2020-008881

ア．引用文献１

（ア）原査定（令和２年２月２５日付けの拒絶査定）の拒絶の理由で引用された、本願の出願前（優先日前）に頒布された又は電気通信回線を通じて公衆に利用可能となった引用文献である韓国登録特許第１０－１５２５６５４号公報（２０１５年６月３日発行。以下、「引用文献１」という。）には、図面とともに、次の記載がある（日本語は当審訳。下線は注目箇所を示すために当審で付したものである。）。

（【0036】図１及び図２を参照すると、本発明の一実施例による線形振動子（１００）は前記線形振動子（１００）の外見を形成するハウジング（１１０）と、質量体（１３１）、弾性部材（１３５）及び磁界部（１３６）を含む振動部（１３０）と、シャフト（１５３）、ヨーク（１５２）及びコイル（１５１）（１５４）を含む電磁石（１５０）と、前記電磁石（１５０）－詳細するように、前記コイル（１５１）（１５４）－に電源を供給するための基板（１４０）を含むことができる。）

【0037】ここで、前記磁界部（１３６）はヨーク役目を実行する上部及び下部プレート（１３２）（１３４）とその間に介在されるマグネット（１３３）を含むことができる。また、前記電磁石（１５０）は前記ハウジング（１１０）の内部空間に上下方向に具備されるシャフト（１５３）と、前記シャフト（１５３）に具備されるヨーク（１５２）及び前記ヨーク（１５２）を基準で上下で前記シャフト（１５３）に具備されるコイル（１５１）（１５４）を含むことができる。ここで、前記シャフト（１５３）及び前記ヨーク（１５２）は磁性体材質に具備されうる。）

【0038】ハウジング（１１０）は片側が開放されて所定の内部空間を提供するケース（１１２）と前記ケース（１１２）の開放された片側に結合して前記ケース（１１２）によって形成される前記内部空間を密閉することができるブラケット（１１４）を含むことができる。）

【0039】ここで、前記内部空間は電磁石（１５０）及び振動部（１３０）などを収容することができ、前記ケース（１１２）及び前記ブラケット（１１４）は一体でも形成されうる。）

（【0042】電磁石（１５０）は前記ハウジング（１１０）の内部空間に具備されるように前記ハウジング（１１０）に固定装着されうる。前記電磁石（１５０）は前記ハウジング（１１０）－ケース（１１２）またはブラケット（１１４）に装着可能－にボンディング、圧入及び溶接の中で少なくとも一つの方法に結合されうる。すなわち、前記電磁石（１５０）は前記ケース（１１２）または前記ブラケット（１１４）に上端または下段が固定結合されるシャフト（１５３）と前記シャフト（１５３）に固定結合されるヨーク（１５２）及びコイル（１５１）（１５４）を含むことができる。）

（【0044】ここで、前記電磁石（１５０）はハウジング（１１０）に固定されるシャフト（１５３）と、前記シャフト（１５３）に結合されるヨーク（１５２）及び前記ヨーク（１５２）を基準で前記シャフト（１５３）に上下に配置されるコイル（１５１）（１５４）を含むことができる。前記コイル（１５１）（１５４）は図２で見るように、前記ヨーク（１５２）に隣接する部分がお互いに等しい極性を有するように配置されうる。たとえば、図２を参照すると、上部に配置されるコイル（１５１）が上下で順次にＮ極、Ｓ極を有するように配置されて、下部に配置されるコイル（１５４）が上下で順次にＳ極、Ｎ極を有するように配置されうる。）

（【0048】前記コイル（１５１）（１５４）と振動部（１３０）のマグネット（１３３）の相互作用で電磁力を発生させる過程で磁束の流れをなだらかに形成するようにするために前記シャフト（１５３）及び前記ヨーク（１５２）が具備されうる。）

（【0054】すなわち、前記振動部（１３０）は前記弾性部材（１３５）を媒介で上下で震動することができる部材であることができる。）

【0055】ここで、前記上部及び下部プレート（１３２）（１３４）とマグネット（１３３）は前記電磁石（１５０）－さらに詳細するように、前記コイル（１５１）（１５４）及びヨーク（１５２）－の外径より大きい内径を具備することができる。）

【0056】具体的に、前記磁界部（１３６）は前記電磁石（１５０）と対向するように配置されることができるし、前記電磁石（１５０）の少なくとも一部が前記磁界部（１３６）によって形成される空間内に挿入されることができる。）

（【0069】弾性部材（１３５）は前記言及したところのように質量体（１３１）とハウジング（１１０）－ケース（１１２）またはブラケット（１１４）－に結合して弾性力を提供する部材として、前記弾性部材（１３５）の弾性係数によって振動部（１３０）の固有周波数に影響を及ぼすようになる。）

（イ）図面からは次の事項が看取される。

ａ　図１から、振動部（１３０）は、質量体（１３１）、プレート（１３２）、マグネット（１３３）及びプレート（１３４）から構成される振動体を備えていることが看取される。

