2019-700517

特許第６４５０４５２号発明「積層体、仮接着用組成物および仮接着膜」の特許異議申立事件について、次のとおり決定する。

【結　論】 特許第６４５０４５２号の明細書及び特許請求の範囲を訂正請求書に添付された訂正明細書及び特許請求の範囲のとおり、訂正後の請求項〔１～１６〕、〔１７～１９〕、〔２０～２２〕について訂正することを認める。 特許第６４５０４５２号の請求項１及び９～２２に係る特許を維持する。 特許第６４５０４５２号の請求項２～８に係る特許についての特許異議の申立てを却下する。

【理　由】 第１　手続の経緯 特許第６４５０４５２号（以下、「本件特許」という。）の請求項１～２２に係る特許についての出願は、２０１６年（平成２８年）３月１４日（優先権主張　平成２７年３月２３日、平成２８年２月２９日、日本国）を国際出願日とする出願であって、平成３０年１２月１４日にその特許権の設定登録がされ、平成３１年１月９日に特許掲載公報が発行された。本件特許異議の申立ての経緯は、次のとおりである。 令和元年　６月２８日：特許異議申立人（中川賢治）による請求項１～２２ に係る特許に対する特許異議の申立て 令和元年　９月　３日付け：取消理由通知書 令和元年１０月３１日：特許権者による意見書及び訂正請求書の提出 令和元年１２月２５日：特許異議申立人による意見書の提出 令和２年　２月２８日付け：取消理由通知書（決定の予告） 令和２年　４月１３日：特許権者代理人との面接 令和２年　５月　１日：特許権者による意見書及び訂正請求書の提出 （これによる訂正を「本件訂正」という。） なお、上記令和元年１０月３１日になされた訂正請求は、本件訂正請求があったので特許法第１２０条の５第７項の規定により、取り下げられたものとみなす。 令和２年　７月　１日付け：訂正拒絶理由通知 令和２年　７月２８日：特許権者による上申書の提出 （メール応対：新型コロナウイルス感染症の影響 による手続の指定期間延長願い） 令和２年　９月　３日：特許権者による意見書及び手続補正書の提出 第２　訂正の適否についての判断 １．訂正の内容 令和２年９月３日提出の手続補正書により補正された本件訂正による訂正の内容は、訂正箇所を下線を付して示すと、以下のとおりである。 （１）訂正事項１ 特許請求の範囲の請求項１において「前記仮接着膜は、フッ素系液体状化合物および／またはシリコーン化合物を含み、」という発明特定事項を付加する。 （２）訂正事項２ 特許請求の範囲の請求項１において「前記仮接着膜の、昇温速度５℃／分で２５０℃まで昇温したときのＪＩＳ　Ｋ　６８６２：１９８４に準拠した、溶融粘度が、１０，０００以上６０，０００Ｐａ・ｓ以下であり、」という発明特定事項を付加する。 （３）訂正事項３ 特許請求の範囲の請求項１において「０．３３Ｎ／ｍｍ以下である」と記載されているのを、「０．０７Ｎ／ｍｍ以上０．３３Ｎ／ｍｍ以下である」に訂正する。 （４）訂正事項４ 特許請求の範囲の請求項１において「前記仮接着膜の表面自由エネルギーが３０ｍＪ／ｍ２以下であり、」という発明特定事項を付加する。 （５）訂正事項５ 特許請求の範囲の請求項１において「前記仮接着膜の温度１９０℃の時のＪＩＳ　Ｋ　７２４４－６：１９９９に準拠したせん断貯蔵弾性率Ｇ’が０．１～１ＭＰａであり、」という発明特定事項を付加する。 （６）訂正事項６ 特許請求の範囲の請求項１において「前記仮接着膜の温度２５℃の時のＪＩＳ　Ｋ　７２４４－４：１９９９に準拠した引張貯蔵弾性率Ｅ’が１５０～９００ＭＰａであり、」という発明特定事項を付加する。 （７）訂正事項７ 特許請求の範囲の請求項１において「前記仮接着膜の温度１９０℃の時のＪＩＳ　Ｋ　７２４４－６：１９９９に準拠したせん断貯蔵弾性率Ｇ’と、前記仮接着膜の２５℃の時のＪＩＳ　Ｋ　７２４４－４：１９９９に準拠した引張貯蔵弾性率Ｅ’との比Ｅ’／Ｇ’が、Ｅ’／Ｇ’≦３５００を満たし、」という発明特定事項を付加する。 （８）訂正事項８ 特許請求の範囲の請求項１において「前記仮接着膜の温度２００℃、荷重１０ｋｇにおけるＪＩＳ　Ｋ　７２１０：１９９９に準拠した、メルトフローレートが２０．０ｇ／１０分以下であり、」という発明特定事項を付加する。 （９）訂正事項９ 特許請求の範囲の請求項１において「前記仮接着膜の温度６０℃の時の塑性変形開始圧力Ｐ６０が０．２ＭＰａ以上であり、」という発明特定事項を付加する。 （１０）訂正事項１０ 特許請求の範囲の請求項１において「但し、表面自由エネルギーとは、仮接着膜に対する水、エチレングリコールおよびジヨードメタンの接触角に基づき、拡張Ｆｏｗｋｅｓ式から得られる値をいう；」という発明特定事項を付加する。 （１１）訂正事項１１ 特許請求の範囲の請求項１において「但し、塑性変形開始圧力はシリコンウェハ上に設けた厚さ４０μｍの仮接着膜を６０℃に加熱しながら、５ｍｍ×１０ｍｍのシリコンからなるチップを仮接着膜の膜面に対し垂直な方向から５秒間押し付け、チップを除去した後、光学顕微鏡でチップが接触していた箇所を観察し、押し付けた箇所の膜厚が１０μｍ以上低下していた時の圧力をいう。」という発明特定事項を付加する。 （１２）訂正事項１２ 特許請求の範囲の請求項２～８を削除する。 （１３）訂正事項１３ 特許請求の範囲の請求項９における「請求項１～８のいずれか１項」の記載を「請求項１」に訂正する。 （１４）訂正事項１４ 特許請求の範囲の請求項１０における「請求項１～９のいずれか１項」の記載を「請求項１または９」に訂正する。 （１５）訂正事項１５ 特許請求の範囲の請求項１１における「請求項１～９のいずれか１項」の記載を「請求項１または９」に訂正する。 （１６）訂正事項１６ 特許請求の範囲の請求項１２における「請求項１～１１のいずれか１項」の記載を「請求項１および９～１１のいずれか１項」に訂正する。 （１７）訂正事項１７ 特許請求の範囲の請求項１３における「請求項１～１１のいずれか１項」の記載を「請求項１および９～１１のいずれか１項」に訂正する。 （１８）訂正事項１８ 特許請求の範囲の請求項１４における「請求項１～１１のいずれか１項」の記載を「請求項１および９～１１のいずれか１項」に訂正する。 （１９）訂正事項１９ 特許請求の範囲の請求項１５における「請求項１～１４のいずれか」の記載を「請求項１および９～１４のいずれか」に訂正する。 （２０）訂正事項２０ 特許請求の範囲の請求項１６における「請求項１～１５のいずれか１項」の記載を「請求項１および９～１５のいずれか１項」に訂正する。 （２１）訂正事項２１ 特許請求の範囲の請求項１７において「０．３３Ｎ／ｍｍ以下である」と記載されているのを、「０．０７Ｎ／ｍｍ以上０．３３Ｎ／ｍｍ以下であり、」に訂正する。 （２２）訂正事項２２ 特許請求の範囲の請求項１７において「前記仮接着膜は、フッ素系液体状化合物および／またはシリコーン化合物を含み、」という発明特定事項を付加する。 （２３）訂正事項２３ 特許請求の範囲の請求項１７において「前記仮接着膜の、昇温速度５℃／分で２５０℃まで昇温したときの、ＪＩＳ　Ｋ　６８６２：１９８４に準拠した、溶融粘度が、１０，０００以上６０，０００Ｐａ・ｓ以下である」という発明特定事項を付加する。 （２４）訂正事項２４ 特許請求の範囲の請求項１７において「前記仮接着膜は、２５℃の時の、ＪＩＳ　Ｋ　７１６１：１９９４に準拠した、引張弾性率Ｅが２５～２０００ＭＰａであり、」という発明特定事項を付加する。 （２５）訂正事項２５ 特許請求の範囲の請求項１７において「前記仮接着膜の表面自由エネルギーが３０ｍＪ／ｍ２以下であり、前記仮接着膜の温度１９０℃の時のＪＩＳ　Ｋ　７２４４－６：１９９９に準拠したせん断貯蔵弾性率Ｇ’が０．１～１ＭＰａであり、」という発明特定事項を付加する。 （２６）訂正事項２６ 特許請求の範囲の請求項１７において「前記仮接着膜の温度２５℃の時のＪＩＳ　Ｋ　７２４４－４：１９９９に準拠した引張貯蔵弾性率Ｅ’が１５０～９００ＭＰａであり、」という発明特定事項を付加する。 （２７）訂正事項２７ 特許請求の範囲の請求項１７において「前記仮接着膜の温度１９０℃の時のＪＩＳ　Ｋ　７２４４－６：１９９９に準拠したせん断貯蔵弾性率Ｇ’と、前記仮接着膜の２５℃の時のＪＩＳ　Ｋ　７２４４－４：１９９９に準拠した引張貯蔵弾性率Ｅ’との比Ｅ’／Ｇ’が、Ｅ’／Ｇ’≦３５００を満たし、」という発明特定事項を付加する。 （２８）訂正事項２８ 特許請求の範囲の請求項１７において「前記仮接着膜の温度２００℃、荷重１０ｋｇにおけるＪＩＳ　Ｋ　７２１０：１９９９に準拠した、メルトフローレートが２０．０ｇ／１０分以下であり、」という発明特定事項を付加する。 （２９）訂正事項２９ 特許請求の範囲の請求項１７において「前記仮接着膜の温度６０℃の時の塑性変形開始圧力Ｐ６０が０．２ＭＰａ以上である、」という発明特定事項を付加する。 （３０）訂正事項３０ 特許請求の範囲の請求項１７において「表面自由エネルギーとは、仮接着膜に対する水、エチレングリコールおよびジヨードメタンの接触角に基づき、拡張Ｆｏｗｋｅｓ式から得られる値をいう」という発明特定事項を付加する。 （３１）訂正事項３１ 特許請求の範囲の請求項１７において「塑性変形開始圧力はシリコンウェハ上に設けた厚さ４０μｍの仮接着膜を６０℃に加熱しながら、５ｍｍ×１０ｍｍのシリコンからなるチップを仮接着膜の膜面に対し垂直な方向から５秒間押し付け、チップを除去した後、光学顕微鏡でチップが接触していた箇所を観察し、押し付けた箇所の膜厚が１０μｍ以上低下していた時の圧力をいう」という発明特定事項を付加する。 （３２）訂正事項３２ 特許請求の範囲の請求項２０において「溶融粘度が１０，０００Ｐａ・ｓ以上であり、」と記載されているのを、「溶融粘度が１０，０００Ｐａ・ｓ以上６０，０００Ｐａ・ｓ以下であり、」に訂正する。 （３３）訂正事項３３ 特許請求の範囲の請求項２０において「０．３３Ｎ／ｍｍ以下である」と記載されているのを、「０．０７Ｎ／ｍｍ以上０．３３Ｎ／ｍｍ以下であり、」に訂正する。 （３４）訂正事項３４ 特許請求の範囲の請求項２０において「フッ素系液体状化合物および／またはシリコーン化合物を含む、」という発明特定事項を付加する。 （３５）訂正事項３５ 訂正前の【表４】から実施例１８を削除する。 （３６）訂正事項３６ 訂正前の段落【０１４０】における「＜＜仮接着用組成物の組成（実施例１～１４、１７～１８、比較例６～９）＞＞」の記載を「＜＜仮接着用組成物の組成（実施例１～１４、１７、比較例６～９）＞＞」に訂正する。 （３７）訂正事項３７ 訂正前の【表１】から実施例１８を削除する。 （３８）訂正事項３８ 訂正前の段落【０１５５】における「＜積層体の形成（実施例１～１６、１８～２１、比較例１～１１）＞」の記載を「＜積層体の形成（実施例１～１６、１９～２１、比較例１～１１）＞」に訂正する。 （３９）訂正事項３９ 訂正前の段落【０１５８】を削除する。 （４０）訂正事項４０ 訂正前の段落【０１４１】における「・樹脂Ｐ－６：表１に記載の質量部」の記載を「・樹脂Ｐ－５：表１に記載の質量部」に訂正する。 （４１）訂正事項４１ 訂正前の段落【０１４２】における「・樹脂Ｐ－７：表１に記載の質量部」の記載を「・樹脂Ｐ－６：表１に記載の質量部」に訂正する。 （４２）訂正事項４２ 訂正前の段落【０１４６】を削除する。 （４３）訂正事項４３ 訂正前の段落【０１４７】を削除する。 （４４）訂正事項４４ 訂正前の段落【０１４８】における「・樹脂Ｐ－６：表１に記載の質量部」の記載を「・樹脂Ｐ－５：表１に記載の質量部」に訂正する。 （４５）訂正事項４５ 訂正前の段落【０１４９】における「・樹脂Ｐ－６：表１に記載の質量部」の記載を「・樹脂Ｐ－５：表１に記載の質量部」に訂正する。 （４６）訂正事項４６ 訂正前の段落【０１５０】における「・樹脂Ｐ－７：表１に記載の質量部」の記載を「・樹脂Ｐ－６：表１に記載の質量部」に訂正する。 （４７）訂正事項４７ 訂正前の段落【０１５１】における「・樹脂Ｐ－７：表１に記載の質量部」の記載を「・樹脂Ｐ－６：表１に記載の質量部」に訂正する。 （４８）訂正事項４８ 訂正前の段落【０１５２】における「・樹脂Ｐ－８：表１に記載の質量部」の記載を「・樹脂Ｐ－７：表１に記載の質量部」に訂正する。 ２．一群の請求項 訂正前の請求項１～１６は、訂正前の請求項２～１６が、本件訂正の対象である請求項１の記載を直接的又は間接的に引用する関係にあるから、一群の請求項である。 また、訂正前の請求項１７～１９は、訂正前の請求項１８、１９が、本件訂正の対象である請求項１７の記載を直接的又は間接的に引用する関係にあるから、一群の請求項である。 さらに、訂正前の請求項２０～２２は、請求項２１、２２が、本件訂正の対象である請求項２０の記載を直接的又は間接的に引用する関係にあるから、一群の請求項である。 そして、本件訂正は、前記一群の請求項に係る請求項をすべて含む請求項１～２２について請求するものであるから、特許法１２０条の５第４項に規定する一群の請求項ごとにするものである。 ３．訂正の目的の適否、新規事項の有無、及び特許請求の範囲の拡張・変更の存否 （１）本件訂正前の請求項１～１６に係る一群の請求項に対する訂正（訂正事項１～２０）について ア．訂正事項１について 上記訂正事項１は、訂正前の請求項１の「仮接着膜」を、「前記仮接着膜は、フッ素系液体状化合物および／またはシリコーン化合物を含み、」と限定するものであるから、特許法第１２０条の５第２項ただし書第１号に掲げる特許請求の範囲の減縮に該当するものである。 また、上記訂正事項１は、上記のとおり、特許請求の範囲を減縮するものであるから、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではなく、特許法第１２０条の５第９項の規定によって準用する第１２６条第６項に適合するものである。 そして、上記訂正事項１は、願書に添付した明細書の段落【００２６】の記載に基づくものであるから、願書に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であり、特許法第１２０条の５第９項の規定によって準用する第１２６条第５項に適合するものである。 イ．