2020-003348

第２ 特許請求の範囲の記載（本願発明）

本願の請求項１～１０に係る発明は、平成３０年６月１２日にされた手続補正により補正された特許請求の範囲の請求項１～１０に記載された事項により特定されるものであるところ、その請求項１に係る発明（以下、「本願発明」という。）は、次のとおりである。

「 【請求項１】

気相成長プロセスのための前駆体蒸気を発生させる揮発に有用な、圧縮粒子前駆体の固形体を含む固体送達前駆体。」

第３ 原査定の拒絶理由

原査定の拒絶理由は、平成３１年３月１３日付け拒絶理由通知書に記載した理由１を含むものであり、その内容は、要するに、次のとおりのものである。

・拒絶理由（新規性）：本願発明は、本願の優先日前に日本国内又は外国において、頒布された又は電気通信回線を通じて公衆に利用可能となった下記の引用文献１に記載された発明であるから、特許法第２９条第１項第３号に該当し、特許を受けることができない、というものである。

記

第４ 引用文献１の記載及び引用発明

１ 引用文献１の記載

原査定の拒絶の理由で引用された引用文献１には、「制御された固体モルフォロジを利用する、固体前駆体に基づいた流体の送出」（発明の名称）に関する以下の事項が記載されている。

（１）「【００２１】

本発明の他の態様は、蒸気生成に用いる多孔質固体ソース試薬物品を、前記物品の加熱により製造する方法であって、粉末形態のソース試薬を提供し、粉末を熱および加圧下で圧密して、多孔質固体ソース試薬物品を得ることを含む方法に関する。」

（２）「【００３３】

本発明は、化学蒸着またはイオン注入等の流体を利用するプロセスのために蒸気を生成するソース試薬の気化のための気化器装置、システムおよび方法に関する。

【００３４】

本発明は、液体および半固体ソース試薬材料（半固体ソース試薬材料とは、ここでは、流動可能な固体、固体懸濁液、イオン液体組成物等を含むものと考えられる）をはじめとする様々な種類のソース試薬に適用でき、固体ソース試薬材料に特に有用である。本発明の実施で用いる固体ソース試薬材料は、例えば、粉末、顆粒、ペレット、ビーズ、レンガ、ブロック、シート、ロッド、プレート、フィルム、コーティング等の形態にあり、特定の用途において望まれる通り、多孔質または非多孔質の形態で実施される。」

（３）「【００８９】

本発明は、様々な特定の態様において、固体または液体ソース試薬からソース試薬蒸気を生成し、送出するための気化器システムに関する。ソース試薬は、かかるソース試薬に由来する蒸気中に粒子を生成または存在させやすい。本発明は、対応蒸気中に粒子を生成および存在させやすい固体ソース試薬に対して、特に有用な用途がある。

【００９０】

本発明の気化器システムが有用に用いられる固体前駆体は、固体相金属ハロゲン化物、有機金属固体等をはじめとする任意の好適な種類とすることができる。・・・

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【００９１】

前述の材料から選択される実例としては、塩化ハフニウムが、ハフニウムおよびハフニウム含有フィルムを、半導体製造操作において蒸着するのに用いられるソース試薬である。塩化ハフニウムは、塩化ハフニウム固体から生成された蒸気中に微粒子を極めて生成および存在させやすいことがわかっている固体ソース試薬材料である。

【００９２】

本発明は、気化するとソース試薬蒸気を生じさせる粉末固体の形態のソース試薬材料をはじめとする、粒子を生成しやすいソース試薬材料に関連する特定の問題を解決する様々なアプローチ、装置構成および技術を意図するものである。

【００９３】

これらのアプローチ、構成および技術を、塩化ハフニウム粉末等の粉末固体ソース試薬を具体的に参照して後述するが、その適用性は、多くの場合、様々な液体ソース試薬材料まで拡大され、その使用も含まれるものとする。

【００９４】

粉末固体ソース試薬の使用への適用について広く考えると、本発明のアプローチ、構成および技術には、これらに限られるものではないが、以下のことが含まれる。

・・・

（ｖｉｉｉ）多孔質固体ソース試薬本体の使用。例えば、ポリマーまたはその他一時的な媒体を、固体ソース試薬材料の粉末と混合した後、ポリマー媒体またはその他一時的な媒体を除去して、多孔質固体ソース試薬本体を得ることにより形成可能である。・・・」

２ 引用文献１に記載された発明（引用発明）

引用文献１には、上記１（２）によれば、化学蒸着又はイオン注入等の流体を利用するプロセスのために蒸気を生成する液体及び半固体ソース試薬材料をはじめとする様々な種類のソース試薬の気化のための気化器装置などが記載され、そのソース試薬の実例として、上記１（３）によれば、ハフニウム及びハフニウム含有フィルムを半導体製造操作において蒸着するのに用いられる塩化ハフニウム固体ソース試薬が記載され、その粉末固体ソース試薬に関し、多孔質固体ソース試薬として使用することも記載されている。そして、上記多孔質固体ソース試薬の製造方法について、上記１（１）には、蒸気生成に用いる多孔質固体ソース試薬物品を加熱により製造する際に、粉末形態のソース試薬を提供し、前記粉末形態のソース試薬を熱及び加圧下で圧密して、多孔質固体ソース試薬を得ることが記載されている。

そうすると、引用文献１には、化学蒸着を利用するプロセスのための蒸気を生成する塩化ハフニウム多孔質固体ソース試薬が記載され、なおかつ、当該多孔質固体ソース試薬は、粉末形態のソース試薬を熱及び加圧下で圧密することで得られたものであることが記載されているということができる。

以上をまとめると、引用文献１には、多孔質固体ソース試薬物品に関する次の発明（以下、「引用発明」という。）が記載されているということができる。

「化学蒸着を利用するプロセスのための蒸気を生成する塩化ハフニウム多孔質固体ソース試薬であって、前記多孔質固体ソース試薬は、粉末形態のソース試薬を熱及び加圧下で圧密することで得られたものである、多孔質固体ソース試薬。」

３ 対比・判断

＜特許法第２９条第１項第３号（新規性）について＞

本願発明と引用発明とを対比する。

引用発明に係る「化学蒸着を利用するプロセスのための蒸気を生成する塩化ハフニウム多孔質固体ソース試薬」は、「化学蒸着を利用するプロセス」、すなわち、「気相成長プロセス」に用いられるものであり、当該プロセスにおいて化学蒸着のために「蒸気」、すなわち、「前駆体蒸気」を生成するものであるから、本願発明でいう「気相成長プロセスのための前駆体蒸気を発生させる揮発に有用な」、「前駆体の固形体を含む固体送達前駆体」に相当するものといえる。

また、引用発明に係る「多孔質固体ソース試薬」は、「粉末形態のソース試薬を熱及び加圧下で圧密することで得られたものである」ところ、当該「粉末形態のソース試薬」を構成する粉体（粒子）は、「熱及び加圧下で圧密」されるのであるから、本願発明でいう「圧縮粒子前駆体」にほかならない。

してみると、両者は、「気相成長プロセスのための前駆体蒸気を発生させる揮発に有用な、圧縮粒子前駆体の固形体を含む固体送達前駆体。」である点で一致し、相違点はないものと認められる。

したがって、本願発明は、引用発明、すなわち、引用文献１に記載された発明であるといえる。

第５ むすび

以上のとおり、本願発明は、特許法第２９条第１項第３号に該当し、特許を受けることができない。

したがって、他の請求項に係る発明について検討するまでもなく、本願は拒絶されるべきものである。

よって、結論のとおり審決する。