2020-700097

特許第６５６１８３１号発明「感光性エレメント、感光性エレメントロール、レジストパターンの製造方法及び電子部品」の特許異議申立事件について、次のとおり決定する。

結 論 特許第６５６１８３１号の特許請求の範囲を訂正請求書に添付された訂正特許請求の範囲のとおり、訂正後の請求項〔１－９〕について訂正することを認める。 特許第６５６１８３１号の請求項１ないし９に係る特許を取り消す。

理 由 第１ 手続等の経緯 特許第６５６１８３１号の請求項１～請求項９に係る特許（以下「本件特許」と総称する。）についての出願（特願２０１５－５１３７７１号）は、２０１４年（平成２６年）４月２２日（先の出願に基づく優先権主張 平成２５年４月２４日）を国際出願日とする出願であって、令和元年８月２日に特許権の設定の登録がされたものである。 本件特許について、令和元年８月２１日に特許掲載公報が発行されたところ、発行の日から６月以内である令和２年２月２１日に、本件特許のうち請求項１～請求項９に係る特許（以下、それぞれ「本件特許１」～「本件特許９」という。）に対して、特許異議申立人 井上 暁彦 及び 特許異議申立人 協明国際特許業務法人（以下、それぞれ「特許異議申立人１」及び「特許異議申立人２」といい、総称して「特許異議申立人」という。）から、特許異議の申立てがされた（異議２０２０－７０００９７号、以下「本件事件」という。）。 その後の手続等の概要は、以下のとおりである。 令和２年５月２０日付け：取消理由通知書 令和２年８月１１日付け：訂正請求書 令和２年８月１１日付け：意見書（特許権者） 令和２年９月３０日付け：意見書（特許異議申立人１） 令和２年９月３０日付け：意見書（特許異議申立人２） 令和３年２月１８日付け：取消理由通知書（決定の予告） 令和３年４月３０日付け：訂正請求書 令和３年４月３０日付け：意見書（特許権者） 令和３年７月１２日付け：意見書（特許異議申立人１） 令和３年７月１５日付け：意見書（特許異議申立人２） なお、令和２年８月１１日付け訂正請求書による訂正の請求は、特許法１２０条の５第７項の規定により、取り下げられたものとみなす。 第２ 本件訂正請求について 令和３年４月３０日付け訂正請求書（以下「本件訂正請求書」という。）による訂正の請求を、以下「本件訂正請求」という。 １ 訂正の趣旨 本件訂正請求の趣旨は、特許第６５６１８３１号の特許請求の範囲を、本件訂正請求書に添付した訂正特許請求の範囲のとおり、訂正後の請求項１～９について訂正することを求める、というものである。なお、本件訂正後の一群の請求項は、請求項１～９である。 ２ 訂正の内容 本件訂正請求による訂正の内容は、以下の訂正事項を含むものである。なお、下線は訂正箇所を示す。 （１）訂正事項１ 特許請求の範囲の請求項１に、 「前記支持フィルム及びポリプロピレンフィルムと、前記支持フィルム及び前記ポリプロピレンフィルムの間に配置された感光層」と記載されているのを、 「前記支持フィルム及びポリプロピレンフィルムと、前記支持フィルム及び前記ポリプロピレンフィルムの間に配置された感光層（但し、メタクリル酸メチル／スチレン／メタクリル酸ベンジル／メタクリル酸共重合体（質量比：８／３０／３７／２５、質量平均分子量：６万）を含有する感光層、及び、メタクリル酸メチル／メタクリル酸共重合体（質量比：８０／２０、質量平均分子量：８万）を含有する感光層を除く）」に訂正する。 （上記除かれた感光層のうち、前者及び後者を、それぞれ「特定感光層１」及び「特定感光層２」といい、両者をまとめて「特定感光層」という。） （２）訂正事項２ 特許請求の範囲の請求項１に、 「前記ポリプロピレンフィルムが、前記感光層側の第１の面と、当該第１の面の反対側の第２の面と、を有し、」と記載されているのを、 「前記ポリプロピレンフィルムが、前記感光層側の第１の面と、当該第１の面の反対側の第２の面と、を有し、前記ポリプロピレンフィルムの厚さが１００μｍ以下であり、」に訂正する。 （３）訂正事項３ 特許請求の範囲の請求項１に、 「前記第１の面及び前記第２の面の算術平均粗さＲａが０．０５μｍ以下であり、」と記載されているのを、 「前記第１の面及び前記第２の面の算術平均粗さＲａが０．０５μｍ以下であり、前記第１の面及び前記第２の面の最大高さＲｍａｘが０．４μｍ以下であり、」に訂正する。 （４）訂正事項４ 特許請求の範囲の請求項１に、 「前記感光層の厚さが２０μｍ未満である、感光性エレメント。」と記載されているのを、 「前記算術平均粗さＲａ及び前記最大高さＲｍａｘが下記工程（ａ）～（ｅ）の手順により測定され、前記感光層の厚さが９μｍ以下である、感光性エレメント（但し、支持体（Ａ）、感光性樹脂層（Ｂ）及び保護層（Ｃ）からなる感光性樹脂積層体において、前記保護層（Ｃ）の膜厚が３０μｍ以上５０μｍであることを特徴とする感光性樹脂積層体を除く）。 （ａ）前記ポリプロピレンフィルムから５ｃｍ×１０ｃｍの測定サンプルを切り出す。 （ｂ）平坦なガラス基板（１０ｃｍ×１０ｃｍ）に水を１滴スポイトで垂らした後、気泡が入らないように前記測定サンプルをクリーンローラーで前記ガラス基板に圧着する。 （ｃ）前記測定サンプルの長手方向の両端を重石で固定し、前記測定サンプルにおける測定領域（２８４．１μｍ×２１３．１μｍの領域）を任意に１０箇所選択する。 （ｄ）形状測定レーザーマイクロスコープを用いて、対物レンズ５０倍で測定領域を観察すると共に、算術平均粗さＲａ及び最大高さＲｍａｘを測定した後、計１０箇所の平均値を算出する。 （ｅ）前記工程（ａ）～（ｄ）を繰り返して測定値を計３回取得し、繰り返し３回の平均値を前記算術平均粗さＲａ及び前記最大高さＲｍａｘとして採用する。」に訂正する。 （以下、上記除かれた感光性樹脂積層体を、「特定積層体」といい、上記測定手順（ａ）～（ｅ）を、まとめて「本件測定手順」という。） （５）訂正事項５ 特許請求の範囲の請求項２に、 「ポリプロピレンフィルムと、」と記載されているのを、 「ポリプロピレンフィルム（但し、厚さ１２μｍのポリプロピレンフィルム及び厚さ２０μｍのポリプロピレンフィルムを除く）と、」に訂正する。 （以下、上記除かれたポリプロピレンフィルムを、「特定ポリプロピレンフィルム」という。） （６）訂正事項６ 特許請求の範囲の請求項２に、 「前記感光層の厚さが２０μｍ未満である、感光性エレメント。」と記載されているのを、 「前記最大高さＲｍａｘが下記工程（ａ）～（ｅ）の手順により測定され、前記感光層の厚さが５μｍ以下である、感光性エレメント。 （ａ）前記ポリプロピレンフィルムから５ｃｍ×１０ｃｍの測定サンプルを切り出す。 （ｂ）平坦なガラス基板（１０ｃｍ×１０ｃｍ）に水を１滴スポイトで垂らした後、気泡が入らないように前記測定サンプルをクリーンローラーで前記ガラス基板に圧着する。 （ｃ）前記測定サンプルの長手方向の両端を重石で固定し、前記測定サンプルにおける測定領域（２８４．１μｍ×２１３．１μｍの領域）を任意に１０箇所選択する。 （ｄ）形状測定レーザーマイクロスコープを用いて、対物レンズ５０倍で測定領域を観察すると共に、最大高さＲｍａｘを測定した後、計１０箇所の平均値を算出する。 （ｅ）前記工程（ａ）～（ｄ）を繰り返して測定値を計３回取得し、繰り返し３回の平均値を前記最大高さＲｍａｘとして採用する。」に訂正する。 （７）訂正事項７ 特許請求の範囲の請求項３に、 「前記感光層の厚さが１０μｍ以下である」と記載されているのを、 「前記感光層の厚さが５μｍ以下である」に訂正する。 （８）訂正事項８ 特許請求の範囲の請求項３に、 「請求項１又は２に記載の感光性エレメント。」と記載されているのを、 「請求項１に記載の感光性エレメント。」と訂正する。 なお、本件訂正請求は、一群の請求項〔１－９〕に対して請求されたものであって、訂正事項１～６に係る訂正により、請求項１又は請求項２を引用する請求項３～請求項９について、訂正事項７～８に係る訂正により、請求項３を引用する請求項４～請求項９について、それぞれ連動して訂正されることとなる。 ３ 訂正の許否判断 （１）訂正事項１ ア 訂正の目的 訂正事項１による訂正は、訂正前の請求項１に係る発明の「感光層」から、特定感光層１及び特定感光層２という特定の態様の感光層を除外する訂正である。 したがって、この訂正は、特許法１２０条の５第２項ただし書１号に掲げる事項（特許請求の範囲の減縮）を目的とするものである。 イ 新規事項 訂正事項１の訂正内容及び上記アに示した訂正の目的からみて、この訂正は、その発明の属する技術の分野における通常の知識を有する者（以下「当業者」という。）によって、願書に添付した明細書、特許請求の範囲及び図面の全ての記載を総合することにより導かれる技術的事項との関係において、新たな技術的事項を導入するものではない。 したがって、この訂正は、願書に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内でしたものである。 ウ 拡張又は変更 上記訂正内容からみて、この訂正により、訂正前の特許請求の範囲には含まれない発明が訂正後の特許請求の範囲に含まれることにならないことは明らかである。 したがって、この訂正は、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものには該当しない。 （２）訂正事項２ ア 訂正の目的 訂正事項２による訂正は、訂正前の請求項１に係る発明の「ポリプロピレンフィルム」の厚さについてその範囲を「１００μｍ以下」と限定するものである。 したがって、この訂正は、特許法１２０条の５第２項ただし書１号に掲げる事項（特許請求の範囲の減縮）を目的とするものである。 イ 新規事項 本件特許の明細書の【００６４】及び【００７０】には、それぞれ「保護フィルム３０は、ポリプロピレンフィルムである。」及び「保護フィルム３０の厚さは・・・中略・・・１００μｍ以下が好ましく、」と記載されている。訂正事項２による訂正は、これらの記載に基づくものである。 そうしてみると、この訂正は、当業者によって、願書に添付した明細書、特許請求の範囲及び図面の全ての記載を総合することにより導かれる技術的事項との関係において、新たな技術的事項を導入するものではない。 したがって、この訂正は、願書に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内でしたものである。 ウ 拡張又は変更 上記訂正内容からみて、この訂正により、訂正前の特許請求の範囲には含まれない発明が訂正後の特許請求の範囲に含まれることにならないことは明らかである。 したがって、この訂正は、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものには該当しない。 （３）訂正事項３ ア 訂正の目的 訂正事項３による訂正は、ポリプロピレンフィルムの第１の面及び第２の面について、その最大高さＲｍａｘについてその範囲を「０．４μｍ以下」と限定するものである。 したがって、この訂正は、特許法１２０条の５第２項ただし書１号に掲げる事項（特許請求の範囲の減縮）を目的とするものである。 イ 新規事項 本件特許の明細書の【００６４】及び【００６８】には、それぞれ「保護フィルム３０は、ポリプロピレンフィルムである。」及び「主面３０ａ及び主面３０ｂの最大高さ（Ｒｍａｘ）は・・・中略・・・０．５μｍ以下が好ましく、０．４μｍ以下がより好ましく、」と記載されている。訂正事項３による訂正は、これらの記載に基づくものである。 そうしてみると、この訂正は、当業者によって、願書に添付した明細書、特許請求の範囲及び図面の全ての記載を総合することにより導かれる技術的事項との関係において、新たな技術的事項を導入するものではない。 したがって、この訂正は、願書に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内でしたものである。 ウ 拡張又は変更 上記訂正内容からみて、この訂正により、訂正前の特許請求の範囲には含まれない発明が訂正後の特許請求の範囲に含まれることにならないことは明らかである。 したがって、この訂正は、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものには該当しない。 （４）訂正事項４ ア 訂正の目的 訂正事項４による訂正は、[A]訂正前の請求項１に係る発明の「感光性エレメント」における「算術平均粗さＲａ」及び（訂正事項３による訂正で付加された）「最大高さＲｍａｘ」の測定手順を、本件測定手順に限定する訂正、[B]訂正前の請求項１に係る発明の「感光層」の厚さを、訂正前の「２０μｍ未満」から、「９μｍ以下」に限定する訂正及び[C] 訂正前の請求項１に係る発明の「感光性エレメント層」から、特定積層体を除外する訂正を含む。 上記訂正内容からみて、この訂正は、特許法１２０条の５第２項ただし書１号に掲げる事項（特許請求の範囲の減縮）を目的とするものである。 イ 新規事項 訂正事項４のうち上記[A]に係る訂正事項は、本件特許の明細書の【００６４】における、「保護フィルム３０は、ポリプロピレンフィルムである。」との記載及び【００６９】における、「保護フィルム３０の両面の算術平均粗さ（Ｒａ）及び最大高さ（Ｒｍａｘ）は、例えば、下記の手順により測定できる。 （ａ）保護フィルムから５ｃｍ×１０ｃｍの測定サンプルを切り出す。 （ｂ）平坦なガラス基板（１０ｃｍ×１０ｃｍ）に水を１滴スポイトで垂らした後、気泡が入らないように測定サンプルをクリーンローラーでガラス基板に圧着する。 （ｃ）測定サンプルの長手方向の両端を重石で固定し、測定サンプルにおける測定領域（２８４．１μｍ×２１３．１μｍの領域）を任意に１０箇所選択する。 （ｄ）形状測定レーザーマイクロスコープ（ＶＫ－Ｘ２００、ＫＥＹＥＮＣＥ株式会社製）を用いて、対物レンズ５０倍で測定領域を観察すると共に、算術平均粗さ（Ｒａ）及び最大高さ（Ｒｍａｘ）を測定した後、計１０箇所の平均値を算出する。 （ｅ）前記工程（ａ）～（ｄ）を繰り返して測定値を計３回取得し、繰り返し３回の平均値を算術平均粗さ（Ｒａ）及び最大高さ（Ｒｍａｘ）として採用する。」との記載に基づくものである。 また、訂正事項４のうち上記[B]に係る訂正事項は、本件特許の明細書の【００６２】における、「感光層の厚さ（乾燥後の厚さ）は、・・・中略・・・９μｍ以下が特に好ましく」との記載に基づくものである。 さらに、訂正事項４のうち上記[C]に係る訂正は、その訂正内容からみて、当業者によって、願書に添付した明細書、特許請求の範囲及び図面の全ての記載を総合することにより導かれる技術的事項との関係において、新たな技術的事項を導入するものではないことは明らかである。 以上によれば、訂正事項４に係る訂正は、願書に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内でしたものである。 ウ 拡張又は変更 上記訂正内容からみて、この訂正により、訂正前の特許請求の範囲には含まれない発明が訂正後の特許請求の範囲に含まれることにならないことは明らかである。 したがって、この訂正は、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものには該当しない。 （５）訂正事項５ ア 訂正の目的 訂正事項５よる訂正は、訂正前の請求項２に係る発明の「ポリプロピレンフィルム」のうち、厚さが「１２μｍ」及び「２０μｍ」である特定のポリプロピレンフィルムを除外する訂正である。 したがって、この訂正は、特許法１２０条の５第２項ただし書１号に掲げる事項（特許請求の範囲の減縮）を目的とするものである。 イ 新規事項 訂正事項５の訂正内容及び上記アに示した訂正の目的からみて、この訂正は、当業者によって、願書に添付した明細書、特許請求の範囲及び図面の全ての記載を総合することにより導かれる技術的事項との関係において、新たな技術的事項を導入するものではない。 したがって、この訂正は、願書に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内でしたものである。 ウ 拡張又は変更 上記訂正内容からみて、この訂正により、訂正前の特許請求の範囲には含まれない発明が訂正後の特許請求の範囲に含まれることにならないことは明らかである。 したがって、この訂正は、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものには該当しない。 （６）訂正事項６ ア 訂正の目的 訂正事項６による訂正は、[A]訂正前の請求項２に係る発明の「感光性エレメント」の「最大高さＲｍａｘ」の測定手順を、本件測定手順に限定する訂正及び[B]「感光層」の厚さを、「２０μｍ未満」から、「５μｍ以下」に限定するものである。 したがって、この訂正は、特許法１２０条の５第２項ただし書１号に掲げる事項（特許請求の範囲の減縮）を目的とするものである。 イ 新規事項 訂正事項６による訂正のうち上記[A]に係る訂正は、訂正事項４と同様の理由により、当業者によって、願書に添付した明細書、特許請求の範囲及び図面の全ての記載を総合することにより導かれる技術的事項との関係において、新たな技術的事項を導入するものではない。 また、本件特許の明細書の【００６２】には、「感光層２０の厚さ（乾燥後の厚さ）は、２０μｍ未満であることが好ましい。」と記載され、その上限値が示されるとともに、【０１１１】には、実施例１の感光性エレメントについて「乾燥後の厚さが５μｍである感光層を形成した。」と記載されている。 そうしてみると、また、訂正事項６による訂正のうち上記[B]に係る訂正は、当業者によって、願書に添付した明細書、特許請求の範囲及び図面の全ての記載を総合することにより導かれる技術的事項との関係において、新たな技術的事項を導入するものではない。 したがって、この訂正は、願書に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内でしたものである。 ウ 拡張又は変更 上記訂正内容からみて、訂正前の特許請求の範囲には含まれない発明が訂正後の特許請求の範囲に含まれることにならないことは明らかである。 したがって、この訂正は、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものには該当しない。 （７）訂正事項７ ア 訂正の目的 訂正事項７よる訂正は、訂正前の請求項３に係る発明の「感光層の厚さ」について、「１０μｍ以下」から、「５μｍ以下」へと数値範囲を限定するものである。 したがって、この訂正は、特許法１２０条の５第２項ただし書１号に掲げる事項（特許請求の範囲の減縮）を目的とするものである。 イ 新規事項 上記「（６）イ」と同様の理由により、この訂正は、当業者によって、願書に添付した明細書、特許請求の範囲及び図面の全ての記載を総合することにより導かれる技術的事項との関係において、新たな技術的事項を導入するものではない。 したがって、この訂正は、願書に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内でしたものである。 ウ 拡張又は変更 上記訂正内容からみて、この訂正により、訂正前の特許請求の範囲には含まれない発明が訂正後の特許請求の範囲に含まれることにならないことは明らかである。 したがって、この訂正は、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものには該当しない。 （８）訂正事項８ ア 訂正の目的 訂正事項８による訂正は、訂正前の請求項３が択一的に引用していた請求項１及び請求項２から、請求項２を削除するものである。 したがって、この訂正は、特許法１２０条の５第２項ただし書１号に掲げる事項（特許請求の範囲の減縮）を目的とするものである。 イ 新規事項 上記訂正内容からみて、この訂正は、当業者によって、願書に添付した明細書、特許請求の範囲及び図面の全ての記載を総合することにより導かれる技術的事項との関係において、新たな技術的事項を導入するものではないことは明らかである。 したがって、この訂正は、願書に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内でしたものである。 ウ 拡張又は変更 上記訂正内容からみて、この訂正により、訂正前の特許請求の範囲には含まれない発明が訂正後の特許請求の範囲に含まれることにならないことは明らかである。 したがって、この訂正は、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものには該当しない。 （９）訂正の許否判断のまとめ 本件訂正請求による訂正は、特許法第１２０条の５第２項ただし書１号に掲げる事項を目的とするものである。また、同訂正は、同条第９項で準用する同法１２６条５項～６項の規定に適合する。 