、特許請求の範囲を減縮し、さらに、訂正前に明瞭でなかった記載を明瞭にするものであるから、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではない。 したがって、訂正事項１に係る訂正は、特許法１２０条の５第９項で準用する同法１２６条６項の規定に適合する。 （２） 訂正事項２について 訂正事項２は、上記２．（２）に示すとおり、訂正前に明瞭でなかった記載を明瞭にし、さらに、誤記を訂正するものであるから、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではない。 したがって、訂正事項２に係る訂正は、特許法１２０条の５第９項で準用する同法１２６条６項の規定に適合する。 （３） 訂正事項３について 訂正事項３は、訂正前の請求項１に対応する記載がなされていた明細書の段落【００２８】について、訂正事項１と同様に訂正して整合を図るものであるから、上記（１）と同様の理由により、訂正事項３に係る訂正は、特許法１２０条の５第９項で準用する同法１２６条６項の規定に適合する。 （４） 訂正事項４について 訂正事項４は、訂正前の請求項２に対応する記載がなされていた明細書の段落【００２９】について、訂正事項２と同様に訂正して整合を図るものであるから、上記（２）と同様の理由により、訂正事項４に係る訂正は、特許法１２０条の５第９項で準用する同法１２６条６項の規定に適合する。 ５ 小括 上記のとおり、訂正事項１－４に係る訂正は、特許法第１２０条の５第２項ただし書第１号、第２号又は第３号に掲げる事項を目的とするものであり、かつ、同条第９項で準用する同法第１２６条第５項及び第６項の規定に適合する。 したがって、明細書及び特許請求の範囲を、訂正請求書に添付された訂正明細書及び訂正特許請求の範囲のとおり、訂正後の請求項〔１－３〕について訂正することを認める。 第３ 訂正後の本件特許発明 本件訂正請求により訂正された請求項１－３に係る発明（以下、各請求項に係る発明を「本件発明１」などといい、本件発明１－３をまとめて「本件特許発明」という。）は、訂正後の特許請求の範囲の請求項１－３に記載された次の事項により特定されるとおりのものである。 「【請求項１】 硬質脆性材料製の成品である静電チャックの誘電体層を被処理成品とし， 前記被処理成品の母材硬度よりも高硬度の砥粒を使用した第１のブラスト加工により，前記被処理成品の表面を，多数の凸部と，該凸部間に形成された，最狭部において５０μｍ以上の幅を有する多数の凹部が形成された立体的な凹凸形状に形成し， 前記凹凸形状に形成された前記被処理成品の表面に対し，低反発弾性の弾性体に前記凹部の前記幅よりも粒径の小さい砥粒を担持させた構造の弾性研磨材を使用した第２のブラスト加工を，所定の傾斜した角度で前記被処理成品の表面上の各部に対し，平面視において少なくとも４方向より噴射して行うことにより， 前記第１のブラスト加工によって形成した前記凹凸形状を維持したまま，前記被処理成品の前記各凸部及び各凹部の表面全体を算術平均粗さＲａ１．６μｍ以下に研磨すると共に，前記各凸部の上面の端部に形成されたエッジに元の半径Ｒよりも大きい半径Ｒ１０μｍ以上の丸み付けを行うことを特徴とする硬質脆性材料製の被処理成品の表面加工方法。 【請求項２】 前記第１のブラスト加工によって，平坦な上面を有する前記各凸部を形成し， 前記第２のブラスト加工によって，前記各凸部の前記平坦な上面の端部に形成されたエッジに前記半径Ｒ１０μｍ以上の丸み付けを行うことを特徴とする請求項１記載の硬質脆性材料製の被処理成品の表面加工方法。 【請求項３】 前記硬質脆性材料製の被処理成品の前記表面が，半導体製造装置に設けられた基板固定具の基板吸着面であることを特徴とする請求項１又は２記載の硬質脆性材料製の被処理成品の表面加工方法。」 第４ 取消理由通知（決定の予告）にて通知した取消理由の概要 訂正前の請求項１－３に係る特許に対して、当審が令和３年６月３０日付け取消理由通知（決定の予告）にて特許権者に通知した取消理由の概要は、次のとおりである。 請求項１－３に係る発明は、引用文献１に記載された発明、引用文献２に記載された技術的事項及び引用文献３に記載された技術的事項に基いて、当業者が容易に発明をすることができたものである。 よって、請求項１－３に係る特許は、特許法第２９条第２項の規定に違反してされたものであり、取り消されるべきものである。 引用文献１：特開２０１４－２７２０７号公報［甲第１号証；先の取消理 由通知において引用］ 引用文献２：特許第５７９３０４号公報［当審にて新たに引用した文献］ 引用文献３：特開２００９－６００３５号公報［甲第２号証；先の取消理 由通知において引用］ 第５ 当審の判断 １ 本件発明１について （１） 本件発明１ 本件発明１は、上記第３において示したとおりのものである。 （２） 引用文献 引用文献１：特開２０１４－２７２０７号公報［甲第１号証；取消理由通 知（決定の予告）におい て引用］ 引用文献２：特許第５７９３０１４号公報［取消理由通知（決定の予告） において引用］ 引用文献３：特開２００９－６００３５号公報［甲第２号証；取消理由通 知（決定の予告）におい て引用］ 甲第５号証：再公表特許第２０１３／０２２０４２号公報 甲第６号証：関 智宏，外１名，中小製造業の新製品開発，人材育成，国 際化 －株式会社ヤマシタワークス（尼崎）のケース・スタ ディー，阪南論集 社会科学編，学校法人阪南大学，２００ ９年３月，Ｖｏｌ．４４ Ｎｏ．２，ｐ１５９－１７０ （https://hannan-u.repo.nii.ac.jp/?action=pages_view_m ain&active_action=repository_view_main_item_detail&ite m_id=253&item_no=1&page_id=13&block_id=17） 甲第７号証：大橋一仁，外５名，円筒ブラスト加工に関する基礎的研究， 砥粒加工学会誌，公益社団法人砥粒加工学会，２０１２年９ 月１日，Ｖｏｌ．５６ Ｎｏ．９，ｐ６２６－６３１（http s://www.jstage.jst.go.jp/article/jsat/56/9/56_626/_pdf /-char/ja） （３） 引用文献１の記載及び引用発明 ア 引用文献１の記載事項 引用文献１には以下のような記載がある（なお、下線は理解を容易にするために当審で付したものである。以下同様。）。 「【背景技術】 【０００２】 電圧を印加し静電気の吸引力によりシリコンウェーハ等を静電吸着保持する静電チャックは、ＣＶＤ装置、エッチング装置、露光装置、検査装置、搬送装置等の半導体製造装置や、液晶基板製造装置等のような、主に真空環境下で使用される。」 「【０００４】 ・・・頂面と半導体ウェーハとの間の擦れによって、パーティクルが発生しやすくなるという問題がある。 このパーティクルは、擦れにより半導体ウェーハ上に付いたスクラッチから発生した半導体ウェーハの削れカスや、同じく擦れにより脱粒した誘電体の微細粒等であり、後の洗浄、搬送等の工程で半導体素子面に転写し欠陥を発生させる原因となるため、極力半導体ウェーハ等への付着を避ける必要がある。・・・」 「【００１３】 本発明のパーティクルの発生が抑制された静電チャック等の基板保持具に用いられる誘電体は、図１、図２に示すような形状を有している。 ・・・ 【００１４】 ＜突起部＞ 本発明にて述べる突起部は、後述する誘電体の一部として、その表面に複数設けられるものであり、その頂部が直線又は曲線形状もしくは直線と曲線の連続線を有している。 ・・・ 突起部は、頂部とその頂部から連続する側部とを有し、頂部と側部とを結ぶ外形線を曲線としている。頂部と側部とが連続していることから、その境界は明確には表せないが、あえて表すとすれば、図２に示すように、頂部９の最高点での接線と側部１０の変曲点１２での接線の交点を境界と見なすことができる。 更に、側部は変曲点を有し、側部と底部との結ぶ外形線を曲線として、底部と連続している。側部と底部とが連続していることから、前述同様にその境界は明確には表せないが、あえて表すとすれば、図２に示すように、側部１０の変曲点１２での接線と底部１１の延長線の交点を境界と見なすことができる。 底部に対する側部の傾斜角αは本発明の効果に対して特に影響を与えるものではないが、概ね１～５０°とすることが好ましい。 【００１５】 ＜突起部内領域＞ 本発明にて述べる突起部内領域は、前述した突起部の頂部領域を示すものであり、複数の突起毎に離散したものとなっている。なお、突起部が、頂部と側部とを有することは、前述したが、突起部内領域は、側部を含まず、頂部のみの領域を意味する。 頂部は、パーティクルの発生を抑制する効果を考慮すると緩やかな凸形状を有していることが好ましいが、大きな静電吸着力を得るという点では平坦部を有していることが好ましい。 【００１６】 ＜突起部外領域＞ 本発明にて述べる突起部外領域は、前述した突起部内領域以外の領域を意味するものであり、具体的には、突起部の側部と、この側部と側部の間の部分である底部を意味する。 ・・・」 「【００１９】 ＜誘電体＞ 本発明にて述べる誘電体は、その材質を限定されるものではないが、例えば、アルミナ、ムライト、窒化ケイ素、窒化アルミニウム、コージェライト、リチウムアルミノシリケート、炭化ケイ素等を主原料としたセラミックス、酸化ケイ素を主原料としたガラス、ガラスにセラミックスフィラーを添加したいわゆるガラスセラミックスなどを用いることができる。特に好ましいものとしては、導電率が小さく且つ汎用性の点から、アルミナ、コージェライト、リチウムアルミノシリケート等を主原料としたセラミックスが挙げられる。」 「【００２１】 ＜静電チャック＞ 本発明にて述べる静電チャックは、本発明にて述べる上記の誘電体の、突起部を有する面と対向する裏面に、電極を当接保持させた静電チャックである。」 「【００２３】 （実施例１） 誘電体として、アルミナセラミックス（日立化成工業株式会社製、商品名：Ｈ５８０、ＪＩＳ Ｃ ２１１０に依る絶縁電気耐圧は２０ＭＶ／ｍ）を準備し、台座と共にダイヤモンド砥石を用いて、研削やマシニング等の通常のセラミックス機械加工を施し、平らな円盤形状を得た。台座としては、誘電体と同じアルミナセラミックス（Ｈ５８０）を用いた。」 「【００２６】 一体化した誘電体及び台座に対し、更に平面研削を施し、特に誘電体の突起部を形成する面にはラップ加工を行い、平坦面を得た。このとき、誘電体の厚さは約０．２ｍｍとした。 