ｂ　図２からは、マグネット（１３３）の着磁方向とマグネットの震動方向とのなす角度は概ね平行であることが看取される。

ｃ　図１及び図２を合わせ見ると、弾性部材（１３５）はハウジング（１１０）の直径方向に掛け渡すようにして振動体を支えていること、中空筒状をしたコイル（１５１）（１５４）の軸方向端面は振動体の震動方向にほぼ垂直であることが看取される。

図1　　　　　　　　　　　　　　　図２

（ウ）段落［００３９］の記載と上記（イ）ａから、振動体は内部空間に収容されているといえる。

（エ）引用発明

上記（ア）～（ウ）から、引用文献１には次の発明（以下、「引用発明」という。）が記載されていると認められる。

「内部空間を有するハウジング（１１０）と、前記内部空間に収容される振動体と、前記振動体を構成している質量体（１３１）と前記ハウジング（１１０）とに結合し、前記ハウジング（１１０）の直径方向に掛け渡すようにして前記振動体を支える弾性部材（１３５）と、前記ハウジングに固定装着される、前記振動体が上下で震動するようにマグネット（１３３）と相互作用する電磁石（１５０）と、を備え、前記電磁石（１５０）は前記ハウジング（１１０）に固定されるシャフト（１５３）に上下に配置されるコイル（１５１）（１５４）を備え、中空筒状をした前記コイル（１５１）（１５４）の軸方向端面は前記振動体の震動方向にほぼ垂直である線形振動子（１００）であって、

前記振動体を構成している前記質量体（１３１）は前記弾性部材（１３５）に結合し且つ前記振動体を構成している前記マグネット（１３３）は前記電磁石（１５０）の外径より大きな内径を具備し前記電磁石（１５０）の少なくとも一部がその空間内に挿入されており、

前記マグネット（１３３）の着磁方向と前記マグネット（１３３）の震動方向とのなす角度は概ね平行であり、

前記コイル（１５１）（１５４）は、コイル（１５１）とコイル（１５４）が配置されたものであり、

前記コイル（１５１）と前記コイル（１５４）は、ヨーク（１５２）の上下に配置される線形振動子（１００）。」

イ　引用文献２

（ア）同じく原査定に引用され、本願の出願前（優先日前）に頒布された又は電気通信回線を通じて公衆に利用可能となった特開２００７－２５１１２８号公報（平成１９年９月２７日出願公開。以下、「引用文献２」という。）には、次の記載がある。（下線は注目箇所を示すために当審で付したものである。）

「【0003】

[0003] 基板および／またはパターニングデバイスを配置および位置決めするためには、リソグラフィ装置は、通常、複数のアクチュエータおよび／またはリニアモータを含む。一般に、そのようなモータまたはアクチュエータは、磁石アセンブリおよびコイルアセンブリを含み、それによって、両者間の相互作用が磁石アセンブリかコイルアセンブリに連結された物体に作用する力が与えられる。そのようなモータまたはアクチュエータの効率を向上させるために、磁石アセンブリに対する別の選択肢が技術分野において開示されている。」

「【0006】

[0006] 本発明の好ましい実施形態によれば、第１方向に延在する強磁性部材、第１方向に相互に隣接して配置されかつ強磁性部材上に取り付けられた交互極性の磁極アレイ、強磁性部材に向けて発散する磁場を作り出すように配置された複数の永久磁石を有する前記磁極アレイの磁極、を備える磁石アセンブリが提供され、磁極の各永久磁石は、第１方向にあるノンゼロ成分と、第１方向に対して実質垂直な第２方向にあるノンゼロ成分とを有する磁気分極を備えている。」

「【0025】

[0034] １． ステップモードにおいては、マスクテーブルＭＴおよび基板テーブルＷＴを基本的に静止状態に保ちつつ、放射ビームに付けられたパターン全体を一度にターゲット部分Ｃ上に投影する（すなわち、単一静止露光）。つぎに基板テーブルＷＴをＸおよび／またはＹ方向に移動し、それによって別のターゲット部分Ｃを露光することが可能になる。ステッパモードにおいては、露光フィールドの最大サイズよって、単一静止露光時に結像されるターゲット部分Ｃのサイズが限定される。」