よって、結論に記載のとおり、特許第６５６１８３１号の特許請求の範囲を、訂正請求書に添付された訂正特許請求の範囲のとおり、訂正後の請求項１～９について訂正することを認める。 第３ 本件特許発明 本件訂正請求による訂正は認められることとなったことから、本件特許の請求項１～請求項９に係る発明（以下、それぞれ「本件特許発明１」～「本件特許発明９」という。）は、訂正後の特許請求の範囲の請求項１～請求項９に記載された事項によって特定されるとおりの、以下のものである。 「【請求項１】 支持フィルムと、ポリプロピレンフィルムと、前記支持フィルム及び前記ポリプロピレンフィルムの間に配置された感光層（但し、メタクリル酸メチル／スチレン／メタクリル酸ベンジル／メタクリル酸共重合体（質量比：８／３０／３７／２５、質量平均分子量：６万）を含有する感光層、及び、メタクリル酸メチル／メタクリル酸共重合体（質量比：８０／２０、質量平均分子量：８万）を含有する感光層を除く）と、を備え、 前記ポリプロピレンフィルムが、前記感光層側の第１の面と、当該第１の面の反対側の第２の面と、を有し、 前記ポリプロピレンフィルムの厚さが１００μｍ以下であり、 前記第１の面及び前記第２の面の算術平均粗さＲａが０．０５μｍ以下であり、 前記第１の面及び前記第２の面の最大高さＲｍａｘが０．４μｍ以下であり、 前記算術平均粗さＲａ及び前記最大高さＲｍａｘが下記工程（ａ）～（ｅ）の手順により測定され、 前記感光層の厚さが９μｍ以下である、感光性エレメント。（但し、支持体（Ａ）、感光性樹脂層（Ｂ）及び保護層（Ｃ）からなる感光性樹脂積層体において、前記保護層（Ｃ）の膜厚が３０μｍ以上５０μｍであることを特徴とする感光性樹脂積層体を除く）。 （ａ）前記ポリプロピレンフィルムから５ｃｍ×１０ｃｍの測定サンプルを切り出す。 （ｂ）平坦なガラス基板（１０ｃｍ×１０ｃｍ）に水を１滴スポイトで垂らした後、気泡が入らないように前記測定サンプルをクリーンローラーで前記ガラス基板に圧着する。 （ｃ）前記測定サンプルの長手方向の両端を重石で固定し、前記測定サンプルにおける測定領域（２８４．１μｍ×２１３．１μｍの領域）を任意に１０箇所選択する。 （ｄ）形状測定レーザーマイクロスコープを用いて、対物レンズ５０倍で測定領域を観察すると共に、算術平均粗さＲａ及び最大高さＲｍａｘを測定した後、計１０箇所の平均値を算出する。 （ｅ）前記工程（ａ）～（ｄ）を繰り返して測定値を計３回取得し、繰り返し３回の平均値を前記算術平均粗さＲａ及び前記最大高さＲｍａｘとして採用する。 【請求項２】 支持フィルムと、ポリプロピレンフィルム（但し、厚さ１２μｍのポリプロピレンフィルム及び厚さ２０μｍのポリプロピレンフィルムを除く）と、前記支持フィルム及び前記ポリプロピレンフィルムの間に配置された感光層と、を備え、 前記ポリプロピレンフィルムが、前記感光層側の第１の面と、当該第１の面の反対側の第２の面と、を有し、 前記第１の面及び前記第２の面の最大高さＲｍａｘが０．５μｍ以下であり、 前記最大高さＲｍａｘが下記工程（ａ）～（ｅ）の手順により測定され、 前記感光層の厚さが５μｍ以下である、感光性エレメント。 （ａ）前記ポリプロピレンフィルムから５ｃｍ×１０ｃｍの測定サンプルを切り出す。 （ｂ）平坦なガラス基板（１０ｃｍ×１０ｃｍ）に水を１滴スポイトで垂らした後、気泡が入らないように前記測定サンプルをクリーンローラーで前記ガラス基板に圧着する。 （ｃ）前記測定サンプルの長手方向の両端を重石で固定し、前記測定サンプルにおける測定領域（２８４．１μｍ×２１３．１μｍの領域）を任意に１０箇所選択する。 （ｄ）形状測定レーザーマイクロスコープを用いて、対物レンズ５０倍で測定領域を観察すると共に、最大高さＲｍａｘを測定した後、計１０箇所の平均値を算出する。 （ｅ）前記工程（ａ）～（ｄ）を繰り返して測定値を計３回取得し、繰り返し３回の平均値を前記最大高さＲｍａｘとして採用する。 【請求項３】 前記感光層の厚さが５μｍ以下である、請求項１に記載の感光性エレメント。 【請求項４】 ４００～７００ｎｍの波長域における平均光透過率が８０％以上である、請求項１～３のいずれか一項に記載の感光性エレメント。 【請求項５】 前記感光層が、バインダーポリマー、光重合性化合物及び光重合開始剤を含有する、請求項１～４のいずれか一項に記載の感光性エレメント。 【請求項６】 透明基材上に硬化物を形成するために用いられる、請求項１～５のいずれか一項に記載の感光性エレメント。 【請求項７】 巻芯と、当該巻芯に巻回された感光性エレメントと、を備え、 前記感光性エレメントが、請求項１～６のいずれか一項に記載の感光性エレメントである、感光性エレメントロール。 【請求項８】 請求項１～６のいずれか一項に記載の感光性エレメントの前記ポリプロピレンフィルムを剥離した後に前記感光層及び前記支持フィルムを基材上に積層する工程と、 前記感光層の所定部分に活性光線を照射して光硬化部を形成する工程と、 前記感光層における前記光硬化部以外の部分を除去する工程と、を備える、レジストパターンの製造方法。 【請求項９】 請求項１～６のいずれか一項に記載の感光性エレメントの前記感光層の硬化物を備える、電子部品。」 第４ 取消しの理由の概要及び証拠 １ 取消しの理由 令和３年２月１８日付け取消理由通知（決定の予告）により、特許権者に対して、当合議体が通知した取消しの理由の概要は、下記のとおりである。 記 （進歩性）本件特許の請求項１～９に係る発明は、先の出願前に日本国内又は外国において、頒布された刊行物に記載された発明又は電気通信回線を通じて公衆に利用可能となった発明に基づいて、先の出願前に当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法２９条２項の規定により特許を受けることができない。 したがって、本件特許は、特許法１１３条２号に該当し、取り消されるべきものである。 記 甲１Ａ：特開２００２－２２９２００号公報 甲２Ａ：特開２０００－３３０２９０号公報 甲３Ａ：特開２００２－２６８２２９号公報 甲４Ａ：国際公開第２０１３／０５１５１６号公報 甲５Ａ：特開平１０－２８２６５５号公報 甲６Ａ：特開２０１２－１９８５２７号公報 甲１Ｂ：特開２０１２－８５７１号公報 甲２Ｂ：特開２００５－７４６３２号公報 甲３Ｂ：特開平１１－１５３８６１号公報 参考資料１：特開平１１－１５７２３５号公報 参考資料２：特開２０１７－６５１８２号公報 参考資料３：特開２００２－２２９２００号公報 （当合議体注１：甲２Ａ、甲１Ｂ、甲２Ｂ及び甲３Ｂは、それぞれ主引用例であり、甲３Ａは副引用例である。甲１Ａ、甲４Ａ、甲５Ａ、甲６Ａ及び甲１Ｂは、周知技術を示すための文献である。また、参考資料１～参考資料３は、主引用例に記載された発明における保護フィルムの表面粗さを裏付けるための文献である。なお、参考資料３は、甲１Ａと同一の文献である。） ２ その他の証拠について （１）特許異議申立人１が提出した証拠 特許異議申立人１は、上記の他、以下の証拠も提出している。 参考資料４：王子エフテックス株式会社の製品カタログ（２００８年３月）アルファン特殊工業用ＯＰＰフィルム，２００８年３月，王子特殊紙株式会社 参考資料５：特開２０１２－６３３７６号公報 参考資料６：特開２０１２－１０３４２５号公報 参考資料７：特開２０１３－１４１８２０号公報 参考資料８：特開２０００－３３０２９１号公報 参考資料９：特開２００９－１２８７５９号公報 （２）特許異議申立人２が提出した証拠 特許異議申立人２は、上記の他、以下の証拠も提出している。 参考資料Ａ：”ＡＬＰＨＡＮ アルファン ハイグレードタイプ（工業用）二軸延伸ポリプロピレンフィルム”，王子エフテックス株式会社，[online]，、[令和２年９月２４日検索]，インターネット＜http://www.ojif-tex.co.jp/alphan/pdf/pro/function_film.pdf＞ 参考資料Ｂ：特開２０１３－２２８０３号公報 参考資料Ｃ：佐々木信也，”摩擦面の計測と分析｜表面試験測定分析BOX｜ジュンツウネット２１”，１／９～９／９頁，，[online]，[令和２年９月２４日検索]，インターネット＜https://www.juntsu.co.jp/surface/surface_kaisetsu01.php＞ 参考資料Ｄ：国際公開第２００７／１０５６４４号 第５ 当合議体の判断 １ 甲２Ａを主引用例とした場合 （１）甲２Ａの記載 取消しの理由で引用された甲２Ａには、次の事項が記載されている。 なお、下線は当合議体が付与したものであって、引用発明の認定及び判断等において活用した箇所を示す。 ア 「【請求項１】 支持フィルム（ａ）、感光性樹脂組成物層（ｂ）及び保護フィルム（ｃ）から成る感光性エレメントにおいて、感光性樹脂組成物層（ｂ）が、（Ａ）バインダーポリマー、（Ｂ）重合可能なエチレン性不飽和基の濃度が、（Ａ）成分及び（Ｂ）成分の総量１００ｇに対して、０．１２～０．２６モルである光重合性化合物並びに（Ｃ）光重合開始剤を含有してなり、かつ、保護フィルム（ｃ）中に含まれる直径８０μｍ以上のフィッシュアイの個数が、５個／ｍ2以下である感光性エレメント。【請求項２】 保護フィルム（ｃ）がポリプロピレンフィルムである請求項１記載の感光性エレメント。 【請求項３】 請求項１又は２記載の感光性エレメントを、回路形成用基板上に感光性樹脂組成物層が密着するようにして積層し、活性光線を画像状に照射し、露光部を光硬化させ、未露光部を現像により除去することを特徴とするレジストパターンの製造法。 【請求項４】請求項３記載のレジストパターンの製造法により、レジストパターンの製造された回路形成用基板をエッチング若しくはめっきすることを特徴とするプリント配線板又はリードフレームの製造法。」 イ 「【発明の詳細な説明】 【０００１】 【発明の属する技術分野】本発明は、感光性エレメント、これを用いたレジストパターンの製造法、プリント配線板の製造法及びリードフレームの製造法に関する。 【０００２】 【従来の技術】近年、半導体素子の軽薄短小化、少量多品種化傾向に伴い、ＩＣチップをプリント基板上に搭載するために用いられるリードフレームの多ピン化、狭小化が急速に進んでいる。リードフレームの製造方法としては、スタンピング法及び、エッチング法があるが、スタンピング法では小型化に伴う狭小品の製造が困難であり、少量多品種化に伴い金型代が高価となるため、少量多品種化には狭小品の製造が可能で金型の不要なエッチング法が有利である。エッチング法で用いられる感光性樹脂組成物には、水溶性液状感光性樹脂組成物、溶剤含有型液状感光性樹脂組成物、感光性エレメント等がある。 ・・・中略・・・ 【０００９】 【発明が解決しようとする課題】請求項１又は２記載の発明は、エアーボイドの発生数が低減するため歩留り良く積層することができ、かつ剥離特性、ラミネート性、保存安定性及び作業性が極めて優れる感光性エレメントを提供するものである。請求項３記載の発明は、リードフレームやＢＧＡの多ピン化、狭小化及びこれらの半導体パッケージを搭載するプリント配線の高密度化に極めて有用な、エアーボイドの発生数が低減するため歩留り良く積層することができ、かつ剥離特性、ラミネート性、保存安定性及び作業性が優れたレジストパターンの製造法を提供するものである。請求項４記載の発明は、リードフレームやＢＧＡの多ピン化、狭小化及びこれらの半導体パッケージを搭載するプリント配線の高密度化に極めて有用な、エアーボイドの発生数が低減するため歩留り良く積層することができ、かつ剥離特性、ラミネート性、保存安定性及び作業性が優れたレジストパターンを有するプリント配線板又はリードフレームの製造法を提供するものである。 【００１０】 【課題を解決するための手段】本発明は、支持フィルム（ａ）、感光性樹脂組成物層（ｂ）及び保護フィルム（ｃ）から成る感光性エレメントにおいて、感光性樹脂組成物層（ｂ）が、（Ａ）バインダーポリマー、（Ｂ）重合可能なエチレン性不飽和基の濃度が、（Ａ）成分及び（Ｂ）成分の総量１００ｇに対して、０．１２～０．２６モルである光重合性化合物並びに（Ｃ）光重合開始剤を含有してなり、かつ、保護フィルム（ｃ）中に含まれる直径８０μｍ以上のフィッシュアイの個数が、５個／ｍ2以下である感光性エレメントに関する。また、本発明は、保護フィルム（ｃ）がポリプロピレンフィルムである前記感光性エレメントに関する。 【００１１】また、本発明は、前記感光性エレメントを、回路形成用基板上に感光性樹脂組成物層が密着するようにして積層し、活性光線を画像状に照射し、露光部を光硬化させ、未露光部を現像により除去することを特徴とするレジストパターンの製造法に関する。また、本発明は、前記レジストパターンの製造法により、レジストパターンの製造された回路形成用基板をエッチング若しくはめっきすることを特徴とするプリント配線板又はリードフレームの製造法に関する。」 ウ 「【００１２】 【発明の実施の形態】本発明における支持フィルム（ａ）としては、例えば、ポリエチレンテレフタレート、ポリプロピレン、ポリエチレン、ポリエステル等の耐熱性及び耐溶剤性を有する重合体フィルムが挙げられ、透明性の見地からは、ポリエチレンテレフタレートフィルムを用いることが好ましい。また、入手可能なものとしては、例えば、帝人(株)製テトロンフィルムＧＳシリーズ、デュポン社製マイラーフィルムＤシリーズ等のポリエステルフィルム等が挙げられる。支持フィルムの膜厚は、１～１００μｍであることが好ましく、１２～２５μｍであることがより好ましい。この膜厚が１μｍ未満では機械的強度が低下するため、塗工時の支持フィルムが破れるなどの問題が発生する傾向があり、１００μｍを超えると解像度の低下及び価格が高くなる傾向がある。これらの支持フィルムは、後に感光性樹脂組成物層から除去可能でなくてはならないため、除去が不可能となるような表面処理が施されたものであったり、材質であったりしてはならない。 ・・・中略・・・ 【００３４】本発明の感光性樹脂組成物は、特に制限はないが、金属面、例えば、銅、銅系合金、ニッケル、クロム、鉄、ステンレス等の鉄系合金、好ましくは銅、銅系合金、鉄系合金の表面上に、液状レジストとして塗布して乾燥後、必要に応じて保護フィルムを被覆して用いるか、感光性エレメントの形態で用いられることが好ましい。 【００３５】感光性樹脂組成物層（ｂ）の厚みは、１～５０μｍであることが好ましく、５～３０μｍであることがより好ましく、１０～２５μｍであることがより好ましい。この厚みが１μｍ未満では追従性が低下し、欠け、断線が発生する傾向があり、５０μｍを超えると解像度が悪化する傾向がある。 ・・・中略・・・ 【００３８】本発明における保護フィルム（ｃ）は、保護フィルム（ｃ）中に含まれる直径８０μｍ以上のフィッシュアイの個数は５個／ｍ2以下でああることが必要である。また、保護フィルム（ｃ）の表面粗さとしては、中心線平均粗さＲaが０．００５～０．０５μｍであることが好ましく、０．０１～０．０３μｍであることがより好ましい。なお、フィシュアイとは、材料を熱溶融、混練し、押し出し延伸又はキャスティング法によりフィルムを製造する際に、材料の異物、未溶解物、酸化劣化物等がフィルム中に取り込まれたものである。なお、本発明における表面粗さは、ＪＩＳ Ｂ０６０１における表面粗さを表す。また、本発明におけるＲaは中心線平均粗さを表し、Ｒmaxは最大高さを表す。 ・・・中略・・・ 【００４０】保護フィルム（ｃ）の厚みは１～１００μｍであることが好ましく、５～５０μｍであることがより好ましく、１５～５０μｍであることが特に好ましい。この厚みが１μｍ未満では保護フィルムの強度が不十分なため、感光性樹脂組成物層に保護フィルムを張り合わせる際に、破断しやすい傾向があり、１００μｍを超えると価格が高くなり、保護フィルムをラミネートする際にシワが発生しやすい傾向がある。 【００４１】このような保護フィルムは市販のものとして、例えば、王子製紙(株)製アルファンＭＡ－４１０、Ｅ－２００Ｃ、信越フィルム社製等のポリプロピレンフィルム、帝人(株)製ＰＳ－２５等のＰＳシリーズなどのポリエチレンテレフタレートフィルム等が挙げられるがこれに限られたものではない。また、市販のフィルムをサンドブラスト加工することにより、簡単に製造することが可能である。」 （当合議体注：上記【００３８】における「５個／ｍ2以下であある」は、「５個／ｍ2以下である」の誤記である。） エ 「【００５２】 【実施例】以下、本発明を実施例に基づいて詳細に説明する。 実施例１～３及び比較例１～２ 表１に示す（Ａ）成分、（Ｂ）成分、（Ｃ）成分及びその他の成分を混合し、感光性樹脂組成物の溶液を調製した。 【００５３】 【表１】 ［図：0001384017000001.jpg］ 【００５４】次いでこの感光性樹脂組成物の溶液を１６μｍ厚のポリエチレンテレフタレートフィルム上に均一に塗布し、１００℃の熱風対流乾燥機で約５分間乾燥し、表２に示す各保護フィルムをラミネートし感光性エレメントを得た。感光性樹脂組成物層の乾燥後の膜厚は１７μｍであった。上記で作製した感光性エレメントの（Ｂ）光重合性化合物の重合可能なエチレン性不飽和基の濃度を前記関係式（１）から算出した結果を表２に示す。 【００５５】次いで、厚さ０．１５mm厚、２０×２０cm角の銅合金（ヤマハオーリンメタル社製：ＭＰ－７０２５）を、３重量％水酸化ナトリウム水溶液、５０℃に１分間浸漬し、次いで１体積％塩酸水溶液、２５℃に１分間浸漬し、その後水洗、乾燥し、得られた基板上に前記感光性エレメントの保護フィルムを除去しながら、ロール温度：１１０℃、圧力：０．４MPa、速度：２ｍ／分でラミネートした。次いで、このようにして得られた基板を、３kWの超高圧水銀灯（(株)オーク製作所製、ＨＭＷ－２０１ＧＸ）で５０mJ/cm2の露光を行い、１重量％の無水炭酸ナトリウム水溶液で３０秒間スプレー現像し、水洗、乾燥した。 【００５６】露光後の基板を４０mm×５０mm角にし、その基板を２重量％水酸化ナトリウム水溶液、５０℃に浸漬し、感光性樹脂組成物層が基板から剥離する時間を測定し、その結果を表２に示す。 【００５７】また、露光時に基板を５０mm×１００mm角にし、そこにハーフエッチング用ネガを使用し上記露光条件で露光し、上記現像条件で現像する。次いで、塩化第二鉄（４５Ｂｅ、遊離塩酸濃度０．３％、ＯＲＰ値６２０ｍＶ）、５０℃で３００秒間エッチングをし、微小径（１００～３００μｍ）、深さ６０～１００μｍのハーフエッチング部を作製する。次いで、２重量％水酸化ナトリウム水溶液でハーフエッチング部を作製した基板から感光性樹脂組成物層を剥離し、１重量％の硫酸でスプレー処理し、水洗、乾燥した。その基板のハーフエッチング部に残留した感光性樹脂組成物（以後、剥離残りと称する）を実体顕微鏡１００倍にて計測する。その結果を表２に示す。 【００５８】 【表２】 ［図：0001384017000002.jpg］ 【００５９】一方、厚さ０．１５mm厚、２０×２０cm角の銅合金（ヤマハオーリンメタル社製：ＭＰ－７０２５）を、３重量％水酸化ナトリウム水溶液、５０℃に１分間浸漬し、次いで１体積％塩酸水溶液、２５℃に１分間浸漬し、その後水洗、乾燥し、得られた基板上に前記感光性エレメントの保護フィルムを除去しながら、ロール温度：１１０℃、圧力：０．４MPa、速度：２ｍ／分でラミネートした。次いで、このようにして得られた基板を、３kWの超高圧水銀灯（(株)オーク製作所製、ＨＭＷ－２０１ＧＸ）で５０mJ/cm2の露光を行った。 【００６０】露光後の基板上のエアーボイド数を１００倍の顕微鏡を用いて測定した。また、各保護フィルムのフィッシュアイの大きさ及び数を１００倍の顕微鏡を用いて測定した。結果を表３にまとめて示す。 【００６１】 【表３】 ［図：0001384017000003.jpg］ 【００６２】表３から明らかなように、保護フィルム（Ｃ）として、直径８０μｍ以上のフィッシュアイ個数が５個／ｍ2以下のフィルムを使用することにより、断線、欠けの原因となるエアーボイドの発生数が減少することが分かる。 【００６３】 【発明の効果】請求項１又は２記載の感光性エレメントは、エアーボイドの発生数が低減するため歩留り良く積層することができ、かつ剥離特性、ラミネート性、保存安定性及び作業性が極めて優れる。請求項３記載のレジストパターンの製造法は、リードフレームやＢＧＡの多ピン化、狭小化及びこれらの半導体パッケージを搭載するプリント配線の高密度化に極めて有用な、エアーボイドの発生数が低減するため歩留り良く積層することができ、かつ剥離特性、ラミネート性、保存安定性及び作業性が優れる。請求項４記載のプリント配線板又はリードフレームの製造法は、リードフレームやＢＧＡの多ピン化、狭小化及びこれらの半導体パッケージを搭載するプリント配線の高密度化に極めて有用な、エアーボイドの発生数が低減するため歩留り良く積層することができ、かつ剥離特性、ラミネート性、保存安定性及び作業性が優れる。」 （当合議体注：上記【００５４】の「表２に示す各保護フィルムをラミネートし感光性エレメントを得た。」