【００２７】 得られた平坦面に対して、通常のマスキングとショットブラスト加工法を用いて、突起形状を形成した。マスキングには、直径０．２ｍｍ、厚さ０．１ｍｍの円形を、横方向１ｍｍピッチ、縦方向１ｍｍピッチに正方配置した粘着フィルムを用いた。また、ショットブラストにより削り取られた面ができるだけ粗くならないことを目的として、ショットブラストの砥粒には、精密研磨用微粉である粒度＃６００のＳｉＣ砥粒を適用した。なお、ＳｉＣ砥粒の粒度の表記は、ＪＩＳ Ｒ ６００１：１９９８に規定されるものである。このショットブラストにより、誘電体の突起部を形成する面のマスキングされていない部分を約２０μｍ削り、除去した。 【００２８】 粘着マスクを剥がし、直径０．２ｍｍ、高さ約２０μｍ、横方向１ｍｍピッチ、縦方向１ｍｍピッチに正方配置した突起形状を得た。突起部内領域と突起部外領域との面積比の設計値は、突起部内領域面積／突起部外領域面積にて約０．０３１である。 【００２９】 次いで、誘電体の突起部を形成する面に形成された突起形状に対し、研磨パッドと研磨材を用いて研磨加工を行った。研磨パッドにはピューラー社製マイクロクロス、研磨材には旭ダイヤモンド工業株式会社製ダイヤモンドペーストを用いた。・・・研磨材を塗布した研磨パッドを誘電体の突起部を形成する面に、面全体に均一な力が掛かるように且つ微量スライドできるように押し付け、そのままバイブレーターの振動に晒した。研磨加工後の誘電体の、突起部内領域及び突起部外領域における算術平均粗さＲａは、それぞれ０．１０μｍと０．１３μｍであった。・・・」 「【００３２】 （実施例２～５及び比較例１～４） 実施例１に対し、マスキングに用いる粘着フィルムの大きさと配置を変更することにより、突起部内領域と突起部外領域との面積比を変化させた。また、研磨加工時の研磨材の砥粒の粒径や研磨パッドを押し付ける強さ、バイブレーターの振動の強さ、バイブレーターの振動に晒す時間、誘電体として用いるアルミナセラミックスのグレードを変更することで、突起部内領域と突起部外領域における表面粗さ及び絶縁電気耐圧を変化させた。これらの結果も、併せて表１に示す。」 「【００３３】 （実施例６） 実施例１と同様、誘電体と台座を一体化し、誘電体の突起部を形成する面にラップ加工を行った。 【００３４】 得られた平坦面に対して、エポキシ樹脂によるマスキングと研磨パッドによる研磨加工にて、突起形状を形成した。・・・ 【００３５】 次いで、マスキングされた平坦面に対し、研磨パッドと研磨材を用いて突起形成加工を行った。研磨パッド及び研磨材は、実施例１の研磨加工で用いたものと同じであるが、研磨材の砥粒は、粒径３μｍ以上の大きめの砥粒を用いた。実施例１の研磨加工と同様に、バイブレーターを利用して振動させ、誘電体の突起部を形成する面のマスキングされていない部分を約２μｍ削り除去した。 ・・・ 【００３７】 次いで、誘電体の突起部を形成する面に形成された突起形状に対し、研磨パッドと研磨材を用いて、実施例１と同様の研磨加工を行った。研磨加工後の誘電体の、突起部内領域及び突起部外領域における算術平均粗さＲａは、それぞれ０．１１μｍと０．０７μｍであった。」 「【００３９】 （実施例７、８及び比較例５） 実施例６に対して、マスキングに用いるエポキシ樹脂を印刷するスクリーン版の印刷パターンを変更することにより、突起部内領域と突起部外領域との面積比を変化させた。また、突起形成加工時及び研磨加工時の研磨材の砥粒の粒径や研磨パッドを押し付ける強さ、バイブレーターの振動の強さ、バイブレーターの振動に晒す時間を変更することで、突起部内領域と突起部外領域における表面粗さを変化させた。」 「【００４１】 （実施例９） 実施例１と同様に、誘電体と台座を一体化し、誘電体の突起部を形成する面にラップ加工を行い、更に突起を形成した。 【００４２】 次いで、誘電体の突起部を形成する面に形成された突起形状に対し、ショットブラスト加工法にて研磨加工を行った。突起を形成する際に用いたショットブラスト加工法とは、軟質砥粒を用いた点とマスキングをしないという点で異なる。軟質砥粒とは、セラミックやダイヤモンド等の硬質砥粒をゴム製の粒や樹脂製の粒の中に分散させた砥粒や低硬度のガラスビーズなどのことであり、いわゆるソフトブラスト加工法と呼ばれているものである。この軟質砥粒を用いたショットブラスト加工により、突起部外領域の研磨を行い、表面粗さを向上させた。また、この際にマスキングをしないことにより、突起部の頂部から側部への外形線として曲線を得ることができた。すなわち、突起部を形成する際に突起部の頂部と側部との境界に形成された一般にエッジと呼ばれる角を研磨することにより、角を丸め曲線を得たものと言い換えることができる。 研磨加工後の誘電体の、突起部内領域及び突起部外領域における算術平均粗さＲａは、それぞれ０．０４μｍと０．０６μｍであった。」 「【００４３】 （実施例１０及び１１） 実施例９に対して、マスキングに用いる粘着フィルムの大きさと配置を変更することにより、突起部内領域と突起部外領域との面積比を変化させた、また、研磨加工時の軟質砥粒と加速圧力や供給量等の加工パラメータを変更することで、突起部内領域と突起部外領域における表面粗さを変化させた。」 「【００４７】 （比較例６） 実施例１と同様に、誘電体と台座を一体化し、誘電体の突起部を形成する前にラップ加工を行い、更に突起を形成した。ただし、その後の研磨加工は行わず、これを本発明に対する比較例とした。」 表１ ［図：0001393044000001.jpg］ 図２ ［図：0001393044000002.jpg］ イ 引用文献１の認定事項 （ア） 上記アの段落【００１４】、【００１９】、【００２１】、【００２３】、【００２７】、【００２８】、【００４１】及び図２を参照すると、被処理成品は、アルミナセラミックス製の成品である静電チャックの誘電体であって、その実施例１－実施例９の「突起部」は、直径０．２ｍｍで縦横１ｍｍピッチに正方配置されているから、「突起部」間に形成された凹部は、底部において０．８ｍｍ（８００μｍ）程度の間隔、すなわち５０μｍ以上の幅を有するものを含むと認められる。 （イ） 上記アの段落【００４２】の「軟質砥粒とは、セラミックやダイヤモンド等の硬質砥粒をゴム製の粒や樹脂製の粒の中に分散させた砥粒・・・などのことであり」との記載からみて、ソフトブラスト加工法においては、ゴム製の粒に硬質砥粒を担持させた構造の軟質砥粒を使用していると認められる。 （ウ） 上記アの段落【００４２】の記載からみて、ソフトブラスト加工法では、突起部外領域の研磨を行い表面粗さを向上させるとともに、エッジと呼ばれる角を研磨することにより角を丸め曲線を得ているまでであると認められるので、ショットブラスト加工法によって形成した凹凸形状は維持されているものと認められる。 （エ） 上記アの表１の記載からみて、実施例９においては、突起部内領域の表面粗さＲａは０．０４μｍであり、突起部外領域の表面粗さＲａは０．０６μｍであることから、突起部及び凹部の表面全体は、算術平均粗さＲａ１．６μｍ以下であるものと認められる。 そして、この突起部及び凹部の表面全体の算術平均粗さは、以下の各記載からみて、ソフトブラスト加工法を行うことによるものと認められる。 すなわち、 ａ 上記アの段落【００２９】、【００３２】、【００３４】、【００３５】、【００３７】、【００３９】の記載からみて、実施例１－８の研磨加工は研磨パッドと研磨材を用いていることから、突起部及び凹部の表面全体に対して行われるものと認められ、引用文献１における同じ発明についての他の実施例である実施例９のソフトブラスト加工法により行う研磨加工についても同様に、突起部及び凹部の表面全体に対して行われるものと認められる。 ｂ 上記アの段落【００４３】の記載からみて、実施例９のソフトブラスト加工法により行う研磨加工時の加工パラメータを変更した実施例１０及び１１の突起部内領域と突起部外領域における表面粗さは、上記アの表１の記載からみて、実施例９とはいずれも異なる値となっていることから、ソフトブラスト加工法により行う研磨加工は、突起部及び凹部の表面全体に対して行われるものと認められる。 このことは、上記アの段落【００３２】、【００３９】の記載からみて、実施例１及び６の研磨パッドと研磨材を用いて突起部及び凹部の表面全体に対して行われる研磨加工時の加工パラメータを変更した実施例２－５及び７－８の突起部内領域と突起部外領域における表面粗さが、上記アの表１の記載からみて、実施例１及び６とはいずれも異なる値となっているのと同様であることからも、やはり、実施例９のソフトブラスト加工法により行う研磨加工は、突起部及び凹部の表面全体に対して行われるものと認められる。 ｃ 上記アの段落【００４７】の記載からみて、突起部を形成する面にラップ加工を行い、更に突起を形成した後、研磨加工を行わない比較例６の突起部内領域の表面粗さが、上記アの表１の記載からみて、ソフトブラスト加工法により研磨加工を行う実施例９とは異なる値となっていることから、実施例９のソフトブラスト加工法により行う研磨加工は、突起部外領域のみならず、突起部内領域に対しても行われる、すなわち、突起部及び凹部の表面全体に対して行われるものと認められる。 ウ 引用発明 よって、上記アの記載事項及びイの認定事項からみて、引用文献１の（実施例９）には、以下の発明（以下「引用発明」という。）が記載されていると認められる。 「アルミナセラミックス製の成品である静電チャックの誘電体を被処理成品とし， ＳｉＣ砥粒を使用したショットブラスト加工法により，前記被処理成品の表面を，多数の突起部と，該突起部間に形成された，底部において５０μｍ以上の幅を有する多数の凹部が形成された立体的な凹凸形状に形成し， 前記凹凸形状に形成された前記被処理成品の表面に対し，ゴム製の粒に硬質砥粒を担持させた構造の軟質砥粒を使用したソフトブラスト加工法を、前記被処理成品の表面上の各部に対し、噴射して行うことにより，前記ショットブラスト加工法によって形成した前記凹凸形状を維持したまま，前記被処理成品の前記突起部及び凹部の表面全体を算術平均粗さＲａ１．６μｍ以下に研磨すると共に，前記突起部の頂部の端部に形成されたエッジに丸み付けを行うことを特徴とするアルミナセラミックス製の被処理成品の表面加工方法。」 （４） 対比 本件発明１と引用発明を対比する。 ア 引用発明の「アルミナセラミックス」は本件発明１の「硬質脆性材料」に相当し、以下同様に「誘電体」は「誘電体層」に、「ショットブラスト加工法」は「第１のブラスト加工」に、「突起部」は「凸部」に、「底部」は「最狭部」に、「軟質砥粒」は「弾性研磨材」に、「ソフトブラスト加工法」は「第２のブラスト加工」に、「（突起部の）頂部」は「（凸部の）上面」に、それぞれ相当する。 