訂正事項２について 上記訂正事項２は、訂正前の請求項１の「仮接着膜」を、「前記仮接着膜の、昇温速度５℃／分で２５０℃まで昇温したときのＪＩＳ　Ｋ　６８６２：１９８４に準拠した、溶融粘度が、１０，０００以上６０，０００Ｐａ・ｓ以下であり、」と限定するものであるから、特許法第１２０条の５第２項ただし書第１号に掲げる特許請求の範囲の減縮に該当するものである。 また、上記訂正事項２は、上記のとおり、特許請求の範囲を減縮するものであるから、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではなく、特許法第１２０条の５第９項の規定によって準用する第１２６条第６項に適合するものである。 そして、上記訂正事項２は、願書に添付した明細書の段落【００１９】の記載に基づくものであるから、願書に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であり、特許法第１２０条の５第９項の規定によって準用する第１２６条第５項に適合するものである。 ウ．訂正事項３について 上記訂正事項３は、訂正前の請求項１の「前記引き上げる際にかかる力を、フォースゲージを用いて測定したときの力」を、「０．０７Ｎ／ｍｍ以上」と限定するものであるから、特許法第１２０条の５第２項ただし書第１号に掲げる特許請求の範囲の減縮に該当するものである。 また、上記訂正事項３は、上記のとおり、特許請求の範囲を減縮するものであるから、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではなく、特許法第１２０条の５第９項の規定によって準用する第１２６条第６項に適合するものである。 そして、上記訂正事項３は、願書に添付した明細書の段落【０１１７】の記載に基づくものであるから、願書に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であり、特許法第１２０条の５第９項の規定によって準用する第１２６条第５項に適合するものである。 エ．訂正事項４、１０について 上記訂正事項４は、訂正前の請求項１の「仮接着膜」を、「前記仮接着膜の表面自由エネルギーが３０ｍＪ／ｍ２以下であり、」と限定するものであり、上記訂正事項１０は、該「表面自由エネルギー」について、「但し、表面自由エネルギーとは、仮接着膜に対する水、エチレングリコールおよびジヨードメタンの接触角に基づき、拡張Ｆｏｗｋｅｓ式から得られる値をいう；」と限定するものであるから、それぞれ、特許法第１２０条の５第２項ただし書第１号に掲げる特許請求の範囲の減縮に該当するものである。 また、上記訂正事項４及び１０は、上記のとおり、特許請求の範囲を減縮するものであるから、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではなく、特許法第１２０条の５第９項の規定によって準用する第１２６条第６項に適合するものである。 そして、上記訂正事項４及び１０は、願書に添付した明細書の段落【００１５】の記載に基づくものであるから、願書に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であり、特許法第１２０条の５第９項の規定によって準用する第１２６条第５項に適合するものである。 オ．訂正事項５について 上記訂正事項５は、訂正前の請求項１の「仮接着膜」を、「前記仮接着膜の温度１９０℃の時のＪＩＳ　Ｋ　７２４４－６：１９９９に準拠したせん断貯蔵弾性率Ｇ’が０．１～１ＭＰａであり、」と限定するものであるから、特許法第１２０条の５第２項ただし書第１号に掲げる特許請求の範囲の減縮に該当するものである。 また、上記訂正事項５は、上記のとおり、特許請求の範囲を減縮するものであるから、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではなく、特許法第１２０条の５第９項の規定によって準用する第１２６条第６項に適合するものである。 そして、上記訂正事項５は、願書に添付した明細書の段落【００１６】の記載に基づくものであるから、願書に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であり、特許法第１２０条の５第９項の規定によって準用する第１２６条第５項に適合するものである。 カ．訂正事項６について 上記訂正事項６は、訂正前の請求項１の「仮接着膜」を、「前記仮接着膜の温度２５℃の時のＪＩＳ　Ｋ　７２４４－４：１９９９に準拠した引張貯蔵弾性率Ｅ’が１５０～９００ＭＰａであり、」と限定するものであるから、特許法第１２０条の５第２項ただし書第１号に掲げる特許請求の範囲の減縮に該当するものである。 また、上記訂正事項６は、上記のとおり、特許請求の範囲を減縮するものであるから、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではなく、特許法第１２０条の５第９項の規定によって準用する第１２６条第６項に適合するものである。 そして、上記訂正事項６は、願書に添付した明細書の段落【００１７】の記載に基づくものであるから、願書に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であり、特許法第１２０条の５第９項の規定によって準用する第１２６条第５項に適合するものである。 キ．訂正事項７について 上記訂正事項７は、訂正前の請求項１の「仮接着膜」を、「前記仮接着膜の温度１９０℃の時のＪＩＳ　Ｋ　７２４４－６：１９９９に準拠したせん断貯蔵弾性率Ｇ’と、前記仮接着膜の２５℃の時のＪＩＳ　Ｋ　７２４４－４：１９９９に準拠した引張貯蔵弾性率Ｅ’との比Ｅ’／Ｇ’が、Ｅ’／Ｇ’≦３５００を満たし、」と限定するものであるから、特許法第１２０条の５第２項ただし書第１号に掲げる特許請求の範囲の減縮に該当するものである。 また、上記訂正事項７は、上記のとおり、特許請求の範囲を減縮するものであるから、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではなく、特許法第１２０条の５第９項の規定によって準用する第１２６条第６項に適合するものである。 そして、上記訂正事項７は、願書に添付した明細書の段落【００１８】の記載に基づくものであるから、願書に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であり、特許法第１２０条の５第９項の規定によって準用する第１２６条第５項に適合するものである。 ク．訂正事項８について 上記訂正事項８は、訂正前の請求項１の「仮接着膜」を、「前記仮接着膜の温度２００℃、荷重１０ｋｇにおけるＪＩＳ　Ｋ　７２１０：１９９９に準拠した、メルトフローレートが２０．０ｇ／１０分以下であり、」と限定するものであるから、特許法第１２０条の５第２項ただし書第１号に掲げる特許請求の範囲の減縮に該当するものである。 また、上記訂正事項８は、上記のとおり、特許請求の範囲を減縮するものであるから、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではなく、特許法第１２０条の５第９項の規定によって準用する第１２６条第６項に適合するものである。 そして、上記訂正事項８は、願書に添付した明細書の段落【００２０】の記載に基づくものであるから、願書に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であり、特許法第１２０条の５第９項の規定によって準用する第１２６条第５項に適合するものである。 ケ．訂正事項９、１１について 上記訂正事項９は、訂正前の請求項１の「仮接着膜」を、「前記仮接着膜の温度６０℃の時の塑性変形開始圧力Ｐ６０が０．２ＭＰａ以上であり、」と限定するものであり、上記訂正事項１１は、該「塑性変形開始圧力」について、「但し、塑性変形開始圧力はシリコンウェハ上に設けた厚さ４０μｍの仮接着膜を６０℃に加熱しながら、５ｍｍ×１０ｍｍのシリコンからなるチップを仮接着膜の膜面に対し垂直な方向から５秒間押し付け、チップを除去した後、光学顕微鏡でチップが接触していた箇所を観察し、押し付けた箇所の膜厚が１０μｍ以上低下していた時の圧力をいう。」と限定するものであるから、それぞれ、特許法第１２０条の５第２項ただし書第１号に掲げる特許請求の範囲の減縮に該当するものである。 また、上記訂正事項９及び１１は、上記のとおり、特許請求の範囲を減縮するものであるから、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではなく、特許法第１２０条の５第９項の規定によって準用する第１２６条第６項に適合するものである。 そして、上記訂正事項９及び１１は、願書に添付した明細書の段落【００２１】の記載に基づくものであるから、願書に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であり、特許法第１２０条の５第９項の規定によって準用する第１２６条第５項に適合するものである。 コ．訂正事項１２について 上記訂正事項１２は、請求項２～８を削除するものであるから、特許法第１２０条の５第２項ただし書第１号に掲げる特許請求の範囲の減縮に該当するものである。 また、上記訂正事項１２は、上記のとおり、特許請求の範囲を減縮するものであるから、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではなく、特許法第１２０条の５第９項の規定によって準用する第１２６条第６項に適合するものである。 そして、上記訂正事項１２は、上記のとおりであるから、願書に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であり、特許法第１２０条の５第９項の規定によって準用する第１２６条第５項に適合するものである。 サ．訂正事項１３について 上記訂正事項１３は、上記訂正事項１２のとおり請求項２～８を削除したことに伴い、訂正前の請求項９が「請求項１～８のいずれか１項」を引用するものを、「請求項１」を引用するものに限定するものであるから、特許法第１２０条の５第２項ただし書第１号に掲げる特許請求の範囲の減縮及び第３号に掲げる明瞭でない記載の釈明に該当するものである。 また、上記訂正事項１３は、上記のとおり、特許請求の範囲を減縮するものであるから、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではなく、特許法第１２０条の５第９項の規定によって準用する第１２６条第６項に適合するものである。 そして、上記訂正事項１３は、上記のとおりであるから、願書に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であり、特許法第１２０条の５第９項の規定によって準用する第１２６条第５項に適合するものである。 シ．訂正事項１４について 上記訂正事項１４は、上記訂正事項１２のとおり請求項２～８を削除したことに伴い、訂正前の請求項１０が「請求項１～９のいずれか１項」を引用するものを、「請求項１または９」を引用するものに限定するものであるから、特許法第１２０条の５第２項ただし書第１号に掲げる特許請求の範囲の減縮及び第３号に掲げる明瞭でない記載の釈明に該当するものである。 また、上記訂正事項１４は、上記のとおり、特許請求の範囲を減縮するものであるから、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではなく、特許法第１２０条の５第９項の規定によって準用する第１２６条第６項に適合するものである。 そして、上記訂正事項１４は、上記のとおりであるから、願書に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であり、特許法第１２０条の５第９項の規定によって準用する第１２６条第５項に適合するものである。 ス．訂正事項１５について 上記訂正事項１５は、上記訂正事項１２のとおり請求項２～８を削除したことに伴い、訂正前の請求項１１が「請求項１～９のいずれか１項」を引用するものを、「請求項１または９」を引用するものに限定するものであるから、特許法第１２０条の５第２項ただし書第１号に掲げる特許請求の範囲の減縮及び第３号に掲げる明瞭でない記載の釈明に該当するものである。 また、上記訂正事項１５は、上記のとおり、特許請求の範囲を減縮するものであるから、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではなく、特許法第１２０条の５第９項の規定によって準用する第１２６条第６項に適合するものである。 そして、上記訂正事項１５は、上記のとおりであるから、願書に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であり、特許法第１２０条の５第９項の規定によって準用する第１２６条第５項に適合するものである。 セ．訂正事項１６について 上記訂正事項１６は、上記訂正事項１２のとおり請求項２～８を削除したことに伴い、訂正前の請求項１２が「請求項１～１１のいずれか１項」を引用するものを、「請求項１及び９～１１のいずれか１項」を引用するものに限定するものであるから、特許法第１２０条の５第２項ただし書第１号に掲げる特許請求の範囲の減縮及び第３号に掲げる明瞭でない記載の釈明に該当するものである。 また、上記訂正事項１６は、上記のとおり、特許請求の範囲を減縮するものであるから、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではなく、特許法第１２０条の５第９項の規定によって準用する第１２６条第６項に適合するものである。 そして、上記訂正事項１６は、上記のとおりであるから、願書に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であり、特許法第１２０条の５第９項の規定によって準用する第１２６条第５項に適合するものである。 ソ．