の「表２」は、「表３」の誤記である。） （２）甲２Ａに記載された発明 ア 甲２Ａ実施例発明 上記（１）によれば、甲２Ａの【００５２】～【００５４】及び【表３】によれば、甲２Ａには、実施例１として、以下の感光性エレメントの発明（以下「甲２Ａ実施例発明」という。）が記載されている。 「感光性樹脂組成物の溶液を１６μｍ厚のポリエチレンテレフタレートフィルム上に均一に塗布し、１００℃の熱風対流乾燥機で約５分間乾燥し、Ｅ－２００Ｃ：ポリプロピレンフィルム（王子製紙（株）製）の保護フィルムをラミネートして得、感光性樹脂組成物層の乾燥後の膜厚は１７μｍである、感光性エレメント。 ここで、感光性樹脂組成物は、以下に示す（Ａ）成分、（Ｂ）成分、（Ｃ）成分及びその他の成分を混合し、感光性樹脂組成物の溶液を調製したものである。 （Ａ）成分：メタクリル酸、メタクリル酸メチル、メタクリル酸ブチル及びアクリル酸２－エチルヘキシルを重量比２５：５０：５：２０の割合で共重合させた、共重合体をメチルセルソルブ／トルエン（６／４、重量比）に不揮発成分４０重量％になるように溶解させた溶液を１５０ｇ、 （Ｂ）成分：２，２－ビス（４－メタクリロキシペンタエトキシ）フェニル）プロパンを３０ｇと、ポリエチレングリコールジメタクリレート（エチレングリコール鎖の繰り返し数は４）を１０ｇ、 （Ｃ）成分：ベンゾフェノンを５．０ｇと、Ｎ，Ｎ－テトラエチル－４，４’－ジアミノベンゾフェノンを０．３ｇ、 その他の成分：トリブロモメチルフェニルスルホンを１．０ｇと、ロイコクリスタルバイオレットを１．０ｇと、マラカイトグリーンを０．１ｇ」 イ 甲２Ａ方法発明 また、甲２Ａには、請求項１及び２を引用する請求項３に係る発明として、次のレジストパターンの製造法の発明（以下「甲２Ａ方法発明」という。）が記載されている。 「支持フィルム（ａ）、感光性樹脂組成物層（ｂ）及び保護フィルム（ｃ）から成る感光性エレメントにおいて、感光性樹脂組成物層（ｂ）が、（Ａ）バインダーポリマー、（Ｂ）重合可能なエチレン性不飽和基の濃度が、（Ａ）成分及び（Ｂ）成分の総量１００ｇに対して、０．１２～０．２６モルである光重合性化合物並びに（Ｃ）光重合開始剤を含有してなり、かつ、保護フィルム（ｃ）中に含まれる直径８０μｍ以上のフィッシュアイの個数が、５個／ｍ2以下である感光性エレメントにおいて、保護フィルム（ｃ）がポリプロピレンフィルムである、感光性エレメントを、回路形成用基板上に感光性樹脂組成物層が密着するようにして積層し、活性光線を画像状に照射し、露光部を光硬化させ、未露光部を現像により除去するレジストパターンの製造法。」 ウ 甲２Ａ発明 また、甲２Ａには、請求項１を引用する請求項２に係る発明として、次の発明（以下「甲２Ａ発明」という。）が記載されている。 「支持フィルム（ａ）、感光性樹脂組成物層（ｂ）及び保護フィルム（ｃ）から成る感光性エレメントにおいて、感光性樹脂組成物層（ｂ）が、（Ａ）バインダーポリマー、（Ｂ）重合可能なエチレン性不飽和基の濃度が、（Ａ）成分及び（Ｂ）成分の総量１００ｇに対して、０．１２～０．２６モルである光重合性化合物並びに（Ｃ）光重合開始剤を含有してなり、かつ、保護フィルム（ｃ）中に含まれる直径８０μｍ以上のフィッシュアイの個数が、５個／ｍ2以下であり、保護フィルム（ｃ）がポリプロピレンフィルムである、感光性エレメント。」 （３）甲３Ａの記載 取消しの理由で引用された甲３Ａには、次の事項が記載されている。 なお、下線は当合議体が付与したものであって、引用発明の認定及び判断等において活用した箇所を示す。 ア 「【請求項１】 支持体（Ａ）、感光性樹脂層（Ｂ）、および保護層（Ｃ）からなる感光性樹脂積層体において、前記保護層（Ｃ）の膜厚が３０μｍ以上５０μｍ以下であり、かつ中心線平均粗さ（Ｒａ）が０．１μｍ未満であることを特徴とする感光性樹脂積層体。 【請求項２】 保護層（Ｃ）がポリエチレンフィルムである請求項１記載の感光性樹脂積層体。 【請求項３】 基板上に、請求項１または２記載の感光性樹脂積層体を用いて感光性樹脂層を形成し、露光工程、現像工程によりレジストパターンを形成する方法。 【請求項４】 請求項３記載の方法によりレジストパターンを形成された基板を、エッチングするかまたはめっきすることによりプリント配線板、リードフレーム、パッケージを製造する方法。」 イ 「【発明の詳細な説明】 【０００１】 【発明の属する技術分野】本発明はプリント配線板、リードフレームや、ＢＧＡ、ＣＳＰ等のパッケージを製造する際に、好適に用いられる感光性樹脂積層体に関する。 【０００２】 【従来の技術】近年、パソコンや携帯電話等の電子機器の軽薄短小化の流れが加速し、これに搭載されるプリント配線板やリードフレームやＢＧＡ、ＣＳＰ等のパッケージには狭ピッチのパターンが要求されている。これらのプリント配線板等の製造用のレジストとして、従来より、支持体と感光性樹脂層と保護層から成る、いわゆるドライフィルムレジスト（以下ＤＦＲと略称）が用いられている。ＤＦＲは、一般に支持体上に感光性樹脂層を積層し、さらに該感光性樹脂層上に保護層を積層することにより調製される。ここで用いられる感光性樹脂層としては、現在、現像液として弱アルカリ水溶液を用いるアルカリ現像型のものが一般的である。 ・・・中略・・・ 【０００７】 【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、上記問題点を克服し、基板にＤＦＲをラミネートした際にエアーボイドの発生が少なく、露光、現像工程におけるレジストパターンの欠陥や、続くエッチング工程またはめっき工程において形成される回路の欠けや断線、ショートなどの欠陥の低減が可能であり、また、感光性樹脂層上に保護層を積層して感光性樹脂積層体を製造する際に、感光性樹脂層が保護層と密着しやすい感光性樹脂積層体を提供することにある。 【０００８】 【課題を解決するための手段】本発明は、支持体（Ａ）、感光性樹脂層（Ｂ）、および保護層（Ｃ）からなる感光性樹脂積層体において、前記保護層（Ｃ）の膜厚が３０μｍ以上５０μｍ以下であり、かつ中心線平均粗さ（Ｒａ）が０．１μｍ未満であることを特徴とする感光性樹脂積層体を提供するものである。 ・・・中略・・・ 【００１０】本発明の感光性樹脂層（Ｂ）は公知のものを使用することができるが、通常（ｉ）アルカリ可溶性高分子、（ｉｉ）エチレン性不飽和付加重合性モノマー、（ｉｉｉ）光重合開始剤を含有する感光性樹脂組成物よりなる、感光性樹脂層が用いられる。 （ｉ）成分のアルカリ可溶性高分子としてはカルボン酸含有ビニル共重合体やカルボン酸含有セルロース等が挙げられる。 ・・・中略・・・ 【００２５】本発明の感光性樹脂層（Ｂ）の膜厚は、５μｍ以上３０μｍ以下であることが好ましい。５μｍより薄い場合基板への充分な追従性が得られないし、３０μｍより厚いと解像度の点から好ましくない。より好ましい膜厚は６μｍ以上２５μｍ以下である。本発明の保護層（Ｃ）は膜厚が３０μｍ以上５０μｍ以下であり、かつ表面粗さにおいて中心線平均粗さ（Ｒａ）が０．１μｍ未満であることが必要である。膜厚が３０μｍより薄いとエアーボイドが発生しやすくなる。膜厚が５０μｍより厚いと感光性樹脂積層体をロール状に巻いた場合嵩張るし、保護層の値段も高くなる。また膜厚が３０μｍ以上であると、感光性樹脂積層体のエッジフュージョンが抑制される為好ましい。より好ましい膜厚は、３３μｍ以上４５μｍ以下である。中心線平均粗さ（Ｒａ）が０．１μｍ以上であると感光性樹脂層と保護層の充分な密着性が得られないし、エアーボイドが発生しやすくなる。より好ましい中心線平均粗さ（Ｒａ）は０．０８５μｍ以下である。 【００２６】また、本発明の保護層（Ｃ）の表面粗さにおいて最大高さ（Ｒｍａｘ）が１．０μｍ未満であることが好ましい。ここでいう表面粗さにおける、中心線平均粗さ（Ｒａ）及び最大高さ（Ｒｍａｘ）は、原子間力顕微鏡（Ａｔｏｍｉｃ Ｆｏｒｃｅ Ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｅ）で測定される中心線平均粗さ及び最大高さをいう。本発明の保護層（Ｃ）に用いられるフィルムとしては、ポリエチレンフィルムやポリプロピレンフィルム等のポリオレフィンフィルムや、ポリエステルフィルム等が挙げられる。フィルムの剛性が小さい為、フィルムより突き出たフィッシュアイが感光性樹脂層の窪みになりにくい点で、ポリエチレンフィルムがより好ましい。」 ウ 「【００３３】 【発明の実施の形態】以下、実施例により本発明の実施の形態をさらに詳しく説明する。実施例及び比較例における評価は次の方法により行った。 【００３４】 【実施例１～５および比較例１】（１）基本評価 （感光性樹脂積層体の作成）表１に示す組成の感光性樹脂組成物を混合し、厚さ１６μｍのポリエチレンテレフタレートフィルムにバーコーターを用いて均一に塗布し、９０℃の乾燥機中に２分間乾燥して感光性樹脂層を形成した。感光性樹脂層の厚みは１０μｍであった。 【００３５】感光性樹脂層のポリエチレンテレフタレートフィルムを積層していない表面上に表２に示すポリエチレンフィルムを張り合わせて感光性樹脂積層体を得た。 （基板の前処理）４５０ｍｍ×５００ｍｍの大きさで、厚さ０．１５ｍｍの銅合金基板（古河電工製 ＥＦＴＥＣ ６４Ｔ）を、５０℃の３％ＮａＯＨ水溶液に６０秒浸漬した後、水洗・乾燥した。 （ラミネート）感光性樹脂積層体のポリエチレンフィルムを剥がしながら、前処理した銅合金基板に２段式ホットロールラミネーター（旭化成製ＡＬ－７００）により前段ロール１００℃、後段ロール１００℃でラミネートした。ラミネーターのロール圧力はエアーゲージ表示で０．３０ＭＰａとし、ラミネート速度は４．０ｍ／分とした。 ・・・中略・・・ 【００３８】 ・・・中略・・・ （５）保護層の中心線平均粗さ（Ｒａ）の測定 原子間力顕微鏡ＥＸＰＬＯＲＥＲ ＳＰＭ（Ｔｈｅｒｍｏ Ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｅｓ社製）を使用し、Ｓｉ3Ｎ4製コンタクトＡＦＭ用プローブで測定モードをＣｏｎｔａｃｔ ＡＦＭに設定した。７５μｍ×７５μｍの測定エリアをプローブで３００回往復させて中心線平均粗さ（Ｒａ）を測定した。 ・・・中略・・・ 【００４４】 【発明の効果】本発明の感光性樹脂積層体は、基板にＤＦＲをラミネートした際にエアーボイドの発生が少なく、露光、現像工程におけるレジストパターンの欠陥や、続くエッチング工程またはめっき工程において形成される回路の欠けや断線、ショートなどの欠陥の低減が可能であり、また、感光性樹脂層上に保護層を積層して感光性樹脂積層体を製造する際に、感光性樹脂層が保護層と密着しやすいという効果を有する。」 （４）甲３Ａに記載された技術的事項 上記（３）によれば、甲３Ａには、特に、保護層（Ｃ）の好ましい表面粗さＲａ及び最大高さＲｍａｘについて、以下の 事項が記載されている。 ア 「本発明の感光性樹脂層（Ｂ）の膜厚は、５μｍ以上３０μｍ以下であることが好ましい。５μｍより薄い場合基板への充分な追従性が得られないし、３０μｍより厚いと解像度の点から好ましくない。より好ましい膜厚は６μｍ以上２５μｍ以下である。本発明の保護層（Ｃ）は膜厚が３０μｍ以上５０μｍ以下であり、かつ表面粗さにおいて中心線平均粗さ（Ｒａ）が０．１μｍ未満であることが必要である。・・・中略・・・中心線平均粗さ（Ｒａ）が０．１μｍ以上であると感光性樹脂層と保護層の充分な密着性が得られないし、エアーボイドが発生しやすくなる。より好ましい中心線平均粗さ（Ｒａ）は０．０８５μｍ以下である。」（【００２５】） イ 「本発明の保護層（Ｃ）の表面粗さにおいて最大高さ（Ｒｍａｘ）が１．０μｍ未満であることが好ましい。」（【００２６】） （５）対比 本件特許発明１と甲２Ａ実施例発明を対比すると、以下のとおりである。 ア 支持フィルム 甲２Ａ実施例発明の「感光性エレメント」は、「感光性樹脂組成物の溶液を１６μｍ厚のポリエチレンテレフタレートフィルム上に均一に塗布し、１００℃の熱風対流乾燥機で約５分間乾燥し、Ｅ－２００Ｃ：ポリプロピレンフィルム（王子製紙（株）製）の保護フィルムをラミネートして得」たものである。 上記積層構造によれば、甲２Ａ実施例発明の「ポリエチレンテレフタレートフィルム」は、「感光性樹脂組成物層」及び「保護フィルム」とを支持するフィルムといえる。 そうしてみると、甲２Ａ実施例発明の「ポリエチレンテレフタレートフィルム」は、その機能からみて、本件特許発明１の「支持フィルム」に相当する。 イ 感光層及びポリプロピレンフィルム 甲２Ａ実施例発明の「Ｅ－２００Ｃ：ポリプロピレンフィルム（王子製紙（株）製）の保護フィルム」は、その機能及び材質からみて、本件特許発明１の「ポリプロピレンフィルム」に相当する。 また、甲２Ａ実施例発明の「感光性樹脂組成物層」は、「（Ａ）成分、（Ｂ）成分、（Ｃ）成分及びその他の成分を混合し、感光性樹脂組成物の溶液を調製したものである。」 ここで、上記「（Ａ）成分、（Ｂ）成分、（Ｃ）成分及びその他の成分」は、上記「（２）ア」で示したとおりであるから、特定感光層に該当しない。 そうしてみると、甲２Ａ実施例発明の「感光性樹脂組成物層」は、本件特許発明１の「感光層」に相当し、「メタクリル酸メチル／スチレン／メタクリル酸ベンジル／メタクリル酸共重合体（質量比：８／３０／３７／２５、質量平均分子量：６万）を含有する感光層、及び、メタクリル酸メチル／メタクリル酸共重合体（質量比：８０／２０、質量平均分子量：８万）を含有する感光層を除く」との要件を満たす。 さらに、上記アの積層構造からみて、甲２Ａ実施例発明の「ポリプロピレンフィルム」は、本件特許発明１の「ポリプロピレンフィルム」における、「感光層側の第１の面と、当該第１の面の反対側の第２の面と、を有し」との要件を満たす。 加えて、甲２Ａ実施例発明の「感光性樹脂組成物層」は、本件特許発明１の「感光層」における、「前記支持フィルム及び前記ポリプロピレンフィルムの間に配置された」との要件を満たす。 ウ 感光性エレメントの全体構成 甲２Ａ実施例発明の「感光性エレメント」は、技術的にみて、本件特許発明１の「感光性エレメント」に相当する。 そうしてみると、上記アの積層構造及び上記ア～イの対比結果から、甲２Ａ実施例発明の「感光性エレメント」は、本件特許発明１の「感光性エレメント」における、「支持フィルムと、ポリプロピレンフィルムと、前記支持フィルム及び前記ポリプロピレンフィルムの間に配置された感光層と、を備え」との要件を満たす。 （６）一致点及び相違点 ア 一致点 上記（５）によれば、本件特許発明１と甲２Ａ実施例発明は、次の構成で一致する。 「支持フィルムと、ポリプロピレンフィルムと、前記支持フィルム及び前記ポリプロピレンフィルムの間に配置された感光層（但し、メタクリル酸メチル／スチレン／メタクリル酸ベンジル／メタクリル酸共重合体（質量比：８／３０／３７／２５、質量平均分子量：６万）を含有する感光層、及び、メタクリル酸メチル／メタクリル酸共重合体（質量比：８０／２０、質量平均分子量：８万）を含有する感光層を除く）と、を備え、 前記ポリプロピレンフィルムが、前記感光層側の第１の面と、当該第１の面の反対側の第２の面と、を有する、 感光性エレメント。」 イ 相違点 本件特許発明１と甲２Ａ実施例発明は、次の点で、一応相違する。 （相違点２Ａ－１） 「ポリプロピレンフィルム」の「第１の面」及び「第２の面」の「算術平均粗さＲａ」及び「最大高さＲｍａｘ」が、本件特許発明１では、それぞれ「０．０５μｍ以下」及び「０．４μｍ以下」であり、これらの値の測定手順が、本件測定手順とされるのに対して、甲２Ａ実施例発明では、これらの値が一応不明であって、その測定手順も特定されていない点。 （相違点２Ａ－２） 「感光層」が、本件特許発明１は、「厚さが９μｍ以下」であるのに対して、甲２Ａ実施例発明は、「膜厚は１７μｍであ」る点。 （相違点２Ａ－３） 本件特許発明１が、「ポリプロピレンフィルムの厚さが１００μｍ以下であり」という要件及び特定積層体を除くという要件を満たすのに対して、甲２Ａ実施例発明は、上記２つの要件を満たすものか一応明らかでない点。 （７）判断 技術的な関連性に鑑み、（相違点２Ａ－１）～（相違点２Ａ－３）について、まとめて検討する。 ア Ｒａ及びＲｍａｘとエアーボイドの関係 甲３Ａには、「本発明の保護層（Ｃ）は膜厚が３０μｍ以上５０μｍ以下であり、かつ表面粗さにおいて中心線平均粗さ（Ｒａ）が０．１μｍ未満であることが必要である。・・・中略・・・中心線平均粗さ（Ｒａ）が０．１μｍ以上であると感光性樹脂層と保護層の充分な密着性が得られないし、エアーボイドが発生しやすくなる。より好ましい中心線平均粗さ（Ｒａ）は０．０８５μｍ以下である。」（【００２５】）と記載され、さらに続けて、「本発明の保護層（Ｃ）の表面粗さにおいて最大高さ（Ｒｍａｘ）が１．０μｍ未満であることが好ましい。」（【００２６】）と記載されている。（上記（４）の「甲３Ａに記載された技術的事項」を参照。） 上記記載及び本件出願の明細書の記載（例えば、【０００５】～【０００７】等）から、保護フィルムのＲａ及びＲｍａｘが小さいほどエアーボイドの発生が抑制されることは先の出願時における技術常識であるいえる。（当合議体注：Ｒｍａｘについては、甲３Ａには、最大高さＲｍａｘとエアーボイドの発生についての明示の記載はないものの、技術的にみて自明であるし、例えば、本件出願の明細書の【０００５】～【０００７】等の記載（保護フィルムにおける感光層との接触面の形状が感光層に転写される場合があることが知られている旨の記載）からも理解できる事項である。） ここで、上記下線部の「小さいほど」という点について、さらに検討する。 甲１Ａの【００１０】や【００５３】【表２】（特に、比較例３及び４）等の記載によれば、保護フィルムの巻き取りしわの発生防止の観点からは、保護フィルムのＲａには好ましい下限値が存在することが示唆される。しかしながら、甲２Ａに記載された発明（甲２実施例発明及び甲２Ａ発明）や本件特許発明（下限値が請求項において特定されておらず、さらに明細書を参酌しても当該下限値の技術的意義が何ら記載されていないもの）のように、エアーボイドの発生防止に専ら視座を置いた発明においては、下限値を敢えて意識する必要はないのであって、むしろ、前記【表２】（特に、比較例１～４）の記載からは、少なくとも０．０２μｍ程度まではＲａを小さくするほど、エアーボイドの発生防止の効果が得られることが、先の出願時の当業者の技術常識であったと認めるのが相当といえる。 イ 感光層の厚さとエアーボイドの関係 また、感光層の厚さが薄いほど、エアーボイドが発生しやすいことも技術常識（必要ならば、甲２Ａの【０００７】、甲３Ａの【０００５】及び甲３Ｂの【０００５】等を参照。）であるから、求められる半導体装置における薄型化及び狭小化の要請にしたがって、感光性樹脂組成物層の厚さを薄くすべき場合には、その分、Ｒａ及びＲｍａｘを小さく調整すべきことは当業者が当然に心得ている技術常識といえる。 ウ 先の出願時における保護層（保護フィルム）の取引の実情 さらに、先の出願時における、保護層（保護フィルム）の取引の実情について、次のような事情があったと認められる。 [A]Ｒａ及びＲｍａｘが、それぞれ「０．０５μｍ以下」及び「０．４μｍ以下」である保護層（保護フィルム）は、例えば、参考文献３（【００５３】に記載された「Ｇ２－１６」等を参照。）に記載されているように、商業的に入手可能であったこと。 [B]工業用ＯＰＰ（延伸ポリプロピレン）フィルムについて、厚さ、表面性状（平滑～マット調）及び表面粗さ（Ｒａ）等が異なる種々の製品仕様の異なる代表銘柄が存在し、製品仕様ついては、顧客の要望に応じて提供されていたこと。（参考資料４） エ 感光層の薄膜化への要請 感光性エレメントにおける感光層の厚さが、「９μｍ以下」のものは、先の出願時（２０１３年）において周知である（例えば、甲４Ａの［０１４１］（製造例１の５μｍ）及び甲５Ａの【００２５】（実施例１の１．８μｍ）等参照。）。 そうしてみると、先の出願時の技術水準からみて、甲２Ａ実施例発明において、求められる半導体装置における薄型化及び狭小化の要請にしたがって、感光性樹脂組成物層の厚さを、甲２Ａの公開当時（２０００年）において、最も好ましい範囲とされる「１０μｍ～２５μｍ」ではなく、「５～３０μｍ」あるいは「１～５０μｍ」との記載（甲２Ａの【００３５】）に基づいて、当業者が「９μｍ以下」へ設計変更する動機は十分に存在するといえる。 上記ア～エの技術常識及び取引の実情等を総合すると、甲２Ａ実施例発明において、半導体装置の薄型化及び狭小化の要請にしたがい、「感光層」を、「厚さが９μｍ以下」（相違点２Ａ－２）とするとともに、当該「感光層」においてエアーボイドが発生することを防止するために、「Ｅ－２００Ｃ：ポリプロピレンフィルム（王子製紙（株）製）」に換えて、先の出願時に可能な限り小さいＲａ及びＲｍａｘ（上記ウ[A]レベルのもの）であって、かつ、甲２Ａの【００４０】において「特に好ましい」とされる範囲のうち「３０μｍ以上５０μｍ以下」以外の厚さを具備するポリプロピレンフィルムを採用（注文）して、（相違点２Ａ－１）及び（相違点２Ａ－３）に係る本件特許発明１の構成に到ることは当業者が容易になし得たことである。 