イ 引用発明において「ソフトブラスト加工法を、前記被処理成品の表面上の各部に対し、噴射して行うこと」は、本件発明１において「第２のブラストプラスト加工を，所定の傾斜した角度で前記被処理成品の表面上の各部に対し，平面視において少なくとも４方向より噴射して行うこと」に、「第２のブラストプラスト加工を，前記被処理成品の表面上の各部に対し，噴射して行うこと」という点に限り共通する。 ウ 上記（３）アの段落【００２７】の記載より、ＳｉＣ砥粒はアルミナセラミックス製の誘電体を削っており、ＳｉＣ砥粒がアルミナセラミックスよりも硬いことは明らかであるから、引用発明の「ＳｉＣ砥粒」は本件発明１の「前記被処理成品の母材硬度よりも高硬度の砥粒」に相当する。 エ 引用発明の「ゴム製の粒」は本件発明１の「低反発弾性の弾性体」に、「弾性体」という点に限り共通する。 オ 上記（３）アの段落【００４２】の記載より、軟質砥粒に担持された硬質砥粒は突起部間の底部も研磨しており、硬質砥粒が底部の幅よりも小さいことは明らかであるから、引用発明の「硬質砥粒」は本件発明１の「凹部の前記幅よりも粒径の小さい砥粒」に相当する。 カ 引用発明において「エッジに丸み付けを行う」ことは、本件発明１において「エッジに元の半径Ｒよりも大きい半径Ｒ１０μｍ以上の丸み付けを行う」ことに、「エッジに丸み付けを行う」ことという点に限り共通する。 キ そうすると、本件発明１と引用発明は、以下の（ア）の点において一致し、また、以下の（イ）の点において相違するものである。 （ア） 一致点 「硬質脆性材料製の成品である静電チャックの誘電体層を被処理成品とし， 前記被処理成品の母材硬度よりも高硬度の砥粒を使用した第１のブラスト加工により，前記被処理成品の表面を，多数の凸部と，該凸部間に形成された，最狭部において５０μｍ以上の幅を有する多数の凹部が形成された立体的な凹凸形状に形成し， 前記凹凸形状に形成された前記被処理成品の表面に対し，弾性体に前記凹部の前記幅よりも粒径の小さい砥粒を担持させた構造の弾性研磨材を使用した第２のプラスト加工を、前記被処理成品の表面上の各部に対し，噴射して行うことにより， 前記第１のブラスト加工によって形成した前記凹凸形状を維持したまま，前記被処理成品の前記各凸部及び各凹部の表面全体を算術平均粗さＲａ１．６μｍ以下に研磨すると共に，前記各凸部の上面の端部に形成されたエッジに丸み付けを行う硬質脆性材料製の被処理成品の表面加工方法。」 （イ） 相違点 （相違点１） 弾性研磨材の「弾性体」が、本件発明１は、「低反発弾性の弾性体」であるのに対し、引用発明は、「ゴム製の粒」である点。 （相違点２） 「弾性研磨材を使用した第２のブラスト加工」を、「被処理成品の表面上の各部に対し」、「噴射して行う」にあたり、本件発明１は、「所定の傾斜した角度で前記被処理成品の表面上の各部に対し，平面視において少なくとも４方向より噴射して」行うのに対し、引用発明は、噴射の角度及び方向について明らかでない点。 （相違点３） 本件発明１は、「各凸部の上面の端部に形成されたエッジに元の半径Ｒよりも大きい半径Ｒ１０μm以上の丸み付けを行う」のに対し、引用発明は、「突起部の頂部の端部に形成されたエッジに丸み付けを行う」ものの、丸みの半径は不明な点。 （５） 相違点の判断 事案に鑑みて、上記相違点２についてまず検討する。 ア 特許異議申立人による令和３年１１月１１日提出の意見書において周知技術を例示するものとする甲第５号証－甲第７号証に記載された技術的事項について 特許異議申立人による令和３年１１月１１日提出の意見書において、上記相違点２に関連して、同意見書の４－２「（２）相違点の検討」の「（相違点４について）」で周知技術を例示するものとする甲第５号証－甲第７号証について検討する。 （ア） 甲第５号証の記載事項及び甲第５号証に記載された技術的事項 ａ 甲第５号証の記載事項 甲第５号証には以下のような記載がある。 「【請求項１】 板状素材の表面に凹面状の成形面を複数個形成し、その後、前記成形面の開口部より大径の弾性核体及び前記弾性核体の表面に固着された砥粒とからなる研磨粒子を、前記成形面を有する成形型表面に噴射して衝突させ、成形型表面を研磨することを含むマイクロレンズアレイ用成形型の製造方法。」 「【００２９】 そこで、本発明においては、この凸部２ｂを除去するために、成形型表面の研磨を行い、凸部２ｂを除去すると共に、成形面２ａと成形型表面が曲率を有して接続する縁部を形成するように次のように研磨加工する。なお、研磨加工の際に、成形型表面も同時に研磨され、成形面２ａの深さは研磨加工前後で変わるため、所望の成形面２ａを得るために研磨量に応じてパンチエ具１２による押込み深さを決定するとよい。 【００３０】 このとき用いる研磨加工は、研磨加工装置１３により、パンチエ具１２で形成された研磨加工前の凹球面状の成形面２ａの最大径よりも大きな直径を有する研磨粒子１４を、上型２の成形面２ａを有する面に噴射して衝突させる方法により達成できる（図３の（ｃ））。 【００３１】 この研磨方法は、表面に砥粒を有する研磨粒子１４を、空気等の気体と共に噴射させながら、研磨粒子と成形面が形成された成形型表面とを衝突させ、成形型表面を研磨すると同時に、凹球面状の成形面２ａの縁部を成形型表面と滑らかな曲面で接続する縁部を形成するように研磨する（図３の（ｄ））。 【００３２】 このとき用いる研磨粒子１４は、弾力性を有する弾性核体と、その弾性核体の表面に固着した砥粒と、から構成される。そして、この研磨粒子１４は、パンチ工具１２で形成された研磨加工前の凹球面状の成形面２ａの開口径よりも大径の形状を有する。・・・このように、研磨粒子１４の径を研磨加工前の成形面２ａの開口径よりも大きくすることで、凹球面状部分に研磨粒子１４が入り込むのを抑制し、成形面２ａに研磨粒子が接触して、傷つけることを防止できる。このとき、例えば、研磨粒子１４の径を、研磨加工前の成形面２ａの開口径の２～５０倍とすることが好ましい。 【００３３】 また、この研磨粒子１４の半径を、成形面２ａの球面形状の曲率半径（パンチ工具１２を用いた場合は、そのパンチ工具１２の先端部分の加工球の半径）よりも大きくすれば、研磨粒子１４が凹球面状部分に入り込むことを確実に防止でき好ましい。 【００３４】 ここで、研磨粒子１４の弾性核体は、弾力性を有する粒子である。核体が弾力性を有することで、研磨粒子１４と被研磨物とが衝突した際に、研磨面が滑らかに加工され易くなり、本発明においては、成形面２ａと成形型表面との接続部分である縁部が、容易に曲率を持った形状に形成される。さらに、研磨面を滑らかに加工できるように、弾性核体の形状は略球状が好ましい。なお、略球状とは、目視において球状として認められる形状をいう。 【００３５】 この弾性核体としては、弾力性を有するものであればよく、例えば、ゴム、植物性繊維、樹脂、ゼラチン等が挙げられる。なかでも、水分を含有することにより粘着性を生じる特性を有する植物性繊維、ゼラチン等が好ましい。この弾性核体の大きさが、ほぼ研磨粒子の大きさとなり、本発明においては直径が０．５～２．０ｍｍ程度の核体が好ましい。 ・・・ 【００３８】 次に、上記のような研磨粒子１４を噴射し、成形型の成形面を形成した表面に研磨粒子１４を衝突させて研磨を行う。研磨した後の研磨粒子は回収して、再び、噴射装置に投入され再利用してもよい。 【００３９】 研磨粒子１４を噴射させるための圧力は、０．１～１．５ＭＰａの範囲とでき、０．５～０．８ＭＰａが好ましい。また、噴射させる際の衝突角度θは、成形型表面を研磨粒子１４が滑走を繰り返すことができるよう、成形型の表面方向を基準に、例えば、１０～８０度と角度をもって衝突させればよく、この角度は３０～６０度が好ましい。 ・・・ 【００４１】 さらに、本発明において、この研磨を、成形型表面と平行な面において等角度で方向を変えてそれぞれ同じ時間研磨をし、研磨方向による成形型形状の偏りが生じないようにすることが好ましい。これは、研磨面に成形面２ａという凹球面状の窪みが存在するため、研磨方向の奥側の成形面２ａの縁部分が手前や横に比べて研磨され易いためである。 【００４２】 このとき、研磨方向は３方向以上が好ましく、４方向以上がより好ましく、６方向以上が特に好ましい。また、この場合、研磨方向は、略等角度の間隔であれば好ましい。・・・ただし、この研磨方向は、多ければ多いほど方向の偏りは小さくなり、形状的には好ましいものとなるが、研磨方向が多い分、研磨時間が嵩んでしまうため、成形型の形状と研磨効率のバランスを考慮して決定するとよい。図４は、上型２の成形面側の表面を表した平面図であるが、この上型表面の平面において、ａ、ｂ、ｃ、ｄと噴射方向を９０度ずつ回転して研磨方向を４方向とした場合の例を示した。」 「 ［図：0001393044000003.jpg］ 」（【図１】） 「 ［図：0001393044000004.jpg］ 」（【図２】） 「 ［図：0001393044000005.jpg］ 」（【図３】） ｂ 甲第５号証に記載された技術的事項 甲第５号証には、上記各記載からみて、以下の技術的事項（以下「甲第５号証に記載された技術的事項」という。）が記載されていると認められる。 「弾性核体に砥粒を固着させた研磨粒子１４を空気等の気体と共に噴射させる研磨加工を、衝突角度θで成形型表面に対し、成形型表面と平行な面において４方向以上より噴射して行うこと。」 そして、甲第５号証に記載された技術的事項における「弾性核体に砥粒を固着させた研磨粒子１４を空気等の気体と共に噴射させる研磨加工」は本件発明１の「第２のブラスト加工」に対応し、以下同様に、「衝突角度θ」は「所定の傾斜した角度」に、「成形型表面」は「被処理成品の表面上の各部」に、「成形型表面と平行な面において」は「平面視において」に、「４方向以上」は「少なくとも４方向」に、それぞれ対応することから、甲第５号証に記載された技術的事項を本件発明１の用語を用いて記載すると以下のようになると認められる。 「第２のブラスト加工を、所定の傾斜した角度で被処理成品の表面上の各部に対し、平面視において少なくとも４方向より噴射して行うこと。」 （イ） 甲第６号証の記載事項及び甲第６号証に記載された技術的事項 ａ 甲第６号証の記載事項 甲第６号証には以下のような記載がある。 「III 新製品開発 －エアロラップの開発－ １．新製品の概要 もとより，山下社長は，研磨工程の機械化や研磨技術の習得の難しさといった課題に頭を悩ませていた。