訂正事項１７について 上記訂正事項１７は、上記訂正事項１２のとおり請求項２～８を削除したことに伴い、訂正前の請求項１３が「請求項１～１１のいずれか１項」を引用するものを、「請求項１及び９～１１のいずれか１項」を引用するものに限定するものであるから、特許法第１２０条の５第２項ただし書第１号に掲げる特許請求の範囲の減縮及び第３号に掲げる明瞭でない記載の釈明に該当するものである。 また、上記訂正事項１７は、上記のとおり、特許請求の範囲を減縮するものであるから、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではなく、特許法第１２０条の５第９項の規定によって準用する第１２６条第６項に適合するものである。 そして、上記訂正事項１７は、上記のとおりであるから、願書に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であり、特許法第１２０条の５第９項の規定によって準用する第１２６条第５項に適合するものである。 タ．訂正事項１８について 上記訂正事項１８は、上記訂正事項１２のとおり請求項２～８を削除したことに伴い、訂正前の請求項１４が「請求項１～１１のいずれか１項」を引用するものを、「請求項１及び９～１１のいずれか１項」を引用するものに限定するものであるから、特許法第１２０条の５第２項ただし書第１号に掲げる特許請求の範囲の減縮及び第３号に掲げる明瞭でない記載の釈明に該当するものである。 また、上記訂正事項１８は、上記のとおり、特許請求の範囲を減縮するものであるから、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではなく、特許法第１２０条の５第９項の規定によって準用する第１２６条第６項に適合するものである。 そして、上記訂正事項１８は、上記のとおりであるから、願書に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であり、特許法第１２０条の５第９項の規定によって準用する第１２６条第５項に適合するものである。 チ．訂正事項１９について 上記訂正事項１９は、上記訂正事項１２のとおり請求項２～８を削除したことに伴い、訂正前の請求項１５が「請求項１～１４のいずれか１項」を引用するものを、「請求項１及び９～１４のいずれか１項」を引用するものに限定するものであるから、特許法第１２０条の５第２項ただし書第１号に掲げる特許請求の範囲の減縮及び第３号に掲げる明瞭でない記載の釈明に該当するものである。 また、上記訂正事項１９は、上記のとおり、特許請求の範囲を減縮するものであるから、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではなく、特許法第１２０条の５第９項の規定によって準用する第１２６条第６項に適合するものである。 そして、上記訂正事項１９は、上記のとおりであるから、願書に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であり、特許法第１２０条の５第９項の規定によって準用する第１２６条第５項に適合するものである。 ツ．訂正事項２０について 上記訂正事項２０は、上記訂正事項１２のとおり請求項２～８を削除したことに伴い、訂正前の請求項１６が「請求項１～１５のいずれか１項」を引用するものを、「請求項１及び９～１５のいずれか１項」を引用するものに限定するものであるから、特許法第１２０条の５第２項ただし書第１号に掲げる特許請求の範囲の減縮及び第３号に掲げる明瞭でない記載の釈明に該当するものである。 また、上記訂正事項２０は、上記のとおり、特許請求の範囲を減縮するものであるから、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではなく、特許法第１２０条の５第９項の規定によって準用する第１２６条第６項に適合するものである。 そして、上記訂正事項２０は、上記のとおりであるから、願書に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であり、特許法第１２０条の５第９項の規定によって準用する第１２６条第５項に適合するものである。 テ．小括 以上のとおりであるから、訂正事項１～１２は、特許法第１２０条の５第２項ただし書き第１号に掲げる特許請求の範囲の減縮を目的とし、訂正事項１３～２０は、特許法第１２０条の５第２項ただし書き第１号に掲げる特許請求の範囲の減縮及び第３号に掲げる明瞭でない記載の釈明を目的とするものであり、かつ、同条第４項及び同条第９項において準用する同法第１２６条第４項から第６項までの規定に適合する。 したがって、訂正後の請求項１～１６に係る一群の請求項に係る訂正（訂正事項１～２０）を認める。 （２）本件訂正前の請求項１７～１９に係る一群の請求項に対する訂正（訂正事項２１～３１）について ア．訂正事項２１について 上記訂正事項２１は、訂正前の請求項１７の「前記引き上げる際にかかる力を、フォースゲージを用いて測定したときの力」を、「０．０７Ｎ／ｍｍ以上」と限定するものであるから、特許法第１２０条の５第２項ただし書第１号に掲げる特許請求の範囲の減縮に該当するものである。 また、上記訂正事項２１は、上記のとおり、特許請求の範囲を減縮するものであるから、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではなく、特許法第１２０条の５第９項の規定によって準用する第１２６条第６項に適合するものである。 そして、上記訂正事項２１は、願書に添付した明細書の段落【０１１７】の記載に基づくものであるから、願書に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であり、特許法第１２０条の５第９項の規定によって準用する第１２６条第５項に適合するものである。 イ．訂正事項２２について 上記訂正事項２２は、訂正前の請求項１７の「仮接着膜」を、「前記仮接着膜は、フッ素系液体状化合物および／またはシリコーン化合物を含み、」と限定するものであるから、特許法第１２０条の５第２項ただし書第１号に掲げる特許請求の範囲の減縮に該当するものである。 また、上記訂正事項２２は、上記のとおり、特許請求の範囲を減縮するものであるから、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではなく、特許法第１２０条の５第９項の規定によって準用する第１２６条第６項に適合するものである。 そして、上記訂正事項２２は、願書に添付した明細書の段落【００２６】の記載に基づくものであるから、願書に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であり、特許法第１２０条の５第９項の規定によって準用する第１２６条第５項に適合するものである。 ウ．訂正事項２３について 上記訂正事項２３は、訂正前の請求項１７の「仮接着膜」を、「前記仮接着膜の、昇温速度５℃／分で２５０℃まで昇温したときの、ＪＩＳ　Ｋ　６８６２：１９８４に準拠した、溶融粘度が、１０，０００以上６０，０００Ｐａ・ｓ以下である」と限定するものであるから、特許法第１２０条の５第２項ただし書第１号に掲げる特許請求の範囲の減縮に該当するものである。 また、上記訂正事項２３は、上記のとおり、特許請求の範囲を減縮するものであるから、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではなく、特許法第１２０条の５第９項の規定によって準用する第１２６条第６項に適合するものである。 そして、上記訂正事項２３は、願書に添付した明細書の段落【００１９】の記載に基づくものであるから、願書に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であり、特許法第１２０条の５第９項の規定によって準用する第１２６条第５項に適合するものである。 エ．訂正事項２４について 上記訂正事項２４は、訂正前の請求項１７の「仮接着膜」を、「前記仮接着膜は、２５℃の時の、ＪＩＳ　Ｋ　７１６１：１９９４に準拠した、引張弾性率Ｅが２５～２０００ＭＰａであり、」と限定するものであるから、特許法第１２０条の５第２項ただし書第１号に掲げる特許請求の範囲の減縮に該当するものである。 また、上記訂正事項２４は、上記のとおり、特許請求の範囲を減縮するものであるから、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではなく、特許法第１２０条の５第９項の規定によって準用する第１２６条第６項に適合するものである。 そして、上記訂正事項２４は、願書に添付した明細書の段落【００１４】の記載に基づくものであるから、願書に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であり、特許法第１２０条の５第９項の規定によって準用する第１２６条第５項に適合するものである。 オ．訂正事項２５、３０について 上記訂正事項２５は、訂正前の請求項１７の「仮接着膜」を、「前記仮接着膜の表面自由エネルギーが３０ｍＪ／ｍ２以下であり、前記仮接着膜の温度１９０℃の時のＪＩＳ　Ｋ　７２４４－６：１９９９に準拠したせん断貯蔵弾性率Ｇ’が０．１～１ＭＰａであり、」と限定するものであり、上記訂正事項３０は、該「表面自由エネルギー」について「表面自由エネルギーとは、仮接着膜に対する水、エチレングリコールおよびジヨードメタンの接触角に基づき、拡張Ｆｏｗｋｅｓ式から得られる値をいう」と限定するものであるから、それぞれ、特許法第１２０条の５第２項ただし書第１号に掲げる特許請求の範囲の減縮に該当するものである。 また、上記訂正事項２５及び３０は、上記のとおり、特許請求の範囲を減縮するものであるから、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではなく、特許法第１２０条の５第９項の規定によって準用する第１２６条第６項に適合するものである。 そして、上記訂正事項２５及び３０は、願書に添付した明細書の段落【００１５】及び【００１６】の記載に基づくものであるから、願書に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であり、特許法第１２０条の５第９項の規定によって準用する第１２６条第５項に適合するものである。 カ．訂正事項２６について 上記訂正事項２６は、訂正前の請求項１７の「仮接着膜」を、「前記仮接着膜の温度２５℃の時のＪＩＳ　Ｋ　７２４４－４：１９９９に準拠した引張貯蔵弾性率Ｅ’が１５０～９００ＭＰａであり、」と限定するものであるから、特許法第１２０条の５第２項ただし書第１号に掲げる特許請求の範囲の減縮に該当するものである。 また、上記訂正事項２６は、上記のとおり、特許請求の範囲を減縮するものであるから、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではなく、特許法第１２０条の５第９項の規定によって準用する第１２６条第６項に適合するものである。 そして、上記訂正事項２６は、願書に添付した明細書の段落【００１７】の記載に基づくものであるから、願書に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であり、特許法第１２０条の５第９項の規定によって準用する第１２６条第５項に適合するものである。 キ．訂正事項２７について 上記訂正事項２７は、訂正前の請求項１７の「仮接着膜」を、「前記仮接着膜の温度１９０℃の時のＪＩＳ　Ｋ　７２４４－６：１９９９に準拠したせん断貯蔵弾性率Ｇ’と、前記仮接着膜の２５℃の時のＪＩＳ　Ｋ　７２４４－４：１９９９に準拠した引張貯蔵弾性率Ｅ’との比Ｅ’／Ｇ’が、Ｅ’／Ｇ’≦３５００を満たし、」と限定するものであるから、特許法第１２０条の５第２項ただし書第１号に掲げる特許請求の範囲の減縮に該当するものである。 また、上記訂正事項２７は、上記のとおり、特許請求の範囲を減縮するものであるから、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではなく、特許法第１２０条の５第９項の規定によって準用する第１２６条第６項に適合するものである。 そして、上記訂正事項２７は、願書に添付した明細書の段落【００１８】の記載に基づくものであるから、願書に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であり、特許法第１２０条の５第９項の規定によって準用する第１２６条第５項に適合するものである。 ク．訂正事項２８について 上記訂正事項２８は、訂正前の請求項１７の「仮接着膜」を、「前記仮接着膜の温度２００℃、荷重１０ｋｇにおけるＪＩＳ　Ｋ　７２１０：１９９９に準拠した、メルトフローレートが２０．０ｇ／１０分以下であり、」と限定するものであるから、特許法第１２０条の５第２項ただし書第１号に掲げる特許請求の範囲の減縮に該当するものである。 また、上記訂正事項２８は、上記のとおり、特許請求の範囲を減縮するものであるから、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではなく、特許法第１２０条の５第９項の規定によって準用する第１２６条第６項に適合するものである。 そして、上記訂正事項２８は、願書に添付した明細書の段落【００２０】の記載に基づくものであるから、願書に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であり、特許法第１２０条の５第９項の規定によって準用する第１２６条第５項に適合するものである。 ケ．訂正事項２９、３１について 上記訂正事項２９は、訂正前の請求項１７の「仮接着膜」を、「前記仮接着膜の温度６０℃の時の塑性変形開始圧力Ｐ６０が０．２ＭＰａ以上である、」と限定するものであり、上記訂正事項３１は、該「塑性変形開始圧力」について、「塑性変形開始圧力はシリコンウェハ上に設けた厚さ４０μｍの仮接着膜を６０℃に加熱しながら、５ｍｍ×１０ｍｍのシリコンからなるチップを仮接着膜の膜面に対し垂直な方向から５秒間押し付け、チップを除去した後、光学顕微鏡でチップが接触していた箇所を観察し、押し付けた箇所の膜厚が１０μｍ以上低下していた時の圧力をいう」と限定するものであるから、それぞれ、特許法第１２０条の５第２項ただし書第１号に掲げる特許請求の範囲の減縮に該当するものである。 