「【0031】

[0040] 本発明の第１実施形態（図４）による磁石アセンブリにおいては、磁石アセンブリ８０は、磁石アレイの一方の側に配置された強磁性ヨーク７０と、４つの永久磁石７２、７４、７６、および７８のアレイとを含む。４つの永久磁石７２、７４、７６、および７８のそれぞれは、第１方向の成分と、第１方向に対して実質垂直な第２方向の成分とを有する磁気分極方向を備え、それによって、交互極性、すなわちＳ極（磁石７２および７４により形成される）およびＮ極（磁石７６および７８により形成される）からなる対になった磁極を形成している。永久磁石の磁気分極を、慣例どおり、矢印が永久磁石のＮ極を指す矢印によって永久磁石内に示す。磁石によって作り出される磁束が強磁性ヨークに向かって発散する極を形成し、かつそれによって磁石アレイの開放端、すなわち、強磁性ヨークの反対側に向かって収斂するような態様で磁石を配置する。シミュレーションによれば、永久磁石をこのように配置することによって、ハルバッハ構成を使った配置に比べて同等の向上を磁場にもたらすことができる一方、図３ａおよび３ｂに示された配置より少ない磁石しか必要としないことが明らかになった。この配置の利点の１つは、同じ空間内により小さくかつより薄い磁石を用いて交互磁極を作り出すことができることである。磁石の数を減らすことによって、切断およびコーティングの面で磁石の費用も下げることができる。磁石は、砕けやすいので、より大きい磁石を使うのが好ましい場合もある。磁石の寸法公差およびコーティング厚さが使用可能ないくつかの空間をふさぐ可能性があるので、磁石の数を減らしても、磁石材料の実際量がまた増える場合もある。例示の磁石アセンブリは、コイル８２を含むコイルアセンブリと、磁石アセンブリ８０と類似の第２磁石アセンブリ８４とをさらに含み、両磁石アセンブリがコイルアセンブリを実質取り囲むリニアアクチュエータに適用されている。

【0032】

[0041] なお、図２に示された配置と図４とを比較すると、図２の隣接する磁石２０および２２が第２方向に対して実質平行な分極を有するのに対して、磁石７４および７６の分極には、磁石の分極と第２方向との間にノンゼロ角(non-zero angle)が存在することである。この角度を導入することによって、磁束の短絡（図２の磁石２０から磁石２２へ、または図４の磁石７４から磁石７６へ）を減らすことができる。その結果、コイルによって付与される磁束を増やすことができ、アクチュエータの効率を向上させることになる。短絡を減らすことによって、コイルアセンブリが磁石アセンブリ８０と８４との中間に正確に置かれていないとき起こるＺ方向から離れる方向(de Z-direction)に発生する力も減らすことができる。これらの寄生的な力は、対象物を正確に移動させる能力を減らす恐れがあるので、短絡を減らすことは、利点となる。

【0033】

[0042] なお、本発明の実施形態による磁石アセンブリはまた、（複数の）コイルの両側に磁石アセンブリを備えるのではなくその片側にだけ磁石アセンブリを備えるリニアアクチュエータにも応用することができる。そのような片面アクチュエータの例を図５ａに示す。図５ａは、コイル８２をともなった図４の磁石アセンブリ８０を概略的に示す。このような配置もまた、たとえば、対象テーブルまたは光学部材を移動させるために、リソグラフィ装置内に利用することができるリニアアクチュエータになる。図５ａにおいては、最も内側の磁石７４および７６の分極と、第２方向との間のノンゼロ角をαによって表わし、βを最も外側の磁石７２および７８の分極と、第２方向との間のノンゼロ角を表わすのに使っている。この角度を導入することによって、コイルの動作領域内の磁束密度を増やすことができる。」

また、図４～図５ｂからは、永久磁石の分極と、Ｙ方向（第１方向、移動方向）及びＺ方向（第２方向）との間にノンゼロ角が存在していることが看取される。

（イ）上記記載から、引用文献２には、次の技術事項が記載されているものと認められる。

「コイルの動作領域内の磁束密度を増やすことでリニアモータの効率を向上させるために、永久磁石の分極と、第１方向（リニアモータの移動方向）及び第２方向（第１方向と垂直である方向）との間にノンゼロ角を存在させたリニアモータ。」

請求人は審判請求書において、「なお、２つのコイルが非絶縁的に当接する時に、発生した電流又はローレンツフォースが互いに干渉しますので、通常は、中間に遮断物を設置する必要があり、システムの構造が複雑になります。これに対して、請求項１に係る発明は、『第１コイルと第２コイルが絶縁的に当接して設置されることで、システムの構造を簡単にでき、かつ絶縁的に設置されることで、２つのコイルの間の干渉を回避できる』という優れた技術効果を奏します。したがって、請求項１に係る発明は、引用文献１－５に対して進歩性を有するものと思慮します。」 と主張している。

しかし、一般に導線を巻回した構造のコイルは、前記２（５）ウで検討したとおりコイルを形成する導線そのものが絶縁被覆されているから、請求人が主張している「２つのコイルが非絶縁的に当接する時、発生した電流又はローレンツフォースが互いに干渉します」とは、いかなることか技術常識に照らしても判然としないし、発明の詳細な説明等にも記載されていない。そして、本件補正発明における「絶縁的に当接して設置される」との発明特定事項が、引用発明が有している２つのコイル間のヨークを、設けないようにすることを意味しているとしても、前記２（５）ウで検討したとおり、当業者が容易に想到し得たことである。

したがって、請求人の主張を採用することはできない。