こうした課題を解決すべく，７年の期間をかけ開発し，１９９６年に完成したのが，エアロラップ（ＡＥＲＯ ＬＡＰ）という研磨技術である。 エアロラップとは，「“Ｗｅｔ・Ｄｒｙ” Ｍｅｄｉａ」を用いる，磨耗を防止し，耐久性をいっそう高めることができる鏡面仕上げ方法である。エアロラップは，マルチコーンと呼ばれる研磨材に強みを持つ。食品素材をベースに数ミクロン大のダイヤモンドパウダーを複合させた研磨材を高速で吹き付けるだけで，熟練技能を必要とせずに，初心者でも簡単に，複雑な形状の金型や切削工具，樹脂成形品などを短時間で鏡面加工（ラッピング；ＬＡＰＰＩＮＧ）できるという特長をもっている。職人が半日かかる磨きも，１～２時間ほど教育すればパートタイマーでも数十分で加工できるという９）。このラッピングの効率性の高さが，エアロラップの特長の１つである。２つは，ラッピングの清潔さであり，「“Ｗｅｔ・Ｄｒｙ” Ｍｅｄｉａ」を用いることで，粉塵の発生を抑えるだけでなく，作業環境をより清潔に保つことが可能となる。３つは，多様なラッピングのニーズに対応することができるということであり，さまざまな研磨材を使うことができる。最後は，研磨材は繰り返し使用できるためランニングコストが非常に低く，エコにもつながっている。 エアロラップのメカニズムは，次の図１のとおりである。食品素材を基にし，水分などを使用してそこにダイヤモンドを複合させたものがエアロラッブで使用する研磨材（マルチコーン）である。マルチコーンのサイズは，０．５～２ミリメートルである。これを３０～６０°の角度で取りつけられたノズルから遠心力を利用して噴射させる。ノズル上部には，研磨時に発生する摩擦熱を冷却させるためにエアノズルが設置されている。ノズルから空気圧（０．５～０．８ＭＰａ）をかけて，対象物に吹き付け，表面を滑らしていく。」（第１６２ページ右欄第１行－最終行及び第１６４ページ左欄第１行－第４行） 「 ［図：0001393044000006.jpg］ 」（第１６３ページ） ｂ 甲第６号証に記載された技術的事項 甲第６号証には、上記各記載からみて、以下の技術的事項（以下「甲第６号証に記載された技術的事項」という。）が記載されていると認められる。 「核体にダイヤモンドを複合させた研磨材（マルチコーン）を高速で吹き付けるエアロラップという研磨を、３０°から６０°の角度で対象物の表面に対し、噴射して行うこと。」 ここで、特許異議申立人は、令和３年１１月１１日提出の意見書において「甲第六号証（１６２頁右欄１行～１６３頁左欄４行に記載のエアロラップ（新製品）の概要、必要に応じて２０１６年１１月３０日公開エアロラップの動画も参考。噴射ノズルが固定され、作業員の手で立体的なワークが回転し、少なくとも４方向より噴射材が噴射されてブラスト研磨される(https://www.youtube.com/watch?v=7PUN5JSKnlw))」と主張しているが、該動画については、令和３年１１月１１日提出の証拠説明書にも記載されておらず証拠とされているものではないし、複数の証拠（甲第６号証及び動画）を総合して１つの技術的事項を認定することが適切であるとはいえない。したがって、上記意見書の「噴射ノズルが固定され、作業員の手で立体的なワークが回転し、少なくとも４方向より噴射材が噴射されてブラスト研磨される」ことについては、甲第６号証において該当する記載は見当たらないため、甲第６号証の記載から把握されるものとは認められない。 そして、甲第６号証に記載された技術的事項における「核体にダイヤモンドを複合させた研磨材（マルチコーン）を高速で吹き付けるエアロラップという研磨」は本件発明１の「第２のブラスト加工」に対応し、以下同様に、「３０°から６０°の角度」は「所定の傾斜した角度」に、「対象物の表面」は「被処理成品の表面上の各部」に、それぞれ対応することから、甲第６号証に記載された技術的事項を本件発明１の用語を用いて記載すると以下のようになると認められる。 「第２のブラスト加工を、所定の傾斜した角度で被処理成品の表面上の各部に対し、噴射して行うこと。」 （ウ） 甲第７号証の記載事項及び甲第７号証に記載された技術的事項 ａ 甲第７号証の記載事項 甲第７号証には以下のような記載がある。 「１．緒言 ブラスト加工は，従来バリ取りや下地の面粗し処理などの比較的ラフな仕上げに用いられてきた．しかし近年では，ブラスト加工に微細砥粒を用いることによって，ガラス，シリコンあるいはセラミックス等の硬脆材料を対象とした精度を要求されるマイクロ加工へも利用され始めており，作業の安全性や加工能率，コストパフォーマンスなどの点に優れる加工法として注目されている１）２）．ブラストによる精密加工については，これまでにいくつか研究報告もされている３）４）が，そのほとんどは平面への加工であり，３次元形状を有する表面の精密加工を対象とした報告はほとんどされていない．３次元形状を有する表面の精密加工にブラスト加工を適用すれば，そのアプリケーションがさらに拡がるものと期待される．そこで本研究では，円筒形の工作物外周面にブラスト加工する場合の基礎的知見を明らかにするため，円筒ブラスト加工による加工深さ，表面粗さおよび加工面性状からその加工メカニズムおよび加工特性を実験的に検討した．」（第６２６ページ左欄第１行－第１７行） 「２．実験方法 図１に本研究で試作した円筒ブラスト加工装置を示す．実験は，タイミングベルトを介してモータにより所定の速度で両センタにより支持された円筒形の工作物を回転させながら円筒面にブラスト加工を行った．砥粒はコンプレッサから供給されるエアにより生じる噴射ノズル内でのベンチュリ効果によってタンクから供給され，ノズル先端から噴射される．なお，タンク内にはフィーダを設置し，砥粒の定量供給を行った．噴射ノズルは，工作物軸方向と直交する二軸方向に移動する精密ステージに設置した．図２に工作物に対するノズル位置座標の定義を示す．図のように，工作物軸のレベルにおけるノズル先端から工作物表面までの距離を投射距離ｙとし，工作物軸レベルからのノズル位置のオフセット量をｚ（上方を正）と定義する．」（第６２６ページ左欄下から第８行－右欄第６行） 「 ［図：0001393044000007.jpg］ 」（図１、図２） 「図１２のように工作物表面に対して，噴流束中心における砥粒の噴射角度θは次式で与えられる． ［図：0001393044000008.jpg］ ここで，ｚはノズルオフセット量，ｒは工作物の半径を示す．つまり，ノズルオフセット量を正または負に与えるほど，砥粒の噴射角度が小さくなり，砥粒の干渉による被削材の塑性変形効果よりも切削効果が強調され，加工深さが増加するものと考えられる．これらの結果から，円筒ブラスト加工では，ノズル位置を工作物中心からオフセットさせることが，加工能率を向上させる有効手段の一つと判断できる．」（第６２９ページ左欄下から第１４行－第５行） 「 ［図：0001393044000009.jpg］ 」（図１２） ｂ 甲第７号証に記載された技術的事項 甲第７号証には、上記各記載からみて、以下の技術的事項（以下「甲第７号証に記載された技術的事項」という。）が記載されていると認められる。 「ブラストによる精密加工を、噴射角度θで円筒形の工作物表面に対し、円筒形の工作物の軸線方向からみて周方向に全ての方向より噴射して行うこと。」 そして、甲第７号証に記載された技術的事項における「ブラストによる精密加工」は本件発明１の「第２のブラスト加工」に対応し、以下同様に、「噴射角度θ」は「所定の傾斜した角度」に、「円筒形の工作物表面」は「被処理成品の表面上の各部」に、「全ての方向」は「少なくとも４方向」に、それぞれ対応することから、甲第７号証に記載された技術的事項を本件発明１の用語を用いて記載すると以下のようになると認められる。 「第２のブラスト加工を、所定の傾斜した角度で被処理成品の表面上の各部に対し、少なくとも４方向より噴射して行うこと。」 （エ） 相違点２の容易想到性 引用発明及び甲第５号証－甲第７号証のそれぞれに記載された技術的事項に基いて、相違点２に係る本件発明１の発明特定事項に容易に想到し得るかについて、以下に個々に検討する。 ａ 引用発明及び甲第５号証に記載された技術的事項に基づく容易想到性 （ａ） 引用発明における軟質砥粒を使用したソフトブラスト加工法 引用発明は、上記（３）アの段落【００４２】及び【図２】の記載並びに上記（３）イ（エ）からみて、「軟質砥粒を使用したソフトブラスト加工法」（第２のブラスト加工）により、「突起部」（凸部）の「凸部内領域」及び「突起部外領域」の「凹部」（凹部）の表面全体を研磨し、「突起部」（凸部）の「凸部内領域」及び「突起部外領域」の「凹部」（凹部）の表面全体の表面粗さを向上させるものであると認められる。 （ｂ） 甲第５号証に記載された研磨加工 これに対して、甲第５号証に記載された「弾性核体に砥粒を固着させた研磨粒子１４を空気等の気体と共に噴射させる研磨加工」（第２のブラスト加工）は、上記（ア）ａの段落【００３２】及び【００３３】の記載からみて、「凹球面状の成形面２ａ」（凹部）に「研磨粒子１４」（弾性研磨材）が入り込み接触することを防止するものであると認められる。 （ｃ） 容易想到性 そうすると、「突起部外領域」の「凹部」（凹部）を研磨するものである引用発明において、「凹球面状の成形面２ａ」（凹部）に「研磨粒子１４」（弾性研磨材）が入り込み接触することを防止するものである甲第５号証に記載された技術的事項を採用する動機付けはなく、むしろ、引用発明における「突起部外領域」の「凹部」（凹部）を研磨することを妨げる阻害要因があると認められる。 したがって、相違点２に係る本件発明１の発明特定事項は、引用発明及び甲第５号証に記載された技術的事項に基いて、当業者が容易に想到し得るものであるとはいえない。 ｂ 引用発明及び甲第６号証に記載された技術的事項に基づく容易想到性 （ａ） 甲第６号証に記載された技術的事項 甲第６号証に記載された技術的事項は、上記（イ）ｂのとおり、相違点２に係る本件発明１の発明特定事項のうち、「第２ブラスト加工」を「平面視において少なくとも４方向より噴射して行う」ものに対応する事項を備えるものではない。 （ｂ） 容易想到性 そうすると、引用発明に甲第６号証に記載された技術的事項を採用したとしても、相違点２に係る本件発明１の発明特定事項に至るものではないことから、相違点２に係る本件発明１の発明特定事項は、引用発明及び甲第６号証に記載された技術的事項に基いて、当業者が容易に想到し得るものであるとはいえない。 