また、上記訂正事項２９及び３１は、上記のとおり、特許請求の範囲を減縮するものであるから、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではなく、特許法第１２０条の５第９項の規定によって準用する第１２６条第６項に適合するものである。 そして、上記訂正事項２９及び３１は、願書に添付した明細書の段落【００２１】の記載に基づくものであるから、願書に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であり、特許法第１２０条の５第９項の規定によって準用する第１２６条第５項に適合するものである。 コ．小括 以上のとおりであるから、訂正事項２１～３１は、特許法第１２０条の５第２項ただし書き第１号に掲げる特許請求の範囲の減縮を目的とするものであり、かつ、同条第４項、及び同条第９項において準用する同法第１２６条第４項から第６項までの規定に適合する。 したがって、訂正後の請求項１７～１９に係る一群の請求項に係る訂正（訂正事項２１～３１）を認める。 （３）本件訂正前の請求項２０～２２に係る一群の請求項に対する訂正（訂正事項３２～３４）について ア．訂正事項３２について 訂正事項３２は、訂正前の請求項２０の「溶融粘度」を「６０，０００Ｐａ・ｓ以下」に限定するものであるから、特許法第１２０条の５第２項ただし書き第１号に掲げる特許請求の範囲の減縮を目的とするものである。 また、上記訂正事項３２は、上記のとおり特許請求の範囲を減縮するものであるから、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではなく、特許法第１２０条の５第９項で準用する同法第１２６条第６項の規定に適合する。 そして、上記訂正事項３２は、願書に添付した明細書の段落【００１９】の記載に基づくものであるから、願書に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であり、特許法第１２０条の５第９項の規定によって準用する第１２６条第５項に適合するものである。 イ．訂正事項３３について 上記訂正事項３３は、訂正前の請求項２０の「前記引き上げる際にかかる力を、フォースゲージを用いて測定したときの力」を、「０．０７Ｎ／ｍｍ以上」と限定するものであるから、特許法第１２０条の５第２項ただし書第１号に掲げる特許請求の範囲の減縮に該当するものである。 また、上記訂正事項３３は、上記のとおり、特許請求の範囲を減縮するものであるから、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではなく、特許法第１２０条の５第９項の規定によって準用する第１２６条第６項に適合するものである。 そして、上記訂正事項３３は、願書に添付した明細書の段落【０１１７】の記載に基づくものであるから、願書に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であり、特許法第１２０条の５第９項の規定によって準用する第１２６条第５項に適合するものである。 ウ．訂正事項３４について 上記訂正事項３４は、訂正前の請求項２０の「仮接着膜」を、「フッ素系液体状化合物および／またはシリコーン化合物を含む、」と限定するものであるから、特許法第１２０条の５第２項ただし書第１号に掲げる特許請求の範囲の減縮に該当するものである。 また、上記訂正事項３４は、上記のとおり、特許請求の範囲を減縮するものであるから、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではなく、特許法第１２０条の５第９項の規定によって準用する第１２６条第６項に適合するものである。 そして、上記訂正事項３４は、願書に添付した明細書の段落【００２６】の記載に基づくものであるから、願書に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であり、特許法第１２０条の５第９項の規定によって準用する第１２６条第５項に適合するものである。 エ．小括 以上のとおりであるから、訂正事項３２～３４は、特許法第１２０条の５第２項ただし書き第１号に掲げる特許請求の範囲の減縮を目的とするものであり、かつ、同条第４項、及び同条第９項において準用する同法第１２６条第４項から第６項までの規定に適合する。 したがって、訂正後の請求項２０～２２に係る一群の請求項に係る訂正（訂正事項３２～３４）を認める。 （４）明細書に係る訂正（訂正事項３５～４８）について ア．訂正事項３５について 上記訂正事項３５は、訂正前の段落【０１６９】の【表４】から、実施例１８を削除するものである。 ここで、訂正前の段落【０１５３】の【表１】及び訂正前の段落【０１４０】の記載から、実施例１、実施例１７及び実施例１８において使用された仮接着用組成物は、いずれも同一の組成を有するものであることがわかる。 一方、訂正前の段落【０１６９】の【表４】において、仮接着膜の「引張弾性率Ｅ」、「表面自由エネルギー」、「断貯蔵弾性率Ｇ’」、「貯蔵引張弾性率Ｅ’」、「Ｅ’／Ｇ’」、「溶融粘度」、「ＭＦＲ」、「塑性変形開始圧力」の値は、実施例１と実施例１７は同一であるが、実施例１８のみが異なる値となっている。 また、訂正前の段落【０１５３】の表１及び訂正前の段落【０１４０】の記載から、実施例１～３、１３，１７，１８及び比較例６において使用された仮接着用組成物は、樹脂Ｐ－１及びＰ－３の含有質量部が異なり、それ以外の組成は同一であることがわかる。 そして、訂正前の段落【０１６９】の【表４】において、仮接着膜の「ＭＦＲ」の値は、実施例１～３、１３，１７及び比較例６は、樹脂Ｐ－１の含有割合が大きくなり樹脂Ｐ－３の含有割合が小さくなるにつれて「ＭＦＲ」の値が小さくなる関係にあるのに対し、実施例１８のみが、実施例１～３、１３，１７及び比較例６における樹脂Ｐ－１及び樹脂Ｐ－３の含有割合と「ＭＦＲ」の値の関係を満たさないものとなっている。 そうすると、訂正前の段落【０１６９】の【表４】における実施例１８の各物性値の記載自体が、実施例１～３、１３，１７及び比較例６の記載との関係において不合理を生じているから、上記訂正事項３５により実施例１８を削除してその不合理を正す訂正は、特許法第１２０条の５第２項ただし書第３号に掲げる明瞭でない記載の釈明に該当する。 また、上記訂正事項３５は、上記のとおりであり、特許請求の範囲のカテゴリーや対象、目的を変更するものではないから、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではなく、特許法第１２０条の５第９項の規定によって準用する第１２６条第６項に適合するものである。 そして、上記訂正事項３５は、上記のとおりであるから、願書に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であり、特許法第１２０条の５第９項の規定によって準用する第１２６条第５項に適合するものである。 イ．訂正事項３６～３９について 上記訂正事項３６～３８は、それぞれ、段落【０１４０】、段落【０１５３】の【表１】、段落【０１５５】から、実施例１８に係る記載を削除し、上記訂正事項３９は、実施例１８に係る記載である訂正前の段落【０１５８】を削除するものである。 そして、実施例１８を削除する訂正は、上記（４）ア．に示したとおり、明瞭でない記載の釈明に該当するから、上記訂正事項３６～３９により実施例１８に係る記載を削除する訂正も、特許法第１２０条の５第２項ただし書第３号に掲げる明瞭でない記載の釈明に該当する。 また、上記訂正事項３６～３９は、上記のとおりであり、特許請求の範囲のカテゴリーや対象、目的を変更するものではないから、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではなく、特許法第１２０条の５第９項の規定によって準用する第１２６条第６項に適合するものである。 そして、上記訂正事項３６～３９は、上記のとおりであるから、願書に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であり、特許法第１２０条の５第９項の規定によって準用する第１２６条第５項に適合するものである。 ウ．訂正事項４０について 上記訂正事項４０は、訂正前の段落【０１４１】における「・樹脂Ｐ－６：表１に記載の質量部」の記載を「・樹脂Ｐ－５：表１記載の質量部」に訂正するものである。 （ア）誤記の訂正の存否について 「誤記の訂正」とは、本来その意であることが、明細書、特許請求の範囲又は図面の記載などから明らかな内容の字句、語句に正すことをいい、訂正前の記載が当然に訂正後の記載と同一の意味を表示するものと客観的に認められるものをいう。 ａ．そこで、まず、上記訂正事項４０について、訂正前の段落【０１４１】の記載それ自体から、訂正前の段落【０１４１】に誤記が存在するといえるかを検討する。 訂正前の段落【０１４１】の記載は以下のとおりである。 「【０１４１】 ＜＜仮接着用組成物の組成（実施例１５）＞＞ ・樹脂Ｐ－６：表１に記載の質量部 ・Ｉｒｇａｎｏｘ　１０１０（ＢＡＳＦジャパン（株）製）：１０質量部 ・Ｓｕｍｉｌｉｚｅｒ　ＴＰ－Ｄ（住友化学（株）製）：１０質量部 ・アニソール（東洋合成工業（株）製）：４００質量部 ・ＴＯＴＭ（大八化学工業（株）製）：３質量部 ・メガファックＦ－５５３（ＤＩＣ（株）製）：０．１質量部・樹脂Ｐ－６：表１に記載の質量部」 訂正前の段落【０１４１】の記載は、「仮接着用組成物の組成」の「実施例１５」が、「樹脂Ｐ－６」を「表１に記載の質量部」含有することを意味するものであるとして、明確に理解することができる。 よって、訂正前の段落【０１４１】の記載それ自体から、訂正前の段落【０１４１】の「樹脂Ｐ－６」が「樹脂Ｐ－５」の誤記であるとはいえない。 ｂ．次に、訂正前の明細書の記載との関係で、訂正前の段落【０１４１】に誤記が存在するといえるかを検討する。 訂正前の明細書には、例えば以下の記載がある。 「【０１４２】 ＜＜仮接着用組成物の組成（実施例１６）＞＞ ・樹脂Ｐ－７：表１に記載の質量部 ・Ｉｒｇａｎｏｘ　１０１０(ＢＡＳＦジャパン（株）製)：１０質量部 ・Ｓｕｍｉｌｉｚｅｒ　ＴＰ－Ｄ（住友化学（株）製）：１０質量部 ・Ｎ－エチル－２－ピロリドン（丸善油化商事（株）製）：４００質量部 ・ＴＯＴＭ（大八化学工業（株）製）：３質量部 ・メガファックＦ－５５３（ＤＩＣ（株）製）：０．１質量部」 「【０１４６】 ＜＜仮接着用組成物の組成（実施例１５）＞＞ ・樹脂Ｐ－６：表１に記載の質量部 ・Ｉｒｇａｎｏｘ　１０１０(ＢＡＳＦジャパン（株）製)：１０質量部 ・Ｓｕｍｉｌｉｚｅｒ　ＴＰ－Ｄ（住友化学（株）製）：１０質量部 ・アニソール（東洋合成工業（株）製）：４００質量部 ・ＴＯＴＭ（大八化学工業（株）製）：３質量部 ・メガファックＦ－５５３（ＤＩＣ（株）製）：０．１質量部 【０１４７】 ＜＜仮接着用組成物の組成（実施例１６）＞＞ ・樹脂Ｐ－７：表１に記載の質量部 ・Ｉｒｇａｎｏｘ　１０１０(ＢＡＳＦジャパン（株）製)：１０質量部 ・Ｓｕｍｉｌｉｚｅｒ　ＴＰ－Ｄ（住友化学（株）製）：１０質量部 ・Ｎ－エチル－２－ピロリドン（丸善油化商事（株）製）：４００質量部 ・ＴＯＴＭ（大八化学工業（株）製）：３質量部 ・メガファックＦ－５５３（ＤＩＣ（株）製）：０．１質量部 【０１４８】 ＜＜仮接着用組成物の組成（比較例１）＞＞ ・樹脂Ｐ－６：表１に記載の質量部 ・Ｉｒｇａｎｏｘ　１０１０(ＢＡＳＦジャパン（株）製)：１０質量部 ・Ｓｕｍｉｌｉｚｅｒ　ＴＰ－Ｄ（住友化学（株）製）：１０質量部 ・アニソール（東洋合成工業（株）製）：４００質量部 ・ＴＯＴＭ（大八化学工業製）：０．８質量部 ・メガファックＦ－５５３（ＤＩＣ（株）製）：０．１質量部 【０１４９】 ＜＜仮接着用組成物の組成（比較例２）＞＞ ・樹脂Ｐ－６：表１に記載の質量部 ・Ｉｒｇａｎｏｘ　１０１０(ＢＡＳＦジャパン（株）製)：１０質量部 ・Ｓｕｍｉｌｉｚｅｒ　ＴＰ－Ｄ（住友化学（株）製）：１０質量部 ・アニソール（東洋合成工業（株）製）：４００質量部 ・ＴＯＴＭ（大八化学工業（株）製）：０．５質量部 ・メガファックＦ－５５３（ＤＩＣ（株）製）：０．１質量部 【０１５０】 ＜＜仮接着用組成物の組成（比較例３）＞＞ ・樹脂Ｐ－７：表１に記載の質量部 ・Ｉｒｇａｎｏｘ　１０１０(ＢＡＳＦジャパン（株）製)：１０質量部 ・Ｓｕｍｉｌｉｚｅｒ　ＴＰ－Ｄ（住友化学（株）製）：１０質量部 ・Ｎ－エチル－２－ピロリドン（丸善油化商事（株）製）：４００質量部 ・ＴＯＴＭ（大八化学工業（株）製）：０．８質量部 ・メガファックＦ－５５３（ＤＩＣ（株）製）：０．１質量部 【０１５１】 ＜＜仮接着用組成物の組成（比較例４）＞＞ ・樹脂Ｐ－７：表１に記載の質量部 ・Ｉｒｇａｎｏｘ　１０１０(ＢＡＳＦジャパン（株）製)：１０質量部 ・Ｓｕｍｉｌｉｚｅｒ　ＴＰ－Ｄ（住友化学（株）製）：１０質量部 ・Ｎ－エチル－２－ピロリドン（丸善油化商事（株）製）：４００質量部 ・ＴＯＴＭ（大八化学工業（株）製）：０．５質量部 ・メガファックＦ－５５３（ＤＩＣ（株）製）：０．１質量部 【０１５２】 ＜＜仮接着用組成物の組成（比較例５）＞＞ ・樹脂Ｐ－８：表１に記載の質量部 ・Ｉｒｇａｎｏｘ　１０１０(ＢＡＳＦジャパン（株）製)：５質量部 ・Ｓｕｍｉｌｉｚｅｒ　ＴＰ－Ｄ（住友化学（株）製）：５質量部 ・２－ヘプタノン（ＫＨネオケム（株）製）：２００質量部 ・メガファックＦ－５５３（ＤＩＣ（株）製）：０．１質量部 【０１５３】 【表１】 【０１５４】 表１中に記載の化合物の商品名およびメーカー名は以下の通りである。 ＜バインダー＞ 【表２】 」 「【０１６９】 【表３】 【表４】 」 訂正前の明細書の段落【０１４１】、【０１４６】、【０１４８】、【０１４９】には、実施例１５、比較例１及び比較例２に含まれる樹脂が「樹脂Ｐ－６」である点が記載されており、段落【０１４２】、【０１４７】、【０１５０】、【０１５１】には、実施例１６、比較例３及び比較例４に含まれる樹脂が「樹脂Ｐ－７」である点が記載されており、段落【０１５２】には、比較例５に含まれる樹脂が「樹脂Ｐ－８」である点がそれぞれ記載されている。 