オ 測定手順について ところで、相違点２Ａ－１に係る「Ｒａ」及び「Ｒｍａｘ」の測定値が、本件特許発明１では、本件測定手順で得られるものであるのに対して、甲２Ａ実施例発明の「ポリプロピレンフィルム」では、製品型番「Ｅ－２００Ｃ」から推認される「Ｒａ」及び「Ｒｍａｘ」の値（参考資料３の【００５３】【表２】比較例４参照）が、少なくとも本件測定手順で得られるものではない点（参考資料３の【００４９】参照）で相違するから、一応この点が問題となり得る。 しかしながら、エアーボイドの発生を低減するために、Ｒａ及びＲｍａｘが可能な限り小さいことが好ましいことは、測定手順に関わらず妥当することである。 したがって、測定手順の相違は、上記エの結論を左右しない。 （８）発明の効果について 本件特許の明細書の【００２２】の記載からみて、本件特許発明１の効果は、「感光性エレメントが薄型の感光層を有する場合であっても、ラミネートに際して気泡が発生することを抑制することができる。」というものと認められる。 しかしながら、当該効果は、上記（７）で述べたとおりであって当業者に自明なものであって、効果の程度も顕著なものとはいえない。 （９）特許権者の主張について 特許権者は、令和３年４月３０日付け意見書の９頁～１５頁及び５４頁～５５頁等において、甲１Ｂを主引用例とした取消しの理由に対して、概略、次の点を主張する。 ア Ｒａ、Ｒｍａｘ等の表面粗さは、低減を要する程度に応じて調整されるものであり、程度の指針が何ら示されていないにも関わらず際限なく低減されるものではない。例えば、Ｒａに関して、甲２Ａ（【００３８】）においては、好ましい下限について０．００５μｍよりも０．０１μｍの方が好ましいこと、Ｒｍａｘに関して、甲１Ａ（請求項１、【００１３】～【００１４】）には、Ｒｍａｘが０．５μｍ以上であることが必須事項と位置づけられている点及び実施例及び比較例から、単純にＲｍａｘが低いほど良いわけではない点。 イ 甲２Ａ及び甲３Ａには、実施例においてＲｍａｘの具体値や０．４μｍ以下にまで低減すべき事情は何ら示されていない点。 ウ 本件特許発明１から特定積層体が除かれているため、甲２Ａ実施例発明の設計変更に際して、甲３Ａを参照することは当業者といえども困難である点。 エ 甲２Ａ実施例発明の「感光層」の厚さの設計変更にあたっては、甲２Ａにおいて、最も好ましい範囲とされる「１０μｍ～２５μｍ」の範囲に調整するのが自然である点。 オ 甲３Ａ等の主張を採用し得たとしても、実施例において有効性が確認されていない９μｍ以下に感光層の厚さを調整するとともに、ポリプロピレンフィルムの両面のＲｍａｘを０．４μｍ以下に調整したはずであるという示唆等は存在せず、数多ある保護フィルムの中から上記ポリプロピレンフィルムを敢えて選択し用いるべきと当業者は認識しない点。 上記主張について検討する。 （主張ア及びイについて） 保護層の表面粗さ（数値範囲）の設計思想として、エアーボイドの発生防止や巻き取りしわの発生防止等、種々の観点があり、前者を重視する場合において、下限値を意識する必要がないことは、上記（７）で述べたとおりである。 そうしてみると、エアーボイドの発生防止に専ら視座を置いた、甲２Ａ実施例発明から出発して、その改良を試みる当業者が、「ポリプロピレンフィルム」として、Ｒａ及びＲｍａｘが可能な限り小さい製品の採用を試みることは容易になし得ることである。 したがって、上記主張ア及びイは採用すべき理由がない。 （主張ウについて） 甲３Ａの【００２５】に記載された、Ｒａ及びＲｍａｘを所定の値以下にしたことによる効果（エアーボイド発生の低減効果）は、保護層の膜厚には依らないことは明らかである。 したがって、本件特許発明１から特定積層体が除かれたことは、甲２Ａ実施例発明の改良を試みる当業者が、甲３Ａを参照することはないという理由にはならない。 したがって、上記主張ウは採用すべき理由がない。 （主張エについて） 上記「（７）エ」で述べたとおりである。 したがって、上記主張エは採用すべき理由がない。 （主張オについて） 上記「（７）ア」で述べたとおりである。 したがって、上記主張オは採用すべき理由がない。 （１０）小括 以上のとおりであるから、本件特許発明１は、甲２Ａに記載された発明、甲３Ａに記載された技術的事項及び周知技術に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものである。 （１１）本件特許発明２～７及び９について ア 本件特許発明２について （ア）対比 本件特許発明２は、本件特許発明１において、[A]「ポリプロピレンフィルム」から特定ポリプロピレンフィルムを除外し、「厚さが１００μｍ以下であり」という要件を省いた点、[B]「最大高さＲｍａｘが０．４μｍ以下」から「最大高さＲｍａｘが０．５μｍ以下」へ変更された点、[C]「感光層の厚さが９μｍ以下」から「感光層の厚さが５μｍ以下」へ変更された点、[D]「感光層」から特定感光層を除くとはされていない点及び[E]「感光層エレメント」から特定積層体を除くとはされていない点においてのみ相違する。 そうしてみると、本件特許発明２と甲２Ａ実施例発明とは、以下の点で相違する。 （相違点２Ａ’－１） 「ポリプロピレンフィルム」の「第１の面」及び「第２の面」の「算術平均粗さＲａ」及び「最大高さＲｍａｘ」が、本件特許発明２では、それぞれ「０．０５μｍ以下」及び「０．５μｍ以下」であり、これらの値の測定手順が、本件測定手順とされるのに対して、甲２Ａ実施例発明では、これらの値が一応不明であって、その測定手順も特定されていない点。 （相違点２Ａ’－２） 「感光層」が、本件特許発明２は、「厚さが５μｍ以下」であるのに対して、甲２Ａ実施例発明は、「膜厚は１７μｍであ」る点。 （相違点２Ａ’－３） 本件特許発明２では、「ポリプロピレンフィルム」から、特定ポリプロピレンフィルムが除かれているのに対して、甲２Ａ実施例発明の「ポリプロピレンフィルム」が特定ポリプロピレンフィルムに該当する蓋然性が高い点。 （当合議体注：甲２Ａ実施例発明の「ポリプロピレンフィルム」の厚さは、本件出願の明細書の【０１１８】【表３】（比較例２）の記載から、２０μｍと推認される。） （イ）判断 上記相違点について検討する。 技術的な関連性に鑑み、（相違点２Ａ’－１）～（相違点２Ａ’－３）について、まとめて検討する。 甲２Ａの【００４０】には、「保護フィルム（ｃ）の厚みは１～１００μｍであることが好ましく・・・中略・・・１５～５０μｍであることが特に好ましい。」と記載されている。当該記載及び甲２の他の記載をみても、甲２Ａ実施例発明の「ポリプロピレンフィルム」が、必ずしも「厚さ２０μｍ」または「厚さ１２μｍ」でなければならない理由はない。 また、ポリプロピレンフィルムの表面粗さＲａ、最大高さＲｍａｘ及び感光層の厚さとエアーボイドの関係についての先の出願時の当業者の技術常識については、上記（７）に示したとおりである。 以上、甲２Ａの上記記載及び上記（７）の検討結果から、甲２Ａ実施例発明の「ポリプロピレンフィルム」に換えて、エアーボイドの発生防止を重視する当業者が、「１２μｍ」又は「２０μｍ」以外の厚みであって、可能な限り小さなＲａ及びＲｍａｘを具備する、「ポリプロピレンフィルム」を採用して、（相違点２Ａ’－１）～（相違点２Ａ’－３）に係る本件特許発明２の構成に到ることは容易である。 イ 本件特許発明３について 相違点２Ａ’－２の判断と同様である。 ウ 本件特許発明４及び６について 本件特許発明４と甲２Ａ実施例発明とは、既に検討した相違点に加えて、次の点で相違する。 （相違点２Ａ－５） 「感光性エレメント」が、本件特許発明４では、「４００～７００ｎｍの波長域における平均光透過率が８０％以上である」のに対して、甲２Ａ実施例発明では、このように特定されていない点。 また、本件特許発明６と甲２Ａ実施例発明とは、既に検討した相違点に加えて、次の点で相違する。 （相違点２Ａ－６） 「感光性エレメント」が、本件特許発明４では、「透明基材上に硬化物を形成するために用いられる」ものであるのに対して、甲２Ａ実施例発明では、このように特定されていない点。 上記相違点について検討する。 （相違点２Ａ－５）及び（相違点２Ａ－６） タッチパネルや表示装置の透明基板上に硬化物のパターンを形成するために、所望の光透過率を備えた感光性フィルムを用いることは、先の出願時における周知技術である。 （必要ならば、甲４Ａの[0080]～[0082]、[0143]～[0146]、[0149]～[0151]、【図６】(a）～(b)等及び甲６Ａの請求項１６、【０００１】、【０１７７】及び【０１９７】等参照。） そうしてみると、甲２Ａの「感光性エレメント」において、相違点２Ａ－５に係る本件特許発明４の構成に想到すること、相違点２Ａ－６に係る本件特許発明６の構成に想到することは、上記周知技術を熟知した当業者が容易になし得たことである。 エ 本件特許発明５について 甲２Ａ実施例発明の「感光性エレメント」における「感光性樹脂組成物層」は、「（Ａ）成分：メタクリル酸、メタクリル酸メチル、メタクリル酸ブチル及びアクリル酸２－エチルヘキシルを重量比２５：５０：５：２０の割合で共重合させた、共重合体をメチルセルソルブ／トルエン（６／４、重量比）に不揮発成分４０重量％になるように溶解させた溶液を１５０ｇ、（Ｂ）成分：２，２－ビス（４－メタクリロキシペンタエトキシ）フェニル）プロパンを３０ｇと、ポリエチレングリコールジメタクリレート（エチレングリコール鎖の繰り返し数は４）を１０ｇ、（Ｃ）成分：ベンゾフェノンを５．０ｇと、Ｎ，Ｎ－テトラエチル－４，４’－ジアミノベンゾフェノンを０．３ｇ」及び「その他の成分」「を混合し、」「調製した」「感光性樹脂組成物」「を塗布し」「乾燥し」て得たものである。 上記各成分の「感光性樹脂組成物層」における役割から、甲２Ａ実施例発明の「（Ａ）成分」、「（Ｂ）成分」及び「（Ｃ）成分」は、それぞれ本件特許発明５の「バインダーポリマー」、「光重合性化合物」及び「光重合開始剤」に相当する。 したがって、本件特許発明５と甲２Ａ実施例発明とは、新たな相違点を有しない。 オ 本件特許発明７について 本件特許発明７と甲２Ａ実施例発明とは、既に検討した相違点に加えて、次の点で相違する。 （相違点２Ａ－７） 本件特許発明７が、「巻芯と、当該巻芯に巻回された感光性エレメントを備えた」「感光性エレメントロール」の発明であるのに対して、甲２Ａ実施例発明は、感光性エレメントの発明である点。 上記相違点について検討するに、感光性エレメントを巻芯に巻回してロール状にして保管することは、周知慣用技術である。（必要であれば、甲１Ａの【００１０】【００５３】【表２】及び甲１Ｂの【０２２４】等参照。） したがって、上記周知技術を心得た当業者が、甲２Ａ実施例発明の「感光性エレメント」を、相違点２Ａ－７に係る本件特許発明７のような態様で保管することは容易に想到し得ることである。 カ 本件特許発明９について 本件特許発明６についてと同様である。 （１２）甲２Ａ発明を主たる引用発明とした場合 ア 本件特許発明１について 本件特許発明１と甲２Ａ発明を対比すると、以下のとおりである。 （ア）支持フィルム 甲２Ａ発明の「感光性エレメント」は、「支持フィルム（ａ）、感光性樹脂組成物層（ｂ）及び保護フィルム（ｃ）から成る」。 上記積層構造によれば、甲２Ａ発明の「支持フィルム（ａ）」は、「感光性樹脂組成物層（ｂ）」及び「保護フィルム（ｃ）」とを支持するフィルムである。 そうしてみると、甲２Ａ発明の「支持フィルム（ａ）」は、本件特許発明１の「支持フィルム」に相当する。 （イ）感光層及びポリプロピレンフィルム 甲２Ａ発明の「ポリプロピレンフィルム」は、「保護フィルム（ｃ）」であり、その機能及び材質からみて、本件特許発明１の「ポリプロピレンフィルム」に相当する。 また、甲２Ａ発明の「感光性樹脂組成物層（ｂ）」は、その文言が意味するとおり、本件特許発明１の「感光層」に相当する。 そして、甲２Ａ発明の「感光性エレメント」の積層構造を踏まえると、甲２Ａ発明の「ポリプロピレンフィルム」は、本件特許発明１の「ポリプロピレンフィルム」における、「感光層側の第１の面と、当該第１の面の反対側の第２の面と、を有し」との要件を満たすことは明らかである。 さらに、甲２Ａ発明の「感光性樹脂組成物層（ｂ）」は、本件特許発明１の「感光層」における、「前記支持フィルム及び前記ポリプロピレンフィルムの間に配置された」との要件を満たす。 （ウ）感光性エレメントの全体構成 甲２Ａ発明の「感光性エレメント」は、技術的にみて、本件特許発明１の「感光性エレメント」に相当する。 そうしてみると、上記（ア）の積層構造及び上記（ア）～（イ）の対比結果から、甲２Ａ発明の「感光性エレメント」は、本件特許発明１の「感光性エレメント」における、「支持フィルムと、ポリプロピレンフィルムと、前記支持フィルム及び前記ポリプロピレンフィルムの間に配置された感光層と、を備え」との要件を満たす。 以上によれば、本件特許発明１と甲２Ａ発明との一致点及び相違点は、次のとおりである。 （一致点） 「支持フィルムと、ポリプロピレンフィルムと、前記支持フィルム及び前記ポリプロピレンフィルムの間に配置された感光層と、を備え、 前記ポリプロピレンフィルムが、前記感光層側の第１の面と、当該第１の面の反対側の第２の面と、を有する、 感光性エレメント。」 （相違点２Ａ”－１） 「ポリプロピレンフィルム」の「第１の面」及び「第２の面」の「算術平均粗さＲａ」及び「最大高さＲｍａｘ」が、本件特許発明１では、それぞれ「０．０５μｍ以下」及び「０．４μｍ以下」であり、これらの値の測定手順が、本件測定手順とされるのに対して、甲２Ａ発明では、これらの値が特定されておらず、また、その測定手順も特定されていない点。 （相違点２Ａ”－２） 「感光層」が、本件特許発明１は、「厚さが９μｍ以下」であって、特定感光層を除くとされているのに対して、甲２Ａ発明では、厚さが特定されておらず、そのため、特定感光層以外のものに該当するか否かも特定されていない点。 （相違点２Ａ”－３） 本件特許発明１が、「ポリプロピレンフィルムの厚さが１００μｍ以下であり」という要件及び特定積層体を除くという要件を満たすのに対して、甲２Ａ発明では、「ポリプロピレンフィルムである」「保護フィルム（ｃ）」の厚さが特定されておらず、そのため、甲２Ａ発明の「感光性エレメント」が、本件特許発明１の「感光性エレメント」から、特定積層体を除いた範囲内のものに該当するか否かも特定されていない点。 上記相違点についての判断は、以下のとおりである。 上記（７）と同様、技術的な関連性に鑑み、相違点をまとめて検討する。 甲２Ａ発明は、感光性エレメントという技術分野に属し、かつ、ラミネートした時のエアーボイドの発生を防止するという共通の技術課題を有している点において、甲２Ａ実施例発明の場合と何ら事情は変わらない。また、保護フィルムの表面粗さＲａ、最大高さＲｍａｘ及び感光層の厚さと、感光層のエアーボイドの関係に関する技術常識等は上記（７）に示したとおりである。 そうしてみると、上記（７）と同様の理由により、上記技術常識を熟知する当業者が、甲２Ａ発明の「感光性エレメント」において、半導体装置の薄型化及び狭小化の要請にしたがって、「感光性樹脂組成物層（ｂ）」の厚さを薄くするとともに、エアーボイドの発生を防止するために、甲２Ａ発明の「ポリプロピレンフィルム」における表面粗さＲａ、最大高さＲｍａｘ及び厚さや、「感光性樹脂組成物層（ｂ）」の厚さを設計変更して、（相違点２Ａ”－１）～（相違点２Ａ”－３）に係る本件特許発明１の構成に想到することは容易である。 また、甲２Ａ発明の「感光性樹脂組成物層（ｂ）」として、本件特許発明１において除かれた範囲（「特定感光層」以外のもの、例えば、甲２Ａの実施例１における感光性樹脂組成物層）を採用することは、当業者が容易に想到し得ることである。 また、発明の効果については、上記「（８）」の判断と同様である。 イ 本件特許発明２について 本件特許発明２と甲２Ａ発明との相違点は、以下のとおりである。 （相違点２Ａ”’－１） 「ポリプロピレンフィルム」の「第１の面」及び「第２の面」の「算術平均粗さＲａ」及び「最大高さＲｍａｘ」が、本件特許発明２では、それぞれ「０．０５μｍ以下」及び「０．５μｍ以下」であり、これらの値の測定手順が、本件測定手順とされるのに対して、甲２Ａ発明では、これらの値が特定されておらず、また、その測定手順も特定されていない点。 （相違点２Ａ”’－２） 「感光層」が、本件特許発明２は、「厚さが５μｍ以下」であるのに対して、甲２Ａ発明では、厚さが特定されていない点。 （相違点２Ａ”’－３） 本件特許発明２では、「ポリプロピレンフィルム」から、特定ポリプロピレンフィルムが除かれているのに対して、甲２Ａ発明の「ポリプロピレンフィルム」は、特定ポリプロピレンフィルムに該当するか否か不明である点。 そして、上記相違点について検討する。 上記（７）と同様、技術的な関連性に鑑み、（相違点２Ａ”’－１）～（相違点２Ａ”’－３）について、まとめて検討する。 甲２Ａの【００４０】には、「保護フィルム（ｃ）の厚みは１～１００μｍであることが好ましく・・・中略・・・１５～５０μｍであることが特に好ましい。」と記載されている。当該記載及び甲２Ａの他の記載を参酌しても、甲２Ａ発明の「ポリプロピレンフィルム」が、「厚さ２０μｍ」または「厚さ１２μｍ」でなければならない理由はない。 また、ポリプロピレンフィルムの表面粗さＲａ、最大高さＲｍａｘ及び感光層の厚さとエアーボイドの関係についての先の出願時の技術常識については、上記（７）に示したとおりである。 以上、甲２Ａの上記記載及び上記（７）の検討結果からみて、当業者が、甲２Ａ発明の「ポリプロピレンフィルム」の厚みを「１２μｍ」又は「２０μｍ」以外のものとし、Ｒａ及びＲｍａｘを可能な限り小さいものへと設計変更して、（相違点２Ａ”’－１）～（相違点２Ａ”’－３）に係る本件特許発明２の構成に想到することは容易である。 ウ 本件特許発明３について 本件特許発明３と甲２Ａ発明との新たな相違点は、上記「（１１）ア（ア）」の（相違点２Ａ’－２）と同様である。 そして、上記相違点についての判断は、上記「（１１）ア（イ）」の判断と同様である。 エ 本件特許発明４及び６について 本件特許発明４と甲２Ａ発明との新たな相違点は、上記「（１１）ウ」の（相違点２Ａ－５）と同様である。 そして、上記相違点についての判断は、上記「（１１）ウ」の判断と同様である。 また、本件特許発明６と甲２Ａ発明との新たな相違点は、上記「（１１）ウ」の（相違点２Ａ－６）と同様である。 そして、上記相違点についての判断は、上記「（１１）ウ」の判断と同様である。 オ 本件特許発明５について 甲２Ａ発明の「感光性樹脂組成物層」は、「（Ａ）バインダーポリマー、（Ｂ）重合可能なエチレン性不飽和基の濃度が、（Ａ）成分及び（Ｂ）成分の総量１００ｇに対して、０．１２～０．２６モルである光重合性化合物並びに（Ｃ）光重合開始剤を含有してな」るものである。 上記各成分の「感光性樹脂組成物層」における役割から、甲２Ａ発明の「（Ａ）」成分、「（Ｂ）」成分及び「（Ｃ）」成分は、それぞれ本件特許発明５の「バインダーポリマー」、「光重合性化合物」及び「光重合開始剤」に相当する。 したがって、本件特許発明５と甲２Ａ発明とは、新たな相違点を有しない。 カ 本件特許発明７について 上記「（１１）オ」と同様である。 キ 本件特許発明９について 上記「（１１）カ」の判断と同様である。 （１３）甲２Ａ方法発明を主たる引用発明とした場合 本件特許発明８と甲２Ａ方法発明とを対比する。 （ア）感光層、支持フィルム及びポリプロピレンフィルム 甲２Ａ方法発明の「感光性樹脂組成物層（ｂ）」、「支持フィルム（ａ）」、「保護フィルム（ｃ）」「である」とされる「ポリプロピレンフィルム」及び「回路形成基板」は、技術的にみて、それぞれ本件特許発明８の「感光層」、「支持フィルム」、「ポリプロピレンフィルム」及び「基材」に相当する。 （イ）積層する工程 甲２Ａ方法発明は、「感光性エレメントを、回路形成用基板上に感光性樹脂組成物層が密着するようにして積層」する工程を含む。 ここで、「感光性エレメント」の積層構成からみて、甲２Ａ方法発明の上記「積層」する工程では、「感光性エレメント」から、「保護フィルム（ｃ）」である「ポリプロピレンフィルム」を剥離した後、「回路形成基板上に感光性樹脂組成物層が密着するようにして積層」されることは明らかである。 したがって、甲２Ａ方法発明の「積層」する工程は、本件特許発明８において、「ポリプロピレンフィルムを剥離した後に前記感光層及び前記支持フィルムを基材上に積層する」とされる、「積層する工程」に相当する。 （ウ）光硬化部を形成する工程 甲２Ａ方法発明は、「活性光線を画像状に照射し、露光部を光硬化させ」る工程を含む。 