ｃ 引用発明及び甲第７号証に記載された技術的事項に基づく容易想到性 （ａ） 引用発明における軟質砥粒を使用したソフトブラスト加工法 引用発明は、上記（３）アの段落【００２３】及び【図２】の記載からみて、その「被処理成品」である「誘電体」は「平らな円盤形状」であると認められる。 （ｂ） 甲第７号証に記載されたブラストによる精密加工 これに対して、甲第７号証に記載されたブラストによる精密加工は、上記（ウ）ａの各記載からみて、「被処理成品」である「工作物」は「円筒形」であり、「両センタにより支持され」て「回転させながら円筒面にブラスト加工」を行うものであると認められる。 また、甲第７号証に記載された技術的事項は、上記（ウ）ｂのとおり、相違点２に係る本件発明１の発明特定事項のうち、「第２ブラスト加工」を「平面視において少なくとも４方向より噴射して行う」ものに対応する事項を備えるものではない。 （ｃ） 容易想到性 そうすると、「被処理成品」である「誘電体」が「平らな円盤形状」である引用発明に対して、「被処理成品」である「工作物」が「円筒形」であり「両センタにより支持され」て「回転させながら円筒面にブラスト加工」を行う甲第７号証に記載されたブラストによる精密加工は、被処理成品の基本形状が大きく異なり、同基本形状のもとで被処理成品を「両センタに支持され」て「回転させながら」という保持態様についても大きく異なる上、さらに「円筒面に」という噴射部位も大きく異なるから、引用発明に甲第７号証に記載された技術的事項を採用する動機があるとは認められない。 また、甲第７号証に記載された技術的事項には、「平面視において少なくとも４方向より噴射して行う」ことが示されていないことから、仮に、引用発明に甲第７号証に記載された技術的事項を採用したとしても、相違点２に係る本件発明１の発明特定事項に至るものではなく、相違点２に係る本件発明１の発明特定事項は、引用発明及び甲第７号証に記載された技術的事項に基いて、当業者が容易に想到し得るものであるとはいえない。 したがって、相違点２に係る本件発明１の発明特定事項は、引用発明及び甲第７号証に記載された技術的事項に基いて、当業者が容易に想到し得るものであるとはいえない。 イ 特許異議申立人による令和４年４月１９日提出の回答書において提示された甲第８号証－甲第１２号証に記載された技術的事項について 特許異議申立人による令和４年４月１９日提出の回答書において、上記相違点２に関連して、同回答書の「（エ）付言」で技術常識を例示するものとする甲第８号証、甲第９号証、甲第１１号証及び甲第１２号証についても検討する。また、同回答書において他に提示された甲第１０号証についても検討する。 甲第８号証 ：特許第５６０６８２４号公報 甲第９号証 ：特開２００９－２０２３０７号公報 甲第１０号証：特開２００１－１２９７６２号公報 甲第１１号証：特開２００６－１５９４０２号公報 甲第１２号証：特許第５７９３０１４号公報 （ア） 甲第８号証の記載事項及び甲第８号証に記載された技術的事項 ａ 甲第８号証の記載事項 甲第８号証には以下のような記載がある。 「【００２５】 第３のブラスト処理を，弾性研磨材乃至は板状研磨材を使用して金型表面に対して傾斜した入射角で噴射することにより，比較的容易に研磨材を金型表面で滑走させることができ，これにより，第２のブラスト処理によって金型表面の凹凸における山頂部分を除去して平坦化することを容易に行うことができた。」 「【００５６】 このような凸部の山頂部分を平坦化するために，第３のブラスト処理では，噴射した研磨材を前記金型表面上で滑動させている。 【００５７】 このような滑動を生じさせるために使用する研磨材としては，前述した第１のブラスト処理において同様に研磨材の滑動を生じさせる場合に使用する研磨材と同様の研磨材を使用することができ，一例として弾性材料の表面に平均粒径１～５０μｍの研磨材を担持させ，及び／又は弾性材料中に同様の研磨材を練り込んだ弾性研磨材，又は最長部分が０．０５～１０ｍｍ程度の平面形状を成し，該平面形状における最長部分が厚みに対して１．５～１００倍である板状研磨材を使用することができ，このような研磨材を，金型表面に対して９０°未満，好ましくは傾斜角Ｘが０°≦Ｘ≦８０°で噴射すると，噴射した研磨材を金型表面に沿って滑動させることができ，これによって，凸部の山頂部付近を略一定の高さで除去することにより，ワークの離型性の改善と，金型表面における部分的な荷重の集中を防止することができるようになっている。 【００５８】 ［金型の表面形状］ 以上のようにして表面処理がされた金型の表面は，第２のプラスト処理で球状研磨材を噴射した場合，図１（Ｃ）中の拡大図に示すように，開口部の直径Ｒが１０～１５０μｍ，深さＤが２～２０μｍの半球状の凹部が形成されると共に，該凹部間に，凸部先端に形成された幅Ｗが２０～６０μｍの平坦部が形成される。」 「【００６９】 （２）実施例１ （半球状の凹部を形成） 加工対象 比較例と同一品 プラスト装置 不二製作所製ニューマプラスターＳＧＫ－３（サクション式） （１）第１プラスト処理 研磨材 不ニランダムＷＡ♯２２０（平均粒子径６０μｍ） 噴射圧力 ０．３ＭＰａ （２）第２プラスト処理 研磨材 不ニガラスビーズＦＧＢ♯３２０（球形ガラスビーズ；平均粒子径４０μｍ） 噴射圧力 ０．３ＭＰａ （３）第３ブラスト処理 プラスト装置 不二製作所製ＬＤＱ－ＳＲ－３（プロワー方式） 研磨材 弾性体（ゴム）に砥粒 炭化珪素♯３０００（平均粒子径４μｍ）を練り込んだもの 噴射圧力 ０．０６ＭＰａ 噴射角度 ３０度 表面粗さ Ｒａ：０．０９μｍ 【００７０】 （３）実施例２ （谷底の尖った凹部を形成） 加工対象 比較例と同一品 プラスト装置 不二製作所製ニューマブラスターＳＧＫ－３ （１）第１プラスト処理 研磨材 不ニランダムＷＡ♯２２０（平均粒子径６０μｍ） 噴射圧力 ０．３ＭＰａ （２）第２プラスト処理 研磨材 不ニランダム♯４００（平均粒子径３０μｍ） 噴射圧力 ０．３ＭＰａ （３）第３ブラスト処理 プラスト装置 不二製作所製ＬＤＱーＳＲ－３（プロワー方式） 研磨材 弾性体（ゴム）に砥粒，炭化珪素♯３０００（平均粒子径４μｍ）を練り込んだもの 噴射圧力 ０．０６ＭＰａ 噴射角度 ３０度 表面粗さ Ｒａ：０．１１μｍ」 「 ［図：0001393044000010.jpg］ 」 （【図１】（Ｂ）（Ｃ）） 「 ［図：0001393044000011.jpg］ 」 （【図２】（Ｂ）（Ｃ）） ｂ 甲第８号証に記載された技術的事項 甲第８号証には、上記各記載からみて、以下の技術的事項（以下「甲第８号証に記載された技術的事項」という。）が記載されていると認められる。 「第３のブラスト処理を、９０°未満好ましくは０°以上８０°以下の傾斜した入射角で金型表面に対し、噴射して行うこと。」 そして、甲第８号証に記載された技術的事項における「第３のブラスト処理」は本件発明１の「第２のブラスト加工」に対応し、以下同様に、「９０°未満好ましくは０°以上８０°以下の傾斜した入射角」は「所定の傾斜した角度」に、「金型表面」は「被処理成品の表面上の各部」に、それぞれ対応することから、甲第８号証に記載された技術的事項を本件発明１の用語を用いて記載すると以下のようになると認められる。 「第２のブラスト加工を、所定の傾斜した角度で被処理成品の表面上の各部に対し、噴射して行うこと。」 （イ） 甲第９号証の記載事項及び甲第９号証に記載された技術的事項 ａ 甲第９号証の記載事項 甲第９号証には以下のような記載がある。 「【請求項２】 前記第一の研磨工程が、前記第一の研磨粒子を略９０°の角度で被研磨物表面に衝突させることを特徴とする請求項１記載の転動摺動装置部材の研磨方法。 【請求項３】 前記第二の研磨工程が、前記被研磨物の表面に対して前記第二の研磨粒子を０°以上９０°以下の角度で衝突させることを特徴とする請求項１又は２記載の転動摺動装置部材の研磨方法。」 「【００１１】 ここで、前記硬質な微粒子とは、被研磨物よりも硬度が高い微粒子であることを示し、具体的には、ビッカース硬度計で測定したときに、ＨＶ８００以上（ＨＶ８００～ＨＶ６０００）である微粒子をいう。 本発明の請求項２に係る発明は、請求項１記載の転動摺動装置部材の研磨方法であって、前記第一の研磨工程が、前記第一の研磨粒子を略９０°の角度で被研磨物表面に衝突させることを特徴とする。このように、第一の研磨粒子を被研磨物表面に衝突させる角度を略９０°とすることにより、油溜まりを深く形成することができる。 【００１２】 本発明の請求項３に係る発明は、請求項１又は２記載の転動摺動装置部材の研磨方法であって、前記第二の研磨工程が、前記被研磨物の表面に対して前記第二の研磨粒子を０°以上９０°以下の角度で衝突させることを特徴とする。 このように、弾性体からなり且つ砥粒を含有する第二の研磨粒子を前記被研磨物の表面に対して０°以上９０°以下の角度で衝突させるので、前記被研磨物の表面を鏡面状とすることができる。」 「【００２５】 また、第一の研磨粒子２ａ及び第二の研磨粒子２ｂの粒度の測定方法としては、ＪＩＳ Ｒ６００１による電気抵抗法が挙げられる。第一の研磨粒子２ａ及び第二の研磨粒子２ｂの平均粒径の測定方法としては、ＪＩＳ Ｒ６００１による電気抵抗法が挙げられる。 第一の研磨工程においては、転動体１の表面に対して第一の研磨粒子２ａを略９０°で投射することが好ましい。 【００２６】 第二の研磨工程において、転動体１の表面１Ｉに対して第二の研磨粒子２ｂを投射する角度は、０°以上９０°以下が好ましく、４５°以下がより好ましく、２０°以下が更に好ましい。上記範囲において、投射角度が小さいほど、投射される第二の研磨粒子２ｂが転動体１の表面１ａを滑走する距離が長くなり、研磨効率が向上する。 このように、第一の研磨工程において、第一の研磨粒子２ａを転動体１の表面に対して略９０°で投射することにより、油溜まりを転動体１の表面に深く形成することができる。また、第二の研磨工程において、第二の研磨粒子２ｂを用いることによって、第一の研磨工程において形成された油溜まりを維持したまま、表面を平滑化し、接触対象への損傷を低減した表面性状を形成することができる。」 「 ［図：0001393044000012.jpg］ 」（【表３】） 「 ［図：0001393044000013.jpg］ 」（【図１】） ｂ 甲第９号証に記載された技術的事項 甲第９号証には、上記各記載からみて、以下の技術的事項（以下「甲第９号証に記載された技術的事項」という。）が記載されていると認められる。 「第二の研磨工程を、０°以上９０°以下より好ましくは４５°以下更に好ましくは２０°以下の角度で転動体１の表面１１に対し、投射して行うこと。」 