一方、訂正前の明細書の段落【０１５３】の【表１】には、実施例１５、比較例１及び比較例２に含まれる樹脂１が「Ｐ－５」であり、実施例１６、比較例３及び比較例４に含まれる樹脂１が「Ｐ－６」であり、比較例５に含まれる樹脂１が「Ｐ－７」である点がそれぞれ記載されている。 したがって、訂正前の明細書の段落【０１４１】、【０１４２】、【０１４６】～【０１５１】に記載された実施例１５、実施例１６、比較例１～５にそれぞれ含まれる樹脂と、訂正前の明細書の段落【０１５３】の【表１】に記載された実施例１５、実施例１６、比較例１～５にそれぞれ含まれる樹脂とが、整合していない。 しかしながら、訂正前の明細書において、実施例１５、実施例１６、比較例１～５にそれぞれどのような樹脂が含まれているのかについて具体的に記載されているのは、段落【０１４１】、【０１４２】、【０１４６】～【０１５１】と、段落【０１５３】の【表１】のみであるから、両者の記載が整合しないことのみをもって、いずれか一方の記載が正しく、他方の記載が誤っていると認めることはできない。 ｃ．以下、いずれの一方が正しい記載であるかについて、さらに検討する。（ａ）明細書に記載の樹脂の特定 乙７～９号証の記載は以下のとおりである。なお、「〇Ｒ」は○の中にＲの記号を表す。） ・乙第７号証（ＡＬＢＩＳ社　Apec9379 material datasheet） 「Ａｐｅｃ○Ｒ　９３７９ ＰＣ」 ・乙第８号証（ＢＡＳＦ社 プラスチックデータシート Ultrason E 6020P） 「Ｕｌｔｒａｓｏｎ○Ｒ　Ｅ６０２０Ｐ－ＰＥＳＵ ＢＡＳＦ 商品の説明文 Polyethersulfone flakes, e.g. for membrane applications and coatings.」 ・乙第９号証（新日鉄住金化学株式会社　エチレンＭＳの一般物性） 「エスチレン○ＲＭＳ樹脂（・・・）は、ＰＭＭＡの透明性、高表面硬度、高耐光性とポリスチレンの良加工性、低吸水性を兼ね揃えた樹脂です。・・・」 「 」 上記乙第７号証の記載から、願書に添付した明細書に記載された「樹脂Ｐ－５（ＡＰＥＣ９３７９）」はポリカーボネート（ＰＣ）に該当することが分かり、同様に、上記乙第８号証の記載から「樹脂Ｐ－６（Ｕｌｔｒａｓｏｎ　Ｅ６０２０Ｐ）」はポリエーテルサルホン（ポリエーテルスルホン）（ＰＥＳ）に、上記乙第９号証の記載から「樹脂Ｐ－７（エスチレンＭＳ－２００）」はポリスチロールに、それぞれ該当することが分かる。 （ｂ）樹脂の溶融粘度の大小関係の特定 乙第１３号証及び乙第１６号証の記載は以下のとおりである。 ・乙第１３号証（田原省吾、「ポリカーボネート樹脂」、日本ゴム協会誌　第４３巻第３号、１９７０年、第６１～７１ページ） 「２．２　流動特性 ＰＣの溶融時の流動特性を理解することは，成形をうまく行うために極めて重要である。・・・ 実際成形を行う場合には，せん断応力と粘度の関係、せん断応力によるせん断速度の変化が問題となるのでこれらを図４に示す。」（第６４ページ下から１１行～末行） 「 」（第６６ページ） ・乙第１６号証（浅井邦明ほか、「最近の高分子材料」、日本材料学会「材料」第３９巻第４４１号、１９９０年、第１９４～２０１ページ） 「一方，成形性の目安となる流動性は，棒状あるいはスパイラル状金型を用いて測定した流動長と温度の関係から得られる．図９に代表的なエンプラの流動性を肉厚１ｍｍの棒状金型を用いて比較した結果を示す・・・」（第１９８ページ右欄下から第３行～第１９９ページ左欄第１行） 「 」（第１９８ページ） 上記乙第１３号証の図４の図示から、同一温度かつ同一せん断応力において、「ポリカーボネート」よりも「ポリスチロール」の方が「見かけ粘度」が小さいことが分かる。また、本件明細書の段落０１６６の「＜溶融粘度＞・・・得られた本試験測定用の仮接着膜を用い、速度５℃／分で２５０℃まで昇温し、ＪＩＳＫ６８６２:１９８４に準拠し、溶融粘度を測定した。」との記載とＪＩＳ　Ｋ　６８６２:１９８４（URL:https://kikakurui.com/k6/K6862-1984-01.html）の「ホットメルト接着剤の溶融粘度試験方法・・・試験温度180℃における接着剤の溶融粘度（この方法では，見掛け粘度が求められる。以下，粘度という。）を測定する方法について規定する。」との記載をあわせると、乙第１３号証における「見かけ粘度」と本件明細書における「溶融粘度」とは同様のものであるから、乙第１３号証から「ポリカーボネート（ＰＣ）」よりも「ポリスチロール」の方が「溶融粘度」が小さいことが理解できる。 また、乙第１６号証の図９から、同一温度で見たとき、「ポリエーテルサルホン（ポリエーテルスルホン）（ＰＥＳ）」よりも「ポリカーボネート（ＰＣ）」の方が「バーフロー長」が大きいことが分かる。ここで、樹脂の溶融粘度が小さいほど、樹脂の流動性が増大し、バーフロー長さが大きい値となることは技術常識であるから、「ポリエーテルサルホン（ポリエーテルスルホン）（ＰＥＳ）」よりも「ポリカーボネート（ＰＣ）」の方が、「溶融粘度」が小さいことが理解できる。 以上を踏まえると、樹脂の溶融粘度の大小関係は、「ポリエーテルサルホン（ポリエーテルスルホン）（ＰＥＳ）」＞「ポリカーボネート（ＰＣ）」＞「ポリスチロール」であることが技術常識であるといえる。 かかる技術常識と上記（ａ）を踏まえると、樹脂の溶融粘度の大小関係は、「樹脂Ｐ－６（Ｕｌｔｒａｓｏｎ　Ｅ６０２０Ｐ）」（ポリエーテルサルホン（ポリエーテルスルホン）＞「樹脂Ｐ－５（ＡＰＥＣ９３７９）」ポリカーボネート）＞「樹脂Ｐ－７（エスチレンＭＳ－２００）」（ポリスチロール）となることは、当業者にとって自明である。 （ｃ）誤記の特定 仮に、訂正前の明細書の段落【０１４１】～【０１５２】に記載の記載が正しいとすると、訂正前の明細書の段落【０１５３】の【表１】中、実施例１５及び比較例１、２の樹脂Ｐ－５は樹脂Ｐ－６が、実施例１６及び比較例３、４の樹脂Ｐ－６は樹脂Ｐ－５が、それぞれ正しい記載となる。しかしながら、この場合、訂正前の明細書の【表３】の溶融粘度も踏まえると、溶融粘度の大小は、樹脂Ｐ－５（実施例１６、比較例３、４）の溶融粘度１６５００＞樹脂Ｐ－６（実施例１５、比較例１、２）の溶融粘度１１０００＞樹脂Ｐ－７（比較例５）の溶融粘度４０００となり、上記（ｂ）の自明な事項と整合しないこととなる。 一方、仮に、訂正前の明細書の段落【０１５３】の【表１】中の記載が正しいとすると、訂正前の明細書の【表３】の溶融粘度も踏まえると、溶融粘度の大小は、樹脂Ｐ－６（実施例１６、比較例３、４）の溶融粘度１６５００＞樹脂Ｐ－５（実施例１５、比較例１、２）の溶融粘度１１０００＞樹脂Ｐ－７（比較例５）の溶融粘度４０００となり、上記（ｂ）の自明な事項と整合する。 このことから、訂正前の明細書の段落【０１５３】の【表１】の記載が正しく、訂正前の明細書の段落【０１４１】～【０１５２】に記載が誤りであることが理解できる。 （イ）訂正について判断 上記（ア）から訂正前の明細書の段落【０１４１】における「・樹脂Ｐ－６：表１に記載の質量部」の記載は、本来、「・樹脂Ｐ－５：表１記載の質量部」の意であることが、明細書、特許請求の範囲又は図面の記載などから明らかである。したがって、上記訂正事項４０は、特許法第１２０条の５第２項ただし書第２号に掲げる誤記の訂正を目的とするものである。 また、上記訂正事項４０は、上記のとおりであり、特許請求の範囲のカテゴリーや対象、目的を変更するものではないから、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではなく、特許法第１２０条の５第９項の規定によって準用する第１２６条第６項に適合するものである。 そして、上記訂正事項４０は、上記のとおりであるから、願書に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であり、特許法第１２０条の５第９項の規定によって準用する第１２６条第５項に適合するものである。 エ．訂正事項４４、４５について 上記訂正事項４４及び４５は、訂正前の段落【０１４８】及び【０１４９】における「・樹脂Ｐ－６：表１に記載の質量部」の記載を「・樹脂Ｐ－５：表１記載の質量部」に訂正するものである。 訂正前の段落【０１４８】及び【０１４９】の「・樹脂Ｐ－６：表１に記載の質量部」の記載は、上記ウ．に示したのと同様の理由により、本来、「・樹脂Ｐ－５：表１記載の質量部」の意であることが、明細書、特許請求の範囲又は図面の記載などから明らかである。 したがって、上記訂正事項４４、４５は、特許法第１２０条の５第２項ただし書第２号に掲げる誤記の訂正を目的とするものである。 また、上記訂正事項４４、４５は、上記のとおりであり、特許請求の範囲のカテゴリーや対象、目的を変更するものではないから、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではなく、特許法第１２０条の５第９項の規定によって準用する第１２６条第６項に適合するものである。 そして、上記訂正事項４４、４５は、上記のとおりであるから、願書に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であり、特許法第１２０条の５第９項の規定によって準用する第１２６条第５項に適合するものである。 オ．訂正事項４１、４６、４７について 上記訂正事項４１、４６及び４７は、訂正前の段落【０１４２】、【０１５０】及び【０１５１】における「・樹脂Ｐ－７：表１に記載の質量部」の記載を「・樹脂Ｐ－６：表１記載の質量部」に訂正するものである。 訂正前の段落【０１４２】、【０１５０】及び【０１５１】の「・樹脂Ｐ－７：表１に記載の質量部」の記載は、上記ウ．に示したのと同様の理由により、本来、「・樹脂Ｐ－６：表１記載の質量部」の意であることが、明細書、特許請求の範囲又は図面の記載などから明らかである。 したがって、上記訂正事項４１、４６、４７は、特許法第１２０条の５第２項ただし書第２号に掲げる誤記の訂正を目的とするものである。 また、上記訂正事項４１、４６、４７は、上記のとおりであり、特許請求の範囲のカテゴリーや対象、目的を変更するものではないから、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではなく、特許法第１２０条の５第９項の規定によって準用する第１２６条第６項に適合するものである。 そして、上記訂正事項４１、４６、４７は、上記のとおりであるから、願書に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であり、特許法第１２０条の５第９項の規定によって準用する第１２６条第５項に適合するものである。 カ．訂正事項４８について、 上記訂正事項４８は、訂正前の段落【０１５２】における「・樹脂Ｐ－８：表１に記載の質量部」の記載を「・樹脂Ｐ－７：表１記載の質量部」に訂正するものである。 訂正前の段落【０１５２】の「・樹脂Ｐ－８：表１に記載の質量部」の記載は、上記ウ．に示したのと同様の理由により、本来、「・樹脂Ｐ－７：表１記載の質量部」の意であることが、明細書、特許請求の範囲又は図面の記載などから明らかである。 したがって、上記訂正事項４８は、特許法第１２０条の５第２項ただし書第２号に掲げる誤記の訂正を目的とするものである。 また、上記訂正事項４８は、上記のとおりであり、特許請求の範囲のカテゴリーや対象、目的を変更するものではないから、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではなく、特許法第１２０条の５第９項の規定によって準用する第１２６条第６項に適合するものである。 そして、上記訂正事項４８は、上記のとおりであるから、願書に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であり、特許法第１２０条の５第９項の規定によって準用する第１２６条第５項に適合するものである。 キ．訂正事項４２、４３について 上記訂正事項４２は、訂正前の段落【０１４１】の記載と同一である訂正前の段落【０１４６】を削除するものであり、上記訂正事項４３は、訂正前の段落【０１４２】の記載と同一である訂正前の段落【０１４７】を削除するものであり、他の記載と重複している不合理を解消するものであるから、特許法第１２０条の５第２項ただし書第３号に掲げる明瞭でない記載の釈明に該当する。 また、上記訂正事項４２及び４３は、上記のとおりであり、特許請求の範囲のカテゴリーや対象、目的を変更するものではないから、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではなく、特許法第１２０条の５第９項の規定によって準用する第１２６条第６項に適合するものである。 そして、上記訂正事項４２及び４３は、上記のとおりであるから、願書に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であり、特許法第１２０条の５第９項の規定によって準用する第１２６条第５項に適合するものである。 ク．小括 以上のとおりであるから、訂正事項３５～３９、４２、４３は、特許法第１２０条の５第２項ただし書き第３号に掲げる明瞭でない記載の釈明を目的とするものであり、また、訂正事項４０、４１、４４～４８は、特許法第１２６条第１項ただし書第２号に掲げる誤記の訂正を目的とするものであり、 かつ、同条第９項において準用する同法第１２６条第５項及び第６項の規定に適合するので、訂正事項３５～４８に係る明細書の訂正を認める。 ４．むすび 以上のとおりであるから、本件訂正は、特許法第１２０条の５第２項ただし書第１号、第２号及び第３号に掲げる事項を目的とするものであり、かつ、同条第９項において準用する同法第１２６条第５項及び第６項の規定に適合する。 したがって、明細書、特許請求の範囲を、訂正請求書に添付された訂正明細書、特許請求の範囲のとおり、訂正後の請求項〔１～１６〕、〔１７～１９〕〔２０～２２〕について訂正することを認める。 