そうしてみると、甲２Ａ方法発明の上記「光硬化させ」る工程は、技術的にみて、本件特許発明８において、「感光層の所定部分に活性光線を照射して」とされる、「光硬化部を形成する工程」に相当する。 （エ）光硬化部以外の部分を除去する工程 甲２Ａ方法発明は、「未露光部を現像により除去する」工程を含む。 上記「未露光部」が、「感光性樹脂組成物層（ｂ）」における光硬化していない部分を意味することは技術的にみて明らかである。 そうしてみると、甲２Ａ方法発明の「未露光部を現像により除去する」工程は、本件特許発明８の「感光層における前記光硬化部以外の部分を除去する工程」に相当する。 （オ）レジストパターンの製造方法 上記（ア）～（エ）の対比結果によれば、本件特許発明８の各工程は、いずれも甲２Ａ方法発明が具備する工程である。 そして、本件特許発明８のうち、請求項１～６を引用する部分（「感光性エレメント」に関する構成）については、本件特許発明１～６と甲２Ａ発明との対比結果と同一である。 そうしてみると、本件特許発明８と甲２Ａ方法発明とは、既に検討した点以外の新たに検討すべきな相違点はない。 したがって、本件特許発明８は、甲２Ａに記載された発明、甲３Ａに記載された事項及び周知技術に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものである。 （１４）本件特許発明１～９の小括 本件特許発明１～９は、甲２Ａに記載された発明、甲３Ａに記載された事項及び周知技術に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものである。 ２ 甲１Ｂを主引用例とした場合 （１）甲１Ｂの記載 取消しの理由で引用された甲１Ｂには、次の事項が記載されている。 なお、下線は当合議体が付与したものであって、引用発明の認定及び判断等において活用した箇所を示す。 ア 「【発明の詳細な説明】 【技術分野】 【０００１】 本発明は、ドライ・フィルム・レジスト（ＤＦＲ）等に好適なパターン形成材料、並びに該パターン形成材料を備えたパターン形成装置及び前記パターン形成材料を用いたパターン形成方法に関する。 ・・・中略・・・ 【発明が解決しようとする課題】 【０００６】 本発明は、かかる現状に鑑みてなされたものであり、従来における前記諸問題を解決し、以下の目的を達成することを課題とする。即ち、本発明は、感光層の感度低下を抑制でき、かつ、高精細なパターンを形成可能なパターン形成材料、並びに該パターン形成材料を備えたパターン形成装置及び前記パターン形成材料を用いたパターン形成方法を提供することを目的とする。 【課題を解決するための手段】 【０００７】 前記課題を解決するための手段としては、以下の通りである。 即ち、＜１＞ 支持体上に感光層を少なくとも有し、該感光層が、重合禁止剤、バインダー、重合性化合物及び光重合開始剤を含み、かつ、該感光層を露光し現像する場合において、該感光層の露光する部分の厚みを該露光・現像後において変化させない前記光の最小エネルギーが、０．１～１０ｍＪ／ｃｍ２であることを特徴とするパターン形成材料である。該＜１＞に記載のパターン形成材料においては、前記感光層は、前記重合禁止剤、 バインダー、重合性化合物及び光重合開始剤を含むため、前記感光層を露光し現像する場合において、該感光層の露光する部分の厚みを該露光・現像後において変化させない前記光の最小エネルギーが、所定の範囲となる。この結果、例えば、その後、前記感光層を現像することにより、高精細なパターンが形成される。 ・・・中略・・・ ＜２５＞ パターン形成材料が、長尺状であり、ロール状に巻かれてなる前記＜１＞から＜２４＞のいずれかに記載のパターン形成材料である。 ・・・中略・・・ 【発明の効果】 【００１６】 本発明によると、従来における問題を解決することができ、高感度の感光層を有し、かつ、高精細なパターンを形成可能なパターン形成材料、並びに該パターン形成材料を備えたパターン形成装置及び前記パターン形成材料を用いたパターン形成方法を提供することができる。」 イ 「【発明を実施するための形態】 【００２１】 （パターン形成材料） 本発明のパターン形成材料は、支持体上に感光層を少なくとも有し、必要に応じて適宜選択したその他の層を有していてもよい。 前記感光層は、重合禁止剤、バインダー、重合性化合物及び光重合開始剤を含み、必要に応じて適宜選択した増感剤やその他の成分を含んでいてもよい。 【００２２】 ＜感光層＞ 前記感光層を露光し現像する場合において、該感光層の露光する部分の厚みを該露光・現像後において変化させない光の最小エネルギーとしては、０．１～１０ｍＪ／ｃｍ２である限り、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、例えば、０．５～８ｍＪ／ｃｍ２が好ましく、１～５ｍＪ／ｃｍ２がより好ましい。 ・・・中略・・・ 【０２１７】 前記感光層の厚みとしては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、例えば、１～１００μｍが好ましく、２～５０μｍがより好ましく、４～３０μｍが特に好ましい。 【０２１８】 ＜支持体及び保護フィルム＞ 前記支持体としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、前記感光層を剥離可能であり、かつ光の透過性が良好であるものが好ましく、更に表面の平滑性が良好であることがより好ましい。 ・・・中略・・・ 【０２２２】 前記パターン形成材料は、前記感光層上に保護フィルムを形成してもよい。 前記保護フィルムとしては、例えば、前記支持体に使用されるもの、紙、ポリエチレン、ポリプロピレンがラミネートされた紙、などが挙げられ、これらの中でも、ポリエチレンフィルム、ポリプロピレンフィルムが好ましい。 前記保護フィルムの厚みとしては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、例えば、５～１００μｍが好ましく、８～５０μｍがより好ましく、１０～３０μｍが特に好ましい。」 ウ 「【０２３４】 （パターン形成装置及びパターン形成方法） 本発明のパターン形成装置は、本発明の前記パターン形成材料を備えており、光照射手段と光変調手段とを少なくとも有する。 【０２３５】 本発明のパターン形成方法は、露光工程を少なくとも含み、適宜選択したその他の工程を含む。 なお、本発明の前記パターン形成装置は、本発明の前記パターン形成方法の説明を通じて明らかにする。 【０２３６】 ［露光工程］ 前記露光工程は、本発明のパターン形成材料における感光層に対し、露光を行う工程である。本発明の前記パターン形成材料については上述の通りである。 【０２３７】 前記露光の対象としては、前記パターン形成材料における感光層である限り、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、例えば、基体上に前記パターン形成材料を形成してなる積層体に対して行われることが好ましい。 【０２３８】 前記基体としては、特に制限はなく、公知の材料の中から表面平滑性の高いものから凸凹のある表面を有するものまで適宜選択することができるが、板状の基体（基板）が好ましく、具体的には、公知のプリント配線板形成用基板（例えば、銅張積層板）、ガラス板（例えば、ソーダガラス板等）、合成樹脂性のフィルム、紙、金属板などが挙げられる。 【０２３９】 前記積層体における層構成としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、例えば、前記基体と前記感光層と前記支持体とをこの順有する層構成が好ましい。 ・・・中略・・・ 【０３９１】 ［その他工程］ 前記その他の工程としては、特に制限はなく、公知のパターン形成における工程の中から適宜選択することが挙げられるが、例えば、現像工程、エッチング工程、メッキ工程などが挙げられる。これらは、１種単独で使用してもよく、２種以上を併用してもよい。 前記現像工程は、前記露光工程により前記パターン形成材料における感光層を露光し、該感光層の露光した領域を硬化させた後、未硬化領域を除去することにより現像し、パターンを形成する工程である。 ・・・中略・・・ 【０３９８】 〔プリント配線板及びカラーフィルタの製造方法〕 本発明の前記パターン形成方法は、プリント配線板の製造、特にスルーホール又はビアホールなどのホール部を有するプリント配線板の製造、及び、カラーフィルタの製造に好適に使用することができる。 ・・・中略・・・ 【０４１４】 －カラーフィルタの製造方法－ ガラス基板等の基体上に、本発明の前記パターン形成材料における感光層を貼り合わせ、該パターン形成材料から支持体を剥離する場合に、帯電した前記支持体（フィルム）と人体とが不快な電気ショックを受けることがあり、あるいは帯電した前記支持体に塵埃が付着する等の問題がある。このため、前記支持体上に導電層を設けたり、前記支持体自体に導電性を付与する処理を施すことが好ましい。また、前記導電層を前記感光層とは反対側の前記支持体上に設けた場合は、耐傷性を向上させるために疎水性重合体層を設けることが好ましい。」 ウ 「【実施例】 【０４２０】 以下、実施例により本発明を更に具体的に説明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。 （実施例１） －パターン形成材料の製造－ 前記支持体としての１６μｍ厚のポリエチレンテレフタレートフィルム（東レ社製、１６ＦＢ５０）上に下記の組成からなる感光性樹脂組成物溶液を塗布し乾燥させて、前記支持体上に１５μｍ厚の感光層を形成し、前記パターン形成材料を製造した。 【０４２１】 ［感光性樹脂組成物溶液の組成］ ・フェノチアジン ０．００４９質量部 ・メチルメタクリレート／スチレン／ベンジルメタクリレート／メタクリル酸共重合体（共重合体組成（質量比）：８／３０／３７／２５、質量平均分子量：６０，０００、酸価１６３） １６質量部 ・下記構造式（７４）で表される重合性モノマー ７．０質量部 ・ヘキサメチレンジイソシアネートとテトラエチレンオキシドモノメタアクリレートの１／２モル比付加物 ７．０質量部 ・２，２－ビス（ｏ－クロロフェニル）－４，４’，５，５’－テトラフェニルビイミダゾール ２．１７質量部 ・Ｎ－メチルアクリドン ０．１１質量部 ・２－メルカプトベンズイミダゾール ０．２３質量部 ・マラカイトグリーンシュウ酸塩 ０．０２質量部 ・ロイコクリスタルバイオレット ０．２６質量部 ・メチルエチルケトン ４０質量部 ・１－メトキシ－２－プロパノール ２０質量部 ・フッ素系界面活性剤（大日本インキ社製、Ｆ７８０Ｆ） ０．００２７質量部 ・・・中略・・・ 【０４２２】 【化４８】 ［図：0001384017000004.jpg］ 但し、構造式（７４）中、ｍ＋ｎは、１０を表す。 【０４２３】 前記パターン形成材料の感光層の上に、前記保護フィルムとして２０μｍ厚のポリプロピレンフィルム（王子製紙社製、Ｅ－２００Ｃ）を積層した。次に、前記基体として、表面を研磨、水洗、乾燥した銅張積層板（スルーホールなし、銅厚み１２μｍ）の表面に、前記パターン形成材料の保護フィルムを剥がしながら、ラミネーター（ＭＯＤＥＬ８Ｂ－７２０－ＰＨ、大成ラミネーター（株）製）を用いて積層させ、前記銅張積層板と、前記感光層と、前記ポリエチレンテレフタレートフィルム（支持体）とがこの順に積層された積層体を調製した。 【０４２４】 ・・・中略・・・ 前記製造した前記積層体について、最短現像時間、感度及び解像度の評価を行った。結果を表３に示した。 【０４２５】 ＜最短現像時間＞ ・・・中略・・・ 【０４２６】 ＜感度＞ 前記積層体におけるパターン形成材料の感光層に対し、ポリエチレンテレフタレートフィルム（支持体）側から、前記光照射手段としての４０５ｎｍのレーザ光源を有するパターン形成装置を用いて、０．１ｍＪ／ｃｍ２から２１／２倍間隔で１００ｍＪ／ｃｍ２までの光エネルギー量の異なる光を照射して露光し、前記感光層の一部の領域を硬化させた。室温にて１０分間静置した後、前記積層体からポリエチレンテレフタレートフィルム（支持体）を剥がし取り、銅張積層板上の感光層の全面に、炭酸ナトリウム水溶液（３０℃、１質量％）をスプレー圧０．１５ＭＰａにて前記（１）で求めた最短現像時間の２倍の時間スプレーし、未硬化の領域を溶解除去して、現像により除去された部分以外の部分（硬化領域）の厚みを測定した。次いで、光の照射量と、硬化層の厚さとの関係をプロットして感度曲線を得る。こうして得た感度曲線から硬化領域の厚さが１５μｍとなった時の光エネルギー量を、感光層を硬化させるために必要な最小の光エネルギー量とした。この結果、前記感光層を硬化させるために必要な最小の光エネルギー量は、４．０ｍＪ／ｃｍ２であった。なお、前記パターン形成装置は、前記ＤＭＤからなる光変調手段を有し、前記パターン形成材料を備えている。 ・・・中略・・・ 【０４３５】 （実施例９） 実施例１において、前記保護フィルムをポリプロピレンフィルム（王子製紙社製、Ｅ－５０１、厚み：１２μｍ）に代えた以外は実施例１と同様にしてパターン形成材料を製造した。 製造したパターン形成材料について最短現像時間、感度及び解像度の評価を行った。結果を表３に示した。 ・・・中略・・・ 【０４５３】 【表３】 ［図：0001384017000005.jpg］ 表３の結果より、実施例１～１３のパターン形成材料では、いずれの感度も１０（ｍＪ／ｃｍ２）以下であり感度低下が抑制され、かつ、高解像度であることが判った。」 （当合議体注：表３のうち、比較例１～比較例３（下３行）は摘記を省略した。） （２）甲１Ｂに記載された発明 ア 甲１Ｂ実施例発明 甲１Ｂの【０４２０】に実施例１として記載された、「パターン形成材料」は、「支持体としての１６μｍ厚のポリエチレンテレフタレートフィルム」「上に下記の組成からなる感光性樹脂組成物溶液を塗布し乾燥させて、前記支持体上に１５μｍ厚の感光層を形成し、」「製造した」ものであるところ、「下記の組成」は、甲１Ｂの【０４２１】に記載されたとおりのものである。 さらに、甲１Ｂの【０４２３】によれば、上記「パターン形成材料」は、「前記パターン形成材料の感光層の上に、前記保護フィルムとして２０μｍ厚のポリプロピレンフィルム（王子製紙社製、Ｅ－２００Ｃ）を積層」したものである。 加えて、甲１Ｂの【０４３５】によれば、実施例９の「パターン形成材料」は、「実施例１において、前記保護フィルムをポリプロピレンフィルム（王子製紙社製、Ｅ－５０１、厚み：１２μｍ）に代えた以外は実施例１と同様にしてパターン形成材料を製造した」ものと理解される。 以上によれば、甲１Ｂには、実施例９として、以下のパターン形成材料の発明（以下「甲１Ｂ実施例発明」という。）が記載されている。 「支持体としての１６μｍ厚のポリエチレンテレフタレートフィルム上に下記の組成からなる感光性樹脂組成物溶液を塗布し乾燥させて、前記支持体上に１５μｍ厚の感光層を形成し、前記パターン形成材料を製造し、 前記パターン形成材料の感光層の上に、保護フィルムとしてポリプロピレンフィルム（王子製紙社製、Ｅ－５０１、厚み：１２μｍ）を積層して、製造された、 パターン形成材料。 ［感光性樹脂組成物溶液の組成］ ・フェノチアジン ０．００４９質量部 ・メチルメタクリレート／スチレン／ベンジルメタクリレート／メタクリル酸共重合体（共重合体組成（質量比）：８／３０／３７／２５、質量平均分子量：６０，０００、酸価１６３） １６質量部 ・下記構造式（７４）で表される重合性モノマー ７．０質量部 ・ヘキサメチレンジイソシアネートとテトラエチレンオキシドモノメタアクリレートの１／２モル比付加物 ７．０質量部 ・２，２－ビス（ｏ－クロロフェニル）－４，４’，５，５’－テトラフェニルビイミダゾール ２．１７質量部 ・Ｎ－メチルアクリドン ０．１１質量部 ・２－メルカプトベンズイミダゾール ０．２３質量部 ・マラカイトグリーンシュウ酸塩 ０．０２質量部 ・ロイコクリスタルバイオレット ０．２６質量部 ・メチルエチルケトン ４０質量部 ・１－メトキシ－２－プロパノール ２０質量部 ・フッ素系界面活性剤（大日本インキ社製、Ｆ７８０Ｆ） ０．００２７質量部」 イ 甲１Ｂ方法発明 甲１Ｂの【０４２３】～【０４２６】によれば、甲１Ｂには、甲１Ｂ実施例発明の「パターン形成材料」を用いて、銅張積層板上に感光層の一部の領域を硬化させ（硬化領域）を形成し、パターン形成材料の感度を評価することが記載されている。 そうしてみると、甲１Ｂには、以下の硬化領域の形成方法の発明（以下「甲１Ｂ方法発明」という。）が記載されていると認められる。 「基体として、表面を研磨、水洗、乾燥した銅張積層板の表面に、甲１Ｂ実施例発明のパターン形成材料の保護フィルムを剥がしながら、ラミネーターを用いて積層させ、前記銅張積層板と、前記感光層と、前記ポリエチレンテレフタレートフィルム（支持体）とがこの順に積層された積層体を調製し、 前記積層体におけるパターン形成材料の感光層に対し、ポリエチレンテレフタレートフィルム（支持体）側から、光を照射して露光し、前記感光層の一部の領域を硬化させ、前記積層体からポリエチレンテレフタレートフィルム（支持体）を剥がし取り、銅張積層板上の感光層の全面に、炭酸ナトリウム水溶液（３０℃、１質量％）をスプレーし、未硬化の領域を溶解除去して、現像により除去された部分以外の部分（硬化領域）を形成する、 硬化領域の形成方法。」 （３）対比 本件特許発明１と甲１Ｂ実施例発明とを対比すると、 ア 支持フィルム 甲１Ｂ実施例発明の「パターン形成材料」は、「支持体としての１６μｍ厚のポリエチレンテレフタレートフィルム上に下記の組成からなる感光性樹脂組成物溶液を塗布し乾燥させて、前記支持体上に１５μｍ厚の感光層を形成し、前記パターン形成材料を製造し、前記パターン形成材料の感光層の上に、保護フィルムとしてポリプロピレンフィルム（王子製紙社製、Ｅ－５０１、厚み：１２μｍ）を積層して、製造された」ものである。 上記積層構造によれば、甲１Ｂ実施例発明の「ポリエチレンテレフタレートフィルム」は、「感光層」及び「保護フィルム」とを支持するフィルムといえる。 そうしてみると、甲１Ｂ実施例発明の「ポリエチレンテレフタレートフィルム」は、その機能からみて、本件特許発明１の「支持フィルム」に相当する。 イ 感光層及びポリプロピレンフィルム 甲１Ｂ実施例発明の「ポリプロピレンフィルム」及び「感光層」は、その文言が意味するとおり、それぞれ本件特許発明１の「ポリプロピレンフィルム」及び「感光層」に相当する。 また、甲１Ｂ実施例発明の「ポリプロピレンフィルム」は、「（王子製紙社製、Ｅ－５０１、厚み：１２μｍ）」を用いたものである。 以上の点及び上記アで述べた積層構造から、甲１Ｂ実施例発明の「ポリプロピレンフィルム」は、本件特許発明１の「ポリプロピレンフィルム」における、「ポリプロピレンフィルムが、前記感光層側の第１の面と、当該第１の面の反対側の第２の面と、を有し、前記ポリプロピレンフィルムがの厚さが１００μｍ以下であり」との要件を満たす。 さらに、甲１Ｂ実施例発明の「感光層」は、本件特許発明１の「感光層」における、「前記支持フィルム及び前記ポリプロピレンフィルムの間に配置された」との要件を満たす。 ウ 感光性エレメントの全体構成 甲１Ｂ実施例発明の「パターン形成材料」は、構造及び機能からみて、本件特許発明１の「感光性エレメント」に相当する。 そうしてみると、上記アの積層構造及び上記ア～イの対比結果から、甲１Ｂ実施例発明の「パターン形成材料」は、本件特許発明１の「感光性エレメント」における、「支持フィルムと、ポリプロピレンフィルムと、前記支持フィルム及び前記ポリプロピレンフィルムの間に配置された感光層と、を備え」との要件を満たす。 （４）一致点及び相違点 ア 一致点 上記（３）によれば、本件特許発明１と甲１Ｂ実施例発明は、次の構成で一致する。 「支持フィルムと、ポリプロピレンフィルムと、前記支持フィルム及び前記ポリプロピレンフィルムの間に配置された感光層と、を備え、 前記ポリプロピレンフィルムが、前記感光層側の第１の面と、当該第１の面の反対側の第２の面と、を有し、前記ポリプロピレンフィルムの厚さが１００μｍ以下である、 感光性エレメント。」 イ 相違点 本件特許発明１と甲１Ｂ実施例発明は、次の点で、相違ないし一応相違する。 （相違点１Ｂ－１） 「ポリプロピレンフィルム」の「第１の面」及び「第２の面」の「算術平均粗さＲａ」及び「最大高さＲｍａｘ」が、本件特許発明１では、それぞれ「０．０５μｍ以下」及び「０．４μｍ以下」であり、これらの値の測定手順が、本件測定手順とされるのに対して、甲１Ｂ実施例発明では、これらの値が一応不明であって、その測定手順も特定されていない点。 （相違点１Ｂ－２） 「感光層」が、本件特許発明１は、「厚さが９μｍ以下」であって、特定感光層を除くとされているのに対して、甲１Ｂ実施例発明は、「膜厚は１５μｍであ」って、特定感光層に該当する点。 （相違点１Ｂ－４） 本件特許発明１では、「感光性エレメント」から特定積層体を除くとされているのに対して、甲１Ｂ実施例発明では、特定積層体を除いた範囲のものに該当するか一応明らかでない点。 （５）判断 上記「１（７）」と同様、技術的な関連性に鑑み、（相違点１Ｂ－１）～（相違点１Ｂ－２）及び（相違点１Ｂ－４）について、まとめて検討する。 ポリプロピレンフィルムの表面粗さＲａ、最大高さＲｍａｘ及び感光層の厚さとエアーボイドの関係についての先の出願時の当業者の技術常識については、上記「１（７）」に示したとおりである。 そして、甲１Ｂ実施例発明の「感光性エレメント」において、エアーボイドの発生が課題であることは、甲２Ａ実施例発明の場合と事情は変わらない。 そうしてみると、上記「１（７）」と同様の理由により、（相違点１Ｂ－１）及び（相違点１Ｂ－２）のうち感光層の厚さに係る構成に到ることは当業者にとって容易である。 また、（相違点１Ｂ－２）のうち「特定感光層」に関する構成について、甲１Ｂの【００８１】～【００８３】等の記載から、甲１Ｂ実施例発明の「感光層」に含まれるバインダーに対しては、分子量や官能基の観点から、ある程度の自由度が許容されていることを直ちに理解する。 そうしてみると、そのような理解をした当業者が、甲１Ｂ実施例発明の「感光層」に許容される材料についての自由度の範囲内で、当該「感光層」を、本件特許発明１に含まれる構成（特定感光層を除いた範囲の構成）に設計変更することは容易になし得ることである。 さらに、甲１Ｂ実施例発明の「ポリプロピレンフィルム（王子製紙社製、Ｅ－５０１、厚み：１２μｍ）」からみて、甲１Ｂ実施例発明の「感光性エレメント」が、特定積層体を除いた範囲のものに該当することは明らかであるから、（相違点１Ｂ－４）は実質的な相違点ではない。 （６）特許権者の主張について 特許権者は、令和３年４月３０日付け意見書の１８頁～２２頁において、甲１Ｂを主引用例とした取消しの理由に対して、概略、[A]甲３ＡにはＲｍａｘの上限値しか記載されておらず、Ｒｍａｘを可能な限り小さく設計することが認定できない点、[B]本件特許発明１から、特定積層体が除かれているから、当業者が甲１Ｂに記載された発明の設計変更に際して、甲３Ａを参酌することは困難である点及び[C]本件特許発明１から、特定感光層が除かれている点を主張する。 しかしながら、上記[A]及び[B]については、それぞれ上記「１（９）」における、主張ア及びイ並びに主張ウの判断と同様である。 また、上記[C]については、上記「（５）」で述べたとおりである。 したがって、上記主張[A]～[C]はいずれも採用の限りでない。 （７）小括 以上のとおりであるから、本件特許発明１は、甲１Ｂに記載された発明、甲３Ａに記載された事項及び周知技術に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものである。 （８）本件特許発明２～本件特許発明９について ア 本件特許発明２について （ア）対比 本件特許発明２と甲１Ｂ実施例発明とは、以下の点で相違する。 （相違点１Ｂ’－１） 「ポリプロピレンフィルム」の「第１の面」及び「第２の面」の「算術平均粗さＲａ」及び「最大高さＲｍａｘ」が、本件特許発明２では、それぞれ「０．０５μｍ以下」及び「０．５μｍ以下」であり、これらの値の測定手順が、本件測定手順とされるのに対して、甲１Ｂ実施例発明では、これらの値が一応不明であって、その測定手順も特定されていない点。 （相違点１Ｂ’－２） 「感光層」が、本件特許発明２は、「厚さが５μｍ以下」であるのに対して、甲１Ｂ実施例発明は、「膜厚は１５μｍであ」る点。 （相違点１Ｂ’－３） 本件特許発明２においては、「ポリプロピレンフィルム」から、特定ポリプロピレンフィルムが除かれているのに対して、甲１Ｂ実施例発明の「ポリプロピレンフィルム」は、「厚み」が「１２μｍ」であって、特定ポリプロピレンフィルムに該当する点。 （イ）判断 上記相違点について検討する。 （相違点１Ｂ’－１）については、上記「（５）」の（相違点１Ｂ－１）で検討したとおり、当業者が、甲１Ｂ実施例発明の「ポリプロピレンフィルム」の「第１の面」及び「第２の面」の「最大高さＲｍａｘ」が「０．４μｍ以下」であるとの構成に想到することが容易である以上、「０．５μｍ以下」であるとの構成に想到することも容易である。 また、上記「１（７）」と同様、半導体装置の薄型化等の要請にしたがって、甲１Ｂの【０２１７】の記載に接した当業者が、（相違点１Ｂ’－２）の範囲の厚み（５μｍ以下）を選択することはが容易になし得たことである。 さらに、甲１Ｂの「保護フィルムの厚みとしては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、例えば・・・中略・・・１０～３０μｍが特に好ましい。」との記載（【０２２２】）及び甲１Ｂの【０００６】に記載された発明が解決しようとする課題に照らして、甲１Ｂ実施例発明において、「ポリプロピレンフィルム」の厚みが、「１２μｍ」でなければならない事情はない。したがって、当業者が、（相違点１Ｂ’－３）に係る本件特許発明２の構成に想到することは容易である。 イ 本件特許発明３について （相違点１Ｂ’－２）の判断と同様である。 ウ 本件特許発明４及び６について 本件特許発明４と甲１Ｂ実施例発明とは、既に検討した相違点に加えて、次の点で相違する。 （相違点１Ｂ－５） 「感光性エレメント」が、本件特許発明４では、「４００～７００ｎｍの波長域における平均光透過率が８０％以上である」のに対して、甲１Ｂ実施例発明では、このように特定されていない点。 また、本件特許発明６と甲１Ｂ実施例発明とは、既に検討した相違点に加えて、次の点で相違する。 （相違点１Ｂ－６） 「感光性エレメント」が、本件特許発明４では、「透明基材上に硬化物を形成するために用いられる」ものであるのに対して、甲１Ｂ実施例発明では、このように特定されていない点。 上記各相違点についての判断は、上記「１（１１）ウ」と同様である。 エ 本件特許発明５について 上記（５）の（相違点１Ｂ－２）で検討した、「感光層」の設計変更が、例えば、平均分子量の調整である場合、設計変更後の「感光層」が、本件特許発明５の「バインダーポリマー、光重合性化合物及び光重合開始剤を含有する」との要件を満たすことは明らかである。 オ 本件特許発明７について 上記「１（１１）オ」と同様である。 カ 本件特許発明９について 上記ウと同様である。 キ 本件特許発明８について 本件特許発明８と甲１Ｂ方法発明とを対比する。 （ア）感光層、支持フィルム及びポリプロピレンフィルム 甲１Ｂ方法発明の「感光層」、「ポリエチレンテレフタレートフィルム（支持体）」及び「銅張積層板」（基体）は、技術的にみて、それぞれ本件特許発明８の「感光層」、「支持フィルム」及び「基材」に相当する。 また、甲１Ｂ方法発明の「保護フィルム」は、甲１Ｂ実施例発明の「保護フィルム」としての「ポリプロピレンフィルム」であるから、本件特許発明８の「ポリプロピレンフィルム」に相当する。 （イ）積層する工程 甲１Ｂ方法発明は、「基体として、表面を研磨、水洗、乾燥した銅張積層板の表面に、甲１Ｂ実施例発明のパターン形成材料の保護フィルムを剥がしながら、ラミネーターを用いて積層させ」る工程を含む。 したがって、甲１Ｂ方法発明の「積層」する工程は、本件特許発明８において、「ポリプロピレンフィルムを剥離した後に前記感光層及び前記支持フィルムを基材上に積層する」とされる、「積層する工程」に相当する。 （ウ）光硬化部を形成する工程 甲１Ｂ方法発明は、「積層体におけるパターン形成材料の感光層に対し、ポリエチレンテレフタレートフィルム（支持体）側から、光を照射して露光し、前記感光層の一部の領域を硬化させ」る工程を含む。 そうしてみると、甲１Ｂ方法発明の上記「硬化させ」る工程は、技術的にみて、本件特許発明８において、「感光層の所定部分に活性光線を照射して」とされる、「光硬化部を形成する工程」に相当する。 （エ）光硬化部以外の部分を除去する工程 甲１Ｂ方法発明は、「銅張積層板上の感光層の全面に、炭酸ナトリウム水溶液（３０℃、１質量％）をスプレーし、未硬化の領域を溶解除去」する工程を含む。 そうしてみると、甲１Ｂ方法発明の上記「溶解除去」する工程は、本件特許発明８の「感光層における前記光硬化部以外の部分を除去する工程」に相当する。 （オ）レジストパターンの製造方法 上記（ア）～（エ）の対比結果によれば、本件特許発明８の各工程は、いずれも甲１Ｂ方法発明が具備する工程である。 そして、本件特許発明８のうち、請求項１～６を引用する部分（「感光性エレメント」に関する構成）については、本件特許発明１～６と甲１Ｂ実施例発明のパターン形成材料との対比結果と同様となる。 そうしてみると、本件特許発明８と甲１Ｂ方法発明とは、既に検討した点以外の新たな相違点はない。 したがって、本件特許発明８は、甲１Ｂに記載された発明、甲３Ａに記載された事項及び周知技術に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものである。 （９）本件特許発明１～９の小括 本件特許発明１～９は、甲１Ｂに記載された発明、甲３Ａに記載された事項及び周知技術に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものである。 ３ 甲２Ｂを主引用例とした場合 （１）甲２Ｂの記載 取消しの理由で引用された甲２Ｂには、次の事項が記載されている。 なお、下線は当合議体が付与したものであって、引用発明の認定及び判断等において活用した箇所を示す。 ア 「【特許請求の範囲】 【請求項１】 支持フィルム上に感光性樹脂層、保護フィルムを積層してなる感光性ドライフィルムにおいて、上記支持フィルムおよび保護フィルムが、酸素透過量０～２００ｍｌ／ｍ２／ｈ／ａｔｍのポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）またはポリプロピレン（ＰＰ）からなり、かつ、保護フィルムにおける高さ１μｍ以上のフィッシュアイの平均個数が０．１個／ｍ２以下である、感光性ドライフィルム。」 イ 「【発明の詳細な説明】 【０００１】 【発明の属する技術分野】 本発明は感光性ドライフィルムに関する。本発明はプリント基板やプラスチックパッケージ等の半導体素子の製造に好適に適用される。 【０００２】 【従来の技術】 ・・・中略・・・ 【０００３】 感光性ドライフィルムは、図１に示すように、支持フィルム２、感光性樹脂層３、および保護フィルム４が順次積層された構造をなし、一体化されて形成されている。 【０００４】 そして使用時、保護フィルム４を剥がしながら、感光性樹脂層３側を基板（図示せず）にあて、感光性ドライフィルム１を基板上に熱圧着させる。次いで支持フィルム２が積層された状態で感光性樹脂層３を選択的に露光させる。露光後、支持フィルム２を剥がし、現像を行って感光性樹脂層３の未露光部を選択的に除去し、感光性樹脂パターン（ホトレジストパターン）を形成する。 ・・・中略・・・ 【０００６】 かかる感光性ドライフィルムは、感光性樹脂層表面に保護フィルムが被着した状態で長期保存されるため、該保護フィルムが感光性樹脂層へ悪影響を及ぼさないよう、高い平滑性が求められる。 【０００７】 保護フィルムとしては従来、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）等のポリエステル系樹脂フィルムや、ポリプロピレン（ＰＰ）、ポリエチレン（ＰＥ）等のポリオレフィン系樹脂フィルムが用いられている。これらフィルムは、通常、材料を熱溶融し押し出す延伸法などにより製造されるが、保護フィルム中に、フィッシュアイと呼ばれる突起状異物（未溶解・熱劣化物）が生じることがある。このフィッシュアイは、感光性樹脂層に転写されて凹部を生じさせ、これがホトレジストパターンへのエアボイド（気泡）を生じさせ、最終的にはパターン形状の不良化、欠陥、ひいては断線をもたらす原因となる。 【０００８】 保護フィルムの平滑化については、これまでに種々の技術が提案されている（特許文献１～３参照）。保護フィルムとしてはさらに、平滑化に加えて、長期保存性、密着性がよくかつ剥離が容易である、等の点において、より一層の向上が望まれている。 ・・・中略・・・ 【００１０】 【発明が解決しようとする課題】 本発明は上記事情に鑑みてなされたもので、平滑性に優れ、長期保存性（感光性樹脂層の感度向上性）に優れる感光性ドライフィルムを提供することを目的とする。 【００１１】 【課題を解決するための手段】 上記課題を解決するために、本発明は、支持フィルム上に感光性樹脂層、保護フィルムを積層してなる感光性ドライフィルムにおいて、上記支持フィルムおよび保護フィルムが、酸素透過量０～２００ｍｌ／ｍ２／ｈ／ａｔｍのポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）またはポリプロピレン（ＰＰ）からなり、かつ、保護フィルムにおける高さ１μｍ以上のフィッシュアイの平均個数が０．１個／ｍ２以下である感光性ドライフィルムを提供する。」 ウ 「【００１２】 【発明の実施の形態】 以下に本発明について詳述する。 【００１３】 本発明に用いられる支持フィルムおよび保護フィルムは、酸素透過量０～２００ｍｌ／ｍ２／ｈ／ａｔｍのポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）またはポリプロピレン（ＰＰ）からなる。 ・・・中略・・・ 【００１５】 上記本発明範囲内の酸素透過量を有するＰＥＴ、ＰＰとしては、例えばＰＥＴフィルム「Ｇ２」（帝人デュポン社製、酸素透過量６ｍｌ／ｍ２／ｈ／ａｔｍ）、離型処理を施したＰＥＴフィルムである「ピューレックスフィルムＡ５３」（帝人デュポン社製、酸素透過量６ｍｌ／ｍ２／ｈ／ａｔｍ）、ＰＰフィルム「Ｅ－２００」（王子製紙社製、酸素透過量１２５ｍｌ／ｍ２／ｈ／ａｔｍ）などが市販品として好適に用いられる。 ・・・中略・・・ 【００１７】 また本発明に用いられる保護フィルムは、高さ１μｍ以上のフィッシュアイの平均個数が０．１個／ｍ２以下で、好ましくは０個／ｍ２である。ここでフィッシュアイとは、材料を熱溶融し混練、押出し延伸法またはキャスティング法によりフィルムを製造する際に、材料の未溶解および熱劣化物がフィルム中に取り込まれたものをいう。 ・・・中略・・・ 【００１８】 保護フィルムおよび支持フィルムが上記条件を満足することにより、本願発明効果を奏することができる。特に酸素透過量が上記本発明範囲内のものを用いることにより、長期間保存した後の感光性樹脂層劣化の防止を図ることができ、形成されるパターン形状が断面矩形の良好なプロフィルを得ることができる。また保護フィルムにおいて高さ１μｍ以上のフィッシュアイの平均個数を０．１個／ｍ２以下とすることにより、特に平滑性、密着性・剥離容易性の点において特に優れた効果が得られる。さらにＰＥＴ、ＰＰを用いることにより、作業性の点において優れた効果が得られる。 【００１９】 保護フィルム、支持フィルムの厚さは、特に限定されるものではないが、それぞれ５～１２５μｍ程度とするのが好ましい。 【００２０】 感光性樹脂層は、特に限定されるものでなく、目的に応じて適宜、公知の感光性樹脂組成物を用いて形成することができる。 【００２１】 感光性樹脂組成物としては、感光性を有するものであれば特に限定されないが、例えば、エッチング、めっきによりパターン形成をする際のマスクパターンとして用いる感光性樹脂組成物としては、（ａ）バインダー樹脂、（ｂ）分子内に少なくとも１つの重合可能なエチレン性不飽和基を有する光重合性単量体、および（ｃ）光重合開始剤を含有するものが、一般に好適に用いられる。ただしこれに限定されるものではない。 ・・・中略・・・ 【００２２】 また（ａ）成分としては、例えば、次に挙げるモノマーを重合あるいは共重合させたものを用いることができる。なお、これらモノマーは（ｂ）成分（後述）として配合することもできる。このようなモノマーとしては・・・中略・・・具体的にはスチレン、ベンジル（メタ）アクリレート、シクロヘキシル（メタ）アクリレート、フェノキシエチル（メタ）アクリレート・・・中略・・・（メタ）アクリル酸・・・中略・・・無水シトラコン酸等を挙げることができる。中でも、（メタ）アクリル酸、（メタ）アクリル酸メチルが好適に用いられる。 ・・・中略・・・ 【００４２】 感光性樹脂層の厚みは、３～１００μｍ程度が好ましく、より好ましくは１０～３０μｍである。感光性樹脂層の厚みが少なすぎると追従性が低下し、欠け、断線が発生する傾向があり、一方厚すぎると解像度が悪化する傾向がある。 【００４３】 本発明の感光性ドライフィルムの使用方法としては、例えば以下の例が挙げられる。ただしこれに限定されるものではない。 【００４４】 本発明の感光性ドライフィルムから、まず保護フィルムを剥がし、露出した感光性樹脂層側を被処理体（基板）にあてて、基板上に感光性ドライフィルムを被着させる。被着に際しては、通常、基板をあらかじめ加熱しておき、この上に感光性ドライフィルムを置いて押圧する、いわゆる熱圧着方式等が挙げられる。 【００４５】 次いで、支持フィルムが積層された感光性樹脂層に、マスクを介して露光、あるいは直接描画露光することにより、感光性樹脂層を選択的に露光させる。 【００４６】 上記露光後、支持フィルムを剥がし、現像を行って感光性樹脂層の未露光部を選択的に除去し、露光部の感光性樹脂層が残留したパターンを形成する。 【００４７】 次いで、パターン化された残留感光性樹脂層（ホトレジストパターン）をマスクとして、基板をエッチング、あるいはホトレジストパターン非形成部にめっき処理すること等により、金属配線パターンを形成する。」 エ 「【実施例】 ・・・中略・・・ 【００５０】 感光性樹脂組成物調製 下記表１に示す組成の感光性樹脂組成物の溶液を調製した。 【００５１】 【表１】 ［図：0001384017000006.jpg］ 【００５２】 （実施例１～３、比較例１、対照例１～２） 上記表１に示す感光性樹脂組成物の溶液を、ＰＥＴフィルム（１９μｍ厚）「Ｇ２」（帝人デュポン社製、酸素透過量６ｍｌ／ｍ２／ｈ／ａｔｍ）上に均一に塗布し、１００℃の熱風対流乾燥機で約５分間乾燥した後、下記表２に示す各保護フィルムをそれぞれラミネートし、感光性ドライフィルムを得た。感光性樹脂層の乾燥後の膜厚は１０μｍであった。 ・・・中略・・・ 【００５５】 【表２】 ［図：0001384017000007.jpg］ 」 （当合議体注：【表２】の「比較例１」～「対照例２」の行は摘記を省略した。） （２）甲２Ｂに記載された発明 ア 甲２Ｂ実施例発明 甲２Ｂの【００５０】～【００５５】には、実施例１として「感光性ドライフィルム」が記載されている。 そして、甲２Ｂの【００５２】の記載によれば、上記「感光性ドライフィルム」は、【００５１】の【表１】に示される組成の感光性樹脂組成物の溶液を用いて、ＰＥＴフィルム上に均一に塗布し、乾燥した後、【００５５】の【表２】（実施例１の行）に示された保護フィルムをラミネートして得たものと理解される。 そうしてみると、甲２Ｂには、次の感光性ドライフィルムの発明（以下「甲２Ｂ実施例発明」という。）が記載されている。 「感光性樹脂組成物の溶液を、ＰＥＴフィルム（１９μｍ厚）「Ｇ２」（帝人デュポン社製、酸素透過量６ｍｌ／ｍ２／ｈ／ａｔｍ）上に均一に塗布し、１００℃の熱風対流乾燥機で約５分間乾燥した後、ＰＰフィルム（20μｍ厚）「Ｅ２００」（王子製紙社製）からなる保護フィルムをラミネートし、得た、 感光性ドライフィルム。 【００５０】～【００５１】 ここで、上記感光性樹脂組成物の溶液は、下記表１に示す組成の感光性樹脂組成物の溶液であり、 【表１】 ［図：0001384017000008.jpg］ 感光性樹脂層の乾燥後の膜厚は１０μｍである。」 イ 甲２Ｂ方法発明 甲２Ｂの【００４３】～【００４７】には、甲２Ｂにおいて「本発明」とされる「感光性ドライフィルム」の使用方法が記載されている。 ここで、甲２Ｂにおいて、甲２Ｂ実施例発明の感光性ドライフィルムが、上記「感光性ドライフィルム」の一例であることは明らかである。 そうしてみると、甲２Ｂには、以下のホトレジストパターンの形成方法の発明（以下「甲２Ｂ方法発明」という。）が記載されている。 「甲２Ｂ実施例発明の感光性ドライフィルムから、まず保護フィルムを剥がし、露出した感光性樹脂層側を被処理体（基板）にあてて、基板上に感光性ドライフィルムを被着させ、 次いで、支持フィルムが積層された感光性樹脂層に、マスクを介して露光、あるいは直接描画露光することにより、感光性樹脂層を選択的に露光させ、 上記露光後、支持フィルムを剥がし、現像を行って感光性樹脂層の未露光部を選択的に除去し、露光部の感光性樹脂層が残留したパターンを形成する、 パターン化された残留感光性樹脂層（ホトレジストパターン）の形成方法。」 