そして、甲第９号証に記載された技術的事項における「第二の研磨工程」は本件発明１の「第２のブラスト加工」に対応し、以下同様に、「０°以上９０°以下より好ましくは４５°以下更に好ましくは２０°以下の角度」は「所定の傾斜した角度」に、「転動体１の表面１１」は「被処理成品の表面上の各部」に、「投射」は「噴射」に、それぞれ対応することから、甲第９号証に記載された技術的事項を本件発明１の用語を用いて記載すると以下のようになると認められる。 「第２のブラスト加工を、所定の傾斜した角度で被処理成品の表面上の各部に対し、噴射して行うこと。」 （ウ） 甲第１０号証の記載事項及び甲第１０号証に記載された技術的事項 ａ 甲第１０号証の記載事項 甲第１０号証には以下のような記載がある。 「【０００１】 【発明の属する技術分野】本発明は粉粒体噴射加工方法および加工装置に係り、とくに粉粒体を気体とともに固気２相流としてノズルから被加工物に対して噴射して被加工物の加工を行なうようにした粉粒体噴射加工方法および加工装置に関する。」 「【０００２】 【従来の技術】研磨材を含んだ高圧空気の固気２相流をノズルから被加工物の表面に噴射し、高精度の溝状あるいは円筒状等の各種の形状の盲穴あるいは貫通穴等の穴部を研削加工する方法および装置が知られている。 【０００３】このような加工においては、高圧空気の流れに研磨材を吸込み、図１５に示すような丸形のノズル１の噴射口からワーク２に噴射するようにしたものである。ここでワーク２の表面には例えばレジスト３を縞状に形成しておき、レジスト３が形成されていない部分に加工溝４を形成する。ここでワーク２をレジスト３の縞の方向と直交する方向にゆっくり移動させるとともに、ノズル１をレジスト３の縞の方向に往復運動させるようにしている。」 「【０００５】 【発明が解決しようとする課題】図１５に示すような円形のノズル１による加工の場合は、図１６に示すようにノズル１から出た研磨材がノズル１の軸線に対して３６０度広がってワーク２の表面に衝突する。そしてレジスト３の側面や加工溝４の側面に図１７に示すように斜めの方向から広がりながら衝突することになり、このようにして研磨材は加工溝４の側面を研磨した後に跳返って加工溝４の中心に当り、この部分をも研削した後に加工溝４に沿ってその長さ方向に流れることになる。このためにガラスやセラミックの場合には、加工溝４が図１７に示すようにその断面が曲面状に加工される欠点があった。このような欠点によって、プリンタ用ヘッドのインクの流路のように、溝の断面形状が矩形を必要とする場合には不適当であるという問題があった。」 「【０００７】ここで丸いノズル1によって３６０度広がって噴射される研磨材は、低融点ガラスペースト６の加工溝４の側面に衝突して研磨し、跳返って溝４の底に当って溝４に沿って流動する。硬度が高い基盤５は加工されないために、溝４の底部に基盤５が露出するとそれ以上深くならない。この結果加工溝４の側面がえぐられてリブ形状になり、リブ強度の低下をもたらす。またプラズマディスプレイパネルに用いた場合には、その輝度の低下を招来する問題がある。」 「【００４６】図１１はノズル１２の研磨材加速室５６の傾きθ（図３参照）と等しい研磨材の噴射角度θと被加工物１１の加工溝６３のテーパ角度βとの関係を示したものである。被加工物１１の加工溝６３のテーパ角度βが０になるのは、ソーダガラスの場合で噴射角度θが３０度のときで、ＰＺＴセラミックスの場合で噴射角度θが１０度で、ＰＤＰリブ加工の場合で噴射角度θが５度である。ＰＺＴセラミックスはソーダガラスに比べて加工速度が約３倍速い。加工され易い材料は、小さい噴射角度θで被加工物の溝６３のテーパ角度βをほぼ０にすることができる。このためにノズル加工室の傾きθは５～３０度の範囲が適当と言える。」 「 ［図：0001393044000014.jpg］ 」（【図１１】） 「 ［図：0001393044000015.jpg］ 」（【図１５】） 「 ［図：0001393044000016.jpg］ 」（【図１６】） 「 ［図：0001393044000017.jpg］ 」（【図１７】） 「 ［図：0001393044000018.jpg］ 」（【図２１】） ｂ 甲第１０号証に記載された技術的事項 甲第１０号証には、上記各記載からみて、以下の技術的事項（以下「甲第１０号証に記載された技術的事項」という。）が記載されていると認められる。 「粉粒体噴射加工を、斜めの方向からワーク２の表面に対し、平面図において３６０度広がって噴射して行うこと。」 そして、甲第１０号証に記載された技術的事項における「粉粒体噴射加工」は本件発明１の「第１のブラスト加工」に対応し、以下同様に、「斜めの方向」は「所定の傾斜した角度」に、「ワーク２の表面」は「被処理成品の表面上の各部」に、「平面図において」は「平面視において」に、「３６０度広がって」は「少なくとも４方向より」に、それぞれ対応することから、甲第１０号証に記載された技術的事項を本件発明１の用語を用いて記載すると以下のようになると認められる。 「第１のブラスト加工を、所定の傾斜した角度で被処理成品の表面上の各部に対し、平面視において少なくとも４方向より噴射して行うこと。」 （エ） 甲第１１号証の記載事項及び甲第１１号証に記載された技術的事項 ａ 甲第１１号証の記載事項 甲第１１号証には以下のような記載がある。 「【要約】 【課題】ブラスト加工により被加工物の加工面を研磨することが可能であると共に，長時間又は複数回にわたっての使用に耐えることが可能な研磨材及び該研磨材を用いたプラスト加工方法を提供する。」 「【請求項６】 前記入射角が０～９０°であることを特徴とする請求項５記載のプラスト加工方法。」 「【００２９】 さらに，前記本発明のブラスト加工方法は，前記本発明の研磨材を，被加工物の加工表面に対して所定角度に傾斜した入射角で噴射あるいは投射することを特徴とする（請求項５）。前記入射角は０～９０°であり，好ましくは０～７０°，より好ましくは０～６０°，一例としては４５° とすることができる（請求項６）。」 「【００４０】 特に，前記入射角を０～７０°の範囲とすることにより，前記加工表面に衝突した前記研磨材が反跳することを防止して，該加工表面上を良好に滑走させることができるため，前記加工表面に梨地状の凹凸が形成されるのを抑制しつつ，前記加工表面を研磨，切削するといった所望のブラスト加工をよリー層好適に行なうことができる。」 「【００４３】 研磨材 本発明の研磨材は，母材となる弾性体に研削能力を有する砥粒を分散して成り，前記母材の弾性力を利用して，前記研磨材が被加工物の加工表面に衝突した際に該加工表面に打痕が形成されるのを好適に防止することを可能とするほか，前記研磨材における砥粒の含有率を所定範囲内として該研磨材の反発弾性率を抑えることにより，前記加工表面に衝突した前記研磨材が前述する母体の弾性力によって反跳するのを防止できるものであり、前記加工表面との衝突時に発生する衝撃を吸収しつつ該加工表面を滑走させて，前記加工表面に梨地状の凹凸が形成されることを防ぎつつ研磨や切削等のプラスト加工を施すことを可能とするものである。」 ｂ 甲第１１号証に記載された技術的事項 甲第１１号証には、上記各記載からみて、以下の技術的事項（以下「甲第１１号証に記載された技術的事項」という。）が記載されていると認められる。 「ブラスト加工を、０～９０°の入射角で被加工物の加工表面に対し、噴射あるいは投射して行うこと。」 そして、甲第１１号証に記載された技術的事項における「ブラスト加工」は本件発明１の「第２のブラスト加工」に対応し、以下同様に、「０～９０°の入射角」は「所定の傾斜した角度」に、「被加工物の加工表面」は「被処理成品の表面上の各部」に、「噴射あるいは投射」は「噴射」に、それぞれ対応することから、甲第１１号証に記載された技術的事項を本件発明１の用語を用いて記載すると以下のようになると認められる。 「第２のブラスト加工を、所定の傾斜した角度で被処理成品の表面上の各部に対し噴射して行うこと。」 （オ） 甲第１２号証の記載事項及び甲第１２号証に記載された技術的事項 ａ 甲第１２号証の記載事項 甲第１２号証には以下のような記載がある。 「【００７９】 弾性研磨材２０の噴射は，図４に示すように前記被加工物１０（基板１０’）の側部上の一点を加工点Ｐとし，前記加工点Ｐを通る前記被加工物の幅方向線Ｗと，前記幅方向線Ｗと直交し，前記加工点Ｐで前記基板１０’の側部（側面）と接する接触線Ｔを想定し，前記加工点Ｐで前記幅方向線Wと交叉し，前記接触線Ｔに対し所定の傾斜角θを成す噴射方向Ｄで，前記加工点Ｐを中心とした所定の加工領域Ｆに対して前記弾性研磨材の噴射を行うと共に，前記加工領域Ｆが前記被加工物の周縁上で周方向〔図４（Ａ），（Ｂ）中の矢印参照〕に一定の速度で移動すると共に，移動した各位置における加工点Ｐ’において前記噴射方向Ｄが前記傾斜角θに維持されるよう，前記噴射ノズル３０と前記被加工物１０（基板１０’）とを相対的に移動させる。 【００８０】 噴射方向Ｄと幅方向線Ｗとの交叉角は，図示の実施形態にあっては直角（９０°）としているが，この交叉角ｒは，０～９０°の範囲で傾斜させても良い。 【００８１】 前記相対移動は，ノズル３０を移動させても良く，基板１０１を移動させても良く，更には双方共に移動させても良い。 【００８２】 傾斜角θは，これを小さくすればする程，弾性研磨材２０が被加工物１０（基板１０’）の側面を滑走し易くなるが，あまり小さくし過ぎると切削性が低下する一方，これを大きくし過ぎると弾性研磨材２０が被加工物１０（基板１０’）の側面上を滑走し難くなり，衝突時の衝撃が十分に吸収されずに被加工物１０の側面に凹凸が形成されて必要な平滑性が得られない。このことから，傾斜角θは２～６０°，好ましくは５～３０°の範囲とする。 【００８３】 また，被加工物１０と噴射ノズル３０の相対移動は，前述の加工領域Ｆ（加工点Ｐ）が３～１０００ｍｍ／ｓｅｃ程度で被加工物１０の周方向に移動するよう行う。 【００８４】 なお，被加工物１０が，図１を参照して説明したように，複数枚の基板１０’を重ねたものである場合には，図５に示すように加工を，被加工物１０の周方向（接触線Ｔの長手方向）のみならず，幅方向（幅方向線Ｗの長手方向）に対しても所定の速度で徐々に移動させ，前述した加工領域Ｆ（加工点Ｐ）の移動軌跡が，被加工物の外周上で螺旋を描くように移動させる。 