第３　訂正後の本件発明 本件訂正が認められるから、本件特許の請求項１～２２に係る発明（以下、「本件特許発明１」～「本件特許発明２２」という。）は、訂正された特許請求の範囲の請求項１～２２に記載された次のとおりのものである。 「【請求項１】 第１の基材と、仮接着膜と、第２の基材を、前記順に互いに隣接して有する積層体であって、 前記仮接着膜は、２５℃の時の、ＪＩＳ　Ｋ　７１６１：１９９４に準拠した、引張弾性率Ｅが２５～２０００ＭＰａであり、 前記仮接着膜は、フッ素系液体状化合物および／またはシリコーン化合物を含み、 前記仮接着膜の、昇温速度５℃／分で２５０℃まで昇温したときの、ＪＩＳ　Ｋ６８６２:１９８４に準拠した、溶融粘度が、１０,０００以上６０,０００Ｐａ・ｓ以下であり、 前記仮接着膜の表面自由エネルギーが３０ｍＪ／ｍ２以下であり、 前記仮接着膜の温度１９０℃の時のＪＩＳ　Ｋ　７２４４－６：１９９９に準拠したせん断貯蔵弾性率Ｇ’が０．１～１ＭＰａであり、 前記仮接着膜の温度２５℃の時のＪＩＳ　Ｋ　７２４４－４：１９９９に準拠した引張貯蔵弾性率Ｅ’が１５０～９００ＭＰａであり、 前記仮接着膜の温度１９０℃の時のＪＩＳ　Ｋ　７２４４－６：１９９９に準拠したせん断貯蔵弾性率Ｇ’と、前記仮接着膜の２５℃の時のＪＩＳ　Ｋ　７２４４－４：１９９９に準拠した引張貯蔵弾性率Ｅ’との比Ｅ’／Ｇ’が、Ｅ’／Ｇ’≦３５００を満たし、 前記仮接着膜の温度２００℃、荷重１０ｋｇにおけるＪＩＳ　Ｋ　７２１０：１９９９に準拠した、メルトフローレートが２０．０ｇ／１０分以下であり、 前記仮接着膜の温度６０℃の時の塑性変形開始圧力Ｐ６０が０．２ＭＰａ以上であり、 前記第１の基材および前記第２の基材の一方がキャリア基材であり、他方がデバイスウェハであり、 ２５℃の温度で、前記積層体の、第１の基材および第２の基材のいずれか一方を固定し、他方の基材の端部を、仮接着膜との界面から、５０ｍｍ／分の速さで、前記他方の基材の基材面に対し垂直な方向に引き上げることによって、前記キャリア基材と前記仮接着膜との界面で剥離可能で、かつ、前記引き上げる際にかかる力を、フォースゲージを用いて測定したときの力が０．０７Ｎ／ｍｍ以上０．３３Ｎ／ｍｍ以下である、積層体；但し、表面自由エネルギーとは、仮接着膜に対する水、エチレングリコールおよびジヨードメタンの接触角に基づき、拡張Ｆｏｗｋｅｓ式から得られる値をいう；但し、塑性変形開始圧力はシリコンウェハ上に設けた厚さ４０μｍの仮接着膜を６０℃に加熱しながら、５ｍｍ×１０ｍｍのシリコンからなるチップを仮接着膜の膜面に対し垂直な方向から５秒間押し付け、チップを除去した後、光学顕微鏡でチップが接触していた箇所を観察し、押し付けた箇所の膜厚が１０μｍ以上低下していた時の圧力をいう。 【請求項２】 （削除） 【請求項３】 （削除） 【請求項４】 （削除） 【請求項５】 （削除） 【請求項６】 （削除） 【請求項７】 （削除） 【請求項８】 （削除） 【請求項９】 仮接着膜が、仮接着用組成物を第１の基材および第２の基材の一方の表面にスピンコート法によって形成してなるか、仮接着用組成物を第１の基材および第２の基材の一方の表面にブレードコート法によって形成してなるか、フィルム状の仮接着膜を第１の基材および第２の基材の一方の表面に熱および圧力をかけてラミネートすることで形成してなる、請求項１に記載の積層体。 【請求項１０】 前記仮接着膜が、ポリスチレン系エラストマー、ポリエステル系エラストマー、又は、ポリアミド系エラストマーを含む、請求項１または９に記載の積層体。 【請求項１１】 前記仮接着膜がエラストマーを含み、前記エラストマーの重量平均分子量が２，０００～２００，０００である、請求項１または９に記載の積層体。 【請求項１２】 仮接着膜の膜面の面積が、キャリア基材の基材面の面積よりも小さい、請求項１および９～１１のいずれか１項に記載の積層体。 【請求項１３】 キャリア基材の基材面の直径をＣμｍ、デバイスウェハの基材面の直径をＤμｍ、仮接着膜の膜面の直径をＴμｍとしたとき、（Ｃ‐２００）≧Ｔ≧Ｄを満たす、請求項１およびは９～１１のいずれか１項に記載の積層体。 【請求項１４】 キャリア基材の基材面の直径をＣμｍ、デバイスウェハの基材面の直径をＤμｍ、仮接着膜のキャリア基材と接している側の膜面の直径をＴＣμｍ、仮接着膜のデバイスウェハと接している側の膜面の直径をＴＤμｍとしたとき、（Ｃ‐２００）≧ＴＣ＞ＴＤ≧Ｄを満たす、請求項１および９～１１のいずれか１項に記載の積層体。 【請求項１５】 第１の基材および第２の基材の一方がキャリア基材であり、他方が厚さ２００μｍ以下のデバイスウェハである、請求項１および９～１４のいずれかに記載の積層体。 【請求項１６】 前記仮接着膜は、前記仮接着膜の固形分に対し、シリコーン化合物を０．００１～１質量％の割合で含む、請求項１および９～１５のいずれか１項に記載の積層体。 【請求項１７】 第１の基材と、仮接着用組成物を製膜してなる仮接着膜と、第２の基材を、前記順に互いに隣接して有する積層体に用いる仮接着用組成物であって、前記第１の基材および前記第２の基材の一方がキャリア基材であり、他方がデバイスウェハであり、前記積層体の、２５℃の温度で、第１の基材および第２の基材のいずれか一方を固定し、他方の基材の端部を、仮接着膜との界面から、５０ｍｍ／分の速さで、前記他方の基材の基材面に対し垂直な方向に引き上げることによって、前記キャリア基材と前記仮接着膜との界面で剥離可能で、かつ、前記引き上げる際にかかる力を、フォースゲージを用いて測定したときの力が０．０７Ｎ／ｍｍ以上０．３３Ｎ／ｍｍ以下であり、前記仮接着膜は、フッ素系液体状化合物および／またはシリコーン化合物を含み、前記仮接着膜の、昇温速度５℃／分で２５０℃まで昇温したときの、ＪＩＳ　Ｋ６８６２:１９８４に準拠した、溶融粘度が、１０,０００以上６０,０００Ｐａ・ｓ以下であり、前記仮接着膜は、２５℃の時の、ＪＩＳ　Ｋ　７１６１：１９９４に準拠した、引張弾性率Ｅが２５～２０００ＭＰａであり、前記仮接着膜の表面自由エネルギーが３０ｍＪ／ｍ２以下であり、前記仮接着膜の温度１９０℃の時のＪＩＳ　Ｋ　７２４４－６：１９９９に準拠したせん断貯蔵弾性率Ｇ’が０．１～１ＭＰａであり、前記仮接着膜の温度２５℃の時のＪＩＳ　Ｋ　７２４４－４：１９９９に準拠した引張貯蔵弾性率Ｅ’が１５０～９００ＭＰａであり、前記仮接着膜の温度１９０℃の時のＪＩＳ　Ｋ　７２４４－６：１９９９に準拠したせん断貯蔵弾性率Ｇ’と、前記仮接着膜の２５℃の時のＪＩＳ　Ｋ　７２４４－４：１９９９に準拠した引張貯蔵弾性率Ｅ’との比Ｅ’／Ｇ’が、Ｅ’／Ｇ’≦３５００を満たし、前記仮接着膜の温度２００℃、荷重１０ｋｇにおけるＪＩＳ　Ｋ　７２１０：１９９９に準拠した、メルトフローレートが２０．０ｇ／１０分以下であり、前記仮接着膜の温度６０℃の時の塑性変形開始圧力Ｐ６０が０．２ＭＰａ以上である仮接着用組成物；但し、表面自由エネルギーとは、仮接着膜に対する水、エチレングリコールおよびジヨードメタンの接触角に基づき、拡張Ｆｏｗｋｅｓ式から得られる値をいう；但し、塑性変形開始圧力はシリコンウェハ上に設けた厚さ４０μｍの仮接着膜を６０℃に加熱しながら、５ｍｍ×１０ｍｍのシリコンからなるチップを仮接着膜の膜面に対し垂直な方向から５秒間押し付け、チップを除去した後、光学顕微鏡でチップが接触していた箇所を観察し、押し付けた箇所の膜厚が１０μｍ以上低下していた時の圧力をいう。 【請求項１８】 ポリスチレン系エラストマー、ポリエステル系エラストマー、又は、ポリアミド系エラストマーを含む、請求項１７に記載の仮接着用組成物。 【請求項１９】 エラストマーを含み、前記エラストマーの重量平均分子量が２，０００～２００，０００である、請求項１７に記載の仮接着用組成物。 【請求項２０】 ２５℃の時の、ＪＩＳ　Ｋ　７１６１：１９９４に準拠した、引張弾性率Ｅが２５～２０００ＭＰａであり、 表面自由エネルギーが３０ｍＪ／ｍ２以下であり、 温度１９０℃の時のＪＩＳ　Ｋ　７２４４－６：１９９９に準拠し、せん断貯蔵弾性率Ｇ’が０．１～１ＭＰａであり、 温度２５℃の時のＪＩＳ　Ｋ　７２４４－４：１９９９に準拠した引張貯蔵弾性率Ｅ’が１５０～９００ＭＰａであり、 温度１９０℃の時のＪＩＳ　Ｋ　７２４４－６：１９９９に準拠し、せん断貯蔵弾性率Ｇ’と、２５℃の時のＪＩＳ　Ｋ　７２４４－４：１９９９に準拠した引張貯蔵弾性率Ｅ’との比Ｅ’／Ｇ’が、Ｅ’／Ｇ’≦３５００を満たし、 昇温速度５℃／分で２５０℃まで昇温し、ＪＩＳ　Ｋ６８６２:１９８４に準拠した、溶融粘度が１０,０００Ｐａ・ｓ以上６０,０００Ｐａ・ｓ以下であり、 温度２００℃、荷重１０ｋｇにおけるＪＩＳ　Ｋ　７２１０：１９９９に準拠した、メルトフローレートが２０．０ｇ／１０分以下であり、 温度６０℃の時の塑性変形開始圧力Ｐ６０が０．２ＭＰａ以上であり、 第１の基材と、仮接着用組成物を製膜してなる仮接着膜と、第２の基材を、前記順に互いに隣接して有する積層体に用いる仮接着膜であって、前記第１の基材および前記第２の基材の一方がキャリア基材であり、他方がデバイスウェハであり、前記積層体の、２５℃の温度で、第１の基材および第２の基材のいずれか一方を固定し、他方の基材の端部を、仮接着膜との界面から、５０ｍｍ／分の速さで、前記他方の基材の基材面に対し垂直な方向に引き上げることによって、前記キャリア基材と前記仮接着膜との界面で剥離可能で、かつ、前記引き上げる際にかかる力を、フォースゲージを用いて測定したときの力が０．０７Ｎ／ｍｍ以上０．３３Ｎ／ｍｍ以下であり、フッ素系液体状化合物および／またはシリコーン化合物を含む、 仮接着膜；但し、表面自由エネルギーとは、仮接着膜に対する水、エチレングリコールおよびジヨードメタンの接触角に基づき、拡張Ｆｏｗｋｅｓ式から得られる値をいう；塑性変形開始圧力はシリコンウェハ上に設けた厚さ４０μｍの仮接着膜を６０℃に加熱しながら、５ｍｍ×１０ｍｍのシリコンからなるチップを仮接着膜の膜面に対し垂直な方向から５秒間押し付け、チップを除去した後、光学顕微鏡でチップが接触していた箇所を観察し、押し付けた箇所の膜厚が１０μｍ以上低下していた時の圧力をいう。 【請求項２１】 ポリスチレン系エラストマー、ポリエステル系エラストマー、又は、ポリアミド系エラストマーを含む、請求項２０に記載の仮接着膜。 【請求項２２】 エラストマーを含み、前記エラストマーの重量平均分子量が２，０００～２００，０００である、請求項２０に記載の仮接着膜。」 第４　取消理由通知に記載した取消理由について １．取消理由の概要 訂正前の請求項１～５、１７～１９及び２０～２２に係る特許に対して、当審が令和２年２月２８日付けで特許権者に通知した取消理由（決定の予告）の要旨は、次のとおりである。 （１）特許法第３６条第４項第１号に規定する要件について ア．仮接着膜の剥離について 特許請求の範囲の【請求項１】には、「前記キャリア基材と前記仮接着膜との界面で剥離可能」と記載されており、「仮接着膜」が「デバイスウェハ」との界面ではなく「キャリア基材」との界面で剥離可能であることが特定されている。 しかし、本件特許の発明の詳細な説明を参照しても、「仮接着膜」を「デバイスウェハ」との界面ではなく「キャリア基材」との界面で剥離させるための手段が不明であって、そのような構造の「積層体」を作ることができない。 したがって、本件特許の発明の詳細な説明の記載は、当業者が本件特許発明１を実施することができる程度に明確かつ十分に記載されたものとはいえないから、特許法第３６条第４項第１号に規定する要件を満たしていない。 また、本件特許発明１と同様の特定がある本件特許発明１７と本件特許発明２０、及び、それらを引用する本件特許発明２～５、７～１６、１８～１９、２１～２２も同様の理由により、本件特許の発明の詳細な説明の記載は、当業者がこれらを実施することができる程度に明確かつ十分に記載されたものとはいえないから、特許法第３６条第４項第１号に規定する要件を満たしていない。 イ．「実施例１５」と「実施例１６」について 本件特許明細書の段落【０１５３】【表１】の「実施例１５」と「実施例１６」に関する欄と本件特許明細書の段落【０１４１】及び【０１４２】の記載とが整合していないため、「実施例１５」の「仮接着用組成物」を作成するために「Ｐ－５」と「Ｐ－６」のどちらのバインダーを使用すればよいのか、「実施例１６」の「仮接着用組成物」を作成するために「Ｐ－６」と「Ｐ－７」のどちらのバインダーを使用すればよいのか、本件特許明細書の記載からは不明である。 よって、当業者は本件特許明細書の記載から、本件特許発明で特定される「仮接着膜」又は「仮接着用組成物」を作成できるとはいえないから、本件特許の発明の詳細な説明の記載は、当業者が本件特許発明を実施することができる程度に明確かつ十分に記載されたものとはいえない。 （２）特許法第３６条第６項第１号に規定する要件について ア．本件特許発明１～５、７～１６について 本件特許の発明の詳細な説明には、実施例として特定の「引張弾性率Ｅ」、「表面自由エネルギー」、「せん断貯蔵弾性率Ｇ’」、「引張貯蔵弾性率Ｅ’」、「Ｅ’／Ｇ’」、「溶融粘度」、「メルトフローレート」及び「塑性変形開始圧力」を有する仮接着膜について、薄型化後のウェハの反りを評価することで、発明が解決しようとする課題が解決されることが記載されている。 しかし、本件特許発明１においては、仮接着膜の物性について「引張弾性率Ｅ」が２５～２０００ＭＰａであることと、「溶融粘度」が１０,０００以上６０,０００Ｐａ・ｓ以下であることのみが特定されており、他の物性については特定されておらず、「引張弾性率Ｅ」と「溶融粘度」が前記数値範囲を満たせば、他の物性に関係なく、本件発明の課題を解決できることを当業者が認識できるとはいえない。 そうすると、本件特許発明１の範囲まで、発明の詳細な説明に開示された内容を拡張ないし一般化することができるとはいえないから、本件特許発明１は発明の詳細な説明に記載したものであるとはいえず、本件特許の特許請求の範囲の記載は、特許法第３６条第６項第１号に規定する要件を満たしていない。 