ウ 甲２Ｂ発明 甲２Ｂの請求項１には、次の感光性ドライフィルムの発明（以下「甲２Ｂ発明」という。）が記載されている。 「支持フィルム上に感光性樹脂層、保護フィルムを積層してなる感光性ドライフィルムにおいて、上記支持フィルムおよび保護フィルムが、酸素透過量０～２００ｍｌ／ｍ２／ｈ／ａｔｍのポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）またはポリプロピレン（ＰＰ）からなり、かつ、保護フィルムにおける高さ１μｍ以上のフィッシュアイの平均個数が０．１個／ｍ２以下である、感光性ドライフィルム。」 （３）対比 本件特許発明１と甲２Ｂ実施例発明とを対比すると、 ア 支持フィルム 甲２Ｂ実施例発明の「感光性ドライフィルム」は、「感光性樹脂組成物の溶液を、ＰＥＴフィルム（１９μｍ厚）「Ｇ２」（帝人デュポン社製、酸素透過量６ｍｌ／ｍ２／ｈ／ａｔｍ）上に均一に塗布し、１００℃の熱風対流乾燥機で約５分間乾燥した後、ＰＰフィルム（20μｍ厚）「Ｅ２００」（王子製紙社製）からなる保護フィルムをラミネートし、得た」ものである。また、甲２Ｂ実施例発明の「感光性樹脂層」は、上記「感光性樹脂組成物の溶液」から得られたものである。 上記積層構造からみて、甲２Ｂ実施例発明の「ＰＥＴフィルム」は、「感光性樹脂層」及び「ＰＰフィルム」とを支持するフィルムといえる。 そうしてみると、甲２Ｂ実施例発明の「ＰＥＴフィルム」は、その機能からみて、本件特許発明１の「支持フィルム」に相当する。 イ 感光層及びポリプロピレンフィルム 甲２Ｂ実施例発明の「ＰＰフィルム」及び「感光性樹脂層」は、その文言が意味するとおり、それぞれ本件特許発明１の「ポリプロピレンフィルム」及び「感光層」に相当する。 また、甲２Ｂ実施例発明の「ＰＰフィルム」は、「20μｍ厚」のものである。 以上の点及び上記アで述べた積層構造から、甲２Ｂ実施例発明の「ＰＰフィルム」は、本件特許発明１の「ポリプロピレンフィルム」における、「ポリプロピレンフィルムが、前記感光層側の第１の面と、当該第１の面の反対側の第２の面と、を有し、前記ポリプロピレンフィルムがの厚さが１００μｍ以下であり」との要件を満たす。 さらに、甲２Ｂ実施例発明の「感光性樹脂層」は、本件特許発明１の「感光層」における、「前記支持フィルム及び前記ポリプロピレンフィルムの間に配置された」との要件を満たす。 ウ 感光性エレメントの全体構成 甲２Ｂ実施例発明の「感光性ドライフィルム」は、構造及び機能からみて、本件特許発明１の「感光性エレメント」に相当する。 そうしてみると、上記アの積層構造及び上記ア～イの対比結果から、甲２Ｂ実施例発明の「感光性ドライフィルム」は、本件特許発明１の「感光性エレメント」における、「支持フィルムと、ポリプロピレンフィルムと、前記支持フィルム及び前記ポリプロピレンフィルムの間に配置された感光層と、を備え」との要件を満たす。 （４）一致点及び相違点 ア 一致点 上記（３）によれば、本件特許発明１と甲２Ｂ実施例発明は、次の構成で一致する。 「支持フィルムと、ポリプロピレンフィルムと、前記支持フィルム及び前記ポリプロピレンフィルムの間に配置された感光層と、を備え、 前記ポリプロピレンフィルムが、前記感光層側の第１の面と、当該第１の面の反対側の第２の面と、を有し、前記ポリプロピレンフィルムの厚さが１００μｍ以下である、 感光性エレメント。」 イ 相違点 本件特許発明１と甲２Ｂ実施例発明は、次の点で、相違ないし一応相違する。 （相違点２Ｂ－１） 「ポリプロピレンフィルム」の「第１の面」及び「第２の面」の「算術平均粗さＲａ」及び「最大高さＲｍａｘ」が、本件特許発明１では、それぞれ「０．０５μｍ以下」及び「０．４μｍ以下」であり、これらの値の測定手順が、本件測定手順とされるのに対して、甲２Ｂ実施例発明では、これらの値が一応不明であって、その測定手順も特定されていない点。 （相違点２Ｂ－２） 「感光層」が、本件特許発明１は、「厚さが９μｍ以下」であって、特定感光層を除くとされているのに対して、甲２Ｂ実施例発明は、「膜厚は１０μｍであ」って、特定感光層に該当する点。 （相違点２Ｂ－４） 本件特許発明１では、「感光性エレメント」から特定積層体を除くとされているのに対して、甲２Ｂ実施例発明では、特定積層体を除いた範囲内のものに該当するか一応明らかでない点。 （５）判断 上記（７）と同様、技術的な関連性に鑑み、（相違点２Ｂ－１）～（相違点２Ｂ－２）及び（相違点２Ｂ－４）について、まとめて検討する。 ポリプロピレンフィルムの表面粗さＲａ、最大高さＲｍａｘ及び感光層の厚さとエアーボイドの関係についての先の出願時の当業者の技術常識については、上記「１（７）」に示したとおりである。 そうしてみると、上記「１（７）」と同様の理由により、（相違点２Ｂ－１）及び（相違点２Ｂ－２）のうち感光層の厚さに係る構成に到ることは当業者にとって容易である。 また、（相違点２Ｂ－２）のうち「特定感光層」に関する構成について、甲２Ｂの【００２１】～【００２２】等の記載から、甲２Ｂ実施例発明の「感光性樹脂層」に含まれる「（ａ）成分」（バインダー）の共重合成分として、（メタ）アクリル酸及び（メタ）アクリル酸メチルに限らず、その他のモノマー成分（例えば、スチレンやベンジル（メタ）アクリレート等）を含んで良いことを直ちに理解する。 そうしてみると、そのような理解をした当業者が、甲２Ｂ実施例発明の「感光性樹脂層」に許容される材料についての自由度の範囲内で、当該「感光性樹脂層」を、本件特許発明１に含まれる構成（特定感光層を除いた範囲の構成）に設計変更することは容易になし得ることである。 さらに、甲２Ｂ実施例発明の「保護フィルム」は、「ＰＰフィルム（20μｍ厚）「Ｅ２００」（王子製紙社製）からなる」ものであることから、甲１Ｂ実施例発明の「感光性エレメント」が、特定積層体を除いた範囲のものに該当することは明らかであるから、（相違点２Ｂ－４）は実質的な相違点ではない。 （６）特許権者の主張について 特許権者は、令和３年４月３０日付け意見書の２２頁～２５頁において、甲２Ｂを主引用例とした取消しの理由に対して反論している。 当該反論の内容は、甲１Ｂを主引用例とした取消しの理由に対する主張と同様の内容である。 したがって、上記「２（６）」と同様の理由により、上記反論は採用の限りでない。 （７）小括 以上のとおりであるから、本件特許発明１は、甲２Ｂに記載された発明、甲３Ａに記載された事項及び周知技術に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものである。 （８）本件特許発明２～本件特許発明９について ア 本件特許発明２について （ア）対比 本件特許発明２と甲２Ｂ実施例発明とは、以下の点で相違する。 （相違点２Ｂ’－１） 「ポリプロピレンフィルム」の「第１の面」及び「第２の面」の「算術平均粗さＲａ」及び「最大高さＲｍａｘ」が、本件特許発明２では、それぞれ「０．０５μｍ以下」及び「０．５μｍ以下」であり、これらの値の測定手順が、本件測定手順とされるのに対して、甲２Ｂ実施例発明では、これらの値が一応不明であって、その測定手順も特定されていない点。 （相違点２Ｂ’－２） 「感光層」が、本件特許発明２は、「厚さが５μｍ以下」であるのに対して、甲２Ｂ実施例発明は、「膜厚は１０μｍであ」る点。 （相違点２Ｂ’－３） 本件特許発明２では、「ポリプロピレンフィルム」から、特定ポリプロピレンフィルムが除かれているのに対して、甲２Ｂ実施例発明の「ＰＰフィルム」は、「20μｍ厚」であって、特定ポリプロピレンフィルムに該当する点。 （イ）判断 上記相違点について検討する。 （相違点２Ｂ’－１）については、上記「（５）」の（相違点２Ｂ－１）で検討したとおり、当業者が、甲２Ｂ実施例発明の「ポリプロピレンフィルム」の「第１の面」及び「第２の面」の「最大高さＲｍａｘ」が「０．４μｍ以下」であるとの構成に想到することが容易である以上、「０．５μｍ以下」であるとの構成に想到することも容易である。 また、上記「１（７）」と同様、半導体装置の薄型化等の要請にしたがって、甲２Ｂ実施例発明の「感光性樹脂層」の厚さをさらに小さくする動機は存在する。ここで、甲２Ｂの【００４２】には、「感光性樹脂層の厚みは、３～１００μｍ程度が好ましく、より好ましくは１０～３０μｍである。」と記載されており、より好ましい範囲は、（相違点２Ｂ’－２）に係る「５μｍ以下」との要件を満たさない。。しかしながら、甲２Ｂで好ましいと記載された「３～１００μｍ程度」の範囲のうち、「５μｍ以下」を選択することは、上記「１（９）」の（主張エについて）で検討したとおり、先の出願時の当業者が容易になし得たことである。 さらに、甲２Ｂの「保護フィルム、支持フィルムの厚さは、特に限定されるものではないが、それぞれ５～１２５μｍ程度とするのが好ましい。」との記載（【００１９】）及び甲２Ｂの【００５５】の【表２】の記載（特に、実施例２及び実施例３の「保護フィルム」（１６μｍ厚及び１９μｍ厚））、並びに甲２Ｂの【０００６】～【０００８】に記載された、発明が解決しようとする課題に照らせば、甲２Ｂ実施例発明の「ＰＰフィルム」が、「20μｍ厚」でなければならない事情はない。 以上によれば、当業者が、（相違点２Ｂ’－３）に係る本件特許発明２の構成に想到することは容易である。 イ 本件特許発明３について 相違点２Ｂ’－２の判断と同様である。 ウ 本件特許発明４及び６について 本件特許発明４と甲２Ｂ実施例発明とは、既に検討した相違点に加えて、次の点で相違する。 （相違点２Ｂ－５） 「感光性エレメント」が、本件特許発明４では、「４００～７００ｎｍの波長域における平均光透過率が８０％以上である」のに対して、甲２Ｂ実施例発明では、このように特定されていない点。 また、本件特許発明６と甲２Ｂ実施例発明とは、既に検討した相違点に加えて、次の点で相違する。 （相違点２Ｂ－６） 「感光性エレメント」が、本件特許発明４では、「透明基材上に硬化物を形成するために用いられる」ものであるのに対して、甲２Ｂ実施例発明では、このように特定されていない点。 各相違点についての判断は、上記「１（１１）ウ」と同様である。 エ 本件特許発明５について 上記（５）の（相違点２Ｂ－２）で検討した、「感光層」の設計変更が、例えば、バインダーの共重合成分を変更する場合、設計変更後の「感光層」が、本件特許発明５の「バインダーポリマー、光重合性化合物及び光重合開始剤を含有する」との要件を満たすことは明らかである。 オ 本件特許発明７について 上記「１（１１）オ」と同様である。 カ 本件特許発明９について 本件特許発明６についてと同様である。 キ 本件特許発明８について 本件特許発明８と甲２Ｂ方法発明とを対比する。 （ア）感光層、支持フィルム及びポリプロピレンフィルム 甲２Ｂ方法発明の「感光性樹脂層」、「支持フィルム」及び「被処理体（基板）」は、技術的にみて、それぞれ本件特許発明８の「感光層」、「支持フィルム」及び「基材」に相当する。 また、甲２Ｂ方法発明の「保護フィルム」は、甲２Ｂ実施例発明の「ＰＰフィルム」であるから、本件特許発明８の「ポリプロピレンフィルム」に相当する。 （イ）積層する工程 甲２Ｂ方法発明は、「甲２Ｂ実施例発明の感光性ドライフィルムから、まず保護フィルムを剥がし、露出した感光性樹脂層側を被処理体（基板）にあてて、基板上に感光性ドライフィルムを被着させ」る工程を含む。 したがって、甲２Ｂ方法発明の上記「被着させ」る工程は、本件特許発明８の「感光性エレメントの前記ポリプロピレンフィルムを剥離した後に前記感光層及び前記支持フィルムを基材上に積層する工程」に相当する。 （ウ）光硬化部を形成する工程、光硬化部以外の部分を除去する工程 甲２Ｂ方法発明は、「支持フィルムが積層された感光性樹脂層に、マスクを介して露光、あるいは直接描画露光することにより、感光性樹脂層を選択的に露光させ、上記露光後、支持フィルムを剥がし、現像を行って感光性樹脂層の未露光部を選択的に除去し、露光部の感光性樹脂層が残留したパターンを形成する」工程を含む。 上記「感光性樹脂層が残留したパターンを形成する」部分が、「マスクを介して」選択的に露光されることで光硬化した部分であって、「選択的に除去」される「未露光部」は光硬化部以外の部分であることは、技術的にみて明らかである。 そうしてみると、甲２Ｂ方法発明の上記「露光させ」る工程は、本件特許発明８において、「感光層の所定部分に活性光線を照射して」とされる、「光硬化部を形成する工程」に相当する。 また、甲２Ｂ方法発明の上記「露光部の感光性樹脂層が残留したパターンを形成する」工程は、本件特許発明８の「感光層における前記光硬化部以外の部分を除去する工程」に相当する。 （エ）レジストパターンの製造方法 上記（ア）～（ウ）の対比結果によれば、本件特許発明８の各工程は、いずれも甲２Ｂ方法発明が具備する工程である。 そして、本件特許発明８のうち、請求項１～６を引用する部分（「感光性エレメント」に関する構成）については、本件特許発明１～６と甲２Ｂ実施例発明の感光性ドライフィルムとの対比結果と同様となる。 そうしてみると、本件特許発明８と甲２Ｂ方法発明とは、既に検討した点以外の新たな相違点はない。 したがって、本件特許発明８は、甲２Ｂに記載された発明、甲３Ａに記載された事項及び周知技術に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものである。 （９）甲２Ｂ発明を主たる引用発明とした場合 ア 本件特許発明１ 本件特許発明１と甲２Ｂ発明を対比すると、以下のとおりである。 （ア）支持フィルム 甲２Ｂ発明の「感光性ドライフィルム」は、「支持フィルム上に感光性樹脂層、保護フィルムを積層してなる」ものである。 上記積層構造によれば、甲２Ｂ発明の「支持フィルム」は、「感光性樹脂組成物層」及び「保護フィルム」とを支持するフィルムである。 そうしてみると、甲２Ｂ発明の「支持フィルム」は、本件特許発明１の「支持フィルム」に相当する。 （イ）感光層及びポリプロピレンフィルム 甲２Ｂ発明の「ポリプロピレン（ＰＰ）からな」る「保護フィルム」は、その機能及び材質からみて、本件特許発明１の「ポリプロピレンフィルム」に相当する。 また、甲２Ｂ発明の「感光性樹脂層」は、その文言が意味するとおり、本件特許発明１の「感光層」に相当する。 そして、甲２Ｂ発明の「感光性ドライフィルム」の積層構造を踏まえると、甲２Ｂ発明の「ポリプロピレン（ＰＰ）からな」る「保護フィルム」は、本件特許発明１の「ポリプロピレンフィルム」における、「感光層側の第１の面と、当該第１の面の反対側の第２の面と、を有し」との要件を満たすことは明らかである。 さらに、甲２Ｂ発明の「感光性樹脂層」は、本件特許発明１の「感光層」における、「前記支持フィルム及び前記ポリプロピレンフィルムの間に配置された」との要件を満たす。 （ウ）感光性エレメントの全体構成 甲２Ｂ発明の「感光性ドライフィルム」は、技術的にみて、本件特許発明１の「感光性エレメント」に相当する。 そうしてみると、上記アの積層構造及び上記ア～イの対比結果から、甲２Ｂ発明の「感光性ドライフィルム」は、本件特許発明１の「感光性エレメント」における、「支持フィルムと、ポリプロピレンフィルムと、前記支持フィルム及び前記ポリプロピレンフィルムの間に配置された感光層と、を備え」との要件を満たす。 以上によれば、本件特許発明１と甲２Ｂ発明との一致点及び相違点は、次のとおりである。 （一致点） 「支持フィルムと、ポリプロピレンフィルムと、前記支持フィルム及び前記ポリプロピレンフィルムの間に配置された感光層と、を備え、 前記ポリプロピレンフィルムが、前記感光層側の第１の面と、当該第１の面の反対側の第２の面と、を有する、 感光性エレメント。」 （相違点２Ｂ”－１） 「ポリプロピレンフィルム」の「第１の面」及び「第２の面」の「算術平均粗さＲａ」及び「最大高さＲｍａｘ」が、本件特許発明１では、それぞれ「０．０５μｍ以下」及び「０．４μｍ以下」であり、これらの値の測定手順が、本件測定手順とされるのに対して、甲２Ｂ発明では、これらの値が特定されておらず、また、その測定手順も特定されていない点。 （相違点２Ｂ”－２） 「感光層」が、本件特許発明１は、「厚さが９μｍ以下」であって、特定感光層を除くとされているのに対して、甲２Ｂ発明では、「感光性樹脂層」の厚さが特定されておらず、特定感光層に該当する点。 （相違点２Ｂ”－３） 本件特許発明１が、「ポリプロピレンフィルムの厚さが１００μｍ以下であり」という要件及び特定積層体を除くという要件を満たすのに対して、甲２Ｂ発明では、「ポリプロピレン（ＰＰ）からな」る「保護フィルム」の厚さが特定されておらず、甲２Ｂ発明の「感光性ドライフィルム」が、特定積層体を除いた範囲内のものに該当するか不明である点。 上記相違点についての判断は、以下のとおりである。 上記「１（７）」と同様、技術的な関連性に鑑み、相違点をまとめて検討する。 甲２Ｂ発明は、感光性エレメントという技術分野に属し、かつ、ラミネートした時のエアーボイドの発生を防止するという共通の技術課題を有している点において、甲２Ａ実施例発明や甲２Ａ発明の場合と何ら事情は変わらない。また、保護フィルムの表面粗さＲａ、最大高さＲｍａｘ及び感光層の厚さと、感光層のエアーボイドの関係に関する技術常識等は上記「１（７）」に示したとおりである。 そうしてみると、上記「１（７）」と同様の理由により、上記技術常識を熟知する当業者が、甲２Ｂ発明の「感光性エレメント」において、半導体装置の薄型化及び狭小化の要請にしたがって、「感光性樹脂層」の厚さを薄くするとともに、エアーボイドの発生を防止するために、甲２Ｂ発明の「ポリプロピレン（ＰＰ）からな」る「保護フィルム」における表面粗さＲａ、最大高さＲｍａｘ及び厚さや、「感光性樹脂層」の厚さを設計変更して、（相違点２Ｂ”－１）～（相違点２Ｂ”－３）に係る本件特許発明１の構成に想到することは容易である。 また、（相違点２Ｂ”－１）の特定感光層に係る相違点及び（相違点２Ｂ”－３）の特定積層体に係る相違点については、上記（５）で検討したとおりである。 加えて、発明の効果については、上記「１（８）」の判断と同様である。 イ 本件特許発明２について 本件特許発明２と甲２Ｂ発明との相違点は、上記「１（１２）イ（ア）」の（相違点２Ａ”’－１）～（相違点２Ａ”’－３）と同様である。 そして、当該相違点についての判断は、上記「１（１２）イ」で示したとおりである。 ウ 本件特許発明３について 本件特許発明３と甲２Ｂ発明との新たな相違点は、上記「１（１１）ア（ア）」の（相違点２Ａ”’－２）と同一である。 そして、上記相違点についての判断は、上記「１（１２）イ」の判断と同様である。 エ 本件特許発明４及び６について 本件特許発明４と甲２Ｂ発明との新たな相違点は、上記「１（１１）ウ」の（相違点２Ａ－５）と同一である。 そして、上記相違点についての判断は、上記「１（１１）ウ」の判断と同様である。 また、本件特許発明６と甲２Ｂ発明との新たな相違点は、上記「１（１１）ウ」の（相違点２Ａ－６）と同一である。 そして、上記相違点についての判断は、上記「１（１１）ウ」の判断と同様である。 オ 本件特許発明５について 甲２Ｂの「感光性樹脂層」の材料の選択にあたり、ある程度の自由度が許容されていることは、甲２Ａや甲１Ｂに記載された発明と同様である。そして、その自由度の範囲内で選択した後の「感光性樹脂層」が、本件特許発明５の「バインダーポリマー、光重合性化合物及び光重合開始剤を含有する」との要件を満たすことは明らかである。 カ 本件特許発明７について 上記「１（１１）オ」に示した相違点及び判断と同様である。 キ 本件特許発明９について 上記「１（１１）カ」に示した相違点及び判断と同様である。 （１０）本件特許発明１～９の小括 本件特許発明１～９は、甲２Ｂに記載された発明、甲３Ａに記載された事項及び周知技術に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものである。 ４ 甲３Ｂを主引用例とした場合 （１）甲３Ｂの記載 取消しの理由で引用された甲３Ｂには、次の事項が記載されている。 なお、下線は当合議体が付与したものであって、引用発明の認定及び判断等において活用した箇所を示す。 ア 「【特許請求の範囲】 【請求項１】 支持フィルム（Ａ）上に感光性樹脂組成物を含む感光性樹脂層（Ｂ）を形成し、さらにその上に保護フィルム（Ｃ）を張りあわせた感光性フィルムにおいて、前記保護フィルム（Ｃ）中に含まれる直径８０μｍ以上のフィッシュアイ数が５個／ｍ2以下であり、かつ、感光性樹脂組成物を含む感光性樹脂層（Ｂ）の膜厚が５～３０μｍであることを特徴とする感光性フィルム。 【請求項２】 感光性樹脂層（Ｂ）の感光性樹脂組成物が、（ａ）アクリル酸又はメタクリル酸及びこれらのアルキルエステルを構成モノマーとして共重合してなるバインダーポリマー、（ｂ）分子内に少なくとも１つの重合可能なエチレン性不飽和基を有するモノマー及び（ｃ）光重合開始剤を含有してなる組成物である請求項１記載の感光性フィルム。 ・・・中略・・・ 【請求項４】 保護フィルムがポリプロピレンフィルムである請求項１、２又は３記載の感光性フィルム。」 イ 「【発明の詳細な説明】 【０００１】 【発明の属する技術分野】本発明はリードフレームやメタルマスク等のメタルエッチング加工用として好適に用いられる感光性フィルムに関する。 ・・・中略・・・ 【０００４】一方、感光性フィルムは、透明な支持フィルム上に感光性樹脂組成物を塗布、乾燥し保護フィルムを貼りあわせたサンドイッチ構造であり、ラミネート時に保護フィルムを除去しながら、感光性樹脂層を下地金属に加熱圧着し、像形成するため、液状感光性樹脂と比較し設備投資が少なく、感度も高く、可使期間が長い等の特徴があり、金属精密加工に優れている。 【０００５】一般的に感光性フィルムの支持フィルムとしてはＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレート）フィルム等のポリエステルフィルムが用いられ、保護フィルムとしてはＰＥ（ポリエチレン）フィルム等のポリオレフィンフィルムが用いられている。 ・・・中略・・・ 保護フィルムはラミネート時に除去される。また通常保護フィルムとして用いられるポリオレフィンフィルムは、原材料を熱溶融し、混練、押出し、２軸延伸又はキャスティング法によって製造される。一般的にポリオレフィンフィルム等の保護フィルム中にはフィッシュアイとよばれる未溶解及び熱劣化物を含む。フッシュアイの大きさは一般的に直径（φ）が３０～６００μｍで、フィルム表面から２～４０μｍの高さで突き出ている。このフィッシュアイの凸部が感光性樹脂層に転写し感光性樹脂層に凹みを生じ、ラミネート後の基板上に図１に示すようなエアーボイド６を生じる。すなわち、支持フィルム１と感光性樹脂層２とフィッシュアイ４を有する保護フィルムからなる感光性フィルムを保護フィルムを剥がして基板５にラミネートするとエアーボイド６が生じる。このエアーボイドは感光性樹脂層の膜厚と相関し、感光性樹脂層の膜厚が薄いほど発生しやすく、次工程である露光、現像、エッチングの像形成において、パターン欠けや断線の原因となる。 ・・・中略・・・ 【０００８】 【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、常圧ラミネート法において、金属表面を有する基板表面に感光性フィルムをエアーボイドの発生数を低減して歩留まり良く積層することができる作業性に優れた感光性フィルムを提供することにある。 【０００９】本発明の他の目的は上記の発明の効果を奏し、更にラミネート性に優れた感光性フィルムを提供することにある。 【００１０】本発明の他の目的は上記の発明の効果を奏し、特にリードフレームやメタルマスク等のメタルエッチング加工用として優れる感光性フィルムを提供することにある。 【００１１】 【課題を解決するための手段】本発明は、支持フィルム（Ａ）上に感光性樹脂組成物を含む感光性樹脂層（Ｂ）を形成し、さらにその上に保護フィルム（Ｃ）を張りあわせた感光性フィルムにおいて、前記保護フィルム（Ｃ）中に含まれる直径８０μｍ以上のフィッシュアイ数が５個／ｍ2以下であり、かつ、感光性樹脂組成物を含む感光性樹脂層（Ｂ）の膜厚が５～３０μｍであることを特徴とする感光性フィルムを提供するものである。」 ウ 「【００１２】 【発明の実施の形態】 ・・・中略・・・ 【００１３】本発明における感光性樹脂組成物を含む感光性樹脂層（Ｂ）の感光性樹脂組成物は感光性を有するものであれば特に限定されないが、（ａ）アクリル酸又はメタクリル酸及びこれらのアルキルエステルを構成モノマーとして共重合してなるバインダーポリマー、（ｂ）分子内に少なくとも１つの重合可能なエチレン性不飽和基を有するモノマー及び（ｃ）光重合開始剤を含有してなる組成物が好ましく用いられる。 【００１４】バインダーポリマー（ａ）は、単独でも２種以上を組み合わせて用いることもできる。 【００１５】アクリル酸アルキルエステルとしては、例えばアクリル酸メチルエステル、アクリル酸エチルエステル、アクリル酸ブチルエステル、アクリル酸２－エチルヘキシル等が挙げられる。これらは、単独又は２種以上を組み合わせて使用される。 ・・・中略・・・ 【００１７】また前記アクリル酸とメタクリル酸は、併用することもできる。 【００１８】バインダーポリマーにはアクリル酸又はメタクリル酸及びこれらのアルキルエステル以外にもこれらと共重合し得るビニルモノマーを構成モノマーとして用いることができる。 ・・・中略・・・ 【００３１】感光性樹脂層の厚みは、５～３０μｍであることが必要である。５μｍより薄い場合、追従性が低下し、欠け、断線が発生し、３０μｍより厚い場合、解像度が悪化する。好ましい厚みは１０～２５μｍである。 ・・・中略・・・ 【００３６】また、保護フィルムの表面粗さとしては、中心線平均粗さＲａが０．００５～０．０５μｍであることが好ましく、０．０１～０．０３μｍであることが更に好ましい。表面粗さは、接触型表面粗さ計を用いて測定可能である。 ・・・中略・・・ 【００３９】保護フィルム（Ｃ）の膜厚は５～５０μｍであることが好ましく、５～３０μｍであることが好ましい。５μｍより薄い場合、製造が困難となる傾向があり、５０μｍより厚い場合、価格が高くなる傾向がある。 ・・・中略・・・ 【００４１】本発明の感光性フィルムは、リードフレームやメタルマスクなどを製造するのに用いられるメタルエッチング加工用感光性フィルムとして好適である。」 エ 「【００４２】 【実施例】以下、本発明を実施例に基づいて詳細に説明するが、本発明はこれに限定されるものではない。 【００４３】実施例１～３及び比較例１～２ 表１に示す（ａ）成分、（ｂ）成分、（ｃ）成分及びその他の成分を混合し、溶液を調製した。 【００４４】 【表１】 ［図：0001384017000009.jpg］ 【００４５】次いでこの感光性樹脂組成物の溶液を１６μｍ厚のポリエチレンテレフタレートフィルム上に均一に塗布し、１００℃の熱風対流乾燥機で約５分間乾燥し、表２に示す各保護フィルムをラミネートし感光性フィルムを得た。感光性樹脂層の乾燥後の膜厚は１５μｍであった。 ・・・中略・・・ 【００４９】 ・・・中略・・・ また、各支持フィルムのフィッシュアイの大きさ及び数を１００倍の顕微鏡を用いて測定した。 【００５０】結果を表２にまとめて示す。 【００５１】 【表２】 ［図：0001384017000010.jpg］ 【００５２】表２から明らかなように、保護フィルム（Ｃ）として、φ≧８０μｍのフィッシュアイ個数が５個／ｍ２以下のフィルムを使用することにより、断線、欠けの原因となるエアーボイドの発生数が減少することが分かる。 【００５３】 【発明の効果】本発明の感光性フィルムは、欠け、断線の原因であるエアーボイドの発生数を低減し、金属精密加工の歩留まり向上に極めて有用である。」 （当合議体注：【表２】の一部の脚注の摘記を省略した。） （２）甲３Ｂに記載された発明 ア 甲３Ｂ実施例発明 甲３Ｂの【００４２】～【００５２】には、実施例４（感光性樹脂組成物の溶液のうち配合１’を用いたもの）に係る感光性フィルムが記載されている。前記感光性フィルムは、【００４４】の表１に記載された感光性樹脂組成物の溶液を用いて、【００４３】～【００４５】に記載された工程を経て得たものである。 そうしてみると、甲３Ｂには、次の感光性フィルムの発明（以下「甲３Ｂ実施例発明」という。）が記載されている。 「感光性樹脂組成物の溶液を１６μｍ厚のポリエチレンテレフタレートフィルム上に均一に塗布し、乾燥し、保護フィルム（Ｅ－２００Ｃ：ポリプロピレンフィルム）をラミネートし得た、 感光性フィルム。 ここで、上記感光性樹脂組成物の溶液は、以下の（ａ）成分、（ｂ）成分、（ｃ）成分及びその他の成分を混合し、溶液を調製したものであって、感光性樹脂層の乾燥後の膜厚は１５μｍである。 （ａ）成分：メタクリル酸／メタクリル酸メチル／メタクリル酸ブチル／アクリル酸２－エチルヘキシル共重合体（２５／５０／５／２０（重量比）、重量平均分子量８０，０００）の４０重量％メチルセロソルブ／トルエン（６／４（重量比））溶液を１６０ｇ、 （ｂ）成分：２，２－ビス（４－メタクリロキシペンタエトキシ）フェニル）プロパン（新中村化学工業(株）製、商品名BPE-500）を３６ｇ、 （ｃ）成分：ベンゾフェノンを５ｇと、Ｎ，Ｎ－テトラエチル－４，４’－ジアミノベンゾフェノンを０．３ｇ」 （当合議体注：感光性樹脂組成物の溶液の成分における「その他の成分」の摘記は省略した。） イ 甲３Ｂ発明 甲３Ｂには、請求項１及び２を引用する請求項４に係る、以下の感光性フィルムの発明（以下「甲３Ｂ発明」という。）が記載されている。 「支持フィルム（Ａ）上に感光性樹脂組成物を含む感光性樹脂層（Ｂ）を形成し、さらにその上に保護フィルム（Ｃ）を張りあわせた感光性フィルムにおいて、前記保護フィルム（Ｃ）中に含まれる直径８０μｍ以上のフィッシュアイ数が５個／ｍ２以下であり、かつ、感光性樹脂組成物を含む感光性樹脂層（Ｂ）の膜厚が５～３０μｍであり、 感光性樹脂層（Ｂ）の感光性樹脂組成物が、（ａ）アクリル酸又はメタクリル酸及びこれらのアルキルエステルを構成モノマーとして共重合してなるバインダーポリマー、（ｂ）分子内に少なくとも１つの重合可能なエチレン性不飽和基を有するモノマー及び（ｃ）光重合開始剤を含有してなる組成物であり、 保護フィルムがポリプロピレンフィルムである、 感光性フィルム。」 （３）甲３Ｂ実施例発明を主たる引用発明とした場合 甲３Ｂ実施例発明の「感光性フィルム」の「保護フィルム」である「ポリプロピレンフィルム」は、甲２Ａ実施例発明の「ポリプロピレンフィルム」（「Ｅ－２００Ｃ：ポリプロピレンフィルム（王子製紙（株）製）」）と同一である。 また、甲３Ｂ実施例発明の「感光性樹脂層」と、甲２Ａ実施例発明の「感光性樹脂組成物層」とは、[A]厚さが、前者は１５μｍであるのに対して、後者は１７μｍである点及び[B]材料（組成）が異なる点でのみ相違する。 ここで、ポリプロピレンフィルムの表面粗さＲａ、最大高さＲｍａｘ及び感光層の厚さとエアーボイドの関係についての先の出願時の当業者の技術常識については、上記（７）に示したとおりである。 また、甲３Ｂの【０００８】の「本発明の目的は、常圧ラミネート法において、金属表面を有する基板表面に感光性フィルムをエアーボイドの発生数を低減して歩留まり良く積層することができる作業性に優れた感光性フィルムを提供することにある。」との記載によれば、甲３Ｂ実施例発明において、エアーボイドの発生を防止することが課題であることは、甲２Ａに記載された各発明（以下、まとめて「引用発明」という。）と同様である。 加えて、甲３Ｂ実施例発明の「感光性樹脂組成物」の組成からみて、甲３Ｂ実施例発明の「感光性樹脂層」は、本件特許発明１の特定感光層に該当しない。そうすると、上記[B]の相違は、本件特許発明１の特定感光層を除くという構成については、本件特許発明１、３～７及び９と甲２Ａに記載された発明との対比結果を左右しない。 そうしてみると、本件特許発明１～７及び９と、甲３Ｂ実施例発明との一致点及び相違点、各相違点に対する判断は、上記「１（６）」、「１（７）」及び上記「１（１１）」と同様である。 （４）甲３Ｂ発明を主たる引用発明とした場合 ア 本件特許発明１ 本件特許発明１と甲３Ｂ発明を対比すると、以下のとおりである。 （ア）支持フィルム 甲３Ｂ発明の「感光性フィルム」は、「支持フィルム（Ａ）上に感光性樹脂組成物を含む感光性樹脂層（Ｂ）を形成し、さらにその上に保護フィルム（Ｃ）を張りあわせた」ものである。 上記積層構造によれば、甲３Ｂ発明の「支持フィルム（Ａ）」は、「感光性樹脂層（Ｂ）」及び「保護フィルム（Ｃ）」を支持するフィルムである。 そうしてみると、甲３Ｂ発明の「支持フィルム（Ａ）」は、本件特許発明１の「支持フィルム」に相当する。 （イ）感光層及びポリプロピレンフィルム 甲３Ｂ発明の「ポリプロピレンフィルム」は、「保護フィルム（Ｃ）」であり、その機能及び材質からみて、本件特許発明１の「ポリプロピレンフィルム」に相当する。 また、甲３Ｂ発明の「感光性樹脂層（Ｂ）」は、その文言が意味するとおり、本件特許発明１の「感光層」に相当する。 そして、甲３Ｂ発明の「感光性フィルム」の積層構造を踏まえると、甲３Ｂ発明の「ポリプロピレンフィルム」は、本件特許発明１の「ポリプロピレンフィルム」における、「感光層側の第１の面と、当該第１の面の反対側の第２の面と、を有し」との要件を満たすことは明らかである。 さらに、甲３Ｂ発明の「感光性樹脂層（Ｂ）」は、本件特許発明１の「感光層」における、「前記支持フィルム及び前記ポリプロピレンフィルムの間に配置された」との要件を満たす。 （ウ）感光性エレメントの全体構成 甲３Ｂ発明の「感光性フィルム」は、技術的にみて、本件特許発明１の「感光性エレメント」に相当する。 そうしてみると、上記（ア）の積層構造及び上記（ア）～（イ）の対比結果から、甲３Ｂ発明の「感光性フィルム」は、本件特許発明１の「感光性エレメント」における、「支持フィルムと、ポリプロピレンフィルムと、前記支持フィルム及び前記ポリプロピレンフィルムの間に配置された感光層と、を備え」との要件を満たす。 以上によれば、本件特許発明１と甲３Ｂ発明との一致点及び相違点は、次のとおりである。 （一致点） 「支持フィルムと、ポリプロピレンフィルムと、前記支持フィルム及び前記ポリプロピレンフィルムの間に配置された感光層と、を備え、 前記ポリプロピレンフィルムが、前記感光層側の第１の面と、当該第１の面の反対側の第２の面と、を有する、 感光性エレメント。」 （相違点３Ｂ”－１） 「ポリプロピレンフィルム」の「第１の面」及び「第２の面」の「算術平均粗さＲａ」及び「最大高さＲｍａｘ」が、本件特許発明１では、それぞれ「０．０５μｍ以下」及び「０．４μｍ以下」であり、これらの値の測定手順が、本件測定手順とされるのに対して、甲３Ｂ発明では、これらの値が特定されておらず、また、その測定手順も特定されていない点。 （相違点３Ｂ”－２） 「感光層」が、本件特許発明１は、「厚さが９μｍ以下」であって、特定感光層を除くとされているのに対して、甲３Ｂ発明では、厚さが特定されておらず、そのため、特定感光層以外のものに該当するか否かも特定されていない点。 （相違点３Ｂ”－３） 本件特許発明１が、「ポリプロピレンフィルムの厚さが１００μｍ以下であり」という要件及び特定積層体を除くという要件を満たすのに対して、甲３Ｂ発明では、「ポリプロピレンフィルムである」「保護フィルム（Ｃ）」の厚さが特定されておらず、そのため、甲３Ｂ発明の「感光性フィルム」が、本件特許発明１の「感光層」から、特定積層体を除いた範囲内のものに該当するか否かも特定されていない点。 上記相違点についての判断は、以下のとおりである。 上記「１（７）」と同様、技術的な関連性に鑑み、相違点をまとめて検討する。 甲３Ｂ発明は、感光性エレメントという技術分野に属し、かつ、ラミネートした時のエアーボイドの発生を防止するという共通の技術課題を有している点において、甲３Ｂ実施例発明の場合と何ら事情は変わらない。また、保護フィルムの表面粗さＲａ、最大高さＲｍａｘ及び感光層の厚さと、感光層のエアーボイドの関係に関する技術常識等は上記「１（７）」に示したとおりである。また、この点は、甲３Ｂの【００３６】の記載からも理解できる事項である。 そうしてみると、上記「１（７）」と同様の理由により、上記技術常識を熟知する当業者が、甲３Ｂ発明の「感光性フィルム」において、半導体装置の薄型化及び狭小化の要請にしたがって、「感光性樹脂層（Ｂ ）」の厚さを薄くするとともに、エアーボイドの発生を防止するために、甲３Ｂ発明の「ポリプロピレンフィルム」における表面粗さＲａ、最大高さＲｍａｘ及び厚さや、「感光性樹脂層（Ｂ）」の厚さを設計変更して、（相違点３Ｂ”－１）及び（相違点３Ｂ”－２）のうち厚さに係る本件特許発明１の構成に想到することは容易である。 また、（相違点３Ｂ”－２）のうち特定感光層に係る相違点については、甲３Ｂ発明の「感光性樹脂層（Ｂ）」として、本件特許発明１において除かれた範囲（「特定感光層」以外のもの、例えば、甲３Ａの実施例４（配合１’を用いたもの）における感光性樹脂層）を採用することは、甲３Ｂ発明を具体化する当業者が採用を試みる有力な選択枝の１つである。 加えて、（相違点３Ｂ”－３）の特定積層体に係る相違点については、甲３Ｂの「保護フィルム（Ｃ）の膜厚は・・・中略・・・５～３０μｍであることが好ましい。」（【００３９】）の記載からみて、上記「１（７）」の判断と同様である。 また、発明の効果については、上記「１（８）」の判断と同様である。 イ 本件特許発明２について 本件特許発明２と甲３Ｂ発明との相違点は、次のとおりである。 （相違点３Ａ”’－１） 「ポリプロピレンフィルム」の「第１の面」及び「第２の面」の「算術平均粗さＲａ」及び「最大高さＲｍａｘ」が、本件特許発明２では、それぞれ「０．０５μｍ以下」及び「０．５μｍ以下」であり、これらの値の測定手順が、本件測定手順とされるのに対して、甲３Ｂ発明では、これらの値が特定されておらず、また、その測定手順も特定されていない点。 （相違点３Ｂ”’－２） 「感光層」が、本件特許発明２は、「厚さが５μｍ以下」であるのに対して、甲３Ｂ発明では、「膜厚が５～３０μｍ」である点。 （相違点２Ａ”’－３） 本件特許発明２では、「ポリプロピレンフィルム」から、特定ポリプロピレンフィルムが除かれているのに対して、甲３Ｂ発明の「ポリプロピレンフィルム」は、特定ポリプロピレンフィルムに該当するか否か不明である点。 上記相違点について検討する。 （相違点３Ｂ”’－１）は、（相違点２Ａ”’－１）と同一であって、甲２Ａ発明と事情は異ならないから、その判断も上記「１（１２）イ」と同様でなる。 また、甲３Ｂの【００３９】には、「保護フィルム（Ｃ）の膜厚は・・・中略・・・５～３０μｍであることが好ましい。」と記載されていることから、（相違点３Ｂ”’－３）の判断も、上記「１（１２）イ」の判断と同様である。 さらに、（相違点３Ｂ”’－２）に係る構成は、甲３Ｂの【００３１】の「感光性樹脂層の厚みは・・・中略・・・５μｍより薄い場合、追従性が低下し、欠け、断線が発生し、３０μｍより厚い場合、解像度が悪化する。好ましい厚みは１０～２５μｍである。」との記載及び上記「１（７）エ」に示した理由により、当業者が容易に想到し得るものである。 ウ 本件特許発明３について 本件特許発明３と甲３Ｂ発明との新たな相違点は、上記「１（１２）ア（ア）」の（相違点２Ａ”’－２）と同一である。 そうしてみると、相違点についての判断は、上記「イ」の判断と同様である。 エ 本件特許発明４及び６について 本件特許発明４と甲３Ｂ発明との新たな相違点は、上記「１（１１）ウ」の（相違点２Ａ－５）と同一である。 そして、上記相違点についての判断は、上記「１（１１）ウ」の判断と同様である。 また、本件特許発明６と甲３Ｂ発明との新たな相違点は、上記「１（１１）ウ」の（相違点２Ａ－６）と同一である。 そして、上記相違点についての判断は、上記「１（１１）ウ」の判断と同様である。 オ 本件特許発明５について 甲３Ｂ発明の「感光性樹脂層（Ｂ）」は、上記アの（相違点３Ｂ－２）の判断で示したとおりである。 そうしてみると、各成分の機能からみて、甲３Ｂ発明の「（ａ）」成分、「（ｂ）」成分及び「（ｃ）」成分は、それぞれ本件特許発明５の「バインダーポリマー」、「光重合性化合物」及び「光重合開始剤」に相当する。 したがって、本件特許発明５と甲３Ｂ発明とは、新たな相違点を有しない。 カ 本件特許発明７について 上記「１（１１）オ」に示した相違点及び判断と同様である。 キ 本件特許発明９について 本件特許発明６についてと同様である。 （５）特許権者の主張について 特許権者は、令和３年４月３０日付け意見書の２５頁～２９頁において、甲３Ｂを主引用例とした取消しの理由に対して反論している。 当該反論の内容は、甲２Ａを主引用例とした拒絶の理由に対する主張と同様の内容である。 したがって、上記「１（９）」と同様の理由により、上記反論は採用の限りでない。 （６）本件特許発明１～７及び９の小括 本件特許発明１～７及び９は、甲３Ｂに記載された発明、甲３Ａに記載された事項及び周知技術に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものである。 第６ まとめ 以上のとおり、本件特許発明１～本件特許発明９は、甲２Ａ、甲１Ｂ、甲２Ｂ及び甲３Ｂのいずれか１の文献に記載された発明、甲３Ａに記載された技術的事項及び周知技術に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものである。 したがって、請求項１～請求項９に係る特許は、特許法２９条の規定に違反してされたものであるから、特許法１１３条２号に該当し、取り消されるべきものである。 よって、結論のとおり決定する。