【００８５】 〔作用等〕 以上のようにして被加工物１０の側部に対して圧縮空気と共に弾性研磨材２０を噴射すると，噴射された弾性研磨材２０は被加工物１０（基板１０’）の側面に対して衝突するが，衝突時の衝撃は，弾性研磨材２０の母材２１が変形することにより吸収されるため，基板１０’に対しては大きな衝撃は加わらない。 【００８６】 また，このようにして弾性研磨材２０は，衝突時の衝撃を変形によって吸収すると共に，前述したように所定の傾斜角θに傾斜させた噴射方向Ｄで噴射されていることとも相挨って，基板１０’の側面上での跳躍が抑制されることから，基板１０’の側面表面に沿って基板１０’の周方向に滑動すると共に，この滑動の際に弾性研磨材２０の母材２１中に分散し，又は母材２１表面に付着させた砥粒２２が切削力を発揮して，基板１０’の側面における表面粗さが改善される。」 「【００９６】 なお，使用したノズルの先端部内径は，直径５ｍｍであり，図４，５に示す投射角θを２０°とし，更に，ノズルの先端から被加工物の表面迄の距離を５０ｍｍとした。 ・・・ 【０１００】 すなわち，弾性研磨材では，図６に示すように被加工物の表面に対して着地（衝突）した際に変形することで，衝突エネルギーが局部集中し難い構成となっているが，これを高い噴射圧力で噴射すると衝突エネルギーが局部的に集中して衝突部位が選択的に加工される結果，平滑面が得にくくなるためであり，噴射圧力は、このように表面粗さの調整に使用できる。また研磨材の粒径を小さくすることにより衝突エネルギーを小さくして最終仕上げ面にすることもできる。」 「 ［図：0001393044000019.jpg］ 」（【図４】） 「 ［図：0001393044000020.jpg］ 」（【図５】） 「 ［図：0001393044000021.jpg］ 」（【図６】） ｂ 甲第１２号証に記載された技術的事項 甲第１２号証には、上記各記載からみて、以下の技術的事項（以下「甲第１２号証に記載された技術的事項」という。）が記載されていると認められる。 「弾性研磨材２０の噴射を、２～６０°の傾斜角θで被加工物１０の表面に対し、略円盤状の被加工物１０の平面に直交する方向からみて周方向に全ての方向より噴射して行うこと。」 そして、甲第１２号証に記載された技術的事項における「弾性研磨材２０の噴射」は本件発明１の「第２のブラスト加工」に対応し、以下同様に、「２～６０°の傾斜角θ」は「所定の傾斜した角度」に、「被加工物１０の表面」は「被処理成品の表面上の各部」に、「全ての方向」は「少なくとも４方向」という限りにおいて「少なくとも４方向」に、それぞれ対応することから、甲第１２号証に記載された技術的事項を本件発明１の用語を用いて記載すると以下のようになると認められる。 「第２のブラスト加工を、所定の傾斜した角度で被処理成品の表面上の各部に対し、少なくとも４方向より噴射して行うこと。」 （カ） 相違点２の容易想到性 引用発明及び甲第８号証－甲第１２号証のそれぞれに記載された技術的事項に基いて、相違点２に係る本件発明１の発明特定事項に容易に想到し得るかについて、以下に個々に検討する。 ａ 引用発明及び甲第８号証に記載された技術的事項に基づく容易想到性 （ａ） 甲第８号証に記載された技術的事項 甲第８号証に記載された技術的事項は、上記（ア）ｂのとおり、相違点２に係る本件発明１の発明特定事項のうち、「第２ブラスト加工」を「平面視において少なくとも４方向より噴射して行う」ものに対応する事項を備えるものではない。 （ｂ） 容易想到性 そうすると、引用発明に甲第８号証に記載された技術的事項を採用したとしても、相違点２に係る本件発明１の発明特定事項に至るものではないことから、相違点２に係る本件発明１の発明特定事項は、引用発明及び甲第８号証に記載された技術的事項に基いて、当業者が容易に想到し得るものであるとはいえない。 ｂ 引用発明及び甲第９号証に記載された技術的事項に基づく容易想到性 （ａ） 甲第９号証に記載された技術的事項 甲第９号証に記載された技術的事項は、上記（イ）ｂのとおり、相違点２に係る本件発明１の発明特定事項のうち、「第２ブラスト加工」を「平面視において少なくとも４方向より噴射して行う」ものに対応する事項を備えるものではない。 （ｂ） 容易想到性 そうすると、引用発明に甲第９号証に記載された技術的事項を採用したとしても、相違点２に係る本件発明１の発明特定事項に至るものではないことから、相違点２に係る本件発明１の発明特定事項は、引用発明及び甲第９号証に記載された技術的事項に基いて、当業者が容易に想到し得るものであるとはいえない。 ｃ 引用発明及び甲第１０号証に記載された技術的事項に基づく容易想到性 （ａ） 甲第１０号証に記載された技術的事項 甲第１０号証に記載された粉粒体噴射加工は、上記（ウ）ｂのとおり、「第１ブラスト加工」を「所定の傾斜した角度で被処理成品の表面上の各部に対し、平面視において少なくとも４方向より噴射して行う」ものではあると認められる。 （ｂ） 容易想到性 そうすると、引用発明の「ソフトブラスト加工法」（第２ブラスト加工）に対して、甲第１０号証に記載された「粉粒体噴射加工」（第１ブラスト加工）における噴射の態様は、異なる加工における研磨材の噴射に係る態様であり、採用する動機があるとは認められない。 したがって、相違点２に係る本件発明１の発明特定事項は、引用発明及び甲第１０号証に記載された技術的事項に基いて、当業者が容易に想到し得るものであるとはいえない。 ｄ 引用発明及び甲第１１号証に記載された技術的事項に基づく容易想到性 （ａ） 甲第１１号証に記載された技術的事項 甲第１１号証に記載された技術的事項は、上記（エ）ｂのとおり、相違点２に係る本件発明１の発明特定事項のうち、「第２ブラスト加工」を「平面視において少なくとも４方向より噴射して行う」ものに対応する事項を備えるものではない。 （ｂ） 容易想到性 そうすると、引用発明に甲第１１号証に記載された技術的事項を採用したとしても、相違点２に係る本件発明１の発明特定事項に至るものではないことから、相違点２に係る本件発明１の発明特定事項は、引用発明及び甲第１１号証に記載された技術的事項に基いて、当業者が容易に想到し得るものであるとはいえない。 ｅ 引用発明及び甲第１２号証に記載された技術的事項に基づく容易想到性 （ａ） 引用発明における軟質砥粒を使用したソフトブラスト加工法 上記ア（オ）ｃ（ａ）のとおりである。 （ｂ） 甲第１２号証に記載された技術的事項 甲第１２号証に記載された弾性研磨材２０の噴射は、上記（オ）ａの各記載からみて、 「被加工物１０」は「略円盤状」であり、回転させながら側部（側面）に弾性研磨材２０を噴射するものであると認められる。 また、甲第１２号証に記載された技術的事項は、上記（オ）ｂのとおり、相違点２に係る本件発明１の発明特定事項のうち、「第２ブラスト加工」を「平面視において少なくとも４方向より噴射して行う」ものに対応する事項を備えるものではない。 （ｃ） 容易想到性 そうすると、「被処理成品」である「誘電体」が「平らな円盤形状」である引用発明に対して、「被処理成品」である「被加工物１０」が「略円盤状」ではあるものの回転させながら側部（側面）に弾性研磨材２０を噴射する甲第１２号証に記載された弾性研磨材２０の噴射は、被処理成品を回転させながらという保持態様が大きく異なる上、さらに「側部（側面）に」という噴射部位も大きく異なるから、引用発明に甲第１２号証に記載された技術的事項を採用する動機があるとは認められない。 また、甲第１２号証に記載された技術的事項には、「平面視において少なくとも４方向より噴射して行う」ことが示されていないことから、仮に、引用発明に甲第１２号証に記載された技術的事項を採用したとしても、相違点２に係る本件発明１の発明特定事項に至るものではなく、相違点２に係る本件発明１の発明特定事項は、引用発明及び甲第１２号証に記載された技術的事項に基いて、当業者が容易に想到し得るものであるとはいえない。 したがって、相違点２に係る本件発明１の発明特定事項は、引用発明及び甲第１２号証に記載された技術的事項に基いて、当業者が容易に想到し得るものであるとはいえない。 （６） 小活 よって、相違点１及び３について検討するまでもなく、本件発明１は、引用発明及び甲第５号証－甲第７号証に記載された技術的事項に基いて、また、引用発明及び甲第８号証－甲第１２号証に記載された技術的事項に基いて、当業者が容易に発明をすることができたものではない。 ２ 本件発明２及び３について 本件発明２は、本件発明１である請求項１に係る発明の発明特定事項を全て含み、さらに、「第１のブラスト加工」及び「第２のブラスト加工」に関する特定事項を追加したものであるから、本件発明２は、本件発明１と同様に、引用発明及び甲第５号証－甲第１２号証に記載された技術的事項に基いて、当業者が容易に発明をすることができたものではない。 また、本件発明３は、本件発明１である請求項１に係る発明の発明特定事項又は本件発明２である請求項２に係る発明の発明特定事項を全て含み、さらに、「被処理成品」に関する特定事項を追加したものであるから、本件発明３は、本件発明１及び２と同様に、引用発明及び甲第５号証－甲第１２号証に記載された技術的事項に基いて、当業者が容易に発明をすることができたものではない。 第６ 当審が取消理由通知（決定の予告）で採用しなかった特許異議申立理由についての判断 １ 特許法第３６条第６項第１号の理由 （１） 理由の概要 ア 訂正前の請求項１に記載された「半径Ｒ１０μｍ以上の丸み付け」は半径の上限値を特定しておらず、元の凹凸形状を維持しながら研磨できない数値を含んでいることは明らかであるため、訂正前の請求項１及び当該請求項１を引用する訂正前の請求項２－３に係る特許は、発明の詳細な説明において「発明の課題が解決できることを当業者が 認識できるように記載された範囲」を超えるものである。 イ 実施例において半径の数値は２点のみ開示されているのに対し、訂正前の請求項１に記載された「半径Ｒ１０μｍ以上」の全範囲において発明の課題を解決できるのか不明であるため、訂正前の請求項１及び当該請求項１を引用する訂正前の請求項２－３に係る特許は、発明の詳細な説明において「発明の課題が解決できることを当業者が認識できるように記載された範囲」を超えるものである。 ウ よって、訂正前の請求項１－３に係る特許は、特許請求の範囲の記載に不備があるため、特許法第３６条第６項第１号の規定する要件を満たしていない特許出願に対してされたものであり、取り消されるべきものである。（特許異議申立書第６ページ第６行－第７ページ第１５行） （２） 当審の判断 ア 上記（１）ア（半径Ｒの上限値の特定がない点）について （ア） 発明が解決しようとする課題について 本件特許発明が解決しようとする課題について、発明の詳細な説明には、次のような記載がある。 