また、本件特許発明２～５、７～１６においても、本件特許発明１と同様に発明の詳細な説明に記載したものとはいえず、本件特許の特許請求の範囲の記載は、特許法第３６条第６項第１号に規定する要件を満たしていない。 イ．本件特許発明１７～１９について 本件特許発明１７～１９においては、仮接着膜の物性について「溶融粘度」が１０,０００以上６０,０００Ｐａ・ｓ以下であることのみが特定されており、他の物性については特定されていない。 よって、上記ア．と同様、本件特許発明１７～１９の範囲まで、発明の詳細な説明に開示された内容を拡張ないし一般化することができるとはいえないから、本件特許発明１７～１９は発明の詳細な説明に記載したものであるとはいえず、本件特許の特許請求の範囲の記載は、特許法第３６条第６項第１号に規定する要件を満たしていない。 ２．当審の判断 （１）特許法第３６条第４項第１号に規定する要件について ア．仮接着膜の剥離について 本件特許発明１において、「第１の基材と、仮接着膜と、第２の基材を、前記順に互いに隣接して有する積層体であって」、「前記仮接着膜は、フッ素系液体状化合物および／またはシリコーン化合物を含み」、「前記キャリア基材と前記仮接着膜との界面で剥離可能で」ある「積層体」が特定されている。 また、本件特許発明１７において、「第１の基材と、仮接着用組成物を製膜してなる仮接着膜と、第２の基材を、前記順に互いに隣接して有する積層体に用いる仮接着用組成物であって」、「前記キャリア基材と前記仮接着膜との界面で剥離可能で」、「前記仮接着膜は、フッ素系液体状化合物および／またはシリコーン化合物を含」む「仮接着用組成物」が特定されている。 また、本件特許発明２０において、「第１の基材と、仮接着用組成物を製膜してなる仮接着膜と、第２の基材を、前記順に互いに隣接して有する積層体に用いる仮接着膜であって」、「前記キャリア基材と前記仮接着膜との界面で剥離可能で」、「フッ素系液体状化合物および／またはシリコーン化合物を含む」、「仮接着膜」が特定されている。 そして、本件特許発明１は「積層体」、本件特許発明１７は「仮接着用組成物」、また、本件特許発明２０は「仮接着膜」という物の発明であるところ、本件特許発明において、当業者が、本件特許明細書の発明の詳細な説明の記載及び出願当時の技術常識に基づいて、本件特許発明に係る「積層体」、「仮接着用組成物」又は「仮接着膜」を使用することができる、特に、「仮接着膜」が「デバイスウェハ」との界面ではなく「キャリア基材」との界面で剥離可能であることが理解できるのであれば、特許法第３６条第４項第１号に規定する要件（実施可能要件）を満たすということができる。 ここで、「仮接着膜」の「剥離」や「仮接着膜」が「フッ素系液体状化合物および／またはシリコーン化合物」を含む点に関して、本件特許明細書の段落【００２６】には、「フッ素系液体状化合物は偏在性に富む化合物であるため、上記のように配合量が少なくても離型性を十分に確保できる」、「シリコーン化合物は偏在性に富む化合物であるため、上記のように配合量が少なくても離型性を十分に確保できる。」との記載があり、本件特許明細書に接した当業者は、本件特許発明が、「フッ素系液体状化合物」又は「シリコーン化合物」を含むことにより、「仮接着膜」を「デバイスウェハ」との界面や「キャリア基材」との界面で剥離性（離型性）を確保できることが理解でき、また、本件特許明細書の段落【００８９】の「本発明の仮接着用組成物は、・・・フッ素系液体状化合物とバインダーとの質量比が上記範囲とすることで、仮接着膜の空気界面側にフッ素系液体状化合物をより多く偏在させ易い。」と記載れるように、離型剤であるフッ素系液体状化合物が「仮接着膜の空気界面側」に偏在することが理解できる。これらは、例えば、乙第１号証（特開２０１３－１６４５７４号公報）の段落０３３２の記載とも整合するものであり、本件特許に係る出願の出願前における技術常識といえる。 そして、本件特許明細書の段落【０１５５】に記載のように、本件特許発明の実施例では、「シリコンウェハ」「の表面に」「仮接着用組成物を」「滴下し」、「加熱することで、シリコンウェハの表面に仮接着膜を形成し」、「ついで、仮接着膜が形成された側の面に対し」、「キャリア基材」を「圧着を行って、積層体を得」ていることから、上記技術常識を踏まえれば、当業者は、本件特許の実施例では、キャリア基材を圧着する面に離型剤が偏在し、もって、「仮接着膜」が「デバイスウェハ」との界面ではなく「キャリア基材」との界面で剥離可能であることが理解できるものである。 そうすると、本件特許の発明の詳細な説明の記載は、当業者が本件特許発明１、１７及び２０を実施することができる程度に明確かつ十分に記載されたものといえる。また、本件特許発明１、１７及び２０を引用する本件特許発明９～１６、１８～１９、２１～２２も同様の理由により、その実施することができる程度に明確かつ十分に記載されたものである。 イ．「実施例１５」と「実施例１６」について 訂正事項４０～４８により、訂正後の明細書の段落【０１５３】の【表１】に記載された実施例１５、実施例１６、比較例１～５にそれぞれ含まれる樹脂と訂正後の明細書の段落【０１４１】、【０１４２】、【０１４６】～【０１５１】に記載された実施例１５、実施例１６、比較例１～５にそれぞれ含まれる樹脂とは整合しており、「実施例１５」や「実施例１６」の「仮接着用組成物」を作成するためにどのバインダーを使用すればよいのか、本件特許明細書の記載から理解することができ、当業者は、本件特許発明で特定される「仮接着膜」又は「仮接着用組成物」を作成できるから、本件特許の発明の詳細な説明の記載は、当業者が本件特許発明を実施することができる程度に明確かつ十分に記載されたものである。 ウ．小括 以上のとおり、本件特許の発明の詳細な説明の記載は、特許法第３６条第４項第１号に規定する要件を満たしている。 （２）特許法第３６条第６項第１号に規定する要件について 訂正事項４～１１及び訂正事項２３～３１により、訂正後の本件特許発明１、１７において、仮接着膜の物性である「引張弾性率Ｅ」、「表面自由エネルギー」、「せん断貯蔵弾性率Ｇ’」、「引張貯蔵弾性率Ｅ’」、「Ｅ’／Ｇ’」、「溶融粘度」、「メルトフローレート」及び「塑性変形開始圧力Ｐ６０」の値が特定の数値範囲である仮接着膜について、薄型化後のウェハの反りを評価することが特定された。 そして、本件特許の発明の詳細な説明には、仮接着膜の物性である「引張弾性率Ｅ」、「表面自由エネルギー」、「せん断貯蔵弾性率Ｇ’」、「引張貯蔵弾性率Ｅ’」、「Ｅ’／Ｇ’」、「溶融粘度」、「メルトフローレート」及び「塑性変形開始圧力Ｐ６０」の値が特定の数値範囲である仮接着膜について、薄型化後のウェハの反りを評価することで、本件特許発明の課題である「ウェハを薄型にしても、反りを発生しにくくすることが可能な、積層体、仮接着用組成物および仮接着膜を提供する」（段落【０００９】）ことを解決できることが具体的に記載されているから、当業者は、上記の本件特許発明の特定によって、本件特許発明の課題を解決できることを認識できるといえる。 そうすると、本件発明１及び１７は、本件特許の発明の詳細な説明に記載したものといえる。また、本件特許発明１及び１７を引用する本件特許発明９～１６、１８～１９も同様の理由により、本件特許の発明の詳細な説明に記載したものといえる。 したがって、請求項１、９～１６、１７～１９に係る発明は、特許法第３６条第６項第１号に規定する要件を満たしている。 第５　取消理由通知において採用しなかった特許異議申立理由について １．特許法第３６条第６項第２号に係る申立理由 （１）異議申立における理由 特許異議申立人は、訂正前の請求項１において、「引き上げる際にかかる力を、フォースゲージを用いて測定したときの力が０．３３Ｎ／ｍｍ以下である」との記載があることに関して、以下を主張する。また、このことは、訂正前の請求項１７及び２０並びに請求項１、１７又は２０を引用する請求項についても同様である旨主張する。 ア．「引き上げる際にかかる力」の物理量を示す単位は「Ｎ」であるべきであり、この「力」を「長さ」で除す理由が不明であるから、訂正前の請求項に係る発明の意味するところが不明確である。 イ．「引き上げる際にかかる力」について、「０．３３Ｎ／ｍｍ以下である」との記載があるのみで、その下限値について記載がないから、「引き上げる際にかかる力」が「ゼロ」又はそれに近い値を包含し、この場合、デバイスウェアとキャリア基材とを一時的に固定（仮接着）することができない、課題を解決できないような構成が記載されていることとなるから、訂正前の請求項は不明確な記載である。 （２）当審の判断 ア．「引き上げる際にかかる力」の単位について 「引き上げる際にかかる力」については、本件特許発明１、１７及び２０において「フォースゲージを用いて測定したときの力」であることが特定されている。 ここで、「フォースゲージ」は、押したり引っ張ったりする力を数値化する測定器で、押す力（圧縮試験）や引く力（引張試験）だけではなく、剥がす力（剥離試験）や摩擦係数の測定に用いられるものであること、及び、例えば、日本工業規格である「ＪＩＳ　Ｚ　０２３８：１９９８　ヒートシール軟包装袋及び半剛性容器の試験方法」において、「３定義・・・ｃ）ヒートシール強さ　内容物を詰めた袋のヒートシール部分の強さ。」、「７．袋のヒートシール強さ試験・・・７．３　操作　・・・試験片の両端を引張試験機のつかみに取り付け，ヒートシール部が破断するまで引張荷重を加え，その間の最大荷重（Ｎ｛ｋｇｆ｝／１５ｍｍ）を求め，ヒートシール強さとする。」と記載されるように、強さを単位長さ当たりの力であらわすことは、それぞれ技術常識であるといえる。 かかる技術常識を踏まえれば、本件特許発明は明確であり、特許請求の範囲の記載は、特許法第３６条第６項第２号の要件を満たしている。 イ．「引き上げる際にかかる力」の下限値 訂正事項３、訂正事項２１及び訂正事項３３により、訂正後の本件特許発明において、「引き上げる際にかかる力」について下限が特定されているから、本件特許発明は明確であり、特許請求の範囲の記載は、特許法第３６条第６項第２号の要件を満たしている。 ウ．小括 以上のとおりであるから、特許異議申立人の特許法第３６条第６項第２号に係る主張は、採用することができない。 ２．特許法第２９条の２に係る申立理由 （１）異議申立における理由 特許異議申立人は、以下の甲第１号証～甲第４号証（以下「甲１」等という。）を提出して、訂正前の請求項１～２２に記載の発明に係る特許は、第１に実質的に記載された発明であるから、特許法第２９条の２の発明に該当する旨を主張する。 甲１：特願２０１５－３９４５７号（特開２０１５－２１４６７５号） 甲２：特開２０１４－５５２８０号公報 甲３：特開２０１０－６７９５７号公報 甲４：特開平１０－２４４５４５号公報 （２）当審の判断 ア．先願発明について 本件特許の出願日前の他の特許出願であって、本件特許の出願後に出願公開された特願２０１５－３９４５７号（特開２０１５－２１４６７５号）（出願日：平成２７年２月２７日、出願人：東京応化工業株式会社、発明者：吉岡孝広、田村弘毅、今井洋文、久保安通史、岩田泰昌、石田信悟）（以下、「先願１」という。）の願書に最初に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面（以下、「先願明細書等１」という。）には、次の事項が記載されている。 （ア）「【００１３】 ＜接着剤組成物＞ 本発明の一実施形態に係る接着剤組成物について、図１を参照しながら以下に詳細に説明する。 【００１４】 一実施形態に係る接着剤組成物は、基板１と、基板１を支持するサポートプレート（支持体）２とを一時的に貼り付けるための接着剤組成物であって、熱可塑性樹脂と、離型剤とを含んでいる（図１の（ａ））。 【００１５】 上記構成によれば、接着剤組成物よって形成された接着層３の接着性を好適に調整することができる。このため、基板１に所望の処理を行なうときに、接着層３を介して基板１とサポートプレート２とを好適に貼り付けておくことができる。また、基板１に所望の処理を行なった後、基板１からサポートプレート２を容易に剥離することができる。このため、基板１とサポートプレート２を貼り付ける前に、サポートプレート２に分離層を形成しておく必要がない。つまり、一実施形態に係る接着剤組成物を用いれば、光を吸収することにより変質する分離層を形成しなくても、基板１からサポートプレート２を剥離することが可能な積層体を形成することができる。 【００１６】 〔熱可塑性樹脂〕 熱可塑性樹脂は、接着剤組成物に含まれる樹脂であり、熱可塑性樹脂の接着性によって基板１とサポートプレート２とを接着する。以下、本実施形態に係る接着剤組成物が含んでいる熱可塑性樹脂の組成について説明する。 【００１７】 熱可塑性樹脂としては、例えばアクリル系、ノボラック系、ナフトキノン系、炭化水素系、ポリイミド系、エラストマー等の、当該分野において公知の種々の接着剤に用いられる熱可塑性樹脂を用いることができる。 【００１８】 熱可塑性樹脂としては、例えば、エラストマー樹脂、炭化水素樹脂、アクリル－スチレン系樹脂、マレイミド系樹脂、等又はこれらを組み合わせたもの等が挙げられる。 【００１９】 接着剤組成物のガラス転移温度（Ｔｇ）は、熱可塑性樹脂の種類や分子量、及び接着剤組成物に配合される可塑剤等の種類や量によって変化する。接着剤組成物に含有される熱可塑性樹脂の種類や分子量は、基板及び支持体の種類に応じて適宜選択することができるが、接着剤組成物に使用する熱可塑性樹脂のＴｇは－６０℃以上、２００℃以下の範囲内が好ましく、－２５℃以上、１５０℃以下の範囲内がより好ましい。接着剤組成物に使用する熱可塑性樹脂のＴｇが－６０℃以上、２００℃以下の範囲内であることによって、冷却に過剰なエネルギーを要することなく、好適に接着層３の接着力を低下させることができる。また、接着層３のＴｇは、適宜、可塑剤や低重合度の樹脂等を配合することによって調整してもよい。 【００２０】 （エラストマー） 一実施形態に係る接着剤組成物が含んでいる熱可塑性樹脂は、エラストマーであることが好ましい。 【００２１】 熱可塑性樹脂にエラストマーを用いることによって、耐熱性が高く、レジスト溶剤に対する耐性の高い接着剤組成物を得ることができる。 