ａ 段落【００２６】において、「被処理製品の表面に付与された凹凸形状を維持しつつ、該凹凸の凸部の上面，側面，及び凹部の底面等の表面全体を研磨することのできる硬質脆性材料製の被処理製品の表面加工方法を提供すること」を目的（課題）とする旨が記載されている。 ｂ そして、かかる「凹凸形状を維持」することについて、上記段落に対して先行して記載されている段落【００２４】において、「特許文献６には、・・・第３ブラスト処理は、第２ブラスト処理によって形成された凹凸の山頂部を削り落として平坦にするために行うものであり、第２ブラストによって形成された凹凸形状を維持したまま、凸部の側面や凹部の底面を研磨するものではない。」と記載されている。 そうすると、段落【００２６】における「凹凸形状を維持」するというのは、少なくとも段落【００２４】に記載された従来技術（特許文献６）のような「山頂部を削り落として平坦にする」ことがないようにすることを意味すると理解することができ、本件特許発明が解決しようとする課題は、このような理解のもとで、段落【００２６】に記載されたものと認められる。 （イ） 本件発明１について ａ 本件発明１の理解 本件発明１では、訂正前の請求項１の「前記凸部の上面の端部に形成されたエッジに半径Ｒ１０μｍ以上の丸み付けを行う」を「前記各凸部の上面の端部に形成されたエッジに元の半径Ｒよりも大きい半径Ｒ１０μｍ以上の丸み付けを行う」に訂正している。 そして、本件発明１における「前記第１のブラスト加工によって形成した前記凹凸形状を維持したまま、・・・研磨すると共に、前記各凸部の上面の端部に形成されたエッジに元の半径Ｒよりも大きい半径Ｒ１０μｍ以上の丸み付けを行う」という事項は、「山頂部を削り落として平坦にする」ことがないようにするような程度を意味すると理解される「凹凸形状を維持したまま」であって、その「維持」された「凹凸形状」のうちの「各凸部の上面の端部に形成されたエッジ」に「丸み付けを行う」程度が、「元の半径Ｒよりも大きい半径Ｒ１０μｍ以上」、すなわち、「元の半径Ｒよりも大きい半径Ｒ」となり「半径Ｒ１０μｍ以上」のような数値範囲に至ればよいことを特定しているものと認められる。 ｂ 課題を解決できることを当業者が認識できるように記載された範囲であること 上記ａからすると、本件発明１では、上記（ア）の課題を解決できる範囲のものが特定されると認められ、本件発明１における各特定事項のうち「半径Ｒ」の数値範囲の上限値が特定されていないことだけをもって、「元の半径Ｒよりも大きい半径Ｒ」として「各凸部」の「エッジ」に「丸み付けを行う」のを超えて凹凸形状が維持されない程度をも含むものとまで解するべきものではないから、発明の詳細な説明において「発明の課題が解決できることを当業者が認識できるように記載された範囲」を超えるものとまではいえない。 また、かかる「各凸部」の「エッジ」に「丸み付けを行う」ことは、発明が解決しようとする課題の前提となる、段落【０００９】に記載された「パーティクルの発生を抑制するために、誘電体層１３の基板吸着面は、・・・研磨によってエッジｅを丸めておくことが好ましい。」とされる処理を施すことに対応するものであり、このようなことは特許請求の範囲の請求項１の記載から当業者が認識できるものと認められる。 イ 上記（１）イ（半径Ｒの数値は２点のみ開示の点）について （ア） 発明が解決しようとする課題について 上記ア（ア）と同様である。 （イ） 本件発明１について ａ 本件発明１の理解 上記ア（イ）ａと同様である。 ｂ 課題を解決できることを当業者が認識できるように記載された範囲であること 上記ａからすると、本件発明１では、上記（ア）の課題を解決できる範囲のものが特定されると認められる。 したがって、発明の詳細な説明において、本件発明１における各特定事項のうち「半径Ｒ」の数値範囲に含まれる具体的な数値の例として２点のみが開示されていることだけをもって、本件発明１が「発明の課題が解決できることを当業者が認識できるように記載された範囲」を超えるものとまではいえない。 ウ 小括 以上のとおり、本件発明１－３に係る発明は、発明の詳細な説明に記載されたものであるから、特許法第３６条第６項第１号に係る特許異議申立理由により本件発明１－３に係る特許を取り消すことはできない。 ２ 特許法第３６条第６項第２号の理由 （１） 理由の概要 ア 訂正前の請求項１の「前記凸部」は「多数の凸部」の全て、あるいは、そのうちの１つのいずれを指すのかが不明であるため、訂正前の請求項１及び当該請求項１を引用する訂正前の請求項２－３に係る発明は明確でない。 イ 訂正前の請求項１に記載された「前記凹凸形状を維持したまま」の形状の維持の程度や「半径Ｒ１０μｍ以上の丸み付けを行う」ことによる形状の変化の程度が不明であるため、元の凹凸形状がどの程度まで変化することを許容しているのかが不明であり、訂正前の請求項１及び当該請求項１を引用する訂正前の請求項２－３に係る発明は明確でない。 ウ よって、訂正前の請求項１－３に係る特許は、特許請求の範囲の記載に不備があるため、特許法第３６条第６項第２号の規定する要件を満たしていない特許出願に対してされたものであり、取り消されるべきものである。（特許異議申立書第７ページ第１６行－第８ページ第１１行） （２） 当審の判断 ア 上記（１）ア（「前記凸部」が指す「多数の凸部」が不明の点）について 本件発明１では、訂正前の請求項１の「前記凸部」を「前記各凸部」に訂正しており、これにより、該「前記各凸部」は、「多数の凸部」を構成する「各凸部」、すなわち、「多数の凸部」の全てを指すものであることが明確に理解できる。 イ 上記（１）イ（「前記凹凸形状を維持」する程度が不明の点）について （ア） 発明が解決しようとする課題における「凹凸形状を維持」が意味する程度について 上記１（２）ア（ア）において説示したのと同様に、発明の詳細な説明の【発明が解決しようとする課題】欄の「段落【００２６】における「凹凸形状を維持」するというのは、少なくとも段落【００２４】に記載された従来技術（特許文献６）のような「山頂部を削り落として平坦にする」ことがないようにすることを意味すると理解することができ、本件発明が解決しようとする課題は、このような理解のもとで、段落【００２６】に記載されたものと認められる。」 （イ） 本件発明１における「前記凹凸形状を維持したまま」の形状の維持の程度や「半径Ｒ１０μｍ以上の丸み付けを行う」ことによる形状の変化の程度について ａ 本件発明１の理解 上記（ア）の課題を解決するための手段である本件発明１の理解は、上記１（２）ア（イ）ａにおいて説示したのと同様である。 すなわち、本件発明１では、訂正前の請求項１の「前記凸部の上面の端部に形成されたエッジに半径Ｒ１０μｍ以上の丸み付けを行う」を「前記各凸部の上面の端部に形成されたエッジに元の半径Ｒよりも大きい半径Ｒ１０μｍ以上の丸み付けを行う」に訂正している。 そして、本件発明１における「前記第１のブラスト加工によって形成した前記凹凸形状を維持したまま、・・・研磨すると共に、前記各凸部の上面の端部に形成されたエッジに元の半径Ｒよりも大きい半径Ｒ１０μｍ以上の丸み付けを行う」という事項は、「山頂部を削り落として平坦にする」ことがない程度を意味すると理解される「凹凸形状を維持したまま」であって、その「維持」された「凹凸形状」のうちの「各凸部の上面の端部に形成されたエッジ」に「丸み付けを行う」程度が、「元の半径Ｒよりも大きい半径Ｒ１０μｍ以上」、すなわち、「元の半径Ｒよりも大きい半径Ｒ」となり「半径Ｒ１０μｍ以上」のような数値範囲に至ればよいことを特定しているものと認められる。 ｂ 本件発明１の明確性 上記ａのように明確に理解されることから、本件発明１は明確である。 ウ 小括 以上のとおり、本件発明１－３は明確であるから、特許法第３６条第６項第２号に係る特許異議申立理由により本件発明１－３に係る特許を取り消すことはできない。 第７ 特許異議申立人による令和３年１１月１１日提出の意見書における主張及び令和４年４月１９日提出の回答書における主張について １ 令和３年１１月１１日提出の意見書における主張について （１） 取消理由通知書（決定の予告）により通知された取消理由（進歩性欠如の取消理由）が解消していないとの主張について（意見書の４「意見の内容」４－２） 当審では、特許異議申立人の上記主張に対して、意見書に添付された甲第５号証－甲第７号証に記載された技術的事項（上記第５の１（５）ア）も含めて本件発明の進歩性について検討し、その判断は上記第５に記載したとおりである。 （２） 訂正後の請求項１－３の記載は不明確であるとの主張について（意見書の４「意見の内容」４－３） ア 特許異議申立人の主張の概要 特許異議申立人は、令和３年１１月１１日提出の意見書において、本件発明１は、「平面視において少なくとも４方向より噴射して行うこと」という発明特定事項を含み、「「少なくとも４方向」がどのような関係にあるものまでが本件訂正発明の範囲に含まれるのか」、また、「被加工物表面に対する入射角がどの範囲のものまでが本件訂正発明の範囲に含まれるのか」について不明であるから、本件発明１－３は不明確であり、特許法第３６条第６項第２号に規定される要件（明確性要件）を満たしていない旨主張している。 イ 上記アの主張の検討 しかしながら、本件発明１の発明特定事項における「少なくとも４方向」については、噴射する方向の数の下限値を特定するものであって、各方向の関係まで特定しないとその方向の数が明確でないとまではいえない。 また、「入射角」についても、本件発明１において「所定の傾斜角度で」と特定されており、具体的な数値範囲までは特許請求の範囲の記載として必ずしも必要とされるものであるとはいえない。 したがって、本件発明１は明確であり、特許法第３６条第６項第２号に規定される要件（明確性要件）を満たしているものである。 ２ 令和４年４月１９日提出の回答書における主張について 当審では、回答書に添付された甲第８号証－甲第１２号証に記載された技術的事項（上記第５の１（５）イ）も含めて本件特許発明の進歩性について検討し、その判断は上記第５に記載したとおりである。 第８ むすび 以上のとおりであるから、本件発明１－３は、取消理由通知書（決定の予告）にて通知した取消理由及び特許異議申立書に記載した異議申立理由によっては、請求項１－３に係る特許を取り消すことはできない。 また、他に請求項１－３に係る特許を取り消すべき理由を発見しない。 よって、結論のとおり決定する。