【００２２】 エラストマーは、主鎖の構成単位としてスチレン単位を含んでいることが好ましく、当該「スチレン単位」は置換基を有していてもよい。置換基としては、例えば、炭素数１～５のアルキル基、炭素数１～５のアルコキシ基、炭素数１～５のアルコキシアルキル基、アセトキシ基、カルボキシル基等が挙げられる。また、当該スチレン単位の含有量が１４重量％以上、５０重量％以下の範囲内であることがより好ましい。さらに、エラストマーは、重量平均分子量が１０，０００以上、２００，０００以下の範囲内であることが好ましい。」 （イ）「【００８７】 ＜積層体１０＞ 図１の（ａ）を用いて、本発明の一実施形態に係る積層体１０についてより詳細に説明する。図１に示すように、積層体１０は、基板１と、基板１を支持するサポートプレート２とを、本発明の一実施形態に係る接着剤組成物を用いて形成した接着層３を介して貼り付けてなる。 【００８８】 積層体１０の基板１には、所望の処理が行われる。基板１には、一例として、グラインダ等によって、２５μｍ～１５０μｍの厚さになるように薄化処理が行われる。また、基板１を所望の厚さまで薄化した後に、フォトリソグラフィー処理等を行ない、基板１に回路素子等を形成する。つまり、一実施形態に係る積層体１０は、力を加えられ、加熱されても、基板１をサポートプレート２に好適に密着させておくことができるように、離型剤を含んだ接着層３の接着性が調整されている。 【００８９】 また、積層体１０は分離層を備えていなくても、所望の処理の後、基板１からサポートプレート２を容易に剥離することができる。このため、分離層を備えた積層体のように、分離層の耐薬品及び密着性等を考慮することなく、基板１に所望の処理を行なうことができる。 【００９０】 なお、分離層とは、積層体における支持体と接着層の間に設けられる層であり、例えば、プラズマＣＶＤ法によって形成されたフルオロカーボン膜等の有機膜又は金属膜等の無機膜からなる層のことである。分離層は、光を吸収することによって変質し、強度又は接着性を低下することで、基板から支持体を剥離する。 【００９１】 〔基板１〕 基板１は、接着層３を介してサポートプレート２に貼り付けられる。基板１としては、シリコンウエハ基板に限定されず、セラミックス基板、薄いフィルム基板、フレキシブル基板等の任意の基板を使用することができる。 【００９２】 〔サポートプレート２〕 サポートプレート（支持体）２は、基板１を支持する支持体であり、接着層３を介して、基板１に貼り付けられる。そのため、サポートプレート２としては、基板１の薄化、搬送、実装等のプロセス時に、基板１の破損又は変形を防ぐために必要な強度を有していればよい。以上の観点から、サポートプレート２としては、ガラス、シリコン、アクリル系樹脂からなるもの等が挙げられる。 【００９３】 〔接着層３〕 基板１とサポートプレート２とを貼り付けるための層であり、本発明の一実施形態に係る接着剤組成物を用いて形成される。接着層３は、接着剤組成物の塗布方法及び接着層３の膜厚等に応じて、希釈溶剤により接着剤組成物の適宜粘度を調整して形成するとよい。 【００９４】 接着層３は、例えば、スピンコート、ディッピング、ローラーブレード、スプレー塗布、スリット塗布等の方法により、接着剤組成物を基板１又はサポートプレート２に塗布することで形成することができる。 【００９５】 接着層３の厚さは、貼り付けの対象となる基板１及びサポートプレート２の種類、貼り付け後の基板１に施される処理等に応じて適宜設定すればよい。ここで、接着層３の厚さは、１０μｍ以上、１５０μｍ以下の範囲内であることが好ましく、１５μｍ以上、１００μｍ以下の範囲内であることがより好ましい。 【００９６】 ＜第１の実施形態に係る剥離方法＞ 図１を用いて、一実施形態（第１の実施形態）に係る剥離方法をより詳細に説明する。本実施形態に係る剥離方法は、本発明の一実施形態に係る積層体１０における接着層３の外周部の少なくとも一部を除去する予備処理工程と（図１の（ａ）及び（ｂ））、積層体１０における基板１からサポートプレート２を剥離する剥離工程と（図１の（ｃ））を包含している。 【００９７】 これによって、予備処理工程において、積層体１０における接着層３を除去した部分に、剥離工程において積層体１０に加える力を集中させることができる。 従って、剥離工程において積層体１０に過度な力を加えなくても基板１からサポートプレート２を剥離することができる。 【００９８】 このため、本実施形態に係る剥離方法によれば、光を吸収することにより変質する分離層を積層体１０に設ける必要がない。 【００９９】 また、図１の（ｄ）及び（ｅ）に示すように、本実施形態に係る剥離方法では、剥離工程の後、サポートプレート２を剥離した基板１から接着層３を剥離する接着層剥離工程を包含している。 【０１００】 これによって、サポートプレート２を剥離した基板１から接着層３を好適に除去することができる。」 （ウ）「【０１０９】 〔剥離工程〕 図１の（ｃ）に示すように、剥離工程では、基板１が底面側に位置するように積層体１０を固定し、積層体１０の上面側に位置するサポートプレート２に力を加えることによって、積層体１０における基板１からサポートプレート２を剥離する。 【０１１０】 ここで、積層体１０は、予備処理工程によってサポートプレート２に接着している接着層３の一部が除去されているため、積層体１０のサポートプレート２に加えられる力は、当該接着層３が除去された部分に集中する。また、予備処理工程において接着層３が除去された部分は、剥離溶剤によって接着性が低下している。このため、積層体１０のサポートプレート２に加えられる力を、接着層３が除去された部分により好適に集中させることができる。また、予備処理工程において、接着層３の外周部分の端部から少なくとも２ｍｍ以上の深さまで、接着層３を除去しておけば、より好適に接着層３が除去された部分に剥離工程において加える力を集中させることができる。 【０１１１】 また、本実施形態に係る剥離方法は、一実施形態に係る積層体１０に対して好適に行なわれる。ここで、積層体１０の接着層３は離型剤を含む接着剤組成物によって形成されており、接着層３の接着性が調整されている。このため、積層体１０に過度な力を加えなくても、基板１からサポートプレート２を容易に剥離することができる。 【０１１２】 また、積層体１０は接着層３に離型剤を含んでいるため、サポートプレート２は接着層３との界面において基板１から剥離する。このため、サポートプレート２の洗浄を省略するか、又は、サポートプレート２を洗浄するための溶剤の量を低減することができる。 【０１１３】 （剥離装置） 本実施形態に係る剥離方法は、一般的な剥離装置を用いて行なうことができる。例えば、剥離装置は、積層体１０を固定するためのステージ（不図示）、及び積層体１０に力を加えるための分離プレート（不図示）を少なくとも備えていればよい。ステージは、一例として、減圧手段によって吸引することで積層体１０を固定するポーラス部であり得る。また、分離プレートは、一例として、サポートプレート２を把持することができる複数のクランプを備えているとよい。また、分離プレートは、フローティングジョイントを備えていることがより好ましい。 【０１１４】 剥離工程では、例えば、ステージの上に、基板１が底面側に位置するように積層体１０を固定し、複数のクランプを備えた分離プレートよってサポートプレート２の外周端部の面取り部分を把持し、当該分離プレートを上昇させることによって積層体１０に力を加えるとよい。 【０１１５】 また、剥離工程では、積層体１０の平面に対して平行な円状の軌道、及び、積層体１０の平面に対して垂直な弧状の軌跡をとるように可動するフローティングジョイント等を介して、分離プレートから積層体１０に力を加えることがより好ましい。 【０１１６】 フローティングジョイントを介して分離プレートから積層体１０に力を加えれば、接着層３が除去された部分に力が集中したときに、フローティングジョイントが可動し、分離プレートが傾き、これに伴い、サポートプレート２が傾く。これによって、サポートプレート２及び基板１の一部に過度な力が加わることを防止することができる。従って、サポートプレート２及び基板１が過度な力によって破損することを防止しつつ、より好適に基板１からサポートプレート２を剥離することができる。」 （エ）「【０１８５】 表１２に示すように、実施例１及び２の積層体では、半導体ウエハ基板から支持体を剥離するときの剥離強度は、１．５ｋｇｆよりも低い結果となった。これに対し、比較例１の積層体では、剥離強度は３．８ｋｇｆ以上の値を示し、基板及び支持体を破損することなく、基板から支持体を剥離することは不可能であった。」 （オ）図１ 「 」 （カ）上記（オ）に摘記した先願明細書等１の図１（ｂ）（ｃ）から、サポートプレート２の基材面に対し垂直な方向に引き上げることによって、サポートプレート２と接着層３との界面で剥離していることが看取できる。 以上の記載事項と認定事項から、先願１の先願明細書等１には、以下の発明（以下、「先願発明１」という。）が記載されていると認められる。 「サポートプレートと、接着剤組成物をスピンコート、ディッピング、ローラーブレード、スプレー塗布、スリット塗布等の方法により塗布することで形成してなる接着層と、シリコンウエハ基板を、サポートプレートとシリコンウエハ基板とを接着層を介して貼り付けてなる積層体に用いる接着剤組成物であって、前記積層体のシリコンウエハ基板を固定し、サポートプレートの外周端部を、接着層との界面から、サポートプレートの基材面に対し垂直な方向に引き上げることによって、前記サポートプレートと前記接着層との界面で剥離可能で、かつ、前記引き上げる際にかかる力が、１．５ｋｇｆよりも低い、接着剤組成物。」 イ．対比 本件特許発明１と先願発明１とを対比すると、「接着層」が「仮接着膜」に相当し、「サポートプレート」が「キャリア基材」に相当し、「シリコンウエハ基板」が「デバイスウェハ」に相当する。また、本件特許発明１は「第１の基材」および「第２の基材」の一方を「キャリア基材」と特定し、他方を「デバイスウェハ」と特定しているから、先願発明１の「サポートプレート」は本件特許発明１の「キャリア基材」に相当するとともに「第１の基材」にも相当し、先願発明１の「シリコンウエハ基板」は本件特許発明１の「デバイスウェハ」に相当するとともに「第２の基材」にも相当する。このことから、先願発明１の「シリコンウエハ基板を固定し」が本件特許発明１の「第１の基材および第２の基材のいずれか一方を固定し」に相当し、先願発明１の「サポートプレートの外周端部」が本件特許発明１の「他方の基材の端部」に相当し、先願発明１の「シリコンウエハ基板を、サポートプレートとシリコンウエハ基板とを接着層を介して貼り付けてなる積層体」は本件特許発明１の「第１の基材」と「仮接着膜」と「第２の基材」をこの「順に互いに隣接して有する積層体」に相当する。 よって、本件特許発明１と先願発明１とは、 「第１の基材と、仮接着膜と、第２の基材を、前記順に互いに隣接して有する積層体であって、前記第１の基材および前記第２の基材の一方がキャリア基材であり、他方がデバイスウェハであり、前記積層体の、第１の基材および第２の基材のいずれか一方を固定し、他方の基材の端部を、仮接着膜との界面から、前記他方の基材の基材面に対し垂直な方向に引き上げることによって、前記キャリア基材と前記仮接着膜との界面で剥離可能である、積層体。」 である点で一致し、以下の点で相違している。 （相違点１） 本件特許発明１は仮接着膜の物性である「引張弾性率Ｅ」、「溶融粘度」、「表面自由エネルギー」、「せん断貯蔵弾性率Ｇ’」、「引張貯蔵弾性率Ｅ’」、「Ｅ’／Ｇ’」、「メルトフローレート」及び「塑性変形開始圧力Ｐ６０」の値が特定の数値範囲であるのに対して、先願発明１は仮接着膜の物性値は不明である点。 （相違点２） キャリア基材と仮接着膜との界面で剥離するためにかかる力が、本件特許発明１は２５℃の温度で、５０ｍｍ／分の速さで引き上げる際にかかる力が、フォースゲージを用いて測定したときの力が０．３３Ｎ／ｍｍ以下であるのに対して、先願発明１は１．５ｋｇｆよりも低い点。 ウ．判断 事案に鑑みて、相違点１について検討する。 先願１の先願明細書等１には、仮接着膜の物性値を特定の数値範囲となすことについて、何らの記載もなく、また、それらが周知技術であることを示す証拠もない。また、本件特許発明１は、相違点１に係る構成を有することで、本件発明の課題である「ウェハを薄型にしても、反りを発生しにくくすることが可能な、積層体、仮接着用組成物および仮接着膜を提供する」（段落【０００９】）ことを解決するものであるから、相違点１は実質的な相違点である。 したがって、本件特許発明１は、先願発明１ではないから、特許法第２９条の２の発明に該当しない。 エ．その余の本件特許発明 本件特許発明１７又は本件特許発明２０と先願発明１とを対比すると、両者の一致点及び相違点は、実質的に本件特許発明１と先願発明１の上記一致点及び相違点と同様である。そうすると、上記ウ．の判断と同様の理由により、本件発明１７又は本件特許発明２０は、先願発明１ではないから、特許法第２９条の２の発明に該当しない。 また、本件特許発明９～１６、１８～１９、２１～２２は、本件特許発明１、１７又は２０をさらに限定したものであるから、特許法第２９条の２の発明に該当しない。 ３．小括 以上のとおりであるから、特許異議申立人の主張は、採用することができない。 第６　むすび 以上のとおりであるから、本件特許発明１、９～１６、１７～１９、２０～２２に係る特許は、取消理由通知（決定の予告）に記載した取消理由及び特許異議申立書に記載した特許異議申立理由によっては、取り消すことができず、また、他に本件特許発明１、９～１６、１７～１９、２０～２２に係る特許を取り消すべき理由を発見しない。 そして、本件特許の請求項２～８は、本件訂正請求による訂正が認められることにより、削除されたため、本件特許発明２～８についての特許異議の申立ては、その対象が存在しないものとなった。よって、本件特許発明２～８についての特許異議の申立ては、不適法であって、その補正をすることができないものであるから、特許法第１２０条の８で準用する同法第１３５条の規定により、却下すべきものである。 よって、結論のとおり決定する。